0.000000e+00,1.010101e+00,1.333333e+00,2.020202e+00,2.666667e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,5.333333e+00,6.060606e+00,6.666667e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,9.333333e+00,1.010101e+01,1.066667e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.333333e+01,1.414141e+01,1.466667e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.733333e+01,1.818182e+01,1.866667e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.133333e+01,2.222222e+01,2.266667e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.533333e+01,2.626263e+01,2.666667e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,2.933333e+01,3.030303e+01,3.066667e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.434343e+01,3.466667e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.733333e+01,3.737374e+01,3.838384e+01,3.866667e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.133333e+01,4.141414e+01,4.242424e+01,4.266667e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.533333e+01,4.545455e+01,4.646465e+01,4.666667e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.933333e+01,4.949495e+01,5.050505e+01,5.066667e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.333333e+01,5.353535e+01,5.454545e+01,5.466667e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.733333e+01,5.757576e+01,5.858586e+01,5.866667e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.133333e+01,6.161616e+01,6.262626e+01,6.266667e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.533333e+01,6.565657e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.933333e+01,6.969697e+01,7.066667e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.333333e+01,7.373737e+01,7.466667e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.733333e+01,7.777778e+01,7.866667e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.133333e+01,8.181818e+01,8.266667e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.533333e+01,8.585859e+01,8.666667e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.933333e+01,8.989899e+01,9.066667e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.333333e+01,9.393939e+01,9.466667e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.733333e+01,9.797980e+01,9.866667e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.013333e+02,1.026667e+02,1.040000e+02,1.053333e+02,1.066667e+02,1.080000e+02,1.093333e+02,1.106667e+02,1.120000e+02,1.133333e+02,1.146667e+02,1.160000e+02,1.173333e+02,1.186667e+02,1.200000e+02,1.213333e+02,1.226667e+02,1.240000e+02,1.253333e+02,1.266667e+02,1.280000e+02,1.293333e+02,1.306667e+02,1.320000e+02
0.000000e+00,8.968477e-13,5.807796e-12,9.087804e-11,5.480291e-10,1.236120e-09,6.973180e-09,7.416143e-09,2.850018e-08,3.933467e-08,8.285867e-08,1.429180e-07,1.991868e-07,3.951536e-07,4.175178e-07,7.895636e-07,9.084984e-07,1.378210e-06,1.829013e-06,2.255354e-06,3.326353e-06,3.497104e-06,5.176557e-06,5.570718e-06,7.355928e-06,8.702516e-06,1.008023e-05,1.280820e-05,1.337380e-05,1.723969e-05,1.791048e-05,2.166133e-05,2.397194e-05,2.660560e-05,3.090663e-05,3.202634e-05,3.786792e-05,3.859430e-05,4.406855e-05,4.689382e-05,5.056300e-05,5.565449e-05,5.728499e-05,6.416907e-05,6.472488e-05,7.115206e-05,7.395944e-05,7.817425e-05,8.322323e-05,8.518027e-05,9.211968e-05,9.239521e-05,9.894734e-05,1.013702e-04,1.056237e-04,1.100595e-04,1.121146e-04,1.183917e-04,1.244316e-04,1.263112e-04,1.302161e-04,1.337776e-04,1.357314e-04,1.407641e-04,1.409681e-04,1.459205e-04,1.472558e-04,1.505862e-04,1.532480e-04,1.549656e-04,1.587444e-04,1.590618e-04,1.628796e-04,1.637552e-04,1.664258e-04,1.682959e-04,1.697083e-04,1.723859e-04,1.727361e-04,1.755191e-04,1.760472e-04,1.780674e-04,1.793034e-04,1.803920e-04,1.821796e-04,1.825036e-04,1.844132e-04,1.847007e-04,1.861317e-04,1.868918e-04,1.876697e-04,1.887772e-04,1.890377e-04,1.902457e-04,1.903804e-04,1.913038e-04,1.917242e-04,1.922212e-04,1.928301e-04,1.930072e-04,1.936704e-04,1.937184e-04,1.942190e-04,1.944082e-04,1.946610e-04,1.949174e-04,1.950038e-04,1.952544e-04,1.952626e-04,1.954195e-04,1.954593e-04,1.955055e-04,1.955219e-04,1.955184e-04,1.954637e-04,1.953467e-04,1.952969e-04,1.951724e-04,1.950329e-04,1.949455e-04,1.946821e-04,1.946702e-04,1.943508e-04,1.942540e-04,1.939910e-04,1.937573e-04,1.935945e-04,1.932001e-04,1.931645e-04,1.927044e-04,1.925897e-04,1.922169e-04,1.919330e-04,1.917048e-04,1.912359e-04,1.911708e-04,1.906171e-04,1.905042e-04,1.900461e-04,1.897430e-04,1.894598e-04,1.889568e-04,1.888601e-04,1.882488e-04,1.881500e-04,1.876276e-04,1.873264e-04,1.869981e-04,1.864894e-04,1.863617e-04,1.857197e-04,1.856423e-04,1.850734e-04,1.847879e-04,1.844239e-04,1.839288e-04,1.837723e-04,1.831195e-04,1.830673e-04,1.824666e-04,1.822055e-04,1.818142e-04,1.813453e-04,1.811632e-04,1.805144e-04,1.804885e-04,1.798682e-04,1.796364e-04,1.792254e-04,1.787905e-04,1.785865e-04,1.779520e-04,1.771219e-04,1.763012e-04,1.754907e-04,1.746910e-04,1.739029e-04,1.731269e-04,1.723633e-04,1.716126e-04,1.708752e-04,1.701512e-04,1.694409e-04,1.687444e-04,1.680618e-04,1.673933e-04,1.667388e-04,1.660983e-04,1.654718e-04,1.648593e-04,1.642606e-04,1.636757e-04,1.631045e-04,1.625468e-04,1.620024e-04,1.614713e-04
0.000000e+00,4.074011e-11,9.714441e-11,3.487149e-10,8.097351e-10,1.190719e-09,2.743071e-09,2.827117e-09,5.530035e-09,6.518182e-09,9.601981e-09,1.284352e-08,1.538598e-08,2.253270e-08,2.324588e-08,3.348352e-08,3.631178e-08,4.620514e-08,5.436750e-08,6.126324e-08,7.620703e-08,7.835425e-08,9.715362e-08,1.010928e-07,1.173791e-07,1.283802e-07,1.387949e-07,1.575551e-07,1.611983e-07,1.844056e-07,1.881817e-07,2.082445e-07,2.198628e-07,2.325501e-07,2.522242e-07,2.571644e-07,2.819363e-07,2.849127e-07,3.067239e-07,3.176010e-07,3.313954e-07,3.499936e-07,3.558306e-07,3.799218e-07,3.818313e-07,4.035743e-07,4.128937e-07,4.267064e-07,4.430004e-07,4.492496e-07,4.711481e-07,4.720100e-07,4.923571e-07,4.998162e-07,5.128402e-07,5.263408e-07,5.325721e-07,5.515359e-07,5.697214e-07,5.753756e-07,5.871250e-07,5.978535e-07,6.037484e-07,6.189787e-07,6.195980e-07,6.346834e-07,6.387720e-07,6.490174e-07,6.572635e-07,6.626155e-07,6.744905e-07,6.754949e-07,6.876745e-07,6.904956e-07,6.991742e-07,7.053247e-07,7.100147e-07,7.190260e-07,7.202174e-07,7.298038e-07,7.316490e-07,7.387955e-07,7.432434e-07,7.472143e-07,7.538591e-07,7.550817e-07,7.624188e-07,7.635450e-07,7.692466e-07,7.723491e-07,7.755856e-07,7.803182e-07,7.814557e-07,7.868765e-07,7.874978e-07,7.918671e-07,7.939315e-07,7.964459e-07,7.996615e-07,8.006309e-07,8.044394e-07,8.047283e-07,8.078882e-07,8.091706e-07,8.109935e-07,8.130255e-07,8.137711e-07,8.162360e-07,8.163283e-07,8.184029e-07,8.191128e-07,8.202858e-07,8.214109e-07,8.218982e-07,8.232532e-07,8.243633e-07,8.246688e-07,8.252405e-07,8.256850e-07,8.258963e-07,8.263280e-07,8.263420e-07,8.265880e-07,8.266226e-07,8.266448e-07,8.265921e-07,8.265220e-07,8.262587e-07,8.262292e-07,8.257753e-07,8.256434e-07,8.251690e-07,8.247660e-07,8.244186e-07,8.236453e-07,8.235319e-07,8.225167e-07,8.222989e-07,8.213802e-07,8.207437e-07,8.201294e-07,8.189952e-07,8.187709e-07,8.173111e-07,8.170686e-07,8.157562e-07,8.149777e-07,8.141118e-07,8.127358e-07,8.123837e-07,8.105771e-07,8.103553e-07,8.086971e-07,8.078480e-07,8.067487e-07,8.052249e-07,8.047363e-07,8.026645e-07,8.024964e-07,8.005375e-07,7.996722e-07,7.983594e-07,7.967616e-07,7.961339e-07,7.938648e-07,7.937732e-07,7.915555e-07,7.907150e-07,7.892095e-07,7.875948e-07,7.868298e-07,7.844195e-07,7.811960e-07,7.779304e-07,7.746287e-07,7.712964e-07,7.679385e-07,7.645600e-07,7.611653e-07,7.577587e-07,7.543440e-07,7.509248e-07,7.475047e-07,7.440868e-07,7.406739e-07,7.372690e-07,7.338744e-07,7.304925e-07,7.271256e-07,7.237757e-07,7.204445e-07,7.171338e-07,7.138453e-07,7.105802e-07,7.073400e-07,7.041259e-07
0.000000e+00,3.090504e-11,7.119587e-11,2.470128e-10,5.664285e-10,8.305618e-10,1.916871e-09,1.976227e-09,3.915605e-09,4.638645e-09,6.936731e-09,9.406216e-09,1.136880e-08,1.692420e-08,1.747730e-08,2.530117e-08,2.741511e-08,3.464394e-08,4.043822e-08,4.523760e-08,5.541337e-08,5.685551e-08,6.932604e-08,7.191009e-08,8.251310e-08,8.961390e-08,9.629844e-08,1.082596e-07,1.105717e-07,1.252263e-07,1.275995e-07,1.401584e-07,1.473948e-07,1.552679e-07,1.674192e-07,1.704598e-07,1.856455e-07,1.874635e-07,2.007444e-07,2.073416e-07,2.156842e-07,2.268922e-07,2.304009e-07,2.448404e-07,2.459822e-07,2.589569e-07,2.645044e-07,2.727128e-07,2.823766e-07,2.860779e-07,2.990286e-07,2.995377e-07,3.115470e-07,3.159454e-07,3.236209e-07,3.315729e-07,3.352421e-07,3.464062e-07,3.571122e-07,3.604416e-07,3.673616e-07,3.736833e-07,3.771581e-07,3.861418e-07,3.865073e-07,3.954160e-07,3.978326e-07,4.038924e-07,4.087745e-07,4.119456e-07,4.189890e-07,4.195852e-07,4.268215e-07,4.284994e-07,4.336653e-07,4.373303e-07,4.401274e-07,4.455071e-07,4.462189e-07,4.519512e-07,4.530555e-07,4.573354e-07,4.600013e-07,4.623827e-07,4.663704e-07,4.671044e-07,4.715115e-07,4.721882e-07,4.756148e-07,4.774797e-07,4.794252e-07,4.822697e-07,4.829532e-07,4.862091e-07,4.865821e-07,4.892032e-07,4.904402e-07,4.919453e-07,4.938668e-07,4.944452e-07,4.967123e-07,4.968839e-07,4.987558e-07,4.995127e-07,5.005849e-07,5.017738e-07,5.022080e-07,5.036339e-07,5.036870e-07,5.048708e-07,5.052713e-07,5.059266e-07,5.065451e-07,5.068091e-07,5.075260e-07,5.080844e-07,5.082308e-07,5.084915e-07,5.086758e-07,5.087542e-07,5.088765e-07,5.088789e-07,5.088722e-07,5.088477e-07,5.087403e-07,5.086035e-07,5.084891e-07,5.081576e-07,5.081243e-07,5.076517e-07,5.075228e-07,5.070764e-07,5.067115e-07,5.064039e-07,5.057354e-07,5.056389e-07,5.047864e-07,5.046058e-07,5.038510e-07,5.033333e-07,5.028372e-07,5.019281e-07,5.017492e-07,5.005913e-07,5.003998e-07,4.993673e-07,4.987575e-07,4.980812e-07,4.970101e-07,4.967366e-07,4.953371e-07,4.951656e-07,4.938860e-07,4.932321e-07,4.923867e-07,4.912168e-07,4.908422e-07,4.892556e-07,4.891269e-07,4.876297e-07,4.869690e-07,4.859674e-07,4.847494e-07,4.842712e-07,4.825438e-07,4.824741e-07,4.807875e-07,4.801487e-07,4.790048e-07,4.777785e-07,4.771977e-07,4.753686e-07,4.729236e-07,4.704481e-07,4.679463e-07,4.654221e-07,4.628793e-07,4.603212e-07,4.577514e-07,4.551727e-07,4.525881e-07,4.500003e-07,4.474119e-07,4.448251e-07,4.422423e-07,4.396654e-07,4.370964e-07,4.345371e-07,4.319891e-07,4.294539e-07,4.269330e-07,4.244277e-07,4.219391e-07,4.194685e-07,4.170167e-07,4.145848e-07
0.000000e+00,2.428314e-12,1.491834e-11,2.095951e-10,1.148147e-09,2.459167e-09,1.218649e-08,1.289429e-08,4.389891e-08,5.871241e-08,1.146520e-07,1.866884e-07,2.510853e-07,4.626910e-07,4.860033e-07,8.592533e-07,9.744233e-07,1.416642e-06,1.827011e-06,2.205462e-06,3.123166e-06,3.265666e-06,4.619470e-06,4.925726e-06,6.264807e-06,7.227824e-06,8.175881e-06,9.955292e-06,1.030955e-05,1.261396e-05,1.299494e-05,1.503618e-05,1.622609e-05,1.752730e-05,1.954116e-05,2.004507e-05,2.255459e-05,2.285379e-05,2.502802e-05,2.609909e-05,2.744362e-05,2.923044e-05,2.978483e-05,3.203932e-05,3.221565e-05,3.419828e-05,3.503368e-05,3.625569e-05,3.767204e-05,3.820792e-05,4.005322e-05,4.012480e-05,4.179139e-05,4.239108e-05,4.342348e-05,4.447371e-05,4.495152e-05,4.637831e-05,4.770722e-05,4.811240e-05,4.894202e-05,4.968477e-05,5.008677e-05,5.110495e-05,5.114572e-05,5.212318e-05,5.238285e-05,5.302346e-05,5.352837e-05,5.385085e-05,5.455126e-05,5.460952e-05,5.530352e-05,5.546089e-05,5.593674e-05,5.626620e-05,5.651293e-05,5.697563e-05,5.703565e-05,5.750827e-05,5.759706e-05,5.793399e-05,5.813785e-05,5.831585e-05,5.860481e-05,5.865670e-05,5.895921e-05,5.900423e-05,5.922592e-05,5.934192e-05,5.945918e-05,5.962322e-05,5.966124e-05,5.983416e-05,5.985305e-05,5.997991e-05,6.003591e-05,6.010032e-05,6.017593e-05,6.019709e-05,6.027183e-05,6.027691e-05,6.032605e-05,6.034231e-05,6.036115e-05,6.037532e-05,6.037844e-05,6.037916e-05,6.037886e-05,6.036445e-05,6.035559e-05,6.033540e-05,6.030796e-05,6.029301e-05,6.023822e-05,6.017193e-05,6.014842e-05,6.009495e-05,6.004043e-05,6.000806e-05,5.991599e-05,5.991198e-05,5.980740e-05,5.977668e-05,5.969494e-05,5.962394e-05,5.957522e-05,5.945912e-05,5.944877e-05,5.931614e-05,5.928344e-05,5.917780e-05,5.909801e-05,5.903422e-05,5.890387e-05,5.888582e-05,5.873302e-05,5.870196e-05,5.857619e-05,5.849316e-05,5.841568e-05,5.827826e-05,5.825183e-05,5.808495e-05,5.805799e-05,5.791533e-05,5.783303e-05,5.774325e-05,5.760400e-05,5.756898e-05,5.739274e-05,5.737147e-05,5.721477e-05,5.713597e-05,5.703528e-05,5.689797e-05,5.685447e-05,5.667253e-05,5.665794e-05,5.648965e-05,5.641626e-05,5.630597e-05,5.617332e-05,5.612166e-05,5.593687e-05,5.592947e-05,5.575173e-05,5.568502e-05,5.556637e-05,5.544026e-05,5.538091e-05,5.519547e-05,5.495088e-05,5.470674e-05,5.446324e-05,5.422057e-05,5.397892e-05,5.373844e-05,5.349928e-05,5.326157e-05,5.302543e-05,5.279098e-05,5.255832e-05,5.232754e-05,5.209872e-05,5.187194e-05,5.164727e-05,5.142476e-05,5.120447e-05,5.098645e-05,5.077074e-05,5.055738e-05,5.034641e-05,5.013784e-05,4.993171e-05,4.972803e-05
0.000000e+00,6.723007e-13,4.517014e-12,7.632745e-11,4.939232e-10,1.158262e-09,7.227282e-09,7.718039e-09,3.278780e-08,4.649951e-08,1.048534e-07,1.910217e-07,2.758236e-07,5.916814e-07,6.292980e-07,1.288500e-06,1.510007e-06,2.423320e-06,3.347088e-06,4.255810e-06,6.664266e-06,7.063088e-06,1.117635e-05,1.218836e-05,1.697487e-05,2.079322e-05,2.487487e-05,3.345496e-05,3.531417e-05,4.873437e-05,5.118712e-05,6.556240e-05,7.496789e-05,8.619305e-05,1.056708e-04,1.109736e-04,1.401914e-04,1.440068e-04,1.740645e-04,1.904831e-04,2.127360e-04,2.453785e-04,2.562711e-04,3.046571e-04,3.087353e-04,3.578058e-04,3.803655e-04,4.155586e-04,4.598684e-04,4.776922e-04,5.439265e-04,5.466566e-04,6.139326e-04,6.399882e-04,6.873418e-04,7.390008e-04,7.637542e-04,8.427480e-04,9.238873e-04,9.502329e-04,1.006730e-03,1.060440e-03,1.090836e-03,1.172365e-03,1.175773e-03,1.261119e-03,1.285034e-03,1.346474e-03,1.397531e-03,1.431457e-03,1.509006e-03,1.515711e-03,1.598909e-03,1.618686e-03,1.680751e-03,1.725887e-03,1.760964e-03,1.830012e-03,1.839307e-03,1.915569e-03,1.930555e-03,1.989566e-03,2.027098e-03,2.061144e-03,2.119305e-03,2.130173e-03,2.196551e-03,2.206919e-03,2.260196e-03,2.289758e-03,2.321051e-03,2.367701e-03,2.379079e-03,2.434259e-03,2.440689e-03,2.486590e-03,2.508715e-03,2.536082e-03,2.571812e-03,2.582761e-03,2.626663e-03,2.630057e-03,2.667836e-03,2.683553e-03,2.706335e-03,2.732433e-03,2.742222e-03,2.775566e-03,2.776848e-03,2.806442e-03,2.816967e-03,2.834926e-03,2.852971e-03,2.861100e-03,2.885048e-03,2.906852e-03,2.913391e-03,2.926600e-03,2.938199e-03,2.944377e-03,2.959666e-03,2.960267e-03,2.974356e-03,2.977990e-03,2.986728e-03,2.993360e-03,2.997464e-03,3.005967e-03,3.006646e-03,3.014353e-03,3.015991e-03,3.020661e-03,3.023611e-03,3.025645e-03,3.028995e-03,3.029379e-03,3.031932e-03,3.032307e-03,3.033373e-03,3.033703e-03,3.033765e-03,3.033332e-03,3.033173e-03,3.031658e-03,3.031333e-03,3.029276e-03,3.027841e-03,3.026083e-03,3.022982e-03,3.022134e-03,3.017479e-03,3.016875e-03,3.012166e-03,3.009632e-03,3.006242e-03,3.001358e-03,2.999751e-03,2.992736e-03,2.992153e-03,2.985236e-03,2.982108e-03,2.977289e-03,2.971312e-03,2.968932e-03,2.960200e-03,2.959843e-03,2.951124e-03,2.947779e-03,2.941736e-03,2.935188e-03,2.932064e-03,2.922137e-03,2.908687e-03,2.894893e-03,2.880808e-03,2.866481e-03,2.851955e-03,2.837273e-03,2.822472e-03,2.807587e-03,2.792650e-03,2.777691e-03,2.762737e-03,2.747812e-03,2.732939e-03,2.718139e-03,2.703429e-03,2.688826e-03,2.674347e-03,2.660004e-03,2.645809e-03,2.631774e-03,2.617909e-03,2.604220e-03,2.590717e-03,2.577406e-03
0.000000e+00,2.454771e-12,1.498810e-11,2.079637e-10,1.126528e-09,2.397997e-09,1.168761e-08,1.235767e-08,4.129494e-08,5.491876e-08,1.055748e-07,1.694201e-07,2.254645e-07,4.044018e-07,4.237061e-07,7.243469e-07,8.144579e-07,1.151849e-06,1.455656e-06,1.730194e-06,2.381610e-06,2.481569e-06,3.424507e-06,3.637336e-06,4.571937e-06,5.251720e-06,5.929952e-06,7.233015e-06,7.497741e-06,9.268494e-06,9.569938e-06,1.123077e-05,1.223646e-05,1.336985e-05,1.519713e-05,1.566887e-05,1.810957e-05,1.841107e-05,2.067290e-05,2.183461e-05,2.333942e-05,2.542298e-05,2.608962e-05,2.890424e-05,2.913162e-05,3.176450e-05,3.291731e-05,3.465239e-05,3.673917e-05,3.755088e-05,4.044410e-05,4.055951e-05,4.331751e-05,4.434452e-05,4.615797e-05,4.806462e-05,4.895378e-05,5.169474e-05,5.437209e-05,5.521417e-05,5.697845e-05,5.860643e-05,5.950778e-05,6.185893e-05,6.195521e-05,6.431703e-05,6.496260e-05,6.659050e-05,6.791139e-05,6.877381e-05,7.070189e-05,7.086589e-05,7.286640e-05,7.333290e-05,7.477554e-05,7.580502e-05,7.659406e-05,7.812029e-05,7.832310e-05,7.996414e-05,8.028194e-05,8.151896e-05,8.229405e-05,8.298957e-05,8.416138e-05,8.437814e-05,8.568700e-05,8.588918e-05,8.691856e-05,8.748298e-05,8.807531e-05,8.894856e-05,8.915979e-05,9.017454e-05,9.029175e-05,9.112213e-05,9.151844e-05,9.200508e-05,9.263446e-05,9.282593e-05,9.358716e-05,9.364555e-05,9.429120e-05,9.455734e-05,9.494045e-05,9.537530e-05,9.553724e-05,9.608386e-05,9.610471e-05,9.658250e-05,9.675069e-05,9.703534e-05,9.731817e-05,9.744445e-05,9.781185e-05,9.813951e-05,9.823627e-05,9.842930e-05,9.859574e-05,9.868305e-05,9.889438e-05,9.890253e-05,9.908942e-05,9.913613e-05,9.924535e-05,9.932471e-05,9.937191e-05,9.946369e-05,9.947059e-05,9.954285e-05,9.955642e-05,9.959010e-05,9.960612e-05,9.961365e-05,9.961582e-05,9.961481e-05,9.959481e-05,9.958837e-05,9.955482e-05,9.952651e-05,9.949598e-05,9.943279e-05,9.941938e-05,9.932606e-05,9.930964e-05,9.921700e-05,9.915935e-05,9.909318e-05,9.898409e-05,9.895549e-05,9.880481e-05,9.878589e-05,9.864196e-05,9.856667e-05,9.846776e-05,9.832823e-05,9.828295e-05,9.808826e-05,9.807228e-05,9.788438e-05,9.780041e-05,9.767198e-05,9.751413e-05,9.745169e-05,9.722410e-05,9.721485e-05,9.698979e-05,9.690390e-05,9.674930e-05,9.658251e-05,9.650316e-05,9.625185e-05,9.591301e-05,9.556702e-05,9.521483e-05,9.485732e-05,9.449534e-05,9.412966e-05,9.376101e-05,9.339005e-05,9.301742e-05,9.264370e-05,9.226943e-05,9.189511e-05,9.152121e-05,9.114815e-05,9.077634e-05,9.040613e-05,9.003786e-05,8.967185e-05,8.930836e-05,8.894767e-05,8.859001e-05,8.823559e-05,8.788460e-05,8.753723e-05
0.000000e+00,1.289770e-11,2.970582e-11,1.029378e-10,2.355419e-10,3.447938e-10,7.906557e-10,8.148691e-10,1.598766e-09,1.887908e-09,2.798615e-09,3.768218e-09,4.536348e-09,6.723813e-09,6.943948e-09,1.012816e-08,1.101334e-08,1.411823e-08,1.668294e-08,1.884801e-08,2.352716e-08,2.419765e-08,3.004527e-08,3.126522e-08,3.628952e-08,3.966597e-08,4.285015e-08,4.855743e-08,4.966175e-08,5.666815e-08,5.780380e-08,6.381868e-08,6.728819e-08,7.106625e-08,7.690433e-08,7.836657e-08,8.567789e-08,8.655410e-08,9.296114e-08,9.614751e-08,1.001804e-07,1.056041e-07,1.073031e-07,1.143001e-07,1.148537e-07,1.211462e-07,1.238373e-07,1.278194e-07,1.325069e-07,1.343018e-07,1.405783e-07,1.408249e-07,1.466374e-07,1.487637e-07,1.524702e-07,1.563040e-07,1.580706e-07,1.634344e-07,1.685599e-07,1.701496e-07,1.734466e-07,1.764494e-07,1.780959e-07,1.823381e-07,1.825102e-07,1.866929e-07,1.878231e-07,1.906482e-07,1.929144e-07,1.943813e-07,1.976240e-07,1.978974e-07,2.012026e-07,2.019651e-07,2.043029e-07,2.059520e-07,2.072048e-07,2.095995e-07,2.099148e-07,2.124395e-07,2.129228e-07,2.147855e-07,2.159371e-07,2.169595e-07,2.186575e-07,2.189680e-07,2.208175e-07,2.210991e-07,2.225144e-07,2.232765e-07,2.240648e-07,2.252039e-07,2.254750e-07,2.267510e-07,2.268954e-07,2.278985e-07,2.283641e-07,2.289232e-07,2.296232e-07,2.298306e-07,2.306260e-07,2.306850e-07,2.313147e-07,2.315614e-07,2.319016e-07,2.322638e-07,2.323915e-07,2.327892e-07,2.328032e-07,2.330990e-07,2.331899e-07,2.333255e-07,2.334339e-07,2.334727e-07,2.335446e-07,2.335453e-07,2.335311e-07,2.334784e-07,2.334017e-07,2.333475e-07,2.331648e-07,2.331560e-07,2.329073e-07,2.328278e-07,2.326045e-07,2.323982e-07,2.322508e-07,2.318828e-07,2.318490e-07,2.314019e-07,2.312882e-07,2.309123e-07,2.306205e-07,2.303827e-07,2.298856e-07,2.298156e-07,2.292134e-07,2.290889e-07,2.285783e-07,2.282357e-07,2.279124e-07,2.273309e-07,2.272180e-07,2.264969e-07,2.263791e-07,2.257510e-07,2.253847e-07,2.249821e-07,2.243517e-07,2.241920e-07,2.233823e-07,2.232839e-07,2.225546e-07,2.221851e-07,2.217104e-07,2.210586e-07,2.208511e-07,2.199780e-07,2.199076e-07,2.190925e-07,2.187351e-07,2.181958e-07,2.175439e-07,2.172890e-07,2.163734e-07,2.163366e-07,2.154498e-07,2.151156e-07,2.145195e-07,2.138834e-07,2.135832e-07,2.126419e-07,2.113933e-07,2.101393e-07,2.088818e-07,2.076223e-07,2.063623e-07,2.051032e-07,2.038464e-07,2.025929e-07,2.013440e-07,2.001006e-07,1.988636e-07,1.976340e-07,1.964125e-07,1.951998e-07,1.939966e-07,1.928036e-07,1.916212e-07,1.904499e-07,1.892902e-07,1.881424e-07,1.870071e-07,1.858843e-07,1.847745e-07,1.836779e-07
0.000000e+00,3.676423e-13,2.436904e-12,4.004043e-11,2.526380e-10,5.843954e-10,3.523823e-09,3.758034e-09,1.547154e-08,2.176816e-08,4.818339e-08,8.661954e-08,1.241071e-07,2.624063e-07,2.787982e-07,5.648848e-07,6.607241e-07,1.054991e-06,1.452468e-06,1.842115e-06,2.867442e-06,3.036120e-06,4.756619e-06,5.174580e-06,7.123955e-06,8.648378e-06,1.025028e-05,1.353415e-05,1.423214e-05,1.914533e-05,2.002170e-05,2.504195e-05,2.823066e-05,3.194954e-05,3.820672e-05,3.987174e-05,4.879000e-05,4.992550e-05,5.866604e-05,6.330122e-05,6.944460e-05,7.819775e-05,8.105644e-05,9.342118e-05,9.444028e-05,1.064502e-04,1.118267e-04,1.200490e-04,1.301383e-04,1.341202e-04,1.485648e-04,1.491490e-04,1.632851e-04,1.686333e-04,1.781854e-04,1.883735e-04,1.931740e-04,2.081644e-04,2.230756e-04,2.278181e-04,2.378333e-04,2.471664e-04,2.523703e-04,2.660625e-04,2.666266e-04,2.805495e-04,2.843818e-04,2.940935e-04,3.020217e-04,3.072201e-04,3.189006e-04,3.198977e-04,3.321007e-04,3.349566e-04,3.438098e-04,3.501457e-04,3.550109e-04,3.644404e-04,3.656950e-04,3.758577e-04,3.778275e-04,3.854985e-04,3.903063e-04,3.946204e-04,4.018863e-04,4.032297e-04,4.113348e-04,4.125856e-04,4.189468e-04,4.224290e-04,4.260781e-04,4.314464e-04,4.327427e-04,4.389558e-04,4.396718e-04,4.447331e-04,4.471413e-04,4.500912e-04,4.538932e-04,4.550467e-04,4.596166e-04,4.599661e-04,4.638179e-04,4.653990e-04,4.676674e-04,4.702306e-04,4.711817e-04,4.743771e-04,4.744985e-04,4.772696e-04,4.782397e-04,4.798745e-04,4.814893e-04,4.822069e-04,4.842813e-04,4.861117e-04,4.866481e-04,4.877115e-04,4.886204e-04,4.890936e-04,4.902270e-04,4.902703e-04,4.912534e-04,4.914955e-04,4.920541e-04,4.924515e-04,4.926832e-04,4.931192e-04,4.931509e-04,4.934671e-04,4.935214e-04,4.936408e-04,4.936793e-04,4.936810e-04,4.936125e-04,4.935960e-04,4.933936e-04,4.933397e-04,4.930814e-04,4.928781e-04,4.926666e-04,4.922436e-04,4.921557e-04,4.915552e-04,4.914513e-04,4.908712e-04,4.905149e-04,4.901094e-04,4.894475e-04,4.892751e-04,4.883735e-04,4.882610e-04,4.874093e-04,4.869665e-04,4.863873e-04,4.855744e-04,4.853116e-04,4.841863e-04,4.840943e-04,4.830154e-04,4.825350e-04,4.818023e-04,4.809048e-04,4.805507e-04,4.792636e-04,4.792114e-04,4.779442e-04,4.774618e-04,4.765953e-04,4.756626e-04,4.752196e-04,4.738199e-04,4.719392e-04,4.700259e-04,4.680846e-04,4.661199e-04,4.641358e-04,4.621362e-04,4.601246e-04,4.581041e-04,4.560777e-04,4.540483e-04,4.520182e-04,4.499900e-04,4.479656e-04,4.459471e-04,4.439362e-04,4.419346e-04,4.399437e-04,4.379651e-04,4.359999e-04,4.340492e-04,4.321142e-04,4.301956e-04,4.282945e-04,4.264114e-04
0.000000e+00,7.436494e-13,4.784726e-12,7.387060e-11,4.400132e-10,9.857698e-10,5.464092e-09,5.807042e-09,2.193190e-08,3.012765e-08,6.272547e-08,1.071858e-07,1.484909e-07,2.907118e-07,3.068227e-07,5.723618e-07,6.564442e-07,9.855194e-07,1.297507e-06,1.589596e-06,2.312556e-06,2.426563e-06,3.532756e-06,3.788902e-06,4.935701e-06,5.788634e-06,6.652579e-06,8.342608e-06,8.690167e-06,1.104575e-05,1.145153e-05,1.370849e-05,1.509079e-05,1.666090e-05,1.921622e-05,1.988018e-05,2.333947e-05,2.376932e-05,2.700877e-05,2.868155e-05,3.085585e-05,3.387783e-05,3.484701e-05,3.894779e-05,3.927956e-05,4.312365e-05,4.480736e-05,4.734057e-05,5.038367e-05,5.156569e-05,5.576780e-05,5.593499e-05,5.991783e-05,6.139390e-05,6.398922e-05,6.670059e-05,6.795820e-05,7.180399e-05,7.550891e-05,7.666227e-05,7.905839e-05,8.124301e-05,8.244086e-05,8.552286e-05,8.564767e-05,8.867290e-05,8.948690e-05,9.151310e-05,9.312781e-05,9.416705e-05,9.644482e-05,9.663552e-05,9.892096e-05,9.944263e-05,1.010273e-04,1.021304e-04,1.029595e-04,1.045206e-04,1.047237e-04,1.063265e-04,1.066284e-04,1.077754e-04,1.084704e-04,1.090778e-04,1.100644e-04,1.102416e-04,1.112748e-04,1.114285e-04,1.121851e-04,1.125807e-04,1.129804e-04,1.135389e-04,1.136682e-04,1.142558e-04,1.143200e-04,1.147504e-04,1.149402e-04,1.151585e-04,1.154149e-04,1.154867e-04,1.157409e-04,1.157582e-04,1.159269e-04,1.159834e-04,1.160501e-04,1.161027e-04,1.161154e-04,1.161277e-04,1.161272e-04,1.160912e-04,1.160670e-04,1.160101e-04,1.159314e-04,1.158882e-04,1.157289e-04,1.155355e-04,1.154670e-04,1.153111e-04,1.151525e-04,1.150585e-04,1.147918e-04,1.147802e-04,1.144785e-04,1.143902e-04,1.141558e-04,1.139530e-04,1.138141e-04,1.134845e-04,1.134552e-04,1.130808e-04,1.129888e-04,1.126926e-04,1.124697e-04,1.122920e-04,1.119304e-04,1.118804e-04,1.114591e-04,1.113738e-04,1.110291e-04,1.108025e-04,1.105917e-04,1.102191e-04,1.101476e-04,1.096980e-04,1.096255e-04,1.092435e-04,1.090239e-04,1.087850e-04,1.084158e-04,1.083232e-04,1.078588e-04,1.078029e-04,1.073923e-04,1.071865e-04,1.069243e-04,1.065680e-04,1.064553e-04,1.059859e-04,1.059483e-04,1.055164e-04,1.053287e-04,1.050473e-04,1.047099e-04,1.045789e-04,1.041116e-04,1.040929e-04,1.036456e-04,1.034783e-04,1.031814e-04,1.028668e-04,1.027190e-04,1.022589e-04,1.016553e-04,1.010564e-04,1.004626e-04,9.987428e-05,9.929176e-05,9.871534e-05,9.814527e-05,9.758177e-05,9.702505e-05,9.647525e-05,9.593253e-05,9.539700e-05,9.486876e-05,9.434790e-05,9.383446e-05,9.332850e-05,9.283006e-05,9.233915e-05,9.185578e-05,9.137994e-05,9.091164e-05,9.045083e-05,8.999750e-05,8.955160e-05
0.000000e+00,5.855038e-13,3.932370e-12,6.642080e-11,4.299374e-10,1.008745e-09,6.313495e-09,6.743453e-09,2.883215e-08,4.099056e-08,9.315466e-08,1.710950e-07,2.485917e-07,5.420432e-07,5.773825e-07,1.205621e-06,1.419536e-06,2.310732e-06,3.221678e-06,4.123040e-06,6.522846e-06,6.920778e-06,1.101993e-05,1.202562e-05,1.676096e-05,2.051153e-05,2.449439e-05,3.278397e-05,3.456653e-05,4.730635e-05,4.961284e-05,6.301403e-05,7.168643e-05,8.195129e-05,9.957308e-05,1.043339e-04,1.303259e-04,1.336933e-04,1.600363e-04,1.743022e-04,1.935168e-04,2.214823e-04,2.307622e-04,2.717118e-04,2.751447e-04,3.162519e-04,3.350385e-04,3.642203e-04,4.007665e-04,4.154114e-04,4.695812e-04,4.718062e-04,5.264544e-04,5.475333e-04,5.857302e-04,6.272476e-04,6.470889e-04,7.101984e-04,7.747201e-04,7.956097e-04,8.403143e-04,8.827023e-04,9.066458e-04,9.707140e-04,9.733876e-04,1.040225e-03,1.058916e-03,1.106860e-03,1.146627e-03,1.173012e-03,1.233221e-03,1.238421e-03,1.302846e-03,1.318138e-03,1.366073e-03,1.400883e-03,1.427907e-03,1.481033e-03,1.488178e-03,1.546736e-03,1.558231e-03,1.603455e-03,1.632186e-03,1.658229e-03,1.702671e-03,1.710971e-03,1.761613e-03,1.769518e-03,1.810106e-03,1.832608e-03,1.856414e-03,1.891873e-03,1.900517e-03,1.942409e-03,1.947287e-03,1.982093e-03,1.998859e-03,2.019586e-03,2.046630e-03,2.054912e-03,2.088103e-03,2.090667e-03,2.119198e-03,2.131060e-03,2.148244e-03,2.167915e-03,2.175289e-03,2.200389e-03,2.201354e-03,2.223602e-03,2.231507e-03,2.244986e-03,2.258514e-03,2.264604e-03,2.282520e-03,2.298796e-03,2.303669e-03,2.313499e-03,2.322112e-03,2.326692e-03,2.337996e-03,2.338439e-03,2.348804e-03,2.351467e-03,2.357849e-03,2.362668e-03,2.365636e-03,2.371739e-03,2.372224e-03,2.377672e-03,2.378816e-03,2.382036e-03,2.384029e-03,2.385374e-03,2.387503e-03,2.387737e-03,2.389179e-03,2.389361e-03,2.389749e-03,2.389717e-03,2.389496e-03,2.388682e-03,2.388467e-03,2.386706e-03,2.386359e-03,2.384256e-03,2.382848e-03,2.381159e-03,2.378242e-03,2.377454e-03,2.373179e-03,2.372630e-03,2.368371e-03,2.366095e-03,2.363064e-03,2.358717e-03,2.357291e-03,2.351083e-03,2.350568e-03,2.344471e-03,2.341720e-03,2.337483e-03,2.332235e-03,2.330148e-03,2.322489e-03,2.322177e-03,2.314533e-03,2.311601e-03,2.306303e-03,2.300561e-03,2.297821e-03,2.289108e-03,2.277287e-03,2.265143e-03,2.252715e-03,2.240041e-03,2.227156e-03,2.214093e-03,2.200882e-03,2.187551e-03,2.174125e-03,2.160629e-03,2.147084e-03,2.133511e-03,2.119929e-03,2.106355e-03,2.092806e-03,2.079294e-03,2.065835e-03,2.052440e-03,2.039120e-03,2.025885e-03,2.012745e-03,1.999708e-03,1.986782e-03,1.973973e-03
0.000000e+00,4.482954e-12,2.764418e-11,3.915164e-10,2.161417e-09,4.650362e-09,2.334012e-08,2.470948e-08,8.537664e-08,1.146977e-07,2.267306e-07,3.732691e-07,5.059212e-07,9.499414e-07,9.994763e-07,1.804447e-06,2.056306e-06,3.032973e-06,3.947804e-06,4.795153e-06,6.854536e-06,7.174332e-06,1.020792e-05,1.089285e-05,1.388315e-05,1.603134e-05,1.814671e-05,2.212585e-05,2.292029e-05,2.811549e-05,2.897991e-05,3.364442e-05,3.639259e-05,3.942555e-05,4.418279e-05,4.538605e-05,5.146211e-05,5.219628e-05,5.759815e-05,6.030433e-05,6.374590e-05,6.840002e-05,6.986345e-05,7.591451e-05,7.639476e-05,8.186792e-05,8.421586e-05,8.769720e-05,9.180483e-05,9.338021e-05,9.889886e-05,9.911597e-05,1.042387e-04,1.061151e-04,1.093888e-04,1.127781e-04,1.143409e-04,1.190898e-04,1.236325e-04,1.250424e-04,1.279679e-04,1.306340e-04,1.320966e-04,1.358675e-04,1.360206e-04,1.397430e-04,1.407497e-04,1.432679e-04,1.452898e-04,1.465998e-04,1.494992e-04,1.497440e-04,1.527061e-04,1.533905e-04,1.554918e-04,1.569771e-04,1.581073e-04,1.602730e-04,1.605587e-04,1.628519e-04,1.632922e-04,1.649933e-04,1.660488e-04,1.669888e-04,1.685566e-04,1.688443e-04,1.705658e-04,1.708291e-04,1.721588e-04,1.728795e-04,1.736291e-04,1.747205e-04,1.749819e-04,1.762225e-04,1.763641e-04,1.773559e-04,1.778220e-04,1.783872e-04,1.791055e-04,1.793209e-04,1.801617e-04,1.802250e-04,1.809138e-04,1.811909e-04,1.815817e-04,1.820126e-04,1.821692e-04,1.826804e-04,1.826993e-04,1.831189e-04,1.832597e-04,1.834884e-04,1.837019e-04,1.837923e-04,1.840338e-04,1.842163e-04,1.842627e-04,1.843427e-04,1.843955e-04,1.844159e-04,1.844387e-04,1.844387e-04,1.844138e-04,1.843986e-04,1.843437e-04,1.842810e-04,1.842309e-04,1.840914e-04,1.840777e-04,1.838863e-04,1.838349e-04,1.836588e-04,1.835165e-04,1.833974e-04,1.831407e-04,1.831038e-04,1.827801e-04,1.827119e-04,1.824279e-04,1.822341e-04,1.820490e-04,1.817112e-04,1.816449e-04,1.812173e-04,1.811468e-04,1.807675e-04,1.805442e-04,1.802971e-04,1.799067e-04,1.798072e-04,1.792993e-04,1.792372e-04,1.787744e-04,1.785385e-04,1.782339e-04,1.778132e-04,1.776787e-04,1.771100e-04,1.770639e-04,1.765287e-04,1.762928e-04,1.759358e-04,1.755022e-04,1.753321e-04,1.747187e-04,1.746940e-04,1.740962e-04,1.738701e-04,1.734655e-04,1.730324e-04,1.728274e-04,1.721824e-04,1.713219e-04,1.704521e-04,1.695746e-04,1.686905e-04,1.678011e-04,1.669075e-04,1.660107e-04,1.651117e-04,1.642114e-04,1.633107e-04,1.624102e-04,1.615108e-04,1.606130e-04,1.597176e-04,1.588252e-04,1.579361e-04,1.570510e-04,1.561704e-04,1.552945e-04,1.544238e-04,1.535587e-04,1.526995e-04,1.518465e-04,1.510000e-04
0.000000e+00,1.916342e-12,1.152545e-11,1.550881e-10,8.175992e-10,1.715255e-09,8.062165e-09,8.512172e-09,2.749890e-08,3.625120e-08,6.822186e-08,1.077077e-07,1.418864e-07,2.491090e-07,2.605490e-07,4.366026e-07,4.887780e-07,6.824605e-07,8.551603e-07,1.010188e-06,1.375081e-06,1.430770e-06,1.952825e-06,2.069908e-06,2.580988e-06,2.949592e-06,3.314665e-06,4.008224e-06,4.147825e-06,5.069939e-06,5.224860e-06,6.067569e-06,6.568949e-06,7.126015e-06,8.006659e-06,8.230577e-06,9.367336e-06,9.505292e-06,1.052354e-05,1.103543e-05,1.168773e-05,1.257154e-05,1.284972e-05,1.400054e-05,1.409188e-05,1.513235e-05,1.557821e-05,1.623842e-05,1.701558e-05,1.731300e-05,1.835137e-05,1.839209e-05,1.934969e-05,1.969870e-05,2.030503e-05,2.092897e-05,2.121522e-05,2.207884e-05,2.289509e-05,2.314624e-05,2.366377e-05,2.413087e-05,2.438514e-05,2.503377e-05,2.505988e-05,2.568899e-05,2.585714e-05,2.627376e-05,2.660396e-05,2.681568e-05,2.727782e-05,2.731640e-05,2.777765e-05,2.788269e-05,2.820127e-05,2.842275e-05,2.858912e-05,2.890230e-05,2.894304e-05,2.926490e-05,2.932558e-05,2.955650e-05,2.969676e-05,2.981961e-05,3.001984e-05,3.005592e-05,3.026708e-05,3.029864e-05,3.045465e-05,3.053675e-05,3.062013e-05,3.073756e-05,3.076494e-05,3.089041e-05,3.090423e-05,3.099782e-05,3.103967e-05,3.108837e-05,3.114660e-05,3.116318e-05,3.122330e-05,3.122751e-05,3.126975e-05,3.128471e-05,3.130344e-05,3.132030e-05,3.132526e-05,3.133603e-05,3.133624e-05,3.133651e-05,3.133431e-05,3.132742e-05,3.131612e-05,3.130944e-05,3.128320e-05,3.124927e-05,3.123689e-05,3.120822e-05,3.117845e-05,3.116056e-05,3.110904e-05,3.110677e-05,3.104730e-05,3.102969e-05,3.098257e-05,3.094138e-05,3.091298e-05,3.084498e-05,3.083890e-05,3.076066e-05,3.074131e-05,3.067860e-05,3.063109e-05,3.059302e-05,3.051501e-05,3.050419e-05,3.041239e-05,3.039369e-05,3.031785e-05,3.026770e-05,3.022083e-05,3.013756e-05,3.012152e-05,3.002015e-05,3.000375e-05,2.991689e-05,2.986671e-05,2.981193e-05,2.972685e-05,2.970544e-05,2.959756e-05,2.958454e-05,2.948847e-05,2.944011e-05,2.937828e-05,2.929388e-05,2.926713e-05,2.915514e-05,2.914615e-05,2.904243e-05,2.899717e-05,2.892911e-05,2.884719e-05,2.881527e-05,2.870101e-05,2.869643e-05,2.858642e-05,2.854510e-05,2.847158e-05,2.839338e-05,2.835657e-05,2.824146e-05,2.808949e-05,2.793761e-05,2.778597e-05,2.763468e-05,2.748387e-05,2.733362e-05,2.718405e-05,2.703522e-05,2.688723e-05,2.674015e-05,2.659405e-05,2.644897e-05,2.630498e-05,2.616213e-05,2.602046e-05,2.588001e-05,2.574083e-05,2.560293e-05,2.546635e-05,2.533111e-05,2.519724e-05,2.506476e-05,2.493368e-05,2.480401e-05
0.000000e+00,6.531971e-12,4.426293e-11,7.614891e-10,5.010350e-09,1.185850e-08,7.580779e-08,8.103594e-08,3.527829e-07,5.036821e-07,1.155180e-06,2.133693e-06,3.108779e-06,6.804419e-06,7.249420e-06,1.515653e-05,1.784874e-05,2.907820e-05,4.059545e-05,5.204246e-05,8.280014e-05,8.794125e-05,1.415720e-04,1.549116e-04,2.186250e-04,2.700814e-04,3.256131e-04,4.438765e-04,4.697487e-04,6.587772e-04,6.937250e-04,9.007801e-04,1.038168e-03,1.203959e-03,1.496002e-03,1.576416e-03,2.025934e-03,2.085406e-03,2.559775e-03,2.823097e-03,3.184494e-03,3.723598e-03,3.905783e-03,4.728336e-03,4.798631e-03,5.655755e-03,6.056672e-03,6.690480e-03,7.502671e-03,7.833753e-03,9.085614e-03,9.137935e-03,1.044492e-02,1.096017e-02,1.190941e-02,1.296367e-02,1.347573e-02,1.513955e-02,1.689569e-02,1.747619e-02,1.873816e-02,1.995959e-02,2.066031e-02,2.257388e-02,2.265496e-02,2.471451e-02,2.530174e-02,2.683104e-02,2.812493e-02,2.899642e-02,3.102465e-02,3.120243e-02,3.344087e-02,3.398201e-02,3.570359e-02,3.697835e-02,3.798263e-02,3.999554e-02,4.027026e-02,4.255901e-02,4.301627e-02,4.484180e-02,4.602423e-02,4.711188e-02,4.900431e-02,4.936296e-02,5.158914e-02,5.194265e-02,5.378499e-02,5.482676e-02,5.594555e-02,5.764553e-02,5.806629e-02,6.014316e-02,6.038926e-02,6.217255e-02,6.304961e-02,6.415129e-02,6.561956e-02,6.607665e-02,6.794627e-02,6.809338e-02,6.975823e-02,7.046650e-02,7.151093e-02,7.273548e-02,7.320314e-02,7.483395e-02,7.489790e-02,7.640275e-02,7.695226e-02,7.790919e-02,7.889790e-02,7.935320e-02,8.073492e-02,8.205472e-02,8.246406e-02,8.331313e-02,8.408663e-02,8.451088e-02,8.560445e-02,8.564883e-02,8.672798e-02,8.701976e-02,8.774944e-02,8.833512e-02,8.871441e-02,8.955341e-02,8.962419e-02,9.048015e-02,9.067773e-02,9.128370e-02,9.171134e-02,9.203632e-02,9.265767e-02,9.273950e-02,9.339477e-02,9.352021e-02,9.400369e-02,9.430252e-02,9.456778e-02,9.500813e-02,9.508862e-02,9.556776e-02,9.564065e-02,9.600670e-02,9.620358e-02,9.640701e-02,9.670043e-02,9.677016e-02,9.709764e-02,9.713461e-02,9.739093e-02,9.750950e-02,9.765143e-02,9.782835e-02,9.788055e-02,9.807966e-02,9.809434e-02,9.825009e-02,9.831052e-02,9.839313e-02,9.847988e-02,9.851005e-02,9.860205e-02,9.860523e-02,9.867034e-02,9.868933e-02,9.871604e-02,9.873478e-02,9.874027e-02,9.874410e-02,9.871965e-02,9.866374e-02,9.857851e-02,9.846604e-02,9.832828e-02,9.816709e-02,9.798422e-02,9.778132e-02,9.755999e-02,9.732169e-02,9.706782e-02,9.679971e-02,9.651860e-02,9.622566e-02,9.592199e-02,9.560863e-02,9.528655e-02,9.495666e-02,9.461982e-02,9.427684e-02,9.392846e-02,9.357539e-02,9.321829e-02,9.285778e-02
0.000000e+00,3.701036e-11,8.661800e-11,3.037152e-10,6.945877e-10,1.013648e-09,2.289206e-09,2.357343e-09,4.508291e-09,5.277474e-09,7.628302e-09,1.002951e-08,1.187041e-08,1.688568e-08,1.737550e-08,2.425569e-08,2.611890e-08,3.255997e-08,3.781850e-08,4.223949e-08,5.178253e-08,5.315069e-08,6.509998e-08,6.759666e-08,7.788784e-08,8.480652e-08,9.132827e-08,1.029978e-07,1.052513e-07,1.195001e-07,1.218002e-07,1.339291e-07,1.408790e-07,1.484034e-07,1.599318e-07,1.627991e-07,1.770043e-07,1.786913e-07,1.909202e-07,1.969291e-07,2.044616e-07,2.144583e-07,2.175574e-07,2.301497e-07,2.311339e-07,2.421936e-07,2.468499e-07,2.536562e-07,2.615366e-07,2.645156e-07,2.747593e-07,2.751562e-07,2.843835e-07,2.876970e-07,2.933913e-07,2.991688e-07,3.017915e-07,3.095980e-07,3.168281e-07,3.190232e-07,3.235021e-07,3.274920e-07,3.296426e-07,3.350574e-07,3.352731e-07,3.404185e-07,3.417757e-07,3.451038e-07,3.477047e-07,3.493542e-07,3.529019e-07,3.531947e-07,3.566495e-07,3.574240e-07,3.597426e-07,3.613252e-07,3.624966e-07,3.646573e-07,3.649337e-07,3.670749e-07,3.674694e-07,3.689402e-07,3.698075e-07,3.705487e-07,3.717146e-07,3.719184e-07,3.730664e-07,3.732305e-07,3.740086e-07,3.743923e-07,3.747604e-07,3.752341e-07,3.753357e-07,3.757480e-07,3.757871e-07,3.760098e-07,3.760803e-07,3.761327e-07,3.761400e-07,3.761277e-07,3.760049e-07,3.759903e-07,3.757741e-07,3.756535e-07,3.754440e-07,3.751496e-07,3.750230e-07,3.745189e-07,3.744971e-07,3.739389e-07,3.737128e-07,3.732897e-07,3.728119e-07,3.725776e-07,3.718084e-07,3.709877e-07,3.707150e-07,3.701204e-07,3.695430e-07,3.692112e-07,3.683031e-07,3.682645e-07,3.672845e-07,3.670046e-07,3.662748e-07,3.656562e-07,3.652390e-07,3.642657e-07,3.641803e-07,3.631017e-07,3.628402e-07,3.620061e-07,3.613861e-07,3.608961e-07,3.599091e-07,3.597739e-07,3.586420e-07,3.584146e-07,3.575023e-07,3.569072e-07,3.563567e-07,3.553912e-07,3.552071e-07,3.540550e-07,3.538705e-07,3.529019e-07,3.523485e-07,3.517493e-07,3.508284e-07,3.505984e-07,3.494503e-07,3.493128e-07,3.483063e-07,3.478044e-07,3.471671e-07,3.463053e-07,3.460338e-07,3.449073e-07,3.448174e-07,3.437881e-07,3.433427e-07,3.426771e-07,3.418826e-07,3.415749e-07,3.404820e-07,3.404385e-07,3.393990e-07,3.390117e-07,3.383264e-07,3.376031e-07,3.372644e-07,3.362136e-07,3.348442e-07,3.334954e-07,3.321678e-07,3.308620e-07,3.295782e-07,3.283167e-07,3.270779e-07,3.258619e-07,3.246688e-07,3.234987e-07,3.223515e-07,3.212272e-07,3.201259e-07,3.190473e-07,3.179913e-07,3.169579e-07,3.159467e-07,3.149575e-07,3.139902e-07,3.130445e-07,3.121201e-07,3.112168e-07,3.103341e-07,3.094720e-07
0.000000e+00,2.554624e-11,6.228868e-11,2.283700e-10,5.341523e-10,7.866697e-10,1.809936e-09,1.865049e-09,3.622065e-09,4.257364e-09,6.218520e-09,8.249248e-09,9.823226e-09,1.417674e-08,1.460640e-08,2.070427e-08,2.237105e-08,2.816475e-08,3.292126e-08,3.693597e-08,4.565754e-08,4.691521e-08,5.799553e-08,6.033508e-08,7.008081e-08,7.673302e-08,8.308328e-08,9.465181e-08,9.691767e-08,1.114969e-07,1.138927e-07,1.267299e-07,1.342459e-07,1.425208e-07,1.554883e-07,1.587699e-07,1.753746e-07,1.773861e-07,1.922309e-07,1.997006e-07,2.092353e-07,2.221955e-07,2.262869e-07,2.432886e-07,2.446437e-07,2.601487e-07,2.668338e-07,2.767823e-07,2.885745e-07,2.931120e-07,3.090685e-07,3.096981e-07,3.245909e-07,3.300625e-07,3.396272e-07,3.495515e-07,3.541335e-07,3.680742e-07,3.814219e-07,3.855644e-07,3.941564e-07,4.019783e-07,4.062644e-07,4.172910e-07,4.177377e-07,4.285731e-07,4.314929e-07,4.387727e-07,4.445898e-07,4.483428e-07,4.565994e-07,4.572929e-07,4.656357e-07,4.675493e-07,4.733865e-07,4.774748e-07,4.805627e-07,4.864174e-07,4.871832e-07,4.932679e-07,4.944224e-07,4.988378e-07,5.015379e-07,5.039146e-07,5.078142e-07,5.085204e-07,5.126786e-07,5.133039e-07,5.164126e-07,5.180604e-07,5.197432e-07,5.221310e-07,5.226909e-07,5.252763e-07,5.255631e-07,5.275191e-07,5.284023e-07,5.294382e-07,5.306918e-07,5.310523e-07,5.323792e-07,5.324734e-07,5.334360e-07,5.337868e-07,5.342392e-07,5.346692e-07,5.348044e-07,5.351465e-07,5.351557e-07,5.352797e-07,5.352792e-07,5.352177e-07,5.350707e-07,5.349734e-07,5.345592e-07,5.339866e-07,5.337718e-07,5.332668e-07,5.327337e-07,5.324102e-07,5.314682e-07,5.314266e-07,5.303253e-07,5.299971e-07,5.291153e-07,5.283404e-07,5.278047e-07,5.265169e-07,5.264014e-07,5.249129e-07,5.245438e-07,5.233462e-07,5.224372e-07,5.217079e-07,5.202118e-07,5.200041e-07,5.182407e-07,5.178814e-07,5.164232e-07,5.154585e-07,5.145568e-07,5.129547e-07,5.126462e-07,5.106961e-07,5.103807e-07,5.087107e-07,5.077464e-07,5.066941e-07,5.050608e-07,5.046499e-07,5.025818e-07,5.023322e-07,5.004931e-07,4.995684e-07,4.983869e-07,4.967762e-07,4.962660e-07,4.941331e-07,4.939621e-07,4.919910e-07,4.911320e-07,4.898418e-07,4.882913e-07,4.876878e-07,4.855311e-07,4.854448e-07,4.833736e-07,4.825971e-07,4.812171e-07,4.797522e-07,4.790634e-07,4.769138e-07,4.740854e-07,4.712700e-07,4.684704e-07,4.656890e-07,4.629281e-07,4.601897e-07,4.574757e-07,4.547877e-07,4.521270e-07,4.494950e-07,4.468928e-07,4.443213e-07,4.417815e-07,4.392740e-07,4.367995e-07,4.343584e-07,4.319512e-07,4.295783e-07,4.272399e-07,4.249361e-07,4.226672e-07,4.204332e-07,4.182340e-07,4.160697e-07
0.000000e+00,2.381480e-11,1.249587e-10,1.294060e-09,5.512807e-09,1.039786e-08,3.844427e-08,4.023858e-08,1.078577e-07,1.362920e-07,2.341720e-07,3.488207e-07,4.455153e-07,7.428247e-07,7.742722e-07,1.254363e-06,1.395118e-06,1.909072e-06,2.353235e-06,2.739047e-06,3.597925e-06,3.723151e-06,4.830398e-06,5.063914e-06,6.031035e-06,6.684052e-06,7.301020e-06,8.407773e-06,8.621901e-06,9.979161e-06,1.019887e-05,1.136069e-05,1.202928e-05,1.275585e-05,1.387528e-05,1.415500e-05,1.554932e-05,1.571593e-05,1.693080e-05,1.753271e-05,1.829227e-05,1.930970e-05,1.962743e-05,2.093090e-05,2.103367e-05,2.219818e-05,2.269412e-05,2.342565e-05,2.428316e-05,2.461048e-05,2.575057e-05,2.579522e-05,2.684449e-05,2.722682e-05,2.789137e-05,2.857617e-05,2.889083e-05,2.984289e-05,3.074793e-05,3.102771e-05,3.160659e-05,3.213220e-05,3.241976e-05,3.315857e-05,3.318849e-05,3.391398e-05,3.410954e-05,3.459753e-05,3.498808e-05,3.524048e-05,3.579737e-05,3.584426e-05,3.641030e-05,3.654069e-05,3.694004e-05,3.722137e-05,3.743491e-05,3.784269e-05,3.789635e-05,3.832576e-05,3.840792e-05,3.872452e-05,3.892021e-05,3.909398e-05,3.938266e-05,3.943547e-05,3.975024e-05,3.979821e-05,4.003955e-05,4.016972e-05,4.030458e-05,4.049991e-05,4.054650e-05,4.076642e-05,4.079138e-05,4.096541e-05,4.104661e-05,4.114451e-05,4.126793e-05,4.130471e-05,4.144696e-05,4.145759e-05,4.157218e-05,4.161770e-05,4.168125e-05,4.175026e-05,4.177501e-05,4.185427e-05,4.185715e-05,4.191980e-05,4.194017e-05,4.197233e-05,4.200099e-05,4.201258e-05,4.204121e-05,4.205889e-05,4.206233e-05,4.206621e-05,4.206574e-05,4.206378e-05,4.205279e-05,4.205215e-05,4.203186e-05,4.202470e-05,4.200343e-05,4.198267e-05,4.196734e-05,4.192778e-05,4.192406e-05,4.187403e-05,4.186107e-05,4.181768e-05,4.178351e-05,4.175541e-05,4.169601e-05,4.168760e-05,4.161462e-05,4.159943e-05,4.153681e-05,4.149456e-05,4.145452e-05,4.138215e-05,4.136805e-05,4.127770e-05,4.126290e-05,4.118376e-05,4.113747e-05,4.108650e-05,4.100647e-05,4.098618e-05,4.088304e-05,4.087048e-05,4.077731e-05,4.073003e-05,4.066922e-05,4.058562e-05,4.055897e-05,4.044677e-05,4.043771e-05,4.033279e-05,4.028675e-05,4.021723e-05,4.013313e-05,4.010024e-05,3.998200e-05,3.997725e-05,3.986265e-05,3.981944e-05,3.974233e-05,3.966003e-05,3.962118e-05,3.949934e-05,3.933764e-05,3.917520e-05,3.901225e-05,3.884904e-05,3.868575e-05,3.852259e-05,3.835974e-05,3.819736e-05,3.803560e-05,3.787459e-05,3.771448e-05,3.755537e-05,3.739737e-05,3.724058e-05,3.708509e-05,3.693097e-05,3.677831e-05,3.662717e-05,3.647761e-05,3.632967e-05,3.618341e-05,3.603888e-05,3.589610e-05,3.575510e-05
0.000000e+00,2.610017e-12,1.629261e-11,2.364782e-10,1.333342e-09,2.900257e-09,1.493188e-08,1.582275e-08,5.576907e-08,7.524389e-08,1.499808e-07,2.478757e-07,3.363242e-07,6.303351e-07,6.629287e-07,1.187598e-06,1.350172e-06,1.975992e-06,2.558316e-06,3.096493e-06,4.406671e-06,4.610877e-06,6.563727e-06,7.009163e-06,8.975421e-06,1.041018e-05,1.184127e-05,1.458129e-05,1.513567e-05,1.881853e-05,1.944068e-05,2.284153e-05,2.487826e-05,2.715303e-05,3.077513e-05,3.170129e-05,3.643638e-05,3.701488e-05,4.131118e-05,4.348892e-05,4.628184e-05,5.009872e-05,5.130805e-05,5.635308e-05,5.675649e-05,6.138389e-05,6.338553e-05,6.637110e-05,6.992031e-05,7.128899e-05,7.611540e-05,7.630628e-05,8.083163e-05,8.249943e-05,8.542224e-05,8.846563e-05,8.987478e-05,9.417960e-05,9.832951e-05,9.962389e-05,1.023195e-04,1.047877e-04,1.061465e-04,1.096657e-04,1.098091e-04,1.133071e-04,1.142572e-04,1.166417e-04,1.185648e-04,1.198148e-04,1.225940e-04,1.228294e-04,1.256887e-04,1.263522e-04,1.283966e-04,1.298485e-04,1.309574e-04,1.330927e-04,1.333755e-04,1.356556e-04,1.360955e-04,1.378025e-04,1.388678e-04,1.398209e-04,1.414206e-04,1.417156e-04,1.434916e-04,1.437651e-04,1.451535e-04,1.459120e-04,1.467059e-04,1.478721e-04,1.481535e-04,1.495006e-04,1.496557e-04,1.507516e-04,1.512727e-04,1.519108e-04,1.527329e-04,1.529822e-04,1.539699e-04,1.540454e-04,1.548777e-04,1.552193e-04,1.557093e-04,1.562629e-04,1.564683e-04,1.571581e-04,1.571843e-04,1.577820e-04,1.579911e-04,1.583432e-04,1.586906e-04,1.588448e-04,1.592896e-04,1.596806e-04,1.597948e-04,1.600204e-04,1.602122e-04,1.603116e-04,1.605478e-04,1.605567e-04,1.607581e-04,1.608070e-04,1.609181e-04,1.609951e-04,1.610388e-04,1.611169e-04,1.611223e-04,1.611706e-04,1.611772e-04,1.611857e-04,1.611804e-04,1.611694e-04,1.611305e-04,1.611235e-04,1.610495e-04,1.610315e-04,1.609491e-04,1.608870e-04,1.608238e-04,1.607005e-04,1.606752e-04,1.605045e-04,1.604752e-04,1.603131e-04,1.602142e-04,1.601022e-04,1.599204e-04,1.598732e-04,1.596270e-04,1.595964e-04,1.593649e-04,1.592448e-04,1.590879e-04,1.588680e-04,1.587969e-04,1.584930e-04,1.584682e-04,1.581770e-04,1.580474e-04,1.578498e-04,1.576078e-04,1.575123e-04,1.571651e-04,1.571511e-04,1.568091e-04,1.566789e-04,1.564450e-04,1.561931e-04,1.560734e-04,1.556949e-04,1.551860e-04,1.546675e-04,1.541408e-04,1.536070e-04,1.530671e-04,1.525222e-04,1.519732e-04,1.514209e-04,1.508663e-04,1.503100e-04,1.497528e-04,1.491953e-04,1.486381e-04,1.480818e-04,1.475269e-04,1.469738e-04,1.464231e-04,1.458751e-04,1.453303e-04,1.447888e-04,1.442512e-04,1.437176e-04,1.431884e-04,1.426637e-04
0.000000e+00,3.238601e-11,7.546278e-11,2.642930e-10,6.070597e-10,8.896559e-10,2.043930e-09,2.106662e-09,4.140504e-09,4.892098e-09,7.263719e-09,9.794483e-09,1.180231e-08,1.752596e-08,1.810191e-08,2.641436e-08,2.871482e-08,3.672914e-08,4.327125e-08,4.873288e-08,6.034074e-08,6.198250e-08,7.608419e-08,7.897938e-08,9.074523e-08,9.851750e-08,1.057542e-07,1.185126e-07,1.209511e-07,1.362064e-07,1.386451e-07,1.514100e-07,1.586605e-07,1.664653e-07,1.783453e-07,1.812874e-07,1.958018e-07,1.975197e-07,2.099447e-07,2.160356e-07,2.236623e-07,2.337760e-07,2.369109e-07,2.496562e-07,2.506533e-07,2.618725e-07,2.666067e-07,2.735420e-07,2.815993e-07,2.846540e-07,2.952038e-07,2.956141e-07,3.051918e-07,3.086507e-07,3.146228e-07,3.207218e-07,3.235051e-07,3.318501e-07,3.396711e-07,3.420656e-07,3.469834e-07,3.514039e-07,3.538035e-07,3.599038e-07,3.601487e-07,3.660371e-07,3.676065e-07,3.714870e-07,3.745540e-07,3.765166e-07,3.807887e-07,3.811445e-07,3.853887e-07,3.863523e-07,3.892672e-07,3.912858e-07,3.927973e-07,3.956292e-07,3.959961e-07,3.988803e-07,3.994208e-07,4.014658e-07,4.026975e-07,4.037683e-07,4.054946e-07,4.058026e-07,4.075832e-07,4.078455e-07,4.091239e-07,4.097822e-07,4.104380e-07,4.113347e-07,4.115382e-07,4.124367e-07,4.125315e-07,4.131451e-07,4.133995e-07,4.136747e-07,4.139640e-07,4.140359e-07,4.142391e-07,4.142488e-07,4.142938e-07,4.142762e-07,4.142093e-07,4.140671e-07,4.139943e-07,4.136572e-07,4.136413e-07,4.132060e-07,4.130171e-07,4.126482e-07,4.122117e-07,4.119910e-07,4.112412e-07,4.104054e-07,4.101207e-07,4.094896e-07,4.088643e-07,4.084997e-07,4.074849e-07,4.074413e-07,4.063196e-07,4.059948e-07,4.051395e-07,4.044054e-07,4.039058e-07,4.027272e-07,4.026229e-07,4.012950e-07,4.009701e-07,3.999262e-07,3.991432e-07,3.985202e-07,3.972550e-07,3.970806e-07,3.956106e-07,3.953133e-07,3.941136e-07,3.933254e-07,3.925924e-07,3.912981e-07,3.910500e-07,3.894890e-07,3.892377e-07,3.879119e-07,3.871499e-07,3.863210e-07,3.850400e-07,3.847187e-07,3.831068e-07,3.829129e-07,3.814876e-07,3.807732e-07,3.798627e-07,3.786251e-07,3.782339e-07,3.766028e-07,3.764723e-07,3.749710e-07,3.743184e-07,3.733399e-07,3.721666e-07,3.717108e-07,3.700849e-07,3.700199e-07,3.684634e-07,3.678809e-07,3.668474e-07,3.657521e-07,3.652378e-07,3.636357e-07,3.615338e-07,3.594482e-07,3.573804e-07,3.553321e-07,3.533046e-07,3.512989e-07,3.493163e-07,3.473576e-07,3.454236e-07,3.435151e-07,3.416327e-07,3.397768e-07,3.379480e-07,3.361466e-07,3.343729e-07,3.326271e-07,3.309093e-07,3.292198e-07,3.275586e-07,3.259256e-07,3.243209e-07,3.227444e-07,3.211959e-07,3.196754e-07
0.000000e+00,7.778320e-12,1.794054e-11,6.209298e-11,1.414935e-10,2.064264e-10,4.674470e-10,4.814543e-10,9.267762e-10,1.087418e-09,1.582557e-09,2.094330e-09,2.490486e-09,3.584967e-09,3.692968e-09,5.228650e-09,5.650044e-09,7.122617e-09,8.340849e-09,9.374484e-09,1.162934e-08,1.195482e-08,1.481530e-08,1.541635e-08,1.790337e-08,1.958281e-08,2.117070e-08,2.402291e-08,2.457531e-08,2.808068e-08,2.864868e-08,3.165438e-08,3.338533e-08,3.526714e-08,3.816753e-08,3.889238e-08,4.250598e-08,4.293778e-08,4.608629e-08,4.764604e-08,4.961412e-08,5.224982e-08,5.307280e-08,5.644814e-08,5.671420e-08,5.972833e-08,6.101155e-08,6.290385e-08,6.512119e-08,6.596731e-08,6.891313e-08,6.902845e-08,7.173750e-08,7.272406e-08,7.443814e-08,7.620332e-08,7.701400e-08,7.946509e-08,8.179239e-08,8.251124e-08,8.399763e-08,8.534599e-08,8.608315e-08,8.797522e-08,8.805175e-08,8.990664e-08,9.040610e-08,9.165129e-08,9.264671e-08,9.328942e-08,9.470570e-08,9.482485e-08,9.626144e-08,9.659195e-08,9.760309e-08,9.831441e-08,9.885371e-08,9.988203e-08,1.000172e-07,1.010973e-07,1.013036e-07,1.020978e-07,1.025877e-07,1.030222e-07,1.037426e-07,1.038742e-07,1.046572e-07,1.047763e-07,1.053744e-07,1.056962e-07,1.060291e-07,1.065099e-07,1.066243e-07,1.071630e-07,1.072240e-07,1.076481e-07,1.078453e-07,1.080823e-07,1.083799e-07,1.084682e-07,1.088083e-07,1.088336e-07,1.091050e-07,1.092120e-07,1.093606e-07,1.095204e-07,1.095773e-07,1.097571e-07,1.097636e-07,1.099022e-07,1.099463e-07,1.100144e-07,1.100727e-07,1.100954e-07,1.101471e-07,1.101711e-07,1.101732e-07,1.101690e-07,1.101546e-07,1.101422e-07,1.100946e-07,1.100922e-07,1.100204e-07,1.099966e-07,1.099280e-07,1.098633e-07,1.098164e-07,1.096976e-07,1.096866e-07,1.095397e-07,1.095021e-07,1.093769e-07,1.092792e-07,1.091992e-07,1.090312e-07,1.090075e-07,1.088026e-07,1.087602e-07,1.085856e-07,1.084682e-07,1.083571e-07,1.081570e-07,1.081181e-07,1.078692e-07,1.078285e-07,1.076111e-07,1.074842e-07,1.073445e-07,1.071256e-07,1.070701e-07,1.067884e-07,1.067542e-07,1.065001e-07,1.063712e-07,1.062056e-07,1.059780e-07,1.059055e-07,1.056003e-07,1.055756e-07,1.052904e-07,1.051652e-07,1.049763e-07,1.047477e-07,1.046583e-07,1.043370e-07,1.043241e-07,1.040126e-07,1.038952e-07,1.036856e-07,1.034618e-07,1.033562e-07,1.030248e-07,1.025847e-07,1.021422e-07,1.016980e-07,1.012526e-07,1.008066e-07,1.003603e-07,9.991423e-08,9.946885e-08,9.902450e-08,9.858155e-08,9.814031e-08,9.770108e-08,9.726414e-08,9.682974e-08,9.639812e-08,9.596947e-08,9.554401e-08,9.512190e-08,9.470331e-08,9.428837e-08,9.387723e-08,9.346999e-08,9.306678e-08,9.266767e-08
0.000000e+00,3.204382e-11,7.494343e-11,2.629501e-10,6.025488e-10,8.806988e-10,2.000219e-09,2.060338e-09,3.973369e-09,4.664195e-09,6.795141e-09,8.997958e-09,1.070064e-08,1.537222e-08,1.582928e-08,2.221952e-08,2.393333e-08,2.978522e-08,3.447914e-08,3.837362e-08,4.665127e-08,4.782630e-08,5.799801e-08,6.010663e-08,6.875366e-08,7.453406e-08,7.996314e-08,8.963656e-08,9.149908e-08,1.032374e-07,1.051263e-07,1.150592e-07,1.207304e-07,1.268535e-07,1.362004e-07,1.385187e-07,1.499650e-07,1.513201e-07,1.611152e-07,1.659103e-07,1.719046e-07,1.798310e-07,1.822815e-07,1.922058e-07,1.929792e-07,2.016485e-07,2.052861e-07,2.105903e-07,2.167117e-07,2.190201e-07,2.269345e-07,2.272404e-07,2.343361e-07,2.368763e-07,2.412321e-07,2.456383e-07,2.476339e-07,2.535560e-07,2.590147e-07,2.606666e-07,2.640285e-07,2.670125e-07,2.686164e-07,2.726387e-07,2.727985e-07,2.765949e-07,2.775916e-07,2.800259e-07,2.819174e-07,2.831114e-07,2.856618e-07,2.858711e-07,2.883239e-07,2.888690e-07,2.904883e-07,2.915811e-07,2.923821e-07,2.938384e-07,2.940224e-07,2.954254e-07,2.956789e-07,2.966066e-07,2.971381e-07,2.975809e-07,2.982496e-07,2.983622e-07,2.989639e-07,2.990444e-07,2.993986e-07,2.995514e-07,2.996780e-07,2.997975e-07,2.998136e-07,2.998157e-07,2.998075e-07,2.996945e-07,2.996044e-07,2.994592e-07,2.992095e-07,2.991186e-07,2.986812e-07,2.986422e-07,2.981546e-07,2.979207e-07,2.975462e-07,2.970613e-07,2.968628e-07,2.961108e-07,2.960794e-07,2.952963e-07,2.949889e-07,2.944249e-07,2.938026e-07,2.935019e-07,2.925322e-07,2.915205e-07,2.911885e-07,2.904710e-07,2.897814e-07,2.893878e-07,2.883197e-07,2.882746e-07,2.871351e-07,2.868117e-07,2.859723e-07,2.852649e-07,2.847895e-07,2.836860e-07,2.835894e-07,2.823747e-07,2.820812e-07,2.811478e-07,2.804563e-07,2.799111e-07,2.788162e-07,2.786666e-07,2.774163e-07,2.771657e-07,2.761621e-07,2.755089e-07,2.749056e-07,2.738496e-07,2.736484e-07,2.723920e-07,2.721912e-07,2.711377e-07,2.705367e-07,2.698867e-07,2.688891e-07,2.686402e-07,2.673992e-07,2.672507e-07,2.661646e-07,2.656237e-07,2.649374e-07,2.640101e-07,2.637183e-07,2.625081e-07,2.624117e-07,2.613074e-07,2.608300e-07,2.601169e-07,2.592664e-07,2.589371e-07,2.577685e-07,2.577220e-07,2.566115e-07,2.561979e-07,2.554666e-07,2.546951e-07,2.543340e-07,2.532142e-07,2.517559e-07,2.503207e-07,2.489092e-07,2.475216e-07,2.461583e-07,2.448193e-07,2.435050e-07,2.422153e-07,2.409502e-07,2.397098e-07,2.384939e-07,2.373025e-07,2.361354e-07,2.349924e-07,2.338734e-07,2.327780e-07,2.317060e-07,2.306572e-07,2.296313e-07,2.286279e-07,2.276468e-07,2.266876e-07,2.257499e-07,2.248335e-07
0.000000e+00,3.942532e-11,9.180816e-11,3.211921e-10,7.360382e-10,1.076293e-09,2.448459e-09,2.522228e-09,4.871932e-09,5.721175e-09,8.342741e-09,1.105757e-08,1.316210e-08,1.898739e-08,1.956294e-08,2.775600e-08,3.000611e-08,3.787099e-08,4.437714e-08,4.989700e-08,6.194353e-08,6.368378e-08,7.900786e-08,8.223646e-08,9.563731e-08,1.047291e-07,1.133600e-07,1.289527e-07,1.319864e-07,1.513436e-07,1.544977e-07,1.712706e-07,1.809929e-07,1.916149e-07,2.080935e-07,2.122321e-07,2.329859e-07,2.354793e-07,2.537489e-07,2.628571e-07,2.744044e-07,2.899651e-07,2.948464e-07,3.149808e-07,3.165757e-07,3.347253e-07,3.424977e-07,3.540094e-07,3.675755e-07,3.727743e-07,3.909716e-07,3.916871e-07,4.085631e-07,4.147419e-07,4.255197e-07,4.366765e-07,4.418204e-07,4.574514e-07,4.724051e-07,4.770468e-07,4.866796e-07,4.954597e-07,5.002772e-07,5.126999e-07,5.132043e-07,5.254703e-07,5.287879e-07,5.370874e-07,5.437520e-07,5.480697e-07,5.576265e-07,5.584332e-07,5.681948e-07,5.704500e-07,5.773726e-07,5.822641e-07,5.859852e-07,5.931120e-07,5.940518e-07,6.015916e-07,6.030381e-07,6.086242e-07,6.120870e-07,6.151687e-07,6.203030e-07,6.212443e-07,6.268701e-07,6.277297e-07,6.320645e-07,6.344100e-07,6.368458e-07,6.403853e-07,6.412317e-07,6.452396e-07,6.456960e-07,6.488864e-07,6.503808e-07,6.521884e-07,6.544771e-07,6.551614e-07,6.578209e-07,6.580205e-07,6.601816e-07,6.610454e-07,6.622579e-07,6.635845e-07,6.640636e-07,6.656120e-07,6.656688e-07,6.669161e-07,6.673281e-07,6.679880e-07,6.685904e-07,6.688397e-07,6.694827e-07,6.699278e-07,6.700302e-07,6.701856e-07,6.702570e-07,6.702662e-07,6.701858e-07,6.701793e-07,6.699341e-07,6.698383e-07,6.695395e-07,6.692346e-07,6.690041e-07,6.683942e-07,6.683360e-07,6.675431e-07,6.673350e-07,6.666327e-07,6.660743e-07,6.656120e-07,6.646280e-07,6.644879e-07,6.632668e-07,6.630115e-07,6.619550e-07,6.612390e-07,6.605584e-07,6.593239e-07,6.590827e-07,6.575333e-07,6.572789e-07,6.559154e-07,6.551159e-07,6.542339e-07,6.528461e-07,6.524935e-07,6.506986e-07,6.504798e-07,6.488536e-07,6.480269e-07,6.469624e-07,6.454966e-07,6.450290e-07,6.430569e-07,6.428976e-07,6.410497e-07,6.402378e-07,6.390108e-07,6.375248e-07,6.369432e-07,6.348500e-07,6.347658e-07,6.327339e-07,6.319671e-07,6.305978e-07,6.291351e-07,6.284442e-07,6.262754e-07,6.233934e-07,6.204940e-07,6.175818e-07,6.146612e-07,6.117361e-07,6.088102e-07,6.058869e-07,6.029694e-07,6.000606e-07,5.971633e-07,5.942797e-07,5.914124e-07,5.885632e-07,5.857342e-07,5.829271e-07,5.801434e-07,5.773846e-07,5.746520e-07,5.719467e-07,5.692699e-07,5.666225e-07,5.640052e-07,5.614190e-07,5.588643e-07
0.000000e+00,8.432331e-11,3.238918e-10,2.017636e-09,6.139015e-09,1.000315e-08,2.775113e-08,2.877197e-08,6.356284e-08,7.699345e-08,1.205985e-07,1.685285e-07,2.072556e-07,3.199406e-07,3.314250e-07,4.993700e-07,5.464661e-07,7.121980e-07,8.490328e-07,9.640674e-07,1.210223e-06,1.245172e-06,1.546225e-06,1.608180e-06,1.860298e-06,2.027075e-06,2.182489e-06,2.456736e-06,2.509187e-06,2.837555e-06,2.890087e-06,3.165267e-06,3.321753e-06,3.490384e-06,3.747517e-06,3.811295e-06,4.126672e-06,4.164093e-06,4.435450e-06,4.568997e-06,4.736788e-06,4.960427e-06,5.030044e-06,5.314744e-06,5.337140e-06,5.590556e-06,5.698340e-06,5.857264e-06,6.043586e-06,6.114748e-06,6.362964e-06,6.372700e-06,6.601932e-06,6.685708e-06,6.831718e-06,6.982780e-06,7.052427e-06,7.264192e-06,7.467174e-06,7.530301e-06,7.661548e-06,7.781518e-06,7.847505e-06,8.018292e-06,8.025247e-06,8.194981e-06,8.241100e-06,8.356920e-06,8.450431e-06,8.511278e-06,8.646779e-06,8.658272e-06,8.798121e-06,8.830645e-06,8.931040e-06,9.002528e-06,9.057243e-06,9.162910e-06,9.176937e-06,9.290329e-06,9.312271e-06,9.397640e-06,9.451109e-06,9.499080e-06,9.579893e-06,9.594841e-06,9.685118e-06,9.699067e-06,9.770113e-06,9.809088e-06,9.850009e-06,9.910378e-06,9.924989e-06,9.995234e-06,1.000335e-05,1.006092e-05,1.008842e-05,1.012221e-05,1.016596e-05,1.017928e-05,1.023230e-05,1.023637e-05,1.028140e-05,1.029999e-05,1.032676e-05,1.035718e-05,1.036851e-05,1.040680e-05,1.040827e-05,1.044178e-05,1.045358e-05,1.047357e-05,1.049343e-05,1.050230e-05,1.052811e-05,1.055112e-05,1.055791e-05,1.057144e-05,1.058309e-05,1.058919e-05,1.060392e-05,1.060448e-05,1.061742e-05,1.062064e-05,1.062812e-05,1.063350e-05,1.063667e-05,1.064272e-05,1.064317e-05,1.064772e-05,1.064853e-05,1.065040e-05,1.065112e-05,1.065130e-05,1.065069e-05,1.065051e-05,1.064810e-05,1.064744e-05,1.064417e-05,1.064154e-05,1.063877e-05,1.063316e-05,1.063199e-05,1.062389e-05,1.062248e-05,1.061454e-05,1.060963e-05,1.060401e-05,1.059478e-05,1.059236e-05,1.057965e-05,1.057805e-05,1.056593e-05,1.055959e-05,1.055127e-05,1.053952e-05,1.053571e-05,1.051931e-05,1.051796e-05,1.050212e-05,1.049503e-05,1.048418e-05,1.047083e-05,1.046554e-05,1.044624e-05,1.044546e-05,1.042633e-05,1.041902e-05,1.040585e-05,1.039161e-05,1.038483e-05,1.036332e-05,1.033421e-05,1.030438e-05,1.027390e-05,1.024283e-05,1.021125e-05,1.017921e-05,1.014677e-05,1.011399e-05,1.008092e-05,1.004762e-05,1.001411e-05,9.980458e-06,9.946694e-06,9.912858e-06,9.878985e-06,9.845111e-06,9.811265e-06,9.777479e-06,9.743778e-06,9.710189e-06,9.676735e-06,9.643440e-06,9.610322e-06,9.577403e-06
0.000000e+00,2.050371e-11,4.743179e-11,1.645556e-10,3.751064e-10,5.471403e-10,1.237376e-09,1.274363e-09,2.447863e-09,2.870189e-09,4.169174e-09,5.508144e-09,6.542488e-09,9.392187e-09,9.672839e-09,1.365427e-08,1.474401e-08,1.854343e-08,2.167675e-08,2.432851e-08,3.009296e-08,3.092284e-08,3.819473e-08,3.971801e-08,4.600513e-08,5.023675e-08,5.422778e-08,6.137285e-08,6.275318e-08,7.148585e-08,7.289652e-08,8.034106e-08,8.461243e-08,8.924266e-08,9.635093e-08,9.812194e-08,1.069173e-07,1.079644e-07,1.155740e-07,1.193266e-07,1.240447e-07,1.303328e-07,1.322888e-07,1.402723e-07,1.408989e-07,1.479680e-07,1.509608e-07,1.553549e-07,1.604731e-07,1.624171e-07,1.691441e-07,1.694061e-07,1.755298e-07,1.777444e-07,1.815716e-07,1.854840e-07,1.872704e-07,1.926299e-07,1.976557e-07,1.991947e-07,2.023554e-07,2.051962e-07,2.067380e-07,2.106563e-07,2.108136e-07,2.145929e-07,2.155996e-07,2.180875e-07,2.200523e-07,2.213088e-07,2.240415e-07,2.242690e-07,2.269798e-07,2.275947e-07,2.294532e-07,2.307389e-07,2.317008e-07,2.335010e-07,2.337340e-07,2.355641e-07,2.359067e-07,2.372019e-07,2.379810e-07,2.386578e-07,2.397477e-07,2.399421e-07,2.410644e-07,2.412296e-07,2.420341e-07,2.424481e-07,2.428603e-07,2.434235e-07,2.435513e-07,2.441156e-07,2.441751e-07,2.445607e-07,2.447208e-07,2.448943e-07,2.450776e-07,2.451234e-07,2.452547e-07,2.452612e-07,2.452946e-07,2.452864e-07,2.452493e-07,2.451671e-07,2.451244e-07,2.449255e-07,2.449161e-07,2.446577e-07,2.445454e-07,2.443259e-07,2.440662e-07,2.439348e-07,2.434888e-07,2.429920e-07,2.428230e-07,2.424483e-07,2.420775e-07,2.418615e-07,2.412609e-07,2.412351e-07,2.405723e-07,2.403806e-07,2.398762e-07,2.394439e-07,2.391499e-07,2.384573e-07,2.383960e-07,2.376172e-07,2.374268e-07,2.368159e-07,2.363582e-07,2.359944e-07,2.352565e-07,2.351549e-07,2.342994e-07,2.341266e-07,2.334299e-07,2.329728e-07,2.325481e-07,2.317992e-07,2.316557e-07,2.307544e-07,2.306094e-07,2.298455e-07,2.294070e-07,2.289305e-07,2.281950e-07,2.280107e-07,2.270872e-07,2.269762e-07,2.261613e-07,2.257533e-07,2.252339e-07,2.245287e-07,2.243060e-07,2.233787e-07,2.233045e-07,2.224526e-07,2.220828e-07,2.215287e-07,2.208652e-07,2.206077e-07,2.196902e-07,2.196536e-07,2.187768e-07,2.184492e-07,2.178683e-07,2.172534e-07,2.169650e-07,2.160675e-07,2.148925e-07,2.137294e-07,2.125790e-07,2.114420e-07,2.103192e-07,2.092110e-07,2.081181e-07,2.070408e-07,2.059795e-07,2.049345e-07,2.039060e-07,2.028944e-07,2.018996e-07,2.009219e-07,1.999614e-07,1.990179e-07,1.980917e-07,1.971825e-07,1.962905e-07,1.954155e-07,1.945574e-07,1.937162e-07,1.928916e-07,1.920835e-07
0.000000e+00,6.592119e-12,4.041322e-11,5.649642e-10,3.080003e-09,6.580314e-09,3.244213e-08,3.432147e-08,1.167214e-07,1.562123e-07,3.062135e-07,5.013011e-07,6.772642e-07,1.262721e-06,1.327679e-06,2.370931e-06,2.691930e-06,3.909400e-06,5.009309e-06,5.993786e-06,8.258284e-06,8.594756e-06,1.160668e-05,1.224540e-05,1.487774e-05,1.662710e-05,1.824685e-05,2.104784e-05,2.157201e-05,2.474487e-05,2.523310e-05,2.769335e-05,2.901609e-05,3.037728e-05,3.232286e-05,3.278110e-05,3.490638e-05,3.514321e-05,3.676558e-05,3.750401e-05,3.837737e-05,3.945015e-05,3.976343e-05,4.094632e-05,4.103284e-05,4.194823e-05,4.230309e-05,4.279022e-05,4.330843e-05,4.349176e-05,4.407062e-05,4.409146e-05,4.454277e-05,4.468940e-05,4.492240e-05,4.513417e-05,4.522205e-05,4.545266e-05,4.562372e-05,4.566726e-05,4.574344e-05,4.579642e-05,4.581887e-05,4.585523e-05,4.585605e-05,4.586012e-05,4.585595e-05,4.583551e-05,4.580856e-05,4.578598e-05,4.572116e-05,4.571472e-05,4.562451e-05,4.560031e-05,4.551770e-05,4.545140e-05,4.539632e-05,4.527887e-05,4.526214e-05,4.511669e-05,4.508637e-05,4.496131e-05,4.487698e-05,4.479717e-05,4.465329e-05,4.462531e-05,4.444664e-05,4.441748e-05,4.426200e-05,4.417146e-05,4.407210e-05,4.391685e-05,4.387761e-05,4.367913e-05,4.365507e-05,4.347719e-05,4.338738e-05,4.327229e-05,4.311486e-05,4.306487e-05,4.285534e-05,4.283850e-05,4.264406e-05,4.255914e-05,4.243138e-05,4.227756e-05,4.221761e-05,4.200303e-05,4.199443e-05,4.178791e-05,4.171038e-05,4.157248e-05,4.142594e-05,4.135698e-05,4.114161e-05,4.092655e-05,4.085782e-05,4.071197e-05,4.057498e-05,4.049805e-05,4.029342e-05,4.028491e-05,4.007271e-05,4.001347e-05,3.986155e-05,3.973541e-05,3.965157e-05,3.945950e-05,3.944285e-05,3.923549e-05,3.918594e-05,3.902959e-05,3.891495e-05,3.882522e-05,3.864670e-05,3.862246e-05,3.842136e-05,3.838135e-05,3.822199e-05,3.811902e-05,3.802441e-05,3.785985e-05,3.782866e-05,3.763478e-05,3.760394e-05,3.744282e-05,3.735137e-05,3.725281e-05,3.710223e-05,3.706478e-05,3.687876e-05,3.685657e-05,3.669476e-05,3.661445e-05,3.651282e-05,3.637592e-05,3.633294e-05,3.615514e-05,3.614101e-05,3.597944e-05,3.590974e-05,3.580583e-05,3.568214e-05,3.563433e-05,3.546494e-05,3.545821e-05,3.529767e-05,3.523797e-05,3.513251e-05,3.502140e-05,3.496946e-05,3.480851e-05,3.459929e-05,3.439372e-05,3.419178e-05,3.399344e-05,3.379870e-05,3.360750e-05,3.341984e-05,3.323566e-05,3.305494e-05,3.287764e-05,3.270372e-05,3.253315e-05,3.236587e-05,3.220184e-05,3.204103e-05,3.188339e-05,3.172887e-05,3.157742e-05,3.142901e-05,3.128357e-05,3.114108e-05,3.100148e-05,3.086471e-05,3.073075e-05
0.000000e+00,3.166158e-12,1.992157e-11,2.938119e-10,1.679834e-09,3.680756e-09,1.928482e-08,2.044894e-08,7.313978e-08,9.901925e-08,1.988292e-07,3.300842e-07,4.488246e-07,8.431643e-07,8.867999e-07,1.586375e-06,1.802084e-06,2.628609e-06,3.393787e-06,4.099202e-06,5.816424e-06,6.084642e-06,8.666386e-06,9.260644e-06,1.191288e-05,1.388038e-05,1.587090e-05,1.975985e-05,2.055881e-05,2.596405e-05,2.689306e-05,3.204537e-05,3.518638e-05,3.873856e-05,4.448036e-05,4.596381e-05,5.363292e-05,5.457873e-05,6.165526e-05,6.527402e-05,6.994225e-05,7.636567e-05,7.841026e-05,8.698242e-05,8.767057e-05,9.558941e-05,9.902792e-05,1.041697e-04,1.103006e-04,1.126697e-04,1.210431e-04,1.213748e-04,1.292506e-04,1.321582e-04,1.372594e-04,1.425781e-04,1.450428e-04,1.525794e-04,1.598527e-04,1.621224e-04,1.668503e-04,1.711800e-04,1.735637e-04,1.797365e-04,1.799878e-04,1.861201e-04,1.877848e-04,1.919606e-04,1.953254e-04,1.975110e-04,2.023643e-04,2.027750e-04,2.077575e-04,2.089120e-04,2.124643e-04,2.149823e-04,2.169024e-04,2.205913e-04,2.210790e-04,2.250020e-04,2.257569e-04,2.286797e-04,2.304980e-04,2.321206e-04,2.348340e-04,2.353330e-04,2.383257e-04,2.387847e-04,2.411072e-04,2.423698e-04,2.436860e-04,2.456086e-04,2.460704e-04,2.482687e-04,2.485203e-04,2.502889e-04,2.511234e-04,2.521389e-04,2.534358e-04,2.538263e-04,2.553586e-04,2.554747e-04,2.567429e-04,2.572568e-04,2.579863e-04,2.587981e-04,2.590955e-04,2.600769e-04,2.601136e-04,2.609369e-04,2.612180e-04,2.616815e-04,2.621249e-04,2.623166e-04,2.628476e-04,2.632801e-04,2.633986e-04,2.636192e-04,2.637895e-04,2.638698e-04,2.640317e-04,2.640368e-04,2.641246e-04,2.641356e-04,2.641377e-04,2.641114e-04,2.640802e-04,2.639685e-04,2.639562e-04,2.637696e-04,2.637158e-04,2.635238e-04,2.633618e-04,2.632226e-04,2.629143e-04,2.628693e-04,2.624670e-04,2.623809e-04,2.620188e-04,2.617686e-04,2.615277e-04,2.610840e-04,2.609964e-04,2.604277e-04,2.603334e-04,2.598240e-04,2.595225e-04,2.591878e-04,2.586569e-04,2.585214e-04,2.578269e-04,2.577418e-04,2.571066e-04,2.567819e-04,2.563623e-04,2.557818e-04,2.555960e-04,2.548095e-04,2.547458e-04,2.540045e-04,2.536777e-04,2.531826e-04,2.525813e-04,2.523455e-04,2.514944e-04,2.514601e-04,2.506309e-04,2.503173e-04,2.497563e-04,2.491559e-04,2.488719e-04,2.479787e-04,2.467884e-04,2.455873e-04,2.443778e-04,2.431620e-04,2.419417e-04,2.407189e-04,2.394952e-04,2.382722e-04,2.370512e-04,2.358337e-04,2.346207e-04,2.334135e-04,2.322131e-04,2.310203e-04,2.298362e-04,2.286613e-04,2.274966e-04,2.263425e-04,2.251997e-04,2.240686e-04,2.229499e-04,2.218438e-04,2.207508e-04,2.196712e-04
0.000000e+00,1.291340e-10,3.150294e-10,1.158315e-09,2.719737e-09,4.015626e-09,9.311555e-09,9.598513e-09,1.881893e-08,2.218191e-08,3.263804e-08,4.355826e-08,5.207245e-08,7.580069e-08,7.815547e-08,1.118396e-07,1.211415e-07,1.538326e-07,1.810951e-07,2.043809e-07,2.556338e-07,2.630770e-07,3.288291e-07,3.426936e-07,4.000855e-07,4.387618e-07,4.751983e-07,5.401940e-07,5.527037e-07,6.314248e-07,6.440691e-07,7.104543e-07,7.482869e-07,7.890955e-07,8.513613e-07,8.668076e-07,9.431652e-07,9.522203e-07,1.017832e-06,1.050080e-06,1.090545e-06,1.144372e-06,1.161098e-06,1.229337e-06,1.234693e-06,1.295149e-06,1.320775e-06,1.358456e-06,1.402460e-06,1.419213e-06,1.477397e-06,1.479671e-06,1.533007e-06,1.552399e-06,1.586059e-06,1.620688e-06,1.636583e-06,1.684618e-06,1.730214e-06,1.744299e-06,1.773426e-06,1.799859e-06,1.814315e-06,1.851441e-06,1.852943e-06,1.889379e-06,1.899197e-06,1.923690e-06,1.943285e-06,1.955945e-06,1.983864e-06,1.986214e-06,2.014567e-06,2.021094e-06,2.041072e-06,2.055134e-06,2.065799e-06,2.086141e-06,2.088814e-06,2.110184e-06,2.114267e-06,2.129974e-06,2.139662e-06,2.148248e-06,2.162471e-06,2.165067e-06,2.180493e-06,2.182835e-06,2.194583e-06,2.200889e-06,2.207396e-06,2.216764e-06,2.218987e-06,2.229410e-06,2.230585e-06,2.238717e-06,2.242472e-06,2.246960e-06,2.252542e-06,2.254186e-06,2.260444e-06,2.260905e-06,2.265780e-06,2.267665e-06,2.270236e-06,2.272926e-06,2.273858e-06,2.276684e-06,2.276781e-06,2.278756e-06,2.279324e-06,2.280110e-06,2.280641e-06,2.280785e-06,2.280816e-06,2.280236e-06,2.279927e-06,2.279079e-06,2.278050e-06,2.277375e-06,2.275255e-06,2.275156e-06,2.272450e-06,2.271609e-06,2.269286e-06,2.267178e-06,2.265689e-06,2.262020e-06,2.261686e-06,2.257301e-06,2.256194e-06,2.252558e-06,2.249754e-06,2.247479e-06,2.242749e-06,2.242086e-06,2.236401e-06,2.235230e-06,2.230442e-06,2.227241e-06,2.224228e-06,2.218825e-06,2.217778e-06,2.211110e-06,2.210023e-06,2.204238e-06,2.200873e-06,2.197181e-06,2.191410e-06,2.189951e-06,2.182565e-06,2.181669e-06,2.175035e-06,2.171680e-06,2.167375e-06,2.161474e-06,2.159598e-06,2.151714e-06,2.151079e-06,2.143735e-06,2.140520e-06,2.135673e-06,2.129822e-06,2.127537e-06,2.119337e-06,2.119008e-06,2.111082e-06,2.108099e-06,2.102782e-06,2.097115e-06,2.094444e-06,2.086076e-06,2.074997e-06,2.063896e-06,2.052787e-06,2.041684e-06,2.030600e-06,2.019548e-06,2.008537e-06,1.997579e-06,1.986683e-06,1.975857e-06,1.965110e-06,1.954448e-06,1.943878e-06,1.933406e-06,1.923037e-06,1.912778e-06,1.902631e-06,1.892600e-06,1.882691e-06,1.872904e-06,1.863244e-06,1.853712e-06,1.844311e-06,1.835042e-06
0.000000e+00,1.535578e-11,3.644218e-11,1.298719e-10,2.996538e-10,4.389120e-10,9.983147e-10,1.028267e-09,1.975291e-09,2.314241e-09,3.349845e-09,4.406190e-09,5.214625e-09,7.410105e-09,7.623983e-09,1.061954e-08,1.142853e-08,1.422131e-08,1.650040e-08,1.841840e-08,2.257162e-08,2.316898e-08,2.841148e-08,2.951298e-08,3.407690e-08,3.716677e-08,4.009521e-08,4.537285e-08,4.639751e-08,5.291661e-08,5.397541e-08,5.958766e-08,6.282548e-08,6.634897e-08,7.178411e-08,7.314289e-08,7.991662e-08,8.072581e-08,8.662289e-08,8.954138e-08,9.322025e-08,9.813938e-08,9.967326e-08,1.059524e-07,1.064464e-07,1.120336e-07,1.144063e-07,1.178981e-07,1.219784e-07,1.235320e-07,1.289253e-07,1.291359e-07,1.340718e-07,1.358635e-07,1.389685e-07,1.421553e-07,1.436150e-07,1.480129e-07,1.521657e-07,1.534436e-07,1.560784e-07,1.584592e-07,1.597569e-07,1.630744e-07,1.632081e-07,1.664396e-07,1.673062e-07,1.694593e-07,1.711729e-07,1.722754e-07,1.746937e-07,1.748963e-07,1.773305e-07,1.778878e-07,1.795863e-07,1.807747e-07,1.816720e-07,1.833733e-07,1.835958e-07,1.853658e-07,1.857020e-07,1.869896e-07,1.877788e-07,1.884749e-07,1.896207e-07,1.898288e-07,1.910584e-07,1.912440e-07,1.921703e-07,1.926642e-07,1.931711e-07,1.938958e-07,1.940668e-07,1.948635e-07,1.949527e-07,1.955668e-07,1.958480e-07,1.961820e-07,1.965939e-07,1.967143e-07,1.971687e-07,1.972018e-07,1.975498e-07,1.976827e-07,1.978620e-07,1.980465e-07,1.981095e-07,1.982964e-07,1.983027e-07,1.984266e-07,1.984602e-07,1.985035e-07,1.985272e-07,1.985306e-07,1.985113e-07,1.984485e-07,1.984197e-07,1.983453e-07,1.982592e-07,1.982043e-07,1.980359e-07,1.980282e-07,1.978195e-07,1.977556e-07,1.975806e-07,1.974236e-07,1.973136e-07,1.970450e-07,1.970207e-07,1.967038e-07,1.966245e-07,1.963649e-07,1.961662e-07,1.960057e-07,1.956742e-07,1.956279e-07,1.952330e-07,1.951521e-07,1.948226e-07,1.946035e-07,1.943981e-07,1.940315e-07,1.939607e-07,1.935118e-07,1.934389e-07,1.930525e-07,1.928286e-07,1.925839e-07,1.922030e-07,1.921071e-07,1.916230e-07,1.915644e-07,1.911326e-07,1.909150e-07,1.906367e-07,1.902567e-07,1.901362e-07,1.896318e-07,1.895913e-07,1.891242e-07,1.889205e-07,1.886142e-07,1.882458e-07,1.881023e-07,1.875891e-07,1.875685e-07,1.870752e-07,1.868901e-07,1.865611e-07,1.862116e-07,1.860473e-07,1.855342e-07,1.848587e-07,1.841861e-07,1.835173e-07,1.828528e-07,1.821935e-07,1.815398e-07,1.808924e-07,1.802516e-07,1.796180e-07,1.789919e-07,1.783737e-07,1.777636e-07,1.771619e-07,1.765689e-07,1.759846e-07,1.754094e-07,1.748432e-07,1.742863e-07,1.737387e-07,1.732004e-07,1.726716e-07,1.721521e-07,1.716422e-07,1.711416e-07
0.000000e+00,6.594956e-13,4.476748e-12,7.730189e-11,5.103836e-10,1.210327e-09,7.777692e-09,8.315906e-09,3.640333e-08,5.205647e-08,1.198835e-07,2.222159e-07,3.245477e-07,7.144312e-07,7.615413e-07,1.602559e-06,1.890230e-06,3.095229e-06,4.337552e-06,5.577084e-06,8.924565e-06,9.485968e-06,1.536496e-05,1.683234e-05,2.386087e-05,2.955598e-05,3.571626e-05,4.887243e-05,5.175599e-05,7.286919e-05,7.678000e-05,9.998811e-05,1.154179e-04,1.340649e-04,1.669738e-04,1.760476e-04,2.268557e-04,2.335877e-04,2.873578e-04,3.172578e-04,3.583493e-04,4.197553e-04,4.405343e-04,5.345084e-04,5.425507e-04,6.407459e-04,6.867561e-04,7.595899e-04,8.530843e-04,8.912457e-04,1.035777e-03,1.041826e-03,1.193107e-03,1.252842e-03,1.363020e-03,1.485576e-03,1.545168e-03,1.739079e-03,1.944164e-03,2.012041e-03,2.159732e-03,2.302839e-03,2.385001e-03,2.609588e-03,2.619111e-03,2.861138e-03,2.930193e-03,3.110108e-03,3.262404e-03,3.365012e-03,3.603875e-03,3.624815e-03,3.888473e-03,3.952209e-03,4.154945e-03,4.305013e-03,4.423199e-03,4.659934e-03,4.692226e-03,4.961047e-03,5.014704e-03,5.228723e-03,5.367162e-03,5.494356e-03,5.715289e-03,5.757101e-03,6.016164e-03,6.057223e-03,6.270811e-03,6.391272e-03,6.520366e-03,6.715929e-03,6.764215e-03,7.001803e-03,7.029868e-03,7.232638e-03,7.331952e-03,7.456288e-03,7.621226e-03,7.672382e-03,7.880604e-03,7.896913e-03,8.080695e-03,8.158406e-03,8.272448e-03,8.405258e-03,8.455707e-03,8.630364e-03,8.637170e-03,8.796352e-03,8.853980e-03,8.953648e-03,9.055650e-03,9.102266e-03,9.242255e-03,9.373695e-03,9.413967e-03,9.496694e-03,9.571045e-03,9.611386e-03,9.713822e-03,9.717929e-03,9.816499e-03,9.842695e-03,9.907288e-03,9.958114e-03,9.990506e-03,1.006057e-02,1.006637e-02,1.013512e-02,1.015059e-02,1.019698e-02,1.022871e-02,1.025221e-02,1.029552e-02,1.030105e-02,1.034375e-02,1.035158e-02,1.038058e-02,1.039748e-02,1.041177e-02,1.043381e-02,1.043759e-02,1.045828e-02,1.046113e-02,1.047410e-02,1.048003e-02,1.048529e-02,1.049106e-02,1.049208e-02,1.049472e-02,1.049476e-02,1.049342e-02,1.049167e-02,1.048843e-02,1.048228e-02,1.047994e-02,1.046817e-02,1.046710e-02,1.045333e-02,1.044658e-02,1.043561e-02,1.042118e-02,1.041520e-02,1.039229e-02,1.039132e-02,1.036704e-02,1.035741e-02,1.033963e-02,1.031983e-02,1.031021e-02,1.027894e-02,1.023508e-02,1.018857e-02,1.013971e-02,1.008878e-02,1.003604e-02,9.981730e-03,9.926081e-03,9.869301e-03,9.811583e-03,9.753107e-03,9.694038e-03,9.634529e-03,9.574719e-03,9.514737e-03,9.454699e-03,9.394713e-03,9.334875e-03,9.275275e-03,9.215991e-03,9.157095e-03,9.098653e-03,9.040723e-03,8.983356e-03,8.926598e-03
0.000000e+00,2.571165e-12,1.533248e-11,2.028743e-10,1.054404e-09,2.195896e-09,1.014541e-08,1.070481e-08,3.409518e-08,4.479726e-08,8.368857e-08,1.314946e-07,1.727794e-07,3.021209e-07,3.159200e-07,5.285490e-07,5.916971e-07,8.267422e-07,1.037175e-06,1.226733e-06,1.675137e-06,1.743820e-06,2.390398e-06,2.535985e-06,3.173354e-06,3.634428e-06,4.091761e-06,4.961152e-06,5.136078e-06,6.289374e-06,6.482611e-06,7.530076e-06,8.149838e-06,8.834981e-06,9.910006e-06,1.018168e-05,1.155005e-05,1.171486e-05,1.292283e-05,1.352444e-05,1.428564e-05,1.530742e-05,1.562677e-05,1.693674e-05,1.703995e-05,1.820799e-05,1.870426e-05,1.943456e-05,2.028742e-05,2.061189e-05,2.173654e-05,2.178039e-05,2.280611e-05,2.317735e-05,2.381904e-05,2.447505e-05,2.477453e-05,2.567239e-05,2.651297e-05,2.676998e-05,2.729707e-05,2.776977e-05,2.802584e-05,2.867473e-05,2.870072e-05,2.932336e-05,2.948859e-05,2.989562e-05,3.021559e-05,3.041943e-05,3.086031e-05,3.089684e-05,3.132993e-05,3.142751e-05,3.172080e-05,3.192202e-05,3.207154e-05,3.234864e-05,3.238422e-05,3.266089e-05,3.271208e-05,3.290353e-05,3.301690e-05,3.311408e-05,3.326750e-05,3.329439e-05,3.344629e-05,3.346807e-05,3.357149e-05,3.362260e-05,3.367167e-05,3.373486e-05,3.374841e-05,3.380323e-05,3.380841e-05,3.383759e-05,3.384658e-05,3.385285e-05,3.385249e-05,3.385033e-05,3.383128e-05,3.382908e-05,3.379688e-05,3.377907e-05,3.374824e-05,3.370501e-05,3.368643e-05,3.361245e-05,3.360925e-05,3.352724e-05,3.349399e-05,3.343170e-05,3.336126e-05,3.332667e-05,3.321296e-05,3.309131e-05,3.305082e-05,3.296242e-05,3.287645e-05,3.282697e-05,3.269134e-05,3.268558e-05,3.253883e-05,3.249686e-05,3.238728e-05,3.229427e-05,3.223145e-05,3.208472e-05,3.207182e-05,3.190885e-05,3.186929e-05,3.174296e-05,3.164894e-05,3.157456e-05,3.142457e-05,3.140401e-05,3.123166e-05,3.119701e-05,3.105785e-05,3.096698e-05,3.088286e-05,3.073518e-05,3.070700e-05,3.053051e-05,3.050223e-05,3.035364e-05,3.026868e-05,3.017663e-05,3.003505e-05,2.999967e-05,2.982297e-05,2.980179e-05,2.964671e-05,2.956933e-05,2.947105e-05,2.933804e-05,2.929614e-05,2.912213e-05,2.910825e-05,2.894915e-05,2.888027e-05,2.877732e-05,2.865437e-05,2.860674e-05,2.843751e-05,2.843077e-05,2.826973e-05,2.820970e-05,2.810348e-05,2.799134e-05,2.793883e-05,2.777584e-05,2.756336e-05,2.735400e-05,2.714788e-05,2.694508e-05,2.674566e-05,2.654969e-05,2.635722e-05,2.616826e-05,2.598286e-05,2.580101e-05,2.562272e-05,2.544800e-05,2.527683e-05,2.510919e-05,2.494507e-05,2.478443e-05,2.462725e-05,2.447348e-05,2.432310e-05,2.417606e-05,2.403231e-05,2.389181e-05,2.375450e-05,2.362035e-05
0.000000e+00,5.131347e-13,3.474296e-12,5.966451e-11,3.919068e-10,9.266707e-10,5.908580e-09,6.315384e-09,2.741878e-08,3.911708e-08,8.953870e-08,1.651165e-07,2.403164e-07,5.247224e-07,5.589220e-07,1.165566e-06,1.371781e-06,2.230725e-06,3.110250e-06,3.983416e-06,6.326366e-06,6.717654e-06,1.079591e-05,1.180955e-05,1.664835e-05,2.055396e-05,2.476712e-05,3.373456e-05,3.569546e-05,5.001278e-05,5.265788e-05,6.831661e-05,7.869412e-05,9.120323e-05,1.131999e-04,1.192479e-04,1.529864e-04,1.574411e-04,1.928979e-04,2.125226e-04,2.393908e-04,2.793311e-04,2.927913e-04,3.533348e-04,3.584917e-04,4.211607e-04,4.503425e-04,4.963096e-04,5.549230e-04,5.787245e-04,6.682528e-04,6.719788e-04,7.646521e-04,8.009775e-04,8.675964e-04,9.411354e-04,9.766851e-04,1.091452e-03,1.211374e-03,1.250746e-03,1.335884e-03,1.417702e-03,1.464381e-03,1.590908e-03,1.596238e-03,1.730814e-03,1.768895e-03,1.867463e-03,1.950180e-03,2.005543e-03,2.133295e-03,2.144420e-03,2.283483e-03,2.316820e-03,2.422142e-03,2.499404e-03,2.559836e-03,2.679789e-03,2.696038e-03,2.830257e-03,2.856823e-03,2.962043e-03,3.029471e-03,3.090983e-03,3.196823e-03,3.216710e-03,3.338893e-03,3.358094e-03,3.457248e-03,3.512625e-03,3.571528e-03,3.659879e-03,3.681528e-03,3.787079e-03,3.799440e-03,3.888050e-03,3.930999e-03,3.984342e-03,4.054355e-03,4.075891e-03,4.162660e-03,4.169395e-03,4.244641e-03,4.276096e-03,4.321850e-03,4.374507e-03,4.394326e-03,4.462128e-03,4.464744e-03,4.525334e-03,4.546980e-03,4.584035e-03,4.621433e-03,4.638339e-03,4.688363e-03,4.734236e-03,4.748061e-03,4.776094e-03,4.800841e-03,4.814079e-03,4.847036e-03,4.848337e-03,4.879020e-03,4.886991e-03,4.906280e-03,4.921058e-03,4.930273e-03,4.949592e-03,4.951151e-03,4.969070e-03,4.972947e-03,4.984181e-03,4.991473e-03,4.996634e-03,5.005512e-03,5.006578e-03,5.014156e-03,5.015400e-03,5.019508e-03,5.021458e-03,5.022772e-03,5.023997e-03,5.024080e-03,5.023559e-03,5.023314e-03,5.021333e-03,5.019694e-03,5.017521e-03,5.013404e-03,5.012235e-03,5.005584e-03,5.004700e-03,4.997674e-03,4.993819e-03,4.988601e-03,4.980988e-03,4.978462e-03,4.967344e-03,4.966415e-03,4.955335e-03,4.950299e-03,4.942512e-03,4.932820e-03,4.928954e-03,4.914731e-03,4.914150e-03,4.899911e-03,4.894443e-03,4.884559e-03,4.873845e-03,4.868733e-03,4.852489e-03,4.830498e-03,4.807984e-03,4.785050e-03,4.761790e-03,4.738290e-03,4.714627e-03,4.690872e-03,4.667088e-03,4.643332e-03,4.619657e-03,4.596107e-03,4.572724e-03,4.549546e-03,4.526603e-03,4.503925e-03,4.481537e-03,4.459460e-03,4.437714e-03,4.416314e-03,4.395274e-03,4.374605e-03,4.354318e-03,4.334419e-03,4.314914e-03
0.000000e+00,6.666517e-11,1.556307e-10,5.466286e-10,1.257189e-09,1.842557e-09,4.222924e-09,4.351717e-09,8.492977e-09,1.000680e-08,1.472938e-08,1.968725e-08,2.356836e-08,3.442380e-08,3.550162e-08,5.083565e-08,5.502167e-08,6.948275e-08,8.120606e-08,9.097493e-08,1.117720e-07,1.147227e-07,1.402101e-07,1.454787e-07,1.670274e-07,1.813853e-07,1.948413e-07,2.187645e-07,2.233652e-07,2.523432e-07,2.570061e-07,2.815445e-07,2.955784e-07,3.107610e-07,3.340204e-07,3.398082e-07,3.685251e-07,3.719421e-07,3.967741e-07,4.090251e-07,4.244404e-07,4.450186e-07,4.514302e-07,4.776688e-07,4.797336e-07,5.030987e-07,5.130343e-07,5.276775e-07,5.448302e-07,5.513756e-07,5.741741e-07,5.750672e-07,5.960635e-07,6.037206e-07,6.170418e-07,6.307884e-07,6.371129e-07,6.562859e-07,6.745739e-07,6.802417e-07,6.919930e-07,7.026938e-07,7.085619e-07,7.236870e-07,7.243009e-07,7.392319e-07,7.432709e-07,7.533778e-07,7.614982e-07,7.667620e-07,7.784234e-07,7.794086e-07,7.913418e-07,7.941023e-07,8.025859e-07,8.085906e-07,8.131651e-07,8.219438e-07,8.231033e-07,8.324243e-07,8.342165e-07,8.411515e-07,8.454626e-07,8.493078e-07,8.557344e-07,8.569157e-07,8.639972e-07,8.650829e-07,8.705739e-07,8.735575e-07,8.766666e-07,8.812060e-07,8.822957e-07,8.874812e-07,8.880745e-07,8.922422e-07,8.942075e-07,8.965976e-07,8.996474e-07,9.005653e-07,9.041629e-07,9.044353e-07,9.074075e-07,9.086102e-07,9.103154e-07,9.122095e-07,9.129025e-07,9.151841e-07,9.152692e-07,9.171750e-07,9.178234e-07,9.188896e-07,9.199046e-07,9.203415e-07,9.215440e-07,9.225098e-07,9.227710e-07,9.232514e-07,9.236137e-07,9.237804e-07,9.240989e-07,9.241083e-07,9.242459e-07,9.242518e-07,9.242038e-07,9.240965e-07,9.239920e-07,9.236557e-07,9.236203e-07,9.230979e-07,9.229511e-07,9.224337e-07,9.220029e-07,9.216362e-07,9.208306e-07,9.207136e-07,9.196737e-07,9.194523e-07,9.185241e-07,9.178853e-07,9.172719e-07,9.161458e-07,9.159239e-07,9.144868e-07,9.142490e-07,9.129668e-07,9.122095e-07,9.113699e-07,9.100408e-07,9.097017e-07,9.079679e-07,9.077556e-07,9.061735e-07,9.053660e-07,9.043235e-07,9.028833e-07,9.024227e-07,9.004756e-07,9.003179e-07,8.984864e-07,8.976799e-07,8.964593e-07,8.949784e-07,8.943981e-07,8.923065e-07,8.922223e-07,8.901881e-07,8.894195e-07,8.880461e-07,8.865777e-07,8.858838e-07,8.837041e-07,8.808050e-07,8.778868e-07,8.749552e-07,8.720153e-07,8.690722e-07,8.661304e-07,8.631940e-07,8.602671e-07,8.573530e-07,8.544553e-07,8.515767e-07,8.487201e-07,8.458881e-07,8.430828e-07,8.403065e-07,8.375609e-07,8.348477e-07,8.321685e-07,8.295245e-07,8.269171e-07,8.243472e-07,8.218157e-07,8.193235e-07,8.168712e-07
0.000000e+00,1.790947e-12,1.054173e-11,1.359060e-10,6.906547e-10,1.421440e-09,6.380233e-09,6.724462e-09,2.086239e-08,2.722627e-08,5.004070e-08,7.764796e-08,1.012280e-07,1.740587e-07,1.817568e-07,2.991184e-07,3.335974e-07,4.607312e-07,5.731447e-07,6.733759e-07,9.068308e-07,9.421538e-07,1.269318e-06,1.341712e-06,1.653684e-06,1.874843e-06,2.090991e-06,2.494641e-06,2.574902e-06,3.098098e-06,3.184952e-06,3.653095e-06,3.928659e-06,4.232695e-06,4.709550e-06,4.830169e-06,5.439313e-06,5.512919e-06,6.054430e-06,6.325616e-06,6.670322e-06,7.136007e-06,7.282288e-06,7.886131e-06,7.933973e-06,8.478167e-06,8.710950e-06,9.055233e-06,9.459943e-06,9.614678e-06,1.015436e-05,1.017551e-05,1.067259e-05,1.085366e-05,1.116816e-05,1.149174e-05,1.164020e-05,1.208821e-05,1.251202e-05,1.264253e-05,1.291169e-05,1.315492e-05,1.328749e-05,1.362624e-05,1.363989e-05,1.396950e-05,1.405781e-05,1.427703e-05,1.445128e-05,1.456327e-05,1.480855e-05,1.482908e-05,1.507535e-05,1.513164e-05,1.530298e-05,1.542267e-05,1.551292e-05,1.568374e-05,1.570606e-05,1.588330e-05,1.591692e-05,1.604553e-05,1.612424e-05,1.619359e-05,1.630762e-05,1.632831e-05,1.645047e-05,1.646890e-05,1.656083e-05,1.660982e-05,1.666011e-05,1.673201e-05,1.674899e-05,1.682812e-05,1.683699e-05,1.689811e-05,1.692617e-05,1.695957e-05,1.700089e-05,1.701302e-05,1.705899e-05,1.706236e-05,1.709797e-05,1.711171e-05,1.713043e-05,1.715000e-05,1.715679e-05,1.717746e-05,1.717817e-05,1.719283e-05,1.719714e-05,1.720326e-05,1.720771e-05,1.720909e-05,1.721063e-05,1.720819e-05,1.720661e-05,1.720204e-05,1.719629e-05,1.719245e-05,1.718024e-05,1.717967e-05,1.716392e-05,1.715901e-05,1.714543e-05,1.713310e-05,1.712440e-05,1.710297e-05,1.710102e-05,1.707547e-05,1.706903e-05,1.704791e-05,1.703167e-05,1.701852e-05,1.699124e-05,1.698743e-05,1.695478e-05,1.694808e-05,1.692071e-05,1.690247e-05,1.688534e-05,1.685470e-05,1.684877e-05,1.681113e-05,1.680502e-05,1.677251e-05,1.675366e-05,1.673301e-05,1.670083e-05,1.669271e-05,1.665170e-05,1.664673e-05,1.661005e-05,1.659154e-05,1.656784e-05,1.653543e-05,1.652514e-05,1.648202e-05,1.647855e-05,1.643852e-05,1.642104e-05,1.639472e-05,1.636302e-05,1.635066e-05,1.630639e-05,1.630461e-05,1.626195e-05,1.624593e-05,1.621740e-05,1.618706e-05,1.617277e-05,1.612810e-05,1.606913e-05,1.601023e-05,1.595147e-05,1.589290e-05,1.583459e-05,1.577659e-05,1.571895e-05,1.566170e-05,1.560489e-05,1.554856e-05,1.549273e-05,1.543743e-05,1.538269e-05,1.532853e-05,1.527498e-05,1.522204e-05,1.516974e-05,1.511810e-05,1.506711e-05,1.501679e-05,1.496715e-05,1.491820e-05,1.486994e-05,1.482238e-05
0.000000e+00,3.597940e-13,2.370602e-12,3.845136e-11,2.395341e-10,5.499394e-10,3.245713e-09,3.458175e-09,1.388403e-08,1.938679e-08,4.203052e-08,7.415661e-08,1.048549e-07,2.145952e-07,2.273253e-07,4.431875e-07,5.134506e-07,7.951253e-07,1.070311e-06,1.333956e-06,2.007641e-06,2.116329e-06,3.200725e-06,3.458822e-06,4.642333e-06,5.549111e-06,6.487860e-06,8.375552e-06,8.771287e-06,1.151112e-05,1.199220e-05,1.470926e-05,1.640355e-05,1.835139e-05,2.156563e-05,2.240837e-05,2.683843e-05,2.739273e-05,3.158978e-05,3.376715e-05,3.660340e-05,4.055011e-05,4.181567e-05,4.716096e-05,4.759236e-05,5.257384e-05,5.474365e-05,5.799107e-05,6.186056e-05,6.335311e-05,6.860541e-05,6.881251e-05,7.369929e-05,7.548596e-05,7.859252e-05,8.178695e-05,8.324967e-05,8.764212e-05,9.174792e-05,9.299852e-05,9.555148e-05,9.782245e-05,9.904313e-05,1.020976e-04,1.022185e-04,1.050781e-04,1.058227e-04,1.076263e-04,1.090090e-04,1.098712e-04,1.116779e-04,1.118237e-04,1.134967e-04,1.138582e-04,1.149050e-04,1.155840e-04,1.160646e-04,1.168926e-04,1.169922e-04,1.177048e-04,1.178230e-04,1.182194e-04,1.184144e-04,1.185530e-04,1.187053e-04,1.187219e-04,1.187418e-04,1.187322e-04,1.186279e-04,1.185298e-04,1.183941e-04,1.181299e-04,1.180539e-04,1.176196e-04,1.175617e-04,1.171025e-04,1.168515e-04,1.165132e-04,1.160230e-04,1.158613e-04,1.151554e-04,1.150969e-04,1.144036e-04,1.140916e-04,1.136129e-04,1.130231e-04,1.127897e-04,1.119399e-04,1.119054e-04,1.110685e-04,1.107504e-04,1.101802e-04,1.095685e-04,1.092789e-04,1.083683e-04,1.074517e-04,1.071575e-04,1.065317e-04,1.059423e-04,1.056108e-04,1.047280e-04,1.046912e-04,1.037749e-04,1.035191e-04,1.028633e-04,1.023192e-04,1.019579e-04,1.011316e-04,1.010601e-04,1.001707e-04,9.995866e-05,9.929082e-05,9.880249e-05,9.842113e-05,9.766476e-05,9.756229e-05,9.671487e-05,9.654680e-05,9.587932e-05,9.544964e-05,9.505600e-05,9.437410e-05,9.424523e-05,9.344724e-05,9.332076e-05,9.266222e-05,9.229006e-05,9.189030e-05,9.128227e-05,9.113158e-05,9.038609e-05,9.029753e-05,8.965387e-05,8.933589e-05,8.893489e-05,8.839730e-05,8.822912e-05,8.753647e-05,8.748163e-05,8.685688e-05,8.658868e-05,8.619024e-05,8.571821e-05,8.553642e-05,8.489531e-05,8.486993e-05,8.426675e-05,8.404352e-05,8.365060e-05,8.323863e-05,8.304670e-05,8.245488e-05,8.169187e-05,8.094919e-05,8.022641e-05,7.952309e-05,7.883880e-05,7.817308e-05,7.752550e-05,7.689560e-05,7.628295e-05,7.568709e-05,7.510760e-05,7.454402e-05,7.399595e-05,7.346295e-05,7.294460e-05,7.244051e-05,7.195027e-05,7.147349e-05,7.100978e-05,7.055877e-05,7.012010e-05,6.969340e-05,6.927832e-05,6.887453e-05
0.000000e+00,3.523134e-13,8.052510e-13,2.754369e-12,6.226174e-12,9.045395e-12,2.024857e-11,2.084473e-11,3.957258e-11,4.623090e-11,6.646793e-11,8.697819e-11,1.026030e-10,1.447965e-10,1.488922e-10,2.060940e-10,2.215157e-10,2.747992e-10,3.184542e-10,3.553985e-10,4.362769e-10,4.480236e-10,5.524708e-10,5.747338e-10,6.681486e-10,7.324334e-10,7.940990e-10,9.069470e-10,9.291003e-10,1.071795e-09,1.095246e-09,1.220789e-09,1.294139e-09,1.374712e-09,1.500509e-09,1.532243e-09,1.692117e-09,1.711402e-09,1.853143e-09,1.924069e-09,2.014204e-09,2.135994e-09,2.174266e-09,2.332389e-09,2.344929e-09,2.487728e-09,2.548914e-09,2.639540e-09,2.746296e-09,2.787183e-09,2.930117e-09,2.935729e-09,3.067899e-09,3.116169e-09,3.200180e-09,3.286852e-09,3.326699e-09,3.447274e-09,3.561795e-09,3.597154e-09,3.670216e-09,3.736405e-09,3.772545e-09,3.865103e-09,3.868840e-09,3.959199e-09,3.983453e-09,4.043754e-09,4.091765e-09,4.122661e-09,4.190422e-09,4.196101e-09,4.264268e-09,4.279867e-09,4.327371e-09,4.360576e-09,4.385624e-09,4.433048e-09,4.439246e-09,4.488458e-09,4.497790e-09,4.533480e-09,4.555308e-09,4.574530e-09,4.606099e-09,4.611822e-09,4.645563e-09,4.650646e-09,4.675956e-09,4.689412e-09,4.703194e-09,4.722840e-09,4.727465e-09,4.748949e-09,4.751348e-09,4.767816e-09,4.775331e-09,4.784230e-09,4.795159e-09,4.798346e-09,4.810310e-09,4.811179e-09,4.820263e-09,4.823710e-09,4.828336e-09,4.833054e-09,4.834653e-09,4.839333e-09,4.839488e-09,4.842486e-09,4.843268e-09,4.844217e-09,4.844631e-09,4.844623e-09,4.843797e-09,4.841826e-09,4.840967e-09,4.838791e-09,4.836327e-09,4.834770e-09,4.830047e-09,4.829833e-09,4.824049e-09,4.822286e-09,4.817480e-09,4.813188e-09,4.810187e-09,4.802885e-09,4.802225e-09,4.793646e-09,4.791500e-09,4.784498e-09,4.779145e-09,4.774829e-09,4.765923e-09,4.764681e-09,4.754095e-09,4.751928e-09,4.743108e-09,4.737248e-09,4.731755e-09,4.721961e-09,4.720071e-09,4.708085e-09,4.706142e-09,4.695828e-09,4.689856e-09,4.683327e-09,4.673167e-09,4.670606e-09,4.657691e-09,4.656129e-09,4.644603e-09,4.638796e-09,4.631364e-09,4.621213e-09,4.617993e-09,4.604509e-09,4.603426e-09,4.590929e-09,4.585474e-09,4.577269e-09,4.567393e-09,4.563545e-09,4.549769e-09,4.549218e-09,4.535957e-09,4.530977e-09,4.522119e-09,4.512701e-09,4.508268e-09,4.494414e-09,4.476139e-09,4.457898e-09,4.439711e-09,4.421596e-09,4.403567e-09,4.385641e-09,4.367831e-09,4.350148e-09,4.332604e-09,4.315208e-09,4.297969e-09,4.280896e-09,4.263995e-09,4.247272e-09,4.230734e-09,4.214385e-09,4.198229e-09,4.182271e-09,4.166513e-09,4.150958e-09,4.135608e-09,4.120466e-09,4.105532e-09,4.090809e-09
0.000000e+00,4.154459e-12,2.502861e-11,3.380646e-10,1.789279e-09,3.763087e-09,1.782878e-08,1.883115e-08,6.152735e-08,8.142337e-08,1.550088e-07,2.475691e-07,3.289923e-07,5.911526e-07,6.196621e-07,1.069149e-06,1.205636e-06,1.721728e-06,2.190516e-06,2.615111e-06,3.618098e-06,3.770870e-06,5.190404e-06,5.504814e-06,6.858081e-06,7.814958e-06,8.748009e-06,1.048557e-05,1.083046e-05,1.307608e-05,1.344867e-05,1.545764e-05,1.664173e-05,1.795039e-05,2.000932e-05,2.053160e-05,2.318004e-05,2.350141e-05,2.587551e-05,2.707138e-05,2.859860e-05,3.067514e-05,3.133071e-05,3.405414e-05,3.427113e-05,3.675230e-05,3.782101e-05,3.940989e-05,4.129040e-05,4.201307e-05,4.454963e-05,4.464955e-05,4.700903e-05,4.787378e-05,4.938247e-05,5.094360e-05,5.166282e-05,5.384460e-05,5.592383e-05,5.656707e-05,5.789794e-05,5.910555e-05,5.976561e-05,6.145820e-05,6.152660e-05,6.318165e-05,6.362626e-05,6.473227e-05,6.561340e-05,6.618065e-05,6.742521e-05,6.752953e-05,6.878203e-05,6.906867e-05,6.994164e-05,7.055181e-05,7.101203e-05,7.188324e-05,7.199706e-05,7.290067e-05,7.307196e-05,7.372680e-05,7.412709e-05,7.447942e-05,7.505765e-05,7.516241e-05,7.577957e-05,7.587246e-05,7.633463e-05,7.658005e-05,7.683116e-05,7.718858e-05,7.727263e-05,7.766235e-05,7.770579e-05,7.800349e-05,7.813899e-05,7.829907e-05,7.849502e-05,7.855197e-05,7.876491e-05,7.878030e-05,7.894050e-05,7.900082e-05,7.908117e-05,7.916215e-05,7.918925e-05,7.926692e-05,7.926943e-05,7.931623e-05,7.932742e-05,7.933913e-05,7.934054e-05,7.933743e-05,7.931286e-05,7.926702e-05,7.924811e-05,7.920144e-05,7.914977e-05,7.911754e-05,7.902100e-05,7.901666e-05,7.890005e-05,7.886474e-05,7.876889e-05,7.868367e-05,7.862428e-05,7.848027e-05,7.846727e-05,7.829883e-05,7.825681e-05,7.811988e-05,7.801539e-05,7.793125e-05,7.775791e-05,7.773377e-05,7.752818e-05,7.748615e-05,7.731518e-05,7.720172e-05,7.709544e-05,7.690610e-05,7.686957e-05,7.663816e-05,7.660066e-05,7.640176e-05,7.628666e-05,7.616086e-05,7.596524e-05,7.591596e-05,7.566749e-05,7.563746e-05,7.541588e-05,7.530428e-05,7.516152e-05,7.496659e-05,7.490477e-05,7.464598e-05,7.462519e-05,7.438546e-05,7.428085e-05,7.412353e-05,7.393423e-05,7.386047e-05,7.359653e-05,7.358595e-05,7.333196e-05,7.323660e-05,7.306699e-05,7.288670e-05,7.280184e-05,7.253671e-05,7.218708e-05,7.183820e-05,7.149044e-05,7.114412e-05,7.079955e-05,7.045700e-05,7.011670e-05,6.977890e-05,6.944378e-05,6.911153e-05,6.878231e-05,6.845627e-05,6.813353e-05,6.781422e-05,6.749843e-05,6.718625e-05,6.687777e-05,6.657305e-05,6.627214e-05,6.597510e-05,6.568197e-05,6.539277e-05,6.510754e-05,6.482629e-05
0.000000e+00,1.384359e-11,3.253753e-11,1.149720e-10,2.646450e-10,3.875349e-10,8.826743e-10,9.092513e-10,1.752716e-09,2.055989e-09,2.986738e-09,3.942191e-09,4.677345e-09,6.690343e-09,6.887712e-09,9.675481e-09,1.043586e-08,1.308550e-08,1.527599e-08,1.713871e-08,2.122980e-08,2.182441e-08,2.710410e-08,2.822668e-08,3.292348e-08,3.614308e-08,3.922290e-08,4.484149e-08,4.594238e-08,5.302286e-08,5.418534e-08,6.040624e-08,6.404106e-08,6.803544e-08,7.427819e-08,7.585458e-08,8.380948e-08,8.477070e-08,9.184829e-08,9.539923e-08,9.992211e-08,1.060536e-07,1.079856e-07,1.159971e-07,1.166347e-07,1.239195e-07,1.270559e-07,1.317196e-07,1.372437e-07,1.393687e-07,1.468424e-07,1.471373e-07,1.541200e-07,1.566887e-07,1.611850e-07,1.658607e-07,1.680240e-07,1.746268e-07,1.809861e-07,1.829687e-07,1.870970e-07,1.908763e-07,1.929568e-07,1.983452e-07,1.985647e-07,2.039214e-07,2.053765e-07,2.090290e-07,2.119753e-07,2.138907e-07,2.181500e-07,2.185108e-07,2.228940e-07,2.239114e-07,2.270460e-07,2.292722e-07,2.309726e-07,2.342466e-07,2.346802e-07,2.381754e-07,2.388496e-07,2.414650e-07,2.430966e-07,2.445559e-07,2.470037e-07,2.474549e-07,2.501690e-07,2.505866e-07,2.527052e-07,2.538614e-07,2.550703e-07,2.568436e-07,2.572709e-07,2.593138e-07,2.595486e-07,2.612053e-07,2.619914e-07,2.629520e-07,2.641863e-07,2.645598e-07,2.660350e-07,2.661474e-07,2.673832e-07,2.678883e-07,2.686102e-07,2.694217e-07,2.697216e-07,2.707225e-07,2.707603e-07,2.716182e-07,2.719158e-07,2.724136e-07,2.728997e-07,2.731136e-07,2.737227e-07,2.742454e-07,2.743952e-07,2.746861e-07,2.749270e-07,2.750489e-07,2.753275e-07,2.753377e-07,2.755563e-07,2.756055e-07,2.757085e-07,2.757694e-07,2.757978e-07,2.758272e-07,2.758275e-07,2.758009e-07,2.757865e-07,2.757212e-07,2.756544e-07,2.755912e-07,2.754377e-07,2.754140e-07,2.751922e-07,2.751427e-07,2.749285e-07,2.747756e-07,2.746253e-07,2.743420e-07,2.742852e-07,2.739103e-07,2.738472e-07,2.735029e-07,2.732964e-07,2.730651e-07,2.726943e-07,2.725989e-07,2.721063e-07,2.720455e-07,2.715890e-07,2.713541e-07,2.710488e-07,2.706240e-07,2.704875e-07,2.699065e-07,2.698592e-07,2.693074e-07,2.690630e-07,2.686917e-07,2.682388e-07,2.680606e-07,2.674157e-07,2.673896e-07,2.667580e-07,2.665184e-07,2.660888e-07,2.656277e-07,2.654092e-07,2.647203e-07,2.637984e-07,2.628643e-07,2.619200e-07,2.609675e-07,2.600085e-07,2.590448e-07,2.580778e-07,2.571090e-07,2.561398e-07,2.551714e-07,2.542049e-07,2.532414e-07,2.522819e-07,2.513273e-07,2.503783e-07,2.494359e-07,2.485005e-07,2.475730e-07,2.466538e-07,2.457435e-07,2.448426e-07,2.439514e-07,2.430704e-07,2.421999e-07
0.000000e+00,4.876807e-13,3.148461e-12,4.895580e-11,2.935378e-10,6.600332e-10,3.693816e-09,3.927201e-09,1.497619e-08,2.062703e-08,4.323128e-08,7.427053e-08,1.032494e-07,2.037009e-07,2.151298e-07,4.045136e-07,4.648051e-07,7.019190e-07,9.281322e-07,1.140962e-06,1.671383e-06,1.755445e-06,2.576045e-06,2.767205e-06,3.627520e-06,4.271549e-06,4.927021e-06,6.217074e-06,6.483517e-06,8.298093e-06,8.612064e-06,1.036476e-05,1.144299e-05,1.267153e-05,1.467856e-05,1.520144e-05,1.793364e-05,1.827399e-05,2.084428e-05,2.217484e-05,2.390735e-05,2.632041e-05,2.709546e-05,3.038051e-05,3.064666e-05,3.373434e-05,3.508890e-05,3.712927e-05,3.958405e-05,4.053865e-05,4.393728e-05,4.407266e-05,4.730175e-05,4.850043e-05,5.061078e-05,5.281943e-05,5.384533e-05,5.698880e-05,6.002705e-05,6.097508e-05,6.294834e-05,6.475217e-05,6.574331e-05,6.830097e-05,6.840479e-05,7.092770e-05,7.160880e-05,7.330880e-05,7.466869e-05,7.554656e-05,7.747859e-05,7.764088e-05,7.959296e-05,8.004053e-05,8.140506e-05,8.235984e-05,8.308034e-05,8.444448e-05,8.462268e-05,8.603653e-05,8.630431e-05,8.732678e-05,8.795057e-05,8.849860e-05,8.939537e-05,8.955741e-05,9.050872e-05,9.065132e-05,9.135808e-05,9.173119e-05,9.211102e-05,9.264763e-05,9.277301e-05,9.334938e-05,9.341304e-05,9.384533e-05,9.403938e-05,9.426590e-05,9.453810e-05,9.461593e-05,9.490007e-05,9.492009e-05,9.512277e-05,9.519560e-05,9.528826e-05,9.537424e-05,9.540054e-05,9.546343e-05,9.546497e-05,9.548053e-05,9.547614e-05,9.545525e-05,9.541549e-05,9.539078e-05,9.529016e-05,9.515622e-05,9.510676e-05,9.499162e-05,9.487135e-05,9.479886e-05,9.458950e-05,9.458029e-05,9.433811e-05,9.426636e-05,9.407438e-05,9.390659e-05,9.379100e-05,9.351450e-05,9.348979e-05,9.317242e-05,9.309402e-05,9.284046e-05,9.264873e-05,9.249536e-05,9.218191e-05,9.213851e-05,9.177116e-05,9.169653e-05,9.139450e-05,9.119532e-05,9.100963e-05,9.068076e-05,9.061759e-05,9.021932e-05,9.015508e-05,8.981572e-05,8.962034e-05,8.940760e-05,8.907838e-05,8.899574e-05,8.858085e-05,8.853089e-05,8.816357e-05,8.797938e-05,8.774453e-05,8.742523e-05,8.732429e-05,8.690338e-05,8.686969e-05,8.648226e-05,8.631387e-05,8.606140e-05,8.575877e-05,8.564121e-05,8.522205e-05,8.520532e-05,8.480429e-05,8.465430e-05,8.438825e-05,8.410647e-05,8.397421e-05,8.356245e-05,8.302284e-05,8.248814e-05,8.195879e-05,8.143521e-05,8.091774e-05,8.040669e-05,7.990230e-05,7.940482e-05,7.891442e-05,7.843127e-05,7.795550e-05,7.748721e-05,7.702649e-05,7.657339e-05,7.612795e-05,7.569021e-05,7.526016e-05,7.483779e-05,7.442310e-05,7.401605e-05,7.361660e-05,7.322469e-05,7.284028e-05,7.246329e-05
0.000000e+00,6.735086e-11,1.805440e-10,7.320755e-10,1.797098e-09,2.696587e-09,6.426010e-09,6.629398e-09,1.319543e-08,1.559926e-08,2.308978e-08,3.093273e-08,3.705975e-08,5.418418e-08,5.588693e-08,8.027658e-08,8.701214e-08,1.106264e-07,1.302026e-07,1.468159e-07,1.830364e-07,1.882622e-07,2.341913e-07,2.438475e-07,2.838531e-07,3.109306e-07,3.365899e-07,3.828414e-07,3.918249e-07,4.490370e-07,4.583417e-07,5.077422e-07,5.363160e-07,5.674840e-07,6.157332e-07,6.278313e-07,6.883808e-07,6.956423e-07,7.487599e-07,7.751840e-07,8.086295e-07,8.536021e-07,8.676871e-07,9.256676e-07,9.302524e-07,9.823435e-07,1.004605e-06,1.037524e-06,1.076238e-06,1.091052e-06,1.142804e-06,1.144836e-06,1.192685e-06,1.210170e-06,1.240626e-06,1.272094e-06,1.286582e-06,1.330526e-06,1.372450e-06,1.385440e-06,1.412360e-06,1.436854e-06,1.450274e-06,1.484819e-06,1.486220e-06,1.520233e-06,1.529416e-06,1.552356e-06,1.570742e-06,1.582637e-06,1.608912e-06,1.611126e-06,1.637879e-06,1.644047e-06,1.662951e-06,1.676278e-06,1.686399e-06,1.705737e-06,1.708282e-06,1.728658e-06,1.732558e-06,1.747585e-06,1.756873e-06,1.765121e-06,1.778817e-06,1.781322e-06,1.796244e-06,1.798517e-06,1.809942e-06,1.816098e-06,1.822469e-06,1.831682e-06,1.833877e-06,1.844215e-06,1.845387e-06,1.853534e-06,1.857324e-06,1.861881e-06,1.867602e-06,1.869301e-06,1.875839e-06,1.876325e-06,1.881537e-06,1.883591e-06,1.886438e-06,1.889495e-06,1.890580e-06,1.894003e-06,1.894126e-06,1.896743e-06,1.897569e-06,1.898835e-06,1.899906e-06,1.900315e-06,1.901213e-06,1.901563e-06,1.901564e-06,1.901394e-06,1.901027e-06,1.900735e-06,1.899667e-06,1.899614e-06,1.898057e-06,1.897546e-06,1.896090e-06,1.894722e-06,1.893737e-06,1.891251e-06,1.891021e-06,1.887965e-06,1.887183e-06,1.884590e-06,1.882568e-06,1.880917e-06,1.877452e-06,1.876964e-06,1.872750e-06,1.871878e-06,1.868294e-06,1.865886e-06,1.863611e-06,1.859515e-06,1.858719e-06,1.853632e-06,1.852800e-06,1.848364e-06,1.845776e-06,1.842931e-06,1.838474e-06,1.837345e-06,1.831619e-06,1.830923e-06,1.825765e-06,1.823151e-06,1.819794e-06,1.815185e-06,1.813717e-06,1.807545e-06,1.807047e-06,1.801287e-06,1.798762e-06,1.794952e-06,1.790349e-06,1.788550e-06,1.782089e-06,1.781829e-06,1.775576e-06,1.773221e-06,1.769020e-06,1.764540e-06,1.762427e-06,1.755804e-06,1.747027e-06,1.738222e-06,1.729403e-06,1.720580e-06,1.711766e-06,1.702970e-06,1.694201e-06,1.685469e-06,1.676780e-06,1.668141e-06,1.659561e-06,1.651044e-06,1.642596e-06,1.634221e-06,1.625926e-06,1.617713e-06,1.609586e-06,1.601548e-06,1.593603e-06,1.585753e-06,1.577999e-06,1.570345e-06,1.562792e-06,1.555341e-06
0.000000e+00,4.994824e-12,2.892054e-11,3.607063e-10,1.780872e-09,3.609690e-09,1.560988e-08,1.642835e-08,4.930261e-08,6.380826e-08,1.150136e-07,1.759561e-07,2.274631e-07,3.846811e-07,4.011830e-07,6.509641e-07,7.238107e-07,9.904962e-07,1.223624e-06,1.429123e-06,1.898105e-06,1.967820e-06,2.597548e-06,2.733029e-06,3.301536e-06,3.690287e-06,4.059643e-06,4.723777e-06,4.852141e-06,5.661765e-06,5.791898e-06,6.474215e-06,6.861706e-06,7.277922e-06,7.908268e-06,8.063570e-06,8.823680e-06,8.912881e-06,9.552314e-06,9.861711e-06,1.024488e-05,1.074498e-05,1.089799e-05,1.150938e-05,1.155644e-05,1.207776e-05,1.229295e-05,1.260271e-05,1.295394e-05,1.308455e-05,1.352423e-05,1.354096e-05,1.392314e-05,1.405711e-05,1.428307e-05,1.450658e-05,1.460604e-05,1.489424e-05,1.514992e-05,1.522525e-05,1.537539e-05,1.550487e-05,1.557289e-05,1.573821e-05,1.574462e-05,1.589267e-05,1.593016e-05,1.601905e-05,1.608526e-05,1.612563e-05,1.620769e-05,1.621415e-05,1.628624e-05,1.630127e-05,1.634340e-05,1.636940e-05,1.638700e-05,1.641514e-05,1.641828e-05,1.643841e-05,1.644119e-05,1.644843e-05,1.644997e-05,1.644929e-05,1.644358e-05,1.644187e-05,1.642693e-05,1.642389e-05,1.640521e-05,1.639256e-05,1.637734e-05,1.635103e-05,1.634393e-05,1.630552e-05,1.630059e-05,1.626258e-05,1.624237e-05,1.621556e-05,1.617736e-05,1.616488e-05,1.611089e-05,1.610644e-05,1.605394e-05,1.603040e-05,1.599433e-05,1.594992e-05,1.593234e-05,1.586822e-05,1.586562e-05,1.580222e-05,1.577804e-05,1.573454e-05,1.568767e-05,1.566539e-05,1.559494e-05,1.552336e-05,1.550024e-05,1.545080e-05,1.540391e-05,1.537739e-05,1.530625e-05,1.530327e-05,1.522856e-05,1.520755e-05,1.515336e-05,1.510805e-05,1.507778e-05,1.500798e-05,1.500190e-05,1.492581e-05,1.490753e-05,1.484959e-05,1.480688e-05,1.477331e-05,1.470619e-05,1.469704e-05,1.462084e-05,1.460561e-05,1.454476e-05,1.450527e-05,1.446886e-05,1.440528e-05,1.439319e-05,1.431778e-05,1.430575e-05,1.424269e-05,1.420677e-05,1.416794e-05,1.410842e-05,1.409358e-05,1.401963e-05,1.401078e-05,1.394612e-05,1.391392e-05,1.387308e-05,1.381790e-05,1.380054e-05,1.372851e-05,1.372277e-05,1.365701e-05,1.362857e-05,1.358608e-05,1.353535e-05,1.351571e-05,1.344593e-05,1.344315e-05,1.337675e-05,1.335199e-05,1.330818e-05,1.326191e-05,1.324024e-05,1.317292e-05,1.308505e-05,1.299832e-05,1.291273e-05,1.282830e-05,1.274504e-05,1.266295e-05,1.258204e-05,1.250232e-05,1.242377e-05,1.234640e-05,1.227021e-05,1.219520e-05,1.212136e-05,1.204867e-05,1.197715e-05,1.190677e-05,1.183754e-05,1.176943e-05,1.170245e-05,1.163657e-05,1.157179e-05,1.150810e-05,1.144548e-05,1.138393e-05
0.000000e+00,1.077264e-10,2.589435e-10,9.366758e-10,2.183590e-09,3.217732e-09,7.465996e-09,7.697595e-09,1.523084e-08,1.802419e-08,2.686377e-08,3.633141e-08,4.386440e-08,6.543211e-08,6.760989e-08,9.920178e-08,1.080007e-07,1.388462e-07,1.642276e-07,1.855286e-07,2.310159e-07,2.374626e-07,2.928361e-07,3.041888e-07,3.502026e-07,3.804579e-07,4.085074e-07,4.576420e-07,4.669844e-07,5.250572e-07,5.342797e-07,5.822720e-07,6.093190e-07,6.382586e-07,6.819557e-07,6.927103e-07,7.453739e-07,7.515631e-07,7.960423e-07,8.176608e-07,8.445529e-07,8.799017e-07,8.907840e-07,9.346478e-07,9.380528e-07,9.760908e-07,9.919840e-07,1.015089e-06,1.041654e-06,1.051644e-06,1.085779e-06,1.087095e-06,1.117535e-06,1.128395e-06,1.146967e-06,1.165688e-06,1.174143e-06,1.199139e-06,1.222038e-06,1.228937e-06,1.242927e-06,1.255283e-06,1.261896e-06,1.278385e-06,1.279037e-06,1.294441e-06,1.298455e-06,1.308197e-06,1.315698e-06,1.320396e-06,1.330318e-06,1.331125e-06,1.340467e-06,1.342512e-06,1.348505e-06,1.352466e-06,1.355318e-06,1.360360e-06,1.360981e-06,1.365568e-06,1.366362e-06,1.369147e-06,1.370632e-06,1.371785e-06,1.373320e-06,1.373545e-06,1.374487e-06,1.374566e-06,1.374669e-06,1.374501e-06,1.374143e-06,1.373248e-06,1.372962e-06,1.371173e-06,1.370920e-06,1.368823e-06,1.367622e-06,1.365955e-06,1.363453e-06,1.362609e-06,1.358824e-06,1.358504e-06,1.354637e-06,1.352857e-06,1.350082e-06,1.346592e-06,1.345190e-06,1.339993e-06,1.339779e-06,1.334518e-06,1.332485e-06,1.328793e-06,1.324769e-06,1.322842e-06,1.316688e-06,1.310355e-06,1.308294e-06,1.303862e-06,1.299632e-06,1.297229e-06,1.290746e-06,1.290474e-06,1.283614e-06,1.281676e-06,1.276664e-06,1.272457e-06,1.269639e-06,1.263123e-06,1.262554e-06,1.255420e-06,1.253702e-06,1.248250e-06,1.244223e-06,1.241054e-06,1.234709e-06,1.233844e-06,1.226627e-06,1.225184e-06,1.219414e-06,1.215667e-06,1.212212e-06,1.206177e-06,1.205029e-06,1.197872e-06,1.196730e-06,1.190747e-06,1.187340e-06,1.183660e-06,1.178021e-06,1.176616e-06,1.169621e-06,1.168785e-06,1.162678e-06,1.159642e-06,1.155793e-06,1.150600e-06,1.148968e-06,1.142207e-06,1.141669e-06,1.135513e-06,1.132855e-06,1.128889e-06,1.124164e-06,1.122337e-06,1.115859e-06,1.115601e-06,1.109457e-06,1.107172e-06,1.103134e-06,1.098879e-06,1.096890e-06,1.090727e-06,1.082716e-06,1.074850e-06,1.067130e-06,1.059557e-06,1.052131e-06,1.044853e-06,1.037722e-06,1.030739e-06,1.023902e-06,1.017211e-06,1.010665e-06,1.004262e-06,9.980013e-07,9.918807e-07,9.858987e-07,9.800533e-07,9.743428e-07,9.687649e-07,9.633177e-07,9.579990e-07,9.528065e-07,9.477380e-07,9.427911e-07,9.379637e-07
0.000000e+00,7.876022e-11,4.058366e-10,4.066384e-09,1.689495e-08,3.148859e-08,1.134563e-07,1.186422e-07,3.116671e-07,3.919203e-07,6.657224e-07,9.831080e-07,1.248844e-06,2.058644e-06,2.143844e-06,3.438856e-06,3.817466e-06,5.199803e-06,6.396822e-06,7.439679e-06,9.773680e-06,1.011549e-05,1.315453e-05,1.379922e-05,1.648253e-05,1.830599e-05,2.003697e-05,2.316105e-05,2.376819e-05,2.763613e-05,2.826536e-05,3.160686e-05,3.354040e-05,3.565036e-05,3.891911e-05,3.973931e-05,4.384882e-05,4.434224e-05,4.795617e-05,4.975735e-05,5.204086e-05,5.511886e-05,5.608482e-05,6.007233e-05,6.038847e-05,6.399000e-05,6.553494e-05,6.782668e-05,7.053374e-05,7.157323e-05,7.522234e-05,7.536619e-05,7.876839e-05,8.001889e-05,8.220720e-05,8.448279e-05,8.553584e-05,8.875245e-05,9.185606e-05,9.282530e-05,9.484648e-05,9.670110e-05,9.772410e-05,1.003814e-04,1.004899e-04,1.031451e-04,1.038690e-04,1.056915e-04,1.071678e-04,1.081309e-04,1.102826e-04,1.104655e-04,1.126976e-04,1.132184e-04,1.148297e-04,1.159808e-04,1.168641e-04,1.185757e-04,1.188035e-04,1.206505e-04,1.210090e-04,1.224077e-04,1.232868e-04,1.240777e-04,1.254150e-04,1.256631e-04,1.271666e-04,1.273997e-04,1.285907e-04,1.292468e-04,1.299380e-04,1.309622e-04,1.312110e-04,1.324121e-04,1.325515e-04,1.335438e-04,1.340204e-04,1.346085e-04,1.353742e-04,1.356084e-04,1.365460e-04,1.366184e-04,1.374233e-04,1.377579e-04,1.382427e-04,1.387978e-04,1.390061e-04,1.397157e-04,1.397430e-04,1.403734e-04,1.405979e-04,1.409814e-04,1.413672e-04,1.415413e-04,1.420552e-04,1.425247e-04,1.426659e-04,1.429517e-04,1.432034e-04,1.433378e-04,1.436715e-04,1.436847e-04,1.439939e-04,1.440740e-04,1.442671e-04,1.444143e-04,1.445057e-04,1.446959e-04,1.447111e-04,1.448848e-04,1.449220e-04,1.450282e-04,1.450957e-04,1.451424e-04,1.452200e-04,1.452289e-04,1.452888e-04,1.452977e-04,1.453234e-04,1.453317e-04,1.453337e-04,1.453244e-04,1.453208e-04,1.452860e-04,1.452784e-04,1.452301e-04,1.451961e-04,1.451542e-04,1.450797e-04,1.450592e-04,1.449461e-04,1.449314e-04,1.448158e-04,1.447532e-04,1.446691e-04,1.445471e-04,1.445068e-04,1.443298e-04,1.443151e-04,1.441389e-04,1.440588e-04,1.439347e-04,1.437799e-04,1.437180e-04,1.434895e-04,1.434802e-04,1.432499e-04,1.431610e-04,1.429997e-04,1.428239e-04,1.427397e-04,1.424703e-04,1.421015e-04,1.417186e-04,1.413230e-04,1.409157e-04,1.404978e-04,1.400704e-04,1.396342e-04,1.391904e-04,1.387396e-04,1.382829e-04,1.378207e-04,1.373541e-04,1.368835e-04,1.364096e-04,1.359332e-04,1.354546e-04,1.349745e-04,1.344934e-04,1.340117e-04,1.335299e-04,1.330484e-04,1.325676e-04,1.320879e-04,1.316096e-04
0.000000e+00,1.080648e-10,2.948750e-10,1.215356e-09,2.999569e-09,4.506470e-09,1.074257e-08,1.108211e-08,2.202083e-08,2.601689e-08,3.845044e-08,5.145059e-08,6.159989e-08,8.995776e-08,9.277753e-08,1.331711e-07,1.443251e-07,1.833997e-07,2.157227e-07,2.430758e-07,3.023777e-07,3.108899e-07,3.851688e-07,4.006577e-07,4.643414e-07,5.069979e-07,5.470898e-07,6.185581e-07,6.323225e-07,7.191105e-07,7.330850e-07,8.066361e-07,8.486918e-07,8.941641e-07,9.637390e-07,9.810294e-07,1.066633e-06,1.076795e-06,1.150443e-06,1.186629e-06,1.231997e-06,1.292223e-06,1.310900e-06,1.386830e-06,1.392768e-06,1.459529e-06,1.487659e-06,1.528805e-06,1.576486e-06,1.594522e-06,1.656598e-06,1.659005e-06,1.714997e-06,1.735120e-06,1.769724e-06,1.804859e-06,1.820817e-06,1.868343e-06,1.912391e-06,1.925769e-06,1.953069e-06,1.977390e-06,1.990498e-06,2.023495e-06,2.024809e-06,2.056138e-06,2.064396e-06,2.084628e-06,2.100419e-06,2.110422e-06,2.131893e-06,2.133662e-06,2.154490e-06,2.159145e-06,2.173045e-06,2.182493e-06,2.189462e-06,2.202244e-06,2.203872e-06,2.216401e-06,2.218692e-06,2.227171e-06,2.232115e-06,2.236298e-06,2.242775e-06,2.243891e-06,2.250056e-06,2.250917e-06,2.254893e-06,2.256771e-06,2.258496e-06,2.260550e-06,2.260954e-06,2.262351e-06,2.262451e-06,2.262767e-06,2.262658e-06,2.262276e-06,2.261341e-06,2.260950e-06,2.258853e-06,2.258654e-06,2.256048e-06,2.254741e-06,2.252593e-06,2.249733e-06,2.248542e-06,2.243947e-06,2.243752e-06,2.238855e-06,2.236909e-06,2.233311e-06,2.229305e-06,2.227357e-06,2.221032e-06,2.214372e-06,2.212175e-06,2.207411e-06,2.202813e-06,2.200181e-06,2.193015e-06,2.192712e-06,2.185031e-06,2.182846e-06,2.177164e-06,2.172365e-06,2.169135e-06,2.161624e-06,2.160966e-06,2.152677e-06,2.150672e-06,2.144288e-06,2.139553e-06,2.135816e-06,2.128306e-06,2.127279e-06,2.118691e-06,2.116968e-06,2.110066e-06,2.105571e-06,2.101418e-06,2.094144e-06,2.092759e-06,2.084099e-06,2.082714e-06,2.075450e-06,2.071304e-06,2.066820e-06,2.059936e-06,2.058218e-06,2.049653e-06,2.048628e-06,2.041132e-06,2.037398e-06,2.032661e-06,2.026260e-06,2.024246e-06,2.015894e-06,2.015229e-06,2.007609e-06,2.004314e-06,1.999395e-06,1.993528e-06,1.991258e-06,1.983200e-06,1.982879e-06,1.975225e-06,1.972375e-06,1.967336e-06,1.962023e-06,1.959537e-06,1.951828e-06,1.941796e-06,1.931930e-06,1.922234e-06,1.912711e-06,1.903362e-06,1.894189e-06,1.885194e-06,1.876375e-06,1.867735e-06,1.859272e-06,1.850986e-06,1.842876e-06,1.834941e-06,1.827179e-06,1.819589e-06,1.812170e-06,1.804919e-06,1.797834e-06,1.790913e-06,1.784154e-06,1.777554e-06,1.771111e-06,1.764823e-06,1.758686e-06
0.000000e+00,5.298674e-11,2.471217e-10,2.078159e-09,7.615642e-09,1.341369e-08,4.325647e-08,4.507355e-08,1.107972e-07,1.376614e-07,2.290339e-07,3.353154e-07,4.247233e-07,6.975143e-07,7.260664e-07,1.150809e-06,1.270840e-06,1.691611e-06,2.035396e-06,2.321645e-06,2.927091e-06,3.012421e-06,3.743009e-06,3.892606e-06,4.499715e-06,4.900313e-06,5.273183e-06,5.930559e-06,6.056229e-06,6.842706e-06,6.968481e-06,7.627029e-06,8.001211e-06,8.404056e-06,9.017263e-06,9.169107e-06,9.918000e-06,1.000660e-05,1.064710e-05,1.096083e-05,1.135339e-05,1.187338e-05,1.203442e-05,1.268834e-05,1.273944e-05,1.331387e-05,1.355593e-05,1.391018e-05,1.432112e-05,1.447676e-05,1.501349e-05,1.503434e-05,1.552055e-05,1.569592e-05,1.599842e-05,1.630701e-05,1.644772e-05,1.686922e-05,1.726381e-05,1.738455e-05,1.763244e-05,1.785522e-05,1.797614e-05,1.828358e-05,1.829592e-05,1.859286e-05,1.867204e-05,1.886798e-05,1.902302e-05,1.912234e-05,1.933888e-05,1.935695e-05,1.957280e-05,1.962192e-05,1.977085e-05,1.987433e-05,1.995203e-05,2.009823e-05,2.011724e-05,2.026734e-05,2.029562e-05,2.040315e-05,2.046838e-05,2.052546e-05,2.061831e-05,2.063502e-05,2.073254e-05,2.074708e-05,2.081872e-05,2.085624e-05,2.089419e-05,2.094728e-05,2.095959e-05,2.101548e-05,2.102158e-05,2.106243e-05,2.108040e-05,2.110097e-05,2.112495e-05,2.113160e-05,2.115480e-05,2.115634e-05,2.117100e-05,2.117562e-05,2.118065e-05,2.118376e-05,2.118414e-05,2.118185e-05,2.118164e-05,2.117415e-05,2.117012e-05,2.116138e-05,2.114996e-05,2.114386e-05,2.112190e-05,2.109579e-05,2.108660e-05,2.106580e-05,2.104470e-05,2.103220e-05,2.099676e-05,2.099522e-05,2.095510e-05,2.094334e-05,2.091206e-05,2.088492e-05,2.086631e-05,2.082199e-05,2.081804e-05,2.076743e-05,2.075495e-05,2.071466e-05,2.068422e-05,2.065989e-05,2.061017e-05,2.060328e-05,2.054499e-05,2.053314e-05,2.048513e-05,2.045344e-05,2.042386e-05,2.037138e-05,2.036129e-05,2.029753e-05,2.028723e-05,2.023270e-05,2.020124e-05,2.016691e-05,2.011364e-05,2.010024e-05,2.003280e-05,2.002466e-05,1.996467e-05,1.993449e-05,1.989593e-05,1.984333e-05,1.982666e-05,1.975694e-05,1.975134e-05,1.968682e-05,1.965868e-05,1.961639e-05,1.956551e-05,1.954569e-05,1.947479e-05,1.947195e-05,1.940374e-05,1.937814e-05,1.933259e-05,1.928418e-05,1.926140e-05,1.919019e-05,1.909627e-05,1.900250e-05,1.890896e-05,1.881575e-05,1.872291e-05,1.863053e-05,1.853866e-05,1.844735e-05,1.835665e-05,1.826661e-05,1.817726e-05,1.808865e-05,1.800081e-05,1.791376e-05,1.782754e-05,1.774216e-05,1.765766e-05,1.757405e-05,1.749134e-05,1.740955e-05,1.732870e-05,1.724879e-05,1.716983e-05,1.709184e-05
0.000000e+00,1.029907e-12,6.666146e-12,1.042174e-10,6.281385e-10,1.416640e-09,7.995325e-09,8.503634e-09,3.274870e-08,4.524039e-08,9.559983e-08,1.654736e-07,2.312692e-07,4.624102e-07,4.889580e-07,9.346653e-07,1.078537e-06,1.651973e-06,2.208803e-06,2.740116e-06,4.090364e-06,4.307313e-06,6.459138e-06,6.967938e-06,9.284704e-06,1.104182e-05,1.284487e-05,1.642308e-05,1.716548e-05,2.223638e-05,2.311492e-05,2.801513e-05,3.102109e-05,3.443347e-05,3.997104e-05,4.140506e-05,4.883282e-05,4.975000e-05,5.661528e-05,6.012583e-05,6.465164e-05,7.086954e-05,7.284551e-05,8.110740e-05,8.176880e-05,8.935627e-05,9.263579e-05,9.752037e-05,1.033107e-04,1.055374e-04,1.133546e-04,1.136625e-04,1.209280e-04,1.235877e-04,1.282222e-04,1.330082e-04,1.352093e-04,1.418688e-04,1.481860e-04,1.501336e-04,1.541520e-04,1.577838e-04,1.597625e-04,1.648141e-04,1.650175e-04,1.699201e-04,1.712305e-04,1.744765e-04,1.770475e-04,1.786950e-04,1.822863e-04,1.825858e-04,1.861605e-04,1.869728e-04,1.894317e-04,1.911358e-04,1.924125e-04,1.948063e-04,1.951167e-04,1.975581e-04,1.980161e-04,1.997506e-04,2.007970e-04,2.017080e-04,2.031805e-04,2.034438e-04,2.049712e-04,2.051971e-04,2.063028e-04,2.068761e-04,2.074510e-04,2.082453e-04,2.084274e-04,2.092435e-04,2.093311e-04,2.099098e-04,2.101582e-04,2.104366e-04,2.107495e-04,2.108334e-04,2.111096e-04,2.111267e-04,2.112735e-04,2.113096e-04,2.113335e-04,2.113166e-04,2.112971e-04,2.111715e-04,2.111647e-04,2.109635e-04,2.108697e-04,2.106794e-04,2.104458e-04,2.103252e-04,2.099065e-04,2.094285e-04,2.092638e-04,2.088960e-04,2.085288e-04,2.083138e-04,2.077119e-04,2.076859e-04,2.070166e-04,2.068222e-04,2.063094e-04,2.058685e-04,2.055680e-04,2.048584e-04,2.047955e-04,2.039950e-04,2.037991e-04,2.031694e-04,2.026971e-04,2.023213e-04,2.015584e-04,2.014532e-04,2.005674e-04,2.003883e-04,1.996660e-04,1.991918e-04,1.987511e-04,1.979734e-04,1.978244e-04,1.968879e-04,1.967372e-04,1.959429e-04,1.954868e-04,1.949911e-04,1.942257e-04,1.940339e-04,1.930725e-04,1.929569e-04,1.921081e-04,1.916831e-04,1.911419e-04,1.904070e-04,1.901748e-04,1.892080e-04,1.891306e-04,1.882421e-04,1.878562e-04,1.872780e-04,1.865855e-04,1.863166e-04,1.853585e-04,1.853202e-04,1.844043e-04,1.840618e-04,1.834546e-04,1.828116e-04,1.825100e-04,1.815709e-04,1.803407e-04,1.791218e-04,1.779153e-04,1.767218e-04,1.755420e-04,1.743763e-04,1.732254e-04,1.720897e-04,1.709694e-04,1.698650e-04,1.687766e-04,1.677044e-04,1.666487e-04,1.656094e-04,1.645868e-04,1.635807e-04,1.625913e-04,1.616186e-04,1.606625e-04,1.597229e-04,1.587997e-04,1.578929e-04,1.570024e-04,1.561280e-04
0.000000e+00,6.717796e-12,3.837549e-11,4.668515e-10,2.262017e-09,4.545663e-09,1.934379e-08,2.034876e-08,6.070795e-08,7.858482e-08,1.422211e-07,2.190776e-07,2.849051e-07,4.895643e-07,5.112829e-07,8.424241e-07,9.392344e-07,1.292197e-06,1.597838e-06,1.864914e-06,2.468408e-06,2.557684e-06,3.364181e-06,3.538492e-06,4.277162e-06,4.791581e-06,5.289359e-06,6.210926e-06,6.393442e-06,7.581680e-06,7.779058e-06,8.845709e-06,9.476729e-06,1.017647e-05,1.128263e-05,1.156427e-05,1.299902e-05,1.317386e-05,1.447045e-05,1.512686e-05,1.596836e-05,1.711841e-05,1.748291e-05,1.900476e-05,1.912656e-05,2.052526e-05,2.113129e-05,2.203656e-05,2.311503e-05,2.353165e-05,2.500444e-05,2.506282e-05,2.644972e-05,2.696242e-05,2.786312e-05,2.880415e-05,2.924104e-05,3.058064e-05,3.187973e-05,3.228660e-05,3.313668e-05,3.391849e-05,3.435040e-05,3.547427e-05,3.552022e-05,3.664586e-05,3.695312e-05,3.772734e-05,3.835514e-05,3.876493e-05,3.968116e-05,3.975911e-05,4.071055e-05,4.093263e-05,4.162006e-05,4.211140e-05,4.248855e-05,4.321969e-05,4.331703e-05,4.410657e-05,4.425991e-05,4.485828e-05,4.523459e-05,4.557329e-05,4.614638e-05,4.625276e-05,4.689784e-05,4.699794e-05,4.750972e-05,4.779196e-05,4.808953e-05,4.853105e-05,4.863841e-05,4.915749e-05,4.921783e-05,4.964786e-05,4.985481e-05,5.011060e-05,5.044446e-05,5.054677e-05,5.095738e-05,5.098916e-05,5.134344e-05,5.149120e-05,5.170591e-05,5.195280e-05,5.204572e-05,5.236380e-05,5.237608e-05,5.266101e-05,5.276306e-05,5.293821e-05,5.311570e-05,5.319622e-05,5.343584e-05,5.365783e-05,5.372527e-05,5.386294e-05,5.398567e-05,5.405187e-05,5.421866e-05,5.422531e-05,5.438393e-05,5.442578e-05,5.452837e-05,5.460847e-05,5.465923e-05,5.476814e-05,5.477710e-05,5.488257e-05,5.490610e-05,5.497617e-05,5.502360e-05,5.505843e-05,5.512184e-05,5.512985e-05,5.519093e-05,5.520194e-05,5.524213e-05,5.526499e-05,5.528389e-05,5.531200e-05,5.531665e-05,5.534083e-05,5.534393e-05,5.535682e-05,5.536170e-05,5.536500e-05,5.536618e-05,5.536575e-05,5.535940e-05,5.535818e-05,5.534632e-05,5.533850e-05,5.532680e-05,5.530787e-05,5.530118e-05,5.526975e-05,5.526699e-05,5.523279e-05,5.521652e-05,5.519058e-05,5.515709e-05,5.514339e-05,5.509146e-05,5.508929e-05,5.503505e-05,5.501369e-05,5.497439e-05,5.493082e-05,5.490969e-05,5.484118e-05,5.474526e-05,5.464349e-05,5.453631e-05,5.442412e-05,5.430731e-05,5.418623e-05,5.406123e-05,5.393262e-05,5.380072e-05,5.366582e-05,5.352817e-05,5.338805e-05,5.324570e-05,5.310134e-05,5.295519e-05,5.280745e-05,5.265833e-05,5.250799e-05,5.235662e-05,5.220438e-05,5.205141e-05,5.189786e-05,5.174386e-05,5.158956e-05
0.000000e+00,2.761869e-12,1.702679e-11,2.408344e-10,1.326295e-09,2.847749e-09,1.417422e-08,1.499906e-08,5.108192e-08,6.826702e-08,1.327954e-07,2.150634e-07,2.878779e-07,5.229522e-07,5.485004e-07,9.498516e-07,1.071189e-06,1.528617e-06,1.943631e-06,2.320330e-06,3.217195e-06,3.354931e-06,4.651669e-06,4.943194e-06,6.215810e-06,7.132427e-06,8.038579e-06,9.755034e-06,1.009976e-05,1.237146e-05,1.275235e-05,1.482156e-05,1.605110e-05,1.741638e-05,1.957387e-05,2.012239e-05,2.290714e-05,2.324512e-05,2.573987e-05,2.699396e-05,2.859176e-05,3.075557e-05,3.143622e-05,3.424906e-05,3.447206e-05,3.700863e-05,3.809320e-05,3.969594e-05,4.157684e-05,4.229475e-05,4.479157e-05,4.488916e-05,4.717558e-05,4.800454e-05,4.943852e-05,5.090509e-05,5.157454e-05,5.357994e-05,5.545300e-05,5.602437e-05,5.719365e-05,5.823877e-05,5.880328e-05,6.022767e-05,6.028449e-05,6.164083e-05,6.199881e-05,6.287663e-05,6.356226e-05,6.399676e-05,6.492968e-05,6.500653e-05,6.591151e-05,6.611374e-05,6.671740e-05,6.712758e-05,6.742998e-05,6.798442e-05,6.805498e-05,6.859802e-05,6.869728e-05,6.906459e-05,6.927875e-05,6.945998e-05,6.974084e-05,6.978929e-05,7.005736e-05,7.009488e-05,7.026880e-05,7.035146e-05,7.042796e-05,7.052043e-05,7.053896e-05,7.060567e-05,7.061087e-05,7.063171e-05,7.063117e-05,7.062048e-05,7.058897e-05,7.057514e-05,7.049864e-05,7.049126e-05,7.039375e-05,7.034441e-05,7.026300e-05,7.015421e-05,7.010879e-05,6.993331e-05,6.992588e-05,6.973861e-05,6.966418e-05,6.952658e-05,6.937340e-05,6.929897e-05,6.905740e-05,6.880337e-05,6.871968e-05,6.853827e-05,6.836338e-05,6.826337e-05,6.799135e-05,6.797985e-05,6.768881e-05,6.760611e-05,6.739124e-05,6.720996e-05,6.708808e-05,6.680495e-05,6.678016e-05,6.646828e-05,6.639292e-05,6.615316e-05,6.597552e-05,6.583545e-05,6.555423e-05,6.551578e-05,6.519470e-05,6.513036e-05,6.487272e-05,6.470509e-05,6.455031e-05,6.427947e-05,6.422790e-05,6.390589e-05,6.385443e-05,6.358463e-05,6.343080e-05,6.326446e-05,6.300930e-05,6.294567e-05,6.262853e-05,6.259059e-05,6.231328e-05,6.217524e-05,6.200017e-05,6.176374e-05,6.168938e-05,6.138109e-05,6.135655e-05,6.107548e-05,6.095402e-05,6.077270e-05,6.055651e-05,6.047286e-05,6.017609e-05,6.016428e-05,5.988249e-05,5.977759e-05,5.959216e-05,5.939664e-05,5.930517e-05,5.902159e-05,5.865260e-05,5.828977e-05,5.793319e-05,5.758293e-05,5.723904e-05,5.690153e-05,5.657044e-05,5.624575e-05,5.592745e-05,5.561552e-05,5.530992e-05,5.501061e-05,5.471753e-05,5.443063e-05,5.414984e-05,5.387509e-05,5.360630e-05,5.334340e-05,5.308629e-05,5.283490e-05,5.258913e-05,5.234890e-05,5.211412e-05,5.188468e-05
0.000000e+00,2.454441e-10,6.772736e-10,2.824484e-09,7.008789e-09,1.055093e-08,2.524032e-08,2.604094e-08,5.185056e-08,6.128205e-08,9.061695e-08,1.212506e-07,1.451285e-07,2.116459e-07,2.182447e-07,3.125581e-07,3.385619e-07,4.297029e-07,5.052866e-07,5.694406e-07,7.090623e-07,7.291434e-07,9.043461e-07,9.408019e-07,1.090052e-06,1.189252e-06,1.281793e-06,1.444881e-06,1.475998e-06,1.669927e-06,1.700783e-06,1.861488e-06,1.952104e-06,2.049057e-06,2.195378e-06,2.231369e-06,2.407442e-06,2.428113e-06,2.576521e-06,2.648551e-06,2.738051e-06,2.855521e-06,2.891644e-06,3.037054e-06,3.048329e-06,3.174161e-06,3.226671e-06,3.302945e-06,3.390548e-06,3.423469e-06,3.535868e-06,3.540197e-06,3.640327e-06,3.676032e-06,3.737075e-06,3.798591e-06,3.826371e-06,3.908497e-06,3.983747e-06,4.006425e-06,4.052428e-06,4.093077e-06,4.114846e-06,4.169164e-06,4.171312e-06,4.222130e-06,4.235388e-06,4.267602e-06,4.292441e-06,4.308020e-06,4.340987e-06,4.343670e-06,4.374829e-06,4.381668e-06,4.401761e-06,4.415093e-06,4.424723e-06,4.441840e-06,4.443960e-06,4.459707e-06,4.462458e-06,4.472188e-06,4.477459e-06,4.481617e-06,4.487328e-06,4.488197e-06,4.492122e-06,4.492516e-06,4.493576e-06,4.493448e-06,4.492733e-06,4.490517e-06,4.489759e-06,4.484810e-06,4.484091e-06,4.478035e-06,4.474511e-06,4.469573e-06,4.462095e-06,4.459556e-06,4.448110e-06,4.447136e-06,4.435352e-06,4.429907e-06,4.421394e-06,4.410660e-06,4.406340e-06,4.390288e-06,4.389627e-06,4.373332e-06,4.367023e-06,4.355557e-06,4.343045e-06,4.337046e-06,4.317875e-06,4.298117e-06,4.291681e-06,4.277838e-06,4.264616e-06,4.257102e-06,4.236820e-06,4.235968e-06,4.214491e-06,4.208423e-06,4.192723e-06,4.179542e-06,4.170712e-06,4.150285e-06,4.148502e-06,4.126135e-06,4.120748e-06,4.103651e-06,4.091022e-06,4.081085e-06,4.061187e-06,4.058472e-06,4.035841e-06,4.031316e-06,4.013223e-06,4.001475e-06,3.990642e-06,3.971723e-06,3.968126e-06,3.945694e-06,3.942115e-06,3.923370e-06,3.912698e-06,3.901171e-06,3.883515e-06,3.879116e-06,3.857221e-06,3.854605e-06,3.835499e-06,3.826000e-06,3.813965e-06,3.797732e-06,3.792631e-06,3.771507e-06,3.769826e-06,3.750603e-06,3.742305e-06,3.729928e-06,3.715189e-06,3.709491e-06,3.689297e-06,3.688494e-06,3.669353e-06,3.662236e-06,3.649665e-06,3.636425e-06,3.630237e-06,3.611073e-06,3.586185e-06,3.561770e-06,3.537830e-06,3.514369e-06,3.491389e-06,3.468889e-06,3.446870e-06,3.425329e-06,3.404265e-06,3.383673e-06,3.363549e-06,3.343890e-06,3.324690e-06,3.305942e-06,3.287642e-06,3.269783e-06,3.252357e-06,3.235358e-06,3.218778e-06,3.202611e-06,3.186848e-06,3.171482e-06,3.156504e-06,3.141908e-06
0.000000e+00,3.289424e-13,2.240233e-12,3.896397e-11,2.591445e-10,6.172377e-10,4.018019e-09,4.298568e-09,1.911881e-08,2.747547e-08,6.415629e-08,1.204526e-07,1.775467e-07,3.999660e-07,4.272483e-07,9.245653e-07,1.098195e-06,1.839356e-06,2.621135e-06,3.414348e-06,5.603232e-06,5.975516e-06,9.936568e-06,1.093929e-05,1.579713e-05,1.978441e-05,2.413533e-05,3.352419e-05,3.559590e-05,5.087513e-05,5.372268e-05,7.070375e-05,8.205666e-05,9.582880e-05,1.202434e-04,1.269953e-04,1.649283e-04,1.699681e-04,2.103162e-04,2.328148e-04,2.637953e-04,3.102046e-04,3.259361e-04,3.972320e-04,4.033439e-04,4.780892e-04,5.131825e-04,5.688202e-04,6.403842e-04,6.696385e-04,7.806558e-04,7.853091e-04,9.018817e-04,9.480074e-04,1.033224e-03,1.128223e-03,1.174494e-03,1.325408e-03,1.485596e-03,1.538744e-03,1.654608e-03,1.767167e-03,1.831919e-03,2.009403e-03,2.016945e-03,2.209042e-03,2.264004e-03,2.407525e-03,2.529381e-03,2.611671e-03,2.803841e-03,2.820728e-03,3.033930e-03,3.085628e-03,3.250496e-03,3.372953e-03,3.469649e-03,3.664026e-03,3.690612e-03,3.912624e-03,3.957086e-03,4.134941e-03,4.250426e-03,4.356842e-03,4.542411e-03,4.577636e-03,4.796664e-03,4.831502e-03,5.013301e-03,5.116265e-03,5.226963e-03,5.395382e-03,5.437104e-03,5.643221e-03,5.667662e-03,5.844854e-03,5.932043e-03,6.041586e-03,6.187593e-03,6.233043e-03,6.418894e-03,6.433511e-03,6.598850e-03,6.669124e-03,6.772662e-03,6.893885e-03,6.940123e-03,7.101061e-03,7.107361e-03,7.255343e-03,7.309235e-03,7.402869e-03,7.499293e-03,7.543573e-03,7.677418e-03,7.804396e-03,7.843581e-03,7.924526e-03,7.997834e-03,8.037850e-03,8.140299e-03,8.144434e-03,8.244361e-03,8.271162e-03,8.337736e-03,8.390665e-03,8.424678e-03,8.499096e-03,8.505319e-03,8.579807e-03,8.596785e-03,8.648297e-03,8.684094e-03,8.710956e-03,8.761411e-03,8.767958e-03,8.819482e-03,8.829145e-03,8.865713e-03,8.887725e-03,8.906841e-03,8.937584e-03,8.943057e-03,8.974553e-03,8.979167e-03,9.001524e-03,9.012919e-03,9.024162e-03,9.039283e-03,9.042661e-03,9.057211e-03,9.058700e-03,9.068000e-03,9.071604e-03,9.075214e-03,9.078418e-03,9.079036e-03,9.079643e-03,9.079558e-03,9.077211e-03,9.075425e-03,9.071909e-03,9.066408e-03,9.063903e-03,9.053352e-03,9.052880e-03,9.040414e-03,9.035201e-03,9.025238e-03,9.013714e-03,9.007969e-03,8.988747e-03,8.960611e-03,8.929601e-03,8.895997e-03,8.860062e-03,8.822045e-03,8.782178e-03,8.740680e-03,8.697756e-03,8.653595e-03,8.608376e-03,8.562263e-03,8.515409e-03,8.467956e-03,8.420035e-03,8.371766e-03,8.323260e-03,8.274619e-03,8.225937e-03,8.177299e-03,8.128783e-03,8.080460e-03,8.032393e-03,7.984641e-03,7.937255e-03
0.000000e+00,1.088308e-12,6.862115e-12,1.016516e-10,5.835927e-10,1.281783e-09,6.761310e-09,7.171607e-09,2.586221e-08,3.510405e-08,7.101214e-08,1.187298e-07,1.622907e-07,3.091036e-07,3.255252e-07,5.926792e-07,6.763214e-07,1.001105e-06,1.306499e-06,1.590903e-06,2.290138e-06,2.399866e-06,3.457365e-06,3.700384e-06,4.779720e-06,5.573136e-06,6.368617e-06,7.901106e-06,8.212449e-06,1.028943e-05,1.064155e-05,1.257117e-05,1.372987e-05,1.502588e-05,1.709214e-05,1.762077e-05,2.032372e-05,2.065387e-05,2.310429e-05,2.434496e-05,2.593423e-05,2.810208e-05,2.878781e-05,3.164186e-05,3.186958e-05,3.447582e-05,3.559966e-05,3.727166e-05,3.925226e-05,4.001386e-05,4.268926e-05,4.279473e-05,4.528697e-05,4.620136e-05,4.779818e-05,4.945283e-05,5.021606e-05,5.253552e-05,5.475306e-05,5.544076e-05,5.686654e-05,5.816408e-05,5.887502e-05,6.070444e-05,6.077857e-05,6.257814e-05,6.306360e-05,6.427536e-05,6.524547e-05,6.587245e-05,6.725560e-05,6.737205e-05,6.877715e-05,6.910068e-05,7.009101e-05,7.078818e-05,7.131704e-05,7.232609e-05,7.245876e-05,7.351976e-05,7.372259e-05,7.450363e-05,7.498594e-05,7.541393e-05,7.612432e-05,7.625420e-05,7.702789e-05,7.714573e-05,7.773836e-05,7.805790e-05,7.838889e-05,7.886827e-05,7.898262e-05,7.952260e-05,7.958393e-05,8.001175e-05,8.021161e-05,8.045289e-05,8.075770e-05,8.084870e-05,8.120175e-05,8.122822e-05,8.151448e-05,8.162882e-05,8.178924e-05,8.196482e-05,8.202826e-05,8.223365e-05,8.224120e-05,8.240744e-05,8.246263e-05,8.255152e-05,8.263347e-05,8.266773e-05,8.275778e-05,8.282332e-05,8.283937e-05,8.286589e-05,8.288176e-05,8.288696e-05,8.288826e-05,8.288793e-05,8.287012e-05,8.286194e-05,8.283478e-05,8.280565e-05,8.278308e-05,8.272204e-05,8.271615e-05,8.263503e-05,8.261357e-05,8.254074e-05,8.248254e-05,8.243422e-05,8.233106e-05,8.231635e-05,8.218798e-05,8.216112e-05,8.204991e-05,8.197454e-05,8.190289e-05,8.177301e-05,8.174764e-05,8.158481e-05,8.155810e-05,8.141505e-05,8.133127e-05,8.123894e-05,8.109387e-05,8.105706e-05,8.086992e-05,8.084714e-05,8.067804e-05,8.059223e-05,8.048187e-05,8.033020e-05,8.028187e-05,8.007844e-05,8.006203e-05,7.987199e-05,7.978864e-05,7.966287e-05,7.951085e-05,7.945144e-05,7.923801e-05,7.922944e-05,7.902291e-05,7.894512e-05,7.880641e-05,7.865854e-05,7.858879e-05,7.837030e-05,7.808095e-05,7.779100e-05,7.750091e-05,7.721111e-05,7.692198e-05,7.663388e-05,7.634714e-05,7.606204e-05,7.577885e-05,7.549781e-05,7.521915e-05,7.494306e-05,7.466971e-05,7.439926e-05,7.413185e-05,7.386762e-05,7.360666e-05,7.334908e-05,7.309496e-05,7.284436e-05,7.259736e-05,7.235400e-05,7.211433e-05,7.187838e-05
0.000000e+00,7.184708e-12,3.669377e-11,3.611247e-10,1.476063e-09,2.725676e-09,9.565931e-09,9.991451e-09,2.541464e-08,3.163502e-08,5.220910e-08,7.505012e-08,9.351124e-08,1.469959e-07,1.524303e-07,2.319878e-07,2.544563e-07,3.347456e-07,4.029946e-07,4.620287e-07,5.938522e-07,6.131792e-07,7.856252e-07,8.223596e-07,9.757708e-07,1.080402e-06,1.179917e-06,1.359751e-06,1.394707e-06,1.617196e-06,1.653331e-06,1.844775e-06,1.955120e-06,2.075088e-06,2.259864e-06,2.305999e-06,2.535579e-06,2.562956e-06,2.762116e-06,2.860436e-06,2.984119e-06,3.149024e-06,3.200325e-06,3.409698e-06,3.426126e-06,3.611417e-06,3.689816e-06,3.804864e-06,3.938773e-06,3.989605e-06,4.165367e-06,4.172209e-06,4.332017e-06,4.389773e-06,4.489538e-06,4.591479e-06,4.638016e-06,4.777614e-06,4.908556e-06,4.948672e-06,5.031113e-06,5.105290e-06,5.145592e-06,5.248199e-06,5.252324e-06,5.351652e-06,5.378185e-06,5.443929e-06,5.496057e-06,5.529508e-06,5.602627e-06,5.608740e-06,5.681970e-06,5.698690e-06,5.749534e-06,5.785016e-06,5.811757e-06,5.862343e-06,5.868951e-06,5.921416e-06,5.931367e-06,5.969439e-06,5.992745e-06,6.013290e-06,6.047092e-06,6.053230e-06,6.089502e-06,6.094981e-06,6.122339e-06,6.136945e-06,6.151959e-06,6.173478e-06,6.178569e-06,6.202362e-06,6.205036e-06,6.223521e-06,6.232042e-06,6.242219e-06,6.254883e-06,6.258617e-06,6.272868e-06,6.273919e-06,6.285113e-06,6.289479e-06,6.295486e-06,6.301868e-06,6.304115e-06,6.311115e-06,6.311363e-06,6.316599e-06,6.318222e-06,6.320670e-06,6.322681e-06,6.323426e-06,6.324957e-06,6.325350e-06,6.325249e-06,6.324685e-06,6.323739e-06,6.323037e-06,6.320597e-06,6.320478e-06,6.317073e-06,6.315977e-06,6.312885e-06,6.310021e-06,6.307972e-06,6.302859e-06,6.302389e-06,6.296186e-06,6.294611e-06,6.289414e-06,6.285388e-06,6.282115e-06,6.275291e-06,6.274333e-06,6.266108e-06,6.264413e-06,6.257476e-06,6.252839e-06,6.248474e-06,6.240649e-06,6.239132e-06,6.229483e-06,6.227913e-06,6.219555e-06,6.214699e-06,6.209376e-06,6.201067e-06,6.198969e-06,6.188360e-06,6.187074e-06,6.177570e-06,6.172771e-06,6.166621e-06,6.158205e-06,6.155532e-06,6.144322e-06,6.143421e-06,6.133007e-06,6.128456e-06,6.121605e-06,6.113349e-06,6.110129e-06,6.098594e-06,6.098132e-06,6.087014e-06,6.082836e-06,6.075401e-06,6.067490e-06,6.063765e-06,6.052119e-06,6.036746e-06,6.021394e-06,6.006081e-06,5.990825e-06,5.975644e-06,5.960551e-06,5.945561e-06,5.930685e-06,5.915934e-06,5.901318e-06,5.886847e-06,5.872528e-06,5.858368e-06,5.844374e-06,5.830551e-06,5.816905e-06,5.803439e-06,5.790157e-06,5.777063e-06,5.764159e-06,5.751448e-06,5.738930e-06,5.726609e-06,5.714483e-06
0.000000e+00,1.665442e-12,1.020038e-11,1.423465e-10,7.743400e-10,1.651433e-09,8.077317e-09,8.541269e-09,2.858577e-08,3.802100e-08,7.307402e-08,1.171854e-07,1.558492e-07,2.789901e-07,2.922504e-07,4.982316e-07,5.597842e-07,7.894730e-07,9.951662e-07,1.180017e-06,1.614268e-06,1.680326e-06,2.295539e-06,2.432401e-06,3.024869e-06,3.447393e-06,3.862302e-06,4.642193e-06,4.798036e-06,5.819970e-06,5.990602e-06,6.914861e-06,7.462319e-06,8.069064e-06,9.025967e-06,9.268953e-06,1.050114e-05,1.065055e-05,1.175265e-05,1.230619e-05,1.301100e-05,1.396465e-05,1.426442e-05,1.550193e-05,1.559993e-05,1.671353e-05,1.718890e-05,1.789035e-05,1.871174e-05,1.902468e-05,2.011007e-05,2.015239e-05,2.114135e-05,2.149858e-05,2.211460e-05,2.274181e-05,2.302706e-05,2.387710e-05,2.466404e-05,2.490254e-05,2.538809e-05,2.581890e-05,2.605022e-05,2.662904e-05,2.665198e-05,2.719545e-05,2.733750e-05,2.768307e-05,2.794997e-05,2.811758e-05,2.847293e-05,2.850190e-05,2.883906e-05,2.891331e-05,2.913215e-05,2.927817e-05,2.938422e-05,2.957453e-05,2.959831e-05,2.977734e-05,2.980919e-05,2.992413e-05,2.998862e-05,3.004137e-05,3.011888e-05,3.013160e-05,3.019721e-05,3.020557e-05,3.024043e-05,3.025385e-05,3.026336e-05,3.026840e-05,3.026793e-05,3.025591e-05,3.025344e-05,3.022896e-05,3.021276e-05,3.018857e-05,3.014975e-05,3.013614e-05,3.007293e-05,3.006744e-05,3.000010e-05,2.996851e-05,2.991870e-05,2.985534e-05,2.982971e-05,2.973397e-05,2.973002e-05,2.963230e-05,2.959439e-05,2.952541e-05,2.945009e-05,2.941396e-05,2.929855e-05,2.917970e-05,2.914103e-05,2.905792e-05,2.897864e-05,2.893364e-05,2.881236e-05,2.880727e-05,2.867917e-05,2.864303e-05,2.854967e-05,2.847142e-05,2.841907e-05,2.829818e-05,2.828764e-05,2.815564e-05,2.812389e-05,2.802327e-05,2.794907e-05,2.789075e-05,2.777415e-05,2.775825e-05,2.762595e-05,2.759952e-05,2.749398e-05,2.742554e-05,2.736249e-05,2.725249e-05,2.723159e-05,2.710140e-05,2.708064e-05,2.697202e-05,2.691023e-05,2.684353e-05,2.674144e-05,2.671602e-05,2.658955e-05,2.657445e-05,2.646420e-05,2.640941e-05,2.634001e-05,2.624644e-05,2.621704e-05,2.609534e-05,2.608566e-05,2.597494e-05,2.592715e-05,2.585587e-05,2.577099e-05,2.573818e-05,2.562188e-05,2.561725e-05,2.550699e-05,2.546598e-05,2.539354e-05,2.531722e-05,2.528154e-05,2.517101e-05,2.502737e-05,2.488631e-05,2.474784e-05,2.461198e-05,2.447871e-05,2.434803e-05,2.421994e-05,2.409441e-05,2.397143e-05,2.385098e-05,2.373304e-05,2.361758e-05,2.350457e-05,2.339398e-05,2.328579e-05,2.317995e-05,2.307645e-05,2.297523e-05,2.287627e-05,2.277953e-05,2.268498e-05,2.259257e-05,2.250227e-05,2.241404e-05
0.000000e+00,3.005630e-13,1.943502e-12,3.030599e-11,1.820691e-10,4.097017e-10,2.294449e-09,2.439379e-09,9.286662e-09,1.277859e-08,2.668928e-08,4.566468e-08,6.326970e-08,1.236289e-07,1.304399e-07,2.419856e-07,2.770587e-07,4.134421e-07,5.417691e-07,6.613285e-07,9.558849e-07,1.002237e-06,1.451754e-06,1.555921e-06,2.023271e-06,2.372179e-06,2.726866e-06,3.424415e-06,3.568452e-06,4.549348e-06,4.719061e-06,5.666265e-06,6.248635e-06,6.911670e-06,7.993091e-06,8.274374e-06,9.740261e-06,9.922346e-06,1.129306e-05,1.199931e-05,1.291511e-05,1.418287e-05,1.458801e-05,1.629330e-05,1.643058e-05,1.801295e-05,1.870095e-05,1.972981e-05,2.095523e-05,2.142796e-05,2.309300e-05,2.315873e-05,2.471221e-05,2.528175e-05,2.627469e-05,2.730007e-05,2.777138e-05,2.919507e-05,3.054035e-05,3.095361e-05,3.180343e-05,3.256758e-05,3.298210e-05,3.403339e-05,3.407548e-05,3.508395e-05,3.535126e-05,3.600885e-05,3.652458e-05,3.685242e-05,3.755916e-05,3.761756e-05,3.830770e-05,3.846259e-05,3.892666e-05,3.924369e-05,3.947850e-05,3.991195e-05,3.996745e-05,4.039776e-05,4.047716e-05,4.077368e-05,4.094904e-05,4.109936e-05,4.133706e-05,4.137883e-05,4.161593e-05,4.165017e-05,4.181428e-05,4.189675e-05,4.197733e-05,4.208449e-05,4.210826e-05,4.221005e-05,4.222044e-05,4.228546e-05,4.231093e-05,4.233699e-05,4.236163e-05,4.236698e-05,4.237752e-05,4.237758e-05,4.237053e-05,4.236323e-05,4.234778e-05,4.232253e-05,4.231085e-05,4.226116e-05,4.225892e-05,4.220002e-05,4.217543e-05,4.212860e-05,4.207471e-05,4.204796e-05,4.195907e-05,4.186278e-05,4.183054e-05,4.175989e-05,4.169090e-05,4.165109e-05,4.154169e-05,4.153704e-05,4.141830e-05,4.138429e-05,4.129541e-05,4.121989e-05,4.116885e-05,4.104954e-05,4.103905e-05,4.090641e-05,4.087419e-05,4.077128e-05,4.069465e-05,4.063400e-05,4.051166e-05,4.049488e-05,4.035417e-05,4.032586e-05,4.021214e-05,4.013783e-05,4.006901e-05,3.994809e-05,3.992500e-05,3.978030e-05,3.975710e-05,3.963509e-05,3.956526e-05,3.948954e-05,3.937296e-05,3.934380e-05,3.919801e-05,3.918052e-05,3.905229e-05,3.898823e-05,3.890677e-05,3.879637e-05,3.876156e-05,3.861675e-05,3.860518e-05,3.847244e-05,3.841487e-05,3.832871e-05,3.822564e-05,3.818565e-05,3.804333e-05,3.803766e-05,3.790182e-05,3.785108e-05,3.776117e-05,3.766606e-05,3.762146e-05,3.748271e-05,3.730115e-05,3.712147e-05,3.694377e-05,3.676811e-05,3.659458e-05,3.642322e-05,3.625408e-05,3.608722e-05,3.592267e-05,3.576045e-05,3.560061e-05,3.544314e-05,3.528808e-05,3.513543e-05,3.498520e-05,3.483739e-05,3.469199e-05,3.454902e-05,3.440846e-05,3.427029e-05,3.413452e-05,3.400113e-05,3.387010e-05,3.374141e-05
0.000000e+00,2.640482e-12,1.626645e-11,2.296141e-10,1.261403e-09,2.704038e-09,1.338951e-08,1.416524e-08,4.791425e-08,6.389464e-08,1.235291e-07,1.989100e-07,2.651502e-07,4.765932e-07,4.993831e-07,8.534518e-07,9.592249e-07,1.353710e-06,1.706821e-06,2.024217e-06,2.771052e-06,2.884888e-06,3.948890e-06,4.186589e-06,5.219559e-06,5.959540e-06,6.687977e-06,8.058790e-06,8.332528e-06,1.012093e-05,1.041786e-05,1.201405e-05,1.294772e-05,1.397028e-05,1.555349e-05,1.594930e-05,1.791479e-05,1.814820e-05,1.983579e-05,2.066027e-05,2.168727e-05,2.303587e-05,2.344999e-05,2.510992e-05,2.523796e-05,2.665763e-05,2.724393e-05,2.808757e-05,2.904278e-05,2.939740e-05,3.058737e-05,3.063250e-05,3.165981e-05,3.201782e-05,3.261861e-05,3.320823e-05,3.346884e-05,3.421644e-05,3.486783e-05,3.505705e-05,3.542976e-05,3.574561e-05,3.590907e-05,3.629779e-05,3.631255e-05,3.664681e-05,3.672887e-05,3.691819e-05,3.705335e-05,3.713270e-05,3.728468e-05,3.729598e-05,3.741330e-05,3.743517e-05,3.748951e-05,3.751590e-05,3.752906e-05,3.753678e-05,3.753602e-05,3.751410e-05,3.750655e-05,3.746666e-05,3.743292e-05,3.739673e-05,3.732263e-05,3.730705e-05,3.720008e-05,3.718151e-05,3.707801e-05,3.701464e-05,3.694282e-05,3.682642e-05,3.679628e-05,3.663997e-05,3.662063e-05,3.647530e-05,3.640052e-05,3.630352e-05,3.616891e-05,3.612576e-05,3.594302e-05,3.592821e-05,3.575619e-05,3.568050e-05,3.556607e-05,3.542755e-05,3.537337e-05,3.517871e-05,3.517090e-05,3.498267e-05,3.491185e-05,3.478573e-05,3.465153e-05,3.458835e-05,3.439092e-05,3.419379e-05,3.413082e-05,3.399727e-05,3.387196e-05,3.380165e-05,3.361492e-05,3.360717e-05,3.341405e-05,3.336024e-05,3.322247e-05,3.310834e-05,3.303261e-05,3.285958e-05,3.284462e-05,3.265862e-05,3.261429e-05,3.247472e-05,3.237270e-05,3.229303e-05,3.213504e-05,3.211363e-05,3.193660e-05,3.190148e-05,3.176199e-05,3.167216e-05,3.158985e-05,3.144720e-05,3.142023e-05,3.125317e-05,3.122668e-05,3.108868e-05,3.101065e-05,3.092679e-05,3.079916e-05,3.076752e-05,3.061087e-05,3.059225e-05,3.045685e-05,3.038991e-05,3.030545e-05,3.019214e-05,3.015668e-05,3.001052e-05,2.999894e-05,2.986696e-05,2.981027e-05,2.972600e-05,2.962609e-05,2.958760e-05,2.945176e-05,2.944638e-05,2.931845e-05,2.927107e-05,2.918765e-05,2.910013e-05,2.905934e-05,2.893348e-05,2.877107e-05,2.861282e-05,2.845868e-05,2.830857e-05,2.816241e-05,2.802013e-05,2.788165e-05,2.774689e-05,2.761579e-05,2.748825e-05,2.736420e-05,2.724357e-05,2.712626e-05,2.701222e-05,2.690135e-05,2.679359e-05,2.668886e-05,2.658707e-05,2.648817e-05,2.639207e-05,2.629870e-05,2.620800e-05,2.611990e-05,2.603432e-05
0.000000e+00,7.058922e-12,1.614158e-11,5.536748e-11,1.259098e-10,1.838757e-10,4.205696e-10,4.334536e-10,8.530307e-10,1.008969e-09,1.502746e-09,2.028258e-09,2.440080e-09,3.569334e-09,3.678705e-09,5.174930e-09,5.565689e-09,6.871031e-09,7.891269e-09,8.723369e-09,1.045813e-08,1.070127e-08,1.278037e-08,1.320638e-08,1.493856e-08,1.608488e-08,1.715417e-08,1.904384e-08,1.940560e-08,2.167159e-08,2.203412e-08,2.393169e-08,2.500877e-08,2.616678e-08,2.792515e-08,2.835955e-08,3.049478e-08,3.074650e-08,3.255954e-08,3.344291e-08,3.454329e-08,3.599159e-08,3.643776e-08,3.823675e-08,3.837640e-08,3.993605e-08,4.058725e-08,4.153318e-08,4.261925e-08,4.302716e-08,4.441822e-08,4.447174e-08,4.570768e-08,4.614740e-08,4.689766e-08,4.765141e-08,4.799093e-08,4.899075e-08,4.990077e-08,5.017363e-08,5.072483e-08,5.120897e-08,5.146695e-08,5.210610e-08,5.213123e-08,5.272177e-08,5.287446e-08,5.324263e-08,5.352337e-08,5.369782e-08,5.406196e-08,5.409125e-08,5.442670e-08,5.449898e-08,5.470777e-08,5.484272e-08,5.493795e-08,5.510108e-08,5.512059e-08,5.525886e-08,5.528146e-08,5.535580e-08,5.539083e-08,5.541427e-08,5.543565e-08,5.543699e-08,5.542654e-08,5.542196e-08,5.538536e-08,5.535536e-08,5.531575e-08,5.524105e-08,5.521987e-08,5.509976e-08,5.508381e-08,5.495734e-08,5.488808e-08,5.479442e-08,5.465793e-08,5.461269e-08,5.441374e-08,5.439712e-08,5.419906e-08,5.410911e-08,5.397006e-08,5.379705e-08,5.372805e-08,5.347425e-08,5.346387e-08,5.320981e-08,5.311222e-08,5.293581e-08,5.274454e-08,5.265324e-08,5.236305e-08,5.206612e-08,5.196981e-08,5.176325e-08,5.156665e-08,5.145520e-08,5.115527e-08,5.114270e-08,5.082638e-08,5.073722e-08,5.050688e-08,5.031388e-08,5.018475e-08,4.988654e-08,4.986053e-08,4.953471e-08,4.945633e-08,4.920774e-08,4.902430e-08,4.888005e-08,4.859139e-08,4.855202e-08,4.822402e-08,4.815845e-08,4.789638e-08,4.772625e-08,4.756940e-08,4.729546e-08,4.724337e-08,4.691855e-08,4.686671e-08,4.659517e-08,4.644053e-08,4.627346e-08,4.601743e-08,4.595362e-08,4.563581e-08,4.559782e-08,4.532023e-08,4.518211e-08,4.500700e-08,4.477061e-08,4.469627e-08,4.438817e-08,4.436364e-08,4.408280e-08,4.396144e-08,4.378026e-08,4.356423e-08,4.348064e-08,4.318402e-08,4.317222e-08,4.289047e-08,4.278555e-08,4.260004e-08,4.240437e-08,4.231280e-08,4.202878e-08,4.165887e-08,4.129472e-08,4.093636e-08,4.058385e-08,4.023719e-08,3.989640e-08,3.956146e-08,3.923237e-08,3.890910e-08,3.859161e-08,3.827987e-08,3.797382e-08,3.767340e-08,3.737857e-08,3.708926e-08,3.680539e-08,3.652690e-08,3.625372e-08,3.598575e-08,3.572293e-08,3.546517e-08,3.521239e-08,3.496451e-08,3.472144e-08
0.000000e+00,8.308518e-12,1.901419e-11,6.529959e-11,1.485524e-10,2.169040e-10,4.950873e-10,5.101824e-10,9.989896e-10,1.179307e-09,1.745697e-09,2.341508e-09,2.804243e-09,4.061434e-09,4.182714e-09,5.842044e-09,6.276611e-09,7.734807e-09,8.882341e-09,9.823439e-09,1.179958e-08,1.207799e-08,1.447142e-08,1.496443e-08,1.697708e-08,1.831543e-08,1.956797e-08,2.179032e-08,2.221696e-08,2.489738e-08,2.532744e-08,2.758382e-08,2.886846e-08,3.025277e-08,3.236108e-08,3.288314e-08,3.545657e-08,3.576078e-08,3.795747e-08,3.903150e-08,4.037309e-08,4.214568e-08,4.269343e-08,4.491094e-08,4.508372e-08,4.702030e-08,4.783296e-08,4.901818e-08,5.038660e-08,5.090286e-08,5.267405e-08,5.274255e-08,5.433260e-08,5.490241e-08,5.588026e-08,5.687057e-08,5.731951e-08,5.865340e-08,5.988536e-08,6.025867e-08,6.101914e-08,6.169505e-08,6.205868e-08,6.297174e-08,6.300803e-08,6.387133e-08,6.409819e-08,6.465267e-08,6.508382e-08,6.535609e-08,6.593787e-08,6.598560e-08,6.654510e-08,6.666939e-08,6.703839e-08,6.728709e-08,6.746914e-08,6.779929e-08,6.784090e-08,6.815709e-08,6.821394e-08,6.842098e-08,6.853858e-08,6.863571e-08,6.878031e-08,6.880430e-08,6.892962e-08,6.894584e-08,6.901439e-08,6.904145e-08,6.906123e-08,6.907307e-08,6.907263e-08,6.905092e-08,6.904620e-08,6.899837e-08,6.896602e-08,6.891708e-08,6.883733e-08,6.880907e-08,6.867627e-08,6.866462e-08,6.852045e-08,6.845208e-08,6.834335e-08,6.820357e-08,6.814658e-08,6.793165e-08,6.792270e-08,6.770003e-08,6.761281e-08,6.745305e-08,6.727700e-08,6.719202e-08,6.691813e-08,6.663254e-08,6.653885e-08,6.633631e-08,6.614161e-08,6.603045e-08,6.572865e-08,6.571592e-08,6.539360e-08,6.530207e-08,6.506434e-08,6.486378e-08,6.472892e-08,6.441554e-08,6.438809e-08,6.404254e-08,6.395897e-08,6.369291e-08,6.349557e-08,6.333981e-08,6.302668e-08,6.298382e-08,6.262547e-08,6.255356e-08,6.226525e-08,6.207735e-08,6.190362e-08,6.159909e-08,6.154103e-08,6.117787e-08,6.111973e-08,6.081451e-08,6.064014e-08,6.045132e-08,6.016109e-08,6.008860e-08,5.972667e-08,5.968330e-08,5.936580e-08,5.920742e-08,5.900624e-08,5.873401e-08,5.864825e-08,5.829203e-08,5.826362e-08,5.793780e-08,5.779670e-08,5.758572e-08,5.733367e-08,5.723599e-08,5.688875e-08,5.687491e-08,5.654414e-08,5.642076e-08,5.620231e-08,5.597150e-08,5.586335e-08,5.552738e-08,5.508865e-08,5.465548e-08,5.422805e-08,5.380650e-08,5.339095e-08,5.298149e-08,5.257819e-08,5.218113e-08,5.179033e-08,5.140584e-08,5.102765e-08,5.065579e-08,5.029023e-08,4.993095e-08,4.957794e-08,4.923115e-08,4.889054e-08,4.855606e-08,4.822765e-08,4.790525e-08,4.758880e-08,4.727823e-08,4.697346e-08,4.667442e-08
0.000000e+00,3.749009e-11,1.919485e-10,1.899200e-09,7.806171e-09,1.446679e-08,5.140236e-08,5.372236e-08,1.393033e-07,1.745798e-07,2.941133e-07,4.316177e-07,5.461808e-07,8.935068e-07,9.299543e-07,1.483213e-06,1.644931e-06,2.235902e-06,2.748314e-06,3.194925e-06,4.193126e-06,4.338964e-06,5.628961e-06,5.900722e-06,7.023206e-06,7.777306e-06,8.486236e-06,9.748134e-06,9.990720e-06,1.151599e-05,1.176084e-05,1.304597e-05,1.377811e-05,1.456762e-05,1.577153e-05,1.607000e-05,1.754373e-05,1.771827e-05,1.898083e-05,1.959976e-05,2.037451e-05,2.140119e-05,2.171918e-05,2.301038e-05,2.311126e-05,2.424469e-05,2.472191e-05,2.541970e-05,2.622810e-05,2.653388e-05,2.758649e-05,2.762731e-05,2.857747e-05,2.891922e-05,2.950733e-05,3.010522e-05,3.037708e-05,3.118808e-05,3.194201e-05,3.217151e-05,3.264075e-05,3.305994e-05,3.328639e-05,3.385824e-05,3.388108e-05,3.442705e-05,3.457151e-05,3.492659e-05,3.520497e-05,3.538195e-05,3.576381e-05,3.579539e-05,3.616911e-05,3.625314e-05,3.650527e-05,3.667790e-05,3.680596e-05,3.704283e-05,3.707320e-05,3.730893e-05,3.735247e-05,3.751503e-05,3.761109e-05,3.769328e-05,3.782275e-05,3.784539e-05,3.797299e-05,3.799124e-05,3.807763e-05,3.812013e-05,3.816077e-05,3.821275e-05,3.822381e-05,3.826809e-05,3.827220e-05,3.829485e-05,3.830138e-05,3.830528e-05,3.830298e-05,3.830051e-05,3.828159e-05,3.827950e-05,3.824953e-05,3.823324e-05,3.820528e-05,3.816636e-05,3.814972e-05,3.808370e-05,3.808085e-05,3.800801e-05,3.797854e-05,3.792341e-05,3.786114e-05,3.783058e-05,3.773021e-05,3.762290e-05,3.758719e-05,3.750925e-05,3.743343e-05,3.738980e-05,3.727016e-05,3.726508e-05,3.713557e-05,3.709851e-05,3.700173e-05,3.691952e-05,3.686398e-05,3.673415e-05,3.672273e-05,3.657836e-05,3.654328e-05,3.643122e-05,3.634773e-05,3.628163e-05,3.614823e-05,3.612992e-05,3.597636e-05,3.594546e-05,3.582124e-05,3.574004e-05,3.566480e-05,3.553255e-05,3.550729e-05,3.534892e-05,3.532351e-05,3.518990e-05,3.511339e-05,3.503042e-05,3.490263e-05,3.487066e-05,3.471079e-05,3.469161e-05,3.455097e-05,3.448070e-05,3.439133e-05,3.427022e-05,3.423202e-05,3.407316e-05,3.406047e-05,3.391485e-05,3.385171e-05,3.375722e-05,3.364419e-05,3.360035e-05,3.344434e-05,3.343812e-05,3.328928e-05,3.323370e-05,3.313523e-05,3.303109e-05,3.298227e-05,3.283046e-05,3.263194e-05,3.243566e-05,3.224172e-05,3.205022e-05,3.186123e-05,3.167483e-05,3.149107e-05,3.131001e-05,3.113168e-05,3.095612e-05,3.078336e-05,3.061342e-05,3.044630e-05,3.028201e-05,3.012056e-05,2.996195e-05,2.980617e-05,2.965320e-05,2.950303e-05,2.935566e-05,2.921105e-05,2.906918e-05,2.893003e-05,2.879357e-05
0.000000e+00,2.752599e-10,8.711404e-10,4.220757e-09,1.122211e-08,1.732082e-08,4.319686e-08,4.462083e-08,9.077948e-08,1.076919e-07,1.602384e-07,2.148886e-07,2.572814e-07,3.743662e-07,3.859022e-07,5.493751e-07,5.940331e-07,7.494027e-07,8.771293e-07,9.849044e-07,1.217858e-06,1.251210e-06,1.540851e-06,1.600852e-06,1.845693e-06,2.007797e-06,2.158625e-06,2.423589e-06,2.474026e-06,2.787540e-06,2.837288e-06,3.095744e-06,3.240975e-06,3.395918e-06,3.628809e-06,3.685904e-06,3.964025e-06,3.996538e-06,4.229026e-06,4.341231e-06,4.480030e-06,4.661081e-06,4.716484e-06,4.938111e-06,4.955199e-06,5.144875e-06,5.223447e-06,5.336925e-06,5.466255e-06,5.514563e-06,5.678211e-06,5.684473e-06,5.828374e-06,5.879239e-06,5.965619e-06,6.051877e-06,6.090555e-06,6.203811e-06,6.306027e-06,6.336509e-06,6.397839e-06,6.451429e-06,6.479874e-06,6.549996e-06,6.552742e-06,6.617043e-06,6.633591e-06,6.673350e-06,6.703525e-06,6.722208e-06,6.761024e-06,6.764135e-06,6.799628e-06,6.807241e-06,6.829153e-06,6.843245e-06,6.853150e-06,6.870025e-06,6.872034e-06,6.886194e-06,6.888492e-06,6.895997e-06,6.899487e-06,6.901786e-06,6.903781e-06,6.903880e-06,6.902581e-06,6.902077e-06,6.898169e-06,6.895023e-06,6.890906e-06,6.883207e-06,6.881035e-06,6.868786e-06,6.867166e-06,6.854370e-06,6.847392e-06,6.837985e-06,6.824329e-06,6.819815e-06,6.800032e-06,6.798384e-06,6.778794e-06,6.769925e-06,6.756249e-06,6.739285e-06,6.732535e-06,6.707779e-06,6.706768e-06,6.682099e-06,6.672650e-06,6.655606e-06,6.637178e-06,6.628400e-06,6.600576e-06,6.572221e-06,6.563049e-06,6.543416e-06,6.524779e-06,6.514235e-06,6.485931e-06,6.484746e-06,6.455014e-06,6.446654e-06,6.425097e-06,6.407080e-06,6.395048e-06,6.367331e-06,6.364919e-06,6.334752e-06,6.327512e-06,6.304592e-06,6.287720e-06,6.274476e-06,6.248039e-06,6.244440e-06,6.214515e-06,6.208546e-06,6.184731e-06,6.169308e-06,6.155115e-06,6.130385e-06,6.125691e-06,6.096482e-06,6.091830e-06,6.067507e-06,6.053687e-06,6.038784e-06,6.015998e-06,6.010329e-06,5.982158e-06,5.978798e-06,5.954284e-06,5.942116e-06,5.926717e-06,5.905978e-06,5.899468e-06,5.872546e-06,5.870407e-06,5.845959e-06,5.835420e-06,5.819715e-06,5.801033e-06,5.793817e-06,5.768272e-06,5.767258e-06,5.743084e-06,5.734104e-06,5.718256e-06,5.701579e-06,5.693790e-06,5.669688e-06,5.638433e-06,5.607817e-06,5.577839e-06,5.548498e-06,5.519791e-06,5.491714e-06,5.464262e-06,5.437431e-06,5.411213e-06,5.385602e-06,5.360591e-06,5.336170e-06,5.312332e-06,5.289067e-06,5.266367e-06,5.244222e-06,5.222623e-06,5.201558e-06,5.181020e-06,5.160997e-06,5.141479e-06,5.122457e-06,5.103919e-06,5.085857e-06
0.000000e+00,9.911631e-12,2.276626e-11,7.848291e-11,1.787200e-10,2.608807e-10,5.934041e-10,6.113567e-10,1.187961e-09,1.398704e-09,2.056981e-09,2.750297e-09,3.295191e-09,4.832282e-09,4.986124e-09,7.203979e-09,7.819770e-09,9.982781e-09,1.177453e-08,1.328990e-08,1.656645e-08,1.703543e-08,2.111049e-08,2.195611e-08,2.541750e-08,2.772235e-08,2.987903e-08,3.370177e-08,3.443497e-08,3.903735e-08,3.977529e-08,4.364622e-08,4.585050e-08,4.822715e-08,5.185134e-08,5.274992e-08,5.718790e-08,5.771362e-08,6.151777e-08,6.338337e-08,6.571944e-08,6.881647e-08,6.977604e-08,7.367380e-08,7.397842e-08,7.740193e-08,7.884380e-08,8.095241e-08,8.339562e-08,8.431981e-08,8.750097e-08,8.762432e-08,9.049474e-08,9.152669e-08,9.330171e-08,9.510476e-08,9.592397e-08,9.836486e-08,1.006287e-07,1.013166e-07,1.027207e-07,1.039719e-07,1.046464e-07,1.063444e-07,1.064120e-07,1.080241e-07,1.084488e-07,1.094892e-07,1.103005e-07,1.108141e-07,1.119150e-07,1.120056e-07,1.130703e-07,1.133078e-07,1.140150e-07,1.144940e-07,1.148460e-07,1.154884e-07,1.155698e-07,1.161923e-07,1.163052e-07,1.167196e-07,1.169580e-07,1.171573e-07,1.174598e-07,1.175109e-07,1.177857e-07,1.178227e-07,1.179866e-07,1.180582e-07,1.181185e-07,1.181773e-07,1.181859e-07,1.181931e-07,1.181901e-07,1.181442e-07,1.181060e-07,1.180433e-07,1.179340e-07,1.178939e-07,1.176997e-07,1.176823e-07,1.174639e-07,1.173586e-07,1.171897e-07,1.169701e-07,1.168800e-07,1.165377e-07,1.165234e-07,1.161655e-07,1.160246e-07,1.157658e-07,1.154795e-07,1.153409e-07,1.148932e-07,1.144247e-07,1.142707e-07,1.139373e-07,1.136164e-07,1.134330e-07,1.129345e-07,1.129134e-07,1.123803e-07,1.122287e-07,1.118350e-07,1.115026e-07,1.112791e-07,1.107594e-07,1.107139e-07,1.101406e-07,1.100020e-07,1.095605e-07,1.092330e-07,1.089746e-07,1.084551e-07,1.083840e-07,1.077896e-07,1.076704e-07,1.071924e-07,1.068809e-07,1.065931e-07,1.060886e-07,1.059925e-07,1.053914e-07,1.052952e-07,1.047904e-07,1.045021e-07,1.041901e-07,1.037109e-07,1.035912e-07,1.029942e-07,1.029227e-07,1.023995e-07,1.021387e-07,1.018076e-07,1.013599e-07,1.012189e-07,1.006338e-07,1.005872e-07,1.000527e-07,9.982144e-08,9.947587e-08,9.906338e-08,9.890362e-08,9.833622e-08,9.831362e-08,9.777390e-08,9.757275e-08,9.721689e-08,9.684126e-08,9.666538e-08,9.611956e-08,9.540805e-08,9.470703e-08,9.401677e-08,9.333749e-08,9.266937e-08,9.201255e-08,9.136714e-08,9.073321e-08,9.011081e-08,8.949996e-08,8.890064e-08,8.831285e-08,8.773652e-08,8.717161e-08,8.661802e-08,8.607568e-08,8.554446e-08,8.502427e-08,8.451497e-08,8.401643e-08,8.352851e-08,8.305106e-08,8.258393e-08,8.212696e-08
0.000000e+00,1.602643e-12,9.492606e-12,1.239152e-10,6.364741e-10,1.317219e-09,5.991037e-09,6.317428e-09,1.982074e-08,2.593688e-08,4.796159e-08,7.472964e-08,9.764628e-08,1.685461e-07,1.760426e-07,2.901944e-07,3.236486e-07,4.465515e-07,5.545681e-07,6.503607e-07,8.718455e-07,9.051955e-07,1.212887e-06,1.280821e-06,1.573783e-06,1.782249e-06,1.987090e-06,2.373582e-06,2.451153e-06,2.963605e-06,3.049897e-06,3.521457e-06,3.804326e-06,4.121143e-06,4.628280e-06,4.758574e-06,5.429209e-06,5.511687e-06,6.128145e-06,6.443320e-06,6.850224e-06,7.411225e-06,7.590150e-06,8.342608e-06,8.403189e-06,9.102376e-06,9.407194e-06,9.864422e-06,1.041182e-05,1.062399e-05,1.137669e-05,1.140659e-05,1.211850e-05,1.238218e-05,1.284585e-05,1.333059e-05,1.355564e-05,1.424518e-05,1.491226e-05,1.512068e-05,1.555509e-05,1.595311e-05,1.617227e-05,1.673969e-05,1.676279e-05,1.732595e-05,1.747867e-05,1.786136e-05,1.816924e-05,1.836891e-05,1.881133e-05,1.884870e-05,1.930102e-05,1.940553e-05,1.972633e-05,1.995292e-05,2.012523e-05,2.045497e-05,2.049842e-05,2.084668e-05,2.091342e-05,2.117087e-05,2.133023e-05,2.147188e-05,2.170749e-05,2.175064e-05,2.200809e-05,2.204737e-05,2.224519e-05,2.235204e-05,2.246287e-05,2.262367e-05,2.266208e-05,2.284373e-05,2.286440e-05,2.300873e-05,2.307628e-05,2.315795e-05,2.326133e-05,2.329224e-05,2.341240e-05,2.342143e-05,2.351924e-05,2.355841e-05,2.361349e-05,2.367398e-05,2.369590e-05,2.376713e-05,2.376976e-05,2.382785e-05,2.384726e-05,2.387870e-05,2.390793e-05,2.392025e-05,2.395308e-05,2.397774e-05,2.398398e-05,2.399471e-05,2.400178e-05,2.400450e-05,2.400756e-05,2.400756e-05,2.400431e-05,2.400233e-05,2.399518e-05,2.398703e-05,2.398054e-05,2.396252e-05,2.396076e-05,2.393618e-05,2.392961e-05,2.390714e-05,2.388905e-05,2.387395e-05,2.384152e-05,2.383688e-05,2.379622e-05,2.378768e-05,2.375222e-05,2.372811e-05,2.370514e-05,2.366336e-05,2.365519e-05,2.360260e-05,2.359395e-05,2.354757e-05,2.352034e-05,2.349029e-05,2.344298e-05,2.343095e-05,2.336972e-05,2.336225e-05,2.330675e-05,2.327854e-05,2.324221e-05,2.319219e-05,2.317623e-05,2.310894e-05,2.310351e-05,2.304049e-05,2.301280e-05,2.297098e-05,2.292034e-05,2.290052e-05,2.282923e-05,2.282637e-05,2.275721e-05,2.273112e-05,2.268454e-05,2.263480e-05,2.261132e-05,2.253762e-05,2.243975e-05,2.234136e-05,2.224261e-05,2.214363e-05,2.204455e-05,2.194549e-05,2.184657e-05,2.174788e-05,2.164952e-05,2.155157e-05,2.145410e-05,2.135718e-05,2.126089e-05,2.116527e-05,2.107038e-05,2.097627e-05,2.088298e-05,2.079055e-05,2.069901e-05,2.060839e-05,2.051873e-05,2.043004e-05,2.034235e-05,2.025568e-05
0.000000e+00,1.362167e-11,3.130282e-11,1.081583e-10,2.473459e-10,3.623153e-10,8.354940e-10,8.613872e-10,1.710191e-09,2.027892e-09,3.040046e-09,4.126387e-09,4.984092e-09,7.363856e-09,7.596328e-09,1.080342e-08,1.164738e-08,1.447879e-08,1.670065e-08,1.851644e-08,2.230878e-08,2.284085e-08,2.739471e-08,2.832863e-08,3.212904e-08,3.464700e-08,3.699824e-08,4.116045e-08,4.195843e-08,4.696733e-08,4.777056e-08,5.198493e-08,5.438548e-08,5.697427e-08,6.092289e-08,6.190207e-08,6.673929e-08,6.731245e-08,7.146127e-08,7.349701e-08,7.604757e-08,7.943224e-08,8.048190e-08,8.475188e-08,8.508609e-08,8.884851e-08,9.043720e-08,9.276584e-08,9.547331e-08,9.650050e-08,1.000513e-07,1.001895e-07,1.034189e-07,1.045867e-07,1.066052e-07,1.086701e-07,1.096136e-07,1.124482e-07,1.151138e-07,1.159319e-07,1.176156e-07,1.191334e-07,1.199593e-07,1.220661e-07,1.221509e-07,1.241963e-07,1.247437e-07,1.261016e-07,1.271801e-07,1.278729e-07,1.293891e-07,1.295160e-07,1.310368e-07,1.313843e-07,1.324412e-07,1.331788e-07,1.337346e-07,1.347852e-07,1.349224e-07,1.360099e-07,1.362158e-07,1.370022e-07,1.374821e-07,1.379040e-07,1.385952e-07,1.387202e-07,1.394551e-07,1.395654e-07,1.401130e-07,1.404027e-07,1.406981e-07,1.411164e-07,1.412143e-07,1.416654e-07,1.417154e-07,1.420550e-07,1.422078e-07,1.423864e-07,1.426015e-07,1.426631e-07,1.428879e-07,1.429038e-07,1.430641e-07,1.431215e-07,1.431943e-07,1.432612e-07,1.432813e-07,1.433277e-07,1.433287e-07,1.433358e-07,1.433298e-07,1.433080e-07,1.432698e-07,1.432466e-07,1.431535e-07,1.430308e-07,1.429856e-07,1.428803e-07,1.427703e-07,1.427040e-07,1.425118e-07,1.425034e-07,1.422801e-07,1.422138e-07,1.420358e-07,1.418797e-07,1.417719e-07,1.415129e-07,1.414896e-07,1.411905e-07,1.411163e-07,1.408756e-07,1.406928e-07,1.405462e-07,1.402451e-07,1.402033e-07,1.398481e-07,1.397757e-07,1.394815e-07,1.392867e-07,1.391044e-07,1.387803e-07,1.387178e-07,1.383225e-07,1.382585e-07,1.379193e-07,1.377232e-07,1.375090e-07,1.371760e-07,1.370922e-07,1.366696e-07,1.366186e-07,1.362419e-07,1.360523e-07,1.358097e-07,1.354786e-07,1.353736e-07,1.349340e-07,1.348987e-07,1.344915e-07,1.343138e-07,1.340465e-07,1.337249e-07,1.335996e-07,1.331511e-07,1.331332e-07,1.327015e-07,1.325394e-07,1.322510e-07,1.319444e-07,1.318001e-07,1.313491e-07,1.307541e-07,1.301602e-07,1.295678e-07,1.289777e-07,1.283903e-07,1.278060e-07,1.272254e-07,1.266487e-07,1.260764e-07,1.255088e-07,1.249461e-07,1.243887e-07,1.238368e-07,1.232905e-07,1.227501e-07,1.222158e-07,1.216877e-07,1.211658e-07,1.206504e-07,1.201416e-07,1.196393e-07,1.191438e-07,1.186550e-07,1.181729e-07
0.000000e+00,3.592040e-11,1.654820e-10,1.361592e-09,4.901849e-09,8.548590e-09,2.675160e-08,2.783542e-08,6.558956e-08,8.033893e-08,1.282366e-07,1.805741e-07,2.225638e-07,3.435988e-07,3.558749e-07,5.354588e-07,5.861306e-07,7.668704e-07,9.199350e-07,1.051863e-06,1.345201e-06,1.388114e-06,1.771005e-06,1.852730e-06,2.195471e-06,2.431047e-06,2.656821e-06,3.069736e-06,3.150799e-06,3.673397e-06,3.759407e-06,4.220695e-06,4.491020e-06,4.788766e-06,5.255526e-06,5.373661e-06,5.971429e-06,6.043840e-06,6.578170e-06,6.846996e-06,7.190094e-06,7.656388e-06,7.803582e-06,8.415238e-06,8.463996e-06,9.021924e-06,9.262559e-06,9.620795e-06,1.004571e-05,1.020932e-05,1.078527e-05,1.080802e-05,1.134675e-05,1.154502e-05,1.189215e-05,1.225317e-05,1.242017e-05,1.292976e-05,1.342013e-05,1.357289e-05,1.389070e-05,1.418129e-05,1.434109e-05,1.475429e-05,1.477110e-05,1.518067e-05,1.529169e-05,1.556988e-05,1.579370e-05,1.593891e-05,1.626083e-05,1.628804e-05,1.661763e-05,1.669386e-05,1.692808e-05,1.709375e-05,1.721987e-05,1.746160e-05,1.749350e-05,1.774950e-05,1.779863e-05,1.798842e-05,1.810611e-05,1.821085e-05,1.838536e-05,1.841735e-05,1.860851e-05,1.863770e-05,1.878489e-05,1.886448e-05,1.894709e-05,1.906702e-05,1.909568e-05,1.923121e-05,1.924662e-05,1.935424e-05,1.940455e-05,1.946531e-05,1.954205e-05,1.956495e-05,1.965367e-05,1.966032e-05,1.973198e-05,1.976050e-05,1.980036e-05,1.984372e-05,1.985929e-05,1.990921e-05,1.991102e-05,1.995057e-05,1.996345e-05,1.998380e-05,2.000196e-05,2.000931e-05,2.002749e-05,2.003872e-05,2.004091e-05,2.004339e-05,2.004308e-05,2.004183e-05,2.003479e-05,2.003438e-05,2.002138e-05,2.001679e-05,2.000314e-05,1.998980e-05,1.997995e-05,1.995451e-05,1.995211e-05,1.991990e-05,1.991154e-05,1.988357e-05,1.986152e-05,1.984338e-05,1.980501e-05,1.979957e-05,1.975237e-05,1.974255e-05,1.970202e-05,1.967465e-05,1.964871e-05,1.960179e-05,1.959264e-05,1.953403e-05,1.952442e-05,1.947304e-05,1.944297e-05,1.940985e-05,1.935783e-05,1.934464e-05,1.927755e-05,1.926938e-05,1.920875e-05,1.917797e-05,1.913838e-05,1.908393e-05,1.906657e-05,1.899346e-05,1.898756e-05,1.891917e-05,1.888915e-05,1.884383e-05,1.878898e-05,1.876753e-05,1.869040e-05,1.868730e-05,1.861253e-05,1.858433e-05,1.853401e-05,1.848030e-05,1.845495e-05,1.837542e-05,1.826986e-05,1.816382e-05,1.805745e-05,1.795090e-05,1.784432e-05,1.773784e-05,1.763157e-05,1.752563e-05,1.742012e-05,1.731512e-05,1.721074e-05,1.710704e-05,1.700410e-05,1.690199e-05,1.680075e-05,1.670046e-05,1.660114e-05,1.650286e-05,1.640564e-05,1.630952e-05,1.621454e-05,1.612071e-05,1.602806e-05,1.593661e-05
0.000000e+00,1.259394e-13,8.505567e-13,1.452945e-11,9.496350e-11,2.239168e-10,1.417105e-09,1.514200e-09,6.522573e-09,9.284781e-09,2.113040e-08,3.877613e-08,5.625013e-08,1.218739e-07,1.297287e-07,2.682025e-07,3.149879e-07,5.087667e-07,7.057951e-07,9.003458e-07,1.418551e-06,1.504659e-06,2.396665e-06,2.617113e-06,3.664384e-06,4.504899e-06,5.408026e-06,7.321316e-06,7.738451e-06,1.077503e-05,1.133472e-05,1.464304e-05,1.683267e-05,1.947084e-05,2.411043e-05,2.538674e-05,3.251600e-05,3.345879e-05,4.097781e-05,4.515198e-05,5.088250e-05,5.943640e-05,6.232896e-05,7.540240e-05,7.652076e-05,9.017241e-05,9.656781e-05,1.066914e-04,1.196880e-04,1.249936e-04,1.450940e-04,1.459354e-04,1.669882e-04,1.753053e-04,1.906525e-04,2.077341e-04,2.160439e-04,2.431015e-04,2.717467e-04,2.812335e-04,3.018852e-04,3.219078e-04,3.334082e-04,3.648599e-04,3.661940e-04,4.001102e-04,4.097902e-04,4.350153e-04,4.563716e-04,4.707610e-04,5.042576e-04,5.071939e-04,5.441575e-04,5.530902e-04,5.814943e-04,6.025073e-04,6.190473e-04,6.521501e-04,6.566621e-04,6.941877e-04,7.016693e-04,7.314788e-04,7.507309e-04,7.683961e-04,7.990212e-04,8.048079e-04,8.405909e-04,8.462501e-04,8.756307e-04,8.921546e-04,9.098223e-04,9.365006e-04,9.430706e-04,9.752907e-04,9.790844e-04,1.006408e-03,1.019733e-03,1.036357e-03,1.058303e-03,1.065084e-03,1.092542e-03,1.094683e-03,1.118698e-03,1.128788e-03,1.143522e-03,1.160562e-03,1.166998e-03,1.189115e-03,1.189972e-03,1.209870e-03,1.217009e-03,1.229266e-03,1.241685e-03,1.247314e-03,1.264030e-03,1.279434e-03,1.284090e-03,1.293552e-03,1.301926e-03,1.306414e-03,1.317609e-03,1.318052e-03,1.328502e-03,1.331220e-03,1.337802e-03,1.342848e-03,1.345994e-03,1.352586e-03,1.353118e-03,1.359218e-03,1.360534e-03,1.364337e-03,1.366792e-03,1.368520e-03,1.371463e-03,1.371813e-03,1.374258e-03,1.374649e-03,1.375901e-03,1.376452e-03,1.376785e-03,1.376972e-03,1.376953e-03,1.376448e-03,1.376307e-03,1.375310e-03,1.374551e-03,1.373580e-03,1.371797e-03,1.371298e-03,1.368499e-03,1.368130e-03,1.365222e-03,1.363637e-03,1.361500e-03,1.358395e-03,1.357368e-03,1.352857e-03,1.352481e-03,1.347999e-03,1.345964e-03,1.342822e-03,1.338913e-03,1.337354e-03,1.331623e-03,1.331388e-03,1.325653e-03,1.323450e-03,1.319468e-03,1.315150e-03,1.313090e-03,1.306541e-03,1.297668e-03,1.288575e-03,1.279300e-03,1.269881e-03,1.260349e-03,1.250735e-03,1.241067e-03,1.231370e-03,1.221665e-03,1.211974e-03,1.202315e-03,1.192704e-03,1.183156e-03,1.173683e-03,1.164297e-03,1.155009e-03,1.145827e-03,1.136759e-03,1.127811e-03,1.118990e-03,1.110299e-03,1.101744e-03,1.093328e-03,1.085052e-03
0.000000e+00,1.110374e-10,2.608762e-10,9.239473e-10,2.137064e-09,3.141287e-09,7.256589e-09,7.480495e-09,1.473743e-08,1.741516e-08,2.583910e-08,3.476701e-08,4.178776e-08,6.140346e-08,6.334161e-08,9.064315e-08,9.801660e-08,1.233461e-07,1.438510e-07,1.610067e-07,1.979520e-07,2.032532e-07,2.497771e-07,2.595698e-07,3.002884e-07,3.280303e-07,3.544835e-07,4.026125e-07,4.120306e-07,4.725658e-07,4.825029e-07,5.356972e-07,5.668021e-07,6.010131e-07,6.545547e-07,6.680909e-07,7.365083e-07,7.447886e-07,8.058518e-07,8.365536e-07,8.757256e-07,9.289544e-07,9.457576e-07,1.015605e-06,1.021175e-06,1.084955e-06,1.112493e-06,1.153531e-06,1.202287e-06,1.221087e-06,1.287411e-06,1.290036e-06,1.352325e-06,1.375319e-06,1.415678e-06,1.457804e-06,1.477349e-06,1.537239e-06,1.595273e-06,1.613442e-06,1.651396e-06,1.686294e-06,1.705570e-06,1.755717e-06,1.757766e-06,1.807973e-06,1.821674e-06,1.856188e-06,1.884164e-06,1.902419e-06,1.943211e-06,1.946680e-06,1.988995e-06,1.998864e-06,2.029394e-06,2.051196e-06,2.067919e-06,2.100300e-06,2.104607e-06,2.139496e-06,2.146262e-06,2.172629e-06,2.189179e-06,2.204049e-06,2.229150e-06,2.233800e-06,2.261927e-06,2.266280e-06,2.288477e-06,2.300674e-06,2.313496e-06,2.332440e-06,2.337030e-06,2.359124e-06,2.361681e-06,2.379824e-06,2.388503e-06,2.399177e-06,2.413010e-06,2.417225e-06,2.434014e-06,2.435304e-06,2.449588e-06,2.455487e-06,2.463989e-06,2.473655e-06,2.477259e-06,2.489438e-06,2.489903e-06,2.500568e-06,2.504325e-06,2.510687e-06,2.517010e-06,2.519834e-06,2.528046e-06,2.535359e-06,2.537516e-06,2.541811e-06,2.545503e-06,2.547434e-06,2.552085e-06,2.552263e-06,2.556331e-06,2.557338e-06,2.559669e-06,2.561334e-06,2.562308e-06,2.564145e-06,2.564279e-06,2.565610e-06,2.565837e-06,2.566329e-06,2.566476e-06,2.566465e-06,2.566123e-06,2.566043e-06,2.565090e-06,2.564837e-06,2.563629e-06,2.562677e-06,2.561686e-06,2.559697e-06,2.559283e-06,2.556442e-06,2.555949e-06,2.553186e-06,2.551482e-06,2.549536e-06,2.546345e-06,2.545511e-06,2.541132e-06,2.540583e-06,2.536416e-06,2.534240e-06,2.531383e-06,2.527356e-06,2.526050e-06,2.520434e-06,2.519972e-06,2.514550e-06,2.512126e-06,2.508416e-06,2.503852e-06,2.502045e-06,2.495453e-06,2.495184e-06,2.488653e-06,2.486157e-06,2.481659e-06,2.476799e-06,2.474483e-06,2.467140e-06,2.457207e-06,2.447028e-06,2.436627e-06,2.426027e-06,2.415250e-06,2.404319e-06,2.393252e-06,2.382068e-06,2.370786e-06,2.359421e-06,2.347990e-06,2.336507e-06,2.324987e-06,2.313442e-06,2.301885e-06,2.290327e-06,2.278779e-06,2.267252e-06,2.255753e-06,2.244293e-06,2.232880e-06,2.221521e-06,2.210222e-06,2.198992e-06
0.000000e+00,3.892284e-11,1.054900e-10,4.326269e-10,1.066920e-09,1.602939e-09,3.820236e-09,3.940821e-09,7.811661e-09,9.217786e-09,1.356227e-08,1.805428e-08,2.152662e-08,3.108736e-08,3.202827e-08,4.537586e-08,4.903455e-08,6.184555e-08,7.251365e-08,8.164380e-08,1.018898e-07,1.048542e-07,1.313964e-07,1.370861e-07,1.610346e-07,1.775611e-07,1.934350e-07,2.225173e-07,2.282305e-07,2.650595e-07,2.711177e-07,3.035804e-07,3.225765e-07,3.434722e-07,3.761682e-07,3.844314e-07,4.261703e-07,4.312182e-07,4.684164e-07,4.870987e-07,5.109132e-07,5.432303e-07,5.534211e-07,5.957194e-07,5.990880e-07,6.376072e-07,6.542063e-07,6.789045e-07,7.081828e-07,7.194524e-07,7.591134e-07,7.606797e-07,7.977705e-07,8.114218e-07,8.353254e-07,8.601918e-07,8.716984e-07,9.068268e-07,9.406635e-07,9.512126e-07,9.731751e-07,9.932768e-07,1.004340e-06,1.032983e-06,1.034149e-06,1.062600e-06,1.070324e-06,1.089701e-06,1.105320e-06,1.115466e-06,1.138006e-06,1.139914e-06,1.163070e-06,1.168439e-06,1.184963e-06,1.196682e-06,1.205623e-06,1.222812e-06,1.225085e-06,1.243384e-06,1.246907e-06,1.260557e-06,1.269055e-06,1.276642e-06,1.289341e-06,1.291678e-06,1.305703e-06,1.307855e-06,1.318755e-06,1.324685e-06,1.330872e-06,1.339918e-06,1.342093e-06,1.352454e-06,1.353641e-06,1.361992e-06,1.365937e-06,1.370743e-06,1.376888e-06,1.378741e-06,1.386021e-06,1.386573e-06,1.392615e-06,1.395068e-06,1.398556e-06,1.402445e-06,1.403873e-06,1.408598e-06,1.408776e-06,1.412760e-06,1.414125e-06,1.416385e-06,1.418558e-06,1.419502e-06,1.422136e-06,1.424312e-06,1.424915e-06,1.426054e-06,1.426951e-06,1.427385e-06,1.428297e-06,1.428327e-06,1.428902e-06,1.429000e-06,1.429131e-06,1.429109e-06,1.429032e-06,1.428668e-06,1.428624e-06,1.427926e-06,1.427717e-06,1.426955e-06,1.426297e-06,1.425726e-06,1.424445e-06,1.424257e-06,1.422561e-06,1.422196e-06,1.420654e-06,1.419584e-06,1.418549e-06,1.416638e-06,1.416260e-06,1.413798e-06,1.413388e-06,1.411175e-06,1.409863e-06,1.408404e-06,1.406088e-06,1.405495e-06,1.402458e-06,1.402086e-06,1.399304e-06,1.397881e-06,1.396041e-06,1.393494e-06,1.392679e-06,1.389226e-06,1.388946e-06,1.385690e-06,1.384254e-06,1.382078e-06,1.379436e-06,1.378399e-06,1.374659e-06,1.374509e-06,1.370865e-06,1.369487e-06,1.367022e-06,1.364385e-06,1.363138e-06,1.359216e-06,1.353993e-06,1.348726e-06,1.343427e-06,1.338105e-06,1.332770e-06,1.327429e-06,1.322091e-06,1.316763e-06,1.311451e-06,1.306162e-06,1.300901e-06,1.295674e-06,1.290484e-06,1.285336e-06,1.280235e-06,1.275183e-06,1.270184e-06,1.265240e-06,1.260355e-06,1.255530e-06,1.250767e-06,1.246069e-06,1.241436e-06,1.236870e-06
0.000000e+00,1.665483e-11,6.640980e-11,4.356157e-10,1.359949e-09,2.233684e-09,6.228816e-09,6.456606e-09,1.406224e-08,1.691838e-08,2.591922e-08,3.540439e-08,4.281377e-08,6.341634e-08,6.545442e-08,9.447182e-08,1.024473e-07,1.304094e-07,1.537236e-07,1.736976e-07,2.180904e-07,2.246055e-07,2.831785e-07,2.957982e-07,3.491963e-07,3.863204e-07,4.221906e-07,4.884282e-07,5.015159e-07,5.864339e-07,6.004883e-07,6.761717e-07,7.207292e-07,7.699519e-07,8.473707e-07,8.670076e-07,9.665891e-07,9.786739e-07,1.067972e-06,1.112970e-06,1.170461e-06,1.248690e-06,1.273403e-06,1.376188e-06,1.384387e-06,1.478256e-06,1.518767e-06,1.579102e-06,1.650702e-06,1.678280e-06,1.775398e-06,1.779235e-06,1.870123e-06,1.903583e-06,1.962176e-06,2.023127e-06,2.051328e-06,2.137401e-06,2.220256e-06,2.246074e-06,2.299798e-06,2.348937e-06,2.375965e-06,2.445880e-06,2.448725e-06,2.518073e-06,2.536881e-06,2.584027e-06,2.621985e-06,2.646624e-06,2.701294e-06,2.705918e-06,2.761973e-06,2.774953e-06,2.814867e-06,2.843138e-06,2.864684e-06,2.906050e-06,2.911515e-06,2.955457e-06,2.963907e-06,2.996607e-06,3.016935e-06,3.035067e-06,3.065368e-06,3.070938e-06,3.104323e-06,3.109440e-06,3.135322e-06,3.149384e-06,3.164036e-06,3.185429e-06,3.190564e-06,3.215001e-06,3.217798e-06,3.237443e-06,3.246708e-06,3.257980e-06,3.272370e-06,3.276702e-06,3.293696e-06,3.294983e-06,3.309044e-06,3.314740e-06,3.322827e-06,3.331826e-06,3.335123e-06,3.346007e-06,3.346414e-06,3.355550e-06,3.358671e-06,3.363822e-06,3.368754e-06,3.370889e-06,3.376814e-06,3.381659e-06,3.382990e-06,3.385481e-06,3.387417e-06,3.388337e-06,3.390219e-06,3.390280e-06,3.391360e-06,3.391515e-06,3.391628e-06,3.391418e-06,3.391129e-06,3.390031e-06,3.389908e-06,3.388007e-06,3.387454e-06,3.385467e-06,3.383779e-06,3.382326e-06,3.379094e-06,3.378621e-06,3.374388e-06,3.373481e-06,3.369660e-06,3.367016e-06,3.364468e-06,3.359771e-06,3.358843e-06,3.352814e-06,3.351813e-06,3.346408e-06,3.343207e-06,3.339651e-06,3.334010e-06,3.332569e-06,3.325184e-06,3.324279e-06,3.317520e-06,3.314065e-06,3.309597e-06,3.303416e-06,3.301437e-06,3.293057e-06,3.292378e-06,3.284477e-06,3.280993e-06,3.275714e-06,3.269300e-06,3.266784e-06,3.257703e-06,3.257336e-06,3.248485e-06,3.245136e-06,3.239145e-06,3.232731e-06,3.229696e-06,3.220151e-06,3.207423e-06,3.194574e-06,3.181627e-06,3.168604e-06,3.155526e-06,3.142413e-06,3.129281e-06,3.116146e-06,3.103025e-06,3.089931e-06,3.076876e-06,3.063873e-06,3.050933e-06,3.038065e-06,3.025278e-06,3.012581e-06,2.999981e-06,2.987486e-06,2.975101e-06,2.962833e-06,2.950686e-06,2.938664e-06,2.926773e-06,2.915015e-06
0.000000e+00,1.777497e-12,1.208599e-11,2.094543e-10,1.387894e-09,3.298206e-09,2.132213e-08,2.280362e-08,1.005245e-07,1.440529e-07,3.336650e-07,6.217078e-07,9.113564e-07,2.024567e-06,2.159873e-06,4.595401e-06,5.435368e-06,8.981337e-06,1.267285e-05,1.638345e-05,2.650471e-05,2.821363e-05,4.625429e-05,5.079091e-05,7.266014e-05,9.051625e-05,1.099380e-04,1.517084e-04,1.609079e-04,2.286490e-04,2.412607e-04,3.164359e-04,3.666888e-04,4.276665e-04,5.358472e-04,5.657880e-04,7.342209e-04,7.566290e-04,9.362853e-04,1.036667e-03,1.175130e-03,1.383055e-03,1.453670e-03,1.774526e-03,1.802093e-03,2.139976e-03,2.299080e-03,2.551915e-03,2.878145e-03,3.011823e-03,3.520741e-03,3.542127e-03,4.079259e-03,4.292508e-03,4.687514e-03,5.129395e-03,5.345191e-03,6.051538e-03,6.805383e-03,7.056399e-03,7.605159e-03,8.140244e-03,8.448938e-03,9.298267e-03,9.334458e-03,1.025917e-02,1.052473e-02,1.122026e-02,1.181312e-02,1.221470e-02,1.315631e-02,1.323931e-02,1.429075e-02,1.454671e-02,1.536560e-02,1.597644e-02,1.646037e-02,1.743746e-02,1.757155e-02,1.869564e-02,1.892170e-02,1.982919e-02,2.042123e-02,2.096879e-02,2.192831e-02,2.211114e-02,2.325304e-02,2.343550e-02,2.439144e-02,2.493576e-02,2.552341e-02,2.642249e-02,2.664618e-02,2.775715e-02,2.788956e-02,2.885390e-02,2.933138e-02,2.993418e-02,3.074289e-02,3.099591e-02,3.203721e-02,3.211958e-02,3.305639e-02,3.345751e-02,3.405190e-02,3.475325e-02,3.502240e-02,3.596670e-02,3.600391e-02,3.688379e-02,3.720711e-02,3.777281e-02,3.836093e-02,3.863304e-02,3.946392e-02,4.026503e-02,4.051504e-02,4.103605e-02,4.151363e-02,4.177681e-02,4.245939e-02,4.248722e-02,4.316732e-02,4.335233e-02,4.381722e-02,4.419276e-02,4.443715e-02,4.498124e-02,4.502737e-02,4.558825e-02,4.571854e-02,4.612021e-02,4.640565e-02,4.662373e-02,4.704371e-02,4.709932e-02,4.754757e-02,4.763399e-02,4.796907e-02,4.817790e-02,4.836448e-02,4.867694e-02,4.873445e-02,4.907968e-02,4.913266e-02,4.940087e-02,4.954671e-02,4.969874e-02,4.992075e-02,4.997404e-02,5.022748e-02,5.025646e-02,5.045982e-02,5.055556e-02,5.067180e-02,5.081975e-02,5.086416e-02,5.103763e-02,5.105072e-02,5.119295e-02,5.125015e-02,5.133082e-02,5.141969e-02,5.145197e-02,5.155709e-02,5.156097e-02,5.164686e-02,5.167556e-02,5.172197e-02,5.176501e-02,5.178307e-02,5.183081e-02,5.187441e-02,5.189721e-02,5.190056e-02,5.188574e-02,5.185400e-02,5.180653e-02,5.174445e-02,5.166886e-02,5.158077e-02,5.148117e-02,5.137099e-02,5.125112e-02,5.112239e-02,5.098559e-02,5.084146e-02,5.069072e-02,5.053402e-02,5.037200e-02,5.020522e-02,5.003426e-02,4.985962e-02,4.968179e-02,4.950123e-02,4.931835e-02
0.000000e+00,2.504680e-11,5.912271e-11,2.100330e-10,4.870786e-10,7.179885e-10,1.683247e-09,1.736680e-09,3.513415e-09,4.185245e-09,6.309460e-09,8.511753e-09,1.017980e-08,1.454426e-08,1.495541e-08,2.047979e-08,2.190651e-08,2.666674e-08,3.040057e-08,3.346303e-08,3.991020e-08,4.082116e-08,4.868793e-08,5.031699e-08,5.700089e-08,6.147655e-08,6.568851e-08,7.321799e-08,7.467178e-08,8.386738e-08,8.535272e-08,9.319074e-08,9.768688e-08,1.025590e-07,1.100331e-07,1.118937e-07,1.211226e-07,1.222197e-07,1.301810e-07,1.340979e-07,1.390130e-07,1.455448e-07,1.475718e-07,1.558194e-07,1.564648e-07,1.637263e-07,1.667887e-07,1.712711e-07,1.764709e-07,1.784396e-07,1.852236e-07,1.854870e-07,1.916208e-07,1.938292e-07,1.976329e-07,2.015040e-07,2.032658e-07,2.085281e-07,2.134309e-07,2.149259e-07,2.179869e-07,2.207272e-07,2.222101e-07,2.259650e-07,2.261153e-07,2.297177e-07,2.306742e-07,2.330328e-07,2.348903e-07,2.360759e-07,2.386484e-07,2.388622e-07,2.414065e-07,2.419827e-07,2.437231e-07,2.449260e-07,2.458257e-07,2.475095e-07,2.477276e-07,2.494413e-07,2.497625e-07,2.509788e-07,2.517125e-07,2.523514e-07,2.533849e-07,2.535699e-07,2.546443e-07,2.548034e-07,2.555840e-07,2.559899e-07,2.563981e-07,2.569645e-07,2.570949e-07,2.576823e-07,2.577458e-07,2.581676e-07,2.583506e-07,2.585578e-07,2.587947e-07,2.588593e-07,2.590782e-07,2.590923e-07,2.592202e-07,2.592566e-07,2.592905e-07,2.592995e-07,2.592941e-07,2.592356e-07,2.592321e-07,2.591195e-07,2.590644e-07,2.589497e-07,2.588056e-07,2.587301e-07,2.584642e-07,2.581553e-07,2.580480e-07,2.578067e-07,2.575639e-07,2.574210e-07,2.570187e-07,2.570013e-07,2.565498e-07,2.564181e-07,2.560692e-07,2.557677e-07,2.555616e-07,2.550725e-07,2.550291e-07,2.544737e-07,2.543372e-07,2.538972e-07,2.535659e-07,2.533015e-07,2.527625e-07,2.526880e-07,2.520584e-07,2.519307e-07,2.514141e-07,2.510737e-07,2.507564e-07,2.501945e-07,2.500866e-07,2.494058e-07,2.492960e-07,2.487153e-07,2.483806e-07,2.480159e-07,2.474508e-07,2.473088e-07,2.465948e-07,2.465087e-07,2.458748e-07,2.455563e-07,2.451496e-07,2.445954e-07,2.444199e-07,2.436866e-07,2.436278e-07,2.429502e-07,2.426549e-07,2.422114e-07,2.416783e-07,2.414708e-07,2.407289e-07,2.406992e-07,2.399864e-07,2.397189e-07,2.392435e-07,2.387385e-07,2.385009e-07,2.377590e-07,2.367813e-07,2.358063e-07,2.348349e-07,2.338677e-07,2.329054e-07,2.319486e-07,2.309979e-07,2.300538e-07,2.291168e-07,2.281872e-07,2.272654e-07,2.263519e-07,2.254469e-07,2.245506e-07,2.236635e-07,2.227855e-07,2.219171e-07,2.210582e-07,2.202092e-07,2.193701e-07,2.185410e-07,2.177221e-07,2.169133e-07,2.161149e-07
0.000000e+00,1.104446e-12,7.526745e-12,1.310770e-10,8.726151e-10,2.079284e-09,1.354306e-08,1.448872e-08,6.440981e-08,9.252958e-08,2.157577e-07,4.043890e-07,5.952243e-07,1.335496e-06,1.426030e-06,3.069565e-06,3.641157e-06,6.073248e-06,8.630113e-06,1.121950e-05,1.835455e-05,1.956758e-05,3.248053e-05,3.575285e-05,5.163288e-05,6.470207e-05,7.899887e-05,1.099692e-04,1.168235e-04,1.675797e-04,1.770757e-04,2.339159e-04,2.721004e-04,3.185971e-04,4.014445e-04,4.244421e-04,5.542611e-04,5.715817e-04,7.107938e-04,7.888099e-04,8.966516e-04,1.059019e-03,1.114264e-03,1.365833e-03,1.387486e-03,1.653290e-03,1.778696e-03,1.978262e-03,2.236216e-03,2.342051e-03,2.745607e-03,2.762586e-03,3.189525e-03,3.359271e-03,3.674035e-03,4.026638e-03,4.199010e-03,4.763968e-03,5.368092e-03,5.569506e-03,6.010245e-03,6.440530e-03,6.688993e-03,7.373438e-03,7.402629e-03,8.149206e-03,8.363860e-03,8.926558e-03,9.406772e-03,9.732338e-03,1.049662e-02,1.056405e-02,1.141906e-02,1.162742e-02,1.229465e-02,1.279294e-02,1.318805e-02,1.398674e-02,1.409645e-02,1.501701e-02,1.520233e-02,1.594691e-02,1.643324e-02,1.688340e-02,1.767314e-02,1.782374e-02,1.876529e-02,1.891588e-02,1.970550e-02,2.015559e-02,2.064190e-02,2.138670e-02,2.157216e-02,2.249405e-02,2.260402e-02,2.340551e-02,2.380273e-02,2.430456e-02,2.497843e-02,2.518941e-02,2.605839e-02,2.612717e-02,2.690996e-02,2.724541e-02,2.774276e-02,2.833004e-02,2.855553e-02,2.934719e-02,2.937840e-02,3.011676e-02,3.038823e-02,3.086341e-02,3.135767e-02,3.158643e-02,3.228523e-02,3.295936e-02,3.316980e-02,3.360843e-02,3.401058e-02,3.423221e-02,3.480709e-02,3.483054e-02,3.540333e-02,3.555914e-02,3.595062e-02,3.626679e-02,3.647250e-02,3.693032e-02,3.696912e-02,3.744073e-02,3.755023e-02,3.788762e-02,3.812720e-02,3.831012e-02,3.866207e-02,3.870865e-02,3.908362e-02,3.915583e-02,3.943552e-02,3.960956e-02,3.976485e-02,4.002445e-02,4.007216e-02,4.035800e-02,4.040178e-02,4.062294e-02,4.074287e-02,4.086760e-02,4.104912e-02,4.109257e-02,4.129847e-02,4.132193e-02,4.148594e-02,4.156274e-02,4.165559e-02,4.177301e-02,4.180807e-02,4.194399e-02,4.195417e-02,4.206399e-02,4.210767e-02,4.216869e-02,4.223494e-02,4.225870e-02,4.233462e-02,4.233738e-02,4.239707e-02,4.241636e-02,4.244662e-02,4.247324e-02,4.248384e-02,4.250931e-02,4.252586e-02,4.252410e-02,4.250524e-02,4.247039e-02,4.242068e-02,4.235713e-02,4.228076e-02,4.219253e-02,4.209334e-02,4.198406e-02,4.186552e-02,4.173851e-02,4.160374e-02,4.146194e-02,4.131375e-02,4.115980e-02,4.100067e-02,4.083691e-02,4.066904e-02,4.049753e-02,4.032286e-02,4.014543e-02,3.996564e-02,3.978387e-02
0.000000e+00,1.961299e-11,4.513523e-11,1.560345e-10,3.559643e-10,5.199953e-10,1.184065e-09,1.219906e-09,2.369562e-09,2.788870e-09,4.095254e-09,5.465758e-09,6.539319e-09,9.554789e-09,9.855846e-09,1.419212e-08,1.539754e-08,1.964979e-08,2.320287e-08,2.623372e-08,3.286756e-08,3.382531e-08,4.221548e-08,4.396871e-08,5.117316e-08,5.598637e-08,6.049549e-08,6.848979e-08,7.002242e-08,7.963141e-08,8.116982e-08,8.922766e-08,9.380666e-08,9.873595e-08,1.062379e-07,1.080953e-07,1.172556e-07,1.183394e-07,1.261758e-07,1.300159e-07,1.348229e-07,1.411955e-07,1.431704e-07,1.511982e-07,1.518261e-07,1.588914e-07,1.618727e-07,1.662402e-07,1.713146e-07,1.732387e-07,1.798847e-07,1.801432e-07,1.861789e-07,1.883593e-07,1.921245e-07,1.959711e-07,1.977269e-07,2.029929e-07,2.079307e-07,2.094430e-07,2.125496e-07,2.153429e-07,2.168595e-07,2.207159e-07,2.208708e-07,2.245943e-07,2.255869e-07,2.280412e-07,2.299810e-07,2.312223e-07,2.339239e-07,2.341489e-07,2.368320e-07,2.374409e-07,2.392823e-07,2.405569e-07,2.415106e-07,2.432961e-07,2.435273e-07,2.453425e-07,2.456823e-07,2.469662e-07,2.477379e-07,2.484078e-07,2.494850e-07,2.496768e-07,2.507821e-07,2.509443e-07,2.517323e-07,2.521358e-07,2.525358e-07,2.530784e-07,2.532007e-07,2.537346e-07,2.537903e-07,2.541451e-07,2.542884e-07,2.544391e-07,2.545890e-07,2.546236e-07,2.547051e-07,2.547073e-07,2.546898e-07,2.546579e-07,2.545838e-07,2.544544e-07,2.543927e-07,2.541220e-07,2.541096e-07,2.537770e-07,2.536356e-07,2.533627e-07,2.530437e-07,2.528837e-07,2.523446e-07,2.517497e-07,2.515483e-07,2.511032e-07,2.506641e-07,2.504089e-07,2.497009e-07,2.496705e-07,2.488916e-07,2.486667e-07,2.480755e-07,2.475693e-07,2.472254e-07,2.464158e-07,2.463442e-07,2.454350e-07,2.452129e-07,2.445002e-07,2.439667e-07,2.435426e-07,2.426830e-07,2.425646e-07,2.415684e-07,2.413671e-07,2.405561e-07,2.400241e-07,2.395299e-07,2.386586e-07,2.384917e-07,2.374433e-07,2.372747e-07,2.363863e-07,2.358765e-07,2.353225e-07,2.344675e-07,2.342533e-07,2.331801e-07,2.330511e-07,2.321043e-07,2.316305e-07,2.310272e-07,2.302084e-07,2.299498e-07,2.288734e-07,2.287874e-07,2.277989e-07,2.273699e-07,2.267273e-07,2.259581e-07,2.256595e-07,2.245963e-07,2.245539e-07,2.235385e-07,2.231592e-07,2.224868e-07,2.217755e-07,2.214419e-07,2.204044e-07,2.190471e-07,2.177049e-07,2.163787e-07,2.150696e-07,2.137784e-07,2.125057e-07,2.112522e-07,2.100185e-07,2.088050e-07,2.076120e-07,2.064400e-07,2.052891e-07,2.041595e-07,2.030514e-07,2.019649e-07,2.008999e-07,1.998566e-07,1.988348e-07,1.978344e-07,1.968555e-07,1.958977e-07,1.949610e-07,1.940452e-07,1.931500e-07
0.000000e+00,9.519975e-11,2.335665e-10,8.653029e-10,2.045419e-09,3.033604e-09,7.148549e-09,7.374897e-09,1.482028e-08,1.761396e-08,2.653322e-08,3.615989e-08,4.382494e-08,6.550074e-08,6.765236e-08,9.786344e-08,1.059435e-07,1.332978e-07,1.549325e-07,1.726744e-07,2.098174e-07,2.150337e-07,2.596946e-07,2.688549e-07,3.061290e-07,3.308233e-07,3.538834e-07,3.947149e-07,4.025459e-07,4.517354e-07,4.596307e-07,5.011017e-07,5.247661e-07,5.503285e-07,5.894204e-07,5.991363e-07,6.472830e-07,6.530061e-07,6.945646e-07,7.150497e-07,7.408123e-07,7.751845e-07,7.858905e-07,8.296930e-07,8.331395e-07,8.721396e-07,8.887250e-07,9.131725e-07,9.418183e-07,9.527527e-07,9.908570e-07,9.923503e-07,1.027475e-06,1.040294e-06,1.062609e-06,1.085656e-06,1.096267e-06,1.128465e-06,1.159225e-06,1.168769e-06,1.188574e-06,1.206630e-06,1.216541e-06,1.242119e-06,1.243158e-06,1.268459e-06,1.275313e-06,1.292480e-06,1.306293e-06,1.315257e-06,1.335144e-06,1.336827e-06,1.357228e-06,1.361954e-06,1.376497e-06,1.386808e-06,1.394672e-06,1.409791e-06,1.411790e-06,1.427887e-06,1.430987e-06,1.443000e-06,1.450481e-06,1.457163e-06,1.468353e-06,1.470413e-06,1.482783e-06,1.484683e-06,1.494307e-06,1.499548e-06,1.505018e-06,1.513022e-06,1.514947e-06,1.524126e-06,1.525178e-06,1.532585e-06,1.536086e-06,1.540353e-06,1.545813e-06,1.547459e-06,1.553932e-06,1.554423e-06,1.559797e-06,1.561980e-06,1.565082e-06,1.568542e-06,1.569811e-06,1.574010e-06,1.574167e-06,1.577701e-06,1.578910e-06,1.580907e-06,1.582823e-06,1.583652e-06,1.585956e-06,1.587841e-06,1.588358e-06,1.589325e-06,1.590074e-06,1.590428e-06,1.591147e-06,1.591170e-06,1.591567e-06,1.591619e-06,1.591638e-06,1.591530e-06,1.591398e-06,1.590917e-06,1.590864e-06,1.590051e-06,1.589816e-06,1.588973e-06,1.588260e-06,1.587646e-06,1.586282e-06,1.586083e-06,1.584296e-06,1.583913e-06,1.582300e-06,1.581182e-06,1.580104e-06,1.578116e-06,1.577723e-06,1.575165e-06,1.574741e-06,1.572443e-06,1.571081e-06,1.569567e-06,1.567161e-06,1.566546e-06,1.563390e-06,1.563002e-06,1.560107e-06,1.558625e-06,1.556707e-06,1.554050e-06,1.553198e-06,1.549587e-06,1.549294e-06,1.545883e-06,1.544377e-06,1.542093e-06,1.539314e-06,1.538222e-06,1.534279e-06,1.534120e-06,1.530270e-06,1.528811e-06,1.526200e-06,1.523401e-06,1.522075e-06,1.517901e-06,1.512325e-06,1.506683e-06,1.500987e-06,1.495246e-06,1.489470e-06,1.483668e-06,1.477848e-06,1.472017e-06,1.466182e-06,1.460351e-06,1.454529e-06,1.448723e-06,1.442937e-06,1.437177e-06,1.431446e-06,1.425750e-06,1.420092e-06,1.414476e-06,1.408904e-06,1.403381e-06,1.397909e-06,1.392489e-06,1.387125e-06,1.381819e-06
0.000000e+00,5.640246e-12,1.293025e-11,4.433911e-11,1.003592e-10,1.459365e-10,3.280783e-10,3.378222e-10,6.468785e-10,7.582049e-10,1.101396e-09,1.456632e-09,1.732107e-09,2.494958e-09,2.570307e-09,3.639895e-09,3.932005e-09,4.944544e-09,5.770423e-09,6.462157e-09,7.943826e-09,8.154847e-09,9.983102e-09,1.036190e-08,1.191273e-08,1.294663e-08,1.391550e-08,1.563689e-08,1.596768e-08,1.804855e-08,1.838289e-08,2.013951e-08,2.114171e-08,2.222359e-08,2.387544e-08,2.428530e-08,2.631067e-08,2.655066e-08,2.828726e-08,2.913868e-08,3.020431e-08,3.161580e-08,3.205274e-08,3.382512e-08,3.396344e-08,3.551571e-08,3.616804e-08,3.712026e-08,3.822064e-08,3.863598e-08,4.006142e-08,4.011656e-08,4.139632e-08,4.185480e-08,4.264120e-08,4.343695e-08,4.379741e-08,4.486712e-08,4.585294e-08,4.615117e-08,4.675791e-08,4.729621e-08,4.758540e-08,4.831020e-08,4.833897e-08,4.902228e-08,4.920152e-08,4.963907e-08,4.997878e-08,5.019310e-08,5.065058e-08,5.068809e-08,5.112765e-08,5.122529e-08,5.151531e-08,5.171101e-08,5.185449e-08,5.211544e-08,5.214843e-08,5.240027e-08,5.244584e-08,5.261296e-08,5.270903e-08,5.278932e-08,5.291133e-08,5.293200e-08,5.304351e-08,5.305861e-08,5.312619e-08,5.315630e-08,5.318226e-08,5.320935e-08,5.321379e-08,5.322270e-08,5.322234e-08,5.321081e-08,5.319943e-08,5.317981e-08,5.314444e-08,5.313127e-08,5.306665e-08,5.306083e-08,5.298733e-08,5.295178e-08,5.289458e-08,5.282014e-08,5.278957e-08,5.267340e-08,5.266854e-08,5.254711e-08,5.249934e-08,5.241162e-08,5.231470e-08,5.226784e-08,5.211656e-08,5.195855e-08,5.190669e-08,5.179452e-08,5.168669e-08,5.162512e-08,5.145800e-08,5.145095e-08,5.127257e-08,5.122194e-08,5.109050e-08,5.097969e-08,5.090523e-08,5.073233e-08,5.071719e-08,5.052681e-08,5.048081e-08,5.033445e-08,5.022601e-08,5.014049e-08,4.996873e-08,4.994524e-08,4.974900e-08,4.970966e-08,4.955206e-08,4.944945e-08,4.935467e-08,4.918868e-08,4.915706e-08,4.895947e-08,4.892787e-08,4.876208e-08,4.866746e-08,4.856509e-08,4.840789e-08,4.836866e-08,4.817295e-08,4.814952e-08,4.797811e-08,4.789269e-08,4.778427e-08,4.763769e-08,4.759155e-08,4.740005e-08,4.738479e-08,4.720989e-08,4.713422e-08,4.702115e-08,4.688618e-08,4.683391e-08,4.664825e-08,4.664086e-08,4.646424e-08,4.639841e-08,4.628194e-08,4.615898e-08,4.610140e-08,4.592268e-08,4.568962e-08,4.545988e-08,4.523354e-08,4.501065e-08,4.479127e-08,4.457544e-08,4.436318e-08,4.415452e-08,4.394946e-08,4.374801e-08,4.355018e-08,4.335596e-08,4.316532e-08,4.297827e-08,4.279476e-08,4.261479e-08,4.243832e-08,4.226532e-08,4.209576e-08,4.192960e-08,4.176680e-08,4.160732e-08,4.145112e-08,4.129816e-08
0.000000e+00,4.690847e-11,1.104804e-10,3.931998e-10,9.154079e-10,1.352279e-09,3.183110e-09,3.284493e-09,6.658852e-09,7.943350e-09,1.210158e-08,1.667282e-08,2.036491e-08,3.101928e-08,3.209245e-08,4.741161e-08,5.157654e-08,6.583086e-08,7.722671e-08,8.662455e-08,1.063914e-07,1.091739e-07,1.330349e-07,1.379350e-07,1.578902e-07,1.711250e-07,1.834958e-07,2.054349e-07,2.096485e-07,2.361691e-07,2.404355e-07,2.628954e-07,2.757531e-07,2.896797e-07,3.110591e-07,3.163890e-07,3.429051e-07,3.460689e-07,3.691241e-07,3.805429e-07,3.949572e-07,4.142863e-07,4.203304e-07,4.451830e-07,4.471471e-07,4.694658e-07,4.790105e-07,4.931408e-07,5.097939e-07,5.161791e-07,5.385609e-07,5.394423e-07,5.602725e-07,5.679225e-07,5.813045e-07,5.952165e-07,6.016540e-07,6.213213e-07,6.403106e-07,6.462450e-07,6.586286e-07,6.700038e-07,6.762840e-07,6.926196e-07,6.932874e-07,7.096503e-07,7.141190e-07,7.253858e-07,7.345315e-07,7.405074e-07,7.538892e-07,7.550292e-07,7.689659e-07,7.722253e-07,7.823324e-07,7.895742e-07,7.951437e-07,8.059705e-07,8.074150e-07,8.191615e-07,8.214492e-07,8.303983e-07,8.360449e-07,8.411403e-07,8.497921e-07,8.514024e-07,8.611993e-07,8.627247e-07,8.705455e-07,8.748757e-07,8.794551e-07,8.862779e-07,8.879421e-07,8.960204e-07,8.969629e-07,9.037031e-07,9.069617e-07,9.110037e-07,9.163043e-07,9.179348e-07,9.245090e-07,9.250199e-07,9.307387e-07,9.331368e-07,9.366357e-07,9.406821e-07,9.422117e-07,9.474781e-07,9.476825e-07,9.524459e-07,9.541633e-07,9.571259e-07,9.601492e-07,9.615285e-07,9.656638e-07,9.695418e-07,9.707300e-07,9.731721e-07,9.753698e-07,9.765640e-07,9.796042e-07,9.797264e-07,9.826682e-07,9.834535e-07,9.853978e-07,9.869372e-07,9.879236e-07,9.900740e-07,9.902534e-07,9.923950e-07,9.928818e-07,9.943560e-07,9.953779e-07,9.961435e-07,9.975786e-07,9.977646e-07,9.992261e-07,9.994998e-07,1.000535e-06,1.001157e-06,1.001696e-06,1.002563e-06,1.002718e-06,1.003604e-06,1.003734e-06,1.004362e-06,1.004682e-06,1.004997e-06,1.005419e-06,1.005513e-06,1.005917e-06,1.005958e-06,1.006213e-06,1.006311e-06,1.006407e-06,1.006488e-06,1.006502e-06,1.006503e-06,1.006499e-06,1.006415e-06,1.006356e-06,1.006242e-06,1.006067e-06,1.005988e-06,1.005656e-06,1.005641e-06,1.005251e-06,1.005088e-06,1.004777e-06,1.004416e-06,1.004235e-06,1.003631e-06,1.002743e-06,1.001758e-06,1.000682e-06,9.995231e-07,9.982865e-07,9.969782e-07,9.956038e-07,9.941685e-07,9.926774e-07,9.911352e-07,9.895464e-07,9.879153e-07,9.862459e-07,9.845421e-07,9.828074e-07,9.810454e-07,9.792593e-07,9.774520e-07,9.756267e-07,9.737859e-07,9.719323e-07,9.700683e-07,9.681962e-07,9.663182e-07
0.000000e+00,1.900911e-10,5.360476e-10,2.293990e-09,5.778534e-09,8.759536e-09,2.130752e-08,2.199826e-08,4.456027e-08,5.292936e-08,7.931593e-08,1.073666e-07,1.295275e-07,1.923166e-07,1.986114e-07,2.892987e-07,3.144160e-07,4.023135e-07,4.747391e-07,5.357769e-07,6.673929e-07,6.862195e-07,8.500517e-07,8.841478e-07,1.024255e-06,1.118119e-06,1.206414e-06,1.364111e-06,1.394539e-06,1.586922e-06,1.617994e-06,1.782043e-06,1.876266e-06,1.978530e-06,2.135865e-06,2.175142e-06,2.370762e-06,2.394122e-06,2.564407e-06,2.648759e-06,2.755217e-06,2.897881e-06,2.942459e-06,3.125524e-06,3.139973e-06,3.303896e-06,3.373838e-06,3.477176e-06,3.598606e-06,3.645051e-06,3.807291e-06,3.813661e-06,3.963735e-06,4.018615e-06,4.114282e-06,4.213257e-06,4.258879e-06,4.397516e-06,4.530220e-06,4.571440e-06,4.657044e-06,4.735161e-06,4.778067e-06,4.888880e-06,4.893384e-06,5.003108e-06,5.032844e-06,5.107360e-06,5.167340e-06,5.206273e-06,5.292675e-06,5.299984e-06,5.388637e-06,5.409177e-06,5.472378e-06,5.517182e-06,5.551355e-06,5.617031e-06,5.625716e-06,5.695611e-06,5.709067e-06,5.761189e-06,5.793631e-06,5.822595e-06,5.871060e-06,5.879977e-06,5.933476e-06,5.941685e-06,5.983234e-06,6.005830e-06,6.029389e-06,6.063811e-06,6.072078e-06,6.111431e-06,6.115935e-06,6.147579e-06,6.162501e-06,6.180648e-06,6.203796e-06,6.210760e-06,6.238036e-06,6.240099e-06,6.262592e-06,6.271678e-06,6.284541e-06,6.298792e-06,6.303993e-06,6.321054e-06,6.321688e-06,6.335827e-06,6.340605e-06,6.348413e-06,6.355772e-06,6.358909e-06,6.367407e-06,6.373999e-06,6.375720e-06,6.378772e-06,6.380911e-06,6.381811e-06,6.383172e-06,6.383197e-06,6.383010e-06,6.382686e-06,6.381325e-06,6.379626e-06,6.378216e-06,6.374158e-06,6.373753e-06,6.368006e-06,6.366442e-06,6.361038e-06,6.356628e-06,6.352915e-06,6.344858e-06,6.343696e-06,6.333440e-06,6.331269e-06,6.322204e-06,6.315991e-06,6.310041e-06,6.299147e-06,6.297004e-06,6.283143e-06,6.280852e-06,6.268506e-06,6.261218e-06,6.253139e-06,6.240349e-06,6.237086e-06,6.220390e-06,6.218345e-06,6.203092e-06,6.195300e-06,6.185231e-06,6.171303e-06,6.166844e-06,6.147968e-06,6.146437e-06,6.128636e-06,6.120783e-06,6.108882e-06,6.094416e-06,6.088738e-06,6.068233e-06,6.067406e-06,6.047397e-06,6.039821e-06,6.026258e-06,6.011723e-06,6.004841e-06,5.983172e-06,5.954224e-06,5.924931e-06,5.895344e-06,5.865509e-06,5.835470e-06,5.805266e-06,5.774938e-06,5.744521e-06,5.714049e-06,5.683553e-06,5.653062e-06,5.622605e-06,5.592207e-06,5.561891e-06,5.531680e-06,5.501594e-06,5.471652e-06,5.441873e-06,5.412271e-06,5.382863e-06,5.353662e-06,5.324681e-06,5.295931e-06,5.267423e-06
0.000000e+00,6.099482e-12,1.402545e-11,4.837457e-11,1.100784e-10,1.605579e-10,3.640010e-10,3.749472e-10,7.246377e-10,8.515939e-10,1.245503e-09,1.656422e-09,1.976783e-09,2.869456e-09,2.957965e-09,4.218698e-09,4.564064e-09,5.763352e-09,6.743095e-09,7.564203e-09,9.323195e-09,9.573655e-09,1.174224e-08,1.219119e-08,1.402771e-08,1.525070e-08,1.639576e-08,1.842789e-08,1.881807e-08,2.127051e-08,2.166424e-08,2.373192e-08,2.491099e-08,2.618358e-08,2.812673e-08,2.860899e-08,3.099370e-08,3.127653e-08,3.332537e-08,3.433177e-08,3.559368e-08,3.727000e-08,3.779025e-08,3.990853e-08,4.007445e-08,4.194363e-08,4.273358e-08,4.389216e-08,4.524029e-08,4.575205e-08,4.752232e-08,4.759126e-08,4.920297e-08,4.978619e-08,5.079478e-08,5.182715e-08,5.229915e-08,5.371801e-08,5.505365e-08,5.546391e-08,5.630869e-08,5.707089e-08,5.748590e-08,5.854554e-08,5.858823e-08,5.961871e-08,5.989478e-08,6.058038e-08,6.112563e-08,6.147631e-08,6.224510e-08,6.230952e-08,6.308299e-08,6.326006e-08,6.379963e-08,6.417719e-08,6.446228e-08,6.500293e-08,6.507368e-08,6.563646e-08,6.574341e-08,6.615318e-08,6.640449e-08,6.662629e-08,6.699170e-08,6.705812e-08,6.745091e-08,6.751028e-08,6.780682e-08,6.796516e-08,6.812788e-08,6.836096e-08,6.841605e-08,6.867317e-08,6.870202e-08,6.890101e-08,6.899242e-08,6.910125e-08,6.923596e-08,6.927549e-08,6.942524e-08,6.943620e-08,6.955193e-08,6.959647e-08,6.965694e-08,6.971985e-08,6.974156e-08,6.980701e-08,6.980925e-08,6.985446e-08,6.986735e-08,6.988502e-08,6.989668e-08,6.989972e-08,6.989956e-08,6.988547e-08,6.987817e-08,6.985835e-08,6.983454e-08,6.981903e-08,6.977055e-08,6.976831e-08,6.970695e-08,6.968795e-08,6.963565e-08,6.958838e-08,6.955509e-08,6.947334e-08,6.946590e-08,6.936870e-08,6.934424e-08,6.926405e-08,6.920240e-08,6.915249e-08,6.904901e-08,6.903453e-08,6.891066e-08,6.888521e-08,6.878132e-08,6.871205e-08,6.864695e-08,6.853049e-08,6.850796e-08,6.836472e-08,6.834144e-08,6.821761e-08,6.814572e-08,6.806697e-08,6.794412e-08,6.791311e-08,6.775635e-08,6.773735e-08,6.759697e-08,6.752608e-08,6.743524e-08,6.731092e-08,6.727142e-08,6.710576e-08,6.709244e-08,6.693848e-08,6.687116e-08,6.676979e-08,6.664758e-08,6.659991e-08,6.642901e-08,6.642216e-08,6.625728e-08,6.619529e-08,6.608489e-08,6.596737e-08,6.591200e-08,6.573876e-08,6.550978e-08,6.528073e-08,6.505188e-08,6.482350e-08,6.459582e-08,6.436904e-08,6.414337e-08,6.391900e-08,6.369607e-08,6.347474e-08,6.325515e-08,6.303742e-08,6.282166e-08,6.260797e-08,6.239645e-08,6.218717e-08,6.198020e-08,6.177561e-08,6.157346e-08,6.137379e-08,6.117665e-08,6.098208e-08,6.079010e-08,6.060074e-08
0.000000e+00,7.421772e-13,4.755136e-12,7.277016e-11,4.299863e-10,9.590648e-10,5.256019e-09,5.583339e-09,2.085313e-08,2.855988e-08,5.901791e-08,1.002469e-07,1.383374e-07,2.684649e-07,2.831279e-07,5.231073e-07,5.985295e-07,8.915627e-07,1.166632e-06,1.422048e-06,2.046689e-06,2.144310e-06,3.080753e-06,3.295063e-06,4.244367e-06,4.940625e-06,5.638226e-06,6.982765e-06,7.256214e-06,9.084422e-06,9.395175e-06,1.110279e-05,1.213206e-05,1.328671e-05,1.513456e-05,1.560857e-05,1.803895e-05,1.833646e-05,2.054783e-05,2.166891e-05,2.310547e-05,2.506422e-05,2.568325e-05,2.825430e-05,2.845894e-05,3.079403e-05,3.179615e-05,3.328052e-05,3.502703e-05,3.569475e-05,3.802077e-05,3.811178e-05,4.024563e-05,4.101981e-05,4.235937e-05,4.372947e-05,4.435480e-05,4.622730e-05,4.797450e-05,4.850704e-05,4.959606e-05,5.056846e-05,5.109329e-05,5.241618e-05,5.246891e-05,5.372675e-05,5.405846e-05,5.487148e-05,5.550620e-05,5.590838e-05,5.677198e-05,5.684314e-05,5.768171e-05,5.786934e-05,5.843018e-05,5.881223e-05,5.909461e-05,5.961451e-05,5.968094e-05,6.019492e-05,6.028953e-05,6.064209e-05,6.084997e-05,6.102772e-05,6.130777e-05,6.135682e-05,6.163408e-05,6.167393e-05,6.186390e-05,6.195856e-05,6.205034e-05,6.217082e-05,6.219719e-05,6.230792e-05,6.231894e-05,6.238576e-05,6.241037e-05,6.243370e-05,6.245182e-05,6.245447e-05,6.245057e-05,6.244927e-05,6.242430e-05,6.240800e-05,6.237775e-05,6.233275e-05,6.231282e-05,6.223129e-05,6.222770e-05,6.213474e-05,6.209660e-05,6.202466e-05,6.194276e-05,6.190238e-05,6.176913e-05,6.162603e-05,6.157833e-05,6.147411e-05,6.137269e-05,6.131431e-05,6.115427e-05,6.114748e-05,6.097440e-05,6.092493e-05,6.079581e-05,6.068628e-05,6.061236e-05,6.043981e-05,6.042465e-05,6.023325e-05,6.018682e-05,6.003865e-05,5.992846e-05,5.984133e-05,5.966579e-05,5.964173e-05,5.944022e-05,5.939973e-05,5.923718e-05,5.913111e-05,5.903295e-05,5.886068e-05,5.882781e-05,5.862207e-05,5.858911e-05,5.841597e-05,5.831699e-05,5.820976e-05,5.804485e-05,5.800364e-05,5.779783e-05,5.777316e-05,5.759251e-05,5.750236e-05,5.738784e-05,5.723283e-05,5.718398e-05,5.698108e-05,5.696490e-05,5.677927e-05,5.669887e-05,5.657866e-05,5.643503e-05,5.637936e-05,5.618148e-05,5.617360e-05,5.598511e-05,5.591480e-05,5.579032e-05,5.565881e-05,5.559720e-05,5.540580e-05,5.515591e-05,5.490926e-05,5.466596e-05,5.442610e-05,5.418976e-05,5.395700e-05,5.372789e-05,5.350246e-05,5.328074e-05,5.306277e-05,5.284855e-05,5.263810e-05,5.243141e-05,5.222849e-05,5.202933e-05,5.183391e-05,5.164222e-05,5.145422e-05,5.126990e-05,5.108923e-05,5.091217e-05,5.073869e-05,5.056875e-05,5.040231e-05
0.000000e+00,9.161096e-13,5.628504e-12,7.908322e-11,4.330443e-10,9.270268e-10,4.579888e-09,4.844962e-09,1.638072e-08,2.184726e-08,4.227279e-08,6.814291e-08,9.091534e-08,1.637981e-07,1.716681e-07,2.942186e-07,3.309153e-07,4.680627e-07,5.911647e-07,7.020700e-07,9.639902e-07,1.004038e-06,1.380162e-06,1.464684e-06,1.834476e-06,2.102214e-06,2.368445e-06,2.877741e-06,2.980883e-06,3.668220e-06,3.784799e-06,4.424960e-06,4.810865e-06,5.244217e-06,5.939410e-06,6.118186e-06,7.038537e-06,7.151690e-06,7.996722e-06,8.428107e-06,8.984217e-06,9.749193e-06,9.992717e-06,1.101428e-05,1.109635e-05,1.204148e-05,1.245237e-05,1.306745e-05,1.380188e-05,1.408599e-05,1.509162e-05,1.513150e-05,1.607952e-05,1.643002e-05,1.704562e-05,1.768833e-05,1.798648e-05,1.889933e-05,1.978197e-05,2.005775e-05,2.063274e-05,2.115994e-05,2.145045e-05,2.220362e-05,2.223432e-05,2.298394e-05,2.318768e-05,2.369922e-05,2.411194e-05,2.438029e-05,2.497699e-05,2.502753e-05,2.564150e-05,2.578397e-05,2.622287e-05,2.653449e-05,2.677244e-05,2.723047e-05,2.729111e-05,2.777981e-05,2.787404e-05,2.823953e-05,2.846748e-05,2.867131e-05,2.901316e-05,2.907617e-05,2.945517e-05,2.951348e-05,2.980934e-05,2.997083e-05,3.013972e-05,3.038757e-05,3.044732e-05,3.073314e-05,3.076602e-05,3.099816e-05,3.110843e-05,3.124333e-05,3.141695e-05,3.146957e-05,3.167777e-05,3.169368e-05,3.186881e-05,3.194060e-05,3.204351e-05,3.215963e-05,3.220268e-05,3.234709e-05,3.235257e-05,3.247750e-05,3.252116e-05,3.259462e-05,3.266702e-05,3.269913e-05,3.279170e-05,3.287296e-05,3.289667e-05,3.294351e-05,3.298331e-05,3.300393e-05,3.305292e-05,3.305478e-05,3.309658e-05,3.310674e-05,3.312985e-05,3.314591e-05,3.315506e-05,3.317154e-05,3.317268e-05,3.318315e-05,3.318464e-05,3.318688e-05,3.318618e-05,3.318428e-05,3.317707e-05,3.317574e-05,3.316161e-05,3.315814e-05,3.314224e-05,3.313021e-05,3.311796e-05,3.309401e-05,3.308909e-05,3.305592e-05,3.305024e-05,3.301875e-05,3.299956e-05,3.297783e-05,3.294258e-05,3.293343e-05,3.288580e-05,3.287988e-05,3.283516e-05,3.281198e-05,3.278174e-05,3.273940e-05,3.272574e-05,3.266736e-05,3.266260e-05,3.260680e-05,3.258201e-05,3.254423e-05,3.249804e-05,3.247983e-05,3.241375e-05,3.241107e-05,3.234614e-05,3.232146e-05,3.227715e-05,3.222953e-05,3.220692e-05,3.213558e-05,3.203992e-05,3.194279e-05,3.184444e-05,3.174510e-05,3.164499e-05,3.154430e-05,3.144320e-05,3.134186e-05,3.124045e-05,3.113910e-05,3.103793e-05,3.093708e-05,3.083665e-05,3.073675e-05,3.063746e-05,3.053886e-05,3.044105e-05,3.034408e-05,3.024801e-05,3.015291e-05,3.005883e-05,2.996581e-05,2.987390e-05,2.978312e-05
0.000000e+00,2.623946e-13,1.671119e-12,2.526438e-11,1.476645e-10,3.274059e-10,1.766801e-09,1.875637e-09,6.894723e-09,9.400364e-09,1.919700e-08,3.227588e-08,4.422712e-08,8.439479e-08,8.887070e-08,1.611223e-07,1.835293e-07,2.696973e-07,3.497331e-07,4.236354e-07,6.037523e-07,6.318995e-07,9.029570e-07,9.653882e-07,1.244346e-06,1.451786e-06,1.662273e-06,2.075881e-06,2.161315e-06,2.744250e-06,2.845394e-06,3.412032e-06,3.762535e-06,4.163869e-06,4.824301e-06,4.997370e-06,5.908732e-06,6.023101e-06,6.892935e-06,7.347537e-06,7.943945e-06,8.783206e-06,9.054917e-06,1.021839e-05,1.031350e-05,1.142645e-05,1.192035e-05,1.267097e-05,1.358498e-05,1.394372e-05,1.523653e-05,1.528854e-05,1.654147e-05,1.701275e-05,1.785095e-05,1.874031e-05,1.915779e-05,2.045536e-05,2.173758e-05,2.214374e-05,2.299900e-05,2.379313e-05,2.423478e-05,2.539313e-05,2.544075e-05,2.661334e-05,2.693526e-05,2.774957e-05,2.841285e-05,2.884707e-05,2.982093e-05,2.990395e-05,3.091883e-05,3.115604e-05,3.189078e-05,3.241610e-05,3.281925e-05,3.360017e-05,3.370404e-05,3.454526e-05,3.470830e-05,3.534327e-05,3.574135e-05,3.609867e-05,3.670084e-05,3.681223e-05,3.748488e-05,3.758877e-05,3.811767e-05,3.840759e-05,3.871176e-05,3.915998e-05,3.926836e-05,3.978877e-05,3.984885e-05,4.027429e-05,4.047721e-05,4.072626e-05,4.104815e-05,4.114603e-05,4.153495e-05,4.156477e-05,4.189435e-05,4.203014e-05,4.222554e-05,4.244726e-05,4.252982e-05,4.280844e-05,4.281907e-05,4.306264e-05,4.314841e-05,4.329362e-05,4.343801e-05,4.350253e-05,4.369050e-05,4.385860e-05,4.390837e-05,4.400787e-05,4.409399e-05,4.413931e-05,4.424962e-05,4.425389e-05,4.435252e-05,4.437739e-05,4.443607e-05,4.447933e-05,4.450540e-05,4.455732e-05,4.456132e-05,4.460458e-05,4.461316e-05,4.463592e-05,4.464853e-05,4.465605e-05,4.466502e-05,4.466563e-05,4.466530e-05,4.466410e-05,4.465567e-05,4.464717e-05,4.463730e-05,4.461553e-05,4.461076e-05,4.457656e-05,4.457041e-05,4.453519e-05,4.451293e-05,4.448714e-05,4.444417e-05,4.443284e-05,4.437272e-05,4.436513e-05,4.430719e-05,4.427674e-05,4.423662e-05,4.417986e-05,4.416139e-05,4.408184e-05,4.407530e-05,4.399829e-05,4.396382e-05,4.391105e-05,4.384612e-05,4.382041e-05,4.372667e-05,4.372285e-05,4.363006e-05,4.359464e-05,4.353086e-05,4.346203e-05,4.342929e-05,4.332557e-05,4.318573e-05,4.304297e-05,4.289771e-05,4.275035e-05,4.260124e-05,4.245073e-05,4.229911e-05,4.214667e-05,4.199369e-05,4.184039e-05,4.168702e-05,4.153376e-05,4.138082e-05,4.122836e-05,4.107655e-05,4.092552e-05,4.077543e-05,4.062637e-05,4.047848e-05,4.033184e-05,4.018654e-05,4.004267e-05,3.990031e-05,3.975951e-05
0.000000e+00,1.546064e-12,3.535808e-12,1.211614e-11,2.744971e-11,3.993905e-11,8.985379e-11,9.252171e-11,1.768906e-10,2.071365e-10,2.998301e-10,3.949038e-10,4.680613e-10,6.685891e-10,6.882735e-10,9.668559e-10,1.043030e-09,1.309104e-09,1.529756e-09,1.717778e-09,2.131373e-09,2.191491e-09,2.724187e-09,2.837009e-09,3.306453e-09,3.625308e-09,3.927732e-09,4.472368e-09,4.577971e-09,5.248275e-09,5.356854e-09,5.930918e-09,6.260961e-09,6.619172e-09,7.169817e-09,7.307122e-09,7.989537e-09,8.070829e-09,8.661793e-09,8.953304e-09,9.319841e-09,9.808283e-09,9.960183e-09,1.057986e-08,1.062846e-08,1.117641e-08,1.140810e-08,1.174789e-08,1.214297e-08,1.229279e-08,1.281005e-08,1.283016e-08,1.329898e-08,1.346799e-08,1.375924e-08,1.405579e-08,1.419076e-08,1.459377e-08,1.496868e-08,1.508281e-08,1.531609e-08,1.552434e-08,1.563674e-08,1.592020e-08,1.593151e-08,1.620131e-08,1.627252e-08,1.644718e-08,1.658363e-08,1.667014e-08,1.685597e-08,1.687128e-08,1.705168e-08,1.709201e-08,1.721243e-08,1.729426e-08,1.735458e-08,1.746515e-08,1.747921e-08,1.758733e-08,1.760706e-08,1.767994e-08,1.772230e-08,1.775802e-08,1.781304e-08,1.782248e-08,1.787422e-08,1.788138e-08,1.791411e-08,1.792928e-08,1.794294e-08,1.795857e-08,1.796150e-08,1.797053e-08,1.797101e-08,1.797072e-08,1.796818e-08,1.796275e-08,1.795161e-08,1.794723e-08,1.792477e-08,1.792269e-08,1.789591e-08,1.788270e-08,1.786120e-08,1.783285e-08,1.782111e-08,1.777613e-08,1.777424e-08,1.772669e-08,1.770788e-08,1.767320e-08,1.763471e-08,1.761605e-08,1.755560e-08,1.749218e-08,1.747132e-08,1.742612e-08,1.738259e-08,1.735771e-08,1.729009e-08,1.728724e-08,1.721494e-08,1.719441e-08,1.714108e-08,1.709610e-08,1.706586e-08,1.699566e-08,1.698951e-08,1.691221e-08,1.689354e-08,1.683415e-08,1.679016e-08,1.675549e-08,1.668589e-08,1.667638e-08,1.659697e-08,1.658107e-08,1.651740e-08,1.647600e-08,1.643778e-08,1.637095e-08,1.635823e-08,1.627885e-08,1.626617e-08,1.619974e-08,1.616188e-08,1.612098e-08,1.605828e-08,1.604265e-08,1.596484e-08,1.595554e-08,1.588760e-08,1.585381e-08,1.581099e-08,1.575323e-08,1.573508e-08,1.565990e-08,1.565392e-08,1.558551e-08,1.555598e-08,1.551194e-08,1.545951e-08,1.543924e-08,1.536742e-08,1.536457e-08,1.529653e-08,1.527124e-08,1.522658e-08,1.517956e-08,1.515760e-08,1.508959e-08,1.500136e-08,1.491490e-08,1.483023e-08,1.474737e-08,1.466631e-08,1.458708e-08,1.450966e-08,1.443405e-08,1.436024e-08,1.428822e-08,1.421798e-08,1.414949e-08,1.408273e-08,1.401769e-08,1.395434e-08,1.389264e-08,1.383259e-08,1.377414e-08,1.371727e-08,1.366194e-08,1.360814e-08,1.355582e-08,1.350496e-08,1.345553e-08
0.000000e+00,2.592592e-11,6.106244e-11,2.158078e-10,4.960188e-10,7.256273e-10,1.648775e-09,1.698280e-09,3.269299e-09,3.834597e-09,5.572443e-09,7.362120e-09,8.743485e-09,1.254514e-08,1.291932e-08,1.822679e-08,1.968019e-08,2.475445e-08,2.895049e-08,3.251116e-08,4.028115e-08,4.140283e-08,5.125804e-08,5.332739e-08,6.188118e-08,6.764724e-08,7.309013e-08,8.284277e-08,8.472783e-08,9.665974e-08,9.858812e-08,1.087686e-07,1.146128e-07,1.209505e-07,1.306855e-07,1.331120e-07,1.451698e-07,1.466062e-07,1.570499e-07,1.622037e-07,1.686873e-07,1.773351e-07,1.800268e-07,1.910217e-07,1.918852e-07,2.016344e-07,2.057655e-07,2.118352e-07,2.189121e-07,2.216021e-07,2.309199e-07,2.312832e-07,2.397794e-07,2.428557e-07,2.481765e-07,2.536226e-07,2.561119e-07,2.635896e-07,2.706172e-07,2.727725e-07,2.772044e-07,2.811945e-07,2.833631e-07,2.888846e-07,2.891066e-07,2.944492e-07,2.958754e-07,2.994062e-07,3.022018e-07,3.039933e-07,3.079002e-07,3.082262e-07,3.121208e-07,3.130070e-07,3.156931e-07,3.175585e-07,3.189585e-07,3.215904e-07,3.219324e-07,3.246298e-07,3.251373e-07,3.270651e-07,3.282326e-07,3.292523e-07,3.309078e-07,3.312050e-07,3.329359e-07,3.331932e-07,3.344577e-07,3.351174e-07,3.357822e-07,3.367073e-07,3.369207e-07,3.378840e-07,3.379884e-07,3.386826e-07,3.389843e-07,3.393261e-07,3.397174e-07,3.398241e-07,3.401854e-07,3.402086e-07,3.404183e-07,3.404774e-07,3.405309e-07,3.405418e-07,3.405308e-07,3.404251e-07,3.404188e-07,3.402207e-07,3.401242e-07,3.399239e-07,3.396726e-07,3.395410e-07,3.390776e-07,3.385393e-07,3.383520e-07,3.379311e-07,3.375075e-07,3.372580e-07,3.365551e-07,3.365247e-07,3.357354e-07,3.355049e-07,3.348942e-07,3.343663e-07,3.340052e-07,3.331481e-07,3.330719e-07,3.320978e-07,3.318584e-07,3.310863e-07,3.305046e-07,3.300403e-07,3.290937e-07,3.289628e-07,3.278566e-07,3.276322e-07,3.267242e-07,3.261259e-07,3.255682e-07,3.245804e-07,3.243907e-07,3.231939e-07,3.230008e-07,3.219800e-07,3.213917e-07,3.207507e-07,3.197576e-07,3.195080e-07,3.182536e-07,3.181023e-07,3.169889e-07,3.164297e-07,3.157157e-07,3.147430e-07,3.144351e-07,3.131487e-07,3.130455e-07,3.118575e-07,3.113401e-07,3.105629e-07,3.096293e-07,3.092659e-07,3.079675e-07,3.079156e-07,3.066688e-07,3.062013e-07,3.053705e-07,3.044884e-07,3.040736e-07,3.027788e-07,3.010743e-07,2.993763e-07,2.976863e-07,2.960057e-07,2.943356e-07,2.926771e-07,2.910312e-07,2.893988e-07,2.877806e-07,2.861774e-07,2.845898e-07,2.830183e-07,2.814635e-07,2.799258e-07,2.784056e-07,2.769033e-07,2.754190e-07,2.739531e-07,2.725057e-07,2.710770e-07,2.696672e-07,2.682763e-07,2.669044e-07,2.655515e-07
0.000000e+00,1.260972e-10,3.030538e-10,1.095849e-09,2.551533e-09,3.755036e-09,8.657279e-09,8.922519e-09,1.743627e-08,2.053876e-08,3.017756e-08,4.023030e-08,4.805604e-08,6.979714e-08,7.194868e-08,1.025990e-07,1.110221e-07,1.404969e-07,1.649493e-07,1.857662e-07,2.314578e-07,2.380868e-07,2.966748e-07,3.090451e-07,3.603321e-07,3.949511e-07,4.275753e-07,4.856735e-07,4.968251e-07,5.666077e-07,5.777364e-07,6.356996e-07,6.683370e-07,7.031813e-07,7.555704e-07,7.684145e-07,8.309830e-07,8.382988e-07,8.906326e-07,9.159140e-07,9.472217e-07,9.881421e-07,1.000688e-06,1.051025e-06,1.054918e-06,1.098265e-06,1.116306e-06,1.142468e-06,1.172459e-06,1.183715e-06,1.222101e-06,1.223578e-06,1.257729e-06,1.269902e-06,1.290711e-06,1.311684e-06,1.321159e-06,1.349188e-06,1.374915e-06,1.382679e-06,1.398451e-06,1.412416e-06,1.419908e-06,1.438652e-06,1.439395e-06,1.457016e-06,1.461630e-06,1.472874e-06,1.481583e-06,1.487065e-06,1.498731e-06,1.499685e-06,1.510822e-06,1.513284e-06,1.520563e-06,1.525438e-06,1.528989e-06,1.535379e-06,1.536179e-06,1.542208e-06,1.543281e-06,1.547147e-06,1.549307e-06,1.551063e-06,1.553608e-06,1.554019e-06,1.556078e-06,1.556328e-06,1.557297e-06,1.557600e-06,1.557730e-06,1.557546e-06,1.557430e-06,1.556445e-06,1.556283e-06,1.554822e-06,1.553918e-06,1.552606e-06,1.550550e-06,1.549837e-06,1.546555e-06,1.546272e-06,1.542798e-06,1.541170e-06,1.538601e-06,1.535324e-06,1.533996e-06,1.529015e-06,1.528809e-06,1.523689e-06,1.521691e-06,1.518043e-06,1.514036e-06,1.512106e-06,1.505901e-06,1.499453e-06,1.497342e-06,1.492783e-06,1.488407e-06,1.485911e-06,1.479143e-06,1.478858e-06,1.471641e-06,1.469594e-06,1.464278e-06,1.459797e-06,1.456786e-06,1.449791e-06,1.449178e-06,1.441470e-06,1.439607e-06,1.433675e-06,1.429276e-06,1.425805e-06,1.418828e-06,1.417873e-06,1.409888e-06,1.408286e-06,1.401863e-06,1.397676e-06,1.393805e-06,1.387019e-06,1.385725e-06,1.377630e-06,1.376334e-06,1.369529e-06,1.365640e-06,1.361429e-06,1.354954e-06,1.353336e-06,1.345257e-06,1.344289e-06,1.337199e-06,1.333660e-06,1.329165e-06,1.323080e-06,1.321162e-06,1.313195e-06,1.312559e-06,1.305267e-06,1.302107e-06,1.297382e-06,1.291734e-06,1.289545e-06,1.281759e-06,1.281448e-06,1.274026e-06,1.271256e-06,1.266350e-06,1.261165e-06,1.258734e-06,1.251179e-06,1.241305e-06,1.231547e-06,1.221909e-06,1.212394e-06,1.203005e-06,1.193744e-06,1.184614e-06,1.175616e-06,1.166751e-06,1.158021e-06,1.149426e-06,1.140966e-06,1.132641e-06,1.124452e-06,1.116399e-06,1.108480e-06,1.100696e-06,1.093045e-06,1.085527e-06,1.078140e-06,1.070883e-06,1.063756e-06,1.056757e-06,1.049885e-06
0.000000e+00,1.131807e-10,3.071666e-10,1.260634e-09,3.109127e-09,4.671767e-09,1.114818e-08,1.150109e-08,2.287369e-08,2.702659e-08,3.992973e-08,5.337929e-08,6.384477e-08,9.292513e-08,9.580511e-08,1.369150e-07,1.482451e-07,1.880127e-07,2.211328e-07,2.493987e-07,3.115532e-07,3.205732e-07,4.001875e-07,4.169602e-07,4.863390e-07,5.330509e-07,5.770296e-07,6.554155e-07,6.704932e-07,7.653025e-07,7.805184e-07,8.603392e-07,9.057728e-07,9.547271e-07,1.029298e-06,1.047772e-06,1.138919e-06,1.149708e-06,1.227730e-06,1.265974e-06,1.313858e-06,1.377355e-06,1.397038e-06,1.477075e-06,1.483338e-06,1.553833e-06,1.583598e-06,1.627228e-06,1.677965e-06,1.697218e-06,1.763798e-06,1.766391e-06,1.826992e-06,1.848922e-06,1.886847e-06,1.925674e-06,1.943429e-06,1.996819e-06,2.047107e-06,2.062560e-06,2.094393e-06,2.123128e-06,2.138780e-06,2.178766e-06,2.180377e-06,2.219293e-06,2.229723e-06,2.255636e-06,2.276253e-06,2.289517e-06,2.318605e-06,2.321043e-06,2.350320e-06,2.357023e-06,2.377451e-06,2.391745e-06,2.402537e-06,2.422999e-06,2.425676e-06,2.446961e-06,2.451004e-06,2.466485e-06,2.475971e-06,2.484335e-06,2.498098e-06,2.500596e-06,2.515348e-06,2.517574e-06,2.528671e-06,2.534580e-06,2.540638e-06,2.549285e-06,2.551322e-06,2.560791e-06,2.561848e-06,2.569110e-06,2.572422e-06,2.576342e-06,2.581148e-06,2.582547e-06,2.587782e-06,2.588161e-06,2.592102e-06,2.593585e-06,2.595558e-06,2.597540e-06,2.598201e-06,2.600076e-06,2.600136e-06,2.601230e-06,2.601477e-06,2.601705e-06,2.601661e-06,2.601542e-06,2.600779e-06,2.599454e-06,2.598917e-06,2.597601e-06,2.596155e-06,2.595255e-06,2.592567e-06,2.592446e-06,2.589205e-06,2.588224e-06,2.585561e-06,2.583192e-06,2.581540e-06,2.577531e-06,2.577169e-06,2.572471e-06,2.571298e-06,2.567471e-06,2.564547e-06,2.562190e-06,2.557327e-06,2.556649e-06,2.550868e-06,2.549685e-06,2.544866e-06,2.541663e-06,2.538660e-06,2.533302e-06,2.532267e-06,2.525705e-06,2.524640e-06,2.518986e-06,2.515710e-06,2.512127e-06,2.506546e-06,2.505139e-06,2.498037e-06,2.497178e-06,2.490833e-06,2.487633e-06,2.483537e-06,2.477937e-06,2.476160e-06,2.468713e-06,2.468115e-06,2.461206e-06,2.458188e-06,2.453647e-06,2.448178e-06,2.446046e-06,2.438409e-06,2.438103e-06,2.430745e-06,2.427981e-06,2.423061e-06,2.417828e-06,2.415364e-06,2.407660e-06,2.397490e-06,2.387330e-06,2.377194e-06,2.367091e-06,2.357032e-06,2.347025e-06,2.337079e-06,2.327202e-06,2.317399e-06,2.307678e-06,2.298044e-06,2.288503e-06,2.279058e-06,2.269713e-06,2.260474e-06,2.251342e-06,2.242321e-06,2.233413e-06,2.224620e-06,2.215944e-06,2.207387e-06,2.198950e-06,2.190634e-06,2.182440e-06
0.000000e+00,1.094218e-10,2.725750e-10,1.025262e-09,2.434954e-09,3.611709e-09,8.452593e-09,8.715941e-09,1.721932e-08,2.033821e-08,3.008485e-08,4.032690e-08,4.833905e-08,7.065305e-08,7.285774e-08,1.040001e-07,1.124449e-07,1.415656e-07,1.652516e-07,1.851343e-07,2.281199e-07,2.343039e-07,2.887184e-07,3.002004e-07,3.480305e-07,3.806864e-07,4.118683e-07,4.686890e-07,4.798193e-07,5.514285e-07,5.631930e-07,6.262037e-07,6.630688e-07,7.036263e-07,7.671127e-07,7.831637e-07,8.642835e-07,8.740994e-07,9.464671e-07,9.828361e-07,1.029219e-06,1.092201e-06,1.112071e-06,1.194594e-06,1.201170e-06,1.276399e-06,1.308841e-06,1.357138e-06,1.414439e-06,1.436509e-06,1.514248e-06,1.517320e-06,1.590135e-06,1.616965e-06,1.663986e-06,1.712964e-06,1.735649e-06,1.804991e-06,1.871923e-06,1.892821e-06,1.936382e-06,1.976319e-06,1.998329e-06,2.055415e-06,2.057743e-06,2.114619e-06,2.130091e-06,2.168966e-06,2.200369e-06,2.220806e-06,2.266309e-06,2.270168e-06,2.317092e-06,2.327995e-06,2.361621e-06,2.385531e-06,2.403808e-06,2.439036e-06,2.443704e-06,2.481369e-06,2.488639e-06,2.516862e-06,2.534479e-06,2.550243e-06,2.576698e-06,2.581576e-06,2.610924e-06,2.615440e-06,2.638351e-06,2.650852e-06,2.663920e-06,2.683080e-06,2.687694e-06,2.709736e-06,2.712268e-06,2.730108e-06,2.738558e-06,2.748870e-06,2.762090e-06,2.766083e-06,2.781805e-06,2.783001e-06,2.796095e-06,2.801422e-06,2.809007e-06,2.817483e-06,2.820598e-06,2.830921e-06,2.831308e-06,2.840028e-06,2.843019e-06,2.847970e-06,2.852731e-06,2.854797e-06,2.860556e-06,2.865295e-06,2.866603e-06,2.869059e-06,2.870975e-06,2.871890e-06,2.873772e-06,2.873833e-06,2.874928e-06,2.875088e-06,2.875214e-06,2.875015e-06,2.874732e-06,2.873640e-06,2.873516e-06,2.871605e-06,2.871046e-06,2.869032e-06,2.867314e-06,2.865830e-06,2.862519e-06,2.862033e-06,2.857672e-06,2.856734e-06,2.852775e-06,2.850027e-06,2.847373e-06,2.842465e-06,2.841493e-06,2.835163e-06,2.834110e-06,2.828407e-06,2.825020e-06,2.821251e-06,2.815254e-06,2.813718e-06,2.805832e-06,2.804863e-06,2.797615e-06,2.793900e-06,2.789088e-06,2.782412e-06,2.780270e-06,2.771182e-06,2.770444e-06,2.761843e-06,2.758041e-06,2.752270e-06,2.745242e-06,2.742480e-06,2.732490e-06,2.732087e-06,2.722316e-06,2.718611e-06,2.711973e-06,2.704850e-06,2.701475e-06,2.690836e-06,2.676599e-06,2.662168e-06,2.647570e-06,2.632832e-06,2.617976e-06,2.603025e-06,2.588001e-06,2.572923e-06,2.557809e-06,2.542678e-06,2.527544e-06,2.512424e-06,2.497330e-06,2.482277e-06,2.467276e-06,2.452338e-06,2.437474e-06,2.422694e-06,2.408006e-06,2.393418e-06,2.378938e-06,2.364574e-06,2.350330e-06,2.336213e-06
0.000000e+00,7.382633e-12,1.721939e-11,6.034150e-11,1.383539e-10,2.023214e-10,4.599691e-10,4.738041e-10,9.135456e-10,1.072031e-09,1.559786e-09,2.062591e-09,2.450795e-09,3.518329e-09,3.623250e-09,5.106142e-09,5.509982e-09,6.910829e-09,8.058548e-09,9.025828e-09,1.112166e-08,1.142314e-08,1.406885e-08,1.462480e-08,1.692923e-08,1.849076e-08,1.997220e-08,2.264690e-08,2.316704e-08,2.648400e-08,2.702410e-08,2.989425e-08,3.155612e-08,3.337008e-08,3.618026e-08,3.688524e-08,4.041530e-08,4.083882e-08,4.393796e-08,4.548037e-08,4.743333e-08,5.006071e-08,5.088392e-08,5.427469e-08,5.454298e-08,5.759303e-08,5.889770e-08,6.082862e-08,6.310230e-08,6.397322e-08,6.702051e-08,6.714031e-08,6.996586e-08,7.100057e-08,7.280607e-08,7.467636e-08,7.553926e-08,7.816457e-08,8.068206e-08,8.146500e-08,8.309252e-08,8.457968e-08,8.539735e-08,8.751233e-08,8.759841e-08,8.969790e-08,9.026790e-08,9.169836e-08,9.285222e-08,9.360250e-08,9.527170e-08,9.541318e-08,9.713339e-08,9.753310e-08,9.876613e-08,9.964339e-08,1.003145e-07,1.016096e-07,1.017814e-07,1.031700e-07,1.034386e-07,1.044833e-07,1.051374e-07,1.057241e-07,1.067125e-07,1.068954e-07,1.079998e-07,1.081706e-07,1.090403e-07,1.095177e-07,1.100193e-07,1.107600e-07,1.109394e-07,1.118032e-07,1.119032e-07,1.126129e-07,1.129527e-07,1.133710e-07,1.139139e-07,1.140796e-07,1.147408e-07,1.147918e-07,1.153568e-07,1.155910e-07,1.159295e-07,1.163161e-07,1.164608e-07,1.169525e-07,1.169714e-07,1.174064e-07,1.175609e-07,1.178242e-07,1.180884e-07,1.182074e-07,1.185577e-07,1.188765e-07,1.189722e-07,1.191653e-07,1.193350e-07,1.194254e-07,1.196494e-07,1.196582e-07,1.198648e-07,1.199181e-07,1.200465e-07,1.201440e-07,1.202044e-07,1.203297e-07,1.203397e-07,1.204534e-07,1.204776e-07,1.205465e-07,1.205900e-07,1.206200e-07,1.206691e-07,1.206747e-07,1.207117e-07,1.207171e-07,1.207318e-07,1.207357e-07,1.207356e-07,1.207270e-07,1.207242e-07,1.206981e-07,1.206926e-07,1.206581e-07,1.206342e-07,1.206049e-07,1.205533e-07,1.205392e-07,1.204615e-07,1.204514e-07,1.203724e-07,1.203298e-07,1.202727e-07,1.201900e-07,1.201627e-07,1.200430e-07,1.200330e-07,1.199141e-07,1.198601e-07,1.197766e-07,1.196724e-07,1.196308e-07,1.194772e-07,1.194709e-07,1.193163e-07,1.192566e-07,1.191484e-07,1.190304e-07,1.189739e-07,1.187931e-07,1.185457e-07,1.182888e-07,1.180233e-07,1.177497e-07,1.174688e-07,1.171812e-07,1.168874e-07,1.165881e-07,1.162836e-07,1.159746e-07,1.156614e-07,1.153446e-07,1.150245e-07,1.147014e-07,1.143759e-07,1.140482e-07,1.137186e-07,1.133874e-07,1.130551e-07,1.127217e-07,1.123876e-07,1.120530e-07,1.117181e-07,1.113832e-07
0.000000e+00,6.261148e-11,1.709866e-10,7.084040e-10,1.761887e-09,2.661443e-09,6.464283e-09,6.674755e-09,1.362406e-08,1.623798e-08,2.458784e-08,3.358715e-08,4.072898e-08,6.078694e-08,6.276932e-08,9.060535e-08,9.808958e-08,1.236976e-07,1.443297e-07,1.615378e-07,1.984662e-07,2.037530e-07,2.500518e-07,2.597782e-07,3.001671e-07,3.276436e-07,3.538196e-07,4.013970e-07,4.107015e-07,4.704726e-07,4.802797e-07,5.327631e-07,5.634429e-07,5.971805e-07,6.499729e-07,6.633185e-07,7.307676e-07,7.389303e-07,7.991239e-07,8.293869e-07,8.679970e-07,9.204572e-07,9.370162e-07,1.005839e-06,1.011327e-06,1.074155e-06,1.101276e-06,1.141685e-06,1.189682e-06,1.208184e-06,1.273440e-06,1.276021e-06,1.337271e-06,1.359872e-06,1.399528e-06,1.440900e-06,1.460089e-06,1.518857e-06,1.575759e-06,1.593565e-06,1.630743e-06,1.664910e-06,1.683775e-06,1.732830e-06,1.734834e-06,1.783917e-06,1.797307e-06,1.831029e-06,1.858357e-06,1.876186e-06,1.916025e-06,1.919412e-06,1.960738e-06,1.970377e-06,2.000199e-06,2.021498e-06,2.037836e-06,2.069482e-06,2.073692e-06,2.107814e-06,2.114434e-06,2.140249e-06,2.156465e-06,2.171046e-06,2.195688e-06,2.200257e-06,2.227931e-06,2.232219e-06,2.254118e-06,2.266175e-06,2.278870e-06,2.297671e-06,2.302236e-06,2.324265e-06,2.326821e-06,2.345005e-06,2.353735e-06,2.364505e-06,2.378524e-06,2.382811e-06,2.399969e-06,2.401293e-06,2.416022e-06,2.422144e-06,2.431014e-06,2.441175e-06,2.444987e-06,2.457982e-06,2.458482e-06,2.470038e-06,2.474156e-06,2.481194e-06,2.488285e-06,2.491487e-06,2.500954e-06,2.509628e-06,2.512241e-06,2.517543e-06,2.522226e-06,2.524733e-06,2.530981e-06,2.531228e-06,2.537058e-06,2.538576e-06,2.542254e-06,2.545078e-06,2.546843e-06,2.550552e-06,2.550852e-06,2.554307e-06,2.555057e-06,2.557234e-06,2.558652e-06,2.559657e-06,2.561391e-06,2.561600e-06,2.563084e-06,2.563328e-06,2.564132e-06,2.564512e-06,2.564764e-06,2.564989e-06,2.565001e-06,2.564861e-06,2.564805e-06,2.564364e-06,2.564003e-06,2.563526e-06,2.562622e-06,2.562365e-06,2.560898e-06,2.560702e-06,2.559140e-06,2.558278e-06,2.557106e-06,2.555385e-06,2.554811e-06,2.552269e-06,2.552056e-06,2.549493e-06,2.548320e-06,2.546497e-06,2.544209e-06,2.543291e-06,2.539889e-06,2.539749e-06,2.536301e-06,2.534966e-06,2.532539e-06,2.529886e-06,2.528612e-06,2.524532e-06,2.518925e-06,2.513088e-06,2.507039e-06,2.500797e-06,2.494381e-06,2.487805e-06,2.481088e-06,2.474242e-06,2.467282e-06,2.460222e-06,2.453073e-06,2.445847e-06,2.438556e-06,2.431208e-06,2.423815e-06,2.416385e-06,2.408927e-06,2.401449e-06,2.393958e-06,2.386461e-06,2.378965e-06,2.371477e-06,2.364001e-06,2.356543e-06
0.000000e+00,3.502962e-12,8.055590e-12,2.788441e-11,6.375189e-11,9.324546e-11,2.129283e-10,2.193947e-10,4.269127e-10,5.026023e-10,7.383267e-10,9.854518e-10,1.178922e-09,1.721805e-09,1.775950e-09,2.554081e-09,2.769649e-09,3.527087e-09,4.156846e-09,4.692749e-09,5.867007e-09,6.037207e-09,7.543091e-09,7.862173e-09,9.194159e-09,1.010529e-08,1.097615e-08,1.256477e-08,1.287621e-08,1.488219e-08,1.521218e-08,1.698213e-08,1.801995e-08,1.916403e-08,2.096045e-08,2.141582e-08,2.372545e-08,2.400593e-08,2.608100e-08,2.712899e-08,2.847087e-08,3.030322e-08,3.088389e-08,3.330951e-08,3.350380e-08,3.573789e-08,3.670796e-08,3.815996e-08,3.989530e-08,4.056750e-08,4.295311e-08,4.304798e-08,4.531026e-08,4.615074e-08,4.763324e-08,4.919079e-08,4.991710e-08,5.215764e-08,5.435129e-08,5.504286e-08,5.649514e-08,5.783995e-08,5.858683e-08,6.054404e-08,6.062449e-08,6.260672e-08,6.315166e-08,6.453247e-08,6.566053e-08,6.640108e-08,6.806940e-08,6.821216e-08,6.996559e-08,7.037784e-08,7.166146e-08,7.258610e-08,7.330006e-08,7.469501e-08,7.488185e-08,7.640743e-08,7.670586e-08,7.787750e-08,7.862027e-08,7.929287e-08,8.044014e-08,8.065440e-08,8.196304e-08,8.216758e-08,8.321978e-08,8.380488e-08,8.442566e-08,8.535446e-08,8.558174e-08,8.668914e-08,8.681880e-08,8.774894e-08,8.820046e-08,8.876228e-08,8.950203e-08,8.973027e-08,9.065407e-08,9.072610e-08,9.153480e-08,9.187529e-08,9.237360e-08,9.295219e-08,9.317158e-08,9.392986e-08,9.395939e-08,9.464956e-08,9.489941e-08,9.533175e-08,9.577477e-08,9.597752e-08,9.658794e-08,9.716404e-08,9.734132e-08,9.770687e-08,9.803728e-08,9.821743e-08,9.867813e-08,9.869672e-08,9.914571e-08,9.926613e-08,9.956537e-08,9.980347e-08,9.995663e-08,1.002923e-07,1.003204e-07,1.006576e-07,1.007347e-07,1.009691e-07,1.011327e-07,1.012558e-07,1.014882e-07,1.015185e-07,1.017579e-07,1.018031e-07,1.019751e-07,1.020794e-07,1.021706e-07,1.023187e-07,1.023453e-07,1.024999e-07,1.025228e-07,1.026351e-07,1.026933e-07,1.027517e-07,1.028320e-07,1.028503e-07,1.029316e-07,1.029402e-07,1.029963e-07,1.030196e-07,1.030449e-07,1.030716e-07,1.030782e-07,1.030966e-07,1.030975e-07,1.031009e-07,1.030987e-07,1.030915e-07,1.030766e-07,1.030690e-07,1.030340e-07,1.030323e-07,1.029869e-07,1.029671e-07,1.029283e-07,1.028821e-07,1.028586e-07,1.027783e-07,1.026570e-07,1.025191e-07,1.023656e-07,1.021974e-07,1.020154e-07,1.018206e-07,1.016136e-07,1.013954e-07,1.011667e-07,1.009282e-07,1.006806e-07,1.004246e-07,1.001609e-07,9.988992e-08,9.961238e-08,9.932881e-08,9.903973e-08,9.874566e-08,9.844707e-08,9.814442e-08,9.783816e-08,9.752869e-08,9.721641e-08,9.690171e-08
0.000000e+00,6.737080e-11,3.015974e-10,2.367185e-09,8.259531e-09,1.421008e-08,4.329042e-08,4.500357e-08,1.040215e-07,1.268311e-07,2.002469e-07,2.795511e-07,3.426030e-07,5.219943e-07,5.400185e-07,8.008081e-07,8.735706e-07,1.130937e-06,1.346951e-06,1.532205e-06,1.942497e-06,2.002433e-06,2.537352e-06,2.651676e-06,3.132140e-06,3.463467e-06,3.781899e-06,4.366512e-06,4.481609e-06,5.225986e-06,5.348862e-06,6.009433e-06,6.397646e-06,6.826066e-06,7.499193e-06,7.669819e-06,8.534556e-06,8.639446e-06,9.414215e-06,9.804469e-06,1.030292e-05,1.098095e-05,1.119511e-05,1.208559e-05,1.215660e-05,1.296962e-05,1.332046e-05,1.384296e-05,1.446301e-05,1.470185e-05,1.554307e-05,1.557631e-05,1.636384e-05,1.665387e-05,1.716190e-05,1.769065e-05,1.793539e-05,1.868287e-05,1.940323e-05,1.962788e-05,2.009569e-05,2.052398e-05,2.075975e-05,2.137030e-05,2.139517e-05,2.200189e-05,2.216664e-05,2.258004e-05,2.291333e-05,2.312991e-05,2.361116e-05,2.365191e-05,2.414654e-05,2.426124e-05,2.461439e-05,2.486493e-05,2.505612e-05,2.542379e-05,2.547243e-05,2.586408e-05,2.593952e-05,2.623183e-05,2.641388e-05,2.657648e-05,2.684873e-05,2.689884e-05,2.719970e-05,2.724590e-05,2.747987e-05,2.760724e-05,2.774016e-05,2.793459e-05,2.798134e-05,2.820421e-05,2.822976e-05,2.840952e-05,2.849449e-05,2.859803e-05,2.873051e-05,2.877047e-05,2.892755e-05,2.893947e-05,2.906996e-05,2.912297e-05,2.919838e-05,2.928255e-05,2.931347e-05,2.941585e-05,2.941969e-05,2.950614e-05,2.953579e-05,2.958492e-05,2.963222e-05,2.965278e-05,2.971026e-05,2.975789e-05,2.977114e-05,2.979619e-05,2.981603e-05,2.982565e-05,2.984605e-05,2.984674e-05,2.985991e-05,2.986224e-05,2.986561e-05,2.986562e-05,2.986425e-05,2.985712e-05,2.985624e-05,2.984197e-05,2.983765e-05,2.982180e-05,2.980806e-05,2.979608e-05,2.976914e-05,2.976517e-05,2.972938e-05,2.972166e-05,2.968902e-05,2.966633e-05,2.964440e-05,2.960382e-05,2.959579e-05,2.954347e-05,2.953478e-05,2.948770e-05,2.945978e-05,2.942873e-05,2.937940e-05,2.936679e-05,2.930210e-05,2.929416e-05,2.923489e-05,2.920456e-05,2.916535e-05,2.911107e-05,2.909368e-05,2.902007e-05,2.901410e-05,2.894469e-05,2.891408e-05,2.886771e-05,2.881138e-05,2.878929e-05,2.870958e-05,2.870636e-05,2.862872e-05,2.859936e-05,2.854685e-05,2.849067e-05,2.846410e-05,2.838059e-05,2.826939e-05,2.815732e-05,2.804461e-05,2.793147e-05,2.781811e-05,2.770470e-05,2.759142e-05,2.747843e-05,2.736587e-05,2.725386e-05,2.714254e-05,2.703201e-05,2.692237e-05,2.681372e-05,2.670613e-05,2.659969e-05,2.649446e-05,2.639050e-05,2.628786e-05,2.618660e-05,2.608675e-05,2.598835e-05,2.589143e-05,2.579603e-05
0.000000e+00,3.655740e-11,1.343853e-10,7.868133e-10,2.307702e-09,3.700202e-09,9.897428e-09,1.024676e-08,2.182871e-08,2.616261e-08,3.983556e-08,5.431517e-08,6.569425e-08,9.766696e-08,1.008546e-07,1.465978e-07,1.592494e-07,2.036687e-07,2.406099e-07,2.720922e-07,3.413397e-07,3.514141e-07,4.410339e-07,4.601407e-07,5.403546e-07,5.956406e-07,6.487885e-07,7.464708e-07,7.657258e-07,8.905083e-07,9.111543e-07,1.022416e-06,1.088036e-06,1.160669e-06,1.275279e-06,1.304431e-06,1.452828e-06,1.470905e-06,1.604962e-06,1.672852e-06,1.759928e-06,1.879046e-06,1.916833e-06,2.074809e-06,2.087468e-06,2.233027e-06,2.296206e-06,2.390711e-06,2.503508e-06,2.547144e-06,2.701673e-06,2.707806e-06,2.853713e-06,2.907738e-06,3.002753e-06,3.102157e-06,3.148348e-06,3.290122e-06,3.427762e-06,3.470890e-06,3.561015e-06,3.643903e-06,3.689687e-06,3.808767e-06,3.813632e-06,3.932751e-06,3.965230e-06,4.046984e-06,4.113168e-06,4.156308e-06,4.252558e-06,4.260733e-06,4.360292e-06,4.383468e-06,4.455043e-06,4.506031e-06,4.545063e-06,4.620440e-06,4.630444e-06,4.711292e-06,4.726927e-06,4.787721e-06,4.825759e-06,4.859856e-06,4.917225e-06,4.927826e-06,4.991762e-06,5.001627e-06,5.051802e-06,5.079277e-06,5.108081e-06,5.150490e-06,5.160738e-06,5.209910e-06,5.215583e-06,5.255731e-06,5.274866e-06,5.298337e-06,5.328646e-06,5.337856e-06,5.374419e-06,5.377221e-06,5.408152e-06,5.420879e-06,5.439175e-06,5.459901e-06,5.467608e-06,5.493565e-06,5.494554e-06,5.517160e-06,5.525096e-06,5.538498e-06,5.551773e-06,5.557684e-06,5.574819e-06,5.590000e-06,5.594460e-06,5.603318e-06,5.610907e-06,5.614865e-06,5.624362e-06,5.624725e-06,5.632982e-06,5.635017e-06,5.639714e-06,5.643054e-06,5.644999e-06,5.648645e-06,5.648909e-06,5.651514e-06,5.651952e-06,5.652881e-06,5.653129e-06,5.653074e-06,5.652322e-06,5.652155e-06,5.650183e-06,5.649667e-06,5.647214e-06,5.645295e-06,5.643303e-06,5.639326e-06,5.638500e-06,5.632855e-06,5.631877e-06,5.626415e-06,5.623055e-06,5.619225e-06,5.612963e-06,5.611329e-06,5.602768e-06,5.601697e-06,5.593580e-06,5.589348e-06,5.583803e-06,5.576001e-06,5.573474e-06,5.562626e-06,5.561737e-06,5.551292e-06,5.546629e-06,5.539503e-06,5.530751e-06,5.527290e-06,5.514680e-06,5.514168e-06,5.501700e-06,5.496942e-06,5.488377e-06,5.479134e-06,5.474735e-06,5.460797e-06,5.441984e-06,5.422743e-06,5.403121e-06,5.383159e-06,5.362899e-06,5.342376e-06,5.321628e-06,5.300687e-06,5.279583e-06,5.258345e-06,5.237001e-06,5.215575e-06,5.194091e-06,5.172571e-06,5.151036e-06,5.129504e-06,5.107993e-06,5.086519e-06,5.065099e-06,5.043746e-06,5.022473e-06,5.001293e-06,4.980217e-06,4.959255e-06
0.000000e+00,6.335248e-13,4.274689e-12,7.291069e-11,4.762315e-10,1.122989e-09,7.121727e-09,7.610851e-09,3.297874e-08,4.705867e-08,1.079480e-07,1.997817e-07,2.917203e-07,6.431509e-07,6.857197e-07,1.447923e-06,1.709197e-06,2.804128e-06,3.931441e-06,5.053111e-06,8.063005e-06,8.564917e-06,1.377333e-05,1.506060e-05,2.116420e-05,2.604273e-05,3.126123e-05,4.223327e-05,4.461052e-05,6.176492e-05,6.489935e-05,8.326865e-05,9.528958e-05,1.096428e-04,1.345762e-04,1.413722e-04,1.788932e-04,1.838035e-04,2.225837e-04,2.438447e-04,2.727545e-04,3.153669e-04,3.296424e-04,3.934056e-04,3.988066e-04,4.641211e-04,4.943554e-04,5.417831e-04,6.019553e-04,6.263046e-04,7.175196e-04,7.213043e-04,8.151876e-04,8.518700e-04,9.189983e-04,9.929107e-04,1.028579e-03,1.143503e-03,1.263295e-03,1.302574e-03,1.387442e-03,1.468932e-03,1.515401e-03,1.641303e-03,1.646606e-03,1.780480e-03,1.818364e-03,1.916441e-03,1.998776e-03,2.053906e-03,2.181211e-03,2.192304e-03,2.331078e-03,2.364379e-03,2.469689e-03,2.547048e-03,2.607625e-03,2.728064e-03,2.744400e-03,2.879561e-03,2.906362e-03,3.012688e-03,3.080980e-03,3.143393e-03,3.251057e-03,3.271327e-03,3.396176e-03,3.415847e-03,3.517662e-03,3.574708e-03,3.635543e-03,3.727110e-03,3.749609e-03,3.859686e-03,3.872620e-03,3.965631e-03,4.010907e-03,4.067330e-03,4.141729e-03,4.164699e-03,4.257680e-03,4.264927e-03,4.346237e-03,4.380419e-03,4.430361e-03,4.488189e-03,4.510059e-03,4.585359e-03,4.588280e-03,4.656305e-03,4.680791e-03,4.722955e-03,4.765860e-03,4.785382e-03,4.843666e-03,4.897902e-03,4.914419e-03,4.948190e-03,4.978352e-03,4.994638e-03,5.035720e-03,5.037359e-03,5.076470e-03,5.086791e-03,5.112093e-03,5.131844e-03,5.144352e-03,5.171165e-03,5.173370e-03,5.199275e-03,5.205043e-03,5.222192e-03,5.233767e-03,5.242247e-03,5.257626e-03,5.259564e-03,5.274266e-03,5.276904e-03,5.286476e-03,5.291879e-03,5.296311e-03,5.302823e-03,5.303888e-03,5.309321e-03,5.309999e-03,5.312720e-03,5.313661e-03,5.314194e-03,5.314056e-03,5.313846e-03,5.311777e-03,5.311418e-03,5.308086e-03,5.305973e-03,5.302867e-03,5.297935e-03,5.296211e-03,5.288204e-03,5.287508e-03,5.278932e-03,5.274887e-03,5.268475e-03,5.260255e-03,5.256909e-03,5.244310e-03,5.243786e-03,5.230748e-03,5.225643e-03,5.216289e-03,5.205980e-03,5.201001e-03,5.184943e-03,5.162667e-03,5.139282e-03,5.114907e-03,5.089654e-03,5.063627e-03,5.036924e-03,5.009636e-03,4.981848e-03,4.953637e-03,4.925077e-03,4.896235e-03,4.867174e-03,4.837951e-03,4.808620e-03,4.779230e-03,4.749827e-03,4.720450e-03,4.691140e-03,4.661930e-03,4.632853e-03,4.603936e-03,4.575208e-03,4.546691e-03,4.518407e-03
0.000000e+00,4.711744e-11,1.767341e-10,1.062845e-09,3.160753e-09,5.094324e-09,1.375011e-08,1.423940e-08,3.050640e-08,3.660979e-08,5.590714e-08,7.640052e-08,9.254285e-08,1.380827e-07,1.426398e-07,2.084733e-07,2.268531e-07,2.920817e-07,3.471808e-07,3.947010e-07,5.005979e-07,5.161107e-07,6.544379e-07,6.838819e-07,8.067231e-07,8.903599e-07,9.697789e-07,1.112961e-06,1.140742e-06,1.317226e-06,1.345838e-06,1.497254e-06,1.584430e-06,1.679169e-06,1.825096e-06,1.861547e-06,2.043146e-06,2.064833e-06,2.222884e-06,2.301131e-06,2.399816e-06,2.531906e-06,2.573134e-06,2.742153e-06,2.755471e-06,2.906307e-06,2.970502e-06,3.065145e-06,3.176016e-06,3.218316e-06,3.365563e-06,3.371327e-06,3.506711e-06,3.556010e-06,3.641658e-06,3.729858e-06,3.770365e-06,3.892844e-06,4.009152e-06,4.045082e-06,4.119383e-06,4.186796e-06,4.223658e-06,4.318293e-06,4.322122e-06,4.414937e-06,4.439936e-06,4.502278e-06,4.552132e-06,4.584330e-06,4.655309e-06,4.661282e-06,4.733327e-06,4.749909e-06,4.800659e-06,4.836378e-06,4.863471e-06,4.915160e-06,4.921956e-06,4.976302e-06,4.986691e-06,5.026694e-06,5.051396e-06,5.073313e-06,5.109684e-06,5.116332e-06,5.155922e-06,5.161949e-06,5.192247e-06,5.208570e-06,5.225465e-06,5.249906e-06,5.255729e-06,5.283185e-06,5.286297e-06,5.307973e-06,5.318071e-06,5.330230e-06,5.345532e-06,5.350085e-06,5.367661e-06,5.368972e-06,5.383077e-06,5.388665e-06,5.396448e-06,5.404869e-06,5.407881e-06,5.417480e-06,5.417827e-06,5.425344e-06,5.427768e-06,5.431567e-06,5.434908e-06,5.436240e-06,5.439449e-06,5.441276e-06,5.441581e-06,5.441798e-06,5.441482e-06,5.441090e-06,5.439319e-06,5.439223e-06,5.436265e-06,5.435250e-06,5.432280e-06,5.429422e-06,5.427329e-06,5.421972e-06,5.421471e-06,5.414760e-06,5.413029e-06,5.407250e-06,5.402714e-06,5.398991e-06,5.391142e-06,5.390031e-06,5.380414e-06,5.378416e-06,5.370185e-06,5.364637e-06,5.359384e-06,5.349897e-06,5.348049e-06,5.336219e-06,5.334283e-06,5.323928e-06,5.317875e-06,5.311210e-06,5.300749e-06,5.298096e-06,5.284617e-06,5.282976e-06,5.270801e-06,5.264622e-06,5.256675e-06,5.245748e-06,5.242265e-06,5.227595e-06,5.226411e-06,5.212689e-06,5.206665e-06,5.197568e-06,5.186561e-06,5.182254e-06,5.166767e-06,5.166144e-06,5.151123e-06,5.145457e-06,5.135343e-06,5.124542e-06,5.119442e-06,5.103436e-06,5.082173e-06,5.060786e-06,5.039306e-06,5.017760e-06,4.996173e-06,4.974571e-06,4.952976e-06,4.931408e-06,4.909886e-06,4.888428e-06,4.867050e-06,4.845768e-06,4.824595e-06,4.803543e-06,4.782625e-06,4.761851e-06,4.741231e-06,4.720773e-06,4.700485e-06,4.680376e-06,4.660451e-06,4.640717e-06,4.621178e-06,4.601841e-06
0.000000e+00,1.475473e-10,6.277979e-10,4.547093e-09,1.509051e-08,2.543681e-08,7.474794e-08,7.762439e-08,1.762659e-07,2.143775e-07,3.375836e-07,4.718687e-07,5.795193e-07,8.889399e-07,9.201875e-07,1.372308e-06,1.497864e-06,1.938066e-06,2.302413e-06,2.611379e-06,3.286111e-06,3.383755e-06,4.247252e-06,4.430245e-06,5.194654e-06,5.718118e-06,6.218867e-06,7.133141e-06,7.312456e-06,8.467465e-06,8.657408e-06,9.675443e-06,1.027151e-05,1.092759e-05,1.195508e-05,1.221494e-05,1.352862e-05,1.368762e-05,1.486002e-05,1.544932e-05,1.620097e-05,1.722179e-05,1.754388e-05,1.888182e-05,1.898845e-05,2.020856e-05,2.073487e-05,2.151864e-05,2.244890e-05,2.280733e-05,2.407060e-05,2.412055e-05,2.530509e-05,2.574192e-05,2.650807e-05,2.730695e-05,2.767735e-05,2.881125e-05,2.990855e-05,3.025180e-05,3.096839e-05,3.162678e-05,3.199026e-05,3.293531e-05,3.297393e-05,3.391942e-05,3.417734e-05,3.482694e-05,3.535340e-05,3.569690e-05,3.646454e-05,3.652982e-05,3.732636e-05,3.751219e-05,3.808725e-05,3.849807e-05,3.881330e-05,3.942409e-05,3.950537e-05,4.016437e-05,4.029229e-05,4.079124e-05,4.110484e-05,4.138694e-05,4.186394e-05,4.195243e-05,4.248868e-05,4.257183e-05,4.299667e-05,4.323075e-05,4.347736e-05,4.384291e-05,4.393172e-05,4.436070e-05,4.441051e-05,4.476522e-05,4.493570e-05,4.514620e-05,4.542055e-05,4.550453e-05,4.584110e-05,4.586711e-05,4.615675e-05,4.627734e-05,4.645233e-05,4.665317e-05,4.672864e-05,4.698648e-05,4.699642e-05,4.722661e-05,4.730887e-05,4.744978e-05,4.759222e-05,4.765671e-05,4.784811e-05,4.802464e-05,4.807810e-05,4.818697e-05,4.828370e-05,4.833573e-05,4.846634e-05,4.847153e-05,4.859497e-05,4.862740e-05,4.870662e-05,4.876818e-05,4.880703e-05,4.888993e-05,4.889672e-05,4.897623e-05,4.899384e-05,4.904603e-05,4.908106e-05,4.910660e-05,4.915264e-05,4.915841e-05,4.920190e-05,4.920963e-05,4.923748e-05,4.925300e-05,4.926557e-05,4.928366e-05,4.928656e-05,4.930082e-05,4.930250e-05,4.930873e-05,4.931036e-05,4.931061e-05,4.930802e-05,4.930682e-05,4.929767e-05,4.929623e-05,4.928347e-05,4.927569e-05,4.926451e-05,4.924709e-05,4.924107e-05,4.921342e-05,4.921104e-05,4.918183e-05,4.916815e-05,4.914654e-05,4.911898e-05,4.910779e-05,4.906581e-05,4.906406e-05,4.902081e-05,4.900391e-05,4.897300e-05,4.893898e-05,4.892257e-05,4.886973e-05,4.879658e-05,4.871991e-05,4.864011e-05,4.855751e-05,4.847245e-05,4.838523e-05,4.829614e-05,4.820545e-05,4.811340e-05,4.802023e-05,4.792617e-05,4.783141e-05,4.773614e-05,4.764054e-05,4.754478e-05,4.744900e-05,4.735335e-05,4.725795e-05,4.716293e-05,4.706839e-05,4.697444e-05,4.688118e-05,4.678867e-05,4.669702e-05
0.000000e+00,9.126945e-11,2.916365e-10,1.434711e-09,3.858364e-09,5.989902e-09,1.515454e-08,1.566312e-08,3.231929e-08,3.849106e-08,5.785833e-08,7.827227e-08,9.427943e-08,1.391976e-07,1.436758e-07,2.080394e-07,2.258914e-07,2.887861e-07,3.413406e-07,3.862739e-07,4.854051e-07,4.998465e-07,6.283416e-07,6.557214e-07,7.705213e-07,8.494725e-07,9.252190e-07,1.064031e-06,1.091332e-06,1.267775e-06,1.296891e-06,1.453447e-06,1.545517e-06,1.647217e-06,1.807285e-06,1.847926e-06,2.054396e-06,2.079504e-06,2.265451e-06,2.359468e-06,2.479932e-06,2.644536e-06,2.696716e-06,2.914738e-06,2.932202e-06,3.132995e-06,3.220154e-06,3.350565e-06,3.506317e-06,3.566611e-06,3.780372e-06,3.788865e-06,3.991179e-06,4.066232e-06,4.198450e-06,4.337118e-06,4.401688e-06,4.600473e-06,4.794457e-06,4.855470e-06,4.983359e-06,5.101486e-06,5.166959e-06,5.338071e-06,5.345089e-06,5.517630e-06,5.564929e-06,5.684505e-06,5.781891e-06,5.845671e-06,5.988894e-06,6.001120e-06,6.150869e-06,6.185964e-06,6.294957e-06,6.373195e-06,6.433444e-06,6.550738e-06,6.566405e-06,6.693927e-06,6.718787e-06,6.816110e-06,6.877571e-06,6.933062e-06,7.027342e-06,7.044896e-06,7.151733e-06,7.168371e-06,7.253695e-06,7.300942e-06,7.350908e-06,7.425345e-06,7.443500e-06,7.531601e-06,7.541877e-06,7.615338e-06,7.650833e-06,7.694840e-06,7.752508e-06,7.770235e-06,7.841650e-06,7.847195e-06,7.909209e-06,7.935181e-06,7.973036e-06,8.016749e-06,8.033252e-06,8.089976e-06,8.092174e-06,8.143324e-06,8.161724e-06,8.193410e-06,8.225663e-06,8.240346e-06,8.284241e-06,8.325202e-06,8.337706e-06,8.363331e-06,8.386295e-06,8.398731e-06,8.430237e-06,8.431498e-06,8.461730e-06,8.469753e-06,8.489518e-06,8.505056e-06,8.514954e-06,8.536352e-06,8.538124e-06,8.559115e-06,8.563837e-06,8.578008e-06,8.587702e-06,8.594885e-06,8.608129e-06,8.609822e-06,8.622895e-06,8.625293e-06,8.634178e-06,8.639361e-06,8.643740e-06,8.650494e-06,8.651651e-06,8.657977e-06,8.658846e-06,8.662782e-06,8.664566e-06,8.666128e-06,8.667795e-06,8.668075e-06,8.668681e-06,8.668667e-06,8.668003e-06,8.667312e-06,8.666095e-06,8.663855e-06,8.663009e-06,8.658797e-06,8.658412e-06,8.653506e-06,8.651099e-06,8.647185e-06,8.642021e-06,8.639879e-06,8.631633e-06,8.631284e-06,8.622488e-06,8.618985e-06,8.612487e-06,8.605218e-06,8.601669e-06,8.590072e-06,8.573635e-06,8.555986e-06,8.537204e-06,8.517363e-06,8.496534e-06,8.474784e-06,8.452177e-06,8.428774e-06,8.404633e-06,8.379809e-06,8.354356e-06,8.328322e-06,8.301756e-06,8.274703e-06,8.247206e-06,8.219304e-06,8.191038e-06,8.162444e-06,8.133557e-06,8.104409e-06,8.075033e-06,8.045458e-06,8.015712e-06,7.985823e-06
0.000000e+00,1.032366e-12,6.759616e-12,1.082593e-10,6.670946e-10,1.522954e-09,8.871571e-09,9.447770e-09,3.755116e-08,5.232269e-08,1.129862e-07,1.990327e-07,2.813815e-07,5.772163e-07,6.116846e-07,1.200384e-06,1.393487e-06,2.173038e-06,2.940729e-06,3.679937e-06,5.577966e-06,5.884878e-06,8.949934e-06,9.679401e-06,1.302068e-05,1.557537e-05,1.821502e-05,2.350902e-05,2.461685e-05,3.227407e-05,3.361706e-05,4.119981e-05,4.593047e-05,5.137579e-05,6.038697e-05,6.275653e-05,7.527403e-05,7.684860e-05,8.884224e-05,9.511975e-05,1.033611e-04,1.149638e-04,1.187205e-04,1.348033e-04,1.361176e-04,1.514886e-04,1.583040e-04,1.686542e-04,1.812427e-04,1.861789e-04,2.039447e-04,2.046587e-04,2.218381e-04,2.282902e-04,2.397521e-04,2.518941e-04,2.575869e-04,2.752507e-04,2.926607e-04,2.981660e-04,3.097431e-04,3.204736e-04,3.264331e-04,3.420345e-04,3.426750e-04,3.584221e-04,3.627371e-04,3.736358e-04,3.824949e-04,3.882855e-04,4.012450e-04,4.023479e-04,4.158063e-04,4.189451e-04,4.286500e-04,4.355718e-04,4.408736e-04,4.511169e-04,4.524765e-04,4.634621e-04,4.655857e-04,4.738373e-04,4.789943e-04,4.836119e-04,4.913673e-04,4.927982e-04,5.014105e-04,5.027362e-04,5.094646e-04,5.131372e-04,5.169776e-04,5.226105e-04,5.239676e-04,5.304532e-04,5.311985e-04,5.364536e-04,5.389450e-04,5.419880e-04,5.458944e-04,5.470758e-04,5.517362e-04,5.520911e-04,5.559882e-04,5.575789e-04,5.598507e-04,5.624007e-04,5.633419e-04,5.664797e-04,5.665981e-04,5.692816e-04,5.702113e-04,5.717645e-04,5.732789e-04,5.739446e-04,5.758379e-04,5.774594e-04,5.779233e-04,5.788238e-04,5.795686e-04,5.799452e-04,5.808057e-04,5.808371e-04,5.815124e-04,5.816644e-04,5.819835e-04,5.821730e-04,5.822621e-04,5.823584e-04,5.823598e-04,5.822871e-04,5.822455e-04,5.820545e-04,5.818581e-04,5.816718e-04,5.812182e-04,5.811483e-04,5.804930e-04,5.803468e-04,5.797143e-04,5.792634e-04,5.788205e-04,5.779862e-04,5.778190e-04,5.767174e-04,5.765323e-04,5.755225e-04,5.749178e-04,5.742409e-04,5.731575e-04,5.728789e-04,5.714425e-04,5.712654e-04,5.699372e-04,5.692545e-04,5.683685e-04,5.671369e-04,5.667414e-04,5.650607e-04,5.649240e-04,5.633310e-04,5.626263e-04,5.615565e-04,5.602536e-04,5.597415e-04,5.578897e-04,5.578149e-04,5.560047e-04,5.553187e-04,5.540901e-04,5.527729e-04,5.521491e-04,5.501848e-04,5.475611e-04,5.449081e-04,5.422316e-04,5.395369e-04,5.368291e-04,5.341125e-04,5.313915e-04,5.286700e-04,5.259514e-04,5.232391e-04,5.205361e-04,5.178450e-04,5.151684e-04,5.125085e-04,5.098675e-04,5.072473e-04,5.046495e-04,5.020756e-04,4.995271e-04,4.970052e-04,4.945109e-04,4.920454e-04,4.896094e-04,4.872036e-04
0.000000e+00,2.000084e-11,4.776750e-11,1.697305e-10,3.880427e-10,5.650881e-10,1.266532e-09,1.303808e-09,2.475664e-09,2.893476e-09,4.169588e-09,5.473961e-09,6.475368e-09,9.210479e-09,9.478104e-09,1.324440e-08,1.426605e-08,1.780040e-08,2.068486e-08,2.310498e-08,2.829190e-08,2.902911e-08,3.536085e-08,3.665389e-08,4.184737e-08,4.520154e-08,4.825409e-08,5.344353e-08,5.440533e-08,6.019194e-08,6.107966e-08,6.555864e-08,6.797902e-08,7.048668e-08,7.411519e-08,7.497963e-08,7.905385e-08,7.951567e-08,8.273264e-08,8.423290e-08,8.604288e-08,8.832951e-08,8.901276e-08,9.167067e-08,9.187066e-08,9.404430e-08,9.492014e-08,9.616014e-08,9.753799e-08,9.804313e-08,9.971649e-08,9.977937e-08,1.012016e-07,1.016939e-07,1.025178e-07,1.033256e-07,1.036829e-07,1.047128e-07,1.056215e-07,1.058889e-07,1.064219e-07,1.068825e-07,1.071251e-07,1.077181e-07,1.077412e-07,1.082789e-07,1.084165e-07,1.087461e-07,1.089954e-07,1.091495e-07,1.094697e-07,1.094953e-07,1.097889e-07,1.098521e-07,1.100350e-07,1.101536e-07,1.102378e-07,1.103833e-07,1.104009e-07,1.105279e-07,1.105492e-07,1.106216e-07,1.106580e-07,1.106846e-07,1.107156e-07,1.107194e-07,1.107281e-07,1.107272e-07,1.107126e-07,1.106971e-07,1.106748e-07,1.106294e-07,1.106161e-07,1.105381e-07,1.105275e-07,1.104420e-07,1.103944e-07,1.103292e-07,1.102329e-07,1.102007e-07,1.100576e-07,1.100455e-07,1.099007e-07,1.098344e-07,1.097312e-07,1.096016e-07,1.095496e-07,1.093569e-07,1.093489e-07,1.091537e-07,1.090781e-07,1.089407e-07,1.087906e-07,1.087186e-07,1.084878e-07,1.082491e-07,1.081711e-07,1.080029e-07,1.078416e-07,1.077497e-07,1.075005e-07,1.074900e-07,1.072242e-07,1.071487e-07,1.069527e-07,1.067873e-07,1.066760e-07,1.064170e-07,1.063943e-07,1.061081e-07,1.060388e-07,1.058177e-07,1.056534e-07,1.055234e-07,1.052614e-07,1.052255e-07,1.049243e-07,1.048637e-07,1.046200e-07,1.044607e-07,1.043130e-07,1.040531e-07,1.040034e-07,1.036916e-07,1.036415e-07,1.033776e-07,1.032263e-07,1.030618e-07,1.028080e-07,1.027444e-07,1.024255e-07,1.023871e-07,1.021052e-07,1.019640e-07,1.017839e-07,1.015391e-07,1.014617e-07,1.011386e-07,1.011127e-07,1.008149e-07,1.006853e-07,1.004908e-07,1.002571e-07,1.001662e-07,9.984148e-08,9.982849e-08,9.951663e-08,9.939968e-08,9.919180e-08,9.897098e-08,9.886710e-08,9.854264e-08,9.811489e-08,9.768796e-08,9.726204e-08,9.683735e-08,9.641406e-08,9.599233e-08,9.557234e-08,9.515422e-08,9.473812e-08,9.432416e-08,9.391247e-08,9.350315e-08,9.309632e-08,9.269206e-08,9.229047e-08,9.189163e-08,9.149561e-08,9.110248e-08,9.071231e-08,9.032516e-08,8.994109e-08,8.956013e-08,8.918233e-08,8.880774e-08
0.000000e+00,4.649165e-12,2.620794e-11,3.105184e-10,1.470466e-09,2.919119e-09,1.204367e-08,1.265350e-08,3.659416e-08,4.695747e-08,8.305776e-08,1.254511e-07,1.609814e-07,2.682336e-07,2.793967e-07,4.461806e-07,4.940376e-07,6.663168e-07,8.135394e-07,9.411729e-07,1.227169e-06,1.269255e-06,1.647412e-06,1.728711e-06,2.071657e-06,2.309005e-06,2.537499e-06,2.957363e-06,3.040015e-06,3.573894e-06,3.661852e-06,4.133505e-06,4.409555e-06,4.713038e-06,5.187088e-06,5.306665e-06,5.908714e-06,5.981267e-06,6.513823e-06,6.779753e-06,7.117067e-06,7.571556e-06,7.714044e-06,8.300924e-06,8.347338e-06,8.874470e-06,9.099541e-06,9.432026e-06,9.822363e-06,9.971487e-06,1.049126e-05,1.051162e-05,1.099019e-05,1.116455e-05,1.146754e-05,1.177959e-05,1.192290e-05,1.235615e-05,1.276739e-05,1.289439e-05,1.315693e-05,1.339505e-05,1.352522e-05,1.385930e-05,1.387281e-05,1.420035e-05,1.428857e-05,1.450855e-05,1.468450e-05,1.479816e-05,1.504883e-05,1.506994e-05,1.532467e-05,1.538335e-05,1.556314e-05,1.568986e-05,1.578611e-05,1.597011e-05,1.599434e-05,1.618858e-05,1.622581e-05,1.636952e-05,1.645860e-05,1.653787e-05,1.667004e-05,1.669429e-05,1.683941e-05,1.686162e-05,1.697384e-05,1.703474e-05,1.709816e-05,1.719071e-05,1.721292e-05,1.731866e-05,1.733076e-05,1.741586e-05,1.745605e-05,1.750501e-05,1.756765e-05,1.758655e-05,1.766092e-05,1.766657e-05,1.772852e-05,1.775375e-05,1.778973e-05,1.783005e-05,1.784491e-05,1.789442e-05,1.789628e-05,1.793857e-05,1.795321e-05,1.797767e-05,1.800153e-05,1.801202e-05,1.804188e-05,1.806753e-05,1.807488e-05,1.808920e-05,1.810109e-05,1.810713e-05,1.812103e-05,1.812154e-05,1.813264e-05,1.813519e-05,1.814063e-05,1.814400e-05,1.814569e-05,1.814790e-05,1.814799e-05,1.814771e-05,1.814727e-05,1.814500e-05,1.814248e-05,1.814001e-05,1.813385e-05,1.813288e-05,1.812375e-05,1.812170e-05,1.811274e-05,1.810632e-05,1.809998e-05,1.808797e-05,1.808556e-05,1.806961e-05,1.806692e-05,1.805221e-05,1.804338e-05,1.803348e-05,1.801759e-05,1.801349e-05,1.799234e-05,1.798973e-05,1.797010e-05,1.795999e-05,1.794685e-05,1.792856e-05,1.792267e-05,1.789762e-05,1.789558e-05,1.787177e-05,1.786122e-05,1.784518e-05,1.782561e-05,1.781791e-05,1.779001e-05,1.778888e-05,1.776153e-05,1.775115e-05,1.773253e-05,1.771254e-05,1.770306e-05,1.767315e-05,1.763308e-05,1.759241e-05,1.755124e-05,1.750964e-05,1.746769e-05,1.742544e-05,1.738298e-05,1.734035e-05,1.729760e-05,1.725480e-05,1.721198e-05,1.716919e-05,1.712647e-05,1.708385e-05,1.704138e-05,1.699907e-05,1.695697e-05,1.691510e-05,1.687348e-05,1.683214e-05,1.679110e-05,1.675037e-05,1.670998e-05,1.666994e-05
0.000000e+00,4.336195e-11,2.162633e-10,2.042333e-09,8.121461e-09,1.483828e-08,5.149507e-08,5.378993e-08,1.390353e-07,1.746598e-07,2.974672e-07,4.414257e-07,5.619701e-07,9.200975e-07,9.565810e-07,1.479547e-06,1.622059e-06,2.111059e-06,2.504364e-06,2.831040e-06,3.526976e-06,3.626029e-06,4.487697e-06,4.667482e-06,5.409941e-06,5.911548e-06,6.386988e-06,7.245450e-06,7.412505e-06,8.479333e-06,8.653338e-06,9.579534e-06,1.011700e-05,1.070459e-05,1.161662e-05,1.184569e-05,1.299400e-05,1.313187e-05,1.414093e-05,1.464302e-05,1.527837e-05,1.613187e-05,1.639888e-05,1.749582e-05,1.758238e-05,1.856342e-05,1.898112e-05,1.959681e-05,2.031741e-05,2.059203e-05,2.154600e-05,2.158327e-05,2.245645e-05,2.277324e-05,2.332185e-05,2.388411e-05,2.414131e-05,2.491455e-05,2.564175e-05,2.586482e-05,2.632351e-05,2.673641e-05,2.696075e-05,2.753173e-05,2.755467e-05,2.810664e-05,2.825389e-05,2.861822e-05,2.890645e-05,2.909104e-05,2.949326e-05,2.952680e-05,2.992725e-05,3.001829e-05,3.029412e-05,3.048556e-05,3.062916e-05,3.089900e-05,3.093405e-05,3.121046e-05,3.126247e-05,3.146000e-05,3.157965e-05,3.168420e-05,3.185404e-05,3.188455e-05,3.206247e-05,3.208894e-05,3.221930e-05,3.228747e-05,3.235633e-05,3.245252e-05,3.247478e-05,3.257578e-05,3.258679e-05,3.266044e-05,3.269278e-05,3.272977e-05,3.277282e-05,3.278475e-05,3.282628e-05,3.282905e-05,3.285522e-05,3.286346e-05,3.287238e-05,3.287787e-05,3.287852e-05,3.287435e-05,3.287398e-05,3.286055e-05,3.285334e-05,3.283773e-05,3.281737e-05,3.280650e-05,3.276741e-05,3.272098e-05,3.270465e-05,3.266771e-05,3.263024e-05,3.260805e-05,3.254518e-05,3.254245e-05,3.247130e-05,3.245044e-05,3.239499e-05,3.234688e-05,3.231388e-05,3.223532e-05,3.222832e-05,3.213861e-05,3.211650e-05,3.204506e-05,3.199110e-05,3.194795e-05,3.185975e-05,3.184754e-05,3.174409e-05,3.172305e-05,3.163782e-05,3.158152e-05,3.152896e-05,3.143567e-05,3.141772e-05,3.130429e-05,3.128596e-05,3.118887e-05,3.113280e-05,3.107161e-05,3.097659e-05,3.095268e-05,3.083225e-05,3.081770e-05,3.071045e-05,3.065646e-05,3.058742e-05,3.049318e-05,3.046329e-05,3.033819e-05,3.032814e-05,3.021222e-05,3.016161e-05,3.008549e-05,2.999384e-05,2.995811e-05,2.983018e-05,2.982505e-05,2.970177e-05,2.965545e-05,2.957299e-05,2.948524e-05,2.944390e-05,2.931459e-05,2.914368e-05,2.897265e-05,2.880164e-05,2.863080e-05,2.846023e-05,2.829006e-05,2.812038e-05,2.795129e-05,2.778288e-05,2.761523e-05,2.744840e-05,2.728248e-05,2.711752e-05,2.695359e-05,2.679072e-05,2.662898e-05,2.646840e-05,2.630902e-05,2.615088e-05,2.599402e-05,2.583845e-05,2.568421e-05,2.553133e-05,2.537981e-05
0.000000e+00,4.313705e-11,1.027005e-10,3.695738e-10,8.638894e-10,1.277117e-09,3.000895e-09,3.095952e-09,6.238745e-09,7.425581e-09,1.123454e-08,1.535758e-08,1.863051e-08,2.777402e-08,2.867240e-08,4.119167e-08,4.453235e-08,5.590770e-08,6.503023e-08,7.262117e-08,8.888324e-08,9.120985e-08,1.115858e-07,1.158683e-07,1.336661e-07,1.457913e-07,1.573582e-07,1.784264e-07,1.825537e-07,2.091275e-07,2.134981e-07,2.369398e-07,2.506854e-07,2.658391e-07,2.896347e-07,2.956667e-07,3.262602e-07,3.299751e-07,3.574578e-07,3.713353e-07,3.891019e-07,4.133566e-07,4.210412e-07,4.531339e-07,4.557039e-07,4.852484e-07,4.980730e-07,5.172644e-07,5.401936e-07,5.490735e-07,5.805803e-07,5.818331e-07,6.117010e-07,6.227956e-07,6.423629e-07,6.629188e-07,6.725038e-07,7.020715e-07,7.310226e-07,7.401508e-07,7.593225e-07,7.770797e-07,7.869434e-07,8.127982e-07,8.138612e-07,8.400597e-07,8.472648e-07,8.655276e-07,8.804541e-07,8.902569e-07,9.123522e-07,9.142438e-07,9.374877e-07,9.429559e-07,9.599906e-07,9.722698e-07,9.817563e-07,1.000305e-06,1.002790e-06,1.023101e-06,1.027077e-06,1.042696e-06,1.052606e-06,1.061586e-06,1.076917e-06,1.079782e-06,1.097295e-06,1.100035e-06,1.114139e-06,1.121989e-06,1.130324e-06,1.142808e-06,1.145865e-06,1.160776e-06,1.162523e-06,1.175069e-06,1.181165e-06,1.188758e-06,1.198767e-06,1.201858e-06,1.214382e-06,1.215359e-06,1.226344e-06,1.230975e-06,1.237759e-06,1.245645e-06,1.248639e-06,1.258999e-06,1.259403e-06,1.268853e-06,1.272278e-06,1.278213e-06,1.284303e-06,1.287094e-06,1.295508e-06,1.303468e-06,1.305922e-06,1.310988e-06,1.315575e-06,1.318079e-06,1.324495e-06,1.324755e-06,1.331027e-06,1.332712e-06,1.336907e-06,1.340252e-06,1.342407e-06,1.347142e-06,1.347540e-06,1.352315e-06,1.353409e-06,1.356744e-06,1.359077e-06,1.360837e-06,1.364171e-06,1.364607e-06,1.368062e-06,1.368716e-06,1.371213e-06,1.372734e-06,1.374069e-06,1.376249e-06,1.376642e-06,1.378939e-06,1.379282e-06,1.380970e-06,1.381854e-06,1.382745e-06,1.383986e-06,1.384271e-06,1.385558e-06,1.385697e-06,1.386614e-06,1.387008e-06,1.387447e-06,1.387936e-06,1.388065e-06,1.388475e-06,1.388500e-06,1.388686e-06,1.388716e-06,1.388704e-06,1.388602e-06,1.388537e-06,1.388191e-06,1.388174e-06,1.387674e-06,1.387447e-06,1.386991e-06,1.386436e-06,1.386150e-06,1.385156e-06,1.383621e-06,1.381843e-06,1.379837e-06,1.377614e-06,1.375186e-06,1.372565e-06,1.369762e-06,1.366788e-06,1.363652e-06,1.360364e-06,1.356934e-06,1.353370e-06,1.349683e-06,1.345878e-06,1.341965e-06,1.337952e-06,1.333845e-06,1.329651e-06,1.325377e-06,1.321030e-06,1.316615e-06,1.312139e-06,1.307607e-06,1.303023e-06
0.000000e+00,6.627302e-13,4.140302e-12,6.015017e-11,3.390937e-10,7.371791e-10,3.782995e-09,4.007918e-09,1.403504e-08,1.889086e-08,3.737813e-08,6.131466e-08,8.272267e-08,1.527213e-07,1.603879e-07,2.817960e-07,3.187677e-07,4.588726e-07,5.867016e-07,7.031455e-07,9.815266e-07,1.024394e-06,1.429146e-06,1.520394e-06,1.919635e-06,2.207995e-06,2.493622e-06,3.035912e-06,3.144987e-06,3.864758e-06,3.985567e-06,4.642188e-06,5.032444e-06,5.465684e-06,6.149733e-06,6.323478e-06,7.204085e-06,7.310765e-06,8.096595e-06,8.490424e-06,8.990856e-06,9.665923e-06,9.877591e-06,1.074848e-05,1.081724e-05,1.159623e-05,1.192740e-05,1.241456e-05,1.298258e-05,1.319827e-05,1.394321e-05,1.397216e-05,1.464622e-05,1.488859e-05,1.530509e-05,1.572720e-05,1.591849e-05,1.648585e-05,1.700731e-05,1.716458e-05,1.748357e-05,1.776520e-05,1.791585e-05,1.829090e-05,1.830570e-05,1.865501e-05,1.874583e-05,1.896584e-05,1.913479e-05,1.924041e-05,1.946296e-05,1.948101e-05,1.968995e-05,1.973565e-05,1.986954e-05,1.995812e-05,2.002201e-05,2.013550e-05,2.014956e-05,2.025424e-05,2.027261e-05,2.033804e-05,2.037398e-05,2.040280e-05,2.044376e-05,2.045026e-05,2.048203e-05,2.048576e-05,2.049960e-05,2.050341e-05,2.050436e-05,2.049979e-05,2.049757e-05,2.048038e-05,2.047767e-05,2.045386e-05,2.043949e-05,2.041898e-05,2.038742e-05,2.037662e-05,2.032759e-05,2.032340e-05,2.027261e-05,2.024911e-05,2.021236e-05,2.016604e-05,2.014742e-05,2.007835e-05,2.007551e-05,2.000564e-05,1.997866e-05,1.992974e-05,1.987651e-05,1.985105e-05,1.976995e-05,1.968676e-05,1.965975e-05,1.960180e-05,1.954661e-05,1.951533e-05,1.943113e-05,1.942760e-05,1.933884e-05,1.931384e-05,1.924926e-05,1.919519e-05,1.915904e-05,1.907561e-05,1.906834e-05,1.897732e-05,1.895545e-05,1.888613e-05,1.883502e-05,1.879487e-05,1.871462e-05,1.870368e-05,1.861265e-05,1.859448e-05,1.852188e-05,1.847481e-05,1.843146e-05,1.835582e-05,1.834145e-05,1.825193e-05,1.823765e-05,1.816296e-05,1.812046e-05,1.807459e-05,1.800438e-05,1.798689e-05,1.789989e-05,1.788950e-05,1.781364e-05,1.777593e-05,1.772817e-05,1.766375e-05,1.764351e-05,1.755970e-05,1.755304e-05,1.747677e-05,1.744384e-05,1.739472e-05,1.733621e-05,1.731359e-05,1.723339e-05,1.723020e-05,1.715413e-05,1.712583e-05,1.707583e-05,1.702315e-05,1.699851e-05,1.692216e-05,1.682288e-05,1.672534e-05,1.662953e-05,1.653546e-05,1.644312e-05,1.635253e-05,1.626366e-05,1.617652e-05,1.609109e-05,1.600735e-05,1.592530e-05,1.584492e-05,1.576620e-05,1.568910e-05,1.561362e-05,1.553972e-05,1.546740e-05,1.539663e-05,1.532739e-05,1.525964e-05,1.519338e-05,1.512857e-05,1.506519e-05,1.500322e-05
0.000000e+00,3.954011e-13,2.640609e-12,4.408182e-11,2.823404e-10,6.586825e-10,4.064559e-09,4.338952e-09,1.831414e-08,2.595270e-08,5.853331e-08,1.069218e-07,1.548625e-07,3.358198e-07,3.575911e-07,7.451230e-07,8.774844e-07,1.431829e-06,2.003388e-06,2.573483e-06,4.109794e-06,4.366736e-06,7.040401e-06,7.702273e-06,1.083941e-05,1.334040e-05,1.600488e-05,2.156005e-05,2.275426e-05,3.126460e-05,3.279882e-05,4.166079e-05,4.734257e-05,5.400905e-05,6.529918e-05,6.831541e-05,8.452821e-05,8.659743e-05,1.025437e-04,1.110048e-04,1.222135e-04,1.381567e-04,1.433535e-04,1.657525e-04,1.675920e-04,1.891815e-04,1.987882e-04,2.134017e-04,2.311946e-04,2.381719e-04,2.632547e-04,2.642612e-04,2.884223e-04,2.974616e-04,3.134602e-04,3.303104e-04,3.381710e-04,3.623760e-04,3.859173e-04,3.932874e-04,4.086579e-04,4.227374e-04,4.304822e-04,4.504833e-04,4.512954e-04,4.710225e-04,4.763434e-04,4.896073e-04,5.001931e-04,5.070111e-04,5.219592e-04,5.232106e-04,5.381970e-04,5.416134e-04,5.519739e-04,5.591657e-04,5.645558e-04,5.746579e-04,5.759663e-04,5.862370e-04,5.881576e-04,5.954057e-04,5.997520e-04,6.035154e-04,6.095433e-04,6.106129e-04,6.167476e-04,6.176433e-04,6.219711e-04,6.241700e-04,6.263356e-04,6.292443e-04,6.298940e-04,6.326985e-04,6.329869e-04,6.348008e-04,6.355163e-04,6.362510e-04,6.369472e-04,6.370980e-04,6.373886e-04,6.373892e-04,6.371679e-04,6.369460e-04,6.364785e-04,6.357149e-04,6.353611e-04,6.338540e-04,6.337861e-04,6.319931e-04,6.312431e-04,6.298122e-04,6.281627e-04,6.273430e-04,6.246147e-04,6.216548e-04,6.206629e-04,6.184886e-04,6.163647e-04,6.151394e-04,6.117722e-04,6.116289e-04,6.079770e-04,6.069317e-04,6.042021e-04,6.018851e-04,6.003209e-04,5.966696e-04,5.963489e-04,5.923002e-04,5.913186e-04,5.881878e-04,5.858614e-04,5.840233e-04,5.803241e-04,5.798175e-04,5.755802e-04,5.747298e-04,5.713202e-04,5.690987e-04,5.670455e-04,5.634487e-04,5.627634e-04,5.584805e-04,5.577955e-04,5.542026e-04,5.521527e-04,5.499353e-04,5.465322e-04,5.456833e-04,5.414509e-04,5.409445e-04,5.372420e-04,5.353985e-04,5.330601e-04,5.299019e-04,5.289083e-04,5.247894e-04,5.244614e-04,5.207057e-04,5.190826e-04,5.166595e-04,5.137704e-04,5.126526e-04,5.086867e-04,5.085289e-04,5.047632e-04,5.033614e-04,5.008835e-04,4.982708e-04,4.970485e-04,4.932592e-04,4.883285e-04,4.834801e-04,4.787150e-04,4.740339e-04,4.694372e-04,4.649253e-04,4.604979e-04,4.561549e-04,4.518959e-04,4.477204e-04,4.436277e-04,4.396171e-04,4.356877e-04,4.318385e-04,4.280686e-04,4.243768e-04,4.207621e-04,4.172233e-04,4.137591e-04,4.103685e-04,4.070500e-04,4.038025e-04,4.006246e-04,3.975152e-04
0.000000e+00,3.766753e-12,8.770054e-12,3.071070e-11,7.047876e-11,1.031546e-10,2.352824e-10,2.423984e-10,4.695585e-10,5.518612e-10,8.064741e-10,1.070909e-09,1.276373e-09,1.846963e-09,1.903470e-09,2.709809e-09,2.931758e-09,3.708648e-09,4.352391e-09,4.899377e-09,6.096898e-09,6.270446e-09,7.806577e-09,8.132295e-09,9.493141e-09,1.042519e-08,1.131698e-08,1.294609e-08,1.326581e-08,1.532754e-08,1.566707e-08,1.748985e-08,1.855977e-08,1.974002e-08,2.159464e-08,2.206497e-08,2.445138e-08,2.474125e-08,2.688590e-08,2.796893e-08,2.935537e-08,3.124768e-08,3.184705e-08,3.434878e-08,3.454900e-08,3.684917e-08,3.784657e-08,3.933771e-08,4.111673e-08,4.180485e-08,4.424204e-08,4.433880e-08,4.664175e-08,4.749518e-08,4.899745e-08,5.057133e-08,5.130360e-08,5.355557e-08,5.574957e-08,5.643891e-08,5.788263e-08,5.921472e-08,5.995246e-08,6.187848e-08,6.195742e-08,6.389645e-08,6.442747e-08,6.576896e-08,6.686047e-08,6.757482e-08,6.917753e-08,6.931425e-08,7.098777e-08,7.137969e-08,7.259618e-08,7.346883e-08,7.414051e-08,7.544744e-08,7.562193e-08,7.704180e-08,7.731851e-08,7.840154e-08,7.908535e-08,7.970270e-08,8.075156e-08,8.094686e-08,8.213567e-08,8.232086e-08,8.327080e-08,8.379708e-08,8.435391e-08,8.518408e-08,8.538669e-08,8.637081e-08,8.648572e-08,8.730793e-08,8.770579e-08,8.819967e-08,8.884803e-08,8.904764e-08,8.985342e-08,8.991611e-08,9.061855e-08,9.091356e-08,9.134454e-08,9.184383e-08,9.203283e-08,9.268487e-08,9.271021e-08,9.330201e-08,9.351591e-08,9.388562e-08,9.426397e-08,9.443698e-08,9.495735e-08,9.544794e-08,9.559883e-08,9.590993e-08,9.619112e-08,9.634445e-08,9.673677e-08,9.675260e-08,9.713543e-08,9.723822e-08,9.749396e-08,9.769782e-08,9.782916e-08,9.811777e-08,9.814199e-08,9.843336e-08,9.850019e-08,9.870414e-08,9.884710e-08,9.895518e-08,9.916040e-08,9.918728e-08,9.940124e-08,9.944192e-08,9.959781e-08,9.969339e-08,9.977770e-08,9.991644e-08,9.994162e-08,1.000902e-07,1.001126e-07,1.002242e-07,1.002835e-07,1.003441e-07,1.004304e-07,1.004506e-07,1.005442e-07,1.005546e-07,1.006255e-07,1.006575e-07,1.006950e-07,1.007403e-07,1.007533e-07,1.008007e-07,1.008040e-07,1.008378e-07,1.008499e-07,1.008651e-07,1.008789e-07,1.008829e-07,1.008918e-07,1.008919e-07,1.008920e-07,1.008900e-07,1.008839e-07,1.008740e-07,1.008681e-07,1.008447e-07,1.008030e-07,1.007495e-07,1.006851e-07,1.006103e-07,1.005259e-07,1.004323e-07,1.003303e-07,1.002204e-07,1.001030e-07,9.997875e-08,9.984801e-08,9.971127e-08,9.956893e-08,9.942141e-08,9.926908e-08,9.911230e-08,9.895142e-08,9.878676e-08,9.861862e-08,9.844731e-08,9.827309e-08,9.809622e-08,9.791697e-08,9.773555e-08
0.000000e+00,4.585028e-11,1.060336e-10,3.693509e-10,8.478052e-10,1.242754e-09,2.857686e-09,2.945469e-09,5.788584e-09,6.836946e-09,1.013248e-08,1.361963e-08,1.635639e-08,2.396814e-08,2.471707e-08,3.520357e-08,3.801627e-08,4.762263e-08,5.534276e-08,6.176768e-08,7.550991e-08,7.747197e-08,9.459494e-08,9.817808e-08,1.130037e-07,1.230400e-07,1.325638e-07,1.497824e-07,1.531362e-07,1.745786e-07,1.780806e-07,1.967488e-07,2.076078e-07,2.195072e-07,2.380477e-07,2.427207e-07,2.662643e-07,2.691061e-07,2.900233e-07,3.005184e-07,3.138940e-07,3.320530e-07,3.377838e-07,3.616113e-07,3.635126e-07,3.853056e-07,3.947321e-07,4.088058e-07,4.255761e-07,4.320597e-07,4.550234e-07,4.559353e-07,4.776597e-07,4.857226e-07,4.999381e-07,5.148698e-07,5.218331e-07,5.433242e-07,5.643946e-07,5.710461e-07,5.850313e-07,5.980062e-07,6.052239e-07,6.241839e-07,6.249648e-07,6.442484e-07,6.495654e-07,6.630711e-07,6.741426e-07,6.814308e-07,6.979121e-07,6.993267e-07,7.167593e-07,7.208743e-07,7.337301e-07,7.430328e-07,7.502413e-07,7.643936e-07,7.662962e-07,7.818984e-07,7.849648e-07,7.970522e-07,8.047566e-07,8.117625e-07,8.237803e-07,8.260346e-07,8.398739e-07,8.420484e-07,8.532865e-07,8.595747e-07,8.662785e-07,8.763736e-07,8.788564e-07,8.910268e-07,8.924602e-07,9.027965e-07,9.078501e-07,9.141725e-07,9.225593e-07,9.251618e-07,9.357716e-07,9.366042e-07,9.460090e-07,9.500013e-07,9.558814e-07,9.627675e-07,9.653960e-07,9.745602e-07,9.749196e-07,9.833813e-07,9.864743e-07,9.918666e-07,9.974486e-07,1.000024e-06,1.007859e-06,1.015381e-06,1.017723e-06,1.022596e-06,1.027056e-06,1.029511e-06,1.035875e-06,1.036134e-06,1.042472e-06,1.044196e-06,1.048531e-06,1.052035e-06,1.054318e-06,1.059408e-06,1.059840e-06,1.065105e-06,1.066330e-06,1.070117e-06,1.072817e-06,1.074885e-06,1.078883e-06,1.079414e-06,1.083711e-06,1.084543e-06,1.087782e-06,1.089811e-06,1.091633e-06,1.094702e-06,1.095270e-06,1.098699e-06,1.099229e-06,1.101926e-06,1.103405e-06,1.104957e-06,1.107244e-06,1.107797e-06,1.110453e-06,1.110759e-06,1.112928e-06,1.113962e-06,1.115229e-06,1.116864e-06,1.117361e-06,1.119329e-06,1.119479e-06,1.121137e-06,1.121817e-06,1.122792e-06,1.123890e-06,1.124297e-06,1.125657e-06,1.125708e-06,1.126877e-06,1.127283e-06,1.127962e-06,1.128624e-06,1.128915e-06,1.129742e-06,1.130645e-06,1.131345e-06,1.131849e-06,1.132167e-06,1.132306e-06,1.132277e-06,1.132085e-06,1.131740e-06,1.131249e-06,1.130618e-06,1.129856e-06,1.128968e-06,1.127962e-06,1.126843e-06,1.125618e-06,1.124293e-06,1.122873e-06,1.121363e-06,1.119770e-06,1.118098e-06,1.116352e-06,1.114537e-06,1.112656e-06,1.110716e-06
0.000000e+00,6.452405e-12,1.544555e-11,5.559722e-11,1.290469e-10,1.895728e-10,4.345951e-10,4.477907e-10,8.686496e-10,1.020925e-09,1.491276e-09,1.978509e-09,2.356027e-09,3.397689e-09,3.500175e-09,4.946069e-09,5.338331e-09,6.693040e-09,7.797322e-09,8.725722e-09,1.073647e-08,1.102609e-08,1.357749e-08,1.411649e-08,1.636390e-08,1.790018e-08,1.936848e-08,2.204740e-08,2.257267e-08,2.595591e-08,2.651236e-08,2.949573e-08,3.124347e-08,3.316816e-08,3.618480e-08,3.694819e-08,4.081036e-08,4.127814e-08,4.472940e-08,4.646541e-08,4.868069e-08,5.169076e-08,5.264078e-08,5.658778e-08,5.690236e-08,6.050159e-08,6.205371e-08,6.436417e-08,6.710448e-08,6.815960e-08,7.187412e-08,7.202085e-08,7.549614e-08,7.677551e-08,7.901608e-08,8.134739e-08,8.242634e-08,8.572108e-08,8.889606e-08,8.988627e-08,9.194852e-08,9.383706e-08,9.487696e-08,9.757120e-08,9.768098e-08,1.003611e-07,1.010895e-07,1.029187e-07,1.043952e-07,1.053557e-07,1.074935e-07,1.076747e-07,1.098786e-07,1.103907e-07,1.119706e-07,1.130946e-07,1.139543e-07,1.156133e-07,1.158334e-07,1.176116e-07,1.179555e-07,1.192929e-07,1.201300e-07,1.208809e-07,1.221457e-07,1.223797e-07,1.237929e-07,1.240114e-07,1.251244e-07,1.257355e-07,1.263777e-07,1.273265e-07,1.275564e-07,1.286640e-07,1.287923e-07,1.297037e-07,1.301404e-07,1.306787e-07,1.313783e-07,1.315920e-07,1.324468e-07,1.325127e-07,1.332456e-07,1.335501e-07,1.339913e-07,1.344967e-07,1.346864e-07,1.353334e-07,1.353583e-07,1.359345e-07,1.361402e-07,1.364921e-07,1.368475e-07,1.370083e-07,1.374851e-07,1.379243e-07,1.380573e-07,1.383280e-07,1.385684e-07,1.386976e-07,1.390222e-07,1.390351e-07,1.393418e-07,1.394224e-07,1.396194e-07,1.397725e-07,1.398692e-07,1.400756e-07,1.400925e-07,1.402908e-07,1.403347e-07,1.404651e-07,1.405527e-07,1.406167e-07,1.407321e-07,1.407466e-07,1.408560e-07,1.408754e-07,1.409457e-07,1.409850e-07,1.410169e-07,1.410629e-07,1.410703e-07,1.411068e-07,1.411111e-07,1.411273e-07,1.411316e-07,1.411325e-07,1.411261e-07,1.411232e-07,1.411000e-07,1.410964e-07,1.410638e-07,1.410438e-07,1.410150e-07,1.409699e-07,1.409543e-07,1.408824e-07,1.408762e-07,1.407997e-07,1.407637e-07,1.407068e-07,1.406339e-07,1.406042e-07,1.404923e-07,1.404877e-07,1.403718e-07,1.403263e-07,1.402429e-07,1.401507e-07,1.401061e-07,1.399618e-07,1.397605e-07,1.395477e-07,1.393242e-07,1.390906e-07,1.388477e-07,1.385962e-07,1.383367e-07,1.380698e-07,1.377960e-07,1.375158e-07,1.372299e-07,1.369385e-07,1.366423e-07,1.363415e-07,1.360366e-07,1.357281e-07,1.354161e-07,1.351011e-07,1.347835e-07,1.344634e-07,1.341412e-07,1.338171e-07,1.334914e-07,1.331644e-07
0.000000e+00,1.826820e-11,9.875333e-11,1.080189e-09,4.795305e-09,9.218065e-09,3.536021e-08,3.705186e-08,1.010897e-07,1.279479e-07,2.194201e-07,3.243720e-07,4.111222e-07,6.694195e-07,6.961175e-07,1.093238e-06,1.206895e-06,1.615914e-06,1.965715e-06,2.269377e-06,2.951713e-06,3.052391e-06,3.960921e-06,4.157295e-06,4.990534e-06,5.572383e-06,6.137018e-06,7.187269e-06,7.396099e-06,8.762961e-06,8.991293e-06,1.023189e-05,1.097128e-05,1.179611e-05,1.311082e-05,1.344772e-05,1.517779e-05,1.539021e-05,1.697648e-05,1.778694e-05,1.883322e-05,2.027633e-05,2.073688e-05,2.267605e-05,2.283237e-05,2.463919e-05,2.542860e-05,2.661490e-05,2.803894e-05,2.859206e-05,3.055998e-05,3.063837e-05,3.250862e-05,3.320359e-05,3.442863e-05,3.571347e-05,3.631144e-05,3.814937e-05,3.993563e-05,4.049533e-05,4.166432e-05,4.273813e-05,4.333045e-05,4.486723e-05,4.492988e-05,4.645934e-05,4.687469e-05,4.791631e-05,4.875493e-05,4.929902e-05,5.050456e-05,5.060636e-05,5.183781e-05,5.212206e-05,5.299342e-05,5.360760e-05,5.407368e-05,5.496272e-05,5.507953e-05,5.601224e-05,5.619014e-05,5.687339e-05,5.729351e-05,5.766481e-05,5.827721e-05,5.838855e-05,5.904680e-05,5.914619e-05,5.964188e-05,5.990579e-05,6.017621e-05,6.056160e-05,6.065227e-05,6.107257e-05,6.111938e-05,6.143964e-05,6.158494e-05,6.175600e-05,6.196405e-05,6.202415e-05,6.224655e-05,6.226244e-05,6.242562e-05,6.248565e-05,6.256374e-05,6.263911e-05,6.266319e-05,6.272622e-05,6.272802e-05,6.275499e-05,6.275736e-05,6.275157e-05,6.273189e-05,6.271797e-05,6.265613e-05,6.256789e-05,6.253437e-05,6.245502e-05,6.237064e-05,6.231921e-05,6.216876e-05,6.216209e-05,6.198518e-05,6.193230e-05,6.178995e-05,6.166461e-05,6.157780e-05,6.136881e-05,6.135004e-05,6.110794e-05,6.104783e-05,6.085267e-05,6.070439e-05,6.058536e-05,6.034102e-05,6.030709e-05,6.001884e-05,5.996008e-05,5.972159e-05,5.956375e-05,5.941621e-05,5.915404e-05,5.910356e-05,5.878443e-05,5.873282e-05,5.845958e-05,5.830182e-05,5.812970e-05,5.786263e-05,5.779546e-05,5.745748e-05,5.741670e-05,5.711635e-05,5.696539e-05,5.677261e-05,5.650994e-05,5.642677e-05,5.607931e-05,5.605146e-05,5.573069e-05,5.559100e-05,5.538131e-05,5.512951e-05,5.503156e-05,5.468182e-05,5.466784e-05,5.433241e-05,5.420677e-05,5.398366e-05,5.374703e-05,5.363585e-05,5.328925e-05,5.283402e-05,5.238186e-05,5.193324e-05,5.148858e-05,5.104826e-05,5.061260e-05,5.018190e-05,4.975641e-05,4.933636e-05,4.892194e-05,4.851332e-05,4.811063e-05,4.771398e-05,4.732348e-05,4.693918e-05,4.656115e-05,4.618942e-05,4.582401e-05,4.546494e-05,4.511220e-05,4.476577e-05,4.442562e-05,4.409173e-05,4.376405e-05
0.000000e+00,1.210149e-10,4.301161e-10,2.405722e-09,6.879846e-09,1.092021e-08,2.866145e-08,2.965485e-08,6.239395e-08,7.458022e-08,1.128944e-07,1.533231e-07,1.850262e-07,2.739519e-07,2.828159e-07,4.103397e-07,4.458060e-07,5.714151e-07,6.774485e-07,7.690498e-07,9.743919e-07,1.004664e-06,1.277254e-06,1.335916e-06,1.582915e-06,1.752859e-06,1.915200e-06,2.209202e-06,2.266320e-06,2.628570e-06,2.687099e-06,2.995288e-06,3.171294e-06,3.361181e-06,3.650568e-06,3.722235e-06,4.075455e-06,4.117202e-06,4.418621e-06,4.565992e-06,4.750101e-06,4.993462e-06,5.068702e-06,5.373580e-06,5.397359e-06,5.664171e-06,5.776324e-06,5.940135e-06,6.129682e-06,6.201323e-06,6.447738e-06,6.457289e-06,6.679512e-06,6.759409e-06,6.896880e-06,7.036621e-06,7.100161e-06,7.289736e-06,7.466039e-06,7.519729e-06,7.629538e-06,7.727686e-06,7.780727e-06,7.914761e-06,7.920117e-06,8.048225e-06,8.082145e-06,8.165573e-06,8.231032e-06,8.272678e-06,8.362608e-06,8.370051e-06,8.458194e-06,8.478030e-06,8.537596e-06,8.578420e-06,8.608730e-06,8.664854e-06,8.672055e-06,8.728015e-06,8.738361e-06,8.777035e-06,8.799919e-06,8.819523e-06,8.850454e-06,8.855872e-06,8.886456e-06,8.890838e-06,8.911631e-06,8.921894e-06,8.931738e-06,8.944393e-06,8.947101e-06,8.958029e-06,8.959056e-06,8.964815e-06,8.966561e-06,8.967738e-06,8.967538e-06,8.967061e-06,8.963034e-06,8.962575e-06,8.955896e-06,8.952220e-06,8.945870e-06,8.936983e-06,8.933169e-06,8.917993e-06,8.917338e-06,8.900533e-06,8.893724e-06,8.880968e-06,8.866548e-06,8.859467e-06,8.836190e-06,8.811287e-06,8.802998e-06,8.784900e-06,8.767296e-06,8.757163e-06,8.729381e-06,8.728201e-06,8.698133e-06,8.689531e-06,8.667070e-06,8.647998e-06,8.635116e-06,8.605017e-06,8.602371e-06,8.568925e-06,8.560803e-06,8.534865e-06,8.515554e-06,8.500272e-06,8.469450e-06,8.465223e-06,8.429787e-06,8.422660e-06,8.394032e-06,8.375334e-06,8.358019e-06,8.327612e-06,8.321807e-06,8.285450e-06,8.279622e-06,8.248997e-06,8.231480e-06,8.212496e-06,8.183291e-06,8.175991e-06,8.139522e-06,8.135150e-06,8.103127e-06,8.087145e-06,8.066839e-06,8.039353e-06,8.030692e-06,7.994716e-06,7.991846e-06,7.958937e-06,7.944686e-06,7.923381e-06,7.897932e-06,7.888071e-06,7.853029e-06,7.851633e-06,7.818274e-06,7.805836e-06,7.783823e-06,7.760580e-06,7.749694e-06,7.715900e-06,7.671829e-06,7.628392e-06,7.585612e-06,7.543511e-06,7.502103e-06,7.461404e-06,7.421423e-06,7.382171e-06,7.343652e-06,7.305873e-06,7.268835e-06,7.232540e-06,7.196987e-06,7.162174e-06,7.128098e-06,7.094755e-06,7.062140e-06,7.030247e-06,6.999068e-06,6.968597e-06,6.938824e-06,6.909742e-06,6.881340e-06,6.853609e-06
0.000000e+00,2.714380e-11,7.783664e-11,3.380636e-10,8.540153e-10,1.293380e-09,3.118920e-09,3.218317e-09,6.408001e-09,7.565444e-09,1.113636e-08,1.482077e-08,1.766416e-08,2.547655e-08,2.624432e-08,3.712053e-08,4.009769e-08,5.051078e-08,5.916814e-08,6.656569e-08,8.292049e-08,8.530843e-08,1.066020e-07,1.111452e-07,1.301857e-07,1.432520e-07,1.557511e-07,1.785363e-07,1.829969e-07,2.116475e-07,2.163448e-07,2.414504e-07,2.560954e-07,2.721696e-07,2.972525e-07,3.035790e-07,3.354602e-07,3.393075e-07,3.676015e-07,3.817732e-07,3.997989e-07,4.241867e-07,4.318584e-07,4.635974e-07,4.661176e-07,4.948474e-07,5.071755e-07,5.254549e-07,5.470172e-07,5.552835e-07,5.842141e-07,5.853511e-07,6.121453e-07,6.219391e-07,6.389931e-07,6.565961e-07,6.646908e-07,6.891874e-07,7.124473e-07,7.196253e-07,7.344485e-07,7.478638e-07,7.551814e-07,7.738929e-07,7.746473e-07,7.928574e-07,7.977336e-07,8.098308e-07,8.194319e-07,8.255937e-07,8.390539e-07,8.401781e-07,8.536205e-07,8.566812e-07,8.659611e-07,8.724064e-07,8.772427e-07,8.863300e-07,8.875101e-07,8.968093e-07,8.985570e-07,9.051869e-07,9.091946e-07,9.126898e-07,9.183501e-07,9.193643e-07,9.252561e-07,9.261292e-07,9.304102e-07,9.326349e-07,9.348700e-07,9.379665e-07,9.386779e-07,9.418747e-07,9.422192e-07,9.444999e-07,9.454836e-07,9.465910e-07,9.478453e-07,9.481840e-07,9.493132e-07,9.493845e-07,9.500110e-07,9.501763e-07,9.503083e-07,9.502909e-07,9.502344e-07,9.498170e-07,9.497935e-07,9.490822e-07,9.487447e-07,9.480544e-07,9.472001e-07,9.467569e-07,9.452114e-07,9.434384e-07,9.428261e-07,9.414569e-07,9.400877e-07,9.392850e-07,9.370364e-07,9.369395e-07,9.344361e-07,9.337089e-07,9.317896e-07,9.301388e-07,9.290138e-07,9.263569e-07,9.261215e-07,9.231247e-07,9.223912e-07,9.200347e-07,9.182675e-07,9.168618e-07,9.140090e-07,9.136159e-07,9.103059e-07,9.096370e-07,9.069403e-07,9.051708e-07,9.035269e-07,9.006282e-07,9.000731e-07,8.965856e-07,8.960249e-07,8.930706e-07,8.913755e-07,8.895341e-07,8.866930e-07,8.859814e-07,8.824175e-07,8.819893e-07,8.788471e-07,8.772752e-07,8.752744e-07,8.725601e-07,8.717035e-07,8.681378e-07,8.678529e-07,8.645809e-07,8.631613e-07,8.610358e-07,8.584922e-07,8.575053e-07,8.539921e-07,8.538519e-07,8.504985e-07,8.492460e-07,8.470268e-07,8.446795e-07,8.435789e-07,8.401568e-07,8.356817e-07,8.312576e-07,8.268876e-07,8.225742e-07,8.183197e-07,8.141259e-07,8.099946e-07,8.059269e-07,8.019241e-07,7.979869e-07,7.941161e-07,7.903123e-07,7.865756e-07,7.829063e-07,7.793044e-07,7.757698e-07,7.723024e-07,7.689019e-07,7.655678e-07,7.622998e-07,7.590972e-07,7.559595e-07,7.528861e-07,7.498762e-07
0.000000e+00,5.835112e-12,1.342614e-11,4.655412e-11,1.067623e-10,1.565482e-10,3.610428e-10,3.721994e-10,7.355291e-10,8.703811e-10,1.297086e-09,1.753384e-09,2.115434e-09,3.144427e-09,3.247561e-09,4.724899e-09,5.129996e-09,6.530787e-09,7.666181e-09,8.611805e-09,1.062432e-08,1.090990e-08,1.337885e-08,1.388994e-08,1.598403e-08,1.738330e-08,1.869809e-08,2.104485e-08,2.149764e-08,2.436157e-08,2.482446e-08,2.727045e-08,2.867734e-08,3.020630e-08,3.256333e-08,3.315273e-08,3.609499e-08,3.644714e-08,3.902004e-08,4.029863e-08,4.191656e-08,4.409282e-08,4.477488e-08,4.758691e-08,4.780966e-08,5.034596e-08,5.143350e-08,5.304663e-08,5.495253e-08,5.568466e-08,5.825675e-08,5.835822e-08,6.076044e-08,6.164467e-08,6.319399e-08,6.480813e-08,6.555625e-08,6.784659e-08,7.006476e-08,7.075934e-08,7.221088e-08,7.354676e-08,7.428535e-08,7.621000e-08,7.628878e-08,7.822199e-08,7.875084e-08,8.008595e-08,8.117152e-08,8.188173e-08,8.347465e-08,8.361051e-08,8.527357e-08,8.566306e-08,8.687221e-08,8.773981e-08,8.840780e-08,8.970808e-08,8.988174e-08,9.129547e-08,9.157112e-08,9.265043e-08,9.333226e-08,9.394806e-08,9.499484e-08,9.518983e-08,9.637719e-08,9.656222e-08,9.751160e-08,9.803773e-08,9.859449e-08,9.942468e-08,9.962730e-08,1.006114e-07,1.007263e-07,1.015483e-07,1.019459e-07,1.024393e-07,1.030866e-07,1.032857e-07,1.040890e-07,1.041514e-07,1.048503e-07,1.051434e-07,1.055711e-07,1.060657e-07,1.062526e-07,1.068960e-07,1.069209e-07,1.075025e-07,1.077121e-07,1.080734e-07,1.084418e-07,1.086098e-07,1.091128e-07,1.095836e-07,1.097276e-07,1.100232e-07,1.102887e-07,1.104328e-07,1.107986e-07,1.108133e-07,1.111657e-07,1.112595e-07,1.114911e-07,1.116737e-07,1.117904e-07,1.120435e-07,1.120645e-07,1.123144e-07,1.123708e-07,1.125409e-07,1.126578e-07,1.127449e-07,1.129064e-07,1.129272e-07,1.130887e-07,1.131185e-07,1.132301e-07,1.132959e-07,1.133522e-07,1.134404e-07,1.134558e-07,1.135415e-07,1.135536e-07,1.136101e-07,1.136372e-07,1.136623e-07,1.136927e-07,1.136988e-07,1.137200e-07,1.137216e-07,1.137268e-07,1.137254e-07,1.137197e-07,1.137054e-07,1.136993e-07,1.136661e-07,1.136629e-07,1.136208e-07,1.135993e-07,1.135637e-07,1.135157e-07,1.134956e-07,1.134167e-07,1.134134e-07,1.133277e-07,1.132933e-07,1.132291e-07,1.131566e-07,1.131211e-07,1.130044e-07,1.128375e-07,1.126570e-07,1.124637e-07,1.122585e-07,1.120422e-07,1.118155e-07,1.115793e-07,1.113343e-07,1.110810e-07,1.108202e-07,1.105525e-07,1.102784e-07,1.099986e-07,1.097136e-07,1.094238e-07,1.091297e-07,1.088319e-07,1.085307e-07,1.082266e-07,1.079199e-07,1.076110e-07,1.073003e-07,1.069881e-07,1.066747e-07
0.000000e+00,2.743930e-11,6.733701e-11,2.487132e-10,5.840997e-10,8.617237e-10,1.989745e-09,2.050590e-09,3.992913e-09,4.695961e-09,6.867167e-09,9.115719e-09,1.085859e-08,1.568421e-08,1.616137e-08,2.297310e-08,2.485336e-08,3.147426e-08,3.702181e-08,4.178494e-08,5.236105e-08,5.390808e-08,6.770162e-08,7.063991e-08,8.291687e-08,9.129722e-08,9.927405e-08,1.137074e-07,1.165162e-07,1.344262e-07,1.373412e-07,1.528219e-07,1.617779e-07,1.715475e-07,1.866723e-07,1.904650e-07,2.094497e-07,2.117269e-07,2.283875e-07,2.366780e-07,2.471740e-07,2.612918e-07,2.657143e-07,2.839232e-07,2.853633e-07,3.017253e-07,3.087173e-07,3.190553e-07,3.312091e-07,3.358578e-07,3.520871e-07,3.527238e-07,3.677067e-07,3.731750e-07,3.826889e-07,3.925023e-07,3.970138e-07,4.106688e-07,4.236478e-07,4.276581e-07,4.359503e-07,4.434707e-07,4.475806e-07,4.581211e-07,4.585472e-07,4.688622e-07,4.716355e-07,4.785403e-07,4.840485e-07,4.875987e-07,4.954013e-07,4.960563e-07,5.039333e-07,5.057397e-07,5.112510e-07,5.151127e-07,5.180312e-07,5.235708e-07,5.242961e-07,5.300682e-07,5.311654e-07,5.353696e-07,5.379476e-07,5.402223e-07,5.439677e-07,5.446480e-07,5.486679e-07,5.492749e-07,5.523028e-07,5.539167e-07,5.555727e-07,5.579391e-07,5.584972e-07,5.610951e-07,5.613858e-07,5.633844e-07,5.642984e-07,5.653824e-07,5.667164e-07,5.671059e-07,5.685707e-07,5.686771e-07,5.697921e-07,5.702158e-07,5.707846e-07,5.713654e-07,5.715622e-07,5.721380e-07,5.721571e-07,5.725247e-07,5.726198e-07,5.727340e-07,5.727810e-07,5.727775e-07,5.726659e-07,5.724095e-07,5.722984e-07,5.720179e-07,5.717006e-07,5.715003e-07,5.708931e-07,5.708655e-07,5.701217e-07,5.698950e-07,5.692767e-07,5.687242e-07,5.683379e-07,5.673974e-07,5.673123e-07,5.662064e-07,5.659298e-07,5.650266e-07,5.643358e-07,5.637787e-07,5.626287e-07,5.624684e-07,5.611007e-07,5.608208e-07,5.596808e-07,5.589234e-07,5.582133e-07,5.569471e-07,5.567026e-07,5.551529e-07,5.549016e-07,5.535680e-07,5.527959e-07,5.519517e-07,5.506384e-07,5.503074e-07,5.486384e-07,5.484367e-07,5.469478e-07,5.461979e-07,5.452385e-07,5.439285e-07,5.435131e-07,5.417742e-07,5.416346e-07,5.400242e-07,5.393216e-07,5.382654e-07,5.369947e-07,5.364998e-07,5.347294e-07,5.346585e-07,5.329561e-07,5.323173e-07,5.311815e-07,5.299749e-07,5.294073e-07,5.276350e-07,5.253008e-07,5.229752e-07,5.206610e-07,5.183607e-07,5.160764e-07,5.138102e-07,5.115638e-07,5.093389e-07,5.071370e-07,5.049593e-07,5.028070e-07,5.006811e-07,4.985826e-07,4.965120e-07,4.944702e-07,4.924577e-07,4.904749e-07,4.885224e-07,4.866003e-07,4.847089e-07,4.828485e-07,4.810191e-07,4.792208e-07,4.774536e-07
0.000000e+00,7.398068e-12,4.285180e-11,5.349480e-10,2.643684e-09,5.361567e-09,2.321995e-08,2.443885e-08,7.343519e-08,9.506658e-08,1.714364e-07,2.623056e-07,3.390656e-07,5.731038e-07,5.976481e-07,9.689088e-07,1.077179e-06,1.474153e-06,1.822705e-06,2.131750e-06,2.845384e-06,2.952594e-06,3.935485e-06,4.150429e-06,5.065660e-06,5.703392e-06,6.317695e-06,7.441186e-06,7.660937e-06,9.064496e-06,9.292737e-06,1.050038e-05,1.119392e-05,1.194474e-05,1.309296e-05,1.337787e-05,1.478375e-05,1.494998e-05,1.614940e-05,1.673478e-05,1.746444e-05,1.842493e-05,1.872071e-05,1.991202e-05,2.000438e-05,2.103392e-05,2.146254e-05,2.208352e-05,2.279358e-05,2.305933e-05,2.396107e-05,2.399561e-05,2.478951e-05,2.507008e-05,2.554623e-05,2.602098e-05,2.623353e-05,2.685424e-05,2.741155e-05,2.757706e-05,2.790893e-05,2.819747e-05,2.835000e-05,2.872385e-05,2.873842e-05,2.907786e-05,2.916462e-05,2.937191e-05,2.952801e-05,2.962406e-05,2.982188e-05,2.983762e-05,3.001578e-05,3.005361e-05,3.016153e-05,3.023003e-05,3.027765e-05,3.035743e-05,3.036678e-05,3.043133e-05,3.044150e-05,3.047356e-05,3.048739e-05,3.049554e-05,3.049974e-05,3.049917e-05,3.048621e-05,3.048270e-05,3.045826e-05,3.043997e-05,3.041681e-05,3.037484e-05,3.036320e-05,3.029866e-05,3.029024e-05,3.022431e-05,3.018876e-05,3.014118e-05,3.007270e-05,3.005019e-05,2.995222e-05,2.994410e-05,2.984802e-05,2.980476e-05,2.973832e-05,2.965629e-05,2.962375e-05,2.950491e-05,2.950008e-05,2.938233e-05,2.933739e-05,2.925651e-05,2.916932e-05,2.912788e-05,2.899686e-05,2.886381e-05,2.882087e-05,2.872908e-05,2.864211e-05,2.859297e-05,2.846127e-05,2.845576e-05,2.831771e-05,2.827894e-05,2.817906e-05,2.809566e-05,2.804001e-05,2.791191e-05,2.790076e-05,2.776149e-05,2.772808e-05,2.762236e-05,2.754457e-05,2.748352e-05,2.736167e-05,2.734509e-05,2.720720e-05,2.717969e-05,2.706995e-05,2.699888e-05,2.693346e-05,2.681945e-05,2.679780e-05,2.666307e-05,2.664160e-05,2.652932e-05,2.646550e-05,2.639664e-05,2.629130e-05,2.626508e-05,2.613469e-05,2.611912e-05,2.600552e-05,2.594908e-05,2.587761e-05,2.578127e-05,2.575100e-05,2.562573e-05,2.561577e-05,2.550183e-05,2.545265e-05,2.537931e-05,2.529197e-05,2.525820e-05,2.513853e-05,2.513377e-05,2.502030e-05,2.497809e-05,2.490353e-05,2.482496e-05,2.478822e-05,2.467440e-05,2.452642e-05,2.438104e-05,2.423826e-05,2.409807e-05,2.396046e-05,2.382544e-05,2.369298e-05,2.356308e-05,2.343570e-05,2.331083e-05,2.318844e-05,2.306851e-05,2.295101e-05,2.283591e-05,2.272319e-05,2.261279e-05,2.250471e-05,2.239890e-05,2.229532e-05,2.219395e-05,2.209475e-05,2.199769e-05,2.190272e-05,2.180982e-05
0.000000e+00,2.044651e-13,1.373944e-12,2.322272e-11,1.503098e-10,3.525210e-10,2.200325e-09,2.349766e-09,9.985890e-09,1.416359e-08,3.194895e-08,5.822461e-08,8.409497e-08,1.805269e-07,1.920177e-07,3.935521e-07,4.613313e-07,7.410303e-07,1.024226e-06,1.303020e-06,2.042584e-06,2.165111e-06,3.429249e-06,3.740311e-06,5.211240e-06,6.383942e-06,7.636542e-06,1.026579e-05,1.083478e-05,1.493366e-05,1.568122e-05,2.005293e-05,2.290450e-05,2.629896e-05,3.216717e-05,3.376018e-05,4.250369e-05,4.364140e-05,5.257305e-05,5.742938e-05,6.398721e-05,7.355874e-05,7.674045e-05,9.080328e-05,9.198348e-05,1.061241e-04,1.125892e-04,1.226311e-04,1.352015e-04,1.402356e-04,1.588339e-04,1.595969e-04,1.783113e-04,1.855148e-04,1.985445e-04,2.126691e-04,2.194045e-04,2.407598e-04,2.624786e-04,2.694841e-04,2.844311e-04,2.985450e-04,3.064915e-04,3.276594e-04,3.285396e-04,3.504624e-04,3.565638e-04,3.721547e-04,3.850191e-04,3.935204e-04,4.128133e-04,4.144723e-04,4.349332e-04,4.397631e-04,4.548354e-04,4.657145e-04,4.741207e-04,4.905424e-04,4.927402e-04,5.106541e-04,5.141493e-04,5.278309e-04,5.364634e-04,5.442469e-04,5.574363e-04,5.598859e-04,5.747381e-04,5.770411e-04,5.888000e-04,5.952694e-04,6.020735e-04,6.121288e-04,6.145651e-04,6.262856e-04,6.276409e-04,6.372494e-04,6.418382e-04,6.474741e-04,6.547626e-04,6.569795e-04,6.657877e-04,6.664630e-04,6.739226e-04,6.769936e-04,6.814091e-04,6.864124e-04,6.882731e-04,6.945412e-04,6.947799e-04,7.002402e-04,7.021577e-04,7.053970e-04,7.086077e-04,7.100386e-04,7.141915e-04,7.178817e-04,7.189691e-04,7.211349e-04,7.229991e-04,7.239759e-04,7.263377e-04,7.264287e-04,7.285167e-04,7.290390e-04,7.302624e-04,7.311545e-04,7.316873e-04,7.327327e-04,7.328121e-04,7.336567e-04,7.338198e-04,7.342398e-04,7.344588e-04,7.345794e-04,7.346903e-04,7.346924e-04,7.345951e-04,7.345517e-04,7.343026e-04,7.340783e-04,7.338295e-04,7.333024e-04,7.331893e-04,7.323949e-04,7.322543e-04,7.314584e-04,7.309618e-04,7.303912e-04,7.294506e-04,7.292040e-04,7.279069e-04,7.277443e-04,7.265092e-04,7.258646e-04,7.250197e-04,7.238316e-04,7.234469e-04,7.217983e-04,7.216634e-04,7.200813e-04,7.193769e-04,7.183027e-04,7.169874e-04,7.164686e-04,7.145852e-04,7.145089e-04,7.126578e-04,7.119542e-04,7.106917e-04,7.093350e-04,7.086915e-04,7.066620e-04,7.039448e-04,7.011922e-04,6.984124e-04,6.956125e-04,6.927993e-04,6.899785e-04,6.871557e-04,6.843358e-04,6.815232e-04,6.787218e-04,6.759352e-04,6.731667e-04,6.704192e-04,6.676951e-04,6.649969e-04,6.623265e-04,6.596858e-04,6.570763e-04,6.544994e-04,6.519564e-04,6.494483e-04,6.469759e-04,6.445401e-04,6.421415e-04
0.000000e+00,1.120621e-11,2.572453e-11,8.848065e-11,2.008598e-10,2.925610e-10,6.605474e-10,6.802849e-10,1.308127e-09,1.534933e-09,2.235490e-09,2.962011e-09,3.525890e-09,5.087496e-09,5.241648e-09,7.425958e-09,8.020965e-09,1.007810e-08,1.175078e-08,1.314930e-08,1.614167e-08,1.656783e-08,2.026383e-08,2.103091e-08,2.417777e-08,2.628212e-08,2.825919e-08,3.178435e-08,3.246362e-08,3.675041e-08,3.744138e-08,4.108172e-08,4.316609e-08,4.542222e-08,4.887922e-08,4.973930e-08,5.400331e-08,5.451014e-08,5.818793e-08,5.999800e-08,6.227031e-08,6.529255e-08,6.623117e-08,7.005476e-08,7.035432e-08,7.372871e-08,7.515423e-08,7.724380e-08,7.967263e-08,8.059367e-08,8.377450e-08,8.389819e-08,8.678467e-08,8.782655e-08,8.962445e-08,9.145904e-08,9.229566e-08,9.480142e-08,9.714584e-08,9.786277e-08,9.933385e-08,1.006546e-07,1.013709e-07,1.031900e-07,1.032630e-07,1.050162e-07,1.054831e-07,1.066369e-07,1.075484e-07,1.081315e-07,1.094006e-07,1.095063e-07,1.107676e-07,1.110541e-07,1.119216e-07,1.125232e-07,1.129742e-07,1.138213e-07,1.139312e-07,1.147983e-07,1.149613e-07,1.155806e-07,1.159556e-07,1.162834e-07,1.168157e-07,1.169114e-07,1.174694e-07,1.175524e-07,1.179616e-07,1.181757e-07,1.183922e-07,1.186950e-07,1.187652e-07,1.190842e-07,1.191191e-07,1.193529e-07,1.194560e-07,1.195744e-07,1.197132e-07,1.197519e-07,1.198884e-07,1.198976e-07,1.199866e-07,1.200158e-07,1.200491e-07,1.200734e-07,1.200784e-07,1.200768e-07,1.200761e-07,1.200464e-07,1.200288e-07,1.199893e-07,1.199362e-07,1.199075e-07,1.198026e-07,1.196764e-07,1.196318e-07,1.195305e-07,1.194274e-07,1.193663e-07,1.191929e-07,1.191854e-07,1.189889e-07,1.189313e-07,1.187781e-07,1.186453e-07,1.185543e-07,1.183376e-07,1.183184e-07,1.180714e-07,1.180106e-07,1.178144e-07,1.176665e-07,1.175483e-07,1.173072e-07,1.172738e-07,1.169918e-07,1.169346e-07,1.167030e-07,1.165504e-07,1.164082e-07,1.161562e-07,1.161079e-07,1.158027e-07,1.157535e-07,1.154933e-07,1.153434e-07,1.151801e-07,1.149273e-07,1.148638e-07,1.145446e-07,1.145062e-07,1.142232e-07,1.140812e-07,1.138999e-07,1.136531e-07,1.135750e-07,1.132490e-07,1.132229e-07,1.129221e-07,1.127912e-07,1.125948e-07,1.123589e-07,1.122672e-07,1.119397e-07,1.119266e-07,1.116125e-07,1.114948e-07,1.112858e-07,1.110642e-07,1.109600e-07,1.106351e-07,1.102080e-07,1.097834e-07,1.093617e-07,1.089430e-07,1.085279e-07,1.081164e-07,1.077089e-07,1.073056e-07,1.069066e-07,1.065122e-07,1.061225e-07,1.057376e-07,1.053576e-07,1.049827e-07,1.046129e-07,1.042482e-07,1.038889e-07,1.035348e-07,1.031861e-07,1.028427e-07,1.025048e-07,1.021722e-07,1.018450e-07,1.015232e-07
0.000000e+00,3.150442e-13,2.040231e-12,3.192290e-11,1.924797e-10,4.341221e-10,2.449072e-09,2.604681e-09,1.001755e-08,1.383137e-08,2.917990e-08,5.042364e-08,7.038576e-08,1.402860e-07,1.482967e-07,2.824147e-07,3.255954e-07,4.973780e-07,6.639079e-07,8.227191e-07,1.226506e-06,1.291447e-06,1.936965e-06,2.089991e-06,2.788614e-06,3.320251e-06,3.867067e-06,4.954942e-06,5.180948e-06,6.725526e-06,6.993069e-06,8.483478e-06,9.395302e-06,1.042724e-05,1.209288e-05,1.252213e-05,1.472961e-05,1.500019e-05,1.701018e-05,1.802687e-05,1.932572e-05,2.108720e-05,2.164116e-05,2.392546e-05,2.410603e-05,2.615219e-05,2.702173e-05,2.829960e-05,2.978680e-05,3.035048e-05,3.229182e-05,3.236705e-05,3.411436e-05,3.474017e-05,3.581221e-05,3.689383e-05,3.738226e-05,3.882383e-05,4.013819e-05,4.053235e-05,4.132821e-05,4.202642e-05,4.239800e-05,4.331657e-05,4.335262e-05,4.419782e-05,4.441571e-05,4.493984e-05,4.533823e-05,4.558519e-05,4.609922e-05,4.614049e-05,4.661237e-05,4.671393e-05,4.700734e-05,4.719730e-05,4.733172e-05,4.756361e-05,4.759158e-05,4.779269e-05,4.782635e-05,4.794049e-05,4.799797e-05,4.804005e-05,4.808989e-05,4.809612e-05,4.811306e-05,4.811242e-05,4.809491e-05,4.807482e-05,4.804534e-05,4.798535e-05,4.796773e-05,4.786513e-05,4.785128e-05,4.774032e-05,4.767902e-05,4.759580e-05,4.747419e-05,4.743384e-05,4.725649e-05,4.724169e-05,4.706556e-05,4.698577e-05,4.686273e-05,4.671014e-05,4.664945e-05,4.642708e-05,4.641801e-05,4.619679e-05,4.611216e-05,4.595966e-05,4.579500e-05,4.571665e-05,4.546862e-05,4.521634e-05,4.513483e-05,4.496052e-05,4.479522e-05,4.470177e-05,4.445113e-05,4.444065e-05,4.417768e-05,4.410377e-05,4.391330e-05,4.375417e-05,4.364793e-05,4.340323e-05,4.338194e-05,4.311566e-05,4.305174e-05,4.284939e-05,4.270039e-05,4.258342e-05,4.234979e-05,4.231798e-05,4.205329e-05,4.200047e-05,4.178957e-05,4.165288e-05,4.152700e-05,4.130744e-05,4.126573e-05,4.100592e-05,4.096449e-05,4.074770e-05,4.062436e-05,4.049120e-05,4.028731e-05,4.023652e-05,3.998377e-05,3.995358e-05,3.973303e-05,3.962337e-05,3.948439e-05,3.929686e-05,3.923791e-05,3.899366e-05,3.897421e-05,3.875169e-05,3.865555e-05,3.851205e-05,3.834099e-05,3.827480e-05,3.803996e-05,3.803062e-05,3.780757e-05,3.772451e-05,3.757765e-05,3.742274e-05,3.735024e-05,3.712535e-05,3.683238e-05,3.654386e-05,3.625980e-05,3.598021e-05,3.570511e-05,3.543447e-05,3.516830e-05,3.490656e-05,3.464925e-05,3.439632e-05,3.414776e-05,3.390352e-05,3.366356e-05,3.342785e-05,3.319634e-05,3.296898e-05,3.274573e-05,3.252654e-05,3.231135e-05,3.210011e-05,3.189277e-05,3.168926e-05,3.148955e-05,3.129356e-05
0.000000e+00,1.597698e-12,9.729178e-12,1.341773e-10,7.222265e-10,1.531494e-09,7.382407e-09,7.801874e-09,2.574406e-08,3.411098e-08,6.493556e-08,1.033314e-07,1.367293e-07,2.419737e-07,2.532250e-07,4.264878e-07,4.778135e-07,6.680226e-07,8.370835e-07,9.883678e-07,1.342730e-06,1.396615e-06,1.899664e-06,2.012041e-06,2.501128e-06,2.852678e-06,3.200046e-06,3.857872e-06,3.989931e-06,4.858707e-06,5.003973e-06,5.789810e-06,6.253304e-06,6.764117e-06,7.561470e-06,7.762032e-06,8.765208e-06,8.885154e-06,9.757647e-06,1.018742e-05,1.072618e-05,1.143985e-05,1.166052e-05,1.255297e-05,1.262239e-05,1.339816e-05,1.372216e-05,1.419256e-05,1.473194e-05,1.493423e-05,1.562243e-05,1.564885e-05,1.625745e-05,1.647322e-05,1.684032e-05,1.720770e-05,1.737268e-05,1.785660e-05,1.829448e-05,1.842530e-05,1.868892e-05,1.891981e-05,1.904263e-05,1.934644e-05,1.935838e-05,1.963893e-05,1.971155e-05,1.988698e-05,2.002130e-05,2.010513e-05,2.028157e-05,2.029588e-05,2.046156e-05,2.049785e-05,2.060439e-05,2.067517e-05,2.072643e-05,2.081813e-05,2.082956e-05,2.091555e-05,2.093084e-05,2.098600e-05,2.101698e-05,2.104238e-05,2.107985e-05,2.108603e-05,2.111819e-05,2.112234e-05,2.113996e-05,2.114701e-05,2.115234e-05,2.115610e-05,2.115625e-05,2.115252e-05,2.115159e-05,2.114189e-05,2.113521e-05,2.112505e-05,2.110847e-05,2.110260e-05,2.107509e-05,2.107269e-05,2.104303e-05,2.102904e-05,2.100687e-05,2.097853e-05,2.096703e-05,2.092387e-05,2.092208e-05,2.087774e-05,2.086046e-05,2.082894e-05,2.079438e-05,2.077775e-05,2.072443e-05,2.066920e-05,2.065116e-05,2.061228e-05,2.057505e-05,2.055385e-05,2.049652e-05,2.049410e-05,2.043319e-05,2.041595e-05,2.037127e-05,2.033368e-05,2.030846e-05,2.025002e-05,2.024491e-05,2.018071e-05,2.016522e-05,2.011598e-05,2.007954e-05,2.005082e-05,1.999319e-05,1.998532e-05,1.991955e-05,1.990637e-05,1.985360e-05,1.981925e-05,1.978754e-05,1.973200e-05,1.972142e-05,1.965533e-05,1.964476e-05,1.958930e-05,1.955765e-05,1.952340e-05,1.947079e-05,1.945766e-05,1.939214e-05,1.938429e-05,1.932687e-05,1.929824e-05,1.926189e-05,1.921272e-05,1.919723e-05,1.913294e-05,1.912781e-05,1.906903e-05,1.904358e-05,1.900553e-05,1.896008e-05,1.894247e-05,1.887988e-05,1.887738e-05,1.881777e-05,1.879553e-05,1.875616e-05,1.871456e-05,1.869507e-05,1.863451e-05,1.855542e-05,1.847732e-05,1.840023e-05,1.832417e-05,1.824917e-05,1.817523e-05,1.810238e-05,1.803063e-05,1.795997e-05,1.789042e-05,1.782199e-05,1.775466e-05,1.768846e-05,1.762336e-05,1.755939e-05,1.749651e-05,1.743475e-05,1.737408e-05,1.731451e-05,1.725601e-05,1.719860e-05,1.714225e-05,1.708696e-05,1.703272e-05
0.000000e+00,2.824193e-12,6.426110e-12,2.176781e-11,4.888359e-11,7.087934e-11,1.590510e-10,1.637934e-10,3.160547e-10,3.718099e-10,5.464017e-10,7.302408e-10,8.737404e-10,1.267424e-09,1.305609e-09,1.827148e-09,1.962484e-09,2.409454e-09,2.751863e-09,3.026002e-09,3.582071e-09,3.658340e-09,4.294305e-09,4.421138e-09,4.925331e-09,5.249255e-09,5.544762e-09,6.052025e-09,6.147029e-09,6.727362e-09,6.817901e-09,7.281744e-09,7.537644e-09,7.806921e-09,8.204359e-09,8.300440e-09,8.760660e-09,8.813600e-09,9.186710e-09,9.363280e-09,9.578423e-09,9.853413e-09,9.936241e-09,1.026111e-08,1.028571e-08,1.055432e-08,1.066310e-08,1.081748e-08,1.098935e-08,1.105239e-08,1.126101e-08,1.126883e-08,1.144530e-08,1.150606e-08,1.160720e-08,1.170549e-08,1.174863e-08,1.187142e-08,1.197728e-08,1.200783e-08,1.206771e-08,1.211813e-08,1.214408e-08,1.220536e-08,1.220768e-08,1.225969e-08,1.227233e-08,1.230121e-08,1.232155e-08,1.233339e-08,1.235582e-08,1.235747e-08,1.237420e-08,1.237720e-08,1.238431e-08,1.238732e-08,1.238843e-08,1.238755e-08,1.238712e-08,1.238090e-08,1.237911e-08,1.237022e-08,1.236304e-08,1.235550e-08,1.234030e-08,1.233712e-08,1.231542e-08,1.231166e-08,1.229069e-08,1.227784e-08,1.226322e-08,1.223944e-08,1.223326e-08,1.220102e-08,1.219701e-08,1.216673e-08,1.215103e-08,1.213056e-08,1.210193e-08,1.209269e-08,1.205329e-08,1.205007e-08,1.201248e-08,1.199580e-08,1.197041e-08,1.193941e-08,1.192720e-08,1.188297e-08,1.188118e-08,1.183780e-08,1.182134e-08,1.179182e-08,1.176011e-08,1.174509e-08,1.169770e-08,1.164974e-08,1.163428e-08,1.160126e-08,1.157000e-08,1.155235e-08,1.150503e-08,1.150305e-08,1.145343e-08,1.143948e-08,1.140354e-08,1.137349e-08,1.135342e-08,1.130717e-08,1.130314e-08,1.125272e-08,1.124060e-08,1.120221e-08,1.117390e-08,1.115165e-08,1.110714e-08,1.110107e-08,1.105051e-08,1.104040e-08,1.099999e-08,1.097374e-08,1.094954e-08,1.090724e-08,1.089920e-08,1.084898e-08,1.084096e-08,1.079891e-08,1.077493e-08,1.074901e-08,1.070922e-08,1.069930e-08,1.064980e-08,1.064388e-08,1.060053e-08,1.057893e-08,1.055150e-08,1.051441e-08,1.050273e-08,1.045424e-08,1.045037e-08,1.040602e-08,1.038682e-08,1.035811e-08,1.032380e-08,1.031051e-08,1.026322e-08,1.026134e-08,1.021626e-08,1.019944e-08,1.016964e-08,1.013814e-08,1.012337e-08,1.007745e-08,1.001738e-08,9.957958e-09,9.899184e-09,9.841071e-09,9.783629e-09,9.726866e-09,9.670787e-09,9.615398e-09,9.560702e-09,9.506703e-09,9.453402e-09,9.400801e-09,9.348900e-09,9.297699e-09,9.247197e-09,9.197391e-09,9.148280e-09,9.099860e-09,9.052129e-09,9.005083e-09,8.958717e-09,8.913027e-09,8.868008e-09,8.823654e-09
0.000000e+00,3.853639e-12,2.337025e-11,3.199450e-10,1.713627e-09,3.626802e-09,1.744867e-08,1.844050e-08,6.105242e-08,8.105026e-08,1.553731e-07,2.492574e-07,3.319965e-07,5.985921e-07,6.275816e-07,1.084593e-06,1.223471e-06,1.750138e-06,2.231887e-06,2.671913e-06,3.727819e-06,3.890816e-06,5.433343e-06,5.781744e-06,7.307949e-06,8.411839e-06,9.506585e-06,1.158964e-05,1.200953e-05,1.479061e-05,1.525949e-05,1.782125e-05,1.935617e-05,2.107284e-05,2.381454e-05,2.451768e-05,2.812917e-05,2.857253e-05,3.188169e-05,3.357104e-05,3.575034e-05,3.875321e-05,3.971082e-05,4.373946e-05,4.406401e-05,4.781331e-05,4.945053e-05,5.191030e-05,5.486265e-05,5.600948e-05,6.009122e-05,6.025386e-05,6.413737e-05,6.558205e-05,6.813142e-05,7.080999e-05,7.205856e-05,7.590571e-05,7.966156e-05,8.084253e-05,8.331650e-05,8.559894e-05,8.686253e-05,9.015824e-05,9.029319e-05,9.360340e-05,9.450813e-05,9.678939e-05,9.864022e-05,9.984852e-05,1.025495e-04,1.027792e-04,1.055807e-04,1.062338e-04,1.082531e-04,1.096935e-04,1.107972e-04,1.129309e-04,1.132143e-04,1.155061e-04,1.159497e-04,1.176750e-04,1.187551e-04,1.197235e-04,1.213532e-04,1.216544e-04,1.234706e-04,1.237508e-04,1.251754e-04,1.259551e-04,1.267721e-04,1.279739e-04,1.282641e-04,1.296547e-04,1.298150e-04,1.309476e-04,1.314863e-04,1.321461e-04,1.329959e-04,1.332536e-04,1.342738e-04,1.343517e-04,1.352098e-04,1.355614e-04,1.360651e-04,1.366327e-04,1.368429e-04,1.375465e-04,1.375731e-04,1.381789e-04,1.383898e-04,1.387433e-04,1.390898e-04,1.392427e-04,1.396799e-04,1.400577e-04,1.401665e-04,1.403790e-04,1.405561e-04,1.406463e-04,1.408545e-04,1.408622e-04,1.410292e-04,1.410675e-04,1.411497e-04,1.412007e-04,1.412261e-04,1.412593e-04,1.412606e-04,1.412552e-04,1.412483e-04,1.412123e-04,1.411725e-04,1.411336e-04,1.410364e-04,1.410212e-04,1.408769e-04,1.408444e-04,1.407025e-04,1.406006e-04,1.404998e-04,1.403088e-04,1.402704e-04,1.400158e-04,1.399728e-04,1.397376e-04,1.395961e-04,1.394373e-04,1.391820e-04,1.391162e-04,1.387758e-04,1.387337e-04,1.384172e-04,1.382541e-04,1.380418e-04,1.377459e-04,1.376507e-04,1.372450e-04,1.372120e-04,1.368259e-04,1.366546e-04,1.363942e-04,1.360763e-04,1.359512e-04,1.354976e-04,1.354792e-04,1.350343e-04,1.348654e-04,1.345623e-04,1.342368e-04,1.340824e-04,1.335953e-04,1.329426e-04,1.322803e-04,1.316100e-04,1.309329e-04,1.302506e-04,1.295641e-04,1.288747e-04,1.281834e-04,1.274912e-04,1.267991e-04,1.261079e-04,1.254183e-04,1.247312e-04,1.240471e-04,1.233668e-04,1.226908e-04,1.220196e-04,1.213537e-04,1.206936e-04,1.200396e-04,1.193921e-04,1.187515e-04,1.181179e-04,1.174918e-04
0.000000e+00,5.613505e-12,1.291846e-11,4.471044e-11,1.021867e-10,1.494680e-10,3.418121e-10,3.522309e-10,6.881620e-10,8.114382e-10,1.197723e-09,1.606055e-09,1.927731e-09,2.837308e-09,2.928448e-09,4.242694e-09,4.607424e-09,5.887239e-09,6.945996e-09,7.841039e-09,9.778112e-09,1.005585e-08,1.247780e-08,1.298278e-08,1.506038e-08,1.645416e-08,1.776649e-08,2.011311e-08,2.056630e-08,2.343476e-08,2.389858e-08,2.634987e-08,2.775979e-08,2.929177e-08,3.165237e-08,3.224238e-08,3.518523e-08,3.553713e-08,3.810548e-08,3.937979e-08,4.098998e-08,4.315116e-08,4.382725e-08,4.660746e-08,4.682716e-08,4.932242e-08,5.038858e-08,5.196542e-08,5.382082e-08,5.453120e-08,5.701570e-08,5.711335e-08,5.941604e-08,6.025917e-08,6.173030e-08,6.325424e-08,6.395739e-08,6.609697e-08,6.814928e-08,6.878770e-08,7.011507e-08,7.132828e-08,7.199549e-08,7.372175e-08,7.379202e-08,7.550641e-08,7.597197e-08,7.714058e-08,7.808345e-08,7.869663e-08,8.006108e-08,8.017675e-08,8.158320e-08,8.191004e-08,8.291831e-08,8.363567e-08,8.418440e-08,8.524333e-08,8.538381e-08,8.651888e-08,8.673838e-08,8.759190e-08,8.812611e-08,8.860515e-08,8.941172e-08,8.956085e-08,9.046120e-08,9.060026e-08,9.130832e-08,9.169665e-08,9.210431e-08,9.270564e-08,9.285118e-08,9.355089e-08,9.363178e-08,9.420537e-08,9.447948e-08,9.481645e-08,9.525295e-08,9.538592e-08,9.591552e-08,9.595622e-08,9.640691e-08,9.659314e-08,9.686172e-08,9.716740e-08,9.728149e-08,9.766774e-08,9.768251e-08,9.802190e-08,9.814181e-08,9.834537e-08,9.854849e-08,9.863950e-08,9.890558e-08,9.914486e-08,9.921596e-08,9.935853e-08,9.948237e-08,9.954774e-08,9.970741e-08,9.971361e-08,9.985719e-08,9.989354e-08,9.997951e-08,1.000431e-07,1.000815e-07,1.001583e-07,1.001643e-07,1.002285e-07,1.002413e-07,1.002753e-07,1.002941e-07,1.003053e-07,1.003185e-07,1.003193e-07,1.003183e-07,1.003163e-07,1.003028e-07,1.002893e-07,1.002736e-07,1.002391e-07,1.002315e-07,1.001769e-07,1.001671e-07,1.001106e-07,1.000748e-07,1.000332e-07,9.996360e-08,9.994518e-08,9.984717e-08,9.983476e-08,9.973968e-08,9.968951e-08,9.962321e-08,9.952899e-08,9.949825e-08,9.936527e-08,9.935429e-08,9.922470e-08,9.916645e-08,9.907699e-08,9.896644e-08,9.892254e-08,9.876174e-08,9.875518e-08,9.859496e-08,9.853353e-08,9.842257e-08,9.830232e-08,9.824491e-08,9.806232e-08,9.781426e-08,9.755883e-08,9.729668e-08,9.702843e-08,9.675466e-08,9.647592e-08,9.619271e-08,9.590552e-08,9.561482e-08,9.532103e-08,9.502455e-08,9.472578e-08,9.442506e-08,9.412274e-08,9.381913e-08,9.351454e-08,9.320923e-08,9.290349e-08,9.259754e-08,9.229163e-08,9.198597e-08,9.168076e-08,9.137620e-08,9.107246e-08
0.000000e+00,4.084763e-12,9.371632e-12,3.223400e-11,7.320986e-11,1.066690e-10,2.410527e-10,2.482640e-10,4.777336e-10,5.606466e-10,8.167461e-10,1.082308e-09,1.288416e-09,1.859540e-09,1.915974e-09,2.717724e-09,2.937000e-09,3.698614e-09,4.321939e-09,4.845637e-09,5.972529e-09,6.133597e-09,7.534964e-09,7.826620e-09,9.025246e-09,9.828336e-09,1.058375e-08,1.193254e-08,1.219268e-08,1.383618e-08,1.410136e-08,1.549977e-08,1.630148e-08,1.717013e-08,1.850303e-08,1.883502e-08,2.048338e-08,2.067959e-08,2.210533e-08,2.280837e-08,2.369230e-08,2.487047e-08,2.523700e-08,2.673342e-08,2.685089e-08,2.817673e-08,2.873834e-08,2.956331e-08,3.052500e-08,3.089052e-08,3.215664e-08,3.220600e-08,3.336074e-08,3.377898e-08,3.450261e-08,3.524369e-08,3.558260e-08,3.660154e-08,3.756065e-08,3.785518e-08,3.846148e-08,3.900822e-08,3.930577e-08,4.006491e-08,4.009548e-08,4.083266e-08,4.102995e-08,4.151945e-08,4.190825e-08,4.215805e-08,4.270489e-08,4.275066e-08,4.329948e-08,4.342492e-08,4.380666e-08,4.407329e-08,4.427432e-08,4.465479e-08,4.470450e-08,4.509921e-08,4.517407e-08,4.546037e-08,4.563553e-08,4.578983e-08,4.604338e-08,4.608936e-08,4.636067e-08,4.640156e-08,4.660537e-08,4.671383e-08,4.682501e-08,4.698368e-08,4.702107e-08,4.719495e-08,4.721439e-08,4.734797e-08,4.740902e-08,4.748140e-08,4.757045e-08,4.759644e-08,4.769421e-08,4.770132e-08,4.777579e-08,4.780412e-08,4.784220e-08,4.788116e-08,4.789440e-08,4.793329e-08,4.793458e-08,4.795973e-08,4.796636e-08,4.797453e-08,4.797834e-08,4.797846e-08,4.797225e-08,4.795657e-08,4.794966e-08,4.793207e-08,4.791204e-08,4.789935e-08,4.786075e-08,4.785900e-08,4.781154e-08,4.779706e-08,4.775750e-08,4.772211e-08,4.769735e-08,4.763700e-08,4.763154e-08,4.756050e-08,4.754272e-08,4.748464e-08,4.744019e-08,4.740433e-08,4.733026e-08,4.731993e-08,4.723178e-08,4.721373e-08,4.714019e-08,4.709131e-08,4.704547e-08,4.696369e-08,4.694789e-08,4.684772e-08,4.683147e-08,4.674521e-08,4.669524e-08,4.664059e-08,4.655552e-08,4.653408e-08,4.642588e-08,4.641280e-08,4.631621e-08,4.626752e-08,4.620522e-08,4.612011e-08,4.609311e-08,4.598002e-08,4.597093e-08,4.586611e-08,4.582035e-08,4.575153e-08,4.566868e-08,4.563640e-08,4.552085e-08,4.551622e-08,4.540500e-08,4.536324e-08,4.528896e-08,4.520999e-08,4.517283e-08,4.505670e-08,4.490358e-08,4.475082e-08,4.459859e-08,4.444706e-08,4.429636e-08,4.414664e-08,4.399800e-08,4.385057e-08,4.370443e-08,4.355968e-08,4.341639e-08,4.327463e-08,4.313447e-08,4.299596e-08,4.285916e-08,4.272409e-08,4.259082e-08,4.245935e-08,4.232973e-08,4.220197e-08,4.207609e-08,4.195211e-08,4.183004e-08,4.170988e-08
0.000000e+00,5.373886e-12,1.234552e-11,4.275918e-11,9.822359e-11,1.443487e-10,3.365198e-10,3.471272e-10,6.984425e-10,8.310683e-10,1.253633e-09,1.701542e-09,2.048380e-09,2.979856e-09,3.068877e-09,4.275789e-09,4.589255e-09,5.635898e-09,6.455441e-09,7.125608e-09,8.528623e-09,8.725908e-09,1.041903e-08,1.076724e-08,1.218722e-08,1.313042e-08,1.401266e-08,1.557747e-08,1.587788e-08,1.776626e-08,1.806950e-08,1.966249e-08,2.057138e-08,2.155287e-08,2.305292e-08,2.342552e-08,2.527036e-08,2.548946e-08,2.707907e-08,2.786167e-08,2.884493e-08,3.015507e-08,3.056273e-08,3.222860e-08,3.235953e-08,3.383972e-08,3.446839e-08,3.539420e-08,3.647770e-08,3.689092e-08,3.832937e-08,3.838570e-08,3.970963e-08,4.019233e-08,4.103198e-08,4.189842e-08,4.229708e-08,4.350588e-08,4.465946e-08,4.501715e-08,4.575909e-08,4.643518e-08,4.680616e-08,4.776320e-08,4.780208e-08,4.874830e-08,4.900455e-08,4.964635e-08,5.016268e-08,5.049774e-08,5.124114e-08,5.130402e-08,5.206670e-08,5.224342e-08,5.278730e-08,5.317302e-08,5.346733e-08,5.403335e-08,5.410825e-08,5.471151e-08,5.482777e-08,5.527852e-08,5.555951e-08,5.581069e-08,5.623176e-08,5.630934e-08,5.677582e-08,5.684755e-08,5.721139e-08,5.740985e-08,5.761731e-08,5.792150e-08,5.799477e-08,5.834497e-08,5.838522e-08,5.866903e-08,5.880362e-08,5.896806e-08,5.917923e-08,5.924311e-08,5.949523e-08,5.951443e-08,5.972539e-08,5.981153e-08,5.993458e-08,6.007271e-08,6.012370e-08,6.029366e-08,6.030007e-08,6.044531e-08,6.049559e-08,6.057950e-08,6.066117e-08,6.069701e-08,6.079863e-08,6.088508e-08,6.090966e-08,6.095709e-08,6.099592e-08,6.101535e-08,6.105894e-08,6.106051e-08,6.109320e-08,6.110021e-08,6.111405e-08,6.112111e-08,6.112362e-08,6.112297e-08,6.112250e-08,6.111122e-08,6.110706e-08,6.109029e-08,6.107455e-08,6.106022e-08,6.102658e-08,6.102149e-08,6.097454e-08,6.096421e-08,6.091983e-08,6.088846e-08,6.085778e-08,6.080028e-08,6.078879e-08,6.071324e-08,6.070057e-08,6.063151e-08,6.059019e-08,6.054396e-08,6.046995e-08,6.045092e-08,6.035273e-08,6.034061e-08,6.024969e-08,6.020289e-08,6.014210e-08,6.005747e-08,6.003026e-08,5.991443e-08,5.990500e-08,5.979487e-08,5.974607e-08,5.967185e-08,5.958126e-08,5.954559e-08,5.941633e-08,5.941110e-08,5.928429e-08,5.923611e-08,5.914967e-08,5.905676e-08,5.901267e-08,5.887350e-08,5.868675e-08,5.849691e-08,5.830435e-08,5.810943e-08,5.791248e-08,5.771379e-08,5.751368e-08,5.731240e-08,5.711021e-08,5.690735e-08,5.670405e-08,5.650051e-08,5.629693e-08,5.609349e-08,5.589036e-08,5.568770e-08,5.548566e-08,5.528437e-08,5.508396e-08,5.488455e-08,5.468625e-08,5.448916e-08,5.429336e-08,5.409896e-08
0.000000e+00,1.903301e-13,1.267818e-12,2.104042e-11,1.339080e-10,3.111434e-10,1.895708e-09,2.022469e-09,8.391643e-09,1.182567e-08,2.624893e-08,4.722655e-08,6.764951e-08,1.426193e-07,1.514670e-07,3.047788e-07,3.557351e-07,5.637262e-07,7.713514e-07,9.734069e-07,1.500331e-06,1.586531e-06,2.460990e-06,2.672521e-06,3.656776e-06,4.425240e-06,5.232731e-06,6.890507e-06,7.243525e-06,9.737053e-06,1.018357e-05,1.275241e-05,1.439403e-05,1.631845e-05,1.958004e-05,2.045284e-05,2.516173e-05,2.576526e-05,3.043973e-05,3.293850e-05,3.627042e-05,4.105527e-05,4.262704e-05,4.947357e-05,5.004119e-05,5.676593e-05,5.979653e-05,6.445335e-05,7.020162e-05,7.247980e-05,8.078554e-05,8.112271e-05,8.930852e-05,9.241785e-05,9.798580e-05,1.039425e-04,1.067549e-04,1.155547e-04,1.243271e-04,1.271194e-04,1.330171e-04,1.385119e-04,1.415740e-04,1.496205e-04,1.499516e-04,1.581088e-04,1.603483e-04,1.660098e-04,1.706143e-04,1.736237e-04,1.803531e-04,1.809252e-04,1.878938e-04,1.895149e-04,1.945139e-04,1.980646e-04,2.007743e-04,2.059801e-04,2.066679e-04,2.121916e-04,2.132519e-04,2.173456e-04,2.198805e-04,2.221329e-04,2.258750e-04,2.265592e-04,2.306324e-04,2.312519e-04,2.343620e-04,2.360335e-04,2.377594e-04,2.402463e-04,2.408369e-04,2.436076e-04,2.439201e-04,2.460854e-04,2.470866e-04,2.482847e-04,2.497787e-04,2.502198e-04,2.519052e-04,2.520297e-04,2.533555e-04,2.538729e-04,2.545846e-04,2.553405e-04,2.556065e-04,2.564346e-04,2.564638e-04,2.570818e-04,2.572729e-04,2.575606e-04,2.577961e-04,2.578829e-04,2.580602e-04,2.581030e-04,2.580900e-04,2.580216e-04,2.579088e-04,2.578256e-04,2.575381e-04,2.575241e-04,2.571255e-04,2.569976e-04,2.566378e-04,2.563056e-04,2.560685e-04,2.554786e-04,2.554245e-04,2.547123e-04,2.545320e-04,2.539380e-04,2.534794e-04,2.531072e-04,2.523335e-04,2.522251e-04,2.512966e-04,2.511057e-04,2.503261e-04,2.498063e-04,2.493179e-04,2.484446e-04,2.482758e-04,2.472034e-04,2.470292e-04,2.461040e-04,2.455677e-04,2.449807e-04,2.440668e-04,2.438364e-04,2.426737e-04,2.425330e-04,2.414949e-04,2.409717e-04,2.403024e-04,2.393882e-04,2.390982e-04,2.378842e-04,2.377868e-04,2.366623e-04,2.361717e-04,2.354340e-04,2.345466e-04,2.342009e-04,2.329644e-04,2.329148e-04,2.317256e-04,2.312794e-04,2.304859e-04,2.296429e-04,2.292463e-04,2.280078e-04,2.263763e-04,2.247502e-04,2.231314e-04,2.215214e-04,2.199215e-04,2.183331e-04,2.167571e-04,2.151946e-04,2.136465e-04,2.121134e-04,2.105962e-04,2.090953e-04,2.076112e-04,2.061444e-04,2.046953e-04,2.032642e-04,2.018513e-04,2.004568e-04,1.990810e-04,1.977239e-04,1.963856e-04,1.950663e-04,1.937658e-04,1.924842e-04
0.000000e+00,3.915919e-11,1.313960e-10,6.844055e-10,1.890222e-09,2.962273e-09,7.608208e-09,7.866790e-09,1.634551e-08,1.948732e-08,2.933495e-08,3.969011e-08,4.779115e-08,7.044522e-08,7.269846e-08,1.050218e-07,1.139779e-07,1.455528e-07,1.719957e-07,1.946561e-07,2.447788e-07,2.520888e-07,3.170964e-07,3.309215e-07,3.886980e-07,4.282081e-07,4.659129e-07,5.344532e-07,5.478451e-07,6.336838e-07,6.477298e-07,7.226802e-07,7.663118e-07,8.141296e-07,8.886039e-07,9.073620e-07,1.001741e-06,1.013115e-06,1.096667e-06,1.138463e-06,1.191582e-06,1.263392e-06,1.285972e-06,1.379376e-06,1.386793e-06,1.471383e-06,1.507714e-06,1.561638e-06,1.625363e-06,1.649835e-06,1.735722e-06,1.739106e-06,1.819092e-06,1.848456e-06,1.899781e-06,1.953055e-06,1.977667e-06,2.052663e-06,2.124711e-06,2.147139e-06,2.193784e-06,2.236426e-06,2.259876e-06,2.320533e-06,2.323001e-06,2.383192e-06,2.399525e-06,2.440491e-06,2.473507e-06,2.494957e-06,2.542617e-06,2.546652e-06,2.595649e-06,2.607015e-06,2.642024e-06,2.666879e-06,2.685858e-06,2.722395e-06,2.727233e-06,2.766233e-06,2.773755e-06,2.802943e-06,2.821156e-06,2.837449e-06,2.864791e-06,2.869834e-06,2.900181e-06,2.904853e-06,2.928573e-06,2.941531e-06,2.955091e-06,2.975007e-06,2.979811e-06,3.002811e-06,3.005459e-06,3.024164e-06,3.033057e-06,3.043943e-06,3.057965e-06,3.062217e-06,3.079054e-06,3.080341e-06,3.094518e-06,3.100333e-06,3.108672e-06,3.118086e-06,3.121577e-06,3.133290e-06,3.133734e-06,3.143867e-06,3.147408e-06,3.153363e-06,3.159229e-06,3.161829e-06,3.169314e-06,3.175866e-06,3.177773e-06,3.181531e-06,3.184711e-06,3.186352e-06,3.190225e-06,3.190371e-06,3.193629e-06,3.194410e-06,3.196163e-06,3.197352e-06,3.198012e-06,3.199136e-06,3.199209e-06,3.199789e-06,3.199840e-06,3.199784e-06,3.199538e-06,3.199225e-06,3.198299e-06,3.198142e-06,3.196563e-06,3.196190e-06,3.194514e-06,3.193272e-06,3.192022e-06,3.189604e-06,3.189112e-06,3.185806e-06,3.185242e-06,3.182127e-06,3.180236e-06,3.178098e-06,3.174636e-06,3.173738e-06,3.169068e-06,3.168487e-06,3.164105e-06,3.161833e-06,3.158868e-06,3.154715e-06,3.153374e-06,3.147639e-06,3.147170e-06,3.141678e-06,3.139235e-06,3.135508e-06,3.130942e-06,3.129141e-06,3.122591e-06,3.122325e-06,3.115871e-06,3.113412e-06,3.108993e-06,3.104233e-06,3.101970e-06,3.094812e-06,3.085174e-06,3.075343e-06,3.065341e-06,3.055187e-06,3.044900e-06,3.034500e-06,3.024001e-06,3.013420e-06,3.002772e-06,2.992069e-06,2.981326e-06,2.970553e-06,2.959762e-06,2.948964e-06,2.938168e-06,2.927382e-06,2.916616e-06,2.905878e-06,2.895173e-06,2.884510e-06,2.873895e-06,2.863332e-06,2.852829e-06,2.842389e-06
0.000000e+00,1.835755e-11,4.455629e-11,1.628020e-10,3.806738e-10,5.608325e-10,1.292656e-09,1.332138e-09,2.593325e-09,3.050256e-09,4.462748e-09,5.927320e-09,7.063262e-09,1.020728e-08,1.051773e-08,1.492856e-08,1.613621e-08,2.034156e-08,2.380145e-08,2.672466e-08,3.307448e-08,3.398926e-08,4.202913e-08,4.372101e-08,5.074239e-08,5.550816e-08,6.003576e-08,6.822665e-08,6.982211e-08,8.001772e-08,8.168152e-08,9.054098e-08,9.568504e-08,1.013122e-07,1.100559e-07,1.122544e-07,1.232940e-07,1.246220e-07,1.343625e-07,1.392252e-07,1.453965e-07,1.537238e-07,1.563387e-07,1.671387e-07,1.679952e-07,1.777526e-07,1.819374e-07,1.881429e-07,1.954680e-07,1.982789e-07,2.081354e-07,2.085235e-07,2.176929e-07,2.210574e-07,2.269367e-07,2.330380e-07,2.358566e-07,2.444460e-07,2.527016e-07,2.552727e-07,2.606229e-07,2.655180e-07,2.682119e-07,2.751883e-07,2.754725e-07,2.824098e-07,2.842952e-07,2.890306e-07,2.928543e-07,2.953424e-07,3.008835e-07,3.013535e-07,3.070727e-07,3.084028e-07,3.125091e-07,3.154335e-07,3.176723e-07,3.219973e-07,3.225716e-07,3.272168e-07,3.281162e-07,3.316174e-07,3.338121e-07,3.357826e-07,3.391065e-07,3.397219e-07,3.434443e-07,3.440203e-07,3.469586e-07,3.485741e-07,3.502735e-07,3.527874e-07,3.533973e-07,3.563381e-07,3.566791e-07,3.591038e-07,3.602672e-07,3.617019e-07,3.635689e-07,3.641398e-07,3.664244e-07,3.666007e-07,3.685625e-07,3.693782e-07,3.705606e-07,3.719161e-07,3.724250e-07,3.741616e-07,3.742285e-07,3.757762e-07,3.763287e-07,3.772743e-07,3.782293e-07,3.786613e-07,3.799421e-07,3.811216e-07,3.814784e-07,3.822045e-07,3.828489e-07,3.831952e-07,3.840636e-07,3.840981e-07,3.849170e-07,3.851319e-07,3.856561e-07,3.860627e-07,3.863190e-07,3.868646e-07,3.869092e-07,3.874302e-07,3.875454e-07,3.878854e-07,3.881126e-07,3.882777e-07,3.885733e-07,3.886102e-07,3.888858e-07,3.889343e-07,3.891071e-07,3.892017e-07,3.892769e-07,3.893815e-07,3.893976e-07,3.894716e-07,3.894792e-07,3.895012e-07,3.895003e-07,3.894886e-07,3.894495e-07,3.894358e-07,3.893450e-07,3.893316e-07,3.892180e-07,3.891511e-07,3.890565e-07,3.889120e-07,3.888625e-07,3.886375e-07,3.886182e-07,3.883832e-07,3.882736e-07,3.881011e-07,3.878816e-07,3.877926e-07,3.874592e-07,3.874454e-07,3.871022e-07,3.869681e-07,3.867229e-07,3.864528e-07,3.863224e-07,3.859021e-07,3.853186e-07,3.847048e-07,3.840630e-07,3.833954e-07,3.827040e-07,3.819908e-07,3.812576e-07,3.805061e-07,3.797379e-07,3.789547e-07,3.781577e-07,3.773485e-07,3.765282e-07,3.756982e-07,3.748594e-07,3.740131e-07,3.731602e-07,3.723017e-07,3.714384e-07,3.705713e-07,3.697012e-07,3.688287e-07,3.679546e-07,3.670795e-07
0.000000e+00,4.048398e-12,9.317960e-12,3.224183e-11,7.360435e-11,1.075379e-10,2.446910e-10,2.520801e-10,4.882563e-10,5.739882e-10,8.397456e-10,1.116446e-09,1.331719e-09,1.929137e-09,1.988160e-09,2.824851e-09,3.052956e-09,3.843480e-09,4.490119e-09,5.034699e-09,6.215391e-09,6.385479e-09,7.883078e-09,8.199155e-09,9.515518e-09,1.041377e-08,1.127100e-08,1.283179e-08,1.313734e-08,1.510177e-08,1.542429e-08,1.715088e-08,1.816047e-08,1.927083e-08,2.100837e-08,2.144759e-08,2.366722e-08,2.393581e-08,2.591617e-08,2.691164e-08,2.818150e-08,2.990661e-08,3.045108e-08,3.271379e-08,3.289420e-08,3.495955e-08,3.585106e-08,3.717939e-08,3.875719e-08,3.936549e-08,4.151112e-08,4.159602e-08,4.361060e-08,4.435420e-08,4.565927e-08,4.702137e-08,4.765333e-08,4.958981e-08,5.146650e-08,5.205413e-08,5.328178e-08,5.441085e-08,5.503464e-08,5.665814e-08,5.672452e-08,5.835128e-08,5.879549e-08,5.991514e-08,6.082346e-08,6.141659e-08,6.274345e-08,6.285639e-08,6.423546e-08,6.455753e-08,6.555493e-08,6.626824e-08,6.681600e-08,6.787850e-08,6.802001e-08,6.916837e-08,6.939149e-08,7.026252e-08,7.081055e-08,7.130396e-08,7.213914e-08,7.229421e-08,7.323480e-08,7.338078e-08,7.412726e-08,7.453899e-08,7.497312e-08,7.561727e-08,7.577389e-08,7.653107e-08,7.661907e-08,7.724613e-08,7.754778e-08,7.792052e-08,7.840673e-08,7.855567e-08,7.915296e-08,7.919914e-08,7.971375e-08,7.992814e-08,8.023937e-08,8.059676e-08,8.073111e-08,8.119022e-08,8.120793e-08,8.161794e-08,8.176446e-08,8.201545e-08,8.226908e-08,8.238389e-08,8.272439e-08,8.303804e-08,8.313291e-08,8.332589e-08,8.349703e-08,8.358894e-08,8.381907e-08,8.382819e-08,8.404459e-08,8.410121e-08,8.423906e-08,8.434559e-08,8.441250e-08,8.455422e-08,8.456575e-08,8.469967e-08,8.472902e-08,8.481504e-08,8.487183e-08,8.491264e-08,8.498443e-08,8.499323e-08,8.505752e-08,8.506848e-08,8.510621e-08,8.512559e-08,8.513997e-08,8.515728e-08,8.515946e-08,8.516530e-08,8.516500e-08,8.515808e-08,8.515015e-08,8.513840e-08,8.511405e-08,8.510680e-08,8.506383e-08,8.505794e-08,8.501002e-08,8.498303e-08,8.494585e-08,8.489045e-08,8.487181e-08,8.478837e-08,8.478130e-08,8.469596e-08,8.465659e-08,8.459503e-08,8.451731e-08,8.448598e-08,8.436922e-08,8.436439e-08,8.424512e-08,8.419872e-08,8.411405e-08,8.402113e-08,8.397637e-08,8.383242e-08,8.363336e-08,8.342467e-08,8.320702e-08,8.298108e-08,8.274744e-08,8.250671e-08,8.225944e-08,8.200614e-08,8.174733e-08,8.148347e-08,8.121501e-08,8.094238e-08,8.066598e-08,8.038619e-08,8.010336e-08,7.981786e-08,7.952998e-08,7.924004e-08,7.894833e-08,7.865511e-08,7.836066e-08,7.806520e-08,7.776897e-08,7.747220e-08
0.000000e+00,1.270846e-11,2.948197e-11,1.025143e-10,2.337580e-10,3.409012e-10,7.699684e-10,7.929259e-10,1.519719e-09,1.780584e-09,2.580873e-09,3.402691e-09,4.035409e-09,5.768270e-09,5.938035e-09,8.326405e-09,8.973155e-09,1.120431e-08,1.301887e-08,1.453981e-08,1.781333e-08,1.828208e-08,2.237735e-08,2.323421e-08,2.677455e-08,2.916427e-08,3.142524e-08,3.549327e-08,3.628237e-08,4.129965e-08,4.211422e-08,4.643153e-08,4.892246e-08,5.163372e-08,5.581757e-08,5.686389e-08,6.208237e-08,6.270604e-08,6.725278e-08,6.950399e-08,7.234252e-08,7.613907e-08,7.732307e-08,8.217010e-08,8.255146e-08,8.686345e-08,8.869401e-08,9.138695e-08,9.453159e-08,9.572818e-08,9.987813e-08,1.000401e-07,1.038308e-07,1.052048e-07,1.075830e-07,1.100194e-07,1.111337e-07,1.144840e-07,1.176366e-07,1.186042e-07,1.205952e-07,1.223893e-07,1.233650e-07,1.258517e-07,1.259518e-07,1.283618e-07,1.290059e-07,1.306020e-07,1.318675e-07,1.326794e-07,1.344530e-07,1.346012e-07,1.363746e-07,1.367790e-07,1.380070e-07,1.388622e-07,1.395055e-07,1.407189e-07,1.408770e-07,1.421285e-07,1.423649e-07,1.432663e-07,1.438153e-07,1.442970e-07,1.450844e-07,1.452266e-07,1.460610e-07,1.461861e-07,1.468058e-07,1.471330e-07,1.474663e-07,1.479374e-07,1.480476e-07,1.485545e-07,1.486105e-07,1.489916e-07,1.491629e-07,1.493632e-07,1.496044e-07,1.496735e-07,1.499263e-07,1.499441e-07,1.501253e-07,1.501906e-07,1.502740e-07,1.503518e-07,1.503757e-07,1.504335e-07,1.504349e-07,1.504502e-07,1.504468e-07,1.504287e-07,1.503936e-07,1.503716e-07,1.502812e-07,1.501599e-07,1.501150e-07,1.500100e-07,1.498998e-07,1.498333e-07,1.496404e-07,1.496319e-07,1.494075e-07,1.493408e-07,1.491619e-07,1.490051e-07,1.488967e-07,1.486367e-07,1.486134e-07,1.483134e-07,1.482391e-07,1.479981e-07,1.478153e-07,1.476687e-07,1.473681e-07,1.473264e-07,1.469723e-07,1.469001e-07,1.466074e-07,1.464138e-07,1.462329e-07,1.459114e-07,1.458495e-07,1.454581e-07,1.453948e-07,1.450596e-07,1.448660e-07,1.446547e-07,1.443267e-07,1.442442e-07,1.438287e-07,1.437785e-07,1.434088e-07,1.432229e-07,1.429853e-07,1.426612e-07,1.425585e-07,1.421291e-07,1.420946e-07,1.416975e-07,1.415244e-07,1.412642e-07,1.409514e-07,1.408296e-07,1.403942e-07,1.403768e-07,1.399583e-07,1.398013e-07,1.395222e-07,1.392258e-07,1.390864e-07,1.386510e-07,1.380776e-07,1.375062e-07,1.369373e-07,1.363715e-07,1.358092e-07,1.352509e-07,1.346969e-07,1.341475e-07,1.336032e-07,1.330641e-07,1.325305e-07,1.320026e-07,1.314806e-07,1.309648e-07,1.304551e-07,1.299519e-07,1.294551e-07,1.289649e-07,1.284814e-07,1.280046e-07,1.275346e-07,1.270714e-07,1.266151e-07,1.261656e-07
0.000000e+00,6.247534e-11,1.784777e-10,7.748873e-10,1.964172e-09,2.982451e-09,7.251150e-09,7.484977e-09,1.504575e-08,1.781214e-08,2.640619e-08,3.534966e-08,4.229422e-08,6.152152e-08,6.342062e-08,9.045741e-08,9.789373e-08,1.239932e-07,1.457828e-07,1.644622e-07,2.059658e-07,2.120508e-07,2.666043e-07,2.783096e-07,3.275802e-07,3.615438e-07,3.940994e-07,4.534768e-07,4.650899e-07,5.394552e-07,5.515979e-07,6.161935e-07,6.536125e-07,6.944441e-07,7.576458e-07,7.734877e-07,8.527275e-07,8.622250e-07,9.316677e-07,9.661975e-07,1.009896e-06,1.068660e-06,1.087069e-06,1.162905e-06,1.168907e-06,1.237173e-06,1.266399e-06,1.309688e-06,1.360730e-06,1.380304e-06,1.448910e-06,1.451611e-06,1.515424e-06,1.538845e-06,1.579789e-06,1.622311e-06,1.641970e-06,1.701951e-06,1.759730e-06,1.777755e-06,1.815316e-06,1.849751e-06,1.868732e-06,1.917996e-06,1.920006e-06,1.969173e-06,1.982567e-06,2.016273e-06,2.043561e-06,2.061353e-06,2.101081e-06,2.104458e-06,2.145641e-06,2.155244e-06,2.184951e-06,2.206166e-06,2.222441e-06,2.253969e-06,2.258165e-06,2.292175e-06,2.298776e-06,2.324526e-06,2.340709e-06,2.355269e-06,2.379890e-06,2.384458e-06,2.412143e-06,2.416437e-06,2.438377e-06,2.450468e-06,2.463208e-06,2.482097e-06,2.486686e-06,2.508860e-06,2.511435e-06,2.529775e-06,2.538591e-06,2.549478e-06,2.563669e-06,2.568013e-06,2.585424e-06,2.586770e-06,2.601754e-06,2.607992e-06,2.617042e-06,2.627428e-06,2.631331e-06,2.644657e-06,2.645170e-06,2.657059e-06,2.661305e-06,2.668574e-06,2.675915e-06,2.679237e-06,2.689081e-06,2.698142e-06,2.700881e-06,2.706450e-06,2.711387e-06,2.714037e-06,2.720670e-06,2.720933e-06,2.727166e-06,2.728797e-06,2.732766e-06,2.735834e-06,2.737760e-06,2.741841e-06,2.742173e-06,2.746031e-06,2.746877e-06,2.749359e-06,2.750999e-06,2.752180e-06,2.754261e-06,2.754516e-06,2.756391e-06,2.756712e-06,2.757824e-06,2.758402e-06,2.758838e-06,2.759378e-06,2.759450e-06,2.759681e-06,2.759683e-06,2.759548e-06,2.759360e-06,2.759069e-06,2.758448e-06,2.758261e-06,2.757140e-06,2.756986e-06,2.755723e-06,2.755009e-06,2.754024e-06,2.752553e-06,2.752057e-06,2.749837e-06,2.749649e-06,2.747377e-06,2.746329e-06,2.744690e-06,2.742622e-06,2.741789e-06,2.738685e-06,2.738557e-06,2.735390e-06,2.734159e-06,2.731915e-06,2.729454e-06,2.728270e-06,2.724466e-06,2.719217e-06,2.713729e-06,2.708021e-06,2.702114e-06,2.696025e-06,2.689771e-06,2.683368e-06,2.676832e-06,2.670178e-06,2.663418e-06,2.656566e-06,2.649634e-06,2.642633e-06,2.635574e-06,2.628467e-06,2.621321e-06,2.614147e-06,2.606951e-06,2.599742e-06,2.592527e-06,2.585313e-06,2.578107e-06,2.570914e-06,2.563741e-06
0.000000e+00,9.465575e-12,2.176082e-11,7.514728e-11,1.712363e-10,2.498943e-10,5.664984e-10,5.834997e-10,1.124137e-09,1.319111e-09,1.919460e-09,2.538545e-09,3.016481e-09,4.329645e-09,4.458576e-09,6.277459e-09,6.771609e-09,8.481462e-09,9.877281e-09,1.105006e-08,1.357985e-08,1.394248e-08,1.711174e-08,1.777478e-08,2.051275e-08,2.235900e-08,2.410416e-08,2.724012e-08,2.784786e-08,3.170841e-08,3.233470e-08,3.565277e-08,3.756678e-08,3.965046e-08,4.286822e-08,4.367366e-08,4.769749e-08,4.817932e-08,5.170006e-08,5.344947e-08,5.566245e-08,5.863705e-08,5.956866e-08,6.340537e-08,6.370897e-08,6.716177e-08,6.863984e-08,7.082924e-08,7.341094e-08,7.440111e-08,7.787243e-08,7.800914e-08,8.123966e-08,8.242591e-08,8.450050e-08,8.665641e-08,8.765366e-08,9.069869e-08,9.363583e-08,9.455304e-08,9.646585e-08,9.822142e-08,9.919001e-08,1.017071e-07,1.018099e-07,1.043274e-07,1.050142e-07,1.067446e-07,1.081477e-07,1.090637e-07,1.111127e-07,1.112871e-07,1.134174e-07,1.139150e-07,1.154569e-07,1.165604e-07,1.174083e-07,1.190547e-07,1.192741e-07,1.210570e-07,1.214038e-07,1.227594e-07,1.236137e-07,1.243839e-07,1.256901e-07,1.259330e-07,1.274092e-07,1.276388e-07,1.288149e-07,1.294653e-07,1.301525e-07,1.311751e-07,1.314243e-07,1.326327e-07,1.327735e-07,1.337797e-07,1.342656e-07,1.348677e-07,1.356563e-07,1.358987e-07,1.368748e-07,1.369505e-07,1.377979e-07,1.381528e-07,1.386701e-07,1.392676e-07,1.394933e-07,1.402691e-07,1.402992e-07,1.409995e-07,1.412517e-07,1.416862e-07,1.421290e-07,1.423308e-07,1.429349e-07,1.435002e-07,1.436731e-07,1.440281e-07,1.443470e-07,1.445201e-07,1.449599e-07,1.449775e-07,1.454019e-07,1.455150e-07,1.457945e-07,1.460153e-07,1.461565e-07,1.464637e-07,1.464893e-07,1.467940e-07,1.468631e-07,1.470717e-07,1.472159e-07,1.473237e-07,1.475248e-07,1.475508e-07,1.477543e-07,1.477922e-07,1.479350e-07,1.480203e-07,1.480939e-07,1.482113e-07,1.482320e-07,1.483502e-07,1.483673e-07,1.484493e-07,1.484903e-07,1.485301e-07,1.485822e-07,1.485935e-07,1.486402e-07,1.486448e-07,1.486710e-07,1.486797e-07,1.486866e-07,1.486887e-07,1.486876e-07,1.486748e-07,1.486732e-07,1.486487e-07,1.486347e-07,1.486100e-07,1.485747e-07,1.485593e-07,1.484972e-07,1.484944e-07,1.484241e-07,1.483952e-07,1.483407e-07,1.482783e-07,1.482474e-07,1.481447e-07,1.479955e-07,1.478319e-07,1.476548e-07,1.474651e-07,1.472637e-07,1.470514e-07,1.468291e-07,1.465975e-07,1.463573e-07,1.461091e-07,1.458537e-07,1.455917e-07,1.453236e-07,1.450499e-07,1.447713e-07,1.444881e-07,1.442009e-07,1.439101e-07,1.436161e-07,1.433194e-07,1.430202e-07,1.427189e-07,1.424159e-07,1.421115e-07
0.000000e+00,2.369545e-11,1.082192e-10,8.777591e-10,3.129553e-09,5.434067e-09,1.684378e-08,1.751985e-08,4.091058e-08,4.997603e-08,7.917212e-08,1.106878e-07,1.357085e-07,2.067069e-07,2.138275e-07,3.167775e-07,3.455341e-07,4.477064e-07,5.343327e-07,6.094635e-07,7.790331e-07,8.041833e-07,1.032752e-06,1.082495e-06,1.294488e-06,1.443051e-06,1.587316e-06,1.855190e-06,1.908309e-06,2.254221e-06,2.311661e-06,2.621804e-06,2.805016e-06,3.007924e-06,3.328139e-06,3.409570e-06,3.823843e-06,3.874269e-06,4.247932e-06,4.436939e-06,4.679125e-06,5.009975e-06,5.114816e-06,5.552521e-06,5.587554e-06,5.989904e-06,6.164274e-06,6.424792e-06,6.735241e-06,6.855193e-06,7.279307e-06,7.296118e-06,7.695532e-06,7.843166e-06,8.102465e-06,8.373248e-06,8.498899e-06,8.883816e-06,9.256378e-06,9.372875e-06,9.615915e-06,9.838940e-06,9.961912e-06,1.028098e-05,1.029399e-05,1.061191e-05,1.069837e-05,1.091552e-05,1.109080e-05,1.120479e-05,1.145830e-05,1.147977e-05,1.174057e-05,1.180108e-05,1.198738e-05,1.211957e-05,1.222044e-05,1.241437e-05,1.244002e-05,1.264643e-05,1.268616e-05,1.284002e-05,1.293575e-05,1.302116e-05,1.316397e-05,1.319022e-05,1.334760e-05,1.337172e-05,1.349369e-05,1.355993e-05,1.362890e-05,1.372952e-05,1.375365e-05,1.386833e-05,1.388143e-05,1.397334e-05,1.401659e-05,1.406909e-05,1.413590e-05,1.415596e-05,1.423434e-05,1.424026e-05,1.430461e-05,1.433052e-05,1.436712e-05,1.440754e-05,1.442225e-05,1.447033e-05,1.447211e-05,1.451171e-05,1.452502e-05,1.454670e-05,1.456702e-05,1.457564e-05,1.459881e-05,1.461653e-05,1.462109e-05,1.462906e-05,1.463449e-05,1.463669e-05,1.463966e-05,1.463969e-05,1.463830e-05,1.463716e-05,1.463277e-05,1.462757e-05,1.462334e-05,1.461140e-05,1.461023e-05,1.459365e-05,1.458918e-05,1.457382e-05,1.456137e-05,1.455093e-05,1.452842e-05,1.452518e-05,1.449675e-05,1.449076e-05,1.446581e-05,1.444878e-05,1.443252e-05,1.440287e-05,1.439706e-05,1.435956e-05,1.435338e-05,1.432018e-05,1.430065e-05,1.427906e-05,1.424499e-05,1.423632e-05,1.419210e-05,1.418670e-05,1.414651e-05,1.412605e-05,1.409967e-05,1.406330e-05,1.405169e-05,1.400267e-05,1.399871e-05,1.395271e-05,1.393249e-05,1.390191e-05,1.386486e-05,1.385035e-05,1.379812e-05,1.379602e-05,1.374530e-05,1.372616e-05,1.369197e-05,1.365544e-05,1.363819e-05,1.358404e-05,1.351210e-05,1.343975e-05,1.336714e-05,1.329438e-05,1.322158e-05,1.314884e-05,1.307626e-05,1.300393e-05,1.293192e-05,1.286031e-05,1.278916e-05,1.271855e-05,1.264852e-05,1.257912e-05,1.251040e-05,1.244240e-05,1.237516e-05,1.230871e-05,1.224308e-05,1.217830e-05,1.211439e-05,1.205137e-05,1.198925e-05,1.192805e-05
0.000000e+00,1.512672e-11,3.536688e-11,1.242149e-10,2.850254e-10,4.168774e-10,9.476943e-10,9.761847e-10,1.881033e-09,2.206818e-09,3.208469e-09,4.239714e-09,5.035266e-09,7.222258e-09,7.437305e-09,1.048402e-08,1.131734e-08,1.422515e-08,1.663021e-08,1.867377e-08,2.315082e-08,2.379990e-08,2.954283e-08,3.075911e-08,3.583029e-08,3.929094e-08,4.259036e-08,4.858427e-08,4.975515e-08,5.726043e-08,5.848872e-08,6.504449e-08,6.886222e-08,7.304746e-08,7.956833e-08,8.121122e-08,8.947967e-08,9.047634e-08,9.779930e-08,1.014631e-07,1.061198e-07,1.124152e-07,1.143946e-07,1.225814e-07,1.232313e-07,1.306422e-07,1.338237e-07,1.385438e-07,1.441182e-07,1.462577e-07,1.537598e-07,1.540552e-07,1.610303e-07,1.635878e-07,1.680536e-07,1.726819e-07,1.748176e-07,1.813138e-07,1.875365e-07,1.894694e-07,1.934826e-07,1.971426e-07,1.991514e-07,2.043337e-07,2.045442e-07,2.096636e-07,2.110486e-07,2.145138e-07,2.172970e-07,2.191003e-07,2.230921e-07,2.234291e-07,2.275071e-07,2.284493e-07,2.313418e-07,2.333858e-07,2.349409e-07,2.379196e-07,2.383125e-07,2.414649e-07,2.420698e-07,2.444064e-07,2.458554e-07,2.471454e-07,2.492956e-07,2.496900e-07,2.520486e-07,2.524093e-07,2.542292e-07,2.552149e-07,2.562395e-07,2.577305e-07,2.580874e-07,2.597804e-07,2.599735e-07,2.613256e-07,2.619605e-07,2.627302e-07,2.637078e-07,2.640009e-07,2.651443e-07,2.652305e-07,2.661668e-07,2.665432e-07,2.670743e-07,2.676599e-07,2.678729e-07,2.685680e-07,2.685937e-07,2.691651e-07,2.693571e-07,2.696694e-07,2.699618e-07,2.700857e-07,2.704189e-07,2.706735e-07,2.707391e-07,2.708538e-07,2.709321e-07,2.709639e-07,2.710074e-07,2.710079e-07,2.709895e-07,2.709736e-07,2.709122e-07,2.708391e-07,2.707797e-07,2.706116e-07,2.705950e-07,2.703614e-07,2.702984e-07,2.700819e-07,2.699064e-07,2.697593e-07,2.694419e-07,2.693963e-07,2.689955e-07,2.689110e-07,2.685593e-07,2.683193e-07,2.680901e-07,2.676721e-07,2.675902e-07,2.670615e-07,2.669744e-07,2.665062e-07,2.662308e-07,2.659262e-07,2.654456e-07,2.653232e-07,2.646991e-07,2.646228e-07,2.640553e-07,2.637663e-07,2.633936e-07,2.628796e-07,2.627154e-07,2.620221e-07,2.619660e-07,2.613150e-07,2.610286e-07,2.605954e-07,2.600702e-07,2.598645e-07,2.591233e-07,2.590935e-07,2.583731e-07,2.581010e-07,2.576149e-07,2.570951e-07,2.568495e-07,2.560779e-07,2.550513e-07,2.540174e-07,2.529777e-07,2.519339e-07,2.508876e-07,2.498400e-07,2.487924e-07,2.477461e-07,2.467020e-07,2.456613e-07,2.446248e-07,2.435933e-07,2.425677e-07,2.415486e-07,2.405367e-07,2.395327e-07,2.385369e-07,2.375500e-07,2.365723e-07,2.356043e-07,2.346463e-07,2.336987e-07,2.327617e-07,2.318355e-07
0.000000e+00,1.780761e-12,1.115666e-11,1.631404e-10,9.259990e-10,2.021560e-09,1.050636e-08,1.113748e-08,3.963263e-08,5.361618e-08,1.076214e-07,1.789405e-07,2.437983e-07,4.615156e-07,4.858177e-07,8.804891e-07,1.003882e-06,1.482498e-06,1.931841e-06,2.349671e-06,3.374294e-06,3.534745e-06,5.076848e-06,5.430260e-06,6.996438e-06,8.144973e-06,9.294977e-06,1.150851e-05,1.195818e-05,1.496067e-05,1.547048e-05,1.827049e-05,1.995810e-05,2.185251e-05,2.488991e-05,2.567071e-05,2.968937e-05,3.018341e-05,3.387366e-05,3.575851e-05,3.818993e-05,4.153857e-05,4.260577e-05,4.709008e-05,4.745089e-05,5.161323e-05,5.342703e-05,5.614719e-05,5.940352e-05,6.066571e-05,6.514455e-05,6.532256e-05,6.956165e-05,7.113280e-05,7.389721e-05,7.678983e-05,7.813382e-05,8.225647e-05,8.625252e-05,8.750277e-05,9.011164e-05,9.250577e-05,9.382568e-05,9.724895e-05,9.738850e-05,1.007958e-04,1.017216e-04,1.040450e-04,1.059180e-04,1.071349e-04,1.098370e-04,1.100656e-04,1.128384e-04,1.134806e-04,1.154554e-04,1.168539e-04,1.179195e-04,1.199642e-04,1.202342e-04,1.224035e-04,1.228204e-04,1.244319e-04,1.254326e-04,1.263241e-04,1.278117e-04,1.280848e-04,1.297192e-04,1.299693e-04,1.312323e-04,1.319169e-04,1.326291e-04,1.336663e-04,1.339147e-04,1.350942e-04,1.352289e-04,1.361725e-04,1.366160e-04,1.371542e-04,1.378388e-04,1.380442e-04,1.388470e-04,1.389076e-04,1.395670e-04,1.398327e-04,1.402083e-04,1.406238e-04,1.407752e-04,1.412715e-04,1.412900e-04,1.417011e-04,1.418401e-04,1.420675e-04,1.422823e-04,1.423742e-04,1.426245e-04,1.428216e-04,1.428739e-04,1.429685e-04,1.430375e-04,1.430681e-04,1.431218e-04,1.431232e-04,1.431363e-04,1.431329e-04,1.431101e-04,1.430764e-04,1.430468e-04,1.429578e-04,1.429487e-04,1.428180e-04,1.427820e-04,1.426567e-04,1.425537e-04,1.424667e-04,1.422773e-04,1.422500e-04,1.420082e-04,1.419570e-04,1.417430e-04,1.415964e-04,1.414560e-04,1.411993e-04,1.411488e-04,1.408227e-04,1.407688e-04,1.404790e-04,1.403082e-04,1.401191e-04,1.398203e-04,1.397442e-04,1.393554e-04,1.393078e-04,1.389537e-04,1.387732e-04,1.385404e-04,1.382189e-04,1.381162e-04,1.376822e-04,1.376470e-04,1.372392e-04,1.370596e-04,1.367880e-04,1.364585e-04,1.363294e-04,1.358642e-04,1.358455e-04,1.353931e-04,1.352221e-04,1.349166e-04,1.345900e-04,1.344355e-04,1.339504e-04,1.333047e-04,1.326541e-04,1.319997e-04,1.313424e-04,1.306834e-04,1.300233e-04,1.293631e-04,1.287035e-04,1.280451e-04,1.273886e-04,1.267346e-04,1.260836e-04,1.254360e-04,1.247924e-04,1.241530e-04,1.235184e-04,1.228888e-04,1.222645e-04,1.216459e-04,1.210330e-04,1.204262e-04,1.198257e-04,1.192316e-04,1.186441e-04
0.000000e+00,2.714057e-12,1.652462e-11,2.279423e-10,1.228275e-09,2.607302e-09,1.262455e-08,1.334513e-08,4.437791e-08,5.896466e-08,1.132055e-07,1.817041e-07,2.420161e-07,4.358630e-07,4.568915e-07,7.869117e-07,8.866050e-07,1.261960e-06,1.601470e-06,1.908441e-06,2.633785e-06,2.744454e-06,3.777160e-06,4.007178e-06,5.003368e-06,5.714084e-06,6.412235e-06,7.725652e-06,7.988364e-06,9.714231e-06,1.000305e-05,1.157162e-05,1.250452e-05,1.354228e-05,1.518821e-05,1.560813e-05,1.775122e-05,1.801273e-05,1.995373e-05,2.093710e-05,2.219800e-05,2.392087e-05,2.446666e-05,2.674282e-05,2.692475e-05,2.901029e-05,2.991140e-05,3.125384e-05,3.284643e-05,3.345940e-05,3.561424e-05,3.569921e-05,3.770711e-05,3.844346e-05,3.972832e-05,4.105760e-05,4.166974e-05,4.352482e-05,4.528848e-05,4.583291e-05,4.695708e-05,4.797395e-05,4.852826e-05,4.994383e-05,5.000084e-05,5.137468e-05,5.174174e-05,5.265054e-05,5.336964e-05,5.382995e-05,5.483168e-05,5.491509e-05,5.590863e-05,5.613379e-05,5.681369e-05,5.728313e-05,5.763368e-05,5.828780e-05,5.837225e-05,5.903320e-05,5.915642e-05,5.962041e-05,5.989793e-05,6.013781e-05,6.052133e-05,6.058930e-05,6.097873e-05,6.103554e-05,6.130989e-05,6.144924e-05,6.158646e-05,6.177079e-05,6.181198e-05,6.198987e-05,6.200818e-05,6.212342e-05,6.216894e-05,6.221575e-05,6.226018e-05,6.226982e-05,6.228848e-05,6.228852e-05,6.227439e-05,6.226016e-05,6.223009e-05,6.218082e-05,6.215794e-05,6.206019e-05,6.205578e-05,6.193895e-05,6.188993e-05,6.179618e-05,6.168774e-05,6.163373e-05,6.145333e-05,6.125661e-05,6.119046e-05,6.104506e-05,6.090255e-05,6.082011e-05,6.059276e-05,6.058306e-05,6.033515e-05,6.026394e-05,6.007750e-05,5.991868e-05,5.981118e-05,5.955936e-05,5.953718e-05,5.925641e-05,5.918812e-05,5.896973e-05,5.880690e-05,5.867792e-05,5.841747e-05,5.838171e-05,5.808179e-05,5.802141e-05,5.777878e-05,5.762018e-05,5.747326e-05,5.721507e-05,5.716576e-05,5.685680e-05,5.680726e-05,5.654682e-05,5.639779e-05,5.623624e-05,5.598762e-05,5.592546e-05,5.561484e-05,5.557759e-05,5.530469e-05,5.516846e-05,5.499534e-05,5.476092e-05,5.468704e-05,5.438006e-05,5.435556e-05,5.407463e-05,5.395293e-05,5.377095e-05,5.355350e-05,5.346923e-05,5.316963e-05,5.315769e-05,5.287232e-05,5.276588e-05,5.257744e-05,5.237837e-05,5.228511e-05,5.199546e-05,5.161739e-05,5.124437e-05,5.087658e-05,5.051416e-05,5.015723e-05,4.980591e-05,4.946026e-05,4.912035e-05,4.878622e-05,4.845789e-05,4.813539e-05,4.781870e-05,4.750783e-05,4.720275e-05,4.690344e-05,4.660985e-05,4.632194e-05,4.603966e-05,4.576296e-05,4.549177e-05,4.522603e-05,4.496567e-05,4.471062e-05,4.446079e-05
0.000000e+00,6.358305e-12,1.459813e-11,5.031238e-11,1.144862e-10,1.669677e-10,3.780226e-10,3.893524e-10,7.496996e-10,8.797406e-10,1.280647e-09,1.695055e-09,2.015792e-09,2.901241e-09,2.988536e-09,4.227376e-09,4.566339e-09,5.746762e-09,6.718097e-09,7.538540e-09,9.317723e-09,9.573490e-09,1.181258e-08,1.228143e-08,1.421718e-08,1.552138e-08,1.675290e-08,1.896212e-08,1.938965e-08,2.210064e-08,2.253963e-08,2.486156e-08,2.619795e-08,2.765022e-08,2.988748e-08,3.044641e-08,3.323190e-08,3.356465e-08,3.599049e-08,3.719203e-08,3.870806e-08,4.073846e-08,4.137251e-08,4.397371e-08,4.417882e-08,4.650339e-08,4.749371e-08,4.895498e-08,5.066887e-08,5.132342e-08,5.360504e-08,5.369446e-08,5.579735e-08,5.656440e-08,5.789888e-08,5.927574e-08,5.990904e-08,6.182788e-08,6.365606e-08,6.422211e-08,6.539475e-08,6.646126e-08,6.704551e-08,6.854922e-08,6.861018e-08,7.009084e-08,7.049068e-08,7.148976e-08,7.229087e-08,7.280934e-08,7.395541e-08,7.405206e-08,7.522046e-08,7.549010e-08,7.631710e-08,7.690085e-08,7.734459e-08,7.819363e-08,7.830551e-08,7.920242e-08,7.937434e-08,8.003782e-08,8.044874e-08,8.081418e-08,8.142244e-08,8.153389e-08,8.219932e-08,8.230090e-08,8.281277e-08,8.308942e-08,8.337647e-08,8.379309e-08,8.389262e-08,8.436329e-08,8.441682e-08,8.479055e-08,8.496529e-08,8.517634e-08,8.544301e-08,8.552260e-08,8.583116e-08,8.585426e-08,8.610379e-08,8.620317e-08,8.634221e-08,8.649362e-08,8.654807e-08,8.672295e-08,8.672933e-08,8.686840e-08,8.691384e-08,8.698587e-08,8.705050e-08,8.707678e-08,8.714249e-08,8.718431e-08,8.719285e-08,8.720347e-08,8.720441e-08,8.720119e-08,8.717990e-08,8.717862e-08,8.713685e-08,8.712186e-08,8.707695e-08,8.703273e-08,8.699993e-08,8.691479e-08,8.690677e-08,8.679838e-08,8.677020e-08,8.667566e-08,8.660099e-08,8.653946e-08,8.640910e-08,8.639059e-08,8.622983e-08,8.619632e-08,8.605793e-08,8.596437e-08,8.587559e-08,8.571486e-08,8.568349e-08,8.548228e-08,8.544929e-08,8.527258e-08,8.516909e-08,8.505499e-08,8.487560e-08,8.483005e-08,8.459831e-08,8.457007e-08,8.436028e-08,8.425368e-08,8.411645e-08,8.392755e-08,8.386729e-08,8.361323e-08,8.359271e-08,8.335470e-08,8.325013e-08,8.309211e-08,8.290073e-08,8.282582e-08,8.255621e-08,8.254536e-08,8.228361e-08,8.218481e-08,8.200837e-08,8.181985e-08,8.173078e-08,8.145115e-08,8.107939e-08,8.070516e-08,8.032902e-08,7.995152e-08,7.957314e-08,7.919434e-08,7.881554e-08,7.843713e-08,7.805949e-08,7.768294e-08,7.730780e-08,7.693436e-08,7.656287e-08,7.619360e-08,7.582675e-08,7.546253e-08,7.510114e-08,7.474274e-08,7.438748e-08,7.403552e-08,7.368696e-08,7.334194e-08,7.300054e-08,7.266286e-08
0.000000e+00,1.885826e-11,1.002432e-10,1.062141e-09,4.596280e-09,8.723853e-09,3.250589e-08,3.402425e-08,9.060127e-08,1.139835e-07,1.926898e-07,2.817690e-07,3.547076e-07,5.695593e-07,5.916404e-07,9.194844e-07,1.013558e-06,1.355016e-06,1.651969e-06,1.914000e-06,2.516970e-06,2.607455e-06,3.437629e-06,3.619544e-06,4.396755e-06,4.941592e-06,5.469644e-06,6.445413e-06,6.638006e-06,7.883799e-06,8.089198e-06,9.190813e-06,9.835702e-06,1.054491e-05,1.165370e-05,1.193368e-05,1.334597e-05,1.351653e-05,1.477154e-05,1.540052e-05,1.620084e-05,1.728408e-05,1.762493e-05,1.903542e-05,1.914743e-05,2.042454e-05,2.097260e-05,2.178520e-05,2.274362e-05,2.311098e-05,2.439623e-05,2.444673e-05,2.563607e-05,2.607047e-05,2.682638e-05,2.760577e-05,2.796382e-05,2.904580e-05,3.007039e-05,3.038591e-05,3.103634e-05,3.162346e-05,3.194301e-05,3.275755e-05,3.279031e-05,3.357858e-05,3.378881e-05,3.430856e-05,3.471900e-05,3.498133e-05,3.555094e-05,3.559828e-05,3.616106e-05,3.628827e-05,3.667147e-05,3.693515e-05,3.713148e-05,3.749625e-05,3.754317e-05,3.790870e-05,3.797646e-05,3.823025e-05,3.838080e-05,3.851002e-05,3.871435e-05,3.875022e-05,3.895304e-05,3.898217e-05,3.912065e-05,3.918920e-05,3.925512e-05,3.934022e-05,3.935851e-05,3.943281e-05,3.943986e-05,3.947992e-05,3.949252e-05,3.950169e-05,3.950236e-05,3.949986e-05,3.947613e-05,3.947333e-05,3.943209e-05,3.940913e-05,3.936927e-05,3.931324e-05,3.928914e-05,3.919304e-05,3.918889e-05,3.908230e-05,3.903909e-05,3.895814e-05,3.886663e-05,3.882171e-05,3.867411e-05,3.851636e-05,3.846390e-05,3.834944e-05,3.823821e-05,3.817424e-05,3.799906e-05,3.799162e-05,3.780238e-05,3.774831e-05,3.760726e-05,3.748766e-05,3.740696e-05,3.721867e-05,3.720213e-05,3.699338e-05,3.694276e-05,3.678127e-05,3.666122e-05,3.656633e-05,3.637524e-05,3.634906e-05,3.612990e-05,3.608588e-05,3.590928e-05,3.579412e-05,3.568760e-05,3.550083e-05,3.546522e-05,3.524246e-05,3.520681e-05,3.501965e-05,3.491276e-05,3.479706e-05,3.461934e-05,3.457497e-05,3.435361e-05,3.432711e-05,3.413321e-05,3.403659e-05,3.391397e-05,3.374823e-05,3.369607e-05,3.347968e-05,3.346244e-05,3.326496e-05,3.317957e-05,3.305205e-05,3.289994e-05,3.284107e-05,3.263214e-05,3.262383e-05,3.242536e-05,3.235146e-05,3.222081e-05,3.208304e-05,3.201858e-05,3.181875e-05,3.155873e-05,3.130310e-05,3.105196e-05,3.080540e-05,3.056346e-05,3.032619e-05,3.009363e-05,2.986577e-05,2.964263e-05,2.942419e-05,2.921044e-05,2.900134e-05,2.879686e-05,2.859696e-05,2.840158e-05,2.821068e-05,2.802419e-05,2.784205e-05,2.766420e-05,2.749056e-05,2.732107e-05,2.715565e-05,2.699423e-05,2.683672e-05
0.000000e+00,1.376759e-11,7.623431e-11,8.730184e-10,4.022635e-09,7.878384e-09,3.154289e-08,3.310445e-08,9.358178e-08,1.194749e-07,2.090649e-07,3.137045e-07,4.012708e-07,6.664152e-07,6.941603e-07,1.114231e-06,1.237100e-06,1.689666e-06,2.089926e-06,2.447103e-06,3.279646e-06,3.405599e-06,4.569931e-06,4.826693e-06,5.927755e-06,6.701986e-06,7.452990e-06,8.839679e-06,9.112942e-06,1.087489e-05,1.116426e-05,1.270983e-05,1.360923e-05,1.459352e-05,1.612212e-05,1.650612e-05,1.843134e-05,1.866255e-05,2.035560e-05,2.119896e-05,2.226745e-05,2.370610e-05,2.415714e-05,2.601642e-05,2.616363e-05,2.783832e-05,2.855529e-05,2.961707e-05,3.086835e-05,3.134793e-05,3.302714e-05,3.309319e-05,3.465179e-05,3.522288e-05,3.621975e-05,3.725281e-05,3.772955e-05,3.918029e-05,4.057157e-05,4.100422e-05,4.190344e-05,4.272481e-05,4.317626e-05,4.434324e-05,4.439071e-05,4.554768e-05,4.586148e-05,4.664827e-05,4.728208e-05,4.769373e-05,4.860801e-05,4.868540e-05,4.962472e-05,4.984253e-05,5.051317e-05,5.098905e-05,5.135229e-05,5.205113e-05,5.214362e-05,5.288876e-05,5.303238e-05,5.358926e-05,5.393640e-05,5.424668e-05,5.476676e-05,5.486257e-05,5.543845e-05,5.552698e-05,5.597584e-05,5.622055e-05,5.647621e-05,5.685082e-05,5.694100e-05,5.737163e-05,5.742108e-05,5.776948e-05,5.793449e-05,5.813588e-05,5.839412e-05,5.847215e-05,5.877956e-05,5.880294e-05,5.905933e-05,5.916377e-05,5.931266e-05,5.947934e-05,5.954071e-05,5.974460e-05,5.975227e-05,5.992542e-05,5.998507e-05,6.008420e-05,6.018011e-05,6.022197e-05,6.033970e-05,6.043834e-05,6.046602e-05,6.051878e-05,6.056113e-05,6.058192e-05,6.062703e-05,6.062859e-05,6.065961e-05,6.066560e-05,6.067577e-05,6.067864e-05,6.067781e-05,6.066785e-05,6.066647e-05,6.064243e-05,6.063485e-05,6.060638e-05,6.058118e-05,6.055895e-05,6.050830e-05,6.050077e-05,6.043242e-05,6.041758e-05,6.035449e-05,6.031035e-05,6.026751e-05,6.018784e-05,6.017201e-05,6.006850e-05,6.005123e-05,5.995746e-05,5.990162e-05,5.983934e-05,5.974006e-05,5.971461e-05,5.958367e-05,5.956756e-05,5.944693e-05,5.938503e-05,5.930479e-05,5.919338e-05,5.915762e-05,5.900576e-05,5.899342e-05,5.884957e-05,5.878595e-05,5.868937e-05,5.857171e-05,5.852546e-05,5.835815e-05,5.835139e-05,5.818772e-05,5.812565e-05,5.801443e-05,5.789510e-05,5.783855e-05,5.766033e-05,5.742187e-05,5.718024e-05,5.693591e-05,5.668934e-05,5.644094e-05,5.619110e-05,5.594019e-05,5.568856e-05,5.543652e-05,5.518438e-05,5.493239e-05,5.468084e-05,5.442994e-05,5.417993e-05,5.393101e-05,5.368337e-05,5.343718e-05,5.319261e-05,5.294980e-05,5.270889e-05,5.247000e-05,5.223325e-05,5.199873e-05,5.176655e-05
0.000000e+00,4.539498e-13,3.059372e-12,5.206886e-11,3.395960e-10,8.003601e-10,5.074431e-09,5.423109e-09,2.354328e-08,3.362593e-08,7.738119e-08,1.437241e-07,2.104690e-07,4.678560e-07,4.992374e-07,1.066893e-06,1.263584e-06,2.096755e-06,2.966270e-06,3.840314e-06,6.216775e-06,6.616426e-06,1.080139e-05,1.184366e-05,1.681233e-05,2.080473e-05,2.508700e-05,3.410777e-05,3.606306e-05,5.015858e-05,5.272950e-05,6.775535e-05,7.754511e-05,8.918532e-05,1.092742e-04,1.147205e-04,1.445660e-04,1.484443e-04,1.788565e-04,1.953713e-04,2.176550e-04,2.501543e-04,2.609533e-04,3.086761e-04,3.126813e-04,3.606844e-04,3.826455e-04,4.167818e-04,4.595668e-04,4.767208e-04,5.402098e-04,5.428187e-04,6.069208e-04,6.316575e-04,6.764966e-04,7.252520e-04,7.485586e-04,8.227136e-04,8.985609e-04,9.231237e-04,9.756984e-04,1.025560e-03,1.053728e-03,1.129116e-03,1.132263e-03,1.210926e-03,1.232926e-03,1.289363e-03,1.336174e-03,1.367235e-03,1.438108e-03,1.444229e-03,1.520055e-03,1.538050e-03,1.594451e-03,1.635399e-03,1.667180e-03,1.729633e-03,1.738030e-03,1.806818e-03,1.820314e-03,1.873385e-03,1.907078e-03,1.937600e-03,1.989641e-03,1.999353e-03,2.058557e-03,2.067788e-03,2.115147e-03,2.141368e-03,2.169078e-03,2.210290e-03,2.220323e-03,2.268872e-03,2.274517e-03,2.314730e-03,2.334059e-03,2.357914e-03,2.388964e-03,2.398455e-03,2.436394e-03,2.439318e-03,2.471780e-03,2.485233e-03,2.504672e-03,2.526846e-03,2.535134e-03,2.563236e-03,2.564312e-03,2.589052e-03,2.597801e-03,2.612660e-03,2.627493e-03,2.634140e-03,2.653575e-03,2.671049e-03,2.676240e-03,2.686644e-03,2.695678e-03,2.700445e-03,2.712084e-03,2.712536e-03,2.722998e-03,2.725647e-03,2.731913e-03,2.736552e-03,2.739359e-03,2.744980e-03,2.745415e-03,2.750157e-03,2.751107e-03,2.753656e-03,2.755101e-03,2.755986e-03,2.757122e-03,2.757214e-03,2.757406e-03,2.757326e-03,2.756627e-03,2.755858e-03,2.754938e-03,2.752858e-03,2.752396e-03,2.749059e-03,2.748454e-03,2.744979e-03,2.742772e-03,2.740207e-03,2.735925e-03,2.734793e-03,2.728783e-03,2.728023e-03,2.722220e-03,2.719168e-03,2.715146e-03,2.709452e-03,2.707600e-03,2.699622e-03,2.698966e-03,2.691245e-03,2.687790e-03,2.682503e-03,2.676001e-03,2.673428e-03,2.664051e-03,2.663670e-03,2.654398e-03,2.650861e-03,2.644498e-03,2.637637e-03,2.634374e-03,2.624051e-03,2.610157e-03,2.596002e-03,2.581629e-03,2.567079e-03,2.552389e-03,2.537593e-03,2.522721e-03,2.507802e-03,2.492862e-03,2.477925e-03,2.463012e-03,2.448143e-03,2.433336e-03,2.418606e-03,2.403969e-03,2.389437e-03,2.375022e-03,2.360734e-03,2.346584e-03,2.332579e-03,2.318728e-03,2.305035e-03,2.291508e-03,2.278151e-03
0.000000e+00,2.085026e-12,1.301035e-11,1.886117e-10,1.061820e-09,2.307286e-09,1.184087e-08,1.254547e-08,4.404302e-08,5.935262e-08,1.179345e-07,1.943955e-07,2.632979e-07,4.915526e-07,5.168023e-07,9.223065e-07,1.047685e-06,1.529507e-06,1.976930e-06,2.389785e-06,3.392508e-06,3.548499e-06,5.036177e-06,5.374449e-06,6.862751e-06,7.943530e-06,9.017007e-06,1.105938e-05,1.147051e-05,1.418350e-05,1.463867e-05,1.711069e-05,1.857816e-05,2.020570e-05,2.277247e-05,2.342394e-05,2.672394e-05,2.712360e-05,3.006795e-05,3.154435e-05,3.342190e-05,3.595861e-05,3.675520e-05,4.004048e-05,4.030048e-05,4.325342e-05,4.451345e-05,4.637260e-05,4.854983e-05,4.937947e-05,5.225827e-05,5.237057e-05,5.499603e-05,5.594504e-05,5.758248e-05,5.925082e-05,6.000994e-05,6.227320e-05,6.436932e-05,6.500459e-05,6.629747e-05,6.744373e-05,6.805866e-05,6.959478e-05,6.965555e-05,7.109214e-05,7.146633e-05,7.237357e-05,7.307043e-05,7.350588e-05,7.442168e-05,7.449580e-05,7.535053e-05,7.553637e-05,7.607756e-05,7.643177e-05,7.668456e-05,7.712554e-05,7.717923e-05,7.756920e-05,7.763529e-05,7.786195e-05,7.797819e-05,7.806477e-05,7.817078e-05,7.818467e-05,7.822838e-05,7.822873e-05,7.820228e-05,7.816675e-05,7.811243e-05,7.799847e-05,7.796450e-05,7.776384e-05,7.773646e-05,7.751545e-05,7.739225e-05,7.722400e-05,7.697636e-05,7.689380e-05,7.652887e-05,7.649829e-05,7.613293e-05,7.596666e-05,7.570942e-05,7.538920e-05,7.526149e-05,7.479207e-05,7.477289e-05,7.430383e-05,7.412393e-05,7.379922e-05,7.344789e-05,7.328050e-05,7.274973e-05,7.220879e-05,7.203383e-05,7.165942e-05,7.130412e-05,7.110318e-05,7.056406e-05,7.054151e-05,6.997570e-05,6.981670e-05,6.940696e-05,6.906475e-05,6.883635e-05,6.831057e-05,6.826484e-05,6.769333e-05,6.755626e-05,6.712262e-05,6.680364e-05,6.655342e-05,6.605430e-05,6.598639e-05,6.542211e-05,6.530964e-05,6.486111e-05,6.457085e-05,6.430387e-05,6.383898e-05,6.375078e-05,6.320225e-05,6.311493e-05,6.265860e-05,6.239946e-05,6.212011e-05,6.169322e-05,6.158705e-05,6.105964e-05,6.099674e-05,6.053808e-05,6.031049e-05,6.002253e-05,5.963482e-05,5.951314e-05,5.901002e-05,5.897004e-05,5.851328e-05,5.831639e-05,5.802299e-05,5.767402e-05,5.753923e-05,5.706203e-05,5.704308e-05,5.659144e-05,5.642365e-05,5.612747e-05,5.581576e-05,5.567013e-05,5.521942e-05,5.463462e-05,5.406130e-05,5.349940e-05,5.294881e-05,5.240943e-05,5.188113e-05,5.136378e-05,5.085723e-05,5.036132e-05,4.987587e-05,4.940073e-05,4.893571e-05,4.848063e-05,4.803531e-05,4.759955e-05,4.717316e-05,4.675596e-05,4.634776e-05,4.594836e-05,4.555758e-05,4.517522e-05,4.480111e-05,4.443504e-05,4.407684e-05
0.000000e+00,2.539373e-11,1.341287e-10,1.405407e-09,6.034492e-09,1.141554e-08,4.229809e-08,4.426771e-08,1.177162e-07,1.481348e-07,2.508570e-07,3.677094e-07,4.638081e-07,7.486618e-07,7.780623e-07,1.216484e-06,1.342769e-06,1.802046e-06,2.201845e-06,2.554392e-06,3.363294e-06,3.484298e-06,4.588715e-06,4.829233e-06,5.850493e-06,6.560303e-06,7.243534e-06,8.494325e-06,8.739468e-06,1.031216e-05,1.056937e-05,1.193935e-05,1.273417e-05,1.360242e-05,1.494808e-05,1.528567e-05,1.697564e-05,1.717831e-05,1.866058e-05,1.939767e-05,2.033024e-05,2.158343e-05,2.197570e-05,2.358930e-05,2.371680e-05,2.516453e-05,2.578264e-05,2.669603e-05,2.776915e-05,2.817946e-05,2.961144e-05,2.966762e-05,3.098944e-05,3.147194e-05,3.231163e-05,3.317824e-05,3.357688e-05,3.478463e-05,3.593477e-05,3.629068e-05,3.702761e-05,3.769725e-05,3.806381e-05,3.900612e-05,3.904428e-05,3.997011e-05,4.021973e-05,4.084260e-05,4.134107e-05,4.166316e-05,4.237350e-05,4.243329e-05,4.315457e-05,4.332059e-05,4.382862e-05,4.418607e-05,4.445709e-05,4.497376e-05,4.504164e-05,4.558394e-05,4.568748e-05,4.608563e-05,4.633101e-05,4.654835e-05,4.690809e-05,4.697370e-05,4.736326e-05,4.742238e-05,4.771858e-05,4.787741e-05,4.804116e-05,4.827664e-05,4.833247e-05,4.859394e-05,4.862338e-05,4.882696e-05,4.892082e-05,4.903287e-05,4.917203e-05,4.921297e-05,4.936852e-05,4.937994e-05,4.950074e-05,4.954736e-05,4.961080e-05,4.967697e-05,4.969984e-05,4.976895e-05,4.977131e-05,4.981917e-05,4.983283e-05,4.985153e-05,4.986382e-05,4.986699e-05,4.986648e-05,4.985091e-05,4.984289e-05,4.982114e-05,4.979501e-05,4.977799e-05,4.972472e-05,4.972226e-05,4.965470e-05,4.963377e-05,4.957605e-05,4.952382e-05,4.948699e-05,4.939645e-05,4.938821e-05,4.928032e-05,4.925315e-05,4.916395e-05,4.909530e-05,4.903968e-05,4.892422e-05,4.890806e-05,4.876961e-05,4.874115e-05,4.862486e-05,4.854726e-05,4.847428e-05,4.834362e-05,4.831833e-05,4.815744e-05,4.813127e-05,4.799205e-05,4.791117e-05,4.782254e-05,4.768422e-05,4.764929e-05,4.747266e-05,4.745125e-05,4.729299e-05,4.721306e-05,4.711061e-05,4.697037e-05,4.692582e-05,4.673891e-05,4.672388e-05,4.655017e-05,4.647422e-05,4.635985e-05,4.622198e-05,4.616820e-05,4.597546e-05,4.596773e-05,4.578184e-05,4.571197e-05,4.558757e-05,4.545518e-05,4.539282e-05,4.519780e-05,4.494024e-05,4.468287e-05,4.442605e-05,4.417009e-05,4.391528e-05,4.366190e-05,4.341020e-05,4.316039e-05,4.291268e-05,4.266726e-05,4.242429e-05,4.218393e-05,4.194631e-05,4.171155e-05,4.147976e-05,4.125103e-05,4.102544e-05,4.080308e-05,4.058398e-05,4.036822e-05,4.015583e-05,3.994684e-05,3.974128e-05,3.953917e-05
0.000000e+00,2.499852e-13,1.696159e-12,2.926348e-11,1.930912e-10,4.577791e-10,2.940788e-09,3.144288e-09,1.376929e-08,1.969474e-08,4.539825e-08,8.424578e-08,1.231580e-07,2.718564e-07,2.898628e-07,6.123473e-07,7.230137e-07,1.188003e-06,1.669200e-06,2.150643e-06,3.455417e-06,3.674740e-06,5.977424e-06,6.553498e-06,9.318107e-06,1.156332e-05,1.399594e-05,1.920254e-05,2.034551e-05,2.873106e-05,3.028730e-05,3.953975e-05,4.570646e-05,5.317419e-05,6.639188e-05,7.004456e-05,9.056056e-05,9.328666e-05,1.151234e-04,1.273131e-04,1.441182e-04,1.693418e-04,1.779064e-04,2.168193e-04,2.201628e-04,2.611519e-04,2.804608e-04,3.111580e-04,3.507940e-04,3.670454e-04,4.289732e-04,4.315776e-04,4.970491e-04,5.230737e-04,5.713283e-04,6.253849e-04,6.518133e-04,7.384543e-04,8.311507e-04,8.620694e-04,9.297536e-04,9.958712e-04,1.034069e-03,1.139366e-03,1.143859e-03,1.258851e-03,1.291940e-03,1.378736e-03,1.452877e-03,1.503177e-03,1.621376e-03,1.631813e-03,1.764260e-03,1.796571e-03,1.900123e-03,1.977547e-03,2.038995e-03,2.163363e-03,2.180462e-03,2.324108e-03,2.353062e-03,2.469518e-03,2.545693e-03,2.616284e-03,2.740321e-03,2.764005e-03,2.912289e-03,2.936042e-03,3.060761e-03,3.131987e-03,3.209058e-03,3.327338e-03,3.356837e-03,3.503770e-03,3.521330e-03,3.649551e-03,3.713255e-03,3.793894e-03,3.902468e-03,3.936533e-03,4.077222e-03,4.088386e-03,4.215738e-03,4.270490e-03,4.351878e-03,4.448324e-03,4.485459e-03,4.616319e-03,4.621494e-03,4.744313e-03,4.789664e-03,4.869316e-03,4.952556e-03,4.991223e-03,5.109943e-03,5.225401e-03,5.261650e-03,5.337540e-03,5.407546e-03,5.446315e-03,5.547544e-03,5.551694e-03,5.653657e-03,5.681594e-03,5.752198e-03,5.809680e-03,5.847318e-03,5.931817e-03,5.939029e-03,6.027352e-03,6.048049e-03,6.112316e-03,6.158441e-03,6.193955e-03,6.263081e-03,6.272312e-03,6.347432e-03,6.362073e-03,6.419369e-03,6.455536e-03,6.488178e-03,6.543604e-03,6.553919e-03,6.616655e-03,6.626419e-03,6.676452e-03,6.704130e-03,6.733376e-03,6.776894e-03,6.787497e-03,6.838886e-03,6.844872e-03,6.887613e-03,6.908228e-03,6.933751e-03,6.967128e-03,6.977371e-03,7.018547e-03,7.021738e-03,7.057350e-03,7.072223e-03,7.093852e-03,7.118749e-03,7.128125e-03,7.160239e-03,7.161479e-03,7.190263e-03,7.200574e-03,7.218267e-03,7.236189e-03,7.244316e-03,7.268480e-03,7.297595e-03,7.323681e-03,7.346879e-03,7.367327e-03,7.385156e-03,7.400494e-03,7.413466e-03,7.424190e-03,7.432779e-03,7.439343e-03,7.443988e-03,7.446815e-03,7.447919e-03,7.447393e-03,7.445326e-03,7.441802e-03,7.436903e-03,7.430703e-03,7.423279e-03,7.414699e-03,7.405031e-03,7.394338e-03,7.382681e-03,7.370118e-03
0.000000e+00,5.635279e-11,2.032070e-10,1.159083e-09,3.351566e-09,5.344342e-09,1.415877e-08,1.465440e-08,3.107000e-08,3.721317e-08,5.661942e-08,7.722165e-08,9.344654e-08,1.391220e-07,1.436765e-07,2.088100e-07,2.266994e-07,2.888795e-07,3.397523e-07,3.824872e-07,4.745642e-07,4.877519e-07,6.029491e-07,6.270463e-07,7.265878e-07,7.937616e-07,8.573067e-07,9.716220e-07,9.937943e-07,1.134760e-06,1.157645e-06,1.278939e-06,1.348925e-06,1.425110e-06,1.542706e-06,1.572124e-06,1.718918e-06,1.736472e-06,1.864540e-06,1.928022e-06,2.008151e-06,2.115504e-06,2.149033e-06,2.286586e-06,2.297431e-06,2.420320e-06,2.472656e-06,2.549852e-06,2.640346e-06,2.674891e-06,2.795228e-06,2.799941e-06,2.910727e-06,2.951106e-06,3.021313e-06,3.093692e-06,3.126964e-06,3.227697e-06,3.323566e-06,3.353230e-06,3.414652e-06,3.470484e-06,3.501058e-06,3.579716e-06,3.582904e-06,3.660321e-06,3.681223e-06,3.733451e-06,3.775332e-06,3.802441e-06,3.862385e-06,3.867442e-06,3.928606e-06,3.942731e-06,3.986086e-06,4.016723e-06,4.040035e-06,4.084708e-06,4.090602e-06,4.137935e-06,4.147026e-06,4.182177e-06,4.204008e-06,4.223468e-06,4.255971e-06,4.261943e-06,4.297734e-06,4.303221e-06,4.330969e-06,4.346050e-06,4.361770e-06,4.384737e-06,4.390254e-06,4.416537e-06,4.419548e-06,4.440725e-06,4.450732e-06,4.462925e-06,4.478529e-06,4.483237e-06,4.501757e-06,4.503164e-06,4.518576e-06,4.524848e-06,4.533784e-06,4.543784e-06,4.547465e-06,4.559698e-06,4.560159e-06,4.570562e-06,4.574151e-06,4.580129e-06,4.585930e-06,4.588469e-06,4.595650e-06,4.601736e-06,4.603462e-06,4.606787e-06,4.609504e-06,4.610862e-06,4.613906e-06,4.614015e-06,4.616300e-06,4.616791e-06,4.617766e-06,4.618273e-06,4.618462e-06,4.618460e-06,4.618432e-06,4.617722e-06,4.617454e-06,4.616370e-06,4.615348e-06,4.614418e-06,4.612232e-06,4.611901e-06,4.608856e-06,4.608187e-06,4.605316e-06,4.603291e-06,4.601314e-06,4.597617e-06,4.596879e-06,4.592042e-06,4.591232e-06,4.586828e-06,4.584200e-06,4.581265e-06,4.576580e-06,4.575378e-06,4.569189e-06,4.568427e-06,4.562721e-06,4.559792e-06,4.555996e-06,4.550725e-06,4.549033e-06,4.541852e-06,4.541269e-06,4.534471e-06,4.531466e-06,4.526907e-06,4.521356e-06,4.519176e-06,4.511293e-06,4.510975e-06,4.503274e-06,4.500357e-06,4.495132e-06,4.489532e-06,4.486880e-06,4.478531e-06,4.467381e-06,4.456106e-06,4.444731e-06,4.433277e-06,4.421764e-06,4.410212e-06,4.398636e-06,4.387054e-06,4.375480e-06,4.363927e-06,4.352409e-06,4.340936e-06,4.329519e-06,4.318169e-06,4.306893e-06,4.295701e-06,4.284598e-06,4.273593e-06,4.262692e-06,4.251899e-06,4.241220e-06,4.230659e-06,4.220220e-06,4.209908e-06
0.000000e+00,3.509796e-13,2.374323e-12,4.070088e-11,2.669020e-10,6.305198e-10,4.010766e-09,4.286491e-09,1.856579e-08,2.646951e-08,6.048708e-08,1.113885e-07,1.619695e-07,3.529035e-07,3.758347e-07,7.819215e-07,9.197353e-07,1.492882e-06,2.078609e-06,2.659203e-06,4.213688e-06,4.472894e-06,7.169160e-06,7.838024e-06,1.102538e-05,1.359241e-05,1.635702e-05,2.222862e-05,2.351062e-05,3.285425e-05,3.457772e-05,4.476646e-05,5.150774e-05,5.962421e-05,7.387617e-05,7.779092e-05,9.960508e-05,1.024827e-04,1.253699e-04,1.380266e-04,1.553447e-04,1.810712e-04,1.897376e-04,2.287003e-04,2.320179e-04,2.723251e-04,2.910894e-04,3.206430e-04,3.583234e-04,3.736240e-04,4.311785e-04,4.335739e-04,4.931609e-04,5.165219e-04,5.593734e-04,6.066910e-04,6.295713e-04,7.034681e-04,7.807425e-04,8.061272e-04,8.610443e-04,9.138549e-04,9.440009e-04,1.025776e-03,1.029223e-03,1.116313e-03,1.140978e-03,1.204868e-03,1.258536e-03,1.294485e-03,1.377531e-03,1.384769e-03,1.475334e-03,1.497070e-03,1.565808e-03,1.616300e-03,1.655835e-03,1.734423e-03,1.745081e-03,1.833231e-03,1.850703e-03,1.919994e-03,1.964473e-03,2.005103e-03,2.075139e-03,2.088317e-03,2.169418e-03,2.182184e-03,2.248213e-03,2.285166e-03,2.324536e-03,2.383717e-03,2.398242e-03,2.469212e-03,2.477539e-03,2.537345e-03,2.566405e-03,2.602566e-03,2.650148e-03,2.664815e-03,2.724053e-03,2.728661e-03,2.780258e-03,2.801889e-03,2.833423e-03,2.869822e-03,2.883555e-03,2.930674e-03,2.932497e-03,2.974813e-03,2.989981e-03,3.016014e-03,3.042379e-03,3.054329e-03,3.089816e-03,3.122543e-03,3.132444e-03,3.152581e-03,3.170430e-03,3.180008e-03,3.203956e-03,3.204904e-03,3.227354e-03,3.233214e-03,3.247445e-03,3.258404e-03,3.265265e-03,3.279730e-03,3.280903e-03,3.294450e-03,3.297400e-03,3.305996e-03,3.311621e-03,3.315631e-03,3.322599e-03,3.323443e-03,3.329521e-03,3.330537e-03,3.333952e-03,3.335633e-03,3.336820e-03,3.338083e-03,3.338209e-03,3.338199e-03,3.338074e-03,3.336871e-03,3.335787e-03,3.334299e-03,3.331396e-03,3.330558e-03,3.325720e-03,3.325069e-03,3.319853e-03,3.316964e-03,3.313026e-03,3.307233e-03,3.305300e-03,3.296739e-03,3.296020e-03,3.287400e-03,3.283460e-03,3.277342e-03,3.269684e-03,3.266616e-03,3.255276e-03,3.254811e-03,3.243371e-03,3.238955e-03,3.230946e-03,3.222224e-03,3.218048e-03,3.204717e-03,3.186527e-03,3.167741e-03,3.148440e-03,3.128699e-03,3.108587e-03,3.088170e-03,3.067506e-03,3.046652e-03,3.025656e-03,3.004567e-03,2.983426e-03,2.962272e-03,2.941142e-03,2.920067e-03,2.899078e-03,2.878200e-03,2.857458e-03,2.836874e-03,2.816467e-03,2.796256e-03,2.776254e-03,2.756477e-03,2.736936e-03,2.717643e-03
0.000000e+00,6.887588e-14,4.572986e-13,7.539192e-12,4.770993e-11,1.105352e-10,6.691348e-10,7.137202e-10,2.949267e-09,4.153628e-09,9.215938e-09,1.659725e-08,2.380502e-08,5.041108e-08,5.356325e-08,1.084346e-07,1.267395e-07,2.015833e-07,2.763001e-07,3.488829e-07,5.371941e-07,5.678476e-07,8.762805e-07,9.502095e-07,1.290930e-06,1.553468e-06,1.826346e-06,2.377939e-06,2.494027e-06,3.301886e-06,3.444479e-06,4.253989e-06,4.762436e-06,5.350537e-06,6.329549e-06,6.588043e-06,7.959637e-06,8.132800e-06,9.455485e-06,1.014992e-05,1.106327e-05,1.235131e-05,1.276869e-05,1.455604e-05,1.470207e-05,1.640867e-05,1.716417e-05,1.830950e-05,1.969838e-05,2.024152e-05,2.218812e-05,2.226606e-05,2.413348e-05,2.483063e-05,2.606285e-05,2.735874e-05,2.796274e-05,2.982110e-05,3.162742e-05,3.219294e-05,3.337273e-05,3.445425e-05,3.504966e-05,3.658972e-05,3.665234e-05,3.817635e-05,3.858852e-05,3.961861e-05,4.044392e-05,4.097729e-05,4.215279e-05,4.225164e-05,4.344188e-05,4.371512e-05,4.454905e-05,4.513341e-05,4.557491e-05,4.641223e-05,4.652177e-05,4.739241e-05,4.755767e-05,4.818996e-05,4.857692e-05,4.891780e-05,4.947790e-05,4.957947e-05,5.017861e-05,5.026892e-05,5.071890e-05,5.095841e-05,5.120399e-05,5.155472e-05,5.163745e-05,5.202279e-05,5.206596e-05,5.236337e-05,5.249989e-05,5.266242e-05,5.286381e-05,5.292300e-05,5.314800e-05,5.316455e-05,5.334017e-05,5.340841e-05,5.350204e-05,5.360118e-05,5.363601e-05,5.374431e-05,5.374814e-05,5.382900e-05,5.385408e-05,5.389199e-05,5.392334e-05,5.393505e-05,5.395982e-05,5.396779e-05,5.396702e-05,5.396034e-05,5.394807e-05,5.393874e-05,5.390579e-05,5.390417e-05,5.385769e-05,5.384268e-05,5.380030e-05,5.376100e-05,5.373289e-05,5.366274e-05,5.365629e-05,5.357128e-05,5.354971e-05,5.347856e-05,5.342351e-05,5.337877e-05,5.328558e-05,5.327251e-05,5.316033e-05,5.313723e-05,5.304273e-05,5.297960e-05,5.292019e-05,5.281377e-05,5.279315e-05,5.266200e-05,5.264066e-05,5.252711e-05,5.246113e-05,5.238882e-05,5.227597e-05,5.224746e-05,5.210332e-05,5.208585e-05,5.195668e-05,5.189143e-05,5.180780e-05,5.169329e-05,5.165690e-05,5.150423e-05,5.149194e-05,5.134998e-05,5.128788e-05,5.119435e-05,5.108154e-05,5.103752e-05,5.087967e-05,5.087334e-05,5.072095e-05,5.066363e-05,5.056152e-05,5.045277e-05,5.040151e-05,5.024106e-05,5.002878e-05,4.981620e-05,4.960357e-05,4.939110e-05,4.917900e-05,4.896746e-05,4.875664e-05,4.854671e-05,4.833781e-05,4.813008e-05,4.792363e-05,4.771858e-05,4.751503e-05,4.731307e-05,4.711278e-05,4.691425e-05,4.671753e-05,4.652270e-05,4.632981e-05,4.613891e-05,4.595004e-05,4.576325e-05,4.557856e-05,4.539601e-05
0.000000e+00,1.833741e-11,4.291652e-11,1.509814e-10,3.475223e-10,5.097447e-10,1.173609e-09,1.209743e-09,2.384066e-09,2.819328e-09,4.196507e-09,5.670228e-09,6.840295e-09,1.016450e-08,1.049720e-08,1.524430e-08,1.653877e-08,2.098946e-08,2.456888e-08,2.753192e-08,3.378602e-08,3.466793e-08,4.223682e-08,4.379145e-08,5.011896e-08,5.431009e-08,5.822207e-08,6.514355e-08,6.647019e-08,7.479747e-08,7.613316e-08,8.314497e-08,8.714314e-08,9.145953e-08,9.805521e-08,9.969343e-08,1.078044e-07,1.087676e-07,1.157557e-07,1.191956e-07,1.235165e-07,1.292713e-07,1.310611e-07,1.383693e-07,1.389432e-07,1.454254e-07,1.481747e-07,1.522186e-07,1.569427e-07,1.587414e-07,1.649891e-07,1.652333e-07,1.709606e-07,1.730428e-07,1.766566e-07,1.803741e-07,1.820803e-07,1.872361e-07,1.921298e-07,1.936414e-07,1.967678e-07,1.996054e-07,2.011576e-07,2.051454e-07,2.053069e-07,2.092240e-07,2.102802e-07,2.129171e-07,2.150291e-07,2.163949e-07,2.194116e-07,2.196659e-07,2.227383e-07,2.234471e-07,2.256206e-07,2.271546e-07,2.283208e-07,2.305527e-07,2.308469e-07,2.332067e-07,2.336594e-07,2.354077e-07,2.364919e-07,2.374571e-07,2.390666e-07,2.393619e-07,2.411289e-07,2.413993e-07,2.427646e-07,2.435050e-07,2.442753e-07,2.453978e-07,2.456669e-07,2.469451e-07,2.470912e-07,2.481156e-07,2.485979e-07,2.491836e-07,2.499298e-07,2.501541e-07,2.510320e-07,2.510984e-07,2.518219e-07,2.521142e-07,2.525282e-07,2.529874e-07,2.531552e-07,2.537068e-07,2.537274e-07,2.541869e-07,2.543430e-07,2.545993e-07,2.548427e-07,2.549473e-07,2.552343e-07,2.554636e-07,2.555252e-07,2.556381e-07,2.557224e-07,2.557608e-07,2.558324e-07,2.558344e-07,2.558616e-07,2.558612e-07,2.558448e-07,2.558146e-07,2.557865e-07,2.556981e-07,2.556889e-07,2.555543e-07,2.555166e-07,2.553846e-07,2.552750e-07,2.551818e-07,2.549776e-07,2.549480e-07,2.546847e-07,2.546287e-07,2.543937e-07,2.542320e-07,2.540767e-07,2.537915e-07,2.537352e-07,2.533707e-07,2.533103e-07,2.529845e-07,2.527919e-07,2.525781e-07,2.522392e-07,2.521526e-07,2.517093e-07,2.516550e-07,2.512494e-07,2.510420e-07,2.507739e-07,2.504027e-07,2.502838e-07,2.497803e-07,2.497395e-07,2.492642e-07,2.490544e-07,2.487364e-07,2.483496e-07,2.481978e-07,2.476492e-07,2.476271e-07,2.470914e-07,2.468885e-07,2.465251e-07,2.461355e-07,2.459510e-07,2.453698e-07,2.445929e-07,2.438060e-07,2.430106e-07,2.422078e-07,2.413987e-07,2.405844e-07,2.397659e-07,2.389442e-07,2.381200e-07,2.372942e-07,2.364676e-07,2.356409e-07,2.348147e-07,2.339896e-07,2.331662e-07,2.323450e-07,2.315265e-07,2.307112e-07,2.298996e-07,2.290919e-07,2.282886e-07,2.274899e-07,2.266963e-07,2.259080e-07
0.000000e+00,2.197351e-13,1.405496e-12,2.144254e-11,1.263653e-10,2.814515e-10,1.536712e-09,1.632154e-09,6.070703e-09,8.303752e-09,1.709835e-08,2.894525e-08,3.984508e-08,7.684282e-08,8.099342e-08,1.485785e-07,1.697278e-07,2.517306e-07,3.287106e-07,4.003824e-07,5.770672e-07,6.049045e-07,8.755865e-07,9.385207e-07,1.221918e-06,1.434602e-06,1.651749e-06,2.081401e-06,2.170524e-06,2.780802e-06,2.886950e-06,3.482142e-06,3.850279e-06,4.271321e-06,4.962237e-06,5.142778e-06,6.089142e-06,6.207339e-06,7.101769e-06,7.565905e-06,8.171227e-06,9.015982e-06,9.287688e-06,1.044125e-05,1.053485e-05,1.162220e-05,1.210013e-05,1.282117e-05,1.369059e-05,1.402930e-05,1.523834e-05,1.528661e-05,1.644073e-05,1.687062e-05,1.762962e-05,1.842722e-05,1.879894e-05,1.994336e-05,2.105832e-05,2.140824e-05,2.213999e-05,2.281332e-05,2.318524e-05,2.415210e-05,2.419159e-05,2.515714e-05,2.541999e-05,2.608057e-05,2.661404e-05,2.696103e-05,2.773273e-05,2.779810e-05,2.859174e-05,2.877578e-05,2.934224e-05,2.974387e-05,3.005015e-05,3.063848e-05,3.071624e-05,3.134148e-05,3.146172e-05,3.192697e-05,3.221612e-05,3.247394e-05,3.290457e-05,3.298368e-05,3.345756e-05,3.353015e-05,3.389699e-05,3.409608e-05,3.430336e-05,3.460563e-05,3.467812e-05,3.502267e-05,3.506206e-05,3.533842e-05,3.546858e-05,3.562673e-05,3.582833e-05,3.588895e-05,3.612637e-05,3.614433e-05,3.634027e-05,3.641951e-05,3.653186e-05,3.665665e-05,3.670231e-05,3.685277e-05,3.685839e-05,3.698431e-05,3.702724e-05,3.709798e-05,3.716557e-05,3.719476e-05,3.727562e-05,3.734146e-05,3.735949e-05,3.739313e-05,3.741916e-05,3.743148e-05,3.745648e-05,3.745728e-05,3.747127e-05,3.747317e-05,3.747417e-05,3.747087e-05,3.746666e-05,3.745109e-05,3.744937e-05,3.742291e-05,3.741526e-05,3.738785e-05,3.736468e-05,3.734476e-05,3.730060e-05,3.729414e-05,3.723649e-05,3.722416e-05,3.717228e-05,3.713644e-05,3.710194e-05,3.703843e-05,3.702590e-05,3.694456e-05,3.693107e-05,3.685828e-05,3.681522e-05,3.676743e-05,3.669169e-05,3.667235e-05,3.657334e-05,3.656121e-05,3.647072e-05,3.642450e-05,3.636477e-05,3.628218e-05,3.625576e-05,3.614393e-05,3.613488e-05,3.602955e-05,3.598313e-05,3.591283e-05,3.582746e-05,3.579398e-05,3.567322e-05,3.566835e-05,3.555072e-05,3.550624e-05,3.542669e-05,3.534155e-05,3.530128e-05,3.517466e-05,3.500591e-05,3.483565e-05,3.466417e-05,3.449175e-05,3.431865e-05,3.414511e-05,3.397135e-05,3.379758e-05,3.362397e-05,3.345070e-05,3.327793e-05,3.310581e-05,3.293446e-05,3.276402e-05,3.259458e-05,3.242625e-05,3.225912e-05,3.209328e-05,3.192880e-05,3.176574e-05,3.160418e-05,3.144417e-05,3.128575e-05,3.112896e-05
0.000000e+00,2.368290e-12,1.400242e-11,1.821233e-10,9.324631e-10,1.926469e-09,8.723831e-09,9.197477e-09,2.873147e-08,3.755173e-08,6.922143e-08,1.075650e-07,1.402920e-07,2.410974e-07,2.517235e-07,4.129944e-07,4.601214e-07,6.330273e-07,7.849859e-07,9.199525e-07,1.233322e-06,1.280697e-06,1.720295e-06,1.817936e-06,2.241051e-06,2.543722e-06,2.841968e-06,3.405643e-06,3.518771e-06,4.264535e-06,4.389694e-06,5.070594e-06,5.476137e-06,5.927427e-06,6.642907e-06,6.825303e-06,7.754690e-06,7.867896e-06,8.706485e-06,9.130147e-06,9.672131e-06,1.041038e-05,1.064369e-05,1.161387e-05,1.169123e-05,1.257611e-05,1.295743e-05,1.352451e-05,1.419590e-05,1.445397e-05,1.536006e-05,1.539577e-05,1.623913e-05,1.654838e-05,1.708817e-05,1.764716e-05,1.790486e-05,1.868745e-05,1.943474e-05,1.966628e-05,2.014600e-05,2.058214e-05,2.082093e-05,2.143474e-05,2.145959e-05,2.206235e-05,2.222477e-05,2.262981e-05,2.295369e-05,2.316281e-05,2.362356e-05,2.366232e-05,2.412945e-05,2.423687e-05,2.456539e-05,2.479637e-05,2.497141e-05,2.530499e-05,2.534881e-05,2.569891e-05,2.576577e-05,2.602303e-05,2.618175e-05,2.632249e-05,2.655592e-05,2.659858e-05,2.685255e-05,2.689121e-05,2.708563e-05,2.719043e-05,2.729900e-05,2.745627e-05,2.749379e-05,2.767111e-05,2.769127e-05,2.783200e-05,2.789784e-05,2.797744e-05,2.807824e-05,2.810839e-05,2.822575e-05,2.823457e-05,2.833036e-05,2.836882e-05,2.842304e-05,2.848282e-05,2.850456e-05,2.857563e-05,2.857826e-05,2.863693e-05,2.865674e-05,2.868911e-05,2.871970e-05,2.873278e-05,2.876851e-05,2.879683e-05,2.880441e-05,2.881825e-05,2.882856e-05,2.883325e-05,2.884202e-05,2.884227e-05,2.884574e-05,2.884577e-05,2.884404e-05,2.884070e-05,2.883756e-05,2.882766e-05,2.882663e-05,2.881160e-05,2.880741e-05,2.879276e-05,2.878065e-05,2.877040e-05,2.874803e-05,2.874480e-05,2.871620e-05,2.871015e-05,2.868486e-05,2.866754e-05,2.865098e-05,2.862073e-05,2.861479e-05,2.857648e-05,2.857017e-05,2.853623e-05,2.851628e-05,2.849422e-05,2.845945e-05,2.845061e-05,2.840555e-05,2.840005e-05,2.835918e-05,2.833840e-05,2.831164e-05,2.827480e-05,2.826305e-05,2.821354e-05,2.820954e-05,2.816320e-05,2.814286e-05,2.811215e-05,2.807500e-05,2.806047e-05,2.800826e-05,2.800616e-05,2.795561e-05,2.793656e-05,2.790258e-05,2.786635e-05,2.784926e-05,2.779572e-05,2.772480e-05,2.765373e-05,2.758263e-05,2.751163e-05,2.744081e-05,2.737028e-05,2.730012e-05,2.723040e-05,2.716120e-05,2.709257e-05,2.702457e-05,2.695725e-05,2.689066e-05,2.682483e-05,2.675981e-05,2.669561e-05,2.663228e-05,2.656982e-05,2.650827e-05,2.644763e-05,2.638793e-05,2.632917e-05,2.627137e-05,2.621453e-05
0.000000e+00,6.124314e-13,4.156423e-12,7.178292e-11,4.745346e-10,1.126770e-09,7.284653e-09,7.791434e-09,3.449828e-08,4.954046e-08,1.155802e-07,2.170691e-07,3.201454e-07,7.223566e-07,7.717113e-07,1.669798e-06,1.982251e-06,3.308218e-06,4.693368e-06,6.085874e-06,9.872012e-06,1.050886e-05,1.718475e-05,1.885022e-05,2.681075e-05,3.323557e-05,4.015746e-05,5.484641e-05,5.804977e-05,8.134598e-05,8.563302e-05,1.109163e-04,1.275923e-04,1.476214e-04,1.826819e-04,1.922915e-04,2.457070e-04,2.527392e-04,3.085807e-04,3.394069e-04,3.815417e-04,4.440700e-04,4.651225e-04,5.597479e-04,5.678051e-04,6.657271e-04,7.113443e-04,7.832488e-04,8.750529e-04,9.123780e-04,1.053057e-03,1.058922e-03,1.205108e-03,1.262577e-03,1.368237e-03,1.485292e-03,1.542043e-03,1.726022e-03,1.919584e-03,1.983440e-03,2.122056e-03,2.255975e-03,2.332698e-03,2.541864e-03,2.550716e-03,2.775270e-03,2.839198e-03,3.005487e-03,3.145964e-03,3.240474e-03,3.460100e-03,3.479329e-03,3.721149e-03,3.779527e-03,3.965039e-03,4.102194e-03,4.210123e-03,4.426109e-03,4.455551e-03,4.700503e-03,4.749367e-03,4.944197e-03,5.070172e-03,5.185891e-03,5.386859e-03,5.424891e-03,5.660549e-03,5.697903e-03,5.892267e-03,6.001931e-03,6.119501e-03,6.297725e-03,6.341755e-03,6.558587e-03,6.584224e-03,6.769606e-03,6.860523e-03,6.974470e-03,7.125869e-03,7.172887e-03,7.364610e-03,7.379652e-03,7.549438e-03,7.621402e-03,7.727213e-03,7.850775e-03,7.897815e-03,8.061165e-03,8.067547e-03,8.217215e-03,8.271602e-03,8.365951e-03,8.462922e-03,8.507390e-03,8.641574e-03,8.768570e-03,8.807705e-03,8.888468e-03,8.961526e-03,9.001375e-03,9.103307e-03,9.107419e-03,9.206740e-03,9.233366e-03,9.299494e-03,9.352061e-03,9.385844e-03,9.459783e-03,9.465968e-03,9.540046e-03,9.556946e-03,9.608268e-03,9.643986e-03,9.670827e-03,9.721351e-03,9.727920e-03,9.779747e-03,9.789498e-03,9.826505e-03,9.848884e-03,9.868398e-03,9.899971e-03,9.905622e-03,9.938374e-03,9.943213e-03,9.966852e-03,9.979060e-03,9.991247e-03,1.000795e-02,1.001175e-02,1.002854e-02,1.003032e-02,1.004181e-02,1.004658e-02,1.005174e-02,1.005714e-02,1.005848e-02,1.006222e-02,1.006239e-02,1.006311e-02,1.006271e-02,1.006132e-02,1.005844e-02,1.005698e-02,1.005026e-02,1.004994e-02,1.004129e-02,1.003753e-02,1.003020e-02,1.002153e-02,1.001714e-02,1.000221e-02,9.979874e-03,9.954771e-03,9.927152e-03,9.897251e-03,9.865287e-03,9.831465e-03,9.795978e-03,9.759007e-03,9.720720e-03,9.681274e-03,9.640815e-03,9.599480e-03,9.557394e-03,9.514676e-03,9.471435e-03,9.427771e-03,9.383777e-03,9.339539e-03,9.295138e-03,9.250645e-03,9.206128e-03,9.161649e-03,9.117264e-03,9.073026e-03
0.000000e+00,1.422656e-12,9.068573e-12,1.373992e-10,8.052326e-10,1.788825e-09,9.722372e-09,1.032513e-08,3.840613e-08,5.258754e-08,1.088175e-07,1.854572e-07,2.567868e-07,5.037966e-07,5.319158e-07,9.986145e-07,1.147383e-06,1.732268e-06,2.288655e-06,2.809684e-06,4.094997e-06,4.296807e-06,6.238840e-06,6.684045e-06,8.655797e-06,1.009974e-05,1.154337e-05,1.431522e-05,1.487713e-05,1.861797e-05,1.925113e-05,2.271736e-05,2.479680e-05,2.712172e-05,3.082749e-05,3.177554e-05,3.662371e-05,3.721599e-05,4.161296e-05,4.383981e-05,4.669288e-05,5.058528e-05,5.181661e-05,5.694121e-05,5.735003e-05,6.202804e-05,6.404437e-05,6.704284e-05,7.059201e-05,7.195585e-05,7.674173e-05,7.693021e-05,8.137948e-05,8.300942e-05,8.585216e-05,8.879247e-05,9.014668e-05,9.425342e-05,9.816589e-05,9.937617e-05,1.018804e-04,1.041530e-04,1.053955e-04,1.085831e-04,1.087120e-04,1.118321e-04,1.126711e-04,1.147597e-04,1.164258e-04,1.174995e-04,1.198592e-04,1.200573e-04,1.224391e-04,1.229854e-04,1.246519e-04,1.258198e-04,1.267026e-04,1.283787e-04,1.285983e-04,1.303462e-04,1.306787e-04,1.319536e-04,1.327363e-04,1.334275e-04,1.345675e-04,1.347749e-04,1.360024e-04,1.361881e-04,1.371166e-04,1.376130e-04,1.381238e-04,1.388565e-04,1.390299e-04,1.398409e-04,1.399321e-04,1.405622e-04,1.408525e-04,1.411990e-04,1.416296e-04,1.417564e-04,1.422391e-04,1.422746e-04,1.426516e-04,1.427979e-04,1.429982e-04,1.432093e-04,1.432830e-04,1.435098e-04,1.435177e-04,1.436821e-04,1.437315e-04,1.438035e-04,1.438586e-04,1.438772e-04,1.439062e-04,1.438934e-04,1.438809e-04,1.438415e-04,1.437890e-04,1.437532e-04,1.436363e-04,1.436308e-04,1.434766e-04,1.434280e-04,1.432928e-04,1.431691e-04,1.430814e-04,1.428642e-04,1.428443e-04,1.425834e-04,1.425174e-04,1.423002e-04,1.421326e-04,1.419966e-04,1.417135e-04,1.416739e-04,1.413335e-04,1.412634e-04,1.409769e-04,1.407854e-04,1.406052e-04,1.402823e-04,1.402198e-04,1.398216e-04,1.397568e-04,1.394118e-04,1.392113e-04,1.389913e-04,1.386479e-04,1.385612e-04,1.381222e-04,1.380689e-04,1.376751e-04,1.374761e-04,1.372209e-04,1.368713e-04,1.367602e-04,1.362937e-04,1.362561e-04,1.358221e-04,1.356321e-04,1.353459e-04,1.350006e-04,1.348658e-04,1.343823e-04,1.343629e-04,1.338959e-04,1.337201e-04,1.334070e-04,1.330735e-04,1.329162e-04,1.324239e-04,1.317724e-04,1.311197e-04,1.304666e-04,1.298139e-04,1.291623e-04,1.285122e-04,1.278644e-04,1.272192e-04,1.265773e-04,1.259389e-04,1.253044e-04,1.246743e-04,1.240489e-04,1.234283e-04,1.228130e-04,1.222031e-04,1.215989e-04,1.210005e-04,1.204081e-04,1.198219e-04,1.192419e-04,1.186684e-04,1.181014e-04,1.175410e-04
0.000000e+00,9.724673e-12,2.238039e-11,7.770095e-11,1.785624e-10,2.622458e-10,6.083946e-10,6.273844e-10,1.250842e-09,1.484256e-09,2.226355e-09,3.018566e-09,3.640551e-09,5.356274e-09,5.523658e-09,7.844053e-09,8.460564e-09,1.055400e-08,1.222688e-08,1.361481e-08,1.657462e-08,1.699647e-08,2.067221e-08,2.144030e-08,2.461501e-08,2.676134e-08,2.879614e-08,3.247021e-08,3.318511e-08,3.775020e-08,3.849481e-08,4.245930e-08,4.476149e-08,4.728081e-08,5.119854e-08,5.218444e-08,5.714183e-08,5.773907e-08,6.212695e-08,6.432306e-08,6.711638e-08,7.089836e-08,7.208937e-08,7.702783e-08,7.742093e-08,8.191615e-08,8.385441e-08,8.674113e-08,9.016963e-08,9.149176e-08,9.615905e-08,9.634390e-08,1.007356e-07,1.023596e-07,1.052151e-07,1.082034e-07,1.095930e-07,1.138657e-07,1.180304e-07,1.193400e-07,1.220852e-07,1.246221e-07,1.260289e-07,1.297097e-07,1.298608e-07,1.335805e-07,1.346019e-07,1.371883e-07,1.392994e-07,1.406846e-07,1.438034e-07,1.440702e-07,1.473461e-07,1.481161e-07,1.505134e-07,1.522403e-07,1.535736e-07,1.561791e-07,1.565281e-07,1.593785e-07,1.599362e-07,1.621265e-07,1.635155e-07,1.647738e-07,1.669211e-07,1.673223e-07,1.697738e-07,1.701572e-07,1.721303e-07,1.732283e-07,1.743938e-07,1.761388e-07,1.765661e-07,1.786493e-07,1.788934e-07,1.806454e-07,1.814967e-07,1.825564e-07,1.839531e-07,1.843844e-07,1.861312e-07,1.862675e-07,1.877988e-07,1.884442e-07,1.893894e-07,1.904879e-07,1.909048e-07,1.923469e-07,1.924031e-07,1.937177e-07,1.941942e-07,1.950192e-07,1.958655e-07,1.962531e-07,1.974214e-07,1.985259e-07,1.988661e-07,1.995683e-07,2.002038e-07,2.005505e-07,2.014384e-07,2.014742e-07,2.023412e-07,2.025740e-07,2.031530e-07,2.036144e-07,2.039114e-07,2.045634e-07,2.046180e-07,2.052744e-07,2.054246e-07,2.058821e-07,2.062018e-07,2.064428e-07,2.068983e-07,2.069577e-07,2.074286e-07,2.075176e-07,2.078567e-07,2.080629e-07,2.082434e-07,2.085374e-07,2.085903e-07,2.088985e-07,2.089443e-07,2.091694e-07,2.092866e-07,2.094043e-07,2.095671e-07,2.096044e-07,2.097710e-07,2.097888e-07,2.099052e-07,2.099543e-07,2.100082e-07,2.100663e-07,2.100811e-07,2.101250e-07,2.101273e-07,2.101410e-07,2.101399e-07,2.101302e-07,2.101063e-07,2.100935e-07,2.100320e-07,2.100290e-07,2.099465e-07,2.099101e-07,2.098381e-07,2.097518e-07,2.097077e-07,2.095561e-07,2.093251e-07,2.090606e-07,2.087645e-07,2.084386e-07,2.080846e-07,2.077042e-07,2.072989e-07,2.068703e-07,2.064197e-07,2.059487e-07,2.054585e-07,2.049505e-07,2.044259e-07,2.038858e-07,2.033315e-07,2.027640e-07,2.021843e-07,2.015934e-07,2.009924e-07,2.003821e-07,1.997633e-07,1.991370e-07,1.985039e-07,1.978648e-07
0.000000e+00,1.056194e-11,2.443777e-11,8.515830e-11,1.955465e-10,2.867499e-10,6.606407e-10,6.810123e-10,1.343605e-09,1.589290e-09,2.366069e-09,3.194407e-09,3.848069e-09,5.676103e-09,5.856434e-09,8.384351e-09,9.062674e-09,1.137900e-08,1.324004e-08,1.478879e-08,1.810259e-08,1.857597e-08,2.271145e-08,2.357801e-08,2.716875e-08,2.960473e-08,3.192049e-08,3.611781e-08,3.693692e-08,4.218560e-08,4.304465e-08,4.763190e-08,5.030576e-08,5.323975e-08,5.781774e-08,5.897255e-08,6.479410e-08,6.549697e-08,7.066943e-08,7.326300e-08,7.656545e-08,8.104131e-08,8.245151e-08,8.829973e-08,8.876518e-08,9.408519e-08,9.637681e-08,9.978606e-08,1.038276e-07,1.053835e-07,1.108616e-07,1.110781e-07,1.162072e-07,1.180971e-07,1.214096e-07,1.248611e-07,1.264604e-07,1.313532e-07,1.360836e-07,1.375624e-07,1.406484e-07,1.434822e-07,1.450461e-07,1.491101e-07,1.492760e-07,1.533388e-07,1.544465e-07,1.572355e-07,1.594947e-07,1.609683e-07,1.642597e-07,1.645395e-07,1.679520e-07,1.687478e-07,1.712092e-07,1.729667e-07,1.743146e-07,1.769247e-07,1.772719e-07,1.800851e-07,1.806308e-07,1.827581e-07,1.840940e-07,1.852951e-07,1.873240e-07,1.877001e-07,1.899773e-07,1.903301e-07,1.921308e-07,1.931218e-07,1.941647e-07,1.957084e-07,1.960831e-07,1.978897e-07,1.980992e-07,1.995887e-07,2.003031e-07,2.011838e-07,2.023289e-07,2.026787e-07,2.040772e-07,2.041850e-07,2.053828e-07,2.058798e-07,2.065990e-07,2.074212e-07,2.077292e-07,2.087766e-07,2.088169e-07,2.097446e-07,2.100742e-07,2.106362e-07,2.112004e-07,2.114544e-07,2.122022e-07,2.128824e-07,2.130863e-07,2.134978e-07,2.138588e-07,2.140510e-07,2.145259e-07,2.145446e-07,2.149810e-07,2.150934e-07,2.153628e-07,2.155666e-07,2.156922e-07,2.159509e-07,2.159715e-07,2.162028e-07,2.162514e-07,2.163882e-07,2.164728e-07,2.165298e-07,2.166197e-07,2.166295e-07,2.166892e-07,2.166965e-07,2.167107e-07,2.167074e-07,2.166958e-07,2.166563e-07,2.166461e-07,2.165632e-07,2.165470e-07,2.164488e-07,2.163831e-07,2.163043e-07,2.161680e-07,2.161312e-07,2.159308e-07,2.159050e-07,2.157046e-07,2.155972e-07,2.154538e-07,2.152475e-07,2.151796e-07,2.148833e-07,2.148587e-07,2.145660e-07,2.144335e-07,2.142288e-07,2.139743e-07,2.138728e-07,2.134990e-07,2.134836e-07,2.131083e-07,2.129637e-07,2.127018e-07,2.124167e-07,2.122803e-07,2.118446e-07,2.112495e-07,2.106330e-07,2.099970e-07,2.093431e-07,2.086728e-07,2.079877e-07,2.072891e-07,2.065783e-07,2.058566e-07,2.051253e-07,2.043852e-07,2.036377e-07,2.028835e-07,2.021238e-07,2.013592e-07,2.005908e-07,1.998192e-07,1.990452e-07,1.982694e-07,1.974927e-07,1.967155e-07,1.959384e-07,1.951620e-07,1.943868e-07
0.000000e+00,2.244927e-12,5.161725e-12,1.788790e-11,4.101750e-11,6.014550e-11,1.387409e-10,1.430304e-10,2.828198e-10,3.347529e-10,4.992171e-10,6.751560e-10,8.146262e-10,1.209206e-09,1.248550e-09,1.807633e-09,1.959633e-09,2.482472e-09,2.904686e-09,3.256255e-09,4.006423e-09,4.113207e-09,5.040793e-09,5.233867e-09,6.028891e-09,6.563663e-09,7.068698e-09,7.976117e-09,8.152054e-09,9.271139e-09,9.453001e-09,1.041842e-08,1.097700e-08,1.158668e-08,1.253183e-08,1.276916e-08,1.395956e-08,1.410266e-08,1.515218e-08,1.567631e-08,1.634194e-08,1.724146e-08,1.752435e-08,1.869555e-08,1.878866e-08,1.985223e-08,2.031020e-08,2.099164e-08,2.180000e-08,2.211147e-08,2.320984e-08,2.325331e-08,2.428525e-08,2.466654e-08,2.533652e-08,2.603712e-08,2.636274e-08,2.736324e-08,2.833755e-08,2.864375e-08,2.928538e-08,2.987802e-08,3.020657e-08,3.106581e-08,3.110108e-08,3.196897e-08,3.220722e-08,3.281038e-08,3.330261e-08,3.362554e-08,3.435252e-08,3.441470e-08,3.517820e-08,3.535766e-08,3.591637e-08,3.631883e-08,3.662961e-08,3.723695e-08,3.731832e-08,3.798293e-08,3.811300e-08,3.862389e-08,3.894800e-08,3.924166e-08,3.974302e-08,3.983672e-08,4.040954e-08,4.049916e-08,4.096060e-08,4.121752e-08,4.149039e-08,4.189923e-08,4.199939e-08,4.248811e-08,4.254541e-08,4.295701e-08,4.315718e-08,4.340660e-08,4.373566e-08,4.383734e-08,4.424973e-08,4.428194e-08,4.464423e-08,4.479713e-08,4.502132e-08,4.528230e-08,4.538145e-08,4.572510e-08,4.573850e-08,4.605269e-08,4.616679e-08,4.636469e-08,4.656817e-08,4.666154e-08,4.694365e-08,4.721145e-08,4.729420e-08,4.746537e-08,4.762077e-08,4.770580e-08,4.792430e-08,4.793315e-08,4.814781e-08,4.820569e-08,4.835016e-08,4.846582e-08,4.854058e-08,4.870555e-08,4.871944e-08,4.888710e-08,4.892571e-08,4.904390e-08,4.912710e-08,4.919020e-08,4.931051e-08,4.932632e-08,4.945261e-08,4.947671e-08,4.956937e-08,4.962642e-08,4.967692e-08,4.976037e-08,4.977557e-08,4.986561e-08,4.987924e-08,4.994734e-08,4.998370e-08,5.002103e-08,5.007439e-08,5.008697e-08,5.014542e-08,5.015195e-08,5.019665e-08,5.021697e-08,5.024090e-08,5.027003e-08,5.027844e-08,5.030949e-08,5.031170e-08,5.033429e-08,5.034252e-08,5.035308e-08,5.036301e-08,5.036607e-08,5.037349e-08,5.037367e-08,5.037553e-08,5.037499e-08,5.037241e-08,5.036745e-08,5.036433e-08,5.035148e-08,5.032752e-08,5.029599e-08,5.025728e-08,5.021180e-08,5.015990e-08,5.010194e-08,5.003826e-08,4.996920e-08,4.989507e-08,4.981617e-08,4.973279e-08,4.964521e-08,4.955370e-08,4.945851e-08,4.935989e-08,4.925808e-08,4.915330e-08,4.904576e-08,4.893568e-08,4.882324e-08,4.870864e-08,4.859206e-08,4.847367e-08,4.835364e-08
0.000000e+00,2.723705e-12,1.674154e-11,2.352571e-10,1.287483e-09,2.754698e-09,1.358669e-08,1.437209e-08,4.853163e-08,6.472140e-08,1.253001e-07,2.022995e-07,2.703723e-07,4.902179e-07,5.141400e-07,8.911077e-07,1.005540e-06,1.438834e-06,1.834239e-06,2.194619e-06,3.056143e-06,3.188680e-06,4.435567e-06,4.715068e-06,5.928300e-06,6.792996e-06,7.638563e-06,9.211383e-06,9.522361e-06,1.152803e-05,1.185673e-05,1.360362e-05,1.461061e-05,1.570190e-05,1.736972e-05,1.778288e-05,1.981447e-05,2.005369e-05,2.177187e-05,2.260466e-05,2.363660e-05,2.498345e-05,2.539532e-05,2.703883e-05,2.716514e-05,2.856129e-05,2.913560e-05,2.995958e-05,3.088889e-05,3.123282e-05,3.238203e-05,3.242546e-05,3.340983e-05,3.375083e-05,3.432011e-05,3.487447e-05,3.511783e-05,3.580876e-05,3.639928e-05,3.656813e-05,3.689612e-05,3.716815e-05,3.730625e-05,3.762491e-05,3.763668e-05,3.789433e-05,3.795435e-05,3.808592e-05,3.817187e-05,3.821792e-05,3.829199e-05,3.829644e-05,3.832723e-05,3.832812e-05,3.831562e-05,3.829246e-05,3.826654e-05,3.819594e-05,3.818449e-05,3.807358e-05,3.804827e-05,3.793754e-05,3.785800e-05,3.777972e-05,3.763253e-05,3.760313e-05,3.741046e-05,3.737830e-05,3.720411e-05,3.710084e-05,3.698622e-05,3.680487e-05,3.675868e-05,3.652316e-05,3.649443e-05,3.628115e-05,3.617295e-05,3.603394e-05,3.584331e-05,3.578270e-05,3.552842e-05,3.550797e-05,3.527200e-05,3.516901e-05,3.501422e-05,3.482815e-05,3.475575e-05,3.449720e-05,3.448687e-05,3.423910e-05,3.414638e-05,3.398189e-05,3.380771e-05,3.372598e-05,3.347171e-05,3.321940e-05,3.313911e-05,3.296929e-05,3.281049e-05,3.272163e-05,3.248634e-05,3.247659e-05,3.223435e-05,3.216704e-05,3.199505e-05,3.185294e-05,3.175882e-05,3.154428e-05,3.152575e-05,3.129593e-05,3.124126e-05,3.106943e-05,3.094406e-05,3.084630e-05,3.065277e-05,3.062659e-05,3.041033e-05,3.036749e-05,3.019754e-05,3.008827e-05,2.998824e-05,2.981513e-05,2.978244e-05,2.958013e-05,2.954809e-05,2.938132e-05,2.928713e-05,2.918599e-05,2.903222e-05,2.899412e-05,2.880570e-05,2.878332e-05,2.862070e-05,2.854038e-05,2.843910e-05,2.830333e-05,2.826086e-05,2.808595e-05,2.807210e-05,2.791433e-05,2.784660e-05,2.774597e-05,2.762675e-05,2.758084e-05,2.741888e-05,2.741246e-05,2.726006e-05,2.720364e-05,2.710433e-05,2.700018e-05,2.695165e-05,2.680198e-05,2.660895e-05,2.642097e-05,2.623793e-05,2.605974e-05,2.588628e-05,2.571745e-05,2.555314e-05,2.539324e-05,2.523765e-05,2.508626e-05,2.493897e-05,2.479568e-05,2.465628e-05,2.452068e-05,2.438878e-05,2.426049e-05,2.413570e-05,2.401433e-05,2.389628e-05,2.378147e-05,2.366981e-05,2.356122e-05,2.345560e-05,2.335289e-05
0.000000e+00,1.660433e-13,1.126052e-12,1.941426e-11,1.280830e-10,3.037079e-10,1.953939e-09,2.089357e-09,9.182437e-09,1.315251e-08,3.045442e-08,5.678108e-08,8.330615e-08,1.856078e-07,1.980709e-07,4.229492e-07,5.006250e-07,8.285316e-07,1.169321e-06,1.510949e-06,2.437534e-06,2.593231e-06,4.224924e-06,4.632121e-06,6.580266e-06,8.155318e-06,9.855211e-06,1.347286e-05,1.426361e-05,2.003273e-05,2.109775e-05,2.739844e-05,3.157135e-05,3.660001e-05,4.544291e-05,4.787498e-05,6.145393e-05,6.324877e-05,7.755555e-05,8.549223e-05,9.638198e-05,1.126249e-04,1.181146e-04,1.429104e-04,1.450305e-04,1.708989e-04,1.830115e-04,2.021795e-04,2.267795e-04,2.368202e-04,2.748564e-04,2.764486e-04,3.162903e-04,3.320335e-04,3.610918e-04,3.934499e-04,4.091987e-04,4.605189e-04,5.149316e-04,5.329736e-04,5.722903e-04,6.104681e-04,6.324247e-04,6.925881e-04,6.951440e-04,7.602397e-04,7.788623e-04,8.274886e-04,8.687742e-04,8.966559e-04,9.617750e-04,9.674981e-04,1.039766e-03,1.057294e-03,1.113207e-03,1.154753e-03,1.187569e-03,1.253570e-03,1.262601e-03,1.338057e-03,1.353177e-03,1.413695e-03,1.453021e-03,1.489282e-03,1.552573e-03,1.564596e-03,1.639422e-03,1.651335e-03,1.713559e-03,1.748844e-03,1.786817e-03,1.844672e-03,1.859020e-03,1.930003e-03,1.938432e-03,1.999618e-03,2.029779e-03,2.067727e-03,2.118406e-03,2.134207e-03,2.198950e-03,2.204051e-03,2.261859e-03,2.286490e-03,2.322851e-03,2.365537e-03,2.381854e-03,2.438809e-03,2.441044e-03,2.493669e-03,2.512898e-03,2.546396e-03,2.581019e-03,2.596964e-03,2.645355e-03,2.691560e-03,2.705883e-03,2.735579e-03,2.762606e-03,2.777418e-03,2.815547e-03,2.817093e-03,2.854623e-03,2.864751e-03,2.890035e-03,2.910278e-03,2.923360e-03,2.952205e-03,2.954633e-03,2.983894e-03,2.990623e-03,3.011188e-03,3.025630e-03,3.036559e-03,3.057335e-03,3.060058e-03,3.081735e-03,3.085856e-03,3.101643e-03,3.111314e-03,3.119836e-03,3.133834e-03,3.136371e-03,3.151302e-03,3.153546e-03,3.164687e-03,3.170579e-03,3.176583e-03,3.185065e-03,3.187045e-03,3.196132e-03,3.197133e-03,3.203899e-03,3.206912e-03,3.210401e-03,3.214531e-03,3.215694e-03,3.219832e-03,3.220114e-03,3.222866e-03,3.223783e-03,3.224850e-03,3.225657e-03,3.225835e-03,3.225868e-03,3.225850e-03,3.224999e-03,3.224475e-03,3.223275e-03,3.221637e-03,3.220740e-03,3.217440e-03,3.211982e-03,3.205358e-03,3.197656e-03,3.188964e-03,3.179361e-03,3.168925e-03,3.157728e-03,3.145839e-03,3.133323e-03,3.120241e-03,3.106651e-03,3.092605e-03,3.078155e-03,3.063348e-03,3.048227e-03,3.032835e-03,3.017210e-03,3.001387e-03,2.985401e-03,2.969282e-03,2.953058e-03,2.936757e-03,2.920403e-03,2.904019e-03
0.000000e+00,3.455829e-10,9.100930e-10,3.624512e-09,8.866140e-09,1.333643e-08,3.245730e-08,3.352893e-08,6.972255e-08,8.371818e-08,1.296509e-07,1.810546e-07,2.231743e-07,3.474969e-07,3.602380e-07,5.458334e-07,5.972435e-07,7.746317e-07,9.164499e-07,1.032349e-06,1.270594e-06,1.303393e-06,1.576138e-06,1.630197e-06,1.843417e-06,1.978806e-06,2.101156e-06,2.308595e-06,2.347092e-06,2.579987e-06,2.615990e-06,2.799183e-06,2.899435e-06,3.004387e-06,3.158436e-06,3.195550e-06,3.372811e-06,3.393160e-06,3.536448e-06,3.604231e-06,3.686858e-06,3.792623e-06,3.824533e-06,3.950031e-06,3.959563e-06,4.063958e-06,4.106430e-06,4.166948e-06,4.234692e-06,4.259649e-06,4.342710e-06,4.345842e-06,4.416774e-06,4.441354e-06,4.482463e-06,4.522656e-06,4.540379e-06,4.591099e-06,4.635170e-06,4.647953e-06,4.673106e-06,4.694393e-06,4.705395e-06,4.731501e-06,4.732491e-06,4.754817e-06,4.760268e-06,4.772769e-06,4.781594e-06,4.786714e-06,4.796297e-06,4.796991e-06,4.803917e-06,4.805113e-06,4.807782e-06,4.808711e-06,4.808856e-06,4.807689e-06,4.807387e-06,4.803603e-06,4.802588e-06,4.797717e-06,4.793891e-06,4.789924e-06,4.782034e-06,4.780401e-06,4.769314e-06,4.767406e-06,4.756816e-06,4.750357e-06,4.743046e-06,4.731201e-06,4.728132e-06,4.712194e-06,4.710217e-06,4.695339e-06,4.687658e-06,4.677668e-06,4.663748e-06,4.659272e-06,4.640237e-06,4.638688e-06,4.620639e-06,4.612659e-06,4.600550e-06,4.585820e-06,4.580037e-06,4.559158e-06,4.558316e-06,4.537969e-06,4.530275e-06,4.516520e-06,4.501811e-06,4.494859e-06,4.473028e-06,4.451066e-06,4.444016e-06,4.429009e-06,4.414857e-06,4.406889e-06,4.385624e-06,4.384737e-06,4.362581e-06,4.356380e-06,4.340445e-06,4.327183e-06,4.318353e-06,4.298084e-06,4.296324e-06,4.274380e-06,4.269127e-06,4.252535e-06,4.240352e-06,4.230808e-06,4.211795e-06,4.209211e-06,4.187757e-06,4.183485e-06,4.166460e-06,4.155450e-06,4.145329e-06,4.127714e-06,4.124373e-06,4.103602e-06,4.100296e-06,4.083023e-06,4.073215e-06,4.062643e-06,4.046486e-06,4.042468e-06,4.022503e-06,4.020122e-06,4.002754e-06,3.994133e-06,3.983223e-06,3.968529e-06,3.963916e-06,3.944835e-06,3.943318e-06,3.925982e-06,3.918505e-06,3.907360e-06,3.894096e-06,3.888970e-06,3.870814e-06,3.870093e-06,3.852894e-06,3.846500e-06,3.835208e-06,3.823317e-06,3.817759e-06,3.800545e-06,3.778185e-06,3.756236e-06,3.734695e-06,3.713562e-06,3.692833e-06,3.672505e-06,3.652576e-06,3.633041e-06,3.613898e-06,3.595140e-06,3.576764e-06,3.558766e-06,3.541140e-06,3.523882e-06,3.506985e-06,3.490446e-06,3.474258e-06,3.458416e-06,3.442915e-06,3.427749e-06,3.412912e-06,3.398400e-06,3.384206e-06,3.370325e-06
0.000000e+00,8.333102e-12,1.911340e-11,6.577724e-11,1.496327e-10,2.183183e-10,4.960680e-10,5.110561e-10,9.922084e-10,1.167983e-09,1.716804e-09,2.294360e-09,2.747735e-09,4.022122e-09,4.149161e-09,5.965907e-09,6.464707e-09,8.195783e-09,9.606197e-09,1.078461e-08,1.329723e-08,1.365373e-08,1.672848e-08,1.736253e-08,1.994838e-08,2.166387e-08,2.326577e-08,2.609916e-08,2.664187e-08,3.004379e-08,3.058851e-08,3.344266e-08,3.506541e-08,3.681291e-08,3.947318e-08,4.013189e-08,4.337982e-08,4.376397e-08,4.653979e-08,4.789858e-08,4.959770e-08,5.184637e-08,5.254219e-08,5.536451e-08,5.558481e-08,5.805826e-08,5.909875e-08,6.061921e-08,6.237947e-08,6.304500e-08,6.533494e-08,6.542372e-08,6.748970e-08,6.823263e-08,6.951106e-08,7.081074e-08,7.140174e-08,7.316517e-08,7.480533e-08,7.530485e-08,7.632660e-08,7.723997e-08,7.773365e-08,7.898144e-08,7.903131e-08,8.022451e-08,8.054056e-08,8.131821e-08,8.192872e-08,8.231734e-08,8.315718e-08,8.322675e-08,8.405119e-08,8.423693e-08,8.479529e-08,8.517857e-08,8.546353e-08,8.599225e-08,8.606021e-08,8.658949e-08,8.668762e-08,8.705535e-08,8.727380e-08,8.746159e-08,8.775941e-08,8.781183e-08,8.810955e-08,8.815253e-08,8.835802e-08,8.846072e-08,8.856038e-08,8.869106e-08,8.871959e-08,8.883846e-08,8.885014e-08,8.891966e-08,8.894411e-08,8.896571e-08,8.897867e-08,8.897899e-08,8.896177e-08,8.895914e-08,8.891616e-08,8.889043e-08,8.884419e-08,8.877711e-08,8.874775e-08,8.862863e-08,8.862342e-08,8.848852e-08,8.843325e-08,8.832901e-08,8.821023e-08,8.815160e-08,8.795771e-08,8.774866e-08,8.767876e-08,8.752569e-08,8.737625e-08,8.729000e-08,8.705279e-08,8.704269e-08,8.678478e-08,8.671081e-08,8.651728e-08,8.635254e-08,8.624108e-08,8.598004e-08,8.595705e-08,8.566601e-08,8.559520e-08,8.536870e-08,8.519974e-08,8.506585e-08,8.479527e-08,8.475811e-08,8.444611e-08,8.438325e-08,8.413043e-08,8.396501e-08,8.381163e-08,8.354180e-08,8.349021e-08,8.316666e-08,8.311472e-08,8.284141e-08,8.268482e-08,8.251489e-08,8.225302e-08,8.218748e-08,8.185956e-08,8.182019e-08,8.153144e-08,8.138710e-08,8.120346e-08,8.095446e-08,8.087590e-08,8.054903e-08,8.052292e-08,8.022311e-08,8.009306e-08,7.989837e-08,7.966541e-08,7.957503e-08,7.925328e-08,7.924044e-08,7.893331e-08,7.881859e-08,7.861529e-08,7.840023e-08,7.829938e-08,7.798572e-08,7.757536e-08,7.716942e-08,7.676815e-08,7.637175e-08,7.598042e-08,7.559431e-08,7.521357e-08,7.483831e-08,7.446862e-08,7.410460e-08,7.374630e-08,7.339378e-08,7.304707e-08,7.270620e-08,7.237118e-08,7.204202e-08,7.171870e-08,7.140122e-08,7.108955e-08,7.078366e-08,7.048351e-08,7.018907e-08,6.990029e-08,6.961712e-08
0.000000e+00,6.031204e-12,3.192221e-11,3.357806e-10,1.446168e-09,2.739778e-09,1.018381e-08,1.065918e-08,2.840685e-08,3.576345e-08,6.061748e-08,8.890110e-08,1.121674e-07,1.811752e-07,1.883026e-07,2.947589e-07,3.254999e-07,4.376986e-07,5.359958e-07,6.232627e-07,8.259338e-07,8.565707e-07,1.140311e-06,1.203103e-06,1.473631e-06,1.665210e-06,1.852155e-06,2.200181e-06,2.269185e-06,2.717263e-06,2.791353e-06,3.189321e-06,3.422582e-06,3.679208e-06,4.080447e-06,4.181749e-06,4.692590e-06,4.754267e-06,5.208031e-06,5.435443e-06,5.724873e-06,6.116874e-06,6.240316e-06,6.751903e-06,6.792597e-06,7.257481e-06,7.457601e-06,7.755178e-06,8.107730e-06,8.243391e-06,8.720769e-06,8.739622e-06,9.186197e-06,9.350647e-06,9.638781e-06,9.938841e-06,1.007783e-05,1.050283e-05,1.091342e-05,1.104173e-05,1.130940e-05,1.155512e-05,1.169068e-05,1.204289e-05,1.205727e-05,1.240927e-05,1.250524e-05,1.274686e-05,1.294259e-05,1.307028e-05,1.335555e-05,1.337981e-05,1.367578e-05,1.374483e-05,1.395854e-05,1.411125e-05,1.422846e-05,1.445570e-05,1.448595e-05,1.473140e-05,1.477909e-05,1.496522e-05,1.508235e-05,1.518782e-05,1.536641e-05,1.539959e-05,1.560093e-05,1.563220e-05,1.579223e-05,1.588061e-05,1.597390e-05,1.611254e-05,1.614629e-05,1.630978e-05,1.632882e-05,1.646472e-05,1.653028e-05,1.661146e-05,1.671770e-05,1.675033e-05,1.688165e-05,1.689184e-05,1.700575e-05,1.705343e-05,1.712291e-05,1.720314e-05,1.723344e-05,1.733761e-05,1.734164e-05,1.743568e-05,1.746955e-05,1.752794e-05,1.758746e-05,1.761461e-05,1.769594e-05,1.777216e-05,1.779551e-05,1.784349e-05,1.788668e-05,1.791015e-05,1.796993e-05,1.797233e-05,1.803023e-05,1.804571e-05,1.808405e-05,1.811444e-05,1.813395e-05,1.817655e-05,1.818011e-05,1.822269e-05,1.823240e-05,1.826186e-05,1.828236e-05,1.829776e-05,1.832677e-05,1.833054e-05,1.836034e-05,1.836596e-05,1.838730e-05,1.840023e-05,1.841153e-05,1.842987e-05,1.843316e-05,1.845232e-05,1.845516e-05,1.846910e-05,1.847635e-05,1.848362e-05,1.849368e-05,1.849599e-05,1.850630e-05,1.850740e-05,1.851464e-05,1.851771e-05,1.852111e-05,1.852482e-05,1.852579e-05,1.852876e-05,1.852893e-05,1.853012e-05,1.853022e-05,1.852992e-05,1.852886e-05,1.852825e-05,1.852518e-05,1.852503e-05,1.852077e-05,1.851886e-05,1.851508e-05,1.851052e-05,1.850818e-05,1.850013e-05,1.848784e-05,1.847376e-05,1.845801e-05,1.844071e-05,1.842195e-05,1.840184e-05,1.838046e-05,1.835792e-05,1.833429e-05,1.830964e-05,1.828407e-05,1.825763e-05,1.823040e-05,1.820243e-05,1.817379e-05,1.814453e-05,1.811471e-05,1.808438e-05,1.805359e-05,1.802238e-05,1.799079e-05,1.795887e-05,1.792665e-05,1.789417e-05
0.000000e+00,1.866443e-13,1.201776e-12,1.858483e-11,1.108847e-10,2.486534e-10,1.381727e-09,1.468598e-09,5.559468e-09,7.641278e-09,1.592805e-08,2.723607e-08,3.774137e-08,7.389064e-08,7.798318e-08,1.453886e-07,1.667260e-07,2.503064e-07,3.297787e-07,4.044935e-07,5.911057e-07,6.207792e-07,9.124866e-07,9.810354e-07,1.292538e-06,1.528953e-06,1.772321e-06,2.258886e-06,2.360551e-06,3.062436e-06,3.185427e-06,3.879292e-06,4.311630e-06,4.808653e-06,5.629351e-06,5.844731e-06,6.979098e-06,7.121352e-06,8.201432e-06,8.764186e-06,9.500213e-06,1.053096e-05,1.086332e-05,1.227852e-05,1.239363e-05,1.373384e-05,1.432461e-05,1.521780e-05,1.629792e-05,1.671964e-05,1.822942e-05,1.828984e-05,1.973807e-05,2.027931e-05,2.123746e-05,2.224804e-05,2.272038e-05,2.418057e-05,2.561263e-05,2.606419e-05,2.701202e-05,2.788873e-05,2.837500e-05,2.964641e-05,2.969857e-05,3.098039e-05,3.133157e-05,3.221875e-05,3.294040e-05,3.341249e-05,3.447071e-05,3.456091e-05,3.566373e-05,3.592163e-05,3.672105e-05,3.729340e-05,3.773324e-05,3.858715e-05,3.870095e-05,3.962503e-05,3.980469e-05,4.050648e-05,4.094836e-05,4.134645e-05,4.202086e-05,4.214617e-05,4.290695e-05,4.302515e-05,4.363015e-05,4.396434e-05,4.431714e-05,4.484160e-05,4.496932e-05,4.558808e-05,4.566015e-05,4.617480e-05,4.642316e-05,4.673083e-05,4.713370e-05,4.725750e-05,4.775608e-05,4.779479e-05,4.822783e-05,4.840929e-05,4.867395e-05,4.897994e-05,4.909561e-05,4.949392e-05,4.950938e-05,4.986996e-05,5.000008e-05,5.022475e-05,5.045438e-05,5.055928e-05,5.087448e-05,5.117127e-05,5.126249e-05,5.145048e-05,5.162034e-05,5.171294e-05,5.194987e-05,5.195943e-05,5.219069e-05,5.225281e-05,5.240742e-05,5.253077e-05,5.261030e-05,5.278526e-05,5.279996e-05,5.297702e-05,5.301771e-05,5.314206e-05,5.322943e-05,5.329561e-05,5.342167e-05,5.343822e-05,5.357038e-05,5.359560e-05,5.369256e-05,5.375231e-05,5.380522e-05,5.389281e-05,5.390879e-05,5.400367e-05,5.401808e-05,5.409026e-05,5.412899e-05,5.416893e-05,5.422640e-05,5.424004e-05,5.430391e-05,5.431110e-05,5.436087e-05,5.438382e-05,5.441123e-05,5.444527e-05,5.445528e-05,5.449329e-05,5.449608e-05,5.452554e-05,5.453689e-05,5.455228e-05,5.456825e-05,5.457374e-05,5.459017e-05,5.459072e-05,5.460177e-05,5.460481e-05,5.460877e-05,5.461099e-05,5.461135e-05,5.460972e-05,5.460142e-05,5.458650e-05,5.456533e-05,5.453827e-05,5.450566e-05,5.446783e-05,5.442506e-05,5.437764e-05,5.432586e-05,5.426995e-05,5.421016e-05,5.414672e-05,5.407984e-05,5.400974e-05,5.393660e-05,5.386062e-05,5.378197e-05,5.370081e-05,5.361731e-05,5.353161e-05,5.344385e-05,5.335419e-05,5.326273e-05,5.316962e-05
0.000000e+00,1.008998e-10,3.564430e-10,1.992010e-09,5.756401e-09,9.229109e-09,2.524359e-08,2.617559e-08,5.884312e-08,7.191713e-08,1.158862e-07,1.661957e-07,2.076761e-07,3.284818e-07,3.406220e-07,5.121486e-07,5.582568e-07,7.151047e-07,8.401692e-07,9.435332e-07,1.162589e-06,1.193661e-06,1.463013e-06,1.519016e-06,1.749663e-06,1.904968e-06,2.051839e-06,2.316368e-06,2.367765e-06,2.695626e-06,2.749069e-06,3.033582e-06,3.198849e-06,3.379809e-06,3.661556e-06,3.732542e-06,4.090112e-06,4.133271e-06,4.450975e-06,4.610431e-06,4.813728e-06,5.089904e-06,5.177112e-06,5.540012e-06,5.568993e-06,5.901458e-06,6.045438e-06,6.260614e-06,6.517380e-06,6.616761e-06,6.969291e-06,6.983309e-06,7.317691e-06,7.442019e-06,7.661533e-06,7.892559e-06,8.000463e-06,8.334188e-06,8.662468e-06,8.766336e-06,8.985113e-06,9.188575e-06,9.301967e-06,9.600590e-06,9.612913e-06,9.917860e-06,1.000216e-05,1.021674e-05,1.039314e-05,1.050951e-05,1.077344e-05,1.079615e-05,1.107663e-05,1.114303e-05,1.135097e-05,1.150191e-05,1.161917e-05,1.185012e-05,1.188125e-05,1.213726e-05,1.218773e-05,1.238722e-05,1.251482e-05,1.263118e-05,1.283151e-05,1.286920e-05,1.310132e-05,1.313792e-05,1.332762e-05,1.343419e-05,1.354815e-05,1.372048e-05,1.376299e-05,1.397221e-05,1.399694e-05,1.417587e-05,1.426375e-05,1.437406e-05,1.452108e-05,1.456686e-05,1.475434e-05,1.476911e-05,1.493658e-05,1.500803e-05,1.511367e-05,1.523803e-05,1.528569e-05,1.545273e-05,1.545931e-05,1.561486e-05,1.567205e-05,1.577218e-05,1.587645e-05,1.592477e-05,1.607271e-05,1.621609e-05,1.626102e-05,1.635500e-05,1.644159e-05,1.648951e-05,1.661460e-05,1.661972e-05,1.674571e-05,1.678024e-05,1.686756e-05,1.693872e-05,1.698535e-05,1.709022e-05,1.709918e-05,1.720911e-05,1.723492e-05,1.731523e-05,1.737303e-05,1.741763e-05,1.750472e-05,1.751637e-05,1.761155e-05,1.763017e-05,1.770324e-05,1.774956e-05,1.779150e-05,1.786307e-05,1.787643e-05,1.795810e-05,1.797087e-05,1.803658e-05,1.807313e-05,1.811194e-05,1.817003e-05,1.818425e-05,1.825359e-05,1.826172e-05,1.832003e-05,1.834836e-05,1.838364e-05,1.843012e-05,1.844447e-05,1.850261e-05,1.850715e-05,1.855811e-05,1.857959e-05,1.861105e-05,1.864760e-05,1.866147e-05,1.870946e-05,1.871133e-05,1.875506e-05,1.877091e-05,1.879834e-05,1.882648e-05,1.883936e-05,1.887818e-05,1.892614e-05,1.897049e-05,1.901135e-05,1.904885e-05,1.908311e-05,1.911424e-05,1.914236e-05,1.916757e-05,1.918999e-05,1.920971e-05,1.922685e-05,1.924150e-05,1.925375e-05,1.926370e-05,1.927145e-05,1.927707e-05,1.928066e-05,1.928229e-05,1.928205e-05,1.928002e-05,1.927628e-05,1.927089e-05,1.926393e-05,1.925547e-05
0.000000e+00,2.074803e-12,1.219653e-11,1.568033e-10,7.947989e-10,1.633465e-09,7.305831e-09,7.698922e-09,2.380952e-08,3.104848e-08,5.696981e-08,8.830834e-08,1.150697e-07,1.977686e-07,2.065165e-07,3.401054e-07,3.794406e-07,5.248644e-07,6.539700e-07,7.694967e-07,1.039999e-06,1.081086e-06,1.463213e-06,1.548070e-06,1.914411e-06,2.174295e-06,2.428015e-06,2.900057e-06,2.993529e-06,3.598675e-06,3.698346e-06,4.231210e-06,4.541235e-06,4.880023e-06,5.404327e-06,5.535572e-06,6.189898e-06,6.268010e-06,6.836447e-06,7.117043e-06,7.469847e-06,7.939709e-06,8.085716e-06,8.680515e-06,8.727100e-06,9.251441e-06,9.472626e-06,9.796347e-06,1.017167e-05,1.031368e-05,1.080239e-05,1.082134e-05,1.126194e-05,1.142019e-05,1.169216e-05,1.196804e-05,1.209323e-05,1.246565e-05,1.281011e-05,1.291458e-05,1.312753e-05,1.331696e-05,1.341894e-05,1.367528e-05,1.368548e-05,1.392836e-05,1.399229e-05,1.414881e-05,1.427084e-05,1.434809e-05,1.451381e-05,1.452746e-05,1.468813e-05,1.472405e-05,1.483131e-05,1.490427e-05,1.495813e-05,1.505710e-05,1.506972e-05,1.516712e-05,1.518498e-05,1.525133e-05,1.529022e-05,1.532329e-05,1.537492e-05,1.538389e-05,1.543398e-05,1.544107e-05,1.547433e-05,1.549046e-05,1.550568e-05,1.552473e-05,1.552871e-05,1.554406e-05,1.554541e-05,1.555232e-05,1.555386e-05,1.555406e-05,1.555132e-05,1.554977e-05,1.553996e-05,1.553895e-05,1.552505e-05,1.551776e-05,1.550547e-05,1.548869e-05,1.548159e-05,1.545378e-05,1.545259e-05,1.542236e-05,1.541022e-05,1.538764e-05,1.536229e-05,1.534990e-05,1.530942e-05,1.526643e-05,1.525219e-05,1.522117e-05,1.519111e-05,1.517384e-05,1.512665e-05,1.512465e-05,1.507376e-05,1.505924e-05,1.502136e-05,1.498926e-05,1.496760e-05,1.491706e-05,1.491262e-05,1.485656e-05,1.484296e-05,1.479955e-05,1.476725e-05,1.474170e-05,1.469018e-05,1.468311e-05,1.462390e-05,1.461199e-05,1.456416e-05,1.453291e-05,1.450396e-05,1.445311e-05,1.444340e-05,1.438254e-05,1.437278e-05,1.432145e-05,1.429207e-05,1.426021e-05,1.421114e-05,1.419886e-05,1.413747e-05,1.413011e-05,1.407609e-05,1.404910e-05,1.401476e-05,1.396821e-05,1.395353e-05,1.389244e-05,1.388756e-05,1.383152e-05,1.380721e-05,1.377082e-05,1.372726e-05,1.371035e-05,1.365017e-05,1.364776e-05,1.359028e-05,1.356880e-05,1.353072e-05,1.349041e-05,1.347150e-05,1.341266e-05,1.333559e-05,1.325924e-05,1.318365e-05,1.310885e-05,1.303487e-05,1.296172e-05,1.288945e-05,1.281805e-05,1.274755e-05,1.267796e-05,1.260930e-05,1.254157e-05,1.247477e-05,1.240892e-05,1.234401e-05,1.228006e-05,1.221705e-05,1.215499e-05,1.209388e-05,1.203371e-05,1.197449e-05,1.191620e-05,1.185885e-05,1.180242e-05
0.000000e+00,2.336008e-11,5.491474e-11,1.939050e-10,4.462833e-10,6.538744e-10,1.495951e-09,1.541446e-09,3.002711e-09,3.536552e-09,5.202017e-09,6.949832e-09,8.315616e-09,1.210731e-08,1.248064e-08,1.772299e-08,1.913408e-08,2.396671e-08,2.786194e-08,3.110942e-08,3.806907e-08,3.906409e-08,4.776109e-08,4.958414e-08,5.713928e-08,6.226531e-08,6.713862e-08,7.597199e-08,7.769591e-08,8.874310e-08,9.055130e-08,1.002071e-07,1.058354e-07,1.120108e-07,1.216445e-07,1.240740e-07,1.363157e-07,1.377929e-07,1.486554e-07,1.540957e-07,1.610150e-07,1.703756e-07,1.733200e-07,1.855011e-07,1.864682e-07,1.974944e-07,2.022261e-07,2.092428e-07,2.175216e-07,2.206962e-07,2.318115e-07,2.322486e-07,2.425526e-07,2.463219e-07,2.528900e-07,2.596771e-07,2.628011e-07,2.722686e-07,2.812812e-07,2.840680e-07,2.898322e-07,2.950613e-07,2.979191e-07,3.052472e-07,3.055434e-07,3.127095e-07,3.146349e-07,3.194248e-07,3.232414e-07,3.256987e-07,3.310905e-07,3.315425e-07,3.369688e-07,3.382106e-07,3.419916e-07,3.446334e-07,3.466252e-07,3.503930e-07,3.508850e-07,3.547863e-07,3.555250e-07,3.583449e-07,3.600650e-07,3.615762e-07,3.640488e-07,3.644956e-07,3.671184e-07,3.675115e-07,3.694594e-07,3.704872e-07,3.715330e-07,3.730090e-07,3.733535e-07,3.749342e-07,3.751084e-07,3.762884e-07,3.768158e-07,3.774287e-07,3.781596e-07,3.783671e-07,3.791151e-07,3.791671e-07,3.796840e-07,3.798637e-07,3.800842e-07,3.802736e-07,3.803258e-07,3.804184e-07,3.804191e-07,3.803710e-07,3.803214e-07,3.801925e-07,3.800003e-07,3.798909e-07,3.794741e-07,3.789495e-07,3.787600e-07,3.783242e-07,3.778741e-07,3.776047e-07,3.768313e-07,3.767974e-07,3.759082e-07,3.756453e-07,3.749428e-07,3.743292e-07,3.739065e-07,3.728949e-07,3.728044e-07,3.716412e-07,3.713534e-07,3.704214e-07,3.697152e-07,3.691493e-07,3.679898e-07,3.678289e-07,3.664640e-07,3.661860e-07,3.650582e-07,3.643122e-07,3.636149e-07,3.623759e-07,3.621373e-07,3.606283e-07,3.603842e-07,3.590909e-07,3.583436e-07,3.575277e-07,3.562602e-07,3.559412e-07,3.543338e-07,3.541396e-07,3.527078e-07,3.519870e-07,3.510653e-07,3.498071e-07,3.494082e-07,3.477385e-07,3.476044e-07,3.460578e-07,3.453829e-07,3.443680e-07,3.431464e-07,3.426704e-07,3.409667e-07,3.408984e-07,3.392581e-07,3.386421e-07,3.375460e-07,3.363804e-07,3.358316e-07,3.341160e-07,3.318514e-07,3.295890e-07,3.273307e-07,3.250786e-07,3.228344e-07,3.205997e-07,3.183759e-07,3.161644e-07,3.139665e-07,3.117832e-07,3.096156e-07,3.074644e-07,3.053307e-07,3.032150e-07,3.011180e-07,2.990404e-07,2.969825e-07,2.949450e-07,2.929281e-07,2.909323e-07,2.889578e-07,2.870048e-07,2.850735e-07,2.831642e-07
0.000000e+00,9.778106e-13,6.649063e-12,1.152454e-10,7.637647e-10,1.815224e-09,1.173982e-08,1.255579e-08,5.538585e-08,7.938716e-08,1.840126e-07,3.431116e-07,5.032382e-07,1.119543e-06,1.194527e-06,2.546042e-06,3.012743e-06,4.984987e-06,7.040383e-06,9.107633e-06,1.474883e-05,1.570140e-05,2.575506e-05,2.828209e-05,4.045587e-05,5.038532e-05,6.117492e-05,8.434541e-05,8.944254e-05,1.269164e-04,1.338824e-04,1.753441e-04,2.030072e-04,2.365232e-04,2.958618e-04,3.122595e-04,4.043253e-04,4.165522e-04,5.144195e-04,5.689865e-04,6.441305e-04,7.567247e-04,7.949015e-04,9.680012e-04,9.828472e-04,1.164498e-03,1.249847e-03,1.385243e-03,1.559547e-03,1.630849e-03,1.901688e-03,1.913049e-03,2.197884e-03,2.310706e-03,2.519313e-03,2.752121e-03,2.865609e-03,3.236175e-03,3.630195e-03,3.761074e-03,4.046649e-03,4.324404e-03,4.484333e-03,4.923215e-03,4.941880e-03,5.417779e-03,5.554101e-03,5.910403e-03,6.213289e-03,6.418023e-03,6.896732e-03,6.938840e-03,7.471000e-03,7.600198e-03,8.012621e-03,8.319354e-03,8.561807e-03,9.049849e-03,9.116670e-03,9.675348e-03,9.787380e-03,1.023602e-02,1.052776e-02,1.079691e-02,1.126698e-02,1.135631e-02,1.191261e-02,1.200122e-02,1.246425e-02,1.272695e-02,1.300978e-02,1.344089e-02,1.354784e-02,1.407718e-02,1.414006e-02,1.459663e-02,1.482179e-02,1.510515e-02,1.548373e-02,1.560179e-02,1.608570e-02,1.612384e-02,1.655614e-02,1.674039e-02,1.701246e-02,1.733195e-02,1.745410e-02,1.788062e-02,1.789736e-02,1.829163e-02,1.843574e-02,1.868685e-02,1.894647e-02,1.906606e-02,1.942914e-02,1.977600e-02,1.988357e-02,2.010664e-02,2.030976e-02,2.042112e-02,2.070791e-02,2.071954e-02,2.100205e-02,2.107833e-02,2.126886e-02,2.142150e-02,2.152020e-02,2.173800e-02,2.175633e-02,2.197758e-02,2.202849e-02,2.218425e-02,2.229376e-02,2.237671e-02,2.253461e-02,2.255533e-02,2.272049e-02,2.275194e-02,2.287259e-02,2.294666e-02,2.301204e-02,2.311972e-02,2.313927e-02,2.325469e-02,2.327209e-02,2.335874e-02,2.340476e-02,2.345183e-02,2.351870e-02,2.353439e-02,2.360685e-02,2.361489e-02,2.366963e-02,2.369429e-02,2.372314e-02,2.375786e-02,2.376779e-02,2.380398e-02,2.380652e-02,2.383210e-02,2.384118e-02,2.385255e-02,2.386272e-02,2.386569e-02,2.387188e-02,2.387199e-02,2.387149e-02,2.386981e-02,2.386487e-02,2.385696e-02,2.385233e-02,2.383421e-02,2.380226e-02,2.376182e-02,2.371353e-02,2.365802e-02,2.359588e-02,2.352766e-02,2.345389e-02,2.337507e-02,2.329167e-02,2.320412e-02,2.311284e-02,2.301821e-02,2.292060e-02,2.282035e-02,2.271777e-02,2.261315e-02,2.250678e-02,2.239891e-02,2.228978e-02,2.217960e-02,2.206859e-02,2.195694e-02,2.184482e-02,2.173239e-02
0.000000e+00,4.319253e-11,1.907847e-10,1.464410e-09,5.034401e-09,8.607355e-09,2.593777e-08,2.695630e-08,6.207595e-08,7.569682e-08,1.197981e-07,1.679065e-07,2.064810e-07,3.174068e-07,3.286157e-07,4.909299e-07,5.360166e-07,6.938455e-07,8.238929e-07,9.335666e-07,1.170741e-06,1.204780e-06,1.502613e-06,1.565003e-06,1.822961e-06,1.997217e-06,2.162168e-06,2.459125e-06,2.516749e-06,2.883248e-06,2.942763e-06,3.258230e-06,3.440241e-06,3.638328e-06,3.943916e-06,4.020317e-06,4.401178e-06,4.446672e-06,4.778166e-06,4.942174e-06,5.148844e-06,5.425035e-06,5.511112e-06,5.863206e-06,5.890889e-06,6.203694e-06,6.336378e-06,6.531454e-06,6.759080e-06,6.845650e-06,7.145700e-06,7.157402e-06,7.431247e-06,7.530455e-06,7.702121e-06,7.877924e-06,7.958314e-06,8.199951e-06,8.427262e-06,8.497026e-06,8.640564e-06,8.769900e-06,8.840239e-06,9.019503e-06,9.026715e-06,9.200458e-06,9.246890e-06,9.361956e-06,9.453187e-06,9.511713e-06,9.639556e-06,9.650237e-06,9.778038e-06,9.807171e-06,9.895621e-06,9.957190e-06,1.000348e-05,1.009074e-05,1.010211e-05,1.019197e-05,1.020893e-05,1.027353e-05,1.031280e-05,1.034722e-05,1.040336e-05,1.041347e-05,1.047270e-05,1.048155e-05,1.052529e-05,1.054828e-05,1.057161e-05,1.060440e-05,1.061203e-05,1.064689e-05,1.065071e-05,1.067651e-05,1.068796e-05,1.070120e-05,1.071686e-05,1.072126e-05,1.073697e-05,1.073805e-05,1.074860e-05,1.075216e-05,1.075639e-05,1.075976e-05,1.076058e-05,1.076142e-05,1.076138e-05,1.075910e-05,1.075754e-05,1.075384e-05,1.074868e-05,1.074583e-05,1.073525e-05,1.072227e-05,1.071764e-05,1.070707e-05,1.069624e-05,1.068979e-05,1.067139e-05,1.067058e-05,1.064959e-05,1.064340e-05,1.062693e-05,1.061260e-05,1.060275e-05,1.057924e-05,1.057714e-05,1.055023e-05,1.054359e-05,1.052212e-05,1.050589e-05,1.049291e-05,1.046636e-05,1.046268e-05,1.043153e-05,1.042520e-05,1.039955e-05,1.038261e-05,1.036680e-05,1.033876e-05,1.033336e-05,1.029931e-05,1.029381e-05,1.026470e-05,1.024791e-05,1.022960e-05,1.020121e-05,1.019407e-05,1.015815e-05,1.015382e-05,1.012191e-05,1.010587e-05,1.008538e-05,1.005746e-05,1.004862e-05,1.001167e-05,1.000871e-05,9.974563e-06,9.959686e-06,9.937340e-06,9.910488e-06,9.900037e-06,9.862685e-06,9.861191e-06,9.825316e-06,9.811865e-06,9.787958e-06,9.762576e-06,9.750639e-06,9.713383e-06,9.664342e-06,9.615503e-06,9.566911e-06,9.518606e-06,9.470628e-06,9.423010e-06,9.375782e-06,9.328972e-06,9.282605e-06,9.236704e-06,9.191287e-06,9.146374e-06,9.101978e-06,9.058114e-06,9.014793e-06,8.972025e-06,8.929820e-06,8.888183e-06,8.847121e-06,8.806639e-06,8.766740e-06,8.727427e-06,8.688701e-06,8.650562e-06
0.000000e+00,2.399623e-13,1.612907e-12,2.727774e-11,1.766243e-10,4.142911e-10,2.585823e-09,2.761407e-09,1.172647e-08,1.662640e-08,3.745721e-08,6.816456e-08,9.833585e-08,2.103854e-07,2.237008e-07,4.562658e-07,5.341339e-07,8.540288e-07,1.176016e-06,1.491515e-06,2.323057e-06,2.460214e-06,3.868034e-06,4.212854e-06,5.837588e-06,7.127979e-06,8.503165e-06,1.138371e-05,1.200647e-05,1.649141e-05,1.730957e-05,2.209832e-05,2.522715e-05,2.895827e-05,3.542726e-05,3.718767e-05,4.688368e-05,4.814954e-05,5.812048e-05,6.356629e-05,7.094670e-05,8.177190e-05,8.538388e-05,1.014259e-04,1.027778e-04,1.190397e-04,1.265128e-04,1.381660e-04,1.528278e-04,1.587219e-04,1.806033e-04,1.815044e-04,2.036874e-04,2.122660e-04,2.278366e-04,2.447905e-04,2.529014e-04,2.787239e-04,3.051414e-04,3.136937e-04,3.319889e-04,3.493213e-04,3.591027e-04,3.852337e-04,3.863225e-04,4.134940e-04,4.210732e-04,4.404706e-04,4.565056e-04,4.671153e-04,4.912262e-04,4.933015e-04,5.189142e-04,5.249643e-04,5.438508e-04,5.574857e-04,5.680209e-04,5.885944e-04,5.913467e-04,6.137628e-04,6.181319e-04,6.352158e-04,6.459763e-04,6.556636e-04,6.720401e-04,6.750753e-04,6.934300e-04,6.962677e-04,7.107161e-04,7.186326e-04,7.269305e-04,7.391333e-04,7.420779e-04,7.561696e-04,7.577904e-04,7.692228e-04,7.746428e-04,7.812600e-04,7.897451e-04,7.923079e-04,8.023971e-04,8.031638e-04,8.115607e-04,8.149749e-04,8.198344e-04,8.252613e-04,8.272555e-04,8.338625e-04,8.341104e-04,8.396945e-04,8.416120e-04,8.447912e-04,8.478571e-04,8.491920e-04,8.529361e-04,8.560619e-04,8.569377e-04,8.586071e-04,8.599483e-04,8.606083e-04,8.620508e-04,8.621012e-04,8.631198e-04,8.633245e-04,8.636971e-04,8.638448e-04,8.638645e-04,8.636824e-04,8.636521e-04,8.630883e-04,8.629037e-04,8.622001e-04,8.615707e-04,8.610132e-04,8.597406e-04,8.595515e-04,8.578379e-04,8.574668e-04,8.558936e-04,8.547982e-04,8.537388e-04,8.517799e-04,8.513923e-04,8.488716e-04,8.484532e-04,8.461931e-04,8.448559e-04,8.433721e-04,8.410223e-04,8.404228e-04,8.373586e-04,8.369837e-04,8.341916e-04,8.327686e-04,8.309333e-04,8.284025e-04,8.275944e-04,8.241845e-04,8.239089e-04,8.207129e-04,8.193089e-04,8.171879e-04,8.146213e-04,8.136174e-04,8.100085e-04,8.098634e-04,8.063678e-04,8.050506e-04,8.027015e-04,8.001967e-04,7.990153e-04,7.953142e-04,7.904143e-04,7.855069e-04,7.806010e-04,7.757047e-04,7.708250e-04,7.659682e-04,7.611402e-04,7.563458e-04,7.515897e-04,7.468757e-04,7.422072e-04,7.375873e-04,7.330187e-04,7.285037e-04,7.240441e-04,7.196418e-04,7.152981e-04,7.110141e-04,7.067911e-04,7.026296e-04,6.985304e-04,6.944939e-04,6.905204e-04,6.866101e-04
0.000000e+00,5.681684e-11,1.382091e-10,5.061273e-10,1.185531e-09,1.748845e-09,4.052186e-09,4.177154e-09,8.206300e-09,9.683307e-09,1.430256e-08,1.916867e-08,2.298883e-08,3.372010e-08,3.478914e-08,5.006513e-08,5.425679e-08,6.880566e-08,8.067173e-08,9.060158e-08,1.118412e-07,1.148635e-07,1.410333e-07,1.464542e-07,1.686538e-07,1.834647e-07,1.973560e-07,2.220735e-07,2.268295e-07,2.568012e-07,2.616261e-07,2.870242e-07,3.015534e-07,3.172726e-07,3.413508e-07,3.473408e-07,3.770441e-07,3.805760e-07,4.062194e-07,4.188522e-07,4.347261e-07,4.558704e-07,4.624459e-07,4.892817e-07,4.913880e-07,5.151572e-07,5.252249e-07,5.400144e-07,5.572576e-07,5.638125e-07,5.865252e-07,5.874109e-07,6.081392e-07,6.156505e-07,6.286522e-07,6.419753e-07,6.480710e-07,6.664097e-07,6.836888e-07,6.889983e-07,6.999332e-07,7.097998e-07,7.151717e-07,7.288834e-07,7.294357e-07,7.427586e-07,7.463251e-07,7.551752e-07,7.622048e-07,7.667207e-07,7.766040e-07,7.774309e-07,7.873414e-07,7.896049e-07,7.964877e-07,8.012888e-07,8.049047e-07,8.117356e-07,8.126266e-07,8.196867e-07,8.210222e-07,8.261173e-07,8.292230e-07,8.319500e-07,8.364094e-07,8.372149e-07,8.419414e-07,8.426496e-07,8.461577e-07,8.480082e-07,8.498907e-07,8.525468e-07,8.531666e-07,8.560101e-07,8.563234e-07,8.584451e-07,8.593931e-07,8.604946e-07,8.618077e-07,8.621801e-07,8.635227e-07,8.636159e-07,8.645420e-07,8.648635e-07,8.652571e-07,8.655937e-07,8.656859e-07,8.658457e-07,8.658467e-07,8.657529e-07,8.656607e-07,8.654230e-07,8.650709e-07,8.648710e-07,8.641109e-07,8.631560e-07,8.628115e-07,8.620193e-07,8.612018e-07,8.607126e-07,8.593092e-07,8.592477e-07,8.576353e-07,8.571588e-07,8.558858e-07,8.547744e-07,8.540090e-07,8.521780e-07,8.520143e-07,8.499105e-07,8.493903e-07,8.477059e-07,8.464303e-07,8.454085e-07,8.433159e-07,8.430257e-07,8.405648e-07,8.400638e-07,8.380323e-07,8.366892e-07,8.354346e-07,8.332066e-07,8.327778e-07,8.300675e-07,8.296293e-07,8.273091e-07,8.259695e-07,8.245077e-07,8.222388e-07,8.216681e-07,8.187947e-07,8.184478e-07,8.158918e-07,8.146063e-07,8.129635e-07,8.107233e-07,8.100135e-07,8.070454e-07,8.068073e-07,8.040626e-07,8.028661e-07,8.010682e-07,7.989067e-07,7.980651e-07,7.950563e-07,7.949358e-07,7.920442e-07,7.909595e-07,7.890313e-07,7.869833e-07,7.860200e-07,7.830124e-07,7.790515e-07,7.751048e-07,7.711764e-07,7.672697e-07,7.633881e-07,7.595346e-07,7.557117e-07,7.519221e-07,7.481678e-07,7.444509e-07,7.407731e-07,7.371359e-07,7.335407e-07,7.299888e-07,7.264813e-07,7.230189e-07,7.196026e-07,7.162330e-07,7.129106e-07,7.096359e-07,7.064092e-07,7.032308e-07,7.001009e-07,6.970195e-07
0.000000e+00,2.742830e-11,6.726259e-11,2.479341e-10,5.812551e-10,8.568798e-10,1.976804e-09,2.037261e-09,3.971938e-09,4.674862e-09,6.855217e-09,9.127735e-09,1.089792e-08,1.582452e-08,1.631258e-08,2.325832e-08,2.515929e-08,3.175677e-08,3.714558e-08,4.166430e-08,5.136275e-08,5.274659e-08,6.476858e-08,6.726752e-08,7.753074e-08,8.440356e-08,9.086742e-08,1.024091e-07,1.046355e-07,1.187054e-07,1.209764e-07,1.329560e-07,1.398269e-07,1.472735e-07,1.587034e-07,1.615508e-07,1.756889e-07,1.773717e-07,1.895981e-07,1.956248e-07,2.031990e-07,2.132869e-07,2.164230e-07,2.292127e-07,2.302157e-07,2.415220e-07,2.463029e-07,2.533151e-07,2.614715e-07,2.645660e-07,2.752577e-07,2.756736e-07,2.853813e-07,2.888861e-07,2.949345e-07,3.011067e-07,3.039213e-07,3.123501e-07,3.202337e-07,3.226438e-07,3.275877e-07,3.320246e-07,3.344302e-07,3.405362e-07,3.407810e-07,3.466612e-07,3.482262e-07,3.520924e-07,3.551448e-07,3.570967e-07,3.613428e-07,3.616964e-07,3.659133e-07,3.668708e-07,3.697688e-07,3.717778e-07,3.732837e-07,3.761111e-07,3.764782e-07,3.793715e-07,3.799156e-07,3.819822e-07,3.832339e-07,3.843279e-07,3.861059e-07,3.864255e-07,3.882908e-07,3.885687e-07,3.899389e-07,3.906570e-07,3.913839e-07,3.924028e-07,3.926393e-07,3.937177e-07,3.938358e-07,3.946309e-07,3.949833e-07,3.953901e-07,3.958705e-07,3.960056e-07,3.964874e-07,3.965205e-07,3.968446e-07,3.969546e-07,3.970859e-07,3.971923e-07,3.972192e-07,3.972522e-07,3.972515e-07,3.971919e-07,3.971486e-07,3.970449e-07,3.968987e-07,3.968176e-07,3.965156e-07,3.961444e-07,3.960119e-07,3.957092e-07,3.953992e-07,3.952146e-07,3.946881e-07,3.946651e-07,3.940649e-07,3.938883e-07,3.934180e-07,3.930089e-07,3.927279e-07,3.920580e-07,3.919982e-07,3.912320e-07,3.910430e-07,3.904323e-07,3.899709e-07,3.896019e-07,3.888480e-07,3.887436e-07,3.878597e-07,3.876801e-07,3.869526e-07,3.864725e-07,3.860245e-07,3.852301e-07,3.850773e-07,3.841131e-07,3.839573e-07,3.831335e-07,3.826584e-07,3.821404e-07,3.813371e-07,3.811351e-07,3.801193e-07,3.799968e-07,3.790943e-07,3.786407e-07,3.780613e-07,3.772717e-07,3.770216e-07,3.759764e-07,3.758926e-07,3.749267e-07,3.745057e-07,3.738734e-07,3.731134e-07,3.728176e-07,3.717601e-07,3.717177e-07,3.707017e-07,3.703206e-07,3.696431e-07,3.689236e-07,3.685852e-07,3.675285e-07,3.661367e-07,3.647496e-07,3.633683e-07,3.619939e-07,3.606275e-07,3.592700e-07,3.579223e-07,3.565850e-07,3.552589e-07,3.539446e-07,3.526427e-07,3.513536e-07,3.500779e-07,3.488158e-07,3.475678e-07,3.463342e-07,3.451152e-07,3.439111e-07,3.427221e-07,3.415484e-07,3.403901e-07,3.392472e-07,3.381200e-07,3.370085e-07
0.000000e+00,2.402042e-11,5.927566e-11,2.204685e-10,5.198065e-10,7.680560e-10,1.777474e-09,1.831900e-09,3.565678e-09,4.191060e-09,6.113895e-09,8.091087e-09,9.613695e-09,1.378586e-08,1.419508e-08,1.997669e-08,2.155414e-08,2.705261e-08,3.160061e-08,3.547013e-08,4.397778e-08,4.521558e-08,5.622600e-08,5.857243e-08,6.841467e-08,7.518734e-08,8.168765e-08,9.360439e-08,9.594844e-08,1.110974e-07,1.135968e-07,1.270311e-07,1.349265e-07,1.436418e-07,1.573436e-07,1.608191e-07,1.784512e-07,1.805924e-07,1.964271e-07,2.044173e-07,2.146381e-07,2.285714e-07,2.329801e-07,2.513546e-07,2.528232e-07,2.696703e-07,2.769612e-07,2.878438e-07,3.007980e-07,3.057997e-07,3.234717e-07,3.241718e-07,3.408016e-07,3.469468e-07,3.577398e-07,3.690123e-07,3.742444e-07,3.902809e-07,4.058219e-07,4.106867e-07,4.208460e-07,4.301825e-07,4.353372e-07,4.487375e-07,4.492849e-07,4.626825e-07,4.663348e-07,4.755274e-07,4.829691e-07,4.878202e-07,4.986447e-07,4.995642e-07,5.107652e-07,5.133735e-07,5.214310e-07,5.271734e-07,5.315709e-07,5.400674e-07,5.411956e-07,5.503168e-07,5.520818e-07,5.589472e-07,5.632454e-07,5.671000e-07,5.735892e-07,5.747888e-07,5.820277e-07,5.831451e-07,5.888308e-07,5.919458e-07,5.952125e-07,6.000241e-07,6.011871e-07,6.067688e-07,6.074129e-07,6.119718e-07,6.141447e-07,6.168099e-07,6.202514e-07,6.212970e-07,6.254464e-07,6.257642e-07,6.292714e-07,6.307135e-07,6.327849e-07,6.351288e-07,6.359995e-07,6.389275e-07,6.390388e-07,6.415807e-07,6.424709e-07,6.439709e-07,6.454517e-07,6.461093e-07,6.480068e-07,6.496740e-07,6.501606e-07,6.511213e-07,6.519366e-07,6.523584e-07,6.533573e-07,6.533951e-07,6.542405e-07,6.544442e-07,6.549037e-07,6.552177e-07,6.553932e-07,6.556974e-07,6.557174e-07,6.558844e-07,6.559020e-07,6.559019e-07,6.558491e-07,6.557773e-07,6.555558e-07,6.555178e-07,6.551304e-07,6.550381e-07,6.546216e-07,6.543113e-07,6.539980e-07,6.533898e-07,6.532656e-07,6.524303e-07,6.522875e-07,6.514978e-07,6.510173e-07,6.504736e-07,6.495917e-07,6.493629e-07,6.481708e-07,6.480224e-07,6.469019e-07,6.463206e-07,6.455611e-07,6.444966e-07,6.441526e-07,6.426807e-07,6.425604e-07,6.411496e-07,6.405214e-07,6.395631e-07,6.383886e-07,6.379249e-07,6.362386e-07,6.361702e-07,6.345077e-07,6.338742e-07,6.327353e-07,6.315081e-07,6.309247e-07,6.290787e-07,6.265929e-07,6.240568e-07,6.214762e-07,6.188567e-07,6.162035e-07,6.135214e-07,6.108150e-07,6.080885e-07,6.053460e-07,6.025912e-07,5.998276e-07,5.970585e-07,5.942869e-07,5.915157e-07,5.887476e-07,5.859850e-07,5.832302e-07,5.804853e-07,5.777524e-07,5.750332e-07,5.723294e-07,5.696426e-07,5.669742e-07,5.643255e-07
0.000000e+00,9.439260e-11,2.983073e-10,1.440127e-09,3.819004e-09,5.890039e-09,1.471204e-08,1.519994e-08,3.118907e-08,3.713680e-08,5.592140e-08,7.590241e-08,9.165155e-08,1.357392e-07,1.400936e-07,2.010271e-07,2.172684e-07,2.720374e-07,3.150535e-07,3.500869e-07,4.226232e-07,4.327168e-07,5.181505e-07,5.354504e-07,6.050460e-07,6.504385e-07,6.923061e-07,7.651910e-07,7.789852e-07,8.642582e-07,8.777224e-07,9.474155e-07,9.864012e-07,1.027865e-06,1.089955e-06,1.105136e-06,1.178874e-06,1.187473e-06,1.248835e-06,1.278381e-06,1.314875e-06,1.362404e-06,1.376935e-06,1.435028e-06,1.439505e-06,1.489225e-06,1.509838e-06,1.539641e-06,1.573680e-06,1.586422e-06,1.629735e-06,1.631398e-06,1.669763e-06,1.683406e-06,1.706696e-06,1.730139e-06,1.740724e-06,1.772037e-06,1.800817e-06,1.809521e-06,1.827242e-06,1.842995e-06,1.851479e-06,1.872835e-06,1.873686e-06,1.894012e-06,1.899386e-06,1.912597e-06,1.922966e-06,1.929569e-06,1.943861e-06,1.945047e-06,1.959142e-06,1.962330e-06,1.971956e-06,1.978608e-06,1.983583e-06,1.992902e-06,1.994110e-06,2.003616e-06,2.005401e-06,2.012175e-06,2.016275e-06,2.019855e-06,2.025673e-06,2.026719e-06,2.032822e-06,2.033732e-06,2.038219e-06,2.040573e-06,2.042958e-06,2.046306e-06,2.047085e-06,2.050640e-06,2.051030e-06,2.053662e-06,2.054832e-06,2.056187e-06,2.057794e-06,2.058248e-06,2.059875e-06,2.059987e-06,2.061096e-06,2.061477e-06,2.061939e-06,2.062324e-06,2.062426e-06,2.062582e-06,2.062582e-06,2.062428e-06,2.062300e-06,2.061982e-06,2.061522e-06,2.061264e-06,2.060291e-06,2.059079e-06,2.058643e-06,2.057643e-06,2.056613e-06,2.055998e-06,2.054233e-06,2.054156e-06,2.052130e-06,2.051532e-06,2.049932e-06,2.048536e-06,2.047574e-06,2.045270e-06,2.045064e-06,2.042414e-06,2.041758e-06,2.039632e-06,2.038020e-06,2.036727e-06,2.034076e-06,2.033707e-06,2.030581e-06,2.029944e-06,2.027355e-06,2.025641e-06,2.024037e-06,2.021182e-06,2.020632e-06,2.017148e-06,2.016583e-06,2.013589e-06,2.011857e-06,2.009963e-06,2.007016e-06,2.006273e-06,2.002526e-06,2.002072e-06,1.998725e-06,1.997037e-06,1.994876e-06,1.991920e-06,1.990982e-06,1.987047e-06,1.986731e-06,1.983077e-06,1.981479e-06,1.979073e-06,1.976173e-06,1.975041e-06,1.970982e-06,1.970819e-06,1.966901e-06,1.965427e-06,1.962800e-06,1.960001e-06,1.958682e-06,1.954550e-06,1.949078e-06,1.943591e-06,1.938095e-06,1.932594e-06,1.927093e-06,1.921597e-06,1.916109e-06,1.910633e-06,1.905172e-06,1.899730e-06,1.894310e-06,1.888914e-06,1.883545e-06,1.878206e-06,1.872899e-06,1.867626e-06,1.862388e-06,1.857188e-06,1.852028e-06,1.846908e-06,1.841830e-06,1.836796e-06,1.831807e-06,1.826863e-06
0.000000e+00,6.213358e-13,4.009740e-12,6.228961e-11,3.731100e-10,8.384244e-10,4.682966e-09,4.978392e-09,1.893569e-08,2.605864e-08,5.448319e-08,9.338418e-08,1.295996e-07,2.545720e-07,2.687461e-07,5.026928e-07,5.768950e-07,8.679611e-07,1.145062e-06,1.405657e-06,2.055977e-06,2.159239e-06,3.171004e-06,3.407725e-06,4.477803e-06,5.283505e-06,6.107074e-06,7.736498e-06,8.074192e-06,1.038152e-05,1.078176e-05,1.301902e-05,1.439654e-05,1.596589e-05,1.852671e-05,1.919289e-05,2.266459e-05,2.309579e-05,2.634159e-05,2.801386e-05,3.018245e-05,3.318525e-05,3.414520e-05,3.818862e-05,3.851438e-05,4.227315e-05,4.391006e-05,4.636164e-05,4.928845e-05,5.041984e-05,5.441677e-05,5.457498e-05,5.832495e-05,5.970546e-05,6.212048e-05,6.462660e-05,6.578307e-05,6.929595e-05,7.264571e-05,7.368144e-05,7.582217e-05,7.776069e-05,7.881807e-05,8.152001e-05,8.162885e-05,8.425234e-05,8.495330e-05,8.668846e-05,8.806084e-05,8.893894e-05,9.084821e-05,9.100705e-05,9.289734e-05,9.332514e-05,9.461535e-05,9.550453e-05,9.616745e-05,9.740158e-05,9.756061e-05,9.880221e-05,9.903302e-05,9.989991e-05,1.004164e-04,1.008615e-04,1.015698e-04,1.016948e-04,1.024076e-04,1.025110e-04,1.030075e-04,1.032576e-04,1.035020e-04,1.038266e-04,1.038983e-04,1.042033e-04,1.042341e-04,1.044236e-04,1.044954e-04,1.045656e-04,1.046249e-04,1.046353e-04,1.046385e-04,1.046360e-04,1.045804e-04,1.045412e-04,1.044662e-04,1.043518e-04,1.043005e-04,1.040880e-04,1.040786e-04,1.038327e-04,1.037311e-04,1.035386e-04,1.033182e-04,1.032092e-04,1.028481e-04,1.024583e-04,1.023279e-04,1.020427e-04,1.017645e-04,1.016042e-04,1.011639e-04,1.011452e-04,1.006680e-04,1.005315e-04,1.001749e-04,9.987223e-05,9.966785e-05,9.919063e-05,9.914870e-05,9.861915e-05,9.849069e-05,9.808080e-05,9.777603e-05,9.753511e-05,9.704989e-05,9.698341e-05,9.642694e-05,9.631518e-05,9.586685e-05,9.557451e-05,9.530416e-05,9.483021e-05,9.473985e-05,9.417478e-05,9.408435e-05,9.360976e-05,9.333878e-05,9.304552e-05,9.259515e-05,9.248274e-05,9.192201e-05,9.185489e-05,9.136391e-05,9.111930e-05,9.080892e-05,9.038950e-05,9.025751e-05,8.971009e-05,8.966648e-05,8.916702e-05,8.895110e-05,8.862866e-05,8.824411e-05,8.809528e-05,8.756717e-05,8.754616e-05,8.704455e-05,8.685779e-05,8.652764e-05,8.617949e-05,8.601661e-05,8.551164e-05,8.485457e-05,8.420854e-05,8.357377e-05,8.295042e-05,8.233860e-05,8.173839e-05,8.114985e-05,8.057297e-05,8.000775e-05,7.945414e-05,7.891208e-05,7.838149e-05,7.786227e-05,7.735430e-05,7.685747e-05,7.637162e-05,7.589663e-05,7.543231e-05,7.497853e-05,7.453509e-05,7.410184e-05,7.367859e-05,7.326517e-05,7.286139e-05
0.000000e+00,5.799168e-11,1.373619e-10,4.885442e-10,1.128185e-09,1.655528e-09,3.804933e-09,3.921520e-09,7.689759e-09,9.077098e-09,1.343871e-08,1.806846e-08,2.172486e-08,3.207304e-08,3.310854e-08,4.794775e-08,5.202244e-08,6.612195e-08,7.752844e-08,8.698265e-08,1.068680e-07,1.096572e-07,1.333701e-07,1.381833e-07,1.575470e-07,1.701630e-07,1.817834e-07,2.019728e-07,2.057884e-07,2.293434e-07,2.330585e-07,2.522784e-07,2.630264e-07,2.744593e-07,2.915897e-07,2.957811e-07,3.161641e-07,3.185440e-07,3.355509e-07,3.437551e-07,3.539039e-07,3.671479e-07,3.712031e-07,3.874432e-07,3.886968e-07,4.026315e-07,4.084160e-07,4.167855e-07,4.263500e-07,4.299308e-07,4.420992e-07,4.425661e-07,4.533265e-07,4.571454e-07,4.636520e-07,4.701795e-07,4.731174e-07,4.817646e-07,4.896357e-07,4.919975e-07,4.967732e-07,5.009754e-07,5.032186e-07,5.087924e-07,5.090121e-07,5.141929e-07,5.155389e-07,5.187987e-07,5.213015e-07,5.228660e-07,5.261621e-07,5.264294e-07,5.295216e-07,5.301971e-07,5.321737e-07,5.334777e-07,5.344151e-07,5.360698e-07,5.362735e-07,5.377754e-07,5.380352e-07,5.389455e-07,5.394307e-07,5.398072e-07,5.403087e-07,5.403823e-07,5.406916e-07,5.407177e-07,5.407543e-07,5.407023e-07,5.405888e-07,5.403035e-07,5.402120e-07,5.396400e-07,5.395589e-07,5.388877e-07,5.385033e-07,5.379693e-07,5.371683e-07,5.368979e-07,5.356859e-07,5.355832e-07,5.343447e-07,5.337745e-07,5.328852e-07,5.317668e-07,5.313175e-07,5.296511e-07,5.295825e-07,5.278947e-07,5.272419e-07,5.260566e-07,5.247640e-07,5.241446e-07,5.221658e-07,5.201270e-07,5.194629e-07,5.180344e-07,5.166697e-07,5.158940e-07,5.137992e-07,5.137111e-07,5.114909e-07,5.108633e-07,5.092382e-07,5.078728e-07,5.069573e-07,5.048376e-07,5.046524e-07,5.023273e-07,5.017667e-07,4.999856e-07,4.986683e-07,4.976306e-07,4.955497e-07,4.952655e-07,4.928930e-07,4.924178e-07,4.905158e-07,4.892787e-07,4.881365e-07,4.861379e-07,4.857573e-07,4.833803e-07,4.830003e-07,4.810075e-07,4.798707e-07,4.786408e-07,4.767529e-07,4.762818e-07,4.739320e-07,4.736508e-07,4.715930e-07,4.705675e-07,4.692659e-07,4.675062e-07,4.669521e-07,4.646526e-07,4.644693e-07,4.623684e-07,4.614592e-07,4.601005e-07,4.584782e-07,4.578497e-07,4.556168e-07,4.555279e-07,4.534025e-07,4.526100e-07,4.512074e-07,4.497260e-07,4.490321e-07,4.468771e-07,4.440644e-07,4.412887e-07,4.385510e-07,4.358517e-07,4.331915e-07,4.305707e-07,4.279898e-07,4.254488e-07,4.229480e-07,4.204875e-07,4.180672e-07,4.156871e-07,4.133471e-07,4.110471e-07,4.087868e-07,4.065659e-07,4.043843e-07,4.022415e-07,4.001373e-07,3.980713e-07,3.960431e-07,3.940522e-07,3.920983e-07,3.901808e-07
0.000000e+00,8.834109e-12,4.918593e-11,5.690245e-10,2.642129e-09,5.192783e-09,2.092354e-08,2.196314e-08,6.219780e-08,7.937818e-08,1.385289e-07,2.070091e-07,2.638225e-07,4.333173e-07,4.508492e-07,7.121397e-07,7.872283e-07,1.059292e-06,1.294699e-06,1.501213e-06,1.971920e-06,2.042048e-06,2.680564e-06,2.819571e-06,3.411451e-06,3.825581e-06,4.227244e-06,4.972097e-06,5.119692e-06,6.080326e-06,6.239784e-06,7.100573e-06,7.608913e-06,8.171716e-06,9.059315e-06,9.284878e-06,1.043109e-05,1.057043e-05,1.160141e-05,1.212173e-05,1.278710e-05,1.369331e-05,1.397975e-05,1.517145e-05,1.526652e-05,1.635491e-05,1.682449e-05,1.752354e-05,1.835246e-05,1.867149e-05,1.979368e-05,1.983797e-05,2.088582e-05,2.127092e-05,2.194433e-05,2.264343e-05,2.296636e-05,2.394968e-05,2.489267e-05,2.518571e-05,2.579421e-05,2.634913e-05,2.665365e-05,2.743887e-05,2.747074e-05,2.824557e-05,2.845499e-05,2.897850e-05,2.939839e-05,2.967015e-05,3.027068e-05,3.032130e-05,3.093293e-05,3.107396e-05,3.150611e-05,3.181072e-05,3.204200e-05,3.248372e-05,3.254184e-05,3.300690e-05,3.309586e-05,3.343851e-05,3.365017e-05,3.383799e-05,3.414968e-05,3.420665e-05,3.454582e-05,3.459743e-05,3.485679e-05,3.499643e-05,3.514086e-05,3.534957e-05,3.539926e-05,3.563322e-05,3.565971e-05,3.584392e-05,3.592956e-05,3.603251e-05,3.616175e-05,3.620012e-05,3.634780e-05,3.635878e-05,3.647660e-05,3.652305e-05,3.658751e-05,3.665683e-05,3.668149e-05,3.675947e-05,3.676226e-05,3.682231e-05,3.684140e-05,3.687087e-05,3.689615e-05,3.690596e-05,3.692835e-05,3.693878e-05,3.693971e-05,3.693795e-05,3.693183e-05,3.692654e-05,3.690623e-05,3.690520e-05,3.687453e-05,3.686435e-05,3.683512e-05,3.680751e-05,3.678753e-05,3.673697e-05,3.673228e-05,3.666989e-05,3.665391e-05,3.660083e-05,3.655942e-05,3.652556e-05,3.645453e-05,3.644452e-05,3.635810e-05,3.634021e-05,3.626672e-05,3.621736e-05,3.617073e-05,3.608681e-05,3.607050e-05,3.596635e-05,3.594934e-05,3.585861e-05,3.580570e-05,3.574757e-05,3.565655e-05,3.563352e-05,3.551672e-05,3.550254e-05,3.539745e-05,3.534424e-05,3.527593e-05,3.518222e-05,3.515240e-05,3.502707e-05,3.501697e-05,3.490015e-05,3.484898e-05,3.477183e-05,3.467867e-05,3.464229e-05,3.451171e-05,3.450646e-05,3.438024e-05,3.433272e-05,3.424804e-05,3.415780e-05,3.411526e-05,3.398203e-05,3.380568e-05,3.362905e-05,3.345238e-05,3.327590e-05,3.309983e-05,3.292435e-05,3.274966e-05,3.257590e-05,3.240323e-05,3.223179e-05,3.206169e-05,3.189304e-05,3.172596e-05,3.156052e-05,3.139680e-05,3.123488e-05,3.107482e-05,3.091668e-05,3.076050e-05,3.060633e-05,3.045420e-05,3.030414e-05,3.015618e-05,3.001034e-05
0.000000e+00,1.788076e-11,9.402103e-11,9.763551e-10,4.159545e-09,7.835738e-09,2.872550e-08,3.005008e-08,7.905880e-08,9.919253e-08,1.666907e-07,2.427587e-07,3.048642e-07,4.870560e-07,5.057202e-07,7.814130e-07,8.599814e-07,1.142784e-06,1.385331e-06,1.596487e-06,2.071805e-06,2.141875e-06,2.770504e-06,2.905084e-06,3.468999e-06,3.854951e-06,4.222756e-06,4.888668e-06,5.018244e-06,5.843686e-06,5.977835e-06,6.688871e-06,7.098900e-06,7.544837e-06,8.231992e-06,8.403622e-06,9.258143e-06,9.360094e-06,1.010216e-05,1.046877e-05,1.093026e-05,1.154614e-05,1.173789e-05,1.252128e-05,1.258281e-05,1.327744e-05,1.357176e-05,1.400412e-05,1.450813e-05,1.469969e-05,1.536310e-05,1.538896e-05,1.599381e-05,1.621282e-05,1.659166e-05,1.697951e-05,1.715683e-05,1.768982e-05,1.819129e-05,1.834524e-05,1.866209e-05,1.894777e-05,1.910322e-05,1.949977e-05,1.951573e-05,1.990075e-05,2.000379e-05,2.025944e-05,2.046250e-05,2.059296e-05,2.087860e-05,2.090251e-05,2.118923e-05,2.125478e-05,2.145428e-05,2.159364e-05,2.169874e-05,2.189769e-05,2.192369e-05,2.213017e-05,2.216934e-05,2.231917e-05,2.241086e-05,2.249165e-05,2.262443e-05,2.264852e-05,2.279064e-05,2.281207e-05,2.291884e-05,2.297567e-05,2.303392e-05,2.311704e-05,2.313662e-05,2.322766e-05,2.323784e-05,2.330772e-05,2.333963e-05,2.337743e-05,2.342387e-05,2.343740e-05,2.348822e-05,2.349190e-05,2.353042e-05,2.354500e-05,2.356452e-05,2.358434e-05,2.359102e-05,2.361036e-05,2.361099e-05,2.362300e-05,2.362598e-05,2.362934e-05,2.363025e-05,2.362977e-05,2.362466e-05,2.361437e-05,2.361004e-05,2.359922e-05,2.358712e-05,2.357953e-05,2.355662e-05,2.355558e-05,2.352766e-05,2.351917e-05,2.349603e-05,2.347537e-05,2.346093e-05,2.342579e-05,2.342261e-05,2.338128e-05,2.337094e-05,2.333716e-05,2.331130e-05,2.329043e-05,2.324732e-05,2.324130e-05,2.318992e-05,2.317940e-05,2.313648e-05,2.310793e-05,2.308113e-05,2.303326e-05,2.302401e-05,2.296527e-05,2.295573e-05,2.290503e-05,2.287563e-05,2.284343e-05,2.279325e-05,2.278059e-05,2.271660e-05,2.270885e-05,2.265159e-05,2.262268e-05,2.258564e-05,2.253496e-05,2.251886e-05,2.245133e-05,2.244589e-05,2.238313e-05,2.235568e-05,2.231434e-05,2.226449e-05,2.224504e-05,2.217530e-05,2.217250e-05,2.210518e-05,2.207986e-05,2.203475e-05,2.198671e-05,2.196407e-05,2.189318e-05,2.179940e-05,2.170547e-05,2.161149e-05,2.151757e-05,2.142380e-05,2.133024e-05,2.123699e-05,2.114410e-05,2.105164e-05,2.095967e-05,2.086824e-05,2.077740e-05,2.068719e-05,2.059766e-05,2.050884e-05,2.042077e-05,2.033347e-05,2.024698e-05,2.016131e-05,2.007649e-05,1.999254e-05,1.990947e-05,1.982731e-05,1.974606e-05
0.000000e+00,6.620571e-14,4.344603e-13,6.988971e-12,4.322715e-11,9.886915e-11,5.781386e-10,6.157607e-10,2.451465e-09,3.415710e-09,7.367212e-09,1.294802e-08,1.826444e-08,3.719792e-08,3.938939e-08,7.646648e-08,8.851293e-08,1.367542e-07,1.838531e-07,2.289820e-07,3.444349e-07,3.630877e-07,5.497017e-07,5.942674e-07,7.994148e-07,9.574914e-07,1.121967e-06,1.455221e-06,1.525506e-06,2.016034e-06,2.102863e-06,2.597080e-06,2.908510e-06,3.269594e-06,3.872504e-06,4.032032e-06,4.880561e-06,4.987911e-06,5.809354e-06,6.241575e-06,6.810935e-06,7.615452e-06,7.876522e-06,8.996382e-06,9.088008e-06,1.016015e-05,1.063556e-05,1.135714e-05,1.223349e-05,1.257658e-05,1.380789e-05,1.385725e-05,1.504087e-05,1.548327e-05,1.626585e-05,1.708964e-05,1.747383e-05,1.865663e-05,1.980690e-05,2.016704e-05,2.091822e-05,2.160645e-05,2.198510e-05,2.296328e-05,2.300300e-05,2.396829e-05,2.422875e-05,2.487821e-05,2.539676e-05,2.573086e-05,2.646370e-05,2.652508e-05,2.726043e-05,2.742816e-05,2.793710e-05,2.829067e-05,2.855584e-05,2.905335e-05,2.911784e-05,2.962474e-05,2.971967e-05,3.007846e-05,3.029411e-05,3.048122e-05,3.078189e-05,3.083540e-05,3.114356e-05,3.118876e-05,3.140831e-05,3.152076e-05,3.163233e-05,3.178402e-05,3.181830e-05,3.196886e-05,3.198468e-05,3.208662e-05,3.212870e-05,3.217410e-05,3.222182e-05,3.223371e-05,3.226779e-05,3.226948e-05,3.227853e-05,3.227676e-05,3.226801e-05,3.224838e-05,3.223819e-05,3.219091e-05,3.218868e-05,3.212787e-05,3.210163e-05,3.205065e-05,3.199080e-05,3.196073e-05,3.185944e-05,3.174803e-05,3.171043e-05,3.162765e-05,3.154637e-05,3.149933e-05,3.136956e-05,3.136403e-05,3.122262e-05,3.118204e-05,3.107590e-05,3.098561e-05,3.092458e-05,3.078187e-05,3.076932e-05,3.061070e-05,3.057220e-05,3.044928e-05,3.035783e-05,3.028552e-05,3.013984e-05,3.011988e-05,2.995274e-05,2.991917e-05,2.978447e-05,2.969663e-05,2.961539e-05,2.947296e-05,2.944580e-05,2.927594e-05,2.924876e-05,2.910607e-05,2.902459e-05,2.893640e-05,2.880092e-05,2.876710e-05,2.859837e-05,2.857817e-05,2.843036e-05,2.835670e-05,2.826320e-05,2.813681e-05,2.809702e-05,2.793193e-05,2.791877e-05,2.776803e-05,2.770282e-05,2.760541e-05,2.748915e-05,2.744414e-05,2.728430e-05,2.727794e-05,2.712596e-05,2.706933e-05,2.696915e-05,2.686343e-05,2.681394e-05,2.666037e-05,2.646021e-05,2.626304e-05,2.606890e-05,2.587785e-05,2.568992e-05,2.550512e-05,2.532349e-05,2.514502e-05,2.496971e-05,2.479757e-05,2.462858e-05,2.446273e-05,2.429999e-05,2.414035e-05,2.398378e-05,2.383025e-05,2.367973e-05,2.353218e-05,2.338757e-05,2.324586e-05,2.310701e-05,2.297099e-05,2.283774e-05,2.270723e-05
0.000000e+00,8.195693e-11,3.066930e-10,1.839166e-09,5.462934e-09,8.801721e-09,2.374461e-08,2.458916e-08,5.265508e-08,6.317844e-08,9.642100e-08,1.316688e-07,1.593877e-07,2.373198e-07,2.450924e-07,3.566725e-07,3.875440e-07,4.959184e-07,5.859326e-07,6.624666e-07,8.298860e-07,8.541120e-07,1.067877e-06,1.113019e-06,1.300779e-06,1.428521e-06,1.550037e-06,1.770135e-06,1.813033e-06,2.087243e-06,2.131992e-06,2.370199e-06,2.508415e-06,2.659494e-06,2.893931e-06,2.952808e-06,3.247941e-06,3.283380e-06,3.542847e-06,3.672046e-06,3.835664e-06,4.055781e-06,4.124736e-06,4.408616e-06,4.431064e-06,4.686075e-06,4.795024e-06,4.956089e-06,5.145421e-06,5.217836e-06,5.470672e-06,5.480593e-06,5.714119e-06,5.799392e-06,5.947841e-06,6.101108e-06,6.171633e-06,6.385394e-06,6.589116e-06,6.652197e-06,6.782868e-06,6.901693e-06,6.966777e-06,7.134237e-06,7.141024e-06,7.305825e-06,7.350310e-06,7.461428e-06,7.550487e-06,7.608104e-06,7.735405e-06,7.746136e-06,7.875821e-06,7.905737e-06,7.997461e-06,8.062179e-06,8.111361e-06,8.205430e-06,8.217823e-06,8.317151e-06,8.336186e-06,8.409640e-06,8.455129e-06,8.495583e-06,8.562924e-06,8.575263e-06,8.648959e-06,8.660213e-06,8.716938e-06,8.747615e-06,8.779462e-06,8.825723e-06,8.836782e-06,8.889141e-06,8.895102e-06,8.936774e-06,8.956293e-06,8.979905e-06,9.009807e-06,9.018750e-06,9.053519e-06,9.056130e-06,9.084409e-06,9.095723e-06,9.111613e-06,9.129020e-06,9.135314e-06,9.155686e-06,9.156434e-06,9.172899e-06,9.178353e-06,9.187112e-06,9.195143e-06,9.198480e-06,9.207149e-06,9.213259e-06,9.214697e-06,9.216946e-06,9.218093e-06,9.218336e-06,9.217625e-06,9.217553e-06,9.214713e-06,9.213565e-06,9.209928e-06,9.206168e-06,9.203304e-06,9.195673e-06,9.194942e-06,9.184940e-06,9.182306e-06,9.173389e-06,9.166278e-06,9.160379e-06,9.147788e-06,9.145992e-06,9.130309e-06,9.127023e-06,9.113406e-06,9.104159e-06,9.095356e-06,9.079359e-06,9.076229e-06,9.056089e-06,9.052777e-06,9.035001e-06,9.024560e-06,9.013025e-06,8.994842e-06,8.990217e-06,8.966631e-06,8.963751e-06,8.942320e-06,8.931406e-06,8.917333e-06,8.897920e-06,8.891717e-06,8.865516e-06,8.863396e-06,8.838774e-06,8.827935e-06,8.811530e-06,8.791626e-06,8.783824e-06,8.755692e-06,8.754558e-06,8.727168e-06,8.716810e-06,8.698286e-06,8.678459e-06,8.669078e-06,8.639574e-06,8.600223e-06,8.560467e-06,8.520364e-06,8.479969e-06,8.439331e-06,8.398498e-06,8.357515e-06,8.316422e-06,8.275258e-06,8.234059e-06,8.192857e-06,8.151684e-06,8.110570e-06,8.069540e-06,8.028620e-06,7.987832e-06,7.947199e-06,7.906741e-06,7.866475e-06,7.826418e-06,7.786587e-06,7.746996e-06,7.707658e-06,7.668585e-06
0.000000e+00,2.605737e-11,6.253406e-11,2.248348e-10,5.196131e-10,7.609372e-10,1.727107e-09,1.778728e-09,3.407499e-09,3.989454e-09,5.766465e-09,7.579534e-09,8.968583e-09,1.275152e-08,1.312104e-08,1.831744e-08,1.972747e-08,2.461447e-08,2.861977e-08,3.199760e-08,3.931672e-08,4.036868e-08,4.957845e-08,5.150710e-08,5.947087e-08,6.483716e-08,6.990486e-08,7.899648e-08,8.075594e-08,9.191182e-08,9.371800e-08,1.032685e-07,1.087621e-07,1.147283e-07,1.239087e-07,1.261997e-07,1.375975e-07,1.389566e-07,1.488443e-07,1.537268e-07,1.598704e-07,1.680652e-07,1.706154e-07,1.810278e-07,1.818451e-07,1.910654e-07,1.949676e-07,2.006947e-07,2.073607e-07,2.098908e-07,2.186367e-07,2.189770e-07,2.269223e-07,2.297914e-07,2.347434e-07,2.397971e-07,2.421016e-07,2.490026e-07,2.554559e-07,2.574284e-07,2.614740e-07,2.651040e-07,2.670717e-07,2.720652e-07,2.722654e-07,2.770728e-07,2.783522e-07,2.815124e-07,2.840074e-07,2.856029e-07,2.890741e-07,2.893632e-07,2.928122e-07,2.935956e-07,2.959681e-07,2.976142e-07,2.988491e-07,3.011705e-07,3.014722e-07,3.038543e-07,3.043032e-07,3.060110e-07,3.070485e-07,3.079576e-07,3.094407e-07,3.097082e-07,3.112764e-07,3.115113e-07,3.126749e-07,3.132894e-07,3.139155e-07,3.148019e-07,3.150095e-07,3.159673e-07,3.160736e-07,3.167988e-07,3.171270e-07,3.175131e-07,3.179829e-07,3.181188e-07,3.186237e-07,3.186599e-07,3.190352e-07,3.191753e-07,3.193603e-07,3.195445e-07,3.196054e-07,3.197763e-07,3.197817e-07,3.198787e-07,3.198998e-07,3.199178e-07,3.199105e-07,3.198982e-07,3.198245e-07,3.197007e-07,3.196512e-07,3.195308e-07,3.193996e-07,3.193184e-07,3.190775e-07,3.190667e-07,3.187789e-07,3.186922e-07,3.184578e-07,3.182503e-07,3.181061e-07,3.177578e-07,3.177264e-07,3.173210e-07,3.172201e-07,3.168920e-07,3.166422e-07,3.164415e-07,3.160287e-07,3.159713e-07,3.154832e-07,3.153836e-07,3.149789e-07,3.147108e-07,3.144599e-07,3.140136e-07,3.139276e-07,3.133834e-07,3.132953e-07,3.128285e-07,3.125587e-07,3.122641e-07,3.118064e-07,3.116912e-07,3.111109e-07,3.110408e-07,3.105242e-07,3.102642e-07,3.099318e-07,3.094784e-07,3.093347e-07,3.087337e-07,3.086854e-07,3.081293e-07,3.078869e-07,3.075224e-07,3.070843e-07,3.069136e-07,3.063035e-07,3.062790e-07,3.056925e-07,3.054725e-07,3.050813e-07,3.046657e-07,3.044702e-07,3.038599e-07,3.030559e-07,3.022547e-07,3.014571e-07,3.006638e-07,2.998755e-07,2.990928e-07,2.983162e-07,2.975463e-07,2.967835e-07,2.960282e-07,2.952808e-07,2.945416e-07,2.938108e-07,2.930889e-07,2.923758e-07,2.916720e-07,2.909775e-07,2.902925e-07,2.896171e-07,2.889514e-07,2.882955e-07,2.876495e-07,2.870134e-07,2.863872e-07
0.000000e+00,7.134797e-12,3.939181e-11,4.483694e-10,2.054051e-09,4.009300e-09,1.589311e-08,1.667232e-08,4.652919e-08,5.915536e-08,1.022618e-07,1.516377e-07,1.922622e-07,3.120024e-07,3.242798e-07,5.053018e-07,5.567405e-07,7.414631e-07,8.997496e-07,1.037860e-06,1.351491e-06,1.398184e-06,1.824163e-06,1.917214e-06,2.314956e-06,2.594661e-06,2.866851e-06,3.373111e-06,3.473546e-06,4.126951e-06,4.235240e-06,4.818174e-06,5.160768e-06,5.538322e-06,6.129586e-06,6.278976e-06,7.032419e-06,7.123354e-06,7.791707e-06,8.126027e-06,8.550664e-06,9.123883e-06,9.303862e-06,1.004659e-05,1.010543e-05,1.077481e-05,1.106126e-05,1.148515e-05,1.198395e-05,1.217484e-05,1.284166e-05,1.286783e-05,1.348391e-05,1.370885e-05,1.410034e-05,1.450432e-05,1.469011e-05,1.525271e-05,1.578793e-05,1.595342e-05,1.629581e-05,1.660661e-05,1.677660e-05,1.721304e-05,1.723070e-05,1.765867e-05,1.777391e-05,1.806116e-05,1.829072e-05,1.843889e-05,1.876522e-05,1.879266e-05,1.912329e-05,1.919930e-05,1.943165e-05,1.959493e-05,1.971861e-05,1.995412e-05,1.998504e-05,2.023182e-05,2.027890e-05,2.045983e-05,2.057125e-05,2.066990e-05,2.083312e-05,2.086288e-05,2.103958e-05,2.106640e-05,2.120079e-05,2.127289e-05,2.134727e-05,2.145436e-05,2.147977e-05,2.159900e-05,2.161245e-05,2.170565e-05,2.174876e-05,2.180038e-05,2.186479e-05,2.188383e-05,2.195660e-05,2.196198e-05,2.201928e-05,2.204165e-05,2.207243e-05,2.210510e-05,2.211659e-05,2.215226e-05,2.215352e-05,2.217994e-05,2.218803e-05,2.220008e-05,2.220971e-05,2.221314e-05,2.221954e-05,2.221968e-05,2.221846e-05,2.221394e-05,2.220736e-05,2.220270e-05,2.218705e-05,2.218630e-05,2.216507e-05,2.215831e-05,2.213933e-05,2.212184e-05,2.210938e-05,2.207834e-05,2.207549e-05,2.203795e-05,2.202842e-05,2.199701e-05,2.197268e-05,2.195290e-05,2.191166e-05,2.190587e-05,2.185613e-05,2.184588e-05,2.180389e-05,2.177581e-05,2.174935e-05,2.170189e-05,2.169268e-05,2.163408e-05,2.162453e-05,2.157370e-05,2.154413e-05,2.151170e-05,2.146104e-05,2.144824e-05,2.138345e-05,2.137559e-05,2.131747e-05,2.128809e-05,2.125042e-05,2.119882e-05,2.118242e-05,2.111359e-05,2.110805e-05,2.104403e-05,2.101602e-05,2.097384e-05,2.092297e-05,2.090312e-05,2.083195e-05,2.082909e-05,2.076041e-05,2.073459e-05,2.068860e-05,2.063964e-05,2.061657e-05,2.054441e-05,2.044904e-05,2.035368e-05,2.025846e-05,2.016349e-05,2.006889e-05,1.997474e-05,1.988113e-05,1.978816e-05,1.969589e-05,1.960439e-05,1.951371e-05,1.942392e-05,1.933507e-05,1.924719e-05,1.916032e-05,1.907450e-05,1.898976e-05,1.890613e-05,1.882362e-05,1.874226e-05,1.866205e-05,1.858303e-05,1.850518e-05,1.842853e-05
0.000000e+00,4.164923e-13,2.803183e-12,4.754547e-11,3.087906e-10,7.256472e-10,4.554752e-09,4.865292e-09,2.081052e-08,2.957430e-08,6.706598e-08,1.228089e-07,1.779762e-07,3.852649e-07,4.100994e-07,8.488388e-07,9.974399e-07,1.614460e-06,2.243681e-06,2.866170e-06,4.527031e-06,4.803166e-06,7.662365e-06,8.368089e-06,1.171331e-05,1.438796e-05,1.725111e-05,2.328014e-05,2.458817e-05,3.404557e-05,3.577705e-05,4.594439e-05,5.261542e-05,6.059756e-05,7.450361e-05,7.830222e-05,9.933296e-05,1.020922e-04,1.239357e-04,1.359485e-04,1.523226e-04,1.765363e-04,1.846680e-04,2.211045e-04,2.241991e-04,2.617211e-04,2.791495e-04,3.065615e-04,3.414623e-04,3.556232e-04,4.088579e-04,4.110730e-04,4.661728e-04,4.877801e-04,5.274318e-04,5.712525e-04,5.924588e-04,6.610400e-04,7.329285e-04,7.565869e-04,8.078477e-04,8.572481e-04,8.854960e-04,9.623068e-04,9.655510e-04,1.047675e-03,1.070993e-03,1.131519e-03,1.182504e-03,1.216728e-03,1.296018e-03,1.302944e-03,1.389811e-03,1.410718e-03,1.476981e-03,1.525800e-03,1.564112e-03,1.640495e-03,1.650877e-03,1.736962e-03,1.754071e-03,1.822072e-03,1.865851e-03,1.905930e-03,1.975216e-03,1.988281e-03,2.068889e-03,2.081610e-03,2.147541e-03,2.184543e-03,2.224048e-03,2.283596e-03,2.298242e-03,2.369977e-03,2.378414e-03,2.439129e-03,2.468711e-03,2.505596e-03,2.554263e-03,2.569294e-03,2.630160e-03,2.634905e-03,2.688148e-03,2.710530e-03,2.743229e-03,2.781080e-03,2.795390e-03,2.844633e-03,2.846542e-03,2.890970e-03,2.906945e-03,2.934429e-03,2.962354e-03,2.975045e-03,3.012864e-03,3.047940e-03,3.058595e-03,3.080335e-03,3.099691e-03,3.110116e-03,3.136313e-03,3.137355e-03,3.162129e-03,3.168634e-03,3.184518e-03,3.196840e-03,3.204604e-03,3.221123e-03,3.222473e-03,3.238210e-03,3.241679e-03,3.251901e-03,3.258707e-03,3.263634e-03,3.272407e-03,3.273494e-03,3.281568e-03,3.282976e-03,3.287941e-03,3.290610e-03,3.292696e-03,3.295500e-03,3.295915e-03,3.297678e-03,3.297830e-03,3.298063e-03,3.297781e-03,3.297147e-03,3.295527e-03,3.295003e-03,3.291703e-03,3.291233e-03,3.287316e-03,3.285059e-03,3.281908e-03,3.277156e-03,3.275544e-03,3.268286e-03,3.267668e-03,3.260191e-03,3.256733e-03,3.251319e-03,3.244479e-03,3.241722e-03,3.231453e-03,3.231029e-03,3.220562e-03,3.216498e-03,3.209096e-03,3.200993e-03,3.197099e-03,3.184616e-03,3.167461e-03,3.149616e-03,3.131165e-03,3.112183e-03,3.092743e-03,3.072911e-03,3.052748e-03,3.032311e-03,3.011653e-03,2.990822e-03,2.969863e-03,2.948817e-03,2.927722e-03,2.906612e-03,2.885520e-03,2.864474e-03,2.843501e-03,2.822624e-03,2.801866e-03,2.781246e-03,2.760782e-03,2.740489e-03,2.720383e-03,2.700476e-03
0.000000e+00,6.215052e-12,3.516194e-11,4.197656e-10,2.001751e-09,3.989374e-09,1.663267e-08,1.748257e-08,5.113253e-08,6.582762e-08,1.174576e-07,1.788077e-07,2.307577e-07,3.904522e-07,4.073304e-07,6.658076e-07,7.422846e-07,1.026587e-06,1.280743e-06,1.509157e-06,2.045772e-06,2.127351e-06,2.885159e-06,3.053069e-06,3.776222e-06,4.287902e-06,4.786992e-06,5.716487e-06,5.900971e-06,7.101845e-06,7.301039e-06,8.374908e-06,9.007781e-06,9.707307e-06,1.080832e-05,1.108776e-05,1.250611e-05,1.267841e-05,1.395306e-05,1.459652e-05,1.541991e-05,1.654297e-05,1.689848e-05,1.838115e-05,1.849973e-05,1.986083e-05,2.045038e-05,2.133101e-05,2.238032e-05,2.278579e-05,2.421994e-05,2.427681e-05,2.562884e-05,2.612908e-05,2.700853e-05,2.792829e-05,2.835564e-05,2.966740e-05,3.094156e-05,3.134106e-05,3.217639e-05,3.294541e-05,3.337057e-05,3.447789e-05,3.452319e-05,3.563370e-05,3.593705e-05,3.670181e-05,3.732233e-05,3.772754e-05,3.863396e-05,3.871110e-05,3.965287e-05,3.987274e-05,4.055343e-05,4.103998e-05,4.141343e-05,4.213732e-05,4.223367e-05,4.301501e-05,4.316669e-05,4.375836e-05,4.413022e-05,4.446471e-05,4.503017e-05,4.513505e-05,4.577043e-05,4.586892e-05,4.637190e-05,4.664887e-05,4.694051e-05,4.737244e-05,4.747731e-05,4.798335e-05,4.804206e-05,4.845969e-05,4.866013e-05,4.890735e-05,4.922901e-05,4.932734e-05,4.972066e-05,4.975101e-05,5.008829e-05,5.022837e-05,5.043119e-05,5.066328e-05,5.075028e-05,5.104648e-05,5.105786e-05,5.132068e-05,5.141417e-05,5.157374e-05,5.173417e-05,5.180650e-05,5.201977e-05,5.221435e-05,5.227279e-05,5.239100e-05,5.249500e-05,5.255048e-05,5.268808e-05,5.269349e-05,5.282074e-05,5.285364e-05,5.293290e-05,5.299323e-05,5.303062e-05,5.310832e-05,5.311454e-05,5.318527e-05,5.320034e-05,5.324338e-05,5.327063e-05,5.328946e-05,5.332048e-05,5.332405e-05,5.334767e-05,5.335113e-05,5.336084e-05,5.336373e-05,5.336406e-05,5.335941e-05,5.335779e-05,5.334249e-05,5.333924e-05,5.331860e-05,5.330421e-05,5.328655e-05,5.325531e-05,5.324675e-05,5.319957e-05,5.319344e-05,5.314542e-05,5.311947e-05,5.308464e-05,5.303423e-05,5.301758e-05,5.294460e-05,5.293851e-05,5.286599e-05,5.283305e-05,5.278209e-05,5.271856e-05,5.269317e-05,5.259954e-05,5.259571e-05,5.250147e-05,5.246513e-05,5.239922e-05,5.232743e-05,5.229304e-05,5.218318e-05,5.203292e-05,5.187716e-05,5.171638e-05,5.155105e-05,5.138159e-05,5.120841e-05,5.103190e-05,5.085243e-05,5.067033e-05,5.048592e-05,5.029953e-05,5.011142e-05,4.992188e-05,4.973115e-05,4.953948e-05,4.934708e-05,4.915418e-05,4.896097e-05,4.876763e-05,4.857434e-05,4.838126e-05,4.818854e-05,4.799632e-05,4.780473e-05
0.000000e+00,3.734406e-11,1.528852e-10,1.041810e-09,3.323461e-09,5.505841e-09,1.560952e-08,1.618967e-08,3.574004e-08,4.316257e-08,6.681958e-08,9.216841e-08,1.122559e-07,1.693229e-07,1.750563e-07,2.580379e-07,2.811833e-07,3.628803e-07,4.310771e-07,4.891674e-07,6.161915e-07,6.345403e-07,7.958329e-07,8.297270e-07,9.700035e-07,1.064774e-06,1.154427e-06,1.315602e-06,1.346839e-06,1.545210e-06,1.577374e-06,1.747655e-06,1.845750e-06,1.952397e-06,2.116712e-06,2.157757e-06,2.362163e-06,2.386557e-06,2.564169e-06,2.651950e-06,2.762472e-06,2.909993e-06,2.955924e-06,3.143542e-06,3.158274e-06,3.324508e-06,3.394878e-06,3.498163e-06,3.618380e-06,3.664006e-06,3.821678e-06,3.827811e-06,3.970954e-06,4.022614e-06,4.111725e-06,4.202572e-06,4.243961e-06,4.367726e-06,4.483154e-06,4.518359e-06,4.590433e-06,4.654924e-06,4.689802e-06,4.778006e-06,4.781532e-06,4.865915e-06,4.888268e-06,4.943264e-06,4.986431e-06,5.013902e-06,5.073244e-06,5.078157e-06,5.136356e-06,5.149460e-06,5.188827e-06,5.215827e-06,5.235887e-06,5.273074e-06,5.277851e-06,5.315021e-06,5.321905e-06,5.347688e-06,5.362990e-06,5.376134e-06,5.396963e-06,5.400627e-06,5.421422e-06,5.424422e-06,5.438762e-06,5.445928e-06,5.452881e-06,5.462004e-06,5.463997e-06,5.472317e-06,5.473137e-06,5.478038e-06,5.479779e-06,5.481344e-06,5.482349e-06,5.482410e-06,5.481399e-06,5.481233e-06,5.478465e-06,5.476786e-06,5.473754e-06,5.469338e-06,5.467402e-06,5.459536e-06,5.459191e-06,5.450276e-06,5.446623e-06,5.439734e-06,5.431888e-06,5.428017e-06,5.415221e-06,5.401441e-06,5.396837e-06,5.386761e-06,5.376932e-06,5.371264e-06,5.355687e-06,5.355024e-06,5.338112e-06,5.333266e-06,5.320595e-06,5.309820e-06,5.302534e-06,5.285487e-06,5.283987e-06,5.265007e-06,5.260393e-06,5.245645e-06,5.234653e-06,5.225948e-06,5.208371e-06,5.205958e-06,5.185718e-06,5.181643e-06,5.165264e-06,5.154556e-06,5.144633e-06,5.127189e-06,5.123856e-06,5.102965e-06,5.099614e-06,5.081988e-06,5.071897e-06,5.060952e-06,5.044096e-06,5.039880e-06,5.018795e-06,5.016265e-06,4.997719e-06,4.988453e-06,4.976671e-06,4.960704e-06,4.955669e-06,4.934729e-06,4.933057e-06,4.913867e-06,4.905547e-06,4.893097e-06,4.878208e-06,4.872433e-06,4.851886e-06,4.851066e-06,4.831466e-06,4.824149e-06,4.811185e-06,4.797478e-06,4.791052e-06,4.771074e-06,4.744955e-06,4.719136e-06,4.693632e-06,4.668454e-06,4.643612e-06,4.619116e-06,4.594972e-06,4.571188e-06,4.547767e-06,4.524715e-06,4.502033e-06,4.479725e-06,4.457791e-06,4.436232e-06,4.415049e-06,4.394239e-06,4.373803e-06,4.353739e-06,4.334044e-06,4.314717e-06,4.295754e-06,4.277152e-06,4.258908e-06,4.241018e-06
0.000000e+00,1.080037e-11,2.503130e-11,8.721683e-11,1.997758e-10,2.923177e-10,6.678595e-10,6.881569e-10,1.340239e-09,1.578460e-09,2.321552e-09,3.101821e-09,3.712748e-09,5.420800e-09,5.590233e-09,7.995507e-09,8.650428e-09,1.090981e-08,1.274176e-08,1.427146e-08,1.754534e-08,1.801221e-08,2.207395e-08,2.292044e-08,2.640840e-08,2.875582e-08,3.097295e-08,3.495564e-08,3.572753e-08,4.063322e-08,4.142960e-08,4.565197e-08,4.809023e-08,5.074686e-08,5.485390e-08,5.588274e-08,6.102677e-08,6.164314e-08,6.614889e-08,6.838860e-08,7.122207e-08,7.503027e-08,7.622264e-08,8.113026e-08,8.151832e-08,8.592779e-08,8.781275e-08,9.060123e-08,9.388288e-08,9.513938e-08,9.953364e-08,9.970632e-08,1.037777e-07,1.052678e-07,1.078671e-07,1.105583e-07,1.117994e-07,1.155734e-07,1.191890e-07,1.203127e-07,1.226475e-07,1.247792e-07,1.259506e-07,1.289778e-07,1.291010e-07,1.321017e-07,1.329155e-07,1.349562e-07,1.366004e-07,1.376685e-07,1.400415e-07,1.402424e-07,1.426822e-07,1.432482e-07,1.449921e-07,1.462305e-07,1.471765e-07,1.489984e-07,1.492397e-07,1.511861e-07,1.515617e-07,1.530199e-07,1.539304e-07,1.547454e-07,1.561141e-07,1.563667e-07,1.578879e-07,1.581223e-07,1.593130e-07,1.599640e-07,1.606458e-07,1.616481e-07,1.618901e-07,1.630496e-07,1.631832e-07,1.641277e-07,1.645773e-07,1.651281e-07,1.658383e-07,1.660538e-07,1.669083e-07,1.669736e-07,1.676945e-07,1.679905e-07,1.684155e-07,1.688958e-07,1.690741e-07,1.696731e-07,1.696959e-07,1.702153e-07,1.703970e-07,1.707031e-07,1.710051e-07,1.711391e-07,1.715256e-07,1.718650e-07,1.719639e-07,1.721593e-07,1.723251e-07,1.724109e-07,1.726139e-07,1.726216e-07,1.727935e-07,1.728349e-07,1.729284e-07,1.729923e-07,1.730281e-07,1.730902e-07,1.730943e-07,1.731287e-07,1.731324e-07,1.731329e-07,1.731226e-07,1.731084e-07,1.730642e-07,1.730566e-07,1.729790e-07,1.729605e-07,1.728769e-07,1.728146e-07,1.727516e-07,1.726293e-07,1.726043e-07,1.724362e-07,1.724074e-07,1.722483e-07,1.721515e-07,1.720419e-07,1.718641e-07,1.718179e-07,1.715773e-07,1.715474e-07,1.713211e-07,1.712037e-07,1.710502e-07,1.708349e-07,1.707653e-07,1.704675e-07,1.704431e-07,1.701574e-07,1.700301e-07,1.698358e-07,1.695976e-07,1.695035e-07,1.691611e-07,1.691472e-07,1.688093e-07,1.686804e-07,1.684487e-07,1.681988e-07,1.680799e-07,1.677036e-07,1.671962e-07,1.666777e-07,1.661493e-07,1.656120e-07,1.650669e-07,1.645149e-07,1.639569e-07,1.633936e-07,1.628260e-07,1.622547e-07,1.616804e-07,1.611038e-07,1.605254e-07,1.599458e-07,1.593657e-07,1.587853e-07,1.582053e-07,1.576260e-07,1.570479e-07,1.564713e-07,1.558965e-07,1.553240e-07,1.547540e-07,1.541867e-07
0.000000e+00,3.721684e-13,2.469506e-12,4.064859e-11,2.567098e-10,5.938738e-10,3.575413e-09,3.812556e-09,1.561377e-08,2.191952e-08,4.816119e-08,8.587950e-08,1.222565e-07,2.538981e-07,2.692848e-07,5.325243e-07,6.189258e-07,9.677526e-07,1.311523e-06,1.643128e-06,2.499096e-06,2.638274e-06,4.042430e-06,4.380708e-06,5.951534e-06,7.176616e-06,8.464326e-06,1.111271e-05,1.167779e-05,1.568251e-05,1.640221e-05,2.055830e-05,2.322794e-05,2.637066e-05,3.172812e-05,3.316814e-05,4.098064e-05,4.198706e-05,4.981876e-05,5.403090e-05,5.967386e-05,6.782787e-05,7.051886e-05,8.230959e-05,8.329202e-05,9.498655e-05,1.002896e-04,1.084769e-04,1.186470e-04,1.226969e-04,1.375537e-04,1.381599e-04,1.529484e-04,1.586023e-04,1.687776e-04,1.797360e-04,1.849361e-04,2.013186e-04,2.178216e-04,2.231115e-04,2.343449e-04,2.448863e-04,2.507933e-04,2.664300e-04,2.670771e-04,2.831136e-04,2.875491e-04,2.988274e-04,3.080722e-04,3.141507e-04,3.278521e-04,3.290242e-04,3.433962e-04,3.467659e-04,3.572233e-04,3.647149e-04,3.704698e-04,3.816238e-04,3.831074e-04,3.951147e-04,3.974391e-04,4.064770e-04,4.121273e-04,4.171854e-04,4.256726e-04,4.272367e-04,4.366323e-04,4.380751e-04,4.453781e-04,4.493480e-04,4.534838e-04,4.595159e-04,4.609621e-04,4.678287e-04,4.686124e-04,4.741014e-04,4.766783e-04,4.798000e-04,4.837598e-04,4.849455e-04,4.895602e-04,4.899071e-04,4.936670e-04,4.951728e-04,4.972895e-04,4.996111e-04,5.004514e-04,5.031764e-04,5.032766e-04,5.054880e-04,5.062234e-04,5.074094e-04,5.085049e-04,5.089636e-04,5.101727e-04,5.110583e-04,5.112768e-04,5.116413e-04,5.118650e-04,5.119419e-04,5.119828e-04,5.119795e-04,5.117725e-04,5.116731e-04,5.113387e-04,5.109766e-04,5.106950e-04,5.099312e-04,5.098574e-04,5.088412e-04,5.085723e-04,5.076607e-04,5.069331e-04,5.063298e-04,5.050442e-04,5.048611e-04,5.032670e-04,5.029341e-04,5.015587e-04,5.006290e-04,4.997472e-04,4.981531e-04,4.978425e-04,4.958540e-04,4.955287e-04,4.937908e-04,4.927763e-04,4.916609e-04,4.899144e-04,4.894724e-04,4.872322e-04,4.869603e-04,4.849473e-04,4.839294e-04,4.826240e-04,4.808361e-04,4.802680e-04,4.778849e-04,4.776932e-04,4.754797e-04,4.745125e-04,4.730572e-04,4.713046e-04,4.706216e-04,4.681770e-04,4.680791e-04,4.657271e-04,4.648445e-04,4.632754e-04,4.616088e-04,4.608251e-04,4.583790e-04,4.551612e-04,4.519611e-04,4.487837e-04,4.456334e-04,4.425141e-04,4.394292e-04,4.363818e-04,4.333744e-04,4.304093e-04,4.274884e-04,4.246133e-04,4.217855e-04,4.190059e-04,4.162756e-04,4.135951e-04,4.109650e-04,4.083857e-04,4.058574e-04,4.033801e-04,4.009537e-04,3.985782e-04,3.962533e-04,3.939785e-04,3.917536e-04
0.000000e+00,8.139623e-11,2.758512e-10,1.455881e-09,4.055394e-09,6.384258e-09,1.662440e-08,1.720084e-08,3.645391e-08,4.375432e-08,6.717070e-08,9.255804e-08,1.128462e-07,1.706328e-07,1.764068e-07,2.583407e-07,2.805518e-07,3.567686e-07,4.182128e-07,4.693851e-07,5.788048e-07,5.944177e-07,7.305357e-07,7.589873e-07,8.765881e-07,9.560865e-07,1.031441e-06,1.167454e-06,1.193910e-06,1.362751e-06,1.390272e-06,1.536678e-06,1.621587e-06,1.714391e-06,1.858429e-06,1.894614e-06,2.076124e-06,2.097936e-06,2.257776e-06,2.337474e-06,2.438523e-06,2.574706e-06,2.617430e-06,2.793675e-06,2.807637e-06,2.966555e-06,3.034630e-06,3.135482e-06,3.254387e-06,3.299974e-06,3.459648e-06,3.465930e-06,3.614208e-06,3.668553e-06,3.763438e-06,3.861793e-06,3.907193e-06,4.045386e-06,4.177980e-06,4.219229e-06,4.304984e-06,4.383351e-06,4.426439e-06,4.537881e-06,4.542416e-06,4.653009e-06,4.683026e-06,4.758332e-06,4.819049e-06,4.858512e-06,4.946253e-06,4.953687e-06,5.044003e-06,5.064973e-06,5.129613e-06,5.175557e-06,5.210672e-06,5.278362e-06,5.287334e-06,5.359759e-06,5.373749e-06,5.428103e-06,5.462080e-06,5.492520e-06,5.543708e-06,5.553164e-06,5.610184e-06,5.618981e-06,5.663728e-06,5.688237e-06,5.713939e-06,5.751801e-06,5.760955e-06,5.804914e-06,5.809989e-06,5.845945e-06,5.863105e-06,5.884177e-06,5.911437e-06,5.919732e-06,5.952731e-06,5.955263e-06,5.983286e-06,5.994850e-06,6.011510e-06,6.030448e-06,6.037510e-06,6.061387e-06,6.062299e-06,6.083241e-06,6.090631e-06,6.103167e-06,6.115662e-06,6.121256e-06,6.137597e-06,6.152274e-06,6.156633e-06,6.165368e-06,6.172953e-06,6.176956e-06,6.186733e-06,6.187113e-06,6.195911e-06,6.198140e-06,6.203418e-06,6.207331e-06,6.209700e-06,6.214452e-06,6.214820e-06,6.218838e-06,6.219645e-06,6.221812e-06,6.223042e-06,6.223797e-06,6.224768e-06,6.224846e-06,6.225009e-06,6.224940e-06,6.224336e-06,6.223670e-06,6.222871e-06,6.221062e-06,6.220660e-06,6.217745e-06,6.217216e-06,6.214166e-06,6.212223e-06,6.209961e-06,6.206172e-06,6.205168e-06,6.199823e-06,6.199146e-06,6.193958e-06,6.191221e-06,6.187605e-06,6.182471e-06,6.180796e-06,6.173560e-06,6.172964e-06,6.165925e-06,6.162765e-06,6.157917e-06,6.151934e-06,6.149561e-06,6.140883e-06,6.140529e-06,6.131904e-06,6.128603e-06,6.122648e-06,6.116205e-06,6.113134e-06,6.103384e-06,6.090183e-06,6.076643e-06,6.062803e-06,6.048701e-06,6.034368e-06,6.019838e-06,6.005140e-06,5.990302e-06,5.975349e-06,5.960306e-06,5.945195e-06,5.930038e-06,5.914853e-06,5.899659e-06,5.884474e-06,5.869312e-06,5.854188e-06,5.839116e-06,5.824108e-06,5.809176e-06,5.794330e-06,5.779580e-06,5.764935e-06,5.750403e-06
0.000000e+00,3.453050e-12,2.051146e-11,2.693271e-10,1.390762e-09,2.886838e-09,1.323662e-08,1.396260e-08,4.421100e-08,5.801504e-08,1.081177e-07,1.696899e-07,2.229076e-07,3.900879e-07,4.079688e-07,6.845009e-07,7.669287e-07,1.074390e-06,1.349786e-06,1.597311e-06,2.178428e-06,2.266732e-06,3.087253e-06,3.269260e-06,4.054817e-06,4.612817e-06,5.159159e-06,6.182616e-06,6.386699e-06,7.722743e-06,7.945598e-06,9.152709e-06,9.868305e-06,1.066254e-05,1.191882e-05,1.223874e-05,1.386826e-05,1.406678e-05,1.553841e-05,1.628295e-05,1.723684e-05,1.853918e-05,1.895159e-05,2.067118e-05,2.080862e-05,2.238476e-05,2.306623e-05,2.408225e-05,2.528925e-05,2.575440e-05,2.739293e-05,2.745767e-05,2.899056e-05,2.955446e-05,3.054102e-05,3.156568e-05,3.203908e-05,3.348048e-05,3.486189e-05,3.529084e-05,3.618085e-05,3.699140e-05,3.743568e-05,3.857909e-05,3.862543e-05,3.974973e-05,4.005283e-05,4.080879e-05,4.141316e-05,4.180326e-05,4.266200e-05,4.273417e-05,4.360288e-05,4.380229e-05,4.441101e-05,4.483778e-05,4.516039e-05,4.577280e-05,4.585298e-05,4.649088e-05,4.661208e-05,4.707625e-05,4.736061e-05,4.761130e-05,4.802350e-05,4.809828e-05,4.853940e-05,4.860588e-05,4.893689e-05,4.911284e-05,4.929294e-05,4.954937e-05,4.960967e-05,4.988918e-05,4.992031e-05,5.013349e-05,5.023034e-05,5.034456e-05,5.048392e-05,5.052430e-05,5.067451e-05,5.068530e-05,5.079695e-05,5.083853e-05,5.089331e-05,5.094743e-05,5.096517e-05,5.101409e-05,5.101559e-05,5.104152e-05,5.104640e-05,5.104885e-05,5.104304e-05,5.103741e-05,5.100847e-05,5.096322e-05,5.094548e-05,5.090280e-05,5.085667e-05,5.082828e-05,5.074444e-05,5.074070e-05,5.064101e-05,5.061106e-05,5.053014e-05,5.045860e-05,5.040894e-05,5.028903e-05,5.027824e-05,5.013881e-05,5.010413e-05,4.999138e-05,4.990558e-05,4.983664e-05,4.969493e-05,4.967523e-05,4.950777e-05,4.947361e-05,4.933484e-05,4.924294e-05,4.915698e-05,4.900414e-05,4.897470e-05,4.878847e-05,4.875834e-05,4.859876e-05,4.850658e-05,4.840597e-05,4.824980e-05,4.821052e-05,4.801277e-05,4.798890e-05,4.781307e-05,4.772467e-05,4.761175e-05,4.745785e-05,4.740912e-05,4.720545e-05,4.718912e-05,4.700103e-05,4.691911e-05,4.679610e-05,4.664837e-05,4.659090e-05,4.638563e-05,4.637742e-05,4.618051e-05,4.610674e-05,4.597572e-05,4.583674e-05,4.577144e-05,4.556783e-05,4.530034e-05,4.503459e-05,4.477087e-05,4.450944e-05,4.425051e-05,4.399430e-05,4.374098e-05,4.349071e-05,4.324364e-05,4.299988e-05,4.275953e-05,4.252270e-05,4.228945e-05,4.205984e-05,4.183393e-05,4.161175e-05,4.139333e-05,4.117870e-05,4.096787e-05,4.076084e-05,4.055761e-05,4.035817e-05,4.016251e-05,3.997061e-05
0.000000e+00,9.868887e-11,3.572110e-10,2.055046e-09,6.006000e-09,9.651815e-09,2.632360e-08,2.728604e-08,6.054229e-08,7.362021e-08,1.167223e-07,1.643959e-07,2.024526e-07,3.083649e-07,3.187173e-07,4.622216e-07,5.003627e-07,6.300935e-07,7.341612e-07,8.208644e-07,1.007066e-06,1.033761e-06,1.268133e-06,1.317519e-06,1.523177e-06,1.663624e-06,1.797817e-06,2.042664e-06,2.090682e-06,2.400119e-06,2.451044e-06,2.724244e-06,2.884440e-06,3.060995e-06,3.338033e-06,3.408205e-06,3.763659e-06,3.806763e-06,4.125155e-06,4.285573e-06,4.490555e-06,4.769617e-06,4.857830e-06,5.225086e-06,5.254413e-06,5.590592e-06,5.735949e-06,5.952790e-06,6.210744e-06,6.310303e-06,6.661934e-06,6.675862e-06,7.006661e-06,7.128902e-06,7.343626e-06,7.567964e-06,7.672126e-06,7.991600e-06,8.301610e-06,8.398759e-06,8.601834e-06,8.788735e-06,8.892049e-06,9.161109e-06,9.172116e-06,9.441973e-06,9.515702e-06,9.701619e-06,9.852527e-06,9.951109e-06,1.017175e-05,1.019054e-05,1.042005e-05,1.047367e-05,1.063980e-05,1.075867e-05,1.084998e-05,1.102719e-05,1.105081e-05,1.124249e-05,1.127975e-05,1.142528e-05,1.151689e-05,1.159940e-05,1.173916e-05,1.176512e-05,1.192267e-05,1.194714e-05,1.207232e-05,1.214142e-05,1.221431e-05,1.232257e-05,1.234890e-05,1.247634e-05,1.249116e-05,1.259687e-05,1.264777e-05,1.271073e-05,1.279295e-05,1.281815e-05,1.291938e-05,1.292722e-05,1.301464e-05,1.305112e-05,1.310415e-05,1.316516e-05,1.318812e-05,1.326677e-05,1.326981e-05,1.334030e-05,1.336556e-05,1.340891e-05,1.345285e-05,1.347279e-05,1.353212e-05,1.358709e-05,1.360379e-05,1.363788e-05,1.366827e-05,1.368465e-05,1.372593e-05,1.372757e-05,1.376680e-05,1.377714e-05,1.380248e-05,1.382225e-05,1.383477e-05,1.386161e-05,1.386381e-05,1.388975e-05,1.389552e-05,1.391270e-05,1.392430e-05,1.393281e-05,1.394824e-05,1.395019e-05,1.396496e-05,1.396761e-05,1.397725e-05,1.398269e-05,1.398715e-05,1.399371e-05,1.399479e-05,1.400025e-05,1.400093e-05,1.400365e-05,1.400457e-05,1.400507e-05,1.400485e-05,1.400461e-05,1.400236e-05,1.400197e-05,1.399839e-05,1.399613e-05,1.399281e-05,1.398752e-05,1.398567e-05,1.397707e-05,1.397632e-05,1.396707e-05,1.396269e-05,1.395574e-05,1.394679e-05,1.394314e-05,1.392936e-05,1.392878e-05,1.391444e-05,1.390880e-05,1.389844e-05,1.388699e-05,1.388144e-05,1.386347e-05,1.383836e-05,1.381180e-05,1.378388e-05,1.375470e-05,1.372438e-05,1.369300e-05,1.366065e-05,1.362741e-05,1.359337e-05,1.355860e-05,1.352317e-05,1.348715e-05,1.345060e-05,1.341358e-05,1.337614e-05,1.333835e-05,1.330025e-05,1.326188e-05,1.322330e-05,1.318454e-05,1.314565e-05,1.310666e-05,1.306761e-05,1.302853e-05
0.000000e+00,1.066621e-10,2.598287e-10,9.543267e-10,2.247375e-09,3.330749e-09,7.869058e-09,8.120201e-09,1.647216e-08,1.964949e-08,2.993339e-08,4.123620e-08,5.035863e-08,7.658983e-08,7.922033e-08,1.164467e-07,1.264533e-07,1.603221e-07,1.869964e-07,2.087451e-07,2.538244e-07,2.601031e-07,3.133342e-07,3.241390e-07,3.677334e-07,3.963074e-07,4.227861e-07,4.692254e-07,4.780705e-07,5.332089e-07,5.419936e-07,5.878480e-07,6.137986e-07,6.416541e-07,6.838891e-07,6.943159e-07,7.455499e-07,7.515898e-07,7.951045e-07,8.163196e-07,8.427647e-07,8.776104e-07,8.883554e-07,9.317376e-07,9.351095e-07,9.728112e-07,9.885788e-07,1.011512e-06,1.037888e-06,1.047808e-06,1.081694e-06,1.083000e-06,1.113194e-06,1.123956e-06,1.142348e-06,1.160864e-06,1.169219e-06,1.193878e-06,1.216406e-06,1.223180e-06,1.236894e-06,1.248978e-06,1.255435e-06,1.271497e-06,1.272130e-06,1.287077e-06,1.290963e-06,1.300376e-06,1.307604e-06,1.312123e-06,1.321643e-06,1.322416e-06,1.331346e-06,1.333296e-06,1.339003e-06,1.342767e-06,1.345472e-06,1.350247e-06,1.350835e-06,1.355170e-06,1.355920e-06,1.358551e-06,1.359955e-06,1.361046e-06,1.362506e-06,1.362721e-06,1.363639e-06,1.363719e-06,1.363856e-06,1.363728e-06,1.363427e-06,1.362653e-06,1.362403e-06,1.360832e-06,1.360609e-06,1.358757e-06,1.357696e-06,1.356221e-06,1.354009e-06,1.353262e-06,1.349917e-06,1.349633e-06,1.346218e-06,1.344646e-06,1.342197e-06,1.339120e-06,1.337884e-06,1.333306e-06,1.333117e-06,1.328487e-06,1.326698e-06,1.323452e-06,1.319916e-06,1.318223e-06,1.312819e-06,1.307259e-06,1.305450e-06,1.301562e-06,1.297851e-06,1.295743e-06,1.290056e-06,1.289817e-06,1.283799e-06,1.282099e-06,1.277701e-06,1.274009e-06,1.271536e-06,1.265814e-06,1.265314e-06,1.259047e-06,1.257537e-06,1.252743e-06,1.249200e-06,1.246411e-06,1.240823e-06,1.240060e-06,1.233697e-06,1.232424e-06,1.227330e-06,1.224019e-06,1.220964e-06,1.215622e-06,1.214605e-06,1.208260e-06,1.207246e-06,1.201932e-06,1.198903e-06,1.195628e-06,1.190603e-06,1.189350e-06,1.183103e-06,1.182356e-06,1.176891e-06,1.174169e-06,1.170717e-06,1.166051e-06,1.164583e-06,1.158492e-06,1.158007e-06,1.152447e-06,1.150043e-06,1.146451e-06,1.142164e-06,1.140505e-06,1.134610e-06,1.134376e-06,1.128769e-06,1.126680e-06,1.122984e-06,1.119081e-06,1.117254e-06,1.111582e-06,1.104185e-06,1.096892e-06,1.089705e-06,1.082625e-06,1.075652e-06,1.068788e-06,1.062033e-06,1.055388e-06,1.048852e-06,1.042426e-06,1.036108e-06,1.029900e-06,1.023799e-06,1.017807e-06,1.011921e-06,1.006140e-06,1.000465e-06,9.948938e-07,9.894254e-07,9.840586e-07,9.787922e-07,9.736251e-07,9.685560e-07,9.635835e-07
0.000000e+00,4.652065e-13,3.164036e-12,5.486456e-11,3.637065e-10,8.644962e-10,5.590907e-09,5.979430e-09,2.636074e-08,3.777350e-08,8.747058e-08,1.629195e-07,2.387424e-07,5.298300e-07,5.651822e-07,1.200783e-06,1.419737e-06,2.343117e-06,3.303300e-06,4.267753e-06,6.896700e-06,7.340461e-06,1.202525e-05,1.320362e-05,1.888719e-05,2.353234e-05,2.858981e-05,3.948486e-05,4.188763e-05,5.961475e-05,6.292143e-05,8.267022e-05,9.590623e-05,1.120012e-04,1.406404e-04,1.485847e-04,1.934082e-04,1.993875e-04,2.474507e-04,2.743965e-04,3.116633e-04,3.678258e-04,3.869512e-04,4.741565e-04,4.816713e-04,5.740427e-04,6.177014e-04,6.872805e-04,7.774017e-04,8.144369e-04,9.559644e-04,9.619295e-04,1.112194e-03,1.172080e-03,1.283332e-03,1.408265e-03,1.469453e-03,1.670505e-03,1.886305e-03,1.958430e-03,2.116550e-03,2.271295e-03,2.360814e-03,2.608001e-03,2.618562e-03,2.889155e-03,2.967125e-03,3.171860e-03,3.346961e-03,3.465862e-03,3.745558e-03,3.770272e-03,4.084140e-03,4.160765e-03,4.406466e-03,4.590277e-03,4.736212e-03,5.031681e-03,5.072313e-03,5.413689e-03,5.482501e-03,5.759250e-03,5.940236e-03,6.107914e-03,6.402404e-03,6.458608e-03,6.810283e-03,6.866573e-03,7.161914e-03,7.330390e-03,7.512514e-03,7.791613e-03,7.861135e-03,8.206873e-03,8.248126e-03,8.548874e-03,8.697962e-03,8.886336e-03,9.139310e-03,9.218512e-03,9.544709e-03,9.570527e-03,9.864294e-03,9.990145e-03,1.017669e-02,1.039687e-02,1.048137e-02,1.077789e-02,1.078957e-02,1.106583e-02,1.116731e-02,1.134483e-02,1.152930e-02,1.161461e-02,1.187492e-02,1.212554e-02,1.220367e-02,1.236634e-02,1.251524e-02,1.259720e-02,1.280940e-02,1.281804e-02,1.302885e-02,1.308608e-02,1.322963e-02,1.334530e-02,1.342041e-02,1.358716e-02,1.360127e-02,1.377229e-02,1.381189e-02,1.393361e-02,1.401975e-02,1.408536e-02,1.421111e-02,1.422770e-02,1.436083e-02,1.438637e-02,1.448494e-02,1.454598e-02,1.460024e-02,1.469044e-02,1.470695e-02,1.480530e-02,1.482027e-02,1.489553e-02,1.493604e-02,1.497790e-02,1.503830e-02,1.505265e-02,1.512005e-02,1.512765e-02,1.518033e-02,1.520467e-02,1.523377e-02,1.526997e-02,1.528063e-02,1.532116e-02,1.532413e-02,1.535561e-02,1.536775e-02,1.538425e-02,1.540141e-02,1.540732e-02,1.542507e-02,1.542567e-02,1.543773e-02,1.544110e-02,1.544556e-02,1.544824e-02,1.544878e-02,1.544762e-02,1.543975e-02,1.542512e-02,1.540421e-02,1.537746e-02,1.534533e-02,1.530821e-02,1.526651e-02,1.522061e-02,1.517085e-02,1.511758e-02,1.506111e-02,1.500176e-02,1.493980e-02,1.487551e-02,1.480914e-02,1.474091e-02,1.467107e-02,1.459980e-02,1.452732e-02,1.445379e-02,1.437939e-02,1.430427e-02,1.422859e-02,1.415247e-02
0.000000e+00,3.597540e-11,8.491022e-11,3.027856e-10,7.049608e-10,1.040780e-09,2.440398e-09,2.517529e-09,5.063668e-09,6.023007e-09,9.096602e-09,1.242708e-08,1.508576e-08,2.263384e-08,2.338585e-08,3.401669e-08,3.688623e-08,4.669243e-08,5.455002e-08,6.105998e-08,7.487574e-08,7.683575e-08,9.381119e-08,9.733536e-08,1.118226e-07,1.215499e-07,1.307266e-07,1.471964e-07,1.503875e-07,1.706713e-07,1.739656e-07,1.914456e-07,2.015531e-07,2.125804e-07,2.296636e-07,2.339508e-07,2.554387e-07,2.580199e-07,2.769352e-07,2.863706e-07,2.983417e-07,3.144958e-07,3.195700e-07,3.405431e-07,3.422079e-07,3.611952e-07,3.693533e-07,3.814704e-07,3.958092e-07,4.013230e-07,4.207156e-07,4.214813e-07,4.396188e-07,4.462997e-07,4.580101e-07,4.702151e-07,4.758729e-07,4.931957e-07,5.099716e-07,5.152238e-07,5.261974e-07,5.362930e-07,5.418728e-07,5.564053e-07,5.569999e-07,5.715832e-07,5.755699e-07,5.856288e-07,5.938011e-07,5.991442e-07,6.111173e-07,6.121378e-07,6.246193e-07,6.275398e-07,6.365989e-07,6.430921e-07,6.480872e-07,6.577993e-07,6.590953e-07,6.696347e-07,6.716873e-07,6.797170e-07,6.847830e-07,6.893538e-07,6.971132e-07,6.985570e-07,7.073384e-07,7.087051e-07,7.157097e-07,7.195857e-07,7.236826e-07,7.297818e-07,7.312686e-07,7.384792e-07,7.393198e-07,7.453256e-07,7.482255e-07,7.518190e-07,7.565245e-07,7.579702e-07,7.637900e-07,7.642416e-07,7.692889e-07,7.714009e-07,7.744772e-07,7.780261e-07,7.793649e-07,7.839621e-07,7.841400e-07,7.882782e-07,7.897650e-07,7.923227e-07,7.949225e-07,7.961048e-07,7.996335e-07,8.029174e-07,8.039180e-07,8.059651e-07,8.077955e-07,8.087849e-07,8.112849e-07,8.113848e-07,8.137726e-07,8.144043e-07,8.159561e-07,8.171711e-07,8.179425e-07,8.196022e-07,8.197392e-07,8.213530e-07,8.217139e-07,8.227908e-07,8.235216e-07,8.240592e-07,8.250404e-07,8.251646e-07,8.261132e-07,8.262846e-07,8.269110e-07,8.272682e-07,8.275638e-07,8.280043e-07,8.280773e-07,8.284570e-07,8.285057e-07,8.287083e-07,8.287847e-07,8.288361e-07,8.288530e-07,8.288456e-07,8.287416e-07,8.287217e-07,8.285287e-07,8.284017e-07,8.282114e-07,8.279032e-07,8.277942e-07,8.272813e-07,8.272362e-07,8.266767e-07,8.264101e-07,8.259845e-07,8.254340e-07,8.252084e-07,8.243522e-07,8.243164e-07,8.234195e-07,8.230657e-07,8.224137e-07,8.216897e-07,8.213382e-07,8.201961e-07,8.185921e-07,8.168846e-07,8.150801e-07,8.131849e-07,8.112052e-07,8.091465e-07,8.070144e-07,8.048140e-07,8.025505e-07,8.002284e-07,7.978524e-07,7.954267e-07,7.929554e-07,7.904424e-07,7.878916e-07,7.853062e-07,7.826898e-07,7.800455e-07,7.773763e-07,7.746852e-07,7.719749e-07,7.692479e-07,7.665068e-07,7.637539e-07
0.000000e+00,1.251400e-12,8.512110e-12,1.476728e-10,9.798248e-10,2.330674e-09,1.511822e-08,1.617141e-08,7.165690e-08,1.028674e-07,2.395246e-07,4.486080e-07,6.601308e-07,1.480983e-06,1.581408e-06,3.405140e-06,4.039428e-06,6.736545e-06,9.567022e-06,1.242696e-05,2.027094e-05,2.159920e-05,3.565048e-05,3.918754e-05,5.623376e-05,7.013266e-05,8.522146e-05,1.175567e-04,1.246563e-04,1.766940e-04,1.863369e-04,2.435420e-04,2.815369e-04,3.273974e-04,4.081598e-04,4.303866e-04,5.545091e-04,5.709127e-04,7.015879e-04,7.739969e-04,8.732255e-04,1.020934e-03,1.070769e-03,1.295281e-03,1.314432e-03,1.547523e-03,1.656296e-03,1.827944e-03,2.047382e-03,2.136676e-03,2.473536e-03,2.487590e-03,2.838042e-03,2.975892e-03,3.229422e-03,3.510393e-03,3.646640e-03,4.088414e-03,4.553247e-03,4.706592e-03,5.039452e-03,5.360993e-03,5.545185e-03,6.047230e-03,6.068473e-03,6.607241e-03,6.760580e-03,7.159346e-03,7.496102e-03,7.722600e-03,8.248746e-03,8.294799e-03,8.873743e-03,9.013452e-03,9.457262e-03,9.785238e-03,1.004323e-02,1.055928e-02,1.062960e-02,1.121438e-02,1.133098e-02,1.179569e-02,1.209600e-02,1.237175e-02,1.285035e-02,1.294088e-02,1.350153e-02,1.359035e-02,1.405226e-02,1.431270e-02,1.459177e-02,1.501450e-02,1.511888e-02,1.563251e-02,1.569319e-02,1.613174e-02,1.634662e-02,1.661574e-02,1.697298e-02,1.708383e-02,1.753542e-02,1.757081e-02,1.797002e-02,1.813902e-02,1.838727e-02,1.867678e-02,1.878688e-02,1.916868e-02,1.918358e-02,1.953256e-02,1.965916e-02,1.987850e-02,2.010351e-02,2.020654e-02,2.051682e-02,2.080950e-02,2.089948e-02,2.108481e-02,2.125203e-02,2.134304e-02,2.157516e-02,2.158450e-02,2.180956e-02,2.186969e-02,2.201860e-02,2.213652e-02,2.221205e-02,2.237664e-02,2.239036e-02,2.255397e-02,2.259110e-02,2.270337e-02,2.278101e-02,2.283906e-02,2.294751e-02,2.296152e-02,2.307126e-02,2.309173e-02,2.316880e-02,2.321485e-02,2.325462e-02,2.331804e-02,2.332925e-02,2.339317e-02,2.340244e-02,2.344689e-02,2.346919e-02,2.349089e-02,2.351941e-02,2.352565e-02,2.355164e-02,2.355419e-02,2.356932e-02,2.357458e-02,2.357914e-02,2.358161e-02,2.358152e-02,2.357690e-02,2.357624e-02,2.356568e-02,2.355944e-02,2.354826e-02,2.353209e-02,2.352501e-02,2.349631e-02,2.349506e-02,2.346251e-02,2.344916e-02,2.342395e-02,2.339517e-02,2.338095e-02,2.333382e-02,2.326580e-02,2.319177e-02,2.311233e-02,2.302806e-02,2.293949e-02,2.284712e-02,2.275142e-02,2.265282e-02,2.255173e-02,2.244853e-02,2.234356e-02,2.223713e-02,2.212955e-02,2.202109e-02,2.191200e-02,2.180251e-02,2.169282e-02,2.158314e-02,2.147363e-02,2.136446e-02,2.125577e-02,2.114769e-02,2.104034e-02,2.093383e-02
0.000000e+00,5.294401e-13,3.344197e-12,4.971647e-11,2.863004e-10,6.298074e-10,3.334267e-09,3.537072e-09,1.279185e-08,1.737400e-08,3.519097e-08,5.887656e-08,8.049272e-08,1.532069e-07,1.613214e-07,2.925999e-07,3.333815e-07,4.901863e-07,6.354453e-07,7.689875e-07,1.091404e-06,1.141359e-06,1.616313e-06,1.724166e-06,2.199490e-06,2.546502e-06,2.893566e-06,3.562534e-06,3.698789e-06,4.613445e-06,4.769742e-06,5.634182e-06,6.160467e-06,6.756234e-06,7.722794e-06,7.973545e-06,9.278877e-06,9.441048e-06,1.066392e-05,1.129623e-05,1.211939e-05,1.326651e-05,1.363526e-05,1.520087e-05,1.532793e-05,1.680518e-05,1.745523e-05,1.843701e-05,1.962271e-05,2.008524e-05,2.173905e-05,2.180517e-05,2.338808e-05,2.397867e-05,2.502263e-05,2.612125e-05,2.663376e-05,2.821343e-05,2.975452e-05,3.023849e-05,3.125088e-05,3.218267e-05,3.269737e-05,3.403515e-05,3.408976e-05,3.542476e-05,3.578792e-05,3.669993e-05,3.743559e-05,3.791361e-05,3.897509e-05,3.906488e-05,4.015343e-05,4.040537e-05,4.117951e-05,4.172707e-05,4.214384e-05,4.294225e-05,4.304754e-05,4.389208e-05,4.405404e-05,4.467918e-05,4.506639e-05,4.541075e-05,4.598387e-05,4.608887e-05,4.671573e-05,4.681142e-05,4.729359e-05,4.755422e-05,4.782472e-05,4.821753e-05,4.831143e-05,4.875598e-05,4.880660e-05,4.916062e-05,4.932658e-05,4.952753e-05,4.978245e-05,4.985882e-05,5.015654e-05,5.017897e-05,5.042267e-05,5.052070e-05,5.065908e-05,5.081191e-05,5.086757e-05,5.104986e-05,5.105663e-05,5.120756e-05,5.125862e-05,5.134222e-05,5.142138e-05,5.145530e-05,5.154815e-05,5.162208e-05,5.164195e-05,5.167831e-05,5.170554e-05,5.171799e-05,5.174150e-05,5.174219e-05,5.175192e-05,5.175218e-05,5.174814e-05,5.173976e-05,5.173174e-05,5.170622e-05,5.170355e-05,5.166437e-05,5.165342e-05,5.161493e-05,5.158302e-05,5.155592e-05,5.149660e-05,5.148800e-05,5.141176e-05,5.139557e-05,5.132779e-05,5.128124e-05,5.123661e-05,5.115482e-05,5.113872e-05,5.103461e-05,5.101741e-05,5.092472e-05,5.087003e-05,5.080945e-05,5.071363e-05,5.068920e-05,5.056433e-05,5.054906e-05,5.043520e-05,5.037712e-05,5.030213e-05,5.019854e-05,5.016541e-05,5.002534e-05,5.001400e-05,4.988219e-05,4.982412e-05,4.973620e-05,4.962947e-05,4.958762e-05,4.943668e-05,4.943059e-05,4.928358e-05,4.922797e-05,4.912852e-05,4.902206e-05,4.897169e-05,4.881327e-05,4.860199e-05,4.838859e-05,4.817339e-05,4.795670e-05,4.773880e-05,4.751996e-05,4.730041e-05,4.708039e-05,4.686010e-05,4.663973e-05,4.641946e-05,4.619947e-05,4.597989e-05,4.576087e-05,4.554255e-05,4.532504e-05,4.510846e-05,4.489291e-05,4.467847e-05,4.446525e-05,4.425331e-05,4.404274e-05,4.383359e-05,4.362594e-05
0.000000e+00,2.145765e-12,1.344925e-11,1.968483e-10,1.118286e-09,2.442468e-09,1.270783e-08,1.347174e-08,4.797777e-08,6.491479e-08,1.303154e-07,2.166132e-07,2.949891e-07,5.570775e-07,5.862186e-07,1.055698e-06,1.200937e-06,1.757356e-06,2.270406e-06,2.740354e-06,3.869192e-06,4.043440e-06,5.692487e-06,6.065190e-06,7.700854e-06,8.888460e-06,1.007122e-05,1.233797e-05,1.279768e-05,1.586759e-05,1.638950e-05,1.926281e-05,2.100159e-05,2.296076e-05,2.611948e-05,2.693509e-05,3.115642e-05,3.167809e-05,3.559307e-05,3.760488e-05,4.021180e-05,4.382291e-05,4.497863e-05,4.985959e-05,5.025400e-05,5.482147e-05,5.682169e-05,5.983243e-05,6.345384e-05,6.486257e-05,6.988429e-05,7.008462e-05,7.487255e-05,7.665576e-05,7.980507e-05,8.311726e-05,8.466232e-05,8.942751e-05,9.408647e-05,9.555292e-05,9.862748e-05,1.014674e-04,1.030411e-04,1.071514e-04,1.073199e-04,1.114583e-04,1.125914e-04,1.154524e-04,1.177785e-04,1.192996e-04,1.227081e-04,1.229985e-04,1.265488e-04,1.273788e-04,1.299511e-04,1.317921e-04,1.332065e-04,1.359513e-04,1.363170e-04,1.392848e-04,1.398615e-04,1.421127e-04,1.435289e-04,1.448037e-04,1.469608e-04,1.473611e-04,1.497883e-04,1.501648e-04,1.520888e-04,1.531492e-04,1.542665e-04,1.559225e-04,1.563248e-04,1.582677e-04,1.584932e-04,1.600988e-04,1.608700e-04,1.618219e-04,1.630614e-04,1.634406e-04,1.649587e-04,1.650759e-04,1.663796e-04,1.669216e-04,1.677070e-04,1.686068e-04,1.689443e-04,1.700949e-04,1.701392e-04,1.711621e-04,1.715265e-04,1.721491e-04,1.727761e-04,1.730591e-04,1.738951e-04,1.746600e-04,1.748903e-04,1.753569e-04,1.757684e-04,1.759884e-04,1.765358e-04,1.765573e-04,1.770663e-04,1.771984e-04,1.775178e-04,1.777622e-04,1.779143e-04,1.782327e-04,1.782583e-04,1.785520e-04,1.786152e-04,1.787976e-04,1.789150e-04,1.789973e-04,1.791367e-04,1.791532e-04,1.792672e-04,1.792852e-04,1.793414e-04,1.793648e-04,1.793775e-04,1.793797e-04,1.793773e-04,1.793427e-04,1.793341e-04,1.792752e-04,1.792316e-04,1.791764e-04,1.790760e-04,1.790480e-04,1.788913e-04,1.788707e-04,1.787078e-04,1.786190e-04,1.784990e-04,1.783241e-04,1.782660e-04,1.780102e-04,1.779888e-04,1.777328e-04,1.776161e-04,1.774350e-04,1.772086e-04,1.771179e-04,1.767826e-04,1.767688e-04,1.764301e-04,1.762991e-04,1.760614e-04,1.758019e-04,1.756774e-04,1.752792e-04,1.747331e-04,1.741656e-04,1.735784e-04,1.729733e-04,1.723519e-04,1.717157e-04,1.710663e-04,1.704049e-04,1.697330e-04,1.690516e-04,1.683619e-04,1.676650e-04,1.669620e-04,1.662538e-04,1.655413e-04,1.648254e-04,1.641067e-04,1.633862e-04,1.626644e-04,1.619421e-04,1.612198e-04,1.604982e-04,1.597777e-04,1.590588e-04
0.000000e+00,6.615154e-13,4.446718e-12,7.521940e-11,4.872621e-10,1.143336e-09,7.146283e-09,7.632100e-09,3.248469e-08,4.609557e-08,1.040996e-07,1.899017e-07,2.744623e-07,5.901162e-07,6.277657e-07,1.288983e-06,1.511675e-06,2.431991e-06,3.365768e-06,4.286775e-06,6.737762e-06,7.144882e-06,1.136181e-05,1.240396e-05,1.735491e-05,2.132805e-05,2.559603e-05,3.463096e-05,3.659914e-05,5.090438e-05,5.353634e-05,6.906009e-05,7.930143e-05,9.160456e-05,1.131448e-04,1.190488e-04,1.518614e-04,1.561800e-04,1.904559e-04,2.093614e-04,2.351806e-04,2.734439e-04,2.863116e-04,3.440484e-04,3.489568e-04,4.085111e-04,4.361913e-04,4.797410e-04,5.351992e-04,5.577015e-04,6.422821e-04,6.458007e-04,7.333024e-04,7.676009e-04,8.305179e-04,9.000110e-04,9.336263e-04,1.042274e-03,1.156064e-03,1.193493e-03,1.274563e-03,1.352661e-03,1.397308e-03,1.518688e-03,1.523814e-03,1.653583e-03,1.690434e-03,1.786106e-03,1.866731e-03,1.920876e-03,2.046412e-03,2.057385e-03,2.195139e-03,2.228330e-03,2.333652e-03,2.411377e-03,2.472459e-03,2.594499e-03,2.611115e-03,2.749196e-03,2.776708e-03,2.886305e-03,2.957094e-03,3.022072e-03,3.134827e-03,3.156153e-03,3.288236e-03,3.309164e-03,3.418033e-03,3.479448e-03,3.545289e-03,3.645109e-03,3.669774e-03,3.791288e-03,3.805661e-03,3.909654e-03,3.960699e-03,4.024724e-03,4.109895e-03,4.136373e-03,4.244497e-03,4.252992e-03,4.349014e-03,4.389797e-03,4.449864e-03,4.520180e-03,4.547003e-03,4.640405e-03,4.644063e-03,4.730058e-03,4.761416e-03,4.815966e-03,4.872251e-03,4.898144e-03,4.976620e-03,5.051430e-03,5.074603e-03,5.122622e-03,5.166310e-03,5.190249e-03,5.251873e-03,5.254372e-03,5.315058e-03,5.331443e-03,5.372378e-03,5.405187e-03,5.426409e-03,5.473281e-03,5.477231e-03,5.524925e-03,5.535915e-03,5.569575e-03,5.593282e-03,5.611269e-03,5.645582e-03,5.650093e-03,5.686134e-03,5.693017e-03,5.719483e-03,5.735788e-03,5.750225e-03,5.774100e-03,5.778450e-03,5.804245e-03,5.808153e-03,5.827696e-03,5.838145e-03,5.848888e-03,5.864271e-03,5.867905e-03,5.884829e-03,5.886723e-03,5.899742e-03,5.905688e-03,5.912724e-03,5.921346e-03,5.923852e-03,5.933203e-03,5.933876e-03,5.940850e-03,5.943448e-03,5.946866e-03,5.950228e-03,5.951322e-03,5.954287e-03,5.954375e-03,5.955826e-03,5.956044e-03,5.956005e-03,5.955382e-03,5.954887e-03,5.952531e-03,5.947629e-03,5.940804e-03,5.932184e-03,5.921887e-03,5.910027e-03,5.896714e-03,5.882052e-03,5.866139e-03,5.849071e-03,5.830936e-03,5.811820e-03,5.791804e-03,5.770965e-03,5.749375e-03,5.727104e-03,5.704217e-03,5.680777e-03,5.656840e-03,5.632464e-03,5.607699e-03,5.582596e-03,5.557201e-03,5.531557e-03,5.505705e-03
0.000000e+00,8.451278e-13,5.313560e-12,7.824337e-11,4.466465e-10,9.777497e-10,5.108623e-09,5.416322e-09,1.930552e-08,2.610780e-08,5.226051e-08,8.650251e-08,1.173636e-07,2.192305e-07,2.304516e-07,4.092000e-07,4.639240e-07,6.721235e-07,8.629688e-07,1.037439e-06,1.456844e-06,1.521722e-06,2.138499e-06,2.278660e-06,2.897140e-06,3.349433e-06,3.802299e-06,4.675971e-06,4.853950e-06,6.047820e-06,6.251556e-06,7.376044e-06,8.058249e-06,8.827873e-06,1.006969e-05,1.039036e-05,1.204901e-05,1.225378e-05,1.378833e-05,1.457507e-05,1.559234e-05,1.699681e-05,1.744506e-05,1.933089e-05,1.948273e-05,2.123491e-05,2.199846e-05,2.314320e-05,2.451261e-05,2.504302e-05,2.692290e-05,2.699753e-05,2.877277e-05,2.942966e-05,3.058395e-05,3.178966e-05,3.234911e-05,3.406224e-05,3.571854e-05,3.623592e-05,3.731433e-05,3.830261e-05,3.884693e-05,4.025711e-05,4.031455e-05,4.171615e-05,4.209671e-05,4.305138e-05,4.382072e-05,4.432043e-05,4.543007e-05,4.552397e-05,4.666303e-05,4.692695e-05,4.773897e-05,4.831450e-05,4.875337e-05,4.959656e-05,4.970803e-05,5.060486e-05,5.077746e-05,5.144587e-05,5.186182e-05,5.223314e-05,5.285447e-05,5.296879e-05,5.365496e-05,5.376029e-05,5.429376e-05,5.458417e-05,5.488729e-05,5.533093e-05,5.543765e-05,5.594685e-05,5.600528e-05,5.641687e-05,5.661177e-05,5.684964e-05,5.715479e-05,5.724703e-05,5.761084e-05,5.763854e-05,5.794281e-05,5.806706e-05,5.824462e-05,5.844416e-05,5.851788e-05,5.876415e-05,5.877346e-05,5.898490e-05,5.905840e-05,5.918156e-05,5.930222e-05,5.935549e-05,5.950799e-05,5.964031e-05,5.967858e-05,5.975362e-05,5.981670e-05,5.984908e-05,5.992491e-05,5.992774e-05,5.999065e-05,6.000558e-05,6.003878e-05,6.006095e-05,6.007305e-05,6.009312e-05,6.009437e-05,6.010356e-05,6.010405e-05,6.010143e-05,6.009557e-05,6.008873e-05,6.006940e-05,6.006620e-05,6.003451e-05,6.002713e-05,5.999431e-05,5.997025e-05,5.994622e-05,5.990015e-05,5.989082e-05,5.982866e-05,5.981812e-05,5.976026e-05,5.972537e-05,5.968613e-05,5.962300e-05,5.960672e-05,5.952247e-05,5.951206e-05,5.943381e-05,5.939351e-05,5.934114e-05,5.926824e-05,5.924481e-05,5.914518e-05,5.913708e-05,5.904259e-05,5.900080e-05,5.893735e-05,5.886009e-05,5.882974e-05,5.872005e-05,5.871563e-05,5.860854e-05,5.856800e-05,5.849545e-05,5.841776e-05,5.838101e-05,5.826544e-05,5.811149e-05,5.795635e-05,5.780042e-05,5.764405e-05,5.748759e-05,5.733132e-05,5.717553e-05,5.702047e-05,5.686636e-05,5.671341e-05,5.656180e-05,5.641170e-05,5.626325e-05,5.611659e-05,5.597183e-05,5.582908e-05,5.568843e-05,5.554995e-05,5.541371e-05,5.527977e-05,5.514818e-05,5.501897e-05,5.489218e-05,5.476783e-05
0.000000e+00,4.157882e-13,2.810799e-12,4.812024e-11,3.152345e-10,7.443540e-10,4.731353e-09,5.056548e-09,2.190582e-08,3.123979e-08,7.147041e-08,1.318145e-07,1.919219e-07,4.198221e-07,4.472835e-07,9.360732e-07,1.102846e-06,1.800127e-06,2.517546e-06,3.232328e-06,5.158765e-06,5.481353e-06,8.851723e-06,9.690820e-06,1.369863e-05,1.693275e-05,2.041814e-05,2.781931e-05,2.943414e-05,4.118339e-05,4.334610e-05,5.610004e-05,6.450846e-05,7.460065e-05,9.224180e-05,9.707041e-05,1.238512e-04,1.273689e-04,1.552316e-04,1.705571e-04,1.914392e-04,2.222872e-04,2.326353e-04,2.789119e-04,2.828347e-04,3.302904e-04,3.522619e-04,3.867228e-04,4.304215e-04,4.480941e-04,5.142266e-04,5.169678e-04,5.848850e-04,6.113763e-04,6.597829e-04,7.129678e-04,7.385893e-04,8.209361e-04,9.064254e-04,9.343775e-04,9.946370e-04,1.052321e-03,1.085136e-03,1.173754e-03,1.177478e-03,1.271218e-03,1.297656e-03,1.365915e-03,1.423012e-03,1.461136e-03,1.548843e-03,1.556464e-03,1.651496e-03,1.674217e-03,1.745854e-03,1.798266e-03,1.839181e-03,1.920193e-03,1.931147e-03,2.021447e-03,2.039283e-03,2.109806e-03,2.154903e-03,2.195977e-03,2.266508e-03,2.279740e-03,2.360905e-03,2.373639e-03,2.439307e-03,2.475917e-03,2.514808e-03,2.573046e-03,2.587298e-03,2.656687e-03,2.664802e-03,2.722911e-03,2.751034e-03,2.785924e-03,2.831650e-03,2.845701e-03,2.902236e-03,2.906619e-03,2.955537e-03,2.975957e-03,3.005628e-03,3.039726e-03,3.052546e-03,3.096339e-03,3.098026e-03,3.137065e-03,3.150989e-03,3.174794e-03,3.198775e-03,3.209599e-03,3.241563e-03,3.270772e-03,3.279551e-03,3.297317e-03,3.312951e-03,3.321293e-03,3.341983e-03,3.342796e-03,3.361927e-03,3.366871e-03,3.378783e-03,3.387846e-03,3.393464e-03,3.405137e-03,3.406071e-03,3.416702e-03,3.418971e-03,3.425455e-03,3.429573e-03,3.432426e-03,3.437162e-03,3.437710e-03,3.441398e-03,3.441953e-03,3.443582e-03,3.444152e-03,3.444348e-03,3.443959e-03,3.443782e-03,3.441966e-03,3.441565e-03,3.438979e-03,3.437151e-03,3.434897e-03,3.430893e-03,3.429794e-03,3.423740e-03,3.422953e-03,3.416803e-03,3.413488e-03,3.409048e-03,3.402645e-03,3.400536e-03,3.391326e-03,3.390560e-03,3.381474e-03,3.377365e-03,3.371033e-03,3.363179e-03,3.360053e-03,3.348584e-03,3.348116e-03,3.336671e-03,3.332281e-03,3.324355e-03,3.315772e-03,3.311679e-03,3.298680e-03,3.281090e-03,3.263078e-03,3.244716e-03,3.226072e-03,3.207205e-03,3.188172e-03,3.169022e-03,3.149804e-03,3.130559e-03,3.111325e-03,3.092139e-03,3.073032e-03,3.054031e-03,3.035164e-03,3.016453e-03,2.997919e-03,2.979580e-03,2.961452e-03,2.943550e-03,2.925886e-03,2.908471e-03,2.891314e-03,2.874424e-03,2.857806e-03
0.000000e+00,3.650693e-11,1.819287e-10,1.713589e-09,6.783219e-09,1.234490e-08,4.211822e-08,4.395319e-08,1.101227e-07,1.367918e-07,2.254207e-07,3.248784e-07,4.061677e-07,6.459382e-07,6.706109e-07,1.036197e-06,1.140352e-06,1.512800e-06,1.827406e-06,2.096834e-06,2.687811e-06,2.773220e-06,3.522809e-06,3.679903e-06,4.327958e-06,4.763663e-06,5.174165e-06,5.907960e-06,6.049546e-06,6.943912e-06,7.088151e-06,7.848131e-06,8.283168e-06,8.753817e-06,9.474210e-06,9.653248e-06,1.053939e-05,1.064453e-05,1.140597e-05,1.177964e-05,1.224754e-05,1.286755e-05,1.305951e-05,1.383816e-05,1.389892e-05,1.458058e-05,1.486691e-05,1.528468e-05,1.576709e-05,1.594906e-05,1.657296e-05,1.659707e-05,1.715617e-05,1.735620e-05,1.769893e-05,1.804520e-05,1.820186e-05,1.866589e-05,1.909220e-05,1.922086e-05,1.948213e-05,1.971327e-05,1.983716e-05,2.014662e-05,2.015887e-05,2.044888e-05,2.052463e-05,2.070885e-05,2.085110e-05,2.094042e-05,2.112979e-05,2.114523e-05,2.132486e-05,2.136440e-05,2.148088e-05,2.155849e-05,2.161478e-05,2.171546e-05,2.172800e-05,2.182193e-05,2.183852e-05,2.189788e-05,2.193069e-05,2.195711e-05,2.199482e-05,2.200081e-05,2.203010e-05,2.203352e-05,2.204605e-05,2.204926e-05,2.204966e-05,2.204430e-05,2.204188e-05,2.202360e-05,2.202074e-05,2.199565e-05,2.198050e-05,2.195882e-05,2.192535e-05,2.191386e-05,2.186144e-05,2.185694e-05,2.180221e-05,2.177675e-05,2.173679e-05,2.168616e-05,2.166573e-05,2.158956e-05,2.158641e-05,2.150878e-05,2.147866e-05,2.142385e-05,2.136395e-05,2.133520e-05,2.124323e-05,2.114830e-05,2.111736e-05,2.105078e-05,2.098715e-05,2.095098e-05,2.085330e-05,2.084919e-05,2.074571e-05,2.071647e-05,2.064079e-05,2.057724e-05,2.053466e-05,2.043616e-05,2.042756e-05,2.031968e-05,2.029370e-05,2.021122e-05,2.015030e-05,2.010235e-05,2.000634e-05,1.999324e-05,1.988404e-05,1.986219e-05,1.977487e-05,1.971816e-05,1.966588e-05,1.957454e-05,1.955717e-05,1.944886e-05,1.943157e-05,1.934104e-05,1.928948e-05,1.923380e-05,1.914848e-05,1.912722e-05,1.902138e-05,1.900874e-05,1.891635e-05,1.887041e-05,1.881218e-05,1.873363e-05,1.870894e-05,1.860666e-05,1.859853e-05,1.850541e-05,1.846520e-05,1.840520e-05,1.833373e-05,1.830609e-05,1.820810e-05,1.820420e-05,1.811126e-05,1.807668e-05,1.801559e-05,1.795122e-05,1.792111e-05,1.782785e-05,1.770662e-05,1.758755e-05,1.747066e-05,1.735597e-05,1.724347e-05,1.713317e-05,1.702508e-05,1.691917e-05,1.681544e-05,1.671388e-05,1.661446e-05,1.651717e-05,1.642198e-05,1.632887e-05,1.623781e-05,1.614878e-05,1.606174e-05,1.597667e-05,1.589353e-05,1.581229e-05,1.573292e-05,1.565538e-05,1.557964e-05,1.550568e-05
0.000000e+00,1.688458e-10,5.159877e-10,2.408870e-09,6.310343e-09,9.697158e-09,2.407768e-08,2.487074e-08,5.070429e-08,6.023291e-08,9.005179e-08,1.213864e-07,1.458904e-07,2.141900e-07,2.209488e-07,3.167091e-07,3.427657e-07,4.328400e-07,5.062814e-07,5.680030e-07,7.015493e-07,7.207661e-07,8.898221e-07,9.254768e-07,1.073894e-06,1.175101e-06,1.271629e-06,1.447210e-06,1.481552e-06,1.702061e-06,1.738212e-06,1.931451e-06,2.044196e-06,2.167956e-06,2.361081e-06,2.409788e-06,2.655186e-06,2.684791e-06,2.902452e-06,3.011425e-06,3.149986e-06,3.337374e-06,3.396305e-06,3.640071e-06,3.659426e-06,3.880091e-06,3.974813e-06,4.115327e-06,4.281230e-06,4.344891e-06,4.568043e-06,4.576827e-06,4.784180e-06,4.860177e-06,4.992827e-06,5.130239e-06,5.193621e-06,5.386307e-06,5.570716e-06,5.627963e-06,5.746761e-06,5.855030e-06,5.914423e-06,6.067526e-06,6.073739e-06,6.224796e-06,6.265628e-06,6.367718e-06,6.449633e-06,6.502666e-06,6.619932e-06,6.629823e-06,6.749393e-06,6.776986e-06,6.861598e-06,6.921301e-06,6.966668e-06,7.053417e-06,7.064842e-06,7.156366e-06,7.173894e-06,7.241485e-06,7.283298e-06,7.320446e-06,7.382196e-06,7.393497e-06,7.460879e-06,7.471151e-06,7.522834e-06,7.550714e-06,7.579597e-06,7.621423e-06,7.631397e-06,7.678459e-06,7.683798e-06,7.721001e-06,7.738343e-06,7.759236e-06,7.785540e-06,7.793369e-06,7.823599e-06,7.825854e-06,7.850117e-06,7.859727e-06,7.873110e-06,7.887583e-06,7.892756e-06,7.909227e-06,7.909822e-06,7.922688e-06,7.926828e-06,7.933298e-06,7.938963e-06,7.941210e-06,7.946571e-06,7.949520e-06,7.949977e-06,7.950194e-06,7.949490e-06,7.948720e-06,7.945400e-06,7.945223e-06,7.939820e-06,7.937981e-06,7.932624e-06,7.927491e-06,7.923744e-06,7.914176e-06,7.913283e-06,7.901340e-06,7.898263e-06,7.888008e-06,7.879969e-06,7.873377e-06,7.859496e-06,7.857534e-06,7.840559e-06,7.837035e-06,7.822531e-06,7.812765e-06,7.803524e-06,7.786854e-06,7.783609e-06,7.762852e-06,7.759458e-06,7.741319e-06,7.730724e-06,7.719068e-06,7.700792e-06,7.696160e-06,7.672648e-06,7.669788e-06,7.648584e-06,7.637835e-06,7.624020e-06,7.605044e-06,7.599000e-06,7.573571e-06,7.571520e-06,7.547774e-06,7.537361e-06,7.521650e-06,7.502659e-06,7.495236e-06,7.468569e-06,7.467498e-06,7.441683e-06,7.431956e-06,7.414610e-06,7.396109e-06,7.387380e-06,7.360023e-06,7.323761e-06,7.287383e-06,7.250942e-06,7.214488e-06,7.178068e-06,7.141724e-06,7.105494e-06,7.069416e-06,7.033521e-06,6.997840e-06,6.962400e-06,6.927228e-06,6.892345e-06,6.857771e-06,6.823527e-06,6.789628e-06,6.756089e-06,6.722924e-06,6.690144e-06,6.657761e-06,6.625782e-06,6.594216e-06,6.563070e-06,6.532349e-06
0.000000e+00,1.311506e-11,3.020300e-11,1.042437e-10,2.369697e-10,3.452557e-10,7.790581e-10,8.022851e-10,1.538767e-09,1.803702e-09,2.618548e-09,3.458705e-09,4.108004e-09,5.898255e-09,6.074656e-09,8.577380e-09,9.262018e-09,1.164552e-08,1.360554e-08,1.525995e-08,1.884402e-08,1.935888e-08,2.386341e-08,2.480614e-08,2.869749e-08,3.131886e-08,3.379413e-08,3.823492e-08,3.909439e-08,4.454497e-08,4.542766e-08,5.009637e-08,5.278309e-08,5.570208e-08,6.019631e-08,6.131843e-08,6.690471e-08,6.757123e-08,7.242357e-08,7.482169e-08,7.784132e-08,8.187277e-08,8.312827e-08,8.825878e-08,8.866179e-08,9.321137e-08,9.513854e-08,9.796856e-08,1.012650e-07,1.025167e-07,1.068458e-07,1.070143e-07,1.109491e-07,1.123701e-07,1.148225e-07,1.173245e-07,1.184649e-07,1.218767e-07,1.250608e-07,1.260323e-07,1.280213e-07,1.298011e-07,1.307636e-07,1.331968e-07,1.332940e-07,1.356198e-07,1.362354e-07,1.377487e-07,1.389348e-07,1.396887e-07,1.413140e-07,1.414483e-07,1.430359e-07,1.433923e-07,1.444600e-07,1.451893e-07,1.457292e-07,1.467245e-07,1.468518e-07,1.478359e-07,1.480168e-07,1.486894e-07,1.490842e-07,1.494200e-07,1.499442e-07,1.500352e-07,1.505420e-07,1.506135e-07,1.509473e-07,1.511077e-07,1.512576e-07,1.514416e-07,1.514791e-07,1.516178e-07,1.516292e-07,1.516793e-07,1.516833e-07,1.516690e-07,1.516163e-07,1.515920e-07,1.514530e-07,1.514393e-07,1.512566e-07,1.511629e-07,1.510071e-07,1.507969e-07,1.507086e-07,1.503649e-07,1.503503e-07,1.499796e-07,1.498314e-07,1.495562e-07,1.492480e-07,1.490977e-07,1.486073e-07,1.480877e-07,1.479157e-07,1.475416e-07,1.471793e-07,1.469715e-07,1.464038e-07,1.463797e-07,1.457685e-07,1.455942e-07,1.451399e-07,1.447551e-07,1.444958e-07,1.438910e-07,1.438379e-07,1.431681e-07,1.430058e-07,1.424879e-07,1.421029e-07,1.417987e-07,1.411858e-07,1.411019e-07,1.403988e-07,1.402575e-07,1.396905e-07,1.393206e-07,1.389783e-07,1.383777e-07,1.382631e-07,1.375459e-07,1.374310e-07,1.368276e-07,1.364826e-07,1.361089e-07,1.355343e-07,1.353908e-07,1.346738e-07,1.345879e-07,1.339587e-07,1.336447e-07,1.332460e-07,1.327063e-07,1.325363e-07,1.318301e-07,1.317737e-07,1.311278e-07,1.308482e-07,1.304300e-07,1.299306e-07,1.297370e-07,1.290492e-07,1.290218e-07,1.283669e-07,1.281226e-07,1.276903e-07,1.272337e-07,1.270198e-07,1.263557e-07,1.254890e-07,1.246341e-07,1.237914e-07,1.229613e-07,1.221439e-07,1.213395e-07,1.205482e-07,1.197702e-07,1.190056e-07,1.182544e-07,1.175166e-07,1.167924e-07,1.160815e-07,1.153841e-07,1.146999e-07,1.140290e-07,1.133712e-07,1.127264e-07,1.120946e-07,1.114754e-07,1.108689e-07,1.102748e-07,1.096929e-07,1.091232e-07
0.000000e+00,4.658219e-12,2.659683e-11,3.230025e-10,1.560738e-09,3.129598e-09,1.320272e-08,1.388214e-08,4.079451e-08,5.251662e-08,9.343684e-08,1.414604e-07,1.816067e-07,3.021970e-07,3.147092e-07,5.014751e-07,5.551814e-07,7.498042e-07,9.183750e-07,1.066582e-06,1.406427e-06,1.457375e-06,1.925969e-06,2.029196e-06,2.473755e-06,2.789493e-06,3.099096e-06,3.680694e-06,3.796900e-06,4.558694e-06,4.685802e-06,5.373331e-06,5.779434e-06,6.228156e-06,6.932261e-06,7.110266e-06,8.007520e-06,8.115681e-06,8.909150e-06,9.304832e-06,9.805989e-06,1.047967e-05,1.069047e-05,1.155648e-05,1.162481e-05,1.239916e-05,1.272883e-05,1.321475e-05,1.378357e-05,1.400040e-05,1.475406e-05,1.478352e-05,1.547433e-05,1.572527e-05,1.616037e-05,1.660712e-05,1.681181e-05,1.742866e-05,1.801125e-05,1.819053e-05,1.856016e-05,1.889414e-05,1.907617e-05,1.954145e-05,1.956021e-05,2.001331e-05,2.013479e-05,2.043662e-05,2.067679e-05,2.083130e-05,2.117017e-05,2.119857e-05,2.153965e-05,2.161775e-05,2.185576e-05,2.202232e-05,2.214810e-05,2.238663e-05,2.241785e-05,2.266618e-05,2.271337e-05,2.289421e-05,2.300512e-05,2.310303e-05,2.326435e-05,2.329368e-05,2.346718e-05,2.349341e-05,2.362448e-05,2.369451e-05,2.376652e-05,2.386976e-05,2.389418e-05,2.400830e-05,2.402112e-05,2.410967e-05,2.415043e-05,2.419906e-05,2.425943e-05,2.427719e-05,2.434475e-05,2.434972e-05,2.440240e-05,2.442282e-05,2.445074e-05,2.448012e-05,2.449037e-05,2.452184e-05,2.452294e-05,2.454567e-05,2.455248e-05,2.456236e-05,2.456988e-05,2.457238e-05,2.457617e-05,2.457415e-05,2.457234e-05,2.456671e-05,2.455928e-05,2.455423e-05,2.453783e-05,2.453706e-05,2.451553e-05,2.450876e-05,2.448996e-05,2.447280e-05,2.446064e-05,2.443060e-05,2.442786e-05,2.439187e-05,2.438279e-05,2.435293e-05,2.432992e-05,2.431127e-05,2.427253e-05,2.426710e-05,2.422065e-05,2.421110e-05,2.417210e-05,2.414609e-05,2.412164e-05,2.407790e-05,2.406944e-05,2.401566e-05,2.400692e-05,2.396046e-05,2.393351e-05,2.390399e-05,2.385798e-05,2.384637e-05,2.378774e-05,2.378064e-05,2.372821e-05,2.370176e-05,2.366790e-05,2.362161e-05,2.360691e-05,2.354535e-05,2.354040e-05,2.348330e-05,2.345836e-05,2.342085e-05,2.337569e-05,2.335808e-05,2.329508e-05,2.329255e-05,2.323190e-05,2.320913e-05,2.316862e-05,2.312556e-05,2.310530e-05,2.304200e-05,2.295856e-05,2.287536e-05,2.279250e-05,2.271009e-05,2.262820e-05,2.254691e-05,2.246630e-05,2.238642e-05,2.230734e-05,2.222910e-05,2.215176e-05,2.207534e-05,2.199989e-05,2.192544e-05,2.185201e-05,2.177963e-05,2.170831e-05,2.163807e-05,2.156893e-05,2.150089e-05,2.143397e-05,2.136817e-05,2.130349e-05,2.123993e-05
0.000000e+00,8.400130e-14,5.632324e-13,9.477455e-12,6.109516e-11,1.429701e-10,8.873634e-10,9.474166e-10,4.004530e-09,5.671745e-09,1.274911e-08,2.317147e-08,3.341032e-08,7.146802e-08,7.599544e-08,1.552572e-07,1.818732e-07,2.915876e-07,4.025566e-07,5.117384e-07,8.012338e-07,8.491877e-07,1.343937e-06,1.465694e-06,2.041606e-06,2.500974e-06,2.991877e-06,4.023149e-06,4.246479e-06,5.856978e-06,6.151025e-06,7.872609e-06,8.997423e-06,1.033832e-05,1.266142e-05,1.329315e-05,1.676895e-05,1.722227e-05,2.078953e-05,2.273541e-05,2.537013e-05,2.923026e-05,3.051726e-05,3.622875e-05,3.670979e-05,4.249411e-05,4.515149e-05,4.929505e-05,5.450936e-05,5.660617e-05,6.439575e-05,6.471677e-05,7.262659e-05,7.568980e-05,8.125698e-05,8.733088e-05,9.024164e-05,9.953259e-05,1.090802e-04,1.121813e-04,1.188338e-04,1.251608e-04,1.287428e-04,1.383552e-04,1.387572e-04,1.488283e-04,1.516519e-04,1.589091e-04,1.649437e-04,1.689553e-04,1.781311e-04,1.789249e-04,1.887792e-04,1.911230e-04,1.984825e-04,2.038384e-04,2.080028e-04,2.162062e-04,2.173111e-04,2.263822e-04,2.281660e-04,2.351942e-04,2.396678e-04,2.437286e-04,2.506715e-04,2.519698e-04,2.599057e-04,2.611464e-04,2.675266e-04,2.710708e-04,2.748259e-04,2.804307e-04,2.817991e-04,2.884441e-04,2.892194e-04,2.947608e-04,2.974366e-04,3.007510e-04,3.050871e-04,3.064179e-04,3.117663e-04,3.121805e-04,3.168020e-04,3.187302e-04,3.215320e-04,3.247526e-04,3.259640e-04,3.301067e-04,3.302665e-04,3.339690e-04,3.352926e-04,3.375604e-04,3.398528e-04,3.408907e-04,3.439699e-04,3.468082e-04,3.476673e-04,3.494158e-04,3.509681e-04,3.518026e-04,3.538958e-04,3.539789e-04,3.559545e-04,3.564730e-04,3.577391e-04,3.587221e-04,3.593421e-04,3.606646e-04,3.607730e-04,3.620405e-04,3.623214e-04,3.631534e-04,3.637123e-04,3.641202e-04,3.648563e-04,3.649487e-04,3.656469e-04,3.657715e-04,3.662221e-04,3.664750e-04,3.666814e-04,3.669827e-04,3.670317e-04,3.672794e-04,3.673099e-04,3.674307e-04,3.674708e-04,3.674915e-04,3.674787e-04,3.674673e-04,3.673636e-04,3.673461e-04,3.671854e-04,3.670846e-04,3.669375e-04,3.667052e-04,3.666244e-04,3.662504e-04,3.662180e-04,3.658196e-04,3.656322e-04,3.653359e-04,3.649568e-04,3.648028e-04,3.642239e-04,3.641998e-04,3.636023e-04,3.633687e-04,3.629412e-04,3.624706e-04,3.622435e-04,3.615119e-04,3.604986e-04,3.594363e-04,3.583301e-04,3.571848e-04,3.560048e-04,3.547941e-04,3.535565e-04,3.522956e-04,3.510145e-04,3.497161e-04,3.484033e-04,3.470786e-04,3.457442e-04,3.444025e-04,3.430553e-04,3.417045e-04,3.403518e-04,3.389988e-04,3.376468e-04,3.362972e-04,3.349512e-04,3.336098e-04,3.322742e-04,3.309453e-04
0.000000e+00,3.638604e-13,2.474354e-12,4.290080e-11,2.843223e-10,6.756391e-10,4.364535e-09,4.667530e-09,2.053237e-08,2.939766e-08,6.789888e-08,1.261200e-07,1.844205e-07,4.068444e-07,4.337356e-07,9.139116e-07,1.078142e-06,1.765793e-06,2.474250e-06,3.180701e-06,5.087291e-06,5.406951e-06,8.754727e-06,9.590700e-06,1.359884e-05,1.685256e-05,2.037897e-05,2.793593e-05,2.959705e-05,4.181156e-05,4.408389e-05,5.762887e-05,6.668859e-05,7.769174e-05,9.724575e-05,1.026658e-04,1.332244e-04,1.372985e-04,1.700331e-04,1.883756e-04,2.137339e-04,2.519290e-04,2.649303e-04,3.241739e-04,3.292761e-04,3.919525e-04,4.215491e-04,4.686800e-04,5.296549e-04,5.546887e-04,6.502239e-04,6.542460e-04,7.554406e-04,7.957036e-04,8.704020e-04,9.541315e-04,9.950805e-04,1.129360e-03,1.273040e-03,1.320959e-03,1.425840e-03,1.528259e-03,1.587409e-03,1.750375e-03,1.757326e-03,1.935116e-03,1.986237e-03,2.120251e-03,2.234622e-03,2.312162e-03,2.494186e-03,2.510245e-03,2.713870e-03,2.763494e-03,2.922391e-03,3.041055e-03,3.135146e-03,3.325348e-03,3.351473e-03,3.570710e-03,3.614848e-03,3.792201e-03,3.908053e-03,4.015304e-03,4.203498e-03,4.239394e-03,4.463866e-03,4.499778e-03,4.688140e-03,4.795557e-03,4.911661e-03,5.089583e-03,5.133906e-03,5.354379e-03,5.380695e-03,5.572620e-03,5.667826e-03,5.788198e-03,5.950011e-03,6.000716e-03,6.209813e-03,6.226383e-03,6.415158e-03,6.496178e-03,6.616453e-03,6.758728e-03,6.813434e-03,7.005864e-03,7.013464e-03,7.193540e-03,7.259905e-03,7.376286e-03,7.497659e-03,7.553952e-03,7.726417e-03,7.893581e-03,7.945942e-03,8.055372e-03,8.156072e-03,8.211735e-03,8.356706e-03,8.362637e-03,8.508063e-03,8.547802e-03,8.648018e-03,8.729372e-03,8.782520e-03,8.901474e-03,8.911602e-03,9.035312e-03,9.064209e-03,9.153707e-03,9.217712e-03,9.266857e-03,9.362153e-03,9.374841e-03,9.477746e-03,9.497726e-03,9.575667e-03,9.624650e-03,9.668706e-03,9.743164e-03,9.756969e-03,9.840567e-03,9.853517e-03,9.919616e-03,9.955978e-03,9.994233e-03,1.005082e-02,1.006454e-02,1.013066e-02,1.013832e-02,1.019272e-02,1.021877e-02,1.025084e-02,1.029245e-02,1.030514e-02,1.035576e-02,1.035966e-02,1.040282e-02,1.042067e-02,1.044644e-02,1.047578e-02,1.048674e-02,1.052385e-02,1.052527e-02,1.055789e-02,1.056941e-02,1.058897e-02,1.060847e-02,1.061721e-02,1.064272e-02,1.067242e-02,1.069780e-02,1.071913e-02,1.073662e-02,1.075051e-02,1.076101e-02,1.076834e-02,1.077268e-02,1.077425e-02,1.077321e-02,1.076975e-02,1.076402e-02,1.075621e-02,1.074644e-02,1.073488e-02,1.072166e-02,1.070690e-02,1.069074e-02,1.067328e-02,1.065465e-02,1.063494e-02,1.061426e-02,1.059269e-02,1.057034e-02
0.000000e+00,8.362472e-11,2.796873e-10,1.447532e-09,3.976051e-09,6.213404e-09,1.585208e-08,1.638679e-08,3.386607e-08,4.032672e-08,6.055163e-08,8.180252e-08,9.842661e-08,1.449359e-07,1.495640e-07,2.159856e-07,2.343942e-07,2.992708e-07,3.535222e-07,3.999040e-07,5.019162e-07,5.167069e-07,6.469586e-07,6.743227e-07,7.872314e-07,8.630247e-07,9.342462e-07,1.060930e-06,1.085267e-06,1.238116e-06,1.262620e-06,1.391061e-06,1.464086e-06,1.542698e-06,1.662279e-06,1.691866e-06,1.837601e-06,1.854819e-06,1.979104e-06,2.039853e-06,2.115728e-06,2.215978e-06,2.246959e-06,2.372409e-06,2.382186e-06,2.491806e-06,2.537829e-06,2.604980e-06,2.682562e-06,2.711848e-06,2.812407e-06,2.816299e-06,2.906719e-06,2.939162e-06,2.994896e-06,3.051431e-06,3.077095e-06,3.153505e-06,3.224340e-06,3.245867e-06,3.289830e-06,3.329049e-06,3.350215e-06,3.403611e-06,3.405742e-06,3.456662e-06,3.470127e-06,3.503220e-06,3.529163e-06,3.545661e-06,3.581272e-06,3.584220e-06,3.619126e-06,3.626984e-06,3.650599e-06,3.666804e-06,3.678851e-06,3.701208e-06,3.704083e-06,3.726485e-06,3.730642e-06,3.746239e-06,3.755522e-06,3.763516e-06,3.776234e-06,3.778478e-06,3.791278e-06,3.793135e-06,3.802059e-06,3.806557e-06,3.810957e-06,3.816804e-06,3.818098e-06,3.823601e-06,3.824157e-06,3.827578e-06,3.828872e-06,3.830135e-06,3.831188e-06,3.831368e-06,3.831371e-06,3.831321e-06,3.830230e-06,3.829471e-06,3.828025e-06,3.825822e-06,3.824833e-06,3.820723e-06,3.820541e-06,3.815763e-06,3.813782e-06,3.810015e-06,3.805686e-06,3.803537e-06,3.796383e-06,3.788605e-06,3.785992e-06,3.780251e-06,3.774622e-06,3.771364e-06,3.762372e-06,3.761988e-06,3.752161e-06,3.749334e-06,3.741920e-06,3.735591e-06,3.731300e-06,3.721222e-06,3.720333e-06,3.709049e-06,3.706297e-06,3.697477e-06,3.690881e-06,3.685644e-06,3.675033e-06,3.673573e-06,3.661289e-06,3.658809e-06,3.648813e-06,3.642257e-06,3.636166e-06,3.625425e-06,3.623368e-06,3.610435e-06,3.608354e-06,3.597385e-06,3.591084e-06,3.584234e-06,3.573650e-06,3.570996e-06,3.557686e-06,3.556085e-06,3.544316e-06,3.538418e-06,3.530899e-06,3.520678e-06,3.517446e-06,3.503968e-06,3.502889e-06,3.490474e-06,3.485074e-06,3.476974e-06,3.467256e-06,3.463477e-06,3.449991e-06,3.449452e-06,3.436524e-06,3.431682e-06,3.423082e-06,3.413960e-06,3.409673e-06,3.396303e-06,3.378723e-06,3.361233e-06,3.343845e-06,3.326567e-06,3.309411e-06,3.292383e-06,3.275492e-06,3.258745e-06,3.242147e-06,3.225705e-06,3.209423e-06,3.193305e-06,3.177356e-06,3.161579e-06,3.145976e-06,3.130551e-06,3.115306e-06,3.100242e-06,3.085361e-06,3.070664e-06,3.056152e-06,3.041825e-06,3.027686e-06,3.013732e-06
0.000000e+00,2.664086e-12,1.667796e-11,2.434347e-10,1.378804e-09,3.005719e-09,1.554287e-08,1.647239e-08,5.816802e-08,7.848035e-08,1.562516e-07,2.576525e-07,3.488223e-07,6.491368e-07,6.821934e-07,1.208928e-06,1.370367e-06,1.985776e-06,2.551778e-06,3.070825e-06,4.324305e-06,4.518852e-06,6.375004e-06,6.798133e-06,8.668823e-06,1.003889e-05,1.141101e-05,1.405568e-05,1.459370e-05,1.819340e-05,1.880583e-05,2.217500e-05,2.420946e-05,2.649570e-05,3.016470e-05,3.110818e-05,3.596297e-05,3.655945e-05,4.101006e-05,4.327893e-05,4.620008e-05,5.021054e-05,5.148514e-05,5.681952e-05,5.724709e-05,6.216021e-05,6.428922e-05,6.746741e-05,7.124740e-05,7.270494e-05,7.784045e-05,7.804334e-05,8.284566e-05,8.461084e-05,8.769633e-05,9.089607e-05,9.237230e-05,9.685729e-05,1.011387e-04,1.024641e-04,1.052072e-04,1.076964e-04,1.090568e-04,1.125432e-04,1.126840e-04,1.160878e-04,1.170009e-04,1.192692e-04,1.210725e-04,1.222312e-04,1.247659e-04,1.249778e-04,1.275147e-04,1.280930e-04,1.298480e-04,1.310684e-04,1.319849e-04,1.337089e-04,1.339330e-04,1.357001e-04,1.360326e-04,1.372946e-04,1.380582e-04,1.387246e-04,1.398047e-04,1.399984e-04,1.411243e-04,1.412913e-04,1.421104e-04,1.425364e-04,1.429646e-04,1.435582e-04,1.436946e-04,1.443079e-04,1.443740e-04,1.448117e-04,1.450004e-04,1.452129e-04,1.454533e-04,1.455182e-04,1.457339e-04,1.457475e-04,1.458661e-04,1.458969e-04,1.459206e-04,1.459148e-04,1.459028e-04,1.458181e-04,1.458133e-04,1.456712e-04,1.456040e-04,1.454669e-04,1.452975e-04,1.452097e-04,1.449037e-04,1.445528e-04,1.444317e-04,1.441608e-04,1.438900e-04,1.437312e-04,1.432864e-04,1.432672e-04,1.427720e-04,1.426281e-04,1.422484e-04,1.419219e-04,1.416993e-04,1.411737e-04,1.411271e-04,1.405344e-04,1.403893e-04,1.399232e-04,1.395737e-04,1.392958e-04,1.387318e-04,1.386541e-04,1.380000e-04,1.378678e-04,1.373351e-04,1.369857e-04,1.366611e-04,1.360890e-04,1.359795e-04,1.352917e-04,1.351812e-04,1.345990e-04,1.342650e-04,1.339025e-04,1.333434e-04,1.332034e-04,1.325028e-04,1.324187e-04,1.318016e-04,1.314931e-04,1.311007e-04,1.305687e-04,1.304009e-04,1.297029e-04,1.296472e-04,1.290076e-04,1.287303e-04,1.283154e-04,1.278194e-04,1.276270e-04,1.269430e-04,1.269158e-04,1.262639e-04,1.260206e-04,1.255900e-04,1.251349e-04,1.249218e-04,1.242596e-04,1.233955e-04,1.225431e-04,1.217032e-04,1.208762e-04,1.200625e-04,1.192625e-04,1.184765e-04,1.177047e-04,1.169473e-04,1.162045e-04,1.154762e-04,1.147625e-04,1.140635e-04,1.133791e-04,1.127093e-04,1.120540e-04,1.114130e-04,1.107864e-04,1.101738e-04,1.095753e-04,1.089905e-04,1.084193e-04,1.078616e-04,1.073170e-04
0.000000e+00,1.220602e-11,6.908232e-11,8.240460e-10,3.919506e-09,7.794556e-09,3.224461e-08,3.387930e-08,9.803614e-08,1.257937e-07,2.224536e-07,3.360045e-07,4.313115e-07,7.206002e-07,7.508989e-07,1.209340e-06,1.343116e-06,1.833362e-06,2.262353e-06,2.640531e-06,3.502334e-06,3.630178e-06,4.780305e-06,5.026454e-06,6.053528e-06,6.750056e-06,7.407245e-06,8.577431e-06,8.801889e-06,1.020490e-05,1.042839e-05,1.159119e-05,1.224495e-05,1.294197e-05,1.398752e-05,1.424329e-05,1.548478e-05,1.562936e-05,1.665881e-05,1.715254e-05,1.775992e-05,1.854568e-05,1.878445e-05,1.973038e-05,1.980263e-05,2.059703e-05,2.092159e-05,2.138497e-05,2.190440e-05,2.209578e-05,2.273192e-05,2.275585e-05,2.329652e-05,2.348294e-05,2.379316e-05,2.409407e-05,2.422580e-05,2.459858e-05,2.491578e-05,2.500624e-05,2.518166e-05,2.532685e-05,2.540045e-05,2.556995e-05,2.557621e-05,2.571284e-05,2.574460e-05,2.581406e-05,2.585923e-05,2.588331e-05,2.592159e-05,2.592385e-05,2.593868e-05,2.593872e-05,2.593056e-05,2.591695e-05,2.590205e-05,2.586192e-05,2.585545e-05,2.579288e-05,2.577863e-05,2.571627e-05,2.567147e-05,2.562736e-05,2.554432e-05,2.552772e-05,2.541877e-05,2.540057e-05,2.530181e-05,2.524315e-05,2.517797e-05,2.507464e-05,2.504829e-05,2.491369e-05,2.489725e-05,2.477502e-05,2.471290e-05,2.463301e-05,2.452326e-05,2.448832e-05,2.434156e-05,2.432974e-05,2.419324e-05,2.413359e-05,2.404385e-05,2.393586e-05,2.389381e-05,2.374348e-05,2.373746e-05,2.359319e-05,2.353916e-05,2.344326e-05,2.334163e-05,2.329392e-05,2.314542e-05,2.299796e-05,2.295102e-05,2.285171e-05,2.275882e-05,2.270683e-05,2.256916e-05,2.256346e-05,2.242171e-05,2.238232e-05,2.228168e-05,2.219853e-05,2.214347e-05,2.201798e-05,2.200715e-05,2.187278e-05,2.184083e-05,2.174042e-05,2.166719e-05,2.161010e-05,2.149715e-05,2.148187e-05,2.135576e-05,2.133079e-05,2.123177e-05,2.116814e-05,2.110993e-05,2.100925e-05,2.099024e-05,2.087272e-05,2.085411e-05,2.075735e-05,2.070274e-05,2.064414e-05,2.055512e-05,2.053307e-05,2.042414e-05,2.041122e-05,2.031734e-05,2.027101e-05,2.021264e-05,2.013446e-05,2.011003e-05,2.000948e-05,2.000153e-05,1.991099e-05,1.987215e-05,1.981451e-05,1.974629e-05,1.972004e-05,1.962753e-05,1.962387e-05,1.953698e-05,1.950485e-05,1.944834e-05,1.938914e-05,1.936159e-05,1.927670e-05,1.916745e-05,1.906132e-05,1.895825e-05,1.885816e-05,1.876099e-05,1.866666e-05,1.857511e-05,1.848627e-05,1.840006e-05,1.831642e-05,1.823529e-05,1.815658e-05,1.808025e-05,1.800623e-05,1.793445e-05,1.786484e-05,1.779736e-05,1.773193e-05,1.766850e-05,1.760702e-05,1.754742e-05,1.748966e-05,1.743367e-05,1.737941e-05
0.000000e+00,1.365589e-13,9.285626e-13,1.609170e-11,1.066081e-10,2.532981e-10,1.636103e-09,1.749695e-09,7.700512e-09,1.102818e-08,2.549514e-08,4.740862e-08,6.938705e-08,1.534785e-07,1.636666e-07,3.461677e-07,4.087935e-07,6.718587e-07,9.439728e-07,1.216126e-06,1.953376e-06,2.077271e-06,3.377812e-06,3.703140e-06,5.264403e-06,6.532416e-06,7.906384e-06,1.084744e-05,1.149312e-05,1.623029e-05,1.710941e-05,2.233545e-05,2.581763e-05,3.003307e-05,3.748974e-05,3.954922e-05,5.110626e-05,5.264051e-05,6.491765e-05,7.176090e-05,8.118306e-05,9.529844e-05,1.000839e-04,1.217797e-04,1.236403e-04,1.464044e-04,1.570993e-04,1.740646e-04,1.959039e-04,2.048372e-04,2.387686e-04,2.401919e-04,2.758747e-04,2.900081e-04,3.161406e-04,3.453049e-04,3.595221e-04,4.059467e-04,4.553157e-04,4.717162e-04,5.075061e-04,5.423228e-04,5.623736e-04,6.174131e-04,6.197543e-04,6.794686e-04,6.965806e-04,7.413228e-04,7.793779e-04,8.051127e-04,8.653267e-04,8.706261e-04,9.376449e-04,9.539290e-04,1.005948e-03,1.044677e-03,1.075315e-03,1.137062e-03,1.145524e-03,1.216358e-03,1.230581e-03,1.287606e-03,1.324749e-03,1.359060e-03,1.419096e-03,1.430522e-03,1.501804e-03,1.513180e-03,1.572723e-03,1.606585e-03,1.643110e-03,1.698930e-03,1.712807e-03,1.781663e-03,1.789863e-03,1.849543e-03,1.879067e-03,1.916320e-03,1.966262e-03,1.981879e-03,2.046119e-03,2.051198e-03,2.108946e-03,2.133663e-03,2.170280e-03,2.213474e-03,2.230048e-03,2.288190e-03,2.290481e-03,2.344653e-03,2.364561e-03,2.399396e-03,2.435621e-03,2.452384e-03,2.503592e-03,2.553000e-03,2.568428e-03,2.600596e-03,2.630105e-03,2.646377e-03,2.688619e-03,2.690343e-03,2.732500e-03,2.743981e-03,2.772860e-03,2.796219e-03,2.811438e-03,2.845373e-03,2.848255e-03,2.883333e-03,2.891497e-03,2.916701e-03,2.934651e-03,2.948388e-03,2.974907e-03,2.978426e-03,3.006849e-03,3.012343e-03,3.033694e-03,3.047042e-03,3.058998e-03,3.079092e-03,3.082801e-03,3.105142e-03,3.108584e-03,3.126063e-03,3.135612e-03,3.145604e-03,3.160273e-03,3.163808e-03,3.180717e-03,3.182661e-03,3.196372e-03,3.202874e-03,3.210816e-03,3.221008e-03,3.224089e-03,3.236234e-03,3.237158e-03,3.247290e-03,3.251417e-03,3.257299e-03,3.263879e-03,3.266300e-03,3.274331e-03,3.274633e-03,3.281431e-03,3.283767e-03,3.287638e-03,3.291367e-03,3.292988e-03,3.297517e-03,3.302296e-03,3.305782e-03,3.308050e-03,3.309172e-03,3.309217e-03,3.308250e-03,3.306335e-03,3.303532e-03,3.299900e-03,3.295492e-03,3.290362e-03,3.284558e-03,3.278129e-03,3.271119e-03,3.263571e-03,3.255524e-03,3.247019e-03,3.238089e-03,3.228771e-03,3.219095e-03,3.209094e-03,3.198794e-03,3.188225e-03,3.177411e-03
0.000000e+00,2.957794e-11,6.927208e-11,2.447232e-10,5.672935e-10,8.366453e-10,1.965588e-09,2.028193e-09,4.120353e-09,4.920990e-09,7.522011e-09,1.037690e-08,1.266099e-08,1.907125e-08,1.970095e-08,2.842807e-08,3.073601e-08,3.851539e-08,4.466315e-08,4.971882e-08,6.038005e-08,6.188784e-08,7.492720e-08,7.763312e-08,8.876663e-08,9.625848e-08,1.033433e-07,1.161105e-07,1.185928e-07,1.344448e-07,1.370320e-07,1.508223e-07,1.588456e-07,1.676413e-07,1.813548e-07,1.848129e-07,2.022449e-07,2.043498e-07,2.198434e-07,2.276156e-07,2.375157e-07,2.509401e-07,2.551712e-07,2.727237e-07,2.741210e-07,2.900927e-07,2.969720e-07,3.072040e-07,3.193267e-07,3.239907e-07,3.403939e-07,3.410413e-07,3.563621e-07,3.619957e-07,3.718521e-07,3.820935e-07,3.868279e-07,4.012610e-07,4.151293e-07,4.194452e-07,4.284173e-07,4.366121e-07,4.411148e-07,4.527439e-07,4.532165e-07,4.647218e-07,4.678368e-07,4.756338e-07,4.818987e-07,4.859588e-07,4.949472e-07,4.957060e-07,5.048868e-07,5.070074e-07,5.135146e-07,5.181101e-07,5.216043e-07,5.282907e-07,5.291718e-07,5.362342e-07,5.375876e-07,5.428089e-07,5.460409e-07,5.489138e-07,5.536923e-07,5.545672e-07,5.597872e-07,5.605834e-07,5.645920e-07,5.667561e-07,5.689995e-07,5.722514e-07,5.730274e-07,5.766931e-07,5.771094e-07,5.800133e-07,5.813691e-07,5.830047e-07,5.850679e-07,5.856830e-07,5.880637e-07,5.882418e-07,5.901619e-07,5.909253e-07,5.919918e-07,5.931511e-07,5.935675e-07,5.949021e-07,5.949506e-07,5.960085e-07,5.963533e-07,5.968990e-07,5.973872e-07,5.975852e-07,5.980785e-07,5.983896e-07,5.984524e-07,5.985288e-07,5.985322e-07,5.985059e-07,5.983401e-07,5.983302e-07,5.980108e-07,5.978967e-07,5.975560e-07,5.972216e-07,5.969741e-07,5.963331e-07,5.962728e-07,5.954593e-07,5.952482e-07,5.945409e-07,5.939831e-07,5.935240e-07,5.925528e-07,5.924151e-07,5.912201e-07,5.909713e-07,5.899449e-07,5.892519e-07,5.885949e-07,5.874068e-07,5.871752e-07,5.856908e-07,5.854476e-07,5.841463e-07,5.833849e-07,5.825462e-07,5.812289e-07,5.808946e-07,5.791957e-07,5.789888e-07,5.774531e-07,5.766735e-07,5.756705e-07,5.742910e-07,5.738512e-07,5.719985e-07,5.718490e-07,5.701155e-07,5.693544e-07,5.682050e-07,5.668140e-07,5.662698e-07,5.643125e-07,5.642338e-07,5.623355e-07,5.616195e-07,5.603412e-07,5.589763e-07,5.583318e-07,5.563093e-07,5.536230e-07,5.509216e-07,5.482090e-07,5.454888e-07,5.427645e-07,5.400392e-07,5.373156e-07,5.345966e-07,5.318844e-07,5.291814e-07,5.264897e-07,5.238111e-07,5.211475e-07,5.185003e-07,5.158710e-07,5.132611e-07,5.106716e-07,5.081037e-07,5.055583e-07,5.030364e-07,5.005388e-07,4.980661e-07,4.956191e-07,4.931982e-07
0.000000e+00,4.394492e-13,2.847358e-12,4.461776e-11,2.695251e-10,6.086563e-10,3.447909e-09,3.667707e-09,1.418585e-08,1.962251e-08,4.161334e-08,7.225618e-08,1.012026e-07,2.032674e-07,2.150092e-07,4.120402e-07,4.754619e-07,7.267230e-07,9.679954e-07,1.195625e-06,1.763523e-06,1.853481e-06,2.729766e-06,2.933318e-06,3.846500e-06,4.527086e-06,5.217300e-06,6.569186e-06,6.847414e-06,8.734363e-06,9.059577e-06,1.086889e-05,1.197719e-05,1.323601e-05,1.528409e-05,1.581607e-05,1.858577e-05,1.892967e-05,2.151914e-05,2.285456e-05,2.458841e-05,2.699432e-05,2.776490e-05,3.101974e-05,3.128266e-05,3.432460e-05,3.565441e-05,3.765227e-05,4.004786e-05,4.097714e-05,4.427564e-05,4.440672e-05,4.752646e-05,4.868138e-05,5.071077e-05,5.282970e-05,5.381230e-05,5.681730e-05,5.971453e-05,6.061736e-05,6.249508e-05,6.421023e-05,6.515226e-05,6.758265e-05,6.768131e-05,7.007927e-05,7.072698e-05,7.234472e-05,7.364030e-05,7.447757e-05,7.632358e-05,7.647888e-05,7.835068e-05,7.878094e-05,8.009580e-05,8.101899e-05,8.171768e-05,8.304614e-05,8.322029e-05,8.460797e-05,8.487211e-05,8.588527e-05,8.650743e-05,8.705696e-05,8.796309e-05,8.812786e-05,8.910282e-05,8.925024e-05,8.998668e-05,9.037997e-05,9.078418e-05,9.136313e-05,9.149998e-05,9.213860e-05,9.221026e-05,9.270443e-05,9.293143e-05,9.320171e-05,9.353629e-05,9.363449e-05,9.400668e-05,9.403395e-05,9.432201e-05,9.443302e-05,9.458403e-05,9.474158e-05,9.479613e-05,9.496155e-05,9.496724e-05,9.508334e-05,9.511707e-05,9.516442e-05,9.519770e-05,9.520753e-05,9.521529e-05,9.519015e-05,9.517554e-05,9.513445e-05,9.508378e-05,9.505039e-05,9.494493e-05,9.494003e-05,9.480535e-05,9.476354e-05,9.464819e-05,9.454382e-05,9.447028e-05,9.428968e-05,9.427326e-05,9.405867e-05,9.400472e-05,9.382797e-05,9.369224e-05,9.358251e-05,9.335532e-05,9.332357e-05,9.305237e-05,9.299676e-05,9.277003e-05,9.261917e-05,9.247761e-05,9.222493e-05,9.217611e-05,9.186647e-05,9.181623e-05,9.154955e-05,9.139509e-05,9.122618e-05,9.096335e-05,9.089712e-05,9.056309e-05,9.052271e-05,9.022478e-05,9.007472e-05,8.988279e-05,8.962080e-05,8.953773e-05,8.919014e-05,8.916224e-05,8.884053e-05,8.870022e-05,8.848937e-05,8.823584e-05,8.813713e-05,8.778420e-05,8.777007e-05,8.743097e-05,8.730381e-05,8.707781e-05,8.683787e-05,8.672505e-05,8.637299e-05,8.590983e-05,8.544900e-05,8.499103e-05,8.453643e-05,8.408562e-05,8.363899e-05,8.319690e-05,8.275965e-05,8.232752e-05,8.190073e-05,8.147951e-05,8.106403e-05,8.065444e-05,8.025088e-05,7.985346e-05,7.946226e-05,7.907736e-05,7.869881e-05,7.832664e-05,7.796089e-05,7.760156e-05,7.724866e-05,7.690218e-05,7.656209e-05
0.000000e+00,3.532486e-12,2.065016e-11,2.627027e-10,1.320521e-09,2.703019e-09,1.198764e-08,1.262908e-08,3.885145e-08,5.061967e-08,9.278125e-08,1.438673e-07,1.876121e-07,3.234524e-07,3.378708e-07,5.586932e-07,6.237916e-07,8.638858e-07,1.075491e-06,1.263134e-06,1.695474e-06,1.760294e-06,2.353846e-06,2.483715e-06,3.038677e-06,3.428595e-06,3.807848e-06,4.513538e-06,4.653704e-06,5.568339e-06,5.720527e-06,6.543699e-06,7.031034e-06,7.571563e-06,8.426017e-06,8.643530e-06,9.751075e-06,9.885965e-06,1.088566e-05,1.139126e-05,1.203887e-05,1.292274e-05,1.320256e-05,1.436903e-05,1.446225e-05,1.553111e-05,1.599323e-05,1.668229e-05,1.750109e-05,1.781675e-05,1.892940e-05,1.897339e-05,2.001590e-05,2.039991e-05,2.107262e-05,2.177264e-05,2.209661e-05,2.308556e-05,2.403773e-05,2.433445e-05,2.495191e-05,2.551667e-05,2.582732e-05,2.663090e-05,2.666359e-05,2.746069e-05,2.767688e-05,2.821883e-05,2.865520e-05,2.893848e-05,2.956715e-05,2.962032e-05,3.026516e-05,3.041452e-05,3.087393e-05,3.119947e-05,3.144767e-05,3.192446e-05,3.198748e-05,3.249450e-05,3.259208e-05,3.296991e-05,3.320502e-05,3.341489e-05,3.376603e-05,3.383064e-05,3.421834e-05,3.427785e-05,3.457918e-05,3.474318e-05,3.491431e-05,3.516465e-05,3.522485e-05,3.551191e-05,3.554483e-05,3.577656e-05,3.588617e-05,3.601984e-05,3.619106e-05,3.624276e-05,3.644629e-05,3.646177e-05,3.663137e-05,3.670044e-05,3.679890e-05,3.690914e-05,3.694974e-05,3.708474e-05,3.708982e-05,3.720468e-05,3.724433e-05,3.731035e-05,3.737441e-05,3.740246e-05,3.748173e-05,3.754883e-05,3.756783e-05,3.760439e-05,3.763419e-05,3.764905e-05,3.768220e-05,3.768338e-05,3.770795e-05,3.771315e-05,3.772329e-05,3.772828e-05,3.772992e-05,3.772874e-05,3.772832e-05,3.771895e-05,3.771560e-05,3.770227e-05,3.768990e-05,3.767870e-05,3.765257e-05,3.764864e-05,3.761247e-05,3.760453e-05,3.757056e-05,3.754661e-05,3.752326e-05,3.747960e-05,3.747090e-05,3.741380e-05,3.740424e-05,3.735225e-05,3.732122e-05,3.728656e-05,3.723119e-05,3.721698e-05,3.714377e-05,3.713476e-05,3.706719e-05,3.703249e-05,3.698747e-05,3.692492e-05,3.690484e-05,3.681949e-05,3.681255e-05,3.673164e-05,3.669584e-05,3.664147e-05,3.657522e-05,3.654918e-05,3.645492e-05,3.645111e-05,3.635887e-05,3.632388e-05,3.626118e-05,3.619389e-05,3.616200e-05,3.606146e-05,3.592691e-05,3.579053e-05,3.565258e-05,3.551331e-05,3.537296e-05,3.523174e-05,3.508985e-05,3.494749e-05,3.480482e-05,3.466201e-05,3.451921e-05,3.437655e-05,3.423417e-05,3.409218e-05,3.395069e-05,3.380981e-05,3.366962e-05,3.353022e-05,3.339168e-05,3.325407e-05,3.311747e-05,3.298193e-05,3.284750e-05,3.271424e-05
0.000000e+00,1.083166e-10,2.730425e-10,1.037384e-09,2.470221e-09,3.665123e-09,8.569295e-09,8.835659e-09,1.742086e-08,2.056442e-08,3.037984e-08,4.069568e-08,4.877982e-08,7.144124e-08,7.369591e-08,1.058816e-07,1.147065e-07,1.453296e-07,1.703088e-07,1.912213e-07,2.360003e-07,2.423785e-07,2.976849e-07,3.091594e-07,3.562148e-07,3.876658e-07,4.172040e-07,4.698510e-07,4.799932e-07,5.439896e-07,5.543041e-07,6.086482e-07,6.397699e-07,6.734649e-07,7.251205e-07,7.379781e-07,8.017711e-07,8.093598e-07,8.644753e-07,8.916365e-07,9.257730e-07,9.712515e-07,9.853956e-07,1.043123e-06,1.047653e-06,1.098782e-06,1.120436e-06,1.152243e-06,1.189321e-06,1.203414e-06,1.252236e-06,1.254140e-06,1.298682e-06,1.314819e-06,1.342745e-06,1.371356e-06,1.384444e-06,1.423810e-06,1.460889e-06,1.472281e-06,1.495741e-06,1.516905e-06,1.528428e-06,1.557838e-06,1.559022e-06,1.587599e-06,1.595250e-06,1.614236e-06,1.629320e-06,1.639012e-06,1.660231e-06,1.662007e-06,1.683300e-06,1.688165e-06,1.702969e-06,1.713303e-06,1.721091e-06,1.735819e-06,1.737741e-06,1.752993e-06,1.755882e-06,1.766917e-06,1.773655e-06,1.779580e-06,1.789292e-06,1.791050e-06,1.801389e-06,1.802942e-06,1.810657e-06,1.814743e-06,1.818914e-06,1.824829e-06,1.826215e-06,1.832613e-06,1.833322e-06,1.838158e-06,1.840341e-06,1.842900e-06,1.845994e-06,1.846884e-06,1.850155e-06,1.850387e-06,1.852754e-06,1.853615e-06,1.854722e-06,1.855769e-06,1.856095e-06,1.856912e-06,1.856933e-06,1.857204e-06,1.857188e-06,1.857006e-06,1.856606e-06,1.856347e-06,1.855258e-06,1.853766e-06,1.853208e-06,1.851897e-06,1.850515e-06,1.849677e-06,1.847236e-06,1.847128e-06,1.844275e-06,1.843424e-06,1.841137e-06,1.839126e-06,1.837734e-06,1.834388e-06,1.834087e-06,1.830213e-06,1.829252e-06,1.826130e-06,1.823757e-06,1.821852e-06,1.817940e-06,1.817396e-06,1.812776e-06,1.811834e-06,1.808006e-06,1.805470e-06,1.803098e-06,1.798879e-06,1.798066e-06,1.792919e-06,1.792086e-06,1.787670e-06,1.785117e-06,1.782328e-06,1.777995e-06,1.776903e-06,1.771405e-06,1.770741e-06,1.765842e-06,1.763375e-06,1.760221e-06,1.755916e-06,1.754552e-06,1.748840e-06,1.748381e-06,1.743092e-06,1.740785e-06,1.737316e-06,1.733143e-06,1.731517e-06,1.725701e-06,1.725468e-06,1.719872e-06,1.717772e-06,1.714037e-06,1.710067e-06,1.708199e-06,1.702363e-06,1.694670e-06,1.686997e-06,1.679350e-06,1.671739e-06,1.664169e-06,1.656646e-06,1.649177e-06,1.641766e-06,1.634417e-06,1.627136e-06,1.619924e-06,1.612787e-06,1.605726e-06,1.598745e-06,1.591846e-06,1.585030e-06,1.578300e-06,1.571657e-06,1.565102e-06,1.558636e-06,1.552261e-06,1.545977e-06,1.539784e-06,1.533684e-06
0.000000e+00,8.733621e-11,3.555659e-10,2.401846e-09,7.624427e-09,1.261252e-08,3.578258e-08,3.711915e-08,8.264664e-08,1.001889e-07,1.570119e-07,2.192540e-07,2.693458e-07,4.134677e-07,4.279758e-07,6.353743e-07,6.918973e-07,8.857843e-07,1.041176e-06,1.169489e-06,1.439572e-06,1.477590e-06,1.803291e-06,1.870064e-06,2.141357e-06,2.320568e-06,2.487427e-06,2.781459e-06,2.837615e-06,3.188359e-06,3.244307e-06,3.536386e-06,3.701595e-06,3.878747e-06,4.146805e-06,4.212855e-06,4.536518e-06,4.574566e-06,4.847953e-06,4.980741e-06,5.145781e-06,5.362403e-06,5.429004e-06,5.696969e-06,5.717735e-06,5.949330e-06,6.045878e-06,6.186002e-06,6.346756e-06,6.407114e-06,6.612962e-06,6.620884e-06,6.803975e-06,6.869208e-06,6.980685e-06,7.092984e-06,7.143695e-06,7.293648e-06,7.431219e-06,7.472738e-06,7.557092e-06,7.631825e-06,7.671946e-06,7.772460e-06,7.776450e-06,7.871256e-06,7.896150e-06,7.956990e-06,8.004328e-06,8.034255e-06,8.098351e-06,8.103622e-06,8.165631e-06,8.179475e-06,8.220789e-06,8.248866e-06,8.269578e-06,8.307601e-06,8.312446e-06,8.349818e-06,8.356667e-06,8.382086e-06,8.396971e-06,8.409618e-06,8.429336e-06,8.432757e-06,8.451823e-06,8.454516e-06,8.467114e-06,8.473195e-06,8.478907e-06,8.485997e-06,8.487461e-06,8.493015e-06,8.493490e-06,8.495793e-06,8.496189e-06,8.496002e-06,8.494563e-06,8.493837e-06,8.489476e-06,8.489038e-06,8.483088e-06,8.480000e-06,8.474828e-06,8.467803e-06,8.464841e-06,8.453261e-06,8.452767e-06,8.440215e-06,8.435183e-06,8.425820e-06,8.415316e-06,8.410184e-06,8.393408e-06,8.375588e-06,8.369680e-06,8.356811e-06,8.344331e-06,8.337161e-06,8.317544e-06,8.316712e-06,8.295536e-06,8.289486e-06,8.273701e-06,8.260309e-06,8.251268e-06,8.230152e-06,8.228296e-06,8.204838e-06,8.199142e-06,8.180946e-06,8.167394e-06,8.156666e-06,8.135014e-06,8.132043e-06,8.107118e-06,8.102100e-06,8.081929e-06,8.068738e-06,8.056512e-06,8.035010e-06,8.030901e-06,8.005127e-06,8.000990e-06,7.979219e-06,7.966744e-06,7.953205e-06,7.932334e-06,7.927110e-06,7.900958e-06,7.897817e-06,7.874771e-06,7.863244e-06,7.848571e-06,7.828661e-06,7.822376e-06,7.796205e-06,7.794113e-06,7.770074e-06,7.759637e-06,7.743999e-06,7.725269e-06,7.717996e-06,7.692077e-06,7.691042e-06,7.666255e-06,7.656985e-06,7.640542e-06,7.623126e-06,7.614950e-06,7.589487e-06,7.556092e-06,7.522961e-06,7.490110e-06,7.457557e-06,7.425317e-06,7.393401e-06,7.361822e-06,7.330589e-06,7.299713e-06,7.269200e-06,7.239058e-06,7.209293e-06,7.179909e-06,7.150912e-06,7.122303e-06,7.094087e-06,7.066266e-06,7.038840e-06,7.011811e-06,6.985179e-06,6.958944e-06,6.933107e-06,6.907665e-06,6.882618e-06
0.000000e+00,3.803819e-13,2.543081e-12,4.258144e-11,2.738180e-10,6.406290e-10,3.994228e-09,4.266120e-09,1.829628e-08,2.606879e-08,5.972607e-08,1.106776e-07,1.618575e-07,3.580767e-07,3.818524e-07,8.059952e-07,9.504496e-07,1.550017e-06,2.158005e-06,2.754566e-06,4.320731e-06,4.577638e-06,7.185910e-06,7.816564e-06,1.074635e-05,1.302762e-05,1.541886e-05,2.031104e-05,2.135020e-05,2.866932e-05,2.997668e-05,3.748386e-05,4.227163e-05,4.787782e-05,5.737064e-05,5.991014e-05,7.361423e-05,7.537170e-05,8.899809e-05,9.629574e-05,1.060452e-04,1.200899e-04,1.247161e-04,1.449500e-04,1.466339e-04,1.666672e-04,1.757484e-04,1.897717e-04,2.072049e-04,2.141539e-04,2.396934e-04,2.407373e-04,2.662619e-04,2.760527e-04,2.937255e-04,3.128425e-04,3.219479e-04,3.507922e-04,3.801235e-04,3.895907e-04,4.098100e-04,4.289372e-04,4.397253e-04,4.685475e-04,4.697491e-04,4.997683e-04,5.081584e-04,5.296779e-04,5.475304e-04,5.593811e-04,5.864500e-04,5.887900e-04,6.178251e-04,6.247299e-04,6.464158e-04,6.622088e-04,6.744997e-04,6.987511e-04,7.020226e-04,7.289381e-04,7.342447e-04,7.552069e-04,7.686001e-04,7.807965e-04,8.017476e-04,8.056807e-04,8.298390e-04,8.336359e-04,8.532561e-04,8.642297e-04,8.759214e-04,8.935080e-04,8.978286e-04,9.189752e-04,9.214616e-04,9.393618e-04,9.480921e-04,9.589923e-04,9.734094e-04,9.778728e-04,9.960117e-04,9.974311e-04,1.013419e-03,1.020180e-03,1.030108e-03,1.041686e-03,1.046091e-03,1.061382e-03,1.061979e-03,1.075997e-03,1.081096e-03,1.089951e-03,1.099072e-03,1.103263e-03,1.115947e-03,1.128023e-03,1.131762e-03,1.139507e-03,1.146555e-03,1.150418e-03,1.160368e-03,1.160772e-03,1.170587e-03,1.173241e-03,1.179881e-03,1.185215e-03,1.188672e-03,1.196328e-03,1.196975e-03,1.204808e-03,1.206620e-03,1.212188e-03,1.216128e-03,1.219130e-03,1.224890e-03,1.225651e-03,1.231766e-03,1.232942e-03,1.237491e-03,1.240318e-03,1.242840e-03,1.247053e-03,1.247827e-03,1.252467e-03,1.253179e-03,1.256774e-03,1.258727e-03,1.260761e-03,1.263728e-03,1.264440e-03,1.267825e-03,1.268212e-03,1.270927e-03,1.272206e-03,1.273759e-03,1.275737e-03,1.276331e-03,1.278655e-03,1.278831e-03,1.280742e-03,1.281513e-03,1.282602e-03,1.283806e-03,1.284245e-03,1.285680e-03,1.285733e-03,1.286918e-03,1.287316e-03,1.287966e-03,1.288576e-03,1.288835e-03,1.289532e-03,1.290203e-03,1.290607e-03,1.290761e-03,1.290682e-03,1.290384e-03,1.289883e-03,1.289193e-03,1.288327e-03,1.287298e-03,1.286118e-03,1.284798e-03,1.283348e-03,1.281780e-03,1.280103e-03,1.278327e-03,1.276459e-03,1.274508e-03,1.272482e-03,1.270388e-03,1.268233e-03,1.266025e-03,1.263768e-03,1.261468e-03,1.259132e-03
0.000000e+00,7.613713e-11,1.879779e-10,7.001068e-10,1.655272e-09,2.451939e-09,5.736209e-09,5.915380e-09,1.173474e-08,1.388604e-08,2.066296e-08,2.785760e-08,3.352295e-08,4.937652e-08,5.094396e-08,7.300717e-08,7.895339e-08,9.931322e-08,1.157061e-07,1.293554e-07,1.585446e-07,1.627103e-07,1.990379e-07,2.066335e-07,2.380390e-07,2.592796e-07,2.794222e-07,3.158065e-07,3.228884e-07,3.681265e-07,3.755077e-07,4.148156e-07,4.376462e-07,4.626306e-07,5.014763e-07,5.112491e-07,5.603584e-07,5.662701e-07,6.096618e-07,6.313452e-07,6.588848e-07,6.960856e-07,7.077773e-07,7.561159e-07,7.599530e-07,8.037054e-07,8.224931e-07,8.503783e-07,8.833351e-07,8.959937e-07,9.404361e-07,9.421880e-07,9.836131e-07,9.988327e-07,1.025453e-06,1.053114e-06,1.065904e-06,1.104930e-06,1.142509e-06,1.154227e-06,1.178631e-06,1.200985e-06,1.213298e-06,1.245217e-06,1.246518e-06,1.278309e-06,1.286957e-06,1.308692e-06,1.326258e-06,1.337695e-06,1.363185e-06,1.365348e-06,1.391686e-06,1.397815e-06,1.416743e-06,1.430229e-06,1.440556e-06,1.460514e-06,1.463165e-06,1.484607e-06,1.488758e-06,1.504921e-06,1.515051e-06,1.524146e-06,1.539482e-06,1.542321e-06,1.559485e-06,1.562139e-06,1.575674e-06,1.583109e-06,1.590925e-06,1.602475e-06,1.605275e-06,1.618758e-06,1.620319e-06,1.631409e-06,1.636721e-06,1.643261e-06,1.651755e-06,1.654347e-06,1.664698e-06,1.665495e-06,1.674343e-06,1.678011e-06,1.683313e-06,1.689370e-06,1.691636e-06,1.699340e-06,1.699635e-06,1.706450e-06,1.708869e-06,1.712992e-06,1.717129e-06,1.718991e-06,1.724470e-06,1.729453e-06,1.730946e-06,1.733960e-06,1.736606e-06,1.738015e-06,1.741498e-06,1.741635e-06,1.744842e-06,1.745668e-06,1.747654e-06,1.749159e-06,1.750089e-06,1.752010e-06,1.752164e-06,1.753896e-06,1.754262e-06,1.755301e-06,1.755950e-06,1.756394e-06,1.757110e-06,1.757190e-06,1.757704e-06,1.757774e-06,1.757948e-06,1.757973e-06,1.757936e-06,1.757737e-06,1.757680e-06,1.757193e-06,1.757094e-06,1.756485e-06,1.756071e-06,1.755568e-06,1.754691e-06,1.754453e-06,1.753149e-06,1.752980e-06,1.751666e-06,1.750960e-06,1.750014e-06,1.748651e-06,1.748202e-06,1.746237e-06,1.746074e-06,1.744129e-06,1.743247e-06,1.741884e-06,1.740189e-06,1.739512e-06,1.737018e-06,1.736916e-06,1.734410e-06,1.733444e-06,1.731694e-06,1.729789e-06,1.728877e-06,1.725964e-06,1.721984e-06,1.717860e-06,1.713605e-06,1.709230e-06,1.704746e-06,1.700162e-06,1.695489e-06,1.690735e-06,1.685909e-06,1.681018e-06,1.676071e-06,1.671073e-06,1.666033e-06,1.660955e-06,1.655847e-06,1.650713e-06,1.645559e-06,1.640389e-06,1.635208e-06,1.630022e-06,1.624832e-06,1.619644e-06,1.614461e-06,1.609286e-06
0.000000e+00,2.092238e-13,1.421602e-12,2.460132e-11,1.628129e-10,3.866713e-10,2.496503e-09,2.669854e-09,1.176211e-08,1.685490e-08,3.905209e-08,7.281296e-08,1.068072e-07,2.378053e-07,2.537601e-07,5.418990e-07,6.416263e-07,1.064189e-06,1.506249e-06,1.952328e-06,3.175674e-06,3.382987e-06,5.581006e-06,6.135861e-06,8.818716e-06,1.101638e-05,1.341147e-05,1.857234e-05,1.971002e-05,2.809075e-05,2.965091e-05,3.894453e-05,4.514857e-05,5.266508e-05,6.596501e-05,6.963759e-05,9.022789e-05,9.295820e-05,1.147727e-04,1.269039e-04,1.435713e-04,1.684617e-04,1.768784e-04,2.148984e-04,2.181485e-04,2.577822e-04,2.763206e-04,3.056240e-04,3.431630e-04,3.584606e-04,4.162719e-04,4.186869e-04,4.789822e-04,5.027340e-04,5.464631e-04,5.949860e-04,6.185364e-04,6.949790e-04,7.755270e-04,8.021215e-04,8.598814e-04,9.157149e-04,9.477130e-04,1.034975e-03,1.038668e-03,1.132375e-03,1.159054e-03,1.228447e-03,1.287062e-03,1.326490e-03,1.418089e-03,1.426106e-03,1.526898e-03,1.551220e-03,1.628475e-03,1.685557e-03,1.730453e-03,1.820232e-03,1.832462e-03,1.934147e-03,1.954415e-03,2.035168e-03,2.087330e-03,2.135207e-03,2.218263e-03,2.233967e-03,2.331170e-03,2.346561e-03,2.426564e-03,2.471643e-03,2.519920e-03,2.592998e-03,2.611031e-03,2.699714e-03,2.710185e-03,2.785809e-03,2.822834e-03,2.869178e-03,2.930643e-03,2.949705e-03,3.027297e-03,3.033375e-03,3.101876e-03,3.130851e-03,3.173388e-03,3.222954e-03,3.241792e-03,3.307068e-03,3.309613e-03,3.369207e-03,3.390810e-03,3.428216e-03,3.466564e-03,3.484115e-03,3.536935e-03,3.586718e-03,3.602015e-03,3.633513e-03,3.661922e-03,3.677380e-03,3.716799e-03,3.718385e-03,3.756599e-03,3.766809e-03,3.792099e-03,3.812130e-03,3.824966e-03,3.852952e-03,3.855286e-03,3.883145e-03,3.889475e-03,3.908633e-03,3.921905e-03,3.931841e-03,3.950449e-03,3.952859e-03,3.971780e-03,3.975320e-03,3.988695e-03,3.996728e-03,4.003695e-03,4.014881e-03,4.016870e-03,4.028309e-03,4.029984e-03,4.038098e-03,4.042236e-03,4.046324e-03,4.051834e-03,4.053068e-03,4.058413e-03,4.058964e-03,4.062437e-03,4.063809e-03,4.065216e-03,4.066541e-03,4.066823e-03,4.067331e-03,4.067326e-03,4.066807e-03,4.066323e-03,4.065317e-03,4.063682e-03,4.062924e-03,4.059689e-03,4.059543e-03,4.055670e-03,4.054042e-03,4.050923e-03,4.047305e-03,4.045498e-03,4.039448e-03,4.030584e-03,4.020817e-03,4.010241e-03,3.998949e-03,3.987022e-03,3.974540e-03,3.961573e-03,3.948188e-03,3.934446e-03,3.920404e-03,3.906114e-03,3.891623e-03,3.876975e-03,3.862209e-03,3.847364e-03,3.832471e-03,3.817562e-03,3.802663e-03,3.787800e-03,3.772995e-03,3.758269e-03,3.743640e-03,3.729124e-03,3.714737e-03
0.000000e+00,7.206862e-12,4.266412e-11,5.565065e-10,2.858195e-09,5.917034e-09,2.697803e-08,2.845238e-08,8.979717e-08,1.177843e-07,2.194815e-07,3.448020e-07,4.534275e-07,7.960887e-07,8.328239e-07,1.401152e-06,1.570177e-06,2.196894e-06,2.751742e-06,3.244602e-06,4.380514e-06,4.550700e-06,6.106021e-06,6.445434e-06,7.891664e-06,8.903537e-06,9.884251e-06,1.169987e-05,1.205906e-05,1.439130e-05,1.477743e-05,1.685635e-05,1.807952e-05,1.942963e-05,2.154974e-05,2.208668e-05,2.480327e-05,2.513213e-05,2.755573e-05,2.877229e-05,3.032139e-05,3.241893e-05,3.307892e-05,3.580878e-05,3.602543e-05,3.849341e-05,3.955109e-05,4.111749e-05,4.296189e-05,4.366792e-05,4.613386e-05,4.623061e-05,4.850661e-05,4.933665e-05,5.077954e-05,5.226559e-05,5.294785e-05,5.500843e-05,5.695956e-05,5.756070e-05,5.880078e-05,5.992172e-05,6.053269e-05,6.209380e-05,6.215671e-05,6.367498e-05,6.408150e-05,6.509018e-05,6.589106e-05,6.640532e-05,6.752968e-05,6.762367e-05,6.874875e-05,6.900530e-05,6.978429e-05,7.032654e-05,7.073421e-05,7.150246e-05,7.160247e-05,7.239299e-05,7.254210e-05,7.310963e-05,7.345434e-05,7.375616e-05,7.424773e-05,7.433622e-05,7.485335e-05,7.493048e-05,7.531098e-05,7.551049e-05,7.571242e-05,7.599523e-05,7.606082e-05,7.635921e-05,7.639179e-05,7.661050e-05,7.670688e-05,7.681751e-05,7.694686e-05,7.698290e-05,7.710922e-05,7.711771e-05,7.719887e-05,7.722498e-05,7.725416e-05,7.727391e-05,7.727726e-05,7.727027e-05,7.726939e-05,7.723517e-05,7.721601e-05,7.717381e-05,7.711800e-05,7.708797e-05,7.697931e-05,7.684942e-05,7.680362e-05,7.669980e-05,7.659436e-05,7.653188e-05,7.635472e-05,7.634701e-05,7.614646e-05,7.608766e-05,7.593143e-05,7.579593e-05,7.570305e-05,7.548207e-05,7.546239e-05,7.521045e-05,7.514841e-05,7.494819e-05,7.479715e-05,7.467650e-05,7.443030e-05,7.439624e-05,7.410820e-05,7.404972e-05,7.381313e-05,7.365714e-05,7.351172e-05,7.325414e-05,7.320466e-05,7.289256e-05,7.284219e-05,7.257600e-05,7.242263e-05,7.225554e-05,7.199671e-05,7.193170e-05,7.160496e-05,7.156558e-05,7.127578e-05,7.113027e-05,7.094458e-05,7.069177e-05,7.061176e-05,7.027771e-05,7.025094e-05,6.994277e-05,6.980862e-05,6.960726e-05,6.936552e-05,6.927150e-05,6.893577e-05,6.892235e-05,6.860034e-05,6.847970e-05,6.826545e-05,6.803816e-05,6.793134e-05,6.759823e-05,6.716037e-05,6.672501e-05,6.629253e-05,6.586327e-05,6.543755e-05,6.501564e-05,6.459779e-05,6.418422e-05,6.377512e-05,6.337067e-05,6.297101e-05,6.257627e-05,6.218658e-05,6.180201e-05,6.142265e-05,6.104857e-05,6.067981e-05,6.031642e-05,5.995843e-05,5.960584e-05,5.925868e-05,5.891694e-05,5.858062e-05,5.824969e-05
0.000000e+00,7.098036e-11,2.862220e-10,1.909857e-09,6.029441e-09,9.955940e-09,2.814152e-08,2.918782e-08,6.462352e-08,7.816800e-08,1.216499e-07,1.687090e-07,2.062791e-07,3.138289e-07,3.246666e-07,4.812173e-07,5.246317e-07,6.766987e-07,8.024173e-07,9.089369e-07,1.141321e-06,1.174928e-06,1.471965e-06,1.534889e-06,1.797721e-06,1.977741e-06,2.150017e-06,2.464830e-06,2.526625e-06,2.925152e-06,2.990780e-06,3.343014e-06,3.549650e-06,3.777446e-06,4.134973e-06,4.225543e-06,4.684325e-06,4.739954e-06,5.150793e-06,5.357712e-06,5.622002e-06,5.981542e-06,6.095118e-06,6.567466e-06,6.605144e-06,7.036562e-06,7.222777e-06,7.500149e-06,7.829378e-06,7.956210e-06,8.402971e-06,8.420625e-06,8.838909e-06,8.992943e-06,9.262741e-06,9.543486e-06,9.673415e-06,1.007010e-05,1.045217e-05,1.057126e-05,1.081912e-05,1.104588e-05,1.117065e-05,1.149345e-05,1.150659e-05,1.182689e-05,1.191378e-05,1.213162e-05,1.230703e-05,1.242091e-05,1.267362e-05,1.269499e-05,1.295414e-05,1.301415e-05,1.319868e-05,1.332938e-05,1.342899e-05,1.362021e-05,1.364547e-05,1.384853e-05,1.388758e-05,1.403863e-05,1.413250e-05,1.421619e-05,1.435601e-05,1.438170e-05,1.453559e-05,1.455916e-05,1.467832e-05,1.474301e-05,1.481036e-05,1.490859e-05,1.493214e-05,1.504411e-05,1.505691e-05,1.514669e-05,1.518896e-05,1.524031e-05,1.530571e-05,1.532536e-05,1.540225e-05,1.540806e-05,1.547136e-05,1.549691e-05,1.553307e-05,1.557311e-05,1.558772e-05,1.563568e-05,1.563746e-05,1.567726e-05,1.569073e-05,1.571280e-05,1.573367e-05,1.574260e-05,1.576695e-05,1.578616e-05,1.579126e-05,1.580047e-05,1.580720e-05,1.581017e-05,1.581537e-05,1.581550e-05,1.581670e-05,1.581633e-05,1.581401e-05,1.581061e-05,1.580763e-05,1.579870e-05,1.579779e-05,1.578469e-05,1.578108e-05,1.576851e-05,1.575818e-05,1.574945e-05,1.573042e-05,1.572767e-05,1.570335e-05,1.569820e-05,1.567665e-05,1.566187e-05,1.564771e-05,1.562179e-05,1.561669e-05,1.558372e-05,1.557828e-05,1.554894e-05,1.553164e-05,1.551247e-05,1.548216e-05,1.547443e-05,1.543493e-05,1.543010e-05,1.539409e-05,1.537572e-05,1.535201e-05,1.531925e-05,1.530878e-05,1.526450e-05,1.526092e-05,1.521926e-05,1.520091e-05,1.517314e-05,1.513944e-05,1.512623e-05,1.507859e-05,1.507667e-05,1.503031e-05,1.501278e-05,1.498144e-05,1.494792e-05,1.493206e-05,1.488223e-05,1.481585e-05,1.474891e-05,1.468153e-05,1.461380e-05,1.454585e-05,1.447775e-05,1.440959e-05,1.434146e-05,1.427343e-05,1.420557e-05,1.413793e-05,1.407059e-05,1.400359e-05,1.393698e-05,1.387081e-05,1.380512e-05,1.373994e-05,1.367531e-05,1.361126e-05,1.354782e-05,1.348501e-05,1.342286e-05,1.336138e-05,1.330059e-05
0.000000e+00,3.471077e-11,8.145551e-11,2.872397e-10,6.621922e-10,9.724384e-10,2.249977e-09,2.319871e-09,4.607470e-09,5.460589e-09,8.156222e-09,1.099185e-08,1.317821e-08,1.901393e-08,1.956880e-08,2.704160e-08,2.896759e-08,3.535652e-08,4.031673e-08,4.434679e-08,5.271209e-08,5.388087e-08,6.383848e-08,6.587048e-08,7.410250e-08,7.952276e-08,8.455863e-08,9.341037e-08,9.509801e-08,1.056204e-07,1.072963e-07,1.160366e-07,1.209757e-07,1.262701e-07,1.342824e-07,1.362576e-07,1.459484e-07,1.470895e-07,1.553042e-07,1.593071e-07,1.642971e-07,1.708773e-07,1.729086e-07,1.811281e-07,1.817686e-07,1.889513e-07,1.919697e-07,1.963791e-07,2.014849e-07,2.034164e-07,2.100712e-07,2.103296e-07,2.163539e-07,2.185268e-07,2.222762e-07,2.261042e-07,2.278512e-07,2.330925e-07,2.380141e-07,2.395238e-07,2.426302e-07,2.454306e-07,2.469547e-07,2.508448e-07,2.510015e-07,2.547842e-07,2.557978e-07,2.583158e-07,2.603196e-07,2.616090e-07,2.644388e-07,2.646761e-07,2.675286e-07,2.681825e-07,2.701778e-07,2.715765e-07,2.726343e-07,2.746449e-07,2.749084e-07,2.770098e-07,2.774102e-07,2.789477e-07,2.798937e-07,2.807308e-07,2.821152e-07,2.823676e-07,2.838658e-07,2.840932e-07,2.852331e-07,2.858450e-07,2.864765e-07,2.873865e-07,2.876027e-07,2.886181e-07,2.887328e-07,2.895289e-07,2.898979e-07,2.903406e-07,2.908946e-07,2.910587e-07,2.916885e-07,2.917352e-07,2.922346e-07,2.924307e-07,2.927017e-07,2.929917e-07,2.930943e-07,2.934163e-07,2.934278e-07,2.936718e-07,2.937482e-07,2.938643e-07,2.939611e-07,2.939975e-07,2.940746e-07,2.940987e-07,2.940958e-07,2.940729e-07,2.940315e-07,2.940000e-07,2.938881e-07,2.938826e-07,2.937233e-07,2.936715e-07,2.935244e-07,2.933871e-07,2.932883e-07,2.930400e-07,2.930171e-07,2.927128e-07,2.926351e-07,2.923774e-07,2.921767e-07,2.920128e-07,2.916691e-07,2.916206e-07,2.912026e-07,2.911160e-07,2.907602e-07,2.905211e-07,2.902951e-07,2.898878e-07,2.898085e-07,2.893020e-07,2.892192e-07,2.887767e-07,2.885182e-07,2.882338e-07,2.877876e-07,2.876745e-07,2.871000e-07,2.870300e-07,2.865111e-07,2.862478e-07,2.859091e-07,2.854432e-07,2.852947e-07,2.846689e-07,2.846183e-07,2.840325e-07,2.837751e-07,2.833863e-07,2.829155e-07,2.827311e-07,2.820677e-07,2.820410e-07,2.813967e-07,2.811535e-07,2.807189e-07,2.802543e-07,2.800347e-07,2.793449e-07,2.784265e-07,2.775006e-07,2.765681e-07,2.756302e-07,2.746879e-07,2.737421e-07,2.727938e-07,2.718438e-07,2.708928e-07,2.699416e-07,2.689908e-07,2.680411e-07,2.670931e-07,2.661474e-07,2.652044e-07,2.642647e-07,2.633286e-07,2.623967e-07,2.614693e-07,2.605467e-07,2.596293e-07,2.587175e-07,2.578114e-07,2.569114e-07
0.000000e+00,3.411377e-12,7.825617e-12,2.695998e-11,6.136911e-11,8.953453e-11,2.030028e-10,2.091023e-10,4.034947e-10,4.738235e-10,6.911864e-10,9.166707e-10,1.091691e-09,1.576731e-09,1.624669e-09,2.306361e-09,2.493143e-09,3.143881e-09,3.679624e-09,4.132577e-09,5.117779e-09,5.259885e-09,6.511042e-09,6.774877e-09,7.872008e-09,8.618796e-09,9.329903e-09,1.062054e-08,1.087257e-08,1.248815e-08,1.275262e-08,1.416481e-08,1.498783e-08,1.589072e-08,1.729901e-08,1.765413e-08,1.944352e-08,1.965946e-08,2.124777e-08,2.204360e-08,2.305633e-08,2.442767e-08,2.485942e-08,2.664804e-08,2.679025e-08,2.841414e-08,2.911267e-08,3.015067e-08,3.137912e-08,3.185138e-08,3.351106e-08,3.357653e-08,3.512540e-08,3.569477e-08,3.669091e-08,3.772614e-08,3.820486e-08,3.966524e-08,4.107064e-08,4.150860e-08,4.242020e-08,4.325443e-08,4.371355e-08,4.490231e-08,4.495072e-08,4.613207e-08,4.645292e-08,4.725823e-08,4.790780e-08,4.833010e-08,4.926917e-08,4.934873e-08,5.031538e-08,5.053978e-08,5.123137e-08,5.172273e-08,5.209813e-08,5.282136e-08,5.291718e-08,5.369003e-08,5.383920e-08,5.441827e-08,5.477984e-08,5.510346e-08,5.564690e-08,5.574718e-08,5.635099e-08,5.644400e-08,5.691643e-08,5.717467e-08,5.744504e-08,5.784239e-08,5.793828e-08,5.839763e-08,5.845054e-08,5.882449e-08,5.900237e-08,5.922024e-08,5.950104e-08,5.958623e-08,5.992375e-08,5.994956e-08,6.023405e-08,6.035082e-08,6.051834e-08,6.070759e-08,6.077780e-08,6.101355e-08,6.102250e-08,6.122667e-08,6.129806e-08,6.141822e-08,6.153667e-08,6.158920e-08,6.174058e-08,6.187328e-08,6.191195e-08,6.198820e-08,6.205282e-08,6.208620e-08,6.216512e-08,6.216810e-08,6.223469e-08,6.225069e-08,6.228672e-08,6.231126e-08,6.232492e-08,6.234845e-08,6.234999e-08,6.236259e-08,6.236383e-08,6.236337e-08,6.235886e-08,6.235292e-08,6.233491e-08,6.233184e-08,6.230069e-08,6.229330e-08,6.226000e-08,6.223524e-08,6.221029e-08,6.216192e-08,6.215204e-08,6.208573e-08,6.207441e-08,6.201181e-08,6.197375e-08,6.193070e-08,6.186091e-08,6.184281e-08,6.174855e-08,6.173682e-08,6.164827e-08,6.160234e-08,6.154235e-08,6.145828e-08,6.143112e-08,6.131490e-08,6.130540e-08,6.119402e-08,6.114443e-08,6.106877e-08,6.097605e-08,6.093944e-08,6.080629e-08,6.080089e-08,6.066959e-08,6.061955e-08,6.052958e-08,6.043261e-08,6.038651e-08,6.024059e-08,6.004398e-08,5.984326e-08,5.963887e-08,5.943122e-08,5.922069e-08,5.900766e-08,5.879246e-08,5.857541e-08,5.835681e-08,5.813694e-08,5.791607e-08,5.769443e-08,5.747226e-08,5.724978e-08,5.702718e-08,5.680465e-08,5.658237e-08,5.636049e-08,5.613917e-08,5.591856e-08,5.569877e-08,5.547993e-08,5.526216e-08,5.504555e-08
0.000000e+00,6.052621e-12,3.460738e-11,4.213677e-10,2.040065e-09,4.094723e-09,1.731432e-08,1.820701e-08,5.363358e-08,6.909712e-08,1.232092e-07,1.869510e-07,2.404193e-07,4.019471e-07,4.187816e-07,6.715636e-07,7.447285e-07,1.011353e-06,1.243814e-06,1.449027e-06,1.921073e-06,1.991881e-06,2.641319e-06,2.783601e-06,3.391337e-06,3.817020e-06,4.229006e-06,4.987674e-06,5.136866e-06,6.095939e-06,6.252906e-06,7.088105e-06,7.571311e-06,8.097386e-06,8.908015e-06,9.110337e-06,1.011591e-05,1.023564e-05,1.110514e-05,1.153332e-05,1.207086e-05,1.278553e-05,1.300738e-05,1.391032e-05,1.398100e-05,1.477644e-05,1.511203e-05,1.560344e-05,1.617380e-05,1.638985e-05,1.713495e-05,1.716389e-05,1.783856e-05,1.808175e-05,1.850102e-05,1.892833e-05,1.912303e-05,1.970563e-05,2.025005e-05,2.041642e-05,2.075769e-05,2.106399e-05,2.123010e-05,2.165191e-05,2.166884e-05,2.207554e-05,2.218390e-05,2.245184e-05,2.266369e-05,2.279933e-05,2.309494e-05,2.311960e-05,2.341417e-05,2.348121e-05,2.368454e-05,2.382589e-05,2.393211e-05,2.413219e-05,2.415824e-05,2.436423e-05,2.440312e-05,2.455131e-05,2.464150e-05,2.472063e-05,2.484996e-05,2.487331e-05,2.501038e-05,2.503093e-05,2.513283e-05,2.518668e-05,2.524157e-05,2.531929e-05,2.533748e-05,2.542138e-05,2.543068e-05,2.549404e-05,2.552263e-05,2.555617e-05,2.559678e-05,2.560847e-05,2.565157e-05,2.565463e-05,2.568606e-05,2.569758e-05,2.571252e-05,2.572689e-05,2.573147e-05,2.574340e-05,2.574374e-05,2.574879e-05,2.574921e-05,2.574806e-05,2.574429e-05,2.574164e-05,2.572990e-05,2.571321e-05,2.570688e-05,2.569191e-05,2.567600e-05,2.566631e-05,2.563797e-05,2.563672e-05,2.560341e-05,2.559346e-05,2.556666e-05,2.554305e-05,2.552670e-05,2.548732e-05,2.548378e-05,2.543811e-05,2.542676e-05,2.538990e-05,2.536186e-05,2.533934e-05,2.529305e-05,2.528661e-05,2.523189e-05,2.522072e-05,2.517533e-05,2.514524e-05,2.511709e-05,2.506697e-05,2.505730e-05,2.499612e-05,2.498620e-05,2.493364e-05,2.490324e-05,2.487001e-05,2.481834e-05,2.480532e-05,2.473969e-05,2.473176e-05,2.467321e-05,2.464371e-05,2.460597e-05,2.455442e-05,2.453807e-05,2.446958e-05,2.446408e-05,2.440058e-05,2.437285e-05,2.433114e-05,2.428092e-05,2.426134e-05,2.419123e-05,2.418842e-05,2.412088e-05,2.409551e-05,2.405034e-05,2.400230e-05,2.397967e-05,2.390892e-05,2.381548e-05,2.372208e-05,2.362881e-05,2.353576e-05,2.344301e-05,2.335062e-05,2.325867e-05,2.316721e-05,2.307631e-05,2.298600e-05,2.289635e-05,2.280738e-05,2.271915e-05,2.263167e-05,2.254500e-05,2.245915e-05,2.237414e-05,2.229001e-05,2.220677e-05,2.212444e-05,2.204304e-05,2.196258e-05,2.188306e-05,2.180451e-05
0.000000e+00,1.670103e-12,1.034576e-11,1.477369e-10,8.201799e-10,1.768354e-09,8.887486e-09,9.408082e-09,3.229863e-08,4.324627e-08,8.447635e-08,1.371879e-07,1.839086e-07,3.348773e-07,3.512858e-07,6.088031e-07,6.865141e-07,9.786559e-07,1.242427e-06,1.480705e-06,2.043628e-06,2.129551e-06,2.932290e-06,3.111353e-06,3.887945e-06,4.442888e-06,4.988499e-06,6.015356e-06,6.220699e-06,7.567921e-06,7.792929e-06,9.011643e-06,9.733229e-06,1.053249e-05,1.179154e-05,1.211090e-05,1.372763e-05,1.392332e-05,1.536405e-05,1.608572e-05,1.700249e-05,1.823888e-05,1.862650e-05,2.022111e-05,2.034700e-05,2.177301e-05,2.237918e-05,2.327073e-05,2.431009e-05,2.470469e-05,2.606726e-05,2.612019e-05,2.735268e-05,2.779572e-05,2.855695e-05,2.932824e-05,2.967773e-05,3.071411e-05,3.166649e-05,3.195372e-05,3.253629e-05,3.305067e-05,3.332584e-05,3.401107e-05,3.403812e-05,3.467665e-05,3.484275e-05,3.524532e-05,3.555468e-05,3.574822e-05,3.615644e-05,3.618959e-05,3.657366e-05,3.665779e-05,3.690465e-05,3.706835e-05,3.718665e-05,3.739741e-05,3.742359e-05,3.761925e-05,3.765374e-05,3.777716e-05,3.784548e-05,3.790068e-05,3.798014e-05,3.799291e-05,3.805677e-05,3.806453e-05,3.809492e-05,3.810483e-05,3.810983e-05,3.810656e-05,3.810378e-05,3.807883e-05,3.807466e-05,3.803691e-05,3.801353e-05,3.797973e-05,3.792706e-05,3.790889e-05,3.782581e-05,3.781868e-05,3.773181e-05,3.769143e-05,3.762808e-05,3.754797e-05,3.751569e-05,3.739563e-05,3.739068e-05,3.726878e-05,3.722162e-05,3.713596e-05,3.704260e-05,3.699789e-05,3.685524e-05,3.670862e-05,3.666095e-05,3.655856e-05,3.646096e-05,3.640558e-05,3.625638e-05,3.625012e-05,3.609259e-05,3.604817e-05,3.593337e-05,3.583717e-05,3.577280e-05,3.562415e-05,3.561119e-05,3.544881e-05,3.540976e-05,3.528593e-05,3.519458e-05,3.512277e-05,3.497913e-05,3.495955e-05,3.479646e-05,3.476388e-05,3.463368e-05,3.454921e-05,3.447136e-05,3.433548e-05,3.430966e-05,3.414869e-05,3.412301e-05,3.398858e-05,3.391207e-05,3.382944e-05,3.370289e-05,3.367136e-05,3.351443e-05,3.349568e-05,3.335874e-05,3.329064e-05,3.320435e-05,3.308792e-05,3.305132e-05,3.289972e-05,3.288766e-05,3.274960e-05,3.268997e-05,3.260100e-05,3.249497e-05,3.245395e-05,3.230851e-05,3.230273e-05,3.216469e-05,3.211332e-05,3.202253e-05,3.192682e-05,3.188205e-05,3.174327e-05,3.156270e-05,3.138514e-05,3.121063e-05,3.103916e-05,3.087075e-05,3.070540e-05,3.054310e-05,3.038385e-05,3.022763e-05,3.007443e-05,2.992422e-05,2.977698e-05,2.963268e-05,2.949130e-05,2.935279e-05,2.921714e-05,2.908430e-05,2.895423e-05,2.882690e-05,2.870228e-05,2.858031e-05,2.846096e-05,2.834419e-05,2.822996e-05
0.000000e+00,1.837828e-12,1.119534e-11,1.544591e-10,8.314471e-10,1.762963e-09,8.493826e-09,8.976184e-09,2.959432e-08,3.920285e-08,7.458375e-08,1.186368e-07,1.569526e-07,2.777394e-07,2.906589e-07,4.898176e-07,5.488884e-07,7.680298e-07,9.629549e-07,1.137318e-06,1.544545e-06,1.606230e-06,2.177526e-06,2.303808e-06,2.846750e-06,3.229935e-06,3.602652e-06,4.292925e-06,4.429167e-06,5.307946e-06,5.452154e-06,6.220534e-06,6.665482e-06,7.149798e-06,7.894980e-06,8.080618e-06,9.000100e-06,9.109145e-06,9.897509e-06,1.028305e-05,1.076409e-05,1.139771e-05,1.159286e-05,1.237845e-05,1.243930e-05,1.311692e-05,1.339850e-05,1.380566e-05,1.426988e-05,1.444318e-05,1.502901e-05,1.505137e-05,1.556357e-05,1.574367e-05,1.604800e-05,1.634964e-05,1.648402e-05,1.687380e-05,1.721985e-05,1.732179e-05,1.752487e-05,1.769986e-05,1.779169e-05,1.801456e-05,1.802318e-05,1.822218e-05,1.827245e-05,1.839145e-05,1.847984e-05,1.853363e-05,1.864268e-05,1.865124e-05,1.874664e-05,1.876647e-05,1.882200e-05,1.885620e-05,1.887934e-05,1.891636e-05,1.892051e-05,1.894721e-05,1.895094e-05,1.896096e-05,1.896346e-05,1.896316e-05,1.895699e-05,1.895505e-05,1.893777e-05,1.893422e-05,1.891231e-05,1.889745e-05,1.887958e-05,1.884872e-05,1.884041e-05,1.879551e-05,1.878977e-05,1.874553e-05,1.872209e-05,1.869107e-05,1.864699e-05,1.863263e-05,1.857069e-05,1.856559e-05,1.850567e-05,1.847888e-05,1.843794e-05,1.838770e-05,1.836786e-05,1.829572e-05,1.829280e-05,1.822181e-05,1.819481e-05,1.814636e-05,1.809431e-05,1.806962e-05,1.799178e-05,1.791302e-05,1.788766e-05,1.783353e-05,1.778233e-05,1.775344e-05,1.767614e-05,1.767291e-05,1.759205e-05,1.756936e-05,1.751098e-05,1.746228e-05,1.742980e-05,1.735511e-05,1.734862e-05,1.726751e-05,1.724807e-05,1.718657e-05,1.714134e-05,1.710586e-05,1.703508e-05,1.702545e-05,1.694539e-05,1.692943e-05,1.686575e-05,1.682451e-05,1.678657e-05,1.672045e-05,1.670790e-05,1.662977e-05,1.661733e-05,1.655224e-05,1.651524e-05,1.647533e-05,1.641427e-05,1.639907e-05,1.632349e-05,1.631447e-05,1.624861e-05,1.621590e-05,1.617447e-05,1.611861e-05,1.610107e-05,1.602843e-05,1.602265e-05,1.595657e-05,1.592805e-05,1.588551e-05,1.583485e-05,1.581526e-05,1.574582e-05,1.574306e-05,1.567721e-05,1.565271e-05,1.560943e-05,1.556381e-05,1.554248e-05,1.547638e-05,1.539043e-05,1.530595e-05,1.522296e-05,1.514145e-05,1.506142e-05,1.498287e-05,1.490578e-05,1.483016e-05,1.475598e-05,1.468325e-05,1.461194e-05,1.454204e-05,1.447354e-05,1.440642e-05,1.434066e-05,1.427626e-05,1.421318e-05,1.415141e-05,1.409094e-05,1.403174e-05,1.397379e-05,1.391708e-05,1.386158e-05,1.380728e-05
0.000000e+00,6.261161e-12,1.438220e-11,4.976644e-11,1.139120e-10,1.668046e-10,3.827309e-10,3.944534e-10,7.733724e-10,9.127740e-10,1.350338e-09,1.813517e-09,2.178402e-09,3.207293e-09,3.309995e-09,4.779569e-09,5.183379e-09,6.588040e-09,7.739483e-09,8.708940e-09,1.080617e-08,1.110758e-08,1.375251e-08,1.430866e-08,1.661735e-08,1.818624e-08,1.967904e-08,2.238726e-08,2.291610e-08,2.630754e-08,2.686310e-08,2.983240e-08,3.156556e-08,3.346974e-08,3.644667e-08,3.719886e-08,4.099960e-08,4.145957e-08,4.485262e-08,4.655978e-08,4.873971e-08,5.170622e-08,5.264395e-08,5.654992e-08,5.686204e-08,6.044368e-08,6.199495e-08,6.431287e-08,6.707732e-08,6.814663e-08,7.193552e-08,7.208603e-08,7.567148e-08,7.700211e-08,7.934766e-08,8.181036e-08,8.295834e-08,8.649882e-08,8.996528e-08,9.105839e-08,9.335467e-08,9.548233e-08,9.666465e-08,9.976589e-08,9.989346e-08,1.030399e-07,1.039060e-07,1.061030e-07,1.079008e-07,1.090826e-07,1.117498e-07,1.119783e-07,1.147905e-07,1.154531e-07,1.175195e-07,1.190116e-07,1.201659e-07,1.224270e-07,1.227304e-07,1.252140e-07,1.257011e-07,1.276177e-07,1.288364e-07,1.299425e-07,1.318353e-07,1.321897e-07,1.343605e-07,1.347009e-07,1.364563e-07,1.374360e-07,1.384784e-07,1.400439e-07,1.404281e-07,1.423070e-07,1.425278e-07,1.441164e-07,1.448909e-07,1.458578e-07,1.471367e-07,1.475327e-07,1.491425e-07,1.492685e-07,1.506887e-07,1.512897e-07,1.521728e-07,1.532036e-07,1.535961e-07,1.549603e-07,1.550136e-07,1.562667e-07,1.567231e-07,1.575167e-07,1.583352e-07,1.587118e-07,1.598533e-07,1.609427e-07,1.612805e-07,1.619814e-07,1.626201e-07,1.629706e-07,1.638749e-07,1.639117e-07,1.648060e-07,1.650482e-07,1.656548e-07,1.661428e-07,1.664594e-07,1.671617e-07,1.672211e-07,1.679409e-07,1.681076e-07,1.686203e-07,1.689834e-07,1.692602e-07,1.697917e-07,1.698619e-07,1.704266e-07,1.705352e-07,1.709553e-07,1.712164e-07,1.714491e-07,1.718377e-07,1.719091e-07,1.723363e-07,1.724017e-07,1.727318e-07,1.729106e-07,1.730965e-07,1.733668e-07,1.734315e-07,1.737376e-07,1.737725e-07,1.740159e-07,1.741297e-07,1.742672e-07,1.744406e-07,1.744924e-07,1.746923e-07,1.747073e-07,1.748679e-07,1.749315e-07,1.750200e-07,1.751154e-07,1.751493e-07,1.752567e-07,1.752605e-07,1.753429e-07,1.753689e-07,1.754086e-07,1.754420e-07,1.754547e-07,1.754817e-07,1.754895e-07,1.754669e-07,1.754154e-07,1.753365e-07,1.752316e-07,1.751019e-07,1.749488e-07,1.747735e-07,1.745772e-07,1.743610e-07,1.741262e-07,1.738736e-07,1.736044e-07,1.733195e-07,1.730198e-07,1.727064e-07,1.723800e-07,1.720416e-07,1.716918e-07,1.713315e-07,1.709614e-07,1.705823e-07,1.701948e-07,1.697995e-07
0.000000e+00,1.526786e-10,4.088103e-10,1.654868e-09,4.061678e-09,6.098884e-09,1.461104e-08,1.507865e-08,3.037545e-08,3.607297e-08,5.414001e-08,7.348996e-08,8.882718e-08,1.320393e-07,1.363234e-07,1.965406e-07,2.126950e-07,2.676388e-07,3.114272e-07,3.475802e-07,4.240075e-07,4.348216e-07,5.282183e-07,5.475506e-07,6.268137e-07,6.798389e-07,7.297086e-07,8.188085e-07,8.360079e-07,9.448051e-07,9.623837e-07,1.055193e-06,1.108482e-06,1.166282e-06,1.255084e-06,1.277220e-06,1.387216e-06,1.400317e-06,1.495551e-06,1.542525e-06,1.601588e-06,1.680302e-06,1.704783e-06,1.804680e-06,1.812518e-06,1.900911e-06,1.938310e-06,1.993190e-06,2.057066e-06,2.081311e-06,2.165132e-06,2.168394e-06,2.244574e-06,2.272094e-06,2.319607e-06,2.368119e-06,2.390248e-06,2.456548e-06,2.518588e-06,2.537557e-06,2.576471e-06,2.611392e-06,2.630322e-06,2.678350e-06,2.680276e-06,2.726478e-06,2.738763e-06,2.769081e-06,2.792981e-06,2.808242e-06,2.841365e-06,2.844118e-06,2.876866e-06,2.884278e-06,2.906643e-06,2.922077e-06,2.933601e-06,2.955113e-06,2.957891e-06,2.979658e-06,2.983721e-06,2.999043e-06,3.008226e-06,3.016180e-06,3.028935e-06,3.031201e-06,3.044232e-06,3.046140e-06,3.055390e-06,3.060116e-06,3.064792e-06,3.071122e-06,3.072546e-06,3.078756e-06,3.079402e-06,3.083521e-06,3.085184e-06,3.086935e-06,3.088680e-06,3.089086e-06,3.090060e-06,3.090089e-06,3.089936e-06,3.089597e-06,3.088791e-06,3.087374e-06,3.086695e-06,3.083718e-06,3.083581e-06,3.079922e-06,3.078367e-06,3.075368e-06,3.071869e-06,3.070115e-06,3.064214e-06,3.057718e-06,3.055521e-06,3.050674e-06,3.045899e-06,3.043127e-06,3.035449e-06,3.035121e-06,3.026694e-06,3.024264e-06,3.017885e-06,3.012430e-06,3.008728e-06,3.000027e-06,2.999258e-06,2.989506e-06,2.987126e-06,2.979500e-06,2.973797e-06,2.969269e-06,2.960099e-06,2.958838e-06,2.948232e-06,2.946091e-06,2.937472e-06,2.931824e-06,2.926582e-06,2.917347e-06,2.915580e-06,2.904484e-06,2.902702e-06,2.893314e-06,2.887930e-06,2.882084e-06,2.873067e-06,2.870810e-06,2.859506e-06,2.858148e-06,2.848185e-06,2.843202e-06,2.836860e-06,2.828256e-06,2.825541e-06,2.814240e-06,2.813337e-06,2.802967e-06,2.798467e-06,2.791730e-06,2.783667e-06,2.780538e-06,2.769398e-06,2.768954e-06,2.758319e-06,2.754347e-06,2.747306e-06,2.739859e-06,2.736366e-06,2.725505e-06,2.711296e-06,2.697243e-06,2.683356e-06,2.669642e-06,2.656110e-06,2.642765e-06,2.629613e-06,2.616657e-06,2.603903e-06,2.591354e-06,2.579010e-06,2.566876e-06,2.554951e-06,2.543237e-06,2.531735e-06,2.520444e-06,2.509365e-06,2.498496e-06,2.487837e-06,2.477386e-06,2.467143e-06,2.457105e-06,2.447271e-06,2.437638e-06
0.000000e+00,4.961051e-11,1.194049e-10,4.331428e-10,1.011133e-09,1.489891e-09,3.443602e-09,3.549408e-09,6.949252e-09,8.189978e-09,1.205192e-08,1.609270e-08,1.924728e-08,2.803805e-08,2.890876e-08,4.127403e-08,4.464785e-08,5.632726e-08,6.584914e-08,7.383628e-08,9.103327e-08,9.349618e-08,1.150193e-07,1.195246e-07,1.381512e-07,1.507381e-07,1.626602e-07,1.841510e-07,1.883266e-07,2.149380e-07,2.192696e-07,2.422882e-07,2.556203e-07,2.701796e-07,2.927563e-07,2.984253e-07,3.268516e-07,3.302672e-07,3.553003e-07,3.677877e-07,3.836297e-07,4.050030e-07,4.117152e-07,4.394491e-07,4.416498e-07,4.667399e-07,4.775147e-07,4.935114e-07,5.124297e-07,5.197011e-07,5.452590e-07,5.462676e-07,5.701463e-07,5.789357e-07,5.943337e-07,6.103705e-07,6.178005e-07,6.405328e-07,6.625229e-07,6.694025e-07,6.837684e-07,6.969753e-07,7.042709e-07,7.232594e-07,7.240360e-07,7.430717e-07,7.482723e-07,7.613885e-07,7.720386e-07,7.789988e-07,7.945882e-07,7.959165e-07,8.121566e-07,8.159551e-07,8.277350e-07,8.361760e-07,8.426682e-07,8.552894e-07,8.569734e-07,8.706678e-07,8.733349e-07,8.837689e-07,8.903529e-07,8.962944e-07,9.063838e-07,9.082618e-07,9.196885e-07,9.214678e-07,9.305920e-07,9.356447e-07,9.409892e-07,9.489538e-07,9.508970e-07,9.603322e-07,9.614334e-07,9.693108e-07,9.731210e-07,9.778490e-07,9.840530e-07,9.859622e-07,9.936658e-07,9.942649e-07,1.000975e-06,1.003791e-06,1.007903e-06,1.012665e-06,1.014466e-06,1.020676e-06,1.020918e-06,1.026548e-06,1.028581e-06,1.032093e-06,1.035685e-06,1.037326e-06,1.042257e-06,1.046900e-06,1.048326e-06,1.051265e-06,1.053918e-06,1.055363e-06,1.059058e-06,1.059207e-06,1.062805e-06,1.063770e-06,1.066169e-06,1.068078e-06,1.069307e-06,1.072004e-06,1.072231e-06,1.074947e-06,1.075570e-06,1.077467e-06,1.078795e-06,1.079798e-06,1.081699e-06,1.081948e-06,1.083925e-06,1.084301e-06,1.085738e-06,1.086618e-06,1.087393e-06,1.088667e-06,1.088898e-06,1.090260e-06,1.090465e-06,1.091485e-06,1.092026e-06,1.092579e-06,1.093365e-06,1.093550e-06,1.094402e-06,1.094496e-06,1.095142e-06,1.095433e-06,1.095775e-06,1.096187e-06,1.096306e-06,1.096740e-06,1.096771e-06,1.097083e-06,1.097196e-06,1.097339e-06,1.097472e-06,1.097513e-06,1.097608e-06,1.097611e-06,1.097630e-06,1.097620e-06,1.097581e-06,1.097511e-06,1.097467e-06,1.097290e-06,1.096967e-06,1.096550e-06,1.096045e-06,1.095459e-06,1.094799e-06,1.094072e-06,1.093283e-06,1.092437e-06,1.091540e-06,1.090596e-06,1.089611e-06,1.088589e-06,1.087533e-06,1.086447e-06,1.085336e-06,1.084202e-06,1.083048e-06,1.081878e-06,1.080694e-06,1.079499e-06,1.078296e-06,1.077086e-06,1.075871e-06,1.074654e-06
0.000000e+00,5.719997e-12,1.314061e-11,4.544029e-11,1.039590e-10,1.522339e-10,3.498827e-10,3.606455e-10,7.105660e-10,8.402715e-10,1.250288e-09,1.687551e-09,2.032822e-09,3.000646e-09,3.096340e-09,4.441485e-09,4.803256e-09,6.039323e-09,7.031695e-09,7.856167e-09,9.614203e-09,9.864568e-09,1.204275e-08,1.249706e-08,1.437170e-08,1.563628e-08,1.683316e-08,1.898969e-08,1.940865e-08,2.207914e-08,2.251395e-08,2.482528e-08,2.616458e-08,2.762768e-08,2.989738e-08,3.046741e-08,3.332618e-08,3.366970e-08,3.618706e-08,3.744242e-08,3.903439e-08,4.118064e-08,4.185419e-08,4.463407e-08,4.485440e-08,4.736329e-08,4.843872e-08,5.003282e-08,5.191369e-08,5.263522e-08,5.516442e-08,5.526400e-08,5.761569e-08,5.847834e-08,5.998544e-08,6.154896e-08,6.227112e-08,6.447105e-08,6.658434e-08,6.724224e-08,6.861072e-08,6.986210e-08,7.055047e-08,7.233179e-08,7.240431e-08,7.417335e-08,7.465366e-08,7.585898e-08,7.683099e-08,7.746284e-08,7.886774e-08,7.898676e-08,8.043270e-08,8.076835e-08,8.180274e-08,8.253762e-08,8.309904e-08,8.418054e-08,8.432381e-08,8.547929e-08,8.570227e-08,8.656773e-08,8.710797e-08,8.759138e-08,8.840283e-08,8.855249e-08,8.945329e-08,8.959196e-08,9.029595e-08,9.068042e-08,9.108265e-08,9.167313e-08,9.181549e-08,9.249656e-08,9.257490e-08,9.312788e-08,9.339041e-08,9.371142e-08,9.412415e-08,9.424912e-08,9.474286e-08,9.478051e-08,9.519445e-08,9.536368e-08,9.560567e-08,9.587772e-08,9.597824e-08,9.631382e-08,9.632650e-08,9.661403e-08,9.671375e-08,9.688043e-08,9.704304e-08,9.711453e-08,9.731778e-08,9.749161e-08,9.754125e-08,9.763738e-08,9.771655e-08,9.775640e-08,9.784667e-08,9.784993e-08,9.791921e-08,9.793443e-08,9.796541e-08,9.798253e-08,9.798967e-08,9.799355e-08,9.799308e-08,9.797669e-08,9.796992e-08,9.794152e-08,9.791399e-08,9.788854e-08,9.782794e-08,9.781870e-08,9.773289e-08,9.771389e-08,9.763197e-08,9.757381e-08,9.751679e-08,9.740959e-08,9.738813e-08,9.724677e-08,9.722302e-08,9.709344e-08,9.701580e-08,9.692884e-08,9.678952e-08,9.675367e-08,9.656855e-08,9.654570e-08,9.637412e-08,9.628577e-08,9.617097e-08,9.601110e-08,9.595968e-08,9.574078e-08,9.572296e-08,9.551481e-08,9.542255e-08,9.528226e-08,9.511102e-08,9.504361e-08,9.479932e-08,9.478944e-08,9.454984e-08,9.445883e-08,9.429557e-08,9.412013e-08,9.403691e-08,9.377426e-08,9.342204e-08,9.306428e-08,9.270172e-08,9.233506e-08,9.196495e-08,9.159202e-08,9.121684e-08,9.083995e-08,9.046185e-08,9.008301e-08,8.970388e-08,8.932485e-08,8.894632e-08,8.856864e-08,8.819213e-08,8.781711e-08,8.744385e-08,8.707262e-08,8.670365e-08,8.633717e-08,8.597338e-08,8.561248e-08,8.525462e-08,8.489998e-08
0.000000e+00,4.043853e-12,2.361205e-11,2.996702e-10,1.503207e-09,3.073598e-09,1.359576e-08,1.432185e-08,4.396523e-08,5.725424e-08,1.048308e-07,1.624459e-07,2.117769e-07,3.650901e-07,3.813849e-07,6.319386e-07,7.062793e-07,9.830048e-07,1.230743e-06,1.453703e-06,1.979052e-06,2.059138e-06,2.806030e-06,2.972205e-06,3.690140e-06,4.199685e-06,4.697241e-06,5.623338e-06,5.806829e-06,6.996344e-06,7.192611e-06,8.244210e-06,8.858196e-06,9.531331e-06,1.057826e-05,1.084142e-05,1.216072e-05,1.231908e-05,1.347757e-05,1.405357e-05,1.478194e-05,1.575957e-05,1.606521e-05,1.731993e-05,1.741887e-05,1.853971e-05,1.901661e-05,1.971920e-05,2.054098e-05,2.085400e-05,2.194062e-05,2.198305e-05,2.297642e-05,2.333648e-05,2.395953e-05,2.459735e-05,2.488883e-05,2.576380e-05,2.658449e-05,2.683572e-05,2.735143e-05,2.781448e-05,2.806554e-05,2.870253e-05,2.872806e-05,2.934049e-05,2.950323e-05,2.990454e-05,3.022051e-05,3.042206e-05,3.085874e-05,3.089498e-05,3.132533e-05,3.142251e-05,3.171515e-05,3.191651e-05,3.206650e-05,3.234546e-05,3.238139e-05,3.266183e-05,3.271395e-05,3.290976e-05,3.302647e-05,3.312708e-05,3.328731e-05,3.331561e-05,3.347710e-05,3.350055e-05,3.361324e-05,3.367006e-05,3.372563e-05,3.379948e-05,3.381581e-05,3.388522e-05,3.389223e-05,3.393527e-05,3.395149e-05,3.396726e-05,3.398025e-05,3.398242e-05,3.398193e-05,3.398125e-05,3.396690e-05,3.395705e-05,3.393837e-05,3.391003e-05,3.389733e-05,3.384470e-05,3.384236e-05,3.378136e-05,3.375609e-05,3.370812e-05,3.365307e-05,3.362576e-05,3.353501e-05,3.343654e-05,3.340351e-05,3.333100e-05,3.326002e-05,3.321898e-05,3.310587e-05,3.310105e-05,3.297773e-05,3.294230e-05,3.284952e-05,3.277044e-05,3.271688e-05,3.259131e-05,3.258024e-05,3.244002e-05,3.240588e-05,3.229659e-05,3.221500e-05,3.215030e-05,3.201948e-05,3.200150e-05,3.185048e-05,3.182004e-05,3.169754e-05,3.161735e-05,3.154296e-05,3.141202e-05,3.138697e-05,3.122983e-05,3.120459e-05,3.107174e-05,3.099559e-05,3.091292e-05,3.078545e-05,3.075355e-05,3.059380e-05,3.057462e-05,3.043386e-05,3.036346e-05,3.027386e-05,3.015232e-05,3.011396e-05,2.995427e-05,2.994151e-05,2.979494e-05,2.973132e-05,2.963606e-05,2.952201e-05,2.947774e-05,2.932008e-05,2.931379e-05,2.916317e-05,2.910688e-05,2.900709e-05,2.890147e-05,2.885192e-05,2.869772e-05,2.849578e-05,2.829578e-05,2.809784e-05,2.790205e-05,2.770852e-05,2.751731e-05,2.732850e-05,2.714214e-05,2.695828e-05,2.677696e-05,2.659821e-05,2.642206e-05,2.624854e-05,2.607764e-05,2.590939e-05,2.574378e-05,2.558081e-05,2.542048e-05,2.526279e-05,2.510772e-05,2.495525e-05,2.480537e-05,2.465806e-05,2.451331e-05
0.000000e+00,5.451310e-14,3.625515e-13,5.996026e-12,3.803738e-11,8.821892e-11,5.347612e-10,5.703948e-10,2.353384e-09,3.310979e-09,7.317077e-09,1.311450e-08,1.873646e-08,3.925430e-08,4.166652e-08,8.326434e-08,9.702771e-08,1.529998e-07,2.086476e-07,2.626621e-07,4.031249e-07,4.260659e-07,6.584436e-07,7.145882e-07,9.756183e-07,1.179247e-06,1.393100e-06,1.831845e-06,1.925230e-06,2.584452e-06,2.702427e-06,3.380760e-06,3.813899e-06,4.321318e-06,5.180499e-06,5.410249e-06,6.648568e-06,6.807140e-06,8.034247e-06,8.689461e-06,9.562367e-06,1.081444e-05,1.122536e-05,1.301332e-05,1.316142e-05,1.491434e-05,1.570341e-05,1.691486e-05,1.840859e-05,1.900011e-05,2.115444e-05,2.124182e-05,2.336171e-05,2.416616e-05,2.560568e-05,2.714433e-05,2.787029e-05,3.013995e-05,3.239984e-05,3.311864e-05,3.463606e-05,3.604887e-05,3.683583e-05,3.890257e-05,3.898758e-05,4.108107e-05,4.165556e-05,4.310739e-05,4.428775e-05,4.505900e-05,4.678313e-05,4.692968e-05,4.871451e-05,4.912966e-05,5.040978e-05,5.131901e-05,5.201293e-05,5.334629e-05,5.352246e-05,5.493781e-05,5.520959e-05,5.625925e-05,5.690960e-05,5.748780e-05,5.844919e-05,5.862512e-05,5.967339e-05,5.983302e-05,6.063526e-05,6.106714e-05,6.151374e-05,6.215866e-05,6.231209e-05,6.303379e-05,6.311541e-05,6.368245e-05,6.394568e-05,6.426179e-05,6.465801e-05,6.477552e-05,6.522739e-05,6.526097e-05,6.562106e-05,6.576305e-05,6.596016e-05,6.617250e-05,6.624820e-05,6.648857e-05,6.649724e-05,6.668455e-05,6.674483e-05,6.683925e-05,6.692240e-05,6.695566e-05,6.703661e-05,6.708477e-05,6.709367e-05,6.710266e-05,6.709934e-05,6.709268e-05,6.705892e-05,6.705703e-05,6.699780e-05,6.697726e-05,6.691695e-05,6.685882e-05,6.681629e-05,6.670765e-05,6.669752e-05,6.656220e-05,6.652743e-05,6.641181e-05,6.632151e-05,6.624769e-05,6.609292e-05,6.607111e-05,6.588324e-05,6.584440e-05,6.568514e-05,6.557843e-05,6.547783e-05,6.529723e-05,6.526222e-05,6.503916e-05,6.500284e-05,6.480946e-05,6.469705e-05,6.457383e-05,6.438151e-05,6.433295e-05,6.408745e-05,6.405770e-05,6.383789e-05,6.372694e-05,6.358482e-05,6.339044e-05,6.332872e-05,6.307004e-05,6.304925e-05,6.280921e-05,6.270436e-05,6.254660e-05,6.235663e-05,6.228258e-05,6.201747e-05,6.200685e-05,6.175158e-05,6.165572e-05,6.148518e-05,6.130388e-05,6.121854e-05,6.095190e-05,6.060030e-05,6.024953e-05,5.990001e-05,5.955212e-05,5.920618e-05,5.886250e-05,5.852134e-05,5.818293e-05,5.784751e-05,5.751524e-05,5.718629e-05,5.686082e-05,5.653896e-05,5.622080e-05,5.590646e-05,5.559601e-05,5.528953e-05,5.498708e-05,5.468869e-05,5.439443e-05,5.410430e-05,5.381834e-05,5.353656e-05,5.325898e-05
0.000000e+00,6.378788e-12,1.474111e-11,5.118661e-11,1.169111e-10,1.707320e-10,3.871835e-10,3.987942e-10,7.672264e-10,8.997174e-10,1.306453e-09,1.724049e-09,2.045221e-09,2.922401e-09,3.008118e-09,4.210306e-09,4.534964e-09,5.654377e-09,6.566452e-09,7.333684e-09,8.997348e-09,9.237181e-09,1.135145e-08,1.179826e-08,1.366090e-08,1.493311e-08,1.614768e-08,1.835910e-08,1.879188e-08,2.157190e-08,2.202781e-08,2.446510e-08,2.588725e-08,2.744838e-08,2.988447e-08,3.049887e-08,3.359444e-08,3.396793e-08,3.671419e-08,3.808950e-08,3.983878e-08,4.220585e-08,4.295067e-08,4.603425e-08,4.627929e-08,4.907585e-08,5.027805e-08,5.206377e-08,5.417623e-08,5.498815e-08,5.784089e-08,5.795341e-08,6.061538e-08,6.159400e-08,6.330645e-08,6.508672e-08,6.591025e-08,6.842404e-08,7.084600e-08,7.160145e-08,7.317514e-08,7.461691e-08,7.541117e-08,7.747043e-08,7.755438e-08,7.960556e-08,8.016354e-08,8.156585e-08,8.269901e-08,8.343675e-08,8.508053e-08,8.522001e-08,8.691756e-08,8.731246e-08,8.853153e-08,8.939966e-08,9.006412e-08,9.134732e-08,9.151764e-08,9.289446e-08,9.316083e-08,9.419697e-08,9.484571e-08,9.542758e-08,9.640750e-08,9.658871e-08,9.768275e-08,9.785173e-08,9.871208e-08,9.918387e-08,9.967905e-08,1.004093e-07,1.005860e-07,1.014351e-07,1.015332e-07,1.022287e-07,1.025608e-07,1.029688e-07,1.034969e-07,1.036577e-07,1.042974e-07,1.043465e-07,1.048898e-07,1.051140e-07,1.054370e-07,1.058040e-07,1.059408e-07,1.064030e-07,1.064207e-07,1.068255e-07,1.069682e-07,1.072099e-07,1.074505e-07,1.075580e-07,1.078713e-07,1.081514e-07,1.082342e-07,1.083998e-07,1.085427e-07,1.086179e-07,1.088001e-07,1.088071e-07,1.089689e-07,1.090094e-07,1.091044e-07,1.091737e-07,1.092150e-07,1.092958e-07,1.093019e-07,1.093662e-07,1.093784e-07,1.094090e-07,1.094240e-07,1.094314e-07,1.094351e-07,1.094345e-07,1.094192e-07,1.094141e-07,1.093866e-07,1.093630e-07,1.093374e-07,1.092841e-07,1.092727e-07,1.091932e-07,1.091792e-07,1.090998e-07,1.090502e-07,1.089932e-07,1.088990e-07,1.088742e-07,1.087436e-07,1.087271e-07,1.086019e-07,1.085363e-07,1.084499e-07,1.083279e-07,1.082882e-07,1.081174e-07,1.081033e-07,1.079381e-07,1.078641e-07,1.077508e-07,1.076113e-07,1.075560e-07,1.073544e-07,1.073462e-07,1.071463e-07,1.070699e-07,1.069322e-07,1.067835e-07,1.067126e-07,1.064879e-07,1.061842e-07,1.058731e-07,1.055556e-07,1.052324e-07,1.049042e-07,1.045717e-07,1.042356e-07,1.038965e-07,1.035549e-07,1.032114e-07,1.028665e-07,1.025206e-07,1.021741e-07,1.018275e-07,1.014812e-07,1.011354e-07,1.007906e-07,1.004469e-07,1.001048e-07,9.976438e-08,9.942597e-08,9.908976e-08,9.875596e-08,9.842475e-08
0.000000e+00,9.063450e-13,5.513346e-12,7.593697e-11,4.088291e-10,8.676458e-10,4.203707e-09,4.443946e-09,1.482220e-08,1.971992e-08,3.802188e-08,6.129032e-08,8.187320e-08,1.482270e-07,1.554197e-07,2.674861e-07,3.009355e-07,4.249409e-07,5.345508e-07,6.317851e-07,8.557367e-07,8.893046e-07,1.196735e-06,1.264039e-06,1.551906e-06,1.754446e-06,1.951661e-06,2.319062e-06,2.392081e-06,2.868599e-06,2.947856e-06,3.376102e-06,3.629096e-06,3.909054e-06,4.349844e-06,4.461652e-06,5.028006e-06,5.096616e-06,5.602322e-06,5.856105e-06,6.179072e-06,6.615862e-06,6.753137e-06,7.319917e-06,7.364820e-06,7.875392e-06,8.093635e-06,8.416166e-06,8.794833e-06,8.939454e-06,9.443072e-06,9.462782e-06,9.925383e-06,1.009357e-05,1.038525e-05,1.068477e-05,1.082197e-05,1.123523e-05,1.162500e-05,1.174481e-05,1.199154e-05,1.221413e-05,1.233528e-05,1.264439e-05,1.265684e-05,1.295693e-05,1.303722e-05,1.323636e-05,1.339446e-05,1.349600e-05,1.371814e-05,1.373673e-05,1.395946e-05,1.401034e-05,1.416511e-05,1.427314e-05,1.435457e-05,1.450860e-05,1.452872e-05,1.468841e-05,1.471869e-05,1.483446e-05,1.490529e-05,1.496767e-05,1.507019e-05,1.508879e-05,1.519853e-05,1.521508e-05,1.529758e-05,1.534151e-05,1.538658e-05,1.545096e-05,1.546615e-05,1.553687e-05,1.554479e-05,1.559929e-05,1.562425e-05,1.565391e-05,1.569051e-05,1.570122e-05,1.574169e-05,1.574464e-05,1.577574e-05,1.578765e-05,1.580377e-05,1.582044e-05,1.582617e-05,1.584329e-05,1.584387e-05,1.585547e-05,1.585871e-05,1.586303e-05,1.586568e-05,1.586626e-05,1.586544e-05,1.586084e-05,1.585861e-05,1.585270e-05,1.584574e-05,1.584125e-05,1.582736e-05,1.582672e-05,1.580930e-05,1.580394e-05,1.578920e-05,1.577592e-05,1.576658e-05,1.574371e-05,1.574163e-05,1.571450e-05,1.570768e-05,1.568534e-05,1.566819e-05,1.565430e-05,1.562554e-05,1.562151e-05,1.558710e-05,1.558003e-05,1.555118e-05,1.553194e-05,1.551387e-05,1.548153e-05,1.547527e-05,1.543548e-05,1.542901e-05,1.539459e-05,1.537460e-05,1.535270e-05,1.531851e-05,1.530988e-05,1.526621e-05,1.526092e-05,1.522177e-05,1.520199e-05,1.517663e-05,1.514190e-05,1.513085e-05,1.508450e-05,1.508077e-05,1.503762e-05,1.501874e-05,1.499029e-05,1.495595e-05,1.494254e-05,1.489443e-05,1.489250e-05,1.484601e-05,1.482850e-05,1.479731e-05,1.476406e-05,1.474838e-05,1.469926e-05,1.463418e-05,1.456891e-05,1.450352e-05,1.443808e-05,1.437264e-05,1.430726e-05,1.424201e-05,1.417692e-05,1.411204e-05,1.404741e-05,1.398308e-05,1.391907e-05,1.385542e-05,1.379216e-05,1.372931e-05,1.366691e-05,1.360497e-05,1.354351e-05,1.348255e-05,1.342212e-05,1.336222e-05,1.330287e-05,1.324408e-05,1.318587e-05
0.000000e+00,3.148294e-11,1.438040e-10,1.167487e-09,4.168895e-09,7.246358e-09,2.253387e-08,2.344168e-08,5.494119e-08,6.718612e-08,1.067209e-07,1.495247e-07,1.835777e-07,2.804436e-07,2.901731e-07,4.310169e-07,4.703926e-07,6.103003e-07,7.288240e-07,8.314740e-07,1.062463e-06,1.096632e-06,1.406100e-06,1.473220e-06,1.758605e-06,1.958180e-06,2.151859e-06,2.511665e-06,2.583094e-06,3.049323e-06,3.126961e-06,3.547428e-06,3.796893e-06,4.074166e-06,4.513919e-06,4.626180e-06,5.200028e-06,5.270192e-06,5.792223e-06,6.057703e-06,6.399289e-06,6.868504e-06,7.017818e-06,7.644526e-06,7.694921e-06,8.276293e-06,8.529755e-06,8.910197e-06,9.366408e-06,9.543541e-06,1.017388e-05,1.019900e-05,1.079900e-05,1.102239e-05,1.141697e-05,1.183222e-05,1.202608e-05,1.262485e-05,1.321204e-05,1.339732e-05,1.378660e-05,1.414728e-05,1.434766e-05,1.487293e-05,1.489453e-05,1.542667e-05,1.557297e-05,1.594366e-05,1.624647e-05,1.644523e-05,1.689287e-05,1.693117e-05,1.740139e-05,1.751189e-05,1.785586e-05,1.810350e-05,1.829463e-05,1.866785e-05,1.871781e-05,1.912553e-05,1.920524e-05,1.951799e-05,1.971611e-05,1.989541e-05,2.020100e-05,2.025804e-05,2.060613e-05,2.066050e-05,2.093999e-05,2.109528e-05,2.125992e-05,2.150604e-05,2.156622e-05,2.185923e-05,2.189351e-05,2.213926e-05,2.225845e-05,2.240665e-05,2.260162e-05,2.266174e-05,2.290485e-05,2.292379e-05,2.313632e-05,2.322573e-05,2.335649e-05,2.350820e-05,2.356569e-05,2.376423e-05,2.377196e-05,2.395245e-05,2.401774e-05,2.413066e-05,2.424629e-05,2.429918e-05,2.445832e-05,2.460837e-05,2.465452e-05,2.474965e-05,2.483558e-05,2.488243e-05,2.500217e-05,2.500700e-05,2.512365e-05,2.515493e-05,2.523264e-05,2.529448e-05,2.533425e-05,2.542144e-05,2.542874e-05,2.551635e-05,2.553639e-05,2.559735e-05,2.563990e-05,2.567196e-05,2.573252e-05,2.574042e-05,2.580297e-05,2.581479e-05,2.585983e-05,2.588722e-05,2.591122e-05,2.595030e-05,2.595734e-05,2.599840e-05,2.600451e-05,2.603460e-05,2.605031e-05,2.606614e-05,2.608814e-05,2.609320e-05,2.611597e-05,2.611842e-05,2.613462e-05,2.614157e-05,2.614933e-05,2.615797e-05,2.616025e-05,2.616756e-05,2.616800e-05,2.617141e-05,2.617202e-05,2.617195e-05,2.617038e-05,2.616933e-05,2.616369e-05,2.616341e-05,2.615517e-05,2.615142e-05,2.614390e-05,2.613473e-05,2.613001e-05,2.611362e-05,2.608838e-05,2.605926e-05,2.602653e-05,2.599042e-05,2.595118e-05,2.590901e-05,2.586413e-05,2.581675e-05,2.576705e-05,2.571523e-05,2.566144e-05,2.560586e-05,2.554865e-05,2.548996e-05,2.542992e-05,2.536868e-05,2.530635e-05,2.524307e-05,2.517895e-05,2.511410e-05,2.504861e-05,2.498260e-05,2.491615e-05,2.484934e-05
0.000000e+00,1.123181e-10,2.862671e-10,1.101340e-09,2.640562e-09,3.929621e-09,9.249022e-09,9.538929e-09,1.892199e-08,2.237329e-08,3.319007e-08,4.460697e-08,5.357430e-08,7.870619e-08,8.120006e-08,1.165221e-07,1.260999e-07,1.589867e-07,1.854875e-07,2.075211e-07,2.544507e-07,2.611225e-07,3.189974e-07,3.310259e-07,3.804881e-07,4.136925e-07,4.449960e-07,5.010906e-07,5.119422e-07,5.807558e-07,5.919016e-07,6.508765e-07,6.848391e-07,7.217644e-07,7.786837e-07,7.929103e-07,8.638444e-07,8.723217e-07,9.341434e-07,9.647758e-07,1.003434e-06,1.055221e-06,1.071395e-06,1.137756e-06,1.142989e-06,1.202294e-06,1.227558e-06,1.264832e-06,1.308542e-06,1.325233e-06,1.383395e-06,1.385673e-06,1.439249e-06,1.458783e-06,1.492753e-06,1.527783e-06,1.543888e-06,1.592652e-06,1.639063e-06,1.653422e-06,1.683149e-06,1.710161e-06,1.724949e-06,1.762970e-06,1.764510e-06,1.801888e-06,1.811970e-06,1.837140e-06,1.857297e-06,1.870329e-06,1.899097e-06,1.901520e-06,1.930781e-06,1.937524e-06,1.958179e-06,1.972733e-06,1.983781e-06,2.004880e-06,2.007656e-06,2.029871e-06,2.034121e-06,2.050493e-06,2.060609e-06,2.069587e-06,2.084492e-06,2.087218e-06,2.103447e-06,2.105918e-06,2.118337e-06,2.125026e-06,2.131947e-06,2.141953e-06,2.144336e-06,2.155558e-06,2.156829e-06,2.165669e-06,2.169779e-06,2.174721e-06,2.180925e-06,2.182766e-06,2.189853e-06,2.190380e-06,2.196028e-06,2.198254e-06,2.201338e-06,2.204651e-06,2.205828e-06,2.209538e-06,2.209671e-06,2.212511e-06,2.213408e-06,2.214784e-06,2.215951e-06,2.216397e-06,2.217385e-06,2.217783e-06,2.217791e-06,2.217624e-06,2.217244e-06,2.216939e-06,2.215817e-06,2.215760e-06,2.214116e-06,2.213576e-06,2.212035e-06,2.210587e-06,2.209543e-06,2.206910e-06,2.206666e-06,2.203429e-06,2.202601e-06,2.199854e-06,2.197714e-06,2.195965e-06,2.192300e-06,2.191783e-06,2.187328e-06,2.186406e-06,2.182619e-06,2.180076e-06,2.177674e-06,2.173352e-06,2.172513e-06,2.167150e-06,2.166274e-06,2.161603e-06,2.158879e-06,2.155886e-06,2.151200e-06,2.150014e-06,2.144000e-06,2.143270e-06,2.137859e-06,2.135119e-06,2.131601e-06,2.126775e-06,2.125240e-06,2.118785e-06,2.118265e-06,2.112248e-06,2.109613e-06,2.105639e-06,2.100841e-06,2.098967e-06,2.092242e-06,2.091972e-06,2.085471e-06,2.083024e-06,2.078663e-06,2.074016e-06,2.071825e-06,2.064965e-06,2.055887e-06,2.046797e-06,2.037707e-06,2.028630e-06,2.019579e-06,2.010562e-06,2.001591e-06,1.992673e-06,1.983818e-06,1.975031e-06,1.966320e-06,1.957692e-06,1.949150e-06,1.940701e-06,1.932349e-06,1.924098e-06,1.915951e-06,1.907911e-06,1.899981e-06,1.892163e-06,1.884460e-06,1.876872e-06,1.869402e-06,1.862050e-06
0.000000e+00,1.828849e-11,4.279251e-11,1.500717e-10,3.436201e-10,5.020729e-10,1.140139e-09,1.174436e-09,2.268375e-09,2.664847e-09,3.893467e-09,5.173933e-09,6.172371e-09,8.961789e-09,9.239367e-09,1.322618e-08,1.433188e-08,1.822766e-08,2.147977e-08,2.425281e-08,3.032075e-08,3.119667e-08,3.886844e-08,4.047108e-08,4.705427e-08,5.144954e-08,5.556450e-08,6.285250e-08,6.424849e-08,7.299069e-08,7.438857e-08,8.170166e-08,8.585039e-08,9.031022e-08,9.708382e-08,9.875808e-08,1.069967e-07,1.079693e-07,1.149854e-07,1.184124e-07,1.226906e-07,1.283398e-07,1.300849e-07,1.371470e-07,1.376971e-07,1.438613e-07,1.464471e-07,1.502172e-07,1.545683e-07,1.562092e-07,1.618356e-07,1.620531e-07,1.670989e-07,1.689057e-07,1.720044e-07,1.751398e-07,1.765603e-07,1.807767e-07,1.846657e-07,1.858431e-07,1.882403e-07,1.903695e-07,1.915145e-07,1.943888e-07,1.945030e-07,1.972206e-07,1.979350e-07,1.996822e-07,2.010424e-07,2.019025e-07,2.037445e-07,2.038960e-07,2.056768e-07,2.060741e-07,2.072586e-07,2.080623e-07,2.086543e-07,2.097386e-07,2.098765e-07,2.109371e-07,2.111308e-07,2.118472e-07,2.122645e-07,2.126174e-07,2.131637e-07,2.132579e-07,2.137779e-07,2.138505e-07,2.141864e-07,2.143452e-07,2.144915e-07,2.146664e-07,2.147010e-07,2.148222e-07,2.148311e-07,2.148617e-07,2.148548e-07,2.148258e-07,2.147518e-07,2.147205e-07,2.145511e-07,2.145350e-07,2.143228e-07,2.142160e-07,2.140401e-07,2.138056e-07,2.137077e-07,2.133294e-07,2.133134e-07,2.129092e-07,2.127484e-07,2.124506e-07,2.121184e-07,2.119568e-07,2.114309e-07,2.108757e-07,2.106923e-07,2.102939e-07,2.099088e-07,2.096880e-07,2.090856e-07,2.090601e-07,2.084125e-07,2.082279e-07,2.077471e-07,2.073401e-07,2.070657e-07,2.064262e-07,2.063701e-07,2.056618e-07,2.054901e-07,2.049423e-07,2.045350e-07,2.042130e-07,2.035640e-07,2.034751e-07,2.027298e-07,2.025800e-07,2.019783e-07,2.015854e-07,2.012215e-07,2.005825e-07,2.004605e-07,1.996960e-07,1.995734e-07,1.989290e-07,1.985601e-07,1.981601e-07,1.975442e-07,1.973902e-07,1.966197e-07,1.965273e-07,1.958495e-07,1.955108e-07,1.950800e-07,1.944960e-07,1.943118e-07,1.935453e-07,1.934840e-07,1.927810e-07,1.924760e-07,1.920193e-07,1.914728e-07,1.912607e-07,1.905054e-07,1.904753e-07,1.897539e-07,1.894843e-07,1.890063e-07,1.885004e-07,1.882631e-07,1.875244e-07,1.865567e-07,1.855979e-07,1.846484e-07,1.837086e-07,1.827788e-07,1.818594e-07,1.809506e-07,1.800527e-07,1.791658e-07,1.782902e-07,1.774259e-07,1.765731e-07,1.757319e-07,1.749024e-07,1.740845e-07,1.732784e-07,1.724840e-07,1.717014e-07,1.709306e-07,1.701714e-07,1.694240e-07,1.686883e-07,1.679641e-07,1.672514e-07
0.000000e+00,6.872065e-11,2.057872e-10,9.304233e-10,2.378256e-09,3.607982e-09,8.665575e-09,8.938656e-09,1.759617e-08,2.069324e-08,3.012401e-08,3.968367e-08,4.695731e-08,6.653525e-08,6.842979e-08,9.476372e-08,1.018200e-07,1.260422e-07,1.456897e-07,1.621655e-07,1.977014e-07,2.027976e-07,2.473177e-07,2.566122e-07,2.948063e-07,3.202953e-07,3.441062e-07,3.860001e-07,3.939646e-07,4.432082e-07,4.509620e-07,4.908720e-07,5.129719e-07,5.362473e-07,5.705753e-07,5.788614e-07,6.184335e-07,6.229701e-07,6.548275e-07,6.698228e-07,6.880119e-07,7.111108e-07,7.180314e-07,7.449843e-07,7.470120e-07,7.690071e-07,7.778312e-07,7.902611e-07,8.039489e-07,8.089240e-07,8.251813e-07,8.257843e-07,8.392216e-07,8.437694e-07,8.512309e-07,8.583293e-07,8.613893e-07,8.698692e-07,8.768337e-07,8.787675e-07,8.824351e-07,8.853702e-07,8.868144e-07,8.899895e-07,8.901015e-07,8.924153e-07,8.929038e-07,8.938639e-07,8.943588e-07,8.945451e-07,8.945702e-07,8.945473e-07,8.939501e-07,8.937257e-07,8.928252e-07,8.919888e-07,8.912364e-07,8.895001e-07,8.892410e-07,8.868898e-07,8.863810e-07,8.842284e-07,8.827355e-07,8.812973e-07,8.786534e-07,8.781327e-07,8.747668e-07,8.742116e-07,8.712283e-07,8.694761e-07,8.675427e-07,8.645036e-07,8.637326e-07,8.598184e-07,8.593426e-07,8.558182e-07,8.540350e-07,8.517479e-07,8.486166e-07,8.476220e-07,8.434532e-07,8.431182e-07,8.392529e-07,8.375663e-07,8.350314e-07,8.319838e-07,8.307976e-07,8.265598e-07,8.263903e-07,8.223250e-07,8.208026e-07,8.180999e-07,8.152352e-07,8.138900e-07,8.097006e-07,8.055362e-07,8.042095e-07,8.014008e-07,7.987711e-07,7.972981e-07,7.933932e-07,7.932313e-07,7.892031e-07,7.880825e-07,7.852160e-07,7.828444e-07,7.812722e-07,7.776838e-07,7.773736e-07,7.735218e-07,7.726046e-07,7.697184e-07,7.676100e-07,7.659645e-07,7.627028e-07,7.622611e-07,7.586091e-07,7.578850e-07,7.550094e-07,7.531583e-07,7.514623e-07,7.485239e-07,7.479685e-07,7.445282e-07,7.439828e-07,7.411418e-07,7.395354e-07,7.378092e-07,7.351820e-07,7.345306e-07,7.313060e-07,7.309226e-07,7.281352e-07,7.267571e-07,7.250182e-07,7.226850e-07,7.219546e-07,7.189443e-07,7.187057e-07,7.159869e-07,7.148186e-07,7.130820e-07,7.110228e-07,7.102293e-07,7.074283e-07,7.073173e-07,7.046785e-07,7.037010e-07,7.019795e-07,7.001728e-07,6.993306e-07,6.967315e-07,6.933756e-07,6.901040e-07,6.869151e-07,6.838076e-07,6.807799e-07,6.778306e-07,6.749583e-07,6.721612e-07,6.694380e-07,6.667871e-07,6.642070e-07,6.616961e-07,6.592528e-07,6.568758e-07,6.545634e-07,6.523142e-07,6.501267e-07,6.479994e-07,6.459309e-07,6.439198e-07,6.419646e-07,6.400639e-07,6.382165e-07,6.364209e-07
0.000000e+00,1.218619e-11,2.831163e-11,9.929195e-11,2.292391e-10,3.372175e-10,7.842575e-10,8.087902e-10,1.614840e-09,1.917158e-09,2.882059e-09,3.921031e-09,4.744564e-09,7.052030e-09,7.279715e-09,1.047388e-08,1.133267e-08,1.427440e-08,1.665034e-08,1.863699e-08,2.291783e-08,2.353277e-08,2.894143e-08,3.008312e-08,3.484478e-08,3.810354e-08,4.122287e-08,4.693014e-08,4.805201e-08,5.530404e-08,5.650150e-08,6.294643e-08,6.674287e-08,7.094277e-08,7.756824e-08,7.925360e-08,8.783735e-08,8.888372e-08,9.665132e-08,1.005913e-07,1.056526e-07,1.125929e-07,1.147990e-07,1.240496e-07,1.247930e-07,1.333655e-07,1.371019e-07,1.427103e-07,1.494374e-07,1.520503e-07,1.613546e-07,1.617256e-07,1.705954e-07,1.739017e-07,1.797481e-07,1.859102e-07,1.887907e-07,1.977042e-07,2.064724e-07,2.092451e-07,2.150811e-07,2.205015e-07,2.235187e-07,2.314489e-07,2.317756e-07,2.398439e-07,2.420683e-07,2.477174e-07,2.523461e-07,2.553915e-07,2.622725e-07,2.628627e-07,2.701287e-07,2.718418e-07,2.771880e-07,2.810509e-07,2.840404e-07,2.898993e-07,2.906858e-07,2.971253e-07,2.983886e-07,3.033602e-07,3.065221e-07,3.093924e-07,3.143044e-07,3.152241e-07,3.208579e-07,3.217411e-07,3.262965e-07,3.288387e-07,3.315432e-07,3.356043e-07,3.366009e-07,3.414733e-07,3.420456e-07,3.461636e-07,3.481707e-07,3.506756e-07,3.539877e-07,3.550129e-07,3.591793e-07,3.595053e-07,3.631784e-07,3.647320e-07,3.670140e-07,3.696766e-07,3.706900e-07,3.742101e-07,3.743477e-07,3.775781e-07,3.787540e-07,3.807977e-07,3.829041e-07,3.838726e-07,3.868066e-07,3.896032e-07,3.904698e-07,3.922662e-07,3.939020e-07,3.947991e-07,3.971115e-07,3.972053e-07,3.994884e-07,4.001061e-07,4.016518e-07,4.028938e-07,4.036989e-07,4.054822e-07,4.056328e-07,4.074570e-07,4.078788e-07,4.091745e-07,4.100909e-07,4.107886e-07,4.121257e-07,4.123022e-07,4.137183e-07,4.139901e-07,4.150400e-07,4.156909e-07,4.162701e-07,4.172347e-07,4.174114e-07,4.184667e-07,4.186278e-07,4.194387e-07,4.198765e-07,4.203300e-07,4.209867e-07,4.211433e-07,4.218809e-07,4.219645e-07,4.225454e-07,4.228153e-07,4.231393e-07,4.235447e-07,4.236647e-07,4.241241e-07,4.241581e-07,4.245197e-07,4.246605e-07,4.248536e-07,4.250570e-07,4.251279e-07,4.253448e-07,4.253523e-07,4.255063e-07,4.255512e-07,4.256142e-07,4.256580e-07,4.256706e-07,4.256772e-07,4.256130e-07,4.254693e-07,4.252501e-07,4.249592e-07,4.246001e-07,4.241764e-07,4.236915e-07,4.231485e-07,4.225506e-07,4.219008e-07,4.212020e-07,4.204570e-07,4.196684e-07,4.188388e-07,4.179706e-07,4.170663e-07,4.161282e-07,4.151583e-07,4.141588e-07,4.131317e-07,4.120789e-07,4.110023e-07,4.099036e-07,4.087846e-07
0.000000e+00,8.617466e-12,4.668060e-11,5.127548e-10,2.285360e-09,4.403635e-09,1.701804e-08,1.783854e-08,4.918669e-08,6.248091e-08,1.083196e-07,1.618808e-07,2.068665e-07,3.443157e-07,3.588073e-07,5.802594e-07,6.455687e-07,8.869039e-07,1.099951e-06,1.288712e-06,1.721031e-06,1.785372e-06,2.366714e-06,2.491825e-06,3.017402e-06,3.377884e-06,3.721753e-06,4.344923e-06,4.466267e-06,5.240105e-06,5.366037e-06,6.034610e-06,6.421177e-06,6.842652e-06,7.494692e-06,7.658107e-06,8.475552e-06,8.573543e-06,9.290108e-06,9.646445e-06,1.009736e-05,1.070355e-05,1.089336e-05,1.167462e-05,1.173638e-05,1.243808e-05,1.273789e-05,1.318117e-05,1.370236e-05,1.390174e-05,1.459810e-05,1.462543e-05,1.526891e-05,1.550395e-05,1.591323e-05,1.633591e-05,1.653044e-05,1.712019e-05,1.768240e-05,1.785650e-05,1.821717e-05,1.854516e-05,1.872480e-05,1.918697e-05,1.920570e-05,1.966043e-05,1.978314e-05,2.008961e-05,2.033515e-05,2.049395e-05,2.084464e-05,2.087419e-05,2.123114e-05,2.131343e-05,2.156561e-05,2.174340e-05,2.187842e-05,2.213644e-05,2.217041e-05,2.244240e-05,2.249448e-05,2.269524e-05,2.281941e-05,2.292972e-05,2.311308e-05,2.314664e-05,2.334677e-05,2.337729e-05,2.353088e-05,2.361377e-05,2.369970e-05,2.382422e-05,2.385394e-05,2.399428e-05,2.401022e-05,2.412141e-05,2.417332e-05,2.423595e-05,2.431496e-05,2.433852e-05,2.442971e-05,2.443654e-05,2.451011e-05,2.453936e-05,2.458024e-05,2.462469e-05,2.464065e-05,2.469182e-05,2.469369e-05,2.473425e-05,2.474747e-05,2.476839e-05,2.478710e-05,2.479469e-05,2.481357e-05,2.482542e-05,2.482780e-05,2.483065e-05,2.483068e-05,2.482961e-05,2.482305e-05,2.482266e-05,2.481013e-05,2.480567e-05,2.479235e-05,2.477928e-05,2.476961e-05,2.474458e-05,2.474222e-05,2.471045e-05,2.470220e-05,2.467456e-05,2.465276e-05,2.463481e-05,2.459683e-05,2.459144e-05,2.454468e-05,2.453494e-05,2.449474e-05,2.446759e-05,2.444184e-05,2.439526e-05,2.438617e-05,2.432792e-05,2.431837e-05,2.426727e-05,2.423736e-05,2.420439e-05,2.415259e-05,2.413944e-05,2.407258e-05,2.406444e-05,2.400395e-05,2.397323e-05,2.393370e-05,2.387930e-05,2.386195e-05,2.378882e-05,2.378292e-05,2.371445e-05,2.368438e-05,2.363894e-05,2.358393e-05,2.356240e-05,2.348493e-05,2.348182e-05,2.340663e-05,2.337826e-05,2.332759e-05,2.327347e-05,2.324790e-05,2.316764e-05,2.306095e-05,2.295358e-05,2.284567e-05,2.273737e-05,2.262882e-05,2.252015e-05,2.241147e-05,2.230288e-05,2.219449e-05,2.208639e-05,2.197867e-05,2.187140e-05,2.176466e-05,2.165850e-05,2.155300e-05,2.144821e-05,2.134418e-05,2.124096e-05,2.113858e-05,2.103709e-05,2.093653e-05,2.083691e-05,2.073828e-05,2.064065e-05
0.000000e+00,1.016228e-11,2.329818e-11,8.040787e-11,1.839790e-10,2.696246e-10,6.224964e-10,6.418132e-10,1.274965e-09,1.511885e-09,2.266909e-09,3.079335e-09,3.723889e-09,5.534368e-09,5.713223e-09,8.216959e-09,8.886297e-09,1.115924e-08,1.296880e-08,1.446253e-08,1.762100e-08,1.806809e-08,2.193222e-08,2.273285e-08,2.601899e-08,2.822106e-08,3.029526e-08,3.400984e-08,3.472830e-08,3.928488e-08,4.002315e-08,4.393135e-08,4.618370e-08,4.863414e-08,5.241484e-08,5.336045e-08,5.807896e-08,5.864324e-08,6.276043e-08,6.480156e-08,6.737818e-08,7.083029e-08,7.190840e-08,7.633033e-08,7.667885e-08,8.062630e-08,8.230603e-08,8.478164e-08,8.767968e-08,8.878456e-08,9.262590e-08,9.277609e-08,9.629894e-08,9.757909e-08,9.979909e-08,1.020790e-07,1.031237e-07,1.062716e-07,1.092432e-07,1.101570e-07,1.120399e-07,1.137392e-07,1.146643e-07,1.170245e-07,1.171195e-07,1.194096e-07,1.200217e-07,1.215387e-07,1.227409e-07,1.235117e-07,1.251933e-07,1.253336e-07,1.270097e-07,1.273909e-07,1.285453e-07,1.293459e-07,1.299458e-07,1.310708e-07,1.312167e-07,1.323634e-07,1.325783e-07,1.333913e-07,1.338807e-07,1.343058e-07,1.349900e-07,1.351119e-07,1.358150e-07,1.359182e-07,1.364198e-07,1.366767e-07,1.369313e-07,1.372766e-07,1.373543e-07,1.376932e-07,1.377284e-07,1.379525e-07,1.380424e-07,1.381364e-07,1.382283e-07,1.382491e-07,1.382946e-07,1.382955e-07,1.382767e-07,1.382526e-07,1.381990e-07,1.381080e-07,1.380651e-07,1.378784e-07,1.378698e-07,1.376421e-07,1.375455e-07,1.373593e-07,1.371421e-07,1.370331e-07,1.366663e-07,1.362616e-07,1.361245e-07,1.358216e-07,1.355227e-07,1.353489e-07,1.348664e-07,1.348457e-07,1.343144e-07,1.341609e-07,1.337571e-07,1.334111e-07,1.331759e-07,1.326218e-07,1.325727e-07,1.319495e-07,1.317971e-07,1.313079e-07,1.309412e-07,1.306496e-07,1.300578e-07,1.299763e-07,1.292894e-07,1.291505e-07,1.285904e-07,1.282226e-07,1.278807e-07,1.272772e-07,1.271615e-07,1.264341e-07,1.263170e-07,1.256995e-07,1.253448e-07,1.249590e-07,1.243629e-07,1.242134e-07,1.234639e-07,1.233737e-07,1.227112e-07,1.223792e-07,1.219562e-07,1.213815e-07,1.211999e-07,1.204428e-07,1.203822e-07,1.196857e-07,1.193830e-07,1.189293e-07,1.183855e-07,1.181742e-07,1.174210e-07,1.173909e-07,1.166703e-07,1.164007e-07,1.159224e-07,1.154158e-07,1.151780e-07,1.144374e-07,1.134664e-07,1.125037e-07,1.115500e-07,1.106061e-07,1.096725e-07,1.087498e-07,1.078384e-07,1.069389e-07,1.060515e-07,1.051767e-07,1.043146e-07,1.034654e-07,1.026295e-07,1.018068e-07,1.009976e-07,1.002018e-07,9.941961e-08,9.865097e-08,9.789590e-08,9.715435e-08,9.642630e-08,9.571166e-08,9.501036e-08,9.432229e-08
0.000000e+00,8.394702e-13,5.280716e-12,7.781843e-11,4.444720e-10,9.733339e-10,5.093215e-09,5.400474e-09,1.931435e-08,2.615708e-08,5.261669e-08,8.758623e-08,1.193886e-07,2.260514e-07,2.379449e-07,4.306584e-07,4.907240e-07,7.227951e-07,9.393059e-07,1.139431e-06,1.625362e-06,1.700850e-06,2.418418e-06,2.580911e-06,3.292741e-06,3.806558e-06,4.314430e-06,5.274301e-06,5.466557e-06,6.727671e-06,6.938011e-06,8.074445e-06,8.744460e-06,9.483643e-06,1.064114e-05,1.093332e-05,1.240345e-05,1.258037e-05,1.387613e-05,1.452077e-05,1.533556e-05,1.642735e-05,1.676801e-05,1.816164e-05,1.827114e-05,1.950642e-05,2.002874e-05,2.079406e-05,2.168197e-05,2.201789e-05,2.317283e-05,2.321754e-05,2.425525e-05,2.462670e-05,2.526290e-05,2.590481e-05,2.619474e-05,2.705086e-05,2.783230e-05,2.806687e-05,2.854090e-05,2.895732e-05,2.917918e-05,2.972855e-05,2.975013e-05,3.025716e-05,3.038816e-05,3.070389e-05,3.094456e-05,3.109412e-05,3.140654e-05,3.143170e-05,3.172047e-05,3.178293e-05,3.196419e-05,3.208236e-05,3.216651e-05,3.231308e-05,3.233091e-05,3.246070e-05,3.248278e-05,3.255898e-05,3.259861e-05,3.262865e-05,3.266705e-05,3.267242e-05,3.269276e-05,3.269399e-05,3.269197e-05,3.268470e-05,3.267214e-05,3.264386e-05,3.263518e-05,3.258285e-05,3.257562e-05,3.251673e-05,3.248364e-05,3.243826e-05,3.237117e-05,3.234874e-05,3.224936e-05,3.224102e-05,3.214119e-05,3.209568e-05,3.202519e-05,3.193733e-05,3.190225e-05,3.177315e-05,3.176787e-05,3.163861e-05,3.158897e-05,3.149928e-05,3.140210e-05,3.135574e-05,3.120853e-05,3.105813e-05,3.100940e-05,3.090498e-05,3.080571e-05,3.074948e-05,3.059832e-05,3.059198e-05,3.043282e-05,3.038800e-05,3.027229e-05,3.017543e-05,3.011067e-05,2.996122e-05,2.994820e-05,2.978510e-05,2.974589e-05,2.962159e-05,2.952992e-05,2.945786e-05,2.931372e-05,2.929406e-05,2.913037e-05,2.909766e-05,2.896692e-05,2.888207e-05,2.880385e-05,2.866724e-05,2.864127e-05,2.847929e-05,2.845344e-05,2.831802e-05,2.824089e-05,2.815755e-05,2.802979e-05,2.799795e-05,2.783930e-05,2.782033e-05,2.768168e-05,2.761267e-05,2.752514e-05,2.740693e-05,2.736975e-05,2.721554e-05,2.720326e-05,2.706257e-05,2.700174e-05,2.691088e-05,2.680248e-05,2.676051e-05,2.661149e-05,2.660556e-05,2.646385e-05,2.641104e-05,2.631761e-05,2.621899e-05,2.617281e-05,2.602945e-05,2.584248e-05,2.565809e-05,2.547633e-05,2.529720e-05,2.512073e-05,2.494693e-05,2.477579e-05,2.460732e-05,2.444152e-05,2.427838e-05,2.411789e-05,2.396003e-05,2.380480e-05,2.365217e-05,2.350212e-05,2.335463e-05,2.320968e-05,2.306724e-05,2.292729e-05,2.278980e-05,2.265473e-05,2.252206e-05,2.239177e-05,2.226381e-05
0.000000e+00,6.499193e-11,3.471107e-10,3.716606e-09,1.626151e-08,3.108200e-08,1.184966e-07,1.241699e-07,3.417212e-07,4.347233e-07,7.593099e-07,1.145956e-06,1.476207e-06,2.510411e-06,2.621264e-06,4.344224e-06,4.859632e-06,6.777748e-06,8.477031e-06,9.980489e-06,1.340283e-05,1.390911e-05,1.844616e-05,1.941421e-05,2.345242e-05,2.619881e-05,2.880364e-05,3.349319e-05,3.440235e-05,4.017519e-05,4.111106e-05,4.606584e-05,4.892158e-05,5.202892e-05,5.682552e-05,5.802597e-05,6.402327e-05,6.474150e-05,6.999070e-05,7.259988e-05,7.590141e-05,8.034082e-05,8.173153e-05,8.746013e-05,8.791348e-05,9.306926e-05,9.527598e-05,9.854377e-05,1.023950e-04,1.038712e-04,1.090416e-04,1.092450e-04,1.140472e-04,1.158077e-04,1.188823e-04,1.220708e-04,1.235432e-04,1.280274e-04,1.323338e-04,1.336744e-04,1.364627e-04,1.390124e-04,1.404149e-04,1.440445e-04,1.441922e-04,1.477970e-04,1.487758e-04,1.512322e-04,1.532131e-04,1.545009e-04,1.573642e-04,1.576068e-04,1.605537e-04,1.612378e-04,1.633456e-04,1.648429e-04,1.659866e-04,1.681892e-04,1.684809e-04,1.708328e-04,1.712865e-04,1.730466e-04,1.741445e-04,1.751264e-04,1.767732e-04,1.770767e-04,1.789016e-04,1.791823e-04,1.806054e-04,1.813814e-04,1.821922e-04,1.833800e-04,1.836660e-04,1.850308e-04,1.851875e-04,1.862906e-04,1.868127e-04,1.874493e-04,1.882645e-04,1.885105e-04,1.894779e-04,1.895514e-04,1.903552e-04,1.906817e-04,1.911459e-04,1.916634e-04,1.918532e-04,1.924807e-04,1.925042e-04,1.930314e-04,1.932115e-04,1.935086e-04,1.937926e-04,1.939152e-04,1.942543e-04,1.945287e-04,1.946033e-04,1.947411e-04,1.948459e-04,1.948944e-04,1.949883e-04,1.949911e-04,1.950337e-04,1.950363e-04,1.950247e-04,1.949955e-04,1.949665e-04,1.948714e-04,1.948613e-04,1.947114e-04,1.946690e-04,1.945189e-04,1.943933e-04,1.942860e-04,1.940490e-04,1.940145e-04,1.937064e-04,1.936406e-04,1.933636e-04,1.931723e-04,1.929880e-04,1.926482e-04,1.925811e-04,1.921447e-04,1.920723e-04,1.916804e-04,1.914481e-04,1.911898e-04,1.907793e-04,1.906743e-04,1.901354e-04,1.900692e-04,1.895744e-04,1.893210e-04,1.889928e-04,1.885377e-04,1.883917e-04,1.877724e-04,1.877221e-04,1.871361e-04,1.868771e-04,1.864840e-04,1.860052e-04,1.858170e-04,1.851364e-04,1.851089e-04,1.844430e-04,1.841904e-04,1.837378e-04,1.832520e-04,1.830218e-04,1.822958e-04,1.813238e-04,1.803377e-04,1.793395e-04,1.783306e-04,1.773127e-04,1.762873e-04,1.752557e-04,1.742193e-04,1.731793e-04,1.721368e-04,1.710929e-04,1.700487e-04,1.690051e-04,1.679629e-04,1.669230e-04,1.658862e-04,1.648533e-04,1.638247e-04,1.628013e-04,1.617836e-04,1.607720e-04,1.597672e-04,1.587695e-04,1.577795e-04
0.000000e+00,3.846573e-13,2.522236e-12,4.049729e-11,2.499669e-10,5.710077e-10,3.326609e-09,3.542497e-09,1.404062e-08,1.953677e-08,4.198216e-08,7.353832e-08,1.034883e-07,2.095328e-07,2.217568e-07,4.273712e-07,4.937586e-07,7.579344e-07,1.013613e-06,1.256810e-06,1.872259e-06,1.970896e-06,2.947713e-06,3.178646e-06,4.232334e-06,5.035498e-06,5.864665e-06,7.528658e-06,7.877345e-06,1.029437e-05,1.071972e-05,1.313036e-05,1.464232e-05,1.639044e-05,1.930133e-05,2.007042e-05,2.415736e-05,2.467422e-05,2.863033e-05,3.071374e-05,3.346131e-05,3.735151e-05,3.861621e-05,4.405590e-05,4.450211e-05,4.973736e-05,5.206745e-05,5.561480e-05,5.994128e-05,6.164074e-05,6.776710e-05,6.801356e-05,7.394617e-05,7.617454e-05,8.013154e-05,8.431847e-05,8.627888e-05,9.234664e-05,9.829655e-05,1.001699e-04,1.040941e-04,1.077103e-04,1.097087e-04,1.149022e-04,1.151141e-04,1.202880e-04,1.216927e-04,1.252126e-04,1.280416e-04,1.298737e-04,1.339204e-04,1.342612e-04,1.383684e-04,1.393120e-04,1.421919e-04,1.442089e-04,1.457312e-04,1.486123e-04,1.489884e-04,1.519678e-04,1.525309e-04,1.546756e-04,1.559788e-04,1.571196e-04,1.589753e-04,1.593089e-04,1.612536e-04,1.615427e-04,1.629645e-04,1.637061e-04,1.644531e-04,1.654917e-04,1.657310e-04,1.668102e-04,1.669269e-04,1.677025e-04,1.680389e-04,1.684197e-04,1.688547e-04,1.689732e-04,1.693745e-04,1.694004e-04,1.696344e-04,1.697012e-04,1.697634e-04,1.697808e-04,1.697715e-04,1.696682e-04,1.696619e-04,1.694627e-04,1.693653e-04,1.691634e-04,1.689106e-04,1.687786e-04,1.683157e-04,1.677818e-04,1.675971e-04,1.671837e-04,1.667701e-04,1.665275e-04,1.658483e-04,1.658190e-04,1.650636e-04,1.648443e-04,1.642662e-04,1.637695e-04,1.634314e-04,1.626341e-04,1.625636e-04,1.616666e-04,1.614474e-04,1.607441e-04,1.602176e-04,1.597994e-04,1.589523e-04,1.588358e-04,1.578558e-04,1.576582e-04,1.568623e-04,1.563412e-04,1.558576e-04,1.550067e-04,1.548439e-04,1.538233e-04,1.536594e-04,1.527974e-04,1.523037e-04,1.517682e-04,1.509434e-04,1.507370e-04,1.497054e-04,1.495816e-04,1.486745e-04,1.482215e-04,1.476456e-04,1.468656e-04,1.466197e-04,1.455978e-04,1.455163e-04,1.445808e-04,1.441755e-04,1.435694e-04,1.428451e-04,1.425643e-04,1.415663e-04,1.415265e-04,1.405758e-04,1.402212e-04,1.395934e-04,1.389303e-04,1.386196e-04,1.376547e-04,1.363954e-04,1.351531e-04,1.339282e-04,1.327215e-04,1.315332e-04,1.303636e-04,1.292130e-04,1.280816e-04,1.269695e-04,1.258767e-04,1.248033e-04,1.237492e-04,1.227143e-04,1.216986e-04,1.207019e-04,1.197240e-04,1.187649e-04,1.178242e-04,1.169017e-04,1.159973e-04,1.151106e-04,1.142415e-04,1.133897e-04,1.125548e-04
0.000000e+00,2.928754e-11,6.916852e-11,2.454771e-10,5.667361e-10,8.317490e-10,1.912642e-09,1.971286e-09,3.866533e-09,4.564035e-09,6.755739e-09,9.080667e-09,1.091623e-08,1.611214e-08,1.663237e-08,2.409960e-08,2.615552e-08,3.329601e-08,3.911067e-08,4.396160e-08,5.427326e-08,5.573244e-08,6.827624e-08,7.085386e-08,8.133590e-08,8.826480e-08,9.471839e-08,1.060980e-07,1.082730e-07,1.218750e-07,1.240484e-07,1.354170e-07,1.418675e-07,1.488039e-07,1.593447e-07,1.619514e-07,1.747857e-07,1.763016e-07,1.872434e-07,1.925914e-07,1.992714e-07,2.080986e-07,2.108269e-07,2.218771e-07,2.227385e-07,2.323981e-07,2.364545e-07,2.423742e-07,2.492149e-07,2.517975e-07,2.606662e-07,2.610095e-07,2.689838e-07,2.718447e-07,2.767583e-07,2.817407e-07,2.840015e-07,2.907280e-07,2.969546e-07,2.988445e-07,3.026997e-07,3.061329e-07,3.079830e-07,3.126391e-07,3.128246e-07,3.172452e-07,3.184103e-07,3.212655e-07,3.234942e-07,3.249063e-07,3.279381e-07,3.281879e-07,3.311299e-07,3.317877e-07,3.337516e-07,3.350867e-07,3.360714e-07,3.378773e-07,3.381071e-07,3.398760e-07,3.401992e-07,3.413944e-07,3.420902e-07,3.426779e-07,3.435853e-07,3.437413e-07,3.445988e-07,3.447178e-07,3.452638e-07,3.455184e-07,3.457490e-07,3.460158e-07,3.460665e-07,3.462276e-07,3.462369e-07,3.462431e-07,3.462065e-07,3.461232e-07,3.459474e-07,3.458775e-07,3.455149e-07,3.454812e-07,3.450442e-07,3.448273e-07,3.444731e-07,3.440042e-07,3.438094e-07,3.430601e-07,3.430285e-07,3.422320e-07,3.419158e-07,3.413313e-07,3.406804e-07,3.403639e-07,3.393354e-07,3.382511e-07,3.378931e-07,3.371158e-07,3.363646e-07,3.359341e-07,3.347601e-07,3.347104e-07,3.334486e-07,3.330891e-07,3.321527e-07,3.313602e-07,3.308261e-07,3.295814e-07,3.294721e-07,3.280940e-07,3.277600e-07,3.266946e-07,3.259026e-07,3.252766e-07,3.240154e-07,3.238426e-07,3.223950e-07,3.221040e-07,3.209360e-07,3.201735e-07,3.194677e-07,3.182286e-07,3.179921e-07,3.165109e-07,3.162735e-07,3.150259e-07,3.143122e-07,3.135386e-07,3.123480e-07,3.120504e-07,3.105628e-07,3.103844e-07,3.090770e-07,3.084241e-07,3.075941e-07,3.064698e-07,3.061153e-07,3.046416e-07,3.045239e-07,3.031738e-07,3.025886e-07,3.017130e-07,3.006658e-07,3.002597e-07,2.988149e-07,2.987573e-07,2.973791e-07,2.968645e-07,2.959530e-07,2.949890e-07,2.945371e-07,2.931319e-07,2.912944e-07,2.894774e-07,2.876818e-07,2.859083e-07,2.841575e-07,2.824301e-07,2.807264e-07,2.790469e-07,2.773918e-07,2.757615e-07,2.741561e-07,2.725757e-07,2.710205e-07,2.694904e-07,2.679856e-07,2.665058e-07,2.650511e-07,2.636214e-07,2.622164e-07,2.608362e-07,2.594804e-07,2.581490e-07,2.568416e-07,2.555580e-07
0.000000e+00,3.702769e-13,2.518690e-12,4.368798e-11,2.897501e-10,6.889511e-10,4.461513e-09,4.771880e-09,2.108200e-08,3.023194e-08,7.016469e-08,1.309812e-07,1.922666e-07,4.286130e-07,4.574079e-07,9.774758e-07,1.157454e-06,1.919775e-06,2.716755e-06,3.520493e-06,5.722718e-06,6.095691e-06,1.004761e-05,1.104474e-05,1.586519e-05,1.981405e-05,2.411901e-05,3.340302e-05,3.545135e-05,5.056267e-05,5.338035e-05,7.019556e-05,8.145023e-05,9.511724e-05,1.193827e-04,1.261014e-04,1.639105e-04,1.689415e-04,2.092782e-04,2.318140e-04,2.628935e-04,3.095474e-04,3.253865e-04,3.973157e-04,4.034925e-04,4.791573e-04,5.147590e-04,5.712972e-04,6.441808e-04,6.740244e-04,7.875277e-04,7.922936e-04,9.118932e-04,9.593239e-04,1.047105e-03,1.145189e-03,1.193046e-03,1.349505e-03,1.516176e-03,1.571606e-03,1.692670e-03,1.810569e-03,1.878520e-03,2.065240e-03,2.073189e-03,2.276078e-03,2.334272e-03,2.486535e-03,2.616156e-03,2.703868e-03,2.909260e-03,2.927347e-03,3.156217e-03,3.211862e-03,3.389707e-03,3.522188e-03,3.627036e-03,3.838439e-03,3.867421e-03,4.110085e-03,4.158824e-03,4.354262e-03,4.481583e-03,4.599204e-03,4.805014e-03,4.844184e-03,5.088502e-03,5.127486e-03,5.331488e-03,5.447461e-03,5.572507e-03,5.763501e-03,5.810958e-03,6.046277e-03,6.074280e-03,6.277941e-03,6.378589e-03,6.505466e-03,6.675342e-03,6.728408e-03,6.946364e-03,6.963574e-03,7.158971e-03,7.242442e-03,7.365905e-03,7.511224e-03,7.566882e-03,7.761653e-03,7.769312e-03,7.950008e-03,8.016209e-03,8.131768e-03,8.251524e-03,8.306791e-03,8.474964e-03,8.636204e-03,8.686327e-03,8.790457e-03,8.885498e-03,8.937694e-03,9.072436e-03,9.077910e-03,9.211123e-03,9.247173e-03,9.337372e-03,9.409801e-03,9.456713e-03,9.560470e-03,9.569221e-03,9.674987e-03,9.699379e-03,9.774114e-03,9.826769e-03,9.866719e-03,9.942917e-03,9.952929e-03,1.003288e-02,1.004813e-02,1.010672e-02,1.014275e-02,1.017460e-02,1.022712e-02,1.023667e-02,1.029311e-02,1.030163e-02,1.034407e-02,1.036664e-02,1.038974e-02,1.042257e-02,1.043027e-02,1.046586e-02,1.046980e-02,1.049666e-02,1.050874e-02,1.052286e-02,1.053980e-02,1.054463e-02,1.056214e-02,1.056336e-02,1.057557e-02,1.057983e-02,1.058508e-02,1.058960e-02,1.059085e-02,1.059303e-02,1.059305e-02,1.059180e-02,1.059055e-02,1.058731e-02,1.058247e-02,1.057971e-02,1.056916e-02,1.055096e-02,1.052822e-02,1.050124e-02,1.047033e-02,1.043579e-02,1.039790e-02,1.035693e-02,1.031313e-02,1.026676e-02,1.021805e-02,1.016722e-02,1.011447e-02,1.006001e-02,1.000402e-02,9.946683e-03,9.888166e-03,9.828624e-03,9.768207e-03,9.707051e-03,9.645288e-03,9.583038e-03,9.520415e-03,9.457526e-03,9.394469e-03
0.000000e+00,7.051258e-12,1.625764e-11,5.629629e-11,1.285764e-10,1.879906e-10,4.297094e-10,4.428107e-10,8.657780e-10,1.021146e-09,1.507076e-09,2.015637e-09,2.409434e-09,3.476780e-09,3.579641e-09,4.986372e-09,5.354746e-09,6.591073e-09,7.564354e-09,8.362770e-09,1.003974e-08,1.027602e-08,1.230727e-08,1.272563e-08,1.443325e-08,1.556852e-08,1.663086e-08,1.851569e-08,1.887757e-08,2.115209e-08,2.151727e-08,2.343497e-08,2.452856e-08,2.570895e-08,2.751167e-08,2.795920e-08,3.017337e-08,3.043614e-08,3.234146e-08,3.327874e-08,3.445566e-08,3.602275e-08,3.651012e-08,3.850064e-08,3.865703e-08,4.042446e-08,4.117493e-08,4.228001e-08,4.357333e-08,4.406663e-08,4.578446e-08,4.585175e-08,4.743422e-08,4.801168e-08,4.901706e-08,5.005594e-08,5.053451e-08,5.198830e-08,5.338036e-08,5.381311e-08,5.471272e-08,5.553506e-08,5.598747e-08,5.715901e-08,5.720674e-08,5.837266e-08,5.868984e-08,5.948732e-08,6.013238e-08,6.055280e-08,6.149134e-08,6.157112e-08,6.254425e-08,6.277129e-08,6.347409e-08,6.397659e-08,6.436250e-08,6.511142e-08,6.521123e-08,6.602201e-08,6.617976e-08,6.679648e-08,6.718538e-08,6.753620e-08,6.813183e-08,6.824269e-08,6.891739e-08,6.902249e-08,6.956168e-08,6.986053e-08,7.017688e-08,7.064895e-08,7.076425e-08,7.132499e-08,7.139055e-08,7.186026e-08,7.208798e-08,7.237113e-08,7.274374e-08,7.285868e-08,7.332388e-08,7.336016e-08,7.376769e-08,7.393943e-08,7.419102e-08,7.448362e-08,7.459473e-08,7.497965e-08,7.499467e-08,7.534657e-08,7.547440e-08,7.569623e-08,7.592451e-08,7.602935e-08,7.634662e-08,7.664868e-08,7.674223e-08,7.693616e-08,7.711276e-08,7.720964e-08,7.745956e-08,7.746971e-08,7.771689e-08,7.778386e-08,7.795170e-08,7.808686e-08,7.817464e-08,7.836966e-08,7.838617e-08,7.858676e-08,7.863331e-08,7.877682e-08,7.887881e-08,7.895676e-08,7.910707e-08,7.912699e-08,7.928788e-08,7.931897e-08,7.943979e-08,7.951534e-08,7.958306e-08,7.969697e-08,7.971802e-08,7.984499e-08,7.986458e-08,7.996427e-08,8.001888e-08,8.007616e-08,8.016053e-08,8.018092e-08,8.027884e-08,8.029014e-08,8.037016e-08,8.040831e-08,8.045512e-08,8.051560e-08,8.053398e-08,8.060694e-08,8.061253e-08,8.067423e-08,8.069961e-08,8.073606e-08,8.077731e-08,8.079263e-08,8.084413e-08,8.084609e-08,8.089074e-08,8.090636e-08,8.093265e-08,8.095855e-08,8.097003e-08,8.100303e-08,8.104018e-08,8.107034e-08,8.109385e-08,8.111102e-08,8.112217e-08,8.112756e-08,8.112749e-08,8.112221e-08,8.111197e-08,8.109701e-08,8.107756e-08,8.105384e-08,8.102605e-08,8.099440e-08,8.095907e-08,8.092024e-08,8.087810e-08,8.083281e-08,8.078452e-08,8.073340e-08,8.067959e-08,8.062322e-08,8.056444e-08,8.050338e-08
0.000000e+00,1.045456e-10,2.877208e-10,1.198090e-09,2.975792e-09,4.484986e-09,1.078370e-08,1.112878e-08,2.234328e-08,2.648210e-08,3.947291e-08,5.317832e-08,6.390678e-08,9.363437e-08,9.655095e-08,1.372423e-07,1.481130e-07,1.851183e-07,2.147357e-07,2.393108e-07,2.916703e-07,2.991244e-07,3.639547e-07,3.774708e-07,4.332075e-07,4.707620e-07,5.062622e-07,5.700896e-07,5.824662e-07,6.611447e-07,6.739174e-07,7.416185e-07,7.806874e-07,8.232228e-07,8.888932e-07,9.053243e-07,9.873353e-07,9.971447e-07,1.068724e-06,1.104215e-06,1.149022e-06,1.209066e-06,1.227822e-06,1.304785e-06,1.310854e-06,1.379632e-06,1.408927e-06,1.452142e-06,1.502804e-06,1.522144e-06,1.589518e-06,1.592157e-06,1.654182e-06,1.676787e-06,1.716088e-06,1.756599e-06,1.775219e-06,1.831582e-06,1.885206e-06,1.901793e-06,1.936132e-06,1.967335e-06,1.984417e-06,2.028347e-06,2.030127e-06,2.073335e-06,2.084995e-06,2.114119e-06,2.137460e-06,2.152562e-06,2.185933e-06,2.188747e-06,2.222760e-06,2.230610e-06,2.254687e-06,2.271686e-06,2.284612e-06,2.309358e-06,2.312620e-06,2.338793e-06,2.343814e-06,2.363210e-06,2.375240e-06,2.385951e-06,2.403814e-06,2.407092e-06,2.426706e-06,2.429708e-06,2.444865e-06,2.453084e-06,2.461636e-06,2.474099e-06,2.477086e-06,2.491279e-06,2.492900e-06,2.504274e-06,2.509628e-06,2.516131e-06,2.524416e-06,2.526906e-06,2.536652e-06,2.537388e-06,2.545420e-06,2.548665e-06,2.553260e-06,2.558357e-06,2.560219e-06,2.566342e-06,2.566570e-06,2.571670e-06,2.573402e-06,2.576247e-06,2.578949e-06,2.580109e-06,2.583296e-06,2.585842e-06,2.586527e-06,2.587781e-06,2.588718e-06,2.589146e-06,2.589944e-06,2.589967e-06,2.590274e-06,2.590272e-06,2.590096e-06,2.589767e-06,2.589458e-06,2.588487e-06,2.588386e-06,2.586905e-06,2.586492e-06,2.585038e-06,2.583832e-06,2.582806e-06,2.580558e-06,2.580231e-06,2.577333e-06,2.576716e-06,2.574130e-06,2.572350e-06,2.570641e-06,2.567502e-06,2.566883e-06,2.562873e-06,2.562209e-06,2.558626e-06,2.556507e-06,2.554156e-06,2.550431e-06,2.549479e-06,2.544608e-06,2.544011e-06,2.539555e-06,2.537277e-06,2.534333e-06,2.530258e-06,2.528953e-06,2.523426e-06,2.522978e-06,2.517764e-06,2.515463e-06,2.511975e-06,2.507735e-06,2.506070e-06,2.500057e-06,2.499815e-06,2.493946e-06,2.491723e-06,2.487743e-06,2.483478e-06,2.481458e-06,2.475098e-06,2.466598e-06,2.457995e-06,2.449301e-06,2.440532e-06,2.431698e-06,2.422812e-06,2.413885e-06,2.404927e-06,2.395947e-06,2.386954e-06,2.377957e-06,2.368962e-06,2.359978e-06,2.351010e-06,2.342065e-06,2.333149e-06,2.324267e-06,2.315423e-06,2.306623e-06,2.297871e-06,2.289170e-06,2.280525e-06,2.271938e-06,2.263412e-06
0.000000e+00,1.074660e-12,6.927704e-12,1.073916e-10,6.421832e-10,1.441938e-09,8.043170e-09,8.550340e-09,3.252794e-08,4.478119e-08,9.379437e-08,1.611503e-07,2.241150e-07,4.430036e-07,4.679668e-07,8.831049e-07,1.015765e-06,1.539207e-06,2.040441e-06,2.513100e-06,3.693511e-06,3.880743e-06,5.708402e-06,6.133851e-06,8.045759e-06,9.473264e-06,1.092239e-05,1.376278e-05,1.434747e-05,1.831170e-05,1.899455e-05,2.279045e-05,2.511265e-05,2.774718e-05,3.202649e-05,3.313658e-05,3.890720e-05,3.962269e-05,4.500368e-05,4.777456e-05,5.136839e-05,5.634898e-05,5.794286e-05,6.466887e-05,6.521177e-05,7.148943e-05,7.423175e-05,7.834967e-05,8.328424e-05,8.519751e-05,9.198437e-05,9.225393e-05,9.866568e-05,1.010372e-04,1.052013e-04,1.095440e-04,1.115558e-04,1.176987e-04,1.236042e-04,1.254404e-04,1.292517e-04,1.327230e-04,1.346250e-04,1.395144e-04,1.397122e-04,1.445058e-04,1.457948e-04,1.490017e-04,1.515559e-04,1.531991e-04,1.567989e-04,1.571002e-04,1.607095e-04,1.615330e-04,1.640336e-04,1.657737e-04,1.670810e-04,1.695413e-04,1.698612e-04,1.723849e-04,1.728599e-04,1.746635e-04,1.757554e-04,1.767088e-04,1.782556e-04,1.785331e-04,1.801485e-04,1.803884e-04,1.815673e-04,1.821820e-04,1.828014e-04,1.836636e-04,1.838626e-04,1.847621e-04,1.848597e-04,1.855110e-04,1.857954e-04,1.861196e-04,1.864946e-04,1.865980e-04,1.869557e-04,1.869794e-04,1.872016e-04,1.872706e-04,1.873442e-04,1.873874e-04,1.873915e-04,1.873509e-04,1.873475e-04,1.872294e-04,1.871672e-04,1.870336e-04,1.868612e-04,1.867697e-04,1.864432e-04,1.860596e-04,1.859256e-04,1.856238e-04,1.853196e-04,1.851403e-04,1.846353e-04,1.846135e-04,1.840473e-04,1.838822e-04,1.834454e-04,1.830686e-04,1.828113e-04,1.822021e-04,1.821480e-04,1.814586e-04,1.812895e-04,1.807457e-04,1.803372e-04,1.800119e-04,1.793507e-04,1.792595e-04,1.784907e-04,1.783351e-04,1.777074e-04,1.772951e-04,1.769116e-04,1.762347e-04,1.761050e-04,1.752891e-04,1.751578e-04,1.744654e-04,1.740676e-04,1.736352e-04,1.729673e-04,1.727999e-04,1.719605e-04,1.718595e-04,1.711182e-04,1.707469e-04,1.702739e-04,1.696314e-04,1.694285e-04,1.685829e-04,1.685153e-04,1.677379e-04,1.674002e-04,1.668942e-04,1.662878e-04,1.660524e-04,1.652131e-04,1.651796e-04,1.643769e-04,1.640767e-04,1.635443e-04,1.629805e-04,1.627159e-04,1.618919e-04,1.608118e-04,1.597411e-04,1.586805e-04,1.576305e-04,1.565918e-04,1.555649e-04,1.545502e-04,1.535479e-04,1.525586e-04,1.515823e-04,1.506193e-04,1.496699e-04,1.487341e-04,1.478121e-04,1.469038e-04,1.460095e-04,1.451290e-04,1.442625e-04,1.434099e-04,1.425711e-04,1.417460e-04,1.409348e-04,1.401371e-04,1.393530e-04
0.000000e+00,3.326911e-12,2.072503e-11,2.994962e-10,1.681849e-09,3.650289e-09,1.869146e-08,1.980248e-08,6.946963e-08,9.362614e-08,1.861891e-07,3.073004e-07,4.166973e-07,7.804830e-07,8.208315e-07,1.470710e-06,1.672125e-06,2.446877e-06,3.166042e-06,3.828506e-06,5.430408e-06,5.678574e-06,8.030336e-06,8.561310e-06,1.088157e-05,1.255122e-05,1.419780e-05,1.730092e-05,1.792120e-05,2.198092e-05,2.265667e-05,2.630183e-05,2.844690e-05,3.081050e-05,3.450660e-05,3.543877e-05,4.012532e-05,4.068898e-05,4.481613e-05,4.686911e-05,4.946434e-05,5.294358e-05,5.402985e-05,5.847886e-05,5.882888e-05,6.278348e-05,6.445968e-05,6.692122e-05,6.978708e-05,7.087463e-05,7.463084e-05,7.477685e-05,7.818107e-05,7.940765e-05,8.152023e-05,8.366918e-05,8.464636e-05,8.756019e-05,9.026468e-05,9.108664e-05,9.276460e-05,9.425999e-05,9.506613e-05,9.709571e-05,9.717656e-05,9.910398e-05,9.961203e-05,1.008570e-04,1.018288e-04,1.024446e-04,1.037667e-04,1.038756e-04,1.051593e-04,1.054464e-04,1.063043e-04,1.068883e-04,1.073195e-04,1.081121e-04,1.082132e-04,1.089935e-04,1.091366e-04,1.096681e-04,1.099796e-04,1.102443e-04,1.106574e-04,1.107291e-04,1.111290e-04,1.111855e-04,1.114502e-04,1.115782e-04,1.116986e-04,1.118485e-04,1.118796e-04,1.119983e-04,1.120086e-04,1.120595e-04,1.120694e-04,1.120677e-04,1.120410e-04,1.120270e-04,1.119414e-04,1.119327e-04,1.118144e-04,1.117528e-04,1.116494e-04,1.115089e-04,1.114497e-04,1.112180e-04,1.112081e-04,1.109572e-04,1.108567e-04,1.106698e-04,1.104603e-04,1.103581e-04,1.100243e-04,1.096705e-04,1.095534e-04,1.092986e-04,1.090518e-04,1.089102e-04,1.085236e-04,1.085072e-04,1.080909e-04,1.079722e-04,1.076628e-04,1.074008e-04,1.072242e-04,1.068125e-04,1.067764e-04,1.063203e-04,1.062098e-04,1.058572e-04,1.055951e-04,1.053879e-04,1.049706e-04,1.049135e-04,1.044346e-04,1.043383e-04,1.039521e-04,1.037000e-04,1.034666e-04,1.030571e-04,1.029790e-04,1.024897e-04,1.024113e-04,1.019994e-04,1.017638e-04,1.015085e-04,1.011158e-04,1.010176e-04,1.005271e-04,1.004683e-04,1.000375e-04,9.982236e-05,9.954900e-05,9.917879e-05,9.906210e-05,9.857708e-05,9.853837e-05,9.809425e-05,9.790179e-05,9.761387e-05,9.726967e-05,9.713621e-05,9.666149e-05,9.664256e-05,9.618992e-05,9.602096e-05,9.572169e-05,9.540529e-05,9.525698e-05,9.479594e-05,9.419326e-05,9.359752e-05,9.300900e-05,9.242791e-05,9.185444e-05,9.128875e-05,9.073097e-05,9.018122e-05,8.963958e-05,8.910611e-05,8.858087e-05,8.806389e-05,8.755518e-05,8.705475e-05,8.656258e-05,8.607866e-05,8.560295e-05,8.513542e-05,8.467601e-05,8.422467e-05,8.378133e-05,8.334593e-05,8.291839e-05,8.249863e-05
0.000000e+00,1.590348e-11,3.686230e-11,1.284095e-10,2.939093e-10,4.297689e-10,9.791965e-10,1.008807e-09,1.955705e-09,2.299547e-09,3.364775e-09,4.470125e-09,5.324868e-09,7.660433e-09,7.887890e-09,1.105229e-08,1.189832e-08,1.479095e-08,1.712470e-08,1.907527e-08,2.327489e-08,2.387754e-08,2.916711e-08,3.028043e-08,3.490781e-08,3.805741e-08,4.105720e-08,4.650344e-08,4.756713e-08,5.438503e-08,5.550080e-08,6.145555e-08,6.492255e-08,6.872225e-08,7.463925e-08,7.612925e-08,8.362264e-08,8.452520e-08,9.115166e-08,9.446349e-08,9.866951e-08,1.043495e-07,1.061340e-07,1.135077e-07,1.140927e-07,1.207583e-07,1.236177e-07,1.278581e-07,1.328637e-07,1.347844e-07,1.415184e-07,1.417835e-07,1.480454e-07,1.503423e-07,1.543544e-07,1.585157e-07,1.604372e-07,1.662884e-07,1.719049e-07,1.736524e-07,1.772857e-07,1.806058e-07,1.824312e-07,1.871515e-07,1.873435e-07,1.920256e-07,1.932958e-07,1.964813e-07,1.990481e-07,2.007155e-07,2.044197e-07,2.047333e-07,2.085404e-07,2.094234e-07,2.121428e-07,2.140730e-07,2.155466e-07,2.183829e-07,2.187583e-07,2.217843e-07,2.223678e-07,2.246310e-07,2.260425e-07,2.273048e-07,2.294219e-07,2.298121e-07,2.321593e-07,2.325204e-07,2.343524e-07,2.353521e-07,2.363975e-07,2.379311e-07,2.383007e-07,2.400676e-07,2.402708e-07,2.417040e-07,2.423841e-07,2.432153e-07,2.442834e-07,2.446067e-07,2.458836e-07,2.459810e-07,2.470508e-07,2.474881e-07,2.481133e-07,2.488160e-07,2.490756e-07,2.499423e-07,2.499750e-07,2.507177e-07,2.509753e-07,2.514060e-07,2.518264e-07,2.520113e-07,2.525375e-07,2.529882e-07,2.531172e-07,2.533672e-07,2.535737e-07,2.536779e-07,2.539150e-07,2.539236e-07,2.541075e-07,2.541484e-07,2.542327e-07,2.542809e-07,2.543022e-07,2.543193e-07,2.543188e-07,2.542851e-07,2.542699e-07,2.542040e-07,2.541387e-07,2.540777e-07,2.539312e-07,2.539088e-07,2.536995e-07,2.536530e-07,2.534521e-07,2.533090e-07,2.531686e-07,2.529041e-07,2.528511e-07,2.525015e-07,2.524428e-07,2.521217e-07,2.519292e-07,2.517135e-07,2.513676e-07,2.512785e-07,2.508184e-07,2.507616e-07,2.503347e-07,2.501148e-07,2.498289e-07,2.494306e-07,2.493025e-07,2.487567e-07,2.487123e-07,2.481930e-07,2.479627e-07,2.476124e-07,2.471847e-07,2.470163e-07,2.464057e-07,2.463810e-07,2.457818e-07,2.455541e-07,2.451455e-07,2.447062e-07,2.444978e-07,2.438397e-07,2.429565e-07,2.420586e-07,2.411479e-07,2.402260e-07,2.392946e-07,2.383551e-07,2.374090e-07,2.364575e-07,2.355019e-07,2.345434e-07,2.335829e-07,2.326216e-07,2.316603e-07,2.306999e-07,2.297412e-07,2.287850e-07,2.278320e-07,2.268827e-07,2.259379e-07,2.249980e-07,2.240635e-07,2.231350e-07,2.222129e-07,2.212975e-07
0.000000e+00,2.306622e-11,5.310884e-11,1.875370e-10,4.479249e-10,6.790633e-10,1.768254e-09,1.833662e-09,4.239824e-09,5.241608e-09,8.626601e-09,1.235233e-08,1.523869e-08,2.275962e-08,2.345535e-08,3.246909e-08,3.468808e-08,4.177113e-08,4.700392e-08,5.110389e-08,5.923648e-08,6.033626e-08,6.939222e-08,7.117736e-08,7.821885e-08,8.270378e-08,8.677387e-08,9.372322e-08,9.502067e-08,1.029285e-07,1.041605e-07,1.104720e-07,1.139576e-07,1.176316e-07,1.230734e-07,1.243936e-07,1.307504e-07,1.314858e-07,1.366998e-07,1.391889e-07,1.422442e-07,1.461908e-07,1.473899e-07,1.521463e-07,1.525104e-07,1.565254e-07,1.581745e-07,1.605410e-07,1.632155e-07,1.642081e-07,1.675426e-07,1.676693e-07,1.705607e-07,1.715730e-07,1.732790e-07,1.749645e-07,1.757138e-07,1.778813e-07,1.797970e-07,1.803594e-07,1.814762e-07,1.824336e-07,1.829336e-07,1.841370e-07,1.841831e-07,1.852382e-07,1.855006e-07,1.861116e-07,1.865535e-07,1.868155e-07,1.873232e-07,1.873613e-07,1.877599e-07,1.878349e-07,1.880217e-07,1.881121e-07,1.881563e-07,1.881768e-07,1.881728e-07,1.880800e-07,1.880491e-07,1.878859e-07,1.877476e-07,1.875982e-07,1.872895e-07,1.872241e-07,1.867702e-07,1.866906e-07,1.862430e-07,1.859656e-07,1.856483e-07,1.851277e-07,1.849917e-07,1.842785e-07,1.841894e-07,1.835136e-07,1.831618e-07,1.827015e-07,1.820554e-07,1.818465e-07,1.809526e-07,1.808795e-07,1.800235e-07,1.796429e-07,1.790629e-07,1.783534e-07,1.780738e-07,1.770595e-07,1.770184e-07,1.760227e-07,1.756445e-07,1.749662e-07,1.742376e-07,1.738923e-07,1.728034e-07,1.717016e-07,1.713467e-07,1.705891e-07,1.698722e-07,1.694675e-07,1.683839e-07,1.683386e-07,1.672042e-07,1.668857e-07,1.660655e-07,1.653809e-07,1.649241e-07,1.638726e-07,1.637812e-07,1.626380e-07,1.623637e-07,1.614955e-07,1.608565e-07,1.603549e-07,1.593534e-07,1.592171e-07,1.580828e-07,1.578564e-07,1.569529e-07,1.563674e-07,1.558282e-07,1.548878e-07,1.547092e-07,1.535967e-07,1.534193e-07,1.524911e-07,1.519631e-07,1.513930e-07,1.505203e-07,1.503029e-07,1.492211e-07,1.490919e-07,1.481481e-07,1.476789e-07,1.470842e-07,1.462819e-07,1.460297e-07,1.449849e-07,1.449017e-07,1.439500e-07,1.435389e-07,1.429253e-07,1.421939e-07,1.419110e-07,1.409071e-07,1.408672e-07,1.399139e-07,1.395590e-07,1.389315e-07,1.382697e-07,1.379600e-07,1.369994e-07,1.357484e-07,1.345168e-07,1.333045e-07,1.321117e-07,1.309384e-07,1.297844e-07,1.286498e-07,1.275344e-07,1.264382e-07,1.253609e-07,1.243025e-07,1.232627e-07,1.222414e-07,1.212384e-07,1.202534e-07,1.192863e-07,1.183367e-07,1.174045e-07,1.164895e-07,1.155913e-07,1.147097e-07,1.138444e-07,1.129953e-07,1.121620e-07
0.000000e+00,7.910789e-12,1.816489e-11,6.268733e-11,1.430206e-10,2.090350e-10,4.773455e-10,4.918749e-10,9.603610e-10,1.132303e-09,1.670781e-09,2.238094e-09,2.682105e-09,3.913983e-09,4.035057e-09,5.729352e-09,6.183548e-09,7.733704e-09,8.977844e-09,1.001188e-08,1.221888e-08,1.253344e-08,1.527279e-08,1.584470e-08,1.820617e-08,1.980031e-08,2.130968e-08,2.402999e-08,2.455851e-08,2.792686e-08,2.847513e-08,3.138832e-08,3.307513e-08,3.491649e-08,3.776967e-08,3.848555e-08,4.207090e-08,4.250112e-08,4.564954e-08,4.721652e-08,4.920046e-08,5.186898e-08,5.270489e-08,5.614639e-08,5.641855e-08,5.951087e-08,6.083238e-08,6.278653e-08,6.508451e-08,6.596372e-08,6.903478e-08,6.915532e-08,7.199387e-08,7.303087e-08,7.483675e-08,7.670205e-08,7.756061e-08,8.016386e-08,8.264593e-08,8.341464e-08,8.500717e-08,8.645541e-08,8.724864e-08,8.928931e-08,8.937200e-08,9.137942e-08,9.192106e-08,9.327347e-08,9.435665e-08,9.505699e-08,9.660288e-08,9.673309e-08,9.830501e-08,9.866714e-08,9.977613e-08,1.005572e-07,1.011499e-07,1.022811e-07,1.024298e-07,1.036194e-07,1.038468e-07,1.047221e-07,1.052624e-07,1.057414e-07,1.065357e-07,1.066808e-07,1.075435e-07,1.076746e-07,1.083328e-07,1.086866e-07,1.090520e-07,1.095790e-07,1.097042e-07,1.102924e-07,1.103589e-07,1.108196e-07,1.110330e-07,1.112887e-07,1.116080e-07,1.117023e-07,1.120633e-07,1.120900e-07,1.123741e-07,1.124850e-07,1.126373e-07,1.127987e-07,1.128553e-07,1.130304e-07,1.130366e-07,1.131648e-07,1.132037e-07,1.132607e-07,1.133050e-07,1.133202e-07,1.133451e-07,1.133374e-07,1.133284e-07,1.132990e-07,1.132591e-07,1.132316e-07,1.131411e-07,1.131368e-07,1.130163e-07,1.129782e-07,1.128716e-07,1.127738e-07,1.127042e-07,1.125312e-07,1.125154e-07,1.123066e-07,1.122537e-07,1.120792e-07,1.119441e-07,1.118342e-07,1.116052e-07,1.115730e-07,1.112966e-07,1.112396e-07,1.110060e-07,1.108497e-07,1.107024e-07,1.104379e-07,1.103866e-07,1.100596e-07,1.100063e-07,1.097223e-07,1.095570e-07,1.093755e-07,1.090918e-07,1.090200e-07,1.086566e-07,1.086125e-07,1.082859e-07,1.081207e-07,1.079087e-07,1.076181e-07,1.075256e-07,1.071373e-07,1.071060e-07,1.067443e-07,1.065859e-07,1.063471e-07,1.060589e-07,1.059464e-07,1.055425e-07,1.055263e-07,1.051361e-07,1.049892e-07,1.047274e-07,1.044485e-07,1.043170e-07,1.039052e-07,1.033602e-07,1.028144e-07,1.022683e-07,1.017228e-07,1.011785e-07,1.006359e-07,1.000957e-07,9.955821e-08,9.902402e-08,9.849351e-08,9.796706e-08,9.744501e-08,9.692767e-08,9.641533e-08,9.590824e-08,9.540663e-08,9.491069e-08,9.442061e-08,9.393655e-08,9.345865e-08,9.298702e-08,9.252176e-08,9.206297e-08,9.161071e-08
0.000000e+00,4.877029e-12,1.116550e-11,3.839211e-11,8.745851e-11,1.277995e-10,2.922478e-10,3.011778e-10,5.904536e-10,6.972257e-10,1.033528e-09,1.391067e-09,1.673520e-09,2.471645e-09,2.551322e-09,3.687389e-09,3.997215e-09,5.062200e-09,5.916941e-09,6.622136e-09,8.100725e-09,8.307989e-09,1.007304e-08,1.043245e-08,1.188411e-08,1.283578e-08,1.371703e-08,1.525972e-08,1.555302e-08,1.737662e-08,1.766634e-08,1.917476e-08,2.002551e-08,2.093638e-08,2.231310e-08,2.265222e-08,2.431475e-08,2.451037e-08,2.591802e-08,2.660348e-08,2.745756e-08,2.858302e-08,2.893024e-08,3.033402e-08,3.044331e-08,3.166790e-08,3.218180e-08,3.293164e-08,3.379835e-08,3.412572e-08,3.525111e-08,3.529471e-08,3.630922e-08,3.667400e-08,3.730178e-08,3.794027e-08,3.823075e-08,3.909825e-08,3.990653e-08,4.015304e-08,4.065788e-08,4.110994e-08,4.135464e-08,4.197434e-08,4.199915e-08,4.259374e-08,4.275159e-08,4.314070e-08,4.344695e-08,4.364228e-08,4.406553e-08,4.410067e-08,4.451799e-08,4.461226e-08,4.489630e-08,4.509187e-08,4.523761e-08,4.550888e-08,4.554384e-08,4.581684e-08,4.586761e-08,4.605838e-08,4.617211e-08,4.627016e-08,4.642625e-08,4.645381e-08,4.661089e-08,4.663366e-08,4.674289e-08,4.679777e-08,4.685124e-08,4.692181e-08,4.693730e-08,4.700237e-08,4.700883e-08,4.704769e-08,4.706167e-08,4.707443e-08,4.708302e-08,4.708372e-08,4.707662e-08,4.707538e-08,4.705417e-08,4.704110e-08,4.701732e-08,4.698239e-08,4.696699e-08,4.690407e-08,4.690130e-08,4.682938e-08,4.679976e-08,4.674370e-08,4.667956e-08,4.664780e-08,4.654236e-08,4.642808e-08,4.638975e-08,4.630559e-08,4.622317e-08,4.617549e-08,4.604398e-08,4.603836e-08,4.589474e-08,4.585343e-08,4.574514e-08,4.565272e-08,4.559005e-08,4.544292e-08,4.542993e-08,4.526522e-08,4.522505e-08,4.509632e-08,4.500005e-08,4.492362e-08,4.476880e-08,4.474750e-08,4.456829e-08,4.453211e-08,4.438633e-08,4.429072e-08,4.420192e-08,4.404534e-08,4.401536e-08,4.382691e-08,4.379660e-08,4.363684e-08,4.354510e-08,4.344539e-08,4.329139e-08,4.325279e-08,4.305926e-08,4.303598e-08,4.286499e-08,4.277932e-08,4.267017e-08,4.252186e-08,4.247500e-08,4.227962e-08,4.226399e-08,4.208421e-08,4.200607e-08,4.188890e-08,4.174843e-08,4.169384e-08,4.149916e-08,4.149138e-08,4.130496e-08,4.123519e-08,4.111137e-08,4.098014e-08,4.091850e-08,4.072643e-08,4.047430e-08,4.022392e-08,3.997547e-08,3.972912e-08,3.948499e-08,3.924322e-08,3.900392e-08,3.876719e-08,3.853312e-08,3.830179e-08,3.807326e-08,3.784760e-08,3.762485e-08,3.740505e-08,3.718824e-08,3.697445e-08,3.676370e-08,3.655601e-08,3.635138e-08,3.614983e-08,3.595135e-08,3.575594e-08,3.556359e-08,3.537430e-08
0.000000e+00,4.967687e-12,1.136880e-11,3.900256e-11,8.851738e-11,1.289842e-10,2.920131e-10,3.007864e-10,5.813092e-10,6.832916e-10,1.000151e-09,1.331159e-09,1.589258e-09,2.306276e-09,2.377049e-09,3.375283e-09,3.645087e-09,4.569672e-09,5.312496e-09,5.928164e-09,7.231960e-09,7.416367e-09,9.004912e-09,9.332461e-09,1.066962e-08,1.155841e-08,1.238984e-08,1.386417e-08,1.414711e-08,1.592451e-08,1.620971e-08,1.770648e-08,1.855922e-08,1.947881e-08,2.088112e-08,2.122876e-08,2.294522e-08,2.314847e-08,2.461869e-08,2.533933e-08,2.624134e-08,2.743667e-08,2.780693e-08,2.931068e-08,2.942820e-08,3.074917e-08,3.130574e-08,3.212012e-08,3.306469e-08,3.342235e-08,3.465555e-08,3.470345e-08,3.582020e-08,3.622286e-08,3.691722e-08,3.762522e-08,3.794795e-08,3.891424e-08,3.981813e-08,4.009455e-08,4.066185e-08,4.117135e-08,4.144778e-08,4.215019e-08,4.217838e-08,4.285612e-08,4.303674e-08,4.348345e-08,4.383667e-08,4.406281e-08,4.455554e-08,4.459663e-08,4.508723e-08,4.519879e-08,4.553688e-08,4.577162e-08,4.594778e-08,4.627899e-08,4.632204e-08,4.666167e-08,4.672561e-08,4.696862e-08,4.711593e-08,4.724473e-08,4.745412e-08,4.749176e-08,4.771140e-08,4.774411e-08,4.790524e-08,4.798956e-08,4.807478e-08,4.819390e-08,4.822148e-08,4.834670e-08,4.836034e-08,4.845171e-08,4.849184e-08,4.853776e-08,4.859118e-08,4.860600e-08,4.865752e-08,4.866095e-08,4.869336e-08,4.870352e-08,4.871450e-08,4.872114e-08,4.872187e-08,4.871635e-08,4.871587e-08,4.869876e-08,4.868962e-08,4.866988e-08,4.864418e-08,4.863046e-08,4.858119e-08,4.852273e-08,4.850218e-08,4.845570e-08,4.840858e-08,4.838069e-08,4.830169e-08,4.829826e-08,4.820892e-08,4.818274e-08,4.811318e-08,4.805285e-08,4.801150e-08,4.791308e-08,4.790431e-08,4.779203e-08,4.776437e-08,4.767506e-08,4.760764e-08,4.755376e-08,4.744372e-08,4.742849e-08,4.729956e-08,4.727336e-08,4.716729e-08,4.709729e-08,4.703197e-08,4.691616e-08,4.689389e-08,4.675328e-08,4.673057e-08,4.661041e-08,4.654110e-08,4.646550e-08,4.634825e-08,4.631877e-08,4.617043e-08,4.615253e-08,4.602066e-08,4.595436e-08,4.586965e-08,4.575415e-08,4.571756e-08,4.556457e-08,4.555230e-08,4.541082e-08,4.534914e-08,4.525646e-08,4.514501e-08,4.510161e-08,4.494641e-08,4.494019e-08,4.479097e-08,4.473497e-08,4.463540e-08,4.452960e-08,4.447981e-08,4.432430e-08,4.411930e-08,4.391478e-08,4.371094e-08,4.350793e-08,4.330591e-08,4.310501e-08,4.290537e-08,4.270709e-08,4.251028e-08,4.231504e-08,4.212144e-08,4.192958e-08,4.173952e-08,4.155132e-08,4.136504e-08,4.118072e-08,4.099842e-08,4.081817e-08,4.064000e-08,4.046393e-08,4.029001e-08,4.011824e-08,3.994865e-08,3.978123e-08
0.000000e+00,4.500628e-11,1.159288e-10,4.478006e-10,1.067840e-09,1.581093e-09,3.653683e-09,3.764835e-09,7.281300e-09,8.540398e-09,1.238961e-08,1.632138e-08,1.933542e-08,2.754553e-08,2.834724e-08,3.960299e-08,4.264820e-08,5.315907e-08,6.171581e-08,6.888990e-08,8.431179e-08,8.651582e-08,1.056985e-07,1.096927e-07,1.261129e-07,1.371174e-07,1.474686e-07,1.659441e-07,1.695058e-07,1.919861e-07,1.956090e-07,2.146869e-07,2.256000e-07,2.374000e-07,2.554483e-07,2.599313e-07,2.821034e-07,2.847322e-07,3.037577e-07,3.130852e-07,3.247560e-07,3.402035e-07,3.449819e-07,3.643412e-07,3.658502e-07,3.827617e-07,3.898546e-07,4.001910e-07,4.121074e-07,4.165966e-07,4.319636e-07,4.325566e-07,4.462905e-07,4.511955e-07,4.595889e-07,4.680554e-07,4.718813e-07,4.831983e-07,4.935769e-07,4.967066e-07,5.030590e-07,5.086778e-07,5.116897e-07,5.192177e-07,5.195159e-07,5.265855e-07,5.284359e-07,5.329463e-07,5.364422e-07,5.386455e-07,5.433438e-07,5.437289e-07,5.482406e-07,5.492431e-07,5.522227e-07,5.542363e-07,5.557150e-07,5.584130e-07,5.587552e-07,5.613783e-07,5.618559e-07,5.636174e-07,5.646402e-07,5.655030e-07,5.668345e-07,5.670634e-07,5.683250e-07,5.685008e-07,5.693120e-07,5.696949e-07,5.700468e-07,5.704669e-07,5.705499e-07,5.708404e-07,5.708618e-07,5.709356e-07,5.709198e-07,5.708515e-07,5.706769e-07,5.706030e-07,5.702033e-07,5.701652e-07,5.696651e-07,5.694135e-07,5.689996e-07,5.684476e-07,5.682174e-07,5.673281e-07,5.672904e-07,5.663405e-07,5.659626e-07,5.652630e-07,5.644827e-07,5.641029e-07,5.628673e-07,5.615625e-07,5.611313e-07,5.601945e-07,5.592884e-07,5.587688e-07,5.573505e-07,5.572904e-07,5.557640e-07,5.553286e-07,5.541940e-07,5.532327e-07,5.525844e-07,5.510718e-07,5.509389e-07,5.492611e-07,5.488540e-07,5.475542e-07,5.465867e-07,5.458212e-07,5.442768e-07,5.440649e-07,5.422879e-07,5.419303e-07,5.404927e-07,5.395528e-07,5.386816e-07,5.371495e-07,5.368566e-07,5.350198e-07,5.347250e-07,5.331731e-07,5.322836e-07,5.313181e-07,5.298292e-07,5.294565e-07,5.275898e-07,5.273655e-07,5.257194e-07,5.248957e-07,5.238468e-07,5.224228e-07,5.219731e-07,5.200994e-07,5.199496e-07,5.182270e-07,5.174786e-07,5.163567e-07,5.150121e-07,5.144896e-07,5.126266e-07,5.125522e-07,5.107685e-07,5.101009e-07,5.089160e-07,5.076600e-07,5.070700e-07,5.052311e-07,5.028156e-07,5.004151e-07,4.980306e-07,4.956633e-07,4.933143e-07,4.909845e-07,4.886747e-07,4.863856e-07,4.841181e-07,4.818726e-07,4.796498e-07,4.774501e-07,4.752740e-07,4.731217e-07,4.709938e-07,4.688903e-07,4.668116e-07,4.647579e-07,4.627293e-07,4.607260e-07,4.587480e-07,4.567954e-07,4.548682e-07,4.529665e-07
0.000000e+00,1.774827e-11,4.106171e-11,1.430942e-10,3.290990e-10,4.834567e-10,1.123165e-09,1.158331e-09,2.317426e-09,2.753726e-09,4.150396e-09,5.660113e-09,6.860647e-09,1.023580e-08,1.056895e-08,1.521419e-08,1.644792e-08,2.060418e-08,2.387275e-08,2.654257e-08,3.210338e-08,3.288135e-08,3.951370e-08,4.086787e-08,4.635730e-08,4.997625e-08,5.334331e-08,5.927701e-08,6.041102e-08,6.750596e-08,6.864034e-08,7.457937e-08,7.795413e-08,8.158830e-08,8.712393e-08,8.849571e-08,9.527041e-08,9.607318e-08,1.018868e-07,1.047425e-07,1.083247e-07,1.130882e-07,1.145682e-07,1.206060e-07,1.210799e-07,1.264301e-07,1.286987e-07,1.320355e-07,1.359346e-07,1.374198e-07,1.425825e-07,1.427844e-07,1.475248e-07,1.492505e-07,1.522492e-07,1.553392e-07,1.567593e-07,1.610593e-07,1.651542e-07,1.664221e-07,1.690492e-07,1.714398e-07,1.727501e-07,1.761256e-07,1.762626e-07,1.795927e-07,1.804933e-07,1.827465e-07,1.845567e-07,1.857300e-07,1.883297e-07,1.885493e-07,1.912103e-07,1.918260e-07,1.937188e-07,1.950592e-07,1.960808e-07,1.980425e-07,1.983017e-07,2.003872e-07,2.007885e-07,2.023427e-07,2.033099e-07,2.041733e-07,2.056184e-07,2.058843e-07,2.074805e-07,2.077256e-07,2.089667e-07,2.096425e-07,2.103477e-07,2.113797e-07,2.116278e-07,2.128115e-07,2.129473e-07,2.139029e-07,2.143550e-07,2.149061e-07,2.156120e-07,2.158250e-07,2.166634e-07,2.167271e-07,2.174248e-07,2.177086e-07,2.181128e-07,2.185647e-07,2.187308e-07,2.192820e-07,2.193027e-07,2.197694e-07,2.199299e-07,2.201962e-07,2.204531e-07,2.205651e-07,2.208789e-07,2.211403e-07,2.212134e-07,2.213519e-07,2.214623e-07,2.215161e-07,2.216312e-07,2.216351e-07,2.217114e-07,2.217254e-07,2.217470e-07,2.217497e-07,2.217440e-07,2.217089e-07,2.217045e-07,2.216302e-07,2.216074e-07,2.215231e-07,2.214494e-07,2.213849e-07,2.212388e-07,2.212172e-07,2.210217e-07,2.209794e-07,2.207998e-07,2.206746e-07,2.205532e-07,2.203279e-07,2.202831e-07,2.199910e-07,2.199423e-07,2.196781e-07,2.195209e-07,2.193456e-07,2.190663e-07,2.189948e-07,2.186267e-07,2.185814e-07,2.182424e-07,2.180685e-07,2.178430e-07,2.175300e-07,2.174295e-07,2.170028e-07,2.169681e-07,2.165637e-07,2.163849e-07,2.161133e-07,2.157823e-07,2.156522e-07,2.151812e-07,2.151622e-07,2.147012e-07,2.145263e-07,2.142127e-07,2.138762e-07,2.137166e-07,2.132135e-07,2.125395e-07,2.118558e-07,2.111634e-07,2.104637e-07,2.097576e-07,2.090464e-07,2.083309e-07,2.076120e-07,2.068907e-07,2.061676e-07,2.054437e-07,2.047195e-07,2.039957e-07,2.032730e-07,2.025519e-07,2.018329e-07,2.011165e-07,2.004032e-07,1.996934e-07,1.989874e-07,1.982857e-07,1.975886e-07,1.968964e-07,1.962093e-07
0.000000e+00,1.773580e-10,6.321617e-10,3.563868e-09,1.030689e-08,1.649933e-08,4.471658e-08,4.634347e-08,1.025518e-07,1.246914e-07,1.981582e-07,2.810707e-07,3.489877e-07,5.461950e-07,5.660069e-07,8.458195e-07,9.209149e-07,1.175610e-06,1.377660e-06,1.543890e-06,1.893872e-06,1.943265e-06,2.368936e-06,2.456892e-06,2.817214e-06,3.058136e-06,3.284740e-06,3.689882e-06,3.768155e-06,4.264025e-06,4.344288e-06,4.768869e-06,5.013366e-06,5.279240e-06,5.689272e-06,5.791808e-06,6.303446e-06,6.364641e-06,6.811286e-06,7.032859e-06,7.312760e-06,7.688232e-06,7.805627e-06,8.287970e-06,8.326053e-06,8.758195e-06,8.942593e-06,9.215010e-06,9.535030e-06,9.657394e-06,1.008457e-05,1.010133e-05,1.049599e-05,1.064016e-05,1.089128e-05,1.115076e-05,1.127024e-05,1.163281e-05,1.197904e-05,1.208640e-05,1.230906e-05,1.251186e-05,1.262309e-05,1.290977e-05,1.292141e-05,1.320434e-05,1.328085e-05,1.347225e-05,1.362595e-05,1.372554e-05,1.394599e-05,1.396460e-05,1.418988e-05,1.424194e-05,1.440180e-05,1.451481e-05,1.460081e-05,1.476560e-05,1.478734e-05,1.496184e-05,1.499533e-05,1.512473e-05,1.520500e-05,1.527647e-05,1.539560e-05,1.541746e-05,1.554812e-05,1.556809e-05,1.566886e-05,1.572342e-05,1.578009e-05,1.586248e-05,1.588219e-05,1.597553e-05,1.598616e-05,1.606050e-05,1.609532e-05,1.613743e-05,1.619075e-05,1.620669e-05,1.626861e-05,1.627325e-05,1.632351e-05,1.634357e-05,1.637171e-05,1.640243e-05,1.641351e-05,1.644921e-05,1.645051e-05,1.647909e-05,1.648848e-05,1.650343e-05,1.651695e-05,1.652249e-05,1.653652e-05,1.654577e-05,1.654776e-05,1.655048e-05,1.655122e-05,1.655088e-05,1.654740e-05,1.654718e-05,1.653959e-05,1.653680e-05,1.652832e-05,1.651987e-05,1.651356e-05,1.649707e-05,1.649550e-05,1.647432e-05,1.646879e-05,1.645018e-05,1.643544e-05,1.642326e-05,1.639739e-05,1.639372e-05,1.636169e-05,1.635500e-05,1.632734e-05,1.630860e-05,1.629080e-05,1.625851e-05,1.625220e-05,1.621167e-05,1.620502e-05,1.616934e-05,1.614841e-05,1.612532e-05,1.608896e-05,1.607972e-05,1.603265e-05,1.602691e-05,1.598422e-05,1.596251e-05,1.593452e-05,1.589596e-05,1.588365e-05,1.583169e-05,1.582749e-05,1.577873e-05,1.575729e-05,1.572486e-05,1.568554e-05,1.567014e-05,1.561466e-05,1.561243e-05,1.555849e-05,1.553811e-05,1.550169e-05,1.546274e-05,1.544433e-05,1.538646e-05,1.530941e-05,1.523172e-05,1.515350e-05,1.507486e-05,1.499591e-05,1.491675e-05,1.483747e-05,1.475814e-05,1.467885e-05,1.459967e-05,1.452068e-05,1.444192e-05,1.436347e-05,1.428536e-05,1.420766e-05,1.413042e-05,1.405366e-05,1.397743e-05,1.390177e-05,1.382671e-05,1.375228e-05,1.367850e-05,1.360540e-05,1.353300e-05
0.000000e+00,8.960624e-12,5.060395e-11,6.021692e-10,2.865781e-09,5.708038e-09,2.382239e-08,2.504307e-08,7.370718e-08,9.515906e-08,1.714164e-07,2.636077e-07,3.427643e-07,5.900472e-07,6.163755e-07,1.018807e-06,1.136558e-06,1.565034e-06,1.934156e-06,2.254800e-06,2.972081e-06,3.077318e-06,4.018100e-06,4.219182e-06,5.063067e-06,5.643410e-06,6.199693e-06,7.216964e-06,7.416619e-06,8.702974e-06,8.914512e-06,1.004792e-05,1.071108e-05,1.144046e-05,1.258133e-05,1.286955e-05,1.432426e-05,1.450004e-05,1.579402e-05,1.644289e-05,1.726886e-05,1.838745e-05,1.873958e-05,2.019790e-05,2.031380e-05,2.163649e-05,2.220496e-05,2.304906e-05,2.404697e-05,2.443028e-05,2.577578e-05,2.582880e-05,2.708203e-05,2.754214e-05,2.834633e-05,2.918103e-05,2.956665e-05,3.074159e-05,3.187026e-05,3.222158e-05,3.295223e-05,3.362014e-05,3.398745e-05,3.493751e-05,3.497618e-05,3.591892e-05,3.617475e-05,3.681641e-05,3.733354e-05,3.766952e-05,3.841606e-05,3.847927e-05,3.924676e-05,3.942480e-05,3.997318e-05,4.036249e-05,4.065976e-05,4.123200e-05,4.130777e-05,4.191851e-05,4.203630e-05,4.249328e-05,4.277837e-05,4.303336e-05,4.346119e-05,4.354007e-05,4.401467e-05,4.408771e-05,4.445843e-05,4.466084e-05,4.487257e-05,4.518339e-05,4.525832e-05,4.561685e-05,4.565810e-05,4.594931e-05,4.608763e-05,4.625683e-05,4.647454e-05,4.654050e-05,4.680137e-05,4.682128e-05,4.704046e-05,4.713023e-05,4.725878e-05,4.740364e-05,4.745727e-05,4.763687e-05,4.764367e-05,4.779846e-05,4.785239e-05,4.794291e-05,4.803177e-05,4.807105e-05,4.818368e-05,4.828157e-05,4.830990e-05,4.836547e-05,4.841214e-05,4.843608e-05,4.849200e-05,4.849409e-05,4.854016e-05,4.855101e-05,4.857493e-05,4.859061e-05,4.859899e-05,4.861218e-05,4.861294e-05,4.861732e-05,4.861701e-05,4.861268e-05,4.860633e-05,4.859953e-05,4.858131e-05,4.857836e-05,4.854964e-05,4.854303e-05,4.851382e-05,4.849253e-05,4.847133e-05,4.843078e-05,4.842258e-05,4.836797e-05,4.835871e-05,4.830787e-05,4.827718e-05,4.824265e-05,4.818701e-05,4.817264e-05,4.809817e-05,4.808895e-05,4.801957e-05,4.798374e-05,4.793711e-05,4.787205e-05,4.785110e-05,4.776179e-05,4.775451e-05,4.766946e-05,4.763173e-05,4.757433e-05,4.750425e-05,4.747666e-05,4.737666e-05,4.737261e-05,4.727454e-05,4.723730e-05,4.717051e-05,4.709877e-05,4.706475e-05,4.695746e-05,4.681375e-05,4.666804e-05,4.652066e-05,4.637194e-05,4.622218e-05,4.607167e-05,4.592066e-05,4.576939e-05,4.561810e-05,4.546698e-05,4.531622e-05,4.516601e-05,4.501651e-05,4.486785e-05,4.472019e-05,4.457364e-05,4.442832e-05,4.428434e-05,4.414177e-05,4.400072e-05,4.386125e-05,4.372344e-05,4.358735e-05,4.345303e-05
0.000000e+00,5.971353e-12,1.380960e-11,4.792211e-11,1.093356e-10,1.595953e-10,3.619127e-10,3.727824e-10,7.190351e-10,8.442651e-10,1.231319e-09,1.632996e-09,1.944983e-09,2.811106e-09,2.896864e-09,4.120309e-09,4.456933e-09,5.634051e-09,6.606618e-09,7.429472e-09,9.213633e-09,9.469759e-09,1.170461e-08,1.217053e-08,1.408557e-08,1.536764e-08,1.657215e-08,1.871822e-08,1.913140e-08,2.173595e-08,2.215526e-08,2.436224e-08,2.562442e-08,2.698960e-08,2.907989e-08,2.959974e-08,3.217657e-08,3.248286e-08,3.470611e-08,3.580099e-08,3.717647e-08,3.900819e-08,3.957773e-08,4.190194e-08,4.208435e-08,4.414287e-08,4.501485e-08,4.629596e-08,4.778998e-08,4.835807e-08,5.032734e-08,5.040416e-08,5.220300e-08,5.285532e-08,5.398519e-08,5.514412e-08,5.567481e-08,5.727339e-08,5.878294e-08,5.924757e-08,6.020583e-08,6.107224e-08,6.154475e-08,6.275377e-08,6.280256e-08,6.398228e-08,6.429903e-08,6.508701e-08,6.571516e-08,6.611988e-08,6.700935e-08,6.708402e-08,6.798254e-08,6.818876e-08,6.881850e-08,6.926042e-08,6.959488e-08,7.023113e-08,7.031460e-08,7.098048e-08,7.110743e-08,7.159524e-08,7.189559e-08,7.216151e-08,7.260155e-08,7.268181e-08,7.315856e-08,7.323095e-08,7.359408e-08,7.378915e-08,7.399060e-08,7.428116e-08,7.435023e-08,7.467499e-08,7.471171e-08,7.496681e-08,7.508525e-08,7.522752e-08,7.540593e-08,7.545887e-08,7.566252e-08,7.567766e-08,7.584004e-08,7.590408e-08,7.599295e-08,7.608859e-08,7.612265e-08,7.623052e-08,7.623440e-08,7.631782e-08,7.634446e-08,7.638579e-08,7.642155e-08,7.643557e-08,7.646826e-08,7.648491e-08,7.648701e-08,7.648649e-08,7.648004e-08,7.647395e-08,7.644944e-08,7.644816e-08,7.640998e-08,7.639717e-08,7.636018e-08,7.632504e-08,7.629952e-08,7.623475e-08,7.622873e-08,7.614847e-08,7.612787e-08,7.605938e-08,7.600586e-08,7.596207e-08,7.587009e-08,7.585711e-08,7.574505e-08,7.572183e-08,7.562639e-08,7.556224e-08,7.550162e-08,7.539244e-08,7.537121e-08,7.523559e-08,7.521343e-08,7.509516e-08,7.502616e-08,7.495032e-08,7.483151e-08,7.480143e-08,7.464884e-08,7.463030e-08,7.449289e-08,7.442328e-08,7.433387e-08,7.421115e-08,7.417209e-08,7.400782e-08,7.399458e-08,7.384132e-08,7.377415e-08,7.367283e-08,7.355043e-08,7.350260e-08,7.333085e-08,7.332395e-08,7.315777e-08,7.309517e-08,7.298357e-08,7.286456e-08,7.280842e-08,7.263251e-08,7.239942e-08,7.216563e-08,7.193146e-08,7.169722e-08,7.146318e-08,7.122960e-08,7.099671e-08,7.076472e-08,7.053384e-08,7.030424e-08,7.007608e-08,6.984952e-08,6.962470e-08,6.940174e-08,6.918075e-08,6.896184e-08,6.874510e-08,6.853060e-08,6.831843e-08,6.810866e-08,6.790133e-08,6.769650e-08,6.749422e-08,6.729452e-08
0.000000e+00,4.097544e-10,1.354868e-09,7.002994e-09,1.962878e-08,3.128244e-08,8.651237e-08,8.980832e-08,2.100485e-07,2.601128e-07,4.320839e-07,6.284528e-07,7.861226e-07,1.218826e-06,1.260401e-06,1.822527e-06,1.967714e-06,2.449897e-06,2.825183e-06,3.131068e-06,3.770131e-06,3.859973e-06,4.632377e-06,4.791732e-06,5.444323e-06,5.880766e-06,6.291553e-06,7.027072e-06,7.169373e-06,8.072691e-06,8.219233e-06,8.996140e-06,9.444936e-06,9.934259e-06,1.069176e-05,1.088177e-05,1.183360e-05,1.194789e-05,1.278507e-05,1.320248e-05,1.373189e-05,1.444600e-05,1.467024e-05,1.559680e-05,1.567033e-05,1.650870e-05,1.686880e-05,1.740352e-05,1.803607e-05,1.827925e-05,1.913426e-05,1.916801e-05,1.996726e-05,2.026154e-05,2.077723e-05,2.131448e-05,2.156345e-05,2.232537e-05,2.306267e-05,2.329337e-05,2.377515e-05,2.421810e-05,2.446279e-05,2.509959e-05,2.512563e-05,2.576385e-05,2.593816e-05,2.637766e-05,2.673436e-05,2.696737e-05,2.748892e-05,2.753333e-05,2.807593e-05,2.820272e-05,2.859558e-05,2.887673e-05,2.909274e-05,2.951200e-05,2.956787e-05,3.002147e-05,3.010965e-05,3.045403e-05,3.067082e-05,3.086606e-05,3.119667e-05,3.125807e-05,3.163058e-05,3.168840e-05,3.198410e-05,3.214720e-05,3.231915e-05,3.257424e-05,3.263625e-05,3.293590e-05,3.297071e-05,3.321862e-05,3.333778e-05,3.348491e-05,3.367660e-05,3.373526e-05,3.397016e-05,3.398829e-05,3.419009e-05,3.427398e-05,3.439553e-05,3.453473e-05,3.458694e-05,3.476479e-05,3.477163e-05,3.492952e-05,3.498569e-05,3.508157e-05,3.517794e-05,3.522137e-05,3.534935e-05,3.546591e-05,3.550087e-05,3.557146e-05,3.563342e-05,3.566640e-05,3.574791e-05,3.575111e-05,3.582596e-05,3.584520e-05,3.589132e-05,3.592613e-05,3.594755e-05,3.599151e-05,3.599499e-05,3.603398e-05,3.604212e-05,3.606486e-05,3.607872e-05,3.608793e-05,3.610204e-05,3.610352e-05,3.611193e-05,3.611277e-05,3.611344e-05,3.611160e-05,3.610835e-05,3.609918e-05,3.609694e-05,3.607946e-05,3.607612e-05,3.605619e-05,3.604304e-05,3.602738e-05,3.600051e-05,3.599327e-05,3.595411e-05,3.594908e-05,3.591012e-05,3.588929e-05,3.586152e-05,3.582165e-05,3.580854e-05,3.575138e-05,3.574664e-05,3.569025e-05,3.566473e-05,3.562535e-05,3.557638e-05,3.555685e-05,3.548496e-05,3.548202e-05,3.540984e-05,3.538204e-05,3.533167e-05,3.527686e-05,3.525061e-05,3.516683e-05,3.505233e-05,3.493369e-05,3.481124e-05,3.468528e-05,3.455613e-05,3.442406e-05,3.428933e-05,3.415221e-05,3.401293e-05,3.387174e-05,3.372885e-05,3.358446e-05,3.343879e-05,3.329200e-05,3.314429e-05,3.299583e-05,3.284676e-05,3.269725e-05,3.254743e-05,3.239745e-05,3.224741e-05,3.209746e-05,3.194771e-05,3.179824e-05
0.000000e+00,1.087725e-12,7.378115e-12,1.272058e-10,8.387500e-10,1.987629e-09,1.275177e-08,1.363336e-08,5.960388e-08,8.520944e-08,1.961297e-07,3.634660e-07,5.308294e-07,1.168900e-06,1.246047e-06,2.624992e-06,3.097368e-06,5.079643e-06,7.128866e-06,9.178568e-06,1.473630e-05,1.567126e-05,2.550447e-05,2.796953e-05,3.982647e-05,4.948568e-05,5.997738e-05,8.250840e-05,8.746610e-05,1.239364e-04,1.307203e-04,1.711254e-04,1.981067e-04,2.308172e-04,2.887726e-04,3.047956e-04,3.947972e-04,4.067535e-04,5.024670e-04,5.558349e-04,6.293195e-04,7.393932e-04,7.767029e-04,9.457711e-04,9.602630e-04,1.137460e-03,1.220635e-03,1.352473e-03,1.521990e-03,1.591265e-03,1.854046e-03,1.865056e-03,2.140773e-03,2.249810e-03,2.451163e-03,2.675489e-03,2.784698e-03,3.140639e-03,3.518047e-03,3.643172e-03,3.915797e-03,4.180444e-03,4.332602e-03,4.749339e-03,4.767036e-03,5.217554e-03,5.346360e-03,5.682517e-03,5.967720e-03,6.160216e-03,6.609433e-03,6.648889e-03,7.146749e-03,7.267402e-03,7.651997e-03,7.937497e-03,8.162847e-03,8.615628e-03,8.677536e-03,9.194342e-03,9.297810e-03,9.711599e-03,9.980215e-03,1.022770e-02,1.065922e-02,1.074113e-02,1.125043e-02,1.133144e-02,1.175424e-02,1.199375e-02,1.225132e-02,1.264333e-02,1.274047e-02,1.322065e-02,1.327762e-02,1.369087e-02,1.389439e-02,1.415027e-02,1.449169e-02,1.459806e-02,1.503357e-02,1.506787e-02,1.545622e-02,1.562156e-02,1.586549e-02,1.615166e-02,1.626098e-02,1.664236e-02,1.665731e-02,1.700935e-02,1.713791e-02,1.736178e-02,1.759305e-02,1.769953e-02,1.802253e-02,1.833078e-02,1.842631e-02,1.862433e-02,1.880454e-02,1.890329e-02,1.915747e-02,1.916778e-02,1.941799e-02,1.948552e-02,1.965413e-02,1.978917e-02,1.987645e-02,2.006900e-02,2.008521e-02,2.028071e-02,2.032569e-02,2.046326e-02,2.055996e-02,2.063319e-02,2.077257e-02,2.079085e-02,2.093658e-02,2.096433e-02,2.107075e-02,2.113607e-02,2.119373e-02,2.128865e-02,2.130589e-02,2.140761e-02,2.142294e-02,2.149926e-02,2.153978e-02,2.158122e-02,2.164006e-02,2.165386e-02,2.171756e-02,2.172462e-02,2.177268e-02,2.179431e-02,2.181958e-02,2.184994e-02,2.185861e-02,2.189013e-02,2.189234e-02,2.191448e-02,2.192228e-02,2.193198e-02,2.194052e-02,2.194296e-02,2.194774e-02,2.194781e-02,2.194663e-02,2.194485e-02,2.193992e-02,2.193231e-02,2.192791e-02,2.191087e-02,2.188113e-02,2.184371e-02,2.179916e-02,2.174804e-02,2.169086e-02,2.162811e-02,2.156025e-02,2.148772e-02,2.141094e-02,2.133029e-02,2.124615e-02,2.115885e-02,2.106873e-02,2.097610e-02,2.088124e-02,2.078442e-02,2.068590e-02,2.058590e-02,2.048466e-02,2.038238e-02,2.027924e-02,2.017544e-02,2.007112e-02,1.996646e-02
0.000000e+00,2.349407e-12,1.444243e-11,2.031585e-10,1.113900e-09,2.386674e-09,1.182994e-08,1.251680e-08,4.255716e-08,5.687761e-08,1.107826e-07,1.798382e-07,2.412635e-07,4.413075e-07,4.631893e-07,8.096117e-07,9.150706e-07,1.314109e-06,1.676668e-06,2.005159e-06,2.782364e-06,2.900986e-06,4.007676e-06,4.254069e-06,5.320644e-06,6.081070e-06,6.827676e-06,8.231300e-06,8.511905e-06,1.035396e-05,1.066197e-05,1.233322e-05,1.332577e-05,1.442844e-05,1.617365e-05,1.661810e-05,1.888067e-05,1.915606e-05,2.119483e-05,2.222401e-05,2.353978e-05,2.533025e-05,2.589562e-05,2.824365e-05,2.843063e-05,3.056666e-05,3.148534e-05,3.284919e-05,3.445985e-05,3.507766e-05,3.724047e-05,3.732548e-05,3.932799e-05,4.005951e-05,4.133248e-05,4.264502e-05,4.324803e-05,4.507037e-05,4.679673e-05,4.732863e-05,4.842566e-05,4.941684e-05,4.995682e-05,5.133534e-05,5.139085e-05,5.272917e-05,5.308702e-05,5.397386e-05,5.467678e-05,5.512749e-05,5.611095e-05,5.619303e-05,5.717374e-05,5.739686e-05,5.807307e-05,5.854248e-05,5.889460e-05,5.955608e-05,5.964198e-05,6.031887e-05,6.044611e-05,6.092891e-05,6.122091e-05,6.147570e-05,6.188867e-05,6.196271e-05,6.239337e-05,6.245726e-05,6.277094e-05,6.293426e-05,6.309861e-05,6.332686e-05,6.337941e-05,6.361625e-05,6.364185e-05,6.381190e-05,6.388562e-05,6.396900e-05,6.406417e-05,6.409007e-05,6.417750e-05,6.418310e-05,6.423353e-05,6.424764e-05,6.426031e-05,6.426263e-05,6.425987e-05,6.423412e-05,6.423259e-05,6.418485e-05,6.416169e-05,6.411378e-05,6.405382e-05,6.402251e-05,6.391256e-05,6.378533e-05,6.374120e-05,6.364219e-05,6.354280e-05,6.348438e-05,6.332019e-05,6.331309e-05,6.312944e-05,6.307595e-05,6.293447e-05,6.281247e-05,6.272917e-05,6.253196e-05,6.251445e-05,6.229119e-05,6.223642e-05,6.206019e-05,6.192773e-05,6.182221e-05,6.160758e-05,6.157796e-05,6.132812e-05,6.127754e-05,6.107331e-05,6.093904e-05,6.081411e-05,6.059339e-05,6.055106e-05,6.028470e-05,6.024180e-05,6.001547e-05,5.988536e-05,5.974385e-05,5.952509e-05,5.947023e-05,5.919501e-05,5.916190e-05,5.891856e-05,5.879661e-05,5.864120e-05,5.843000e-05,5.836325e-05,5.808501e-05,5.806275e-05,5.780675e-05,5.769549e-05,5.752871e-05,5.732879e-05,5.725113e-05,5.697423e-05,5.696317e-05,5.669821e-05,5.659909e-05,5.642325e-05,5.623697e-05,5.614953e-05,5.587719e-05,5.552010e-05,5.516598e-05,5.481512e-05,5.446775e-05,5.412408e-05,5.378431e-05,5.344860e-05,5.311708e-05,5.278989e-05,5.246712e-05,5.214887e-05,5.183520e-05,5.152618e-05,5.122185e-05,5.092225e-05,5.062740e-05,5.033731e-05,5.005200e-05,4.977145e-05,4.949566e-05,4.922462e-05,4.895830e-05,4.869667e-05,4.843971e-05
0.000000e+00,9.827630e-13,6.280248e-12,9.564876e-11,5.631757e-10,1.254229e-09,6.858555e-09,7.285468e-09,2.724038e-08,3.734363e-08,7.746799e-08,1.322147e-07,1.831724e-07,3.594562e-07,3.795009e-07,7.115000e-07,8.170916e-07,1.231422e-06,1.624783e-06,1.992807e-06,2.900577e-06,3.043195e-06,4.418285e-06,4.734379e-06,6.139035e-06,7.173029e-06,8.211633e-06,1.021989e-05,1.062930e-05,1.337491e-05,1.384307e-05,1.642365e-05,1.798603e-05,1.974541e-05,2.257694e-05,2.330667e-05,2.707210e-05,2.753596e-05,3.100565e-05,3.278045e-05,3.507162e-05,3.822894e-05,3.923536e-05,4.346390e-05,4.380404e-05,4.772644e-05,4.943455e-05,5.199471e-05,5.505700e-05,5.624324e-05,6.044941e-05,6.061649e-05,6.459357e-05,6.606696e-05,6.865891e-05,7.137105e-05,7.263140e-05,7.649955e-05,8.025423e-05,8.143057e-05,8.388846e-05,8.614871e-05,8.739710e-05,9.064401e-05,9.077668e-05,9.402514e-05,9.491106e-05,9.714160e-05,9.894813e-05,1.001262e-04,1.027564e-04,1.029799e-04,1.057043e-04,1.063392e-04,1.083017e-04,1.097017e-04,1.107746e-04,1.128502e-04,1.131260e-04,1.153591e-04,1.157918e-04,1.174772e-04,1.185343e-04,1.194838e-04,1.210858e-04,1.213825e-04,1.231768e-04,1.234545e-04,1.248705e-04,1.256487e-04,1.264670e-04,1.276767e-04,1.279699e-04,1.293828e-04,1.295465e-04,1.307091e-04,1.312660e-04,1.319520e-04,1.328430e-04,1.331150e-04,1.342012e-04,1.342848e-04,1.352137e-04,1.355987e-04,1.361555e-04,1.367915e-04,1.370296e-04,1.378387e-04,1.378698e-04,1.385857e-04,1.388399e-04,1.392731e-04,1.397079e-04,1.399036e-04,1.404795e-04,1.410033e-04,1.411603e-04,1.414773e-04,1.417554e-04,1.419035e-04,1.422699e-04,1.422843e-04,1.426215e-04,1.427084e-04,1.429172e-04,1.430755e-04,1.431733e-04,1.433754e-04,1.433915e-04,1.435737e-04,1.436122e-04,1.437214e-04,1.437897e-04,1.438363e-04,1.439115e-04,1.439199e-04,1.439738e-04,1.439811e-04,1.439992e-04,1.440017e-04,1.439977e-04,1.439765e-04,1.439705e-04,1.439188e-04,1.439083e-04,1.438439e-04,1.438000e-04,1.437469e-04,1.436541e-04,1.436289e-04,1.434910e-04,1.434731e-04,1.433341e-04,1.432594e-04,1.431594e-04,1.430151e-04,1.429676e-04,1.427597e-04,1.427424e-04,1.425366e-04,1.424433e-04,1.422991e-04,1.421195e-04,1.420479e-04,1.417838e-04,1.417729e-04,1.415075e-04,1.414052e-04,1.412197e-04,1.410178e-04,1.409211e-04,1.406123e-04,1.401901e-04,1.397526e-04,1.393008e-04,1.388361e-04,1.383596e-04,1.378723e-04,1.373751e-04,1.368691e-04,1.363550e-04,1.358338e-04,1.353062e-04,1.347729e-04,1.342346e-04,1.336920e-04,1.331457e-04,1.325963e-04,1.320443e-04,1.314902e-04,1.309345e-04,1.303776e-04,1.298200e-04,1.292621e-04,1.287042e-04,1.281468e-04
0.000000e+00,1.280741e-12,8.069566e-12,1.192624e-10,6.825615e-10,1.495908e-09,7.833919e-09,8.306417e-09,2.965990e-08,4.013110e-08,8.045579e-08,1.334021e-07,1.812604e-07,3.401331e-07,3.577147e-07,6.397380e-07,7.267428e-07,1.060053e-06,1.368074e-06,1.651117e-06,2.334599e-06,2.440503e-06,3.446387e-06,3.674312e-06,4.675058e-06,5.400641e-06,6.121151e-06,7.493307e-06,7.769916e-06,9.600358e-06,9.908493e-06,1.158826e-05,1.259101e-05,1.370852e-05,1.548346e-05,1.593655e-05,1.824909e-05,1.853122e-05,2.062436e-05,2.168406e-05,2.304199e-05,2.489590e-05,2.548284e-05,2.792875e-05,2.812412e-05,3.036245e-05,3.132880e-05,3.276750e-05,3.447262e-05,3.512834e-05,3.743043e-05,3.752110e-05,3.966037e-05,4.044311e-05,4.180608e-05,4.321156e-05,4.385693e-05,4.580388e-05,4.763954e-05,4.820246e-05,4.935819e-05,5.039479e-05,5.095580e-05,5.237338e-05,5.242996e-05,5.377979e-05,5.413550e-05,5.500580e-05,5.568265e-05,5.610974e-05,5.701998e-05,5.709445e-05,5.796371e-05,5.815564e-05,5.872204e-05,5.910014e-05,5.937457e-05,5.986570e-05,5.992688e-05,6.038487e-05,6.046569e-05,6.075462e-05,6.091405e-05,6.104226e-05,6.122490e-05,6.125391e-05,6.139557e-05,6.141213e-05,6.147308e-05,6.148915e-05,6.149204e-05,6.146867e-05,6.145782e-05,6.137547e-05,6.136258e-05,6.124975e-05,6.118185e-05,6.108511e-05,6.093649e-05,6.088565e-05,6.065521e-05,6.063554e-05,6.039728e-05,6.028714e-05,6.011508e-05,5.989853e-05,5.981155e-05,5.948937e-05,5.947612e-05,5.915094e-05,5.902557e-05,5.879848e-05,5.855181e-05,5.843396e-05,5.805918e-05,5.767573e-05,5.755143e-05,5.728506e-05,5.703185e-05,5.688847e-05,5.650326e-05,5.648712e-05,5.608206e-05,5.596810e-05,5.567420e-05,5.542849e-05,5.526437e-05,5.488624e-05,5.485333e-05,5.444173e-05,5.434293e-05,5.403017e-05,5.379990e-05,5.361916e-05,5.325830e-05,5.320917e-05,5.280063e-05,5.271913e-05,5.239391e-05,5.218324e-05,5.198933e-05,5.165135e-05,5.158718e-05,5.118774e-05,5.112409e-05,5.079122e-05,5.060199e-05,5.039783e-05,5.008549e-05,5.000775e-05,4.962114e-05,4.957498e-05,4.923813e-05,4.907078e-05,4.885884e-05,4.857314e-05,4.848338e-05,4.811183e-05,4.808228e-05,4.774428e-05,4.759839e-05,4.738078e-05,4.712160e-05,4.702139e-05,4.666616e-05,4.665203e-05,4.631511e-05,4.618977e-05,4.596828e-05,4.573486e-05,4.562569e-05,4.528735e-05,4.484726e-05,4.441458e-05,4.398931e-05,4.357141e-05,4.316086e-05,4.275760e-05,4.236157e-05,4.197272e-05,4.159096e-05,4.121623e-05,4.084843e-05,4.048748e-05,4.013329e-05,3.978576e-05,3.944480e-05,3.911030e-05,3.878216e-05,3.846029e-05,3.814457e-05,3.783489e-05,3.753116e-05,3.723327e-05,3.694110e-05,3.665455e-05
0.000000e+00,1.179317e-11,2.766504e-11,9.744587e-11,2.237227e-10,3.271504e-10,7.423701e-10,7.646030e-10,1.468020e-09,1.720056e-09,2.491183e-09,3.279583e-09,3.884316e-09,5.533222e-09,5.694417e-09,7.964147e-09,8.581363e-09,1.072795e-08,1.249946e-08,1.400491e-08,1.731119e-08,1.779188e-08,2.206308e-08,2.297196e-08,2.677722e-08,2.938770e-08,3.188602e-08,3.644583e-08,3.733948e-08,4.308776e-08,4.403153e-08,4.908154e-08,5.203143e-08,5.527214e-08,6.033407e-08,6.161160e-08,6.805308e-08,6.883075e-08,7.455129e-08,7.741727e-08,8.106308e-08,8.599608e-08,8.754794e-08,9.396848e-08,9.447830e-08,1.002907e-07,1.027851e-07,1.064843e-07,1.108490e-07,1.125227e-07,1.183832e-07,1.186137e-07,1.240468e-07,1.260344e-07,1.294980e-07,1.330771e-07,1.347245e-07,1.397175e-07,1.444705e-07,1.459401e-07,1.489798e-07,1.517370e-07,1.532438e-07,1.571069e-07,1.572630e-07,1.610393e-07,1.620536e-07,1.645763e-07,1.665854e-07,1.678785e-07,1.707139e-07,1.709515e-07,1.738017e-07,1.744533e-07,1.764360e-07,1.778197e-07,1.788620e-07,1.808306e-07,1.810873e-07,1.831199e-07,1.835041e-07,1.849680e-07,1.858588e-07,1.866398e-07,1.879136e-07,1.881432e-07,1.894865e-07,1.896871e-07,1.906775e-07,1.911975e-07,1.917242e-07,1.924626e-07,1.926339e-07,1.934143e-07,1.934996e-07,1.940724e-07,1.943250e-07,1.946152e-07,1.949547e-07,1.950494e-07,1.953814e-07,1.954037e-07,1.956174e-07,1.956863e-07,1.957634e-07,1.958160e-07,1.958251e-07,1.958078e-07,1.958055e-07,1.957168e-07,1.956669e-07,1.955570e-07,1.954114e-07,1.953331e-07,1.950497e-07,1.947110e-07,1.945916e-07,1.943211e-07,1.940464e-07,1.938838e-07,1.934228e-07,1.934027e-07,1.928814e-07,1.927287e-07,1.923232e-07,1.919717e-07,1.917310e-07,1.911588e-07,1.911079e-07,1.904566e-07,1.902964e-07,1.897798e-07,1.893905e-07,1.890799e-07,1.884467e-07,1.883592e-07,1.876200e-07,1.874702e-07,1.868644e-07,1.864656e-07,1.860942e-07,1.854373e-07,1.853113e-07,1.845174e-07,1.843894e-07,1.837141e-07,1.833257e-07,1.829030e-07,1.822494e-07,1.820855e-07,1.812628e-07,1.811638e-07,1.804363e-07,1.800717e-07,1.796071e-07,1.789757e-07,1.787762e-07,1.779448e-07,1.778782e-07,1.771136e-07,1.767815e-07,1.762837e-07,1.756874e-07,1.754558e-07,1.746307e-07,1.745978e-07,1.738091e-07,1.735142e-07,1.729915e-07,1.724383e-07,1.721787e-07,1.713712e-07,1.703142e-07,1.692682e-07,1.682343e-07,1.672133e-07,1.662058e-07,1.652126e-07,1.642341e-07,1.632708e-07,1.623232e-07,1.613915e-07,1.604761e-07,1.595770e-07,1.586945e-07,1.578288e-07,1.569798e-07,1.561476e-07,1.553322e-07,1.545335e-07,1.537515e-07,1.529861e-07,1.522372e-07,1.515046e-07,1.507882e-07,1.500878e-07
0.000000e+00,1.662498e-11,7.701275e-11,6.392839e-10,2.313710e-09,4.042691e-09,1.267455e-08,1.318783e-08,3.099170e-08,3.790323e-08,6.017297e-08,8.420946e-08,1.032821e-07,1.573297e-07,1.627435e-07,2.408593e-07,2.626221e-07,3.397167e-07,4.047683e-07,4.609254e-07,5.866734e-07,6.051993e-07,7.720437e-07,8.079950e-07,9.598583e-07,1.065074e-06,1.166392e-06,1.352553e-06,1.389193e-06,1.625838e-06,1.664829e-06,1.873998e-06,1.996542e-06,2.131426e-06,2.342580e-06,2.395951e-06,2.665467e-06,2.698047e-06,2.937952e-06,3.058288e-06,3.211488e-06,3.418969e-06,3.484280e-06,3.754678e-06,3.776160e-06,4.021192e-06,4.126408e-06,4.282502e-06,4.466775e-06,4.537465e-06,4.785109e-06,4.794851e-06,5.024630e-06,5.108741e-06,5.255385e-06,5.407032e-06,5.476878e-06,5.688745e-06,5.890748e-06,5.953280e-06,6.082751e-06,6.200362e-06,6.264713e-06,6.429985e-06,6.436672e-06,6.598731e-06,6.642353e-06,6.751047e-06,6.837845e-06,6.893828e-06,7.016972e-06,7.027316e-06,7.151781e-06,7.180342e-06,7.267515e-06,7.328626e-06,7.374826e-06,7.462546e-06,7.474034e-06,7.565464e-06,7.582846e-06,7.649444e-06,7.690278e-06,7.726301e-06,7.785595e-06,7.796362e-06,7.859947e-06,7.869541e-06,7.917372e-06,7.942838e-06,7.968944e-06,8.006190e-06,8.014964e-06,8.055721e-06,8.060272e-06,8.091497e-06,8.105730e-06,8.122561e-06,8.143178e-06,8.149173e-06,8.171582e-06,8.173200e-06,8.190030e-06,8.196352e-06,8.204747e-06,8.213157e-06,8.215954e-06,8.223861e-06,8.224111e-06,8.228668e-06,8.229678e-06,8.230568e-06,8.230293e-06,8.229744e-06,8.226369e-06,8.220610e-06,8.218290e-06,8.212625e-06,8.206416e-06,8.202563e-06,8.191083e-06,8.190567e-06,8.176773e-06,8.172605e-06,8.161307e-06,8.151278e-06,8.144294e-06,8.127373e-06,8.125847e-06,8.106076e-06,8.101146e-06,8.085085e-06,8.072834e-06,8.062972e-06,8.042658e-06,8.039829e-06,8.015745e-06,8.010823e-06,7.990802e-06,7.977518e-06,7.965078e-06,7.942922e-06,7.938648e-06,7.911582e-06,7.907196e-06,7.883944e-06,7.870494e-06,7.855798e-06,7.832954e-06,7.827201e-06,7.798209e-06,7.794706e-06,7.768874e-06,7.755871e-06,7.739244e-06,7.716557e-06,7.709366e-06,7.679282e-06,7.676867e-06,7.649032e-06,7.636895e-06,7.618655e-06,7.596725e-06,7.588186e-06,7.557659e-06,7.556437e-06,7.527104e-06,7.516103e-06,7.496551e-06,7.475789e-06,7.466026e-06,7.435556e-06,7.395458e-06,7.355545e-06,7.315864e-06,7.276454e-06,7.237354e-06,7.198596e-06,7.160211e-06,7.122226e-06,7.084665e-06,7.047548e-06,7.010895e-06,6.974722e-06,6.939042e-06,6.903869e-06,6.869212e-06,6.835079e-06,6.801479e-06,6.768416e-06,6.735894e-06,6.703918e-06,6.672487e-06,6.641605e-06,6.611270e-06,6.581481e-06
0.000000e+00,6.844518e-13,4.398180e-12,6.772652e-11,4.024955e-10,9.006130e-10,4.976490e-09,5.288164e-09,1.990946e-08,2.732531e-08,5.675989e-08,9.679927e-08,1.339193e-07,2.613433e-07,2.757495e-07,5.126926e-07,5.875976e-07,8.806055e-07,1.158565e-06,1.419210e-06,2.066812e-06,2.169296e-06,3.169011e-06,3.401860e-06,4.450251e-06,5.235804e-06,6.036074e-06,7.613395e-06,7.939539e-06,1.016385e-05,1.054924e-05,1.270332e-05,1.403060e-05,1.554481e-05,1.802279e-05,1.866923e-05,2.205289e-05,2.247509e-05,2.566877e-05,2.732581e-05,2.948748e-05,3.250636e-05,3.347810e-05,3.760889e-05,3.794445e-05,4.184791e-05,4.356672e-05,4.616354e-05,4.930088e-05,5.052495e-05,5.490253e-05,5.507756e-05,5.926828e-05,6.083196e-05,6.359611e-05,6.650507e-05,6.786209e-05,7.204464e-05,7.612463e-05,7.740579e-05,8.008547e-05,8.255126e-05,8.391305e-05,8.745131e-05,8.759571e-05,9.112415e-05,9.208346e-05,9.449126e-05,9.643191e-05,9.769199e-05,1.004869e-04,1.007231e-04,1.035832e-04,1.042441e-04,1.062722e-04,1.077037e-04,1.087913e-04,1.108695e-04,1.111429e-04,1.133304e-04,1.137485e-04,1.153578e-04,1.163504e-04,1.172299e-04,1.186862e-04,1.189519e-04,1.205293e-04,1.207686e-04,1.219679e-04,1.226110e-04,1.232739e-04,1.242273e-04,1.244534e-04,1.255124e-04,1.256317e-04,1.264571e-04,1.268382e-04,1.272936e-04,1.278606e-04,1.280278e-04,1.286654e-04,1.287124e-04,1.292122e-04,1.294067e-04,1.296735e-04,1.299557e-04,1.300546e-04,1.303606e-04,1.303713e-04,1.305963e-04,1.306648e-04,1.307662e-04,1.308465e-04,1.308749e-04,1.309265e-04,1.309249e-04,1.309139e-04,1.308741e-04,1.308173e-04,1.307775e-04,1.306449e-04,1.306385e-04,1.304604e-04,1.304040e-04,1.302462e-04,1.301015e-04,1.299987e-04,1.297439e-04,1.297206e-04,1.294145e-04,1.293371e-04,1.290827e-04,1.288865e-04,1.287275e-04,1.283972e-04,1.283509e-04,1.279550e-04,1.278737e-04,1.275416e-04,1.273203e-04,1.271125e-04,1.267410e-04,1.266692e-04,1.262133e-04,1.261393e-04,1.257462e-04,1.255184e-04,1.252693e-04,1.248815e-04,1.247837e-04,1.242908e-04,1.242312e-04,1.237914e-04,1.235700e-04,1.232867e-04,1.229002e-04,1.227777e-04,1.222651e-04,1.222239e-04,1.217498e-04,1.215431e-04,1.212325e-04,1.208593e-04,1.207141e-04,1.201950e-04,1.201742e-04,1.196759e-04,1.194892e-04,1.191575e-04,1.188055e-04,1.186401e-04,1.181243e-04,1.174466e-04,1.167734e-04,1.161054e-04,1.154435e-04,1.147882e-04,1.141401e-04,1.134998e-04,1.128676e-04,1.122440e-04,1.116293e-04,1.110239e-04,1.104278e-04,1.098413e-04,1.092647e-04,1.086980e-04,1.081412e-04,1.075946e-04,1.070581e-04,1.065317e-04,1.060154e-04,1.055093e-04,1.050133e-04,1.045273e-04,1.040512e-04
0.000000e+00,2.654154e-11,6.317259e-11,2.262487e-10,5.246773e-10,7.711351e-10,1.774930e-09,1.829273e-09,3.577249e-09,4.216427e-09,6.210822e-09,8.303868e-09,9.940026e-09,1.449133e-08,1.494047e-08,2.126871e-08,2.297822e-08,2.884649e-08,3.358600e-08,3.754016e-08,4.601340e-08,4.722411e-08,5.779217e-08,6.000342e-08,6.914921e-08,7.533596e-08,8.120249e-08,9.179590e-08,9.385700e-08,1.070142e-07,1.091592e-07,1.205724e-07,1.271927e-07,1.344292e-07,1.456613e-07,1.484830e-07,1.626357e-07,1.643362e-07,1.767952e-07,1.830048e-07,1.908748e-07,2.014741e-07,2.047973e-07,2.184939e-07,2.195780e-07,2.319055e-07,2.371788e-07,2.449819e-07,2.541658e-07,2.576818e-07,2.699721e-07,2.704548e-07,2.818277e-07,2.859855e-07,2.932300e-07,3.007181e-07,3.041667e-07,3.146307e-07,3.246197e-07,3.277159e-07,3.341349e-07,3.399781e-07,3.431811e-07,3.514308e-07,3.517654e-07,3.598972e-07,3.620946e-07,3.675877e-07,3.719952e-07,3.748490e-07,3.811619e-07,3.816946e-07,3.881383e-07,3.896266e-07,3.941946e-07,3.974223e-07,3.998780e-07,4.045827e-07,4.052034e-07,4.101853e-07,4.111417e-07,4.148383e-07,4.171327e-07,4.191767e-07,4.225881e-07,4.232145e-07,4.269653e-07,4.275397e-07,4.304424e-07,4.320180e-07,4.336586e-07,4.360521e-07,4.366264e-07,4.393577e-07,4.396701e-07,4.418640e-07,4.428985e-07,4.441566e-07,4.457625e-07,4.462460e-07,4.481424e-07,4.482861e-07,4.498558e-07,4.504919e-07,4.513953e-07,4.524012e-07,4.527701e-07,4.539886e-07,4.540342e-07,4.550591e-07,4.554098e-07,4.559895e-07,4.565459e-07,4.567871e-07,4.574592e-07,4.580125e-07,4.581655e-07,4.584535e-07,4.586797e-07,4.587884e-07,4.590156e-07,4.590231e-07,4.591632e-07,4.591862e-07,4.592140e-07,4.592038e-07,4.591807e-07,4.590799e-07,4.590681e-07,4.588807e-07,4.588251e-07,4.586231e-07,4.584496e-07,4.582993e-07,4.579628e-07,4.579134e-07,4.574691e-07,4.573735e-07,4.569700e-07,4.566900e-07,4.564196e-07,4.559200e-07,4.558211e-07,4.551776e-07,4.550706e-07,4.544920e-07,4.541488e-07,4.537671e-07,4.531608e-07,4.530057e-07,4.522101e-07,4.521125e-07,4.513829e-07,4.510094e-07,4.505262e-07,4.498568e-07,4.496423e-07,4.487332e-07,4.486594e-07,4.478008e-07,4.474218e-07,4.468470e-07,4.461481e-07,4.458736e-07,4.448823e-07,4.448423e-07,4.438745e-07,4.435080e-07,4.428519e-07,4.421487e-07,4.418158e-07,4.407676e-07,4.393676e-07,4.379514e-07,4.365218e-07,4.350810e-07,4.336314e-07,4.321749e-07,4.307135e-07,4.292491e-07,4.277832e-07,4.263175e-07,4.248533e-07,4.233919e-07,4.219347e-07,4.204827e-07,4.190370e-07,4.175986e-07,4.161683e-07,4.147469e-07,4.133353e-07,4.119340e-07,4.105437e-07,4.091651e-07,4.077985e-07,4.064445e-07
0.000000e+00,1.326318e-10,4.202784e-10,2.045870e-09,5.478488e-09,8.501281e-09,2.162738e-08,2.236309e-08,4.691498e-08,5.623509e-08,8.619877e-08,1.187726e-07,1.448278e-07,2.188844e-07,2.262576e-07,3.300698e-07,3.579106e-07,4.523741e-07,5.273105e-07,5.889099e-07,7.182835e-07,7.364955e-07,8.928288e-07,9.249774e-07,1.056051e-06,1.143090e-06,1.224487e-06,1.368831e-06,1.396538e-06,1.570663e-06,1.598616e-06,1.745394e-06,1.829075e-06,1.919368e-06,2.057165e-06,2.091347e-06,2.260245e-06,2.280260e-06,2.425135e-06,2.496213e-06,2.585250e-06,2.703359e-06,2.739973e-06,2.888831e-06,2.900476e-06,3.031485e-06,3.086754e-06,3.167704e-06,3.261721e-06,3.297358e-06,3.420401e-06,3.425186e-06,3.536854e-06,3.577178e-06,3.646794e-06,3.717893e-06,3.750342e-06,3.847652e-06,3.938906e-06,3.966861e-06,4.024305e-06,4.075984e-06,4.104060e-06,4.175523e-06,4.178395e-06,4.247535e-06,4.265994e-06,4.311708e-06,4.347922e-06,4.371140e-06,4.421822e-06,4.426054e-06,4.476670e-06,4.488203e-06,4.523202e-06,4.547554e-06,4.565857e-06,4.600347e-06,4.604837e-06,4.640334e-06,4.647032e-06,4.672536e-06,4.688039e-06,4.701622e-06,4.723772e-06,4.727764e-06,4.751126e-06,4.754616e-06,4.771865e-06,4.780933e-06,4.790132e-06,4.803062e-06,4.806070e-06,4.819815e-06,4.821323e-06,4.831497e-06,4.836016e-06,4.841240e-06,4.847421e-06,4.849162e-06,4.855374e-06,4.855800e-06,4.859982e-06,4.861398e-06,4.863087e-06,4.864445e-06,4.864784e-06,4.865165e-06,4.865154e-06,4.864316e-06,4.863725e-06,4.862317e-06,4.860341e-06,4.859247e-06,4.855177e-06,4.850178e-06,4.848393e-06,4.844315e-06,4.840137e-06,4.837649e-06,4.830550e-06,4.830240e-06,4.822143e-06,4.819760e-06,4.813410e-06,4.807886e-06,4.804091e-06,4.795040e-06,4.794232e-06,4.783878e-06,4.781324e-06,4.773069e-06,4.766833e-06,4.761847e-06,4.751657e-06,4.750246e-06,4.738303e-06,4.735877e-06,4.726051e-06,4.719567e-06,4.713519e-06,4.702799e-06,4.700739e-06,4.687736e-06,4.685637e-06,4.674537e-06,4.668139e-06,4.661167e-06,4.650362e-06,4.647647e-06,4.634000e-06,4.632355e-06,4.620247e-06,4.614166e-06,4.606404e-06,4.595836e-06,4.592492e-06,4.578525e-06,4.577406e-06,4.564521e-06,4.558911e-06,4.550493e-06,4.540385e-06,4.536455e-06,4.522419e-06,4.521858e-06,4.508399e-06,4.503358e-06,4.494405e-06,4.484909e-06,4.480447e-06,4.466536e-06,4.448258e-06,4.430095e-06,4.412065e-06,4.394182e-06,4.376461e-06,4.358914e-06,4.341553e-06,4.324388e-06,4.307428e-06,4.290680e-06,4.274152e-06,4.257849e-06,4.241776e-06,4.225939e-06,4.210339e-06,4.194982e-06,4.179868e-06,4.165000e-06,4.150380e-06,4.136007e-06,4.121883e-06,4.108007e-06,4.094379e-06,4.080999e-06
0.000000e+00,3.181329e-13,2.161172e-12,3.738289e-11,2.472229e-10,5.868059e-10,3.780128e-09,4.042124e-09,1.773967e-08,2.538559e-08,5.856813e-08,1.087255e-07,1.589531e-07,3.507089e-07,3.739095e-07,7.888325e-07,9.310145e-07,1.527682e-06,2.144396e-06,2.761107e-06,4.432673e-06,4.713809e-06,7.670059e-06,8.411120e-06,1.197614e-05,1.488150e-05,1.803878e-05,2.482503e-05,2.631939e-05,3.732447e-05,3.937380e-05,5.159311e-05,5.976463e-05,6.968261e-05,8.728195e-05,9.215313e-05,1.195523e-04,1.231965e-04,1.524004e-04,1.687051e-04,1.911768e-04,2.248765e-04,2.363082e-04,2.881579e-04,2.926054e-04,3.470185e-04,3.725767e-04,4.131052e-04,4.652409e-04,4.865527e-04,5.674125e-04,5.708009e-04,6.556536e-04,6.892083e-04,7.511644e-04,8.201706e-04,8.537555e-04,9.631648e-04,1.079063e-03,1.117459e-03,1.201061e-03,1.282139e-03,1.328717e-03,1.456136e-03,1.461542e-03,1.599011e-03,1.638260e-03,1.740570e-03,1.827229e-03,1.885642e-03,2.021705e-03,2.033638e-03,2.183960e-03,2.220317e-03,2.336013e-03,2.421697e-03,2.489204e-03,2.624496e-03,2.642957e-03,2.796709e-03,2.827412e-03,2.949920e-03,3.029204e-03,3.102075e-03,3.228711e-03,3.252686e-03,3.401298e-03,3.424862e-03,3.547486e-03,3.616680e-03,3.690861e-03,3.803296e-03,3.831067e-03,3.967785e-03,3.983942e-03,4.100728e-03,4.157962e-03,4.229648e-03,4.324801e-03,4.354327e-03,4.474584e-03,4.484009e-03,4.590267e-03,4.635231e-03,4.701255e-03,4.778207e-03,4.807457e-03,4.908809e-03,4.912762e-03,5.005272e-03,5.038798e-03,5.096831e-03,5.156292e-03,5.183492e-03,5.265284e-03,5.342250e-03,5.365870e-03,5.414453e-03,5.458199e-03,5.481970e-03,5.542460e-03,5.544889e-03,5.603313e-03,5.618880e-03,5.657351e-03,5.687717e-03,5.707122e-03,5.749253e-03,5.752755e-03,5.794379e-03,5.803788e-03,5.832133e-03,5.851637e-03,5.866157e-03,5.893125e-03,5.896592e-03,5.923584e-03,5.928582e-03,5.947277e-03,5.958342e-03,5.967817e-03,5.982739e-03,5.985347e-03,6.000012e-03,6.002102e-03,6.011952e-03,6.016757e-03,6.021307e-03,6.027020e-03,6.028212e-03,6.032801e-03,6.033202e-03,6.035204e-03,6.035601e-03,6.035547e-03,6.034506e-03,6.033953e-03,6.030541e-03,6.030193e-03,6.025425e-03,6.022926e-03,6.018715e-03,6.012957e-03,6.010518e-03,6.000937e-03,6.000526e-03,5.990068e-03,5.985858e-03,5.978006e-03,5.969169e-03,5.964841e-03,5.950657e-03,5.930513e-03,5.908914e-03,5.886024e-03,5.861999e-03,5.836980e-03,5.811102e-03,5.784489e-03,5.757253e-03,5.729500e-03,5.701328e-03,5.672824e-03,5.644072e-03,5.615145e-03,5.586113e-03,5.557036e-03,5.527973e-03,5.498974e-03,5.470087e-03,5.441352e-03,5.412807e-03,5.384487e-03,5.356422e-03,5.328638e-03,5.301160e-03
0.000000e+00,8.188368e-13,5.561742e-12,9.618696e-11,6.362183e-10,1.510543e-09,9.745818e-09,1.042226e-08,4.588676e-08,6.574425e-08,1.522625e-07,2.837797e-07,4.161233e-07,9.252590e-07,9.871684e-07,2.101147e-06,2.484877e-06,4.100791e-06,5.775357e-06,7.450652e-06,1.198329e-05,1.274374e-05,2.069977e-05,2.268229e-05,3.215596e-05,3.980468e-05,4.805143e-05,6.557906e-05,6.940672e-05,9.729953e-05,1.024429e-04,1.328380e-04,1.529391e-04,1.771330e-04,2.196046e-04,2.312699e-04,2.962816e-04,3.048602e-04,3.731238e-04,4.109068e-04,4.626521e-04,5.396362e-04,5.656032e-04,6.825795e-04,6.925582e-04,8.140375e-04,8.707489e-04,9.602807e-04,1.074819e-03,1.121456e-03,1.297553e-03,1.304905e-03,1.488409e-03,1.560675e-03,1.693715e-03,1.841355e-03,1.913025e-03,2.145765e-03,2.391250e-03,2.472371e-03,2.648693e-03,2.819333e-03,2.917223e-03,3.184568e-03,3.195898e-03,3.483720e-03,3.565808e-03,3.779650e-03,3.960657e-03,4.082622e-03,4.366646e-03,4.391554e-03,4.705363e-03,4.781283e-03,5.022973e-03,5.202100e-03,5.343327e-03,5.626689e-03,5.665394e-03,5.988180e-03,6.052738e-03,6.310728e-03,6.478056e-03,6.632131e-03,6.900595e-03,6.951530e-03,7.268121e-03,7.318464e-03,7.581155e-03,7.729943e-03,7.889941e-03,8.133484e-03,8.193846e-03,8.492296e-03,8.527718e-03,8.784774e-03,8.911452e-03,9.070820e-03,9.283661e-03,9.350028e-03,9.622047e-03,9.643489e-03,9.886577e-03,9.990234e-03,1.014337e-02,1.032334e-02,1.039221e-02,1.063294e-02,1.064240e-02,1.086545e-02,1.094712e-02,1.108965e-02,1.123733e-02,1.130549e-02,1.151295e-02,1.171206e-02,1.177402e-02,1.190286e-02,1.202064e-02,1.208541e-02,1.225298e-02,1.225980e-02,1.242614e-02,1.247130e-02,1.258456e-02,1.267587e-02,1.273520e-02,1.286705e-02,1.287822e-02,1.301377e-02,1.304521e-02,1.314203e-02,1.321075e-02,1.326320e-02,1.336411e-02,1.337746e-02,1.348500e-02,1.350572e-02,1.358603e-02,1.363606e-02,1.368075e-02,1.375558e-02,1.376936e-02,1.385207e-02,1.386477e-02,1.392908e-02,1.396408e-02,1.400059e-02,1.405398e-02,1.406681e-02,1.412794e-02,1.413494e-02,1.418417e-02,1.420742e-02,1.423571e-02,1.427185e-02,1.428273e-02,1.432543e-02,1.432867e-02,1.436400e-02,1.437830e-02,1.439860e-02,1.442116e-02,1.442941e-02,1.445661e-02,1.445762e-02,1.448035e-02,1.448808e-02,1.450080e-02,1.451290e-02,1.451811e-02,1.453243e-02,1.454700e-02,1.455694e-02,1.456254e-02,1.456410e-02,1.456190e-02,1.455619e-02,1.454723e-02,1.453525e-02,1.452047e-02,1.450311e-02,1.448336e-02,1.446142e-02,1.443746e-02,1.441165e-02,1.438414e-02,1.435508e-02,1.432462e-02,1.429288e-02,1.425998e-02,1.422605e-02,1.419118e-02,1.415549e-02,1.411906e-02,1.408198e-02
0.000000e+00,9.491982e-11,3.025855e-10,1.481285e-09,3.966135e-09,6.142773e-09,1.545247e-08,1.596751e-08,3.278021e-08,3.898969e-08,5.842281e-08,7.882553e-08,9.476022e-08,1.390826e-07,1.434625e-07,2.054161e-07,2.222328e-07,2.801352e-07,3.269674e-07,3.659860e-07,4.491702e-07,4.609914e-07,5.633182e-07,5.845166e-07,6.713484e-07,7.292878e-07,7.836189e-07,8.802097e-07,8.987758e-07,1.015562e-06,1.034320e-06,1.132823e-06,1.188967e-06,1.249522e-06,1.341860e-06,1.364748e-06,1.477728e-06,1.491102e-06,1.587817e-06,1.635203e-06,1.694498e-06,1.773046e-06,1.797371e-06,1.896142e-06,1.903860e-06,1.990605e-06,2.027154e-06,2.080635e-06,2.142674e-06,2.166170e-06,2.247202e-06,2.250350e-06,2.323768e-06,2.350250e-06,2.395935e-06,2.442546e-06,2.463802e-06,2.527482e-06,2.587107e-06,2.605353e-06,2.642816e-06,2.676483e-06,2.694758e-06,2.741217e-06,2.743083e-06,2.787945e-06,2.799907e-06,2.829499e-06,2.852907e-06,2.867896e-06,2.900562e-06,2.903286e-06,2.935815e-06,2.943212e-06,2.965626e-06,2.981185e-06,2.992858e-06,3.014794e-06,3.017643e-06,3.040113e-06,3.044340e-06,3.060391e-06,3.070109e-06,3.078596e-06,3.092371e-06,3.094843e-06,3.109243e-06,3.111383e-06,3.121901e-06,3.127387e-06,3.132916e-06,3.140611e-06,3.142386e-06,3.150401e-06,3.151269e-06,3.157049e-06,3.159563e-06,3.162414e-06,3.165681e-06,3.166574e-06,3.169605e-06,3.169801e-06,3.171578e-06,3.172087e-06,3.172562e-06,3.172695e-06,3.172622e-06,3.171818e-06,3.171769e-06,3.170209e-06,3.169443e-06,3.167850e-06,3.165844e-06,3.164794e-06,3.161089e-06,3.156784e-06,3.155287e-06,3.151922e-06,3.148538e-06,3.146546e-06,3.140938e-06,3.140695e-06,3.134407e-06,3.132573e-06,3.127718e-06,3.123525e-06,3.120660e-06,3.113869e-06,3.113266e-06,3.105566e-06,3.103676e-06,3.097588e-06,3.093008e-06,3.089357e-06,3.081927e-06,3.080901e-06,3.072241e-06,3.070486e-06,3.063400e-06,3.058738e-06,3.054399e-06,3.046729e-06,3.045258e-06,3.035995e-06,3.034503e-06,3.026627e-06,3.022099e-06,3.017171e-06,3.009553e-06,3.007642e-06,2.998054e-06,2.996901e-06,2.988421e-06,2.984171e-06,2.978755e-06,2.971394e-06,2.969067e-06,2.959369e-06,2.958593e-06,2.949671e-06,2.945794e-06,2.939983e-06,2.933018e-06,2.930313e-06,2.920669e-06,2.920284e-06,2.911059e-06,2.907610e-06,2.901491e-06,2.895012e-06,2.891971e-06,2.882505e-06,2.870102e-06,2.857814e-06,2.845653e-06,2.833628e-06,2.821746e-06,2.810016e-06,2.798443e-06,2.787034e-06,2.775793e-06,2.764724e-06,2.753832e-06,2.743118e-06,2.732585e-06,2.722236e-06,2.712070e-06,2.702090e-06,2.692295e-06,2.682687e-06,2.673264e-06,2.664026e-06,2.654973e-06,2.646104e-06,2.637417e-06,2.628912e-06
0.000000e+00,9.462734e-13,6.110353e-12,9.537345e-11,5.774513e-10,1.310129e-09,7.626965e-09,8.126633e-09,3.323870e-08,4.692759e-08,1.057020e-07,1.939174e-07,2.817108e-07,6.099056e-07,6.487598e-07,1.312266e-06,1.526979e-06,2.369744e-06,3.160507e-06,3.887726e-06,5.624886e-06,5.890630e-06,8.361778e-06,8.908322e-06,1.125213e-05,1.289813e-05,1.449192e-05,1.742528e-05,1.800161e-05,2.170055e-05,2.230476e-05,2.551268e-05,2.736234e-05,2.936983e-05,3.244802e-05,3.321303e-05,3.699264e-05,3.743990e-05,4.066784e-05,4.224311e-05,4.420574e-05,4.678659e-05,4.758052e-05,5.077263e-05,5.101966e-05,5.376806e-05,5.490895e-05,5.655766e-05,5.843587e-05,5.913663e-05,6.150394e-05,6.159426e-05,6.366185e-05,6.438832e-05,6.561535e-05,6.683060e-05,6.737170e-05,6.893997e-05,7.033052e-05,7.073979e-05,7.155463e-05,7.225615e-05,7.262410e-05,7.351644e-05,7.355093e-05,7.434700e-05,7.454806e-05,7.502393e-05,7.537753e-05,7.559280e-05,7.602978e-05,7.606413e-05,7.644772e-05,7.652775e-05,7.675263e-05,7.689214e-05,7.698716e-05,7.714133e-05,7.715885e-05,7.727452e-05,7.729148e-05,7.734028e-05,7.735660e-05,7.736162e-05,7.734877e-05,7.734338e-05,7.728991e-05,7.727835e-05,7.720505e-05,7.715417e-05,7.709218e-05,7.698375e-05,7.695431e-05,7.679410e-05,7.677349e-05,7.661391e-05,7.652884e-05,7.641582e-05,7.625446e-05,7.620170e-05,7.597320e-05,7.595435e-05,7.573180e-05,7.563193e-05,7.547881e-05,7.529016e-05,7.521543e-05,7.494272e-05,7.493163e-05,7.466164e-05,7.455858e-05,7.437308e-05,7.417299e-05,7.407783e-05,7.377661e-05,7.347008e-05,7.337097e-05,7.315886e-05,7.295747e-05,7.284350e-05,7.253734e-05,7.252452e-05,7.220239e-05,7.211169e-05,7.187755e-05,7.168153e-05,7.155042e-05,7.124776e-05,7.122137e-05,7.089075e-05,7.081121e-05,7.055888e-05,7.037260e-05,7.022607e-05,6.993263e-05,6.989258e-05,6.955869e-05,6.949189e-05,6.922464e-05,6.905094e-05,6.889065e-05,6.861030e-05,6.855693e-05,6.822369e-05,6.817042e-05,6.789110e-05,6.773174e-05,6.755934e-05,6.729464e-05,6.722857e-05,6.689893e-05,6.685946e-05,6.657057e-05,6.642653e-05,6.624361e-05,6.599612e-05,6.591816e-05,6.559435e-05,6.556852e-05,6.527227e-05,6.514394e-05,6.495202e-05,6.472262e-05,6.463368e-05,6.431735e-05,6.430474e-05,6.400309e-05,6.389048e-05,6.369097e-05,6.347999e-05,6.338106e-05,6.307342e-05,6.267089e-05,6.227251e-05,6.187838e-05,6.148858e-05,6.110320e-05,6.072229e-05,6.034590e-05,5.997410e-05,5.960690e-05,5.924434e-05,5.888645e-05,5.853323e-05,5.818471e-05,5.784088e-05,5.750174e-05,5.716729e-05,5.683751e-05,5.651240e-05,5.619193e-05,5.587609e-05,5.556484e-05,5.525817e-05,5.495604e-05,5.465841e-05
0.000000e+00,5.213474e-13,3.555912e-12,6.205341e-11,4.140577e-10,9.880817e-10,6.466273e-09,6.919357e-09,3.096130e-08,4.457370e-08,1.045798e-07,1.971594e-07,2.914156e-07,6.604088e-07,7.057865e-07,1.534433e-06,1.823877e-06,3.057821e-06,4.355302e-06,5.667170e-06,9.265839e-06,9.875160e-06,1.631995e-05,1.794223e-05,2.576294e-05,3.214502e-05,3.908106e-05,5.397732e-05,5.725439e-05,8.134994e-05,8.582986e-05,1.125024e-04,1.303077e-04,1.518925e-04,1.901448e-04,2.007245e-04,2.602019e-04,2.681110e-04,3.315047e-04,3.669184e-04,4.157661e-04,4.891299e-04,5.140513e-04,6.273382e-04,6.370762e-04,7.565002e-04,8.127834e-04,9.022919e-04,1.017915e-03,1.065337e-03,1.246121e-03,1.253727e-03,1.444985e-03,1.521043e-03,1.662120e-03,1.820238e-03,1.897573e-03,2.151243e-03,2.422891e-03,2.513557e-03,2.712141e-03,2.906273e-03,3.018494e-03,3.328111e-03,3.341333e-03,3.679935e-03,3.777459e-03,4.033484e-03,4.252416e-03,4.401079e-03,4.750840e-03,4.781751e-03,5.174469e-03,5.270395e-03,5.578157e-03,5.808601e-03,5.991703e-03,6.362875e-03,6.413969e-03,6.843806e-03,6.930580e-03,7.280056e-03,7.509059e-03,7.721570e-03,8.095675e-03,8.167208e-03,8.615852e-03,8.687841e-03,9.066411e-03,9.283046e-03,9.517824e-03,9.878882e-03,9.969070e-03,1.041917e-02,1.047306e-02,1.086719e-02,1.106342e-02,1.131223e-02,1.164797e-02,1.175348e-02,1.219013e-02,1.222484e-02,1.262145e-02,1.279234e-02,1.304678e-02,1.334894e-02,1.346548e-02,1.387697e-02,1.389327e-02,1.428075e-02,1.442413e-02,1.467634e-02,1.494044e-02,1.506332e-02,1.544132e-02,1.581002e-02,1.592599e-02,1.616914e-02,1.639385e-02,1.651845e-02,1.684438e-02,1.685776e-02,1.718690e-02,1.727722e-02,1.750576e-02,1.769211e-02,1.781426e-02,1.808888e-02,1.811234e-02,1.840000e-02,1.846748e-02,1.867722e-02,1.882792e-02,1.894405e-02,1.917031e-02,1.920055e-02,1.944679e-02,1.949481e-02,1.968287e-02,1.980166e-02,1.990892e-02,2.009113e-02,2.012506e-02,2.033144e-02,2.036357e-02,2.052823e-02,2.061933e-02,2.071560e-02,2.085883e-02,2.089373e-02,2.106281e-02,2.108250e-02,2.122305e-02,2.129081e-02,2.137465e-02,2.148422e-02,2.151783e-02,2.165279e-02,2.166324e-02,2.177975e-02,2.182835e-02,2.189895e-02,2.198008e-02,2.201059e-02,2.211491e-02,2.211893e-02,2.221212e-02,2.224542e-02,2.230246e-02,2.236007e-02,2.238613e-02,2.246337e-02,2.255583e-02,2.263794e-02,2.271020e-02,2.277307e-02,2.282702e-02,2.287250e-02,2.290995e-02,2.293981e-02,2.296247e-02,2.297834e-02,2.298780e-02,2.299123e-02,2.298898e-02,2.298139e-02,2.296880e-02,2.295151e-02,2.292982e-02,2.290403e-02,2.287442e-02,2.284124e-02,2.280474e-02,2.276516e-02,2.272273e-02,2.267767e-02
0.000000e+00,3.633646e-13,2.445015e-12,4.148511e-11,2.699290e-10,6.355056e-10,4.023300e-09,4.299695e-09,1.868758e-08,2.671390e-08,6.168248e-08,1.150166e-07,1.689367e-07,3.781749e-07,4.037639e-07,8.671326e-07,1.027483e-06,1.703792e-06,2.403923e-06,3.102046e-06,4.975573e-06,5.287585e-06,8.513312e-06,9.306744e-06,1.304731e-05,1.601221e-05,1.916061e-05,2.570878e-05,2.711570e-05,3.715661e-05,3.897168e-05,4.950055e-05,5.629906e-05,6.433131e-05,7.808560e-05,8.179441e-05,1.019937e-04,1.046048e-04,1.249894e-04,1.359992e-04,1.507977e-04,1.722778e-04,1.793913e-04,2.107005e-04,2.133196e-04,2.446167e-04,2.588818e-04,2.809949e-04,3.086132e-04,3.196577e-04,3.604000e-04,3.620698e-04,4.029934e-04,4.187331e-04,4.471911e-04,4.780295e-04,4.927328e-04,5.393497e-04,5.867686e-04,6.020675e-04,6.347169e-04,6.655573e-04,6.829259e-04,7.292097e-04,7.311348e-04,7.790935e-04,7.924445e-04,8.265653e-04,8.547219e-04,8.733289e-04,9.155503e-04,9.191803e-04,9.639339e-04,9.744925e-04,1.007423e-03,1.031169e-03,1.049501e-03,1.085260e-03,1.090039e-03,1.128931e-03,1.136504e-03,1.166087e-03,1.184697e-03,1.201435e-03,1.229691e-03,1.234922e-03,1.266511e-03,1.271387e-03,1.296177e-03,1.309732e-03,1.323914e-03,1.344715e-03,1.349723e-03,1.373622e-03,1.376362e-03,1.395634e-03,1.404731e-03,1.415795e-03,1.429904e-03,1.434146e-03,1.450735e-03,1.451988e-03,1.465617e-03,1.471105e-03,1.478850e-03,1.487392e-03,1.490497e-03,1.500622e-03,1.500997e-03,1.509293e-03,1.512072e-03,1.516578e-03,1.520774e-03,1.522545e-03,1.527264e-03,1.530804e-03,1.531698e-03,1.533232e-03,1.534234e-03,1.534616e-03,1.535022e-03,1.535020e-03,1.534509e-03,1.534211e-03,1.533145e-03,1.531941e-03,1.530986e-03,1.528348e-03,1.528091e-03,1.524514e-03,1.523560e-03,1.520309e-03,1.517698e-03,1.515525e-03,1.510876e-03,1.510212e-03,1.504414e-03,1.503200e-03,1.498174e-03,1.494769e-03,1.491534e-03,1.485675e-03,1.484532e-03,1.477204e-03,1.476004e-03,1.469584e-03,1.465832e-03,1.461704e-03,1.455234e-03,1.453595e-03,1.445283e-03,1.444274e-03,1.436796e-03,1.433013e-03,1.428158e-03,1.421506e-03,1.419391e-03,1.410517e-03,1.409803e-03,1.401555e-03,1.397950e-03,1.392523e-03,1.385987e-03,1.383439e-03,1.374317e-03,1.373951e-03,1.365171e-03,1.361876e-03,1.356016e-03,1.349791e-03,1.346863e-03,1.337722e-03,1.325694e-03,1.313727e-03,1.301841e-03,1.290050e-03,1.278370e-03,1.266814e-03,1.255391e-03,1.244112e-03,1.232984e-03,1.222014e-03,1.211209e-03,1.200572e-03,1.190107e-03,1.179817e-03,1.169705e-03,1.159773e-03,1.150020e-03,1.140448e-03,1.131057e-03,1.121846e-03,1.112814e-03,1.103961e-03,1.095285e-03,1.086785e-03
0.000000e+00,4.708663e-12,1.081434e-11,3.716887e-11,8.423811e-11,1.225548e-10,2.756971e-10,2.838875e-10,5.434296e-10,6.367816e-10,9.240307e-10,1.220478e-09,1.449736e-09,2.081758e-09,2.143960e-09,3.022717e-09,3.261399e-09,4.084882e-09,4.752818e-09,5.310283e-09,6.500255e-09,6.669422e-09,8.133405e-09,8.436526e-09,9.677397e-09,1.050474e-08,1.128019e-08,1.265821e-08,1.292303e-08,1.458879e-08,1.485636e-08,1.626153e-08,1.706254e-08,1.792648e-08,1.924368e-08,1.957009e-08,2.118016e-08,2.137059e-08,2.274598e-08,2.341850e-08,2.425840e-08,2.536743e-08,2.570988e-08,2.709445e-08,2.720218e-08,2.840762e-08,2.891216e-08,2.964630e-08,3.049094e-08,3.080864e-08,3.189391e-08,3.193572e-08,3.290231e-08,3.324669e-08,3.383485e-08,3.442645e-08,3.469315e-08,3.547935e-08,3.619601e-08,3.641111e-08,3.684596e-08,3.722831e-08,3.743224e-08,3.793812e-08,3.795803e-08,3.842658e-08,3.854796e-08,3.884113e-08,3.906529e-08,3.920491e-08,3.949748e-08,3.952110e-08,3.979276e-08,3.985167e-08,4.002290e-08,4.013472e-08,4.021440e-08,4.035312e-08,4.036998e-08,4.049225e-08,4.051292e-08,4.058366e-08,4.061979e-08,4.064657e-08,4.067899e-08,4.068316e-08,4.069552e-08,4.069538e-08,4.068559e-08,4.067345e-08,4.065519e-08,4.061728e-08,4.060603e-08,4.053969e-08,4.053064e-08,4.045766e-08,4.041697e-08,4.036135e-08,4.027940e-08,4.025204e-08,4.013095e-08,4.012079e-08,3.999920e-08,3.994375e-08,3.985783e-08,3.975064e-08,3.970781e-08,3.955005e-08,3.954359e-08,3.938537e-08,3.932455e-08,3.921456e-08,3.909527e-08,3.903833e-08,3.885735e-08,3.867224e-08,3.861222e-08,3.848356e-08,3.836118e-08,3.829184e-08,3.810538e-08,3.809757e-08,3.790119e-08,3.784589e-08,3.770313e-08,3.758364e-08,3.750376e-08,3.731948e-08,3.730343e-08,3.710247e-08,3.705417e-08,3.690117e-08,3.678840e-08,3.669981e-08,3.652276e-08,3.649864e-08,3.629788e-08,3.625780e-08,3.609775e-08,3.599400e-08,3.589844e-08,3.573178e-08,3.570012e-08,3.550295e-08,3.547152e-08,3.530707e-08,3.521355e-08,3.511262e-08,3.495817e-08,3.491971e-08,3.472846e-08,3.470562e-08,3.453895e-08,3.445614e-08,3.435126e-08,3.420990e-08,3.416549e-08,3.398169e-08,3.396707e-08,3.379992e-08,3.372780e-08,3.362025e-08,3.349219e-08,3.344270e-08,3.326732e-08,3.326035e-08,3.309415e-08,3.303235e-08,3.292321e-08,3.280826e-08,3.275453e-08,3.258811e-08,3.237195e-08,3.215980e-08,3.195166e-08,3.174754e-08,3.154744e-08,3.135133e-08,3.115920e-08,3.097102e-08,3.078675e-08,3.060637e-08,3.042982e-08,3.025706e-08,3.008804e-08,2.992272e-08,2.976104e-08,2.960294e-08,2.944837e-08,2.929728e-08,2.914959e-08,2.900525e-08,2.886420e-08,2.872638e-08,2.859172e-08,2.846018e-08
0.000000e+00,2.297995e-10,7.291284e-10,3.558988e-09,9.551651e-09,1.483739e-08,3.782041e-08,3.910910e-08,8.210703e-08,9.842208e-08,1.508647e-07,2.079456e-07,2.537562e-07,3.854360e-07,3.987035e-07,5.890621e-07,6.412293e-07,8.212766e-07,9.668550e-07,1.087927e-06,1.345276e-06,1.381770e-06,1.697094e-06,1.762329e-06,2.029456e-06,2.207774e-06,2.375169e-06,2.673481e-06,2.730957e-06,3.093794e-06,3.152309e-06,3.460840e-06,3.637732e-06,3.829450e-06,4.123824e-06,4.197195e-06,4.561883e-06,4.605345e-06,4.921581e-06,5.077828e-06,5.274620e-06,5.537600e-06,5.619592e-06,5.955338e-06,5.981770e-06,6.280936e-06,6.408167e-06,6.595670e-06,6.815249e-06,6.899013e-06,7.190599e-06,7.202014e-06,7.470201e-06,7.567900e-06,7.737712e-06,7.912703e-06,7.993120e-06,8.236498e-06,8.467980e-06,8.539573e-06,8.687758e-06,8.822379e-06,8.896062e-06,9.085485e-06,9.093157e-06,9.279330e-06,9.329543e-06,9.454889e-06,9.555263e-06,9.620155e-06,9.763389e-06,9.775455e-06,9.921123e-06,9.954688e-06,1.005750e-05,1.012993e-05,1.018491e-05,1.028989e-05,1.030370e-05,1.041420e-05,1.043533e-05,1.051672e-05,1.056699e-05,1.061160e-05,1.068562e-05,1.069914e-05,1.077966e-05,1.079191e-05,1.085344e-05,1.088656e-05,1.092079e-05,1.097023e-05,1.098199e-05,1.103731e-05,1.104356e-05,1.108702e-05,1.110718e-05,1.113137e-05,1.116166e-05,1.117063e-05,1.120502e-05,1.120757e-05,1.123480e-05,1.124546e-05,1.126017e-05,1.127584e-05,1.128136e-05,1.129859e-05,1.129919e-05,1.131204e-05,1.131600e-05,1.132193e-05,1.132670e-05,1.132843e-05,1.133172e-05,1.133199e-05,1.133146e-05,1.132940e-05,1.132631e-05,1.132410e-05,1.131661e-05,1.131625e-05,1.130600e-05,1.130272e-05,1.129350e-05,1.128496e-05,1.127887e-05,1.126364e-05,1.126224e-05,1.124375e-05,1.123904e-05,1.122350e-05,1.121144e-05,1.120162e-05,1.118110e-05,1.117821e-05,1.115338e-05,1.114825e-05,1.112722e-05,1.111313e-05,1.109984e-05,1.107595e-05,1.107132e-05,1.104175e-05,1.103692e-05,1.101120e-05,1.099622e-05,1.097977e-05,1.095404e-05,1.094752e-05,1.091453e-05,1.091053e-05,1.088087e-05,1.086586e-05,1.084659e-05,1.082017e-05,1.081177e-05,1.077645e-05,1.077361e-05,1.074070e-05,1.072629e-05,1.070457e-05,1.067834e-05,1.066810e-05,1.063135e-05,1.062988e-05,1.059436e-05,1.058100e-05,1.055718e-05,1.053180e-05,1.051983e-05,1.048237e-05,1.043280e-05,1.038316e-05,1.033353e-05,1.028397e-05,1.023455e-05,1.018531e-05,1.013632e-05,1.008762e-05,1.003925e-05,9.991250e-06,9.943664e-06,9.896520e-06,9.849850e-06,9.803680e-06,9.758033e-06,9.712933e-06,9.668399e-06,9.624447e-06,9.581092e-06,9.538348e-06,9.496226e-06,9.454734e-06,9.413882e-06,9.373674e-06
0.000000e+00,2.469961e-10,6.433850e-10,2.529733e-09,6.121507e-09,9.138748e-09,2.161889e-08,2.229980e-08,4.436218e-08,5.248781e-08,7.799462e-08,1.050017e-07,1.263002e-07,1.866221e-07,1.926744e-07,2.801046e-07,3.044151e-07,3.898308e-07,4.605526e-07,5.203180e-07,6.493878e-07,6.678469e-07,8.281422e-07,8.613907e-07,9.974735e-07,1.088091e-06,1.172896e-06,1.323258e-06,1.352104e-06,1.533229e-06,1.562279e-06,1.714696e-06,1.801513e-06,1.895139e-06,2.037948e-06,2.073362e-06,2.248317e-06,2.269048e-06,2.419097e-06,2.492715e-06,2.584933e-06,2.707264e-06,2.745187e-06,2.899352e-06,2.911410e-06,3.047038e-06,3.104231e-06,3.187961e-06,3.285134e-06,3.321942e-06,3.448885e-06,3.453816e-06,3.568771e-06,3.610209e-06,3.681642e-06,3.754433e-06,3.787592e-06,3.886759e-06,3.979314e-06,4.007566e-06,4.065453e-06,4.117315e-06,4.145394e-06,4.216519e-06,4.219366e-06,4.287609e-06,4.305723e-06,4.350366e-06,4.385489e-06,4.407883e-06,4.456384e-06,4.460408e-06,4.508181e-06,4.518966e-06,4.551442e-06,4.573784e-06,4.590424e-06,4.621368e-06,4.625353e-06,4.656448e-06,4.662226e-06,4.683922e-06,4.696845e-06,4.707978e-06,4.725687e-06,4.728812e-06,4.746611e-06,4.749190e-06,4.761556e-06,4.767766e-06,4.773818e-06,4.781805e-06,4.783560e-06,4.790938e-06,4.791671e-06,4.796101e-06,4.797707e-06,4.799190e-06,4.800233e-06,4.800339e-06,4.799676e-06,4.799549e-06,4.797322e-06,4.795933e-06,4.793391e-06,4.789645e-06,4.787992e-06,4.781228e-06,4.780930e-06,4.773196e-06,4.770012e-06,4.763989e-06,4.757101e-06,4.753693e-06,4.742392e-06,4.730163e-06,4.726066e-06,4.717080e-06,4.708291e-06,4.703212e-06,4.689221e-06,4.688625e-06,4.673380e-06,4.669002e-06,4.657536e-06,4.647765e-06,4.641148e-06,4.625635e-06,4.624267e-06,4.606942e-06,4.602724e-06,4.589220e-06,4.579137e-06,4.571142e-06,4.554972e-06,4.552749e-06,4.534081e-06,4.530317e-06,4.515171e-06,4.505254e-06,4.496054e-06,4.479858e-06,4.476761e-06,4.457322e-06,4.454200e-06,4.437764e-06,4.428341e-06,4.418113e-06,4.402341e-06,4.398393e-06,4.378627e-06,4.376253e-06,4.358836e-06,4.350125e-06,4.339040e-06,4.324002e-06,4.319256e-06,4.299503e-06,4.297924e-06,4.279795e-06,4.271929e-06,4.260149e-06,4.246048e-06,4.240576e-06,4.221091e-06,4.220313e-06,4.201704e-06,4.194751e-06,4.182427e-06,4.169387e-06,4.163270e-06,4.144242e-06,4.119336e-06,4.094688e-06,4.070312e-06,4.046223e-06,4.022433e-06,3.998952e-06,3.975789e-06,3.952953e-06,3.930450e-06,3.908286e-06,3.886465e-06,3.864990e-06,3.843865e-06,3.823091e-06,3.802669e-06,3.782601e-06,3.762885e-06,3.743522e-06,3.724509e-06,3.705847e-06,3.687532e-06,3.669562e-06,3.651935e-06,3.634647e-06
0.000000e+00,9.592521e-11,2.912416e-10,1.352586e-09,3.543777e-09,5.452910e-09,1.362982e-08,1.408390e-08,2.903544e-08,3.462282e-08,5.233342e-08,7.128165e-08,8.632428e-08,1.292654e-07,1.335963e-07,1.965387e-07,2.141591e-07,2.764760e-07,3.285712e-07,3.729676e-07,4.700738e-07,4.841035e-07,6.074787e-07,6.334217e-07,7.408894e-07,8.136109e-07,8.825162e-07,1.006729e-06,1.030860e-06,1.184637e-06,1.209667e-06,1.342698e-06,1.419777e-06,1.503989e-06,1.634685e-06,1.667527e-06,1.832401e-06,1.852234e-06,1.997768e-06,2.070485e-06,2.162861e-06,2.287722e-06,2.326991e-06,2.489549e-06,2.502469e-06,2.650004e-06,2.713492e-06,2.807899e-06,2.919783e-06,2.962855e-06,3.114553e-06,3.120549e-06,3.262728e-06,3.315168e-06,3.407181e-06,3.503202e-06,3.547756e-06,3.684340e-06,3.816856e-06,3.858395e-06,3.945261e-06,4.025271e-06,4.069532e-06,4.184946e-06,4.189673e-06,4.305704e-06,4.337461e-06,4.417663e-06,4.482903e-06,4.525598e-06,4.621396e-06,4.629569e-06,4.729644e-06,4.753090e-06,4.825897e-06,4.878159e-06,4.918408e-06,4.996788e-06,5.007260e-06,5.092539e-06,5.109173e-06,5.174333e-06,5.215519e-06,5.252733e-06,5.316031e-06,5.327828e-06,5.399710e-06,5.410919e-06,5.468469e-06,5.500391e-06,5.534196e-06,5.584654e-06,5.596979e-06,5.656908e-06,5.663912e-06,5.714069e-06,5.738366e-06,5.768549e-06,5.808212e-06,5.820432e-06,5.869801e-06,5.873644e-06,5.916737e-06,5.934848e-06,5.961320e-06,5.992007e-06,6.003629e-06,6.043738e-06,6.045298e-06,6.081724e-06,6.094892e-06,6.117657e-06,6.140956e-06,6.151610e-06,6.183650e-06,6.213846e-06,6.223129e-06,6.242262e-06,6.259543e-06,6.268962e-06,6.293037e-06,6.294007e-06,6.317459e-06,6.323748e-06,6.339375e-06,6.351812e-06,6.359813e-06,6.377356e-06,6.378826e-06,6.396469e-06,6.400505e-06,6.412793e-06,6.421377e-06,6.427848e-06,6.440087e-06,6.441684e-06,6.454347e-06,6.456743e-06,6.465884e-06,6.471452e-06,6.476337e-06,6.484313e-06,6.485751e-06,6.494167e-06,6.495424e-06,6.501626e-06,6.504877e-06,6.508165e-06,6.512760e-06,6.513823e-06,6.518635e-06,6.519158e-06,6.522639e-06,6.524152e-06,6.525866e-06,6.527821e-06,6.528351e-06,6.530125e-06,6.530237e-06,6.531218e-06,6.531472e-06,6.531662e-06,6.531594e-06,6.531483e-06,6.530711e-06,6.530668e-06,6.529371e-06,6.528754e-06,6.527489e-06,6.525914e-06,6.525092e-06,6.522201e-06,6.517671e-06,6.512375e-06,6.506361e-06,6.499676e-06,6.492365e-06,6.484469e-06,6.476030e-06,6.467084e-06,6.457670e-06,6.447821e-06,6.437571e-06,6.426951e-06,6.415990e-06,6.404718e-06,6.393161e-06,6.381345e-06,6.369293e-06,6.357030e-06,6.344577e-06,6.331954e-06,6.319182e-06,6.306278e-06,6.293261e-06,6.280147e-06
0.000000e+00,2.695495e-11,6.640842e-11,2.461221e-10,5.783549e-10,8.529744e-10,1.964370e-09,2.024113e-09,3.920464e-09,4.601887e-09,6.690574e-09,8.830138e-09,1.047319e-08,1.495838e-08,1.539707e-08,2.157330e-08,2.325123e-08,2.907481e-08,3.386149e-08,3.791280e-08,4.675651e-08,4.803655e-08,5.935911e-08,6.175879e-08,7.178093e-08,7.864058e-08,8.519888e-08,9.716205e-08,9.950656e-08,1.145933e-07,1.170718e-07,1.303436e-07,1.381045e-07,1.466382e-07,1.599843e-07,1.633558e-07,1.803750e-07,1.824319e-07,1.975770e-07,2.051741e-07,2.148473e-07,2.279516e-07,2.320778e-07,2.491685e-07,2.505270e-07,2.660286e-07,2.726896e-07,2.825770e-07,2.942586e-07,2.987428e-07,3.144656e-07,3.150846e-07,3.296949e-07,3.350485e-07,3.443898e-07,3.540605e-07,3.585185e-07,3.720574e-07,3.849905e-07,3.889994e-07,3.973082e-07,4.048667e-07,4.090069e-07,4.196564e-07,4.200879e-07,4.305571e-07,4.333800e-07,4.404239e-07,4.460599e-07,4.497007e-07,4.577269e-07,4.584023e-07,4.665454e-07,4.684187e-07,4.741485e-07,4.781774e-07,4.812306e-07,4.870480e-07,4.878120e-07,4.939131e-07,4.950775e-07,4.995546e-07,5.023136e-07,5.047575e-07,5.088039e-07,5.095422e-07,5.139293e-07,5.145956e-07,5.179385e-07,5.197344e-07,5.215892e-07,5.242645e-07,5.249004e-07,5.278903e-07,5.282284e-07,5.305765e-07,5.316666e-07,5.329760e-07,5.346179e-07,5.351051e-07,5.369793e-07,5.371187e-07,5.386136e-07,5.392034e-07,5.400222e-07,5.409043e-07,5.412187e-07,5.422160e-07,5.422520e-07,5.430265e-07,5.432748e-07,5.436618e-07,5.439994e-07,5.441330e-07,5.444508e-07,5.446251e-07,5.446521e-07,5.446653e-07,5.446249e-07,5.445805e-07,5.443893e-07,5.443791e-07,5.440692e-07,5.439640e-07,5.436584e-07,5.433664e-07,5.431538e-07,5.426125e-07,5.425622e-07,5.418900e-07,5.417173e-07,5.411432e-07,5.406946e-07,5.403277e-07,5.395573e-07,5.394486e-07,5.385112e-07,5.383171e-07,5.375201e-07,5.369851e-07,5.364800e-07,5.355714e-07,5.353949e-07,5.342690e-07,5.340853e-07,5.331060e-07,5.325356e-07,5.319094e-07,5.309302e-07,5.306825e-07,5.294285e-07,5.292764e-07,5.281504e-07,5.275810e-07,5.268508e-07,5.258504e-07,5.255324e-07,5.241976e-07,5.240902e-07,5.228487e-07,5.223057e-07,5.214879e-07,5.205018e-07,5.201171e-07,5.187383e-07,5.186830e-07,5.173531e-07,5.168533e-07,5.159633e-07,5.150164e-07,5.145704e-07,5.131758e-07,5.113347e-07,5.094958e-07,5.076619e-07,5.058351e-07,5.040178e-07,5.022118e-07,5.004190e-07,4.986408e-07,4.968788e-07,4.951341e-07,4.934081e-07,4.917016e-07,4.900155e-07,4.883508e-07,4.867080e-07,4.850878e-07,4.834907e-07,4.819171e-07,4.803674e-07,4.788419e-07,4.773408e-07,4.758643e-07,4.744125e-07,4.729856e-07
0.000000e+00,6.053950e-12,3.591429e-11,4.703366e-10,2.423079e-09,5.023292e-09,2.295801e-08,2.421397e-08,7.642042e-08,1.001898e-07,1.862741e-07,2.917701e-07,3.827537e-07,6.676848e-07,6.980944e-07,1.167200e-06,1.306682e-06,1.825979e-06,2.290181e-06,2.706915e-06,3.684274e-06,3.832721e-06,5.211879e-06,5.517830e-06,6.838756e-06,7.777607e-06,8.697385e-06,1.042196e-05,1.076610e-05,1.302115e-05,1.339765e-05,1.543868e-05,1.664998e-05,1.799552e-05,2.012616e-05,2.066918e-05,2.343779e-05,2.377538e-05,2.627990e-05,2.754828e-05,2.917449e-05,3.139683e-05,3.210104e-05,3.503977e-05,3.527482e-05,3.797183e-05,3.913878e-05,4.087955e-05,4.294884e-05,4.374666e-05,4.655844e-05,4.666957e-05,4.930186e-05,5.027052e-05,5.196560e-05,5.372648e-05,5.454009e-05,5.701746e-05,5.939145e-05,6.012848e-05,6.165731e-05,6.304911e-05,6.381169e-05,6.577307e-05,6.585251e-05,6.777883e-05,6.829766e-05,6.959066e-05,7.062314e-05,7.128888e-05,7.275228e-05,7.287510e-05,7.435152e-05,7.468981e-05,7.572083e-05,7.644199e-05,7.698611e-05,7.801619e-05,7.815076e-05,7.921840e-05,7.942062e-05,8.019282e-05,8.066397e-05,8.107791e-05,8.175524e-05,8.187761e-05,8.259587e-05,8.270350e-05,8.323663e-05,8.351781e-05,8.380377e-05,8.420704e-05,8.430110e-05,8.473236e-05,8.477984e-05,8.510117e-05,8.524457e-05,8.541104e-05,8.560922e-05,8.566538e-05,8.586745e-05,8.588146e-05,8.602041e-05,8.606853e-05,8.612728e-05,8.617731e-05,8.619094e-05,8.621414e-05,8.621427e-05,8.619954e-05,8.618551e-05,8.614962e-05,8.609674e-05,8.606680e-05,8.595333e-05,8.581137e-05,8.576027e-05,8.564298e-05,8.552223e-05,8.545008e-05,8.524356e-05,8.523452e-05,8.499804e-05,8.492830e-05,8.474228e-05,8.458022e-05,8.446880e-05,8.420281e-05,8.417906e-05,8.387446e-05,8.379929e-05,8.355629e-05,8.337266e-05,8.322580e-05,8.292570e-05,8.288414e-05,8.253242e-05,8.246095e-05,8.217164e-05,8.198079e-05,8.180280e-05,8.148739e-05,8.142678e-05,8.104446e-05,8.098275e-05,8.065662e-05,8.046873e-05,8.026403e-05,7.994700e-05,7.986738e-05,7.946733e-05,7.941913e-05,7.906451e-05,7.888654e-05,7.865949e-05,7.835054e-05,7.825281e-05,7.784497e-05,7.781231e-05,7.743645e-05,7.727294e-05,7.702767e-05,7.673342e-05,7.661905e-05,7.621096e-05,7.619466e-05,7.580376e-05,7.565745e-05,7.539778e-05,7.512256e-05,7.499331e-05,7.459063e-05,7.406228e-05,7.353803e-05,7.301839e-05,7.250377e-05,7.199456e-05,7.149110e-05,7.099368e-05,7.050256e-05,7.001796e-05,6.954008e-05,6.906908e-05,6.860509e-05,6.814823e-05,6.769858e-05,6.725622e-05,6.682119e-05,6.639351e-05,6.597322e-05,6.556030e-05,6.515475e-05,6.475655e-05,6.436566e-05,6.398203e-05,6.360562e-05
0.000000e+00,1.453729e-10,3.918943e-10,1.598928e-09,3.936284e-09,5.912030e-09,1.410069e-08,1.454687e-08,2.891838e-08,3.416259e-08,5.044139e-08,6.738081e-08,8.053453e-08,1.168787e-07,1.204555e-07,1.708896e-07,1.845599e-07,2.317343e-07,2.701567e-07,3.024445e-07,3.723355e-07,3.823974e-07,4.709701e-07,4.896620e-07,5.675007e-07,6.206009e-07,6.712546e-07,7.633964e-07,7.814175e-07,8.971064e-07,9.160678e-07,1.017392e-06,1.076483e-06,1.141324e-06,1.242461e-06,1.267960e-06,1.396384e-06,1.411873e-06,1.525731e-06,1.582727e-06,1.655200e-06,1.753228e-06,1.784064e-06,1.911673e-06,1.921810e-06,2.037461e-06,2.087154e-06,2.160941e-06,2.248185e-06,2.281704e-06,2.399412e-06,2.404053e-06,2.513794e-06,2.554115e-06,2.624638e-06,2.697909e-06,2.731786e-06,2.835124e-06,2.934581e-06,2.965580e-06,3.030118e-06,3.089200e-06,3.121727e-06,3.205991e-06,3.209424e-06,3.293246e-06,3.316028e-06,3.373246e-06,3.419440e-06,3.449492e-06,3.516390e-06,3.522062e-06,3.591042e-06,3.607073e-06,3.656524e-06,3.691703e-06,3.718608e-06,3.770510e-06,3.777393e-06,3.832984e-06,3.843728e-06,3.885485e-06,3.911600e-06,3.935002e-06,3.974367e-06,3.981640e-06,4.025502e-06,4.032270e-06,4.066693e-06,4.085546e-06,4.105314e-06,4.134428e-06,4.141465e-06,4.175244e-06,4.179143e-06,4.206747e-06,4.219911e-06,4.236067e-06,4.256946e-06,4.263295e-06,4.288520e-06,4.290454e-06,4.311828e-06,4.320632e-06,4.333301e-06,4.347672e-06,4.353022e-06,4.371067e-06,4.371756e-06,4.387514e-06,4.393058e-06,4.402435e-06,4.411745e-06,4.415900e-06,4.427979e-06,4.438736e-06,4.441910e-06,4.448236e-06,4.453684e-06,4.456539e-06,4.463439e-06,4.463704e-06,4.469788e-06,4.471306e-06,4.474846e-06,4.477410e-06,4.478930e-06,4.481870e-06,4.482090e-06,4.484374e-06,4.484797e-06,4.485830e-06,4.486300e-06,4.486502e-06,4.486478e-06,4.486432e-06,4.485662e-06,4.485427e-06,4.484231e-06,4.483239e-06,4.482177e-06,4.479997e-06,4.479537e-06,4.476344e-06,4.475784e-06,4.472632e-06,4.470675e-06,4.468433e-06,4.464743e-06,4.463777e-06,4.458693e-06,4.458056e-06,4.453210e-06,4.450677e-06,4.447353e-06,4.442668e-06,4.441148e-06,4.434619e-06,4.434084e-06,4.427790e-06,4.424979e-06,4.420682e-06,4.415404e-06,4.413317e-06,4.405715e-06,4.405406e-06,4.397895e-06,4.395029e-06,4.389874e-06,4.384315e-06,4.381671e-06,4.373303e-06,4.362028e-06,4.350527e-06,4.338830e-06,4.326967e-06,4.314966e-06,4.302855e-06,4.290655e-06,4.278391e-06,4.266084e-06,4.253752e-06,4.241414e-06,4.229087e-06,4.216786e-06,4.204526e-06,4.192319e-06,4.180178e-06,4.168115e-06,4.156139e-06,4.144259e-06,4.132485e-06,4.120824e-06,4.109283e-06,4.097868e-06,4.086586e-06
0.000000e+00,2.321312e-12,1.437957e-11,2.054476e-10,1.142154e-09,2.465538e-09,1.245308e-08,1.318604e-08,4.564969e-08,6.130553e-08,1.208465e-07,1.980693e-07,2.673905e-07,4.960881e-07,5.213292e-07,9.257269e-07,1.050450e-06,1.528444e-06,1.970368e-06,2.376447e-06,3.356201e-06,3.507853e-06,4.945629e-06,5.270754e-06,6.695680e-06,7.726630e-06,8.749081e-06,1.069431e-05,1.108634e-05,1.368172e-05,1.411904e-05,1.650657e-05,1.793535e-05,1.953142e-05,2.207562e-05,2.272701e-05,2.606471e-05,2.647345e-05,2.951663e-05,3.106464e-05,3.305563e-05,3.578726e-05,3.665534e-05,4.029027e-05,4.058184e-05,4.393597e-05,4.539204e-05,4.756930e-05,5.016541e-05,5.116859e-05,5.471388e-05,5.485431e-05,5.818714e-05,5.941672e-05,6.157232e-05,6.381675e-05,6.485550e-05,6.802486e-05,7.107064e-05,7.201786e-05,7.398505e-05,7.577852e-05,7.676218e-05,7.929516e-05,7.939783e-05,8.188940e-05,8.256102e-05,8.423565e-05,8.557360e-05,8.643659e-05,8.833404e-05,8.849331e-05,9.040781e-05,9.084642e-05,9.218284e-05,9.311718e-05,9.382179e-05,9.515459e-05,9.532857e-05,9.670746e-05,9.696829e-05,9.796307e-05,9.856886e-05,9.910021e-05,9.996748e-05,1.001238e-04,1.010390e-04,1.011757e-04,1.018508e-04,1.022052e-04,1.025642e-04,1.030675e-04,1.031843e-04,1.037159e-04,1.037740e-04,1.041640e-04,1.043359e-04,1.045331e-04,1.047637e-04,1.048279e-04,1.050528e-04,1.050679e-04,1.052119e-04,1.052581e-04,1.053095e-04,1.053438e-04,1.053494e-04,1.053354e-04,1.053338e-04,1.052711e-04,1.052363e-04,1.051600e-04,1.050593e-04,1.050053e-04,1.048101e-04,1.045775e-04,1.044956e-04,1.043102e-04,1.041222e-04,1.040109e-04,1.036959e-04,1.036822e-04,1.033264e-04,1.032223e-04,1.029459e-04,1.027066e-04,1.025427e-04,1.021536e-04,1.021190e-04,1.016766e-04,1.015678e-04,1.012173e-04,1.009534e-04,1.007429e-04,1.003141e-04,1.002548e-04,9.975478e-05,9.965345e-05,9.924407e-05,9.897474e-05,9.872405e-05,9.828095e-05,9.819596e-05,9.766097e-05,9.757480e-05,9.712017e-05,9.685883e-05,9.657460e-05,9.613534e-05,9.602519e-05,9.547286e-05,9.540642e-05,9.491842e-05,9.467401e-05,9.436266e-05,9.393985e-05,9.380630e-05,9.325000e-05,9.320552e-05,9.269439e-05,9.247247e-05,9.214005e-05,9.174201e-05,9.158750e-05,9.103725e-05,9.101529e-05,9.048974e-05,9.029339e-05,8.994539e-05,8.957723e-05,8.940458e-05,8.886768e-05,8.816547e-05,8.747126e-05,8.678565e-05,8.610914e-05,8.544217e-05,8.478512e-05,8.413831e-05,8.350201e-05,8.287645e-05,8.226180e-05,8.165819e-05,8.106573e-05,8.048450e-05,7.991452e-05,7.935581e-05,7.880835e-05,7.827212e-05,7.774705e-05,7.723307e-05,7.673009e-05,7.623800e-05,7.575669e-05,7.528603e-05,7.482588e-05
0.000000e+00,1.007184e-11,2.298797e-11,7.846887e-11,1.773544e-10,2.578987e-10,5.811807e-10,5.985448e-10,1.153039e-09,1.354486e-09,1.980619e-09,2.635752e-09,3.147767e-09,4.578068e-09,4.720000e-09,6.738144e-09,7.288542e-09,9.185964e-09,1.071630e-08,1.198326e-08,1.464673e-08,1.502029e-08,1.819624e-08,1.884086e-08,2.143344e-08,2.312144e-08,2.467492e-08,2.736965e-08,2.787816e-08,3.101031e-08,3.150303e-08,3.404521e-08,3.546110e-08,3.696193e-08,3.919893e-08,3.974388e-08,4.237840e-08,4.268417e-08,4.485641e-08,4.589555e-08,4.717210e-08,4.882157e-08,4.932255e-08,5.130740e-08,5.145908e-08,5.312845e-08,5.381175e-08,5.478925e-08,5.588850e-08,5.629471e-08,5.765094e-08,5.770218e-08,5.886487e-08,5.926847e-08,5.994394e-08,6.060463e-08,6.089591e-08,6.172868e-08,6.245015e-08,6.265879e-08,6.306810e-08,6.341277e-08,6.359011e-08,6.400778e-08,6.402350e-08,6.437526e-08,6.446004e-08,6.465204e-08,6.478476e-08,6.486015e-08,6.499606e-08,6.500551e-08,6.509368e-08,6.510691e-08,6.512985e-08,6.512922e-08,6.511887e-08,6.507379e-08,6.506524e-08,6.497314e-08,6.495045e-08,6.484643e-08,6.476807e-08,6.468869e-08,6.453463e-08,6.450322e-08,6.429305e-08,6.425733e-08,6.406099e-08,6.394258e-08,6.380960e-08,6.359617e-08,6.354124e-08,6.325809e-08,6.322321e-08,6.296211e-08,6.282829e-08,6.265513e-08,6.241550e-08,6.233881e-08,6.201466e-08,6.198843e-08,6.168406e-08,6.155030e-08,6.134828e-08,6.110394e-08,6.100845e-08,6.066561e-08,6.065185e-08,6.032072e-08,6.019622e-08,5.997462e-08,5.973899e-08,5.962810e-08,5.928185e-08,5.893649e-08,5.882626e-08,5.859261e-08,5.837352e-08,5.825069e-08,5.792474e-08,5.791121e-08,5.757456e-08,5.748085e-08,5.724110e-08,5.704269e-08,5.691115e-08,5.661095e-08,5.658500e-08,5.626289e-08,5.618621e-08,5.594503e-08,5.576896e-08,5.563161e-08,5.535961e-08,5.532280e-08,5.501871e-08,5.495848e-08,5.471948e-08,5.456583e-08,5.442519e-08,5.418186e-08,5.413591e-08,5.385171e-08,5.380671e-08,5.357262e-08,5.344048e-08,5.329868e-08,5.308324e-08,5.302990e-08,5.276628e-08,5.273500e-08,5.250784e-08,5.239575e-08,5.225454e-08,5.206547e-08,5.200637e-08,5.176331e-08,5.174408e-08,5.152531e-08,5.143151e-08,5.129232e-08,5.112766e-08,5.106432e-08,5.084123e-08,5.083241e-08,5.062301e-08,5.054563e-08,5.040960e-08,5.026719e-08,5.020092e-08,4.999693e-08,4.973470e-08,4.948034e-08,4.923369e-08,4.899457e-08,4.876280e-08,4.853823e-08,4.832066e-08,4.810993e-08,4.790586e-08,4.770827e-08,4.751698e-08,4.733184e-08,4.715266e-08,4.697927e-08,4.681152e-08,4.664924e-08,4.649227e-08,4.634044e-08,4.619362e-08,4.605164e-08,4.591436e-08,4.578163e-08,4.565332e-08,4.552928e-08
0.000000e+00,4.171397e-11,2.064934e-10,1.926008e-09,7.592041e-09,1.381095e-08,4.735682e-08,4.943936e-08,1.256309e-07,1.568945e-07,2.627616e-07,3.845556e-07,4.858842e-07,7.900996e-07,8.216303e-07,1.288381e-06,1.420534e-06,1.889219e-06,2.281561e-06,2.616442e-06,3.352866e-06,3.459921e-06,4.411190e-06,4.613775e-06,5.463646e-06,6.049006e-06,6.611569e-06,7.645428e-06,7.849238e-06,9.170430e-06,9.389121e-06,1.056826e-05,1.126425e-05,1.203519e-05,1.325311e-05,1.356319e-05,1.514387e-05,1.533669e-05,1.676875e-05,1.749552e-05,1.842940e-05,1.971039e-05,2.011766e-05,2.182577e-05,2.196305e-05,2.354644e-05,2.423670e-05,2.527295e-05,2.651620e-05,2.699919e-05,2.871967e-05,2.878830e-05,3.042953e-05,3.104164e-05,3.212449e-05,3.326664e-05,3.380083e-05,3.545537e-05,3.708537e-05,3.760141e-05,3.868855e-05,3.969960e-05,4.026298e-05,4.174594e-05,4.180711e-05,4.331964e-05,4.373734e-05,4.479956e-05,4.567152e-05,4.624609e-05,4.754689e-05,4.765863e-05,4.903677e-05,4.936237e-05,5.038023e-05,5.111737e-05,5.168888e-05,5.281165e-05,5.296267e-05,5.420167e-05,5.444530e-05,5.540601e-05,5.601864e-05,5.657590e-05,5.753218e-05,5.771161e-05,5.881347e-05,5.898664e-05,5.988182e-05,6.038284e-05,6.091707e-05,6.172172e-05,6.191965e-05,6.289001e-05,6.300431e-05,6.382863e-05,6.423170e-05,6.473602e-05,6.540505e-05,6.561268e-05,6.645914e-05,6.652556e-05,6.727593e-05,6.759446e-05,6.806361e-05,6.861301e-05,6.882271e-05,6.955381e-05,6.958248e-05,7.025745e-05,7.050415e-05,7.093421e-05,7.137932e-05,7.158463e-05,7.220928e-05,7.280873e-05,7.299532e-05,7.338352e-05,7.373871e-05,7.393422e-05,7.444074e-05,7.446138e-05,7.496554e-05,7.510265e-05,7.544724e-05,7.572571e-05,7.590703e-05,7.631113e-05,7.634543e-05,7.676297e-05,7.686013e-05,7.716017e-05,7.737391e-05,7.753754e-05,7.785363e-05,7.789559e-05,7.823481e-05,7.830044e-05,7.855570e-05,7.871548e-05,7.885875e-05,7.909986e-05,7.914442e-05,7.941318e-05,7.945465e-05,7.966550e-05,7.978091e-05,7.990183e-05,8.007968e-05,8.012261e-05,8.032828e-05,8.035197e-05,8.051927e-05,8.059876e-05,8.069600e-05,8.082103e-05,8.085887e-05,8.100831e-05,8.101969e-05,8.114469e-05,8.119568e-05,8.126842e-05,8.134987e-05,8.137986e-05,8.147940e-05,8.148314e-05,8.156739e-05,8.159631e-05,8.164420e-05,8.169022e-05,8.171017e-05,8.176565e-05,8.182337e-05,8.186414e-05,8.188868e-05,8.189770e-05,8.189186e-05,8.187185e-05,8.183830e-05,8.179183e-05,8.173303e-05,8.166250e-05,8.158079e-05,8.148845e-05,8.138601e-05,8.127396e-05,8.115280e-05,8.102301e-05,8.088504e-05,8.073934e-05,8.058632e-05,8.042641e-05,8.025999e-05,8.008745e-05,7.990915e-05,7.972545e-05
0.000000e+00,4.002139e-13,2.697992e-12,4.594989e-11,2.998529e-10,7.068876e-10,4.484733e-09,4.793016e-09,2.082210e-08,2.974556e-08,6.848774e-08,1.272389e-07,1.863102e-07,4.133376e-07,4.409144e-07,9.355600e-07,1.105176e-06,1.814919e-06,2.543102e-06,3.264860e-06,5.188742e-06,5.507881e-06,8.795542e-06,9.602072e-06,1.339917e-05,1.640631e-05,1.959980e-05,2.624810e-05,2.767816e-05,3.790496e-05,3.975779e-05,5.053207e-05,5.751298e-05,6.578460e-05,8.000700e-05,8.385423e-05,1.048938e-04,1.076239e-04,1.290134e-04,1.406200e-04,1.562773e-04,1.791136e-04,1.867036e-04,2.202633e-04,2.230815e-04,2.568827e-04,2.723624e-04,2.964452e-04,3.266664e-04,3.387949e-04,3.837413e-04,3.855902e-04,4.310635e-04,4.486344e-04,4.805156e-04,5.152248e-04,5.318322e-04,5.847336e-04,6.389312e-04,6.565004e-04,6.941324e-04,7.298528e-04,7.500452e-04,8.041247e-04,8.063828e-04,8.628666e-04,8.786716e-04,9.192300e-04,9.528847e-04,9.752208e-04,1.026200e-03,1.030603e-03,1.085160e-03,1.098108e-03,1.138692e-03,1.168155e-03,1.191022e-03,1.235952e-03,1.241992e-03,1.291463e-03,1.301167e-03,1.339319e-03,1.363532e-03,1.385460e-03,1.422834e-03,1.429806e-03,1.472294e-03,1.478917e-03,1.512879e-03,1.531673e-03,1.551528e-03,1.581041e-03,1.588224e-03,1.622963e-03,1.627000e-03,1.655751e-03,1.669564e-03,1.686606e-03,1.708778e-03,1.715553e-03,1.742627e-03,1.744713e-03,1.767866e-03,1.777459e-03,1.791318e-03,1.807125e-03,1.813034e-03,1.833066e-03,1.833834e-03,1.851474e-03,1.857715e-03,1.868317e-03,1.878908e-03,1.883657e-03,1.897554e-03,1.910073e-03,1.913798e-03,1.921275e-03,1.927783e-03,1.931224e-03,1.939652e-03,1.939980e-03,1.947605e-03,1.949545e-03,1.954157e-03,1.957598e-03,1.959695e-03,1.963942e-03,1.964274e-03,1.967949e-03,1.968703e-03,1.970773e-03,1.972001e-03,1.972795e-03,1.973950e-03,1.974064e-03,1.974628e-03,1.974660e-03,1.974529e-03,1.974231e-03,1.973812e-03,1.972761e-03,1.972516e-03,1.970680e-03,1.970338e-03,1.968340e-03,1.967048e-03,1.965531e-03,1.962969e-03,1.962287e-03,1.958637e-03,1.958173e-03,1.954612e-03,1.952729e-03,1.950240e-03,1.946700e-03,1.945546e-03,1.940556e-03,1.940145e-03,1.935293e-03,1.933116e-03,1.929779e-03,1.925665e-03,1.924035e-03,1.918080e-03,1.917838e-03,1.911933e-03,1.909676e-03,1.905611e-03,1.901220e-03,1.899130e-03,1.892505e-03,1.883564e-03,1.874428e-03,1.865125e-03,1.855680e-03,1.846117e-03,1.836458e-03,1.826722e-03,1.816927e-03,1.807091e-03,1.797227e-03,1.787351e-03,1.777474e-03,1.767609e-03,1.757765e-03,1.747952e-03,1.738180e-03,1.728455e-03,1.718785e-03,1.709176e-03,1.699635e-03,1.690166e-03,1.680775e-03,1.671465e-03,1.662241e-03
0.000000e+00,6.801447e-14,4.585430e-13,7.809601e-12,5.091668e-11,1.199062e-10,7.566126e-10,8.083630e-10,3.473459e-09,4.941433e-09,1.123024e-08,2.058829e-08,2.984898e-08,6.460002e-08,6.875770e-08,1.420204e-07,1.667636e-07,2.692156e-07,3.733500e-07,4.761490e-07,7.498643e-07,7.953334e-07,1.266172e-06,1.382484e-06,1.934795e-06,2.377794e-06,2.853545e-06,3.860669e-06,4.080116e-06,5.676434e-06,5.970461e-06,7.707306e-06,8.855904e-06,1.023893e-05,1.266917e-05,1.333730e-05,1.706667e-05,1.755953e-05,2.148792e-05,2.366712e-05,2.665715e-05,3.111702e-05,3.262433e-05,3.943211e-05,4.001413e-05,4.711488e-05,5.043898e-05,5.569799e-05,6.244458e-05,6.519725e-05,7.561860e-05,7.605461e-05,8.695806e-05,9.126266e-05,9.920185e-05,1.080327e-04,1.123267e-04,1.263005e-04,1.410827e-04,1.459761e-04,1.566253e-04,1.669466e-04,1.728736e-04,1.890799e-04,1.897673e-04,2.072411e-04,2.122285e-04,2.252262e-04,2.362329e-04,2.436508e-04,2.609264e-04,2.624414e-04,2.815234e-04,2.861382e-04,3.008223e-04,3.116968e-04,3.202641e-04,3.374336e-04,3.397764e-04,3.592888e-04,3.631853e-04,3.787335e-04,3.887964e-04,3.980458e-04,4.141209e-04,4.171644e-04,4.360320e-04,4.390238e-04,4.545951e-04,4.633827e-04,4.728047e-04,4.870874e-04,4.906158e-04,5.079881e-04,5.100415e-04,5.248854e-04,5.321615e-04,5.412762e-04,5.533772e-04,5.571328e-04,5.724319e-04,5.736311e-04,5.871542e-04,5.928780e-04,6.012841e-04,6.110841e-04,6.148098e-04,6.277225e-04,6.282262e-04,6.400172e-04,6.442914e-04,6.516912e-04,6.592753e-04,6.627452e-04,6.731819e-04,6.830065e-04,6.860222e-04,6.922263e-04,6.978137e-04,7.008505e-04,7.085792e-04,7.088897e-04,7.163563e-04,7.183461e-04,7.232637e-04,7.271457e-04,7.296264e-04,7.350125e-04,7.354601e-04,7.407808e-04,7.419833e-04,7.456054e-04,7.480969e-04,7.499512e-04,7.533935e-04,7.538359e-04,7.572774e-04,7.579141e-04,7.602937e-04,7.617002e-04,7.629029e-04,7.647931e-04,7.651229e-04,7.669717e-04,7.672342e-04,7.684669e-04,7.690641e-04,7.696259e-04,7.703226e-04,7.704659e-04,7.710037e-04,7.710487e-04,7.712556e-04,7.712800e-04,7.712376e-04,7.710531e-04,7.709653e-04,7.704537e-04,7.704029e-04,7.697174e-04,7.693631e-04,7.687704e-04,7.679658e-04,7.676263e-04,7.662983e-04,7.662415e-04,7.647988e-04,7.642194e-04,7.631399e-04,7.619268e-04,7.613332e-04,7.593896e-04,7.566324e-04,7.536781e-04,7.505481e-04,7.472626e-04,7.438403e-04,7.402988e-04,7.366543e-04,7.329219e-04,7.291154e-04,7.252479e-04,7.213312e-04,7.173762e-04,7.133930e-04,7.093909e-04,7.053782e-04,7.013626e-04,6.973511e-04,6.933502e-04,6.893655e-04,6.854024e-04,6.814654e-04,6.775589e-04,6.736865e-04,6.698517e-04
0.000000e+00,9.117311e-14,6.003743e-13,9.723976e-12,6.049084e-11,1.387664e-10,8.171294e-10,8.705315e-10,3.485867e-09,4.863576e-09,1.052117e-08,1.852601e-08,2.615782e-08,5.334350e-08,5.648929e-08,1.096549e-07,1.269026e-07,1.958485e-07,2.629925e-07,3.272011e-07,4.910638e-07,5.174988e-07,7.816603e-07,8.447021e-07,1.134906e-06,1.358651e-06,1.591645e-06,2.064403e-06,2.164221e-06,2.861758e-06,2.985359e-06,3.689290e-06,4.133000e-06,4.647302e-06,5.505047e-06,5.731692e-06,6.934123e-06,7.085813e-06,8.242631e-06,8.848243e-06,9.642396e-06,1.075695e-05,1.111659e-05,1.264721e-05,1.277155e-05,1.421585e-05,1.484987e-05,1.580435e-05,1.695058e-05,1.739536e-05,1.897274e-05,1.903534e-05,2.052192e-05,2.107019e-05,2.203006e-05,2.302646e-05,2.348616e-05,2.488110e-05,2.620762e-05,2.661671e-05,2.746020e-05,2.822121e-05,2.863499e-05,2.968737e-05,2.972960e-05,3.074300e-05,3.101219e-05,3.167532e-05,3.219623e-05,3.252769e-05,3.324291e-05,3.330204e-05,3.400100e-05,3.415788e-05,3.462772e-05,3.494842e-05,3.518571e-05,3.562292e-05,3.567879e-05,3.611094e-05,3.619041e-05,3.648620e-05,3.666020e-05,3.680863e-05,3.704156e-05,3.708222e-05,3.731087e-05,3.734353e-05,3.749833e-05,3.757474e-05,3.764819e-05,3.774328e-05,3.776382e-05,3.784842e-05,3.785663e-05,3.790495e-05,3.792165e-05,3.793618e-05,3.794456e-05,3.794465e-05,3.793271e-05,3.793094e-05,3.790251e-05,3.788576e-05,3.785602e-05,3.781346e-05,3.779501e-05,3.772112e-05,3.771792e-05,3.763581e-05,3.760257e-05,3.754042e-05,3.747040e-05,3.743613e-05,3.732404e-05,3.720512e-05,3.716576e-05,3.708023e-05,3.699754e-05,3.695017e-05,3.682111e-05,3.681565e-05,3.667730e-05,3.663795e-05,3.653569e-05,3.644937e-05,3.639133e-05,3.625649e-05,3.624469e-05,3.609618e-05,3.606030e-05,3.594617e-05,3.586163e-05,3.579499e-05,3.566124e-05,3.564296e-05,3.549033e-05,3.545975e-05,3.533735e-05,3.525774e-05,3.518425e-05,3.505569e-05,3.503122e-05,3.487844e-05,3.485403e-05,3.472607e-05,3.465312e-05,3.457426e-05,3.445330e-05,3.442313e-05,3.427282e-05,3.425484e-05,3.412342e-05,3.405800e-05,3.397503e-05,3.386298e-05,3.382774e-05,3.368162e-05,3.366998e-05,3.353674e-05,3.347916e-05,3.339318e-05,3.329065e-05,3.325097e-05,3.311019e-05,3.310458e-05,3.297085e-05,3.292106e-05,3.283302e-05,3.274017e-05,3.269672e-05,3.256198e-05,3.238657e-05,3.221397e-05,3.204422e-05,3.187737e-05,3.171342e-05,3.155240e-05,3.139431e-05,3.123916e-05,3.108694e-05,3.093766e-05,3.079129e-05,3.064782e-05,3.050724e-05,3.036951e-05,3.023462e-05,3.010254e-05,2.997324e-05,2.984668e-05,2.972283e-05,2.960167e-05,2.948315e-05,2.936723e-05,2.925388e-05,2.914306e-05
0.000000e+00,7.428929e-12,4.122961e-11,4.739705e-10,2.189655e-09,4.293489e-09,1.723503e-08,1.809018e-08,5.129558e-08,6.556088e-08,1.151373e-07,1.734612e-07,2.226016e-07,3.730540e-07,3.889255e-07,6.314130e-07,7.028902e-07,9.668909e-07,1.199844e-06,1.406195e-06,1.878574e-06,1.948831e-06,2.582559e-06,2.718593e-06,3.288119e-06,3.676528e-06,4.045034e-06,4.707215e-06,4.835247e-06,5.644256e-06,5.774651e-06,6.460788e-06,6.852718e-06,7.275969e-06,7.922279e-06,8.082627e-06,8.874789e-06,8.968625e-06,9.647387e-06,9.979999e-06,1.039612e-05,1.094697e-05,1.111740e-05,1.180830e-05,1.186219e-05,1.246653e-05,1.272029e-05,1.309043e-05,1.351774e-05,1.367890e-05,1.423136e-05,1.425271e-05,1.474772e-05,1.492482e-05,1.522829e-05,1.553493e-05,1.567369e-05,1.608484e-05,1.646289e-05,1.657708e-05,1.680913e-05,1.701469e-05,1.712498e-05,1.740097e-05,1.741192e-05,1.767145e-05,1.773942e-05,1.790511e-05,1.803353e-05,1.811444e-05,1.828683e-05,1.830094e-05,1.846608e-05,1.850269e-05,1.861127e-05,1.868437e-05,1.873787e-05,1.883494e-05,1.884718e-05,1.894044e-05,1.895726e-05,1.901879e-05,1.905401e-05,1.908334e-05,1.912765e-05,1.913512e-05,1.917509e-05,1.918046e-05,1.920417e-05,1.921451e-05,1.922320e-05,1.923173e-05,1.923298e-05,1.923422e-05,1.923383e-05,1.922764e-05,1.922242e-05,1.921385e-05,1.919893e-05,1.919346e-05,1.916702e-05,1.916466e-05,1.913504e-05,1.912080e-05,1.909799e-05,1.906844e-05,1.905633e-05,1.901045e-05,1.900854e-05,1.896075e-05,1.894199e-05,1.890757e-05,1.886958e-05,1.885123e-05,1.879205e-05,1.873031e-05,1.871005e-05,1.866626e-05,1.862417e-05,1.860015e-05,1.853495e-05,1.853220e-05,1.846262e-05,1.844287e-05,1.839160e-05,1.834838e-05,1.831933e-05,1.825186e-05,1.824596e-05,1.817164e-05,1.815368e-05,1.809653e-05,1.805417e-05,1.802075e-05,1.795360e-05,1.794442e-05,1.786765e-05,1.785225e-05,1.779055e-05,1.775036e-05,1.771322e-05,1.764814e-05,1.763574e-05,1.755819e-05,1.754579e-05,1.748066e-05,1.744347e-05,1.740320e-05,1.734134e-05,1.732589e-05,1.724879e-05,1.723955e-05,1.717194e-05,1.713822e-05,1.709540e-05,1.703747e-05,1.701922e-05,1.694343e-05,1.693739e-05,1.686809e-05,1.683808e-05,1.679321e-05,1.673961e-05,1.671884e-05,1.664500e-05,1.664206e-05,1.657173e-05,1.654549e-05,1.649904e-05,1.644996e-05,1.642696e-05,1.635550e-05,1.626218e-05,1.617001e-05,1.607904e-05,1.598929e-05,1.590078e-05,1.581354e-05,1.572757e-05,1.564289e-05,1.555950e-05,1.547742e-05,1.539665e-05,1.531718e-05,1.523903e-05,1.516217e-05,1.508662e-05,1.501237e-05,1.493940e-05,1.486772e-05,1.479730e-05,1.472815e-05,1.466025e-05,1.459359e-05,1.452815e-05,1.446392e-05
0.000000e+00,6.073066e-13,3.782676e-12,5.460555e-11,3.060155e-10,6.630854e-10,3.374015e-09,3.573398e-09,1.241159e-08,1.667018e-08,3.281680e-08,5.363111e-08,7.219674e-08,1.327459e-07,1.393705e-07,2.442819e-07,2.762663e-07,3.977877e-07,5.092309e-07,6.113109e-07,8.577429e-07,8.959981e-07,1.261139e-06,1.344388e-06,1.712147e-06,1.980818e-06,2.248929e-06,2.761832e-06,2.865416e-06,3.550422e-06,3.665438e-06,4.289371e-06,4.658532e-06,5.066246e-06,5.704403e-06,5.865259e-06,6.672004e-06,6.768721e-06,7.474083e-06,7.822808e-06,8.261274e-06,8.844504e-06,9.025439e-06,9.760303e-06,9.817676e-06,1.046117e-05,1.073119e-05,1.112464e-05,1.157784e-05,1.174839e-05,1.233099e-05,1.235342e-05,1.287172e-05,1.305611e-05,1.337050e-05,1.368590e-05,1.382774e-05,1.424429e-05,1.462136e-05,1.473393e-05,1.496046e-05,1.515833e-05,1.526330e-05,1.552169e-05,1.553179e-05,1.576795e-05,1.582856e-05,1.597385e-05,1.608375e-05,1.615161e-05,1.629210e-05,1.630333e-05,1.643106e-05,1.645837e-05,1.653680e-05,1.658712e-05,1.662245e-05,1.668264e-05,1.668982e-05,1.674062e-05,1.674893e-05,1.677643e-05,1.678963e-05,1.679873e-05,1.680802e-05,1.680888e-05,1.680813e-05,1.680707e-05,1.679760e-05,1.678939e-05,1.677835e-05,1.675729e-05,1.675130e-05,1.671732e-05,1.671281e-05,1.667716e-05,1.665772e-05,1.663152e-05,1.659356e-05,1.658103e-05,1.652623e-05,1.652167e-05,1.646762e-05,1.644321e-05,1.640565e-05,1.635918e-05,1.634073e-05,1.627320e-05,1.627045e-05,1.620341e-05,1.617778e-05,1.613163e-05,1.608182e-05,1.605812e-05,1.598313e-05,1.590687e-05,1.588222e-05,1.582951e-05,1.577952e-05,1.575125e-05,1.567540e-05,1.567223e-05,1.559259e-05,1.557020e-05,1.551248e-05,1.546422e-05,1.543199e-05,1.535770e-05,1.535124e-05,1.527032e-05,1.525088e-05,1.518932e-05,1.514396e-05,1.510832e-05,1.503711e-05,1.502740e-05,1.494662e-05,1.493049e-05,1.486605e-05,1.482425e-05,1.478573e-05,1.471850e-05,1.470572e-05,1.462607e-05,1.461336e-05,1.454681e-05,1.450892e-05,1.446799e-05,1.440528e-05,1.438965e-05,1.431180e-05,1.430250e-05,1.423449e-05,1.420065e-05,1.415774e-05,1.409980e-05,1.408157e-05,1.400601e-05,1.400000e-05,1.393108e-05,1.390129e-05,1.385679e-05,1.380371e-05,1.378316e-05,1.371020e-05,1.370729e-05,1.363793e-05,1.361208e-05,1.356635e-05,1.351809e-05,1.349549e-05,1.342534e-05,1.333385e-05,1.324364e-05,1.315471e-05,1.306708e-05,1.298075e-05,1.289572e-05,1.281200e-05,1.272958e-05,1.264846e-05,1.256865e-05,1.249013e-05,1.241289e-05,1.233694e-05,1.226225e-05,1.218883e-05,1.211665e-05,1.204571e-05,1.197600e-05,1.190751e-05,1.184021e-05,1.177410e-05,1.170916e-05,1.164538e-05,1.158274e-05
0.000000e+00,4.823008e-12,1.106909e-11,3.808995e-11,8.656061e-11,1.261822e-10,2.857123e-10,2.942908e-10,5.681587e-10,6.675142e-10,9.755819e-10,1.296651e-09,1.546760e-09,2.242706e-09,2.311628e-09,3.291590e-09,3.559434e-09,4.487457e-09,5.243338e-09,5.875458e-09,7.226239e-09,7.418276e-09,9.078856e-09,9.422265e-09,1.082624e-08,1.176070e-08,1.263542e-08,1.418754e-08,1.448554e-08,1.635854e-08,1.665924e-08,1.823835e-08,1.913880e-08,2.011059e-08,2.159426e-08,2.196244e-08,2.378269e-08,2.399853e-08,2.556178e-08,2.632942e-08,2.729170e-08,2.856950e-08,2.896596e-08,3.057959e-08,3.070595e-08,3.212892e-08,3.273006e-08,3.361148e-08,3.463673e-08,3.502582e-08,3.637142e-08,3.642382e-08,3.764847e-08,3.809156e-08,3.885777e-08,3.964204e-08,4.000062e-08,4.107867e-08,4.209387e-08,4.240581e-08,4.304837e-08,4.362846e-08,4.394447e-08,4.475197e-08,4.478453e-08,4.557098e-08,4.578190e-08,4.630623e-08,4.672382e-08,4.699270e-08,4.758320e-08,4.763275e-08,4.822868e-08,4.836539e-08,4.878273e-08,4.907550e-08,4.929704e-08,4.971841e-08,4.977369e-08,5.021467e-08,5.029875e-08,5.062187e-08,5.082087e-08,5.099711e-08,5.128887e-08,5.134211e-08,5.165851e-08,5.170659e-08,5.194787e-08,5.207760e-08,5.221168e-08,5.240526e-08,5.245133e-08,5.266815e-08,5.269269e-08,5.286340e-08,5.294279e-08,5.303828e-08,5.315826e-08,5.319392e-08,5.333137e-08,5.334162e-08,5.345166e-08,5.349519e-08,5.355574e-08,5.362114e-08,5.364451e-08,5.371882e-08,5.372150e-08,5.377949e-08,5.379814e-08,5.382728e-08,5.385279e-08,5.386292e-08,5.388708e-08,5.390042e-08,5.390250e-08,5.390354e-08,5.390045e-08,5.389704e-08,5.388223e-08,5.388144e-08,5.385728e-08,5.384905e-08,5.382505e-08,5.380202e-08,5.378520e-08,5.374220e-08,5.373818e-08,5.368441e-08,5.367055e-08,5.362429e-08,5.358798e-08,5.355817e-08,5.349533e-08,5.348643e-08,5.340940e-08,5.339338e-08,5.332738e-08,5.328287e-08,5.324070e-08,5.316448e-08,5.314963e-08,5.305444e-08,5.303885e-08,5.295539e-08,5.290655e-08,5.285273e-08,5.276816e-08,5.274669e-08,5.263749e-08,5.262418e-08,5.252533e-08,5.247510e-08,5.241042e-08,5.232136e-08,5.229294e-08,5.217308e-08,5.216339e-08,5.205100e-08,5.200158e-08,5.192686e-08,5.183630e-08,5.180082e-08,5.167303e-08,5.166788e-08,5.154362e-08,5.149666e-08,5.141272e-08,5.132293e-08,5.128047e-08,5.114697e-08,5.096905e-08,5.078940e-08,5.060827e-08,5.042587e-08,5.024239e-08,5.005804e-08,4.987297e-08,4.968737e-08,4.950138e-08,4.931514e-08,4.912881e-08,4.894249e-08,4.875632e-08,4.857039e-08,4.838482e-08,4.819971e-08,4.801513e-08,4.783118e-08,4.764794e-08,4.746547e-08,4.728385e-08,4.710314e-08,4.692339e-08,4.674467e-08
0.000000e+00,4.505889e-12,1.032766e-11,3.545107e-11,8.036568e-11,1.169698e-10,2.635353e-10,2.713833e-10,5.203619e-10,6.099993e-10,8.858988e-10,1.170578e-09,1.390629e-09,1.996907e-09,2.056574e-09,2.900771e-09,3.130763e-09,3.927616e-09,4.578066e-09,5.123596e-09,6.294654e-09,6.461712e-09,7.911574e-09,8.212471e-09,9.445837e-09,1.026920e-08,1.104142e-08,1.241461e-08,1.267862e-08,1.433997e-08,1.460696e-08,1.600972e-08,1.680989e-08,1.767345e-08,1.899128e-08,1.931811e-08,2.093205e-08,2.112316e-08,2.250508e-08,2.318196e-08,2.402854e-08,2.514876e-08,2.549528e-08,2.689967e-08,2.700919e-08,2.823747e-08,2.875323e-08,2.950568e-08,3.037463e-08,3.070246e-08,3.182701e-08,3.187049e-08,3.287942e-08,3.324076e-08,3.386047e-08,3.448750e-08,3.477153e-08,3.561446e-08,3.639146e-08,3.662659e-08,3.710504e-08,3.752966e-08,3.775785e-08,3.832998e-08,3.835270e-08,3.889244e-08,3.903408e-08,3.937995e-08,3.964859e-08,3.981811e-08,4.018005e-08,4.020973e-08,4.055757e-08,4.063483e-08,4.086429e-08,4.101905e-08,4.113246e-08,4.133854e-08,4.136456e-08,4.156295e-08,4.159878e-08,4.172987e-08,4.180495e-08,4.186747e-08,4.196187e-08,4.197777e-08,4.206267e-08,4.207403e-08,4.212401e-08,4.214557e-08,4.216346e-08,4.218036e-08,4.218265e-08,4.218308e-08,4.218194e-08,4.216617e-08,4.215358e-08,4.213325e-08,4.209830e-08,4.208557e-08,4.202430e-08,4.201885e-08,4.195054e-08,4.191777e-08,4.186531e-08,4.179738e-08,4.176957e-08,4.166422e-08,4.165982e-08,4.155010e-08,4.150702e-08,4.142799e-08,4.134077e-08,4.129863e-08,4.116270e-08,4.102084e-08,4.097429e-08,4.087365e-08,4.077690e-08,4.072167e-08,4.057175e-08,4.056543e-08,4.040541e-08,4.035999e-08,4.024205e-08,4.014262e-08,4.007579e-08,3.992058e-08,3.990699e-08,3.973604e-08,3.969473e-08,3.956325e-08,3.946581e-08,3.938896e-08,3.923455e-08,3.921343e-08,3.903695e-08,3.900156e-08,3.885976e-08,3.876742e-08,3.868210e-08,3.853265e-08,3.850417e-08,3.832618e-08,3.829771e-08,3.814832e-08,3.806304e-08,3.797074e-08,3.782899e-08,3.779361e-08,3.761707e-08,3.759593e-08,3.744125e-08,3.736415e-08,3.726627e-08,3.713392e-08,3.709225e-08,3.691929e-08,3.690550e-08,3.674747e-08,3.667909e-08,3.657689e-08,3.645488e-08,3.640763e-08,3.623974e-08,3.623306e-08,3.607331e-08,3.601376e-08,3.590838e-08,3.579711e-08,3.574501e-08,3.558324e-08,3.537223e-08,3.516417e-08,3.495913e-08,3.475716e-08,3.455832e-08,3.436264e-08,3.417015e-08,3.398087e-08,3.379482e-08,3.361199e-08,3.343240e-08,3.325603e-08,3.308287e-08,3.291291e-08,3.274614e-08,3.258252e-08,3.242204e-08,3.226466e-08,3.211036e-08,3.195910e-08,3.181085e-08,3.166557e-08,3.152322e-08,3.138377e-08
0.000000e+00,3.278620e-12,7.531945e-12,2.591236e-11,5.875984e-11,8.548631e-11,1.919905e-10,1.976689e-10,3.765115e-10,4.402923e-10,6.347138e-10,8.325678e-10,9.837959e-10,1.394115e-09,1.434080e-09,1.994306e-09,2.145878e-09,2.670614e-09,3.100966e-09,3.464836e-09,4.258151e-09,4.372827e-09,5.384350e-09,5.597857e-09,6.485057e-09,7.087410e-09,7.659095e-09,8.690513e-09,8.890856e-09,1.016566e-08,1.037270e-08,1.146986e-08,1.210257e-08,1.279081e-08,1.385177e-08,1.411686e-08,1.543735e-08,1.559497e-08,1.674270e-08,1.731002e-08,1.802440e-08,1.897812e-08,1.927511e-08,2.048861e-08,2.058392e-08,2.165980e-08,2.211549e-08,2.278465e-08,2.356411e-08,2.386013e-08,2.488408e-08,2.492395e-08,2.585517e-08,2.619168e-08,2.677276e-08,2.736612e-08,2.763682e-08,2.844784e-08,2.920670e-08,2.943872e-08,2.991466e-08,3.034172e-08,3.057320e-08,3.116050e-08,3.118404e-08,3.174901e-08,3.189925e-08,3.227007e-08,3.256247e-08,3.274923e-08,3.315478e-08,3.318851e-08,3.358994e-08,3.368088e-08,3.395555e-08,3.414538e-08,3.428730e-08,3.455275e-08,3.458711e-08,3.485684e-08,3.490733e-08,3.509828e-08,3.521322e-08,3.531315e-08,3.547432e-08,3.550310e-08,3.566969e-08,3.569428e-08,3.581442e-08,3.587653e-08,3.593869e-08,3.602428e-08,3.604385e-08,3.613116e-08,3.614050e-08,3.620183e-08,3.622794e-08,3.625697e-08,3.628917e-08,3.629767e-08,3.632491e-08,3.632654e-08,3.633964e-08,3.634223e-08,3.634275e-08,3.633826e-08,3.633507e-08,3.631738e-08,3.631647e-08,3.629042e-08,3.627858e-08,3.625487e-08,3.622613e-08,3.621139e-08,3.616058e-08,3.610301e-08,3.608324e-08,3.603921e-08,3.599534e-08,3.596968e-08,3.589798e-08,3.589489e-08,3.581529e-08,3.579219e-08,3.573127e-08,3.567891e-08,3.564323e-08,3.555899e-08,3.555153e-08,3.545649e-08,3.543323e-08,3.535845e-08,3.530234e-08,3.525770e-08,3.516700e-08,3.515450e-08,3.504912e-08,3.502781e-08,3.494181e-08,3.488531e-08,3.483278e-08,3.474003e-08,3.472225e-08,3.461042e-08,3.459242e-08,3.449747e-08,3.444291e-08,3.438358e-08,3.429189e-08,3.426890e-08,3.415358e-08,3.413970e-08,3.403777e-08,3.398669e-08,3.392159e-08,3.383312e-08,3.380517e-08,3.368862e-08,3.367929e-08,3.357204e-08,3.352543e-08,3.345554e-08,3.337176e-08,3.333920e-08,3.322312e-08,3.321848e-08,3.310736e-08,3.306579e-08,3.299201e-08,3.291384e-08,3.287713e-08,3.276278e-08,3.261275e-08,3.246388e-08,3.231626e-08,3.217000e-08,3.202518e-08,3.188188e-08,3.174018e-08,3.160013e-08,3.146178e-08,3.132518e-08,3.119037e-08,3.105738e-08,3.092625e-08,3.079699e-08,3.066963e-08,3.054417e-08,3.042064e-08,3.029903e-08,3.017936e-08,3.006162e-08,2.994581e-08,2.983193e-08,2.971997e-08,2.960992e-08
0.000000e+00,8.999375e-11,2.108531e-10,7.427430e-10,1.708305e-09,2.501979e-09,5.711703e-09,5.884571e-09,1.140233e-08,1.340093e-08,1.958029e-08,2.598947e-08,3.096118e-08,4.472023e-08,4.607858e-08,6.537213e-08,7.065303e-08,8.903522e-08,1.041411e-07,1.168795e-07,1.444222e-07,1.483716e-07,1.828322e-07,1.900218e-07,2.196109e-07,2.394623e-07,2.581475e-07,2.915276e-07,2.979675e-07,3.386609e-07,3.452281e-07,3.798659e-07,3.997303e-07,4.212611e-07,4.543213e-07,4.625612e-07,5.035156e-07,5.083962e-07,5.439071e-07,5.614524e-07,5.835513e-07,6.130854e-07,6.222943e-07,6.600107e-07,6.629805e-07,6.966009e-07,7.109037e-07,7.319882e-07,7.566899e-07,7.661163e-07,7.989461e-07,8.002319e-07,8.304533e-07,8.414695e-07,8.606260e-07,8.803800e-07,8.894626e-07,9.169702e-07,9.431625e-07,9.512693e-07,9.680587e-07,9.833226e-07,9.916821e-07,1.013188e-06,1.014060e-06,1.035222e-06,1.040934e-06,1.055200e-06,1.066633e-06,1.074028e-06,1.090362e-06,1.091738e-06,1.108367e-06,1.112201e-06,1.123951e-06,1.132233e-06,1.138523e-06,1.150539e-06,1.152121e-06,1.164778e-06,1.167199e-06,1.176529e-06,1.182293e-06,1.187409e-06,1.195898e-06,1.197450e-06,1.206687e-06,1.208092e-06,1.215150e-06,1.218948e-06,1.222873e-06,1.228537e-06,1.229884e-06,1.236216e-06,1.236931e-06,1.241896e-06,1.244196e-06,1.246953e-06,1.250396e-06,1.251414e-06,1.255307e-06,1.255594e-06,1.258657e-06,1.259850e-06,1.261489e-06,1.263221e-06,1.263828e-06,1.265697e-06,1.265762e-06,1.267118e-06,1.267525e-06,1.268114e-06,1.268560e-06,1.268706e-06,1.268915e-06,1.268759e-06,1.268636e-06,1.268258e-06,1.267765e-06,1.267431e-06,1.266345e-06,1.266294e-06,1.264864e-06,1.264414e-06,1.263159e-06,1.262010e-06,1.261193e-06,1.259167e-06,1.258982e-06,1.256539e-06,1.255920e-06,1.253879e-06,1.252300e-06,1.251016e-06,1.248337e-06,1.247961e-06,1.244727e-06,1.244060e-06,1.241326e-06,1.239495e-06,1.237769e-06,1.234669e-06,1.234067e-06,1.230229e-06,1.229603e-06,1.226266e-06,1.224322e-06,1.222188e-06,1.218847e-06,1.218002e-06,1.213718e-06,1.213198e-06,1.209344e-06,1.207392e-06,1.204887e-06,1.201450e-06,1.200356e-06,1.195756e-06,1.195386e-06,1.191096e-06,1.189216e-06,1.186381e-06,1.182956e-06,1.181617e-06,1.176811e-06,1.176618e-06,1.171968e-06,1.170216e-06,1.167093e-06,1.163762e-06,1.162191e-06,1.157267e-06,1.150742e-06,1.144195e-06,1.137637e-06,1.131076e-06,1.124519e-06,1.117975e-06,1.111448e-06,1.104947e-06,1.098476e-06,1.092041e-06,1.085647e-06,1.079298e-06,1.072998e-06,1.066752e-06,1.060561e-06,1.054430e-06,1.048361e-06,1.042357e-06,1.036420e-06,1.030552e-06,1.024754e-06,1.019029e-06,1.013377e-06,1.007799e-06
0.000000e+00,1.393408e-13,9.278206e-13,1.538471e-11,9.783263e-11,2.272127e-10,1.382572e-09,1.474942e-09,6.111639e-09,8.609447e-09,1.909223e-08,3.432524e-08,4.914695e-08,1.035250e-07,1.099414e-07,2.211553e-07,2.581471e-07,4.093534e-07,5.606877e-07,7.083596e-07,1.095239e-06,1.158759e-06,1.806331e-06,1.963759e-06,2.699582e-06,3.277294e-06,3.886822e-06,5.144503e-06,5.413231e-06,7.318305e-06,7.660505e-06,9.633862e-06,1.089820e-05,1.238270e-05,1.490283e-05,1.557786e-05,1.922243e-05,1.968977e-05,2.330985e-05,2.524488e-05,2.782445e-05,3.152685e-05,3.274239e-05,3.803262e-05,3.847085e-05,4.365809e-05,4.599290e-05,4.957691e-05,5.399466e-05,5.574357e-05,6.211013e-05,6.236826e-05,6.862738e-05,7.100093e-05,7.524582e-05,7.977923e-05,8.191669e-05,8.859278e-05,9.522915e-05,9.733744e-05,1.017837e-04,1.059177e-04,1.082179e-04,1.142487e-04,1.144965e-04,1.205885e-04,1.222571e-04,1.264670e-04,1.298819e-04,1.321091e-04,1.370747e-04,1.374959e-04,1.426124e-04,1.437988e-04,1.474475e-04,1.500292e-04,1.519935e-04,1.557511e-04,1.562458e-04,1.602031e-04,1.609592e-04,1.638664e-04,1.656561e-04,1.672390e-04,1.698513e-04,1.703264e-04,1.731358e-04,1.735600e-04,1.756756e-04,1.768017e-04,1.779555e-04,1.795994e-04,1.799861e-04,1.817788e-04,1.819784e-04,1.833451e-04,1.839656e-04,1.846971e-04,1.855887e-04,1.858468e-04,1.868065e-04,1.868754e-04,1.875880e-04,1.878534e-04,1.882032e-04,1.885495e-04,1.886634e-04,1.889797e-04,1.889895e-04,1.891628e-04,1.891980e-04,1.892227e-04,1.891982e-04,1.891694e-04,1.890118e-04,1.887588e-04,1.886590e-04,1.884184e-04,1.881584e-04,1.879986e-04,1.875273e-04,1.875063e-04,1.869484e-04,1.867813e-04,1.863312e-04,1.859348e-04,1.856605e-04,1.850008e-04,1.849416e-04,1.841797e-04,1.839909e-04,1.833793e-04,1.829159e-04,1.825447e-04,1.817852e-04,1.816800e-04,1.807887e-04,1.806076e-04,1.798742e-04,1.793905e-04,1.789396e-04,1.781410e-04,1.779877e-04,1.770211e-04,1.768652e-04,1.760421e-04,1.755685e-04,1.750531e-04,1.742559e-04,1.740558e-04,1.730523e-04,1.729316e-04,1.720442e-04,1.715995e-04,1.710329e-04,1.702630e-04,1.700198e-04,1.690063e-04,1.689253e-04,1.679935e-04,1.675888e-04,1.669824e-04,1.662560e-04,1.659740e-04,1.649691e-04,1.649290e-04,1.639685e-04,1.636095e-04,1.629730e-04,1.622993e-04,1.619832e-04,1.609996e-04,1.597117e-04,1.584368e-04,1.571756e-04,1.559290e-04,1.546977e-04,1.534822e-04,1.522831e-04,1.511007e-04,1.499353e-04,1.487873e-04,1.476568e-04,1.465440e-04,1.454489e-04,1.443717e-04,1.433123e-04,1.422708e-04,1.412471e-04,1.402412e-04,1.392528e-04,1.382820e-04,1.373287e-04,1.363925e-04,1.354734e-04,1.345713e-04
0.000000e+00,1.378268e-14,9.293876e-14,1.584620e-12,1.034421e-11,2.437674e-11,1.540857e-10,1.646364e-10,7.086267e-10,1.008567e-09,2.294701e-09,4.210552e-09,6.107891e-09,1.323483e-08,1.408803e-08,2.913342e-08,3.421822e-08,5.528487e-08,7.671299e-08,9.787828e-08,1.542815e-07,1.636573e-07,2.608402e-07,2.848737e-07,3.991370e-07,4.909502e-07,5.897130e-07,7.993292e-07,8.450999e-07,1.179053e-06,1.240752e-06,1.606364e-06,1.849189e-06,2.142627e-06,2.660916e-06,2.803979e-06,3.606817e-06,3.713445e-06,4.567496e-06,5.044344e-06,5.702027e-06,6.690033e-06,7.025782e-06,8.553200e-06,8.684598e-06,1.029752e-05,1.105867e-05,1.227053e-05,1.383845e-05,1.448235e-05,1.694124e-05,1.704483e-05,1.965348e-05,2.069276e-05,2.262318e-05,2.479073e-05,2.585230e-05,2.934054e-05,3.308537e-05,3.433719e-05,3.708207e-05,3.976906e-05,4.132379e-05,4.561813e-05,4.580165e-05,5.050488e-05,5.186051e-05,5.542097e-05,5.846699e-05,6.053581e-05,6.540374e-05,6.583395e-05,7.129870e-05,7.263308e-05,7.691240e-05,8.011428e-05,8.265661e-05,8.780437e-05,8.851230e-05,9.446009e-05,9.565898e-05,1.004804e-04,1.036331e-04,1.065536e-04,1.116819e-04,1.126604e-04,1.187816e-04,1.197611e-04,1.248987e-04,1.278281e-04,1.309936e-04,1.358419e-04,1.370491e-04,1.430487e-04,1.437641e-04,1.489768e-04,1.515588e-04,1.548189e-04,1.591930e-04,1.605614e-04,1.661917e-04,1.666370e-04,1.716984e-04,1.738642e-04,1.770712e-04,1.808513e-04,1.823006e-04,1.873786e-04,1.875785e-04,1.922981e-04,1.940290e-04,1.970528e-04,2.001893e-04,2.016377e-04,2.060487e-04,2.102826e-04,2.115996e-04,2.143370e-04,2.168369e-04,2.182104e-04,2.217579e-04,2.219021e-04,2.254120e-04,2.263623e-04,2.287408e-04,2.306517e-04,2.318898e-04,2.346295e-04,2.348606e-04,2.376557e-04,2.383007e-04,2.402778e-04,2.416718e-04,2.427301e-04,2.447504e-04,2.450161e-04,2.471396e-04,2.475451e-04,2.491047e-04,2.500654e-04,2.509158e-04,2.523213e-04,2.525773e-04,2.540940e-04,2.543236e-04,2.554706e-04,2.560830e-04,2.567120e-04,2.576110e-04,2.578231e-04,2.588089e-04,2.589190e-04,2.596743e-04,2.600182e-04,2.604243e-04,2.609202e-04,2.610639e-04,2.615979e-04,2.616362e-04,2.620312e-04,2.621773e-04,2.623684e-04,2.625543e-04,2.626142e-04,2.627732e-04,2.627778e-04,2.628498e-04,2.628581e-04,2.628484e-04,2.628050e-04,2.627731e-04,2.626280e-04,2.623364e-04,2.619389e-04,2.614437e-04,2.608588e-04,2.601918e-04,2.594497e-04,2.586393e-04,2.577669e-04,2.568385e-04,2.558597e-04,2.548357e-04,2.537715e-04,2.526717e-04,2.515404e-04,2.503818e-04,2.491995e-04,2.479970e-04,2.467774e-04,2.455437e-04,2.442987e-04,2.430448e-04,2.417844e-04,2.405196e-04,2.392524e-04
0.000000e+00,9.389912e-11,3.262473e-10,1.777196e-09,5.027868e-09,7.956331e-09,2.082547e-08,2.154717e-08,4.540030e-08,5.430971e-08,8.241156e-08,1.121882e-07,1.356088e-07,2.015024e-07,2.080773e-07,3.024577e-07,3.285532e-07,4.200714e-07,4.960222e-07,5.606240e-07,7.023335e-07,7.229090e-07,9.055450e-07,9.443968e-07,1.107205e-06,1.219153e-06,1.326577e-06,1.523537e-06,1.562290e-06,1.812867e-06,1.854235e-06,2.076729e-06,2.207615e-06,2.352209e-06,2.579801e-06,2.637584e-06,2.931117e-06,2.966807e-06,3.231088e-06,3.364684e-06,3.535835e-06,3.769659e-06,3.843775e-06,4.153429e-06,4.178234e-06,4.463437e-06,4.587259e-06,4.772565e-06,4.993968e-06,5.079710e-06,5.383900e-06,5.395994e-06,5.684286e-06,5.791350e-06,5.980138e-06,6.178407e-06,6.270837e-06,6.555865e-06,6.834797e-06,6.922710e-06,7.107292e-06,7.278182e-06,7.373078e-06,7.621732e-06,7.631952e-06,7.883766e-06,7.952994e-06,8.128419e-06,8.271748e-06,8.365853e-06,8.577899e-06,8.596049e-06,8.819014e-06,8.871454e-06,9.034787e-06,9.152498e-06,9.243424e-06,9.421181e-06,9.445001e-06,9.639608e-06,9.677702e-06,9.827349e-06,9.922299e-06,1.000834e-05,1.015524e-05,1.018270e-05,1.035056e-05,1.037683e-05,1.051206e-05,1.058735e-05,1.066732e-05,1.078715e-05,1.081651e-05,1.095974e-05,1.097654e-05,1.109718e-05,1.115586e-05,1.122897e-05,1.132544e-05,1.135525e-05,1.147617e-05,1.148562e-05,1.159187e-05,1.163673e-05,1.170250e-05,1.177909e-05,1.180820e-05,1.190911e-05,1.191304e-05,1.200536e-05,1.203890e-05,1.209710e-05,1.215697e-05,1.218446e-05,1.226756e-05,1.234655e-05,1.237098e-05,1.242155e-05,1.246752e-05,1.249269e-05,1.255745e-05,1.256008e-05,1.262384e-05,1.264106e-05,1.268410e-05,1.271862e-05,1.274096e-05,1.279038e-05,1.279455e-05,1.284497e-05,1.285661e-05,1.289232e-05,1.291754e-05,1.293671e-05,1.297341e-05,1.297825e-05,1.301702e-05,1.302446e-05,1.305314e-05,1.307090e-05,1.308668e-05,1.311294e-05,1.311775e-05,1.314643e-05,1.315080e-05,1.317281e-05,1.318468e-05,1.319697e-05,1.321476e-05,1.321900e-05,1.323897e-05,1.324123e-05,1.325696e-05,1.326427e-05,1.327305e-05,1.328405e-05,1.328731e-05,1.329981e-05,1.330073e-05,1.331061e-05,1.331448e-05,1.331980e-05,1.332544e-05,1.332742e-05,1.333355e-05,1.333376e-05,1.333824e-05,1.333959e-05,1.334156e-05,1.334305e-05,1.334355e-05,1.334428e-05,1.334340e-05,1.334053e-05,1.333578e-05,1.332926e-05,1.332108e-05,1.331134e-05,1.330013e-05,1.328754e-05,1.327367e-05,1.325859e-05,1.324238e-05,1.322513e-05,1.320690e-05,1.318777e-05,1.316780e-05,1.314705e-05,1.312558e-05,1.310346e-05,1.308073e-05,1.305745e-05,1.303367e-05,1.300944e-05,1.298480e-05,1.295979e-05
0.000000e+00,4.525403e-11,2.099805e-10,1.749562e-09,6.356059e-09,1.113099e-08,3.512970e-08,3.656323e-08,8.662021e-08,1.062024e-07,1.697757e-07,2.391144e-07,2.946072e-07,4.538148e-07,4.699022e-07,7.041933e-07,7.700225e-07,1.004287e-06,1.202472e-06,1.373452e-06,1.755029e-06,1.811068e-06,2.314049e-06,2.422143e-06,2.878411e-06,3.194760e-06,3.499999e-06,4.063265e-06,4.174580e-06,4.897725e-06,5.017624e-06,5.664718e-06,6.046985e-06,6.470533e-06,7.139588e-06,7.309878e-06,8.177281e-06,8.282991e-06,9.067192e-06,9.464460e-06,9.974102e-06,1.067141e-05,1.089264e-05,1.181768e-05,1.189181e-05,1.274438e-05,1.311452e-05,1.366830e-05,1.432951e-05,1.458538e-05,1.549199e-05,1.552799e-05,1.638493e-05,1.670250e-05,1.726142e-05,1.784681e-05,1.811908e-05,1.895590e-05,1.977025e-05,2.002587e-05,2.056080e-05,2.105379e-05,2.132654e-05,2.203759e-05,2.206670e-05,2.278074e-05,2.297595e-05,2.346834e-05,2.386813e-05,2.412933e-05,2.471393e-05,2.476371e-05,2.537159e-05,2.551357e-05,2.595322e-05,2.626758e-05,2.650892e-05,2.697679e-05,2.703908e-05,2.754416e-05,2.764220e-05,2.802466e-05,2.826498e-05,2.848112e-05,2.884641e-05,2.891414e-05,2.932431e-05,2.938786e-05,2.971224e-05,2.989073e-05,3.007856e-05,3.035649e-05,3.042391e-05,3.074892e-05,3.078659e-05,3.105424e-05,3.118251e-05,3.134050e-05,3.154570e-05,3.160834e-05,3.185837e-05,3.187762e-05,3.209122e-05,3.217968e-05,3.230748e-05,3.245327e-05,3.250777e-05,3.269266e-05,3.269974e-05,3.286272e-05,3.292042e-05,3.301851e-05,3.311658e-05,3.316059e-05,3.328948e-05,3.340570e-05,3.344030e-05,3.350977e-05,3.357022e-05,3.360217e-05,3.368034e-05,3.368338e-05,3.375387e-05,3.377175e-05,3.381409e-05,3.384548e-05,3.386449e-05,3.390253e-05,3.390547e-05,3.393746e-05,3.394385e-05,3.396086e-05,3.397035e-05,3.397605e-05,3.398292e-05,3.398340e-05,3.398328e-05,3.398239e-05,3.397604e-05,3.396957e-05,3.396202e-05,3.394523e-05,3.394153e-05,3.391491e-05,3.391010e-05,3.388245e-05,3.386488e-05,3.384444e-05,3.381024e-05,3.380118e-05,3.375292e-05,3.374681e-05,3.369995e-05,3.367521e-05,3.364250e-05,3.359600e-05,3.358083e-05,3.351517e-05,3.350975e-05,3.344574e-05,3.341697e-05,3.337277e-05,3.331816e-05,3.329647e-05,3.321703e-05,3.321379e-05,3.313465e-05,3.310431e-05,3.304952e-05,3.299015e-05,3.296182e-05,3.287171e-05,3.274937e-05,3.262349e-05,3.249441e-05,3.236247e-05,3.222796e-05,3.209118e-05,3.195239e-05,3.181186e-05,3.166983e-05,3.152653e-05,3.138217e-05,3.123695e-05,3.109107e-05,3.094470e-05,3.079802e-05,3.065117e-05,3.050432e-05,3.035758e-05,3.021110e-05,3.006498e-05,2.991936e-05,2.977431e-05,2.962996e-05,2.948637e-05
0.000000e+00,6.708586e-12,3.730981e-11,4.304340e-10,1.992779e-09,3.909970e-09,1.568812e-08,1.646497e-08,4.647862e-08,5.928386e-08,1.033999e-07,1.546008e-07,1.972167e-07,3.252071e-07,3.385218e-07,5.386799e-07,5.967981e-07,8.096127e-07,9.965821e-07,1.162736e-06,1.548485e-06,1.606727e-06,2.144467e-06,2.262949e-06,2.770611e-06,3.126913e-06,3.471627e-06,4.104552e-06,4.228572e-06,5.021029e-06,5.149825e-06,5.830285e-06,6.220033e-06,6.640937e-06,7.282412e-06,7.441168e-06,8.222265e-06,8.314390e-06,8.977935e-06,9.301170e-06,9.703708e-06,1.023333e-05,1.039645e-05,1.105405e-05,1.110510e-05,1.167519e-05,1.191327e-05,1.225919e-05,1.265657e-05,1.280590e-05,1.331561e-05,1.333523e-05,1.378899e-05,1.395069e-05,1.422700e-05,1.450524e-05,1.463084e-05,1.500189e-05,1.534166e-05,1.544404e-05,1.565175e-05,1.583539e-05,1.593381e-05,1.617974e-05,1.618949e-05,1.642044e-05,1.648090e-05,1.662830e-05,1.674257e-05,1.681461e-05,1.696830e-05,1.698090e-05,1.712861e-05,1.716145e-05,1.725910e-05,1.732513e-05,1.737365e-05,1.746225e-05,1.747349e-05,1.755973e-05,1.757544e-05,1.763343e-05,1.766713e-05,1.769558e-05,1.773952e-05,1.774708e-05,1.778878e-05,1.779459e-05,1.782145e-05,1.783414e-05,1.784581e-05,1.785977e-05,1.786254e-05,1.787223e-05,1.787295e-05,1.787546e-05,1.787496e-05,1.787274e-05,1.786699e-05,1.786455e-05,1.785134e-05,1.785008e-05,1.783351e-05,1.782517e-05,1.781144e-05,1.779311e-05,1.778547e-05,1.775592e-05,1.775466e-05,1.772308e-05,1.771051e-05,1.768723e-05,1.766125e-05,1.764861e-05,1.760746e-05,1.756399e-05,1.754962e-05,1.751840e-05,1.748819e-05,1.747087e-05,1.742357e-05,1.742157e-05,1.737066e-05,1.735614e-05,1.731829e-05,1.728622e-05,1.726459e-05,1.721412e-05,1.720968e-05,1.715369e-05,1.714010e-05,1.709672e-05,1.706443e-05,1.703887e-05,1.698732e-05,1.698024e-05,1.692092e-05,1.690898e-05,1.686098e-05,1.682960e-05,1.680051e-05,1.674935e-05,1.673957e-05,1.667823e-05,1.666838e-05,1.661655e-05,1.658684e-05,1.655459e-05,1.650486e-05,1.649241e-05,1.643005e-05,1.642256e-05,1.636756e-05,1.634004e-05,1.630499e-05,1.625740e-05,1.624237e-05,1.617975e-05,1.617474e-05,1.611716e-05,1.609214e-05,1.605464e-05,1.600968e-05,1.599221e-05,1.592991e-05,1.592742e-05,1.586777e-05,1.584544e-05,1.580580e-05,1.576378e-05,1.574403e-05,1.568250e-05,1.560165e-05,1.552127e-05,1.544141e-05,1.536211e-05,1.528338e-05,1.520528e-05,1.512781e-05,1.505102e-05,1.497491e-05,1.489952e-05,1.482485e-05,1.475093e-05,1.467777e-05,1.460538e-05,1.453377e-05,1.446295e-05,1.439293e-05,1.432372e-05,1.425532e-05,1.418773e-05,1.412097e-05,1.405502e-05,1.398990e-05,1.392560e-05
0.000000e+00,1.746754e-13,1.154195e-12,1.883243e-11,1.179607e-10,2.716383e-10,1.615543e-09,1.721823e-09,6.962962e-09,9.740664e-09,2.120991e-08,3.753922e-08,5.317561e-08,1.091869e-07,1.156900e-07,2.260002e-07,2.619016e-07,4.057441e-07,5.461509e-07,6.805936e-07,1.024089e-06,1.079532e-06,1.633701e-06,1.765965e-06,2.374828e-06,2.844313e-06,3.333365e-06,4.326641e-06,4.536592e-06,6.006927e-06,6.268148e-06,7.760610e-06,8.706012e-06,9.806860e-06,1.165597e-05,1.214749e-05,1.477691e-05,1.511132e-05,1.768254e-05,1.904384e-05,2.084542e-05,2.340636e-05,2.424105e-05,2.784033e-05,2.813611e-05,3.161059e-05,3.315875e-05,3.551662e-05,3.839244e-05,3.952169e-05,4.358851e-05,4.375194e-05,4.768012e-05,4.915222e-05,5.176069e-05,5.451174e-05,5.579623e-05,5.975510e-05,6.360849e-05,6.481502e-05,6.733077e-05,6.963380e-05,7.089967e-05,7.416402e-05,7.429638e-05,7.750561e-05,7.836890e-05,8.051548e-05,8.222199e-05,8.331737e-05,8.570663e-05,8.590577e-05,8.827797e-05,8.881506e-05,9.043384e-05,9.154736e-05,9.237555e-05,9.391032e-05,9.410721e-05,9.563464e-05,9.591624e-05,9.696505e-05,9.758173e-05,9.810676e-05,9.892667e-05,9.906896e-05,9.986146e-05,9.997319e-05,1.004945e-04,1.007448e-04,1.009785e-04,1.012655e-04,1.013241e-04,1.015415e-04,1.015595e-04,1.016412e-04,1.016503e-04,1.016330e-04,1.015606e-04,1.015266e-04,1.013312e-04,1.013120e-04,1.010555e-04,1.009246e-04,1.007077e-04,1.004170e-04,1.002955e-04,9.982630e-05,9.980644e-05,9.930666e-05,9.910846e-05,9.874284e-05,9.833713e-05,9.814055e-05,9.750505e-05,9.684114e-05,9.662342e-05,9.615321e-05,9.570218e-05,9.544524e-05,9.475008e-05,9.472083e-05,9.398323e-05,9.377475e-05,9.323539e-05,9.278287e-05,9.247994e-05,9.178023e-05,9.171923e-05,9.095539e-05,9.077181e-05,9.019028e-05,8.976190e-05,8.942558e-05,8.875415e-05,8.866276e-05,8.790314e-05,8.775170e-05,8.714785e-05,8.675715e-05,8.639791e-05,8.577275e-05,8.565421e-05,8.491750e-05,8.480033e-05,8.418846e-05,8.384141e-05,8.346765e-05,8.289726e-05,8.275556e-05,8.205259e-05,8.196887e-05,8.135910e-05,8.105704e-05,8.067537e-05,8.016240e-05,8.000163e-05,7.933806e-05,7.928542e-05,7.868481e-05,7.842643e-05,7.804199e-05,7.758565e-05,7.740966e-05,7.678787e-05,7.676322e-05,7.617664e-05,7.595918e-05,7.557595e-05,7.517350e-05,7.498579e-05,7.440609e-05,7.365682e-05,7.292551e-05,7.221195e-05,7.151588e-05,7.083704e-05,7.017514e-05,6.952987e-05,6.890090e-05,6.828792e-05,6.769059e-05,6.710855e-05,6.654149e-05,6.598903e-05,6.545085e-05,6.492657e-05,6.441587e-05,6.391839e-05,6.343379e-05,6.296174e-05,6.250191e-05,6.205398e-05,6.161761e-05,6.119250e-05,6.077834e-05
0.000000e+00,1.194067e-12,7.525557e-12,1.113776e-10,6.388362e-10,1.402289e-09,7.382296e-09,7.829497e-09,2.814803e-08,3.816482e-08,7.694218e-08,1.281908e-07,1.747424e-07,3.303152e-07,3.476069e-07,6.264191e-07,7.128803e-07,1.045649e-06,1.355085e-06,1.640909e-06,2.336652e-06,2.445142e-06,3.484545e-06,3.722294e-06,4.775745e-06,5.549141e-06,6.324956e-06,7.823482e-06,8.128836e-06,1.017624e-05,1.052535e-05,1.245019e-05,1.361610e-05,1.492969e-05,1.704549e-05,1.759116e-05,2.040951e-05,2.075704e-05,2.335903e-05,2.469174e-05,2.641401e-05,2.879081e-05,2.954929e-05,3.274067e-05,3.299771e-05,3.596532e-05,3.725968e-05,3.920202e-05,4.152895e-05,4.243139e-05,4.563603e-05,4.576347e-05,4.880057e-05,4.992737e-05,5.191172e-05,5.399094e-05,5.495814e-05,5.793041e-05,6.082088e-05,6.172752e-05,6.362349e-05,6.536889e-05,6.633367e-05,6.884541e-05,6.894812e-05,7.146467e-05,7.215157e-05,7.388211e-05,7.528481e-05,7.620006e-05,7.824498e-05,7.841885e-05,8.053937e-05,8.103382e-05,8.256298e-05,8.365451e-05,8.449143e-05,8.611136e-05,8.632676e-05,8.807123e-05,8.840944e-05,8.972731e-05,9.055438e-05,9.129755e-05,9.255216e-05,9.278461e-05,9.419120e-05,9.440897e-05,9.552006e-05,9.613111e-05,9.677393e-05,9.772487e-05,9.795554e-05,9.906759e-05,9.919648e-05,1.001127e-04,1.005521e-04,1.010936e-04,1.017976e-04,1.020127e-04,1.028725e-04,1.029388e-04,1.036756e-04,1.039814e-04,1.044241e-04,1.049307e-04,1.051205e-04,1.057670e-04,1.057919e-04,1.063657e-04,1.065699e-04,1.069187e-04,1.072696e-04,1.074279e-04,1.078954e-04,1.083231e-04,1.084518e-04,1.087126e-04,1.089427e-04,1.090658e-04,1.093722e-04,1.093843e-04,1.096698e-04,1.097440e-04,1.099238e-04,1.100617e-04,1.101477e-04,1.103285e-04,1.103431e-04,1.105113e-04,1.105477e-04,1.106536e-04,1.107224e-04,1.107712e-04,1.108554e-04,1.108655e-04,1.109375e-04,1.109494e-04,1.109885e-04,1.110070e-04,1.110193e-04,1.110306e-04,1.110312e-04,1.110251e-04,1.110225e-04,1.110019e-04,1.109850e-04,1.109625e-04,1.109200e-04,1.109079e-04,1.108388e-04,1.108295e-04,1.107560e-04,1.107154e-04,1.106603e-04,1.105793e-04,1.105524e-04,1.104330e-04,1.104230e-04,1.103028e-04,1.102479e-04,1.101625e-04,1.100555e-04,1.100126e-04,1.098537e-04,1.098472e-04,1.096864e-04,1.096242e-04,1.095112e-04,1.093878e-04,1.093286e-04,1.091391e-04,1.088793e-04,1.086092e-04,1.083299e-04,1.080422e-04,1.077471e-04,1.074452e-04,1.071374e-04,1.068242e-04,1.065065e-04,1.061848e-04,1.058596e-04,1.055315e-04,1.052011e-04,1.048687e-04,1.045349e-04,1.042000e-04,1.038644e-04,1.035285e-04,1.031926e-04,1.028570e-04,1.025220e-04,1.021880e-04,1.018550e-04,1.015235e-04
0.000000e+00,4.080249e-12,2.239712e-11,2.519720e-10,1.142962e-09,2.219930e-09,8.709011e-09,9.132992e-09,2.536081e-08,3.223611e-08,5.583857e-08,8.315278e-08,1.058336e-07,1.734105e-07,1.803718e-07,2.827464e-07,3.115569e-07,4.132739e-07,4.979002e-07,5.697297e-07,7.261839e-07,7.487380e-07,9.467878e-07,9.883878e-07,1.160570e-06,1.276910e-06,1.386951e-06,1.584607e-06,1.622870e-06,1.865311e-06,1.904508e-06,2.111322e-06,2.229841e-06,2.358085e-06,2.554278e-06,2.602995e-06,2.843728e-06,2.872236e-06,3.078286e-06,3.179100e-06,3.305029e-06,3.471323e-06,3.522672e-06,3.730270e-06,3.746423e-06,3.927194e-06,4.002886e-06,4.113087e-06,4.240024e-06,4.287829e-06,4.451490e-06,4.457808e-06,4.604294e-06,4.656708e-06,4.746581e-06,4.837542e-06,4.878774e-06,5.001354e-06,5.114837e-06,5.149316e-06,5.219752e-06,5.282649e-06,5.316635e-06,5.402573e-06,5.406010e-06,5.488387e-06,5.510266e-06,5.564253e-06,5.606842e-06,5.634071e-06,5.693337e-06,5.698277e-06,5.757278e-06,5.770706e-06,5.811454e-06,5.839817e-06,5.861157e-06,5.901457e-06,5.906715e-06,5.948428e-06,5.956334e-06,5.986573e-06,6.005085e-06,6.021407e-06,6.048281e-06,6.053165e-06,6.082063e-06,6.086435e-06,6.108300e-06,6.120003e-06,6.132059e-06,6.149396e-06,6.153509e-06,6.172804e-06,6.174982e-06,6.190088e-06,6.197090e-06,6.205493e-06,6.216018e-06,6.219139e-06,6.231140e-06,6.232032e-06,6.241600e-06,6.245374e-06,6.250614e-06,6.256260e-06,6.258273e-06,6.264658e-06,6.264888e-06,6.269848e-06,6.271437e-06,6.273913e-06,6.276070e-06,6.276921e-06,6.278933e-06,6.280008e-06,6.280164e-06,6.280201e-06,6.279885e-06,6.279562e-06,6.278211e-06,6.278140e-06,6.275978e-06,6.275246e-06,6.273119e-06,6.271086e-06,6.269603e-06,6.265820e-06,6.265467e-06,6.260747e-06,6.259531e-06,6.255475e-06,6.252293e-06,6.249682e-06,6.244179e-06,6.243400e-06,6.236655e-06,6.235253e-06,6.229474e-06,6.225576e-06,6.221882e-06,6.215205e-06,6.213904e-06,6.205561e-06,6.204194e-06,6.196875e-06,6.192590e-06,6.187867e-06,6.180441e-06,6.178555e-06,6.168959e-06,6.167789e-06,6.159095e-06,6.154675e-06,6.148981e-06,6.141137e-06,6.138633e-06,6.128065e-06,6.127211e-06,6.117292e-06,6.112929e-06,6.106329e-06,6.098324e-06,6.095187e-06,6.083879e-06,6.083424e-06,6.072418e-06,6.068257e-06,6.060815e-06,6.052850e-06,6.049081e-06,6.037226e-06,6.021409e-06,6.005421e-06,5.989282e-06,5.973011e-06,5.956627e-06,5.940145e-06,5.923584e-06,5.906957e-06,5.890279e-06,5.873563e-06,5.856823e-06,5.840069e-06,5.823313e-06,5.806567e-06,5.789839e-06,5.773139e-06,5.756476e-06,5.739858e-06,5.723293e-06,5.706788e-06,5.690350e-06,5.673985e-06,5.657699e-06,5.641498e-06
0.000000e+00,3.708447e-11,1.142378e-10,5.368758e-10,1.408739e-09,2.165778e-09,5.386997e-09,5.565080e-09,1.139568e-08,1.356093e-08,2.038417e-08,2.762311e-08,3.332781e-08,4.942016e-08,5.102822e-08,7.412335e-08,8.050463e-08,1.028125e-07,1.211640e-07,1.365855e-07,1.695535e-07,1.742235e-07,2.141927e-07,2.223386e-07,2.551099e-07,2.764070e-07,2.959510e-07,3.296877e-07,3.360279e-07,3.748923e-07,3.809769e-07,4.122526e-07,4.295934e-07,4.479217e-07,4.751604e-07,4.817850e-07,5.137817e-07,5.174945e-07,5.438919e-07,5.565449e-07,5.721278e-07,5.923553e-07,5.985259e-07,6.231412e-07,6.250354e-07,6.460418e-07,6.547390e-07,6.673049e-07,6.816465e-07,6.870130e-07,7.052515e-07,7.059517e-07,7.221065e-07,7.278520e-07,7.376628e-07,7.475417e-07,7.520033e-07,7.652077e-07,7.773523e-07,7.810267e-07,7.885093e-07,7.951632e-07,7.987470e-07,8.077698e-07,8.081294e-07,8.167167e-07,8.189863e-07,8.245648e-07,8.289409e-07,8.317262e-07,8.377500e-07,8.382495e-07,8.441801e-07,8.455200e-07,8.495601e-07,8.523470e-07,8.544284e-07,8.583182e-07,8.588213e-07,8.627726e-07,8.635126e-07,8.663132e-07,8.680017e-07,8.694721e-07,8.718504e-07,8.722762e-07,8.747503e-07,8.751171e-07,8.769174e-07,8.778549e-07,8.787989e-07,8.801119e-07,8.804147e-07,8.817833e-07,8.819317e-07,8.829217e-07,8.833539e-07,8.838459e-07,8.844140e-07,8.845704e-07,8.851091e-07,8.851446e-07,8.854747e-07,8.855751e-07,8.856790e-07,8.857325e-07,8.857331e-07,8.856474e-07,8.856412e-07,8.854314e-07,8.853235e-07,8.850941e-07,8.847997e-07,8.846438e-07,8.840883e-07,8.834349e-07,8.832062e-07,8.826903e-07,8.821690e-07,8.818611e-07,8.809908e-07,8.809530e-07,8.799718e-07,8.796846e-07,8.789226e-07,8.782625e-07,8.778103e-07,8.767353e-07,8.766396e-07,8.754147e-07,8.751131e-07,8.741396e-07,8.734051e-07,8.728182e-07,8.716199e-07,8.714541e-07,8.700504e-07,8.697653e-07,8.686105e-07,8.678484e-07,8.671373e-07,8.658761e-07,8.656335e-07,8.641019e-07,8.638544e-07,8.625448e-07,8.617890e-07,8.609645e-07,8.596852e-07,8.593634e-07,8.577434e-07,8.575479e-07,8.561066e-07,8.553815e-07,8.544547e-07,8.531902e-07,8.527894e-07,8.511125e-07,8.509779e-07,8.494255e-07,8.487482e-07,8.477298e-07,8.465043e-07,8.460268e-07,8.443178e-07,8.442493e-07,8.426040e-07,8.419862e-07,8.408867e-07,8.397174e-07,8.391668e-07,8.374455e-07,8.351728e-07,8.329012e-07,8.306329e-07,8.283695e-07,8.261128e-07,8.238643e-07,8.216254e-07,8.193975e-07,8.171817e-07,8.149792e-07,8.127911e-07,8.106182e-07,8.084616e-07,8.063219e-07,8.041999e-07,8.020962e-07,8.000116e-07,7.979465e-07,7.959014e-07,7.938768e-07,7.918731e-07,7.898907e-07,7.879299e-07,7.859909e-07
0.000000e+00,7.486958e-12,4.016501e-11,4.328122e-10,1.897779e-09,3.625717e-09,1.372390e-08,1.437396e-08,3.888820e-08,4.915450e-08,8.417923e-08,1.245663e-07,1.581338e-07,2.589603e-07,2.694430e-07,4.260914e-07,4.710174e-07,6.322441e-07,7.689236e-07,8.862759e-07,1.144684e-06,1.182150e-06,1.512397e-06,1.581947e-06,1.870163e-06,2.065154e-06,2.249787e-06,2.582116e-06,2.646584e-06,3.056456e-06,3.122992e-06,3.475595e-06,3.678996e-06,3.900346e-06,4.241804e-06,4.327169e-06,4.752675e-06,4.803493e-06,5.173676e-06,5.356727e-06,5.587257e-06,5.895008e-06,5.990826e-06,6.382152e-06,6.412872e-06,6.759387e-06,6.905994e-06,7.121063e-06,7.371201e-06,7.466075e-06,7.793666e-06,7.806400e-06,8.103399e-06,8.210495e-06,8.395125e-06,8.583248e-06,8.668927e-06,8.925078e-06,9.164016e-06,9.236933e-06,9.386318e-06,9.520161e-06,9.592638e-06,9.776323e-06,9.783681e-06,9.960192e-06,1.000712e-05,1.012296e-05,1.021434e-05,1.027275e-05,1.039978e-05,1.041036e-05,1.053654e-05,1.056520e-05,1.065203e-05,1.071231e-05,1.075755e-05,1.084269e-05,1.085376e-05,1.094130e-05,1.095783e-05,1.102078e-05,1.105912e-05,1.109277e-05,1.114783e-05,1.115779e-05,1.121633e-05,1.122513e-05,1.126886e-05,1.129207e-05,1.131581e-05,1.134962e-05,1.135757e-05,1.139452e-05,1.139864e-05,1.142699e-05,1.143994e-05,1.145530e-05,1.147422e-05,1.147975e-05,1.150060e-05,1.150212e-05,1.151811e-05,1.152422e-05,1.153250e-05,1.154106e-05,1.154400e-05,1.155279e-05,1.155309e-05,1.155907e-05,1.156075e-05,1.156301e-05,1.156443e-05,1.156476e-05,1.156447e-05,1.156228e-05,1.156120e-05,1.155832e-05,1.155490e-05,1.155269e-05,1.154584e-05,1.154553e-05,1.153692e-05,1.153426e-05,1.152696e-05,1.152037e-05,1.151574e-05,1.150438e-05,1.150335e-05,1.148986e-05,1.148647e-05,1.147535e-05,1.146680e-05,1.145988e-05,1.144554e-05,1.144353e-05,1.142634e-05,1.142281e-05,1.140839e-05,1.139876e-05,1.138971e-05,1.137350e-05,1.137036e-05,1.135039e-05,1.134714e-05,1.132985e-05,1.131979e-05,1.130877e-05,1.129154e-05,1.128719e-05,1.126515e-05,1.126248e-05,1.124269e-05,1.123269e-05,1.121985e-05,1.120224e-05,1.119664e-05,1.117310e-05,1.117121e-05,1.114927e-05,1.113966e-05,1.112516e-05,1.110765e-05,1.110080e-05,1.107622e-05,1.107523e-05,1.105144e-05,1.104247e-05,1.102648e-05,1.100941e-05,1.100136e-05,1.097610e-05,1.094257e-05,1.090887e-05,1.087503e-05,1.084109e-05,1.080709e-05,1.077304e-05,1.073899e-05,1.070495e-05,1.067096e-05,1.063702e-05,1.060317e-05,1.056943e-05,1.053581e-05,1.050233e-05,1.046901e-05,1.043586e-05,1.040289e-05,1.037012e-05,1.033756e-05,1.030522e-05,1.027311e-05,1.024125e-05,1.020963e-05,1.017827e-05
0.000000e+00,2.383229e-11,1.167794e-10,1.068270e-09,4.141293e-09,7.464237e-09,2.492878e-08,2.599395e-08,6.385800e-08,7.887368e-08,1.279543e-07,1.817316e-07,2.248078e-07,3.481894e-07,3.606306e-07,5.413231e-07,5.919808e-07,7.722656e-07,9.252109e-07,1.057748e-06,1.356023e-06,1.400134e-06,1.799318e-06,1.885796e-06,2.252972e-06,2.509187e-06,2.757345e-06,3.216984e-06,3.308010e-06,3.900269e-06,3.998570e-06,4.529299e-06,4.842854e-06,5.190184e-06,5.738479e-06,5.877940e-06,6.587553e-06,6.673939e-06,7.314050e-06,7.637797e-06,8.052565e-06,8.618989e-06,8.798423e-06,9.547195e-06,9.607097e-06,1.029476e-05,1.059259e-05,1.103735e-05,1.156701e-05,1.177157e-05,1.249441e-05,1.252305e-05,1.320325e-05,1.345456e-05,1.389584e-05,1.435656e-05,1.457032e-05,1.522512e-05,1.585902e-05,1.605729e-05,1.647107e-05,1.685098e-05,1.706056e-05,1.760483e-05,1.762704e-05,1.817022e-05,1.831811e-05,1.868999e-05,1.899063e-05,1.918640e-05,1.962260e-05,1.965961e-05,2.010990e-05,2.021460e-05,2.053763e-05,2.076746e-05,2.094322e-05,2.128222e-05,2.132717e-05,2.169000e-05,2.176008e-05,2.203229e-05,2.220235e-05,2.235462e-05,2.261042e-05,2.265762e-05,2.294192e-05,2.298571e-05,2.320814e-05,2.332969e-05,2.345692e-05,2.364383e-05,2.368891e-05,2.390474e-05,2.392958e-05,2.410502e-05,2.418838e-05,2.429038e-05,2.442164e-05,2.446142e-05,2.461873e-05,2.463074e-05,2.476290e-05,2.481702e-05,2.489450e-05,2.498177e-05,2.501407e-05,2.512215e-05,2.512624e-05,2.521926e-05,2.525164e-05,2.530592e-05,2.535912e-05,2.538260e-05,2.544979e-05,2.550794e-05,2.552471e-05,2.555749e-05,2.558489e-05,2.559888e-05,2.563131e-05,2.563252e-05,2.565879e-05,2.566489e-05,2.567810e-05,2.568649e-05,2.569080e-05,2.569696e-05,2.569726e-05,2.569780e-05,2.569709e-05,2.569277e-05,2.568763e-05,2.568247e-05,2.566929e-05,2.566721e-05,2.564728e-05,2.564276e-05,2.562295e-05,2.560866e-05,2.559450e-05,2.556760e-05,2.556218e-05,2.552623e-05,2.552016e-05,2.548690e-05,2.546688e-05,2.544439e-05,2.540825e-05,2.539894e-05,2.535073e-05,2.534477e-05,2.529998e-05,2.527689e-05,2.524686e-05,2.520502e-05,2.519156e-05,2.513424e-05,2.512958e-05,2.507508e-05,2.505093e-05,2.501421e-05,2.496942e-05,2.495180e-05,2.488797e-05,2.488539e-05,2.482288e-05,2.479916e-05,2.475663e-05,2.471099e-05,2.468936e-05,2.462118e-05,2.452997e-05,2.443760e-05,2.434429e-05,2.425024e-05,2.415565e-05,2.406069e-05,2.396553e-05,2.387032e-05,2.377520e-05,2.368030e-05,2.358574e-05,2.349164e-05,2.339808e-05,2.330518e-05,2.321300e-05,2.312163e-05,2.303114e-05,2.294160e-05,2.285305e-05,2.276555e-05,2.267915e-05,2.259389e-05,2.250980e-05,2.242691e-05
0.000000e+00,3.365627e-12,2.002518e-11,2.638439e-10,1.366725e-09,2.841874e-09,1.309011e-08,1.381066e-08,4.393400e-08,5.772502e-08,1.079182e-07,1.697929e-07,2.233788e-07,3.920622e-07,4.101225e-07,6.896344e-07,7.729998e-07,1.084167e-06,1.363284e-06,1.614589e-06,2.206442e-06,2.296602e-06,3.136548e-06,3.323236e-06,4.129312e-06,4.701202e-06,5.259703e-06,6.299953e-06,6.506224e-06,7.845095e-06,8.066312e-06,9.253169e-06,9.947358e-06,1.070943e-05,1.189664e-05,1.219541e-05,1.369514e-05,1.387536e-05,1.519484e-05,1.585159e-05,1.668268e-05,1.779923e-05,1.814855e-05,1.958389e-05,1.969717e-05,2.098158e-05,2.152878e-05,2.233586e-05,2.328146e-05,2.364217e-05,2.489709e-05,2.494618e-05,2.609816e-05,2.651703e-05,2.724381e-05,2.799075e-05,2.833323e-05,2.936622e-05,3.034312e-05,3.064400e-05,3.126470e-05,3.182597e-05,3.213205e-05,3.291497e-05,3.294655e-05,3.370975e-05,3.391448e-05,3.442336e-05,3.482847e-05,3.508919e-05,3.566115e-05,3.570910e-05,3.628499e-05,3.641686e-05,3.681875e-05,3.709997e-05,3.731229e-05,3.771481e-05,3.776747e-05,3.818612e-05,3.826562e-05,3.857002e-05,3.875649e-05,3.892090e-05,3.919136e-05,3.924044e-05,3.953026e-05,3.957398e-05,3.979190e-05,3.990793e-05,4.002687e-05,4.019661e-05,4.023660e-05,4.042246e-05,4.044322e-05,4.058577e-05,4.065080e-05,4.072777e-05,4.082218e-05,4.084967e-05,4.095260e-05,4.096005e-05,4.103767e-05,4.106692e-05,4.110590e-05,4.114515e-05,4.115827e-05,4.119574e-05,4.119694e-05,4.121919e-05,4.122436e-05,4.122946e-05,4.122934e-05,4.122738e-05,4.121370e-05,4.118914e-05,4.117910e-05,4.115441e-05,4.112714e-05,4.111014e-05,4.105927e-05,4.105698e-05,4.099549e-05,4.097686e-05,4.092625e-05,4.088120e-05,4.084978e-05,4.077347e-05,4.076657e-05,4.067712e-05,4.065477e-05,4.058186e-05,4.052614e-05,4.048122e-05,4.038853e-05,4.037561e-05,4.026540e-05,4.024284e-05,4.015095e-05,4.008988e-05,4.003262e-05,3.993044e-05,3.991071e-05,3.978554e-05,3.976522e-05,3.965739e-05,3.959490e-05,3.952653e-05,3.942007e-05,3.939322e-05,3.925771e-05,3.924131e-05,3.912023e-05,3.905916e-05,3.898098e-05,3.887410e-05,3.884018e-05,3.869801e-05,3.868658e-05,3.855466e-05,3.849702e-05,3.841030e-05,3.830582e-05,3.826508e-05,3.811917e-05,3.811332e-05,3.797270e-05,3.791986e-05,3.782580e-05,3.772574e-05,3.767861e-05,3.753124e-05,3.733663e-05,3.714213e-05,3.694797e-05,3.675435e-05,3.656145e-05,3.636944e-05,3.617847e-05,3.598868e-05,3.580020e-05,3.561314e-05,3.542761e-05,3.524371e-05,3.506151e-05,3.488109e-05,3.470253e-05,3.452588e-05,3.435120e-05,3.417853e-05,3.400791e-05,3.383938e-05,3.367298e-05,3.350872e-05,3.334662e-05,3.318670e-05
0.000000e+00,1.898830e-12,1.228778e-11,1.920177e-10,1.156734e-09,2.607870e-09,1.470013e-08,1.563370e-08,6.008847e-08,8.295058e-08,1.749149e-07,3.021086e-07,4.215409e-07,8.391018e-07,8.868888e-07,1.684744e-06,1.940663e-06,2.953709e-06,3.927755e-06,4.849297e-06,7.162010e-06,7.530215e-06,1.114249e-05,1.198783e-05,1.580597e-05,1.867619e-05,2.160584e-05,2.739178e-05,2.858961e-05,3.676820e-05,3.818662e-05,4.611982e-05,5.101160e-05,5.659485e-05,6.573590e-05,6.812118e-05,8.060912e-05,8.216752e-05,9.395585e-05,1.000718e-04,1.080492e-04,1.191871e-04,1.227712e-04,1.380007e-04,1.392374e-04,1.536164e-04,1.599440e-04,1.694988e-04,1.810342e-04,1.855324e-04,2.016072e-04,2.022496e-04,2.176204e-04,2.233515e-04,2.334772e-04,2.441264e-04,2.490918e-04,2.643878e-04,2.792982e-04,2.839785e-04,2.937659e-04,3.027703e-04,3.077428e-04,3.206628e-04,3.211901e-04,3.340772e-04,3.375819e-04,3.463813e-04,3.534771e-04,3.580867e-04,3.683187e-04,3.691840e-04,3.796695e-04,3.820951e-04,3.895444e-04,3.948095e-04,3.988140e-04,4.064776e-04,4.074873e-04,4.155761e-04,4.171250e-04,4.230950e-04,4.267848e-04,4.300600e-04,4.354958e-04,4.364892e-04,4.424014e-04,4.433006e-04,4.478163e-04,4.502447e-04,4.527542e-04,4.563749e-04,4.572356e-04,4.612812e-04,4.617384e-04,4.649115e-04,4.663824e-04,4.681467e-04,4.703536e-04,4.710069e-04,4.735115e-04,4.736971e-04,4.756797e-04,4.764569e-04,4.775298e-04,4.786750e-04,4.790797e-04,4.803468e-04,4.803918e-04,4.813476e-04,4.816458e-04,4.820981e-04,4.824733e-04,4.826136e-04,4.829088e-04,4.829978e-04,4.829849e-04,4.828938e-04,4.827320e-04,4.826098e-04,4.821790e-04,4.821578e-04,4.815495e-04,4.813527e-04,4.807959e-04,4.802783e-04,4.799074e-04,4.789795e-04,4.788940e-04,4.777652e-04,4.774781e-04,4.765297e-04,4.757945e-04,4.751962e-04,4.739479e-04,4.737725e-04,4.722664e-04,4.719559e-04,4.706848e-04,4.698349e-04,4.690347e-04,4.676002e-04,4.673223e-04,4.655537e-04,4.652659e-04,4.637346e-04,4.628450e-04,4.618703e-04,4.603496e-04,4.599658e-04,4.580258e-04,4.577908e-04,4.560548e-04,4.551789e-04,4.540570e-04,4.525232e-04,4.520363e-04,4.499964e-04,4.498325e-04,4.479407e-04,4.471147e-04,4.458724e-04,4.443771e-04,4.437945e-04,4.417099e-04,4.416265e-04,4.396212e-04,4.388688e-04,4.375309e-04,4.361097e-04,4.354412e-04,4.333542e-04,4.306069e-04,4.278720e-04,4.251533e-04,4.224541e-04,4.197775e-04,4.171262e-04,4.145027e-04,4.119090e-04,4.093472e-04,4.068189e-04,4.043255e-04,4.018684e-04,3.994485e-04,3.970669e-04,3.947242e-04,3.924210e-04,3.901579e-04,3.879352e-04,3.857532e-04,3.836120e-04,3.815116e-04,3.794521e-04,3.774335e-04,3.754554e-04
0.000000e+00,1.419201e-10,3.700908e-10,1.461391e-09,3.560224e-09,5.342424e-09,1.288070e-08,1.329921e-08,2.721779e-08,3.250125e-08,4.952318e-08,6.805821e-08,8.286377e-08,1.246539e-07,1.287872e-07,1.865677e-07,2.019741e-07,2.541476e-07,2.955373e-07,3.296172e-07,4.014636e-07,4.116128e-07,4.991496e-07,5.172496e-07,5.914247e-07,6.410345e-07,6.877000e-07,7.711312e-07,7.872489e-07,8.893398e-07,9.058615e-07,9.932453e-07,1.043554e-06,1.098253e-06,1.182589e-06,1.203676e-06,1.308873e-06,1.321453e-06,1.413256e-06,1.458788e-06,1.516297e-06,1.593425e-06,1.617536e-06,1.716577e-06,1.724395e-06,1.813086e-06,1.850918e-06,1.906789e-06,1.972397e-06,1.997475e-06,2.084987e-06,2.088420e-06,2.169210e-06,2.198710e-06,2.250069e-06,2.303111e-06,2.327525e-06,2.401567e-06,2.472208e-06,2.494099e-06,2.539479e-06,2.580787e-06,2.603431e-06,2.661760e-06,2.664126e-06,2.721637e-06,2.737180e-06,2.776040e-06,2.807220e-06,2.827408e-06,2.872067e-06,2.875836e-06,2.921432e-06,2.931962e-06,2.964282e-06,2.987116e-06,3.004487e-06,3.037755e-06,3.042142e-06,3.077339e-06,3.084092e-06,3.110173e-06,3.126343e-06,3.140736e-06,3.164719e-06,3.169117e-06,3.195405e-06,3.199422e-06,3.219686e-06,3.230652e-06,3.242044e-06,3.258604e-06,3.262564e-06,3.281324e-06,3.283461e-06,3.298401e-06,3.305401e-06,3.313869e-06,3.324593e-06,3.327800e-06,3.340264e-06,3.341200e-06,3.351329e-06,3.355378e-06,3.361060e-06,3.367275e-06,3.369519e-06,3.376768e-06,3.377033e-06,3.382863e-06,3.384787e-06,3.387862e-06,3.390662e-06,3.391818e-06,3.394781e-06,3.396803e-06,3.397259e-06,3.397930e-06,3.398204e-06,3.398209e-06,3.397720e-06,3.397684e-06,3.396396e-06,3.395905e-06,3.394387e-06,3.392850e-06,3.391694e-06,3.388645e-06,3.388355e-06,3.384405e-06,3.383370e-06,3.379879e-06,3.377104e-06,3.374809e-06,3.369922e-06,3.369226e-06,3.363161e-06,3.361892e-06,3.356641e-06,3.353081e-06,3.349695e-06,3.343550e-06,3.342348e-06,3.334626e-06,3.333357e-06,3.326552e-06,3.322559e-06,3.318149e-06,3.311205e-06,3.309440e-06,3.300444e-06,3.299346e-06,3.291181e-06,3.287026e-06,3.281671e-06,3.274289e-06,3.271932e-06,3.261981e-06,3.261176e-06,3.251834e-06,3.247724e-06,3.241508e-06,3.233970e-06,3.231016e-06,3.220374e-06,3.219946e-06,3.209595e-06,3.205684e-06,3.198692e-06,3.191214e-06,3.187677e-06,3.176562e-06,3.161756e-06,3.146819e-06,3.131774e-06,3.116642e-06,3.101443e-06,3.086194e-06,3.070914e-06,3.055619e-06,3.040323e-06,3.025039e-06,3.009782e-06,2.994563e-06,2.979393e-06,2.964282e-06,2.949241e-06,2.934276e-06,2.919398e-06,2.904612e-06,2.889926e-06,2.875347e-06,2.860879e-06,2.846529e-06,2.832300e-06,2.818197e-06
0.000000e+00,6.971265e-14,4.733382e-13,8.184606e-12,5.410966e-11,1.284083e-10,8.266276e-10,8.838899e-10,3.875090e-09,5.543252e-09,1.277483e-08,2.368819e-08,3.460119e-08,7.616195e-08,8.118154e-08,1.707141e-07,2.013087e-07,3.293360e-07,4.611707e-07,5.926068e-07,9.473271e-07,1.006806e-06,1.629924e-06,1.785583e-06,2.532215e-06,3.138660e-06,3.796225e-06,5.206197e-06,5.516255e-06,7.797293e-06,8.221834e-06,1.075347e-05,1.244765e-05,1.450612e-05,1.816646e-05,1.918154e-05,2.490858e-05,2.567263e-05,3.181607e-05,3.526201e-05,4.003022e-05,4.722162e-05,4.967209e-05,6.085511e-05,6.181951e-05,7.368285e-05,7.929543e-05,8.824690e-05,9.985243e-05,1.046251e-04,1.228801e-04,1.236500e-04,1.430579e-04,1.507987e-04,1.651873e-04,1.813565e-04,1.892794e-04,2.153271e-04,2.433054e-04,2.526597e-04,2.731718e-04,2.932504e-04,3.048670e-04,3.369454e-04,3.383160e-04,3.734288e-04,3.835448e-04,4.101023e-04,4.328080e-04,4.482212e-04,4.844596e-04,4.876602e-04,5.282848e-04,5.381956e-04,5.699538e-04,5.936901e-04,6.125203e-04,6.506019e-04,6.558339e-04,6.997417e-04,7.085811e-04,7.440904e-04,7.672751e-04,7.887270e-04,8.263342e-04,8.335012e-04,8.782654e-04,8.854171e-04,9.228766e-04,9.441951e-04,9.671973e-04,1.002356e-03,1.011096e-03,1.054448e-03,1.059607e-03,1.097135e-03,1.115679e-03,1.139050e-03,1.170325e-03,1.180090e-03,1.220163e-03,1.223325e-03,1.259186e-03,1.274484e-03,1.297083e-03,1.323634e-03,1.333788e-03,1.369243e-03,1.370634e-03,1.403397e-03,1.415367e-03,1.436211e-03,1.457741e-03,1.467650e-03,1.497689e-03,1.526308e-03,1.535165e-03,1.553496e-03,1.570142e-03,1.579247e-03,1.602617e-03,1.603562e-03,1.626445e-03,1.632598e-03,1.647909e-03,1.660113e-03,1.667970e-03,1.685202e-03,1.686646e-03,1.703961e-03,1.707918e-03,1.719944e-03,1.728323e-03,1.734624e-03,1.746491e-03,1.748034e-03,1.760209e-03,1.762499e-03,1.771187e-03,1.776435e-03,1.781005e-03,1.788387e-03,1.789705e-03,1.797327e-03,1.798450e-03,1.803913e-03,1.806719e-03,1.809506e-03,1.813293e-03,1.814148e-03,1.817881e-03,1.818270e-03,1.820749e-03,1.821748e-03,1.822794e-03,1.823823e-03,1.824057e-03,1.824581e-03,1.824592e-03,1.824405e-03,1.824148e-03,1.823570e-03,1.822582e-03,1.822114e-03,1.820076e-03,1.819983e-03,1.817492e-03,1.816435e-03,1.814398e-03,1.812021e-03,1.810829e-03,1.806819e-03,1.800904e-03,1.794347e-03,1.787215e-03,1.779573e-03,1.771481e-03,1.762994e-03,1.754166e-03,1.745045e-03,1.735679e-03,1.726109e-03,1.716375e-03,1.706513e-03,1.696558e-03,1.686539e-03,1.676485e-03,1.666423e-03,1.656375e-03,1.646362e-03,1.636405e-03,1.626519e-03,1.616721e-03,1.607025e-03,1.597442e-03,1.587984e-03
0.000000e+00,1.307665e-10,3.381869e-10,1.335979e-09,3.308230e-09,5.041387e-09,1.292563e-08,1.338733e-08,2.983171e-08,3.645940e-08,5.822179e-08,8.142023e-08,9.912971e-08,1.453483e-07,1.496743e-07,2.071449e-07,2.217797e-07,2.700083e-07,3.072365e-07,3.374142e-07,4.000209e-07,4.087757e-07,4.835678e-07,4.988908e-07,5.612483e-07,6.025926e-07,6.412377e-07,7.097688e-07,7.229281e-07,8.057026e-07,8.190063e-07,8.889552e-07,9.289158e-07,9.721110e-07,1.038209e-06,1.054641e-06,1.136074e-06,1.145752e-06,1.215998e-06,1.250596e-06,1.294068e-06,1.351982e-06,1.369997e-06,1.443557e-06,1.449334e-06,1.514577e-06,1.542245e-06,1.582934e-06,1.630453e-06,1.648543e-06,1.711357e-06,1.713811e-06,1.771357e-06,1.792269e-06,1.828550e-06,1.865849e-06,1.882960e-06,1.934630e-06,1.983614e-06,1.998733e-06,2.029980e-06,2.058309e-06,2.073791e-06,2.113518e-06,2.115125e-06,2.154060e-06,2.164542e-06,2.190677e-06,2.211569e-06,2.225059e-06,2.254789e-06,2.257290e-06,2.287451e-06,2.294390e-06,2.315624e-06,2.330562e-06,2.341890e-06,2.363489e-06,2.366328e-06,2.389016e-06,2.393351e-06,2.410029e-06,2.420319e-06,2.429441e-06,2.444561e-06,2.447321e-06,2.463740e-06,2.466236e-06,2.478764e-06,2.485499e-06,2.492458e-06,2.502496e-06,2.504882e-06,2.516098e-06,2.517365e-06,2.526163e-06,2.530241e-06,2.535131e-06,2.541248e-06,2.543058e-06,2.549994e-06,2.550507e-06,2.555987e-06,2.558132e-06,2.561087e-06,2.564230e-06,2.565336e-06,2.568781e-06,2.568902e-06,2.571461e-06,2.572246e-06,2.573417e-06,2.574353e-06,2.574687e-06,2.575307e-06,2.575313e-06,2.575191e-06,2.574739e-06,2.574081e-06,2.573616e-06,2.572049e-06,2.571974e-06,2.569844e-06,2.569164e-06,2.567253e-06,2.565488e-06,2.564228e-06,2.561083e-06,2.560794e-06,2.556976e-06,2.556005e-06,2.552797e-06,2.550308e-06,2.548279e-06,2.544041e-06,2.543444e-06,2.538312e-06,2.537251e-06,2.532901e-06,2.529984e-06,2.527231e-06,2.522280e-06,2.521318e-06,2.515180e-06,2.514178e-06,2.508833e-06,2.505716e-06,2.502291e-06,2.496927e-06,2.495569e-06,2.488680e-06,2.487843e-06,2.481638e-06,2.478495e-06,2.474456e-06,2.468910e-06,2.467144e-06,2.459715e-06,2.459116e-06,2.452179e-06,2.449137e-06,2.444546e-06,2.438995e-06,2.436826e-06,2.429027e-06,2.428714e-06,2.421159e-06,2.418312e-06,2.413230e-06,2.407808e-06,2.405248e-06,2.397220e-06,2.386565e-06,2.375858e-06,2.365112e-06,2.354342e-06,2.343559e-06,2.332775e-06,2.322000e-06,2.311244e-06,2.300516e-06,2.289826e-06,2.279179e-06,2.268584e-06,2.258047e-06,2.247575e-06,2.237172e-06,2.226844e-06,2.216596e-06,2.206431e-06,2.196354e-06,2.186369e-06,2.176477e-06,2.166683e-06,2.156988e-06,2.147395e-06
0.000000e+00,1.629987e-11,3.972407e-11,1.459006e-10,3.423338e-10,5.052417e-10,1.170125e-09,1.206119e-09,2.361590e-09,2.782752e-09,4.092352e-09,5.461258e-09,6.529599e-09,9.508307e-09,9.803641e-09,1.400881e-08,1.516094e-08,1.917117e-08,2.247046e-08,2.526170e-08,3.135206e-08,3.223375e-08,4.004389e-08,4.170312e-08,4.865471e-08,5.343722e-08,5.803139e-08,6.647345e-08,6.813798e-08,7.893485e-08,8.072350e-08,9.037742e-08,9.608475e-08,1.024158e-07,1.124385e-07,1.149948e-07,1.280550e-07,1.296515e-07,1.415332e-07,1.475791e-07,1.553636e-07,1.660692e-07,1.694793e-07,1.838130e-07,1.849671e-07,1.982984e-07,2.041204e-07,2.128708e-07,2.233822e-07,2.274687e-07,2.420337e-07,2.426148e-07,2.565115e-07,2.616924e-07,2.708522e-07,2.805024e-07,2.850107e-07,2.989467e-07,3.126245e-07,3.169418e-07,3.260135e-07,3.344186e-07,3.390876e-07,3.513222e-07,3.518250e-07,3.642079e-07,3.676095e-07,3.762217e-07,3.832481e-07,3.878556e-07,3.982171e-07,3.991025e-07,4.099577e-07,4.125045e-07,4.204193e-07,4.261057e-07,4.304871e-07,4.390229e-07,4.401635e-07,4.494522e-07,4.512638e-07,4.583585e-07,4.628408e-07,4.668889e-07,4.737692e-07,4.750506e-07,4.828521e-07,4.840675e-07,4.903022e-07,4.937562e-07,4.974104e-07,5.028579e-07,5.041873e-07,5.106432e-07,5.113968e-07,5.167881e-07,5.193959e-07,5.226318e-07,5.268775e-07,5.281840e-07,5.334550e-07,5.338648e-07,5.384545e-07,5.403806e-07,5.431925e-07,5.464471e-07,5.476782e-07,5.519209e-07,5.520857e-07,5.559299e-07,5.573176e-07,5.597140e-07,5.621632e-07,5.632819e-07,5.666419e-07,5.698023e-07,5.707727e-07,5.727708e-07,5.745736e-07,5.755551e-07,5.780615e-07,5.781625e-07,5.805999e-07,5.812529e-07,5.828743e-07,5.841634e-07,5.849921e-07,5.868077e-07,5.869598e-07,5.887834e-07,5.892002e-07,5.904688e-07,5.913543e-07,5.920216e-07,5.932828e-07,5.934473e-07,5.947511e-07,5.949976e-07,5.959379e-07,5.965104e-07,5.970126e-07,5.978321e-07,5.979798e-07,5.988439e-07,5.989729e-07,5.996092e-07,5.999427e-07,6.002798e-07,6.007508e-07,6.008596e-07,6.013524e-07,6.014059e-07,6.017618e-07,6.019164e-07,6.020913e-07,6.022903e-07,6.023441e-07,6.025236e-07,6.025349e-07,6.026328e-07,6.026574e-07,6.026745e-07,6.026645e-07,6.026518e-07,6.025672e-07,6.025626e-07,6.024235e-07,6.023577e-07,6.022230e-07,6.020555e-07,6.019682e-07,6.016615e-07,6.011809e-07,6.006184e-07,5.999787e-07,5.992662e-07,5.984851e-07,5.976394e-07,5.967327e-07,5.957686e-07,5.947506e-07,5.936818e-07,5.925653e-07,5.914039e-07,5.902005e-07,5.889576e-07,5.876777e-07,5.863632e-07,5.850164e-07,5.836393e-07,5.822340e-07,5.808025e-07,5.793466e-07,5.778680e-07,5.763684e-07,5.748494e-07
0.000000e+00,1.365034e-11,9.257070e-11,1.595280e-09,1.051418e-08,2.490932e-08,1.596666e-07,1.706976e-07,7.452676e-07,1.064919e-06,2.447524e-06,4.528711e-06,6.606049e-06,1.449801e-05,1.544975e-05,3.239490e-05,3.817566e-05,6.233214e-05,8.716653e-05,1.118972e-04,1.785420e-04,1.897061e-04,3.065318e-04,3.356849e-04,4.753944e-04,5.887457e-04,7.115482e-04,9.745645e-04,1.032355e-03,1.457048e-03,1.536010e-03,2.006413e-03,2.320801e-03,2.702388e-03,3.379934e-03,3.567620e-03,4.624993e-03,4.765869e-03,5.897135e-03,6.530598e-03,7.405948e-03,8.723729e-03,9.172139e-03,1.121480e-02,1.139068e-02,1.355101e-02,1.457108e-02,1.619552e-02,1.829737e-02,1.916044e-02,2.245506e-02,2.259380e-02,2.608565e-02,2.747562e-02,3.005540e-02,3.294871e-02,3.436435e-02,3.900942e-02,4.398452e-02,4.564485e-02,4.928060e-02,5.283320e-02,5.488587e-02,6.054452e-02,6.078599e-02,6.696427e-02,6.874153e-02,7.340197e-02,7.738062e-02,8.007852e-02,8.641291e-02,8.697180e-02,9.405848e-02,9.578537e-02,1.013142e-01,1.054420e-01,1.087140e-01,1.153247e-01,1.162323e-01,1.238436e-01,1.253747e-01,1.315222e-01,1.355332e-01,1.392428e-01,1.457424e-01,1.469806e-01,1.547115e-01,1.559462e-01,1.624120e-01,1.660909e-01,1.700598e-01,1.761257e-01,1.776335e-01,1.851130e-01,1.860033e-01,1.924793e-01,1.956801e-01,1.997149e-01,2.051165e-01,2.068035e-01,2.137303e-01,2.142770e-01,2.204817e-01,2.231304e-01,2.270457e-01,2.316496e-01,2.334115e-01,2.395697e-01,2.398116e-01,2.455125e-01,2.475977e-01,2.512329e-01,2.549929e-01,2.567254e-01,2.619858e-01,2.670107e-01,2.685686e-01,2.717980e-01,2.747367e-01,2.763466e-01,2.804884e-01,2.806562e-01,2.847274e-01,2.858248e-01,2.885617e-01,2.907494e-01,2.921613e-01,2.952680e-01,2.955290e-01,2.986682e-01,2.993881e-01,3.015831e-01,3.031190e-01,3.042780e-01,3.064716e-01,3.067580e-01,3.090283e-01,3.094577e-01,3.110946e-01,3.120904e-01,3.129628e-01,3.143835e-01,3.146390e-01,3.161296e-01,3.163513e-01,3.174410e-01,3.180088e-01,3.185798e-01,3.193711e-01,3.195528e-01,3.203664e-01,3.204537e-01,3.210276e-01,3.212720e-01,3.215430e-01,3.218413e-01,3.219192e-01,3.221629e-01,3.221769e-01,3.222805e-01,3.222937e-01,3.222785e-01,3.222066e-01,3.221632e-01,3.219408e-01,3.219298e-01,3.216173e-01,3.214772e-01,3.211985e-01,3.208623e-01,3.206903e-01,3.200981e-01,3.191971e-01,3.181712e-01,3.170318e-01,3.157898e-01,3.144554e-01,3.130385e-01,3.115482e-01,3.099933e-01,3.083818e-01,3.067214e-01,3.050193e-01,3.032821e-01,3.015161e-01,2.997269e-01,2.979200e-01,2.961003e-01,2.942723e-01,2.924402e-01,2.906079e-01,2.887788e-01,2.869561e-01,2.851428e-01,2.833415e-01,2.815544e-01
0.000000e+00,1.747707e-12,1.066898e-11,1.479726e-10,8.012349e-10,1.705183e-09,8.306770e-09,8.782861e-09,2.934216e-08,3.902273e-08,7.503102e-08,1.204524e-07,1.603610e-07,2.880135e-07,3.018058e-07,5.170944e-07,5.817918e-07,8.246436e-07,1.044047e-06,1.242803e-06,1.715791e-06,1.788497e-06,2.475147e-06,2.630192e-06,3.310500e-06,3.804200e-06,4.295366e-06,5.234015e-06,5.423797e-06,6.684460e-06,6.897478e-06,8.062499e-06,8.760785e-06,9.541237e-06,1.078516e-05,1.110347e-05,1.273227e-05,1.293142e-05,1.441146e-05,1.516231e-05,1.612584e-05,1.744360e-05,1.786132e-05,1.960495e-05,1.974443e-05,2.134496e-05,2.203756e-05,2.307083e-05,2.429942e-05,2.477324e-05,2.644410e-05,2.651017e-05,2.807649e-05,2.865359e-05,2.966465e-05,3.071690e-05,3.120389e-05,3.269049e-05,3.412168e-05,3.456761e-05,3.549546e-05,3.634394e-05,3.681056e-05,3.801726e-05,3.806635e-05,3.926269e-05,3.958705e-05,4.039993e-05,4.105418e-05,4.147876e-05,4.242058e-05,4.250021e-05,4.346552e-05,4.368900e-05,4.437614e-05,4.486279e-05,4.523366e-05,4.594571e-05,4.603978e-05,4.679628e-05,4.694178e-05,4.750497e-05,4.785520e-05,4.816769e-05,4.869022e-05,4.878631e-05,4.936267e-05,4.945109e-05,4.989859e-05,5.014200e-05,5.039587e-05,5.076705e-05,5.085626e-05,5.128147e-05,5.133021e-05,5.167317e-05,5.183532e-05,5.203298e-05,5.228606e-05,5.236244e-05,5.266308e-05,5.268593e-05,5.293633e-05,5.303828e-05,5.318359e-05,5.334629e-05,5.340622e-05,5.360548e-05,5.361299e-05,5.378263e-05,5.384122e-05,5.393884e-05,5.403368e-05,5.407524e-05,5.419291e-05,5.429289e-05,5.432131e-05,5.437617e-05,5.442114e-05,5.444368e-05,5.449451e-05,5.449634e-05,5.453500e-05,5.454342e-05,5.456047e-05,5.456975e-05,5.457354e-05,5.457526e-05,5.457496e-05,5.456542e-05,5.456158e-05,5.454561e-05,5.453026e-05,5.451616e-05,5.448276e-05,5.447769e-05,5.443078e-05,5.442043e-05,5.437598e-05,5.434454e-05,5.431381e-05,5.425626e-05,5.424477e-05,5.416934e-05,5.415671e-05,5.408797e-05,5.404692e-05,5.400108e-05,5.392786e-05,5.390907e-05,5.381234e-05,5.380043e-05,5.371124e-05,5.366547e-05,5.360613e-05,5.352376e-05,5.349733e-05,5.338515e-05,5.337604e-05,5.326988e-05,5.322298e-05,5.315181e-05,5.306521e-05,5.303120e-05,5.290829e-05,5.290333e-05,5.278332e-05,5.273787e-05,5.265652e-05,5.256936e-05,5.252810e-05,5.239825e-05,5.222498e-05,5.204997e-05,5.187357e-05,5.169615e-05,5.151801e-05,5.133946e-05,5.116077e-05,5.098218e-05,5.080393e-05,5.062623e-05,5.044928e-05,5.027325e-05,5.009830e-05,4.992459e-05,4.975224e-05,4.958138e-05,4.941212e-05,4.924456e-05,4.907878e-05,4.891487e-05,4.875290e-05,4.859293e-05,4.843502e-05,4.827922e-05
0.000000e+00,1.640127e-13,1.106884e-12,1.888054e-11,1.232389e-10,2.903775e-10,1.834300e-09,1.959831e-09,8.426915e-09,1.198981e-08,2.725434e-08,4.996818e-08,7.244389e-08,1.567684e-07,1.668556e-07,3.445615e-07,4.045635e-07,6.529414e-07,9.052951e-07,1.154312e-06,1.816852e-06,1.926838e-06,3.064470e-06,3.345128e-06,4.675791e-06,5.740642e-06,6.881829e-06,9.289716e-06,9.813003e-06,1.360547e-05,1.430141e-05,1.839710e-05,2.109197e-05,2.432337e-05,2.996836e-05,3.151332e-05,4.008569e-05,4.121243e-05,5.014557e-05,5.506661e-05,6.178140e-05,7.172211e-05,7.506262e-05,9.003784e-05,9.130999e-05,1.067337e-04,1.138956e-04,1.251545e-04,1.394760e-04,1.452818e-04,1.670755e-04,1.679811e-04,1.904749e-04,1.992768e-04,2.153998e-04,2.331711e-04,2.417529e-04,2.694217e-04,2.982808e-04,3.077452e-04,3.281946e-04,3.478267e-04,3.590192e-04,3.893295e-04,3.906057e-04,4.228017e-04,4.319050e-04,4.554543e-04,4.752017e-04,4.884116e-04,5.188733e-04,5.215247e-04,5.546496e-04,5.625859e-04,5.876484e-04,6.060236e-04,6.203904e-04,6.488936e-04,6.527533e-04,6.846239e-04,6.909296e-04,7.158983e-04,7.318939e-04,7.464828e-04,7.715789e-04,7.762935e-04,8.052566e-04,8.098077e-04,8.333085e-04,8.464335e-04,8.603950e-04,8.813389e-04,8.864716e-04,9.115023e-04,9.144343e-04,9.354597e-04,9.456557e-04,9.583244e-04,9.749630e-04,9.800842e-04,1.000734e-03,1.002338e-03,1.020273e-03,1.027780e-03,1.038710e-03,1.051307e-03,1.056054e-03,1.072322e-03,1.072950e-03,1.087533e-03,1.092754e-03,1.101709e-03,1.110772e-03,1.114878e-03,1.127066e-03,1.138304e-03,1.141704e-03,1.148622e-03,1.154760e-03,1.158055e-03,1.166309e-03,1.166636e-03,1.174399e-03,1.176430e-03,1.181378e-03,1.185203e-03,1.187608e-03,1.192707e-03,1.193123e-03,1.197958e-03,1.199021e-03,1.202147e-03,1.204223e-03,1.205722e-03,1.208387e-03,1.208716e-03,1.211161e-03,1.211586e-03,1.213086e-03,1.213892e-03,1.214522e-03,1.215371e-03,1.215497e-03,1.216040e-03,1.216089e-03,1.216177e-03,1.216106e-03,1.215933e-03,1.215480e-03,1.215333e-03,1.214401e-03,1.214268e-03,1.213158e-03,1.212519e-03,1.211627e-03,1.210283e-03,1.209828e-03,1.207779e-03,1.207605e-03,1.205500e-03,1.204528e-03,1.203008e-03,1.201091e-03,1.200320e-03,1.197450e-03,1.197332e-03,1.194414e-03,1.193283e-03,1.191226e-03,1.188978e-03,1.187899e-03,1.184445e-03,1.179712e-03,1.174804e-03,1.169744e-03,1.164553e-03,1.159251e-03,1.153857e-03,1.148386e-03,1.142853e-03,1.137273e-03,1.131659e-03,1.126021e-03,1.120371e-03,1.114718e-03,1.109071e-03,1.103437e-03,1.097824e-03,1.092239e-03,1.086687e-03,1.081173e-03,1.075702e-03,1.070279e-03,1.064907e-03,1.059589e-03,1.054329e-03
0.000000e+00,4.910434e-11,1.228743e-10,4.639020e-10,1.103798e-09,1.639255e-09,3.856937e-09,3.978312e-09,7.938633e-09,9.410851e-09,1.407633e-08,1.908025e-08,2.306509e-08,3.448545e-08,3.563927e-08,5.238308e-08,5.704739e-08,7.340246e-08,8.687448e-08,9.820206e-08,1.225028e-07,1.259628e-07,1.558928e-07,1.620814e-07,1.873710e-07,2.041934e-07,2.199359e-07,2.478700e-07,2.532347e-07,2.869806e-07,2.924045e-07,3.209257e-07,3.372240e-07,3.548474e-07,3.818306e-07,3.885422e-07,4.218246e-07,4.257826e-07,4.545263e-07,4.686919e-07,4.864985e-07,5.102298e-07,5.176127e-07,5.477587e-07,5.501257e-07,5.768465e-07,5.881689e-07,6.048056e-07,6.242071e-07,6.315834e-07,6.571435e-07,6.581403e-07,6.814650e-07,6.899154e-07,7.045388e-07,7.195174e-07,7.263680e-07,7.469662e-07,7.663547e-07,7.723079e-07,7.845611e-07,7.956077e-07,8.016181e-07,8.169457e-07,8.175626e-07,8.324344e-07,8.364120e-07,8.462753e-07,8.541028e-07,8.591282e-07,8.701174e-07,8.710364e-07,8.820436e-07,8.845561e-07,8.921932e-07,8.975183e-07,9.015278e-07,9.091013e-07,9.100892e-07,9.179180e-07,9.193993e-07,9.250535e-07,9.285027e-07,9.315339e-07,9.364978e-07,9.373956e-07,9.426737e-07,9.434664e-07,9.474020e-07,9.494857e-07,9.516125e-07,9.546287e-07,9.553358e-07,9.586012e-07,9.589636e-07,9.614363e-07,9.625543e-07,9.638675e-07,9.654605e-07,9.659198e-07,9.676169e-07,9.677380e-07,9.689813e-07,9.694387e-07,9.700342e-07,9.706109e-07,9.707959e-07,9.712852e-07,9.712994e-07,9.715203e-07,9.715460e-07,9.715181e-07,9.713893e-07,9.712946e-07,9.708652e-07,9.702439e-07,9.700069e-07,9.694444e-07,9.688452e-07,9.684795e-07,9.674085e-07,9.673610e-07,9.661004e-07,9.657234e-07,9.647082e-07,9.638141e-07,9.631947e-07,9.617031e-07,9.615692e-07,9.598407e-07,9.594114e-07,9.580175e-07,9.569582e-07,9.561076e-07,9.543612e-07,9.541185e-07,9.520571e-07,9.516368e-07,9.499301e-07,9.488001e-07,9.477435e-07,9.458651e-07,9.455033e-07,9.432150e-07,9.428447e-07,9.408836e-07,9.397506e-07,9.385140e-07,9.365938e-07,9.361107e-07,9.336780e-07,9.333843e-07,9.312199e-07,9.301313e-07,9.287402e-07,9.268433e-07,9.262423e-07,9.237295e-07,9.235280e-07,9.212050e-07,9.201925e-07,9.186716e-07,9.168435e-07,9.161319e-07,9.135887e-07,9.134869e-07,9.110441e-07,9.101281e-07,9.085004e-07,9.067722e-07,9.059596e-07,9.034237e-07,9.000868e-07,8.967652e-07,8.934625e-07,8.901817e-07,8.869256e-07,8.836968e-07,8.804975e-07,8.773299e-07,8.741957e-07,8.710965e-07,8.680339e-07,8.650090e-07,8.620230e-07,8.590768e-07,8.561713e-07,8.533072e-07,8.504850e-07,8.477053e-07,8.449684e-07,8.422747e-07,8.396242e-07,8.370173e-07,8.344538e-07,8.319339e-07
0.000000e+00,9.991095e-12,2.288797e-11,7.833164e-11,1.769098e-10,2.568940e-10,5.750048e-10,5.919608e-10,1.126890e-09,1.318301e-09,1.904499e-09,2.505680e-09,2.968454e-09,4.237877e-09,4.362533e-09,6.125641e-09,6.606756e-09,8.280087e-09,9.655275e-09,1.081525e-08,1.332121e-08,1.367988e-08,1.679519e-08,1.744091e-08,2.007852e-08,2.182793e-08,2.345841e-08,2.633010e-08,2.687791e-08,3.029201e-08,3.083524e-08,3.366444e-08,3.525942e-08,3.696528e-08,3.953748e-08,4.016956e-08,4.325650e-08,4.361821e-08,4.620918e-08,4.746225e-08,4.901423e-08,5.104104e-08,5.166161e-08,5.414441e-08,5.433578e-08,5.645858e-08,5.733663e-08,5.860267e-08,6.004143e-08,6.057741e-08,6.238546e-08,6.245437e-08,6.403103e-08,6.458469e-08,6.551960e-08,6.644538e-08,6.685757e-08,6.805208e-08,6.911070e-08,6.942204e-08,7.004130e-08,7.057338e-08,7.085185e-08,7.152442e-08,7.155031e-08,7.214450e-08,7.229323e-08,7.264206e-08,7.289728e-08,7.305034e-08,7.335317e-08,7.337639e-08,7.362689e-08,7.367648e-08,7.380818e-08,7.388171e-08,7.392621e-08,7.398219e-08,7.398657e-08,7.399445e-08,7.399016e-08,7.395471e-08,7.391674e-08,7.387187e-08,7.377202e-08,7.375008e-08,7.359321e-08,7.356510e-08,7.340483e-08,7.330418e-08,7.318820e-08,7.299662e-08,7.294637e-08,7.268210e-08,7.264900e-08,7.239794e-08,7.226722e-08,7.209624e-08,7.185654e-08,7.177913e-08,7.144858e-08,7.142161e-08,7.110638e-08,7.096661e-08,7.075418e-08,7.049524e-08,7.039346e-08,7.002560e-08,7.001075e-08,6.965184e-08,6.951606e-08,6.927331e-08,6.901373e-08,6.889106e-08,6.850602e-08,6.811904e-08,6.799493e-08,6.773090e-08,6.748221e-08,6.734230e-08,6.696940e-08,6.695388e-08,6.656620e-08,6.645786e-08,6.617980e-08,6.594876e-08,6.579513e-08,6.544313e-08,6.541262e-08,6.503264e-08,6.494186e-08,6.465554e-08,6.444573e-08,6.428161e-08,6.395539e-08,6.391113e-08,6.354433e-08,6.347143e-08,6.318142e-08,6.299431e-08,6.282259e-08,6.252444e-08,6.246800e-08,6.211778e-08,6.206216e-08,6.177207e-08,6.160776e-08,6.143096e-08,6.116144e-08,6.109454e-08,6.076287e-08,6.072340e-08,6.043603e-08,6.029376e-08,6.011405e-08,5.987262e-08,5.979697e-08,5.948482e-08,5.946006e-08,5.917760e-08,5.905610e-08,5.887532e-08,5.866075e-08,5.857799e-08,5.828559e-08,5.827400e-08,5.799811e-08,5.789582e-08,5.771553e-08,5.752615e-08,5.743781e-08,5.716494e-08,5.681210e-08,5.646755e-08,5.613117e-08,5.580287e-08,5.548252e-08,5.517001e-08,5.486520e-08,5.456796e-08,5.427816e-08,5.399566e-08,5.372031e-08,5.345199e-08,5.319054e-08,5.293582e-08,5.268769e-08,5.244600e-08,5.221061e-08,5.198138e-08,5.175817e-08,5.154084e-08,5.132925e-08,5.112326e-08,5.092274e-08,5.072756e-08
0.000000e+00,4.700377e-12,1.076591e-11,3.696901e-11,8.389048e-11,1.221722e-10,2.756197e-10,2.838398e-10,5.446268e-10,6.384833e-10,9.271649e-10,1.224652e-09,1.454317e-09,2.085774e-09,2.147817e-09,3.023736e-09,3.261807e-09,4.085180e-09,4.756140e-09,5.318572e-09,6.526596e-09,6.699120e-09,8.199694e-09,8.511978e-09,9.795560e-09,1.065578e-08,1.146508e-08,1.291030e-08,1.318906e-08,1.495006e-08,1.523417e-08,1.673215e-08,1.759071e-08,1.852076e-08,1.994749e-08,2.030279e-08,2.206660e-08,2.227653e-08,2.380209e-08,2.455449e-08,2.550073e-08,2.676263e-08,2.715543e-08,2.876052e-08,2.888664e-08,3.031164e-08,3.091622e-08,3.180557e-08,3.284448e-08,3.324005e-08,3.461371e-08,3.466738e-08,3.592593e-08,3.638327e-08,3.717669e-08,3.799232e-08,3.836645e-08,3.949612e-08,4.056688e-08,4.089731e-08,4.158019e-08,4.219930e-08,4.253767e-08,4.340597e-08,4.344110e-08,4.429232e-08,4.452157e-08,4.509327e-08,4.555052e-08,4.584589e-08,4.649728e-08,4.655211e-08,4.721389e-08,4.736632e-08,4.783313e-08,4.816203e-08,4.841172e-08,4.888870e-08,4.895148e-08,4.945421e-08,4.955046e-08,4.992162e-08,5.015128e-08,5.035540e-08,5.069496e-08,5.075716e-08,5.112845e-08,5.118513e-08,5.147078e-08,5.162523e-08,5.178557e-08,5.201851e-08,5.207421e-08,5.233802e-08,5.236807e-08,5.257826e-08,5.267682e-08,5.279615e-08,5.294751e-08,5.299284e-08,5.316943e-08,5.318272e-08,5.332699e-08,5.338491e-08,5.346652e-08,5.355635e-08,5.358897e-08,5.369528e-08,5.369921e-08,5.378631e-08,5.381550e-08,5.386289e-08,5.390713e-08,5.392583e-08,5.397587e-08,5.401374e-08,5.402340e-08,5.404012e-08,5.405127e-08,5.405566e-08,5.406097e-08,5.406099e-08,5.405670e-08,5.405385e-08,5.404335e-08,5.403121e-08,5.402147e-08,5.399425e-08,5.399158e-08,5.395415e-08,5.394410e-08,5.390965e-08,5.388181e-08,5.385852e-08,5.380836e-08,5.380116e-08,5.373798e-08,5.372468e-08,5.366935e-08,5.363163e-08,5.359563e-08,5.353001e-08,5.351715e-08,5.343424e-08,5.342059e-08,5.334721e-08,5.330405e-08,5.325634e-08,5.318107e-08,5.316191e-08,5.306418e-08,5.305224e-08,5.296340e-08,5.291815e-08,5.285981e-08,5.277933e-08,5.275362e-08,5.264505e-08,5.263627e-08,5.253431e-08,5.248945e-08,5.242158e-08,5.233929e-08,5.230705e-08,5.219088e-08,5.218620e-08,5.207324e-08,5.203056e-08,5.195428e-08,5.187271e-08,5.183415e-08,5.171299e-08,5.155170e-08,5.138912e-08,5.122551e-08,5.106112e-08,5.089618e-08,5.073090e-08,5.056546e-08,5.040006e-08,5.023485e-08,5.007001e-08,4.990566e-08,4.974194e-08,4.957898e-08,4.941688e-08,4.925574e-08,4.909568e-08,4.893676e-08,4.877907e-08,4.862268e-08,4.846766e-08,4.831406e-08,4.816195e-08,4.801137e-08,4.786236e-08
0.000000e+00,7.356306e-12,4.990882e-11,8.609502e-10,5.680090e-09,1.346485e-08,8.645462e-08,9.243436e-08,4.043381e-07,5.780834e-07,1.330579e-06,2.465138e-06,3.599037e-06,7.914969e-06,8.436106e-06,1.773030e-05,2.090630e-05,3.419920e-05,4.789311e-05,6.155216e-05,9.844969e-05,1.046416e-04,1.695951e-04,1.858448e-04,2.639172e-04,3.274818e-04,3.965501e-04,5.451250e-04,5.778792e-04,8.196736e-04,8.648262e-04,1.134961e-03,1.316507e-03,1.537835e-03,1.933201e-03,2.043214e-03,2.666556e-03,2.750029e-03,3.423551e-03,3.803002e-03,4.329803e-03,5.127754e-03,5.400512e-03,6.650168e-03,6.758284e-03,8.092270e-03,8.725788e-03,9.739069e-03,1.105763e-02,1.160134e-02,1.368822e-02,1.377647e-02,1.600701e-02,1.689964e-02,1.856311e-02,2.043863e-02,2.135992e-02,2.439884e-02,2.767921e-02,2.877955e-02,3.119839e-02,3.357396e-02,3.495180e-02,3.876949e-02,3.893302e-02,4.313388e-02,4.434818e-02,4.754459e-02,5.028713e-02,5.215392e-02,5.655914e-02,5.694930e-02,6.191702e-02,6.313330e-02,6.704236e-02,6.997564e-02,7.230980e-02,7.704987e-02,7.770318e-02,8.320582e-02,8.431797e-02,8.880075e-02,9.174088e-02,9.447079e-02,9.927910e-02,1.001988e-01,1.059676e-01,1.068932e-01,1.117603e-01,1.145445e-01,1.175605e-01,1.221952e-01,1.233521e-01,1.291194e-01,1.298092e-01,1.348476e-01,1.373519e-01,1.405224e-01,1.447911e-01,1.461302e-01,1.516582e-01,1.520966e-01,1.570945e-01,1.592408e-01,1.624280e-01,1.661987e-01,1.676484e-01,1.727464e-01,1.729476e-01,1.777133e-01,1.794678e-01,1.825415e-01,1.857420e-01,1.872243e-01,1.917555e-01,1.961301e-01,1.974962e-01,2.003437e-01,2.029542e-01,2.043927e-01,2.081222e-01,2.082742e-01,2.119860e-01,2.129947e-01,2.155266e-01,2.175684e-01,2.188951e-01,2.218420e-01,2.220913e-01,2.251154e-01,2.258156e-01,2.279681e-01,2.294912e-01,2.306507e-01,2.328721e-01,2.331649e-01,2.355129e-01,2.359627e-01,2.376970e-01,2.387689e-01,2.397201e-01,2.412973e-01,2.415853e-01,2.432959e-01,2.435555e-01,2.448555e-01,2.455517e-01,2.462680e-01,2.472948e-01,2.475374e-01,2.486677e-01,2.487942e-01,2.496632e-01,2.500597e-01,2.505283e-01,2.511013e-01,2.512674e-01,2.518851e-01,2.519294e-01,2.523857e-01,2.525542e-01,2.527739e-01,2.529864e-01,2.530543e-01,2.532313e-01,2.532363e-01,2.533095e-01,2.533143e-01,2.532933e-01,2.532307e-01,2.531872e-01,2.529956e-01,2.526188e-01,2.521100e-01,2.514787e-01,2.507339e-01,2.498844e-01,2.489387e-01,2.479050e-01,2.467909e-01,2.456041e-01,2.443516e-01,2.430401e-01,2.416761e-01,2.402656e-01,2.388144e-01,2.373278e-01,2.358110e-01,2.342687e-01,2.327054e-01,2.311253e-01,2.295321e-01,2.279297e-01,2.263212e-01,2.247098e-01,2.230985e-01
0.000000e+00,1.407909e-11,6.344620e-11,5.028643e-10,1.763654e-09,3.039391e-09,9.275513e-09,9.642680e-09,2.227331e-08,2.714647e-08,4.280808e-08,5.969807e-08,7.311404e-08,1.112591e-07,1.150912e-07,1.705586e-07,1.860438e-07,2.408384e-07,2.868247e-07,3.262293e-07,4.132849e-07,4.259702e-07,5.387550e-07,5.627549e-07,6.632124e-07,7.321180e-07,7.980730e-07,9.185231e-07,9.421456e-07,1.094259e-06,1.119264e-06,1.253222e-06,1.331599e-06,1.417809e-06,1.552687e-06,1.586768e-06,1.758839e-06,1.779637e-06,1.932776e-06,2.009586e-06,2.107371e-06,2.239796e-06,2.281479e-06,2.454035e-06,2.467743e-06,2.624070e-06,2.691181e-06,2.790721e-06,2.908186e-06,2.953234e-06,3.110971e-06,3.117173e-06,3.263404e-06,3.316896e-06,3.410109e-06,3.506430e-06,3.550766e-06,3.685143e-06,3.813091e-06,3.852662e-06,3.934533e-06,4.008835e-06,4.049459e-06,4.153693e-06,4.157908e-06,4.259969e-06,4.287417e-06,4.355765e-06,4.410299e-06,4.445452e-06,4.522722e-06,4.529209e-06,4.607234e-06,4.625130e-06,4.679736e-06,4.718006e-06,4.746935e-06,4.801862e-06,4.809056e-06,4.866325e-06,4.877217e-06,4.918971e-06,4.944594e-06,4.967217e-06,5.004505e-06,5.011284e-06,5.051390e-06,5.057453e-06,5.087743e-06,5.103919e-06,5.120546e-06,5.144365e-06,5.149996e-06,5.176280e-06,5.179230e-06,5.199579e-06,5.208930e-06,5.220066e-06,5.233856e-06,5.237904e-06,5.253251e-06,5.254376e-06,5.266256e-06,5.270834e-06,5.277060e-06,5.283552e-06,5.285798e-06,5.292597e-06,5.292830e-06,5.297578e-06,5.298948e-06,5.300854e-06,5.302164e-06,5.302534e-06,5.302721e-06,5.301509e-06,5.300841e-06,5.298991e-06,5.296733e-06,5.295252e-06,5.290589e-06,5.290373e-06,5.284431e-06,5.282587e-06,5.277499e-06,5.272892e-06,5.269644e-06,5.261658e-06,5.260930e-06,5.251419e-06,5.249024e-06,5.241167e-06,5.235122e-06,5.230228e-06,5.220073e-06,5.218652e-06,5.206488e-06,5.203989e-06,5.193781e-06,5.186972e-06,5.180573e-06,5.169120e-06,5.166903e-06,5.152811e-06,5.150519e-06,5.138331e-06,5.131253e-06,5.123497e-06,5.111396e-06,5.108340e-06,5.092890e-06,5.091017e-06,5.077174e-06,5.070182e-06,5.061220e-06,5.048950e-06,5.045052e-06,5.028692e-06,5.027376e-06,5.012164e-06,5.005510e-06,4.995488e-06,4.983400e-06,4.978683e-06,4.961767e-06,4.961088e-06,4.944758e-06,4.938615e-06,4.927671e-06,4.916016e-06,4.910523e-06,4.893326e-06,4.870577e-06,4.847796e-06,4.825010e-06,4.802244e-06,4.779519e-06,4.756857e-06,4.734275e-06,4.711791e-06,4.689421e-06,4.667180e-06,4.645079e-06,4.623131e-06,4.601347e-06,4.579736e-06,4.558308e-06,4.537070e-06,4.516030e-06,4.495194e-06,4.474568e-06,4.454156e-06,4.433964e-06,4.413995e-06,4.394252e-06,4.374739e-06
0.000000e+00,7.057579e-13,4.510844e-12,6.871742e-11,4.046186e-10,9.010327e-10,4.923815e-09,5.230071e-09,1.952550e-08,2.675187e-08,5.539635e-08,9.437345e-08,1.305680e-07,2.553034e-07,2.694473e-07,5.027820e-07,5.766804e-07,8.655191e-07,1.138439e-06,1.392942e-06,2.018468e-06,2.116553e-06,3.061160e-06,3.278226e-06,4.243625e-06,4.955797e-06,5.672979e-06,7.066112e-06,7.351273e-06,9.274693e-06,9.604672e-06,1.143462e-05,1.255185e-05,1.381853e-05,1.587645e-05,1.641069e-05,1.919276e-05,1.953842e-05,2.214433e-05,2.349108e-05,2.524338e-05,2.768311e-05,2.846682e-05,3.179095e-05,3.206051e-05,3.519197e-05,3.656863e-05,3.864643e-05,4.115397e-05,4.213168e-05,4.562620e-05,4.576588e-05,4.910995e-05,5.035786e-05,5.256455e-05,5.488852e-05,5.597348e-05,5.932214e-05,6.259792e-05,6.362897e-05,6.579009e-05,6.778504e-05,6.888980e-05,7.177193e-05,7.188995e-05,7.478504e-05,7.557626e-05,7.757106e-05,7.918913e-05,8.024528e-05,8.260548e-05,8.280616e-05,8.525314e-05,8.582348e-05,8.758652e-05,8.884394e-05,8.980732e-05,9.166979e-05,9.191718e-05,9.391823e-05,9.430559e-05,9.581298e-05,9.675718e-05,9.760429e-05,9.903128e-05,9.929521e-05,1.008890e-04,1.011352e-04,1.023890e-04,1.030767e-04,1.037987e-04,1.048637e-04,1.051214e-04,1.063608e-04,1.065041e-04,1.075201e-04,1.080058e-04,1.086029e-04,1.093766e-04,1.096123e-04,1.105518e-04,1.106240e-04,1.114244e-04,1.117554e-04,1.122332e-04,1.127778e-04,1.129813e-04,1.136714e-04,1.136978e-04,1.143064e-04,1.145220e-04,1.148889e-04,1.152564e-04,1.154215e-04,1.159067e-04,1.163469e-04,1.164786e-04,1.167442e-04,1.169770e-04,1.171009e-04,1.174071e-04,1.174191e-04,1.177008e-04,1.177733e-04,1.179478e-04,1.180801e-04,1.181619e-04,1.183314e-04,1.183450e-04,1.184986e-04,1.185313e-04,1.186244e-04,1.186832e-04,1.187238e-04,1.187906e-04,1.187982e-04,1.188492e-04,1.188567e-04,1.188779e-04,1.188844e-04,1.188856e-04,1.188766e-04,1.188734e-04,1.188426e-04,1.188360e-04,1.187942e-04,1.187650e-04,1.187292e-04,1.186659e-04,1.186486e-04,1.185532e-04,1.185409e-04,1.184441e-04,1.183920e-04,1.183221e-04,1.182211e-04,1.181878e-04,1.180422e-04,1.180301e-04,1.178859e-04,1.178206e-04,1.177196e-04,1.175941e-04,1.175440e-04,1.173597e-04,1.173521e-04,1.171672e-04,1.170961e-04,1.169672e-04,1.168272e-04,1.167602e-04,1.165467e-04,1.162557e-04,1.159552e-04,1.156463e-04,1.153298e-04,1.150066e-04,1.146775e-04,1.143433e-04,1.140046e-04,1.136621e-04,1.133163e-04,1.129680e-04,1.126175e-04,1.122654e-04,1.119121e-04,1.115580e-04,1.112036e-04,1.108492e-04,1.104952e-04,1.101418e-04,1.097893e-04,1.094381e-04,1.090884e-04,1.087403e-04,1.083942e-04
0.000000e+00,1.212711e-12,7.936998e-12,1.269590e-10,7.810859e-10,1.781178e-09,1.033314e-08,1.100193e-08,4.344069e-08,6.038739e-08,1.294711e-07,2.264092e-07,3.182971e-07,6.431669e-07,6.805851e-07,1.309544e-06,1.512529e-06,2.320260e-06,3.102308e-06,3.846637e-06,5.732687e-06,6.035290e-06,9.036700e-06,9.747431e-06,1.299517e-05,1.547538e-05,1.803942e-05,2.319384e-05,2.427520e-05,3.178034e-05,3.310257e-05,4.060235e-05,4.531075e-05,5.075800e-05,5.983503e-05,6.223441e-05,7.499124e-05,7.660525e-05,8.896355e-05,9.547490e-05,1.040651e-04,1.162342e-04,1.201920e-04,1.372261e-04,1.386243e-04,1.550389e-04,1.623519e-04,1.734948e-04,1.871033e-04,1.924548e-04,2.117790e-04,2.125576e-04,2.313302e-04,2.383984e-04,2.509755e-04,2.643235e-04,2.705890e-04,2.900529e-04,3.092593e-04,3.153347e-04,3.281104e-04,3.399482e-04,3.465197e-04,3.637068e-04,3.644117e-04,3.817220e-04,3.864571e-04,3.983971e-04,4.080788e-04,4.143937e-04,4.284822e-04,4.296782e-04,4.442258e-04,4.476057e-04,4.580202e-04,4.654123e-04,4.710521e-04,4.818871e-04,4.833187e-04,4.948232e-04,4.970332e-04,5.055733e-04,5.108691e-04,5.155812e-04,5.234256e-04,5.248625e-04,5.334355e-04,5.347429e-04,5.413212e-04,5.448687e-04,5.485420e-04,5.538561e-04,5.551220e-04,5.610860e-04,5.617615e-04,5.664597e-04,5.686437e-04,5.712689e-04,5.745624e-04,5.755397e-04,5.792979e-04,5.795772e-04,5.825694e-04,5.837473e-04,5.853792e-04,5.871303e-04,5.877521e-04,5.897122e-04,5.897824e-04,5.912829e-04,5.917574e-04,5.924869e-04,5.931072e-04,5.933459e-04,5.938811e-04,5.941128e-04,5.941260e-04,5.940603e-04,5.938862e-04,5.937422e-04,5.932036e-04,5.931765e-04,5.923799e-04,5.921178e-04,5.913688e-04,5.906656e-04,5.901585e-04,5.888817e-04,5.887637e-04,5.871983e-04,5.867987e-04,5.854755e-04,5.844467e-04,5.836078e-04,5.818539e-04,5.816072e-04,5.794848e-04,5.790467e-04,5.772513e-04,5.760494e-04,5.749167e-04,5.728845e-04,5.724905e-04,5.699817e-04,5.695732e-04,5.673986e-04,5.661346e-04,5.647491e-04,5.625869e-04,5.620409e-04,5.592808e-04,5.589465e-04,5.564756e-04,5.552286e-04,5.536313e-04,5.514472e-04,5.507539e-04,5.478487e-04,5.476152e-04,5.449209e-04,5.437445e-04,5.419752e-04,5.398457e-04,5.390161e-04,5.360477e-04,5.359288e-04,5.330740e-04,5.320028e-04,5.300985e-04,5.280759e-04,5.271246e-04,5.241554e-04,5.202482e-04,5.163604e-04,5.124973e-04,5.086641e-04,5.048650e-04,5.011040e-04,4.973846e-04,4.937099e-04,4.900826e-04,4.865050e-04,4.829792e-04,4.795069e-04,4.760896e-04,4.727286e-04,4.694247e-04,4.661788e-04,4.629914e-04,4.598631e-04,4.567940e-04,4.537843e-04,4.508340e-04,4.479429e-04,4.451108e-04,4.423374e-04
0.000000e+00,2.905990e-12,1.851880e-11,2.807192e-10,1.648870e-09,3.671140e-09,2.015727e-08,2.141932e-08,8.119874e-08,1.119585e-07,2.366496e-07,4.118762e-07,5.790143e-07,1.177554e-06,1.247073e-06,2.423354e-06,2.803744e-06,4.309175e-06,5.745663e-06,7.089393e-06,1.038873e-05,1.090450e-05,1.583883e-05,1.696353e-05,2.192285e-05,2.553795e-05,2.914351e-05,3.605559e-05,3.745664e-05,4.679802e-05,4.838310e-05,5.709158e-05,6.234662e-05,6.825480e-05,7.775399e-05,8.020197e-05,9.284602e-05,9.440599e-05,1.060996e-04,1.121020e-04,1.198761e-04,1.306433e-04,1.340900e-04,1.486581e-04,1.498365e-04,1.635002e-04,1.694964e-04,1.785396e-04,1.894497e-04,1.937046e-04,2.089282e-04,2.095375e-04,2.241492e-04,2.296173e-04,2.393121e-04,2.495643e-04,2.543675e-04,2.692716e-04,2.839866e-04,2.886500e-04,2.984799e-04,3.076263e-04,3.127239e-04,3.261424e-04,3.266958e-04,3.403767e-04,3.441531e-04,3.537517e-04,3.616249e-04,3.668091e-04,3.785336e-04,3.795399e-04,3.919379e-04,3.948634e-04,4.039990e-04,4.106051e-04,4.157208e-04,4.257548e-04,4.271027e-04,4.381452e-04,4.403131e-04,4.488502e-04,4.542843e-04,4.592204e-04,4.676752e-04,4.692593e-04,4.789710e-04,4.804948e-04,4.883603e-04,4.927540e-04,4.974322e-04,5.044648e-04,5.061922e-04,5.146461e-04,5.156403e-04,5.227999e-04,5.262941e-04,5.306597e-04,5.364404e-04,5.382319e-04,5.455227e-04,5.460940e-04,5.525386e-04,5.552695e-04,5.592861e-04,5.639817e-04,5.657717e-04,5.720017e-04,5.722457e-04,5.779827e-04,5.800761e-04,5.837209e-04,5.874876e-04,5.892229e-04,5.944947e-04,5.995427e-04,6.011118e-04,6.043729e-04,6.073528e-04,6.089914e-04,6.132315e-04,6.134041e-04,6.176170e-04,6.187615e-04,6.216356e-04,6.239560e-04,6.254657e-04,6.288277e-04,6.291128e-04,6.325824e-04,6.333892e-04,6.358797e-04,6.376529e-04,6.390100e-04,6.416306e-04,6.419784e-04,6.447900e-04,6.453339e-04,6.474496e-04,6.487741e-04,6.499619e-04,6.519620e-04,6.523318e-04,6.545636e-04,6.549082e-04,6.566620e-04,6.576230e-04,6.586311e-04,6.601163e-04,6.604754e-04,6.621989e-04,6.623978e-04,6.638056e-04,6.644766e-04,6.652995e-04,6.663618e-04,6.666845e-04,6.679642e-04,6.680622e-04,6.691423e-04,6.695859e-04,6.702224e-04,6.709412e-04,6.712078e-04,6.721020e-04,6.721359e-04,6.729082e-04,6.731775e-04,6.736295e-04,6.740732e-04,6.742692e-04,6.748300e-04,6.754548e-04,6.759539e-04,6.763336e-04,6.765999e-04,6.767587e-04,6.768154e-04,6.767754e-04,6.766439e-04,6.764257e-04,6.761257e-04,6.757483e-04,6.752980e-04,6.747789e-04,6.741950e-04,6.735502e-04,6.728482e-04,6.720925e-04,6.712865e-04,6.704335e-04,6.695366e-04,6.685987e-04,6.676227e-04,6.666112e-04,6.655670e-04
0.000000e+00,1.111077e-10,3.192153e-10,1.390597e-09,3.522020e-09,5.342264e-09,1.294531e-08,1.336095e-08,2.678056e-08,3.168686e-08,4.693602e-08,6.283278e-08,7.520202e-08,1.095629e-07,1.129643e-07,1.614363e-07,1.747523e-07,2.212410e-07,2.595687e-07,2.919469e-07,3.620393e-07,3.720928e-07,4.597764e-07,4.780543e-07,5.531955e-07,6.035230e-07,6.508246e-07,7.351453e-07,7.513847e-07,8.537730e-07,8.702580e-07,9.570132e-07,1.006611e-06,1.060232e-06,1.142267e-06,1.162652e-06,1.263586e-06,1.275569e-06,1.362440e-06,1.405144e-06,1.458711e-06,1.529891e-06,1.551985e-06,1.641931e-06,1.648975e-06,1.728298e-06,1.761799e-06,1.810901e-06,1.867973e-06,1.889617e-06,1.964379e-06,1.967287e-06,2.035166e-06,2.059678e-06,2.101996e-06,2.145205e-06,2.164918e-06,2.223997e-06,2.279327e-06,2.296259e-06,2.331016e-06,2.362241e-06,2.379182e-06,2.422225e-06,2.423953e-06,2.465460e-06,2.476516e-06,2.503840e-06,2.525424e-06,2.539229e-06,2.569261e-06,2.571762e-06,2.601575e-06,2.608340e-06,2.628802e-06,2.642967e-06,2.653571e-06,2.673437e-06,2.676011e-06,2.696244e-06,2.700037e-06,2.714389e-06,2.723038e-06,2.730561e-06,2.742701e-06,2.744870e-06,2.757422e-06,2.759274e-06,2.768318e-06,2.772989e-06,2.777656e-06,2.784068e-06,2.785529e-06,2.792026e-06,2.792717e-06,2.797230e-06,2.799132e-06,2.801223e-06,2.803495e-06,2.804082e-06,2.805878e-06,2.805978e-06,2.806683e-06,2.806742e-06,2.806561e-06,2.805934e-06,2.805575e-06,2.803784e-06,2.803696e-06,2.801245e-06,2.800158e-06,2.798010e-06,2.795440e-06,2.794131e-06,2.789655e-06,2.784627e-06,2.782909e-06,2.779090e-06,2.775298e-06,2.773085e-06,2.766913e-06,2.766648e-06,2.759817e-06,2.757838e-06,2.752625e-06,2.748151e-06,2.745105e-06,2.737922e-06,2.737286e-06,2.729197e-06,2.727219e-06,2.720865e-06,2.716102e-06,2.712315e-06,2.704629e-06,2.703570e-06,2.694653e-06,2.692851e-06,2.685585e-06,2.680817e-06,2.676386e-06,2.668570e-06,2.667073e-06,2.657665e-06,2.656152e-06,2.648177e-06,2.643599e-06,2.638625e-06,2.630946e-06,2.629022e-06,2.619382e-06,2.618224e-06,2.609718e-06,2.605461e-06,2.600041e-06,2.592684e-06,2.590361e-06,2.580689e-06,2.579916e-06,2.571034e-06,2.567179e-06,2.561405e-06,2.554492e-06,2.551809e-06,2.542255e-06,2.541874e-06,2.532749e-06,2.529340e-06,2.523297e-06,2.516904e-06,2.513906e-06,2.504580e-06,2.492379e-06,2.480312e-06,2.468387e-06,2.456613e-06,2.444996e-06,2.433544e-06,2.422260e-06,2.411151e-06,2.400218e-06,2.389467e-06,2.378898e-06,2.368515e-06,2.358318e-06,2.348309e-06,2.338489e-06,2.328857e-06,2.319413e-06,2.310157e-06,2.301088e-06,2.292206e-06,2.283508e-06,2.274994e-06,2.266661e-06,2.258509e-06
0.000000e+00,1.559948e-13,1.022581e-12,1.640666e-11,1.011743e-10,2.309686e-10,1.342751e-09,1.429746e-09,5.650284e-09,7.854612e-09,1.683278e-08,2.940922e-08,4.130894e-08,8.323812e-08,8.805494e-08,1.687067e-07,1.946273e-07,2.973609e-07,3.963242e-07,4.901556e-07,7.267462e-07,7.645809e-07,1.138491e-06,1.226738e-06,1.628906e-06,1.935044e-06,2.250785e-06,2.883541e-06,3.015983e-06,3.932523e-06,4.093529e-06,5.004218e-06,5.573767e-06,6.230613e-06,7.320212e-06,7.607203e-06,9.125823e-06,9.317094e-06,1.077515e-05,1.153876e-05,1.254126e-05,1.395187e-05,1.440822e-05,1.635864e-05,1.651773e-05,1.837419e-05,1.919447e-05,2.043618e-05,2.193907e-05,2.252593e-05,2.462522e-05,2.470914e-05,2.671665e-05,2.746445e-05,2.878388e-05,3.016809e-05,3.081197e-05,3.278745e-05,3.469852e-05,3.529477e-05,3.653511e-05,3.766750e-05,3.828885e-05,3.988835e-05,3.995314e-05,4.152299e-05,4.194512e-05,4.299501e-05,4.383038e-05,4.436723e-05,4.554098e-05,4.563903e-05,4.681092e-05,4.707746e-05,4.788444e-05,4.844352e-05,4.886200e-05,4.964533e-05,4.974671e-05,5.054223e-05,5.069099e-05,5.125269e-05,5.158998e-05,5.188252e-05,5.235265e-05,5.243635e-05,5.291891e-05,5.298983e-05,5.333499e-05,5.351248e-05,5.368930e-05,5.393140e-05,5.398649e-05,5.423103e-05,5.425704e-05,5.442722e-05,5.449929e-05,5.457917e-05,5.466745e-05,5.469075e-05,5.476561e-05,5.477012e-05,5.480716e-05,5.481517e-05,5.481857e-05,5.480978e-05,5.480278e-05,5.476248e-05,5.476039e-05,5.470016e-05,5.467279e-05,5.461811e-05,5.455211e-05,5.451841e-05,5.440295e-05,5.427346e-05,5.422932e-05,5.413151e-05,5.403478e-05,5.397852e-05,5.382246e-05,5.381578e-05,5.364445e-05,5.359509e-05,5.346559e-05,5.335507e-05,5.328016e-05,5.310449e-05,5.308901e-05,5.289292e-05,5.284520e-05,5.269259e-05,5.257879e-05,5.248865e-05,5.230667e-05,5.228169e-05,5.207222e-05,5.203007e-05,5.186071e-05,5.175006e-05,5.164759e-05,5.146760e-05,5.143323e-05,5.121800e-05,5.118350e-05,5.100220e-05,5.089850e-05,5.078612e-05,5.061323e-05,5.057002e-05,5.035414e-05,5.032826e-05,5.013868e-05,5.004407e-05,4.992385e-05,4.976110e-05,4.970982e-05,4.949675e-05,4.947975e-05,4.928478e-05,4.920033e-05,4.907405e-05,4.892316e-05,4.886468e-05,4.865677e-05,4.864849e-05,4.845043e-05,4.837654e-05,4.824573e-05,4.810752e-05,4.804277e-05,4.784160e-05,4.757893e-05,4.731964e-05,4.706384e-05,4.681164e-05,4.656310e-05,4.631830e-05,4.607729e-05,4.584011e-05,4.560680e-05,4.537737e-05,4.515184e-05,4.493022e-05,4.471251e-05,4.449869e-05,4.428877e-05,4.408273e-05,4.388054e-05,4.368218e-05,4.348762e-05,4.329683e-05,4.310978e-05,4.292642e-05,4.274671e-05,4.257062e-05
0.000000e+00,9.366545e-13,5.703311e-12,7.869966e-11,4.243243e-10,9.011663e-10,4.372502e-09,4.622608e-09,1.543133e-08,2.053315e-08,3.960075e-08,6.386341e-08,8.536834e-08,1.551894e-07,1.628158e-07,2.833748e-07,3.200069e-07,4.582495e-07,5.832571e-07,6.959663e-07,9.604442e-07,1.000540e-06,1.371302e-06,1.453072e-06,1.804055e-06,2.051571e-06,2.292604e-06,2.741007e-06,2.829975e-06,3.409132e-06,3.505216e-06,4.023272e-06,4.328559e-06,4.665869e-06,5.196204e-06,5.330636e-06,6.011489e-06,6.093990e-06,6.702533e-06,7.008353e-06,7.398107e-06,7.926458e-06,8.092844e-06,8.781750e-06,8.836471e-06,9.460279e-06,9.727862e-06,1.012439e-05,1.059165e-05,1.077061e-05,1.139601e-05,1.142056e-05,1.199825e-05,1.220903e-05,1.257553e-05,1.295313e-05,1.312654e-05,1.365047e-05,1.414689e-05,1.429992e-05,1.461575e-05,1.490146e-05,1.505729e-05,1.545591e-05,1.547200e-05,1.586055e-05,1.596478e-05,1.622381e-05,1.643001e-05,1.656272e-05,1.685390e-05,1.687832e-05,1.717169e-05,1.723891e-05,1.744394e-05,1.758760e-05,1.769620e-05,1.790252e-05,1.792956e-05,1.814512e-05,1.818618e-05,1.834392e-05,1.844101e-05,1.852698e-05,1.866929e-05,1.869527e-05,1.884971e-05,1.887319e-05,1.899118e-05,1.905472e-05,1.912051e-05,1.921575e-05,1.923847e-05,1.934580e-05,1.935800e-05,1.944319e-05,1.948306e-05,1.953127e-05,1.959236e-05,1.961065e-05,1.968189e-05,1.968726e-05,1.974552e-05,1.976894e-05,1.980201e-05,1.983853e-05,1.985184e-05,1.989541e-05,1.989703e-05,1.993314e-05,1.994536e-05,1.996538e-05,1.998436e-05,1.999249e-05,2.001479e-05,2.003257e-05,2.003735e-05,2.004611e-05,2.005268e-05,2.005568e-05,2.006136e-05,2.006153e-05,2.006387e-05,2.006393e-05,2.006293e-05,2.006087e-05,2.005890e-05,2.005263e-05,2.005197e-05,2.004232e-05,2.003962e-05,2.003012e-05,2.002222e-05,2.001551e-05,2.000078e-05,1.999864e-05,1.997965e-05,1.997561e-05,1.995867e-05,1.994701e-05,1.993582e-05,1.991526e-05,1.991121e-05,1.988495e-05,1.988060e-05,1.985714e-05,1.984327e-05,1.982787e-05,1.980347e-05,1.979724e-05,1.976534e-05,1.976143e-05,1.973223e-05,1.971731e-05,1.969800e-05,1.967129e-05,1.966273e-05,1.962647e-05,1.962353e-05,1.958930e-05,1.957418e-05,1.955127e-05,1.952339e-05,1.951244e-05,1.947287e-05,1.947127e-05,1.943261e-05,1.941796e-05,1.939171e-05,1.936355e-05,1.935021e-05,1.930817e-05,1.925191e-05,1.919486e-05,1.913710e-05,1.907872e-05,1.901980e-05,1.896041e-05,1.890061e-05,1.884046e-05,1.878003e-05,1.871937e-05,1.865853e-05,1.859756e-05,1.853650e-05,1.847541e-05,1.841431e-05,1.835325e-05,1.829227e-05,1.823139e-05,1.817064e-05,1.811006e-05,1.804967e-05,1.798951e-05,1.792958e-05,1.786992e-05
0.000000e+00,3.479872e-12,7.966450e-12,2.721794e-11,6.145392e-11,8.930676e-11,2.011172e-10,2.071292e-10,3.997206e-10,4.700154e-10,6.896414e-10,9.211378e-10,1.103087e-09,1.614672e-09,1.665611e-09,2.390497e-09,2.587838e-09,3.264919e-09,3.806275e-09,4.250861e-09,5.174705e-09,5.303139e-09,6.384478e-09,6.601771e-09,7.468908e-09,8.028065e-09,8.539210e-09,9.418700e-09,9.583715e-09,1.059410e-08,1.075216e-08,1.156415e-08,1.201399e-08,1.248907e-08,1.319404e-08,1.336523e-08,1.419000e-08,1.428543e-08,1.496173e-08,1.528425e-08,1.567961e-08,1.618911e-08,1.634357e-08,1.695426e-08,1.700085e-08,1.751293e-08,1.772220e-08,1.802129e-08,1.835734e-08,1.848146e-08,1.889582e-08,1.891147e-08,1.926693e-08,1.939046e-08,1.959749e-08,1.980049e-08,1.989020e-08,2.014775e-08,2.037279e-08,2.043837e-08,2.056792e-08,2.067823e-08,2.073558e-08,2.087286e-08,2.087810e-08,2.099766e-08,2.102731e-08,2.109630e-08,2.114623e-08,2.117590e-08,2.123381e-08,2.123820e-08,2.128481e-08,2.129383e-08,2.131720e-08,2.132963e-08,2.133671e-08,2.134420e-08,2.134457e-08,2.134190e-08,2.134019e-08,2.132972e-08,2.131995e-08,2.130897e-08,2.128552e-08,2.128047e-08,2.124500e-08,2.123872e-08,2.120324e-08,2.118116e-08,2.115584e-08,2.111425e-08,2.110337e-08,2.104635e-08,2.103922e-08,2.098524e-08,2.095718e-08,2.092050e-08,2.086909e-08,2.085249e-08,2.078160e-08,2.077581e-08,2.070813e-08,2.067809e-08,2.063238e-08,2.057659e-08,2.055464e-08,2.047513e-08,2.047192e-08,2.039410e-08,2.036459e-08,2.031174e-08,2.025508e-08,2.022825e-08,2.014379e-08,2.005853e-08,2.003111e-08,1.997262e-08,1.991735e-08,1.988617e-08,1.980281e-08,1.979933e-08,1.971219e-08,1.968775e-08,1.962487e-08,1.957242e-08,1.953745e-08,1.945701e-08,1.945002e-08,1.936267e-08,1.934172e-08,1.927546e-08,1.922671e-08,1.918846e-08,1.911213e-08,1.910174e-08,1.901535e-08,1.899812e-08,1.892934e-08,1.888479e-08,1.884376e-08,1.877224e-08,1.875866e-08,1.867407e-08,1.866058e-08,1.859003e-08,1.854989e-08,1.850657e-08,1.844024e-08,1.842373e-08,1.834152e-08,1.833170e-08,1.825998e-08,1.822433e-08,1.817914e-08,1.811816e-08,1.809900e-08,1.801958e-08,1.801326e-08,1.794092e-08,1.790966e-08,1.786301e-08,1.780739e-08,1.778587e-08,1.770951e-08,1.770648e-08,1.763395e-08,1.760695e-08,1.755919e-08,1.750882e-08,1.748524e-08,1.741211e-08,1.731683e-08,1.722300e-08,1.713061e-08,1.703967e-08,1.695019e-08,1.686216e-08,1.677557e-08,1.669044e-08,1.660674e-08,1.652448e-08,1.644365e-08,1.636422e-08,1.628621e-08,1.620958e-08,1.613434e-08,1.606046e-08,1.598794e-08,1.591675e-08,1.584689e-08,1.577833e-08,1.571107e-08,1.564507e-08,1.558034e-08,1.551684e-08
0.000000e+00,4.451436e-11,1.365327e-10,6.399971e-10,1.678982e-09,2.580435e-09,6.395572e-09,6.605284e-09,1.339360e-08,1.587616e-08,2.357321e-08,3.155351e-08,3.772834e-08,5.473041e-08,5.640273e-08,8.009327e-08,8.657474e-08,1.092248e-07,1.280339e-07,1.440962e-07,1.796135e-07,1.848036e-07,2.311861e-07,2.411119e-07,2.828457e-07,3.116157e-07,3.392354e-07,3.898171e-07,3.997520e-07,4.637896e-07,4.743227e-07,5.307601e-07,5.637807e-07,6.000976e-07,6.569057e-07,6.712584e-07,7.437227e-07,7.524823e-07,8.169974e-07,8.493745e-07,8.906196e-07,9.465398e-07,9.641608e-07,1.037230e-06,1.043044e-06,1.109474e-06,1.138070e-06,1.180584e-06,1.230926e-06,1.250287e-06,1.318353e-06,1.321039e-06,1.384590e-06,1.407955e-06,1.448838e-06,1.491326e-06,1.510973e-06,1.570900e-06,1.628550e-06,1.646509e-06,1.683878e-06,1.718057e-06,1.736859e-06,1.785506e-06,1.787486e-06,1.835768e-06,1.848869e-06,1.881725e-06,1.908197e-06,1.925390e-06,1.963572e-06,1.966803e-06,2.006012e-06,2.015101e-06,2.043072e-06,2.062907e-06,2.078039e-06,2.107128e-06,2.110976e-06,2.141946e-06,2.147910e-06,2.171015e-06,2.185402e-06,2.198251e-06,2.219760e-06,2.223719e-06,2.247486e-06,2.251136e-06,2.269621e-06,2.279684e-06,2.290187e-06,2.305555e-06,2.309251e-06,2.326876e-06,2.328897e-06,2.343124e-06,2.349853e-06,2.358056e-06,2.368560e-06,2.371730e-06,2.384205e-06,2.385153e-06,2.395535e-06,2.399759e-06,2.405775e-06,2.412502e-06,2.414977e-06,2.423191e-06,2.423499e-06,2.430466e-06,2.432864e-06,2.436848e-06,2.440702e-06,2.442384e-06,2.447116e-06,2.451086e-06,2.452202e-06,2.454335e-06,2.456053e-06,2.456901e-06,2.458756e-06,2.458820e-06,2.460130e-06,2.460392e-06,2.460864e-06,2.461041e-06,2.461054e-06,2.460775e-06,2.460731e-06,2.459927e-06,2.459665e-06,2.458669e-06,2.457776e-06,2.456985e-06,2.455171e-06,2.454901e-06,2.452442e-06,2.451907e-06,2.449632e-06,2.448040e-06,2.446494e-06,2.443621e-06,2.443051e-06,2.439321e-06,2.438700e-06,2.435327e-06,2.433320e-06,2.431085e-06,2.427527e-06,2.426615e-06,2.421934e-06,2.421359e-06,2.417058e-06,2.414855e-06,2.412003e-06,2.408049e-06,2.406782e-06,2.401412e-06,2.400976e-06,2.395904e-06,2.393665e-06,2.390271e-06,2.386145e-06,2.384526e-06,2.378680e-06,2.378445e-06,2.372744e-06,2.370587e-06,2.366729e-06,2.362597e-06,2.360643e-06,2.354496e-06,2.346304e-06,2.338040e-06,2.329722e-06,2.321365e-06,2.312985e-06,2.304595e-06,2.296209e-06,2.287838e-06,2.279493e-06,2.271184e-06,2.262921e-06,2.254710e-06,2.246561e-06,2.238481e-06,2.230474e-06,2.222548e-06,2.214707e-06,2.206955e-06,2.199298e-06,2.191738e-06,2.184280e-06,2.176925e-06,2.169676e-06,2.162535e-06
0.000000e+00,4.145240e-13,2.720107e-12,4.375377e-11,2.706168e-10,6.189991e-10,3.621981e-09,3.857858e-09,1.538669e-08,2.145519e-08,4.639517e-08,8.177537e-08,1.156186e-07,2.369982e-07,2.511192e-07,4.916924e-07,5.703891e-07,8.872661e-07,1.198352e-06,1.497245e-06,2.262713e-06,2.386289e-06,3.618321e-06,3.911086e-06,5.250337e-06,6.272590e-06,7.327378e-06,9.438362e-06,9.879344e-06,1.291969e-05,1.345150e-05,1.644569e-05,1.830603e-05,2.043979e-05,2.395208e-05,2.487165e-05,2.970054e-05,3.030445e-05,3.487779e-05,3.725230e-05,4.034913e-05,4.466861e-05,4.605688e-05,5.194195e-05,5.241864e-05,5.794553e-05,6.036726e-05,6.401051e-05,6.838475e-05,7.008270e-05,7.611174e-05,7.635134e-05,8.205176e-05,8.416035e-05,8.786191e-05,9.172024e-05,9.350658e-05,9.895550e-05,1.041837e-04,1.058067e-04,1.091712e-04,1.122299e-04,1.139031e-04,1.181953e-04,1.183687e-04,1.225613e-04,1.236859e-04,1.264781e-04,1.286958e-04,1.301193e-04,1.332281e-04,1.334877e-04,1.365885e-04,1.372936e-04,1.394288e-04,1.409088e-04,1.420173e-04,1.440946e-04,1.443637e-04,1.464786e-04,1.468748e-04,1.483732e-04,1.492752e-04,1.500591e-04,1.513226e-04,1.515481e-04,1.528518e-04,1.530440e-04,1.539819e-04,1.544660e-04,1.549497e-04,1.556146e-04,1.557664e-04,1.564425e-04,1.565146e-04,1.569882e-04,1.571895e-04,1.574133e-04,1.576614e-04,1.577270e-04,1.579380e-04,1.579507e-04,1.580546e-04,1.580765e-04,1.580845e-04,1.580564e-04,1.580349e-04,1.579127e-04,1.579064e-04,1.577242e-04,1.576412e-04,1.574752e-04,1.572741e-04,1.571712e-04,1.568174e-04,1.564184e-04,1.562819e-04,1.559786e-04,1.556776e-04,1.555020e-04,1.550135e-04,1.549925e-04,1.544534e-04,1.542977e-04,1.538880e-04,1.535374e-04,1.532993e-04,1.527393e-04,1.526898e-04,1.520622e-04,1.519091e-04,1.514187e-04,1.510523e-04,1.507616e-04,1.501735e-04,1.500926e-04,1.494137e-04,1.492769e-04,1.487265e-04,1.483664e-04,1.480326e-04,1.474454e-04,1.473332e-04,1.466298e-04,1.465169e-04,1.459234e-04,1.455836e-04,1.452152e-04,1.446479e-04,1.445061e-04,1.437971e-04,1.437120e-04,1.430889e-04,1.427778e-04,1.423824e-04,1.418470e-04,1.416782e-04,1.409770e-04,1.409210e-04,1.402792e-04,1.400013e-04,1.395856e-04,1.390889e-04,1.388964e-04,1.382122e-04,1.381849e-04,1.375333e-04,1.372902e-04,1.368600e-04,1.364056e-04,1.361928e-04,1.355318e-04,1.346693e-04,1.338187e-04,1.329803e-04,1.321546e-04,1.313418e-04,1.305422e-04,1.297559e-04,1.289831e-04,1.282239e-04,1.274784e-04,1.267465e-04,1.260284e-04,1.253239e-04,1.246330e-04,1.239557e-04,1.232919e-04,1.226415e-04,1.220043e-04,1.213802e-04,1.207691e-04,1.201709e-04,1.195853e-04,1.190122e-04,1.184515e-04
0.000000e+00,5.547280e-12,3.152841e-11,3.793755e-10,1.818597e-09,3.631732e-09,1.517924e-08,1.595512e-08,4.658640e-08,5.990596e-08,1.064423e-07,1.612631e-07,2.073245e-07,3.471413e-07,3.617779e-07,5.830615e-07,6.476063e-07,8.843614e-07,1.092223e-06,1.276316e-06,1.699804e-06,1.763163e-06,2.340118e-06,2.465298e-06,2.994398e-06,3.359599e-06,3.709036e-06,4.343277e-06,4.466740e-06,5.252136e-06,5.379477e-06,6.052404e-06,6.438658e-06,6.857048e-06,7.498040e-06,7.657400e-06,8.446179e-06,8.539751e-06,9.217212e-06,9.549470e-06,9.965288e-06,1.051577e-05,1.068607e-05,1.137606e-05,1.142984e-05,1.203255e-05,1.228531e-05,1.265360e-05,1.307808e-05,1.323795e-05,1.378497e-05,1.380607e-05,1.429457e-05,1.446894e-05,1.476715e-05,1.506773e-05,1.520346e-05,1.560458e-05,1.597182e-05,1.608241e-05,1.630664e-05,1.650465e-05,1.661065e-05,1.687506e-05,1.688551e-05,1.713292e-05,1.719751e-05,1.735458e-05,1.747590e-05,1.755215e-05,1.771404e-05,1.772726e-05,1.788148e-05,1.791556e-05,1.801633e-05,1.808391e-05,1.813321e-05,1.822230e-05,1.823350e-05,1.831846e-05,1.833372e-05,1.838929e-05,1.842091e-05,1.844711e-05,1.848638e-05,1.849295e-05,1.852780e-05,1.853242e-05,1.855256e-05,1.856111e-05,1.856806e-05,1.857431e-05,1.857507e-05,1.857430e-05,1.857372e-05,1.856642e-05,1.856085e-05,1.855201e-05,1.853706e-05,1.853167e-05,1.850592e-05,1.850364e-05,1.847524e-05,1.846170e-05,1.844010e-05,1.841225e-05,1.840088e-05,1.835797e-05,1.835619e-05,1.831174e-05,1.829434e-05,1.826250e-05,1.822744e-05,1.821054e-05,1.815613e-05,1.809953e-05,1.808099e-05,1.804096e-05,1.800255e-05,1.798066e-05,1.792131e-05,1.791880e-05,1.785559e-05,1.783767e-05,1.779119e-05,1.775204e-05,1.772574e-05,1.766474e-05,1.765941e-05,1.759231e-05,1.757611e-05,1.752458e-05,1.748642e-05,1.745633e-05,1.739592e-05,1.738766e-05,1.731867e-05,1.730485e-05,1.724945e-05,1.721340e-05,1.718009e-05,1.712176e-05,1.711065e-05,1.704120e-05,1.703010e-05,1.697182e-05,1.693856e-05,1.690256e-05,1.684728e-05,1.683348e-05,1.676463e-05,1.675638e-05,1.669604e-05,1.666597e-05,1.662778e-05,1.657613e-05,1.655987e-05,1.649235e-05,1.648697e-05,1.642525e-05,1.639854e-05,1.635861e-05,1.631093e-05,1.629245e-05,1.622680e-05,1.622418e-05,1.616167e-05,1.613836e-05,1.609709e-05,1.605350e-05,1.603308e-05,1.596966e-05,1.588686e-05,1.580513e-05,1.572450e-05,1.564500e-05,1.556664e-05,1.548943e-05,1.541339e-05,1.533852e-05,1.526484e-05,1.519235e-05,1.512104e-05,1.505093e-05,1.498200e-05,1.491426e-05,1.484770e-05,1.478232e-05,1.471810e-05,1.465504e-05,1.459314e-05,1.453238e-05,1.447274e-05,1.441423e-05,1.435683e-05,1.430052e-05
0.000000e+00,8.403257e-11,2.163942e-10,8.416696e-10,2.030535e-09,3.031511e-09,7.205517e-09,7.434899e-09,1.495656e-08,1.776710e-08,2.670121e-08,3.627926e-08,4.385577e-08,6.504464e-08,6.713111e-08,9.623779e-08,1.039939e-07,1.302834e-07,1.511802e-07,1.684183e-07,2.048520e-07,2.100082e-07,2.545620e-07,2.637901e-07,3.016492e-07,3.269974e-07,3.508526e-07,3.935101e-07,4.017498e-07,4.539115e-07,4.623459e-07,5.069076e-07,5.325180e-07,5.603176e-07,6.030731e-07,6.137404e-07,6.668040e-07,6.731311e-07,7.191717e-07,7.419151e-07,7.705471e-07,8.087708e-07,8.206760e-07,8.693467e-07,8.731720e-07,9.163884e-07,9.347181e-07,9.616687e-07,9.931240e-07,1.005090e-06,1.046587e-06,1.048206e-06,1.086120e-06,1.099867e-06,1.123672e-06,1.148079e-06,1.159249e-06,1.192869e-06,1.224566e-06,1.234310e-06,1.254383e-06,1.272502e-06,1.282371e-06,1.307570e-06,1.308586e-06,1.333090e-06,1.339653e-06,1.355946e-06,1.368897e-06,1.377221e-06,1.395454e-06,1.396981e-06,1.415292e-06,1.419478e-06,1.432219e-06,1.441119e-06,1.447828e-06,1.460524e-06,1.462182e-06,1.475342e-06,1.477836e-06,1.487367e-06,1.493191e-06,1.498316e-06,1.506722e-06,1.508244e-06,1.517205e-06,1.518552e-06,1.525248e-06,1.528798e-06,1.532424e-06,1.537572e-06,1.538779e-06,1.544358e-06,1.544977e-06,1.549204e-06,1.551114e-06,1.553357e-06,1.556073e-06,1.556856e-06,1.559738e-06,1.559943e-06,1.562038e-06,1.562803e-06,1.563790e-06,1.564730e-06,1.565025e-06,1.565774e-06,1.565795e-06,1.566066e-06,1.566064e-06,1.565927e-06,1.565600e-06,1.565383e-06,1.564459e-06,1.563179e-06,1.562698e-06,1.561564e-06,1.560364e-06,1.559635e-06,1.557507e-06,1.557413e-06,1.554915e-06,1.554169e-06,1.552160e-06,1.550391e-06,1.549165e-06,1.546211e-06,1.545946e-06,1.542518e-06,1.541666e-06,1.538895e-06,1.536787e-06,1.535092e-06,1.531605e-06,1.531120e-06,1.526992e-06,1.526149e-06,1.522721e-06,1.520446e-06,1.518316e-06,1.514520e-06,1.513788e-06,1.509147e-06,1.508394e-06,1.504402e-06,1.502090e-06,1.499562e-06,1.495628e-06,1.494636e-06,1.489630e-06,1.489025e-06,1.484554e-06,1.482299e-06,1.479413e-06,1.475467e-06,1.474214e-06,1.468964e-06,1.468542e-06,1.463668e-06,1.461539e-06,1.458333e-06,1.454470e-06,1.452963e-06,1.447563e-06,1.447347e-06,1.442139e-06,1.440181e-06,1.436694e-06,1.432982e-06,1.431233e-06,1.425760e-06,1.418523e-06,1.411279e-06,1.404036e-06,1.396800e-06,1.389579e-06,1.382376e-06,1.375199e-06,1.368052e-06,1.360939e-06,1.353865e-06,1.346834e-06,1.339848e-06,1.332911e-06,1.326026e-06,1.319196e-06,1.312423e-06,1.305709e-06,1.299056e-06,1.292465e-06,1.285939e-06,1.279479e-06,1.273085e-06,1.266759e-06,1.260502e-06
0.000000e+00,9.139121e-12,4.582744e-11,4.365030e-10,1.741805e-09,3.180862e-09,1.091000e-08,1.138639e-08,2.849781e-08,3.534616e-08,5.788112e-08,8.276681e-08,1.028156e-07,1.607082e-07,1.665805e-07,2.525051e-07,2.767934e-07,3.638628e-07,4.384157e-07,5.034527e-07,6.509474e-07,6.728606e-07,8.718350e-07,9.150249e-07,1.098369e-06,1.226074e-06,1.349447e-06,1.576940e-06,1.621822e-06,1.912441e-06,1.960445e-06,2.218541e-06,2.370218e-06,2.537590e-06,2.800552e-06,2.867211e-06,3.205124e-06,3.246125e-06,3.549124e-06,3.701862e-06,3.897084e-06,4.162923e-06,4.246964e-06,4.596837e-06,4.624772e-06,4.944906e-06,5.083254e-06,5.289525e-06,5.534675e-06,5.629211e-06,5.962654e-06,5.975846e-06,6.288720e-06,6.404107e-06,6.606447e-06,6.817326e-06,6.915041e-06,7.213869e-06,7.502445e-06,7.592563e-06,7.780418e-06,7.952646e-06,8.047559e-06,8.293711e-06,8.303747e-06,8.548954e-06,8.615650e-06,8.783234e-06,8.918604e-06,9.006708e-06,9.202912e-06,9.219554e-06,9.421998e-06,9.469065e-06,9.614302e-06,9.717671e-06,9.796758e-06,9.949420e-06,9.969677e-06,1.013339e-05,1.016506e-05,1.028823e-05,1.036536e-05,1.043455e-05,1.055112e-05,1.057268e-05,1.070299e-05,1.072313e-05,1.082579e-05,1.088217e-05,1.094143e-05,1.102901e-05,1.105024e-05,1.115253e-05,1.116438e-05,1.124861e-05,1.128900e-05,1.133879e-05,1.140354e-05,1.142334e-05,1.150254e-05,1.150866e-05,1.157666e-05,1.160495e-05,1.164596e-05,1.169300e-05,1.171067e-05,1.177102e-05,1.177335e-05,1.182724e-05,1.184651e-05,1.187953e-05,1.191296e-05,1.192811e-05,1.197315e-05,1.201484e-05,1.202750e-05,1.205335e-05,1.207641e-05,1.208885e-05,1.212023e-05,1.212148e-05,1.215141e-05,1.215932e-05,1.217876e-05,1.219399e-05,1.220368e-05,1.222455e-05,1.222628e-05,1.224668e-05,1.225127e-05,1.226501e-05,1.227441e-05,1.228137e-05,1.229422e-05,1.229586e-05,1.230858e-05,1.231092e-05,1.231962e-05,1.232473e-05,1.232907e-05,1.233584e-05,1.233701e-05,1.234352e-05,1.234443e-05,1.234868e-05,1.235069e-05,1.235255e-05,1.235477e-05,1.235521e-05,1.235672e-05,1.235682e-05,1.235713e-05,1.235699e-05,1.235652e-05,1.235540e-05,1.235493e-05,1.235241e-05,1.235217e-05,1.234902e-05,1.234743e-05,1.234481e-05,1.234129e-05,1.233981e-05,1.233407e-05,1.233383e-05,1.232764e-05,1.232516e-05,1.232055e-05,1.231537e-05,1.231283e-05,1.230453e-05,1.229273e-05,1.228004e-05,1.226653e-05,1.225226e-05,1.223729e-05,1.222168e-05,1.220548e-05,1.218875e-05,1.217152e-05,1.215384e-05,1.213576e-05,1.211732e-05,1.209854e-05,1.207946e-05,1.206012e-05,1.204055e-05,1.202078e-05,1.200082e-05,1.198071e-05,1.196047e-05,1.194013e-05,1.191970e-05,1.189920e-05,1.187866e-05
0.000000e+00,1.406145e-11,3.266201e-11,1.139325e-10,2.605578e-10,3.805585e-10,8.623411e-10,8.881476e-10,1.705271e-09,1.998342e-09,2.895852e-09,3.814541e-09,4.519796e-09,6.444716e-09,6.633020e-09,9.286624e-09,1.000901e-08,1.252495e-08,1.460714e-08,1.638228e-08,2.030460e-08,2.087796e-08,2.601036e-08,2.711126e-08,3.175113e-08,3.495885e-08,3.804309e-08,4.369504e-08,4.480456e-08,5.193983e-08,5.310957e-08,5.935119e-08,6.297959e-08,6.694759e-08,7.310344e-08,7.464851e-08,8.238462e-08,8.331241e-08,9.009676e-08,9.346926e-08,9.773461e-08,1.034632e-07,1.052555e-07,1.126233e-07,1.132052e-07,1.198081e-07,1.226250e-07,1.267849e-07,1.316682e-07,1.335339e-07,1.400394e-07,1.402944e-07,1.462896e-07,1.484755e-07,1.522762e-07,1.561936e-07,1.579937e-07,1.634395e-07,1.686130e-07,1.702112e-07,1.735155e-07,1.765123e-07,1.781502e-07,1.823513e-07,1.825212e-07,1.866339e-07,1.877399e-07,1.904944e-07,1.926925e-07,1.941097e-07,1.972254e-07,1.974870e-07,2.006342e-07,2.013561e-07,2.035591e-07,2.051029e-07,2.062698e-07,2.084847e-07,2.087746e-07,2.110817e-07,2.115201e-07,2.131991e-07,2.142279e-07,2.151350e-07,2.166266e-07,2.168972e-07,2.184936e-07,2.187341e-07,2.199317e-07,2.205679e-07,2.212189e-07,2.221448e-07,2.223624e-07,2.233691e-07,2.234811e-07,2.242459e-07,2.245922e-07,2.249993e-07,2.254932e-07,2.256355e-07,2.261607e-07,2.261981e-07,2.265806e-07,2.267204e-07,2.269010e-07,2.270731e-07,2.271273e-07,2.272645e-07,2.272683e-07,2.273179e-07,2.273175e-07,2.272920e-07,2.272316e-07,2.271916e-07,2.270210e-07,2.267845e-07,2.266955e-07,2.264859e-07,2.262641e-07,2.261293e-07,2.257357e-07,2.257182e-07,2.252563e-07,2.251182e-07,2.247467e-07,2.244195e-07,2.241928e-07,2.236467e-07,2.235976e-07,2.229640e-07,2.228065e-07,2.222947e-07,2.219053e-07,2.215924e-07,2.209491e-07,2.208597e-07,2.200988e-07,2.199435e-07,2.193121e-07,2.188936e-07,2.185018e-07,2.178043e-07,2.176698e-07,2.168181e-07,2.166802e-07,2.159486e-07,2.155255e-07,2.150631e-07,2.143442e-07,2.141631e-07,2.132503e-07,2.131399e-07,2.123261e-07,2.119162e-07,2.113920e-07,2.106762e-07,2.104492e-07,2.094992e-07,2.094229e-07,2.085429e-07,2.081590e-07,2.075817e-07,2.068870e-07,2.066164e-07,2.056482e-07,2.056095e-07,2.046780e-07,2.043284e-07,2.037066e-07,2.030459e-07,2.027349e-07,2.017637e-07,2.004837e-07,1.992073e-07,1.979360e-07,1.966712e-07,1.954140e-07,1.941655e-07,1.929267e-07,1.916985e-07,1.904817e-07,1.892771e-07,1.880853e-07,1.869069e-07,1.857424e-07,1.845923e-07,1.834570e-07,1.823367e-07,1.812319e-07,1.801427e-07,1.790694e-07,1.780121e-07,1.769710e-07,1.759461e-07,1.749375e-07,1.739452e-07
0.000000e+00,1.901174e-13,1.255242e-12,2.046012e-11,1.281551e-10,2.952662e-10,1.762521e-09,1.878912e-09,7.662282e-09,1.075430e-08,2.366481e-08,4.234997e-08,6.049977e-08,1.269881e-07,1.348243e-07,2.701961e-07,3.149879e-07,4.966270e-07,6.760024e-07,8.487703e-07,1.291810e-06,1.363351e-06,2.076549e-06,2.246032e-06,3.021775e-06,3.614827e-06,4.228029e-06,5.460373e-06,5.718810e-06,7.511495e-06,7.827166e-06,9.617076e-06,1.074049e-05,1.204015e-05,1.420632e-05,1.477910e-05,1.782639e-05,1.821222e-05,2.116902e-05,2.272888e-05,2.478902e-05,2.771212e-05,2.866404e-05,3.276807e-05,3.310544e-05,3.707210e-05,3.884276e-05,4.154488e-05,4.485145e-05,4.615370e-05,5.086514e-05,5.105525e-05,5.564571e-05,5.737729e-05,6.046259e-05,6.374260e-05,6.528414e-05,7.008042e-05,7.482361e-05,7.632600e-05,7.948829e-05,8.242185e-05,8.405168e-05,8.831862e-05,8.849375e-05,9.279728e-05,9.397542e-05,9.694787e-05,9.935983e-05,1.009338e-04,1.044476e-04,1.047460e-04,1.083777e-04,1.092219e-04,1.118245e-04,1.136730e-04,1.150840e-04,1.177968e-04,1.181555e-04,1.210400e-04,1.215947e-04,1.237399e-04,1.250720e-04,1.262586e-04,1.282375e-04,1.286005e-04,1.307710e-04,1.311028e-04,1.327758e-04,1.336812e-04,1.346214e-04,1.359875e-04,1.363142e-04,1.378613e-04,1.380374e-04,1.392695e-04,1.398469e-04,1.405458e-04,1.414320e-04,1.416973e-04,1.427308e-04,1.428086e-04,1.436531e-04,1.439922e-04,1.444705e-04,1.449977e-04,1.451894e-04,1.458160e-04,1.458392e-04,1.463559e-04,1.465302e-04,1.468148e-04,1.470833e-04,1.471979e-04,1.475103e-04,1.477566e-04,1.478222e-04,1.479413e-04,1.480292e-04,1.480688e-04,1.481409e-04,1.481429e-04,1.481674e-04,1.481659e-04,1.481459e-04,1.481123e-04,1.480816e-04,1.479874e-04,1.479777e-04,1.478370e-04,1.477980e-04,1.476622e-04,1.475504e-04,1.474559e-04,1.472502e-04,1.472204e-04,1.469581e-04,1.469026e-04,1.466709e-04,1.465124e-04,1.463608e-04,1.460839e-04,1.460296e-04,1.456790e-04,1.456213e-04,1.453107e-04,1.451280e-04,1.449260e-04,1.446074e-04,1.445264e-04,1.441131e-04,1.440627e-04,1.436874e-04,1.434965e-04,1.432504e-04,1.429114e-04,1.428032e-04,1.423467e-04,1.423098e-04,1.418818e-04,1.416937e-04,1.414095e-04,1.410653e-04,1.409305e-04,1.404456e-04,1.404261e-04,1.399555e-04,1.397779e-04,1.394609e-04,1.391222e-04,1.389623e-04,1.384604e-04,1.377936e-04,1.371231e-04,1.364499e-04,1.357749e-04,1.350991e-04,1.344233e-04,1.337481e-04,1.330744e-04,1.324026e-04,1.317333e-04,1.310671e-04,1.304045e-04,1.297458e-04,1.290914e-04,1.284417e-04,1.277971e-04,1.271577e-04,1.265239e-04,1.258958e-04,1.252738e-04,1.246579e-04,1.240484e-04,1.234454e-04,1.228489e-04
0.000000e+00,1.856493e-10,5.074052e-10,2.102645e-09,5.229174e-09,7.899528e-09,1.919829e-08,1.982401e-08,4.049161e-08,4.826610e-08,7.311348e-08,1.000008e-07,1.215198e-07,1.834357e-07,1.896991e-07,2.805059e-07,3.057391e-07,3.938976e-07,4.660997e-07,5.265065e-07,6.551721e-07,6.733919e-07,8.300053e-07,8.621722e-07,9.928875e-07,1.079201e-06,1.159524e-06,1.301006e-06,1.328027e-06,1.496895e-06,1.523861e-06,1.664877e-06,1.744873e-06,1.830901e-06,1.961687e-06,1.994046e-06,2.153527e-06,2.172385e-06,2.308684e-06,2.375441e-06,2.458983e-06,2.569698e-06,2.604003e-06,2.743425e-06,2.754330e-06,2.877025e-06,2.928802e-06,3.004664e-06,3.092833e-06,3.126276e-06,3.241853e-06,3.246351e-06,3.351444e-06,3.389444e-06,3.455120e-06,3.522295e-06,3.552991e-06,3.645198e-06,3.731895e-06,3.758502e-06,3.813252e-06,3.862601e-06,3.889449e-06,3.957915e-06,3.960670e-06,4.027104e-06,4.044873e-06,4.088937e-06,4.123908e-06,4.146360e-06,4.195454e-06,4.199558e-06,4.248716e-06,4.259932e-06,4.294011e-06,4.317754e-06,4.335619e-06,4.369319e-06,4.373709e-06,4.408447e-06,4.415007e-06,4.439993e-06,4.455186e-06,4.468500e-06,4.490207e-06,4.494118e-06,4.516989e-06,4.520402e-06,4.537250e-06,4.546088e-06,4.555034e-06,4.567564e-06,4.570468e-06,4.583673e-06,4.585114e-06,4.594766e-06,4.599007e-06,4.603859e-06,4.609497e-06,4.611057e-06,4.616464e-06,4.616822e-06,4.620177e-06,4.621209e-06,4.622289e-06,4.622870e-06,4.622890e-06,4.622065e-06,4.622004e-06,4.619896e-06,4.618800e-06,4.616458e-06,4.613435e-06,4.611828e-06,4.606075e-06,4.599266e-06,4.596875e-06,4.591466e-06,4.585981e-06,4.582735e-06,4.573532e-06,4.573132e-06,4.562712e-06,4.559656e-06,4.551529e-06,4.544473e-06,4.539631e-06,4.528095e-06,4.527067e-06,4.513882e-06,4.510630e-06,4.500119e-06,4.492175e-06,4.485820e-06,4.472823e-06,4.471023e-06,4.455765e-06,4.452661e-06,4.440081e-06,4.431769e-06,4.424006e-06,4.410223e-06,4.407570e-06,4.390804e-06,4.388093e-06,4.373736e-06,4.365444e-06,4.356394e-06,4.342339e-06,4.338803e-06,4.320987e-06,4.318835e-06,4.302970e-06,4.294984e-06,4.284773e-06,4.270836e-06,4.266417e-06,4.247923e-06,4.246437e-06,4.229307e-06,4.221831e-06,4.210589e-06,4.197057e-06,4.191784e-06,4.172908e-06,4.172152e-06,4.153976e-06,4.147150e-06,4.135003e-06,4.122083e-06,4.116000e-06,4.096982e-06,4.071872e-06,4.046780e-06,4.021729e-06,3.996740e-06,3.971833e-06,3.947027e-06,3.922338e-06,3.897781e-06,3.873371e-06,3.849121e-06,3.825042e-06,3.801145e-06,3.777439e-06,3.753935e-06,3.730638e-06,3.707558e-06,3.684699e-06,3.662067e-06,3.639668e-06,3.617506e-06,3.595585e-06,3.573908e-06,3.552477e-06,3.531295e-06
0.000000e+00,1.062892e-13,7.080568e-13,1.175243e-11,7.479396e-11,1.737709e-10,1.058079e-09,1.128787e-09,4.677375e-09,6.588112e-09,1.459997e-08,2.622398e-08,3.751588e-08,7.881542e-08,8.367681e-08,1.676092e-07,1.954039e-07,3.084815e-07,4.209143e-07,5.300243e-07,8.135978e-07,8.598896e-07,1.328506e-06,1.441667e-06,1.967614e-06,2.377835e-06,2.808702e-06,3.693135e-06,3.881496e-06,5.212644e-06,5.451172e-06,6.824621e-06,7.703458e-06,8.734895e-06,1.048607e-05,1.095535e-05,1.349193e-05,1.381763e-05,1.634456e-05,1.769848e-05,1.950718e-05,2.211107e-05,2.296805e-05,2.671016e-05,2.702106e-05,3.071178e-05,3.237942e-05,3.494707e-05,3.812491e-05,3.938688e-05,4.399944e-05,4.418707e-05,4.875122e-05,5.048929e-05,5.360763e-05,5.695198e-05,5.853385e-05,6.349544e-05,6.845905e-05,7.004258e-05,7.339287e-05,7.652105e-05,7.826716e-05,8.286508e-05,8.305459e-05,8.773048e-05,8.901670e-05,9.227302e-05,9.492658e-05,9.666338e-05,1.005544e-04,1.008857e-04,1.049269e-04,1.058687e-04,1.087770e-04,1.108467e-04,1.124286e-04,1.154737e-04,1.158766e-04,1.191186e-04,1.197421e-04,1.221538e-04,1.236508e-04,1.249837e-04,1.272042e-04,1.276111e-04,1.300404e-04,1.304110e-04,1.322769e-04,1.332838e-04,1.343270e-04,1.358377e-04,1.361979e-04,1.378973e-04,1.380900e-04,1.394331e-04,1.400593e-04,1.408138e-04,1.417647e-04,1.420479e-04,1.431438e-04,1.432258e-04,1.441100e-04,1.444619e-04,1.449546e-04,1.454921e-04,1.456859e-04,1.463115e-04,1.463345e-04,1.468390e-04,1.470063e-04,1.472755e-04,1.475239e-04,1.476279e-04,1.479025e-04,1.481055e-04,1.481562e-04,1.482425e-04,1.482981e-04,1.483190e-04,1.483401e-04,1.483399e-04,1.483099e-04,1.482930e-04,1.482333e-04,1.481667e-04,1.481142e-04,1.479702e-04,1.479562e-04,1.477629e-04,1.477115e-04,1.475373e-04,1.473980e-04,1.472824e-04,1.470361e-04,1.470010e-04,1.466955e-04,1.466318e-04,1.463683e-04,1.461902e-04,1.460213e-04,1.457161e-04,1.456566e-04,1.452760e-04,1.452137e-04,1.448810e-04,1.446868e-04,1.444733e-04,1.441389e-04,1.440542e-04,1.436249e-04,1.435728e-04,1.431867e-04,1.429913e-04,1.427406e-04,1.423969e-04,1.422876e-04,1.418286e-04,1.417917e-04,1.413645e-04,1.411776e-04,1.408961e-04,1.405565e-04,1.404240e-04,1.399490e-04,1.399299e-04,1.394716e-04,1.392992e-04,1.389924e-04,1.386657e-04,1.385119e-04,1.380306e-04,1.373948e-04,1.367594e-04,1.361250e-04,1.354926e-04,1.348628e-04,1.342362e-04,1.336133e-04,1.329947e-04,1.323808e-04,1.317720e-04,1.311686e-04,1.305710e-04,1.299796e-04,1.293944e-04,1.288158e-04,1.282439e-04,1.276790e-04,1.271211e-04,1.265704e-04,1.260270e-04,1.254910e-04,1.249624e-04,1.244414e-04,1.239280e-04
0.000000e+00,6.332356e-11,3.254063e-10,3.240218e-09,1.337239e-08,2.481693e-08,8.819011e-08,9.215973e-08,2.374267e-07,2.966247e-07,4.943612e-07,7.168181e-07,8.985447e-07,1.433228e-06,1.488161e-06,2.303077e-06,2.536446e-06,3.379954e-06,4.106945e-06,4.741771e-06,6.174394e-06,6.385761e-06,8.280561e-06,8.685424e-06,1.037703e-05,1.152949e-05,1.262336e-05,1.459266e-05,1.497421e-05,1.739276e-05,1.778394e-05,1.984924e-05,2.103442e-05,2.231892e-05,2.428985e-05,2.478063e-05,2.721599e-05,2.750568e-05,2.960904e-05,3.064495e-05,3.194603e-05,3.367747e-05,3.421542e-05,3.640770e-05,3.657951e-05,3.851533e-05,3.933334e-05,4.053259e-05,4.192672e-05,4.245540e-05,4.428112e-05,4.435211e-05,4.600837e-05,4.660598e-05,4.763684e-05,4.868804e-05,4.916711e-05,5.060049e-05,5.193887e-05,5.234746e-05,5.318458e-05,5.393446e-05,5.434036e-05,5.536808e-05,5.540920e-05,5.639428e-05,5.665553e-05,5.729886e-05,5.780437e-05,5.812630e-05,5.882233e-05,5.887999e-05,5.956329e-05,5.971718e-05,6.017953e-05,6.049655e-05,6.073197e-05,6.116788e-05,6.122380e-05,6.165815e-05,6.173839e-05,6.203805e-05,6.221505e-05,6.236641e-05,6.260449e-05,6.264607e-05,6.287975e-05,6.291304e-05,6.307004e-05,6.314672e-05,6.321947e-05,6.331121e-05,6.333044e-05,6.340525e-05,6.341190e-05,6.344609e-05,6.345385e-05,6.345508e-05,6.344183e-05,6.343420e-05,6.338538e-05,6.338033e-05,6.331044e-05,6.327354e-05,6.321110e-05,6.312540e-05,6.308901e-05,6.294575e-05,6.293960e-05,6.278279e-05,6.271958e-05,6.260156e-05,6.246857e-05,6.240339e-05,6.218955e-05,6.196125e-05,6.188532e-05,6.171962e-05,6.155849e-05,6.146575e-05,6.121147e-05,6.120066e-05,6.092532e-05,6.084651e-05,6.064063e-05,6.046569e-05,6.034746e-05,6.007096e-05,6.004663e-05,5.973889e-05,5.966409e-05,5.942498e-05,5.924675e-05,5.910558e-05,5.882047e-05,5.878133e-05,5.845283e-05,5.838667e-05,5.812065e-05,5.794664e-05,5.778532e-05,5.750159e-05,5.744736e-05,5.710722e-05,5.705262e-05,5.676535e-05,5.660076e-05,5.642216e-05,5.614693e-05,5.607805e-05,5.573336e-05,5.569198e-05,5.538845e-05,5.523670e-05,5.504363e-05,5.478180e-05,5.469918e-05,5.435540e-05,5.432793e-05,5.401252e-05,5.387568e-05,5.367080e-05,5.342559e-05,5.333044e-05,5.299166e-05,5.297814e-05,5.265464e-05,5.253377e-05,5.231955e-05,5.209288e-05,5.198657e-05,5.165582e-05,5.122291e-05,5.079443e-05,5.037062e-05,4.995171e-05,4.953790e-05,4.912933e-05,4.872617e-05,4.832853e-05,4.793651e-05,4.755019e-05,4.716965e-05,4.679492e-05,4.642606e-05,4.606308e-05,4.570600e-05,4.535482e-05,4.500952e-05,4.467009e-05,4.433651e-05,4.400874e-05,4.368674e-05,4.337047e-05,4.305987e-05,4.275490e-05
0.000000e+00,9.821508e-11,2.555034e-10,1.002785e-09,2.421657e-09,3.609651e-09,8.485767e-09,8.750078e-09,1.722174e-08,2.029889e-08,2.982178e-08,3.970297e-08,4.736853e-08,6.858965e-08,7.068580e-08,1.004995e-07,1.086771e-07,1.372183e-07,1.607779e-07,1.807319e-07,2.241898e-07,2.304597e-07,2.856120e-07,2.972227e-07,3.453988e-07,3.780775e-07,4.090997e-07,4.651511e-07,4.760574e-07,5.456547e-07,5.569954e-07,6.172992e-07,6.522463e-07,6.904164e-07,7.495972e-07,7.644518e-07,8.388750e-07,8.478077e-07,9.131869e-07,9.457287e-07,9.869265e-07,1.042325e-06,1.059673e-06,1.131053e-06,1.136694e-06,1.200739e-06,1.228076e-06,1.268456e-06,1.315860e-06,1.333971e-06,1.397099e-06,1.399572e-06,1.457696e-06,1.478870e-06,1.515657e-06,1.553526e-06,1.570909e-06,1.623411e-06,1.673147e-06,1.688480e-06,1.720127e-06,1.748758e-06,1.764375e-06,1.804322e-06,1.805934e-06,1.844859e-06,1.855294e-06,1.881214e-06,1.901825e-06,1.915075e-06,1.944091e-06,1.946520e-06,1.975633e-06,1.982283e-06,2.002501e-06,2.016599e-06,2.027212e-06,2.047244e-06,2.049855e-06,2.070520e-06,2.074423e-06,2.089295e-06,2.098340e-06,2.106267e-06,2.119192e-06,2.121521e-06,2.135141e-06,2.137175e-06,2.147210e-06,2.152474e-06,2.157804e-06,2.165271e-06,2.167002e-06,2.174876e-06,2.175736e-06,2.181498e-06,2.184033e-06,2.186936e-06,2.190318e-06,2.191256e-06,2.194521e-06,2.194738e-06,2.196791e-06,2.197434e-06,2.198124e-06,2.198535e-06,2.198576e-06,2.198199e-06,2.198167e-06,2.197043e-06,2.196446e-06,2.195157e-06,2.193481e-06,2.192587e-06,2.189376e-06,2.185565e-06,2.184226e-06,2.181196e-06,2.178123e-06,2.176304e-06,2.171150e-06,2.170926e-06,2.165096e-06,2.163387e-06,2.158846e-06,2.154908e-06,2.152207e-06,2.145781e-06,2.145208e-06,2.137877e-06,2.136071e-06,2.130239e-06,2.125837e-06,2.122320e-06,2.115137e-06,2.114142e-06,2.105729e-06,2.104020e-06,2.097101e-06,2.092536e-06,2.088278e-06,2.080730e-06,2.079279e-06,2.070121e-06,2.068642e-06,2.060822e-06,2.056313e-06,2.051397e-06,2.043776e-06,2.041861e-06,2.032229e-06,2.031067e-06,2.022513e-06,2.018214e-06,2.012726e-06,2.005248e-06,2.002880e-06,1.992986e-06,1.992192e-06,1.983054e-06,1.979073e-06,1.973094e-06,1.965911e-06,1.963116e-06,1.953128e-06,1.952728e-06,1.943137e-06,1.939542e-06,1.933153e-06,1.926370e-06,1.923181e-06,1.913228e-06,1.900131e-06,1.887091e-06,1.874121e-06,1.861231e-06,1.848432e-06,1.835732e-06,1.823139e-06,1.810660e-06,1.798303e-06,1.786072e-06,1.773973e-06,1.762010e-06,1.750188e-06,1.738509e-06,1.726976e-06,1.715593e-06,1.704360e-06,1.693281e-06,1.682355e-06,1.671584e-06,1.660969e-06,1.650511e-06,1.640209e-06,1.630063e-06
0.000000e+00,6.809560e-11,1.646002e-10,5.990160e-10,1.398359e-09,2.059021e-09,4.741632e-09,4.886327e-09,9.506876e-09,1.118019e-08,1.635037e-08,2.170761e-08,2.586094e-08,3.735590e-08,3.849154e-08,5.466129e-08,5.910513e-08,7.465757e-08,8.755336e-08,9.851879e-08,1.225285e-07,1.260055e-07,1.567027e-07,1.631868e-07,1.901518e-07,2.084879e-07,2.259212e-07,2.574752e-07,2.636222e-07,3.029010e-07,3.093098e-07,3.434287e-07,3.632341e-07,3.848956e-07,4.185478e-07,4.270085e-07,4.694911e-07,4.746014e-07,5.120854e-07,5.308003e-07,5.545539e-07,5.866125e-07,5.966813e-07,6.382745e-07,6.415737e-07,6.791644e-07,6.952900e-07,7.192051e-07,7.474383e-07,7.582728e-07,7.962642e-07,7.977603e-07,8.330962e-07,8.460588e-07,8.687034e-07,8.921907e-07,9.030361e-07,9.360592e-07,9.677498e-07,9.776071e-07,9.980958e-07,1.016810e-06,1.027095e-06,1.053671e-06,1.054751e-06,1.081077e-06,1.088212e-06,1.106090e-06,1.120476e-06,1.129811e-06,1.150515e-06,1.152265e-06,1.173481e-06,1.178392e-06,1.193488e-06,1.204177e-06,1.212319e-06,1.227944e-06,1.230007e-06,1.246587e-06,1.249773e-06,1.262092e-06,1.269742e-06,1.276558e-06,1.287933e-06,1.290021e-06,1.302514e-06,1.304426e-06,1.314074e-06,1.319301e-06,1.324734e-06,1.332637e-06,1.334528e-06,1.343490e-06,1.344511e-06,1.351652e-06,1.354999e-06,1.359047e-06,1.364173e-06,1.365705e-06,1.371658e-06,1.372104e-06,1.376934e-06,1.378862e-06,1.381564e-06,1.384512e-06,1.385575e-06,1.388994e-06,1.389119e-06,1.391848e-06,1.392742e-06,1.394163e-06,1.395442e-06,1.395964e-06,1.397274e-06,1.398118e-06,1.398293e-06,1.398517e-06,1.398549e-06,1.398494e-06,1.398093e-06,1.398069e-06,1.397263e-06,1.396971e-06,1.396095e-06,1.395229e-06,1.394584e-06,1.392907e-06,1.392749e-06,1.390607e-06,1.390049e-06,1.388174e-06,1.386691e-06,1.385467e-06,1.382870e-06,1.382501e-06,1.379292e-06,1.378622e-06,1.375854e-06,1.373980e-06,1.372200e-06,1.368974e-06,1.368344e-06,1.364298e-06,1.363634e-06,1.360075e-06,1.357989e-06,1.355687e-06,1.352064e-06,1.351144e-06,1.346457e-06,1.345885e-06,1.341637e-06,1.339476e-06,1.336693e-06,1.332859e-06,1.331635e-06,1.326472e-06,1.326054e-06,1.321212e-06,1.319083e-06,1.315864e-06,1.311963e-06,1.310435e-06,1.304933e-06,1.304711e-06,1.299365e-06,1.297346e-06,1.293738e-06,1.289881e-06,1.288058e-06,1.282332e-06,1.274712e-06,1.267034e-06,1.259310e-06,1.251552e-06,1.243768e-06,1.235971e-06,1.228167e-06,1.220367e-06,1.212577e-06,1.204806e-06,1.197059e-06,1.189343e-06,1.181664e-06,1.174028e-06,1.166438e-06,1.158900e-06,1.151417e-06,1.143994e-06,1.136634e-06,1.129340e-06,1.122114e-06,1.114960e-06,1.107880e-06,1.100875e-06
0.000000e+00,1.130210e-11,5.677023e-11,5.413355e-10,2.158117e-09,3.937799e-09,1.348852e-08,1.407773e-08,3.535755e-08,4.395351e-08,7.260769e-08,1.049205e-07,1.314425e-07,2.101192e-07,2.182430e-07,3.388491e-07,3.731988e-07,4.955147e-07,5.977830e-07,6.843171e-07,8.700465e-07,8.963861e-07,1.121866e-06,1.167826e-06,1.352817e-06,1.473191e-06,1.583829e-06,1.775344e-06,1.811425e-06,2.033305e-06,2.068159e-06,2.247817e-06,2.347777e-06,2.453674e-06,2.611422e-06,2.649836e-06,2.835468e-06,2.857004e-06,3.009937e-06,3.083050e-06,3.172817e-06,3.288709e-06,3.323883e-06,3.463104e-06,3.473733e-06,3.590627e-06,3.638422e-06,3.706748e-06,3.783527e-06,3.811888e-06,3.906562e-06,3.910139e-06,3.991353e-06,4.019578e-06,4.066886e-06,4.113291e-06,4.133809e-06,4.192771e-06,4.244410e-06,4.259489e-06,4.289342e-06,4.314850e-06,4.328152e-06,4.360164e-06,4.361393e-06,4.389576e-06,4.396627e-06,4.413176e-06,4.425318e-06,4.432627e-06,4.447198e-06,4.448324e-06,4.460628e-06,4.463113e-06,4.469864e-06,4.473806e-06,4.476325e-06,4.479927e-06,4.480277e-06,4.481957e-06,4.482040e-06,4.481580e-06,4.480635e-06,4.479338e-06,4.476140e-06,4.475403e-06,4.469933e-06,4.468924e-06,4.463065e-06,4.459311e-06,4.454928e-06,4.447580e-06,4.445634e-06,4.435286e-06,4.433978e-06,4.423978e-06,4.418720e-06,4.411794e-06,4.401997e-06,4.398812e-06,4.385101e-06,4.383974e-06,4.370725e-06,4.364802e-06,4.355742e-06,4.344610e-06,4.340208e-06,4.324169e-06,4.323518e-06,4.307673e-06,4.301630e-06,4.290760e-06,4.279042e-06,4.273470e-06,4.255837e-06,4.237895e-06,4.232094e-06,4.219675e-06,4.207881e-06,4.201204e-06,4.183262e-06,4.182510e-06,4.163617e-06,4.158295e-06,4.144548e-06,4.133032e-06,4.125325e-06,4.107521e-06,4.105967e-06,4.086494e-06,4.081806e-06,4.066923e-06,4.055927e-06,4.047270e-06,4.029921e-06,4.027551e-06,4.007780e-06,4.003821e-06,3.987970e-06,3.977658e-06,3.968135e-06,3.951462e-06,3.948285e-06,3.928433e-06,3.925257e-06,3.908588e-06,3.899068e-06,3.888760e-06,3.872917e-06,3.868959e-06,3.849193e-06,3.846824e-06,3.829470e-06,3.820807e-06,3.809798e-06,3.794885e-06,3.790183e-06,3.770632e-06,3.769071e-06,3.751153e-06,3.743382e-06,3.731749e-06,3.717829e-06,3.712427e-06,3.693192e-06,3.692425e-06,3.674049e-06,3.667180e-06,3.655001e-06,3.642106e-06,3.636053e-06,3.617210e-06,3.592501e-06,3.567987e-06,3.543674e-06,3.519569e-06,3.495676e-06,3.472001e-06,3.448549e-06,3.425322e-06,3.402324e-06,3.379559e-06,3.357027e-06,3.334733e-06,3.312677e-06,3.290861e-06,3.269286e-06,3.247952e-06,3.226861e-06,3.206012e-06,3.185406e-06,3.165042e-06,3.144920e-06,3.125039e-06,3.105400e-06,3.086000e-06
0.000000e+00,3.165003e-11,1.541027e-10,1.391648e-09,5.333509e-09,9.553555e-09,3.140004e-08,3.272031e-08,7.909285e-08,9.725249e-08,1.559521e-07,2.193490e-07,2.695653e-07,4.111242e-07,4.252337e-07,6.272780e-07,6.830500e-07,8.788595e-07,1.042045e-06,1.181521e-06,1.489551e-06,1.534464e-06,1.934000e-06,2.018979e-06,2.373844e-06,2.615941e-06,2.846244e-06,3.262335e-06,3.343170e-06,3.857004e-06,3.940311e-06,4.380768e-06,4.633821e-06,4.908143e-06,5.328811e-06,5.433459e-06,5.951687e-06,6.013183e-06,6.458452e-06,6.676817e-06,6.950041e-06,7.311594e-06,7.423397e-06,7.876093e-06,7.911357e-06,8.306299e-06,8.471779e-06,8.712727e-06,8.990165e-06,9.094575e-06,9.451459e-06,9.465214e-06,9.783353e-06,9.896762e-06,1.009053e-05,1.028554e-05,1.037349e-05,1.063294e-05,1.086971e-05,1.094083e-05,1.108474e-05,1.121141e-05,1.127904e-05,1.144705e-05,1.145367e-05,1.160969e-05,1.165019e-05,1.174819e-05,1.182332e-05,1.187023e-05,1.196886e-05,1.197685e-05,1.206905e-05,1.208914e-05,1.214782e-05,1.218640e-05,1.221407e-05,1.226274e-05,1.226872e-05,1.231259e-05,1.232014e-05,1.234649e-05,1.236043e-05,1.237118e-05,1.238532e-05,1.238737e-05,1.239573e-05,1.239639e-05,1.239690e-05,1.239507e-05,1.239145e-05,1.238271e-05,1.237995e-05,1.236291e-05,1.236051e-05,1.234080e-05,1.232958e-05,1.231407e-05,1.229093e-05,1.228315e-05,1.224841e-05,1.224548e-05,1.221023e-05,1.219407e-05,1.216893e-05,1.213745e-05,1.212484e-05,1.207823e-05,1.207631e-05,1.202938e-05,1.201129e-05,1.197853e-05,1.194294e-05,1.192593e-05,1.187177e-05,1.181627e-05,1.179826e-05,1.175960e-05,1.172280e-05,1.170193e-05,1.164578e-05,1.164342e-05,1.158422e-05,1.156753e-05,1.152445e-05,1.148837e-05,1.146424e-05,1.140855e-05,1.140370e-05,1.134294e-05,1.132833e-05,1.128205e-05,1.124793e-05,1.122112e-05,1.116752e-05,1.116022e-05,1.109944e-05,1.108730e-05,1.103884e-05,1.100742e-05,1.097848e-05,1.092800e-05,1.091841e-05,1.085870e-05,1.084918e-05,1.079937e-05,1.077105e-05,1.074049e-05,1.069372e-05,1.068207e-05,1.062417e-05,1.061725e-05,1.056680e-05,1.054173e-05,1.050999e-05,1.046722e-05,1.045378e-05,1.039817e-05,1.039375e-05,1.034320e-05,1.032139e-05,1.028887e-05,1.025016e-05,1.023520e-05,1.018221e-05,1.018010e-05,1.012989e-05,1.011123e-05,1.007827e-05,1.004357e-05,1.002735e-05,9.977136e-06,9.911937e-06,9.847981e-06,9.785270e-06,9.723805e-06,9.663582e-06,9.604597e-06,9.546842e-06,9.490309e-06,9.434986e-06,9.380861e-06,9.327921e-06,9.276152e-06,9.225537e-06,9.176059e-06,9.127703e-06,9.080450e-06,9.034282e-06,8.989180e-06,8.945125e-06,8.902098e-06,8.860080e-06,8.819051e-06,8.778991e-06,8.739881e-06
0.000000e+00,1.002820e-11,2.303429e-11,7.976640e-11,1.829722e-10,2.684581e-10,6.211666e-10,6.404850e-10,1.273891e-09,1.511028e-09,2.267928e-09,3.086431e-09,3.740686e-09,5.610732e-09,5.798344e-09,8.476222e-09,9.206275e-09,1.171748e-08,1.374184e-08,1.542343e-08,1.899686e-08,1.950381e-08,2.388960e-08,2.479855e-08,2.852784e-08,3.102474e-08,3.337475e-08,3.757877e-08,3.839129e-08,4.354106e-08,4.437505e-08,4.878948e-08,5.133406e-08,5.410378e-08,5.838193e-08,5.945325e-08,6.480959e-08,6.545157e-08,7.014719e-08,7.248382e-08,7.544325e-08,7.942813e-08,8.067787e-08,8.583396e-08,8.624261e-08,9.089715e-08,9.289364e-08,9.585541e-08,9.935486e-08,1.006990e-07,1.054204e-07,1.056066e-07,1.100134e-07,1.116345e-07,1.144735e-07,1.174289e-07,1.187977e-07,1.229837e-07,1.270305e-07,1.282960e-07,1.309378e-07,1.333653e-07,1.347058e-07,1.381928e-07,1.383354e-07,1.418280e-07,1.427815e-07,1.451852e-07,1.471353e-07,1.484090e-07,1.512590e-07,1.515017e-07,1.544656e-07,1.551580e-07,1.573033e-07,1.588383e-07,1.600175e-07,1.623060e-07,1.626109e-07,1.650865e-07,1.655677e-07,1.674470e-07,1.686300e-07,1.696954e-07,1.714996e-07,1.718346e-07,1.738676e-07,1.741832e-07,1.757973e-07,1.766877e-07,1.776267e-07,1.790198e-07,1.793585e-07,1.809958e-07,1.811860e-07,1.825413e-07,1.831930e-07,1.839979e-07,1.850472e-07,1.853683e-07,1.866554e-07,1.867548e-07,1.878616e-07,1.883221e-07,1.889898e-07,1.897551e-07,1.900424e-07,1.910221e-07,1.910598e-07,1.919312e-07,1.922417e-07,1.927723e-07,1.933066e-07,1.935478e-07,1.942599e-07,1.949109e-07,1.951067e-07,1.955031e-07,1.958522e-07,1.960386e-07,1.965014e-07,1.965196e-07,1.969480e-07,1.970589e-07,1.973260e-07,1.975294e-07,1.976554e-07,1.979173e-07,1.979382e-07,1.981762e-07,1.982269e-07,1.983713e-07,1.984624e-07,1.985251e-07,1.986277e-07,1.986394e-07,1.987158e-07,1.987267e-07,1.987559e-07,1.987630e-07,1.987613e-07,1.987402e-07,1.987335e-07,1.986740e-07,1.986616e-07,1.985841e-07,1.985307e-07,1.984654e-07,1.983504e-07,1.983189e-07,1.981462e-07,1.981238e-07,1.979484e-07,1.978538e-07,1.977268e-07,1.975431e-07,1.974824e-07,1.972166e-07,1.971944e-07,1.969302e-07,1.968102e-07,1.966245e-07,1.963929e-07,1.963004e-07,1.959589e-07,1.959449e-07,1.956009e-07,1.954682e-07,1.952275e-07,1.949652e-07,1.948395e-07,1.944377e-07,1.938876e-07,1.933169e-07,1.927271e-07,1.921201e-07,1.914974e-07,1.908604e-07,1.902106e-07,1.895494e-07,1.888780e-07,1.881976e-07,1.875095e-07,1.868146e-07,1.861141e-07,1.854089e-07,1.847000e-07,1.839881e-07,1.832742e-07,1.825590e-07,1.818432e-07,1.811276e-07,1.804127e-07,1.796993e-07,1.789878e-07,1.782787e-07
0.000000e+00,2.055666e-11,4.830971e-11,1.709157e-10,3.943147e-10,5.783918e-10,1.325279e-09,1.365591e-09,2.655791e-09,3.124594e-09,4.578317e-09,6.091793e-09,7.268599e-09,1.052766e-08,1.084890e-08,1.538584e-08,1.661755e-08,2.087384e-08,2.434729e-08,2.727120e-08,3.361751e-08,3.453323e-08,4.261874e-08,4.433106e-08,5.148601e-08,5.639080e-08,6.108866e-08,6.968459e-08,7.137365e-08,8.228095e-08,8.407952e-08,9.374432e-08,9.942352e-08,1.056927e-07,1.155508e-07,1.180519e-07,1.307466e-07,1.322889e-07,1.437016e-07,1.494653e-07,1.568438e-07,1.669140e-07,1.701034e-07,1.834146e-07,1.844799e-07,1.967167e-07,2.020225e-07,2.099544e-07,2.194176e-07,2.230781e-07,2.360437e-07,2.365584e-07,2.488129e-07,2.533553e-07,2.613528e-07,2.697345e-07,2.736355e-07,2.856376e-07,2.973402e-07,3.010192e-07,3.087282e-07,3.158459e-07,3.197900e-07,3.300943e-07,3.305169e-07,3.409030e-07,3.437495e-07,3.509448e-07,3.568039e-07,3.606407e-07,3.692555e-07,3.699908e-07,3.789967e-07,3.811073e-07,3.876615e-07,3.923661e-07,3.959889e-07,4.030417e-07,4.039837e-07,4.116515e-07,4.131463e-07,4.189983e-07,4.226939e-07,4.260306e-07,4.316999e-07,4.327555e-07,4.391800e-07,4.401805e-07,4.453115e-07,4.481528e-07,4.511576e-07,4.556342e-07,4.567260e-07,4.620243e-07,4.626423e-07,4.670603e-07,4.691949e-07,4.718416e-07,4.753097e-07,4.763758e-07,4.806707e-07,4.810042e-07,4.847337e-07,4.862956e-07,4.885721e-07,4.912008e-07,4.921933e-07,4.956044e-07,4.957366e-07,4.988125e-07,4.999191e-07,5.018245e-07,5.037640e-07,5.046470e-07,5.072868e-07,5.097503e-07,5.105024e-07,5.120437e-07,5.134251e-07,5.141733e-07,5.160690e-07,5.161449e-07,5.179645e-07,5.184476e-07,5.196378e-07,5.205738e-07,5.211702e-07,5.224602e-07,5.225671e-07,5.238338e-07,5.241190e-07,5.249754e-07,5.255618e-07,5.259967e-07,5.267999e-07,5.269026e-07,5.276977e-07,5.278439e-07,5.283866e-07,5.287042e-07,5.289735e-07,5.293908e-07,5.294627e-07,5.298583e-07,5.299132e-07,5.301643e-07,5.302805e-07,5.303845e-07,5.305015e-07,5.305227e-07,5.305824e-07,5.305845e-07,5.305672e-07,5.305376e-07,5.304803e-07,5.303684e-07,5.303251e-07,5.301047e-07,5.300843e-07,5.298221e-07,5.296924e-07,5.294803e-07,5.291992e-07,5.290821e-07,5.286303e-07,5.286111e-07,5.281274e-07,5.279344e-07,5.275761e-07,5.271748e-07,5.269788e-07,5.263378e-07,5.254288e-07,5.244527e-07,5.234145e-07,5.223187e-07,5.211695e-07,5.199712e-07,5.187277e-07,5.174427e-07,5.161198e-07,5.147623e-07,5.133734e-07,5.119562e-07,5.105136e-07,5.090482e-07,5.075626e-07,5.060594e-07,5.045407e-07,5.030087e-07,5.014656e-07,4.999133e-07,4.983536e-07,4.967883e-07,4.952189e-07,4.936471e-07
0.000000e+00,1.220720e-10,4.451791e-10,2.580754e-09,7.534847e-09,1.206318e-08,3.219397e-08,3.332817e-08,7.090837e-08,8.495798e-08,1.292310e-07,1.760241e-07,2.127312e-07,3.156045e-07,3.258441e-07,4.726244e-07,5.132089e-07,6.558161e-07,7.746237e-07,8.760368e-07,1.099554e-06,1.132115e-06,1.422114e-06,1.484002e-06,1.743955e-06,1.923199e-06,2.095530e-06,2.412218e-06,2.474627e-06,2.878862e-06,2.945703e-06,3.305652e-06,3.517718e-06,3.752237e-06,4.121813e-06,4.215719e-06,4.693128e-06,4.751211e-06,5.181477e-06,5.399056e-06,5.677827e-06,6.058653e-06,6.179340e-06,6.683324e-06,6.723673e-06,7.187269e-06,7.388313e-06,7.688873e-06,8.047399e-06,8.186053e-06,8.676957e-06,8.696439e-06,9.159962e-06,9.331634e-06,9.633666e-06,9.949856e-06,1.009688e-05,1.054861e-05,1.098805e-05,1.112597e-05,1.141456e-05,1.168050e-05,1.182764e-05,1.221124e-05,1.222695e-05,1.261222e-05,1.271757e-05,1.298334e-05,1.319918e-05,1.334023e-05,1.365604e-05,1.368294e-05,1.401155e-05,1.408833e-05,1.432619e-05,1.449637e-05,1.462707e-05,1.488064e-05,1.491441e-05,1.518846e-05,1.524170e-05,1.544950e-05,1.558020e-05,1.569784e-05,1.589686e-05,1.593379e-05,1.615768e-05,1.619240e-05,1.636984e-05,1.646761e-05,1.657061e-05,1.672326e-05,1.676033e-05,1.693936e-05,1.696014e-05,1.710803e-05,1.717905e-05,1.726667e-05,1.738076e-05,1.741564e-05,1.755526e-05,1.756604e-05,1.768586e-05,1.773565e-05,1.780777e-05,1.789033e-05,1.792129e-05,1.802674e-05,1.803079e-05,1.812442e-05,1.815774e-05,1.821462e-05,1.827184e-05,1.829764e-05,1.837376e-05,1.844324e-05,1.846412e-05,1.850636e-05,1.854354e-05,1.856338e-05,1.861260e-05,1.861454e-05,1.866008e-05,1.867186e-05,1.870025e-05,1.872187e-05,1.873528e-05,1.876315e-05,1.876538e-05,1.879077e-05,1.879618e-05,1.881165e-05,1.882146e-05,1.882824e-05,1.883943e-05,1.884072e-05,1.884928e-05,1.885054e-05,1.885411e-05,1.885520e-05,1.885537e-05,1.885380e-05,1.885324e-05,1.884788e-05,1.884674e-05,1.883945e-05,1.883436e-05,1.882811e-05,1.881702e-05,1.881398e-05,1.879723e-05,1.879505e-05,1.877798e-05,1.876876e-05,1.875637e-05,1.873844e-05,1.873252e-05,1.870655e-05,1.870438e-05,1.867858e-05,1.866686e-05,1.864872e-05,1.862611e-05,1.861708e-05,1.858377e-05,1.858240e-05,1.854888e-05,1.853595e-05,1.851251e-05,1.848698e-05,1.847475e-05,1.843569e-05,1.838228e-05,1.832694e-05,1.826985e-05,1.821117e-05,1.815106e-05,1.808966e-05,1.802712e-05,1.796357e-05,1.789914e-05,1.783394e-05,1.776808e-05,1.770167e-05,1.763481e-05,1.756759e-05,1.750009e-05,1.743240e-05,1.736460e-05,1.729674e-05,1.722891e-05,1.716117e-05,1.709356e-05,1.702615e-05,1.695899e-05,1.689212e-05
0.000000e+00,1.301826e-10,3.331035e-10,1.285219e-09,3.086988e-09,4.601265e-09,1.091366e-08,1.126077e-08,2.266254e-08,2.693322e-08,4.055148e-08,5.525255e-08,6.699284e-08,1.005835e-07,1.039603e-07,1.522923e-07,1.654811e-07,2.106525e-07,2.466232e-07,2.760700e-07,3.370960e-07,3.455730e-07,4.170161e-07,4.314048e-07,4.890020e-07,5.263273e-07,5.605971e-07,6.199367e-07,6.311270e-07,7.000704e-07,7.109250e-07,7.670094e-07,7.983268e-07,8.316086e-07,8.814252e-07,8.936065e-07,9.528090e-07,9.597187e-07,1.009085e-06,1.032898e-06,1.062359e-06,1.100821e-06,1.112604e-06,1.159835e-06,1.163485e-06,1.204101e-06,1.220994e-06,1.245477e-06,1.273531e-06,1.284058e-06,1.319955e-06,1.321336e-06,1.353286e-06,1.364682e-06,1.384179e-06,1.403858e-06,1.412761e-06,1.439161e-06,1.463506e-06,1.470882e-06,1.485919e-06,1.499305e-06,1.506521e-06,1.524699e-06,1.525424e-06,1.542740e-06,1.547318e-06,1.558571e-06,1.567398e-06,1.573015e-06,1.585159e-06,1.586165e-06,1.598108e-06,1.600804e-06,1.608926e-06,1.614520e-06,1.618694e-06,1.626479e-06,1.627484e-06,1.635363e-06,1.636835e-06,1.642393e-06,1.645733e-06,1.648633e-06,1.653303e-06,1.654136e-06,1.658954e-06,1.659665e-06,1.663134e-06,1.664927e-06,1.666719e-06,1.669187e-06,1.669751e-06,1.672268e-06,1.672537e-06,1.674304e-06,1.675057e-06,1.675894e-06,1.676823e-06,1.677068e-06,1.677856e-06,1.677903e-06,1.678283e-06,1.678359e-06,1.678375e-06,1.678248e-06,1.678156e-06,1.677648e-06,1.677622e-06,1.676870e-06,1.676528e-06,1.675842e-06,1.675009e-06,1.674582e-06,1.673106e-06,1.671430e-06,1.670853e-06,1.669568e-06,1.668286e-06,1.667535e-06,1.665433e-06,1.665342e-06,1.663002e-06,1.662323e-06,1.660527e-06,1.658980e-06,1.657925e-06,1.655430e-06,1.655208e-06,1.652385e-06,1.651692e-06,1.649463e-06,1.647788e-06,1.646452e-06,1.643734e-06,1.643358e-06,1.640190e-06,1.639548e-06,1.636953e-06,1.635245e-06,1.633654e-06,1.630839e-06,1.630298e-06,1.626892e-06,1.626343e-06,1.623440e-06,1.621769e-06,1.619948e-06,1.617128e-06,1.616420e-06,1.612860e-06,1.612431e-06,1.609273e-06,1.607686e-06,1.605661e-06,1.602903e-06,1.602030e-06,1.598382e-06,1.598089e-06,1.594720e-06,1.593252e-06,1.591047e-06,1.588398e-06,1.587367e-06,1.583681e-06,1.583534e-06,1.579993e-06,1.578665e-06,1.576304e-06,1.573797e-06,1.572617e-06,1.568934e-06,1.564082e-06,1.559244e-06,1.554424e-06,1.549626e-06,1.544853e-06,1.540107e-06,1.535392e-06,1.530710e-06,1.526063e-06,1.521453e-06,1.516883e-06,1.512353e-06,1.507866e-06,1.503423e-06,1.499025e-06,1.494673e-06,1.490368e-06,1.486111e-06,1.481903e-06,1.477745e-06,1.473637e-06,1.469579e-06,1.465573e-06,1.461618e-06
0.000000e+00,4.852443e-13,3.227119e-12,5.337003e-11,3.385123e-10,7.850013e-10,4.756244e-09,5.073049e-09,2.091433e-08,2.941590e-08,6.494822e-08,1.162936e-07,1.660168e-07,3.470403e-07,3.682833e-07,7.335967e-07,8.541142e-07,1.342895e-06,1.827285e-06,2.296472e-06,3.514179e-06,3.712907e-06,5.726480e-06,6.213535e-06,8.482920e-06,1.026005e-05,1.213351e-05,1.600059e-05,1.682771e-05,2.270485e-05,2.376336e-05,2.988537e-05,3.382361e-05,3.846255e-05,4.637088e-05,4.849545e-05,6.000374e-05,6.148327e-05,7.296500e-05,7.911307e-05,8.731455e-05,9.908575e-05,1.029479e-04,1.197255e-04,1.211123e-04,1.374789e-04,1.448116e-04,1.560184e-04,1.697395e-04,1.751403e-04,1.946350e-04,1.954196e-04,2.142939e-04,2.213722e-04,2.339156e-04,2.471399e-04,2.533109e-04,2.723067e-04,2.907491e-04,2.965114e-04,3.085046e-04,3.194551e-04,3.254614e-04,3.409044e-04,3.415291e-04,3.566381e-04,3.606896e-04,3.707382e-04,3.786999e-04,3.837972e-04,3.948782e-04,3.957994e-04,4.067431e-04,4.092131e-04,4.166395e-04,4.217315e-04,4.255097e-04,4.324904e-04,4.333839e-04,4.402991e-04,4.415708e-04,4.462977e-04,4.490700e-04,4.514260e-04,4.550969e-04,4.557329e-04,4.592693e-04,4.597671e-04,4.620865e-04,4.631984e-04,4.642358e-04,4.655084e-04,4.657678e-04,4.667317e-04,4.668114e-04,4.671751e-04,4.672173e-04,4.671440e-04,4.668299e-04,4.666819e-04,4.658301e-04,4.657463e-04,4.646275e-04,4.640565e-04,4.631106e-04,4.618429e-04,4.613133e-04,4.592672e-04,4.591807e-04,4.570017e-04,4.561377e-04,4.545437e-04,4.527751e-04,4.519181e-04,4.491476e-04,4.462532e-04,4.453039e-04,4.432537e-04,4.412871e-04,4.401666e-04,4.371351e-04,4.370075e-04,4.337906e-04,4.328813e-04,4.305288e-04,4.285550e-04,4.272337e-04,4.241817e-04,4.239156e-04,4.205840e-04,4.197834e-04,4.172473e-04,4.153793e-04,4.139129e-04,4.109859e-04,4.105875e-04,4.072771e-04,4.066172e-04,4.039867e-04,4.022853e-04,4.007212e-04,3.980002e-04,3.974844e-04,3.942800e-04,3.937705e-04,3.911110e-04,3.896032e-04,3.879801e-04,3.855044e-04,3.848896e-04,3.818415e-04,3.814787e-04,3.788375e-04,3.775300e-04,3.758788e-04,3.736613e-04,3.729667e-04,3.701021e-04,3.698750e-04,3.672856e-04,3.661726e-04,3.645178e-04,3.625553e-04,3.617990e-04,3.591296e-04,3.590238e-04,3.565096e-04,3.555785e-04,3.539390e-04,3.522191e-04,3.514176e-04,3.489454e-04,3.457568e-04,3.426524e-04,3.396312e-04,3.366921e-04,3.338339e-04,3.310551e-04,3.283543e-04,3.257300e-04,3.231806e-04,3.207044e-04,3.182999e-04,3.159653e-04,3.136991e-04,3.114994e-04,3.093647e-04,3.072933e-04,3.052836e-04,3.033338e-04,3.014424e-04,2.996077e-04,2.978283e-04,2.961025e-04,2.944289e-04,2.928059e-04
0.000000e+00,1.685814e-10,4.855019e-10,2.134201e-09,5.492794e-09,8.441360e-09,2.153041e-08,2.228102e-08,4.836109e-08,5.873960e-08,9.352396e-08,1.331214e-07,1.656055e-07,2.593435e-07,2.686884e-07,3.990586e-07,4.335284e-07,5.488099e-07,6.384971e-07,7.111386e-07,8.608256e-07,8.816093e-07,1.057438e-06,1.093071e-06,1.236730e-06,1.330833e-06,1.418019e-06,1.570930e-06,1.600059e-06,1.781722e-06,1.810682e-06,1.961966e-06,2.047697e-06,2.139841e-06,2.279856e-06,2.314490e-06,2.485168e-06,2.505350e-06,2.651229e-06,2.722691e-06,2.812138e-06,2.930731e-06,2.967493e-06,3.116996e-06,3.128696e-06,3.260432e-06,3.316078e-06,3.397678e-06,3.492629e-06,3.528678e-06,3.653436e-06,3.658297e-06,3.772005e-06,3.813191e-06,3.884477e-06,3.957533e-06,3.990965e-06,4.091625e-06,4.186626e-06,4.215861e-06,4.276152e-06,4.330661e-06,4.360388e-06,4.436456e-06,4.439526e-06,4.513762e-06,4.533696e-06,4.583290e-06,4.622829e-06,4.648306e-06,4.704299e-06,4.709000e-06,4.765560e-06,4.778540e-06,4.818169e-06,4.845971e-06,4.867005e-06,4.906997e-06,4.912240e-06,4.954042e-06,4.962004e-06,4.992570e-06,5.011363e-06,5.027981e-06,5.055425e-06,5.060422e-06,5.090038e-06,5.094523e-06,5.116965e-06,5.128974e-06,5.141335e-06,5.159076e-06,5.163275e-06,5.182904e-06,5.185110e-06,5.200339e-06,5.207344e-06,5.215690e-06,5.226028e-06,5.229062e-06,5.240556e-06,5.241398e-06,5.250269e-06,5.253676e-06,5.258291e-06,5.263071e-06,5.264712e-06,5.269613e-06,5.269779e-06,5.273076e-06,5.273985e-06,5.275176e-06,5.275862e-06,5.275985e-06,5.275573e-06,5.274006e-06,5.273271e-06,5.271346e-06,5.269098e-06,5.267653e-06,5.263189e-06,5.262984e-06,5.257394e-06,5.255670e-06,5.250933e-06,5.246659e-06,5.243651e-06,5.236268e-06,5.235596e-06,5.226811e-06,5.224599e-06,5.217340e-06,5.211751e-06,5.207222e-06,5.197814e-06,5.196496e-06,5.185199e-06,5.182874e-06,5.173366e-06,5.167012e-06,5.161030e-06,5.150302e-06,5.148223e-06,5.134974e-06,5.132815e-06,5.121313e-06,5.114617e-06,5.107266e-06,5.095769e-06,5.092860e-06,5.078120e-06,5.076329e-06,5.063068e-06,5.056353e-06,5.047728e-06,5.035889e-06,5.032120e-06,5.016265e-06,5.014986e-06,5.000182e-06,4.993689e-06,4.983889e-06,4.972038e-06,4.967404e-06,4.950744e-06,4.950074e-06,4.933924e-06,4.927832e-06,4.916959e-06,4.905347e-06,4.899863e-06,4.882651e-06,4.859773e-06,4.836741e-06,4.813582e-06,4.790320e-06,4.766978e-06,4.743578e-06,4.720138e-06,4.696678e-06,4.673216e-06,4.649766e-06,4.626345e-06,4.602966e-06,4.579643e-06,4.556388e-06,4.533211e-06,4.510124e-06,4.487136e-06,4.464257e-06,4.441493e-06,4.418855e-06,4.396347e-06,4.373978e-06,4.351753e-06,4.329677e-06
0.000000e+00,1.802874e-11,9.484493e-11,9.866739e-10,4.217877e-09,7.969794e-09,2.961943e-08,3.100944e-08,8.373974e-08,1.060938e-07,1.837386e-07,2.758346e-07,3.542773e-07,5.984677e-07,6.244782e-07,1.023247e-06,1.140254e-06,1.565806e-06,1.930216e-06,2.243688e-06,2.930704e-06,3.029628e-06,3.891102e-06,4.069868e-06,4.800106e-06,5.284411e-06,5.735874e-06,6.531730e-06,6.683725e-06,7.633048e-06,7.784509e-06,8.575746e-06,9.023935e-06,9.505325e-06,1.023589e-05,1.041640e-05,1.130447e-05,1.140931e-05,1.216581e-05,1.253554e-05,1.299745e-05,1.360818e-05,1.379707e-05,1.456303e-05,1.462281e-05,1.529419e-05,1.557676e-05,1.598994e-05,1.646884e-05,1.665011e-05,1.727488e-05,1.729914e-05,1.786472e-05,1.806863e-05,1.842032e-05,1.877902e-05,1.894257e-05,1.943248e-05,1.989116e-05,2.003154e-05,2.031979e-05,2.057888e-05,2.071956e-05,2.107733e-05,2.109170e-05,2.143746e-05,2.152971e-05,2.175804e-05,2.193880e-05,2.205464e-05,2.230733e-05,2.232842e-05,2.258054e-05,2.263794e-05,2.281207e-05,2.293313e-05,2.302408e-05,2.319532e-05,2.321759e-05,2.339358e-05,2.342675e-05,2.355297e-05,2.362960e-05,2.369667e-05,2.380587e-05,2.382552e-05,2.394034e-05,2.395747e-05,2.404191e-05,2.408617e-05,2.413096e-05,2.419365e-05,2.420819e-05,2.427426e-05,2.428148e-05,2.432983e-05,2.435110e-05,2.437547e-05,2.440388e-05,2.441177e-05,2.443927e-05,2.444111e-05,2.445848e-05,2.446395e-05,2.446988e-05,2.447353e-05,2.447395e-05,2.447111e-05,2.447086e-05,2.446179e-05,2.445692e-05,2.444637e-05,2.443260e-05,2.442523e-05,2.439872e-05,2.436718e-05,2.435607e-05,2.433091e-05,2.430537e-05,2.429023e-05,2.424728e-05,2.424541e-05,2.419673e-05,2.418244e-05,2.414443e-05,2.411142e-05,2.408876e-05,2.403476e-05,2.402995e-05,2.396820e-05,2.395297e-05,2.390374e-05,2.386652e-05,2.383674e-05,2.377583e-05,2.376739e-05,2.369586e-05,2.368131e-05,2.362232e-05,2.358334e-05,2.354693e-05,2.348227e-05,2.346982e-05,2.339114e-05,2.337841e-05,2.331101e-05,2.327208e-05,2.322957e-05,2.316354e-05,2.314693e-05,2.306319e-05,2.305307e-05,2.297847e-05,2.294091e-05,2.289286e-05,2.282726e-05,2.280646e-05,2.271935e-05,2.271236e-05,2.263163e-05,2.259638e-05,2.254336e-05,2.247951e-05,2.245462e-05,2.236548e-05,2.236191e-05,2.227602e-05,2.224374e-05,2.218629e-05,2.212515e-05,2.209635e-05,2.200626e-05,2.188720e-05,2.176808e-05,2.164899e-05,2.153005e-05,2.141134e-05,2.129295e-05,2.117494e-05,2.105740e-05,2.094038e-05,2.082395e-05,2.070816e-05,2.059307e-05,2.047871e-05,2.036512e-05,2.025236e-05,2.014044e-05,2.002941e-05,1.991929e-05,1.981011e-05,1.970188e-05,1.959464e-05,1.948839e-05,1.938317e-05,1.927897e-05
0.000000e+00,1.096567e-11,6.280956e-11,7.678066e-10,3.734310e-09,7.518877e-09,3.216070e-08,3.383922e-08,1.016106e-07,1.318199e-07,2.401418e-07,3.724075e-07,4.868193e-07,8.484909e-07,8.873605e-07,1.489698e-06,1.668637e-06,2.328040e-06,2.903732e-06,3.407136e-06,4.535927e-06,4.701199e-06,6.166542e-06,6.475960e-06,7.756093e-06,8.617569e-06,9.428094e-06,1.087134e-05,1.114874e-05,1.289147e-05,1.317089e-05,1.463521e-05,1.546743e-05,1.636289e-05,1.772395e-05,1.806047e-05,1.971631e-05,1.991173e-05,2.132090e-05,2.200867e-05,2.286667e-05,2.399850e-05,2.434785e-05,2.576028e-05,2.587022e-05,2.710129e-05,2.761734e-05,2.836944e-05,2.923717e-05,2.956439e-05,3.068674e-05,3.073014e-05,3.173781e-05,3.209910e-05,3.271950e-05,3.334859e-05,3.363414e-05,3.448433e-05,3.527290e-05,3.551270e-05,3.600276e-05,3.644044e-05,3.667689e-05,3.727435e-05,3.729823e-05,3.786970e-05,3.802117e-05,3.839415e-05,3.868739e-05,3.887431e-05,3.927921e-05,3.931282e-05,3.971220e-05,3.980250e-05,4.007485e-05,4.026275e-05,4.040305e-05,4.066508e-05,4.069896e-05,4.096460e-05,4.101427e-05,4.120190e-05,4.131470e-05,4.141266e-05,4.157044e-05,4.159859e-05,4.176128e-05,4.178526e-05,4.190223e-05,4.196259e-05,4.202285e-05,4.210560e-05,4.212446e-05,4.220830e-05,4.221722e-05,4.227552e-05,4.230012e-05,4.232722e-05,4.235676e-05,4.236442e-05,4.238806e-05,4.238940e-05,4.239906e-05,4.240010e-05,4.239824e-05,4.239078e-05,4.238640e-05,4.236427e-05,4.236318e-05,4.233255e-05,4.231891e-05,4.229188e-05,4.225943e-05,4.224288e-05,4.218610e-05,4.212210e-05,4.210017e-05,4.205137e-05,4.200279e-05,4.197438e-05,4.189499e-05,4.189157e-05,4.180337e-05,4.177776e-05,4.171016e-05,4.165198e-05,4.161230e-05,4.151848e-05,4.151015e-05,4.140403e-05,4.137800e-05,4.129423e-05,4.123125e-05,4.118105e-05,4.107887e-05,4.106476e-05,4.094560e-05,4.092145e-05,4.082382e-05,4.075954e-05,4.069965e-05,4.059363e-05,4.057328e-05,4.044492e-05,4.042421e-05,4.031475e-05,4.025169e-05,4.018296e-05,4.007647e-05,4.004971e-05,3.991515e-05,3.989892e-05,3.977942e-05,3.971938e-05,3.964268e-05,3.953815e-05,3.950504e-05,3.936664e-05,3.935554e-05,3.922758e-05,3.917180e-05,3.908798e-05,3.898718e-05,3.894793e-05,3.880754e-05,3.880192e-05,3.866690e-05,3.861622e-05,3.852608e-05,3.843027e-05,3.838518e-05,3.824426e-05,3.805836e-05,3.787270e-05,3.768745e-05,3.750272e-05,3.731865e-05,3.713533e-05,3.695287e-05,3.677136e-05,3.659090e-05,3.641155e-05,3.623339e-05,3.605649e-05,3.588091e-05,3.570669e-05,3.553390e-05,3.536257e-05,3.519275e-05,3.502448e-05,3.485777e-05,3.469267e-05,3.452921e-05,3.436739e-05,3.420725e-05,3.404879e-05
0.000000e+00,1.008585e-10,2.903689e-10,1.271550e-09,3.238082e-09,4.927480e-09,1.205074e-08,1.244268e-08,2.520810e-08,2.992219e-08,4.470841e-08,6.030669e-08,7.254811e-08,1.068663e-07,1.102783e-07,1.589277e-07,1.722628e-07,2.186547e-07,2.567794e-07,2.889981e-07,3.591787e-07,3.693245e-07,4.590284e-07,4.780440e-07,5.575371e-07,6.120493e-07,6.642678e-07,7.598181e-07,7.785929e-07,8.998251e-07,9.198140e-07,1.027216e-06,1.090317e-06,1.159965e-06,1.269461e-06,1.297236e-06,1.438171e-06,1.455289e-06,1.581913e-06,1.645832e-06,1.727622e-06,1.839178e-06,1.874490e-06,2.021753e-06,2.033529e-06,2.168702e-06,2.227246e-06,2.314689e-06,2.418876e-06,2.459133e-06,2.601517e-06,2.607163e-06,2.741391e-06,2.791056e-06,2.878372e-06,2.969697e-06,3.012134e-06,3.142411e-06,3.268988e-06,3.308682e-06,3.391697e-06,3.468142e-06,3.510413e-06,3.620543e-06,3.625049e-06,3.735549e-06,3.765743e-06,3.841886e-06,3.903688e-06,3.944058e-06,4.034394e-06,4.042084e-06,4.136000e-06,4.157934e-06,4.225858e-06,4.274428e-06,4.311720e-06,4.384031e-06,4.393659e-06,4.471758e-06,4.486924e-06,4.546102e-06,4.583309e-06,4.616786e-06,4.673400e-06,4.683904e-06,4.747555e-06,4.757424e-06,4.807840e-06,4.835610e-06,4.864859e-06,4.908192e-06,4.918715e-06,4.969509e-06,4.975403e-06,5.017341e-06,5.037475e-06,5.062311e-06,5.094635e-06,5.104518e-06,5.144058e-06,5.147109e-06,5.181027e-06,5.195116e-06,5.215518e-06,5.238869e-06,5.247623e-06,5.277429e-06,5.278575e-06,5.305026e-06,5.314435e-06,5.330496e-06,5.346644e-06,5.353923e-06,5.375388e-06,5.394968e-06,5.400848e-06,5.412739e-06,5.423197e-06,5.428774e-06,5.442602e-06,5.443145e-06,5.455922e-06,5.459222e-06,5.467170e-06,5.473212e-06,5.476955e-06,5.484718e-06,5.485339e-06,5.492384e-06,5.493881e-06,5.498147e-06,5.500835e-06,5.502685e-06,5.505709e-06,5.506054e-06,5.508305e-06,5.508626e-06,5.509490e-06,5.509702e-06,5.509659e-06,5.509049e-06,5.508858e-06,5.507134e-06,5.506775e-06,5.504530e-06,5.502980e-06,5.501089e-06,5.497762e-06,5.496853e-06,5.491860e-06,5.491212e-06,5.486149e-06,5.483418e-06,5.479756e-06,5.474464e-06,5.472717e-06,5.465066e-06,5.464428e-06,5.456834e-06,5.453386e-06,5.448054e-06,5.441410e-06,5.438756e-06,5.428969e-06,5.428567e-06,5.418720e-06,5.414922e-06,5.408036e-06,5.400536e-06,5.396944e-06,5.385467e-06,5.369770e-06,5.353497e-06,5.336697e-06,5.319417e-06,5.301700e-06,5.283590e-06,5.265125e-06,5.246342e-06,5.227277e-06,5.207963e-06,5.188432e-06,5.168712e-06,5.148832e-06,5.128819e-06,5.108696e-06,5.088487e-06,5.068213e-06,5.047895e-06,5.027553e-06,5.007204e-06,4.986866e-06,4.966554e-06,4.946282e-06,4.926065e-06
0.000000e+00,2.244331e-11,1.262245e-10,1.489866e-09,7.039631e-09,1.396541e-08,5.763085e-08,6.055335e-08,1.757284e-07,2.258404e-07,4.014982e-07,6.097397e-07,7.857268e-07,1.323759e-06,1.380265e-06,2.233226e-06,2.480449e-06,3.377192e-06,4.150329e-06,4.824832e-06,6.348966e-06,6.574674e-06,8.618936e-06,9.062277e-06,1.094785e-05,1.226784e-05,1.355056e-05,1.593924e-05,1.641442e-05,1.952421e-05,2.004343e-05,2.286178e-05,2.453862e-05,2.640602e-05,2.937444e-05,3.013336e-05,3.401838e-05,3.449392e-05,3.803449e-05,3.983615e-05,4.215471e-05,4.533927e-05,4.635236e-05,5.060163e-05,5.094305e-05,5.487804e-05,5.659106e-05,5.915890e-05,6.223212e-05,6.342343e-05,6.765303e-05,6.782124e-05,7.183123e-05,7.331999e-05,7.594375e-05,7.869644e-05,7.997839e-05,8.392490e-05,8.777482e-05,8.898525e-05,9.152135e-05,9.386233e-05,9.515913e-05,9.854539e-05,9.868418e-05,1.020937e-04,1.030274e-04,1.053858e-04,1.073043e-04,1.085595e-04,1.113746e-04,1.116147e-04,1.145516e-04,1.152389e-04,1.173712e-04,1.188993e-04,1.200747e-04,1.223593e-04,1.226640e-04,1.251410e-04,1.256231e-04,1.275079e-04,1.286959e-04,1.297670e-04,1.315833e-04,1.319210e-04,1.339724e-04,1.342913e-04,1.359240e-04,1.368261e-04,1.377785e-04,1.391941e-04,1.395388e-04,1.412076e-04,1.414018e-04,1.427878e-04,1.434557e-04,1.442821e-04,1.453621e-04,1.456933e-04,1.470242e-04,1.471273e-04,1.482775e-04,1.487577e-04,1.494558e-04,1.502592e-04,1.505618e-04,1.515979e-04,1.516379e-04,1.525667e-04,1.528995e-04,1.534707e-04,1.540495e-04,1.543122e-04,1.550935e-04,1.558170e-04,1.560367e-04,1.564848e-04,1.568840e-04,1.570991e-04,1.576405e-04,1.576621e-04,1.581756e-04,1.583108e-04,1.586417e-04,1.588994e-04,1.590623e-04,1.594106e-04,1.594392e-04,1.597743e-04,1.598487e-04,1.600693e-04,1.602176e-04,1.603259e-04,1.605212e-04,1.605457e-04,1.607303e-04,1.607631e-04,1.608812e-04,1.609468e-04,1.609999e-04,1.610757e-04,1.610878e-04,1.611463e-04,1.611530e-04,1.611768e-04,1.611818e-04,1.611805e-04,1.611650e-04,1.611586e-04,1.611125e-04,1.611054e-04,1.610431e-04,1.610056e-04,1.609517e-04,1.608682e-04,1.608393e-04,1.607070e-04,1.606956e-04,1.605557e-04,1.604901e-04,1.603865e-04,1.602540e-04,1.602002e-04,1.599977e-04,1.599893e-04,1.597799e-04,1.596979e-04,1.595477e-04,1.593819e-04,1.593017e-04,1.590429e-04,1.586827e-04,1.583029e-04,1.579050e-04,1.574906e-04,1.570609e-04,1.566173e-04,1.561610e-04,1.556933e-04,1.552152e-04,1.547277e-04,1.542319e-04,1.537287e-04,1.532190e-04,1.527037e-04,1.521835e-04,1.516592e-04,1.511314e-04,1.506009e-04,1.500682e-04,1.495340e-04,1.489988e-04,1.484630e-04,1.479273e-04,1.473920e-04
0.000000e+00,7.475568e-12,3.883355e-11,3.944982e-10,1.653144e-09,3.089971e-09,1.113875e-08,1.164538e-08,3.023366e-08,3.780849e-08,6.302677e-08,9.119041e-08,1.140188e-07,1.802840e-07,1.870212e-07,2.856850e-07,3.135738e-07,4.134916e-07,4.990137e-07,5.736786e-07,7.436878e-07,7.690729e-07,1.001805e-06,1.052948e-06,1.272922e-06,1.428996e-06,1.581993e-06,1.869445e-06,1.926905e-06,2.304009e-06,2.367028e-06,2.708604e-06,2.911066e-06,3.135546e-06,3.489762e-06,3.579751e-06,4.036490e-06,4.091933e-06,4.501505e-06,4.707744e-06,4.971020e-06,5.328791e-06,5.441695e-06,5.910579e-06,5.947932e-06,6.375076e-06,6.559127e-06,6.832915e-06,7.157320e-06,7.282128e-06,7.721027e-06,7.738347e-06,8.148193e-06,8.298868e-06,8.562454e-06,8.836292e-06,8.962870e-06,9.348707e-06,9.719426e-06,9.834798e-06,1.007465e-05,1.029376e-05,1.041417e-05,1.072524e-05,1.073788e-05,1.104582e-05,1.112922e-05,1.133809e-05,1.150601e-05,1.161489e-05,1.185612e-05,1.187649e-05,1.212321e-05,1.218025e-05,1.235541e-05,1.247925e-05,1.257349e-05,1.275404e-05,1.277786e-05,1.296897e-05,1.300564e-05,1.314727e-05,1.323507e-05,1.331321e-05,1.344340e-05,1.346727e-05,1.360991e-05,1.363170e-05,1.374158e-05,1.380103e-05,1.386275e-05,1.395242e-05,1.397386e-05,1.407534e-05,1.408689e-05,1.416763e-05,1.420543e-05,1.425115e-05,1.430900e-05,1.432629e-05,1.439347e-05,1.439851e-05,1.445305e-05,1.447484e-05,1.450541e-05,1.453884e-05,1.455091e-05,1.458988e-05,1.459131e-05,1.462267e-05,1.463302e-05,1.464958e-05,1.466469e-05,1.467094e-05,1.468703e-05,1.469813e-05,1.470068e-05,1.470453e-05,1.470627e-05,1.470647e-05,1.470438e-05,1.470421e-05,1.469800e-05,1.469558e-05,1.468805e-05,1.468038e-05,1.467459e-05,1.465929e-05,1.465783e-05,1.463797e-05,1.463276e-05,1.461520e-05,1.460125e-05,1.458971e-05,1.456516e-05,1.456166e-05,1.453123e-05,1.452488e-05,1.449858e-05,1.448078e-05,1.446386e-05,1.443320e-05,1.442721e-05,1.438877e-05,1.438246e-05,1.434867e-05,1.432888e-05,1.430705e-05,1.427272e-05,1.426400e-05,1.421966e-05,1.421426e-05,1.417413e-05,1.415374e-05,1.412751e-05,1.409140e-05,1.407989e-05,1.403137e-05,1.402746e-05,1.398205e-05,1.396211e-05,1.393199e-05,1.389554e-05,1.388128e-05,1.383000e-05,1.382794e-05,1.377822e-05,1.375946e-05,1.372599e-05,1.369026e-05,1.367340e-05,1.362049e-05,1.355026e-05,1.347971e-05,1.340895e-05,1.333808e-05,1.326720e-05,1.319640e-05,1.312576e-05,1.305536e-05,1.298527e-05,1.291555e-05,1.284626e-05,1.277746e-05,1.270918e-05,1.264149e-05,1.257441e-05,1.250799e-05,1.244225e-05,1.237722e-05,1.231294e-05,1.224942e-05,1.218668e-05,1.212474e-05,1.206363e-05,1.200334e-05
0.000000e+00,1.071206e-11,6.032808e-11,7.132903e-10,3.370999e-09,6.684619e-09,2.750774e-08,2.889791e-08,8.343070e-08,1.070336e-07,1.893322e-07,2.862391e-07,3.677558e-07,6.160484e-07,6.421190e-07,1.037766e-06,1.153558e-06,1.578787e-06,1.951675e-06,2.280803e-06,3.032081e-06,3.143703e-06,4.150931e-06,4.367434e-06,5.275852e-06,5.897659e-06,6.489583e-06,7.558468e-06,7.765940e-06,9.083032e-06,9.296300e-06,1.042290e-05,1.106963e-05,1.177055e-05,1.284563e-05,1.311321e-05,1.443974e-05,1.459736e-05,1.574043e-05,1.630233e-05,1.700688e-05,1.794208e-05,1.823200e-05,1.940998e-05,1.950204e-05,2.053626e-05,2.097150e-05,2.160746e-05,2.234331e-05,2.262132e-05,2.357657e-05,2.361355e-05,2.447280e-05,2.478104e-05,2.531034e-05,2.584680e-05,2.609013e-05,2.681359e-05,2.748255e-05,2.768543e-05,2.809908e-05,2.846721e-05,2.866551e-05,2.916439e-05,2.918425e-05,2.965782e-05,2.978267e-05,3.008875e-05,3.032787e-05,3.047953e-05,3.080573e-05,3.083265e-05,3.115050e-05,3.122180e-05,3.143540e-05,3.158138e-05,3.168956e-05,3.188948e-05,3.191511e-05,3.211404e-05,3.215080e-05,3.228824e-05,3.236965e-05,3.243949e-05,3.255004e-05,3.256947e-05,3.267975e-05,3.269566e-05,3.277179e-05,3.280990e-05,3.284697e-05,3.289582e-05,3.290655e-05,3.295175e-05,3.295626e-05,3.298366e-05,3.299376e-05,3.300333e-05,3.301067e-05,3.301170e-05,3.300969e-05,3.300911e-05,3.299812e-05,3.299099e-05,3.297776e-05,3.295806e-05,3.294933e-05,3.291349e-05,3.291192e-05,3.287088e-05,3.285399e-05,3.282206e-05,3.278559e-05,3.276756e-05,3.270788e-05,3.264349e-05,3.262196e-05,3.257480e-05,3.252878e-05,3.250223e-05,3.242923e-05,3.242613e-05,3.234684e-05,3.232412e-05,3.226470e-05,3.221416e-05,3.217998e-05,3.210001e-05,3.209297e-05,3.200393e-05,3.198228e-05,3.191308e-05,3.186150e-05,3.182064e-05,3.173816e-05,3.172683e-05,3.163183e-05,3.161270e-05,3.153582e-05,3.148554e-05,3.143895e-05,3.135704e-05,3.134139e-05,3.124327e-05,3.122753e-05,3.114472e-05,3.109730e-05,3.104587e-05,3.096664e-05,3.094682e-05,3.084769e-05,3.083579e-05,3.074856e-05,3.070497e-05,3.064952e-05,3.057437e-05,3.055067e-05,3.045207e-05,3.044419e-05,3.035379e-05,3.031459e-05,3.025591e-05,3.018570e-05,3.015847e-05,3.006154e-05,3.005767e-05,2.996516e-05,2.993061e-05,2.986939e-05,2.980463e-05,2.977427e-05,2.967983e-05,2.955628e-05,2.943406e-05,2.931324e-05,2.919388e-05,2.907602e-05,2.895971e-05,2.884499e-05,2.873189e-05,2.862044e-05,2.851065e-05,2.840255e-05,2.829616e-05,2.819147e-05,2.808851e-05,2.798726e-05,2.788774e-05,2.778995e-05,2.769387e-05,2.759951e-05,2.750685e-05,2.741589e-05,2.732662e-05,2.723902e-05,2.715308e-05
0.000000e+00,6.525028e-13,4.189584e-12,6.443304e-11,3.826484e-10,8.560675e-10,4.733227e-09,5.029976e-09,1.898692e-08,2.608844e-08,5.439346e-08,9.314196e-08,1.292730e-07,2.545151e-07,2.687767e-07,5.057496e-07,5.814904e-07,8.809198e-07,1.168947e-06,1.441997e-06,2.130515e-06,2.240590e-06,3.326528e-06,3.582039e-06,4.740867e-06,5.615561e-06,6.510002e-06,8.277186e-06,8.642683e-06,1.113026e-05,1.155982e-05,1.394933e-05,1.541047e-05,1.706561e-05,1.974506e-05,2.043788e-05,2.402153e-05,2.446361e-05,2.777123e-05,2.946227e-05,3.164289e-05,3.464120e-05,3.559490e-05,3.958882e-05,3.990907e-05,4.358978e-05,4.518503e-05,4.756661e-05,5.039940e-05,5.149180e-05,5.534147e-05,5.549359e-05,5.909517e-05,6.041960e-05,6.273572e-05,6.513935e-05,6.624902e-05,6.962384e-05,7.285156e-05,7.385229e-05,7.592597e-05,7.781117e-05,7.884298e-05,8.149322e-05,8.160044e-05,8.419783e-05,8.489650e-05,8.663607e-05,8.802347e-05,8.891730e-05,9.088004e-05,9.104466e-05,9.302210e-05,9.347488e-05,9.485422e-05,9.581862e-05,9.654612e-05,9.792333e-05,9.810326e-05,9.953133e-05,9.980197e-05,1.008362e-04,1.014680e-04,1.020237e-04,1.029350e-04,1.030999e-04,1.040705e-04,1.042164e-04,1.049414e-04,1.053256e-04,1.057180e-04,1.062752e-04,1.064059e-04,1.070104e-04,1.070775e-04,1.075364e-04,1.077442e-04,1.079888e-04,1.082862e-04,1.083722e-04,1.086911e-04,1.087140e-04,1.089497e-04,1.090371e-04,1.091519e-04,1.092648e-04,1.093016e-04,1.094023e-04,1.094053e-04,1.094574e-04,1.094667e-04,1.094701e-04,1.094560e-04,1.094434e-04,1.093801e-04,1.092830e-04,1.092452e-04,1.091545e-04,1.090570e-04,1.089971e-04,1.088207e-04,1.088129e-04,1.086040e-04,1.085414e-04,1.083724e-04,1.082234e-04,1.081200e-04,1.078708e-04,1.078484e-04,1.075594e-04,1.074876e-04,1.072544e-04,1.070771e-04,1.069348e-04,1.066426e-04,1.066020e-04,1.062573e-04,1.061870e-04,1.059018e-04,1.057131e-04,1.055366e-04,1.052232e-04,1.051628e-04,1.047813e-04,1.047196e-04,1.043930e-04,1.042044e-04,1.039987e-04,1.036795e-04,1.035993e-04,1.031954e-04,1.031467e-04,1.027878e-04,1.026074e-04,1.023771e-04,1.020632e-04,1.019638e-04,1.015486e-04,1.015153e-04,1.011319e-04,1.009650e-04,1.007143e-04,1.004133e-04,1.002962e-04,9.987795e-05,9.986122e-05,9.945999e-05,9.930966e-05,9.904267e-05,9.875943e-05,9.862633e-05,9.821126e-05,9.766582e-05,9.712369e-05,9.658542e-05,9.605149e-05,9.552232e-05,9.499831e-05,9.447978e-05,9.396705e-05,9.346036e-05,9.295996e-05,9.246605e-05,9.197879e-05,9.149834e-05,9.102481e-05,9.055832e-05,9.009894e-05,8.964674e-05,8.920175e-05,8.876403e-05,8.833357e-05,8.791039e-05,8.749448e-05,8.708583e-05,8.668440e-05
0.000000e+00,3.829460e-12,8.755613e-12,2.999041e-11,6.796463e-11,9.894559e-11,2.233566e-10,2.300352e-10,4.428172e-10,5.198461e-10,7.582984e-10,1.006409e-09,1.199568e-09,1.737611e-09,1.791011e-09,2.554724e-09,2.765352e-09,3.502983e-09,4.113172e-09,4.629506e-09,5.747620e-09,5.907827e-09,7.300537e-09,7.589471e-09,8.770862e-09,9.555730e-09,1.028842e-08,1.158225e-08,1.182963e-08,1.337620e-08,1.362314e-08,1.491356e-08,1.564463e-08,1.642976e-08,1.762076e-08,1.791488e-08,1.936067e-08,1.953118e-08,2.076033e-08,2.136013e-08,2.210844e-08,2.309589e-08,2.340079e-08,2.463434e-08,2.473041e-08,2.580707e-08,2.625886e-08,2.691785e-08,2.767905e-08,2.796638e-08,2.895302e-08,2.899121e-08,2.987866e-08,3.019719e-08,3.074459e-08,3.130020e-08,3.155255e-08,3.230447e-08,3.300250e-08,3.321486e-08,3.364894e-08,3.403667e-08,3.424615e-08,3.477538e-08,3.479652e-08,3.530247e-08,3.543651e-08,3.576640e-08,3.602557e-08,3.619065e-08,3.654788e-08,3.657750e-08,3.692915e-08,3.700855e-08,3.724772e-08,3.741243e-08,3.753524e-08,3.776412e-08,3.779365e-08,3.802480e-08,3.806791e-08,3.823043e-08,3.832783e-08,3.841220e-08,3.854759e-08,3.857167e-08,3.871031e-08,3.873066e-08,3.882953e-08,3.888024e-08,3.893063e-08,3.899930e-08,3.901485e-08,3.908333e-08,3.909055e-08,3.913718e-08,3.915651e-08,3.917742e-08,3.919948e-08,3.920500e-08,3.922082e-08,3.922160e-08,3.922572e-08,3.922481e-08,3.922051e-08,3.921090e-08,3.920591e-08,3.918262e-08,3.918152e-08,3.915130e-08,3.913818e-08,3.911255e-08,3.908225e-08,3.906695e-08,3.901502e-08,3.895727e-08,3.893763e-08,3.889416e-08,3.885117e-08,3.882614e-08,3.875659e-08,3.875361e-08,3.867696e-08,3.865481e-08,3.859655e-08,3.854664e-08,3.851271e-08,3.843283e-08,3.842577e-08,3.833600e-08,3.831407e-08,3.824369e-08,3.819098e-08,3.814910e-08,3.806415e-08,3.805246e-08,3.795400e-08,3.793411e-08,3.785393e-08,3.780133e-08,3.775245e-08,3.766625e-08,3.764974e-08,3.754598e-08,3.752929e-08,3.744132e-08,3.739081e-08,3.733591e-08,3.725114e-08,3.722989e-08,3.712340e-08,3.711060e-08,3.701656e-08,3.696946e-08,3.690947e-08,3.682798e-08,3.680224e-08,3.669498e-08,3.668640e-08,3.658777e-08,3.654492e-08,3.648070e-08,3.640374e-08,3.637385e-08,3.626729e-08,3.626303e-08,3.616109e-08,3.612296e-08,3.605531e-08,3.598366e-08,3.595002e-08,3.584526e-08,3.570788e-08,3.557164e-08,3.543661e-08,3.530290e-08,3.517056e-08,3.503967e-08,3.491030e-08,3.478248e-08,3.465627e-08,3.453171e-08,3.440883e-08,3.428766e-08,3.416822e-08,3.405054e-08,3.393463e-08,3.382050e-08,3.370816e-08,3.359761e-08,3.348887e-08,3.338193e-08,3.327679e-08,3.317344e-08,3.307188e-08,3.297210e-08
0.000000e+00,6.298787e-12,1.443639e-11,4.978354e-11,1.139794e-10,1.672573e-10,3.891489e-10,4.014123e-10,8.099778e-10,9.660019e-10,1.473565e-09,2.035586e-09,2.491874e-09,3.814036e-09,3.947293e-09,5.842742e-09,6.354758e-09,8.093496e-09,9.467603e-09,1.059009e-08,1.292047e-08,1.324530e-08,1.600028e-08,1.655956e-08,1.881591e-08,2.029450e-08,2.166441e-08,2.406651e-08,2.452400e-08,2.737605e-08,2.783053e-08,3.020368e-08,3.154763e-08,3.299124e-08,3.518264e-08,3.572422e-08,3.838941e-08,3.870410e-08,4.097488e-08,4.208449e-08,4.347028e-08,4.530120e-08,4.586701e-08,4.815807e-08,4.833662e-08,5.033814e-08,5.117819e-08,5.240344e-08,5.381805e-08,5.435168e-08,5.618197e-08,5.625273e-08,5.789464e-08,5.848258e-08,5.949069e-08,6.051041e-08,6.097219e-08,6.234189e-08,6.360300e-08,6.398423e-08,6.475927e-08,6.544608e-08,6.581466e-08,6.673689e-08,6.677344e-08,6.763999e-08,6.786671e-08,6.841877e-08,6.884576e-08,6.911423e-08,6.968424e-08,6.973076e-08,7.027273e-08,7.039219e-08,7.074440e-08,7.097938e-08,7.114990e-08,7.145518e-08,7.149322e-08,7.177821e-08,7.182853e-08,7.200856e-08,7.210792e-08,7.218780e-08,7.230134e-08,7.231930e-08,7.240627e-08,7.241626e-08,7.245175e-08,7.245970e-08,7.245863e-08,7.243819e-08,7.242966e-08,7.236741e-08,7.235782e-08,7.227434e-08,7.222422e-08,7.215275e-08,7.204261e-08,7.200482e-08,7.183260e-08,7.181784e-08,7.163803e-08,7.155435e-08,7.142292e-08,7.125628e-08,7.118897e-08,7.093779e-08,7.092740e-08,7.067089e-08,7.057123e-08,7.038967e-08,7.019095e-08,7.009547e-08,6.978952e-08,6.947300e-08,6.936965e-08,6.914698e-08,6.893382e-08,6.881248e-08,6.848428e-08,6.847047e-08,6.812182e-08,6.802313e-08,6.776738e-08,6.755225e-08,6.740791e-08,6.707339e-08,6.704414e-08,6.667675e-08,6.658811e-08,6.630637e-08,6.609787e-08,6.593358e-08,6.560397e-08,6.555893e-08,6.518291e-08,6.510759e-08,6.480601e-08,6.460982e-08,6.442866e-08,6.411163e-08,6.405126e-08,6.367419e-08,6.361391e-08,6.329778e-08,6.311745e-08,6.292238e-08,6.262297e-08,6.254827e-08,6.217572e-08,6.213113e-08,6.180498e-08,6.164249e-08,6.143629e-08,6.115758e-08,6.106985e-08,6.070585e-08,6.067684e-08,6.034448e-08,6.020070e-08,5.998589e-08,5.972951e-08,5.963023e-08,5.927763e-08,5.926359e-08,5.892820e-08,5.880321e-08,5.858206e-08,5.834861e-08,5.823931e-08,5.790001e-08,5.745758e-08,5.702147e-08,5.659180e-08,5.616867e-08,5.575216e-08,5.534233e-08,5.493923e-08,5.454288e-08,5.415329e-08,5.377046e-08,5.339438e-08,5.302503e-08,5.266237e-08,5.230636e-08,5.195696e-08,5.161410e-08,5.127774e-08,5.094779e-08,5.062419e-08,5.030686e-08,4.999573e-08,4.969070e-08,4.939170e-08,4.909864e-08
0.000000e+00,8.047398e-12,1.844256e-11,6.364379e-11,1.461302e-10,2.150120e-10,5.054912e-10,5.216880e-10,1.066999e-09,1.277245e-09,1.964842e-09,2.728990e-09,3.350019e-09,5.150452e-09,5.331920e-09,7.907223e-09,8.598755e-09,1.092243e-08,1.272383e-08,1.416861e-08,1.708657e-08,1.748448e-08,2.077399e-08,2.142359e-08,2.398446e-08,2.561229e-08,2.708631e-08,2.959468e-08,3.006172e-08,3.289915e-08,3.333979e-08,3.559099e-08,3.682988e-08,3.813252e-08,4.005591e-08,4.052145e-08,4.275759e-08,4.301572e-08,4.484255e-08,4.571281e-08,4.677949e-08,4.815523e-08,4.857280e-08,5.022784e-08,5.035444e-08,5.175064e-08,5.232418e-08,5.314772e-08,5.407956e-08,5.442583e-08,5.559184e-08,5.563625e-08,5.665257e-08,5.700995e-08,5.761471e-08,5.821596e-08,5.848473e-08,5.926886e-08,5.997303e-08,6.018240e-08,6.060284e-08,6.096936e-08,6.116360e-08,6.164156e-08,6.166026e-08,6.209747e-08,6.220984e-08,6.247958e-08,6.268409e-08,6.281064e-08,6.307336e-08,6.309441e-08,6.333439e-08,6.338584e-08,6.353385e-08,6.362898e-08,6.369580e-08,6.380951e-08,6.382304e-08,6.391815e-08,6.393354e-08,6.398357e-08,6.400659e-08,6.402150e-08,6.403364e-08,6.403402e-08,6.402304e-08,6.401923e-08,6.399035e-08,6.396743e-08,6.393758e-08,6.388193e-08,6.386626e-08,6.377780e-08,6.376610e-08,6.367353e-08,6.362295e-08,6.355465e-08,6.345524e-08,6.342230e-08,6.327753e-08,6.326544e-08,6.312130e-08,6.305581e-08,6.295453e-08,6.282841e-08,6.277806e-08,6.259267e-08,6.258508e-08,6.239908e-08,6.232752e-08,6.219798e-08,6.205726e-08,6.198999e-08,6.177570e-08,6.155565e-08,6.148411e-08,6.133036e-08,6.118364e-08,6.110030e-08,6.087536e-08,6.086591e-08,6.062761e-08,6.056023e-08,6.038577e-08,6.023913e-08,6.014077e-08,5.991285e-08,5.989293e-08,5.964257e-08,5.958214e-08,5.938998e-08,5.924767e-08,5.913545e-08,5.891004e-08,5.887921e-08,5.862151e-08,5.856982e-08,5.836259e-08,5.822753e-08,5.810264e-08,5.788363e-08,5.784186e-08,5.758044e-08,5.753857e-08,5.731856e-08,5.719273e-08,5.705636e-08,5.684648e-08,5.679400e-08,5.653162e-08,5.650014e-08,5.626936e-08,5.615404e-08,5.600734e-08,5.580843e-08,5.574567e-08,5.548446e-08,5.546359e-08,5.522382e-08,5.511974e-08,5.496383e-08,5.477710e-08,5.470459e-08,5.444618e-08,5.443586e-08,5.418868e-08,5.409621e-08,5.393215e-08,5.375831e-08,5.367668e-08,5.342231e-08,5.308835e-08,5.275656e-08,5.242703e-08,5.209989e-08,5.177522e-08,5.145311e-08,5.113363e-08,5.081685e-08,5.050284e-08,5.019164e-08,4.988331e-08,4.957789e-08,4.927541e-08,4.897591e-08,4.867941e-08,4.838595e-08,4.809553e-08,4.780818e-08,4.752390e-08,4.724270e-08,4.696460e-08,4.668959e-08,4.641767e-08,4.614884e-08
0.000000e+00,6.457380e-11,2.729069e-10,1.955513e-09,6.445787e-09,1.083463e-08,3.168030e-08,3.289465e-08,7.451242e-08,9.059007e-08,1.425878e-07,1.993356e-07,2.449263e-07,3.769052e-07,3.903442e-07,5.881353e-07,6.443590e-07,8.463834e-07,1.019147e-06,1.169059e-06,1.504424e-06,1.553592e-06,1.991503e-06,2.084527e-06,2.471807e-06,2.734804e-06,2.984128e-06,3.432921e-06,3.519930e-06,4.072427e-06,4.161994e-06,4.636103e-06,4.909238e-06,5.206273e-06,5.664308e-06,5.778827e-06,6.350082e-06,6.418384e-06,6.916720e-06,7.163800e-06,7.475772e-06,7.893951e-06,8.024614e-06,8.560963e-06,8.603271e-06,9.082880e-06,9.287233e-06,9.588750e-06,9.942297e-06,1.007727e-05,1.054743e-05,1.056585e-05,1.099850e-05,1.115610e-05,1.142994e-05,1.171195e-05,1.184146e-05,1.223295e-05,1.260440e-05,1.271906e-05,1.295598e-05,1.317068e-05,1.328795e-05,1.358851e-05,1.360065e-05,1.389450e-05,1.397346e-05,1.416996e-05,1.432663e-05,1.442756e-05,1.464924e-05,1.466784e-05,1.489138e-05,1.494261e-05,1.509877e-05,1.520806e-05,1.529058e-05,1.544697e-05,1.546742e-05,1.562988e-05,1.566070e-05,1.577855e-05,1.585061e-05,1.591402e-05,1.601803e-05,1.603685e-05,1.614761e-05,1.616425e-05,1.624684e-05,1.629053e-05,1.633507e-05,1.639808e-05,1.641282e-05,1.648060e-05,1.648808e-05,1.653888e-05,1.656165e-05,1.658815e-05,1.661985e-05,1.662886e-05,1.666145e-05,1.666372e-05,1.668634e-05,1.669423e-05,1.670393e-05,1.671231e-05,1.671463e-05,1.671881e-05,1.671885e-05,1.671683e-05,1.671468e-05,1.670905e-05,1.670061e-05,1.669579e-05,1.667738e-05,1.665412e-05,1.664571e-05,1.662632e-05,1.660626e-05,1.659424e-05,1.655969e-05,1.655817e-05,1.651836e-05,1.650657e-05,1.647505e-05,1.644748e-05,1.642848e-05,1.638296e-05,1.637888e-05,1.632646e-05,1.631349e-05,1.627143e-05,1.623955e-05,1.621398e-05,1.616157e-05,1.615430e-05,1.609256e-05,1.607998e-05,1.602893e-05,1.599516e-05,1.596358e-05,1.590746e-05,1.589666e-05,1.582830e-05,1.581724e-05,1.575865e-05,1.572480e-05,1.568785e-05,1.563045e-05,1.561600e-05,1.554324e-05,1.553445e-05,1.546967e-05,1.543707e-05,1.539539e-05,1.533854e-05,1.532052e-05,1.524514e-05,1.523909e-05,1.516934e-05,1.513892e-05,1.509321e-05,1.503823e-05,1.501682e-05,1.494025e-05,1.493719e-05,1.486358e-05,1.483596e-05,1.478686e-05,1.473470e-05,1.471017e-05,1.463355e-05,1.453264e-05,1.443208e-05,1.433198e-05,1.423244e-05,1.413356e-05,1.403541e-05,1.393807e-05,1.384161e-05,1.374608e-05,1.365155e-05,1.355806e-05,1.346565e-05,1.337437e-05,1.328425e-05,1.319532e-05,1.310760e-05,1.302111e-05,1.293588e-05,1.285192e-05,1.276923e-05,1.268783e-05,1.260773e-05,1.252893e-05,1.245143e-05
0.000000e+00,1.138311e-11,2.624596e-11,9.102899e-11,2.081345e-10,3.043238e-10,6.937457e-10,7.147478e-10,1.386851e-09,1.631118e-09,2.388845e-09,3.177877e-09,3.791164e-09,5.486639e-09,5.653447e-09,8.002535e-09,8.638197e-09,1.082875e-08,1.261013e-08,1.410564e-08,1.733966e-08,1.780499e-08,2.189951e-08,2.276340e-08,2.636111e-08,2.881617e-08,3.115917e-08,3.542500e-08,3.626000e-08,4.162693e-08,4.250776e-08,4.722108e-08,4.997521e-08,5.300229e-08,5.773480e-08,5.893019e-08,6.496512e-08,6.569467e-08,7.106901e-08,7.376727e-08,7.720611e-08,8.187209e-08,8.334341e-08,8.945102e-08,8.993753e-08,9.550232e-08,9.790175e-08,1.014740e-07,1.057129e-07,1.073459e-07,1.131011e-07,1.133287e-07,1.187254e-07,1.207158e-07,1.242072e-07,1.278486e-07,1.295373e-07,1.347085e-07,1.397157e-07,1.412827e-07,1.445550e-07,1.475631e-07,1.492243e-07,1.535457e-07,1.537223e-07,1.580491e-07,1.592299e-07,1.622052e-07,1.646175e-07,1.661921e-07,1.697124e-07,1.700119e-07,1.736670e-07,1.745201e-07,1.771604e-07,1.790472e-07,1.804951e-07,1.833012e-07,1.836747e-07,1.867028e-07,1.872906e-07,1.895832e-07,1.910238e-07,1.923196e-07,1.945100e-07,1.949162e-07,1.973767e-07,1.977581e-07,1.997053e-07,2.007773e-07,2.019059e-07,2.035770e-07,2.039826e-07,2.059392e-07,2.061661e-07,2.077797e-07,2.085538e-07,2.095080e-07,2.107487e-07,2.111278e-07,2.126429e-07,2.127597e-07,2.140570e-07,2.145952e-07,2.153737e-07,2.162634e-07,2.165965e-07,2.177288e-07,2.177723e-07,2.187740e-07,2.191296e-07,2.197354e-07,2.203429e-07,2.206162e-07,2.214195e-07,2.221484e-07,2.223664e-07,2.228057e-07,2.231903e-07,2.233945e-07,2.238977e-07,2.239174e-07,2.243771e-07,2.244949e-07,2.247764e-07,2.249879e-07,2.251177e-07,2.253826e-07,2.254035e-07,2.256362e-07,2.256844e-07,2.258182e-07,2.258987e-07,2.259516e-07,2.260306e-07,2.260387e-07,2.260815e-07,2.260850e-07,2.260822e-07,2.260665e-07,2.260425e-07,2.259796e-07,2.259646e-07,2.258501e-07,2.258285e-07,2.257009e-07,2.256174e-07,2.255186e-07,2.253501e-07,2.253050e-07,2.250616e-07,2.250304e-07,2.247899e-07,2.246618e-07,2.244914e-07,2.242476e-07,2.241676e-07,2.238198e-07,2.237910e-07,2.234494e-07,2.232952e-07,2.230576e-07,2.227630e-07,2.226457e-07,2.222147e-07,2.221971e-07,2.217660e-07,2.216003e-07,2.213005e-07,2.209749e-07,2.208193e-07,2.203234e-07,2.196480e-07,2.189509e-07,2.182339e-07,2.174991e-07,2.167483e-07,2.159832e-07,2.152053e-07,2.144162e-07,2.136174e-07,2.128102e-07,2.119958e-07,2.111756e-07,2.103505e-07,2.095218e-07,2.086904e-07,2.078572e-07,2.070231e-07,2.061890e-07,2.053556e-07,2.045237e-07,2.036939e-07,2.028669e-07,2.020432e-07,2.012234e-07
0.000000e+00,1.593985e-12,8.803377e-12,1.001479e-10,4.579645e-10,8.926102e-10,3.521482e-09,3.693338e-09,1.025277e-08,1.301737e-08,2.243815e-08,3.322061e-08,4.209866e-08,6.834014e-08,7.103733e-08,1.108922e-07,1.222233e-07,1.627849e-07,1.972310e-07,2.269541e-07,2.930904e-07,3.027675e-07,3.890810e-07,4.074903e-07,4.846083e-07,5.375081e-07,5.881072e-07,6.803522e-07,6.984118e-07,8.143998e-07,8.334108e-07,9.349537e-07,9.941094e-07,1.058941e-06,1.159832e-06,1.185214e-06,1.312627e-06,1.327940e-06,1.440058e-06,1.495855e-06,1.566434e-06,1.661155e-06,1.690754e-06,1.812114e-06,1.821670e-06,1.929719e-06,1.975555e-06,2.042895e-06,2.121325e-06,2.151090e-06,2.253879e-06,2.257873e-06,2.350953e-06,2.384460e-06,2.442116e-06,2.500677e-06,2.527272e-06,2.606412e-06,2.679605e-06,2.701790e-06,2.746981e-06,2.787131e-06,2.808721e-06,2.862895e-06,2.865047e-06,2.916207e-06,2.929643e-06,2.962472e-06,2.987998e-06,3.004122e-06,3.038611e-06,3.041444e-06,3.074723e-06,3.082140e-06,3.104240e-06,3.119229e-06,3.130270e-06,3.150498e-06,3.153073e-06,3.172900e-06,3.176529e-06,3.189988e-06,3.197865e-06,3.204558e-06,3.215003e-06,3.216817e-06,3.226959e-06,3.228398e-06,3.235163e-06,3.238461e-06,3.241592e-06,3.245561e-06,3.246400e-06,3.249725e-06,3.250031e-06,3.251696e-06,3.252164e-06,3.252429e-06,3.252225e-06,3.252032e-06,3.250603e-06,3.250447e-06,3.248232e-06,3.247038e-06,3.244999e-06,3.242181e-06,3.240980e-06,3.236243e-06,3.236040e-06,3.230850e-06,3.228760e-06,3.224859e-06,3.220469e-06,3.218321e-06,3.211283e-06,3.203791e-06,3.201304e-06,3.195883e-06,3.190622e-06,3.187597e-06,3.179319e-06,3.178967e-06,3.170024e-06,3.167468e-06,3.160797e-06,3.155135e-06,3.151311e-06,3.142378e-06,3.141593e-06,3.131664e-06,3.129252e-06,3.121545e-06,3.115804e-06,3.111257e-06,3.102077e-06,3.100817e-06,3.090241e-06,3.088111e-06,3.079546e-06,3.073943e-06,3.068746e-06,3.059603e-06,3.057855e-06,3.046884e-06,3.045123e-06,3.035847e-06,3.030528e-06,3.024754e-06,3.015845e-06,3.013614e-06,3.002438e-06,3.001095e-06,2.991236e-06,2.986300e-06,2.980014e-06,2.971477e-06,2.968781e-06,2.957544e-06,2.956645e-06,2.946310e-06,2.941819e-06,2.935086e-06,2.927014e-06,2.923877e-06,2.912690e-06,2.912243e-06,2.901528e-06,2.897518e-06,2.890398e-06,2.882850e-06,2.879305e-06,2.868251e-06,2.853728e-06,2.839291e-06,2.824947e-06,2.810704e-06,2.796567e-06,2.782543e-06,2.768637e-06,2.754854e-06,2.741197e-06,2.727672e-06,2.714280e-06,2.701026e-06,2.687912e-06,2.674941e-06,2.662114e-06,2.649433e-06,2.636900e-06,2.624516e-06,2.612282e-06,2.600199e-06,2.588267e-06,2.576487e-06,2.564860e-06,2.553384e-06
0.000000e+00,1.253736e-11,2.963111e-11,1.054877e-10,2.442673e-10,3.589876e-10,8.273422e-10,8.527451e-10,1.672127e-09,1.972770e-09,2.914142e-09,3.907451e-09,4.687948e-09,6.879009e-09,7.096861e-09,1.019541e-08,1.104068e-08,1.396221e-08,1.633849e-08,1.832874e-08,2.260872e-08,2.322144e-08,2.857758e-08,2.969961e-08,3.434374e-08,3.748792e-08,4.047113e-08,4.586243e-08,4.691209e-08,5.361862e-08,5.471307e-08,6.054208e-08,6.392803e-08,6.763362e-08,7.339547e-08,7.484509e-08,8.212988e-08,8.300685e-08,8.944383e-08,9.266051e-08,9.674593e-08,1.022645e-07,1.039988e-07,1.111692e-07,1.117383e-07,1.182277e-07,1.210140e-07,1.251491e-07,1.300357e-07,1.319124e-07,1.385001e-07,1.387597e-07,1.448980e-07,1.471527e-07,1.510954e-07,1.551908e-07,1.570842e-07,1.628586e-07,1.684152e-07,1.701470e-07,1.737524e-07,1.770529e-07,1.788700e-07,1.835773e-07,1.837691e-07,1.884522e-07,1.897251e-07,1.929223e-07,1.955037e-07,1.971833e-07,2.009225e-07,2.012396e-07,2.050962e-07,2.059926e-07,2.087582e-07,2.107261e-07,2.122312e-07,2.151356e-07,2.155208e-07,2.186327e-07,2.192343e-07,2.215729e-07,2.230358e-07,2.243470e-07,2.265533e-07,2.269610e-07,2.294205e-07,2.298001e-07,2.317314e-07,2.327894e-07,2.338992e-07,2.355340e-07,2.359293e-07,2.378273e-07,2.380464e-07,2.395983e-07,2.403386e-07,2.412474e-07,2.424223e-07,2.427797e-07,2.442000e-07,2.443089e-07,2.455130e-07,2.460092e-07,2.467233e-07,2.475335e-07,2.478352e-07,2.488530e-07,2.488919e-07,2.497810e-07,2.500938e-07,2.506229e-07,2.511484e-07,2.513828e-07,2.520644e-07,2.526711e-07,2.528501e-07,2.532066e-07,2.535134e-07,2.536741e-07,2.540618e-07,2.540767e-07,2.544178e-07,2.545026e-07,2.547001e-07,2.548425e-07,2.549265e-07,2.550880e-07,2.550999e-07,2.552229e-07,2.552452e-07,2.552979e-07,2.553200e-07,2.553275e-07,2.553178e-07,2.553140e-07,2.552596e-07,2.552441e-07,2.551666e-07,2.551036e-07,2.550369e-07,2.549012e-07,2.548726e-07,2.546756e-07,2.546412e-07,2.544477e-07,2.543279e-07,2.541907e-07,2.539652e-07,2.539062e-07,2.535959e-07,2.535570e-07,2.532613e-07,2.531067e-07,2.529039e-07,2.526178e-07,2.525250e-07,2.521261e-07,2.520934e-07,2.517085e-07,2.515365e-07,2.512733e-07,2.509498e-07,2.508218e-07,2.503551e-07,2.503362e-07,2.498743e-07,2.496980e-07,2.493804e-07,2.490376e-07,2.488744e-07,2.483572e-07,2.476590e-07,2.469448e-07,2.462165e-07,2.454759e-07,2.447246e-07,2.439641e-07,2.431957e-07,2.424209e-07,2.416409e-07,2.408569e-07,2.400699e-07,2.392810e-07,2.384912e-07,2.377012e-07,2.369120e-07,2.361243e-07,2.353388e-07,2.345561e-07,2.337770e-07,2.330019e-07,2.322314e-07,2.314659e-07,2.307059e-07,2.299519e-07
0.000000e+00,1.775013e-10,5.875994e-10,3.019279e-09,8.320407e-09,1.306273e-08,3.401111e-08,3.519646e-08,7.517746e-08,9.052587e-08,1.403866e-07,1.954495e-07,2.401817e-07,3.712731e-07,3.846802e-07,5.806926e-07,6.354793e-07,8.273560e-07,9.849602e-07,1.117246e-06,1.400971e-06,1.441417e-06,1.792461e-06,1.865383e-06,2.164864e-06,2.365524e-06,2.554421e-06,2.892372e-06,2.957687e-06,3.371635e-06,3.438670e-06,3.793483e-06,3.998005e-06,4.220627e-06,4.564513e-06,4.650632e-06,5.081229e-06,5.132840e-06,5.510351e-06,5.698211e-06,5.936137e-06,6.256483e-06,6.356943e-06,6.771344e-06,6.804181e-06,7.178133e-06,7.338487e-06,7.576307e-06,7.857180e-06,7.965027e-06,8.343627e-06,8.358553e-06,8.711600e-06,8.841392e-06,9.068568e-06,9.304883e-06,9.414270e-06,9.748539e-06,1.007129e-05,1.017214e-05,1.038252e-05,1.057568e-05,1.068227e-05,1.095930e-05,1.097062e-05,1.124771e-05,1.132330e-05,1.151371e-05,1.166806e-05,1.176880e-05,1.199402e-05,1.201318e-05,1.224709e-05,1.230169e-05,1.247075e-05,1.259162e-05,1.268442e-05,1.286437e-05,1.288833e-05,1.308276e-05,1.312053e-05,1.326794e-05,1.336068e-05,1.344415e-05,1.358542e-05,1.361164e-05,1.377067e-05,1.379535e-05,1.392149e-05,1.399104e-05,1.406436e-05,1.417309e-05,1.419952e-05,1.432722e-05,1.434206e-05,1.444771e-05,1.449850e-05,1.456122e-05,1.464296e-05,1.466798e-05,1.476822e-05,1.477596e-05,1.486216e-05,1.489803e-05,1.495003e-05,1.500966e-05,1.503204e-05,1.510839e-05,1.511133e-05,1.517929e-05,1.520351e-05,1.524493e-05,1.528666e-05,1.530551e-05,1.536122e-05,1.541223e-05,1.542760e-05,1.545873e-05,1.548620e-05,1.550089e-05,1.553743e-05,1.553887e-05,1.557285e-05,1.558166e-05,1.560296e-05,1.561925e-05,1.562938e-05,1.565054e-05,1.565224e-05,1.567170e-05,1.567587e-05,1.568788e-05,1.569557e-05,1.570093e-05,1.570993e-05,1.571098e-05,1.571816e-05,1.571926e-05,1.572258e-05,1.572383e-05,1.572436e-05,1.572391e-05,1.572363e-05,1.572048e-05,1.571976e-05,1.571504e-05,1.571164e-05,1.570740e-05,1.569977e-05,1.569766e-05,1.568592e-05,1.568438e-05,1.567227e-05,1.566569e-05,1.565681e-05,1.564390e-05,1.563962e-05,1.562078e-05,1.561921e-05,1.560039e-05,1.559181e-05,1.557850e-05,1.556187e-05,1.555521e-05,1.553059e-05,1.552957e-05,1.550469e-05,1.549508e-05,1.547760e-05,1.545853e-05,1.544938e-05,1.542009e-05,1.537989e-05,1.533807e-05,1.529475e-05,1.525005e-05,1.520409e-05,1.515698e-05,1.510882e-05,1.505971e-05,1.500974e-05,1.495901e-05,1.490758e-05,1.485556e-05,1.480300e-05,1.474998e-05,1.469657e-05,1.464283e-05,1.458883e-05,1.453461e-05,1.448023e-05,1.442575e-05,1.437120e-05,1.431664e-05,1.426211e-05,1.420764e-05
0.000000e+00,2.229021e-11,5.187046e-11,1.806817e-10,4.118395e-10,6.003009e-10,1.353784e-09,1.394067e-09,2.668901e-09,3.126563e-09,4.531954e-09,5.978326e-09,7.094665e-09,1.016674e-08,1.046896e-08,1.474570e-08,1.591160e-08,1.995602e-08,2.326586e-08,2.605017e-08,3.206120e-08,3.292313e-08,4.045740e-08,4.203392e-08,4.854587e-08,5.293946e-08,5.709521e-08,6.457152e-08,6.602188e-08,7.524786e-08,7.674673e-08,8.469780e-08,8.929161e-08,9.429791e-08,1.020374e-07,1.039758e-07,1.136611e-07,1.148205e-07,1.232862e-07,1.274856e-07,1.327876e-07,1.398898e-07,1.421069e-07,1.511908e-07,1.519059e-07,1.599927e-07,1.634253e-07,1.684727e-07,1.743601e-07,1.765977e-07,1.843409e-07,1.846424e-07,1.916822e-07,1.942239e-07,1.986078e-07,2.030751e-07,2.051091e-07,2.111827e-07,2.168296e-07,2.185473e-07,2.220549e-07,2.251813e-07,2.268665e-07,2.311066e-07,2.312754e-07,2.352945e-07,2.363520e-07,2.389385e-07,2.409514e-07,2.422233e-07,2.449424e-07,2.451656e-07,2.477829e-07,2.483646e-07,2.500926e-07,2.512583e-07,2.521125e-07,2.536641e-07,2.538600e-07,2.553522e-07,2.556215e-07,2.566057e-07,2.571685e-07,2.576365e-07,2.583415e-07,2.584600e-07,2.590910e-07,2.591750e-07,2.595435e-07,2.597013e-07,2.598309e-07,2.599504e-07,2.599657e-07,2.599599e-07,2.599503e-07,2.598246e-07,2.597267e-07,2.595702e-07,2.593034e-07,2.592067e-07,2.587432e-07,2.587020e-07,2.581882e-07,2.579424e-07,2.575498e-07,2.570426e-07,2.568353e-07,2.560517e-07,2.560190e-07,2.552054e-07,2.548866e-07,2.543024e-07,2.536589e-07,2.533483e-07,2.523481e-07,2.513066e-07,2.509654e-07,2.502283e-07,2.495207e-07,2.491172e-07,2.480231e-07,2.479770e-07,2.468113e-07,2.464808e-07,2.456234e-07,2.449011e-07,2.444161e-07,2.432907e-07,2.431922e-07,2.419543e-07,2.416554e-07,2.407047e-07,2.400007e-07,2.394457e-07,2.383314e-07,2.381791e-07,2.369068e-07,2.366518e-07,2.356305e-07,2.349658e-07,2.343518e-07,2.332769e-07,2.330721e-07,2.317927e-07,2.315881e-07,2.305149e-07,2.299024e-07,2.292396e-07,2.282221e-07,2.279681e-07,2.267011e-07,2.265495e-07,2.254396e-07,2.248865e-07,2.241843e-07,2.232349e-07,2.229360e-07,2.216952e-07,2.215963e-07,2.204627e-07,2.199720e-07,2.192388e-07,2.183633e-07,2.180241e-07,2.168191e-07,2.167711e-07,2.156241e-07,2.151964e-07,2.144395e-07,2.136401e-07,2.132656e-07,2.121027e-07,2.105848e-07,2.090870e-07,2.076097e-07,2.061532e-07,2.047178e-07,2.033036e-07,2.019109e-07,2.005397e-07,1.991901e-07,1.978622e-07,1.965558e-07,1.952710e-07,1.940077e-07,1.927657e-07,1.915450e-07,1.903453e-07,1.891665e-07,1.880085e-07,1.868709e-07,1.857537e-07,1.846565e-07,1.835792e-07,1.825214e-07,1.814830e-07
0.000000e+00,1.222515e-11,2.803506e-11,9.666147e-11,2.206456e-10,3.227417e-10,7.398192e-10,7.625012e-10,1.498953e-09,1.771612e-09,2.633309e-09,3.553751e-09,4.283303e-09,6.349841e-09,6.556175e-09,9.492042e-09,1.029064e-08,1.303421e-08,1.524218e-08,1.707342e-08,2.095477e-08,2.150419e-08,2.624378e-08,2.722290e-08,3.122856e-08,3.390004e-08,3.640676e-08,4.087290e-08,4.173342e-08,4.716781e-08,4.804475e-08,5.267228e-08,5.532900e-08,5.821208e-08,6.264786e-08,6.375538e-08,6.927348e-08,6.993271e-08,7.474090e-08,7.712469e-08,8.013547e-08,8.417482e-08,8.543820e-08,9.063317e-08,9.104370e-08,9.570732e-08,9.770072e-08,1.006502e-07,1.041230e-07,1.054535e-07,1.101112e-07,1.102944e-07,1.146189e-07,1.162043e-07,1.189737e-07,1.218467e-07,1.231739e-07,1.272191e-07,1.311096e-07,1.323220e-07,1.348464e-07,1.371581e-07,1.384313e-07,1.417319e-07,1.418664e-07,1.451544e-07,1.460490e-07,1.482980e-07,1.501162e-07,1.513005e-07,1.539409e-07,1.541650e-07,1.568951e-07,1.575308e-07,1.594944e-07,1.608941e-07,1.619663e-07,1.640392e-07,1.643146e-07,1.665430e-07,1.669745e-07,1.686550e-07,1.697085e-07,1.706543e-07,1.722493e-07,1.725446e-07,1.743293e-07,1.746053e-07,1.760121e-07,1.767846e-07,1.775964e-07,1.787951e-07,1.790855e-07,1.804829e-07,1.806446e-07,1.817919e-07,1.823406e-07,1.830155e-07,1.838904e-07,1.841570e-07,1.852194e-07,1.853011e-07,1.862057e-07,1.865795e-07,1.871188e-07,1.877324e-07,1.879615e-07,1.887365e-07,1.887661e-07,1.894466e-07,1.896868e-07,1.900943e-07,1.905004e-07,1.906822e-07,1.912126e-07,1.916881e-07,1.918289e-07,1.921107e-07,1.923546e-07,1.924829e-07,1.927946e-07,1.928067e-07,1.930842e-07,1.931539e-07,1.933175e-07,1.934370e-07,1.935084e-07,1.936484e-07,1.936590e-07,1.937709e-07,1.937922e-07,1.938460e-07,1.938726e-07,1.938860e-07,1.938934e-07,1.938925e-07,1.938670e-07,1.938582e-07,1.938112e-07,1.937707e-07,1.937265e-07,1.936340e-07,1.936143e-07,1.934759e-07,1.934515e-07,1.933128e-07,1.932261e-07,1.931261e-07,1.929607e-07,1.929172e-07,1.926871e-07,1.926581e-07,1.924370e-07,1.923209e-07,1.921680e-07,1.919516e-07,1.918812e-07,1.915776e-07,1.915526e-07,1.912581e-07,1.911260e-07,1.909236e-07,1.906740e-07,1.905751e-07,1.902134e-07,1.901987e-07,1.898394e-07,1.897019e-07,1.894539e-07,1.891855e-07,1.890575e-07,1.886511e-07,1.881004e-07,1.875349e-07,1.869561e-07,1.863654e-07,1.857640e-07,1.851532e-07,1.845342e-07,1.839080e-07,1.832756e-07,1.826380e-07,1.819962e-07,1.813510e-07,1.807032e-07,1.800535e-07,1.794027e-07,1.787514e-07,1.781003e-07,1.774499e-07,1.768007e-07,1.761534e-07,1.755083e-07,1.748659e-07,1.742266e-07,1.735909e-07
0.000000e+00,3.109896e-11,1.206814e-10,7.601674e-10,2.315983e-09,3.765834e-09,1.030562e-08,1.067617e-08,2.299241e-08,2.760417e-08,4.213254e-08,5.746309e-08,6.946474e-08,1.029775e-07,1.063039e-07,1.538566e-07,1.669796e-07,2.131053e-07,2.516324e-07,2.846298e-07,3.577109e-07,3.683877e-07,4.635253e-07,4.837823e-07,5.683457e-07,6.259226e-07,6.805290e-07,7.785944e-07,7.975389e-07,9.170107e-07,9.362161e-07,1.036963e-06,1.094237e-06,1.155836e-06,1.249348e-06,1.272441e-06,1.385885e-06,1.399253e-06,1.495506e-06,1.542398e-06,1.600821e-06,1.677767e-06,1.701491e-06,1.797294e-06,1.804743e-06,1.888103e-06,1.923016e-06,1.973872e-06,2.032511e-06,2.054616e-06,2.130404e-06,2.133334e-06,2.201342e-06,2.225718e-06,2.267568e-06,2.309993e-06,2.329244e-06,2.386547e-06,2.439662e-06,2.455806e-06,2.488784e-06,2.518216e-06,2.534107e-06,2.574225e-06,2.575827e-06,2.614134e-06,2.624274e-06,2.649215e-06,2.668792e-06,2.681253e-06,2.708190e-06,2.710422e-06,2.736890e-06,2.742859e-06,2.760818e-06,2.773166e-06,2.782360e-06,2.799458e-06,2.801660e-06,2.818858e-06,2.822057e-06,2.834084e-06,2.841264e-06,2.847463e-06,2.857358e-06,2.859110e-06,2.869138e-06,2.870599e-06,2.877649e-06,2.881225e-06,2.884742e-06,2.889457e-06,2.890509e-06,2.895037e-06,2.895501e-06,2.898408e-06,2.899545e-06,2.900699e-06,2.901762e-06,2.901981e-06,2.902323e-06,2.902312e-06,2.901788e-06,2.901343e-06,2.900437e-06,2.898990e-06,2.898325e-06,2.895506e-06,2.895379e-06,2.892029e-06,2.890625e-06,2.887940e-06,2.884834e-06,2.883285e-06,2.878103e-06,2.872433e-06,2.870522e-06,2.866312e-06,2.862174e-06,2.859774e-06,2.853135e-06,2.852851e-06,2.845573e-06,2.843475e-06,2.837967e-06,2.833258e-06,2.830062e-06,2.822545e-06,2.821881e-06,2.813447e-06,2.811388e-06,2.804784e-06,2.799840e-06,2.795911e-06,2.787945e-06,2.786848e-06,2.777613e-06,2.775747e-06,2.768223e-06,2.763285e-06,2.758695e-06,2.750594e-06,2.749042e-06,2.739280e-06,2.737709e-06,2.729422e-06,2.724659e-06,2.719479e-06,2.711473e-06,2.709464e-06,2.699388e-06,2.698175e-06,2.689261e-06,2.684791e-06,2.679092e-06,2.671342e-06,2.668891e-06,2.658666e-06,2.657847e-06,2.648425e-06,2.644325e-06,2.638175e-06,2.630794e-06,2.627923e-06,2.617677e-06,2.617267e-06,2.607442e-06,2.603761e-06,2.597223e-06,2.590286e-06,2.587026e-06,2.576857e-06,2.563482e-06,2.550172e-06,2.536937e-06,2.523783e-06,2.510720e-06,2.497752e-06,2.484888e-06,2.472131e-06,2.459488e-06,2.446962e-06,2.434558e-06,2.422278e-06,2.410127e-06,2.398107e-06,2.386220e-06,2.374469e-06,2.362854e-06,2.351379e-06,2.340043e-06,2.328849e-06,2.317796e-06,2.306885e-06,2.296118e-06,2.285493e-06
0.000000e+00,4.647280e-11,1.370343e-10,6.139249e-10,1.574814e-09,2.399552e-09,5.856901e-09,6.046145e-09,1.215738e-08,1.439050e-08,2.132339e-08,2.853740e-08,3.414235e-08,4.968929e-08,5.122755e-08,7.317683e-08,7.922631e-08,1.004666e-07,1.181630e-07,1.332678e-07,1.664911e-07,1.713155e-07,2.139947e-07,2.230212e-07,2.605671e-07,2.860879e-07,3.103338e-07,3.541558e-07,3.626821e-07,4.170720e-07,4.259306e-07,4.730133e-07,5.002805e-07,5.300474e-07,5.761691e-07,5.877402e-07,6.456789e-07,6.526293e-07,7.034746e-07,7.287650e-07,7.607650e-07,8.037628e-07,8.172189e-07,8.725383e-07,8.769068e-07,9.264617e-07,9.475885e-07,9.787641e-07,1.015311e-06,1.029258e-06,1.077792e-06,1.079691e-06,1.124248e-06,1.140446e-06,1.168540e-06,1.197393e-06,1.210613e-06,1.250434e-06,1.287995e-06,1.299539e-06,1.323309e-06,1.344743e-06,1.356404e-06,1.386125e-06,1.387321e-06,1.416114e-06,1.423804e-06,1.442846e-06,1.457924e-06,1.467586e-06,1.488651e-06,1.490408e-06,1.511392e-06,1.516163e-06,1.530617e-06,1.540646e-06,1.548166e-06,1.562287e-06,1.564120e-06,1.578560e-06,1.581273e-06,1.591566e-06,1.597789e-06,1.603218e-06,1.612014e-06,1.613591e-06,1.622759e-06,1.624118e-06,1.630793e-06,1.634267e-06,1.637762e-06,1.642615e-06,1.643732e-06,1.648765e-06,1.649309e-06,1.652922e-06,1.654488e-06,1.656259e-06,1.658280e-06,1.658830e-06,1.660688e-06,1.660807e-06,1.661881e-06,1.662182e-06,1.662454e-06,1.662508e-06,1.662452e-06,1.661915e-06,1.661883e-06,1.660883e-06,1.660397e-06,1.659392e-06,1.658133e-06,1.657476e-06,1.655168e-06,1.652499e-06,1.651574e-06,1.649498e-06,1.647414e-06,1.646190e-06,1.642751e-06,1.642602e-06,1.638758e-06,1.637638e-06,1.634679e-06,1.632128e-06,1.630387e-06,1.626267e-06,1.625901e-06,1.621241e-06,1.620098e-06,1.616422e-06,1.613661e-06,1.611462e-06,1.606991e-06,1.606375e-06,1.601175e-06,1.600123e-06,1.595876e-06,1.593086e-06,1.590491e-06,1.585908e-06,1.585030e-06,1.579504e-06,1.578615e-06,1.573924e-06,1.571229e-06,1.568299e-06,1.563773e-06,1.562638e-06,1.556948e-06,1.556264e-06,1.551238e-06,1.548721e-06,1.545514e-06,1.541159e-06,1.539784e-06,1.534052e-06,1.533594e-06,1.528325e-06,1.526037e-06,1.522608e-06,1.518501e-06,1.516906e-06,1.511224e-06,1.510997e-06,1.505565e-06,1.503534e-06,1.499933e-06,1.496121e-06,1.494333e-06,1.488766e-06,1.481475e-06,1.474255e-06,1.467112e-06,1.460049e-06,1.453072e-06,1.446184e-06,1.439389e-06,1.432689e-06,1.426086e-06,1.419583e-06,1.413180e-06,1.406881e-06,1.400685e-06,1.394593e-06,1.388607e-06,1.382725e-06,1.376949e-06,1.371278e-06,1.365712e-06,1.360250e-06,1.354893e-06,1.349639e-06,1.344488e-06,1.339439e-06
0.000000e+00,4.774780e-11,1.154968e-10,4.190306e-10,9.747542e-10,1.433268e-09,3.300197e-09,3.401350e-09,6.666046e-09,7.866431e-09,1.163766e-08,1.563727e-08,1.879169e-08,2.767152e-08,2.855431e-08,4.104670e-08,4.442216e-08,5.593876e-08,6.511174e-08,7.265226e-08,8.842986e-08,9.064091e-08,1.094904e-07,1.133356e-07,1.288988e-07,1.391333e-07,1.486345e-07,1.653246e-07,1.685060e-07,1.883451e-07,1.915060e-07,2.079993e-07,2.173263e-07,2.273297e-07,2.424765e-07,2.462115e-07,2.645353e-07,2.666921e-07,2.822085e-07,2.897584e-07,2.991554e-07,3.115127e-07,3.153176e-07,3.306543e-07,3.318447e-07,3.451404e-07,3.506937e-07,3.587646e-07,3.680405e-07,3.715280e-07,3.834421e-07,3.839012e-07,3.945275e-07,3.983207e-07,4.048118e-07,4.113622e-07,4.143245e-07,4.231012e-07,4.311789e-07,4.336226e-07,4.385968e-07,4.430162e-07,4.453943e-07,4.513724e-07,4.516103e-07,4.572830e-07,4.587790e-07,4.624492e-07,4.653206e-07,4.671443e-07,4.710768e-07,4.714021e-07,4.752542e-07,4.761218e-07,4.787307e-07,4.805239e-07,4.818595e-07,4.843459e-07,4.846666e-07,4.871765e-07,4.876448e-07,4.894116e-07,4.904722e-07,4.913927e-07,4.928747e-07,4.931391e-07,4.946686e-07,4.948943e-07,4.959975e-07,4.965686e-07,4.971410e-07,4.979316e-07,4.981129e-07,4.989262e-07,4.990137e-07,4.995925e-07,4.998420e-07,5.001229e-07,5.004412e-07,5.005272e-07,5.008148e-07,5.008330e-07,5.009940e-07,5.010372e-07,5.010729e-07,5.010716e-07,5.010586e-07,5.009579e-07,5.009521e-07,5.007769e-07,5.006932e-07,5.005214e-07,5.003078e-07,5.001967e-07,4.998078e-07,4.993592e-07,4.992037e-07,4.988552e-07,4.985053e-07,4.982997e-07,4.977214e-07,4.976964e-07,4.970488e-07,4.968600e-07,4.963601e-07,4.959283e-07,4.956331e-07,4.949331e-07,4.948709e-07,4.940758e-07,4.938804e-07,4.932505e-07,4.927759e-07,4.923971e-07,4.916247e-07,4.915179e-07,4.906148e-07,4.904315e-07,4.896897e-07,4.892006e-07,4.887445e-07,4.879361e-07,4.877807e-07,4.868001e-07,4.866417e-07,4.858039e-07,4.853207e-07,4.847937e-07,4.839763e-07,4.837707e-07,4.827362e-07,4.826114e-07,4.816914e-07,4.812286e-07,4.806373e-07,4.798306e-07,4.795750e-07,4.785055e-07,4.784196e-07,4.774296e-07,4.769978e-07,4.763484e-07,4.755671e-07,4.752626e-07,4.741730e-07,4.741294e-07,4.730804e-07,4.726864e-07,4.719853e-07,4.712397e-07,4.708886e-07,4.697909e-07,4.683412e-07,4.668920e-07,4.654444e-07,4.639996e-07,4.625585e-07,4.611222e-07,4.596915e-07,4.582672e-07,4.568500e-07,4.554408e-07,4.540401e-07,4.526485e-07,4.512666e-07,4.498949e-07,4.485338e-07,4.471838e-07,4.458452e-07,4.445185e-07,4.432039e-07,4.419018e-07,4.406123e-07,4.393358e-07,4.380725e-07,4.368225e-07
0.000000e+00,1.485729e-12,1.005247e-11,1.724061e-10,1.131283e-09,2.673654e-09,1.703229e-08,1.820452e-08,7.901749e-08,1.127380e-07,2.581758e-07,4.764387e-07,6.938786e-07,1.518149e-06,1.617439e-06,3.383392e-06,3.985366e-06,6.499557e-06,9.082670e-06,1.165345e-05,1.857260e-05,1.973031e-05,3.181862e-05,3.482737e-05,4.920180e-05,6.081113e-05,7.333671e-05,9.999387e-05,1.058218e-04,1.483572e-04,1.562125e-04,2.027007e-04,2.335002e-04,2.706215e-04,3.359012e-04,3.538534e-04,4.540507e-04,4.672888e-04,5.727471e-04,6.311951e-04,7.113187e-04,8.306637e-04,8.709525e-04,1.052621e-03,1.068130e-03,1.257063e-03,1.345335e-03,1.484770e-03,1.663268e-03,1.735978e-03,2.010670e-03,2.022143e-03,2.308575e-03,2.421413e-03,2.629184e-03,2.859798e-03,2.971757e-03,3.335346e-03,3.718811e-03,3.845508e-03,4.120844e-03,4.387226e-03,4.539996e-03,4.957029e-03,4.974695e-03,5.423276e-03,5.551132e-03,5.884006e-03,6.165535e-03,6.355102e-03,6.796116e-03,6.834761e-03,7.321176e-03,7.438721e-03,7.812556e-03,8.089242e-03,8.307147e-03,8.743685e-03,8.803241e-03,9.299195e-03,9.398229e-03,9.793440e-03,1.004928e-02,1.028449e-02,1.069348e-02,1.077095e-02,1.125153e-02,1.132780e-02,1.172502e-02,1.194946e-02,1.219034e-02,1.255604e-02,1.264649e-02,1.309258e-02,1.314540e-02,1.352784e-02,1.371573e-02,1.395157e-02,1.426553e-02,1.436319e-02,1.476221e-02,1.479357e-02,1.514821e-02,1.529890e-02,1.552089e-02,1.578082e-02,1.587999e-02,1.622535e-02,1.623887e-02,1.655686e-02,1.667281e-02,1.687450e-02,1.708257e-02,1.717828e-02,1.746827e-02,1.774460e-02,1.783017e-02,1.800744e-02,1.816867e-02,1.825698e-02,1.848425e-02,1.849346e-02,1.871715e-02,1.877753e-02,1.892833e-02,1.904916e-02,1.912732e-02,1.929989e-02,1.931443e-02,1.949002e-02,1.953049e-02,1.965444e-02,1.974177e-02,1.980805e-02,1.993458e-02,1.995122e-02,2.008432e-02,2.010976e-02,2.020771e-02,2.026817e-02,2.032178e-02,2.041067e-02,2.042690e-02,2.052342e-02,2.053810e-02,2.061173e-02,2.065129e-02,2.069216e-02,2.075107e-02,2.076507e-02,2.083081e-02,2.083824e-02,2.088971e-02,2.091355e-02,2.094210e-02,2.097776e-02,2.098830e-02,2.102860e-02,2.103158e-02,2.106331e-02,2.107570e-02,2.109273e-02,2.111078e-02,2.111711e-02,2.113675e-02,2.113744e-02,2.115188e-02,2.115628e-02,2.116276e-02,2.116786e-02,2.116964e-02,2.117273e-02,2.117138e-02,2.116430e-02,2.115194e-02,2.113472e-02,2.111304e-02,2.108727e-02,2.105776e-02,2.102485e-02,2.098884e-02,2.095001e-02,2.090863e-02,2.086496e-02,2.081922e-02,2.077163e-02,2.072239e-02,2.067170e-02,2.061972e-02,2.056662e-02,2.051254e-02,2.045763e-02,2.040202e-02,2.034582e-02,2.028914e-02,2.023209e-02
0.000000e+00,1.804748e-13,1.227414e-12,2.128419e-11,1.411427e-10,3.355958e-10,2.173711e-09,2.324966e-09,1.027845e-08,1.474345e-08,3.424738e-08,6.399017e-08,9.399681e-08,2.099430e-07,2.240887e-07,4.801146e-07,5.689147e-07,9.459362e-07,1.341404e-06,1.741365e-06,2.842091e-06,3.029122e-06,5.019615e-06,5.524032e-06,7.972427e-06,9.988242e-06,1.219417e-05,1.697471e-05,1.803299e-05,2.587055e-05,2.733689e-05,3.611223e-05,4.200480e-05,4.917633e-05,6.194236e-05,6.548308e-05,8.544383e-05,8.810356e-05,1.094509e-04,1.213910e-04,1.378687e-04,1.626194e-04,1.710251e-04,2.092056e-04,2.124845e-04,2.526473e-04,2.715404e-04,3.015354e-04,3.401825e-04,3.560001e-04,4.161156e-04,4.186382e-04,4.818997e-04,5.069641e-04,5.533150e-04,6.050495e-04,6.302703e-04,7.126237e-04,8.001856e-04,8.292685e-04,8.927228e-04,9.544333e-04,9.899628e-04,1.087453e-03,1.091598e-03,1.197292e-03,1.227565e-03,1.306683e-03,1.373933e-03,1.419387e-03,1.525662e-03,1.535009e-03,1.653140e-03,1.681818e-03,1.773364e-03,1.841449e-03,1.895267e-03,2.003599e-03,2.018432e-03,2.142449e-03,2.167320e-03,2.266918e-03,2.331691e-03,2.391448e-03,2.495825e-03,2.515663e-03,2.639200e-03,2.658880e-03,2.761717e-03,2.820067e-03,2.882890e-03,2.978655e-03,3.002414e-03,3.120005e-03,3.133974e-03,3.235403e-03,3.285421e-03,3.348367e-03,3.432458e-03,3.458680e-03,3.566146e-03,3.574615e-03,3.670591e-03,3.711488e-03,3.771862e-03,3.842737e-03,3.869828e-03,3.964375e-03,3.968084e-03,4.055412e-03,4.087310e-03,4.142863e-03,4.200252e-03,4.226672e-03,4.306799e-03,4.383218e-03,4.406887e-03,4.455920e-03,4.500499e-03,4.524907e-03,4.587655e-03,4.590196e-03,4.651814e-03,4.668414e-03,4.709799e-03,4.742865e-03,4.764197e-03,4.811126e-03,4.815067e-03,4.862470e-03,4.873339e-03,4.906478e-03,4.929668e-03,4.947168e-03,4.980295e-03,4.984622e-03,5.018925e-03,5.025415e-03,5.050168e-03,5.065236e-03,5.078445e-03,5.099975e-03,5.103851e-03,5.126485e-03,5.129855e-03,5.146445e-03,5.155105e-03,5.163831e-03,5.175955e-03,5.178745e-03,5.191287e-03,5.192637e-03,5.201557e-03,5.205382e-03,5.209655e-03,5.214418e-03,5.215680e-03,5.219729e-03,5.219970e-03,5.221898e-03,5.222260e-03,5.222281e-03,5.221504e-03,5.220972e-03,5.218059e-03,5.217911e-03,5.213632e-03,5.211684e-03,5.207777e-03,5.203021e-03,5.200576e-03,5.192111e-03,5.179134e-03,5.164264e-03,5.147668e-03,5.129503e-03,5.109919e-03,5.089058e-03,5.067054e-03,5.044033e-03,5.020116e-03,4.995413e-03,4.970030e-03,4.944065e-03,4.917608e-03,4.890745e-03,4.863557e-03,4.836115e-03,4.808488e-03,4.780740e-03,4.752928e-03,4.725106e-03,4.697322e-03,4.669621e-03,4.642044e-03,4.614628e-03
0.000000e+00,1.536066e-10,4.447067e-10,1.945166e-09,4.919189e-09,7.450224e-09,1.798145e-08,1.855625e-08,3.711617e-08,4.391296e-08,6.510609e-08,8.732528e-08,1.047050e-07,1.533652e-07,1.582091e-07,2.276372e-07,2.468094e-07,3.139096e-07,3.692595e-07,4.159064e-07,5.160987e-07,5.303469e-07,6.529045e-07,6.780201e-07,7.795435e-07,8.459324e-07,9.071362e-07,1.013396e-06,1.033449e-06,1.156909e-06,1.176318e-06,1.276394e-06,1.332084e-06,1.391082e-06,1.478967e-06,1.500369e-06,1.603818e-06,1.615824e-06,1.701129e-06,1.741950e-06,1.792119e-06,1.856995e-06,1.876713e-06,1.954920e-06,1.960903e-06,2.026827e-06,2.053858e-06,2.092588e-06,2.136241e-06,2.152403e-06,2.206508e-06,2.208557e-06,2.255174e-06,2.271417e-06,2.298689e-06,2.325488e-06,2.337350e-06,2.371463e-06,2.401332e-06,2.410042e-06,2.427253e-06,2.441907e-06,2.449519e-06,2.467713e-06,2.468408e-06,2.484183e-06,2.488077e-06,2.497098e-06,2.503572e-06,2.507388e-06,2.514728e-06,2.515275e-06,2.520966e-06,2.522027e-06,2.524653e-06,2.525910e-06,2.526515e-06,2.526774e-06,2.526715e-06,2.525408e-06,2.524978e-06,2.522732e-06,2.520844e-06,2.518818e-06,2.514660e-06,2.513784e-06,2.507739e-06,2.506685e-06,2.500784e-06,2.497149e-06,2.493010e-06,2.486258e-06,2.484501e-06,2.475336e-06,2.474195e-06,2.465584e-06,2.461124e-06,2.455310e-06,2.447189e-06,2.444573e-06,2.433428e-06,2.432521e-06,2.421925e-06,2.417234e-06,2.410109e-06,2.401430e-06,2.398021e-06,2.385699e-06,2.385202e-06,2.373179e-06,2.368629e-06,2.360492e-06,2.351785e-06,2.347667e-06,2.334732e-06,2.321709e-06,2.317527e-06,2.308622e-06,2.300221e-06,2.295490e-06,2.282860e-06,2.282333e-06,2.269167e-06,2.265481e-06,2.256007e-06,2.248121e-06,2.242868e-06,2.230810e-06,2.229763e-06,2.216702e-06,2.213576e-06,2.203697e-06,2.196443e-06,2.190758e-06,2.179432e-06,2.177892e-06,2.165109e-06,2.162563e-06,2.152414e-06,2.145850e-06,2.139815e-06,2.129310e-06,2.127317e-06,2.114926e-06,2.112953e-06,2.102645e-06,2.096791e-06,2.090480e-06,2.080833e-06,2.078433e-06,2.066508e-06,2.065086e-06,2.054709e-06,2.049557e-06,2.043036e-06,2.034252e-06,2.031493e-06,2.020082e-06,2.019175e-06,2.008803e-06,2.004329e-06,1.997659e-06,1.989718e-06,1.986649e-06,1.975776e-06,1.975344e-06,1.965039e-06,1.961207e-06,1.954439e-06,1.947310e-06,1.943977e-06,1.933652e-06,1.920232e-06,1.907052e-06,1.894109e-06,1.881403e-06,1.868932e-06,1.856693e-06,1.844687e-06,1.832909e-06,1.821357e-06,1.810030e-06,1.798924e-06,1.788036e-06,1.777364e-06,1.766904e-06,1.756654e-06,1.746611e-06,1.736770e-06,1.727129e-06,1.717685e-06,1.708434e-06,1.699373e-06,1.690499e-06,1.681808e-06,1.673297e-06
0.000000e+00,1.337717e-11,3.188320e-11,1.142271e-10,2.643904e-10,3.878116e-10,8.848228e-10,9.114728e-10,1.755373e-09,2.057872e-09,2.983163e-09,3.928313e-09,4.652447e-09,6.622554e-09,6.814784e-09,9.514488e-09,1.024641e-08,1.278505e-08,1.487294e-08,1.664297e-08,2.052029e-08,2.108321e-08,2.608157e-08,2.714518e-08,3.160210e-08,3.466538e-08,3.760289e-08,4.298145e-08,4.403837e-08,5.085996e-08,5.198385e-08,5.801630e-08,6.155458e-08,6.545383e-08,7.156945e-08,7.311766e-08,8.095254e-08,8.190161e-08,8.890396e-08,9.242582e-08,9.691917e-08,1.030225e-07,1.049481e-07,1.129440e-07,1.135810e-07,1.208643e-07,1.240024e-07,1.286704e-07,1.342010e-07,1.363286e-07,1.438096e-07,1.441048e-07,1.510886e-07,1.536556e-07,1.581453e-07,1.628082e-07,1.649632e-07,1.715297e-07,1.778357e-07,1.797975e-07,1.838751e-07,1.875986e-07,1.896443e-07,1.949278e-07,1.951425e-07,2.003705e-07,2.017862e-07,2.053310e-07,2.081806e-07,2.100281e-07,2.141215e-07,2.144673e-07,2.186546e-07,2.196228e-07,2.225971e-07,2.247008e-07,2.263024e-07,2.293732e-07,2.297785e-07,2.330336e-07,2.336589e-07,2.360763e-07,2.375774e-07,2.389151e-07,2.411483e-07,2.415585e-07,2.440150e-07,2.443913e-07,2.462930e-07,2.473255e-07,2.484008e-07,2.499699e-07,2.503464e-07,2.521376e-07,2.523425e-07,2.537820e-07,2.544609e-07,2.552870e-07,2.563419e-07,2.566596e-07,2.579067e-07,2.580013e-07,2.590349e-07,2.594543e-07,2.600505e-07,2.607154e-07,2.609595e-07,2.617678e-07,2.617981e-07,2.624807e-07,2.627151e-07,2.631038e-07,2.634786e-07,2.636419e-07,2.640998e-07,2.644823e-07,2.645895e-07,2.647936e-07,2.649575e-07,2.650380e-07,2.652132e-07,2.652193e-07,2.653413e-07,2.653654e-07,2.654077e-07,2.654221e-07,2.654217e-07,2.653912e-07,2.653867e-07,2.653057e-07,2.652797e-07,2.651816e-07,2.650943e-07,2.650172e-07,2.648412e-07,2.648151e-07,2.645777e-07,2.645262e-07,2.643075e-07,2.641548e-07,2.640067e-07,2.637320e-07,2.636774e-07,2.633216e-07,2.632624e-07,2.629412e-07,2.627505e-07,2.625381e-07,2.622003e-07,2.621138e-07,2.616701e-07,2.616156e-07,2.612084e-07,2.609999e-07,2.607302e-07,2.603566e-07,2.602369e-07,2.597298e-07,2.596886e-07,2.592100e-07,2.589989e-07,2.586789e-07,2.582899e-07,2.581373e-07,2.575865e-07,2.575642e-07,2.570273e-07,2.568241e-07,2.564606e-07,2.560715e-07,2.558874e-07,2.553085e-07,2.545369e-07,2.537582e-07,2.529742e-07,2.521860e-07,2.513952e-07,2.506029e-07,2.498102e-07,2.490181e-07,2.482275e-07,2.474395e-07,2.466546e-07,2.458737e-07,2.450975e-07,2.443264e-07,2.435612e-07,2.428022e-07,2.420500e-07,2.413049e-07,2.405674e-07,2.398377e-07,2.391161e-07,2.384029e-07,2.376984e-07,2.370026e-07
0.000000e+00,7.184902e-12,1.660890e-11,5.755259e-11,1.310628e-10,1.910679e-10,4.314523e-10,4.443192e-10,8.519078e-10,9.983037e-10,1.447671e-09,1.909428e-09,2.265101e-09,3.239976e-09,3.335554e-09,4.681903e-09,5.047029e-09,6.307862e-09,7.333556e-09,8.192448e-09,1.003533e-08,1.029838e-08,1.258534e-08,1.306114e-08,1.501660e-08,1.632697e-08,1.755970e-08,1.976081e-08,2.018531e-08,2.286638e-08,2.329879e-08,2.557782e-08,2.688323e-08,2.829651e-08,3.046249e-08,3.100145e-08,3.367395e-08,3.399167e-08,3.629776e-08,3.743318e-08,3.885912e-08,4.075691e-08,4.134668e-08,4.375138e-08,4.393995e-08,4.606629e-08,4.696594e-08,4.828640e-08,4.982424e-08,5.040836e-08,5.243027e-08,5.250905e-08,5.435145e-08,5.501845e-08,5.617223e-08,5.735357e-08,5.789376e-08,5.951787e-08,6.104686e-08,6.151648e-08,6.248345e-08,6.335575e-08,6.383063e-08,6.504275e-08,6.509158e-08,6.626961e-08,6.658506e-08,6.736811e-08,6.799044e-08,6.839046e-08,6.926668e-08,6.934005e-08,7.022022e-08,7.042149e-08,7.103423e-08,7.146238e-08,7.178528e-08,7.239659e-08,7.247647e-08,7.311080e-08,7.323109e-08,7.369114e-08,7.397251e-08,7.422029e-08,7.462715e-08,7.470090e-08,7.513553e-08,7.520097e-08,7.552663e-08,7.569958e-08,7.587653e-08,7.612829e-08,7.618747e-08,7.646156e-08,7.649207e-08,7.670084e-08,7.679559e-08,7.690723e-08,7.704323e-08,7.708257e-08,7.722861e-08,7.723907e-08,7.734700e-08,7.738697e-08,7.743932e-08,7.749049e-08,7.750707e-08,7.755168e-08,7.755300e-08,7.757448e-08,7.757761e-08,7.757678e-08,7.756724e-08,7.755977e-08,7.752463e-08,7.747243e-08,7.745230e-08,7.740423e-08,7.735263e-08,7.732100e-08,7.722783e-08,7.722367e-08,7.711315e-08,7.707995e-08,7.699025e-08,7.691091e-08,7.685578e-08,7.672250e-08,7.671049e-08,7.655510e-08,7.651638e-08,7.639029e-08,7.629411e-08,7.621668e-08,7.605712e-08,7.603490e-08,7.584551e-08,7.580677e-08,7.564907e-08,7.554430e-08,7.544608e-08,7.527088e-08,7.523704e-08,7.502242e-08,7.498759e-08,7.480264e-08,7.469544e-08,7.457813e-08,7.439537e-08,7.434927e-08,7.411645e-08,7.408826e-08,7.388000e-08,7.377491e-08,7.364027e-08,7.345608e-08,7.339758e-08,7.315221e-08,7.313247e-08,7.290445e-08,7.280474e-08,7.265457e-08,7.247349e-08,7.240283e-08,7.214945e-08,7.213928e-08,7.189467e-08,7.180265e-08,7.163870e-08,7.146406e-08,7.138174e-08,7.112398e-08,7.078283e-08,7.044099e-08,7.009882e-08,6.975664e-08,6.941476e-08,6.907347e-08,6.873302e-08,6.839367e-08,6.805562e-08,6.771910e-08,6.738429e-08,6.705136e-08,6.672048e-08,6.639178e-08,6.606541e-08,6.574148e-08,6.542011e-08,6.510138e-08,6.478541e-08,6.447226e-08,6.416199e-08,6.385470e-08,6.355042e-08,6.324920e-08
0.000000e+00,1.147270e-12,7.028654e-12,9.819008e-11,5.350932e-10,1.142742e-09,5.616775e-09,5.940860e-09,2.002818e-08,2.670376e-08,5.168652e-08,8.344890e-08,1.115303e-07,2.021746e-07,2.120308e-07,3.670822e-07,4.140412e-07,5.913804e-07,7.526198e-07,8.991741e-07,1.248531e-06,1.302209e-06,1.807486e-06,1.921003e-06,2.415942e-06,2.771670e-06,3.122619e-06,3.785296e-06,3.918046e-06,4.790020e-06,4.935752e-06,5.725202e-06,6.192606e-06,6.710262e-06,7.525692e-06,7.732555e-06,8.780465e-06,8.907426e-06,9.843516e-06,1.031362e-05,1.091241e-05,1.172364e-05,1.197902e-05,1.303629e-05,1.312028e-05,1.407825e-05,1.448959e-05,1.509990e-05,1.582060e-05,1.609718e-05,1.706686e-05,1.710503e-05,1.800647e-05,1.833700e-05,1.891422e-05,1.951266e-05,1.978891e-05,2.062983e-05,2.143670e-05,2.168771e-05,2.220958e-05,2.268653e-05,2.294881e-05,2.362735e-05,2.365497e-05,2.432879e-05,2.451178e-05,2.497115e-05,2.534187e-05,2.558302e-05,2.611990e-05,2.616543e-05,2.671945e-05,2.684831e-05,2.724617e-05,2.752962e-05,2.774669e-05,2.816634e-05,2.822210e-05,2.867347e-05,2.876095e-05,2.910186e-05,2.931587e-05,2.950828e-05,2.983343e-05,2.989373e-05,3.025917e-05,3.031584e-05,3.060552e-05,3.076525e-05,3.093367e-05,3.118365e-05,3.124446e-05,3.153871e-05,3.157295e-05,3.181721e-05,3.193494e-05,3.208068e-05,3.227131e-05,3.232984e-05,3.256537e-05,3.258365e-05,3.278792e-05,3.287344e-05,3.299809e-05,3.314207e-05,3.319646e-05,3.338361e-05,3.339087e-05,3.356005e-05,3.362104e-05,3.372628e-05,3.383374e-05,3.388280e-05,3.403005e-05,3.416847e-05,3.421096e-05,3.429847e-05,3.437743e-05,3.442043e-05,3.453032e-05,3.453475e-05,3.464176e-05,3.467047e-05,3.474182e-05,3.479864e-05,3.483523e-05,3.491556e-05,3.492230e-05,3.500333e-05,3.502191e-05,3.507860e-05,3.511833e-05,3.514836e-05,3.520539e-05,3.521287e-05,3.527236e-05,3.528368e-05,3.532707e-05,3.535370e-05,3.537720e-05,3.541594e-05,3.542298e-05,3.546459e-05,3.547088e-05,3.550222e-05,3.551893e-05,3.553606e-05,3.556051e-05,3.556627e-05,3.559301e-05,3.559600e-05,3.561645e-05,3.562575e-05,3.563672e-05,3.565011e-05,3.565398e-05,3.566835e-05,3.566938e-05,3.567997e-05,3.568388e-05,3.568897e-05,3.569388e-05,3.569544e-05,3.569953e-05,3.569964e-05,3.570132e-05,3.570142e-05,3.570092e-05,3.569945e-05,3.569844e-05,3.569396e-05,3.568515e-05,3.567322e-05,3.565836e-05,3.564074e-05,3.562054e-05,3.559792e-05,3.557301e-05,3.554596e-05,3.551691e-05,3.548599e-05,3.545331e-05,3.541899e-05,3.538313e-05,3.534585e-05,3.530723e-05,3.526736e-05,3.522635e-05,3.518426e-05,3.514119e-05,3.509719e-05,3.505236e-05,3.500674e-05,3.496041e-05,3.491343e-05
0.000000e+00,5.608679e-12,3.072588e-11,3.447159e-10,1.561742e-09,3.032370e-09,1.189118e-08,1.246975e-08,3.457122e-08,4.390364e-08,7.578402e-08,1.123986e-07,1.426284e-07,2.323496e-07,2.416025e-07,3.791466e-07,4.185883e-07,5.613385e-07,6.847813e-07,7.931008e-07,1.040329e-06,1.077217e-06,1.413907e-06,1.487414e-06,1.801268e-06,2.021698e-06,2.236130e-06,2.635383e-06,2.714737e-06,3.233110e-06,3.319467e-06,3.787150e-06,4.064529e-06,4.372653e-06,4.860810e-06,4.985300e-06,5.620686e-06,5.698250e-06,6.274368e-06,6.566644e-06,6.941931e-06,7.455903e-06,7.619062e-06,8.301622e-06,8.356342e-06,8.985707e-06,9.258947e-06,9.667699e-06,1.015558e-05,1.034430e-05,1.101257e-05,1.103909e-05,1.166990e-05,1.190341e-05,1.231404e-05,1.274355e-05,1.294310e-05,1.355550e-05,1.414994e-05,1.433620e-05,1.472543e-05,1.508343e-05,1.528121e-05,1.579573e-05,1.581676e-05,1.633174e-05,1.647223e-05,1.682601e-05,1.711260e-05,1.729953e-05,1.771696e-05,1.775243e-05,1.818493e-05,1.828573e-05,1.859733e-05,1.881963e-05,1.899001e-05,1.931959e-05,1.936339e-05,1.971797e-05,1.978668e-05,2.005426e-05,2.022208e-05,2.037279e-05,2.062705e-05,2.067414e-05,2.095886e-05,2.100291e-05,2.122753e-05,2.135097e-05,2.148074e-05,2.167256e-05,2.171906e-05,2.194306e-05,2.196900e-05,2.215330e-05,2.224159e-05,2.235034e-05,2.249160e-05,2.253473e-05,2.270699e-05,2.272026e-05,2.286763e-05,2.292875e-05,2.301717e-05,2.311823e-05,2.315608e-05,2.328485e-05,2.328979e-05,2.340392e-05,2.344450e-05,2.351374e-05,2.358335e-05,2.361473e-05,2.370731e-05,2.379188e-05,2.381731e-05,2.386881e-05,2.391421e-05,2.393847e-05,2.399883e-05,2.400122e-05,2.405739e-05,2.407198e-05,2.410731e-05,2.413439e-05,2.415129e-05,2.418677e-05,2.418964e-05,2.422264e-05,2.422979e-05,2.425057e-05,2.426409e-05,2.427369e-05,2.429026e-05,2.429225e-05,2.430651e-05,2.430886e-05,2.431668e-05,2.432043e-05,2.432300e-05,2.432548e-05,2.432568e-05,2.432491e-05,2.432448e-05,2.432090e-05,2.431788e-05,2.431384e-05,2.430610e-05,2.430389e-05,2.429123e-05,2.428953e-05,2.427602e-05,2.426856e-05,2.425842e-05,2.424353e-05,2.423857e-05,2.421662e-05,2.421478e-05,2.419270e-05,2.418261e-05,2.416694e-05,2.414732e-05,2.413946e-05,2.411038e-05,2.410918e-05,2.407980e-05,2.406846e-05,2.404785e-05,2.402538e-05,2.401461e-05,2.398019e-05,2.393309e-05,2.388428e-05,2.383394e-05,2.378226e-05,2.372940e-05,2.367550e-05,2.362072e-05,2.356517e-05,2.350900e-05,2.345231e-05,2.339520e-05,2.333779e-05,2.328017e-05,2.322241e-05,2.316460e-05,2.310682e-05,2.304913e-05,2.299160e-05,2.293428e-05,2.287723e-05,2.282050e-05,2.276413e-05,2.270817e-05,2.265266e-05
0.000000e+00,1.646272e-10,4.900060e-10,2.225045e-09,5.760001e-09,8.814639e-09,2.172229e-08,2.243192e-08,4.543903e-08,5.387358e-08,8.009679e-08,1.073949e-07,1.285869e-07,1.871942e-07,1.929748e-07,2.750126e-07,2.974657e-07,3.757675e-07,4.404654e-07,4.954240e-07,6.160111e-07,6.335364e-07,7.893782e-07,8.226002e-07,9.620843e-07,1.058230e-06,1.150655e-06,1.320479e-06,1.353942e-06,1.570643e-06,1.606466e-06,1.799325e-06,1.912901e-06,2.038454e-06,2.236207e-06,2.286434e-06,2.541646e-06,2.572681e-06,2.802487e-06,2.918637e-06,3.067402e-06,3.270548e-06,3.334911e-06,3.603631e-06,3.625142e-06,3.872288e-06,3.979471e-06,4.139730e-06,4.330952e-06,4.404926e-06,4.666968e-06,4.677373e-06,4.925069e-06,5.016888e-06,5.178556e-06,5.347999e-06,5.426864e-06,5.669527e-06,5.906167e-06,5.980567e-06,6.136477e-06,6.280443e-06,6.360225e-06,6.568695e-06,6.577245e-06,6.787417e-06,6.845027e-06,6.990669e-06,7.109286e-06,7.186974e-06,7.361445e-06,7.376339e-06,7.558799e-06,7.601568e-06,7.734416e-06,7.829803e-06,7.903275e-06,8.046367e-06,8.065486e-06,8.221177e-06,8.251544e-06,8.370477e-06,8.445629e-06,8.513513e-06,8.628928e-06,8.650430e-06,8.781378e-06,8.801785e-06,8.906507e-06,8.964548e-06,9.025973e-06,9.117571e-06,9.139930e-06,9.248536e-06,9.261217e-06,9.351949e-06,9.395847e-06,9.450328e-06,9.521824e-06,9.543828e-06,9.632603e-06,9.639505e-06,9.716805e-06,9.749240e-06,9.796585e-06,9.851371e-06,9.872090e-06,9.943465e-06,9.946236e-06,1.001085e-05,1.003417e-05,1.007440e-05,1.011548e-05,1.013423e-05,1.019049e-05,1.024330e-05,1.025950e-05,1.029280e-05,1.032280e-05,1.033911e-05,1.038067e-05,1.038234e-05,1.042262e-05,1.043338e-05,1.046006e-05,1.048121e-05,1.049477e-05,1.052439e-05,1.052687e-05,1.055645e-05,1.056319e-05,1.058362e-05,1.059782e-05,1.060848e-05,1.062852e-05,1.063112e-05,1.065165e-05,1.065551e-05,1.067014e-05,1.067898e-05,1.068668e-05,1.069914e-05,1.070137e-05,1.071428e-05,1.071619e-05,1.072549e-05,1.073030e-05,1.073508e-05,1.074164e-05,1.074313e-05,1.074970e-05,1.075039e-05,1.075486e-05,1.075670e-05,1.075869e-05,1.076074e-05,1.076124e-05,1.076257e-05,1.076263e-05,1.076276e-05,1.076252e-05,1.076185e-05,1.076055e-05,1.075990e-05,1.075697e-05,1.075684e-05,1.075311e-05,1.075150e-05,1.074837e-05,1.074466e-05,1.074279e-05,1.073642e-05,1.072688e-05,1.071615e-05,1.070432e-05,1.069146e-05,1.067768e-05,1.066304e-05,1.064763e-05,1.063151e-05,1.061475e-05,1.059742e-05,1.057957e-05,1.056127e-05,1.054256e-05,1.052349e-05,1.050412e-05,1.048448e-05,1.046463e-05,1.044459e-05,1.042441e-05,1.040413e-05,1.038376e-05,1.036335e-05,1.034293e-05,1.032251e-05
0.000000e+00,6.882279e-11,2.489398e-10,1.425595e-09,4.129070e-09,6.586051e-09,1.742738e-08,1.803542e-08,3.807015e-08,4.551542e-08,6.885475e-08,9.335594e-08,1.124767e-07,1.656946e-07,1.709673e-07,2.462262e-07,2.669646e-07,3.397560e-07,4.004093e-07,4.522290e-07,5.665567e-07,5.832141e-07,7.313821e-07,7.629263e-07,8.949834e-07,9.855477e-07,1.072192e-06,1.230256e-06,1.261224e-06,1.460345e-06,1.493027e-06,1.667846e-06,1.769926e-06,1.882034e-06,2.057074e-06,2.101236e-06,2.323818e-06,2.350679e-06,2.548200e-06,2.647111e-06,2.772888e-06,2.942992e-06,2.996486e-06,3.217715e-06,3.235275e-06,3.435426e-06,3.521295e-06,3.648608e-06,3.798798e-06,3.856386e-06,4.058020e-06,4.065948e-06,4.252904e-06,4.321314e-06,4.440557e-06,4.563833e-06,4.620601e-06,4.792767e-06,4.956885e-06,5.007686e-06,5.112861e-06,5.208395e-06,5.260663e-06,5.394895e-06,5.400326e-06,5.531945e-06,5.567373e-06,5.655646e-06,5.726133e-06,5.771595e-06,5.871589e-06,5.879988e-06,5.981043e-06,6.004230e-06,6.074995e-06,6.124599e-06,6.162096e-06,6.233284e-06,6.242606e-06,6.316786e-06,6.330885e-06,6.384897e-06,6.418006e-06,6.447207e-06,6.495257e-06,6.503979e-06,6.555471e-06,6.563237e-06,6.601938e-06,6.622531e-06,6.643629e-06,6.673707e-06,6.680787e-06,6.713649e-06,6.717314e-06,6.742442e-06,6.753880e-06,6.767389e-06,6.783907e-06,6.788702e-06,6.806586e-06,6.807875e-06,6.821239e-06,6.826237e-06,6.832849e-06,6.839426e-06,6.841598e-06,6.847659e-06,6.847848e-06,6.851198e-06,6.851885e-06,6.852373e-06,6.851900e-06,6.851336e-06,6.848230e-06,6.843193e-06,6.841195e-06,6.836355e-06,6.831092e-06,6.827841e-06,6.818200e-06,6.817769e-06,6.806250e-06,6.802780e-06,6.793392e-06,6.785076e-06,6.779295e-06,6.765315e-06,6.764056e-06,6.747764e-06,6.743707e-06,6.730507e-06,6.720451e-06,6.712365e-06,6.695729e-06,6.693415e-06,6.673730e-06,6.669711e-06,6.653380e-06,6.642556e-06,6.632428e-06,6.614409e-06,6.610936e-06,6.588962e-06,6.585405e-06,6.566561e-06,6.555671e-06,6.543783e-06,6.525322e-06,6.520677e-06,6.497288e-06,6.494465e-06,6.473659e-06,6.463197e-06,6.449831e-06,6.431611e-06,6.425840e-06,6.401722e-06,6.399788e-06,6.377510e-06,6.367806e-06,6.353235e-06,6.335734e-06,6.328925e-06,6.304609e-06,6.303636e-06,6.280310e-06,6.271572e-06,6.256053e-06,6.239593e-06,6.231859e-06,6.207749e-06,6.176084e-06,6.144637e-06,6.113444e-06,6.082538e-06,6.051947e-06,6.021697e-06,5.991812e-06,5.962310e-06,5.933210e-06,5.904527e-06,5.876275e-06,5.848465e-06,5.821106e-06,5.794207e-06,5.767773e-06,5.741810e-06,5.716322e-06,5.691311e-06,5.666778e-06,5.642724e-06,5.619149e-06,5.596050e-06,5.573427e-06,5.551276e-06
0.000000e+00,1.128507e-11,2.628693e-11,9.194537e-11,2.105429e-10,3.076900e-10,6.984586e-10,7.194246e-10,1.385204e-09,1.624924e-09,2.362156e-09,3.121591e-09,3.707798e-09,5.321023e-09,5.479799e-09,7.732531e-09,8.349841e-09,1.050803e-08,1.229772e-08,1.382101e-08,1.716174e-08,1.764594e-08,2.191983e-08,2.282138e-08,2.656117e-08,2.909265e-08,3.148894e-08,3.579685e-08,3.663143e-08,4.192722e-08,4.278514e-08,4.732340e-08,4.993541e-08,5.277366e-08,5.714514e-08,5.823706e-08,6.367732e-08,6.432704e-08,6.906251e-08,7.140724e-08,7.436484e-08,7.832440e-08,7.956049e-08,8.462949e-08,8.502902e-08,8.955541e-08,9.148269e-08,9.432520e-08,9.765701e-08,9.892879e-08,1.033588e-07,1.035323e-07,1.076104e-07,1.090966e-07,1.116804e-07,1.143438e-07,1.155679e-07,1.192731e-07,1.227975e-07,1.238876e-07,1.261438e-07,1.281934e-07,1.293153e-07,1.321991e-07,1.323159e-07,1.351501e-07,1.359145e-07,1.378228e-07,1.393511e-07,1.403392e-07,1.425206e-07,1.427044e-07,1.449239e-07,1.454355e-07,1.470031e-07,1.481082e-07,1.489475e-07,1.505513e-07,1.507624e-07,1.524533e-07,1.527770e-07,1.540252e-07,1.547974e-07,1.554834e-07,1.566241e-07,1.568329e-07,1.580785e-07,1.582685e-07,1.592250e-07,1.597414e-07,1.602769e-07,1.610534e-07,1.612387e-07,1.621147e-07,1.622143e-07,1.629090e-07,1.632337e-07,1.636256e-07,1.641206e-07,1.642683e-07,1.648408e-07,1.648837e-07,1.653466e-07,1.655311e-07,1.657892e-07,1.660705e-07,1.661717e-07,1.664974e-07,1.665092e-07,1.667691e-07,1.668543e-07,1.669898e-07,1.671122e-07,1.671623e-07,1.672891e-07,1.673727e-07,1.673908e-07,1.674156e-07,1.674228e-07,1.674201e-07,1.673902e-07,1.673883e-07,1.673223e-07,1.672980e-07,1.672242e-07,1.671507e-07,1.670959e-07,1.669527e-07,1.669391e-07,1.667557e-07,1.667078e-07,1.665472e-07,1.664201e-07,1.663153e-07,1.660930e-07,1.660614e-07,1.657870e-07,1.657298e-07,1.654935e-07,1.653338e-07,1.651822e-07,1.649078e-07,1.648543e-07,1.645110e-07,1.644547e-07,1.641533e-07,1.639769e-07,1.637825e-07,1.634769e-07,1.633994e-07,1.630051e-07,1.629571e-07,1.626004e-07,1.624194e-07,1.621863e-07,1.618658e-07,1.617636e-07,1.613330e-07,1.612982e-07,1.608953e-07,1.607184e-07,1.604512e-07,1.601279e-07,1.600014e-07,1.595464e-07,1.595281e-07,1.590870e-07,1.589206e-07,1.586237e-07,1.583066e-07,1.581569e-07,1.576873e-07,1.570639e-07,1.564373e-07,1.558085e-07,1.551785e-07,1.545480e-07,1.539178e-07,1.532887e-07,1.526613e-07,1.520361e-07,1.514138e-07,1.507948e-07,1.501796e-07,1.495687e-07,1.489624e-07,1.483610e-07,1.477650e-07,1.471746e-07,1.465900e-07,1.460115e-07,1.454393e-07,1.448735e-07,1.443145e-07,1.437622e-07,1.432169e-07
0.000000e+00,2.503166e-12,1.699497e-11,2.935956e-10,1.939549e-09,4.601207e-09,2.960537e-08,3.165600e-08,1.388259e-07,1.986393e-07,4.582640e-07,8.509055e-07,1.244357e-06,2.748594e-06,2.930798e-06,6.195308e-06,7.316127e-06,1.202853e-05,1.691046e-05,2.180020e-05,3.507757e-05,3.731286e-05,6.083446e-05,6.673282e-05,9.510544e-05,1.182180e-04,1.433206e-04,1.972266e-04,2.090887e-04,2.963748e-04,3.126180e-04,4.094277e-04,4.741474e-04,5.526999e-04,6.921439e-04,7.307598e-04,9.482029e-04,9.771590e-04,1.209561e-03,1.339607e-03,1.519214e-03,1.789412e-03,1.881308e-03,2.299669e-03,2.335675e-03,2.777742e-03,2.986376e-03,3.318516e-03,3.748113e-03,3.924475e-03,4.597551e-03,4.625891e-03,5.339090e-03,5.622965e-03,6.149827e-03,6.740735e-03,7.029871e-03,7.978708e-03,8.995200e-03,9.334499e-03,1.007761e-02,1.080390e-02,1.122363e-02,1.238100e-02,1.243039e-02,1.369455e-02,1.405829e-02,1.501228e-02,1.582690e-02,1.637938e-02,1.767678e-02,1.779126e-02,1.924308e-02,1.959689e-02,2.072973e-02,2.157550e-02,2.224593e-02,2.360035e-02,2.378629e-02,2.534534e-02,2.565891e-02,2.691760e-02,2.773859e-02,2.849763e-02,2.982693e-02,3.008006e-02,3.165965e-02,3.191178e-02,3.323133e-02,3.398149e-02,3.479022e-02,3.602497e-02,3.633164e-02,3.785120e-02,3.803187e-02,3.934475e-02,3.999267e-02,4.080844e-02,4.189867e-02,4.223871e-02,4.363231e-02,4.374212e-02,4.498630e-02,4.551621e-02,4.629806e-02,4.721507e-02,4.756527e-02,4.878593e-02,4.883376e-02,4.995832e-02,5.036829e-02,5.108104e-02,5.181553e-02,5.215295e-02,5.317319e-02,5.414114e-02,5.443978e-02,5.505645e-02,5.561455e-02,5.591898e-02,5.669742e-02,5.672880e-02,5.748620e-02,5.768893e-02,5.819163e-02,5.859019e-02,5.884571e-02,5.940279e-02,5.944923e-02,6.000308e-02,6.012873e-02,6.050832e-02,6.077043e-02,6.096607e-02,6.133059e-02,6.137757e-02,6.174413e-02,6.181217e-02,6.206714e-02,6.221837e-02,6.234804e-02,6.255253e-02,6.258831e-02,6.278946e-02,6.281812e-02,6.295305e-02,6.301869e-02,6.308064e-02,6.315784e-02,6.317379e-02,6.323408e-02,6.323918e-02,6.326307e-02,6.326631e-02,6.326232e-02,6.324280e-02,6.323336e-02,6.317771e-02,6.317215e-02,6.309686e-02,6.305779e-02,6.299226e-02,6.290306e-02,6.286535e-02,6.271751e-02,6.271118e-02,6.255009e-02,6.248528e-02,6.236441e-02,6.222836e-02,6.216173e-02,6.194327e-02,6.163275e-02,6.129939e-02,6.094565e-02,6.057384e-02,6.018618e-02,5.978470e-02,5.937134e-02,5.894789e-02,5.851604e-02,5.807733e-02,5.763320e-02,5.718499e-02,5.673392e-02,5.628112e-02,5.582761e-02,5.537434e-02,5.492216e-02,5.447186e-02,5.402413e-02,5.357960e-02,5.313885e-02,5.270238e-02,5.227063e-02,5.184400e-02
0.000000e+00,7.437137e-13,5.041430e-12,8.680801e-11,5.717559e-10,1.354152e-09,8.676073e-09,9.275428e-09,4.050658e-08,5.789297e-08,1.331781e-07,2.467118e-07,3.602411e-07,7.929978e-07,8.453179e-07,1.780516e-06,2.100904e-06,3.445570e-06,4.836024e-06,6.227211e-06,1.000150e-05,1.063674e-05,1.732274e-05,1.900021e-05,2.707565e-05,3.366179e-05,4.082213e-05,5.621817e-05,5.960888e-05,8.457771e-05,8.922638e-05,1.169341e-04,1.354516e-04,1.579125e-04,1.977286e-04,2.087397e-04,2.706003e-04,2.788187e-04,3.446038e-04,3.812758e-04,4.317560e-04,5.073307e-04,5.329343e-04,6.488682e-04,6.587985e-04,7.801248e-04,8.370121e-04,9.270986e-04,1.042781e-03,1.090007e-03,1.268888e-03,1.276374e-03,1.463606e-03,1.537528e-03,1.673856e-03,1.825467e-03,1.899173e-03,2.138947e-03,2.392433e-03,2.476307e-03,2.658768e-03,2.835523e-03,2.936986e-03,3.214280e-03,3.226037e-03,3.524801e-03,3.610037e-03,3.832107e-03,4.020089e-03,4.146746e-03,4.441634e-03,4.467489e-03,4.793099e-03,4.871832e-03,5.122345e-03,5.307858e-03,5.454014e-03,5.746947e-03,5.786923e-03,6.119923e-03,6.186437e-03,6.451916e-03,6.623804e-03,6.781853e-03,7.056686e-03,7.108746e-03,7.431666e-03,7.482906e-03,7.749752e-03,7.900480e-03,8.062210e-03,8.307636e-03,8.368316e-03,8.667415e-03,8.702807e-03,8.958921e-03,9.084642e-03,9.242317e-03,9.451994e-03,9.517152e-03,9.783040e-03,9.803915e-03,1.003966e-02,1.013965e-02,1.028674e-02,1.045862e-02,1.052409e-02,1.075153e-02,1.076042e-02,1.096898e-02,1.104480e-02,1.117638e-02,1.131165e-02,1.137370e-02,1.156098e-02,1.173827e-02,1.179291e-02,1.190568e-02,1.200769e-02,1.206332e-02,1.220562e-02,1.221136e-02,1.234995e-02,1.238710e-02,1.247931e-02,1.255258e-02,1.259964e-02,1.270256e-02,1.271117e-02,1.281414e-02,1.283761e-02,1.290881e-02,1.295829e-02,1.299543e-02,1.306522e-02,1.307428e-02,1.314562e-02,1.315901e-02,1.320973e-02,1.324031e-02,1.326690e-02,1.330975e-02,1.331739e-02,1.336148e-02,1.336796e-02,1.339946e-02,1.341559e-02,1.343159e-02,1.345326e-02,1.345814e-02,1.347937e-02,1.348157e-02,1.349555e-02,1.350113e-02,1.350692e-02,1.351251e-02,1.351375e-02,1.351625e-02,1.351628e-02,1.351469e-02,1.351297e-02,1.350926e-02,1.350310e-02,1.350021e-02,1.348774e-02,1.348717e-02,1.347206e-02,1.346566e-02,1.345336e-02,1.343902e-02,1.343183e-02,1.340767e-02,1.337202e-02,1.333246e-02,1.328935e-02,1.324302e-02,1.319381e-02,1.314201e-02,1.308790e-02,1.303175e-02,1.297380e-02,1.291428e-02,1.285341e-02,1.279137e-02,1.272837e-02,1.266456e-02,1.260010e-02,1.253514e-02,1.246982e-02,1.240425e-02,1.233854e-02,1.227281e-02,1.220714e-02,1.214163e-02,1.207635e-02,1.201137e-02
0.000000e+00,1.512879e-12,9.641791e-12,1.460356e-10,8.556090e-10,1.900405e-09,1.032191e-08,1.096142e-08,4.071918e-08,5.572537e-08,1.151107e-07,1.958096e-07,2.707126e-07,5.289305e-07,5.582316e-07,1.042565e-06,1.196356e-06,1.799274e-06,2.371324e-06,2.906498e-06,4.227222e-06,4.434854e-06,6.439319e-06,6.900818e-06,8.955324e-06,1.047181e-05,1.199880e-05,1.496260e-05,1.556870e-05,1.965046e-05,2.034952e-05,2.421942e-05,2.657637e-05,2.924349e-05,3.356548e-05,3.468535e-05,4.050389e-05,4.122537e-05,4.665540e-05,4.945589e-05,5.309448e-05,5.815204e-05,5.977485e-05,6.665008e-05,6.720713e-05,7.367436e-05,7.651577e-05,8.080314e-05,8.597656e-05,8.799380e-05,9.520614e-05,9.549455e-05,1.024029e-04,1.049832e-04,1.095499e-04,1.143656e-04,1.166165e-04,1.235756e-04,1.304036e-04,1.325575e-04,1.370803e-04,1.412659e-04,1.435886e-04,1.496655e-04,1.499149e-04,1.560480e-04,1.577295e-04,1.619795e-04,1.654390e-04,1.677033e-04,1.727820e-04,1.732151e-04,1.785126e-04,1.797520e-04,1.835950e-04,1.863473e-04,1.884628e-04,1.925701e-04,1.931175e-04,1.975616e-04,1.984254e-04,2.017984e-04,2.039209e-04,2.058318e-04,2.090659e-04,2.096663e-04,2.133065e-04,2.138713e-04,2.167576e-04,2.183485e-04,2.200249e-04,2.225100e-04,2.231138e-04,2.260298e-04,2.263684e-04,2.287787e-04,2.299367e-04,2.313660e-04,2.332277e-04,2.337973e-04,2.360783e-04,2.362544e-04,2.382142e-04,2.390293e-04,2.402107e-04,2.415647e-04,2.420729e-04,2.438061e-04,2.438728e-04,2.454153e-04,2.459652e-04,2.469055e-04,2.478534e-04,2.482816e-04,2.495481e-04,2.507098e-04,2.510601e-04,2.517710e-04,2.523993e-04,2.527359e-04,2.535756e-04,2.536088e-04,2.543937e-04,2.545982e-04,2.550945e-04,2.554761e-04,2.557149e-04,2.562178e-04,2.562585e-04,2.567290e-04,2.568313e-04,2.571295e-04,2.573246e-04,2.574635e-04,2.577049e-04,2.577341e-04,2.579442e-04,2.579792e-04,2.580968e-04,2.581544e-04,2.581948e-04,2.582368e-04,2.582407e-04,2.582373e-04,2.582324e-04,2.581870e-04,2.581469e-04,2.580923e-04,2.579860e-04,2.579553e-04,2.577784e-04,2.577546e-04,2.575637e-04,2.574578e-04,2.573132e-04,2.571002e-04,2.570290e-04,2.567128e-04,2.566861e-04,2.563664e-04,2.562199e-04,2.559918e-04,2.557053e-04,2.555904e-04,2.551638e-04,2.551463e-04,2.547137e-04,2.545462e-04,2.542414e-04,2.539084e-04,2.537485e-04,2.532361e-04,2.525322e-04,2.517996e-04,2.510409e-04,2.502586e-04,2.494551e-04,2.486324e-04,2.477929e-04,2.469383e-04,2.460706e-04,2.451914e-04,2.443025e-04,2.434052e-04,2.425011e-04,2.415915e-04,2.406776e-04,2.397606e-04,2.388416e-04,2.379217e-04,2.370017e-04,2.360826e-04,2.351652e-04,2.342503e-04,2.333386e-04,2.324307e-04
0.000000e+00,3.622450e-10,1.172415e-09,5.852447e-09,1.586777e-08,2.473943e-08,6.347870e-08,6.565626e-08,1.385564e-07,1.663289e-07,2.559589e-07,3.540398e-07,4.330526e-07,6.609236e-07,6.839025e-07,1.012996e-06,1.102853e-06,1.411620e-06,1.659751e-06,1.865160e-06,2.299265e-06,2.360577e-06,2.888139e-06,2.996834e-06,3.440507e-06,3.735515e-06,4.011677e-06,4.502098e-06,4.596347e-06,5.189612e-06,5.285021e-06,5.786871e-06,6.073697e-06,6.383818e-06,6.858475e-06,6.976491e-06,7.561327e-06,7.630827e-06,8.135189e-06,8.383499e-06,8.695376e-06,9.110570e-06,9.239635e-06,9.766134e-06,9.807441e-06,1.027344e-05,1.047074e-05,1.076048e-05,1.109817e-05,1.122652e-05,1.167111e-05,1.168844e-05,1.209399e-05,1.224091e-05,1.249515e-05,1.275559e-05,1.287472e-05,1.323300e-05,1.357040e-05,1.367404e-05,1.388741e-05,1.407984e-05,1.418457e-05,1.445175e-05,1.446250e-05,1.472185e-05,1.479123e-05,1.496329e-05,1.509983e-05,1.518749e-05,1.537913e-05,1.539515e-05,1.558697e-05,1.563073e-05,1.576364e-05,1.585620e-05,1.592582e-05,1.605710e-05,1.607420e-05,1.620942e-05,1.623494e-05,1.633211e-05,1.639118e-05,1.644291e-05,1.652723e-05,1.654241e-05,1.663120e-05,1.664445e-05,1.670983e-05,1.674413e-05,1.677885e-05,1.682749e-05,1.683877e-05,1.689011e-05,1.689572e-05,1.693334e-05,1.694992e-05,1.696893e-05,1.699114e-05,1.699732e-05,1.701893e-05,1.702038e-05,1.703417e-05,1.703857e-05,1.704343e-05,1.704660e-05,1.704708e-05,1.704547e-05,1.704531e-05,1.703895e-05,1.703546e-05,1.702784e-05,1.701781e-05,1.701244e-05,1.699304e-05,1.696993e-05,1.696179e-05,1.694337e-05,1.692468e-05,1.691361e-05,1.688226e-05,1.688089e-05,1.684545e-05,1.683506e-05,1.680748e-05,1.678358e-05,1.676721e-05,1.672828e-05,1.672482e-05,1.668050e-05,1.666959e-05,1.663441e-05,1.660790e-05,1.658674e-05,1.654359e-05,1.653762e-05,1.648722e-05,1.647699e-05,1.643566e-05,1.640844e-05,1.638308e-05,1.633822e-05,1.632961e-05,1.627535e-05,1.626660e-05,1.622042e-05,1.619385e-05,1.616492e-05,1.612018e-05,1.610896e-05,1.605261e-05,1.604583e-05,1.599597e-05,1.597098e-05,1.593912e-05,1.589582e-05,1.588213e-05,1.582507e-05,1.582051e-05,1.576801e-05,1.574520e-05,1.571101e-05,1.567004e-05,1.565413e-05,1.559741e-05,1.559515e-05,1.554092e-05,1.552065e-05,1.548470e-05,1.544664e-05,1.542878e-05,1.537321e-05,1.530046e-05,1.522845e-05,1.515726e-05,1.508694e-05,1.501756e-05,1.494916e-05,1.488177e-05,1.481544e-05,1.475020e-05,1.468608e-05,1.462308e-05,1.456124e-05,1.450057e-05,1.444108e-05,1.438276e-05,1.432564e-05,1.426971e-05,1.421497e-05,1.416142e-05,1.410905e-05,1.405786e-05,1.400784e-05,1.395897e-05,1.391126e-05
0.000000e+00,6.565447e-13,4.457972e-12,7.703115e-11,5.090006e-10,1.207660e-09,7.772749e-09,8.311223e-09,3.645571e-08,5.216405e-08,1.203416e-07,2.234255e-07,3.266925e-07,7.212590e-07,7.690286e-07,1.624256e-06,1.917654e-06,3.150329e-06,4.426300e-06,5.703669e-06,9.170661e-06,9.754253e-06,1.589592e-05,1.743644e-05,2.485015e-05,3.089394e-05,3.746273e-05,5.158378e-05,5.469366e-05,7.760152e-05,8.186867e-05,1.073234e-04,1.243590e-04,1.450520e-04,1.818212e-04,1.920103e-04,2.494258e-04,2.570760e-04,3.185048e-04,3.528957e-04,4.004072e-04,4.719031e-04,4.962229e-04,6.069499e-04,6.164796e-04,7.334753e-04,7.886837e-04,8.765586e-04,9.901842e-04,1.036818e-03,1.214721e-03,1.222209e-03,1.410574e-03,1.485509e-03,1.624523e-03,1.780343e-03,1.856550e-03,2.106473e-03,2.373953e-03,2.463179e-03,2.658502e-03,2.849284e-03,2.959487e-03,3.263190e-03,3.276147e-03,3.607600e-03,3.702925e-03,3.952859e-03,4.166195e-03,4.310844e-03,4.650437e-03,4.680399e-03,5.060302e-03,5.152879e-03,5.449286e-03,5.670598e-03,5.846045e-03,6.200573e-03,6.249254e-03,6.657579e-03,6.739741e-03,7.069690e-03,7.285046e-03,7.484271e-03,7.833481e-03,7.900029e-03,8.315709e-03,8.382128e-03,8.730094e-03,8.928194e-03,9.142017e-03,9.469034e-03,9.550367e-03,9.954092e-03,1.000218e-02,1.035220e-02,1.052535e-02,1.074378e-02,1.103647e-02,1.112796e-02,1.150397e-02,1.153367e-02,1.187109e-02,1.201530e-02,1.222868e-02,1.247992e-02,1.257616e-02,1.291305e-02,1.292630e-02,1.323889e-02,1.335341e-02,1.355331e-02,1.376044e-02,1.385602e-02,1.414675e-02,1.442532e-02,1.451187e-02,1.469159e-02,1.485551e-02,1.494547e-02,1.517752e-02,1.518694e-02,1.541599e-02,1.547790e-02,1.563267e-02,1.575678e-02,1.583707e-02,1.601438e-02,1.602931e-02,1.620955e-02,1.625104e-02,1.637797e-02,1.646720e-02,1.653477e-02,1.666334e-02,1.668019e-02,1.681448e-02,1.684003e-02,1.693791e-02,1.699789e-02,1.705076e-02,1.713759e-02,1.715332e-02,1.724591e-02,1.725982e-02,1.732884e-02,1.736531e-02,1.740244e-02,1.745481e-02,1.746703e-02,1.752294e-02,1.752908e-02,1.757050e-02,1.758887e-02,1.761006e-02,1.763497e-02,1.764193e-02,1.766646e-02,1.766812e-02,1.768397e-02,1.768908e-02,1.769478e-02,1.769859e-02,1.769921e-02,1.769757e-02,1.769738e-02,1.769017e-02,1.768616e-02,1.767732e-02,1.766561e-02,1.765930e-02,1.763640e-02,1.759917e-02,1.755453e-02,1.750310e-02,1.744542e-02,1.738204e-02,1.731348e-02,1.724022e-02,1.716272e-02,1.708144e-02,1.699677e-02,1.690910e-02,1.681881e-02,1.672623e-02,1.663169e-02,1.653549e-02,1.643790e-02,1.633918e-02,1.623957e-02,1.613931e-02,1.603859e-02,1.593761e-02,1.583654e-02,1.573554e-02,1.563477e-02
0.000000e+00,2.693281e-13,1.816557e-12,3.095367e-11,2.019333e-10,4.757569e-10,3.007405e-09,3.213416e-09,1.385127e-08,1.972812e-08,4.499943e-08,8.281381e-08,1.204229e-07,2.627834e-07,2.799232e-07,5.848109e-07,6.888077e-07,1.123691e-06,1.571417e-06,2.017870e-06,3.223083e-06,3.425173e-06,5.540830e-06,6.068639e-06,8.594651e-06,1.063818e-05,1.284468e-05,1.754162e-05,1.856814e-05,2.605095e-05,2.743055e-05,3.557670e-05,4.095496e-05,4.741612e-05,5.872138e-05,6.181760e-05,7.899919e-05,8.125683e-05,9.914214e-05,1.089808e-04,1.223863e-04,1.421862e-04,1.488269e-04,1.785133e-04,1.810289e-04,2.114489e-04,2.255250e-04,2.475920e-04,2.755554e-04,2.868584e-04,3.291244e-04,3.308753e-04,3.742304e-04,3.911279e-04,4.219854e-04,4.558617e-04,4.721715e-04,5.245484e-04,5.788587e-04,5.966024e-04,6.348319e-04,6.713992e-04,6.921898e-04,7.482938e-04,7.506498e-04,8.099297e-04,8.266369e-04,8.697506e-04,9.057893e-04,9.298404e-04,9.851346e-04,9.899365e-04,1.049788e-03,1.064089e-03,1.109158e-03,1.142112e-03,1.167825e-03,1.218706e-03,1.225583e-03,1.282244e-03,1.293429e-03,1.337638e-03,1.365890e-03,1.391612e-03,1.435754e-03,1.444032e-03,1.494780e-03,1.502738e-03,1.543757e-03,1.566612e-03,1.590881e-03,1.627198e-03,1.636082e-03,1.679309e-03,1.684362e-03,1.720525e-03,1.738015e-03,1.759703e-03,1.788107e-03,1.796830e-03,1.831906e-03,1.834624e-03,1.864939e-03,1.877583e-03,1.895945e-03,1.917030e-03,1.924952e-03,1.951991e-03,1.953033e-03,1.977103e-03,1.985680e-03,2.000333e-03,2.015078e-03,2.021729e-03,2.041346e-03,2.059239e-03,2.064611e-03,2.075470e-03,2.085012e-03,2.090098e-03,2.102691e-03,2.103186e-03,2.114799e-03,2.117795e-03,2.125000e-03,2.130470e-03,2.133854e-03,2.140864e-03,2.141424e-03,2.147775e-03,2.149124e-03,2.152968e-03,2.155394e-03,2.157065e-03,2.159813e-03,2.160127e-03,2.162213e-03,2.162518e-03,2.163378e-03,2.163640e-03,2.163680e-03,2.163305e-03,2.163171e-03,2.161904e-03,2.161634e-03,2.159928e-03,2.158742e-03,2.157292e-03,2.154738e-03,2.154040e-03,2.150219e-03,2.149724e-03,2.145868e-03,2.143797e-03,2.141030e-03,2.137050e-03,2.135741e-03,2.130039e-03,2.129566e-03,2.123958e-03,2.121426e-03,2.117530e-03,2.112705e-03,2.110786e-03,2.103757e-03,2.103470e-03,2.096469e-03,2.093787e-03,2.088948e-03,2.083714e-03,2.081220e-03,2.073307e-03,2.062616e-03,2.051687e-03,2.040564e-03,2.029285e-03,2.017887e-03,2.006402e-03,1.994859e-03,1.983286e-03,1.971707e-03,1.960144e-03,1.948618e-03,1.937146e-03,1.925745e-03,1.914429e-03,1.903211e-03,1.892102e-03,1.881112e-03,1.870251e-03,1.859526e-03,1.848943e-03,1.838509e-03,1.828229e-03,1.818106e-03,1.808144e-03
0.000000e+00,4.700530e-11,1.991422e-10,1.429090e-09,4.700080e-09,7.880444e-09,2.280147e-08,2.366247e-08,5.272222e-08,6.374323e-08,9.873104e-08,1.359309e-07,1.651807e-07,2.472259e-07,2.553910e-07,3.723835e-07,4.047361e-07,5.186054e-07,6.138561e-07,6.955170e-07,8.766135e-07,9.030975e-07,1.139389e-06,1.189768e-06,1.400296e-06,1.543782e-06,1.679901e-06,1.924202e-06,1.971343e-06,2.267922e-06,2.315452e-06,2.563923e-06,2.704452e-06,2.854928e-06,3.081954e-06,3.137744e-06,3.410152e-06,3.442065e-06,3.670668e-06,3.781269e-06,3.918348e-06,4.097651e-06,4.152644e-06,4.373308e-06,4.390371e-06,4.580320e-06,4.659332e-06,4.773834e-06,4.904960e-06,4.954133e-06,5.121601e-06,5.128039e-06,5.276692e-06,5.329590e-06,5.419910e-06,5.510788e-06,5.551790e-06,5.672886e-06,5.783758e-06,5.817170e-06,5.884965e-06,5.944918e-06,5.977053e-06,6.057372e-06,6.060553e-06,6.135987e-06,6.155731e-06,6.203851e-06,6.241135e-06,6.264622e-06,6.314658e-06,6.318754e-06,6.366683e-06,6.377310e-06,6.408821e-06,6.430035e-06,6.445558e-06,6.473710e-06,6.477260e-06,6.504274e-06,6.509144e-06,6.526926e-06,6.537084e-06,6.545524e-06,6.558224e-06,6.560355e-06,6.571693e-06,6.573200e-06,6.579791e-06,6.582598e-06,6.584889e-06,6.586957e-06,6.587209e-06,6.586962e-06,6.586769e-06,6.584345e-06,6.582490e-06,6.579541e-06,6.574534e-06,6.572723e-06,6.564052e-06,6.563282e-06,6.553678e-06,6.549083e-06,6.541742e-06,6.532255e-06,6.528376e-06,6.513703e-06,6.513091e-06,6.497838e-06,6.491856e-06,6.480888e-06,6.468794e-06,6.462954e-06,6.444128e-06,6.424499e-06,6.418061e-06,6.404147e-06,6.390777e-06,6.383148e-06,6.362446e-06,6.361572e-06,6.339487e-06,6.333220e-06,6.316953e-06,6.303240e-06,6.294026e-06,6.272634e-06,6.270761e-06,6.247207e-06,6.241517e-06,6.223410e-06,6.209993e-06,6.199412e-06,6.178159e-06,6.175253e-06,6.150970e-06,6.146101e-06,6.126597e-06,6.113898e-06,6.102165e-06,6.081619e-06,6.077704e-06,6.053242e-06,6.049329e-06,6.028803e-06,6.017087e-06,6.004409e-06,5.984943e-06,5.980084e-06,5.955847e-06,5.952945e-06,5.931716e-06,5.921135e-06,5.907706e-06,5.889551e-06,5.883835e-06,5.860116e-06,5.858225e-06,5.836562e-06,5.827189e-06,5.813183e-06,5.796467e-06,5.789993e-06,5.766998e-06,5.766083e-06,5.744210e-06,5.736058e-06,5.721635e-06,5.706410e-06,5.699281e-06,5.677154e-06,5.648304e-06,5.619872e-06,5.591866e-06,5.564295e-06,5.537166e-06,5.510483e-06,5.484251e-06,5.458472e-06,5.433149e-06,5.408281e-06,5.383870e-06,5.359914e-06,5.336411e-06,5.313361e-06,5.290760e-06,5.268605e-06,5.246892e-06,5.225618e-06,5.204778e-06,5.184368e-06,5.164382e-06,5.144816e-06,5.125664e-06,5.106920e-06
0.000000e+00,2.325888e-13,1.563867e-12,2.648261e-11,1.718378e-10,4.037017e-10,2.534068e-09,2.706906e-09,1.159185e-08,1.648168e-08,3.743527e-08,6.866220e-08,9.962839e-08,2.163632e-07,2.303812e-07,4.789044e-07,5.634031e-07,9.157282e-07,1.277173e-06,1.636631e-06,2.603574e-06,2.765329e-06,4.454106e-06,4.874395e-06,6.882004e-06,8.502838e-06,1.025079e-05,1.396742e-05,1.477928e-05,2.069671e-05,2.178794e-05,2.823565e-05,3.249786e-05,3.762514e-05,4.661676e-05,4.908414e-05,6.281571e-05,6.462510e-05,7.900191e-05,8.694289e-05,9.779965e-05,1.139127e-04,1.193374e-04,1.437127e-04,1.457874e-04,1.709908e-04,1.827231e-04,2.012038e-04,2.247755e-04,2.343512e-04,2.703998e-04,2.719013e-04,3.092861e-04,3.239628e-04,3.509174e-04,3.807348e-04,3.951746e-04,4.419145e-04,4.909730e-04,5.071321e-04,5.421679e-04,5.759631e-04,5.953017e-04,6.479404e-04,6.501655e-04,7.065410e-04,7.225666e-04,7.642041e-04,7.993255e-04,8.229275e-04,8.776933e-04,8.824830e-04,9.426443e-04,9.571482e-04,1.003188e-03,1.037179e-03,1.063898e-03,1.117294e-03,1.124564e-03,1.184985e-03,1.197023e-03,1.244970e-03,1.275929e-03,1.304337e-03,1.353605e-03,1.362919e-03,1.420558e-03,1.429683e-03,1.477110e-03,1.503830e-03,1.532443e-03,1.575752e-03,1.586438e-03,1.638989e-03,1.645194e-03,1.690002e-03,1.711939e-03,1.739395e-03,1.775806e-03,1.787097e-03,1.833052e-03,1.836651e-03,1.877209e-03,1.894361e-03,1.919533e-03,1.948855e-03,1.959996e-03,1.998578e-03,2.000082e-03,2.035270e-03,2.048016e-03,2.070070e-03,2.092656e-03,2.102983e-03,2.134021e-03,2.163202e-03,2.172151e-03,2.190549e-03,2.207102e-03,2.216091e-03,2.238944e-03,2.239862e-03,2.261896e-03,2.267760e-03,2.282235e-03,2.293643e-03,2.300922e-03,2.316694e-03,2.318002e-03,2.333523e-03,2.337022e-03,2.347534e-03,2.354740e-03,2.360086e-03,2.369965e-03,2.371230e-03,2.381018e-03,2.382818e-03,2.389504e-03,2.393419e-03,2.396740e-03,2.401891e-03,2.402779e-03,2.407673e-03,2.408354e-03,2.411475e-03,2.412927e-03,2.414236e-03,2.415729e-03,2.416007e-03,2.416837e-03,2.416875e-03,2.416775e-03,2.416477e-03,2.415869e-03,2.414644e-03,2.414165e-03,2.411708e-03,2.411480e-03,2.408542e-03,2.407087e-03,2.404711e-03,2.401562e-03,2.400254e-03,2.395212e-03,2.394999e-03,2.389624e-03,2.387485e-03,2.383525e-03,2.379106e-03,2.376953e-03,2.369941e-03,2.360067e-03,2.349554e-03,2.338471e-03,2.326881e-03,2.314843e-03,2.302414e-03,2.289644e-03,2.276584e-03,2.263277e-03,2.249766e-03,2.236091e-03,2.222286e-03,2.208386e-03,2.194420e-03,2.180418e-03,2.166405e-03,2.152404e-03,2.138438e-03,2.124525e-03,2.110685e-03,2.096932e-03,2.083283e-03,2.069749e-03,2.056343e-03
0.000000e+00,1.069783e-11,4.715410e-11,3.604226e-10,1.233994e-09,2.104286e-09,6.285672e-09,6.529628e-09,1.483733e-08,1.800968e-08,2.811398e-08,3.888154e-08,4.735308e-08,7.111227e-08,7.347606e-08,1.073395e-07,1.167063e-07,1.497060e-07,1.773700e-07,2.011444e-07,2.540924e-07,2.618645e-07,3.315972e-07,3.465701e-07,4.096569e-07,4.532417e-07,4.951388e-07,5.719802e-07,5.870878e-07,6.845719e-07,7.006225e-07,7.866918e-07,8.370983e-07,8.925719e-07,9.794051e-07,1.001353e-06,1.112192e-06,1.125592e-06,1.224273e-06,1.273777e-06,1.336809e-06,1.422185e-06,1.449062e-06,1.560344e-06,1.569185e-06,1.670032e-06,1.713333e-06,1.777569e-06,1.853390e-06,1.882472e-06,1.984327e-06,1.988333e-06,2.082794e-06,2.117358e-06,2.177600e-06,2.239867e-06,2.268535e-06,2.355449e-06,2.438247e-06,2.463863e-06,2.516878e-06,2.565011e-06,2.591336e-06,2.658914e-06,2.661648e-06,2.727872e-06,2.745692e-06,2.790090e-06,2.825540e-06,2.848405e-06,2.898709e-06,2.902936e-06,2.953812e-06,2.965495e-06,3.001175e-06,3.026216e-06,3.045168e-06,3.081213e-06,3.085940e-06,3.123643e-06,3.130828e-06,3.158425e-06,3.175408e-06,3.190436e-06,3.215291e-06,3.219822e-06,3.246725e-06,3.250808e-06,3.271282e-06,3.282276e-06,3.293628e-06,3.309999e-06,3.313890e-06,3.332193e-06,3.334263e-06,3.348653e-06,3.355341e-06,3.363383e-06,3.373486e-06,3.376489e-06,3.388073e-06,3.388937e-06,3.398231e-06,3.401916e-06,3.407054e-06,3.412628e-06,3.414628e-06,3.421034e-06,3.421267e-06,3.426348e-06,3.428008e-06,3.430643e-06,3.433016e-06,3.433986e-06,3.436443e-06,3.438072e-06,3.438428e-06,3.438931e-06,3.439101e-06,3.439072e-06,3.438580e-06,3.438547e-06,3.437401e-06,3.436975e-06,3.435679e-06,3.434387e-06,3.433422e-06,3.430908e-06,3.430670e-06,3.427458e-06,3.426623e-06,3.423822e-06,3.421612e-06,3.419793e-06,3.415946e-06,3.415401e-06,3.410675e-06,3.409692e-06,3.405642e-06,3.402911e-06,3.400326e-06,3.395659e-06,3.394750e-06,3.388938e-06,3.387987e-06,3.382908e-06,3.379943e-06,3.376682e-06,3.371570e-06,3.370276e-06,3.363707e-06,3.362909e-06,3.356993e-06,3.353996e-06,3.350147e-06,3.344865e-06,3.343184e-06,3.336116e-06,3.335547e-06,3.328957e-06,3.326070e-06,3.321717e-06,3.316461e-06,3.314408e-06,3.307040e-06,3.306744e-06,3.299621e-06,3.296940e-06,3.292162e-06,3.287071e-06,3.284670e-06,3.277153e-06,3.267206e-06,3.257243e-06,3.247280e-06,3.237328e-06,3.227401e-06,3.217509e-06,3.207662e-06,3.197868e-06,3.188136e-06,3.178473e-06,3.168887e-06,3.159382e-06,3.149966e-06,3.140641e-06,3.131414e-06,3.122287e-06,3.113264e-06,3.104349e-06,3.095543e-06,3.086850e-06,3.078272e-06,3.069809e-06,3.061464e-06,3.053237e-06
0.000000e+00,1.446378e-10,4.306140e-10,1.948308e-09,5.020435e-09,7.664674e-09,1.880964e-08,1.942242e-08,3.936501e-08,4.672652e-08,6.982665e-08,9.423644e-08,1.134406e-07,1.676093e-07,1.730271e-07,2.509885e-07,2.725749e-07,3.481520e-07,4.104575e-07,4.629550e-07,5.759595e-07,5.920886e-07,7.319177e-07,7.608812e-07,8.793344e-07,9.581545e-07,1.031890e-06,1.162572e-06,1.187637e-06,1.344961e-06,1.370184e-06,1.502469e-06,1.577771e-06,1.658928e-06,1.782597e-06,1.813239e-06,1.964433e-06,1.982326e-06,2.111666e-06,2.175003e-06,2.254216e-06,2.359055e-06,2.391494e-06,2.523029e-06,2.533292e-06,2.648468e-06,2.696879e-06,2.767566e-06,2.849304e-06,2.880175e-06,2.986230e-06,2.990336e-06,3.085742e-06,3.119977e-06,3.178782e-06,3.238411e-06,3.265469e-06,3.345967e-06,3.420474e-06,3.443086e-06,3.489207e-06,3.530275e-06,3.552403e-06,3.608089e-06,3.610307e-06,3.663170e-06,3.677103e-06,3.711247e-06,3.737900e-06,3.754789e-06,3.791056e-06,3.794044e-06,3.829257e-06,3.837132e-06,3.860661e-06,3.876668e-06,3.888483e-06,3.910178e-06,3.912943e-06,3.934248e-06,3.938148e-06,3.952597e-06,3.961034e-06,3.968180e-06,3.979264e-06,3.981177e-06,3.991757e-06,3.993237e-06,4.000082e-06,4.003321e-06,4.006303e-06,4.009862e-06,4.010563e-06,4.012999e-06,4.013175e-06,4.013736e-06,4.013554e-06,4.012895e-06,4.011270e-06,4.010588e-06,4.006921e-06,4.006572e-06,4.001992e-06,3.999689e-06,3.995896e-06,3.990832e-06,3.988719e-06,3.980543e-06,3.980196e-06,3.971446e-06,3.967959e-06,3.961499e-06,3.954285e-06,3.950771e-06,3.939324e-06,3.927217e-06,3.923213e-06,3.914508e-06,3.906081e-06,3.901246e-06,3.888042e-06,3.887482e-06,3.873261e-06,3.869203e-06,3.858626e-06,3.849663e-06,3.843616e-06,3.829509e-06,3.828270e-06,3.812622e-06,3.808825e-06,3.796704e-06,3.787685e-06,3.780549e-06,3.766157e-06,3.764183e-06,3.747635e-06,3.744306e-06,3.730929e-06,3.722187e-06,3.714088e-06,3.699854e-06,3.697135e-06,3.680089e-06,3.677354e-06,3.662970e-06,3.654732e-06,3.645795e-06,3.632027e-06,3.628581e-06,3.611344e-06,3.609275e-06,3.594098e-06,3.586510e-06,3.576855e-06,3.563762e-06,3.559630e-06,3.542432e-06,3.541058e-06,3.525274e-06,3.518424e-06,3.508165e-06,3.495881e-06,3.491113e-06,3.474129e-06,3.473451e-06,3.457219e-06,3.451151e-06,3.440392e-06,3.428999e-06,3.423653e-06,3.407010e-06,3.385196e-06,3.363570e-06,3.342143e-06,3.320924e-06,3.299922e-06,3.279144e-06,3.258597e-06,3.238286e-06,3.218217e-06,3.198393e-06,3.178818e-06,3.159494e-06,3.140425e-06,3.121611e-06,3.103055e-06,3.084757e-06,3.066717e-06,3.048937e-06,3.031414e-06,3.014150e-06,2.997143e-06,2.980392e-06,2.963896e-06,2.947654e-06
0.000000e+00,5.825533e-13,3.958929e-12,6.853324e-11,4.536621e-10,1.077502e-09,6.956277e-09,7.439204e-09,3.275181e-08,4.691802e-08,1.085869e-07,2.022027e-07,2.962957e-07,6.577130e-07,7.016276e-07,1.491829e-06,1.764286e-06,2.914319e-06,4.111474e-06,5.314845e-06,8.597676e-06,9.152036e-06,1.500555e-05,1.647783e-05,2.357651e-05,2.937383e-05,3.568033e-05,4.924533e-05,5.223302e-05,7.423248e-05,7.832789e-05,1.027363e-04,1.190487e-04,1.388373e-04,1.739293e-04,1.836381e-04,2.382259e-04,2.454844e-04,3.036477e-04,3.361219e-04,3.808876e-04,4.480515e-04,4.708459e-04,5.743207e-04,5.832038e-04,6.919924e-04,7.431641e-04,8.244115e-04,9.291216e-04,9.719895e-04,1.134993e-03,1.141836e-03,1.313538e-03,1.381619e-03,1.507597e-03,1.648334e-03,1.716993e-03,1.941411e-03,2.180402e-03,2.259867e-03,2.433394e-03,2.602344e-03,2.699701e-03,2.967153e-03,2.978537e-03,3.269026e-03,3.352323e-03,3.570217e-03,3.755650e-03,3.881098e-03,4.174752e-03,4.200605e-03,4.527640e-03,4.607124e-03,4.861081e-03,5.050184e-03,5.199795e-03,5.501323e-03,5.542646e-03,5.888510e-03,5.957947e-03,6.236281e-03,6.417516e-03,6.584880e-03,6.877578e-03,6.933263e-03,7.280428e-03,7.335796e-03,7.625417e-03,7.789971e-03,7.967325e-03,8.238058e-03,8.305299e-03,8.638546e-03,8.678182e-03,8.966327e-03,9.108644e-03,9.287968e-03,9.527927e-03,9.602852e-03,9.910425e-03,9.934699e-03,1.021019e-02,1.032781e-02,1.050171e-02,1.070628e-02,1.078460e-02,1.105854e-02,1.106931e-02,1.132326e-02,1.141626e-02,1.157853e-02,1.174663e-02,1.182419e-02,1.206010e-02,1.228617e-02,1.235643e-02,1.250238e-02,1.263556e-02,1.270869e-02,1.289748e-02,1.290515e-02,1.309181e-02,1.314233e-02,1.326876e-02,1.337031e-02,1.343610e-02,1.358169e-02,1.359398e-02,1.374254e-02,1.377683e-02,1.388198e-02,1.395614e-02,1.401247e-02,1.412007e-02,1.413422e-02,1.424746e-02,1.426910e-02,1.435240e-02,1.440378e-02,1.444929e-02,1.452463e-02,1.453837e-02,1.461988e-02,1.463224e-02,1.469408e-02,1.472718e-02,1.476123e-02,1.481003e-02,1.482157e-02,1.487537e-02,1.488140e-02,1.492287e-02,1.494185e-02,1.496434e-02,1.499198e-02,1.500003e-02,1.503017e-02,1.503235e-02,1.505503e-02,1.506354e-02,1.507482e-02,1.508608e-02,1.508980e-02,1.510020e-02,1.510052e-02,1.510622e-02,1.510737e-02,1.510811e-02,1.510713e-02,1.510606e-02,1.510028e-02,1.508729e-02,1.506860e-02,1.504464e-02,1.501581e-02,1.498249e-02,1.494506e-02,1.490385e-02,1.485919e-02,1.481140e-02,1.476077e-02,1.470757e-02,1.465206e-02,1.459448e-02,1.453507e-02,1.447403e-02,1.441157e-02,1.434786e-02,1.428309e-02,1.421742e-02,1.415099e-02,1.408394e-02,1.401642e-02,1.394852e-02,1.388038e-02
0.000000e+00,2.572326e-13,1.746776e-12,3.018630e-11,1.994601e-10,4.732131e-10,3.044534e-09,3.255374e-09,1.426743e-08,2.040868e-08,4.703556e-08,8.723387e-08,1.274482e-07,2.807343e-07,2.992605e-07,6.300765e-07,7.432600e-07,1.217506e-06,1.706713e-06,2.195147e-06,3.516105e-06,3.737933e-06,6.066187e-06,6.648817e-06,9.447623e-06,1.172478e-05,1.419662e-05,1.950295e-05,2.067054e-05,2.926308e-05,3.086234e-05,4.039538e-05,4.676925e-05,5.450535e-05,6.823519e-05,7.203616e-05,9.342432e-05,9.627025e-05,1.190882e-04,1.318366e-04,1.494174e-04,1.758054e-04,1.847629e-04,2.254292e-04,2.289202e-04,2.716671e-04,2.917676e-04,3.236697e-04,3.647571e-04,3.815681e-04,4.454301e-04,4.481088e-04,5.152599e-04,5.418502e-04,5.909992e-04,6.458194e-04,6.725296e-04,7.596756e-04,8.522093e-04,8.829141e-04,9.498548e-04,1.014885e-03,1.052294e-03,1.154817e-03,1.159172e-03,1.270104e-03,1.301835e-03,1.384678e-03,1.454993e-03,1.502465e-03,1.613287e-03,1.623023e-03,1.745901e-03,1.775687e-03,1.870645e-03,1.941148e-03,1.996804e-03,2.108640e-03,2.123932e-03,2.251594e-03,2.277153e-03,2.379368e-03,2.445719e-03,2.506847e-03,2.613419e-03,2.633646e-03,2.759397e-03,2.779397e-03,2.883757e-03,2.942861e-03,3.006406e-03,3.103093e-03,3.127048e-03,3.245411e-03,3.259450e-03,3.361252e-03,3.411364e-03,3.474348e-03,3.558346e-03,3.584506e-03,3.691554e-03,3.699979e-03,3.795344e-03,3.835920e-03,3.895753e-03,3.965895e-03,3.992678e-03,4.086037e-03,4.089696e-03,4.175769e-03,4.207175e-03,4.261831e-03,4.318243e-03,4.344197e-03,4.422858e-03,4.497820e-03,4.521029e-03,4.569101e-03,4.612804e-03,4.636734e-03,4.698268e-03,4.700761e-03,4.761235e-03,4.777540e-03,4.818220e-03,4.850764e-03,4.871784e-03,4.918109e-03,4.922006e-03,4.968968e-03,4.979763e-03,5.012759e-03,5.035931e-03,5.053471e-03,5.086828e-03,5.091201e-03,5.126048e-03,5.132680e-03,5.158112e-03,5.173720e-03,5.187496e-03,5.210183e-03,5.214303e-03,5.238637e-03,5.242308e-03,5.260601e-03,5.270331e-03,5.280297e-03,5.294490e-03,5.297828e-03,5.313294e-03,5.315016e-03,5.326795e-03,5.332138e-03,5.338428e-03,5.346078e-03,5.348288e-03,5.356470e-03,5.357054e-03,5.363062e-03,5.365274e-03,5.368155e-03,5.370941e-03,5.371833e-03,5.374180e-03,5.374247e-03,5.375276e-03,5.375379e-03,5.375198e-03,5.374513e-03,5.374021e-03,5.371816e-03,5.367450e-03,5.361564e-03,5.354301e-03,5.345796e-03,5.336175e-03,5.325556e-03,5.314050e-03,5.301760e-03,5.288782e-03,5.275207e-03,5.261116e-03,5.246588e-03,5.231692e-03,5.216496e-03,5.201060e-03,5.185438e-03,5.169683e-03,5.153840e-03,5.137952e-03,5.122057e-03,5.106192e-03,5.090387e-03,5.074672e-03,5.059071e-03
0.000000e+00,1.184766e-11,2.729075e-11,9.429079e-11,2.146425e-10,3.130157e-10,7.084052e-10,7.296271e-10,1.404799e-09,1.648627e-09,2.401079e-09,3.179879e-09,3.782951e-09,5.445163e-09,5.608537e-09,7.909255e-09,8.531732e-09,1.067388e-08,1.240937e-08,1.385978e-08,1.697140e-08,1.741609e-08,2.129530e-08,2.210603e-08,2.545406e-08,2.771335e-08,2.985106e-08,3.369875e-08,3.444542e-08,3.919609e-08,3.996795e-08,4.406200e-08,4.642663e-08,4.900264e-08,5.298259e-08,5.397887e-08,5.895360e-08,5.954880e-08,6.389249e-08,6.604612e-08,6.876446e-08,7.240533e-08,7.354198e-08,7.820127e-08,7.856828e-08,8.272227e-08,8.448816e-08,8.708858e-08,9.012909e-08,9.128715e-08,9.530812e-08,9.546516e-08,9.914456e-08,1.004796e-07,1.027921e-07,1.051633e-07,1.062484e-07,1.095133e-07,1.125881e-07,1.135322e-07,1.154753e-07,1.172263e-07,1.181786e-07,1.206050e-07,1.207026e-07,1.230524e-07,1.236799e-07,1.252338e-07,1.264642e-07,1.272528e-07,1.289722e-07,1.291156e-07,1.308289e-07,1.312185e-07,1.323990e-07,1.332181e-07,1.338324e-07,1.349859e-07,1.351356e-07,1.363150e-07,1.365365e-07,1.373767e-07,1.378843e-07,1.383268e-07,1.390429e-07,1.391711e-07,1.399155e-07,1.400256e-07,1.405652e-07,1.408451e-07,1.411257e-07,1.415132e-07,1.416020e-07,1.419989e-07,1.420415e-07,1.423212e-07,1.424405e-07,1.425733e-07,1.427205e-07,1.427593e-07,1.428835e-07,1.428908e-07,1.429495e-07,1.429605e-07,1.429612e-07,1.429380e-07,1.429220e-07,1.428353e-07,1.428309e-07,1.427041e-07,1.426466e-07,1.425316e-07,1.423920e-07,1.423204e-07,1.420735e-07,1.417932e-07,1.416968e-07,1.414820e-07,1.412677e-07,1.411422e-07,1.407911e-07,1.407760e-07,1.403854e-07,1.402719e-07,1.399723e-07,1.397145e-07,1.395387e-07,1.391230e-07,1.390862e-07,1.386164e-07,1.385013e-07,1.381309e-07,1.378528e-07,1.376312e-07,1.371808e-07,1.371186e-07,1.365944e-07,1.364883e-07,1.360599e-07,1.357782e-07,1.355161e-07,1.350529e-07,1.349641e-07,1.344050e-07,1.343150e-07,1.338398e-07,1.335665e-07,1.332692e-07,1.328095e-07,1.326942e-07,1.321155e-07,1.320458e-07,1.315339e-07,1.312772e-07,1.309500e-07,1.305052e-07,1.303646e-07,1.297781e-07,1.297312e-07,1.291913e-07,1.289565e-07,1.286045e-07,1.281824e-07,1.280184e-07,1.274333e-07,1.274099e-07,1.268497e-07,1.266400e-07,1.262679e-07,1.258736e-07,1.256885e-07,1.251116e-07,1.243547e-07,1.236035e-07,1.228586e-07,1.221206e-07,1.213900e-07,1.206672e-07,1.199525e-07,1.192464e-07,1.185490e-07,1.178607e-07,1.171817e-07,1.165121e-07,1.158521e-07,1.152018e-07,1.145613e-07,1.139307e-07,1.133101e-07,1.126995e-07,1.120988e-07,1.115082e-07,1.109276e-07,1.103569e-07,1.097961e-07,1.092452e-07
0.000000e+00,3.720443e-12,2.168637e-11,2.745218e-10,1.375880e-09,2.814115e-09,1.249884e-08,1.317007e-08,4.084850e-08,5.341132e-08,9.905393e-08,1.555316e-07,2.047882e-07,3.621564e-07,3.792025e-07,6.468025e-07,7.276429e-07,1.031326e-06,1.304084e-06,1.548369e-06,2.114770e-06,2.199753e-06,2.974237e-06,3.142315e-06,3.853059e-06,4.344441e-06,4.815759e-06,5.675496e-06,5.843655e-06,6.920973e-06,7.097025e-06,8.034649e-06,8.578834e-06,9.173676e-06,1.009671e-05,1.032852e-05,1.149074e-05,1.163034e-05,1.265278e-05,1.316225e-05,1.380789e-05,1.467743e-05,1.495009e-05,1.607420e-05,1.616320e-05,1.717579e-05,1.760927e-05,1.825118e-05,1.900753e-05,1.929738e-05,2.031205e-05,2.035196e-05,2.129343e-05,2.163832e-05,2.224025e-05,2.286391e-05,2.315168e-05,2.402728e-05,2.486689e-05,2.512798e-05,2.567064e-05,2.616636e-05,2.643885e-05,2.714337e-05,2.717203e-05,2.787079e-05,2.806037e-05,2.853587e-05,2.891909e-05,2.916809e-05,2.972145e-05,2.976831e-05,3.033744e-05,3.046951e-05,3.087642e-05,3.116544e-05,3.138622e-05,3.181147e-05,3.186780e-05,3.232214e-05,3.240983e-05,3.275019e-05,3.296271e-05,3.315290e-05,3.347228e-05,3.353120e-05,3.388602e-05,3.394067e-05,3.421825e-05,3.436996e-05,3.452878e-05,3.476215e-05,3.481846e-05,3.508814e-05,3.511919e-05,3.533861e-05,3.544294e-05,3.557068e-05,3.573521e-05,3.578511e-05,3.598264e-05,3.599774e-05,3.616400e-05,3.623217e-05,3.632987e-05,3.644008e-05,3.648093e-05,3.661782e-05,3.662301e-05,3.674118e-05,3.678239e-05,3.685161e-05,3.691961e-05,3.694969e-05,3.703600e-05,3.711106e-05,3.713279e-05,3.717541e-05,3.721119e-05,3.722953e-05,3.727233e-05,3.727393e-05,3.730906e-05,3.731729e-05,3.733537e-05,3.734709e-05,3.735328e-05,3.736271e-05,3.736322e-05,3.736558e-05,3.736507e-05,3.736075e-05,3.735503e-05,3.734908e-05,3.733344e-05,3.733093e-05,3.730664e-05,3.730108e-05,3.727654e-05,3.725869e-05,3.724092e-05,3.720697e-05,3.720010e-05,3.715435e-05,3.714659e-05,3.710395e-05,3.707819e-05,3.704916e-05,3.700234e-05,3.699024e-05,3.692742e-05,3.691963e-05,3.686094e-05,3.683058e-05,3.679101e-05,3.673569e-05,3.671784e-05,3.664165e-05,3.663543e-05,3.656262e-05,3.653025e-05,3.648094e-05,3.642058e-05,3.639678e-05,3.631031e-05,3.630681e-05,3.622171e-05,3.618931e-05,3.613111e-05,3.606844e-05,3.603867e-05,3.594453e-05,3.581790e-05,3.568882e-05,3.555759e-05,3.542447e-05,3.528968e-05,3.515348e-05,3.501606e-05,3.487764e-05,3.473840e-05,3.459851e-05,3.445815e-05,3.431747e-05,3.417661e-05,3.403571e-05,3.389490e-05,3.375429e-05,3.361399e-05,3.347411e-05,3.333474e-05,3.319596e-05,3.305787e-05,3.292053e-05,3.278401e-05,3.264838e-05
0.000000e+00,2.665695e-13,1.806118e-12,3.106648e-11,2.044045e-10,4.838263e-10,3.095015e-09,3.308611e-09,1.442702e-08,2.061141e-08,4.737241e-08,8.770367e-08,1.280205e-07,2.816736e-07,3.002501e-07,6.323485e-07,7.461413e-07,1.223758e-06,1.717524e-06,2.211265e-06,3.548551e-06,3.773247e-06,6.130764e-06,6.720063e-06,9.544951e-06,1.183480e-05,1.431104e-05,1.959343e-05,2.074977e-05,2.919709e-05,3.075783e-05,3.999310e-05,4.610778e-05,5.347080e-05,6.639653e-05,6.994552e-05,8.970512e-05,9.230941e-05,1.130016e-04,1.244281e-04,1.400441e-04,1.632026e-04,1.709935e-04,2.059585e-04,2.089312e-04,2.449936e-04,2.617491e-04,2.880985e-04,3.216253e-04,3.352183e-04,3.862464e-04,3.883668e-04,4.410270e-04,4.616292e-04,4.993590e-04,5.409319e-04,5.610015e-04,6.256783e-04,6.930839e-04,7.151768e-04,7.628893e-04,8.086648e-04,8.347480e-04,9.053312e-04,9.083013e-04,9.831842e-04,1.004340e-03,1.059030e-03,1.104849e-03,1.135477e-03,1.206032e-03,1.212169e-03,1.288762e-03,1.307093e-03,1.364929e-03,1.407280e-03,1.440359e-03,1.505894e-03,1.514759e-03,1.587861e-03,1.602304e-03,1.659419e-03,1.695944e-03,1.729210e-03,1.786322e-03,1.797034e-03,1.862718e-03,1.873018e-03,1.926111e-03,1.955688e-03,1.987087e-03,2.034056e-03,2.045541e-03,2.101391e-03,2.107914e-03,2.154574e-03,2.177119e-03,2.205049e-03,2.241583e-03,2.252792e-03,2.297793e-03,2.301275e-03,2.340062e-03,2.356209e-03,2.379620e-03,2.406441e-03,2.416500e-03,2.450747e-03,2.452063e-03,2.482417e-03,2.493199e-03,2.511572e-03,2.529996e-03,2.538282e-03,2.562623e-03,2.584678e-03,2.591266e-03,2.604530e-03,2.616120e-03,2.622268e-03,2.637392e-03,2.637983e-03,2.651765e-03,2.655290e-03,2.663706e-03,2.670027e-03,2.673901e-03,2.681815e-03,2.682439e-03,2.689412e-03,2.690863e-03,2.694909e-03,2.697376e-03,2.699018e-03,2.701554e-03,2.701825e-03,2.703412e-03,2.703590e-03,2.703860e-03,2.703668e-03,2.703246e-03,2.701966e-03,2.701647e-03,2.699134e-03,2.698652e-03,2.695777e-03,2.693884e-03,2.691640e-03,2.687812e-03,2.686787e-03,2.681278e-03,2.680576e-03,2.675170e-03,2.672306e-03,2.668516e-03,2.663125e-03,2.661367e-03,2.653772e-03,2.653147e-03,2.645776e-03,2.642475e-03,2.637422e-03,2.631207e-03,2.628749e-03,2.619796e-03,2.619433e-03,2.610598e-03,2.607233e-03,2.601188e-03,2.594683e-03,2.591595e-03,2.581850e-03,2.568797e-03,2.555579e-03,2.542247e-03,2.528848e-03,2.515422e-03,2.502006e-03,2.488634e-03,2.475335e-03,2.462134e-03,2.449055e-03,2.436118e-03,2.423341e-03,2.410738e-03,2.398324e-03,2.386109e-03,2.374102e-03,2.362313e-03,2.350747e-03,2.339410e-03,2.328306e-03,2.317437e-03,2.306806e-03,2.296414e-03,2.286261e-03
0.000000e+00,2.863514e-13,1.884486e-12,3.049226e-11,1.895909e-10,4.348874e-10,2.562335e-09,2.729933e-09,1.095406e-08,1.529658e-08,3.318424e-08,5.861131e-08,8.295643e-08,1.703119e-07,1.804747e-07,3.535939e-07,4.102342e-07,6.385456e-07,8.633502e-07,1.080209e-06,1.640348e-06,1.731475e-06,2.651121e-06,2.872629e-06,3.900003e-06,4.699023e-06,5.536014e-06,7.246136e-06,7.608847e-06,1.015558e-05,1.060872e-05,1.319781e-05,1.483615e-05,1.674044e-05,1.992770e-05,2.077210e-05,2.526671e-05,2.583546e-05,3.018577e-05,3.247248e-05,3.548106e-05,3.972332e-05,4.109739e-05,4.697520e-05,4.745488e-05,5.305289e-05,5.552607e-05,5.926874e-05,6.379583e-05,6.556260e-05,7.187717e-05,7.212941e-05,7.815893e-05,8.040275e-05,8.435890e-05,8.850549e-05,9.043306e-05,9.634264e-05,1.020542e-04,1.038354e-04,1.075396e-04,1.109208e-04,1.127759e-04,1.175516e-04,1.177450e-04,1.224335e-04,1.236946e-04,1.268322e-04,1.293299e-04,1.309357e-04,1.344486e-04,1.347422e-04,1.382531e-04,1.390520e-04,1.414721e-04,1.431495e-04,1.444055e-04,1.467569e-04,1.470613e-04,1.494492e-04,1.498955e-04,1.515799e-04,1.525901e-04,1.534652e-04,1.548683e-04,1.551175e-04,1.565496e-04,1.567592e-04,1.577745e-04,1.582927e-04,1.588053e-04,1.594987e-04,1.596547e-04,1.603355e-04,1.604065e-04,1.608601e-04,1.610445e-04,1.612404e-04,1.614399e-04,1.614877e-04,1.616131e-04,1.616181e-04,1.616268e-04,1.616033e-04,1.615387e-04,1.614175e-04,1.613581e-04,1.610935e-04,1.610813e-04,1.607530e-04,1.606134e-04,1.603443e-04,1.600309e-04,1.598742e-04,1.593493e-04,1.587755e-04,1.585825e-04,1.581585e-04,1.577433e-04,1.575033e-04,1.568427e-04,1.568146e-04,1.560966e-04,1.558909e-04,1.553534e-04,1.548969e-04,1.545886e-04,1.538686e-04,1.538054e-04,1.530068e-04,1.528132e-04,1.521956e-04,1.517368e-04,1.513743e-04,1.506449e-04,1.505451e-04,1.497101e-04,1.495425e-04,1.488711e-04,1.484338e-04,1.480298e-04,1.473226e-04,1.471878e-04,1.463465e-04,1.462120e-04,1.455070e-04,1.451051e-04,1.446705e-04,1.440042e-04,1.438380e-04,1.430104e-04,1.429114e-04,1.421885e-04,1.418288e-04,1.413729e-04,1.407578e-04,1.405644e-04,1.397635e-04,1.396998e-04,1.389707e-04,1.386559e-04,1.381864e-04,1.376272e-04,1.374110e-04,1.366449e-04,1.366145e-04,1.358883e-04,1.356183e-04,1.351415e-04,1.346394e-04,1.344047e-04,1.336780e-04,1.327346e-04,1.318094e-04,1.309026e-04,1.300142e-04,1.291444e-04,1.282931e-04,1.274602e-04,1.266458e-04,1.258496e-04,1.250716e-04,1.243114e-04,1.235690e-04,1.228441e-04,1.221364e-04,1.214458e-04,1.207719e-04,1.201145e-04,1.194733e-04,1.188480e-04,1.182383e-04,1.176440e-04,1.170646e-04,1.164999e-04,1.159497e-04
0.000000e+00,4.923429e-11,1.559964e-10,7.576141e-10,2.018267e-09,3.117977e-09,7.789504e-09,8.046669e-09,1.638052e-08,1.943184e-08,2.890338e-08,3.874246e-08,4.636967e-08,6.743397e-08,6.951048e-08,9.898892e-08,1.070651e-07,1.352696e-07,1.586140e-07,1.784572e-07,2.219599e-07,2.282717e-07,2.841978e-07,2.960648e-07,3.456464e-07,3.795861e-07,4.120282e-07,4.711774e-07,4.827639e-07,5.572737e-07,5.695063e-07,6.349694e-07,6.732196e-07,7.152524e-07,7.809347e-07,7.975171e-07,8.811585e-07,8.912596e-07,9.655822e-07,1.002828e-06,1.050214e-06,1.114337e-06,1.134510e-06,1.217961e-06,1.224586e-06,1.300104e-06,1.332501e-06,1.380526e-06,1.437157e-06,1.458862e-06,1.534801e-06,1.537785e-06,1.608084e-06,1.633774e-06,1.678502e-06,1.724665e-06,1.745892e-06,1.810137e-06,1.871156e-06,1.889994e-06,1.928908e-06,1.964148e-06,1.983382e-06,2.032607e-06,2.034593e-06,2.082583e-06,2.095451e-06,2.127411e-06,2.152820e-06,2.169151e-06,2.204902e-06,2.207893e-06,2.243736e-06,2.251918e-06,2.276785e-06,2.294113e-06,2.307151e-06,2.331746e-06,2.334951e-06,2.360300e-06,2.365086e-06,2.383317e-06,2.394402e-06,2.404118e-06,2.419963e-06,2.422819e-06,2.439532e-06,2.442029e-06,2.454369e-06,2.460856e-06,2.467437e-06,2.476687e-06,2.478838e-06,2.488674e-06,2.489753e-06,2.497038e-06,2.500277e-06,2.504024e-06,2.508465e-06,2.509718e-06,2.514203e-06,2.514513e-06,2.517560e-06,2.518604e-06,2.519863e-06,2.520909e-06,2.521183e-06,2.521589e-06,2.521587e-06,2.521143e-06,2.520786e-06,2.519906e-06,2.518643e-06,2.517936e-06,2.515286e-06,2.512006e-06,2.510831e-06,2.508144e-06,2.505388e-06,2.503746e-06,2.499057e-06,2.498853e-06,2.493505e-06,2.491931e-06,2.487739e-06,2.484093e-06,2.481590e-06,2.475624e-06,2.475092e-06,2.468274e-06,2.466594e-06,2.461167e-06,2.457070e-06,2.453796e-06,2.447113e-06,2.446188e-06,2.438366e-06,2.436778e-06,2.430353e-06,2.426117e-06,2.422168e-06,2.415176e-06,2.413833e-06,2.405365e-06,2.403999e-06,2.396781e-06,2.392625e-06,2.388097e-06,2.381089e-06,2.379329e-06,2.370489e-06,2.369424e-06,2.361591e-06,2.357661e-06,2.352647e-06,2.345826e-06,2.343669e-06,2.334666e-06,2.333945e-06,2.325649e-06,2.322040e-06,2.316626e-06,2.310131e-06,2.307607e-06,2.298598e-06,2.298238e-06,2.289608e-06,2.286377e-06,2.280643e-06,2.274564e-06,2.271709e-06,2.262811e-06,2.251133e-06,2.239539e-06,2.228040e-06,2.216645e-06,2.205362e-06,2.194197e-06,2.183158e-06,2.172249e-06,2.161475e-06,2.150842e-06,2.140351e-06,2.130006e-06,2.119810e-06,2.109765e-06,2.099872e-06,2.090133e-06,2.080548e-06,2.071119e-06,2.061845e-06,2.052727e-06,2.043765e-06,2.034958e-06,2.026305e-06,2.017806e-06
0.000000e+00,7.958897e-12,1.830179e-11,6.381681e-11,1.484264e-10,2.202720e-10,5.323386e-10,5.500998e-10,1.162630e-09,1.403061e-09,2.185548e-09,3.022725e-09,3.668374e-09,5.381602e-09,5.543853e-09,7.724824e-09,8.286871e-09,1.015519e-08,1.161239e-08,1.280220e-08,1.529275e-08,1.564327e-08,1.865853e-08,1.928072e-08,2.182762e-08,2.352915e-08,2.512871e-08,2.798668e-08,2.853857e-08,3.203302e-08,3.259835e-08,3.558773e-08,3.730837e-08,3.917893e-08,4.206294e-08,4.278404e-08,4.638200e-08,4.681234e-08,4.995365e-08,5.151249e-08,5.348243e-08,5.612678e-08,5.695408e-08,6.035639e-08,6.062527e-08,6.367933e-08,6.498441e-08,6.691481e-08,6.918656e-08,7.005645e-08,7.309942e-08,7.321903e-08,7.604023e-08,7.707345e-08,7.887664e-08,8.074498e-08,8.160714e-08,8.423067e-08,8.674779e-08,8.753096e-08,8.915943e-08,9.064799e-08,9.146669e-08,9.358500e-08,9.367123e-08,9.577474e-08,9.634591e-08,9.777935e-08,9.893557e-08,9.968729e-08,1.013592e-07,1.015009e-07,1.032226e-07,1.036224e-07,1.048551e-07,1.057312e-07,1.064009e-07,1.076915e-07,1.078626e-07,1.092429e-07,1.095094e-07,1.105444e-07,1.111909e-07,1.117697e-07,1.127419e-07,1.129213e-07,1.140019e-07,1.141684e-07,1.150140e-07,1.154762e-07,1.159600e-07,1.166708e-07,1.168423e-07,1.176634e-07,1.177579e-07,1.184255e-07,1.187427e-07,1.191309e-07,1.196304e-07,1.197818e-07,1.203803e-07,1.204260e-07,1.209287e-07,1.211344e-07,1.214287e-07,1.217600e-07,1.218826e-07,1.222921e-07,1.223076e-07,1.226591e-07,1.227812e-07,1.229855e-07,1.231851e-07,1.232730e-07,1.235233e-07,1.237380e-07,1.237994e-07,1.239187e-07,1.240172e-07,1.240669e-07,1.241801e-07,1.241842e-07,1.242719e-07,1.242914e-07,1.243315e-07,1.243543e-07,1.243642e-07,1.243718e-07,1.243714e-07,1.243544e-07,1.243468e-07,1.243142e-07,1.242820e-07,1.242521e-07,1.241801e-07,1.241691e-07,1.240664e-07,1.240436e-07,1.239449e-07,1.238747e-07,1.238058e-07,1.236758e-07,1.236498e-07,1.234780e-07,1.234491e-07,1.232912e-07,1.231964e-07,1.230902e-07,1.229199e-07,1.228760e-07,1.226492e-07,1.226212e-07,1.224106e-07,1.223021e-07,1.221610e-07,1.219643e-07,1.219010e-07,1.216313e-07,1.216093e-07,1.213525e-07,1.212386e-07,1.210653e-07,1.208537e-07,1.207703e-07,1.204679e-07,1.204557e-07,1.201588e-07,1.200459e-07,1.198434e-07,1.196256e-07,1.195222e-07,1.191958e-07,1.187576e-07,1.183119e-07,1.178598e-07,1.174020e-07,1.169393e-07,1.164727e-07,1.160027e-07,1.155301e-07,1.150555e-07,1.145794e-07,1.141026e-07,1.136254e-07,1.131484e-07,1.126720e-07,1.121967e-07,1.117228e-07,1.112508e-07,1.107809e-07,1.103135e-07,1.098489e-07,1.093873e-07,1.089290e-07,1.084742e-07,1.080231e-07
0.000000e+00,7.625011e-12,1.754074e-11,6.099377e-11,1.410748e-10,2.084930e-10,4.968907e-10,5.131379e-10,1.067308e-09,1.283138e-09,1.985996e-09,2.743947e-09,3.333432e-09,4.911993e-09,5.062166e-09,7.084858e-09,7.606431e-09,9.338694e-09,1.068716e-08,1.178609e-08,1.407990e-08,1.440201e-08,1.716579e-08,1.773454e-08,2.005734e-08,2.160452e-08,2.305567e-08,2.564071e-08,2.613877e-08,2.928396e-08,2.979143e-08,3.246855e-08,3.400462e-08,3.567045e-08,3.823037e-08,3.886881e-08,4.204443e-08,4.242314e-08,4.518012e-08,4.654322e-08,4.826085e-08,5.055748e-08,5.127380e-08,5.420836e-08,5.443947e-08,5.705595e-08,5.816907e-08,5.980987e-08,6.173185e-08,6.246518e-08,6.501851e-08,6.511848e-08,6.746781e-08,6.832385e-08,6.981198e-08,7.134584e-08,7.205084e-08,7.418498e-08,7.621562e-08,7.684384e-08,7.814449e-08,7.932653e-08,7.997375e-08,8.163844e-08,8.170590e-08,8.334364e-08,8.378567e-08,8.488986e-08,8.577492e-08,8.634760e-08,8.761338e-08,8.772013e-08,8.901091e-08,8.930888e-08,9.022303e-08,9.086858e-08,9.135951e-08,9.229949e-08,9.242343e-08,9.341773e-08,9.360850e-08,9.434532e-08,9.480226e-08,9.520906e-08,9.588728e-08,9.601172e-08,9.675600e-08,9.686984e-08,9.744448e-08,9.775587e-08,9.807966e-08,9.855105e-08,9.866396e-08,9.919974e-08,9.926088e-08,9.968927e-08,9.989057e-08,1.001347e-07,1.004451e-07,1.005382e-07,1.009016e-07,1.009291e-07,1.012271e-07,1.013470e-07,1.015163e-07,1.017032e-07,1.017712e-07,1.019934e-07,1.020016e-07,1.021845e-07,1.022460e-07,1.023462e-07,1.024400e-07,1.024799e-07,1.025870e-07,1.026690e-07,1.026901e-07,1.027271e-07,1.027524e-07,1.027627e-07,1.027767e-07,1.027769e-07,1.027709e-07,1.027657e-07,1.027457e-07,1.027219e-07,1.027025e-07,1.026477e-07,1.026423e-07,1.025659e-07,1.025453e-07,1.024744e-07,1.024168e-07,1.023686e-07,1.022643e-07,1.022493e-07,1.021173e-07,1.020895e-07,1.019734e-07,1.018942e-07,1.018184e-07,1.016800e-07,1.016529e-07,1.014775e-07,1.014486e-07,1.012930e-07,1.012013e-07,1.010998e-07,1.009395e-07,1.008987e-07,1.006900e-07,1.006645e-07,1.004744e-07,1.003775e-07,1.002524e-07,1.000796e-07,1.000244e-07,9.979077e-08,9.977186e-08,9.955208e-08,9.945526e-08,9.930868e-08,9.913074e-08,9.906096e-08,9.880929e-08,9.879915e-08,9.855403e-08,9.846131e-08,9.829549e-08,9.811798e-08,9.803401e-08,9.776987e-08,9.741764e-08,9.706191e-08,9.670325e-08,9.634222e-08,9.597931e-08,9.561500e-08,9.524971e-08,9.488387e-08,9.451784e-08,9.415199e-08,9.378664e-08,9.342209e-08,9.305862e-08,9.269650e-08,9.233597e-08,9.197726e-08,9.162056e-08,9.126606e-08,9.091395e-08,9.056437e-08,9.021749e-08,8.987342e-08,8.953230e-08,8.919423e-08
0.000000e+00,5.776250e-11,1.361680e-10,4.819123e-10,1.108974e-09,1.623489e-09,3.696948e-09,3.808329e-09,7.350862e-09,8.628715e-09,1.256475e-08,1.662663e-08,1.976529e-08,2.840812e-08,2.925869e-08,4.131362e-08,4.461089e-08,5.611229e-08,6.561755e-08,7.368523e-08,9.130718e-08,9.385295e-08,1.162187e-07,1.209092e-07,1.402410e-07,1.531963e-07,1.653502e-07,1.869081e-07,1.910392e-07,2.168985e-07,2.210295e-07,2.426116e-07,2.548287e-07,2.679369e-07,2.877923e-07,2.926897e-07,3.167287e-07,3.195600e-07,3.399470e-07,3.498818e-07,3.622657e-07,3.785910e-07,3.836287e-07,4.039995e-07,4.055856e-07,4.233575e-07,4.308151e-07,4.416953e-07,4.542684e-07,4.590165e-07,4.753332e-07,4.759652e-07,4.906646e-07,4.959473e-07,5.050351e-07,5.142725e-07,5.184729e-07,5.310092e-07,5.426770e-07,5.462328e-07,5.535106e-07,5.600223e-07,5.635447e-07,5.724579e-07,5.728145e-07,5.813546e-07,5.836198e-07,5.891993e-07,5.935864e-07,5.963822e-07,6.024340e-07,6.029358e-07,6.088920e-07,6.102360e-07,6.142813e-07,6.170627e-07,6.191333e-07,6.229812e-07,6.234764e-07,6.273381e-07,6.280549e-07,6.307444e-07,6.323441e-07,6.337204e-07,6.359054e-07,6.362902e-07,6.384765e-07,6.387922e-07,6.403012e-07,6.410548e-07,6.417852e-07,6.427403e-07,6.429482e-07,6.438090e-07,6.438929e-07,6.443858e-07,6.445539e-07,6.446954e-07,6.447622e-07,6.447542e-07,6.445776e-07,6.445537e-07,6.441802e-07,6.439625e-07,6.435758e-07,6.430200e-07,6.427777e-07,6.417984e-07,6.417556e-07,6.406496e-07,6.401968e-07,6.393427e-07,6.383691e-07,6.378883e-07,6.362964e-07,6.345766e-07,6.340008e-07,6.327380e-07,6.315029e-07,6.307891e-07,6.288220e-07,6.287381e-07,6.265926e-07,6.259759e-07,6.243598e-07,6.229811e-07,6.220466e-07,6.198531e-07,6.196595e-07,6.172047e-07,6.166061e-07,6.146878e-07,6.132533e-07,6.121144e-07,6.098072e-07,6.094897e-07,6.068184e-07,6.062790e-07,6.041053e-07,6.026794e-07,6.013546e-07,5.990180e-07,5.985704e-07,5.957567e-07,5.953040e-07,5.929170e-07,5.915457e-07,5.900547e-07,5.877508e-07,5.871731e-07,5.842752e-07,5.839265e-07,5.813639e-07,5.800794e-07,5.784419e-07,5.762155e-07,5.755116e-07,5.725755e-07,5.723404e-07,5.696358e-07,5.684593e-07,5.666945e-07,5.645770e-07,5.637537e-07,5.608152e-07,5.606978e-07,5.578807e-07,5.568256e-07,5.549518e-07,5.529642e-07,5.520301e-07,5.491169e-07,5.452868e-07,5.414766e-07,5.376889e-07,5.339260e-07,5.301900e-07,5.264828e-07,5.228061e-07,5.191615e-07,5.155502e-07,5.119736e-07,5.084327e-07,5.049284e-07,5.014617e-07,4.980332e-07,4.946435e-07,4.912933e-07,4.879828e-07,4.847126e-07,4.814828e-07,4.782937e-07,4.751455e-07,4.720382e-07,4.689719e-07,4.659465e-07
0.000000e+00,1.654347e-12,1.121286e-11,1.933116e-10,1.277969e-09,3.037275e-09,1.975907e-08,2.114196e-08,9.488833e-08,1.369623e-07,3.246369e-07,6.194674e-07,9.244415e-07,2.148264e-06,2.301142e-06,5.145883e-06,6.155374e-06,1.050654e-05,1.512581e-05,1.981520e-05,3.269040e-05,3.486686e-05,5.776000e-05,6.348084e-05,9.081379e-05,1.128271e-04,1.364749e-04,1.863887e-04,1.972236e-04,2.754847e-04,2.897872e-04,3.735491e-04,4.282770e-04,4.935063e-04,6.064761e-04,6.371888e-04,8.061306e-04,8.281618e-04,1.001536e-03,1.096132e-03,1.224262e-03,1.412127e-03,1.474809e-03,1.753322e-03,1.776807e-03,2.059600e-03,2.189777e-03,2.393113e-03,2.649648e-03,2.753025e-03,3.138216e-03,3.154131e-03,3.547319e-03,3.700150e-03,3.978747e-03,4.283972e-03,4.430728e-03,4.901342e-03,5.388550e-03,5.547617e-03,5.890231e-03,6.217899e-03,6.404210e-03,6.907159e-03,6.928289e-03,7.460271e-03,7.610346e-03,7.997988e-03,8.322485e-03,8.539317e-03,9.038764e-03,9.082206e-03,9.624680e-03,9.754601e-03,1.016486e-02,1.046570e-02,1.070098e-02,1.116808e-02,1.123138e-02,1.175451e-02,1.185814e-02,1.226897e-02,1.253262e-02,1.277346e-02,1.318867e-02,1.326682e-02,1.374800e-02,1.382380e-02,1.421609e-02,1.443589e-02,1.467029e-02,1.502318e-02,1.510991e-02,1.553438e-02,1.558427e-02,1.594321e-02,1.611805e-02,1.633605e-02,1.662372e-02,1.671260e-02,1.707267e-02,1.710076e-02,1.741615e-02,1.754888e-02,1.774299e-02,1.796803e-02,1.805322e-02,1.834692e-02,1.835832e-02,1.862423e-02,1.872009e-02,1.888535e-02,1.905377e-02,1.913050e-02,1.935997e-02,1.957405e-02,1.963937e-02,1.977310e-02,1.989276e-02,1.995746e-02,2.012100e-02,2.012753e-02,2.028371e-02,2.032501e-02,2.042642e-02,2.050575e-02,2.055608e-02,2.066421e-02,2.067312e-02,2.077800e-02,2.080141e-02,2.087115e-02,2.091836e-02,2.095302e-02,2.101609e-02,2.102406e-02,2.108471e-02,2.109564e-02,2.113542e-02,2.115800e-02,2.117661e-02,2.120417e-02,2.120872e-02,2.123217e-02,2.123514e-02,2.124737e-02,2.125186e-02,2.125473e-02,2.125524e-02,2.125465e-02,2.124751e-02,2.124619e-02,2.123368e-02,2.122557e-02,2.121354e-02,2.119422e-02,2.118743e-02,2.115570e-02,2.115293e-02,2.111868e-02,2.110246e-02,2.107669e-02,2.104356e-02,2.103005e-02,2.097904e-02,2.097691e-02,2.092396e-02,2.090319e-02,2.086509e-02,2.082302e-02,2.080269e-02,2.073701e-02,2.064571e-02,2.054966e-02,2.044937e-02,2.034532e-02,2.023794e-02,2.012767e-02,2.001489e-02,1.989997e-02,1.978326e-02,1.966507e-02,1.954572e-02,1.942547e-02,1.930459e-02,1.918331e-02,1.906187e-02,1.894045e-02,1.881926e-02,1.869847e-02,1.857824e-02,1.845871e-02,1.834001e-02,1.822228e-02,1.810562e-02,1.799012e-02
0.000000e+00,1.423100e-12,9.627596e-12,1.653135e-10,1.088564e-09,2.581188e-09,1.668441e-08,1.784716e-08,7.953041e-08,1.145585e-07,2.700890e-07,5.131224e-07,7.635780e-07,1.763916e-06,1.888555e-06,4.201738e-06,5.020925e-06,8.546941e-06,1.228513e-05,1.607679e-05,2.647614e-05,2.823282e-05,4.669331e-05,5.130217e-05,7.330201e-05,9.099829e-05,1.099893e-04,1.500157e-04,1.586947e-04,2.212956e-04,2.327206e-04,2.995455e-04,3.431353e-04,3.950231e-04,4.847341e-04,5.090929e-04,6.428757e-04,6.602980e-04,7.972294e-04,8.718225e-04,9.727385e-04,1.120474e-03,1.169712e-03,1.388186e-03,1.406588e-03,1.627938e-03,1.729698e-03,1.888495e-03,2.088596e-03,2.169160e-03,2.469026e-03,2.481405e-03,2.787007e-03,2.905679e-03,3.121857e-03,3.358495e-03,3.472203e-03,3.836561e-03,4.213373e-03,4.336319e-03,4.601020e-03,4.854041e-03,4.997855e-03,5.385919e-03,5.402217e-03,5.812455e-03,5.928151e-03,6.226940e-03,6.477010e-03,6.644090e-03,7.028902e-03,7.062372e-03,7.480320e-03,7.580422e-03,7.896545e-03,8.128387e-03,8.309738e-03,8.669866e-03,8.718676e-03,9.122231e-03,9.202203e-03,9.519365e-03,9.723022e-03,9.909138e-03,1.023023e-02,1.029070e-02,1.066330e-02,1.072204e-02,1.102628e-02,1.119691e-02,1.137905e-02,1.165359e-02,1.172113e-02,1.205211e-02,1.209107e-02,1.237166e-02,1.250857e-02,1.267952e-02,1.290554e-02,1.297548e-02,1.325942e-02,1.328161e-02,1.353126e-02,1.363660e-02,1.379098e-02,1.397049e-02,1.403860e-02,1.427419e-02,1.428337e-02,1.449786e-02,1.457548e-02,1.470973e-02,1.484716e-02,1.490999e-02,1.509884e-02,1.527648e-02,1.533100e-02,1.544317e-02,1.554421e-02,1.559915e-02,1.573908e-02,1.574471e-02,1.588012e-02,1.591626e-02,1.600568e-02,1.607641e-02,1.612168e-02,1.622023e-02,1.622844e-02,1.632625e-02,1.634843e-02,1.641544e-02,1.646173e-02,1.649630e-02,1.656083e-02,1.656916e-02,1.663431e-02,1.664645e-02,1.669207e-02,1.671928e-02,1.674273e-02,1.678002e-02,1.678660e-02,1.682395e-02,1.682935e-02,1.685509e-02,1.686791e-02,1.688029e-02,1.689636e-02,1.689982e-02,1.691396e-02,1.691530e-02,1.692295e-02,1.692535e-02,1.692706e-02,1.692707e-02,1.692654e-02,1.692161e-02,1.692104e-02,1.691252e-02,1.690777e-02,1.689949e-02,1.688778e-02,1.688272e-02,1.686244e-02,1.686156e-02,1.683884e-02,1.682958e-02,1.681212e-02,1.679227e-02,1.678247e-02,1.675006e-02,1.670335e-02,1.665252e-02,1.659794e-02,1.653993e-02,1.647884e-02,1.641495e-02,1.634856e-02,1.627994e-02,1.620935e-02,1.613701e-02,1.606316e-02,1.598801e-02,1.591175e-02,1.583457e-02,1.575665e-02,1.567813e-02,1.559918e-02,1.551993e-02,1.544051e-02,1.536105e-02,1.528165e-02,1.520242e-02,1.512345e-02,1.504483e-02
0.000000e+00,1.308360e-13,8.647097e-13,1.411783e-11,8.851487e-11,2.039781e-10,1.216387e-09,1.296585e-09,5.265331e-09,7.376536e-09,1.613258e-08,2.867878e-08,4.076041e-08,8.444993e-08,8.955756e-08,1.770684e-07,2.058532e-07,3.223723e-07,4.376229e-07,5.491087e-07,8.378506e-07,8.848880e-07,1.359998e-06,1.474489e-06,2.005585e-06,2.418718e-06,2.851637e-06,3.737096e-06,3.925125e-06,5.248502e-06,5.484645e-06,6.838668e-06,7.700117e-06,8.706401e-06,1.040365e-05,1.085617e-05,1.328628e-05,1.359643e-05,1.598925e-05,1.726189e-05,1.895234e-05,2.136771e-05,2.215816e-05,2.558534e-05,2.586836e-05,2.920926e-05,3.070790e-05,3.300274e-05,3.582275e-05,3.693669e-05,4.098082e-05,4.114444e-05,4.510426e-05,4.660216e-05,4.927612e-05,5.212511e-05,5.346604e-05,5.764466e-05,6.178407e-05,6.309607e-05,6.585812e-05,6.842001e-05,6.984276e-05,7.356367e-05,7.371623e-05,7.745921e-05,7.848152e-05,8.105495e-05,8.313573e-05,8.448930e-05,8.749634e-05,8.775065e-05,9.082992e-05,9.154107e-05,9.372045e-05,9.525496e-05,9.641780e-05,9.862982e-05,9.891970e-05,1.012258e-04,1.016636e-04,1.033373e-04,1.043594e-04,1.052573e-04,1.067250e-04,1.069898e-04,1.085403e-04,1.087719e-04,1.099150e-04,1.105145e-04,1.111210e-04,1.119693e-04,1.121658e-04,1.130575e-04,1.131546e-04,1.138045e-04,1.140894e-04,1.144151e-04,1.147934e-04,1.148981e-04,1.152618e-04,1.152860e-04,1.155147e-04,1.155867e-04,1.156649e-04,1.157140e-04,1.157204e-04,1.156888e-04,1.156859e-04,1.155775e-04,1.155192e-04,1.153933e-04,1.152298e-04,1.151429e-04,1.148326e-04,1.144681e-04,1.143409e-04,1.140549e-04,1.137674e-04,1.135982e-04,1.131233e-04,1.131028e-04,1.125728e-04,1.124189e-04,1.120126e-04,1.116634e-04,1.114257e-04,1.108652e-04,1.108156e-04,1.101856e-04,1.100317e-04,1.095384e-04,1.091694e-04,1.088767e-04,1.082843e-04,1.082029e-04,1.075192e-04,1.073815e-04,1.068276e-04,1.064654e-04,1.061299e-04,1.055402e-04,1.054277e-04,1.047224e-04,1.046094e-04,1.040155e-04,1.036760e-04,1.033081e-04,1.027426e-04,1.026013e-04,1.018960e-04,1.018115e-04,1.011932e-04,1.008849e-04,1.004935e-04,9.996432e-05,9.979772e-05,9.910642e-05,9.905133e-05,9.842015e-05,9.814717e-05,9.773941e-05,9.725292e-05,9.706460e-05,9.639610e-05,9.636950e-05,9.573424e-05,9.549766e-05,9.507931e-05,9.463804e-05,9.443155e-05,9.379117e-05,9.295747e-05,9.213729e-05,9.133087e-05,9.053842e-05,8.976008e-05,8.899594e-05,8.824603e-05,8.751036e-05,8.678889e-05,8.608158e-05,8.538833e-05,8.470904e-05,8.404357e-05,8.339178e-05,8.275352e-05,8.212861e-05,8.151686e-05,8.091809e-05,8.033210e-05,7.975868e-05,7.919763e-05,7.864872e-05,7.811175e-05,7.758649e-05
0.000000e+00,3.398761e-13,2.296079e-12,3.925759e-11,2.568849e-10,6.062216e-10,3.848209e-09,4.112508e-09,1.779928e-08,2.537914e-08,5.804919e-08,1.070674e-07,1.559151e-07,3.412900e-07,3.636410e-07,7.617135e-07,8.975701e-07,1.465340e-06,2.048679e-06,2.628784e-06,4.186435e-06,4.446456e-06,7.150623e-06,7.820656e-06,1.100630e-05,1.356200e-05,1.630407e-05,2.209349e-05,2.335168e-05,3.246481e-05,3.413570e-05,4.395785e-05,5.040972e-05,5.813470e-05,7.160079e-05,7.528020e-05,9.565219e-05,9.832467e-05,1.194746e-04,1.310986e-04,1.469316e-04,1.703176e-04,1.781631e-04,2.132610e-04,2.162375e-04,2.522677e-04,2.689647e-04,2.951749e-04,3.284525e-04,3.419243e-04,3.924094e-04,3.945045e-04,4.464779e-04,4.667836e-04,5.039356e-04,5.448256e-04,5.645503e-04,6.280573e-04,6.941640e-04,7.158163e-04,7.625556e-04,8.073729e-04,8.329009e-04,9.019523e-04,9.048572e-04,9.780760e-04,9.987558e-04,1.052208e-03,1.096981e-03,1.126906e-03,1.195838e-03,1.201833e-03,1.276661e-03,1.294570e-03,1.351078e-03,1.392461e-03,1.424787e-03,1.488846e-03,1.497512e-03,1.568997e-03,1.583124e-03,1.639007e-03,1.674758e-03,1.707330e-03,1.763279e-03,1.773778e-03,1.838185e-03,1.848291e-03,1.900407e-03,1.929462e-03,1.960324e-03,2.006530e-03,2.017836e-03,2.072862e-03,2.079295e-03,2.125341e-03,2.147614e-03,2.175232e-03,2.211401e-03,2.222508e-03,2.267159e-03,2.270618e-03,2.309188e-03,2.325269e-03,2.348611e-03,2.375398e-03,2.385457e-03,2.419761e-03,2.421081e-03,2.451572e-03,2.462424e-03,2.480943e-03,2.499553e-03,2.507936e-03,2.532615e-03,2.555053e-03,2.561772e-03,2.575324e-03,2.587195e-03,2.593505e-03,2.609066e-03,2.609675e-03,2.623915e-03,2.627568e-03,2.636308e-03,2.642890e-03,2.646934e-03,2.655220e-03,2.655876e-03,2.663213e-03,2.664745e-03,2.669027e-03,2.671647e-03,2.673396e-03,2.676105e-03,2.676395e-03,2.678101e-03,2.678294e-03,2.678587e-03,2.678380e-03,2.677923e-03,2.676526e-03,2.676177e-03,2.673417e-03,2.672885e-03,2.669705e-03,2.667604e-03,2.665104e-03,2.660822e-03,2.659672e-03,2.653465e-03,2.652671e-03,2.646538e-03,2.643274e-03,2.638940e-03,2.632749e-03,2.630723e-03,2.621931e-03,2.621205e-03,2.612610e-03,2.608743e-03,2.602802e-03,2.595460e-03,2.592546e-03,2.581880e-03,2.581445e-03,2.570840e-03,2.566781e-03,2.559460e-03,2.551543e-03,2.547771e-03,2.535804e-03,2.519629e-03,2.503080e-03,2.486211e-03,2.469076e-03,2.451720e-03,2.434189e-03,2.416521e-03,2.398753e-03,2.380920e-03,2.363050e-03,2.345173e-03,2.327313e-03,2.309494e-03,2.291736e-03,2.274058e-03,2.256476e-03,2.239007e-03,2.221663e-03,2.204458e-03,2.187402e-03,2.170504e-03,2.153773e-03,2.137217e-03,2.120842e-03
0.000000e+00,2.535959e-12,5.831638e-12,2.017296e-11,4.609348e-11,6.740414e-11,1.539467e-10,1.586272e-10,3.091398e-10,3.641909e-10,5.361386e-10,7.171154e-10,8.592104e-10,1.259182e-09,1.299133e-09,1.873197e-09,2.031954e-09,2.587780e-09,3.046894e-09,3.435126e-09,4.277585e-09,4.398761e-09,5.461030e-09,5.683923e-09,6.606619e-09,7.230944e-09,7.822793e-09,8.890903e-09,9.098632e-09,1.042430e-08,1.064041e-08,1.179061e-08,1.245830e-08,1.318884e-08,1.432482e-08,1.461070e-08,1.604830e-08,1.622152e-08,1.749431e-08,1.813145e-08,1.894193e-08,2.003938e-08,2.038499e-08,2.181798e-08,2.193203e-08,2.323601e-08,2.379808e-08,2.463488e-08,2.562813e-08,2.601094e-08,2.736115e-08,2.741458e-08,2.868300e-08,2.915152e-08,2.997444e-08,3.083440e-08,3.123384e-08,3.245995e-08,3.365186e-08,3.402594e-08,3.480893e-08,3.553099e-08,3.593079e-08,3.697447e-08,3.701725e-08,3.806831e-08,3.835628e-08,3.908413e-08,3.967682e-08,4.006499e-08,4.093681e-08,4.101125e-08,4.192339e-08,4.213729e-08,4.280195e-08,4.327949e-08,4.364752e-08,4.436485e-08,4.446075e-08,4.524230e-08,4.539487e-08,4.599286e-08,4.637114e-08,4.671314e-08,4.729531e-08,4.740387e-08,4.806579e-08,4.816908e-08,4.869965e-08,4.899415e-08,4.930618e-08,4.977222e-08,4.988612e-08,5.044021e-08,5.050500e-08,5.096919e-08,5.119417e-08,5.147378e-08,5.184139e-08,5.195469e-08,5.241264e-08,5.244830e-08,5.284831e-08,5.301650e-08,5.326240e-08,5.354755e-08,5.365556e-08,5.402847e-08,5.404298e-08,5.438177e-08,5.450427e-08,5.471608e-08,5.493289e-08,5.503203e-08,5.533022e-08,5.561123e-08,5.569763e-08,5.587566e-08,5.603644e-08,5.612405e-08,5.634793e-08,5.635695e-08,5.657490e-08,5.663332e-08,5.677843e-08,5.689383e-08,5.696803e-08,5.713058e-08,5.714419e-08,5.730740e-08,5.734470e-08,5.745813e-08,5.753725e-08,5.759682e-08,5.770926e-08,5.772392e-08,5.783985e-08,5.786173e-08,5.794503e-08,5.799561e-08,5.803986e-08,5.811181e-08,5.812474e-08,5.820004e-08,5.821123e-08,5.826614e-08,5.829470e-08,5.832338e-08,5.836303e-08,5.837212e-08,5.841268e-08,5.841702e-08,5.844541e-08,5.845740e-08,5.847060e-08,5.848491e-08,5.848858e-08,5.849962e-08,5.850022e-08,5.850403e-08,5.850399e-08,5.850207e-08,5.849687e-08,5.849401e-08,5.848012e-08,5.847945e-08,5.846065e-08,5.845232e-08,5.843583e-08,5.841603e-08,5.840591e-08,5.837111e-08,5.831807e-08,5.825739e-08,5.818955e-08,5.811498e-08,5.803411e-08,5.794734e-08,5.785506e-08,5.775764e-08,5.765543e-08,5.754877e-08,5.743798e-08,5.732335e-08,5.720519e-08,5.708377e-08,5.695935e-08,5.683219e-08,5.670253e-08,5.657058e-08,5.643657e-08,5.630071e-08,5.616318e-08,5.602418e-08,5.588388e-08,5.574245e-08
0.000000e+00,4.899333e-14,3.280632e-13,5.504082e-12,3.537551e-11,8.263435e-11,5.101710e-10,5.445673e-10,2.286822e-09,3.232332e-09,7.224566e-09,1.306143e-08,1.876111e-08,3.974274e-08,4.222186e-08,8.520418e-08,9.949246e-08,1.578121e-07,2.160450e-07,2.727597e-07,4.210181e-07,4.453339e-07,6.932095e-07,7.535253e-07,1.036107e-06,1.258983e-06,1.495296e-06,1.987099e-06,2.092955e-06,2.851446e-06,2.989199e-06,3.792535e-06,4.315179e-06,4.936626e-06,6.010464e-06,6.302049e-06,7.904443e-06,8.113282e-06,9.756242e-06,1.065246e-05,1.186629e-05,1.364587e-05,1.423959e-05,1.687716e-05,1.709952e-05,1.977604e-05,2.100734e-05,2.292936e-05,2.535151e-05,2.632657e-05,2.995367e-05,3.010331e-05,3.379363e-05,3.522439e-05,3.782670e-05,4.066837e-05,4.203093e-05,4.638255e-05,5.085654e-05,5.230985e-05,5.542703e-05,5.839065e-05,6.006774e-05,6.456459e-05,6.475250e-05,6.945552e-05,7.077222e-05,7.415185e-05,7.695647e-05,7.881765e-05,8.306385e-05,8.343041e-05,8.796925e-05,8.904541e-05,9.241502e-05,9.485747e-05,9.675043e-05,1.004621e-04,1.009601e-04,1.050308e-04,1.058272e-04,1.089510e-04,1.109269e-04,1.127114e-04,1.157409e-04,1.163042e-04,1.197239e-04,1.202546e-04,1.229662e-04,1.244587e-04,1.260286e-04,1.283483e-04,1.289102e-04,1.316110e-04,1.319230e-04,1.341326e-04,1.351859e-04,1.364773e-04,1.381431e-04,1.386485e-04,1.406504e-04,1.408034e-04,1.424877e-04,1.431778e-04,1.441658e-04,1.452785e-04,1.456902e-04,1.470672e-04,1.471193e-04,1.483030e-04,1.487145e-04,1.494040e-04,1.500790e-04,1.503767e-04,1.512278e-04,1.519638e-04,1.521760e-04,1.525909e-04,1.529382e-04,1.531157e-04,1.535287e-04,1.535441e-04,1.538822e-04,1.539614e-04,1.541357e-04,1.542495e-04,1.543101e-04,1.544053e-04,1.544108e-04,1.544428e-04,1.544408e-04,1.544110e-04,1.543670e-04,1.543199e-04,1.541942e-04,1.541739e-04,1.539770e-04,1.539319e-04,1.537331e-04,1.535890e-04,1.534460e-04,1.531737e-04,1.531188e-04,1.527550e-04,1.526936e-04,1.523574e-04,1.521554e-04,1.519289e-04,1.515656e-04,1.514721e-04,1.509894e-04,1.509299e-04,1.504831e-04,1.502535e-04,1.499554e-04,1.495413e-04,1.494083e-04,1.488434e-04,1.487975e-04,1.482627e-04,1.480263e-04,1.476676e-04,1.472311e-04,1.470597e-04,1.464403e-04,1.464153e-04,1.458107e-04,1.455818e-04,1.451721e-04,1.447332e-04,1.445255e-04,1.438721e-04,1.430005e-04,1.421206e-04,1.412340e-04,1.403425e-04,1.394476e-04,1.385505e-04,1.376524e-04,1.367546e-04,1.358579e-04,1.349632e-04,1.340715e-04,1.331834e-04,1.322995e-04,1.314206e-04,1.305470e-04,1.296794e-04,1.288180e-04,1.279634e-04,1.271159e-04,1.262757e-04,1.254432e-04,1.246186e-04,1.238021e-04,1.229939e-04
0.000000e+00,3.993984e-11,9.223198e-11,3.203304e-10,7.335502e-10,1.074095e-09,2.464905e-09,2.540486e-09,4.990034e-09,5.894656e-09,8.746346e-09,1.178384e-08,1.418898e-08,2.101911e-08,2.170413e-08,3.154654e-08,3.425772e-08,4.367542e-08,5.134871e-08,5.775666e-08,7.141009e-08,7.334656e-08,9.004730e-08,9.349196e-08,1.075478e-07,1.168822e-07,1.256076e-07,1.410665e-07,1.440317e-07,1.626537e-07,1.656415e-07,1.813260e-07,1.902669e-07,1.999154e-07,2.146462e-07,2.183020e-07,2.363787e-07,2.385225e-07,2.540518e-07,2.616790e-07,2.712411e-07,2.839397e-07,2.878796e-07,3.039128e-07,3.051680e-07,3.192988e-07,3.252646e-07,3.340065e-07,3.441643e-07,3.480156e-07,3.613140e-07,3.618310e-07,3.738957e-07,3.782499e-07,3.857628e-07,3.934275e-07,3.969221e-07,4.073850e-07,4.171662e-07,4.201551e-07,4.262837e-07,4.317794e-07,4.347569e-07,4.423047e-07,4.426070e-07,4.498564e-07,4.517818e-07,4.565283e-07,4.602639e-07,4.626460e-07,4.678053e-07,4.682333e-07,4.733136e-07,4.744601e-07,4.779104e-07,4.802820e-07,4.820467e-07,4.853235e-07,4.857449e-07,4.890270e-07,4.896354e-07,4.919144e-07,4.932667e-07,4.944277e-07,4.962646e-07,4.965872e-07,4.984120e-07,4.986742e-07,4.999209e-07,5.005382e-07,5.011318e-07,5.018975e-07,5.020619e-07,5.027278e-07,5.027907e-07,5.031453e-07,5.032543e-07,5.033296e-07,5.033227e-07,5.032953e-07,5.030561e-07,5.030285e-07,5.026254e-07,5.024023e-07,5.020157e-07,5.014727e-07,5.012391e-07,5.003071e-07,5.002667e-07,4.992306e-07,4.988096e-07,4.980199e-07,4.971251e-07,4.966850e-07,4.952353e-07,4.936796e-07,4.931608e-07,4.920264e-07,4.909209e-07,4.902837e-07,4.885336e-07,4.884592e-07,4.865599e-07,4.860157e-07,4.845928e-07,4.833826e-07,4.825642e-07,4.806488e-07,4.804802e-07,4.783467e-07,4.778279e-07,4.761690e-07,4.749321e-07,4.739522e-07,4.719730e-07,4.717012e-07,4.694205e-07,4.689612e-07,4.671144e-07,4.659066e-07,4.647870e-07,4.628182e-07,4.624419e-07,4.600828e-07,4.597043e-07,4.577130e-07,4.565726e-07,4.553356e-07,4.534302e-07,4.529536e-07,4.505696e-07,4.502835e-07,4.481862e-07,4.471383e-07,4.458058e-07,4.440001e-07,4.434307e-07,4.410628e-07,4.408737e-07,4.387041e-07,4.377637e-07,4.363565e-07,4.346739e-07,4.340215e-07,4.317006e-07,4.316081e-07,4.293953e-07,4.285695e-07,4.271069e-07,4.255611e-07,4.248366e-07,4.225854e-07,4.196449e-07,4.167415e-07,4.138771e-07,4.110532e-07,4.082713e-07,4.055325e-07,4.028377e-07,4.001878e-07,3.975835e-07,3.950251e-07,3.925133e-07,3.900481e-07,3.876298e-07,3.852585e-07,3.829340e-07,3.806563e-07,3.784252e-07,3.762404e-07,3.741016e-07,3.720085e-07,3.699604e-07,3.679571e-07,3.659980e-07,3.640825e-07
0.000000e+00,3.459265e-12,7.957467e-12,2.744686e-11,6.238369e-11,9.087519e-11,2.047958e-10,2.108834e-10,4.031668e-10,4.719672e-10,6.823193e-10,8.972724e-10,1.062131e-09,1.511735e-09,1.555700e-09,2.175016e-09,2.343500e-09,2.929560e-09,3.413188e-09,3.824069e-09,4.726077e-09,4.857194e-09,6.022575e-09,6.270755e-09,7.311247e-09,8.026828e-09,8.713376e-09,9.971482e-09,1.021889e-08,1.181754e-08,1.208127e-08,1.349878e-08,1.433193e-08,1.525173e-08,1.669821e-08,1.706520e-08,1.892777e-08,1.915404e-08,2.082796e-08,2.167302e-08,2.275438e-08,2.422913e-08,2.469589e-08,2.664180e-08,2.679735e-08,2.858198e-08,2.935431e-08,3.050700e-08,3.187875e-08,3.240823e-08,3.427786e-08,3.435189e-08,3.610901e-08,3.675762e-08,3.789568e-08,3.908256e-08,3.963275e-08,4.131593e-08,4.294178e-08,4.344949e-08,4.450763e-08,4.547734e-08,4.601149e-08,4.739564e-08,4.745204e-08,4.882850e-08,4.920238e-08,5.014062e-08,5.089707e-08,5.138860e-08,5.248057e-08,5.257300e-08,5.369474e-08,5.395476e-08,5.475498e-08,5.532236e-08,5.575511e-08,5.658676e-08,5.669672e-08,5.758152e-08,5.775182e-08,5.841134e-08,5.882175e-08,5.918809e-08,5.980096e-08,5.991370e-08,6.059018e-08,6.069399e-08,6.121951e-08,6.150542e-08,6.180367e-08,6.223981e-08,6.234464e-08,6.284436e-08,6.290165e-08,6.330473e-08,6.349531e-08,6.372760e-08,6.402502e-08,6.411478e-08,6.446801e-08,6.449485e-08,6.478896e-08,6.490867e-08,6.507926e-08,6.527017e-08,6.534047e-08,6.557410e-08,6.558289e-08,6.578158e-08,6.585015e-08,6.596431e-08,6.607509e-08,6.612359e-08,6.626068e-08,6.637679e-08,6.640971e-08,6.647307e-08,6.652479e-08,6.655061e-08,6.660839e-08,6.661046e-08,6.665360e-08,6.666282e-08,6.668098e-08,6.669022e-08,6.669350e-08,6.669263e-08,6.669202e-08,6.667733e-08,6.667193e-08,6.665023e-08,6.662990e-08,6.661143e-08,6.656817e-08,6.656164e-08,6.650151e-08,6.648830e-08,6.643168e-08,6.639173e-08,6.635274e-08,6.627980e-08,6.626525e-08,6.616975e-08,6.615376e-08,6.606674e-08,6.601478e-08,6.595672e-08,6.586397e-08,6.584015e-08,6.571744e-08,6.570233e-08,6.558903e-08,6.553081e-08,6.545529e-08,6.535032e-08,6.531660e-08,6.517331e-08,6.516166e-08,6.502575e-08,6.496561e-08,6.487425e-08,6.476289e-08,6.471910e-08,6.456058e-08,6.455417e-08,6.439896e-08,6.434007e-08,6.423450e-08,6.412117e-08,6.406745e-08,6.389802e-08,6.367112e-08,6.344094e-08,6.320791e-08,6.297245e-08,6.273493e-08,6.249571e-08,6.225512e-08,6.201346e-08,6.177101e-08,6.152804e-08,6.128479e-08,6.104149e-08,6.079836e-08,6.055558e-08,6.031333e-08,6.007179e-08,5.983112e-08,5.959144e-08,5.935290e-08,5.911562e-08,5.887971e-08,5.864527e-08,5.841239e-08,5.818117e-08
0.000000e+00,1.703592e-13,1.158755e-12,2.009680e-11,1.332704e-10,3.168609e-10,2.051622e-09,2.194334e-09,9.694017e-09,1.390159e-08,3.226766e-08,6.024812e-08,8.845470e-08,1.973135e-07,2.105836e-07,4.504727e-07,5.335677e-07,8.858457e-07,1.254542e-06,1.626655e-06,2.647176e-06,2.820107e-06,4.653341e-06,5.116056e-06,7.353306e-06,9.186098e-06,1.118395e-05,1.549117e-05,1.644118e-05,2.344608e-05,2.475149e-05,3.253711e-05,3.774367e-05,4.406160e-05,5.526705e-05,5.836709e-05,7.579276e-05,7.810907e-05,9.666131e-05,1.070122e-04,1.212714e-04,1.426437e-04,1.498912e-04,1.827519e-04,1.855700e-04,2.200438e-04,2.362353e-04,2.619118e-04,2.949469e-04,3.084532e-04,3.597158e-04,3.618647e-04,4.156974e-04,4.369976e-04,4.763463e-04,5.202043e-04,5.415624e-04,6.111993e-04,6.850674e-04,7.095623e-04,7.629371e-04,8.147525e-04,8.445428e-04,9.261234e-04,9.295872e-04,1.017746e-03,1.042941e-03,1.108671e-03,1.164403e-03,1.201998e-03,1.289657e-03,1.297350e-03,1.394339e-03,1.417817e-03,1.492576e-03,1.547987e-03,1.591669e-03,1.679273e-03,1.691233e-03,1.790888e-03,1.810797e-03,1.890265e-03,1.941714e-03,1.989011e-03,2.071221e-03,2.086786e-03,2.183270e-03,2.198567e-03,2.278160e-03,2.323059e-03,2.371178e-03,2.444070e-03,2.462065e-03,2.550586e-03,2.561039e-03,2.636529e-03,2.673477e-03,2.719704e-03,2.780964e-03,2.799947e-03,2.877115e-03,2.883152e-03,2.951086e-03,2.979757e-03,3.021763e-03,3.070566e-03,3.089068e-03,3.152941e-03,3.155424e-03,3.213345e-03,3.234236e-03,3.270257e-03,3.306960e-03,3.323673e-03,3.373602e-03,3.420071e-03,3.434215e-03,3.463115e-03,3.488889e-03,3.502786e-03,3.537750e-03,3.539142e-03,3.572253e-03,3.580953e-03,3.602198e-03,3.618679e-03,3.629060e-03,3.651131e-03,3.652933e-03,3.673911e-03,3.678526e-03,3.692096e-03,3.701099e-03,3.707593e-03,3.719091e-03,3.720508e-03,3.730950e-03,3.732752e-03,3.739030e-03,3.742334e-03,3.744857e-03,3.748094e-03,3.748544e-03,3.750200e-03,3.750284e-03,3.749934e-03,3.749156e-03,3.747855e-03,3.744958e-03,3.744069e-03,3.738680e-03,3.737931e-03,3.731790e-03,3.728309e-03,3.723499e-03,3.716319e-03,3.713901e-03,3.703093e-03,3.702178e-03,3.691162e-03,3.686096e-03,3.678198e-03,3.668271e-03,3.664283e-03,3.649499e-03,3.648891e-03,3.633923e-03,3.628136e-03,3.617628e-03,3.606174e-03,3.600686e-03,3.583163e-03,3.559251e-03,3.534576e-03,3.509267e-03,3.483444e-03,3.457216e-03,3.430685e-03,3.403943e-03,3.377077e-03,3.350163e-03,3.323273e-03,3.296470e-03,3.269812e-03,3.243350e-03,3.217131e-03,3.191194e-03,3.165577e-03,3.140311e-03,3.115424e-03,3.090938e-03,3.066875e-03,3.043252e-03,3.020082e-03,2.997376e-03,2.975145e-03
0.000000e+00,4.417418e-13,3.006293e-12,5.219555e-11,3.464287e-10,8.239854e-10,5.338518e-09,5.709928e-09,2.521916e-08,3.615599e-08,8.383123e-08,1.562981e-07,2.291857e-07,5.093066e-07,5.433484e-07,1.155823e-06,1.366943e-06,2.257772e-06,3.184756e-06,4.116417e-06,6.658442e-06,7.087855e-06,1.162617e-05,1.276899e-05,1.828718e-05,2.280348e-05,2.772592e-05,3.834450e-05,4.068843e-05,5.799831e-05,6.122973e-05,8.053963e-05,9.348819e-05,1.092371e-04,1.372617e-04,1.450346e-04,1.888736e-04,1.947187e-04,2.416718e-04,2.679684e-04,3.043025e-04,3.589792e-04,3.775761e-04,4.622238e-04,4.695068e-04,5.588833e-04,6.010335e-04,6.680874e-04,7.547220e-04,7.902553e-04,9.256870e-04,9.313831e-04,1.074559e-03,1.131458e-03,1.236926e-03,1.355014e-03,1.412719e-03,1.601752e-03,1.803726e-03,1.871028e-03,2.018236e-03,2.161874e-03,2.244781e-03,2.473039e-03,2.482771e-03,2.731538e-03,2.803026e-03,2.990348e-03,3.150128e-03,3.258410e-03,3.512477e-03,3.534884e-03,3.818899e-03,3.888085e-03,4.109554e-03,4.274880e-03,4.405933e-03,4.670751e-03,4.707116e-03,5.012181e-03,5.073579e-03,5.320216e-03,5.481269e-03,5.630324e-03,5.891779e-03,5.941634e-03,6.253296e-03,6.303140e-03,6.564498e-03,6.713481e-03,6.874461e-03,7.121040e-03,7.182444e-03,7.487749e-03,7.524175e-03,7.789723e-03,7.921377e-03,8.087755e-03,8.311273e-03,8.381280e-03,8.669781e-03,8.692629e-03,8.952783e-03,9.064348e-03,9.229861e-03,9.425471e-03,9.500630e-03,9.764751e-03,9.775174e-03,1.002193e-02,1.011276e-02,1.027190e-02,1.043766e-02,1.051445e-02,1.074940e-02,1.097661e-02,1.104765e-02,1.119595e-02,1.133216e-02,1.140735e-02,1.160277e-02,1.161076e-02,1.180614e-02,1.185942e-02,1.199352e-02,1.210210e-02,1.217289e-02,1.233090e-02,1.234432e-02,1.250786e-02,1.254595e-02,1.266360e-02,1.274744e-02,1.281164e-02,1.293562e-02,1.295208e-02,1.308506e-02,1.311077e-02,1.321071e-02,1.327320e-02,1.332917e-02,1.342325e-02,1.344061e-02,1.354518e-02,1.356129e-02,1.364306e-02,1.368771e-02,1.373441e-02,1.380292e-02,1.381942e-02,1.389827e-02,1.390733e-02,1.397114e-02,1.400135e-02,1.403821e-02,1.408543e-02,1.409968e-02,1.415572e-02,1.415997e-02,1.420652e-02,1.422542e-02,1.425228e-02,1.428219e-02,1.429316e-02,1.432936e-02,1.433071e-02,1.436104e-02,1.437138e-02,1.438840e-02,1.440462e-02,1.441160e-02,1.443081e-02,1.445035e-02,1.446361e-02,1.447096e-02,1.447274e-02,1.446930e-02,1.446096e-02,1.444805e-02,1.443087e-02,1.440970e-02,1.438482e-02,1.435651e-02,1.432501e-02,1.429057e-02,1.425341e-02,1.421376e-02,1.417183e-02,1.412781e-02,1.408189e-02,1.403426e-02,1.398506e-02,1.393448e-02,1.388265e-02,1.382971e-02,1.377581e-02
0.000000e+00,2.186800e-13,1.464532e-12,2.458294e-11,1.581315e-10,3.696385e-10,2.288537e-09,2.443206e-09,1.031043e-08,1.459953e-08,3.281317e-08,5.966580e-08,8.608326e-08,1.845610e-07,1.963017e-07,4.024754e-07,4.719059e-07,7.586837e-07,1.049164e-06,1.334964e-06,2.091267e-06,2.216239e-06,3.499336e-06,3.813284e-06,5.288668e-06,6.454753e-06,7.691263e-06,1.026011e-05,1.081177e-05,1.474785e-05,1.545929e-05,1.958628e-05,2.225118e-05,2.539971e-05,3.079083e-05,3.224436e-05,4.015840e-05,4.118106e-05,4.916114e-05,5.346798e-05,5.925279e-05,6.764004e-05,7.041493e-05,8.261135e-05,8.363028e-05,9.578944e-05,1.013209e-04,1.098819e-04,1.205500e-04,1.248085e-04,1.404787e-04,1.411196e-04,1.567933e-04,1.628042e-04,1.736470e-04,1.853600e-04,1.909309e-04,2.085339e-04,2.263457e-04,2.320717e-04,2.442576e-04,2.557251e-04,2.621648e-04,2.792587e-04,2.799676e-04,2.975722e-04,3.024541e-04,3.148922e-04,3.251144e-04,3.318486e-04,3.470665e-04,3.483707e-04,3.643963e-04,3.681624e-04,3.798715e-04,3.882799e-04,3.947508e-04,4.073218e-04,4.089969e-04,4.225803e-04,4.252153e-04,4.354787e-04,4.419099e-04,4.476770e-04,4.573758e-04,4.591662e-04,4.699431e-04,4.716013e-04,4.800096e-04,4.845911e-04,4.893725e-04,4.963632e-04,4.980424e-04,5.060334e-04,5.069475e-04,5.133626e-04,5.163827e-04,5.200495e-04,5.247153e-04,5.261158e-04,5.315846e-04,5.319970e-04,5.364801e-04,5.382835e-04,5.408277e-04,5.436330e-04,5.446529e-04,5.479818e-04,5.481050e-04,5.508403e-04,5.517592e-04,5.532543e-04,5.546550e-04,5.552493e-04,5.568502e-04,5.580815e-04,5.584013e-04,5.589668e-04,5.593623e-04,5.595289e-04,5.597850e-04,5.597899e-04,5.597710e-04,5.597183e-04,5.594923e-04,5.592085e-04,5.589732e-04,5.582990e-04,5.582320e-04,5.572861e-04,5.570305e-04,5.561520e-04,5.554406e-04,5.548453e-04,5.535644e-04,5.533808e-04,5.517721e-04,5.514343e-04,5.500324e-04,5.490801e-04,5.481738e-04,5.465292e-04,5.462078e-04,5.441451e-04,5.438068e-04,5.419957e-04,5.409360e-04,5.397689e-04,5.379377e-04,5.374736e-04,5.351177e-04,5.348313e-04,5.327089e-04,5.316341e-04,5.302541e-04,5.283619e-04,5.277600e-04,5.252325e-04,5.250290e-04,5.226772e-04,5.216485e-04,5.200993e-04,5.182319e-04,5.175036e-04,5.148945e-04,5.147899e-04,5.122762e-04,5.113320e-04,5.096522e-04,5.078666e-04,5.070263e-04,5.044014e-04,5.009432e-04,4.974981e-04,4.940715e-04,4.906681e-04,4.872923e-04,4.839478e-04,4.806378e-04,4.773651e-04,4.741324e-04,4.709417e-04,4.677948e-04,4.646934e-04,4.616386e-04,4.586316e-04,4.556732e-04,4.527641e-04,4.499049e-04,4.470958e-04,4.443370e-04,4.416288e-04,4.389710e-04,4.363636e-04,4.338063e-04,4.312989e-04
0.000000e+00,8.023350e-11,2.035749e-10,7.779658e-10,1.854539e-09,2.750238e-09,6.401309e-09,6.598426e-09,1.288840e-08,1.516236e-08,2.217213e-08,2.940988e-08,3.500453e-08,5.042461e-08,5.194367e-08,7.350944e-08,7.942010e-08,1.000711e-07,1.171672e-07,1.316923e-07,1.634716e-07,1.680715e-07,2.086594e-07,2.172273e-07,2.528365e-07,2.770296e-07,3.000147e-07,3.415720e-07,3.496606e-07,4.012862e-07,4.096991e-07,4.544339e-07,4.803569e-07,5.086683e-07,5.525576e-07,5.635727e-07,6.187504e-07,6.253721e-07,6.738273e-07,6.979386e-07,7.284560e-07,7.694776e-07,7.823192e-07,8.351326e-07,8.393045e-07,8.866464e-07,9.068389e-07,9.366466e-07,9.716074e-07,9.849538e-07,1.031423e-06,1.033242e-06,1.075941e-06,1.091473e-06,1.118424e-06,1.146120e-06,1.158815e-06,1.197080e-06,1.233208e-06,1.244318e-06,1.267203e-06,1.287851e-06,1.299089e-06,1.327745e-06,1.328899e-06,1.356678e-06,1.364099e-06,1.382480e-06,1.397038e-06,1.406367e-06,1.426707e-06,1.428403e-06,1.448658e-06,1.453263e-06,1.467205e-06,1.476872e-06,1.484117e-06,1.497705e-06,1.499467e-06,1.513330e-06,1.515931e-06,1.525779e-06,1.531718e-06,1.536886e-06,1.545230e-06,1.546721e-06,1.555353e-06,1.556626e-06,1.562848e-06,1.566061e-06,1.569271e-06,1.573679e-06,1.574683e-06,1.579145e-06,1.579619e-06,1.582713e-06,1.584014e-06,1.585443e-06,1.586989e-06,1.587386e-06,1.588593e-06,1.588659e-06,1.589111e-06,1.589136e-06,1.588986e-06,1.588522e-06,1.588261e-06,1.586976e-06,1.586913e-06,1.585171e-06,1.584400e-06,1.582882e-06,1.581067e-06,1.580144e-06,1.576991e-06,1.573453e-06,1.572245e-06,1.569561e-06,1.566896e-06,1.565341e-06,1.561008e-06,1.560821e-06,1.556026e-06,1.554637e-06,1.550978e-06,1.547837e-06,1.545700e-06,1.540659e-06,1.540213e-06,1.534537e-06,1.533148e-06,1.528689e-06,1.525346e-06,1.522688e-06,1.517292e-06,1.516549e-06,1.510288e-06,1.509023e-06,1.503920e-06,1.500570e-06,1.497457e-06,1.491965e-06,1.490914e-06,1.484300e-06,1.483236e-06,1.477628e-06,1.474408e-06,1.470909e-06,1.465505e-06,1.464151e-06,1.457364e-06,1.456548e-06,1.450556e-06,1.447556e-06,1.443735e-06,1.438548e-06,1.436909e-06,1.430085e-06,1.429539e-06,1.423269e-06,1.420546e-06,1.416466e-06,1.411580e-06,1.409683e-06,1.402924e-06,1.402654e-06,1.396195e-06,1.393780e-06,1.389499e-06,1.384967e-06,1.382840e-06,1.376224e-06,1.367558e-06,1.358978e-06,1.350489e-06,1.342097e-06,1.333807e-06,1.325623e-06,1.317548e-06,1.309587e-06,1.301742e-06,1.294014e-06,1.286406e-06,1.278920e-06,1.271556e-06,1.264315e-06,1.257198e-06,1.250205e-06,1.243336e-06,1.236592e-06,1.229971e-06,1.223473e-06,1.217097e-06,1.210843e-06,1.204710e-06,1.198696e-06
0.000000e+00,6.211093e-11,2.191986e-10,1.217708e-09,3.481105e-09,5.533503e-09,1.464510e-08,1.515993e-08,3.238173e-08,3.891189e-08,5.983022e-08,8.247604e-08,1.005838e-07,1.525193e-07,1.577545e-07,2.331811e-07,2.539913e-07,3.263911e-07,3.856420e-07,4.354311e-07,5.428577e-07,5.582698e-07,6.932968e-07,7.216484e-07,8.392291e-07,9.190434e-07,9.949268e-07,1.132443e-06,1.159273e-06,1.331117e-06,1.359229e-06,1.509263e-06,1.596650e-06,1.692478e-06,1.841864e-06,1.879519e-06,2.069155e-06,2.092029e-06,2.260201e-06,2.344416e-06,2.451535e-06,2.596502e-06,2.642123e-06,2.831026e-06,2.846040e-06,3.017412e-06,3.091096e-06,3.200557e-06,3.330063e-06,3.379843e-06,3.554755e-06,3.561655e-06,3.724878e-06,3.784883e-06,3.889881e-06,3.999030e-06,4.049518e-06,4.203611e-06,4.352046e-06,4.398339e-06,4.494763e-06,4.583091e-06,4.631745e-06,4.757876e-06,4.763018e-06,4.888636e-06,4.922806e-06,5.008681e-06,5.078076e-06,5.123257e-06,5.223937e-06,5.232481e-06,5.336486e-06,5.360687e-06,5.435415e-06,5.488652e-06,5.529415e-06,5.608180e-06,5.618640e-06,5.703245e-06,5.719625e-06,5.783388e-06,5.823351e-06,5.859226e-06,5.919717e-06,5.930915e-06,5.998610e-06,6.009080e-06,6.062461e-06,6.091788e-06,6.122618e-06,6.168181e-06,6.179225e-06,6.232424e-06,6.238586e-06,6.282353e-06,6.303320e-06,6.329145e-06,6.362689e-06,6.372930e-06,6.413832e-06,6.416983e-06,6.451973e-06,6.466483e-06,6.487471e-06,6.511455e-06,6.520436e-06,6.550979e-06,6.552152e-06,6.579204e-06,6.588817e-06,6.605211e-06,6.621680e-06,6.629099e-06,6.650959e-06,6.670882e-06,6.676862e-06,6.688953e-06,6.699586e-06,6.705257e-06,6.719318e-06,6.719871e-06,6.732873e-06,6.736235e-06,6.744336e-06,6.750504e-06,6.754330e-06,6.762285e-06,6.762922e-06,6.770178e-06,6.771727e-06,6.776159e-06,6.778974e-06,6.780925e-06,6.784159e-06,6.784533e-06,6.787037e-06,6.787411e-06,6.788491e-06,6.788848e-06,6.788944e-06,6.788587e-06,6.788445e-06,6.787039e-06,6.786733e-06,6.784772e-06,6.783390e-06,6.781685e-06,6.778653e-06,6.777819e-06,6.773214e-06,6.772613e-06,6.767906e-06,6.765357e-06,6.761931e-06,6.756965e-06,6.755323e-06,6.748115e-06,6.747513e-06,6.740339e-06,6.737076e-06,6.732024e-06,6.725720e-06,6.723199e-06,6.713892e-06,6.713510e-06,6.704129e-06,6.700508e-06,6.693936e-06,6.686771e-06,6.683336e-06,6.672354e-06,6.657308e-06,6.641682e-06,6.625522e-06,6.608870e-06,6.591768e-06,6.574255e-06,6.556365e-06,6.538135e-06,6.519595e-06,6.500777e-06,6.481709e-06,6.462419e-06,6.442932e-06,6.423273e-06,6.403465e-06,6.383528e-06,6.363483e-06,6.343350e-06,6.323146e-06,6.302887e-06,6.282591e-06,6.262271e-06,6.241942e-06,6.221616e-06
0.000000e+00,4.977737e-11,1.777886e-10,1.004544e-09,2.901580e-09,4.633527e-09,1.238728e-08,1.282758e-08,2.764451e-08,3.329726e-08,5.148019e-08,7.119759e-08,8.690387e-08,1.312634e-07,1.356687e-07,1.979970e-07,2.149197e-07,2.733968e-07,3.211727e-07,3.614685e-07,4.492706e-07,4.619831e-07,5.747403e-07,5.987384e-07,6.994609e-07,7.689124e-07,8.357318e-07,9.587169e-07,9.829887e-07,1.140521e-06,1.166625e-06,1.307488e-06,1.390707e-06,1.482939e-06,1.628721e-06,1.665849e-06,1.855136e-06,1.878227e-06,2.049699e-06,2.136696e-06,2.248447e-06,2.401643e-06,2.450324e-06,2.654315e-06,2.670696e-06,2.859469e-06,2.941659e-06,3.064913e-06,3.212558e-06,3.269844e-06,3.473546e-06,3.481659e-06,3.675382e-06,3.747476e-06,3.874794e-06,4.008760e-06,4.071299e-06,4.264487e-06,4.454011e-06,4.513836e-06,4.639584e-06,4.756166e-06,4.820971e-06,4.990993e-06,4.997988e-06,5.170489e-06,5.217965e-06,5.338369e-06,5.436845e-06,5.501551e-06,5.647489e-06,5.659989e-06,5.813659e-06,5.849830e-06,5.962559e-06,6.043864e-06,6.106703e-06,6.229639e-06,6.246121e-06,6.380855e-06,6.407244e-06,6.510956e-06,6.576798e-06,6.636486e-06,6.738448e-06,6.757513e-06,6.874110e-06,6.892360e-06,6.986358e-06,7.038715e-06,7.094337e-06,7.177705e-06,7.198134e-06,7.297836e-06,7.309529e-06,7.393532e-06,7.434393e-06,7.485314e-06,7.552507e-06,7.573273e-06,7.657500e-06,7.664080e-06,7.738087e-06,7.769323e-06,7.815126e-06,7.868448e-06,7.888708e-06,7.958923e-06,7.961663e-06,8.025861e-06,8.049174e-06,8.089611e-06,8.131184e-06,8.150260e-06,8.207895e-06,8.262602e-06,8.279503e-06,8.314463e-06,8.346199e-06,8.363561e-06,8.408172e-06,8.409978e-06,8.453792e-06,8.465605e-06,8.495083e-06,8.518677e-06,8.533926e-06,8.567564e-06,8.570396e-06,8.604566e-06,8.612433e-06,8.636509e-06,8.653450e-06,8.666294e-06,8.690775e-06,8.693990e-06,8.719665e-06,8.724563e-06,8.743382e-06,8.754964e-06,8.765207e-06,8.782123e-06,8.785202e-06,8.803427e-06,8.806183e-06,8.819943e-06,8.827279e-06,8.834805e-06,8.845544e-06,8.848072e-06,8.859797e-06,8.861104e-06,8.870035e-06,8.874082e-06,8.878837e-06,8.884598e-06,8.886255e-06,8.892336e-06,8.892766e-06,8.897130e-06,8.898697e-06,8.900682e-06,8.902497e-06,8.903039e-06,8.904244e-06,8.904269e-06,8.904341e-06,8.904112e-06,8.903370e-06,8.902121e-06,8.901373e-06,8.898388e-06,8.893002e-06,8.886046e-06,8.877603e-06,8.867750e-06,8.856565e-06,8.844118e-06,8.830479e-06,8.815716e-06,8.799892e-06,8.783068e-06,8.765305e-06,8.746657e-06,8.727181e-06,8.706927e-06,8.685945e-06,8.664284e-06,8.641988e-06,8.619103e-06,8.595669e-06,8.571726e-06,8.547313e-06,8.522466e-06,8.497220e-06,8.471608e-06
0.000000e+00,3.808618e-13,2.557338e-12,4.315586e-11,2.789075e-10,6.535633e-10,4.069939e-09,4.345935e-09,1.842340e-08,2.611248e-08,5.879259e-08,1.069745e-07,1.543380e-07,3.304713e-07,3.514266e-07,7.181971e-07,8.412940e-07,1.348292e-06,1.860373e-06,2.363523e-06,3.694609e-06,3.914709e-06,6.179983e-06,6.736082e-06,9.360308e-06,1.144731e-05,1.367261e-05,1.833394e-05,1.934136e-05,2.658946e-05,2.791013e-05,3.562929e-05,4.066259e-05,4.665445e-05,5.701778e-05,5.983270e-05,7.530015e-05,7.731523e-05,9.315693e-05,1.017881e-04,1.134644e-04,1.305515e-04,1.362435e-04,1.614747e-04,1.635977e-04,1.890991e-04,2.007985e-04,2.190201e-04,2.419128e-04,2.511064e-04,2.851959e-04,2.865985e-04,3.210991e-04,3.344281e-04,3.586043e-04,3.849065e-04,3.974822e-04,4.374900e-04,4.783770e-04,4.916049e-04,5.198885e-04,5.466661e-04,5.617704e-04,6.020935e-04,6.037729e-04,6.456541e-04,6.573273e-04,6.871830e-04,7.118401e-04,7.281420e-04,7.651470e-04,7.683290e-04,8.075590e-04,8.168128e-04,8.456651e-04,8.664578e-04,8.824996e-04,9.137594e-04,9.179337e-04,9.518581e-04,9.584535e-04,9.841821e-04,1.000333e-03,1.014834e-03,1.039248e-03,1.043758e-03,1.070916e-03,1.075095e-03,1.096285e-03,1.107824e-03,1.119857e-03,1.137423e-03,1.141636e-03,1.161637e-03,1.163919e-03,1.179887e-03,1.187371e-03,1.196421e-03,1.207864e-03,1.211281e-03,1.224518e-03,1.225508e-03,1.236186e-03,1.240427e-03,1.246345e-03,1.252761e-03,1.255058e-03,1.262392e-03,1.262657e-03,1.268412e-03,1.270271e-03,1.273189e-03,1.275761e-03,1.276790e-03,1.279286e-03,1.280743e-03,1.281002e-03,1.281230e-03,1.281063e-03,1.280812e-03,1.279619e-03,1.279553e-03,1.277515e-03,1.276813e-03,1.274759e-03,1.272784e-03,1.271341e-03,1.267659e-03,1.267316e-03,1.262739e-03,1.261563e-03,1.257658e-03,1.254611e-03,1.252121e-03,1.246908e-03,1.246174e-03,1.239858e-03,1.238555e-03,1.233214e-03,1.229642e-03,1.226280e-03,1.220256e-03,1.219089e-03,1.211676e-03,1.210472e-03,1.204071e-03,1.200361e-03,1.196302e-03,1.189987e-03,1.188396e-03,1.180378e-03,1.179409e-03,1.172270e-03,1.168680e-03,1.164093e-03,1.157845e-03,1.155867e-03,1.147610e-03,1.146948e-03,1.139336e-03,1.136026e-03,1.131063e-03,1.125113e-03,1.122802e-03,1.114567e-03,1.114239e-03,1.106369e-03,1.103428e-03,1.098217e-03,1.092706e-03,1.090122e-03,1.082091e-03,1.071600e-03,1.061250e-03,1.051051e-03,1.041016e-03,1.031152e-03,1.021468e-03,1.011969e-03,1.002660e-03,9.935436e-04,9.846232e-04,9.759000e-04,9.673748e-04,9.590476e-04,9.509178e-04,9.429843e-04,9.352456e-04,9.276997e-04,9.203442e-04,9.131765e-04,9.061937e-04,8.993926e-04,8.927701e-04,8.863226e-04,8.800467e-04
0.000000e+00,1.147772e-12,7.106292e-12,1.013386e-10,5.617516e-10,1.210033e-09,6.064041e-09,6.418404e-09,2.195432e-08,2.936168e-08,5.716654e-08,9.255099e-08,1.237917e-07,2.241215e-07,2.349777e-07,4.043855e-07,4.552125e-07,6.454280e-07,8.163772e-07,9.704477e-07,1.334037e-06,1.389551e-06,1.909123e-06,2.025314e-06,2.530571e-06,2.892866e-06,3.249913e-06,3.923527e-06,4.058404e-06,4.943811e-06,5.091677e-06,5.891863e-06,6.364765e-06,6.887514e-06,7.708261e-06,7.915845e-06,8.962643e-06,9.088862e-06,1.001474e-05,1.047621e-05,1.106017e-05,1.184364e-05,1.208830e-05,1.308982e-05,1.316854e-05,1.405679e-05,1.443239e-05,1.498265e-05,1.562081e-05,1.586214e-05,1.669130e-05,1.672337e-05,1.746736e-05,1.773339e-05,1.818867e-05,1.864751e-05,1.885456e-05,1.946525e-05,2.002167e-05,2.018850e-05,2.052537e-05,2.082098e-05,2.097837e-05,2.136777e-05,2.138306e-05,2.174209e-05,2.183482e-05,2.205826e-05,2.222858e-05,2.233444e-05,2.255572e-05,2.257355e-05,2.277843e-05,2.282282e-05,2.295187e-05,2.303626e-05,2.309654e-05,2.320205e-05,2.321496e-05,2.330952e-05,2.332577e-05,2.338245e-05,2.341252e-05,2.343582e-05,2.346692e-05,2.347152e-05,2.349131e-05,2.349311e-05,2.349680e-05,2.349478e-05,2.348944e-05,2.347520e-05,2.347057e-05,2.344139e-05,2.343725e-05,2.340300e-05,2.338345e-05,2.335638e-05,2.331601e-05,2.330243e-05,2.324196e-05,2.323686e-05,2.317568e-05,2.314770e-05,2.310426e-05,2.304999e-05,2.302829e-05,2.294831e-05,2.294503e-05,2.286478e-05,2.283394e-05,2.277816e-05,2.271769e-05,2.268883e-05,2.259715e-05,2.250344e-05,2.247308e-05,2.240800e-05,2.234612e-05,2.231107e-05,2.221686e-05,2.221292e-05,2.211374e-05,2.208582e-05,2.201374e-05,2.195343e-05,2.191311e-05,2.182010e-05,2.181200e-05,2.171056e-05,2.168618e-05,2.160892e-05,2.155197e-05,2.150722e-05,2.141775e-05,2.140556e-05,2.130404e-05,2.128376e-05,2.120276e-05,2.115022e-05,2.110181e-05,2.101731e-05,2.100125e-05,2.090117e-05,2.088521e-05,2.080163e-05,2.075405e-05,2.070268e-05,2.062398e-05,2.060437e-05,2.050677e-05,2.049510e-05,2.040990e-05,2.036753e-05,2.031382e-05,2.024133e-05,2.021854e-05,2.012412e-05,2.011660e-05,2.003057e-05,1.999341e-05,1.993793e-05,1.987180e-05,1.984621e-05,1.975544e-05,1.975183e-05,1.966563e-05,1.963354e-05,1.957680e-05,1.951696e-05,1.948896e-05,1.940213e-05,1.928906e-05,1.917778e-05,1.906830e-05,1.896063e-05,1.885478e-05,1.875074e-05,1.864852e-05,1.854811e-05,1.844951e-05,1.835271e-05,1.825770e-05,1.816446e-05,1.807298e-05,1.798325e-05,1.789524e-05,1.780895e-05,1.772435e-05,1.764143e-05,1.756015e-05,1.748050e-05,1.740246e-05,1.732601e-05,1.725112e-05,1.717776e-05
0.000000e+00,1.325430e-10,4.517266e-10,2.405196e-09,6.750263e-09,1.067654e-08,2.824172e-08,2.924368e-08,6.338875e-08,7.662175e-08,1.196644e-07,1.664674e-07,2.033794e-07,3.048505e-07,3.147090e-07,4.509451e-07,4.871005e-07,6.100940e-07,7.088279e-07,7.911412e-07,9.680281e-07,9.933944e-07,1.216077e-06,1.262980e-06,1.458153e-06,1.591260e-06,1.718271e-06,1.949516e-06,1.994784e-06,2.285788e-06,2.333556e-06,2.589195e-06,2.738591e-06,2.902802e-06,3.159524e-06,3.224366e-06,3.551664e-06,3.591222e-06,3.882552e-06,4.028754e-06,4.215009e-06,4.467571e-06,4.547169e-06,4.877340e-06,4.903622e-06,5.204020e-06,5.333414e-06,5.525896e-06,5.754033e-06,5.841842e-06,6.150911e-06,6.163119e-06,6.452322e-06,6.558829e-06,6.745445e-06,6.939779e-06,7.029789e-06,7.304982e-06,7.570760e-06,7.653790e-06,7.826950e-06,7.985833e-06,8.073457e-06,8.300970e-06,8.310255e-06,8.537373e-06,8.599241e-06,8.754887e-06,8.880831e-06,8.962910e-06,9.146034e-06,9.161588e-06,9.351093e-06,9.395230e-06,9.531614e-06,9.628858e-06,9.703358e-06,9.847406e-06,9.866544e-06,1.002140e-05,1.005139e-05,1.016815e-05,1.024134e-05,1.030704e-05,1.041781e-05,1.043831e-05,1.056220e-05,1.058135e-05,1.067894e-05,1.073250e-05,1.078876e-05,1.087181e-05,1.089192e-05,1.098863e-05,1.099981e-05,1.107913e-05,1.111703e-05,1.116363e-05,1.122398e-05,1.124236e-05,1.131553e-05,1.132115e-05,1.138335e-05,1.140903e-05,1.144602e-05,1.148807e-05,1.150375e-05,1.155671e-05,1.155874e-05,1.160511e-05,1.162146e-05,1.164913e-05,1.167665e-05,1.168894e-05,1.172471e-05,1.175661e-05,1.176603e-05,1.178481e-05,1.180098e-05,1.180945e-05,1.182991e-05,1.183069e-05,1.184868e-05,1.185316e-05,1.186356e-05,1.187105e-05,1.187546e-05,1.188390e-05,1.188452e-05,1.189086e-05,1.189199e-05,1.189461e-05,1.189562e-05,1.189588e-05,1.189505e-05,1.189480e-05,1.189146e-05,1.189054e-05,1.188599e-05,1.188233e-05,1.187847e-05,1.187065e-05,1.186902e-05,1.185771e-05,1.185574e-05,1.184466e-05,1.183779e-05,1.182994e-05,1.181702e-05,1.181363e-05,1.179583e-05,1.179360e-05,1.177661e-05,1.176773e-05,1.175605e-05,1.173957e-05,1.173421e-05,1.171117e-05,1.170928e-05,1.168700e-05,1.167703e-05,1.166176e-05,1.164296e-05,1.163551e-05,1.160831e-05,1.160720e-05,1.158022e-05,1.156990e-05,1.155129e-05,1.153117e-05,1.152158e-05,1.149114e-05,1.144991e-05,1.140759e-05,1.136429e-05,1.132009e-05,1.127510e-05,1.122938e-05,1.118302e-05,1.113610e-05,1.108869e-05,1.104086e-05,1.099266e-05,1.094415e-05,1.089541e-05,1.084646e-05,1.079737e-05,1.074819e-05,1.069894e-05,1.064968e-05,1.060045e-05,1.055128e-05,1.050219e-05,1.045323e-05,1.040443e-05,1.035580e-05
0.000000e+00,1.558992e-11,3.708411e-11,1.324644e-10,3.060137e-10,4.485254e-10,1.022487e-09,1.053288e-09,2.030906e-09,2.382595e-09,3.462967e-09,4.573907e-09,5.430057e-09,7.779915e-09,8.010697e-09,1.127562e-08,1.216729e-08,1.527513e-08,1.784197e-08,2.002014e-08,2.477827e-08,2.546590e-08,3.151378e-08,3.278442e-08,3.803440e-08,4.156763e-08,4.489563e-08,5.083544e-08,5.197952e-08,5.918710e-08,6.034613e-08,6.643686e-08,6.991151e-08,7.366154e-08,7.938549e-08,8.080549e-08,8.782274e-08,8.865443e-08,9.467562e-08,9.763076e-08,1.013338e-07,1.062490e-07,1.077735e-07,1.139767e-07,1.144623e-07,1.199305e-07,1.222402e-07,1.256266e-07,1.295655e-07,1.310603e-07,1.362304e-07,1.364317e-07,1.411381e-07,1.428413e-07,1.457871e-07,1.488033e-07,1.501827e-07,1.543314e-07,1.582412e-07,1.594432e-07,1.619204e-07,1.641582e-07,1.653779e-07,1.684974e-07,1.686232e-07,1.716657e-07,1.724825e-07,1.745147e-07,1.761353e-07,1.771799e-07,1.794774e-07,1.796704e-07,1.819953e-07,1.825296e-07,1.841634e-07,1.853121e-07,1.861831e-07,1.878442e-07,1.880626e-07,1.898099e-07,1.901441e-07,1.914323e-07,1.922291e-07,1.929372e-07,1.941154e-07,1.943313e-07,1.956211e-07,1.958183e-07,1.968129e-07,1.973519e-07,1.979125e-07,1.987295e-07,1.989254e-07,1.998570e-07,1.999635e-07,2.007121e-07,2.010654e-07,2.014955e-07,2.020457e-07,2.022116e-07,2.028647e-07,2.029143e-07,2.034586e-07,2.036805e-07,2.039972e-07,2.043526e-07,2.044839e-07,2.049220e-07,2.049386e-07,2.053147e-07,2.054455e-07,2.056649e-07,2.058802e-07,2.059754e-07,2.062489e-07,2.064877e-07,2.065571e-07,2.066941e-07,2.068103e-07,2.068705e-07,2.070133e-07,2.070187e-07,2.071407e-07,2.071705e-07,2.072385e-07,2.072861e-07,2.073135e-07,2.073639e-07,2.073675e-07,2.074020e-07,2.074075e-07,2.074183e-07,2.074200e-07,2.074178e-07,2.074045e-07,2.074018e-07,2.073714e-07,2.073637e-07,2.073277e-07,2.073001e-07,2.072718e-07,2.072161e-07,2.072046e-07,2.071271e-07,2.071138e-07,2.070400e-07,2.069951e-07,2.069443e-07,2.068619e-07,2.068406e-07,2.067296e-07,2.067158e-07,2.066120e-07,2.065584e-07,2.064885e-07,2.063910e-07,2.063596e-07,2.062259e-07,2.062150e-07,2.060877e-07,2.060314e-07,2.059458e-07,2.058414e-07,2.058004e-07,2.056520e-07,2.056460e-07,2.055010e-07,2.054460e-07,2.053477e-07,2.052424e-07,2.051925e-07,2.050357e-07,2.048268e-07,2.046162e-07,2.044045e-07,2.041922e-07,2.039798e-07,2.037676e-07,2.035562e-07,2.033458e-07,2.031367e-07,2.029292e-07,2.027236e-07,2.025201e-07,2.023188e-07,2.021200e-07,2.019238e-07,2.017304e-07,2.015398e-07,2.013521e-07,2.011675e-07,2.009859e-07,2.008075e-07,2.006324e-07,2.004604e-07,2.002917e-07
0.000000e+00,1.195879e-12,7.513064e-12,1.104566e-10,6.296920e-10,1.377547e-09,7.188226e-09,7.620907e-09,2.715465e-08,3.672774e-08,7.358614e-08,1.219785e-07,1.657215e-07,3.109386e-07,3.270097e-07,5.848713e-07,6.644729e-07,9.698535e-07,1.252943e-06,1.514045e-06,2.149147e-06,2.248188e-06,3.197909e-06,3.415414e-06,4.380501e-06,5.090354e-06,5.803449e-06,7.183330e-06,7.464864e-06,9.355147e-06,9.677875e-06,1.145907e-05,1.253938e-05,1.375769e-05,1.572259e-05,1.622984e-05,1.885311e-05,1.917697e-05,2.160455e-05,2.284982e-05,2.446104e-05,2.668813e-05,2.739968e-05,3.039798e-05,3.063977e-05,3.343413e-05,3.465448e-05,3.648725e-05,3.868487e-05,3.953760e-05,4.256684e-05,4.268732e-05,4.555815e-05,4.662277e-05,4.849643e-05,5.045731e-05,5.136838e-05,5.416250e-05,5.686912e-05,5.771543e-05,5.948037e-05,6.109857e-05,6.199002e-05,6.429941e-05,6.439346e-05,6.668750e-05,6.730993e-05,6.887023e-05,7.012609e-05,7.094092e-05,7.274719e-05,7.289981e-05,7.474801e-05,7.517530e-05,7.648734e-05,7.741469e-05,7.812021e-05,7.947135e-05,7.964949e-05,8.107843e-05,8.135249e-05,8.241055e-05,8.306621e-05,8.364955e-05,8.462116e-05,8.479928e-05,8.586364e-05,8.602628e-05,8.684656e-05,8.729059e-05,8.775195e-05,8.842303e-05,8.858366e-05,8.934545e-05,8.943234e-05,9.004100e-05,9.032697e-05,9.067385e-05,9.111500e-05,9.124743e-05,9.176504e-05,9.180413e-05,9.222984e-05,9.240165e-05,9.264484e-05,9.291443e-05,9.301293e-05,9.333684e-05,9.334891e-05,9.361917e-05,9.371111e-05,9.386240e-05,9.400665e-05,9.406886e-05,9.424077e-05,9.438023e-05,9.441834e-05,9.448923e-05,9.454386e-05,9.456963e-05,9.462155e-05,9.462320e-05,9.465161e-05,9.465528e-05,9.465645e-05,9.464865e-05,9.463919e-05,9.460500e-05,9.460123e-05,9.454391e-05,9.452741e-05,9.446846e-05,9.441873e-05,9.437606e-05,9.428161e-05,9.426782e-05,9.414479e-05,9.411850e-05,9.400795e-05,9.393164e-05,9.385822e-05,9.372314e-05,9.369649e-05,9.352358e-05,9.349493e-05,9.334027e-05,9.324880e-05,9.314728e-05,9.298640e-05,9.294532e-05,9.273504e-05,9.270927e-05,9.251704e-05,9.241883e-05,9.229192e-05,9.211639e-05,9.206021e-05,9.182244e-05,9.180317e-05,9.157909e-05,9.148029e-05,9.133062e-05,9.114879e-05,9.107746e-05,9.082003e-05,9.080965e-05,9.055871e-05,9.046376e-05,9.029387e-05,9.011193e-05,9.002584e-05,8.975495e-05,8.939351e-05,8.902829e-05,8.865988e-05,8.828886e-05,8.791574e-05,8.754102e-05,8.716513e-05,8.678851e-05,8.641152e-05,8.603453e-05,8.565786e-05,8.528181e-05,8.490667e-05,8.453269e-05,8.416011e-05,8.378916e-05,8.342002e-05,8.305290e-05,8.268795e-05,8.232535e-05,8.196522e-05,8.160770e-05,8.125291e-05,8.090095e-05
0.000000e+00,2.522115e-13,1.645518e-12,2.615067e-11,1.599146e-10,3.634312e-10,2.089318e-09,2.223698e-09,8.696080e-09,1.205536e-08,2.566117e-08,4.459706e-08,6.243128e-08,1.248806e-07,1.320263e-07,2.511037e-07,2.891992e-07,4.396141e-07,5.838752e-07,7.202541e-07,1.063030e-06,1.117751e-06,1.657955e-06,1.785410e-06,2.366722e-06,2.810141e-06,3.268618e-06,4.191627e-06,4.385598e-06,5.735827e-06,5.974483e-06,7.332817e-06,8.189677e-06,9.184916e-06,1.085249e-05,1.129515e-05,1.366137e-05,1.396223e-05,1.627654e-05,1.750330e-05,1.912929e-05,2.144703e-05,2.220440e-05,2.548346e-05,2.575398e-05,2.894539e-05,3.037624e-05,3.256708e-05,3.525986e-05,3.632394e-05,4.019045e-05,4.034703e-05,4.414066e-05,4.557823e-05,4.814866e-05,5.089408e-05,5.218898e-05,5.623704e-05,6.026938e-05,6.155277e-05,6.426401e-05,6.679131e-05,6.820058e-05,7.190786e-05,7.206057e-05,7.582740e-05,7.686338e-05,7.948645e-05,8.162482e-05,8.302512e-05,8.616521e-05,8.643278e-05,8.970072e-05,9.046344e-05,9.282208e-05,9.450402e-05,9.579169e-05,9.827657e-05,9.860601e-05,1.012629e-04,1.017754e-04,1.037617e-04,1.049987e-04,1.061028e-04,1.079484e-04,1.082876e-04,1.103184e-04,1.106293e-04,1.121985e-04,1.130484e-04,1.139314e-04,1.152148e-04,1.155216e-04,1.169737e-04,1.171389e-04,1.182927e-04,1.188323e-04,1.194840e-04,1.203072e-04,1.205529e-04,1.215049e-04,1.215762e-04,1.223457e-04,1.226521e-04,1.230807e-04,1.235476e-04,1.237156e-04,1.242556e-04,1.242753e-04,1.247062e-04,1.248475e-04,1.250725e-04,1.252760e-04,1.253595e-04,1.255721e-04,1.257148e-04,1.257465e-04,1.257924e-04,1.258097e-04,1.258089e-04,1.257712e-04,1.257686e-04,1.256753e-04,1.256402e-04,1.255328e-04,1.254251e-04,1.253446e-04,1.251340e-04,1.251141e-04,1.248444e-04,1.247742e-04,1.245386e-04,1.243527e-04,1.241996e-04,1.238759e-04,1.238300e-04,1.234323e-04,1.233496e-04,1.230089e-04,1.227794e-04,1.225622e-04,1.221704e-04,1.220941e-04,1.216068e-04,1.215271e-04,1.211020e-04,1.208540e-04,1.205815e-04,1.201549e-04,1.200469e-04,1.194999e-04,1.194335e-04,1.189418e-04,1.186930e-04,1.183739e-04,1.179366e-04,1.177976e-04,1.172140e-04,1.171670e-04,1.166242e-04,1.163868e-04,1.160293e-04,1.155983e-04,1.154302e-04,1.148277e-04,1.148036e-04,1.142228e-04,1.140045e-04,1.136161e-04,1.132030e-04,1.130085e-04,1.124005e-04,1.115985e-04,1.107983e-04,1.100011e-04,1.092079e-04,1.084196e-04,1.076371e-04,1.068612e-04,1.060925e-04,1.053316e-04,1.045791e-04,1.038353e-04,1.031008e-04,1.023757e-04,1.016605e-04,1.009554e-04,1.002606e-04,9.957622e-05,9.890243e-05,9.823936e-05,9.758705e-05,9.694556e-05,9.631493e-05,9.569514e-05,9.508618e-05
0.000000e+00,7.405558e-12,4.375313e-11,5.680458e-10,2.902853e-09,5.990882e-09,2.706211e-08,2.852906e-08,8.901852e-08,1.163550e-07,2.147445e-07,3.344558e-07,4.371636e-07,7.563031e-07,7.901512e-07,1.306703e-06,1.458094e-06,2.012054e-06,2.494106e-06,2.916640e-06,3.873173e-06,4.014632e-06,5.288190e-06,5.561906e-06,6.713256e-06,7.505534e-06,8.263807e-06,9.644289e-06,9.913963e-06,1.163866e-05,1.191990e-05,1.341377e-05,1.427689e-05,1.521614e-05,1.666284e-05,1.702379e-05,1.881624e-05,1.902941e-05,2.057487e-05,2.133363e-05,2.228324e-05,2.353926e-05,2.392733e-05,2.549570e-05,2.561761e-05,2.697946e-05,2.754775e-05,2.837217e-05,2.931613e-05,2.966968e-05,3.086986e-05,3.091583e-05,3.197234e-05,3.234549e-05,3.297823e-05,3.360819e-05,3.388982e-05,3.471035e-05,3.544375e-05,3.566074e-05,3.609443e-05,3.646963e-05,3.666712e-05,3.714809e-05,3.716673e-05,3.759820e-05,3.770748e-05,3.796645e-05,3.815904e-05,3.827625e-05,3.851364e-05,3.853224e-05,3.873883e-05,3.878154e-05,3.890022e-05,3.897233e-05,3.902034e-05,3.909485e-05,3.910289e-05,3.915132e-05,3.915719e-05,3.916882e-05,3.916670e-05,3.915837e-05,3.913000e-05,3.912270e-05,3.906433e-05,3.905304e-05,3.898557e-05,3.894115e-05,3.888855e-05,3.879910e-05,3.877522e-05,3.864737e-05,3.863113e-05,3.850663e-05,3.844101e-05,3.835448e-05,3.823207e-05,3.819230e-05,3.802131e-05,3.800728e-05,3.784264e-05,3.776927e-05,3.765734e-05,3.752034e-05,3.746633e-05,3.727047e-05,3.726255e-05,3.707053e-05,3.699770e-05,3.686722e-05,3.672738e-05,3.666118e-05,3.645299e-05,3.624317e-05,3.617577e-05,3.603221e-05,3.589679e-05,3.582053e-05,3.561701e-05,3.560853e-05,3.539655e-05,3.533725e-05,3.518492e-05,3.505824e-05,3.497393e-05,3.478060e-05,3.476383e-05,3.455486e-05,3.450490e-05,3.434722e-05,3.423160e-05,3.414110e-05,3.396111e-05,3.393667e-05,3.373407e-05,3.369378e-05,3.353344e-05,3.342992e-05,3.333488e-05,3.316978e-05,3.313851e-05,3.294441e-05,3.291357e-05,3.275265e-05,3.266146e-05,3.256331e-05,3.241361e-05,3.237644e-05,3.219209e-05,3.217014e-05,3.201030e-05,3.193113e-05,3.183109e-05,3.169665e-05,3.165451e-05,3.148056e-05,3.146676e-05,3.130926e-05,3.124148e-05,3.114061e-05,3.102083e-05,3.097463e-05,3.081130e-05,3.080483e-05,3.065064e-05,3.059345e-05,3.049262e-05,3.038668e-05,3.033725e-05,3.018450e-05,2.998685e-05,2.979372e-05,2.960503e-05,2.942074e-05,2.924079e-05,2.906512e-05,2.889366e-05,2.872634e-05,2.856309e-05,2.840384e-05,2.824852e-05,2.809704e-05,2.794933e-05,2.780531e-05,2.766492e-05,2.752806e-05,2.739467e-05,2.726467e-05,2.713797e-05,2.701451e-05,2.689422e-05,2.677701e-05,2.666281e-05,2.655155e-05
0.000000e+00,3.435663e-13,2.249724e-12,3.602262e-11,2.218119e-10,5.060551e-10,2.939642e-09,3.130090e-09,1.237995e-08,1.721923e-08,3.698069e-08,6.477978e-08,9.119010e-08,1.849232e-07,1.957499e-07,3.784890e-07,4.377267e-07,6.744633e-07,9.049464e-07,1.125237e-06,1.686396e-06,1.776732e-06,2.675466e-06,2.888739e-06,3.863844e-06,4.607938e-06,5.375676e-06,6.912012e-06,7.232889e-06,9.443915e-06,9.830353e-06,1.200364e-05,1.335146e-05,1.489460e-05,1.742739e-05,1.808888e-05,2.155051e-05,2.198194e-05,2.523780e-05,2.692014e-05,2.910561e-05,3.213722e-05,3.310735e-05,3.719663e-05,3.752620e-05,4.132870e-05,4.298397e-05,4.546145e-05,4.841560e-05,4.955624e-05,5.357844e-05,5.373737e-05,5.749776e-05,5.887842e-05,6.128840e-05,6.378146e-05,6.492902e-05,6.840266e-05,7.169648e-05,7.271094e-05,7.480143e-05,7.668679e-05,7.771198e-05,8.032089e-05,8.042566e-05,8.294269e-05,8.361251e-05,8.526558e-05,8.656789e-05,8.739874e-05,8.919878e-05,8.934813e-05,9.112090e-05,9.152096e-05,9.272507e-05,9.355298e-05,9.416933e-05,9.531516e-05,9.546271e-05,9.661443e-05,9.682859e-05,9.763373e-05,9.811445e-05,9.852969e-05,9.919350e-05,9.931121e-05,9.998686e-05,1.000857e-04,1.005648e-04,1.008098e-04,1.010529e-04,1.013835e-04,1.014583e-04,1.017880e-04,1.018228e-04,1.020483e-04,1.021425e-04,1.022453e-04,1.023560e-04,1.023844e-04,1.024707e-04,1.024755e-04,1.025089e-04,1.025117e-04,1.025034e-04,1.024745e-04,1.024579e-04,1.023762e-04,1.023723e-04,1.022616e-04,1.022129e-04,1.021170e-04,1.020030e-04,1.019452e-04,1.017488e-04,1.015299e-04,1.014554e-04,1.012906e-04,1.011277e-04,1.010329e-04,1.007699e-04,1.007586e-04,1.004691e-04,1.003856e-04,1.001660e-04,9.997820e-05,9.985065e-05,9.955068e-05,9.952418e-05,9.918774e-05,9.910562e-05,9.884235e-05,9.864538e-05,9.848896e-05,9.817205e-05,9.812844e-05,9.776158e-05,9.768751e-05,9.738911e-05,9.719344e-05,9.701173e-05,9.669141e-05,9.663008e-05,9.624470e-05,9.618274e-05,9.585618e-05,9.566873e-05,9.546501e-05,9.515046e-05,9.507163e-05,9.467648e-05,9.462897e-05,9.427998e-05,9.410517e-05,9.388246e-05,9.357988e-05,9.348428e-05,9.308575e-05,9.305386e-05,9.268717e-05,9.252778e-05,9.228880e-05,9.200226e-05,9.189091e-05,9.149372e-05,9.147785e-05,9.109746e-05,9.095507e-05,9.070234e-05,9.043440e-05,9.030854e-05,8.991624e-05,8.940100e-05,8.888901e-05,8.838059e-05,8.787603e-05,8.737557e-05,8.687944e-05,8.638786e-05,8.590100e-05,8.541903e-05,8.494210e-05,8.447033e-05,8.400384e-05,8.354273e-05,8.308707e-05,8.263695e-05,8.219243e-05,8.175354e-05,8.132033e-05,8.089284e-05,8.047108e-05,8.005507e-05,7.964481e-05,7.924031e-05,7.884155e-05
0.000000e+00,4.722062e-11,2.158192e-10,1.743542e-09,6.161546e-09,1.062983e-08,3.229217e-08,3.355838e-08,7.661610e-08,9.301338e-08,1.450974e-07,2.004292e-07,2.438812e-07,3.654586e-07,3.775282e-07,5.495072e-07,5.966228e-07,7.601521e-07,8.934872e-07,1.004890e-06,1.241916e-06,1.275444e-06,1.562992e-06,1.621860e-06,1.860155e-06,2.016528e-06,2.161215e-06,2.413789e-06,2.461656e-06,2.757752e-06,2.804506e-06,3.046345e-06,3.181402e-06,3.324766e-06,3.538693e-06,3.590827e-06,3.842816e-06,3.872046e-06,4.079498e-06,4.178571e-06,4.300087e-06,4.456728e-06,4.504209e-06,4.691853e-06,4.706159e-06,4.863305e-06,4.927465e-06,5.019095e-06,5.121957e-06,5.159929e-06,5.286644e-06,5.291432e-06,5.400153e-06,5.437967e-06,5.501411e-06,5.563760e-06,5.591380e-06,5.671006e-06,5.741201e-06,5.761813e-06,5.802828e-06,5.838149e-06,5.856696e-06,5.901807e-06,5.903556e-06,5.944091e-06,5.954395e-06,5.978930e-06,5.997339e-06,6.008643e-06,6.031893e-06,6.033743e-06,6.054690e-06,6.059147e-06,6.071900e-06,6.080046e-06,6.085746e-06,6.095412e-06,6.096560e-06,6.104641e-06,6.105953e-06,6.110253e-06,6.112275e-06,6.113633e-06,6.114902e-06,6.114992e-06,6.114519e-06,6.114286e-06,6.112387e-06,6.110819e-06,6.108747e-06,6.104844e-06,6.103739e-06,6.097486e-06,6.096657e-06,6.090099e-06,6.086517e-06,6.081682e-06,6.074653e-06,6.072326e-06,6.062117e-06,6.061266e-06,6.051131e-06,6.046535e-06,6.039437e-06,6.030617e-06,6.027101e-06,6.014181e-06,6.013653e-06,6.000732e-06,5.995771e-06,5.986804e-06,5.977083e-06,5.972443e-06,5.957692e-06,5.942590e-06,5.937689e-06,5.927174e-06,5.917159e-06,5.911478e-06,5.896177e-06,5.895534e-06,5.879372e-06,5.874811e-06,5.863018e-06,5.853124e-06,5.846498e-06,5.831174e-06,5.829836e-06,5.813054e-06,5.809011e-06,5.796173e-06,5.786684e-06,5.779213e-06,5.764235e-06,5.762190e-06,5.745122e-06,5.741705e-06,5.728026e-06,5.719129e-06,5.710915e-06,5.696540e-06,5.693803e-06,5.676703e-06,5.673969e-06,5.659627e-06,5.651443e-06,5.642587e-06,5.628987e-06,5.625592e-06,5.608652e-06,5.606624e-06,5.591777e-06,5.584375e-06,5.574975e-06,5.562259e-06,5.558253e-06,5.541620e-06,5.540293e-06,5.525081e-06,5.518494e-06,5.508644e-06,5.496874e-06,5.492313e-06,5.476095e-06,5.475448e-06,5.459994e-06,5.454227e-06,5.444015e-06,5.433221e-06,5.428162e-06,5.412438e-06,5.391889e-06,5.371579e-06,5.351516e-06,5.331705e-06,5.312151e-06,5.292858e-06,5.273830e-06,5.255070e-06,5.236580e-06,5.218362e-06,5.200418e-06,5.182749e-06,5.165355e-06,5.148237e-06,5.131394e-06,5.114826e-06,5.098533e-06,5.082513e-06,5.066766e-06,5.051289e-06,5.036081e-06,5.021140e-06,5.006465e-06,4.992053e-06
0.000000e+00,3.519813e-11,1.763619e-10,1.679624e-09,6.721879e-09,1.231814e-08,4.301556e-08,4.494180e-08,1.166225e-07,1.466165e-07,2.502177e-07,3.725911e-07,4.764617e-07,7.962120e-07,8.298413e-07,1.332602e-06,1.475471e-06,1.979051e-06,2.393590e-06,2.740684e-06,3.479593e-06,3.584161e-06,4.482602e-06,4.667107e-06,5.417123e-06,5.912788e-06,6.374486e-06,7.188940e-06,7.344677e-06,8.319416e-06,8.475299e-06,9.291435e-06,9.755101e-06,1.025423e-05,1.101388e-05,1.120197e-05,1.212955e-05,1.223929e-05,1.303260e-05,1.342122e-05,1.390752e-05,1.455183e-05,1.475140e-05,1.556208e-05,1.562544e-05,1.633800e-05,1.663841e-05,1.707822e-05,1.758877e-05,1.778224e-05,1.844999e-05,1.847594e-05,1.908175e-05,1.930047e-05,1.967809e-05,2.006375e-05,2.023977e-05,2.076775e-05,2.126308e-05,2.141488e-05,2.172691e-05,2.200778e-05,2.216044e-05,2.254928e-05,2.256492e-05,2.294159e-05,2.304224e-05,2.329168e-05,2.348950e-05,2.361645e-05,2.389389e-05,2.391709e-05,2.419478e-05,2.425814e-05,2.445067e-05,2.458486e-05,2.468586e-05,2.487656e-05,2.490143e-05,2.509840e-05,2.513565e-05,2.527775e-05,2.536436e-05,2.544042e-05,2.556485e-05,2.558733e-05,2.571932e-05,2.573911e-05,2.583721e-05,2.588903e-05,2.594180e-05,2.601639e-05,2.603382e-05,2.611399e-05,2.612284e-05,2.618297e-05,2.620994e-05,2.624141e-05,2.627914e-05,2.628991e-05,2.632905e-05,2.633179e-05,2.635938e-05,2.636917e-05,2.638142e-05,2.639244e-05,2.639566e-05,2.640258e-05,2.640271e-05,2.640260e-05,2.640100e-05,2.639616e-05,2.638828e-05,2.638364e-05,2.636543e-05,2.634189e-05,2.633329e-05,2.631335e-05,2.629261e-05,2.628014e-05,2.624413e-05,2.624255e-05,2.620087e-05,2.618851e-05,2.615538e-05,2.612636e-05,2.610633e-05,2.605828e-05,2.605397e-05,2.599853e-05,2.598479e-05,2.594022e-05,2.590639e-05,2.587925e-05,2.582355e-05,2.581582e-05,2.575011e-05,2.573671e-05,2.568229e-05,2.564625e-05,2.561254e-05,2.555256e-05,2.554100e-05,2.546783e-05,2.545598e-05,2.539316e-05,2.535683e-05,2.531713e-05,2.525541e-05,2.523986e-05,2.516147e-05,2.515200e-05,2.508208e-05,2.504685e-05,2.500177e-05,2.494020e-05,2.492066e-05,2.483884e-05,2.483227e-05,2.475640e-05,2.472327e-05,2.467342e-05,2.461339e-05,2.458998e-05,2.450616e-05,2.450280e-05,2.442202e-05,2.439166e-05,2.433763e-05,2.428014e-05,2.425306e-05,2.416835e-05,2.405645e-05,2.394454e-05,2.383273e-05,2.372112e-05,2.360982e-05,2.349890e-05,2.338844e-05,2.327852e-05,2.316921e-05,2.306056e-05,2.295262e-05,2.284546e-05,2.273912e-05,2.263363e-05,2.252905e-05,2.242539e-05,2.232270e-05,2.222100e-05,2.212032e-05,2.202067e-05,2.192209e-05,2.182457e-05,2.172815e-05,2.163283e-05
0.000000e+00,5.138961e-11,1.284170e-10,4.845193e-10,1.156692e-09,1.724564e-09,4.133874e-09,4.268395e-09,8.796870e-09,1.054239e-08,1.624927e-08,2.257874e-08,2.769894e-08,4.233425e-08,4.378931e-08,6.408302e-08,6.944606e-08,8.734677e-08,1.012081e-07,1.123768e-07,1.351925e-07,1.383372e-07,1.646971e-07,1.699840e-07,1.911049e-07,2.047685e-07,2.173046e-07,2.390017e-07,2.430928e-07,2.682985e-07,2.722674e-07,2.927769e-07,3.042315e-07,3.164060e-07,3.346303e-07,3.390866e-07,3.607413e-07,3.632681e-07,3.813157e-07,3.900170e-07,4.007760e-07,4.148093e-07,4.191048e-07,4.363013e-07,4.376284e-07,4.523775e-07,4.584990e-07,4.673557e-07,4.774771e-07,4.812666e-07,4.941476e-07,4.946420e-07,5.060407e-07,5.100890e-07,5.169913e-07,5.239237e-07,5.270468e-07,5.362522e-07,5.446552e-07,5.471823e-07,5.523021e-07,5.568201e-07,5.592378e-07,5.652679e-07,5.655063e-07,5.711498e-07,5.726235e-07,5.762082e-07,5.789783e-07,5.807195e-07,5.844177e-07,5.847197e-07,5.882430e-07,5.890212e-07,5.913216e-07,5.928628e-07,5.939859e-07,5.960104e-07,5.962643e-07,5.981835e-07,5.985265e-07,5.997687e-07,6.004688e-07,6.010432e-07,6.018899e-07,6.020291e-07,6.027470e-07,6.028383e-07,6.032160e-07,6.033581e-07,6.034542e-07,6.034898e-07,6.034783e-07,6.033040e-07,6.032705e-07,6.029461e-07,6.027340e-07,6.024182e-07,6.019112e-07,6.017330e-07,6.009026e-07,6.008303e-07,5.999382e-07,5.995172e-07,5.988500e-07,5.979954e-07,5.976478e-07,5.963408e-07,5.962865e-07,5.949374e-07,5.944101e-07,5.934455e-07,5.923842e-07,5.918725e-07,5.902253e-07,5.885104e-07,5.879483e-07,5.867338e-07,5.855670e-07,5.849011e-07,5.830939e-07,5.830177e-07,5.810883e-07,5.805404e-07,5.791175e-07,5.779170e-07,5.771097e-07,5.752333e-07,5.750689e-07,5.729988e-07,5.724980e-07,5.709028e-07,5.697190e-07,5.687843e-07,5.669038e-07,5.666463e-07,5.644916e-07,5.640588e-07,5.623228e-07,5.611903e-07,5.601425e-07,5.583038e-07,5.579530e-07,5.557564e-07,5.554044e-07,5.535547e-07,5.524966e-07,5.513498e-07,5.495848e-07,5.491435e-07,5.469374e-07,5.466727e-07,5.447330e-07,5.437639e-07,5.425317e-07,5.408616e-07,5.403349e-07,5.381437e-07,5.379687e-07,5.359594e-07,5.350878e-07,5.337829e-07,5.322213e-07,5.316153e-07,5.294574e-07,5.293714e-07,5.273102e-07,5.265400e-07,5.251744e-07,5.237290e-07,5.230508e-07,5.209399e-07,5.181742e-07,5.154331e-07,5.127179e-07,5.100295e-07,5.073689e-07,5.047369e-07,5.021341e-07,4.995613e-07,4.970188e-07,4.945073e-07,4.920271e-07,4.895784e-07,4.871616e-07,4.847769e-07,4.824244e-07,4.801042e-07,4.778164e-07,4.755609e-07,4.733379e-07,4.711472e-07,4.689887e-07,4.668624e-07,4.647680e-07,4.627055e-07
0.000000e+00,4.470467e-11,1.065329e-10,3.809065e-10,8.798179e-10,1.289337e-09,2.938745e-09,3.027294e-09,5.841196e-09,6.855331e-09,9.977451e-09,1.319861e-08,1.568827e-08,2.255269e-08,2.322925e-08,3.284610e-08,3.548756e-08,4.474822e-08,5.246570e-08,5.906844e-08,7.367925e-08,7.581283e-08,9.481541e-08,9.885903e-08,1.157257e-07,1.271931e-07,1.380522e-07,1.575025e-07,1.612510e-07,1.848137e-07,1.885879e-07,2.083180e-07,2.194803e-07,2.314387e-07,2.494959e-07,2.539366e-07,2.756391e-07,2.781837e-07,2.964245e-07,3.052567e-07,3.162087e-07,3.305404e-07,3.349368e-07,3.525759e-07,3.539395e-07,3.691115e-07,3.754163e-07,3.845433e-07,3.949767e-07,3.988826e-07,4.121503e-07,4.126591e-07,4.243743e-07,4.285258e-07,4.355886e-07,4.426568e-07,4.458312e-07,4.551435e-07,4.635685e-07,4.660844e-07,4.711508e-07,4.755819e-07,4.779351e-07,4.837387e-07,4.839661e-07,4.892878e-07,4.906567e-07,4.939435e-07,4.964347e-07,4.979750e-07,5.011674e-07,5.014227e-07,5.043255e-07,5.049453e-07,5.067207e-07,5.078535e-07,5.086437e-07,5.099721e-07,5.101282e-07,5.112062e-07,5.113757e-07,5.119080e-07,5.121338e-07,5.122621e-07,5.123106e-07,5.122954e-07,5.120334e-07,5.119656e-07,5.114998e-07,5.111538e-07,5.107170e-07,5.099254e-07,5.097059e-07,5.084863e-07,5.083268e-07,5.070765e-07,5.064004e-07,5.054937e-07,5.041850e-07,5.037539e-07,5.018722e-07,5.017160e-07,4.998626e-07,4.990259e-07,4.977381e-07,4.961441e-07,4.955108e-07,4.931921e-07,4.930976e-07,4.907924e-07,4.899107e-07,4.883216e-07,4.866055e-07,4.857888e-07,4.832023e-07,4.805699e-07,4.797191e-07,4.778989e-07,4.761724e-07,4.751961e-07,4.725771e-07,4.724675e-07,4.697190e-07,4.689465e-07,4.669557e-07,4.652928e-07,4.641826e-07,4.616266e-07,4.614042e-07,4.586246e-07,4.579577e-07,4.558475e-07,4.542948e-07,4.530765e-07,4.506456e-07,4.503147e-07,4.475651e-07,4.470168e-07,4.448302e-07,4.434147e-07,4.421125e-07,4.398445e-07,4.394142e-07,4.367372e-07,4.363110e-07,4.340834e-07,4.328183e-07,4.314544e-07,4.293700e-07,4.288516e-07,4.262764e-07,4.259693e-07,4.237298e-07,4.226186e-07,4.212129e-07,4.193204e-07,4.187265e-07,4.162715e-07,4.160765e-07,4.138486e-07,4.128885e-07,4.114582e-07,4.097576e-07,4.091009e-07,4.067771e-07,4.066849e-07,4.044871e-07,4.036710e-07,4.022311e-07,4.007166e-07,4.000094e-07,3.978221e-07,3.949874e-07,3.922128e-07,3.894980e-07,3.868427e-07,3.842468e-07,3.817096e-07,3.792306e-07,3.768092e-07,3.744447e-07,3.721364e-07,3.698834e-07,3.676850e-07,3.655403e-07,3.634482e-07,3.614080e-07,3.594187e-07,3.574792e-07,3.555887e-07,3.537461e-07,3.519505e-07,3.502008e-07,3.484961e-07,3.468354e-07,3.452177e-07
0.000000e+00,1.509074e-13,1.018517e-12,1.737588e-11,1.134482e-10,2.673674e-10,1.690448e-09,1.806222e-09,7.778381e-09,1.107326e-08,2.521441e-08,4.631070e-08,6.723376e-08,1.460431e-07,1.554975e-07,3.227708e-07,3.795066e-07,6.154378e-07,8.565923e-07,1.095710e-06,1.736251e-06,1.843093e-06,2.954621e-06,3.230332e-06,4.543550e-06,5.600080e-06,6.736539e-06,9.144844e-06,9.669660e-06,1.348367e-05,1.418509e-05,1.831900e-05,2.104274e-05,2.431080e-05,3.002152e-05,3.158434e-05,4.025104e-05,4.138933e-05,5.040502e-05,5.536385e-05,6.212057e-05,7.210195e-05,7.545026e-05,9.042382e-05,9.169307e-05,1.070477e-04,1.141565e-04,1.253056e-04,1.394421e-04,1.451587e-04,1.665478e-04,1.674342e-04,1.893942e-04,1.979578e-04,2.136026e-04,2.307866e-04,2.390628e-04,2.656524e-04,2.932392e-04,3.022550e-04,3.216839e-04,3.402722e-04,3.508423e-04,3.793697e-04,3.805677e-04,4.107135e-04,4.192097e-04,4.411343e-04,4.594597e-04,4.716885e-04,4.997987e-04,5.022395e-04,5.326569e-04,5.399234e-04,5.628179e-04,5.795529e-04,5.926078e-04,6.184316e-04,6.219207e-04,6.506605e-04,6.563319e-04,6.787403e-04,6.930549e-04,7.060830e-04,7.284316e-04,7.326211e-04,7.582968e-04,7.623214e-04,7.830610e-04,7.946120e-04,8.068738e-04,8.252174e-04,8.297034e-04,8.515262e-04,8.540764e-04,8.723255e-04,8.811503e-04,8.920917e-04,9.064207e-04,9.108213e-04,9.285165e-04,9.298876e-04,9.451844e-04,9.515664e-04,9.608368e-04,9.714864e-04,9.754894e-04,9.891613e-04,9.896881e-04,1.001875e-03,1.006222e-03,1.013655e-03,1.021145e-03,1.024527e-03,1.034522e-03,1.043667e-03,1.046420e-03,1.051995e-03,1.056911e-03,1.059538e-03,1.066068e-03,1.066326e-03,1.072392e-03,1.073965e-03,1.077769e-03,1.080677e-03,1.082488e-03,1.086277e-03,1.086582e-03,1.090081e-03,1.090836e-03,1.093017e-03,1.094426e-03,1.095419e-03,1.097115e-03,1.097317e-03,1.098739e-03,1.098969e-03,1.099713e-03,1.100051e-03,1.100264e-03,1.100420e-03,1.100420e-03,1.100203e-03,1.100136e-03,1.099639e-03,1.099251e-03,1.098749e-03,1.097817e-03,1.097555e-03,1.096078e-03,1.095883e-03,1.094338e-03,1.093494e-03,1.092353e-03,1.090693e-03,1.090142e-03,1.087721e-03,1.087519e-03,1.085106e-03,1.084009e-03,1.082313e-03,1.080199e-03,1.079355e-03,1.076248e-03,1.076120e-03,1.073002e-03,1.071802e-03,1.069631e-03,1.067274e-03,1.066147e-03,1.062559e-03,1.057683e-03,1.052666e-03,1.047529e-03,1.042291e-03,1.036969e-03,1.031578e-03,1.026131e-03,1.020644e-03,1.015126e-03,1.009590e-03,1.004046e-03,9.985012e-04,9.929653e-04,9.874454e-04,9.819483e-04,9.764801e-04,9.710463e-04,9.656517e-04,9.603010e-04,9.549979e-04,9.497460e-04,9.445486e-04,9.394084e-04,9.343276e-04
0.000000e+00,1.707914e-11,7.635613e-11,5.972134e-10,2.075460e-09,3.561748e-09,1.076895e-08,1.119129e-08,2.562933e-08,3.116057e-08,4.881406e-08,6.766445e-08,8.251297e-08,1.242098e-07,1.283613e-07,1.878806e-07,2.043565e-07,2.624442e-07,3.111970e-07,3.531469e-07,4.468015e-07,4.605805e-07,5.846527e-07,6.114075e-07,7.246206e-07,8.033094e-07,8.793219e-07,1.019676e-06,1.047414e-06,1.227508e-06,1.257344e-06,1.418214e-06,1.513113e-06,1.618138e-06,1.783768e-06,1.825872e-06,2.039995e-06,2.066052e-06,2.259079e-06,2.356679e-06,2.481699e-06,2.652392e-06,2.706455e-06,2.931988e-06,2.950025e-06,3.157003e-06,3.246587e-06,3.380280e-06,3.539328e-06,3.600694e-06,3.817223e-06,3.825790e-06,4.028950e-06,4.103839e-06,4.235076e-06,4.371690e-06,4.434920e-06,4.627912e-06,4.813591e-06,4.871403e-06,4.991602e-06,5.101382e-06,5.161688e-06,5.317355e-06,5.323677e-06,5.477480e-06,5.519074e-06,5.623079e-06,5.706515e-06,5.760516e-06,5.879833e-06,5.889889e-06,6.011341e-06,6.039330e-06,6.125053e-06,6.185428e-06,6.231235e-06,6.318635e-06,6.330125e-06,6.421977e-06,6.439526e-06,6.507059e-06,6.548719e-06,6.585650e-06,6.646858e-06,6.658034e-06,6.724497e-06,6.734601e-06,6.785325e-06,6.812604e-06,6.840800e-06,6.881512e-06,6.891199e-06,6.936792e-06,6.941953e-06,6.977844e-06,6.994534e-06,7.014608e-06,7.039834e-06,7.047332e-06,7.076252e-06,7.078408e-06,7.101594e-06,7.110777e-06,7.123574e-06,7.137434e-06,7.142398e-06,7.158264e-06,7.158839e-06,7.171357e-06,7.175426e-06,7.181855e-06,7.187598e-06,7.189926e-06,7.195728e-06,7.199411e-06,7.200165e-06,7.201115e-06,7.201230e-06,7.200976e-06,7.199223e-06,7.199117e-06,7.195659e-06,7.194419e-06,7.190712e-06,7.187073e-06,7.184381e-06,7.177420e-06,7.176766e-06,7.167959e-06,7.165678e-06,7.158047e-06,7.152045e-06,7.147113e-06,7.136706e-06,7.135233e-06,7.122479e-06,7.119830e-06,7.108921e-06,7.101573e-06,7.094620e-06,7.082079e-06,7.079638e-06,7.064030e-06,7.061479e-06,7.047850e-06,7.039895e-06,7.031147e-06,7.017438e-06,7.013966e-06,6.996353e-06,6.994212e-06,6.978347e-06,6.970310e-06,6.959987e-06,6.945819e-06,6.941309e-06,6.922347e-06,6.920819e-06,6.903133e-06,6.895383e-06,6.883695e-06,6.869578e-06,6.864062e-06,6.844261e-06,6.843466e-06,6.824315e-06,6.817103e-06,6.804247e-06,6.790542e-06,6.784079e-06,6.763831e-06,6.737012e-06,6.710127e-06,6.683213e-06,6.656302e-06,6.629426e-06,6.602613e-06,6.575889e-06,6.549276e-06,6.522798e-06,6.496472e-06,6.470317e-06,6.444349e-06,6.418583e-06,6.393031e-06,6.367705e-06,6.342616e-06,6.317774e-06,6.293188e-06,6.268863e-06,6.244809e-06,6.221029e-06,6.197530e-06,6.174315e-06,6.151388e-06
0.000000e+00,3.356106e-12,1.988746e-11,2.598267e-10,1.335572e-09,2.765309e-09,1.259707e-08,1.328444e-08,4.179066e-08,5.474099e-08,1.015512e-07,1.587772e-07,2.080371e-07,3.618592e-07,3.782413e-07,6.302377e-07,7.049344e-07,9.822579e-07,1.229259e-06,1.450353e-06,1.966493e-06,2.044579e-06,2.765561e-06,2.924292e-06,3.603816e-06,4.080564e-06,4.542210e-06,5.392552e-06,5.559791e-06,6.635116e-06,6.811165e-06,7.748305e-06,8.290857e-06,8.881880e-06,9.793267e-06,1.002085e-05,1.115255e-05,1.128734e-05,1.226631e-05,1.274834e-05,1.335327e-05,1.415691e-05,1.440616e-05,1.541915e-05,1.549833e-05,1.638776e-05,1.676199e-05,1.730866e-05,1.794090e-05,1.817965e-05,1.899943e-05,1.903114e-05,1.976751e-05,2.003138e-05,2.048409e-05,2.094232e-05,2.114993e-05,2.176621e-05,2.233448e-05,2.250647e-05,2.285651e-05,2.316726e-05,2.333429e-05,2.375326e-05,2.376990e-05,2.416548e-05,2.426937e-05,2.452322e-05,2.472060e-05,2.484528e-05,2.511188e-05,2.513377e-05,2.539077e-05,2.544798e-05,2.561827e-05,2.573350e-05,2.581819e-05,2.597277e-05,2.599237e-05,2.614256e-05,2.616987e-05,2.627041e-05,2.632859e-05,2.637749e-05,2.645247e-05,2.646528e-05,2.653517e-05,2.654478e-05,2.658848e-05,2.660853e-05,2.662642e-05,2.664650e-05,2.665016e-05,2.666078e-05,2.666122e-05,2.665929e-05,2.665504e-05,2.664663e-05,2.663009e-05,2.662369e-05,2.659130e-05,2.658832e-05,2.655022e-05,2.653153e-05,2.650119e-05,2.646134e-05,2.644487e-05,2.638188e-05,2.637923e-05,2.631282e-05,2.628658e-05,2.623823e-05,2.618461e-05,2.615862e-05,2.607445e-05,2.598617e-05,2.595712e-05,2.589419e-05,2.583355e-05,2.579888e-05,2.570460e-05,2.570062e-05,2.559971e-05,2.557103e-05,2.549648e-05,2.543354e-05,2.539120e-05,2.529276e-05,2.528414e-05,2.517554e-05,2.514928e-05,2.506564e-05,2.500361e-05,2.495464e-05,2.485622e-05,2.484275e-05,2.473013e-05,2.470754e-05,2.461697e-05,2.455796e-05,2.450342e-05,2.440783e-05,2.438961e-05,2.427569e-05,2.425746e-05,2.416177e-05,2.410713e-05,2.404798e-05,2.395710e-05,2.393441e-05,2.382117e-05,2.380760e-05,2.370833e-05,2.365883e-05,2.359599e-05,2.351098e-05,2.348421e-05,2.337307e-05,2.336421e-05,2.326263e-05,2.321866e-05,2.315294e-05,2.307446e-05,2.304406e-05,2.293604e-05,2.293173e-05,2.282891e-05,2.279057e-05,2.272272e-05,2.265107e-05,2.261751e-05,2.251329e-05,2.237732e-05,2.224320e-05,2.211097e-05,2.198070e-05,2.185239e-05,2.172609e-05,2.160181e-05,2.147957e-05,2.135938e-05,2.124124e-05,2.112515e-05,2.101112e-05,2.089914e-05,2.078920e-05,2.068129e-05,2.057540e-05,2.047152e-05,2.036962e-05,2.026968e-05,2.017170e-05,2.007564e-05,1.998148e-05,1.988921e-05,1.979879e-05
0.000000e+00,1.017343e-11,6.244970e-11,8.763716e-10,4.799493e-09,1.028266e-08,5.108048e-08,5.405595e-08,1.850897e-07,2.480968e-07,4.878729e-07,8.001410e-07,1.081982e-06,2.021281e-06,2.125717e-06,3.812831e-06,4.336664e-06,6.349443e-06,8.209014e-06,9.911117e-06,1.397890e-05,1.460304e-05,2.044577e-05,2.174885e-05,2.738751e-05,3.139992e-05,3.532955e-05,4.268553e-05,4.415080e-05,5.372527e-05,5.531886e-05,6.393145e-05,6.902109e-05,7.465561e-05,8.353658e-05,8.579200e-05,9.724188e-05,9.863247e-05,1.089124e-04,1.140945e-04,1.207157e-04,1.297242e-04,1.325695e-04,1.443965e-04,1.453393e-04,1.561257e-04,1.607754e-04,1.676928e-04,1.758881e-04,1.790403e-04,1.901182e-04,1.905550e-04,2.008838e-04,2.046760e-04,2.113018e-04,2.181727e-04,2.213437e-04,2.309875e-04,2.402171e-04,2.430812e-04,2.490217e-04,2.544307e-04,2.573953e-04,2.650266e-04,2.653359e-04,2.728450e-04,2.748707e-04,2.799268e-04,2.839736e-04,2.865882e-04,2.923528e-04,2.928378e-04,2.986859e-04,3.000309e-04,3.041438e-04,3.070344e-04,3.092239e-04,3.133920e-04,3.139390e-04,3.183025e-04,3.191342e-04,3.223279e-04,3.242920e-04,3.260288e-04,3.288969e-04,3.294190e-04,3.325117e-04,3.329799e-04,3.353205e-04,3.365716e-04,3.378582e-04,3.397018e-04,3.401377e-04,3.421713e-04,3.423994e-04,3.439710e-04,3.446919e-04,3.455486e-04,3.466059e-04,3.469152e-04,3.480818e-04,3.481668e-04,3.490588e-04,3.493987e-04,3.498562e-04,3.503246e-04,3.504837e-04,3.509507e-04,3.509662e-04,3.512660e-04,3.513440e-04,3.514381e-04,3.514775e-04,3.514752e-04,3.513851e-04,3.511752e-04,3.510840e-04,3.508528e-04,3.505905e-04,3.504245e-04,3.499199e-04,3.498970e-04,3.492763e-04,3.490867e-04,3.485685e-04,3.481042e-04,3.477790e-04,3.469853e-04,3.469134e-04,3.459767e-04,3.457418e-04,3.449737e-04,3.443849e-04,3.439091e-04,3.429248e-04,3.427873e-04,3.416125e-04,3.413715e-04,3.403885e-04,3.397340e-04,3.391193e-04,3.380208e-04,3.378084e-04,3.364591e-04,3.362399e-04,3.350747e-04,3.343986e-04,3.336583e-04,3.325040e-04,3.322127e-04,3.307407e-04,3.305624e-04,3.292448e-04,3.285798e-04,3.277277e-04,3.265618e-04,3.261915e-04,3.246384e-04,3.245135e-04,3.230707e-04,3.224399e-04,3.214901e-04,3.203452e-04,3.198986e-04,3.182980e-04,3.182338e-04,3.166898e-04,3.161093e-04,3.150757e-04,3.139754e-04,3.134570e-04,3.118353e-04,3.096920e-04,3.075483e-04,3.054068e-04,3.032698e-04,3.011395e-04,2.990179e-04,2.969067e-04,2.948077e-04,2.927223e-04,2.906519e-04,2.885978e-04,2.865610e-04,2.845426e-04,2.825434e-04,2.805644e-04,2.786061e-04,2.766692e-04,2.747544e-04,2.728619e-04,2.709924e-04,2.691462e-04,2.673234e-04,2.655244e-04,2.637494e-04
0.000000e+00,1.134991e-10,2.814430e-10,1.050508e-09,2.478805e-09,3.663550e-09,8.489096e-09,8.749790e-09,1.708741e-08,2.011133e-08,2.946326e-08,3.915994e-08,4.667716e-08,6.746050e-08,6.951132e-08,9.865944e-08,1.066556e-07,1.346184e-07,1.578105e-07,1.775566e-07,2.209024e-07,2.271903e-07,2.827245e-07,2.944363e-07,3.429219e-07,3.755804e-07,4.063095e-07,4.609525e-07,4.714349e-07,5.370542e-07,5.475307e-07,6.021987e-07,6.330812e-07,6.661539e-07,7.161130e-07,7.284089e-07,7.886041e-07,7.956763e-07,8.464905e-07,8.711838e-07,9.019016e-07,9.422925e-07,9.547331e-07,1.004928e-06,1.008829e-06,1.052469e-06,1.070743e-06,1.097364e-06,1.128070e-06,1.139649e-06,1.179373e-06,1.180910e-06,1.216602e-06,1.229408e-06,1.251411e-06,1.273739e-06,1.283879e-06,1.314095e-06,1.342148e-06,1.350682e-06,1.368127e-06,1.383709e-06,1.392126e-06,1.413384e-06,1.414233e-06,1.434539e-06,1.439914e-06,1.453131e-06,1.463499e-06,1.470095e-06,1.484335e-06,1.485513e-06,1.499467e-06,1.502607e-06,1.512034e-06,1.518493e-06,1.523288e-06,1.532163e-06,1.533301e-06,1.542143e-06,1.543777e-06,1.549880e-06,1.553488e-06,1.556575e-06,1.561438e-06,1.562288e-06,1.567078e-06,1.567762e-06,1.570999e-06,1.572589e-06,1.574105e-06,1.576036e-06,1.576445e-06,1.578067e-06,1.578215e-06,1.579016e-06,1.579232e-06,1.579336e-06,1.579184e-06,1.579068e-06,1.578251e-06,1.578163e-06,1.576922e-06,1.576255e-06,1.575116e-06,1.573539e-06,1.572866e-06,1.570204e-06,1.570089e-06,1.567160e-06,1.565976e-06,1.563762e-06,1.561263e-06,1.560037e-06,1.556011e-06,1.551707e-06,1.550274e-06,1.547148e-06,1.544106e-06,1.542355e-06,1.537554e-06,1.537350e-06,1.532151e-06,1.530662e-06,1.526775e-06,1.523472e-06,1.521241e-06,1.516022e-06,1.515563e-06,1.509758e-06,1.508347e-06,1.503839e-06,1.500480e-06,1.497820e-06,1.492450e-06,1.491713e-06,1.485530e-06,1.484285e-06,1.479282e-06,1.476011e-06,1.472980e-06,1.467651e-06,1.466633e-06,1.460251e-06,1.459227e-06,1.453842e-06,1.450759e-06,1.447414e-06,1.442264e-06,1.440975e-06,1.434532e-06,1.433758e-06,1.428090e-06,1.425258e-06,1.421657e-06,1.416777e-06,1.415238e-06,1.408838e-06,1.408327e-06,1.402462e-06,1.399919e-06,1.396115e-06,1.391565e-06,1.389801e-06,1.383523e-06,1.383273e-06,1.377286e-06,1.375051e-06,1.371093e-06,1.366908e-06,1.364946e-06,1.358849e-06,1.350880e-06,1.343008e-06,1.335236e-06,1.327568e-06,1.320009e-06,1.312561e-06,1.305226e-06,1.298008e-06,1.290907e-06,1.283926e-06,1.277065e-06,1.270324e-06,1.263705e-06,1.257208e-06,1.250832e-06,1.244578e-06,1.238445e-06,1.232432e-06,1.226540e-06,1.220767e-06,1.215112e-06,1.209574e-06,1.204152e-06,1.198845e-06
0.000000e+00,1.138805e-12,7.325507e-12,1.130659e-10,6.733624e-10,1.508397e-09,8.357458e-09,8.881773e-09,3.350970e-08,4.601102e-08,9.564050e-08,1.631198e-07,2.256191e-07,4.396380e-07,4.637820e-07,8.594494e-07,9.840170e-07,1.469328e-06,1.927391e-06,2.355405e-06,3.414798e-06,3.582109e-06,5.212390e-06,5.592026e-06,7.302841e-06,8.587333e-06,9.898727e-06,1.249236e-05,1.303011e-05,1.670983e-05,1.734941e-05,2.093353e-05,2.314878e-05,2.568115e-05,2.983448e-05,3.091942e-05,3.660467e-05,3.731457e-05,4.268575e-05,4.547250e-05,4.910659e-05,5.417758e-05,5.580848e-05,6.273199e-05,6.329367e-05,6.981852e-05,7.268603e-05,7.701160e-05,8.222646e-05,8.425782e-05,9.150759e-05,9.179700e-05,9.871563e-05,1.012923e-04,1.058413e-04,1.106213e-04,1.128488e-04,1.197070e-04,1.263895e-04,1.284871e-04,1.328744e-04,1.369126e-04,1.391439e-04,1.449472e-04,1.451842e-04,1.509850e-04,1.525652e-04,1.565389e-04,1.597509e-04,1.618416e-04,1.664965e-04,1.668911e-04,1.716874e-04,1.728011e-04,1.762324e-04,1.786690e-04,1.805294e-04,1.841091e-04,1.845829e-04,1.883983e-04,1.891334e-04,1.919821e-04,1.937564e-04,1.953411e-04,1.979943e-04,1.984827e-04,2.014144e-04,2.018645e-04,2.041442e-04,2.053851e-04,2.066800e-04,2.085744e-04,2.090298e-04,2.112017e-04,2.114508e-04,2.132035e-04,2.140324e-04,2.150430e-04,2.163372e-04,2.167279e-04,2.182656e-04,2.183824e-04,2.196632e-04,2.201847e-04,2.209280e-04,2.217601e-04,2.220666e-04,2.230857e-04,2.231241e-04,2.239916e-04,2.242912e-04,2.247904e-04,2.252753e-04,2.254879e-04,2.260898e-04,2.266015e-04,2.267471e-04,2.270282e-04,2.272589e-04,2.273748e-04,2.276366e-04,2.276460e-04,2.278465e-04,2.278905e-04,2.279804e-04,2.280306e-04,2.280520e-04,2.280661e-04,2.280651e-04,2.280235e-04,2.280057e-04,2.279307e-04,2.278577e-04,2.277903e-04,2.276297e-04,2.276053e-04,2.273789e-04,2.273289e-04,2.271139e-04,2.269619e-04,2.268133e-04,2.265350e-04,2.264795e-04,2.261151e-04,2.260541e-04,2.257224e-04,2.255246e-04,2.253038e-04,2.249516e-04,2.248613e-04,2.243969e-04,2.243398e-04,2.239125e-04,2.236936e-04,2.234100e-04,2.230171e-04,2.228911e-04,2.223573e-04,2.223140e-04,2.218102e-04,2.215880e-04,2.212513e-04,2.208422e-04,2.206818e-04,2.201031e-04,2.200797e-04,2.195163e-04,2.193033e-04,2.189226e-04,2.185155e-04,2.183230e-04,2.177187e-04,2.169150e-04,2.161066e-04,2.152952e-04,2.144825e-04,2.136702e-04,2.128595e-04,2.120518e-04,2.112483e-04,2.104500e-04,2.096580e-04,2.088730e-04,2.080958e-04,2.073272e-04,2.065678e-04,2.058181e-04,2.050786e-04,2.043498e-04,2.036320e-04,2.029255e-04,2.022307e-04,2.015477e-04,2.008767e-04,2.002180e-04,1.995715e-04
0.000000e+00,6.805759e-11,1.840909e-10,7.513629e-10,1.846273e-09,2.770218e-09,6.601158e-09,6.810267e-09,1.357978e-08,1.606840e-08,2.385894e-08,3.206846e-08,3.851288e-08,5.662688e-08,5.843386e-08,8.436476e-08,9.152812e-08,1.165822e-07,1.372170e-07,1.545820e-07,1.918123e-07,1.971010e-07,2.425598e-07,2.518729e-07,2.895302e-07,3.141768e-07,3.369222e-07,3.764817e-07,3.839588e-07,4.300885e-07,4.373568e-07,4.749122e-07,4.958745e-07,5.181368e-07,5.514186e-07,5.595475e-07,5.989921e-07,6.035880e-07,6.363702e-07,6.521462e-07,6.716263e-07,6.969894e-07,7.047422e-07,7.357300e-07,7.381181e-07,7.646288e-07,7.756159e-07,7.914966e-07,8.096234e-07,8.164049e-07,8.394377e-07,8.403212e-07,8.606851e-07,8.679152e-07,8.802416e-07,8.926234e-07,8.982036e-07,9.146672e-07,9.297267e-07,9.342643e-07,9.434741e-07,9.516249e-07,9.559979e-07,9.669480e-07,9.673825e-07,9.777076e-07,9.804192e-07,9.870486e-07,9.922104e-07,9.954762e-07,1.002480e-06,1.003057e-06,1.009852e-06,1.011372e-06,1.015919e-06,1.019020e-06,1.021313e-06,1.025541e-06,1.026082e-06,1.030273e-06,1.031046e-06,1.033929e-06,1.035632e-06,1.037089e-06,1.039388e-06,1.039791e-06,1.042067e-06,1.042394e-06,1.043951e-06,1.044723e-06,1.045470e-06,1.046441e-06,1.046651e-06,1.047521e-06,1.047605e-06,1.048101e-06,1.048271e-06,1.048414e-06,1.048485e-06,1.048479e-06,1.048315e-06,1.048293e-06,1.047939e-06,1.047732e-06,1.047366e-06,1.046840e-06,1.046612e-06,1.045689e-06,1.045649e-06,1.044612e-06,1.044188e-06,1.043391e-06,1.042484e-06,1.042037e-06,1.040561e-06,1.038973e-06,1.038442e-06,1.037280e-06,1.036146e-06,1.035492e-06,1.033692e-06,1.033616e-06,1.031659e-06,1.031097e-06,1.029627e-06,1.028376e-06,1.027528e-06,1.025542e-06,1.025367e-06,1.023150e-06,1.022610e-06,1.020881e-06,1.019589e-06,1.018565e-06,1.016492e-06,1.016207e-06,1.013811e-06,1.013328e-06,1.011381e-06,1.010105e-06,1.008921e-06,1.006833e-06,1.006433e-06,1.003922e-06,1.003518e-06,1.001390e-06,1.000168e-06,9.988394e-07,9.967881e-07,9.962739e-07,9.936956e-07,9.933854e-07,9.911067e-07,9.899649e-07,9.885096e-07,9.865315e-07,9.859063e-07,9.832986e-07,9.830899e-07,9.806884e-07,9.796440e-07,9.780774e-07,9.761979e-07,9.754672e-07,9.728593e-07,9.727551e-07,9.702551e-07,9.693187e-07,9.676558e-07,9.658918e-07,9.650628e-07,9.624772e-07,9.590774e-07,9.556946e-07,9.523310e-07,9.489886e-07,9.456690e-07,9.423740e-07,9.391050e-07,9.358633e-07,9.326501e-07,9.294666e-07,9.263138e-07,9.231925e-07,9.201035e-07,9.170476e-07,9.140254e-07,9.110375e-07,9.080842e-07,9.051662e-07,9.022836e-07,8.994369e-07,8.966262e-07,8.938518e-07,8.911138e-07,8.884123e-07
0.000000e+00,1.153311e-10,2.719185e-10,9.660275e-10,2.236165e-09,3.287019e-09,7.586789e-09,7.820430e-09,1.537755e-08,1.815944e-08,2.689574e-08,3.614815e-08,4.343768e-08,6.397084e-08,6.601704e-08,9.518401e-08,1.031544e-07,1.307115e-07,1.531027e-07,1.718199e-07,2.119100e-07,2.176286e-07,2.673757e-07,2.777404e-07,3.204299e-07,3.491413e-07,3.762444e-07,4.248956e-07,4.343199e-07,4.941839e-07,5.038977e-07,5.553850e-07,5.851094e-07,6.174935e-07,6.675613e-07,6.801056e-07,7.428483e-07,7.503697e-07,8.053838e-07,8.327547e-07,8.674104e-07,9.140469e-07,9.286650e-07,9.889224e-07,9.936939e-07,1.047991e-06,1.071250e-06,1.105715e-06,1.146370e-06,1.161966e-06,1.216644e-06,1.218797e-06,1.269674e-06,1.288350e-06,1.321000e-06,1.354910e-06,1.370586e-06,1.418410e-06,1.464462e-06,1.478824e-06,1.508744e-06,1.536159e-06,1.551266e-06,1.590448e-06,1.592046e-06,1.631108e-06,1.641741e-06,1.668481e-06,1.690107e-06,1.704197e-06,1.735622e-06,1.738291e-06,1.770800e-06,1.778370e-06,1.801762e-06,1.818441e-06,1.831219e-06,1.855927e-06,1.859210e-06,1.885778e-06,1.890925e-06,1.910965e-06,1.923529e-06,1.934811e-06,1.953837e-06,1.957359e-06,1.978650e-06,1.981942e-06,1.998724e-06,2.007940e-06,2.017623e-06,2.031923e-06,2.035386e-06,2.052053e-06,2.053981e-06,2.067660e-06,2.074202e-06,2.082247e-06,2.092673e-06,2.095850e-06,2.108505e-06,2.109478e-06,2.120248e-06,2.124697e-06,2.131111e-06,2.138408e-06,2.141130e-06,2.150337e-06,2.150689e-06,2.158762e-06,2.161611e-06,2.166438e-06,2.171245e-06,2.173394e-06,2.179659e-06,2.185262e-06,2.186919e-06,2.190229e-06,2.193087e-06,2.194588e-06,2.198223e-06,2.198363e-06,2.201581e-06,2.202386e-06,2.204266e-06,2.205630e-06,2.206440e-06,2.208008e-06,2.208126e-06,2.209346e-06,2.209572e-06,2.210122e-06,2.210370e-06,2.210474e-06,2.210448e-06,2.210421e-06,2.209983e-06,2.209851e-06,2.209178e-06,2.208621e-06,2.208024e-06,2.206798e-06,2.206538e-06,2.204737e-06,2.204420e-06,2.202636e-06,2.201525e-06,2.200251e-06,2.198148e-06,2.197596e-06,2.194687e-06,2.194321e-06,2.191536e-06,2.190077e-06,2.188158e-06,2.185445e-06,2.184564e-06,2.180767e-06,2.180455e-06,2.176779e-06,2.175132e-06,2.172610e-06,2.169504e-06,2.168273e-06,2.163778e-06,2.163595e-06,2.159133e-06,2.157427e-06,2.154350e-06,2.151024e-06,2.149438e-06,2.144405e-06,2.137591e-06,2.130600e-06,2.123450e-06,2.116159e-06,2.108741e-06,2.101211e-06,2.093584e-06,2.085874e-06,2.078092e-06,2.070250e-06,2.062360e-06,2.054432e-06,2.046475e-06,2.038500e-06,2.030514e-06,2.022526e-06,2.014543e-06,2.006573e-06,1.998622e-06,1.990696e-06,1.982801e-06,1.974942e-06,1.967125e-06,1.959354e-06
0.000000e+00,4.874433e-12,2.712960e-11,3.136040e-10,1.455075e-09,2.858732e-09,1.151153e-08,1.208334e-08,3.422648e-08,4.369236e-08,7.634157e-08,1.142593e-07,1.458117e-07,2.403882e-07,2.502026e-07,3.968919e-07,4.391147e-07,5.919362e-07,7.236182e-07,8.385209e-07,1.097936e-06,1.136284e-06,1.482041e-06,1.556552e-06,1.871108e-06,2.088822e-06,2.298304e-06,2.682800e-06,2.758418e-06,3.246320e-06,3.326624e-06,3.756947e-06,4.008648e-06,4.285295e-06,4.717426e-06,4.826451e-06,5.375662e-06,5.441891e-06,5.928412e-06,6.171650e-06,6.480508e-06,6.897308e-06,7.028146e-06,7.567959e-06,7.610715e-06,8.097040e-06,8.305107e-06,8.612953e-06,8.975126e-06,9.113714e-06,9.597767e-06,9.616764e-06,1.006395e-05,1.022723e-05,1.051145e-05,1.080481e-05,1.093976e-05,1.134865e-05,1.173810e-05,1.185863e-05,1.210826e-05,1.233519e-05,1.245946e-05,1.277916e-05,1.279212e-05,1.310676e-05,1.319171e-05,1.340396e-05,1.357417e-05,1.368435e-05,1.392803e-05,1.394859e-05,1.419735e-05,1.425482e-05,1.443131e-05,1.455611e-05,1.465114e-05,1.483344e-05,1.485752e-05,1.505109e-05,1.508833e-05,1.523250e-05,1.532222e-05,1.540235e-05,1.553652e-05,1.556123e-05,1.570971e-05,1.573254e-05,1.584834e-05,1.591154e-05,1.597763e-05,1.607467e-05,1.609808e-05,1.621015e-05,1.622306e-05,1.631429e-05,1.635772e-05,1.641093e-05,1.647961e-05,1.650047e-05,1.658328e-05,1.658963e-05,1.665973e-05,1.668861e-05,1.673016e-05,1.677733e-05,1.679489e-05,1.685423e-05,1.685650e-05,1.690847e-05,1.692679e-05,1.695787e-05,1.698884e-05,1.700270e-05,1.704320e-05,1.707961e-05,1.709043e-05,1.711213e-05,1.713101e-05,1.714099e-05,1.716542e-05,1.716637e-05,1.718845e-05,1.719407e-05,1.720742e-05,1.721738e-05,1.722344e-05,1.723571e-05,1.723667e-05,1.724725e-05,1.724942e-05,1.725533e-05,1.725881e-05,1.726104e-05,1.726420e-05,1.726450e-05,1.726584e-05,1.726587e-05,1.726517e-05,1.726406e-05,1.726260e-05,1.725904e-05,1.725822e-05,1.725214e-05,1.725102e-05,1.724445e-05,1.724021e-05,1.723523e-05,1.722682e-05,1.722457e-05,1.721255e-05,1.721102e-05,1.719925e-05,1.719300e-05,1.718472e-05,1.717291e-05,1.716905e-05,1.715229e-05,1.715090e-05,1.713451e-05,1.712712e-05,1.711576e-05,1.710170e-05,1.709610e-05,1.707559e-05,1.707475e-05,1.705427e-05,1.704641e-05,1.703220e-05,1.701678e-05,1.700941e-05,1.698595e-05,1.695403e-05,1.692111e-05,1.688726e-05,1.685258e-05,1.681714e-05,1.678100e-05,1.674423e-05,1.670689e-05,1.666905e-05,1.663076e-05,1.659207e-05,1.655303e-05,1.651368e-05,1.647407e-05,1.643424e-05,1.639422e-05,1.635406e-05,1.631378e-05,1.627343e-05,1.623302e-05,1.619259e-05,1.615216e-05,1.611176e-05,1.607141e-05
0.000000e+00,4.388197e-12,2.409543e-11,2.703508e-10,1.218300e-09,2.353654e-09,9.053488e-09,9.484881e-09,2.559421e-08,3.223124e-08,5.438850e-08,7.910096e-08,9.906026e-08,1.565902e-07,1.624072e-07,2.470141e-07,2.707505e-07,3.551827e-07,4.266496e-07,4.883531e-07,6.259617e-07,6.461193e-07,8.255731e-07,8.636499e-07,1.021711e-06,1.128358e-06,1.228713e-06,1.407027e-06,1.441204e-06,1.654919e-06,1.689006e-06,1.866772e-06,1.967140e-06,2.074606e-06,2.236922e-06,2.276868e-06,2.472364e-06,2.495320e-06,2.660107e-06,2.740033e-06,2.839241e-06,2.969164e-06,3.009024e-06,3.168831e-06,3.181169e-06,3.318174e-06,3.374900e-06,3.456712e-06,3.549659e-06,3.584260e-06,3.700787e-06,3.705221e-06,3.806411e-06,3.841810e-06,3.901378e-06,3.960048e-06,3.986048e-06,4.060875e-06,4.126391e-06,4.145482e-06,4.183172e-06,4.215204e-06,4.231818e-06,4.271429e-06,4.272937e-06,4.307138e-06,4.315556e-06,4.335015e-06,4.348943e-06,4.357137e-06,4.372883e-06,4.374057e-06,4.386291e-06,4.388583e-06,4.394313e-06,4.397133e-06,4.398569e-06,4.399521e-06,4.399463e-06,4.397360e-06,4.396610e-06,4.392591e-06,4.389159e-06,4.385458e-06,4.377837e-06,4.376230e-06,4.365147e-06,4.363216e-06,4.352421e-06,4.345787e-06,4.338245e-06,4.325975e-06,4.322789e-06,4.306205e-06,4.304146e-06,4.288628e-06,4.280610e-06,4.270176e-06,4.255633e-06,4.250956e-06,4.231064e-06,4.229446e-06,4.210586e-06,4.202248e-06,4.189598e-06,4.174210e-06,4.168169e-06,4.146357e-06,4.145477e-06,4.124218e-06,4.116178e-06,4.101803e-06,4.086425e-06,4.079155e-06,4.056316e-06,4.033321e-06,4.025935e-06,4.010204e-06,3.995359e-06,3.986995e-06,3.964653e-06,3.963722e-06,3.940409e-06,3.933878e-06,3.917080e-06,3.903084e-06,3.893757e-06,3.872319e-06,3.870457e-06,3.847198e-06,3.841624e-06,3.823998e-06,3.811036e-06,3.800869e-06,3.780587e-06,3.777827e-06,3.754883e-06,3.750307e-06,3.732049e-06,3.720222e-06,3.709334e-06,3.690354e-06,3.686750e-06,3.664304e-06,3.660726e-06,3.642004e-06,3.631355e-06,3.619858e-06,3.602256e-06,3.597872e-06,3.576053e-06,3.573446e-06,3.554405e-06,3.544935e-06,3.532933e-06,3.516736e-06,3.511643e-06,3.490537e-06,3.488856e-06,3.469619e-06,3.461306e-06,3.448893e-06,3.434091e-06,3.428362e-06,3.408027e-06,3.407217e-06,3.387890e-06,3.380690e-06,3.367954e-06,3.354514e-06,3.348221e-06,3.328690e-06,3.303223e-06,3.278114e-06,3.253363e-06,3.228971e-06,3.204938e-06,3.181264e-06,3.157947e-06,3.134986e-06,3.112380e-06,3.090126e-06,3.068222e-06,3.046665e-06,3.025453e-06,3.004582e-06,2.984049e-06,2.963851e-06,2.943984e-06,2.924444e-06,2.905228e-06,2.886330e-06,2.867749e-06,2.849478e-06,2.831514e-06,2.813854e-06
0.000000e+00,2.271017e-11,1.124884e-10,1.048053e-09,4.114404e-09,7.457230e-09,2.518977e-08,2.627651e-08,6.513545e-08,8.064376e-08,1.316520e-07,1.880424e-07,2.335552e-07,3.654092e-07,3.788154e-07,5.753715e-07,6.309867e-07,8.300797e-07,9.997201e-07,1.146713e-06,1.475541e-06,1.523788e-06,1.954033e-06,2.045519e-06,2.426355e-06,2.684591e-06,2.928804e-06,3.366203e-06,3.450600e-06,3.982809e-06,4.068425e-06,4.518196e-06,4.774535e-06,5.050860e-06,5.471736e-06,5.575942e-06,6.089420e-06,6.150093e-06,6.587991e-06,6.801934e-06,7.068998e-06,7.421518e-06,7.530363e-06,7.970540e-06,8.004804e-06,8.388455e-06,8.549227e-06,8.783447e-06,9.053463e-06,9.155209e-06,9.503735e-06,9.517196e-06,9.829261e-06,9.940899e-06,1.013222e-05,1.032564e-05,1.041320e-05,1.067290e-05,1.091210e-05,1.098446e-05,1.113166e-05,1.126226e-05,1.133244e-05,1.150836e-05,1.151534e-05,1.168126e-05,1.172480e-05,1.183110e-05,1.191365e-05,1.196573e-05,1.207690e-05,1.208601e-05,1.219277e-05,1.221647e-05,1.228680e-05,1.233419e-05,1.236889e-05,1.243182e-05,1.243976e-05,1.250011e-05,1.251099e-05,1.255064e-05,1.257323e-05,1.259196e-05,1.262000e-05,1.262468e-05,1.264939e-05,1.265263e-05,1.266662e-05,1.267239e-05,1.267689e-05,1.268042e-05,1.268068e-05,1.267846e-05,1.267781e-05,1.267066e-05,1.266556e-05,1.265768e-05,1.264459e-05,1.263991e-05,1.261772e-05,1.261576e-05,1.259144e-05,1.257985e-05,1.256139e-05,1.253759e-05,1.252787e-05,1.249118e-05,1.248965e-05,1.245156e-05,1.243664e-05,1.240928e-05,1.237913e-05,1.236457e-05,1.231764e-05,1.226871e-05,1.225266e-05,1.221796e-05,1.218461e-05,1.216557e-05,1.211390e-05,1.211172e-05,1.205657e-05,1.204091e-05,1.200025e-05,1.196596e-05,1.194291e-05,1.188937e-05,1.188468e-05,1.182568e-05,1.181142e-05,1.176602e-05,1.173236e-05,1.170580e-05,1.165243e-05,1.164513e-05,1.158410e-05,1.157185e-05,1.152278e-05,1.149081e-05,1.146126e-05,1.140949e-05,1.139962e-05,1.133791e-05,1.132804e-05,1.127621e-05,1.124661e-05,1.121457e-05,1.116534e-05,1.115304e-05,1.109169e-05,1.108434e-05,1.103054e-05,1.100371e-05,1.096965e-05,1.092356e-05,1.090905e-05,1.084878e-05,1.084398e-05,1.078888e-05,1.076502e-05,1.072937e-05,1.068678e-05,1.067028e-05,1.061163e-05,1.060930e-05,1.055346e-05,1.053264e-05,1.049578e-05,1.045685e-05,1.043861e-05,1.038196e-05,1.030802e-05,1.023506e-05,1.016310e-05,1.009215e-05,1.002226e-05,9.953412e-06,9.885637e-06,9.818938e-06,9.753320e-06,9.688789e-06,9.625345e-06,9.562988e-06,9.501716e-06,9.441524e-06,9.382408e-06,9.324360e-06,9.267374e-06,9.211440e-06,9.156548e-06,9.102689e-06,9.049850e-06,8.998021e-06,8.947187e-06,8.897337e-06
0.000000e+00,6.478828e-11,1.674520e-10,6.499757e-10,1.555930e-09,2.308888e-09,5.371511e-09,5.536669e-09,1.080539e-08,1.271157e-08,1.859939e-08,2.470168e-08,2.943470e-08,4.252959e-08,4.382125e-08,6.209820e-08,6.706559e-08,8.418563e-08,9.803258e-08,1.095540e-07,1.340331e-07,1.375006e-07,1.673924e-07,1.735576e-07,1.987221e-07,2.154419e-07,2.310761e-07,2.587821e-07,2.640964e-07,2.974576e-07,3.028064e-07,3.308562e-07,3.468170e-07,3.640095e-07,3.901799e-07,3.966574e-07,4.285659e-07,4.323352e-07,4.595304e-07,4.728099e-07,4.893777e-07,5.112271e-07,5.179677e-07,5.451920e-07,5.473084e-07,5.709733e-07,5.808699e-07,5.952627e-07,6.118133e-07,6.180370e-07,6.392950e-07,6.401140e-07,6.590535e-07,6.658053e-07,6.773448e-07,6.889675e-07,6.942141e-07,7.097153e-07,7.239095e-07,7.281862e-07,7.368621e-07,7.445316e-07,7.486414e-07,7.589101e-07,7.593168e-07,7.689575e-07,7.714808e-07,7.776317e-07,7.823999e-07,7.854056e-07,7.918174e-07,7.923431e-07,7.985050e-07,7.998750e-07,8.039493e-07,8.067052e-07,8.087306e-07,8.124307e-07,8.129004e-07,8.165066e-07,8.171642e-07,8.195941e-07,8.210086e-07,8.222045e-07,8.240566e-07,8.243761e-07,8.261446e-07,8.263925e-07,8.275432e-07,8.280921e-07,8.286022e-07,8.292239e-07,8.293497e-07,8.298115e-07,8.298489e-07,8.300114e-07,8.300222e-07,8.299714e-07,8.297929e-07,8.297115e-07,8.292504e-07,8.292053e-07,8.286050e-07,8.282989e-07,8.277912e-07,8.271091e-07,8.268233e-07,8.257147e-07,8.256676e-07,8.244776e-07,8.240030e-07,8.231233e-07,8.221409e-07,8.216623e-07,8.201041e-07,8.184577e-07,8.179135e-07,8.167311e-07,8.155876e-07,8.149321e-07,8.131432e-07,8.130675e-07,8.111438e-07,8.105954e-07,8.091671e-07,8.079579e-07,8.071428e-07,8.052429e-07,8.050761e-07,8.029718e-07,8.024616e-07,8.008342e-07,7.996242e-07,7.986675e-07,7.967398e-07,7.964755e-07,7.942617e-07,7.938166e-07,7.920293e-07,7.908622e-07,7.897815e-07,7.878834e-07,7.875210e-07,7.852505e-07,7.848864e-07,7.829723e-07,7.818768e-07,7.806889e-07,7.788598e-07,7.784023e-07,7.761144e-07,7.758399e-07,7.738272e-07,7.728214e-07,7.715422e-07,7.698082e-07,7.692611e-07,7.669854e-07,7.668037e-07,7.647165e-07,7.638110e-07,7.624555e-07,7.608332e-07,7.602037e-07,7.579621e-07,7.578727e-07,7.557318e-07,7.549318e-07,7.535137e-07,7.520127e-07,7.513086e-07,7.491174e-07,7.462474e-07,7.434044e-07,7.405898e-07,7.378047e-07,7.350503e-07,7.323276e-07,7.296373e-07,7.269804e-07,7.243573e-07,7.217686e-07,7.192149e-07,7.166965e-07,7.142137e-07,7.117668e-07,7.093560e-07,7.069814e-07,7.046431e-07,7.023411e-07,7.000754e-07,6.978460e-07,6.956528e-07,6.934956e-07,6.913743e-07,6.892887e-07
0.000000e+00,2.420798e-13,1.631931e-12,2.777542e-11,1.809926e-10,4.261414e-10,2.689019e-09,2.873008e-09,1.236141e-08,1.759732e-08,4.008797e-08,7.369635e-08,1.070853e-07,2.332124e-07,2.483723e-07,5.171592e-07,6.084650e-07,9.882761e-07,1.376131e-06,1.759968e-06,2.783609e-06,2.953673e-06,4.711908e-06,5.145121e-06,7.194674e-06,8.829060e-06,1.057482e-05,1.423956e-05,1.503281e-05,2.075119e-05,2.179516e-05,2.790909e-05,3.190670e-05,3.667692e-05,4.495631e-05,4.721152e-05,5.965182e-05,6.127854e-05,7.411520e-05,8.114488e-05,9.069458e-05,1.047520e-04,1.094564e-04,1.304392e-04,1.322142e-04,1.536532e-04,1.635605e-04,1.790808e-04,1.987352e-04,2.066772e-04,2.363721e-04,2.376023e-04,2.680719e-04,2.799532e-04,3.016621e-04,3.255160e-04,3.370097e-04,3.739668e-04,4.123731e-04,4.249417e-04,4.520591e-04,4.780486e-04,4.928489e-04,5.328791e-04,5.345632e-04,5.770218e-04,5.890192e-04,6.200461e-04,6.460590e-04,6.634607e-04,7.036010e-04,7.070961e-04,7.507892e-04,7.612668e-04,7.943854e-04,8.187024e-04,8.377394e-04,8.755826e-04,8.807156e-04,9.231891e-04,9.316133e-04,9.650459e-04,9.865329e-04,1.006183e-03,1.040113e-03,1.046507e-03,1.085937e-03,1.092158e-03,1.124402e-03,1.142503e-03,1.161840e-03,1.191016e-03,1.198199e-03,1.233438e-03,1.237590e-03,1.267522e-03,1.282146e-03,1.300424e-03,1.324629e-03,1.332127e-03,1.362617e-03,1.365004e-03,1.391889e-03,1.403256e-03,1.419941e-03,1.439387e-03,1.446779e-03,1.472412e-03,1.473412e-03,1.496851e-03,1.505360e-03,1.520114e-03,1.535270e-03,1.542219e-03,1.563189e-03,1.583047e-03,1.589171e-03,1.601820e-03,1.613277e-03,1.619534e-03,1.635569e-03,1.636217e-03,1.651900e-03,1.656117e-03,1.666613e-03,1.674988e-03,1.680386e-03,1.692253e-03,1.693250e-03,1.705235e-03,1.707985e-03,1.716374e-03,1.722254e-03,1.726697e-03,1.735130e-03,1.736234e-03,1.745016e-03,1.746684e-03,1.753072e-03,1.756984e-03,1.760431e-03,1.766096e-03,1.767123e-03,1.773174e-03,1.774085e-03,1.778613e-03,1.781014e-03,1.783466e-03,1.786943e-03,1.787758e-03,1.791515e-03,1.791931e-03,1.794762e-03,1.796034e-03,1.797521e-03,1.799306e-03,1.799815e-03,1.801667e-03,1.801797e-03,1.803098e-03,1.803557e-03,1.804129e-03,1.804634e-03,1.804778e-03,1.805066e-03,1.805070e-03,1.805010e-03,1.804909e-03,1.804628e-03,1.804191e-03,1.803938e-03,1.802955e-03,1.801236e-03,1.799069e-03,1.796485e-03,1.793517e-03,1.790193e-03,1.786540e-03,1.782585e-03,1.778350e-03,1.773861e-03,1.769138e-03,1.764201e-03,1.759070e-03,1.753763e-03,1.748297e-03,1.742688e-03,1.736951e-03,1.731100e-03,1.725148e-03,1.719107e-03,1.712989e-03,1.706805e-03,1.700565e-03,1.694279e-03,1.687955e-03
0.000000e+00,4.017463e-11,1.678855e-10,1.180959e-09,3.841678e-09,6.415271e-09,1.844327e-08,1.913631e-08,4.250017e-08,5.135132e-08,7.942259e-08,1.092262e-07,1.326335e-07,1.981959e-07,2.047152e-07,2.980992e-07,3.239328e-07,4.149882e-07,4.914013e-07,5.571566e-07,7.039916e-07,7.255979e-07,9.200989e-07,9.620044e-07,1.138986e-06,1.261501e-06,1.379305e-06,1.595047e-06,1.637371e-06,1.909358e-06,1.953922e-06,2.191656e-06,2.329853e-06,2.481012e-06,2.715623e-06,2.774533e-06,3.069649e-06,3.105059e-06,3.364080e-06,3.492884e-06,3.655810e-06,3.874625e-06,3.943076e-06,4.224353e-06,4.246557e-06,4.498348e-06,4.605659e-06,4.763986e-06,4.949578e-06,5.020402e-06,5.266921e-06,5.276568e-06,5.503043e-06,5.585432e-06,5.728426e-06,5.875442e-06,5.942863e-06,6.146270e-06,6.338662e-06,6.397915e-06,6.520141e-06,6.630637e-06,6.690879e-06,6.844896e-06,6.851106e-06,7.001097e-06,7.041302e-06,7.141161e-06,7.220572e-06,7.271632e-06,7.383497e-06,7.392865e-06,7.505223e-06,7.530910e-06,7.609079e-06,7.663663e-06,7.704805e-06,7.782614e-06,7.792773e-06,7.873350e-06,7.888611e-06,7.946898e-06,7.982482e-06,8.013769e-06,8.065031e-06,8.074304e-06,8.128837e-06,8.137027e-06,8.177688e-06,8.199209e-06,8.221165e-06,8.252278e-06,8.259565e-06,8.293174e-06,8.296898e-06,8.322264e-06,8.333699e-06,8.347095e-06,8.363272e-06,8.367917e-06,8.384967e-06,8.386175e-06,8.398472e-06,8.402929e-06,8.408646e-06,8.414025e-06,8.415696e-06,8.419815e-06,8.419921e-06,8.421189e-06,8.421046e-06,8.419994e-06,8.417799e-06,8.416396e-06,8.410555e-06,8.402618e-06,8.399660e-06,8.392730e-06,8.385439e-06,8.381024e-06,8.368195e-06,8.367628e-06,8.352663e-06,8.348207e-06,8.336242e-06,8.325736e-06,8.318474e-06,8.301025e-06,8.299460e-06,8.279298e-06,8.274298e-06,8.258078e-06,8.245765e-06,8.235886e-06,8.215618e-06,8.212804e-06,8.188909e-06,8.184038e-06,8.164272e-06,8.151190e-06,8.138962e-06,8.117229e-06,8.113043e-06,8.086577e-06,8.082295e-06,8.059619e-06,8.046521e-06,8.032224e-06,8.010028e-06,8.004443e-06,7.976323e-06,7.972928e-06,7.947908e-06,7.935324e-06,7.919242e-06,7.897312e-06,7.890363e-06,7.861309e-06,7.858978e-06,7.832114e-06,7.820405e-06,7.802812e-06,7.781665e-06,7.773432e-06,7.744004e-06,7.742827e-06,7.714555e-06,7.703953e-06,7.685109e-06,7.665099e-06,7.655690e-06,7.626319e-06,7.587660e-06,7.549165e-06,7.510874e-06,7.472821e-06,7.435041e-06,7.397562e-06,7.360410e-06,7.323609e-06,7.287182e-06,7.251145e-06,7.215517e-06,7.180312e-06,7.145543e-06,7.111221e-06,7.077356e-06,7.043956e-06,7.011027e-06,6.978577e-06,6.946608e-06,6.915125e-06,6.884130e-06,6.853625e-06,6.823611e-06,6.794088e-06
0.000000e+00,1.190042e-11,2.762480e-11,9.641813e-11,2.210889e-10,3.237013e-10,7.410521e-10,7.636503e-10,1.491756e-09,1.758726e-09,2.594731e-09,3.477936e-09,4.173631e-09,6.142124e-09,6.339573e-09,9.193524e-09,9.988235e-09,1.278744e-08,1.511582e-08,1.709263e-08,2.139418e-08,2.201323e-08,2.743163e-08,2.856537e-08,3.324205e-08,3.638938e-08,3.935938e-08,4.468521e-08,4.571591e-08,5.225550e-08,5.331547e-08,5.892914e-08,6.216689e-08,6.569227e-08,7.113924e-08,7.250341e-08,7.932367e-08,8.014096e-08,8.611670e-08,8.908825e-08,9.284892e-08,9.790579e-08,9.948973e-08,1.060118e-07,1.065276e-07,1.123910e-07,1.148979e-07,1.186068e-07,1.229711e-07,1.246419e-07,1.304822e-07,1.307116e-07,1.361168e-07,1.380933e-07,1.415374e-07,1.450982e-07,1.467384e-07,1.517162e-07,1.564694e-07,1.579430e-07,1.609982e-07,1.637797e-07,1.653044e-07,1.692316e-07,1.693909e-07,1.732615e-07,1.743072e-07,1.769210e-07,1.790175e-07,1.803746e-07,1.833753e-07,1.836284e-07,1.866883e-07,1.873946e-07,1.895610e-07,1.910903e-07,1.922529e-07,1.944777e-07,1.947709e-07,1.971216e-07,1.975723e-07,1.993117e-07,2.003892e-07,2.013477e-07,2.029438e-07,2.032363e-07,2.049837e-07,2.052506e-07,2.065962e-07,2.073241e-07,2.080799e-07,2.091780e-07,2.094406e-07,2.106841e-07,2.108257e-07,2.118157e-07,2.122796e-07,2.128409e-07,2.135520e-07,2.137648e-07,2.145922e-07,2.146543e-07,2.153278e-07,2.155974e-07,2.159763e-07,2.163916e-07,2.165418e-07,2.170287e-07,2.170466e-07,2.174409e-07,2.175718e-07,2.177823e-07,2.179758e-07,2.180564e-07,2.182667e-07,2.184167e-07,2.184525e-07,2.185095e-07,2.185403e-07,2.185482e-07,2.185370e-07,2.185356e-07,2.184746e-07,2.184492e-07,2.183677e-07,2.182827e-07,2.182177e-07,2.180435e-07,2.180268e-07,2.177973e-07,2.177368e-07,2.175315e-07,2.173676e-07,2.172315e-07,2.169408e-07,2.168993e-07,2.165367e-07,2.164607e-07,2.161456e-07,2.159316e-07,2.157278e-07,2.153573e-07,2.152848e-07,2.148182e-07,2.147415e-07,2.143296e-07,2.140876e-07,2.138203e-07,2.133990e-07,2.132918e-07,2.127453e-07,2.126786e-07,2.121820e-07,2.119292e-07,2.116032e-07,2.111535e-07,2.110098e-07,2.104031e-07,2.103540e-07,2.097839e-07,2.095330e-07,2.091534e-07,2.086928e-07,2.085123e-07,2.078615e-07,2.078353e-07,2.072019e-07,2.069624e-07,2.065342e-07,2.060760e-07,2.058593e-07,2.051777e-07,2.042691e-07,2.033516e-07,2.024266e-07,2.014953e-07,2.005590e-07,1.996188e-07,1.986757e-07,1.977306e-07,1.967844e-07,1.958381e-07,1.948923e-07,1.939478e-07,1.930052e-07,1.920652e-07,1.911283e-07,1.901951e-07,1.892661e-07,1.883417e-07,1.874223e-07,1.865084e-07,1.856003e-07,1.846982e-07,1.838026e-07,1.829137e-07
0.000000e+00,6.875389e-12,3.751188e-11,4.176087e-10,1.880681e-09,3.641539e-09,1.420850e-08,1.489791e-08,4.126645e-08,5.243778e-08,9.082186e-08,1.353651e-07,1.725201e-07,2.847627e-07,2.964989e-07,4.741393e-07,5.260690e-07,7.169820e-07,8.849877e-07,1.033939e-06,1.376784e-06,1.428092e-06,1.895728e-06,1.997375e-06,2.428372e-06,2.727651e-06,3.015827e-06,3.544474e-06,3.648337e-06,4.317428e-06,4.427380e-06,5.015877e-06,5.359686e-06,5.737392e-06,6.327379e-06,6.476290e-06,7.227274e-06,7.317963e-06,7.985319e-06,8.319854e-06,8.745641e-06,9.322213e-06,9.503714e-06,1.025531e-05,1.031504e-05,1.099656e-05,1.128936e-05,1.172395e-05,1.223735e-05,1.243440e-05,1.312524e-05,1.315243e-05,1.379424e-05,1.402936e-05,1.443956e-05,1.486412e-05,1.505978e-05,1.565383e-05,1.622098e-05,1.639671e-05,1.676080e-05,1.709186e-05,1.727314e-05,1.773918e-05,1.775805e-05,1.821582e-05,1.833918e-05,1.864685e-05,1.889287e-05,1.905172e-05,1.940168e-05,1.943111e-05,1.978575e-05,1.986728e-05,2.011648e-05,2.029156e-05,2.042416e-05,2.067656e-05,2.070969e-05,2.097398e-05,2.102438e-05,2.121797e-05,2.133712e-05,2.144255e-05,2.161688e-05,2.164865e-05,2.183715e-05,2.186573e-05,2.200891e-05,2.208567e-05,2.216480e-05,2.227863e-05,2.230563e-05,2.243219e-05,2.244646e-05,2.254525e-05,2.259091e-05,2.264555e-05,2.271367e-05,2.273378e-05,2.281064e-05,2.281631e-05,2.287675e-05,2.290032e-05,2.293273e-05,2.296710e-05,2.297918e-05,2.301664e-05,2.301796e-05,2.304566e-05,2.305413e-05,2.306673e-05,2.307677e-05,2.308034e-05,2.308695e-05,2.308698e-05,2.308567e-05,2.308085e-05,2.307387e-05,2.306895e-05,2.305243e-05,2.305164e-05,2.302928e-05,2.302216e-05,2.300219e-05,2.298380e-05,2.297070e-05,2.293808e-05,2.293509e-05,2.289564e-05,2.288564e-05,2.285264e-05,2.282709e-05,2.280631e-05,2.276299e-05,2.275691e-05,2.270465e-05,2.269387e-05,2.264975e-05,2.262022e-05,2.259241e-05,2.254249e-05,2.253282e-05,2.247115e-05,2.246110e-05,2.240758e-05,2.237644e-05,2.234227e-05,2.228887e-05,2.227537e-05,2.220701e-05,2.219872e-05,2.213734e-05,2.210630e-05,2.206648e-05,2.201191e-05,2.199455e-05,2.192167e-05,2.191580e-05,2.184793e-05,2.181822e-05,2.177344e-05,2.171940e-05,2.169829e-05,2.162258e-05,2.161954e-05,2.154639e-05,2.151885e-05,2.146978e-05,2.141750e-05,2.139285e-05,2.131566e-05,2.121348e-05,2.111109e-05,2.100863e-05,2.090622e-05,2.080397e-05,2.070198e-05,2.060033e-05,2.049912e-05,2.039841e-05,2.029829e-05,2.019881e-05,2.010004e-05,2.000201e-05,1.990480e-05,1.980843e-05,1.971294e-05,1.961838e-05,1.952476e-05,1.943213e-05,1.934050e-05,1.924990e-05,1.916034e-05,1.907184e-05,1.898442e-05
0.000000e+00,8.589900e-11,2.096973e-10,7.714005e-10,1.811191e-09,2.673854e-09,6.197468e-09,6.388345e-09,1.252198e-08,1.476028e-08,2.172771e-08,2.902187e-08,3.472338e-08,5.068119e-08,5.226989e-08,7.506314e-08,8.136902e-08,1.035049e-07,1.218720e-07,1.374543e-07,1.713469e-07,1.762226e-07,2.188607e-07,2.277696e-07,2.644521e-07,2.890664e-07,3.122313e-07,3.535991e-07,3.615777e-07,4.119787e-07,4.201107e-07,4.629971e-07,4.875914e-07,5.142514e-07,5.551972e-07,5.654052e-07,6.161629e-07,6.222146e-07,6.662668e-07,6.880471e-07,7.154955e-07,7.522078e-07,7.636622e-07,8.106126e-07,8.143122e-07,8.562226e-07,8.740686e-07,9.003950e-07,9.312673e-07,9.430572e-07,9.841577e-07,9.857687e-07,1.023664e-06,1.037492e-06,1.061558e-06,1.086402e-06,1.097836e-06,1.132505e-06,1.165581e-06,1.175832e-06,1.197087e-06,1.216441e-06,1.227053e-06,1.254403e-06,1.255513e-06,1.282503e-06,1.289802e-06,1.308063e-06,1.322731e-06,1.332236e-06,1.353288e-06,1.355066e-06,1.376595e-06,1.381574e-06,1.396869e-06,1.407691e-06,1.415933e-06,1.431743e-06,1.433830e-06,1.450606e-06,1.453831e-06,1.466304e-06,1.474055e-06,1.480966e-06,1.492513e-06,1.494635e-06,1.507351e-06,1.509300e-06,1.519154e-06,1.524507e-06,1.530083e-06,1.538223e-06,1.540176e-06,1.549470e-06,1.550533e-06,1.558000e-06,1.561520e-06,1.565801e-06,1.571262e-06,1.572905e-06,1.579347e-06,1.579834e-06,1.585156e-06,1.587309e-06,1.590363e-06,1.593755e-06,1.594996e-06,1.599085e-06,1.599237e-06,1.602655e-06,1.603819e-06,1.605734e-06,1.607559e-06,1.608345e-06,1.610513e-06,1.612261e-06,1.612736e-06,1.613612e-06,1.614277e-06,1.614586e-06,1.615186e-06,1.615205e-06,1.615487e-06,1.615508e-06,1.615452e-06,1.615286e-06,1.615117e-06,1.614560e-06,1.614501e-06,1.613619e-06,1.613370e-06,1.612488e-06,1.611751e-06,1.611123e-06,1.609739e-06,1.609538e-06,1.607747e-06,1.607365e-06,1.605763e-06,1.604660e-06,1.603600e-06,1.601653e-06,1.601270e-06,1.598783e-06,1.598371e-06,1.596151e-06,1.594840e-06,1.593385e-06,1.591082e-06,1.590495e-06,1.587490e-06,1.587122e-06,1.584379e-06,1.582979e-06,1.581171e-06,1.578674e-06,1.577875e-06,1.574498e-06,1.574225e-06,1.571048e-06,1.569649e-06,1.567532e-06,1.564963e-06,1.563956e-06,1.560328e-06,1.560182e-06,1.556653e-06,1.555319e-06,1.552936e-06,1.550389e-06,1.549185e-06,1.545403e-06,1.540373e-06,1.535309e-06,1.530222e-06,1.525120e-06,1.520012e-06,1.514906e-06,1.509809e-06,1.504728e-06,1.499669e-06,1.494637e-06,1.489638e-06,1.484676e-06,1.479756e-06,1.474881e-06,1.470056e-06,1.465283e-06,1.460566e-06,1.455906e-06,1.451306e-06,1.446769e-06,1.442296e-06,1.437888e-06,1.433547e-06,1.429274e-06
0.000000e+00,3.074840e-11,7.204557e-11,2.536226e-10,5.828602e-10,8.532937e-10,1.946435e-09,2.005309e-09,3.885884e-09,4.568020e-09,6.681445e-09,8.881461e-09,1.059418e-08,1.536365e-08,1.583692e-08,2.260640e-08,2.447452e-08,3.102597e-08,3.646202e-08,4.107792e-08,5.113620e-08,5.258521e-08,6.527171e-08,6.792443e-08,7.884597e-08,8.616799e-08,9.304997e-08,1.053100e-07,1.076694e-07,1.225273e-07,1.249164e-07,1.374750e-07,1.446438e-07,1.523854e-07,1.642124e-07,1.671485e-07,1.816693e-07,1.833915e-07,1.958665e-07,2.019926e-07,2.096715e-07,2.198660e-07,2.230280e-07,2.358909e-07,2.368976e-07,2.482258e-07,2.530059e-07,2.600074e-07,2.681381e-07,2.712193e-07,2.818522e-07,2.822654e-07,2.919031e-07,2.953793e-07,3.013745e-07,3.074873e-07,3.102732e-07,3.186097e-07,3.263972e-07,3.287758e-07,3.336513e-07,3.380218e-07,3.403891e-07,3.463887e-07,3.466290e-07,3.523900e-07,3.539200e-07,3.576920e-07,3.606611e-07,3.625547e-07,3.666575e-07,3.669980e-07,3.710416e-07,3.719548e-07,3.747050e-07,3.765974e-07,3.780071e-07,3.806288e-07,3.809665e-07,3.836012e-07,3.840907e-07,3.859286e-07,3.870230e-07,3.879655e-07,3.894640e-07,3.897282e-07,3.912322e-07,3.914498e-07,3.924924e-07,3.930149e-07,3.935232e-07,3.941918e-07,3.943381e-07,3.949504e-07,3.950108e-07,3.953724e-07,3.955009e-07,3.956161e-07,3.956890e-07,3.956928e-07,3.956133e-07,3.956005e-07,3.953878e-07,3.952589e-07,3.950261e-07,3.946866e-07,3.945375e-07,3.939308e-07,3.939042e-07,3.932143e-07,3.929310e-07,3.923959e-07,3.917851e-07,3.914832e-07,3.904832e-07,3.894026e-07,3.890409e-07,3.882479e-07,3.874728e-07,3.870250e-07,3.857922e-07,3.857397e-07,3.843972e-07,3.840118e-07,3.830027e-07,3.821431e-07,3.815610e-07,3.801968e-07,3.800766e-07,3.785537e-07,3.781829e-07,3.769964e-07,3.761106e-07,3.754084e-07,3.739884e-07,3.737932e-07,3.721544e-07,3.718240e-07,3.704948e-07,3.696247e-07,3.688176e-07,3.673972e-07,3.671255e-07,3.654211e-07,3.651474e-07,3.637069e-07,3.628812e-07,3.619850e-07,3.606035e-07,3.602577e-07,3.585269e-07,3.583190e-07,3.567945e-07,3.560322e-07,3.550623e-07,3.537469e-07,3.533318e-07,3.516047e-07,3.514667e-07,3.498822e-07,3.491948e-07,3.481657e-07,3.469342e-07,3.464564e-07,3.447554e-07,3.446876e-07,3.430638e-07,3.424573e-07,3.413825e-07,3.402456e-07,3.397125e-07,3.380544e-07,3.358854e-07,3.337402e-07,3.316201e-07,3.295264e-07,3.274600e-07,3.254220e-07,3.234131e-07,3.214339e-07,3.194851e-07,3.175670e-07,3.156801e-07,3.138245e-07,3.120006e-07,3.102085e-07,3.084482e-07,3.067197e-07,3.050230e-07,3.033579e-07,3.017244e-07,3.001223e-07,2.985513e-07,2.970113e-07,2.955018e-07,2.940226e-07
0.000000e+00,1.304604e-11,2.976086e-11,1.012244e-10,2.275765e-10,3.297007e-10,7.336253e-10,7.550746e-10,1.428411e-09,1.667915e-09,2.397079e-09,3.138331e-09,3.704493e-09,5.238160e-09,5.387278e-09,7.470144e-09,8.030751e-09,9.959516e-09,1.152561e-08,1.283756e-08,1.565607e-08,1.605849e-08,1.954893e-08,2.027127e-08,2.321404e-08,2.515421e-08,2.694934e-08,3.006805e-08,3.065541e-08,3.425004e-08,3.481055e-08,3.767386e-08,3.924485e-08,4.088925e-08,4.329744e-08,4.387597e-08,4.662625e-08,4.694035e-08,4.914068e-08,5.017373e-08,5.142530e-08,5.301364e-08,5.348956e-08,5.534496e-08,5.548474e-08,5.700416e-08,5.761585e-08,5.848032e-08,5.943725e-08,5.978667e-08,6.093619e-08,6.097909e-08,6.194140e-08,6.227027e-08,6.281424e-08,6.333793e-08,6.356595e-08,6.420708e-08,6.474740e-08,6.490051e-08,6.519598e-08,6.543881e-08,6.556116e-08,6.584042e-08,6.585063e-08,6.607141e-08,6.612181e-08,6.622993e-08,6.629762e-08,6.633206e-08,6.638081e-08,6.638314e-08,6.638805e-08,6.638286e-08,6.635123e-08,6.631391e-08,6.627673e-08,6.618294e-08,6.616824e-08,6.602913e-08,6.599790e-08,6.586244e-08,6.576579e-08,6.567094e-08,6.549277e-08,6.545717e-08,6.522344e-08,6.518434e-08,6.497185e-08,6.484531e-08,6.470430e-08,6.447995e-08,6.442254e-08,6.412816e-08,6.409205e-08,6.382260e-08,6.368496e-08,6.350718e-08,6.326162e-08,6.318312e-08,6.285150e-08,6.282468e-08,6.251334e-08,6.237645e-08,6.216954e-08,6.191900e-08,6.182096e-08,6.146835e-08,6.145417e-08,6.111240e-08,6.098356e-08,6.075374e-08,6.050862e-08,6.039297e-08,6.003060e-08,5.966714e-08,5.955067e-08,5.930301e-08,5.906981e-08,5.893863e-08,5.858894e-08,5.857437e-08,5.821058e-08,5.810884e-08,5.784755e-08,5.763022e-08,5.748557e-08,5.715370e-08,5.712490e-08,5.676578e-08,5.667984e-08,5.640841e-08,5.620912e-08,5.605299e-08,5.574197e-08,5.569969e-08,5.534869e-08,5.527878e-08,5.500012e-08,5.481987e-08,5.465412e-08,5.436555e-08,5.431081e-08,5.397029e-08,5.391607e-08,5.363266e-08,5.347165e-08,5.329800e-08,5.303247e-08,5.296639e-08,5.263791e-08,5.259870e-08,5.231260e-08,5.217048e-08,5.199052e-08,5.174792e-08,5.167171e-08,5.135621e-08,5.133112e-08,5.104406e-08,5.092015e-08,5.073529e-08,5.051507e-08,5.042991e-08,5.012794e-08,5.011593e-08,4.982940e-08,4.972277e-08,4.953430e-08,4.933560e-08,4.924264e-08,4.895442e-08,4.857925e-08,4.821006e-08,4.784685e-08,4.748957e-08,4.713821e-08,4.679273e-08,4.645308e-08,4.611921e-08,4.579107e-08,4.546860e-08,4.515175e-08,4.484046e-08,4.453465e-08,4.423427e-08,4.393924e-08,4.364949e-08,4.336495e-08,4.308555e-08,4.281122e-08,4.254187e-08,4.227743e-08,4.201783e-08,4.176300e-08,4.151284e-08
0.000000e+00,6.218843e-11,2.217111e-10,1.247491e-09,3.590076e-09,5.722651e-09,1.524411e-08,1.578421e-08,3.395517e-08,4.089017e-08,6.323250e-08,8.758112e-08,1.071292e-07,1.633580e-07,1.690276e-07,2.504386e-07,2.727537e-07,3.496923e-07,4.117482e-07,4.632260e-07,5.722298e-07,5.876425e-07,7.203800e-07,7.477484e-07,8.595033e-07,9.338328e-07,1.003415e-06,1.126956e-06,1.150691e-06,1.300013e-06,1.324012e-06,1.450160e-06,1.522192e-06,1.600017e-06,1.719017e-06,1.748584e-06,1.894993e-06,1.912380e-06,2.038507e-06,2.100576e-06,2.178521e-06,2.282289e-06,2.314552e-06,2.446229e-06,2.456567e-06,2.573284e-06,2.622768e-06,2.695533e-06,2.780513e-06,2.812867e-06,2.925238e-06,2.929629e-06,3.032646e-06,3.070105e-06,3.135133e-06,3.202049e-06,3.232772e-06,3.325661e-06,3.413914e-06,3.441197e-06,3.497661e-06,3.548958e-06,3.577040e-06,3.649268e-06,3.652195e-06,3.723274e-06,3.742466e-06,3.790427e-06,3.828896e-06,3.853802e-06,3.908900e-06,3.913549e-06,3.969813e-06,3.982814e-06,4.022737e-06,4.050968e-06,4.072461e-06,4.113680e-06,4.119122e-06,4.162852e-06,4.171257e-06,4.203778e-06,4.223993e-06,4.242024e-06,4.272167e-06,4.277709e-06,4.310949e-06,4.316048e-06,4.341854e-06,4.355891e-06,4.370531e-06,4.391936e-06,4.397081e-06,4.421602e-06,4.424413e-06,4.444190e-06,4.453539e-06,4.464934e-06,4.479519e-06,4.483920e-06,4.501232e-06,4.502547e-06,4.516949e-06,4.522806e-06,4.531146e-06,4.540468e-06,4.543897e-06,4.555270e-06,4.555697e-06,4.565332e-06,4.568646e-06,4.574148e-06,4.579461e-06,4.581776e-06,4.588276e-06,4.593703e-06,4.595222e-06,4.598110e-06,4.600419e-06,4.601548e-06,4.603980e-06,4.604064e-06,4.605705e-06,4.606014e-06,4.606516e-06,4.606621e-06,4.606538e-06,4.605896e-06,4.605812e-06,4.604375e-06,4.603929e-06,4.602265e-06,4.600803e-06,4.599517e-06,4.596597e-06,4.596164e-06,4.592238e-06,4.591387e-06,4.587770e-06,4.585242e-06,4.582788e-06,4.578227e-06,4.577321e-06,4.571394e-06,4.570405e-06,4.565034e-06,4.561834e-06,4.558264e-06,4.552569e-06,4.551108e-06,4.543587e-06,4.542661e-06,4.535723e-06,4.532159e-06,4.527535e-06,4.521108e-06,4.519043e-06,4.510265e-06,4.509551e-06,4.501219e-06,4.497529e-06,4.491921e-06,4.485079e-06,4.482387e-06,4.472632e-06,4.472238e-06,4.462671e-06,4.459038e-06,4.452519e-06,4.445511e-06,4.442186e-06,4.431688e-06,4.417596e-06,4.403260e-06,4.388707e-06,4.373959e-06,4.359038e-06,4.343964e-06,4.328757e-06,4.313434e-06,4.298014e-06,4.282511e-06,4.266941e-06,4.251318e-06,4.235656e-06,4.219966e-06,4.204260e-06,4.188550e-06,4.172845e-06,4.157156e-06,4.141490e-06,4.125857e-06,4.110265e-06,4.094720e-06,4.079230e-06,4.063801e-06
0.000000e+00,3.859706e-11,1.000093e-10,3.883129e-10,9.276260e-10,1.374277e-09,3.180015e-09,3.276968e-09,6.351180e-09,7.455353e-09,1.084172e-08,1.431456e-08,1.698246e-08,2.424203e-08,2.494809e-08,3.474740e-08,3.735277e-08,4.617623e-08,5.317348e-08,5.892668e-08,7.100650e-08,7.270569e-08,8.726439e-08,9.025019e-08,1.023853e-07,1.104036e-07,1.178687e-07,1.310171e-07,1.335268e-07,1.491840e-07,1.516781e-07,1.646798e-07,1.720178e-07,1.798717e-07,1.917238e-07,1.946379e-07,2.088792e-07,2.105490e-07,2.225186e-07,2.283142e-07,2.355007e-07,2.449050e-07,2.477900e-07,2.593681e-07,2.602635e-07,2.702319e-07,2.743789e-07,2.803898e-07,2.872765e-07,2.898602e-07,2.986685e-07,2.990075e-07,3.068450e-07,3.096403e-07,3.144233e-07,3.192531e-07,3.214391e-07,3.279282e-07,3.339266e-07,3.357481e-07,3.394690e-07,3.427924e-07,3.445889e-07,3.491360e-07,3.493180e-07,3.536859e-07,3.548480e-07,3.577203e-07,3.599916e-07,3.614468e-07,3.646235e-07,3.648889e-07,3.680685e-07,3.687948e-07,3.710053e-07,3.725507e-07,3.737175e-07,3.759315e-07,3.762215e-07,3.785325e-07,3.789728e-07,3.806642e-07,3.817060e-07,3.826290e-07,3.841590e-07,3.844385e-07,3.861029e-07,3.863564e-07,3.876319e-07,3.883202e-07,3.890340e-07,3.900698e-07,3.903173e-07,3.914890e-07,3.916224e-07,3.925558e-07,3.929935e-07,3.935237e-07,3.941967e-07,3.943985e-07,3.951853e-07,3.952446e-07,3.958891e-07,3.961484e-07,3.965144e-07,3.969182e-07,3.970652e-07,3.975454e-07,3.975632e-07,3.979587e-07,3.980918e-07,3.983085e-07,3.985117e-07,3.985979e-07,3.988299e-07,3.990072e-07,3.990529e-07,3.991326e-07,3.991866e-07,3.992084e-07,3.992367e-07,3.992369e-07,3.992205e-07,3.992081e-07,3.991611e-07,3.991057e-07,3.990608e-07,3.989339e-07,3.989214e-07,3.987446e-07,3.986968e-07,3.985323e-07,3.983984e-07,3.982859e-07,3.980422e-07,3.980071e-07,3.976972e-07,3.976316e-07,3.973577e-07,3.971699e-07,3.969899e-07,3.966600e-07,3.965950e-07,3.961744e-07,3.961048e-07,3.957291e-07,3.955069e-07,3.952602e-07,3.948689e-07,3.947688e-07,3.942560e-07,3.941931e-07,3.937228e-07,3.934819e-07,3.931699e-07,3.927373e-07,3.925985e-07,3.920092e-07,3.919614e-07,3.914031e-07,3.911561e-07,3.907808e-07,3.903232e-07,3.901431e-07,3.894908e-07,3.894644e-07,3.888246e-07,3.885815e-07,3.881451e-07,3.876759e-07,3.874531e-07,3.867492e-07,3.858027e-07,3.848378e-07,3.838558e-07,3.828579e-07,3.818453e-07,3.808190e-07,3.797802e-07,3.787298e-07,3.776687e-07,3.765980e-07,3.755184e-07,3.744309e-07,3.733361e-07,3.722349e-07,3.711279e-07,3.700158e-07,3.688994e-07,3.677792e-07,3.666558e-07,3.655298e-07,3.644017e-07,3.632720e-07,3.621413e-07,3.610100e-07
0.000000e+00,1.872386e-12,1.161346e-11,1.663197e-10,9.261713e-10,2.000632e-09,1.011152e-08,1.070653e-08,3.701115e-08,4.966183e-08,9.758119e-08,1.593214e-07,2.143939e-07,3.941031e-07,4.137750e-07,7.255465e-07,8.206671e-07,1.182259e-06,1.514021e-06,1.817964e-06,2.551729e-06,2.665628e-06,3.752677e-06,4.000517e-06,5.095711e-06,5.896538e-06,6.696727e-06,8.231741e-06,8.542602e-06,1.060775e-05,1.095634e-05,1.285846e-05,1.399375e-05,1.525726e-05,1.725749e-05,1.776638e-05,2.034997e-05,2.066342e-05,2.297526e-05,2.413591e-05,2.561291e-05,2.760977e-05,2.823708e-05,3.082521e-05,3.103010e-05,3.335776e-05,3.435139e-05,3.581804e-05,3.753669e-05,3.819198e-05,4.046797e-05,4.055683e-05,4.263673e-05,4.338981e-05,4.469117e-05,4.602021e-05,4.662619e-05,4.843853e-05,5.012660e-05,5.064048e-05,5.169028e-05,5.262623e-05,5.313070e-05,5.439959e-05,5.445008e-05,5.565155e-05,5.596734e-05,5.673894e-05,5.733843e-05,5.771666e-05,5.852343e-05,5.858952e-05,5.936262e-05,5.953391e-05,6.004128e-05,6.038207e-05,6.063085e-05,6.108028e-05,6.113675e-05,6.156430e-05,6.164087e-05,6.191873e-05,6.207584e-05,6.220513e-05,6.239672e-05,6.242840e-05,6.259324e-05,6.261450e-05,6.270416e-05,6.273951e-05,6.276543e-05,6.278142e-05,6.278109e-05,6.275496e-05,6.274919e-05,6.269063e-05,6.265110e-05,6.259147e-05,6.249476e-05,6.246063e-05,6.230105e-05,6.228713e-05,6.211549e-05,6.203457e-05,6.190650e-05,6.174285e-05,6.167645e-05,6.142755e-05,6.141723e-05,6.116184e-05,6.106244e-05,6.088122e-05,6.068277e-05,6.058743e-05,6.028209e-05,5.996669e-05,5.986387e-05,5.964261e-05,5.943123e-05,5.931111e-05,5.898697e-05,5.897335e-05,5.863041e-05,5.853359e-05,5.828326e-05,5.807333e-05,5.793281e-05,5.760818e-05,5.757987e-05,5.722521e-05,5.713992e-05,5.686952e-05,5.667011e-05,5.651341e-05,5.620015e-05,5.615746e-05,5.580220e-05,5.573127e-05,5.544809e-05,5.526455e-05,5.509556e-05,5.480095e-05,5.474500e-05,5.439676e-05,5.434128e-05,5.405115e-05,5.388627e-05,5.370845e-05,5.343656e-05,5.336891e-05,5.303277e-05,5.299267e-05,5.270021e-05,5.255506e-05,5.237141e-05,5.212413e-05,5.204652e-05,5.172569e-05,5.170020e-05,5.140902e-05,5.128354e-05,5.109661e-05,5.087437e-05,5.078856e-05,5.048491e-05,5.047286e-05,5.018575e-05,5.007915e-05,4.989110e-05,4.969333e-05,4.960100e-05,4.931547e-05,4.894561e-05,4.858375e-05,4.822989e-05,4.788399e-05,4.754602e-05,4.721590e-05,4.689357e-05,4.657893e-05,4.627190e-05,4.597236e-05,4.568020e-05,4.539530e-05,4.511754e-05,4.484680e-05,4.458293e-05,4.432581e-05,4.407531e-05,4.383127e-05,4.359358e-05,4.336208e-05,4.313664e-05,4.291712e-05,4.270339e-05,4.249530e-05
0.000000e+00,1.161812e-11,6.616267e-11,7.992023e-10,3.844079e-09,7.690861e-09,3.230765e-08,3.396654e-08,9.977702e-08,1.285516e-07,2.296888e-07,3.498642e-07,4.515739e-07,7.634746e-07,7.963356e-07,1.295398e-06,1.441141e-06,1.973349e-06,2.435364e-06,2.839524e-06,3.751556e-06,3.886090e-06,5.093577e-06,5.352306e-06,6.438272e-06,7.183998e-06,7.897148e-06,9.195729e-06,9.449644e-06,1.107750e-05,1.134382e-05,1.276398e-05,1.358963e-05,1.449318e-05,1.589685e-05,1.624957e-05,1.801788e-05,1.823017e-05,1.978324e-05,2.055535e-05,2.153136e-05,2.284013e-05,2.324886e-05,2.492348e-05,2.505526e-05,2.654434e-05,2.717547e-05,2.810205e-05,2.918008e-05,2.958885e-05,3.099855e-05,3.105327e-05,3.232655e-05,3.278399e-05,3.356973e-05,3.436569e-05,3.472633e-05,3.579583e-05,3.677874e-05,3.707520e-05,3.767652e-05,3.820740e-05,3.849134e-05,3.919810e-05,3.922598e-05,3.988370e-05,4.005456e-05,4.046808e-05,4.078509e-05,4.098293e-05,4.139859e-05,4.143222e-05,4.181994e-05,4.190428e-05,4.215011e-05,4.231134e-05,4.242667e-05,4.262876e-05,4.265347e-05,4.283423e-05,4.286517e-05,4.297251e-05,4.302876e-05,4.307171e-05,4.312718e-05,4.313503e-05,4.316551e-05,4.316754e-05,4.316600e-05,4.315637e-05,4.313915e-05,4.309965e-05,4.308743e-05,4.301316e-05,4.300283e-05,4.291846e-05,4.287084e-05,4.280532e-05,4.270813e-05,4.267556e-05,4.253087e-05,4.251870e-05,4.237281e-05,4.230617e-05,4.220280e-05,4.207374e-05,4.202216e-05,4.183209e-05,4.182431e-05,4.163370e-05,4.156043e-05,4.142799e-05,4.128442e-05,4.121591e-05,4.099830e-05,4.077594e-05,4.070389e-05,4.054953e-05,4.040282e-05,4.031974e-05,4.009650e-05,4.008715e-05,3.985230e-05,3.978621e-05,3.961570e-05,3.947308e-05,3.937778e-05,3.915810e-05,3.913897e-05,3.889963e-05,3.884215e-05,3.866010e-05,3.852600e-05,3.842070e-05,3.821035e-05,3.818171e-05,3.794337e-05,3.789580e-05,3.770592e-05,3.758287e-05,3.746957e-05,3.727202e-05,3.723450e-05,3.700090e-05,3.696366e-05,3.676890e-05,3.665815e-05,3.653865e-05,3.635579e-05,3.631027e-05,3.608388e-05,3.605685e-05,3.585956e-05,3.576154e-05,3.563741e-05,3.547007e-05,3.541750e-05,3.519990e-05,3.518259e-05,3.498466e-05,3.489925e-05,3.477185e-05,3.462014e-05,3.456149e-05,3.435363e-05,3.434537e-05,3.414830e-05,3.407501e-05,3.394552e-05,3.380910e-05,3.374532e-05,3.354770e-05,3.329083e-05,3.303850e-05,3.279071e-05,3.254746e-05,3.230874e-05,3.207452e-05,3.184478e-05,3.161947e-05,3.139856e-05,3.118201e-05,3.096977e-05,3.076179e-05,3.055800e-05,3.035836e-05,3.016281e-05,2.997128e-05,2.978371e-05,2.960004e-05,2.942020e-05,2.924414e-05,2.907177e-05,2.890304e-05,2.873788e-05,2.857622e-05
0.000000e+00,5.143520e-11,1.731892e-10,9.048858e-10,2.499820e-09,3.915970e-09,1.003540e-08,1.037527e-08,2.148559e-08,2.558835e-08,3.840737e-08,5.182884e-08,6.229007e-08,9.135392e-08,9.422758e-08,1.350314e-07,1.461826e-07,1.849292e-07,2.167405e-07,2.436111e-07,3.021123e-07,3.105665e-07,3.852806e-07,4.011100e-07,4.672454e-07,5.125560e-07,5.559226e-07,6.351644e-07,6.507158e-07,7.509622e-07,7.674601e-07,8.559380e-07,9.077810e-07,9.648713e-07,1.054329e-06,1.076960e-06,1.191390e-06,1.205241e-06,1.307358e-06,1.358668e-06,1.424083e-06,1.512843e-06,1.540825e-06,1.656899e-06,1.666137e-06,1.771678e-06,1.817099e-06,1.884602e-06,1.964483e-06,1.995184e-06,2.103003e-06,2.107254e-06,2.207711e-06,2.244588e-06,2.309024e-06,2.375860e-06,2.406717e-06,2.500626e-06,2.590634e-06,2.618600e-06,2.676672e-06,2.729636e-06,2.758707e-06,2.833699e-06,2.836744e-06,2.910814e-06,2.930850e-06,2.980973e-06,3.021221e-06,3.047295e-06,3.105002e-06,3.109873e-06,3.168810e-06,3.182425e-06,3.224218e-06,3.253750e-06,3.276218e-06,3.319256e-06,3.324933e-06,3.370491e-06,3.379235e-06,3.413021e-06,3.433981e-06,3.452649e-06,3.483788e-06,3.489504e-06,3.523709e-06,3.528945e-06,3.555389e-06,3.569733e-06,3.584662e-06,3.606425e-06,3.611643e-06,3.636446e-06,3.639281e-06,3.659178e-06,3.668551e-06,3.679943e-06,3.694471e-06,3.698841e-06,3.715968e-06,3.717265e-06,3.731416e-06,3.737144e-06,3.745271e-06,3.754309e-06,3.757618e-06,3.768537e-06,3.768945e-06,3.778102e-06,3.781229e-06,3.786388e-06,3.791326e-06,3.793462e-06,3.799390e-06,3.804235e-06,3.805566e-06,3.808056e-06,3.809990e-06,3.810909e-06,3.812787e-06,3.812847e-06,3.813922e-06,3.814075e-06,3.814182e-06,3.813966e-06,3.813672e-06,3.812561e-06,3.812436e-06,3.810516e-06,3.809958e-06,3.807950e-06,3.806246e-06,3.804776e-06,3.801508e-06,3.801030e-06,3.796744e-06,3.795824e-06,3.791950e-06,3.789267e-06,3.786679e-06,3.781904e-06,3.780960e-06,3.774819e-06,3.773799e-06,3.768283e-06,3.765012e-06,3.761375e-06,3.755598e-06,3.754120e-06,3.746540e-06,3.745609e-06,3.738655e-06,3.735094e-06,3.730485e-06,3.724098e-06,3.722050e-06,3.713367e-06,3.712662e-06,3.704453e-06,3.700827e-06,3.695325e-06,3.688629e-06,3.685998e-06,3.676487e-06,3.676103e-06,3.666805e-06,3.663280e-06,3.656965e-06,3.650191e-06,3.646981e-06,3.636863e-06,3.623324e-06,3.609597e-06,3.595706e-06,3.581670e-06,3.567512e-06,3.553249e-06,3.538898e-06,3.524476e-06,3.509998e-06,3.495478e-06,3.480929e-06,3.466364e-06,3.451794e-06,3.437229e-06,3.422681e-06,3.408157e-06,3.393667e-06,3.379219e-06,3.364820e-06,3.350477e-06,3.336197e-06,3.321985e-06,3.307847e-06,3.293789e-06
0.000000e+00,4.609928e-13,2.894981e-12,4.252328e-11,2.422040e-10,5.295826e-10,2.759146e-09,2.925017e-09,1.040094e-08,1.405806e-08,2.810892e-08,4.649896e-08,6.307524e-08,1.178394e-07,1.238777e-07,2.202452e-07,2.498170e-07,3.626133e-07,4.663881e-07,5.615511e-07,7.913171e-07,8.269738e-07,1.167238e-06,1.244850e-06,1.588386e-06,1.840565e-06,2.093752e-06,2.583889e-06,2.683983e-06,3.357327e-06,3.472550e-06,4.110062e-06,4.498077e-06,4.936923e-06,5.647495e-06,5.831483e-06,6.786458e-06,6.904745e-06,7.793960e-06,8.251776e-06,8.845703e-06,9.669394e-06,9.933196e-06,1.104791e-05,1.113800e-05,1.218142e-05,1.263825e-05,1.332559e-05,1.415161e-05,1.447266e-05,1.561538e-05,1.566090e-05,1.674710e-05,1.715065e-05,1.786182e-05,1.860738e-05,1.895424e-05,2.001977e-05,2.105453e-05,2.137862e-05,2.205533e-05,2.267683e-05,2.301964e-05,2.390925e-05,2.394553e-05,2.483162e-05,2.507247e-05,2.567705e-05,2.616459e-05,2.648138e-05,2.718501e-05,2.724456e-05,2.796686e-05,2.813419e-05,2.864885e-05,2.901344e-05,2.929130e-05,2.982472e-05,2.989518e-05,3.046159e-05,3.057048e-05,3.099175e-05,3.125353e-05,3.148695e-05,3.187689e-05,3.194855e-05,3.237791e-05,3.244372e-05,3.277646e-05,3.295721e-05,3.314556e-05,3.342058e-05,3.348661e-05,3.380097e-05,3.383696e-05,3.408995e-05,3.420940e-05,3.435486e-05,3.454086e-05,3.459695e-05,3.481741e-05,3.483415e-05,3.501743e-05,3.509195e-05,3.519810e-05,3.531681e-05,3.536050e-05,3.550564e-05,3.551110e-05,3.563450e-05,3.567709e-05,3.574801e-05,3.581687e-05,3.584704e-05,3.593244e-05,3.600500e-05,3.602563e-05,3.606547e-05,3.609816e-05,3.611458e-05,3.615165e-05,3.615299e-05,3.618135e-05,3.618757e-05,3.620027e-05,3.620734e-05,3.621033e-05,3.621222e-05,3.621207e-05,3.620600e-05,3.620344e-05,3.619262e-05,3.618210e-05,3.617238e-05,3.614924e-05,3.614572e-05,3.611305e-05,3.610583e-05,3.607477e-05,3.605276e-05,3.603123e-05,3.599085e-05,3.598279e-05,3.592977e-05,3.592089e-05,3.587250e-05,3.584358e-05,3.581125e-05,3.575958e-05,3.574631e-05,3.567794e-05,3.566952e-05,3.560639e-05,3.557396e-05,3.553189e-05,3.547343e-05,3.545466e-05,3.537491e-05,3.536843e-05,3.529285e-05,3.525941e-05,3.520864e-05,3.514679e-05,3.512248e-05,3.503452e-05,3.503097e-05,3.494493e-05,3.491231e-05,3.485385e-05,3.479114e-05,3.476143e-05,3.466778e-05,3.454253e-05,3.441564e-05,3.428737e-05,3.415795e-05,3.402759e-05,3.389649e-05,3.376483e-05,3.363279e-05,3.350052e-05,3.336817e-05,3.323586e-05,3.310373e-05,3.297188e-05,3.284043e-05,3.270947e-05,3.257908e-05,3.244936e-05,3.232037e-05,3.219219e-05,3.206487e-05,3.193848e-05,3.181307e-05,3.168868e-05,3.156536e-05
0.000000e+00,2.332986e-11,5.559991e-11,1.987894e-10,4.593149e-10,6.734251e-10,1.538940e-09,1.585561e-09,3.075753e-09,3.616927e-09,5.295732e-09,7.045040e-09,8.405795e-09,1.217018e-08,1.254040e-08,1.773524e-08,1.913069e-08,2.388702e-08,2.768257e-08,3.081344e-08,3.740560e-08,3.833426e-08,4.630020e-08,4.793567e-08,5.458862e-08,5.899048e-08,6.309382e-08,7.033607e-08,7.172095e-08,8.038347e-08,8.176740e-08,8.900284e-08,9.310389e-08,9.750897e-08,1.041910e-07,1.058408e-07,1.139470e-07,1.149024e-07,1.217854e-07,1.251407e-07,1.293234e-07,1.348361e-07,1.365367e-07,1.434090e-07,1.439437e-07,1.499305e-07,1.524399e-07,1.560975e-07,1.603185e-07,1.619107e-07,1.673752e-07,1.675866e-07,1.724988e-07,1.742617e-07,1.772916e-07,1.803677e-07,1.817654e-07,1.859332e-07,1.898089e-07,1.909897e-07,1.934065e-07,1.955696e-07,1.967403e-07,1.997057e-07,1.998244e-07,2.026729e-07,2.034301e-07,2.052992e-07,2.067737e-07,2.077163e-07,2.097661e-07,2.099368e-07,2.119728e-07,2.124352e-07,2.138356e-07,2.148071e-07,2.155360e-07,2.169061e-07,2.170842e-07,2.184899e-07,2.187548e-07,2.197621e-07,2.203738e-07,2.209094e-07,2.217825e-07,2.219398e-07,2.228609e-07,2.229986e-07,2.236796e-07,2.240383e-07,2.244027e-07,2.249165e-07,2.250364e-07,2.255864e-07,2.256470e-07,2.260582e-07,2.262424e-07,2.264570e-07,2.267142e-07,2.267876e-07,2.270544e-07,2.270731e-07,2.272616e-07,2.273286e-07,2.274131e-07,2.274899e-07,2.275127e-07,2.275638e-07,2.275649e-07,2.275697e-07,2.275613e-07,2.275334e-07,2.274860e-07,2.274576e-07,2.273452e-07,2.271985e-07,2.271448e-07,2.270200e-07,2.268901e-07,2.268119e-07,2.265861e-07,2.265761e-07,2.263147e-07,2.262372e-07,2.260295e-07,2.258477e-07,2.257222e-07,2.254213e-07,2.253944e-07,2.250475e-07,2.249616e-07,2.246831e-07,2.244719e-07,2.243025e-07,2.239551e-07,2.239069e-07,2.234975e-07,2.234141e-07,2.230754e-07,2.228512e-07,2.226416e-07,2.222690e-07,2.221972e-07,2.217431e-07,2.216696e-07,2.212801e-07,2.210549e-07,2.208090e-07,2.204269e-07,2.203307e-07,2.198459e-07,2.197873e-07,2.193552e-07,2.191376e-07,2.188593e-07,2.184793e-07,2.183588e-07,2.178542e-07,2.178137e-07,2.173462e-07,2.171421e-07,2.168352e-07,2.164657e-07,2.163217e-07,2.158062e-07,2.157856e-07,2.152891e-07,2.151026e-07,2.147707e-07,2.144177e-07,2.142515e-07,2.137318e-07,2.130456e-07,2.123599e-07,2.116753e-07,2.109924e-07,2.103118e-07,2.096340e-07,2.089595e-07,2.082887e-07,2.076220e-07,2.069597e-07,2.063023e-07,2.056500e-07,2.050032e-07,2.043619e-07,2.037266e-07,2.030974e-07,2.024744e-07,2.018579e-07,2.012481e-07,2.006449e-07,2.000486e-07,1.994593e-07,1.988770e-07,1.983018e-07
0.000000e+00,1.411074e-12,9.634458e-12,1.684219e-10,1.124840e-09,2.684601e-09,1.754504e-08,1.877220e-08,8.359930e-08,1.201126e-07,2.799453e-07,5.239997e-07,7.702188e-07,1.720042e-06,1.835714e-06,3.921652e-06,4.642063e-06,7.686354e-06,1.085948e-05,1.405262e-05,2.278182e-05,2.425866e-05,3.990479e-05,4.385547e-05,6.299114e-05,7.872388e-05,9.594162e-05,1.333190e-04,1.416109e-04,2.032733e-04,2.148632e-04,2.845941e-04,3.317770e-04,3.895854e-04,4.935036e-04,5.225485e-04,6.880062e-04,7.102655e-04,8.906280e-04,9.927749e-04,1.135149e-03,1.351915e-03,1.426290e-03,1.768672e-03,1.798411e-03,2.166740e-03,2.342508e-03,2.624684e-03,2.993665e-03,3.146372e-03,3.735285e-03,3.760284e-03,4.394462e-03,4.649473e-03,5.126454e-03,5.666859e-03,5.933292e-03,6.816450e-03,7.776836e-03,8.100540e-03,8.814780e-03,9.519676e-03,9.930035e-03,1.107266e-02,1.112179e-02,1.238867e-02,1.275661e-02,1.372878e-02,1.456702e-02,1.513973e-02,1.649792e-02,1.661866e-02,1.816228e-02,1.854197e-02,1.976692e-02,2.069068e-02,2.142856e-02,2.293454e-02,2.314289e-02,2.490536e-02,2.526322e-02,2.671120e-02,2.766575e-02,2.855549e-02,3.013072e-02,3.043318e-02,3.233918e-02,3.264643e-02,3.426835e-02,3.520107e-02,3.621555e-02,3.778288e-02,3.817570e-02,4.014379e-02,4.038026e-02,4.211491e-02,4.298193e-02,4.408430e-02,4.557702e-02,4.604733e-02,4.799957e-02,4.815515e-02,4.993677e-02,5.070654e-02,5.185491e-02,5.322202e-02,5.375018e-02,5.561898e-02,5.569314e-02,5.745799e-02,5.811213e-02,5.926410e-02,6.047200e-02,6.103446e-02,6.276646e-02,6.445775e-02,6.499001e-02,6.610620e-02,6.713785e-02,6.770993e-02,6.920591e-02,6.926729e-02,7.077687e-02,7.119081e-02,7.223744e-02,7.308984e-02,7.364801e-02,7.490089e-02,7.500779e-02,7.631617e-02,7.662248e-02,7.757272e-02,7.825365e-02,7.877720e-02,7.979398e-02,7.992951e-02,8.102971e-02,8.124351e-02,8.207800e-02,8.260270e-02,8.307471e-02,8.387241e-02,8.402029e-02,8.491531e-02,8.505386e-02,8.576042e-02,8.614856e-02,8.655637e-02,8.715829e-02,8.730400e-02,8.800421e-02,8.808510e-02,8.865799e-02,8.893120e-02,8.926635e-02,8.969899e-02,8.983037e-02,9.035118e-02,9.039102e-02,9.082993e-02,9.100992e-02,9.126781e-02,9.155845e-02,9.166602e-02,9.202578e-02,9.203939e-02,9.234835e-02,9.245561e-02,9.263496e-02,9.280996e-02,9.288687e-02,9.310532e-02,9.334454e-02,9.353049e-02,9.366594e-02,9.375367e-02,9.379637e-02,9.379669e-02,9.375719e-02,9.368037e-02,9.356864e-02,9.342433e-02,9.324970e-02,9.304690e-02,9.281801e-02,9.256501e-02,9.228980e-02,9.199419e-02,9.167991e-02,9.134860e-02,9.100181e-02,9.064101e-02,9.026761e-02,8.988293e-02,8.948821e-02,8.908461e-02
0.000000e+00,5.500871e-12,1.264033e-11,4.360728e-11,9.929091e-11,1.448576e-10,3.283409e-10,3.382013e-10,6.523910e-10,7.660554e-10,1.117432e-09,1.482171e-09,1.765514e-09,2.552153e-09,2.630028e-09,3.740245e-09,4.045380e-09,5.111348e-09,5.991723e-09,6.737411e-09,8.361462e-09,8.595792e-09,1.065780e-08,1.109216e-08,1.289575e-08,1.412067e-08,1.528480e-08,1.739190e-08,1.780249e-08,2.042776e-08,2.085642e-08,2.314033e-08,2.446755e-08,2.592042e-08,2.818008e-08,2.874867e-08,3.160635e-08,3.195038e-08,3.447547e-08,3.573711e-08,3.733911e-08,3.950210e-08,4.018158e-08,4.298857e-08,4.321120e-08,4.574726e-08,4.683465e-08,4.844645e-08,5.034757e-08,5.107652e-08,5.362930e-08,5.372970e-08,5.609811e-08,5.696528e-08,5.847772e-08,6.004280e-08,6.076411e-08,6.295444e-08,6.504688e-08,6.569562e-08,6.704053e-08,6.826453e-08,6.893527e-08,7.066167e-08,7.073165e-08,7.243078e-08,7.288931e-08,7.403424e-08,7.495121e-08,7.554400e-08,7.685217e-08,7.696233e-08,7.829173e-08,7.859785e-08,7.953491e-08,8.019447e-08,8.069468e-08,8.164860e-08,8.177396e-08,8.277574e-08,8.296706e-08,8.370302e-08,8.415675e-08,8.455878e-08,8.522455e-08,8.534602e-08,8.606769e-08,8.617727e-08,8.672668e-08,8.702157e-08,8.732583e-08,8.776392e-08,8.786790e-08,8.835560e-08,8.841060e-08,8.879155e-08,8.896762e-08,8.917826e-08,8.944076e-08,8.951821e-08,8.981373e-08,8.983553e-08,9.006713e-08,9.015719e-08,9.028059e-08,9.041074e-08,9.045622e-08,9.059605e-08,9.060093e-08,9.070202e-08,9.073224e-08,9.077600e-08,9.080894e-08,9.081976e-08,9.083503e-08,9.082343e-08,9.081430e-08,9.078653e-08,9.075032e-08,9.072582e-08,9.064647e-08,9.064273e-08,9.053862e-08,9.050589e-08,9.041480e-08,9.033156e-08,9.027250e-08,9.012629e-08,9.011291e-08,8.993715e-08,8.989268e-08,8.974629e-08,8.963320e-08,8.954136e-08,8.935016e-08,8.932333e-08,8.909313e-08,8.904570e-08,8.885163e-08,8.872186e-08,8.859967e-08,8.838053e-08,8.833805e-08,8.806752e-08,8.802346e-08,8.778881e-08,8.765232e-08,8.750258e-08,8.726863e-08,8.720950e-08,8.691016e-08,8.687385e-08,8.660516e-08,8.646931e-08,8.629505e-08,8.605626e-08,8.598033e-08,8.566152e-08,8.563586e-08,8.533908e-08,8.520919e-08,8.501345e-08,8.477725e-08,8.468504e-08,8.435427e-08,8.434099e-08,8.402149e-08,8.390126e-08,8.368706e-08,8.345887e-08,8.335131e-08,8.301456e-08,8.256902e-08,8.212288e-08,8.167672e-08,8.123110e-08,8.078650e-08,8.034338e-08,7.990216e-08,7.946323e-08,7.902693e-08,7.859358e-08,7.816348e-08,7.773689e-08,7.731404e-08,7.689516e-08,7.648044e-08,7.607005e-08,7.566414e-08,7.526285e-08,7.486630e-08,7.447459e-08,7.408782e-08,7.370606e-08,7.332938e-08,7.295782e-08
0.000000e+00,1.564661e-12,1.049658e-11,1.768247e-10,1.141225e-09,2.672542e-09,1.662385e-08,1.775066e-08,7.523583e-08,1.066515e-07,2.403188e-07,4.377653e-07,6.322236e-07,1.357856e-06,1.444407e-06,2.965042e-06,3.477427e-06,5.595813e-06,7.745599e-06,9.865329e-06,1.549801e-05,1.643202e-05,2.607257e-05,2.844476e-05,3.965564e-05,4.858246e-05,5.810459e-05,7.804671e-05,8.235439e-05,1.133083e-04,1.189400e-04,1.517982e-04,1.731683e-04,1.985510e-04,2.423084e-04,2.541634e-04,3.190839e-04,3.275154e-04,3.936032e-04,4.294718e-04,4.778512e-04,5.483751e-04,5.718006e-04,6.752752e-04,6.839561e-04,7.879618e-04,8.355221e-04,9.094258e-04,1.002016e-03,1.039128e-03,1.176442e-03,1.182083e-03,1.320674e-03,1.374148e-03,1.471077e-03,1.576481e-03,1.626874e-03,1.787268e-03,1.951456e-03,2.004667e-03,2.118646e-03,2.226865e-03,2.288065e-03,2.452112e-03,2.458967e-03,2.630642e-03,2.678758e-03,2.802421e-03,2.905276e-03,2.973679e-03,3.130279e-03,3.143838e-03,3.312372e-03,3.352524e-03,3.478802e-03,3.570922e-03,3.642699e-03,3.784530e-03,3.803683e-03,3.961419e-03,3.992550e-03,4.115618e-03,4.194319e-03,4.266032e-03,4.389302e-03,4.412454e-03,4.554713e-03,4.577078e-03,4.692671e-03,4.757332e-03,4.826224e-03,4.929840e-03,4.955292e-03,5.079825e-03,5.094462e-03,5.199793e-03,5.251130e-03,5.315188e-03,5.399836e-03,5.426020e-03,5.532317e-03,5.540626e-03,5.634117e-03,5.673590e-03,5.731474e-03,5.798855e-03,5.824451e-03,5.913121e-03,5.916579e-03,5.997564e-03,6.026945e-03,6.077866e-03,6.130152e-03,6.154119e-03,6.226419e-03,6.294867e-03,6.315973e-03,6.359563e-03,6.399048e-03,6.420613e-03,6.475887e-03,6.478120e-03,6.532192e-03,6.546731e-03,6.582935e-03,6.611827e-03,6.630454e-03,6.671415e-03,6.674855e-03,6.716241e-03,6.725737e-03,6.754716e-03,6.775029e-03,6.790382e-03,6.819524e-03,6.823339e-03,6.853686e-03,6.859451e-03,6.881520e-03,6.895031e-03,6.906934e-03,6.926481e-03,6.930023e-03,6.950877e-03,6.954012e-03,6.969584e-03,6.977826e-03,6.986230e-03,6.998119e-03,7.000899e-03,7.013673e-03,7.015082e-03,7.024631e-03,7.028897e-03,7.033850e-03,7.039740e-03,7.041405e-03,7.047369e-03,7.047779e-03,7.051812e-03,7.053178e-03,7.054802e-03,7.056092e-03,7.056405e-03,7.056686e-03,7.056671e-03,7.055706e-03,7.055056e-03,7.053525e-03,7.051385e-03,7.050200e-03,7.045789e-03,7.038391e-03,7.029311e-03,7.018664e-03,7.006556e-03,6.993091e-03,6.978367e-03,6.962478e-03,6.945512e-03,6.927554e-03,6.908683e-03,6.888976e-03,6.868504e-03,6.847337e-03,6.825538e-03,6.803170e-03,6.780289e-03,6.756950e-03,6.733207e-03,6.709106e-03,6.684695e-03,6.660017e-03,6.635112e-03,6.610020e-03,6.584777e-03
0.000000e+00,1.308124e-10,3.179591e-10,1.172644e-09,2.789627e-09,4.167034e-09,1.012492e-08,1.046249e-08,2.206663e-08,2.664023e-08,4.184518e-08,5.894425e-08,7.281266e-08,1.121794e-07,1.160650e-07,1.699765e-07,1.842171e-07,2.320665e-07,2.696710e-07,3.004401e-07,3.648508e-07,3.739086e-07,4.517239e-07,4.677600e-07,5.333577e-07,5.771688e-07,6.183693e-07,6.920807e-07,7.063364e-07,7.968229e-07,8.115043e-07,8.893708e-07,9.343859e-07,9.835007e-07,1.059613e-06,1.078720e-06,1.174533e-06,1.186047e-06,1.270451e-06,1.312567e-06,1.366007e-06,1.438114e-06,1.460759e-06,1.554300e-06,1.561719e-06,1.646261e-06,1.682529e-06,1.736318e-06,1.799819e-06,1.824187e-06,1.909629e-06,1.912994e-06,1.992446e-06,2.021586e-06,2.072479e-06,2.125247e-06,2.149605e-06,2.223735e-06,2.294808e-06,2.316899e-06,2.362790e-06,2.404670e-06,2.427670e-06,2.487044e-06,2.489456e-06,2.548174e-06,2.564070e-06,2.603861e-06,2.635840e-06,2.656569e-06,2.702480e-06,2.706357e-06,2.753292e-06,2.764141e-06,2.797448e-06,2.820990e-06,2.838902e-06,2.873211e-06,2.877735e-06,2.914030e-06,2.920991e-06,2.947870e-06,2.964526e-06,2.979342e-06,3.004011e-06,3.008531e-06,3.035520e-06,3.039640e-06,3.060393e-06,3.071606e-06,3.083234e-06,3.100098e-06,3.104123e-06,3.123140e-06,3.125300e-06,3.140362e-06,3.147391e-06,3.155865e-06,3.166543e-06,3.169723e-06,3.182007e-06,3.182924e-06,3.192788e-06,3.196694e-06,3.202131e-06,3.208006e-06,3.210104e-06,3.216767e-06,3.217008e-06,3.222184e-06,3.223840e-06,3.226412e-06,3.228637e-06,3.229508e-06,3.231528e-06,3.232523e-06,3.232633e-06,3.232545e-06,3.232070e-06,3.231642e-06,3.229949e-06,3.229862e-06,3.227250e-06,3.226375e-06,3.223849e-06,3.221448e-06,3.219702e-06,3.215261e-06,3.214847e-06,3.209325e-06,3.207904e-06,3.203172e-06,3.199463e-06,3.196422e-06,3.190017e-06,3.189111e-06,3.181271e-06,3.179643e-06,3.172933e-06,3.168411e-06,3.164128e-06,3.156390e-06,3.154883e-06,3.145226e-06,3.143644e-06,3.135184e-06,3.130234e-06,3.124781e-06,3.116216e-06,3.114042e-06,3.102990e-06,3.101644e-06,3.091646e-06,3.086568e-06,3.080032e-06,3.071037e-06,3.068168e-06,3.056072e-06,3.055095e-06,3.043764e-06,3.038785e-06,3.031260e-06,3.022146e-06,3.018578e-06,3.005733e-06,3.005216e-06,2.992739e-06,2.988028e-06,2.979613e-06,2.970618e-06,2.966367e-06,2.953014e-06,2.935247e-06,2.917343e-06,2.899327e-06,2.881223e-06,2.863053e-06,2.844839e-06,2.826599e-06,2.808350e-06,2.790111e-06,2.771896e-06,2.753719e-06,2.735595e-06,2.717535e-06,2.699551e-06,2.681654e-06,2.663853e-06,2.646157e-06,2.628575e-06,2.611114e-06,2.593782e-06,2.576583e-06,2.559525e-06,2.542613e-06,2.525850e-06
0.000000e+00,5.479917e-13,3.560236e-12,5.609961e-11,3.405976e-10,7.712786e-10,4.400123e-09,4.681961e-09,1.823457e-08,2.526997e-08,5.384056e-08,9.384110e-08,1.317629e-07,2.661950e-07,2.817190e-07,5.436355e-07,6.284385e-07,9.663577e-07,1.293331e-06,1.603674e-06,2.384274e-06,2.508631e-06,3.727977e-06,4.012988e-06,5.298097e-06,6.261635e-06,7.242879e-06,9.174418e-06,9.573283e-06,1.228809e-05,1.275747e-05,1.537533e-05,1.698362e-05,1.881398e-05,2.179908e-05,2.257571e-05,2.662657e-05,2.713033e-05,3.092847e-05,3.289039e-05,3.544062e-05,3.898449e-05,4.012076e-05,4.492624e-05,4.531482e-05,4.981506e-05,5.178479e-05,5.474672e-05,5.830242e-05,5.968288e-05,6.458800e-05,6.478309e-05,6.942971e-05,7.115153e-05,7.417913e-05,7.734301e-05,7.881106e-05,8.330395e-05,8.763989e-05,8.899180e-05,9.180448e-05,9.437462e-05,9.578658e-05,9.943015e-05,9.957807e-05,1.031736e-04,1.041448e-04,1.065702e-04,1.085123e-04,1.097672e-04,1.125329e-04,1.127655e-04,1.155677e-04,1.162115e-04,1.181778e-04,1.195573e-04,1.206006e-04,1.225824e-04,1.228420e-04,1.249082e-04,1.253010e-04,1.268061e-04,1.277288e-04,1.285428e-04,1.298824e-04,1.301256e-04,1.315620e-04,1.317787e-04,1.328593e-04,1.334348e-04,1.340249e-04,1.348674e-04,1.350660e-04,1.359895e-04,1.360928e-04,1.368024e-04,1.371267e-04,1.375111e-04,1.379839e-04,1.381220e-04,1.386411e-04,1.386789e-04,1.390743e-04,1.392248e-04,1.394272e-04,1.396344e-04,1.397049e-04,1.399124e-04,1.399193e-04,1.400546e-04,1.400907e-04,1.401359e-04,1.401586e-04,1.401606e-04,1.401326e-04,1.400558e-04,1.400214e-04,1.399337e-04,1.398333e-04,1.397697e-04,1.395758e-04,1.395670e-04,1.393285e-04,1.392557e-04,1.390571e-04,1.388795e-04,1.387554e-04,1.384532e-04,1.384258e-04,1.380708e-04,1.379820e-04,1.376924e-04,1.374711e-04,1.372928e-04,1.369250e-04,1.368738e-04,1.364372e-04,1.363480e-04,1.359848e-04,1.357438e-04,1.355181e-04,1.351161e-04,1.350386e-04,1.345477e-04,1.344681e-04,1.340466e-04,1.338028e-04,1.335366e-04,1.331229e-04,1.330188e-04,1.324942e-04,1.324309e-04,1.319639e-04,1.317290e-04,1.314288e-04,1.310194e-04,1.308897e-04,1.303474e-04,1.303039e-04,1.298026e-04,1.295842e-04,1.292562e-04,1.288620e-04,1.287086e-04,1.281605e-04,1.281385e-04,1.276124e-04,1.274152e-04,1.270649e-04,1.266932e-04,1.265185e-04,1.259735e-04,1.252571e-04,1.245449e-04,1.238376e-04,1.231359e-04,1.224405e-04,1.217518e-04,1.210704e-04,1.203967e-04,1.197310e-04,1.190738e-04,1.184252e-04,1.177855e-04,1.171550e-04,1.165339e-04,1.159221e-04,1.153199e-04,1.147274e-04,1.141446e-04,1.135716e-04,1.130083e-04,1.124549e-04,1.119112e-04,1.113773e-04,1.108531e-04
0.000000e+00,3.748688e-11,8.795832e-11,3.120281e-10,7.271822e-10,1.076563e-09,2.563013e-09,2.646349e-09,5.473834e-09,6.574184e-09,1.020571e-08,1.428457e-08,1.761730e-08,2.728380e-08,2.825546e-08,4.199908e-08,4.569039e-08,5.818959e-08,6.805650e-08,7.612638e-08,9.294655e-08,9.530057e-08,1.153818e-07,1.194864e-07,1.361510e-07,1.471684e-07,1.574482e-07,1.756490e-07,1.791416e-07,2.011116e-07,2.046448e-07,2.232433e-07,2.338906e-07,2.454235e-07,2.631281e-07,2.675415e-07,2.894895e-07,2.921070e-07,3.111666e-07,3.205945e-07,3.324799e-07,3.483823e-07,3.533448e-07,3.736871e-07,3.752899e-07,3.934429e-07,4.011688e-07,4.125592e-07,4.259024e-07,4.309930e-07,4.487126e-07,4.494062e-07,4.656932e-07,4.716218e-07,4.819184e-07,4.925159e-07,4.973804e-07,5.120773e-07,5.260130e-07,5.303129e-07,5.391962e-07,5.472441e-07,5.516392e-07,5.629022e-07,5.633573e-07,5.743684e-07,5.773275e-07,5.846926e-07,5.905664e-07,5.943515e-07,6.026691e-07,6.033673e-07,6.117633e-07,6.136887e-07,6.195630e-07,6.236792e-07,6.267901e-07,6.326950e-07,6.334682e-07,6.396206e-07,6.407900e-07,6.452702e-07,6.480169e-07,6.504397e-07,6.544271e-07,6.551510e-07,6.594255e-07,6.600703e-07,6.632839e-07,6.649941e-07,6.667463e-07,6.692441e-07,6.698320e-07,6.725596e-07,6.728638e-07,6.749472e-07,6.758945e-07,6.770120e-07,6.783755e-07,6.787704e-07,6.802385e-07,6.803439e-07,6.814314e-07,6.818348e-07,6.823636e-07,6.828813e-07,6.830492e-07,6.835014e-07,6.835148e-07,6.837329e-07,6.837646e-07,6.837559e-07,6.836584e-07,6.835820e-07,6.832223e-07,6.826873e-07,6.824807e-07,6.819871e-07,6.814567e-07,6.811313e-07,6.801718e-07,6.801290e-07,6.789890e-07,6.786463e-07,6.777196e-07,6.768991e-07,6.763287e-07,6.749481e-07,6.748237e-07,6.732119e-07,6.728100e-07,6.715001e-07,6.705003e-07,6.696948e-07,6.680336e-07,6.678021e-07,6.658279e-07,6.654237e-07,6.637777e-07,6.626834e-07,6.616570e-07,6.598246e-07,6.594706e-07,6.572234e-07,6.568585e-07,6.549200e-07,6.537956e-07,6.525646e-07,6.506457e-07,6.501614e-07,6.477143e-07,6.474179e-07,6.452269e-07,6.441206e-07,6.427028e-07,6.407619e-07,6.401453e-07,6.375575e-07,6.373492e-07,6.349424e-07,6.338894e-07,6.323030e-07,6.303889e-07,6.296418e-07,6.269614e-07,6.268538e-07,6.242643e-07,6.232896e-07,6.215526e-07,6.197016e-07,6.188287e-07,6.160945e-07,6.124729e-07,6.088410e-07,6.052027e-07,6.015615e-07,5.979208e-07,5.942836e-07,5.906530e-07,5.870314e-07,5.834213e-07,5.798251e-07,5.762447e-07,5.726821e-07,5.691390e-07,5.656171e-07,5.621178e-07,5.586425e-07,5.551923e-07,5.517685e-07,5.483720e-07,5.450038e-07,5.416646e-07,5.383552e-07,5.350762e-07,5.318283e-07
0.000000e+00,1.148545e-11,6.228314e-11,6.852424e-10,3.055658e-09,5.886430e-09,2.268077e-08,2.376939e-08,6.503913e-08,8.236332e-08,1.413655e-07,2.090063e-07,2.648435e-07,4.306470e-07,4.477463e-07,7.013205e-07,7.736429e-07,1.032971e-06,1.253442e-06,1.443679e-06,1.866520e-06,1.928311e-06,2.478268e-06,2.595254e-06,3.083968e-06,3.417837e-06,3.736057e-06,4.313166e-06,4.425675e-06,5.144413e-06,5.261572e-06,5.884254e-06,6.244627e-06,6.637613e-06,7.245267e-06,7.397428e-06,8.157267e-06,8.248169e-06,8.911404e-06,9.240112e-06,9.654879e-06,1.021018e-05,1.038350e-05,1.109382e-05,1.114976e-05,1.178309e-05,1.205241e-05,1.244921e-05,1.291359e-05,1.309062e-05,1.370627e-05,1.373035e-05,1.429549e-05,1.450108e-05,1.485799e-05,1.522519e-05,1.539372e-05,1.590288e-05,1.638586e-05,1.653496e-05,1.684315e-05,1.712262e-05,1.727538e-05,1.766739e-05,1.768325e-05,1.806750e-05,1.817097e-05,1.842894e-05,1.863518e-05,1.876836e-05,1.906191e-05,1.908661e-05,1.938450e-05,1.945305e-05,1.966285e-05,1.981051e-05,1.992250e-05,2.013614e-05,2.016423e-05,2.038883e-05,2.043176e-05,2.059706e-05,2.069913e-05,2.078968e-05,2.093993e-05,2.096739e-05,2.113091e-05,2.115580e-05,2.128089e-05,2.134827e-05,2.141800e-05,2.151884e-05,2.154286e-05,2.165607e-05,2.166890e-05,2.175821e-05,2.179978e-05,2.184983e-05,2.191276e-05,2.193147e-05,2.200365e-05,2.200903e-05,2.206684e-05,2.208971e-05,2.212153e-05,2.215588e-05,2.216815e-05,2.220713e-05,2.220854e-05,2.223890e-05,2.224864e-05,2.226383e-05,2.227708e-05,2.228231e-05,2.229469e-05,2.230132e-05,2.230228e-05,2.230251e-05,2.230057e-05,2.229858e-05,2.229027e-05,2.228983e-05,2.227654e-05,2.227204e-05,2.225897e-05,2.224649e-05,2.223739e-05,2.221420e-05,2.221203e-05,2.218314e-05,2.217570e-05,2.215093e-05,2.213152e-05,2.211561e-05,2.208212e-05,2.207738e-05,2.203644e-05,2.202794e-05,2.199297e-05,2.196941e-05,2.194713e-05,2.190692e-05,2.189909e-05,2.184901e-05,2.184082e-05,2.179704e-05,2.177146e-05,2.174332e-05,2.169916e-05,2.168797e-05,2.163113e-05,2.162422e-05,2.157292e-05,2.154691e-05,2.151345e-05,2.146749e-05,2.145284e-05,2.139117e-05,2.138620e-05,2.132856e-05,2.130327e-05,2.126509e-05,2.121892e-05,2.120086e-05,2.113594e-05,2.113333e-05,2.107041e-05,2.104669e-05,2.100435e-05,2.095916e-05,2.093783e-05,2.087091e-05,2.078209e-05,2.069282e-05,2.060324e-05,2.051346e-05,2.042359e-05,2.033373e-05,2.024397e-05,2.015440e-05,2.006511e-05,1.997615e-05,1.988760e-05,1.979953e-05,1.971198e-05,1.962501e-05,1.953866e-05,1.945299e-05,1.936802e-05,1.928380e-05,1.920035e-05,1.911771e-05,1.903590e-05,1.895495e-05,1.887487e-05,1.879569e-05
0.000000e+00,1.120701e-11,7.633737e-11,1.327830e-09,8.827428e-09,2.101449e-08,1.364405e-07,1.459448e-07,6.457905e-07,9.262666e-07,2.149806e-06,4.010900e-06,5.883515e-06,1.308271e-05,1.395770e-05,2.970041e-05,3.512650e-05,5.801852e-05,8.183364e-05,1.057638e-04,1.710380e-04,1.820626e-04,2.985641e-04,3.279002e-04,4.695724e-04,5.855657e-04,7.120510e-04,9.851643e-04,1.045504e-03,1.491744e-03,1.575175e-03,2.074578e-03,2.410265e-03,2.819406e-03,3.549721e-03,3.752780e-03,4.901915e-03,5.055612e-03,6.294188e-03,6.990802e-03,7.956620e-03,9.416897e-03,9.915378e-03,1.219528e-02,1.239225e-02,1.481935e-02,1.597009e-02,1.780839e-02,2.019682e-02,2.118060e-02,2.495129e-02,2.511059e-02,2.913259e-02,3.074017e-02,3.373327e-02,3.710412e-02,3.875860e-02,4.421026e-02,5.008635e-02,5.205554e-02,5.638142e-02,6.062619e-02,6.308659e-02,6.989807e-02,7.018964e-02,7.767528e-02,7.983740e-02,8.552529e-02,9.040164e-02,9.371885e-02,1.015404e-01,1.022327e-01,1.110417e-01,1.131968e-01,1.201188e-01,1.253085e-01,1.294355e-01,1.378090e-01,1.389623e-01,1.486687e-01,1.506288e-01,1.585238e-01,1.636969e-01,1.684964e-01,1.769414e-01,1.785554e-01,1.886699e-01,1.902914e-01,1.988097e-01,2.036769e-01,2.089449e-01,2.170306e-01,2.190470e-01,2.290883e-01,2.302879e-01,2.390424e-01,2.433880e-01,2.488841e-01,2.562741e-01,2.585899e-01,2.681376e-01,2.688939e-01,2.775067e-01,2.812000e-01,2.866782e-01,2.931497e-01,2.956350e-01,3.043612e-01,3.047052e-01,3.128429e-01,3.158340e-01,3.210677e-01,3.265082e-01,3.290248e-01,3.367049e-01,3.441003e-01,3.464056e-01,3.512047e-01,3.555964e-01,3.580131e-01,3.642674e-01,3.645219e-01,3.707288e-01,3.724124e-01,3.766325e-01,3.800292e-01,3.822330e-01,3.871183e-01,3.875311e-01,3.925287e-01,3.936837e-01,3.972285e-01,3.997316e-01,4.016340e-01,4.052708e-01,4.057495e-01,4.095798e-01,4.103121e-01,4.131304e-01,4.148681e-01,4.164072e-01,4.189530e-01,4.194168e-01,4.221659e-01,4.225820e-01,4.246616e-01,4.257717e-01,4.269114e-01,4.285393e-01,4.289229e-01,4.307040e-01,4.309027e-01,4.322627e-01,4.328801e-01,4.336070e-01,4.344903e-01,4.347450e-01,4.356849e-01,4.357518e-01,4.364349e-01,4.366834e-01,4.370029e-01,4.373037e-01,4.373970e-01,4.376253e-01,4.376311e-01,4.376955e-01,4.376836e-01,4.376154e-01,4.374789e-01,4.373924e-01,4.370341e-01,4.363663e-01,4.354913e-01,4.344250e-01,4.331824e-01,4.317777e-01,4.302249e-01,4.285370e-01,4.267265e-01,4.248053e-01,4.227845e-01,4.206749e-01,4.184864e-01,4.162284e-01,4.139097e-01,4.115386e-01,4.091230e-01,4.066699e-01,4.041862e-01,4.016781e-01,3.991514e-01,3.966115e-01,3.940633e-01,3.915116e-01,3.889604e-01
0.000000e+00,3.957222e-11,1.663863e-10,1.179630e-09,3.850652e-09,6.437816e-09,1.856369e-08,1.926438e-08,4.304923e-08,5.215174e-08,8.138573e-08,1.130507e-07,1.383715e-07,2.112841e-07,2.186824e-07,3.270202e-07,3.576022e-07,4.664938e-07,5.581693e-07,6.365299e-07,8.077908e-07,8.324480e-07,1.047473e-06,1.092176e-06,1.275093e-06,1.396651e-06,1.510109e-06,1.710353e-06,1.748620e-06,1.987677e-06,2.025815e-06,2.224961e-06,2.337657e-06,2.458574e-06,2.641746e-06,2.686928e-06,2.908683e-06,2.934794e-06,3.122721e-06,3.214213e-06,3.328139e-06,3.478048e-06,3.524228e-06,3.710474e-06,3.724937e-06,3.886537e-06,3.954066e-06,4.052239e-06,4.165102e-06,4.207541e-06,4.352523e-06,4.358110e-06,4.487367e-06,4.533478e-06,4.612338e-06,4.691842e-06,4.727761e-06,4.834010e-06,4.931497e-06,4.960912e-06,5.020652e-06,5.073542e-06,5.101916e-06,5.172922e-06,5.175737e-06,5.242558e-06,5.260072e-06,5.302811e-06,5.335987e-06,5.356918e-06,5.401618e-06,5.405286e-06,5.448302e-06,5.457871e-06,5.486337e-06,5.505594e-06,5.519744e-06,5.545577e-06,5.548853e-06,5.573972e-06,5.578543e-06,5.595390e-06,5.605155e-06,5.613377e-06,5.626022e-06,5.628188e-06,5.640061e-06,5.641703e-06,5.649215e-06,5.652703e-06,5.655852e-06,5.659479e-06,5.660164e-06,5.662329e-06,5.662453e-06,5.662511e-06,5.662002e-06,5.660861e-06,5.658470e-06,5.657522e-06,5.652624e-06,5.652169e-06,5.646291e-06,5.643381e-06,5.638634e-06,5.632362e-06,5.629760e-06,5.619766e-06,5.619344e-06,5.608742e-06,5.604538e-06,5.596773e-06,5.588134e-06,5.583936e-06,5.570305e-06,5.555948e-06,5.551210e-06,5.540926e-06,5.530990e-06,5.525298e-06,5.509776e-06,5.509119e-06,5.492439e-06,5.487686e-06,5.475306e-06,5.464826e-06,5.457762e-06,5.441295e-06,5.439849e-06,5.421605e-06,5.417181e-06,5.403065e-06,5.392566e-06,5.384263e-06,5.367523e-06,5.365228e-06,5.345990e-06,5.342120e-06,5.326575e-06,5.316418e-06,5.307009e-06,5.290473e-06,5.287314e-06,5.267513e-06,5.264336e-06,5.247625e-06,5.238054e-06,5.227670e-06,5.211670e-06,5.207666e-06,5.187628e-06,5.185222e-06,5.167572e-06,5.158745e-06,5.147512e-06,5.132273e-06,5.127462e-06,5.107434e-06,5.105833e-06,5.087440e-06,5.079454e-06,5.067490e-06,5.053159e-06,5.047595e-06,5.027763e-06,5.026972e-06,5.008005e-06,5.000911e-06,4.988327e-06,4.974996e-06,4.968737e-06,4.949243e-06,4.923667e-06,4.898283e-06,4.873102e-06,4.848135e-06,4.823393e-06,4.798884e-06,4.774616e-06,4.750597e-06,4.726833e-06,4.703329e-06,4.680090e-06,4.657120e-06,4.634423e-06,4.612002e-06,4.589859e-06,4.567996e-06,4.546415e-06,4.525117e-06,4.504102e-06,4.483372e-06,4.462926e-06,4.442764e-06,4.422885e-06,4.403290e-06
0.000000e+00,3.409062e-12,2.035519e-11,2.699824e-10,1.406664e-09,2.934693e-09,1.365711e-08,1.441600e-08,4.655016e-08,6.148238e-08,1.167711e-07,1.866383e-07,2.484215e-07,4.488606e-07,4.707465e-07,8.158519e-07,9.201482e-07,1.309956e-06,1.656084e-06,1.962259e-06,2.657408e-06,2.759911e-06,3.672639e-06,3.865676e-06,4.662454e-06,5.195155e-06,5.692434e-06,6.565842e-06,6.731691e-06,7.756732e-06,7.918217e-06,8.750769e-06,9.213336e-06,9.702224e-06,1.042738e-05,1.060328e-05,1.144880e-05,1.154636e-05,1.223553e-05,1.256257e-05,1.296172e-05,1.347278e-05,1.362685e-05,1.423138e-05,1.427717e-05,1.477671e-05,1.497871e-05,1.526493e-05,1.558257e-05,1.569872e-05,1.608122e-05,1.609550e-05,1.641582e-05,1.652524e-05,1.670612e-05,1.688005e-05,1.695572e-05,1.716819e-05,1.734698e-05,1.739762e-05,1.749536e-05,1.757580e-05,1.761641e-05,1.770954e-05,1.771296e-05,1.778764e-05,1.780495e-05,1.784281e-05,1.786746e-05,1.788063e-05,1.790176e-05,1.790302e-05,1.791173e-05,1.791195e-05,1.790828e-05,1.790157e-05,1.789407e-05,1.787361e-05,1.787029e-05,1.783803e-05,1.783064e-05,1.779824e-05,1.777486e-05,1.775177e-05,1.770814e-05,1.769938e-05,1.764173e-05,1.763206e-05,1.757941e-05,1.754800e-05,1.751295e-05,1.745712e-05,1.744283e-05,1.736945e-05,1.736045e-05,1.729321e-05,1.725884e-05,1.721444e-05,1.715306e-05,1.713343e-05,1.705048e-05,1.704376e-05,1.696581e-05,1.693152e-05,1.687967e-05,1.681684e-05,1.679225e-05,1.670373e-05,1.670017e-05,1.661429e-05,1.658190e-05,1.652408e-05,1.646237e-05,1.643324e-05,1.634190e-05,1.625017e-05,1.622075e-05,1.615816e-05,1.609918e-05,1.606597e-05,1.597739e-05,1.597370e-05,1.588141e-05,1.585558e-05,1.578920e-05,1.573394e-05,1.569713e-05,1.561261e-05,1.560527e-05,1.551367e-05,1.549173e-05,1.542239e-05,1.537143e-05,1.533148e-05,1.525182e-05,1.524099e-05,1.515095e-05,1.513300e-05,1.506141e-05,1.501506e-05,1.497241e-05,1.489809e-05,1.488398e-05,1.479614e-05,1.478214e-05,1.470892e-05,1.466728e-05,1.462235e-05,1.455358e-05,1.453645e-05,1.445124e-05,1.444107e-05,1.436675e-05,1.432980e-05,1.428298e-05,1.421980e-05,1.419995e-05,1.411767e-05,1.411112e-05,1.403616e-05,1.400377e-05,1.395543e-05,1.389779e-05,1.387548e-05,1.379633e-05,1.379318e-05,1.371798e-05,1.368997e-05,1.364043e-05,1.358816e-05,1.356370e-05,1.348777e-05,1.338881e-05,1.329128e-05,1.319517e-05,1.310050e-05,1.300726e-05,1.291544e-05,1.282504e-05,1.273605e-05,1.264847e-05,1.256229e-05,1.247749e-05,1.239407e-05,1.231202e-05,1.223131e-05,1.215194e-05,1.207390e-05,1.199716e-05,1.192172e-05,1.184756e-05,1.177466e-05,1.170301e-05,1.163258e-05,1.156337e-05,1.149536e-05
0.000000e+00,8.483176e-11,2.261639e-10,9.141794e-10,2.251759e-09,3.393139e-09,8.245645e-09,8.515843e-09,1.753700e-08,2.097827e-08,3.213366e-08,4.442258e-08,5.436696e-08,8.313391e-08,8.603530e-08,1.274813e-07,1.387549e-07,1.773590e-07,2.082601e-07,2.337813e-07,2.876051e-07,2.951994e-07,3.605219e-07,3.739823e-07,4.289641e-07,4.655769e-07,4.999046e-07,5.610261e-07,5.727993e-07,6.471392e-07,6.591347e-07,7.224335e-07,7.587738e-07,7.982079e-07,8.588681e-07,8.740099e-07,9.494139e-07,9.584166e-07,1.024028e-06,1.056517e-06,1.097502e-06,1.152387e-06,1.169526e-06,1.239836e-06,1.245380e-06,1.308211e-06,1.334978e-06,1.374473e-06,1.420793e-06,1.438481e-06,1.500133e-06,1.502549e-06,1.559355e-06,1.580071e-06,1.616104e-06,1.653270e-06,1.670361e-06,1.722123e-06,1.771409e-06,1.786663e-06,1.818250e-06,1.846965e-06,1.862689e-06,1.903137e-06,1.904776e-06,1.944572e-06,1.955313e-06,1.982142e-06,2.003643e-06,2.017553e-06,2.048285e-06,2.050876e-06,2.082183e-06,2.089405e-06,2.111548e-06,2.127172e-06,2.139044e-06,2.161753e-06,2.164744e-06,2.188720e-06,2.193314e-06,2.211042e-06,2.222019e-06,2.231780e-06,2.248026e-06,2.251002e-06,2.268774e-06,2.271487e-06,2.285159e-06,2.292550e-06,2.300220e-06,2.311356e-06,2.314017e-06,2.326608e-06,2.328041e-06,2.338050e-06,2.342733e-06,2.348395e-06,2.355556e-06,2.357696e-06,2.366003e-06,2.366626e-06,2.373364e-06,2.376054e-06,2.379826e-06,2.383946e-06,2.385432e-06,2.390226e-06,2.390402e-06,2.394248e-06,2.395515e-06,2.397537e-06,2.399375e-06,2.400131e-06,2.402066e-06,2.403376e-06,2.403668e-06,2.404094e-06,2.404257e-06,2.404251e-06,2.403903e-06,2.403878e-06,2.403004e-06,2.402673e-06,2.401656e-06,2.400630e-06,2.399860e-06,2.397834e-06,2.397642e-06,2.395025e-06,2.394341e-06,2.392033e-06,2.390202e-06,2.388688e-06,2.385468e-06,2.385010e-06,2.381019e-06,2.380185e-06,2.376735e-06,2.374398e-06,2.372176e-06,2.368146e-06,2.367359e-06,2.362300e-06,2.361469e-06,2.357016e-06,2.354403e-06,2.351521e-06,2.346983e-06,2.345829e-06,2.339956e-06,2.339239e-06,2.333912e-06,2.331203e-06,2.327712e-06,2.322902e-06,2.321366e-06,2.314886e-06,2.314362e-06,2.308282e-06,2.305609e-06,2.301565e-06,2.296665e-06,2.294745e-06,2.287830e-06,2.287552e-06,2.280830e-06,2.278290e-06,2.273752e-06,2.268899e-06,2.266605e-06,2.259396e-06,2.249798e-06,2.240120e-06,2.230376e-06,2.220581e-06,2.210746e-06,2.200883e-06,2.191004e-06,2.181118e-06,2.171235e-06,2.161363e-06,2.151511e-06,2.141687e-06,2.131897e-06,2.122147e-06,2.112444e-06,2.102793e-06,2.093199e-06,2.083667e-06,2.074202e-06,2.064806e-06,2.055484e-06,2.046238e-06,2.037073e-06,2.027990e-06
0.000000e+00,1.667682e-10,4.324016e-10,1.696780e-09,4.117410e-09,6.164690e-09,1.475274e-08,1.522638e-08,3.081380e-08,3.665819e-08,5.529387e-08,7.540360e-08,9.146300e-08,1.375035e-07,1.421469e-07,2.091750e-07,2.277075e-07,2.921919e-07,3.447788e-07,3.886844e-07,4.821271e-07,4.953645e-07,6.093475e-07,6.328171e-07,7.284499e-07,7.918506e-07,8.510466e-07,9.557958e-07,9.758729e-07,1.101890e-06,1.122102e-06,1.228211e-06,1.288723e-06,1.354066e-06,1.453960e-06,1.478783e-06,1.601785e-06,1.616405e-06,1.722577e-06,1.774918e-06,1.840751e-06,1.928604e-06,1.955972e-06,2.067974e-06,2.076788e-06,2.176551e-06,2.218988e-06,2.281552e-06,2.354876e-06,2.382869e-06,2.480435e-06,2.484260e-06,2.574216e-06,2.607049e-06,2.664205e-06,2.723238e-06,2.750416e-06,2.832883e-06,2.911655e-06,2.936091e-06,2.986792e-06,3.033003e-06,3.058364e-06,3.123791e-06,3.126448e-06,3.191126e-06,3.208637e-06,3.252483e-06,3.287741e-06,3.310609e-06,3.361308e-06,3.365593e-06,3.417528e-06,3.429549e-06,3.466505e-06,3.492675e-06,3.512617e-06,3.550898e-06,3.555955e-06,3.596610e-06,3.604427e-06,3.634673e-06,3.653471e-06,3.670233e-06,3.698233e-06,3.703377e-06,3.734192e-06,3.738912e-06,3.762763e-06,3.775703e-06,3.789171e-06,3.808795e-06,3.813498e-06,3.835823e-06,3.838372e-06,3.856224e-06,3.864610e-06,3.874775e-06,3.887683e-06,3.891550e-06,3.906621e-06,3.907755e-06,3.920055e-06,3.924986e-06,3.931921e-06,3.939531e-06,3.942285e-06,3.951209e-06,3.951537e-06,3.958755e-06,3.961146e-06,3.964983e-06,3.968495e-06,3.969951e-06,3.973714e-06,3.976327e-06,3.976928e-06,3.977841e-06,3.978258e-06,3.978308e-06,3.977817e-06,3.977777e-06,3.976294e-06,3.975714e-06,3.973905e-06,3.972056e-06,3.970655e-06,3.966940e-06,3.966585e-06,3.961737e-06,3.960462e-06,3.956150e-06,3.952713e-06,3.949862e-06,3.943779e-06,3.942910e-06,3.935330e-06,3.933741e-06,3.927154e-06,3.922679e-06,3.918417e-06,3.910666e-06,3.909149e-06,3.899380e-06,3.897773e-06,3.889141e-06,3.884066e-06,3.878458e-06,3.869611e-06,3.867359e-06,3.855869e-06,3.854465e-06,3.844014e-06,3.838688e-06,3.831817e-06,3.822333e-06,3.819301e-06,3.806488e-06,3.805451e-06,3.793399e-06,3.788090e-06,3.780054e-06,3.770298e-06,3.766472e-06,3.752673e-06,3.752117e-06,3.738673e-06,3.733588e-06,3.724490e-06,3.714749e-06,3.710140e-06,3.695639e-06,3.676289e-06,3.656735e-06,3.637005e-06,3.617128e-06,3.597132e-06,3.577042e-06,3.556882e-06,3.536674e-06,3.516438e-06,3.496196e-06,3.475964e-06,3.455761e-06,3.435601e-06,3.415500e-06,3.395472e-06,3.375530e-06,3.355685e-06,3.335949e-06,3.316331e-06,3.296842e-06,3.277490e-06,3.258282e-06,3.239227e-06,3.220331e-06
0.000000e+00,1.005416e-13,6.704934e-13,1.115866e-11,7.125010e-11,1.659121e-10,1.018090e-09,1.086543e-09,4.554163e-09,6.439549e-09,1.443520e-08,2.621837e-08,3.781444e-08,8.106522e-08,8.622140e-08,1.766074e-07,2.069471e-07,3.316142e-07,4.568038e-07,5.789645e-07,8.979818e-07,9.501685e-07,1.478871e-06,1.606520e-06,2.199118e-06,2.660327e-06,3.143714e-06,4.132692e-06,4.342777e-06,5.822527e-06,6.086837e-06,7.604323e-06,8.571734e-06,9.703951e-06,1.161925e-05,1.213115e-05,1.488938e-05,1.524254e-05,1.797577e-05,1.943565e-05,2.138136e-05,2.417420e-05,2.509139e-05,2.908588e-05,2.941702e-05,3.334026e-05,3.510851e-05,3.782607e-05,4.118157e-05,4.251181e-05,4.736374e-05,4.756078e-05,5.234670e-05,5.416575e-05,5.742489e-05,6.091423e-05,6.256264e-05,6.772504e-05,7.287855e-05,7.452056e-05,7.799147e-05,8.122872e-05,8.303433e-05,8.778454e-05,8.798020e-05,9.280492e-05,9.413116e-05,9.748718e-05,1.002204e-04,1.020086e-04,1.060130e-04,1.063538e-04,1.105100e-04,1.114783e-04,1.144675e-04,1.165940e-04,1.182188e-04,1.213455e-04,1.217591e-04,1.250855e-04,1.257250e-04,1.281973e-04,1.297308e-04,1.310954e-04,1.333665e-04,1.337824e-04,1.362621e-04,1.366400e-04,1.385395e-04,1.395625e-04,1.406206e-04,1.421485e-04,1.425119e-04,1.442208e-04,1.444139e-04,1.457550e-04,1.463767e-04,1.471225e-04,1.480554e-04,1.483316e-04,1.493906e-04,1.494691e-04,1.503079e-04,1.506370e-04,1.510917e-04,1.515780e-04,1.517502e-04,1.522912e-04,1.523106e-04,1.527226e-04,1.528525e-04,1.530518e-04,1.532210e-04,1.532860e-04,1.534319e-04,1.534963e-04,1.535007e-04,1.534852e-04,1.534413e-04,1.534047e-04,1.532671e-04,1.532601e-04,1.530569e-04,1.529902e-04,1.527999e-04,1.526219e-04,1.524938e-04,1.521725e-04,1.521428e-04,1.517511e-04,1.516514e-04,1.513223e-04,1.510673e-04,1.508600e-04,1.504281e-04,1.503675e-04,1.498477e-04,1.497408e-04,1.493036e-04,1.490119e-04,1.487376e-04,1.482472e-04,1.481523e-04,1.475499e-04,1.474520e-04,1.469324e-04,1.466312e-04,1.463017e-04,1.457888e-04,1.456596e-04,1.450077e-04,1.449289e-04,1.443475e-04,1.440547e-04,1.436803e-04,1.431695e-04,1.430075e-04,1.423302e-04,1.422759e-04,1.416495e-04,1.413765e-04,1.409663e-04,1.404734e-04,1.402816e-04,1.395961e-04,1.395687e-04,1.389107e-04,1.386641e-04,1.382260e-04,1.377612e-04,1.375427e-04,1.368613e-04,1.359658e-04,1.350756e-04,1.341919e-04,1.333153e-04,1.324468e-04,1.315869e-04,1.307363e-04,1.298953e-04,1.290645e-04,1.282443e-04,1.274349e-04,1.266367e-04,1.258498e-04,1.250744e-04,1.243107e-04,1.235588e-04,1.228188e-04,1.220907e-04,1.213745e-04,1.206703e-04,1.199780e-04,1.192977e-04,1.186292e-04,1.179725e-04
0.000000e+00,3.278205e-12,1.885809e-11,2.324689e-10,1.138011e-09,2.297902e-09,9.867449e-09,1.038271e-08,3.106305e-08,4.019214e-08,7.247159e-08,1.110080e-07,1.436749e-07,2.438800e-07,2.544378e-07,4.151162e-07,4.622835e-07,6.362072e-07,7.899841e-07,9.270061e-07,1.245309e-06,1.293319e-06,1.735396e-06,1.832503e-06,2.247703e-06,2.538773e-06,2.820674e-06,3.340674e-06,3.443130e-06,4.104111e-06,4.212766e-06,4.793756e-06,5.132405e-06,5.503501e-06,6.080774e-06,6.225965e-06,6.954747e-06,7.042354e-06,7.684280e-06,8.004238e-06,8.409715e-06,8.955705e-06,9.126864e-06,9.832159e-06,9.887977e-06,1.052261e-05,1.079407e-05,1.119577e-05,1.166862e-05,1.184968e-05,1.248282e-05,1.250770e-05,1.309410e-05,1.330864e-05,1.368272e-05,1.406979e-05,1.424821e-05,1.479034e-05,1.530908e-05,1.547016e-05,1.580456e-05,1.610959e-05,1.627707e-05,1.670940e-05,1.672697e-05,1.715472e-05,1.727060e-05,1.756087e-05,1.779442e-05,1.794598e-05,1.828222e-05,1.831066e-05,1.865554e-05,1.873543e-05,1.898126e-05,1.915554e-05,1.928848e-05,1.954405e-05,1.957785e-05,1.985003e-05,1.990246e-05,2.010565e-05,2.023224e-05,2.034535e-05,2.053486e-05,2.056977e-05,2.077949e-05,2.081173e-05,2.097514e-05,2.106421e-05,2.115727e-05,2.129364e-05,2.132647e-05,2.148327e-05,2.150128e-05,2.162821e-05,2.168836e-05,2.176181e-05,2.185606e-05,2.188456e-05,2.199693e-05,2.200549e-05,2.209941e-05,2.213773e-05,2.219243e-05,2.225380e-05,2.227643e-05,2.235182e-05,2.235466e-05,2.241901e-05,2.244126e-05,2.247837e-05,2.251446e-05,2.253028e-05,2.257509e-05,2.261316e-05,2.262396e-05,2.264479e-05,2.266182e-05,2.267032e-05,2.268936e-05,2.269004e-05,2.270425e-05,2.270728e-05,2.271323e-05,2.271621e-05,2.271723e-05,2.271675e-05,2.271652e-05,2.271135e-05,2.270947e-05,2.270194e-05,2.269491e-05,2.268853e-05,2.267359e-05,2.267133e-05,2.265055e-05,2.264598e-05,2.262638e-05,2.261254e-05,2.259902e-05,2.257370e-05,2.256864e-05,2.253543e-05,2.252986e-05,2.249954e-05,2.248141e-05,2.246114e-05,2.242870e-05,2.242037e-05,2.237738e-05,2.237208e-05,2.233231e-05,2.231186e-05,2.228530e-05,2.224834e-05,2.223646e-05,2.218592e-05,2.218181e-05,2.213380e-05,2.211253e-05,2.208020e-05,2.204076e-05,2.202523e-05,2.196899e-05,2.196672e-05,2.191158e-05,2.189064e-05,2.185308e-05,2.181273e-05,2.179359e-05,2.173318e-05,2.165217e-05,2.156988e-05,2.148647e-05,2.140208e-05,2.131687e-05,2.123095e-05,2.114447e-05,2.105752e-05,2.097022e-05,2.088268e-05,2.079498e-05,2.070721e-05,2.061946e-05,2.053180e-05,2.044430e-05,2.035703e-05,2.027005e-05,2.018342e-05,2.009718e-05,2.001140e-05,1.992610e-05,1.984135e-05,1.975716e-05,1.967358e-05
0.000000e+00,1.260097e-11,2.907775e-11,1.007861e-10,2.299591e-10,3.356795e-10,7.606898e-10,7.834861e-10,1.507046e-09,1.767395e-09,2.567420e-09,3.390465e-09,4.025017e-09,5.767973e-09,5.939262e-09,8.364880e-09,9.028124e-09,1.134266e-08,1.325810e-08,1.488689e-08,1.846035e-08,1.897905e-08,2.357526e-08,2.455018e-08,2.862015e-08,3.140185e-08,3.405683e-08,3.888635e-08,3.983064e-08,4.588941e-08,4.688189e-08,5.218307e-08,5.527317e-08,5.866317e-08,6.395001e-08,6.528296e-08,7.199755e-08,7.280763e-08,7.876439e-08,8.174799e-08,8.554365e-08,9.068147e-08,9.229859e-08,9.899578e-08,9.952814e-08,1.056054e-07,1.082187e-07,1.121011e-07,1.166947e-07,1.184603e-07,1.246637e-07,1.249084e-07,1.306953e-07,1.328221e-07,1.365422e-07,1.404071e-07,1.421940e-07,1.476431e-07,1.528841e-07,1.545166e-07,1.579134e-07,1.610202e-07,1.627292e-07,1.671513e-07,1.673312e-07,1.717204e-07,1.729114e-07,1.758986e-07,1.783055e-07,1.798689e-07,1.833409e-07,1.836348e-07,1.872005e-07,1.880270e-07,1.905707e-07,1.923745e-07,1.937505e-07,1.963954e-07,1.967452e-07,1.995604e-07,2.001024e-07,2.022018e-07,2.035086e-07,2.046752e-07,2.066274e-07,2.069865e-07,2.091414e-07,2.094721e-07,2.111459e-07,2.120563e-07,2.130057e-07,2.143932e-07,2.147265e-07,2.163139e-07,2.164957e-07,2.177735e-07,2.183766e-07,2.191106e-07,2.200481e-07,2.203305e-07,2.214383e-07,2.215223e-07,2.224392e-07,2.228106e-07,2.233378e-07,2.239242e-07,2.241390e-07,2.248473e-07,2.248738e-07,2.254672e-07,2.256696e-07,2.260030e-07,2.263214e-07,2.264587e-07,2.268385e-07,2.271461e-07,2.272299e-07,2.273853e-07,2.275042e-07,2.275598e-07,2.276694e-07,2.276728e-07,2.277279e-07,2.277333e-07,2.277281e-07,2.277032e-07,2.276766e-07,2.275860e-07,2.275763e-07,2.274300e-07,2.273884e-07,2.272406e-07,2.271166e-07,2.270105e-07,2.267764e-07,2.267423e-07,2.264384e-07,2.263736e-07,2.261011e-07,2.259133e-07,2.257326e-07,2.254005e-07,2.253350e-07,2.249104e-07,2.248400e-07,2.244605e-07,2.242362e-07,2.239873e-07,2.235931e-07,2.234925e-07,2.229779e-07,2.229149e-07,2.224449e-07,2.222050e-07,2.218952e-07,2.214670e-07,2.213301e-07,2.207510e-07,2.207042e-07,2.201594e-07,2.199195e-07,2.195563e-07,2.191157e-07,2.189431e-07,2.183208e-07,2.182957e-07,2.176905e-07,2.174618e-07,2.170532e-07,2.166163e-07,2.164099e-07,2.157615e-07,2.148993e-07,2.140316e-07,2.131601e-07,2.122865e-07,2.114122e-07,2.105386e-07,2.096669e-07,2.087984e-07,2.079342e-07,2.070751e-07,2.062222e-07,2.053762e-07,2.045378e-07,2.037079e-07,2.028869e-07,2.020754e-07,2.012740e-07,2.004831e-07,1.997030e-07,1.989341e-07,1.981767e-07,1.974310e-07,1.966974e-07,1.959758e-07
0.000000e+00,1.125584e-10,2.744762e-10,1.009066e-09,2.368391e-09,3.495003e-09,8.080732e-09,8.328323e-09,1.623655e-08,1.909935e-08,2.793535e-08,3.707281e-08,4.414364e-08,6.366117e-08,6.558610e-08,9.296547e-08,1.004904e-07,1.268797e-07,1.488721e-07,1.676817e-07,2.092802e-07,2.153537e-07,2.695105e-07,2.810681e-07,3.295373e-07,3.628416e-07,3.947427e-07,4.530183e-07,4.644462e-07,5.380063e-07,5.500929e-07,6.148185e-07,6.526740e-07,6.943089e-07,7.594604e-07,7.759294e-07,8.591564e-07,8.692277e-07,9.434924e-07,9.808297e-07,1.028469e-06,1.093210e-06,1.113649e-06,1.198633e-06,1.205412e-06,1.283056e-06,1.316593e-06,1.366592e-06,1.426026e-06,1.448953e-06,1.529891e-06,1.533095e-06,1.609190e-06,1.637301e-06,1.686670e-06,1.738241e-06,1.762183e-06,1.835609e-06,1.906853e-06,1.929178e-06,1.975844e-06,2.018793e-06,2.042534e-06,2.104359e-06,2.106888e-06,2.168892e-06,2.185831e-06,2.228542e-06,2.263205e-06,2.285846e-06,2.336511e-06,2.340824e-06,2.393503e-06,2.405807e-06,2.443915e-06,2.471171e-06,2.492101e-06,2.532698e-06,2.538104e-06,2.581973e-06,2.590495e-06,2.623757e-06,2.644679e-06,2.663511e-06,2.695374e-06,2.701287e-06,2.737143e-06,2.742705e-06,2.771134e-06,2.786804e-06,2.803317e-06,2.827801e-06,2.833750e-06,2.862489e-06,2.865826e-06,2.889590e-06,2.901010e-06,2.915110e-06,2.933480e-06,2.939102e-06,2.961623e-06,2.963362e-06,2.982724e-06,2.990779e-06,3.002458e-06,3.015849e-06,3.020877e-06,3.038030e-06,3.038691e-06,3.053967e-06,3.059416e-06,3.068735e-06,3.078134e-06,3.082381e-06,3.094951e-06,3.106487e-06,3.109968e-06,3.117034e-06,3.123284e-06,3.126633e-06,3.134993e-06,3.135323e-06,3.143146e-06,3.145186e-06,3.150138e-06,3.153949e-06,3.156336e-06,3.161368e-06,3.161776e-06,3.166493e-06,3.167521e-06,3.170519e-06,3.172485e-06,3.173888e-06,3.176333e-06,3.176630e-06,3.178775e-06,3.179135e-06,3.180353e-06,3.180959e-06,3.181392e-06,3.181868e-06,3.181918e-06,3.181959e-06,3.181922e-06,3.181538e-06,3.181180e-06,3.180681e-06,3.179697e-06,3.179410e-06,3.177749e-06,3.177525e-06,3.175719e-06,3.174714e-06,3.173340e-06,3.171311e-06,3.170633e-06,3.167617e-06,3.167363e-06,3.164310e-06,3.162910e-06,3.160731e-06,3.157994e-06,3.156896e-06,3.152822e-06,3.152654e-06,3.148524e-06,3.146925e-06,3.144018e-06,3.140842e-06,3.139317e-06,3.134437e-06,3.127741e-06,3.120784e-06,3.113592e-06,3.106191e-06,3.098607e-06,3.090860e-06,3.082974e-06,3.074968e-06,3.066861e-06,3.058672e-06,3.050416e-06,3.042109e-06,3.033767e-06,3.025402e-06,3.017027e-06,3.008655e-06,3.000296e-06,2.991960e-06,2.983657e-06,2.975395e-06,2.967184e-06,2.959029e-06,2.950938e-06,2.942918e-06
0.000000e+00,7.614831e-12,3.449618e-11,2.758594e-10,9.734612e-10,1.682154e-09,5.160032e-09,5.365138e-09,1.242610e-08,1.514994e-08,2.389244e-08,3.329345e-08,4.073777e-08,6.179196e-08,6.389861e-08,9.426130e-08,1.027088e-07,1.325827e-07,1.577096e-07,1.793267e-07,2.274453e-07,2.344995e-07,2.976422e-07,3.111634e-07,3.679987e-07,4.071493e-07,4.447064e-07,5.134159e-07,5.269008e-07,6.137438e-07,6.280155e-07,7.044223e-07,7.490765e-07,7.981421e-07,8.747860e-07,8.941281e-07,9.916298e-07,1.003397e-06,1.089931e-06,1.133262e-06,1.188359e-06,1.262866e-06,1.286295e-06,1.383177e-06,1.390867e-06,1.478512e-06,1.516114e-06,1.571868e-06,1.637654e-06,1.662883e-06,1.751257e-06,1.754734e-06,1.836751e-06,1.866786e-06,1.919180e-06,1.973412e-06,1.998413e-06,2.074360e-06,2.146972e-06,2.169500e-06,2.216234e-06,2.258808e-06,2.282158e-06,2.342340e-06,2.344782e-06,2.404162e-06,2.420216e-06,2.460369e-06,2.492604e-06,2.513487e-06,2.559706e-06,2.563608e-06,2.610833e-06,2.621747e-06,2.655265e-06,2.678967e-06,2.697011e-06,2.731612e-06,2.736180e-06,2.772880e-06,2.779934e-06,2.807221e-06,2.824180e-06,2.839306e-06,2.864592e-06,2.869241e-06,2.897128e-06,2.901406e-06,2.923064e-06,2.934849e-06,2.947146e-06,2.965139e-06,2.969466e-06,2.990111e-06,2.992480e-06,3.009167e-06,3.017069e-06,3.026714e-06,3.039089e-06,3.042830e-06,3.057590e-06,3.058714e-06,3.071064e-06,3.076109e-06,3.083320e-06,3.091427e-06,3.094423e-06,3.104433e-06,3.104812e-06,3.113410e-06,3.116399e-06,3.121408e-06,3.126315e-06,3.128481e-06,3.134679e-06,3.140049e-06,3.141600e-06,3.144637e-06,3.147182e-06,3.148485e-06,3.151522e-06,3.151635e-06,3.154126e-06,3.154711e-06,3.155994e-06,3.156831e-06,3.157275e-06,3.157962e-06,3.158001e-06,3.158204e-06,3.158178e-06,3.157914e-06,3.157547e-06,3.157159e-06,3.156132e-06,3.155967e-06,3.154362e-06,3.153994e-06,3.152370e-06,3.151188e-06,3.150013e-06,3.147767e-06,3.147313e-06,3.144290e-06,3.143778e-06,3.140965e-06,3.139268e-06,3.137357e-06,3.134277e-06,3.133482e-06,3.129358e-06,3.128847e-06,3.125001e-06,3.123014e-06,3.120426e-06,3.116812e-06,3.115647e-06,3.110678e-06,3.110273e-06,3.105532e-06,3.103427e-06,3.100222e-06,3.096303e-06,3.094758e-06,3.089153e-06,3.088926e-06,3.083417e-06,3.081321e-06,3.077559e-06,3.073511e-06,3.071589e-06,3.065517e-06,3.057358e-06,3.049054e-06,3.040622e-06,3.032078e-06,3.023436e-06,3.014712e-06,3.005918e-06,2.997066e-06,2.988168e-06,2.979235e-06,2.970277e-06,2.961302e-06,2.952320e-06,2.943338e-06,2.934364e-06,2.925406e-06,2.916468e-06,2.907558e-06,2.898680e-06,2.889841e-06,2.881045e-06,2.872295e-06,2.863597e-06,2.854955e-06
0.000000e+00,9.547947e-14,6.343785e-13,1.047547e-11,6.636118e-11,1.537926e-10,9.304464e-10,9.923679e-10,4.086385e-09,5.745993e-09,1.268026e-08,2.269929e-08,3.240282e-08,6.774625e-08,7.189555e-08,1.432954e-07,1.668631e-07,2.624641e-07,3.571754e-07,4.488356e-07,6.861891e-07,7.248396e-07,1.114989e-06,1.208957e-06,1.644793e-06,1.983943e-06,2.339631e-06,3.068589e-06,3.223697e-06,4.319073e-06,4.515272e-06,5.644954e-06,6.368006e-06,7.217028e-06,8.659968e-06,9.047022e-06,1.114241e-05,1.141188e-05,1.350625e-05,1.463119e-05,1.613718e-05,1.831197e-05,1.902952e-05,2.217351e-05,2.243551e-05,2.555561e-05,2.697145e-05,2.915897e-05,3.187939e-05,3.296382e-05,3.694806e-05,3.711083e-05,4.108775e-05,4.261126e-05,4.535768e-05,4.832239e-05,4.973189e-05,5.418421e-05,5.868868e-05,6.013697e-05,6.321999e-05,6.612284e-05,6.775383e-05,7.208735e-05,7.226722e-05,7.673871e-05,7.798048e-05,8.114858e-05,8.375741e-05,8.547897e-05,8.937901e-05,8.971395e-05,9.383956e-05,9.481205e-05,9.784375e-05,1.000292e-04,1.017164e-04,1.050089e-04,1.054492e-04,1.090355e-04,1.097347e-04,1.124704e-04,1.141955e-04,1.157503e-04,1.183841e-04,1.188732e-04,1.218380e-04,1.222977e-04,1.246449e-04,1.259365e-04,1.272951e-04,1.293037e-04,1.297905e-04,1.321336e-04,1.324047e-04,1.343278e-04,1.352471e-04,1.363768e-04,1.378395e-04,1.382847e-04,1.400560e-04,1.401919e-04,1.416953e-04,1.423151e-04,1.432075e-04,1.442204e-04,1.445976e-04,1.458706e-04,1.459191e-04,1.470315e-04,1.474230e-04,1.480855e-04,1.487435e-04,1.490374e-04,1.498921e-04,1.506545e-04,1.508797e-04,1.513292e-04,1.517172e-04,1.519208e-04,1.524147e-04,1.524337e-04,1.528721e-04,1.529821e-04,1.532401e-04,1.534288e-04,1.535416e-04,1.537636e-04,1.537805e-04,1.539603e-04,1.539951e-04,1.540845e-04,1.541310e-04,1.541564e-04,1.541790e-04,1.541792e-04,1.541558e-04,1.541458e-04,1.540891e-04,1.540382e-04,1.539818e-04,1.538622e-04,1.538365e-04,1.536556e-04,1.536236e-04,1.534415e-04,1.533276e-04,1.531964e-04,1.529793e-04,1.529223e-04,1.526212e-04,1.525833e-04,1.522949e-04,1.521439e-04,1.519454e-04,1.516651e-04,1.515741e-04,1.511828e-04,1.511507e-04,1.507729e-04,1.506040e-04,1.503458e-04,1.500284e-04,1.499028e-04,1.494453e-04,1.494267e-04,1.489743e-04,1.488017e-04,1.484911e-04,1.481561e-04,1.479967e-04,1.474920e-04,1.468119e-04,1.461176e-04,1.454110e-04,1.446939e-04,1.439680e-04,1.432346e-04,1.424951e-04,1.417509e-04,1.410030e-04,1.402526e-04,1.395006e-04,1.387480e-04,1.379955e-04,1.372440e-04,1.364942e-04,1.357467e-04,1.350021e-04,1.342609e-04,1.335237e-04,1.327908e-04,1.320628e-04,1.313399e-04,1.306226e-04,1.299111e-04
0.000000e+00,8.322061e-11,3.414207e-10,2.330749e-09,7.433873e-09,1.231029e-08,3.487271e-08,3.616875e-08,7.995575e-08,9.665400e-08,1.501916e-07,2.080872e-07,2.543059e-07,3.866240e-07,3.999531e-07,5.920104e-07,6.449939e-07,8.290055e-07,9.788002e-07,1.103804e-06,1.370029e-06,1.407788e-06,1.733588e-06,1.800838e-06,2.075464e-06,2.258027e-06,2.428787e-06,2.731481e-06,2.789550e-06,3.154096e-06,3.212542e-06,3.518996e-06,3.693321e-06,3.881035e-06,4.166600e-06,4.237242e-06,4.584933e-06,4.625968e-06,4.921749e-06,5.065973e-06,5.245687e-06,5.482260e-06,5.555132e-06,5.848831e-06,5.871618e-06,6.125883e-06,6.231906e-06,6.385721e-06,6.561978e-06,6.628065e-06,6.852888e-06,6.861519e-06,7.060386e-06,7.130909e-06,7.250923e-06,7.371057e-06,7.425010e-06,7.583263e-06,7.726376e-06,7.769096e-06,7.855097e-06,7.930285e-06,7.970205e-06,8.068640e-06,8.072495e-06,8.162760e-06,8.185987e-06,8.241783e-06,8.284119e-06,8.310326e-06,8.364764e-06,8.369126e-06,8.418888e-06,8.429561e-06,8.460283e-06,8.480048e-06,8.493947e-06,8.517653e-06,8.520480e-06,8.540445e-06,8.543697e-06,8.554369e-06,8.559387e-06,8.562745e-06,8.565830e-06,8.566031e-06,8.564655e-06,8.564029e-06,8.559011e-06,8.554896e-06,8.549469e-06,8.539257e-06,8.536367e-06,8.520022e-06,8.517857e-06,8.500724e-06,8.491368e-06,8.478743e-06,8.460397e-06,8.454328e-06,8.427709e-06,8.425490e-06,8.399097e-06,8.387139e-06,8.368688e-06,8.345784e-06,8.336664e-06,8.303191e-06,8.301824e-06,8.268422e-06,8.255616e-06,8.232500e-06,8.207481e-06,8.195555e-06,8.157708e-06,8.119070e-06,8.106556e-06,8.079743e-06,8.054257e-06,8.039823e-06,8.001022e-06,7.999396e-06,7.958543e-06,7.947037e-06,7.917337e-06,7.892472e-06,7.875846e-06,7.837477e-06,7.834134e-06,7.792257e-06,7.782189e-06,7.750270e-06,7.726727e-06,7.708221e-06,7.671202e-06,7.666155e-06,7.624114e-06,7.615712e-06,7.582134e-06,7.560341e-06,7.540252e-06,7.505170e-06,7.498500e-06,7.456905e-06,7.450267e-06,7.415496e-06,7.395693e-06,7.374296e-06,7.341503e-06,7.333329e-06,7.292613e-06,7.287745e-06,7.252168e-06,7.234463e-06,7.212011e-06,7.181693e-06,7.172157e-06,7.132619e-06,7.129470e-06,7.093410e-06,7.077821e-06,7.054542e-06,7.026773e-06,7.016024e-06,6.977865e-06,6.976346e-06,6.940073e-06,6.926559e-06,6.902655e-06,6.877428e-06,6.865617e-06,6.828965e-06,6.781182e-06,6.734086e-06,6.687685e-06,6.641984e-06,6.596986e-06,6.552692e-06,6.509104e-06,6.466221e-06,6.424041e-06,6.382563e-06,6.341781e-06,6.301694e-06,6.262294e-06,6.223578e-06,6.185539e-06,6.148171e-06,6.111467e-06,6.075420e-06,6.040022e-06,6.005264e-06,5.971140e-06,5.937640e-06,5.904756e-06,5.872479e-06
0.000000e+00,2.571532e-11,5.927608e-11,2.084513e-10,4.911750e-10,7.358718e-10,1.835101e-09,1.899091e-09,4.174964e-09,5.101110e-09,8.245494e-09,1.184537e-08,1.478447e-08,2.311452e-08,2.393155e-08,3.510670e-08,3.800187e-08,4.754578e-08,5.485032e-08,6.070419e-08,7.262212e-08,7.426340e-08,8.803618e-08,9.080488e-08,1.018997e-07,1.091131e-07,1.157613e-07,1.273462e-07,1.295430e-07,1.431758e-07,1.453390e-07,1.565979e-07,1.629494e-07,1.697550e-07,1.800584e-07,1.826006e-07,1.950954e-07,1.965697e-07,2.072081e-07,2.124100e-07,2.189139e-07,2.275271e-07,2.301951e-07,2.410392e-07,2.418876e-07,2.514389e-07,2.554735e-07,2.613911e-07,2.682798e-07,2.708963e-07,2.799578e-07,2.803111e-07,2.885810e-07,2.915795e-07,2.967735e-07,3.021027e-07,3.045440e-07,3.119025e-07,3.188597e-07,3.210031e-07,3.254269e-07,3.294305e-07,3.316157e-07,3.372120e-07,3.374380e-07,3.429060e-07,3.443751e-07,3.480316e-07,3.509476e-07,3.528268e-07,3.569568e-07,3.573035e-07,3.614736e-07,3.624300e-07,3.653485e-07,3.673937e-07,3.689396e-07,3.718738e-07,3.722580e-07,3.753145e-07,3.758954e-07,3.781198e-07,3.794827e-07,3.806842e-07,3.826594e-07,3.830176e-07,3.851299e-07,3.854480e-07,3.870305e-07,3.878702e-07,3.887285e-07,3.899471e-07,3.902329e-07,3.915523e-07,3.916986e-07,3.926950e-07,3.931439e-07,3.936691e-07,3.943014e-07,3.944823e-07,3.951422e-07,3.951886e-07,3.956560e-07,3.958222e-07,3.960308e-07,3.962184e-07,3.962733e-07,3.963900e-07,3.963922e-07,3.963872e-07,3.963581e-07,3.962709e-07,3.961300e-07,3.960470e-07,3.957210e-07,3.952984e-07,3.951436e-07,3.947842e-07,3.944095e-07,3.941836e-07,3.935300e-07,3.935012e-07,3.927417e-07,3.925158e-07,3.919095e-07,3.913770e-07,3.910088e-07,3.901231e-07,3.900436e-07,3.890180e-07,3.887632e-07,3.879355e-07,3.873059e-07,3.867999e-07,3.857592e-07,3.856145e-07,3.843825e-07,3.841309e-07,3.831073e-07,3.824280e-07,3.817917e-07,3.806576e-07,3.804387e-07,3.790510e-07,3.788260e-07,3.776313e-07,3.769392e-07,3.761821e-07,3.750030e-07,3.747057e-07,3.732045e-07,3.730228e-07,3.716808e-07,3.710037e-07,3.701365e-07,3.689503e-07,3.685737e-07,3.669943e-07,3.668672e-07,3.654001e-07,3.647586e-07,3.637928e-07,3.626284e-07,3.621742e-07,3.605457e-07,3.604804e-07,3.589089e-07,3.583179e-07,3.572651e-07,3.561441e-07,3.556158e-07,3.539623e-07,3.517750e-07,3.495851e-07,3.473949e-07,3.452068e-07,3.430228e-07,3.408450e-07,3.386751e-07,3.365149e-07,3.343660e-07,3.322298e-07,3.301075e-07,3.280006e-07,3.259100e-07,3.238367e-07,3.217818e-07,3.197461e-07,3.177303e-07,3.157352e-07,3.137613e-07,3.118092e-07,3.098795e-07,3.079725e-07,3.060886e-07,3.042282e-07
0.000000e+00,8.498595e-11,2.000904e-10,7.098974e-10,1.644617e-09,2.421030e-09,5.632697e-09,5.808879e-09,1.159772e-08,1.376965e-08,2.070486e-08,2.817422e-08,3.409128e-08,5.061504e-08,5.223868e-08,7.483312e-08,8.084204e-08,1.011975e-07,1.173803e-07,1.307398e-07,1.590233e-07,1.630323e-07,1.977499e-07,2.049593e-07,2.346098e-07,2.545321e-07,2.733358e-07,3.070997e-07,3.136429e-07,3.552328e-07,3.619856e-07,3.977968e-07,4.184818e-07,4.410225e-07,4.758709e-07,4.845999e-07,5.282289e-07,5.334542e-07,5.716264e-07,5.905797e-07,6.145309e-07,6.466625e-07,6.567066e-07,6.979454e-07,7.011985e-07,7.380682e-07,7.537702e-07,7.769245e-07,8.040469e-07,8.143916e-07,8.503728e-07,8.517801e-07,8.847951e-07,8.967950e-07,9.176070e-07,9.389821e-07,9.487765e-07,9.782891e-07,1.006144e-06,1.014710e-06,1.032354e-06,1.048274e-06,1.056940e-06,1.079039e-06,1.079928e-06,1.101355e-06,1.107080e-06,1.121260e-06,1.132491e-06,1.139687e-06,1.155378e-06,1.156687e-06,1.172309e-06,1.175859e-06,1.186605e-06,1.194052e-06,1.199630e-06,1.210082e-06,1.211436e-06,1.222080e-06,1.224074e-06,1.231619e-06,1.236163e-06,1.240113e-06,1.246477e-06,1.247612e-06,1.254164e-06,1.255128e-06,1.259819e-06,1.262228e-06,1.264621e-06,1.267880e-06,1.268617e-06,1.271850e-06,1.272188e-06,1.274361e-06,1.275248e-06,1.276191e-06,1.277151e-06,1.277380e-06,1.277963e-06,1.277985e-06,1.277978e-06,1.277833e-06,1.277459e-06,1.276773e-06,1.276438e-06,1.274947e-06,1.274878e-06,1.273016e-06,1.272219e-06,1.270673e-06,1.268859e-06,1.267947e-06,1.264862e-06,1.261445e-06,1.260285e-06,1.257719e-06,1.255182e-06,1.253705e-06,1.249603e-06,1.249427e-06,1.244903e-06,1.243596e-06,1.240155e-06,1.237205e-06,1.235199e-06,1.230471e-06,1.230053e-06,1.224734e-06,1.223433e-06,1.219258e-06,1.216128e-06,1.213639e-06,1.208587e-06,1.207891e-06,1.202028e-06,1.200842e-06,1.196062e-06,1.192923e-06,1.190005e-06,1.184855e-06,1.183868e-06,1.177663e-06,1.176664e-06,1.171398e-06,1.168372e-06,1.165082e-06,1.160000e-06,1.158726e-06,1.152337e-06,1.151569e-06,1.145923e-06,1.143095e-06,1.139492e-06,1.134596e-06,1.133049e-06,1.126602e-06,1.126087e-06,1.120157e-06,1.117581e-06,1.113719e-06,1.109091e-06,1.107293e-06,1.100885e-06,1.100629e-06,1.094498e-06,1.092205e-06,1.088138e-06,1.083830e-06,1.081808e-06,1.075511e-06,1.067257e-06,1.059075e-06,1.050971e-06,1.042950e-06,1.035019e-06,1.027180e-06,1.019439e-06,1.011799e-06,1.004262e-06,9.968320e-07,9.895099e-07,9.822978e-07,9.751974e-07,9.682096e-07,9.613353e-07,9.545752e-07,9.479294e-07,9.413982e-07,9.349814e-07,9.286787e-07,9.224898e-07,9.164140e-07,9.104506e-07,9.045987e-07
0.000000e+00,2.329016e-12,5.328655e-12,1.822035e-11,4.113824e-11,5.972637e-11,1.335487e-10,1.374780e-10,2.611128e-10,3.051941e-10,4.396778e-10,5.768242e-10,6.818960e-10,9.681089e-10,9.960700e-10,1.389187e-09,1.495788e-09,1.864806e-09,2.166564e-09,2.420477e-09,2.968663e-09,3.047213e-09,3.732124e-09,3.874891e-09,4.461802e-09,4.854828e-09,5.224096e-09,5.881853e-09,6.008434e-09,6.805581e-09,6.933753e-09,7.607343e-09,7.991646e-09,8.406394e-09,9.039267e-09,9.196202e-09,9.971008e-09,1.006273e-08,1.072584e-08,1.105052e-08,1.145649e-08,1.199349e-08,1.215955e-08,1.283234e-08,1.288479e-08,1.347290e-08,1.371978e-08,1.407989e-08,1.449571e-08,1.465258e-08,1.519071e-08,1.521152e-08,1.569448e-08,1.586751e-08,1.616440e-08,1.646503e-08,1.660131e-08,1.700623e-08,1.738039e-08,1.749383e-08,1.772510e-08,1.793091e-08,1.804178e-08,1.832077e-08,1.833188e-08,1.859689e-08,1.866679e-08,1.883825e-08,1.897233e-08,1.905743e-08,1.924068e-08,1.925582e-08,1.943479e-08,1.947500e-08,1.959564e-08,1.967827e-08,1.973962e-08,1.985329e-08,1.986789e-08,1.998157e-08,2.000265e-08,2.008171e-08,2.012877e-08,2.016930e-08,2.023384e-08,2.024525e-08,2.031042e-08,2.031991e-08,2.036563e-08,2.038880e-08,2.041160e-08,2.044221e-08,2.044905e-08,2.047863e-08,2.048168e-08,2.050093e-08,2.050858e-08,2.051651e-08,2.052418e-08,2.052590e-08,2.052957e-08,2.052963e-08,2.052798e-08,2.052596e-08,2.052154e-08,2.051411e-08,2.051063e-08,2.049561e-08,2.049493e-08,2.047681e-08,2.046918e-08,2.045454e-08,2.043756e-08,2.042909e-08,2.040072e-08,2.036967e-08,2.035921e-08,2.033617e-08,2.031355e-08,2.030045e-08,2.026423e-08,2.026268e-08,2.022306e-08,2.021166e-08,2.018175e-08,2.015623e-08,2.013892e-08,2.009829e-08,2.009471e-08,2.004925e-08,2.003818e-08,2.000268e-08,1.997616e-08,1.995512e-08,1.991252e-08,1.990666e-08,1.985743e-08,1.984749e-08,1.980750e-08,1.978129e-08,1.975697e-08,1.971412e-08,1.970592e-08,1.965444e-08,1.964617e-08,1.960258e-08,1.957758e-08,1.955043e-08,1.950853e-08,1.949803e-08,1.944546e-08,1.943914e-08,1.939275e-08,1.936954e-08,1.933997e-08,1.929984e-08,1.928716e-08,1.923436e-08,1.923014e-08,1.918162e-08,1.916055e-08,1.912897e-08,1.909113e-08,1.907644e-08,1.902407e-08,1.902198e-08,1.897190e-08,1.895317e-08,1.891994e-08,1.888474e-08,1.886822e-08,1.881677e-08,1.874931e-08,1.868240e-08,1.861608e-08,1.855039e-08,1.848537e-08,1.842104e-08,1.835744e-08,1.829458e-08,1.823249e-08,1.817118e-08,1.811068e-08,1.805098e-08,1.799212e-08,1.793408e-08,1.787689e-08,1.782055e-08,1.776506e-08,1.771043e-08,1.765665e-08,1.760373e-08,1.755167e-08,1.750047e-08,1.745012e-08,1.740062e-08
0.000000e+00,1.182393e-13,7.826381e-13,1.281469e-11,8.052668e-11,1.857699e-10,1.110191e-09,1.183466e-09,4.810752e-09,6.739995e-09,1.473487e-08,2.617085e-08,3.716272e-08,7.676459e-08,8.138086e-08,1.601074e-07,1.858698e-07,2.896003e-07,3.914622e-07,4.894155e-07,7.409639e-07,7.816924e-07,1.189950e-06,1.287596e-06,1.737544e-06,2.084630e-06,2.446035e-06,3.179018e-06,3.333721e-06,4.414469e-06,4.605961e-06,5.696946e-06,6.385313e-06,7.184245e-06,8.520052e-06,8.873856e-06,1.075793e-05,1.099653e-05,1.282377e-05,1.378611e-05,1.505450e-05,1.684772e-05,1.742978e-05,1.992668e-05,2.013095e-05,2.252044e-05,2.357931e-05,2.518530e-05,2.713341e-05,2.789525e-05,3.062472e-05,3.073395e-05,3.334912e-05,3.432417e-05,3.604540e-05,3.785192e-05,3.869238e-05,4.127108e-05,4.376488e-05,4.454258e-05,4.615965e-05,4.763486e-05,4.844377e-05,5.052387e-05,5.060805e-05,5.264567e-05,5.319282e-05,5.455200e-05,5.563161e-05,5.632442e-05,5.783608e-05,5.796215e-05,5.946598e-05,5.980718e-05,6.083807e-05,6.155010e-05,6.208175e-05,6.307335e-05,6.320131e-05,6.420174e-05,6.438802e-05,6.508866e-05,6.550696e-05,6.586804e-05,6.644418e-05,6.654613e-05,6.712930e-05,6.721422e-05,6.762395e-05,6.783180e-05,6.803641e-05,6.831137e-05,6.837287e-05,6.863934e-05,6.866689e-05,6.884157e-05,6.891162e-05,6.898503e-05,6.905797e-05,6.907492e-05,6.911609e-05,6.911742e-05,6.911312e-05,6.910053e-05,6.907024e-05,6.901688e-05,6.899139e-05,6.888020e-05,6.887512e-05,6.874001e-05,6.868305e-05,6.857390e-05,6.844758e-05,6.838468e-05,6.817491e-05,6.794693e-05,6.787048e-05,6.770287e-05,6.753913e-05,6.744466e-05,6.718511e-05,6.717407e-05,6.689267e-05,6.681214e-05,6.660191e-05,6.642351e-05,6.630310e-05,6.602209e-05,6.599741e-05,6.568591e-05,6.561039e-05,6.536956e-05,6.519061e-05,6.504923e-05,6.476468e-05,6.472572e-05,6.439972e-05,6.433428e-05,6.407188e-05,6.390087e-05,6.374278e-05,6.346574e-05,6.341294e-05,6.308283e-05,6.303001e-05,6.275287e-05,6.259467e-05,6.242346e-05,6.216055e-05,6.209493e-05,6.176761e-05,6.172842e-05,6.144176e-05,6.129893e-05,6.111766e-05,6.087263e-05,6.079551e-05,6.047554e-05,6.045004e-05,6.015791e-05,6.003156e-05,5.984281e-05,5.961757e-05,5.953037e-05,5.922073e-05,5.920840e-05,5.891400e-05,5.880431e-05,5.861029e-05,5.840554e-05,5.830969e-05,5.801229e-05,5.762472e-05,5.724298e-05,5.686718e-05,5.649741e-05,5.613373e-05,5.577619e-05,5.542483e-05,5.507967e-05,5.474071e-05,5.440795e-05,5.408138e-05,5.376096e-05,5.344666e-05,5.313844e-05,5.283626e-05,5.254006e-05,5.224978e-05,5.196536e-05,5.168672e-05,5.141380e-05,5.114653e-05,5.088481e-05,5.062859e-05,5.037776e-05
0.000000e+00,2.062745e-10,4.834436e-10,1.717300e-09,4.019274e-09,5.971122e-09,1.439479e-08,1.487178e-08,3.123922e-08,3.766056e-08,5.879051e-08,8.203242e-08,1.004447e-07,1.508501e-07,1.557027e-07,2.214597e-07,2.384526e-07,2.947522e-07,3.383164e-07,3.735996e-07,4.465408e-07,4.567046e-07,5.431088e-07,5.607132e-07,6.320073e-07,6.789754e-07,7.226686e-07,7.996865e-07,8.144113e-07,9.066025e-07,9.213554e-07,9.986669e-07,1.042659e-06,1.090090e-06,1.162467e-06,1.180428e-06,1.269302e-06,1.279852e-06,1.356393e-06,1.394081e-06,1.441447e-06,1.504599e-06,1.524261e-06,1.604679e-06,1.611006e-06,1.682587e-06,1.713028e-06,1.757904e-06,1.810497e-06,1.830577e-06,1.900579e-06,1.903324e-06,1.967901e-06,1.991481e-06,2.032549e-06,2.074993e-06,2.094544e-06,2.153918e-06,2.210706e-06,2.228340e-06,2.264955e-06,2.298363e-06,2.316713e-06,2.364106e-06,2.366033e-06,2.412971e-06,2.425695e-06,2.457587e-06,2.483266e-06,2.499939e-06,2.536956e-06,2.540089e-06,2.578098e-06,2.586908e-06,2.614028e-06,2.633264e-06,2.647942e-06,2.676167e-06,2.679901e-06,2.709967e-06,2.715758e-06,2.738201e-06,2.752178e-06,2.764662e-06,2.785564e-06,2.789411e-06,2.812505e-06,2.816051e-06,2.834004e-06,2.843772e-06,2.853962e-06,2.868857e-06,2.872435e-06,2.889478e-06,2.891430e-06,2.905144e-06,2.911614e-06,2.919485e-06,2.929528e-06,2.932551e-06,2.944391e-06,2.945287e-06,2.955055e-06,2.959001e-06,2.964588e-06,2.970778e-06,2.973037e-06,2.980445e-06,2.980721e-06,2.986857e-06,2.988930e-06,2.992314e-06,2.995500e-06,2.996857e-06,3.000525e-06,3.003356e-06,3.004092e-06,3.005389e-06,3.006287e-06,3.006658e-06,3.007191e-06,3.007199e-06,3.007045e-06,3.006882e-06,3.006230e-06,3.005436e-06,3.004784e-06,3.002923e-06,3.002738e-06,3.000122e-06,2.999413e-06,2.996965e-06,2.994970e-06,2.993293e-06,2.989658e-06,2.989134e-06,2.984512e-06,2.983535e-06,2.979453e-06,2.976658e-06,2.973981e-06,2.969082e-06,2.968119e-06,2.961888e-06,2.960858e-06,2.955310e-06,2.952036e-06,2.948406e-06,2.942661e-06,2.941195e-06,2.933697e-06,2.932779e-06,2.925929e-06,2.922430e-06,2.917909e-06,2.911657e-06,2.909655e-06,2.901182e-06,2.900495e-06,2.892506e-06,2.888982e-06,2.883641e-06,2.877151e-06,2.874603e-06,2.865405e-06,2.865034e-06,2.856060e-06,2.852662e-06,2.846581e-06,2.840065e-06,2.836980e-06,2.827268e-06,2.814299e-06,2.801180e-06,2.787936e-06,2.774587e-06,2.761154e-06,2.747656e-06,2.734110e-06,2.720534e-06,2.706944e-06,2.693354e-06,2.679777e-06,2.666227e-06,2.652716e-06,2.639255e-06,2.625854e-06,2.612523e-06,2.599271e-06,2.586106e-06,2.573036e-06,2.560067e-06,2.547208e-06,2.534462e-06,2.521836e-06,2.509335e-06
0.000000e+00,5.126535e-13,3.486899e-12,6.046671e-11,4.008410e-10,9.527171e-10,6.159486e-09,6.587385e-09,2.901945e-08,4.157104e-08,9.617212e-08,1.789402e-07,2.620025e-07,5.801007e-07,6.186648e-07,1.310153e-06,1.547697e-06,2.546749e-06,3.582039e-06,4.619204e-06,7.436562e-06,7.911043e-06,1.290721e-05,1.416104e-05,2.019778e-05,2.512188e-05,3.047625e-05,4.199457e-05,4.453260e-05,6.324178e-05,6.672932e-05,8.754848e-05,1.014951e-04,1.184491e-04,1.486077e-04,1.569719e-04,2.041555e-04,2.104486e-04,2.610280e-04,2.893796e-04,3.285854e-04,3.876582e-04,4.077715e-04,4.994593e-04,5.073586e-04,6.044342e-04,6.503012e-04,7.233791e-04,8.179938e-04,8.568628e-04,1.005330e-03,1.011585e-03,1.169095e-03,1.231834e-03,1.348337e-03,1.479091e-03,1.543101e-03,1.753296e-03,1.978699e-03,2.053986e-03,2.218962e-03,2.380318e-03,2.473619e-03,2.731097e-03,2.742094e-03,3.023709e-03,3.104813e-03,3.317698e-03,3.499684e-03,3.623220e-03,3.913704e-03,3.939364e-03,4.265167e-03,4.344686e-03,4.599624e-03,4.790315e-03,4.941699e-03,5.248187e-03,5.290335e-03,5.644469e-03,5.715862e-03,6.003036e-03,6.190892e-03,6.364982e-03,6.670868e-03,6.729270e-03,7.094888e-03,7.153445e-03,7.460859e-03,7.636371e-03,7.826238e-03,8.117511e-03,8.190127e-03,8.551672e-03,8.594861e-03,8.910066e-03,9.066565e-03,9.264555e-03,9.530923e-03,9.614440e-03,9.959072e-03,9.986397e-03,1.029786e-02,1.043161e-02,1.063026e-02,1.086537e-02,1.095580e-02,1.127404e-02,1.128661e-02,1.158459e-02,1.169445e-02,1.188714e-02,1.208816e-02,1.218140e-02,1.246713e-02,1.274415e-02,1.283092e-02,1.301229e-02,1.317919e-02,1.327145e-02,1.351172e-02,1.352155e-02,1.376256e-02,1.382840e-02,1.399445e-02,1.412923e-02,1.421726e-02,1.441426e-02,1.443103e-02,1.463583e-02,1.468365e-02,1.483174e-02,1.493762e-02,1.501889e-02,1.517644e-02,1.519741e-02,1.536743e-02,1.540043e-02,1.552912e-02,1.560996e-02,1.568264e-02,1.580543e-02,1.582819e-02,1.596595e-02,1.598728e-02,1.609612e-02,1.615596e-02,1.621889e-02,1.631193e-02,1.633448e-02,1.644311e-02,1.645568e-02,1.654497e-02,1.658770e-02,1.664029e-02,1.670848e-02,1.672927e-02,1.681214e-02,1.681852e-02,1.688911e-02,1.691829e-02,1.696039e-02,1.700830e-02,1.702618e-02,1.708670e-02,1.708902e-02,1.714215e-02,1.716090e-02,1.719271e-02,1.722442e-02,1.723860e-02,1.728001e-02,1.732810e-02,1.736911e-02,1.740345e-02,1.743149e-02,1.745361e-02,1.747016e-02,1.748149e-02,1.748791e-02,1.748974e-02,1.748727e-02,1.748078e-02,1.747054e-02,1.745680e-02,1.743980e-02,1.741977e-02,1.739692e-02,1.737146e-02,1.734357e-02,1.731344e-02,1.728124e-02,1.724712e-02,1.721124e-02,1.717374e-02,1.713476e-02
0.000000e+00,4.712514e-12,3.199020e-11,5.524288e-10,3.647738e-09,8.650831e-09,5.560258e-08,5.945082e-08,2.603171e-07,3.722810e-07,8.575288e-07,1.589814e-06,2.322235e-06,5.113595e-06,5.450951e-06,1.147569e-05,1.353738e-05,2.217866e-05,3.109692e-05,4.000510e-05,6.411396e-05,6.816462e-05,1.107067e-04,1.213589e-04,1.725546e-04,2.142308e-04,2.594855e-04,3.566667e-04,3.780539e-04,5.354621e-04,5.647599e-04,7.393902e-04,8.561319e-04,9.977984e-04,1.249149e-03,1.318716e-03,1.710025e-03,1.762076e-03,2.179261e-03,2.412238e-03,2.733418e-03,3.215270e-03,3.378781e-03,4.120791e-03,4.184467e-03,4.963921e-03,5.330293e-03,5.911604e-03,6.660026e-03,6.966168e-03,8.128813e-03,8.177572e-03,9.399609e-03,9.883405e-03,1.077752e-02,1.177465e-02,1.226044e-02,1.384527e-02,1.552796e-02,1.608632e-02,1.730366e-02,1.848635e-02,1.916674e-02,2.103169e-02,2.111094e-02,2.312945e-02,2.370698e-02,2.521506e-02,2.649549e-02,2.736019e-02,2.937958e-02,2.955705e-02,3.179771e-02,3.234109e-02,3.407419e-02,3.536170e-02,3.637855e-02,3.842324e-02,3.870297e-02,4.103979e-02,4.150798e-02,4.338158e-02,4.459890e-02,4.572123e-02,4.767987e-02,4.805191e-02,5.036718e-02,5.073578e-02,5.266099e-02,5.375272e-02,5.492769e-02,5.671800e-02,5.716205e-02,5.935927e-02,5.962023e-02,6.151500e-02,6.244935e-02,6.362530e-02,6.519658e-02,6.568668e-02,6.769604e-02,6.785445e-02,6.965069e-02,7.041671e-02,7.154835e-02,7.287829e-02,7.338710e-02,7.516538e-02,7.523523e-02,7.688194e-02,7.748462e-02,7.853589e-02,7.962447e-02,8.012659e-02,8.165369e-02,8.311710e-02,8.357196e-02,8.451696e-02,8.537967e-02,8.585361e-02,8.707782e-02,8.712758e-02,8.833960e-02,8.866797e-02,8.949051e-02,9.015214e-02,9.058132e-02,9.153276e-02,9.161316e-02,9.258724e-02,9.281257e-02,9.350489e-02,9.399463e-02,9.436748e-02,9.508219e-02,9.517649e-02,9.593339e-02,9.607866e-02,9.663976e-02,9.698761e-02,9.729714e-02,9.781266e-02,9.790714e-02,9.847138e-02,9.855751e-02,9.899144e-02,9.922586e-02,9.946896e-02,9.982142e-02,9.990554e-02,1.003028e-01,1.003479e-01,1.006622e-01,1.008088e-01,1.009855e-01,1.012079e-01,1.012740e-01,1.015294e-01,1.015484e-01,1.017530e-01,1.018339e-01,1.019464e-01,1.020677e-01,1.021109e-01,1.022479e-01,1.022528e-01,1.023587e-01,1.023924e-01,1.024446e-01,1.024894e-01,1.025068e-01,1.025466e-01,1.025667e-01,1.025524e-01,1.025060e-01,1.024300e-01,1.023265e-01,1.021977e-01,1.020455e-01,1.018719e-01,1.016787e-01,1.014674e-01,1.012398e-01,1.009974e-01,1.007414e-01,1.004733e-01,1.001943e-01,9.990556e-02,9.960816e-02,9.930312e-02,9.899140e-02,9.867388e-02,9.835141e-02,9.802475e-02,9.769462e-02,9.736169e-02
0.000000e+00,1.235733e-10,3.490452e-10,1.500009e-09,3.794519e-09,5.765836e-09,1.411436e-08,1.457571e-08,2.971447e-08,3.535781e-08,5.322800e-08,7.234017e-08,8.751988e-08,1.309428e-07,1.353329e-07,1.994579e-07,2.175379e-07,2.820082e-07,3.365585e-07,3.835005e-07,4.874505e-07,5.025950e-07,6.368603e-07,6.653046e-07,7.837515e-07,8.643855e-07,9.410951e-07,1.080047e-06,1.107136e-06,1.280431e-06,1.308746e-06,1.459737e-06,1.547606e-06,1.643932e-06,1.794106e-06,1.831974e-06,2.022881e-06,2.045937e-06,2.215720e-06,2.300955e-06,2.409618e-06,2.557186e-06,2.603762e-06,2.797402e-06,2.812850e-06,2.989857e-06,3.066369e-06,3.180519e-06,3.316380e-06,3.368849e-06,3.554376e-06,3.561732e-06,3.736694e-06,3.801474e-06,3.915459e-06,4.034844e-06,4.090389e-06,4.261251e-06,4.427859e-06,4.480251e-06,4.590070e-06,4.691524e-06,4.747771e-06,4.894844e-06,4.900880e-06,5.049344e-06,5.090077e-06,5.193133e-06,5.277160e-06,5.332242e-06,5.456100e-06,5.466684e-06,5.596485e-06,5.626951e-06,5.721686e-06,5.789807e-06,5.842338e-06,5.944799e-06,5.958504e-06,6.070259e-06,6.092089e-06,6.177697e-06,6.231888e-06,6.280903e-06,6.364382e-06,6.379954e-06,6.474940e-06,6.489766e-06,6.565947e-06,6.608242e-06,6.653063e-06,6.720016e-06,6.736380e-06,6.815990e-06,6.825298e-06,6.891985e-06,6.924301e-06,6.964457e-06,7.017235e-06,7.033496e-06,7.099195e-06,7.104309e-06,7.161643e-06,7.185733e-06,7.220932e-06,7.261713e-06,7.277149e-06,7.330385e-06,7.332454e-06,7.380725e-06,7.398155e-06,7.428256e-06,7.459015e-06,7.473061e-06,7.515223e-06,7.554824e-06,7.566969e-06,7.591944e-06,7.614435e-06,7.626661e-06,7.657801e-06,7.659053e-06,7.689195e-06,7.697242e-06,7.717161e-06,7.732927e-06,7.743024e-06,7.765021e-06,7.766855e-06,7.788721e-06,7.793685e-06,7.808693e-06,7.819073e-06,7.826834e-06,7.841337e-06,7.843211e-06,7.857885e-06,7.860621e-06,7.870918e-06,7.877067e-06,7.882371e-06,7.890813e-06,7.892302e-06,7.900767e-06,7.901989e-06,7.907821e-06,7.910723e-06,7.913520e-06,7.917138e-06,7.917915e-06,7.921057e-06,7.921352e-06,7.922996e-06,7.923480e-06,7.923780e-06,7.923633e-06,7.923457e-06,7.922071e-06,7.921915e-06,7.919667e-06,7.918430e-06,7.916288e-06,7.913276e-06,7.911977e-06,7.906773e-06,7.906547e-06,7.900716e-06,7.898334e-06,7.893844e-06,7.888724e-06,7.886194e-06,7.877802e-06,7.865647e-06,7.852337e-06,7.837946e-06,7.822545e-06,7.806202e-06,7.788981e-06,7.770945e-06,7.752154e-06,7.732665e-06,7.712532e-06,7.691806e-06,7.670539e-06,7.648776e-06,7.626563e-06,7.603944e-06,7.580959e-06,7.557648e-06,7.534047e-06,7.510192e-06,7.486117e-06,7.461853e-06,7.437431e-06,7.412879e-06,7.388225e-06
0.000000e+00,1.705839e-10,4.121285e-10,1.496508e-09,3.495264e-09,5.157944e-09,1.204768e-08,1.242614e-08,2.488505e-08,2.956808e-08,4.453058e-08,6.062473e-08,7.332970e-08,1.084257e-07,1.118346e-07,1.583692e-07,1.704454e-07,2.104150e-07,2.411967e-07,2.659854e-07,3.167493e-07,3.237675e-07,3.828527e-07,3.947615e-07,4.425301e-07,4.735894e-07,5.021836e-07,5.518632e-07,5.612535e-07,6.192297e-07,6.283732e-07,6.756578e-07,7.020754e-07,7.301443e-07,7.721137e-07,7.823626e-07,8.320562e-07,8.378401e-07,8.790363e-07,8.988135e-07,9.231779e-07,9.547838e-07,9.644137e-07,1.002726e-06,1.005665e-06,1.038139e-06,1.051504e-06,1.070710e-06,1.092448e-06,1.100523e-06,1.127684e-06,1.128717e-06,1.152307e-06,1.160574e-06,1.174519e-06,1.188314e-06,1.194454e-06,1.212249e-06,1.228036e-06,1.232686e-06,1.241948e-06,1.249927e-06,1.254113e-06,1.264262e-06,1.264654e-06,1.273688e-06,1.275963e-06,1.281326e-06,1.285282e-06,1.287672e-06,1.292455e-06,1.292826e-06,1.296880e-06,1.297699e-06,1.299920e-06,1.301210e-06,1.302027e-06,1.303169e-06,1.303276e-06,1.303736e-06,1.303739e-06,1.303473e-06,1.303071e-06,1.302547e-06,1.301298e-06,1.301014e-06,1.298925e-06,1.298542e-06,1.296328e-06,1.294914e-06,1.293268e-06,1.290514e-06,1.289785e-06,1.285919e-06,1.285431e-06,1.281703e-06,1.279746e-06,1.277171e-06,1.273534e-06,1.272353e-06,1.267276e-06,1.266859e-06,1.261966e-06,1.259782e-06,1.256447e-06,1.252356e-06,1.250741e-06,1.244869e-06,1.244631e-06,1.238848e-06,1.236648e-06,1.232698e-06,1.228449e-06,1.226433e-06,1.220068e-06,1.213618e-06,1.211537e-06,1.207094e-06,1.202886e-06,1.200509e-06,1.194140e-06,1.193873e-06,1.187197e-06,1.185322e-06,1.180489e-06,1.176453e-06,1.173759e-06,1.167553e-06,1.167013e-06,1.160259e-06,1.158638e-06,1.153505e-06,1.149724e-06,1.146755e-06,1.140823e-06,1.140015e-06,1.133292e-06,1.131949e-06,1.126588e-06,1.123112e-06,1.119910e-06,1.114322e-06,1.113261e-06,1.106644e-06,1.105588e-06,1.100063e-06,1.096918e-06,1.093521e-06,1.088317e-06,1.087021e-06,1.080565e-06,1.079793e-06,1.074155e-06,1.071351e-06,1.067795e-06,1.062995e-06,1.061485e-06,1.055227e-06,1.054729e-06,1.049024e-06,1.046558e-06,1.042875e-06,1.038483e-06,1.036783e-06,1.030749e-06,1.030508e-06,1.024773e-06,1.022636e-06,1.018856e-06,1.014867e-06,1.012999e-06,1.007203e-06,9.996457e-07,9.921959e-07,9.848542e-07,9.776210e-07,9.704966e-07,9.634811e-07,9.565743e-07,9.497760e-07,9.430858e-07,9.365031e-07,9.300273e-07,9.236577e-07,9.173935e-07,9.112336e-07,9.051773e-07,8.992233e-07,8.933707e-07,8.876183e-07,8.819648e-07,8.764090e-07,8.709497e-07,8.655857e-07,8.603155e-07,8.551378e-07
0.000000e+00,3.232497e-11,1.353818e-10,9.569553e-10,3.130662e-09,5.248903e-09,1.531355e-08,1.590104e-08,3.614552e-08,4.402536e-08,6.972310e-08,9.809857e-08,1.211033e-07,1.884235e-07,1.953175e-07,2.968716e-07,3.256082e-07,4.276966e-07,5.131913e-07,5.859647e-07,7.445803e-07,7.674264e-07,9.676212e-07,1.009573e-06,1.182936e-06,1.299934e-06,1.410613e-06,1.609788e-06,1.648440e-06,1.894486e-06,1.934495e-06,2.146946e-06,2.269891e-06,2.404074e-06,2.611991e-06,2.664167e-06,2.925574e-06,2.956956e-06,3.186721e-06,3.301158e-06,3.446131e-06,3.641285e-06,3.702453e-06,3.954475e-06,3.974418e-06,4.201127e-06,4.298074e-06,4.441494e-06,4.610235e-06,4.674816e-06,4.900468e-06,4.909328e-06,5.117959e-06,5.194185e-06,5.326929e-06,5.464027e-06,5.527123e-06,5.718387e-06,5.900652e-06,5.957076e-06,6.073925e-06,6.180128e-06,6.238270e-06,6.387754e-06,6.393809e-06,6.540699e-06,6.580305e-06,6.679138e-06,6.758236e-06,6.809347e-06,6.922079e-06,6.931569e-06,7.046063e-06,7.072421e-06,7.153093e-06,7.209872e-06,7.252932e-06,7.335061e-06,7.345856e-06,7.432142e-06,7.448627e-06,7.512066e-06,7.551203e-06,7.585900e-06,7.643409e-06,7.653910e-06,7.716359e-06,7.725852e-06,7.773504e-06,7.799122e-06,7.825592e-06,7.863785e-06,7.872866e-06,7.915557e-06,7.920383e-06,7.953893e-06,7.969437e-06,7.988090e-06,8.011441e-06,8.018358e-06,8.044900e-06,8.046868e-06,8.067907e-06,8.076163e-06,8.087568e-06,8.099751e-06,8.104059e-06,8.117553e-06,8.118033e-06,8.128212e-06,8.131386e-06,8.136193e-06,8.140167e-06,8.141646e-06,8.144714e-06,8.145534e-06,8.145343e-06,8.144236e-06,8.142353e-06,8.140946e-06,8.136023e-06,8.135782e-06,8.128857e-06,8.126617e-06,8.120279e-06,8.114383e-06,8.110152e-06,8.099552e-06,8.098574e-06,8.085639e-06,8.082342e-06,8.071434e-06,8.062957e-06,8.056046e-06,8.041588e-06,8.039554e-06,8.022035e-06,8.018414e-06,8.003562e-06,7.993602e-06,7.984204e-06,7.967309e-06,7.964028e-06,7.943095e-06,7.939679e-06,7.921465e-06,7.910851e-06,7.899194e-06,7.880952e-06,7.876336e-06,7.852941e-06,7.850100e-06,7.829057e-06,7.818405e-06,7.804730e-06,7.785972e-06,7.780004e-06,7.754918e-06,7.752897e-06,7.729512e-06,7.719268e-06,7.703822e-06,7.685169e-06,7.677883e-06,7.651728e-06,7.650678e-06,7.625388e-06,7.615866e-06,7.598891e-06,7.580799e-06,7.572266e-06,7.545539e-06,7.510144e-06,7.474665e-06,7.439153e-06,7.403652e-06,7.368203e-06,7.332845e-06,7.297613e-06,7.262539e-06,7.227652e-06,7.192981e-06,7.158548e-06,7.124378e-06,7.090489e-06,7.056902e-06,7.023632e-06,6.990695e-06,6.958103e-06,6.925870e-06,6.894005e-06,6.862518e-06,6.831417e-06,6.800709e-06,6.770401e-06,6.740496e-06
0.000000e+00,3.128705e-11,1.005509e-10,4.979212e-10,1.343543e-09,2.088886e-09,5.305619e-09,5.484640e-09,1.137450e-08,1.356932e-08,2.049615e-08,2.785570e-08,3.366349e-08,5.010326e-08,5.175181e-08,7.557256e-08,8.220601e-08,1.055904e-07,1.250831e-07,1.416773e-07,1.779828e-07,1.832342e-07,2.295420e-07,2.393160e-07,2.799700e-07,3.076452e-07,3.339990e-07,3.818363e-07,3.911795e-07,4.510921e-07,4.609041e-07,5.133249e-07,5.438996e-07,5.774650e-07,6.298717e-07,6.430979e-07,7.098121e-07,7.178713e-07,7.772061e-07,8.069747e-07,8.448945e-07,8.963105e-07,9.125147e-07,9.797314e-07,9.850819e-07,1.046240e-06,1.072584e-06,1.111771e-06,1.158213e-06,1.176086e-06,1.238982e-06,1.241466e-06,1.300289e-06,1.321942e-06,1.359865e-06,1.399332e-06,1.417601e-06,1.473411e-06,1.527231e-06,1.544026e-06,1.579020e-06,1.611088e-06,1.628755e-06,1.674560e-06,1.676427e-06,1.722042e-06,1.734447e-06,1.765614e-06,1.790788e-06,1.807170e-06,1.843650e-06,1.846743e-06,1.884372e-06,1.893119e-06,1.920101e-06,1.939298e-06,1.953978e-06,1.982299e-06,1.986054e-06,2.016382e-06,2.022242e-06,2.045015e-06,2.059253e-06,2.072010e-06,2.093459e-06,2.097420e-06,2.121303e-06,2.124986e-06,2.143712e-06,2.153961e-06,2.164703e-06,2.180510e-06,2.184328e-06,2.202641e-06,2.204753e-06,2.219694e-06,2.226810e-06,2.235536e-06,2.246796e-06,2.250216e-06,2.263783e-06,2.264822e-06,2.276283e-06,2.280994e-06,2.287761e-06,2.295417e-06,2.298260e-06,2.307823e-06,2.308187e-06,2.316490e-06,2.319399e-06,2.324302e-06,2.329144e-06,2.331295e-06,2.337507e-06,2.342973e-06,2.344570e-06,2.347727e-06,2.350411e-06,2.351802e-06,2.355105e-06,2.355230e-06,2.358041e-06,2.358721e-06,2.360264e-06,2.361328e-06,2.361928e-06,2.362988e-06,2.363059e-06,2.363684e-06,2.363762e-06,2.363828e-06,2.363707e-06,2.363514e-06,2.362877e-06,2.362765e-06,2.361604e-06,2.361324e-06,2.360052e-06,2.359097e-06,2.358129e-06,2.356242e-06,2.355855e-06,2.353248e-06,2.352801e-06,2.350326e-06,2.348817e-06,2.347107e-06,2.344329e-06,2.343607e-06,2.339842e-06,2.339373e-06,2.335826e-06,2.333984e-06,2.331575e-06,2.328195e-06,2.327102e-06,2.322420e-06,2.322037e-06,2.317543e-06,2.315540e-06,2.312481e-06,2.308730e-06,2.307248e-06,2.301854e-06,2.301635e-06,2.296309e-06,2.294278e-06,2.290625e-06,2.286684e-06,2.284809e-06,2.278873e-06,2.270866e-06,2.262683e-06,2.254342e-06,2.245860e-06,2.237253e-06,2.228536e-06,2.219724e-06,2.210830e-06,2.201866e-06,2.192845e-06,2.183776e-06,2.174671e-06,2.165540e-06,2.156391e-06,2.147232e-06,2.138072e-06,2.128919e-06,2.119778e-06,2.110657e-06,2.101561e-06,2.092496e-06,2.083467e-06,2.074479e-06,2.065537e-06
0.000000e+00,7.310675e-14,4.910841e-13,8.295911e-12,5.366616e-11,1.258200e-10,7.844432e-10,8.376740e-10,3.553895e-09,5.037736e-09,1.134329e-08,2.063433e-08,2.976041e-08,6.363948e-08,6.766454e-08,1.379468e-07,1.614731e-07,2.581048e-07,3.553499e-07,4.506264e-07,7.017371e-07,7.431589e-07,1.168443e-06,1.272653e-06,1.763997e-06,2.154678e-06,2.571536e-06,3.446591e-06,3.636134e-06,5.005175e-06,5.255709e-06,6.727139e-06,7.693262e-06,8.850317e-06,1.086926e-05,1.142151e-05,1.448477e-05,1.488739e-05,1.808029e-05,1.984023e-05,2.224336e-05,2.580529e-05,2.700355e-05,3.238404e-05,3.284182e-05,3.840118e-05,4.098859e-05,4.506413e-05,5.026271e-05,5.237482e-05,6.032798e-05,6.065931e-05,6.891133e-05,7.215217e-05,7.810598e-05,8.469496e-05,8.788685e-05,9.822326e-05,1.090795e-04,1.126569e-04,1.204158e-04,1.279029e-04,1.321884e-04,1.438579e-04,1.443513e-04,1.568559e-04,1.604117e-04,1.696525e-04,1.774497e-04,1.826908e-04,1.948560e-04,1.959202e-04,2.092909e-04,2.125155e-04,2.227540e-04,2.303160e-04,2.362622e-04,2.481507e-04,2.497702e-04,2.632346e-04,2.659187e-04,2.766151e-04,2.835271e-04,2.898737e-04,3.008910e-04,3.029754e-04,3.158881e-04,3.179347e-04,3.285830e-04,3.345914e-04,3.410340e-04,3.508036e-04,3.532180e-04,3.651151e-04,3.665227e-04,3.767080e-04,3.817087e-04,3.879821e-04,3.963297e-04,3.989254e-04,4.095284e-04,4.103617e-04,4.197838e-04,4.237874e-04,4.296864e-04,4.365960e-04,4.392330e-04,4.484220e-04,4.487821e-04,4.572535e-04,4.603457e-04,4.657292e-04,4.712908e-04,4.738519e-04,4.816256e-04,4.890553e-04,4.913611e-04,4.961469e-04,5.005112e-04,5.029071e-04,5.090917e-04,5.093431e-04,5.154626e-04,5.171206e-04,5.212741e-04,5.246166e-04,5.267860e-04,5.316000e-04,5.320073e-04,5.369468e-04,5.380914e-04,5.416139e-04,5.441119e-04,5.460178e-04,5.496828e-04,5.501677e-04,5.540728e-04,5.548253e-04,5.577424e-04,5.595606e-04,5.611856e-04,5.639093e-04,5.644112e-04,5.674280e-04,5.678920e-04,5.702448e-04,5.715283e-04,5.728699e-04,5.748375e-04,5.753115e-04,5.775777e-04,5.778382e-04,5.796762e-04,5.805484e-04,5.816146e-04,5.829852e-04,5.834002e-04,5.850401e-04,5.851652e-04,5.865412e-04,5.871042e-04,5.879100e-04,5.888173e-04,5.891531e-04,5.902764e-04,5.903189e-04,5.912859e-04,5.916226e-04,5.921874e-04,5.927414e-04,5.929862e-04,5.936876e-04,5.944728e-04,5.951082e-04,5.956040e-04,5.959703e-04,5.962162e-04,5.963505e-04,5.963816e-04,5.963171e-04,5.961644e-04,5.959304e-04,5.956215e-04,5.952438e-04,5.948030e-04,5.943045e-04,5.937533e-04,5.931540e-04,5.925112e-04,5.918290e-04,5.911112e-04,5.903613e-04,5.895829e-04,5.887791e-04,5.879528e-04,5.871067e-04
0.000000e+00,3.915261e-12,2.093454e-11,2.237747e-10,9.722715e-10,1.846511e-09,6.855104e-09,7.173103e-09,1.888549e-08,2.365595e-08,3.945624e-08,5.691964e-08,7.092796e-08,1.108825e-07,1.148890e-07,1.725058e-07,1.884596e-07,2.445474e-07,2.913446e-07,3.313763e-07,4.199472e-07,4.328870e-07,5.483910e-07,5.730612e-07,6.764872e-07,7.473868e-07,8.150256e-07,9.374709e-07,9.612627e-07,1.112191e-06,1.136576e-06,1.264895e-06,1.338048e-06,1.416790e-06,1.536262e-06,1.565723e-06,1.709977e-06,1.726906e-06,1.848220e-06,1.906875e-06,1.979456e-06,2.074066e-06,2.102980e-06,2.218332e-06,2.227198e-06,2.325263e-06,2.365658e-06,2.423707e-06,2.489374e-06,2.513748e-06,2.595588e-06,2.598695e-06,2.669528e-06,2.694282e-06,2.735938e-06,2.777006e-06,2.795235e-06,2.847869e-06,2.894304e-06,2.907930e-06,2.935006e-06,2.958258e-06,2.970432e-06,2.999889e-06,3.001026e-06,3.027208e-06,3.033803e-06,3.049376e-06,3.060906e-06,3.067902e-06,3.082024e-06,3.083128e-06,3.095372e-06,3.097899e-06,3.104921e-06,3.109191e-06,3.112039e-06,3.116483e-06,3.116966e-06,3.119917e-06,3.120288e-06,3.121089e-06,3.121054e-06,3.120657e-06,3.119174e-06,3.118783e-06,3.115610e-06,3.114990e-06,3.111266e-06,3.108800e-06,3.105869e-06,3.100863e-06,3.099522e-06,3.092322e-06,3.091405e-06,3.084354e-06,3.080624e-06,3.075694e-06,3.068692e-06,3.066411e-06,3.056571e-06,3.055761e-06,3.046229e-06,3.041964e-06,3.035439e-06,3.027418e-06,3.024246e-06,3.012695e-06,3.012226e-06,3.000824e-06,2.996479e-06,2.988669e-06,2.980259e-06,2.976264e-06,2.963639e-06,2.950820e-06,2.946682e-06,2.937834e-06,2.929445e-06,2.924702e-06,2.911979e-06,2.911447e-06,2.898089e-06,2.894332e-06,2.884645e-06,2.876546e-06,2.871134e-06,2.858657e-06,2.857570e-06,2.843967e-06,2.840698e-06,2.830340e-06,2.822702e-06,2.816699e-06,2.804694e-06,2.803057e-06,2.789425e-06,2.786701e-06,2.775812e-06,2.768744e-06,2.762227e-06,2.750844e-06,2.748679e-06,2.735176e-06,2.733020e-06,2.721724e-06,2.715287e-06,2.708330e-06,2.697661e-06,2.695000e-06,2.681740e-06,2.680154e-06,2.668556e-06,2.662779e-06,2.655451e-06,2.645547e-06,2.642430e-06,2.629498e-06,2.628468e-06,2.616658e-06,2.611549e-06,2.603914e-06,2.594798e-06,2.591268e-06,2.578723e-06,2.578223e-06,2.566282e-06,2.561829e-06,2.553948e-06,2.545622e-06,2.541721e-06,2.529605e-06,2.513783e-06,2.498160e-06,2.482737e-06,2.467517e-06,2.452503e-06,2.437694e-06,2.423094e-06,2.408701e-06,2.394518e-06,2.380542e-06,2.366776e-06,2.353217e-06,2.339866e-06,2.326722e-06,2.313783e-06,2.301049e-06,2.288517e-06,2.276187e-06,2.264057e-06,2.252125e-06,2.240390e-06,2.228848e-06,2.217499e-06,2.206340e-06
0.000000e+00,4.775939e-12,2.707588e-11,3.242075e-10,1.547664e-09,3.083700e-09,1.280936e-08,1.346044e-08,3.900541e-08,5.003321e-08,8.825004e-08,1.327225e-07,1.696800e-07,2.798591e-07,2.912350e-07,4.601372e-07,5.084525e-07,6.828332e-07,8.331555e-07,9.648814e-07,1.265683e-06,1.310645e-06,1.722719e-06,1.813151e-06,2.201204e-06,2.475417e-06,2.743183e-06,3.243291e-06,3.342785e-06,3.991885e-06,4.099718e-06,4.681124e-06,5.023368e-06,5.400831e-06,5.992237e-06,6.141668e-06,6.894967e-06,6.985818e-06,7.652864e-06,7.985951e-06,8.408314e-06,8.976955e-06,9.155083e-06,9.887729e-06,9.945585e-06,1.060157e-05,1.088093e-05,1.129265e-05,1.177429e-05,1.195774e-05,1.259424e-05,1.261908e-05,1.320022e-05,1.341061e-05,1.377426e-05,1.414591e-05,1.431551e-05,1.482352e-05,1.529826e-05,1.544319e-05,1.574002e-05,1.600569e-05,1.614937e-05,1.651259e-05,1.652710e-05,1.687419e-05,1.696602e-05,1.719172e-05,1.736856e-05,1.748092e-05,1.772304e-05,1.774305e-05,1.797941e-05,1.803246e-05,1.819136e-05,1.829987e-05,1.838020e-05,1.852833e-05,1.854727e-05,1.869386e-05,1.872083e-05,1.882122e-05,1.888026e-05,1.893058e-05,1.900939e-05,1.902311e-05,1.909993e-05,1.911084e-05,1.916212e-05,1.918707e-05,1.921069e-05,1.924040e-05,1.924662e-05,1.927082e-05,1.927297e-05,1.928415e-05,1.928679e-05,1.928745e-05,1.928371e-05,1.928147e-05,1.926693e-05,1.926542e-05,1.924453e-05,1.923351e-05,1.921489e-05,1.918940e-05,1.917861e-05,1.913625e-05,1.913443e-05,1.908833e-05,1.906981e-05,1.903534e-05,1.899664e-05,1.897774e-05,1.891595e-05,1.885037e-05,1.882864e-05,1.878137e-05,1.873557e-05,1.870929e-05,1.863750e-05,1.863446e-05,1.855718e-05,1.853514e-05,1.847772e-05,1.842911e-05,1.839634e-05,1.831999e-05,1.831329e-05,1.822878e-05,1.820831e-05,1.814303e-05,1.809453e-05,1.805622e-05,1.797910e-05,1.796854e-05,1.788014e-05,1.786239e-05,1.779119e-05,1.774476e-05,1.770182e-05,1.762652e-05,1.761216e-05,1.752234e-05,1.750796e-05,1.743247e-05,1.738934e-05,1.734264e-05,1.727088e-05,1.725295e-05,1.716350e-05,1.715278e-05,1.707435e-05,1.703525e-05,1.698559e-05,1.691843e-05,1.689727e-05,1.680947e-05,1.680247e-05,1.672223e-05,1.668751e-05,1.663561e-05,1.657365e-05,1.654965e-05,1.646440e-05,1.646100e-05,1.637988e-05,1.634965e-05,1.629615e-05,1.623967e-05,1.621322e-05,1.613112e-05,1.602408e-05,1.591857e-05,1.581465e-05,1.571234e-05,1.561168e-05,1.551268e-05,1.541536e-05,1.531973e-05,1.522579e-05,1.513356e-05,1.504303e-05,1.495419e-05,1.486705e-05,1.478158e-05,1.469778e-05,1.461564e-05,1.453514e-05,1.445626e-05,1.437899e-05,1.430330e-05,1.422918e-05,1.415661e-05,1.408556e-05,1.401601e-05
0.000000e+00,2.951144e-13,1.969794e-12,3.282775e-11,2.097146e-10,4.882625e-10,2.989236e-09,3.189699e-09,1.328712e-08,1.874094e-08,4.167090e-08,7.503620e-08,1.075104e-07,2.265551e-07,2.405862e-07,4.831911e-07,5.636467e-07,8.914533e-07,1.218149e-06,1.535929e-06,2.365350e-06,2.501238e-06,3.884492e-06,4.220561e-06,5.792427e-06,7.029122e-06,8.337444e-06,1.105068e-05,1.163300e-05,1.578883e-05,1.654053e-05,2.090642e-05,2.373125e-05,2.707506e-05,3.281695e-05,3.436861e-05,4.284316e-05,4.394142e-05,5.253536e-05,5.719067e-05,6.346173e-05,7.258960e-05,7.561850e-05,8.898223e-05,9.010233e-05,1.035109e-04,1.096358e-04,1.191453e-04,1.310457e-04,1.358113e-04,1.534214e-04,1.541441e-04,1.718775e-04,1.787086e-04,1.910733e-04,2.044916e-04,2.108961e-04,2.312299e-04,2.519568e-04,2.586533e-04,2.729596e-04,2.864930e-04,2.941233e-04,3.144886e-04,3.153367e-04,3.364939e-04,3.423940e-04,3.574949e-04,3.699819e-04,3.782474e-04,3.970470e-04,3.986664e-04,4.186752e-04,4.234085e-04,4.382054e-04,4.489106e-04,4.571971e-04,4.734233e-04,4.755988e-04,4.933669e-04,4.968413e-04,5.104658e-04,5.190831e-04,5.268671e-04,5.400892e-04,5.425494e-04,5.574976e-04,5.598205e-04,5.717025e-04,5.782556e-04,5.851603e-04,5.953891e-04,5.978719e-04,6.098424e-04,6.112295e-04,6.210807e-04,6.257966e-04,6.315988e-04,6.391200e-04,6.414116e-04,6.505362e-04,6.512371e-04,6.589918e-04,6.621913e-04,6.667989e-04,6.720307e-04,6.739794e-04,6.805561e-04,6.808069e-04,6.865523e-04,6.885734e-04,6.919919e-04,6.953852e-04,6.968990e-04,7.012977e-04,7.052117e-04,7.063658e-04,7.086649e-04,7.106439e-04,7.116805e-04,7.141849e-04,7.142813e-04,7.164895e-04,7.170405e-04,7.183269e-04,7.192602e-04,7.198145e-04,7.208916e-04,7.209726e-04,7.218209e-04,7.219804e-04,7.223781e-04,7.225698e-04,7.226625e-04,7.227009e-04,7.226914e-04,7.224815e-04,7.224123e-04,7.220487e-04,7.217407e-04,7.214082e-04,7.207203e-04,7.205744e-04,7.195612e-04,7.193833e-04,7.183816e-04,7.177600e-04,7.170480e-04,7.158783e-04,7.155724e-04,7.139657e-04,7.137646e-04,7.122387e-04,7.114433e-04,7.104013e-04,7.089370e-04,7.084631e-04,7.064328e-04,7.062667e-04,7.043191e-04,7.034521e-04,7.021299e-04,7.005111e-04,6.998726e-04,6.975544e-04,6.974605e-04,6.951818e-04,6.943157e-04,6.927613e-04,6.910908e-04,6.902985e-04,6.877991e-04,6.844525e-04,6.810619e-04,6.776377e-04,6.741889e-04,6.707241e-04,6.672510e-04,6.637766e-04,6.603073e-04,6.568489e-04,6.534067e-04,6.499854e-04,6.465892e-04,6.432220e-04,6.398872e-04,6.365879e-04,6.333266e-04,6.301059e-04,6.269278e-04,6.237941e-04,6.207064e-04,6.176660e-04,6.146741e-04,6.117316e-04,6.088392e-04
0.000000e+00,3.544034e-13,2.394521e-12,4.094001e-11,2.678147e-10,6.318146e-10,4.004647e-09,4.279323e-09,1.846814e-08,2.630453e-08,5.996318e-08,1.102086e-07,1.600537e-07,3.477892e-07,3.703057e-07,7.684141e-07,9.033271e-07,1.463760e-06,2.035743e-06,2.602187e-06,4.116933e-06,4.369297e-06,6.991414e-06,7.641125e-06,1.073351e-05,1.321991e-05,1.589386e-05,2.156073e-05,2.279596e-05,3.177812e-05,3.343119e-05,4.318211e-05,4.961479e-05,5.734135e-05,7.086427e-05,7.456954e-05,9.515032e-05,9.785739e-05,1.193283e-04,1.311592e-04,1.473019e-04,1.711925e-04,1.792176e-04,2.151666e-04,2.182182e-04,2.551830e-04,2.723252e-04,2.992436e-04,3.334291e-04,3.472693e-04,3.991281e-04,4.012798e-04,4.546388e-04,4.754745e-04,5.135759e-04,5.554768e-04,5.756751e-04,6.406391e-04,7.081442e-04,7.302267e-04,7.778460e-04,8.234428e-04,8.493860e-04,9.194532e-04,9.223973e-04,9.965103e-04,1.017409e-03,1.071358e-03,1.116469e-03,1.146580e-03,1.215814e-03,1.221826e-03,1.296764e-03,1.314667e-03,1.371074e-03,1.412303e-03,1.444462e-03,1.508060e-03,1.516651e-03,1.587390e-03,1.601343e-03,1.656450e-03,1.691629e-03,1.723627e-03,1.778471e-03,1.788744e-03,1.851644e-03,1.861494e-03,1.912197e-03,1.940396e-03,1.970295e-03,2.014946e-03,2.025850e-03,2.078797e-03,2.084973e-03,2.129091e-03,2.150371e-03,2.176702e-03,2.211084e-03,2.221619e-03,2.263845e-03,2.267108e-03,2.303400e-03,2.318479e-03,2.340311e-03,2.365273e-03,2.374620e-03,2.406378e-03,2.407596e-03,2.435644e-03,2.445582e-03,2.462483e-03,2.479384e-03,2.486968e-03,2.509176e-03,2.529187e-03,2.535141e-03,2.547086e-03,2.557474e-03,2.562960e-03,2.576375e-03,2.576896e-03,2.588983e-03,2.592048e-03,2.599309e-03,2.604697e-03,2.607964e-03,2.614526e-03,2.615035e-03,2.620609e-03,2.621733e-03,2.624770e-03,2.626515e-03,2.627603e-03,2.629060e-03,2.629187e-03,2.629602e-03,2.629552e-03,2.628925e-03,2.628165e-03,2.627227e-03,2.625066e-03,2.624582e-03,2.621055e-03,2.620414e-03,2.616715e-03,2.614360e-03,2.611621e-03,2.607045e-03,2.605836e-03,2.599415e-03,2.598604e-03,2.592412e-03,2.589160e-03,2.584880e-03,2.578831e-03,2.576867e-03,2.568418e-03,2.567725e-03,2.559578e-03,2.555941e-03,2.550387e-03,2.543575e-03,2.540885e-03,2.531107e-03,2.530711e-03,2.521088e-03,2.517428e-03,2.510859e-03,2.503800e-03,2.500452e-03,2.489893e-03,2.475768e-03,2.461481e-03,2.447081e-03,2.432615e-03,2.418125e-03,2.403647e-03,2.389214e-03,2.374858e-03,2.360604e-03,2.346476e-03,2.332496e-03,2.318682e-03,2.305050e-03,2.291614e-03,2.278386e-03,2.265378e-03,2.252596e-03,2.240049e-03,2.227743e-03,2.215683e-03,2.203871e-03,2.192311e-03,2.181004e-03,2.169951e-03
0.000000e+00,3.104738e-11,1.054441e-10,5.550713e-10,1.534348e-09,2.401288e-09,6.125578e-09,6.331585e-09,1.303205e-08,1.549316e-08,2.314992e-08,3.112631e-08,3.732339e-08,5.449622e-08,5.619363e-08,8.037915e-08,8.703494e-08,1.103816e-07,1.298198e-07,1.464107e-07,1.829103e-07,1.882104e-07,2.350536e-07,2.449416e-07,2.859455e-07,3.136680e-07,3.398692e-07,3.868425e-07,3.959207e-07,4.533376e-07,4.626067e-07,5.114770e-07,5.394753e-07,5.697854e-07,6.162247e-07,6.277759e-07,6.850150e-07,6.918144e-07,7.411167e-07,7.653516e-07,7.957398e-07,8.360810e-07,8.485889e-07,8.994138e-07,9.033860e-07,9.480107e-07,9.667885e-07,9.942205e-07,1.025947e-06,1.037927e-06,1.079056e-06,1.080647e-06,1.117569e-06,1.130791e-06,1.153459e-06,1.176379e-06,1.186753e-06,1.217495e-06,1.245753e-06,1.254284e-06,1.271610e-06,1.286943e-06,1.295163e-06,1.315702e-06,1.316515e-06,1.335778e-06,1.340812e-06,1.353064e-06,1.362536e-06,1.368491e-06,1.381140e-06,1.382173e-06,1.394224e-06,1.396885e-06,1.404753e-06,1.410025e-06,1.413868e-06,1.420801e-06,1.421671e-06,1.428262e-06,1.429443e-06,1.433731e-06,1.436161e-06,1.438165e-06,1.441149e-06,1.441645e-06,1.444245e-06,1.444585e-06,1.446039e-06,1.446633e-06,1.447091e-06,1.447440e-06,1.447463e-06,1.447210e-06,1.447141e-06,1.446386e-06,1.445855e-06,1.445038e-06,1.443691e-06,1.443211e-06,1.440948e-06,1.440749e-06,1.438285e-06,1.437116e-06,1.435259e-06,1.432873e-06,1.431901e-06,1.428241e-06,1.428089e-06,1.424307e-06,1.422829e-06,1.420125e-06,1.417150e-06,1.415717e-06,1.411105e-06,1.406309e-06,1.404738e-06,1.401347e-06,1.398093e-06,1.396237e-06,1.391205e-06,1.390993e-06,1.385630e-06,1.384109e-06,1.380162e-06,1.376835e-06,1.374600e-06,1.369410e-06,1.368956e-06,1.363240e-06,1.361859e-06,1.357462e-06,1.354203e-06,1.351632e-06,1.346464e-06,1.345756e-06,1.339844e-06,1.338657e-06,1.333901e-06,1.330801e-06,1.327935e-06,1.322910e-06,1.321952e-06,1.315956e-06,1.314996e-06,1.309954e-06,1.307072e-06,1.303951e-06,1.299149e-06,1.297949e-06,1.291955e-06,1.291237e-06,1.285972e-06,1.283343e-06,1.280002e-06,1.275477e-06,1.274050e-06,1.268119e-06,1.267645e-06,1.262210e-06,1.259854e-06,1.256328e-06,1.252110e-06,1.250474e-06,1.244650e-06,1.244417e-06,1.238858e-06,1.236782e-06,1.233101e-06,1.229207e-06,1.227380e-06,1.221697e-06,1.214255e-06,1.206884e-06,1.199587e-06,1.192366e-06,1.185222e-06,1.178159e-06,1.171177e-06,1.164278e-06,1.157463e-06,1.150732e-06,1.144087e-06,1.137528e-06,1.131055e-06,1.124670e-06,1.118371e-06,1.112159e-06,1.106035e-06,1.099997e-06,1.094047e-06,1.088182e-06,1.082404e-06,1.076711e-06,1.071104e-06,1.065581e-06
0.000000e+00,2.219087e-11,5.170385e-11,1.814494e-10,4.174834e-10,6.120468e-10,1.403180e-09,1.445962e-09,2.819514e-09,3.320513e-09,4.879899e-09,6.512239e-09,7.787756e-09,1.135207e-08,1.170617e-08,1.676173e-08,1.815054e-08,2.298900e-08,2.696541e-08,3.031953e-08,3.758839e-08,3.863397e-08,4.781211e-08,4.974184e-08,5.774832e-08,6.318327e-08,6.834871e-08,7.770205e-08,7.952557e-08,9.119390e-08,9.310084e-08,1.032703e-07,1.091879e-07,1.156732e-07,1.257774e-07,1.283237e-07,1.411470e-07,1.426940e-07,1.540730e-07,1.597762e-07,1.670375e-07,1.768804e-07,1.799825e-07,1.928565e-07,1.938819e-07,2.056141e-07,2.106756e-07,2.182164e-07,2.271750e-07,2.306301e-07,2.428274e-07,2.433105e-07,2.547852e-07,2.590276e-07,2.664847e-07,2.742851e-07,2.779110e-07,2.890524e-07,2.999001e-07,3.033083e-07,3.104479e-07,3.170391e-07,3.206916e-07,3.302371e-07,3.306286e-07,3.402582e-07,3.428994e-07,3.495806e-07,3.550272e-07,3.585973e-07,3.666246e-07,3.673105e-07,3.757234e-07,3.776982e-07,3.838395e-07,3.882564e-07,3.916629e-07,3.983091e-07,3.991983e-07,4.064504e-07,4.078673e-07,4.134246e-07,4.169430e-07,4.201261e-07,4.255488e-07,4.265606e-07,4.327337e-07,4.336975e-07,4.386512e-07,4.414025e-07,4.443189e-07,4.486772e-07,4.497428e-07,4.549287e-07,4.555353e-07,4.598825e-07,4.619902e-07,4.646102e-07,4.680556e-07,4.691176e-07,4.734106e-07,4.737449e-07,4.774949e-07,4.790714e-07,4.813762e-07,4.840483e-07,4.850602e-07,4.885525e-07,4.886883e-07,4.918586e-07,4.930043e-07,4.949840e-07,4.970087e-07,4.979338e-07,5.007136e-07,5.033282e-07,5.041309e-07,5.057830e-07,5.072723e-07,5.080827e-07,5.101492e-07,5.102323e-07,5.122366e-07,5.127724e-07,5.141002e-07,5.151528e-07,5.158277e-07,5.173007e-07,5.174236e-07,5.188923e-07,5.192263e-07,5.202380e-07,5.209394e-07,5.214648e-07,5.224495e-07,5.225770e-07,5.235784e-07,5.237657e-07,5.244729e-07,5.248971e-07,5.252643e-07,5.258522e-07,5.259564e-07,5.265526e-07,5.266393e-07,5.270565e-07,5.272666e-07,5.274715e-07,5.277417e-07,5.278009e-07,5.280479e-07,5.280722e-07,5.282157e-07,5.282652e-07,5.283073e-07,5.283278e-07,5.283258e-07,5.282739e-07,5.282668e-07,5.281544e-07,5.280884e-07,5.279703e-07,5.277990e-07,5.277239e-07,5.274180e-07,5.274045e-07,5.270550e-07,5.269108e-07,5.266373e-07,5.263233e-07,5.261673e-07,5.256473e-07,5.248880e-07,5.240503e-07,5.231388e-07,5.221582e-07,5.211126e-07,5.200062e-07,5.188431e-07,5.176271e-07,5.163617e-07,5.150505e-07,5.136967e-07,5.123037e-07,5.108743e-07,5.094117e-07,5.079184e-07,5.063972e-07,5.048506e-07,5.032811e-07,5.016909e-07,5.000822e-07,4.984571e-07,4.968175e-07,4.951655e-07,4.935027e-07
0.000000e+00,1.694839e-11,9.039678e-11,9.641968e-10,4.196416e-09,7.989462e-09,3.000895e-08,3.142117e-08,8.438453e-08,1.064241e-07,1.810845e-07,2.662742e-07,3.364498e-07,5.447341e-07,5.662403e-07,8.867975e-07,9.790247e-07,1.313811e-06,1.604280e-06,1.859589e-06,2.442215e-06,2.528975e-06,3.315833e-06,3.485961e-06,4.203237e-06,4.696795e-06,5.167970e-06,6.020633e-06,6.186255e-06,7.237404e-06,7.407477e-06,8.304881e-06,8.819182e-06,9.375845e-06,1.022831e-05,1.044027e-05,1.149019e-05,1.161489e-05,1.251922e-05,1.296401e-05,1.352222e-05,1.426455e-05,1.449512e-05,1.543474e-05,1.550840e-05,1.633872e-05,1.668993e-05,1.720536e-05,1.780560e-05,1.803359e-05,1.882282e-05,1.885357e-05,1.957287e-05,1.983332e-05,2.028391e-05,2.074535e-05,2.095638e-05,2.159095e-05,2.218844e-05,2.237196e-05,2.274981e-05,2.309061e-05,2.327610e-05,2.374938e-05,2.376843e-05,2.422795e-05,2.435090e-05,2.465584e-05,2.489788e-05,2.505328e-05,2.539306e-05,2.542147e-05,2.576160e-05,2.583919e-05,2.607483e-05,2.623892e-05,2.636232e-05,2.659491e-05,2.662519e-05,2.686455e-05,2.690969e-05,2.708146e-05,2.718573e-05,2.727697e-05,2.742540e-05,2.745209e-05,2.760781e-05,2.763099e-05,2.774508e-05,2.780468e-05,2.786480e-05,2.794853e-05,2.796785e-05,2.805507e-05,2.806451e-05,2.812727e-05,2.815448e-05,2.818523e-05,2.822023e-05,2.822971e-05,2.826143e-05,2.826344e-05,2.828108e-05,2.828570e-05,2.828930e-05,2.828851e-05,2.828674e-05,2.827401e-05,2.827330e-05,2.825169e-05,2.824141e-05,2.822033e-05,2.819411e-05,2.818046e-05,2.813260e-05,2.807722e-05,2.805799e-05,2.801479e-05,2.797134e-05,2.794575e-05,2.787364e-05,2.787051e-05,2.778949e-05,2.776582e-05,2.770306e-05,2.764877e-05,2.761160e-05,2.752330e-05,2.751544e-05,2.741492e-05,2.739018e-05,2.731036e-05,2.725014e-05,2.720204e-05,2.710385e-05,2.709027e-05,2.697530e-05,2.695195e-05,2.685740e-05,2.679501e-05,2.673681e-05,2.663361e-05,2.661376e-05,2.648848e-05,2.646824e-05,2.636117e-05,2.629940e-05,2.623203e-05,2.612753e-05,2.610125e-05,2.596901e-05,2.595305e-05,2.583547e-05,2.577635e-05,2.570080e-05,2.559779e-05,2.556515e-05,2.542865e-05,2.541770e-05,2.529145e-05,2.523641e-05,2.515368e-05,2.505419e-05,2.501545e-05,2.487687e-05,2.487133e-05,2.473806e-05,2.468805e-05,2.459912e-05,2.450461e-05,2.446014e-05,2.432121e-05,2.413803e-05,2.395528e-05,2.377310e-05,2.359166e-05,2.341109e-05,2.323152e-05,2.305307e-05,2.287584e-05,2.269993e-05,2.252542e-05,2.235241e-05,2.218094e-05,2.201110e-05,2.184294e-05,2.167650e-05,2.151183e-05,2.134897e-05,2.118796e-05,2.102881e-05,2.087157e-05,2.071623e-05,2.056283e-05,2.041137e-05,2.026187e-05
0.000000e+00,5.068850e-13,3.391860e-12,5.684860e-11,3.653125e-10,8.536204e-10,5.284313e-09,5.641583e-09,2.384130e-08,3.378252e-08,7.610952e-08,1.387641e-07,2.006287e-07,4.327007e-07,4.604955e-07,9.519887e-07,1.118741e-06,1.812846e-06,2.523329e-06,3.228450e-06,5.117901e-06,5.432906e-06,8.702813e-06,9.511235e-06,1.334393e-05,1.640452e-05,1.967317e-05,2.652071e-05,2.799909e-05,3.860387e-05,4.052890e-05,5.172848e-05,5.898104e-05,6.756203e-05,8.226927e-05,8.623535e-05,1.078186e-04,1.106052e-04,1.323220e-04,1.440187e-04,1.596996e-04,1.823707e-04,1.898541e-04,2.226440e-04,2.253759e-04,2.578903e-04,2.726306e-04,2.953841e-04,3.236423e-04,3.348944e-04,3.761744e-04,3.778588e-04,4.189683e-04,4.346948e-04,4.630171e-04,4.935555e-04,5.080634e-04,5.538557e-04,6.001518e-04,6.150351e-04,6.467219e-04,6.765704e-04,6.933504e-04,7.379829e-04,7.398373e-04,7.859996e-04,7.988438e-04,8.316711e-04,8.587758e-04,8.767032e-04,9.174546e-04,9.209643e-04,9.643394e-04,9.746062e-04,1.006729e-03,1.030005e-03,1.048050e-03,1.083472e-03,1.088232e-03,1.127217e-03,1.134866e-03,1.164961e-03,1.184086e-03,1.201431e-03,1.231062e-03,1.236601e-03,1.270458e-03,1.275752e-03,1.302993e-03,1.318140e-03,1.334207e-03,1.358230e-03,1.364105e-03,1.392698e-03,1.396042e-03,1.420002e-03,1.431613e-03,1.446038e-03,1.464990e-03,1.470827e-03,1.494396e-03,1.496230e-03,1.516772e-03,1.525395e-03,1.537986e-03,1.552557e-03,1.558067e-03,1.577049e-03,1.577786e-03,1.594965e-03,1.601160e-03,1.611848e-03,1.622755e-03,1.627731e-03,1.642648e-03,1.656633e-03,1.660917e-03,1.669720e-03,1.677639e-03,1.681940e-03,1.692888e-03,1.693328e-03,1.703914e-03,1.706739e-03,1.713731e-03,1.719264e-03,1.722809e-03,1.730533e-03,1.731177e-03,1.738866e-03,1.740613e-03,1.745903e-03,1.749570e-03,1.752317e-03,1.757466e-03,1.758133e-03,1.763379e-03,1.764362e-03,1.768079e-03,1.770315e-03,1.772257e-03,1.775381e-03,1.775938e-03,1.779143e-03,1.779613e-03,1.781896e-03,1.783062e-03,1.784216e-03,1.785775e-03,1.786125e-03,1.787643e-03,1.787799e-03,1.788787e-03,1.789177e-03,1.789577e-03,1.789951e-03,1.790030e-03,1.790164e-03,1.790161e-03,1.789993e-03,1.789843e-03,1.789534e-03,1.789034e-03,1.788802e-03,1.787812e-03,1.787767e-03,1.786576e-03,1.786074e-03,1.785110e-03,1.783986e-03,1.783424e-03,1.781532e-03,1.778738e-03,1.775630e-03,1.772232e-03,1.768568e-03,1.764660e-03,1.760527e-03,1.756189e-03,1.751664e-03,1.746970e-03,1.742122e-03,1.737137e-03,1.732028e-03,1.726808e-03,1.721491e-03,1.716089e-03,1.710612e-03,1.705072e-03,1.699478e-03,1.693839e-03,1.688165e-03,1.682462e-03,1.676740e-03,1.671005e-03,1.665263e-03
0.000000e+00,1.420837e-12,9.644154e-12,1.665126e-10,1.099442e-09,2.607449e-09,1.676354e-08,1.792406e-08,7.853463e-08,1.123412e-07,2.589804e-07,4.805426e-07,7.023850e-07,1.549392e-06,1.651890e-06,3.485722e-06,4.114423e-06,6.754028e-06,9.483768e-06,1.221424e-05,1.961529e-05,2.085979e-05,3.393637e-05,3.721090e-05,5.294157e-05,6.573369e-05,7.960725e-05,1.093358e-04,1.158666e-04,1.638093e-04,1.727100e-04,2.256289e-04,2.608890e-04,3.035658e-04,3.790193e-04,3.998488e-04,5.166391e-04,5.321305e-04,6.559771e-04,7.249184e-04,8.197348e-04,9.615543e-04,1.009575e-03,1.226916e-03,1.245528e-03,1.472908e-03,1.579530e-03,1.748412e-03,1.965376e-03,2.053990e-03,2.389900e-03,2.403967e-03,2.756101e-03,2.895294e-03,3.152262e-03,3.438464e-03,3.577773e-03,4.031764e-03,4.513130e-03,4.672738e-03,5.020551e-03,5.358284e-03,5.552519e-03,6.084757e-03,6.107368e-03,6.683295e-03,6.848075e-03,7.278395e-03,7.643833e-03,7.890679e-03,8.467403e-03,8.518106e-03,9.158603e-03,9.314035e-03,9.810086e-03,1.017894e-02,1.047049e-02,1.105739e-02,1.113776e-02,1.180990e-02,1.194474e-02,1.248498e-02,1.283656e-02,1.316113e-02,1.372860e-02,1.383655e-02,1.450955e-02,1.461689e-02,1.517851e-02,1.549773e-02,1.584193e-02,1.636773e-02,1.649841e-02,1.714663e-02,1.722381e-02,1.778541e-02,1.806319e-02,1.841364e-02,1.888344e-02,1.903034e-02,1.963462e-02,1.968240e-02,2.022567e-02,2.045823e-02,2.080281e-02,2.120938e-02,2.136541e-02,2.191297e-02,2.193455e-02,2.244503e-02,2.263271e-02,2.296124e-02,2.330306e-02,2.346131e-02,2.394501e-02,2.441219e-02,2.455819e-02,2.486276e-02,2.514237e-02,2.529666e-02,2.569753e-02,2.571390e-02,2.611454e-02,2.622375e-02,2.649867e-02,2.672128e-02,2.686643e-02,2.719044e-02,2.721797e-02,2.755351e-02,2.763168e-02,2.787327e-02,2.804552e-02,2.817748e-02,2.843256e-02,2.846644e-02,2.874042e-02,2.879344e-02,2.899973e-02,2.912888e-02,2.924469e-02,2.943961e-02,2.947563e-02,2.969290e-02,2.972641e-02,2.989683e-02,2.999008e-02,3.008778e-02,3.023144e-02,3.026612e-02,3.043219e-02,3.045131e-02,3.058637e-02,3.065053e-02,3.072900e-02,3.082991e-02,3.086047e-02,3.098111e-02,3.099030e-02,3.109129e-02,3.113251e-02,3.119136e-02,3.125735e-02,3.128167e-02,3.136257e-02,3.136561e-02,3.143439e-02,3.145809e-02,3.149747e-02,3.153554e-02,3.155214e-02,3.159872e-02,3.164835e-02,3.168515e-02,3.170978e-02,3.172293e-02,3.172523e-02,3.171730e-02,3.169973e-02,3.167311e-02,3.163799e-02,3.159489e-02,3.154433e-02,3.148680e-02,3.142275e-02,3.135265e-02,3.127692e-02,3.119596e-02,3.111016e-02,3.101990e-02,3.092553e-02,3.082738e-02,3.072579e-02,3.062104e-02,3.051343e-02,3.040324e-02
0.000000e+00,1.613022e-12,1.090878e-11,1.869507e-10,1.226189e-09,2.897580e-09,1.846003e-08,1.973084e-08,8.570593e-08,1.223208e-07,2.804254e-07,5.181108e-07,7.552734e-07,1.656779e-06,1.765590e-06,3.706867e-06,4.370811e-06,7.153606e-06,1.002666e-05,1.289791e-05,2.067503e-05,2.198244e-05,3.572108e-05,3.916239e-05,5.570274e-05,6.916476e-05,8.377677e-05,1.151279e-04,1.220221e-04,1.727041e-04,1.821263e-04,2.382226e-04,2.756675e-04,3.210553e-04,4.014671e-04,4.237002e-04,5.486179e-04,5.652185e-04,6.981777e-04,7.723708e-04,8.746071e-04,1.027928e-03,1.079947e-03,1.316013e-03,1.336275e-03,1.584363e-03,1.701037e-03,1.886267e-03,2.124972e-03,2.222696e-03,2.594301e-03,2.609903e-03,3.001412e-03,3.156674e-03,3.444033e-03,3.765151e-03,3.921851e-03,4.434246e-03,4.980302e-03,5.161963e-03,5.558831e-03,5.945475e-03,6.168389e-03,6.781206e-03,6.807304e-03,7.473698e-03,7.664937e-03,8.165519e-03,8.591905e-03,8.880564e-03,9.556921e-03,9.616509e-03,1.037094e-02,1.055447e-02,1.114136e-02,1.157884e-02,1.192525e-02,1.262419e-02,1.272006e-02,1.352326e-02,1.368468e-02,1.433232e-02,1.475452e-02,1.514477e-02,1.582808e-02,1.595819e-02,1.677027e-02,1.689992e-02,1.757873e-02,1.796488e-02,1.838145e-02,1.901812e-02,1.917639e-02,1.996161e-02,2.005510e-02,2.073534e-02,2.107169e-02,2.149589e-02,2.206414e-02,2.224172e-02,2.297144e-02,2.302908e-02,2.368376e-02,2.396355e-02,2.437752e-02,2.486498e-02,2.505173e-02,2.570546e-02,2.573118e-02,2.633797e-02,2.656034e-02,2.694859e-02,2.735103e-02,2.753678e-02,2.810211e-02,2.864425e-02,2.881279e-02,2.916296e-02,2.948258e-02,2.965812e-02,3.011125e-02,3.012965e-02,3.057759e-02,3.069880e-02,3.100204e-02,3.124550e-02,3.140316e-02,3.175179e-02,3.178118e-02,3.213639e-02,3.221829e-02,3.246913e-02,3.264579e-02,3.277979e-02,3.303522e-02,3.306877e-02,3.333656e-02,3.338762e-02,3.358365e-02,3.370412e-02,3.381055e-02,3.398595e-02,3.401782e-02,3.420601e-02,3.423438e-02,3.437570e-02,3.445076e-02,3.452750e-02,3.463645e-02,3.466200e-02,3.477981e-02,3.479285e-02,3.488154e-02,3.492137e-02,3.496782e-02,3.502342e-02,3.503924e-02,3.509643e-02,3.510041e-02,3.514000e-02,3.515374e-02,3.517053e-02,3.518478e-02,3.518863e-02,3.519487e-02,3.519488e-02,3.518983e-02,3.518536e-02,3.517406e-02,3.515750e-02,3.514813e-02,3.511256e-02,3.505174e-02,3.497621e-02,3.488708e-02,3.478542e-02,3.467228e-02,3.454861e-02,3.441537e-02,3.427344e-02,3.412367e-02,3.396684e-02,3.380371e-02,3.363500e-02,3.346137e-02,3.328345e-02,3.310182e-02,3.291705e-02,3.272964e-02,3.254007e-02,3.234878e-02,3.215621e-02,3.196272e-02,3.176868e-02,3.157441e-02,3.138023e-02
0.000000e+00,4.161874e-12,2.401345e-11,2.976634e-10,1.463454e-09,2.961314e-09,1.277936e-08,1.344928e-08,4.043347e-08,5.239254e-08,9.486538e-08,1.459079e-07,1.894286e-07,3.240595e-07,3.383196e-07,5.560611e-07,6.199768e-07,8.543631e-07,1.059008e-06,1.238928e-06,1.648251e-06,1.709042e-06,2.259758e-06,2.379000e-06,2.884487e-06,3.236378e-06,3.576604e-06,4.205559e-06,4.329976e-06,5.138868e-06,5.273067e-06,5.997635e-06,6.425861e-06,6.900454e-06,7.650302e-06,7.841168e-06,8.813239e-06,8.931671e-06,9.809799e-06,1.025422e-05,1.082376e-05,1.160159e-05,1.184794e-05,1.287524e-05,1.295735e-05,1.389877e-05,1.430565e-05,1.491200e-05,1.563171e-05,1.590885e-05,1.688382e-05,1.692229e-05,1.783201e-05,1.816597e-05,1.874919e-05,1.935331e-05,1.963180e-05,2.047696e-05,2.128242e-05,2.153150e-05,2.204655e-05,2.251339e-05,2.276829e-05,2.342076e-05,2.344708e-05,2.408282e-05,2.425314e-05,2.467580e-05,2.501133e-05,2.522667e-05,2.569705e-05,2.573634e-05,2.620596e-05,2.631285e-05,2.663686e-05,2.686181e-05,2.703053e-05,2.734741e-05,2.738854e-05,2.771254e-05,2.777341e-05,2.800422e-05,2.814369e-05,2.826529e-05,2.846216e-05,2.849743e-05,2.870232e-05,2.873269e-05,2.888162e-05,2.895905e-05,2.903689e-05,2.914487e-05,2.916970e-05,2.928152e-05,2.929359e-05,2.937375e-05,2.940848e-05,2.944776e-05,2.949260e-05,2.950482e-05,2.954613e-05,2.954879e-05,2.957286e-05,2.957970e-05,2.958606e-05,2.958777e-05,2.958676e-05,2.957591e-05,2.957525e-05,2.955439e-05,2.954420e-05,2.952304e-05,2.949651e-05,2.948264e-05,2.943391e-05,2.937754e-05,2.935799e-05,2.931414e-05,2.927017e-05,2.924433e-05,2.917176e-05,2.916863e-05,2.908756e-05,2.906397e-05,2.900160e-05,2.894787e-05,2.891119e-05,2.882444e-05,2.881674e-05,2.871863e-05,2.869457e-05,2.861721e-05,2.855909e-05,2.851281e-05,2.841872e-05,2.840574e-05,2.829629e-05,2.827413e-05,2.818471e-05,2.812593e-05,2.807126e-05,2.797467e-05,2.795616e-05,2.783962e-05,2.782085e-05,2.772183e-05,2.766491e-05,2.760300e-05,2.750728e-05,2.748327e-05,2.736281e-05,2.734831e-05,2.724176e-05,2.718835e-05,2.712026e-05,2.702770e-05,2.699843e-05,2.687640e-05,2.686663e-05,2.675426e-05,2.670540e-05,2.663213e-05,2.654424e-05,2.651008e-05,2.638821e-05,2.638334e-05,2.626660e-05,2.622290e-05,2.614532e-05,2.606307e-05,2.602444e-05,2.590402e-05,2.574586e-05,2.558873e-05,2.543274e-05,2.527797e-05,2.512453e-05,2.497247e-05,2.482188e-05,2.467282e-05,2.452533e-05,2.437946e-05,2.423526e-05,2.409275e-05,2.395198e-05,2.381296e-05,2.367571e-05,2.354024e-05,2.340659e-05,2.327474e-05,2.314472e-05,2.301651e-05,2.289013e-05,2.276557e-05,2.264284e-05,2.252191e-05
0.000000e+00,2.208273e-11,5.245289e-11,1.875432e-10,4.346664e-10,6.386798e-10,1.468612e-09,1.513490e-09,2.953940e-09,3.479228e-09,5.114358e-09,6.827156e-09,8.167230e-09,1.192640e-08,1.230149e-08,1.770429e-08,1.920721e-08,2.451656e-08,2.896553e-08,3.277243e-08,4.115351e-08,4.236998e-08,5.311006e-08,5.537513e-08,6.476694e-08,7.112129e-08,7.713519e-08,8.794764e-08,9.004298e-08,1.033482e-07,1.055056e-07,1.169303e-07,1.235167e-07,1.306843e-07,1.417479e-07,1.445164e-07,1.583424e-07,1.599974e-07,1.720861e-07,1.780894e-07,1.856792e-07,1.958719e-07,1.990615e-07,2.121804e-07,2.132171e-07,2.249906e-07,2.300195e-07,2.374544e-07,2.461964e-07,2.495411e-07,2.612261e-07,2.616849e-07,2.724907e-07,2.764403e-07,2.833216e-07,2.904342e-07,2.937101e-07,3.036515e-07,3.131448e-07,3.160883e-07,3.221920e-07,3.277499e-07,3.307973e-07,3.386488e-07,3.389673e-07,3.467102e-07,3.488029e-07,3.540354e-07,3.582344e-07,3.609535e-07,3.669685e-07,3.674760e-07,3.736149e-07,3.750325e-07,3.793826e-07,3.824550e-07,3.847916e-07,3.892650e-07,3.898547e-07,3.945845e-07,3.954916e-07,3.989937e-07,4.011640e-07,4.030950e-07,4.063110e-07,4.069006e-07,4.104226e-07,4.109606e-07,4.136730e-07,4.151402e-07,4.166634e-07,4.188761e-07,4.194051e-07,4.219089e-07,4.221939e-07,4.241857e-07,4.251181e-07,4.262456e-07,4.276723e-07,4.280987e-07,4.297547e-07,4.298789e-07,4.312227e-07,4.317594e-07,4.325120e-07,4.333343e-07,4.336310e-07,4.345881e-07,4.346231e-07,4.353913e-07,4.356444e-07,4.360485e-07,4.364156e-07,4.365669e-07,4.369537e-07,4.372158e-07,4.372744e-07,4.373596e-07,4.373926e-07,4.373916e-07,4.373227e-07,4.373178e-07,4.371439e-07,4.370780e-07,4.368755e-07,4.366713e-07,4.365179e-07,4.361145e-07,4.360761e-07,4.355552e-07,4.354189e-07,4.349597e-07,4.345953e-07,4.342940e-07,4.336536e-07,4.335625e-07,4.327692e-07,4.326034e-07,4.319179e-07,4.314537e-07,4.310125e-07,4.302127e-07,4.300565e-07,4.290532e-07,4.288885e-07,4.280059e-07,4.274885e-07,4.269177e-07,4.260197e-07,4.257915e-07,4.246301e-07,4.244885e-07,4.234362e-07,4.229013e-07,4.222124e-07,4.212637e-07,4.209610e-07,4.196844e-07,4.195812e-07,4.183847e-07,4.178589e-07,4.170642e-07,4.161015e-07,4.157246e-07,4.143681e-07,4.143135e-07,4.129963e-07,4.124990e-07,4.116109e-07,4.106619e-07,4.102136e-07,4.088059e-07,4.069343e-07,4.050503e-07,4.031569e-07,4.012567e-07,3.993524e-07,3.974463e-07,3.955405e-07,3.936372e-07,3.917382e-07,3.898452e-07,3.879599e-07,3.860837e-07,3.842180e-07,3.823640e-07,3.805230e-07,3.786959e-07,3.768838e-07,3.750874e-07,3.733076e-07,3.715450e-07,3.698004e-07,3.680743e-07,3.663673e-07,3.646796e-07
0.000000e+00,4.688402e-13,3.162264e-12,5.387825e-11,3.513159e-10,8.273195e-10,5.219095e-09,5.575979e-09,2.394762e-08,3.406305e-08,7.738087e-08,1.418116e-07,2.055536e-07,4.446717e-07,4.732760e-07,9.772745e-07,1.147493e-06,1.852386e-06,2.569039e-06,3.276700e-06,5.161838e-06,5.475108e-06,8.720536e-06,9.522576e-06,1.333199e-05,1.638770e-05,1.966874e-05,2.660952e-05,2.812064e-05,3.909509e-05,4.111259e-05,5.300201e-05,6.083636e-05,7.023814e-05,8.667297e-05,9.117191e-05,1.161299e-04,1.194089e-04,1.453853e-04,1.596759e-04,1.791494e-04,2.079161e-04,2.175653e-04,2.607048e-04,2.643605e-04,3.085675e-04,3.290215e-04,3.610823e-04,4.016982e-04,4.181105e-04,4.794515e-04,4.819914e-04,5.448484e-04,5.693267e-04,6.139955e-04,6.629822e-04,6.865461e-04,7.621203e-04,8.403134e-04,8.658198e-04,9.207037e-04,9.731076e-04,1.002860e-03,1.082988e-03,1.086348e-03,1.170738e-03,1.194472e-03,1.255610e-03,1.306595e-03,1.340558e-03,1.418443e-03,1.425194e-03,1.509153e-03,1.529164e-03,1.592093e-03,1.637977e-03,1.673702e-03,1.744187e-03,1.753692e-03,1.831807e-03,1.847184e-03,1.907817e-03,1.946444e-03,1.981525e-03,2.041534e-03,2.052759e-03,2.121375e-03,2.132102e-03,2.187256e-03,2.217880e-03,2.250311e-03,2.298672e-03,2.310469e-03,2.367685e-03,2.374351e-03,2.421930e-03,2.444853e-03,2.473195e-03,2.510170e-03,2.521490e-03,2.566837e-03,2.570338e-03,2.609272e-03,2.625441e-03,2.648842e-03,2.675592e-03,2.685606e-03,2.719631e-03,2.720936e-03,2.750989e-03,2.761641e-03,2.779761e-03,2.797893e-03,2.806033e-03,2.829892e-03,2.851430e-03,2.857848e-03,2.870742e-03,2.881976e-03,2.887921e-03,2.902495e-03,2.903063e-03,2.916264e-03,2.919625e-03,2.927617e-03,2.933581e-03,2.937216e-03,2.944578e-03,2.945154e-03,2.951519e-03,2.952823e-03,2.956401e-03,2.958518e-03,2.959884e-03,2.961859e-03,2.962052e-03,2.962986e-03,2.963032e-03,2.962763e-03,2.962215e-03,2.961458e-03,2.959577e-03,2.959142e-03,2.955884e-03,2.955280e-03,2.951751e-03,2.949474e-03,2.946805e-03,2.942303e-03,2.941106e-03,2.934712e-03,2.933900e-03,2.927676e-03,2.924391e-03,2.920051e-03,2.913892e-03,2.911886e-03,2.903226e-03,2.902513e-03,2.894116e-03,2.890355e-03,2.884597e-03,2.877512e-03,2.874708e-03,2.864486e-03,2.864070e-03,2.853966e-03,2.850112e-03,2.843180e-03,2.835710e-03,2.832159e-03,2.820933e-03,2.805843e-03,2.790500e-03,2.774954e-03,2.759255e-03,2.743446e-03,2.727569e-03,2.711658e-03,2.695747e-03,2.679866e-03,2.664043e-03,2.648301e-03,2.632663e-03,2.617147e-03,2.601772e-03,2.586553e-03,2.571504e-03,2.556636e-03,2.541960e-03,2.527485e-03,2.513220e-03,2.499170e-03,2.485343e-03,2.471741e-03,2.458369e-03
0.000000e+00,3.395386e-12,2.282744e-11,3.865151e-10,2.508015e-09,5.892415e-09,3.699636e-08,3.952025e-08,1.693053e-07,2.407543e-07,5.470209e-07,1.003628e-06,1.456560e-06,3.164748e-06,3.369931e-06,7.008885e-06,8.246549e-06,1.340851e-05,1.870571e-05,2.397492e-05,3.815321e-05,4.052552e-05,6.530155e-05,7.147001e-05,1.009496e-04,1.247686e-04,1.504756e-04,2.052077e-04,2.171767e-04,3.045612e-04,3.207038e-04,4.162599e-04,4.795886e-04,5.559365e-04,6.902511e-04,7.271999e-04,9.335207e-04,9.607924e-04,1.178156e-03,1.298711e-03,1.464079e-03,1.710629e-03,1.793925e-03,2.169939e-03,2.202072e-03,2.593940e-03,2.777299e-03,3.067294e-03,3.439190e-03,3.590897e-03,4.165166e-03,4.189192e-03,4.790045e-03,5.027304e-03,5.465012e-03,5.952124e-03,6.189100e-03,6.960923e-03,7.778701e-03,8.049757e-03,8.640300e-03,9.213598e-03,9.543264e-03,1.044649e-02,1.048486e-02,1.146212e-02,1.174171e-02,1.247187e-02,1.309194e-02,1.351079e-02,1.448939e-02,1.457543e-02,1.566228e-02,1.592603e-02,1.676777e-02,1.739366e-02,1.788834e-02,1.888410e-02,1.902044e-02,2.016057e-02,2.038926e-02,2.130531e-02,2.190129e-02,2.245135e-02,2.341267e-02,2.359547e-02,2.473461e-02,2.491622e-02,2.586586e-02,2.640523e-02,2.698644e-02,2.787348e-02,2.809377e-02,2.918543e-02,2.931527e-02,3.025919e-02,3.072543e-02,3.131298e-02,3.209934e-02,3.234492e-02,3.335333e-02,3.343294e-02,3.433667e-02,3.472269e-02,3.529361e-02,3.596559e-02,3.622297e-02,3.712374e-02,3.715917e-02,3.799507e-02,3.830140e-02,3.883624e-02,3.939073e-02,3.964671e-02,4.042605e-02,4.117397e-02,4.140663e-02,4.189028e-02,4.233211e-02,4.257494e-02,4.320246e-02,4.322797e-02,4.384953e-02,4.401795e-02,4.443983e-02,4.477913e-02,4.499918e-02,4.548677e-02,4.552796e-02,4.602662e-02,4.614188e-02,4.649567e-02,4.674561e-02,4.693566e-02,4.729930e-02,4.734721e-02,4.773094e-02,4.780441e-02,4.808755e-02,4.826251e-02,4.841775e-02,4.867523e-02,4.872226e-02,4.900185e-02,4.904432e-02,4.925728e-02,4.937153e-02,4.948933e-02,4.965868e-02,4.969880e-02,4.988648e-02,4.990758e-02,5.005317e-02,5.012006e-02,5.019966e-02,5.029796e-02,5.032673e-02,5.043518e-02,5.044308e-02,5.052579e-02,5.055720e-02,5.059931e-02,5.064209e-02,5.065650e-02,5.069811e-02,5.069946e-02,5.072486e-02,5.073099e-02,5.073746e-02,5.073830e-02,5.073660e-02,5.072298e-02,5.068654e-02,5.063046e-02,5.055614e-02,5.046495e-02,5.035817e-02,5.023704e-02,5.010273e-02,4.995638e-02,4.979904e-02,4.963171e-02,4.945535e-02,4.927085e-02,4.907907e-02,4.888079e-02,4.867678e-02,4.846773e-02,4.825431e-02,4.803713e-02,4.781678e-02,4.759378e-02,4.736864e-02,4.714183e-02,4.691378e-02,4.668489e-02
0.000000e+00,4.803581e-12,2.741398e-11,3.327312e-10,1.607665e-09,3.224265e-09,1.361788e-08,1.431965e-08,4.217504e-08,5.433746e-08,9.690834e-08,1.470609e-07,1.891244e-07,3.161170e-07,3.293433e-07,5.277204e-07,5.850595e-07,7.937389e-07,9.753834e-07,1.135569e-06,1.503774e-06,1.559010e-06,2.066430e-06,2.177929e-06,2.656404e-06,2.994368e-06,3.324270e-06,3.940504e-06,4.063183e-06,4.865139e-06,4.998738e-06,5.721655e-06,6.149644e-06,6.624162e-06,7.373591e-06,7.564203e-06,8.533560e-06,8.651475e-06,9.524351e-06,9.965152e-06,1.052913e-05,1.129782e-05,1.154095e-05,1.255347e-05,1.263433e-05,1.356099e-05,1.396145e-05,1.455848e-05,1.526797e-05,1.554156e-05,1.650651e-05,1.654469e-05,1.745024e-05,1.778428e-05,1.837021e-05,1.898118e-05,1.926443e-05,2.013135e-05,2.096985e-05,2.123204e-05,2.177917e-05,2.228160e-05,2.255885e-05,2.327928e-05,2.330870e-05,2.402874e-05,2.422503e-05,2.471918e-05,2.511937e-05,2.538036e-05,2.596324e-05,2.601278e-05,2.661701e-05,2.675790e-05,2.719368e-05,2.750484e-05,2.774350e-05,2.820573e-05,2.826722e-05,2.876562e-05,2.886232e-05,2.923947e-05,2.947645e-05,2.968961e-05,3.004997e-05,3.011682e-05,3.052193e-05,3.058474e-05,3.090572e-05,3.108261e-05,3.126901e-05,3.154539e-05,3.161255e-05,3.193713e-05,3.197484e-05,3.224348e-05,3.237270e-05,3.253235e-05,3.274062e-05,3.280443e-05,3.306043e-05,3.308023e-05,3.330100e-05,3.339306e-05,3.352682e-05,3.368061e-05,3.373849e-05,3.393664e-05,3.394429e-05,3.412185e-05,3.418547e-05,3.429470e-05,3.440545e-05,3.445572e-05,3.460546e-05,3.474442e-05,3.478669e-05,3.487310e-05,3.495027e-05,3.499196e-05,3.509726e-05,3.510146e-05,3.520205e-05,3.522868e-05,3.529414e-05,3.534549e-05,3.537814e-05,3.544861e-05,3.545444e-05,3.552341e-05,3.553891e-05,3.558541e-05,3.561721e-05,3.564078e-05,3.568429e-05,3.568986e-05,3.573296e-05,3.574089e-05,3.577038e-05,3.578770e-05,3.580243e-05,3.582539e-05,3.582936e-05,3.585147e-05,3.585457e-05,3.586899e-05,3.587584e-05,3.588217e-05,3.588976e-05,3.589126e-05,3.589647e-05,3.589685e-05,3.589802e-05,3.589760e-05,3.589612e-05,3.589248e-05,3.589095e-05,3.588272e-05,3.588194e-05,3.587160e-05,3.586638e-05,3.585776e-05,3.584620e-05,3.584137e-05,3.582258e-05,3.582178e-05,3.580154e-05,3.579344e-05,3.577840e-05,3.576153e-05,3.575329e-05,3.572634e-05,3.568816e-05,3.564727e-05,3.560392e-05,3.555835e-05,3.551077e-05,3.546141e-05,3.541045e-05,3.535808e-05,3.530447e-05,3.524978e-05,3.519417e-05,3.513776e-05,3.508070e-05,3.502311e-05,3.496509e-05,3.490676e-05,3.484821e-05,3.478953e-05,3.473081e-05,3.467213e-05,3.461356e-05,3.455517e-05,3.449701e-05,3.443915e-05
0.000000e+00,6.026441e-12,3.581816e-11,4.705333e-10,2.428481e-09,5.037323e-09,2.302178e-08,2.428009e-08,7.645319e-08,1.001304e-07,1.855399e-07,2.895806e-07,3.788279e-07,6.558873e-07,6.852638e-07,1.134583e-06,1.266999e-06,1.756464e-06,2.190592e-06,2.578580e-06,3.485058e-06,3.622496e-06,4.897543e-06,5.179889e-06,6.395214e-06,7.253475e-06,8.087848e-06,9.629505e-06,9.932955e-06,1.188099e-05,1.219888e-05,1.388285e-05,1.484978e-05,1.589497e-05,1.748770e-05,1.788152e-05,1.981464e-05,2.004197e-05,2.167352e-05,2.246387e-05,2.344319e-05,2.472197e-05,2.511332e-05,2.667731e-05,2.679771e-05,2.813148e-05,2.868204e-05,2.947453e-05,3.037297e-05,3.070703e-05,3.183108e-05,3.187383e-05,3.284995e-05,3.319179e-05,3.376784e-05,3.433677e-05,3.458959e-05,3.532048e-05,3.596606e-05,3.615556e-05,3.653203e-05,3.685507e-05,3.702403e-05,3.743193e-05,3.744763e-05,3.780823e-05,3.789861e-05,3.811098e-05,3.826691e-05,3.836077e-05,3.854778e-05,3.856222e-05,3.871963e-05,3.875131e-05,3.883702e-05,3.888667e-05,3.891810e-05,3.896215e-05,3.896631e-05,3.898480e-05,3.898519e-05,3.897648e-05,3.896244e-05,3.894398e-05,3.889980e-05,3.888976e-05,3.881600e-05,3.880253e-05,3.872474e-05,3.867527e-05,3.861781e-05,3.852211e-05,3.849688e-05,3.836348e-05,3.834670e-05,3.821898e-05,3.815222e-05,3.806465e-05,3.794149e-05,3.790163e-05,3.773095e-05,3.771700e-05,3.755357e-05,3.748093e-05,3.737032e-05,3.723520e-05,3.718200e-05,3.698930e-05,3.698151e-05,3.679288e-05,3.672136e-05,3.659330e-05,3.645606e-05,3.639111e-05,3.618678e-05,3.598076e-05,3.591454e-05,3.577344e-05,3.564024e-05,3.556518e-05,3.536468e-05,3.535632e-05,3.514714e-05,3.508856e-05,3.493793e-05,3.481250e-05,3.472894e-05,3.453704e-05,3.452038e-05,3.431246e-05,3.426267e-05,3.410536e-05,3.398981e-05,3.389925e-05,3.371882e-05,3.369428e-05,3.349059e-05,3.345002e-05,3.328829e-05,3.318369e-05,3.308750e-05,3.292007e-05,3.288832e-05,3.269082e-05,3.265939e-05,3.249510e-05,3.240181e-05,3.230123e-05,3.214750e-05,3.210926e-05,3.191925e-05,3.189658e-05,3.173125e-05,3.164918e-05,3.154530e-05,3.140537e-05,3.136144e-05,3.117969e-05,3.116524e-05,3.100009e-05,3.092885e-05,3.082265e-05,3.069625e-05,3.064740e-05,3.047434e-05,3.046746e-05,3.030349e-05,3.024252e-05,3.013485e-05,3.002145e-05,2.996843e-05,2.980424e-05,2.959089e-05,2.938140e-05,2.917575e-05,2.897393e-05,2.877590e-05,2.858164e-05,2.839111e-05,2.820428e-05,2.802112e-05,2.784157e-05,2.766559e-05,2.749314e-05,2.732416e-05,2.715862e-05,2.699645e-05,2.683761e-05,2.668204e-05,2.652969e-05,2.638051e-05,2.623444e-05,2.609142e-05,2.595141e-05,2.581435e-05,2.568019e-05
0.000000e+00,2.468585e-13,1.611632e-12,2.565307e-11,1.572199e-10,3.579212e-10,2.071889e-09,2.205976e-09,8.732521e-09,1.216029e-08,2.624859e-08,4.628281e-08,6.551459e-08,1.349992e-07,1.431282e-07,2.826774e-07,3.286543e-07,5.147323e-07,6.981912e-07,8.746603e-07,1.325744e-06,1.398335e-06,2.117091e-06,2.286427e-06,3.053513e-06,3.630729e-06,4.218995e-06,5.375113e-06,5.613224e-06,7.225186e-06,7.502087e-06,9.035114e-06,9.966696e-06,1.101685e-05,1.270570e-05,1.314016e-05,1.537287e-05,1.564660e-05,1.768252e-05,1.871498e-05,2.003768e-05,2.183981e-05,2.240888e-05,2.476922e-05,2.495685e-05,2.709479e-05,2.801051e-05,2.936479e-05,3.095478e-05,3.156162e-05,3.367081e-05,3.375319e-05,3.568089e-05,3.637851e-05,3.758320e-05,3.881200e-05,3.937165e-05,4.104252e-05,4.259413e-05,4.306543e-05,4.402661e-05,4.488161e-05,4.534165e-05,4.649630e-05,4.654216e-05,4.763213e-05,4.791813e-05,4.861628e-05,4.915820e-05,4.949998e-05,5.022917e-05,5.028894e-05,5.098911e-05,5.114462e-05,5.160656e-05,5.191844e-05,5.214729e-05,5.256437e-05,5.261721e-05,5.302201e-05,5.309565e-05,5.336716e-05,5.352478e-05,5.365780e-05,5.386336e-05,5.389877e-05,5.409458e-05,5.412201e-05,5.424942e-05,5.431032e-05,5.436711e-05,5.443689e-05,5.445117e-05,5.450482e-05,5.450935e-05,5.453097e-05,5.453446e-05,5.453227e-05,5.451811e-05,5.451110e-05,5.446963e-05,5.446550e-05,5.440981e-05,5.438114e-05,5.433338e-05,5.426896e-05,5.424193e-05,5.413688e-05,5.413241e-05,5.401951e-05,5.397446e-05,5.389097e-05,5.379773e-05,5.375232e-05,5.360449e-05,5.344832e-05,5.339672e-05,5.328461e-05,5.317620e-05,5.311405e-05,5.294447e-05,5.293728e-05,5.275491e-05,5.270291e-05,5.256744e-05,5.245273e-05,5.237539e-05,5.219502e-05,5.217918e-05,5.197925e-05,5.193076e-05,5.177597e-05,5.166080e-05,5.156969e-05,5.138594e-05,5.136073e-05,5.114940e-05,5.110687e-05,5.093597e-05,5.082425e-05,5.072071e-05,5.053865e-05,5.050386e-05,5.028564e-05,5.025061e-05,5.006627e-05,4.996062e-05,4.984594e-05,4.966911e-05,4.962484e-05,4.940313e-05,4.937650e-05,4.918099e-05,4.908314e-05,4.895855e-05,4.878939e-05,4.873596e-05,4.851335e-05,4.849554e-05,4.829085e-05,4.820190e-05,4.806856e-05,4.790872e-05,4.784661e-05,4.762508e-05,4.761623e-05,4.740408e-05,4.732467e-05,4.718370e-05,4.703423e-05,4.696402e-05,4.674511e-05,4.645746e-05,4.617144e-05,4.588720e-05,4.560486e-05,4.532454e-05,4.504636e-05,4.477040e-05,4.449675e-05,4.422549e-05,4.395670e-05,4.369043e-05,4.342675e-05,4.316570e-05,4.290733e-05,4.265167e-05,4.239877e-05,4.214864e-05,4.190131e-05,4.165680e-05,4.141512e-05,4.117630e-05,4.094033e-05,4.070722e-05,4.047697e-05
0.000000e+00,6.471209e-11,2.426037e-10,1.459136e-09,4.343902e-09,7.007403e-09,1.897251e-08,1.965063e-08,4.228392e-08,5.081609e-08,7.791845e-08,1.068854e-07,1.298160e-07,1.948965e-07,2.014301e-07,2.958541e-07,3.221355e-07,4.146889e-07,4.917243e-07,5.572323e-07,7.003472e-07,7.210249e-07,9.030749e-07,9.414238e-07,1.100590e-06,1.208585e-06,1.311119e-06,1.496400e-06,1.532454e-06,1.762537e-06,1.800029e-06,1.999396e-06,2.114936e-06,2.241135e-06,2.436818e-06,2.485940e-06,2.732098e-06,2.761651e-06,2.978020e-06,3.085774e-06,3.222263e-06,3.405966e-06,3.463539e-06,3.700722e-06,3.719490e-06,3.932852e-06,4.024105e-06,4.159127e-06,4.318045e-06,4.378891e-06,4.591629e-06,4.599986e-06,4.796952e-06,4.868998e-06,4.994587e-06,5.124494e-06,5.184357e-06,5.366162e-06,5.539967e-06,5.593899e-06,5.705807e-06,5.807799e-06,5.863759e-06,6.008074e-06,6.013934e-06,6.156481e-06,6.195052e-06,6.291579e-06,6.369140e-06,6.419417e-06,6.530797e-06,6.540206e-06,6.654170e-06,6.680532e-06,6.761549e-06,6.818899e-06,6.862593e-06,6.946458e-06,6.957536e-06,7.046600e-06,7.063727e-06,7.130019e-06,7.171244e-06,7.208027e-06,7.269531e-06,7.280841e-06,7.348680e-06,7.359087e-06,7.411759e-06,7.440408e-06,7.470287e-06,7.513968e-06,7.524466e-06,7.574490e-06,7.580223e-06,7.620549e-06,7.639606e-06,7.662826e-06,7.692534e-06,7.701496e-06,7.736730e-06,7.739405e-06,7.768693e-06,7.780597e-06,7.797542e-06,7.816471e-06,7.823430e-06,7.846501e-06,7.847367e-06,7.866897e-06,7.873610e-06,7.884751e-06,7.895507e-06,7.900194e-06,7.913348e-06,7.924333e-06,7.927409e-06,7.933262e-06,7.937948e-06,7.940244e-06,7.945211e-06,7.945382e-06,7.948778e-06,7.949429e-06,7.950525e-06,7.950821e-06,7.950716e-06,7.949592e-06,7.949438e-06,7.946773e-06,7.945936e-06,7.942802e-06,7.940036e-06,7.937600e-06,7.932063e-06,7.931241e-06,7.923793e-06,7.922178e-06,7.915322e-06,7.910535e-06,7.905893e-06,7.897275e-06,7.895565e-06,7.884395e-06,7.882533e-06,7.872438e-06,7.866435e-06,7.859747e-06,7.849099e-06,7.846371e-06,7.832358e-06,7.830635e-06,7.817752e-06,7.811149e-06,7.802597e-06,7.790737e-06,7.786933e-06,7.770800e-06,7.769490e-06,7.754235e-06,7.747496e-06,7.737272e-06,7.724832e-06,7.719946e-06,7.702288e-06,7.701575e-06,7.684328e-06,7.677794e-06,7.666095e-06,7.653555e-06,7.647616e-06,7.628918e-06,7.603941e-06,7.578677e-06,7.553176e-06,7.527483e-06,7.501641e-06,7.475691e-06,7.449670e-06,7.423611e-06,7.397548e-06,7.371509e-06,7.345522e-06,7.319612e-06,7.293803e-06,7.268116e-06,7.242571e-06,7.217186e-06,7.191977e-06,7.166961e-06,7.142150e-06,7.117557e-06,7.093195e-06,7.069072e-06,7.045200e-06,7.021585e-06
0.000000e+00,3.737640e-11,1.000437e-10,4.056301e-10,9.968459e-10,1.496853e-09,3.572499e-09,3.685734e-09,7.339042e-09,8.674549e-09,1.282679e-08,1.715807e-08,2.053027e-08,2.990982e-08,3.083950e-08,4.412519e-08,4.779124e-08,6.067055e-08,7.140910e-08,8.058435e-08,1.008225e-07,1.037706e-07,1.299923e-07,1.355757e-07,1.589619e-07,1.750166e-07,1.903935e-07,2.185001e-07,2.240162e-07,2.595706e-07,2.654217e-07,2.968038e-07,3.151986e-07,3.354660e-07,3.672586e-07,3.753104e-07,4.160950e-07,4.210412e-07,4.575856e-07,4.760069e-07,4.995580e-07,5.316490e-07,5.418015e-07,5.841207e-07,5.875040e-07,6.263374e-07,6.431587e-07,6.682904e-07,6.982520e-07,7.098362e-07,7.508497e-07,7.524776e-07,7.912224e-07,8.055814e-07,8.308618e-07,8.573578e-07,8.696907e-07,9.076454e-07,9.446745e-07,9.563215e-07,9.807378e-07,1.003297e-06,1.015805e-06,1.048511e-06,1.049854e-06,1.082870e-06,1.091928e-06,1.114845e-06,1.133529e-06,1.145777e-06,1.173315e-06,1.175668e-06,1.204524e-06,1.211297e-06,1.232355e-06,1.247497e-06,1.259173e-06,1.281947e-06,1.284994e-06,1.309832e-06,1.314684e-06,1.333707e-06,1.345747e-06,1.356637e-06,1.375183e-06,1.378642e-06,1.399744e-06,1.403038e-06,1.419964e-06,1.429362e-06,1.439323e-06,1.454205e-06,1.457843e-06,1.475547e-06,1.477617e-06,1.492456e-06,1.499650e-06,1.508593e-06,1.520354e-06,1.523980e-06,1.538638e-06,1.539780e-06,1.552589e-06,1.557976e-06,1.565854e-06,1.574992e-06,1.578455e-06,1.590411e-06,1.590876e-06,1.601743e-06,1.605674e-06,1.612472e-06,1.619432e-06,1.622616e-06,1.632194e-06,1.641226e-06,1.644004e-06,1.649730e-06,1.654903e-06,1.657723e-06,1.664932e-06,1.665223e-06,1.672247e-06,1.674130e-06,1.678811e-06,1.682536e-06,1.684933e-06,1.690186e-06,1.690627e-06,1.695909e-06,1.697117e-06,1.700793e-06,1.703361e-06,1.705296e-06,1.708952e-06,1.709429e-06,1.713209e-06,1.713923e-06,1.716646e-06,1.718304e-06,1.719756e-06,1.722124e-06,1.722550e-06,1.725040e-06,1.725411e-06,1.727239e-06,1.728194e-06,1.729157e-06,1.730498e-06,1.730807e-06,1.732199e-06,1.732349e-06,1.733343e-06,1.733770e-06,1.734249e-06,1.734786e-06,1.734928e-06,1.735389e-06,1.735417e-06,1.735642e-06,1.735686e-06,1.735694e-06,1.735613e-06,1.735556e-06,1.735234e-06,1.735218e-06,1.734738e-06,1.734519e-06,1.734076e-06,1.733534e-06,1.733254e-06,1.732280e-06,1.730774e-06,1.729031e-06,1.727067e-06,1.724895e-06,1.722530e-06,1.719984e-06,1.717270e-06,1.714400e-06,1.711384e-06,1.708234e-06,1.704960e-06,1.701572e-06,1.698079e-06,1.694490e-06,1.690813e-06,1.687056e-06,1.683227e-06,1.679334e-06,1.675382e-06,1.671379e-06,1.667330e-06,1.663242e-06,1.659119e-06,1.654968e-06
0.000000e+00,1.003194e-10,3.301815e-10,1.676346e-09,4.560634e-09,7.099761e-09,1.796764e-08,1.856793e-08,3.806868e-08,4.522139e-08,6.743950e-08,9.052509e-08,1.084166e-07,1.577957e-07,1.626614e-07,2.317516e-07,2.507061e-07,3.171221e-07,3.724921e-07,4.199397e-07,5.254194e-07,5.408994e-07,6.799589e-07,7.098717e-07,8.360939e-07,9.233795e-07,1.007223e-06,1.160431e-06,1.190416e-06,1.382336e-06,1.413630e-06,1.579692e-06,1.675472e-06,1.779540e-06,1.939525e-06,1.979392e-06,2.177210e-06,2.200730e-06,2.371346e-06,2.455248e-06,2.560474e-06,2.700200e-06,2.743532e-06,2.919683e-06,2.933456e-06,3.088276e-06,3.153482e-06,3.248824e-06,3.359239e-06,3.400983e-06,3.544533e-06,3.550094e-06,3.679362e-06,3.725760e-06,3.805453e-06,3.886232e-06,3.922867e-06,4.031733e-06,4.132234e-06,4.162664e-06,4.224598e-06,4.279562e-06,4.309090e-06,4.383066e-06,4.386001e-06,4.455639e-06,4.473878e-06,4.518328e-06,4.552743e-06,4.574399e-06,4.620426e-06,4.624185e-06,4.668021e-06,4.677693e-06,4.706236e-06,4.725303e-06,4.739155e-06,4.763992e-06,4.767092e-06,4.790356e-06,4.794474e-06,4.809242e-06,4.817428e-06,4.824036e-06,4.833500e-06,4.835010e-06,4.842428e-06,4.843301e-06,4.846537e-06,4.847404e-06,4.847575e-06,4.846346e-06,4.845768e-06,4.841328e-06,4.840628e-06,4.834459e-06,4.830716e-06,4.825350e-06,4.817041e-06,4.814182e-06,4.801124e-06,4.800003e-06,4.786338e-06,4.779973e-06,4.769972e-06,4.757291e-06,4.752168e-06,4.733059e-06,4.732270e-06,4.712769e-06,4.705199e-06,4.691415e-06,4.676342e-06,4.669105e-06,4.645941e-06,4.622020e-06,4.614219e-06,4.597429e-06,4.581378e-06,4.572252e-06,4.547602e-06,4.546566e-06,4.520443e-06,4.513060e-06,4.493951e-06,4.477904e-06,4.467151e-06,4.442273e-06,4.440102e-06,4.412857e-06,4.406294e-06,4.385465e-06,4.370080e-06,4.357974e-06,4.333733e-06,4.330425e-06,4.302858e-06,4.297346e-06,4.275309e-06,4.261002e-06,4.247811e-06,4.224775e-06,4.220395e-06,4.193090e-06,4.188733e-06,4.165920e-06,4.152934e-06,4.138910e-06,4.117431e-06,4.112080e-06,4.085451e-06,4.082270e-06,4.059040e-06,4.047493e-06,4.032863e-06,4.013134e-06,4.006935e-06,3.981268e-06,3.979226e-06,3.955874e-06,3.945795e-06,3.930763e-06,3.912863e-06,3.905944e-06,3.881425e-06,3.880451e-06,3.857214e-06,3.848574e-06,3.833316e-06,3.817246e-06,3.809736e-06,3.786478e-06,3.756278e-06,3.726651e-06,3.697602e-06,3.669134e-06,3.641247e-06,3.613940e-06,3.587213e-06,3.561060e-06,3.535480e-06,3.510466e-06,3.486013e-06,3.462115e-06,3.438765e-06,3.415955e-06,3.393677e-06,3.371923e-06,3.350685e-06,3.329953e-06,3.309718e-06,3.289971e-06,3.270702e-06,3.251902e-06,3.233562e-06,3.215671e-06
0.000000e+00,1.413613e-11,8.464548e-11,1.129547e-09,5.915489e-09,1.237025e-08,5.774137e-08,6.094973e-08,1.959579e-07,2.580789e-07,4.848168e-07,7.647960e-07,1.007232e-06,1.768620e-06,1.849932e-06,3.102845e-06,3.474600e-06,4.855496e-06,6.086919e-06,7.191523e-06,9.785010e-06,1.017975e-05,1.386324e-05,1.468480e-05,1.825107e-05,2.080378e-05,2.331746e-05,2.805860e-05,2.900824e-05,3.525094e-05,3.629561e-05,4.196445e-05,4.532989e-05,4.906635e-05,5.497391e-05,5.647712e-05,6.412243e-05,6.505233e-05,7.193415e-05,7.540790e-05,7.985061e-05,8.590298e-05,8.781663e-05,9.578341e-05,9.641947e-05,1.037083e-04,1.068581e-04,1.115545e-04,1.171372e-04,1.192907e-04,1.268906e-04,1.271915e-04,1.343329e-04,1.369700e-04,1.415999e-04,1.464343e-04,1.486780e-04,1.555567e-04,1.622281e-04,1.643182e-04,1.686867e-04,1.727070e-04,1.749292e-04,1.807170e-04,1.809538e-04,1.867601e-04,1.883468e-04,1.923488e-04,1.955983e-04,1.977217e-04,2.024762e-04,2.028812e-04,2.078304e-04,2.089873e-04,2.125729e-04,2.151399e-04,2.171127e-04,2.209434e-04,2.214541e-04,2.256015e-04,2.264081e-04,2.295597e-04,2.315448e-04,2.333335e-04,2.363647e-04,2.369279e-04,2.403479e-04,2.408792e-04,2.435984e-04,2.450999e-04,2.466845e-04,2.490383e-04,2.496111e-04,2.523833e-04,2.527058e-04,2.550060e-04,2.561138e-04,2.574840e-04,2.592735e-04,2.598222e-04,2.620252e-04,2.621957e-04,2.640978e-04,2.648913e-04,2.660445e-04,2.673706e-04,2.678697e-04,2.695779e-04,2.696439e-04,2.711734e-04,2.717210e-04,2.726603e-04,2.736115e-04,2.740428e-04,2.753248e-04,2.765101e-04,2.768697e-04,2.776027e-04,2.782550e-04,2.786062e-04,2.794891e-04,2.795242e-04,2.803601e-04,2.805799e-04,2.811174e-04,2.815354e-04,2.817993e-04,2.823629e-04,2.824091e-04,2.829498e-04,2.830696e-04,2.834244e-04,2.836624e-04,2.838359e-04,2.841479e-04,2.841870e-04,2.844804e-04,2.845325e-04,2.847189e-04,2.848221e-04,2.849050e-04,2.850225e-04,2.850411e-04,2.851296e-04,2.851394e-04,2.851728e-04,2.851781e-04,2.851729e-04,2.851434e-04,2.851321e-04,2.850525e-04,2.850404e-04,2.849360e-04,2.848736e-04,2.847846e-04,2.846474e-04,2.846002e-04,2.843844e-04,2.843659e-04,2.841392e-04,2.840331e-04,2.838660e-04,2.836529e-04,2.835665e-04,2.832423e-04,2.832288e-04,2.828947e-04,2.827642e-04,2.825253e-04,2.822624e-04,2.821354e-04,2.817264e-04,2.811591e-04,2.805634e-04,2.799418e-04,2.792968e-04,2.786307e-04,2.779458e-04,2.772442e-04,2.765277e-04,2.757984e-04,2.750578e-04,2.743077e-04,2.735496e-04,2.727850e-04,2.720153e-04,2.712416e-04,2.704653e-04,2.696874e-04,2.689089e-04,2.681310e-04,2.673544e-04,2.665800e-04,2.658086e-04,2.650410e-04,2.642778e-04
0.000000e+00,9.552665e-12,2.194269e-11,7.563249e-11,1.720434e-10,2.508416e-10,5.674240e-10,5.844074e-10,1.124108e-09,1.318686e-09,1.918048e-09,2.536917e-09,3.015507e-09,4.335408e-09,4.465457e-09,6.310391e-09,6.815184e-09,8.574002e-09,1.002296e-08,1.124826e-08,1.390967e-08,1.429268e-08,1.764869e-08,1.835186e-08,2.125564e-08,2.321190e-08,2.505860e-08,2.836928e-08,2.900958e-08,3.306629e-08,3.372258e-08,3.719080e-08,3.918446e-08,4.134884e-08,4.467845e-08,4.550937e-08,4.964454e-08,5.013785e-08,5.372968e-08,5.550565e-08,5.774333e-08,6.073453e-08,6.166721e-08,6.548606e-08,6.578665e-08,6.918760e-08,7.063312e-08,7.276213e-08,7.525294e-08,7.620231e-08,7.950297e-08,7.963204e-08,8.266082e-08,8.376231e-08,8.567414e-08,8.764040e-08,8.854256e-08,9.126688e-08,9.384880e-08,9.464531e-08,9.629074e-08,9.778151e-08,9.859575e-08,1.006830e-07,1.007674e-07,1.028094e-07,1.033585e-07,1.047260e-07,1.058175e-07,1.065214e-07,1.080698e-07,1.081999e-07,1.097661e-07,1.101257e-07,1.112242e-07,1.119952e-07,1.125788e-07,1.136886e-07,1.138341e-07,1.149945e-07,1.152156e-07,1.160641e-07,1.165858e-07,1.170471e-07,1.178087e-07,1.179473e-07,1.187687e-07,1.188930e-07,1.195150e-07,1.198476e-07,1.201898e-07,1.206805e-07,1.207966e-07,1.213387e-07,1.213996e-07,1.218195e-07,1.220123e-07,1.222419e-07,1.225258e-07,1.226090e-07,1.229237e-07,1.229467e-07,1.231887e-07,1.232814e-07,1.234067e-07,1.235359e-07,1.235801e-07,1.237114e-07,1.237158e-07,1.238029e-07,1.238266e-07,1.238569e-07,1.238732e-07,1.238753e-07,1.238604e-07,1.238139e-07,1.237927e-07,1.237377e-07,1.236743e-07,1.236337e-07,1.235091e-07,1.235034e-07,1.233485e-07,1.233009e-07,1.231705e-07,1.230532e-07,1.229708e-07,1.227692e-07,1.227509e-07,1.225120e-07,1.224520e-07,1.222554e-07,1.221045e-07,1.219824e-07,1.217293e-07,1.216940e-07,1.213913e-07,1.213291e-07,1.210753e-07,1.209061e-07,1.207471e-07,1.204627e-07,1.204076e-07,1.200576e-07,1.200007e-07,1.196980e-07,1.195222e-07,1.193296e-07,1.190290e-07,1.189531e-07,1.185693e-07,1.185227e-07,1.181788e-07,1.180050e-07,1.177823e-07,1.174773e-07,1.173803e-07,1.169736e-07,1.169408e-07,1.165625e-07,1.163970e-07,1.161477e-07,1.158470e-07,1.157296e-07,1.153088e-07,1.152919e-07,1.148855e-07,1.147326e-07,1.144603e-07,1.141702e-07,1.140335e-07,1.136056e-07,1.130394e-07,1.124725e-07,1.119056e-07,1.113393e-07,1.107742e-07,1.102109e-07,1.096498e-07,1.090914e-07,1.085361e-07,1.079844e-07,1.074364e-07,1.068927e-07,1.063534e-07,1.058189e-07,1.052894e-07,1.047650e-07,1.042460e-07,1.037325e-07,1.032247e-07,1.027228e-07,1.022268e-07,1.017369e-07,1.012530e-07,1.007754e-07
0.000000e+00,1.576000e-12,9.796952e-12,1.409346e-10,7.881290e-10,1.706709e-09,8.692518e-09,9.207391e-09,3.217335e-08,4.332987e-08,8.609045e-08,1.421457e-07,1.929143e-07,3.626498e-07,3.815528e-07,6.874832e-07,7.826657e-07,1.149174e-06,1.488737e-06,1.800154e-06,2.545627e-06,2.660053e-06,3.729738e-06,3.967633e-06,4.992454e-06,5.715993e-06,6.419069e-06,7.718371e-06,7.974359e-06,9.622224e-06,9.892174e-06,1.132902e-05,1.216035e-05,1.306512e-05,1.445798e-05,1.480526e-05,1.652829e-05,1.673303e-05,1.821658e-05,1.894456e-05,1.985551e-05,2.106057e-05,2.143300e-05,2.293918e-05,2.305635e-05,2.436621e-05,2.491346e-05,2.570809e-05,2.661907e-05,2.696057e-05,2.812097e-05,2.816545e-05,2.918815e-05,2.954952e-05,3.016231e-05,3.077227e-05,3.104484e-05,3.183817e-05,3.254553e-05,3.275435e-05,3.317083e-05,3.352997e-05,3.371845e-05,3.417546e-05,3.419310e-05,3.459967e-05,3.470198e-05,3.494310e-05,3.512091e-05,3.522831e-05,3.544340e-05,3.546008e-05,3.564305e-05,3.568020e-05,3.578164e-05,3.584142e-05,3.588001e-05,3.593644e-05,3.594210e-05,3.597153e-05,3.597380e-05,3.597167e-05,3.596119e-05,3.594558e-05,3.590547e-05,3.589609e-05,3.582575e-05,3.581273e-05,3.573691e-05,3.568831e-05,3.563166e-05,3.553694e-05,3.551192e-05,3.537941e-05,3.536272e-05,3.523568e-05,3.516925e-05,3.508212e-05,3.495963e-05,3.492000e-05,3.475044e-05,3.473659e-05,3.457445e-05,3.450246e-05,3.439294e-05,3.425930e-05,3.420673e-05,3.401656e-05,3.400888e-05,3.382309e-05,3.375274e-05,3.362690e-05,3.349221e-05,3.342852e-05,3.322844e-05,3.302708e-05,3.296244e-05,3.282483e-05,3.269508e-05,3.262203e-05,3.242712e-05,3.241900e-05,3.221602e-05,3.215922e-05,3.201333e-05,3.189196e-05,3.181117e-05,3.162583e-05,3.160974e-05,3.140923e-05,3.136126e-05,3.120978e-05,3.109862e-05,3.101157e-05,3.083825e-05,3.081470e-05,3.061931e-05,3.058042e-05,3.042550e-05,3.032537e-05,3.023336e-05,3.007332e-05,3.004298e-05,2.985443e-05,2.982443e-05,2.966777e-05,2.957887e-05,2.948307e-05,2.933675e-05,2.930037e-05,2.911972e-05,2.909818e-05,2.894115e-05,2.886324e-05,2.876469e-05,2.863201e-05,2.859037e-05,2.841820e-05,2.840453e-05,2.824822e-05,2.818084e-05,2.808043e-05,2.796098e-05,2.791484e-05,2.775146e-05,2.774497e-05,2.759029e-05,2.753281e-05,2.743133e-05,2.732450e-05,2.727458e-05,2.712004e-05,2.691942e-05,2.672261e-05,2.652958e-05,2.634032e-05,2.615478e-05,2.597293e-05,2.579473e-05,2.562014e-05,2.544911e-05,2.528159e-05,2.511753e-05,2.495689e-05,2.479960e-05,2.464563e-05,2.449490e-05,2.434738e-05,2.420300e-05,2.406171e-05,2.392345e-05,2.378817e-05,2.365581e-05,2.352631e-05,2.339963e-05,2.327570e-05
0.000000e+00,6.645746e-12,3.621694e-11,4.016307e-10,1.799193e-09,3.471246e-09,1.338952e-08,1.403175e-08,3.831299e-08,4.847376e-08,8.298292e-08,1.224341e-07,1.549646e-07,2.516667e-07,2.616650e-07,4.109680e-07,4.539942e-07,6.101835e-07,7.453270e-07,8.634992e-07,1.129965e-06,1.169197e-06,1.519201e-06,1.593497e-06,1.901589e-06,2.109055e-06,2.303948e-06,2.649461e-06,2.715571e-06,3.128114e-06,3.193763e-06,3.535330e-06,3.727487e-06,3.932562e-06,4.240752e-06,4.316271e-06,4.683716e-06,4.726610e-06,5.032777e-06,5.180109e-06,5.361849e-06,5.597856e-06,5.669790e-06,5.955885e-06,5.977817e-06,6.219808e-06,6.319162e-06,6.461577e-06,6.622106e-06,6.681518e-06,6.880212e-06,6.887728e-06,7.058445e-06,7.117779e-06,7.217164e-06,7.314484e-06,7.357428e-06,7.480373e-06,7.587170e-06,7.618129e-06,7.679005e-06,7.730467e-06,7.757045e-06,7.820044e-06,7.822431e-06,7.876253e-06,7.889393e-06,7.919549e-06,7.940882e-06,7.953294e-06,7.976688e-06,7.978398e-06,7.995706e-06,7.998787e-06,8.005995e-06,8.008959e-06,8.009977e-06,8.008786e-06,8.008307e-06,8.001577e-06,7.999672e-06,7.990328e-06,7.982857e-06,7.975050e-06,7.959430e-06,7.956188e-06,7.934142e-06,7.930344e-06,7.909272e-06,7.896428e-06,7.881904e-06,7.858411e-06,7.852334e-06,7.820826e-06,7.816926e-06,7.787618e-06,7.772523e-06,7.752924e-06,7.725683e-06,7.716938e-06,7.679836e-06,7.676824e-06,7.641774e-06,7.626312e-06,7.602893e-06,7.574464e-06,7.563321e-06,7.523175e-06,7.521559e-06,7.482557e-06,7.467838e-06,7.441563e-06,7.413515e-06,7.400277e-06,7.358775e-06,7.317126e-06,7.303778e-06,7.275393e-06,7.248667e-06,7.233634e-06,7.193567e-06,7.191899e-06,7.150235e-06,7.138587e-06,7.108683e-06,7.083822e-06,7.067282e-06,7.029356e-06,7.026066e-06,6.985066e-06,6.975261e-06,6.944309e-06,6.921601e-06,6.903820e-06,6.868431e-06,6.863623e-06,6.823738e-06,6.815800e-06,6.784183e-06,6.763750e-06,6.744974e-06,6.712318e-06,6.706127e-06,6.667653e-06,6.661533e-06,6.629564e-06,6.611422e-06,6.591871e-06,6.562006e-06,6.554581e-06,6.517703e-06,6.513305e-06,6.481242e-06,6.465334e-06,6.445206e-06,6.418104e-06,6.409597e-06,6.374421e-06,6.371625e-06,6.339680e-06,6.325906e-06,6.305376e-06,6.280950e-06,6.271512e-06,6.238089e-06,6.236761e-06,6.205107e-06,6.193342e-06,6.172566e-06,6.150691e-06,6.140467e-06,6.108807e-06,6.067688e-06,6.027331e-06,5.987730e-06,5.948881e-06,5.910776e-06,5.873409e-06,5.836773e-06,5.800859e-06,5.765658e-06,5.731163e-06,5.697363e-06,5.664248e-06,5.631810e-06,5.600037e-06,5.568920e-06,5.538448e-06,5.508610e-06,5.479397e-06,5.450797e-06,5.422800e-06,5.395394e-06,5.368570e-06,5.342317e-06,5.316623e-06
0.000000e+00,3.692764e-13,2.331899e-12,3.462874e-11,1.990620e-10,4.373098e-10,2.303526e-09,2.442999e-09,8.764296e-09,1.187013e-08,2.383808e-08,3.954035e-08,5.370735e-08,1.005082e-07,1.056649e-07,1.878075e-07,2.129514e-07,3.085975e-07,3.962731e-07,4.764545e-07,6.694331e-07,6.993244e-07,9.841404e-07,1.049036e-06,1.336142e-06,1.546787e-06,1.758159e-06,2.166773e-06,2.250083e-06,2.808711e-06,2.903915e-06,3.428024e-06,3.744493e-06,4.099774e-06,4.668421e-06,4.814231e-06,5.560930e-06,5.652196e-06,6.329303e-06,6.671609e-06,7.109175e-06,7.703722e-06,7.891099e-06,8.666568e-06,8.728096e-06,9.428135e-06,9.727410e-06,1.016945e-05,1.068766e-05,1.088524e-05,1.157131e-05,1.159808e-05,1.222441e-05,1.245098e-05,1.284221e-05,1.324135e-05,1.342320e-05,1.396657e-05,1.447216e-05,1.462601e-05,1.494030e-05,1.522062e-05,1.537179e-05,1.575260e-05,1.576777e-05,1.612964e-05,1.622506e-05,1.645900e-05,1.664173e-05,1.675759e-05,1.700669e-05,1.702724e-05,1.726980e-05,1.732419e-05,1.748712e-05,1.759848e-05,1.768102e-05,1.783369e-05,1.785328e-05,1.800557e-05,1.803377e-05,1.813950e-05,1.820240e-05,1.825660e-05,1.834299e-05,1.835828e-05,1.844586e-05,1.845865e-05,1.852057e-05,1.855219e-05,1.858352e-05,1.862613e-05,1.863577e-05,1.867825e-05,1.868274e-05,1.871185e-05,1.872402e-05,1.873735e-05,1.875176e-05,1.875548e-05,1.876689e-05,1.876753e-05,1.877218e-05,1.877271e-05,1.877190e-05,1.876852e-05,1.876653e-05,1.875653e-05,1.875604e-05,1.874230e-05,1.873622e-05,1.872422e-05,1.870990e-05,1.870262e-05,1.867781e-05,1.865008e-05,1.864062e-05,1.861967e-05,1.859891e-05,1.858682e-05,1.855320e-05,1.855176e-05,1.851467e-05,1.850395e-05,1.847574e-05,1.845157e-05,1.843514e-05,1.839643e-05,1.839301e-05,1.834950e-05,1.833887e-05,1.830475e-05,1.827918e-05,1.825886e-05,1.821764e-05,1.821196e-05,1.816415e-05,1.815448e-05,1.811552e-05,1.808994e-05,1.806616e-05,1.802421e-05,1.801617e-05,1.796560e-05,1.795746e-05,1.791454e-05,1.788988e-05,1.786306e-05,1.782160e-05,1.781120e-05,1.775905e-05,1.775277e-05,1.770664e-05,1.768351e-05,1.765403e-05,1.761394e-05,1.760126e-05,1.754839e-05,1.754416e-05,1.749545e-05,1.747426e-05,1.744248e-05,1.740435e-05,1.738952e-05,1.733661e-05,1.733449e-05,1.728377e-05,1.726477e-05,1.723103e-05,1.719524e-05,1.717842e-05,1.712598e-05,1.705703e-05,1.698845e-05,1.692029e-05,1.685258e-05,1.678538e-05,1.671871e-05,1.665261e-05,1.658710e-05,1.652222e-05,1.645798e-05,1.639441e-05,1.633153e-05,1.626935e-05,1.620788e-05,1.614715e-05,1.608716e-05,1.602792e-05,1.596945e-05,1.591173e-05,1.585480e-05,1.579864e-05,1.574325e-05,1.568866e-05,1.563484e-05
0.000000e+00,8.722266e-14,5.795148e-13,9.566076e-12,6.058066e-11,1.403754e-10,8.491194e-10,9.056298e-10,3.730452e-09,5.246613e-09,1.158778e-08,2.076492e-08,2.966728e-08,6.218623e-08,6.601214e-08,1.320547e-07,1.539255e-07,2.429109e-07,3.313877e-07,4.172282e-07,6.401248e-07,6.764757e-07,1.043767e-06,1.132257e-06,1.542445e-06,1.861120e-06,2.194665e-06,2.875711e-06,3.020150e-06,4.035204e-06,4.216081e-06,5.252015e-06,5.910174e-06,6.678235e-06,7.972122e-06,8.316808e-06,1.016601e-05,1.040182e-05,1.221965e-05,1.318550e-05,1.446743e-05,1.629711e-05,1.689538e-05,1.948640e-05,1.970015e-05,2.222081e-05,2.334994e-05,2.507702e-05,2.719604e-05,2.803205e-05,3.106220e-05,3.118463e-05,3.414359e-05,3.526087e-05,3.725264e-05,3.937093e-05,4.036658e-05,4.346381e-05,4.652426e-05,4.749278e-05,4.952956e-05,5.141635e-05,5.246331e-05,5.519902e-05,5.531113e-05,5.806074e-05,5.881160e-05,6.070195e-05,6.223117e-05,6.322660e-05,6.544096e-05,6.562848e-05,6.790319e-05,6.842986e-05,7.004803e-05,7.119191e-05,7.206182e-05,7.372565e-05,7.394472e-05,7.569811e-05,7.603344e-05,7.732434e-05,7.812077e-05,7.882663e-05,7.999564e-05,8.020891e-05,8.147564e-05,8.166792e-05,8.263172e-05,8.314884e-05,8.368231e-05,8.445046e-05,8.463282e-05,8.548872e-05,8.558533e-05,8.625551e-05,8.656608e-05,8.693866e-05,8.740522e-05,8.754353e-05,8.807535e-05,8.811489e-05,8.853916e-05,8.870673e-05,8.893979e-05,8.919173e-05,8.928187e-05,8.956977e-05,8.958022e-05,8.980764e-05,8.988179e-05,8.999937e-05,9.010525e-05,9.014860e-05,9.025874e-05,9.033297e-05,9.034962e-05,9.037424e-05,9.038464e-05,9.038531e-05,9.036988e-05,9.036872e-05,9.032680e-05,9.031082e-05,9.026172e-05,9.021240e-05,9.017548e-05,9.007904e-05,9.006993e-05,8.994674e-05,8.991473e-05,8.980749e-05,8.972303e-05,8.965360e-05,8.950713e-05,8.948640e-05,8.930709e-05,8.926988e-05,8.911679e-05,8.901384e-05,8.891652e-05,8.874129e-05,8.870723e-05,8.848979e-05,8.845430e-05,8.826499e-05,8.815469e-05,8.803357e-05,8.784414e-05,8.779623e-05,8.755358e-05,8.752413e-05,8.730620e-05,8.719600e-05,8.705464e-05,8.686095e-05,8.679937e-05,8.654088e-05,8.652007e-05,8.627956e-05,8.617434e-05,8.601582e-05,8.582464e-05,8.575003e-05,8.548251e-05,8.547177e-05,8.521358e-05,8.511648e-05,8.494353e-05,8.475940e-05,8.467263e-05,8.440114e-05,8.404225e-05,8.368323e-05,8.332451e-05,8.296652e-05,8.260963e-05,8.225416e-05,8.190044e-05,8.154873e-05,8.119930e-05,8.085237e-05,8.050814e-05,8.016682e-05,7.982856e-05,7.949353e-05,7.916184e-05,7.883364e-05,7.850902e-05,7.818809e-05,7.787092e-05,7.755759e-05,7.724816e-05,7.694269e-05,7.664123e-05,7.634381e-05
0.000000e+00,5.471549e-12,3.139539e-11,3.850072e-10,1.875844e-09,3.777812e-09,1.610745e-08,1.694341e-08,5.028755e-08,6.490951e-08,1.162611e-07,1.769889e-07,2.280573e-07,3.827635e-07,3.989122e-07,6.416634e-07,7.119602e-07,9.679681e-07,1.190692e-06,1.386752e-06,1.835347e-06,1.902340e-06,2.513544e-06,2.646796e-06,3.214348e-06,3.611201e-06,3.995557e-06,4.706061e-06,4.846416e-06,5.755670e-06,5.905817e-06,6.712117e-06,7.184762e-06,7.704870e-06,8.518180e-06,8.723490e-06,9.758106e-06,9.882891e-06,1.079953e-05,1.125772e-05,1.183937e-05,1.262394e-05,1.287012e-05,1.388521e-05,1.396557e-05,1.487904e-05,1.526954e-05,1.584693e-05,1.652560e-05,1.678511e-05,1.769061e-05,1.772612e-05,1.856124e-05,1.886581e-05,1.939544e-05,1.994137e-05,2.019224e-05,2.095113e-05,2.167204e-05,2.189475e-05,2.235522e-05,2.277287e-05,2.300116e-05,2.358693e-05,2.361061e-05,2.418446e-05,2.433890e-05,2.472374e-05,2.503116e-05,2.522954e-05,2.566633e-05,2.570305e-05,2.614548e-05,2.624717e-05,2.655806e-05,2.677653e-05,2.694203e-05,2.725724e-05,2.729862e-05,2.762906e-05,2.769211e-05,2.793453e-05,2.808390e-05,2.821621e-05,2.843526e-05,2.847523e-05,2.871269e-05,2.874876e-05,2.892966e-05,2.902683e-05,2.912717e-05,2.927183e-05,2.930621e-05,2.946773e-05,2.948597e-05,2.961264e-05,2.967136e-05,2.974182e-05,2.982999e-05,2.985611e-05,2.995631e-05,2.996374e-05,3.004320e-05,3.007439e-05,3.011750e-05,3.016360e-05,3.017992e-05,3.023112e-05,3.023294e-05,3.027174e-05,3.028389e-05,3.030238e-05,3.031783e-05,3.032364e-05,3.033605e-05,3.034015e-05,3.033978e-05,3.033642e-05,3.033016e-05,3.032536e-05,3.030824e-05,3.030740e-05,3.028297e-05,3.027503e-05,3.025249e-05,3.023146e-05,3.021635e-05,3.017840e-05,3.017490e-05,3.012850e-05,3.011666e-05,3.007748e-05,3.004701e-05,3.002215e-05,2.997014e-05,2.996282e-05,2.989977e-05,2.988673e-05,2.983326e-05,2.979739e-05,2.976355e-05,2.970269e-05,2.969088e-05,2.961548e-05,2.960317e-05,2.953756e-05,2.949933e-05,2.945734e-05,2.939163e-05,2.937500e-05,2.929073e-05,2.928050e-05,2.920471e-05,2.916634e-05,2.911709e-05,2.904953e-05,2.902803e-05,2.893768e-05,2.893040e-05,2.884619e-05,2.880929e-05,2.875367e-05,2.868649e-05,2.866026e-05,2.856606e-05,2.856228e-05,2.847120e-05,2.843691e-05,2.837578e-05,2.831062e-05,2.827989e-05,2.818362e-05,2.805613e-05,2.792833e-05,2.780039e-05,2.767246e-05,2.754471e-05,2.741725e-05,2.729023e-05,2.716374e-05,2.703789e-05,2.691278e-05,2.678850e-05,2.666512e-05,2.654272e-05,2.642136e-05,2.630110e-05,2.618199e-05,2.606408e-05,2.594741e-05,2.583203e-05,2.571795e-05,2.560522e-05,2.549386e-05,2.538388e-05,2.527531e-05
0.000000e+00,4.740674e-11,1.462671e-10,6.847985e-10,1.781624e-09,2.721767e-09,6.624199e-09,6.835945e-09,1.358043e-08,1.600397e-08,2.340723e-08,3.093918e-08,3.668467e-08,5.220126e-08,5.370641e-08,7.468827e-08,8.032878e-08,9.974741e-08,1.155597e-07,1.288585e-07,1.576508e-07,1.617908e-07,1.980582e-07,2.056514e-07,2.369360e-07,2.579004e-07,2.775654e-07,3.124175e-07,3.190882e-07,3.607415e-07,3.673739e-07,4.018915e-07,4.213113e-07,4.420304e-07,4.731412e-07,4.807577e-07,5.177643e-07,5.220777e-07,5.528181e-07,5.675783e-07,5.857533e-07,6.092987e-07,6.164618e-07,6.448856e-07,6.470601e-07,6.710101e-07,6.808198e-07,6.948568e-07,7.106439e-07,7.164773e-07,7.359473e-07,7.366826e-07,7.533608e-07,7.591466e-07,7.688251e-07,7.782860e-07,7.824555e-07,7.943725e-07,8.046992e-07,8.076879e-07,8.135578e-07,8.185121e-07,8.210676e-07,8.271153e-07,8.273440e-07,8.324974e-07,8.337534e-07,8.366318e-07,8.386643e-07,8.398450e-07,8.420660e-07,8.422281e-07,8.438655e-07,8.441563e-07,8.448351e-07,8.451132e-07,8.452083e-07,8.450955e-07,8.450506e-07,8.444214e-07,8.442438e-07,8.433746e-07,8.426816e-07,8.419591e-07,8.405176e-07,8.402191e-07,8.381946e-07,8.378468e-07,8.359217e-07,8.347522e-07,8.334329e-07,8.313060e-07,8.307572e-07,8.279208e-07,8.275708e-07,8.249473e-07,8.236009e-07,8.218575e-07,8.194432e-07,8.186704e-07,8.154028e-07,8.151384e-07,8.120699e-07,8.107215e-07,8.086852e-07,8.062229e-07,8.052607e-07,8.018071e-07,8.016685e-07,7.983343e-07,7.970810e-07,7.948506e-07,7.924795e-07,7.913639e-07,7.878808e-07,7.844074e-07,7.832989e-07,7.809492e-07,7.787461e-07,7.775109e-07,7.742327e-07,7.740967e-07,7.707103e-07,7.697676e-07,7.673551e-07,7.653582e-07,7.640340e-07,7.610108e-07,7.607494e-07,7.575036e-07,7.567306e-07,7.542985e-07,7.525221e-07,7.511358e-07,7.483887e-07,7.480168e-07,7.449427e-07,7.443334e-07,7.419146e-07,7.403584e-07,7.389332e-07,7.364655e-07,7.359992e-07,7.331132e-07,7.326560e-07,7.302756e-07,7.289308e-07,7.274866e-07,7.252904e-07,7.247463e-07,7.220549e-07,7.217352e-07,7.194124e-07,7.182651e-07,7.168186e-07,7.148798e-07,7.142734e-07,7.117765e-07,7.115789e-07,7.093278e-07,7.083617e-07,7.069268e-07,7.052275e-07,7.045732e-07,7.022666e-07,7.021753e-07,7.000065e-07,6.992042e-07,6.977925e-07,6.963130e-07,6.956240e-07,6.935005e-07,6.907654e-07,6.881063e-07,6.855220e-07,6.830108e-07,6.805715e-07,6.782025e-07,6.759023e-07,6.736693e-07,6.715022e-07,6.693993e-07,6.673592e-07,6.653802e-07,6.634611e-07,6.616001e-07,6.597959e-07,6.580470e-07,6.563519e-07,6.547093e-07,6.531176e-07,6.515756e-07,6.500819e-07,6.486351e-07,6.472339e-07,6.458771e-07
0.000000e+00,8.607084e-11,3.007443e-10,1.643095e-09,4.636457e-09,7.319564e-09,1.902513e-08,1.967891e-08,4.121496e-08,4.924146e-08,7.455802e-08,1.014308e-07,1.226220e-07,1.825459e-07,1.885500e-07,2.751723e-07,2.992340e-07,3.837211e-07,4.535796e-07,5.124993e-07,6.391792e-07,6.572188e-07,8.129053e-07,8.449679e-07,9.753386e-07,1.061379e-06,1.141339e-06,1.281772e-06,1.308519e-06,1.475011e-06,1.501480e-06,1.639287e-06,1.716969e-06,1.800067e-06,1.925447e-06,1.956279e-06,2.107038e-06,2.124728e-06,2.251637e-06,2.313164e-06,2.389535e-06,2.489615e-06,2.520349e-06,2.643839e-06,2.653397e-06,2.759889e-06,2.804221e-06,2.868493e-06,2.942122e-06,2.969736e-06,3.063776e-06,3.067390e-06,3.150828e-06,3.180505e-06,3.231151e-06,3.282074e-06,3.305035e-06,3.372792e-06,3.434742e-06,3.453394e-06,3.491215e-06,3.524636e-06,3.542541e-06,3.587268e-06,3.589040e-06,3.631024e-06,3.642013e-06,3.668797e-06,3.689559e-06,3.702646e-06,3.730558e-06,3.732846e-06,3.759656e-06,3.765613e-06,3.783321e-06,3.795286e-06,3.804071e-06,3.820092e-06,3.822122e-06,3.837676e-06,3.840504e-06,3.850921e-06,3.856955e-06,3.862033e-06,3.869837e-06,3.871173e-06,3.878496e-06,3.879508e-06,3.884141e-06,3.886293e-06,3.888239e-06,3.890487e-06,3.890913e-06,3.892276e-06,3.892356e-06,3.892431e-06,3.892142e-06,3.891476e-06,3.890064e-06,3.889501e-06,3.886590e-06,3.886319e-06,3.882819e-06,3.881086e-06,3.878261e-06,3.874529e-06,3.872982e-06,3.867044e-06,3.866793e-06,3.860503e-06,3.858012e-06,3.853414e-06,3.848305e-06,3.845825e-06,3.837781e-06,3.829326e-06,3.826540e-06,3.820498e-06,3.814670e-06,3.811335e-06,3.802253e-06,3.801869e-06,3.792132e-06,3.789362e-06,3.782154e-06,3.776063e-06,3.771962e-06,3.762417e-06,3.761580e-06,3.751032e-06,3.748478e-06,3.740340e-06,3.734297e-06,3.729524e-06,3.719917e-06,3.718602e-06,3.707592e-06,3.705381e-06,3.696510e-06,3.690725e-06,3.685372e-06,3.675981e-06,3.674190e-06,3.662978e-06,3.661182e-06,3.651748e-06,3.646354e-06,3.640511e-06,3.631523e-06,3.629276e-06,3.618055e-06,3.616710e-06,3.606855e-06,3.601936e-06,3.595684e-06,3.587219e-06,3.584551e-06,3.573462e-06,3.572577e-06,3.562423e-06,3.558023e-06,3.551441e-06,3.543572e-06,3.540521e-06,3.529668e-06,3.529236e-06,3.518887e-06,3.515025e-06,3.508182e-06,3.500948e-06,3.497557e-06,3.487016e-06,3.473235e-06,3.459611e-06,3.446151e-06,3.432861e-06,3.419744e-06,3.406804e-06,3.394044e-06,3.381469e-06,3.369078e-06,3.356876e-06,3.344862e-06,3.333038e-06,3.321404e-06,3.309962e-06,3.298711e-06,3.287651e-06,3.276781e-06,3.266102e-06,3.255611e-06,3.245309e-06,3.235194e-06,3.225264e-06,3.215519e-06,3.205956e-06
0.000000e+00,1.142605e-12,6.914674e-12,9.419193e-11,5.017734e-10,1.058404e-09,5.039868e-09,5.323828e-09,1.739598e-08,2.299829e-08,4.357303e-08,6.913618e-08,9.135171e-08,1.613774e-07,1.688703e-07,2.845086e-07,3.188637e-07,4.465862e-07,5.606139e-07,6.630133e-07,9.039720e-07,9.407240e-07,1.284793e-06,1.361819e-06,1.697310e-06,1.938414e-06,2.176372e-06,2.625731e-06,2.715692e-06,3.305137e-06,3.403274e-06,3.932030e-06,4.242237e-06,4.582751e-06,5.111607e-06,5.244155e-06,5.904545e-06,5.983238e-06,6.554147e-06,6.834486e-06,7.185205e-06,7.648732e-06,7.791850e-06,8.369863e-06,8.414773e-06,8.916394e-06,9.125771e-06,9.429711e-06,9.778231e-06,9.908972e-06,1.035404e-05,1.037113e-05,1.076531e-05,1.090525e-05,1.114362e-05,1.138262e-05,1.149011e-05,1.180614e-05,1.209323e-05,1.217925e-05,1.235300e-05,1.250567e-05,1.258710e-05,1.278925e-05,1.279721e-05,1.298499e-05,1.303379e-05,1.315204e-05,1.324297e-05,1.329992e-05,1.342031e-05,1.343011e-05,1.354401e-05,1.356907e-05,1.364294e-05,1.369228e-05,1.372815e-05,1.379270e-05,1.380079e-05,1.386193e-05,1.387287e-05,1.391257e-05,1.393505e-05,1.395361e-05,1.398131e-05,1.398592e-05,1.401027e-05,1.401347e-05,1.402737e-05,1.403320e-05,1.403789e-05,1.404196e-05,1.404242e-05,1.404152e-05,1.404107e-05,1.403570e-05,1.403170e-05,1.402542e-05,1.401488e-05,1.401110e-05,1.399313e-05,1.399155e-05,1.397187e-05,1.396252e-05,1.394765e-05,1.392854e-05,1.392076e-05,1.389147e-05,1.389026e-05,1.386004e-05,1.384825e-05,1.382669e-05,1.380303e-05,1.379164e-05,1.375507e-05,1.371716e-05,1.370477e-05,1.367807e-05,1.365250e-05,1.363795e-05,1.359859e-05,1.359693e-05,1.355515e-05,1.354332e-05,1.351270e-05,1.348696e-05,1.346971e-05,1.342974e-05,1.342625e-05,1.338242e-05,1.337186e-05,1.333831e-05,1.331350e-05,1.329398e-05,1.325484e-05,1.324949e-05,1.320493e-05,1.319601e-05,1.316033e-05,1.313714e-05,1.311575e-05,1.307836e-05,1.307124e-05,1.302685e-05,1.301976e-05,1.298261e-05,1.296143e-05,1.293855e-05,1.290347e-05,1.289472e-05,1.285114e-05,1.284593e-05,1.280784e-05,1.278888e-05,1.276485e-05,1.273239e-05,1.272218e-05,1.267986e-05,1.267649e-05,1.263790e-05,1.262123e-05,1.259633e-05,1.256665e-05,1.255516e-05,1.251440e-05,1.251278e-05,1.247407e-05,1.245965e-05,1.243416e-05,1.240728e-05,1.239471e-05,1.235570e-05,1.230492e-05,1.225495e-05,1.220581e-05,1.215750e-05,1.211003e-05,1.206342e-05,1.201764e-05,1.197272e-05,1.192865e-05,1.188542e-05,1.184304e-05,1.180149e-05,1.176079e-05,1.172090e-05,1.168184e-05,1.164360e-05,1.160616e-05,1.156951e-05,1.153365e-05,1.149857e-05,1.146426e-05,1.143070e-05,1.139789e-05,1.136582e-05
0.000000e+00,1.510785e-11,3.600429e-11,1.288827e-10,2.982074e-10,4.375195e-10,1.001026e-09,1.031377e-09,2.000696e-09,2.352228e-09,3.441132e-09,4.573669e-09,5.453567e-09,7.884599e-09,8.123544e-09,1.147864e-08,1.238227e-08,1.547898e-08,1.797674e-08,2.005984e-08,2.452466e-08,2.516293e-08,3.073927e-08,3.190734e-08,3.674358e-08,4.001979e-08,4.312988e-08,4.875403e-08,4.984946e-08,5.685054e-08,5.799323e-08,6.407890e-08,6.761296e-08,7.147905e-08,7.748561e-08,7.899561e-08,8.657458e-08,8.748578e-08,9.416459e-08,9.749523e-08,1.017179e-07,1.074069e-07,1.091909e-07,1.165452e-07,1.171274e-07,1.237471e-07,1.265786e-07,1.307681e-07,1.356980e-07,1.375849e-07,1.441787e-07,1.444376e-07,1.505352e-07,1.527633e-07,1.566441e-07,1.606531e-07,1.624986e-07,1.680952e-07,1.734328e-07,1.750864e-07,1.785129e-07,1.816303e-07,1.833386e-07,1.877363e-07,1.879146e-07,1.922469e-07,1.934173e-07,1.963426e-07,1.986894e-07,2.002090e-07,2.035708e-07,2.038545e-07,2.072875e-07,2.080807e-07,2.105166e-07,2.122391e-07,2.135505e-07,2.160658e-07,2.163980e-07,2.190676e-07,2.195809e-07,2.215678e-07,2.228036e-07,2.239067e-07,2.257527e-07,2.260925e-07,2.281327e-07,2.284461e-07,2.300347e-07,2.309008e-07,2.318058e-07,2.331329e-07,2.334526e-07,2.349818e-07,2.351577e-07,2.363995e-07,2.369895e-07,2.377117e-07,2.386418e-07,2.389239e-07,2.400415e-07,2.401270e-07,2.410696e-07,2.414569e-07,2.420130e-07,2.426424e-07,2.428763e-07,2.436637e-07,2.436937e-07,2.443794e-07,2.446202e-07,2.450272e-07,2.454308e-07,2.456108e-07,2.461337e-07,2.465992e-07,2.467365e-07,2.470103e-07,2.472463e-07,2.473701e-07,2.476697e-07,2.476812e-07,2.479464e-07,2.480128e-07,2.481682e-07,2.482813e-07,2.483488e-07,2.484806e-07,2.484906e-07,2.485956e-07,2.486156e-07,2.486659e-07,2.486908e-07,2.487033e-07,2.487106e-07,2.487097e-07,2.486868e-07,2.486789e-07,2.486362e-07,2.485994e-07,2.485593e-07,2.484756e-07,2.484578e-07,2.483329e-07,2.483108e-07,2.481859e-07,2.481079e-07,2.480182e-07,2.478698e-07,2.478308e-07,2.476249e-07,2.475990e-07,2.474016e-07,2.472981e-07,2.471619e-07,2.469693e-07,2.469066e-07,2.466369e-07,2.466147e-07,2.463534e-07,2.462363e-07,2.460570e-07,2.458361e-07,2.457486e-07,2.454288e-07,2.454158e-07,2.450984e-07,2.449769e-07,2.447580e-07,2.445212e-07,2.444083e-07,2.440499e-07,2.435644e-07,2.430660e-07,2.425559e-07,2.420352e-07,2.415050e-07,2.409661e-07,2.404196e-07,2.398663e-07,2.393069e-07,2.387424e-07,2.381733e-07,2.376003e-07,2.370241e-07,2.364453e-07,2.358643e-07,2.352818e-07,2.346983e-07,2.341141e-07,2.335297e-07,2.329455e-07,2.323619e-07,2.317793e-07,2.311979e-07,2.306182e-07
0.000000e+00,1.453815e-13,9.543297e-13,1.535583e-11,9.495214e-11,2.170934e-10,1.267145e-09,1.349465e-09,5.354865e-09,7.452354e-09,1.601655e-08,2.804855e-08,3.945768e-08,7.977465e-08,8.441461e-08,1.622614e-07,1.873246e-07,2.867759e-07,3.826679e-07,4.736063e-07,7.027611e-07,7.393713e-07,1.100399e-06,1.185367e-06,1.571274e-06,1.863502e-06,2.163457e-06,2.760112e-06,2.884243e-06,3.736167e-06,3.884555e-06,4.716894e-06,5.231523e-06,5.819509e-06,6.782151e-06,7.033114e-06,8.343614e-06,8.506625e-06,9.734592e-06,1.036755e-05,1.118820e-05,1.232347e-05,1.268598e-05,1.420962e-05,1.433210e-05,1.574159e-05,1.635301e-05,1.726560e-05,1.834965e-05,1.876698e-05,2.023292e-05,2.029066e-05,2.165261e-05,2.215062e-05,2.301724e-05,2.391017e-05,2.431996e-05,2.555578e-05,2.672140e-05,2.707925e-05,2.781504e-05,2.847692e-05,2.883622e-05,2.974895e-05,2.978556e-05,3.066462e-05,3.089845e-05,3.147563e-05,3.193073e-05,3.222141e-05,3.285264e-05,3.290514e-05,3.353026e-05,3.367196e-05,3.410036e-05,3.439695e-05,3.461909e-05,3.503594e-05,3.509005e-05,3.551675e-05,3.559709e-05,3.590261e-05,3.608818e-05,3.625083e-05,3.651649e-05,3.656447e-05,3.684637e-05,3.688871e-05,3.709918e-05,3.721092e-05,3.732534e-05,3.748860e-05,3.752711e-05,3.770652e-05,3.772664e-05,3.786547e-05,3.792937e-05,3.800566e-05,3.810062e-05,3.812865e-05,3.823585e-05,3.824378e-05,3.832853e-05,3.836181e-05,3.840786e-05,3.845731e-05,3.847489e-05,3.853058e-05,3.853258e-05,3.857577e-05,3.858963e-05,3.861127e-05,3.863023e-05,3.863778e-05,3.865596e-05,3.866640e-05,3.866819e-05,3.866964e-05,3.866818e-05,3.866619e-05,3.865700e-05,3.865650e-05,3.864100e-05,3.863567e-05,3.862007e-05,3.860506e-05,3.859408e-05,3.856598e-05,3.856336e-05,3.852822e-05,3.851916e-05,3.848894e-05,3.846524e-05,3.844580e-05,3.840484e-05,3.839905e-05,3.834892e-05,3.833851e-05,3.829563e-05,3.826674e-05,3.823939e-05,3.819002e-05,3.818040e-05,3.811883e-05,3.810876e-05,3.805487e-05,3.802336e-05,3.798867e-05,3.793420e-05,3.792039e-05,3.785017e-05,3.784162e-05,3.777815e-05,3.774592e-05,3.770446e-05,3.764741e-05,3.762922e-05,3.755255e-05,3.754636e-05,3.747457e-05,3.744303e-05,3.739537e-05,3.733765e-05,3.731505e-05,3.723372e-05,3.723044e-05,3.715146e-05,3.712163e-05,3.706835e-05,3.701140e-05,3.698448e-05,3.689993e-05,3.678740e-05,3.667395e-05,3.655976e-05,3.644494e-05,3.632963e-05,3.621396e-05,3.609803e-05,3.598196e-05,3.586583e-05,3.574976e-05,3.563381e-05,3.551808e-05,3.540264e-05,3.528756e-05,3.517291e-05,3.505874e-05,3.494512e-05,3.483209e-05,3.471971e-05,3.460802e-05,3.449707e-05,3.438688e-05,3.427751e-05,3.416898e-05
0.000000e+00,6.612927e-12,3.407114e-11,3.403782e-10,1.405265e-09,2.605553e-09,9.201237e-09,9.611746e-09,2.445369e-08,3.041248e-08,4.999875e-08,7.152844e-08,8.877526e-08,1.380516e-07,1.430068e-07,2.146623e-07,2.346489e-07,3.054520e-07,3.651687e-07,4.167006e-07,5.320834e-07,5.490880e-07,7.024051e-07,7.354964e-07,8.755499e-07,9.728617e-07,1.066791e-06,1.239934e-06,1.274096e-06,1.495356e-06,1.531913e-06,1.728481e-06,1.843988e-06,1.971407e-06,2.171434e-06,2.222095e-06,2.478517e-06,2.509577e-06,2.738664e-06,2.853799e-06,3.000563e-06,3.199595e-06,3.262297e-06,3.522036e-06,3.542677e-06,3.778063e-06,3.879075e-06,4.028797e-06,4.205243e-06,4.272815e-06,4.508861e-06,4.518121e-06,4.735858e-06,4.815184e-06,4.952913e-06,5.094462e-06,5.159316e-06,5.354531e-06,5.538185e-06,5.594474e-06,5.710062e-06,5.813841e-06,5.870083e-06,6.012589e-06,6.018292e-06,6.154841e-06,6.191016e-06,6.279972e-06,6.349700e-06,6.394005e-06,6.489438e-06,6.497318e-06,6.590341e-06,6.611186e-06,6.673535e-06,6.716011e-06,6.747388e-06,6.805050e-06,6.812401e-06,6.869085e-06,6.879467e-06,6.917947e-06,6.940432e-06,6.959491e-06,6.989091e-06,6.994207e-06,7.022574e-06,7.026555e-06,7.045052e-06,7.053880e-06,7.062081e-06,7.072063e-06,7.074079e-06,7.081442e-06,7.082032e-06,7.084544e-06,7.084650e-06,7.083738e-06,7.080715e-06,7.079354e-06,7.071701e-06,7.070956e-06,7.061064e-06,7.056035e-06,7.047711e-06,7.036556e-06,7.031891e-06,7.013833e-06,7.013067e-06,6.993750e-06,6.986062e-06,6.971838e-06,6.955986e-06,6.948278e-06,6.923236e-06,6.896866e-06,6.888171e-06,6.869310e-06,6.851112e-06,6.840697e-06,6.812346e-06,6.811148e-06,6.780771e-06,6.772131e-06,6.749668e-06,6.730696e-06,6.717931e-06,6.688246e-06,6.685645e-06,6.652887e-06,6.644963e-06,6.619728e-06,6.601010e-06,6.586235e-06,6.556533e-06,6.552468e-06,6.518480e-06,6.511661e-06,6.484323e-06,6.466510e-06,6.450043e-06,6.421183e-06,6.415681e-06,6.381277e-06,6.375771e-06,6.346866e-06,6.330355e-06,6.312480e-06,6.285010e-06,6.278149e-06,6.243901e-06,6.239797e-06,6.209759e-06,6.194776e-06,6.175746e-06,6.149996e-06,6.141884e-06,6.108191e-06,6.105503e-06,6.074684e-06,6.061336e-06,6.041378e-06,6.017531e-06,6.008288e-06,5.975426e-06,5.974117e-06,5.942805e-06,5.931122e-06,5.910434e-06,5.888569e-06,5.878323e-06,5.846480e-06,5.804872e-06,5.763759e-06,5.723156e-06,5.683073e-06,5.643519e-06,5.604501e-06,5.566026e-06,5.528097e-06,5.490718e-06,5.453891e-06,5.417617e-06,5.381897e-06,5.346730e-06,5.312114e-06,5.278047e-06,5.244527e-06,5.211551e-06,5.179115e-06,5.147214e-06,5.115845e-06,5.085002e-06,5.054680e-06,5.024874e-06,4.995578e-06
0.000000e+00,3.883234e-13,2.562201e-12,4.168791e-11,2.605176e-10,5.992575e-10,3.556895e-09,3.790700e-09,1.532682e-08,2.144884e-08,4.679154e-08,8.303895e-08,1.179108e-07,2.439224e-07,2.586509e-07,5.109949e-07,5.939962e-07,9.298676e-07,1.261709e-06,1.582170e-06,2.408968e-06,2.543176e-06,3.890734e-06,4.213272e-06,5.698694e-06,6.842534e-06,8.030974e-06,1.043205e-05,1.093717e-05,1.444993e-05,1.506951e-05,1.858412e-05,2.078914e-05,2.333714e-05,2.757302e-05,2.869025e-05,3.461053e-05,3.535704e-05,4.105292e-05,4.403915e-05,4.796260e-05,5.348830e-05,5.527716e-05,6.292875e-05,6.355332e-05,7.084608e-05,7.407110e-05,7.895622e-05,8.487397e-05,8.718633e-05,9.546505e-05,9.579623e-05,1.037239e-04,1.066796e-04,1.118981e-04,1.173776e-04,1.199281e-04,1.277595e-04,1.353441e-04,1.377120e-04,1.426399e-04,1.471411e-04,1.496117e-04,1.559728e-04,1.562305e-04,1.624739e-04,1.641523e-04,1.683252e-04,1.716432e-04,1.737739e-04,1.784262e-04,1.788144e-04,1.834459e-04,1.844970e-04,1.876720e-04,1.898640e-04,1.914997e-04,1.945467e-04,1.949394e-04,1.980038e-04,1.985730e-04,2.007080e-04,2.019773e-04,2.030685e-04,2.047987e-04,2.051031e-04,2.068302e-04,2.070793e-04,2.082689e-04,2.088626e-04,2.094383e-04,2.101926e-04,2.103573e-04,2.110447e-04,2.111125e-04,2.115186e-04,2.116640e-04,2.117965e-04,2.118871e-04,2.118953e-04,2.118310e-04,2.118193e-04,2.116187e-04,2.114955e-04,2.112725e-04,2.109479e-04,2.108059e-04,2.102311e-04,2.102061e-04,2.095598e-04,2.092966e-04,2.088026e-04,2.082436e-04,2.079692e-04,2.070687e-04,2.061093e-04,2.057912e-04,2.050987e-04,2.044281e-04,2.040436e-04,2.029947e-04,2.029503e-04,2.018246e-04,2.015043e-04,2.006716e-04,1.999686e-04,1.994959e-04,1.983978e-04,1.983017e-04,1.970929e-04,1.968010e-04,1.958729e-04,1.951860e-04,1.946448e-04,1.935595e-04,1.934113e-04,1.921748e-04,1.919274e-04,1.909378e-04,1.902949e-04,1.897020e-04,1.886664e-04,1.884694e-04,1.872415e-04,1.870456e-04,1.860197e-04,1.854358e-04,1.848052e-04,1.838397e-04,1.835992e-04,1.824027e-04,1.822598e-04,1.812165e-04,1.806980e-04,1.800414e-04,1.791561e-04,1.788780e-04,1.777270e-04,1.776354e-04,1.765888e-04,1.761372e-04,1.754638e-04,1.746623e-04,1.743525e-04,1.732552e-04,1.732116e-04,1.721721e-04,1.717857e-04,1.711035e-04,1.703851e-04,1.700495e-04,1.690102e-04,1.676611e-04,1.663381e-04,1.650411e-04,1.637703e-04,1.625255e-04,1.613067e-04,1.601136e-04,1.589460e-04,1.578038e-04,1.566866e-04,1.555941e-04,1.545260e-04,1.534819e-04,1.524616e-04,1.514645e-04,1.504904e-04,1.495388e-04,1.486094e-04,1.477016e-04,1.468152e-04,1.459496e-04,1.451045e-04,1.442795e-04,1.434741e-04
0.000000e+00,7.268821e-12,1.707069e-11,6.013463e-11,1.380298e-10,2.018754e-10,4.591480e-10,4.729771e-10,9.137610e-10,1.073290e-09,1.566542e-09,2.078064e-09,2.474296e-09,3.562735e-09,3.669183e-09,5.153858e-09,5.550730e-09,6.902393e-09,7.984139e-09,8.881108e-09,1.078906e-08,1.106027e-08,1.341404e-08,1.390360e-08,1.591805e-08,1.727138e-08,1.854775e-08,2.083547e-08,2.127803e-08,2.408342e-08,2.453755e-08,2.693862e-08,2.831959e-08,2.981920e-08,3.212641e-08,3.270215e-08,3.556639e-08,3.590792e-08,3.839317e-08,3.962080e-08,4.116622e-08,4.322930e-08,4.387187e-08,4.649895e-08,4.670545e-08,4.903871e-08,5.002863e-08,5.148461e-08,5.318490e-08,5.383207e-08,5.607827e-08,5.616599e-08,5.822186e-08,5.896837e-08,6.026272e-08,6.159226e-08,6.220177e-08,6.404074e-08,6.578201e-08,6.631903e-08,6.742842e-08,6.843381e-08,6.898318e-08,7.039272e-08,7.044973e-08,7.183168e-08,7.220396e-08,7.313269e-08,7.387598e-08,7.435645e-08,7.541723e-08,7.550662e-08,7.658679e-08,7.683601e-08,7.760046e-08,7.814034e-08,7.855103e-08,7.933794e-08,7.944178e-08,8.027583e-08,8.043611e-08,8.105619e-08,8.144172e-08,8.178572e-08,8.236124e-08,8.246714e-08,8.310303e-08,8.320071e-08,8.369585e-08,8.396579e-08,8.424791e-08,8.466169e-08,8.476140e-08,8.523839e-08,8.529327e-08,8.568084e-08,8.586505e-08,8.609059e-08,8.638121e-08,8.646939e-08,8.681889e-08,8.684563e-08,8.714064e-08,8.726189e-08,8.743609e-08,8.763333e-08,8.770665e-08,8.795360e-08,8.796301e-08,8.817819e-08,8.825379e-08,8.838156e-08,8.850831e-08,8.856483e-08,8.872903e-08,8.887514e-08,8.891823e-08,8.900408e-08,8.907800e-08,8.911673e-08,8.921031e-08,8.921391e-08,8.929642e-08,8.931699e-08,8.936498e-08,8.939972e-08,8.942030e-08,8.946007e-08,8.946304e-08,8.949384e-08,8.949953e-08,8.951330e-08,8.951945e-08,8.952197e-08,8.952110e-08,8.952039e-08,8.950908e-08,8.950569e-08,8.948851e-08,8.947432e-08,8.945916e-08,8.942802e-08,8.942144e-08,8.937579e-08,8.936777e-08,8.932259e-08,8.929448e-08,8.926222e-08,8.920900e-08,8.919504e-08,8.912138e-08,8.911213e-08,8.904159e-08,8.900461e-08,8.895595e-08,8.888715e-08,8.886477e-08,8.876834e-08,8.876040e-08,8.866691e-08,8.862500e-08,8.856074e-08,8.848151e-08,8.845009e-08,8.833518e-08,8.833050e-08,8.821624e-08,8.817247e-08,8.809348e-08,8.800792e-08,8.796710e-08,8.783730e-08,8.766105e-08,8.747957e-08,8.729326e-08,8.710247e-08,8.690756e-08,8.670885e-08,8.650664e-08,8.630123e-08,8.609289e-08,8.588188e-08,8.566845e-08,8.545284e-08,8.523526e-08,8.501593e-08,8.479504e-08,8.457279e-08,8.434934e-08,8.412489e-08,8.389957e-08,8.367354e-08,8.344696e-08,8.321995e-08,8.299264e-08,8.276516e-08
0.000000e+00,2.562758e-12,1.737636e-11,2.993615e-10,1.972895e-09,4.674474e-09,2.999074e-08,3.206478e-08,1.403304e-07,2.007153e-07,4.627959e-07,8.593468e-07,1.257052e-06,2.780578e-06,2.965416e-06,6.285839e-06,7.429040e-06,1.224872e-05,1.725855e-05,2.228842e-05,3.598394e-05,3.829315e-05,6.261933e-05,6.872224e-05,9.806574e-05,1.219351e-04,1.478112e-04,2.031792e-04,2.153245e-04,3.042574e-04,3.207229e-04,4.183287e-04,4.830945e-04,5.612083e-04,6.986210e-04,7.364067e-04,9.471745e-04,9.749989e-04,1.196414e-03,1.318924e-03,1.486609e-03,1.735799e-03,1.819762e-03,2.197360e-03,2.229520e-03,2.620346e-03,2.802354e-03,3.089107e-03,3.454889e-03,3.603481e-03,4.162769e-03,4.186059e-03,4.765766e-03,4.993234e-03,5.410791e-03,5.872354e-03,6.095734e-03,6.818102e-03,7.575068e-03,7.824104e-03,8.363530e-03,8.883146e-03,9.180161e-03,9.987383e-03,1.002146e-02,1.088383e-02,1.112856e-02,1.176356e-02,1.229820e-02,1.265697e-02,1.348782e-02,1.356037e-02,1.447014e-02,1.468904e-02,1.538275e-02,1.589378e-02,1.629480e-02,1.709435e-02,1.720303e-02,1.810436e-02,1.828354e-02,1.899589e-02,1.945472e-02,1.987494e-02,2.060186e-02,2.073900e-02,2.158582e-02,2.171957e-02,2.241333e-02,2.280313e-02,2.321970e-02,2.384848e-02,2.400331e-02,2.476274e-02,2.485219e-02,2.549680e-02,2.581148e-02,2.620447e-02,2.672414e-02,2.688494e-02,2.753756e-02,2.758855e-02,2.816186e-02,2.840357e-02,2.875752e-02,2.916856e-02,2.932438e-02,2.986239e-02,2.988331e-02,3.037165e-02,3.054798e-02,3.085236e-02,3.116309e-02,3.130483e-02,3.172943e-02,3.212666e-02,3.224807e-02,3.249705e-02,3.272029e-02,3.284121e-02,3.314754e-02,3.315980e-02,3.345353e-02,3.353142e-02,3.372314e-02,3.387365e-02,3.396941e-02,3.417604e-02,3.419313e-02,3.439512e-02,3.444046e-02,3.457621e-02,3.466880e-02,3.473723e-02,3.486299e-02,3.487902e-02,3.500242e-02,3.502497e-02,3.510827e-02,3.515665e-02,3.519739e-02,3.525992e-02,3.527059e-02,3.532869e-02,3.533663e-02,3.537246e-02,3.538860e-02,3.540267e-02,3.541758e-02,3.542007e-02,3.542540e-02,3.542526e-02,3.541936e-02,3.541328e-02,3.540265e-02,3.538321e-02,3.537592e-02,3.533983e-02,3.533656e-02,3.529499e-02,3.527474e-02,3.524200e-02,3.519913e-02,3.518145e-02,3.511387e-02,3.511102e-02,3.503979e-02,3.501164e-02,3.495973e-02,3.490212e-02,3.487417e-02,3.478356e-02,3.465697e-02,3.452331e-02,3.438346e-02,3.423827e-02,3.408850e-02,3.393488e-02,3.377807e-02,3.361869e-02,3.345731e-02,3.329446e-02,3.313062e-02,3.296623e-02,3.280169e-02,3.263738e-02,3.247363e-02,3.231075e-02,3.214902e-02,3.198867e-02,3.182993e-02,3.167301e-02,3.151807e-02,3.136528e-02,3.121477e-02,3.106666e-02
0.000000e+00,3.799363e-10,1.012906e-09,4.102452e-09,1.014713e-08,1.534142e-08,3.773530e-08,3.899510e-08,8.165185e-08,9.816881e-08,1.523431e-07,2.127486e-07,2.619190e-07,4.043142e-07,4.186313e-07,6.213298e-07,6.758185e-07,8.604349e-07,1.006326e-06,1.125791e-06,1.375354e-06,1.410350e-06,1.709640e-06,1.770980e-06,2.020572e-06,2.186027e-06,2.340681e-06,2.615043e-06,2.667755e-06,2.999683e-06,3.053105e-06,3.334416e-06,3.495500e-06,3.669982e-06,3.937779e-06,4.004517e-06,4.336287e-06,4.375836e-06,4.663710e-06,4.806036e-06,4.985401e-06,5.225302e-06,5.300152e-06,5.606948e-06,5.631121e-06,5.904950e-06,6.021531e-06,6.193480e-06,6.395057e-06,6.472016e-06,6.740180e-06,6.750686e-06,6.997707e-06,7.087779e-06,7.244439e-06,7.406012e-06,7.480306e-06,7.705314e-06,7.919531e-06,7.985820e-06,8.123076e-06,8.247816e-06,8.316109e-06,8.491712e-06,8.498826e-06,8.671447e-06,8.718004e-06,8.834215e-06,8.927252e-06,8.987386e-06,9.120061e-06,9.131232e-06,9.266029e-06,9.297065e-06,9.392059e-06,9.458914e-06,9.509610e-06,9.606266e-06,9.618966e-06,9.720415e-06,9.739781e-06,9.814240e-06,9.860109e-06,9.900722e-06,9.967896e-06,9.980139e-06,1.005276e-05,1.006377e-05,1.011887e-05,1.014835e-05,1.017870e-05,1.022224e-05,1.023254e-05,1.028062e-05,1.028601e-05,1.032318e-05,1.034023e-05,1.036048e-05,1.038544e-05,1.039273e-05,1.042017e-05,1.042216e-05,1.044300e-05,1.045090e-05,1.046145e-05,1.047213e-05,1.047572e-05,1.048600e-05,1.048633e-05,1.049248e-05,1.049392e-05,1.049536e-05,1.049535e-05,1.049481e-05,1.049101e-05,1.048412e-05,1.048128e-05,1.047430e-05,1.046655e-05,1.046170e-05,1.044715e-05,1.044649e-05,1.042880e-05,1.042342e-05,1.040877e-05,1.039568e-05,1.038653e-05,1.036423e-05,1.036222e-05,1.033595e-05,1.032936e-05,1.030784e-05,1.029134e-05,1.027801e-05,1.025043e-05,1.024657e-05,1.021362e-05,1.020686e-05,1.017926e-05,1.016087e-05,1.014359e-05,1.011268e-05,1.010670e-05,1.006868e-05,1.006250e-05,1.002961e-05,1.001051e-05,9.989573e-06,9.956900e-06,9.948647e-06,9.906907e-06,9.901847e-06,9.864422e-06,9.845510e-06,9.821260e-06,9.788043e-06,9.777484e-06,9.733157e-06,9.729589e-06,9.688336e-06,9.670282e-06,9.643078e-06,9.610251e-06,9.597435e-06,9.551459e-06,9.549613e-06,9.505196e-06,9.488480e-06,9.458693e-06,9.426956e-06,9.411993e-06,9.365137e-06,9.303115e-06,9.240974e-06,9.178793e-06,9.116645e-06,9.054598e-06,8.992715e-06,8.931054e-06,8.869670e-06,8.808611e-06,8.747924e-06,8.687650e-06,8.627828e-06,8.568493e-06,8.509677e-06,8.451409e-06,8.393716e-06,8.336620e-06,8.280144e-06,8.224305e-06,8.169121e-06,8.114606e-06,8.060773e-06,8.007633e-06,7.955195e-06
0.000000e+00,8.671262e-12,5.297994e-11,7.366977e-10,4.004464e-09,8.548097e-09,4.215105e-08,4.459628e-08,1.522064e-07,2.040165e-07,4.019393e-07,6.616189e-07,8.977561e-07,1.694818e-06,1.784250e-06,3.245154e-06,3.703461e-06,5.477077e-06,7.126243e-06,8.639674e-06,1.225737e-05,1.281163e-05,1.797877e-05,1.912483e-05,2.405320e-05,2.752821e-05,3.090523e-05,3.715723e-05,3.839195e-05,4.637595e-05,4.769107e-05,5.473386e-05,5.884638e-05,6.335840e-05,7.038740e-05,7.215705e-05,8.104955e-05,8.211953e-05,8.996571e-05,9.388009e-05,9.884362e-05,1.055314e-04,1.076287e-04,1.162730e-04,1.169572e-04,1.247349e-04,1.280604e-04,1.329789e-04,1.387628e-04,1.409753e-04,1.487002e-04,1.490033e-04,1.561347e-04,1.587371e-04,1.632646e-04,1.679339e-04,1.700803e-04,1.765757e-04,1.827481e-04,1.846551e-04,1.885978e-04,1.921732e-04,1.941271e-04,1.991381e-04,1.993406e-04,2.042442e-04,2.055627e-04,2.088452e-04,2.114639e-04,2.131518e-04,2.168615e-04,2.171729e-04,2.209180e-04,2.217769e-04,2.243970e-04,2.262326e-04,2.276197e-04,2.302518e-04,2.305963e-04,2.333370e-04,2.338577e-04,2.358517e-04,2.370734e-04,2.381505e-04,2.399216e-04,2.402429e-04,2.421386e-04,2.424243e-04,2.438469e-04,2.446030e-04,2.453768e-04,2.464781e-04,2.467370e-04,2.479361e-04,2.480695e-04,2.489822e-04,2.493961e-04,2.498833e-04,2.504758e-04,2.506470e-04,2.512806e-04,2.513259e-04,2.517913e-04,2.519626e-04,2.521857e-04,2.524014e-04,2.524704e-04,2.526516e-04,2.526568e-04,2.527353e-04,2.527427e-04,2.527273e-04,2.526722e-04,2.526329e-04,2.524574e-04,2.522059e-04,2.521101e-04,2.518831e-04,2.516412e-04,2.514935e-04,2.510608e-04,2.510416e-04,2.505314e-04,2.503787e-04,2.499670e-04,2.496038e-04,2.493520e-04,2.487447e-04,2.486901e-04,2.479847e-04,2.478093e-04,2.472390e-04,2.468049e-04,2.464561e-04,2.457387e-04,2.456389e-04,2.447903e-04,2.446171e-04,2.439129e-04,2.434461e-04,2.430091e-04,2.422314e-04,2.420815e-04,2.411321e-04,2.409783e-04,2.401632e-04,2.396917e-04,2.391767e-04,2.383763e-04,2.381747e-04,2.371588e-04,2.370361e-04,2.361309e-04,2.356752e-04,2.350925e-04,2.342973e-04,2.340452e-04,2.329903e-04,2.329057e-04,2.319294e-04,2.315035e-04,2.308635e-04,2.300938e-04,2.297940e-04,2.287220e-04,2.286790e-04,2.276484e-04,2.272618e-04,2.265745e-04,2.258444e-04,2.255010e-04,2.244288e-04,2.230170e-04,2.216108e-04,2.202117e-04,2.188212e-04,2.174406e-04,2.160711e-04,2.147139e-04,2.133698e-04,2.120398e-04,2.107247e-04,2.094252e-04,2.081418e-04,2.068751e-04,2.056257e-04,2.043938e-04,2.031799e-04,2.019842e-04,2.008070e-04,1.996485e-04,1.985088e-04,1.973880e-04,1.962862e-04,1.952035e-04,1.941398e-04
0.000000e+00,1.510391e-13,9.911439e-13,1.594172e-11,9.857762e-11,2.254393e-10,1.318210e-09,1.404010e-09,5.594763e-09,7.799323e-09,1.685465e-08,2.969370e-08,4.197143e-08,8.599760e-08,9.111940e-08,1.783855e-07,2.069347e-07,3.218830e-07,4.346858e-07,5.429938e-07,8.199255e-07,8.645645e-07,1.308467e-06,1.413639e-06,1.893218e-06,2.257629e-06,2.632190e-06,3.377603e-06,3.532639e-06,4.595515e-06,4.780393e-06,5.815850e-06,6.454746e-06,7.183546e-06,8.374335e-06,8.684345e-06,1.030086e-05,1.050171e-05,1.201356e-05,1.279229e-05,1.380166e-05,1.519796e-05,1.564390e-05,1.751922e-05,1.767005e-05,1.940728e-05,2.016174e-05,2.128895e-05,2.262981e-05,2.314657e-05,2.496428e-05,2.503596e-05,2.672814e-05,2.734759e-05,2.842623e-05,2.953824e-05,3.004868e-05,3.158765e-05,3.303724e-05,3.348152e-05,3.439339e-05,3.521112e-05,3.565371e-05,3.677261e-05,3.681730e-05,3.788462e-05,3.816640e-05,3.885723e-05,3.939636e-05,3.973767e-05,4.046908e-05,4.052923e-05,4.123580e-05,4.139320e-05,4.186171e-05,4.217871e-05,4.241160e-05,4.283643e-05,4.289028e-05,4.330262e-05,4.337756e-05,4.365349e-05,4.381323e-05,4.394765e-05,4.415429e-05,4.418971e-05,4.438410e-05,4.441107e-05,4.453504e-05,4.459323e-05,4.464649e-05,4.470970e-05,4.472214e-05,4.476544e-05,4.476861e-05,4.477957e-05,4.477730e-05,4.476745e-05,4.474234e-05,4.473176e-05,4.467494e-05,4.466955e-05,4.459923e-05,4.456411e-05,4.450664e-05,4.443055e-05,4.439898e-05,4.427792e-05,4.427282e-05,4.414495e-05,4.409442e-05,4.400139e-05,4.389836e-05,4.384847e-05,4.368728e-05,4.351878e-05,4.346347e-05,4.334387e-05,4.322893e-05,4.316333e-05,4.298540e-05,4.297790e-05,4.278820e-05,4.273441e-05,4.259484e-05,4.247728e-05,4.239833e-05,4.221517e-05,4.219915e-05,4.199773e-05,4.194911e-05,4.179447e-05,4.167998e-05,4.158973e-05,4.140857e-05,4.138381e-05,4.117703e-05,4.113559e-05,4.096964e-05,4.086163e-05,4.076188e-05,4.058726e-05,4.055399e-05,4.034617e-05,4.031294e-05,4.013860e-05,4.003910e-05,3.993145e-05,3.976613e-05,3.972487e-05,3.951902e-05,3.949437e-05,3.931401e-05,3.922410e-05,3.910997e-05,3.895561e-05,3.890700e-05,3.870521e-05,3.868912e-05,3.850468e-05,3.842484e-05,3.830550e-05,3.816296e-05,3.810774e-05,3.791147e-05,3.790365e-05,3.771675e-05,3.764704e-05,3.752364e-05,3.739327e-05,3.733219e-05,3.714245e-05,3.689466e-05,3.665000e-05,3.640854e-05,3.617033e-05,3.593541e-05,3.570384e-05,3.547564e-05,3.525084e-05,3.502944e-05,3.481148e-05,3.459694e-05,3.438582e-05,3.417813e-05,3.397386e-05,3.377298e-05,3.357549e-05,3.338135e-05,3.319056e-05,3.300307e-05,3.281887e-05,3.263793e-05,3.246020e-05,3.228567e-05,3.211428e-05
0.000000e+00,2.746020e-11,6.378713e-11,2.227855e-10,5.119114e-10,7.511914e-10,1.738261e-09,1.792350e-09,3.567615e-09,4.232354e-09,6.345981e-09,8.599618e-09,1.036361e-08,1.518375e-08,1.564940e-08,2.200536e-08,2.366192e-08,2.918784e-08,3.349883e-08,3.700958e-08,4.431284e-08,4.533468e-08,5.405401e-08,5.583647e-08,6.306965e-08,6.784381e-08,7.228841e-08,8.012336e-08,8.162054e-08,9.098076e-08,9.247562e-08,1.002900e-07,1.047191e-07,1.094772e-07,1.166971e-07,1.184803e-07,1.272472e-07,1.282812e-07,1.357354e-07,1.393731e-07,1.439117e-07,1.499018e-07,1.517516e-07,1.592383e-07,1.598217e-07,1.663617e-07,1.691081e-07,1.731172e-07,1.777534e-07,1.795051e-07,1.855294e-07,1.857629e-07,1.911972e-07,1.931520e-07,1.965175e-07,1.999425e-07,2.015015e-07,2.061613e-07,2.105098e-07,2.118378e-07,2.145605e-07,2.170029e-07,2.183270e-07,2.216882e-07,2.218231e-07,2.250622e-07,2.259249e-07,2.280576e-07,2.297432e-07,2.308222e-07,2.331725e-07,2.333684e-07,2.357085e-07,2.362407e-07,2.378537e-07,2.389742e-07,2.398153e-07,2.413979e-07,2.416037e-07,2.432291e-07,2.435355e-07,2.447009e-07,2.454086e-07,2.460283e-07,2.470379e-07,2.472198e-07,2.482836e-07,2.484424e-07,2.492274e-07,2.496399e-07,2.500585e-07,2.506469e-07,2.507838e-07,2.514099e-07,2.514787e-07,2.519429e-07,2.521495e-07,2.523887e-07,2.526724e-07,2.527526e-07,2.530399e-07,2.530598e-07,2.532556e-07,2.533228e-07,2.534041e-07,2.534719e-07,2.534899e-07,2.535170e-07,2.535169e-07,2.534893e-07,2.534667e-07,2.534105e-07,2.533295e-07,2.532840e-07,2.531130e-07,2.529006e-07,2.528243e-07,2.526496e-07,2.524700e-07,2.523627e-07,2.520560e-07,2.520426e-07,2.516916e-07,2.515881e-07,2.513120e-07,2.510714e-07,2.509059e-07,2.505105e-07,2.504752e-07,2.500221e-07,2.499101e-07,2.495480e-07,2.492742e-07,2.490549e-07,2.486064e-07,2.485442e-07,2.480175e-07,2.479104e-07,2.474761e-07,2.471893e-07,2.469214e-07,2.464460e-07,2.463546e-07,2.457768e-07,2.456835e-07,2.451893e-07,2.449041e-07,2.445929e-07,2.441102e-07,2.439888e-07,2.433777e-07,2.433040e-07,2.427607e-07,2.424874e-07,2.421384e-07,2.416624e-07,2.415116e-07,2.408811e-07,2.408305e-07,2.402475e-07,2.399934e-07,2.396115e-07,2.391525e-07,2.389737e-07,2.383346e-07,2.383090e-07,2.376947e-07,2.374643e-07,2.370546e-07,2.366194e-07,2.364147e-07,2.357754e-07,2.349332e-07,2.340936e-07,2.332575e-07,2.324255e-07,2.315984e-07,2.307767e-07,2.299610e-07,2.291517e-07,2.283494e-07,2.275544e-07,2.267671e-07,2.259878e-07,2.252168e-07,2.244544e-07,2.237008e-07,2.229563e-07,2.222209e-07,2.214948e-07,2.207783e-07,2.200713e-07,2.193740e-07,2.186865e-07,2.180087e-07,2.173408e-07
0.000000e+00,3.555240e-11,8.279427e-11,2.897605e-10,6.645127e-10,9.723351e-10,2.217858e-09,2.285003e-09,4.432930e-09,5.213299e-09,7.633513e-09,1.015316e-08,1.211144e-08,1.752516e-08,1.805769e-08,2.554514e-08,2.756378e-08,3.447653e-08,4.003313e-08,4.464510e-08,5.444036e-08,5.582935e-08,6.783339e-08,7.031724e-08,8.048704e-08,8.727239e-08,9.363738e-08,1.049640e-07,1.071433e-07,1.208740e-07,1.230836e-07,1.347091e-07,1.413547e-07,1.485398e-07,1.595361e-07,1.622699e-07,1.758159e-07,1.774256e-07,1.891078e-07,1.948604e-07,2.020877e-07,2.117149e-07,2.147093e-07,2.269364e-07,2.278966e-07,2.387424e-07,2.433425e-07,2.501087e-07,2.580133e-07,2.610234e-07,2.714801e-07,2.718888e-07,2.814772e-07,2.849640e-07,2.910169e-07,2.972451e-07,3.001043e-07,3.087471e-07,3.169545e-07,3.194907e-07,3.247374e-07,3.295012e-07,3.321077e-07,3.388066e-07,3.390779e-07,3.456610e-07,3.474368e-07,3.518706e-07,3.554226e-07,3.577200e-07,3.627951e-07,3.632229e-07,3.683926e-07,3.695853e-07,3.732427e-07,3.758239e-07,3.777860e-07,3.815408e-07,3.820356e-07,3.860040e-07,3.867650e-07,3.897033e-07,3.915246e-07,3.931456e-07,3.958469e-07,3.963423e-07,3.993047e-07,3.997577e-07,4.020436e-07,4.032819e-07,4.045694e-07,4.064435e-07,4.068923e-07,4.090220e-07,4.092650e-07,4.109678e-07,4.117681e-07,4.127389e-07,4.139733e-07,4.143438e-07,4.157909e-07,4.159001e-07,4.170883e-07,4.175670e-07,4.182435e-07,4.189915e-07,4.192641e-07,4.201571e-07,4.201902e-07,4.209292e-07,4.211788e-07,4.215869e-07,4.219720e-07,4.221365e-07,4.225839e-07,4.229348e-07,4.230276e-07,4.231946e-07,4.233156e-07,4.233686e-07,4.234595e-07,4.234617e-07,4.234787e-07,4.234704e-07,4.234240e-07,4.233586e-07,4.233020e-07,4.231339e-07,4.231169e-07,4.228725e-07,4.228055e-07,4.225727e-07,4.223819e-07,4.222210e-07,4.218712e-07,4.218207e-07,4.213753e-07,4.212810e-07,4.208876e-07,4.206184e-07,4.203608e-07,4.198900e-07,4.197975e-07,4.192005e-07,4.191020e-07,4.185722e-07,4.182602e-07,4.179151e-07,4.173702e-07,4.172314e-07,4.165234e-07,4.164369e-07,4.157931e-07,4.154651e-07,4.150424e-07,4.144594e-07,4.142731e-07,4.134872e-07,4.134236e-07,4.126861e-07,4.123619e-07,4.118716e-07,4.112776e-07,4.110450e-07,4.102079e-07,4.101742e-07,4.093614e-07,4.090547e-07,4.085070e-07,4.079221e-07,4.076458e-07,4.067789e-07,4.056277e-07,4.044708e-07,4.033102e-07,4.021480e-07,4.009858e-07,3.998255e-07,3.986685e-07,3.975162e-07,3.963699e-07,3.952308e-07,3.940999e-07,3.929782e-07,3.918666e-07,3.907660e-07,3.896769e-07,3.886002e-07,3.875362e-07,3.864857e-07,3.854490e-07,3.844264e-07,3.834185e-07,3.824254e-07,3.814474e-07,3.804848e-07
0.000000e+00,4.238266e-12,9.718259e-12,3.349686e-11,7.638238e-11,1.116069e-10,2.545815e-10,2.623143e-10,5.111378e-10,6.022440e-10,8.871879e-10,1.187746e-09,1.424234e-09,2.092751e-09,2.159797e-09,3.130248e-09,3.401286e-09,4.360281e-09,5.163847e-09,5.850273e-09,7.354936e-09,7.572425e-09,9.481338e-09,9.881242e-09,1.152927e-08,1.263514e-08,1.367509e-08,1.552902e-08,1.588601e-08,1.813627e-08,1.849851e-08,2.040512e-08,2.149563e-08,2.267542e-08,2.448287e-08,2.493264e-08,2.716434e-08,2.742990e-08,2.935980e-08,3.031193e-08,3.150994e-08,3.310900e-08,3.360714e-08,3.564512e-08,3.580544e-08,3.761889e-08,3.838953e-08,3.952463e-08,4.085302e-08,4.135953e-08,4.312172e-08,4.319067e-08,4.481012e-08,4.539980e-08,4.642437e-08,4.747980e-08,4.796468e-08,4.943174e-08,5.082665e-08,5.125801e-08,5.215082e-08,5.296192e-08,5.340591e-08,5.454754e-08,5.459379e-08,5.571644e-08,5.601939e-08,5.677599e-08,5.738232e-08,5.777459e-08,5.864138e-08,5.871446e-08,5.959781e-08,5.980165e-08,6.042687e-08,6.086824e-08,6.120383e-08,6.184618e-08,6.193085e-08,6.261007e-08,6.274036e-08,6.324356e-08,6.355557e-08,6.383333e-08,6.429640e-08,6.438136e-08,6.488955e-08,6.496728e-08,6.535973e-08,6.557245e-08,6.579369e-08,6.611594e-08,6.619315e-08,6.655975e-08,6.660162e-08,6.689509e-08,6.703313e-08,6.720069e-08,6.741397e-08,6.747803e-08,6.772850e-08,6.774742e-08,6.795346e-08,6.803659e-08,6.815420e-08,6.828444e-08,6.833197e-08,6.848796e-08,6.849376e-08,6.862329e-08,6.866716e-08,6.873906e-08,6.880714e-08,6.883630e-08,6.891602e-08,6.897916e-08,6.899601e-08,6.902663e-08,6.904918e-08,6.905929e-08,6.907749e-08,6.907798e-08,6.908348e-08,6.908276e-08,6.907655e-08,6.906672e-08,6.905790e-08,6.903100e-08,6.902823e-08,6.898819e-08,6.897711e-08,6.893840e-08,6.890649e-08,6.887946e-08,6.882047e-08,6.881194e-08,6.873636e-08,6.872033e-08,6.865326e-08,6.860723e-08,6.856311e-08,6.848228e-08,6.846638e-08,6.836352e-08,6.834652e-08,6.825495e-08,6.820093e-08,6.814108e-08,6.804641e-08,6.802227e-08,6.789891e-08,6.788381e-08,6.777132e-08,6.771393e-08,6.763985e-08,6.753752e-08,6.750480e-08,6.736646e-08,6.735526e-08,6.722513e-08,6.716782e-08,6.708106e-08,6.697579e-08,6.693452e-08,6.678574e-08,6.677974e-08,6.663494e-08,6.658021e-08,6.648236e-08,6.637768e-08,6.632818e-08,6.617261e-08,6.596544e-08,6.575655e-08,6.554633e-08,6.533510e-08,6.512320e-08,6.491091e-08,6.469850e-08,6.448625e-08,6.427436e-08,6.406307e-08,6.385258e-08,6.364306e-08,6.343468e-08,6.322761e-08,6.302198e-08,6.281791e-08,6.261554e-08,6.241497e-08,6.221629e-08,6.201959e-08,6.182496e-08,6.163246e-08,6.144216e-08,6.125412e-08
0.000000e+00,1.603129e-12,9.742635e-12,1.338224e-10,7.178926e-10,1.519684e-09,7.295913e-09,7.709288e-09,2.535070e-08,3.356094e-08,6.375920e-08,1.013056e-07,1.339226e-07,2.365348e-07,2.474926e-07,4.160257e-07,4.658878e-07,6.504849e-07,8.143579e-07,9.608735e-07,1.303704e-06,1.355798e-06,1.841776e-06,1.950268e-06,2.422249e-06,2.761400e-06,3.096540e-06,3.731633e-06,3.859247e-06,4.700441e-06,4.841453e-06,5.606646e-06,6.060186e-06,6.562297e-06,7.351522e-06,7.551193e-06,8.557646e-06,8.678899e-06,9.567248e-06,1.000913e-05,1.056727e-05,1.131411e-05,1.154681e-05,1.249676e-05,1.257125e-05,1.340971e-05,1.376316e-05,1.427979e-05,1.487716e-05,1.510256e-05,1.587484e-05,1.590465e-05,1.659455e-05,1.684054e-05,1.726062e-05,1.768275e-05,1.787280e-05,1.843158e-05,1.893806e-05,1.908933e-05,1.939379e-05,1.965972e-05,1.980073e-05,2.014756e-05,2.016111e-05,2.047738e-05,2.055838e-05,2.075210e-05,2.089808e-05,2.098790e-05,2.117275e-05,2.118745e-05,2.135335e-05,2.138845e-05,2.148818e-05,2.155103e-05,2.159441e-05,2.166612e-05,2.167442e-05,2.173046e-05,2.173899e-05,2.176468e-05,2.177451e-05,2.177906e-05,2.177720e-05,2.177549e-05,2.175569e-05,2.175113e-05,2.172128e-05,2.170001e-05,2.167374e-05,2.162719e-05,2.161445e-05,2.154468e-05,2.153566e-05,2.146557e-05,2.142808e-05,2.137818e-05,2.130683e-05,2.128348e-05,2.118236e-05,2.117401e-05,2.107561e-05,2.103150e-05,2.096397e-05,2.088094e-05,2.084811e-05,2.072863e-05,2.072378e-05,2.060607e-05,2.056130e-05,2.048095e-05,2.039463e-05,2.035371e-05,2.022475e-05,2.009446e-05,2.005253e-05,1.996315e-05,1.987873e-05,1.983114e-05,1.970400e-05,1.969870e-05,1.956607e-05,1.952893e-05,1.943347e-05,1.935401e-05,1.930110e-05,1.917969e-05,1.916915e-05,1.903776e-05,1.900633e-05,1.890709e-05,1.883427e-05,1.877725e-05,1.866378e-05,1.864837e-05,1.852055e-05,1.849512e-05,1.839386e-05,1.832847e-05,1.826841e-05,1.816402e-05,1.814424e-05,1.802143e-05,1.800190e-05,1.790002e-05,1.784225e-05,1.778006e-05,1.768516e-05,1.766159e-05,1.754465e-05,1.753072e-05,1.742925e-05,1.737897e-05,1.731543e-05,1.722999e-05,1.720320e-05,1.709257e-05,1.708379e-05,1.698356e-05,1.694041e-05,1.687617e-05,1.679985e-05,1.677040e-05,1.666627e-05,1.666214e-05,1.656376e-05,1.652725e-05,1.646287e-05,1.639519e-05,1.636359e-05,1.626593e-05,1.613946e-05,1.601575e-05,1.589478e-05,1.577651e-05,1.566090e-05,1.554792e-05,1.543753e-05,1.532969e-05,1.522435e-05,1.512148e-05,1.502102e-05,1.492293e-05,1.482717e-05,1.473368e-05,1.464242e-05,1.455335e-05,1.446642e-05,1.438158e-05,1.429879e-05,1.421800e-05,1.413916e-05,1.406223e-05,1.398716e-05,1.391392e-05
0.000000e+00,1.312933e-11,6.983215e-11,7.420179e-10,3.227768e-09,6.152841e-09,2.333330e-08,2.444651e-08,6.710760e-08,8.535335e-08,1.491365e-07,2.253259e-07,2.905339e-07,4.947924e-07,5.166376e-07,8.531049e-07,9.523219e-07,1.315042e-06,1.628300e-06,1.900091e-06,2.504732e-06,2.592931e-06,3.374707e-06,3.540226e-06,4.229107e-06,4.697874e-06,5.143832e-06,5.952038e-06,6.109696e-06,7.119359e-06,7.284530e-06,8.166326e-06,8.680291e-06,9.244369e-06,1.012499e-05,1.034725e-05,1.146867e-05,1.160419e-05,1.260231e-05,1.310338e-05,1.374195e-05,1.460836e-05,1.488155e-05,1.601540e-05,1.610569e-05,1.713819e-05,1.758311e-05,1.824509e-05,1.902978e-05,1.933179e-05,2.039451e-05,2.043647e-05,2.143002e-05,2.179560e-05,2.243562e-05,2.310121e-05,2.340912e-05,2.434880e-05,2.525335e-05,2.553523e-05,2.612187e-05,2.665853e-05,2.695377e-05,2.771770e-05,2.774879e-05,2.850690e-05,2.871258e-05,2.922830e-05,2.964367e-05,2.991338e-05,3.051203e-05,3.056267e-05,3.117683e-05,3.131909e-05,3.175663e-05,3.206662e-05,3.230290e-05,3.275660e-05,3.281655e-05,3.329852e-05,3.339120e-05,3.374980e-05,3.397267e-05,3.417139e-05,3.450331e-05,3.456429e-05,3.492952e-05,3.498546e-05,3.526810e-05,3.542145e-05,3.558104e-05,3.581359e-05,3.586932e-05,3.613394e-05,3.616415e-05,3.637584e-05,3.647533e-05,3.659598e-05,3.674929e-05,3.679527e-05,3.697460e-05,3.698811e-05,3.713485e-05,3.719380e-05,3.727687e-05,3.736829e-05,3.740147e-05,3.750946e-05,3.751345e-05,3.760161e-05,3.763104e-05,3.767865e-05,3.772279e-05,3.774132e-05,3.779031e-05,3.782629e-05,3.783516e-05,3.784990e-05,3.785882e-05,3.786178e-05,3.786270e-05,3.786252e-05,3.785271e-05,3.784815e-05,3.783289e-05,3.781643e-05,3.780361e-05,3.776875e-05,3.776538e-05,3.771869e-05,3.770628e-05,3.766402e-05,3.763009e-05,3.760182e-05,3.754121e-05,3.753253e-05,3.745657e-05,3.744062e-05,3.737434e-05,3.732924e-05,3.728623e-05,3.720794e-05,3.719261e-05,3.709382e-05,3.707756e-05,3.699021e-05,3.693886e-05,3.688210e-05,3.679258e-05,3.676979e-05,3.665360e-05,3.663940e-05,3.653379e-05,3.647999e-05,3.641063e-05,3.631496e-05,3.628439e-05,3.615532e-05,3.614487e-05,3.602363e-05,3.597028e-05,3.588957e-05,3.579169e-05,3.575334e-05,3.561515e-05,3.560958e-05,3.547519e-05,3.542440e-05,3.533364e-05,3.523657e-05,3.519068e-05,3.504648e-05,3.485450e-05,3.466097e-05,3.446622e-05,3.427054e-05,3.407422e-05,3.387752e-05,3.368067e-05,3.348391e-05,3.328744e-05,3.309145e-05,3.289613e-05,3.270163e-05,3.250812e-05,3.231572e-05,3.212458e-05,3.193480e-05,3.174651e-05,3.155978e-05,3.137472e-05,3.119140e-05,3.100990e-05,3.083029e-05,3.065262e-05,3.047694e-05
0.000000e+00,2.081468e-12,1.268850e-11,1.754961e-10,9.480217e-10,2.015113e-09,9.789067e-09,1.034906e-08,3.450283e-08,4.586721e-08,8.813225e-08,1.414704e-07,1.883761e-07,3.387232e-07,3.549969e-07,6.096939e-07,6.864480e-07,9.751473e-07,1.236377e-06,1.472997e-06,2.034642e-06,2.120697e-06,2.928633e-06,3.109786e-06,3.899080e-06,4.466545e-06,5.027149e-06,6.089295e-06,6.302800e-06,7.712871e-06,7.949982e-06,9.242583e-06,1.001481e-05,1.087646e-05,1.224801e-05,1.259880e-05,1.439397e-05,1.461355e-05,1.624653e-05,1.707593e-05,1.814140e-05,1.960083e-05,2.006404e-05,2.200063e-05,2.215577e-05,2.393823e-05,2.471085e-05,2.586494e-05,2.723936e-05,2.777003e-05,2.964398e-05,2.971817e-05,3.147856e-05,3.212799e-05,3.326677e-05,3.445327e-05,3.500283e-05,3.668208e-05,3.830094e-05,3.880576e-05,3.985676e-05,4.081855e-05,4.134776e-05,4.271714e-05,4.277287e-05,4.413169e-05,4.450028e-05,4.542435e-05,4.616841e-05,4.665143e-05,4.772326e-05,4.781390e-05,4.891302e-05,4.916754e-05,4.995028e-05,5.050476e-05,5.092738e-05,5.173890e-05,5.184613e-05,5.270845e-05,5.287432e-05,5.351634e-05,5.391560e-05,5.427182e-05,5.486741e-05,5.497693e-05,5.563371e-05,5.573444e-05,5.624419e-05,5.652136e-05,5.681035e-05,5.723270e-05,5.733417e-05,5.781754e-05,5.787291e-05,5.826233e-05,5.844628e-05,5.867034e-05,5.895690e-05,5.904332e-05,5.938295e-05,5.940873e-05,5.969088e-05,5.980552e-05,5.996866e-05,6.015084e-05,6.021780e-05,6.043976e-05,6.044809e-05,6.063592e-05,6.070048e-05,6.080762e-05,6.091106e-05,6.095613e-05,6.108268e-05,6.118843e-05,6.121806e-05,6.127451e-05,6.131976e-05,6.134197e-05,6.139018e-05,6.139185e-05,6.142512e-05,6.143158e-05,6.144270e-05,6.144609e-05,6.144549e-05,6.143571e-05,6.143432e-05,6.141002e-05,6.140231e-05,6.137334e-05,6.134766e-05,6.132502e-05,6.127342e-05,6.126575e-05,6.119621e-05,6.118113e-05,6.111703e-05,6.107224e-05,6.102880e-05,6.094812e-05,6.093210e-05,6.082749e-05,6.081005e-05,6.071546e-05,6.065921e-05,6.059653e-05,6.049673e-05,6.047116e-05,6.033979e-05,6.032365e-05,6.020286e-05,6.014094e-05,6.006075e-05,5.994953e-05,5.991386e-05,5.976255e-05,5.975027e-05,5.960716e-05,5.954394e-05,5.944803e-05,5.933131e-05,5.928546e-05,5.911974e-05,5.911305e-05,5.895116e-05,5.888982e-05,5.877999e-05,5.866223e-05,5.860646e-05,5.843084e-05,5.819616e-05,5.795869e-05,5.771889e-05,5.747717e-05,5.723393e-05,5.698953e-05,5.674431e-05,5.649859e-05,5.625265e-05,5.600677e-05,5.576119e-05,5.551615e-05,5.527185e-05,5.502850e-05,5.478626e-05,5.454531e-05,5.430580e-05,5.406787e-05,5.383164e-05,5.359723e-05,5.336474e-05,5.313427e-05,5.290592e-05,5.267974e-05
0.000000e+00,5.554387e-11,1.354576e-10,4.970777e-10,1.166805e-09,1.724721e-09,4.035481e-09,4.162263e-09,8.325576e-09,9.885662e-09,1.485601e-08,2.018384e-08,2.438154e-08,3.598199e-08,3.711181e-08,5.265038e-08,5.672705e-08,7.037469e-08,8.105701e-08,8.977164e-08,1.079334e-07,1.104777e-07,1.322200e-07,1.366722e-07,1.547679e-07,1.667394e-07,1.779061e-07,1.976449e-07,2.014251e-07,2.251200e-07,2.289142e-07,2.487930e-07,2.600930e-07,2.722578e-07,2.907645e-07,2.953439e-07,3.179002e-07,3.205649e-07,3.397960e-07,3.491924e-07,3.609239e-07,3.764150e-07,3.811998e-07,4.005606e-07,4.020685e-07,4.189629e-07,4.260490e-07,4.363807e-07,4.483056e-07,4.528037e-07,4.682340e-07,4.688307e-07,4.826847e-07,4.876514e-07,4.961788e-07,5.048214e-07,5.087422e-07,5.204073e-07,5.312109e-07,5.344923e-07,5.411911e-07,5.471647e-07,5.503878e-07,5.585173e-07,5.588417e-07,5.665927e-07,5.686424e-07,5.736799e-07,5.776297e-07,5.801418e-07,5.855663e-07,5.860154e-07,5.913366e-07,5.925352e-07,5.961392e-07,5.986144e-07,6.004558e-07,6.038768e-07,6.043170e-07,6.077520e-07,6.083902e-07,6.107881e-07,6.122179e-07,6.134512e-07,6.154178e-07,6.157656e-07,6.177540e-07,6.180434e-07,6.194379e-07,6.201439e-07,6.208372e-07,6.217645e-07,6.219708e-07,6.228562e-07,6.229465e-07,6.235098e-07,6.237280e-07,6.239471e-07,6.241436e-07,6.241824e-07,6.242292e-07,6.242252e-07,6.241002e-07,6.240021e-07,6.238072e-07,6.235009e-07,6.233611e-07,6.227724e-07,6.227460e-07,6.220507e-07,6.217601e-07,6.212051e-07,6.205636e-07,6.202440e-07,6.191755e-07,6.180070e-07,6.176131e-07,6.167454e-07,6.158923e-07,6.153974e-07,6.140277e-07,6.139691e-07,6.124662e-07,6.120328e-07,6.108941e-07,6.099199e-07,6.092581e-07,6.077004e-07,6.075627e-07,6.058125e-07,6.053848e-07,6.040118e-07,6.029828e-07,6.021644e-07,6.005031e-07,6.002742e-07,5.983445e-07,5.979542e-07,5.963788e-07,5.953434e-07,5.943801e-07,5.926778e-07,5.923513e-07,5.902952e-07,5.899638e-07,5.882143e-07,5.872075e-07,5.861112e-07,5.844142e-07,5.839881e-07,5.818472e-07,5.815891e-07,5.796904e-07,5.787370e-07,5.775199e-07,5.758621e-07,5.753373e-07,5.731443e-07,5.729685e-07,5.709426e-07,5.700599e-07,5.687338e-07,5.671398e-07,5.665192e-07,5.643001e-07,5.642113e-07,5.620779e-07,5.612774e-07,5.598538e-07,5.583409e-07,5.576289e-07,5.554042e-07,5.524698e-07,5.495397e-07,5.466160e-07,5.437005e-07,5.407949e-07,5.379009e-07,5.350197e-07,5.321529e-07,5.293016e-07,5.264669e-07,5.236498e-07,5.208514e-07,5.180725e-07,5.153139e-07,5.125763e-07,5.098604e-07,5.071667e-07,5.044958e-07,5.018481e-07,4.992242e-07,4.966244e-07,4.940490e-07,4.914983e-07,4.889726e-07
0.000000e+00,1.154468e-11,6.621568e-11,8.125545e-10,3.971907e-09,8.025742e-09,3.475899e-08,3.659587e-08,1.119344e-07,1.461140e-07,2.709780e-07,4.273028e-07,5.651700e-07,1.012105e-06,1.060874e-06,1.827182e-06,2.057360e-06,2.910929e-06,3.660843e-06,4.319517e-06,5.806923e-06,6.026061e-06,7.987215e-06,8.406000e-06,1.015854e-05,1.135768e-05,1.250175e-05,1.457997e-05,1.498578e-05,1.758514e-05,1.801024e-05,2.027784e-05,2.159754e-05,2.304381e-05,2.529658e-05,2.586411e-05,2.872058e-05,2.906495e-05,3.159586e-05,3.286269e-05,3.447360e-05,3.665295e-05,3.733863e-05,4.017719e-05,4.040275e-05,4.297703e-05,4.408369e-05,4.572751e-05,4.767215e-05,4.841957e-05,5.104560e-05,5.114918e-05,5.359948e-05,5.450024e-05,5.607634e-05,5.771469e-05,5.847250e-05,6.078533e-05,6.301312e-05,6.370788e-05,6.515493e-05,6.648040e-05,6.721046e-05,6.910282e-05,6.917996e-05,7.106414e-05,7.157656e-05,7.286408e-05,7.390415e-05,7.458112e-05,7.608895e-05,7.621686e-05,7.777307e-05,7.813494e-05,7.925167e-05,8.004654e-05,8.065468e-05,8.182843e-05,8.198416e-05,8.324226e-05,8.348551e-05,8.443114e-05,8.502273e-05,8.555298e-05,8.644510e-05,8.660994e-05,8.760420e-05,8.775760e-05,8.853788e-05,8.896515e-05,8.941310e-05,9.007258e-05,9.023193e-05,9.099642e-05,9.108461e-05,9.170857e-05,9.200584e-05,9.237033e-05,9.284073e-05,9.298360e-05,9.355024e-05,9.359362e-05,9.407208e-05,9.426866e-05,9.455087e-05,9.486990e-05,9.498832e-05,9.538610e-05,9.540121e-05,9.574582e-05,9.586631e-05,9.606905e-05,9.626877e-05,9.635730e-05,9.661204e-05,9.683470e-05,9.689940e-05,9.702665e-05,9.713399e-05,9.718921e-05,9.731882e-05,9.732367e-05,9.743128e-05,9.745676e-05,9.751322e-05,9.755056e-05,9.757067e-05,9.760284e-05,9.760473e-05,9.761647e-05,9.761609e-05,9.760695e-05,9.759269e-05,9.757715e-05,9.753492e-05,9.752804e-05,9.746055e-05,9.744493e-05,9.737558e-05,9.732477e-05,9.727398e-05,9.717639e-05,9.715658e-05,9.702418e-05,9.700166e-05,9.687755e-05,9.680233e-05,9.671743e-05,9.658009e-05,9.654451e-05,9.635950e-05,9.633651e-05,9.616303e-05,9.607312e-05,9.595575e-05,9.579134e-05,9.573824e-05,9.551111e-05,9.549254e-05,9.527489e-05,9.517799e-05,9.503014e-05,9.484892e-05,9.477736e-05,9.451704e-05,9.450648e-05,9.424966e-05,9.415176e-05,9.397567e-05,9.378581e-05,9.369551e-05,9.340959e-05,9.302403e-05,9.263001e-05,9.222836e-05,9.181984e-05,9.140521e-05,9.098515e-05,9.056031e-05,9.013132e-05,8.969876e-05,8.926317e-05,8.882508e-05,8.838495e-05,8.794325e-05,8.750041e-05,8.705683e-05,8.661288e-05,8.616891e-05,8.572527e-05,8.528224e-05,8.484013e-05,8.439921e-05,8.395972e-05,8.352190e-05,8.308597e-05
0.000000e+00,4.709996e-11,1.300030e-10,5.434438e-10,1.353099e-09,2.041566e-09,4.919365e-09,5.077124e-09,1.020478e-08,1.209683e-08,1.803592e-08,2.431620e-08,2.926070e-08,4.322979e-08,4.462938e-08,6.484795e-08,7.047997e-08,9.034865e-08,1.069218e-07,1.210228e-07,1.517581e-07,1.561822e-07,1.948416e-07,2.029064e-07,2.360424e-07,2.582018e-07,2.789947e-07,3.159693e-07,3.230766e-07,3.677907e-07,3.749751e-07,4.127231e-07,4.342621e-07,4.575188e-07,4.930477e-07,5.018683e-07,5.455012e-07,5.506774e-07,5.881833e-07,6.066098e-07,6.297159e-07,6.604093e-07,6.699343e-07,7.087061e-07,7.117421e-07,7.459294e-07,7.603676e-07,7.815299e-07,8.061287e-07,8.154580e-07,8.476865e-07,8.489401e-07,8.782071e-07,8.887777e-07,9.070284e-07,9.256666e-07,9.341715e-07,9.596660e-07,9.835513e-07,9.908621e-07,1.005873e-06,1.019361e-06,1.026681e-06,1.045281e-06,1.046028e-06,1.063969e-06,1.068749e-06,1.080562e-06,1.089895e-06,1.095865e-06,1.108854e-06,1.109936e-06,1.122832e-06,1.125758e-06,1.134613e-06,1.140745e-06,1.145337e-06,1.153941e-06,1.155056e-06,1.163821e-06,1.165464e-06,1.171683e-06,1.175430e-06,1.178689e-06,1.183948e-06,1.184887e-06,1.190319e-06,1.191120e-06,1.195029e-06,1.197044e-06,1.199056e-06,1.201813e-06,1.202440e-06,1.205219e-06,1.205513e-06,1.207426e-06,1.208225e-06,1.209095e-06,1.210024e-06,1.210258e-06,1.210946e-06,1.210982e-06,1.211188e-06,1.211166e-06,1.211010e-06,1.210637e-06,1.210439e-06,1.209500e-06,1.209455e-06,1.208216e-06,1.207674e-06,1.206609e-06,1.205343e-06,1.204701e-06,1.202511e-06,1.200059e-06,1.199222e-06,1.197362e-06,1.195516e-06,1.194438e-06,1.191431e-06,1.191302e-06,1.187970e-06,1.187003e-06,1.184456e-06,1.182266e-06,1.180774e-06,1.177249e-06,1.176937e-06,1.172956e-06,1.171981e-06,1.168845e-06,1.166489e-06,1.164612e-06,1.160797e-06,1.160270e-06,1.155827e-06,1.154927e-06,1.151293e-06,1.148901e-06,1.146676e-06,1.142739e-06,1.141984e-06,1.137226e-06,1.136459e-06,1.132408e-06,1.130076e-06,1.127538e-06,1.123608e-06,1.122621e-06,1.117665e-06,1.117067e-06,1.112674e-06,1.110468e-06,1.107654e-06,1.103823e-06,1.102610e-06,1.097548e-06,1.097142e-06,1.092470e-06,1.090436e-06,1.087383e-06,1.083715e-06,1.082289e-06,1.077192e-06,1.076988e-06,1.072096e-06,1.070263e-06,1.067005e-06,1.063546e-06,1.061920e-06,1.056846e-06,1.050167e-06,1.043516e-06,1.036899e-06,1.030319e-06,1.023781e-06,1.017290e-06,1.010848e-06,1.004458e-06,9.981244e-07,9.918488e-07,9.856337e-07,9.794812e-07,9.733931e-07,9.673709e-07,9.614161e-07,9.555299e-07,9.497132e-07,9.439669e-07,9.382918e-07,9.326884e-07,9.271572e-07,9.216984e-07,9.163124e-07,9.109992e-07
0.000000e+00,4.681426e-12,3.175342e-11,5.474748e-10,3.610232e-09,8.556076e-09,5.490764e-08,5.870442e-08,2.567351e-07,3.670603e-07,8.450563e-07,1.566283e-06,2.287683e-06,5.038089e-06,5.370623e-06,1.131360e-05,1.334901e-05,2.188760e-05,3.070962e-05,3.952870e-05,6.341809e-05,6.743389e-05,1.096250e-04,1.201912e-04,1.709717e-04,2.123024e-04,2.571725e-04,3.535011e-04,3.746975e-04,5.306991e-04,5.597390e-04,7.328977e-04,8.487442e-04,9.894489e-04,1.239493e-03,1.308798e-03,1.699527e-03,1.751619e-03,2.170199e-03,2.404792e-03,2.729203e-03,3.218099e-03,3.384601e-03,4.143987e-03,4.209444e-03,5.014352e-03,5.395002e-03,6.001960e-03,6.788723e-03,7.112248e-03,8.349729e-03,8.401927e-03,9.717921e-03,1.024298e-02,1.121929e-02,1.231705e-02,1.285523e-02,1.462601e-02,1.653082e-02,1.716839e-02,1.856776e-02,1.993940e-02,2.073385e-02,2.293115e-02,2.302515e-02,2.543676e-02,2.613280e-02,2.796290e-02,2.953086e-02,3.059701e-02,3.310953e-02,3.333184e-02,3.615949e-02,3.685102e-02,3.907159e-02,4.073598e-02,4.205932e-02,4.474383e-02,4.511354e-02,4.822489e-02,4.885318e-02,5.138387e-02,5.304219e-02,5.458092e-02,5.728889e-02,5.780651e-02,6.105122e-02,6.157153e-02,6.430580e-02,6.586884e-02,6.756123e-02,7.016032e-02,7.080880e-02,7.404012e-02,7.442640e-02,7.724718e-02,7.864864e-02,8.042242e-02,8.280990e-02,8.355868e-02,8.664929e-02,8.689438e-02,8.968806e-02,9.088776e-02,9.266928e-02,9.477718e-02,9.558775e-02,9.843875e-02,9.855132e-02,1.012181e-01,1.022003e-01,1.039220e-01,1.057159e-01,1.065472e-01,1.090909e-01,1.115509e-01,1.123200e-01,1.139251e-01,1.153988e-01,1.162120e-01,1.183243e-01,1.184106e-01,1.205199e-01,1.210945e-01,1.225397e-01,1.237085e-01,1.244698e-01,1.261664e-01,1.263104e-01,1.280619e-01,1.284691e-01,1.297252e-01,1.306183e-01,1.313010e-01,1.326164e-01,1.327906e-01,1.341953e-01,1.344662e-01,1.355167e-01,1.361713e-01,1.367563e-01,1.377357e-01,1.379159e-01,1.389975e-01,1.391634e-01,1.400030e-01,1.404592e-01,1.409345e-01,1.416279e-01,1.417941e-01,1.425841e-01,1.426743e-01,1.433066e-01,1.436037e-01,1.439638e-01,1.444211e-01,1.445581e-01,1.450918e-01,1.451319e-01,1.455670e-01,1.457413e-01,1.459862e-01,1.462545e-01,1.463514e-01,1.466650e-01,1.466765e-01,1.469292e-01,1.470126e-01,1.471460e-01,1.472675e-01,1.473176e-01,1.474461e-01,1.475532e-01,1.475933e-01,1.475708e-01,1.474899e-01,1.473547e-01,1.471691e-01,1.469367e-01,1.466613e-01,1.463461e-01,1.459943e-01,1.456090e-01,1.451932e-01,1.447494e-01,1.442803e-01,1.437883e-01,1.432757e-01,1.427447e-01,1.421972e-01,1.416351e-01,1.410602e-01,1.404741e-01,1.398784e-01,1.392745e-01,1.386638e-01
0.000000e+00,9.895170e-12,2.275264e-11,7.843638e-11,1.783063e-10,2.598588e-10,5.872179e-10,6.047738e-10,1.162759e-09,1.364056e-09,1.984764e-09,2.626765e-09,3.123889e-09,4.495971e-09,4.631094e-09,6.541447e-09,7.060928e-09,8.856593e-09,1.031859e-08,1.154379e-08,1.417768e-08,1.455438e-08,1.784002e-08,1.852628e-08,2.135770e-08,2.326562e-08,2.506868e-08,2.830869e-08,2.893666e-08,3.292648e-08,3.357386e-08,3.700382e-08,3.898215e-08,4.113521e-08,4.445760e-08,4.528854e-08,4.943354e-08,4.992902e-08,5.354221e-08,5.533188e-08,5.758921e-08,6.060979e-08,6.155214e-08,6.541171e-08,6.571550e-08,6.915169e-08,7.061114e-08,7.275887e-08,7.526790e-08,7.622291e-08,7.953606e-08,7.966537e-08,8.269299e-08,8.379056e-08,8.569046e-08,8.763688e-08,8.852707e-08,9.120298e-08,9.371967e-08,9.449178e-08,9.607971e-08,9.750949e-08,9.828654e-08,1.002648e-07,1.003443e-07,1.022576e-07,1.027682e-07,1.040316e-07,1.050313e-07,1.056716e-07,1.070667e-07,1.071830e-07,1.085715e-07,1.088871e-07,1.098427e-07,1.105054e-07,1.110022e-07,1.119344e-07,1.120554e-07,1.130077e-07,1.131865e-07,1.138644e-07,1.142738e-07,1.146306e-07,1.152078e-07,1.153112e-07,1.159109e-07,1.159996e-07,1.164343e-07,1.166597e-07,1.168857e-07,1.171978e-07,1.172693e-07,1.175891e-07,1.176234e-07,1.178489e-07,1.179452e-07,1.180524e-07,1.181714e-07,1.182029e-07,1.183038e-07,1.183098e-07,1.183581e-07,1.183675e-07,1.183688e-07,1.183511e-07,1.183388e-07,1.182706e-07,1.182671e-07,1.181667e-07,1.181211e-07,1.180297e-07,1.179186e-07,1.178616e-07,1.176647e-07,1.174409e-07,1.173639e-07,1.171922e-07,1.170207e-07,1.169203e-07,1.166391e-07,1.166270e-07,1.163138e-07,1.162228e-07,1.159823e-07,1.157752e-07,1.156339e-07,1.152996e-07,1.152700e-07,1.148918e-07,1.147990e-07,1.145004e-07,1.142760e-07,1.140972e-07,1.137333e-07,1.136830e-07,1.132590e-07,1.131731e-07,1.128260e-07,1.125977e-07,1.123850e-07,1.120090e-07,1.119368e-07,1.114821e-07,1.114089e-07,1.110218e-07,1.107990e-07,1.105565e-07,1.101811e-07,1.100868e-07,1.096135e-07,1.095564e-07,1.091369e-07,1.089264e-07,1.086578e-07,1.082923e-07,1.081766e-07,1.076938e-07,1.076551e-07,1.072098e-07,1.070160e-07,1.067251e-07,1.063758e-07,1.062400e-07,1.057549e-07,1.057355e-07,1.052702e-07,1.050958e-07,1.047861e-07,1.044575e-07,1.043030e-07,1.038211e-07,1.031874e-07,1.025569e-07,1.019301e-07,1.013073e-07,1.006892e-07,1.000759e-07,9.946783e-08,9.886531e-08,9.826860e-08,9.767791e-08,9.709347e-08,9.651546e-08,9.594403e-08,9.537933e-08,9.482147e-08,9.427055e-08,9.372666e-08,9.318986e-08,9.266022e-08,9.213776e-08,9.162252e-08,9.111451e-08,9.061373e-08,9.012020e-08
0.000000e+00,4.361015e-11,1.581335e-10,9.091445e-10,2.640723e-09,4.218098e-09,1.120199e-08,1.159457e-08,2.456883e-08,2.940690e-08,4.462151e-08,6.066099e-08,7.321787e-08,1.082947e-07,1.117765e-07,1.614757e-07,1.751435e-07,2.229085e-07,2.624034e-07,2.959177e-07,3.692097e-07,3.798260e-07,4.737637e-07,4.936750e-07,5.768218e-07,6.337098e-07,6.880735e-07,7.871565e-07,8.065597e-07,9.312813e-07,9.517468e-07,1.061206e-06,1.125110e-06,1.195285e-06,1.304836e-06,1.332472e-06,1.471752e-06,1.488560e-06,1.612154e-06,1.674050e-06,1.752771e-06,1.859271e-06,1.892775e-06,2.031426e-06,2.042439e-06,2.168071e-06,2.222038e-06,2.302143e-06,2.396809e-06,2.433163e-06,2.560736e-06,2.565763e-06,2.684542e-06,2.728139e-06,2.804331e-06,2.883397e-06,2.919919e-06,3.031174e-06,3.138015e-06,3.171264e-06,3.240402e-06,3.303589e-06,3.338331e-06,3.428173e-06,3.431828e-06,3.520946e-06,3.545124e-06,3.605757e-06,3.654612e-06,3.686349e-06,3.756854e-06,3.762823e-06,3.835292e-06,3.852101e-06,3.903873e-06,3.940627e-06,3.968692e-06,4.022723e-06,4.029877e-06,4.087558e-06,4.098685e-06,4.141865e-06,4.168815e-06,4.192930e-06,4.233415e-06,4.240883e-06,4.285853e-06,4.292779e-06,4.327964e-06,4.347199e-06,4.367342e-06,4.396957e-06,4.404106e-06,4.438375e-06,4.442325e-06,4.470261e-06,4.483565e-06,4.499877e-06,4.520931e-06,4.527328e-06,4.552719e-06,4.554664e-06,4.576149e-06,4.584993e-06,4.597714e-06,4.612139e-06,4.617507e-06,4.635618e-06,4.636309e-06,4.652131e-06,4.657701e-06,4.667130e-06,4.676504e-06,4.680692e-06,4.692894e-06,4.703807e-06,4.707039e-06,4.713502e-06,4.719098e-06,4.722045e-06,4.729221e-06,4.729499e-06,4.735925e-06,4.737548e-06,4.741380e-06,4.744212e-06,4.745922e-06,4.749338e-06,4.749602e-06,4.752471e-06,4.753044e-06,4.754577e-06,4.755441e-06,4.755967e-06,4.756631e-06,4.756683e-06,4.756769e-06,4.756714e-06,4.756263e-06,4.755779e-06,4.755204e-06,4.753913e-06,4.753628e-06,4.751568e-06,4.751196e-06,4.749059e-06,4.747703e-06,4.746130e-06,4.743505e-06,4.742812e-06,4.739132e-06,4.738667e-06,4.735117e-06,4.733250e-06,4.730792e-06,4.727313e-06,4.726181e-06,4.721308e-06,4.720907e-06,4.716193e-06,4.714084e-06,4.710857e-06,4.706890e-06,4.705320e-06,4.699599e-06,4.699367e-06,4.693713e-06,4.691556e-06,4.687677e-06,4.683495e-06,4.681507e-06,4.675218e-06,4.666758e-06,4.658143e-06,4.649402e-06,4.640560e-06,4.631641e-06,4.622666e-06,4.613656e-06,4.604629e-06,4.595601e-06,4.586588e-06,4.577604e-06,4.568663e-06,4.559776e-06,4.550953e-06,4.542205e-06,4.533540e-06,4.524966e-06,4.516490e-06,4.508118e-06,4.499856e-06,4.491709e-06,4.483681e-06,4.475776e-06,4.467997e-06
0.000000e+00,1.384025e-12,3.165146e-12,1.085247e-11,2.465690e-11,3.598247e-11,8.208572e-11,8.458932e-11,1.658182e-10,1.958547e-10,2.903259e-10,3.896531e-10,4.666293e-10,6.750575e-10,6.951309e-10,9.698130e-10,1.041864e-09,1.284304e-09,1.475996e-09,1.633894e-09,1.967701e-09,2.014988e-09,2.424369e-09,2.509355e-09,2.858755e-09,3.093356e-09,3.314610e-09,3.711327e-09,3.788107e-09,4.275179e-09,4.354089e-09,4.771604e-09,5.011959e-09,5.273130e-09,5.675225e-09,5.775601e-09,6.275059e-09,6.334614e-09,6.767832e-09,6.981666e-09,7.250606e-09,7.609021e-09,7.720472e-09,8.174951e-09,8.210580e-09,8.611996e-09,8.781556e-09,9.029988e-09,9.318445e-09,9.427708e-09,9.804308e-09,9.818925e-09,1.015928e-08,1.028172e-08,1.049239e-08,1.070644e-08,1.080369e-08,1.109341e-08,1.136199e-08,1.144355e-08,1.160997e-08,1.175819e-08,1.183804e-08,1.203895e-08,1.204695e-08,1.223751e-08,1.228769e-08,1.241057e-08,1.250637e-08,1.256700e-08,1.269698e-08,1.270768e-08,1.283348e-08,1.286156e-08,1.294527e-08,1.300207e-08,1.304388e-08,1.312041e-08,1.313013e-08,1.320480e-08,1.321841e-08,1.326864e-08,1.329780e-08,1.332237e-08,1.336019e-08,1.336667e-08,1.340220e-08,1.340711e-08,1.342955e-08,1.343995e-08,1.344931e-08,1.346002e-08,1.346202e-08,1.346821e-08,1.346853e-08,1.346833e-08,1.346659e-08,1.346286e-08,1.345521e-08,1.345220e-08,1.343676e-08,1.343533e-08,1.341691e-08,1.340782e-08,1.339300e-08,1.337344e-08,1.336534e-08,1.333424e-08,1.333293e-08,1.329998e-08,1.328693e-08,1.326283e-08,1.323604e-08,1.322304e-08,1.318082e-08,1.313641e-08,1.312176e-08,1.308999e-08,1.305931e-08,1.304175e-08,1.299389e-08,1.299187e-08,1.294051e-08,1.292588e-08,1.288782e-08,1.285562e-08,1.283394e-08,1.278343e-08,1.277899e-08,1.272312e-08,1.270958e-08,1.266641e-08,1.263434e-08,1.260899e-08,1.255795e-08,1.255095e-08,1.249239e-08,1.248062e-08,1.243338e-08,1.240254e-08,1.237400e-08,1.232390e-08,1.231434e-08,1.225445e-08,1.224485e-08,1.219441e-08,1.216555e-08,1.213426e-08,1.208611e-08,1.207407e-08,1.201389e-08,1.200667e-08,1.195377e-08,1.192734e-08,1.189373e-08,1.184820e-08,1.183384e-08,1.177412e-08,1.176935e-08,1.171461e-08,1.169088e-08,1.165535e-08,1.161284e-08,1.159635e-08,1.153765e-08,1.153531e-08,1.147927e-08,1.145834e-08,1.142124e-08,1.138199e-08,1.136358e-08,1.130630e-08,1.123131e-08,1.115707e-08,1.108359e-08,1.101091e-08,1.093906e-08,1.086805e-08,1.079791e-08,1.072864e-08,1.066026e-08,1.059279e-08,1.052622e-08,1.046057e-08,1.039584e-08,1.033203e-08,1.026915e-08,1.020719e-08,1.014615e-08,1.008604e-08,1.002684e-08,9.968561e-09,9.911187e-09,9.854716e-09,9.799140e-09,9.744453e-09
0.000000e+00,1.350295e-13,8.647269e-13,1.321843e-11,7.799731e-11,1.738050e-10,9.494458e-10,1.008412e-09,3.748569e-09,5.125747e-09,1.054241e-08,1.782487e-08,2.451404e-08,4.716077e-08,4.969680e-08,9.089282e-08,1.037520e-07,1.534923e-07,2.000313e-07,2.432348e-07,3.492239e-07,3.658552e-07,5.265913e-07,5.637056e-07,7.296368e-07,8.529045e-07,9.776887e-07,1.221590e-06,1.271711e-06,1.610935e-06,1.669270e-06,1.993053e-06,2.190703e-06,2.414519e-06,2.777049e-06,2.870876e-06,3.357079e-06,3.417176e-06,3.867750e-06,4.098780e-06,4.397392e-06,4.809249e-06,4.940554e-06,5.491945e-06,5.536259e-06,6.046532e-06,6.268194e-06,6.599604e-06,6.994428e-06,7.146827e-06,7.684284e-06,7.705528e-06,8.208503e-06,8.393388e-06,8.716478e-06,9.051308e-06,9.205671e-06,9.674017e-06,1.011991e-05,1.025764e-05,1.054216e-05,1.079963e-05,1.094001e-05,1.129863e-05,1.131307e-05,1.166126e-05,1.175433e-05,1.198482e-05,1.216732e-05,1.228422e-05,1.253890e-05,1.256013e-05,1.281340e-05,1.287093e-05,1.304501e-05,1.316565e-05,1.325602e-05,1.342556e-05,1.344756e-05,1.362078e-05,1.365333e-05,1.377686e-05,1.385163e-05,1.391696e-05,1.402313e-05,1.404222e-05,1.415375e-05,1.417039e-05,1.425261e-05,1.429585e-05,1.433979e-05,1.440178e-05,1.441626e-05,1.448290e-05,1.449027e-05,1.454054e-05,1.456325e-05,1.458996e-05,1.462246e-05,1.463187e-05,1.466692e-05,1.466944e-05,1.469571e-05,1.470560e-05,1.471880e-05,1.473217e-05,1.473668e-05,1.474982e-05,1.475026e-05,1.475864e-05,1.476083e-05,1.476352e-05,1.476475e-05,1.476479e-05,1.476278e-05,1.475777e-05,1.475557e-05,1.475001e-05,1.474372e-05,1.473975e-05,1.472774e-05,1.472720e-05,1.471255e-05,1.470810e-05,1.469598e-05,1.468519e-05,1.467767e-05,1.465939e-05,1.465774e-05,1.463635e-05,1.463101e-05,1.461361e-05,1.460033e-05,1.458964e-05,1.456762e-05,1.456455e-05,1.453843e-05,1.453309e-05,1.451138e-05,1.449697e-05,1.448347e-05,1.445942e-05,1.445478e-05,1.442539e-05,1.442063e-05,1.439536e-05,1.438073e-05,1.436475e-05,1.433988e-05,1.433362e-05,1.430202e-05,1.429820e-05,1.427000e-05,1.425579e-05,1.423761e-05,1.421277e-05,1.420489e-05,1.417189e-05,1.416923e-05,1.413863e-05,1.412527e-05,1.410516e-05,1.408095e-05,1.407151e-05,1.403771e-05,1.403636e-05,1.400379e-05,1.399156e-05,1.396978e-05,1.394661e-05,1.393570e-05,1.390158e-05,1.385652e-05,1.381147e-05,1.376648e-05,1.372159e-05,1.367685e-05,1.363228e-05,1.358792e-05,1.354380e-05,1.349994e-05,1.345638e-05,1.341313e-05,1.337021e-05,1.332765e-05,1.328546e-05,1.324366e-05,1.320226e-05,1.316127e-05,1.312072e-05,1.308060e-05,1.304092e-05,1.300170e-05,1.296294e-05,1.292465e-05,1.288683e-05
0.000000e+00,3.320697e-13,2.187291e-12,3.545726e-11,2.208362e-10,5.070305e-10,2.994530e-09,3.190702e-09,1.283245e-08,1.793060e-08,3.895736e-08,6.889050e-08,9.758043e-08,2.006746e-07,2.126792e-07,4.173743e-07,4.843974e-07,7.546376e-07,1.020654e-06,1.277045e-06,1.937761e-06,2.045010e-06,3.123419e-06,3.382123e-06,4.577265e-06,5.502058e-06,6.467200e-06,8.430497e-06,8.845767e-06,1.175474e-05,1.227155e-05,1.522363e-05,1.709297e-05,1.926917e-05,2.292409e-05,2.389568e-05,2.909584e-05,2.975766e-05,3.485184e-05,3.755390e-05,4.113664e-05,4.624547e-05,4.791524e-05,5.514601e-05,5.574263e-05,6.278183e-05,6.593817e-05,7.077128e-05,7.671208e-05,7.905973e-05,8.759036e-05,8.793580e-05,9.630511e-05,9.947625e-05,1.051457e-04,1.111996e-04,1.140542e-04,1.229745e-04,1.318521e-04,1.346754e-04,1.406355e-04,1.461852e-04,1.492767e-04,1.573970e-04,1.577311e-04,1.659583e-04,1.682163e-04,1.739226e-04,1.785616e-04,1.815924e-04,1.883655e-04,1.889410e-04,1.959461e-04,1.975742e-04,2.025900e-04,2.061475e-04,2.088590e-04,2.140583e-04,2.147440e-04,2.202391e-04,2.212911e-04,2.253424e-04,2.278415e-04,2.300548e-04,2.337141e-04,2.343804e-04,2.383256e-04,2.389220e-04,2.418988e-04,2.434849e-04,2.451107e-04,2.474280e-04,2.479732e-04,2.504994e-04,2.507807e-04,2.527037e-04,2.535754e-04,2.546009e-04,2.558468e-04,2.562063e-04,2.575358e-04,2.576307e-04,2.586050e-04,2.589633e-04,2.594297e-04,2.598809e-04,2.600255e-04,2.604077e-04,2.604188e-04,2.605912e-04,2.606115e-04,2.605905e-04,2.604919e-04,2.604195e-04,2.600916e-04,2.596197e-04,2.594402e-04,2.590158e-04,2.585655e-04,2.582917e-04,2.574935e-04,2.574582e-04,2.565256e-04,2.562481e-04,2.555037e-04,2.548515e-04,2.544016e-04,2.533242e-04,2.532278e-04,2.519903e-04,2.516846e-04,2.506964e-04,2.499498e-04,2.493530e-04,2.481351e-04,2.479666e-04,2.465431e-04,2.462544e-04,2.450879e-04,2.443203e-04,2.436060e-04,2.423441e-04,2.421022e-04,2.405808e-04,2.403359e-04,2.390455e-04,2.383048e-04,2.375001e-04,2.362586e-04,2.359478e-04,2.343916e-04,2.342047e-04,2.328343e-04,2.321494e-04,2.312784e-04,2.300982e-04,2.297261e-04,2.281794e-04,2.280560e-04,2.266404e-04,2.260272e-04,2.251105e-04,2.240155e-04,2.235913e-04,2.220842e-04,2.220241e-04,2.205903e-04,2.200559e-04,2.191107e-04,2.181133e-04,2.176464e-04,2.161982e-04,2.143124e-04,2.124574e-04,2.106343e-04,2.088440e-04,2.070874e-04,2.053648e-04,2.036768e-04,2.020236e-04,2.004053e-04,1.988219e-04,1.972733e-04,1.957595e-04,1.942800e-04,1.928347e-04,1.914232e-04,1.900450e-04,1.886997e-04,1.873868e-04,1.861057e-04,1.848560e-04,1.836372e-04,1.824485e-04,1.812894e-04,1.801594e-04
0.000000e+00,4.441954e-13,2.845563e-12,4.358429e-11,2.582089e-10,5.773478e-10,3.199113e-09,3.400442e-09,1.296113e-08,1.788497e-08,3.782809e-08,6.580201e-08,9.245673e-08,1.880750e-07,1.992192e-07,3.895496e-07,4.518558e-07,7.018534e-07,9.448343e-07,1.175342e-06,1.751351e-06,1.842416e-06,2.723138e-06,2.925680e-06,3.823372e-06,4.480341e-06,5.136073e-06,6.390772e-06,6.644328e-06,8.324853e-06,8.607971e-06,1.015108e-05,1.107133e-05,1.209549e-05,1.371801e-05,1.413122e-05,1.623295e-05,1.648846e-05,1.837737e-05,1.932893e-05,2.054338e-05,2.219227e-05,2.271207e-05,2.486666e-05,2.503797e-05,2.699246e-05,2.783180e-05,2.907672e-05,3.054548e-05,3.110855e-05,3.307888e-05,3.315630e-05,3.498026e-05,3.564671e-05,3.680684e-05,3.800390e-05,3.855423e-05,4.021933e-05,4.180025e-05,4.228820e-05,4.329614e-05,4.420888e-05,4.470706e-05,4.598239e-05,4.603386e-05,4.727802e-05,4.761183e-05,4.844154e-05,4.910194e-05,4.952684e-05,5.045860e-05,5.053667e-05,5.147399e-05,5.168850e-05,5.234192e-05,5.279884e-05,5.314365e-05,5.379701e-05,5.388245e-05,5.456154e-05,5.469048e-05,5.518413e-05,5.548658e-05,5.575333e-05,5.619244e-05,5.627220e-05,5.674365e-05,5.681488e-05,5.717052e-05,5.736037e-05,5.755549e-05,5.783503e-05,5.790113e-05,5.820988e-05,5.824456e-05,5.848406e-05,5.859432e-05,5.872586e-05,5.888923e-05,5.893733e-05,5.912042e-05,5.913390e-05,5.927698e-05,5.933256e-05,5.940872e-05,5.948912e-05,5.951726e-05,5.960413e-05,5.960718e-05,5.967076e-05,5.969005e-05,5.971849e-05,5.974079e-05,5.974857e-05,5.976219e-05,5.976044e-05,5.975681e-05,5.974438e-05,5.972703e-05,5.971496e-05,5.967500e-05,5.967310e-05,5.961965e-05,5.960272e-05,5.955542e-05,5.951203e-05,5.948116e-05,5.940459e-05,5.939757e-05,5.930531e-05,5.928195e-05,5.920501e-05,5.914554e-05,5.909723e-05,5.899664e-05,5.898253e-05,5.886142e-05,5.883648e-05,5.873439e-05,5.866613e-05,5.860187e-05,5.848663e-05,5.846429e-05,5.832206e-05,5.829890e-05,5.817555e-05,5.810380e-05,5.802510e-05,5.790213e-05,5.787105e-05,5.771370e-05,5.769461e-05,5.755335e-05,5.748192e-05,5.739028e-05,5.726467e-05,5.722473e-05,5.705695e-05,5.704344e-05,5.688718e-05,5.681875e-05,5.671561e-05,5.659110e-05,5.654247e-05,5.636792e-05,5.636091e-05,5.619216e-05,5.612862e-05,5.601535e-05,5.589460e-05,5.583765e-05,5.565920e-05,5.542275e-05,5.518555e-05,5.494788e-05,5.470999e-05,5.447211e-05,5.423447e-05,5.399726e-05,5.376067e-05,5.352487e-05,5.329000e-05,5.305622e-05,5.282366e-05,5.259243e-05,5.236265e-05,5.213443e-05,5.190784e-05,5.168297e-05,5.145991e-05,5.123872e-05,5.101947e-05,5.080221e-05,5.058699e-05,5.037385e-05,5.016285e-05
0.000000e+00,1.159436e-12,6.964295e-12,9.345286e-11,4.913575e-10,1.029275e-09,4.818640e-09,5.086772e-09,1.636818e-08,2.155522e-08,4.046264e-08,6.376080e-08,8.389810e-08,1.469736e-07,1.536978e-07,2.571146e-07,2.877491e-07,4.014330e-07,5.027436e-07,5.936148e-07,8.070551e-07,8.395556e-07,1.142936e-06,1.210601e-06,1.504082e-06,1.713687e-06,1.919479e-06,2.305364e-06,2.382227e-06,2.883200e-06,2.966235e-06,3.412379e-06,3.673489e-06,3.959932e-06,4.405132e-06,4.516881e-06,5.075412e-06,5.142217e-06,5.628931e-06,5.869449e-06,6.171991e-06,6.574969e-06,6.700174e-06,7.209966e-06,7.249869e-06,7.698643e-06,7.887726e-06,8.164177e-06,8.484214e-06,8.605151e-06,9.020685e-06,9.036769e-06,9.410360e-06,9.544298e-06,9.774157e-06,1.000690e-05,1.011238e-05,1.042562e-05,1.071466e-05,1.080220e-05,1.098047e-05,1.113887e-05,1.122410e-05,1.143820e-05,1.144672e-05,1.164951e-05,1.170291e-05,1.183369e-05,1.193577e-05,1.200046e-05,1.213953e-05,1.215100e-05,1.228646e-05,1.231685e-05,1.240793e-05,1.247024e-05,1.251646e-05,1.260204e-05,1.261303e-05,1.269858e-05,1.271444e-05,1.277396e-05,1.280941e-05,1.283999e-05,1.288878e-05,1.289742e-05,1.294694e-05,1.295417e-05,1.298920e-05,1.300708e-05,1.302479e-05,1.304883e-05,1.305426e-05,1.307810e-05,1.308061e-05,1.309678e-05,1.310348e-05,1.311073e-05,1.311840e-05,1.312033e-05,1.312594e-05,1.312623e-05,1.312789e-05,1.312772e-05,1.312649e-05,1.312355e-05,1.312200e-05,1.311468e-05,1.311433e-05,1.310477e-05,1.310061e-05,1.309249e-05,1.308288e-05,1.307802e-05,1.306156e-05,1.304327e-05,1.303706e-05,1.302331e-05,1.300972e-05,1.300182e-05,1.297986e-05,1.297892e-05,1.295475e-05,1.294777e-05,1.292942e-05,1.291371e-05,1.290303e-05,1.287790e-05,1.287568e-05,1.284745e-05,1.284056e-05,1.281844e-05,1.280188e-05,1.278871e-05,1.276203e-05,1.275835e-05,1.272741e-05,1.272116e-05,1.269597e-05,1.267943e-05,1.266407e-05,1.263696e-05,1.263177e-05,1.259912e-05,1.259387e-05,1.256617e-05,1.255026e-05,1.253296e-05,1.250623e-05,1.249953e-05,1.246592e-05,1.246188e-05,1.243217e-05,1.241728e-05,1.239830e-05,1.237251e-05,1.236436e-05,1.233036e-05,1.232763e-05,1.229633e-05,1.228272e-05,1.226230e-05,1.223782e-05,1.222830e-05,1.219434e-05,1.219298e-05,1.216044e-05,1.214826e-05,1.212663e-05,1.210370e-05,1.209292e-05,1.205933e-05,1.201520e-05,1.197133e-05,1.192775e-05,1.188450e-05,1.184160e-05,1.179907e-05,1.175692e-05,1.171518e-05,1.167387e-05,1.163299e-05,1.159257e-05,1.155261e-05,1.151312e-05,1.147411e-05,1.143559e-05,1.139756e-05,1.136004e-05,1.132302e-05,1.128651e-05,1.125052e-05,1.121503e-05,1.118007e-05,1.114562e-05,1.111168e-05
0.000000e+00,9.295537e-12,5.117504e-11,5.795431e-10,2.646089e-09,5.158737e-09,2.044265e-08,2.144674e-08,6.015780e-08,7.667428e-08,1.337224e-07,2.002977e-07,2.560252e-07,4.249576e-07,4.426486e-07,7.103820e-07,7.885013e-07,1.074524e-06,1.324321e-06,1.544153e-06,2.044521e-06,2.118782e-06,2.789408e-06,2.933900e-06,3.542591e-06,3.962146e-06,4.364212e-06,5.097805e-06,5.241412e-06,6.162998e-06,6.313898e-06,7.119142e-06,7.587742e-06,8.101003e-06,8.899509e-06,9.100426e-06,1.010981e-05,1.023127e-05,1.112208e-05,1.156670e-05,1.213072e-05,1.289118e-05,1.312979e-05,1.411403e-05,1.419199e-05,1.507884e-05,1.545843e-05,1.602030e-05,1.668184e-05,1.693515e-05,1.782078e-05,1.785556e-05,1.867513e-05,1.897475e-05,1.949673e-05,2.003615e-05,2.028453e-05,2.103792e-05,2.175665e-05,2.197932e-05,2.244075e-05,2.286053e-05,2.309052e-05,2.368246e-05,2.370646e-05,2.428923e-05,2.444656e-05,2.483961e-05,2.515467e-05,2.535851e-05,2.580890e-05,2.584687e-05,2.630572e-05,2.641157e-05,2.673610e-05,2.696507e-05,2.713907e-05,2.747187e-05,2.751571e-05,2.786709e-05,2.793443e-05,2.819426e-05,2.835518e-05,2.849828e-05,2.873650e-05,2.878015e-05,2.904089e-05,2.908071e-05,2.928146e-05,2.939004e-05,2.950280e-05,2.966663e-05,2.970581e-05,2.989139e-05,2.991253e-05,3.006038e-05,3.012968e-05,3.021358e-05,3.031995e-05,3.035180e-05,3.047577e-05,3.048509e-05,3.058622e-05,3.062677e-05,3.068384e-05,3.074656e-05,3.076930e-05,3.084323e-05,3.084595e-05,3.090623e-05,3.092635e-05,3.095889e-05,3.098908e-05,3.100176e-05,3.103537e-05,3.106022e-05,3.106640e-05,3.107680e-05,3.108328e-05,3.108556e-05,3.108704e-05,3.108696e-05,3.108139e-05,3.107864e-05,3.106927e-05,3.105900e-05,3.105097e-05,3.102898e-05,3.102685e-05,3.099726e-05,3.098938e-05,3.096253e-05,3.094096e-05,3.092297e-05,3.088440e-05,3.087888e-05,3.083055e-05,3.082039e-05,3.077823e-05,3.074954e-05,3.072219e-05,3.067242e-05,3.066267e-05,3.059990e-05,3.058958e-05,3.053411e-05,3.050152e-05,3.046550e-05,3.040872e-05,3.039428e-05,3.032062e-05,3.031163e-05,3.024472e-05,3.021066e-05,3.016674e-05,3.010619e-05,3.008685e-05,3.000519e-05,2.999859e-05,2.992192e-05,2.988819e-05,2.983717e-05,2.977531e-05,2.975108e-05,2.966377e-05,2.966025e-05,2.957536e-05,2.954328e-05,2.948595e-05,2.942465e-05,2.939567e-05,2.930460e-05,2.918336e-05,2.906113e-05,2.893810e-05,2.881445e-05,2.869035e-05,2.856595e-05,2.844140e-05,2.831682e-05,2.819234e-05,2.806808e-05,2.794413e-05,2.782060e-05,2.769757e-05,2.757513e-05,2.745336e-05,2.733232e-05,2.721207e-05,2.709268e-05,2.697420e-05,2.685668e-05,2.674016e-05,2.662468e-05,2.651027e-05,2.639698e-05
0.000000e+00,8.036203e-12,1.845501e-11,6.374171e-11,1.454815e-10,2.125945e-10,4.843710e-10,4.990358e-10,9.689278e-10,1.140032e-09,1.672129e-09,2.228749e-09,2.663582e-09,3.878243e-09,3.998864e-09,5.719604e-09,6.191846e-09,7.836121e-09,9.187212e-09,1.032737e-08,1.280143e-08,1.315775e-08,1.629087e-08,1.695087e-08,1.969381e-08,2.155989e-08,2.333639e-08,2.656024e-08,2.718977e-08,3.122540e-08,3.188609e-08,3.541458e-08,3.747148e-08,3.972856e-08,4.325039e-08,4.413878e-08,4.861727e-08,4.915798e-08,5.313714e-08,5.513239e-08,5.767301e-08,6.111637e-08,6.220127e-08,6.670038e-08,6.705845e-08,7.115100e-08,7.291376e-08,7.553603e-08,7.864423e-08,7.984064e-08,8.405213e-08,8.421849e-08,8.815989e-08,8.961156e-08,9.215524e-08,9.480426e-08,9.603125e-08,9.978255e-08,1.034052e-07,1.045368e-07,1.068965e-07,1.090612e-07,1.102548e-07,1.133530e-07,1.134794e-07,1.165704e-07,1.174120e-07,1.195286e-07,1.212403e-07,1.223553e-07,1.248413e-07,1.250523e-07,1.276219e-07,1.282200e-07,1.300666e-07,1.313821e-07,1.323891e-07,1.343342e-07,1.345924e-07,1.366797e-07,1.370835e-07,1.386541e-07,1.396373e-07,1.405189e-07,1.420032e-07,1.422776e-07,1.439335e-07,1.441891e-07,1.454899e-07,1.462027e-07,1.469503e-07,1.480517e-07,1.483180e-07,1.495963e-07,1.497439e-07,1.507885e-07,1.512866e-07,1.518978e-07,1.526874e-07,1.529274e-07,1.538803e-07,1.539533e-07,1.547596e-07,1.550914e-07,1.555682e-07,1.561083e-07,1.563091e-07,1.569849e-07,1.570106e-07,1.575985e-07,1.578046e-07,1.581525e-07,1.584964e-07,1.586494e-07,1.590919e-07,1.594822e-07,1.595965e-07,1.598228e-07,1.600157e-07,1.601159e-07,1.603546e-07,1.603637e-07,1.605683e-07,1.606182e-07,1.607319e-07,1.608112e-07,1.608564e-07,1.609380e-07,1.609437e-07,1.609956e-07,1.610030e-07,1.610140e-07,1.610103e-07,1.610006e-07,1.609638e-07,1.609570e-07,1.608848e-07,1.608671e-07,1.607856e-07,1.607239e-07,1.606609e-07,1.605374e-07,1.605120e-07,1.603404e-07,1.603109e-07,1.601473e-07,1.600474e-07,1.599341e-07,1.597498e-07,1.597019e-07,1.594520e-07,1.594208e-07,1.591854e-07,1.590630e-07,1.589031e-07,1.586788e-07,1.586063e-07,1.582960e-07,1.582706e-07,1.579730e-07,1.578405e-07,1.576383e-07,1.573905e-07,1.572927e-07,1.569371e-07,1.569227e-07,1.565723e-07,1.564388e-07,1.561990e-07,1.559407e-07,1.558179e-07,1.554298e-07,1.549079e-07,1.543762e-07,1.538362e-07,1.532890e-07,1.527361e-07,1.521783e-07,1.516168e-07,1.510525e-07,1.504865e-07,1.499194e-07,1.493521e-07,1.487853e-07,1.482198e-07,1.476561e-07,1.470948e-07,1.465365e-07,1.459816e-07,1.454307e-07,1.448841e-07,1.443423e-07,1.438056e-07,1.432742e-07,1.427486e-07,1.422289e-07
0.000000e+00,5.022764e-11,2.428147e-10,2.168832e-09,8.265843e-09,1.478697e-08,4.872502e-08,5.078835e-08,1.242161e-07,1.534715e-07,2.498559e-07,3.567633e-07,4.431750e-07,6.923960e-07,7.175334e-07,1.079352e-06,1.179190e-06,1.527561e-06,1.814629e-06,2.057601e-06,2.587718e-06,2.664429e-06,3.343066e-06,3.486953e-06,4.088189e-06,4.499951e-06,4.893736e-06,5.612047e-06,5.752779e-06,6.657599e-06,6.806070e-06,7.599896e-06,8.062980e-06,8.571036e-06,9.362873e-06,9.562333e-06,1.056530e-05,1.068605e-05,1.157187e-05,1.201395e-05,1.257456e-05,1.332982e-05,1.356661e-05,1.454208e-05,1.461924e-05,1.549583e-05,1.587026e-05,1.642357e-05,1.707343e-05,1.732179e-05,1.818771e-05,1.822164e-05,1.901925e-05,1.930988e-05,1.981490e-05,2.033494e-05,2.057371e-05,2.129515e-05,2.197911e-05,2.219008e-05,2.262577e-05,2.302027e-05,2.323560e-05,2.378699e-05,2.380925e-05,2.434757e-05,2.449209e-05,2.485151e-05,2.513782e-05,2.532215e-05,2.572668e-05,2.576060e-05,2.616806e-05,2.626137e-05,2.654571e-05,2.674463e-05,2.689478e-05,2.717928e-05,2.721648e-05,2.751202e-05,2.756809e-05,2.778258e-05,2.791379e-05,2.802934e-05,2.821905e-05,2.825342e-05,2.845594e-05,2.848641e-05,2.863797e-05,2.871837e-05,2.880054e-05,2.891725e-05,2.894465e-05,2.907126e-05,2.908532e-05,2.918131e-05,2.922471e-05,2.927567e-05,2.933742e-05,2.935520e-05,2.942072e-05,2.942538e-05,2.947301e-05,2.949038e-05,2.951280e-05,2.953412e-05,2.954082e-05,2.955774e-05,2.955820e-05,2.956422e-05,2.956412e-05,2.956087e-05,2.955328e-05,2.954828e-05,2.952701e-05,2.949760e-05,2.948656e-05,2.946056e-05,2.943307e-05,2.941636e-05,2.936764e-05,2.936548e-05,2.930834e-05,2.929127e-05,2.924536e-05,2.920493e-05,2.917694e-05,2.910950e-05,2.910344e-05,2.902524e-05,2.900580e-05,2.894265e-05,2.889461e-05,2.885601e-05,2.877665e-05,2.876562e-05,2.867175e-05,2.865259e-05,2.857469e-05,2.852305e-05,2.847470e-05,2.838861e-05,2.837201e-05,2.826686e-05,2.824982e-05,2.815947e-05,2.810719e-05,2.805004e-05,2.796117e-05,2.793877e-05,2.782585e-05,2.781220e-05,2.771145e-05,2.766068e-05,2.759573e-05,2.750700e-05,2.747885e-05,2.736096e-05,2.735149e-05,2.724219e-05,2.719447e-05,2.712268e-05,2.703625e-05,2.700256e-05,2.688193e-05,2.687709e-05,2.676090e-05,2.671726e-05,2.663959e-05,2.655698e-05,2.651808e-05,2.639647e-05,2.623593e-05,2.607555e-05,2.591548e-05,2.575589e-05,2.559692e-05,2.543869e-05,2.528132e-05,2.512492e-05,2.496959e-05,2.481542e-05,2.466249e-05,2.451086e-05,2.436061e-05,2.421179e-05,2.406446e-05,2.391865e-05,2.377442e-05,2.363179e-05,2.349080e-05,2.335147e-05,2.321383e-05,2.307789e-05,2.294367e-05,2.281118e-05
0.000000e+00,7.584015e-11,2.021469e-10,8.102041e-10,1.975663e-09,2.961393e-09,7.118814e-09,7.349653e-09,1.505370e-08,1.799153e-08,2.746428e-08,3.768220e-08,4.569201e-08,6.738073e-08,6.945364e-08,9.732119e-08,1.044612e-07,1.279654e-07,1.460203e-07,1.605788e-07,1.905549e-07,1.947236e-07,2.301414e-07,2.373603e-07,2.666379e-07,2.859806e-07,3.040251e-07,3.359679e-07,3.420960e-07,3.806193e-07,3.868083e-07,4.193406e-07,4.379182e-07,4.579899e-07,4.886725e-07,4.962919e-07,5.339739e-07,5.384415e-07,5.707765e-07,5.866294e-07,6.064640e-07,6.327111e-07,6.408275e-07,6.736882e-07,6.762476e-07,7.049018e-07,7.169001e-07,7.343579e-07,7.544337e-07,7.619797e-07,7.877217e-07,7.887119e-07,8.115673e-07,8.196885e-07,8.335256e-07,8.473942e-07,8.536278e-07,8.719265e-07,8.884844e-07,8.934259e-07,9.033710e-07,9.120616e-07,9.166732e-07,9.280331e-07,9.284777e-07,9.388772e-07,9.415500e-07,9.479645e-07,9.528251e-07,9.558312e-07,9.620683e-07,9.625677e-07,9.682612e-07,9.694819e-07,9.729952e-07,9.752566e-07,9.768482e-07,9.795689e-07,9.798941e-07,9.822023e-07,9.825812e-07,9.838375e-07,9.844419e-07,9.848595e-07,9.852845e-07,9.853233e-07,9.852796e-07,9.852286e-07,9.847746e-07,9.843811e-07,9.838509e-07,9.828367e-07,9.825472e-07,9.808988e-07,9.806793e-07,9.789376e-07,9.779832e-07,9.766928e-07,9.748136e-07,9.741910e-07,9.714563e-07,9.712281e-07,9.685105e-07,9.672777e-07,9.653738e-07,9.630072e-07,9.620641e-07,9.585980e-07,9.584563e-07,9.549906e-07,9.536600e-07,9.512555e-07,9.486492e-07,9.474054e-07,9.434517e-07,9.394050e-07,9.380920e-07,9.352748e-07,9.325919e-07,9.310701e-07,9.269710e-07,9.267989e-07,9.224688e-07,9.212468e-07,9.180867e-07,9.154350e-07,9.136588e-07,9.095500e-07,9.091912e-07,9.046893e-07,9.036043e-07,9.001581e-07,8.976096e-07,8.956023e-07,8.915762e-07,8.910262e-07,8.864339e-07,8.855138e-07,8.818291e-07,8.794308e-07,8.772153e-07,8.733352e-07,8.725958e-07,8.679736e-07,8.672340e-07,8.633515e-07,8.611337e-07,8.587321e-07,8.550402e-07,8.541178e-07,8.495110e-07,8.489588e-07,8.449137e-07,8.428945e-07,8.403280e-07,8.368516e-07,8.357556e-07,8.311983e-07,8.308344e-07,8.266576e-07,8.248464e-07,8.221352e-07,8.188910e-07,8.176323e-07,8.131502e-07,8.129714e-07,8.086902e-07,8.070901e-07,8.042533e-07,8.012499e-07,7.998405e-07,7.954529e-07,7.897012e-07,7.839966e-07,7.783408e-07,7.727353e-07,7.671813e-07,7.616801e-07,7.562326e-07,7.508398e-07,7.455025e-07,7.402212e-07,7.349966e-07,7.298291e-07,7.247191e-07,7.196668e-07,7.146725e-07,7.097363e-07,7.048584e-07,7.000386e-07,6.952770e-07,6.905734e-07,6.859278e-07,6.813399e-07,6.768094e-07,6.723363e-07
0.000000e+00,1.693262e-11,7.844655e-11,6.512210e-10,2.356495e-09,4.116658e-09,1.289574e-08,1.341739e-08,3.148727e-08,3.849052e-08,6.101599e-08,8.526532e-08,1.044636e-07,1.586794e-07,1.640961e-07,2.420107e-07,2.636491e-07,3.401410e-07,4.045817e-07,4.602236e-07,5.852156e-07,6.037075e-07,7.715859e-07,8.081305e-07,9.641634e-07,1.073905e-06,1.180841e-06,1.380350e-06,1.420047e-06,1.679395e-06,1.722572e-06,1.956007e-06,2.094018e-06,2.246838e-06,2.487733e-06,2.548908e-06,2.859416e-06,2.897118e-06,3.175769e-06,3.316196e-06,3.495587e-06,3.739617e-06,3.816688e-06,4.137076e-06,4.162620e-06,4.454933e-06,4.580994e-06,4.768621e-06,4.991066e-06,5.076677e-06,5.377810e-06,5.389695e-06,5.670905e-06,5.774264e-06,5.955012e-06,6.142661e-06,6.229341e-06,6.493256e-06,6.746263e-06,6.824858e-06,6.987999e-06,7.136679e-06,7.218222e-06,7.428277e-06,7.436796e-06,7.643679e-06,7.699516e-06,7.838915e-06,7.950510e-06,8.022616e-06,8.181583e-06,8.194957e-06,8.356164e-06,8.393226e-06,8.506504e-06,8.586058e-06,8.646276e-06,8.760795e-06,8.775810e-06,8.895451e-06,8.918224e-06,9.005561e-06,9.059174e-06,9.106511e-06,9.184504e-06,9.198676e-06,9.282435e-06,9.295082e-06,9.358165e-06,9.391773e-06,9.426238e-06,9.475431e-06,9.487022e-06,9.540878e-06,9.546891e-06,9.588155e-06,9.606963e-06,9.629198e-06,9.656425e-06,9.664337e-06,9.693894e-06,9.696026e-06,9.718177e-06,9.726481e-06,9.737484e-06,9.748466e-06,9.752103e-06,9.762306e-06,9.762626e-06,9.768358e-06,9.769570e-06,9.770511e-06,9.769871e-06,9.769006e-06,9.764071e-06,9.755927e-06,9.752677e-06,9.744782e-06,9.736167e-06,9.730836e-06,9.714986e-06,9.714276e-06,9.695283e-06,9.689553e-06,9.674028e-06,9.660257e-06,9.650673e-06,9.627464e-06,9.625372e-06,9.598270e-06,9.591514e-06,9.569507e-06,9.552722e-06,9.539212e-06,9.511384e-06,9.507510e-06,9.474518e-06,9.467774e-06,9.440347e-06,9.422147e-06,9.405102e-06,9.374739e-06,9.368882e-06,9.331780e-06,9.325768e-06,9.293886e-06,9.275439e-06,9.255281e-06,9.223939e-06,9.216045e-06,9.176251e-06,9.171441e-06,9.135969e-06,9.118107e-06,9.095265e-06,9.064085e-06,9.054199e-06,9.012831e-06,9.009510e-06,8.971214e-06,8.954510e-06,8.929400e-06,8.899199e-06,8.887437e-06,8.845368e-06,8.843684e-06,8.803238e-06,8.788063e-06,8.761084e-06,8.732425e-06,8.718943e-06,8.676851e-06,8.621416e-06,8.566188e-06,8.511229e-06,8.456594e-06,8.402335e-06,8.348498e-06,8.295123e-06,8.242247e-06,8.189905e-06,8.138124e-06,8.086931e-06,8.036348e-06,7.986397e-06,7.937093e-06,7.888452e-06,7.840487e-06,7.793207e-06,7.746621e-06,7.700736e-06,7.655558e-06,7.611089e-06,7.567331e-06,7.524287e-06,7.481954e-06
0.000000e+00,2.485406e-12,5.694288e-12,1.958822e-11,4.456083e-11,6.500525e-11,1.474675e-10,1.519058e-10,2.936935e-10,3.451567e-10,5.047720e-10,6.712226e-10,8.010093e-10,1.163220e-09,1.199211e-09,1.714384e-09,1.856536e-09,2.354392e-09,2.766432e-09,3.115589e-09,3.875217e-09,3.984641e-09,4.944678e-09,5.146165e-09,5.979812e-09,6.543164e-09,7.076455e-09,8.036612e-09,8.222967e-09,9.409017e-09,9.601810e-09,1.062510e-08,1.121684e-08,1.186226e-08,1.286145e-08,1.311202e-08,1.436637e-08,1.451684e-08,1.561783e-08,1.616576e-08,1.685950e-08,1.779275e-08,1.808513e-08,1.928919e-08,1.938443e-08,2.046683e-08,2.092955e-08,2.161395e-08,2.241903e-08,2.272713e-08,2.380361e-08,2.384587e-08,2.484125e-08,2.520497e-08,2.583846e-08,2.649290e-08,2.679416e-08,2.770772e-08,2.857888e-08,2.884871e-08,2.940773e-08,2.991614e-08,3.019462e-08,3.091110e-08,3.094014e-08,3.164506e-08,3.183529e-08,3.231032e-08,3.269087e-08,3.293696e-08,3.348033e-08,3.352611e-08,3.407897e-08,3.420640e-08,3.459680e-08,3.487195e-08,3.508085e-08,3.547991e-08,3.553243e-08,3.595282e-08,3.603327e-08,3.634330e-08,3.653495e-08,3.670514e-08,3.698786e-08,3.703959e-08,3.734786e-08,3.739483e-08,3.763114e-08,3.775858e-08,3.789059e-08,3.808174e-08,3.812733e-08,3.834244e-08,3.836685e-08,3.853698e-08,3.861632e-08,3.871195e-08,3.883245e-08,3.886833e-08,3.900706e-08,3.901742e-08,3.912902e-08,3.917331e-08,3.923510e-08,3.930210e-08,3.932611e-08,3.940284e-08,3.940563e-08,3.946607e-08,3.948566e-08,3.951651e-08,3.954386e-08,3.955485e-08,3.958177e-08,3.959790e-08,3.960089e-08,3.960385e-08,3.960258e-08,3.960019e-08,3.958815e-08,3.958748e-08,3.956624e-08,3.955883e-08,3.953697e-08,3.951576e-08,3.950016e-08,3.946003e-08,3.945627e-08,3.940572e-08,3.939264e-08,3.934893e-08,3.931456e-08,3.928630e-08,3.922665e-08,3.921820e-08,3.914500e-08,3.912977e-08,3.906702e-08,3.902469e-08,3.898459e-08,3.891215e-08,3.889803e-08,3.880762e-08,3.879282e-08,3.871365e-08,3.866735e-08,3.861637e-08,3.853634e-08,3.851604e-08,3.841289e-08,3.840034e-08,3.830716e-08,3.825987e-08,3.819906e-08,3.811544e-08,3.808878e-08,3.797654e-08,3.796748e-08,3.786250e-08,3.781642e-08,3.774685e-08,3.766267e-08,3.762974e-08,3.751134e-08,3.750658e-08,3.739179e-08,3.734850e-08,3.727123e-08,3.718875e-08,3.714980e-08,3.702762e-08,3.686540e-08,3.670233e-08,3.653866e-08,3.637460e-08,3.621037e-08,3.604614e-08,3.588209e-08,3.571839e-08,3.555517e-08,3.539259e-08,3.523076e-08,3.506981e-08,3.490982e-08,3.475092e-08,3.459317e-08,3.443666e-08,3.428148e-08,3.412767e-08,3.397531e-08,3.382444e-08,3.367511e-08,3.352737e-08,3.338126e-08,3.323681e-08
0.000000e+00,4.179066e-13,2.669700e-12,4.059027e-11,2.382926e-10,5.294989e-10,2.871706e-09,3.049185e-09,1.126030e-08,1.537238e-08,3.150470e-08,5.314849e-08,7.301515e-08,1.403149e-07,1.478600e-07,2.707654e-07,3.092674e-07,4.587831e-07,5.994172e-07,7.304868e-07,1.053457e-06,1.104254e-06,1.595600e-06,1.708966e-06,2.214290e-06,2.587330e-06,2.962308e-06,3.686198e-06,3.833345e-06,4.813794e-06,4.979608e-06,5.884722e-06,6.424526e-06,7.024216e-06,7.969867e-06,8.209516e-06,9.418708e-06,9.564444e-06,1.063186e-05,1.116233e-05,1.183164e-05,1.272552e-05,1.300357e-05,1.413596e-05,1.422455e-05,1.521972e-05,1.563801e-05,1.624807e-05,1.695143e-05,1.721626e-05,1.812125e-05,1.815610e-05,1.896147e-05,1.924800e-05,1.973658e-05,2.022677e-05,2.044725e-05,2.109495e-05,2.168183e-05,2.185721e-05,2.221054e-05,2.251977e-05,2.268410e-05,2.308988e-05,2.310579e-05,2.347904e-05,2.357534e-05,2.380733e-05,2.398419e-05,2.409417e-05,2.432438e-05,2.434296e-05,2.455699e-05,2.460354e-05,2.473942e-05,2.482888e-05,2.489320e-05,2.500703e-05,2.502109e-05,2.512565e-05,2.514397e-05,2.520922e-05,2.524510e-05,2.527394e-05,2.531516e-05,2.532175e-05,2.535439e-05,2.535832e-05,2.537345e-05,2.537819e-05,2.538032e-05,2.537790e-05,2.537627e-05,2.536241e-05,2.536014e-05,2.533976e-05,2.532723e-05,2.530919e-05,2.528115e-05,2.527150e-05,2.522740e-05,2.522361e-05,2.517752e-05,2.515607e-05,2.512241e-05,2.507979e-05,2.506260e-05,2.499852e-05,2.499588e-05,2.493059e-05,2.490526e-05,2.485917e-05,2.480879e-05,2.478460e-05,2.470717e-05,2.462716e-05,2.460105e-05,2.454482e-05,2.449100e-05,2.446038e-05,2.437753e-05,2.437404e-05,2.428601e-05,2.426108e-05,2.419645e-05,2.414206e-05,2.410554e-05,2.402083e-05,2.401342e-05,2.392023e-05,2.389772e-05,2.382610e-05,2.377303e-05,2.373116e-05,2.364703e-05,2.363552e-05,2.353927e-05,2.351996e-05,2.344253e-05,2.339206e-05,2.334538e-05,2.326352e-05,2.324791e-05,2.315019e-05,2.313454e-05,2.305231e-05,2.300529e-05,2.295433e-05,2.287591e-05,2.285631e-05,2.275832e-05,2.274657e-05,2.266042e-05,2.261738e-05,2.256266e-05,2.248848e-05,2.246508e-05,2.236774e-05,2.235997e-05,2.227068e-05,2.223195e-05,2.217394e-05,2.210451e-05,2.207756e-05,2.198158e-05,2.197775e-05,2.188602e-05,2.185173e-05,2.179092e-05,2.172653e-05,2.169631e-05,2.160221e-05,2.147883e-05,2.135644e-05,2.123509e-05,2.111482e-05,2.099568e-05,2.087769e-05,2.076088e-05,2.064529e-05,2.053094e-05,2.041784e-05,2.030602e-05,2.019550e-05,2.008628e-05,1.997837e-05,1.987179e-05,1.976655e-05,1.966264e-05,1.956007e-05,1.945884e-05,1.935896e-05,1.926042e-05,1.916322e-05,1.906735e-05,1.897282e-05
0.000000e+00,4.877474e-13,3.314530e-12,5.737024e-11,3.796681e-10,9.015586e-10,5.814984e-09,6.218360e-09,2.733133e-08,3.912903e-08,9.038774e-08,1.679810e-07,2.457731e-07,5.432775e-07,5.793128e-07,1.224642e-06,1.446032e-06,2.375781e-06,3.337230e-06,4.298629e-06,6.902606e-06,7.340206e-06,1.193490e-05,1.308480e-05,1.860749e-05,2.309903e-05,2.797288e-05,3.843184e-05,4.073290e-05,5.767020e-05,6.082402e-05,7.963973e-05,9.223963e-05,1.075580e-04,1.348232e-04,1.423904e-04,1.851375e-04,1.908473e-04,2.368190e-04,2.626534e-04,2.984586e-04,3.525871e-04,3.710665e-04,4.556239e-04,4.629331e-04,5.530662e-04,5.958492e-04,6.642678e-04,7.533046e-04,7.900276e-04,9.310561e-04,9.370238e-04,1.087964e-03,1.148438e-03,1.261251e-03,1.388644e-03,1.451302e-03,1.658377e-03,1.882610e-03,1.957992e-03,2.124005e-03,2.287455e-03,2.382442e-03,2.646343e-03,2.657671e-03,2.949323e-03,3.033865e-03,3.256913e-03,3.448875e-03,3.579848e-03,3.889904e-03,3.917431e-03,4.268878e-03,4.355193e-03,4.633319e-03,4.842734e-03,5.009815e-03,5.350310e-03,5.397365e-03,5.794921e-03,5.875537e-03,6.201391e-03,6.415909e-03,6.615659e-03,6.968840e-03,7.036589e-03,7.463035e-03,7.531702e-03,7.893854e-03,8.101867e-03,8.327911e-03,8.676736e-03,8.764089e-03,9.201294e-03,9.253777e-03,9.638465e-03,9.830543e-03,1.007458e-02,1.040470e-02,1.050864e-02,1.093973e-02,1.097406e-02,1.136694e-02,1.153656e-02,1.178945e-02,1.209030e-02,1.220646e-02,1.261726e-02,1.263355e-02,1.302117e-02,1.316477e-02,1.341757e-02,1.368255e-02,1.380591e-02,1.418569e-02,1.455646e-02,1.467314e-02,1.491782e-02,1.514400e-02,1.526944e-02,1.559756e-02,1.561103e-02,1.594234e-02,1.603324e-02,1.626318e-02,1.645059e-02,1.657340e-02,1.684932e-02,1.687288e-02,1.716156e-02,1.722923e-02,1.743939e-02,1.759025e-02,1.770639e-02,1.793240e-02,1.796258e-02,1.820802e-02,1.825582e-02,1.844279e-02,1.856069e-02,1.866701e-02,1.884730e-02,1.888081e-02,1.908435e-02,1.911597e-02,1.927778e-02,1.936710e-02,1.946131e-02,1.960112e-02,1.963512e-02,1.979943e-02,1.981852e-02,1.995446e-02,2.001980e-02,2.010044e-02,2.020548e-02,2.023761e-02,2.036621e-02,2.037614e-02,2.048649e-02,2.053232e-02,2.059869e-02,2.067461e-02,2.070306e-02,2.079987e-02,2.080359e-02,2.088936e-02,2.091984e-02,2.097179e-02,2.102393e-02,2.104740e-02,2.111645e-02,2.119795e-02,2.126900e-02,2.133013e-02,2.138188e-02,2.142476e-02,2.145927e-02,2.148589e-02,2.150510e-02,2.151732e-02,2.152301e-02,2.152256e-02,2.151638e-02,2.150483e-02,2.148829e-02,2.146709e-02,2.144155e-02,2.141200e-02,2.137871e-02,2.134196e-02,2.130203e-02,2.125915e-02,2.121357e-02,2.116550e-02,2.111516e-02
0.000000e+00,3.022446e-12,6.937799e-12,2.389741e-11,5.437171e-11,7.931377e-11,1.799141e-10,1.853297e-10,3.584524e-10,4.213517e-10,6.166522e-10,8.206260e-10,9.798483e-10,1.424758e-09,1.468996e-09,2.102403e-09,2.277169e-09,2.888866e-09,3.394291e-09,3.821659e-09,4.747267e-09,4.880030e-09,6.037433e-09,6.278516e-09,7.268725e-09,7.931050e-09,8.552881e-09,9.659849e-09,9.872840e-09,1.121455e-08,1.143043e-08,1.256613e-08,1.321532e-08,1.391730e-08,1.499189e-08,1.525912e-08,1.658382e-08,1.674131e-08,1.788474e-08,1.844811e-08,1.915622e-08,2.009999e-08,2.039365e-08,2.159330e-08,2.168755e-08,2.275234e-08,2.320410e-08,2.386871e-08,2.464527e-08,2.494101e-08,2.596844e-08,2.600860e-08,2.695072e-08,2.729331e-08,2.788801e-08,2.849990e-08,2.878079e-08,2.962985e-08,3.043620e-08,3.068539e-08,3.120100e-08,3.166928e-08,3.192558e-08,3.258461e-08,3.261131e-08,3.325966e-08,3.343470e-08,3.387212e-08,3.422298e-08,3.445017e-08,3.495286e-08,3.499529e-08,3.550894e-08,3.562769e-08,3.599255e-08,3.625078e-08,3.644753e-08,3.682530e-08,3.687522e-08,3.727693e-08,3.735427e-08,3.765392e-08,3.784059e-08,3.800740e-08,3.828700e-08,3.833852e-08,3.864841e-08,3.869609e-08,3.893812e-08,3.907032e-08,3.920867e-08,3.941197e-08,3.946103e-08,3.969612e-08,3.972322e-08,3.991482e-08,4.000607e-08,4.011796e-08,4.026242e-08,4.030633e-08,4.048069e-08,4.049406e-08,4.064176e-08,4.070262e-08,4.079022e-08,4.088967e-08,4.092672e-08,4.105187e-08,4.105665e-08,4.116625e-08,4.120490e-08,4.127043e-08,4.133570e-08,4.136492e-08,4.145022e-08,4.152681e-08,4.154956e-08,4.159514e-08,4.163474e-08,4.165564e-08,4.170673e-08,4.170872e-08,4.175475e-08,4.176643e-08,4.179410e-08,4.181466e-08,4.182713e-08,4.185221e-08,4.185416e-08,4.187550e-08,4.187981e-08,4.189146e-08,4.189815e-08,4.190231e-08,4.190786e-08,4.190833e-08,4.190977e-08,4.190953e-08,4.190687e-08,4.190373e-08,4.189987e-08,4.189098e-08,4.188898e-08,4.187441e-08,4.187176e-08,4.185637e-08,4.184653e-08,4.183503e-08,4.181572e-08,4.181059e-08,4.178321e-08,4.177973e-08,4.175305e-08,4.173894e-08,4.172026e-08,4.169369e-08,4.168501e-08,4.164742e-08,4.164432e-08,4.160764e-08,4.159113e-08,4.156578e-08,4.153442e-08,4.152197e-08,4.147632e-08,4.147446e-08,4.142896e-08,4.141150e-08,4.137997e-08,4.134578e-08,4.132946e-08,4.127753e-08,4.120695e-08,4.113424e-08,4.105960e-08,4.098319e-08,4.090518e-08,4.082572e-08,4.074496e-08,4.066304e-08,4.058008e-08,4.049620e-08,4.041152e-08,4.032614e-08,4.024016e-08,4.015368e-08,4.006679e-08,3.997956e-08,3.989208e-08,3.980443e-08,3.971666e-08,3.962884e-08,3.954104e-08,3.945331e-08,3.936571e-08,3.927828e-08
0.000000e+00,2.846518e-12,1.660633e-11,2.103445e-10,1.052896e-09,2.149890e-09,9.466266e-09,9.969554e-09,3.039588e-08,3.948974e-08,7.179033e-08,1.104496e-07,1.432080e-07,2.433155e-07,2.538210e-07,4.126496e-07,4.589175e-07,6.283554e-07,7.769726e-07,9.087703e-07,1.213922e-06,1.259930e-06,1.684810e-06,1.778621e-06,2.182474e-06,2.468584e-06,2.748207e-06,3.270595e-06,3.374513e-06,4.052383e-06,4.164994e-06,4.772334e-06,5.130101e-06,5.525034e-06,6.144795e-06,6.301615e-06,7.093777e-06,7.189511e-06,7.893821e-06,8.246490e-06,8.694666e-06,9.299854e-06,9.489867e-06,1.027364e-05,1.033569e-05,1.104088e-05,1.134214e-05,1.178720e-05,1.230949e-05,1.250890e-05,1.320296e-05,1.323011e-05,1.386703e-05,1.409840e-05,1.449935e-05,1.491056e-05,1.509872e-05,1.566444e-05,1.619623e-05,1.635924e-05,1.669418e-05,1.699529e-05,1.715870e-05,1.757380e-05,1.759045e-05,1.799030e-05,1.809667e-05,1.835926e-05,1.856628e-05,1.869848e-05,1.898535e-05,1.900919e-05,1.929268e-05,1.935682e-05,1.955028e-05,1.968372e-05,1.978331e-05,1.996911e-05,1.999311e-05,2.018098e-05,2.021603e-05,2.034820e-05,2.042742e-05,2.049604e-05,2.060611e-05,2.062568e-05,2.073829e-05,2.075480e-05,2.083498e-05,2.087604e-05,2.091680e-05,2.097224e-05,2.098477e-05,2.103984e-05,2.104563e-05,2.108292e-05,2.109831e-05,2.111488e-05,2.113221e-05,2.113650e-05,2.114857e-05,2.114915e-05,2.115180e-05,2.115077e-05,2.114686e-05,2.113861e-05,2.113440e-05,2.111499e-05,2.111408e-05,2.108921e-05,2.107847e-05,2.105758e-05,2.103298e-05,2.102058e-05,2.097868e-05,2.093230e-05,2.091658e-05,2.088185e-05,2.084760e-05,2.082770e-05,2.077256e-05,2.077020e-05,2.070967e-05,2.069222e-05,2.064643e-05,2.060729e-05,2.058074e-05,2.051839e-05,2.051289e-05,2.044312e-05,2.042611e-05,2.037165e-05,2.033096e-05,2.029869e-05,2.023343e-05,2.022446e-05,2.014912e-05,2.013394e-05,2.007286e-05,2.003289e-05,1.999583e-05,1.993063e-05,1.991817e-05,1.984004e-05,1.982750e-05,1.976154e-05,1.972377e-05,1.968281e-05,1.961972e-05,1.960394e-05,1.952504e-05,1.951557e-05,1.944619e-05,1.941155e-05,1.936750e-05,1.930784e-05,1.928903e-05,1.921085e-05,1.920461e-05,1.913304e-05,1.910202e-05,1.905564e-05,1.900021e-05,1.897873e-05,1.890234e-05,1.889930e-05,1.882653e-05,1.879938e-05,1.875133e-05,1.870056e-05,1.867678e-05,1.860293e-05,1.850655e-05,1.841148e-05,1.831778e-05,1.822550e-05,1.813467e-05,1.804533e-05,1.795750e-05,1.787120e-05,1.778645e-05,1.770326e-05,1.762164e-05,1.754159e-05,1.746311e-05,1.738620e-05,1.731085e-05,1.723705e-05,1.716479e-05,1.709407e-05,1.702487e-05,1.695717e-05,1.689095e-05,1.682620e-05,1.676290e-05,1.670103e-05
0.000000e+00,1.968986e-11,9.292978e-11,7.943482e-10,2.926230e-09,5.148915e-09,1.635026e-08,1.701964e-08,4.040620e-08,4.957075e-08,7.943585e-08,1.122585e-07,1.387339e-07,2.156510e-07,2.234908e-07,3.384269e-07,3.707884e-07,4.851595e-07,5.800849e-07,6.601352e-07,8.317983e-07,8.561792e-07,1.065907e-06,1.108956e-06,1.283586e-06,1.398532e-06,1.505183e-06,1.692194e-06,1.727776e-06,1.949067e-06,1.984219e-06,2.167100e-06,2.270080e-06,2.380136e-06,2.545922e-06,2.586630e-06,2.785227e-06,2.808472e-06,2.974789e-06,3.055090e-06,3.154402e-06,3.283827e-06,3.323386e-06,3.481289e-06,3.493434e-06,3.627873e-06,3.683320e-06,3.763091e-06,3.853474e-06,3.887067e-06,4.000062e-06,4.004358e-06,4.102452e-06,4.136803e-06,4.194697e-06,4.251894e-06,4.277320e-06,4.350879e-06,4.415956e-06,4.435085e-06,4.473140e-06,4.505868e-06,4.523019e-06,4.564556e-06,4.566159e-06,4.603110e-06,4.612419e-06,4.634394e-06,4.650652e-06,4.660506e-06,4.680356e-06,4.681905e-06,4.699022e-06,4.702538e-06,4.712255e-06,4.718107e-06,4.721971e-06,4.727880e-06,4.728507e-06,4.732172e-06,4.732586e-06,4.733247e-06,4.732869e-06,4.731988e-06,4.729297e-06,4.728627e-06,4.723376e-06,4.722373e-06,4.716427e-06,4.712541e-06,4.707956e-06,4.700189e-06,4.698120e-06,4.687063e-06,4.685660e-06,4.674913e-06,4.669252e-06,4.661788e-06,4.651228e-06,4.647796e-06,4.633033e-06,4.631821e-06,4.617587e-06,4.611235e-06,4.601537e-06,4.589648e-06,4.584955e-06,4.567909e-06,4.567218e-06,4.550457e-06,4.544086e-06,4.532654e-06,4.520373e-06,4.514550e-06,4.496190e-06,4.477616e-06,4.471633e-06,4.458864e-06,4.446787e-06,4.439971e-06,4.421728e-06,4.420966e-06,4.401879e-06,4.396523e-06,4.382736e-06,4.371233e-06,4.363561e-06,4.345911e-06,4.344376e-06,4.325202e-06,4.320604e-06,4.306056e-06,4.295354e-06,4.286956e-06,4.270198e-06,4.267917e-06,4.248952e-06,4.245169e-06,4.230076e-06,4.220298e-06,4.211298e-06,4.195610e-06,4.192631e-06,4.174084e-06,4.171128e-06,4.155666e-06,4.146873e-06,4.137385e-06,4.122863e-06,4.119248e-06,4.101261e-06,4.099113e-06,4.083432e-06,4.075638e-06,4.065764e-06,4.052448e-06,4.048264e-06,4.030935e-06,4.029556e-06,4.013781e-06,4.006969e-06,3.996805e-06,3.984695e-06,3.980011e-06,3.963402e-06,3.962741e-06,3.946978e-06,3.941112e-06,3.930744e-06,3.919812e-06,3.914699e-06,3.898845e-06,3.878213e-06,3.857918e-06,3.837962e-06,3.818343e-06,3.799064e-06,3.780122e-06,3.761517e-06,3.743248e-06,3.725313e-06,3.707709e-06,3.690435e-06,3.673487e-06,3.656862e-06,3.640558e-06,3.624570e-06,3.608896e-06,3.593532e-06,3.578473e-06,3.563716e-06,3.549257e-06,3.535091e-06,3.521215e-06,3.507624e-06,3.494313e-06
0.000000e+00,3.444596e-12,2.043480e-11,2.676351e-10,1.378875e-09,2.858495e-09,1.305870e-08,1.377263e-08,4.340313e-08,5.686480e-08,1.054725e-07,1.647435e-07,2.156119e-07,3.735502e-07,3.902933e-07,6.462263e-07,7.215888e-07,9.999527e-07,1.246675e-06,1.467171e-06,1.983042e-06,2.061425e-06,2.792423e-06,2.955537e-06,3.664841e-06,4.174432e-06,4.678267e-06,5.635248e-06,5.828105e-06,7.106831e-06,7.322781e-06,8.505084e-06,9.215654e-06,1.001238e-05,1.128920e-05,1.161749e-05,1.330867e-05,1.351682e-05,1.507372e-05,1.587054e-05,1.690017e-05,1.832152e-05,1.877532e-05,2.068646e-05,2.084053e-05,2.262106e-05,2.339872e-05,2.456691e-05,2.596832e-05,2.651235e-05,2.844636e-05,2.852334e-05,3.035876e-05,3.104011e-05,3.224024e-05,3.349772e-05,3.408251e-05,3.587824e-05,3.762113e-05,3.816680e-05,3.930588e-05,4.035156e-05,4.092814e-05,4.242351e-05,4.248446e-05,4.397226e-05,4.437629e-05,4.538968e-05,4.620586e-05,4.673560e-05,4.791024e-05,4.800950e-05,4.921141e-05,4.948920e-05,5.034182e-05,5.094394e-05,5.140163e-05,5.227686e-05,5.239211e-05,5.331476e-05,5.349130e-05,5.417136e-05,5.459132e-05,5.496384e-05,5.558150e-05,5.569430e-05,5.636493e-05,5.646683e-05,5.697800e-05,5.725251e-05,5.753583e-05,5.794390e-05,5.804077e-05,5.849514e-05,5.854638e-05,5.890129e-05,5.906531e-05,5.926150e-05,5.950594e-05,5.957805e-05,5.985314e-05,5.987342e-05,6.008895e-05,6.017275e-05,6.028757e-05,6.040870e-05,6.045104e-05,6.058133e-05,6.058588e-05,6.068034e-05,6.070868e-05,6.074990e-05,6.078128e-05,6.079178e-05,6.080765e-05,6.079914e-05,6.079153e-05,6.076781e-05,6.073646e-05,6.071512e-05,6.064577e-05,6.064250e-05,6.055129e-05,6.052260e-05,6.044278e-05,6.036988e-05,6.031820e-05,6.019038e-05,6.017869e-05,6.002539e-05,5.998666e-05,5.985932e-05,5.976113e-05,5.968150e-05,5.951605e-05,5.949287e-05,5.929432e-05,5.925350e-05,5.908671e-05,5.897543e-05,5.887083e-05,5.868366e-05,5.864745e-05,5.841728e-05,5.837987e-05,5.818101e-05,5.806562e-05,5.793928e-05,5.774236e-05,5.769268e-05,5.744179e-05,5.741142e-05,5.718715e-05,5.707405e-05,5.692925e-05,5.673137e-05,5.666858e-05,5.640558e-05,5.638445e-05,5.614066e-05,5.603425e-05,5.587423e-05,5.568166e-05,5.560664e-05,5.533825e-05,5.532750e-05,5.506937e-05,5.497252e-05,5.480031e-05,5.461739e-05,5.453135e-05,5.426275e-05,5.390915e-05,5.355713e-05,5.320714e-05,5.285961e-05,5.251492e-05,5.217341e-05,5.183539e-05,5.150112e-05,5.117086e-05,5.084481e-05,5.052315e-05,5.020606e-05,4.989367e-05,4.958609e-05,4.928342e-05,4.898576e-05,4.869315e-05,4.840565e-05,4.812330e-05,4.784612e-05,4.757411e-05,4.730729e-05,4.704564e-05,4.678914e-05
0.000000e+00,2.887092e-11,1.161532e-10,7.708515e-10,2.419420e-09,3.980502e-09,1.112630e-08,1.153399e-08,2.516878e-08,3.030299e-08,4.654520e-08,6.377506e-08,7.731956e-08,1.153598e-07,1.191504e-07,1.735050e-07,1.885241e-07,2.411839e-07,2.848485e-07,3.219254e-07,4.029029e-07,4.146087e-07,5.178139e-07,5.395945e-07,6.301684e-07,6.917875e-07,7.504143e-07,8.566492e-07,8.773634e-07,1.009850e-06,1.031484e-06,1.146708e-06,1.213610e-06,1.286771e-06,1.400354e-06,1.428887e-06,1.571934e-06,1.589111e-06,1.714847e-06,1.777428e-06,1.856633e-06,1.963078e-06,1.996390e-06,2.133317e-06,2.144127e-06,2.266721e-06,2.318963e-06,2.396021e-06,2.486305e-06,2.520743e-06,2.640518e-06,2.645202e-06,2.755073e-06,2.794997e-06,2.864224e-06,2.935304e-06,2.967866e-06,3.065960e-06,3.158529e-06,3.186994e-06,3.245641e-06,3.298579e-06,3.327408e-06,3.401006e-06,3.403971e-06,3.475497e-06,3.494647e-06,3.542172e-06,3.579931e-06,3.604194e-06,3.657323e-06,3.661771e-06,3.715112e-06,3.727307e-06,3.764430e-06,3.790370e-06,3.809937e-06,3.846994e-06,3.851839e-06,3.890338e-06,3.897647e-06,3.925631e-06,3.942779e-06,3.957906e-06,3.982817e-06,3.987344e-06,4.014119e-06,4.018167e-06,4.038395e-06,4.049207e-06,4.060329e-06,4.076289e-06,4.080069e-06,4.097753e-06,4.099744e-06,4.113515e-06,4.119873e-06,4.127478e-06,4.136960e-06,4.139760e-06,4.150469e-06,4.151261e-06,4.159708e-06,4.163015e-06,4.167575e-06,4.172441e-06,4.174160e-06,4.179548e-06,4.179740e-06,4.183818e-06,4.185096e-06,4.187044e-06,4.188678e-06,4.189297e-06,4.190641e-06,4.191138e-06,4.191128e-06,4.190845e-06,4.190267e-06,4.189815e-06,4.188180e-06,4.188099e-06,4.185743e-06,4.184975e-06,4.182793e-06,4.180754e-06,4.179288e-06,4.175608e-06,4.175268e-06,4.170769e-06,4.169622e-06,4.165825e-06,4.162874e-06,4.160468e-06,4.155437e-06,4.154728e-06,4.148634e-06,4.147374e-06,4.142210e-06,4.138749e-06,4.135483e-06,4.129615e-06,4.128475e-06,4.121209e-06,4.120024e-06,4.113704e-06,4.110023e-06,4.105981e-06,4.099657e-06,4.098057e-06,4.089950e-06,4.088965e-06,4.081675e-06,4.077985e-06,4.073247e-06,4.066750e-06,4.064682e-06,4.055992e-06,4.055292e-06,4.047190e-06,4.043640e-06,4.038287e-06,4.031822e-06,4.029296e-06,4.020225e-06,4.019861e-06,4.011086e-06,4.007781e-06,4.001888e-06,3.995604e-06,3.992639e-06,3.983348e-06,3.971032e-06,3.958673e-06,3.946286e-06,3.933885e-06,3.921484e-06,3.909094e-06,3.896727e-06,3.884393e-06,3.872102e-06,3.859863e-06,3.847683e-06,3.835571e-06,3.823532e-06,3.811573e-06,3.799701e-06,3.787919e-06,3.776234e-06,3.764649e-06,3.753168e-06,3.741794e-06,3.730532e-06,3.719384e-06,3.708352e-06,3.697440e-06
0.000000e+00,5.932770e-13,3.875478e-12,6.174667e-11,3.785223e-10,8.614962e-10,4.973212e-09,5.294052e-09,2.080646e-08,2.888844e-08,6.175821e-08,1.077639e-07,1.513001e-07,3.049225e-07,3.225975e-07,6.194097e-07,7.151356e-07,1.095963e-06,1.464704e-06,1.815773e-06,2.706021e-06,2.848950e-06,4.267926e-06,4.604252e-06,6.142332e-06,7.317985e-06,8.534071e-06,1.098013e-05,1.149345e-05,1.505681e-05,1.568463e-05,1.924547e-05,2.148059e-05,2.406594e-05,2.837269e-05,2.951083e-05,3.556024e-05,3.632543e-05,4.218341e-05,4.526937e-05,4.934040e-05,5.510777e-05,5.698377e-05,6.506020e-05,6.572332e-05,7.351197e-05,7.698426e-05,8.227845e-05,8.875025e-05,9.129737e-05,1.005061e-04,1.008775e-04,1.098427e-04,1.132235e-04,1.192471e-04,1.256512e-04,1.286616e-04,1.380322e-04,1.473084e-04,1.502493e-04,1.564444e-04,1.621986e-04,1.653989e-04,1.737907e-04,1.741356e-04,1.826229e-04,1.849510e-04,1.908343e-04,1.956193e-04,1.987476e-04,2.057497e-04,2.063456e-04,2.136148e-04,2.153094e-04,2.205460e-04,2.242775e-04,2.271332e-04,2.326433e-04,2.333739e-04,2.392680e-04,2.404055e-04,2.448183e-04,2.475700e-04,2.500293e-04,2.541491e-04,2.549076e-04,2.594610e-04,2.601600e-04,2.636988e-04,2.656236e-04,2.676308e-04,2.705635e-04,2.712679e-04,2.746213e-04,2.750052e-04,2.777027e-04,2.789754e-04,2.805238e-04,2.825011e-04,2.830965e-04,2.854326e-04,2.856096e-04,2.875438e-04,2.883279e-04,2.894415e-04,2.906820e-04,2.911370e-04,2.926411e-04,2.926974e-04,2.939643e-04,2.943984e-04,2.951169e-04,2.958082e-04,2.961086e-04,2.969487e-04,2.976463e-04,2.978408e-04,2.982099e-04,2.985040e-04,2.986476e-04,2.989567e-04,2.989673e-04,2.991764e-04,2.992160e-04,2.992817e-04,2.992980e-04,2.992901e-04,2.992175e-04,2.992077e-04,2.990405e-04,2.989884e-04,2.987942e-04,2.986237e-04,2.984741e-04,2.981353e-04,2.980852e-04,2.976323e-04,2.975344e-04,2.971198e-04,2.968312e-04,2.965520e-04,2.960352e-04,2.959329e-04,2.952661e-04,2.951553e-04,2.945554e-04,2.941995e-04,2.938039e-04,2.931755e-04,2.930149e-04,2.921913e-04,2.920903e-04,2.913359e-04,2.909501e-04,2.904513e-04,2.897610e-04,2.895400e-04,2.886043e-04,2.885285e-04,2.876465e-04,2.872576e-04,2.866685e-04,2.859529e-04,2.856723e-04,2.846597e-04,2.846189e-04,2.836325e-04,2.832594e-04,2.825922e-04,2.818781e-04,2.815403e-04,2.804784e-04,2.790633e-04,2.776358e-04,2.761984e-04,2.747536e-04,2.733037e-04,2.718505e-04,2.703961e-04,2.689420e-04,2.674900e-04,2.660414e-04,2.645976e-04,2.631597e-04,2.617289e-04,2.603061e-04,2.588923e-04,2.574882e-04,2.560947e-04,2.547124e-04,2.533419e-04,2.519838e-04,2.506385e-04,2.493065e-04,2.479881e-04,2.466837e-04
0.000000e+00,2.155886e-11,5.570722e-11,2.162394e-10,5.175370e-10,7.676821e-10,1.781498e-09,1.835984e-09,3.563256e-09,4.182847e-09,6.078890e-09,8.016912e-09,9.502667e-09,1.354816e-08,1.394304e-08,1.948583e-08,2.098579e-08,2.616813e-08,3.039476e-08,3.394344e-08,4.157782e-08,4.266839e-08,5.213570e-08,5.409876e-08,6.212712e-08,6.746348e-08,7.244657e-08,8.124625e-08,8.292820e-08,9.343302e-08,9.510784e-08,1.038438e-07,1.087778e-07,1.140615e-07,1.220406e-07,1.240035e-07,1.336018e-07,1.347278e-07,1.428025e-07,1.467139e-07,1.515646e-07,1.579122e-07,1.598590e-07,1.676672e-07,1.682706e-07,1.749800e-07,1.777659e-07,1.817962e-07,1.863990e-07,1.881209e-07,1.939647e-07,1.941886e-07,1.993424e-07,2.011676e-07,2.042717e-07,2.073777e-07,2.087728e-07,2.128670e-07,2.165769e-07,2.176866e-07,2.199250e-07,2.218885e-07,2.229341e-07,2.255244e-07,2.256262e-07,2.280232e-07,2.286443e-07,2.301457e-07,2.312959e-07,2.320138e-07,2.335240e-07,2.336464e-07,2.350613e-07,2.353704e-07,2.362754e-07,2.368736e-07,2.373046e-07,2.380691e-07,2.381637e-07,2.388665e-07,2.389895e-07,2.394260e-07,2.396643e-07,2.398541e-07,2.401204e-07,2.401620e-07,2.403599e-07,2.403820e-07,2.404574e-07,2.404712e-07,2.404635e-07,2.404079e-07,2.403862e-07,2.402330e-07,2.402099e-07,2.400111e-07,2.398933e-07,2.397268e-07,2.394727e-07,2.393860e-07,2.389943e-07,2.389609e-07,2.385567e-07,2.383698e-07,2.380778e-07,2.377098e-07,2.375619e-07,2.370130e-07,2.369904e-07,2.364347e-07,2.362199e-07,2.358303e-07,2.354061e-07,2.352030e-07,2.345556e-07,2.338907e-07,2.336747e-07,2.332107e-07,2.327686e-07,2.325178e-07,2.318423e-07,2.318140e-07,2.311012e-07,2.309003e-07,2.303812e-07,2.299463e-07,2.296554e-07,2.289838e-07,2.289253e-07,2.281923e-07,2.280161e-07,2.274575e-07,2.270457e-07,2.267222e-07,2.260753e-07,2.259872e-07,2.252535e-07,2.251070e-07,2.245220e-07,2.241427e-07,2.237934e-07,2.231842e-07,2.230685e-07,2.223478e-07,2.222330e-07,2.216320e-07,2.212903e-07,2.209216e-07,2.203575e-07,2.202171e-07,2.195188e-07,2.194354e-07,2.188272e-07,2.185251e-07,2.181426e-07,2.176272e-07,2.174653e-07,2.167956e-07,2.167424e-07,2.161338e-07,2.158713e-07,2.154800e-07,2.150143e-07,2.148344e-07,2.141973e-07,2.141719e-07,2.135686e-07,2.133444e-07,2.129486e-07,2.125320e-07,2.123374e-07,2.117349e-07,2.109533e-07,2.101873e-07,2.094369e-07,2.087022e-07,2.079830e-07,2.072795e-07,2.065915e-07,2.059188e-07,2.052615e-07,2.046193e-07,2.039921e-07,2.033797e-07,2.027820e-07,2.021988e-07,2.016297e-07,2.010747e-07,2.005335e-07,2.000059e-07,1.994917e-07,1.989905e-07,1.985022e-07,1.980266e-07,1.975633e-07,1.971121e-07
0.000000e+00,9.307459e-12,5.175683e-11,5.968944e-10,2.762174e-09,5.417832e-09,2.171385e-08,2.278783e-08,6.422260e-08,8.187230e-08,1.425773e-07,2.128686e-07,2.712607e-07,4.460710e-07,4.642076e-07,7.355502e-07,8.137987e-07,1.097678e-06,1.343043e-06,1.557537e-06,2.042147e-06,2.113732e-06,2.757189e-06,2.895211e-06,3.474589e-06,3.872139e-06,4.251814e-06,4.941351e-06,5.075852e-06,5.935244e-06,6.075336e-06,6.819866e-06,7.250725e-06,7.720546e-06,8.446925e-06,8.628790e-06,9.536652e-06,9.645212e-06,1.043673e-05,1.082853e-05,1.132225e-05,1.198173e-05,1.218711e-05,1.302599e-05,1.309184e-05,1.383438e-05,1.414834e-05,1.460860e-05,1.514327e-05,1.534583e-05,1.604401e-05,1.607110e-05,1.670182e-05,1.692861e-05,1.731862e-05,1.771457e-05,1.789434e-05,1.842939e-05,1.892460e-05,1.907483e-05,1.938112e-05,1.965364e-05,1.980037e-05,2.016925e-05,2.018393e-05,2.053353e-05,2.062558e-05,2.085097e-05,2.102675e-05,2.113808e-05,2.137702e-05,2.139670e-05,2.162865e-05,2.168054e-05,2.183569e-05,2.194140e-05,2.201954e-05,2.216345e-05,2.218184e-05,2.232415e-05,2.235034e-05,2.244793e-05,2.250544e-05,2.255458e-05,2.263187e-05,2.264539e-05,2.272158e-05,2.273249e-05,2.278428e-05,2.280989e-05,2.283454e-05,2.286645e-05,2.287333e-05,2.290156e-05,2.290428e-05,2.292006e-05,2.292532e-05,2.292961e-05,2.293131e-05,2.293091e-05,2.292463e-05,2.292381e-05,2.291137e-05,2.290423e-05,2.289169e-05,2.287384e-05,2.286611e-05,2.283510e-05,2.283376e-05,2.279912e-05,2.278502e-05,2.275855e-05,2.272855e-05,2.271379e-05,2.266517e-05,2.261301e-05,2.259563e-05,2.255763e-05,2.252061e-05,2.249927e-05,2.244071e-05,2.243822e-05,2.237469e-05,2.235648e-05,2.230890e-05,2.226844e-05,2.224107e-05,2.217702e-05,2.217138e-05,2.209999e-05,2.208263e-05,2.202709e-05,2.198565e-05,2.195281e-05,2.188642e-05,2.187730e-05,2.180069e-05,2.178525e-05,2.172310e-05,2.168240e-05,2.164465e-05,2.157815e-05,2.156543e-05,2.148556e-05,2.147273e-05,2.140512e-05,2.136634e-05,2.132421e-05,2.125918e-05,2.124289e-05,2.116124e-05,2.115143e-05,2.107935e-05,2.104325e-05,2.099726e-05,2.093478e-05,2.091504e-05,2.083276e-05,2.082618e-05,2.075046e-05,2.071755e-05,2.066819e-05,2.060901e-05,2.058601e-05,2.050395e-05,2.050067e-05,2.042205e-05,2.039262e-05,2.034036e-05,2.028494e-05,2.025891e-05,2.017773e-05,2.007104e-05,1.996495e-05,1.985952e-05,1.975479e-05,1.965083e-05,1.954767e-05,1.944536e-05,1.934393e-05,1.924341e-05,1.914385e-05,1.904525e-05,1.894765e-05,1.885106e-05,1.875551e-05,1.866101e-05,1.856757e-05,1.847521e-05,1.838393e-05,1.829375e-05,1.820467e-05,1.811669e-05,1.802982e-05,1.794406e-05,1.785941e-05
0.000000e+00,4.273783e-13,2.895636e-12,4.980357e-11,3.276372e-10,7.753975e-10,4.956315e-09,5.298120e-09,2.306526e-08,3.293220e-08,7.553948e-08,1.395524e-07,2.033603e-07,4.453338e-07,4.744830e-07,9.927824e-07,1.169382e-06,1.906550e-06,2.663348e-06,3.416100e-06,5.440787e-06,5.779441e-06,9.314997e-06,1.019503e-05,1.440084e-05,1.780002e-05,2.147041e-05,2.929289e-05,3.100515e-05,4.352468e-05,4.584102e-05,5.957515e-05,6.869780e-05,7.971644e-05,9.915164e-05,1.045087e-04,1.344990e-04,1.384722e-04,1.702081e-04,1.878577e-04,2.121182e-04,2.483855e-04,2.606621e-04,3.162133e-04,3.209698e-04,3.790778e-04,4.063260e-04,4.494882e-04,5.049458e-04,5.275987e-04,6.134834e-04,6.170807e-04,7.071347e-04,7.427359e-04,8.084645e-04,8.816731e-04,9.173068e-04,1.033422e-03,1.156501e-03,1.197298e-03,1.286173e-03,1.372428e-03,1.422011e-03,1.557774e-03,1.563538e-03,1.710240e-03,1.752169e-03,1.861566e-03,1.954344e-03,2.016943e-03,2.162961e-03,2.175781e-03,2.337479e-03,2.376645e-03,2.501433e-03,2.594009e-03,2.667043e-03,2.813682e-03,2.833720e-03,3.000888e-03,3.034331e-03,3.167990e-03,3.254680e-03,3.334495e-03,3.473525e-03,3.499895e-03,3.663715e-03,3.689749e-03,3.825509e-03,3.902328e-03,3.984865e-03,4.110340e-03,4.141405e-03,4.294786e-03,4.312964e-03,4.444698e-03,4.509488e-03,4.590867e-03,4.699302e-03,4.733051e-03,4.871044e-03,4.881897e-03,5.004670e-03,5.056863e-03,5.133782e-03,5.223881e-03,5.258264e-03,5.378027e-03,5.382719e-03,5.493008e-03,5.533222e-03,5.603167e-03,5.675312e-03,5.708487e-03,5.808971e-03,5.904641e-03,5.934245e-03,5.995536e-03,6.051226e-03,6.081709e-03,6.160055e-03,6.163227e-03,6.240171e-03,6.260908e-03,6.312630e-03,6.353994e-03,6.380704e-03,6.439550e-03,6.444499e-03,6.504128e-03,6.517832e-03,6.559710e-03,6.589115e-03,6.611369e-03,6.653684e-03,6.659231e-03,6.703423e-03,6.711833e-03,6.744077e-03,6.763861e-03,6.781323e-03,6.810071e-03,6.815292e-03,6.846115e-03,6.850764e-03,6.873922e-03,6.886236e-03,6.898842e-03,6.916783e-03,6.921000e-03,6.940522e-03,6.942693e-03,6.957528e-03,6.964245e-03,6.972138e-03,6.981711e-03,6.984469e-03,6.994632e-03,6.995355e-03,7.002738e-03,7.005428e-03,7.008892e-03,7.012173e-03,7.013199e-03,7.015756e-03,7.015823e-03,7.016659e-03,7.016598e-03,7.016002e-03,7.014709e-03,7.013872e-03,7.010355e-03,7.003726e-03,6.995001e-03,6.984347e-03,6.971924e-03,6.957881e-03,6.942358e-03,6.925487e-03,6.907391e-03,6.888186e-03,6.867979e-03,6.846871e-03,6.824956e-03,6.802321e-03,6.779048e-03,6.755212e-03,6.730883e-03,6.706126e-03,6.681002e-03,6.655568e-03,6.629874e-03,6.603969e-03,6.577898e-03,6.551701e-03,6.525417e-03
0.000000e+00,5.697214e-13,3.869737e-12,6.693049e-11,4.426090e-10,1.050531e-09,6.766306e-09,7.235207e-09,3.174412e-08,4.542129e-08,1.047591e-07,1.944085e-07,2.841450e-07,6.264857e-07,6.678841e-07,1.407675e-06,1.660968e-06,2.722970e-06,3.819292e-06,4.914409e-06,7.877450e-06,8.375116e-06,1.359807e-05,1.490471e-05,2.117819e-05,2.627784e-05,3.180870e-05,4.366580e-05,4.627208e-05,6.542647e-05,6.898709e-05,9.018844e-05,1.043456e-04,1.215132e-04,1.519518e-04,1.603734e-04,2.077368e-04,2.140369e-04,2.645447e-04,2.927647e-04,3.316908e-04,3.901473e-04,4.100012e-04,5.002173e-04,5.079689e-04,6.029795e-04,6.477195e-04,7.188151e-04,8.105435e-04,8.481279e-04,9.911914e-04,9.972024e-04,1.148144e-03,1.208052e-03,1.318990e-03,1.443039e-03,1.503597e-03,1.701702e-03,1.912919e-03,1.983199e-03,2.136745e-03,2.286332e-03,2.372568e-03,2.609590e-03,2.619682e-03,2.877295e-03,2.951192e-03,3.144542e-03,3.309134e-03,3.420501e-03,3.681244e-03,3.704201e-03,3.994637e-03,4.065230e-03,4.290780e-03,4.458728e-03,4.591595e-03,4.859350e-03,4.896041e-03,5.203092e-03,5.264725e-03,5.511738e-03,5.672537e-03,5.820997e-03,6.080554e-03,6.129922e-03,6.437605e-03,6.486661e-03,6.743186e-03,6.888877e-03,7.045850e-03,7.285371e-03,7.344840e-03,7.639451e-03,7.674478e-03,7.929035e-03,8.054705e-03,8.213003e-03,8.424733e-03,8.490823e-03,8.762020e-03,8.783417e-03,9.026177e-03,9.129785e-03,9.282930e-03,9.463032e-03,9.531970e-03,9.773040e-03,9.782513e-03,1.000593e-02,1.008773e-02,1.023047e-02,1.037833e-02,1.044655e-02,1.065409e-02,1.085305e-02,1.091491e-02,1.104343e-02,1.116077e-02,1.122524e-02,1.139178e-02,1.139855e-02,1.156344e-02,1.160812e-02,1.172002e-02,1.181003e-02,1.186841e-02,1.199783e-02,1.200877e-02,1.214125e-02,1.217190e-02,1.226604e-02,1.233263e-02,1.238333e-02,1.248049e-02,1.249331e-02,1.259619e-02,1.261594e-02,1.269220e-02,1.273947e-02,1.278154e-02,1.285161e-02,1.286445e-02,1.294116e-02,1.295287e-02,1.301188e-02,1.304376e-02,1.307684e-02,1.312482e-02,1.313628e-02,1.319041e-02,1.319656e-02,1.323947e-02,1.325950e-02,1.328366e-02,1.331412e-02,1.332320e-02,1.335830e-02,1.336092e-02,1.338917e-02,1.340038e-02,1.341602e-02,1.343296e-02,1.343902e-02,1.345839e-02,1.345909e-02,1.347429e-02,1.347921e-02,1.348691e-02,1.349371e-02,1.349643e-02,1.350300e-02,1.350744e-02,1.350739e-02,1.350317e-02,1.349512e-02,1.348352e-02,1.346866e-02,1.345080e-02,1.343021e-02,1.340711e-02,1.338172e-02,1.335425e-02,1.332490e-02,1.329384e-02,1.326125e-02,1.322728e-02,1.319208e-02,1.315578e-02,1.311853e-02,1.308042e-02,1.304158e-02,1.300210e-02,1.296208e-02,1.292161e-02,1.288078e-02
0.000000e+00,3.422578e-11,8.288234e-11,3.026699e-10,7.089995e-10,1.046241e-09,2.426234e-09,2.501111e-09,4.913603e-09,5.796966e-09,8.556295e-09,1.145922e-08,1.373697e-08,2.013949e-08,2.077817e-08,2.993590e-08,3.246189e-08,4.128681e-08,4.856187e-08,5.471081e-08,6.806829e-08,6.999285e-08,8.691724e-08,9.048228e-08,1.052974e-07,1.153760e-07,1.249714e-07,1.423883e-07,1.457903e-07,1.676099e-07,1.711843e-07,1.902864e-07,2.014331e-07,2.136755e-07,2.328026e-07,2.376326e-07,2.620156e-07,2.649635e-07,2.866858e-07,2.975975e-07,3.115114e-07,3.304059e-07,3.363681e-07,3.611417e-07,3.631169e-07,3.857285e-07,3.954898e-07,4.100357e-07,4.273176e-07,4.339818e-07,4.574965e-07,4.584273e-07,4.805200e-07,4.886784e-07,5.030026e-07,5.179607e-07,5.249037e-07,5.461915e-07,5.668416e-07,5.733120e-07,5.868365e-07,5.992837e-07,6.061643e-07,6.240856e-07,6.248188e-07,6.427977e-07,6.477109e-07,6.601028e-07,6.701643e-07,6.767389e-07,6.914598e-07,6.927137e-07,7.080368e-07,7.116186e-07,7.227198e-07,7.306674e-07,7.367756e-07,7.486373e-07,7.502186e-07,7.630638e-07,7.655625e-07,7.753269e-07,7.814789e-07,7.870237e-07,7.964234e-07,7.981707e-07,8.087842e-07,8.104340e-07,8.188810e-07,8.235487e-07,8.284775e-07,8.358055e-07,8.375901e-07,8.462351e-07,8.472419e-07,8.544285e-07,8.578945e-07,8.621859e-07,8.677995e-07,8.695228e-07,8.764544e-07,8.769918e-07,8.829953e-07,8.855056e-07,8.891601e-07,8.933738e-07,8.949628e-07,9.004170e-07,9.006281e-07,9.055360e-07,9.072993e-07,9.103328e-07,9.134170e-07,9.148199e-07,9.190094e-07,9.229131e-07,9.241038e-07,9.265425e-07,9.287264e-07,9.299085e-07,9.329021e-07,9.330219e-07,9.358930e-07,9.366549e-07,9.385319e-07,9.400077e-07,9.409481e-07,9.429824e-07,9.431510e-07,9.451496e-07,9.455998e-07,9.469526e-07,9.478799e-07,9.485684e-07,9.498419e-07,9.500051e-07,9.512705e-07,9.515037e-07,9.523721e-07,9.528827e-07,9.533172e-07,9.539953e-07,9.541129e-07,9.547657e-07,9.548574e-07,9.552823e-07,9.554837e-07,9.556689e-07,9.558886e-07,9.559315e-07,9.560759e-07,9.560855e-07,9.561076e-07,9.560873e-07,9.560321e-07,9.559062e-07,9.558546e-07,9.555799e-07,9.555539e-07,9.552129e-07,9.550413e-07,9.547582e-07,9.543790e-07,9.542202e-07,9.536031e-07,9.535768e-07,9.529110e-07,9.526443e-07,9.521479e-07,9.515904e-07,9.513176e-07,9.504236e-07,9.491519e-07,9.477830e-07,9.463241e-07,9.447822e-07,9.431636e-07,9.414746e-07,9.397209e-07,9.379081e-07,9.360414e-07,9.341257e-07,9.321656e-07,9.301656e-07,9.281299e-07,9.260623e-07,9.239665e-07,9.218461e-07,9.197043e-07,9.175443e-07,9.153690e-07,9.131811e-07,9.109833e-07,9.087779e-07,9.065672e-07,9.043535e-07
0.000000e+00,8.113289e-12,1.871032e-11,6.469071e-11,1.472745e-10,2.147855e-10,4.864100e-10,5.010057e-10,9.664767e-10,1.135143e-09,1.657630e-09,2.201529e-09,2.624755e-09,3.799102e-09,3.915032e-09,5.553099e-09,5.997115e-09,7.523795e-09,8.756528e-09,9.782663e-09,1.196949e-08,1.228034e-08,1.497437e-08,1.553352e-08,1.782929e-08,1.936696e-08,2.081386e-08,2.339974e-08,2.389894e-08,2.705644e-08,2.756653e-08,3.025916e-08,3.180481e-08,3.348098e-08,3.605554e-08,3.669722e-08,3.988506e-08,4.026469e-08,4.302391e-08,4.438471e-08,4.609562e-08,4.837554e-08,4.908462e-08,5.197796e-08,5.220496e-08,5.476518e-08,5.584848e-08,5.743825e-08,5.928880e-08,5.999130e-08,6.242044e-08,6.251499e-08,6.472350e-08,6.552157e-08,6.689981e-08,6.830755e-08,6.894995e-08,7.087555e-08,7.267907e-08,7.323091e-08,7.436366e-08,7.538105e-08,7.593297e-08,7.733480e-08,7.739104e-08,7.874216e-08,7.910192e-08,7.999082e-08,8.069273e-08,8.114158e-08,8.211778e-08,8.219905e-08,8.316780e-08,8.338761e-08,8.405236e-08,8.451258e-08,8.485714e-08,8.550277e-08,8.558644e-08,8.624444e-08,8.636784e-08,8.683516e-08,8.711703e-08,8.736245e-08,8.775907e-08,8.783002e-08,8.824142e-08,8.830226e-08,8.860002e-08,8.875435e-08,8.890905e-08,8.912263e-08,8.917155e-08,8.939043e-08,8.941390e-08,8.956845e-08,8.963451e-08,8.970821e-08,8.979036e-08,8.981218e-08,8.988270e-08,8.988696e-08,8.992198e-08,8.992941e-08,8.993209e-08,8.992242e-08,8.991501e-08,8.987260e-08,8.987040e-08,8.980660e-08,8.977739e-08,8.971868e-08,8.964716e-08,8.961038e-08,8.948318e-08,8.933846e-08,8.928866e-08,8.917751e-08,8.906657e-08,8.900158e-08,8.881965e-08,8.881180e-08,8.860927e-08,8.855042e-08,8.839501e-08,8.826123e-08,8.816998e-08,8.795422e-08,8.793508e-08,8.769117e-08,8.763137e-08,8.743903e-08,8.729453e-08,8.717943e-08,8.694537e-08,8.691307e-08,8.664061e-08,8.658544e-08,8.636266e-08,8.621617e-08,8.607983e-08,8.583887e-08,8.579265e-08,8.550164e-08,8.545475e-08,8.520728e-08,8.506493e-08,8.491002e-08,8.467042e-08,8.461029e-08,8.430849e-08,8.427215e-08,8.400498e-08,8.387098e-08,8.370012e-08,8.346772e-08,8.339422e-08,8.308761e-08,8.306306e-08,8.278056e-08,8.265767e-08,8.247333e-08,8.225216e-08,8.216618e-08,8.185934e-08,8.184708e-08,8.155302e-08,8.144292e-08,8.124743e-08,8.104014e-08,8.094275e-08,8.063916e-08,8.024035e-08,7.984405e-08,7.945059e-08,7.906022e-08,7.867321e-08,7.828978e-08,7.791013e-08,7.753444e-08,7.716286e-08,7.679555e-08,7.643261e-08,7.607416e-08,7.572029e-08,7.537108e-08,7.502658e-08,7.468687e-08,7.435197e-08,7.402193e-08,7.369676e-08,7.337649e-08,7.306112e-08,7.275065e-08,7.244508e-08,7.214440e-08
0.000000e+00,3.728349e-12,8.540617e-12,2.937475e-11,6.682539e-11,9.749356e-11,2.212950e-10,2.279633e-10,4.412704e-10,5.188185e-10,7.596494e-10,1.010933e-09,1.206541e-09,1.747606e-09,1.800784e-09,2.546658e-09,2.747237e-09,3.433747e-09,3.986686e-09,4.447417e-09,5.433916e-09,5.574839e-09,6.805013e-09,7.062459e-09,8.127463e-09,8.848045e-09,9.531392e-09,1.076531e-08,1.100537e-08,1.253737e-08,1.278704e-08,1.411500e-08,1.488481e-08,1.572582e-08,1.703018e-08,1.735766e-08,1.899889e-08,1.919594e-08,2.063867e-08,2.135713e-08,2.226712e-08,2.349171e-08,2.387544e-08,2.545593e-08,2.558097e-08,2.700203e-08,2.760958e-08,2.850827e-08,2.956555e-08,2.997020e-08,3.138433e-08,3.143986e-08,3.274802e-08,3.322622e-08,3.405939e-08,3.492058e-08,3.531721e-08,3.652083e-08,3.767009e-08,3.802640e-08,3.876523e-08,3.943796e-08,3.980681e-08,4.075712e-08,4.079568e-08,4.173289e-08,4.198621e-08,4.261966e-08,4.312808e-08,4.345736e-08,4.418594e-08,4.424743e-08,4.499139e-08,4.516326e-08,4.569081e-08,4.606362e-08,4.634727e-08,4.689068e-08,4.696237e-08,4.753769e-08,4.764812e-08,4.807482e-08,4.833956e-08,4.857532e-08,4.896854e-08,4.904071e-08,4.947248e-08,4.953854e-08,4.987208e-08,5.005289e-08,5.024095e-08,5.051484e-08,5.058045e-08,5.089192e-08,5.092747e-08,5.117663e-08,5.129376e-08,5.143585e-08,5.161653e-08,5.167076e-08,5.188252e-08,5.189849e-08,5.207224e-08,5.214220e-08,5.224100e-08,5.235011e-08,5.238983e-08,5.251970e-08,5.252451e-08,5.263157e-08,5.266761e-08,5.272635e-08,5.278148e-08,5.280490e-08,5.286808e-08,5.291666e-08,5.292925e-08,5.295143e-08,5.296676e-08,5.297310e-08,5.298225e-08,5.298240e-08,5.297997e-08,5.297728e-08,5.296648e-08,5.295332e-08,5.294253e-08,5.291175e-08,5.290870e-08,5.286556e-08,5.285388e-08,5.281364e-08,5.278092e-08,5.275345e-08,5.269404e-08,5.268549e-08,5.261020e-08,5.259431e-08,5.252805e-08,5.248276e-08,5.243945e-08,5.236034e-08,5.234481e-08,5.224451e-08,5.222796e-08,5.213891e-08,5.208645e-08,5.202838e-08,5.193662e-08,5.191324e-08,5.179381e-08,5.177920e-08,5.167039e-08,5.161490e-08,5.154327e-08,5.144436e-08,5.141273e-08,5.127902e-08,5.126820e-08,5.114240e-08,5.108699e-08,5.100311e-08,5.090128e-08,5.086136e-08,5.071736e-08,5.071156e-08,5.057134e-08,5.051831e-08,5.042347e-08,5.032196e-08,5.027394e-08,5.012292e-08,4.992158e-08,4.971831e-08,4.951342e-08,4.930724e-08,4.910005e-08,4.889213e-08,4.868372e-08,4.847507e-08,4.826638e-08,4.805786e-08,4.784970e-08,4.764207e-08,4.743513e-08,4.722903e-08,4.702391e-08,4.681988e-08,4.661708e-08,4.641559e-08,4.621553e-08,4.601699e-08,4.582003e-08,4.562474e-08,4.543119e-08,4.523943e-08
0.000000e+00,7.049369e-11,1.679923e-10,6.029261e-10,1.400640e-09,2.060489e-09,4.754117e-09,4.900159e-09,9.606289e-09,1.133068e-08,1.672192e-08,2.239860e-08,2.685222e-08,3.933468e-08,4.057474e-08,5.819496e-08,6.299390e-08,7.953854e-08,9.293323e-08,1.041017e-07,1.279547e-07,1.313509e-07,1.608458e-07,1.669816e-07,1.922259e-07,2.091824e-07,2.251742e-07,2.538443e-07,2.593927e-07,2.945932e-07,3.002976e-07,3.304955e-07,3.478983e-07,3.668303e-07,3.960383e-07,4.033437e-07,4.398006e-07,4.441613e-07,4.759887e-07,4.917768e-07,5.117195e-07,5.384681e-07,5.468303e-07,5.811820e-07,5.838938e-07,6.146599e-07,6.277851e-07,6.471716e-07,6.699398e-07,6.786437e-07,7.090208e-07,7.102126e-07,7.382637e-07,7.485081e-07,7.663463e-07,7.847720e-07,7.932543e-07,8.189830e-07,8.435362e-07,8.511464e-07,8.669241e-07,8.812879e-07,8.891625e-07,9.094488e-07,9.102718e-07,9.302755e-07,9.356820e-07,9.492004e-07,9.600493e-07,9.670751e-07,9.826182e-07,9.839297e-07,9.997953e-07,1.003459e-06,1.014704e-06,1.022646e-06,1.028687e-06,1.040253e-06,1.041777e-06,1.054008e-06,1.056353e-06,1.065409e-06,1.071021e-06,1.076014e-06,1.084329e-06,1.085853e-06,1.094957e-06,1.096347e-06,1.103355e-06,1.107145e-06,1.111078e-06,1.116789e-06,1.118154e-06,1.124610e-06,1.125344e-06,1.130473e-06,1.132872e-06,1.135771e-06,1.139434e-06,1.140527e-06,1.144768e-06,1.145086e-06,1.148517e-06,1.149884e-06,1.151796e-06,1.153880e-06,1.154629e-06,1.157037e-06,1.157125e-06,1.159041e-06,1.159668e-06,1.160661e-06,1.161553e-06,1.161916e-06,1.162825e-06,1.163405e-06,1.163525e-06,1.163675e-06,1.163692e-06,1.163650e-06,1.163365e-06,1.163347e-06,1.162781e-06,1.162578e-06,1.161967e-06,1.161365e-06,1.160918e-06,1.159759e-06,1.159649e-06,1.158172e-06,1.157789e-06,1.156500e-06,1.155483e-06,1.154645e-06,1.152870e-06,1.152618e-06,1.150430e-06,1.149974e-06,1.148092e-06,1.146820e-06,1.145613e-06,1.143429e-06,1.143003e-06,1.140272e-06,1.139824e-06,1.137428e-06,1.136025e-06,1.134479e-06,1.132050e-06,1.131434e-06,1.128299e-06,1.127918e-06,1.125083e-06,1.123644e-06,1.121792e-06,1.119245e-06,1.118433e-06,1.115011e-06,1.114735e-06,1.111534e-06,1.110129e-06,1.108006e-06,1.105438e-06,1.104433e-06,1.100821e-06,1.100675e-06,1.097173e-06,1.095852e-06,1.093495e-06,1.090979e-06,1.089791e-06,1.086066e-06,1.081121e-06,1.076154e-06,1.071172e-06,1.066183e-06,1.061193e-06,1.056210e-06,1.051238e-06,1.046283e-06,1.041350e-06,1.036444e-06,1.031568e-06,1.026727e-06,1.021925e-06,1.017164e-06,1.012447e-06,1.007777e-06,1.003157e-06,9.985880e-07,9.940725e-07,9.896120e-07,9.852081e-07,9.808621e-07,9.765751e-07,9.723482e-07
0.000000e+00,3.047444e-12,6.999778e-12,2.417163e-11,5.521387e-11,8.078593e-11,1.853232e-10,1.910112e-10,3.758427e-10,4.443491e-10,6.611954e-10,8.936780e-10,1.078912e-09,1.611106e-09,1.665035e-09,2.452557e-09,2.673892e-09,3.457612e-09,4.111866e-09,4.667272e-09,5.870793e-09,6.043100e-09,7.538255e-09,7.847804e-09,9.111516e-09,9.949701e-09,1.073153e-08,1.211159e-08,1.237548e-08,1.402646e-08,1.429035e-08,1.567145e-08,1.645577e-08,1.729999e-08,1.858509e-08,1.890339e-08,2.047434e-08,2.066037e-08,2.200667e-08,2.266729e-08,2.349524e-08,2.459472e-08,2.493592e-08,2.632539e-08,2.643425e-08,2.766114e-08,2.817998e-08,2.894142e-08,2.982825e-08,3.016515e-08,3.133183e-08,3.137730e-08,3.244144e-08,3.282700e-08,3.349442e-08,3.417850e-08,3.449157e-08,3.543395e-08,3.632287e-08,3.659628e-08,3.715984e-08,3.766898e-08,3.794649e-08,3.865591e-08,3.868452e-08,3.937573e-08,3.956113e-08,4.002194e-08,4.038883e-08,4.062498e-08,4.114322e-08,4.118667e-08,4.170884e-08,4.182847e-08,4.219325e-08,4.244869e-08,4.264166e-08,4.300782e-08,4.305576e-08,4.343720e-08,4.350971e-08,4.378757e-08,4.395800e-08,4.410842e-08,4.435620e-08,4.440123e-08,4.466742e-08,4.470763e-08,4.490837e-08,4.501545e-08,4.512539e-08,4.528263e-08,4.531975e-08,4.549263e-08,4.551199e-08,4.564521e-08,4.570619e-08,4.577856e-08,4.586771e-08,4.589375e-08,4.599178e-08,4.599891e-08,4.607360e-08,4.610199e-08,4.614012e-08,4.617902e-08,4.619220e-08,4.623068e-08,4.623195e-08,4.625634e-08,4.626258e-08,4.626992e-08,4.627263e-08,4.627214e-08,4.626368e-08,4.624517e-08,4.623723e-08,4.621724e-08,4.619468e-08,4.618045e-08,4.613732e-08,4.613537e-08,4.608251e-08,4.606638e-08,4.602237e-08,4.598300e-08,4.595543e-08,4.588823e-08,4.588214e-08,4.580292e-08,4.578307e-08,4.571818e-08,4.566845e-08,4.562829e-08,4.554523e-08,4.553363e-08,4.543453e-08,4.541421e-08,4.533133e-08,4.527615e-08,4.522434e-08,4.513175e-08,4.511384e-08,4.500012e-08,4.498165e-08,4.488344e-08,4.482646e-08,4.476406e-08,4.466675e-08,4.464219e-08,4.451808e-08,4.450305e-08,4.439194e-08,4.433584e-08,4.426395e-08,4.416557e-08,4.413432e-08,4.400322e-08,4.399267e-08,4.387082e-08,4.381754e-08,4.373729e-08,4.364052e-08,4.360276e-08,4.346740e-08,4.346197e-08,4.333133e-08,4.328219e-08,4.319467e-08,4.310148e-08,4.305756e-08,4.292009e-08,4.273829e-08,4.255630e-08,4.237433e-08,4.219258e-08,4.201123e-08,4.183044e-08,4.165037e-08,4.147116e-08,4.129293e-08,4.111580e-08,4.093989e-08,4.076528e-08,4.059208e-08,4.042035e-08,4.025017e-08,4.008161e-08,3.991473e-08,3.974958e-08,3.958620e-08,3.942465e-08,3.926495e-08,3.910714e-08,3.895125e-08,3.879729e-08
0.000000e+00,2.886940e-12,1.737650e-11,2.344566e-10,1.241172e-09,2.612186e-09,1.242874e-08,1.313091e-08,4.328306e-08,5.746964e-08,1.105280e-07,1.783066e-07,2.386401e-07,4.354973e-07,4.570327e-07,7.964158e-07,8.988420e-07,1.281665e-06,1.622952e-06,1.927245e-06,2.631731e-06,2.737653e-06,3.710690e-06,3.924350e-06,4.840716e-06,5.488044e-06,6.120626e-06,7.305877e-06,7.542599e-06,9.098129e-06,9.358795e-06,1.077782e-05,1.162515e-05,1.257122e-05,1.408008e-05,1.446677e-05,1.645198e-05,1.669561e-05,1.851364e-05,1.944150e-05,2.063818e-05,2.228649e-05,2.281197e-05,2.502163e-05,2.519957e-05,2.725437e-05,2.815120e-05,2.949814e-05,3.111421e-05,3.174183e-05,3.397538e-05,3.406438e-05,3.618981e-05,3.698078e-05,3.837724e-05,3.984575e-05,4.053086e-05,4.264489e-05,4.471448e-05,4.536669e-05,4.673567e-05,4.800233e-05,4.870528e-05,5.054525e-05,5.062081e-05,5.248039e-05,5.299085e-05,5.428268e-05,5.533618e-05,5.602680e-05,5.757960e-05,5.771227e-05,5.933893e-05,5.972059e-05,6.090692e-05,6.175950e-05,6.241661e-05,6.369735e-05,6.386856e-05,6.526350e-05,6.553573e-05,6.660231e-05,6.727662e-05,6.788594e-05,6.892233e-05,6.911546e-05,7.029200e-05,7.047540e-05,7.141672e-05,7.193855e-05,7.249086e-05,7.331459e-05,7.351566e-05,7.449240e-05,7.460644e-05,7.542234e-05,7.581703e-05,7.630679e-05,7.694933e-05,7.714702e-05,7.794432e-05,7.800629e-05,7.869997e-05,7.899085e-05,7.941522e-05,7.990589e-05,8.009133e-05,8.072953e-05,8.075428e-05,8.133103e-05,8.153882e-05,8.189703e-05,8.226223e-05,8.242870e-05,8.292719e-05,8.339364e-05,8.353632e-05,8.382915e-05,8.409213e-05,8.423479e-05,8.459710e-05,8.461163e-05,8.496070e-05,8.505360e-05,8.528300e-05,8.546394e-05,8.557952e-05,8.583037e-05,8.585121e-05,8.609902e-05,8.615504e-05,8.632383e-05,8.644002e-05,8.652655e-05,8.668735e-05,8.670803e-05,8.686910e-05,8.689894e-05,8.701058e-05,8.707667e-05,8.713325e-05,8.722232e-05,8.723788e-05,8.732522e-05,8.733764e-05,8.739598e-05,8.742427e-05,8.745087e-05,8.748380e-05,8.749055e-05,8.751570e-05,8.751777e-05,8.752693e-05,8.752763e-05,8.752488e-05,8.751479e-05,8.751013e-05,8.748326e-05,8.748060e-05,8.744483e-05,8.742634e-05,8.739538e-05,8.735325e-05,8.733544e-05,8.726550e-05,8.726250e-05,8.718605e-05,8.715522e-05,8.709757e-05,8.703248e-05,8.700052e-05,8.689532e-05,8.674471e-05,8.658159e-05,8.640684e-05,8.622133e-05,8.602586e-05,8.582120e-05,8.560808e-05,8.538721e-05,8.515924e-05,8.492480e-05,8.468449e-05,8.443889e-05,8.418852e-05,8.393391e-05,8.367552e-05,8.341383e-05,8.314925e-05,8.288222e-05,8.261310e-05,8.234226e-05,8.207006e-05,8.179681e-05,8.152283e-05,8.124839e-05
0.000000e+00,2.436940e-13,1.639759e-12,2.779494e-11,1.803878e-10,4.237039e-10,2.655366e-09,2.836193e-09,1.210445e-08,1.718900e-08,3.889254e-08,7.105900e-08,1.028038e-07,2.215167e-07,2.356910e-07,4.848839e-07,5.688707e-07,9.160210e-07,1.268106e-06,1.615058e-06,2.536212e-06,2.688876e-06,4.263870e-06,4.651301e-06,6.482165e-06,7.940141e-06,9.495625e-06,1.275428e-05,1.345834e-05,1.851853e-05,1.943925e-05,2.481074e-05,2.830306e-05,3.244911e-05,3.958940e-05,4.152203e-05,5.208858e-05,5.345859e-05,6.417657e-05,6.997744e-05,7.778225e-05,8.911754e-05,9.287128e-05,1.093810e-04,1.107607e-04,1.272234e-04,1.347096e-04,1.462889e-04,1.607025e-04,1.664501e-04,1.875663e-04,1.884287e-04,2.094870e-04,2.175456e-04,2.320566e-04,2.476940e-04,2.551172e-04,2.785124e-04,3.020899e-04,3.096491e-04,3.257037e-04,3.407717e-04,3.492163e-04,3.715747e-04,3.725002e-04,3.954386e-04,4.017849e-04,4.179265e-04,4.311638e-04,4.398709e-04,4.595097e-04,4.611906e-04,4.818168e-04,4.866572e-04,5.016919e-04,5.124762e-04,5.207697e-04,5.368696e-04,5.390140e-04,5.563986e-04,5.597707e-04,5.729062e-04,5.811401e-04,5.885273e-04,6.009623e-04,6.032599e-04,6.171083e-04,6.192426e-04,6.300824e-04,6.360036e-04,6.421970e-04,6.512825e-04,6.534711e-04,6.639268e-04,6.651276e-04,6.735892e-04,6.775964e-04,6.824857e-04,6.887526e-04,6.906453e-04,6.980983e-04,6.986649e-04,7.048756e-04,7.074045e-04,7.110089e-04,7.150439e-04,7.165298e-04,7.214699e-04,7.216559e-04,7.258604e-04,7.273123e-04,7.297318e-04,7.320833e-04,7.331142e-04,7.360365e-04,7.385270e-04,7.392372e-04,7.406127e-04,7.417472e-04,7.423197e-04,7.436254e-04,7.436730e-04,7.446962e-04,7.449266e-04,7.454120e-04,7.457029e-04,7.458418e-04,7.460023e-04,7.460061e-04,7.459240e-04,7.458697e-04,7.456138e-04,7.453469e-04,7.450927e-04,7.444724e-04,7.443767e-04,7.434811e-04,7.432817e-04,7.424202e-04,7.418076e-04,7.412072e-04,7.400799e-04,7.398546e-04,7.383742e-04,7.381262e-04,7.367769e-04,7.359716e-04,7.350728e-04,7.336391e-04,7.332715e-04,7.313819e-04,7.311496e-04,7.294123e-04,7.285223e-04,7.273704e-04,7.257747e-04,7.252634e-04,7.230981e-04,7.229225e-04,7.208805e-04,7.199802e-04,7.186167e-04,7.169610e-04,7.163118e-04,7.139710e-04,7.138767e-04,7.115989e-04,7.107381e-04,7.091998e-04,7.075552e-04,7.067779e-04,7.043366e-04,7.010907e-04,6.978246e-04,6.945451e-04,6.912580e-04,6.879689e-04,6.846825e-04,6.814035e-04,6.781357e-04,6.748828e-04,6.716481e-04,6.684343e-04,6.652442e-04,6.620801e-04,6.589441e-04,6.558381e-04,6.527636e-04,6.497223e-04,6.467153e-04,6.437438e-04,6.408089e-04,6.379112e-04,6.350517e-04,6.322308e-04,6.294491e-04
0.000000e+00,9.373117e-14,6.156293e-13,9.916615e-12,6.137438e-11,1.403880e-10,8.203020e-10,8.736272e-10,3.469577e-09,4.829495e-09,1.038345e-08,1.818766e-08,2.558828e-08,5.174023e-08,5.474994e-08,1.052462e-07,1.215053e-07,1.860383e-07,2.482985e-07,3.073868e-07,4.565206e-07,4.803819e-07,7.162785e-07,7.719613e-07,1.025701e-06,1.218788e-06,1.417845e-06,1.816437e-06,1.899806e-06,2.476111e-06,2.577230e-06,3.148479e-06,3.505116e-06,3.915797e-06,4.595546e-06,4.774265e-06,5.717674e-06,5.836217e-06,6.737761e-06,7.208386e-06,7.824614e-06,8.688455e-06,8.967094e-06,1.015325e-05,1.024966e-05,1.137072e-05,1.186369e-05,1.260710e-05,1.350217e-05,1.385026e-05,1.508863e-05,1.513791e-05,1.631143e-05,1.674590e-05,1.750884e-05,1.830409e-05,1.867216e-05,1.979387e-05,2.086765e-05,2.120027e-05,2.188842e-05,2.251204e-05,2.285228e-05,2.372147e-05,2.375647e-05,2.459926e-05,2.482411e-05,2.537987e-05,2.581839e-05,2.609838e-05,2.670523e-05,2.675558e-05,2.735288e-05,2.748752e-05,2.789220e-05,2.816974e-05,2.837585e-05,2.875750e-05,2.880646e-05,2.918687e-05,2.925719e-05,2.952005e-05,2.967565e-05,2.980905e-05,3.001992e-05,3.005694e-05,3.026674e-05,3.029697e-05,3.044141e-05,3.051361e-05,3.058378e-05,3.067628e-05,3.069660e-05,3.078245e-05,3.079105e-05,3.084376e-05,3.086355e-05,3.088280e-05,3.089890e-05,3.090170e-05,3.090242e-05,3.090175e-05,3.088676e-05,3.087628e-05,3.085637e-05,3.082624e-05,3.081279e-05,3.075738e-05,3.075494e-05,3.069141e-05,3.066530e-05,3.061603e-05,3.055993e-05,3.053227e-05,3.044107e-05,3.034328e-05,3.031072e-05,3.023967e-05,3.017063e-05,3.013093e-05,3.002230e-05,3.001769e-05,2.990052e-05,2.986707e-05,2.977992e-05,2.970610e-05,2.965635e-05,2.954041e-05,2.953024e-05,2.940195e-05,2.937088e-05,2.927184e-05,2.919829e-05,2.914021e-05,2.902333e-05,2.900733e-05,2.887347e-05,2.884660e-05,2.873885e-05,2.866862e-05,2.860369e-05,2.848986e-05,2.846816e-05,2.833245e-05,2.831073e-05,2.819672e-05,2.813159e-05,2.806109e-05,2.795276e-05,2.792571e-05,2.779069e-05,2.777452e-05,2.765614e-05,2.759712e-05,2.752216e-05,2.742077e-05,2.738884e-05,2.725625e-05,2.724568e-05,2.712448e-05,2.707201e-05,2.699359e-05,2.689992e-05,2.686363e-05,2.673467e-05,2.672954e-05,2.660676e-05,2.656098e-05,2.647994e-05,2.639434e-05,2.635424e-05,2.622972e-05,2.606718e-05,2.590681e-05,2.574864e-05,2.559273e-05,2.543912e-05,2.528783e-05,2.513889e-05,2.499232e-05,2.484813e-05,2.470633e-05,2.456692e-05,2.442990e-05,2.429528e-05,2.416303e-05,2.403315e-05,2.390563e-05,2.378044e-05,2.365758e-05,2.353703e-05,2.341875e-05,2.330273e-05,2.318894e-05,2.307736e-05,2.296795e-05
0.000000e+00,9.396235e-11,2.225208e-10,7.907535e-10,1.822679e-09,2.670253e-09,6.095131e-09,6.279577e-09,1.217420e-08,1.431448e-08,2.095332e-08,2.787115e-08,3.325355e-08,4.815544e-08,4.962245e-08,7.025200e-08,7.581211e-08,9.484177e-08,1.101279e-07,1.228117e-07,1.497516e-07,1.535729e-07,1.866239e-07,1.934702e-07,2.215363e-07,2.402975e-07,2.579247e-07,2.893646e-07,2.954247e-07,3.336853e-07,3.398548e-07,3.723682e-07,3.909907e-07,4.111513e-07,4.420470e-07,4.497339e-07,4.878415e-07,4.923705e-07,5.252297e-07,5.413968e-07,5.616867e-07,5.886602e-07,5.970341e-07,6.311264e-07,6.337959e-07,6.638493e-07,6.765352e-07,6.951186e-07,7.166994e-07,7.248772e-07,7.530912e-07,7.541873e-07,7.797467e-07,7.889615e-07,8.048481e-07,8.210392e-07,8.284154e-07,8.504765e-07,8.710679e-07,8.773544e-07,8.902369e-07,9.017816e-07,9.080338e-07,9.238785e-07,9.245131e-07,9.397323e-07,9.437757e-07,9.537496e-07,9.616075e-07,9.666235e-07,9.775072e-07,9.784117e-07,9.891714e-07,9.916070e-07,9.989590e-07,1.004036e-06,1.007829e-06,1.014916e-06,1.015833e-06,1.023022e-06,1.024367e-06,1.029445e-06,1.032497e-06,1.035148e-06,1.039414e-06,1.040174e-06,1.044567e-06,1.045213e-06,1.048364e-06,1.049987e-06,1.051605e-06,1.053821e-06,1.054325e-06,1.056558e-06,1.056794e-06,1.058334e-06,1.058980e-06,1.059686e-06,1.060445e-06,1.060639e-06,1.061223e-06,1.061254e-06,1.061461e-06,1.061464e-06,1.061377e-06,1.061130e-06,1.060993e-06,1.060331e-06,1.060299e-06,1.059411e-06,1.059019e-06,1.058250e-06,1.057332e-06,1.056866e-06,1.055275e-06,1.053493e-06,1.052885e-06,1.051535e-06,1.050195e-06,1.049414e-06,1.047236e-06,1.047142e-06,1.044732e-06,1.044034e-06,1.042195e-06,1.040616e-06,1.039541e-06,1.037005e-06,1.036781e-06,1.033923e-06,1.033223e-06,1.030976e-06,1.029291e-06,1.027949e-06,1.025225e-06,1.024850e-06,1.021685e-06,1.021044e-06,1.018461e-06,1.016763e-06,1.015185e-06,1.012396e-06,1.011862e-06,1.008498e-06,1.007956e-06,1.005099e-06,1.003456e-06,1.001669e-06,9.989053e-07,9.982122e-07,9.947339e-07,9.943152e-07,9.912378e-07,9.896948e-07,9.877275e-07,9.850524e-07,9.842066e-07,9.806785e-07,9.803960e-07,9.771460e-07,9.757325e-07,9.736123e-07,9.710686e-07,9.700798e-07,9.665512e-07,9.664102e-07,9.630288e-07,9.617626e-07,9.595147e-07,9.571309e-07,9.560109e-07,9.525195e-07,9.479325e-07,9.433736e-07,9.388462e-07,9.343533e-07,9.298976e-07,9.254817e-07,9.211077e-07,9.167776e-07,9.124931e-07,9.082559e-07,9.040672e-07,8.999282e-07,8.958401e-07,8.918036e-07,8.878195e-07,8.838885e-07,8.800111e-07,8.761876e-07,8.724184e-07,8.687038e-07,8.650438e-07,8.614385e-07,8.578879e-07,8.543920e-07
0.000000e+00,3.754069e-11,8.699266e-11,3.036095e-10,6.988388e-10,1.027121e-09,2.390478e-09,2.465552e-09,4.946775e-09,5.883857e-09,8.894296e-09,1.216711e-08,1.478454e-08,2.221727e-08,2.295665e-08,3.335015e-08,3.612992e-08,4.552236e-08,5.291670e-08,5.894982e-08,7.147452e-08,7.322123e-08,8.804952e-08,9.106293e-08,1.032291e-07,1.112074e-07,1.186011e-07,1.315653e-07,1.340337e-07,1.494131e-07,1.518621e-07,1.646402e-07,1.718694e-07,1.796290e-07,1.913991e-07,1.943067e-07,2.086126e-07,2.103019e-07,2.224983e-07,2.284647e-07,2.359260e-07,2.458075e-07,2.488682e-07,2.613059e-07,2.622787e-07,2.732268e-07,2.778492e-07,2.846261e-07,2.925100e-07,2.955030e-07,3.058614e-07,3.062650e-07,3.157082e-07,3.191297e-07,3.250532e-07,3.311271e-07,3.339081e-07,3.422863e-07,3.502020e-07,3.526397e-07,3.576700e-07,3.622216e-07,3.647057e-07,3.710679e-07,3.713248e-07,3.775430e-07,3.792144e-07,3.833758e-07,3.866969e-07,3.888387e-07,3.935508e-07,3.939467e-07,3.987149e-07,3.998103e-07,4.031577e-07,4.055087e-07,4.072891e-07,4.106782e-07,4.111230e-07,4.146726e-07,4.153495e-07,4.179507e-07,4.195521e-07,4.209697e-07,4.233143e-07,4.237417e-07,4.262781e-07,4.266629e-07,4.285901e-07,4.296233e-07,4.306884e-07,4.322200e-07,4.325832e-07,4.342843e-07,4.344759e-07,4.358013e-07,4.364128e-07,4.371433e-07,4.380514e-07,4.383189e-07,4.393364e-07,4.394113e-07,4.402040e-07,4.405107e-07,4.409292e-07,4.413673e-07,4.415194e-07,4.419815e-07,4.419974e-07,4.423223e-07,4.424166e-07,4.425483e-07,4.426394e-07,4.426654e-07,4.426797e-07,4.425966e-07,4.425504e-07,4.424217e-07,4.422638e-07,4.421598e-07,4.418313e-07,4.418160e-07,4.413949e-07,4.412638e-07,4.409009e-07,4.405713e-07,4.403383e-07,4.397636e-07,4.397111e-07,4.390232e-07,4.388495e-07,4.382783e-07,4.378375e-07,4.374798e-07,4.367356e-07,4.366312e-07,4.357355e-07,4.355510e-07,4.347959e-07,4.342909e-07,4.338152e-07,4.329618e-07,4.327963e-07,4.317416e-07,4.315697e-07,4.306538e-07,4.301205e-07,4.295352e-07,4.286196e-07,4.283880e-07,4.272145e-07,4.270720e-07,4.260167e-07,4.254824e-07,4.247965e-07,4.238553e-07,4.235558e-07,4.222963e-07,4.221948e-07,4.210198e-07,4.205048e-07,4.197279e-07,4.187890e-07,4.184220e-07,4.171036e-07,4.170506e-07,4.157741e-07,4.152930e-07,4.144347e-07,4.135190e-07,4.130868e-07,4.117314e-07,4.099328e-07,4.081256e-07,4.063121e-07,4.044942e-07,4.026741e-07,4.008534e-07,3.990339e-07,3.972170e-07,3.954043e-07,3.935970e-07,3.917965e-07,3.900039e-07,3.882202e-07,3.864464e-07,3.846834e-07,3.829320e-07,3.811930e-07,3.794671e-07,3.777549e-07,3.760570e-07,3.743738e-07,3.727060e-07,3.710539e-07,3.694179e-07
0.000000e+00,1.121134e-12,7.226992e-12,1.120006e-10,6.693864e-10,1.502343e-09,8.364432e-09,8.890947e-09,3.371105e-08,4.635292e-08,9.671371e-08,1.654998e-07,2.294491e-07,4.497361e-07,4.746933e-07,8.860871e-07,1.016404e-06,1.526959e-06,2.012158e-06,2.467709e-06,3.601358e-06,3.780943e-06,5.534508e-06,5.943245e-06,7.784015e-06,9.163021e-06,1.056691e-05,1.332923e-05,1.389939e-05,1.777619e-05,1.844560e-05,2.217277e-05,2.445635e-05,2.704860e-05,3.125929e-05,3.235109e-05,3.801929e-05,3.872095e-05,4.398722e-05,4.669049e-05,5.018660e-05,5.501081e-05,5.654906e-05,6.300794e-05,6.352688e-05,6.949959e-05,7.209193e-05,7.596447e-05,8.057170e-05,8.234790e-05,8.860061e-05,8.884736e-05,9.467911e-05,9.681732e-05,1.005459e-04,1.043980e-04,1.061694e-04,1.115240e-04,1.165898e-04,1.181472e-04,1.213519e-04,1.242358e-04,1.258009e-04,1.297722e-04,1.299312e-04,1.337418e-04,1.347517e-04,1.372349e-04,1.391804e-04,1.404156e-04,1.430727e-04,1.432918e-04,1.458730e-04,1.464499e-04,1.481708e-04,1.493384e-04,1.501977e-04,1.517679e-04,1.519671e-04,1.534931e-04,1.537703e-04,1.547898e-04,1.553782e-04,1.558716e-04,1.566248e-04,1.567528e-04,1.574475e-04,1.575422e-04,1.579690e-04,1.581617e-04,1.583305e-04,1.585130e-04,1.585446e-04,1.586233e-04,1.586241e-04,1.585778e-04,1.585213e-04,1.584190e-04,1.582288e-04,1.581570e-04,1.578011e-04,1.577688e-04,1.573602e-04,1.571619e-04,1.568426e-04,1.564268e-04,1.562559e-04,1.556073e-04,1.555801e-04,1.549032e-04,1.546374e-04,1.541499e-04,1.536124e-04,1.533529e-04,1.525174e-04,1.516481e-04,1.513636e-04,1.507495e-04,1.501609e-04,1.498256e-04,1.489182e-04,1.488801e-04,1.479162e-04,1.476435e-04,1.469373e-04,1.463438e-04,1.459460e-04,1.450254e-04,1.449450e-04,1.439365e-04,1.436937e-04,1.429229e-04,1.423537e-04,1.419059e-04,1.410097e-04,1.408875e-04,1.398691e-04,1.396656e-04,1.388523e-04,1.383246e-04,1.378384e-04,1.369898e-04,1.368285e-04,1.358238e-04,1.356636e-04,1.348252e-04,1.343483e-04,1.338335e-04,1.330458e-04,1.328497e-04,1.318742e-04,1.317578e-04,1.309078e-04,1.304856e-04,1.299510e-04,1.292305e-04,1.290042e-04,1.280680e-04,1.279935e-04,1.271426e-04,1.267755e-04,1.262283e-04,1.255771e-04,1.253255e-04,1.244343e-04,1.243989e-04,1.235549e-04,1.232413e-04,1.226876e-04,1.221047e-04,1.218323e-04,1.209893e-04,1.198952e-04,1.188226e-04,1.177715e-04,1.167418e-04,1.157335e-04,1.147463e-04,1.137802e-04,1.128350e-04,1.119104e-04,1.110061e-04,1.101219e-04,1.092574e-04,1.084125e-04,1.075866e-04,1.067796e-04,1.059911e-04,1.052207e-04,1.044680e-04,1.037328e-04,1.030146e-04,1.023131e-04,1.016280e-04,1.009588e-04,1.003053e-04
0.000000e+00,8.330883e-11,2.030080e-10,7.492029e-10,1.776980e-09,2.646427e-09,6.350432e-09,6.557855e-09,1.356501e-08,1.627414e-08,2.513717e-08,3.493560e-08,4.281077e-08,6.502817e-08,6.721721e-08,9.760449e-08,1.056427e-07,1.326966e-07,1.540045e-07,1.714653e-07,2.080740e-07,2.132265e-07,2.575103e-07,2.666363e-07,3.039473e-07,3.288349e-07,3.522057e-07,3.939122e-07,4.019599e-07,4.528807e-07,4.611140e-07,5.046347e-07,5.296749e-07,5.568905e-07,5.988406e-07,6.093277e-07,6.616423e-07,6.678982e-07,7.135527e-07,7.361986e-07,7.648047e-07,8.031765e-07,8.151737e-07,8.644658e-07,8.683576e-07,9.125182e-07,9.313611e-07,9.591970e-07,9.918948e-07,1.004396e-06,1.048035e-06,1.049747e-06,1.090055e-06,1.104778e-06,1.130417e-06,1.156905e-06,1.169101e-06,1.206098e-06,1.241414e-06,1.252363e-06,1.275066e-06,1.295739e-06,1.307075e-06,1.336288e-06,1.337474e-06,1.366297e-06,1.374091e-06,1.393585e-06,1.409238e-06,1.419379e-06,1.441830e-06,1.443726e-06,1.466671e-06,1.471974e-06,1.488261e-06,1.499779e-06,1.508546e-06,1.525353e-06,1.527571e-06,1.545385e-06,1.548807e-06,1.562034e-06,1.570247e-06,1.577565e-06,1.589780e-06,1.592023e-06,1.605452e-06,1.607508e-06,1.617895e-06,1.623530e-06,1.629395e-06,1.637942e-06,1.639991e-06,1.649725e-06,1.650836e-06,1.658632e-06,1.662300e-06,1.666752e-06,1.672418e-06,1.674120e-06,1.680769e-06,1.681271e-06,1.686734e-06,1.688935e-06,1.692046e-06,1.695485e-06,1.696737e-06,1.700836e-06,1.700988e-06,1.704371e-06,1.705511e-06,1.707371e-06,1.709118e-06,1.709861e-06,1.711867e-06,1.713413e-06,1.713814e-06,1.714523e-06,1.715014e-06,1.715218e-06,1.715516e-06,1.715521e-06,1.715453e-06,1.715369e-06,1.715031e-06,1.714618e-06,1.714277e-06,1.713304e-06,1.713207e-06,1.711840e-06,1.711469e-06,1.710191e-06,1.709151e-06,1.708277e-06,1.706385e-06,1.706113e-06,1.703713e-06,1.703206e-06,1.701091e-06,1.699645e-06,1.698261e-06,1.695732e-06,1.695235e-06,1.692025e-06,1.691496e-06,1.688644e-06,1.686963e-06,1.685101e-06,1.682158e-06,1.681408e-06,1.677575e-06,1.677106e-06,1.673610e-06,1.671827e-06,1.669525e-06,1.666344e-06,1.665326e-06,1.661024e-06,1.660675e-06,1.656625e-06,1.654840e-06,1.652137e-06,1.648854e-06,1.647567e-06,1.642923e-06,1.642736e-06,1.638210e-06,1.636499e-06,1.633436e-06,1.630158e-06,1.628606e-06,1.623726e-06,1.617216e-06,1.610640e-06,1.604008e-06,1.597330e-06,1.590617e-06,1.583877e-06,1.577119e-06,1.570349e-06,1.563576e-06,1.556806e-06,1.550046e-06,1.543300e-06,1.536575e-06,1.529875e-06,1.523206e-06,1.516570e-06,1.509973e-06,1.503417e-06,1.496907e-06,1.490445e-06,1.484033e-06,1.477675e-06,1.471373e-06,1.465129e-06
0.000000e+00,7.689471e-11,3.276012e-10,2.375287e-09,7.878360e-09,1.326906e-08,3.885655e-08,4.034452e-08,9.112389e-08,1.106307e-07,1.733369e-07,2.411688e-07,2.952443e-07,4.497217e-07,4.652745e-07,6.900695e-07,7.525076e-07,9.715505e-07,1.152816e-06,1.306290e-06,1.639982e-06,1.688057e-06,2.110349e-06,2.199140e-06,2.567255e-06,2.816718e-06,3.053369e-06,3.480506e-06,3.563542e-06,4.092734e-06,4.178838e-06,4.636001e-06,4.900351e-06,5.188541e-06,5.634166e-06,5.745779e-06,6.303449e-06,6.370209e-06,6.857666e-06,7.099521e-06,7.404975e-06,7.814446e-06,7.942375e-06,8.467325e-06,8.508717e-06,8.977726e-06,9.177423e-06,9.471900e-06,9.816919e-06,9.948557e-06,1.040675e-05,1.042468e-05,1.084582e-05,1.099912e-05,1.126536e-05,1.153941e-05,1.166522e-05,1.204539e-05,1.240603e-05,1.251735e-05,1.274743e-05,1.295599e-05,1.306996e-05,1.336225e-05,1.337407e-05,1.366028e-05,1.373729e-05,1.392914e-05,1.408237e-05,1.418124e-05,1.439887e-05,1.441716e-05,1.463754e-05,1.468818e-05,1.484298e-05,1.495173e-05,1.503410e-05,1.519092e-05,1.521150e-05,1.537579e-05,1.540712e-05,1.552755e-05,1.560170e-05,1.566734e-05,1.577594e-05,1.579574e-05,1.591326e-05,1.593109e-05,1.602044e-05,1.606836e-05,1.611778e-05,1.618890e-05,1.620577e-05,1.628487e-05,1.629379e-05,1.635554e-05,1.638407e-05,1.641820e-05,1.646073e-05,1.647328e-05,1.652117e-05,1.652470e-05,1.656226e-05,1.657687e-05,1.659691e-05,1.661807e-05,1.662547e-05,1.664828e-05,1.664907e-05,1.666565e-05,1.667064e-05,1.667790e-05,1.668345e-05,1.668531e-05,1.668817e-05,1.668674e-05,1.668542e-05,1.668127e-05,1.667577e-05,1.667201e-05,1.665977e-05,1.665919e-05,1.664303e-05,1.663793e-05,1.662373e-05,1.661073e-05,1.660149e-05,1.657861e-05,1.657651e-05,1.654897e-05,1.654200e-05,1.651904e-05,1.650129e-05,1.648687e-05,1.645685e-05,1.645263e-05,1.641647e-05,1.640902e-05,1.637852e-05,1.635812e-05,1.633891e-05,1.630446e-05,1.629778e-05,1.625524e-05,1.624831e-05,1.621140e-05,1.618993e-05,1.616638e-05,1.612958e-05,1.612028e-05,1.607318e-05,1.606747e-05,1.602519e-05,1.600382e-05,1.597640e-05,1.593882e-05,1.592687e-05,1.587670e-05,1.587266e-05,1.582596e-05,1.580551e-05,1.577471e-05,1.573753e-05,1.572302e-05,1.567095e-05,1.566886e-05,1.561857e-05,1.559964e-05,1.556592e-05,1.553000e-05,1.551306e-05,1.546005e-05,1.538990e-05,1.531965e-05,1.524939e-05,1.517921e-05,1.510918e-05,1.503938e-05,1.496988e-05,1.490073e-05,1.483199e-05,1.476371e-05,1.469593e-05,1.462870e-05,1.456206e-05,1.449603e-05,1.443066e-05,1.436596e-05,1.430197e-05,1.423870e-05,1.417617e-05,1.411441e-05,1.405342e-05,1.399321e-05,1.393381e-05,1.387521e-05
0.000000e+00,1.465530e-11,6.871588e-11,5.815462e-10,2.130019e-09,3.739495e-09,1.182075e-08,1.230246e-08,2.904895e-08,3.556562e-08,5.661786e-08,7.943804e-08,9.762098e-08,1.495088e-07,1.547344e-07,2.306030e-07,2.518604e-07,3.273523e-07,3.910176e-07,4.457547e-07,5.670251e-07,5.847081e-07,7.416332e-07,7.748988e-07,9.133857e-07,1.007537e-06,1.096935e-06,1.258255e-06,1.289591e-06,1.488988e-06,1.521372e-06,1.692999e-06,1.791984e-06,1.899671e-06,2.065702e-06,2.107191e-06,2.313880e-06,2.338553e-06,2.518204e-06,2.606996e-06,2.718781e-06,2.867959e-06,2.914395e-06,3.104005e-06,3.118887e-06,3.286749e-06,3.357765e-06,3.461939e-06,3.583099e-06,3.629053e-06,3.787726e-06,3.793894e-06,3.937732e-06,3.989590e-06,4.078971e-06,4.170004e-06,4.211448e-06,4.335260e-06,4.450582e-06,4.485728e-06,4.557645e-06,4.621959e-06,4.656729e-06,4.744634e-06,4.748147e-06,4.832238e-06,4.854518e-06,4.909354e-06,4.952426e-06,4.979856e-06,5.039189e-06,5.044107e-06,5.102466e-06,5.115635e-06,5.155287e-06,5.182575e-06,5.202911e-06,5.240785e-06,5.245670e-06,5.283880e-06,5.291003e-06,5.317845e-06,5.333925e-06,5.347852e-06,5.370199e-06,5.374173e-06,5.397065e-06,5.400426e-06,5.416770e-06,5.425163e-06,5.433514e-06,5.444921e-06,5.447510e-06,5.458957e-06,5.460168e-06,5.468040e-06,5.471334e-06,5.474935e-06,5.478810e-06,5.479801e-06,5.482791e-06,5.482953e-06,5.484045e-06,5.484090e-06,5.483694e-06,5.482516e-06,5.481859e-06,5.478655e-06,5.478500e-06,5.474186e-06,5.472287e-06,5.468551e-06,5.464100e-06,5.461841e-06,5.454142e-06,5.445531e-06,5.442596e-06,5.436084e-06,5.429630e-06,5.425868e-06,5.415396e-06,5.414947e-06,5.403380e-06,5.400033e-06,5.391223e-06,5.383667e-06,5.378528e-06,5.366413e-06,5.365341e-06,5.351709e-06,5.348375e-06,5.337671e-06,5.329649e-06,5.323269e-06,5.310321e-06,5.308536e-06,5.293508e-06,5.290470e-06,5.278216e-06,5.270170e-06,5.262689e-06,5.249485e-06,5.246955e-06,5.231039e-06,5.228477e-06,5.214965e-06,5.207199e-06,5.198755e-06,5.185703e-06,5.182430e-06,5.166009e-06,5.164033e-06,5.149511e-06,5.142231e-06,5.132952e-06,5.120336e-06,5.116348e-06,5.099714e-06,5.098383e-06,5.083064e-06,5.076402e-06,5.066410e-06,5.054424e-06,5.049764e-06,5.033138e-06,5.032474e-06,5.016541e-06,5.010576e-06,4.999984e-06,4.988753e-06,4.983476e-06,4.967023e-06,4.945407e-06,4.923919e-06,4.902575e-06,4.881388e-06,4.860370e-06,4.839533e-06,4.818886e-06,4.798438e-06,4.778197e-06,4.758170e-06,4.738363e-06,4.718782e-06,4.699431e-06,4.680315e-06,4.661438e-06,4.642801e-06,4.624409e-06,4.606262e-06,4.588363e-06,4.570712e-06,4.553311e-06,4.536160e-06,4.519260e-06,4.502609e-06
0.000000e+00,3.371963e-13,2.197893e-12,3.486165e-11,2.128405e-10,4.833244e-10,2.773675e-09,2.951893e-09,1.153041e-08,1.598144e-08,3.401047e-08,5.911480e-08,8.277510e-08,1.657532e-07,1.752601e-07,3.340124e-07,3.849197e-07,5.864003e-07,7.802526e-07,9.639684e-07,1.427216e-06,1.501325e-06,2.234425e-06,2.407662e-06,3.198295e-06,3.801389e-06,4.424488e-06,5.676272e-06,5.938766e-06,7.759389e-06,8.079897e-06,9.896205e-06,1.103489e-05,1.235052e-05,1.453829e-05,1.511559e-05,1.817759e-05,1.856410e-05,2.151677e-05,2.306767e-05,2.510874e-05,2.799074e-05,2.892578e-05,3.293794e-05,3.326641e-05,3.711416e-05,3.882357e-05,4.142317e-05,4.459057e-05,4.583420e-05,5.031765e-05,5.049809e-05,5.484550e-05,5.648132e-05,5.939173e-05,6.248139e-05,6.393247e-05,6.844618e-05,7.291372e-05,7.433077e-05,7.731828e-05,8.009736e-05,8.164536e-05,8.571503e-05,8.588266e-05,9.001991e-05,9.115922e-05,9.404872e-05,9.641113e-05,9.796246e-05,1.014571e-04,1.017560e-04,1.054257e-04,1.062877e-04,1.089690e-04,1.108975e-04,1.123845e-04,1.152840e-04,1.156717e-04,1.188309e-04,1.194474e-04,1.218629e-04,1.233898e-04,1.247693e-04,1.271151e-04,1.275521e-04,1.302136e-04,1.306283e-04,1.327563e-04,1.339355e-04,1.351833e-04,1.370435e-04,1.374974e-04,1.397020e-04,1.399593e-04,1.418002e-04,1.426906e-04,1.437954e-04,1.452450e-04,1.456910e-04,1.474904e-04,1.476302e-04,1.491968e-04,1.498542e-04,1.508138e-04,1.519244e-04,1.523444e-04,1.537921e-04,1.538483e-04,1.551600e-04,1.556335e-04,1.564511e-04,1.572868e-04,1.576686e-04,1.588154e-04,1.598943e-04,1.602257e-04,1.609083e-04,1.615244e-04,1.618600e-04,1.627174e-04,1.627520e-04,1.635870e-04,1.638108e-04,1.643673e-04,1.648103e-04,1.650954e-04,1.657212e-04,1.657737e-04,1.664042e-04,1.665487e-04,1.669892e-04,1.672978e-04,1.675309e-04,1.679731e-04,1.680310e-04,1.684917e-04,1.685792e-04,1.689147e-04,1.691204e-04,1.693018e-04,1.696006e-04,1.696548e-04,1.699753e-04,1.700237e-04,1.702649e-04,1.703934e-04,1.705252e-04,1.707132e-04,1.707575e-04,1.709633e-04,1.709862e-04,1.711439e-04,1.712158e-04,1.713007e-04,1.714047e-04,1.714349e-04,1.715476e-04,1.715557e-04,1.716401e-04,1.716716e-04,1.717133e-04,1.717548e-04,1.717685e-04,1.718065e-04,1.718077e-04,1.718283e-04,1.718324e-04,1.718349e-04,1.718311e-04,1.718271e-04,1.718058e-04,1.717582e-04,1.716903e-04,1.716036e-04,1.714997e-04,1.713801e-04,1.712461e-04,1.710990e-04,1.709401e-04,1.707705e-04,1.705912e-04,1.704033e-04,1.702077e-04,1.700052e-04,1.697968e-04,1.695831e-04,1.693649e-04,1.691428e-04,1.689175e-04,1.686896e-04,1.684595e-04,1.682279e-04,1.679951e-04,1.677616e-04,1.675278e-04
0.000000e+00,2.535932e-11,1.354626e-10,1.448766e-09,6.318689e-09,1.204357e-08,4.538788e-08,4.753154e-08,1.283064e-07,1.621255e-07,2.775484e-07,4.108024e-07,5.217473e-07,8.565907e-07,8.915801e-07,1.419632e-06,1.573056e-06,2.131137e-06,2.612692e-06,3.031347e-06,3.965844e-06,4.102418e-06,5.313393e-06,5.569491e-06,6.632328e-06,7.351688e-06,8.032389e-06,9.255537e-06,9.492434e-06,1.099536e-05,1.123880e-05,1.252647e-05,1.326746e-05,1.407240e-05,1.531139e-05,1.562064e-05,1.715945e-05,1.734294e-05,1.867790e-05,1.933697e-05,2.016607e-05,2.127135e-05,2.161512e-05,2.301744e-05,2.312740e-05,2.436664e-05,2.489027e-05,2.565762e-05,2.654883e-05,2.688647e-05,2.805039e-05,2.809557e-05,2.914764e-05,2.952614e-05,3.017735e-05,3.083892e-05,3.113946e-05,3.203453e-05,3.286373e-05,3.311542e-05,3.362870e-05,3.408548e-05,3.433142e-05,3.494956e-05,3.497415e-05,3.555931e-05,3.571318e-05,3.608949e-05,3.638230e-05,3.656731e-05,3.696293e-05,3.699542e-05,3.737650e-05,3.746126e-05,3.771321e-05,3.788335e-05,3.800814e-05,3.823514e-05,3.826384e-05,3.848274e-05,3.852232e-05,3.866719e-05,3.875023e-05,3.881942e-05,3.892397e-05,3.894159e-05,3.903575e-05,3.904835e-05,3.910385e-05,3.912782e-05,3.914772e-05,3.916656e-05,3.916913e-05,3.916971e-05,3.916846e-05,3.915103e-05,3.913709e-05,3.911455e-05,3.907577e-05,3.906165e-05,3.899363e-05,3.898757e-05,3.891171e-05,3.887530e-05,3.881703e-05,3.874157e-05,3.871067e-05,3.859363e-05,3.858874e-05,3.846686e-05,3.841901e-05,3.833123e-05,3.823437e-05,3.818757e-05,3.803666e-05,3.787920e-05,3.782754e-05,3.771588e-05,3.760856e-05,3.754731e-05,3.738110e-05,3.737409e-05,3.719676e-05,3.714644e-05,3.701583e-05,3.690574e-05,3.683176e-05,3.666004e-05,3.664501e-05,3.645597e-05,3.641031e-05,3.626503e-05,3.615741e-05,3.607254e-05,3.590213e-05,3.587883e-05,3.568420e-05,3.564519e-05,3.548893e-05,3.538722e-05,3.529328e-05,3.512881e-05,3.509749e-05,3.490178e-05,3.487049e-05,3.470636e-05,3.461271e-05,3.451141e-05,3.435591e-05,3.431711e-05,3.412362e-05,3.410046e-05,3.393108e-05,3.384670e-05,3.373963e-05,3.359493e-05,3.354938e-05,3.336045e-05,3.334540e-05,3.317295e-05,3.309836e-05,3.298695e-05,3.285402e-05,3.280255e-05,3.261982e-05,3.261254e-05,3.243882e-05,3.237410e-05,3.225962e-05,3.213882e-05,3.208228e-05,3.190683e-05,3.167821e-05,3.145305e-05,3.123141e-05,3.101336e-05,3.079892e-05,3.058814e-05,3.038103e-05,3.017760e-05,2.997786e-05,2.978180e-05,2.958942e-05,2.940068e-05,2.921558e-05,2.903409e-05,2.885618e-05,2.868180e-05,2.851093e-05,2.834353e-05,2.817954e-05,2.801894e-05,2.786166e-05,2.770766e-05,2.755690e-05,2.740931e-05
0.000000e+00,2.606596e-13,1.714069e-12,2.769750e-11,1.720938e-10,3.947241e-10,2.328668e-09,2.481247e-09,9.999516e-09,1.398945e-08,3.053621e-08,5.430037e-08,7.726634e-08,1.609621e-07,1.708061e-07,3.409355e-07,3.973696e-07,6.273033e-07,8.560984e-07,1.077918e-06,1.651846e-06,1.745066e-06,2.679671e-06,2.902733e-06,3.925701e-06,4.708099e-06,5.515857e-06,7.131828e-06,7.469105e-06,9.789998e-06,1.019503e-05,1.246942e-05,1.387710e-05,1.548628e-05,1.812228e-05,1.880976e-05,2.240169e-05,2.284875e-05,2.621893e-05,2.795810e-05,3.021551e-05,3.334396e-05,3.434448e-05,3.855952e-05,3.889910e-05,4.281615e-05,4.452101e-05,4.707272e-05,5.011586e-05,5.129112e-05,5.543724e-05,5.560114e-05,5.948124e-05,6.090706e-05,6.339770e-05,6.597709e-05,6.716551e-05,7.076777e-05,7.419155e-05,7.524786e-05,7.742759e-05,7.939725e-05,8.046993e-05,8.320555e-05,8.331559e-05,8.596416e-05,8.667064e-05,8.841746e-05,8.979715e-05,9.067912e-05,9.259502e-05,9.275432e-05,9.464943e-05,9.507825e-05,9.637174e-05,9.726370e-05,9.792921e-05,9.917011e-05,9.933026e-05,1.005836e-04,1.008173e-04,1.016979e-04,1.022254e-04,1.026821e-04,1.034144e-04,1.035446e-04,1.042939e-04,1.044039e-04,1.049382e-04,1.052124e-04,1.054851e-04,1.058575e-04,1.059420e-04,1.063161e-04,1.063557e-04,1.066138e-04,1.067223e-04,1.068414e-04,1.069711e-04,1.070047e-04,1.071091e-04,1.071150e-04,1.071595e-04,1.071657e-04,1.071608e-04,1.071337e-04,1.071171e-04,1.070326e-04,1.070284e-04,1.069108e-04,1.068585e-04,1.067552e-04,1.066317e-04,1.065689e-04,1.063548e-04,1.061155e-04,1.060340e-04,1.058534e-04,1.056748e-04,1.055708e-04,1.052822e-04,1.052698e-04,1.049521e-04,1.048605e-04,1.046196e-04,1.044137e-04,1.042739e-04,1.039453e-04,1.039163e-04,1.035482e-04,1.034585e-04,1.031709e-04,1.029560e-04,1.027855e-04,1.024404e-04,1.023930e-04,1.019944e-04,1.019140e-04,1.015905e-04,1.013786e-04,1.011821e-04,1.008362e-04,1.007701e-04,1.003550e-04,1.002883e-04,9.993748e-05,9.973640e-05,9.951815e-05,9.918173e-05,9.909753e-05,9.867609e-05,9.862549e-05,9.825429e-05,9.806869e-05,9.783253e-05,9.751226e-05,9.741120e-05,9.699064e-05,9.695703e-05,9.657117e-05,9.640375e-05,9.615308e-05,9.585308e-05,9.573666e-05,9.532213e-05,9.530560e-05,9.490974e-05,9.476184e-05,9.449969e-05,9.422229e-05,9.409216e-05,9.368734e-05,9.315738e-05,9.263273e-05,9.211369e-05,9.160049e-05,9.109337e-05,9.059252e-05,9.009809e-05,8.961024e-05,8.912908e-05,8.865471e-05,8.818722e-05,8.772665e-05,8.727307e-05,8.682650e-05,8.638698e-05,8.595450e-05,8.552907e-05,8.511068e-05,8.469931e-05,8.429493e-05,8.389751e-05,8.350701e-05,8.312339e-05,8.274658e-05
0.000000e+00,7.495129e-11,3.106693e-10,2.158348e-09,6.974817e-09,1.162621e-08,3.347779e-08,3.474521e-08,7.811982e-08,9.489524e-08,1.493574e-07,2.091916e-07,2.575131e-07,3.978737e-07,4.121449e-07,6.196276e-07,6.773302e-07,8.787072e-07,1.043360e-06,1.181029e-06,1.474528e-06,1.516159e-06,1.875142e-06,1.949165e-06,2.251104e-06,2.451492e-06,2.638678e-06,2.969935e-06,3.033407e-06,3.431402e-06,3.495147e-06,3.829189e-06,4.019124e-06,4.223654e-06,4.534978e-06,4.612053e-06,4.992010e-06,5.036939e-06,5.361530e-06,5.520379e-06,5.718986e-06,5.981794e-06,6.063114e-06,6.392976e-06,6.418727e-06,6.707921e-06,6.829628e-06,7.007561e-06,7.213717e-06,7.291717e-06,7.560396e-06,7.570823e-06,7.813765e-06,7.901279e-06,8.052085e-06,8.205720e-06,8.275704e-06,8.485045e-06,8.680580e-06,8.740320e-06,8.862827e-06,8.972736e-06,9.032316e-06,9.183526e-06,9.189589e-06,9.335194e-06,9.373947e-06,9.469674e-06,9.545244e-06,9.593563e-06,9.698639e-06,9.707387e-06,9.811654e-06,9.835312e-06,9.906860e-06,9.956397e-06,9.993483e-06,1.006298e-05,1.007198e-05,1.014280e-05,1.015607e-05,1.020635e-05,1.023666e-05,1.026304e-05,1.030565e-05,1.031327e-05,1.035738e-05,1.036390e-05,1.039575e-05,1.041222e-05,1.042870e-05,1.045136e-05,1.045654e-05,1.047958e-05,1.048203e-05,1.049810e-05,1.050489e-05,1.051238e-05,1.052056e-05,1.052268e-05,1.052923e-05,1.052960e-05,1.053227e-05,1.053255e-05,1.053202e-05,1.052992e-05,1.052869e-05,1.052246e-05,1.052216e-05,1.051354e-05,1.050970e-05,1.050210e-05,1.049296e-05,1.048829e-05,1.047229e-05,1.045423e-05,1.044804e-05,1.043427e-05,1.042055e-05,1.041252e-05,1.039010e-05,1.038913e-05,1.036421e-05,1.035697e-05,1.033786e-05,1.032142e-05,1.031020e-05,1.028369e-05,1.028134e-05,1.025135e-05,1.024399e-05,1.022033e-05,1.020254e-05,1.018837e-05,1.015953e-05,1.015555e-05,1.012193e-05,1.011512e-05,1.008760e-05,1.006948e-05,1.005262e-05,1.002277e-05,1.001704e-05,9.980941e-06,9.975120e-06,9.944367e-06,9.926659e-06,9.907372e-06,9.877508e-06,9.870008e-06,9.832319e-06,9.827777e-06,9.794352e-06,9.777568e-06,9.756146e-06,9.726975e-06,9.717742e-06,9.679175e-06,9.676084e-06,9.640481e-06,9.624975e-06,9.601692e-06,9.573722e-06,9.562839e-06,9.523949e-06,9.522393e-06,9.485051e-06,9.471050e-06,9.446168e-06,9.419750e-06,9.407326e-06,9.368546e-06,9.317486e-06,9.266614e-06,9.215971e-06,9.165593e-06,9.115514e-06,9.065766e-06,9.016375e-06,8.967367e-06,8.918765e-06,8.870589e-06,8.822858e-06,8.775588e-06,8.728794e-06,8.682488e-06,8.636684e-06,8.591390e-06,8.546614e-06,8.502366e-06,8.458650e-06,8.415473e-06,8.372838e-06,8.330749e-06,8.289208e-06,8.248217e-06
0.000000e+00,9.903696e-11,2.823673e-10,1.224898e-09,3.111932e-09,4.737416e-09,1.165559e-08,1.203943e-08,2.471754e-08,2.948024e-08,4.465189e-08,6.093026e-08,7.380326e-08,1.098103e-07,1.133603e-07,1.630940e-07,1.764341e-07,2.219859e-07,2.585819e-07,2.890299e-07,3.541262e-07,3.634167e-07,4.444458e-07,4.613891e-07,5.314362e-07,5.787941e-07,6.236816e-07,7.046872e-07,7.204405e-07,8.209464e-07,8.373234e-07,9.244265e-07,9.749291e-07,1.030121e-06,1.115780e-06,1.137302e-06,1.245290e-06,1.258272e-06,1.353464e-06,1.400975e-06,1.461270e-06,1.542653e-06,1.568218e-06,1.673889e-06,1.682276e-06,1.777925e-06,1.819014e-06,1.880031e-06,1.952213e-06,1.979963e-06,2.077528e-06,2.081379e-06,2.172574e-06,2.206151e-06,2.264990e-06,2.326289e-06,2.354696e-06,2.441637e-06,2.525775e-06,2.552104e-06,2.607094e-06,2.657659e-06,2.685595e-06,2.758316e-06,2.761290e-06,2.834203e-06,2.854126e-06,2.904371e-06,2.945169e-06,2.971832e-06,3.031548e-06,3.036635e-06,3.098834e-06,3.113380e-06,3.158488e-06,3.190808e-06,3.215667e-06,3.263988e-06,3.270435e-06,3.322848e-06,3.333053e-06,3.372968e-06,3.398145e-06,3.420859e-06,3.459410e-06,3.466582e-06,3.510199e-06,3.516987e-06,3.551771e-06,3.571018e-06,3.591360e-06,3.621644e-06,3.629026e-06,3.664829e-06,3.669003e-06,3.698828e-06,3.713230e-06,3.731079e-06,3.754457e-06,3.761640e-06,3.790567e-06,3.792812e-06,3.817914e-06,3.828422e-06,3.843734e-06,3.861408e-06,3.868080e-06,3.891002e-06,3.891890e-06,3.912551e-06,3.919982e-06,3.932775e-06,3.945794e-06,3.951721e-06,3.969435e-06,3.985963e-06,3.991008e-06,4.001347e-06,4.010613e-06,4.015631e-06,4.028346e-06,4.028855e-06,4.041060e-06,4.044300e-06,4.052284e-06,4.058564e-06,4.062566e-06,4.071223e-06,4.071941e-06,4.080445e-06,4.082361e-06,4.088114e-06,4.092055e-06,4.094979e-06,4.100382e-06,4.101074e-06,4.106429e-06,4.107414e-06,4.111076e-06,4.113222e-06,4.115043e-06,4.117871e-06,4.118359e-06,4.121051e-06,4.121425e-06,4.123146e-06,4.123947e-06,4.124669e-06,4.125493e-06,4.125646e-06,4.126100e-06,4.126121e-06,4.126055e-06,4.125883e-06,4.125533e-06,4.124830e-06,4.124555e-06,4.123143e-06,4.123012e-06,4.121317e-06,4.120475e-06,4.119096e-06,4.117262e-06,4.116498e-06,4.113543e-06,4.113418e-06,4.110247e-06,4.108981e-06,4.106628e-06,4.103990e-06,4.102701e-06,4.098482e-06,4.092493e-06,4.086054e-06,4.079199e-06,4.071956e-06,4.064355e-06,4.056423e-06,4.048186e-06,4.039668e-06,4.030893e-06,4.021883e-06,4.012659e-06,4.003241e-06,3.993647e-06,3.983897e-06,3.974006e-06,3.963991e-06,3.953868e-06,3.943649e-06,3.933350e-06,3.922983e-06,3.912561e-06,3.902094e-06,3.891593e-06,3.881069e-06
0.000000e+00,3.194254e-13,2.121364e-12,3.498715e-11,2.214256e-10,5.129382e-10,3.101490e-09,3.307883e-09,1.362839e-08,1.917059e-08,4.236910e-08,7.598690e-08,1.086386e-07,2.281678e-07,2.422528e-07,4.859460e-07,5.668419e-07,8.967442e-07,1.225731e-06,1.545639e-06,2.378825e-06,2.514981e-06,3.893863e-06,4.226763e-06,5.772396e-06,6.975366e-06,8.235923e-06,1.081298e-05,1.135993e-05,1.520612e-05,1.589179e-05,1.981968e-05,2.231545e-05,2.522782e-05,3.013298e-05,3.143938e-05,3.844524e-05,3.933825e-05,4.621948e-05,4.987349e-05,5.472104e-05,6.163575e-05,6.389574e-05,7.367848e-05,7.448521e-05,8.399562e-05,8.825439e-05,9.476736e-05,1.027576e-04,1.059100e-04,1.173381e-04,1.177999e-04,1.289664e-04,1.331855e-04,1.407117e-04,1.487245e-04,1.524942e-04,1.642388e-04,1.758759e-04,1.795665e-04,1.873422e-04,1.945647e-04,1.985813e-04,2.091110e-04,2.095436e-04,2.201866e-04,2.231044e-04,2.304746e-04,2.364647e-04,2.403787e-04,2.491317e-04,2.498761e-04,2.589499e-04,2.610632e-04,2.675885e-04,2.722335e-04,2.757854e-04,2.826312e-04,2.835380e-04,2.908478e-04,2.922570e-04,2.977194e-04,3.011218e-04,3.041602e-04,3.092445e-04,3.101798e-04,3.157897e-04,3.166501e-04,3.210030e-04,3.233687e-04,3.258339e-04,3.294333e-04,3.302974e-04,3.344090e-04,3.348795e-04,3.381845e-04,3.397435e-04,3.416401e-04,3.440622e-04,3.447917e-04,3.476549e-04,3.478720e-04,3.502454e-04,3.512086e-04,3.525782e-04,3.541065e-04,3.546679e-04,3.565287e-04,3.565986e-04,3.581742e-04,3.587163e-04,3.596173e-04,3.604893e-04,3.608704e-04,3.619454e-04,3.628535e-04,3.631106e-04,3.636053e-04,3.640092e-04,3.642109e-04,3.646636e-04,3.646798e-04,3.650210e-04,3.650948e-04,3.652428e-04,3.653220e-04,3.653533e-04,3.653631e-04,3.653600e-04,3.652698e-04,3.652345e-04,3.650893e-04,3.649512e-04,3.648249e-04,3.645273e-04,3.644822e-04,3.640668e-04,3.639754e-04,3.635837e-04,3.633074e-04,3.630378e-04,3.625339e-04,3.624335e-04,3.617750e-04,3.616649e-04,3.610664e-04,3.607095e-04,3.603112e-04,3.596760e-04,3.595131e-04,3.586752e-04,3.585721e-04,3.578005e-04,3.574048e-04,3.568921e-04,3.561806e-04,3.559524e-04,3.549841e-04,3.549055e-04,3.539896e-04,3.535849e-04,3.529709e-04,3.522238e-04,3.519303e-04,3.508697e-04,3.508269e-04,3.497909e-04,3.493984e-04,3.486956e-04,3.479423e-04,3.475855e-04,3.464621e-04,3.449611e-04,3.434426e-04,3.419091e-04,3.403635e-04,3.388079e-04,3.372448e-04,3.356760e-04,3.341036e-04,3.325291e-04,3.309542e-04,3.293805e-04,3.278091e-04,3.262414e-04,3.246785e-04,3.231215e-04,3.215713e-04,3.200289e-04,3.184950e-04,3.169704e-04,3.154557e-04,3.139517e-04,3.124588e-04,3.109775e-04,3.095085e-04
0.000000e+00,2.121666e-13,1.405910e-12,2.308223e-11,1.454548e-10,3.361312e-10,2.019176e-09,2.152954e-09,8.809022e-09,1.236713e-08,2.719408e-08,4.856181e-08,6.922753e-08,1.444138e-07,1.532378e-07,3.051252e-07,3.552982e-07,5.590567e-07,7.612583e-07,9.571939e-07,1.465187e-06,1.547940e-06,2.382693e-06,2.583416e-06,3.511715e-06,4.230347e-06,4.979985e-06,6.502328e-06,6.823740e-06,9.068046e-06,9.465329e-06,1.172552e-05,1.314831e-05,1.479608e-05,1.754211e-05,1.826749e-05,2.211661e-05,2.260242e-05,2.631091e-05,2.825567e-05,3.081036e-05,3.440610e-05,3.556931e-05,4.053837e-05,4.094344e-05,4.566618e-05,4.775015e-05,5.090106e-05,5.470796e-05,5.619237e-05,6.149174e-05,6.170323e-05,6.675395e-05,6.863118e-05,7.193774e-05,7.539892e-05,7.700625e-05,8.192732e-05,8.667369e-05,8.815182e-05,9.122288e-05,9.402248e-05,9.555711e-05,9.950331e-05,9.966303e-05,1.035314e-04,1.045711e-04,1.071567e-04,1.092141e-04,1.105367e-04,1.134303e-04,1.136722e-04,1.165665e-04,1.172257e-04,1.192247e-04,1.206127e-04,1.216539e-04,1.236087e-04,1.238624e-04,1.258598e-04,1.262348e-04,1.276560e-04,1.285140e-04,1.292617e-04,1.304712e-04,1.306877e-04,1.319452e-04,1.321314e-04,1.330448e-04,1.335197e-04,1.339974e-04,1.346605e-04,1.348132e-04,1.355024e-04,1.355770e-04,1.360744e-04,1.362914e-04,1.365385e-04,1.368243e-04,1.369032e-04,1.371766e-04,1.371948e-04,1.373664e-04,1.374204e-04,1.374795e-04,1.375173e-04,1.375227e-04,1.375019e-04,1.374999e-04,1.374230e-04,1.373814e-04,1.372911e-04,1.371737e-04,1.371111e-04,1.368874e-04,1.366240e-04,1.365320e-04,1.363248e-04,1.361161e-04,1.359932e-04,1.356473e-04,1.356323e-04,1.352450e-04,1.351322e-04,1.348340e-04,1.345770e-04,1.344017e-04,1.339870e-04,1.339503e-04,1.334818e-04,1.333670e-04,1.329981e-04,1.327213e-04,1.325009e-04,1.320536e-04,1.319919e-04,1.314723e-04,1.313673e-04,1.309436e-04,1.306655e-04,1.304069e-04,1.299508e-04,1.298634e-04,1.293141e-04,1.292257e-04,1.287598e-04,1.284923e-04,1.282016e-04,1.277526e-04,1.276401e-04,1.270760e-04,1.270082e-04,1.265101e-04,1.262607e-04,1.259430e-04,1.255116e-04,1.253753e-04,1.248074e-04,1.247619e-04,1.242398e-04,1.240130e-04,1.236730e-04,1.232657e-04,1.231075e-04,1.225435e-04,1.225210e-04,1.219814e-04,1.217796e-04,1.214216e-04,1.210424e-04,1.208643e-04,1.203098e-04,1.195827e-04,1.188613e-04,1.181463e-04,1.174380e-04,1.167367e-04,1.160429e-04,1.153567e-04,1.146785e-04,1.140084e-04,1.133466e-04,1.126933e-04,1.120487e-04,1.114127e-04,1.107856e-04,1.101674e-04,1.095581e-04,1.089579e-04,1.083666e-04,1.077843e-04,1.072111e-04,1.066468e-04,1.060915e-04,1.055452e-04,1.050077e-04
0.000000e+00,2.444361e-10,8.655434e-10,4.843148e-09,1.399003e-08,2.242672e-08,6.140034e-08,6.367264e-08,1.435530e-07,1.756172e-07,2.837613e-07,4.082817e-07,5.119173e-07,8.206293e-07,8.522518e-07,1.308155e-06,1.432611e-06,1.857075e-06,2.193224e-06,2.467664e-06,3.036027e-06,3.115058e-06,3.783174e-06,3.918315e-06,4.461795e-06,4.816432e-06,5.143939e-06,5.715783e-06,5.824347e-06,6.498763e-06,6.605868e-06,7.163631e-06,7.478478e-06,7.815956e-06,8.327093e-06,8.453244e-06,9.073465e-06,9.146664e-06,9.675015e-06,9.933456e-06,1.025667e-05,1.068488e-05,1.081756e-05,1.135708e-05,1.139931e-05,1.187490e-05,1.207591e-05,1.237087e-05,1.271445e-05,1.284502e-05,1.329753e-05,1.331518e-05,1.372866e-05,1.387871e-05,1.413878e-05,1.440587e-05,1.452831e-05,1.489772e-05,1.524753e-05,1.535542e-05,1.557827e-05,1.578020e-05,1.589050e-05,1.617336e-05,1.618479e-05,1.646172e-05,1.653622e-05,1.672185e-05,1.687011e-05,1.696577e-05,1.717635e-05,1.719404e-05,1.740724e-05,1.745623e-05,1.760592e-05,1.771104e-05,1.779063e-05,1.794204e-05,1.796190e-05,1.812027e-05,1.815044e-05,1.826624e-05,1.833742e-05,1.840033e-05,1.850413e-05,1.852301e-05,1.863478e-05,1.865168e-05,1.873608e-05,1.878112e-05,1.882737e-05,1.889350e-05,1.890910e-05,1.898167e-05,1.898978e-05,1.904550e-05,1.907092e-05,1.910100e-05,1.913783e-05,1.914854e-05,1.918849e-05,1.919137e-05,1.922122e-05,1.923236e-05,1.924707e-05,1.926161e-05,1.926638e-05,1.927946e-05,1.927986e-05,1.928664e-05,1.928784e-05,1.928821e-05,1.928622e-05,1.928446e-05,1.927567e-05,1.926211e-05,1.925680e-05,1.924403e-05,1.923020e-05,1.922168e-05,1.919644e-05,1.919531e-05,1.916513e-05,1.915603e-05,1.913138e-05,1.910949e-05,1.909425e-05,1.905729e-05,1.905396e-05,1.901070e-05,1.899989e-05,1.896465e-05,1.893771e-05,1.891599e-05,1.887115e-05,1.886489e-05,1.881153e-05,1.880059e-05,1.875604e-05,1.872641e-05,1.869860e-05,1.864893e-05,1.863933e-05,1.857837e-05,1.856847e-05,1.851586e-05,1.848534e-05,1.845193e-05,1.839983e-05,1.838668e-05,1.832024e-05,1.831220e-05,1.825272e-05,1.822269e-05,1.818422e-05,1.813156e-05,1.811483e-05,1.804466e-05,1.803901e-05,1.797379e-05,1.794527e-05,1.790231e-05,1.785051e-05,1.783030e-05,1.775784e-05,1.775493e-05,1.768500e-05,1.765869e-05,1.761185e-05,1.756196e-05,1.753845e-05,1.746488e-05,1.736759e-05,1.727023e-05,1.717290e-05,1.707573e-05,1.697881e-05,1.688224e-05,1.678611e-05,1.669050e-05,1.659549e-05,1.650114e-05,1.640752e-05,1.631469e-05,1.622269e-05,1.613159e-05,1.604141e-05,1.595221e-05,1.586401e-05,1.577684e-05,1.569074e-05,1.560573e-05,1.552183e-05,1.543906e-05,1.535743e-05,1.527697e-05
0.000000e+00,2.640898e-11,1.298587e-10,1.191717e-09,4.614051e-09,8.299136e-09,2.747945e-08,2.864147e-08,6.957543e-08,8.566173e-08,1.378765e-07,1.946574e-07,2.399240e-07,3.688414e-07,3.817871e-07,5.685460e-07,6.203864e-07,8.023675e-07,9.529881e-07,1.080268e-06,1.354893e-06,1.394106e-06,1.733317e-06,1.803289e-06,2.087823e-06,2.275374e-06,2.449303e-06,2.753498e-06,2.811202e-06,3.168332e-06,3.224739e-06,3.516527e-06,3.679478e-06,3.852448e-06,4.110563e-06,4.173473e-06,4.477637e-06,4.512933e-06,4.763574e-06,4.883381e-06,5.030459e-06,5.220321e-06,5.277945e-06,5.506081e-06,5.523506e-06,5.715245e-06,5.793731e-06,5.906062e-06,6.032542e-06,6.079348e-06,6.236055e-06,6.241993e-06,6.377212e-06,6.424425e-06,6.503881e-06,6.582289e-06,6.617137e-06,6.718037e-06,6.807608e-06,6.834041e-06,6.886831e-06,6.932519e-06,6.956599e-06,7.015466e-06,7.017758e-06,7.071104e-06,7.084740e-06,7.117356e-06,7.141987e-06,7.157191e-06,7.188694e-06,7.191215e-06,7.219978e-06,7.226156e-06,7.243991e-06,7.255537e-06,7.263713e-06,7.277844e-06,7.279552e-06,7.291884e-06,7.293960e-06,7.301049e-06,7.304666e-06,7.307352e-06,7.310638e-06,7.311069e-06,7.312449e-06,7.312469e-06,7.311719e-06,7.310680e-06,7.309084e-06,7.305730e-06,7.304730e-06,7.298822e-06,7.298017e-06,7.291515e-06,7.287893e-06,7.282946e-06,7.275668e-06,7.273242e-06,7.262516e-06,7.261617e-06,7.250872e-06,7.245979e-06,7.238406e-06,7.228970e-06,7.225204e-06,7.211346e-06,7.210779e-06,7.196904e-06,7.191574e-06,7.181943e-06,7.171506e-06,7.166526e-06,7.150708e-06,7.134539e-06,7.129299e-06,7.118067e-06,7.107386e-06,7.101335e-06,7.085064e-06,7.084382e-06,7.067246e-06,7.062419e-06,7.049959e-06,7.039527e-06,7.032552e-06,7.016456e-06,7.015054e-06,6.997491e-06,6.993269e-06,6.979887e-06,6.970020e-06,6.962265e-06,6.946758e-06,6.944645e-06,6.927045e-06,6.923529e-06,6.909484e-06,6.900372e-06,6.891976e-06,6.877322e-06,6.874537e-06,6.857180e-06,6.854411e-06,6.839918e-06,6.831669e-06,6.822761e-06,6.809119e-06,6.805721e-06,6.788807e-06,6.786786e-06,6.772027e-06,6.764688e-06,6.755389e-06,6.742844e-06,6.738901e-06,6.722569e-06,6.721269e-06,6.706399e-06,6.699977e-06,6.690395e-06,6.678979e-06,6.674564e-06,6.658909e-06,6.658286e-06,6.643433e-06,6.637906e-06,6.628140e-06,6.617847e-06,6.613034e-06,6.598116e-06,6.578716e-06,6.559652e-06,6.540928e-06,6.522546e-06,6.504506e-06,6.486811e-06,6.469460e-06,6.452452e-06,6.435786e-06,6.419462e-06,6.403477e-06,6.387829e-06,6.372515e-06,6.357532e-06,6.342877e-06,6.328547e-06,6.314538e-06,6.300845e-06,6.287464e-06,6.274392e-06,6.261623e-06,6.249154e-06,6.236979e-06,6.225094e-06
0.000000e+00,1.671116e-12,1.072181e-11,1.646238e-10,9.759021e-10,2.180808e-09,1.201428e-08,1.276535e-08,4.795625e-08,6.579225e-08,1.365833e-07,2.329451e-07,3.223806e-07,6.301855e-07,6.650615e-07,1.240691e-06,1.423380e-06,2.140717e-06,2.824420e-06,3.467643e-06,5.071418e-06,5.325679e-06,7.807913e-06,8.385931e-06,1.098433e-05,1.292481e-05,1.489442e-05,1.875217e-05,1.954557e-05,2.491593e-05,2.583916e-05,3.095996e-05,3.408242e-05,3.761480e-05,4.332875e-05,4.480611e-05,5.245299e-05,5.339726e-05,6.047175e-05,6.409620e-05,6.877871e-05,7.523437e-05,7.729218e-05,8.593386e-05,8.662849e-05,9.462994e-05,9.810804e-05,1.033118e-04,1.095185e-04,1.119167e-04,1.203879e-04,1.207233e-04,1.286754e-04,1.316054e-04,1.367357e-04,1.420677e-04,1.445316e-04,1.520328e-04,1.592147e-04,1.614423e-04,1.660587e-04,1.702553e-04,1.725517e-04,1.784470e-04,1.786854e-04,1.844556e-04,1.860060e-04,1.898623e-04,1.929331e-04,1.949087e-04,1.992383e-04,1.996008e-04,2.039469e-04,2.049396e-04,2.079571e-04,2.100604e-04,2.116431e-04,2.146286e-04,2.150176e-04,2.180940e-04,2.186748e-04,2.208865e-04,2.222311e-04,2.234092e-04,2.253304e-04,2.256766e-04,2.277028e-04,2.280055e-04,2.295018e-04,2.302887e-04,2.310874e-04,2.322112e-04,2.324729e-04,2.336709e-04,2.338027e-04,2.346938e-04,2.350915e-04,2.355533e-04,2.361042e-04,2.362606e-04,2.368263e-04,2.368658e-04,2.372604e-04,2.373994e-04,2.375724e-04,2.377265e-04,2.377713e-04,2.378654e-04,2.378671e-04,2.378627e-04,2.378394e-04,2.377705e-04,2.376604e-04,2.375960e-04,2.373455e-04,2.370252e-04,2.369089e-04,2.366408e-04,2.363636e-04,2.361976e-04,2.357214e-04,2.357005e-04,2.351543e-04,2.349932e-04,2.345633e-04,2.341889e-04,2.339315e-04,2.333175e-04,2.332627e-04,2.325603e-04,2.323872e-04,2.318278e-04,2.314055e-04,2.310680e-04,2.303792e-04,2.302839e-04,2.294780e-04,2.293145e-04,2.286529e-04,2.282170e-04,2.278108e-04,2.270918e-04,2.269538e-04,2.260839e-04,2.259437e-04,2.252030e-04,2.247767e-04,2.243126e-04,2.235947e-04,2.234145e-04,2.225100e-04,2.224011e-04,2.216006e-04,2.211992e-04,2.206874e-04,2.199917e-04,2.197717e-04,2.188545e-04,2.187811e-04,2.179369e-04,2.175699e-04,2.170197e-04,2.163601e-04,2.161038e-04,2.151900e-04,2.151535e-04,2.142790e-04,2.139518e-04,2.133715e-04,2.127566e-04,2.124680e-04,2.115693e-04,2.103909e-04,2.092226e-04,2.080653e-04,2.069200e-04,2.057872e-04,2.046678e-04,2.035622e-04,2.024709e-04,2.013945e-04,2.003331e-04,1.992872e-04,1.982570e-04,1.972426e-04,1.962443e-04,1.952621e-04,1.942962e-04,1.933465e-04,1.924132e-04,1.914961e-04,1.905953e-04,1.897107e-04,1.888422e-04,1.879897e-04,1.871531e-04
0.000000e+00,4.921092e-12,1.131078e-11,3.896223e-11,8.845537e-11,1.287647e-10,2.895455e-10,2.981209e-10,5.681912e-10,6.644634e-10,9.576696e-10,1.255559e-09,1.482873e-09,2.097946e-09,2.157726e-09,2.993615e-09,3.219205e-09,3.999079e-09,4.638302e-09,5.179313e-09,6.363510e-09,6.535462e-09,8.063774e-09,8.389371e-09,9.754815e-09,1.069359e-08,1.159323e-08,1.323648e-08,1.355848e-08,1.562656e-08,1.596530e-08,1.777220e-08,1.882236e-08,1.997073e-08,2.175215e-08,2.219922e-08,2.443694e-08,2.470520e-08,2.666554e-08,2.763900e-08,2.886891e-08,3.051796e-08,3.103313e-08,3.314628e-08,3.331281e-08,3.519835e-08,3.600017e-08,3.718108e-08,3.856195e-08,3.908787e-08,4.091358e-08,4.098486e-08,4.265444e-08,4.325985e-08,4.430789e-08,4.538149e-08,4.587242e-08,4.734744e-08,4.873318e-08,4.915788e-08,5.003051e-08,5.081504e-08,5.124086e-08,5.232273e-08,5.236613e-08,5.340857e-08,5.368595e-08,5.437072e-08,5.491060e-08,5.525532e-08,5.600316e-08,5.606528e-08,5.680361e-08,5.697049e-08,5.747337e-08,5.781964e-08,5.807766e-08,5.855774e-08,5.861958e-08,5.910218e-08,5.919185e-08,5.952848e-08,5.972888e-08,5.990142e-08,6.017558e-08,6.022390e-08,6.049870e-08,6.053842e-08,6.072852e-08,6.082363e-08,6.091598e-08,6.103714e-08,6.106359e-08,6.117376e-08,6.118458e-08,6.124881e-08,6.127128e-08,6.129096e-08,6.130229e-08,6.130232e-08,6.128491e-08,6.128234e-08,6.124067e-08,6.121587e-08,6.117141e-08,6.110705e-08,6.107890e-08,6.096478e-08,6.095979e-08,6.083063e-08,6.077772e-08,6.067794e-08,6.056425e-08,6.050813e-08,6.032254e-08,6.012244e-08,6.005553e-08,5.990901e-08,5.976596e-08,5.968341e-08,5.945636e-08,5.944670e-08,5.919988e-08,5.912909e-08,5.894391e-08,5.878631e-08,5.867969e-08,5.843005e-08,5.840806e-08,5.812982e-08,5.806214e-08,5.784572e-08,5.768432e-08,5.755645e-08,5.729815e-08,5.726268e-08,5.696503e-08,5.690508e-08,5.666407e-08,5.650645e-08,5.636036e-08,5.610348e-08,5.605439e-08,5.574665e-08,5.569728e-08,5.543758e-08,5.528887e-08,5.512759e-08,5.487920e-08,5.481707e-08,5.450638e-08,5.446910e-08,5.419585e-08,5.405936e-08,5.388581e-08,5.365066e-08,5.357652e-08,5.326826e-08,5.324366e-08,5.296129e-08,5.283891e-08,5.265582e-08,5.243693e-08,5.235206e-08,5.205021e-08,5.203818e-08,5.175045e-08,5.164308e-08,5.145294e-08,5.125199e-08,5.115783e-08,5.086525e-08,5.048312e-08,5.010588e-08,4.973373e-08,4.936686e-08,4.900544e-08,4.864960e-08,4.829944e-08,4.795506e-08,4.761654e-08,4.728391e-08,4.695723e-08,4.663650e-08,4.632174e-08,4.601294e-08,4.571009e-08,4.541317e-08,4.512213e-08,4.483693e-08,4.455753e-08,4.428387e-08,4.401589e-08,4.375351e-08,4.349668e-08,4.324531e-08
0.000000e+00,2.129082e-12,1.265948e-11,1.666574e-10,8.633162e-10,1.795848e-09,8.294182e-09,8.752207e-09,2.800721e-08,3.688347e-08,6.946479e-08,1.101551e-07,1.458113e-07,2.602106e-07,2.726297e-07,4.681081e-07,5.273634e-07,7.510232e-07,9.536576e-07,1.136804e-06,1.568311e-06,1.633935e-06,2.243096e-06,2.377977e-06,2.958938e-06,3.370513e-06,3.772761e-06,4.524884e-06,4.674709e-06,5.654975e-06,5.818456e-06,6.704253e-06,7.229820e-06,7.813748e-06,8.739040e-06,8.975050e-06,1.018000e-05,1.032715e-05,1.142066e-05,1.197585e-05,1.268927e-05,1.366749e-05,1.397835e-05,1.528077e-05,1.538534e-05,1.658986e-05,1.711395e-05,1.789941e-05,1.883941e-05,1.920382e-05,2.049804e-05,2.054953e-05,2.177764e-05,2.223396e-05,2.303877e-05,2.388409e-05,2.427815e-05,2.549302e-05,2.668111e-05,2.705533e-05,2.784059e-05,2.856695e-05,2.897000e-05,3.002492e-05,3.006824e-05,3.113452e-05,3.142727e-05,3.216829e-05,3.277281e-05,3.316924e-05,3.406103e-05,3.413726e-05,3.507238e-05,3.529193e-05,3.597478e-05,3.646594e-05,3.684474e-05,3.758378e-05,3.768265e-05,3.848896e-05,3.864647e-05,3.926419e-05,3.965521e-05,4.000890e-05,4.061131e-05,4.072369e-05,4.140922e-05,4.151623e-05,4.206614e-05,4.237149e-05,4.269512e-05,4.317866e-05,4.329686e-05,4.387206e-05,4.393933e-05,4.442141e-05,4.465512e-05,4.494562e-05,4.532763e-05,4.544538e-05,4.592140e-05,4.595848e-05,4.637436e-05,4.654924e-05,4.680494e-05,4.710148e-05,4.721382e-05,4.760166e-05,4.761675e-05,4.796912e-05,4.809654e-05,4.831684e-05,4.854234e-05,4.864545e-05,4.895557e-05,4.924781e-05,4.933765e-05,4.952276e-05,4.968992e-05,4.978100e-05,5.001371e-05,5.002309e-05,5.024960e-05,5.031031e-05,5.046107e-05,5.058094e-05,5.065801e-05,5.082682e-05,5.084095e-05,5.101039e-05,5.104910e-05,5.116682e-05,5.124891e-05,5.131070e-05,5.142731e-05,5.144251e-05,5.156269e-05,5.158536e-05,5.167168e-05,5.172407e-05,5.176990e-05,5.184439e-05,5.185777e-05,5.193570e-05,5.194727e-05,5.200406e-05,5.203359e-05,5.206323e-05,5.210421e-05,5.211359e-05,5.215549e-05,5.215997e-05,5.218928e-05,5.220165e-05,5.221527e-05,5.223003e-05,5.223382e-05,5.224521e-05,5.224582e-05,5.224977e-05,5.224974e-05,5.224778e-05,5.224245e-05,5.223952e-05,5.222529e-05,5.222460e-05,5.220533e-05,5.219679e-05,5.217991e-05,5.215964e-05,5.214928e-05,5.211369e-05,5.205948e-05,5.199754e-05,5.192835e-05,5.185240e-05,5.177011e-05,5.168194e-05,5.158828e-05,5.148953e-05,5.138605e-05,5.127821e-05,5.116634e-05,5.105077e-05,5.093179e-05,5.080971e-05,5.068479e-05,5.055731e-05,5.042750e-05,5.029562e-05,5.016188e-05,5.002650e-05,4.988968e-05,4.975161e-05,4.961248e-05,4.947246e-05
0.000000e+00,4.476293e-12,1.020680e-11,3.475869e-11,7.838710e-11,1.138507e-10,2.558347e-10,2.634500e-10,5.063184e-10,5.944565e-10,8.682656e-10,1.154705e-09,1.378631e-09,2.004870e-09,2.067089e-09,2.953521e-09,3.195816e-09,4.032365e-09,4.707709e-09,5.266603e-09,6.439049e-09,6.603103e-09,7.993012e-09,8.273990e-09,9.400049e-09,1.012982e-08,1.079918e-08,1.195551e-08,1.217308e-08,1.350925e-08,1.371889e-08,1.479842e-08,1.539838e-08,1.603355e-08,1.697920e-08,1.720943e-08,1.832237e-08,1.845157e-08,1.937003e-08,1.980998e-08,2.035125e-08,2.105247e-08,2.126596e-08,2.211495e-08,2.218007e-08,2.289973e-08,2.319612e-08,2.362239e-08,2.410565e-08,2.428547e-08,2.489186e-08,2.491498e-08,2.544468e-08,2.563121e-08,2.594720e-08,2.626177e-08,2.640253e-08,2.681385e-08,2.718426e-08,2.729465e-08,2.751678e-08,2.771103e-08,2.781427e-08,2.806947e-08,2.807949e-08,2.831499e-08,2.837593e-08,2.852316e-08,2.863589e-08,2.870626e-08,2.885434e-08,2.886635e-08,2.900535e-08,2.903578e-08,2.912505e-08,2.918425e-08,2.922706e-08,2.930341e-08,2.931291e-08,2.938396e-08,2.939650e-08,2.944148e-08,2.946644e-08,2.948664e-08,2.951580e-08,2.952050e-08,2.954403e-08,2.954690e-08,2.955813e-08,2.956180e-08,2.956362e-08,2.956232e-08,2.956125e-08,2.955170e-08,2.955010e-08,2.953561e-08,2.952660e-08,2.951354e-08,2.949311e-08,2.948604e-08,2.945358e-08,2.945078e-08,2.941661e-08,2.940066e-08,2.937555e-08,2.934366e-08,2.933077e-08,2.928261e-08,2.928062e-08,2.923140e-08,2.921227e-08,2.917743e-08,2.913929e-08,2.912097e-08,2.906227e-08,2.900156e-08,2.898174e-08,2.893905e-08,2.889820e-08,2.887494e-08,2.881206e-08,2.880942e-08,2.874264e-08,2.872374e-08,2.867476e-08,2.863357e-08,2.860593e-08,2.854188e-08,2.853628e-08,2.846593e-08,2.844896e-08,2.839500e-08,2.835506e-08,2.832359e-08,2.826042e-08,2.825179e-08,2.817971e-08,2.816526e-08,2.810742e-08,2.806977e-08,2.803500e-08,2.797412e-08,2.796252e-08,2.789006e-08,2.787847e-08,2.781767e-08,2.778296e-08,2.774541e-08,2.768773e-08,2.767333e-08,2.760148e-08,2.759288e-08,2.752991e-08,2.749852e-08,2.745866e-08,2.740475e-08,2.738777e-08,2.731727e-08,2.731165e-08,2.724719e-08,2.721929e-08,2.717758e-08,2.712776e-08,2.710845e-08,2.703983e-08,2.703710e-08,2.697175e-08,2.694737e-08,2.690422e-08,2.685862e-08,2.683726e-08,2.677090e-08,2.668425e-08,2.659868e-08,2.651424e-08,2.643096e-08,2.634884e-08,2.626791e-08,2.618819e-08,2.610968e-08,2.603240e-08,2.595635e-08,2.588154e-08,2.580797e-08,2.573564e-08,2.566456e-08,2.559471e-08,2.552610e-08,2.545872e-08,2.539256e-08,2.532762e-08,2.526389e-08,2.520136e-08,2.514001e-08,2.507985e-08,2.502085e-08
0.000000e+00,1.012837e-10,4.425733e-10,3.341182e-09,1.137043e-08,1.935666e-08,5.779120e-08,6.003877e-08,1.369314e-07,1.664635e-07,2.610799e-07,3.627293e-07,4.432281e-07,6.710916e-07,6.939105e-07,1.023172e-06,1.114887e-06,1.439487e-06,1.712671e-06,1.947705e-06,2.470592e-06,2.547197e-06,3.232239e-06,3.378788e-06,3.994368e-06,4.418125e-06,4.824525e-06,5.567984e-06,5.713914e-06,6.654070e-06,6.808652e-06,7.636736e-06,8.121127e-06,8.653795e-06,9.486853e-06,9.697294e-06,1.075953e-05,1.088791e-05,1.183318e-05,1.230741e-05,1.291137e-05,1.372993e-05,1.398780e-05,1.505677e-05,1.514181e-05,1.611323e-05,1.653131e-05,1.715279e-05,1.788869e-05,1.817171e-05,1.916684e-05,1.920611e-05,2.013560e-05,2.047748e-05,2.107593e-05,2.169829e-05,2.198624e-05,2.286535e-05,2.371243e-05,2.397664e-05,2.452698e-05,2.503110e-05,2.530875e-05,2.602840e-05,2.605773e-05,2.677409e-05,2.696887e-05,2.745816e-05,2.785328e-05,2.811039e-05,2.868281e-05,2.873135e-05,2.932169e-05,2.945889e-05,2.988211e-05,3.018316e-05,3.041338e-05,3.085741e-05,3.091629e-05,3.139167e-05,3.148352e-05,3.184037e-05,3.206342e-05,3.226323e-05,3.259909e-05,3.266111e-05,3.303486e-05,3.309248e-05,3.338535e-05,3.354557e-05,3.371341e-05,3.396027e-05,3.401988e-05,3.430557e-05,3.433849e-05,3.457129e-05,3.468208e-05,3.481781e-05,3.499282e-05,3.504593e-05,3.525637e-05,3.527246e-05,3.544988e-05,3.552270e-05,3.562716e-05,3.574514e-05,3.578891e-05,3.593579e-05,3.594137e-05,3.606847e-05,3.611288e-05,3.618757e-05,3.626111e-05,3.629370e-05,3.638745e-05,3.646940e-05,3.649323e-05,3.654011e-05,3.657970e-05,3.660009e-05,3.664808e-05,3.664988e-05,3.668996e-05,3.669951e-05,3.672082e-05,3.673511e-05,3.674293e-05,3.675591e-05,3.675671e-05,3.676261e-05,3.676290e-05,3.676104e-05,3.675705e-05,3.675240e-05,3.673924e-05,3.673706e-05,3.671539e-05,3.671033e-05,3.668775e-05,3.667113e-05,3.665447e-05,3.662241e-05,3.661589e-05,3.657231e-05,3.656489e-05,3.652403e-05,3.649927e-05,3.647133e-05,3.642619e-05,3.641451e-05,3.635381e-05,3.634627e-05,3.628949e-05,3.626010e-05,3.622179e-05,3.616822e-05,3.615094e-05,3.607717e-05,3.607115e-05,3.600069e-05,3.596938e-05,3.592170e-05,3.586338e-05,3.584039e-05,3.575694e-05,3.575356e-05,3.567154e-05,3.564035e-05,3.558435e-05,3.552412e-05,3.549553e-05,3.540524e-05,3.528404e-05,3.516084e-05,3.503594e-05,3.490961e-05,3.478212e-05,3.465370e-05,3.452460e-05,3.439500e-05,3.426513e-05,3.413515e-05,3.400523e-05,3.387554e-05,3.374623e-05,3.361741e-05,3.348923e-05,3.336180e-05,3.323522e-05,3.310958e-05,3.298499e-05,3.286151e-05,3.273923e-05,3.261820e-05,3.249850e-05,3.238016e-05
0.000000e+00,3.406503e-12,2.032945e-11,2.693570e-10,1.401240e-09,2.919330e-09,1.349501e-08,1.423923e-08,4.534542e-08,5.956966e-08,1.112210e-07,1.746401e-07,2.293567e-07,4.005532e-07,4.188022e-07,6.997695e-07,7.831614e-07,1.093502e-06,1.371406e-06,1.621873e-06,2.215073e-06,2.306034e-06,3.163641e-06,3.357057e-06,4.205017e-06,4.819513e-06,5.429789e-06,6.591741e-06,6.825793e-06,8.370902e-06,8.630112e-06,1.003675e-05,1.087026e-05,1.179277e-05,1.324251e-05,1.360933e-05,1.545969e-05,1.568286e-05,1.732071e-05,1.813780e-05,1.917291e-05,2.056462e-05,2.100011e-05,2.278903e-05,2.293015e-05,2.452880e-05,2.520892e-05,2.621065e-05,2.738172e-05,2.782758e-05,2.937418e-05,2.943452e-05,3.084641e-05,3.135764e-05,3.224148e-05,3.314514e-05,3.355767e-05,3.479425e-05,3.595130e-05,3.630487e-05,3.702963e-05,3.767909e-05,3.803067e-05,3.892072e-05,3.895632e-05,3.980890e-05,4.003488e-05,4.059103e-05,4.102767e-05,4.130556e-05,4.190581e-05,4.195550e-05,4.254397e-05,4.267640e-05,4.307412e-05,4.334671e-05,4.354912e-05,4.392400e-05,4.397212e-05,4.434619e-05,4.441540e-05,4.467434e-05,4.482780e-05,4.495948e-05,4.516781e-05,4.520441e-05,4.541180e-05,4.544168e-05,4.558424e-05,4.565530e-05,4.572414e-05,4.581419e-05,4.583382e-05,4.591547e-05,4.592349e-05,4.597116e-05,4.598795e-05,4.600283e-05,4.601197e-05,4.601232e-05,4.600133e-05,4.599961e-05,4.597148e-05,4.595460e-05,4.592428e-05,4.588035e-05,4.586114e-05,4.578339e-05,4.577999e-05,4.569225e-05,4.565639e-05,4.558888e-05,4.551216e-05,4.547436e-05,4.534968e-05,4.521578e-05,4.517113e-05,4.507353e-05,4.497848e-05,4.492374e-05,4.477354e-05,4.476715e-05,4.460449e-05,4.455794e-05,4.443638e-05,4.433316e-05,4.426345e-05,4.410056e-05,4.408624e-05,4.390529e-05,4.386136e-05,4.372107e-05,4.361666e-05,4.353405e-05,4.336747e-05,4.334463e-05,4.315320e-05,4.311470e-05,4.296011e-05,4.285917e-05,4.276571e-05,4.260161e-05,4.257029e-05,4.237414e-05,4.234270e-05,4.217752e-05,4.208304e-05,4.198067e-05,4.182317e-05,4.178381e-05,4.158716e-05,4.156358e-05,4.139089e-05,4.130470e-05,4.119519e-05,4.104692e-05,4.100020e-05,4.080609e-05,4.079060e-05,4.061298e-05,4.053604e-05,4.042099e-05,4.028352e-05,4.023024e-05,4.004083e-05,4.003328e-05,3.985285e-05,3.978554e-05,3.966639e-05,3.954050e-05,3.948152e-05,3.929831e-05,3.905913e-05,3.882307e-05,3.859024e-05,3.836074e-05,3.813464e-05,3.791201e-05,3.769289e-05,3.747733e-05,3.726535e-05,3.705698e-05,3.685222e-05,3.665109e-05,3.645358e-05,3.625968e-05,3.606938e-05,3.588266e-05,3.569950e-05,3.551987e-05,3.534375e-05,3.517110e-05,3.500188e-05,3.483606e-05,3.467359e-05,3.451444e-05
0.000000e+00,5.766988e-13,3.828327e-12,6.308083e-11,3.987570e-10,9.229774e-10,5.564826e-09,5.934290e-09,2.434317e-08,3.419161e-08,7.523151e-08,1.343294e-07,1.914167e-07,3.985542e-07,4.228118e-07,8.389899e-07,9.760003e-07,1.530772e-06,2.079568e-06,2.610463e-06,3.985867e-06,4.210026e-06,6.476602e-06,7.023575e-06,9.565492e-06,1.154838e-05,1.363160e-05,1.790938e-05,1.882064e-05,2.526121e-05,2.641525e-05,3.305852e-05,3.730701e-05,4.228995e-05,5.074025e-05,5.300243e-05,6.521150e-05,6.677675e-05,7.890182e-05,8.538429e-05,9.402861e-05,1.064424e-04,1.105201e-04,1.282802e-04,1.297525e-04,1.471924e-04,1.550503e-04,1.671226e-04,1.820206e-04,1.879238e-04,2.094388e-04,2.103119e-04,2.315046e-04,2.395513e-04,2.539557e-04,2.693581e-04,2.766270e-04,2.993572e-04,3.219911e-04,3.291894e-04,3.443820e-04,3.585211e-04,3.663934e-04,3.870511e-04,3.879003e-04,4.087906e-04,4.145157e-04,4.289657e-04,4.406914e-04,4.483404e-04,4.653969e-04,4.668436e-04,4.844176e-04,4.884919e-04,5.010178e-04,5.098760e-04,5.166120e-04,5.294860e-04,5.311795e-04,5.447104e-04,5.472920e-04,5.572044e-04,5.632939e-04,5.686699e-04,5.775174e-04,5.791227e-04,5.885854e-04,5.900093e-04,5.970860e-04,6.008339e-04,6.046571e-04,6.100690e-04,6.113350e-04,6.171588e-04,6.178022e-04,6.221699e-04,6.241283e-04,6.264109e-04,6.291458e-04,6.299253e-04,6.327568e-04,6.329552e-04,6.349491e-04,6.356566e-04,6.365450e-04,6.373484e-04,6.375865e-04,6.381148e-04,6.381258e-04,6.381692e-04,6.380802e-04,6.377878e-04,6.372982e-04,6.370071e-04,6.358615e-04,6.343839e-04,6.338460e-04,6.326053e-04,6.313225e-04,6.305548e-04,6.283560e-04,6.282598e-04,6.257459e-04,6.250060e-04,6.230369e-04,6.213272e-04,6.201550e-04,6.173688e-04,6.171210e-04,6.139538e-04,6.131758e-04,6.106710e-04,6.087883e-04,6.072890e-04,6.042426e-04,6.038227e-04,6.002858e-04,5.995711e-04,5.966909e-04,5.948025e-04,5.930495e-04,5.899626e-04,5.893722e-04,5.856685e-04,5.850740e-04,5.819471e-04,5.801569e-04,5.782160e-04,5.752289e-04,5.744823e-04,5.707526e-04,5.703055e-04,5.670326e-04,5.654003e-04,5.633277e-04,5.605250e-04,5.596426e-04,5.559815e-04,5.556898e-04,5.523482e-04,5.509034e-04,5.487461e-04,5.461736e-04,5.451781e-04,5.416470e-04,5.415065e-04,5.381549e-04,5.369077e-04,5.347039e-04,5.323816e-04,5.312958e-04,5.279321e-04,5.235620e-04,5.192739e-04,5.150695e-04,5.109504e-04,5.069174e-04,5.029712e-04,4.991120e-04,4.953398e-04,4.916544e-04,4.880552e-04,4.845416e-04,4.811128e-04,4.777678e-04,4.745055e-04,4.713247e-04,4.682242e-04,4.652025e-04,4.622584e-04,4.593903e-04,4.565967e-04,4.538763e-04,4.512274e-04,4.486484e-04,4.461379e-04
0.000000e+00,1.209315e-10,2.900609e-10,1.049887e-09,2.454019e-09,3.622509e-09,8.443749e-09,8.707249e-09,1.729924e-08,2.049198e-08,3.060305e-08,4.141643e-08,4.998072e-08,7.413217e-08,7.653238e-08,1.104918e-07,1.196890e-07,1.512867e-07,1.768258e-07,1.981468e-07,2.438947e-07,2.504397e-07,3.076840e-07,3.196910e-07,3.694779e-07,4.032825e-07,4.354406e-07,4.937853e-07,5.051807e-07,5.782816e-07,5.902604e-07,6.543008e-07,6.916909e-07,7.327744e-07,7.970010e-07,8.132268e-07,8.951811e-07,9.050941e-07,9.781679e-07,1.014892e-06,1.061734e-06,1.125367e-06,1.145451e-06,1.228922e-06,1.235578e-06,1.311785e-06,1.344684e-06,1.393711e-06,1.451956e-06,1.474414e-06,1.553642e-06,1.556777e-06,1.631180e-06,1.658645e-06,1.706849e-06,1.757159e-06,1.780500e-06,1.852013e-06,1.921298e-06,1.942986e-06,1.988283e-06,2.029925e-06,2.052922e-06,2.112739e-06,2.115184e-06,2.175053e-06,2.191387e-06,2.232527e-06,2.265868e-06,2.287621e-06,2.336224e-06,2.340357e-06,2.390761e-06,2.402516e-06,2.438871e-06,2.464825e-06,2.484727e-06,2.523253e-06,2.528376e-06,2.569866e-06,2.577910e-06,2.609249e-06,2.628913e-06,2.646579e-06,2.676390e-06,2.681911e-06,2.715303e-06,2.720469e-06,2.746811e-06,2.761283e-06,2.776494e-06,2.798965e-06,2.804409e-06,2.830612e-06,2.833644e-06,2.855162e-06,2.865454e-06,2.878113e-06,2.894521e-06,2.899521e-06,2.919442e-06,2.920973e-06,2.937928e-06,2.944933e-06,2.955032e-06,2.966521e-06,2.970806e-06,2.985300e-06,2.985854e-06,2.998562e-06,3.003045e-06,3.010641e-06,3.018204e-06,3.021584e-06,3.031437e-06,3.040242e-06,3.042846e-06,3.048044e-06,3.052530e-06,3.054884e-06,3.060584e-06,3.060803e-06,3.065841e-06,3.067098e-06,3.070034e-06,3.072161e-06,3.073422e-06,3.075857e-06,3.076038e-06,3.077919e-06,3.078265e-06,3.079098e-06,3.079463e-06,3.079606e-06,3.079525e-06,3.079477e-06,3.078739e-06,3.078521e-06,3.077422e-06,3.076519e-06,3.075556e-06,3.073582e-06,3.073166e-06,3.070280e-06,3.069773e-06,3.066922e-06,3.065150e-06,3.063118e-06,3.059769e-06,3.058891e-06,3.054264e-06,3.053683e-06,3.049259e-06,3.046942e-06,3.043897e-06,3.039595e-06,3.038198e-06,3.032182e-06,3.031688e-06,3.025868e-06,3.023263e-06,3.019273e-06,3.014362e-06,3.012416e-06,3.005313e-06,3.005024e-06,2.997980e-06,2.995287e-06,2.990433e-06,2.985186e-06,2.982686e-06,2.974753e-06,2.964021e-06,2.953019e-06,2.941776e-06,2.930319e-06,2.918671e-06,2.906858e-06,2.894902e-06,2.882823e-06,2.870642e-06,2.858377e-06,2.846046e-06,2.833665e-06,2.821250e-06,2.808815e-06,2.796374e-06,2.783940e-06,2.771524e-06,2.759137e-06,2.746791e-06,2.734493e-06,2.722254e-06,2.710081e-06,2.697983e-06,2.685965e-06
0.000000e+00,4.554095e-11,1.096779e-10,3.988385e-10,9.350552e-10,1.382550e-09,3.238570e-09,3.340405e-09,6.679245e-09,7.927546e-09,1.190022e-08,1.616981e-08,1.955797e-08,2.909922e-08,3.004431e-08,4.332073e-08,4.688266e-08,5.900847e-08,6.868878e-08,7.669326e-08,9.364989e-08,9.605285e-08,1.168413e-07,1.211519e-07,1.388514e-07,1.507154e-07,1.618911e-07,1.819036e-07,1.857739e-07,2.103162e-07,2.142922e-07,2.353400e-07,2.474721e-07,2.606752e-07,2.810609e-07,2.861637e-07,3.116605e-07,3.147144e-07,3.370369e-07,3.481347e-07,3.621799e-07,3.810718e-07,3.869919e-07,4.113911e-07,4.133230e-07,4.353096e-07,4.447297e-07,4.586926e-07,4.751720e-07,4.814966e-07,5.036883e-07,5.045629e-07,5.252429e-07,5.328430e-07,5.461430e-07,5.599753e-07,5.663774e-07,5.859402e-07,6.048297e-07,6.107325e-07,6.230482e-07,6.343579e-07,6.406004e-07,6.568302e-07,6.574934e-07,6.737361e-07,6.781689e-07,6.893391e-07,6.983986e-07,7.043140e-07,7.175470e-07,7.186734e-07,7.324307e-07,7.356443e-07,7.455996e-07,7.527225e-07,7.581944e-07,7.688144e-07,7.702295e-07,7.817198e-07,7.839537e-07,7.926797e-07,7.981742e-07,8.031242e-07,8.115099e-07,8.130679e-07,8.225254e-07,8.239945e-07,8.315112e-07,8.356611e-07,8.400397e-07,8.465427e-07,8.481250e-07,8.557809e-07,8.566714e-07,8.630212e-07,8.660787e-07,8.698592e-07,8.747952e-07,8.763082e-07,8.823810e-07,8.828510e-07,8.880904e-07,8.902751e-07,8.934485e-07,8.970957e-07,8.984675e-07,9.031591e-07,9.033401e-07,9.075349e-07,9.090350e-07,9.116059e-07,9.142057e-07,9.153831e-07,9.188771e-07,9.220982e-07,9.230729e-07,9.250564e-07,9.268162e-07,9.277615e-07,9.301291e-07,9.302230e-07,9.324500e-07,9.330328e-07,9.344516e-07,9.355478e-07,9.362363e-07,9.376939e-07,9.378125e-07,9.391885e-07,9.394899e-07,9.403722e-07,9.409538e-07,9.413711e-07,9.421033e-07,9.421928e-07,9.428443e-07,9.429549e-07,9.433328e-07,9.435246e-07,9.436648e-07,9.438277e-07,9.438470e-07,9.438857e-07,9.438789e-07,9.437868e-07,9.436923e-07,9.435565e-07,9.432813e-07,9.432003e-07,9.427237e-07,9.426587e-07,9.421322e-07,9.418368e-07,9.414309e-07,9.408274e-07,9.406246e-07,9.397184e-07,9.396417e-07,9.387167e-07,9.382903e-07,9.376241e-07,9.367836e-07,9.364449e-07,9.351833e-07,9.351312e-07,9.338433e-07,9.333424e-07,9.324288e-07,9.314263e-07,9.309435e-07,9.293911e-07,9.272450e-07,9.249957e-07,9.226505e-07,9.202163e-07,9.176999e-07,9.151074e-07,9.124450e-07,9.097183e-07,9.069328e-07,9.040936e-07,9.012056e-07,8.982735e-07,8.953018e-07,8.922945e-07,8.892556e-07,8.861890e-07,8.830983e-07,8.799867e-07,8.768575e-07,8.737138e-07,8.705584e-07,8.673939e-07,8.642231e-07,8.610483e-07
0.000000e+00,8.061674e-11,2.229623e-10,9.377628e-10,2.352060e-09,3.565711e-09,8.722943e-09,9.009104e-09,1.847490e-08,2.203926e-08,3.342504e-08,4.568744e-08,5.540938e-08,8.267184e-08,8.536389e-08,1.231672e-07,1.333427e-07,1.682362e-07,1.964592e-07,2.200825e-07,2.710433e-07,2.783683e-07,3.428146e-07,3.564182e-07,4.131295e-07,4.519018e-07,4.889725e-07,5.566624e-07,5.699444e-07,6.555899e-07,6.696940e-07,7.454089e-07,7.898495e-07,8.388709e-07,9.158969e-07,9.354302e-07,1.034541e-06,1.046580e-06,1.135670e-06,1.180673e-06,1.238306e-06,1.317023e-06,1.341972e-06,1.446224e-06,1.454578e-06,1.550661e-06,1.592404e-06,1.654919e-06,1.729694e-06,1.758680e-06,1.861661e-06,1.865761e-06,1.963619e-06,2.000033e-06,2.064345e-06,2.132043e-06,2.163661e-06,2.261418e-06,2.357490e-06,2.387861e-06,2.451778e-06,2.511147e-06,2.544199e-06,2.631105e-06,2.634687e-06,2.723193e-06,2.747614e-06,2.809679e-06,2.860590e-06,2.894119e-06,2.969982e-06,2.976496e-06,3.056801e-06,3.075766e-06,3.135032e-06,3.177937e-06,3.211194e-06,3.276510e-06,3.285294e-06,3.357346e-06,3.371512e-06,3.427367e-06,3.462982e-06,3.495378e-06,3.550969e-06,3.561400e-06,3.625458e-06,3.635527e-06,3.687579e-06,3.716717e-06,3.747791e-06,3.794605e-06,3.806123e-06,3.862606e-06,3.869262e-06,3.917272e-06,3.940757e-06,3.970152e-06,4.009167e-06,4.021279e-06,4.070686e-06,4.074566e-06,4.118407e-06,4.137030e-06,4.164474e-06,4.196638e-06,4.208922e-06,4.251784e-06,4.253466e-06,4.293094e-06,4.307592e-06,4.332886e-06,4.359094e-06,4.371192e-06,4.408047e-06,4.443484e-06,4.454529e-06,4.477534e-06,4.498614e-06,4.510231e-06,4.540377e-06,4.541607e-06,4.571693e-06,4.579891e-06,4.600521e-06,4.617227e-06,4.628122e-06,4.652457e-06,4.654526e-06,4.679764e-06,4.685651e-06,4.703865e-06,4.716875e-06,4.726858e-06,4.746198e-06,4.748772e-06,4.769635e-06,4.773685e-06,4.789476e-06,4.799398e-06,4.808321e-06,4.823401e-06,4.826197e-06,4.843131e-06,4.845755e-06,4.859148e-06,4.866519e-06,4.874274e-06,4.885750e-06,4.888534e-06,4.901951e-06,4.903505e-06,4.914550e-06,4.919840e-06,4.926354e-06,4.934807e-06,4.937386e-06,4.947668e-06,4.948459e-06,4.957222e-06,4.960845e-06,4.966071e-06,4.972016e-06,4.974234e-06,4.981732e-06,4.982018e-06,4.988585e-06,4.990898e-06,4.994813e-06,4.998701e-06,5.000435e-06,5.005470e-06,5.011248e-06,5.016075e-06,5.019992e-06,5.023036e-06,5.025244e-06,5.026654e-06,5.027298e-06,5.027212e-06,5.026428e-06,5.024977e-06,5.022889e-06,5.020195e-06,5.016923e-06,5.013099e-06,5.008751e-06,5.003904e-06,4.998583e-06,4.992812e-06,4.986613e-06,4.980009e-06,4.973022e-06,4.965671e-06,4.957976e-06,4.949958e-06
0.000000e+00,8.971695e-11,2.214367e-10,8.259188e-10,1.958328e-09,2.907035e-09,6.851409e-09,7.067946e-09,1.415642e-08,1.679414e-08,2.509600e-08,3.379704e-08,4.051913e-08,5.872933e-08,6.049015e-08,8.482804e-08,9.130124e-08,1.133856e-07,1.311825e-07,1.460602e-07,1.781337e-07,1.827428e-07,2.232836e-07,2.318377e-07,2.674767e-07,2.918149e-07,3.150572e-07,3.574106e-07,3.657062e-07,4.190606e-07,4.278222e-07,4.747238e-07,5.021405e-07,5.322798e-07,5.794029e-07,5.913053e-07,6.513821e-07,6.586426e-07,7.121065e-07,7.389309e-07,7.730958e-07,8.194059e-07,8.339963e-07,8.944915e-07,8.993050e-07,9.543001e-07,9.779748e-07,1.013175e-06,1.054868e-06,1.070906e-06,1.127316e-06,1.129542e-06,1.182259e-06,1.201656e-06,1.235618e-06,1.270951e-06,1.287303e-06,1.337246e-06,1.385399e-06,1.400425e-06,1.431732e-06,1.460422e-06,1.476230e-06,1.517219e-06,1.518890e-06,1.559721e-06,1.570827e-06,1.598738e-06,1.621288e-06,1.635967e-06,1.668664e-06,1.671437e-06,1.705183e-06,1.713030e-06,1.737243e-06,1.754476e-06,1.767659e-06,1.793098e-06,1.796473e-06,1.823729e-06,1.828998e-06,1.849475e-06,1.862281e-06,1.873756e-06,1.893055e-06,1.896619e-06,1.918110e-06,1.921425e-06,1.938276e-06,1.947499e-06,1.957163e-06,1.971381e-06,1.974815e-06,1.991277e-06,1.993174e-06,2.006593e-06,2.012980e-06,2.020806e-06,2.030895e-06,2.033957e-06,2.046087e-06,2.047015e-06,2.057237e-06,2.061431e-06,2.067445e-06,2.074232e-06,2.076748e-06,2.085183e-06,2.085503e-06,2.092786e-06,2.095326e-06,2.099591e-06,2.103780e-06,2.105632e-06,2.110940e-06,2.115548e-06,2.116879e-06,2.119485e-06,2.121666e-06,2.122781e-06,2.125368e-06,2.125464e-06,2.127561e-06,2.128047e-06,2.129099e-06,2.129764e-06,2.130103e-06,2.130577e-06,2.130598e-06,2.130608e-06,2.130540e-06,2.130155e-06,2.129707e-06,2.129261e-06,2.128126e-06,2.127947e-06,2.126235e-06,2.125846e-06,2.124143e-06,2.122911e-06,2.121690e-06,2.119364e-06,2.118895e-06,2.115775e-06,2.115247e-06,2.112347e-06,2.110597e-06,2.108628e-06,2.105452e-06,2.104632e-06,2.100375e-06,2.099847e-06,2.095870e-06,2.093814e-06,2.091133e-06,2.087385e-06,2.086176e-06,2.081011e-06,2.080590e-06,2.075652e-06,2.073456e-06,2.070109e-06,2.066011e-06,2.064394e-06,2.058518e-06,2.058280e-06,2.052491e-06,2.050286e-06,2.046322e-06,2.042052e-06,2.040022e-06,2.033600e-06,2.024949e-06,2.016120e-06,2.007128e-06,1.997993e-06,1.988729e-06,1.979352e-06,1.969876e-06,1.960314e-06,1.950679e-06,1.940982e-06,1.931236e-06,1.921450e-06,1.911634e-06,1.901797e-06,1.891948e-06,1.882095e-06,1.872246e-06,1.862408e-06,1.852587e-06,1.842790e-06,1.833022e-06,1.823288e-06,1.813595e-06,1.803945e-06
0.000000e+00,1.469409e-13,9.918160e-13,1.692236e-11,1.104914e-10,2.603950e-10,1.646016e-09,1.758720e-09,7.569343e-09,1.077303e-08,2.451071e-08,4.497747e-08,6.525065e-08,1.414402e-07,1.505651e-07,3.115828e-07,3.660406e-07,5.918137e-07,8.216284e-07,1.048713e-06,1.653950e-06,1.754539e-06,2.796363e-06,3.053708e-06,4.275210e-06,5.254124e-06,6.304444e-06,8.524418e-06,9.007515e-06,1.251526e-05,1.316017e-05,1.696286e-05,1.947162e-05,2.248665e-05,2.777088e-05,2.922084e-05,3.729431e-05,3.835895e-05,4.682756e-05,5.151328e-05,5.792989e-05,6.747645e-05,7.069689e-05,8.520828e-05,8.644654e-05,1.015262e-04,1.085696e-04,1.196940e-04,1.339343e-04,1.397352e-04,1.616535e-04,1.625691e-04,1.854322e-04,1.944417e-04,2.110356e-04,2.294610e-04,2.384091e-04,2.674808e-04,2.981629e-04,3.083049e-04,3.303533e-04,3.516943e-04,3.639376e-04,3.973742e-04,3.987911e-04,4.347805e-04,4.450422e-04,4.717664e-04,4.943766e-04,5.096051e-04,5.450442e-04,5.481503e-04,5.872552e-04,5.967075e-04,6.267741e-04,6.490320e-04,6.665638e-04,7.016920e-04,7.064850e-04,7.464035e-04,7.543755e-04,7.861914e-04,8.067889e-04,8.257273e-04,8.586595e-04,8.648977e-04,9.035971e-04,9.097386e-04,9.417282e-04,9.598029e-04,9.792024e-04,1.008655e-03,1.015940e-03,1.051869e-03,1.056123e-03,1.086928e-03,1.102063e-03,1.121061e-03,1.146355e-03,1.154223e-03,1.186374e-03,1.188901e-03,1.217483e-03,1.229629e-03,1.247525e-03,1.268484e-03,1.276482e-03,1.304343e-03,1.305434e-03,1.331099e-03,1.340461e-03,1.356751e-03,1.373563e-03,1.381299e-03,1.404753e-03,1.427121e-03,1.434053e-03,1.448420e-03,1.461497e-03,1.468665e-03,1.487127e-03,1.487876e-03,1.506075e-03,1.510993e-03,1.523286e-03,1.533148e-03,1.539533e-03,1.553652e-03,1.554843e-03,1.569244e-03,1.572568e-03,1.582764e-03,1.589960e-03,1.595431e-03,1.605896e-03,1.607275e-03,1.618324e-03,1.620441e-03,1.628609e-03,1.633665e-03,1.638159e-03,1.645633e-03,1.647002e-03,1.655167e-03,1.656413e-03,1.662684e-03,1.666069e-03,1.669579e-03,1.674666e-03,1.675879e-03,1.681613e-03,1.682264e-03,1.686804e-03,1.688924e-03,1.691480e-03,1.694704e-03,1.695664e-03,1.699381e-03,1.699659e-03,1.702653e-03,1.703842e-03,1.705503e-03,1.707306e-03,1.707953e-03,1.710023e-03,1.710098e-03,1.711734e-03,1.712266e-03,1.713105e-03,1.713853e-03,1.714155e-03,1.714900e-03,1.715449e-03,1.715536e-03,1.715197e-03,1.714465e-03,1.713372e-03,1.711947e-03,1.710219e-03,1.708214e-03,1.705955e-03,1.703467e-03,1.700771e-03,1.697888e-03,1.694835e-03,1.691631e-03,1.688292e-03,1.684834e-03,1.681270e-03,1.677616e-03,1.673882e-03,1.670080e-03,1.666222e-03,1.662317e-03,1.658374e-03,1.654403e-03
0.000000e+00,7.811743e-12,1.784919e-11,6.128765e-11,1.401270e-10,2.057024e-10,4.806477e-10,4.959202e-10,1.007132e-09,1.202566e-09,1.832906e-09,2.511966e-09,3.043326e-09,4.475729e-09,4.611954e-09,6.426695e-09,6.885795e-09,8.377280e-09,9.500585e-09,1.039122e-08,1.218028e-08,1.242417e-08,1.444644e-08,1.484756e-08,1.643559e-08,1.745061e-08,1.837322e-08,1.994981e-08,2.024412e-08,2.203587e-08,2.231453e-08,2.373889e-08,2.452270e-08,2.534630e-08,2.656043e-08,2.685379e-08,2.825915e-08,2.842090e-08,2.956227e-08,3.010363e-08,3.076481e-08,3.161317e-08,3.186959e-08,3.288035e-08,3.295728e-08,3.380152e-08,3.414597e-08,3.463790e-08,3.519040e-08,3.539450e-08,3.607641e-08,3.610221e-08,3.668866e-08,3.689296e-08,3.723614e-08,3.757385e-08,3.772358e-08,3.815545e-08,3.853600e-08,3.864759e-08,3.886921e-08,3.905935e-08,3.915880e-08,3.939899e-08,3.940824e-08,3.962075e-08,3.967405e-08,3.979932e-08,3.989133e-08,3.994671e-08,4.005696e-08,4.006546e-08,4.015794e-08,4.017646e-08,4.022630e-08,4.025480e-08,4.027255e-08,4.029643e-08,4.029854e-08,4.030595e-08,4.030534e-08,4.029635e-08,4.028512e-08,4.027118e-08,4.023898e-08,4.023177e-08,4.017933e-08,4.016981e-08,4.011499e-08,4.008019e-08,4.003979e-08,3.997244e-08,3.995467e-08,3.986053e-08,3.984866e-08,3.975817e-08,3.971072e-08,3.964834e-08,3.956030e-08,3.953173e-08,3.940898e-08,3.939891e-08,3.928068e-08,3.922792e-08,3.914737e-08,3.904857e-08,3.900955e-08,3.886770e-08,3.886195e-08,3.872224e-08,3.866907e-08,3.857356e-08,3.847082e-08,3.842204e-08,3.826802e-08,3.811180e-08,3.806139e-08,3.795368e-08,3.785162e-08,3.779394e-08,3.763928e-08,3.763281e-08,3.747054e-08,3.742493e-08,3.730733e-08,3.720905e-08,3.714339e-08,3.699208e-08,3.697890e-08,3.681403e-08,3.677442e-08,3.664894e-08,3.655645e-08,3.648377e-08,3.633847e-08,3.631866e-08,3.615374e-08,3.612078e-08,3.598911e-08,3.590366e-08,3.582490e-08,3.568734e-08,3.566119e-08,3.549808e-08,3.547204e-08,3.533565e-08,3.525795e-08,3.517399e-08,3.504525e-08,3.501316e-08,3.485323e-08,3.483410e-08,3.469425e-08,3.462463e-08,3.453630e-08,3.441697e-08,3.437941e-08,3.422364e-08,3.421123e-08,3.406903e-08,3.400752e-08,3.391561e-08,3.380592e-08,3.376343e-08,3.361251e-08,3.360650e-08,3.346289e-08,3.340935e-08,3.331459e-08,3.321451e-08,3.316763e-08,3.302203e-08,3.283197e-08,3.264436e-08,3.245922e-08,3.227659e-08,3.209649e-08,3.191892e-08,3.174390e-08,3.157144e-08,3.140154e-08,3.123420e-08,3.106942e-08,3.090718e-08,3.074748e-08,3.059032e-08,3.043566e-08,3.028351e-08,3.013384e-08,2.998663e-08,2.984187e-08,2.969953e-08,2.955958e-08,2.942201e-08,2.928680e-08,2.915391e-08
0.000000e+00,1.917866e-11,9.849788e-11,9.777658e-10,4.015686e-09,7.427162e-09,2.611229e-08,2.727448e-08,6.938949e-08,8.638101e-08,1.426646e-07,2.053658e-07,2.562401e-07,4.046573e-07,4.198191e-07,6.432011e-07,7.066683e-07,9.341757e-07,1.127717e-06,1.294651e-06,1.663821e-06,1.717376e-06,2.186854e-06,2.284699e-06,2.684273e-06,2.948115e-06,3.192430e-06,3.617713e-06,3.698000e-06,4.191534e-06,4.268917e-06,4.666556e-06,4.886630e-06,5.118632e-06,5.461703e-06,5.544737e-06,5.942860e-06,5.988689e-06,6.311776e-06,6.464678e-06,6.650914e-06,6.888713e-06,6.960254e-06,7.240243e-06,7.261396e-06,7.491713e-06,7.584563e-06,7.715803e-06,7.860953e-06,7.913877e-06,8.087465e-06,8.093922e-06,8.238199e-06,8.287192e-06,8.367762e-06,8.444633e-06,8.477838e-06,8.570074e-06,8.646067e-06,8.667205e-06,8.707335e-06,8.739480e-06,8.755302e-06,8.790075e-06,8.791301e-06,8.816566e-06,8.821873e-06,8.832227e-06,8.837448e-06,8.839319e-06,8.839086e-06,8.838783e-06,8.831475e-06,8.828800e-06,8.818166e-06,8.808354e-06,8.799552e-06,8.779283e-06,8.776260e-06,8.748851e-06,8.742921e-06,8.717830e-06,8.700424e-06,8.683649e-06,8.652792e-06,8.646712e-06,8.607383e-06,8.600890e-06,8.565983e-06,8.545463e-06,8.522805e-06,8.487157e-06,8.478108e-06,8.432122e-06,8.426528e-06,8.385057e-06,8.364055e-06,8.337098e-06,8.300154e-06,8.288411e-06,8.239146e-06,8.235184e-06,8.189435e-06,8.169454e-06,8.139399e-06,8.103231e-06,8.089143e-06,8.038765e-06,8.036748e-06,7.988349e-06,7.970205e-06,7.937973e-06,7.903776e-06,7.887706e-06,7.837608e-06,7.787735e-06,7.771832e-06,7.738136e-06,7.706557e-06,7.688855e-06,7.641879e-06,7.639930e-06,7.591396e-06,7.577880e-06,7.543283e-06,7.514630e-06,7.495620e-06,7.452186e-06,7.448429e-06,7.401732e-06,7.390600e-06,7.355547e-06,7.329914e-06,7.309891e-06,7.270161e-06,7.264776e-06,7.220215e-06,7.211370e-06,7.176217e-06,7.153564e-06,7.132792e-06,7.096762e-06,7.089945e-06,7.047683e-06,7.040976e-06,7.006009e-06,6.986216e-06,6.964927e-06,6.932489e-06,6.924439e-06,6.884545e-06,6.879798e-06,6.845246e-06,6.828143e-06,6.806542e-06,6.777524e-06,6.768431e-06,6.730912e-06,6.727936e-06,6.693981e-06,6.679373e-06,6.657637e-06,6.631830e-06,6.621875e-06,6.586691e-06,6.585296e-06,6.552082e-06,6.539762e-06,6.518042e-06,6.495218e-06,6.484567e-06,6.451651e-06,6.409049e-06,6.367398e-06,6.326685e-06,6.286896e-06,6.248014e-06,6.210026e-06,6.172916e-06,6.136668e-06,6.101267e-06,6.066696e-06,6.032939e-06,5.999981e-06,5.967805e-06,5.936396e-06,5.905737e-06,5.875813e-06,5.846608e-06,5.818107e-06,5.790294e-06,5.763154e-06,5.736672e-06,5.710833e-06,5.685623e-06,5.661027e-06
0.000000e+00,1.106417e-12,7.211195e-12,1.143818e-10,6.985739e-10,1.586926e-09,9.122959e-09,9.710121e-09,3.805775e-08,5.281659e-08,1.128552e-07,1.969921e-07,2.767457e-07,5.591206e-07,5.916932e-07,1.140566e-06,1.318154e-06,2.026176e-06,2.712806e-06,3.366594e-06,5.021929e-06,5.287183e-06,7.911378e-06,8.530869e-06,1.135238e-05,1.349743e-05,1.570704e-05,2.012781e-05,2.105211e-05,2.744270e-05,2.856475e-05,3.491220e-05,3.888526e-05,4.347326e-05,5.110419e-05,5.311927e-05,6.382628e-05,6.518070e-05,7.555499e-05,8.102618e-05,8.825285e-05,9.851259e-05,1.018562e-04,1.162925e-04,1.174811e-04,1.314823e-04,1.377504e-04,1.473413e-04,1.591254e-04,1.637826e-04,1.807179e-04,1.814043e-04,1.980598e-04,2.043859e-04,2.157229e-04,2.278750e-04,2.336247e-04,2.516871e-04,2.698370e-04,2.756521e-04,2.880063e-04,2.996161e-04,3.061331e-04,3.234425e-04,3.241611e-04,3.420398e-04,3.470128e-04,3.597246e-04,3.702259e-04,3.771764e-04,3.929970e-04,3.943613e-04,4.112503e-04,4.152568e-04,4.278188e-04,4.369495e-04,4.440466e-04,4.580319e-04,4.599170e-04,4.754168e-04,4.784713e-04,4.905357e-04,4.982444e-04,5.052661e-04,5.173355e-04,5.196028e-04,5.335425e-04,5.357359e-04,5.470839e-04,5.534422e-04,5.602270e-04,5.704557e-04,5.729734e-04,5.853255e-04,5.867814e-04,5.972869e-04,6.024273e-04,6.088620e-04,6.174038e-04,6.200559e-04,6.308740e-04,6.317234e-04,6.413226e-04,6.454000e-04,6.514082e-04,6.584487e-04,6.611374e-04,6.705174e-04,6.708854e-04,6.795553e-04,6.827267e-04,6.882587e-04,6.939896e-04,6.966349e-04,7.046914e-04,7.124360e-04,7.148496e-04,7.198761e-04,7.244816e-04,7.270195e-04,7.336048e-04,7.338735e-04,7.404459e-04,7.422366e-04,7.467439e-04,7.503941e-04,7.527750e-04,7.580942e-04,7.585466e-04,7.640656e-04,7.653534e-04,7.693394e-04,7.721881e-04,7.743748e-04,7.786142e-04,7.791786e-04,7.837578e-04,7.846472e-04,7.881188e-04,7.903025e-04,7.922683e-04,7.955950e-04,7.962125e-04,7.999579e-04,8.005391e-04,8.035104e-04,8.051489e-04,8.068761e-04,8.094382e-04,8.100609e-04,8.130706e-04,8.134202e-04,8.159106e-04,8.171079e-04,8.185865e-04,8.205138e-04,8.211037e-04,8.234673e-04,8.236500e-04,8.256825e-04,8.265282e-04,8.277543e-04,8.291598e-04,8.296874e-04,8.314866e-04,8.315558e-04,8.331565e-04,8.337269e-04,8.347016e-04,8.356832e-04,8.361262e-04,8.374346e-04,8.389908e-04,8.403609e-04,8.415538e-04,8.425781e-04,8.434420e-04,8.441534e-04,8.447200e-04,8.451491e-04,8.454478e-04,8.456229e-04,8.456808e-04,8.456280e-04,8.454703e-04,8.452136e-04,8.448634e-04,8.444251e-04,8.439036e-04,8.433040e-04,8.426309e-04,8.418889e-04,8.410821e-04,8.402147e-04,8.392907e-04,8.383138e-04
0.000000e+00,7.059017e-12,1.641896e-11,5.709550e-11,1.298267e-10,1.889041e-10,4.233192e-10,4.357749e-10,8.261850e-10,9.646211e-10,1.384391e-09,1.808528e-09,2.130882e-09,2.998586e-09,3.082617e-09,4.252956e-09,4.567489e-09,5.651094e-09,6.535227e-09,7.280771e-09,8.903662e-09,9.138242e-09,1.121020e-08,1.164843e-08,1.347323e-08,1.471530e-08,1.589593e-08,1.802854e-08,1.844292e-08,2.107856e-08,2.150620e-08,2.376910e-08,2.507087e-08,2.648364e-08,2.865368e-08,2.919424e-08,3.187587e-08,3.219464e-08,3.450639e-08,3.564254e-08,3.706644e-08,3.895465e-08,3.953946e-08,4.191161e-08,4.209667e-08,4.417172e-08,4.504238e-08,4.631117e-08,4.777326e-08,4.832371e-08,5.020530e-08,5.027780e-08,5.195386e-08,5.255066e-08,5.356905e-08,5.459176e-08,5.505207e-08,5.640533e-08,5.763230e-08,5.799895e-08,5.873731e-08,5.938275e-08,5.972527e-08,6.056863e-08,6.060161e-08,6.137205e-08,6.156960e-08,6.204250e-08,6.239927e-08,6.261897e-08,6.307145e-08,6.310743e-08,6.351380e-08,6.359976e-08,6.384385e-08,6.399743e-08,6.410317e-08,6.427712e-08,6.429712e-08,6.443083e-08,6.445078e-08,6.450919e-08,6.452960e-08,6.453681e-08,6.452398e-08,6.451803e-08,6.445694e-08,6.444350e-08,6.435737e-08,6.429695e-08,6.422286e-08,6.409235e-08,6.405676e-08,6.386213e-08,6.383700e-08,6.364185e-08,6.353749e-08,6.339857e-08,6.319981e-08,6.313474e-08,6.285261e-08,6.282931e-08,6.255428e-08,6.243084e-08,6.224166e-08,6.200873e-08,6.191652e-08,6.158048e-08,6.156684e-08,6.123504e-08,6.110864e-08,6.088155e-08,6.063722e-08,6.052126e-08,6.015533e-08,5.978479e-08,5.966540e-08,5.941060e-08,5.916962e-08,5.903364e-08,5.866989e-08,5.865470e-08,5.827450e-08,5.816791e-08,5.789370e-08,5.766519e-08,5.751290e-08,5.716303e-08,5.713264e-08,5.675340e-08,5.666259e-08,5.637564e-08,5.616488e-08,5.599974e-08,5.567079e-08,5.562608e-08,5.525498e-08,5.518109e-08,5.488672e-08,5.469644e-08,5.452156e-08,5.421740e-08,5.415974e-08,5.380145e-08,5.374447e-08,5.344688e-08,5.327806e-08,5.309619e-08,5.281851e-08,5.274951e-08,5.240695e-08,5.236613e-08,5.206864e-08,5.192114e-08,5.173464e-08,5.148374e-08,5.140504e-08,5.107990e-08,5.105408e-08,5.075926e-08,5.063227e-08,5.044315e-08,5.021838e-08,5.013161e-08,4.982466e-08,4.981248e-08,4.952230e-08,4.941458e-08,4.922454e-08,4.902468e-08,4.893137e-08,4.864278e-08,4.826884e-08,4.790279e-08,4.754459e-08,4.719416e-08,4.685141e-08,4.651624e-08,4.618855e-08,4.586824e-08,4.555520e-08,4.524929e-08,4.495041e-08,4.465843e-08,4.437321e-08,4.409464e-08,4.382258e-08,4.355690e-08,4.329747e-08,4.304416e-08,4.279684e-08,4.255537e-08,4.231964e-08,4.208950e-08,4.186484e-08,4.164552e-08
0.000000e+00,3.467507e-13,2.320959e-12,3.890896e-11,2.499371e-10,5.837117e-10,3.603196e-09,3.846157e-09,1.616110e-08,2.285046e-08,5.113278e-08,9.257147e-08,1.331187e-07,2.829307e-07,3.006809e-07,6.097464e-07,7.129650e-07,1.136290e-06,1.561737e-06,1.978307e-06,3.075679e-06,3.256653e-06,5.114159e-06,5.569112e-06,7.712556e-06,9.414383e-06,1.122722e-05,1.502082e-05,1.584024e-05,2.173271e-05,2.280594e-05,2.907695e-05,3.316459e-05,3.802951e-05,4.644101e-05,4.872522e-05,6.127270e-05,6.290692e-05,7.575110e-05,8.274682e-05,9.220837e-05,1.060505e-04,1.106607e-04,1.310928e-04,1.328118e-04,1.534598e-04,1.629328e-04,1.776886e-04,1.962320e-04,2.036811e-04,2.313172e-04,2.324549e-04,2.604576e-04,2.712870e-04,2.909479e-04,3.123678e-04,3.226217e-04,3.553043e-04,3.888154e-04,3.996843e-04,4.229731e-04,4.450895e-04,4.575960e-04,4.911061e-04,4.925058e-04,5.275300e-04,5.373345e-04,5.625032e-04,5.833973e-04,5.972693e-04,6.289453e-04,6.316821e-04,6.656069e-04,6.736623e-04,6.989205e-04,7.172673e-04,7.315121e-04,7.595170e-04,7.632832e-04,7.941477e-04,8.002051e-04,8.240314e-04,8.391622e-04,8.528721e-04,8.762543e-04,8.806184e-04,9.072299e-04,9.113803e-04,9.326759e-04,9.444693e-04,9.569348e-04,9.754784e-04,9.799938e-04,1.001848e-03,1.004389e-03,1.022498e-03,1.031204e-03,1.041952e-03,1.055946e-03,1.060224e-03,1.077332e-03,1.078651e-03,1.093298e-03,1.099370e-03,1.108147e-03,1.118163e-03,1.121908e-03,1.134613e-03,1.135100e-03,1.146294e-03,1.150256e-03,1.156987e-03,1.163711e-03,1.166726e-03,1.175548e-03,1.183490e-03,1.185852e-03,1.190589e-03,1.194708e-03,1.196883e-03,1.202200e-03,1.202407e-03,1.207198e-03,1.208413e-03,1.211292e-03,1.213429e-03,1.214724e-03,1.217327e-03,1.217529e-03,1.219738e-03,1.220184e-03,1.221386e-03,1.222075e-03,1.222502e-03,1.223070e-03,1.223118e-03,1.223263e-03,1.223238e-03,1.222964e-03,1.222643e-03,1.222249e-03,1.221346e-03,1.221144e-03,1.219673e-03,1.219406e-03,1.217861e-03,1.216876e-03,1.215729e-03,1.213809e-03,1.213300e-03,1.210594e-03,1.210252e-03,1.207631e-03,1.206251e-03,1.204430e-03,1.201849e-03,1.201009e-03,1.197384e-03,1.197085e-03,1.193571e-03,1.191997e-03,1.189586e-03,1.186619e-03,1.185444e-03,1.181157e-03,1.180983e-03,1.176739e-03,1.175119e-03,1.172202e-03,1.169054e-03,1.167557e-03,1.162816e-03,1.156427e-03,1.149910e-03,1.143286e-03,1.136572e-03,1.129787e-03,1.122947e-03,1.116066e-03,1.109157e-03,1.102235e-03,1.095309e-03,1.088390e-03,1.081487e-03,1.074610e-03,1.067766e-03,1.060963e-03,1.054206e-03,1.047502e-03,1.040856e-03,1.034273e-03,1.027756e-03,1.021309e-03,1.014937e-03,1.008641e-03,1.002424e-03
0.000000e+00,1.333629e-10,3.957168e-10,1.788610e-09,4.618127e-09,7.061753e-09,1.741304e-08,1.798396e-08,3.662485e-08,4.352651e-08,6.521961e-08,8.815844e-08,1.061838e-07,1.567122e-07,1.617278e-07,2.328469e-07,2.521676e-07,3.186563e-07,3.724060e-07,4.172068e-07,5.129285e-07,5.265663e-07,6.451170e-07,6.698038e-07,7.714466e-07,8.397690e-07,9.042237e-07,1.019782e-06,1.042140e-06,1.183902e-06,1.206856e-06,1.328250e-06,1.398100e-06,1.473981e-06,1.590808e-06,1.619978e-06,1.765227e-06,1.782563e-06,1.908831e-06,1.971291e-06,2.050014e-06,2.155289e-06,2.188125e-06,2.322629e-06,2.333220e-06,2.453098e-06,2.504080e-06,2.579205e-06,2.667163e-06,2.700709e-06,2.817443e-06,2.822011e-06,2.929306e-06,2.968373e-06,3.036250e-06,3.106159e-06,3.138272e-06,3.235407e-06,3.327717e-06,3.356250e-06,3.415286e-06,3.468890e-06,3.498219e-06,3.573581e-06,3.576633e-06,3.650654e-06,3.670611e-06,3.720418e-06,3.760291e-06,3.786064e-06,3.842943e-06,3.847734e-06,3.905572e-06,3.918898e-06,3.959720e-06,3.988486e-06,4.010324e-06,4.052033e-06,4.057522e-06,4.101454e-06,4.109860e-06,4.142255e-06,4.162279e-06,4.180059e-06,4.209591e-06,4.214993e-06,4.247185e-06,4.252090e-06,4.276756e-06,4.290054e-06,4.303825e-06,4.323754e-06,4.328505e-06,4.350907e-06,4.353447e-06,4.371137e-06,4.379377e-06,4.389299e-06,4.401780e-06,4.405492e-06,4.419810e-06,4.420877e-06,4.432346e-06,4.436881e-06,4.443188e-06,4.449993e-06,4.452420e-06,4.460124e-06,4.460402e-06,4.466379e-06,4.468290e-06,4.471258e-06,4.473827e-06,4.474833e-06,4.477174e-06,4.478347e-06,4.478486e-06,4.478414e-06,4.477905e-06,4.477436e-06,4.475568e-06,4.475471e-06,4.472574e-06,4.471603e-06,4.468798e-06,4.466131e-06,4.464193e-06,4.459267e-06,4.458809e-06,4.452690e-06,4.451117e-06,4.445882e-06,4.441784e-06,4.438426e-06,4.431361e-06,4.430363e-06,4.421730e-06,4.419939e-06,4.412565e-06,4.407601e-06,4.402903e-06,4.394426e-06,4.392776e-06,4.382217e-06,4.380489e-06,4.371255e-06,4.365859e-06,4.359920e-06,4.350601e-06,4.348239e-06,4.336237e-06,4.334777e-06,4.323941e-06,4.318444e-06,4.311374e-06,4.301655e-06,4.298557e-06,4.285513e-06,4.284460e-06,4.272262e-06,4.266908e-06,4.258823e-06,4.249041e-06,4.245215e-06,4.231455e-06,4.230902e-06,4.217559e-06,4.212527e-06,4.203545e-06,4.193954e-06,4.189425e-06,4.175215e-06,4.156342e-06,4.137363e-06,4.118306e-06,4.099196e-06,4.080056e-06,4.060908e-06,4.041771e-06,4.022665e-06,4.003607e-06,3.984613e-06,3.965696e-06,3.946872e-06,3.928151e-06,3.909546e-06,3.891068e-06,3.872725e-06,3.854526e-06,3.836480e-06,3.818593e-06,3.800873e-06,3.783324e-06,3.765953e-06,3.748764e-06,3.731761e-06
0.000000e+00,4.236334e-11,1.080735e-10,4.159641e-10,9.958700e-10,1.479510e-09,3.453908e-09,3.560511e-09,6.956469e-09,8.180248e-09,1.193588e-08,1.578451e-08,1.873842e-08,2.678777e-08,2.757380e-08,3.861874e-08,4.161453e-08,5.201054e-08,6.056979e-08,6.783550e-08,8.379067e-08,8.611192e-08,1.067737e-07,1.111803e-07,1.296684e-07,1.423851e-07,1.545769e-07,1.768701e-07,1.812441e-07,2.094038e-07,2.140302e-07,2.387924e-07,2.532598e-07,2.691536e-07,2.939776e-07,3.002422e-07,3.318252e-07,3.356378e-07,3.636844e-07,3.777374e-07,3.956182e-07,4.198239e-07,4.274426e-07,4.589931e-07,4.615008e-07,4.901242e-07,5.024305e-07,5.207102e-07,5.423336e-07,5.506437e-07,5.798354e-07,5.809866e-07,6.082124e-07,6.182172e-07,6.357170e-07,6.538988e-07,6.623050e-07,6.879443e-07,7.126134e-07,7.203004e-07,7.363001e-07,7.509416e-07,7.589998e-07,7.798651e-07,7.807149e-07,8.014531e-07,8.070863e-07,8.212268e-07,8.326348e-07,8.400524e-07,8.565509e-07,8.579489e-07,8.749382e-07,8.788832e-07,8.910437e-07,8.996860e-07,9.062904e-07,9.190176e-07,9.207041e-07,9.343116e-07,9.369388e-07,9.471399e-07,9.535116e-07,9.592160e-07,9.687986e-07,9.705672e-07,9.812205e-07,9.828621e-07,9.912027e-07,9.957634e-07,1.000540e-06,1.007563e-06,1.009258e-06,1.017383e-06,1.018319e-06,1.024938e-06,1.028088e-06,1.031948e-06,1.036926e-06,1.038437e-06,1.044427e-06,1.044886e-06,1.049941e-06,1.052017e-06,1.054998e-06,1.058370e-06,1.059621e-06,1.063830e-06,1.063990e-06,1.067643e-06,1.068922e-06,1.071079e-06,1.073209e-06,1.074156e-06,1.076891e-06,1.079302e-06,1.080007e-06,1.081403e-06,1.082593e-06,1.083211e-06,1.084684e-06,1.084740e-06,1.086005e-06,1.086314e-06,1.087019e-06,1.087512e-06,1.087795e-06,1.088310e-06,1.088346e-06,1.088684e-06,1.088735e-06,1.088821e-06,1.088814e-06,1.088768e-06,1.088571e-06,1.088534e-06,1.088132e-06,1.088031e-06,1.087569e-06,1.087216e-06,1.086856e-06,1.086148e-06,1.086002e-06,1.085014e-06,1.084845e-06,1.083902e-06,1.083327e-06,1.082673e-06,1.081611e-06,1.081335e-06,1.079894e-06,1.079715e-06,1.078358e-06,1.077653e-06,1.076732e-06,1.075441e-06,1.075024e-06,1.073239e-06,1.073093e-06,1.071382e-06,1.070621e-06,1.069460e-06,1.068038e-06,1.067477e-06,1.065438e-06,1.065355e-06,1.063347e-06,1.062583e-06,1.061210e-06,1.059732e-06,1.059030e-06,1.056811e-06,1.053830e-06,1.050797e-06,1.047718e-06,1.044602e-06,1.041455e-06,1.038284e-06,1.035094e-06,1.031890e-06,1.028678e-06,1.025463e-06,1.022248e-06,1.019037e-06,1.015835e-06,1.012645e-06,1.009470e-06,1.006312e-06,1.003175e-06,1.000061e-06,9.969718e-07,9.939098e-07,9.908768e-07,9.878745e-07,9.849043e-07,9.819677e-07
0.000000e+00,1.059463e-13,7.039665e-13,1.162033e-11,7.357742e-11,1.704613e-10,1.030268e-09,1.098783e-09,4.519114e-09,6.352153e-09,1.400422e-08,2.504798e-08,3.573485e-08,7.461527e-08,7.917681e-08,1.576330e-07,1.835284e-07,2.886461e-07,3.929840e-07,4.942046e-07,7.575743e-07,8.006385e-07,1.238034e-06,1.344075e-06,1.839045e-06,2.227369e-06,2.637147e-06,3.483521e-06,3.664561e-06,4.950172e-06,5.181502e-06,6.517721e-06,7.375628e-06,8.384460e-06,1.010021e-05,1.056033e-05,1.304768e-05,1.336692e-05,1.584138e-05,1.716479e-05,1.892938e-05,2.146208e-05,2.229346e-05,2.591010e-05,2.620953e-05,2.975153e-05,3.134419e-05,3.378675e-05,3.679347e-05,3.798247e-05,4.230414e-05,4.247913e-05,4.671672e-05,4.832080e-05,5.118552e-05,5.423914e-05,5.567680e-05,6.015842e-05,6.460021e-05,6.600856e-05,6.897438e-05,7.172663e-05,7.325577e-05,7.725785e-05,7.742203e-05,8.145372e-05,8.255615e-05,8.533432e-05,8.758437e-05,8.905021e-05,9.231401e-05,9.259057e-05,9.594724e-05,9.672483e-05,9.911456e-05,1.008042e-04,1.020892e-04,1.045463e-04,1.048698e-04,1.074570e-04,1.079514e-04,1.098530e-04,1.110245e-04,1.120615e-04,1.137752e-04,1.140873e-04,1.159361e-04,1.162160e-04,1.176147e-04,1.183621e-04,1.191303e-04,1.202305e-04,1.204905e-04,1.217032e-04,1.218392e-04,1.227767e-04,1.232070e-04,1.237191e-04,1.243526e-04,1.245385e-04,1.252430e-04,1.252946e-04,1.258404e-04,1.260511e-04,1.263383e-04,1.266393e-04,1.267440e-04,1.270645e-04,1.270757e-04,1.273065e-04,1.273756e-04,1.274762e-04,1.275533e-04,1.275795e-04,1.276221e-04,1.276092e-04,1.275942e-04,1.275457e-04,1.274805e-04,1.274360e-04,1.272911e-04,1.272843e-04,1.270946e-04,1.270352e-04,1.268705e-04,1.267208e-04,1.266152e-04,1.263554e-04,1.263317e-04,1.260230e-04,1.259455e-04,1.256916e-04,1.254970e-04,1.253398e-04,1.250151e-04,1.249698e-04,1.245836e-04,1.245046e-04,1.241830e-04,1.239695e-04,1.237696e-04,1.234136e-04,1.233450e-04,1.229105e-04,1.228402e-04,1.224675e-04,1.222521e-04,1.220170e-04,1.216520e-04,1.215602e-04,1.210980e-04,1.210422e-04,1.206312e-04,1.204247e-04,1.201608e-04,1.198013e-04,1.196874e-04,1.192118e-04,1.191736e-04,1.187345e-04,1.185432e-04,1.182561e-04,1.179112e-04,1.177771e-04,1.172980e-04,1.172789e-04,1.168193e-04,1.166471e-04,1.163413e-04,1.160169e-04,1.158644e-04,1.153890e-04,1.147641e-04,1.141430e-04,1.135261e-04,1.129139e-04,1.123070e-04,1.117056e-04,1.111102e-04,1.105211e-04,1.099385e-04,1.093626e-04,1.087937e-04,1.082320e-04,1.076776e-04,1.071306e-04,1.065912e-04,1.060593e-04,1.055352e-04,1.050188e-04,1.045102e-04,1.040094e-04,1.035165e-04,1.030313e-04,1.025540e-04,1.020845e-04
0.000000e+00,2.707541e-11,6.875534e-11,2.628377e-10,6.262742e-10,9.283312e-10,2.156950e-09,2.223170e-09,4.330809e-09,5.090301e-09,7.423759e-09,9.821075e-09,1.166576e-08,1.671003e-08,1.720357e-08,2.413792e-08,2.601375e-08,3.248395e-08,3.774917e-08,4.216715e-08,5.169638e-08,5.306348e-08,6.503588e-08,6.754738e-08,7.794673e-08,8.498541e-08,9.165771e-08,1.036906e-07,1.060283e-07,1.209160e-07,1.233364e-07,1.361778e-07,1.435949e-07,1.516733e-07,1.641471e-07,1.672676e-07,1.828340e-07,1.846944e-07,1.982561e-07,2.049690e-07,2.134302e-07,2.247401e-07,2.282653e-07,2.426842e-07,2.438178e-07,2.566233e-07,2.620527e-07,2.700315e-07,2.793345e-07,2.828700e-07,2.951108e-07,2.955877e-07,3.067355e-07,3.107675e-07,3.177344e-07,3.248546e-07,3.281049e-07,3.378507e-07,3.469804e-07,3.497738e-07,3.555068e-07,3.606544e-07,3.634460e-07,3.705323e-07,3.708165e-07,3.776386e-07,3.794535e-07,3.839340e-07,3.874678e-07,3.897252e-07,3.946275e-07,3.950351e-07,3.998869e-07,4.009857e-07,4.043035e-07,4.065952e-07,4.083076e-07,4.115077e-07,4.119215e-07,4.151668e-07,4.157735e-07,4.180646e-07,4.194407e-07,4.206349e-07,4.225553e-07,4.228974e-07,4.248707e-07,4.251608e-07,4.265726e-07,4.272982e-07,4.280202e-07,4.290061e-07,4.292297e-07,4.302164e-07,4.303205e-07,4.309949e-07,4.312751e-07,4.315791e-07,4.319013e-07,4.319822e-07,4.322166e-07,4.322284e-07,4.322939e-07,4.322834e-07,4.322253e-07,4.320915e-07,4.320213e-07,4.316917e-07,4.316760e-07,4.312458e-07,4.310585e-07,4.306924e-07,4.302589e-07,4.300397e-07,4.292956e-07,4.284672e-07,4.281855e-07,4.275616e-07,4.269444e-07,4.265851e-07,4.255866e-07,4.255438e-07,4.244434e-07,4.241254e-07,4.232893e-07,4.225731e-07,4.220864e-07,4.209408e-07,4.208395e-07,4.195530e-07,4.192388e-07,4.182311e-07,4.174767e-07,4.168775e-07,4.156631e-07,4.154959e-07,4.140898e-07,4.138059e-07,4.126622e-07,4.119124e-07,4.112162e-07,4.099893e-07,4.097544e-07,4.082796e-07,4.080426e-07,4.067941e-07,4.060779e-07,4.053001e-07,4.041002e-07,4.037997e-07,4.022949e-07,4.021141e-07,4.007876e-07,4.001239e-07,3.992793e-07,3.981333e-07,3.977716e-07,3.962661e-07,3.961458e-07,3.947640e-07,3.941645e-07,3.932667e-07,3.921921e-07,3.917751e-07,3.902905e-07,3.902313e-07,3.888137e-07,3.882842e-07,3.873458e-07,3.863530e-07,3.858874e-07,3.844395e-07,3.825452e-07,3.806717e-07,3.788201e-07,3.769917e-07,3.751873e-07,3.734079e-07,3.716541e-07,3.699266e-07,3.682258e-07,3.665522e-07,3.649061e-07,3.632878e-07,3.616974e-07,3.601351e-07,3.586010e-07,3.570949e-07,3.556170e-07,3.541671e-07,3.527452e-07,3.513509e-07,3.499843e-07,3.486449e-07,3.473327e-07,3.460473e-07
0.000000e+00,1.754673e-11,4.087574e-11,1.427748e-10,3.265652e-10,4.771626e-10,1.085290e-09,1.118058e-09,2.167459e-09,2.549663e-09,3.739032e-09,4.983182e-09,5.953029e-09,8.636166e-09,8.899604e-09,1.258161e-08,1.356623e-08,1.691292e-08,1.957895e-08,2.177884e-08,2.642194e-08,2.707779e-08,3.272650e-08,3.389178e-08,3.865336e-08,4.182324e-08,4.479246e-08,5.006713e-08,5.108074e-08,5.745720e-08,5.848167e-08,6.386343e-08,6.693271e-08,7.024454e-08,7.529739e-08,7.655028e-08,8.273590e-08,8.346819e-08,8.876259e-08,9.135537e-08,9.459780e-08,9.888813e-08,1.002153e-07,1.055948e-07,1.060144e-07,1.107216e-07,1.126993e-07,1.155860e-07,1.189228e-07,1.201828e-07,1.245103e-07,1.246778e-07,1.285702e-07,1.299670e-07,1.323666e-07,1.348008e-07,1.359059e-07,1.391957e-07,1.422451e-07,1.431717e-07,1.450638e-07,1.467516e-07,1.476623e-07,1.499594e-07,1.500511e-07,1.522410e-07,1.528200e-07,1.542428e-07,1.553580e-07,1.560670e-07,1.575972e-07,1.577239e-07,1.592234e-07,1.595609e-07,1.605751e-07,1.612710e-07,1.617884e-07,1.627483e-07,1.628718e-07,1.638337e-07,1.640122e-07,1.646821e-07,1.650809e-07,1.654244e-07,1.659712e-07,1.660678e-07,1.666187e-07,1.666987e-07,1.670835e-07,1.672778e-07,1.674682e-07,1.677219e-07,1.677781e-07,1.680186e-07,1.680430e-07,1.681945e-07,1.682526e-07,1.683103e-07,1.683608e-07,1.683703e-07,1.683786e-07,1.683771e-07,1.683389e-07,1.683103e-07,1.682547e-07,1.681683e-07,1.681292e-07,1.679657e-07,1.679584e-07,1.677669e-07,1.676872e-07,1.675355e-07,1.673609e-07,1.672741e-07,1.669850e-07,1.666705e-07,1.665648e-07,1.663326e-07,1.661049e-07,1.659731e-07,1.656096e-07,1.655940e-07,1.651970e-07,1.650828e-07,1.647835e-07,1.645282e-07,1.643551e-07,1.639490e-07,1.639131e-07,1.634589e-07,1.633482e-07,1.629937e-07,1.627287e-07,1.625185e-07,1.620930e-07,1.620345e-07,1.615426e-07,1.614434e-07,1.610438e-07,1.607819e-07,1.605388e-07,1.601106e-07,1.600286e-07,1.595139e-07,1.594312e-07,1.589954e-07,1.587453e-07,1.584737e-07,1.580545e-07,1.579494e-07,1.574232e-07,1.573599e-07,1.568955e-07,1.566630e-07,1.563669e-07,1.559649e-07,1.558379e-07,1.553088e-07,1.552665e-07,1.547800e-07,1.545687e-07,1.542520e-07,1.538725e-07,1.537251e-07,1.531997e-07,1.531787e-07,1.526759e-07,1.524878e-07,1.521542e-07,1.518007e-07,1.516347e-07,1.511177e-07,1.504396e-07,1.497666e-07,1.490994e-07,1.484382e-07,1.477833e-07,1.471352e-07,1.464940e-07,1.458600e-07,1.452335e-07,1.446145e-07,1.440033e-07,1.434000e-07,1.428046e-07,1.422174e-07,1.416384e-07,1.410676e-07,1.405051e-07,1.399510e-07,1.394051e-07,1.388677e-07,1.383385e-07,1.378178e-07,1.373053e-07,1.368011e-07
0.000000e+00,1.343586e-12,3.076868e-12,1.059373e-11,2.419669e-11,3.543809e-11,8.181847e-11,8.436274e-11,1.681656e-10,1.997342e-10,3.009951e-10,4.106619e-10,4.977802e-10,7.409450e-10,7.647730e-10,1.094370e-09,1.181359e-09,1.474067e-09,1.704824e-09,1.894208e-09,2.292388e-09,2.348565e-09,2.832849e-09,2.932984e-09,3.343564e-09,3.618478e-09,3.877380e-09,4.341126e-09,4.430856e-09,5.000358e-09,5.092714e-09,5.582083e-09,5.864509e-09,6.172131e-09,6.647539e-09,6.766603e-09,7.361704e-09,7.432984e-09,7.953829e-09,8.212551e-09,8.539642e-09,8.978773e-09,9.116132e-09,9.680650e-09,9.725223e-09,1.023091e-08,1.044659e-08,1.076501e-08,1.113868e-08,1.128142e-08,1.177893e-08,1.179843e-08,1.225670e-08,1.242374e-08,1.271413e-08,1.301339e-08,1.315090e-08,1.356692e-08,1.396226e-08,1.408443e-08,1.433716e-08,1.456654e-08,1.469200e-08,1.501422e-08,1.502726e-08,1.534348e-08,1.542869e-08,1.564128e-08,1.581139e-08,1.592131e-08,1.616385e-08,1.618427e-08,1.643085e-08,1.648767e-08,1.666177e-08,1.678450e-08,1.687772e-08,1.705594e-08,1.707941e-08,1.726753e-08,1.730359e-08,1.744274e-08,1.752896e-08,1.760569e-08,1.773354e-08,1.775699e-08,1.789726e-08,1.791871e-08,1.802706e-08,1.808581e-08,1.814694e-08,1.823607e-08,1.825744e-08,1.835905e-08,1.837066e-08,1.845224e-08,1.849070e-08,1.853748e-08,1.859720e-08,1.861519e-08,1.868577e-08,1.869112e-08,1.874962e-08,1.877336e-08,1.880710e-08,1.884474e-08,1.885856e-08,1.890433e-08,1.890604e-08,1.894471e-08,1.895798e-08,1.898000e-08,1.900123e-08,1.901047e-08,1.903640e-08,1.905803e-08,1.906408e-08,1.907559e-08,1.908479e-08,1.908930e-08,1.909905e-08,1.909939e-08,1.910604e-08,1.910731e-08,1.910944e-08,1.911000e-08,1.910978e-08,1.910752e-08,1.910721e-08,1.910191e-08,1.910025e-08,1.909403e-08,1.908853e-08,1.908369e-08,1.907269e-08,1.907105e-08,1.905623e-08,1.905302e-08,1.903935e-08,1.902980e-08,1.902053e-08,1.900330e-08,1.899987e-08,1.897749e-08,1.897376e-08,1.895348e-08,1.894140e-08,1.892792e-08,1.890644e-08,1.890093e-08,1.887256e-08,1.886907e-08,1.884292e-08,1.882949e-08,1.881206e-08,1.878785e-08,1.878007e-08,1.874702e-08,1.874433e-08,1.871296e-08,1.869907e-08,1.867797e-08,1.865222e-08,1.864209e-08,1.860539e-08,1.860391e-08,1.856792e-08,1.855425e-08,1.852973e-08,1.850338e-08,1.849087e-08,1.845138e-08,1.839838e-08,1.834446e-08,1.828971e-08,1.823421e-08,1.817806e-08,1.812131e-08,1.806404e-08,1.800631e-08,1.794819e-08,1.788973e-08,1.783099e-08,1.777202e-08,1.771286e-08,1.765356e-08,1.759417e-08,1.753472e-08,1.747525e-08,1.741579e-08,1.735638e-08,1.729705e-08,1.723783e-08,1.717874e-08,1.711981e-08,1.706107e-08
0.000000e+00,1.054197e-11,6.323235e-11,8.467153e-10,4.447600e-09,9.315604e-09,4.366247e-08,4.609635e-08,1.488413e-07,1.962714e-07,3.699640e-07,5.854302e-07,7.727333e-07,1.364605e-06,1.428100e-06,2.412062e-06,2.705691e-06,3.800962e-06,4.781455e-06,5.662163e-06,7.728466e-06,8.042390e-06,1.096052e-05,1.160840e-05,1.440859e-05,1.640224e-05,1.835844e-05,2.203474e-05,2.276966e-05,2.759556e-05,2.840291e-05,3.278682e-05,3.539367e-05,3.829328e-05,4.289175e-05,4.406489e-05,5.005221e-05,5.078288e-05,5.620696e-05,5.895602e-05,6.248259e-05,6.730564e-05,6.883494e-05,7.522275e-05,7.573415e-05,8.160817e-05,8.415389e-05,8.795702e-05,9.248837e-05,9.423898e-05,1.004276e-04,1.006729e-04,1.065004e-04,1.086544e-04,1.124382e-04,1.163908e-04,1.182255e-04,1.238498e-04,1.293011e-04,1.310078e-04,1.345722e-04,1.378487e-04,1.396579e-04,1.443624e-04,1.445546e-04,1.492607e-04,1.505441e-04,1.537755e-04,1.563928e-04,1.580996e-04,1.619107e-04,1.622346e-04,1.661827e-04,1.671028e-04,1.699468e-04,1.719756e-04,1.735302e-04,1.765372e-04,1.769368e-04,1.801704e-04,1.807968e-04,1.832355e-04,1.847642e-04,1.861364e-04,1.884496e-04,1.888777e-04,1.914641e-04,1.918638e-04,1.939001e-04,1.950174e-04,1.961906e-04,1.979213e-04,1.983402e-04,2.003535e-04,2.005862e-04,2.022353e-04,2.030228e-04,2.039900e-04,2.052414e-04,2.056222e-04,2.071362e-04,2.072524e-04,2.085364e-04,2.090656e-04,2.098271e-04,2.106910e-04,2.110125e-04,2.120964e-04,2.121378e-04,2.130831e-04,2.134152e-04,2.139762e-04,2.145320e-04,2.147796e-04,2.154968e-04,2.161316e-04,2.163178e-04,2.166872e-04,2.170029e-04,2.171671e-04,2.175596e-04,2.175746e-04,2.179127e-04,2.179953e-04,2.181844e-04,2.183169e-04,2.183929e-04,2.185312e-04,2.185409e-04,2.186311e-04,2.186445e-04,2.186663e-04,2.186629e-04,2.186490e-04,2.185924e-04,2.185818e-04,2.184669e-04,2.184385e-04,2.183068e-04,2.182065e-04,2.181037e-04,2.179015e-04,2.178598e-04,2.175770e-04,2.175283e-04,2.172575e-04,2.170916e-04,2.169031e-04,2.165958e-04,2.165157e-04,2.160972e-04,2.160449e-04,2.156491e-04,2.154431e-04,2.151733e-04,2.147940e-04,2.146712e-04,2.141444e-04,2.141012e-04,2.135943e-04,2.133681e-04,2.130225e-04,2.125980e-04,2.124301e-04,2.118186e-04,2.117938e-04,2.111892e-04,2.109584e-04,2.105430e-04,2.100947e-04,2.098813e-04,2.092051e-04,2.082921e-04,2.073580e-04,2.064051e-04,2.054352e-04,2.044505e-04,2.034527e-04,2.024435e-04,2.014245e-04,2.003974e-04,1.993635e-04,1.983241e-04,1.972805e-04,1.962340e-04,1.951855e-04,1.941362e-04,1.930870e-04,1.920389e-04,1.909926e-04,1.899490e-04,1.889087e-04,1.878725e-04,1.868410e-04,1.858149e-04,1.847945e-04
0.000000e+00,5.351466e-11,1.553118e-10,6.846943e-10,1.746082e-09,2.657030e-09,6.491316e-09,6.702074e-09,1.356085e-08,1.609259e-08,2.403576e-08,3.242527e-08,3.902138e-08,5.759736e-08,5.945230e-08,8.607030e-08,9.341555e-08,1.190674e-07,1.401817e-07,1.579906e-07,1.965250e-07,2.020580e-07,2.504908e-07,2.606410e-07,3.026288e-07,3.310167e-07,3.579138e-07,4.064190e-07,4.158465e-07,4.759539e-07,4.857418e-07,5.377726e-07,5.679186e-07,6.008439e-07,6.518979e-07,6.647147e-07,7.289440e-07,7.366553e-07,7.931099e-07,8.212196e-07,8.568155e-07,9.046972e-07,9.196946e-07,9.814194e-07,9.862986e-07,1.041701e-06,1.065352e-06,1.100290e-06,1.141308e-06,1.156979e-06,1.211599e-06,1.213739e-06,1.264018e-06,1.282331e-06,1.314139e-06,1.346873e-06,1.361895e-06,1.407248e-06,1.450184e-06,1.463414e-06,1.490709e-06,1.515391e-06,1.528848e-06,1.563253e-06,1.564640e-06,1.598136e-06,1.607112e-06,1.629397e-06,1.647109e-06,1.658491e-06,1.683407e-06,1.685492e-06,1.710477e-06,1.716183e-06,1.733528e-06,1.745622e-06,1.754726e-06,1.771913e-06,1.774153e-06,1.791892e-06,1.795245e-06,1.808024e-06,1.815804e-06,1.822628e-06,1.833772e-06,1.835783e-06,1.847563e-06,1.849326e-06,1.858044e-06,1.862634e-06,1.867296e-06,1.873858e-06,1.875386e-06,1.882382e-06,1.883151e-06,1.888345e-06,1.890657e-06,1.893335e-06,1.896514e-06,1.897412e-06,1.900628e-06,1.900850e-06,1.903037e-06,1.903786e-06,1.904689e-06,1.905435e-06,1.905630e-06,1.905906e-06,1.905904e-06,1.905559e-06,1.905290e-06,1.904631e-06,1.903686e-06,1.903158e-06,1.901179e-06,1.898727e-06,1.897848e-06,1.895835e-06,1.893767e-06,1.892534e-06,1.889007e-06,1.888853e-06,1.884819e-06,1.883630e-06,1.880460e-06,1.877698e-06,1.875799e-06,1.871264e-06,1.870860e-06,1.865664e-06,1.864382e-06,1.860233e-06,1.857097e-06,1.854587e-06,1.849454e-06,1.848743e-06,1.842719e-06,1.841494e-06,1.836532e-06,1.833255e-06,1.830196e-06,1.824771e-06,1.823728e-06,1.817139e-06,1.816075e-06,1.810443e-06,1.807195e-06,1.803653e-06,1.798161e-06,1.796780e-06,1.789834e-06,1.788996e-06,1.782825e-06,1.779724e-06,1.775764e-06,1.770367e-06,1.768658e-06,1.761516e-06,1.760944e-06,1.754347e-06,1.751473e-06,1.747157e-06,1.741971e-06,1.739953e-06,1.732742e-06,1.732453e-06,1.725529e-06,1.722933e-06,1.718321e-06,1.713424e-06,1.711122e-06,1.703937e-06,1.694484e-06,1.685073e-06,1.675713e-06,1.666413e-06,1.657179e-06,1.648018e-06,1.638937e-06,1.629939e-06,1.621031e-06,1.612215e-06,1.603496e-06,1.594877e-06,1.586362e-06,1.577951e-06,1.569648e-06,1.561454e-06,1.553372e-06,1.545401e-06,1.537543e-06,1.529799e-06,1.522169e-06,1.514654e-06,1.507254e-06,1.499968e-06
0.000000e+00,1.286041e-12,2.942162e-12,1.007578e-11,2.280219e-11,3.315469e-11,7.445812e-11,7.666340e-11,1.463157e-10,1.712515e-10,2.475739e-10,3.257078e-10,3.857268e-10,5.497596e-10,5.658226e-10,7.924129e-10,8.541396e-10,1.069071e-09,1.246662e-09,1.397669e-09,1.729305e-09,1.777486e-09,2.204454e-09,2.294899e-09,2.671086e-09,2.926170e-09,3.167478e-09,3.599688e-09,3.683050e-09,4.208080e-09,4.292396e-09,4.734461e-09,4.985664e-09,5.255787e-09,5.665840e-09,5.767107e-09,6.264623e-09,6.323251e-09,6.745436e-09,6.951117e-09,7.207362e-09,7.544791e-09,7.648802e-09,8.068646e-09,8.101277e-09,8.466197e-09,8.618887e-09,8.841106e-09,9.096981e-09,9.193319e-09,9.523025e-09,9.535750e-09,9.830609e-09,9.936025e-09,1.011662e-08,1.029911e-08,1.038172e-08,1.062666e-08,1.085227e-08,1.092052e-08,1.105941e-08,1.118269e-08,1.124896e-08,1.141522e-08,1.142183e-08,1.157889e-08,1.162015e-08,1.172102e-08,1.179949e-08,1.184908e-08,1.195518e-08,1.196390e-08,1.206626e-08,1.208906e-08,1.215694e-08,1.220290e-08,1.223667e-08,1.229832e-08,1.230614e-08,1.236601e-08,1.237689e-08,1.241690e-08,1.244002e-08,1.245942e-08,1.248906e-08,1.249410e-08,1.252149e-08,1.252523e-08,1.254207e-08,1.254968e-08,1.255632e-08,1.256345e-08,1.256466e-08,1.256752e-08,1.256751e-08,1.256527e-08,1.256275e-08,1.255828e-08,1.255000e-08,1.254688e-08,1.253141e-08,1.253000e-08,1.251215e-08,1.250345e-08,1.248938e-08,1.247097e-08,1.246338e-08,1.243437e-08,1.243315e-08,1.240260e-08,1.239053e-08,1.236828e-08,1.234359e-08,1.233161e-08,1.229278e-08,1.225197e-08,1.223852e-08,1.220934e-08,1.218118e-08,1.216505e-08,1.212110e-08,1.211924e-08,1.207205e-08,1.205861e-08,1.202360e-08,1.199398e-08,1.197402e-08,1.192750e-08,1.192342e-08,1.187190e-08,1.185941e-08,1.181955e-08,1.178992e-08,1.176648e-08,1.171924e-08,1.171276e-08,1.165847e-08,1.164755e-08,1.160369e-08,1.157504e-08,1.154850e-08,1.150185e-08,1.149294e-08,1.143709e-08,1.142813e-08,1.138100e-08,1.135401e-08,1.132473e-08,1.127961e-08,1.126832e-08,1.121182e-08,1.120504e-08,1.115528e-08,1.113039e-08,1.109873e-08,1.105577e-08,1.104221e-08,1.098576e-08,1.098124e-08,1.092940e-08,1.090690e-08,1.087318e-08,1.083280e-08,1.081712e-08,1.076124e-08,1.075901e-08,1.070557e-08,1.068558e-08,1.065013e-08,1.061257e-08,1.059494e-08,1.054002e-08,1.046798e-08,1.039648e-08,1.032555e-08,1.025523e-08,1.018554e-08,1.011651e-08,1.004816e-08,9.980499e-09,9.913555e-09,9.847339e-09,9.781862e-09,9.717134e-09,9.653165e-09,9.589961e-09,9.527528e-09,9.465871e-09,9.404991e-09,9.344891e-09,9.285573e-09,9.227036e-09,9.169279e-09,9.112300e-09,9.056098e-09,9.000668e-09
0.000000e+00,2.535626e-11,5.835674e-11,2.013116e-10,4.576678e-10,6.669654e-10,1.506932e-09,1.551975e-09,2.983780e-09,3.500465e-09,5.094483e-09,6.744705e-09,8.023749e-09,1.155994e-08,1.190866e-08,1.684618e-08,1.819049e-08,2.283771e-08,2.661698e-08,2.977784e-08,3.654610e-08,3.751072e-08,4.588583e-08,4.762626e-08,5.477499e-08,5.956355e-08,6.406845e-08,7.211529e-08,7.366795e-08,8.348210e-08,8.506646e-08,9.342475e-08,9.821882e-08,1.034147e-07,1.113897e-07,1.133764e-07,1.232406e-07,1.244148e-07,1.329457e-07,1.371512e-07,1.424374e-07,1.494797e-07,1.516696e-07,1.606044e-07,1.613054e-07,1.692112e-07,1.725566e-07,1.774666e-07,1.831832e-07,1.853538e-07,1.928615e-07,1.931538e-07,1.999839e-07,2.024533e-07,2.067194e-07,2.110793e-07,2.130698e-07,2.190399e-07,2.246374e-07,2.263514e-07,2.298716e-07,2.330358e-07,2.347533e-07,2.391193e-07,2.392945e-07,2.435082e-07,2.446311e-07,2.474075e-07,2.496020e-07,2.510063e-07,2.540636e-07,2.543183e-07,2.573571e-07,2.580473e-07,2.601363e-07,2.615843e-07,2.626692e-07,2.647048e-07,2.649688e-07,2.670476e-07,2.674380e-07,2.689178e-07,2.698118e-07,2.705911e-07,2.718527e-07,2.720787e-07,2.733914e-07,2.735859e-07,2.745396e-07,2.750352e-07,2.755332e-07,2.762229e-07,2.763814e-07,2.770932e-07,2.771699e-07,2.776773e-07,2.778958e-07,2.781415e-07,2.784189e-07,2.784936e-07,2.787409e-07,2.787563e-07,2.788902e-07,2.789240e-07,2.789480e-07,2.789366e-07,2.789206e-07,2.788138e-07,2.788079e-07,2.786330e-07,2.785508e-07,2.783835e-07,2.781771e-07,2.780701e-07,2.776977e-07,2.772704e-07,2.771228e-07,2.767925e-07,2.764619e-07,2.762679e-07,2.757237e-07,2.757002e-07,2.750930e-07,2.749163e-07,2.744493e-07,2.740470e-07,2.737724e-07,2.731228e-07,2.730651e-07,2.723302e-07,2.721500e-07,2.715701e-07,2.711344e-07,2.707874e-07,2.700816e-07,2.699842e-07,2.691626e-07,2.689963e-07,2.683248e-07,2.678833e-07,2.674725e-07,2.667466e-07,2.666074e-07,2.657314e-07,2.655903e-07,2.648458e-07,2.644177e-07,2.639521e-07,2.632323e-07,2.630517e-07,2.621459e-07,2.620369e-07,2.612358e-07,2.608343e-07,2.603226e-07,2.596270e-07,2.594072e-07,2.584907e-07,2.584173e-07,2.575739e-07,2.572073e-07,2.566577e-07,2.559989e-07,2.557429e-07,2.548302e-07,2.547937e-07,2.539202e-07,2.535934e-07,2.530136e-07,2.523994e-07,2.521110e-07,2.512130e-07,2.500352e-07,2.488673e-07,2.477101e-07,2.465644e-07,2.454310e-07,2.443105e-07,2.432036e-07,2.421107e-07,2.410324e-07,2.399689e-07,2.389206e-07,2.378878e-07,2.368707e-07,2.358695e-07,2.348843e-07,2.339153e-07,2.329625e-07,2.320260e-07,2.311057e-07,2.302018e-07,2.293140e-07,2.284425e-07,2.275871e-07,2.267477e-07
0.000000e+00,1.068371e-11,5.289187e-11,4.922750e-10,1.930495e-09,3.496505e-09,1.178098e-08,1.228762e-08,3.033210e-08,3.749766e-08,6.093653e-08,8.664064e-08,1.072456e-07,1.663452e-07,1.723115e-07,2.591036e-07,2.834780e-07,3.703231e-07,4.440445e-07,5.078880e-07,6.511295e-07,6.722367e-07,8.620458e-07,9.028472e-07,1.074715e-06,1.193316e-06,1.307163e-06,1.515476e-06,1.556353e-06,1.819468e-06,1.862680e-06,2.093874e-06,2.228861e-06,2.377067e-06,2.608318e-06,2.666626e-06,2.960211e-06,2.995604e-06,3.255579e-06,3.385553e-06,3.550607e-06,3.773384e-06,3.843327e-06,4.131948e-06,4.154812e-06,4.414874e-06,4.526132e-06,4.690717e-06,4.884271e-06,4.958303e-06,5.216663e-06,5.226794e-06,5.465030e-06,5.551879e-06,5.702824e-06,5.858269e-06,5.929635e-06,6.145207e-06,6.349419e-06,6.412364e-06,6.542267e-06,6.659764e-06,6.723843e-06,6.887716e-06,6.894325e-06,7.053955e-06,7.096746e-06,7.203030e-06,7.287547e-06,7.341887e-06,7.460927e-06,7.470895e-06,7.590442e-06,7.617770e-06,7.700930e-06,7.759000e-06,7.802770e-06,7.885561e-06,7.896372e-06,7.982146e-06,7.998397e-06,8.060494e-06,8.098433e-06,8.131813e-06,8.186569e-06,8.196485e-06,8.254882e-06,8.263668e-06,8.307362e-06,8.330552e-06,8.354268e-06,8.388001e-06,8.395929e-06,8.432662e-06,8.436753e-06,8.464764e-06,8.477496e-06,8.492521e-06,8.510877e-06,8.516203e-06,8.536065e-06,8.537497e-06,8.552351e-06,8.557915e-06,8.565289e-06,8.572653e-06,8.575096e-06,8.581976e-06,8.582194e-06,8.586124e-06,8.586984e-06,8.587722e-06,8.587439e-06,8.586940e-06,8.583942e-06,8.578879e-06,8.576846e-06,8.571894e-06,8.566478e-06,8.563123e-06,8.553141e-06,8.552694e-06,8.540725e-06,8.537113e-06,8.527330e-06,8.518652e-06,8.512614e-06,8.497994e-06,8.496676e-06,8.479611e-06,8.475358e-06,8.461507e-06,8.450945e-06,8.442445e-06,8.424941e-06,8.422504e-06,8.401757e-06,8.397517e-06,8.380273e-06,8.368831e-06,8.358116e-06,8.339028e-06,8.335346e-06,8.312021e-06,8.308241e-06,8.288194e-06,8.276593e-06,8.263915e-06,8.244199e-06,8.239232e-06,8.214188e-06,8.211161e-06,8.188826e-06,8.177575e-06,8.163183e-06,8.143531e-06,8.137298e-06,8.111203e-06,8.109107e-06,8.084931e-06,8.074380e-06,8.058513e-06,8.039417e-06,8.031976e-06,8.005347e-06,8.004280e-06,7.978651e-06,7.969028e-06,7.951911e-06,7.933713e-06,7.925148e-06,7.898383e-06,7.863083e-06,7.827852e-06,7.792728e-06,7.757744e-06,7.722930e-06,7.688315e-06,7.653925e-06,7.619781e-06,7.585905e-06,7.552316e-06,7.519030e-06,7.486063e-06,7.453427e-06,7.421136e-06,7.389200e-06,7.357627e-06,7.326427e-06,7.295605e-06,7.265170e-06,7.235124e-06,7.205474e-06,7.176221e-06,7.147370e-06,7.118922e-06
0.000000e+00,5.970158e-13,4.008041e-12,6.761874e-11,4.369603e-10,1.023939e-09,6.378194e-09,6.810858e-09,2.889350e-08,4.096350e-08,9.230677e-08,1.680923e-07,2.426612e-07,5.203568e-07,5.534257e-07,1.132862e-06,1.327534e-06,2.129976e-06,2.941186e-06,3.738731e-06,5.850281e-06,6.199622e-06,9.797553e-06,1.068143e-05,1.485521e-05,1.817733e-05,2.172172e-05,2.915104e-05,3.075727e-05,4.231554e-05,4.442147e-05,5.672581e-05,6.474245e-05,7.427675e-05,9.073878e-05,9.520339e-05,1.196778e-04,1.228589e-04,1.478041e-04,1.613480e-04,1.796168e-04,2.062419e-04,2.150827e-04,2.541058e-04,2.573771e-04,2.965335e-04,3.144142e-04,3.421643e-04,3.768676e-04,3.907568e-04,4.420376e-04,4.441407e-04,4.957111e-04,5.155596e-04,5.514661e-04,5.904062e-04,6.089843e-04,6.679464e-04,7.280374e-04,7.474547e-04,7.889518e-04,8.282336e-04,8.503974e-04,9.096281e-04,9.120977e-04,9.737949e-04,9.910366e-04,1.035251e-03,1.071916e-03,1.096247e-03,1.151788e-03,1.156586e-03,1.216094e-03,1.230234e-03,1.274613e-03,1.306901e-03,1.332008e-03,1.381493e-03,1.388162e-03,1.442976e-03,1.453770e-03,1.496366e-03,1.523543e-03,1.548264e-03,1.590667e-03,1.598618e-03,1.647387e-03,1.655040e-03,1.694541e-03,1.716595e-03,1.740061e-03,1.775295e-03,1.783939e-03,1.826173e-03,1.831131e-03,1.866770e-03,1.884116e-03,1.905740e-03,1.934281e-03,1.943103e-03,1.978880e-03,1.981675e-03,2.013098e-03,2.026355e-03,2.045786e-03,2.068393e-03,2.076978e-03,2.106707e-03,2.107866e-03,2.135010e-03,2.144857e-03,2.161925e-03,2.179454e-03,2.187490e-03,2.211747e-03,2.234733e-03,2.241828e-03,2.256491e-03,2.269789e-03,2.277059e-03,2.295724e-03,2.296479e-03,2.314789e-03,2.319723e-03,2.332030e-03,2.341876e-03,2.348239e-03,2.362273e-03,2.363454e-03,2.377714e-03,2.380998e-03,2.391054e-03,2.398136e-03,2.403510e-03,2.413768e-03,2.415117e-03,2.425909e-03,2.427972e-03,2.435918e-03,2.440825e-03,2.445178e-03,2.452399e-03,2.453718e-03,2.461570e-03,2.462765e-03,2.468763e-03,2.471989e-03,2.475324e-03,2.480137e-03,2.481281e-03,2.486662e-03,2.487270e-03,2.491490e-03,2.493446e-03,2.495791e-03,2.498723e-03,2.499590e-03,2.502908e-03,2.503153e-03,2.505768e-03,2.506788e-03,2.508191e-03,2.509677e-03,2.510198e-03,2.511809e-03,2.511866e-03,2.513043e-03,2.513399e-03,2.513919e-03,2.514318e-03,2.514453e-03,2.514663e-03,2.514472e-03,2.513780e-03,2.512622e-03,2.511030e-03,2.509034e-03,2.506664e-03,2.503947e-03,2.500909e-03,2.497574e-03,2.493966e-03,2.490107e-03,2.486017e-03,2.481716e-03,2.477223e-03,2.472555e-03,2.467728e-03,2.462758e-03,2.457659e-03,2.452446e-03,2.447131e-03,2.441727e-03,2.436245e-03,2.430695e-03,2.425088e-03
0.000000e+00,2.595365e-12,5.899529e-12,1.996983e-11,4.476473e-11,6.477283e-11,1.438450e-10,1.480449e-10,2.801432e-10,3.272957e-10,4.715474e-10,6.193869e-10,7.331436e-10,1.044557e-09,1.075043e-09,1.502727e-09,1.617913e-09,2.012050e-09,2.327986e-09,2.589105e-09,3.138858e-09,3.216187e-09,3.877196e-09,4.012279e-09,4.559216e-09,4.918684e-09,5.251988e-09,5.835993e-09,5.947044e-09,6.637100e-09,6.746606e-09,7.315746e-09,7.635755e-09,7.977326e-09,8.490968e-09,8.616916e-09,9.230355e-09,9.302041e-09,9.814246e-09,1.006109e-08,1.036597e-08,1.076262e-08,1.088369e-08,1.136626e-08,1.140333e-08,1.181315e-08,1.198191e-08,1.222442e-08,1.249877e-08,1.260061e-08,1.294265e-08,1.295564e-08,1.325178e-08,1.335528e-08,1.352947e-08,1.370117e-08,1.377736e-08,1.399721e-08,1.419082e-08,1.424752e-08,1.435998e-08,1.445624e-08,1.450649e-08,1.462745e-08,1.463210e-08,1.473847e-08,1.476503e-08,1.482721e-08,1.487263e-08,1.489984e-08,1.495363e-08,1.495776e-08,1.500229e-08,1.501112e-08,1.503464e-08,1.504787e-08,1.505596e-08,1.506640e-08,1.506726e-08,1.506951e-08,1.506895e-08,1.506357e-08,1.505751e-08,1.505024e-08,1.503386e-08,1.503024e-08,1.500423e-08,1.499955e-08,1.497282e-08,1.495598e-08,1.493654e-08,1.490435e-08,1.489590e-08,1.485134e-08,1.484576e-08,1.480329e-08,1.478113e-08,1.475210e-08,1.471132e-08,1.469813e-08,1.464167e-08,1.463706e-08,1.458302e-08,1.455900e-08,1.452242e-08,1.447772e-08,1.446011e-08,1.439630e-08,1.439372e-08,1.433118e-08,1.430746e-08,1.426494e-08,1.421933e-08,1.419773e-08,1.412969e-08,1.406098e-08,1.403886e-08,1.399170e-08,1.394711e-08,1.392197e-08,1.385470e-08,1.385189e-08,1.378156e-08,1.376184e-08,1.371107e-08,1.366872e-08,1.364048e-08,1.357553e-08,1.356989e-08,1.349934e-08,1.348243e-08,1.342891e-08,1.338954e-08,1.335865e-08,1.329700e-08,1.328861e-08,1.321884e-08,1.320492e-08,1.314937e-08,1.311338e-08,1.308025e-08,1.302249e-08,1.301152e-08,1.294320e-08,1.293231e-08,1.287533e-08,1.284292e-08,1.280794e-08,1.275437e-08,1.274104e-08,1.267466e-08,1.266673e-08,1.260882e-08,1.258002e-08,1.254353e-08,1.249430e-08,1.247883e-08,1.241471e-08,1.240960e-08,1.235119e-08,1.232595e-08,1.228828e-08,1.224338e-08,1.222600e-08,1.216435e-08,1.216190e-08,1.210334e-08,1.208154e-08,1.204298e-08,1.200231e-08,1.198327e-08,1.192421e-08,1.184727e-08,1.177149e-08,1.169687e-08,1.162341e-08,1.155111e-08,1.147998e-08,1.141001e-08,1.134118e-08,1.127351e-08,1.120698e-08,1.114159e-08,1.107732e-08,1.101416e-08,1.095211e-08,1.089116e-08,1.083128e-08,1.077248e-08,1.071474e-08,1.065804e-08,1.060237e-08,1.054772e-08,1.049408e-08,1.044142e-08,1.038974e-08
0.000000e+00,4.555474e-11,1.732472e-10,1.060705e-09,3.180933e-09,5.140340e-09,1.391235e-08,1.440769e-08,3.083021e-08,3.696951e-08,5.630737e-08,7.673613e-08,9.275921e-08,1.376778e-07,1.421510e-07,2.063273e-07,2.240888e-07,2.865205e-07,3.384877e-07,3.827430e-07,4.796789e-07,4.937102e-07,6.174317e-07,6.435213e-07,7.518333e-07,8.253068e-07,8.950245e-07,1.020853e-06,1.045310e-06,1.201135e-06,1.226482e-06,1.361031e-06,1.438813e-06,1.523596e-06,1.654668e-06,1.687492e-06,1.851453e-06,1.871075e-06,2.014300e-06,2.085318e-06,2.174955e-06,2.294988e-06,2.332453e-06,2.485951e-06,2.498036e-06,2.634734e-06,2.692790e-06,2.778209e-06,2.877957e-06,2.915908e-06,3.047473e-06,3.052604e-06,3.172655e-06,3.216126e-06,3.291299e-06,3.368201e-06,3.403331e-06,3.508750e-06,3.607618e-06,3.637889e-06,3.700046e-06,3.755890e-06,3.786188e-06,3.863146e-06,3.866234e-06,3.940394e-06,3.960135e-06,4.008894e-06,4.047373e-06,4.071966e-06,4.125407e-06,4.129854e-06,4.182811e-06,4.194815e-06,4.231088e-06,4.256172e-06,4.274933e-06,4.310047e-06,4.314594e-06,4.350313e-06,4.357005e-06,4.382325e-06,4.397581e-06,4.410854e-06,4.432289e-06,4.436121e-06,4.458335e-06,4.461620e-06,4.477701e-06,4.486046e-06,4.494426e-06,4.506036e-06,4.508704e-06,4.520692e-06,4.521984e-06,4.530545e-06,4.534245e-06,4.538419e-06,4.543161e-06,4.544445e-06,4.548757e-06,4.549032e-06,4.551480e-06,4.552149e-06,4.552725e-06,4.552770e-06,4.552604e-06,4.551218e-06,4.551138e-06,4.548663e-06,4.547474e-06,4.545028e-06,4.541982e-06,4.540396e-06,4.534847e-06,4.528454e-06,4.526242e-06,4.521286e-06,4.516322e-06,4.513408e-06,4.505231e-06,4.504879e-06,4.495755e-06,4.493102e-06,4.486090e-06,4.480052e-06,4.475933e-06,4.466193e-06,4.465329e-06,4.454322e-06,4.451625e-06,4.442951e-06,4.436439e-06,4.431255e-06,4.420720e-06,4.419267e-06,4.407021e-06,4.404544e-06,4.394547e-06,4.387980e-06,4.381874e-06,4.371093e-06,4.369027e-06,4.356031e-06,4.353940e-06,4.342910e-06,4.336574e-06,4.329685e-06,4.319043e-06,4.316375e-06,4.302999e-06,4.301390e-06,4.289575e-06,4.283657e-06,4.276118e-06,4.265878e-06,4.262643e-06,4.249165e-06,4.248087e-06,4.235695e-06,4.230313e-06,4.222247e-06,4.212583e-06,4.208830e-06,4.195455e-06,4.194921e-06,4.182131e-06,4.177349e-06,4.168867e-06,4.159886e-06,4.155671e-06,4.142551e-06,4.125358e-06,4.108323e-06,4.091458e-06,4.074774e-06,4.058280e-06,4.041986e-06,4.025900e-06,4.010026e-06,3.994373e-06,3.978943e-06,3.963742e-06,3.948772e-06,3.934037e-06,3.919537e-06,3.905276e-06,3.891254e-06,3.877472e-06,3.863929e-06,3.850626e-06,3.837562e-06,3.824737e-06,3.812149e-06,3.799796e-06,3.787678e-06
0.000000e+00,9.238510e-11,2.827530e-10,1.325171e-09,3.484915e-09,5.366747e-09,1.339589e-08,1.383991e-08,2.834183e-08,3.370264e-08,5.049858e-08,6.817025e-08,8.200959e-08,1.207878e-07,1.246509e-07,1.801756e-07,1.955919e-07,2.500353e-07,2.957317e-07,3.349648e-07,4.220104e-07,4.347391e-07,5.483659e-07,5.726382e-07,6.745156e-07,7.446100e-07,8.118341e-07,9.348797e-07,9.590493e-07,1.114973e-06,1.140652e-06,1.278470e-06,1.359316e-06,1.448443e-06,1.588360e-06,1.623815e-06,1.803539e-06,1.825350e-06,1.986603e-06,2.067957e-06,2.172037e-06,2.313986e-06,2.358926e-06,2.546421e-06,2.561422e-06,2.733740e-06,2.808459e-06,2.920179e-06,3.053512e-06,3.105105e-06,3.287962e-06,3.295226e-06,3.468264e-06,3.532466e-06,3.645597e-06,3.764303e-06,3.819605e-06,3.989994e-06,4.156523e-06,4.208963e-06,4.318995e-06,4.420776e-06,4.477258e-06,4.625123e-06,4.631196e-06,4.780726e-06,4.821797e-06,4.925793e-06,5.010675e-06,5.066363e-06,5.191708e-06,5.202427e-06,5.333991e-06,5.364899e-06,5.461078e-06,5.530303e-06,5.583721e-06,5.688007e-06,5.701966e-06,5.815868e-06,5.838133e-06,5.925488e-06,5.980820e-06,6.030893e-06,6.116230e-06,6.132158e-06,6.229357e-06,6.244537e-06,6.322573e-06,6.365925e-06,6.411886e-06,6.480585e-06,6.497383e-06,6.579148e-06,6.588713e-06,6.657269e-06,6.690511e-06,6.731834e-06,6.786179e-06,6.802930e-06,6.870646e-06,6.875920e-06,6.935069e-06,6.959936e-06,6.996286e-06,7.038427e-06,7.054385e-06,7.109450e-06,7.111591e-06,7.161567e-06,7.179624e-06,7.210821e-06,7.242719e-06,7.257293e-06,7.301065e-06,7.342219e-06,7.354847e-06,7.380832e-06,7.404248e-06,7.416983e-06,7.449443e-06,7.450749e-06,7.482203e-06,7.490607e-06,7.511421e-06,7.527907e-06,7.538472e-06,7.561508e-06,7.563429e-06,7.586360e-06,7.591570e-06,7.607333e-06,7.618247e-06,7.626414e-06,7.641690e-06,7.643666e-06,7.659154e-06,7.662046e-06,7.672939e-06,7.679454e-06,7.685081e-06,7.694052e-06,7.695637e-06,7.704667e-06,7.705973e-06,7.712224e-06,7.715345e-06,7.718364e-06,7.722290e-06,7.723138e-06,7.726600e-06,7.726930e-06,7.728798e-06,7.729378e-06,7.729782e-06,7.729746e-06,7.729598e-06,7.728294e-06,7.728143e-06,7.725913e-06,7.724669e-06,7.722500e-06,7.719427e-06,7.718096e-06,7.712743e-06,7.712510e-06,7.706481e-06,7.704011e-06,7.699348e-06,7.694020e-06,7.691382e-06,7.682620e-06,7.669895e-06,7.655921e-06,7.640776e-06,7.624531e-06,7.607256e-06,7.589018e-06,7.569879e-06,7.549902e-06,7.529144e-06,7.507662e-06,7.485510e-06,7.462737e-06,7.439395e-06,7.415528e-06,7.391182e-06,7.366400e-06,7.341221e-06,7.315685e-06,7.289829e-06,7.263688e-06,7.237295e-06,7.210682e-06,7.183880e-06,7.156916e-06
0.000000e+00,9.691501e-12,5.530061e-11,6.707747e-10,3.237994e-09,6.489814e-09,2.735414e-08,2.876110e-08,8.450023e-08,1.087905e-07,1.936670e-07,2.934606e-07,3.770445e-07,6.289954e-07,6.552126e-07,1.048158e-06,1.161685e-06,1.574868e-06,1.934697e-06,2.252249e-06,2.983173e-06,3.092941e-06,4.102425e-06,4.324416e-06,5.276943e-06,5.948968e-06,6.603698e-06,7.821726e-06,8.063262e-06,9.632876e-06,9.892655e-06,1.128913e-05,1.210826e-05,1.300962e-05,1.441831e-05,1.477368e-05,1.656260e-05,1.677812e-05,1.835956e-05,1.914885e-05,2.014961e-05,2.149722e-05,2.191952e-05,2.365780e-05,2.379519e-05,2.535464e-05,2.601988e-05,2.700183e-05,2.815325e-05,2.859268e-05,3.012193e-05,3.018176e-05,3.158566e-05,3.209600e-05,3.298111e-05,3.389010e-05,3.430657e-05,3.556124e-05,3.674510e-05,3.710906e-05,3.785877e-05,3.853520e-05,3.890340e-05,3.984277e-05,3.988059e-05,4.079223e-05,4.103603e-05,4.164049e-05,4.212001e-05,4.242774e-05,4.310024e-05,4.315644e-05,4.382915e-05,4.398255e-05,4.444844e-05,4.477288e-05,4.501691e-05,4.547717e-05,4.553713e-05,4.601163e-05,4.610126e-05,4.644287e-05,4.665081e-05,4.683324e-05,4.713127e-05,4.718506e-05,4.750058e-05,4.754784e-05,4.778193e-05,4.790544e-05,4.803116e-05,4.820874e-05,4.825024e-05,4.844103e-05,4.846211e-05,4.860532e-05,4.866966e-05,4.874481e-05,4.883521e-05,4.886108e-05,4.895568e-05,4.896235e-05,4.903003e-05,4.905441e-05,4.908550e-05,4.911448e-05,4.912338e-05,4.914490e-05,4.914543e-05,4.915119e-05,4.914994e-05,4.914335e-05,4.913047e-05,4.912239e-05,4.908929e-05,4.904495e-05,4.902852e-05,4.899022e-05,4.895012e-05,4.892591e-05,4.885587e-05,4.885278e-05,4.877155e-05,4.874744e-05,4.868287e-05,4.862635e-05,4.858738e-05,4.849402e-05,4.848567e-05,4.837829e-05,4.835174e-05,4.826578e-05,4.820070e-05,4.814860e-05,4.804200e-05,4.802723e-05,4.790208e-05,4.787664e-05,4.777357e-05,4.770554e-05,4.764207e-05,4.752956e-05,4.750793e-05,4.737149e-05,4.734947e-05,4.723304e-05,4.716597e-05,4.709289e-05,4.697972e-05,4.695129e-05,4.680851e-05,4.679130e-05,4.666476e-05,4.660127e-05,4.652028e-05,4.641011e-05,4.637527e-05,4.622991e-05,4.621827e-05,4.608438e-05,4.602616e-05,4.593884e-05,4.583414e-05,4.579346e-05,4.564835e-05,4.564256e-05,4.550367e-05,4.545171e-05,4.535953e-05,4.526187e-05,4.521603e-05,4.507329e-05,4.488618e-05,4.470075e-05,4.451716e-05,4.433559e-05,4.415615e-05,4.397898e-05,4.380419e-05,4.363186e-05,4.346207e-05,4.329490e-05,4.313040e-05,4.296861e-05,4.280958e-05,4.265334e-05,4.249991e-05,4.234931e-05,4.220154e-05,4.205660e-05,4.191450e-05,4.177523e-05,4.163878e-05,4.150513e-05,4.137426e-05,4.124616e-05
0.000000e+00,5.986374e-11,2.040355e-10,1.084572e-09,3.028651e-09,4.767313e-09,1.234251e-08,1.276511e-08,2.663699e-08,3.177728e-08,4.786597e-08,6.472914e-08,7.787533e-08,1.144139e-07,1.180307e-07,1.696184e-07,1.838326e-07,2.337908e-07,2.755807e-07,3.114679e-07,3.914389e-07,4.031937e-07,5.089728e-07,5.317695e-07,6.281518e-07,6.950119e-07,7.594344e-07,8.777833e-07,9.010578e-07,1.051061e-06,1.075708e-06,1.207511e-06,1.284369e-06,1.368638e-06,1.499852e-06,1.532882e-06,1.698889e-06,1.718871e-06,1.865489e-06,1.938715e-06,2.031674e-06,2.157162e-06,2.196582e-06,2.359477e-06,2.372402e-06,2.519735e-06,2.582981e-06,2.676838e-06,2.787757e-06,2.830361e-06,2.979960e-06,2.985859e-06,3.125367e-06,3.176646e-06,3.266377e-06,3.359674e-06,3.402842e-06,3.534665e-06,3.661788e-06,3.701471e-06,3.784192e-06,3.860056e-06,3.901884e-06,4.010468e-06,4.014899e-06,4.123292e-06,4.152823e-06,4.227133e-06,4.287287e-06,4.326507e-06,4.414067e-06,4.421509e-06,4.512243e-06,4.533396e-06,4.598818e-06,4.645526e-06,4.681349e-06,4.750724e-06,4.759953e-06,4.834749e-06,4.849263e-06,4.905859e-06,4.941420e-06,4.973403e-06,5.027473e-06,5.037502e-06,5.098274e-06,5.107696e-06,5.155837e-06,5.182362e-06,5.210308e-06,5.251735e-06,5.261801e-06,5.310427e-06,5.316075e-06,5.356296e-06,5.375633e-06,5.399515e-06,5.430653e-06,5.440188e-06,5.478416e-06,5.481371e-06,5.514297e-06,5.528015e-06,5.547928e-06,5.570801e-06,5.579402e-06,5.608808e-06,5.609942e-06,5.636234e-06,5.645639e-06,5.661764e-06,5.678084e-06,5.685480e-06,5.707462e-06,5.727786e-06,5.733951e-06,5.746525e-06,5.757720e-06,5.763752e-06,5.778930e-06,5.779534e-06,5.793939e-06,5.797734e-06,5.807029e-06,5.814279e-06,5.818868e-06,5.828705e-06,5.829514e-06,5.839024e-06,5.841144e-06,5.847455e-06,5.851723e-06,5.854857e-06,5.860562e-06,5.861284e-06,5.866783e-06,5.867775e-06,5.871402e-06,5.873471e-06,5.875185e-06,5.877751e-06,5.878178e-06,5.880421e-06,5.880713e-06,5.881954e-06,5.882449e-06,5.882816e-06,5.883048e-06,5.883044e-06,5.882674e-06,5.882591e-06,5.881739e-06,5.881157e-06,5.880271e-06,5.878819e-06,5.878303e-06,5.875863e-06,5.875648e-06,5.872981e-06,5.871710e-06,5.869683e-06,5.867067e-06,5.865997e-06,5.861947e-06,5.861777e-06,5.857556e-06,5.855897e-06,5.852849e-06,5.849478e-06,5.847846e-06,5.842569e-06,5.835217e-06,5.827465e-06,5.819354e-06,5.810922e-06,5.802206e-06,5.793239e-06,5.784052e-06,5.774676e-06,5.765138e-06,5.755463e-06,5.745677e-06,5.735801e-06,5.725856e-06,5.715863e-06,5.705838e-06,5.695799e-06,5.685762e-06,5.675741e-06,5.665748e-06,5.655797e-06,5.645899e-06,5.636064e-06,5.626301e-06,5.616620e-06
0.000000e+00,3.192808e-11,1.765717e-10,2.016400e-09,9.264455e-09,1.811318e-08,7.214869e-08,7.570288e-08,2.126452e-07,2.709449e-07,4.715101e-07,7.039276e-07,8.971551e-07,1.476271e-06,1.536393e-06,2.436064e-06,2.695415e-06,3.635246e-06,4.445855e-06,5.153167e-06,6.748040e-06,6.983424e-06,9.100033e-06,9.554717e-06,1.146837e-05,1.278752e-05,1.405289e-05,1.636634e-05,1.682004e-05,1.973836e-05,2.021729e-05,2.277772e-05,2.427100e-05,2.590892e-05,2.846091e-05,2.910360e-05,3.233448e-05,3.272338e-05,3.557577e-05,3.699900e-05,3.880357e-05,4.123425e-05,4.199621e-05,4.513449e-05,4.538268e-05,4.820177e-05,4.940558e-05,5.118403e-05,5.327205e-05,5.406975e-05,5.684976e-05,5.695866e-05,5.951707e-05,6.044868e-05,6.206661e-05,6.373126e-05,6.449503e-05,6.680048e-05,6.898237e-05,6.965453e-05,7.104116e-05,7.229478e-05,7.297822e-05,7.472518e-05,7.479561e-05,7.649598e-05,7.695153e-05,7.808242e-05,7.898102e-05,7.955836e-05,8.082179e-05,8.092748e-05,8.219364e-05,8.248264e-05,8.336081e-05,8.397269e-05,8.443302e-05,8.530123e-05,8.541432e-05,8.630874e-05,8.647755e-05,8.712026e-05,8.751080e-05,8.785282e-05,8.840995e-05,8.851025e-05,8.909630e-05,8.918369e-05,8.961462e-05,8.984040e-05,9.006874e-05,9.038811e-05,9.046208e-05,9.079793e-05,9.083452e-05,9.107948e-05,9.118695e-05,9.130978e-05,9.145234e-05,9.149177e-05,9.162826e-05,9.163730e-05,9.172196e-05,9.174804e-05,9.177545e-05,9.179046e-05,9.179121e-05,9.177158e-05,9.177010e-05,9.171884e-05,9.169216e-05,9.163512e-05,9.156155e-05,9.152247e-05,9.138286e-05,9.121813e-05,9.116040e-05,9.103005e-05,9.089820e-05,9.082030e-05,9.060004e-05,9.059048e-05,9.034210e-05,9.026942e-05,9.007660e-05,8.990965e-05,8.979534e-05,8.952377e-05,8.949961e-05,8.919064e-05,8.911464e-05,8.886957e-05,8.868491e-05,8.853752e-05,8.823704e-05,8.819551e-05,8.784452e-05,8.777332e-05,8.748547e-05,8.729587e-05,8.711923e-05,8.680664e-05,8.674663e-05,8.636843e-05,8.630745e-05,8.598538e-05,8.579999e-05,8.559815e-05,8.528579e-05,8.520738e-05,8.481369e-05,8.476628e-05,8.441764e-05,8.424277e-05,8.401977e-05,8.371648e-05,8.362058e-05,8.322053e-05,8.318850e-05,8.282006e-05,8.265985e-05,8.241958e-05,8.213145e-05,8.201948e-05,8.162010e-05,8.160414e-05,8.122178e-05,8.107871e-05,8.082484e-05,8.055584e-05,8.042954e-05,8.003617e-05,7.952026e-05,7.900864e-05,7.850177e-05,7.800007e-05,7.750389e-05,7.701357e-05,7.652939e-05,7.605160e-05,7.558043e-05,7.511606e-05,7.465864e-05,7.420832e-05,7.376520e-05,7.332936e-05,7.290087e-05,7.247979e-05,7.206613e-05,7.165992e-05,7.126115e-05,7.086982e-05,7.048589e-05,7.010934e-05,6.974011e-05,6.937817e-05
0.000000e+00,1.164454e-10,3.051396e-10,1.204473e-09,2.912470e-09,4.342011e-09,1.021103e-08,1.052943e-08,2.076227e-08,2.449525e-08,3.611060e-08,4.826520e-08,5.776116e-08,8.427829e-08,8.690965e-08,1.243578e-07,1.345925e-07,1.700276e-07,1.988755e-07,2.230168e-07,2.747596e-07,2.821409e-07,3.463201e-07,3.596810e-07,4.146595e-07,4.515846e-07,4.864002e-07,5.487900e-07,5.608591e-07,6.373900e-07,6.497850e-07,7.153642e-07,7.531232e-07,7.941662e-07,8.573999e-07,8.731962e-07,9.518792e-07,9.612717e-07,1.029673e-06,1.063489e-06,1.106075e-06,1.162928e-06,1.180631e-06,1.252943e-06,1.258620e-06,1.322667e-06,1.349766e-06,1.389518e-06,1.435741e-06,1.453267e-06,1.513740e-06,1.516089e-06,1.570815e-06,1.590513e-06,1.624414e-06,1.658858e-06,1.674505e-06,1.721089e-06,1.764198e-06,1.777269e-06,1.803894e-06,1.827545e-06,1.840260e-06,1.872132e-06,1.873397e-06,1.903419e-06,1.911284e-06,1.930452e-06,1.945289e-06,1.954623e-06,1.974449e-06,1.976068e-06,1.994922e-06,1.999077e-06,2.011322e-06,2.019486e-06,2.025406e-06,2.035993e-06,2.037311e-06,2.047172e-06,2.048910e-06,2.055118e-06,2.058535e-06,2.061276e-06,2.065156e-06,2.065767e-06,2.068710e-06,2.069045e-06,2.070219e-06,2.070467e-06,2.070409e-06,2.069691e-06,2.069397e-06,2.067274e-06,2.066948e-06,2.064125e-06,2.062437e-06,2.060035e-06,2.056345e-06,2.055081e-06,2.049335e-06,2.048843e-06,2.042866e-06,2.040091e-06,2.035738e-06,2.030232e-06,2.028011e-06,2.019740e-06,2.019398e-06,2.010978e-06,2.007713e-06,2.001774e-06,1.995287e-06,1.992175e-06,1.982222e-06,1.971956e-06,1.968610e-06,1.961412e-06,1.954535e-06,1.950626e-06,1.940073e-06,1.939629e-06,1.928451e-06,1.925292e-06,1.917119e-06,1.910257e-06,1.905659e-06,1.895023e-06,1.894094e-06,1.882447e-06,1.879641e-06,1.870736e-06,1.864158e-06,1.858981e-06,1.848614e-06,1.847199e-06,1.835406e-06,1.833047e-06,1.823616e-06,1.817490e-06,1.811842e-06,1.801974e-06,1.800097e-06,1.788391e-06,1.786523e-06,1.776736e-06,1.771162e-06,1.765141e-06,1.755913e-06,1.753613e-06,1.742161e-06,1.740792e-06,1.730792e-06,1.725817e-06,1.719512e-06,1.711002e-06,1.708326e-06,1.697241e-06,1.696359e-06,1.686261e-06,1.681899e-06,1.675389e-06,1.667631e-06,1.664629e-06,1.653986e-06,1.653562e-06,1.643460e-06,1.639701e-06,1.633056e-06,1.626051e-06,1.622774e-06,1.612617e-06,1.599404e-06,1.586412e-06,1.573646e-06,1.561104e-06,1.548790e-06,1.536701e-06,1.524839e-06,1.513202e-06,1.501788e-06,1.490598e-06,1.479628e-06,1.468876e-06,1.458340e-06,1.448018e-06,1.437907e-06,1.428004e-06,1.418306e-06,1.408810e-06,1.399513e-06,1.390410e-06,1.381500e-06,1.372778e-06,1.364242e-06,1.355887e-06
0.000000e+00,1.074357e-10,4.404337e-10,3.011889e-09,9.645199e-09,1.601540e-08,4.569162e-08,4.740236e-08,1.053368e-07,1.274456e-07,1.982120e-07,2.744438e-07,3.350979e-07,5.084580e-07,5.259598e-07,7.811776e-07,8.530705e-07,1.109682e-06,1.327544e-06,1.515799e-06,1.935556e-06,1.997037e-06,2.545281e-06,2.662063e-06,3.150166e-06,3.483719e-06,3.801683e-06,4.378568e-06,4.491100e-06,5.210907e-06,5.328444e-06,5.954474e-06,6.318040e-06,6.715781e-06,7.333837e-06,7.489249e-06,8.269669e-06,8.363553e-06,9.052191e-06,9.395998e-06,9.832334e-06,1.042112e-05,1.060601e-05,1.136957e-05,1.143011e-05,1.211976e-05,1.241545e-05,1.285379e-05,1.337093e-05,1.356927e-05,1.426423e-05,1.429158e-05,1.493709e-05,1.517365e-05,1.558658e-05,1.601440e-05,1.621177e-05,1.681202e-05,1.738693e-05,1.756551e-05,1.793630e-05,1.827450e-05,1.846015e-05,1.893917e-05,1.895863e-05,1.943203e-05,1.956014e-05,1.988075e-05,2.013835e-05,2.030530e-05,2.067500e-05,2.070622e-05,2.108412e-05,2.117146e-05,2.143965e-05,2.162924e-05,2.177350e-05,2.204992e-05,2.208638e-05,2.237899e-05,2.243514e-05,2.265205e-05,2.278657e-05,2.290631e-05,2.310587e-05,2.314246e-05,2.336124e-05,2.339468e-05,2.356335e-05,2.365464e-05,2.374947e-05,2.388731e-05,2.392028e-05,2.407645e-05,2.409424e-05,2.421862e-05,2.427690e-05,2.434742e-05,2.443674e-05,2.446345e-05,2.456732e-05,2.457512e-05,2.465958e-05,2.469337e-05,2.474081e-05,2.479275e-05,2.481152e-05,2.487224e-05,2.487446e-05,2.492346e-05,2.493967e-05,2.496566e-05,2.498945e-05,2.499932e-05,2.502486e-05,2.504272e-05,2.504688e-05,2.505331e-05,2.505645e-05,2.505702e-05,2.505446e-05,2.505423e-05,2.504531e-05,2.504176e-05,2.503061e-05,2.501914e-05,2.501045e-05,2.498736e-05,2.498516e-05,2.495504e-05,2.494713e-05,2.492039e-05,2.489911e-05,2.488149e-05,2.484396e-05,2.483861e-05,2.479200e-05,2.478225e-05,2.474191e-05,2.471456e-05,2.468857e-05,2.464142e-05,2.463221e-05,2.457304e-05,2.456333e-05,2.451126e-05,2.448074e-05,2.444707e-05,2.439411e-05,2.438066e-05,2.431219e-05,2.430385e-05,2.424184e-05,2.421033e-05,2.416977e-05,2.411394e-05,2.409613e-05,2.402106e-05,2.401500e-05,2.394470e-05,2.391383e-05,2.386719e-05,2.381073e-05,2.378864e-05,2.370918e-05,2.370598e-05,2.362891e-05,2.359984e-05,2.354795e-05,2.349255e-05,2.346639e-05,2.338433e-05,2.327539e-05,2.316592e-05,2.305611e-05,2.294613e-05,2.283613e-05,2.272624e-05,2.261661e-05,2.250736e-05,2.239859e-05,2.229042e-05,2.218293e-05,2.207621e-05,2.197035e-05,2.186540e-05,2.176145e-05,2.165853e-05,2.155672e-05,2.145605e-05,2.135658e-05,2.125832e-05,2.116133e-05,2.106562e-05,2.097123e-05,2.087817e-05
0.000000e+00,1.694920e-11,3.903045e-11,1.347503e-10,3.066067e-10,4.471044e-10,1.012646e-09,1.043049e-09,2.013285e-09,2.365156e-09,3.456134e-09,4.593620e-09,5.480482e-09,7.954629e-09,8.200332e-09,1.171188e-08,1.267835e-08,1.605141e-08,1.882621e-08,2.116375e-08,2.620130e-08,2.692132e-08,3.317603e-08,3.447454e-08,3.979547e-08,4.334496e-08,4.667159e-08,5.258123e-08,5.371661e-08,6.085680e-08,6.200366e-08,6.802794e-08,7.146406e-08,7.517284e-08,8.083515e-08,8.224010e-08,8.918377e-08,9.000672e-08,9.596328e-08,9.888501e-08,1.025435e-07,1.073928e-07,1.088949e-07,1.149931e-07,1.154694e-07,1.208192e-07,1.230701e-07,1.263590e-07,1.301647e-07,1.316027e-07,1.365447e-07,1.367361e-07,1.411829e-07,1.427784e-07,1.455184e-07,1.482955e-07,1.495549e-07,1.532974e-07,1.567534e-07,1.578003e-07,1.599317e-07,1.618244e-07,1.628418e-07,1.653930e-07,1.654943e-07,1.679001e-07,1.685311e-07,1.700707e-07,1.712647e-07,1.720172e-07,1.736201e-07,1.737512e-07,1.752840e-07,1.756232e-07,1.766267e-07,1.772996e-07,1.777901e-07,1.786741e-07,1.787849e-07,1.796213e-07,1.797704e-07,1.803090e-07,1.806110e-07,1.808575e-07,1.812174e-07,1.812760e-07,1.815729e-07,1.816097e-07,1.817566e-07,1.818068e-07,1.818348e-07,1.818265e-07,1.818150e-07,1.817043e-07,1.816852e-07,1.815093e-07,1.813984e-07,1.812363e-07,1.809803e-07,1.808912e-07,1.804798e-07,1.804442e-07,1.800074e-07,1.798024e-07,1.794788e-07,1.790662e-07,1.788989e-07,1.782720e-07,1.782460e-07,1.776024e-07,1.773516e-07,1.768939e-07,1.763918e-07,1.761502e-07,1.753747e-07,1.745707e-07,1.743080e-07,1.737413e-07,1.731983e-07,1.728891e-07,1.720522e-07,1.720169e-07,1.711272e-07,1.708752e-07,1.702222e-07,1.696728e-07,1.693041e-07,1.684496e-07,1.683749e-07,1.674366e-07,1.672102e-07,1.664907e-07,1.659584e-07,1.655391e-07,1.646979e-07,1.645830e-07,1.636241e-07,1.634320e-07,1.626635e-07,1.621637e-07,1.617024e-07,1.608956e-07,1.607421e-07,1.597834e-07,1.596302e-07,1.588273e-07,1.583696e-07,1.578748e-07,1.571158e-07,1.569266e-07,1.559834e-07,1.558706e-07,1.550459e-07,1.546354e-07,1.541148e-07,1.534118e-07,1.531906e-07,1.522738e-07,1.522008e-07,1.513649e-07,1.510036e-07,1.504642e-07,1.498211e-07,1.495723e-07,1.486893e-07,1.486542e-07,1.478157e-07,1.475035e-07,1.469516e-07,1.463696e-07,1.460973e-07,1.452531e-07,1.441543e-07,1.430737e-07,1.420115e-07,1.409678e-07,1.399429e-07,1.389368e-07,1.379497e-07,1.369814e-07,1.360320e-07,1.351014e-07,1.341894e-07,1.332961e-07,1.324212e-07,1.315645e-07,1.307259e-07,1.299051e-07,1.291019e-07,1.283161e-07,1.275475e-07,1.267957e-07,1.260605e-07,1.253416e-07,1.246388e-07,1.239517e-07
0.000000e+00,5.538701e-12,1.271414e-11,4.386439e-11,1.000012e-10,1.460388e-10,3.321444e-10,3.421744e-10,6.630160e-10,7.795955e-10,1.141245e-09,1.517925e-09,1.810809e-09,2.621075e-09,2.700831e-09,3.823854e-09,4.127383e-09,5.170542e-09,6.014317e-09,6.718843e-09,8.229079e-09,8.444833e-09,1.032650e-08,1.071970e-08,1.234346e-08,1.343922e-08,1.447609e-08,1.634270e-08,1.670500e-08,1.901107e-08,1.938594e-08,2.137561e-08,2.252607e-08,2.378075e-08,2.572276e-08,2.620969e-08,2.864701e-08,2.893937e-08,3.107881e-08,3.214384e-08,3.349284e-08,3.530898e-08,3.587841e-08,3.822642e-08,3.841240e-08,4.052925e-08,4.143629e-08,4.278065e-08,4.436695e-08,4.497560e-08,4.711016e-08,4.719425e-08,4.918133e-08,4.991100e-08,5.118696e-08,5.251259e-08,5.312561e-08,5.499645e-08,5.679912e-08,5.736158e-08,5.853370e-08,5.960828e-08,6.020060e-08,6.173780e-08,6.180052e-08,6.333437e-08,6.375216e-08,6.480326e-08,6.565393e-08,6.620844e-08,6.744610e-08,6.755127e-08,6.883320e-08,6.913198e-08,7.005577e-08,7.071506e-08,7.122053e-08,7.219898e-08,7.232909e-08,7.338307e-08,7.358746e-08,7.438410e-08,7.488426e-08,7.533382e-08,7.609312e-08,7.623386e-08,7.708583e-08,7.721780e-08,7.789135e-08,7.826195e-08,7.865198e-08,7.922923e-08,7.936930e-08,8.004483e-08,8.012315e-08,8.068007e-08,8.094720e-08,8.127651e-08,8.170474e-08,8.183559e-08,8.235871e-08,8.239905e-08,8.284725e-08,8.303329e-08,8.330255e-08,8.361053e-08,8.372593e-08,8.411866e-08,8.413375e-08,8.448197e-08,8.460579e-08,8.481706e-08,8.502941e-08,8.512512e-08,8.540727e-08,8.566461e-08,8.574190e-08,8.589822e-08,8.603575e-08,8.610912e-08,8.629116e-08,8.629832e-08,8.646679e-08,8.651037e-08,8.661546e-08,8.669554e-08,8.674524e-08,8.684871e-08,8.685701e-08,8.695161e-08,8.697186e-08,8.702987e-08,8.706685e-08,8.709256e-08,8.713547e-08,8.714046e-08,8.717429e-08,8.717943e-08,8.719477e-08,8.720036e-08,8.720257e-08,8.719980e-08,8.719835e-08,8.718274e-08,8.717923e-08,8.715636e-08,8.714005e-08,8.711979e-08,8.708358e-08,8.707359e-08,8.701831e-08,8.701109e-08,8.695445e-08,8.692378e-08,8.688254e-08,8.682278e-08,8.680304e-08,8.671641e-08,8.670919e-08,8.662310e-08,8.658401e-08,8.652354e-08,8.644821e-08,8.641813e-08,8.630725e-08,8.630271e-08,8.619130e-08,8.614837e-08,8.607061e-08,8.598602e-08,8.594554e-08,8.581641e-08,8.564028e-08,8.545832e-08,8.527116e-08,8.507942e-08,8.488367e-08,8.468445e-08,8.448225e-08,8.427756e-08,8.407082e-08,8.386244e-08,8.365281e-08,8.344229e-08,8.323121e-08,8.301991e-08,8.280866e-08,8.259775e-08,8.238741e-08,8.217790e-08,8.196942e-08,8.176217e-08,8.155634e-08,8.135210e-08,8.114960e-08,8.094899e-08
0.000000e+00,3.815235e-10,1.035351e-09,4.254906e-09,1.052477e-08,1.585296e-08,3.819844e-08,3.942800e-08,7.967496e-08,9.465527e-08,1.420046e-07,1.922761e-07,2.316878e-07,3.406095e-07,3.512640e-07,4.995308e-07,5.390885e-07,6.738439e-07,7.819377e-07,8.718490e-07,1.064160e-06,1.091623e-06,1.331383e-06,1.381573e-06,1.589267e-06,1.729859e-06,1.863236e-06,2.104179e-06,2.151067e-06,2.450385e-06,2.499178e-06,2.758727e-06,2.909207e-06,3.073610e-06,3.328584e-06,3.392596e-06,3.713355e-06,3.751860e-06,4.033711e-06,4.174022e-06,4.351680e-06,4.590641e-06,4.665489e-06,4.973586e-06,4.997945e-06,5.274646e-06,5.392844e-06,5.567560e-06,5.772900e-06,5.851425e-06,6.125522e-06,6.136275e-06,6.389310e-06,6.481671e-06,6.642402e-06,6.808263e-06,6.884549e-06,7.115614e-06,7.335547e-06,7.403577e-06,7.544380e-06,7.672256e-06,7.742221e-06,7.921945e-06,7.929219e-06,8.105570e-06,8.153073e-06,8.271517e-06,8.366202e-06,8.427328e-06,8.561969e-06,8.573291e-06,8.709713e-06,8.741070e-06,8.836917e-06,8.904255e-06,8.955255e-06,9.052348e-06,9.065090e-06,9.166740e-06,9.186116e-06,9.260532e-06,9.306307e-06,9.346792e-06,9.413660e-06,9.425835e-06,9.497972e-06,9.508894e-06,9.563511e-06,9.592713e-06,9.622749e-06,9.665798e-06,9.675977e-06,9.723474e-06,9.728801e-06,9.765512e-06,9.782349e-06,9.802357e-06,9.827043e-06,9.834264e-06,9.861481e-06,9.863462e-06,9.884246e-06,9.892157e-06,9.902789e-06,9.913650e-06,9.917330e-06,9.928083e-06,9.928438e-06,9.935251e-06,9.936992e-06,9.939031e-06,9.939762e-06,9.939611e-06,9.937172e-06,9.931889e-06,9.929625e-06,9.923927e-06,9.917499e-06,9.913445e-06,9.901153e-06,9.900595e-06,9.885524e-06,9.880925e-06,9.868370e-06,9.857134e-06,9.849267e-06,9.830080e-06,9.828342e-06,9.805716e-06,9.800046e-06,9.781505e-06,9.767297e-06,9.755820e-06,9.732082e-06,9.728767e-06,9.700445e-06,9.694636e-06,9.670949e-06,9.655179e-06,9.640372e-06,9.613915e-06,9.608800e-06,9.576314e-06,9.571037e-06,9.542994e-06,9.526726e-06,9.508914e-06,9.481149e-06,9.474143e-06,9.438751e-06,9.434465e-06,9.402799e-06,9.386819e-06,9.366349e-06,9.338349e-06,9.329458e-06,9.292179e-06,9.289182e-06,9.254565e-06,9.239436e-06,9.216663e-06,9.189222e-06,9.178520e-06,9.140178e-06,9.138641e-06,9.101680e-06,9.087789e-06,9.063062e-06,9.036753e-06,9.024363e-06,8.985615e-06,8.934449e-06,8.883325e-06,8.832307e-06,8.781452e-06,8.730816e-06,8.680446e-06,8.630388e-06,8.580682e-06,8.531368e-06,8.482477e-06,8.434040e-06,8.386087e-06,8.338639e-06,8.291721e-06,8.245351e-06,8.199547e-06,8.154323e-06,8.109693e-06,8.065668e-06,8.022257e-06,7.979468e-06,7.937307e-06,7.895780e-06,7.854890e-06
0.000000e+00,1.307421e-11,3.011832e-11,1.041869e-10,2.378840e-10,3.478380e-10,7.960494e-10,8.203896e-10,1.609351e-09,1.900947e-09,2.821221e-09,3.802345e-09,4.578417e-09,6.765456e-09,6.982651e-09,1.004526e-08,1.086934e-08,1.367505e-08,1.591006e-08,1.775235e-08,2.163420e-08,2.218191e-08,2.689618e-08,2.786853e-08,3.184405e-08,3.449461e-08,3.698182e-08,4.141425e-08,4.226844e-08,4.766343e-08,4.853399e-08,5.312652e-08,5.576129e-08,5.861800e-08,6.300570e-08,6.409939e-08,6.953426e-08,7.018168e-08,7.488889e-08,7.721153e-08,8.013283e-08,8.402756e-08,8.523926e-08,9.018519e-08,9.057333e-08,9.495146e-08,9.680409e-08,9.952268e-08,1.026864e-07,1.038870e-07,1.080359e-07,1.081973e-07,1.119637e-07,1.133230e-07,1.156675e-07,1.180577e-07,1.191466e-07,1.224023e-07,1.254375e-07,1.263628e-07,1.282564e-07,1.299494e-07,1.308644e-07,1.331753e-07,1.332676e-07,1.354729e-07,1.360559e-07,1.374876e-07,1.386082e-07,1.393194e-07,1.408499e-07,1.409761e-07,1.424657e-07,1.427992e-07,1.437961e-07,1.444745e-07,1.449752e-07,1.458938e-07,1.460107e-07,1.469104e-07,1.470747e-07,1.476817e-07,1.480344e-07,1.483317e-07,1.487890e-07,1.488673e-07,1.492952e-07,1.493541e-07,1.496221e-07,1.497449e-07,1.498542e-07,1.499758e-07,1.499976e-07,1.500579e-07,1.500598e-07,1.500405e-07,1.500095e-07,1.499505e-07,1.498367e-07,1.497929e-07,1.495725e-07,1.495523e-07,1.492936e-07,1.491666e-07,1.489604e-07,1.486891e-07,1.485769e-07,1.481470e-07,1.481289e-07,1.476742e-07,1.474942e-07,1.471620e-07,1.467927e-07,1.466134e-07,1.460317e-07,1.454195e-07,1.452176e-07,1.447797e-07,1.443568e-07,1.441146e-07,1.434548e-07,1.434268e-07,1.427185e-07,1.425168e-07,1.419918e-07,1.415478e-07,1.412487e-07,1.405522e-07,1.404911e-07,1.397206e-07,1.395340e-07,1.389391e-07,1.384971e-07,1.381479e-07,1.374449e-07,1.373486e-07,1.365425e-07,1.363806e-07,1.357309e-07,1.353071e-07,1.349150e-07,1.342270e-07,1.340958e-07,1.332744e-07,1.331428e-07,1.324517e-07,1.320566e-07,1.316287e-07,1.309706e-07,1.308061e-07,1.299848e-07,1.298864e-07,1.291655e-07,1.288058e-07,1.283487e-07,1.277301e-07,1.275352e-07,1.267255e-07,1.266609e-07,1.259201e-07,1.255992e-07,1.251194e-07,1.245462e-07,1.243240e-07,1.235342e-07,1.235027e-07,1.227504e-07,1.224698e-07,1.219729e-07,1.214480e-07,1.212020e-07,1.204381e-07,1.194407e-07,1.184562e-07,1.174851e-07,1.165277e-07,1.155844e-07,1.146554e-07,1.137409e-07,1.128411e-07,1.119560e-07,1.110858e-07,1.102305e-07,1.093901e-07,1.085645e-07,1.077538e-07,1.069579e-07,1.061766e-07,1.054099e-07,1.046577e-07,1.039197e-07,1.031960e-07,1.024862e-07,1.017902e-07,1.011079e-07,1.004391e-07
0.000000e+00,2.280784e-10,6.402497e-10,2.718484e-09,6.798479e-09,1.026056e-08,2.462382e-08,2.540609e-08,5.056525e-08,5.972845e-08,8.812713e-08,1.176338e-07,1.405399e-07,2.039727e-07,2.102370e-07,2.992037e-07,3.235403e-07,4.081546e-07,4.775582e-07,5.360067e-07,6.622641e-07,6.803671e-07,8.384790e-07,8.715195e-07,1.007763e-06,1.099433e-06,1.185919e-06,1.340893e-06,1.370858e-06,1.560636e-06,1.591325e-06,1.753410e-06,1.846490e-06,1.947437e-06,2.102457e-06,2.141080e-06,2.332827e-06,2.355643e-06,2.521312e-06,2.602895e-06,2.705326e-06,2.841537e-06,2.883824e-06,3.055938e-06,3.069409e-06,3.220964e-06,3.284861e-06,3.378352e-06,3.486712e-06,3.527703e-06,3.668752e-06,3.674219e-06,3.801351e-06,3.847007e-06,3.925458e-06,4.005018e-06,4.041115e-06,4.148441e-06,4.247614e-06,4.277662e-06,4.338858e-06,4.393214e-06,4.422437e-06,4.495730e-06,4.498640e-06,4.567778e-06,4.585913e-06,4.630171e-06,4.664507e-06,4.686150e-06,4.732271e-06,4.736047e-06,4.780193e-06,4.789968e-06,4.818914e-06,4.838348e-06,4.852530e-06,4.878134e-06,4.881348e-06,4.905668e-06,4.910018e-06,4.925778e-06,4.934663e-06,4.941953e-06,4.952694e-06,4.954459e-06,4.963547e-06,4.964700e-06,4.969455e-06,4.971229e-06,4.972412e-06,4.972797e-06,4.972632e-06,4.970319e-06,4.969881e-06,4.965666e-06,4.962924e-06,4.958853e-06,4.952336e-06,4.950052e-06,4.939422e-06,4.938498e-06,4.927117e-06,4.921757e-06,4.913276e-06,4.902436e-06,4.898034e-06,4.881516e-06,4.880830e-06,4.863838e-06,4.857211e-06,4.845110e-06,4.831828e-06,4.825435e-06,4.804909e-06,4.783621e-06,4.776662e-06,4.761655e-06,4.747278e-06,4.739089e-06,4.716929e-06,4.715996e-06,4.692444e-06,4.685776e-06,4.668495e-06,4.653960e-06,4.644209e-06,4.621614e-06,4.619640e-06,4.594838e-06,4.588856e-06,4.569851e-06,4.555794e-06,4.544723e-06,4.522524e-06,4.519493e-06,4.494199e-06,4.489135e-06,4.468876e-06,4.455706e-06,4.443555e-06,4.422308e-06,4.418265e-06,4.393035e-06,4.389006e-06,4.367889e-06,4.355855e-06,4.342848e-06,4.322907e-06,4.317935e-06,4.293169e-06,4.290208e-06,4.268566e-06,4.257797e-06,4.244143e-06,4.225711e-06,4.219914e-06,4.195892e-06,4.193980e-06,4.172089e-06,4.162631e-06,4.148515e-06,4.131690e-06,4.125180e-06,4.102093e-06,4.101175e-06,4.079260e-06,4.071104e-06,4.056688e-06,4.041492e-06,4.034384e-06,4.012351e-06,3.983691e-06,3.955521e-06,3.927846e-06,3.900671e-06,3.873998e-06,3.847830e-06,3.822167e-06,3.797008e-06,3.772351e-06,3.748194e-06,3.724534e-06,3.701366e-06,3.678687e-06,3.656490e-06,3.634771e-06,3.613523e-06,3.592739e-06,3.572414e-06,3.552540e-06,3.533109e-06,3.514115e-06,3.495549e-06,3.477405e-06,3.459675e-06
0.000000e+00,2.787992e-11,8.646981e-11,4.071320e-10,1.061770e-09,1.623321e-09,3.954979e-09,4.081491e-09,8.109689e-09,9.556292e-09,1.397187e-08,1.845835e-08,2.187644e-08,3.108780e-08,3.197974e-08,4.438373e-08,4.770892e-08,5.912818e-08,6.839783e-08,7.617799e-08,9.299126e-08,9.540720e-08,1.165837e-07,1.210243e-07,1.393622e-07,1.516947e-07,1.632953e-07,1.839181e-07,1.878720e-07,2.125750e-07,2.165069e-07,2.369368e-07,2.483932e-07,2.605742e-07,2.787648e-07,2.831974e-07,3.046025e-07,3.070823e-07,3.246572e-07,3.330322e-07,3.432857e-07,3.564685e-07,3.604560e-07,3.761699e-07,3.773648e-07,3.904551e-07,3.957791e-07,4.033584e-07,4.118271e-07,4.149411e-07,4.252737e-07,4.256621e-07,4.344335e-07,4.374592e-07,4.425006e-07,4.474036e-07,4.495564e-07,4.556814e-07,4.609538e-07,4.624733e-07,4.654487e-07,4.679504e-07,4.692371e-07,4.722712e-07,4.723857e-07,4.749565e-07,4.755807e-07,4.770068e-07,4.780092e-07,4.785893e-07,4.796735e-07,4.797521e-07,4.805392e-07,4.806767e-07,4.809904e-07,4.811099e-07,4.811416e-07,4.810525e-07,4.810254e-07,4.806711e-07,4.805740e-07,4.801050e-07,4.797350e-07,4.793510e-07,4.785879e-07,4.784302e-07,4.773618e-07,4.771783e-07,4.761629e-07,4.755457e-07,4.748489e-07,4.737243e-07,4.734337e-07,4.719297e-07,4.717438e-07,4.703480e-07,4.696300e-07,4.686985e-07,4.674052e-07,4.669904e-07,4.652317e-07,4.650890e-07,4.634297e-07,4.626982e-07,4.615910e-07,4.602477e-07,4.597215e-07,4.578266e-07,4.577503e-07,4.559110e-07,4.552173e-07,4.539793e-07,4.526584e-07,4.520352e-07,4.500825e-07,4.481242e-07,4.474969e-07,4.461633e-07,4.449083e-07,4.442026e-07,4.423225e-07,4.422443e-07,4.402906e-07,4.397447e-07,4.383436e-07,4.371793e-07,4.364049e-07,4.346301e-07,4.344762e-07,4.325590e-07,4.321007e-07,4.306545e-07,4.295941e-07,4.287640e-07,4.271127e-07,4.268885e-07,4.250290e-07,4.246591e-07,4.231863e-07,4.222350e-07,4.213612e-07,4.198422e-07,4.195544e-07,4.177665e-07,4.174822e-07,4.159980e-07,4.151562e-07,4.142495e-07,4.128652e-07,4.125212e-07,4.108136e-07,4.106101e-07,4.091270e-07,4.083917e-07,4.074617e-07,4.062104e-07,4.058178e-07,4.041955e-07,4.040667e-07,4.025951e-07,4.019610e-07,4.010165e-07,3.998935e-07,3.994599e-07,3.979252e-07,3.978643e-07,3.964127e-07,3.958735e-07,3.949221e-07,3.939211e-07,3.934535e-07,3.920069e-07,3.901309e-07,3.882927e-07,3.864923e-07,3.847292e-07,3.830031e-07,3.813138e-07,3.796607e-07,3.780435e-07,3.764617e-07,3.749148e-07,3.734024e-07,3.719240e-07,3.704790e-07,3.690670e-07,3.676873e-07,3.663395e-07,3.650230e-07,3.637372e-07,3.624817e-07,3.612558e-07,3.600591e-07,3.588908e-07,3.577506e-07,3.566378e-07
0.000000e+00,1.914915e-11,4.457424e-11,1.556266e-10,3.557653e-10,5.194767e-10,1.177112e-09,1.212377e-09,2.332162e-09,2.735498e-09,3.976821e-09,5.257017e-09,6.246031e-09,8.968886e-09,9.236751e-09,1.302675e-08,1.405984e-08,1.764266e-08,2.057166e-08,2.303079e-08,2.831383e-08,2.906758e-08,3.560557e-08,3.696103e-08,4.250971e-08,4.620635e-08,4.966736e-08,5.580679e-08,5.698493e-08,6.438275e-08,6.556909e-08,7.179153e-08,7.533354e-08,7.915068e-08,8.496661e-08,8.640752e-08,9.351693e-08,9.435828e-08,1.004411e-07,1.034209e-07,1.071492e-07,1.120877e-07,1.136169e-07,1.198259e-07,1.203111e-07,1.257632e-07,1.280600e-07,1.314203e-07,1.353174e-07,1.367929e-07,1.418799e-07,1.420774e-07,1.466829e-07,1.483431e-07,1.512058e-07,1.541243e-07,1.554544e-07,1.594354e-07,1.631571e-07,1.642946e-07,1.666281e-07,1.687223e-07,1.698578e-07,1.727403e-07,1.728559e-07,1.756320e-07,1.763710e-07,1.781963e-07,1.796373e-07,1.805586e-07,1.825617e-07,1.827284e-07,1.847152e-07,1.851658e-07,1.865282e-07,1.874709e-07,1.881763e-07,1.894972e-07,1.896683e-07,1.910124e-07,1.912642e-07,1.922166e-07,1.927901e-07,1.932887e-07,1.940925e-07,1.942360e-07,1.950655e-07,1.951878e-07,1.957841e-07,1.960916e-07,1.963982e-07,1.968184e-07,1.969140e-07,1.973373e-07,1.973821e-07,1.976736e-07,1.977954e-07,1.979284e-07,1.980705e-07,1.981066e-07,1.982130e-07,1.982186e-07,1.982523e-07,1.982502e-07,1.982287e-07,1.981751e-07,1.981463e-07,1.980091e-07,1.980025e-07,1.978207e-07,1.977410e-07,1.975846e-07,1.973985e-07,1.973041e-07,1.969824e-07,1.966224e-07,1.964996e-07,1.962269e-07,1.959565e-07,1.957986e-07,1.953589e-07,1.953400e-07,1.948535e-07,1.947126e-07,1.943412e-07,1.940224e-07,1.938054e-07,1.932933e-07,1.932479e-07,1.926707e-07,1.925295e-07,1.920756e-07,1.917352e-07,1.914642e-07,1.909140e-07,1.908382e-07,1.901989e-07,1.900696e-07,1.895478e-07,1.892050e-07,1.888862e-07,1.883232e-07,1.882153e-07,1.875364e-07,1.874271e-07,1.868505e-07,1.865190e-07,1.861586e-07,1.856014e-07,1.854617e-07,1.847607e-07,1.846763e-07,1.840565e-07,1.837458e-07,1.833498e-07,1.828115e-07,1.826414e-07,1.819320e-07,1.818753e-07,1.812223e-07,1.809385e-07,1.805129e-07,1.800025e-07,1.798042e-07,1.790970e-07,1.790687e-07,1.783916e-07,1.781382e-07,1.776885e-07,1.772120e-07,1.769882e-07,1.762910e-07,1.753762e-07,1.744682e-07,1.735679e-07,1.726759e-07,1.717926e-07,1.709186e-07,1.700544e-07,1.692004e-07,1.683568e-07,1.675241e-07,1.667024e-07,1.658919e-07,1.650930e-07,1.643057e-07,1.635301e-07,1.627664e-07,1.620146e-07,1.612748e-07,1.605470e-07,1.598312e-07,1.591274e-07,1.584356e-07,1.577557e-07,1.570877e-07
0.000000e+00,1.320864e-12,8.204907e-12,1.178662e-10,6.581596e-10,1.423828e-09,7.224182e-09,7.650507e-09,2.655193e-08,3.566758e-08,7.029072e-08,1.150576e-07,1.551014e-07,2.862805e-07,3.006754e-07,5.292776e-07,5.990798e-07,8.639628e-07,1.105658e-06,1.325482e-06,1.848665e-06,1.928881e-06,2.681449e-06,2.849941e-06,3.582663e-06,4.107936e-06,4.625573e-06,5.602784e-06,5.798657e-06,7.087531e-06,7.303441e-06,8.476188e-06,9.173272e-06,9.947842e-06,1.117348e-05,1.148546e-05,1.307215e-05,1.326506e-05,1.469143e-05,1.541014e-05,1.632753e-05,1.757305e-05,1.796562e-05,1.959206e-05,1.972130e-05,2.119454e-05,2.182636e-05,2.276226e-05,2.386424e-05,2.428598e-05,2.575804e-05,2.581575e-05,2.717233e-05,2.766640e-05,2.852423e-05,2.940615e-05,2.981045e-05,3.102892e-05,3.217866e-05,3.253202e-05,3.325959e-05,3.391558e-05,3.427242e-05,3.518189e-05,3.521847e-05,3.609956e-05,3.633492e-05,3.691790e-05,3.737980e-05,3.767596e-05,3.832243e-05,3.837641e-05,3.902203e-05,3.916914e-05,3.961568e-05,3.992648e-05,4.016020e-05,4.060096e-05,4.065839e-05,4.111301e-05,4.119894e-05,4.152672e-05,4.172654e-05,4.190208e-05,4.218954e-05,4.224154e-05,4.254743e-05,4.259340e-05,4.282196e-05,4.294321e-05,4.306721e-05,4.324365e-05,4.328515e-05,4.347762e-05,4.349908e-05,4.364635e-05,4.371349e-05,4.379296e-05,4.389054e-05,4.391898e-05,4.402581e-05,4.403357e-05,4.411478e-05,4.414564e-05,4.418712e-05,4.422956e-05,4.424399e-05,4.428645e-05,4.428786e-05,4.431552e-05,4.432288e-05,4.433212e-05,4.433673e-05,4.433712e-05,4.433134e-05,4.431554e-05,4.430848e-05,4.429042e-05,4.426975e-05,4.425663e-05,4.421663e-05,4.421481e-05,4.416551e-05,4.415044e-05,4.410928e-05,4.407243e-05,4.404662e-05,4.398369e-05,4.397799e-05,4.390384e-05,4.388527e-05,4.382458e-05,4.377810e-05,4.374058e-05,4.366303e-05,4.365221e-05,4.355980e-05,4.354086e-05,4.346367e-05,4.341231e-05,4.336411e-05,4.327804e-05,4.326141e-05,4.315581e-05,4.313866e-05,4.304756e-05,4.299472e-05,4.293689e-05,4.284676e-05,4.282402e-05,4.270914e-05,4.269523e-05,4.259245e-05,4.254057e-05,4.247412e-05,4.238319e-05,4.235432e-05,4.223321e-05,4.222347e-05,4.211093e-05,4.206173e-05,4.198763e-05,4.189829e-05,4.186344e-05,4.173847e-05,4.173345e-05,4.161284e-05,4.156748e-05,4.148667e-05,4.140061e-05,4.136005e-05,4.123308e-05,4.106509e-05,4.089685e-05,4.072853e-05,4.056030e-05,4.039230e-05,4.022468e-05,4.005757e-05,3.989109e-05,3.972535e-05,3.956044e-05,3.939646e-05,3.923350e-05,3.907163e-05,3.891092e-05,3.875144e-05,3.859325e-05,3.843640e-05,3.828094e-05,3.812691e-05,3.797436e-05,3.782331e-05,3.767380e-05,3.752586e-05,3.737951e-05
0.000000e+00,1.659889e-10,4.213115e-10,1.614764e-09,3.867467e-09,5.755296e-09,1.356373e-08,1.399018e-08,2.784180e-08,3.295992e-08,4.907457e-08,6.619177e-08,7.970399e-08,1.178375e-07,1.216405e-07,1.758250e-07,1.906114e-07,2.416315e-07,2.829629e-07,3.174297e-07,3.910270e-07,4.015026e-07,4.924213e-07,5.113207e-07,5.890219e-07,6.411623e-07,6.902997e-07,7.783105e-07,7.953311e-07,9.032371e-07,9.207120e-07,1.013173e-06,1.066424e-06,1.124330e-06,1.213620e-06,1.235945e-06,1.347313e-06,1.360629e-06,1.457792e-06,1.505972e-06,1.566814e-06,1.648388e-06,1.673882e-06,1.778574e-06,1.786835e-06,1.880541e-06,1.920499e-06,1.979500e-06,2.048762e-06,2.075230e-06,2.167564e-06,2.171185e-06,2.256384e-06,2.287483e-06,2.341613e-06,2.397495e-06,2.423210e-06,2.501172e-06,2.575509e-06,2.598535e-06,2.646253e-06,2.689668e-06,2.713458e-06,2.774707e-06,2.777191e-06,2.837527e-06,2.853824e-06,2.894553e-06,2.927217e-06,2.948360e-06,2.995101e-06,2.999043e-06,3.046699e-06,3.057697e-06,3.091429e-06,3.115238e-06,3.133335e-06,3.167956e-06,3.172518e-06,3.209078e-06,3.216084e-06,3.243116e-06,3.259852e-06,3.274731e-06,3.299485e-06,3.304018e-06,3.331074e-06,3.335202e-06,3.355991e-06,3.367217e-06,3.378858e-06,3.395736e-06,3.399764e-06,3.418795e-06,3.420957e-06,3.436034e-06,3.443072e-06,3.451561e-06,3.462264e-06,3.465454e-06,3.477788e-06,3.478709e-06,3.488636e-06,3.492575e-06,3.498068e-06,3.504021e-06,3.506153e-06,3.512956e-06,3.513202e-06,3.518539e-06,3.520262e-06,3.522963e-06,3.525340e-06,3.526288e-06,3.528568e-06,3.529858e-06,3.530070e-06,3.530209e-06,3.529965e-06,3.529673e-06,3.528366e-06,3.528295e-06,3.526123e-06,3.525379e-06,3.523201e-06,3.521105e-06,3.519570e-06,3.515638e-06,3.515271e-06,3.510343e-06,3.509070e-06,3.504822e-06,3.501486e-06,3.498745e-06,3.492964e-06,3.492146e-06,3.485057e-06,3.483583e-06,3.477508e-06,3.473412e-06,3.469531e-06,3.462519e-06,3.461153e-06,3.452401e-06,3.450968e-06,3.443302e-06,3.438819e-06,3.433880e-06,3.426126e-06,3.424159e-06,3.414161e-06,3.412944e-06,3.403909e-06,3.399322e-06,3.393421e-06,3.385306e-06,3.382718e-06,3.371819e-06,3.370940e-06,3.360742e-06,3.356264e-06,3.349502e-06,3.341318e-06,3.338116e-06,3.326600e-06,3.326137e-06,3.314968e-06,3.310754e-06,3.303233e-06,3.295202e-06,3.291409e-06,3.279508e-06,3.263702e-06,3.247807e-06,3.231848e-06,3.215848e-06,3.199826e-06,3.183801e-06,3.167792e-06,3.151814e-06,3.135883e-06,3.120013e-06,3.104217e-06,3.088507e-06,3.072893e-06,3.057385e-06,3.041994e-06,3.026726e-06,3.011590e-06,2.996593e-06,2.981741e-06,2.967039e-06,2.952492e-06,2.938106e-06,2.923883e-06,2.909828e-06
0.000000e+00,7.529024e-12,1.736614e-11,6.008676e-11,1.368528e-10,1.995876e-10,4.514751e-10,4.649809e-10,8.938843e-10,1.048411e-09,1.524201e-09,2.015356e-09,2.395246e-09,3.444095e-09,3.547581e-09,5.020188e-09,5.424959e-09,6.843316e-09,8.022435e-09,9.027548e-09,1.123519e-08,1.155544e-08,1.438417e-08,1.498118e-08,1.745808e-08,1.913462e-08,2.072119e-08,2.357159e-08,2.412346e-08,2.762196e-08,2.818813e-08,3.118004e-08,3.289960e-08,3.476595e-08,3.763593e-08,3.835191e-08,4.191344e-08,4.233813e-08,4.542904e-08,4.695642e-08,4.887997e-08,5.144943e-08,5.225014e-08,5.552601e-08,5.578366e-08,5.869643e-08,5.993301e-08,6.175251e-08,6.387821e-08,6.468747e-08,6.749640e-08,6.760608e-08,7.017610e-08,7.110878e-08,7.272486e-08,7.438296e-08,7.514226e-08,7.742897e-08,7.958659e-08,8.025012e-08,8.161745e-08,8.285202e-08,8.352451e-08,8.524200e-08,8.531120e-08,8.698131e-08,8.742860e-08,8.853890e-08,8.942121e-08,8.998822e-08,9.122972e-08,9.133363e-08,9.257955e-08,9.286425e-08,9.373040e-08,9.433500e-08,9.479059e-08,9.565201e-08,9.576446e-08,9.665625e-08,9.682513e-08,9.747014e-08,9.786391e-08,9.821015e-08,9.877752e-08,9.888018e-08,9.948402e-08,9.957473e-08,1.000253e-07,1.002639e-07,1.005075e-07,1.008529e-07,1.009339e-07,1.013078e-07,1.013493e-07,1.016323e-07,1.017602e-07,1.019102e-07,1.020920e-07,1.021444e-07,1.023374e-07,1.023512e-07,1.024919e-07,1.025435e-07,1.026103e-07,1.026743e-07,1.026947e-07,1.027474e-07,1.027489e-07,1.027705e-07,1.027719e-07,1.027659e-07,1.027478e-07,1.027354e-07,1.026808e-07,1.026038e-07,1.025747e-07,1.025060e-07,1.024331e-07,1.023888e-07,1.022593e-07,1.022536e-07,1.021018e-07,1.020564e-07,1.019346e-07,1.018274e-07,1.017532e-07,1.015748e-07,1.015588e-07,1.013524e-07,1.013012e-07,1.011350e-07,1.010088e-07,1.009075e-07,1.006997e-07,1.006709e-07,1.004259e-07,1.003760e-07,1.001734e-07,1.000394e-07,9.991412e-08,9.969158e-08,9.964874e-08,9.937793e-08,9.933414e-08,9.910230e-08,9.896847e-08,9.882245e-08,9.859589e-08,9.853891e-08,9.825220e-08,9.821760e-08,9.796280e-08,9.783473e-08,9.767116e-08,9.744828e-08,9.737771e-08,9.708284e-08,9.705921e-08,9.678693e-08,9.666836e-08,9.649033e-08,9.627652e-08,9.619335e-08,9.589630e-08,9.588442e-08,9.559946e-08,9.549270e-08,9.530310e-08,9.510197e-08,9.500746e-08,9.471277e-08,9.432559e-08,9.394088e-08,9.355905e-08,9.318045e-08,9.280542e-08,9.243425e-08,9.206720e-08,9.170451e-08,9.134637e-08,9.099297e-08,9.064446e-08,9.030098e-08,8.996265e-08,8.962955e-08,8.930177e-08,8.897937e-08,8.866241e-08,8.835092e-08,8.804494e-08,8.774446e-08,8.744951e-08,8.716007e-08,8.687613e-08,8.659768e-08
0.000000e+00,4.034645e-11,1.095519e-10,4.499036e-10,1.109667e-09,1.666960e-09,3.970585e-09,4.095810e-09,8.114115e-09,9.573464e-09,1.408257e-08,1.874632e-08,2.235303e-08,3.229175e-08,3.327042e-08,4.715828e-08,5.096427e-08,6.427317e-08,7.531809e-08,8.473134e-08,1.054469e-07,1.084606e-07,1.352332e-07,1.409269e-07,1.647480e-07,1.810747e-07,1.966908e-07,2.251765e-07,2.307577e-07,2.666553e-07,2.725496e-07,3.040969e-07,3.225342e-07,3.428000e-07,3.744833e-07,3.824860e-07,4.228820e-07,4.277646e-07,4.637243e-07,4.817709e-07,5.047611e-07,5.359332e-07,5.457562e-07,5.864914e-07,5.897329e-07,6.267686e-07,6.427109e-07,6.664110e-07,6.944725e-07,7.052634e-07,7.431928e-07,7.446891e-07,7.800867e-07,7.930966e-07,8.158529e-07,8.394916e-07,8.504180e-07,8.837255e-07,9.157346e-07,9.256985e-07,9.464180e-07,9.653524e-07,9.757609e-07,1.002665e-06,1.003759e-06,1.030417e-06,1.037642e-06,1.055746e-06,1.070314e-06,1.079767e-06,1.100730e-06,1.102503e-06,1.123982e-06,1.128953e-06,1.144236e-06,1.155056e-06,1.163299e-06,1.179120e-06,1.181209e-06,1.198002e-06,1.201230e-06,1.213718e-06,1.221477e-06,1.228395e-06,1.239951e-06,1.242074e-06,1.254794e-06,1.256743e-06,1.266594e-06,1.271942e-06,1.277512e-06,1.285637e-06,1.287586e-06,1.296854e-06,1.297913e-06,1.305351e-06,1.308855e-06,1.313113e-06,1.318541e-06,1.320174e-06,1.326566e-06,1.327050e-06,1.332323e-06,1.334454e-06,1.337474e-06,1.340825e-06,1.342050e-06,1.346079e-06,1.346229e-06,1.349589e-06,1.350731e-06,1.352607e-06,1.354391e-06,1.355158e-06,1.357266e-06,1.358955e-06,1.359411e-06,1.360248e-06,1.360878e-06,1.361166e-06,1.361714e-06,1.361730e-06,1.361960e-06,1.361967e-06,1.361874e-06,1.361678e-06,1.361490e-06,1.360890e-06,1.360827e-06,1.359900e-06,1.359640e-06,1.358725e-06,1.357965e-06,1.357318e-06,1.355898e-06,1.355692e-06,1.353861e-06,1.353472e-06,1.351839e-06,1.350716e-06,1.349638e-06,1.347659e-06,1.347270e-06,1.344745e-06,1.344328e-06,1.342076e-06,1.340746e-06,1.339271e-06,1.336937e-06,1.336341e-06,1.333295e-06,1.332923e-06,1.330143e-06,1.328724e-06,1.326891e-06,1.324359e-06,1.323549e-06,1.320124e-06,1.319846e-06,1.316622e-06,1.315202e-06,1.313052e-06,1.310442e-06,1.309419e-06,1.305730e-06,1.305581e-06,1.301990e-06,1.300632e-06,1.298204e-06,1.295607e-06,1.294379e-06,1.290519e-06,1.285378e-06,1.280195e-06,1.274978e-06,1.269737e-06,1.264480e-06,1.259214e-06,1.253946e-06,1.248682e-06,1.243429e-06,1.238192e-06,1.232976e-06,1.227785e-06,1.222624e-06,1.217496e-06,1.212406e-06,1.207356e-06,1.202349e-06,1.197388e-06,1.192476e-06,1.187614e-06,1.182804e-06,1.178048e-06,1.173348e-06,1.168705e-06
0.000000e+00,4.006216e-11,9.284334e-11,3.243796e-10,7.466517e-10,1.096480e-09,2.537035e-09,2.615764e-09,5.185984e-09,6.142638e-09,9.176470e-09,1.242531e-08,1.499970e-08,2.225678e-08,2.297732e-08,3.314621e-08,3.588991e-08,4.527608e-08,5.281537e-08,5.907721e-08,7.241768e-08,7.431602e-08,9.081592e-08,9.425407e-08,1.084304e-07,1.179852e-07,1.270234e-07,1.432983e-07,1.464590e-07,1.665990e-07,1.698774e-07,1.873032e-07,1.974005e-07,2.084320e-07,2.255489e-07,2.298491e-07,2.514247e-07,2.540185e-07,2.730376e-07,2.825301e-07,2.945769e-07,3.108361e-07,3.159434e-07,3.370495e-07,3.387244e-07,3.578196e-07,3.660188e-07,3.781896e-07,3.925777e-07,3.981059e-07,4.175249e-07,4.182908e-07,4.364119e-07,4.430756e-07,4.547401e-07,4.668736e-07,4.724894e-07,4.896459e-07,5.062006e-07,5.113702e-07,5.221492e-07,5.320376e-07,5.374907e-07,5.516495e-07,5.522274e-07,5.663640e-07,5.702155e-07,5.799072e-07,5.877519e-07,5.928657e-07,6.042796e-07,6.052493e-07,6.170692e-07,6.198233e-07,6.283370e-07,6.344105e-07,6.390654e-07,6.480705e-07,6.492674e-07,6.589565e-07,6.608340e-07,6.681463e-07,6.727323e-07,6.768507e-07,6.837975e-07,6.850836e-07,6.928588e-07,6.940612e-07,7.001901e-07,7.035555e-07,7.070913e-07,7.123118e-07,7.135761e-07,7.196580e-07,7.203613e-07,7.253502e-07,7.277346e-07,7.306657e-07,7.344616e-07,7.356176e-07,7.402183e-07,7.405716e-07,7.444802e-07,7.460929e-07,7.484155e-07,7.510533e-07,7.520360e-07,7.553532e-07,7.554797e-07,7.583784e-07,7.593982e-07,7.611227e-07,7.628338e-07,7.635968e-07,7.658111e-07,7.677758e-07,7.683534e-07,7.695008e-07,7.704835e-07,7.709958e-07,7.722232e-07,7.722700e-07,7.733327e-07,7.735935e-07,7.741924e-07,7.746145e-07,7.748580e-07,7.753058e-07,7.753375e-07,7.756391e-07,7.756859e-07,7.757705e-07,7.757726e-07,7.757394e-07,7.755832e-07,7.755529e-07,7.752182e-07,7.751340e-07,7.747420e-07,7.744408e-07,7.741311e-07,7.735185e-07,7.733918e-07,7.725303e-07,7.723816e-07,7.715526e-07,7.710437e-07,7.704644e-07,7.695180e-07,7.692712e-07,7.679785e-07,7.678170e-07,7.665915e-07,7.659526e-07,7.651151e-07,7.639362e-07,7.635541e-07,7.619133e-07,7.617787e-07,7.601970e-07,7.594904e-07,7.584097e-07,7.570811e-07,7.565554e-07,7.546382e-07,7.545602e-07,7.526618e-07,7.519366e-07,7.506301e-07,7.492187e-07,7.485466e-07,7.464146e-07,7.435319e-07,7.405778e-07,7.375592e-07,7.344826e-07,7.313541e-07,7.281796e-07,7.249646e-07,7.217143e-07,7.184336e-07,7.151272e-07,7.117994e-07,7.084544e-07,7.050961e-07,7.017281e-07,6.983540e-07,6.949768e-07,6.915997e-07,6.882256e-07,6.848570e-07,6.814965e-07,6.781464e-07,6.748090e-07,6.714862e-07,6.681798e-07
0.000000e+00,6.814383e-12,4.061152e-11,5.362324e-10,2.778880e-09,5.775793e-09,2.651713e-08,2.797115e-08,8.840404e-08,1.158896e-07,2.152277e-07,3.365406e-07,4.408233e-07,7.656514e-07,8.001796e-07,1.329947e-06,1.486533e-06,2.066242e-06,2.580427e-06,3.038968e-06,4.103090e-06,4.263309e-06,5.733337e-06,6.054777e-06,7.422279e-06,8.373698e-06,9.288936e-06,1.095977e-05,1.128615e-05,1.336764e-05,1.370565e-05,1.549194e-05,1.651621e-05,1.762376e-05,1.931478e-05,1.973383e-05,2.179803e-05,2.204167e-05,2.379662e-05,2.465094e-05,2.571347e-05,2.710753e-05,2.753562e-05,2.925295e-05,2.938556e-05,3.085795e-05,3.146729e-05,3.234558e-05,3.334233e-05,3.371302e-05,3.495955e-05,3.500691e-05,3.608623e-05,3.646296e-05,3.709568e-05,3.771710e-05,3.799181e-05,3.877957e-05,3.946467e-05,3.966324e-05,4.005340e-05,4.038263e-05,4.055232e-05,4.095306e-05,4.096819e-05,4.130774e-05,4.139004e-05,4.157759e-05,4.170871e-05,4.178413e-05,4.192348e-05,4.193346e-05,4.203136e-05,4.204781e-05,4.208322e-05,4.209403e-05,4.209405e-05,4.207332e-05,4.206848e-05,4.201074e-05,4.199568e-05,4.192470e-05,4.186995e-05,4.181386e-05,4.170393e-05,4.168141e-05,4.153019e-05,4.150443e-05,4.136278e-05,4.127736e-05,4.118148e-05,4.102783e-05,4.098835e-05,4.078522e-05,4.076025e-05,4.057373e-05,4.047840e-05,4.035533e-05,4.018551e-05,4.013130e-05,3.990279e-05,3.988435e-05,3.967081e-05,3.957725e-05,3.943626e-05,3.926623e-05,3.919992e-05,3.896250e-05,3.895299e-05,3.872460e-05,3.863895e-05,3.848677e-05,3.832533e-05,3.824948e-05,3.801316e-05,3.777816e-05,3.770329e-05,3.754481e-05,3.739646e-05,3.731338e-05,3.709325e-05,3.708412e-05,3.685725e-05,3.679417e-05,3.663293e-05,3.649964e-05,3.641134e-05,3.620999e-05,3.619259e-05,3.597682e-05,3.592549e-05,3.576411e-05,3.564636e-05,3.555454e-05,3.537277e-05,3.534818e-05,3.514507e-05,3.510484e-05,3.494526e-05,3.484267e-05,3.474878e-05,3.458632e-05,3.455564e-05,3.436587e-05,3.433582e-05,3.417947e-05,3.409119e-05,3.399643e-05,3.385243e-05,3.381676e-05,3.364043e-05,3.361949e-05,3.346743e-05,3.339236e-05,3.329774e-05,3.317098e-05,3.313134e-05,3.296819e-05,3.295528e-05,3.280827e-05,3.274520e-05,3.265155e-05,3.254066e-05,3.249798e-05,3.234753e-05,3.234158e-05,3.220017e-05,3.214787e-05,3.205585e-05,3.195943e-05,3.191453e-05,3.177616e-05,3.159798e-05,3.142476e-05,3.125642e-05,3.109285e-05,3.093393e-05,3.077957e-05,3.062965e-05,3.048407e-05,3.034273e-05,3.020552e-05,3.007234e-05,2.994307e-05,2.981763e-05,2.969591e-05,2.957781e-05,2.946324e-05,2.935210e-05,2.924429e-05,2.913972e-05,2.903831e-05,2.893997e-05,2.884460e-05,2.875212e-05,2.866246e-05
0.000000e+00,6.408422e-11,1.495409e-10,5.236549e-10,1.200206e-09,1.755758e-09,4.007411e-09,4.129067e-09,8.040155e-09,9.471119e-09,1.394309e-08,1.864756e-08,2.233011e-08,3.256300e-08,3.356963e-08,4.763373e-08,5.138651e-08,6.409967e-08,7.417680e-08,8.245920e-08,9.985170e-08,1.022996e-07,1.233020e-07,1.276179e-07,1.451994e-07,1.568580e-07,1.677472e-07,1.870188e-07,1.907118e-07,2.138682e-07,2.175765e-07,2.370020e-07,2.480391e-07,2.599140e-07,2.779618e-07,2.824236e-07,3.043720e-07,3.069614e-07,3.256238e-07,3.347244e-07,3.460677e-07,3.610097e-07,3.656155e-07,3.842013e-07,3.856451e-07,4.017789e-07,4.085209e-07,4.183203e-07,4.295807e-07,4.338126e-07,4.482563e-07,4.488123e-07,4.616624e-07,4.662383e-07,4.740510e-07,4.819074e-07,4.854488e-07,4.958879e-07,5.054045e-07,5.082612e-07,5.140371e-07,5.191167e-07,5.218261e-07,5.285484e-07,5.288130e-07,5.350393e-07,5.366521e-07,5.405466e-07,5.435228e-07,5.453756e-07,5.492537e-07,5.495664e-07,5.531576e-07,5.539345e-07,5.561869e-07,5.576514e-07,5.586904e-07,5.604860e-07,5.607026e-07,5.622567e-07,5.625153e-07,5.633840e-07,5.638115e-07,5.641145e-07,5.644422e-07,5.644765e-07,5.644970e-07,5.644703e-07,5.642015e-07,5.639545e-07,5.636139e-07,5.629489e-07,5.627570e-07,5.616522e-07,5.615039e-07,5.603195e-07,5.596658e-07,5.587779e-07,5.574775e-07,5.570451e-07,5.551380e-07,5.549784e-07,5.530721e-07,5.522047e-07,5.508622e-07,5.491896e-07,5.485220e-07,5.460643e-07,5.459638e-07,5.435013e-07,5.425550e-07,5.408442e-07,5.389890e-07,5.381034e-07,5.352889e-07,5.324097e-07,5.314761e-07,5.294743e-07,5.275699e-07,5.264908e-07,5.235881e-07,5.234664e-07,5.204080e-07,5.195465e-07,5.173221e-07,5.154597e-07,5.142144e-07,5.113409e-07,5.110905e-07,5.079554e-07,5.072018e-07,5.048138e-07,5.030533e-07,5.016700e-07,4.989048e-07,4.985280e-07,4.953915e-07,4.947651e-07,4.922638e-07,4.906419e-07,4.891480e-07,4.865420e-07,4.860469e-07,4.829632e-07,4.824716e-07,4.798992e-07,4.784361e-07,4.768571e-07,4.744404e-07,4.738387e-07,4.708460e-07,4.704886e-07,4.678804e-07,4.665845e-07,4.649434e-07,4.627312e-07,4.620362e-07,4.591601e-07,4.589314e-07,4.563160e-07,4.551875e-07,4.535048e-07,4.515016e-07,4.507273e-07,4.479842e-07,4.478752e-07,4.452760e-07,4.443097e-07,4.426033e-07,4.408062e-07,4.399663e-07,4.373655e-07,4.339882e-07,4.306747e-07,4.274252e-07,4.242397e-07,4.211182e-07,4.180604e-07,4.150659e-07,4.121344e-07,4.092653e-07,4.064579e-07,4.037115e-07,4.010255e-07,3.983990e-07,3.958311e-07,3.933209e-07,3.908676e-07,3.884700e-07,3.861274e-07,3.838386e-07,3.816027e-07,3.794186e-07,3.772854e-07,3.752018e-07,3.731671e-07
0.000000e+00,5.632516e-13,3.616781e-12,5.560395e-11,3.298972e-10,7.374277e-10,4.063184e-09,4.317126e-09,1.620209e-08,2.221663e-08,4.603699e-08,7.834931e-08,1.082398e-07,2.105053e-07,2.220403e-07,4.111681e-07,4.707652e-07,7.032256e-07,9.229823e-07,1.128541e-06,1.637690e-06,1.718092e-06,2.500248e-06,2.681869e-06,3.496785e-06,4.104044e-06,4.719341e-06,5.920974e-06,6.167447e-06,7.828562e-06,8.112703e-06,9.679841e-06,1.062728e-05,1.169087e-05,1.339130e-05,1.382669e-05,1.605062e-05,1.632168e-05,1.832652e-05,1.933553e-05,2.062047e-05,2.235696e-05,2.290186e-05,2.514405e-05,2.532103e-05,2.732458e-05,2.817529e-05,2.942514e-05,3.087985e-05,3.143143e-05,3.333277e-05,3.340653e-05,3.512180e-05,3.573742e-05,3.679404e-05,3.786332e-05,3.834745e-05,3.978208e-05,4.109968e-05,4.149706e-05,4.230333e-05,4.301574e-05,4.339716e-05,4.434846e-05,4.438606e-05,4.527547e-05,4.550745e-05,4.607111e-05,4.650595e-05,4.677892e-05,4.735763e-05,4.740482e-05,4.795470e-05,4.807600e-05,4.843426e-05,4.867415e-05,4.884898e-05,4.916446e-05,4.920410e-05,4.950453e-05,4.955847e-05,4.975493e-05,4.986680e-05,4.995959e-05,5.009912e-05,5.012254e-05,5.024748e-05,5.026418e-05,5.033783e-05,5.036984e-05,5.039672e-05,5.042313e-05,5.042703e-05,5.043141e-05,5.043031e-05,5.041224e-05,5.039693e-05,5.037174e-05,5.032793e-05,5.031190e-05,5.023456e-05,5.022767e-05,5.014137e-05,5.010000e-05,5.003386e-05,4.994836e-05,4.991340e-05,4.978126e-05,4.977575e-05,4.963859e-05,4.958485e-05,4.948643e-05,4.937804e-05,4.932574e-05,4.915740e-05,4.898220e-05,4.892481e-05,4.880087e-05,4.868191e-05,4.861408e-05,4.843019e-05,4.842244e-05,4.822651e-05,4.817095e-05,4.802680e-05,4.790537e-05,4.782380e-05,4.763449e-05,4.761793e-05,4.740959e-05,4.735926e-05,4.719915e-05,4.708052e-05,4.698695e-05,4.679901e-05,4.677331e-05,4.655850e-05,4.651542e-05,4.634279e-05,4.623035e-05,4.612643e-05,4.594434e-05,4.590964e-05,4.569262e-05,4.565789e-05,4.547557e-05,4.537143e-05,4.525867e-05,4.508537e-05,4.504208e-05,4.482594e-05,4.480004e-05,4.461041e-05,4.451579e-05,4.439560e-05,4.423290e-05,4.418163e-05,4.396861e-05,4.395162e-05,4.375665e-05,4.367218e-05,4.354584e-05,4.339480e-05,4.333625e-05,4.312797e-05,4.311966e-05,4.292106e-05,4.284693e-05,4.271561e-05,4.257675e-05,4.251165e-05,4.230925e-05,4.204455e-05,4.178276e-05,4.152395e-05,4.126820e-05,4.101559e-05,4.076617e-05,4.051999e-05,4.027709e-05,4.003749e-05,3.980123e-05,3.956832e-05,3.933878e-05,3.911261e-05,3.888982e-05,3.867041e-05,3.845436e-05,3.824168e-05,3.803234e-05,3.782633e-05,3.762363e-05,3.742422e-05,3.722808e-05,3.703518e-05,3.684549e-05
0.000000e+00,4.580142e-11,1.505102e-10,7.623756e-10,2.070942e-09,3.221721e-09,8.142258e-09,8.413930e-09,1.723932e-08,2.047778e-08,3.054705e-08,4.102979e-08,4.917011e-08,7.170693e-08,7.393234e-08,1.055686e-07,1.142424e-07,1.445136e-07,1.695128e-07,1.907065e-07,2.369749e-07,2.436663e-07,3.027474e-07,3.152411e-07,3.673097e-07,4.028483e-07,4.367546e-07,4.984404e-07,5.105065e-07,5.879897e-07,6.006941e-07,6.686140e-07,7.082515e-07,7.517715e-07,8.197036e-07,8.368401e-07,9.231918e-07,9.336105e-07,1.010203e-06,1.048540e-06,1.097267e-06,1.163111e-06,1.183802e-06,1.269264e-06,1.276040e-06,1.353154e-06,1.386167e-06,1.435021e-06,1.492490e-06,1.514471e-06,1.591165e-06,1.594171e-06,1.664821e-06,1.690548e-06,1.735211e-06,1.781121e-06,1.802163e-06,1.865553e-06,1.925302e-06,1.943646e-06,1.981373e-06,2.015327e-06,2.033765e-06,2.080630e-06,2.082510e-06,2.127666e-06,2.139676e-06,2.169312e-06,2.192657e-06,2.207550e-06,2.239815e-06,2.242492e-06,2.274265e-06,2.281434e-06,2.303003e-06,2.317822e-06,2.328844e-06,2.349303e-06,2.351933e-06,2.372413e-06,2.376208e-06,2.390428e-06,2.398870e-06,2.406122e-06,2.417614e-06,2.419635e-06,2.431101e-06,2.432755e-06,2.440654e-06,2.444597e-06,2.448420e-06,2.453430e-06,2.454523e-06,2.459077e-06,2.459525e-06,2.462196e-06,2.463140e-06,2.463983e-06,2.464513e-06,2.464540e-06,2.463960e-06,2.463867e-06,2.462333e-06,2.461408e-06,2.459743e-06,2.457325e-06,2.456267e-06,2.451980e-06,2.451793e-06,2.446952e-06,2.444973e-06,2.441246e-06,2.437010e-06,2.434923e-06,2.428040e-06,2.420648e-06,2.418184e-06,2.412797e-06,2.407553e-06,2.404532e-06,2.396248e-06,2.395896e-06,2.386928e-06,2.384363e-06,2.377664e-06,2.371979e-06,2.368139e-06,2.359172e-06,2.358384e-06,2.348428e-06,2.346012e-06,2.338298e-06,2.332559e-06,2.328020e-06,2.318870e-06,2.317616e-06,2.307107e-06,2.304995e-06,2.296515e-06,2.290979e-06,2.285856e-06,2.276864e-06,2.275148e-06,2.264406e-06,2.262685e-06,2.253645e-06,2.248477e-06,2.242878e-06,2.234268e-06,2.232117e-06,2.221373e-06,2.220085e-06,2.210656e-06,2.205952e-06,2.199977e-06,2.191890e-06,2.189342e-06,2.178761e-06,2.177917e-06,2.168239e-06,2.164049e-06,2.157785e-06,2.150303e-06,2.147404e-06,2.137100e-06,2.136690e-06,2.126880e-06,2.123222e-06,2.116747e-06,2.109908e-06,2.106705e-06,2.096758e-06,2.083779e-06,2.070977e-06,2.058357e-06,2.045924e-06,2.033682e-06,2.021634e-06,2.009781e-06,1.998126e-06,1.986669e-06,1.975412e-06,1.964355e-06,1.953497e-06,1.942838e-06,1.932378e-06,1.922115e-06,1.912049e-06,1.902176e-06,1.892497e-06,1.883008e-06,1.873708e-06,1.864595e-06,1.855666e-06,1.846919e-06,1.838352e-06
0.000000e+00,1.396038e-10,4.696939e-10,2.450515e-09,6.762960e-09,1.059030e-08,2.713681e-08,2.805659e-08,5.819438e-08,6.936170e-08,1.043974e-07,1.413165e-07,1.702593e-07,2.514116e-07,2.594927e-07,3.752424e-07,4.071588e-07,5.186704e-07,6.105292e-07,6.880205e-07,8.555168e-07,8.795284e-07,1.089079e-06,1.132824e-06,1.313037e-06,1.434143e-06,1.548301e-06,1.752651e-06,1.792134e-06,2.042013e-06,2.082394e-06,2.295561e-06,2.417902e-06,2.550531e-06,2.754109e-06,2.804816e-06,3.056475e-06,3.086413e-06,3.303758e-06,3.410771e-06,3.545122e-06,3.723779e-06,3.779247e-06,4.005033e-06,4.022708e-06,4.221598e-06,4.305484e-06,4.428266e-06,4.570661e-06,4.624554e-06,4.810153e-06,4.817352e-06,4.984899e-06,5.045141e-06,5.148761e-06,5.254008e-06,5.301822e-06,5.444259e-06,5.576306e-06,5.616411e-06,5.698252e-06,5.771160e-06,5.810452e-06,5.909334e-06,5.913272e-06,6.007119e-06,6.031843e-06,6.092401e-06,6.139634e-06,6.169538e-06,6.233673e-06,6.238952e-06,6.301061e-06,6.314925e-06,6.356274e-06,6.384331e-06,6.404992e-06,6.442799e-06,6.447602e-06,6.484480e-06,6.491200e-06,6.515988e-06,6.530365e-06,6.542471e-06,6.561076e-06,6.564259e-06,6.581669e-06,6.584068e-06,6.594997e-06,6.600030e-06,6.604529e-06,6.609603e-06,6.610534e-06,6.613265e-06,6.613384e-06,6.612963e-06,6.611929e-06,6.609856e-06,6.605750e-06,6.604156e-06,6.596065e-06,6.595320e-06,6.585772e-06,6.581079e-06,6.573455e-06,6.563428e-06,6.559281e-06,6.543407e-06,6.542739e-06,6.525980e-06,6.519353e-06,6.507138e-06,6.493583e-06,6.487010e-06,6.465717e-06,6.443372e-06,6.436017e-06,6.420081e-06,6.404724e-06,6.395942e-06,6.372058e-06,6.371049e-06,6.345486e-06,6.338220e-06,6.319335e-06,6.303394e-06,6.292671e-06,6.267746e-06,6.265563e-06,6.238076e-06,6.231430e-06,6.210271e-06,6.194582e-06,6.182204e-06,6.157329e-06,6.153926e-06,6.125488e-06,6.119785e-06,6.096932e-06,6.082052e-06,6.068302e-06,6.044223e-06,6.039635e-06,6.010967e-06,6.006382e-06,5.982331e-06,5.968606e-06,5.953757e-06,5.930961e-06,5.925273e-06,5.896904e-06,5.893509e-06,5.868675e-06,5.856303e-06,5.840606e-06,5.819393e-06,5.812718e-06,5.785028e-06,5.782822e-06,5.757552e-06,5.746626e-06,5.730307e-06,5.710840e-06,5.703305e-06,5.676557e-06,5.675493e-06,5.650076e-06,5.640610e-06,5.623872e-06,5.606214e-06,5.597951e-06,5.572323e-06,5.538954e-06,5.506119e-06,5.473829e-06,5.442093e-06,5.410919e-06,5.380311e-06,5.350272e-06,5.320805e-06,5.291910e-06,5.263586e-06,5.235833e-06,5.208646e-06,5.182024e-06,5.155961e-06,5.130452e-06,5.105492e-06,5.081076e-06,5.057196e-06,5.033846e-06,5.011018e-06,4.988704e-06,4.966898e-06,4.945591e-06,4.924774e-06
0.000000e+00,4.949154e-11,1.145328e-10,3.990490e-10,9.160012e-10,1.342943e-09,3.092427e-09,3.187727e-09,6.287091e-09,7.436557e-09,1.107552e-08,1.497471e-08,1.807672e-08,2.693957e-08,2.783184e-08,4.069280e-08,4.424452e-08,5.660057e-08,6.668747e-08,7.512621e-08,9.316331e-08,9.572860e-08,1.179349e-07,1.225346e-07,1.413768e-07,1.539569e-07,1.657661e-07,1.868101e-07,1.908647e-07,2.164651e-07,2.205950e-07,2.423792e-07,2.548780e-07,2.684338e-07,2.892708e-07,2.944691e-07,3.203393e-07,3.234263e-07,3.459132e-07,3.570414e-07,3.710750e-07,3.898598e-07,3.957240e-07,4.197744e-07,4.216704e-07,4.431562e-07,4.523085e-07,4.658124e-07,4.816497e-07,4.876978e-07,5.087796e-07,5.096058e-07,5.290348e-07,5.361212e-07,5.484489e-07,5.611665e-07,5.670154e-07,5.847341e-07,6.016103e-07,6.068342e-07,6.176536e-07,6.274902e-07,6.328774e-07,6.467364e-07,6.472980e-07,6.609341e-07,6.646144e-07,6.738065e-07,6.811726e-07,6.859374e-07,6.964624e-07,6.973494e-07,7.080659e-07,7.105370e-07,7.181105e-07,7.234509e-07,7.275072e-07,7.352593e-07,7.362799e-07,7.444526e-07,7.460172e-07,7.520487e-07,7.557785e-07,7.590913e-07,7.645962e-07,7.656034e-07,7.716073e-07,7.725223e-07,7.771248e-07,7.796067e-07,7.821772e-07,7.858981e-07,7.867851e-07,7.909687e-07,7.914431e-07,7.947475e-07,7.962868e-07,7.981404e-07,8.004722e-07,8.011657e-07,8.038412e-07,8.040406e-07,8.061839e-07,8.070315e-07,8.082103e-07,8.094824e-07,8.099363e-07,8.113774e-07,8.114293e-07,8.125481e-07,8.129062e-07,8.134628e-07,8.139456e-07,8.141352e-07,8.145784e-07,8.148049e-07,8.148337e-07,8.148270e-07,8.147393e-07,8.146563e-07,8.143214e-07,8.143040e-07,8.137807e-07,8.136049e-07,8.130967e-07,8.126132e-07,8.122618e-07,8.113686e-07,8.112855e-07,8.101767e-07,8.098918e-07,8.089440e-07,8.082027e-07,8.075958e-07,8.063199e-07,8.061398e-07,8.045835e-07,8.042609e-07,8.029342e-07,8.020421e-07,8.011987e-07,7.996790e-07,7.993835e-07,7.974948e-07,7.971862e-07,7.955387e-07,7.945774e-07,7.935206e-07,7.918652e-07,7.914460e-07,7.893201e-07,7.890618e-07,7.871476e-07,7.861782e-07,7.849333e-07,7.832251e-07,7.826815e-07,7.803963e-07,7.802122e-07,7.780818e-07,7.771486e-07,7.757417e-07,7.740430e-07,7.733795e-07,7.709987e-07,7.709031e-07,7.686024e-07,7.677365e-07,7.661936e-07,7.645499e-07,7.637752e-07,7.613498e-07,7.581420e-07,7.549320e-07,7.517248e-07,7.485250e-07,7.453371e-07,7.421648e-07,7.390118e-07,7.358814e-07,7.327765e-07,7.297000e-07,7.266542e-07,7.236415e-07,7.206638e-07,7.177230e-07,7.148205e-07,7.119580e-07,7.091366e-07,7.063573e-07,7.036212e-07,7.009290e-07,6.982815e-07,6.956791e-07,6.931223e-07,6.906114e-07
0.000000e+00,8.497683e-12,1.952461e-11,6.760549e-11,1.550857e-10,2.276041e-10,5.275718e-10,5.440385e-10,1.085964e-09,1.289790e-09,1.943376e-09,2.654751e-09,3.226440e-09,4.873636e-09,5.039860e-09,7.428175e-09,8.083561e-09,1.034813e-08,1.218243e-08,1.371057e-08,1.696841e-08,1.743162e-08,2.144926e-08,2.228427e-08,2.571949e-08,2.802855e-08,3.020911e-08,3.412951e-08,3.489030e-08,3.973727e-08,4.052648e-08,4.472469e-08,4.716104e-08,4.982694e-08,5.397392e-08,5.501797e-08,6.027160e-08,6.090500e-08,6.556178e-08,6.789447e-08,7.086314e-08,7.488460e-08,7.615131e-08,8.140333e-08,8.182128e-08,8.659795e-08,8.865533e-08,9.171582e-08,9.534336e-08,9.673963e-08,1.016542e-07,1.018483e-07,1.064463e-07,1.081393e-07,1.111050e-07,1.141919e-07,1.156211e-07,1.199873e-07,1.241980e-07,1.255119e-07,1.282491e-07,1.307568e-07,1.321379e-07,1.357170e-07,1.358629e-07,1.394236e-07,1.403912e-07,1.428205e-07,1.447805e-07,1.460548e-07,1.488886e-07,1.491286e-07,1.520443e-07,1.527209e-07,1.548049e-07,1.562842e-07,1.574136e-07,1.595866e-07,1.598742e-07,1.621905e-07,1.626368e-07,1.643666e-07,1.654441e-07,1.664066e-07,1.680182e-07,1.683149e-07,1.700957e-07,1.703691e-07,1.717533e-07,1.725065e-07,1.732922e-07,1.744406e-07,1.747166e-07,1.760307e-07,1.761812e-07,1.772388e-07,1.777379e-07,1.783451e-07,1.791202e-07,1.793535e-07,1.802680e-07,1.803372e-07,1.810925e-07,1.813980e-07,1.818308e-07,1.823110e-07,1.824864e-07,1.830631e-07,1.830846e-07,1.835643e-07,1.837268e-07,1.839932e-07,1.842453e-07,1.843532e-07,1.846475e-07,1.848791e-07,1.849404e-07,1.850508e-07,1.851307e-07,1.851657e-07,1.852249e-07,1.852263e-07,1.852355e-07,1.852292e-07,1.851956e-07,1.851493e-07,1.851093e-07,1.849908e-07,1.849788e-07,1.848065e-07,1.847592e-07,1.845945e-07,1.844593e-07,1.843450e-07,1.840960e-07,1.840600e-07,1.837415e-07,1.836739e-07,1.833913e-07,1.831972e-07,1.830112e-07,1.826701e-07,1.826030e-07,1.821683e-07,1.820964e-07,1.817087e-07,1.814798e-07,1.812258e-07,1.808237e-07,1.807210e-07,1.801958e-07,1.801314e-07,1.796514e-07,1.794061e-07,1.790891e-07,1.786507e-07,1.785103e-07,1.779160e-07,1.778679e-07,1.773075e-07,1.770603e-07,1.766857e-07,1.762304e-07,1.760517e-07,1.754066e-07,1.753806e-07,1.747512e-07,1.745129e-07,1.740864e-07,1.736294e-07,1.734131e-07,1.727322e-07,1.718229e-07,1.709033e-07,1.699750e-07,1.690395e-07,1.680981e-07,1.671523e-07,1.662031e-07,1.652518e-07,1.642995e-07,1.633471e-07,1.623955e-07,1.614456e-07,1.604983e-07,1.595542e-07,1.586141e-07,1.576785e-07,1.567482e-07,1.558235e-07,1.549051e-07,1.539933e-07,1.530886e-07,1.521914e-07,1.513021e-07,1.504208e-07
0.000000e+00,2.177759e-12,5.002260e-12,1.729424e-11,3.954358e-11,5.787204e-11,1.326362e-10,1.366945e-10,2.679597e-10,3.163184e-10,4.684239e-10,6.299814e-10,7.576249e-10,1.118863e-09,1.154994e-09,1.672484e-09,1.814677e-09,2.308825e-09,2.713214e-09,3.053227e-09,3.787574e-09,3.893002e-09,4.817324e-09,5.011539e-09,5.817483e-09,6.365048e-09,6.886070e-09,7.831545e-09,8.016230e-09,9.201185e-09,9.395404e-09,1.043402e-08,1.104070e-08,1.170760e-08,1.275091e-08,1.301464e-08,1.434777e-08,1.450915e-08,1.569969e-08,1.629864e-08,1.706328e-08,1.810322e-08,1.843174e-08,1.979865e-08,1.990776e-08,2.115809e-08,2.169854e-08,2.250467e-08,2.346354e-08,2.383361e-08,2.514071e-08,2.519249e-08,2.642236e-08,2.687688e-08,2.767535e-08,2.850970e-08,2.889714e-08,3.008561e-08,3.123912e-08,3.160066e-08,3.235645e-08,3.305213e-08,3.343671e-08,3.443832e-08,3.447929e-08,3.548391e-08,3.575839e-08,3.645051e-08,3.701228e-08,3.737925e-08,3.820050e-08,3.827042e-08,3.912450e-08,3.932402e-08,3.994207e-08,4.038421e-08,4.072381e-08,4.138271e-08,4.147048e-08,4.218289e-08,4.232134e-08,4.286191e-08,4.320210e-08,4.350843e-08,4.402707e-08,4.412337e-08,4.470769e-08,4.479840e-08,4.526231e-08,4.551826e-08,4.578819e-08,4.618884e-08,4.628628e-08,4.675750e-08,4.681229e-08,4.720279e-08,4.739074e-08,4.762305e-08,4.792626e-08,4.801918e-08,4.839205e-08,4.842090e-08,4.874253e-08,4.887663e-08,4.907144e-08,4.929536e-08,4.937960e-08,4.966781e-08,4.967893e-08,4.993683e-08,5.002913e-08,5.018742e-08,5.034767e-08,5.042031e-08,5.063619e-08,5.083575e-08,5.089627e-08,5.101966e-08,5.112943e-08,5.118854e-08,5.133711e-08,5.134302e-08,5.148369e-08,5.152069e-08,5.161114e-08,5.168149e-08,5.172592e-08,5.182079e-08,5.182856e-08,5.191960e-08,5.193977e-08,5.199952e-08,5.203960e-08,5.206882e-08,5.212137e-08,5.212795e-08,5.217736e-08,5.218612e-08,5.221750e-08,5.223484e-08,5.224877e-08,5.226849e-08,5.227158e-08,5.228631e-08,5.228795e-08,5.229334e-08,5.229409e-08,5.229303e-08,5.228771e-08,5.228571e-08,5.227172e-08,5.226961e-08,5.225138e-08,5.224050e-08,5.222500e-08,5.220108e-08,5.219286e-08,5.215527e-08,5.215203e-08,5.211248e-08,5.209397e-08,5.206476e-08,5.202749e-08,5.201236e-08,5.195553e-08,5.195317e-08,5.189450e-08,5.187154e-08,5.182949e-08,5.178311e-08,5.176071e-08,5.168837e-08,5.158777e-08,5.148175e-08,5.137072e-08,5.125507e-08,5.113517e-08,5.101137e-08,5.088399e-08,5.075336e-08,5.061976e-08,5.048347e-08,5.034477e-08,5.020390e-08,5.006110e-08,4.991658e-08,4.977056e-08,4.962324e-08,4.947480e-08,4.932543e-08,4.917527e-08,4.902451e-08,4.887327e-08,4.872170e-08,4.856993e-08,4.841808e-08
0.000000e+00,1.793973e-12,1.009187e-11,1.189353e-10,5.597033e-10,1.106575e-09,4.506419e-09,4.731694e-09,1.344867e-08,1.716115e-08,2.987625e-08,4.446026e-08,5.645034e-08,9.167594e-08,9.527616e-08,1.480926e-07,1.630107e-07,2.162727e-07,2.615517e-07,3.008107e-07,3.891913e-07,4.022651e-07,5.206424e-07,5.463010e-07,6.552428e-07,7.311769e-07,8.045543e-07,9.396955e-07,9.662980e-07,1.137651e-06,1.165756e-06,1.315569e-06,1.402421e-06,1.497082e-06,1.643049e-06,1.679482e-06,1.860411e-06,1.881925e-06,2.037881e-06,2.114438e-06,2.210254e-06,2.337027e-06,2.376212e-06,2.534726e-06,2.547060e-06,2.685025e-06,2.742718e-06,2.826574e-06,2.922879e-06,2.959044e-06,3.082286e-06,3.087023e-06,3.196306e-06,3.235119e-06,3.301242e-06,3.367529e-06,3.397335e-06,3.484907e-06,3.564344e-06,3.588115e-06,3.636073e-06,3.678144e-06,3.700549e-06,3.756056e-06,3.758240e-06,3.809614e-06,3.822931e-06,3.855137e-06,3.879831e-06,3.895259e-06,3.927774e-06,3.930413e-06,3.961009e-06,3.967718e-06,3.987435e-06,4.000548e-06,4.010053e-06,4.027075e-06,4.029200e-06,4.045186e-06,4.048030e-06,4.058300e-06,4.064071e-06,4.068803e-06,4.075785e-06,4.076936e-06,4.082920e-06,4.083692e-06,4.086954e-06,4.088252e-06,4.089222e-06,4.089876e-06,4.089890e-06,4.089109e-06,4.088924e-06,4.087016e-06,4.085712e-06,4.083735e-06,4.080517e-06,4.079379e-06,4.074051e-06,4.073585e-06,4.067843e-06,4.065133e-06,4.060841e-06,4.055351e-06,4.053121e-06,4.044753e-06,4.044406e-06,4.035801e-06,4.032446e-06,4.026323e-06,4.019604e-06,4.016372e-06,4.005996e-06,3.995241e-06,3.991726e-06,3.984146e-06,3.976884e-06,3.972748e-06,3.961553e-06,3.961081e-06,3.949178e-06,3.945806e-06,3.937066e-06,3.929710e-06,3.924772e-06,3.913323e-06,3.912321e-06,3.899735e-06,3.896697e-06,3.887035e-06,3.879880e-06,3.874239e-06,3.862915e-06,3.861367e-06,3.848433e-06,3.845840e-06,3.835454e-06,3.828691e-06,3.822443e-06,3.811499e-06,3.809413e-06,3.796377e-06,3.794291e-06,3.783345e-06,3.777094e-06,3.770328e-06,3.759931e-06,3.757335e-06,3.744375e-06,3.742823e-06,3.731457e-06,3.725788e-06,3.718588e-06,3.708845e-06,3.705775e-06,3.693025e-06,3.692008e-06,3.680344e-06,3.675292e-06,3.667737e-06,3.658708e-06,3.655209e-06,3.642765e-06,3.642269e-06,3.630409e-06,3.625983e-06,3.618145e-06,3.609860e-06,3.605977e-06,3.593908e-06,3.578135e-06,3.562545e-06,3.547145e-06,3.531940e-06,3.516933e-06,3.502129e-06,3.487530e-06,3.473138e-06,3.458956e-06,3.444985e-06,3.431226e-06,3.417681e-06,3.404349e-06,3.391232e-06,3.378328e-06,3.365637e-06,3.353159e-06,3.340894e-06,3.328839e-06,3.316994e-06,3.305357e-06,3.293927e-06,3.282703e-06,3.271681e-06
0.000000e+00,1.147754e-12,7.317588e-12,1.108468e-10,6.490675e-10,1.440875e-09,7.811368e-09,8.294639e-09,3.075042e-08,4.206253e-08,8.680643e-08,1.476104e-07,2.040788e-07,3.990771e-07,4.212384e-07,7.884520e-07,9.053506e-07,1.364464e-06,1.800503e-06,2.208054e-06,3.208996e-06,3.365460e-06,4.859174e-06,5.198220e-06,6.682827e-06,7.751369e-06,8.803131e-06,1.077478e-05,1.116671e-05,1.370884e-05,1.412759e-05,1.636164e-05,1.765504e-05,1.906037e-05,2.121345e-05,2.174749e-05,2.437464e-05,2.468394e-05,2.690325e-05,2.797677e-05,2.930406e-05,3.103005e-05,3.155614e-05,3.364577e-05,3.380565e-05,3.556519e-05,3.628452e-05,3.731154e-05,3.846219e-05,3.888584e-05,4.029216e-05,4.034500e-05,4.153691e-05,4.194699e-05,4.262821e-05,4.328736e-05,4.357537e-05,4.438848e-05,4.507801e-05,4.527428e-05,4.565450e-05,4.596896e-05,4.612838e-05,4.649608e-05,4.650968e-05,4.680798e-05,4.687787e-05,4.703225e-05,4.713477e-05,4.719081e-05,4.728523e-05,4.729130e-05,4.734063e-05,4.734558e-05,4.734509e-05,4.733010e-05,4.731028e-05,4.725116e-05,4.724121e-05,4.714231e-05,4.711930e-05,4.701748e-05,4.694349e-05,4.687017e-05,4.673128e-05,4.670340e-05,4.651981e-05,4.648904e-05,4.632172e-05,4.622209e-05,4.611115e-05,4.593491e-05,4.588987e-05,4.565944e-05,4.563124e-05,4.542120e-05,4.531422e-05,4.517636e-05,4.498651e-05,4.492595e-05,4.467092e-05,4.465034e-05,4.441206e-05,4.430762e-05,4.415011e-05,4.395995e-05,4.388571e-05,4.361943e-05,4.360874e-05,4.335177e-05,4.325518e-05,4.308321e-05,4.290028e-05,4.281415e-05,4.254496e-05,4.227595e-05,4.218996e-05,4.200744e-05,4.183598e-05,4.173969e-05,4.148359e-05,4.147294e-05,4.120741e-05,4.113330e-05,4.094329e-05,4.078557e-05,4.068076e-05,4.044078e-05,4.041999e-05,4.016111e-05,4.009927e-05,3.990425e-05,3.976134e-05,3.964954e-05,3.942725e-05,3.939708e-05,3.914695e-05,3.909721e-05,3.889924e-05,3.877142e-05,3.865403e-05,3.845003e-05,3.841138e-05,3.817135e-05,3.813319e-05,3.793398e-05,3.782100e-05,3.769932e-05,3.751356e-05,3.746740e-05,3.723826e-05,3.721096e-05,3.701193e-05,3.691323e-05,3.678841e-05,3.662044e-05,3.656773e-05,3.634991e-05,3.633260e-05,3.613494e-05,3.604975e-05,3.592283e-05,3.577188e-05,3.571358e-05,3.550719e-05,3.549900e-05,3.530366e-05,3.523109e-05,3.510298e-05,3.496814e-05,3.490514e-05,3.471012e-05,3.445701e-05,3.420875e-05,3.396532e-05,3.372666e-05,3.349273e-05,3.326346e-05,3.303881e-05,3.281872e-05,3.260312e-05,3.239195e-05,3.218514e-05,3.198263e-05,3.178435e-05,3.159024e-05,3.140021e-05,3.121421e-05,3.103216e-05,3.085400e-05,3.067964e-05,3.050903e-05,3.034209e-05,3.017875e-05,3.001895e-05,2.986261e-05
0.000000e+00,1.200912e-11,6.454433e-11,6.980078e-10,3.068400e-09,5.867531e-09,2.220514e-08,2.325442e-08,6.254236e-08,7.882551e-08,1.336314e-07,1.954926e-07,2.459397e-07,3.932594e-07,4.082865e-07,6.289279e-07,6.914204e-07,9.154993e-07,1.107328e-06,1.274689e-06,1.654880e-06,1.711501e-06,2.228127e-06,2.340956e-06,2.822845e-06,3.161120e-06,3.489641e-06,4.098558e-06,4.218998e-06,4.999438e-06,5.128250e-06,5.819071e-06,6.223067e-06,6.666624e-06,7.357881e-06,7.531907e-06,8.405918e-06,8.511000e-06,9.280750e-06,9.664122e-06,1.014949e-05,1.080195e-05,1.100616e-05,1.184559e-05,1.191187e-05,1.266343e-05,1.298369e-05,1.345608e-05,1.400952e-05,1.422062e-05,1.495483e-05,1.498354e-05,1.565705e-05,1.590179e-05,1.632617e-05,1.676194e-05,1.696158e-05,1.756305e-05,1.813072e-05,1.830530e-05,1.866501e-05,1.898974e-05,1.916659e-05,1.961812e-05,1.963631e-05,2.007516e-05,2.019266e-05,2.048424e-05,2.071589e-05,2.086473e-05,2.119058e-05,2.121785e-05,2.154485e-05,2.161959e-05,2.184700e-05,2.200580e-05,2.212552e-05,2.235206e-05,2.238165e-05,2.261659e-05,2.266113e-05,2.283149e-05,2.293570e-05,2.302748e-05,2.317828e-05,2.320563e-05,2.336697e-05,2.339129e-05,2.351247e-05,2.357697e-05,2.364309e-05,2.373745e-05,2.375969e-05,2.386312e-05,2.387469e-05,2.395417e-05,2.399050e-05,2.403358e-05,2.408659e-05,2.410206e-05,2.416029e-05,2.416452e-05,2.420888e-05,2.422576e-05,2.424844e-05,2.427164e-05,2.427951e-05,2.430263e-05,2.430340e-05,2.431829e-05,2.432219e-05,2.432696e-05,2.432908e-05,2.432907e-05,2.432503e-05,2.431524e-05,2.431095e-05,2.430006e-05,2.428767e-05,2.427983e-05,2.425596e-05,2.425487e-05,2.422550e-05,2.421652e-05,2.419199e-05,2.417002e-05,2.415462e-05,2.411705e-05,2.411364e-05,2.406929e-05,2.405817e-05,2.402179e-05,2.399390e-05,2.397136e-05,2.392472e-05,2.391820e-05,2.386249e-05,2.385106e-05,2.380442e-05,2.377334e-05,2.374414e-05,2.369192e-05,2.368182e-05,2.361761e-05,2.360717e-05,2.355165e-05,2.351940e-05,2.348407e-05,2.342892e-05,2.341499e-05,2.334453e-05,2.333599e-05,2.327281e-05,2.324088e-05,2.319993e-05,2.314383e-05,2.312599e-05,2.305108e-05,2.304505e-05,2.297529e-05,2.294475e-05,2.289871e-05,2.284313e-05,2.282141e-05,2.274348e-05,2.274035e-05,2.266497e-05,2.263658e-05,2.258596e-05,2.253197e-05,2.250650e-05,2.242667e-05,2.232080e-05,2.221449e-05,2.210785e-05,2.200098e-05,2.189399e-05,2.178695e-05,2.167996e-05,2.157309e-05,2.146641e-05,2.135999e-05,2.125389e-05,2.114817e-05,2.104289e-05,2.093808e-05,2.083379e-05,2.073007e-05,2.062696e-05,2.052448e-05,2.042268e-05,2.032157e-05,2.022120e-05,2.012157e-05,2.002272e-05,1.992467e-05
0.000000e+00,1.129297e-12,7.135301e-12,1.060533e-10,6.099932e-10,1.340418e-09,7.065719e-09,7.493800e-09,2.691762e-08,3.647543e-08,7.338496e-08,1.219888e-07,1.660012e-07,3.123844e-07,3.286000e-07,5.889451e-07,6.693284e-07,9.775297e-07,1.262745e-06,1.525205e-06,2.160494e-06,2.259113e-06,3.197775e-06,3.410857e-06,4.347295e-06,5.026397e-06,5.700159e-06,6.979659e-06,7.236774e-06,8.928733e-06,9.211668e-06,1.074262e-05,1.164629e-05,1.264341e-05,1.420364e-05,1.459703e-05,1.657200e-05,1.680906e-05,1.854020e-05,1.939764e-05,2.047723e-05,2.191564e-05,2.236236e-05,2.417827e-05,2.432011e-05,2.591087e-05,2.657799e-05,2.754898e-05,2.866502e-05,2.908408e-05,3.051013e-05,3.056485e-05,3.182334e-05,3.226807e-05,3.302192e-05,3.377143e-05,3.410591e-05,3.507694e-05,3.593798e-05,3.619092e-05,3.669311e-05,3.712309e-05,3.734733e-05,3.788570e-05,3.790631e-05,3.837617e-05,3.849263e-05,3.876332e-05,3.895861e-05,3.907426e-05,3.929861e-05,3.931549e-05,3.949335e-05,3.952729e-05,3.961394e-05,3.965864e-05,3.968308e-05,3.970573e-05,3.970625e-05,3.968855e-05,3.968052e-05,3.963467e-05,3.959382e-05,3.954896e-05,3.945524e-05,3.943533e-05,3.929735e-05,3.927323e-05,3.913823e-05,3.905520e-05,3.896085e-05,3.880753e-05,3.876778e-05,3.856129e-05,3.853571e-05,3.834343e-05,3.824443e-05,3.811598e-05,3.793769e-05,3.788053e-05,3.763849e-05,3.761888e-05,3.739108e-05,3.729087e-05,3.713940e-05,3.695609e-05,3.688441e-05,3.662693e-05,3.661659e-05,3.636771e-05,3.627408e-05,3.610738e-05,3.593003e-05,3.584653e-05,3.558565e-05,3.532518e-05,3.524198e-05,3.506551e-05,3.489989e-05,3.480697e-05,3.456012e-05,3.454987e-05,3.429445e-05,3.422327e-05,3.404096e-05,3.388987e-05,3.378959e-05,3.356035e-05,3.354051e-05,3.329388e-05,3.323506e-05,3.304982e-05,3.291432e-05,3.280846e-05,3.259837e-05,3.256989e-05,3.233419e-05,3.228740e-05,3.210144e-05,3.198159e-05,3.187169e-05,3.168106e-05,3.164500e-05,3.142140e-05,3.138591e-05,3.120092e-05,3.109622e-05,3.098360e-05,3.081202e-05,3.076945e-05,3.055847e-05,3.053336e-05,3.035067e-05,3.026025e-05,3.014605e-05,2.999267e-05,2.994462e-05,2.974635e-05,2.973063e-05,2.955124e-05,2.947408e-05,2.935927e-05,2.922299e-05,2.917043e-05,2.898469e-05,2.897733e-05,2.880203e-05,2.873702e-05,2.862242e-05,2.850202e-05,2.844584e-05,2.827226e-05,2.804766e-05,2.782815e-05,2.761366e-05,2.740410e-05,2.719938e-05,2.699943e-05,2.680416e-05,2.661346e-05,2.642727e-05,2.624548e-05,2.606801e-05,2.589477e-05,2.572566e-05,2.556061e-05,2.539951e-05,2.524228e-05,2.508883e-05,2.493908e-05,2.479294e-05,2.465033e-05,2.451116e-05,2.437536e-05,2.424283e-05,2.411351e-05
0.000000e+00,3.327428e-13,2.211231e-12,3.653814e-11,2.318669e-10,5.382225e-10,3.279733e-09,3.499410e-09,1.460111e-08,2.063058e-08,4.620967e-08,8.397544e-08,1.212323e-07,2.608869e-07,2.775986e-07,5.721107e-07,6.714705e-07,1.081345e-06,1.494439e-06,1.898148e-06,2.952275e-06,3.124490e-06,4.862730e-06,5.280336e-06,7.207270e-06,8.693223e-06,1.023779e-05,1.335829e-05,1.401458e-05,1.857593e-05,1.937991e-05,2.393730e-05,2.679372e-05,3.009183e-05,3.556866e-05,3.701198e-05,4.465172e-05,4.561406e-05,5.294929e-05,5.678979e-05,6.183008e-05,6.891784e-05,7.120961e-05,8.099653e-05,8.179424e-05,9.109540e-05,9.520059e-05,1.014093e-04,1.089146e-04,1.118424e-04,1.223017e-04,1.227193e-04,1.326990e-04,1.364109e-04,1.429524e-04,1.498042e-04,1.529874e-04,1.627373e-04,1.721444e-04,1.750740e-04,1.811595e-04,1.867044e-04,1.897423e-04,1.975456e-04,1.978612e-04,2.054925e-04,2.075396e-04,2.126204e-04,2.166514e-04,2.192358e-04,2.248671e-04,2.253362e-04,2.309244e-04,2.321901e-04,2.360082e-04,2.386391e-04,2.405995e-04,2.442445e-04,2.447136e-04,2.483683e-04,2.490459e-04,2.515839e-04,2.530896e-04,2.543819e-04,2.564263e-04,2.567853e-04,2.588174e-04,2.591096e-04,2.605017e-04,2.611936e-04,2.618619e-04,2.627324e-04,2.629212e-04,2.637023e-04,2.637784e-04,2.642270e-04,2.643821e-04,2.645165e-04,2.645915e-04,2.645908e-04,2.644690e-04,2.644513e-04,2.641691e-04,2.640032e-04,2.637081e-04,2.632853e-04,2.631017e-04,2.623646e-04,2.623326e-04,2.615106e-04,2.611770e-04,2.605522e-04,2.598470e-04,2.595012e-04,2.583684e-04,2.571635e-04,2.567642e-04,2.558956e-04,2.550550e-04,2.545731e-04,2.532589e-04,2.532033e-04,2.517932e-04,2.513920e-04,2.503490e-04,2.494686e-04,2.488765e-04,2.475011e-04,2.473807e-04,2.458663e-04,2.455006e-04,2.443376e-04,2.434766e-04,2.427983e-04,2.414377e-04,2.412519e-04,2.397014e-04,2.393911e-04,2.381496e-04,2.373431e-04,2.365991e-04,2.352993e-04,2.350520e-04,2.335104e-04,2.332644e-04,2.319761e-04,2.312426e-04,2.304505e-04,2.292374e-04,2.289353e-04,2.274315e-04,2.272519e-04,2.259404e-04,2.252886e-04,2.244629e-04,2.233497e-04,2.229999e-04,2.215522e-04,2.214370e-04,2.201204e-04,2.195522e-04,2.187050e-04,2.176964e-04,2.173066e-04,2.159256e-04,2.158708e-04,2.145624e-04,2.140761e-04,2.132172e-04,2.123129e-04,2.118903e-04,2.105819e-04,2.088833e-04,2.072174e-04,2.055842e-04,2.039839e-04,2.024163e-04,2.008814e-04,1.993789e-04,1.979087e-04,1.964703e-04,1.950635e-04,1.936879e-04,1.923431e-04,1.910287e-04,1.897442e-04,1.884892e-04,1.872631e-04,1.860656e-04,1.848960e-04,1.837539e-04,1.826387e-04,1.815500e-04,1.804872e-04,1.794497e-04,1.784371e-04
0.000000e+00,1.051403e-11,5.705805e-11,6.283432e-10,2.802227e-09,5.396862e-09,2.075947e-08,2.175368e-08,5.933239e-08,7.505181e-08,1.283938e-07,1.892457e-07,2.392905e-07,3.872254e-07,4.024452e-07,6.279909e-07,6.924010e-07,9.242319e-07,1.122734e-06,1.295173e-06,1.682177e-06,1.739128e-06,2.249809e-06,2.359217e-06,2.818696e-06,3.134558e-06,3.436912e-06,3.988165e-06,4.096046e-06,4.788240e-06,4.901557e-06,5.506055e-06,5.857603e-06,6.242362e-06,6.840103e-06,6.990303e-06,7.743343e-06,7.833754e-06,8.495353e-06,8.824441e-06,9.240707e-06,9.799602e-06,9.974368e-06,1.069194e-05,1.074854e-05,1.138972e-05,1.166258e-05,1.206464e-05,1.253506e-05,1.271431e-05,1.333694e-05,1.336126e-05,1.393128e-05,1.413816e-05,1.449660e-05,1.486426e-05,1.503257e-05,1.553925e-05,1.601697e-05,1.616381e-05,1.646631e-05,1.673935e-05,1.688806e-05,1.726783e-05,1.728313e-05,1.765255e-05,1.775153e-05,1.799739e-05,1.819298e-05,1.831881e-05,1.859481e-05,1.861795e-05,1.889595e-05,1.895966e-05,1.915397e-05,1.929015e-05,1.939312e-05,1.958881e-05,1.961447e-05,1.981906e-05,1.985806e-05,2.000790e-05,2.010019e-05,2.018193e-05,2.031733e-05,2.034205e-05,2.048911e-05,2.051148e-05,2.062392e-05,2.068450e-05,2.074723e-05,2.083809e-05,2.085977e-05,2.096219e-05,2.097384e-05,2.105514e-05,2.109319e-05,2.113920e-05,2.119748e-05,2.121492e-05,2.128283e-05,2.128794e-05,2.134340e-05,2.136567e-05,2.139709e-05,2.143172e-05,2.144432e-05,2.148550e-05,2.148703e-05,2.152099e-05,2.153245e-05,2.155115e-05,2.156877e-05,2.157629e-05,2.159673e-05,2.161275e-05,2.161699e-05,2.162462e-05,2.163016e-05,2.163259e-05,2.163680e-05,2.163690e-05,2.163777e-05,2.163743e-05,2.163541e-05,2.163252e-05,2.163001e-05,2.162251e-05,2.162175e-05,2.161082e-05,2.160781e-05,2.159736e-05,2.158879e-05,2.158155e-05,2.156578e-05,2.156351e-05,2.154338e-05,2.153912e-05,2.152130e-05,2.150909e-05,2.149738e-05,2.147596e-05,2.147174e-05,2.144449e-05,2.143999e-05,2.141572e-05,2.140140e-05,2.138554e-05,2.136043e-05,2.135403e-05,2.132128e-05,2.131727e-05,2.128737e-05,2.127210e-05,2.125238e-05,2.122511e-05,2.121638e-05,2.117944e-05,2.117644e-05,2.114162e-05,2.112626e-05,2.110299e-05,2.107471e-05,2.106361e-05,2.102353e-05,2.102191e-05,2.098281e-05,2.096800e-05,2.094148e-05,2.091307e-05,2.089962e-05,2.085725e-05,2.080063e-05,2.074330e-05,2.068535e-05,2.062687e-05,2.056793e-05,2.050859e-05,2.044894e-05,2.038903e-05,2.032892e-05,2.026866e-05,2.020831e-05,2.014792e-05,2.008753e-05,2.002717e-05,1.996690e-05,1.990675e-05,1.984675e-05,1.978694e-05,1.972734e-05,1.966799e-05,1.960890e-05,1.955011e-05,1.949164e-05,1.943351e-05
0.000000e+00,5.108336e-11,1.462020e-10,6.330867e-10,1.596056e-09,2.415057e-09,5.815231e-09,6.000349e-09,1.194458e-08,1.410395e-08,2.077451e-08,2.766841e-08,3.299400e-08,4.763238e-08,4.907034e-08,6.939589e-08,7.493838e-08,9.422176e-08,1.101088e-07,1.235641e-07,1.528762e-07,1.571024e-07,1.941342e-07,2.018753e-07,2.336660e-07,2.548520e-07,2.746274e-07,3.094402e-07,3.160703e-07,3.572520e-07,3.637778e-07,3.976233e-07,4.165920e-07,4.367856e-07,4.670487e-07,4.744512e-07,5.104147e-07,5.146086e-07,5.445347e-07,5.589388e-07,5.767214e-07,5.998597e-07,6.069272e-07,6.351388e-07,6.373099e-07,6.613713e-07,6.713178e-07,6.856617e-07,7.019784e-07,7.080647e-07,7.286478e-07,7.294343e-07,7.474878e-07,7.538593e-07,7.646676e-07,7.754457e-07,7.802738e-07,7.943945e-07,8.071178e-07,8.109083e-07,8.185304e-07,8.251859e-07,8.287170e-07,8.374187e-07,8.377594e-07,8.457360e-07,8.477888e-07,8.527217e-07,8.564669e-07,8.587869e-07,8.636115e-07,8.639985e-07,8.684195e-07,8.693696e-07,8.721095e-07,8.738775e-07,8.751241e-07,8.772598e-07,8.775155e-07,8.793323e-07,8.796308e-07,8.806201e-07,8.810949e-07,8.814214e-07,8.817477e-07,8.817760e-07,8.817205e-07,8.816759e-07,8.812894e-07,8.809584e-07,8.805146e-07,8.796675e-07,8.794261e-07,8.780518e-07,8.778689e-07,8.764173e-07,8.756218e-07,8.745462e-07,8.729794e-07,8.724603e-07,8.701797e-07,8.699894e-07,8.677233e-07,8.666954e-07,8.651086e-07,8.631372e-07,8.623519e-07,8.594682e-07,8.593505e-07,8.564715e-07,8.553675e-07,8.533745e-07,8.512173e-07,8.501890e-07,8.469261e-07,8.435959e-07,8.425176e-07,8.402079e-07,8.380133e-07,8.367707e-07,8.334323e-07,8.332925e-07,8.297805e-07,8.287920e-07,8.262416e-07,8.241080e-07,8.226822e-07,8.193943e-07,8.191080e-07,8.155243e-07,8.146633e-07,8.119361e-07,8.099264e-07,8.083478e-07,8.051934e-07,8.047636e-07,8.011873e-07,8.004733e-07,7.976224e-07,7.957742e-07,7.940721e-07,7.911032e-07,7.905392e-07,7.870265e-07,7.864665e-07,7.835364e-07,7.818698e-07,7.800711e-07,7.773180e-07,7.766325e-07,7.732225e-07,7.728153e-07,7.698427e-07,7.683656e-07,7.664946e-07,7.639720e-07,7.631795e-07,7.598985e-07,7.596376e-07,7.566528e-07,7.553646e-07,7.534432e-07,7.511551e-07,7.502705e-07,7.471355e-07,7.470109e-07,7.440388e-07,7.429334e-07,7.409808e-07,7.389238e-07,7.379621e-07,7.349829e-07,7.311115e-07,7.273100e-07,7.235788e-07,7.199179e-07,7.163275e-07,7.128072e-07,7.093571e-07,7.059765e-07,7.026652e-07,6.994225e-07,6.962479e-07,6.931408e-07,6.901002e-07,6.871256e-07,6.842160e-07,6.813705e-07,6.785884e-07,6.758686e-07,6.732102e-07,6.706122e-07,6.680736e-07,6.655934e-07,6.631707e-07,6.608043e-07
0.000000e+00,3.291845e-11,1.576736e-10,1.387001e-09,5.234552e-09,9.327426e-09,3.054377e-08,3.183243e-08,7.773414e-08,9.606355e-08,1.566772e-07,2.244233e-07,2.797027e-07,4.427406e-07,4.595390e-07,7.096151e-07,7.814015e-07,1.040614e-06,1.262840e-06,1.455510e-06,1.885049e-06,1.947838e-06,2.505495e-06,2.623723e-06,3.115835e-06,3.450402e-06,3.768197e-06,4.342376e-06,4.454064e-06,5.166430e-06,5.282451e-06,5.899203e-06,6.256539e-06,6.646843e-06,7.252197e-06,7.404215e-06,8.166539e-06,8.258138e-06,8.929406e-06,9.264190e-06,9.688804e-06,1.026140e-05,1.044115e-05,1.118328e-05,1.124213e-05,1.191250e-05,1.220004e-05,1.262650e-05,1.313008e-05,1.332339e-05,1.400165e-05,1.402837e-05,1.466007e-05,1.489207e-05,1.529776e-05,1.571920e-05,1.591406e-05,1.650855e-05,1.708098e-05,1.725949e-05,1.763129e-05,1.797190e-05,1.815953e-05,1.864602e-05,1.866585e-05,1.915053e-05,1.928240e-05,1.961388e-05,1.988182e-05,2.005630e-05,2.044520e-05,2.047821e-05,2.088010e-05,2.097362e-05,2.126244e-05,2.146821e-05,2.162575e-05,2.193014e-05,2.197055e-05,2.229738e-05,2.236064e-05,2.260680e-05,2.276100e-05,2.289937e-05,2.313249e-05,2.317562e-05,2.343607e-05,2.347632e-05,2.368128e-05,2.379372e-05,2.391177e-05,2.408590e-05,2.412805e-05,2.433062e-05,2.435403e-05,2.451999e-05,2.459926e-05,2.469666e-05,2.482271e-05,2.486108e-05,2.501373e-05,2.502544e-05,2.515505e-05,2.520850e-05,2.528549e-05,2.537291e-05,2.540547e-05,2.551543e-05,2.551963e-05,2.561576e-05,2.564959e-05,2.570685e-05,2.576371e-05,2.578909e-05,2.586284e-05,2.592848e-05,2.594782e-05,2.598633e-05,2.601944e-05,2.603675e-05,2.607845e-05,2.608005e-05,2.611655e-05,2.612560e-05,2.614656e-05,2.616157e-05,2.617036e-05,2.618703e-05,2.618825e-05,2.620049e-05,2.620262e-05,2.620735e-05,2.620894e-05,2.620909e-05,2.620658e-05,2.620595e-05,2.619817e-05,2.619608e-05,2.618598e-05,2.617797e-05,2.616960e-05,2.615275e-05,2.614924e-05,2.612510e-05,2.612090e-05,2.609738e-05,2.608286e-05,2.606628e-05,2.603908e-05,2.603196e-05,2.599462e-05,2.598994e-05,2.595441e-05,2.593586e-05,2.591150e-05,2.587718e-05,2.586605e-05,2.581820e-05,2.581427e-05,2.576809e-05,2.574745e-05,2.571587e-05,2.567704e-05,2.566167e-05,2.560561e-05,2.560333e-05,2.554782e-05,2.552661e-05,2.548841e-05,2.544714e-05,2.542749e-05,2.536518e-05,2.528095e-05,2.519469e-05,2.510661e-05,2.501692e-05,2.492578e-05,2.483340e-05,2.473993e-05,2.464553e-05,2.455035e-05,2.445453e-05,2.435820e-05,2.426148e-05,2.416449e-05,2.406734e-05,2.397013e-05,2.387296e-05,2.377590e-05,2.367905e-05,2.358248e-05,2.348626e-05,2.339046e-05,2.329514e-05,2.320036e-05,2.310617e-05
0.000000e+00,8.283990e-12,4.700302e-11,5.668733e-10,2.751786e-09,5.566601e-09,2.469404e-08,2.604321e-08,8.450548e-08,1.126458e-07,2.208022e-07,3.618727e-07,4.869684e-07,8.776662e-07,9.184396e-07,1.512661e-06,1.676461e-06,2.240179e-06,2.692703e-06,3.066435e-06,3.853025e-06,3.963755e-06,4.912998e-06,5.107844e-06,5.900914e-06,6.426447e-06,6.917242e-06,7.786245e-06,7.952882e-06,8.999083e-06,9.166879e-06,1.004727e-05,1.054867e-05,1.108922e-05,1.191310e-05,1.211726e-05,1.312456e-05,1.324375e-05,1.410523e-05,1.452700e-05,1.505441e-05,1.575236e-05,1.596831e-05,1.684409e-05,1.691244e-05,1.767984e-05,1.800266e-05,1.847443e-05,1.902075e-05,1.922737e-05,1.993876e-05,1.996636e-05,2.060912e-05,2.084056e-05,2.123930e-05,2.164544e-05,2.183043e-05,2.238382e-05,2.290089e-05,2.305893e-05,2.338316e-05,2.367426e-05,2.383217e-05,2.423341e-05,2.424951e-05,2.463672e-05,2.473995e-05,2.499534e-05,2.519740e-05,2.532685e-05,2.560915e-05,2.563270e-05,2.591429e-05,2.597841e-05,2.617295e-05,2.630826e-05,2.640995e-05,2.660157e-05,2.662652e-05,2.682382e-05,2.686107e-05,2.700295e-05,2.708926e-05,2.716495e-05,2.728852e-05,2.731082e-05,2.744149e-05,2.746104e-05,2.755785e-05,2.760887e-05,2.766074e-05,2.773390e-05,2.775096e-05,2.782926e-05,2.783788e-05,2.789633e-05,2.792246e-05,2.795286e-05,2.798915e-05,2.799946e-05,2.803674e-05,2.803933e-05,2.806525e-05,2.807432e-05,2.808553e-05,2.809531e-05,2.809807e-05,2.810334e-05,2.810341e-05,2.810180e-05,2.809965e-05,2.809385e-05,2.808499e-05,2.807989e-05,2.806030e-05,2.803542e-05,2.802640e-05,2.800560e-05,2.798406e-05,2.797113e-05,2.793396e-05,2.793233e-05,2.788945e-05,2.787676e-05,2.784278e-05,2.781306e-05,2.779256e-05,2.774341e-05,2.773901e-05,2.768237e-05,2.766834e-05,2.762284e-05,2.758832e-05,2.756063e-05,2.750380e-05,2.749590e-05,2.742885e-05,2.741518e-05,2.735964e-05,2.732285e-05,2.728843e-05,2.722717e-05,2.721536e-05,2.714057e-05,2.712846e-05,2.706420e-05,2.702702e-05,2.698638e-05,2.692315e-05,2.690722e-05,2.682683e-05,2.681711e-05,2.674533e-05,2.670914e-05,2.666280e-05,2.659946e-05,2.657936e-05,2.649507e-05,2.648830e-05,2.641004e-05,2.637584e-05,2.632434e-05,2.626227e-05,2.623805e-05,2.615124e-05,2.614775e-05,2.606397e-05,2.603246e-05,2.597632e-05,2.591652e-05,2.588833e-05,2.580008e-05,2.568327e-05,2.556620e-05,2.544898e-05,2.533171e-05,2.521449e-05,2.509740e-05,2.498052e-05,2.486393e-05,2.474771e-05,2.463190e-05,2.451658e-05,2.440179e-05,2.428760e-05,2.417403e-05,2.406115e-05,2.394898e-05,2.383757e-05,2.372694e-05,2.361713e-05,2.350817e-05,2.340008e-05,2.329288e-05,2.318660e-05,2.308125e-05
0.000000e+00,6.162040e-11,1.434978e-10,5.025257e-10,1.154743e-09,1.692836e-09,3.893019e-09,4.012676e-09,7.894019e-09,9.327883e-09,1.383800e-08,1.859707e-08,2.230780e-08,3.246580e-08,3.345167e-08,4.703417e-08,5.061763e-08,6.271159e-08,7.229808e-08,8.020215e-08,9.691610e-08,9.928310e-08,1.197543e-07,1.239979e-07,1.414161e-07,1.530823e-07,1.640612e-07,1.836867e-07,1.874758e-07,2.114436e-07,2.153155e-07,2.357528e-07,2.474824e-07,2.602008e-07,2.797326e-07,2.846001e-07,3.087813e-07,3.116611e-07,3.325955e-07,3.429239e-07,3.559151e-07,3.732410e-07,3.786337e-07,4.006647e-07,4.023953e-07,4.219402e-07,4.302272e-07,4.424102e-07,4.566293e-07,4.620391e-07,4.808045e-07,4.815369e-07,4.986945e-07,5.049199e-07,5.157069e-07,5.267770e-07,5.318479e-07,5.471274e-07,5.615606e-07,5.660037e-07,5.751676e-07,5.834526e-07,5.879705e-07,5.995276e-07,5.999939e-07,6.112640e-07,6.142883e-07,6.218079e-07,6.277970e-07,6.316528e-07,6.401166e-07,6.408264e-07,6.493562e-07,6.513106e-07,6.572697e-07,6.614422e-07,6.645940e-07,6.705729e-07,6.713555e-07,6.775799e-07,6.787625e-07,6.832923e-07,6.860685e-07,6.885170e-07,6.925461e-07,6.932776e-07,6.975968e-07,6.982484e-07,7.014966e-07,7.032257e-07,7.049981e-07,7.075261e-07,7.081215e-07,7.108865e-07,7.111951e-07,7.133117e-07,7.142757e-07,7.154150e-07,7.168088e-07,7.172136e-07,7.187239e-07,7.188328e-07,7.199618e-07,7.203840e-07,7.209422e-07,7.214967e-07,7.216794e-07,7.221873e-07,7.222030e-07,7.224788e-07,7.225333e-07,7.225666e-07,7.225159e-07,7.224624e-07,7.221777e-07,7.217233e-07,7.215437e-07,7.211094e-07,7.206374e-07,7.203459e-07,7.194810e-07,7.194422e-07,7.184072e-07,7.180950e-07,7.172492e-07,7.164988e-07,7.159763e-07,7.147105e-07,7.145963e-07,7.131163e-07,7.127470e-07,7.115433e-07,7.106243e-07,7.098839e-07,7.083570e-07,7.081442e-07,7.063302e-07,7.059590e-07,7.044475e-07,7.034431e-07,7.025014e-07,7.008215e-07,7.004971e-07,6.984392e-07,6.981053e-07,6.963324e-07,6.953050e-07,6.941809e-07,6.924303e-07,6.919888e-07,6.897600e-07,6.894903e-07,6.874982e-07,6.864934e-07,6.852067e-07,6.834475e-07,6.828890e-07,6.805480e-07,6.803598e-07,6.781867e-07,6.772372e-07,6.758080e-07,6.740859e-07,6.734143e-07,6.710081e-07,6.709117e-07,6.685919e-07,6.677200e-07,6.661678e-07,6.645159e-07,6.637378e-07,6.613039e-07,6.580884e-07,6.548732e-07,6.516620e-07,6.484582e-07,6.452648e-07,6.420846e-07,6.389203e-07,6.357741e-07,6.326484e-07,6.295450e-07,6.264658e-07,6.234123e-07,6.203861e-07,6.173884e-07,6.144206e-07,6.114836e-07,6.085783e-07,6.057057e-07,6.028665e-07,6.000612e-07,5.972906e-07,5.945549e-07,5.918547e-07,5.891903e-07
0.000000e+00,1.371716e-12,8.712325e-12,1.309901e-10,7.619218e-10,1.685091e-09,9.039411e-09,9.594128e-09,3.510343e-08,4.781324e-08,9.746360e-08,1.637532e-07,2.243854e-07,4.287333e-07,4.515596e-07,8.213867e-07,9.365122e-07,1.380476e-06,1.793785e-06,2.175526e-06,3.103791e-06,3.248392e-06,4.632007e-06,4.948143e-06,6.348164e-06,7.375837e-06,8.407135e-06,1.040159e-05,1.080852e-05,1.354266e-05,1.400993e-05,1.659212e-05,1.816111e-05,1.993318e-05,2.279678e-05,2.353707e-05,2.737117e-05,2.784508e-05,3.140013e-05,3.322509e-05,3.558689e-05,3.885115e-05,3.989372e-05,4.428315e-05,4.463677e-05,4.871879e-05,5.049817e-05,5.316610e-05,5.635725e-05,5.759296e-05,6.197011e-05,6.214378e-05,6.627147e-05,6.779692e-05,7.047428e-05,7.326588e-05,7.455917e-05,7.851004e-05,8.231395e-05,8.349845e-05,8.596090e-05,8.820911e-05,8.944360e-05,9.262787e-05,9.275713e-05,9.589871e-05,9.674738e-05,9.886742e-05,1.005659e-04,1.016639e-04,1.040862e-04,1.042901e-04,1.067491e-04,1.073148e-04,1.090448e-04,1.102608e-04,1.111818e-04,1.129353e-04,1.131654e-04,1.150009e-04,1.153508e-04,1.166944e-04,1.175207e-04,1.182516e-04,1.194589e-04,1.196788e-04,1.209819e-04,1.211793e-04,1.221670e-04,1.226957e-04,1.232401e-04,1.240219e-04,1.242070e-04,1.250735e-04,1.251710e-04,1.258450e-04,1.261558e-04,1.265269e-04,1.269884e-04,1.271243e-04,1.276423e-04,1.276804e-04,1.280855e-04,1.282429e-04,1.284585e-04,1.286861e-04,1.287657e-04,1.290113e-04,1.290199e-04,1.291991e-04,1.292533e-04,1.293329e-04,1.293950e-04,1.294164e-04,1.294529e-04,1.294457e-04,1.294347e-04,1.293978e-04,1.293471e-04,1.293121e-04,1.291968e-04,1.291914e-04,1.290382e-04,1.289898e-04,1.288550e-04,1.287316e-04,1.286441e-04,1.284276e-04,1.284078e-04,1.281480e-04,1.280824e-04,1.278668e-04,1.277006e-04,1.275659e-04,1.272862e-04,1.272471e-04,1.269120e-04,1.268432e-04,1.265622e-04,1.263749e-04,1.261991e-04,1.258847e-04,1.258240e-04,1.254382e-04,1.253756e-04,1.250429e-04,1.248502e-04,1.246393e-04,1.243111e-04,1.242284e-04,1.238111e-04,1.237606e-04,1.233883e-04,1.232008e-04,1.229611e-04,1.226338e-04,1.225300e-04,1.220960e-04,1.220612e-04,1.216596e-04,1.214846e-04,1.212216e-04,1.209056e-04,1.207826e-04,1.203431e-04,1.203255e-04,1.199036e-04,1.197455e-04,1.194647e-04,1.191667e-04,1.190267e-04,1.185902e-04,1.180168e-04,1.174473e-04,1.168825e-04,1.163230e-04,1.157694e-04,1.152222e-04,1.146819e-04,1.141489e-04,1.136235e-04,1.131060e-04,1.125966e-04,1.120957e-04,1.116033e-04,1.111196e-04,1.106447e-04,1.101788e-04,1.097218e-04,1.092739e-04,1.088350e-04,1.084051e-04,1.079842e-04,1.075723e-04,1.071694e-04,1.067753e-04
0.000000e+00,1.054035e-11,2.429449e-11,8.404671e-11,1.916111e-10,2.797221e-10,6.354125e-10,6.545699e-10,1.267327e-09,1.490079e-09,2.181872e-09,2.903965e-09,3.466561e-09,5.027027e-09,5.180817e-09,7.344666e-09,7.927861e-09,9.922639e-09,1.152341e-08,1.285071e-08,1.566813e-08,1.606767e-08,1.952314e-08,2.023901e-08,2.317429e-08,2.513713e-08,2.698195e-08,3.027397e-08,3.090876e-08,3.491860e-08,3.556554e-08,3.897691e-08,4.093249e-08,4.305124e-08,4.630212e-08,4.711180e-08,5.113191e-08,5.161047e-08,5.508829e-08,5.680367e-08,5.896110e-08,6.183834e-08,6.273395e-08,6.639368e-08,6.668125e-08,6.993011e-08,7.130840e-08,7.333575e-08,7.570387e-08,7.660548e-08,7.973620e-08,7.985851e-08,8.272650e-08,8.376859e-08,8.557635e-08,8.743457e-08,8.828690e-08,9.086027e-08,9.329925e-08,9.405189e-08,9.560724e-08,9.701733e-08,9.778801e-08,9.976569e-08,9.984569e-08,1.017846e-07,1.023067e-07,1.036090e-07,1.046507e-07,1.053236e-07,1.068078e-07,1.069328e-07,1.084411e-07,1.087885e-07,1.098528e-07,1.106028e-07,1.111723e-07,1.122606e-07,1.124039e-07,1.135514e-07,1.137712e-07,1.146190e-07,1.151439e-07,1.156105e-07,1.163872e-07,1.165295e-07,1.173795e-07,1.175094e-07,1.181641e-07,1.185184e-07,1.188864e-07,1.194216e-07,1.195496e-07,1.201567e-07,1.202259e-07,1.207106e-07,1.209381e-07,1.212140e-07,1.215644e-07,1.216695e-07,1.220796e-07,1.221105e-07,1.224468e-07,1.225821e-07,1.227733e-07,1.229844e-07,1.230612e-07,1.233127e-07,1.233221e-07,1.235297e-07,1.235998e-07,1.237142e-07,1.238219e-07,1.238678e-07,1.239923e-07,1.240894e-07,1.241149e-07,1.241605e-07,1.241930e-07,1.242071e-07,1.242302e-07,1.242307e-07,1.242325e-07,1.242293e-07,1.242139e-07,1.241934e-07,1.241759e-07,1.241250e-07,1.241199e-07,1.240468e-07,1.240269e-07,1.239577e-07,1.239012e-07,1.238536e-07,1.237503e-07,1.237354e-07,1.236039e-07,1.235761e-07,1.234601e-07,1.233807e-07,1.233048e-07,1.231659e-07,1.231386e-07,1.229623e-07,1.229332e-07,1.227767e-07,1.226844e-07,1.225823e-07,1.224208e-07,1.223797e-07,1.221696e-07,1.221439e-07,1.219525e-07,1.218549e-07,1.217290e-07,1.215551e-07,1.214995e-07,1.212645e-07,1.212455e-07,1.210245e-07,1.209271e-07,1.207798e-07,1.206011e-07,1.205310e-07,1.202784e-07,1.202682e-07,1.200223e-07,1.199293e-07,1.197631e-07,1.195853e-07,1.195012e-07,1.192367e-07,1.188844e-07,1.185290e-07,1.181709e-07,1.178109e-07,1.174494e-07,1.170869e-07,1.167238e-07,1.163605e-07,1.159974e-07,1.156349e-07,1.152733e-07,1.149129e-07,1.145539e-07,1.141966e-07,1.138413e-07,1.134882e-07,1.131374e-07,1.127891e-07,1.124436e-07,1.121010e-07,1.117613e-07,1.114248e-07,1.110915e-07,1.107616e-07
0.000000e+00,3.106173e-10,9.227054e-10,4.174952e-09,1.078100e-08,1.648258e-08,4.058776e-08,4.191492e-08,8.510954e-08,1.010346e-07,1.508658e-07,2.032318e-07,2.441972e-07,3.586245e-07,3.699812e-07,5.318414e-07,5.762099e-07,7.304225e-07,8.566418e-07,9.626466e-07,1.190584e-06,1.223145e-06,1.506283e-06,1.565177e-06,1.807099e-06,1.969080e-06,2.121354e-06,2.392986e-06,2.445335e-06,2.775700e-06,2.828944e-06,3.109414e-06,3.269970e-06,3.443732e-06,3.709960e-06,3.776198e-06,4.104661e-06,4.143716e-06,4.427274e-06,4.566962e-06,4.742490e-06,4.976317e-06,5.049042e-06,5.345929e-06,5.369238e-06,5.632379e-06,5.743902e-06,5.907824e-06,6.099114e-06,6.171888e-06,6.424330e-06,6.434184e-06,6.665036e-06,6.748814e-06,6.894003e-06,7.043032e-06,7.111309e-06,7.317100e-06,7.511577e-06,7.571459e-06,7.694984e-06,7.806681e-06,7.867596e-06,8.023428e-06,8.029715e-06,8.181660e-06,8.222426e-06,8.323760e-06,8.404435e-06,8.456352e-06,8.570234e-06,8.579779e-06,8.694380e-06,8.720610e-06,8.800499e-06,8.856346e-06,8.898472e-06,8.978215e-06,8.988632e-06,9.071307e-06,9.086973e-06,9.146818e-06,9.183356e-06,9.215477e-06,9.268079e-06,9.277590e-06,9.333455e-06,9.341833e-06,9.383360e-06,9.405280e-06,9.427586e-06,9.459060e-06,9.466404e-06,9.500077e-06,9.503784e-06,9.528858e-06,9.540036e-06,9.552993e-06,9.568374e-06,9.572718e-06,9.588260e-06,9.589330e-06,9.599840e-06,9.603410e-06,9.607669e-06,9.611096e-06,9.611948e-06,9.612875e-06,9.612845e-06,9.610635e-06,9.609088e-06,9.605409e-06,9.600237e-06,9.597369e-06,9.586680e-06,9.573502e-06,9.568784e-06,9.557985e-06,9.546894e-06,9.540275e-06,9.521339e-06,9.520510e-06,9.498824e-06,9.492425e-06,9.475344e-06,9.460445e-06,9.450190e-06,9.425669e-06,9.423478e-06,9.395318e-06,9.388356e-06,9.365817e-06,9.348747e-06,9.335073e-06,9.307068e-06,9.303184e-06,9.270239e-06,9.263532e-06,9.236326e-06,9.218337e-06,9.201528e-06,9.171670e-06,9.165921e-06,9.129582e-06,9.123705e-06,9.092581e-06,9.074605e-06,9.054985e-06,9.024522e-06,9.016857e-06,8.978259e-06,8.973598e-06,8.939248e-06,8.921966e-06,8.899877e-06,8.869747e-06,8.860199e-06,8.820262e-06,8.817057e-06,8.780111e-06,8.764002e-06,8.739792e-06,8.710679e-06,8.699343e-06,8.658805e-06,8.657182e-06,8.618213e-06,8.603593e-06,8.577601e-06,8.549991e-06,8.537003e-06,8.496449e-06,8.443031e-06,8.389800e-06,8.336811e-06,8.284115e-06,8.231759e-06,8.179785e-06,8.128233e-06,8.077137e-06,8.026530e-06,7.976438e-06,7.926889e-06,7.877904e-06,7.829504e-06,7.781706e-06,7.734526e-06,7.687977e-06,7.642071e-06,7.596817e-06,7.552222e-06,7.508294e-06,7.465037e-06,7.422454e-06,7.380548e-06,7.339320e-06
0.000000e+00,1.330993e-11,3.122020e-11,1.102477e-10,2.545486e-10,3.739948e-10,8.649015e-10,8.916992e-10,1.765995e-09,2.091472e-09,3.124960e-09,4.234289e-09,5.114908e-09,7.600652e-09,7.847487e-09,1.132765e-08,1.226519e-08,1.546744e-08,1.803408e-08,2.016235e-08,2.468699e-08,2.532990e-08,3.090944e-08,3.207042e-08,3.685277e-08,4.007269e-08,4.311677e-08,4.859549e-08,4.965923e-08,5.643706e-08,5.754041e-08,6.340588e-08,6.680543e-08,7.052026e-08,7.628586e-08,7.773452e-08,8.500362e-08,8.587751e-08,9.228405e-08,9.548030e-08,9.953453e-08,1.050011e-07,1.067167e-07,1.137959e-07,1.143568e-07,1.207414e-07,1.234760e-07,1.275263e-07,1.322989e-07,1.341276e-07,1.405264e-07,1.407779e-07,1.467072e-07,1.488765e-07,1.526580e-07,1.565685e-07,1.583698e-07,1.638366e-07,1.690547e-07,1.706717e-07,1.740226e-07,1.770709e-07,1.787408e-07,1.830371e-07,1.832112e-07,1.874368e-07,1.885766e-07,1.914218e-07,1.936995e-07,1.951715e-07,1.984185e-07,1.986919e-07,2.019892e-07,2.027481e-07,2.050704e-07,2.067041e-07,2.079426e-07,2.103032e-07,2.106132e-07,2.130896e-07,2.135623e-07,2.153794e-07,2.164987e-07,2.174898e-07,2.191296e-07,2.194285e-07,2.212028e-07,2.214719e-07,2.228197e-07,2.235421e-07,2.242865e-07,2.253563e-07,2.256099e-07,2.267966e-07,2.269302e-07,2.278532e-07,2.282785e-07,2.287860e-07,2.294158e-07,2.296010e-07,2.303041e-07,2.303557e-07,2.309010e-07,2.311112e-07,2.313971e-07,2.316949e-07,2.317978e-07,2.321080e-07,2.321186e-07,2.323327e-07,2.323935e-07,2.324764e-07,2.325303e-07,2.325437e-07,2.325389e-07,2.324660e-07,2.324289e-07,2.323290e-07,2.322093e-07,2.321316e-07,2.318886e-07,2.318774e-07,2.315698e-07,2.314746e-07,2.312122e-07,2.309749e-07,2.308077e-07,2.303966e-07,2.303592e-07,2.298695e-07,2.297462e-07,2.293415e-07,2.290301e-07,2.287777e-07,2.282539e-07,2.281806e-07,2.275525e-07,2.274234e-07,2.268956e-07,2.265434e-07,2.262122e-07,2.256190e-07,2.255041e-07,2.247734e-07,2.246545e-07,2.240218e-07,2.236541e-07,2.232511e-07,2.226219e-07,2.224630e-07,2.216590e-07,2.215615e-07,2.208406e-07,2.204763e-07,2.200092e-07,2.193695e-07,2.191662e-07,2.183128e-07,2.182441e-07,2.174502e-07,2.171028e-07,2.165795e-07,2.159483e-07,2.157020e-07,2.148184e-07,2.147830e-07,2.139299e-07,2.136089e-07,2.130372e-07,2.124284e-07,2.121414e-07,2.112431e-07,2.100550e-07,2.088657e-07,2.076766e-07,2.064891e-07,2.053046e-07,2.041242e-07,2.029491e-07,2.017801e-07,2.006182e-07,1.994643e-07,1.983191e-07,1.971832e-07,1.960573e-07,1.949420e-07,1.938377e-07,1.927450e-07,1.916641e-07,1.905955e-07,1.895394e-07,1.884962e-07,1.874660e-07,1.864491e-07,1.854457e-07,1.844558e-07
0.000000e+00,2.051012e-13,1.354677e-12,2.209917e-11,1.385210e-10,3.192583e-10,1.906976e-09,2.032942e-09,8.291602e-09,1.163679e-08,2.559722e-08,4.578845e-08,6.539645e-08,1.373104e-07,1.458022e-07,2.933001e-07,3.424738e-07,5.438047e-07,7.454517e-07,9.420132e-07,1.454694e-06,1.538462e-06,2.384855e-06,2.588451e-06,3.528921e-06,4.254961e-06,5.009980e-06,6.535227e-06,6.855850e-06,9.081255e-06,9.472815e-06,1.168757e-05,1.307105e-05,1.466358e-05,1.729591e-05,1.798699e-05,2.162626e-05,2.208242e-05,2.554269e-05,2.734258e-05,2.969248e-05,3.297357e-05,3.402867e-05,3.850290e-05,3.886535e-05,4.306697e-05,4.490721e-05,4.767414e-05,5.099303e-05,5.228017e-05,5.684418e-05,5.702533e-05,6.132918e-05,6.291801e-05,6.570251e-05,6.859803e-05,6.993600e-05,7.400606e-05,7.789360e-05,7.909652e-05,8.158379e-05,8.383680e-05,8.506585e-05,8.820620e-05,8.833268e-05,9.138053e-05,9.219450e-05,9.420857e-05,9.580052e-05,9.681854e-05,9.903044e-05,9.921434e-05,1.014017e-04,1.018963e-04,1.033876e-04,1.044148e-04,1.051804e-04,1.066055e-04,1.067891e-04,1.082235e-04,1.084903e-04,1.094934e-04,1.100921e-04,1.106089e-04,1.114342e-04,1.115804e-04,1.124177e-04,1.125398e-04,1.131305e-04,1.134313e-04,1.137284e-04,1.141301e-04,1.142204e-04,1.146150e-04,1.146562e-04,1.149204e-04,1.150285e-04,1.151442e-04,1.152642e-04,1.152936e-04,1.153752e-04,1.153790e-04,1.153953e-04,1.153874e-04,1.153596e-04,1.153023e-04,1.152733e-04,1.151414e-04,1.151352e-04,1.149683e-04,1.148967e-04,1.147581e-04,1.145959e-04,1.145146e-04,1.142411e-04,1.139409e-04,1.138396e-04,1.136167e-04,1.133979e-04,1.132712e-04,1.129216e-04,1.129067e-04,1.125255e-04,1.124160e-04,1.121293e-04,1.118853e-04,1.117201e-04,1.113335e-04,1.112995e-04,1.108689e-04,1.107642e-04,1.104296e-04,1.101803e-04,1.099829e-04,1.095846e-04,1.095300e-04,1.090718e-04,1.089796e-04,1.086092e-04,1.083672e-04,1.081430e-04,1.077493e-04,1.076742e-04,1.072032e-04,1.071277e-04,1.067309e-04,1.065038e-04,1.062577e-04,1.058789e-04,1.057842e-04,1.053109e-04,1.052541e-04,1.048382e-04,1.046306e-04,1.043666e-04,1.040091e-04,1.038964e-04,1.034280e-04,1.033906e-04,1.029616e-04,1.027757e-04,1.024975e-04,1.021650e-04,1.020361e-04,1.015775e-04,1.015592e-04,1.011219e-04,1.009587e-04,1.006696e-04,1.003639e-04,1.002206e-04,9.977529e-05,9.919315e-05,9.861778e-05,9.804945e-05,9.748838e-05,9.693476e-05,9.638874e-05,9.585047e-05,9.532006e-05,9.479758e-05,9.428312e-05,9.377673e-05,9.327845e-05,9.278829e-05,9.230626e-05,9.183236e-05,9.136657e-05,9.090887e-05,9.045922e-05,9.001758e-05,8.958390e-05,8.915811e-05,8.874016e-05,8.832998e-05,8.792748e-05
0.000000e+00,6.805485e-11,2.081686e-10,9.683851e-10,2.520479e-09,3.856435e-09,9.448280e-09,9.753569e-09,1.956179e-08,2.312208e-08,3.410069e-08,4.541494e-08,5.413568e-08,7.804272e-08,8.038766e-08,1.135078e-07,1.225388e-07,1.539895e-07,1.799553e-07,2.019943e-07,2.501727e-07,2.571393e-07,3.184289e-07,3.313042e-07,3.844635e-07,4.201856e-07,4.537786e-07,5.135777e-07,5.250698e-07,5.972527e-07,6.088230e-07,6.694382e-07,7.038673e-07,7.408908e-07,7.971086e-07,8.109957e-07,8.792396e-07,8.872828e-07,9.451983e-07,9.734053e-07,1.008530e-06,1.054739e-06,1.068969e-06,1.126320e-06,1.130771e-06,1.180454e-06,1.201188e-06,1.231297e-06,1.265852e-06,1.278827e-06,1.323064e-06,1.324766e-06,1.364065e-06,1.378048e-06,1.401914e-06,1.425906e-06,1.436720e-06,1.468605e-06,1.497705e-06,1.506452e-06,1.524164e-06,1.539779e-06,1.548128e-06,1.568925e-06,1.569746e-06,1.589164e-06,1.594226e-06,1.606526e-06,1.616014e-06,1.621970e-06,1.634600e-06,1.635631e-06,1.647635e-06,1.650284e-06,1.658105e-06,1.663340e-06,1.667154e-06,1.674026e-06,1.674889e-06,1.681411e-06,1.682578e-06,1.686815e-06,1.689212e-06,1.691187e-06,1.694123e-06,1.694610e-06,1.697158e-06,1.697490e-06,1.698904e-06,1.699476e-06,1.699911e-06,1.700226e-06,1.700240e-06,1.699947e-06,1.699872e-06,1.699083e-06,1.698534e-06,1.697696e-06,1.696319e-06,1.695830e-06,1.693526e-06,1.693324e-06,1.690822e-06,1.689636e-06,1.687752e-06,1.685333e-06,1.684348e-06,1.680641e-06,1.680486e-06,1.676657e-06,1.675160e-06,1.672422e-06,1.669411e-06,1.667959e-06,1.663291e-06,1.658436e-06,1.656847e-06,1.653415e-06,1.650121e-06,1.648243e-06,1.643152e-06,1.642937e-06,1.637511e-06,1.635973e-06,1.631980e-06,1.628616e-06,1.626356e-06,1.621109e-06,1.620650e-06,1.614873e-06,1.613477e-06,1.609036e-06,1.605744e-06,1.603148e-06,1.597930e-06,1.597216e-06,1.591251e-06,1.590054e-06,1.585258e-06,1.582133e-06,1.579244e-06,1.574182e-06,1.573217e-06,1.567181e-06,1.566215e-06,1.561143e-06,1.558245e-06,1.555107e-06,1.550284e-06,1.549079e-06,1.543062e-06,1.542341e-06,1.537060e-06,1.534425e-06,1.531078e-06,1.526546e-06,1.525118e-06,1.519184e-06,1.518711e-06,1.513279e-06,1.510926e-06,1.507405e-06,1.503197e-06,1.501566e-06,1.495762e-06,1.495531e-06,1.489997e-06,1.487931e-06,1.484272e-06,1.480403e-06,1.478589e-06,1.472950e-06,1.465575e-06,1.458282e-06,1.451074e-06,1.443951e-06,1.436918e-06,1.429975e-06,1.423123e-06,1.416365e-06,1.409700e-06,1.403130e-06,1.396656e-06,1.390277e-06,1.383995e-06,1.377808e-06,1.371718e-06,1.365724e-06,1.359825e-06,1.354023e-06,1.348315e-06,1.342702e-06,1.337183e-06,1.331757e-06,1.326424e-06,1.321183e-06
0.000000e+00,1.037229e-11,5.678987e-11,6.366225e-10,2.884419e-09,5.603548e-09,2.205890e-08,2.313806e-08,6.474902e-08,8.253707e-08,1.442175e-07,2.166787e-07,2.776782e-07,4.637518e-07,4.832818e-07,7.779067e-07,8.631841e-07,1.171657e-06,1.436161e-06,1.665602e-06,2.179174e-06,2.254648e-06,2.931729e-06,3.077108e-06,3.690217e-06,4.114891e-06,4.524446e-06,5.280016e-06,5.429343e-06,6.399877e-06,6.560902e-06,7.430683e-06,7.945166e-06,8.515854e-06,9.418792e-06,9.648903e-06,1.082282e-05,1.096609e-05,1.203020e-05,1.257007e-05,1.326337e-05,1.421307e-05,1.451460e-05,1.577626e-05,1.587742e-05,1.704096e-05,1.754610e-05,1.830167e-05,1.920322e-05,1.955185e-05,2.078554e-05,2.083446e-05,2.199734e-05,2.242730e-05,2.318252e-05,2.397113e-05,2.433700e-05,2.545730e-05,2.654058e-05,2.687903e-05,2.758457e-05,2.823128e-05,2.858752e-05,2.951059e-05,2.954819e-05,3.046575e-05,3.071487e-05,3.133977e-05,3.184324e-05,3.217018e-05,3.289579e-05,3.295717e-05,3.370119e-05,3.387343e-05,3.440291e-05,3.477770e-05,3.506317e-05,3.561068e-05,3.568295e-05,3.626333e-05,3.637478e-05,3.680550e-05,3.707273e-05,3.731069e-05,3.770742e-05,3.778020e-05,3.821533e-05,3.828185e-05,3.861742e-05,3.879908e-05,3.898781e-05,3.926218e-05,3.932781e-05,3.963875e-05,3.967417e-05,3.992192e-05,4.003804e-05,4.017858e-05,4.035668e-05,4.040997e-05,4.061730e-05,4.063289e-05,4.080174e-05,4.086936e-05,4.096441e-05,4.106867e-05,4.110641e-05,4.122880e-05,4.123330e-05,4.133260e-05,4.136560e-05,4.141878e-05,4.146780e-05,4.148828e-05,4.154201e-05,4.158083e-05,4.159023e-05,4.160556e-05,4.161437e-05,4.161700e-05,4.161619e-05,4.161591e-05,4.160301e-05,4.159738e-05,4.157899e-05,4.155952e-05,4.154452e-05,4.150410e-05,4.150021e-05,4.144668e-05,4.143253e-05,4.138450e-05,4.134610e-05,4.131420e-05,4.124605e-05,4.123632e-05,4.115133e-05,4.113353e-05,4.105973e-05,4.100963e-05,4.096195e-05,4.087535e-05,4.085841e-05,4.074953e-05,4.073164e-05,4.063569e-05,4.057939e-05,4.051725e-05,4.041942e-05,4.039456e-05,4.026795e-05,4.025251e-05,4.013773e-05,4.007937e-05,4.000421e-05,3.990068e-05,3.986765e-05,3.972833e-05,3.971707e-05,3.958650e-05,3.952911e-05,3.944239e-05,3.933736e-05,3.929625e-05,3.914827e-05,3.914232e-05,3.899867e-05,3.894446e-05,3.884764e-05,3.874421e-05,3.869536e-05,3.854199e-05,3.833817e-05,3.813309e-05,3.792709e-05,3.772047e-05,3.751349e-05,3.730641e-05,3.709948e-05,3.689291e-05,3.668689e-05,3.648162e-05,3.627725e-05,3.607396e-05,3.587187e-05,3.567111e-05,3.547181e-05,3.527407e-05,3.507798e-05,3.488364e-05,3.469112e-05,3.450049e-05,3.431182e-05,3.412516e-05,3.394055e-05,3.375805e-05
0.000000e+00,4.045860e-13,2.606567e-12,4.037635e-11,2.414525e-10,5.423514e-10,3.032480e-09,3.224169e-09,1.232715e-08,1.700239e-08,3.581158e-08,6.185279e-08,8.632327e-08,1.718097e-07,1.815735e-07,3.436096e-07,3.951447e-07,5.970292e-07,7.882268e-07,9.668571e-07,1.407449e-06,1.476760e-06,2.147853e-06,2.303051e-06,2.998044e-06,3.515846e-06,4.041733e-06,5.075972e-06,5.289716e-06,6.749175e-06,7.002605e-06,8.423724e-06,9.304073e-06,1.031349e-05,1.197819e-05,1.241524e-05,1.472259e-05,1.501288e-05,1.722628e-05,1.838713e-05,1.991447e-05,2.207236e-05,2.277319e-05,2.578675e-05,2.603403e-05,2.893821e-05,3.023345e-05,3.220983e-05,3.462963e-05,3.558350e-05,3.904114e-05,3.918095e-05,4.256509e-05,4.384664e-05,4.613833e-05,4.858802e-05,4.974475e-05,5.336933e-05,5.699824e-05,5.815832e-05,6.061890e-05,6.292652e-05,6.422000e-05,6.764936e-05,6.779153e-05,7.132468e-05,7.230602e-05,7.481181e-05,7.687924e-05,7.824638e-05,8.135498e-05,8.162284e-05,8.493658e-05,8.572210e-05,8.818379e-05,8.997201e-05,9.136143e-05,9.409827e-05,9.446709e-05,9.749894e-05,9.809633e-05,1.004557e-04,1.019632e-04,1.033364e-04,1.056971e-04,1.061407e-04,1.088682e-04,1.092975e-04,1.115193e-04,1.127646e-04,1.140940e-04,1.160993e-04,1.165931e-04,1.190173e-04,1.193032e-04,1.213673e-04,1.223780e-04,1.236441e-04,1.253263e-04,1.258489e-04,1.279828e-04,1.281505e-04,1.300469e-04,1.308533e-04,1.320426e-04,1.334379e-04,1.339712e-04,1.358340e-04,1.359071e-04,1.376323e-04,1.382642e-04,1.393676e-04,1.405123e-04,1.410412e-04,1.426546e-04,1.442091e-04,1.446944e-04,1.457062e-04,1.466348e-04,1.471471e-04,1.484790e-04,1.485334e-04,1.498663e-04,1.502302e-04,1.511473e-04,1.518915e-04,1.523776e-04,1.534660e-04,1.535587e-04,1.546917e-04,1.549566e-04,1.557780e-04,1.563664e-04,1.568188e-04,1.576982e-04,1.578155e-04,1.587691e-04,1.589548e-04,1.596810e-04,1.601391e-04,1.605523e-04,1.612536e-04,1.613841e-04,1.621776e-04,1.623011e-04,1.629340e-04,1.632841e-04,1.636542e-04,1.642050e-04,1.643393e-04,1.649905e-04,1.650664e-04,1.656087e-04,1.658705e-04,1.661949e-04,1.666196e-04,1.667501e-04,1.672752e-04,1.673159e-04,1.677712e-04,1.679616e-04,1.682389e-04,1.685587e-04,1.686794e-04,1.690933e-04,1.691093e-04,1.694816e-04,1.696153e-04,1.698451e-04,1.700785e-04,1.701846e-04,1.705008e-04,1.708840e-04,1.712297e-04,1.715396e-04,1.718152e-04,1.720581e-04,1.722698e-04,1.724516e-04,1.726050e-04,1.727312e-04,1.728315e-04,1.729073e-04,1.729595e-04,1.729894e-04,1.729981e-04,1.729866e-04,1.729559e-04,1.729070e-04,1.728408e-04,1.727583e-04,1.726602e-04,1.725475e-04,1.724208e-04,1.722811e-04,1.721290e-04
0.000000e+00,1.570392e-11,3.613928e-11,1.251100e-10,2.858232e-10,4.177689e-10,9.514312e-10,9.801882e-10,1.899134e-09,2.232498e-09,3.264878e-09,4.338237e-09,5.172574e-09,7.488360e-09,7.717441e-09,1.097717e-08,1.187080e-08,1.498506e-08,1.755008e-08,1.971976e-08,2.444367e-08,2.512570e-08,3.113906e-08,3.240920e-08,3.769920e-08,4.130762e-08,4.474936e-08,5.100993e-08,5.223453e-08,6.009972e-08,6.138971e-08,6.828932e-08,7.231912e-08,7.674737e-08,8.366971e-08,8.541829e-08,9.424772e-08,9.531540e-08,1.031835e-07,1.071361e-07,1.121763e-07,1.190209e-07,1.211807e-07,1.301549e-07,1.308704e-07,1.390617e-07,1.425980e-07,1.478680e-07,1.541302e-07,1.565453e-07,1.650688e-07,1.654062e-07,1.734177e-07,1.763771e-07,1.815747e-07,1.870047e-07,1.895260e-07,1.972605e-07,2.047701e-07,2.071245e-07,2.120480e-07,2.165820e-07,2.190896e-07,2.256250e-07,2.258925e-07,2.324554e-07,2.342500e-07,2.387782e-07,2.424570e-07,2.448620e-07,2.502495e-07,2.507085e-07,2.563205e-07,2.576328e-07,2.617010e-07,2.646143e-07,2.668537e-07,2.712027e-07,2.717825e-07,2.764918e-07,2.774078e-07,2.809864e-07,2.832402e-07,2.852708e-07,2.887110e-07,2.893501e-07,2.932294e-07,2.938318e-07,2.969136e-07,2.986144e-07,3.004081e-07,3.030705e-07,3.037180e-07,3.068484e-07,3.072123e-07,3.098046e-07,3.110514e-07,3.125916e-07,3.145997e-07,3.152145e-07,3.176784e-07,3.178688e-07,3.199883e-07,3.208702e-07,3.221489e-07,3.236149e-07,3.241652e-07,3.260419e-07,3.261141e-07,3.277836e-07,3.283784e-07,3.293948e-07,3.304182e-07,3.308801e-07,3.322438e-07,3.334901e-07,3.338649e-07,3.346233e-07,3.352911e-07,3.356475e-07,3.365317e-07,3.365665e-07,3.373844e-07,3.375958e-07,3.381048e-07,3.384918e-07,3.387315e-07,3.392283e-07,3.392680e-07,3.397179e-07,3.398133e-07,3.400845e-07,3.402547e-07,3.403712e-07,3.405599e-07,3.405811e-07,3.407174e-07,3.407361e-07,3.407831e-07,3.407904e-07,3.407812e-07,3.407293e-07,3.407144e-07,3.405856e-07,3.405595e-07,3.403975e-07,3.402869e-07,3.401527e-07,3.399176e-07,3.398536e-07,3.395027e-07,3.394573e-07,3.391025e-07,3.389113e-07,3.386551e-07,3.382849e-07,3.381628e-07,3.376277e-07,3.375831e-07,3.370520e-07,3.368107e-07,3.364376e-07,3.359723e-07,3.357864e-07,3.351003e-07,3.350722e-07,3.343812e-07,3.341146e-07,3.336308e-07,3.331035e-07,3.328508e-07,3.320427e-07,3.309359e-07,3.297865e-07,3.285978e-07,3.273730e-07,3.261150e-07,3.248268e-07,3.235111e-07,3.221703e-07,3.208071e-07,3.194236e-07,3.180222e-07,3.166049e-07,3.151737e-07,3.137305e-07,3.122771e-07,3.108151e-07,3.093462e-07,3.078718e-07,3.063935e-07,3.049125e-07,3.034301e-07,3.019475e-07,3.004658e-07,2.989862e-07
0.000000e+00,1.936451e-11,4.485121e-11,1.563252e-10,3.586869e-10,5.256417e-10,1.208343e-09,1.245471e-09,2.449812e-09,2.894943e-09,4.298021e-09,5.788089e-09,6.960131e-09,1.022281e-08,1.054359e-08,1.502366e-08,1.622127e-08,2.029971e-08,2.356646e-08,2.627966e-08,3.207176e-08,3.289791e-08,4.010358e-08,4.161105e-08,4.784916e-08,5.207375e-08,5.608442e-08,6.334013e-08,6.475400e-08,7.379724e-08,7.527454e-08,8.314914e-08,8.772787e-08,9.274201e-08,1.005436e-07,1.025072e-07,1.123769e-07,1.135651e-07,1.222857e-07,1.266420e-07,1.321722e-07,1.396358e-07,1.419795e-07,1.516564e-07,1.524236e-07,1.611577e-07,1.649000e-07,1.704439e-07,1.769780e-07,1.794818e-07,1.882439e-07,1.885883e-07,1.967080e-07,1.996787e-07,2.048570e-07,2.102118e-07,2.126783e-07,2.201634e-07,2.273071e-07,2.295206e-07,2.341075e-07,2.382796e-07,2.405650e-07,2.464442e-07,2.466824e-07,2.524644e-07,2.540241e-07,2.579170e-07,2.610334e-07,2.630473e-07,2.674898e-07,2.678637e-07,2.723750e-07,2.734134e-07,2.765908e-07,2.788261e-07,2.805208e-07,2.837508e-07,2.841751e-07,2.875640e-07,2.882108e-07,2.906977e-07,2.922297e-07,2.935864e-07,2.958309e-07,2.962401e-07,2.986690e-07,2.990374e-07,3.008827e-07,3.018718e-07,3.028910e-07,3.043558e-07,3.047030e-07,3.063279e-07,3.065107e-07,3.077745e-07,3.083568e-07,3.090514e-07,3.099135e-07,3.101669e-07,3.111289e-07,3.111994e-07,3.119451e-07,3.122324e-07,3.126230e-07,3.130294e-07,3.131697e-07,3.135920e-07,3.136064e-07,3.138967e-07,3.139788e-07,3.140900e-07,3.141609e-07,3.141779e-07,3.141665e-07,3.140611e-07,3.140085e-07,3.138672e-07,3.136991e-07,3.135900e-07,3.132499e-07,3.132342e-07,3.128047e-07,3.126718e-07,3.123058e-07,3.119749e-07,3.117418e-07,3.111690e-07,3.111169e-07,3.104349e-07,3.102632e-07,3.096996e-07,3.092659e-07,3.089145e-07,3.081851e-07,3.080830e-07,3.072083e-07,3.070284e-07,3.062935e-07,3.058029e-07,3.053415e-07,3.045151e-07,3.043550e-07,3.033369e-07,3.031712e-07,3.022895e-07,3.017771e-07,3.012153e-07,3.003381e-07,3.001165e-07,2.989953e-07,2.988593e-07,2.978537e-07,2.973455e-07,2.966938e-07,2.958011e-07,2.955173e-07,2.943261e-07,2.942302e-07,2.931217e-07,2.926366e-07,2.919057e-07,2.910239e-07,2.906797e-07,2.894450e-07,2.893955e-07,2.882030e-07,2.877543e-07,2.869550e-07,2.861034e-07,2.857020e-07,2.844454e-07,2.827827e-07,2.811176e-07,2.794523e-07,2.777886e-07,2.761284e-07,2.744733e-07,2.728249e-07,2.711846e-07,2.695536e-07,2.679330e-07,2.663241e-07,2.647277e-07,2.631447e-07,2.615758e-07,2.600219e-07,2.584836e-07,2.569614e-07,2.554558e-07,2.539674e-07,2.524964e-07,2.510432e-07,2.496081e-07,2.481914e-07,2.467933e-07
0.000000e+00,8.175848e-11,3.185362e-10,2.024886e-09,6.227439e-09,1.018322e-08,2.833005e-08,2.937028e-08,6.451996e-08,7.793460e-08,1.209700e-07,1.675300e-07,2.047226e-07,3.116156e-07,3.224453e-07,4.807805e-07,5.254329e-07,6.845837e-07,8.191491e-07,9.349163e-07,1.191456e-06,1.228878e-06,1.561526e-06,1.632241e-06,1.927787e-06,2.130027e-06,2.323225e-06,2.675134e-06,2.744021e-06,3.186751e-06,3.259406e-06,3.648202e-06,3.875436e-06,4.125275e-06,4.516143e-06,4.614941e-06,5.114259e-06,5.174689e-06,5.620398e-06,5.844563e-06,6.130675e-06,6.519700e-06,6.642580e-06,7.153816e-06,7.194622e-06,7.662292e-06,7.864483e-06,8.166142e-06,8.525126e-06,8.663735e-06,9.153651e-06,9.173070e-06,9.634683e-06,9.805480e-06,1.010582e-05,1.042011e-05,1.056623e-05,1.101523e-05,1.145229e-05,1.158957e-05,1.187702e-05,1.214223e-05,1.228912e-05,1.267266e-05,1.268838e-05,1.307470e-05,1.318054e-05,1.344803e-05,1.366580e-05,1.380839e-05,1.412852e-05,1.415584e-05,1.449049e-05,1.456891e-05,1.481247e-05,1.498731e-05,1.512196e-05,1.538413e-05,1.541915e-05,1.570425e-05,1.575984e-05,1.597750e-05,1.611497e-05,1.623912e-05,1.645008e-05,1.648937e-05,1.672851e-05,1.676575e-05,1.695679e-05,1.706259e-05,1.717449e-05,1.734121e-05,1.738187e-05,1.757920e-05,1.760222e-05,1.776675e-05,1.784624e-05,1.794478e-05,1.807389e-05,1.811357e-05,1.827338e-05,1.828579e-05,1.842447e-05,1.848252e-05,1.856710e-05,1.866469e-05,1.870152e-05,1.882798e-05,1.883288e-05,1.894675e-05,1.898766e-05,1.905804e-05,1.912958e-05,1.916212e-05,1.925920e-05,1.934952e-05,1.937703e-05,1.943331e-05,1.948361e-05,1.951078e-05,1.957942e-05,1.958216e-05,1.964765e-05,1.966496e-05,1.970745e-05,1.974069e-05,1.976177e-05,1.980708e-05,1.981081e-05,1.985475e-05,1.986456e-05,1.989379e-05,1.991357e-05,1.992810e-05,1.995452e-05,1.995786e-05,1.998324e-05,1.998780e-05,2.000441e-05,2.001381e-05,2.002153e-05,2.003291e-05,2.003477e-05,2.004427e-05,2.004545e-05,2.005019e-05,2.005180e-05,2.005266e-05,2.005226e-05,2.005184e-05,2.004786e-05,2.004718e-05,2.004085e-05,2.003684e-05,2.003094e-05,2.002155e-05,2.001826e-05,2.000293e-05,2.000159e-05,1.998506e-05,1.997723e-05,1.996477e-05,1.994873e-05,1.994217e-05,1.991737e-05,1.991633e-05,1.989047e-05,1.988029e-05,1.986157e-05,1.984082e-05,1.983076e-05,1.979815e-05,1.975249e-05,1.970404e-05,1.965298e-05,1.959951e-05,1.954380e-05,1.948601e-05,1.942631e-05,1.936485e-05,1.930178e-05,1.923722e-05,1.917132e-05,1.910420e-05,1.903598e-05,1.896678e-05,1.889669e-05,1.882583e-05,1.875429e-05,1.868216e-05,1.860953e-05,1.853649e-05,1.846312e-05,1.838947e-05,1.831564e-05,1.824169e-05
0.000000e+00,6.760255e-12,3.996697e-11,5.198376e-10,2.662277e-09,5.502076e-09,2.496013e-08,2.631819e-08,8.253978e-08,1.080503e-07,2.002259e-07,3.129530e-07,4.100829e-07,7.141392e-07,7.465918e-07,1.247317e-06,1.396191e-06,1.949916e-06,2.443534e-06,2.885087e-06,3.913391e-06,4.068616e-06,5.498436e-06,5.812689e-06,7.158092e-06,8.103954e-06,9.023047e-06,1.072834e-05,1.106607e-05,1.326031e-05,1.362371e-05,1.558036e-05,1.673159e-05,1.800223e-05,1.999762e-05,2.050303e-05,2.306065e-05,2.337036e-05,2.565373e-05,2.680057e-05,2.826168e-05,3.024160e-05,3.086496e-05,3.344530e-05,3.365022e-05,3.598599e-05,3.698775e-05,3.847208e-05,4.022085e-05,4.089052e-05,4.323023e-05,4.332205e-05,4.548208e-05,4.626980e-05,4.763886e-05,4.904832e-05,4.969512e-05,5.164711e-05,5.349253e-05,5.406036e-05,5.523040e-05,5.628623e-05,5.686089e-05,5.832617e-05,5.838512e-05,5.980501e-05,6.018421e-05,6.112312e-05,6.186639e-05,6.234252e-05,6.338016e-05,6.346668e-05,6.449932e-05,6.473397e-05,6.544439e-05,6.593688e-05,6.630593e-05,6.699824e-05,6.708803e-05,6.779480e-05,6.792748e-05,6.843030e-05,6.873392e-05,6.899851e-05,6.942664e-05,6.950331e-05,6.994846e-05,7.001439e-05,7.033758e-05,7.050549e-05,7.067415e-05,7.090779e-05,7.096147e-05,7.120272e-05,7.122872e-05,7.140093e-05,7.147524e-05,7.155894e-05,7.165382e-05,7.167947e-05,7.176507e-05,7.177048e-05,7.181817e-05,7.183083e-05,7.184106e-05,7.184005e-05,7.183589e-05,7.180468e-05,7.180292e-05,7.174934e-05,7.172386e-05,7.167166e-05,7.160695e-05,7.157333e-05,7.145593e-05,7.132094e-05,7.127426e-05,7.116975e-05,7.106510e-05,7.100367e-05,7.083136e-05,7.082392e-05,7.063165e-05,7.057571e-05,7.042792e-05,7.030062e-05,7.021376e-05,7.000831e-05,6.999009e-05,6.975780e-05,6.970086e-05,6.951771e-05,6.938014e-05,6.927059e-05,6.904788e-05,6.901716e-05,6.875810e-05,6.870566e-05,6.849402e-05,6.835492e-05,6.822553e-05,6.799699e-05,6.795317e-05,6.767744e-05,6.763305e-05,6.739884e-05,6.726421e-05,6.711779e-05,6.689148e-05,6.683473e-05,6.655002e-05,6.651577e-05,6.626405e-05,6.613790e-05,6.597713e-05,6.575864e-05,6.568959e-05,6.540171e-05,6.537868e-05,6.511377e-05,6.499863e-05,6.482601e-05,6.461907e-05,6.453866e-05,6.425195e-05,6.424049e-05,6.396606e-05,6.386338e-05,6.368119e-05,6.348814e-05,6.339750e-05,6.311515e-05,6.274476e-05,6.237725e-05,6.201291e-05,6.165198e-05,6.129466e-05,6.094116e-05,6.059163e-05,6.024622e-05,5.990507e-05,5.956827e-05,5.923593e-05,5.890811e-05,5.858489e-05,5.826631e-05,5.795242e-05,5.764325e-05,5.733882e-05,5.703914e-05,5.674422e-05,5.645405e-05,5.616862e-05,5.588793e-05,5.561195e-05,5.534065e-05
0.000000e+00,2.614176e-12,5.987862e-12,2.053954e-11,4.652881e-11,6.768217e-11,1.521174e-10,1.566264e-10,2.990474e-10,3.500338e-10,5.060808e-10,6.658110e-10,7.884826e-10,1.123436e-09,1.156193e-09,1.616577e-09,1.741199e-09,2.171221e-09,2.520994e-09,2.814036e-09,3.443675e-09,3.533667e-09,4.317608e-09,4.481072e-09,5.154271e-09,5.606660e-09,6.033184e-09,6.797020e-09,6.944663e-09,7.879575e-09,8.030750e-09,8.829275e-09,9.287982e-09,9.785662e-09,1.055054e-08,1.074127e-08,1.168937e-08,1.180234e-08,1.262403e-08,1.302968e-08,1.354016e-08,1.422139e-08,1.443352e-08,1.530067e-08,1.536883e-08,1.613895e-08,1.646572e-08,1.694638e-08,1.750784e-08,1.772160e-08,1.846378e-08,1.849277e-08,1.917256e-08,1.941954e-08,1.984796e-08,2.028832e-08,2.049031e-08,2.110018e-08,2.167837e-08,2.185684e-08,2.222578e-08,2.256044e-08,2.274345e-08,2.321345e-08,2.323248e-08,2.369402e-08,2.381848e-08,2.412924e-08,2.437823e-08,2.453932e-08,2.489540e-08,2.492543e-08,2.528872e-08,2.537264e-08,2.563032e-08,2.581254e-08,2.595130e-08,2.621756e-08,2.625274e-08,2.653563e-08,2.659007e-08,2.680095e-08,2.693229e-08,2.704964e-08,2.724631e-08,2.728256e-08,2.750055e-08,2.753410e-08,2.770442e-08,2.779749e-08,2.789492e-08,2.803818e-08,2.807277e-08,2.823864e-08,2.825777e-08,2.839318e-08,2.845774e-08,2.853700e-08,2.863948e-08,2.867066e-08,2.879472e-08,2.880425e-08,2.890969e-08,2.895324e-08,2.901605e-08,2.908756e-08,2.911426e-08,2.920476e-08,2.920822e-08,2.928794e-08,2.931618e-08,2.936421e-08,2.941231e-08,2.943393e-08,2.949743e-08,2.955506e-08,2.957231e-08,2.960711e-08,2.963763e-08,2.965388e-08,2.969407e-08,2.969564e-08,2.973267e-08,2.974222e-08,2.976519e-08,2.978265e-08,2.979346e-08,2.981589e-08,2.981769e-08,2.983808e-08,2.984243e-08,2.985485e-08,2.986273e-08,2.986818e-08,2.987721e-08,2.987825e-08,2.988522e-08,2.988626e-08,2.988927e-08,2.989027e-08,2.989054e-08,2.988956e-08,2.988917e-08,2.988532e-08,2.988448e-08,2.987910e-08,2.987531e-08,2.987064e-08,2.986234e-08,2.986006e-08,2.984747e-08,2.984583e-08,2.983298e-08,2.982604e-08,2.981670e-08,2.980318e-08,2.979871e-08,2.977912e-08,2.977748e-08,2.975800e-08,2.974915e-08,2.973545e-08,2.971836e-08,2.971154e-08,2.968634e-08,2.968531e-08,2.965994e-08,2.965016e-08,2.963240e-08,2.961306e-08,2.960379e-08,2.957416e-08,2.953362e-08,2.949154e-08,2.944807e-08,2.940331e-08,2.935737e-08,2.931036e-08,2.926237e-08,2.921350e-08,2.916382e-08,2.911343e-08,2.906239e-08,2.901079e-08,2.895868e-08,2.890614e-08,2.885321e-08,2.879996e-08,2.874645e-08,2.869272e-08,2.863882e-08,2.858479e-08,2.853068e-08,2.847653e-08,2.842238e-08,2.836825e-08
0.000000e+00,5.413079e-11,1.666471e-10,7.791024e-10,2.028139e-09,3.100816e-09,7.571763e-09,7.815144e-09,1.560592e-08,1.842277e-08,2.708057e-08,3.596665e-08,4.279498e-08,6.143668e-08,6.325969e-08,8.891638e-08,9.588478e-08,1.200701e-07,1.399498e-07,1.567677e-07,1.933750e-07,1.986514e-07,2.448868e-07,2.545542e-07,2.942743e-07,3.207637e-07,3.455039e-07,3.890838e-07,3.973862e-07,4.489570e-07,4.571273e-07,4.994800e-07,5.231916e-07,5.484059e-07,5.861212e-07,5.953307e-07,6.399627e-07,6.451540e-07,6.820991e-07,6.998129e-07,7.216104e-07,7.498390e-07,7.584278e-07,7.925339e-07,7.951457e-07,8.239537e-07,8.357819e-07,8.527474e-07,8.719010e-07,8.790024e-07,9.028261e-07,9.037301e-07,9.243406e-07,9.315460e-07,9.436791e-07,9.556565e-07,9.609792e-07,9.763805e-07,9.900217e-07,9.940375e-07,1.002038e-06,1.008937e-06,1.012561e-06,1.021372e-06,1.021714e-06,1.029614e-06,1.031616e-06,1.036371e-06,1.039920e-06,1.042089e-06,1.046513e-06,1.046862e-06,1.050777e-06,1.051598e-06,1.053915e-06,1.055360e-06,1.056349e-06,1.057962e-06,1.058146e-06,1.059369e-06,1.059549e-06,1.060071e-06,1.060247e-06,1.060304e-06,1.060171e-06,1.060113e-06,1.059541e-06,1.059417e-06,1.058626e-06,1.058074e-06,1.057400e-06,1.056217e-06,1.055895e-06,1.054140e-06,1.053914e-06,1.052160e-06,1.051224e-06,1.049979e-06,1.048198e-06,1.047616e-06,1.045091e-06,1.044883e-06,1.042422e-06,1.041318e-06,1.039624e-06,1.037538e-06,1.036712e-06,1.033699e-06,1.033577e-06,1.030597e-06,1.029460e-06,1.027416e-06,1.025213e-06,1.024166e-06,1.020858e-06,1.017498e-06,1.016414e-06,1.014096e-06,1.011898e-06,1.010656e-06,1.007326e-06,1.007187e-06,1.003694e-06,1.002712e-06,1.000182e-06,9.980677e-07,9.966560e-07,9.934039e-07,9.931208e-07,9.895806e-07,9.887306e-07,9.860391e-07,9.840567e-07,9.824999e-07,9.793898e-07,9.789661e-07,9.754407e-07,9.747369e-07,9.719265e-07,9.701044e-07,9.684260e-07,9.654977e-07,9.649413e-07,9.614748e-07,9.609219e-07,9.580282e-07,9.563814e-07,9.546034e-07,9.518803e-07,9.512019e-07,9.478253e-07,9.474219e-07,9.444749e-07,9.430093e-07,9.411519e-07,9.386454e-07,9.378574e-07,9.345924e-07,9.343325e-07,9.313578e-07,9.300727e-07,9.281545e-07,9.258678e-07,9.249831e-07,9.218443e-07,9.217194e-07,9.187386e-07,9.176288e-07,9.156667e-07,9.135973e-07,9.126289e-07,9.096256e-07,9.057147e-07,9.018652e-07,8.980775e-07,8.943519e-07,8.906888e-07,8.870881e-07,8.835500e-07,8.800744e-07,8.766610e-07,8.733097e-07,8.700202e-07,8.667920e-07,8.636249e-07,8.605182e-07,8.574715e-07,8.544842e-07,8.515558e-07,8.486855e-07,8.458727e-07,8.431169e-07,8.404171e-07,8.377727e-07,8.351830e-07,8.326472e-07
0.000000e+00,1.138943e-10,3.679593e-10,1.827221e-09,4.922480e-09,7.641790e-09,1.933186e-08,1.998134e-08,4.134745e-08,4.932157e-08,7.456905e-08,1.015394e-07,1.229121e-07,1.835696e-07,1.896447e-07,2.766237e-07,3.004685e-07,3.829457e-07,4.498591e-07,5.056518e-07,6.246202e-07,6.415285e-07,7.879849e-07,8.183636e-07,9.430423e-07,1.026529e-06,1.105092e-06,1.245567e-06,1.272702e-06,1.444506e-06,1.472294e-06,1.619160e-06,1.703615e-06,1.795333e-06,1.936484e-06,1.971716e-06,2.147052e-06,2.167965e-06,2.320153e-06,2.395324e-06,2.489926e-06,2.616120e-06,2.655391e-06,2.815691e-06,2.828269e-06,2.970104e-06,3.030084e-06,3.118040e-06,3.220280e-06,3.259039e-06,3.392765e-06,3.397959e-06,3.518996e-06,3.562578e-06,3.637613e-06,3.713907e-06,3.748589e-06,3.851975e-06,3.947887e-06,3.977028e-06,4.036497e-06,4.089472e-06,4.118018e-06,4.189837e-06,4.192696e-06,4.260806e-06,4.278738e-06,4.322637e-06,4.356848e-06,4.378492e-06,4.424863e-06,4.428676e-06,4.473497e-06,4.483491e-06,4.513261e-06,4.533432e-06,4.548268e-06,4.575369e-06,4.578808e-06,4.605164e-06,4.609957e-06,4.627607e-06,4.637817e-06,4.646396e-06,4.659538e-06,4.661781e-06,4.673995e-06,4.675671e-06,4.683263e-06,4.686726e-06,4.689793e-06,4.693180e-06,4.693784e-06,4.695422e-06,4.695468e-06,4.694880e-06,4.693994e-06,4.692323e-06,4.689128e-06,4.687906e-06,4.681770e-06,4.681209e-06,4.674051e-06,4.670549e-06,4.664874e-06,4.657430e-06,4.654357e-06,4.642607e-06,4.642113e-06,4.629728e-06,4.624834e-06,4.615815e-06,4.605808e-06,4.600955e-06,4.585233e-06,4.568723e-06,4.563286e-06,4.551500e-06,4.540132e-06,4.533628e-06,4.515918e-06,4.515170e-06,4.496184e-06,4.490780e-06,4.476723e-06,4.464841e-06,4.456839e-06,4.438211e-06,4.436577e-06,4.415981e-06,4.410993e-06,4.395091e-06,4.383279e-06,4.373945e-06,4.355153e-06,4.352578e-06,4.331022e-06,4.326691e-06,4.309308e-06,4.297963e-06,4.287463e-06,4.269031e-06,4.265513e-06,4.243483e-06,4.239953e-06,4.221396e-06,4.210779e-06,4.199271e-06,4.181558e-06,4.177129e-06,4.154988e-06,4.152332e-06,4.132863e-06,4.123138e-06,4.110771e-06,4.094012e-06,4.088726e-06,4.066741e-06,4.064985e-06,4.044828e-06,4.036085e-06,4.022998e-06,4.007339e-06,4.001263e-06,3.979630e-06,3.978767e-06,3.958111e-06,3.950393e-06,3.936711e-06,3.922232e-06,3.915440e-06,3.894303e-06,3.866619e-06,3.839194e-06,3.812039e-06,3.785164e-06,3.758578e-06,3.732288e-06,3.706301e-06,3.680622e-06,3.655257e-06,3.630209e-06,3.605481e-06,3.581076e-06,3.556995e-06,3.533240e-06,3.509812e-06,3.486710e-06,3.463934e-06,3.441484e-06,3.419359e-06,3.397557e-06,3.376078e-06,3.354918e-06,3.334077e-06,3.313551e-06
0.000000e+00,8.875668e-14,5.939029e-13,9.954534e-12,6.396970e-11,1.494716e-10,9.250026e-10,9.875202e-10,4.170013e-09,5.907003e-09,1.329516e-08,2.421496e-08,3.498178e-08,7.525759e-08,8.007006e-08,1.647857e-07,1.933668e-07,3.115085e-07,4.311666e-07,5.487933e-07,8.593573e-07,9.105694e-07,1.434718e-06,1.562542e-06,2.161312e-06,2.632598e-06,3.130756e-06,4.161350e-06,4.382017e-06,5.951028e-06,6.233737e-06,7.869340e-06,8.922092e-06,1.016303e-05,1.228180e-05,1.285192e-05,1.594897e-05,1.634840e-05,1.946009e-05,2.113608e-05,2.338401e-05,2.663746e-05,2.771252e-05,3.243082e-05,3.282454e-05,3.751810e-05,3.965061e-05,4.294814e-05,4.705288e-05,4.869015e-05,5.470957e-05,5.495559e-05,6.096894e-05,6.327349e-05,6.742877e-05,7.191522e-05,7.404838e-05,8.078668e-05,8.760293e-05,8.979406e-05,9.445734e-05,9.884646e-05,1.013117e-04,1.078581e-04,1.081297e-04,1.148776e-04,1.167501e-04,1.215242e-04,1.254516e-04,1.280412e-04,1.339007e-04,1.344034e-04,1.405886e-04,1.420445e-04,1.465776e-04,1.498397e-04,1.523544e-04,1.572519e-04,1.579058e-04,1.632213e-04,1.642553e-04,1.682931e-04,1.708323e-04,1.731159e-04,1.769722e-04,1.776865e-04,1.820036e-04,1.826709e-04,1.860680e-04,1.879298e-04,1.898819e-04,1.927551e-04,1.934490e-04,1.967741e-04,1.971572e-04,1.998632e-04,2.011493e-04,2.027229e-04,2.047475e-04,2.053607e-04,2.077846e-04,2.079695e-04,2.100030e-04,2.108348e-04,2.120246e-04,2.133632e-04,2.138582e-04,2.155128e-04,2.155754e-04,2.169974e-04,2.174920e-04,2.183210e-04,2.191335e-04,2.194923e-04,2.205199e-04,2.214124e-04,2.216708e-04,2.221779e-04,2.226048e-04,2.228243e-04,2.233398e-04,2.233591e-04,2.237898e-04,2.238927e-04,2.241233e-04,2.242796e-04,2.243664e-04,2.245155e-04,2.245253e-04,2.246061e-04,2.246146e-04,2.246146e-04,2.245898e-04,2.245562e-04,2.244534e-04,2.244359e-04,2.242586e-04,2.242167e-04,2.240288e-04,2.238899e-04,2.237507e-04,2.234828e-04,2.234284e-04,2.230655e-04,2.230040e-04,2.226657e-04,2.224616e-04,2.222321e-04,2.218630e-04,2.217678e-04,2.212757e-04,2.212149e-04,2.207583e-04,2.205234e-04,2.202183e-04,2.197941e-04,2.196579e-04,2.190792e-04,2.190322e-04,2.184842e-04,2.182421e-04,2.178749e-04,2.174282e-04,2.172528e-04,2.166197e-04,2.165942e-04,2.159770e-04,2.157436e-04,2.153261e-04,2.148795e-04,2.146683e-04,2.140047e-04,2.131218e-04,2.122330e-04,2.113406e-04,2.104462e-04,2.095517e-04,2.086585e-04,2.077680e-04,2.068814e-04,2.059999e-04,2.051243e-04,2.042556e-04,2.033946e-04,2.025418e-04,2.016981e-04,2.008638e-04,2.000394e-04,1.992254e-04,1.984222e-04,1.976300e-04,1.968491e-04,1.960797e-04,1.953219e-04,1.945761e-04,1.938422e-04
0.000000e+00,1.136320e-10,2.767301e-10,1.016422e-09,2.386272e-09,3.523060e-09,8.164463e-09,8.415710e-09,1.647482e-08,1.940817e-08,2.851288e-08,3.800508e-08,4.540046e-08,6.601504e-08,6.806245e-08,9.740108e-08,1.055203e-07,1.341032e-07,1.579799e-07,1.783929e-07,2.233952e-07,2.299433e-07,2.880506e-07,3.003866e-07,3.518935e-07,3.870941e-07,4.206848e-07,4.817716e-07,4.937138e-07,5.703349e-07,5.828871e-07,6.499487e-07,6.890584e-07,7.319864e-07,7.989952e-07,8.159037e-07,9.011788e-07,9.114792e-07,9.873152e-07,1.025366e-06,1.073845e-06,1.139602e-06,1.160333e-06,1.246380e-06,1.253234e-06,1.331625e-06,1.365426e-06,1.415747e-06,1.475458e-06,1.498462e-06,1.579528e-06,1.582733e-06,1.658737e-06,1.686763e-06,1.735917e-06,1.787168e-06,1.810928e-06,1.883658e-06,1.954021e-06,1.976027e-06,2.021957e-06,2.064141e-06,2.087423e-06,2.147924e-06,2.150395e-06,2.210864e-06,2.227348e-06,2.268836e-06,2.302427e-06,2.324326e-06,2.373206e-06,2.377359e-06,2.427968e-06,2.439758e-06,2.476193e-06,2.502174e-06,2.522078e-06,2.560560e-06,2.565672e-06,2.607028e-06,2.615035e-06,2.646200e-06,2.665726e-06,2.683246e-06,2.712763e-06,2.718223e-06,2.751191e-06,2.756283e-06,2.782209e-06,2.796423e-06,2.811338e-06,2.833321e-06,2.838637e-06,2.864166e-06,2.867114e-06,2.887984e-06,2.897937e-06,2.910150e-06,2.925926e-06,2.930721e-06,2.949753e-06,2.951211e-06,2.967303e-06,2.973920e-06,2.983426e-06,2.994180e-06,2.998174e-06,3.011601e-06,3.012111e-06,3.023757e-06,3.027832e-06,3.034693e-06,3.041457e-06,3.044456e-06,3.053096e-06,3.060658e-06,3.062857e-06,3.067186e-06,3.070843e-06,3.072726e-06,3.077152e-06,3.077318e-06,3.081004e-06,3.081880e-06,3.083825e-06,3.085118e-06,3.085819e-06,3.086955e-06,3.087023e-06,3.087474e-06,3.087475e-06,3.087208e-06,3.086758e-06,3.086258e-06,3.084882e-06,3.084657e-06,3.082437e-06,3.081922e-06,3.079629e-06,3.077947e-06,3.076263e-06,3.073025e-06,3.072367e-06,3.067969e-06,3.067221e-06,3.063097e-06,3.060596e-06,3.057774e-06,3.053210e-06,3.052028e-06,3.045880e-06,3.045117e-06,3.039356e-06,3.036371e-06,3.032476e-06,3.027023e-06,3.025262e-06,3.017735e-06,3.017120e-06,3.009914e-06,3.006708e-06,3.001819e-06,2.995831e-06,2.993468e-06,2.984878e-06,2.984530e-06,2.976066e-06,2.972843e-06,2.967049e-06,2.960807e-06,2.957841e-06,2.948459e-06,2.935829e-06,2.922951e-06,2.909853e-06,2.896563e-06,2.883107e-06,2.869511e-06,2.855797e-06,2.841987e-06,2.828102e-06,2.814162e-06,2.800184e-06,2.786186e-06,2.772183e-06,2.758190e-06,2.744222e-06,2.730290e-06,2.716408e-06,2.702585e-06,2.688834e-06,2.675163e-06,2.661581e-06,2.648096e-06,2.634717e-06,2.621449e-06
0.000000e+00,4.299142e-13,2.792178e-12,4.395255e-11,2.664455e-10,6.026565e-10,3.422378e-09,3.640693e-09,1.406814e-08,1.944036e-08,4.105526e-08,7.090840e-08,9.887273e-08,1.961015e-07,2.071778e-07,3.908286e-07,4.493087e-07,6.793618e-07,8.990895e-07,1.106233e-06,1.625163e-06,1.707831e-06,2.522145e-06,2.713887e-06,3.586939e-06,4.251461e-06,4.937325e-06,6.314265e-06,6.602946e-06,8.605228e-06,8.957735e-06,1.095527e-05,1.220715e-05,1.365274e-05,1.605341e-05,1.668600e-05,2.003303e-05,2.045439e-05,2.366329e-05,2.534096e-05,2.753972e-05,3.062508e-05,3.162093e-05,3.586320e-05,3.620821e-05,4.022221e-05,4.198872e-05,4.465454e-05,4.786783e-05,4.911872e-05,5.357611e-05,5.375376e-05,5.799147e-05,5.956451e-05,6.233324e-05,6.522934e-05,6.657377e-05,7.068935e-05,7.466010e-05,7.589739e-05,7.846977e-05,8.081740e-05,8.210561e-05,8.542354e-05,8.555802e-05,8.882030e-05,8.969906e-05,9.188837e-05,9.363515e-05,9.476042e-05,9.722972e-05,9.743665e-05,9.991894e-05,1.004862e-04,1.022107e-04,1.034124e-04,1.043164e-04,1.060198e-04,1.062415e-04,1.079924e-04,1.083223e-04,1.095759e-04,1.103355e-04,1.109992e-04,1.120765e-04,1.122699e-04,1.133957e-04,1.135629e-04,1.143843e-04,1.148124e-04,1.152434e-04,1.158427e-04,1.159808e-04,1.166039e-04,1.166713e-04,1.171199e-04,1.173148e-04,1.175359e-04,1.177895e-04,1.178588e-04,1.180950e-04,1.181104e-04,1.182509e-04,1.182920e-04,1.183322e-04,1.183479e-04,1.183448e-04,1.182940e-04,1.182907e-04,1.181847e-04,1.181320e-04,1.180219e-04,1.178829e-04,1.178100e-04,1.175533e-04,1.172557e-04,1.171525e-04,1.169210e-04,1.166889e-04,1.165527e-04,1.161705e-04,1.161540e-04,1.157280e-04,1.156042e-04,1.152776e-04,1.149967e-04,1.148054e-04,1.143538e-04,1.143139e-04,1.138053e-04,1.136810e-04,1.132820e-04,1.129831e-04,1.127457e-04,1.122646e-04,1.121984e-04,1.116418e-04,1.115295e-04,1.110775e-04,1.107815e-04,1.105069e-04,1.100237e-04,1.099314e-04,1.093522e-04,1.092592e-04,1.087704e-04,1.084906e-04,1.081872e-04,1.077203e-04,1.076035e-04,1.070202e-04,1.069503e-04,1.064381e-04,1.061825e-04,1.058579e-04,1.054187e-04,1.052804e-04,1.047061e-04,1.046603e-04,1.041356e-04,1.039086e-04,1.035694e-04,1.031647e-04,1.030080e-04,1.024518e-04,1.024297e-04,1.019012e-04,1.017044e-04,1.013565e-04,1.009896e-04,1.008179e-04,1.002859e-04,9.959383e-05,9.891388e-05,9.824641e-05,9.759172e-05,9.695004e-05,9.632155e-05,9.570638e-05,9.510460e-05,9.451623e-05,9.394130e-05,9.337975e-05,9.283153e-05,9.229653e-05,9.177464e-05,9.126572e-05,9.076962e-05,9.028617e-05,8.981518e-05,8.935646e-05,8.890980e-05,8.847499e-05,8.805182e-05,8.764006e-05,8.723947e-05
0.000000e+00,5.902447e-12,1.355332e-11,4.681730e-11,1.070538e-10,1.567702e-10,3.608118e-10,3.719486e-10,7.355667e-10,8.711085e-10,1.302357e-09,1.767347e-09,2.138692e-09,3.201207e-09,3.307974e-09,4.834766e-09,5.251431e-09,6.683379e-09,7.834500e-09,8.787751e-09,1.080379e-08,1.108876e-08,1.354406e-08,1.405084e-08,1.612357e-08,1.750606e-08,1.880380e-08,2.111802e-08,2.156429e-08,2.438579e-08,2.484164e-08,2.724955e-08,2.863374e-08,3.013718e-08,3.245245e-08,3.303083e-08,3.591346e-08,3.625787e-08,3.876915e-08,4.001330e-08,4.158329e-08,4.368615e-08,4.434282e-08,4.703631e-08,4.724864e-08,4.965401e-08,5.067800e-08,5.218781e-08,5.395646e-08,5.463117e-08,5.697904e-08,5.707091e-08,5.922772e-08,6.001246e-08,6.137474e-08,6.277587e-08,6.341867e-08,6.535903e-08,6.719614e-08,6.776235e-08,6.893098e-08,6.998829e-08,7.056509e-08,7.204091e-08,7.210046e-08,7.353945e-08,7.392545e-08,7.488471e-08,7.564805e-08,7.613909e-08,7.721544e-08,7.730560e-08,7.838737e-08,7.863473e-08,7.938757e-08,7.991326e-08,8.030943e-08,8.105842e-08,8.115617e-08,8.193100e-08,8.207761e-08,8.263708e-08,8.297812e-08,8.327755e-08,8.376705e-08,8.385543e-08,8.437371e-08,8.445130e-08,8.483529e-08,8.503754e-08,8.524298e-08,8.553216e-08,8.559950e-08,8.590748e-08,8.594130e-08,8.616947e-08,8.627081e-08,8.638791e-08,8.652625e-08,8.656515e-08,8.670346e-08,8.671291e-08,8.680501e-08,8.683581e-08,8.687189e-08,8.689969e-08,8.690608e-08,8.690951e-08,8.690903e-08,8.688399e-08,8.686806e-08,8.683129e-08,8.678078e-08,8.675307e-08,8.665093e-08,8.652639e-08,8.648205e-08,8.638092e-08,8.627746e-08,8.621588e-08,8.604027e-08,8.603261e-08,8.583236e-08,8.577341e-08,8.561633e-08,8.547961e-08,8.538565e-08,8.516144e-08,8.514142e-08,8.488466e-08,8.482129e-08,8.461636e-08,8.446141e-08,8.433743e-08,8.408388e-08,8.404876e-08,8.375118e-08,8.369067e-08,8.344550e-08,8.328360e-08,8.313246e-08,8.286435e-08,8.281278e-08,8.248712e-08,8.243451e-08,8.215613e-08,8.199554e-08,8.182041e-08,8.154881e-08,8.148053e-08,8.113702e-08,8.109558e-08,8.079040e-08,8.063703e-08,8.044115e-08,8.017423e-08,8.008971e-08,7.973651e-08,7.970819e-08,7.938196e-08,7.923985e-08,7.902643e-08,7.877004e-08,7.867028e-08,7.831383e-08,7.829957e-08,7.795740e-08,7.782915e-08,7.760129e-08,7.735946e-08,7.724577e-08,7.689109e-08,7.642461e-08,7.596052e-08,7.549930e-08,7.504136e-08,7.458708e-08,7.413681e-08,7.369087e-08,7.324953e-08,7.281303e-08,7.238161e-08,7.195546e-08,7.153475e-08,7.111962e-08,7.071022e-08,7.030663e-08,6.990897e-08,6.951730e-08,6.913169e-08,6.875218e-08,6.837879e-08,6.801157e-08,6.765051e-08,6.729562e-08,6.694689e-08
0.000000e+00,1.983647e-13,1.303447e-12,2.103584e-11,1.306146e-10,2.995476e-10,1.768474e-09,1.884477e-09,7.615922e-09,1.066747e-08,2.337502e-08,4.172992e-08,5.954590e-08,1.247843e-07,1.324715e-07,2.651770e-07,3.090357e-07,4.865642e-07,6.613261e-07,8.291226e-07,1.257143e-06,1.325968e-06,2.008050e-06,2.169134e-06,2.902023e-06,3.457849e-06,4.028891e-06,5.166384e-06,5.403354e-06,7.033690e-06,7.318511e-06,8.921975e-06,9.919102e-06,1.106454e-05,1.295588e-05,1.345254e-05,1.607260e-05,1.640183e-05,1.890753e-05,2.021782e-05,2.193698e-05,2.435549e-05,2.513814e-05,2.848650e-05,2.875997e-05,3.195644e-05,3.337262e-05,3.552189e-05,3.813357e-05,3.915691e-05,4.283618e-05,4.298393e-05,4.653548e-05,4.786768e-05,5.023199e-05,5.273318e-05,5.390462e-05,5.753420e-05,6.110358e-05,6.223055e-05,6.459771e-05,6.678840e-05,6.800365e-05,7.118024e-05,7.131050e-05,7.450930e-05,7.538460e-05,7.759297e-05,7.938558e-05,8.055609e-05,8.317236e-05,8.339481e-05,8.610669e-05,8.673850e-05,8.869047e-05,9.008134e-05,9.114600e-05,9.320136e-05,9.347404e-05,9.567612e-05,9.610161e-05,9.775444e-05,9.878714e-05,9.971172e-05,1.012646e-04,1.015511e-04,1.032761e-04,1.035417e-04,1.048904e-04,1.056271e-04,1.063980e-04,1.075299e-04,1.078028e-04,1.091091e-04,1.092594e-04,1.103208e-04,1.108250e-04,1.114421e-04,1.122363e-04,1.124771e-04,1.134297e-04,1.135025e-04,1.143039e-04,1.146325e-04,1.151036e-04,1.156352e-04,1.158323e-04,1.164937e-04,1.165188e-04,1.170912e-04,1.172913e-04,1.176282e-04,1.179604e-04,1.181078e-04,1.185331e-04,1.189072e-04,1.190165e-04,1.192327e-04,1.194168e-04,1.195123e-04,1.197401e-04,1.197487e-04,1.199443e-04,1.199921e-04,1.201014e-04,1.201781e-04,1.202222e-04,1.203031e-04,1.203088e-04,1.203633e-04,1.203718e-04,1.203875e-04,1.203885e-04,1.203833e-04,1.203574e-04,1.203524e-04,1.202964e-04,1.202823e-04,1.202169e-04,1.201667e-04,1.201153e-04,1.200140e-04,1.199931e-04,1.198516e-04,1.198272e-04,1.196920e-04,1.196094e-04,1.195156e-04,1.193630e-04,1.193234e-04,1.191165e-04,1.190908e-04,1.188960e-04,1.187949e-04,1.186628e-04,1.184777e-04,1.184178e-04,1.181619e-04,1.181410e-04,1.178960e-04,1.177869e-04,1.176206e-04,1.174170e-04,1.173367e-04,1.170449e-04,1.170331e-04,1.167458e-04,1.166365e-04,1.164402e-04,1.162288e-04,1.161284e-04,1.158112e-04,1.153850e-04,1.149512e-04,1.145110e-04,1.140653e-04,1.136150e-04,1.131609e-04,1.127039e-04,1.122445e-04,1.117836e-04,1.113217e-04,1.108594e-04,1.103971e-04,1.099355e-04,1.094748e-04,1.090156e-04,1.085583e-04,1.081030e-04,1.076503e-04,1.072003e-04,1.067533e-04,1.063096e-04,1.058694e-04,1.054328e-04,1.050002e-04
0.000000e+00,5.662698e-14,3.731054e-13,6.050277e-12,3.767697e-11,8.647762e-11,5.098281e-10,5.431689e-10,2.176541e-09,3.037020e-09,6.569498e-09,1.156349e-08,1.632012e-08,3.322930e-08,3.518267e-08,6.810561e-08,7.875304e-08,1.211749e-07,1.622996e-07,2.014774e-07,3.009154e-07,3.168943e-07,4.758202e-07,5.135806e-07,6.868028e-07,8.198559e-07,9.581110e-07,1.238164e-06,1.297266e-06,1.710598e-06,1.783958e-06,2.202871e-06,2.468139e-06,2.777027e-06,3.296034e-06,3.434047e-06,4.172942e-06,4.266993e-06,4.990835e-06,5.374608e-06,5.883133e-06,6.607337e-06,6.843736e-06,7.865302e-06,7.949417e-06,8.939504e-06,9.381916e-06,1.005731e-05,1.088381e-05,1.120922e-05,1.238557e-05,1.243299e-05,1.357668e-05,1.400726e-05,1.477311e-05,1.558508e-05,1.596581e-05,1.714629e-05,1.830671e-05,1.867262e-05,1.943997e-05,2.014808e-05,2.053981e-05,2.155916e-05,2.160079e-05,2.261836e-05,2.289498e-05,2.358882e-05,2.414725e-05,2.450929e-05,2.531017e-05,2.537769e-05,2.619267e-05,2.638024e-05,2.695359e-05,2.735603e-05,2.766037e-05,2.823793e-05,2.831351e-05,2.891395e-05,2.902783e-05,2.946305e-05,2.972884e-05,2.996248e-05,3.034502e-05,3.041417e-05,3.082025e-05,3.088114e-05,3.118300e-05,3.134243e-05,3.150480e-05,3.173438e-05,3.178807e-05,3.203524e-05,3.206259e-05,3.224873e-05,3.233261e-05,3.243092e-05,3.254986e-05,3.258410e-05,3.271051e-05,3.271953e-05,3.281225e-05,3.284649e-05,3.289134e-05,3.293533e-05,3.294968e-05,3.298907e-05,3.299028e-05,3.301118e-05,3.301521e-05,3.301756e-05,3.301365e-05,3.300965e-05,3.298880e-05,3.295623e-05,3.294352e-05,3.291307e-05,3.288037e-05,3.286036e-05,3.280166e-05,3.279905e-05,3.273001e-05,3.270940e-05,3.265403e-05,3.260541e-05,3.257182e-05,3.249127e-05,3.248406e-05,3.239133e-05,3.236840e-05,3.229419e-05,3.223804e-05,3.219311e-05,3.210128e-05,3.208857e-05,3.198095e-05,3.195910e-05,3.187065e-05,3.181234e-05,3.175798e-05,3.166175e-05,3.164327e-05,3.152679e-05,3.150801e-05,3.140880e-05,3.135169e-05,3.128952e-05,3.119332e-05,3.116918e-05,3.104796e-05,3.103336e-05,3.092605e-05,3.087223e-05,3.080360e-05,3.071028e-05,3.068077e-05,3.055769e-05,3.054784e-05,3.043448e-05,3.038519e-05,3.031127e-05,3.022260e-05,3.018814e-05,3.006520e-05,3.006029e-05,2.994254e-05,2.989847e-05,2.982024e-05,2.973732e-05,2.969837e-05,2.957700e-05,2.941767e-05,2.925944e-05,2.910245e-05,2.894678e-05,2.879254e-05,2.863981e-05,2.848865e-05,2.833914e-05,2.819132e-05,2.804525e-05,2.790097e-05,2.775852e-05,2.761793e-05,2.747922e-05,2.734241e-05,2.720753e-05,2.707459e-05,2.694359e-05,2.681454e-05,2.668745e-05,2.656232e-05,2.643914e-05,2.631791e-05,2.619863e-05
0.000000e+00,3.240082e-13,2.148114e-12,3.529874e-11,2.226072e-10,5.146147e-10,3.093523e-09,3.298539e-09,1.349711e-08,1.894630e-08,4.163257e-08,7.427311e-08,1.057896e-07,2.201151e-07,2.335034e-07,4.632589e-07,5.389294e-07,8.455226e-07,1.149132e-06,1.443145e-06,2.206239e-06,2.330790e-06,3.592932e-06,3.898218e-06,5.320156e-06,6.432631e-06,7.604017e-06,1.001631e-05,1.053119e-05,1.417784e-05,1.483240e-05,1.860499e-05,2.102051e-05,2.385518e-05,2.866362e-05,2.995074e-05,3.689339e-05,3.778277e-05,4.466507e-05,4.833851e-05,5.322955e-05,6.023727e-05,6.253477e-05,7.251540e-05,7.334082e-05,8.309566e-05,8.747716e-05,9.419209e-05,1.024516e-04,1.057162e-04,1.175771e-04,1.180572e-04,1.296833e-04,1.340842e-04,1.419451e-04,1.503277e-04,1.542760e-04,1.665939e-04,1.788224e-04,1.827050e-04,1.908914e-04,1.985024e-04,2.027377e-04,2.138483e-04,2.143050e-04,2.255444e-04,2.286268e-04,2.364141e-04,2.427438e-04,2.468794e-04,2.561257e-04,2.569118e-04,2.664895e-04,2.687186e-04,2.755962e-04,2.804859e-04,2.842209e-04,2.914069e-04,2.923574e-04,3.000038e-04,3.014744e-04,3.071619e-04,3.106928e-04,3.138369e-04,3.190760e-04,3.200364e-04,3.257707e-04,3.266458e-04,3.310519e-04,3.334300e-04,3.358938e-04,3.394610e-04,3.403113e-04,3.443203e-04,3.447747e-04,3.479374e-04,3.494091e-04,3.511796e-04,3.534036e-04,3.540643e-04,3.566087e-04,3.567981e-04,3.588303e-04,3.596323e-04,3.607461e-04,3.619455e-04,3.623729e-04,3.637272e-04,3.637759e-04,3.648250e-04,3.651605e-04,3.656819e-04,3.661347e-04,3.663129e-04,3.667324e-04,3.669543e-04,3.669857e-04,3.669919e-04,3.669251e-04,3.668579e-04,3.665791e-04,3.665644e-04,3.661231e-04,3.659745e-04,3.655447e-04,3.651363e-04,3.648398e-04,3.640880e-04,3.640182e-04,3.630893e-04,3.628514e-04,3.620618e-04,3.614465e-04,3.609442e-04,3.598923e-04,3.597442e-04,3.584694e-04,3.582060e-04,3.571266e-04,3.564036e-04,3.557224e-04,3.544999e-04,3.542630e-04,3.527541e-04,3.525085e-04,3.512012e-04,3.504417e-04,3.496094e-04,3.483111e-04,3.479833e-04,3.463276e-04,3.461271e-04,3.446462e-04,3.438993e-04,3.429431e-04,3.416365e-04,3.412220e-04,3.394861e-04,3.393467e-04,3.377387e-04,3.370371e-04,3.359826e-04,3.347144e-04,3.342205e-04,3.324551e-04,3.323844e-04,3.306885e-04,3.300527e-04,3.289230e-04,3.277241e-04,3.271606e-04,3.254031e-04,3.230935e-04,3.207990e-04,3.185227e-04,3.162674e-04,3.140356e-04,3.118295e-04,3.096511e-04,3.075020e-04,3.053837e-04,3.032974e-04,3.012441e-04,2.992248e-04,2.972402e-04,2.952908e-04,2.933771e-04,2.914995e-04,2.896581e-04,2.878530e-04,2.860844e-04,2.843522e-04,2.826562e-04,2.809963e-04,2.793722e-04,2.777837e-04
0.000000e+00,1.939068e-10,6.754460e-10,3.692136e-09,1.052039e-08,1.677365e-08,4.553665e-08,4.721298e-08,1.062918e-07,1.300801e-07,2.102809e-07,3.016415e-07,3.761174e-07,5.869753e-07,6.076380e-07,8.897276e-07,9.626107e-07,1.202156e-06,1.384672e-06,1.530373e-06,1.825290e-06,1.865710e-06,2.202835e-06,2.270129e-06,2.538003e-06,2.710497e-06,2.868196e-06,3.139789e-06,3.190795e-06,3.503473e-06,3.552441e-06,3.804212e-06,3.943824e-06,4.091347e-06,4.310366e-06,4.363567e-06,4.619936e-06,4.649604e-06,4.859865e-06,4.960146e-06,5.083084e-06,5.241549e-06,5.289599e-06,5.479646e-06,5.494150e-06,5.653646e-06,5.718875e-06,5.812162e-06,5.917074e-06,5.955856e-06,6.085462e-06,6.090364e-06,6.201751e-06,6.240507e-06,6.305515e-06,6.369325e-06,6.397546e-06,6.478622e-06,6.549501e-06,6.570148e-06,6.610910e-06,6.645564e-06,6.663543e-06,6.706425e-06,6.708057e-06,6.745073e-06,6.754174e-06,6.775171e-06,6.790138e-06,6.798897e-06,6.815534e-06,6.816758e-06,6.829227e-06,6.831466e-06,6.836743e-06,6.838942e-06,6.839715e-06,6.838872e-06,6.838521e-06,6.833511e-06,6.832081e-06,6.825010e-06,6.819311e-06,6.813318e-06,6.801234e-06,6.798712e-06,6.781449e-06,6.778456e-06,6.761765e-06,6.751522e-06,6.739880e-06,6.720924e-06,6.715996e-06,6.690300e-06,6.687103e-06,6.662964e-06,6.650458e-06,6.634148e-06,6.611349e-06,6.603999e-06,6.572652e-06,6.570097e-06,6.540234e-06,6.526992e-06,6.506859e-06,6.482298e-06,6.472635e-06,6.437661e-06,6.436248e-06,6.402028e-06,6.389055e-06,6.365819e-06,6.340909e-06,6.329114e-06,6.291982e-06,6.254491e-06,6.242428e-06,6.216701e-06,6.192385e-06,6.178669e-06,6.141978e-06,6.140446e-06,6.102081e-06,6.091319e-06,6.063618e-06,6.040509e-06,6.025096e-06,5.989638e-06,5.986555e-06,5.948027e-06,5.938786e-06,5.909546e-06,5.888027e-06,5.871139e-06,5.837425e-06,5.832834e-06,5.794656e-06,5.787038e-06,5.756627e-06,5.736918e-06,5.718768e-06,5.687111e-06,5.681097e-06,5.643632e-06,5.637658e-06,5.606389e-06,5.588595e-06,5.569381e-06,5.539955e-06,5.532624e-06,5.496127e-06,5.491765e-06,5.459902e-06,5.444052e-06,5.423959e-06,5.396836e-06,5.388306e-06,5.352951e-06,5.350136e-06,5.317901e-06,5.303968e-06,5.283163e-06,5.258347e-06,5.248741e-06,5.214642e-06,5.213284e-06,5.180868e-06,5.168790e-06,5.147423e-06,5.124871e-06,5.114312e-06,5.081535e-06,5.038786e-06,4.996629e-06,4.955065e-06,4.914096e-06,4.873722e-06,4.833944e-06,4.794759e-06,4.756166e-06,4.718161e-06,4.680743e-06,4.643906e-06,4.607646e-06,4.571960e-06,4.536841e-06,4.502284e-06,4.468284e-06,4.434834e-06,4.401928e-06,4.369560e-06,4.337723e-06,4.306411e-06,4.275616e-06,4.245331e-06,4.215549e-06
0.000000e+00,1.026761e-11,2.359761e-11,8.135027e-11,1.849652e-10,2.695611e-10,6.086658e-10,6.268240e-10,1.202213e-09,1.408915e-09,2.043354e-09,2.695139e-09,3.197111e-09,4.573466e-09,4.708518e-09,6.616008e-09,7.135687e-09,8.941258e-09,1.042461e-08,1.167722e-08,1.439495e-08,1.478587e-08,1.821046e-08,1.892794e-08,2.189091e-08,2.388720e-08,2.577176e-08,2.915024e-08,2.980361e-08,3.394211e-08,3.461143e-08,3.814700e-08,4.017799e-08,4.238146e-08,4.576773e-08,4.661205e-08,5.080871e-08,5.130873e-08,5.494487e-08,5.673957e-08,5.899755e-08,6.200964e-08,6.294727e-08,6.677800e-08,6.707891e-08,7.047691e-08,7.191727e-08,7.403417e-08,7.650358e-08,7.744263e-08,8.069751e-08,8.082447e-08,8.379611e-08,8.487312e-08,8.673749e-08,8.864807e-08,8.952223e-08,9.215206e-08,9.462968e-08,9.539092e-08,9.695860e-08,9.837298e-08,9.914300e-08,1.011083e-07,1.011875e-07,1.030970e-07,1.036081e-07,1.048766e-07,1.058843e-07,1.065317e-07,1.079491e-07,1.080677e-07,1.094900e-07,1.098150e-07,1.108038e-07,1.114941e-07,1.120144e-07,1.129986e-07,1.131271e-07,1.141469e-07,1.143401e-07,1.150786e-07,1.155299e-07,1.159271e-07,1.165787e-07,1.166967e-07,1.173920e-07,1.174966e-07,1.180170e-07,1.182933e-07,1.185759e-07,1.189780e-07,1.190725e-07,1.195104e-07,1.195592e-07,1.198933e-07,1.200451e-07,1.202243e-07,1.204433e-07,1.205068e-07,1.207438e-07,1.207609e-07,1.209381e-07,1.210045e-07,1.210926e-07,1.211805e-07,1.212097e-07,1.212919e-07,1.212945e-07,1.213417e-07,1.213521e-07,1.213612e-07,1.213583e-07,1.213526e-07,1.213177e-07,1.212585e-07,1.212348e-07,1.211768e-07,1.211135e-07,1.210743e-07,1.209577e-07,1.209525e-07,1.208129e-07,1.207709e-07,1.206570e-07,1.205562e-07,1.204861e-07,1.203167e-07,1.203015e-07,1.201042e-07,1.200552e-07,1.198956e-07,1.197741e-07,1.196765e-07,1.194759e-07,1.194480e-07,1.192111e-07,1.191627e-07,1.189665e-07,1.188366e-07,1.187152e-07,1.184994e-07,1.184578e-07,1.181952e-07,1.181527e-07,1.179279e-07,1.177982e-07,1.176567e-07,1.174373e-07,1.173822e-07,1.171048e-07,1.170713e-07,1.168251e-07,1.167014e-07,1.165436e-07,1.163287e-07,1.162607e-07,1.159769e-07,1.159542e-07,1.156926e-07,1.155788e-07,1.154081e-07,1.152033e-07,1.151237e-07,1.148399e-07,1.148286e-07,1.145569e-07,1.144552e-07,1.142748e-07,1.140838e-07,1.139941e-07,1.137150e-07,1.133492e-07,1.129869e-07,1.126286e-07,1.122744e-07,1.119249e-07,1.115801e-07,1.112405e-07,1.109061e-07,1.105772e-07,1.102539e-07,1.099364e-07,1.096247e-07,1.093189e-07,1.090191e-07,1.087253e-07,1.084376e-07,1.081560e-07,1.078804e-07,1.076110e-07,1.073475e-07,1.070901e-07,1.068386e-07,1.065930e-07,1.063533e-07
0.000000e+00,3.538859e-12,1.982813e-11,2.322365e-10,1.089513e-09,2.152621e-09,8.780819e-09,9.221320e-09,2.637938e-08,3.374639e-08,5.920562e-08,8.878378e-08,1.133655e-07,1.867843e-07,1.943804e-07,3.075704e-07,3.400958e-07,4.580387e-07,5.603946e-07,6.505962e-07,8.582872e-07,8.895296e-07,1.178151e-06,1.242024e-06,1.518195e-06,1.715323e-06,1.909347e-06,2.275696e-06,2.349190e-06,2.833655e-06,2.914981e-06,3.357697e-06,3.621709e-06,3.915911e-06,4.383472e-06,4.502931e-06,5.113631e-06,5.188275e-06,5.743188e-06,6.024988e-06,6.387072e-06,6.883396e-06,7.041058e-06,7.701212e-06,7.754180e-06,8.363893e-06,8.628915e-06,9.025762e-06,9.500092e-06,9.683790e-06,1.033526e-05,1.036115e-05,1.097778e-05,1.120648e-05,1.160925e-05,1.203141e-05,1.222787e-05,1.283215e-05,1.342083e-05,1.360574e-05,1.399291e-05,1.434996e-05,1.454761e-05,1.506323e-05,1.508435e-05,1.560273e-05,1.574455e-05,1.610250e-05,1.639337e-05,1.658353e-05,1.700953e-05,1.704583e-05,1.748949e-05,1.759321e-05,1.791469e-05,1.814483e-05,1.832169e-05,1.866503e-05,1.871079e-05,1.908234e-05,1.915457e-05,1.943673e-05,1.961437e-05,1.977439e-05,2.004541e-05,2.009575e-05,2.040128e-05,2.044873e-05,2.069144e-05,2.082540e-05,2.096672e-05,2.117654e-05,2.122758e-05,2.147452e-05,2.150324e-05,2.170801e-05,2.180661e-05,2.192852e-05,2.208773e-05,2.213653e-05,2.233249e-05,2.234766e-05,2.251686e-05,2.258746e-05,2.269007e-05,2.280812e-05,2.285256e-05,2.300474e-05,2.301062e-05,2.314703e-05,2.319591e-05,2.327983e-05,2.336490e-05,2.340352e-05,2.351848e-05,2.362507e-05,2.365748e-05,2.372365e-05,2.378270e-05,2.381456e-05,2.389492e-05,2.389813e-05,2.397468e-05,2.399490e-05,2.404451e-05,2.408332e-05,2.410793e-05,2.416086e-05,2.416523e-05,2.421667e-05,2.422817e-05,2.426253e-05,2.428587e-05,2.430306e-05,2.433453e-05,2.433852e-05,2.436915e-05,2.437471e-05,2.439516e-05,2.440695e-05,2.441680e-05,2.443173e-05,2.443426e-05,2.444775e-05,2.444955e-05,2.445747e-05,2.446085e-05,2.446361e-05,2.446607e-05,2.446636e-05,2.446587e-05,2.446561e-05,2.446234e-05,2.445985e-05,2.445591e-05,2.444918e-05,2.444673e-05,2.443497e-05,2.443392e-05,2.442076e-05,2.441442e-05,2.440423e-05,2.439098e-05,2.438553e-05,2.436476e-05,2.436389e-05,2.434207e-05,2.433344e-05,2.431755e-05,2.429989e-05,2.429132e-05,2.426349e-05,2.422446e-05,2.418304e-05,2.413942e-05,2.409382e-05,2.404641e-05,2.399736e-05,2.394685e-05,2.389502e-05,2.384203e-05,2.378801e-05,2.373308e-05,2.367738e-05,2.362100e-05,2.356407e-05,2.350667e-05,2.344891e-05,2.339086e-05,2.333262e-05,2.327424e-05,2.321582e-05,2.315741e-05,2.309907e-05,2.304086e-05,2.298284e-05
0.000000e+00,8.408658e-13,5.675778e-12,9.692428e-11,6.342031e-10,1.497491e-09,9.544014e-09,1.020212e-08,4.455483e-08,6.374960e-08,1.474160e-07,2.749777e-07,4.038473e-07,9.034535e-07,9.645377e-07,2.071642e-06,2.455466e-06,4.079298e-06,5.768899e-06,7.461838e-06,1.204085e-05,1.280798e-05,2.080363e-05,2.278648e-05,3.220723e-05,3.974944e-05,4.782143e-05,6.478970e-05,6.846389e-05,9.493906e-05,9.976826e-05,1.280122e-04,1.464403e-04,1.683864e-04,2.063631e-04,2.166828e-04,2.734245e-04,2.808218e-04,3.390240e-04,3.707740e-04,4.137745e-04,4.768133e-04,4.978443e-04,5.912749e-04,5.991520e-04,6.939823e-04,7.376207e-04,8.057609e-04,8.916828e-04,9.262903e-04,1.055144e-03,1.060464e-03,1.191798e-03,1.242789e-03,1.335648e-03,1.437233e-03,1.486016e-03,1.642165e-03,1.803317e-03,1.855810e-03,1.968660e-03,2.076296e-03,2.137363e-03,2.301705e-03,2.308592e-03,2.481514e-03,2.530123e-03,2.655311e-03,2.759679e-03,2.829192e-03,2.988580e-03,3.002394e-03,3.174192e-03,3.215139e-03,3.343908e-03,3.437801e-03,3.510907e-03,3.655156e-03,3.674608e-03,3.834482e-03,3.865955e-03,3.990053e-03,4.069108e-03,4.140901e-03,4.263693e-03,4.286658e-03,4.427010e-03,4.448947e-03,4.561695e-03,4.624265e-03,4.690497e-03,4.789192e-03,4.813252e-03,4.929836e-03,4.943408e-03,5.040169e-03,5.086723e-03,5.144207e-03,5.219061e-03,5.241944e-03,5.333403e-03,5.340450e-03,5.418640e-03,5.451009e-03,5.497733e-03,5.550933e-03,5.570786e-03,5.637922e-03,5.640487e-03,5.699283e-03,5.719988e-03,5.755023e-03,5.789801e-03,5.805311e-03,5.850326e-03,5.890255e-03,5.901990e-03,5.925292e-03,5.945238e-03,5.955632e-03,5.980529e-03,5.981479e-03,6.003032e-03,6.008326e-03,6.020496e-03,6.029096e-03,6.034072e-03,6.043300e-03,6.043960e-03,6.050356e-03,6.051393e-03,6.053455e-03,6.053820e-03,6.053445e-03,6.051012e-03,6.050512e-03,6.044835e-03,6.043386e-03,6.036588e-03,6.031340e-03,6.025940e-03,6.015258e-03,6.013052e-03,5.998081e-03,5.995502e-03,5.981177e-03,5.972418e-03,5.962483e-03,5.946331e-03,5.942136e-03,5.920268e-03,5.917547e-03,5.897003e-03,5.886355e-03,5.872460e-03,5.853021e-03,5.846751e-03,5.819983e-03,5.817799e-03,5.792258e-03,5.780921e-03,5.763670e-03,5.742603e-03,5.734310e-03,5.704262e-03,5.703047e-03,5.673607e-03,5.662437e-03,5.642420e-03,5.620944e-03,5.610770e-03,5.578725e-03,5.535924e-03,5.492672e-03,5.449090e-03,5.405286e-03,5.361361e-03,5.317404e-03,5.273497e-03,5.229713e-03,5.186118e-03,5.142772e-03,5.099728e-03,5.057031e-03,5.014725e-03,4.972845e-03,4.931424e-03,4.890489e-03,4.850066e-03,4.810174e-03,4.770832e-03,4.732054e-03,4.693852e-03,4.656236e-03,4.619214e-03,4.582791e-03
0.000000e+00,1.224700e-12,7.365949e-12,9.911134e-11,5.223418e-10,1.095513e-09,5.142757e-09,5.429436e-09,1.750116e-08,2.305286e-08,4.327644e-08,6.815080e-08,8.960178e-08,1.564787e-07,1.635800e-07,2.721339e-07,3.040629e-07,4.217344e-07,5.256408e-07,6.181961e-07,8.337597e-07,8.664104e-07,1.169908e-06,1.237421e-06,1.530264e-06,1.739923e-06,1.946566e-06,2.336971e-06,2.415267e-06,2.930538e-06,3.016824e-06,3.484989e-06,3.762656e-06,4.070459e-06,4.555609e-06,4.678688e-06,5.301753e-06,5.377162e-06,5.932321e-06,6.210414e-06,6.563767e-06,7.040606e-06,7.190208e-06,7.806505e-06,7.855233e-06,8.408245e-06,8.644010e-06,8.991713e-06,9.398763e-06,9.553866e-06,1.009229e-05,1.011330e-05,1.060515e-05,1.078326e-05,1.109117e-05,1.140590e-05,1.154953e-05,1.197986e-05,1.238214e-05,1.250498e-05,1.275666e-05,1.298204e-05,1.310398e-05,1.341251e-05,1.342485e-05,1.372018e-05,1.379844e-05,1.399100e-05,1.414219e-05,1.423843e-05,1.444641e-05,1.446363e-05,1.466780e-05,1.471380e-05,1.485214e-05,1.494715e-05,1.501784e-05,1.514917e-05,1.516608e-05,1.529799e-05,1.532251e-05,1.541468e-05,1.546969e-05,1.551720e-05,1.559310e-05,1.560656e-05,1.568371e-05,1.569498e-05,1.574956e-05,1.577740e-05,1.580495e-05,1.584228e-05,1.585069e-05,1.588751e-05,1.589137e-05,1.591613e-05,1.592629e-05,1.593719e-05,1.594851e-05,1.595129e-05,1.595902e-05,1.595938e-05,1.596089e-05,1.596010e-05,1.595738e-05,1.595179e-05,1.594896e-05,1.593604e-05,1.593544e-05,1.591902e-05,1.591196e-05,1.589826e-05,1.588217e-05,1.587409e-05,1.584682e-05,1.581674e-05,1.580657e-05,1.578412e-05,1.576203e-05,1.574921e-05,1.571374e-05,1.571222e-05,1.567338e-05,1.566220e-05,1.563287e-05,1.560785e-05,1.559089e-05,1.555110e-05,1.554759e-05,1.550312e-05,1.549230e-05,1.545764e-05,1.543178e-05,1.541128e-05,1.536984e-05,1.536414e-05,1.531636e-05,1.530674e-05,1.526803e-05,1.524272e-05,1.521925e-05,1.517799e-05,1.517011e-05,1.512068e-05,1.511275e-05,1.507105e-05,1.504718e-05,1.502128e-05,1.498142e-05,1.497145e-05,1.492159e-05,1.491561e-05,1.487178e-05,1.484989e-05,1.482206e-05,1.478437e-05,1.477248e-05,1.472308e-05,1.471914e-05,1.467390e-05,1.465429e-05,1.462497e-05,1.458991e-05,1.457632e-05,1.452799e-05,1.452607e-05,1.448001e-05,1.446282e-05,1.443239e-05,1.440023e-05,1.438516e-05,1.433834e-05,1.427719e-05,1.421683e-05,1.415728e-05,1.409858e-05,1.404074e-05,1.398379e-05,1.392773e-05,1.387260e-05,1.381839e-05,1.376512e-05,1.371278e-05,1.366139e-05,1.361095e-05,1.356144e-05,1.351289e-05,1.346527e-05,1.341858e-05,1.337283e-05,1.332800e-05,1.328409e-05,1.324108e-05,1.319897e-05,1.315775e-05,1.311741e-05
0.000000e+00,9.781313e-14,6.440270e-13,1.043574e-11,6.495731e-11,1.490644e-10,8.785384e-10,9.359847e-10,3.750400e-09,5.233210e-09,1.132148e-08,1.993069e-08,2.813223e-08,5.729462e-08,6.066394e-08,1.174557e-07,1.358220e-07,2.089861e-07,2.798865e-07,3.474004e-07,5.186153e-07,5.461084e-07,8.192698e-07,8.840996e-07,1.181176e-06,1.409035e-06,1.645535e-06,2.123847e-06,2.224671e-06,2.928712e-06,3.053476e-06,3.764839e-06,4.214317e-06,4.736714e-06,5.611966e-06,5.844161e-06,7.083123e-06,7.240306e-06,8.445887e-06,9.082008e-06,9.921517e-06,1.111021e-05,1.149645e-05,1.315514e-05,1.329096e-05,1.488077e-05,1.558585e-05,1.665585e-05,1.795469e-05,1.846288e-05,2.028478e-05,2.035774e-05,2.210539e-05,2.275756e-05,2.390971e-05,2.512036e-05,2.568419e-05,2.741685e-05,2.909736e-05,2.962265e-05,3.071706e-05,3.171844e-05,3.226892e-05,3.368977e-05,3.374745e-05,3.514861e-05,3.552667e-05,3.646970e-05,3.722324e-05,3.770919e-05,3.877701e-05,3.886659e-05,3.994233e-05,4.018848e-05,4.093760e-05,4.146045e-05,4.185421e-05,4.259762e-05,4.269452e-05,4.346125e-05,4.360604e-05,4.415748e-05,4.449273e-05,4.478646e-05,4.526533e-05,4.535161e-05,4.585642e-05,4.593183e-05,4.630442e-05,4.650031e-05,4.669910e-05,4.697876e-05,4.704389e-05,4.734215e-05,4.737498e-05,4.759714e-05,4.769642e-05,4.781195e-05,4.795018e-05,4.798957e-05,4.813283e-05,4.814289e-05,4.824441e-05,4.828074e-05,4.832684e-05,4.836948e-05,4.838250e-05,4.841363e-05,4.841440e-05,4.842231e-05,4.842032e-05,4.841049e-05,4.839167e-05,4.837998e-05,4.833245e-05,4.826949e-05,4.824632e-05,4.819254e-05,4.813656e-05,4.810293e-05,4.800616e-05,4.800191e-05,4.789063e-05,4.785777e-05,4.777013e-05,4.769383e-05,4.764141e-05,4.751648e-05,4.750535e-05,4.736278e-05,4.732768e-05,4.721446e-05,4.712916e-05,4.706110e-05,4.692249e-05,4.690335e-05,4.674178e-05,4.670906e-05,4.657695e-05,4.649012e-05,4.640936e-05,4.626678e-05,4.623946e-05,4.606768e-05,4.604005e-05,4.589440e-05,4.581079e-05,4.571996e-05,4.557981e-05,4.554470e-05,4.536892e-05,4.534780e-05,4.519287e-05,4.511539e-05,4.501681e-05,4.488314e-05,4.484096e-05,4.466554e-05,4.465153e-05,4.449071e-05,4.442099e-05,4.431667e-05,4.419192e-05,4.414355e-05,4.397150e-05,4.396464e-05,4.380065e-05,4.373946e-05,4.363111e-05,4.351663e-05,4.346299e-05,4.329637e-05,4.307889e-05,4.286434e-05,4.265288e-05,4.244462e-05,4.223967e-05,4.203811e-05,4.184002e-05,4.164543e-05,4.145441e-05,4.126697e-05,4.108315e-05,4.090294e-05,4.072635e-05,4.055338e-05,4.038401e-05,4.021823e-05,4.005601e-05,3.989732e-05,3.974214e-05,3.959042e-05,3.944213e-05,3.929722e-05,3.915566e-05,3.901739e-05
0.000000e+00,3.459027e-12,2.066304e-11,2.739067e-10,1.422978e-09,2.960357e-09,1.360580e-08,1.435193e-08,4.533011e-08,5.939951e-08,1.101691e-07,1.720450e-07,2.251589e-07,3.903380e-07,4.078808e-07,6.768511e-07,7.563032e-07,1.050253e-06,1.310620e-06,1.542404e-06,2.078289e-06,2.158686e-06,2.892244e-06,3.051591e-06,3.725002e-06,4.189127e-06,4.632181e-06,5.432505e-06,5.587587e-06,6.567497e-06,6.725194e-06,7.552483e-06,8.022538e-06,8.527610e-06,9.293025e-06,9.481738e-06,1.040655e-05,1.051524e-05,1.129568e-05,1.167425e-05,1.214406e-05,1.275903e-05,1.294761e-05,1.370298e-05,1.376125e-05,1.440755e-05,1.467469e-05,1.505936e-05,1.549529e-05,1.565720e-05,1.620060e-05,1.622120e-05,1.668978e-05,1.685278e-05,1.712568e-05,1.739240e-05,1.750980e-05,1.784417e-05,1.813123e-05,1.821354e-05,1.837373e-05,1.850691e-05,1.857464e-05,1.873124e-05,1.873704e-05,1.886406e-05,1.889372e-05,1.895883e-05,1.900146e-05,1.902435e-05,1.906132e-05,1.906355e-05,1.907919e-05,1.907973e-05,1.907384e-05,1.906258e-05,1.904990e-05,1.901521e-05,1.900957e-05,1.895487e-05,1.894236e-05,1.888761e-05,1.884823e-05,1.880944e-05,1.873643e-05,1.872184e-05,1.862611e-05,1.861012e-05,1.852344e-05,1.847200e-05,1.841486e-05,1.832436e-05,1.830128e-05,1.818354e-05,1.816916e-05,1.806233e-05,1.800807e-05,1.793829e-05,1.784247e-05,1.781198e-05,1.768387e-05,1.767356e-05,1.755440e-05,1.750232e-05,1.742395e-05,1.732960e-05,1.729283e-05,1.716135e-05,1.715609e-05,1.702976e-05,1.698240e-05,1.689827e-05,1.680902e-05,1.676709e-05,1.663639e-05,1.650631e-05,1.646484e-05,1.637700e-05,1.629469e-05,1.624856e-05,1.612618e-05,1.612110e-05,1.599472e-05,1.595953e-05,1.586948e-05,1.579491e-05,1.574545e-05,1.563247e-05,1.562270e-05,1.550128e-05,1.547234e-05,1.538122e-05,1.531461e-05,1.526258e-05,1.515936e-05,1.514537e-05,1.502963e-05,1.500666e-05,1.491538e-05,1.485656e-05,1.480263e-05,1.470910e-05,1.469140e-05,1.458170e-05,1.456430e-05,1.447354e-05,1.442217e-05,1.436693e-05,1.428274e-05,1.426185e-05,1.415832e-05,1.414600e-05,1.405633e-05,1.401194e-05,1.395588e-05,1.388056e-05,1.385696e-05,1.375957e-05,1.375184e-05,1.366369e-05,1.362576e-05,1.356931e-05,1.350229e-05,1.347643e-05,1.338503e-05,1.338141e-05,1.329510e-05,1.326309e-05,1.320663e-05,1.314729e-05,1.311959e-05,1.303398e-05,1.292313e-05,1.281470e-05,1.270864e-05,1.260492e-05,1.250350e-05,1.240433e-05,1.230738e-05,1.221260e-05,1.211995e-05,1.202938e-05,1.194085e-05,1.185433e-05,1.176976e-05,1.168711e-05,1.160633e-05,1.152738e-05,1.145023e-05,1.137483e-05,1.130114e-05,1.122912e-05,1.115874e-05,1.108995e-05,1.102271e-05,1.095700e-05
0.000000e+00,6.712938e-12,1.539234e-11,5.288528e-11,1.200019e-10,1.747594e-10,3.944266e-10,4.062056e-10,7.807107e-10,9.159090e-10,1.333205e-09,1.765538e-09,2.100879e-09,3.029632e-09,3.121396e-09,4.425943e-09,4.783211e-09,6.026280e-09,7.045953e-09,7.903688e-09,9.749485e-09,1.001304e-08,1.229966e-08,1.277368e-08,1.471316e-08,1.600413e-08,1.721181e-08,1.935151e-08,1.976173e-08,2.233489e-08,2.274711e-08,2.490748e-08,2.613598e-08,2.745897e-08,2.947302e-08,2.997170e-08,3.243051e-08,3.272131e-08,3.482268e-08,3.585136e-08,3.713778e-08,3.884054e-08,3.936752e-08,4.150557e-08,4.167250e-08,4.354740e-08,4.433649e-08,4.549008e-08,4.682648e-08,4.733202e-08,4.907284e-08,4.914037e-08,5.071310e-08,5.127922e-08,5.225419e-08,5.324650e-08,5.369815e-08,5.504749e-08,5.630513e-08,5.668872e-08,5.747424e-08,5.817757e-08,5.855821e-08,5.952196e-08,5.956052e-08,6.048474e-08,6.073001e-08,6.133442e-08,6.180993e-08,6.211311e-08,6.276983e-08,6.282432e-08,6.347147e-08,6.361762e-08,6.405788e-08,6.436096e-08,6.458680e-08,6.500717e-08,6.506134e-08,6.548451e-08,6.556323e-08,6.585919e-08,6.603578e-08,6.618815e-08,6.643108e-08,6.647403e-08,6.671937e-08,6.675502e-08,6.692656e-08,6.701315e-08,6.709792e-08,6.721066e-08,6.723561e-08,6.734171e-08,6.735242e-08,6.741821e-08,6.744297e-08,6.746696e-08,6.748655e-08,6.748974e-08,6.748824e-08,6.748712e-08,6.746405e-08,6.744836e-08,6.741868e-08,6.737370e-08,6.735355e-08,6.727003e-08,6.726632e-08,6.716938e-08,6.712919e-08,6.705282e-08,6.696506e-08,6.692149e-08,6.677647e-08,6.661877e-08,6.656579e-08,6.644936e-08,6.633521e-08,6.626915e-08,6.608677e-08,6.607898e-08,6.587968e-08,6.582234e-08,6.567200e-08,6.554367e-08,6.545665e-08,6.525235e-08,6.523432e-08,6.500564e-08,6.494988e-08,6.477120e-08,6.463762e-08,6.453158e-08,6.431685e-08,6.428730e-08,6.403887e-08,6.398872e-08,6.378674e-08,6.365433e-08,6.353137e-08,6.331465e-08,6.327316e-08,6.301251e-08,6.297060e-08,6.274978e-08,6.262303e-08,6.248530e-08,6.227269e-08,6.221941e-08,6.195240e-08,6.192030e-08,6.168456e-08,6.156651e-08,6.141614e-08,6.121191e-08,6.114740e-08,6.087856e-08,6.085705e-08,6.060984e-08,6.050243e-08,6.034143e-08,6.014849e-08,6.007354e-08,5.980632e-08,5.979565e-08,5.953995e-08,5.944430e-08,5.927458e-08,5.909476e-08,5.901033e-08,5.874735e-08,5.840236e-08,5.806002e-08,5.772058e-08,5.738424e-08,5.705117e-08,5.672154e-08,5.639549e-08,5.607315e-08,5.575463e-08,5.544003e-08,5.512942e-08,5.482289e-08,5.452048e-08,5.422224e-08,5.392822e-08,5.363844e-08,5.335292e-08,5.307168e-08,5.279473e-08,5.252205e-08,5.225366e-08,5.198953e-08,5.172965e-08,5.147401e-08
0.000000e+00,7.038258e-12,4.803284e-11,8.388165e-10,5.596837e-09,1.335053e-08,8.712877e-08,9.321747e-08,4.145413e-07,5.953680e-07,1.386269e-06,2.592786e-06,3.809181e-06,8.497282e-06,9.067896e-06,1.935081e-05,2.289995e-05,3.788967e-05,5.350345e-05,6.920761e-05,1.121058e-04,1.193592e-04,1.961395e-04,2.155091e-04,3.092368e-04,3.861912e-04,4.703095e-04,6.525949e-04,6.929783e-04,9.927315e-04,1.048972e-03,1.386751e-03,1.614788e-03,1.893671e-03,2.393764e-03,2.533281e-03,3.326187e-03,3.432635e-03,4.293447e-03,4.779727e-03,5.456186e-03,6.483431e-03,6.835215e-03,8.450657e-03,8.590685e-03,1.032158e-02,1.114550e-02,1.246568e-02,1.418765e-02,1.489897e-02,1.763552e-02,1.775147e-02,2.068726e-02,2.186496e-02,2.406376e-02,2.654904e-02,2.777218e-02,3.181711e-02,3.620058e-02,3.767478e-02,4.092206e-02,4.411989e-02,4.597851e-02,5.114275e-02,5.136442e-02,5.707198e-02,5.872643e-02,6.309120e-02,6.684739e-02,6.941003e-02,7.547608e-02,7.601461e-02,8.288939e-02,8.457769e-02,9.001741e-02,9.411296e-02,9.738043e-02,1.040390e-01,1.049592e-01,1.127336e-01,1.143101e-01,1.206829e-01,1.248786e-01,1.287860e-01,1.356957e-01,1.370214e-01,1.453678e-01,1.467120e-01,1.538036e-01,1.578784e-01,1.623079e-01,1.691467e-01,1.708599e-01,1.794393e-01,1.804697e-01,1.880264e-01,1.918024e-01,1.966025e-01,2.031017e-01,2.051494e-01,2.136497e-01,2.143272e-01,2.220872e-01,2.254412e-01,2.304465e-01,2.364086e-01,2.387131e-01,2.468737e-01,2.471978e-01,2.549159e-01,2.577799e-01,2.628283e-01,2.681293e-01,2.706006e-01,2.782235e-01,2.856886e-01,2.880429e-01,2.929885e-01,2.975708e-01,3.001168e-01,3.067933e-01,3.070679e-01,3.138371e-01,3.156994e-01,3.204206e-01,3.242802e-01,3.268152e-01,3.325295e-01,3.330187e-01,3.390293e-01,3.404430e-01,3.448461e-01,3.480186e-01,3.504687e-01,3.552560e-01,3.558972e-01,3.611324e-01,3.621564e-01,3.661756e-01,3.687226e-01,3.710282e-01,3.749587e-01,3.756924e-01,3.801705e-01,3.808699e-01,3.844653e-01,3.864625e-01,3.885797e-01,3.917436e-01,3.925171e-01,3.962809e-01,3.967211e-01,3.998749e-01,4.014033e-01,4.033027e-01,4.057993e-01,4.065686e-01,4.096765e-01,4.099184e-01,4.126306e-01,4.137702e-01,4.154353e-01,4.173645e-01,4.180948e-01,4.206134e-01,4.207113e-01,4.229956e-01,4.238206e-01,4.252457e-01,4.267025e-01,4.273680e-01,4.293669e-01,4.318237e-01,4.340826e-01,4.361530e-01,4.380445e-01,4.397660e-01,4.413263e-01,4.427341e-01,4.439977e-01,4.451249e-01,4.461236e-01,4.470011e-01,4.477645e-01,4.484207e-01,4.489761e-01,4.494369e-01,4.498090e-01,4.500982e-01,4.503096e-01,4.504484e-01,4.505195e-01,4.505274e-01,4.504765e-01,4.503709e-01,4.502145e-01
0.000000e+00,3.481062e-13,2.318313e-12,3.845429e-11,2.445897e-10,5.680944e-10,3.456671e-09,3.687571e-09,1.527104e-08,2.150610e-08,4.764220e-08,8.554776e-08,1.223595e-07,2.569380e-07,2.727750e-07,5.461390e-07,6.366617e-07,1.005076e-06,1.371794e-06,1.728206e-06,2.657431e-06,2.809548e-06,4.356230e-06,4.731516e-06,6.484128e-06,7.859711e-06,9.311525e-06,1.231016e-05,1.295149e-05,1.750408e-05,1.832288e-05,2.304944e-05,2.608104e-05,2.964252e-05,3.569021e-05,3.730993e-05,4.604883e-05,4.716829e-05,5.582769e-05,6.044579e-05,6.658853e-05,7.537440e-05,7.825032e-05,9.071299e-05,9.174125e-05,1.038619e-04,1.092859e-04,1.175723e-04,1.277183e-04,1.317137e-04,1.461535e-04,1.467354e-04,1.607610e-04,1.660363e-04,1.754101e-04,1.853342e-04,1.899817e-04,2.043657e-04,2.184623e-04,2.228978e-04,2.321830e-04,2.407310e-04,2.454509e-04,2.577016e-04,2.582010e-04,2.703798e-04,2.736815e-04,2.819452e-04,2.885763e-04,2.928653e-04,3.023228e-04,3.031182e-04,3.126907e-04,3.148862e-04,3.215779e-04,3.262557e-04,3.297814e-04,3.364413e-04,3.373094e-04,3.441749e-04,3.454700e-04,3.503953e-04,3.533819e-04,3.559917e-04,3.602277e-04,3.609877e-04,3.654093e-04,3.660652e-04,3.692838e-04,3.709575e-04,3.726395e-04,3.749700e-04,3.755054e-04,3.779105e-04,3.781695e-04,3.798837e-04,3.806224e-04,3.814533e-04,3.823934e-04,3.826471e-04,3.834920e-04,3.835453e-04,3.840138e-04,3.841377e-04,3.842373e-04,3.842269e-04,3.841863e-04,3.838830e-04,3.838660e-04,3.833488e-04,3.831038e-04,3.826035e-04,3.819858e-04,3.816660e-04,3.805538e-04,3.792833e-04,3.788459e-04,3.778699e-04,3.768969e-04,3.763278e-04,3.747386e-04,3.746702e-04,3.729094e-04,3.723994e-04,3.710567e-04,3.699054e-04,3.691226e-04,3.672795e-04,3.671166e-04,3.650478e-04,3.645428e-04,3.629242e-04,3.617139e-04,3.607534e-04,3.588096e-04,3.585423e-04,3.562972e-04,3.558446e-04,3.540239e-04,3.528324e-04,3.517277e-04,3.497847e-04,3.494134e-04,3.470854e-04,3.467120e-04,3.447479e-04,3.436235e-04,3.424044e-04,3.405276e-04,3.400583e-04,3.377127e-04,3.374314e-04,3.353704e-04,3.343415e-04,3.330339e-04,3.312633e-04,3.307053e-04,3.283870e-04,3.282020e-04,3.260805e-04,3.251617e-04,3.237878e-04,3.221463e-04,3.215101e-04,3.192490e-04,3.191589e-04,3.170056e-04,3.162025e-04,3.147809e-04,3.132794e-04,3.125761e-04,3.103918e-04,3.075413e-04,3.047295e-04,3.019577e-04,2.992267e-04,2.965375e-04,2.938907e-04,2.912866e-04,2.887258e-04,2.862083e-04,2.837343e-04,2.813038e-04,2.789166e-04,2.765726e-04,2.742716e-04,2.720133e-04,2.697972e-04,2.676231e-04,2.654904e-04,2.633988e-04,2.613476e-04,2.593364e-04,2.573645e-04,2.554315e-04,2.535367e-04
0.000000e+00,9.105979e-14,6.039179e-13,9.931161e-12,6.267726e-11,1.449647e-10,8.728152e-10,9.307318e-10,3.817376e-09,5.362935e-09,1.181356e-08,2.112815e-08,3.015065e-08,6.305463e-08,6.692270e-08,1.336682e-07,1.557765e-07,2.458345e-07,3.356146e-07,4.229860e-07,6.511398e-07,6.885202e-07,1.068667e-06,1.160858e-06,1.590742e-06,1.927112e-06,2.280920e-06,3.007363e-06,3.161941e-06,4.251153e-06,4.445558e-06,5.559162e-06,6.265951e-06,7.089169e-06,8.470411e-06,8.836947e-06,1.079137e-05,1.103903e-05,1.293531e-05,1.393316e-05,1.524677e-05,1.709987e-05,1.770016e-05,2.026751e-05,2.047695e-05,2.291967e-05,2.399770e-05,2.562735e-05,2.759519e-05,2.836202e-05,3.109664e-05,3.120566e-05,3.380620e-05,3.477109e-05,3.646816e-05,3.824086e-05,3.906267e-05,4.157270e-05,4.398409e-05,4.473297e-05,4.628546e-05,4.769647e-05,4.846809e-05,5.044586e-05,5.052571e-05,5.245433e-05,5.297092e-05,5.425197e-05,5.526752e-05,5.591839e-05,5.733669e-05,5.745489e-05,5.886402e-05,5.918364e-05,6.014940e-05,6.081679e-05,6.131548e-05,6.224696e-05,6.236733e-05,6.331049e-05,6.348660e-05,6.415084e-05,6.454918e-05,6.489440e-05,6.544867e-05,6.554730e-05,6.611561e-05,6.619909e-05,6.660534e-05,6.681421e-05,6.702230e-05,6.730726e-05,6.737212e-05,6.766018e-05,6.769084e-05,6.789159e-05,6.797671e-05,6.807116e-05,6.817578e-05,6.820344e-05,6.829266e-05,6.829806e-05,6.834277e-05,6.835270e-05,6.835745e-05,6.834798e-05,6.834007e-05,6.829377e-05,6.829136e-05,6.822141e-05,6.818950e-05,6.812564e-05,6.804838e-05,6.800887e-05,6.787329e-05,6.772094e-05,6.766894e-05,6.755363e-05,6.743949e-05,6.737305e-05,6.718860e-05,6.718070e-05,6.697798e-05,6.691953e-05,6.676612e-05,6.663511e-05,6.654629e-05,6.633787e-05,6.631950e-05,6.608669e-05,6.603002e-05,6.584872e-05,6.571349e-05,6.560636e-05,6.539000e-05,6.536030e-05,6.511118e-05,6.506104e-05,6.485957e-05,6.472793e-05,6.460600e-05,6.439183e-05,6.435094e-05,6.409481e-05,6.405376e-05,6.383802e-05,6.371462e-05,6.358090e-05,6.337519e-05,6.332378e-05,6.306696e-05,6.303617e-05,6.281069e-05,6.269818e-05,6.255522e-05,6.236174e-05,6.230077e-05,6.204753e-05,6.202733e-05,6.179569e-05,6.169537e-05,6.154539e-05,6.136622e-05,6.129680e-05,6.105003e-05,6.104020e-05,6.080522e-05,6.071759e-05,6.056247e-05,6.039863e-05,6.032188e-05,6.008352e-05,5.977246e-05,5.946560e-05,5.916306e-05,5.886497e-05,5.857141e-05,5.828247e-05,5.799820e-05,5.771865e-05,5.744387e-05,5.717386e-05,5.690866e-05,5.664826e-05,5.639266e-05,5.614185e-05,5.589582e-05,5.565453e-05,5.541796e-05,5.518607e-05,5.495883e-05,5.473620e-05,5.451813e-05,5.430458e-05,5.409548e-05,5.389079e-05
0.000000e+00,1.142890e-11,6.320849e-11,7.224647e-10,3.324847e-09,6.508253e-09,2.602240e-08,2.730895e-08,7.703772e-08,9.827068e-08,1.714685e-07,2.564462e-07,3.271477e-07,5.391089e-07,5.611165e-07,8.907761e-07,9.860492e-07,1.333064e-06,1.635461e-06,1.902254e-06,2.515178e-06,2.607027e-06,3.449014e-06,3.633580e-06,4.423964e-06,4.981005e-06,5.524186e-06,6.538531e-06,6.740566e-06,8.063545e-06,8.284464e-06,9.483358e-06,1.019634e-05,1.099003e-05,1.225106e-05,1.257336e-05,1.422293e-05,1.442484e-05,1.592831e-05,1.669369e-05,1.767916e-05,1.903403e-05,1.946545e-05,2.127762e-05,2.142344e-05,2.310670e-05,2.384120e-05,2.494444e-05,2.626871e-05,2.678330e-05,2.861653e-05,2.868966e-05,3.043816e-05,3.109008e-05,3.224297e-05,3.345829e-05,3.402642e-05,3.578467e-05,3.751444e-05,3.806150e-05,3.921303e-05,4.028272e-05,4.087821e-05,4.244367e-05,4.250817e-05,4.410149e-05,4.454090e-05,4.565707e-05,4.657196e-05,4.717410e-05,4.853521e-05,4.865199e-05,5.009041e-05,5.042973e-05,5.148915e-05,5.225511e-05,5.284820e-05,5.401142e-05,5.416767e-05,5.544777e-05,5.569908e-05,5.668879e-05,5.731880e-05,5.789112e-05,5.887150e-05,5.905520e-05,6.018154e-05,6.035828e-05,6.127067e-05,6.178041e-05,6.232318e-05,6.313924e-05,6.333969e-05,6.432083e-05,6.443622e-05,6.526725e-05,6.567286e-05,6.617965e-05,6.685073e-05,6.705869e-05,6.790509e-05,6.797141e-05,6.871953e-05,6.903652e-05,6.950274e-05,7.004770e-05,7.025541e-05,7.097825e-05,7.100656e-05,7.167199e-05,7.191474e-05,7.233730e-05,7.277385e-05,7.297491e-05,7.358549e-05,7.416975e-05,7.435126e-05,7.472836e-05,7.507272e-05,7.526200e-05,7.575142e-05,7.577133e-05,7.625702e-05,7.638886e-05,7.671970e-05,7.698654e-05,7.716003e-05,7.754592e-05,7.757862e-05,7.797610e-05,7.806842e-05,7.835307e-05,7.855544e-05,7.871014e-05,7.900835e-05,7.904788e-05,7.936688e-05,7.942848e-05,7.966770e-05,7.981712e-05,7.995089e-05,8.017554e-05,8.021699e-05,8.046654e-05,8.050496e-05,8.070005e-05,8.080659e-05,8.091803e-05,8.108158e-05,8.112099e-05,8.130940e-05,8.133106e-05,8.148375e-05,8.155613e-05,8.164450e-05,8.175785e-05,8.179209e-05,8.192698e-05,8.193724e-05,8.204960e-05,8.209531e-05,8.216037e-05,8.223302e-05,8.225970e-05,8.234799e-05,8.235130e-05,8.242563e-05,8.245105e-05,8.249301e-05,8.253316e-05,8.255050e-05,8.259845e-05,8.264776e-05,8.268186e-05,8.270151e-05,8.270744e-05,8.270036e-05,8.268095e-05,8.264987e-05,8.260774e-05,8.255517e-05,8.249274e-05,8.242103e-05,8.234056e-05,8.225186e-05,8.215542e-05,8.205172e-05,8.194123e-05,8.182437e-05,8.170159e-05,8.157327e-05,8.143982e-05,8.130159e-05,8.115895e-05,8.101224e-05,8.086179e-05
0.000000e+00,6.308755e-14,4.225598e-13,7.093218e-12,4.561230e-11,1.065787e-10,6.585767e-10,7.030065e-10,2.955371e-09,4.178732e-09,9.348951e-09,1.691776e-08,2.431675e-08,5.160299e-08,5.483122e-08,1.109082e-07,1.295875e-07,2.059876e-07,2.824891e-07,3.571711e-07,5.530842e-07,5.852997e-07,9.148430e-07,9.953120e-07,1.373557e-06,1.673153e-06,1.991865e-06,2.658102e-06,2.801959e-06,3.836667e-06,4.025235e-06,5.128166e-06,5.848283e-06,6.706692e-06,8.194503e-06,8.599323e-06,1.082893e-05,1.112003e-05,1.341336e-05,1.466629e-05,1.636485e-05,1.885755e-05,1.968966e-05,2.338799e-05,2.369986e-05,2.745406e-05,2.918105e-05,3.187635e-05,3.527170e-05,3.663800e-05,4.171734e-05,4.192676e-05,4.708841e-05,4.908783e-05,5.272169e-05,5.668560e-05,5.858467e-05,6.464263e-05,7.085926e-05,7.287603e-05,7.719733e-05,8.130010e-05,8.361933e-05,8.982886e-05,9.008804e-05,9.656707e-05,9.837823e-05,1.030213e-04,1.068680e-04,1.094174e-04,1.152234e-04,1.157239e-04,1.219119e-04,1.233764e-04,1.279549e-04,1.312666e-04,1.338290e-04,1.388418e-04,1.395132e-04,1.449895e-04,1.460583e-04,1.502423e-04,1.528811e-04,1.552591e-04,1.592834e-04,1.600299e-04,1.645473e-04,1.652462e-04,1.688064e-04,1.707581e-04,1.728044e-04,1.758143e-04,1.765406e-04,1.800162e-04,1.804159e-04,1.832340e-04,1.845692e-04,1.861984e-04,1.882852e-04,1.889149e-04,1.913904e-04,1.915782e-04,1.936324e-04,1.944657e-04,1.956494e-04,1.969673e-04,1.974503e-04,1.990446e-04,1.991042e-04,2.004420e-04,2.008989e-04,2.016526e-04,2.023742e-04,2.026863e-04,2.035533e-04,2.042634e-04,2.044591e-04,2.048265e-04,2.051141e-04,2.052521e-04,2.055401e-04,2.055497e-04,2.057282e-04,2.057580e-04,2.057963e-04,2.057876e-04,2.057623e-04,2.056478e-04,2.056342e-04,2.054196e-04,2.053560e-04,2.051256e-04,2.049288e-04,2.047590e-04,2.043813e-04,2.043261e-04,2.038330e-04,2.037277e-04,2.032854e-04,2.029808e-04,2.026884e-04,2.021524e-04,2.020470e-04,2.013658e-04,2.012534e-04,2.006489e-04,2.002934e-04,1.999005e-04,1.992814e-04,1.991240e-04,1.983229e-04,1.982253e-04,1.975003e-04,1.971323e-04,1.966591e-04,1.960089e-04,1.958019e-04,1.949311e-04,1.948609e-04,1.940491e-04,1.936935e-04,1.931577e-04,1.925113e-04,1.922590e-04,1.913546e-04,1.913184e-04,1.904462e-04,1.901184e-04,1.895351e-04,1.889147e-04,1.886226e-04,1.877100e-04,1.865069e-04,1.853077e-04,1.841143e-04,1.829283e-04,1.817514e-04,1.805849e-04,1.794298e-04,1.782871e-04,1.771578e-04,1.760424e-04,1.749418e-04,1.738562e-04,1.727863e-04,1.717324e-04,1.706946e-04,1.696734e-04,1.686687e-04,1.676808e-04,1.667098e-04,1.657556e-04,1.648183e-04,1.638978e-04,1.629942e-04,1.621072e-04
0.000000e+00,2.143429e-12,1.306267e-11,1.806188e-10,9.759501e-10,2.075354e-09,1.010475e-08,1.068425e-08,3.578506e-08,4.765490e-08,9.207143e-08,1.486432e-07,1.988036e-07,3.617618e-07,3.795772e-07,6.621200e-07,7.484585e-07,1.077150e-06,1.378920e-06,1.655024e-06,2.318041e-06,2.420356e-06,3.387097e-06,3.604953e-06,4.556703e-06,5.242279e-06,5.919739e-06,7.201979e-06,7.459355e-06,9.154861e-06,9.439149e-06,1.098442e-05,1.190390e-05,1.292662e-05,1.454781e-05,1.496118e-05,1.706924e-05,1.732630e-05,1.923328e-05,2.019898e-05,2.143712e-05,2.312943e-05,2.366583e-05,2.590574e-05,2.608504e-05,2.814444e-05,2.903704e-05,3.037078e-05,3.196050e-05,3.257490e-05,3.474821e-05,3.483439e-05,3.688334e-05,3.764142e-05,3.897410e-05,4.036782e-05,4.101537e-05,4.300306e-05,4.493395e-05,4.553944e-05,4.680567e-05,4.797170e-05,4.861651e-05,5.029663e-05,5.036539e-05,5.205175e-05,5.251270e-05,5.367545e-05,5.461969e-05,5.523675e-05,5.661849e-05,5.673619e-05,5.817456e-05,5.851079e-05,5.955286e-05,6.029889e-05,6.087224e-05,6.198556e-05,6.213397e-05,6.333943e-05,6.357390e-05,6.449007e-05,6.506722e-05,6.558737e-05,6.646900e-05,6.663286e-05,6.762809e-05,6.778276e-05,6.857461e-05,6.901209e-05,6.947397e-05,7.016054e-05,7.032772e-05,7.113738e-05,7.123164e-05,7.190445e-05,7.222886e-05,7.263043e-05,7.315559e-05,7.331677e-05,7.396489e-05,7.401513e-05,7.457619e-05,7.481071e-05,7.515203e-05,7.554542e-05,7.569373e-05,7.620259e-05,7.622228e-05,7.667986e-05,7.684418e-05,7.712677e-05,7.741393e-05,7.754450e-05,7.793421e-05,7.829701e-05,7.840760e-05,7.863398e-05,7.883657e-05,7.894617e-05,7.922350e-05,7.923459e-05,7.950023e-05,7.957066e-05,7.974404e-05,7.988023e-05,7.996693e-05,8.015428e-05,8.016980e-05,8.035348e-05,8.039481e-05,8.051883e-05,8.060370e-05,8.066662e-05,8.078277e-05,8.079763e-05,8.091261e-05,8.093375e-05,8.101227e-05,8.105827e-05,8.109730e-05,8.115791e-05,8.116837e-05,8.122612e-05,8.123416e-05,8.127116e-05,8.128844e-05,8.130409e-05,8.132211e-05,8.132549e-05,8.133590e-05,8.133644e-05,8.133586e-05,8.133267e-05,8.132588e-05,8.131195e-05,8.130645e-05,8.127803e-05,8.127539e-05,8.124110e-05,8.122403e-05,8.119607e-05,8.115888e-05,8.114338e-05,8.108342e-05,8.108088e-05,8.101659e-05,8.099092e-05,8.094325e-05,8.088985e-05,8.086376e-05,8.077847e-05,8.065756e-05,8.052783e-05,8.038997e-05,8.024463e-05,8.009242e-05,7.993391e-05,7.976966e-05,7.960019e-05,7.942598e-05,7.924750e-05,7.906519e-05,7.887945e-05,7.869067e-05,7.849923e-05,7.830546e-05,7.810968e-05,7.791222e-05,7.771335e-05,7.751334e-05,7.731244e-05,7.711090e-05,7.690894e-05,7.670677e-05,7.650458e-05
0.000000e+00,4.212971e-13,2.863391e-12,4.959172e-11,3.283560e-10,7.798887e-10,5.032174e-09,5.381296e-09,2.365268e-08,3.386014e-08,7.819014e-08,1.452443e-07,2.124202e-07,4.689821e-07,5.000286e-07,1.055283e-06,1.245533e-06,2.043711e-06,2.868308e-06,3.692485e-06,5.924433e-06,6.299560e-06,1.024031e-05,1.122718e-05,1.597028e-05,1.983118e-05,2.402316e-05,3.302337e-05,3.500379e-05,4.957677e-05,5.228874e-05,6.845153e-05,7.925523e-05,9.236496e-05,1.156249e-04,1.220628e-04,1.582807e-04,1.630990e-04,2.017257e-04,2.233034e-04,2.530588e-04,2.977191e-04,3.128796e-04,3.817127e-04,3.876225e-04,4.599970e-04,4.940374e-04,5.480764e-04,6.176997e-04,6.461947e-04,7.544918e-04,7.590363e-04,8.730028e-04,9.181570e-04,1.001659e-03,1.094858e-03,1.140292e-03,1.288636e-03,1.446339e-03,1.498712e-03,1.612966e-03,1.724058e-03,1.788008e-03,1.963437e-03,1.970895e-03,2.161000e-03,2.215433e-03,2.357652e-03,2.478494e-03,2.560145e-03,2.750969e-03,2.767748e-03,2.979710e-03,3.031146e-03,3.195275e-03,3.317282e-03,3.413684e-03,3.607641e-03,3.634187e-03,3.856045e-03,3.900515e-03,4.078538e-03,4.194255e-03,4.300973e-03,4.487284e-03,4.522682e-03,4.743031e-03,4.778120e-03,4.961419e-03,5.065383e-03,5.177285e-03,5.347808e-03,5.390105e-03,5.599395e-03,5.624251e-03,5.804713e-03,5.893690e-03,6.005658e-03,6.155226e-03,6.201867e-03,6.393021e-03,6.408086e-03,6.578837e-03,6.651613e-03,6.759072e-03,6.885268e-03,6.933519e-03,7.102005e-03,7.108619e-03,7.264394e-03,7.321339e-03,7.420576e-03,7.523195e-03,7.570476e-03,7.714045e-03,7.851258e-03,7.893824e-03,7.982117e-03,8.062542e-03,8.106645e-03,8.220274e-03,8.224884e-03,8.336894e-03,8.367152e-03,8.442755e-03,8.503357e-03,8.542557e-03,8.629115e-03,8.636407e-03,8.724421e-03,8.744690e-03,8.806726e-03,8.850374e-03,8.883458e-03,8.946486e-03,8.954760e-03,9.020782e-03,9.033366e-03,9.081677e-03,9.111369e-03,9.137603e-03,9.180860e-03,9.188722e-03,9.235197e-03,9.242213e-03,9.277192e-03,9.295807e-03,9.314872e-03,9.342020e-03,9.348402e-03,9.377946e-03,9.381231e-03,9.403666e-03,9.413813e-03,9.425722e-03,9.440134e-03,9.444276e-03,9.459480e-03,9.460556e-03,9.471488e-03,9.475430e-03,9.480451e-03,9.485101e-03,9.486515e-03,9.489822e-03,9.489899e-03,9.490512e-03,9.490147e-03,9.488721e-03,9.486153e-03,9.484580e-03,9.478217e-03,9.466622e-03,9.451641e-03,9.433534e-03,9.412548e-03,9.388918e-03,9.362866e-03,9.334605e-03,9.304332e-03,9.272237e-03,9.238498e-03,9.203280e-03,9.166741e-03,9.129028e-03,9.090279e-03,9.050623e-03,9.010180e-03,8.969064e-03,8.927378e-03,8.885222e-03,8.842685e-03,8.799853e-03,8.756802e-03,8.713607e-03,8.670333e-03
0.000000e+00,6.070519e-11,1.512502e-10,5.673958e-10,1.341877e-09,1.984771e-09,4.604096e-09,4.745596e-09,9.270075e-09,1.091064e-08,1.598431e-08,2.124707e-08,2.532957e-08,3.662935e-08,3.774505e-08,5.359083e-08,5.792580e-08,7.299722e-08,8.535394e-08,9.575212e-08,1.181769e-07,1.213876e-07,1.493779e-07,1.552159e-07,1.792537e-07,1.953995e-07,2.106160e-07,2.378530e-07,2.431161e-07,2.764370e-07,2.818246e-07,3.102845e-07,3.266370e-07,3.443843e-07,3.716748e-07,3.784831e-07,4.123512e-07,4.163899e-07,4.457839e-07,4.603095e-07,4.786029e-07,5.030408e-07,5.106569e-07,5.418207e-07,5.442722e-07,5.719945e-07,5.837689e-07,6.011013e-07,6.213654e-07,6.290852e-07,6.559087e-07,6.569571e-07,6.815501e-07,6.904898e-07,7.060017e-07,7.219504e-07,7.292668e-07,7.513584e-07,7.722969e-07,7.787578e-07,7.921084e-07,8.042104e-07,8.108237e-07,8.277908e-07,8.284770e-07,8.451049e-07,8.495822e-07,8.607461e-07,8.696734e-07,8.754397e-07,8.881550e-07,8.892254e-07,9.021425e-07,9.051177e-07,9.142301e-07,9.206513e-07,9.255267e-07,9.348431e-07,9.360696e-07,9.458953e-07,9.477775e-07,9.550389e-07,9.595354e-07,9.635345e-07,9.701939e-07,9.714146e-07,9.787109e-07,9.798261e-07,9.854533e-07,9.885014e-07,9.916707e-07,9.962852e-07,9.973907e-07,1.002640e-06,1.003239e-06,1.007442e-06,1.009420e-06,1.011823e-06,1.014884e-06,1.015804e-06,1.019407e-06,1.019680e-06,1.022654e-06,1.023857e-06,1.025562e-06,1.027458e-06,1.028152e-06,1.030440e-06,1.030525e-06,1.032443e-06,1.033098e-06,1.034178e-06,1.035213e-06,1.035660e-06,1.036902e-06,1.037919e-06,1.038199e-06,1.038723e-06,1.039132e-06,1.039327e-06,1.039729e-06,1.039742e-06,1.039980e-06,1.040016e-06,1.040050e-06,1.040016e-06,1.039963e-06,1.039752e-06,1.039728e-06,1.039354e-06,1.039245e-06,1.038850e-06,1.038514e-06,1.038223e-06,1.037577e-06,1.037482e-06,1.036633e-06,1.036451e-06,1.035683e-06,1.035151e-06,1.034639e-06,1.033693e-06,1.033506e-06,1.032291e-06,1.032090e-06,1.031000e-06,1.030354e-06,1.029637e-06,1.028498e-06,1.028207e-06,1.026716e-06,1.026533e-06,1.025167e-06,1.024468e-06,1.023565e-06,1.022314e-06,1.021914e-06,1.020217e-06,1.020079e-06,1.018478e-06,1.017772e-06,1.016702e-06,1.015400e-06,1.014890e-06,1.013046e-06,1.012971e-06,1.011172e-06,1.010491e-06,1.009273e-06,1.007967e-06,1.007349e-06,1.005405e-06,1.002809e-06,1.000185e-06,9.975372e-07,9.948708e-07,9.921894e-07,9.894967e-07,9.867963e-07,9.840914e-07,9.813850e-07,9.786799e-07,9.759787e-07,9.732837e-07,9.705973e-07,9.679213e-07,9.652578e-07,9.626084e-07,9.599748e-07,9.573584e-07,9.547606e-07,9.521826e-07,9.496255e-07,9.470904e-07,9.445781e-07,9.420897e-07
0.000000e+00,7.856253e-13,5.351917e-12,9.312334e-11,6.192558e-10,1.474376e-09,9.574591e-09,1.024159e-08,4.531625e-08,6.499372e-08,1.508044e-07,2.812508e-07,4.124255e-07,9.161376e-07,9.773046e-07,2.076259e-06,2.454463e-06,4.047553e-06,5.701497e-06,7.360778e-06,1.187715e-05,1.263888e-05,2.067560e-05,2.269650e-05,3.244503e-05,4.041638e-05,4.910080e-05,6.782980e-05,7.196389e-05,1.024997e-04,1.082017e-04,1.422865e-04,1.651537e-04,1.929772e-04,2.425137e-04,2.562581e-04,3.338055e-04,3.441478e-04,4.272438e-04,4.737900e-04,5.381057e-04,6.348835e-04,6.677958e-04,8.175598e-04,8.304412e-04,9.884578e-04,1.062933e-03,1.181344e-03,1.334203e-03,1.396854e-03,1.635391e-03,1.645415e-03,1.897129e-03,1.997030e-03,2.182009e-03,2.388809e-03,2.489745e-03,2.819837e-03,3.171581e-03,3.288572e-03,3.544087e-03,3.792902e-03,3.936292e-03,4.330220e-03,4.346986e-03,4.774826e-03,4.897498e-03,5.218359e-03,5.491373e-03,5.676043e-03,6.108228e-03,6.146269e-03,6.627376e-03,6.744273e-03,7.117673e-03,7.395618e-03,7.615456e-03,8.058348e-03,8.119026e-03,8.626701e-03,8.728583e-03,9.136832e-03,9.402535e-03,9.647813e-03,1.007656e-02,1.015809e-02,1.066618e-02,1.074718e-02,1.117067e-02,1.141115e-02,1.167022e-02,1.206545e-02,1.216356e-02,1.264954e-02,1.270731e-02,1.312707e-02,1.333424e-02,1.359515e-02,1.394402e-02,1.405289e-02,1.449948e-02,1.453470e-02,1.493419e-02,1.510460e-02,1.535639e-02,1.565232e-02,1.576553e-02,1.616114e-02,1.617668e-02,1.654284e-02,1.667678e-02,1.691030e-02,1.715193e-02,1.726330e-02,1.760165e-02,1.792525e-02,1.802568e-02,1.823405e-02,1.842390e-02,1.852804e-02,1.879640e-02,1.880729e-02,1.907189e-02,1.914337e-02,1.932199e-02,1.946517e-02,1.955778e-02,1.976225e-02,1.977948e-02,1.998732e-02,2.003518e-02,2.018160e-02,2.028458e-02,2.036261e-02,2.051117e-02,2.053067e-02,2.068612e-02,2.071573e-02,2.082933e-02,2.089907e-02,2.096065e-02,2.106205e-02,2.108046e-02,2.118915e-02,2.120553e-02,2.128711e-02,2.133043e-02,2.137472e-02,2.143763e-02,2.145239e-02,2.152051e-02,2.152806e-02,2.157946e-02,2.160260e-02,2.162965e-02,2.166217e-02,2.167146e-02,2.170527e-02,2.170764e-02,2.173145e-02,2.173987e-02,2.175038e-02,2.175971e-02,2.176241e-02,2.176789e-02,2.176798e-02,2.176717e-02,2.176546e-02,2.176058e-02,2.175292e-02,2.174845e-02,2.173110e-02,2.170070e-02,2.166239e-02,2.161683e-02,2.156462e-02,2.150634e-02,2.144255e-02,2.137376e-02,2.130048e-02,2.122315e-02,2.114222e-02,2.105809e-02,2.097116e-02,2.088176e-02,2.079025e-02,2.069692e-02,2.060208e-02,2.050598e-02,2.040888e-02,2.031102e-02,2.021259e-02,2.011380e-02,2.001483e-02,1.991584e-02,1.981700e-02
0.000000e+00,7.990992e-13,5.449760e-12,9.506995e-11,6.339320e-10,1.511894e-09,9.870071e-09,1.056024e-08,4.704910e-08,6.762850e-08,1.579131e-07,2.962831e-07,4.363843e-07,9.804321e-07,1.047012e-06,2.256794e-06,2.677951e-06,4.472059e-06,6.361683e-06,8.278790e-06,1.357799e-05,1.448117e-05,2.413150e-05,2.658645e-05,3.854607e-05,4.843884e-05,5.930495e-05,8.297624e-05,8.823654e-05,1.273893e-04,1.347491e-04,1.789934e-04,2.088774e-04,2.454165e-04,3.108731e-04,3.291141e-04,4.325792e-04,4.464417e-04,5.582919e-04,6.212798e-04,7.086696e-04,8.408786e-04,8.860214e-04,1.092505e-03,1.110343e-03,1.330091e-03,1.434233e-03,1.600525e-03,1.816429e-03,1.905305e-03,2.245659e-03,2.260028e-03,2.622526e-03,2.767269e-03,3.036546e-03,3.339487e-03,3.488057e-03,3.977093e-03,4.503387e-03,4.679587e-03,5.066383e-03,5.445587e-03,5.665246e-03,6.272880e-03,6.298877e-03,6.965934e-03,7.158492e-03,7.664852e-03,8.098768e-03,8.393862e-03,9.089459e-03,9.151019e-03,9.934222e-03,1.012582e-02,1.074124e-02,1.120271e-02,1.156975e-02,1.231469e-02,1.241732e-02,1.328149e-02,1.345610e-02,1.415975e-02,1.462117e-02,1.504957e-02,1.580411e-02,1.594844e-02,1.685385e-02,1.699916e-02,1.776336e-02,1.820067e-02,1.867457e-02,1.940318e-02,1.958513e-02,2.049281e-02,2.060144e-02,2.139544e-02,2.179047e-02,2.229096e-02,2.296559e-02,2.317741e-02,2.405294e-02,2.412246e-02,2.491583e-02,2.525708e-02,2.576446e-02,2.636581e-02,2.659735e-02,2.741312e-02,2.744538e-02,2.821053e-02,2.849288e-02,2.898845e-02,2.950578e-02,2.974587e-02,3.048190e-02,3.119575e-02,3.141939e-02,3.188677e-02,3.231676e-02,3.255437e-02,3.317283e-02,3.319811e-02,3.381761e-02,3.398669e-02,3.441260e-02,3.475774e-02,3.498288e-02,3.548563e-02,3.552836e-02,3.604900e-02,3.617026e-02,3.654484e-02,3.681172e-02,3.701599e-02,3.741032e-02,3.746263e-02,3.788497e-02,3.796655e-02,3.828330e-02,3.848105e-02,3.865795e-02,3.895462e-02,3.900928e-02,3.933769e-02,3.938814e-02,3.964364e-02,3.978265e-02,3.992759e-02,4.013924e-02,4.019003e-02,4.043150e-02,4.045909e-02,4.065253e-02,4.074345e-02,4.085367e-02,4.099360e-02,4.103551e-02,4.119862e-02,4.121087e-02,4.134359e-02,4.139663e-02,4.147101e-02,4.155223e-02,4.158149e-02,4.167562e-02,4.167906e-02,4.175401e-02,4.177849e-02,4.181725e-02,4.185191e-02,4.186594e-02,4.190067e-02,4.192611e-02,4.192955e-02,4.191228e-02,4.187557e-02,4.182063e-02,4.174867e-02,4.166084e-02,4.155825e-02,4.144198e-02,4.131306e-02,4.117248e-02,4.102120e-02,4.086012e-02,4.069012e-02,4.051201e-02,4.032659e-02,4.013461e-02,3.993677e-02,3.973374e-02,3.952616e-02,3.931463e-02,3.909971e-02,3.888193e-02,3.866179e-02
0.000000e+00,1.490816e-12,1.014664e-11,1.762399e-10,1.170458e-09,2.785281e-09,1.807912e-08,1.933883e-08,8.568257e-08,1.229796e-07,2.861331e-07,5.353815e-07,7.871943e-07,1.762258e-06,1.881381e-06,4.041212e-06,4.791519e-06,7.980909e-06,1.132981e-05,1.471788e-05,2.403871e-05,2.562135e-05,4.243685e-05,4.668943e-05,6.728143e-05,8.417703e-05,1.026115e-04,1.423906e-04,1.511684e-04,2.159076e-04,2.279730e-04,2.999192e-04,3.480126e-04,4.063428e-04,5.097083e-04,5.382836e-04,6.987322e-04,7.200373e-04,8.904902e-04,9.854495e-04,1.116105e-03,1.311604e-03,1.377812e-03,1.677495e-03,1.703157e-03,2.016643e-03,2.163608e-03,2.396334e-03,2.695200e-03,2.817221e-03,3.279525e-03,3.298878e-03,3.783044e-03,3.974294e-03,4.327163e-03,4.719858e-03,4.910879e-03,5.532823e-03,6.191294e-03,6.409400e-03,6.884289e-03,7.344887e-03,7.609542e-03,8.333822e-03,8.364561e-03,9.146669e-03,9.370131e-03,9.953037e-03,1.044728e-02,1.078072e-02,1.155844e-02,1.162672e-02,1.248796e-02,1.269659e-02,1.336139e-02,1.385469e-02,1.424395e-02,1.502578e-02,1.513264e-02,1.602454e-02,1.620306e-02,1.691681e-02,1.738001e-02,1.780670e-02,1.855047e-02,1.869162e-02,1.956909e-02,1.970863e-02,2.043679e-02,2.084917e-02,2.129255e-02,2.196720e-02,2.213436e-02,2.296037e-02,2.305835e-02,2.376891e-02,2.411874e-02,2.455846e-02,2.514497e-02,2.532765e-02,2.607531e-02,2.613416e-02,2.680038e-02,2.708388e-02,2.750199e-02,2.799219e-02,2.817939e-02,2.883197e-02,2.885755e-02,2.945927e-02,2.967884e-02,3.006094e-02,3.045531e-02,3.063674e-02,3.118656e-02,3.171036e-02,3.187250e-02,3.220824e-02,3.251334e-02,3.268033e-02,3.310952e-02,3.312689e-02,3.354821e-02,3.366171e-02,3.394468e-02,3.417079e-02,3.431670e-02,3.463779e-02,3.466477e-02,3.498940e-02,3.506389e-02,3.529116e-02,3.545037e-02,3.557063e-02,3.579861e-02,3.582843e-02,3.606520e-02,3.611009e-02,3.628161e-02,3.638631e-02,3.647831e-02,3.662883e-02,3.665601e-02,3.681537e-02,3.683922e-02,3.695710e-02,3.701907e-02,3.708188e-02,3.716997e-02,3.719040e-02,3.728335e-02,3.729349e-02,3.736139e-02,3.739118e-02,3.742520e-02,3.746458e-02,3.747543e-02,3.751272e-02,3.751517e-02,3.753771e-02,3.754439e-02,3.755100e-02,3.755367e-02,3.755320e-02,3.754489e-02,3.754435e-02,3.752664e-02,3.751774e-02,3.749899e-02,3.747510e-02,3.746249e-02,3.741764e-02,3.734650e-02,3.726277e-02,3.716750e-02,3.706168e-02,3.694624e-02,3.682206e-02,3.668998e-02,3.655078e-02,3.640520e-02,3.625393e-02,3.609761e-02,3.593687e-02,3.577226e-02,3.560431e-02,3.543351e-02,3.526033e-02,3.508518e-02,3.490846e-02,3.473055e-02,3.455176e-02,3.437242e-02,3.419281e-02,3.401321e-02,3.383383e-02
0.000000e+00,7.426655e-14,4.885870e-13,7.897641e-12,4.903457e-11,1.123577e-10,6.594506e-10,7.024448e-10,2.801566e-09,3.903932e-09,8.415429e-09,1.476882e-08,2.080196e-08,4.215248e-08,4.461133e-08,8.588283e-08,9.917330e-08,1.519124e-07,2.027703e-07,2.510181e-07,3.727554e-07,3.922343e-07,5.849560e-07,6.305104e-07,8.385503e-07,9.974683e-07,1.161941e-06,1.493455e-06,1.563181e-06,2.049035e-06,2.134991e-06,2.624606e-06,2.933754e-06,3.293049e-06,3.895435e-06,4.055391e-06,4.910460e-06,5.019164e-06,5.854940e-06,6.297535e-06,6.883518e-06,7.717179e-06,7.989106e-06,9.163120e-06,9.259711e-06,1.039579e-05,1.090291e-05,1.167647e-05,1.262202e-05,1.299398e-05,1.433690e-05,1.439099e-05,1.569387e-05,1.618366e-05,1.705379e-05,1.797482e-05,1.840611e-05,1.974097e-05,2.104933e-05,2.146106e-05,2.232310e-05,2.311686e-05,2.355523e-05,2.469328e-05,2.473967e-05,2.587149e-05,2.617840e-05,2.694673e-05,2.756346e-05,2.796247e-05,2.884267e-05,2.891671e-05,2.980831e-05,3.001292e-05,3.063692e-05,3.107353e-05,3.140287e-05,3.202582e-05,3.210711e-05,3.275108e-05,3.287280e-05,3.333667e-05,3.361882e-05,3.386608e-05,3.426919e-05,3.434180e-05,3.476650e-05,3.482991e-05,3.514298e-05,3.530741e-05,3.547411e-05,3.570831e-05,3.576279e-05,3.601188e-05,3.603925e-05,3.622423e-05,3.630673e-05,3.640256e-05,3.651699e-05,3.654954e-05,3.666767e-05,3.667595e-05,3.675936e-05,3.678915e-05,3.682688e-05,3.686172e-05,3.687234e-05,3.689774e-05,3.689837e-05,3.690492e-05,3.690338e-05,3.689558e-05,3.688061e-05,3.687131e-05,3.683355e-05,3.678363e-05,3.676528e-05,3.672276e-05,3.667859e-05,3.665207e-05,3.657590e-05,3.657256e-05,3.648517e-05,3.645940e-05,3.639072e-05,3.633099e-05,3.628998e-05,3.619235e-05,3.618366e-05,3.607236e-05,3.604498e-05,3.595667e-05,3.589016e-05,3.583711e-05,3.572906e-05,3.571414e-05,3.558818e-05,3.556267e-05,3.545964e-05,3.539189e-05,3.532885e-05,3.521750e-05,3.519615e-05,3.506181e-05,3.504018e-05,3.492610e-05,3.486055e-05,3.478927e-05,3.467915e-05,3.465154e-05,3.451310e-05,3.449645e-05,3.437414e-05,3.431288e-05,3.423483e-05,3.412882e-05,3.409532e-05,3.395576e-05,3.394459e-05,3.381625e-05,3.376050e-05,3.367694e-05,3.357681e-05,3.353791e-05,3.339928e-05,3.339374e-05,3.326113e-05,3.321153e-05,3.312354e-05,3.303034e-05,3.298659e-05,3.285035e-05,3.267171e-05,3.249455e-05,3.231899e-05,3.214512e-05,3.197305e-05,3.180285e-05,3.163459e-05,3.146834e-05,3.130415e-05,3.114206e-05,3.098212e-05,3.082435e-05,3.066880e-05,3.051547e-05,3.036438e-05,3.021556e-05,3.006900e-05,2.992471e-05,2.978269e-05,2.964295e-05,2.950547e-05,2.937025e-05,2.923728e-05,2.910655e-05
0.000000e+00,8.114472e-12,1.845299e-11,6.227227e-11,1.389649e-10,2.005316e-10,4.421575e-10,4.549370e-10,8.551686e-10,9.974524e-10,1.431580e-09,1.875221e-09,2.215848e-09,3.144462e-09,3.234991e-09,4.495269e-09,4.831151e-09,5.968091e-09,6.865955e-09,7.599646e-09,9.122348e-09,9.334372e-09,1.112770e-08,1.149031e-08,1.294639e-08,1.389349e-08,1.476505e-08,1.627754e-08,1.656309e-08,1.832288e-08,1.859985e-08,2.002908e-08,2.082501e-08,2.166828e-08,2.292366e-08,2.322906e-08,2.470210e-08,2.487261e-08,2.608025e-08,2.665521e-08,2.735852e-08,2.826135e-08,2.853401e-08,2.960575e-08,2.968702e-08,3.057450e-08,3.093364e-08,3.144256e-08,3.200711e-08,3.221338e-08,3.289136e-08,3.291662e-08,3.348162e-08,3.367369e-08,3.398970e-08,3.429122e-08,3.442143e-08,3.478281e-08,3.507981e-08,3.516214e-08,3.531789e-08,3.544190e-08,3.550259e-08,3.563456e-08,3.563916e-08,3.573244e-08,3.575143e-08,3.578702e-08,3.580294e-08,3.580707e-08,3.579834e-08,3.579645e-08,3.575865e-08,3.574589e-08,3.569684e-08,3.565283e-08,3.561391e-08,3.552551e-08,3.551243e-08,3.539471e-08,3.536941e-08,3.526283e-08,3.518928e-08,3.511864e-08,3.498922e-08,3.496379e-08,3.479975e-08,3.477274e-08,3.462783e-08,3.454286e-08,3.444920e-08,3.430215e-08,3.426488e-08,3.407581e-08,3.405285e-08,3.388281e-08,3.379684e-08,3.368661e-08,3.353574e-08,3.348784e-08,3.328709e-08,3.327096e-08,3.308487e-08,3.300368e-08,3.288165e-08,3.273492e-08,3.267781e-08,3.247373e-08,3.246557e-08,3.226974e-08,3.219637e-08,3.206610e-08,3.192798e-08,3.186310e-08,3.166094e-08,3.145983e-08,3.139573e-08,3.125996e-08,3.113277e-08,3.106149e-08,3.087240e-08,3.086455e-08,3.066927e-08,3.061491e-08,3.047577e-08,3.036056e-08,3.028414e-08,3.010957e-08,3.009447e-08,2.990683e-08,2.986210e-08,2.972129e-08,2.961832e-08,2.953790e-08,2.937835e-08,2.935672e-08,2.917779e-08,2.914227e-08,2.900113e-08,2.891018e-08,2.882679e-08,2.868214e-08,2.865477e-08,2.848511e-08,2.845818e-08,2.831781e-08,2.823834e-08,2.815287e-08,2.802264e-08,2.799032e-08,2.783014e-08,2.781108e-08,2.767235e-08,2.760367e-08,2.751692e-08,2.740038e-08,2.736387e-08,2.721317e-08,2.720121e-08,2.706481e-08,2.700612e-08,2.691879e-08,2.681509e-08,2.677508e-08,2.663368e-08,2.662807e-08,2.649456e-08,2.644503e-08,2.635770e-08,2.626592e-08,2.622308e-08,2.609069e-08,2.591928e-08,2.575166e-08,2.558775e-08,2.542750e-08,2.527085e-08,2.511774e-08,2.496810e-08,2.482189e-08,2.467902e-08,2.453943e-08,2.440308e-08,2.426988e-08,2.413977e-08,2.401270e-08,2.388859e-08,2.376740e-08,2.364904e-08,2.353347e-08,2.342062e-08,2.331043e-08,2.320284e-08,2.309779e-08,2.299523e-08,2.289509e-08
0.000000e+00,2.017408e-11,1.046639e-10,1.061313e-09,4.444804e-09,8.309155e-09,3.001356e-08,3.138298e-08,8.186918e-08,1.025691e-07,1.719658e-07,2.502845e-07,3.143577e-07,5.031150e-07,5.225235e-07,8.109277e-07,8.937570e-07,1.194577e-06,1.456315e-06,1.687306e-06,2.218848e-06,2.298611e-06,3.030499e-06,3.190933e-06,3.876887e-06,4.358502e-06,4.826104e-06,5.692885e-06,5.864446e-06,6.978596e-06,7.163073e-06,8.156553e-06,8.741456e-06,9.387632e-06,1.040422e-05,1.066216e-05,1.197117e-05,1.213017e-05,1.330625e-05,1.389987e-05,1.465943e-05,1.569533e-05,1.602323e-05,1.739066e-05,1.750001e-05,1.875528e-05,1.929901e-05,2.011122e-05,2.107915e-05,2.145322e-05,2.277661e-05,2.282910e-05,2.407733e-05,2.453936e-05,2.535191e-05,2.620217e-05,2.659741e-05,2.781139e-05,2.899190e-05,2.936233e-05,3.013739e-05,3.085157e-05,3.124669e-05,3.227676e-05,3.231893e-05,3.335356e-05,3.363646e-05,3.435025e-05,3.493000e-05,3.530890e-05,3.615732e-05,3.622959e-05,3.711254e-05,3.731887e-05,3.795812e-05,3.841550e-05,3.876680e-05,3.944835e-05,3.953913e-05,4.027574e-05,4.041883e-05,4.097731e-05,4.132853e-05,4.164458e-05,4.217915e-05,4.227833e-05,4.287935e-05,4.297253e-05,4.344847e-05,4.371056e-05,4.398653e-05,4.439517e-05,4.449436e-05,4.497281e-05,4.502829e-05,4.542272e-05,4.561186e-05,4.584494e-05,4.614782e-05,4.624030e-05,4.660965e-05,4.663810e-05,4.695380e-05,4.708459e-05,4.727358e-05,4.748917e-05,4.756978e-05,4.784318e-05,4.785365e-05,4.809457e-05,4.817983e-05,4.832471e-05,4.846945e-05,4.853434e-05,4.872421e-05,4.889501e-05,4.894576e-05,4.904745e-05,4.913570e-05,4.918222e-05,4.929559e-05,4.929998e-05,4.940139e-05,4.942694e-05,4.948707e-05,4.953119e-05,4.955765e-05,4.960976e-05,4.961373e-05,4.965588e-05,4.966400e-05,4.968470e-05,4.969521e-05,4.970071e-05,4.970465e-05,4.970447e-05,4.969650e-05,4.969355e-05,4.967731e-05,4.966305e-05,4.964738e-05,4.961429e-05,4.960719e-05,4.955722e-05,4.954834e-05,4.949789e-05,4.946623e-05,4.942966e-05,4.936894e-05,4.935294e-05,4.926814e-05,4.925744e-05,4.917565e-05,4.913262e-05,4.907586e-05,4.899535e-05,4.896912e-05,4.885581e-05,4.884647e-05,4.873626e-05,4.868677e-05,4.861081e-05,4.851701e-05,4.847978e-05,4.834347e-05,4.833791e-05,4.820219e-05,4.815017e-05,4.805623e-05,4.795445e-05,4.790587e-05,4.775136e-05,4.754152e-05,4.732550e-05,4.710383e-05,4.687703e-05,4.664559e-05,4.640997e-05,4.617063e-05,4.592796e-05,4.568239e-05,4.543427e-05,4.518396e-05,4.493180e-05,4.467812e-05,4.442320e-05,4.416733e-05,4.391078e-05,4.365381e-05,4.339663e-05,4.313949e-05,4.288259e-05,4.262611e-05,4.237026e-05,4.211519e-05,4.186108e-05
0.000000e+00,2.451030e-12,1.573709e-11,2.420199e-10,1.437402e-09,3.216044e-09,1.778705e-08,1.890249e-08,7.138148e-08,9.809220e-08,2.045915e-07,3.504554e-07,4.865238e-07,9.585010e-07,1.012271e-06,1.906094e-06,2.191818e-06,3.320800e-06,4.405036e-06,5.430652e-06,8.005603e-06,8.415744e-06,1.244149e-05,1.338392e-05,1.764043e-05,2.083889e-05,2.410143e-05,3.053657e-05,3.186728e-05,4.093851e-05,4.250916e-05,5.128054e-05,5.667881e-05,6.283165e-05,7.288885e-05,7.551040e-05,8.922170e-05,9.093157e-05,1.038615e-04,1.105691e-04,1.193204e-04,1.315481e-04,1.354865e-04,1.522471e-04,1.536103e-04,1.694913e-04,1.764999e-04,1.871105e-04,1.999699e-04,2.050006e-04,2.230625e-04,2.237872e-04,2.412031e-04,2.477362e-04,2.593364e-04,2.716223e-04,2.773835e-04,2.952732e-04,3.129420e-04,3.185401e-04,3.303341e-04,3.412973e-04,3.474012e-04,3.634414e-04,3.641019e-04,3.804016e-04,3.848896e-04,3.962718e-04,4.055780e-04,4.116896e-04,4.254590e-04,4.266372e-04,4.411015e-04,4.444998e-04,4.550732e-04,4.626799e-04,4.685467e-04,4.799893e-04,4.815195e-04,4.939917e-04,4.964262e-04,5.059654e-04,5.119962e-04,5.174450e-04,5.267102e-04,5.284363e-04,5.389464e-04,5.405839e-04,5.489835e-04,5.536360e-04,5.585569e-04,5.658882e-04,5.676763e-04,5.763521e-04,5.773639e-04,5.845952e-04,5.880879e-04,5.924167e-04,5.980860e-04,5.998279e-04,6.068404e-04,6.073845e-04,6.134657e-04,6.160100e-04,6.197154e-04,6.239892e-04,6.256011e-04,6.311343e-04,6.313484e-04,6.363262e-04,6.381140e-04,6.411882e-04,6.443116e-04,6.457314e-04,6.499666e-04,6.539046e-04,6.551037e-04,6.575559e-04,6.597471e-04,6.609309e-04,6.639201e-04,6.640395e-04,6.668917e-04,6.676457e-04,6.694971e-04,6.709458e-04,6.718651e-04,6.738418e-04,6.740048e-04,6.759252e-04,6.763545e-04,6.776350e-04,6.785037e-04,6.791427e-04,6.803087e-04,6.804563e-04,6.815841e-04,6.817880e-04,6.825336e-04,6.829594e-04,6.833124e-04,6.838401e-04,6.839279e-04,6.843871e-04,6.844466e-04,6.846969e-04,6.847945e-04,6.848639e-04,6.848991e-04,6.848946e-04,6.847952e-04,6.847749e-04,6.845718e-04,6.844357e-04,6.842302e-04,6.838950e-04,6.837761e-04,6.832148e-04,6.831654e-04,6.825517e-04,6.822591e-04,6.817919e-04,6.811878e-04,6.809403e-04,6.800017e-04,6.799624e-04,6.789805e-04,6.785936e-04,6.778813e-04,6.770915e-04,6.767084e-04,6.754657e-04,6.737253e-04,6.718791e-04,6.699354e-04,6.679020e-04,6.657865e-04,6.635959e-04,6.613370e-04,6.590162e-04,6.566397e-04,6.542130e-04,6.517417e-04,6.492309e-04,6.466855e-04,6.441101e-04,6.415090e-04,6.388863e-04,6.362460e-04,6.335915e-04,6.309264e-04,6.282539e-04,6.255769e-04,6.228983e-04,6.202208e-04,6.175469e-04
0.000000e+00,8.507826e-13,5.386549e-12,8.045478e-11,4.654368e-10,1.026830e-09,5.489315e-09,5.826056e-09,2.139224e-08,2.921208e-08,6.014909e-08,1.023199e-07,1.416524e-07,2.786393e-07,2.943078e-07,5.561247e-07,6.401326e-07,9.719061e-07,1.288472e-06,1.584711e-06,2.310662e-06,2.423720e-06,3.494546e-06,3.735149e-06,4.776648e-06,5.513506e-06,6.227993e-06,7.538004e-06,7.793813e-06,9.415909e-06,9.676941e-06,1.104011e-05,1.180673e-05,1.262098e-05,1.383082e-05,1.412386e-05,1.552487e-05,1.568538e-05,1.680980e-05,1.733652e-05,1.797230e-05,1.877354e-05,1.901203e-05,1.993294e-05,2.000166e-05,2.074175e-05,2.103574e-05,2.144690e-05,2.189557e-05,2.205760e-05,2.258328e-05,2.260267e-05,2.303318e-05,2.317828e-05,2.341600e-05,2.364218e-05,2.373986e-05,2.401210e-05,2.423935e-05,2.430354e-05,2.442748e-05,2.452977e-05,2.458166e-05,2.470195e-05,2.470643e-05,2.480570e-05,2.482941e-05,2.488287e-05,2.491980e-05,2.494085e-05,2.497941e-05,2.498215e-05,2.500890e-05,2.501337e-05,2.502294e-05,2.502583e-05,2.502582e-05,2.502020e-05,2.501889e-05,2.500330e-05,2.499923e-05,2.498002e-05,2.496517e-05,2.494991e-05,2.491988e-05,2.491370e-05,2.487204e-05,2.486490e-05,2.482548e-05,2.480153e-05,2.477450e-05,2.473085e-05,2.471956e-05,2.466102e-05,2.465378e-05,2.459924e-05,2.457111e-05,2.453452e-05,2.448354e-05,2.446714e-05,2.439736e-05,2.439168e-05,2.432540e-05,2.429606e-05,2.425149e-05,2.419716e-05,2.417580e-05,2.409852e-05,2.409540e-05,2.401982e-05,2.399116e-05,2.393983e-05,2.388478e-05,2.385871e-05,2.377658e-05,2.369356e-05,2.366682e-05,2.360976e-05,2.355578e-05,2.352530e-05,2.344368e-05,2.344027e-05,2.335475e-05,2.333073e-05,2.326884e-05,2.321714e-05,2.318261e-05,2.310307e-05,2.309615e-05,2.300951e-05,2.298870e-05,2.292276e-05,2.287416e-05,2.283597e-05,2.275961e-05,2.274920e-05,2.266249e-05,2.264515e-05,2.257589e-05,2.253092e-05,2.248945e-05,2.241701e-05,2.240323e-05,2.231725e-05,2.230351e-05,2.223155e-05,2.219053e-05,2.214618e-05,2.207813e-05,2.206116e-05,2.197652e-05,2.196639e-05,2.189230e-05,2.185538e-05,2.180852e-05,2.174516e-05,2.172521e-05,2.164239e-05,2.163578e-05,2.156008e-05,2.152730e-05,2.147830e-05,2.141976e-05,2.139707e-05,2.131642e-05,2.131320e-05,2.123634e-05,2.120766e-05,2.115687e-05,2.110317e-05,2.107800e-05,2.099976e-05,2.089746e-05,2.079630e-05,2.069628e-05,2.059744e-05,2.049978e-05,2.040332e-05,2.030807e-05,2.021403e-05,2.012123e-05,2.002965e-05,1.993932e-05,1.985022e-05,1.976236e-05,1.967574e-05,1.959035e-05,1.950621e-05,1.942329e-05,1.934161e-05,1.926114e-05,1.918189e-05,1.910386e-05,1.902702e-05,1.895138e-05,1.887692e-05
0.000000e+00,1.213450e-10,3.603245e-10,1.627797e-09,4.194451e-09,6.403246e-09,1.569007e-08,1.619924e-08,3.266864e-08,3.869553e-08,5.741941e-08,7.690050e-08,9.201555e-08,1.337113e-07,1.378100e-07,1.955393e-07,2.111690e-07,2.650344e-07,3.087968e-07,3.454723e-07,4.244828e-07,4.358108e-07,5.349821e-07,5.557817e-07,6.419051e-07,7.001994e-07,7.554627e-07,8.551319e-07,8.744966e-07,9.978218e-07,1.017873e-06,1.124253e-06,1.185702e-06,1.252634e-06,1.356005e-06,1.381871e-06,1.510949e-06,1.526383e-06,1.638953e-06,1.694724e-06,1.765080e-06,1.859254e-06,1.888643e-06,2.009066e-06,2.018550e-06,2.125885e-06,2.171519e-06,2.238736e-06,2.317375e-06,2.347346e-06,2.451524e-06,2.455597e-06,2.551149e-06,2.585887e-06,2.646162e-06,2.708131e-06,2.736554e-06,2.822357e-06,2.903637e-06,2.928706e-06,2.980485e-06,3.027393e-06,3.053014e-06,3.118696e-06,3.121351e-06,3.185634e-06,3.202927e-06,3.246009e-06,3.280421e-06,3.302627e-06,3.351528e-06,3.355640e-06,3.405201e-06,3.416598e-06,3.451461e-06,3.475981e-06,3.494570e-06,3.530015e-06,3.534674e-06,3.571915e-06,3.579032e-06,3.606432e-06,3.623349e-06,3.638358e-06,3.663267e-06,3.667821e-06,3.694946e-06,3.699077e-06,3.719851e-06,3.731051e-06,3.742651e-06,3.759447e-06,3.763453e-06,3.782362e-06,3.784509e-06,3.799478e-06,3.806465e-06,3.814895e-06,3.825532e-06,3.828704e-06,3.840991e-06,3.841910e-06,3.851837e-06,3.855790e-06,3.861322e-06,3.867349e-06,3.869518e-06,3.876497e-06,3.876752e-06,3.882326e-06,3.884155e-06,3.887069e-06,3.889704e-06,3.890786e-06,3.893534e-06,3.895369e-06,3.895772e-06,3.896343e-06,3.896537e-06,3.896505e-06,3.895939e-06,3.895901e-06,3.894576e-06,3.894082e-06,3.892573e-06,3.891062e-06,3.889932e-06,3.886970e-06,3.886690e-06,3.882883e-06,3.881890e-06,3.878547e-06,3.875899e-06,3.873713e-06,3.869072e-06,3.868413e-06,3.862675e-06,3.861477e-06,3.856528e-06,3.853178e-06,3.849997e-06,3.844234e-06,3.843109e-06,3.835886e-06,3.834701e-06,3.828352e-06,3.824631e-06,3.820527e-06,3.814072e-06,3.812432e-06,3.804087e-06,3.803069e-06,3.795509e-06,3.791665e-06,3.786715e-06,3.779899e-06,3.777723e-06,3.768548e-06,3.767807e-06,3.759205e-06,3.755423e-06,3.749707e-06,3.742780e-06,3.740068e-06,3.730301e-06,3.729908e-06,3.720418e-06,3.716833e-06,3.710429e-06,3.703583e-06,3.700347e-06,3.690180e-06,3.676648e-06,3.663006e-06,3.649276e-06,3.635475e-06,3.621619e-06,3.607725e-06,3.593808e-06,3.579879e-06,3.565953e-06,3.552042e-06,3.538155e-06,3.524302e-06,3.510495e-06,3.496740e-06,3.483046e-06,3.469420e-06,3.455869e-06,3.442400e-06,3.429018e-06,3.415728e-06,3.402535e-06,3.389444e-06,3.376459e-06,3.363584e-06
0.000000e+00,3.039712e-11,7.806566e-11,3.013457e-10,7.207263e-10,1.070130e-09,2.500956e-09,2.578568e-09,5.078257e-09,5.993580e-09,8.854450e-09,1.186646e-08,1.422907e-08,2.084073e-08,2.149612e-08,3.076537e-08,3.327389e-08,4.186641e-08,4.876106e-08,5.446957e-08,6.654772e-08,6.825562e-08,8.297575e-08,8.601439e-08,9.843975e-08,1.067224e-07,1.144915e-07,1.283269e-07,1.309915e-07,1.478071e-07,1.505182e-07,1.648092e-07,1.729994e-07,1.818720e-07,1.954842e-07,1.988742e-07,2.157013e-07,2.177037e-07,2.322482e-07,2.394152e-07,2.484203e-07,2.604097e-07,2.641359e-07,2.793258e-07,2.805165e-07,2.939346e-07,2.996054e-07,3.079197e-07,3.175853e-07,3.212509e-07,3.339095e-07,3.344017e-07,3.458862e-07,3.500306e-07,3.571807e-07,3.644746e-07,3.678001e-07,3.777580e-07,3.870724e-07,3.899206e-07,3.957655e-07,4.010143e-07,4.038621e-07,4.110986e-07,4.113891e-07,4.183745e-07,4.202372e-07,4.248469e-07,4.284960e-07,4.308349e-07,4.359405e-07,4.363670e-07,4.414706e-07,4.426348e-07,4.461728e-07,4.486402e-07,4.504990e-07,4.540146e-07,4.544738e-07,4.581206e-07,4.588126e-07,4.614613e-07,4.630845e-07,4.645167e-07,4.668768e-07,4.673060e-07,4.698472e-07,4.702319e-07,4.721572e-07,4.731885e-07,4.742516e-07,4.757816e-07,4.761449e-07,4.778508e-07,4.780435e-07,4.793817e-07,4.800029e-07,4.807493e-07,4.816860e-07,4.819643e-07,4.830367e-07,4.831166e-07,4.839758e-07,4.843161e-07,4.847902e-07,4.853038e-07,4.854878e-07,4.860761e-07,4.860974e-07,4.865618e-07,4.867128e-07,4.869513e-07,4.871643e-07,4.872506e-07,4.874652e-07,4.876002e-07,4.876274e-07,4.876604e-07,4.876618e-07,4.876503e-07,4.875782e-07,4.875740e-07,4.874353e-07,4.873859e-07,4.872381e-07,4.870930e-07,4.869856e-07,4.867073e-07,4.866811e-07,4.863276e-07,4.862358e-07,4.859279e-07,4.856849e-07,4.854847e-07,4.850607e-07,4.850005e-07,4.844775e-07,4.843685e-07,4.839181e-07,4.836135e-07,4.833243e-07,4.828004e-07,4.826982e-07,4.820415e-07,4.819337e-07,4.813561e-07,4.810173e-07,4.806436e-07,4.800552e-07,4.799056e-07,4.791437e-07,4.790507e-07,4.783592e-07,4.780072e-07,4.775535e-07,4.769279e-07,4.767280e-07,4.758838e-07,4.758155e-07,4.750221e-07,4.746727e-07,4.741440e-07,4.735022e-07,4.732506e-07,4.723429e-07,4.723063e-07,4.714219e-07,4.710872e-07,4.704884e-07,4.698470e-07,4.695434e-07,4.685877e-07,4.673110e-07,4.660189e-07,4.647128e-07,4.633943e-07,4.620649e-07,4.607260e-07,4.593788e-07,4.580245e-07,4.566644e-07,4.552995e-07,4.539307e-07,4.525592e-07,4.511857e-07,4.498112e-07,4.484364e-07,4.470621e-07,4.456890e-07,4.443179e-07,4.429493e-07,4.415838e-07,4.402221e-07,4.388646e-07,4.375118e-07,4.361643e-07
0.000000e+00,1.065346e-13,6.959002e-13,1.108245e-11,6.787340e-11,1.543568e-10,8.884386e-10,9.456110e-10,3.699255e-09,5.128043e-09,1.091150e-08,1.895227e-08,2.651765e-08,5.296275e-08,5.598480e-08,1.062509e-07,1.223001e-07,1.855450e-07,2.460454e-07,3.031199e-07,4.461325e-07,4.689105e-07,6.930963e-07,7.458217e-07,9.855371e-07,1.167577e-06,1.355071e-06,1.730273e-06,1.808733e-06,2.351025e-06,2.446158e-06,2.983370e-06,3.318450e-06,3.703861e-06,4.340335e-06,4.507309e-06,5.385595e-06,5.495540e-06,6.328205e-06,6.760218e-06,7.322877e-06,8.105470e-06,8.356288e-06,9.414692e-06,9.500033e-06,1.048450e-05,1.091267e-05,1.155272e-05,1.231410e-05,1.260739e-05,1.363773e-05,1.367830e-05,1.463440e-05,1.498340e-05,1.558953e-05,1.621198e-05,1.649675e-05,1.735113e-05,1.814912e-05,1.839217e-05,1.888844e-05,1.933022e-05,1.956791e-05,2.016375e-05,2.018738e-05,2.074754e-05,2.089393e-05,2.124979e-05,2.152414e-05,2.169610e-05,2.205939e-05,2.208891e-05,2.243100e-05,2.250588e-05,2.272535e-05,2.287051e-05,2.297513e-05,2.316063e-05,2.318356e-05,2.335387e-05,2.338364e-05,2.348923e-05,2.354684e-05,2.359275e-05,2.365726e-05,2.366738e-05,2.371594e-05,2.372148e-05,2.374110e-05,2.374560e-05,2.374534e-05,2.373523e-05,2.373097e-05,2.370012e-05,2.369540e-05,2.365474e-05,2.363064e-05,2.359663e-05,2.354495e-05,2.352740e-05,2.344852e-05,2.344183e-05,2.336131e-05,2.332437e-05,2.326697e-05,2.319523e-05,2.316656e-05,2.306102e-05,2.305671e-05,2.295122e-05,2.291079e-05,2.283790e-05,2.275918e-05,2.272173e-05,2.260331e-05,2.248315e-05,2.244441e-05,2.236172e-05,2.228353e-05,2.223943e-05,2.212155e-05,2.211663e-05,2.199364e-05,2.195921e-05,2.187074e-05,2.179714e-05,2.174816e-05,2.163586e-05,2.162612e-05,2.150481e-05,2.147582e-05,2.138438e-05,2.131737e-05,2.126497e-05,2.116084e-05,2.114671e-05,2.102970e-05,2.100646e-05,2.091404e-05,2.085445e-05,2.079979e-05,2.070496e-05,2.068702e-05,2.057579e-05,2.055814e-05,2.046615e-05,2.041410e-05,2.035813e-05,2.027291e-05,2.025177e-05,2.014709e-05,2.013464e-05,2.004411e-05,1.999934e-05,1.994284e-05,1.986703e-05,1.984330e-05,1.974548e-05,1.973773e-05,1.964940e-05,1.961145e-05,1.955505e-05,1.948819e-05,1.946243e-05,1.937153e-05,1.936793e-05,1.928234e-05,1.925064e-05,1.919485e-05,1.913632e-05,1.910905e-05,1.902492e-05,1.891642e-05,1.881077e-05,1.870794e-05,1.860787e-05,1.851053e-05,1.841585e-05,1.832380e-05,1.823432e-05,1.814736e-05,1.806286e-05,1.798077e-05,1.790104e-05,1.782361e-05,1.774844e-05,1.767546e-05,1.760462e-05,1.753587e-05,1.746916e-05,1.740444e-05,1.734165e-05,1.728074e-05,1.722167e-05,1.716438e-05,1.710883e-05
0.000000e+00,3.643752e-13,2.326909e-12,3.536508e-11,2.076271e-10,4.614389e-10,2.504716e-09,2.659633e-09,9.833841e-09,1.342979e-08,2.754687e-08,4.649753e-08,6.389440e-08,1.228019e-07,1.294020e-07,2.367670e-07,2.703420e-07,4.004789e-07,5.225848e-07,6.361907e-07,9.156737e-07,9.596051e-07,1.384789e-06,1.483045e-06,1.922240e-06,2.248091e-06,2.577309e-06,3.218248e-06,3.349471e-06,4.232540e-06,4.383449e-06,5.215609e-06,5.718897e-06,6.284382e-06,7.190169e-06,7.422528e-06,8.612899e-06,8.758438e-06,9.838477e-06,1.038467e-05,1.108306e-05,1.203241e-05,1.233172e-05,1.357103e-05,1.366940e-05,1.478922e-05,1.526827e-05,1.597621e-05,1.680672e-05,1.712356e-05,1.822444e-05,1.826742e-05,1.927347e-05,1.963763e-05,2.026670e-05,2.090878e-05,2.120139e-05,2.207595e-05,2.288975e-05,2.313735e-05,2.364303e-05,2.409378e-05,2.433673e-05,2.494805e-05,2.497239e-05,2.555201e-05,2.570457e-05,2.607795e-05,2.636884e-05,2.655284e-05,2.694703e-05,2.697945e-05,2.736066e-05,2.744573e-05,2.769941e-05,2.787164e-05,2.799858e-05,2.823137e-05,2.826101e-05,2.848943e-05,2.853127e-05,2.868647e-05,2.877735e-05,2.885460e-05,2.897520e-05,2.899616e-05,2.911335e-05,2.912998e-05,2.920822e-05,2.924639e-05,2.928267e-05,2.932871e-05,2.933845e-05,2.937717e-05,2.938075e-05,2.940032e-05,2.940593e-05,2.940926e-05,2.940731e-05,2.940521e-05,2.938933e-05,2.938758e-05,2.936265e-05,2.934917e-05,2.932611e-05,2.929420e-05,2.928059e-05,2.922686e-05,2.922455e-05,2.916566e-05,2.914192e-05,2.909763e-05,2.904777e-05,2.902337e-05,2.894344e-05,2.885833e-05,2.883008e-05,2.876852e-05,2.870876e-05,2.867441e-05,2.858039e-05,2.857640e-05,2.847485e-05,2.844582e-05,2.837007e-05,2.830579e-05,2.826238e-05,2.816096e-05,2.815205e-05,2.803933e-05,2.801195e-05,2.792448e-05,2.785930e-05,2.780769e-05,2.770349e-05,2.768919e-05,2.756916e-05,2.754498e-05,2.744777e-05,2.738417e-05,2.732519e-05,2.722142e-05,2.720158e-05,2.707706e-05,2.705707e-05,2.695178e-05,2.689141e-05,2.682586e-05,2.672473e-05,2.669940e-05,2.657253e-05,2.655728e-05,2.644532e-05,2.638928e-05,2.631789e-05,2.622094e-05,2.619031e-05,2.606268e-05,2.605246e-05,2.593505e-05,2.588402e-05,2.580750e-05,2.571576e-05,2.568011e-05,2.555293e-05,2.554785e-05,2.542602e-05,2.538041e-05,2.529943e-05,2.521356e-05,2.517322e-05,2.504742e-05,2.488210e-05,2.471767e-05,2.455424e-05,2.439187e-05,2.423063e-05,2.407060e-05,2.391182e-05,2.375435e-05,2.359824e-05,2.344353e-05,2.329024e-05,2.313843e-05,2.298811e-05,2.283932e-05,2.269207e-05,2.254638e-05,2.240228e-05,2.225977e-05,2.211886e-05,2.197957e-05,2.184189e-05,2.170584e-05,2.157142e-05,2.143863e-05
0.000000e+00,9.808793e-13,6.313741e-12,9.760400e-11,5.824231e-10,1.306514e-09,7.276366e-09,7.734936e-09,2.942991e-08,4.053134e-08,8.503390e-08,1.464083e-07,2.039683e-07,4.050896e-07,4.281034e-07,8.121441e-07,9.351697e-07,1.420819e-06,1.885185e-06,2.321840e-06,3.405685e-06,3.576675e-06,5.232647e-06,5.614856e-06,7.318525e-06,8.576930e-06,9.843691e-06,1.229872e-05,1.279989e-05,1.616429e-05,1.673833e-05,1.990295e-05,2.181837e-05,2.397401e-05,2.743877e-05,2.833056e-05,3.292291e-05,3.348744e-05,3.770054e-05,3.984848e-05,4.261357e-05,4.640841e-05,4.761402e-05,5.265671e-05,5.306067e-05,5.769998e-05,5.970888e-05,6.270622e-05,6.626893e-05,6.764215e-05,7.247894e-05,7.266999e-05,7.719224e-05,7.885480e-05,8.176197e-05,8.477906e-05,8.617214e-05,9.041050e-05,9.446820e-05,9.572749e-05,9.833941e-05,1.007175e-04,1.020209e-04,1.053757e-04,1.055117e-04,1.088128e-04,1.097033e-04,1.119265e-04,1.137063e-04,1.148566e-04,1.173941e-04,1.176077e-04,1.201854e-04,1.207789e-04,1.225955e-04,1.238744e-04,1.248445e-04,1.266956e-04,1.269390e-04,1.288857e-04,1.292579e-04,1.306913e-04,1.315767e-04,1.323626e-04,1.336676e-04,1.339063e-04,1.353287e-04,1.355454e-04,1.366362e-04,1.372248e-04,1.378349e-04,1.387194e-04,1.389306e-04,1.399291e-04,1.400426e-04,1.408357e-04,1.412068e-04,1.416555e-04,1.422236e-04,1.423936e-04,1.430545e-04,1.431042e-04,1.436429e-04,1.438589e-04,1.441629e-04,1.444972e-04,1.446185e-04,1.450137e-04,1.450283e-04,1.453519e-04,1.454604e-04,1.456367e-04,1.458015e-04,1.458713e-04,1.460588e-04,1.462020e-04,1.462390e-04,1.463038e-04,1.463484e-04,1.463667e-04,1.463928e-04,1.463932e-04,1.463855e-04,1.463776e-04,1.463460e-04,1.463078e-04,1.462766e-04,1.461882e-04,1.461794e-04,1.460561e-04,1.460229e-04,1.459086e-04,1.458159e-04,1.457384e-04,1.455711e-04,1.455471e-04,1.453362e-04,1.452918e-04,1.451070e-04,1.449811e-04,1.448610e-04,1.446421e-04,1.445992e-04,1.443229e-04,1.442774e-04,1.440331e-04,1.438896e-04,1.437310e-04,1.434810e-04,1.434174e-04,1.430933e-04,1.430538e-04,1.427596e-04,1.426100e-04,1.424171e-04,1.421514e-04,1.420666e-04,1.417087e-04,1.416798e-04,1.413442e-04,1.411967e-04,1.409737e-04,1.407036e-04,1.405979e-04,1.402172e-04,1.402019e-04,1.398324e-04,1.396929e-04,1.394438e-04,1.391776e-04,1.390519e-04,1.386572e-04,1.381327e-04,1.376049e-04,1.370748e-04,1.365430e-04,1.360104e-04,1.354776e-04,1.349451e-04,1.344136e-04,1.338835e-04,1.333554e-04,1.328297e-04,1.323067e-04,1.317869e-04,1.312705e-04,1.307579e-04,1.302494e-04,1.297451e-04,1.292453e-04,1.287503e-04,1.282601e-04,1.277750e-04,1.272951e-04,1.268206e-04,1.263515e-04
0.000000e+00,6.634271e-12,3.832019e-11,4.763805e-10,2.351427e-09,4.772416e-09,2.083623e-08,2.194212e-08,6.727398e-08,8.778403e-08,1.623267e-07,2.548516e-07,3.358292e-07,5.954863e-07,6.236255e-07,1.062840e-06,1.194032e-06,1.678698e-06,2.102526e-06,2.473272e-06,3.304505e-06,3.426183e-06,4.504720e-06,4.732413e-06,5.674380e-06,6.308322e-06,6.904868e-06,7.967474e-06,8.171783e-06,9.455929e-06,9.661927e-06,1.074204e-05,1.135633e-05,1.201766e-05,1.302359e-05,1.327244e-05,1.449772e-05,1.464241e-05,1.568632e-05,1.619614e-05,1.683245e-05,1.767231e-05,1.793163e-05,1.898057e-05,1.906224e-05,1.997707e-05,2.036068e-05,2.091990e-05,2.156525e-05,2.180866e-05,2.264362e-05,2.267591e-05,2.342562e-05,2.369441e-05,2.415593e-05,2.462382e-05,2.483615e-05,2.546811e-05,2.605382e-05,2.623181e-05,2.659536e-05,2.691977e-05,2.709489e-05,2.753691e-05,2.755456e-05,2.797649e-05,2.808815e-05,2.836277e-05,2.857827e-05,2.871543e-05,2.901187e-05,2.903643e-05,2.932764e-05,2.939330e-05,2.959085e-05,2.972667e-05,2.982778e-05,3.001582e-05,3.004004e-05,3.022917e-05,3.026435e-05,3.039663e-05,3.047560e-05,3.054378e-05,3.065264e-05,3.067192e-05,3.078226e-05,3.079835e-05,3.087597e-05,3.091535e-05,3.095410e-05,3.100609e-05,3.101769e-05,3.106768e-05,3.107281e-05,3.110497e-05,3.111757e-05,3.113040e-05,3.114229e-05,3.114477e-05,3.114881e-05,3.114871e-05,3.114323e-05,3.113844e-05,3.112867e-05,3.111297e-05,3.110575e-05,3.107504e-05,3.107366e-05,3.103710e-05,3.102176e-05,3.099241e-05,3.095842e-05,3.094147e-05,3.088471e-05,3.082256e-05,3.080160e-05,3.075541e-05,3.070998e-05,3.068363e-05,3.061069e-05,3.060757e-05,3.052755e-05,3.050447e-05,3.044387e-05,3.039203e-05,3.035683e-05,3.027402e-05,3.026670e-05,3.017373e-05,3.015102e-05,3.007815e-05,3.002357e-05,2.998019e-05,2.989218e-05,2.988006e-05,2.977796e-05,2.975732e-05,2.967407e-05,2.961940e-05,2.956857e-05,2.947882e-05,2.946161e-05,2.935336e-05,2.933593e-05,2.924396e-05,2.919107e-05,2.913353e-05,2.904455e-05,2.902222e-05,2.891014e-05,2.889664e-05,2.879740e-05,2.874761e-05,2.868410e-05,2.859769e-05,2.857035e-05,2.845624e-05,2.844710e-05,2.834186e-05,2.829605e-05,2.822728e-05,2.814472e-05,2.811259e-05,2.799786e-05,2.799327e-05,2.788315e-05,2.784188e-05,2.776854e-05,2.769068e-05,2.765406e-05,2.753980e-05,2.738937e-05,2.723949e-05,2.709027e-05,2.694181e-05,2.679418e-05,2.664747e-05,2.650174e-05,2.635706e-05,2.621349e-05,2.607108e-05,2.592988e-05,2.578994e-05,2.565128e-05,2.551394e-05,2.537797e-05,2.524337e-05,2.511018e-05,2.497842e-05,2.484810e-05,2.471924e-05,2.459185e-05,2.446595e-05,2.434153e-05,2.421861e-05
0.000000e+00,9.526299e-13,6.027896e-12,8.985571e-11,5.180994e-10,1.139894e-09,6.024813e-09,6.390405e-09,2.299091e-08,3.116066e-08,6.268923e-08,1.041350e-07,1.415869e-07,2.656182e-07,2.793097e-07,4.979691e-07,5.650895e-07,8.210822e-07,1.056514e-06,1.272319e-06,1.792964e-06,1.873700e-06,2.642947e-06,2.818006e-06,3.590271e-06,4.153698e-06,4.715637e-06,5.790493e-06,6.007613e-06,7.444299e-06,7.685691e-06,8.995940e-06,9.771589e-06,1.062831e-05,1.196855e-05,1.230607e-05,1.399549e-05,1.419752e-05,1.566628e-05,1.638873e-05,1.729273e-05,1.848618e-05,1.885401e-05,2.033410e-05,2.044863e-05,2.172142e-05,2.224854e-05,2.300832e-05,2.387016e-05,2.419048e-05,2.526639e-05,2.530722e-05,2.623680e-05,2.656076e-05,2.710425e-05,2.763726e-05,2.787266e-05,2.854695e-05,2.913274e-05,2.930249e-05,2.963611e-05,2.991790e-05,3.006332e-05,3.040766e-05,3.042069e-05,3.071443e-05,3.078610e-05,3.095054e-05,3.106692e-05,3.113471e-05,3.126289e-05,3.127230e-05,3.136827e-05,3.138563e-05,3.142720e-05,3.144559e-05,3.145325e-05,3.145199e-05,3.145020e-05,3.142145e-05,3.141289e-05,3.137004e-05,3.133527e-05,3.129870e-05,3.122513e-05,3.120983e-05,3.110558e-05,3.108761e-05,3.098785e-05,3.092705e-05,3.085832e-05,3.074719e-05,3.071846e-05,3.056958e-05,3.055117e-05,3.041285e-05,3.034166e-05,3.024928e-05,3.012095e-05,3.007977e-05,2.990514e-05,2.989097e-05,2.972610e-05,2.965339e-05,2.954328e-05,2.940964e-05,2.935726e-05,2.916852e-05,2.916092e-05,2.897754e-05,2.890831e-05,2.878471e-05,2.865272e-05,2.859040e-05,2.839494e-05,2.819862e-05,2.813566e-05,2.800171e-05,2.787550e-05,2.780447e-05,2.761499e-05,2.760710e-05,2.740981e-05,2.735461e-05,2.721278e-05,2.709476e-05,2.701618e-05,2.683582e-05,2.682016e-05,2.662486e-05,2.657810e-05,2.643040e-05,2.632191e-05,2.623689e-05,2.606748e-05,2.604445e-05,2.585316e-05,2.581505e-05,2.566311e-05,2.556480e-05,2.547438e-05,2.531692e-05,2.528704e-05,2.510114e-05,2.507154e-05,2.491676e-05,2.482880e-05,2.473393e-05,2.458882e-05,2.455270e-05,2.437312e-05,2.435168e-05,2.419522e-05,2.411748e-05,2.401903e-05,2.388628e-05,2.384458e-05,2.367189e-05,2.365815e-05,2.350098e-05,2.343312e-05,2.333188e-05,2.321125e-05,2.316459e-05,2.299913e-05,2.299255e-05,2.283551e-05,2.277705e-05,2.267372e-05,2.256476e-05,2.251378e-05,2.235569e-05,2.214985e-05,2.194722e-05,2.174781e-05,2.155159e-05,2.135856e-05,2.116868e-05,2.098194e-05,2.079832e-05,2.061778e-05,2.044029e-05,2.026583e-05,2.009435e-05,1.992582e-05,1.976020e-05,1.959746e-05,1.943755e-05,1.928044e-05,1.912608e-05,1.897443e-05,1.882546e-05,1.867911e-05,1.853535e-05,1.839413e-05,1.825542e-05
0.000000e+00,1.782810e-13,1.147099e-12,1.770125e-11,1.053207e-10,2.357350e-10,1.302041e-09,1.383507e-09,5.195923e-09,7.123776e-09,1.474643e-08,2.505581e-08,3.456396e-08,6.691896e-08,7.055333e-08,1.297849e-07,1.483281e-07,2.202098e-07,2.876256e-07,3.503115e-07,5.044237e-07,5.286435e-07,7.631790e-07,8.174419e-07,1.060457e-06,1.241343e-06,1.424657e-06,1.783181e-06,1.856841e-06,2.354595e-06,2.439979e-06,2.912164e-06,3.198621e-06,3.521006e-06,4.037973e-06,4.170606e-06,4.849383e-06,4.932234e-06,5.545529e-06,5.854384e-06,6.247706e-06,6.778974e-06,6.945555e-06,7.630028e-06,7.683971e-06,8.293555e-06,8.551692e-06,8.930072e-06,9.369004e-06,9.534982e-06,1.010504e-05,1.012708e-05,1.063819e-05,1.082087e-05,1.113344e-05,1.144846e-05,1.159064e-05,1.201035e-05,1.239369e-05,1.250891e-05,1.274218e-05,1.294777e-05,1.305766e-05,1.333134e-05,1.334215e-05,1.359778e-05,1.366448e-05,1.382672e-05,1.395218e-05,1.403114e-05,1.419933e-05,1.421311e-05,1.437467e-05,1.441061e-05,1.451768e-05,1.459034e-05,1.464394e-05,1.474247e-05,1.475506e-05,1.485255e-05,1.487054e-05,1.493778e-05,1.497766e-05,1.501197e-05,1.506658e-05,1.507624e-05,1.513158e-05,1.513967e-05,1.517889e-05,1.519898e-05,1.521896e-05,1.524627e-05,1.525249e-05,1.528011e-05,1.528305e-05,1.530238e-05,1.531061e-05,1.531979e-05,1.533005e-05,1.533279e-05,1.534176e-05,1.534232e-05,1.534706e-05,1.534822e-05,1.534900e-05,1.534847e-05,1.534786e-05,1.534388e-05,1.534367e-05,1.533731e-05,1.533434e-05,1.532833e-05,1.532096e-05,1.531715e-05,1.530392e-05,1.528881e-05,1.528360e-05,1.527195e-05,1.526030e-05,1.525347e-05,1.523433e-05,1.523350e-05,1.521214e-05,1.520593e-05,1.518951e-05,1.517535e-05,1.516568e-05,1.514279e-05,1.514076e-05,1.511482e-05,1.510845e-05,1.508794e-05,1.507251e-05,1.506020e-05,1.503512e-05,1.503166e-05,1.500238e-05,1.499645e-05,1.497244e-05,1.495662e-05,1.494187e-05,1.491576e-05,1.491075e-05,1.487910e-05,1.487400e-05,1.484700e-05,1.483143e-05,1.481446e-05,1.478816e-05,1.478155e-05,1.474830e-05,1.474429e-05,1.471474e-05,1.469989e-05,1.468091e-05,1.465504e-05,1.464685e-05,1.461258e-05,1.460983e-05,1.457814e-05,1.456432e-05,1.454356e-05,1.451858e-05,1.450885e-05,1.447405e-05,1.447266e-05,1.443919e-05,1.442662e-05,1.440427e-05,1.438051e-05,1.436933e-05,1.433438e-05,1.428828e-05,1.424224e-05,1.419630e-05,1.415050e-05,1.410487e-05,1.405944e-05,1.401423e-05,1.396929e-05,1.392462e-05,1.388025e-05,1.383620e-05,1.379249e-05,1.374914e-05,1.370616e-05,1.366357e-05,1.362137e-05,1.357958e-05,1.353821e-05,1.349728e-05,1.345678e-05,1.341673e-05,1.337713e-05,1.333799e-05,1.329931e-05
0.000000e+00,1.906716e-13,1.299064e-12,2.260618e-11,1.503425e-10,3.579721e-10,2.325191e-09,2.487199e-09,1.100877e-08,1.579082e-08,3.665170e-08,6.837926e-08,1.002982e-07,2.229648e-07,2.378693e-07,5.058953e-07,5.982260e-07,9.875319e-07,1.392226e-06,1.798628e-06,2.906256e-06,3.093229e-06,5.067809e-06,5.564758e-06,7.963661e-06,9.926901e-06,1.206716e-05,1.668734e-05,1.770795e-05,2.525515e-05,2.666613e-05,3.511196e-05,4.078918e-05,4.770891e-05,6.006139e-05,6.349609e-05,8.293470e-05,8.553475e-05,1.064882e-04,1.182735e-04,1.346133e-04,1.593182e-04,1.677512e-04,2.063190e-04,2.096508e-04,2.507018e-04,2.701620e-04,3.012453e-04,3.416220e-04,3.582500e-04,4.219653e-04,4.246565e-04,4.925855e-04,5.197271e-04,5.702464e-04,6.271186e-04,6.550237e-04,7.469314e-04,8.459224e-04,8.790796e-04,9.518894e-04,1.023295e-03,1.064667e-03,1.179136e-03,1.184034e-03,1.309718e-03,1.345999e-03,1.441398e-03,1.523135e-03,1.578711e-03,1.709668e-03,1.721254e-03,1.868593e-03,1.904617e-03,2.020265e-03,2.106914e-03,2.175785e-03,2.315427e-03,2.334651e-03,2.496348e-03,2.528982e-03,2.660357e-03,2.746382e-03,2.826155e-03,2.966426e-03,2.993220e-03,3.161041e-03,3.187928e-03,3.329113e-03,3.409732e-03,3.496946e-03,3.630723e-03,3.664069e-03,3.830027e-03,3.849843e-03,3.994389e-03,4.066096e-03,4.156746e-03,4.278561e-03,4.316716e-03,4.473940e-03,4.486390e-03,4.628089e-03,4.688819e-03,4.778860e-03,4.885168e-03,4.925978e-03,5.069194e-03,5.074839e-03,5.208290e-03,5.257318e-03,5.343072e-03,5.432173e-03,5.473373e-03,5.599052e-03,5.719993e-03,5.757678e-03,5.836103e-03,5.907845e-03,5.947312e-03,6.049415e-03,6.053570e-03,6.154850e-03,6.182314e-03,6.251140e-03,6.306523e-03,6.342450e-03,6.422075e-03,6.428802e-03,6.510235e-03,6.529053e-03,6.586802e-03,6.627579e-03,6.658569e-03,6.717813e-03,6.725612e-03,6.788016e-03,6.799949e-03,6.845879e-03,6.874206e-03,6.899302e-03,6.940827e-03,6.948396e-03,6.993278e-03,7.000076e-03,7.034068e-03,7.052231e-03,7.070892e-03,7.097581e-03,7.103877e-03,7.133156e-03,7.136426e-03,7.158858e-03,7.169069e-03,7.181120e-03,7.195819e-03,7.200073e-03,7.215854e-03,7.216983e-03,7.228595e-03,7.232870e-03,7.238428e-03,7.243782e-03,7.245486e-03,7.249898e-03,7.250021e-03,7.251791e-03,7.251880e-03,7.251291e-03,7.249646e-03,7.248520e-03,7.243598e-03,7.234007e-03,7.221132e-03,7.205225e-03,7.186527e-03,7.165266e-03,7.141664e-03,7.115929e-03,7.088259e-03,7.058842e-03,7.027856e-03,6.995468e-03,6.961837e-03,6.927109e-03,6.891425e-03,6.854913e-03,6.817695e-03,6.779885e-03,6.741587e-03,6.702900e-03,6.663913e-03,6.624710e-03,6.585370e-03,6.545962e-03,6.506552e-03
0.000000e+00,1.641348e-13,1.096467e-12,1.830967e-11,1.172067e-10,2.732247e-10,1.679171e-09,1.792100e-09,7.503386e-09,1.060087e-08,2.368571e-08,4.285191e-08,6.161324e-08,1.310448e-07,1.392840e-07,2.831510e-07,3.313536e-07,5.297053e-07,7.299015e-07,9.265268e-07,1.446312e-06,1.532194e-06,2.414588e-06,2.630722e-06,3.647670e-06,4.452689e-06,5.307269e-06,7.084700e-06,7.466630e-06,1.019229e-05,1.068489e-05,1.354071e-05,1.538257e-05,1.755577e-05,2.126830e-05,2.226723e-05,2.769006e-05,2.838876e-05,3.382444e-05,3.674587e-05,4.065640e-05,4.629906e-05,4.815893e-05,5.629339e-05,5.697004e-05,6.501109e-05,6.864897e-05,7.425514e-05,8.120139e-05,8.396217e-05,9.406415e-05,9.447545e-05,1.044901e-04,1.083088e-04,1.151676e-04,1.225351e-04,1.260244e-04,1.369896e-04,1.479947e-04,1.515140e-04,1.589747e-04,1.659603e-04,1.698686e-04,1.801936e-04,1.806202e-04,1.911785e-04,1.940939e-04,2.014978e-04,2.075577e-04,2.115378e-04,2.204980e-04,2.212638e-04,2.306465e-04,2.328445e-04,2.396618e-04,2.445425e-04,2.482905e-04,2.555524e-04,2.565181e-04,2.643345e-04,2.658478e-04,2.717333e-04,2.754147e-04,2.787120e-04,2.842496e-04,2.852709e-04,2.914135e-04,2.923580e-04,2.971455e-04,2.997533e-04,3.024748e-04,3.064547e-04,3.074111e-04,3.119654e-04,3.124868e-04,3.161501e-04,3.178776e-04,3.199783e-04,3.226580e-04,3.234641e-04,3.266219e-04,3.268608e-04,3.294663e-04,3.305196e-04,3.320122e-04,3.336688e-04,3.342745e-04,3.362681e-04,3.363424e-04,3.380074e-04,3.385741e-04,3.395068e-04,3.403965e-04,3.407802e-04,3.418411e-04,3.427025e-04,3.429381e-04,3.433772e-04,3.437165e-04,3.438771e-04,3.442034e-04,3.442139e-04,3.443986e-04,3.444245e-04,3.444417e-04,3.444039e-04,3.443534e-04,3.441641e-04,3.441430e-04,3.438195e-04,3.437260e-04,3.433915e-04,3.431091e-04,3.428670e-04,3.423315e-04,3.422535e-04,3.415581e-04,3.414098e-04,3.407877e-04,3.403594e-04,3.399483e-04,3.391944e-04,3.390460e-04,3.380863e-04,3.379278e-04,3.370744e-04,3.365715e-04,3.360150e-04,3.351365e-04,3.349128e-04,3.337720e-04,3.336327e-04,3.325966e-04,3.320694e-04,3.313903e-04,3.304549e-04,3.301564e-04,3.288984e-04,3.287968e-04,3.276190e-04,3.271020e-04,3.263213e-04,3.253769e-04,3.250076e-04,3.236805e-04,3.236272e-04,3.223423e-04,3.218581e-04,3.209949e-04,3.200745e-04,3.196404e-04,3.182805e-04,3.164800e-04,3.146767e-04,3.128736e-04,3.110737e-04,3.092794e-04,3.074933e-04,3.057172e-04,3.039532e-04,3.022028e-04,3.004675e-04,2.987487e-04,2.970475e-04,2.953650e-04,2.937020e-04,2.920594e-04,2.904377e-04,2.888376e-04,2.872597e-04,2.857042e-04,2.841716e-04,2.826620e-04,2.811758e-04,2.797131e-04,2.782740e-04
0.000000e+00,7.540470e-13,5.094559e-12,8.711992e-11,5.702606e-10,1.346118e-09,8.554361e-09,9.142425e-09,3.964288e-08,5.656211e-08,1.296298e-07,2.395636e-07,3.493763e-07,7.677845e-07,8.183791e-07,1.723589e-06,2.034083e-06,3.338901e-06,4.690044e-06,6.042791e-06,9.712102e-06,1.032914e-05,1.680662e-05,1.842597e-05,2.618486e-05,3.246653e-05,3.924929e-05,5.367762e-05,5.682820e-05,7.975653e-05,8.397603e-05,1.088398e-04,1.252075e-04,1.448213e-04,1.790155e-04,1.883537e-04,2.399764e-04,2.467358e-04,3.001001e-04,3.293225e-04,3.689955e-04,4.273061e-04,4.467897e-04,5.334663e-04,5.407804e-04,6.288702e-04,6.694157e-04,7.327165e-04,8.124912e-04,8.446018e-04,9.640174e-04,9.689425e-04,1.090365e-03,1.137419e-03,1.222970e-03,1.316345e-03,1.361102e-03,1.503986e-03,1.650819e-03,1.698507e-03,1.800785e-03,1.898029e-03,1.953066e-03,2.100686e-03,2.106856e-03,2.261371e-03,2.304661e-03,2.415854e-03,2.508228e-03,2.569588e-03,2.709780e-03,2.721898e-03,2.872156e-03,2.907848e-03,3.019787e-03,3.101115e-03,3.164267e-03,3.288430e-03,3.305128e-03,3.441955e-03,3.468805e-03,3.574390e-03,3.641416e-03,3.702125e-03,3.805600e-03,3.824902e-03,3.942514e-03,3.960841e-03,4.054799e-03,4.106768e-03,4.161639e-03,4.243136e-03,4.262954e-03,4.358703e-03,4.369819e-03,4.448879e-03,4.486795e-03,4.533503e-03,4.594134e-03,4.612626e-03,4.686321e-03,4.691985e-03,4.754685e-03,4.780563e-03,4.817833e-03,4.860141e-03,4.875893e-03,4.929010e-03,4.931034e-03,4.977339e-03,4.993596e-03,5.021043e-03,5.048207e-03,5.060293e-03,5.095266e-03,5.126140e-03,5.135184e-03,5.153097e-03,5.168379e-03,5.176321e-03,5.195271e-03,5.195992e-03,5.212292e-03,5.216276e-03,5.225400e-03,5.231806e-03,5.235492e-03,5.242261e-03,5.242740e-03,5.247313e-03,5.248031e-03,5.249375e-03,5.249492e-03,5.249084e-03,5.247004e-03,5.246594e-03,5.242054e-03,5.240912e-03,5.235605e-03,5.231543e-03,5.227385e-03,5.219209e-03,5.217526e-03,5.206153e-03,5.204201e-03,5.193385e-03,5.186795e-03,5.179337e-03,5.167251e-03,5.164118e-03,5.147831e-03,5.145809e-03,5.130573e-03,5.122696e-03,5.112437e-03,5.098121e-03,5.093511e-03,5.073877e-03,5.072278e-03,5.053613e-03,5.045348e-03,5.032792e-03,5.017495e-03,5.011484e-03,4.989752e-03,4.988875e-03,4.967658e-03,4.959626e-03,4.945257e-03,4.929878e-03,4.922605e-03,4.899748e-03,4.869344e-03,4.838764e-03,4.808096e-03,4.777420e-03,4.746810e-03,4.716329e-03,4.686038e-03,4.655987e-03,4.626223e-03,4.596788e-03,4.567717e-03,4.539042e-03,4.510790e-03,4.482987e-03,4.455650e-03,4.428799e-03,4.402446e-03,4.376603e-03,4.351280e-03,4.326484e-03,4.302219e-03,4.278489e-03,4.255294e-03,4.232637e-03
0.000000e+00,2.442988e-13,1.625813e-12,2.694702e-11,1.714238e-10,3.983743e-10,2.432381e-09,2.595419e-09,1.082949e-08,1.529551e-08,3.419796e-08,6.200325e-08,8.934503e-08,1.913552e-07,2.035289e-07,4.175643e-07,4.896853e-07,7.873266e-07,1.087927e-06,1.382502e-06,2.155666e-06,2.282519e-06,3.570778e-06,3.882272e-06,5.328548e-06,6.453038e-06,7.629539e-06,1.002788e-05,1.053566e-05,1.409414e-05,1.472634e-05,1.833588e-05,2.061938e-05,2.327495e-05,2.772720e-05,2.890894e-05,3.521996e-05,3.602140e-05,4.217619e-05,4.543041e-05,4.973371e-05,5.584666e-05,5.783853e-05,6.642876e-05,6.713495e-05,7.543670e-05,7.914091e-05,8.479092e-05,9.169928e-05,9.441818e-05,1.042451e-04,1.046414e-04,1.141999e-04,1.178015e-04,1.242134e-04,1.310224e-04,1.342201e-04,1.441593e-04,1.539754e-04,1.570823e-04,1.636185e-04,1.696787e-04,1.730445e-04,1.818536e-04,1.822151e-04,1.910977e-04,1.935294e-04,1.996655e-04,2.046458e-04,2.078968e-04,2.151582e-04,2.157751e-04,2.232883e-04,2.250362e-04,2.304285e-04,2.342623e-04,2.371913e-04,2.428298e-04,2.435761e-04,2.495846e-04,2.507416e-04,2.552215e-04,2.580079e-04,2.604932e-04,2.646454e-04,2.654082e-04,2.699760e-04,2.706754e-04,2.742077e-04,2.761229e-04,2.781149e-04,2.810155e-04,2.817102e-04,2.850063e-04,2.853824e-04,2.880165e-04,2.892538e-04,2.907540e-04,2.926602e-04,2.932320e-04,2.954638e-04,2.956321e-04,2.974622e-04,2.981991e-04,2.992399e-04,3.003902e-04,3.008094e-04,3.021824e-04,3.022334e-04,3.033707e-04,3.037554e-04,3.043853e-04,3.049815e-04,3.052369e-04,3.059358e-04,3.064917e-04,3.066409e-04,3.069140e-04,3.071182e-04,3.072115e-04,3.073875e-04,3.073927e-04,3.074654e-04,3.074674e-04,3.074373e-04,3.073750e-04,3.073155e-04,3.071266e-04,3.071068e-04,3.068175e-04,3.067368e-04,3.064537e-04,3.062195e-04,3.060210e-04,3.055874e-04,3.055247e-04,3.049699e-04,3.048523e-04,3.043612e-04,3.040249e-04,3.037031e-04,3.031152e-04,3.029998e-04,3.022551e-04,3.021324e-04,3.014728e-04,3.010849e-04,3.006562e-04,2.999805e-04,2.998087e-04,2.989331e-04,2.988263e-04,2.980324e-04,2.976288e-04,2.971092e-04,2.963940e-04,2.961659e-04,2.952049e-04,2.951273e-04,2.942284e-04,2.938339e-04,2.932383e-04,2.925181e-04,2.922366e-04,2.912250e-04,2.911843e-04,2.902052e-04,2.898363e-04,2.891786e-04,2.884775e-04,2.881468e-04,2.871111e-04,2.857400e-04,2.843669e-04,2.829940e-04,2.816236e-04,2.802577e-04,2.788979e-04,2.775460e-04,2.762032e-04,2.748710e-04,2.735505e-04,2.722427e-04,2.709484e-04,2.696687e-04,2.684040e-04,2.671551e-04,2.659226e-04,2.647068e-04,2.635082e-04,2.623271e-04,2.611639e-04,2.600187e-04,2.588917e-04,2.577832e-04,2.566930e-04
0.000000e+00,3.151732e-13,2.065803e-12,3.315499e-11,2.047079e-10,4.678698e-10,2.733940e-09,2.911895e-09,1.161374e-08,1.619868e-08,3.507441e-08,6.193135e-08,8.769580e-08,1.805716e-07,1.914168e-07,3.771528e-07,4.382358e-07,6.853679e-07,9.293749e-07,1.164767e-06,1.770582e-06,1.868689e-06,2.849984e-06,3.083829e-06,4.155804e-06,4.975948e-06,5.823481e-06,7.522676e-06,7.878053e-06,1.033139e-05,1.076104e-05,1.318262e-05,1.468932e-05,1.641943e-05,1.927195e-05,2.001977e-05,2.395387e-05,2.444675e-05,2.818610e-05,3.013261e-05,3.267677e-05,3.623662e-05,3.738369e-05,4.226360e-05,4.266017e-05,4.727328e-05,4.930398e-05,5.237055e-05,5.607206e-05,5.751504e-05,6.266881e-05,6.287464e-05,6.779681e-05,6.963035e-05,7.286722e-05,7.626755e-05,7.785162e-05,8.272510e-05,8.746626e-05,8.895246e-05,9.205714e-05,9.490952e-05,9.648305e-05,1.005659e-04,1.007324e-04,1.047965e-04,1.059003e-04,1.086691e-04,1.108991e-04,1.123465e-04,1.155559e-04,1.158271e-04,1.191108e-04,1.198698e-04,1.221994e-04,1.238448e-04,1.250958e-04,1.274888e-04,1.278041e-04,1.303291e-04,1.308126e-04,1.326765e-04,1.338290e-04,1.348525e-04,1.365525e-04,1.368635e-04,1.387163e-04,1.389986e-04,1.404180e-04,1.411831e-04,1.419754e-04,1.431222e-04,1.433956e-04,1.446856e-04,1.448320e-04,1.458521e-04,1.463279e-04,1.469017e-04,1.476253e-04,1.478410e-04,1.486762e-04,1.487387e-04,1.494133e-04,1.496820e-04,1.500581e-04,1.504683e-04,1.506161e-04,1.510926e-04,1.511100e-04,1.514926e-04,1.516188e-04,1.518210e-04,1.520057e-04,1.520823e-04,1.522807e-04,1.524205e-04,1.524535e-04,1.525055e-04,1.525328e-04,1.525393e-04,1.525268e-04,1.525254e-04,1.524670e-04,1.524432e-04,1.523673e-04,1.522889e-04,1.522292e-04,1.520705e-04,1.520553e-04,1.518483e-04,1.517940e-04,1.516106e-04,1.514649e-04,1.513445e-04,1.510885e-04,1.510521e-04,1.507354e-04,1.506694e-04,1.503964e-04,1.502119e-04,1.500369e-04,1.497202e-04,1.496585e-04,1.492628e-04,1.491979e-04,1.488512e-04,1.486485e-04,1.484253e-04,1.480750e-04,1.479862e-04,1.475353e-04,1.474805e-04,1.470736e-04,1.468674e-04,1.466023e-04,1.462383e-04,1.461224e-04,1.456348e-04,1.455955e-04,1.451404e-04,1.449409e-04,1.446400e-04,1.442765e-04,1.441345e-04,1.436245e-04,1.436040e-04,1.431108e-04,1.429250e-04,1.425939e-04,1.422410e-04,1.420746e-04,1.415534e-04,1.408632e-04,1.401717e-04,1.394799e-04,1.387887e-04,1.380990e-04,1.374116e-04,1.367270e-04,1.360461e-04,1.353693e-04,1.346972e-04,1.340303e-04,1.333690e-04,1.327136e-04,1.320646e-04,1.314222e-04,1.307867e-04,1.301583e-04,1.295372e-04,1.289237e-04,1.283178e-04,1.277198e-04,1.271297e-04,1.265476e-04,1.259736e-04
0.000000e+00,4.676394e-11,1.587977e-10,8.344869e-10,2.304142e-09,3.606807e-09,9.248079e-09,9.562752e-09,1.997094e-08,2.388134e-08,3.634338e-08,4.976106e-08,6.043633e-08,9.066366e-08,9.366894e-08,1.358961e-07,1.471731e-07,1.851696e-07,2.149413e-07,2.391340e-07,2.890889e-07,2.960288e-07,3.547060e-07,3.665817e-07,4.143717e-07,4.455762e-07,4.743972e-07,5.246898e-07,5.342280e-07,5.933498e-07,6.027110e-07,6.512845e-07,6.785421e-07,7.075979e-07,7.512247e-07,7.619113e-07,8.139109e-07,8.199829e-07,8.633511e-07,8.842463e-07,9.100565e-07,9.436542e-07,9.539181e-07,9.948873e-07,9.980397e-07,1.032968e-06,1.047402e-06,1.068210e-06,1.091872e-06,1.100696e-06,1.130537e-06,1.131677e-06,1.157863e-06,1.167112e-06,1.182817e-06,1.198506e-06,1.205547e-06,1.226205e-06,1.244942e-06,1.250556e-06,1.261903e-06,1.271890e-06,1.277227e-06,1.290522e-06,1.291047e-06,1.303488e-06,1.306740e-06,1.314664e-06,1.320807e-06,1.324681e-06,1.332958e-06,1.333638e-06,1.341624e-06,1.343406e-06,1.348722e-06,1.352336e-06,1.355005e-06,1.359914e-06,1.360541e-06,1.365391e-06,1.366284e-06,1.369611e-06,1.371574e-06,1.373252e-06,1.375895e-06,1.376358e-06,1.378972e-06,1.379347e-06,1.381131e-06,1.382015e-06,1.382869e-06,1.383977e-06,1.384217e-06,1.385204e-06,1.385299e-06,1.385855e-06,1.386042e-06,1.386195e-06,1.386257e-06,1.386244e-06,1.386023e-06,1.385994e-06,1.385549e-06,1.385293e-06,1.384841e-06,1.384194e-06,1.383913e-06,1.382780e-06,1.382730e-06,1.381454e-06,1.380933e-06,1.379950e-06,1.378830e-06,1.378277e-06,1.376446e-06,1.374469e-06,1.373806e-06,1.372353e-06,1.370931e-06,1.370108e-06,1.367839e-06,1.367742e-06,1.365263e-06,1.364550e-06,1.362678e-06,1.361079e-06,1.359993e-06,1.357442e-06,1.357216e-06,1.354352e-06,1.353652e-06,1.351407e-06,1.349724e-06,1.348386e-06,1.345670e-06,1.345295e-06,1.342138e-06,1.341499e-06,1.338920e-06,1.337224e-06,1.335646e-06,1.332854e-06,1.332319e-06,1.328943e-06,1.328399e-06,1.325522e-06,1.323865e-06,1.322060e-06,1.319263e-06,1.318560e-06,1.315025e-06,1.314598e-06,1.311458e-06,1.309879e-06,1.307862e-06,1.305112e-06,1.304240e-06,1.300595e-06,1.300302e-06,1.296928e-06,1.295456e-06,1.293243e-06,1.290579e-06,1.289541e-06,1.285825e-06,1.285676e-06,1.282097e-06,1.280752e-06,1.278358e-06,1.275811e-06,1.274611e-06,1.270857e-06,1.265895e-06,1.260928e-06,1.255959e-06,1.250992e-06,1.246030e-06,1.241075e-06,1.236131e-06,1.231199e-06,1.226282e-06,1.221382e-06,1.216502e-06,1.211643e-06,1.206806e-06,1.201994e-06,1.197208e-06,1.192450e-06,1.187721e-06,1.183021e-06,1.178353e-06,1.173718e-06,1.169115e-06,1.164547e-06,1.160013e-06,1.155515e-06
0.000000e+00,9.154291e-12,5.476715e-11,7.297376e-10,3.818730e-09,7.985224e-09,3.733837e-08,3.941872e-08,1.274846e-07,1.683274e-07,3.189500e-07,5.079815e-07,6.740951e-07,1.208082e-06,1.266051e-06,2.175766e-06,2.450076e-06,3.478037e-06,4.399232e-06,5.224242e-06,7.144268e-06,7.433799e-06,1.009785e-05,1.068301e-05,1.318930e-05,1.495402e-05,1.667231e-05,1.987243e-05,2.050830e-05,2.465852e-05,2.534915e-05,2.908459e-05,3.129585e-05,3.374822e-05,3.762431e-05,3.861092e-05,4.363396e-05,4.424566e-05,4.877865e-05,5.107100e-05,5.400687e-05,5.801338e-05,5.928166e-05,6.456793e-05,6.499033e-05,6.983295e-05,7.192621e-05,7.504683e-05,7.875400e-05,8.018280e-05,8.521740e-05,8.541638e-05,9.013047e-05,9.186607e-05,9.490507e-05,9.806553e-05,9.952737e-05,1.039864e-04,1.082740e-04,1.096088e-04,1.123841e-04,1.149196e-04,1.163129e-04,1.199120e-04,1.200582e-04,1.236197e-04,1.245841e-04,1.269981e-04,1.289378e-04,1.301949e-04,1.329780e-04,1.332129e-04,1.360555e-04,1.367120e-04,1.387264e-04,1.401488e-04,1.412302e-04,1.432991e-04,1.435717e-04,1.457563e-04,1.461748e-04,1.477894e-04,1.487886e-04,1.496767e-04,1.511533e-04,1.514236e-04,1.530358e-04,1.532816e-04,1.545187e-04,1.551861e-04,1.558775e-04,1.568789e-04,1.571177e-04,1.582443e-04,1.583721e-04,1.592624e-04,1.596773e-04,1.601769e-04,1.608057e-04,1.609927e-04,1.617142e-04,1.617680e-04,1.623461e-04,1.625748e-04,1.628928e-04,1.632360e-04,1.633584e-04,1.637471e-04,1.637611e-04,1.640628e-04,1.641593e-04,1.643092e-04,1.644391e-04,1.644901e-04,1.646088e-04,1.646689e-04,1.646762e-04,1.646735e-04,1.646488e-04,1.646258e-04,1.645335e-04,1.645287e-04,1.643852e-04,1.643370e-04,1.641979e-04,1.640656e-04,1.639695e-04,1.637252e-04,1.637025e-04,1.633993e-04,1.633214e-04,1.630622e-04,1.628594e-04,1.626934e-04,1.623444e-04,1.622951e-04,1.618692e-04,1.617808e-04,1.614176e-04,1.611732e-04,1.609421e-04,1.605256e-04,1.604446e-04,1.599266e-04,1.598419e-04,1.593897e-04,1.591258e-04,1.588355e-04,1.583806e-04,1.582653e-04,1.576806e-04,1.576095e-04,1.570825e-04,1.568155e-04,1.564724e-04,1.560014e-04,1.558514e-04,1.552206e-04,1.551698e-04,1.545811e-04,1.543231e-04,1.539339e-04,1.534636e-04,1.532798e-04,1.526199e-04,1.525934e-04,1.519548e-04,1.517143e-04,1.512856e-04,1.508284e-04,1.506128e-04,1.499372e-04,1.490423e-04,1.481452e-04,1.472471e-04,1.463494e-04,1.454531e-04,1.445594e-04,1.436691e-04,1.427832e-04,1.419024e-04,1.410276e-04,1.401594e-04,1.392983e-04,1.384450e-04,1.375999e-04,1.367635e-04,1.359361e-04,1.351183e-04,1.343101e-04,1.335120e-04,1.327242e-04,1.319468e-04,1.311801e-04,1.304241e-04,1.296791e-04
0.000000e+00,7.654993e-14,5.176832e-13,8.868772e-12,5.813238e-11,1.373052e-10,8.732663e-10,9.333047e-10,4.044353e-09,5.767699e-09,1.319386e-08,2.432758e-08,3.541213e-08,7.739975e-08,8.245552e-08,1.723444e-07,2.029781e-07,3.309079e-07,4.623357e-07,5.931329e-07,9.451523e-07,1.004049e-06,1.618939e-06,1.771956e-06,2.502824e-06,3.092879e-06,3.729278e-06,5.082929e-06,5.378741e-06,7.536480e-06,7.934740e-06,1.029035e-05,1.184989e-05,1.372850e-05,1.702972e-05,1.793708e-05,2.299808e-05,2.366636e-05,2.898732e-05,3.193446e-05,3.597266e-05,4.198398e-05,4.401242e-05,5.315410e-05,5.393419e-05,6.343336e-05,6.786919e-05,7.487327e-05,8.383482e-05,8.748385e-05,1.012620e-04,1.018372e-04,1.161914e-04,1.218426e-04,1.322431e-04,1.437788e-04,1.493760e-04,1.675378e-04,1.866655e-04,1.929789e-04,2.066872e-04,2.199336e-04,2.275229e-04,2.482104e-04,2.490857e-04,2.712837e-04,2.775999e-04,2.940206e-04,3.078804e-04,3.171976e-04,3.388231e-04,3.407146e-04,3.644713e-04,3.701974e-04,3.883681e-04,4.017753e-04,4.123079e-04,4.333354e-04,4.361962e-04,4.599425e-04,4.646670e-04,4.834606e-04,4.955728e-04,5.066696e-04,5.258709e-04,5.294940e-04,5.518643e-04,5.553971e-04,5.737172e-04,5.840058e-04,5.949956e-04,6.115706e-04,6.156491e-04,6.356333e-04,6.379846e-04,6.549105e-04,6.631600e-04,6.734488e-04,6.870276e-04,6.912223e-04,7.082109e-04,7.095356e-04,7.243998e-04,7.306490e-04,7.397790e-04,7.503477e-04,7.543435e-04,7.680926e-04,7.686256e-04,7.810293e-04,7.854889e-04,7.931605e-04,8.009546e-04,8.044962e-04,8.150493e-04,8.248351e-04,8.278073e-04,8.338713e-04,8.392699e-04,8.421773e-04,8.494837e-04,8.497743e-04,8.566845e-04,8.584995e-04,8.629316e-04,8.663715e-04,8.685396e-04,8.731560e-04,8.735335e-04,8.779384e-04,8.789107e-04,8.817797e-04,8.836942e-04,8.850830e-04,8.875649e-04,8.878735e-04,8.901764e-04,8.905807e-04,8.920165e-04,8.927986e-04,8.934182e-04,8.942743e-04,8.944053e-04,8.950010e-04,8.950616e-04,8.952281e-04,8.952126e-04,8.951084e-04,8.947772e-04,8.946631e-04,8.939127e-04,8.938031e-04,8.928768e-04,8.923354e-04,8.915743e-04,8.904173e-04,8.900233e-04,8.882411e-04,8.880890e-04,8.862442e-04,8.853889e-04,8.840484e-04,8.823527e-04,8.816687e-04,8.791193e-04,8.790140e-04,8.764138e-04,8.754041e-04,8.735650e-04,8.715521e-04,8.705850e-04,8.674852e-04,8.632284e-04,8.588050e-04,8.542364e-04,8.495424e-04,8.447411e-04,8.398494e-04,8.348826e-04,8.298547e-04,8.247786e-04,8.196660e-04,8.145277e-04,8.093733e-04,8.042116e-04,7.990508e-04,7.938981e-04,7.887600e-04,7.836424e-04,7.785508e-04,7.734897e-04,7.684638e-04,7.634766e-04,7.585316e-04,7.536319e-04,7.487802e-04
0.000000e+00,1.000342e-10,2.613643e-10,1.030579e-09,2.496488e-09,3.728288e-09,8.825713e-09,9.103942e-09,1.812630e-08,2.145248e-08,3.189617e-08,4.292767e-08,5.157277e-08,7.555646e-08,7.791089e-08,1.107691e-07,1.195486e-07,1.494351e-07,1.733542e-07,1.932010e-07,2.354914e-07,2.415132e-07,2.939063e-07,3.048354e-07,3.499323e-07,3.803475e-07,4.091234e-07,4.609254e-07,4.709802e-07,5.349757e-07,5.453772e-07,6.005662e-07,6.324555e-07,6.672057e-07,7.209133e-07,7.343607e-07,8.015236e-07,8.095609e-07,8.682238e-07,8.973138e-07,9.340358e-07,9.832262e-07,9.985845e-07,1.061547e-06,1.066507e-06,1.122652e-06,1.146523e-06,1.181681e-06,1.222799e-06,1.238464e-06,1.292874e-06,1.294999e-06,1.344823e-06,1.362912e-06,1.394261e-06,1.426431e-06,1.441164e-06,1.485538e-06,1.527406e-06,1.540281e-06,1.566810e-06,1.590762e-06,1.603808e-06,1.637123e-06,1.638465e-06,1.670857e-06,1.679532e-06,1.701064e-06,1.718175e-06,1.729172e-06,1.753251e-06,1.755267e-06,1.779438e-06,1.784962e-06,1.801772e-06,1.813511e-06,1.822359e-06,1.839097e-06,1.841283e-06,1.858629e-06,1.861915e-06,1.874477e-06,1.882152e-06,1.888907e-06,1.899987e-06,1.901994e-06,1.913813e-06,1.915590e-06,1.924431e-06,1.929122e-06,1.933918e-06,1.940735e-06,1.942336e-06,1.949747e-06,1.950571e-06,1.956208e-06,1.958764e-06,1.961775e-06,1.965440e-06,1.966500e-06,1.970433e-06,1.970715e-06,1.973621e-06,1.974697e-06,1.976108e-06,1.977490e-06,1.977938e-06,1.979151e-06,1.979187e-06,1.979784e-06,1.979877e-06,1.979873e-06,1.979641e-06,1.979453e-06,1.978555e-06,1.977211e-06,1.976691e-06,1.975448e-06,1.974113e-06,1.973294e-06,1.970883e-06,1.970776e-06,1.967916e-06,1.967057e-06,1.964738e-06,1.962688e-06,1.961265e-06,1.957825e-06,1.957515e-06,1.953509e-06,1.952512e-06,1.949266e-06,1.946791e-06,1.944801e-06,1.940702e-06,1.940132e-06,1.935273e-06,1.934280e-06,1.930241e-06,1.927559e-06,1.925047e-06,1.920569e-06,1.919705e-06,1.914228e-06,1.913340e-06,1.908627e-06,1.905897e-06,1.902912e-06,1.898266e-06,1.897095e-06,1.891184e-06,1.890469e-06,1.885189e-06,1.882527e-06,1.879119e-06,1.874460e-06,1.872982e-06,1.866785e-06,1.866287e-06,1.860535e-06,1.858022e-06,1.854240e-06,1.849683e-06,1.847906e-06,1.841538e-06,1.841283e-06,1.835144e-06,1.832836e-06,1.828727e-06,1.824354e-06,1.822293e-06,1.815847e-06,1.807327e-06,1.798804e-06,1.790285e-06,1.781780e-06,1.773295e-06,1.764837e-06,1.756413e-06,1.748029e-06,1.739690e-06,1.731400e-06,1.723165e-06,1.714988e-06,1.706873e-06,1.698823e-06,1.690841e-06,1.682931e-06,1.675093e-06,1.667332e-06,1.659648e-06,1.652043e-06,1.644519e-06,1.637077e-06,1.629719e-06,1.622445e-06
0.000000e+00,3.371488e-11,8.075439e-11,2.904287e-10,6.730838e-10,9.879229e-10,2.260625e-09,2.329129e-09,4.514245e-09,5.305344e-09,7.751427e-09,1.029003e-08,1.226099e-08,1.772484e-08,1.826500e-08,2.594967e-08,2.805629e-08,3.539414e-08,4.142265e-08,4.649902e-08,5.743017e-08,5.899085e-08,7.251634e-08,7.531502e-08,8.674052e-08,9.431932e-08,1.013881e-07,1.138594e-07,1.162425e-07,1.311323e-07,1.335083e-07,1.459190e-07,1.529456e-07,1.604885e-07,1.719242e-07,1.747471e-07,1.886181e-07,1.902535e-07,2.020403e-07,2.077913e-07,2.149664e-07,2.244367e-07,2.273617e-07,2.392025e-07,2.401253e-07,2.504748e-07,2.548230e-07,2.611730e-07,2.685208e-07,2.712985e-07,2.808573e-07,2.812280e-07,2.898604e-07,2.929683e-07,2.983228e-07,3.037769e-07,3.062614e-07,3.136956e-07,3.206458e-07,3.227711e-07,3.271332e-07,3.310521e-07,3.331791e-07,3.385880e-07,3.388052e-07,3.440327e-07,3.454278e-07,3.488825e-07,3.516197e-07,3.533751e-07,3.572095e-07,3.575299e-07,3.613661e-07,3.622415e-07,3.649019e-07,3.667571e-07,3.681545e-07,3.707958e-07,3.711406e-07,3.738759e-07,3.743942e-07,3.763754e-07,3.775867e-07,3.786533e-07,3.804053e-07,3.807230e-07,3.825972e-07,3.828798e-07,3.842880e-07,3.850378e-07,3.858067e-07,3.869049e-07,3.871639e-07,3.883698e-07,3.885048e-07,3.894339e-07,3.898595e-07,3.903651e-07,3.909892e-07,3.911719e-07,3.918622e-07,3.919126e-07,3.924436e-07,3.926472e-07,3.929230e-07,3.932088e-07,3.933071e-07,3.936021e-07,3.936122e-07,3.938140e-07,3.938710e-07,3.939482e-07,3.939977e-07,3.940099e-07,3.940040e-07,3.939352e-07,3.939006e-07,3.938077e-07,3.936972e-07,3.936257e-07,3.934031e-07,3.933929e-07,3.931129e-07,3.930266e-07,3.927893e-07,3.925754e-07,3.924250e-07,3.920567e-07,3.920232e-07,3.915867e-07,3.914770e-07,3.911181e-07,3.908426e-07,3.906198e-07,3.901588e-07,3.900944e-07,3.895439e-07,3.894310e-07,3.889704e-07,3.886638e-07,3.883760e-07,3.878617e-07,3.877623e-07,3.871312e-07,3.870287e-07,3.864843e-07,3.861686e-07,3.858231e-07,3.852848e-07,3.851490e-07,3.844634e-07,3.843804e-07,3.837676e-07,3.834585e-07,3.830627e-07,3.825216e-07,3.823499e-07,3.816302e-07,3.815723e-07,3.809046e-07,3.806129e-07,3.801740e-07,3.796455e-07,3.794394e-07,3.787015e-07,3.786719e-07,3.779610e-07,3.776940e-07,3.772188e-07,3.767134e-07,3.764754e-07,3.757316e-07,3.747499e-07,3.737697e-07,3.727921e-07,3.718180e-07,3.708486e-07,3.698847e-07,3.689270e-07,3.679763e-07,3.670333e-07,3.660985e-07,3.651726e-07,3.642559e-07,3.633489e-07,3.624520e-07,3.615656e-07,3.606899e-07,3.598252e-07,3.589718e-07,3.581298e-07,3.572994e-07,3.564808e-07,3.556741e-07,3.548794e-07,3.540967e-07
0.000000e+00,4.261594e-13,2.746874e-12,4.257035e-11,2.543604e-10,5.707289e-10,3.174672e-09,3.374366e-09,1.278138e-08,1.757032e-08,3.664431e-08,6.270201e-08,8.694003e-08,1.705419e-07,1.800235e-07,3.365193e-07,3.861371e-07,5.804786e-07,7.647891e-07,9.372558e-07,1.363202e-06,1.430204e-06,2.077230e-06,2.226160e-06,2.888358e-06,3.375756e-06,3.864844e-06,4.807987e-06,4.999711e-06,6.279178e-06,6.496112e-06,7.684493e-06,8.397389e-06,9.193747e-06,1.046023e-05,1.078346e-05,1.242984e-05,1.263011e-05,1.410973e-05,1.485380e-05,1.580125e-05,1.708212e-05,1.748426e-05,1.914069e-05,1.927157e-05,2.075467e-05,2.138526e-05,2.231265e-05,2.339334e-05,2.380343e-05,2.521810e-05,2.527300e-05,2.654999e-05,2.700825e-05,2.779447e-05,2.858934e-05,2.894885e-05,3.001213e-05,3.098481e-05,3.127720e-05,3.186867e-05,3.238898e-05,3.266650e-05,3.335484e-05,3.338192e-05,3.401917e-05,3.418422e-05,3.458290e-05,3.488789e-05,3.507802e-05,3.547725e-05,3.550955e-05,3.588250e-05,3.596384e-05,3.620180e-05,3.635894e-05,3.647217e-05,3.667322e-05,3.669814e-05,3.688393e-05,3.691662e-05,3.703350e-05,3.709819e-05,3.715049e-05,3.722604e-05,3.723824e-05,3.729978e-05,3.730739e-05,3.733789e-05,3.734859e-05,3.735505e-05,3.735521e-05,3.735350e-05,3.733525e-05,3.733203e-05,3.730210e-05,3.728321e-05,3.725564e-05,3.721233e-05,3.719731e-05,3.712839e-05,3.712245e-05,3.705000e-05,3.701623e-05,3.696316e-05,3.689593e-05,3.686879e-05,3.676768e-05,3.676351e-05,3.666057e-05,3.662067e-05,3.654811e-05,3.646888e-05,3.643088e-05,3.630941e-05,3.618418e-05,3.614338e-05,3.605562e-05,3.597177e-05,3.592412e-05,3.579544e-05,3.579003e-05,3.565369e-05,3.561515e-05,3.551539e-05,3.543158e-05,3.537540e-05,3.524533e-05,3.523397e-05,3.509134e-05,3.505695e-05,3.494771e-05,3.486691e-05,3.480328e-05,3.467566e-05,3.465823e-05,3.451272e-05,3.448357e-05,3.436690e-05,3.429100e-05,3.422092e-05,3.409827e-05,3.407491e-05,3.392899e-05,3.390565e-05,3.378326e-05,3.371342e-05,3.363784e-05,3.352179e-05,3.349282e-05,3.334829e-05,3.333099e-05,3.320433e-05,3.314119e-05,3.306102e-05,3.295258e-05,3.291843e-05,3.277662e-05,3.276531e-05,3.263564e-05,3.257950e-05,3.249557e-05,3.239530e-05,3.235644e-05,3.221831e-05,3.221280e-05,3.208121e-05,3.203212e-05,3.194519e-05,3.185332e-05,3.181027e-05,3.167650e-05,3.150173e-05,3.132905e-05,3.115853e-05,3.099021e-05,3.082412e-05,3.066031e-05,3.049879e-05,3.033958e-05,3.018272e-05,3.002819e-05,2.987603e-05,2.972622e-05,2.957876e-05,2.943367e-05,2.929093e-05,2.915053e-05,2.901247e-05,2.887673e-05,2.874330e-05,2.861217e-05,2.848330e-05,2.835670e-05,2.823233e-05,2.811017e-05
0.000000e+00,3.013373e-12,6.903417e-12,2.357909e-11,5.316591e-11,7.717943e-11,1.731434e-10,1.782856e-10,3.421761e-10,4.016249e-10,5.862062e-10,7.789247e-10,9.290411e-10,1.344129e-09,1.384856e-09,1.952235e-09,2.102940e-09,2.609876e-09,3.006410e-09,3.328051e-09,3.989595e-09,4.081142e-09,4.850787e-09,5.005499e-09,5.624100e-09,6.024407e-09,6.391513e-09,7.025986e-09,7.145436e-09,7.879623e-09,7.994901e-09,8.588899e-09,8.919241e-09,9.269090e-09,9.790113e-09,9.916986e-09,1.053031e-08,1.060151e-08,1.110767e-08,1.135014e-08,1.164847e-08,1.203504e-08,1.215277e-08,1.262125e-08,1.265722e-08,1.305502e-08,1.321911e-08,1.345550e-08,1.372418e-08,1.382438e-08,1.416349e-08,1.417646e-08,1.447472e-08,1.458032e-08,1.476002e-08,1.494017e-08,1.502127e-08,1.526032e-08,1.547893e-08,1.554485e-08,1.567877e-08,1.579754e-08,1.586140e-08,1.602187e-08,1.602826e-08,1.618067e-08,1.622093e-08,1.631986e-08,1.639749e-08,1.644693e-08,1.655401e-08,1.656290e-08,1.666869e-08,1.669266e-08,1.676513e-08,1.681534e-08,1.685297e-08,1.692371e-08,1.693290e-08,1.700553e-08,1.701923e-08,1.707143e-08,1.710321e-08,1.713111e-08,1.717677e-08,1.718503e-08,1.723361e-08,1.724091e-08,1.727722e-08,1.729650e-08,1.731623e-08,1.734434e-08,1.735095e-08,1.738167e-08,1.738510e-08,1.740864e-08,1.741940e-08,1.743213e-08,1.744778e-08,1.745235e-08,1.746951e-08,1.747075e-08,1.748380e-08,1.748875e-08,1.749539e-08,1.750216e-08,1.750445e-08,1.751114e-08,1.751136e-08,1.751559e-08,1.751666e-08,1.751793e-08,1.751838e-08,1.751829e-08,1.751677e-08,1.751350e-08,1.751210e-08,1.750857e-08,1.750459e-08,1.750207e-08,1.749445e-08,1.749410e-08,1.748473e-08,1.748187e-08,1.747405e-08,1.746704e-08,1.746213e-08,1.745013e-08,1.744904e-08,1.743484e-08,1.743128e-08,1.741961e-08,1.741065e-08,1.740340e-08,1.738836e-08,1.738626e-08,1.736826e-08,1.736455e-08,1.734943e-08,1.733934e-08,1.732984e-08,1.731282e-08,1.730952e-08,1.728852e-08,1.728510e-08,1.726689e-08,1.725629e-08,1.724466e-08,1.722646e-08,1.722186e-08,1.719855e-08,1.719571e-08,1.717474e-08,1.716412e-08,1.715048e-08,1.713175e-08,1.712579e-08,1.710071e-08,1.709868e-08,1.707526e-08,1.706498e-08,1.704947e-08,1.703071e-08,1.702337e-08,1.699698e-08,1.699591e-08,1.697032e-08,1.696067e-08,1.694343e-08,1.692501e-08,1.691631e-08,1.688899e-08,1.685267e-08,1.681607e-08,1.677925e-08,1.674224e-08,1.670507e-08,1.666778e-08,1.663041e-08,1.659298e-08,1.655552e-08,1.651806e-08,1.648063e-08,1.644324e-08,1.640592e-08,1.636870e-08,1.633158e-08,1.629459e-08,1.625775e-08,1.622108e-08,1.618457e-08,1.614826e-08,1.611216e-08,1.607627e-08,1.604061e-08,1.600520e-08
0.000000e+00,9.279520e-11,2.985660e-10,1.478319e-09,3.982273e-09,6.183227e-09,1.563383e-08,1.615784e-08,3.330638e-08,3.965647e-08,5.957448e-08,8.055452e-08,9.699279e-08,1.430430e-07,1.476271e-07,2.133742e-07,2.315685e-07,2.955522e-07,3.488785e-07,3.943444e-07,4.939976e-07,5.084132e-07,6.351008e-07,6.616688e-07,7.711734e-07,8.445986e-07,9.135496e-07,1.036113e-06,1.059649e-06,1.207424e-06,1.231110e-06,1.355262e-06,1.425860e-06,1.501885e-06,1.617614e-06,1.646270e-06,1.787600e-06,1.804322e-06,1.925225e-06,1.984471e-06,2.058639e-06,2.156980e-06,2.187462e-06,2.311418e-06,2.321118e-06,2.430323e-06,2.476444e-06,2.544067e-06,2.622742e-06,2.652608e-06,2.755950e-06,2.759976e-06,2.854143e-06,2.888247e-06,2.947269e-06,3.007754e-06,3.035434e-06,3.118766e-06,3.197403e-06,3.221601e-06,3.271498e-06,3.316608e-06,3.341208e-06,3.404154e-06,3.406694e-06,3.468120e-06,3.484613e-06,3.525647e-06,3.558360e-06,3.579439e-06,3.625765e-06,3.629654e-06,3.676449e-06,3.687189e-06,3.719978e-06,3.742982e-06,3.760387e-06,3.793483e-06,3.797823e-06,3.832424e-06,3.839017e-06,3.864327e-06,3.879892e-06,3.893660e-06,3.916406e-06,3.920549e-06,3.945116e-06,3.948839e-06,3.967476e-06,3.977457e-06,3.987740e-06,4.002515e-06,4.006016e-06,4.022406e-06,4.024250e-06,4.037007e-06,4.042890e-06,4.049914e-06,4.058646e-06,4.061217e-06,4.071002e-06,4.071721e-06,4.079350e-06,4.082305e-06,4.086340e-06,4.090574e-06,4.092047e-06,4.096542e-06,4.096698e-06,4.099895e-06,4.100834e-06,4.102168e-06,4.103130e-06,4.103426e-06,4.103726e-06,4.103126e-06,4.102753e-06,4.101679e-06,4.100332e-06,4.099436e-06,4.096579e-06,4.096445e-06,4.092754e-06,4.091601e-06,4.088406e-06,4.085499e-06,4.083443e-06,4.078368e-06,4.077905e-06,4.071830e-06,4.070296e-06,4.065254e-06,4.061366e-06,4.058212e-06,4.051654e-06,4.050735e-06,4.042855e-06,4.041234e-06,4.034602e-06,4.030172e-06,4.026003e-06,4.018532e-06,4.017084e-06,4.007872e-06,4.006372e-06,3.998389e-06,3.993747e-06,3.988658e-06,3.980709e-06,3.978700e-06,3.968537e-06,3.967305e-06,3.958187e-06,3.953579e-06,3.947668e-06,3.939572e-06,3.936998e-06,3.926194e-06,3.925324e-06,3.915269e-06,3.910869e-06,3.904240e-06,3.896242e-06,3.893120e-06,3.881922e-06,3.881472e-06,3.870658e-06,3.866589e-06,3.859340e-06,3.851619e-06,3.847979e-06,3.836586e-06,3.821514e-06,3.806423e-06,3.791332e-06,3.776260e-06,3.761223e-06,3.746236e-06,3.731314e-06,3.716469e-06,3.701712e-06,3.687055e-06,3.672507e-06,3.658077e-06,3.643774e-06,3.629604e-06,3.615574e-06,3.601690e-06,3.587958e-06,3.574382e-06,3.560965e-06,3.547713e-06,3.534628e-06,3.521713e-06,3.508970e-06,3.496401e-06
0.000000e+00,1.153839e-12,7.138237e-12,1.016830e-10,5.636027e-10,1.214550e-09,6.106959e-09,6.465232e-09,2.228854e-08,2.990163e-08,5.880841e-08,9.625015e-08,1.298457e-07,2.407056e-07,2.529476e-07,4.493114e-07,5.099585e-07,7.426697e-07,9.580581e-07,1.155999e-06,1.632817e-06,1.706449e-06,2.400940e-06,2.556900e-06,3.234732e-06,3.718790e-06,4.193171e-06,5.079323e-06,5.255255e-06,6.397324e-06,6.585889e-06,7.595922e-06,8.184911e-06,8.829533e-06,9.828893e-06,1.007935e-05,1.132939e-05,1.147875e-05,1.256628e-05,1.310342e-05,1.377893e-05,1.467864e-05,1.495819e-05,1.609655e-05,1.618566e-05,1.718800e-05,1.761033e-05,1.822778e-05,1.894241e-05,1.921236e-05,2.013927e-05,2.017513e-05,2.100704e-05,2.130482e-05,2.181509e-05,2.233052e-05,2.256362e-05,2.325351e-05,2.388622e-05,2.407691e-05,2.446365e-05,2.480524e-05,2.498809e-05,2.544403e-05,2.546205e-05,2.588827e-05,2.599944e-05,2.626957e-05,2.647798e-05,2.660882e-05,2.688623e-05,2.690886e-05,2.717251e-05,2.723067e-05,2.740248e-05,2.751753e-05,2.760138e-05,2.775270e-05,2.777171e-05,2.791579e-05,2.794166e-05,2.803583e-05,2.808944e-05,2.813388e-05,2.820064e-05,2.821184e-05,2.827149e-05,2.827944e-05,2.831444e-05,2.832957e-05,2.834220e-05,2.835439e-05,2.835614e-05,2.835751e-05,2.835689e-05,2.834748e-05,2.833972e-05,2.832708e-05,2.830525e-05,2.829729e-05,2.825898e-05,2.825557e-05,2.821295e-05,2.819254e-05,2.815993e-05,2.811780e-05,2.810058e-05,2.803551e-05,2.803280e-05,2.796528e-05,2.793883e-05,2.789039e-05,2.783704e-05,2.781131e-05,2.772845e-05,2.764220e-05,2.761395e-05,2.755293e-05,2.749435e-05,2.746094e-05,2.737037e-05,2.736655e-05,2.727001e-05,2.724264e-05,2.717159e-05,2.711173e-05,2.707152e-05,2.697817e-05,2.697000e-05,2.686723e-05,2.684240e-05,2.676338e-05,2.670483e-05,2.665864e-05,2.656583e-05,2.655314e-05,2.644702e-05,2.642574e-05,2.634043e-05,2.628485e-05,2.623347e-05,2.614343e-05,2.612627e-05,2.601891e-05,2.600173e-05,2.591151e-05,2.585996e-05,2.580413e-05,2.571831e-05,2.569687e-05,2.558980e-05,2.557697e-05,2.548299e-05,2.543609e-05,2.537651e-05,2.529583e-05,2.527040e-05,2.516473e-05,2.515630e-05,2.505955e-05,2.501763e-05,2.495491e-05,2.487991e-05,2.485084e-05,2.474738e-05,2.474326e-05,2.464459e-05,2.460774e-05,2.454247e-05,2.447345e-05,2.444108e-05,2.434043e-05,2.420876e-05,2.407848e-05,2.394965e-05,2.382229e-05,2.369646e-05,2.357218e-05,2.344948e-05,2.332837e-05,2.320889e-05,2.309103e-05,2.297482e-05,2.286027e-05,2.274737e-05,2.263614e-05,2.252657e-05,2.241867e-05,2.231243e-05,2.220785e-05,2.210492e-05,2.200363e-05,2.190398e-05,2.180596e-05,2.170955e-05,2.161474e-05
0.000000e+00,3.243711e-11,1.500103e-10,1.241912e-09,4.487868e-09,7.837821e-09,2.457348e-08,2.556969e-08,6.021246e-08,7.370863e-08,1.173742e-07,1.647980e-07,2.026317e-07,3.107251e-07,3.216182e-07,4.799185e-07,5.243463e-07,6.826068e-07,8.169291e-07,9.332332e-07,1.193980e-06,1.232360e-06,1.576559e-06,1.650249e-06,1.959048e-06,2.170365e-06,2.371670e-06,2.735852e-06,2.806668e-06,3.257434e-06,3.330640e-06,3.718483e-06,3.942058e-06,4.185206e-06,4.559995e-06,4.653650e-06,5.120377e-06,5.176123e-06,5.582400e-06,5.783522e-06,6.037141e-06,6.376516e-06,6.482416e-06,6.916412e-06,6.950598e-06,7.337667e-06,7.502335e-06,7.745039e-06,8.029262e-06,8.137676e-06,8.514985e-06,8.529753e-06,8.876593e-06,9.002889e-06,9.222321e-06,9.448328e-06,9.552146e-06,9.866179e-06,1.016464e-05,1.025690e-05,1.044783e-05,1.062122e-05,1.071611e-05,1.096002e-05,1.096990e-05,1.120966e-05,1.127435e-05,1.143587e-05,1.156529e-05,1.164902e-05,1.183401e-05,1.184960e-05,1.203814e-05,1.208165e-05,1.221512e-05,1.230937e-05,1.238104e-05,1.251830e-05,1.253640e-05,1.268166e-05,1.270954e-05,1.281730e-05,1.288417e-05,1.294375e-05,1.304319e-05,1.306146e-05,1.317084e-05,1.318760e-05,1.327230e-05,1.331830e-05,1.336623e-05,1.343619e-05,1.345299e-05,1.353296e-05,1.354211e-05,1.360646e-05,1.363684e-05,1.367383e-05,1.372113e-05,1.373539e-05,1.379143e-05,1.379568e-05,1.384223e-05,1.386115e-05,1.388808e-05,1.391817e-05,1.392923e-05,1.396593e-05,1.396731e-05,1.399842e-05,1.400913e-05,1.402692e-05,1.404413e-05,1.405165e-05,1.407281e-05,1.409061e-05,1.409562e-05,1.410521e-05,1.411297e-05,1.411681e-05,1.412528e-05,1.412557e-05,1.413165e-05,1.413290e-05,1.413521e-05,1.413619e-05,1.413638e-05,1.413547e-05,1.413531e-05,1.413213e-05,1.413106e-05,1.412695e-05,1.412324e-05,1.411991e-05,1.411226e-05,1.411112e-05,1.410068e-05,1.409840e-05,1.408868e-05,1.408187e-05,1.407524e-05,1.406290e-05,1.406044e-05,1.404438e-05,1.404169e-05,1.402712e-05,1.401844e-05,1.400876e-05,1.399332e-05,1.398936e-05,1.396900e-05,1.396649e-05,1.394774e-05,1.393813e-05,1.392566e-05,1.390836e-05,1.390281e-05,1.387924e-05,1.387733e-05,1.385502e-05,1.384516e-05,1.383019e-05,1.381197e-05,1.380481e-05,1.377892e-05,1.377788e-05,1.375257e-05,1.374298e-05,1.372580e-05,1.370737e-05,1.369864e-05,1.367114e-05,1.363438e-05,1.359716e-05,1.355955e-05,1.352163e-05,1.348344e-05,1.344506e-05,1.340654e-05,1.336793e-05,1.332926e-05,1.329060e-05,1.325197e-05,1.321341e-05,1.317497e-05,1.313666e-05,1.309852e-05,1.306058e-05,1.302285e-05,1.298537e-05,1.294816e-05,1.291123e-05,1.287460e-05,1.283828e-05,1.280230e-05,1.276666e-05
0.000000e+00,2.845950e-11,6.599184e-11,2.306150e-10,5.309847e-10,7.801372e-10,1.810495e-09,1.867033e-09,3.726516e-09,4.425293e-09,6.662673e-09,9.087755e-09,1.102435e-08,1.651838e-08,1.706505e-08,2.477699e-08,2.685451e-08,3.394795e-08,3.963084e-08,4.434191e-08,5.435597e-08,5.577886e-08,6.812981e-08,7.070058e-08,8.129460e-08,8.843249e-08,9.518511e-08,1.073516e-07,1.097160e-07,1.248002e-07,1.272590e-07,1.403475e-07,1.479475e-07,1.562650e-07,1.692022e-07,1.724585e-07,1.888347e-07,1.908078e-07,2.053026e-07,2.125550e-07,2.217753e-07,2.342476e-07,2.381716e-07,2.544166e-07,2.557076e-07,2.704428e-07,2.767783e-07,2.861902e-07,2.973261e-07,3.016066e-07,3.166474e-07,3.172407e-07,3.312752e-07,3.364340e-07,3.454593e-07,3.548385e-07,3.591756e-07,3.724054e-07,3.851353e-07,3.891017e-07,3.973563e-07,4.049083e-07,4.090635e-07,4.198175e-07,4.202553e-07,4.309331e-07,4.338313e-07,4.411008e-07,4.469589e-07,4.507643e-07,4.592160e-07,4.599313e-07,4.686109e-07,4.706226e-07,4.768133e-07,4.812023e-07,4.845497e-07,4.909816e-07,4.918319e-07,4.986723e-07,4.999885e-07,5.050837e-07,5.082523e-07,5.110790e-07,5.158032e-07,5.166714e-07,5.218742e-07,5.226714e-07,5.267006e-07,5.288874e-07,5.311637e-07,5.344814e-07,5.352765e-07,5.390520e-07,5.394830e-07,5.425027e-07,5.439213e-07,5.456411e-07,5.478249e-07,5.484794e-07,5.510295e-07,5.512214e-07,5.533031e-07,5.541377e-07,5.553116e-07,5.565998e-07,5.570661e-07,5.585772e-07,5.586328e-07,5.598556e-07,5.602608e-07,5.609113e-07,5.615071e-07,5.617543e-07,5.623940e-07,5.628399e-07,5.629431e-07,5.631009e-07,5.631748e-07,5.631855e-07,5.631088e-07,5.631024e-07,5.628595e-07,5.627639e-07,5.624647e-07,5.621580e-07,5.619255e-07,5.613083e-07,5.612493e-07,5.604431e-07,5.602311e-07,5.595137e-07,5.589419e-07,5.584676e-07,5.574555e-07,5.573111e-07,5.560502e-07,5.557861e-07,5.546909e-07,5.539469e-07,5.532386e-07,5.519508e-07,5.516988e-07,5.500766e-07,5.498098e-07,5.483771e-07,5.475353e-07,5.466050e-07,5.451382e-07,5.447649e-07,5.428612e-07,5.426287e-07,5.408980e-07,5.400165e-07,5.388796e-07,5.373109e-07,5.368096e-07,5.346919e-07,5.345206e-07,5.325300e-07,5.316537e-07,5.303273e-07,5.287179e-07,5.280871e-07,5.258124e-07,5.257207e-07,5.235063e-07,5.226689e-07,5.211716e-07,5.195690e-07,5.188109e-07,5.164270e-07,5.132488e-07,5.100397e-07,5.068048e-07,5.035489e-07,5.002763e-07,4.969913e-07,4.936978e-07,4.903994e-07,4.870995e-07,4.838013e-07,4.805078e-07,4.772216e-07,4.739454e-07,4.706815e-07,4.674322e-07,4.641993e-07,4.609849e-07,4.577906e-07,4.546180e-07,4.514685e-07,4.483436e-07,4.452443e-07,4.421718e-07,4.391270e-07
0.000000e+00,6.357462e-12,3.772920e-11,4.947631e-10,2.554380e-09,5.304456e-09,2.440601e-08,2.575041e-08,8.220109e-08,1.082109e-07,2.037177e-07,3.231345e-07,4.279104e-07,7.646793e-07,8.012728e-07,1.377229e-06,1.551596e-06,2.207801e-06,2.798961e-06,3.330190e-06,4.570046e-06,4.757189e-06,6.477733e-06,6.854866e-06,8.464886e-06,9.592452e-06,1.068495e-05,1.270472e-05,1.310373e-05,1.568944e-05,1.611668e-05,1.841329e-05,1.976203e-05,2.124907e-05,2.358189e-05,2.417245e-05,2.716048e-05,2.752235e-05,3.019141e-05,3.153325e-05,3.324463e-05,3.556808e-05,3.630088e-05,3.934236e-05,3.958454e-05,4.235291e-05,4.354520e-05,4.531818e-05,4.741802e-05,4.822563e-05,5.106455e-05,5.117655e-05,5.382604e-05,5.479979e-05,5.650289e-05,5.827186e-05,5.908945e-05,6.158145e-05,6.397593e-05,6.472123e-05,6.627100e-05,6.768723e-05,6.846577e-05,7.047826e-05,7.056011e-05,7.255459e-05,7.309528e-05,7.445027e-05,7.554086e-05,7.624865e-05,7.781880e-05,7.795157e-05,7.956116e-05,7.993383e-05,8.107980e-05,8.189146e-05,8.251005e-05,8.369768e-05,8.385459e-05,8.511620e-05,8.535882e-05,8.629773e-05,8.688145e-05,8.740211e-05,8.827237e-05,8.843235e-05,8.939153e-05,8.953860e-05,9.028261e-05,9.068698e-05,9.110845e-05,9.172402e-05,9.187183e-05,9.257541e-05,9.265594e-05,9.322174e-05,9.348864e-05,9.381333e-05,9.422782e-05,9.435260e-05,9.484189e-05,9.487894e-05,9.528345e-05,9.544720e-05,9.567945e-05,9.593755e-05,9.603201e-05,9.634315e-05,9.635477e-05,9.661486e-05,9.670339e-05,9.684903e-05,9.698776e-05,9.704749e-05,9.721200e-05,9.734423e-05,9.737999e-05,9.744580e-05,9.749544e-05,9.751827e-05,9.756187e-05,9.756315e-05,9.758187e-05,9.758261e-05,9.757581e-05,9.756084e-05,9.754631e-05,9.749955e-05,9.749462e-05,9.742198e-05,9.740155e-05,9.732953e-05,9.726952e-05,9.721839e-05,9.710598e-05,9.708964e-05,9.694428e-05,9.691331e-05,9.678331e-05,9.669374e-05,9.660765e-05,9.644940e-05,9.641820e-05,9.621581e-05,9.618228e-05,9.600130e-05,9.589427e-05,9.577546e-05,9.558713e-05,9.553903e-05,9.529271e-05,9.526252e-05,9.503719e-05,9.492201e-05,9.477311e-05,9.456707e-05,9.450110e-05,9.422173e-05,9.419908e-05,9.393558e-05,9.381934e-05,9.364318e-05,9.342906e-05,9.334503e-05,9.304163e-05,9.302939e-05,9.273343e-05,9.262139e-05,9.242088e-05,9.220607e-05,9.210439e-05,9.178436e-05,9.135714e-05,9.092524e-05,9.048941e-05,9.005037e-05,8.960879e-05,8.916529e-05,8.872046e-05,8.827483e-05,8.782890e-05,8.738314e-05,8.693798e-05,8.649382e-05,8.605103e-05,8.560995e-05,8.517090e-05,8.473417e-05,8.430003e-05,8.386872e-05,8.344047e-05,8.301548e-05,8.259394e-05,8.217603e-05,8.176189e-05,8.135166e-05
0.000000e+00,1.497611e-11,6.989207e-11,5.875171e-10,2.145072e-09,3.763092e-09,1.190173e-08,1.238777e-08,2.934132e-08,3.596397e-08,5.743369e-08,8.080842e-08,9.949238e-08,1.530339e-07,1.584423e-07,2.372930e-07,2.595074e-07,3.389325e-07,4.066943e-07,4.656200e-07,5.985695e-07,6.182363e-07,7.957259e-07,8.339825e-07,9.952548e-07,1.106469e-06,1.213018e-06,1.407157e-06,1.445100e-06,1.687954e-06,1.727599e-06,1.938525e-06,2.060758e-06,2.194200e-06,2.400886e-06,2.452718e-06,2.712095e-06,2.743192e-06,2.970578e-06,3.083622e-06,3.226623e-06,3.418747e-06,3.478878e-06,3.726176e-06,3.745715e-06,3.967532e-06,4.062221e-06,4.202125e-06,4.366469e-06,4.429296e-06,4.648534e-06,4.657133e-06,4.859458e-06,4.933301e-06,5.061806e-06,5.194420e-06,5.255421e-06,5.440234e-06,5.616251e-06,5.670729e-06,5.783543e-06,5.886086e-06,5.942232e-06,6.086630e-06,6.092481e-06,6.234486e-06,6.272799e-06,6.368467e-06,6.445104e-06,6.494666e-06,6.604110e-06,6.613333e-06,6.724733e-06,6.750417e-06,6.829134e-06,6.884643e-06,6.926807e-06,7.007406e-06,7.018019e-06,7.103037e-06,7.119321e-06,7.182125e-06,7.220993e-06,7.255541e-06,7.313010e-06,7.323535e-06,7.386351e-06,7.395937e-06,7.444227e-06,7.470320e-06,7.497392e-06,7.536681e-06,7.546068e-06,7.590468e-06,7.595518e-06,7.630797e-06,7.647302e-06,7.667251e-06,7.692481e-06,7.700020e-06,7.729286e-06,7.731481e-06,7.755223e-06,7.764704e-06,7.777999e-06,7.792529e-06,7.797772e-06,7.814695e-06,7.815315e-06,7.828915e-06,7.833399e-06,7.840571e-06,7.847101e-06,7.849797e-06,7.856719e-06,7.861461e-06,7.862536e-06,7.864137e-06,7.864817e-06,7.864859e-06,7.863811e-06,7.863732e-06,7.860858e-06,7.859754e-06,7.856333e-06,7.852863e-06,7.850248e-06,7.843347e-06,7.842691e-06,7.833745e-06,7.831400e-06,7.823489e-06,7.817203e-06,7.812000e-06,7.800927e-06,7.799350e-06,7.785606e-06,7.782732e-06,7.770835e-06,7.762769e-06,7.755100e-06,7.741179e-06,7.738458e-06,7.720967e-06,7.718093e-06,7.702681e-06,7.693636e-06,7.683650e-06,7.667922e-06,7.663924e-06,7.643549e-06,7.641062e-06,7.622568e-06,7.613156e-06,7.601025e-06,7.584301e-06,7.578959e-06,7.556408e-06,7.554584e-06,7.533408e-06,7.524090e-06,7.509994e-06,7.492897e-06,7.486198e-06,7.462051e-06,7.461078e-06,7.437583e-06,7.428702e-06,7.412823e-06,7.395832e-06,7.387796e-06,7.362528e-06,7.328846e-06,7.294839e-06,7.260556e-06,7.226041e-06,7.191338e-06,7.156486e-06,7.121523e-06,7.086483e-06,7.051398e-06,7.016298e-06,6.981211e-06,6.946164e-06,6.911179e-06,6.876280e-06,6.841487e-06,6.806820e-06,6.772295e-06,6.737931e-06,6.703742e-06,6.669742e-06,6.635945e-06,6.602361e-06,6.569003e-06,6.535879e-06
0.000000e+00,3.857179e-12,2.368512e-11,3.325788e-10,1.822538e-09,3.906569e-09,1.944857e-08,2.058410e-08,7.080208e-08,9.507498e-08,1.880458e-07,3.102648e-07,4.214183e-07,7.953983e-07,8.371786e-07,1.512844e-06,1.722000e-06,2.519197e-06,3.244769e-06,3.899248e-06,5.427953e-06,5.658401e-06,7.769091e-06,8.229380e-06,1.018305e-05,1.153944e-05,1.284369e-05,1.522792e-05,1.569466e-05,1.868424e-05,1.917229e-05,2.176670e-05,2.326734e-05,2.490209e-05,2.742482e-05,2.805538e-05,3.119575e-05,3.157039e-05,3.429596e-05,3.564107e-05,3.733216e-05,3.958403e-05,4.028369e-05,4.313311e-05,4.335620e-05,4.586612e-05,4.692412e-05,4.847153e-05,5.026367e-05,5.094109e-05,5.326929e-05,5.335942e-05,5.545310e-05,5.620371e-05,5.749170e-05,5.879544e-05,5.938609e-05,6.113885e-05,6.275381e-05,6.324225e-05,6.423574e-05,6.511688e-05,6.559014e-05,6.677595e-05,6.682301e-05,6.794063e-05,6.823378e-05,6.894944e-05,6.950521e-05,6.985594e-05,7.060504e-05,7.066650e-05,7.138738e-05,7.154773e-05,7.202463e-05,7.234713e-05,7.258405e-05,7.301635e-05,7.307116e-05,7.349121e-05,7.356761e-05,7.384914e-05,7.401227e-05,7.414961e-05,7.436080e-05,7.439698e-05,7.459533e-05,7.462277e-05,7.474845e-05,7.480694e-05,7.485990e-05,7.492127e-05,7.493296e-05,7.497071e-05,7.497300e-05,7.497598e-05,7.496870e-05,7.495141e-05,7.491430e-05,7.489946e-05,7.482238e-05,7.481519e-05,7.472228e-05,7.467623e-05,7.460109e-05,7.450180e-05,7.446062e-05,7.430254e-05,7.429587e-05,7.412839e-05,7.406204e-05,7.393960e-05,7.380354e-05,7.373749e-05,7.352329e-05,7.329813e-05,7.322394e-05,7.306307e-05,7.290789e-05,7.281909e-05,7.257730e-05,7.256707e-05,7.230787e-05,7.223411e-05,7.204225e-05,7.188010e-05,7.177093e-05,7.151686e-05,7.149458e-05,7.121381e-05,7.114583e-05,7.092920e-05,7.076833e-05,7.064127e-05,7.038554e-05,7.035051e-05,7.005739e-05,6.999852e-05,6.976232e-05,6.960824e-05,6.946569e-05,6.921559e-05,6.916787e-05,6.886918e-05,6.882134e-05,6.856995e-05,6.842621e-05,6.827046e-05,6.803085e-05,6.797096e-05,6.767172e-05,6.763584e-05,6.737296e-05,6.724171e-05,6.707488e-05,6.684893e-05,6.677770e-05,6.648157e-05,6.645793e-05,6.618667e-05,6.606910e-05,6.589317e-05,6.568278e-05,6.560118e-05,6.531085e-05,6.529928e-05,6.502230e-05,6.491887e-05,6.473562e-05,6.454181e-05,6.445093e-05,6.416831e-05,6.379856e-05,6.343274e-05,6.307100e-05,6.271346e-05,6.236025e-05,6.201146e-05,6.166718e-05,6.132748e-05,6.099241e-05,6.066202e-05,6.033635e-05,6.001543e-05,5.969927e-05,5.938789e-05,5.908130e-05,5.877947e-05,5.848242e-05,5.819013e-05,5.790257e-05,5.761972e-05,5.734156e-05,5.706805e-05,5.679917e-05,5.653486e-05
0.000000e+00,3.014337e-12,1.840018e-11,2.552203e-10,1.382380e-09,2.942745e-09,1.434943e-08,1.517257e-08,5.075695e-08,6.753062e-08,1.299890e-07,2.088792e-07,2.782624e-07,5.004780e-07,5.245069e-07,8.998868e-07,1.012770e-06,1.436620e-06,1.819555e-06,2.166345e-06,2.990916e-06,3.117569e-06,4.312628e-06,4.582281e-06,5.765343e-06,6.624454e-06,7.480304e-06,9.121011e-06,9.453779e-06,1.167543e-05,1.205296e-05,1.413016e-05,1.538593e-05,1.679967e-05,1.907627e-05,1.966358e-05,2.270026e-05,2.307521e-05,2.588735e-05,2.733149e-05,2.920224e-05,3.179321e-05,3.262249e-05,3.612615e-05,3.640941e-05,3.969210e-05,4.113139e-05,4.330032e-05,4.591385e-05,4.693210e-05,5.057023e-05,5.071566e-05,5.419910e-05,5.550048e-05,5.780472e-05,6.023691e-05,6.137477e-05,6.489850e-05,6.836669e-05,6.946347e-05,7.177156e-05,7.391440e-05,7.510662e-05,7.823770e-05,7.836660e-05,8.154727e-05,8.242319e-05,8.464539e-05,8.646358e-05,8.765851e-05,9.035406e-05,9.058496e-05,9.342367e-05,9.409184e-05,9.617413e-05,9.767581e-05,9.883629e-05,1.011062e-04,1.014105e-04,1.038974e-04,1.043844e-04,1.062979e-04,1.075125e-04,1.086133e-04,1.104933e-04,1.108448e-04,1.129940e-04,1.133303e-04,1.150624e-04,1.160271e-04,1.170519e-04,1.185878e-04,1.189642e-04,1.208011e-04,1.210165e-04,1.225645e-04,1.233176e-04,1.242564e-04,1.254955e-04,1.258786e-04,1.274331e-04,1.275546e-04,1.289219e-04,1.294994e-04,1.303468e-04,1.313342e-04,1.317097e-04,1.330125e-04,1.330634e-04,1.342571e-04,1.346913e-04,1.354454e-04,1.362221e-04,1.365790e-04,1.376598e-04,1.386895e-04,1.390085e-04,1.396699e-04,1.402721e-04,1.406025e-04,1.414544e-04,1.414890e-04,1.423310e-04,1.425590e-04,1.431300e-04,1.435895e-04,1.438876e-04,1.445493e-04,1.446053e-04,1.452844e-04,1.454418e-04,1.459264e-04,1.462702e-04,1.465326e-04,1.470375e-04,1.471044e-04,1.476430e-04,1.477469e-04,1.481497e-04,1.484010e-04,1.486258e-04,1.490028e-04,1.490723e-04,1.494905e-04,1.495549e-04,1.498815e-04,1.500598e-04,1.502462e-04,1.505199e-04,1.505859e-04,1.509014e-04,1.509377e-04,1.511939e-04,1.513154e-04,1.514641e-04,1.516552e-04,1.517131e-04,1.519417e-04,1.519591e-04,1.521508e-04,1.522292e-04,1.523412e-04,1.524672e-04,1.525138e-04,1.526693e-04,1.526751e-04,1.528084e-04,1.528546e-04,1.529319e-04,1.530074e-04,1.530406e-04,1.531349e-04,1.532388e-04,1.533205e-04,1.533814e-04,1.534227e-04,1.534458e-04,1.534518e-04,1.534418e-04,1.534170e-04,1.533783e-04,1.533268e-04,1.532633e-04,1.531888e-04,1.531041e-04,1.530099e-04,1.529071e-04,1.527963e-04,1.526781e-04,1.525534e-04,1.524226e-04,1.522863e-04,1.521450e-04,1.519994e-04,1.518498e-04,1.516966e-04
0.000000e+00,3.831695e-12,2.392900e-11,3.476538e-10,1.962485e-09,4.272476e-09,2.207415e-08,2.339568e-08,8.299364e-08,1.122473e-07,2.254602e-07,3.756329e-07,5.128433e-07,9.772624e-07,1.029415e-06,1.882677e-06,2.151246e-06,3.197221e-06,4.181505e-06,5.095844e-06,7.325045e-06,7.671845e-06,1.096637e-05,1.171091e-05,1.496163e-05,1.729509e-05,1.958974e-05,2.389322e-05,2.474990e-05,3.032626e-05,3.124921e-05,3.620183e-05,3.909588e-05,4.226741e-05,4.719105e-05,4.842601e-05,5.459432e-05,5.533171e-05,6.070228e-05,6.335532e-05,6.669193e-05,7.113552e-05,7.251604e-05,7.813677e-05,7.857670e-05,8.352451e-05,8.560913e-05,8.865688e-05,9.218482e-05,9.351782e-05,9.809683e-05,9.827403e-05,1.023882e-04,1.038622e-04,1.063903e-04,1.089473e-04,1.101049e-04,1.135370e-04,1.166934e-04,1.176466e-04,1.195830e-04,1.212970e-04,1.222161e-04,1.245128e-04,1.246038e-04,1.267579e-04,1.273209e-04,1.286907e-04,1.297492e-04,1.304144e-04,1.318262e-04,1.319414e-04,1.332837e-04,1.335796e-04,1.344530e-04,1.350366e-04,1.354608e-04,1.362227e-04,1.363180e-04,1.370350e-04,1.371625e-04,1.376219e-04,1.378788e-04,1.380880e-04,1.383927e-04,1.384422e-04,1.386930e-04,1.387241e-04,1.388483e-04,1.388910e-04,1.389154e-04,1.389103e-04,1.389013e-04,1.388126e-04,1.387972e-04,1.386552e-04,1.385658e-04,1.384350e-04,1.382288e-04,1.381571e-04,1.378266e-04,1.377980e-04,1.374480e-04,1.372840e-04,1.370256e-04,1.366966e-04,1.365634e-04,1.360650e-04,1.360444e-04,1.355341e-04,1.353356e-04,1.349737e-04,1.345773e-04,1.343868e-04,1.337763e-04,1.331445e-04,1.329383e-04,1.324940e-04,1.320689e-04,1.318270e-04,1.311729e-04,1.311454e-04,1.304512e-04,1.302548e-04,1.297460e-04,1.293184e-04,1.290317e-04,1.283676e-04,1.283095e-04,1.275810e-04,1.274054e-04,1.268474e-04,1.264348e-04,1.261099e-04,1.254585e-04,1.253695e-04,1.246273e-04,1.244788e-04,1.238843e-04,1.234978e-04,1.231412e-04,1.225175e-04,1.223988e-04,1.216578e-04,1.215395e-04,1.209190e-04,1.205653e-04,1.201829e-04,1.195964e-04,1.194501e-04,1.187210e-04,1.186338e-04,1.179962e-04,1.176788e-04,1.172761e-04,1.167321e-04,1.165610e-04,1.158513e-04,1.157947e-04,1.151472e-04,1.148673e-04,1.144492e-04,1.139505e-04,1.137574e-04,1.130720e-04,1.130448e-04,1.123933e-04,1.121507e-04,1.117215e-04,1.112686e-04,1.110566e-04,1.103989e-04,1.095418e-04,1.086976e-04,1.078665e-04,1.070485e-04,1.062438e-04,1.054525e-04,1.046746e-04,1.039101e-04,1.031590e-04,1.024212e-04,1.016967e-04,1.009855e-04,1.002874e-04,9.960233e-05,9.893017e-05,9.827078e-05,9.762402e-05,9.698975e-05,9.636782e-05,9.575805e-05,9.516028e-05,9.457434e-05,9.400005e-05,9.343723e-05
0.000000e+00,3.000980e-12,1.729936e-11,2.140720e-10,1.050926e-09,2.124704e-09,9.142007e-09,9.619772e-09,2.877401e-08,3.721190e-08,6.695179e-08,1.022649e-07,1.320454e-07,2.226095e-07,2.320888e-07,3.751322e-07,4.167513e-07,5.691467e-07,7.029109e-07,8.216831e-07,1.097388e-06,1.139053e-06,1.525117e-06,1.610674e-06,1.980268e-06,2.243298e-06,2.501251e-06,2.985323e-06,3.081934e-06,3.714516e-06,3.819986e-06,4.390607e-06,4.728139e-06,5.101927e-06,5.691065e-06,5.840642e-06,6.599464e-06,6.691548e-06,7.371641e-06,7.714003e-06,8.150930e-06,8.744398e-06,8.931594e-06,9.708389e-06,9.770220e-06,1.047658e-05,1.078049e-05,1.123197e-05,1.176583e-05,1.197087e-05,1.269015e-05,1.271847e-05,1.338718e-05,1.363225e-05,1.405986e-05,1.450249e-05,1.470651e-05,1.532593e-05,1.591730e-05,1.610052e-05,1.648011e-05,1.682524e-05,1.701421e-05,1.749999e-05,1.751966e-05,1.799676e-05,1.812533e-05,1.844598e-05,1.870239e-05,1.886796e-05,1.923274e-05,1.926342e-05,1.963320e-05,1.971822e-05,1.997817e-05,2.016087e-05,2.029928e-05,2.056289e-05,2.059750e-05,2.087379e-05,2.092651e-05,2.112915e-05,2.125399e-05,2.136455e-05,2.154756e-05,2.158094e-05,2.177928e-05,2.180940e-05,2.196048e-05,2.204162e-05,2.212542e-05,2.224625e-05,2.227497e-05,2.240996e-05,2.242522e-05,2.253119e-05,2.258036e-05,2.263941e-05,2.271341e-05,2.273536e-05,2.281973e-05,2.282600e-05,2.289319e-05,2.291966e-05,2.295637e-05,2.299584e-05,2.300988e-05,2.305429e-05,2.305588e-05,2.309013e-05,2.310104e-05,2.311794e-05,2.313250e-05,2.313819e-05,2.315135e-05,2.315786e-05,2.315860e-05,2.315813e-05,2.315522e-05,2.315257e-05,2.314208e-05,2.314154e-05,2.312540e-05,2.312001e-05,2.310448e-05,2.308977e-05,2.307910e-05,2.305206e-05,2.304955e-05,2.301612e-05,2.300755e-05,2.297908e-05,2.295685e-05,2.293867e-05,2.290051e-05,2.289513e-05,2.284870e-05,2.283908e-05,2.279958e-05,2.277304e-05,2.274797e-05,2.270283e-05,2.269406e-05,2.263804e-05,2.262889e-05,2.258006e-05,2.255159e-05,2.252030e-05,2.247130e-05,2.245889e-05,2.239599e-05,2.238835e-05,2.233172e-05,2.230305e-05,2.226622e-05,2.221568e-05,2.219959e-05,2.213196e-05,2.212651e-05,2.206343e-05,2.203579e-05,2.199410e-05,2.194374e-05,2.192406e-05,2.185340e-05,2.185056e-05,2.178221e-05,2.175646e-05,2.171056e-05,2.166161e-05,2.163852e-05,2.156618e-05,2.147031e-05,2.137415e-05,2.127782e-05,2.118145e-05,2.108514e-05,2.098900e-05,2.089312e-05,2.079757e-05,2.070245e-05,2.060782e-05,2.051373e-05,2.042027e-05,2.032747e-05,2.023538e-05,2.014405e-05,2.005353e-05,1.996384e-05,1.987501e-05,1.978708e-05,1.970008e-05,1.961402e-05,1.952892e-05,1.944480e-05,1.936169e-05
0.000000e+00,1.270400e-13,8.389806e-13,1.367200e-11,8.553910e-11,1.968567e-10,1.169052e-09,1.245890e-09,5.032453e-09,7.038341e-09,1.531948e-08,2.711163e-08,3.840812e-08,7.891936e-08,8.362762e-08,1.636331e-07,1.897246e-07,2.944871e-07,3.970413e-07,4.954599e-07,7.476517e-07,7.884347e-07,1.196853e-06,1.294479e-06,1.744278e-06,2.091312e-06,2.452805e-06,3.186577e-06,3.341563e-06,4.425517e-06,4.617806e-06,5.714662e-06,6.407900e-06,7.213617e-06,8.563494e-06,8.921599e-06,1.083269e-05,1.107521e-05,1.293629e-05,1.391923e-05,1.521780e-05,1.705980e-05,1.765929e-05,2.024023e-05,2.045207e-05,2.293830e-05,2.404509e-05,2.573005e-05,2.778471e-05,2.859161e-05,3.149924e-05,3.161617e-05,3.442989e-05,3.548630e-05,3.736165e-05,3.934538e-05,4.027408e-05,4.314851e-05,4.596820e-05,4.685649e-05,4.871851e-05,5.043643e-05,5.138692e-05,5.386188e-05,5.396304e-05,5.643853e-05,5.711273e-05,5.880703e-05,6.017482e-05,6.106401e-05,6.303945e-05,6.320660e-05,6.523349e-05,6.570269e-05,6.714465e-05,6.816474e-05,6.894124e-05,7.042914e-05,7.062539e-05,7.220001e-05,7.250210e-05,7.366870e-05,7.439189e-05,7.503554e-05,7.610821e-05,7.630497e-05,7.748170e-05,7.766170e-05,7.857059e-05,7.906349e-05,7.957654e-05,8.032487e-05,8.050444e-05,8.135912e-05,8.145698e-05,8.214526e-05,8.247064e-05,8.286743e-05,8.337616e-05,8.352995e-05,8.413699e-05,8.418328e-05,8.469246e-05,8.490104e-05,8.520004e-05,8.553781e-05,8.566321e-05,8.608518e-05,8.610124e-05,8.646896e-05,8.659832e-05,8.681735e-05,8.703537e-05,8.713293e-05,8.741809e-05,8.767503e-05,8.775162e-05,8.790577e-05,8.804057e-05,8.811219e-05,8.828907e-05,8.829601e-05,8.845879e-05,8.850081e-05,8.860201e-05,8.867910e-05,8.872699e-05,8.882692e-05,8.883496e-05,8.892705e-05,8.894691e-05,8.900431e-05,8.904146e-05,8.906770e-05,8.911271e-05,8.911810e-05,8.915635e-05,8.916260e-05,8.918319e-05,8.919287e-05,8.919933e-05,8.920511e-05,8.920544e-05,8.920211e-05,8.920074e-05,8.918992e-05,8.918108e-05,8.916940e-05,8.914731e-05,8.914103e-05,8.910528e-05,8.910051e-05,8.906258e-05,8.904169e-05,8.901333e-05,8.897177e-05,8.895793e-05,8.889672e-05,8.889158e-05,8.883005e-05,8.880192e-05,8.875823e-05,8.870351e-05,8.868158e-05,8.860036e-05,8.859702e-05,8.851486e-05,8.848308e-05,8.842533e-05,8.836227e-05,8.833201e-05,8.823513e-05,8.810217e-05,8.796386e-05,8.782065e-05,8.767296e-05,8.752117e-05,8.736566e-05,8.720676e-05,8.704480e-05,8.688009e-05,8.671291e-05,8.654353e-05,8.637221e-05,8.619918e-05,8.602467e-05,8.584889e-05,8.567203e-05,8.549430e-05,8.531586e-05,8.513688e-05,8.495752e-05,8.477793e-05,8.459824e-05,8.441857e-05,8.423907e-05
0.000000e+00,7.185896e-12,1.647988e-11,5.664310e-11,1.285941e-10,1.873439e-10,4.234128e-10,4.360872e-10,8.397477e-10,9.857485e-10,1.437078e-09,1.905502e-09,2.269282e-09,3.278689e-09,3.378597e-09,4.804184e-09,5.196929e-09,6.574732e-09,7.721011e-09,8.698042e-09,1.084070e-08,1.115083e-08,1.387625e-08,1.444726e-08,1.679514e-08,1.836181e-08,1.982542e-08,2.240512e-08,2.289693e-08,2.595630e-08,2.644193e-08,2.896514e-08,3.038312e-08,3.189625e-08,3.417202e-08,3.473036e-08,3.745384e-08,3.777273e-08,4.005722e-08,4.116295e-08,4.253424e-08,4.432988e-08,4.488115e-08,4.709628e-08,4.726779e-08,4.917963e-08,4.997633e-08,5.113253e-08,5.245919e-08,5.295743e-08,5.465759e-08,5.472305e-08,5.623690e-08,5.677670e-08,5.769973e-08,5.863031e-08,5.905078e-08,6.029492e-08,6.143716e-08,6.178197e-08,6.248250e-08,6.310296e-08,6.343592e-08,6.426928e-08,6.430232e-08,6.508650e-08,6.529197e-08,6.579308e-08,6.618164e-08,6.642653e-08,6.694843e-08,6.699117e-08,6.749110e-08,6.760190e-08,6.793027e-08,6.815108e-08,6.831244e-08,6.860443e-08,6.864117e-08,6.891987e-08,6.896989e-08,6.915174e-08,6.925482e-08,6.933983e-08,6.946611e-08,6.948703e-08,6.959607e-08,6.961015e-08,6.966952e-08,6.969286e-08,6.970982e-08,6.971973e-08,6.971925e-08,6.969999e-08,6.969585e-08,6.965406e-08,6.962591e-08,6.958340e-08,6.951426e-08,6.948980e-08,6.937498e-08,6.936492e-08,6.924052e-08,6.918159e-08,6.908795e-08,6.896767e-08,6.891866e-08,6.873398e-08,6.872629e-08,6.853517e-08,6.846036e-08,6.832339e-08,6.817253e-08,6.809974e-08,6.786525e-08,6.762090e-08,6.754078e-08,6.736760e-08,6.720117e-08,6.710618e-08,6.684834e-08,6.683746e-08,6.656218e-08,6.648402e-08,6.628103e-08,6.610981e-08,6.599469e-08,6.572718e-08,6.570374e-08,6.540879e-08,6.533746e-08,6.511035e-08,6.494189e-08,6.480893e-08,6.454160e-08,6.450501e-08,6.419901e-08,6.413760e-08,6.389136e-08,6.373085e-08,6.358242e-08,6.332218e-08,6.327255e-08,6.296210e-08,6.291239e-08,6.265135e-08,6.250217e-08,6.234060e-08,6.209218e-08,6.203012e-08,6.172015e-08,6.168300e-08,6.141092e-08,6.127515e-08,6.110264e-08,6.086911e-08,6.079552e-08,6.048973e-08,6.046532e-08,6.018543e-08,6.006417e-08,5.988280e-08,5.966601e-08,5.958196e-08,5.928305e-08,5.927114e-08,5.898620e-08,5.887985e-08,5.869150e-08,5.849239e-08,5.839906e-08,5.810898e-08,5.772980e-08,5.735504e-08,5.698485e-08,5.661934e-08,5.625863e-08,5.590281e-08,5.555196e-08,5.520615e-08,5.486542e-08,5.452980e-08,5.419934e-08,5.387404e-08,5.355391e-08,5.323895e-08,5.292916e-08,5.262452e-08,5.232500e-08,5.203059e-08,5.174126e-08,5.145696e-08,5.117765e-08,5.090330e-08,5.063385e-08,5.036925e-08
0.000000e+00,1.003643e-12,6.477066e-12,1.006220e-10,6.027293e-10,1.354435e-09,7.566255e-09,8.043662e-09,3.060829e-08,4.213029e-08,8.814522e-08,1.511976e-07,2.099653e-07,4.131692e-07,4.362506e-07,8.180187e-07,9.393746e-07,1.416369e-06,1.871602e-06,2.300467e-06,3.372823e-06,3.543284e-06,5.214515e-06,5.605545e-06,7.371614e-06,8.698535e-06,1.005137e-05,1.271490e-05,1.326448e-05,1.699434e-05,1.763662e-05,2.119963e-05,2.336974e-05,2.581943e-05,2.976413e-05,3.077953e-05,3.599870e-05,3.663846e-05,4.139411e-05,4.380310e-05,4.688567e-05,5.107758e-05,5.239911e-05,5.786800e-05,5.830180e-05,6.323479e-05,6.534179e-05,6.845121e-05,7.209161e-05,7.347812e-05,7.828500e-05,7.847235e-05,8.284920e-05,8.442971e-05,8.715516e-05,8.993065e-05,9.119341e-05,9.495976e-05,9.845439e-05,9.951581e-05,1.016810e-04,1.036084e-04,1.046463e-04,1.072552e-04,1.073590e-04,1.098294e-04,1.104793e-04,1.120693e-04,1.133076e-04,1.140908e-04,1.157686e-04,1.159066e-04,1.175296e-04,1.178918e-04,1.189724e-04,1.197063e-04,1.202474e-04,1.212402e-04,1.213667e-04,1.223418e-04,1.225205e-04,1.231837e-04,1.235723e-04,1.239027e-04,1.244189e-04,1.245087e-04,1.250107e-04,1.250819e-04,1.254173e-04,1.255809e-04,1.257364e-04,1.259338e-04,1.259755e-04,1.261413e-04,1.261566e-04,1.262401e-04,1.262639e-04,1.262778e-04,1.262689e-04,1.262598e-04,1.261909e-04,1.261833e-04,1.260757e-04,1.260177e-04,1.259185e-04,1.257814e-04,1.257230e-04,1.254928e-04,1.254829e-04,1.252312e-04,1.251299e-04,1.249410e-04,1.247289e-04,1.246252e-04,1.242861e-04,1.239261e-04,1.238069e-04,1.235474e-04,1.232961e-04,1.231519e-04,1.227580e-04,1.227413e-04,1.223174e-04,1.221965e-04,1.218817e-04,1.216151e-04,1.214355e-04,1.210169e-04,1.209802e-04,1.205169e-04,1.204046e-04,1.200467e-04,1.197808e-04,1.195707e-04,1.191477e-04,1.190898e-04,1.186048e-04,1.185073e-04,1.181164e-04,1.178614e-04,1.176255e-04,1.172117e-04,1.171327e-04,1.166386e-04,1.165595e-04,1.161438e-04,1.159061e-04,1.156487e-04,1.152528e-04,1.151539e-04,1.146598e-04,1.146006e-04,1.141669e-04,1.139504e-04,1.136754e-04,1.133031e-04,1.131857e-04,1.126982e-04,1.126593e-04,1.122131e-04,1.120198e-04,1.117307e-04,1.113852e-04,1.112512e-04,1.107749e-04,1.107559e-04,1.103020e-04,1.101326e-04,1.098325e-04,1.095154e-04,1.093668e-04,1.089050e-04,1.083015e-04,1.077052e-04,1.071164e-04,1.065353e-04,1.059620e-04,1.053968e-04,1.048397e-04,1.042908e-04,1.037503e-04,1.032182e-04,1.026945e-04,1.021792e-04,1.016724e-04,1.011741e-04,1.006843e-04,1.002029e-04,9.972986e-05,9.926521e-05,9.880887e-05,9.836078e-05,9.792088e-05,9.748910e-05,9.706537e-05,9.664960e-05
0.000000e+00,7.246388e-13,4.594594e-12,6.880376e-11,3.986511e-10,8.798145e-10,4.697423e-09,4.984919e-09,1.819873e-08,2.478957e-08,5.062747e-08,8.537852e-08,1.174193e-07,2.270580e-07,2.394497e-07,4.435628e-07,5.081900e-07,7.609474e-07,9.998425e-07,1.222367e-06,1.766526e-06,1.851338e-06,2.658448e-06,2.841111e-06,3.639236e-06,4.212385e-06,4.775840e-06,5.831219e-06,6.040988e-06,7.402666e-06,7.627287e-06,8.828153e-06,9.525948e-06,1.028690e-05,1.145974e-05,1.175219e-05,1.320174e-05,1.337374e-05,1.461772e-05,1.522642e-05,1.598631e-05,1.698823e-05,1.729711e-05,1.854263e-05,1.863928e-05,1.971769e-05,2.016722e-05,2.081910e-05,2.156553e-05,2.184522e-05,2.279577e-05,2.283223e-05,2.367155e-05,2.396884e-05,2.447428e-05,2.497963e-05,2.520640e-05,2.587096e-05,2.647144e-05,2.665067e-05,2.701163e-05,2.732755e-05,2.749552e-05,2.791086e-05,2.792717e-05,2.831065e-05,2.840994e-05,2.864993e-05,2.883389e-05,2.894886e-05,2.919137e-05,2.921108e-05,2.944001e-05,2.949036e-05,2.963885e-05,2.973815e-05,2.981052e-05,2.994128e-05,2.995773e-05,3.008291e-05,3.010550e-05,3.018825e-05,3.023586e-05,3.027575e-05,3.033677e-05,3.034718e-05,3.040412e-05,3.041199e-05,3.044799e-05,3.046478e-05,3.048004e-05,3.049793e-05,3.050139e-05,3.051304e-05,3.051382e-05,3.051586e-05,3.051452e-05,3.051066e-05,3.050178e-05,3.049814e-05,3.047892e-05,3.047711e-05,3.045357e-05,3.044183e-05,3.042260e-05,3.039708e-05,3.038647e-05,3.034560e-05,3.034387e-05,3.030036e-05,3.028307e-05,3.025110e-05,3.021546e-05,3.019813e-05,3.014173e-05,3.008219e-05,3.006251e-05,3.001973e-05,2.997833e-05,2.995459e-05,2.988972e-05,2.988697e-05,2.981708e-05,2.979713e-05,2.974509e-05,2.970096e-05,2.967117e-05,2.960160e-05,2.959549e-05,2.951818e-05,2.949940e-05,2.943939e-05,2.939467e-05,2.935925e-05,2.928771e-05,2.927789e-05,2.919541e-05,2.917879e-05,2.911193e-05,2.906815e-05,2.902754e-05,2.895603e-05,2.894235e-05,2.885645e-05,2.884264e-05,2.876991e-05,2.872818e-05,2.868283e-05,2.861282e-05,2.859527e-05,2.850732e-05,2.849674e-05,2.841903e-05,2.838009e-05,2.833047e-05,2.826302e-05,2.824170e-05,2.815279e-05,2.814567e-05,2.806377e-05,2.802815e-05,2.797471e-05,2.791059e-05,2.788565e-05,2.779664e-05,2.779309e-05,2.770773e-05,2.767574e-05,2.761894e-05,2.755866e-05,2.753032e-05,2.744190e-05,2.732557e-05,2.720973e-05,2.709444e-05,2.697977e-05,2.686578e-05,2.675252e-05,2.664004e-05,2.652838e-05,2.641758e-05,2.630768e-05,2.619872e-05,2.609073e-05,2.598372e-05,2.587774e-05,2.577280e-05,2.566892e-05,2.556612e-05,2.546441e-05,2.536382e-05,2.526435e-05,2.516601e-05,2.506882e-05,2.497277e-05,2.487788e-05
0.000000e+00,1.968798e-11,4.718110e-11,1.702464e-10,3.966922e-10,5.846281e-10,1.358113e-09,1.400348e-09,2.777138e-09,3.288383e-09,4.901088e-09,6.603088e-09,7.926612e-09,1.153409e-08,1.188361e-08,1.670824e-08,1.798721e-08,2.233258e-08,2.581372e-08,2.871067e-08,3.492061e-08,3.580955e-08,4.359867e-08,4.523640e-08,5.204343e-08,5.668026e-08,6.110205e-08,6.914942e-08,7.072464e-08,8.085347e-08,8.251683e-08,9.142403e-08,9.663449e-08,1.023666e-07,1.113395e-07,1.136082e-07,1.250739e-07,1.264613e-07,1.366892e-07,1.418286e-07,1.483816e-07,1.572766e-07,1.600817e-07,1.717247e-07,1.726518e-07,1.832510e-07,1.878166e-07,1.946070e-07,2.026512e-07,2.057456e-07,2.166260e-07,2.170553e-07,2.272136e-07,2.309479e-07,2.374803e-07,2.442666e-07,2.474035e-07,2.569663e-07,2.661562e-07,2.690170e-07,2.749658e-07,2.804022e-07,2.833907e-07,2.911156e-07,2.914298e-07,2.990851e-07,3.011604e-07,3.063613e-07,3.105478e-07,3.132650e-07,3.192941e-07,3.198040e-07,3.259879e-07,3.274204e-07,3.318272e-07,3.349509e-07,3.373332e-07,3.419122e-07,3.425177e-07,3.473928e-07,3.483318e-07,3.519709e-07,3.542382e-07,3.562643e-07,3.596601e-07,3.602858e-07,3.640480e-07,3.646267e-07,3.675632e-07,3.691661e-07,3.708427e-07,3.733040e-07,3.738975e-07,3.767384e-07,3.770654e-07,3.793759e-07,3.804746e-07,3.818202e-07,3.835545e-07,3.840807e-07,3.861668e-07,3.863264e-07,3.880871e-07,3.888108e-07,3.898503e-07,3.910269e-07,3.914643e-07,3.929369e-07,3.929930e-07,3.942755e-07,3.947259e-07,3.954868e-07,3.962413e-07,3.965777e-07,3.975542e-07,3.984225e-07,3.986784e-07,3.991881e-07,3.996267e-07,3.998564e-07,4.004114e-07,4.004327e-07,4.009218e-07,4.010437e-07,4.013282e-07,4.015343e-07,4.016565e-07,4.018929e-07,4.019106e-07,4.020947e-07,4.021288e-07,4.022123e-07,4.022505e-07,4.022671e-07,4.022661e-07,4.022625e-07,4.022016e-07,4.021830e-07,4.020876e-07,4.020082e-07,4.019232e-07,4.017482e-07,4.017112e-07,4.014543e-07,4.014092e-07,4.011549e-07,4.009968e-07,4.008153e-07,4.005162e-07,4.004378e-07,4.000245e-07,3.999726e-07,3.995775e-07,3.993705e-07,3.990985e-07,3.987144e-07,3.985896e-07,3.980523e-07,3.980081e-07,3.974883e-07,3.972557e-07,3.968993e-07,3.964605e-07,3.962867e-07,3.956518e-07,3.956260e-07,3.949962e-07,3.947553e-07,3.943210e-07,3.938513e-07,3.936274e-07,3.929167e-07,3.919542e-07,3.909661e-07,3.899547e-07,3.889222e-07,3.878704e-07,3.868014e-07,3.857168e-07,3.846182e-07,3.835073e-07,3.823855e-07,3.812541e-07,3.801145e-07,3.789678e-07,3.778152e-07,3.766577e-07,3.754964e-07,3.743321e-07,3.731658e-07,3.719983e-07,3.708303e-07,3.696627e-07,3.684960e-07,3.673309e-07,3.661680e-07
0.000000e+00,2.576936e-13,1.691076e-12,2.719255e-11,1.680388e-10,3.840708e-10,2.240208e-09,2.385690e-09,9.463557e-09,1.317035e-08,2.831152e-08,4.960230e-08,6.981113e-08,1.413736e-07,1.496238e-07,2.884468e-07,3.332965e-07,5.119540e-07,6.852100e-07,8.503664e-07,1.269985e-06,1.337458e-06,2.008751e-06,2.168209e-06,2.898831e-06,3.458497e-06,4.038131e-06,5.204942e-06,5.449792e-06,7.147232e-06,7.445658e-06,9.132791e-06,1.018600e-05,1.139757e-05,1.339778e-05,1.392228e-05,1.667876e-05,1.702351e-05,1.963205e-05,2.098373e-05,2.274244e-05,2.518544e-05,2.596766e-05,2.926468e-05,2.953027e-05,3.259135e-05,3.392128e-05,3.590774e-05,3.826838e-05,3.917706e-05,4.236642e-05,4.249191e-05,4.544719e-05,4.652489e-05,4.839524e-05,5.031393e-05,5.119099e-05,5.381927e-05,5.626907e-05,5.701404e-05,5.853323e-05,5.988303e-05,6.060806e-05,6.242121e-05,6.249298e-05,6.419000e-05,6.463203e-05,6.570341e-05,6.652579e-05,6.703930e-05,6.811797e-05,6.820519e-05,6.920971e-05,6.942781e-05,7.006226e-05,7.047697e-05,7.077272e-05,7.128843e-05,7.135122e-05,7.180795e-05,7.188558e-05,7.215296e-05,7.229148e-05,7.239604e-05,7.252838e-05,7.254663e-05,7.261371e-05,7.261727e-05,7.260577e-05,7.257767e-05,7.253076e-05,7.242744e-05,7.239606e-05,7.220851e-05,7.218276e-05,7.197440e-05,7.185813e-05,7.169945e-05,7.146642e-05,7.138891e-05,7.104750e-05,7.101898e-05,7.067950e-05,7.052573e-05,7.028875e-05,6.999529e-05,6.987872e-05,6.945249e-05,6.943515e-05,6.901282e-05,6.885172e-05,6.856215e-05,6.825053e-05,6.810266e-05,6.763629e-05,6.716475e-05,6.701302e-05,6.668955e-05,6.638413e-05,6.621203e-05,6.575252e-05,6.573336e-05,6.525458e-05,6.512062e-05,6.477659e-05,6.449051e-05,6.430019e-05,6.386390e-05,6.382607e-05,6.335486e-05,6.324226e-05,6.288707e-05,6.262678e-05,6.242318e-05,6.201849e-05,6.196358e-05,6.150862e-05,6.141821e-05,6.105860e-05,6.082663e-05,6.061378e-05,6.024431e-05,6.017438e-05,5.974057e-05,5.967169e-05,5.931252e-05,5.910914e-05,5.889035e-05,5.855692e-05,5.847417e-05,5.806406e-05,5.801525e-05,5.766008e-05,5.748428e-05,5.726228e-05,5.696411e-05,5.687069e-05,5.648534e-05,5.645478e-05,5.610622e-05,5.595631e-05,5.573333e-05,5.546870e-05,5.536666e-05,5.500619e-05,5.499190e-05,5.465188e-05,5.452583e-05,5.430370e-05,5.407041e-05,5.396160e-05,5.362554e-05,5.319109e-05,5.276693e-05,5.235291e-05,5.194888e-05,5.155467e-05,5.117012e-05,5.079506e-05,5.042930e-05,5.007267e-05,4.972498e-05,4.938605e-05,4.905569e-05,4.873372e-05,4.841995e-05,4.811420e-05,4.781628e-05,4.752601e-05,4.724321e-05,4.696769e-05,4.669929e-05,4.643783e-05,4.618313e-05,4.593503e-05,4.569336e-05
0.000000e+00,1.454008e-12,8.895607e-12,1.239457e-10,6.742061e-10,1.438901e-09,7.074025e-09,7.482821e-09,2.534155e-08,3.386358e-08,6.606842e-08,1.076600e-07,1.449744e-07,2.683854e-07,2.820429e-07,5.016119e-07,5.694943e-07,8.294965e-07,1.068797e-06,1.287181e-06,1.806660e-06,1.886062e-06,2.625241e-06,2.789055e-06,3.493354e-06,3.989928e-06,4.472502e-06,5.365805e-06,5.542186e-06,6.682073e-06,6.869692e-06,7.873477e-06,8.458712e-06,9.099866e-06,1.009641e-05,1.034681e-05,1.160175e-05,1.175234e-05,1.285365e-05,1.340099e-05,1.409284e-05,1.502088e-05,1.531086e-05,1.650037e-05,1.659411e-05,1.765512e-05,1.810609e-05,1.876992e-05,1.954547e-05,1.984062e-05,2.086403e-05,2.090395e-05,2.183788e-05,2.217604e-05,2.276075e-05,2.335881e-05,2.363196e-05,2.445149e-05,2.521988e-05,2.545511e-05,2.593812e-05,2.637209e-05,2.660758e-05,2.720590e-05,2.722991e-05,2.780701e-05,2.796076e-05,2.834088e-05,2.864133e-05,2.883365e-05,2.925256e-05,2.928748e-05,2.970457e-05,2.979945e-05,3.008707e-05,3.028695e-05,3.043708e-05,3.071985e-05,3.075666e-05,3.104775e-05,3.110272e-05,3.131226e-05,3.143989e-05,3.155196e-05,3.173538e-05,3.176855e-05,3.196362e-05,3.199294e-05,3.213868e-05,3.221601e-05,3.229513e-05,3.240779e-05,3.243431e-05,3.255744e-05,3.257119e-05,3.266567e-05,3.270886e-05,3.276008e-05,3.282321e-05,3.284168e-05,3.291138e-05,3.291647e-05,3.297005e-05,3.299062e-05,3.301851e-05,3.304749e-05,3.305749e-05,3.308769e-05,3.308873e-05,3.310977e-05,3.311584e-05,3.312431e-05,3.313018e-05,3.313188e-05,3.313299e-05,3.312812e-05,3.312538e-05,3.311774e-05,3.310838e-05,3.310224e-05,3.308291e-05,3.308202e-05,3.305743e-05,3.304981e-05,3.302882e-05,3.300985e-05,3.299649e-05,3.296372e-05,3.296074e-05,3.292184e-05,3.291206e-05,3.288003e-05,3.285544e-05,3.283556e-05,3.279440e-05,3.278865e-05,3.273949e-05,3.272941e-05,3.268829e-05,3.266091e-05,3.263521e-05,3.258931e-05,3.258043e-05,3.252411e-05,3.251496e-05,3.246638e-05,3.243821e-05,3.240738e-05,3.235935e-05,3.234724e-05,3.228608e-05,3.227868e-05,3.222402e-05,3.219645e-05,3.216115e-05,3.211289e-05,3.209757e-05,3.203337e-05,3.202821e-05,3.196865e-05,3.194263e-05,3.190347e-05,3.185631e-05,3.183792e-05,3.177206e-05,3.176942e-05,3.170596e-05,3.168212e-05,3.163968e-05,3.159454e-05,3.157328e-05,3.150681e-05,3.141906e-05,3.133138e-05,3.124388e-05,3.115665e-05,3.106977e-05,3.098331e-05,3.089734e-05,3.081193e-05,3.072712e-05,3.064299e-05,3.055956e-05,3.047688e-05,3.039499e-05,3.031393e-05,3.023373e-05,3.015441e-05,3.007599e-05,2.999851e-05,2.992198e-05,2.984641e-05,2.977182e-05,2.969822e-05,2.962563e-05,2.955404e-05
0.000000e+00,6.803682e-11,2.546916e-10,1.528302e-09,4.542217e-09,7.320904e-09,1.977261e-08,2.047704e-08,4.392213e-08,5.272936e-08,8.060181e-08,1.102251e-07,1.335555e-07,1.991834e-07,2.057224e-07,2.991777e-07,3.248453e-07,4.141637e-07,4.874388e-07,5.491708e-07,6.827844e-07,7.019891e-07,8.704331e-07,9.058164e-07,1.052472e-06,1.151856e-06,1.246153e-06,1.416420e-06,1.449533e-06,1.660664e-06,1.695035e-06,1.877619e-06,1.983272e-06,2.098522e-06,2.276887e-06,2.321593e-06,2.545180e-06,2.571972e-06,2.767788e-06,2.865077e-06,2.988092e-06,3.153270e-06,3.204945e-06,3.417377e-06,3.434156e-06,3.624586e-06,3.705859e-06,3.825929e-06,3.966977e-06,4.020904e-06,4.209136e-06,4.216521e-06,4.390362e-06,4.453853e-06,4.564412e-06,4.678620e-06,4.731199e-06,4.890703e-06,5.042959e-06,5.090163e-06,5.188049e-06,5.277197e-06,5.326088e-06,5.452109e-06,5.457224e-06,5.581624e-06,5.615273e-06,5.699473e-06,5.767120e-06,5.810968e-06,5.908109e-06,5.916316e-06,6.015727e-06,6.038725e-06,6.109414e-06,6.159459e-06,6.197593e-06,6.270803e-06,6.280477e-06,6.358278e-06,6.373247e-06,6.431205e-06,6.467269e-06,6.499463e-06,6.553337e-06,6.563251e-06,6.622766e-06,6.631905e-06,6.678197e-06,6.703407e-06,6.729728e-06,6.768266e-06,6.777538e-06,6.821800e-06,6.826881e-06,6.862681e-06,6.879639e-06,6.900342e-06,6.926905e-06,6.934937e-06,6.966616e-06,6.969029e-06,6.995524e-06,7.006342e-06,7.021798e-06,7.039160e-06,7.045572e-06,7.066971e-06,7.067780e-06,7.086120e-06,7.092485e-06,7.103135e-06,7.113543e-06,7.118128e-06,7.131207e-06,7.142475e-06,7.145715e-06,7.152031e-06,7.157292e-06,7.159969e-06,7.166152e-06,7.166380e-06,7.171349e-06,7.172493e-06,7.174958e-06,7.176505e-06,7.177288e-06,7.178364e-06,7.178411e-06,7.178401e-06,7.178238e-06,7.177326e-06,7.176283e-06,7.175251e-06,7.172646e-06,7.172237e-06,7.168345e-06,7.167467e-06,7.163631e-06,7.160873e-06,7.158149e-06,7.152987e-06,7.151949e-06,7.145081e-06,7.143923e-06,7.137591e-06,7.133788e-06,7.129523e-06,7.122681e-06,7.120919e-06,7.111819e-06,7.110695e-06,7.102260e-06,7.097919e-06,7.092280e-06,7.084433e-06,7.081911e-06,7.071187e-06,7.070315e-06,7.060138e-06,7.055634e-06,7.048793e-06,7.040457e-06,7.037180e-06,7.025325e-06,7.024846e-06,7.013253e-06,7.008859e-06,7.000988e-06,6.992548e-06,6.988551e-06,6.975964e-06,6.959153e-06,6.942157e-06,6.925016e-06,6.907767e-06,6.890444e-06,6.873078e-06,6.855698e-06,6.838330e-06,6.821000e-06,6.803730e-06,6.786540e-06,6.769449e-06,6.752475e-06,6.735632e-06,6.718936e-06,6.702400e-06,6.686035e-06,6.669851e-06,6.653859e-06,6.638065e-06,6.622478e-06,6.607105e-06,6.591950e-06,6.577019e-06
0.000000e+00,3.101523e-12,1.944365e-11,2.845937e-10,1.615786e-09,3.526682e-09,1.828898e-08,1.938474e-08,6.859933e-08,9.259446e-08,1.844894e-07,3.042701e-07,4.118868e-07,7.657107e-07,8.045914e-07,1.422404e-06,1.611144e-06,2.328343e-06,2.985317e-06,3.586127e-06,5.033185e-06,5.257532e-06,7.398992e-06,7.888020e-06,1.005709e-05,1.165473e-05,1.326356e-05,1.639085e-05,1.703135e-05,2.135305e-05,2.209440e-05,2.620220e-05,2.870523e-05,3.153657e-05,3.611758e-05,3.730241e-05,4.343864e-05,4.419682e-05,4.988047e-05,5.279471e-05,5.656207e-05,6.176047e-05,6.341861e-05,7.038764e-05,7.094823e-05,7.741012e-05,8.022161e-05,8.443104e-05,8.945662e-05,9.139994e-05,9.827122e-05,9.854345e-05,1.050043e-04,1.073874e-04,1.115638e-04,1.159095e-04,1.179195e-04,1.240459e-04,1.299225e-04,1.317475e-04,1.355332e-04,1.389789e-04,1.408662e-04,1.457171e-04,1.459134e-04,1.506700e-04,1.519494e-04,1.551343e-04,1.576728e-04,1.593072e-04,1.628917e-04,1.631919e-04,1.667935e-04,1.676164e-04,1.701184e-04,1.718624e-04,1.731745e-04,1.756486e-04,1.759707e-04,1.785165e-04,1.789965e-04,1.808221e-04,1.819295e-04,1.828978e-04,1.844717e-04,1.847545e-04,1.864028e-04,1.866480e-04,1.878536e-04,1.884829e-04,1.891174e-04,1.900009e-04,1.902047e-04,1.911258e-04,1.912256e-04,1.918905e-04,1.921799e-04,1.925084e-04,1.928857e-04,1.929889e-04,1.933409e-04,1.933638e-04,1.935730e-04,1.936341e-04,1.936933e-04,1.937150e-04,1.937096e-04,1.936294e-04,1.936242e-04,1.934597e-04,1.933781e-04,1.932074e-04,1.929918e-04,1.928787e-04,1.924797e-04,1.920161e-04,1.918550e-04,1.914933e-04,1.911299e-04,1.909163e-04,1.903160e-04,1.902900e-04,1.896189e-04,1.894236e-04,1.889072e-04,1.884624e-04,1.881589e-04,1.874414e-04,1.873778e-04,1.865673e-04,1.863688e-04,1.857308e-04,1.852521e-04,1.848713e-04,1.840982e-04,1.839917e-04,1.830947e-04,1.829134e-04,1.821829e-04,1.817036e-04,1.812585e-04,1.804739e-04,1.803237e-04,1.793807e-04,1.792292e-04,1.784313e-04,1.779738e-04,1.774771e-04,1.767116e-04,1.765200e-04,1.755613e-04,1.754462e-04,1.746025e-04,1.741809e-04,1.736449e-04,1.729186e-04,1.726896e-04,1.717377e-04,1.716617e-04,1.707903e-04,1.704127e-04,1.698482e-04,1.691737e-04,1.689123e-04,1.679834e-04,1.679464e-04,1.670622e-04,1.667325e-04,1.661492e-04,1.655335e-04,1.652452e-04,1.643505e-04,1.631848e-04,1.620371e-04,1.609083e-04,1.597991e-04,1.587100e-04,1.576415e-04,1.565939e-04,1.555675e-04,1.545626e-04,1.535791e-04,1.526172e-04,1.516769e-04,1.507580e-04,1.498606e-04,1.489845e-04,1.481295e-04,1.472954e-04,1.464820e-04,1.456889e-04,1.449160e-04,1.441629e-04,1.434292e-04,1.427148e-04,1.420191e-04
0.000000e+00,3.495737e-11,1.686199e-10,1.502347e-09,5.728273e-09,1.026276e-08,3.411099e-08,3.557379e-08,8.850607e-08,1.100402e-07,1.826177e-07,2.658191e-07,3.349728e-07,5.427605e-07,5.643233e-07,8.838795e-07,9.743576e-07,1.294529e-06,1.561132e-06,1.787361e-06,2.280046e-06,2.351105e-06,2.976381e-06,3.108168e-06,3.656143e-06,4.029258e-06,4.384775e-06,5.030894e-06,5.157225e-06,5.968484e-06,6.101542e-06,6.813349e-06,7.229235e-06,7.686393e-06,8.401353e-06,8.582007e-06,9.494486e-06,9.604848e-06,1.041820e-05,1.082678e-05,1.134770e-05,1.205479e-05,1.227781e-05,1.320375e-05,1.327751e-05,1.412113e-05,1.448480e-05,1.502606e-05,1.566795e-05,1.591511e-05,1.678532e-05,1.681970e-05,1.763423e-05,1.793421e-05,1.845977e-05,1.900694e-05,1.926030e-05,2.003455e-05,2.078155e-05,2.101472e-05,2.150065e-05,2.194604e-05,2.219144e-05,2.282779e-05,2.285374e-05,2.348752e-05,2.365989e-05,2.409296e-05,2.444272e-05,2.467033e-05,2.517705e-05,2.522001e-05,2.574251e-05,2.586392e-05,2.623835e-05,2.650461e-05,2.670816e-05,2.710057e-05,2.715258e-05,2.757229e-05,2.765333e-05,2.796801e-05,2.816454e-05,2.834045e-05,2.863585e-05,2.869035e-05,2.901844e-05,2.906896e-05,2.932546e-05,2.946556e-05,2.961213e-05,2.982732e-05,2.987920e-05,3.012736e-05,3.015591e-05,3.035734e-05,3.045294e-05,3.056981e-05,3.072000e-05,3.076545e-05,3.094494e-05,3.095862e-05,3.110891e-05,3.117030e-05,3.125800e-05,3.135648e-05,3.139283e-05,3.151398e-05,3.151855e-05,3.162204e-05,3.165785e-05,3.171758e-05,3.177566e-05,3.180113e-05,3.187323e-05,3.193440e-05,3.195174e-05,3.198512e-05,3.201233e-05,3.202588e-05,3.205607e-05,3.205714e-05,3.207935e-05,3.208400e-05,3.209293e-05,3.209712e-05,3.209832e-05,3.209637e-05,3.209590e-05,3.208608e-05,3.208266e-05,3.206921e-05,3.205682e-05,3.204566e-05,3.201969e-05,3.201579e-05,3.197991e-05,3.197204e-05,3.193835e-05,3.191461e-05,3.189143e-05,3.184808e-05,3.183943e-05,3.178265e-05,3.177314e-05,3.172135e-05,3.169040e-05,3.165580e-05,3.160048e-05,3.158626e-05,3.151295e-05,3.150392e-05,3.143613e-05,3.140127e-05,3.135600e-05,3.129303e-05,3.127279e-05,3.118669e-05,3.117969e-05,3.109791e-05,3.106169e-05,3.100664e-05,3.093947e-05,3.091304e-05,3.081730e-05,3.081343e-05,3.071958e-05,3.068395e-05,3.062004e-05,3.055138e-05,3.051882e-05,3.041607e-05,3.027834e-05,3.013848e-05,2.999678e-05,2.985349e-05,2.970888e-05,2.956317e-05,2.941658e-05,2.926931e-05,2.912156e-05,2.897351e-05,2.882531e-05,2.867714e-05,2.852912e-05,2.838140e-05,2.823411e-05,2.808736e-05,2.794125e-05,2.779589e-05,2.765137e-05,2.750777e-05,2.736517e-05,2.722365e-05,2.708327e-05,2.694409e-05
0.000000e+00,2.055437e-13,1.358628e-12,2.219077e-11,1.391523e-10,3.206560e-10,1.910864e-09,2.036751e-09,8.255657e-09,1.155702e-08,2.521146e-08,4.469347e-08,6.337996e-08,1.304827e-07,1.382865e-07,2.709505e-07,3.142227e-07,4.879538e-07,6.579870e-07,8.211452e-07,1.239316e-06,1.306971e-06,1.985380e-06,2.147844e-06,2.898243e-06,3.479526e-06,4.087347e-06,5.328654e-06,5.592143e-06,7.447543e-06,7.778950e-06,9.682023e-06,1.089561e-05,1.231621e-05,1.471967e-05,1.536203e-05,1.882238e-05,1.926528e-05,2.269126e-05,2.451957e-05,2.695430e-05,3.044460e-05,3.158959e-05,3.656863e-05,3.698082e-05,4.185750e-05,4.405136e-05,4.741801e-05,5.156669e-05,5.320889e-05,5.918693e-05,5.942932e-05,6.530805e-05,6.753818e-05,7.152825e-05,7.579255e-05,7.780449e-05,8.409540e-05,9.036192e-05,9.235603e-05,9.656769e-05,1.004920e-04,1.026795e-04,1.084307e-04,1.086675e-04,1.145052e-04,1.161097e-04,1.201698e-04,1.234772e-04,1.256418e-04,1.304921e-04,1.309052e-04,1.359471e-04,1.371230e-04,1.407576e-04,1.433478e-04,1.453299e-04,1.491526e-04,1.496592e-04,1.537436e-04,1.545310e-04,1.575828e-04,1.594827e-04,1.611784e-04,1.640127e-04,1.645336e-04,1.676530e-04,1.681306e-04,1.705421e-04,1.718490e-04,1.732075e-04,1.751836e-04,1.756564e-04,1.778967e-04,1.781519e-04,1.799366e-04,1.807728e-04,1.817845e-04,1.830660e-04,1.834493e-04,1.849397e-04,1.850516e-04,1.862645e-04,1.867500e-04,1.874324e-04,1.881810e-04,1.884521e-04,1.893320e-04,1.893644e-04,1.900802e-04,1.903190e-04,1.907049e-04,1.910631e-04,1.912138e-04,1.916142e-04,1.919133e-04,1.919887e-04,1.921179e-04,1.922024e-04,1.922347e-04,1.922699e-04,1.922698e-04,1.922291e-04,1.922050e-04,1.921185e-04,1.920207e-04,1.919431e-04,1.917289e-04,1.917080e-04,1.914181e-04,1.913409e-04,1.910778e-04,1.908669e-04,1.906915e-04,1.903166e-04,1.902631e-04,1.897965e-04,1.896989e-04,1.892951e-04,1.890218e-04,1.887623e-04,1.882928e-04,1.882013e-04,1.876150e-04,1.875190e-04,1.870060e-04,1.867065e-04,1.863771e-04,1.858612e-04,1.857306e-04,1.850687e-04,1.849883e-04,1.843935e-04,1.840927e-04,1.837070e-04,1.831788e-04,1.830109e-04,1.823071e-04,1.822505e-04,1.815970e-04,1.813115e-04,1.808821e-04,1.803651e-04,1.801637e-04,1.794431e-04,1.794143e-04,1.787215e-04,1.784617e-04,1.779999e-04,1.775097e-04,1.772793e-04,1.765605e-04,1.756161e-04,1.746782e-04,1.737483e-04,1.728277e-04,1.719178e-04,1.710194e-04,1.701337e-04,1.692612e-04,1.684028e-04,1.675591e-04,1.667304e-04,1.659172e-04,1.651198e-04,1.643385e-04,1.635734e-04,1.628247e-04,1.620925e-04,1.613768e-04,1.606776e-04,1.599948e-04,1.593283e-04,1.586781e-04,1.580440e-04,1.574259e-04
0.000000e+00,1.391648e-10,5.993411e-10,4.417180e-09,1.479010e-08,2.499985e-08,7.362734e-08,7.645814e-08,1.730690e-07,2.101637e-07,3.293172e-07,4.581119e-07,5.607941e-07,8.548840e-07,8.846052e-07,1.318049e-06,1.440009e-06,1.874030e-06,2.240263e-06,2.554725e-06,3.248994e-06,3.349917e-06,4.242378e-06,4.430938e-06,5.214280e-06,5.745816e-06,6.250136e-06,7.160093e-06,7.336919e-06,8.463301e-06,8.646498e-06,9.618978e-06,1.018125e-05,1.079426e-05,1.174236e-05,1.197989e-05,1.316704e-05,1.330920e-05,1.434740e-05,1.486258e-05,1.551320e-05,1.638510e-05,1.665738e-05,1.777362e-05,1.786154e-05,1.885641e-05,1.927909e-05,1.990107e-05,2.062741e-05,2.090373e-05,2.186132e-05,2.189866e-05,2.277153e-05,2.308727e-05,2.363272e-05,2.418979e-05,2.444389e-05,2.520459e-05,2.591488e-05,2.613159e-05,2.657521e-05,2.697196e-05,2.718639e-05,2.772788e-05,2.774950e-05,2.826587e-05,2.840228e-05,2.873702e-05,2.899867e-05,2.916458e-05,2.952095e-05,2.955032e-05,2.989604e-05,2.997327e-05,3.020362e-05,3.035990e-05,3.047492e-05,3.068516e-05,3.071183e-05,3.091621e-05,3.095334e-05,3.108987e-05,3.116864e-05,3.123461e-05,3.133512e-05,3.135217e-05,3.144423e-05,3.145670e-05,3.151241e-05,3.153712e-05,3.155829e-05,3.157994e-05,3.158336e-05,3.158905e-05,3.158850e-05,3.157673e-05,3.156595e-05,3.154771e-05,3.151524e-05,3.150321e-05,3.144442e-05,3.143913e-05,3.137245e-05,3.134021e-05,3.128836e-05,3.122088e-05,3.119315e-05,3.108775e-05,3.108334e-05,3.097306e-05,3.092966e-05,3.084992e-05,3.076176e-05,3.071911e-05,3.058138e-05,3.043742e-05,3.039014e-05,3.028788e-05,3.018954e-05,3.013339e-05,2.998094e-05,2.997451e-05,2.981178e-05,2.976560e-05,2.964572e-05,2.954467e-05,2.947677e-05,2.931919e-05,2.930540e-05,2.913199e-05,2.909012e-05,2.895694e-05,2.885833e-05,2.878060e-05,2.862461e-05,2.860329e-05,2.842533e-05,2.838968e-05,2.824699e-05,2.815419e-05,2.806853e-05,2.791872e-05,2.789021e-05,2.771223e-05,2.768380e-05,2.753481e-05,2.744990e-05,2.735814e-05,2.721745e-05,2.718238e-05,2.700769e-05,2.698681e-05,2.683423e-05,2.675833e-05,2.666212e-05,2.653229e-05,2.649148e-05,2.632241e-05,2.630896e-05,2.615503e-05,2.608856e-05,2.598941e-05,2.587130e-05,2.582563e-05,2.566377e-05,2.565733e-05,2.550388e-05,2.544681e-05,2.534601e-05,2.523985e-05,2.519022e-05,2.503655e-05,2.483699e-05,2.464125e-05,2.444935e-05,2.426135e-05,2.407725e-05,2.389707e-05,2.372081e-05,2.354846e-05,2.337999e-05,2.321539e-05,2.305462e-05,2.289763e-05,2.274440e-05,2.259486e-05,2.244897e-05,2.230668e-05,2.216791e-05,2.203262e-05,2.190073e-05,2.177220e-05,2.164694e-05,2.152489e-05,2.140599e-05,2.129017e-05
0.000000e+00,6.667148e-11,1.621934e-10,5.944453e-10,1.392892e-09,2.054300e-09,4.748280e-09,4.893895e-09,9.557235e-09,1.125184e-08,1.650483e-08,2.197183e-08,2.622435e-08,3.803911e-08,3.920868e-08,5.586398e-08,6.043257e-08,7.635149e-08,8.944529e-08,1.004965e-07,1.244432e-07,1.278851e-07,1.580367e-07,1.643580e-07,1.905007e-07,2.081609e-07,2.248754e-07,2.549590e-07,2.607960e-07,2.979234e-07,3.039541e-07,3.359370e-07,3.544085e-07,3.745335e-07,4.056385e-07,4.134284e-07,4.523590e-07,4.570215e-07,4.910867e-07,5.080066e-07,5.293980e-07,5.581203e-07,5.671063e-07,6.040520e-07,6.069706e-07,6.401015e-07,6.542451e-07,6.751455e-07,6.997052e-07,7.090974e-07,7.418912e-07,7.431781e-07,7.734787e-07,7.845483e-07,8.038278e-07,8.237479e-07,8.329200e-07,8.607484e-07,8.873156e-07,8.955524e-07,9.126326e-07,9.281871e-07,9.367166e-07,9.586982e-07,9.595903e-07,9.812804e-07,9.871456e-07,1.001817e-06,1.013599e-06,1.021233e-06,1.038136e-06,1.039563e-06,1.056841e-06,1.060836e-06,1.073104e-06,1.081782e-06,1.088389e-06,1.101058e-06,1.102731e-06,1.116167e-06,1.118749e-06,1.128733e-06,1.134935e-06,1.140464e-06,1.149698e-06,1.151395e-06,1.161560e-06,1.163117e-06,1.170991e-06,1.175267e-06,1.179721e-06,1.186221e-06,1.187781e-06,1.195201e-06,1.196050e-06,1.202011e-06,1.204822e-06,1.208239e-06,1.212600e-06,1.213912e-06,1.219056e-06,1.219446e-06,1.223698e-06,1.225419e-06,1.227860e-06,1.230575e-06,1.231568e-06,1.234844e-06,1.234966e-06,1.237709e-06,1.238644e-06,1.240184e-06,1.241655e-06,1.242290e-06,1.244045e-06,1.245468e-06,1.245857e-06,1.246578e-06,1.247130e-06,1.247390e-06,1.247905e-06,1.247921e-06,1.248187e-06,1.248216e-06,1.248202e-06,1.248097e-06,1.247981e-06,1.247581e-06,1.247538e-06,1.246884e-06,1.246698e-06,1.246034e-06,1.245477e-06,1.244999e-06,1.243944e-06,1.243790e-06,1.242417e-06,1.242124e-06,1.240892e-06,1.240042e-06,1.239225e-06,1.237720e-06,1.237424e-06,1.235498e-06,1.235179e-06,1.233457e-06,1.232438e-06,1.231308e-06,1.229517e-06,1.229059e-06,1.226718e-06,1.226431e-06,1.224291e-06,1.223198e-06,1.221786e-06,1.219833e-06,1.219208e-06,1.216564e-06,1.216350e-06,1.213860e-06,1.212762e-06,1.211100e-06,1.209082e-06,1.208291e-06,1.205437e-06,1.205322e-06,1.202542e-06,1.201491e-06,1.199612e-06,1.197601e-06,1.196651e-06,1.193661e-06,1.189680e-06,1.185665e-06,1.181625e-06,1.177566e-06,1.173496e-06,1.169419e-06,1.165342e-06,1.161270e-06,1.157207e-06,1.153159e-06,1.149129e-06,1.145121e-06,1.141138e-06,1.137184e-06,1.133261e-06,1.129371e-06,1.125519e-06,1.121704e-06,1.117930e-06,1.114198e-06,1.110510e-06,1.106867e-06,1.103269e-06,1.099720e-06
0.000000e+00,2.010176e-13,1.352199e-12,2.290792e-11,1.486119e-10,3.490136e-10,2.187123e-09,2.336084e-09,9.976415e-09,1.417179e-08,3.210488e-08,5.874348e-08,8.509060e-08,1.840163e-07,1.958639e-07,4.051322e-07,4.760185e-07,7.705060e-07,1.071151e-06,1.368933e-06,2.165012e-06,2.297560e-06,3.672287e-06,4.012073e-06,5.623921e-06,6.913053e-06,8.292436e-06,1.119223e-05,1.182019e-05,1.634494e-05,1.717009e-05,2.199329e-05,2.513662e-05,2.887507e-05,3.532893e-05,3.707892e-05,4.666908e-05,4.791515e-05,5.768350e-05,6.298485e-05,7.013311e-05,8.054590e-05,8.400210e-05,9.924913e-05,1.005266e-04,1.158093e-04,1.227825e-04,1.335968e-04,1.471057e-04,1.525072e-04,1.724215e-04,1.732371e-04,1.932086e-04,2.008790e-04,2.147290e-04,2.297080e-04,2.368379e-04,2.593879e-04,2.822323e-04,2.895810e-04,3.052269e-04,3.199579e-04,3.282329e-04,3.502063e-04,3.511178e-04,3.737580e-04,3.800375e-04,3.960387e-04,4.091909e-04,4.178559e-04,4.374378e-04,4.391161e-04,4.597372e-04,4.645831e-04,4.796484e-04,4.904657e-04,4.987896e-04,5.149576e-04,5.171116e-04,5.345757e-04,5.379628e-04,5.511526e-04,5.594151e-04,5.668225e-04,5.792756e-04,5.815738e-04,5.954024e-04,5.975295e-04,6.083113e-04,6.141833e-04,6.203094e-04,6.292616e-04,6.314111e-04,6.416353e-04,6.428043e-04,6.510050e-04,6.548636e-04,6.595464e-04,6.655016e-04,6.672884e-04,6.742620e-04,6.747877e-04,6.804998e-04,6.827964e-04,6.860354e-04,6.896056e-04,6.909033e-04,6.951383e-04,6.952950e-04,6.987750e-04,6.999445e-04,7.018481e-04,7.036331e-04,7.043914e-04,7.064383e-04,7.080213e-04,7.084351e-04,7.091718e-04,7.096952e-04,7.099201e-04,7.102871e-04,7.102953e-04,7.103255e-04,7.102758e-04,7.100371e-04,7.097219e-04,7.094557e-04,7.086824e-04,7.086050e-04,7.075079e-04,7.072103e-04,7.061856e-04,7.053544e-04,7.046584e-04,7.031600e-04,7.029451e-04,7.010636e-04,7.006685e-04,6.990304e-04,6.979183e-04,6.968610e-04,6.949441e-04,6.945700e-04,6.921707e-04,6.917776e-04,6.896758e-04,6.884476e-04,6.870967e-04,6.849801e-04,6.844442e-04,6.817282e-04,6.813985e-04,6.789580e-04,6.777241e-04,6.761419e-04,6.739758e-04,6.732878e-04,6.704028e-04,6.701709e-04,6.674937e-04,6.663246e-04,6.645663e-04,6.624505e-04,6.616263e-04,6.586788e-04,6.585608e-04,6.557284e-04,6.546664e-04,6.527794e-04,6.507768e-04,6.498356e-04,6.469005e-04,6.430450e-04,6.392168e-04,6.354217e-04,6.316648e-04,6.279503e-04,6.242821e-04,6.206633e-04,6.170968e-04,6.135848e-04,6.101294e-04,6.067320e-04,6.033940e-04,6.001165e-04,5.969001e-04,5.937454e-04,5.906527e-04,5.876224e-04,5.846542e-04,5.817482e-04,5.789042e-04,5.761217e-04,5.734004e-04,5.707397e-04,5.681390e-04
0.000000e+00,1.412858e-13,9.299378e-13,1.504715e-11,9.352213e-11,2.144337e-10,1.261000e-09,1.343334e-09,5.371132e-09,7.490651e-09,1.618475e-08,2.846735e-08,4.016265e-08,8.173565e-08,8.653886e-08,1.675301e-07,1.937387e-07,2.982323e-07,3.996271e-07,4.962929e-07,7.418644e-07,7.813464e-07,1.174166e-06,1.267504e-06,1.695493e-06,2.023858e-06,2.364551e-06,3.052598e-06,3.197390e-06,4.205290e-06,4.383243e-06,5.393516e-06,6.027757e-06,6.760635e-06,7.977846e-06,8.298458e-06,9.992574e-06,1.020549e-05,1.182334e-05,1.266619e-05,1.376713e-05,1.530396e-05,1.579777e-05,1.788783e-05,1.805678e-05,2.000991e-05,2.086175e-05,2.213767e-05,2.365937e-05,2.424668e-05,2.631498e-05,2.639658e-05,2.832346e-05,2.902870e-05,3.025612e-05,3.152030e-05,3.210003e-05,3.384529e-05,3.548483e-05,3.598635e-05,3.701415e-05,3.793396e-05,3.843104e-05,3.968526e-05,3.973528e-05,4.092829e-05,4.124276e-05,4.201288e-05,4.261315e-05,4.299290e-05,4.380617e-05,4.387303e-05,4.465852e-05,4.483358e-05,4.535502e-05,4.570835e-05,4.596835e-05,4.644399e-05,4.650444e-05,4.696913e-05,4.705401e-05,4.736815e-05,4.755152e-05,4.770699e-05,4.794897e-05,4.799091e-05,4.822485e-05,4.825796e-05,4.841345e-05,4.848914e-05,4.856101e-05,4.865219e-05,4.867151e-05,4.874861e-05,4.875578e-05,4.879566e-05,4.880764e-05,4.881572e-05,4.881462e-05,4.881155e-05,4.878568e-05,4.878274e-05,4.874038e-05,4.871728e-05,4.867769e-05,4.862284e-05,4.859947e-05,4.850737e-05,4.850342e-05,4.840291e-05,4.836254e-05,4.828742e-05,4.820321e-05,4.816212e-05,4.802809e-05,4.788632e-05,4.783947e-05,4.773769e-05,4.763933e-05,4.758299e-05,4.742943e-05,4.742293e-05,4.725817e-05,4.721127e-05,4.708929e-05,4.698620e-05,4.691682e-05,4.675538e-05,4.674123e-05,4.656297e-05,4.651984e-05,4.638243e-05,4.628047e-05,4.619997e-05,4.603808e-05,4.601592e-05,4.583058e-05,4.579338e-05,4.564422e-05,4.554700e-05,4.545711e-05,4.529951e-05,4.526946e-05,4.508150e-05,4.505140e-05,4.489340e-05,4.480312e-05,4.470536e-05,4.455507e-05,4.451753e-05,4.433006e-05,4.430759e-05,4.414309e-05,4.406101e-05,4.395674e-05,4.381561e-05,4.377114e-05,4.358638e-05,4.357164e-05,4.340258e-05,4.332934e-05,4.321981e-05,4.308891e-05,4.303816e-05,4.285771e-05,4.285052e-05,4.267853e-05,4.261435e-05,4.250068e-05,4.238053e-05,4.232422e-05,4.214920e-05,4.192046e-05,4.169441e-05,4.147114e-05,4.125072e-05,4.103322e-05,4.081869e-05,4.060719e-05,4.039873e-05,4.019337e-05,3.999111e-05,3.979198e-05,3.959598e-05,3.940314e-05,3.921344e-05,3.902688e-05,3.884346e-05,3.866317e-05,3.848599e-05,3.831191e-05,3.814091e-05,3.797296e-05,3.780805e-05,3.764614e-05,3.748721e-05
0.000000e+00,4.989983e-12,2.832222e-11,3.400115e-10,1.627446e-09,3.247975e-09,1.355961e-08,1.425216e-08,4.157510e-08,5.344545e-08,9.486556e-08,1.435470e-07,1.843507e-07,3.076240e-07,3.204763e-07,5.135155e-07,5.693640e-07,7.724524e-07,9.485881e-07,1.103094e-06,1.454436e-06,1.506639e-06,1.979892e-06,2.082401e-06,2.516724e-06,2.818530e-06,3.109617e-06,3.645183e-06,3.750658e-06,4.431931e-06,4.544146e-06,5.145639e-06,5.497485e-06,5.884125e-06,6.487727e-06,6.639920e-06,7.405825e-06,7.498085e-06,8.175028e-06,8.512874e-06,8.941214e-06,9.517958e-06,9.698670e-06,1.044235e-05,1.050112e-05,1.116793e-05,1.145226e-05,1.187178e-05,1.236344e-05,1.255098e-05,1.320324e-05,1.322874e-05,1.382687e-05,1.404413e-05,1.442073e-05,1.480718e-05,1.498414e-05,1.551684e-05,1.601890e-05,1.617313e-05,1.649065e-05,1.677693e-05,1.693268e-05,1.732974e-05,1.734572e-05,1.773063e-05,1.783350e-05,1.808840e-05,1.829047e-05,1.842007e-05,1.870308e-05,1.872671e-05,1.900944e-05,1.907386e-05,1.926936e-05,1.940537e-05,1.950758e-05,1.970014e-05,1.972520e-05,1.992328e-05,1.996064e-05,2.010285e-05,2.018925e-05,2.026493e-05,2.038826e-05,2.041048e-05,2.054044e-05,2.055984e-05,2.065569e-05,2.070604e-05,2.075709e-05,2.082879e-05,2.084545e-05,2.092156e-05,2.092990e-05,2.098614e-05,2.101108e-05,2.103989e-05,2.107392e-05,2.108349e-05,2.111756e-05,2.111989e-05,2.114270e-05,2.115038e-05,2.115947e-05,2.116666e-05,2.116841e-05,2.117003e-05,2.116994e-05,2.116480e-05,2.116133e-05,2.115317e-05,2.114184e-05,2.113559e-05,2.111243e-05,2.108410e-05,2.107400e-05,2.105094e-05,2.102735e-05,2.101330e-05,2.097325e-05,2.097150e-05,2.092584e-05,2.091240e-05,2.087659e-05,2.084544e-05,2.082404e-05,2.077299e-05,2.076843e-05,2.071000e-05,2.069559e-05,2.064898e-05,2.061375e-05,2.058558e-05,2.052797e-05,2.051999e-05,2.045240e-05,2.043866e-05,2.038300e-05,2.034624e-05,2.031194e-05,2.025108e-05,2.023938e-05,2.016547e-05,2.015353e-05,2.009035e-05,2.005390e-05,2.001415e-05,1.995249e-05,1.993698e-05,1.985897e-05,1.984956e-05,1.978022e-05,1.974537e-05,1.970084e-05,1.964014e-05,1.962091e-05,1.954054e-05,1.953409e-05,1.945979e-05,1.942741e-05,1.937876e-05,1.932027e-05,1.929751e-05,1.921611e-05,1.921285e-05,1.913463e-05,1.910529e-05,1.905313e-05,1.899772e-05,1.897166e-05,1.889028e-05,1.878308e-05,1.867622e-05,1.856980e-05,1.846391e-05,1.835863e-05,1.825403e-05,1.815017e-05,1.804711e-05,1.794492e-05,1.784362e-05,1.774328e-05,1.764392e-05,1.754557e-05,1.744828e-05,1.735207e-05,1.725695e-05,1.716295e-05,1.707009e-05,1.697837e-05,1.688782e-05,1.679843e-05,1.671023e-05,1.662321e-05,1.653737e-05
0.000000e+00,7.581276e-12,1.744667e-11,6.053850e-11,1.391387e-10,2.044559e-10,4.758794e-10,4.908279e-10,9.847055e-10,1.171095e-09,1.769338e-09,2.418902e-09,2.937937e-09,4.411019e-09,4.557592e-09,6.622247e-09,7.176581e-09,9.059440e-09,1.055445e-08,1.178356e-08,1.436384e-08,1.472686e-08,1.784055e-08,1.848035e-08,2.108777e-08,2.281881e-08,2.443801e-08,2.731191e-08,2.786413e-08,3.134105e-08,3.190050e-08,3.484548e-08,3.653099e-08,3.835593e-08,4.115543e-08,4.185288e-08,4.531900e-08,4.573212e-08,4.873916e-08,5.022606e-08,5.210045e-08,5.460897e-08,5.539211e-08,5.860537e-08,5.885882e-08,6.173324e-08,6.295923e-08,6.477037e-08,6.689863e-08,6.771278e-08,7.055773e-08,7.066947e-08,7.330348e-08,7.426746e-08,7.594913e-08,7.769090e-08,7.849453e-08,8.094008e-08,8.328666e-08,8.401686e-08,8.553554e-08,8.692425e-08,8.768827e-08,8.966611e-08,8.974666e-08,9.171270e-08,9.224693e-08,9.358851e-08,9.467161e-08,9.537632e-08,9.694536e-08,9.707843e-08,9.869720e-08,9.907357e-08,1.002350e-07,1.010617e-07,1.016943e-07,1.029153e-07,1.030774e-07,1.043867e-07,1.046399e-07,1.056247e-07,1.062409e-07,1.067935e-07,1.077237e-07,1.078957e-07,1.089334e-07,1.090936e-07,1.099089e-07,1.103557e-07,1.108243e-07,1.115149e-07,1.116819e-07,1.124837e-07,1.125762e-07,1.132317e-07,1.135443e-07,1.139280e-07,1.144238e-07,1.145745e-07,1.151732e-07,1.152190e-07,1.157258e-07,1.159343e-07,1.162341e-07,1.165737e-07,1.166999e-07,1.171249e-07,1.171411e-07,1.175108e-07,1.176404e-07,1.178590e-07,1.180752e-07,1.181713e-07,1.184489e-07,1.186935e-07,1.187651e-07,1.189064e-07,1.190267e-07,1.190890e-07,1.192370e-07,1.192426e-07,1.193684e-07,1.193988e-07,1.194676e-07,1.195149e-07,1.195415e-07,1.195881e-07,1.195913e-07,1.196179e-07,1.196210e-07,1.196225e-07,1.196158e-07,1.196061e-07,1.195751e-07,1.195697e-07,1.195142e-07,1.195009e-07,1.194406e-07,1.193954e-07,1.193497e-07,1.192607e-07,1.192425e-07,1.191197e-07,1.190987e-07,1.189822e-07,1.189111e-07,1.188306e-07,1.186998e-07,1.186658e-07,1.184884e-07,1.184663e-07,1.182991e-07,1.182122e-07,1.180986e-07,1.179391e-07,1.178875e-07,1.176664e-07,1.176483e-07,1.174360e-07,1.173413e-07,1.171966e-07,1.170192e-07,1.169490e-07,1.166936e-07,1.166832e-07,1.164309e-07,1.163346e-07,1.161613e-07,1.159744e-07,1.158854e-07,1.156036e-07,1.152232e-07,1.148341e-07,1.144372e-07,1.140334e-07,1.136233e-07,1.132077e-07,1.127874e-07,1.123629e-07,1.119350e-07,1.115040e-07,1.110707e-07,1.106355e-07,1.101989e-07,1.097614e-07,1.093233e-07,1.088851e-07,1.084472e-07,1.080098e-07,1.075734e-07,1.071383e-07,1.067046e-07,1.062728e-07,1.058429e-07,1.054154e-07
0.000000e+00,7.863420e-11,2.263054e-10,9.873448e-10,2.500674e-09,3.791302e-09,9.160981e-09,9.453500e-09,1.884012e-08,2.224425e-08,3.273365e-08,4.352999e-08,5.184020e-08,7.456297e-08,7.678683e-08,1.081036e-07,1.166148e-07,1.461835e-07,1.705438e-07,1.912155e-07,2.365203e-07,2.430955e-07,3.013545e-07,3.137045e-07,3.651683e-07,4.001992e-07,4.334759e-07,4.934979e-07,5.051455e-07,5.791037e-07,5.910836e-07,6.543925e-07,6.907545e-07,7.301789e-07,7.906814e-07,8.057467e-07,8.804834e-07,8.893704e-07,9.538702e-07,9.856182e-07,1.025474e-06,1.078479e-06,1.094940e-06,1.161986e-06,1.167238e-06,1.226395e-06,1.251383e-06,1.288009e-06,1.330580e-06,1.346723e-06,1.402475e-06,1.404643e-06,1.455241e-06,1.473507e-06,1.505030e-06,1.537204e-06,1.551878e-06,1.595840e-06,1.636988e-06,1.649574e-06,1.675407e-06,1.698606e-06,1.711192e-06,1.743160e-06,1.744443e-06,1.775265e-06,1.783474e-06,1.803764e-06,1.819794e-06,1.830050e-06,1.852368e-06,1.854228e-06,1.876404e-06,1.881440e-06,1.896682e-06,1.907247e-06,1.915163e-06,1.930017e-06,1.931944e-06,1.947118e-06,1.949968e-06,1.960775e-06,1.967307e-06,1.973004e-06,1.982232e-06,1.983886e-06,1.993500e-06,1.994926e-06,2.001922e-06,2.005562e-06,2.009223e-06,2.014302e-06,2.015471e-06,2.020732e-06,2.021299e-06,2.025066e-06,2.026694e-06,2.028531e-06,2.030618e-06,2.031183e-06,2.033073e-06,2.033193e-06,2.034252e-06,2.034534e-06,2.034764e-06,2.034746e-06,2.034656e-06,2.033967e-06,2.033928e-06,2.032738e-06,2.032170e-06,2.031005e-06,2.029558e-06,2.028804e-06,2.026168e-06,2.023127e-06,2.022073e-06,2.019711e-06,2.017341e-06,2.015948e-06,2.012033e-06,2.011863e-06,2.007482e-06,2.006206e-06,2.002828e-06,1.999914e-06,1.997923e-06,1.993205e-06,1.992786e-06,1.987437e-06,1.986124e-06,1.981896e-06,1.978714e-06,1.976177e-06,1.971012e-06,1.970299e-06,1.964276e-06,1.963055e-06,1.958122e-06,1.954874e-06,1.951850e-06,1.946501e-06,1.945474e-06,1.939005e-06,1.937962e-06,1.932454e-06,1.929283e-06,1.925832e-06,1.920489e-06,1.919148e-06,1.912411e-06,1.911600e-06,1.905631e-06,1.902636e-06,1.898815e-06,1.893616e-06,1.891971e-06,1.885106e-06,1.884556e-06,1.878227e-06,1.875472e-06,1.871339e-06,1.866378e-06,1.864449e-06,1.857562e-06,1.857287e-06,1.850683e-06,1.848209e-06,1.843817e-06,1.839157e-06,1.836968e-06,1.830140e-06,1.821166e-06,1.812244e-06,1.803381e-06,1.794584e-06,1.785858e-06,1.777210e-06,1.768643e-06,1.760163e-06,1.751772e-06,1.743475e-06,1.735274e-06,1.727172e-06,1.719171e-06,1.711273e-06,1.703480e-06,1.695794e-06,1.688215e-06,1.680744e-06,1.673382e-06,1.666129e-06,1.658986e-06,1.651953e-06,1.645030e-06,1.638216e-06
0.000000e+00,1.182767e-10,2.907855e-10,1.076405e-09,2.534451e-09,3.747150e-09,8.732887e-09,9.004551e-09,1.782389e-08,2.108497e-08,3.137131e-08,4.232964e-08,5.099942e-08,7.551570e-08,7.796170e-08,1.127479e-07,1.222035e-07,1.546450e-07,1.806813e-07,2.022114e-07,2.476194e-07,2.540205e-07,3.089501e-07,3.202319e-07,3.661469e-07,3.965533e-07,4.249256e-07,4.750895e-07,4.846972e-07,5.449298e-07,5.545765e-07,6.051336e-07,6.338873e-07,6.648582e-07,7.120172e-07,7.236956e-07,7.812827e-07,7.880937e-07,8.373049e-07,8.613890e-07,8.914979e-07,9.313274e-07,9.436470e-07,9.935853e-07,9.974809e-07,1.041190e-06,1.059560e-06,1.086380e-06,1.117394e-06,1.129108e-06,1.169354e-06,1.170913e-06,1.207130e-06,1.220131e-06,1.242470e-06,1.265135e-06,1.275424e-06,1.306056e-06,1.334442e-06,1.343065e-06,1.360665e-06,1.376352e-06,1.384811e-06,1.406124e-06,1.406973e-06,1.427244e-06,1.432594e-06,1.445718e-06,1.455978e-06,1.462488e-06,1.476489e-06,1.477644e-06,1.491277e-06,1.494332e-06,1.503474e-06,1.509708e-06,1.514318e-06,1.522806e-06,1.523890e-06,1.532268e-06,1.533807e-06,1.539526e-06,1.542881e-06,1.545735e-06,1.550189e-06,1.550962e-06,1.555271e-06,1.555880e-06,1.558724e-06,1.560093e-06,1.561377e-06,1.562961e-06,1.563285e-06,1.564500e-06,1.564602e-06,1.565071e-06,1.565130e-06,1.565043e-06,1.564649e-06,1.564461e-06,1.563364e-06,1.563255e-06,1.561791e-06,1.561037e-06,1.559778e-06,1.558077e-06,1.557361e-06,1.554570e-06,1.554451e-06,1.551435e-06,1.550229e-06,1.547986e-06,1.545475e-06,1.544249e-06,1.540248e-06,1.536008e-06,1.534604e-06,1.531549e-06,1.528591e-06,1.526893e-06,1.522255e-06,1.522059e-06,1.517064e-06,1.515640e-06,1.511927e-06,1.508783e-06,1.506662e-06,1.501719e-06,1.501285e-06,1.495809e-06,1.494481e-06,1.490247e-06,1.487099e-06,1.484611e-06,1.479599e-06,1.478913e-06,1.473162e-06,1.472007e-06,1.467370e-06,1.464344e-06,1.461544e-06,1.456630e-06,1.455693e-06,1.449825e-06,1.448885e-06,1.443948e-06,1.441125e-06,1.438068e-06,1.433366e-06,1.432191e-06,1.426324e-06,1.425621e-06,1.420471e-06,1.417902e-06,1.414638e-06,1.410221e-06,1.408830e-06,1.403050e-06,1.402589e-06,1.397302e-06,1.395013e-06,1.391590e-06,1.387502e-06,1.385918e-06,1.380288e-06,1.380063e-06,1.374703e-06,1.372703e-06,1.369165e-06,1.365428e-06,1.363677e-06,1.358241e-06,1.351148e-06,1.344152e-06,1.337257e-06,1.330465e-06,1.323778e-06,1.317199e-06,1.310729e-06,1.304369e-06,1.298120e-06,1.291983e-06,1.285958e-06,1.280045e-06,1.274244e-06,1.268556e-06,1.262978e-06,1.257512e-06,1.252155e-06,1.246908e-06,1.241770e-06,1.236738e-06,1.231813e-06,1.226993e-06,1.222276e-06,1.217662e-06
0.000000e+00,1.384168e-10,3.909593e-10,1.678467e-09,4.238075e-09,6.430536e-09,1.565718e-08,1.616452e-08,3.268350e-08,3.878225e-08,5.790205e-08,7.803698e-08,9.379263e-08,1.376136e-07,1.419365e-07,2.028887e-07,2.193954e-07,2.763217e-07,3.226847e-07,3.616721e-07,4.462128e-07,4.584041e-07,5.659730e-07,5.887341e-07,6.837542e-07,7.487956e-07,8.110082e-07,9.245987e-07,9.468786e-07,1.090409e-06,1.114017e-06,1.240574e-06,1.314697e-06,1.396306e-06,1.524179e-06,1.556532e-06,1.720202e-06,1.740025e-06,1.886308e-06,1.959921e-06,2.053907e-06,2.181745e-06,2.222133e-06,2.390201e-06,2.403619e-06,2.557415e-06,2.623922e-06,2.723163e-06,2.841295e-06,2.886918e-06,3.048229e-06,3.054625e-06,3.206719e-06,3.263023e-06,3.362076e-06,3.465798e-06,3.514046e-06,3.662427e-06,3.807063e-06,3.852534e-06,3.947834e-06,4.035860e-06,4.084658e-06,4.212243e-06,4.217479e-06,4.346266e-06,4.381601e-06,4.471009e-06,4.543916e-06,4.591716e-06,4.699220e-06,4.708408e-06,4.821120e-06,4.847583e-06,4.929895e-06,4.989109e-06,5.034787e-06,5.123925e-06,5.135853e-06,5.233159e-06,5.252174e-06,5.326773e-06,5.374017e-06,5.416768e-06,5.489623e-06,5.503220e-06,5.586205e-06,5.599167e-06,5.665803e-06,5.702830e-06,5.742093e-06,5.800798e-06,5.815157e-06,5.885074e-06,5.893257e-06,5.951926e-06,5.980391e-06,6.015794e-06,6.062387e-06,6.076758e-06,6.134898e-06,6.139429e-06,6.190292e-06,6.211699e-06,6.243019e-06,6.279375e-06,6.293156e-06,6.340779e-06,6.342633e-06,6.385963e-06,6.401646e-06,6.428781e-06,6.456583e-06,6.469306e-06,6.507608e-06,6.543758e-06,6.554883e-06,6.577824e-06,6.598563e-06,6.609872e-06,6.638801e-06,6.639968e-06,6.668176e-06,6.675744e-06,6.694558e-06,6.709537e-06,6.719176e-06,6.740317e-06,6.742089e-06,6.763356e-06,6.768221e-06,6.783032e-06,6.793377e-06,6.801175e-06,6.815913e-06,6.817836e-06,6.833070e-06,6.835950e-06,6.846928e-06,6.853606e-06,6.859458e-06,6.868994e-06,6.870710e-06,6.880731e-06,6.882223e-06,6.889567e-06,6.893400e-06,6.897261e-06,6.902625e-06,6.903858e-06,6.909400e-06,6.909996e-06,6.913928e-06,6.915609e-06,6.917480e-06,6.919553e-06,6.920097e-06,6.921815e-06,6.921915e-06,6.922671e-06,6.922780e-06,6.922700e-06,6.922227e-06,6.921935e-06,6.920411e-06,6.920335e-06,6.918159e-06,6.917176e-06,6.915210e-06,6.912823e-06,6.911595e-06,6.907342e-06,6.900800e-06,6.893260e-06,6.884781e-06,6.875420e-06,6.865233e-06,6.854272e-06,6.842588e-06,6.830229e-06,6.817240e-06,6.803665e-06,6.789548e-06,6.774926e-06,6.759840e-06,6.744325e-06,6.728416e-06,6.712146e-06,6.695547e-06,6.678648e-06,6.661479e-06,6.644067e-06,6.626437e-06,6.608614e-06,6.590622e-06,6.572482e-06
0.000000e+00,2.859035e-11,1.453439e-10,1.413714e-09,5.704783e-09,1.045368e-08,3.592607e-08,3.749174e-08,9.342687e-08,1.156882e-07,1.886531e-07,2.689685e-07,3.336060e-07,5.201932e-07,5.391093e-07,8.147065e-07,8.918591e-07,1.163572e-06,1.388234e-06,1.577081e-06,1.979406e-06,2.036165e-06,2.519151e-06,2.616950e-06,3.008253e-06,3.260755e-06,3.491257e-06,3.886424e-06,3.960297e-06,4.410207e-06,4.480161e-06,4.837373e-06,5.033525e-06,5.239133e-06,5.540912e-06,5.613531e-06,5.959247e-06,5.998765e-06,6.275556e-06,6.405357e-06,6.562306e-06,6.760676e-06,6.819866e-06,7.049062e-06,7.066205e-06,7.251089e-06,7.324618e-06,7.427431e-06,7.539431e-06,7.579768e-06,7.709900e-06,7.714670e-06,7.819679e-06,7.854573e-06,7.910948e-06,7.963358e-06,7.985504e-06,8.045060e-06,8.091223e-06,8.103414e-06,8.125486e-06,8.141804e-06,8.149214e-06,8.163236e-06,8.163650e-06,8.169909e-06,8.170335e-06,8.168990e-06,8.165367e-06,8.161784e-06,8.150285e-06,8.149084e-06,8.131591e-06,8.126749e-06,8.109920e-06,8.096165e-06,8.084616e-06,8.059728e-06,8.056161e-06,8.024980e-06,8.018450e-06,7.991444e-06,7.973186e-06,7.955882e-06,7.924653e-06,7.918578e-06,7.879784e-06,7.873454e-06,7.839724e-06,7.820104e-06,7.798595e-06,7.765043e-06,7.756575e-06,7.713820e-06,7.708647e-06,7.670467e-06,7.651235e-06,7.626639e-06,7.593079e-06,7.582444e-06,7.537982e-06,7.534416e-06,7.493341e-06,7.475452e-06,7.448600e-06,7.416363e-06,7.403828e-06,7.359089e-06,7.357301e-06,7.314439e-06,7.298397e-06,7.269929e-06,7.239766e-06,7.225605e-06,7.181510e-06,7.137678e-06,7.123714e-06,7.094145e-06,7.066453e-06,7.050938e-06,7.009793e-06,7.008086e-06,6.965610e-06,6.953788e-06,6.923533e-06,6.898486e-06,6.881873e-06,6.843928e-06,6.840646e-06,6.799868e-06,6.790149e-06,6.759550e-06,6.737177e-06,6.719704e-06,6.685037e-06,6.680339e-06,6.641464e-06,6.633748e-06,6.603085e-06,6.583327e-06,6.565209e-06,6.533784e-06,6.527839e-06,6.490980e-06,6.485130e-06,6.454634e-06,6.437370e-06,6.418802e-06,6.390509e-06,6.383487e-06,6.348688e-06,6.344547e-06,6.314405e-06,6.299484e-06,6.280638e-06,6.255319e-06,6.247384e-06,6.214643e-06,6.212046e-06,6.182411e-06,6.169661e-06,6.150686e-06,6.128157e-06,6.119465e-06,6.088744e-06,6.087526e-06,6.058520e-06,6.047760e-06,6.028788e-06,6.008849e-06,5.999544e-06,5.970783e-06,5.933551e-06,5.897142e-06,5.861543e-06,5.826743e-06,5.792728e-06,5.759486e-06,5.727003e-06,5.695266e-06,5.664261e-06,5.633975e-06,5.604394e-06,5.575505e-06,5.547293e-06,5.519745e-06,5.492848e-06,5.466588e-06,5.440951e-06,5.415924e-06,5.391494e-06,5.367647e-06,5.344372e-06,5.321655e-06,5.299483e-06,5.277845e-06
0.000000e+00,6.224084e-11,1.768987e-10,7.605241e-10,1.911517e-09,2.889483e-09,6.947754e-09,7.168698e-09,1.426611e-08,1.684627e-08,2.482466e-08,3.308479e-08,3.947715e-08,5.710359e-08,5.883971e-08,8.347116e-08,9.021730e-08,1.137823e-07,1.332984e-07,1.498913e-07,1.862171e-07,1.914733e-07,2.377275e-07,2.474435e-07,2.875403e-07,3.144577e-07,3.397439e-07,3.846777e-07,3.933004e-07,4.473600e-07,4.560088e-07,5.012447e-07,5.268841e-07,5.544138e-07,5.961385e-07,6.064323e-07,6.569503e-07,6.628977e-07,7.056891e-07,7.265126e-07,7.524318e-07,7.865201e-07,7.970170e-07,8.393321e-07,8.426169e-07,8.793072e-07,8.946336e-07,9.169097e-07,9.425132e-07,9.521393e-07,9.850214e-07,9.862884e-07,1.015603e-06,1.026061e-06,1.043948e-06,1.061984e-06,1.070133e-06,1.094245e-06,1.116374e-06,1.123052e-06,1.136618e-06,1.148629e-06,1.155073e-06,1.171199e-06,1.171839e-06,1.187012e-06,1.190987e-06,1.200686e-06,1.208210e-06,1.212954e-06,1.223075e-06,1.223904e-06,1.233621e-06,1.235779e-06,1.242187e-06,1.246509e-06,1.249676e-06,1.255436e-06,1.256164e-06,1.261717e-06,1.262722e-06,1.266402e-06,1.268514e-06,1.270278e-06,1.272951e-06,1.273403e-06,1.275830e-06,1.276158e-06,1.277611e-06,1.278249e-06,1.278791e-06,1.279332e-06,1.279415e-06,1.279524e-06,1.279504e-06,1.279156e-06,1.278852e-06,1.278347e-06,1.277459e-06,1.277131e-06,1.275540e-06,1.275397e-06,1.273601e-06,1.272735e-06,1.271344e-06,1.269535e-06,1.268792e-06,1.265970e-06,1.265852e-06,1.262900e-06,1.261738e-06,1.259602e-06,1.257239e-06,1.256096e-06,1.252400e-06,1.248530e-06,1.247258e-06,1.244503e-06,1.241849e-06,1.240332e-06,1.236206e-06,1.236031e-06,1.231614e-06,1.230358e-06,1.227091e-06,1.224332e-06,1.222474e-06,1.218152e-06,1.217773e-06,1.212998e-06,1.211842e-06,1.208157e-06,1.205421e-06,1.203260e-06,1.198909e-06,1.198313e-06,1.193324e-06,1.192321e-06,1.188299e-06,1.185675e-06,1.183246e-06,1.178983e-06,1.178169e-06,1.173075e-06,1.172258e-06,1.167968e-06,1.165513e-06,1.162853e-06,1.158758e-06,1.157734e-06,1.152616e-06,1.152002e-06,1.147502e-06,1.145254e-06,1.142395e-06,1.138522e-06,1.137300e-06,1.132219e-06,1.131813e-06,1.127155e-06,1.125134e-06,1.122110e-06,1.118491e-06,1.117087e-06,1.112088e-06,1.111889e-06,1.107116e-06,1.105332e-06,1.102171e-06,1.098826e-06,1.097256e-06,1.092373e-06,1.085978e-06,1.079643e-06,1.073371e-06,1.067164e-06,1.061026e-06,1.054956e-06,1.048958e-06,1.043033e-06,1.037181e-06,1.031403e-06,1.025701e-06,1.020075e-06,1.014526e-06,1.009053e-06,1.003658e-06,9.983402e-07,9.930996e-07,9.879363e-07,9.828501e-07,9.778408e-07,9.729080e-07,9.680514e-07,9.632705e-07,9.585649e-07
0.000000e+00,2.882339e-11,1.527107e-10,1.606370e-09,6.902991e-09,1.305087e-08,4.814268e-08,5.037136e-08,1.329022e-07,1.668235e-07,2.805896e-07,4.089295e-07,5.138566e-07,8.225679e-07,8.542689e-07,1.323723e-06,1.457728e-06,1.939518e-06,2.350637e-06,2.706043e-06,3.495671e-06,3.610804e-06,4.629856e-06,4.845026e-06,5.736895e-06,6.339516e-06,6.908953e-06,7.930121e-06,8.127585e-06,9.377878e-06,9.579991e-06,1.064708e-05,1.125959e-05,1.192364e-05,1.294290e-05,1.319675e-05,1.445617e-05,1.460592e-05,1.569233e-05,1.622658e-05,1.689644e-05,1.778525e-05,1.806063e-05,1.917810e-05,1.926531e-05,2.024320e-05,2.065353e-05,2.125143e-05,2.194025e-05,2.219949e-05,2.308515e-05,2.311926e-05,2.390725e-05,2.418756e-05,2.466552e-05,2.514495e-05,2.536053e-05,2.599351e-05,2.656622e-05,2.673712e-05,2.708091e-05,2.738104e-05,2.754015e-05,2.793146e-05,2.794675e-05,2.830367e-05,2.839513e-05,2.861398e-05,2.877908e-05,2.888076e-05,2.909037e-05,2.910705e-05,2.929585e-05,2.933591e-05,2.945005e-05,2.952233e-05,2.957243e-05,2.965590e-05,2.966563e-05,2.973215e-05,2.974246e-05,2.977434e-05,2.978740e-05,2.979440e-05,2.979566e-05,2.979439e-05,2.977621e-05,2.977174e-05,2.974162e-05,2.971967e-05,2.969223e-05,2.964308e-05,2.962954e-05,2.955491e-05,2.954521e-05,2.946960e-05,2.942898e-05,2.937477e-05,2.929697e-05,2.927145e-05,2.916062e-05,2.915145e-05,2.904314e-05,2.899446e-05,2.891981e-05,2.882780e-05,2.879136e-05,2.865845e-05,2.865305e-05,2.852168e-05,2.847161e-05,2.838160e-05,2.828471e-05,2.823871e-05,2.809345e-05,2.794624e-05,2.789878e-05,2.779745e-05,2.770156e-05,2.764743e-05,2.750252e-05,2.749647e-05,2.734485e-05,2.730232e-05,2.719283e-05,2.710153e-05,2.704064e-05,2.690066e-05,2.688849e-05,2.673656e-05,2.670015e-05,2.658502e-05,2.650039e-05,2.643403e-05,2.630172e-05,2.628372e-05,2.613422e-05,2.610443e-05,2.598564e-05,2.590878e-05,2.583809e-05,2.571500e-05,2.569165e-05,2.554640e-05,2.552328e-05,2.540242e-05,2.533378e-05,2.525977e-05,2.514665e-05,2.511851e-05,2.497869e-05,2.496201e-05,2.484035e-05,2.477996e-05,2.470353e-05,2.460059e-05,2.456827e-05,2.443459e-05,2.442397e-05,2.430253e-05,2.425015e-05,2.417209e-05,2.407919e-05,2.404330e-05,2.391616e-05,2.391111e-05,2.379070e-05,2.374594e-05,2.366691e-05,2.358370e-05,2.354481e-05,2.342440e-05,2.326803e-05,2.311460e-05,2.296409e-05,2.281650e-05,2.267180e-05,2.252997e-05,2.239099e-05,2.225483e-05,2.212145e-05,2.199083e-05,2.186293e-05,2.173772e-05,2.161514e-05,2.149518e-05,2.137779e-05,2.126292e-05,2.115053e-05,2.104059e-05,2.093305e-05,2.082787e-05,2.072500e-05,2.062441e-05,2.052604e-05,2.042986e-05
0.000000e+00,4.349873e-11,2.012256e-10,1.667495e-09,6.037441e-09,1.056351e-08,3.341258e-08,3.478505e-08,8.335306e-08,1.027028e-07,1.668209e-07,2.387262e-07,2.974008e-07,4.684450e-07,4.857802e-07,7.350744e-07,8.034618e-07,1.039643e-06,1.230932e-06,1.390360e-06,1.730525e-06,1.778916e-06,2.198646e-06,2.285828e-06,2.643932e-06,2.883858e-06,3.109611e-06,3.512896e-06,3.590706e-06,4.082377e-06,4.161711e-06,4.579978e-06,4.819643e-06,5.079164e-06,5.476979e-06,5.575977e-06,6.066919e-06,6.125290e-06,6.548985e-06,6.757617e-06,7.019663e-06,7.368500e-06,7.476932e-06,7.919243e-06,7.953945e-06,8.345445e-06,8.511226e-06,8.754741e-06,9.038686e-06,9.146651e-06,9.520936e-06,9.535540e-06,9.877574e-06,1.000167e-05,1.021671e-05,1.043747e-05,1.053864e-05,1.084373e-05,1.113242e-05,1.122142e-05,1.140522e-05,1.157172e-05,1.166267e-05,1.189590e-05,1.190533e-05,1.213381e-05,1.219532e-05,1.234869e-05,1.247132e-05,1.255053e-05,1.272523e-05,1.273994e-05,1.291746e-05,1.295837e-05,1.308366e-05,1.317199e-05,1.323907e-05,1.336731e-05,1.338420e-05,1.351957e-05,1.354551e-05,1.364565e-05,1.370769e-05,1.376290e-05,1.385489e-05,1.387176e-05,1.397267e-05,1.398811e-05,1.406603e-05,1.410827e-05,1.415222e-05,1.421627e-05,1.423162e-05,1.430458e-05,1.431292e-05,1.437143e-05,1.439900e-05,1.443250e-05,1.447524e-05,1.448809e-05,1.453850e-05,1.454232e-05,1.458399e-05,1.460088e-05,1.462484e-05,1.465151e-05,1.466129e-05,1.469358e-05,1.469479e-05,1.472193e-05,1.473122e-05,1.474657e-05,1.476131e-05,1.476769e-05,1.478550e-05,1.480016e-05,1.480422e-05,1.481186e-05,1.481788e-05,1.482077e-05,1.482684e-05,1.482704e-05,1.483082e-05,1.483146e-05,1.483226e-05,1.483205e-05,1.483149e-05,1.482893e-05,1.482863e-05,1.482382e-05,1.482238e-05,1.481716e-05,1.481266e-05,1.480876e-05,1.480003e-05,1.479874e-05,1.478719e-05,1.478470e-05,1.477419e-05,1.476690e-05,1.475985e-05,1.474683e-05,1.474425e-05,1.472747e-05,1.472468e-05,1.470957e-05,1.470061e-05,1.469065e-05,1.467481e-05,1.467076e-05,1.464997e-05,1.464741e-05,1.462834e-05,1.461857e-05,1.460593e-05,1.458842e-05,1.458280e-05,1.455901e-05,1.455707e-05,1.453459e-05,1.452466e-05,1.450960e-05,1.449128e-05,1.448408e-05,1.445808e-05,1.445704e-05,1.443164e-05,1.442203e-05,1.440480e-05,1.438634e-05,1.437759e-05,1.435005e-05,1.431325e-05,1.427599e-05,1.423836e-05,1.420040e-05,1.416219e-05,1.412377e-05,1.408519e-05,1.404650e-05,1.400775e-05,1.396897e-05,1.393020e-05,1.389149e-05,1.385285e-05,1.381432e-05,1.377593e-05,1.373771e-05,1.369967e-05,1.366185e-05,1.362425e-05,1.358690e-05,1.354982e-05,1.351303e-05,1.347653e-05,1.344034e-05
0.000000e+00,1.535250e-11,8.913187e-11,1.118749e-09,5.560754e-09,1.131741e-08,4.952728e-08,5.215153e-08,1.586893e-07,2.062215e-07,3.758020e-07,5.804367e-07,7.552691e-07,1.297196e-06,1.354686e-06,2.235770e-06,2.495938e-06,3.457837e-06,4.308794e-06,5.065686e-06,6.816013e-06,7.079016e-06,9.491168e-06,1.001942e-05,1.227644e-05,1.386065e-05,1.539942e-05,1.825573e-05,1.882188e-05,2.250598e-05,2.311725e-05,2.641513e-05,2.836100e-05,3.051379e-05,3.390570e-05,3.476706e-05,3.914056e-05,3.967185e-05,4.360049e-05,4.558174e-05,4.811403e-05,5.156078e-05,5.264977e-05,5.717814e-05,5.753926e-05,6.167189e-05,6.345408e-05,6.610634e-05,6.925002e-05,7.045960e-05,7.471272e-05,7.488052e-05,7.884961e-05,8.030780e-05,8.285700e-05,8.550253e-05,8.672427e-05,9.044325e-05,9.400794e-05,9.511534e-05,9.741426e-05,9.951005e-05,1.006599e-04,1.036237e-04,1.037440e-04,1.066670e-04,1.074567e-04,1.094304e-04,1.110128e-04,1.120366e-04,1.142982e-04,1.144888e-04,1.167905e-04,1.173210e-04,1.189459e-04,1.200907e-04,1.209595e-04,1.226178e-04,1.228359e-04,1.245800e-04,1.249133e-04,1.261967e-04,1.269887e-04,1.276910e-04,1.288553e-04,1.290679e-04,1.303325e-04,1.305247e-04,1.314896e-04,1.320082e-04,1.325439e-04,1.333167e-04,1.335003e-04,1.343634e-04,1.344609e-04,1.351375e-04,1.354511e-04,1.358271e-04,1.362973e-04,1.364364e-04,1.369693e-04,1.370088e-04,1.374299e-04,1.375947e-04,1.378218e-04,1.380636e-04,1.381488e-04,1.384142e-04,1.384236e-04,1.386215e-04,1.386825e-04,1.387738e-04,1.388476e-04,1.388743e-04,1.389258e-04,1.389312e-04,1.389236e-04,1.388931e-04,1.388472e-04,1.388142e-04,1.387023e-04,1.386969e-04,1.385435e-04,1.384944e-04,1.383563e-04,1.382287e-04,1.381375e-04,1.379099e-04,1.378890e-04,1.376128e-04,1.375426e-04,1.373107e-04,1.371309e-04,1.369845e-04,1.366789e-04,1.366359e-04,1.362665e-04,1.361903e-04,1.358778e-04,1.356685e-04,1.354711e-04,1.351167e-04,1.350480e-04,1.346096e-04,1.345381e-04,1.341573e-04,1.339355e-04,1.336921e-04,1.333115e-04,1.332152e-04,1.327277e-04,1.326685e-04,1.322305e-04,1.320089e-04,1.317246e-04,1.313348e-04,1.312108e-04,1.306901e-04,1.306482e-04,1.301632e-04,1.299509e-04,1.296309e-04,1.292446e-04,1.290938e-04,1.285527e-04,1.285310e-04,1.280083e-04,1.278115e-04,1.274610e-04,1.270876e-04,1.269115e-04,1.263603e-04,1.256310e-04,1.249006e-04,1.241703e-04,1.234408e-04,1.227131e-04,1.219879e-04,1.212660e-04,1.205478e-04,1.198342e-04,1.191255e-04,1.184223e-04,1.177250e-04,1.170340e-04,1.163497e-04,1.156723e-04,1.150023e-04,1.143397e-04,1.136850e-04,1.130381e-04,1.123994e-04,1.117689e-04,1.111468e-04,1.105332e-04,1.099282e-04
0.000000e+00,9.678507e-12,2.251966e-11,7.857565e-11,1.798399e-10,2.630553e-10,6.015232e-10,6.198711e-10,1.212991e-09,1.431505e-09,2.119320e-09,2.851285e-09,3.431205e-09,5.085392e-09,5.252261e-09,7.680153e-09,8.360863e-09,1.077067e-08,1.278445e-08,1.449588e-08,1.820631e-08,1.873719e-08,2.333117e-08,2.427825e-08,2.812510e-08,3.065679e-08,3.300256e-08,3.710432e-08,3.788286e-08,4.271114e-08,4.347613e-08,4.744928e-08,4.968311e-08,5.206939e-08,5.566588e-08,5.654995e-08,6.087372e-08,6.138134e-08,6.502664e-08,6.679679e-08,6.899736e-08,7.188767e-08,7.277696e-08,7.635889e-08,7.663676e-08,7.973885e-08,8.103373e-08,8.291469e-08,8.507474e-08,8.588625e-08,8.865520e-08,8.876179e-08,9.122481e-08,9.210193e-08,9.359973e-08,9.510640e-08,9.578579e-08,9.778974e-08,9.961898e-08,1.001687e-07,1.012814e-07,1.022616e-07,1.027853e-07,1.040877e-07,1.041391e-07,1.053514e-07,1.056667e-07,1.064307e-07,1.070178e-07,1.073851e-07,1.081601e-07,1.082230e-07,1.089522e-07,1.091119e-07,1.095802e-07,1.098903e-07,1.101141e-07,1.105118e-07,1.105610e-07,1.109273e-07,1.109915e-07,1.112192e-07,1.113435e-07,1.114425e-07,1.115809e-07,1.116025e-07,1.117043e-07,1.117155e-07,1.117527e-07,1.117582e-07,1.117519e-07,1.117187e-07,1.117062e-07,1.116193e-07,1.116062e-07,1.114947e-07,1.114288e-07,1.113357e-07,1.111938e-07,1.111454e-07,1.109266e-07,1.109079e-07,1.106818e-07,1.105771e-07,1.104134e-07,1.102067e-07,1.101235e-07,1.098142e-07,1.098015e-07,1.094875e-07,1.093661e-07,1.091454e-07,1.089046e-07,1.087892e-07,1.084206e-07,1.080409e-07,1.079172e-07,1.076514e-07,1.073975e-07,1.072532e-07,1.068639e-07,1.068475e-07,1.064353e-07,1.063188e-07,1.060174e-07,1.057643e-07,1.055947e-07,1.052022e-07,1.051680e-07,1.047379e-07,1.046343e-07,1.043053e-07,1.040621e-07,1.038707e-07,1.034869e-07,1.034346e-07,1.029975e-07,1.029101e-07,1.025601e-07,1.023326e-07,1.021226e-07,1.017554e-07,1.016856e-07,1.012493e-07,1.011796e-07,1.008141e-07,1.006057e-07,1.003804e-07,1.000346e-07,9.994840e-08,9.951840e-08,9.946695e-08,9.909065e-08,9.890320e-08,9.866535e-08,9.834390e-08,9.824273e-08,9.782295e-08,9.778950e-08,9.740620e-08,9.724038e-08,9.699262e-08,9.669690e-08,9.658237e-08,9.617554e-08,9.615934e-08,9.577227e-08,9.562798e-08,9.537265e-08,9.510304e-08,9.497678e-08,9.458473e-08,9.407320e-08,9.356861e-08,9.307109e-08,9.258072e-08,9.209760e-08,9.162178e-08,9.115330e-08,9.069221e-08,9.023850e-08,8.979220e-08,8.935329e-08,8.892175e-08,8.849756e-08,8.808070e-08,8.767110e-08,8.726874e-08,8.687356e-08,8.648552e-08,8.610452e-08,8.573052e-08,8.536344e-08,8.500322e-08,8.464977e-08,8.430300e-08
0.000000e+00,1.753314e-12,1.080592e-11,1.527314e-10,8.405312e-10,1.804157e-09,8.976039e-09,9.498386e-09,3.237088e-08,4.328123e-08,8.434618e-08,1.369099e-07,1.836119e-07,3.353575e-07,3.519272e-07,6.137370e-07,6.933153e-07,9.942935e-07,1.267860e-06,1.515918e-06,2.103378e-06,2.193057e-06,3.028569e-06,3.214053e-06,4.013169e-06,4.578054e-06,5.127860e-06,6.146634e-06,6.347783e-06,7.645863e-06,7.859009e-06,8.995515e-06,9.654365e-06,1.037223e-05,1.147841e-05,1.175432e-05,1.312314e-05,1.328573e-05,1.446296e-05,1.503987e-05,1.576086e-05,1.671276e-05,1.700648e-05,1.819180e-05,1.828383e-05,1.931096e-05,1.973915e-05,2.036002e-05,2.107064e-05,2.133677e-05,2.224044e-05,2.227507e-05,2.307154e-05,2.335324e-05,2.383159e-05,2.430900e-05,2.452291e-05,2.514844e-05,2.571152e-05,2.587911e-05,2.621579e-05,2.650940e-05,2.666503e-05,2.704808e-05,2.706307e-05,2.741368e-05,2.750386e-05,2.772054e-05,2.788513e-05,2.798718e-05,2.819986e-05,2.821696e-05,2.841300e-05,2.845537e-05,2.857825e-05,2.865836e-05,2.871543e-05,2.881491e-05,2.882703e-05,2.891536e-05,2.893043e-05,2.898254e-05,2.900976e-05,2.903048e-05,2.905719e-05,2.906096e-05,2.907555e-05,2.907651e-05,2.907573e-05,2.907108e-05,2.906280e-05,2.904384e-05,2.903798e-05,2.900235e-05,2.899740e-05,2.895691e-05,2.893404e-05,2.890255e-05,2.885579e-05,2.884010e-05,2.877031e-05,2.876443e-05,2.869385e-05,2.866154e-05,2.861135e-05,2.854853e-05,2.852338e-05,2.843044e-05,2.842663e-05,2.833302e-05,2.829694e-05,2.823155e-05,2.816044e-05,2.812643e-05,2.801802e-05,2.790665e-05,2.787044e-05,2.779264e-05,2.771842e-05,2.767627e-05,2.756259e-05,2.755781e-05,2.743749e-05,2.740350e-05,2.731554e-05,2.724167e-05,2.719216e-05,2.707755e-05,2.706754e-05,2.694187e-05,2.691157e-05,2.681530e-05,2.674408e-05,2.668798e-05,2.657544e-05,2.656006e-05,2.643166e-05,2.640594e-05,2.630291e-05,2.623586e-05,2.617392e-05,2.606546e-05,2.604479e-05,2.591562e-05,2.589495e-05,2.578650e-05,2.572456e-05,2.565751e-05,2.555446e-05,2.552873e-05,2.540023e-05,2.538483e-05,2.527208e-05,2.521582e-05,2.514434e-05,2.504757e-05,2.501707e-05,2.489033e-05,2.488021e-05,2.476415e-05,2.471385e-05,2.463859e-05,2.454859e-05,2.451369e-05,2.438948e-05,2.438453e-05,2.426601e-05,2.422175e-05,2.414331e-05,2.406033e-05,2.402141e-05,2.390033e-05,2.374182e-05,2.358485e-05,2.342946e-05,2.327570e-05,2.312361e-05,2.297321e-05,2.282454e-05,2.267761e-05,2.253245e-05,2.238907e-05,2.224749e-05,2.210771e-05,2.196974e-05,2.183359e-05,2.169926e-05,2.156674e-05,2.143605e-05,2.130716e-05,2.118008e-05,2.105481e-05,2.093132e-05,2.080962e-05,2.068968e-05,2.057151e-05
0.000000e+00,4.262386e-13,2.903724e-12,5.051834e-11,3.359008e-10,7.997023e-10,5.192978e-09,5.554741e-09,2.458066e-08,3.525640e-08,8.182511e-08,1.526508e-07,2.239051e-07,4.977568e-07,5.310321e-07,1.129413e-06,1.335526e-06,2.204355e-06,3.106998e-06,4.012821e-06,6.478244e-06,6.893939e-06,1.127626e-05,1.237710e-05,1.768111e-05,2.201103e-05,2.672197e-05,3.686393e-05,3.909996e-05,5.559592e-05,5.867334e-05,7.705951e-05,8.939053e-05,1.043956e-04,1.311267e-04,1.385490e-04,1.804871e-04,1.860890e-04,2.311822e-04,2.565102e-04,2.915928e-04,3.445744e-04,3.626455e-04,4.452164e-04,4.523445e-04,5.401148e-04,5.816917e-04,6.480670e-04,7.342331e-04,7.697026e-04,9.055420e-04,9.112772e-04,1.055987e-03,1.113781e-03,1.221315e-03,1.342317e-03,1.401668e-03,1.597059e-03,1.807363e-03,1.877772e-03,2.032325e-03,2.183820e-03,2.271559e-03,2.514183e-03,2.524560e-03,2.790704e-03,2.867484e-03,3.069265e-03,3.242023e-03,3.359419e-03,3.635820e-03,3.660258e-03,3.970798e-03,4.046657e-03,4.289998e-03,4.472127e-03,4.616765e-03,4.909683e-03,4.949970e-03,5.288459e-03,5.356688e-03,5.631065e-03,5.810459e-03,5.976618e-03,6.268309e-03,6.323956e-03,6.671933e-03,6.727594e-03,7.019432e-03,7.185741e-03,7.365367e-03,7.640285e-03,7.708693e-03,8.048414e-03,8.088893e-03,8.383584e-03,8.529386e-03,8.713315e-03,8.959760e-03,9.036777e-03,9.353204e-03,9.378192e-03,9.661890e-03,9.783053e-03,9.962199e-03,1.017291e-02,1.025356e-02,1.053545e-02,1.054653e-02,1.080745e-02,1.090286e-02,1.106916e-02,1.124108e-02,1.132026e-02,1.156050e-02,1.178968e-02,1.186065e-02,1.200764e-02,1.214121e-02,1.221429e-02,1.240199e-02,1.240958e-02,1.259351e-02,1.264298e-02,1.276612e-02,1.286428e-02,1.292749e-02,1.306611e-02,1.307772e-02,1.321698e-02,1.324879e-02,1.334544e-02,1.341274e-02,1.346331e-02,1.355845e-02,1.357081e-02,1.366819e-02,1.368648e-02,1.375573e-02,1.379745e-02,1.383370e-02,1.389202e-02,1.390240e-02,1.396215e-02,1.397090e-02,1.401326e-02,1.403482e-02,1.405605e-02,1.408451e-02,1.409085e-02,1.411799e-02,1.412075e-02,1.413780e-02,1.414429e-02,1.415062e-02,1.415589e-02,1.415678e-02,1.415660e-02,1.415632e-02,1.415041e-02,1.414632e-02,1.413853e-02,1.412663e-02,1.412127e-02,1.409894e-02,1.409795e-02,1.407185e-02,1.406098e-02,1.404028e-02,1.401640e-02,1.400452e-02,1.396484e-02,1.390693e-02,1.384326e-02,1.377439e-02,1.370086e-02,1.362317e-02,1.354181e-02,1.345723e-02,1.336984e-02,1.328005e-02,1.318823e-02,1.309471e-02,1.299983e-02,1.290388e-02,1.280712e-02,1.270982e-02,1.261220e-02,1.251448e-02,1.241686e-02,1.231950e-02,1.222257e-02,1.212622e-02,1.203057e-02,1.193575e-02,1.184185e-02
0.000000e+00,3.184798e-10,8.346168e-10,3.301249e-09,8.014193e-09,1.198524e-08,2.851937e-08,2.942636e-08,5.906497e-08,7.008934e-08,1.049591e-07,1.420519e-07,1.711751e-07,2.515466e-07,2.593747e-07,3.671109e-07,3.954069e-07,4.902596e-07,5.646571e-07,6.254555e-07,7.524383e-07,7.702528e-07,9.226579e-07,9.538890e-07,1.080832e-06,1.164767e-06,1.242984e-06,1.380981e-06,1.407360e-06,1.572284e-06,1.598617e-06,1.736197e-06,1.814097e-06,1.897697e-06,2.024335e-06,2.055567e-06,2.208784e-06,2.226816e-06,2.356523e-06,2.419622e-06,2.498146e-06,2.601395e-06,2.633186e-06,2.761330e-06,2.771277e-06,2.882398e-06,2.928825e-06,2.996320e-06,3.073929e-06,3.103118e-06,3.202888e-06,3.206734e-06,3.295781e-06,3.327576e-06,3.381994e-06,3.436918e-06,3.461755e-06,3.535315e-06,3.602939e-06,3.623369e-06,3.664900e-06,3.701712e-06,3.721476e-06,3.770978e-06,3.772942e-06,3.819570e-06,3.831795e-06,3.861627e-06,3.884776e-06,3.899373e-06,3.930507e-06,3.933058e-06,3.962924e-06,3.969549e-06,3.989201e-06,4.002432e-06,4.012112e-06,4.029655e-06,4.031866e-06,4.048663e-06,4.051685e-06,4.062694e-06,4.068957e-06,4.074140e-06,4.081883e-06,4.083174e-06,4.089959e-06,4.090846e-06,4.094649e-06,4.096200e-06,4.097390e-06,4.098271e-06,4.098318e-06,4.097564e-06,4.097366e-06,4.095250e-06,4.093767e-06,4.091491e-06,4.087735e-06,4.086396e-06,4.080067e-06,4.079511e-06,4.072601e-06,4.069317e-06,4.064088e-06,4.057358e-06,4.054613e-06,4.044255e-06,4.043823e-06,4.033088e-06,4.028883e-06,4.021182e-06,4.012698e-06,4.008603e-06,3.995414e-06,3.981672e-06,3.977167e-06,3.967431e-06,3.958078e-06,3.952741e-06,3.938260e-06,3.937649e-06,3.922200e-06,3.917816e-06,3.906435e-06,3.896840e-06,3.890392e-06,3.875418e-06,3.874108e-06,3.857616e-06,3.853630e-06,3.840947e-06,3.831547e-06,3.824131e-06,3.809233e-06,3.807196e-06,3.790166e-06,3.786750e-06,3.773065e-06,3.764151e-06,3.755915e-06,3.741486e-06,3.738737e-06,3.721549e-06,3.718800e-06,3.704370e-06,3.696132e-06,3.687216e-06,3.673520e-06,3.670101e-06,3.653040e-06,3.650997e-06,3.636046e-06,3.628592e-06,3.619129e-06,3.606332e-06,3.602303e-06,3.585575e-06,3.584241e-06,3.568956e-06,3.562341e-06,3.552454e-06,3.540649e-06,3.536077e-06,3.519831e-06,3.519184e-06,3.503724e-06,3.497960e-06,3.487760e-06,3.476990e-06,3.471946e-06,3.456286e-06,3.435856e-06,3.415711e-06,3.395857e-06,3.376299e-06,3.357044e-06,3.338094e-06,3.319454e-06,3.301124e-06,3.283107e-06,3.265404e-06,3.248014e-06,3.230938e-06,3.214174e-06,3.197722e-06,3.181580e-06,3.165745e-06,3.150215e-06,3.134988e-06,3.120061e-06,3.105431e-06,3.091093e-06,3.077046e-06,3.063284e-06,3.049804e-06
0.000000e+00,2.960373e-11,1.443447e-10,1.308478e-09,5.040751e-09,9.064646e-09,3.025769e-08,3.155623e-08,7.835029e-08,9.728197e-08,1.607279e-07,2.329829e-07,2.928354e-07,4.727909e-07,4.915378e-07,7.721491e-07,8.526026e-07,1.140215e-06,1.381919e-06,1.587524e-06,2.033629e-06,2.097561e-06,2.653454e-06,2.768887e-06,3.241794e-06,3.557177e-06,3.852743e-06,4.377945e-06,4.478891e-06,5.114230e-06,5.216379e-06,5.753508e-06,6.060335e-06,6.391913e-06,6.898976e-06,7.024948e-06,7.648438e-06,7.722430e-06,8.258562e-06,8.521889e-06,8.851912e-06,9.289801e-06,9.425529e-06,9.976933e-06,1.002002e-05,1.050413e-05,1.070788e-05,1.100560e-05,1.135011e-05,1.148027e-05,1.192749e-05,1.194480e-05,1.234695e-05,1.249116e-05,1.273870e-05,1.298939e-05,1.310302e-05,1.344045e-05,1.375170e-05,1.384591e-05,1.403762e-05,1.420775e-05,1.429916e-05,1.452828e-05,1.453737e-05,1.475333e-05,1.480996e-05,1.494814e-05,1.505534e-05,1.512293e-05,1.526701e-05,1.527881e-05,1.541689e-05,1.544750e-05,1.553823e-05,1.559926e-05,1.564388e-05,1.572466e-05,1.573483e-05,1.581205e-05,1.582592e-05,1.587645e-05,1.590516e-05,1.592890e-05,1.596434e-05,1.597024e-05,1.600124e-05,1.600529e-05,1.602265e-05,1.602972e-05,1.603516e-05,1.603920e-05,1.603942e-05,1.603607e-05,1.603518e-05,1.602566e-05,1.601899e-05,1.600876e-05,1.599187e-05,1.598585e-05,1.595743e-05,1.595493e-05,1.592394e-05,1.590921e-05,1.588578e-05,1.585565e-05,1.584336e-05,1.579704e-05,1.579511e-05,1.574715e-05,1.572837e-05,1.569401e-05,1.565617e-05,1.563791e-05,1.557914e-05,1.551795e-05,1.549790e-05,1.545458e-05,1.541298e-05,1.538925e-05,1.532488e-05,1.532217e-05,1.525353e-05,1.523405e-05,1.518351e-05,1.514091e-05,1.511228e-05,1.504582e-05,1.504000e-05,1.496681e-05,1.494912e-05,1.489284e-05,1.485113e-05,1.481823e-05,1.475212e-05,1.474308e-05,1.466750e-05,1.465234e-05,1.459160e-05,1.455203e-05,1.451546e-05,1.445139e-05,1.443918e-05,1.436282e-05,1.435060e-05,1.428647e-05,1.424985e-05,1.421020e-05,1.414927e-05,1.413406e-05,1.405811e-05,1.404901e-05,1.398241e-05,1.394919e-05,1.390701e-05,1.384992e-05,1.383194e-05,1.375726e-05,1.375130e-05,1.368300e-05,1.365342e-05,1.360920e-05,1.355636e-05,1.353588e-05,1.346308e-05,1.346018e-05,1.339082e-05,1.336495e-05,1.331913e-05,1.327072e-05,1.324803e-05,1.317754e-05,1.308545e-05,1.299449e-05,1.290469e-05,1.281606e-05,1.272865e-05,1.264245e-05,1.255749e-05,1.247378e-05,1.239132e-05,1.231013e-05,1.223020e-05,1.215153e-05,1.207413e-05,1.199799e-05,1.192310e-05,1.184946e-05,1.177706e-05,1.170590e-05,1.163596e-05,1.156724e-05,1.149971e-05,1.143338e-05,1.136822e-05,1.130422e-05
0.000000e+00,9.802520e-12,5.110204e-11,5.223539e-10,2.199316e-09,4.121048e-09,1.496234e-08,1.564824e-08,4.105923e-08,5.154533e-08,8.698273e-08,1.274943e-07,1.610351e-07,2.617746e-07,2.722828e-07,4.310843e-07,4.774237e-07,6.472930e-07,7.958673e-07,9.266686e-07,1.223958e-06,1.267978e-06,1.663705e-06,1.748479e-06,2.103506e-06,2.346238e-06,2.577392e-06,2.995735e-06,3.077154e-06,3.596426e-06,3.680973e-06,4.130232e-06,4.390394e-06,4.674469e-06,5.114938e-06,5.225535e-06,5.780106e-06,5.846738e-06,6.335023e-06,6.578511e-06,6.887254e-06,7.303357e-06,7.433889e-06,7.972180e-06,8.014804e-06,8.499563e-06,8.706925e-06,9.013677e-06,9.374432e-06,9.512420e-06,9.993957e-06,1.001284e-05,1.045673e-05,1.061848e-05,1.089946e-05,1.118857e-05,1.132118e-05,1.172114e-05,1.209887e-05,1.221500e-05,1.245413e-05,1.266968e-05,1.278690e-05,1.308535e-05,1.309734e-05,1.338577e-05,1.346263e-05,1.365260e-05,1.380255e-05,1.389837e-05,1.410641e-05,1.412370e-05,1.432927e-05,1.437575e-05,1.451582e-05,1.461228e-05,1.468416e-05,1.481791e-05,1.483514e-05,1.496960e-05,1.499459e-05,1.508840e-05,1.514427e-05,1.519240e-05,1.526895e-05,1.528247e-05,1.535949e-05,1.537067e-05,1.542442e-05,1.545154e-05,1.547811e-05,1.551348e-05,1.552133e-05,1.555478e-05,1.555817e-05,1.557913e-05,1.558712e-05,1.559501e-05,1.560178e-05,1.560302e-05,1.560371e-05,1.560346e-05,1.559763e-05,1.559342e-05,1.558530e-05,1.557282e-05,1.556719e-05,1.554374e-05,1.554270e-05,1.551539e-05,1.550405e-05,1.548252e-05,1.545780e-05,1.544553e-05,1.540476e-05,1.536053e-05,1.534569e-05,1.531315e-05,1.528131e-05,1.526291e-05,1.521224e-05,1.521008e-05,1.515491e-05,1.513908e-05,1.509764e-05,1.506235e-05,1.503847e-05,1.498255e-05,1.497762e-05,1.491527e-05,1.490011e-05,1.485161e-05,1.481544e-05,1.478678e-05,1.472890e-05,1.472096e-05,1.465427e-05,1.464084e-05,1.458685e-05,1.455154e-05,1.451882e-05,1.446129e-05,1.445029e-05,1.438138e-05,1.437032e-05,1.431217e-05,1.427888e-05,1.424277e-05,1.418715e-05,1.417324e-05,1.410367e-05,1.409532e-05,1.403413e-05,1.400355e-05,1.396468e-05,1.391200e-05,1.389539e-05,1.382631e-05,1.382080e-05,1.375750e-05,1.373005e-05,1.368899e-05,1.363988e-05,1.362084e-05,1.355308e-05,1.355037e-05,1.348575e-05,1.346162e-05,1.341888e-05,1.337368e-05,1.335250e-05,1.328664e-05,1.320055e-05,1.311545e-05,1.303140e-05,1.294842e-05,1.286656e-05,1.278584e-05,1.270628e-05,1.262791e-05,1.255073e-05,1.247476e-05,1.240001e-05,1.232648e-05,1.225417e-05,1.218309e-05,1.211324e-05,1.204461e-05,1.197719e-05,1.191098e-05,1.184598e-05,1.178217e-05,1.171955e-05,1.165809e-05,1.159780e-05,1.153866e-05
0.000000e+00,9.355467e-14,6.328346e-13,1.084832e-11,7.114307e-11,1.680734e-10,1.069332e-09,1.142857e-09,4.951831e-09,7.060911e-09,1.614281e-08,2.974251e-08,4.326607e-08,9.438015e-08,1.005248e-07,2.095010e-07,2.465429e-07,4.008428e-07,5.588602e-07,7.157487e-07,1.136725e-06,1.207024e-06,1.939496e-06,2.121470e-06,2.989671e-06,3.689863e-06,4.444680e-06,6.049823e-06,6.400610e-06,8.960383e-06,9.433116e-06,1.223134e-05,1.408606e-05,1.632265e-05,2.025929e-05,2.134271e-05,2.739657e-05,2.819729e-05,3.458345e-05,3.812844e-05,4.299449e-05,5.025587e-05,5.271070e-05,6.380124e-05,6.474962e-05,7.632186e-05,8.174028e-05,9.031382e-05,1.013142e-04,1.058030e-04,1.227995e-04,1.235107e-04,1.412974e-04,1.483205e-04,1.612749e-04,1.756864e-04,1.826949e-04,2.055054e-04,2.296410e-04,2.376318e-04,2.550235e-04,2.718818e-04,2.815636e-04,3.080392e-04,3.091622e-04,3.377120e-04,3.458611e-04,3.670993e-04,3.850843e-04,3.972051e-04,4.254322e-04,4.279074e-04,4.590822e-04,4.666206e-04,4.906050e-04,5.083638e-04,5.223526e-04,5.503804e-04,5.542041e-04,5.860420e-04,5.923978e-04,6.177531e-04,6.341568e-04,6.492297e-04,6.754144e-04,6.803703e-04,7.110797e-04,7.159472e-04,7.412701e-04,7.555531e-04,7.708609e-04,7.940525e-04,7.997791e-04,8.279598e-04,8.312891e-04,8.553453e-04,8.671299e-04,8.818858e-04,9.014651e-04,9.075389e-04,9.322696e-04,9.342073e-04,9.560495e-04,9.652901e-04,9.788570e-04,9.946674e-04,1.000677e-03,1.021499e-03,1.022311e-03,1.041320e-03,1.048210e-03,1.060140e-03,1.072369e-03,1.077965e-03,1.094803e-03,1.110669e-03,1.115543e-03,1.125578e-03,1.134626e-03,1.139549e-03,1.152100e-03,1.152605e-03,1.164768e-03,1.168018e-03,1.176065e-03,1.182438e-03,1.186522e-03,1.195424e-03,1.196166e-03,1.205028e-03,1.207041e-03,1.213135e-03,1.217357e-03,1.220519e-03,1.226441e-03,1.227208e-03,1.233233e-03,1.234361e-03,1.238624e-03,1.241186e-03,1.243410e-03,1.246984e-03,1.247620e-03,1.251282e-03,1.251819e-03,1.254425e-03,1.255757e-03,1.257075e-03,1.258859e-03,1.259260e-03,1.261003e-03,1.261184e-03,1.262331e-03,1.262790e-03,1.263268e-03,1.263731e-03,1.263835e-03,1.264055e-03,1.264058e-03,1.263950e-03,1.263821e-03,1.263539e-03,1.263064e-03,1.262841e-03,1.261876e-03,1.261832e-03,1.260661e-03,1.260165e-03,1.259212e-03,1.258101e-03,1.257545e-03,1.255676e-03,1.252923e-03,1.249874e-03,1.246556e-03,1.242996e-03,1.239221e-03,1.235251e-03,1.231109e-03,1.226814e-03,1.222384e-03,1.217836e-03,1.213185e-03,1.208446e-03,1.203631e-03,1.198753e-03,1.193822e-03,1.188848e-03,1.183842e-03,1.178810e-03,1.173762e-03,1.168703e-03,1.163642e-03,1.158583e-03,1.153532e-03,1.148494e-03
0.000000e+00,1.037282e-12,7.065872e-12,1.229279e-10,8.174201e-10,1.946274e-09,1.264434e-08,1.352556e-08,5.990680e-08,8.595394e-08,1.996943e-07,3.729453e-07,5.474824e-07,1.219857e-06,1.301695e-06,2.777219e-06,3.286892e-06,5.441687e-06,7.689432e-06,9.952769e-06,1.614407e-05,1.719176e-05,2.828776e-05,3.108734e-05,4.462805e-05,5.573255e-05,6.785326e-05,9.404822e-05,9.983780e-05,1.426581e-04,1.506626e-04,1.985515e-04,2.307111e-04,2.698682e-04,3.396459e-04,3.590192e-04,4.684231e-04,4.830261e-04,6.004526e-04,6.663046e-04,7.573838e-04,8.946240e-04,9.413485e-04,1.154291e-03,1.172632e-03,1.397934e-03,1.504324e-03,1.673741e-03,1.892915e-03,1.982898e-03,2.326294e-03,2.340751e-03,2.704508e-03,2.849249e-03,3.117803e-03,3.418870e-03,3.566131e-03,4.049136e-03,4.566165e-03,4.738655e-03,5.116285e-03,5.485186e-03,5.698301e-03,6.285714e-03,6.310778e-03,6.952063e-03,7.136539e-03,7.620315e-03,8.033381e-03,8.313526e-03,8.971483e-03,9.029552e-03,9.766137e-03,9.945718e-03,1.052094e-02,1.095070e-02,1.129157e-02,1.198087e-02,1.207558e-02,1.287054e-02,1.303062e-02,1.367400e-02,1.409436e-02,1.448355e-02,1.516657e-02,1.529685e-02,1.611158e-02,1.624192e-02,1.692553e-02,1.731532e-02,1.773656e-02,1.838190e-02,1.854263e-02,1.934180e-02,1.943715e-02,2.013226e-02,2.047687e-02,2.091231e-02,2.149721e-02,2.168037e-02,2.243497e-02,2.249472e-02,2.317479e-02,2.346630e-02,2.389861e-02,2.440923e-02,2.460534e-02,2.529402e-02,2.532118e-02,2.596380e-02,2.620015e-02,2.661395e-02,2.704450e-02,2.724383e-02,2.785293e-02,2.844083e-02,2.862443e-02,2.900721e-02,2.935829e-02,2.955184e-02,3.005408e-02,3.007457e-02,3.057532e-02,3.071160e-02,3.105412e-02,3.133088e-02,3.151102e-02,3.191216e-02,3.194618e-02,3.235977e-02,3.245586e-02,3.275206e-02,3.296254e-02,3.312333e-02,3.343293e-02,3.347393e-02,3.380422e-02,3.386787e-02,3.411461e-02,3.426830e-02,3.440555e-02,3.463524e-02,3.467749e-02,3.493093e-02,3.496979e-02,3.516636e-02,3.527312e-02,3.538429e-02,3.554641e-02,3.558527e-02,3.576983e-02,3.579090e-02,3.593851e-02,3.600784e-02,3.609185e-02,3.619848e-02,3.623042e-02,3.635476e-02,3.636411e-02,3.646542e-02,3.650597e-02,3.656293e-02,3.662530e-02,3.664784e-02,3.672067e-02,3.672334e-02,3.678195e-02,3.680129e-02,3.683220e-02,3.686032e-02,3.687191e-02,3.690159e-02,3.692620e-02,3.693525e-02,3.692977e-02,3.691076e-02,3.687920e-02,3.683600e-02,3.678205e-02,3.671819e-02,3.664523e-02,3.656392e-02,3.647499e-02,3.637913e-02,3.627699e-02,3.616918e-02,3.605629e-02,3.593885e-02,3.581738e-02,3.569236e-02,3.556424e-02,3.543344e-02,3.530037e-02,3.516537e-02,3.502881e-02,3.489100e-02
0.000000e+00,6.213749e-11,1.478194e-10,5.313937e-10,1.241790e-09,1.835957e-09,4.318260e-09,4.455306e-09,8.993651e-09,1.071114e-08,1.624472e-08,2.230316e-08,2.719557e-08,4.141422e-08,4.285980e-08,6.384929e-08,6.967431e-08,8.995723e-08,1.064940e-07,1.202947e-07,1.496609e-07,1.538220e-07,1.896837e-07,1.970778e-07,2.272548e-07,2.473103e-07,2.660766e-07,2.993907e-07,3.057926e-07,3.461063e-07,3.525943e-07,3.867585e-07,4.063226e-07,4.275163e-07,4.600556e-07,4.681681e-07,5.085238e-07,5.133383e-07,5.484140e-07,5.657793e-07,5.876905e-07,6.170510e-07,6.262259e-07,6.639128e-07,6.668884e-07,7.006630e-07,7.150843e-07,7.364054e-07,7.614845e-07,7.710851e-07,8.046613e-07,8.059810e-07,8.371057e-07,8.485048e-07,8.684001e-07,8.890186e-07,8.985357e-07,9.275110e-07,9.553310e-07,9.639909e-07,9.820057e-07,9.984831e-07,1.007550e-06,1.031024e-06,1.031980e-06,1.055319e-06,1.061660e-06,1.077587e-06,1.090444e-06,1.098809e-06,1.117432e-06,1.119011e-06,1.138219e-06,1.142684e-06,1.156461e-06,1.166264e-06,1.173762e-06,1.188233e-06,1.190152e-06,1.205658e-06,1.208655e-06,1.220306e-06,1.227594e-06,1.234126e-06,1.245113e-06,1.247143e-06,1.259384e-06,1.261272e-06,1.270876e-06,1.276134e-06,1.281644e-06,1.289755e-06,1.291715e-06,1.301112e-06,1.302196e-06,1.309860e-06,1.313510e-06,1.317983e-06,1.323753e-06,1.325505e-06,1.332447e-06,1.332978e-06,1.338831e-06,1.341234e-06,1.344680e-06,1.348572e-06,1.350015e-06,1.354855e-06,1.355038e-06,1.359220e-06,1.360679e-06,1.363130e-06,1.365538e-06,1.366603e-06,1.369657e-06,1.372310e-06,1.373077e-06,1.374579e-06,1.375837e-06,1.376480e-06,1.377974e-06,1.378029e-06,1.379242e-06,1.379524e-06,1.380134e-06,1.380520e-06,1.380718e-06,1.380996e-06,1.381009e-06,1.381021e-06,1.380984e-06,1.380766e-06,1.380512e-06,1.380258e-06,1.379610e-06,1.379507e-06,1.378527e-06,1.378304e-06,1.377328e-06,1.376621e-06,1.375921e-06,1.374586e-06,1.374317e-06,1.372526e-06,1.372223e-06,1.370558e-06,1.369553e-06,1.368421e-06,1.366598e-06,1.366127e-06,1.363682e-06,1.363379e-06,1.361095e-06,1.359915e-06,1.358376e-06,1.356224e-06,1.355530e-06,1.352567e-06,1.352325e-06,1.349493e-06,1.348233e-06,1.346314e-06,1.343965e-06,1.343039e-06,1.339672e-06,1.339536e-06,1.336221e-06,1.334959e-06,1.332691e-06,1.330248e-06,1.329087e-06,1.325416e-06,1.320476e-06,1.315437e-06,1.310313e-06,1.305111e-06,1.299843e-06,1.294517e-06,1.289141e-06,1.283725e-06,1.278275e-06,1.272799e-06,1.267303e-06,1.261794e-06,1.256277e-06,1.250759e-06,1.245244e-06,1.239737e-06,1.234244e-06,1.228767e-06,1.223311e-06,1.217881e-06,1.212478e-06,1.207107e-06,1.201770e-06,1.196471e-06
0.000000e+00,8.316028e-14,5.568955e-13,9.345533e-12,6.008628e-11,1.403939e-10,8.676490e-10,9.261963e-10,3.895972e-09,5.510135e-09,1.233864e-08,2.235021e-08,3.215106e-08,6.838675e-08,7.268190e-08,1.475096e-07,1.725134e-07,2.751121e-07,3.782929e-07,4.793744e-07,7.458627e-07,7.898363e-07,1.241521e-06,1.352235e-06,1.874206e-06,2.288987e-06,2.731096e-06,3.656954e-06,3.857034e-06,5.296446e-06,5.558697e-06,7.091278e-06,8.090290e-06,9.279115e-06,1.133385e-05,1.189161e-05,1.495331e-05,1.535178e-05,1.848086e-05,2.018302e-05,2.248260e-05,2.584133e-05,2.695848e-05,3.190034e-05,3.231540e-05,3.729235e-05,3.957029e-05,4.311163e-05,4.754995e-05,4.932906e-05,5.591018e-05,5.618045e-05,6.281608e-05,6.537363e-05,7.000438e-05,7.503090e-05,7.743019e-05,8.504704e-05,9.280772e-05,9.531380e-05,1.006651e-04,1.057232e-04,1.085730e-04,1.161704e-04,1.164865e-04,1.243629e-04,1.265561e-04,1.321620e-04,1.367888e-04,1.398465e-04,1.467856e-04,1.473823e-04,1.547384e-04,1.564741e-04,1.618877e-04,1.657920e-04,1.688064e-04,1.746880e-04,1.754744e-04,1.818748e-04,1.831215e-04,1.879943e-04,1.910618e-04,1.938226e-04,1.984879e-04,1.993524e-04,2.045794e-04,2.053874e-04,2.095014e-04,2.117558e-04,2.141190e-04,2.175953e-04,2.184343e-04,2.224518e-04,2.229141e-04,2.261771e-04,2.277254e-04,2.296173e-04,2.320462e-04,2.327806e-04,2.356763e-04,2.358966e-04,2.383141e-04,2.392993e-04,2.407044e-04,2.422783e-04,2.428582e-04,2.447864e-04,2.448590e-04,2.465003e-04,2.470670e-04,2.480110e-04,2.489280e-04,2.493298e-04,2.504676e-04,2.514351e-04,2.517105e-04,2.522428e-04,2.526806e-04,2.529009e-04,2.534011e-04,2.534192e-04,2.538071e-04,2.538935e-04,2.540735e-04,2.541786e-04,2.542270e-04,2.542756e-04,2.542759e-04,2.542278e-04,2.542026e-04,2.540900e-04,2.539762e-04,2.538694e-04,2.536120e-04,2.535726e-04,2.532055e-04,2.531242e-04,2.527740e-04,2.525260e-04,2.522834e-04,2.518293e-04,2.517387e-04,2.511446e-04,2.510452e-04,2.505053e-04,2.501837e-04,2.498250e-04,2.492538e-04,2.491075e-04,2.483562e-04,2.482639e-04,2.475744e-04,2.472215e-04,2.467652e-04,2.461335e-04,2.459313e-04,2.450754e-04,2.450060e-04,2.441998e-04,2.438446e-04,2.433069e-04,2.426544e-04,2.423987e-04,2.414770e-04,2.414399e-04,2.405438e-04,2.402053e-04,2.396005e-04,2.389542e-04,2.386488e-04,2.376900e-04,2.364158e-04,2.351342e-04,2.338478e-04,2.325587e-04,2.312690e-04,2.299804e-04,2.286946e-04,2.274129e-04,2.261368e-04,2.248673e-04,2.236056e-04,2.223525e-04,2.211089e-04,2.198756e-04,2.186533e-04,2.174425e-04,2.162437e-04,2.150575e-04,2.138842e-04,2.127241e-04,2.115776e-04,2.104450e-04,2.093264e-04,2.082220e-04
0.000000e+00,8.620699e-12,4.943068e-11,6.054784e-10,2.948076e-09,5.936151e-09,2.531705e-08,2.663196e-08,7.917421e-08,1.022704e-07,1.836323e-07,2.803153e-07,3.619799e-07,6.111420e-07,6.372866e-07,1.032715e-06,1.147894e-06,1.568945e-06,1.936488e-06,2.260518e-06,3.002881e-06,3.113851e-06,4.128232e-06,4.350018e-06,5.298335e-06,5.965814e-06,6.616405e-06,7.831326e-06,8.073372e-06,9.659191e-06,9.924156e-06,1.136281e-05,1.221888e-05,1.317213e-05,1.468687e-05,1.507398e-05,1.705436e-05,1.729659e-05,1.909864e-05,2.001453e-05,2.119190e-05,2.280637e-05,2.331926e-05,2.546617e-05,2.563835e-05,2.761875e-05,2.847841e-05,2.976396e-05,3.129718e-05,3.188983e-05,3.398555e-05,3.406861e-05,3.604157e-05,3.677037e-05,3.804958e-05,3.938398e-05,4.000256e-05,4.189467e-05,4.372121e-05,4.429123e-05,4.547853e-05,4.656560e-05,4.716393e-05,4.871253e-05,4.877557e-05,5.031239e-05,5.072922e-05,5.177398e-05,5.261488e-05,5.316051e-05,5.437031e-05,5.447256e-05,5.571112e-05,5.599758e-05,5.687751e-05,5.749973e-05,5.797329e-05,5.888057e-05,5.900023e-05,5.996025e-05,6.014441e-05,6.085542e-05,6.129599e-05,6.168790e-05,6.234035e-05,6.245990e-05,6.317368e-05,6.328263e-05,6.383152e-05,6.412811e-05,6.443580e-05,6.488224e-05,6.498887e-05,6.549304e-05,6.555036e-05,6.595052e-05,6.613757e-05,6.636344e-05,6.664876e-05,6.673391e-05,6.706392e-05,6.708864e-05,6.735541e-05,6.746164e-05,6.761025e-05,6.777208e-05,6.783029e-05,6.801728e-05,6.802409e-05,6.817291e-05,6.822157e-05,6.829879e-05,6.836820e-05,6.839649e-05,6.846749e-05,6.851325e-05,6.852278e-05,6.853515e-05,6.853726e-05,6.853452e-05,6.851390e-05,6.851263e-05,6.847069e-05,6.845551e-05,6.840985e-05,6.836474e-05,6.833122e-05,6.824408e-05,6.823586e-05,6.812479e-05,6.809590e-05,6.799897e-05,6.792241e-05,6.785933e-05,6.772570e-05,6.770674e-05,6.754205e-05,6.750772e-05,6.736604e-05,6.727031e-05,6.717949e-05,6.701517e-05,6.698312e-05,6.677762e-05,6.674393e-05,6.656364e-05,6.645811e-05,6.634182e-05,6.615911e-05,6.611274e-05,6.587698e-05,6.584826e-05,6.563506e-05,6.552680e-05,6.538750e-05,6.519588e-05,6.513479e-05,6.487737e-05,6.485659e-05,6.461570e-05,6.450993e-05,6.435017e-05,6.415683e-05,6.408119e-05,6.380912e-05,6.379818e-05,6.353432e-05,6.343479e-05,6.325712e-05,6.306741e-05,6.297783e-05,6.269675e-05,6.232347e-05,6.194817e-05,6.157141e-05,6.119372e-05,6.081558e-05,6.043744e-05,6.005970e-05,5.968274e-05,5.930692e-05,5.893255e-05,5.855993e-05,5.818933e-05,5.782100e-05,5.745515e-05,5.709200e-05,5.673172e-05,5.637449e-05,5.602046e-05,5.566976e-05,5.532252e-05,5.497883e-05,5.463881e-05,5.430252e-05,5.397005e-05
0.000000e+00,9.683166e-13,6.488169e-12,1.090228e-10,7.019756e-10,1.641740e-09,1.017683e-08,1.086510e-08,4.589188e-08,6.499322e-08,1.461048e-07,2.656442e-07,3.831798e-07,8.207540e-07,8.728672e-07,1.786442e-06,2.093533e-06,3.359683e-06,4.639333e-06,5.896328e-06,9.216050e-06,9.763926e-06,1.538235e-05,1.675581e-05,2.320704e-05,2.830424e-05,3.370948e-05,4.494341e-05,4.735710e-05,6.459433e-05,6.771312e-05,8.582560e-05,9.754054e-05,1.114012e-04,1.351833e-04,1.416058e-04,1.766507e-04,1.811884e-04,2.166679e-04,2.358670e-04,2.617089e-04,2.992848e-04,3.117442e-04,3.666665e-04,3.712665e-04,4.262957e-04,4.514120e-04,4.903849e-04,5.391215e-04,5.586290e-04,6.306729e-04,6.336283e-04,7.061211e-04,7.340345e-04,7.845471e-04,8.393496e-04,8.655028e-04,9.485274e-04,1.033156e-03,1.060501e-03,1.118928e-03,1.174213e-03,1.205391e-03,1.288643e-03,1.292112e-03,1.378675e-03,1.402830e-03,1.464691e-03,1.515887e-03,1.549800e-03,1.627012e-03,1.633669e-03,1.715998e-03,1.735498e-03,1.796520e-03,1.840732e-03,1.874996e-03,1.942201e-03,1.951223e-03,2.025025e-03,2.039481e-03,2.096256e-03,2.132240e-03,2.164798e-03,2.220227e-03,2.230559e-03,2.293470e-03,2.303268e-03,2.353485e-03,2.381255e-03,2.410578e-03,2.454141e-03,2.464739e-03,2.515976e-03,2.521929e-03,2.564313e-03,2.584670e-03,2.609782e-03,2.642450e-03,2.652431e-03,2.692312e-03,2.695385e-03,2.729490e-03,2.743619e-03,2.764033e-03,2.787314e-03,2.796015e-03,2.825517e-03,2.826646e-03,2.852619e-03,2.861805e-03,2.877407e-03,2.892985e-03,2.899967e-03,2.920385e-03,2.938751e-03,2.944208e-03,2.955150e-03,2.964654e-03,2.969671e-03,2.981922e-03,2.982398e-03,2.993417e-03,2.996207e-03,3.002810e-03,3.007699e-03,3.010658e-03,3.016583e-03,3.017041e-03,3.022036e-03,3.023037e-03,3.025717e-03,3.027232e-03,3.028157e-03,3.029333e-03,3.029425e-03,3.029590e-03,3.029496e-03,3.028716e-03,3.027873e-03,3.026867e-03,3.024604e-03,3.024103e-03,3.020481e-03,3.019826e-03,3.016057e-03,3.013664e-03,3.010884e-03,3.006241e-03,3.005013e-03,2.998493e-03,2.997669e-03,2.991370e-03,2.988056e-03,2.983687e-03,2.977500e-03,2.975488e-03,2.966812e-03,2.966098e-03,2.957697e-03,2.953937e-03,2.948181e-03,2.941099e-03,2.938296e-03,2.928077e-03,2.927662e-03,2.917554e-03,2.913697e-03,2.906757e-03,2.899272e-03,2.895713e-03,2.884449e-03,2.869285e-03,2.853835e-03,2.838149e-03,2.822271e-03,2.806246e-03,2.790112e-03,2.773906e-03,2.757660e-03,2.741406e-03,2.725172e-03,2.708982e-03,2.692861e-03,2.676830e-03,2.660908e-03,2.645112e-03,2.629458e-03,2.613961e-03,2.598632e-03,2.583484e-03,2.568526e-03,2.553767e-03,2.539215e-03,2.524876e-03,2.510757e-03
0.000000e+00,3.397954e-12,7.812701e-12,2.702141e-11,6.170553e-11,9.017525e-11,2.052812e-10,2.114819e-10,4.095107e-10,4.812891e-10,7.033724e-10,9.339856e-10,1.113112e-09,1.610428e-09,1.659692e-09,2.364238e-09,2.559061e-09,3.246067e-09,3.822887e-09,4.319148e-09,5.425297e-09,5.587686e-09,7.043500e-09,7.355613e-09,8.667794e-09,9.571059e-09,1.043645e-08,1.201573e-08,1.232501e-08,1.431129e-08,1.463683e-08,1.637585e-08,1.738956e-08,1.850162e-08,2.023603e-08,2.067338e-08,2.287727e-08,2.314328e-08,2.510059e-08,2.608196e-08,2.733166e-08,2.902583e-08,2.955978e-08,3.177522e-08,3.195164e-08,3.396924e-08,3.483907e-08,3.613407e-08,3.767081e-08,3.826290e-08,4.034988e-08,4.043242e-08,4.239002e-08,4.311218e-08,4.437918e-08,4.570095e-08,4.631400e-08,4.819180e-08,5.001054e-08,5.057981e-08,5.176876e-08,5.286178e-08,5.346547e-08,5.503593e-08,5.510012e-08,5.667255e-08,5.710169e-08,5.818290e-08,5.905946e-08,5.963157e-08,6.091043e-08,6.101921e-08,6.234666e-08,6.265639e-08,6.361489e-08,6.429965e-08,6.482503e-08,6.584285e-08,6.597827e-08,6.707593e-08,6.728891e-08,6.811935e-08,6.864095e-08,6.910992e-08,6.990221e-08,7.004908e-08,7.093829e-08,7.107603e-08,7.177900e-08,7.216575e-08,7.257269e-08,7.317477e-08,7.332082e-08,7.402484e-08,7.410643e-08,7.468620e-08,7.496405e-08,7.530631e-08,7.575089e-08,7.588659e-08,7.642842e-08,7.647014e-08,7.693314e-08,7.712494e-08,7.740209e-08,7.771831e-08,7.783656e-08,7.823783e-08,7.825321e-08,7.860714e-08,7.873250e-08,7.894570e-08,7.915895e-08,7.925468e-08,7.953525e-08,7.978850e-08,7.986396e-08,8.001555e-08,8.014758e-08,8.021743e-08,8.038851e-08,8.039517e-08,8.054978e-08,8.058906e-08,8.068221e-08,8.075142e-08,8.079341e-08,8.087774e-08,8.088428e-08,8.095570e-08,8.097005e-08,8.100853e-08,8.103030e-08,8.104359e-08,8.106038e-08,8.106168e-08,8.106356e-08,8.106206e-08,8.105000e-08,8.103707e-08,8.102170e-08,8.098705e-08,8.097936e-08,8.092367e-08,8.091356e-08,8.085527e-08,8.081810e-08,8.077478e-08,8.070210e-08,8.068282e-08,8.057996e-08,8.056692e-08,8.046678e-08,8.041385e-08,8.034381e-08,8.024413e-08,8.021158e-08,8.007059e-08,8.005895e-08,7.992134e-08,7.985942e-08,7.976427e-08,7.964661e-08,7.959986e-08,7.942852e-08,7.942153e-08,7.925069e-08,7.918515e-08,7.906675e-08,7.893838e-08,7.887709e-08,7.868209e-08,7.841711e-08,7.814422e-08,7.786415e-08,7.757761e-08,7.728527e-08,7.698775e-08,7.668564e-08,7.637951e-08,7.606990e-08,7.575728e-08,7.544215e-08,7.512495e-08,7.480608e-08,7.448596e-08,7.416493e-08,7.384337e-08,7.352158e-08,7.319988e-08,7.287856e-08,7.255787e-08,7.223807e-08,7.191940e-08,7.160207e-08,7.128628e-08
0.000000e+00,1.313292e-12,8.227149e-12,1.202797e-10,6.824080e-10,1.489104e-09,7.721920e-09,8.184695e-09,2.898941e-08,3.914540e-08,7.810212e-08,1.290044e-07,1.748393e-07,3.261008e-07,3.427694e-07,6.086733e-07,6.902508e-07,1.001439e-06,1.287856e-06,1.550662e-06,2.186003e-06,2.284717e-06,3.228512e-06,3.444273e-06,4.401655e-06,5.107019e-06,5.817515e-06,7.199794e-06,7.483220e-06,9.400258e-06,9.730145e-06,1.156528e-05,1.269053e-05,1.397087e-05,1.606141e-05,1.660625e-05,1.945775e-05,1.981372e-05,2.250931e-05,2.391079e-05,2.574287e-05,2.831003e-05,2.913875e-05,3.267613e-05,3.296459e-05,3.633344e-05,3.782504e-05,4.008879e-05,4.284109e-05,4.392038e-05,4.780691e-05,4.796322e-05,5.172784e-05,5.314401e-05,5.566373e-05,5.833937e-05,5.959645e-05,6.350929e-05,6.738709e-05,6.861833e-05,7.121631e-05,7.363593e-05,7.498500e-05,7.853634e-05,7.868277e-05,8.230075e-05,8.329843e-05,8.583146e-05,8.790540e-05,8.926877e-05,9.234435e-05,9.260776e-05,9.584458e-05,9.660588e-05,9.897641e-05,1.006836e-04,1.020013e-04,1.045737e-04,1.049180e-04,1.077260e-04,1.082746e-04,1.104254e-04,1.117864e-04,1.130168e-04,1.151108e-04,1.155012e-04,1.178799e-04,1.182508e-04,1.201545e-04,1.212099e-04,1.223270e-04,1.239929e-04,1.243995e-04,1.263742e-04,1.266047e-04,1.282535e-04,1.290507e-04,1.300398e-04,1.313368e-04,1.317358e-04,1.333439e-04,1.334688e-04,1.348669e-04,1.354528e-04,1.363073e-04,1.372947e-04,1.376677e-04,1.389509e-04,1.390006e-04,1.401593e-04,1.405765e-04,1.412955e-04,1.420282e-04,1.423621e-04,1.433615e-04,1.442962e-04,1.445820e-04,1.451685e-04,1.456951e-04,1.459808e-04,1.467062e-04,1.467353e-04,1.474344e-04,1.476204e-04,1.480800e-04,1.484427e-04,1.486745e-04,1.491779e-04,1.492197e-04,1.497178e-04,1.498305e-04,1.501706e-04,1.504051e-04,1.505800e-04,1.509058e-04,1.509478e-04,1.512759e-04,1.513369e-04,1.515659e-04,1.517022e-04,1.518195e-04,1.520055e-04,1.520382e-04,1.522237e-04,1.522504e-04,1.523775e-04,1.524404e-04,1.525009e-04,1.525788e-04,1.525955e-04,1.526624e-04,1.526687e-04,1.527032e-04,1.527131e-04,1.527189e-04,1.527149e-04,1.527109e-04,1.526802e-04,1.526768e-04,1.526281e-04,1.526015e-04,1.525557e-04,1.524915e-04,1.524639e-04,1.523538e-04,1.523490e-04,1.522263e-04,1.521764e-04,1.520825e-04,1.519758e-04,1.519231e-04,1.517491e-04,1.514985e-04,1.512256e-04,1.509322e-04,1.506200e-04,1.502905e-04,1.499453e-04,1.495856e-04,1.492129e-04,1.488283e-04,1.484331e-04,1.480284e-04,1.476152e-04,1.471946e-04,1.467674e-04,1.463346e-04,1.458969e-04,1.454553e-04,1.450103e-04,1.445626e-04,1.441131e-04,1.436621e-04,1.432103e-04,1.427583e-04,1.423065e-04
0.000000e+00,9.243320e-13,5.746280e-12,8.262323e-11,4.613596e-10,9.976950e-10,5.049886e-09,5.347123e-09,1.846877e-08,2.476573e-08,4.854522e-08,7.903660e-08,1.061162e-07,1.938399e-07,2.033904e-07,3.536167e-07,3.990720e-07,5.704863e-07,7.260387e-07,8.672474e-07,1.203536e-06,1.255195e-06,1.741711e-06,1.851113e-06,2.328649e-06,2.672381e-06,3.011822e-06,3.653239e-06,3.781743e-06,4.625173e-06,4.765938e-06,5.526843e-06,5.975679e-06,6.470941e-06,7.246444e-06,7.442158e-06,8.426318e-06,8.544665e-06,9.410647e-06,9.840842e-06,1.038386e-05,1.110997e-05,1.133613e-05,1.225905e-05,1.233139e-05,1.314553e-05,1.348857e-05,1.398973e-05,1.456874e-05,1.478703e-05,1.553393e-05,1.556272e-05,1.622802e-05,1.646465e-05,1.686784e-05,1.727163e-05,1.745289e-05,1.798343e-05,1.846043e-05,1.860200e-05,1.888545e-05,1.913111e-05,1.926053e-05,1.957584e-05,1.958806e-05,1.987073e-05,1.994222e-05,2.011139e-05,2.023685e-05,2.031300e-05,2.046658e-05,2.047857e-05,2.061105e-05,2.063824e-05,2.071330e-05,2.075840e-05,2.078811e-05,2.083330e-05,2.083807e-05,2.086567e-05,2.086871e-05,2.087321e-05,2.086993e-05,2.086286e-05,2.084178e-05,2.083659e-05,2.079623e-05,2.078858e-05,2.074347e-05,2.071419e-05,2.067983e-05,2.062206e-05,2.060675e-05,2.052552e-05,2.051528e-05,2.043732e-05,2.039658e-05,2.034319e-05,2.026826e-05,2.024405e-05,2.014071e-05,2.013229e-05,2.003388e-05,1.999031e-05,1.992417e-05,1.984370e-05,1.981212e-05,1.969821e-05,1.969362e-05,1.958285e-05,1.954105e-05,1.946642e-05,1.938680e-05,1.934924e-05,1.923159e-05,1.911373e-05,1.907601e-05,1.899590e-05,1.892059e-05,1.887828e-05,1.876574e-05,1.876106e-05,1.864439e-05,1.861184e-05,1.852841e-05,1.845920e-05,1.841323e-05,1.830807e-05,1.829897e-05,1.818571e-05,1.815869e-05,1.807355e-05,1.801124e-05,1.796255e-05,1.786588e-05,1.785277e-05,1.774428e-05,1.772273e-05,1.763710e-05,1.758190e-05,1.753129e-05,1.744348e-05,1.742687e-05,1.732387e-05,1.730752e-05,1.722232e-05,1.717409e-05,1.712223e-05,1.704323e-05,1.702362e-05,1.692651e-05,1.691495e-05,1.683089e-05,1.678929e-05,1.673677e-05,1.666625e-05,1.664415e-05,1.655304e-05,1.654582e-05,1.646343e-05,1.642800e-05,1.637531e-05,1.631278e-05,1.628868e-05,1.620353e-05,1.620015e-05,1.611985e-05,1.609008e-05,1.603763e-05,1.598255e-05,1.595686e-05,1.587753e-05,1.577499e-05,1.567489e-05,1.557720e-05,1.548188e-05,1.538890e-05,1.529821e-05,1.520977e-05,1.512355e-05,1.503949e-05,1.495755e-05,1.487770e-05,1.479989e-05,1.472407e-05,1.465021e-05,1.457825e-05,1.450816e-05,1.443990e-05,1.437342e-05,1.430868e-05,1.424563e-05,1.418425e-05,1.412448e-05,1.406630e-05,1.400965e-05
0.000000e+00,2.363704e-11,5.470282e-11,1.905185e-10,4.369119e-10,6.400198e-10,1.468558e-09,1.513517e-09,2.965910e-09,3.499849e-09,5.174398e-09,6.944572e-09,8.337560e-09,1.226193e-08,1.265365e-08,1.826507e-08,1.980919e-08,2.518073e-08,2.957091e-08,3.324659e-08,4.109987e-08,4.221536e-08,5.184369e-08,5.383042e-08,6.193656e-08,6.731790e-08,7.234622e-08,8.125083e-08,8.295837e-08,9.368087e-08,9.540141e-08,1.044369e-07,1.095923e-07,1.151616e-07,1.236814e-07,1.257998e-07,1.363052e-07,1.375550e-07,1.466394e-07,1.511240e-07,1.567713e-07,1.643206e-07,1.666758e-07,1.763335e-07,1.770950e-07,1.857299e-07,1.894127e-07,1.948542e-07,2.012511e-07,2.036992e-07,2.122606e-07,2.125971e-07,2.205361e-07,2.234453e-07,2.285257e-07,2.337958e-07,2.362305e-07,2.436532e-07,2.507971e-07,2.530250e-07,2.576666e-07,2.619213e-07,2.642665e-07,2.703538e-07,2.706022e-07,2.766792e-07,2.783353e-07,2.825037e-07,2.858796e-07,2.880816e-07,2.930011e-07,2.934194e-07,2.985234e-07,2.997142e-07,3.033999e-07,3.060338e-07,3.080555e-07,3.119747e-07,3.124965e-07,3.167293e-07,3.175514e-07,3.207603e-07,3.227787e-07,3.245957e-07,3.276709e-07,3.282418e-07,3.317046e-07,3.322420e-07,3.349901e-07,3.365058e-07,3.381040e-07,3.404756e-07,3.410523e-07,3.438404e-07,3.441644e-07,3.464739e-07,3.475850e-07,3.489581e-07,3.507495e-07,3.512983e-07,3.534996e-07,3.536699e-07,3.555671e-07,3.563576e-07,3.575054e-07,3.588238e-07,3.593194e-07,3.610138e-07,3.610791e-07,3.625928e-07,3.631339e-07,3.640609e-07,3.649981e-07,3.654224e-07,3.666813e-07,3.678415e-07,3.681926e-07,3.689070e-07,3.695410e-07,3.698815e-07,3.707348e-07,3.707686e-07,3.715719e-07,3.717822e-07,3.722947e-07,3.726911e-07,3.729403e-07,3.734688e-07,3.735119e-07,3.740127e-07,3.741226e-07,3.744455e-07,3.746593e-07,3.748133e-07,3.750855e-07,3.751189e-07,3.753650e-07,3.754073e-07,3.755542e-07,3.756309e-07,3.756890e-07,3.757619e-07,3.757718e-07,3.758050e-07,3.758059e-07,3.757909e-07,3.757679e-07,3.757316e-07,3.756531e-07,3.756293e-07,3.754860e-07,3.754662e-07,3.753037e-07,3.752116e-07,3.750842e-07,3.748937e-07,3.748295e-07,3.745412e-07,3.745167e-07,3.742211e-07,3.740845e-07,3.738707e-07,3.736007e-07,3.734918e-07,3.730857e-07,3.730690e-07,3.726540e-07,3.724926e-07,3.721981e-07,3.718749e-07,3.717193e-07,3.712189e-07,3.705274e-07,3.698033e-07,3.690491e-07,3.682674e-07,3.674605e-07,3.666306e-07,3.657798e-07,3.649102e-07,3.640237e-07,3.631220e-07,3.622068e-07,3.612799e-07,3.603426e-07,3.593964e-07,3.584427e-07,3.574828e-07,3.565178e-07,3.555489e-07,3.545772e-07,3.536037e-07,3.526293e-07,3.516550e-07,3.506814e-07,3.497096e-07
0.000000e+00,1.475339e-12,8.261446e-12,9.663093e-11,4.526822e-10,8.936000e-10,3.635406e-09,3.817318e-09,1.088386e-08,1.390890e-08,2.433080e-08,3.638651e-08,4.636904e-08,7.601341e-08,7.906715e-08,1.243078e-07,1.372225e-07,1.837626e-07,2.238057e-07,2.588441e-07,3.386940e-07,3.506116e-07,4.596613e-07,4.835610e-07,5.860733e-07,6.585549e-07,7.294548e-07,8.624581e-07,8.890408e-07,1.063796e-06,1.093084e-06,1.252486e-06,1.347603e-06,1.453720e-06,1.622723e-06,1.665981e-06,1.887658e-06,1.914813e-06,2.117071e-06,2.220022e-06,2.352507e-06,2.534412e-06,2.592255e-06,2.834638e-06,2.854094e-06,3.078047e-06,3.175354e-06,3.320964e-06,3.494766e-06,3.561985e-06,3.799834e-06,3.809265e-06,4.033373e-06,4.116196e-06,4.261609e-06,4.413339e-06,4.483690e-06,4.698905e-06,4.906676e-06,4.971514e-06,5.106551e-06,5.230166e-06,5.298191e-06,5.474200e-06,5.481362e-06,5.655922e-06,5.703245e-06,5.821810e-06,5.917182e-06,5.979037e-06,6.116096e-06,6.127673e-06,6.267840e-06,6.300238e-06,6.399701e-06,6.469988e-06,6.523454e-06,6.625826e-06,6.639322e-06,6.747552e-06,6.768305e-06,6.848406e-06,6.898024e-06,6.942155e-06,7.015618e-06,7.029079e-06,7.109460e-06,7.121733e-06,7.183584e-06,7.217023e-06,7.251732e-06,7.302135e-06,7.314182e-06,7.371211e-06,7.377702e-06,7.423084e-06,7.444343e-06,7.470065e-06,7.502653e-06,7.512405e-06,7.550350e-06,7.553202e-06,7.584136e-06,7.596537e-06,7.613990e-06,7.633174e-06,7.640132e-06,7.662770e-06,7.663606e-06,7.682106e-06,7.688295e-06,7.698330e-06,7.707679e-06,7.711626e-06,7.722169e-06,7.730124e-06,7.732150e-06,7.735651e-06,7.737984e-06,7.738900e-06,7.740010e-06,7.740015e-06,7.739131e-06,7.738543e-06,7.736377e-06,7.733879e-06,7.731877e-06,7.726293e-06,7.725746e-06,7.718094e-06,7.716044e-06,7.709027e-06,7.703369e-06,7.698644e-06,7.688491e-06,7.687037e-06,7.674295e-06,7.671618e-06,7.660503e-06,7.652942e-06,7.645740e-06,7.632643e-06,7.630080e-06,7.613594e-06,7.610885e-06,7.596351e-06,7.587823e-06,7.578412e-06,7.563600e-06,7.559837e-06,7.540683e-06,7.538349e-06,7.521003e-06,7.512191e-06,7.500848e-06,7.485240e-06,7.480264e-06,7.459295e-06,7.457602e-06,7.437985e-06,7.429374e-06,7.416372e-06,7.400644e-06,7.394493e-06,7.372384e-06,7.371496e-06,7.350078e-06,7.342005e-06,7.327604e-06,7.312242e-06,7.304993e-06,7.282272e-06,7.252154e-06,7.221942e-06,7.191688e-06,7.161436e-06,7.131228e-06,7.101104e-06,7.071098e-06,7.041243e-06,7.011567e-06,6.982096e-06,6.952854e-06,6.923864e-06,6.895144e-06,6.866711e-06,6.838582e-06,6.810770e-06,6.783287e-06,6.756143e-06,6.729349e-06,6.702912e-06,6.676839e-06,6.651137e-06,6.625809e-06,6.600861e-06
0.000000e+00,1.271776e-11,6.837309e-11,7.400478e-10,3.258915e-09,6.242566e-09,2.383003e-08,2.496916e-08,6.840928e-08,8.685062e-08,1.507284e-07,2.260188e-07,2.897393e-07,4.859652e-07,5.066935e-07,8.209653e-07,9.121104e-07,1.240687e-06,1.519662e-06,1.758798e-06,2.282894e-06,2.358549e-06,3.021598e-06,3.160381e-06,3.732575e-06,4.117257e-06,4.479921e-06,5.129401e-06,5.254972e-06,6.050785e-06,6.179628e-06,6.861267e-06,7.253816e-06,7.680675e-06,8.338849e-06,8.503388e-06,9.323851e-06,9.421896e-06,1.013663e-05,1.049046e-05,1.093649e-05,1.153272e-05,1.171853e-05,1.247826e-05,1.253795e-05,1.321167e-05,1.349689e-05,1.391538e-05,1.440205e-05,1.458657e-05,1.522304e-05,1.524775e-05,1.582315e-05,1.603007e-05,1.638584e-05,1.674680e-05,1.691056e-05,1.739722e-05,1.784611e-05,1.798188e-05,1.825787e-05,1.850230e-05,1.863338e-05,1.896087e-05,1.897383e-05,1.928052e-05,1.936053e-05,1.955490e-05,1.970468e-05,1.979856e-05,1.999698e-05,2.001311e-05,2.020018e-05,2.024118e-05,2.036142e-05,2.044103e-05,2.049845e-05,2.060028e-05,2.061287e-05,2.070622e-05,2.072249e-05,2.077999e-05,2.081109e-05,2.083561e-05,2.086930e-05,2.087444e-05,2.089778e-05,2.090016e-05,2.090683e-05,2.090644e-05,2.090274e-05,2.089074e-05,2.088660e-05,2.085941e-05,2.085545e-05,2.082211e-05,2.080272e-05,2.077558e-05,2.073455e-05,2.072063e-05,2.065804e-05,2.065272e-05,2.058850e-05,2.055888e-05,2.051266e-05,2.045451e-05,2.043114e-05,2.034450e-05,2.034093e-05,2.025324e-05,2.021936e-05,2.015786e-05,2.009088e-05,2.005880e-05,1.995646e-05,1.985122e-05,1.981699e-05,1.974343e-05,1.967326e-05,1.963342e-05,1.952598e-05,1.952147e-05,1.940786e-05,1.937579e-05,1.929284e-05,1.922325e-05,1.917665e-05,1.906889e-05,1.905948e-05,1.894155e-05,1.891315e-05,1.882303e-05,1.875646e-05,1.870409e-05,1.859918e-05,1.858487e-05,1.846552e-05,1.844164e-05,1.834616e-05,1.828413e-05,1.822691e-05,1.812691e-05,1.810789e-05,1.798918e-05,1.797022e-05,1.787087e-05,1.781426e-05,1.775306e-05,1.765921e-05,1.763580e-05,1.751918e-05,1.750523e-05,1.740325e-05,1.735248e-05,1.728807e-05,1.720106e-05,1.717369e-05,1.706015e-05,1.705110e-05,1.694750e-05,1.690269e-05,1.683577e-05,1.675592e-05,1.672500e-05,1.661521e-05,1.661084e-05,1.650644e-05,1.646753e-05,1.639870e-05,1.632604e-05,1.629202e-05,1.618641e-05,1.604867e-05,1.591286e-05,1.577900e-05,1.564710e-05,1.551718e-05,1.538924e-05,1.526329e-05,1.513933e-05,1.501736e-05,1.489736e-05,1.477933e-05,1.466326e-05,1.454913e-05,1.443693e-05,1.432664e-05,1.421824e-05,1.411172e-05,1.400704e-05,1.390420e-05,1.380316e-05,1.370390e-05,1.360640e-05,1.351063e-05,1.341657e-05
0.000000e+00,5.120048e-11,1.395873e-10,5.736341e-10,1.411050e-09,2.115646e-09,5.014041e-09,5.171198e-09,1.020590e-08,1.203332e-08,1.768556e-08,2.354817e-08,2.809631e-08,4.069460e-08,4.193987e-08,5.967232e-08,6.454280e-08,8.155727e-08,9.560555e-08,1.074906e-07,1.332681e-07,1.369696e-07,1.692708e-07,1.760039e-07,2.036625e-07,2.221568e-07,2.395093e-07,2.703571e-07,2.762845e-07,3.135470e-07,3.195282e-07,3.509178e-07,3.687951e-07,3.880643e-07,4.174204e-07,4.246912e-07,4.605378e-07,4.647758e-07,4.953766e-07,5.103351e-07,5.290133e-07,5.536733e-07,5.612875e-07,5.920711e-07,5.944663e-07,6.212671e-07,6.324851e-07,6.488090e-07,6.675915e-07,6.746566e-07,6.987928e-07,6.997226e-07,7.212222e-07,7.288828e-07,7.419671e-07,7.551297e-07,7.610642e-07,7.785621e-07,7.945186e-07,7.993095e-07,8.089981e-07,8.175218e-07,8.220701e-07,8.333620e-07,8.338068e-07,8.442816e-07,8.469985e-07,8.535684e-07,8.586007e-07,8.617403e-07,8.683350e-07,8.688686e-07,8.750226e-07,8.763621e-07,8.802691e-07,8.828347e-07,8.846719e-07,8.878969e-07,8.882919e-07,8.911865e-07,8.916833e-07,8.934104e-07,8.943188e-07,8.950146e-07,8.959185e-07,8.960472e-07,8.965533e-07,8.965882e-07,8.965749e-07,8.964248e-07,8.961513e-07,8.955166e-07,8.953191e-07,8.941124e-07,8.939440e-07,8.925629e-07,8.917801e-07,8.906999e-07,8.890912e-07,8.885507e-07,8.861407e-07,8.859374e-07,8.834934e-07,8.823730e-07,8.806306e-07,8.784472e-07,8.775723e-07,8.743374e-07,8.742046e-07,8.709431e-07,8.696853e-07,8.674055e-07,8.649255e-07,8.637392e-07,8.599582e-07,8.560750e-07,8.548127e-07,8.521013e-07,8.495158e-07,8.480482e-07,8.440916e-07,8.439255e-07,8.397426e-07,8.385618e-07,8.355080e-07,8.329458e-07,8.312298e-07,8.272614e-07,8.269151e-07,8.225708e-07,8.215244e-07,8.182031e-07,8.157491e-07,8.138177e-07,8.099483e-07,8.094201e-07,8.050151e-07,8.041336e-07,8.006071e-07,7.983153e-07,7.962005e-07,7.925027e-07,7.917990e-07,7.874062e-07,7.867044e-07,7.830253e-07,7.809276e-07,7.786593e-07,7.751791e-07,7.743110e-07,7.699828e-07,7.694649e-07,7.656771e-07,7.637903e-07,7.613959e-07,7.581598e-07,7.571412e-07,7.529147e-07,7.525779e-07,7.487180e-07,7.470480e-07,7.445526e-07,7.415735e-07,7.404196e-07,7.363204e-07,7.361572e-07,7.322560e-07,7.308016e-07,7.282274e-07,7.255087e-07,7.242353e-07,7.202805e-07,7.151186e-07,7.100241e-07,7.049982e-07,7.000418e-07,6.951556e-07,6.903401e-07,6.855956e-07,6.809224e-07,6.763205e-07,6.717900e-07,6.673308e-07,6.629426e-07,6.586250e-07,6.543778e-07,6.502005e-07,6.460926e-07,6.420535e-07,6.380827e-07,6.341793e-07,6.303428e-07,6.265725e-07,6.228675e-07,6.192271e-07,6.156504e-07
0.000000e+00,5.513272e-11,2.581264e-10,2.183375e-09,8.014623e-09,1.410132e-08,4.495504e-08,4.680702e-08,1.118935e-07,1.375410e-07,2.214174e-07,3.138779e-07,3.885592e-07,6.059515e-07,6.281640e-07,9.563839e-07,1.050102e-06,1.388357e-06,1.679556e-06,1.933791e-06,2.508306e-06,2.593258e-06,3.358719e-06,3.523451e-06,4.217574e-06,4.696651e-06,5.156576e-06,5.998428e-06,6.163695e-06,7.228441e-06,7.403516e-06,8.341546e-06,8.890513e-06,9.494570e-06,1.044040e-05,1.067961e-05,1.188913e-05,1.203557e-05,1.311595e-05,1.365945e-05,1.435321e-05,1.529651e-05,1.559443e-05,1.683356e-05,1.693243e-05,1.806502e-05,1.855431e-05,1.928374e-05,2.015076e-05,2.048518e-05,2.166533e-05,2.171204e-05,2.282073e-05,2.323003e-05,2.394842e-05,2.469815e-05,2.504594e-05,2.611128e-05,2.714285e-05,2.746561e-05,2.813943e-05,2.875847e-05,2.910016e-05,2.998818e-05,3.002445e-05,3.091200e-05,3.115392e-05,3.176273e-05,3.225552e-05,3.257673e-05,3.329343e-05,3.335430e-05,3.409583e-05,3.426850e-05,3.480187e-05,3.518198e-05,3.547304e-05,3.603538e-05,3.611004e-05,3.671364e-05,3.683042e-05,3.728464e-05,3.756896e-05,3.782390e-05,3.825298e-05,3.833228e-05,3.881070e-05,3.888452e-05,3.926004e-05,3.946567e-05,3.968122e-05,3.999851e-05,4.007516e-05,4.044275e-05,4.048513e-05,4.078489e-05,4.092760e-05,4.110247e-05,4.132796e-05,4.139638e-05,4.166747e-05,4.168820e-05,4.191659e-05,4.201027e-05,4.214457e-05,4.229608e-05,4.235221e-05,4.254032e-05,4.254745e-05,4.270966e-05,4.276617e-05,4.286098e-05,4.295396e-05,4.299502e-05,4.311250e-05,4.321409e-05,4.324336e-05,4.330049e-05,4.334810e-05,4.337233e-05,4.342819e-05,4.343025e-05,4.347486e-05,4.348505e-05,4.350676e-05,4.352004e-05,4.352653e-05,4.353447e-05,4.353471e-05,4.353184e-05,4.352957e-05,4.351845e-05,4.350654e-05,4.349503e-05,4.346651e-05,4.346207e-05,4.342003e-05,4.341058e-05,4.336938e-05,4.333977e-05,4.331053e-05,4.325508e-05,4.324392e-05,4.316994e-05,4.315744e-05,4.308898e-05,4.304776e-05,4.300143e-05,4.292687e-05,4.290763e-05,4.280794e-05,4.279560e-05,4.270269e-05,4.265470e-05,4.259220e-05,4.250492e-05,4.247678e-05,4.235673e-05,4.234694e-05,4.223234e-05,4.218142e-05,4.210386e-05,4.200899e-05,4.197158e-05,4.183574e-05,4.183023e-05,4.169658e-05,4.164571e-05,4.155433e-05,4.145596e-05,4.140923e-05,4.126147e-05,4.106272e-05,4.086015e-05,4.065420e-05,4.044525e-05,4.023368e-05,4.001984e-05,3.980407e-05,3.958669e-05,3.936798e-05,3.914822e-05,3.892767e-05,3.870657e-05,3.848516e-05,3.826365e-05,3.804223e-05,3.782110e-05,3.760042e-05,3.738036e-05,3.716106e-05,3.694268e-05,3.672534e-05,3.650915e-05,3.629424e-05,3.608070e-05
0.000000e+00,1.077661e-11,7.312063e-11,1.261460e-09,8.321945e-09,1.972573e-08,1.266018e-07,1.353553e-07,5.916748e-07,8.457166e-07,1.945232e-06,3.601476e-06,5.255484e-06,1.154329e-05,1.230188e-05,2.581391e-05,3.042521e-05,4.969980e-05,6.951969e-05,8.925816e-05,1.424454e-04,1.513537e-04,2.445344e-04,2.677744e-04,3.790677e-04,4.692648e-04,5.668818e-04,7.756111e-04,8.214119e-04,1.157359e-03,1.219702e-03,1.590380e-03,1.837469e-03,2.136724e-03,2.666456e-03,2.812850e-03,3.635021e-03,3.744249e-03,4.618916e-03,5.106901e-03,5.779258e-03,6.787446e-03,7.129479e-03,8.681423e-03,8.814606e-03,1.044510e-02,1.121172e-02,1.242850e-02,1.399595e-02,1.463743e-02,1.707547e-02,1.717778e-02,1.974389e-02,2.076080e-02,2.264171e-02,2.474171e-02,2.576573e-02,2.911064e-02,3.266916e-02,3.385156e-02,3.643217e-02,3.894291e-02,4.038891e-02,4.435833e-02,4.452718e-02,4.883351e-02,5.006745e-02,5.329341e-02,5.603672e-02,5.789155e-02,6.223023e-02,6.261198e-02,6.743830e-02,6.861053e-02,7.235389e-02,7.513938e-02,7.734204e-02,8.177846e-02,8.238616e-02,8.746988e-02,8.848995e-02,9.257719e-02,9.523716e-02,9.769261e-02,1.019849e-01,1.028012e-01,1.078888e-01,1.086999e-01,1.129417e-01,1.153511e-01,1.179475e-01,1.219100e-01,1.228940e-01,1.277704e-01,1.283504e-01,1.325666e-01,1.346491e-01,1.372733e-01,1.407853e-01,1.418821e-01,1.463857e-01,1.467412e-01,1.507774e-01,1.525015e-01,1.550515e-01,1.580533e-01,1.592031e-01,1.632280e-01,1.633864e-01,1.671229e-01,1.684927e-01,1.708850e-01,1.733664e-01,1.745124e-01,1.780036e-01,1.813579e-01,1.824023e-01,1.845750e-01,1.865620e-01,1.876551e-01,1.904838e-01,1.905990e-01,1.934078e-01,1.941702e-01,1.960829e-01,1.976246e-01,1.986263e-01,2.008517e-01,2.010401e-01,2.033267e-01,2.038569e-01,2.054888e-01,2.066462e-01,2.075292e-01,2.092265e-01,2.094509e-01,2.112573e-01,2.116050e-01,2.129514e-01,2.137892e-01,2.145368e-01,2.157871e-01,2.160170e-01,2.173954e-01,2.176067e-01,2.186756e-01,2.192562e-01,2.198612e-01,2.207439e-01,2.209557e-01,2.219628e-01,2.220780e-01,2.228860e-01,2.232665e-01,2.237288e-01,2.243177e-01,2.244947e-01,2.251869e-01,2.252393e-01,2.258091e-01,2.260390e-01,2.263643e-01,2.267243e-01,2.268557e-01,2.272866e-01,2.273026e-01,2.276599e-01,2.277807e-01,2.279785e-01,2.281655e-01,2.282454e-01,2.284633e-01,2.286805e-01,2.288229e-01,2.288961e-01,2.289056e-01,2.288564e-01,2.287534e-01,2.286010e-01,2.284037e-01,2.281653e-01,2.278897e-01,2.275806e-01,2.272411e-01,2.268744e-01,2.264836e-01,2.260712e-01,2.256398e-01,2.251918e-01,2.247293e-01,2.242545e-01,2.237691e-01,2.232750e-01,2.227737e-01,2.222667e-01,2.217554e-01
0.000000e+00,2.580710e-12,1.625792e-11,2.404094e-10,1.378115e-09,3.024469e-09,1.592543e-08,1.689077e-08,6.083593e-08,8.255754e-08,1.669597e-07,2.791755e-07,3.816819e-07,7.275110e-07,7.662134e-07,1.395619e-06,1.592377e-06,2.353843e-06,3.065247e-06,3.723351e-06,5.323813e-06,5.572862e-06,7.948627e-06,8.489221e-06,1.087183e-05,1.260854e-05,1.434102e-05,1.766346e-05,1.833703e-05,2.282822e-05,2.359019e-05,2.777478e-05,3.029782e-05,3.313178e-05,3.768066e-05,3.885114e-05,4.488284e-05,4.562521e-05,5.117576e-05,5.401411e-05,5.767833e-05,6.272884e-05,6.433915e-05,7.110769e-05,7.165234e-05,7.793499e-05,8.067181e-05,8.477435e-05,8.968143e-05,9.158196e-05,9.831741e-05,9.858480e-05,1.049442e-04,1.072968e-04,1.114298e-04,1.157450e-04,1.177463e-04,1.238696e-04,1.297803e-04,1.316241e-04,1.354626e-04,1.389738e-04,1.409047e-04,1.458953e-04,1.460982e-04,1.510377e-04,1.523749e-04,1.557207e-04,1.584072e-04,1.601470e-04,1.639940e-04,1.643184e-04,1.682385e-04,1.691424e-04,1.719122e-04,1.738641e-04,1.753457e-04,1.781741e-04,1.785461e-04,1.815210e-04,1.820896e-04,1.842787e-04,1.856296e-04,1.868277e-04,1.888140e-04,1.891768e-04,1.913348e-04,1.916630e-04,1.933106e-04,1.941968e-04,1.951129e-04,1.964357e-04,1.967504e-04,1.982315e-04,1.983991e-04,1.995643e-04,2.001058e-04,2.007568e-04,2.015740e-04,2.018166e-04,2.027513e-04,2.028208e-04,2.035677e-04,2.038628e-04,2.042728e-04,2.047152e-04,2.048731e-04,2.053746e-04,2.053927e-04,2.057833e-04,2.059089e-04,2.061049e-04,2.062766e-04,2.063447e-04,2.065078e-04,2.065989e-04,2.066137e-04,2.066227e-04,2.066046e-04,2.065835e-04,2.064904e-04,2.064854e-04,2.063323e-04,2.062801e-04,2.061279e-04,2.059820e-04,2.058756e-04,2.056041e-04,2.055788e-04,2.052405e-04,2.051534e-04,2.048636e-04,2.046368e-04,2.044511e-04,2.040606e-04,2.040054e-04,2.035291e-04,2.034304e-04,2.030245e-04,2.027516e-04,2.024938e-04,2.020293e-04,2.019390e-04,2.013622e-04,2.012680e-04,2.007652e-04,2.004719e-04,2.001497e-04,1.996450e-04,1.995173e-04,1.988697e-04,1.987910e-04,1.982082e-04,1.979131e-04,1.975343e-04,1.970145e-04,1.968492e-04,1.961541e-04,1.960981e-04,1.954502e-04,1.951664e-04,1.947386e-04,1.942220e-04,1.940202e-04,1.932960e-04,1.932670e-04,1.925670e-04,1.923035e-04,1.918339e-04,1.913334e-04,1.910975e-04,1.903585e-04,1.893804e-04,1.884005e-04,1.874203e-04,1.864408e-04,1.854633e-04,1.844889e-04,1.835184e-04,1.825526e-04,1.815925e-04,1.806387e-04,1.796918e-04,1.787524e-04,1.778211e-04,1.768983e-04,1.759845e-04,1.750800e-04,1.741851e-04,1.733002e-04,1.724255e-04,1.715612e-04,1.707075e-04,1.698647e-04,1.690327e-04,1.682118e-04
0.000000e+00,1.423879e-11,9.691792e-11,1.683131e-09,1.117254e-08,2.657415e-08,1.721254e-07,1.840967e-07,8.124493e-07,1.164401e-06,2.696873e-06,5.022329e-06,7.357728e-06,1.630946e-05,1.739526e-05,3.687411e-05,4.356789e-05,7.172297e-05,1.008957e-04,1.301123e-04,2.094180e-04,2.227654e-04,3.631646e-04,3.983605e-04,5.676330e-04,7.055148e-04,8.552846e-04,1.177023e-03,1.247850e-03,1.769393e-03,1.866524e-03,2.445925e-03,2.833744e-03,3.304948e-03,4.142674e-03,4.374933e-03,5.684755e-03,5.859420e-03,7.263115e-03,8.049905e-03,9.137944e-03,1.077752e-02,1.133584e-02,1.388150e-02,1.410087e-02,1.679727e-02,1.807167e-02,2.010263e-02,2.273301e-02,2.381389e-02,2.794382e-02,2.811787e-02,3.250148e-02,3.424807e-02,3.749204e-02,4.113366e-02,4.291669e-02,4.877268e-02,5.505337e-02,5.715130e-02,6.174841e-02,6.624438e-02,6.884385e-02,7.601622e-02,7.632248e-02,8.416403e-02,8.642163e-02,9.234553e-02,9.740714e-02,1.008416e-01,1.089124e-01,1.096249e-01,1.186664e-01,1.208714e-01,1.279356e-01,1.332142e-01,1.374013e-01,1.458682e-01,1.470314e-01,1.567938e-01,1.587593e-01,1.666562e-01,1.718135e-01,1.765865e-01,1.849576e-01,1.865535e-01,1.965263e-01,1.981206e-01,2.064755e-01,2.112343e-01,2.163725e-01,2.242342e-01,2.261902e-01,2.359027e-01,2.370600e-01,2.454861e-01,2.496559e-01,2.549177e-01,2.619713e-01,2.641767e-01,2.732440e-01,2.739606e-01,2.821022e-01,2.855834e-01,2.907357e-01,2.968047e-01,2.991305e-01,3.072744e-01,3.075948e-01,3.151570e-01,3.179289e-01,3.227691e-01,3.277871e-01,3.301034e-01,3.371541e-01,3.439165e-01,3.460190e-01,3.503875e-01,3.543750e-01,3.565651e-01,3.622190e-01,3.624487e-01,3.680384e-01,3.695511e-01,3.733358e-01,3.763747e-01,3.783430e-01,3.826959e-01,3.830631e-01,3.875000e-01,3.885232e-01,3.916583e-01,3.938672e-01,3.955432e-01,3.987402e-01,3.991603e-01,4.025160e-01,4.031563e-01,4.056167e-01,4.071306e-01,4.084695e-01,4.106794e-01,4.110815e-01,4.134603e-01,4.138198e-01,4.156135e-01,4.165692e-01,4.175490e-01,4.189459e-01,4.192746e-01,4.207983e-01,4.209679e-01,4.221281e-01,4.226539e-01,4.232720e-01,4.240219e-01,4.242379e-01,4.250337e-01,4.250903e-01,4.256672e-01,4.258769e-01,4.261460e-01,4.263993e-01,4.264777e-01,4.266697e-01,4.266746e-01,4.267292e-01,4.267195e-01,4.266632e-01,4.265502e-01,4.264787e-01,4.261823e-01,4.256306e-01,4.249096e-01,4.240331e-01,4.230141e-01,4.218651e-01,4.205979e-01,4.192238e-01,4.177532e-01,4.161961e-01,4.145620e-01,4.128595e-01,4.110970e-01,4.092822e-01,4.074222e-01,4.055238e-01,4.035931e-01,4.016359e-01,3.996577e-01,3.976633e-01,3.956574e-01,3.936440e-01,3.916272e-01,3.896103e-01,3.875968e-01
0.000000e+00,3.338533e-12,7.661878e-12,2.641637e-11,6.017812e-11,8.784047e-11,1.994845e-10,2.054942e-10,3.974128e-10,4.670140e-10,6.826158e-10,9.069746e-10,1.081581e-09,1.567625e-09,1.615849e-09,2.305926e-09,2.496581e-09,3.166596e-09,3.724733e-09,4.200540e-09,5.243807e-09,5.394838e-09,6.724725e-09,7.004445e-09,8.161638e-09,8.942211e-09,9.679201e-09,1.099988e-08,1.125516e-08,1.287107e-08,1.313225e-08,1.451137e-08,1.530339e-08,1.616269e-08,1.748376e-08,1.781331e-08,1.945294e-08,1.964851e-08,2.107256e-08,2.177681e-08,2.266438e-08,2.385144e-08,2.422176e-08,2.573912e-08,2.585864e-08,2.721194e-08,2.778776e-08,2.863663e-08,2.963104e-08,3.001045e-08,3.133142e-08,3.138314e-08,3.259822e-08,3.304086e-08,3.381012e-08,3.460271e-08,3.496687e-08,3.606861e-08,3.711585e-08,3.743958e-08,3.810937e-08,3.871748e-08,3.905016e-08,3.990481e-08,3.993941e-08,4.077841e-08,4.100452e-08,4.156859e-08,4.201987e-08,4.231143e-08,4.295435e-08,4.300846e-08,4.366125e-08,4.381152e-08,4.427139e-08,4.459503e-08,4.484046e-08,4.530852e-08,4.537003e-08,4.586166e-08,4.595557e-08,4.631689e-08,4.653972e-08,4.673721e-08,4.706439e-08,4.712411e-08,4.747902e-08,4.753294e-08,4.780335e-08,4.794857e-08,4.809846e-08,4.831439e-08,4.836566e-08,4.860624e-08,4.863338e-08,4.882144e-08,4.890840e-08,4.901245e-08,4.914216e-08,4.918044e-08,4.932651e-08,4.933728e-08,4.945174e-08,4.949623e-08,4.955717e-08,4.962139e-08,4.964380e-08,4.971259e-08,4.971498e-08,4.976445e-08,4.977915e-08,4.980028e-08,4.981591e-08,4.982092e-08,4.982719e-08,4.981989e-08,4.981480e-08,4.979975e-08,4.978046e-08,4.976749e-08,4.972578e-08,4.972382e-08,4.966939e-08,4.965231e-08,4.960483e-08,4.956149e-08,4.953075e-08,4.945468e-08,4.944773e-08,4.935632e-08,4.933319e-08,4.925705e-08,4.919821e-08,4.915043e-08,4.905090e-08,4.903694e-08,4.891704e-08,4.889233e-08,4.879118e-08,4.872351e-08,4.865977e-08,4.854539e-08,4.852321e-08,4.838189e-08,4.835886e-08,4.823617e-08,4.816476e-08,4.808639e-08,4.796388e-08,4.793290e-08,4.777599e-08,4.775695e-08,4.761598e-08,4.754466e-08,4.745314e-08,4.732766e-08,4.728775e-08,4.712006e-08,4.710655e-08,4.695032e-08,4.688190e-08,4.677876e-08,4.665423e-08,4.660559e-08,4.643104e-08,4.642403e-08,4.625529e-08,4.619176e-08,4.607853e-08,4.595785e-08,4.590094e-08,4.572269e-08,4.548666e-08,4.525009e-08,4.501331e-08,4.477660e-08,4.454025e-08,4.430449e-08,4.406957e-08,4.383570e-08,4.360307e-08,4.337186e-08,4.314224e-08,4.291435e-08,4.268835e-08,4.246434e-08,4.224245e-08,4.202277e-08,4.180540e-08,4.159041e-08,4.137788e-08,4.116788e-08,4.096045e-08,4.075565e-08,4.055352e-08,4.035410e-08
0.000000e+00,6.308101e-12,1.451394e-11,5.001293e-11,1.136165e-10,1.655566e-10,3.744853e-10,3.857167e-10,7.443951e-10,8.746261e-10,1.278875e-09,1.700730e-09,2.029440e-09,2.941767e-09,3.031747e-09,4.299017e-09,4.640773e-09,5.808708e-09,6.742968e-09,7.514363e-09,9.139077e-09,9.367916e-09,1.132977e-08,1.173225e-08,1.336847e-08,1.445019e-08,1.545804e-08,1.723599e-08,1.757589e-08,1.970189e-08,2.004156e-08,2.181788e-08,2.282519e-08,2.390774e-08,2.555125e-08,2.595735e-08,2.795470e-08,2.819038e-08,2.988989e-08,3.071958e-08,3.175502e-08,3.312192e-08,3.354412e-08,3.525292e-08,3.538606e-08,3.687872e-08,3.750545e-08,3.842014e-08,3.947751e-08,3.987690e-08,4.124965e-08,4.130283e-08,4.253980e-08,4.298439e-08,4.374930e-08,4.452690e-08,4.488056e-08,4.593630e-08,4.691948e-08,4.721927e-08,4.783316e-08,4.838290e-08,4.868051e-08,4.943449e-08,4.946468e-08,5.018884e-08,5.038127e-08,5.085608e-08,5.123035e-08,5.146941e-08,5.198858e-08,5.203176e-08,5.254595e-08,5.266250e-08,5.301470e-08,5.325831e-08,5.344058e-08,5.378188e-08,5.382608e-08,5.417355e-08,5.423868e-08,5.448522e-08,5.463385e-08,5.476322e-08,5.497219e-08,5.500956e-08,5.522613e-08,5.525814e-08,5.541474e-08,5.549584e-08,5.557708e-08,5.568913e-08,5.571477e-08,5.582931e-08,5.584157e-08,5.592214e-08,5.595645e-08,5.599459e-08,5.603682e-08,5.604795e-08,5.608341e-08,5.608551e-08,5.610210e-08,5.610512e-08,5.610508e-08,5.609807e-08,5.609336e-08,5.606787e-08,5.606658e-08,5.602952e-08,5.601272e-08,5.597913e-08,5.593839e-08,5.591749e-08,5.584536e-08,5.576343e-08,5.573525e-08,5.567236e-08,5.560957e-08,5.557278e-08,5.546971e-08,5.546527e-08,5.535038e-08,5.531696e-08,5.522864e-08,5.515250e-08,5.510053e-08,5.497745e-08,5.496652e-08,5.482704e-08,5.479280e-08,5.468251e-08,5.459951e-08,5.453332e-08,5.439845e-08,5.437982e-08,5.422236e-08,5.419043e-08,5.406128e-08,5.397618e-08,5.389686e-08,5.375640e-08,5.372941e-08,5.355920e-08,5.353173e-08,5.338648e-08,5.330276e-08,5.321149e-08,5.307003e-08,5.303447e-08,5.285563e-08,5.283406e-08,5.267517e-08,5.259531e-08,5.249329e-08,5.235421e-08,5.231016e-08,5.212596e-08,5.211118e-08,5.194084e-08,5.186657e-08,5.175496e-08,5.162073e-08,5.156846e-08,5.138147e-08,5.137399e-08,5.119413e-08,5.112662e-08,5.100654e-08,5.087891e-08,5.081883e-08,5.063110e-08,5.038343e-08,5.013611e-08,4.988933e-08,4.964328e-08,4.939813e-08,4.915403e-08,4.891113e-08,4.866954e-08,4.842940e-08,4.819081e-08,4.795386e-08,4.771866e-08,4.748529e-08,4.725380e-08,4.702428e-08,4.679679e-08,4.657138e-08,4.634809e-08,4.612698e-08,4.590808e-08,4.569142e-08,4.547705e-08,4.526497e-08,4.505523e-08
0.000000e+00,6.411644e-12,1.477276e-11,5.122770e-11,1.173778e-10,1.720312e-10,3.965521e-10,4.088119e-10,8.091288e-10,9.583063e-10,1.432551e-09,1.943083e-09,2.350223e-09,3.513923e-09,3.630895e-09,5.308510e-09,5.768513e-09,7.357155e-09,8.641599e-09,9.708673e-09,1.197030e-08,1.229011e-08,1.504255e-08,1.560947e-08,1.792187e-08,1.945770e-08,2.089410e-08,2.344210e-08,2.393142e-08,2.700977e-08,2.750464e-08,3.010757e-08,3.159562e-08,3.320530e-08,3.567153e-08,3.628534e-08,3.933200e-08,3.969469e-08,4.233158e-08,4.363336e-08,4.527227e-08,4.746174e-08,4.814431e-08,5.093971e-08,5.115983e-08,5.365213e-08,5.471276e-08,5.627685e-08,5.811039e-08,5.881049e-08,6.125088e-08,6.134653e-08,6.359689e-08,6.441828e-08,6.584826e-08,6.732533e-08,6.800543e-08,7.006946e-08,7.204184e-08,7.265395e-08,7.392447e-08,7.508326e-08,7.571955e-08,7.736269e-08,7.742948e-08,7.905682e-08,7.949803e-08,8.060418e-08,8.149531e-08,8.207423e-08,8.336077e-08,8.346973e-08,8.479339e-08,8.510068e-08,8.604793e-08,8.672127e-08,8.723601e-08,8.822865e-08,8.836028e-08,8.942329e-08,8.962877e-08,9.042757e-08,9.092740e-08,9.137556e-08,9.213009e-08,9.226961e-08,9.311203e-08,9.324218e-08,9.390504e-08,9.426876e-08,9.465077e-08,9.521472e-08,9.535130e-08,9.600862e-08,9.608468e-08,9.662463e-08,9.688307e-08,9.720119e-08,9.761408e-08,9.774007e-08,9.824296e-08,9.828168e-08,9.871150e-08,9.888965e-08,9.914726e-08,9.944155e-08,9.955174e-08,9.992638e-08,9.994077e-08,1.002726e-07,1.003905e-07,1.005916e-07,1.007937e-07,1.008848e-07,1.011534e-07,1.013984e-07,1.014721e-07,1.016211e-07,1.017524e-07,1.018225e-07,1.019968e-07,1.020036e-07,1.021654e-07,1.022074e-07,1.023089e-07,1.023865e-07,1.024348e-07,1.025360e-07,1.025441e-07,1.026376e-07,1.026578e-07,1.027161e-07,1.027538e-07,1.027803e-07,1.028256e-07,1.028310e-07,1.028687e-07,1.028748e-07,1.028943e-07,1.029029e-07,1.029082e-07,1.029114e-07,1.029111e-07,1.029036e-07,1.029014e-07,1.028862e-07,1.028745e-07,1.028594e-07,1.028316e-07,1.028237e-07,1.027797e-07,1.027739e-07,1.027277e-07,1.027024e-07,1.026682e-07,1.026182e-07,1.026016e-07,1.025283e-07,1.025221e-07,1.024487e-07,1.024151e-07,1.023631e-07,1.022980e-07,1.022719e-07,1.021755e-07,1.021715e-07,1.020741e-07,1.020364e-07,1.019680e-07,1.018933e-07,1.018575e-07,1.017429e-07,1.015859e-07,1.014227e-07,1.012540e-07,1.010802e-07,1.009018e-07,1.007192e-07,1.005329e-07,1.003433e-07,1.001508e-07,9.995559e-08,9.975814e-08,9.955872e-08,9.935761e-08,9.915510e-08,9.895143e-08,9.874684e-08,9.854157e-08,9.833581e-08,9.812977e-08,9.792363e-08,9.771755e-08,9.751171e-08,9.730626e-08,9.710132e-08
0.000000e+00,3.892000e-11,9.910525e-11,3.819309e-10,9.202305e-10,1.375077e-09,3.286969e-09,3.392661e-09,6.885984e-09,8.202715e-09,1.242293e-08,1.700871e-08,2.069091e-08,3.132575e-08,3.240358e-08,4.802995e-08,5.236429e-08,6.745616e-08,7.975486e-08,9.000960e-08,1.117929e-07,1.148751e-07,1.413962e-07,1.468557e-07,1.691114e-07,1.838826e-07,1.976918e-07,2.221796e-07,2.268816e-07,2.564643e-07,2.612208e-07,2.862452e-07,3.005572e-07,3.160449e-07,3.397867e-07,3.456982e-07,3.750545e-07,3.785507e-07,4.039790e-07,4.165380e-07,4.323540e-07,4.534891e-07,4.600791e-07,4.870708e-07,4.891963e-07,5.132613e-07,5.235012e-07,5.385993e-07,5.562923e-07,5.630457e-07,5.865736e-07,5.874954e-07,6.091674e-07,6.170709e-07,6.308202e-07,6.450066e-07,6.515326e-07,6.713119e-07,6.901705e-07,6.960133e-07,7.081246e-07,7.191497e-07,7.251943e-07,7.407697e-07,7.414017e-07,7.567716e-07,7.609285e-07,7.713293e-07,7.796849e-07,7.851010e-07,7.970994e-07,7.981130e-07,8.103924e-07,8.132334e-07,8.219660e-07,8.281489e-07,8.328605e-07,8.419067e-07,8.431021e-07,8.527164e-07,8.545663e-07,8.617288e-07,8.661855e-07,8.701638e-07,8.768205e-07,8.780453e-07,8.853967e-07,8.865252e-07,8.922403e-07,8.953513e-07,8.985979e-07,9.033482e-07,9.044906e-07,9.099386e-07,9.105635e-07,9.149617e-07,9.170420e-07,9.195785e-07,9.228268e-07,9.238073e-07,9.276655e-07,9.279586e-07,9.311699e-07,9.324762e-07,9.343366e-07,9.364163e-07,9.371812e-07,9.397185e-07,9.398138e-07,9.419627e-07,9.427016e-07,9.439277e-07,9.451111e-07,9.456265e-07,9.470717e-07,9.482754e-07,9.486115e-07,9.492492e-07,9.497569e-07,9.500042e-07,9.505329e-07,9.505509e-07,9.508996e-07,9.509631e-07,9.510600e-07,9.510697e-07,9.510414e-07,9.508739e-07,9.508528e-07,9.505027e-07,9.503955e-07,9.499993e-07,9.496533e-07,9.493504e-07,9.486650e-07,9.485635e-07,9.476458e-07,9.474472e-07,9.466042e-07,9.460157e-07,9.454451e-07,9.443854e-07,9.441750e-07,9.427997e-07,9.425703e-07,9.413250e-07,9.405835e-07,9.397565e-07,9.384375e-07,9.380992e-07,9.363584e-07,9.361441e-07,9.345387e-07,9.337143e-07,9.326448e-07,9.311584e-07,9.306810e-07,9.286515e-07,9.284864e-07,9.265604e-07,9.257075e-07,9.244114e-07,9.228303e-07,9.222082e-07,9.199543e-07,9.198632e-07,9.176531e-07,9.168137e-07,9.153077e-07,9.136892e-07,9.129212e-07,9.104965e-07,9.072421e-07,9.039320e-07,9.005719e-07,8.971673e-07,8.937231e-07,8.902440e-07,8.867347e-07,8.831992e-07,8.796415e-07,8.760653e-07,8.724740e-07,8.688710e-07,8.652594e-07,8.616419e-07,8.580212e-07,8.544000e-07,8.507805e-07,8.471650e-07,8.435556e-07,8.399542e-07,8.363625e-07,8.327824e-07,8.292153e-07,8.256628e-07
0.000000e+00,1.873262e-11,4.801239e-11,1.854426e-10,4.445068e-10,6.608475e-10,1.548188e-09,1.596320e-09,3.143312e-09,3.707636e-09,5.463047e-09,7.299117e-09,8.733643e-09,1.274971e-08,1.314987e-08,1.890508e-08,2.050341e-08,2.614054e-08,3.085113e-08,3.487044e-08,4.367587e-08,4.494870e-08,5.612938e-08,5.847490e-08,6.815923e-08,7.467805e-08,8.082617e-08,9.183518e-08,9.396274e-08,1.074343e-07,1.096131e-07,1.211271e-07,1.277482e-07,1.349400e-07,1.460146e-07,1.487807e-07,1.625638e-07,1.642101e-07,1.762104e-07,1.821528e-07,1.896483e-07,1.996815e-07,2.028129e-07,2.156469e-07,2.166578e-07,2.281014e-07,2.329674e-07,2.401354e-07,2.485206e-07,2.517158e-07,2.628173e-07,2.632511e-07,2.734215e-07,2.771149e-07,2.835166e-07,2.900869e-07,2.930962e-07,3.021591e-07,3.107087e-07,3.133372e-07,3.187517e-07,3.236379e-07,3.262981e-07,3.330867e-07,3.333601e-07,3.399522e-07,3.417159e-07,3.460902e-07,3.495620e-07,3.517910e-07,3.566647e-07,3.570721e-07,3.619517e-07,3.630651e-07,3.664480e-07,3.688053e-07,3.705792e-07,3.739271e-07,3.743634e-07,3.778185e-07,3.784715e-07,3.809617e-07,3.824786e-07,3.838100e-07,3.859863e-07,3.863793e-07,3.886854e-07,3.890309e-07,3.907430e-07,3.916467e-07,3.925667e-07,3.938663e-07,3.941700e-07,3.955659e-07,3.957201e-07,3.967670e-07,3.972367e-07,3.977848e-07,3.984427e-07,3.986306e-07,3.993150e-07,3.993631e-07,3.998479e-07,4.000208e-07,4.002389e-07,4.004376e-07,4.004969e-07,4.006303e-07,4.006332e-07,4.006472e-07,4.006262e-07,4.005550e-07,4.004337e-07,4.003609e-07,4.000717e-07,3.996935e-07,3.995548e-07,3.992325e-07,3.988966e-07,3.986942e-07,3.981097e-07,3.980839e-07,3.974067e-07,3.972057e-07,3.966671e-07,3.961954e-07,3.958698e-07,3.950887e-07,3.950187e-07,3.941180e-07,3.938948e-07,3.931712e-07,3.926222e-07,3.921819e-07,3.912787e-07,3.911533e-07,3.900886e-07,3.898716e-07,3.889907e-07,3.884076e-07,3.878623e-07,3.868928e-07,3.867060e-07,3.855242e-07,3.853329e-07,3.843193e-07,3.837333e-07,3.830933e-07,3.820988e-07,3.818484e-07,3.805864e-07,3.804339e-07,3.793091e-07,3.787427e-07,3.780182e-07,3.770291e-07,3.767154e-07,3.754021e-07,3.752967e-07,3.740798e-07,3.735486e-07,3.727497e-07,3.717879e-07,3.714131e-07,3.700712e-07,3.700174e-07,3.687251e-07,3.682397e-07,3.673759e-07,3.664570e-07,3.660244e-07,3.646716e-07,3.628855e-07,3.611005e-07,3.593182e-07,3.575403e-07,3.557681e-07,3.540030e-07,3.522462e-07,3.504987e-07,3.487616e-07,3.470357e-07,3.453219e-07,3.436210e-07,3.419336e-07,3.402604e-07,3.386019e-07,3.369585e-07,3.353309e-07,3.337192e-07,3.321240e-07,3.305455e-07,3.289839e-07,3.274396e-07,3.259127e-07,3.244034e-07
0.000000e+00,6.261387e-12,1.443561e-11,5.011219e-11,1.146842e-10,1.677378e-10,3.822590e-10,3.938091e-10,7.620857e-10,8.952464e-10,1.306074e-09,1.730816e-09,2.059454e-09,2.966163e-09,3.055527e-09,4.324405e-09,4.672209e-09,5.888101e-09,6.896991e-09,7.757368e-09,9.656338e-09,9.933596e-09,1.241296e-08,1.294468e-08,1.518907e-08,1.674727e-08,1.825374e-08,2.104379e-08,2.159694e-08,2.520658e-08,2.580793e-08,2.906843e-08,3.100698e-08,3.316616e-08,3.660204e-08,3.748163e-08,4.199510e-08,4.254904e-08,4.668570e-08,4.880012e-08,5.153178e-08,5.530523e-08,5.651129e-08,6.160219e-08,6.201362e-08,6.678279e-08,6.887541e-08,7.203208e-08,7.584275e-08,7.732992e-08,8.265731e-08,8.287076e-08,8.799645e-08,8.991820e-08,9.333089e-08,9.694790e-08,9.864559e-08,1.039269e-07,1.091625e-07,1.108264e-07,1.143416e-07,1.176220e-07,1.194544e-07,1.242926e-07,1.244926e-07,1.294490e-07,1.308212e-07,1.343172e-07,1.371937e-07,1.390922e-07,1.433989e-07,1.437694e-07,1.483453e-07,1.494281e-07,1.528171e-07,1.552749e-07,1.571825e-07,1.609348e-07,1.614399e-07,1.655882e-07,1.664047e-07,1.696266e-07,1.716830e-07,1.735548e-07,1.767694e-07,1.773729e-07,1.810812e-07,1.816644e-07,1.846803e-07,1.863693e-07,1.881710e-07,1.908861e-07,1.915542e-07,1.948313e-07,1.952174e-07,1.980033e-07,1.993662e-07,2.010719e-07,2.033357e-07,2.040385e-07,2.069047e-07,2.071298e-07,2.096723e-07,2.107521e-07,2.123429e-07,2.142067e-07,2.149183e-07,2.174004e-07,2.174978e-07,2.197910e-07,2.206296e-07,2.220920e-07,2.236064e-07,2.243052e-07,2.264326e-07,2.284760e-07,2.291125e-07,2.304373e-07,2.316504e-07,2.323184e-07,2.340506e-07,2.341213e-07,2.358476e-07,2.363176e-07,2.374994e-07,2.384554e-07,2.390784e-07,2.404683e-07,2.405864e-07,2.420253e-07,2.423605e-07,2.433967e-07,2.441360e-07,2.447025e-07,2.457987e-07,2.459445e-07,2.471241e-07,2.473528e-07,2.482433e-07,2.488018e-07,2.493035e-07,2.501498e-07,2.503065e-07,2.512537e-07,2.514002e-07,2.521469e-07,2.525568e-07,2.529874e-07,2.536230e-07,2.537769e-07,2.545167e-07,2.546023e-07,2.552084e-07,2.554979e-07,2.558534e-07,2.563132e-07,2.564531e-07,2.570087e-07,2.570513e-07,2.575218e-07,2.577153e-07,2.579935e-07,2.583082e-07,2.584251e-07,2.588180e-07,2.588329e-07,2.591733e-07,2.592922e-07,2.594922e-07,2.596889e-07,2.597759e-07,2.600256e-07,2.603048e-07,2.605292e-07,2.607011e-07,2.608229e-07,2.608968e-07,2.609250e-07,2.609097e-07,2.608530e-07,2.607567e-07,2.606228e-07,2.604532e-07,2.602497e-07,2.600140e-07,2.597477e-07,2.594525e-07,2.591299e-07,2.587815e-07,2.584086e-07,2.580126e-07,2.575949e-07,2.571568e-07,2.566994e-07,2.562241e-07,2.557319e-07
0.000000e+00,1.577809e-11,1.076343e-10,1.878085e-09,1.252211e-08,2.985885e-08,1.947062e-07,2.083067e-07,9.258601e-07,1.329622e-06,3.095755e-06,5.790858e-06,8.509164e-06,1.899536e-05,2.027263e-05,4.331826e-05,5.128324e-05,8.497248e-05,1.201349e-04,1.555607e-04,2.525741e-04,2.690073e-04,4.433671e-04,4.874525e-04,7.012086e-04,8.771385e-04,1.069782e-03,1.488124e-03,1.580929e-03,2.270741e-03,2.400303e-03,3.178986e-03,3.704977e-03,4.348353e-03,5.501865e-03,5.823566e-03,7.650402e-03,7.895434e-03,9.874692e-03,1.099091e-02,1.254131e-02,1.489029e-02,1.569320e-02,1.937049e-02,1.968850e-02,2.360969e-02,2.547007e-02,2.844296e-02,3.230625e-02,3.389752e-02,3.999523e-02,4.025276e-02,4.675220e-02,4.934824e-02,5.417861e-02,5.961330e-02,6.227858e-02,7.105021e-02,8.048569e-02,8.364319e-02,9.057148e-02,9.735913e-02,1.012886e-01,1.121488e-01,1.126131e-01,1.245162e-01,1.279484e-01,1.369650e-01,1.446812e-01,1.499230e-01,1.622597e-01,1.633502e-01,1.772040e-01,1.805875e-01,1.914398e-01,1.995614e-01,2.060110e-01,2.190732e-01,2.208698e-01,2.359680e-01,2.390121e-01,2.512568e-01,2.592661e-01,2.666875e-01,2.797238e-01,2.822121e-01,2.977834e-01,3.002761e-01,3.133554e-01,3.208170e-01,3.288835e-01,3.412454e-01,3.443247e-01,3.596382e-01,3.614653e-01,3.747850e-01,3.813872e-01,3.897284e-01,4.009283e-01,4.044343e-01,4.188707e-01,4.200130e-01,4.330081e-01,4.385733e-01,4.468197e-01,4.565485e-01,4.602811e-01,4.733704e-01,4.738860e-01,4.860683e-01,4.905403e-01,4.983576e-01,5.064734e-01,5.102238e-01,5.216545e-01,5.326397e-01,5.360594e-01,5.431712e-01,5.496704e-01,5.532431e-01,5.624758e-01,5.628512e-01,5.719932e-01,5.744694e-01,5.806686e-01,5.856501e-01,5.888782e-01,5.960217e-01,5.966245e-01,6.039112e-01,6.055922e-01,6.107434e-01,6.143731e-01,6.171271e-01,6.223795e-01,6.230696e-01,6.285788e-01,6.296295e-01,6.336638e-01,6.361434e-01,6.383340e-01,6.419440e-01,6.425998e-01,6.464719e-01,6.470557e-01,6.499617e-01,6.515045e-01,6.530809e-01,6.553173e-01,6.558413e-01,6.582553e-01,6.585223e-01,6.603352e-01,6.611478e-01,6.620937e-01,6.632228e-01,6.635432e-01,6.646965e-01,6.647764e-01,6.655663e-01,6.658375e-01,6.661649e-01,6.664351e-01,6.665049e-01,6.665987e-01,6.665975e-01,6.664582e-01,6.663527e-01,6.660956e-01,6.657280e-01,6.655224e-01,6.647503e-01,6.634453e-01,6.618382e-01,6.599531e-01,6.578133e-01,6.554411e-01,6.528578e-01,6.500838e-01,6.471385e-01,6.440401e-01,6.408061e-01,6.374529e-01,6.339960e-01,6.304498e-01,6.268281e-01,6.231437e-01,6.194083e-01,6.156333e-01,6.118288e-01,6.080044e-01,6.041689e-01,6.003306e-01,5.964969e-01,5.926746e-01,5.888702e-01
0.000000e+00,6.108391e-12,3.390959e-11,3.888502e-10,1.785650e-09,3.484249e-09,1.373601e-08,1.440448e-08,3.977759e-08,5.040085e-08,8.635730e-08,1.271461e-07,1.605042e-07,2.582355e-07,2.682233e-07,4.149736e-07,4.564772e-07,6.044350e-07,7.293085e-07,8.363515e-07,1.071361e-06,1.105304e-06,1.401963e-06,1.463688e-06,1.715855e-06,1.882710e-06,2.037641e-06,2.308647e-06,2.360030e-06,2.677694e-06,2.727808e-06,2.986783e-06,3.131237e-06,3.284454e-06,3.512900e-06,3.568548e-06,3.837433e-06,3.868617e-06,4.089917e-06,4.195598e-06,4.325216e-06,4.492292e-06,4.542933e-06,4.743029e-06,4.758282e-06,4.925781e-06,4.994140e-06,5.091733e-06,5.201233e-06,5.241640e-06,5.376413e-06,5.381503e-06,5.497066e-06,5.537249e-06,5.604667e-06,5.670934e-06,5.700300e-06,5.785033e-06,5.859892e-06,5.881922e-06,5.925847e-06,5.963804e-06,5.983798e-06,6.032666e-06,6.034569e-06,6.078910e-06,6.090267e-06,6.117497e-06,6.138142e-06,6.150935e-06,6.177613e-06,6.179761e-06,6.204452e-06,6.209811e-06,6.225430e-06,6.235696e-06,6.243066e-06,6.256083e-06,6.257689e-06,6.269587e-06,6.271663e-06,6.279016e-06,6.283020e-06,6.286203e-06,6.290655e-06,6.291349e-06,6.294628e-06,6.294990e-06,6.296197e-06,6.296383e-06,6.296194e-06,6.295146e-06,6.294746e-06,6.291970e-06,6.291552e-06,6.287967e-06,6.285842e-06,6.282832e-06,6.278223e-06,6.276647e-06,6.269490e-06,6.268878e-06,6.261433e-06,6.257973e-06,6.252543e-06,6.245661e-06,6.242882e-06,6.232505e-06,6.232075e-06,6.221463e-06,6.217334e-06,6.209804e-06,6.201549e-06,6.197576e-06,6.184821e-06,6.171579e-06,6.167244e-06,6.157886e-06,6.148902e-06,6.143777e-06,6.129871e-06,6.129284e-06,6.114438e-06,6.110222e-06,6.099269e-06,6.090024e-06,6.083804e-06,6.069337e-06,6.068069e-06,6.052088e-06,6.048218e-06,6.035883e-06,6.026719e-06,6.019477e-06,6.004889e-06,6.002889e-06,5.986139e-06,5.982771e-06,5.969244e-06,5.960408e-06,5.952223e-06,5.937839e-06,5.935091e-06,5.917864e-06,5.915100e-06,5.900556e-06,5.892223e-06,5.883180e-06,5.869240e-06,5.865751e-06,5.848279e-06,5.846180e-06,5.830776e-06,5.823069e-06,5.813254e-06,5.799931e-06,5.795723e-06,5.778192e-06,5.776790e-06,5.760671e-06,5.753667e-06,5.743168e-06,5.730582e-06,5.725692e-06,5.708250e-06,5.707553e-06,5.690849e-06,5.684597e-06,5.673498e-06,5.661729e-06,5.656201e-06,5.638965e-06,5.616317e-06,5.593798e-06,5.571418e-06,5.549189e-06,5.527120e-06,5.505219e-06,5.483496e-06,5.461956e-06,5.440607e-06,5.419455e-06,5.398505e-06,5.377762e-06,5.357230e-06,5.336914e-06,5.316817e-06,5.296942e-06,5.277291e-06,5.257867e-06,5.238672e-06,5.219707e-06,5.200974e-06,5.182473e-06,5.164206e-06,5.146174e-06
0.000000e+00,4.100927e-12,2.801572e-11,4.903288e-10,3.278646e-09,7.830509e-09,5.128186e-08,5.487379e-08,2.449913e-07,3.522716e-07,8.228378e-07,1.543316e-06,2.271823e-06,5.092332e-06,5.436681e-06,1.166878e-05,1.382904e-05,2.299079e-05,3.258476e-05,4.227477e-05,6.890149e-05,7.342237e-05,1.215292e-04,1.337260e-04,1.930115e-04,2.419562e-04,2.956770e-04,4.127070e-04,4.387280e-04,6.326971e-04,6.692262e-04,8.893213e-04,1.038470e-03,1.221363e-03,1.550392e-03,1.642388e-03,2.166523e-03,2.237031e-03,2.808183e-03,3.131472e-03,3.581807e-03,4.266765e-03,4.501583e-03,5.581191e-03,5.674858e-03,6.833562e-03,7.385601e-03,8.270657e-03,9.425857e-03,9.903271e-03,1.174087e-02,1.181875e-02,1.379145e-02,1.458309e-02,1.606145e-02,1.773289e-02,1.855565e-02,2.127716e-02,2.422740e-02,2.521978e-02,2.740607e-02,2.955947e-02,3.081124e-02,3.429006e-02,3.443941e-02,3.828553e-02,3.940065e-02,4.234313e-02,4.487602e-02,4.660443e-02,5.069704e-02,5.106045e-02,5.570112e-02,5.684115e-02,6.051540e-02,6.328285e-02,6.549145e-02,6.999423e-02,7.061671e-02,7.587806e-02,7.694548e-02,8.126194e-02,8.410538e-02,8.675446e-02,9.144183e-02,9.234153e-02,9.800895e-02,9.892225e-02,1.037425e-01,1.065140e-01,1.095282e-01,1.141849e-01,1.153521e-01,1.212005e-01,1.219033e-01,1.270601e-01,1.296385e-01,1.329180e-01,1.373613e-01,1.387618e-01,1.445796e-01,1.450435e-01,1.503598e-01,1.526589e-01,1.560916e-01,1.601827e-01,1.617647e-01,1.673696e-01,1.675922e-01,1.728971e-01,1.748665e-01,1.783389e-01,1.819864e-01,1.836872e-01,1.889349e-01,1.940755e-01,1.956968e-01,1.991030e-01,2.022589e-01,2.040123e-01,2.086095e-01,2.087986e-01,2.134578e-01,2.147391e-01,2.179864e-01,2.206396e-01,2.223814e-01,2.263046e-01,2.266402e-01,2.307609e-01,2.317291e-01,2.347418e-01,2.369097e-01,2.385820e-01,2.418442e-01,2.422806e-01,2.458373e-01,2.465317e-01,2.492523e-01,2.509723e-01,2.525260e-01,2.551672e-01,2.556591e-01,2.586525e-01,2.591186e-01,2.615077e-01,2.628295e-01,2.642261e-01,2.663036e-01,2.668096e-01,2.692600e-01,2.695452e-01,2.715796e-01,2.725594e-01,2.737707e-01,2.753515e-01,2.758357e-01,2.777773e-01,2.779274e-01,2.795983e-01,2.802935e-01,2.813013e-01,2.824562e-01,2.828894e-01,2.843655e-01,2.844222e-01,2.857326e-01,2.861987e-01,2.869939e-01,2.877926e-01,2.881523e-01,2.892112e-01,2.904616e-01,2.915512e-01,2.924871e-01,2.932765e-01,2.939265e-01,2.944441e-01,2.948362e-01,2.951095e-01,2.952705e-01,2.953257e-01,2.952814e-01,2.951435e-01,2.949180e-01,2.946105e-01,2.942264e-01,2.937711e-01,2.932497e-01,2.926668e-01,2.920274e-01,2.913357e-01,2.905961e-01,2.898127e-01,2.889893e-01,2.881296e-01
0.000000e+00,2.046435e-12,4.676453e-12,1.596980e-11,3.604489e-11,5.233671e-11,1.171690e-10,1.206263e-10,2.297750e-10,2.688673e-10,3.887117e-10,5.118233e-10,6.067380e-10,8.677302e-10,8.934053e-10,1.257199e-09,1.356618e-09,1.702625e-09,1.987175e-09,2.227442e-09,2.748358e-09,2.823242e-09,3.479027e-09,3.616427e-09,4.184227e-09,4.567381e-09,4.929747e-09,5.581452e-09,5.707848e-09,6.511693e-09,6.642271e-09,7.334981e-09,7.735299e-09,8.171724e-09,8.846911e-09,9.016136e-09,9.862626e-09,9.964087e-09,1.070583e-08,1.107448e-08,1.154067e-08,1.216662e-08,1.236240e-08,1.316673e-08,1.323021e-08,1.394984e-08,1.425637e-08,1.470836e-08,1.523768e-08,1.543949e-08,1.614092e-08,1.616834e-08,1.681088e-08,1.704410e-08,1.744808e-08,1.786220e-08,1.805166e-08,1.862120e-08,1.915664e-08,1.932082e-08,1.965825e-08,1.996175e-08,2.012655e-08,2.054550e-08,2.056231e-08,2.096648e-08,2.107413e-08,2.134014e-08,2.155018e-08,2.168449e-08,2.197649e-08,2.200080e-08,2.229034e-08,2.235600e-08,2.255452e-08,2.269192e-08,2.279476e-08,2.298742e-08,2.301239e-08,2.320870e-08,2.324551e-08,2.338499e-08,2.346917e-08,2.354252e-08,2.366122e-08,2.368248e-08,2.380599e-08,2.382430e-08,2.391416e-08,2.396093e-08,2.400801e-08,2.407343e-08,2.408850e-08,2.415657e-08,2.416394e-08,2.421305e-08,2.423444e-08,2.425876e-08,2.428675e-08,2.429444e-08,2.432080e-08,2.432253e-08,2.433850e-08,2.434329e-08,2.434815e-08,2.435043e-08,2.435031e-08,2.434552e-08,2.434519e-08,2.433426e-08,2.432872e-08,2.431701e-08,2.430206e-08,2.429417e-08,2.426616e-08,2.423333e-08,2.422187e-08,2.419604e-08,2.416997e-08,2.415459e-08,2.411118e-08,2.410930e-08,2.406043e-08,2.404614e-08,2.400824e-08,2.397543e-08,2.395297e-08,2.389960e-08,2.389485e-08,2.383408e-08,2.381913e-08,2.377087e-08,2.373447e-08,2.370538e-08,2.364602e-08,2.363780e-08,2.356829e-08,2.355416e-08,2.349698e-08,2.345924e-08,2.342403e-08,2.336157e-08,2.334955e-08,2.327369e-08,2.326143e-08,2.319654e-08,2.315909e-08,2.311822e-08,2.305479e-08,2.303883e-08,2.295847e-08,2.294876e-08,2.287722e-08,2.284121e-08,2.279517e-08,2.273233e-08,2.271240e-08,2.262899e-08,2.262229e-08,2.254500e-08,2.251125e-08,2.246050e-08,2.239938e-08,2.237556e-08,2.229023e-08,2.228681e-08,2.220457e-08,2.217367e-08,2.211864e-08,2.206007e-08,2.203248e-08,2.194613e-08,2.183196e-08,2.171764e-08,2.160327e-08,2.148893e-08,2.137469e-08,2.126063e-08,2.114681e-08,2.103329e-08,2.092012e-08,2.080737e-08,2.069508e-08,2.058330e-08,2.047206e-08,2.036140e-08,2.025136e-08,2.014198e-08,2.003327e-08,1.992528e-08,1.981802e-08,1.971152e-08,1.960580e-08,1.950087e-08,1.939677e-08,1.929349e-08
0.000000e+00,8.415427e-11,2.221968e-10,8.852068e-10,2.150967e-09,3.212349e-09,7.567295e-09,7.803102e-09,1.534169e-08,1.807005e-08,2.648021e-08,3.515582e-08,4.185246e-08,6.024963e-08,6.205615e-08,8.755972e-08,9.449749e-08,1.185514e-07,1.382641e-07,1.548982e-07,1.910600e-07,1.962793e-07,2.423231e-07,2.520583e-07,2.926521e-07,3.203888e-07,3.468789e-07,3.951435e-07,4.045949e-07,4.653640e-07,4.753399e-07,5.287243e-07,5.599167e-07,5.941940e-07,6.477575e-07,6.612803e-07,7.294897e-07,7.377272e-07,7.983382e-07,8.287133e-07,8.673607e-07,9.196633e-07,9.361190e-07,1.004208e-06,1.009615e-06,1.071262e-06,1.097719e-06,1.136953e-06,1.183247e-06,1.200999e-06,1.263159e-06,1.265603e-06,1.323231e-06,1.344315e-06,1.381057e-06,1.419030e-06,1.436511e-06,1.489503e-06,1.539973e-06,1.555584e-06,1.587887e-06,1.617205e-06,1.633235e-06,1.674365e-06,1.676028e-06,1.716294e-06,1.727120e-06,1.754073e-06,1.775570e-06,1.789421e-06,1.819847e-06,1.822400e-06,1.853082e-06,1.860112e-06,1.881543e-06,1.896541e-06,1.907863e-06,1.929322e-06,1.932128e-06,1.954421e-06,1.958650e-06,1.974829e-06,1.984724e-06,1.993437e-06,2.007740e-06,2.010332e-06,2.025596e-06,2.027893e-06,2.039313e-06,2.045371e-06,2.051562e-06,2.060357e-06,2.062421e-06,2.071967e-06,2.073027e-06,2.080271e-06,2.083550e-06,2.087404e-06,2.092083e-06,2.093433e-06,2.098424e-06,2.098780e-06,2.102437e-06,2.103782e-06,2.105533e-06,2.107225e-06,2.107767e-06,2.109194e-06,2.109235e-06,2.109864e-06,2.109930e-06,2.109827e-06,2.109422e-06,2.109130e-06,2.107815e-06,2.105925e-06,2.105205e-06,2.103500e-06,2.101684e-06,2.100577e-06,2.097335e-06,2.097191e-06,2.093377e-06,2.092237e-06,2.089167e-06,2.086462e-06,2.084590e-06,2.080079e-06,2.079674e-06,2.074448e-06,2.073151e-06,2.068937e-06,2.065734e-06,2.063163e-06,2.057884e-06,2.057151e-06,2.050921e-06,2.049651e-06,2.044494e-06,2.041080e-06,2.037888e-06,2.032214e-06,2.031121e-06,2.024211e-06,2.023093e-06,2.017173e-06,2.013753e-06,2.010021e-06,2.004227e-06,2.002770e-06,1.995433e-06,1.994547e-06,1.988022e-06,1.984741e-06,1.980549e-06,1.974835e-06,1.973025e-06,1.965459e-06,1.964852e-06,1.957861e-06,1.954815e-06,1.950241e-06,1.944745e-06,1.942606e-06,1.934964e-06,1.934658e-06,1.927322e-06,1.924573e-06,1.919688e-06,1.914504e-06,1.912067e-06,1.904466e-06,1.894471e-06,1.884530e-06,1.874655e-06,1.864854e-06,1.855136e-06,1.845508e-06,1.835977e-06,1.826550e-06,1.817231e-06,1.808026e-06,1.798937e-06,1.789970e-06,1.781127e-06,1.772410e-06,1.763822e-06,1.755364e-06,1.747039e-06,1.738846e-06,1.730788e-06,1.722863e-06,1.715074e-06,1.707419e-06,1.699899e-06,1.692513e-06
0.000000e+00,4.301674e-13,2.754228e-12,4.210324e-11,2.486626e-10,5.546453e-10,3.043798e-09,3.233684e-09,1.212548e-08,1.663386e-08,3.455771e-08,5.904102e-08,8.184918e-08,1.608903e-07,1.698932e-07,3.195842e-07,3.674516e-07,5.566106e-07,7.381765e-07,9.097077e-07,1.338843e-06,1.406948e-06,2.071085e-06,2.225329e-06,2.915776e-06,3.427762e-06,3.943928e-06,4.944253e-06,5.148215e-06,6.513071e-06,6.744987e-06,8.017280e-06,8.781714e-06,9.636508e-06,1.099763e-05,1.134535e-05,1.311881e-05,1.333483e-05,1.493329e-05,1.573898e-05,1.676707e-05,1.816154e-05,1.860059e-05,2.041652e-05,2.056057e-05,2.219969e-05,2.290080e-05,2.393705e-05,2.515331e-05,2.561755e-05,2.723204e-05,2.729513e-05,2.877315e-05,2.930885e-05,3.023521e-05,3.118210e-05,3.161410e-05,3.290713e-05,3.411288e-05,3.448022e-05,3.523111e-05,3.590115e-05,3.626256e-05,3.717260e-05,3.720884e-05,3.807226e-05,3.829955e-05,3.885570e-05,3.928876e-05,3.956251e-05,4.014823e-05,4.019635e-05,4.076109e-05,4.088679e-05,4.126076e-05,4.151367e-05,4.169943e-05,4.203822e-05,4.208115e-05,4.240991e-05,4.246965e-05,4.268960e-05,4.281689e-05,4.292395e-05,4.308839e-05,4.311653e-05,4.327074e-05,4.329207e-05,4.338976e-05,4.343527e-05,4.347658e-05,4.352475e-05,4.353401e-05,4.356464e-05,4.356663e-05,4.357089e-05,4.356650e-05,4.355498e-05,4.352935e-05,4.351897e-05,4.346475e-05,4.345968e-05,4.339406e-05,4.336153e-05,4.330848e-05,4.323848e-05,4.320948e-05,4.309840e-05,4.309372e-05,4.297644e-05,4.293010e-05,4.284474e-05,4.275013e-05,4.270430e-05,4.255607e-05,4.240089e-05,4.234989e-05,4.223954e-05,4.213336e-05,4.207273e-05,4.190805e-05,4.190110e-05,4.172526e-05,4.167534e-05,4.154574e-05,4.143647e-05,4.136304e-05,4.119252e-05,4.117760e-05,4.098984e-05,4.094448e-05,4.080015e-05,4.069320e-05,4.060885e-05,4.043945e-05,4.041629e-05,4.022273e-05,4.018392e-05,4.002845e-05,3.992722e-05,3.983369e-05,3.966989e-05,3.963867e-05,3.944360e-05,3.941240e-05,3.924867e-05,3.915519e-05,3.905403e-05,3.889865e-05,3.885986e-05,3.866630e-05,3.864312e-05,3.847347e-05,3.838889e-05,3.828150e-05,3.813624e-05,3.809049e-05,3.790055e-05,3.788540e-05,3.771176e-05,3.763659e-05,3.752421e-05,3.738998e-05,3.733797e-05,3.715311e-05,3.714575e-05,3.696970e-05,3.690403e-05,3.678778e-05,3.666496e-05,3.660741e-05,3.642864e-05,3.619517e-05,3.596463e-05,3.573709e-05,3.551261e-05,3.529124e-05,3.507301e-05,3.485796e-05,3.464611e-05,3.443748e-05,3.423207e-05,3.402991e-05,3.383098e-05,3.363528e-05,3.344280e-05,3.325353e-05,3.306746e-05,3.288456e-05,3.270482e-05,3.252820e-05,3.235469e-05,3.218426e-05,3.201687e-05,3.185249e-05,3.169109e-05
0.000000e+00,1.169111e-10,2.914842e-10,1.094970e-09,2.592060e-09,3.835181e-09,8.896281e-09,9.169401e-09,1.788175e-08,2.103026e-08,3.073151e-08,4.073960e-08,4.846808e-08,6.972289e-08,7.181216e-08,1.013539e-07,1.094057e-07,1.373704e-07,1.603359e-07,1.797403e-07,2.219788e-07,2.280794e-07,2.819224e-07,2.933101e-07,3.407996e-07,3.732495e-07,4.042407e-07,4.607041e-07,4.717608e-07,5.428518e-07,5.545225e-07,6.169821e-07,6.534833e-07,6.936022e-07,7.563163e-07,7.721546e-07,8.520842e-07,8.617424e-07,9.328497e-07,9.685168e-07,1.013933e-06,1.075469e-06,1.094848e-06,1.175147e-06,1.181532e-06,1.254425e-06,1.285768e-06,1.332321e-06,1.387372e-06,1.408521e-06,1.482758e-06,1.485683e-06,1.554806e-06,1.580171e-06,1.624483e-06,1.670435e-06,1.691645e-06,1.756183e-06,1.818020e-06,1.837228e-06,1.877106e-06,1.913465e-06,1.933417e-06,1.984860e-06,1.986949e-06,2.037717e-06,2.051441e-06,2.085752e-06,2.113279e-06,2.131097e-06,2.170485e-06,2.173806e-06,2.213940e-06,2.223197e-06,2.251569e-06,2.271574e-06,2.286767e-06,2.315792e-06,2.319611e-06,2.350183e-06,2.356032e-06,2.378565e-06,2.392486e-06,2.404840e-06,2.425344e-06,2.429092e-06,2.451403e-06,2.454798e-06,2.471857e-06,2.481038e-06,2.490534e-06,2.504250e-06,2.507514e-06,2.522876e-06,2.524614e-06,2.536695e-06,2.542305e-06,2.549045e-06,2.557493e-06,2.559999e-06,2.569625e-06,2.570340e-06,2.577992e-06,2.581001e-06,2.585164e-06,2.589624e-06,2.591205e-06,2.596174e-06,2.596351e-06,2.600129e-06,2.601316e-06,2.603127e-06,2.604646e-06,2.605221e-06,2.606463e-06,2.606902e-06,2.606880e-06,2.606585e-06,2.606006e-06,2.605557e-06,2.603942e-06,2.603862e-06,2.601541e-06,2.600784e-06,2.598634e-06,2.596623e-06,2.595178e-06,2.591544e-06,2.591209e-06,2.586762e-06,2.585627e-06,2.581869e-06,2.578946e-06,2.576562e-06,2.571573e-06,2.570870e-06,2.564822e-06,2.563572e-06,2.558445e-06,2.555007e-06,2.551764e-06,2.545934e-06,2.544803e-06,2.537585e-06,2.536408e-06,2.530133e-06,2.526479e-06,2.522468e-06,2.516195e-06,2.514608e-06,2.506573e-06,2.505598e-06,2.498381e-06,2.494731e-06,2.490048e-06,2.483631e-06,2.481590e-06,2.473022e-06,2.472332e-06,2.464359e-06,2.460870e-06,2.455613e-06,2.449272e-06,2.446798e-06,2.437925e-06,2.437569e-06,2.429006e-06,2.425785e-06,2.420051e-06,2.413946e-06,2.411070e-06,2.402073e-06,2.390186e-06,2.378305e-06,2.366448e-06,2.354628e-06,2.342863e-06,2.331163e-06,2.319543e-06,2.308012e-06,2.296580e-06,2.285258e-06,2.274051e-06,2.262969e-06,2.252017e-06,2.241200e-06,2.230525e-06,2.219996e-06,2.209615e-06,2.199387e-06,2.189315e-06,2.179400e-06,2.169644e-06,2.160050e-06,2.150617e-06,2.141348e-06
0.000000e+00,1.644499e-11,6.359007e-11,3.992811e-10,1.216863e-09,1.980608e-09,5.443464e-09,5.640408e-09,1.222161e-08,1.470131e-08,2.256034e-08,3.092438e-08,3.751938e-08,5.613366e-08,5.799586e-08,8.484746e-08,9.231785e-08,1.186961e-07,1.407986e-07,1.597366e-07,2.016494e-07,2.077707e-07,2.624148e-07,2.741004e-07,3.232587e-07,3.572175e-07,3.899124e-07,4.501145e-07,4.619973e-07,5.391250e-07,5.519063e-07,6.208827e-07,6.616418e-07,7.068263e-07,7.782765e-07,7.964804e-07,8.893425e-07,9.006769e-07,9.848909e-07,1.027646e-06,1.082593e-06,1.157960e-06,1.181917e-06,1.282338e-06,1.290403e-06,1.383348e-06,1.423808e-06,1.484464e-06,1.557077e-06,1.585233e-06,1.685240e-06,1.689219e-06,1.784107e-06,1.819353e-06,1.881494e-06,1.946721e-06,1.977107e-06,2.070689e-06,2.162024e-06,2.190746e-06,2.250932e-06,2.306491e-06,2.337269e-06,2.417630e-06,2.420923e-06,2.501814e-06,2.523959e-06,2.579884e-06,2.625359e-06,2.655103e-06,2.721776e-06,2.727459e-06,2.796958e-06,2.813215e-06,2.863624e-06,2.899731e-06,2.927491e-06,2.981415e-06,2.988605e-06,3.047021e-06,3.058386e-06,3.102802e-06,3.130789e-06,3.156016e-06,3.198784e-06,3.206734e-06,3.255033e-06,3.262541e-06,3.300988e-06,3.322238e-06,3.344680e-06,3.378057e-06,3.386187e-06,3.425589e-06,3.430180e-06,3.462964e-06,3.478787e-06,3.498390e-06,3.524057e-06,3.531942e-06,3.563696e-06,3.566161e-06,3.593725e-06,3.605269e-06,3.622098e-06,3.641541e-06,3.648886e-06,3.674153e-06,3.675133e-06,3.697966e-06,3.706194e-06,3.720385e-06,3.734865e-06,3.741471e-06,3.761281e-06,3.779871e-06,3.785570e-06,3.797293e-06,3.807854e-06,3.813599e-06,3.828248e-06,3.828837e-06,3.843055e-06,3.846860e-06,3.856298e-06,3.863794e-06,3.868609e-06,3.879146e-06,3.880028e-06,3.890596e-06,3.893010e-06,3.900350e-06,3.905470e-06,3.909326e-06,3.916610e-06,3.917560e-06,3.925083e-06,3.926505e-06,3.931928e-06,3.935230e-06,3.938125e-06,3.942851e-06,3.943703e-06,3.948690e-06,3.949434e-06,3.953111e-06,3.955040e-06,3.956993e-06,3.959726e-06,3.960359e-06,3.963233e-06,3.963546e-06,3.965637e-06,3.966552e-06,3.967592e-06,3.968790e-06,3.969118e-06,3.970235e-06,3.970307e-06,3.970961e-06,3.971146e-06,3.971314e-06,3.971347e-06,3.971311e-06,3.970968e-06,3.970947e-06,3.970301e-06,3.969984e-06,3.969324e-06,3.968490e-06,3.968052e-06,3.966499e-06,3.964039e-06,3.961141e-06,3.957830e-06,3.954133e-06,3.950073e-06,3.945673e-06,3.940956e-06,3.935940e-06,3.930647e-06,3.925093e-06,3.919297e-06,3.913275e-06,3.907042e-06,3.900612e-06,3.894001e-06,3.887221e-06,3.880284e-06,3.873202e-06,3.865988e-06,3.858650e-06,3.851200e-06,3.843648e-06,3.836001e-06,3.828269e-06
0.000000e+00,2.962050e-12,6.789513e-12,2.334118e-11,5.299718e-11,7.718939e-11,1.740270e-10,1.792066e-10,3.430401e-10,4.017562e-10,5.815213e-10,7.655053e-10,9.067415e-10,1.292152e-09,1.329840e-09,1.860339e-09,2.004459e-09,2.504830e-09,2.916440e-09,3.265040e-09,4.026004e-09,4.136041e-09,5.106142e-09,5.310674e-09,6.159188e-09,6.733754e-09,7.277789e-09,8.256050e-09,8.445583e-09,9.648095e-09,9.842852e-09,1.087271e-08,1.146511e-08,1.210848e-08,1.309867e-08,1.334586e-08,1.457658e-08,1.472348e-08,1.579355e-08,1.632307e-08,1.699075e-08,1.788428e-08,1.816318e-08,1.930677e-08,1.939691e-08,2.041831e-08,2.085337e-08,2.149534e-08,2.224843e-08,2.253610e-08,2.353936e-08,2.357870e-08,2.450439e-08,2.484237e-08,2.543088e-08,2.603889e-08,2.631887e-08,2.716864e-08,2.798073e-08,2.823275e-08,2.875584e-08,2.923288e-08,2.949480e-08,3.017106e-08,3.019855e-08,3.086809e-08,3.104957e-08,3.150447e-08,3.187085e-08,3.210880e-08,3.263742e-08,3.268217e-08,3.322571e-08,3.335184e-08,3.374050e-08,3.401664e-08,3.422765e-08,3.463433e-08,3.468823e-08,3.512329e-08,3.520733e-08,3.553385e-08,3.573800e-08,3.592092e-08,3.622862e-08,3.628547e-08,3.662844e-08,3.668137e-08,3.695073e-08,3.709835e-08,3.725323e-08,3.748154e-08,3.753677e-08,3.780217e-08,3.783284e-08,3.805022e-08,3.815406e-08,3.828167e-08,3.844692e-08,3.849725e-08,3.869764e-08,3.871304e-08,3.888353e-08,3.895396e-08,3.905554e-08,3.917115e-08,3.921430e-08,3.936039e-08,3.936598e-08,3.949438e-08,3.953976e-08,3.961682e-08,3.969373e-08,3.972821e-08,3.982906e-08,3.991984e-08,3.994684e-08,4.000101e-08,4.004811e-08,4.007300e-08,4.013387e-08,4.013624e-08,4.019112e-08,4.020504e-08,4.023802e-08,4.026249e-08,4.027732e-08,4.030705e-08,4.030936e-08,4.033447e-08,4.033951e-08,4.035299e-08,4.036059e-08,4.036521e-08,4.037099e-08,4.037143e-08,4.037193e-08,4.037137e-08,4.036699e-08,4.036235e-08,4.035685e-08,4.034451e-08,4.034177e-08,4.032198e-08,4.031839e-08,4.029771e-08,4.028454e-08,4.026918e-08,4.024342e-08,4.023659e-08,4.020013e-08,4.019551e-08,4.016001e-08,4.014124e-08,4.011640e-08,4.008103e-08,4.006948e-08,4.001941e-08,4.001527e-08,3.996634e-08,3.994432e-08,3.991045e-08,3.986853e-08,3.985186e-08,3.979073e-08,3.978823e-08,3.972718e-08,3.970374e-08,3.966135e-08,3.961534e-08,3.959335e-08,3.952331e-08,3.942791e-08,3.932939e-08,3.922798e-08,3.912391e-08,3.901739e-08,3.890860e-08,3.879774e-08,3.868498e-08,3.857050e-08,3.845444e-08,3.833695e-08,3.821819e-08,3.809827e-08,3.797734e-08,3.785549e-08,3.773286e-08,3.760954e-08,3.748564e-08,3.736124e-08,3.723645e-08,3.711134e-08,3.698600e-08,3.686049e-08,3.673490e-08
0.000000e+00,1.171313e-11,6.570465e-11,7.707105e-10,3.617454e-09,7.147431e-09,2.915260e-08,3.061529e-08,8.767599e-08,1.122461e-07,1.975649e-07,2.975605e-07,3.814047e-07,6.356486e-07,6.622535e-07,1.063794e-06,1.180460e-06,1.605321e-06,1.973289e-06,2.294799e-06,3.019268e-06,3.126004e-06,4.082143e-06,4.286517e-06,5.142073e-06,5.727246e-06,6.284926e-06,7.295291e-06,7.492055e-06,8.747167e-06,8.951448e-06,1.003575e-05,1.066221e-05,1.134450e-05,1.239766e-05,1.266101e-05,1.397355e-05,1.413027e-05,1.527121e-05,1.583482e-05,1.654389e-05,1.748883e-05,1.778256e-05,1.897927e-05,1.907299e-05,2.012730e-05,2.057161e-05,2.122117e-05,2.197279e-05,2.225665e-05,2.323070e-05,2.326835e-05,2.414140e-05,2.445353e-05,2.498780e-05,2.552658e-05,2.576987e-05,2.648832e-05,2.714448e-05,2.734158e-05,2.774017e-05,2.809068e-05,2.827760e-05,2.874105e-05,2.875929e-05,2.918796e-05,2.929888e-05,2.956650e-05,2.977078e-05,2.989785e-05,3.016354e-05,3.018495e-05,3.043076e-05,3.048392e-05,3.063812e-05,3.073850e-05,3.080983e-05,3.093356e-05,3.094855e-05,3.105684e-05,3.107507e-05,3.113713e-05,3.116858e-05,3.119170e-05,3.121926e-05,3.122273e-05,3.123221e-05,3.123186e-05,3.122204e-05,3.121070e-05,3.119398e-05,3.115976e-05,3.114967e-05,3.109061e-05,3.108260e-05,3.101823e-05,3.098249e-05,3.093381e-05,3.086236e-05,3.083858e-05,3.073362e-05,3.072483e-05,3.061996e-05,3.057227e-05,3.049854e-05,3.040680e-05,3.037023e-05,3.023581e-05,3.023031e-05,3.009601e-05,3.004450e-05,2.995151e-05,2.985088e-05,2.980292e-05,2.965080e-05,2.949567e-05,2.944546e-05,2.933799e-05,2.923594e-05,2.917820e-05,2.902319e-05,2.901670e-05,2.885384e-05,2.880805e-05,2.868996e-05,2.859126e-05,2.852535e-05,2.837351e-05,2.836030e-05,2.819504e-05,2.815537e-05,2.802981e-05,2.793737e-05,2.786481e-05,2.771996e-05,2.770024e-05,2.753626e-05,2.750355e-05,2.737303e-05,2.728849e-05,2.721068e-05,2.707508e-05,2.704934e-05,2.688913e-05,2.686361e-05,2.673015e-05,2.665430e-05,2.657249e-05,2.644736e-05,2.641623e-05,2.626144e-05,2.624297e-05,2.610819e-05,2.604126e-05,2.595653e-05,2.584237e-05,2.580652e-05,2.565820e-05,2.564641e-05,2.551160e-05,2.545346e-05,2.536677e-05,2.526359e-05,2.522372e-05,2.508248e-05,2.507686e-05,2.494306e-05,2.489332e-05,2.480549e-05,2.471300e-05,2.466977e-05,2.453592e-05,2.436209e-05,2.419151e-05,2.402419e-05,2.386011e-05,2.369926e-05,2.354162e-05,2.338716e-05,2.323585e-05,2.308767e-05,2.294258e-05,2.280054e-05,2.266151e-05,2.252544e-05,2.239230e-05,2.226204e-05,2.213461e-05,2.200997e-05,2.188807e-05,2.176885e-05,2.165228e-05,2.153830e-05,2.142687e-05,2.131793e-05,2.121143e-05
0.000000e+00,1.454127e-12,9.312035e-12,1.424618e-10,8.424933e-10,1.881154e-09,1.036535e-08,1.101435e-08,4.157865e-08,5.717417e-08,1.196457e-07,2.059055e-07,2.870088e-07,5.720826e-07,6.048613e-07,1.155806e-06,1.333620e-06,2.040137e-06,2.720778e-06,3.363965e-06,4.968860e-06,5.222792e-06,7.687411e-06,8.257026e-06,1.079656e-05,1.267133e-05,1.455661e-05,1.820305e-05,1.894613e-05,2.392255e-05,2.476959e-05,2.942901e-05,3.224136e-05,3.540007e-05,4.046475e-05,4.176619e-05,4.845676e-05,4.927811e-05,5.540223e-05,5.852157e-05,6.253541e-05,6.804272e-05,6.979241e-05,7.711322e-05,7.769994e-05,8.444216e-05,8.736443e-05,9.172824e-05,9.692163e-05,9.892542e-05,1.059928e-04,1.062723e-04,1.128946e-04,1.153327e-04,1.196003e-04,1.240349e-04,1.260843e-04,1.323259e-04,1.383088e-04,1.401666e-04,1.440210e-04,1.475306e-04,1.494540e-04,1.544025e-04,1.546029e-04,1.594658e-04,1.607762e-04,1.640432e-04,1.666536e-04,1.683377e-04,1.720427e-04,1.723539e-04,1.760977e-04,1.769565e-04,1.795763e-04,1.814114e-04,1.827977e-04,1.854268e-04,1.857707e-04,1.885045e-04,1.890234e-04,1.910088e-04,1.922235e-04,1.932932e-04,1.950494e-04,1.953676e-04,1.972418e-04,1.975238e-04,1.989257e-04,1.996691e-04,2.004286e-04,2.015070e-04,2.017600e-04,2.029289e-04,2.030587e-04,2.039443e-04,2.043446e-04,2.048146e-04,2.053840e-04,2.055480e-04,2.061524e-04,2.061955e-04,2.066356e-04,2.067965e-04,2.070046e-04,2.072036e-04,2.072666e-04,2.074280e-04,2.074325e-04,2.074954e-04,2.074977e-04,2.074746e-04,2.074131e-04,2.073715e-04,2.071915e-04,2.069398e-04,2.068449e-04,2.066214e-04,2.063847e-04,2.062409e-04,2.058213e-04,2.058028e-04,2.053112e-04,2.051646e-04,2.047703e-04,2.044235e-04,2.041836e-04,2.036067e-04,2.035549e-04,2.028875e-04,2.027219e-04,2.021845e-04,2.017764e-04,2.014490e-04,2.007771e-04,2.006838e-04,1.998916e-04,1.997302e-04,1.990750e-04,1.986414e-04,1.982362e-04,1.975163e-04,1.973777e-04,1.965013e-04,1.963596e-04,1.956093e-04,1.951761e-04,1.947034e-04,1.939699e-04,1.937854e-04,1.928569e-04,1.927448e-04,1.919195e-04,1.915046e-04,1.909746e-04,1.902523e-04,1.900236e-04,1.890678e-04,1.889912e-04,1.881084e-04,1.877238e-04,1.871464e-04,1.864528e-04,1.861830e-04,1.852190e-04,1.851805e-04,1.842555e-04,1.839089e-04,1.832932e-04,1.826400e-04,1.823330e-04,1.813755e-04,1.801170e-04,1.788659e-04,1.776236e-04,1.763911e-04,1.751696e-04,1.739599e-04,1.727629e-04,1.715793e-04,1.704097e-04,1.692548e-04,1.681151e-04,1.669908e-04,1.658825e-04,1.647904e-04,1.637148e-04,1.626558e-04,1.616136e-04,1.605883e-04,1.595801e-04,1.585889e-04,1.576147e-04,1.566576e-04,1.557175e-04,1.547943e-04
0.000000e+00,4.534354e-13,2.936765e-12,4.597359e-11,2.773653e-10,6.257891e-10,3.532945e-09,3.757498e-09,1.445271e-08,1.995208e-08,4.205755e-08,7.258501e-08,1.012037e-07,2.009729e-07,2.123673e-07,4.021444e-07,4.628994e-07,7.032677e-07,9.346361e-07,1.154096e-06,1.708278e-06,1.797019e-06,2.675415e-06,2.882999e-06,3.829571e-06,4.550098e-06,5.292651e-06,6.777617e-06,7.087770e-06,9.226606e-06,9.600892e-06,1.170953e-05,1.302103e-05,1.452679e-05,1.700933e-05,1.766021e-05,2.108514e-05,2.151436e-05,2.477225e-05,2.646935e-05,2.868909e-05,3.179849e-05,3.280140e-05,3.707419e-05,3.742189e-05,4.147246e-05,4.325919e-05,4.596194e-05,4.923221e-05,5.050955e-05,5.508383e-05,5.526693e-05,5.965526e-05,6.129495e-05,6.419652e-05,6.725451e-05,6.868266e-05,7.309126e-05,7.740248e-05,7.875861e-05,8.159907e-05,8.421785e-05,8.566636e-05,8.943799e-05,8.959218e-05,9.336671e-05,9.439538e-05,9.698238e-05,9.907317e-05,1.004337e-04,1.034606e-04,1.037171e-04,1.068305e-04,1.075524e-04,1.097737e-04,1.113477e-04,1.125474e-04,1.148497e-04,1.151537e-04,1.175955e-04,1.180645e-04,1.198767e-04,1.210008e-04,1.220015e-04,1.236692e-04,1.239750e-04,1.258022e-04,1.260814e-04,1.274888e-04,1.282501e-04,1.290405e-04,1.301887e-04,1.304631e-04,1.317625e-04,1.319104e-04,1.329444e-04,1.334287e-04,1.340146e-04,1.347567e-04,1.349788e-04,1.358424e-04,1.359073e-04,1.366109e-04,1.368928e-04,1.372893e-04,1.377248e-04,1.378827e-04,1.383959e-04,1.384148e-04,1.388335e-04,1.389733e-04,1.391998e-04,1.394103e-04,1.394990e-04,1.397352e-04,1.399122e-04,1.399569e-04,1.400335e-04,1.400835e-04,1.401026e-04,1.401228e-04,1.401227e-04,1.400969e-04,1.400819e-04,1.400282e-04,1.399675e-04,1.399193e-04,1.397858e-04,1.397727e-04,1.395911e-04,1.395425e-04,1.393766e-04,1.392430e-04,1.391315e-04,1.388921e-04,1.388579e-04,1.385577e-04,1.384946e-04,1.382328e-04,1.380546e-04,1.378849e-04,1.375761e-04,1.375157e-04,1.371267e-04,1.370627e-04,1.367194e-04,1.365178e-04,1.362952e-04,1.359445e-04,1.358553e-04,1.354011e-04,1.353456e-04,1.349336e-04,1.347240e-04,1.344539e-04,1.340819e-04,1.339632e-04,1.334622e-04,1.334217e-04,1.329521e-04,1.327456e-04,1.324335e-04,1.320554e-04,1.319074e-04,1.313744e-04,1.313530e-04,1.308354e-04,1.306399e-04,1.302909e-04,1.299179e-04,1.297416e-04,1.291882e-04,1.284522e-04,1.277111e-04,1.269660e-04,1.262179e-04,1.254678e-04,1.247166e-04,1.239650e-04,1.232138e-04,1.224637e-04,1.217152e-04,1.209691e-04,1.202257e-04,1.194856e-04,1.187492e-04,1.180169e-04,1.172891e-04,1.165662e-04,1.158483e-04,1.151358e-04,1.144290e-04,1.137280e-04,1.130330e-04,1.123443e-04,1.116620e-04
0.000000e+00,2.635290e-13,1.717865e-12,2.725004e-11,1.663691e-10,3.777921e-10,2.168190e-09,2.307522e-09,9.017472e-09,1.250135e-08,2.662762e-08,4.633242e-08,6.493650e-08,1.303960e-07,1.379149e-07,2.639629e-07,3.045595e-07,4.659478e-07,6.221635e-07,7.709363e-07,1.148661e-06,1.209381e-06,1.813442e-06,1.956927e-06,2.614329e-06,3.117796e-06,3.639033e-06,4.687382e-06,4.907183e-06,6.428768e-06,6.695848e-06,8.203158e-06,9.141805e-06,1.021938e-05,1.199329e-05,1.245742e-05,1.489011e-05,1.519362e-05,1.748525e-05,1.866958e-05,2.020772e-05,2.233968e-05,2.302133e-05,2.589037e-05,2.612125e-05,2.878079e-05,2.993578e-05,3.166107e-05,3.371250e-05,3.450278e-05,3.728095e-05,3.739044e-05,3.997417e-05,4.091939e-05,4.256458e-05,4.425985e-05,4.503778e-05,4.738259e-05,4.959082e-05,5.026764e-05,5.165698e-05,5.290324e-05,5.357798e-05,5.528463e-05,5.535282e-05,5.698231e-05,5.741280e-05,5.846875e-05,5.929339e-05,5.981571e-05,6.093562e-05,6.102773e-05,6.211016e-05,6.235131e-05,6.306891e-05,6.355413e-05,6.391029e-05,6.455885e-05,6.464089e-05,6.526740e-05,6.538080e-05,6.579654e-05,6.603543e-05,6.623498e-05,6.653793e-05,6.658922e-05,6.686558e-05,6.690298e-05,6.707015e-05,6.714456e-05,6.720874e-05,6.727584e-05,6.728689e-05,6.730981e-05,6.730908e-05,6.728243e-05,6.725565e-05,6.720937e-05,6.712595e-05,6.709493e-05,6.694314e-05,6.692949e-05,6.675771e-05,6.667490e-05,6.654210e-05,6.636998e-05,6.629951e-05,6.603289e-05,6.602176e-05,6.574495e-05,6.563656e-05,6.543820e-05,6.522003e-05,6.511492e-05,6.477721e-05,6.442701e-05,6.431259e-05,6.406606e-05,6.383016e-05,6.369597e-05,6.333346e-05,6.331822e-05,6.293413e-05,6.282562e-05,6.254493e-05,6.230941e-05,6.215171e-05,6.178727e-05,6.175548e-05,6.135716e-05,6.126134e-05,6.095756e-05,6.073351e-05,6.055743e-05,6.020543e-05,6.015747e-05,5.975826e-05,5.967855e-05,5.936036e-05,5.915413e-05,5.896426e-05,5.863326e-05,5.857041e-05,5.817919e-05,5.811687e-05,5.779097e-05,5.760578e-05,5.740605e-05,5.710069e-05,5.702472e-05,5.664722e-05,5.660218e-05,5.627376e-05,5.611077e-05,5.590454e-05,5.562687e-05,5.553972e-05,5.517944e-05,5.515082e-05,5.482383e-05,5.468292e-05,5.447299e-05,5.422338e-05,5.412700e-05,5.378593e-05,5.377239e-05,5.344984e-05,5.333008e-05,5.311878e-05,5.289654e-05,5.279277e-05,5.247183e-05,5.205597e-05,5.164898e-05,5.125083e-05,5.086148e-05,5.048087e-05,5.010891e-05,4.974554e-05,4.939064e-05,4.904410e-05,4.870581e-05,4.837564e-05,4.805346e-05,4.773914e-05,4.743253e-05,4.713349e-05,4.684187e-05,4.655753e-05,4.628032e-05,4.601008e-05,4.574667e-05,4.548995e-05,4.523975e-05,4.499593e-05,4.475835e-05
0.000000e+00,1.332614e-12,8.097626e-12,1.112336e-10,5.969773e-10,1.264233e-09,6.079189e-09,6.424153e-09,2.117584e-08,2.805628e-08,5.342176e-08,8.505804e-08,1.126109e-07,1.996214e-07,2.089384e-07,3.527279e-07,3.954253e-07,5.540185e-07,6.954172e-07,8.222761e-07,1.120602e-06,1.166111e-06,1.592879e-06,1.688710e-06,2.108083e-06,2.412015e-06,2.714575e-06,3.294250e-06,3.411753e-06,4.195055e-06,4.327861e-06,5.056026e-06,5.493557e-06,5.983034e-06,6.763040e-06,6.962412e-06,7.979678e-06,8.103611e-06,9.020588e-06,9.482614e-06,1.007188e-05,1.087044e-05,1.112168e-05,1.215971e-05,1.224198e-05,1.317725e-05,1.357687e-05,1.416708e-05,1.485925e-05,1.512333e-05,1.604136e-05,1.607723e-05,1.691762e-05,1.722232e-05,1.774950e-05,1.828892e-05,1.853526e-05,1.927387e-05,1.996493e-05,2.017604e-05,2.060859e-05,2.099591e-05,2.120544e-05,2.173526e-05,2.175644e-05,2.226286e-05,2.239686e-05,2.272619e-05,2.298421e-05,2.314812e-05,2.350128e-05,2.353045e-05,2.387507e-05,2.395238e-05,2.418392e-05,2.434198e-05,2.445895e-05,2.467455e-05,2.470211e-05,2.491532e-05,2.495454e-05,2.510047e-05,2.518626e-05,2.525936e-05,2.537384e-05,2.539377e-05,2.550538e-05,2.552123e-05,2.559580e-05,2.563212e-05,2.566655e-05,2.570998e-05,2.571910e-05,2.575483e-05,2.575805e-05,2.577502e-05,2.577930e-05,2.578090e-05,2.577651e-05,2.577362e-05,2.575426e-05,2.575222e-05,2.572381e-05,2.570875e-05,2.568324e-05,2.564824e-05,2.563341e-05,2.557515e-05,2.557265e-05,2.550923e-05,2.548376e-05,2.543635e-05,2.538317e-05,2.535720e-05,2.527238e-05,2.518247e-05,2.515271e-05,2.508800e-05,2.502538e-05,2.498947e-05,2.489149e-05,2.488734e-05,2.478203e-05,2.475203e-05,2.467394e-05,2.460791e-05,2.456344e-05,2.445994e-05,2.445086e-05,2.433652e-05,2.430885e-05,2.422070e-05,2.415529e-05,2.410367e-05,2.399988e-05,2.398567e-05,2.386694e-05,2.384313e-05,2.374768e-05,2.368552e-05,2.362809e-05,2.352750e-05,2.350833e-05,2.338857e-05,2.336942e-05,2.326897e-05,2.321165e-05,2.314965e-05,2.305448e-05,2.303074e-05,2.291235e-05,2.289819e-05,2.279459e-05,2.274300e-05,2.267756e-05,2.258915e-05,2.256133e-05,2.244598e-05,2.243680e-05,2.233159e-05,2.228612e-05,2.221822e-05,2.213725e-05,2.210592e-05,2.199474e-05,2.199032e-05,2.188474e-05,2.184543e-05,2.177594e-05,2.170266e-05,2.166838e-05,2.156210e-05,2.142381e-05,2.128784e-05,2.115422e-05,2.102300e-05,2.089419e-05,2.076781e-05,2.064386e-05,2.052236e-05,2.040330e-05,2.028667e-05,2.017246e-05,2.006065e-05,1.995123e-05,1.984418e-05,1.973946e-05,1.963705e-05,1.953693e-05,1.943906e-05,1.934341e-05,1.924995e-05,1.915864e-05,1.906945e-05,1.898234e-05,1.889728e-05
0.000000e+00,5.162374e-11,1.307853e-10,4.982274e-10,1.186662e-09,1.761316e-09,4.133075e-09,4.262639e-09,8.484052e-09,1.005161e-08,1.501508e-08,2.032830e-08,2.454657e-08,3.652867e-08,3.772768e-08,5.481858e-08,5.946732e-08,7.537052e-08,8.802989e-08,9.839531e-08,1.198787e-07,1.228621e-07,1.479804e-07,1.530311e-07,1.732090e-07,1.862437e-07,1.981775e-07,2.187532e-07,2.226196e-07,2.463326e-07,2.500478e-07,2.691566e-07,2.797583e-07,2.909658e-07,3.076161e-07,3.116627e-07,3.311765e-07,3.334362e-07,3.494609e-07,3.571097e-07,3.664921e-07,3.785945e-07,3.822660e-07,3.967959e-07,3.979053e-07,4.101090e-07,4.151018e-07,4.222431e-07,4.302753e-07,4.332446e-07,4.431679e-07,4.435432e-07,4.520710e-07,4.550380e-07,4.600145e-07,4.648991e-07,4.670595e-07,4.732671e-07,4.786969e-07,4.802796e-07,4.834066e-07,4.860686e-07,4.874517e-07,4.907586e-07,4.908848e-07,4.937557e-07,4.944652e-07,4.961111e-07,4.972951e-07,4.979945e-07,4.993457e-07,4.994469e-07,5.005059e-07,5.007055e-07,5.012065e-07,5.014545e-07,5.015812e-07,5.016649e-07,5.016596e-07,5.014695e-07,5.014015e-07,5.010360e-07,5.007223e-07,5.003826e-07,4.996793e-07,4.995304e-07,4.984992e-07,4.983188e-07,4.973070e-07,4.966824e-07,4.959702e-07,4.948069e-07,4.945040e-07,4.929222e-07,4.927253e-07,4.912376e-07,4.904668e-07,4.894617e-07,4.880575e-07,4.876051e-07,4.856777e-07,4.855207e-07,4.836884e-07,4.828771e-07,4.816452e-07,4.801450e-07,4.795557e-07,4.774266e-07,4.773407e-07,4.752643e-07,4.744788e-07,4.730743e-07,4.715721e-07,4.708620e-07,4.686321e-07,4.663890e-07,4.656690e-07,4.641365e-07,4.626918e-07,4.618784e-07,4.597084e-07,4.596179e-07,4.573581e-07,4.567258e-07,4.551016e-07,4.537504e-07,4.528510e-07,4.507876e-07,4.506086e-07,4.483763e-07,4.478422e-07,4.461560e-07,4.449186e-07,4.439495e-07,4.420203e-07,4.417582e-07,4.395835e-07,4.391507e-07,4.374267e-07,4.363126e-07,4.352889e-07,4.335084e-07,4.331709e-07,4.310739e-07,4.307403e-07,4.289984e-07,4.280100e-07,4.269452e-07,4.253191e-07,4.249149e-07,4.229081e-07,4.226689e-07,4.209252e-07,4.200604e-07,4.189666e-07,4.174945e-07,4.170326e-07,4.151236e-07,4.149719e-07,4.132396e-07,4.124932e-07,4.113810e-07,4.100586e-07,4.095479e-07,4.077403e-07,4.076685e-07,4.059583e-07,4.053231e-07,4.042020e-07,4.030223e-07,4.024713e-07,4.007662e-07,3.985546e-07,3.963873e-07,3.942641e-07,3.921846e-07,3.901485e-07,3.881553e-07,3.862046e-07,3.842959e-07,3.824287e-07,3.806025e-07,3.788166e-07,3.770706e-07,3.753637e-07,3.736954e-07,3.720651e-07,3.704721e-07,3.689158e-07,3.673955e-07,3.659105e-07,3.644603e-07,3.630441e-07,3.616614e-07,3.603114e-07,3.589936e-07
0.000000e+00,9.756896e-13,6.304589e-12,9.822760e-11,5.901764e-10,1.328674e-09,7.462676e-09,7.935467e-09,3.039254e-08,4.191518e-08,8.816119e-08,1.519370e-07,2.116802e-07,4.198004e-07,4.435592e-07,8.390196e-07,9.655105e-07,1.465286e-06,1.945151e-06,2.399071e-06,3.539391e-06,3.721172e-06,5.508305e-06,5.927454e-06,7.824017e-06,9.252308e-06,1.071129e-05,1.359256e-05,1.418861e-05,1.824975e-05,1.895210e-05,2.286646e-05,2.526690e-05,2.799291e-05,3.242213e-05,3.357069e-05,3.953363e-05,4.027177e-05,4.581199e-05,4.865631e-05,5.233581e-05,5.741633e-05,5.903747e-05,6.585344e-05,6.640188e-05,7.272554e-05,7.547818e-05,7.960151e-05,8.452854e-05,8.643537e-05,9.318739e-05,9.345527e-05,9.982388e-05,1.021792e-04,1.063169e-04,1.106383e-04,1.126436e-04,1.187861e-04,1.247307e-04,1.265894e-04,1.304673e-04,1.340263e-04,1.359891e-04,1.410842e-04,1.412921e-04,1.463746e-04,1.477581e-04,1.512367e-04,1.540490e-04,1.558804e-04,1.599622e-04,1.603086e-04,1.645256e-04,1.655068e-04,1.685362e-04,1.706940e-04,1.723459e-04,1.755369e-04,1.759606e-04,1.793868e-04,1.800500e-04,1.826308e-04,1.842479e-04,1.856993e-04,1.881461e-04,1.885989e-04,1.913363e-04,1.917596e-04,1.939179e-04,1.951036e-04,1.963502e-04,1.981928e-04,1.986395e-04,2.007921e-04,2.010415e-04,2.028138e-04,2.036634e-04,2.047105e-04,2.060719e-04,2.064879e-04,2.081514e-04,2.082797e-04,2.097061e-04,2.102988e-04,2.111573e-04,2.121407e-04,2.125097e-04,2.137680e-04,2.138165e-04,2.149368e-04,2.153364e-04,2.160202e-04,2.167104e-04,2.170225e-04,2.179476e-04,2.187994e-04,2.190570e-04,2.195813e-04,2.200468e-04,2.202970e-04,2.209248e-04,2.209497e-04,2.215427e-04,2.216984e-04,2.220789e-04,2.223746e-04,2.225612e-04,2.229599e-04,2.229925e-04,2.233754e-04,2.234604e-04,2.237124e-04,2.238820e-04,2.240060e-04,2.242301e-04,2.242583e-04,2.244717e-04,2.245099e-04,2.246482e-04,2.247261e-04,2.247899e-04,2.248834e-04,2.248986e-04,2.249762e-04,2.249859e-04,2.250244e-04,2.250376e-04,2.250448e-04,2.250423e-04,2.250391e-04,2.250087e-04,2.250035e-04,2.249551e-04,2.249245e-04,2.248796e-04,2.248085e-04,2.247836e-04,2.246682e-04,2.246582e-04,2.245347e-04,2.244765e-04,2.243842e-04,2.242659e-04,2.242177e-04,2.240363e-04,2.240287e-04,2.238409e-04,2.237673e-04,2.236325e-04,2.234837e-04,2.234119e-04,2.231799e-04,2.228578e-04,2.225190e-04,2.221651e-04,2.217978e-04,2.214183e-04,2.210281e-04,2.206283e-04,2.202201e-04,2.198045e-04,2.193826e-04,2.189554e-04,2.185236e-04,2.180881e-04,2.176497e-04,2.172090e-04,2.167667e-04,2.163234e-04,2.158797e-04,2.154362e-04,2.149932e-04,2.145512e-04,2.141107e-04,2.136721e-04,2.132356e-04
0.000000e+00,7.210053e-12,4.909121e-11,8.535030e-10,5.675856e-09,1.351970e-08,8.806845e-08,9.422198e-08,4.197774e-07,6.036560e-07,1.412506e-06,2.657704e-06,3.923882e-06,8.877128e-06,9.486372e-06,2.063108e-05,2.453429e-05,4.123594e-05,5.889504e-05,7.683591e-05,1.263970e-04,1.348297e-04,2.245508e-04,2.472571e-04,3.572049e-04,4.473745e-04,5.456943e-04,7.576297e-04,8.043574e-04,1.148647e-03,1.212755e-03,1.594774e-03,1.849955e-03,2.159332e-03,2.707417e-03,2.858926e-03,3.709804e-03,3.822823e-03,4.727516e-03,5.231952e-03,5.926602e-03,6.967416e-03,7.320310e-03,8.920360e-03,9.057590e-03,1.073675e-02,1.152576e-02,1.277759e-02,1.438949e-02,1.504901e-02,1.755509e-02,1.766025e-02,2.029785e-02,2.134322e-02,2.327721e-02,2.543735e-02,2.649112e-02,2.993558e-02,3.360478e-02,3.482520e-02,3.749121e-02,4.008841e-02,4.158582e-02,4.570282e-02,4.587816e-02,5.035660e-02,5.164220e-02,5.500842e-02,5.787713e-02,5.982008e-02,6.437571e-02,6.477729e-02,6.986527e-02,7.110416e-02,7.506885e-02,7.802763e-02,8.037268e-02,8.511072e-02,8.576133e-02,9.121944e-02,9.231805e-02,9.673181e-02,9.961473e-02,1.022835e-01,1.069668e-01,1.078601e-01,1.134475e-01,1.143416e-01,1.190322e-01,1.217081e-01,1.246013e-01,1.290371e-01,1.301426e-01,1.356444e-01,1.363015e-01,1.410960e-01,1.434761e-01,1.464871e-01,1.505382e-01,1.518085e-01,1.570513e-01,1.574671e-01,1.622078e-01,1.642446e-01,1.672707e-01,1.708545e-01,1.722337e-01,1.770909e-01,1.772829e-01,1.818372e-01,1.835179e-01,1.864682e-01,1.895495e-01,1.909802e-01,1.953699e-01,1.996347e-01,2.009727e-01,2.037724e-01,2.063532e-01,2.077816e-01,2.115083e-01,2.116610e-01,2.154099e-01,2.164362e-01,2.190282e-01,2.211364e-01,2.225158e-01,2.256095e-01,2.258733e-01,2.291015e-01,2.298571e-01,2.322012e-01,2.338815e-01,2.351740e-01,2.376862e-01,2.380213e-01,2.407449e-01,2.412750e-01,2.433468e-01,2.446523e-01,2.458290e-01,2.478233e-01,2.481939e-01,2.504438e-01,2.507933e-01,2.525813e-01,2.535680e-01,2.546088e-01,2.561535e-01,2.565292e-01,2.583450e-01,2.585560e-01,2.600592e-01,2.607819e-01,2.616744e-01,2.628375e-01,2.631935e-01,2.646194e-01,2.647295e-01,2.659548e-01,2.664644e-01,2.672027e-01,2.680486e-01,2.683659e-01,2.694471e-01,2.694886e-01,2.704491e-01,2.707909e-01,2.713747e-01,2.719618e-01,2.722265e-01,2.730073e-01,2.739336e-01,2.747465e-01,2.754518e-01,2.760551e-01,2.765618e-01,2.769771e-01,2.773060e-01,2.775534e-01,2.777241e-01,2.778225e-01,2.778530e-01,2.778196e-01,2.777265e-01,2.775773e-01,2.773758e-01,2.771253e-01,2.768293e-01,2.764909e-01,2.761131e-01,2.756987e-01,2.752504e-01,2.747710e-01,2.742628e-01,2.737281e-01
0.000000e+00,3.749958e-12,2.555238e-11,4.449532e-10,2.962997e-09,7.062717e-09,4.608170e-08,4.930443e-08,2.199289e-07,3.163457e-07,7.405626e-07,1.393650e-06,2.057632e-06,4.653711e-06,4.972876e-06,1.080633e-05,1.284750e-05,2.157322e-05,3.078798e-05,4.014128e-05,6.595003e-05,7.033821e-05,1.169950e-04,1.287966e-04,1.859260e-04,2.327717e-04,2.838543e-04,3.940001e-04,4.182934e-04,5.973973e-04,6.307700e-04,8.297887e-04,9.628737e-04,1.124374e-03,1.410871e-03,1.490152e-03,1.936026e-03,1.995326e-03,2.470615e-03,2.736064e-03,3.102087e-03,3.651475e-03,3.837994e-03,4.685137e-03,4.757897e-03,5.649436e-03,6.069103e-03,6.735840e-03,7.595889e-03,7.948245e-03,9.289439e-03,9.345793e-03,1.076107e-02,1.132293e-02,1.236365e-02,1.352792e-02,1.409654e-02,1.595800e-02,1.794523e-02,1.860711e-02,2.005442e-02,2.146615e-02,2.228083e-02,2.452331e-02,2.461890e-02,2.706228e-02,2.776436e-02,2.960396e-02,3.117303e-02,3.223638e-02,3.473144e-02,3.495150e-02,3.774090e-02,3.842045e-02,4.059590e-02,4.222005e-02,4.350762e-02,4.610973e-02,4.646709e-02,4.946531e-02,5.006882e-02,5.249337e-02,5.407682e-02,5.554246e-02,5.811363e-02,5.860395e-02,6.166949e-02,6.215981e-02,6.473099e-02,6.619679e-02,6.778072e-02,7.020704e-02,7.081128e-02,7.381570e-02,7.417416e-02,7.678742e-02,7.808301e-02,7.972030e-02,8.191980e-02,8.260865e-02,8.544725e-02,8.567205e-02,8.823131e-02,8.932868e-02,9.095650e-02,9.287998e-02,9.361893e-02,9.621514e-02,9.631757e-02,9.874212e-02,9.963437e-02,1.011972e-01,1.028245e-01,1.035783e-01,1.058834e-01,1.081112e-01,1.088075e-01,1.102604e-01,1.115943e-01,1.123303e-01,1.142422e-01,1.143203e-01,1.162302e-01,1.167507e-01,1.180601e-01,1.191197e-01,1.198102e-01,1.213503e-01,1.214811e-01,1.230733e-01,1.234439e-01,1.245879e-01,1.254025e-01,1.260258e-01,1.272288e-01,1.273884e-01,1.286768e-01,1.289257e-01,1.298925e-01,1.304965e-01,1.310372e-01,1.319450e-01,1.321125e-01,1.331200e-01,1.332750e-01,1.340616e-01,1.344907e-01,1.349391e-01,1.355962e-01,1.357544e-01,1.365094e-01,1.365960e-01,1.372060e-01,1.374945e-01,1.378461e-01,1.382961e-01,1.384318e-01,1.389649e-01,1.390053e-01,1.394474e-01,1.396266e-01,1.398812e-01,1.401644e-01,1.402682e-01,1.406103e-01,1.406231e-01,1.409093e-01,1.410068e-01,1.411672e-01,1.413199e-01,1.413856e-01,1.415663e-01,1.417501e-01,1.418751e-01,1.419449e-01,1.419632e-01,1.419335e-01,1.418589e-01,1.417427e-01,1.415879e-01,1.413973e-01,1.411738e-01,1.409199e-01,1.406381e-01,1.403307e-01,1.400001e-01,1.396482e-01,1.392771e-01,1.388886e-01,1.384846e-01,1.380666e-01,1.376363e-01,1.371950e-01,1.367443e-01,1.362853e-01,1.358193e-01
0.000000e+00,7.378859e-11,1.926031e-10,7.600037e-10,1.843755e-09,2.755470e-09,6.527857e-09,6.733550e-09,1.338310e-08,1.582347e-08,2.345048e-08,3.146771e-08,3.774442e-08,5.527074e-08,5.700710e-08,8.163835e-08,8.835071e-08,1.115953e-07,1.306013e-07,1.466158e-07,1.814057e-07,1.864283e-07,2.308011e-07,2.402042e-07,2.795218e-07,3.065024e-07,3.323692e-07,3.797699e-07,3.890955e-07,4.494175e-07,4.593818e-07,5.130153e-07,5.446031e-07,5.795353e-07,6.345999e-07,6.485963e-07,7.197965e-07,7.284647e-07,7.927227e-07,8.252496e-07,8.669584e-07,9.239995e-07,9.420917e-07,1.017723e-06,1.023784e-06,1.093471e-06,1.123722e-06,1.168979e-06,1.223007e-06,1.243914e-06,1.317974e-06,1.320915e-06,1.390891e-06,1.416814e-06,1.462425e-06,1.510172e-06,1.532370e-06,1.600549e-06,1.666815e-06,1.687596e-06,1.731049e-06,1.771048e-06,1.793157e-06,1.850713e-06,1.853067e-06,1.910729e-06,1.926467e-06,1.966112e-06,1.998240e-06,2.019200e-06,2.066014e-06,2.069994e-06,2.118504e-06,2.129809e-06,2.164753e-06,2.189676e-06,2.208772e-06,2.245695e-06,2.250600e-06,2.290283e-06,2.297966e-06,2.327869e-06,2.346604e-06,2.363414e-06,2.391735e-06,2.396973e-06,2.428607e-06,2.433493e-06,2.458375e-06,2.472019e-06,2.486340e-06,2.507454e-06,2.512563e-06,2.537106e-06,2.539941e-06,2.560031e-06,2.569622e-06,2.581400e-06,2.596637e-06,2.601273e-06,2.619708e-06,2.621123e-06,2.636764e-06,2.643213e-06,2.652498e-06,2.663039e-06,2.666965e-06,2.680219e-06,2.680725e-06,2.692312e-06,2.696391e-06,2.703295e-06,2.710155e-06,2.713217e-06,2.722126e-06,2.730067e-06,2.732412e-06,2.737086e-06,2.741113e-06,2.743224e-06,2.748327e-06,2.748523e-06,2.753023e-06,2.754145e-06,2.756762e-06,2.758656e-06,2.759778e-06,2.761943e-06,2.762104e-06,2.763777e-06,2.764084e-06,2.764827e-06,2.765155e-06,2.765287e-06,2.765228e-06,2.765187e-06,2.764556e-06,2.764368e-06,2.763421e-06,2.762640e-06,2.761809e-06,2.760105e-06,2.759746e-06,2.757256e-06,2.756820e-06,2.754363e-06,2.752837e-06,2.751088e-06,2.748209e-06,2.747455e-06,2.743482e-06,2.742984e-06,2.739190e-06,2.737206e-06,2.734598e-06,2.730919e-06,2.729724e-06,2.724585e-06,2.724163e-06,2.719197e-06,2.716976e-06,2.713577e-06,2.709395e-06,2.707739e-06,2.701697e-06,2.701452e-06,2.695467e-06,2.693180e-06,2.689059e-06,2.684608e-06,2.682489e-06,2.675766e-06,2.666679e-06,2.657372e-06,2.647869e-06,2.638191e-06,2.628360e-06,2.618394e-06,2.608312e-06,2.598131e-06,2.587866e-06,2.577533e-06,2.567146e-06,2.556717e-06,2.546259e-06,2.535783e-06,2.525299e-06,2.514818e-06,2.504349e-06,2.493900e-06,2.483480e-06,2.473094e-06,2.462752e-06,2.452458e-06,2.442219e-06,2.432039e-06
0.000000e+00,6.756950e-11,2.359408e-10,1.287641e-09,3.631175e-09,5.731563e-09,1.490154e-08,1.541416e-08,3.233311e-08,3.865598e-08,5.866125e-08,7.999679e-08,9.689033e-08,1.449492e-07,1.497851e-07,2.198726e-07,2.394284e-07,3.083289e-07,3.655631e-07,4.140346e-07,5.189652e-07,5.339954e-07,6.647176e-07,6.918740e-07,8.031670e-07,8.774083e-07,9.469872e-07,1.070606e-06,1.094361e-06,1.243818e-06,1.267838e-06,1.394100e-06,1.466193e-06,1.544076e-06,1.663132e-06,1.692702e-06,1.839010e-06,1.856368e-06,1.982107e-06,2.043842e-06,2.121188e-06,2.223761e-06,2.255538e-06,2.384538e-06,2.394611e-06,2.507689e-06,2.555218e-06,2.624584e-06,2.704698e-06,2.734917e-06,2.838495e-06,2.842496e-06,2.935207e-06,2.968335e-06,3.025028e-06,3.082194e-06,3.108010e-06,3.184262e-06,3.253953e-06,3.274901e-06,3.317289e-06,3.354602e-06,3.374515e-06,3.423951e-06,3.425897e-06,3.471719e-06,3.483593e-06,3.512277e-06,3.534208e-06,3.547869e-06,3.576487e-06,3.578797e-06,3.605358e-06,3.611115e-06,3.627843e-06,3.638759e-06,3.646533e-06,3.660058e-06,3.661701e-06,3.673606e-06,3.675617e-06,3.682495e-06,3.686004e-06,3.688603e-06,3.691745e-06,3.692149e-06,3.693343e-06,3.693329e-06,3.692378e-06,3.691202e-06,3.689436e-06,3.685773e-06,3.684686e-06,3.678287e-06,3.677415e-06,3.670384e-06,3.666466e-06,3.661114e-06,3.653233e-06,3.650603e-06,3.638967e-06,3.637991e-06,3.626314e-06,3.620991e-06,3.612744e-06,3.602457e-06,3.598348e-06,3.583212e-06,3.582592e-06,3.567414e-06,3.561578e-06,3.551025e-06,3.539577e-06,3.534112e-06,3.516736e-06,3.498954e-06,3.493187e-06,3.480818e-06,3.469047e-06,3.462375e-06,3.444421e-06,3.443668e-06,3.424739e-06,3.419405e-06,3.405625e-06,3.394081e-06,3.386359e-06,3.368528e-06,3.366973e-06,3.347496e-06,3.342811e-06,3.327953e-06,3.316991e-06,3.308371e-06,3.291122e-06,3.288769e-06,3.269170e-06,3.265252e-06,3.249591e-06,3.239424e-06,3.230050e-06,3.213676e-06,3.210562e-06,3.191142e-06,3.188042e-06,3.171803e-06,3.162553e-06,3.152557e-06,3.137234e-06,3.133414e-06,3.114384e-06,3.112109e-06,3.095477e-06,3.087199e-06,3.076701e-06,3.062522e-06,3.058062e-06,3.039567e-06,3.038094e-06,3.021223e-06,3.013929e-06,3.003035e-06,2.990038e-06,2.985007e-06,2.967144e-06,2.966433e-06,2.949449e-06,2.943121e-06,2.931926e-06,2.920110e-06,2.914578e-06,2.897406e-06,2.875015e-06,2.852941e-06,2.831186e-06,2.809752e-06,2.788642e-06,2.767857e-06,2.747396e-06,2.727259e-06,2.707446e-06,2.687955e-06,2.668785e-06,2.649934e-06,2.631400e-06,2.613180e-06,2.595271e-06,2.577670e-06,2.560375e-06,2.543381e-06,2.526686e-06,2.510285e-06,2.494175e-06,2.478352e-06,2.462811e-06,2.447550e-06
0.000000e+00,5.549570e-11,1.316315e-10,4.705029e-10,1.091345e-09,1.604475e-09,3.694534e-09,3.807615e-09,7.437622e-09,8.760943e-09,1.287665e-08,1.718030e-08,2.054107e-08,2.993440e-08,3.086861e-08,4.425568e-08,4.795485e-08,6.093221e-08,7.170149e-08,8.084934e-08,1.008221e-07,1.037071e-07,1.290987e-07,1.344455e-07,1.566284e-07,1.716718e-07,1.859496e-07,2.117429e-07,2.167617e-07,2.487962e-07,2.540184e-07,2.818066e-07,2.979302e-07,3.155633e-07,3.429614e-07,3.498519e-07,3.844731e-07,3.886411e-07,4.192440e-07,4.345472e-07,4.539987e-07,4.803096e-07,4.885890e-07,5.228844e-07,5.256118e-07,5.567719e-07,5.701905e-07,5.901549e-07,6.138320e-07,6.229519e-07,6.550954e-07,6.563667e-07,6.865307e-07,6.976654e-07,7.172143e-07,7.376320e-07,7.471122e-07,7.761994e-07,8.044582e-07,8.133241e-07,8.318774e-07,8.489820e-07,8.584508e-07,8.831643e-07,8.841771e-07,9.090588e-07,9.158751e-07,9.331018e-07,9.471283e-07,9.563143e-07,9.769450e-07,9.787064e-07,1.000290e-06,1.005351e-06,1.021079e-06,1.032379e-06,1.041088e-06,1.058062e-06,1.060331e-06,1.078826e-06,1.082437e-06,1.096589e-06,1.105542e-06,1.113637e-06,1.127416e-06,1.129986e-06,1.145655e-06,1.148100e-06,1.160661e-06,1.167634e-06,1.175022e-06,1.186058e-06,1.188755e-06,1.201877e-06,1.203412e-06,1.214407e-06,1.219736e-06,1.226359e-06,1.235069e-06,1.237753e-06,1.248604e-06,1.249449e-06,1.258928e-06,1.262914e-06,1.268743e-06,1.275502e-06,1.278063e-06,1.286904e-06,1.287248e-06,1.295281e-06,1.298186e-06,1.303210e-06,1.308353e-06,1.310705e-06,1.317780e-06,1.324449e-06,1.326500e-06,1.330726e-06,1.334543e-06,1.336624e-06,1.341942e-06,1.342156e-06,1.347335e-06,1.348724e-06,1.352173e-06,1.354918e-06,1.356683e-06,1.360551e-06,1.360875e-06,1.364761e-06,1.365650e-06,1.368353e-06,1.370240e-06,1.371662e-06,1.374346e-06,1.374696e-06,1.377468e-06,1.377992e-06,1.379987e-06,1.381200e-06,1.382262e-06,1.383991e-06,1.384303e-06,1.386118e-06,1.386388e-06,1.387718e-06,1.388411e-06,1.389109e-06,1.390078e-06,1.390301e-06,1.391302e-06,1.391410e-06,1.392119e-06,1.392422e-06,1.392760e-06,1.393134e-06,1.393232e-06,1.393543e-06,1.393561e-06,1.393698e-06,1.393719e-06,1.393706e-06,1.393623e-06,1.393571e-06,1.393302e-06,1.393288e-06,1.392902e-06,1.392728e-06,1.392379e-06,1.391956e-06,1.391738e-06,1.390985e-06,1.389827e-06,1.388493e-06,1.386996e-06,1.385344e-06,1.383550e-06,1.381622e-06,1.379569e-06,1.377401e-06,1.375125e-06,1.372751e-06,1.370285e-06,1.367734e-06,1.365107e-06,1.362409e-06,1.359646e-06,1.356825e-06,1.353951e-06,1.351029e-06,1.348065e-06,1.345064e-06,1.342030e-06,1.338968e-06,1.335881e-06,1.332774e-06
0.000000e+00,2.308592e-11,1.024959e-10,7.932065e-10,2.739883e-09,4.691473e-09,1.413878e-08,1.469221e-08,3.362093e-08,4.087877e-08,6.406557e-08,8.885681e-08,1.084036e-07,1.633557e-07,1.688308e-07,2.473719e-07,2.691253e-07,3.458559e-07,4.103104e-07,4.658289e-07,5.900571e-07,6.083746e-07,7.738546e-07,8.096689e-07,9.616801e-07,1.067695e-06,1.170290e-06,1.359931e-06,1.397407e-06,1.640399e-06,1.680571e-06,1.896581e-06,2.023467e-06,2.163359e-06,2.382760e-06,2.438284e-06,2.719053e-06,2.753034e-06,3.003505e-06,3.129304e-06,3.289617e-06,3.507013e-06,3.575513e-06,3.859470e-06,3.882055e-06,4.139925e-06,4.250808e-06,4.415483e-06,4.610161e-06,4.684923e-06,4.947193e-06,4.957521e-06,5.201407e-06,5.290808e-06,5.446842e-06,5.608424e-06,5.682923e-06,5.909214e-06,6.125408e-06,6.192422e-06,6.331308e-06,6.457635e-06,6.526821e-06,6.704731e-06,6.711937e-06,6.886720e-06,6.933824e-06,7.051296e-06,7.145214e-06,7.205843e-06,7.339362e-06,7.350587e-06,7.485785e-06,7.516844e-06,7.611722e-06,7.678313e-06,7.728700e-06,7.824485e-06,7.837041e-06,7.937075e-06,7.956114e-06,8.029136e-06,8.073970e-06,8.113563e-06,8.178829e-06,8.190693e-06,8.260860e-06,8.271463e-06,8.324395e-06,8.352631e-06,8.381620e-06,8.423071e-06,8.432853e-06,8.478402e-06,8.483500e-06,8.518564e-06,8.534603e-06,8.553627e-06,8.577035e-06,8.583867e-06,8.609551e-06,8.611417e-06,8.630936e-06,8.638342e-06,8.648270e-06,8.658374e-06,8.661788e-06,8.671717e-06,8.672042e-06,8.678272e-06,8.679846e-06,8.681659e-06,8.682254e-06,8.682076e-06,8.679710e-06,8.674740e-06,8.672627e-06,8.667336e-06,8.661395e-06,8.657660e-06,8.646376e-06,8.645865e-06,8.632099e-06,8.627910e-06,8.616498e-06,8.606313e-06,8.599197e-06,8.581883e-06,8.580318e-06,8.559980e-06,8.554895e-06,8.538296e-06,8.525605e-06,8.515372e-06,8.494253e-06,8.491308e-06,8.466200e-06,8.461061e-06,8.440136e-06,8.426234e-06,8.413203e-06,8.389966e-06,8.385480e-06,8.357044e-06,8.352433e-06,8.327965e-06,8.313799e-06,8.298312e-06,8.274218e-06,8.268148e-06,8.237532e-06,8.233830e-06,8.206522e-06,8.192766e-06,8.175170e-06,8.151144e-06,8.143526e-06,8.111637e-06,8.109077e-06,8.079548e-06,8.066666e-06,8.047300e-06,8.024004e-06,8.014931e-06,7.982477e-06,7.981178e-06,7.949974e-06,7.938267e-06,7.917453e-06,7.895344e-06,7.884944e-06,7.852473e-06,7.809717e-06,7.767130e-06,7.724762e-06,7.682658e-06,7.640860e-06,7.599404e-06,7.558324e-06,7.517650e-06,7.477408e-06,7.437623e-06,7.398316e-06,7.359504e-06,7.321205e-06,7.283431e-06,7.246195e-06,7.209506e-06,7.173374e-06,7.137804e-06,7.102803e-06,7.068373e-06,7.034518e-06,7.001240e-06,6.968538e-06,6.936413e-06
0.000000e+00,2.136151e-13,1.393392e-12,2.213219e-11,1.352671e-10,3.073226e-10,1.765584e-09,1.879105e-09,7.347185e-09,1.018628e-08,2.169538e-08,3.774073e-08,5.288059e-08,1.060857e-07,1.121908e-07,2.143493e-07,2.471739e-07,3.772620e-07,5.025230e-07,6.211789e-07,9.195709e-07,9.671568e-07,1.435081e-06,1.544850e-06,2.041742e-06,2.416309e-06,2.799387e-06,3.557698e-06,3.714913e-06,4.789674e-06,4.976222e-06,6.019778e-06,6.663054e-06,7.396677e-06,8.595636e-06,8.907927e-06,1.053802e-05,1.074080e-05,1.226922e-05,1.305805e-05,1.408228e-05,1.550269e-05,1.595724e-05,1.787399e-05,1.802854e-05,1.981285e-05,2.059033e-05,2.175501e-05,2.314551e-05,2.368294e-05,2.558066e-05,2.565573e-05,2.743394e-05,2.808781e-05,2.923047e-05,3.041433e-05,3.095990e-05,3.261382e-05,3.418574e-05,3.467062e-05,3.567094e-05,3.657449e-05,3.706639e-05,3.832012e-05,3.837052e-05,3.958313e-05,3.990636e-05,4.070512e-05,4.133556e-05,4.173836e-05,4.261283e-05,4.268550e-05,4.354981e-05,4.374532e-05,4.433501e-05,4.474168e-05,4.504517e-05,4.561143e-05,4.568457e-05,4.625758e-05,4.636461e-05,4.676862e-05,4.701132e-05,4.722204e-05,4.756149e-05,4.762208e-05,4.797287e-05,4.802469e-05,4.827834e-05,4.840997e-05,4.854222e-05,4.872576e-05,4.876804e-05,4.895908e-05,4.897981e-05,4.911841e-05,4.917921e-05,4.924888e-05,4.933036e-05,4.935311e-05,4.943354e-05,4.943901e-05,4.949238e-05,4.951033e-05,4.953167e-05,4.954890e-05,4.955326e-05,4.955886e-05,4.955877e-05,4.955000e-05,4.954356e-05,4.952811e-05,4.950643e-05,4.949445e-05,4.945018e-05,4.939637e-05,4.937730e-05,4.933398e-05,4.928994e-05,4.926387e-05,4.919004e-05,4.918683e-05,4.910360e-05,4.907927e-05,4.901481e-05,4.895913e-05,4.892108e-05,4.883094e-05,4.882294e-05,4.872089e-05,4.869586e-05,4.861537e-05,4.855493e-05,4.850681e-05,4.840905e-05,4.839558e-05,4.828201e-05,4.825905e-05,4.816643e-05,4.810563e-05,4.804913e-05,4.794946e-05,4.793037e-05,4.781038e-05,4.779109e-05,4.768940e-05,4.763104e-05,4.756763e-05,4.746978e-05,4.744526e-05,4.732246e-05,4.730770e-05,4.719939e-05,4.714519e-05,4.707619e-05,4.698255e-05,4.695300e-05,4.682994e-05,4.682010e-05,4.670713e-05,4.665810e-05,4.658467e-05,4.649677e-05,4.646266e-05,4.634119e-05,4.633634e-05,4.622034e-05,4.617700e-05,4.610019e-05,4.601892e-05,4.598080e-05,4.586224e-05,4.570710e-05,4.555362e-05,4.540189e-05,4.525203e-05,4.510410e-05,4.495817e-05,4.481432e-05,4.467258e-05,4.453301e-05,4.439564e-05,4.426050e-05,4.412763e-05,4.399702e-05,4.386871e-05,4.374269e-05,4.361898e-05,4.349757e-05,4.337846e-05,4.326164e-05,4.314711e-05,4.303485e-05,4.292485e-05,4.281709e-05,4.271156e-05
0.000000e+00,5.853734e-11,2.124014e-10,1.220979e-09,3.542500e-09,5.653850e-09,1.497839e-08,1.550172e-08,3.276765e-08,3.919580e-08,5.939059e-08,8.066250e-08,9.731136e-08,1.438267e-07,1.484453e-07,2.143978e-07,2.325385e-07,2.959049e-07,3.482257e-07,3.925484e-07,4.891948e-07,5.031608e-07,6.263833e-07,6.524239e-07,7.608982e-07,8.348861e-07,9.054335e-07,1.033655e-06,1.058713e-06,1.219427e-06,1.245741e-06,1.386224e-06,1.468044e-06,1.557729e-06,1.697397e-06,1.732565e-06,1.909381e-06,1.930670e-06,2.086880e-06,2.164879e-06,2.263845e-06,2.397287e-06,2.439154e-06,2.611799e-06,2.625467e-06,2.780889e-06,2.847354e-06,2.945660e-06,3.061255e-06,3.105468e-06,3.259787e-06,3.265839e-06,3.408197e-06,3.460115e-06,3.550385e-06,3.643402e-06,3.686129e-06,3.815288e-06,3.937792e-06,3.975586e-06,4.053637e-06,4.124302e-06,4.162867e-06,4.261588e-06,4.265572e-06,4.361877e-06,4.387716e-06,4.451937e-06,4.503047e-06,4.535927e-06,4.608006e-06,4.614044e-06,4.686493e-06,4.703061e-06,4.753490e-06,4.788709e-06,4.815256e-06,4.865462e-06,4.872016e-06,4.923994e-06,4.933836e-06,4.971413e-06,4.994343e-06,5.014494e-06,5.047488e-06,5.053453e-06,5.088498e-06,5.093756e-06,5.119835e-06,5.133617e-06,5.147659e-06,5.167520e-06,5.172165e-06,5.193535e-06,5.195897e-06,5.211946e-06,5.219154e-06,5.227569e-06,5.237677e-06,5.240566e-06,5.251092e-06,5.251832e-06,5.259297e-06,5.261961e-06,5.265322e-06,5.268387e-06,5.269303e-06,5.271368e-06,5.271412e-06,5.271640e-06,5.271321e-06,5.270235e-06,5.268379e-06,5.267264e-06,5.262833e-06,5.257040e-06,5.254914e-06,5.249980e-06,5.244839e-06,5.241744e-06,5.232808e-06,5.232415e-06,5.222074e-06,5.219008e-06,5.210797e-06,5.203612e-06,5.198656e-06,5.186782e-06,5.185720e-06,5.172051e-06,5.168669e-06,5.157711e-06,5.149409e-06,5.142758e-06,5.129134e-06,5.127244e-06,5.111222e-06,5.107961e-06,5.094739e-06,5.086001e-06,5.077841e-06,5.063356e-06,5.060569e-06,5.042965e-06,5.040121e-06,5.025067e-06,5.016381e-06,5.006908e-06,4.992218e-06,4.988524e-06,4.969946e-06,4.967704e-06,4.951202e-06,4.942909e-06,4.932320e-06,4.917895e-06,4.913327e-06,4.894247e-06,4.892718e-06,4.875103e-06,4.867432e-06,4.855915e-06,4.842084e-06,4.836704e-06,4.817488e-06,4.816719e-06,4.798284e-06,4.791377e-06,4.779110e-06,4.766095e-06,4.759979e-06,4.740906e-06,4.715840e-06,4.690924e-06,4.666184e-06,4.641642e-06,4.617318e-06,4.593230e-06,4.569394e-06,4.545825e-06,4.522534e-06,4.499534e-06,4.476833e-06,4.454441e-06,4.432363e-06,4.410607e-06,4.389177e-06,4.368077e-06,4.347311e-06,4.326881e-06,4.306788e-06,4.287034e-06,4.267619e-06,4.248544e-06,4.229806e-06,4.211407e-06
0.000000e+00,2.830320e-13,1.908088e-12,3.247561e-11,2.115910e-10,4.981049e-10,3.140655e-09,3.355394e-09,1.441524e-08,2.050968e-08,4.664253e-08,8.559769e-08,1.242183e-07,2.696468e-07,2.870910e-07,5.956315e-07,7.002241e-07,1.134692e-06,1.577825e-06,2.016164e-06,3.185161e-06,3.379435e-06,5.389689e-06,5.885535e-06,8.234415e-06,1.011096e-05,1.211858e-05,1.634295e-05,1.725898e-05,2.387810e-05,2.508928e-05,3.219787e-05,3.685904e-05,4.243350e-05,5.213817e-05,5.478764e-05,6.944504e-05,7.136667e-05,8.656776e-05,9.491871e-05,1.062912e-04,1.230864e-04,1.287207e-04,1.539296e-04,1.560678e-04,1.819570e-04,1.939595e-04,2.128080e-04,2.367540e-04,2.464533e-04,2.828304e-04,2.843411e-04,3.218456e-04,3.365140e-04,3.633757e-04,3.929777e-04,4.072718e-04,4.533615e-04,5.014531e-04,5.172317e-04,5.513391e-04,5.841067e-04,6.027998e-04,6.534718e-04,6.556070e-04,7.095278e-04,7.247932e-04,7.643275e-04,7.975321e-04,8.197731e-04,8.711568e-04,8.756359e-04,9.316940e-04,9.451532e-04,9.877345e-04,1.019034e-03,1.043555e-03,1.092345e-03,1.098966e-03,1.153791e-03,1.164671e-03,1.207866e-03,1.235640e-03,1.261045e-03,1.304925e-03,1.313194e-03,1.364196e-03,1.372242e-03,1.413946e-03,1.437355e-03,1.462357e-03,1.500070e-03,1.509352e-03,1.554872e-03,1.560232e-03,1.598865e-03,1.617729e-03,1.641296e-03,1.672482e-03,1.682138e-03,1.721374e-03,1.724444e-03,1.758998e-03,1.773596e-03,1.795011e-03,1.819947e-03,1.829422e-03,1.862246e-03,1.863526e-03,1.893505e-03,1.904380e-03,1.923226e-03,1.942573e-03,1.951439e-03,1.978180e-03,2.003486e-03,2.011288e-03,2.027399e-03,2.041991e-03,2.049959e-03,2.070387e-03,2.071213e-03,2.091203e-03,2.096581e-03,2.109978e-03,2.120677e-03,2.127581e-03,2.142783e-03,2.144061e-03,2.159463e-03,2.163004e-03,2.173833e-03,2.181446e-03,2.187216e-03,2.198211e-03,2.199656e-03,2.211196e-03,2.213400e-03,2.221880e-03,2.227111e-03,2.231748e-03,2.239436e-03,2.240840e-03,2.249195e-03,2.250466e-03,2.256851e-03,2.260288e-03,2.263843e-03,2.268982e-03,2.270206e-03,2.275974e-03,2.276627e-03,2.281178e-03,2.283298e-03,2.285850e-03,2.289062e-03,2.290018e-03,2.293711e-03,2.293987e-03,2.296956e-03,2.298134e-03,2.299777e-03,2.301560e-03,2.302200e-03,2.304247e-03,2.304322e-03,2.305941e-03,2.306468e-03,2.307303e-03,2.308049e-03,2.308352e-03,2.309107e-03,2.309685e-03,2.309822e-03,2.309554e-03,2.308915e-03,2.307937e-03,2.306648e-03,2.305076e-03,2.303247e-03,2.301183e-03,2.298907e-03,2.296438e-03,2.293797e-03,2.291000e-03,2.288063e-03,2.285002e-03,2.281830e-03,2.278561e-03,2.275206e-03,2.271776e-03,2.268283e-03,2.264734e-03,2.261140e-03,2.257508e-03,2.253846e-03
0.000000e+00,4.329947e-12,9.916652e-12,3.411035e-11,7.765048e-11,1.133607e-10,2.580510e-10,2.658691e-10,5.172640e-10,6.092711e-10,8.969502e-10,1.199991e-09,1.437704e-09,2.102334e-09,2.168155e-09,3.098812e-09,3.351019e-09,4.218390e-09,4.920131e-09,5.506093e-09,6.762706e-09,6.942342e-09,8.511188e-09,8.839655e-09,1.019911e-08,1.111971e-08,1.199354e-08,1.357397e-08,1.388188e-08,1.585107e-08,1.617274e-08,1.788747e-08,1.888470e-08,1.997702e-08,2.167732e-08,2.210542e-08,2.425844e-08,2.451779e-08,2.642221e-08,2.737425e-08,2.858351e-08,3.021679e-08,3.072995e-08,3.285018e-08,3.301835e-08,3.493400e-08,3.575528e-08,3.697243e-08,3.840760e-08,3.895772e-08,4.088335e-08,4.095905e-08,4.274394e-08,4.339699e-08,4.453532e-08,4.571226e-08,4.625430e-08,4.789863e-08,4.946690e-08,4.995255e-08,5.095843e-08,5.187268e-08,5.237316e-08,5.365948e-08,5.371156e-08,5.497457e-08,5.531488e-08,5.616351e-08,5.684197e-08,5.727998e-08,5.824474e-08,5.832586e-08,5.930319e-08,5.952780e-08,6.021417e-08,6.069619e-08,6.106109e-08,6.175525e-08,6.184630e-08,6.257220e-08,6.271048e-08,6.324121e-08,6.356741e-08,6.385573e-08,6.433156e-08,6.441814e-08,6.493079e-08,6.500835e-08,6.539597e-08,6.560305e-08,6.581592e-08,6.612080e-08,6.619284e-08,6.652884e-08,6.656651e-08,6.682598e-08,6.694491e-08,6.708622e-08,6.726051e-08,6.731148e-08,6.750360e-08,6.751759e-08,6.766434e-08,6.772023e-08,6.779540e-08,6.787229e-08,6.789839e-08,6.797488e-08,6.797740e-08,6.802634e-08,6.803902e-08,6.805421e-08,6.806038e-08,6.805984e-08,6.804453e-08,6.800951e-08,6.799434e-08,6.795597e-08,6.791251e-08,6.788504e-08,6.780156e-08,6.779777e-08,6.769520e-08,6.766387e-08,6.757830e-08,6.750166e-08,6.744798e-08,6.731701e-08,6.730514e-08,6.715060e-08,6.711186e-08,6.698516e-08,6.688804e-08,6.680958e-08,6.664725e-08,6.662457e-08,6.643082e-08,6.639108e-08,6.622897e-08,6.612101e-08,6.601963e-08,6.583842e-08,6.580338e-08,6.558078e-08,6.554461e-08,6.535236e-08,6.524079e-08,6.511860e-08,6.492806e-08,6.487997e-08,6.463693e-08,6.460749e-08,6.438989e-08,6.428002e-08,6.413924e-08,6.394658e-08,6.388538e-08,6.362864e-08,6.360799e-08,6.336938e-08,6.326504e-08,6.310790e-08,6.291844e-08,6.284452e-08,6.257950e-08,6.256887e-08,6.231313e-08,6.221695e-08,6.204564e-08,6.186325e-08,6.177729e-08,6.150830e-08,6.115259e-08,6.079658e-08,6.044068e-08,6.008528e-08,5.973073e-08,5.937736e-08,5.902546e-08,5.867531e-08,5.832716e-08,5.798122e-08,5.763772e-08,5.729683e-08,5.695874e-08,5.662358e-08,5.629150e-08,5.596262e-08,5.563706e-08,5.531490e-08,5.499624e-08,5.468115e-08,5.436970e-08,5.406195e-08,5.375793e-08,5.345769e-08
0.000000e+00,4.841994e-13,3.151650e-12,4.983213e-11,3.032739e-10,6.873916e-10,3.923848e-09,4.175002e-09,1.620989e-08,2.242747e-08,4.750290e-08,8.222604e-08,1.148093e-07,2.283403e-07,2.412900e-07,4.562737e-07,5.248028e-07,7.945546e-07,1.052308e-06,1.295296e-06,1.903639e-06,2.000473e-06,2.952694e-06,3.176414e-06,4.192380e-06,4.962562e-06,5.754588e-06,7.335930e-06,7.666033e-06,9.942881e-06,1.034155e-05,1.258960e-05,1.398968e-05,1.559888e-05,1.825546e-05,1.895253e-05,2.262284e-05,2.308295e-05,2.657452e-05,2.839197e-05,3.076652e-05,3.408568e-05,3.515401e-05,3.969006e-05,4.005794e-05,4.432721e-05,4.619988e-05,4.901882e-05,5.240525e-05,5.372010e-05,5.838906e-05,5.857459e-05,6.298713e-05,6.461828e-05,6.747965e-05,7.045856e-05,7.183618e-05,7.603063e-05,8.004130e-05,8.128295e-05,8.385080e-05,8.617700e-05,8.744582e-05,9.068643e-05,9.081689e-05,9.395809e-05,9.479600e-05,9.686670e-05,9.850014e-05,9.954278e-05,1.018015e-04,1.019889e-04,1.042095e-04,1.047096e-04,1.062111e-04,1.072391e-04,1.080013e-04,1.094088e-04,1.095889e-04,1.109836e-04,1.112402e-04,1.121954e-04,1.127567e-04,1.132349e-04,1.139826e-04,1.141127e-04,1.148394e-04,1.149424e-04,1.154257e-04,1.156602e-04,1.158816e-04,1.161593e-04,1.162173e-04,1.164423e-04,1.164623e-04,1.165657e-04,1.165902e-04,1.165964e-04,1.165626e-04,1.165423e-04,1.164115e-04,1.163979e-04,1.162109e-04,1.161128e-04,1.159476e-04,1.157226e-04,1.156277e-04,1.152571e-04,1.152413e-04,1.148412e-04,1.146814e-04,1.143851e-04,1.140543e-04,1.138933e-04,1.133701e-04,1.128194e-04,1.126380e-04,1.122448e-04,1.118661e-04,1.116496e-04,1.110615e-04,1.110366e-04,1.104088e-04,1.102307e-04,1.097685e-04,1.093793e-04,1.091180e-04,1.085123e-04,1.084594e-04,1.077945e-04,1.076342e-04,1.071251e-04,1.067488e-04,1.064527e-04,1.058596e-04,1.057786e-04,1.051042e-04,1.049693e-04,1.044305e-04,1.040808e-04,1.037586e-04,1.031962e-04,1.030894e-04,1.024236e-04,1.023175e-04,1.017622e-04,1.014463e-04,1.011056e-04,1.005842e-04,1.004544e-04,9.980930e-05,9.973231e-05,9.917060e-05,9.889171e-05,9.853873e-05,9.806330e-05,9.791405e-05,9.729685e-05,9.724781e-05,9.668741e-05,9.644585e-05,9.608594e-05,9.565793e-05,9.549264e-05,9.490765e-05,9.488443e-05,9.433112e-05,9.412565e-05,9.376313e-05,9.338183e-05,9.320378e-05,9.265312e-05,9.193961e-05,9.124136e-05,9.055834e-05,8.989053e-05,8.923783e-05,8.860014e-05,8.797732e-05,8.736919e-05,8.677560e-05,8.619632e-05,8.563116e-05,8.507989e-05,8.454226e-05,8.401805e-05,8.350699e-05,8.300883e-05,8.252332e-05,8.205019e-05,8.158918e-05,8.114002e-05,8.070247e-05,8.027623e-05,7.986106e-05,7.945671e-05
0.000000e+00,3.906577e-11,2.661195e-10,4.629783e-09,3.078726e-08,7.330721e-08,4.763458e-07,5.095494e-07,2.257732e-06,3.239850e-06,7.530495e-06,1.407061e-05,2.066336e-05,4.608771e-05,4.918451e-05,1.050779e-04,1.244040e-04,2.061818e-04,2.915663e-04,3.775897e-04,6.130089e-04,6.528522e-04,1.074788e-03,1.181219e-03,1.695793e-03,2.117532e-03,2.577623e-03,3.571219e-03,3.790706e-03,5.413044e-03,5.716148e-03,7.528800e-03,8.745539e-03,1.022665e-02,1.286542e-02,1.359800e-02,1.773507e-02,1.828732e-02,2.272902e-02,2.522071e-02,2.866810e-02,3.386551e-02,3.563583e-02,4.370941e-02,4.440520e-02,5.295820e-02,5.700060e-02,6.344245e-02,7.178466e-02,7.521226e-02,8.830669e-02,8.885845e-02,1.027532e-01,1.082883e-01,1.185672e-01,1.301040e-01,1.357520e-01,1.542987e-01,1.741869e-01,1.808296e-01,1.953846e-01,2.096190e-01,2.178490e-01,2.405577e-01,2.415274e-01,2.663579e-01,2.735076e-01,2.922704e-01,3.083054e-01,3.191875e-01,3.447668e-01,3.470257e-01,3.756963e-01,3.826908e-01,4.051064e-01,4.218635e-01,4.351603e-01,4.620625e-01,4.657600e-01,4.968067e-01,5.030609e-01,5.282011e-01,5.446309e-01,5.598448e-01,5.865471e-01,5.916408e-01,6.234941e-01,6.285898e-01,6.553126e-01,6.705470e-01,6.870076e-01,7.122172e-01,7.184938e-01,7.496904e-01,7.534108e-01,7.805210e-01,7.939518e-01,8.109139e-01,8.336786e-01,8.408024e-01,8.701250e-01,8.724446e-01,8.988251e-01,9.101191e-01,9.268513e-01,9.465869e-01,9.541576e-01,9.807029e-01,9.817484e-01,1.006451e+00,1.015519e+00,1.031371e+00,1.047830e+00,1.055436e+00,1.078625e+00,1.100919e+00,1.107862e+00,1.122305e+00,1.135511e+00,1.142774e+00,1.161556e+00,1.162320e+00,1.180940e+00,1.185987e+00,1.198635e+00,1.208809e+00,1.215408e+00,1.230032e+00,1.231267e+00,1.246220e+00,1.249676e+00,1.260279e+00,1.267766e+00,1.273457e+00,1.284336e+00,1.285768e+00,1.297230e+00,1.299422e+00,1.307861e+00,1.313068e+00,1.317681e+00,1.325318e+00,1.326710e+00,1.334970e+00,1.336221e+00,1.342482e+00,1.345829e+00,1.349270e+00,1.354196e+00,1.355358e+00,1.360769e+00,1.361374e+00,1.365527e+00,1.367420e+00,1.369656e+00,1.372388e+00,1.373180e+00,1.376124e+00,1.376335e+00,1.378511e+00,1.379316e+00,1.380366e+00,1.381385e+00,1.381711e+00,1.382571e+00,1.382595e+00,1.382967e+00,1.383000e+00,1.382922e+00,1.382651e+00,1.382458e+00,1.381597e+00,1.379887e+00,1.377568e+00,1.374683e+00,1.371277e+00,1.367391e+00,1.363064e+00,1.358333e+00,1.353234e+00,1.347802e+00,1.342069e+00,1.336064e+00,1.329817e+00,1.323354e+00,1.316701e+00,1.309883e+00,1.302920e+00,1.295834e+00,1.288645e+00,1.281371e+00,1.274029e+00,1.266634e+00,1.259201e+00,1.251744e+00,1.244274e+00
0.000000e+00,5.092333e-11,1.446870e-10,6.222665e-10,1.565545e-09,2.368260e-09,5.709484e-09,5.891826e-09,1.177139e-08,1.391905e-08,2.059282e-08,2.755171e-08,3.296908e-08,4.803110e-08,4.952289e-08,7.078290e-08,7.661931e-08,9.695915e-08,1.136696e-07,1.277374e-07,1.580371e-07,1.623667e-07,1.999755e-07,2.077841e-07,2.397903e-07,2.611510e-07,2.811782e-07,3.167736e-07,3.236146e-07,3.666483e-07,3.735618e-07,4.098804e-07,4.305961e-07,4.529546e-07,4.870863e-07,4.955544e-07,5.374033e-07,5.423630e-07,5.782646e-07,5.958787e-07,6.179419e-07,6.472061e-07,6.562770e-07,6.931484e-07,6.960320e-07,7.284679e-07,7.421471e-07,7.621769e-07,7.854311e-07,7.942430e-07,8.246558e-07,8.258380e-07,8.534235e-07,8.633811e-07,8.805691e-07,8.981192e-07,9.061279e-07,9.301442e-07,9.526691e-07,9.595711e-07,9.737587e-07,9.865302e-07,9.934724e-07,1.011160e-06,1.011871e-06,1.029017e-06,1.033602e-06,1.044972e-06,1.053998e-06,1.059796e-06,1.072487e-06,1.073549e-06,1.086291e-06,1.089204e-06,1.098075e-06,1.104277e-06,1.108957e-06,1.117827e-06,1.118987e-06,1.128216e-06,1.129970e-06,1.136690e-06,1.140814e-06,1.144454e-06,1.150458e-06,1.151550e-06,1.158018e-06,1.158997e-06,1.163895e-06,1.166517e-06,1.169218e-06,1.173099e-06,1.174019e-06,1.178331e-06,1.178817e-06,1.182184e-06,1.183741e-06,1.185606e-06,1.187934e-06,1.188622e-06,1.191259e-06,1.191455e-06,1.193540e-06,1.194358e-06,1.195487e-06,1.196694e-06,1.197121e-06,1.198462e-06,1.198509e-06,1.199527e-06,1.199846e-06,1.200335e-06,1.200745e-06,1.200901e-06,1.201241e-06,1.201370e-06,1.201369e-06,1.201301e-06,1.201159e-06,1.201047e-06,1.200641e-06,1.200620e-06,1.200032e-06,1.199840e-06,1.199293e-06,1.198781e-06,1.198413e-06,1.197487e-06,1.197401e-06,1.196268e-06,1.195978e-06,1.195020e-06,1.194274e-06,1.193666e-06,1.192393e-06,1.192214e-06,1.190671e-06,1.190351e-06,1.189042e-06,1.188164e-06,1.187335e-06,1.185845e-06,1.185556e-06,1.183709e-06,1.183407e-06,1.181800e-06,1.180864e-06,1.179835e-06,1.178225e-06,1.177817e-06,1.175752e-06,1.175501e-06,1.173643e-06,1.172702e-06,1.171494e-06,1.169836e-06,1.169309e-06,1.167092e-06,1.166913e-06,1.164845e-06,1.163939e-06,1.162572e-06,1.160921e-06,1.160276e-06,1.157959e-06,1.157866e-06,1.155625e-06,1.154781e-06,1.153275e-06,1.151670e-06,1.150913e-06,1.148539e-06,1.145393e-06,1.142235e-06,1.139071e-06,1.135904e-06,1.132737e-06,1.129574e-06,1.126418e-06,1.123271e-06,1.120135e-06,1.117015e-06,1.113910e-06,1.110824e-06,1.107759e-06,1.104715e-06,1.101695e-06,1.098699e-06,1.095729e-06,1.092787e-06,1.089873e-06,1.086988e-06,1.084132e-06,1.081308e-06,1.078515e-06,1.075754e-06
0.000000e+00,5.618104e-11,1.368730e-10,5.018328e-10,1.174841e-09,1.731461e-09,3.992966e-09,4.115000e-09,8.014984e-09,9.428951e-09,1.380336e-08,1.834395e-08,2.186816e-08,3.162459e-08,3.258752e-08,4.623970e-08,4.996423e-08,6.287530e-08,7.342401e-08,8.228450e-08,1.013773e-07,1.041116e-07,1.279823e-07,1.329711e-07,1.535561e-07,1.674250e-07,1.805276e-07,2.040583e-07,2.086166e-07,2.375596e-07,2.422529e-07,2.671073e-07,2.814352e-07,2.970242e-07,3.210757e-07,3.270911e-07,3.571073e-07,3.606970e-07,3.868920e-07,3.998822e-07,4.162863e-07,4.382797e-07,4.451531e-07,4.733772e-07,4.756043e-07,5.008640e-07,5.116347e-07,5.275376e-07,5.462055e-07,5.533394e-07,5.782265e-07,5.792025e-07,6.021697e-07,6.105544e-07,6.251512e-07,6.402250e-07,6.471633e-07,6.682067e-07,6.882889e-07,6.945142e-07,7.074230e-07,7.191792e-07,7.256265e-07,7.422461e-07,7.429207e-07,7.593292e-07,7.637684e-07,7.748777e-07,7.838050e-07,7.895930e-07,8.024191e-07,8.035030e-07,8.166361e-07,8.196756e-07,8.290209e-07,8.356401e-07,8.406858e-07,8.503778e-07,8.516591e-07,8.619686e-07,8.639533e-07,8.716418e-07,8.764293e-07,8.807054e-07,8.878667e-07,8.891853e-07,8.971068e-07,8.983241e-07,9.044945e-07,9.078580e-07,9.113721e-07,9.165223e-07,9.177625e-07,9.236877e-07,9.243685e-07,9.291691e-07,9.314457e-07,9.342273e-07,9.378005e-07,9.388818e-07,9.431516e-07,9.434771e-07,9.470549e-07,9.485175e-07,9.506092e-07,9.529615e-07,9.538311e-07,9.567368e-07,9.568467e-07,9.593416e-07,9.602085e-07,9.616601e-07,9.630805e-07,9.637066e-07,9.654945e-07,9.670366e-07,9.674802e-07,9.683454e-07,9.690660e-07,9.694326e-07,9.702783e-07,9.703095e-07,9.709869e-07,9.711423e-07,9.714752e-07,9.716815e-07,9.717841e-07,9.719180e-07,9.719231e-07,9.719012e-07,9.718729e-07,9.717269e-07,9.715658e-07,9.714084e-07,9.710152e-07,9.709537e-07,9.703700e-07,9.702385e-07,9.696647e-07,9.692521e-07,9.688444e-07,9.680714e-07,9.679158e-07,9.668849e-07,9.667109e-07,9.657578e-07,9.651842e-07,9.645400e-07,9.635041e-07,9.632369e-07,9.618538e-07,9.616826e-07,9.603954e-07,9.597311e-07,9.588665e-07,9.576600e-07,9.572714e-07,9.556146e-07,9.554795e-07,9.538999e-07,9.531988e-07,9.521314e-07,9.508267e-07,9.503126e-07,9.484470e-07,9.483715e-07,9.465381e-07,9.458409e-07,9.445889e-07,9.432421e-07,9.426026e-07,9.405821e-07,9.378671e-07,9.351031e-07,9.322959e-07,9.294506e-07,9.265722e-07,9.236653e-07,9.207341e-07,9.177829e-07,9.148153e-07,9.118349e-07,9.088451e-07,9.058488e-07,9.028490e-07,8.998484e-07,8.968495e-07,8.938546e-07,8.908660e-07,8.878856e-07,8.849154e-07,8.819571e-07,8.790123e-07,8.760825e-07,8.731691e-07,8.702735e-07
0.000000e+00,2.729265e-11,9.141188e-11,4.734854e-10,1.299680e-09,2.029549e-09,5.163841e-09,5.337306e-09,1.098901e-08,1.306999e-08,1.956199e-08,2.635277e-08,3.164702e-08,4.638947e-08,4.785140e-08,6.873356e-08,7.448574e-08,9.461566e-08,1.112606e-07,1.253499e-07,1.559200e-07,1.603114e-07,1.986734e-07,2.066834e-07,2.396612e-07,2.617936e-07,2.826297e-07,3.198587e-07,3.270417e-07,3.724299e-07,3.797538e-07,4.183715e-07,4.405043e-07,4.644761e-07,5.012338e-07,5.103830e-07,5.557619e-07,5.611574e-07,6.003160e-07,6.195901e-07,6.437851e-07,6.759580e-07,6.859473e-07,7.266193e-07,7.298041e-07,7.656561e-07,7.807875e-07,8.029489e-07,8.286763e-07,8.384224e-07,8.720313e-07,8.733365e-07,9.037570e-07,9.147174e-07,9.336035e-07,9.528369e-07,9.615940e-07,9.877669e-07,1.012173e-06,1.019620e-06,1.034873e-06,1.048536e-06,1.055934e-06,1.074677e-06,1.075427e-06,1.093428e-06,1.098211e-06,1.110013e-06,1.119316e-06,1.125257e-06,1.138164e-06,1.139237e-06,1.152026e-06,1.154926e-06,1.163695e-06,1.169767e-06,1.174314e-06,1.182842e-06,1.183948e-06,1.192660e-06,1.194297e-06,1.200510e-06,1.204271e-06,1.207555e-06,1.212889e-06,1.213847e-06,1.219437e-06,1.220269e-06,1.224371e-06,1.226520e-06,1.228695e-06,1.231742e-06,1.232449e-06,1.235671e-06,1.236024e-06,1.238399e-06,1.239451e-06,1.240666e-06,1.242100e-06,1.242503e-06,1.243940e-06,1.244039e-06,1.245004e-06,1.245332e-06,1.245722e-06,1.246037e-06,1.246116e-06,1.246210e-06,1.246207e-06,1.246023e-06,1.245891e-06,1.245576e-06,1.245133e-06,1.244887e-06,1.243972e-06,1.242847e-06,1.242445e-06,1.241527e-06,1.240587e-06,1.240026e-06,1.238427e-06,1.238357e-06,1.236532e-06,1.235994e-06,1.234561e-06,1.233314e-06,1.232457e-06,1.230410e-06,1.230227e-06,1.227883e-06,1.227304e-06,1.225432e-06,1.224016e-06,1.222883e-06,1.220564e-06,1.220243e-06,1.217519e-06,1.216965e-06,1.214719e-06,1.213235e-06,1.211848e-06,1.209387e-06,1.208913e-06,1.205919e-06,1.205434e-06,1.202870e-06,1.201390e-06,1.199774e-06,1.197264e-06,1.196632e-06,1.193451e-06,1.193067e-06,1.190235e-06,1.188809e-06,1.186986e-06,1.184498e-06,1.183710e-06,1.180408e-06,1.180143e-06,1.177085e-06,1.175750e-06,1.173743e-06,1.171327e-06,1.170386e-06,1.167016e-06,1.166881e-06,1.163635e-06,1.162416e-06,1.160246e-06,1.157938e-06,1.156852e-06,1.153453e-06,1.148965e-06,1.144479e-06,1.139998e-06,1.135525e-06,1.131066e-06,1.126621e-06,1.122195e-06,1.117790e-06,1.113409e-06,1.109053e-06,1.104725e-06,1.100426e-06,1.096159e-06,1.091925e-06,1.087725e-06,1.083561e-06,1.079434e-06,1.075344e-06,1.071294e-06,1.067283e-06,1.063313e-06,1.059384e-06,1.055497e-06,1.051652e-06
0.000000e+00,1.481090e-11,8.152848e-11,9.231067e-10,4.214453e-09,8.216564e-09,3.257113e-08,3.417179e-08,9.594308e-08,1.223335e-07,2.136415e-07,3.204941e-07,4.101778e-07,6.834162e-07,7.121541e-07,1.150217e-06,1.279231e-06,1.756649e-06,2.180316e-06,2.558277e-06,3.434793e-06,3.566581e-06,4.772088e-06,5.034693e-06,6.147891e-06,6.919030e-06,7.658928e-06,9.007153e-06,9.270438e-06,1.095233e-05,1.122625e-05,1.268012e-05,1.351985e-05,1.443418e-05,1.584549e-05,1.619851e-05,1.795975e-05,1.817033e-05,1.970657e-05,2.046803e-05,2.142921e-05,2.271706e-05,2.311932e-05,2.476977e-05,2.489991e-05,2.637463e-05,2.700268e-05,2.792905e-05,2.901481e-05,2.942919e-05,3.087218e-05,3.092868e-05,3.225595e-05,3.273933e-05,3.357919e-05,3.444406e-05,3.484125e-05,3.604203e-05,3.718191e-05,3.753392e-05,3.826163e-05,3.892156e-05,3.928226e-05,4.020771e-05,4.024514e-05,4.115177e-05,4.139578e-05,4.200385e-05,4.248964e-05,4.280314e-05,4.349345e-05,4.355149e-05,4.425082e-05,4.441158e-05,4.490304e-05,4.524842e-05,4.551008e-05,4.600842e-05,4.607385e-05,4.659625e-05,4.669593e-05,4.707913e-05,4.731522e-05,4.752432e-05,4.787044e-05,4.793358e-05,4.830864e-05,4.836558e-05,4.865115e-05,4.880447e-05,4.896272e-05,4.919074e-05,4.924489e-05,4.949917e-05,4.952788e-05,4.972699e-05,4.981921e-05,4.992973e-05,5.006786e-05,5.010872e-05,5.026521e-05,5.027680e-05,5.040044e-05,5.044883e-05,5.051555e-05,5.058662e-05,5.061168e-05,5.068988e-05,5.069265e-05,5.075116e-05,5.076927e-05,5.079651e-05,5.081871e-05,5.082683e-05,5.084303e-05,5.084594e-05,5.084420e-05,5.083637e-05,5.082404e-05,5.081507e-05,5.078428e-05,5.078278e-05,5.074020e-05,5.072652e-05,5.068798e-05,5.065228e-05,5.062674e-05,5.056296e-05,5.055709e-05,5.047960e-05,5.045989e-05,5.039480e-05,5.034431e-05,5.030320e-05,5.021737e-05,5.020530e-05,5.010155e-05,5.008014e-05,4.999239e-05,4.993363e-05,4.987824e-05,4.977879e-05,4.975950e-05,4.963652e-05,4.961648e-05,4.950968e-05,4.944752e-05,4.937930e-05,4.927267e-05,4.924571e-05,4.910920e-05,4.909264e-05,4.897006e-05,4.890807e-05,4.882856e-05,4.871959e-05,4.868494e-05,4.853947e-05,4.852775e-05,4.839235e-05,4.833309e-05,4.824381e-05,4.813609e-05,4.809404e-05,4.794324e-05,4.793719e-05,4.779160e-05,4.773683e-05,4.763927e-05,4.753538e-05,4.748642e-05,4.733320e-05,4.713062e-05,4.692794e-05,4.672544e-05,4.652338e-05,4.632199e-05,4.612148e-05,4.592206e-05,4.572390e-05,4.552717e-05,4.533202e-05,4.513857e-05,4.494696e-05,4.475728e-05,4.456965e-05,4.438414e-05,4.420083e-05,4.401979e-05,4.384109e-05,4.366478e-05,4.349089e-05,4.331947e-05,4.315055e-05,4.298416e-05,4.282032e-05
0.000000e+00,2.456161e-12,1.429048e-11,1.799530e-10,8.955930e-10,1.822645e-09,7.953810e-09,8.373558e-09,2.529583e-08,3.278164e-08,5.922706e-08,9.068228e-08,1.172242e-07,1.979290e-07,2.063721e-07,3.335921e-07,3.705178e-07,5.052186e-07,6.225914e-07,7.259691e-07,9.623895e-07,9.976586e-07,1.318673e-06,1.388444e-06,1.684623e-06,1.890738e-06,2.089592e-06,2.455273e-06,2.527231e-06,2.991363e-06,3.067689e-06,3.476188e-06,3.714646e-06,3.976270e-06,4.383858e-06,4.486469e-06,5.001904e-06,5.063885e-06,5.517942e-06,5.744059e-06,6.030240e-06,6.414611e-06,6.534799e-06,7.028017e-06,7.066887e-06,7.506742e-06,7.693559e-06,7.968303e-06,8.288756e-06,8.410521e-06,8.831712e-06,8.848104e-06,9.230661e-06,9.368675e-06,9.606589e-06,9.848860e-06,9.959111e-06,1.028819e-05,1.059407e-05,1.068713e-05,1.087726e-05,1.104690e-05,1.113844e-05,1.136925e-05,1.137845e-05,1.159826e-05,1.165632e-05,1.179887e-05,1.191047e-05,1.198136e-05,1.213417e-05,1.214681e-05,1.229631e-05,1.232993e-05,1.243092e-05,1.250018e-05,1.255167e-05,1.264727e-05,1.265956e-05,1.275554e-05,1.277338e-05,1.284049e-05,1.288059e-05,1.291526e-05,1.297077e-05,1.298063e-05,1.303733e-05,1.304564e-05,1.308603e-05,1.310676e-05,1.312738e-05,1.315554e-05,1.316193e-05,1.319024e-05,1.319324e-05,1.321279e-05,1.322100e-05,1.323002e-05,1.323982e-05,1.324235e-05,1.325017e-05,1.325061e-05,1.325381e-05,1.325418e-05,1.325361e-05,1.325125e-05,1.324985e-05,1.324281e-05,1.324246e-05,1.323273e-05,1.322840e-05,1.321984e-05,1.320958e-05,1.320435e-05,1.318646e-05,1.316634e-05,1.315946e-05,1.314417e-05,1.312896e-05,1.312008e-05,1.309530e-05,1.309423e-05,1.306675e-05,1.305877e-05,1.303775e-05,1.301967e-05,1.300735e-05,1.297824e-05,1.297566e-05,1.294276e-05,1.293470e-05,1.290877e-05,1.288928e-05,1.287375e-05,1.284216e-05,1.283779e-05,1.280097e-05,1.279351e-05,1.276335e-05,1.274350e-05,1.272500e-05,1.269227e-05,1.268599e-05,1.264636e-05,1.263996e-05,1.260617e-05,1.258670e-05,1.256548e-05,1.253259e-05,1.252432e-05,1.248276e-05,1.247775e-05,1.244082e-05,1.242226e-05,1.239856e-05,1.236624e-05,1.235600e-05,1.231318e-05,1.230975e-05,1.227014e-05,1.225287e-05,1.222691e-05,1.219568e-05,1.218352e-05,1.213999e-05,1.213824e-05,1.209635e-05,1.208062e-05,1.205264e-05,1.202288e-05,1.200887e-05,1.196506e-05,1.190721e-05,1.184939e-05,1.179164e-05,1.173398e-05,1.167647e-05,1.161914e-05,1.156201e-05,1.150512e-05,1.144849e-05,1.139215e-05,1.133613e-05,1.128043e-05,1.122509e-05,1.117011e-05,1.111553e-05,1.106134e-05,1.100758e-05,1.095424e-05,1.090134e-05,1.084889e-05,1.079689e-05,1.074537e-05,1.069433e-05,1.064376e-05
0.000000e+00,1.284602e-10,3.184932e-10,1.192435e-09,2.831365e-09,4.205740e-09,9.936950e-09,1.025250e-08,2.064933e-08,2.455816e-08,3.704922e-08,5.050187e-08,6.114968e-08,9.082389e-08,9.373508e-08,1.341866e-07,1.449316e-07,1.813119e-07,2.102255e-07,2.340941e-07,2.846296e-07,2.917930e-07,3.538277e-07,3.667087e-07,4.196746e-07,4.552488e-07,4.888109e-07,5.490301e-07,5.606925e-07,6.347528e-07,6.467659e-07,7.104108e-07,7.471229e-07,7.870843e-07,8.487715e-07,8.642049e-07,9.412313e-07,9.504439e-07,1.017661e-06,1.050982e-06,1.093039e-06,1.149370e-06,1.166959e-06,1.239074e-06,1.244756e-06,1.309094e-06,1.336461e-06,1.376782e-06,1.423965e-06,1.441949e-06,1.504455e-06,1.506898e-06,1.564201e-06,1.585021e-06,1.621125e-06,1.658205e-06,1.675197e-06,1.726415e-06,1.774800e-06,1.789689e-06,1.820386e-06,1.848116e-06,1.863227e-06,1.901831e-06,1.903387e-06,1.940943e-06,1.951003e-06,1.975976e-06,1.995822e-06,2.008575e-06,2.036492e-06,2.038828e-06,2.066830e-06,2.073225e-06,2.092673e-06,2.106237e-06,2.116450e-06,2.135740e-06,2.138256e-06,2.158180e-06,2.161947e-06,2.176313e-06,2.185063e-06,2.192742e-06,2.205287e-06,2.207552e-06,2.220825e-06,2.222811e-06,2.232641e-06,2.237818e-06,2.243077e-06,2.250482e-06,2.252207e-06,2.260102e-06,2.260970e-06,2.266830e-06,2.269438e-06,2.272457e-06,2.276035e-06,2.277045e-06,2.280654e-06,2.280903e-06,2.283342e-06,2.284172e-06,2.285163e-06,2.285967e-06,2.286170e-06,2.286411e-06,2.286405e-06,2.285934e-06,2.285596e-06,2.284785e-06,2.283641e-06,2.283006e-06,2.280638e-06,2.277721e-06,2.276677e-06,2.274289e-06,2.271841e-06,2.270380e-06,2.266208e-06,2.266026e-06,2.261258e-06,2.259853e-06,2.256107e-06,2.252844e-06,2.250601e-06,2.245245e-06,2.244767e-06,2.238630e-06,2.237115e-06,2.232214e-06,2.228508e-06,2.225543e-06,2.219478e-06,2.218637e-06,2.211518e-06,2.210071e-06,2.204205e-06,2.200331e-06,2.196716e-06,2.190301e-06,2.189067e-06,2.181277e-06,2.180018e-06,2.173359e-06,2.169517e-06,2.165328e-06,2.158832e-06,2.157199e-06,2.148984e-06,2.147993e-06,2.140695e-06,2.137027e-06,2.132343e-06,2.125961e-06,2.123940e-06,2.115495e-06,2.114817e-06,2.107017e-06,2.103620e-06,2.098517e-06,2.092387e-06,2.090002e-06,2.081480e-06,2.081139e-06,2.072958e-06,2.069892e-06,2.064443e-06,2.058661e-06,2.055943e-06,2.047461e-06,2.036306e-06,2.025206e-06,2.014173e-06,2.003216e-06,1.992345e-06,1.981567e-06,1.970890e-06,1.960320e-06,1.949863e-06,1.939524e-06,1.929308e-06,1.919218e-06,1.909258e-06,1.899431e-06,1.889740e-06,1.880186e-06,1.870772e-06,1.861499e-06,1.852368e-06,1.843380e-06,1.834535e-06,1.825834e-06,1.817276e-06,1.808863e-06
0.000000e+00,5.516568e-13,3.500347e-12,5.252358e-11,3.050123e-10,6.740425e-10,3.610228e-09,3.831608e-09,1.401286e-08,1.908866e-08,3.894403e-08,6.552173e-08,8.989624e-08,1.724504e-07,1.817069e-07,3.324845e-07,3.796869e-07,5.626309e-07,7.339707e-07,8.928831e-07,1.281141e-06,1.341794e-06,1.923571e-06,2.056737e-06,2.646918e-06,3.080244e-06,3.514931e-06,4.354598e-06,4.525713e-06,5.673293e-06,5.869030e-06,6.948590e-06,7.602829e-06,8.340240e-06,9.528655e-06,9.835268e-06,1.141962e-05,1.161505e-05,1.307860e-05,1.382834e-05,1.479724e-05,1.613409e-05,1.656059e-05,1.835405e-05,1.849840e-05,2.016363e-05,2.088898e-05,2.197613e-05,2.327607e-05,2.377939e-05,2.556237e-05,2.563313e-05,2.731528e-05,2.793728e-05,2.902958e-05,3.016953e-05,3.069807e-05,3.231477e-05,3.387493e-05,3.436161e-05,3.537488e-05,3.630202e-05,3.681202e-05,3.813098e-05,3.818463e-05,3.949181e-05,3.984605e-05,4.073334e-05,4.144688e-05,4.190960e-05,4.293484e-05,4.302144e-05,4.407014e-05,4.431260e-05,4.505727e-05,4.558384e-05,4.598465e-05,4.675292e-05,4.685430e-05,4.766834e-05,4.782467e-05,4.842900e-05,4.880420e-05,4.913854e-05,4.969673e-05,4.979926e-05,5.041342e-05,5.050751e-05,5.098327e-05,5.124171e-05,5.151101e-05,5.190434e-05,5.199880e-05,5.244872e-05,5.250026e-05,5.286276e-05,5.303408e-05,5.324287e-05,5.351021e-05,5.359090e-05,5.390863e-05,5.393279e-05,5.419775e-05,5.430575e-05,5.445987e-05,5.463276e-05,5.469655e-05,5.490923e-05,5.491725e-05,5.509930e-05,5.516245e-05,5.526810e-05,5.537136e-05,5.541685e-05,5.554676e-05,5.565894e-05,5.569126e-05,5.575444e-05,5.580728e-05,5.583428e-05,5.589707e-05,5.589941e-05,5.595071e-05,5.596271e-05,5.598904e-05,5.600615e-05,5.601520e-05,5.602918e-05,5.602995e-05,5.603401e-05,5.603346e-05,5.602804e-05,5.602056e-05,5.601270e-05,5.599191e-05,5.598857e-05,5.595624e-05,5.594884e-05,5.591624e-05,5.589257e-05,5.586907e-05,5.582427e-05,5.581522e-05,5.575515e-05,5.574499e-05,5.568927e-05,5.565571e-05,5.561799e-05,5.555734e-05,5.554170e-05,5.546075e-05,5.545074e-05,5.537549e-05,5.533669e-05,5.528623e-05,5.521591e-05,5.519328e-05,5.509692e-05,5.508907e-05,5.499743e-05,5.495682e-05,5.489506e-05,5.481971e-05,5.479006e-05,5.468264e-05,5.467830e-05,5.457303e-05,5.453307e-05,5.446142e-05,5.438449e-05,5.434802e-05,5.423299e-05,5.407895e-05,5.392276e-05,5.376474e-05,5.360521e-05,5.344446e-05,5.328275e-05,5.312035e-05,5.295748e-05,5.279434e-05,5.263114e-05,5.246806e-05,5.230526e-05,5.214290e-05,5.198112e-05,5.182004e-05,5.165979e-05,5.150048e-05,5.134220e-05,5.118505e-05,5.102911e-05,5.087446e-05,5.072116e-05,5.056928e-05,5.041888e-05
0.000000e+00,6.630465e-12,3.167386e-11,2.765765e-10,1.034549e-09,1.832786e-09,5.893234e-09,6.136676e-09,1.463848e-08,1.795776e-08,2.869626e-08,4.034573e-08,4.962756e-08,7.609885e-08,7.876355e-08,1.174595e-07,1.283177e-07,1.670263e-07,1.999515e-07,2.285388e-07,2.929652e-07,3.024905e-07,3.883690e-07,4.068430e-07,4.844311e-07,5.375285e-07,5.879646e-07,6.784879e-07,6.959448e-07,8.056441e-07,8.232035e-07,9.149171e-07,9.667391e-07,1.022203e-06,1.105851e-06,1.126404e-06,1.226755e-06,1.238512e-06,1.322728e-06,1.363473e-06,1.413967e-06,1.479998e-06,1.500245e-06,1.581441e-06,1.587716e-06,1.657521e-06,1.686526e-06,1.728519e-06,1.776541e-06,1.794528e-06,1.855689e-06,1.858037e-06,1.912178e-06,1.931408e-06,1.964197e-06,1.997129e-06,2.011967e-06,2.055723e-06,2.095700e-06,2.107734e-06,2.132138e-06,2.153710e-06,2.165272e-06,2.194184e-06,2.195330e-06,2.222531e-06,2.229664e-06,2.247085e-06,2.260629e-06,2.269189e-06,2.287522e-06,2.289030e-06,2.306782e-06,2.310750e-06,2.322607e-06,2.330683e-06,2.336654e-06,2.347657e-06,2.349064e-06,2.359964e-06,2.361974e-06,2.369473e-06,2.373904e-06,2.377699e-06,2.383692e-06,2.384744e-06,2.390697e-06,2.391555e-06,2.395645e-06,2.397686e-06,2.399665e-06,2.402260e-06,2.402827e-06,2.405198e-06,2.405432e-06,2.406837e-06,2.407341e-06,2.407800e-06,2.408110e-06,2.408136e-06,2.407893e-06,2.407850e-06,2.407114e-06,2.406661e-06,2.405837e-06,2.404631e-06,2.404100e-06,2.401937e-06,2.401842e-06,2.399377e-06,2.398365e-06,2.396451e-06,2.394265e-06,2.393184e-06,2.389601e-06,2.385726e-06,2.384427e-06,2.381578e-06,2.378791e-06,2.377179e-06,2.372736e-06,2.372546e-06,2.367696e-06,2.366302e-06,2.362646e-06,2.359526e-06,2.357411e-06,2.352442e-06,2.352004e-06,2.346438e-06,2.345080e-06,2.340726e-06,2.337467e-06,2.334879e-06,2.329630e-06,2.328907e-06,2.322822e-06,2.321592e-06,2.316632e-06,2.313375e-06,2.310346e-06,2.304998e-06,2.303972e-06,2.297519e-06,2.296480e-06,2.290994e-06,2.287839e-06,2.284404e-06,2.279089e-06,2.277755e-06,2.271054e-06,2.270247e-06,2.264306e-06,2.261324e-06,2.257517e-06,2.252334e-06,2.250693e-06,2.243838e-06,2.243288e-06,2.236956e-06,2.234197e-06,2.230053e-06,2.225072e-06,2.223133e-06,2.216198e-06,2.215921e-06,2.209254e-06,2.206753e-06,2.202304e-06,2.197576e-06,2.195351e-06,2.188398e-06,2.179225e-06,2.170064e-06,2.160922e-06,2.151803e-06,2.142712e-06,2.133656e-06,2.124637e-06,2.115660e-06,2.106730e-06,2.097849e-06,2.089020e-06,2.080248e-06,2.071534e-06,2.062881e-06,2.054292e-06,2.045768e-06,2.037313e-06,2.028926e-06,2.020611e-06,2.012368e-06,2.004200e-06,1.996106e-06,1.988089e-06,1.980149e-06
0.000000e+00,3.967165e-12,2.300552e-11,2.879107e-10,1.426163e-09,2.896057e-09,1.258235e-08,1.324448e-08,3.990707e-08,5.169490e-08,9.334390e-08,1.429186e-07,1.847874e-07,3.123074e-07,3.256657e-07,5.273114e-07,5.859596e-07,8.003326e-07,9.876638e-07,1.153062e-06,1.532700e-06,1.589494e-06,2.108220e-06,2.221371e-06,2.703197e-06,3.039841e-06,3.365579e-06,3.966823e-06,4.085452e-06,4.852862e-06,4.979413e-06,5.658233e-06,6.055598e-06,6.492435e-06,7.174680e-06,7.346744e-06,8.212815e-06,8.317153e-06,9.082712e-06,9.464739e-06,9.948983e-06,1.060066e-05,1.080475e-05,1.164378e-05,1.171001e-05,1.246060e-05,1.278003e-05,1.325051e-05,1.380035e-05,1.400959e-05,1.473472e-05,1.476298e-05,1.542353e-05,1.566227e-05,1.607435e-05,1.649466e-05,1.668615e-05,1.725846e-05,1.779131e-05,1.795354e-05,1.828511e-05,1.858100e-05,1.874065e-05,1.914295e-05,1.915898e-05,1.954136e-05,1.964218e-05,1.988922e-05,2.008200e-05,2.020410e-05,2.046604e-05,2.048760e-05,2.074138e-05,2.079806e-05,2.096712e-05,2.108189e-05,2.116645e-05,2.132131e-05,2.134100e-05,2.149237e-05,2.152000e-05,2.162209e-05,2.168147e-05,2.173162e-05,2.180907e-05,2.182238e-05,2.189572e-05,2.190592e-05,2.195289e-05,2.197495e-05,2.199511e-05,2.201888e-05,2.202350e-05,2.203915e-05,2.204022e-05,2.204304e-05,2.204127e-05,2.203611e-05,2.202415e-05,2.201924e-05,2.199325e-05,2.199079e-05,2.195889e-05,2.194297e-05,2.191689e-05,2.188229e-05,2.186791e-05,2.181256e-05,2.181022e-05,2.175141e-05,2.172809e-05,2.168501e-05,2.163710e-05,2.161384e-05,2.153837e-05,2.145902e-05,2.143288e-05,2.137619e-05,2.132153e-05,2.129026e-05,2.120514e-05,2.120154e-05,2.111038e-05,2.108445e-05,2.101705e-05,2.096012e-05,2.092182e-05,2.083276e-05,2.082496e-05,2.072668e-05,2.070291e-05,2.062721e-05,2.057106e-05,2.052674e-05,2.043765e-05,2.042546e-05,2.032353e-05,2.030308e-05,2.022111e-05,2.016771e-05,2.011835e-05,2.003186e-05,2.001538e-05,1.991232e-05,1.989583e-05,1.980928e-05,1.975986e-05,1.970636e-05,1.962419e-05,1.960367e-05,1.950128e-05,1.948902e-05,1.939929e-05,1.935455e-05,1.929776e-05,1.922094e-05,1.919675e-05,1.909633e-05,1.908833e-05,1.899656e-05,1.895685e-05,1.889749e-05,1.882661e-05,1.879916e-05,1.870161e-05,1.869772e-05,1.860488e-05,1.857027e-05,1.850901e-05,1.844432e-05,1.841402e-05,1.831995e-05,1.819720e-05,1.807614e-05,1.795679e-05,1.783920e-05,1.772338e-05,1.760936e-05,1.749716e-05,1.738679e-05,1.727825e-05,1.717155e-05,1.706668e-05,1.696364e-05,1.686243e-05,1.676304e-05,1.666546e-05,1.656966e-05,1.647565e-05,1.638340e-05,1.629289e-05,1.620410e-05,1.611702e-05,1.603163e-05,1.594789e-05,1.586580e-05
0.000000e+00,1.805911e-12,1.090435e-11,1.479964e-10,7.868152e-10,1.659015e-09,7.917486e-09,8.365339e-09,2.757763e-08,3.659882e-08,7.022975e-08,1.129569e-07,1.507870e-07,2.730367e-07,2.863109e-07,4.933780e-07,5.551994e-07,7.841198e-07,9.859054e-07,1.164373e-06,1.573445e-06,1.634531e-06,2.191538e-06,2.312957e-06,2.830597e-06,3.193498e-06,3.546114e-06,4.201801e-06,4.332009e-06,5.181698e-06,5.323097e-06,6.087991e-06,6.540841e-06,7.043052e-06,7.836563e-06,8.038448e-06,9.065303e-06,9.190208e-06,1.011451e-05,1.058089e-05,1.117696e-05,1.198783e-05,1.224382e-05,1.330672e-05,1.339134e-05,1.435794e-05,1.477358e-05,1.539056e-05,1.611911e-05,1.639855e-05,1.737680e-05,1.741524e-05,1.832111e-05,1.865209e-05,1.922820e-05,1.982247e-05,2.009561e-05,2.092168e-05,2.170539e-05,2.194716e-05,2.244636e-05,2.289817e-05,2.314468e-05,2.377544e-05,2.380089e-05,2.441586e-05,2.458081e-05,2.499072e-05,2.531695e-05,2.552684e-05,2.598713e-05,2.602570e-05,2.648890e-05,2.659495e-05,2.691811e-05,2.714425e-05,2.731501e-05,2.763890e-05,2.768129e-05,2.801862e-05,2.808276e-05,2.832864e-05,2.847958e-05,2.861293e-05,2.883297e-05,2.887301e-05,2.911036e-05,2.914632e-05,2.932637e-05,2.942286e-05,2.952236e-05,2.966559e-05,2.969959e-05,2.985925e-05,2.987728e-05,3.000246e-05,3.006053e-05,3.013027e-05,3.021771e-05,3.024366e-05,3.034357e-05,3.035101e-05,3.043086e-05,3.046243e-05,3.050636e-05,3.055383e-05,3.057081e-05,3.062493e-05,3.062689e-05,3.066940e-05,3.068317e-05,3.070483e-05,3.072407e-05,3.073182e-05,3.075090e-05,3.076258e-05,3.076484e-05,3.076735e-05,3.076698e-05,3.076565e-05,3.075832e-05,3.075790e-05,3.074449e-05,3.073977e-05,3.072579e-05,3.071218e-05,3.070215e-05,3.067630e-05,3.067388e-05,3.064129e-05,3.063286e-05,3.060466e-05,3.058249e-05,3.056426e-05,3.052579e-05,3.052034e-05,3.047313e-05,3.046332e-05,3.042286e-05,3.039558e-05,3.036973e-05,3.032303e-05,3.031393e-05,3.025566e-05,3.024612e-05,3.019508e-05,3.016523e-05,3.013235e-05,3.008073e-05,3.006764e-05,3.000108e-05,2.999297e-05,2.993280e-05,2.990226e-05,2.986295e-05,2.980888e-05,2.979164e-05,2.971898e-05,2.971312e-05,2.964509e-05,2.961521e-05,2.957006e-05,2.951539e-05,2.949400e-05,2.941698e-05,2.941388e-05,2.933911e-05,2.931088e-05,2.926046e-05,2.920657e-05,2.918111e-05,2.910113e-05,2.899471e-05,2.888746e-05,2.877954e-05,2.867105e-05,2.856213e-05,2.845288e-05,2.834341e-05,2.823382e-05,2.812419e-05,2.801462e-05,2.790517e-05,2.779593e-05,2.768695e-05,2.757831e-05,2.747005e-05,2.736224e-05,2.725492e-05,2.714814e-05,2.704195e-05,2.693638e-05,2.683147e-05,2.672725e-05,2.662376e-05,2.652103e-05
0.000000e+00,2.828784e-11,6.511658e-11,2.254589e-10,5.161269e-10,7.562683e-10,1.744161e-09,1.798189e-09,3.567536e-09,4.229126e-09,6.336369e-09,8.601203e-09,1.039485e-08,1.540872e-08,1.590168e-08,2.275317e-08,2.456936e-08,3.069122e-08,3.551823e-08,3.947385e-08,4.775806e-08,4.892233e-08,5.890296e-08,6.095295e-08,6.930475e-08,7.484636e-08,8.002660e-08,8.920947e-08,9.097182e-08,1.020469e-07,1.038249e-07,1.131625e-07,1.184875e-07,1.242348e-07,1.330097e-07,1.351872e-07,1.459513e-07,1.472274e-07,1.564677e-07,1.610033e-07,1.666865e-07,1.742281e-07,1.765666e-07,1.860758e-07,1.868198e-07,1.951899e-07,1.987208e-07,2.038915e-07,2.098951e-07,2.121699e-07,2.200195e-07,2.203246e-07,2.274393e-07,2.300056e-07,2.344320e-07,2.389459e-07,2.410034e-07,2.471615e-07,2.529165e-07,2.546748e-07,2.582800e-07,2.615132e-07,2.632650e-07,2.677069e-07,2.678849e-07,2.721536e-07,2.732879e-07,2.760855e-07,2.782888e-07,2.796947e-07,2.827427e-07,2.829958e-07,2.860026e-07,2.866820e-07,2.887292e-07,2.901388e-07,2.911891e-07,2.931438e-07,2.933956e-07,2.953616e-07,2.957270e-07,2.970995e-07,2.979170e-07,2.986212e-07,2.997410e-07,2.999385e-07,3.010625e-07,3.012251e-07,3.020038e-07,3.023939e-07,3.027729e-07,3.032706e-07,3.033794e-07,3.038330e-07,3.038775e-07,3.041425e-07,3.042353e-07,3.043166e-07,3.043635e-07,3.043636e-07,3.042912e-07,3.042805e-07,3.041071e-07,3.040037e-07,3.038182e-07,3.035493e-07,3.034315e-07,3.029533e-07,3.029323e-07,3.023898e-07,3.021672e-07,3.017468e-07,3.012671e-07,3.010300e-07,3.002444e-07,2.993952e-07,2.991108e-07,2.984871e-07,2.978771e-07,2.975246e-07,2.965534e-07,2.965119e-07,2.954531e-07,2.951489e-07,2.943520e-07,2.936725e-07,2.932122e-07,2.921323e-07,2.920371e-07,2.908299e-07,2.905358e-07,2.895938e-07,2.888899e-07,2.883315e-07,2.872012e-07,2.870458e-07,2.857393e-07,2.854757e-07,2.844143e-07,2.837188e-07,2.830732e-07,2.819358e-07,2.817182e-07,2.803511e-07,2.801314e-07,2.789740e-07,2.783099e-07,2.775886e-07,2.764754e-07,2.761966e-07,2.747995e-07,2.746316e-07,2.733989e-07,2.727819e-07,2.719961e-07,2.709293e-07,2.705924e-07,2.691891e-07,2.690769e-07,2.677872e-07,2.672271e-07,2.663878e-07,2.653824e-07,2.649919e-07,2.636005e-07,2.635449e-07,2.622143e-07,2.617168e-07,2.608342e-07,2.598996e-07,2.594609e-07,2.580951e-07,2.563048e-07,2.545300e-07,2.527718e-07,2.510313e-07,2.493095e-07,2.476071e-07,2.459250e-07,2.442638e-07,2.426240e-07,2.410060e-07,2.394104e-07,2.378374e-07,2.362872e-07,2.347602e-07,2.332564e-07,2.317759e-07,2.303189e-07,2.288854e-07,2.274753e-07,2.260886e-07,2.247252e-07,2.233850e-07,2.220679e-07,2.207736e-07
0.000000e+00,4.833377e-13,3.040575e-12,4.482490e-11,2.561718e-10,5.611637e-10,2.937891e-09,3.115128e-09,1.113164e-08,1.506622e-08,3.022997e-08,5.015244e-08,6.816169e-08,1.278950e-07,1.344980e-07,2.401597e-07,2.726563e-07,3.967498e-07,5.109740e-07,6.156794e-07,8.681551e-07,9.072898e-07,1.280232e-06,1.365204e-06,1.741194e-06,2.017325e-06,2.294907e-06,2.833881e-06,2.944279e-06,3.690573e-06,3.818978e-06,4.533552e-06,4.972098e-06,5.471593e-06,6.288550e-06,6.501776e-06,7.619965e-06,7.759822e-06,8.820892e-06,9.373925e-06,1.009827e-05,1.111581e-05,1.144491e-05,1.285288e-05,1.296791e-05,1.431366e-05,1.491077e-05,1.581834e-05,1.692376e-05,1.735777e-05,1.892276e-05,1.898577e-05,2.050424e-05,2.107589e-05,2.209338e-05,2.317406e-05,2.368178e-05,2.526152e-05,2.682527e-05,2.732119e-05,2.836637e-05,2.933798e-05,2.987881e-05,3.129890e-05,3.135733e-05,3.279735e-05,3.319311e-05,3.419500e-05,3.501188e-05,3.554706e-05,3.674849e-05,3.685098e-05,3.810477e-05,3.839805e-05,3.930699e-05,3.995734e-05,4.045671e-05,4.142462e-05,4.155342e-05,4.259701e-05,4.279937e-05,4.358772e-05,4.408216e-05,4.452608e-05,4.527441e-05,4.541287e-05,4.624907e-05,4.637825e-05,4.703586e-05,4.739634e-05,4.777452e-05,4.833176e-05,4.846649e-05,4.911323e-05,4.918788e-05,4.971633e-05,4.996827e-05,5.027736e-05,5.067660e-05,5.079794e-05,5.127971e-05,5.131662e-05,5.172427e-05,5.189204e-05,5.213324e-05,5.240654e-05,5.250819e-05,5.285068e-05,5.286372e-05,5.316221e-05,5.326707e-05,5.344427e-05,5.361997e-05,5.369829e-05,5.392565e-05,5.412768e-05,5.418719e-05,5.430567e-05,5.440754e-05,5.446086e-05,5.458951e-05,5.459445e-05,5.470758e-05,5.473574e-05,5.480134e-05,5.484873e-05,5.487677e-05,5.493086e-05,5.493489e-05,5.497665e-05,5.498434e-05,5.500296e-05,5.501128e-05,5.501470e-05,5.501363e-05,5.501269e-05,5.499773e-05,5.499325e-05,5.497057e-05,5.495187e-05,5.493194e-05,5.489111e-05,5.488250e-05,5.482293e-05,5.481249e-05,5.475382e-05,5.471744e-05,5.467578e-05,5.460729e-05,5.458936e-05,5.449509e-05,5.448328e-05,5.439348e-05,5.434657e-05,5.428501e-05,5.419826e-05,5.417013e-05,5.404927e-05,5.403935e-05,5.392285e-05,5.387081e-05,5.379125e-05,5.369350e-05,5.365485e-05,5.351399e-05,5.350827e-05,5.336901e-05,5.331587e-05,5.322022e-05,5.311702e-05,5.306793e-05,5.291241e-05,5.270264e-05,5.248831e-05,5.226995e-05,5.204807e-05,5.182314e-05,5.159559e-05,5.136584e-05,5.113425e-05,5.090117e-05,5.066694e-05,5.043186e-05,5.019619e-05,4.996022e-05,4.972417e-05,4.948826e-05,4.925271e-05,4.901771e-05,4.878342e-05,4.855001e-05,4.831764e-05,4.808643e-05,4.785651e-05,4.762800e-05,4.740100e-05
0.000000e+00,1.097459e-10,3.535192e-10,1.754934e-09,4.742767e-09,7.381684e-09,1.883442e-08,1.947499e-08,4.074302e-08,4.876224e-08,7.437054e-08,1.019737e-07,1.239302e-07,1.860854e-07,1.922731e-07,2.798699e-07,3.035892e-07,3.850055e-07,4.507032e-07,5.054638e-07,6.226682e-07,6.394013e-07,7.853434e-07,8.158562e-07,9.419817e-07,1.027235e-06,1.108031e-06,1.253813e-06,1.282160e-06,1.462984e-06,1.492441e-06,1.649071e-06,1.739839e-06,1.838983e-06,1.992714e-06,2.031305e-06,2.224680e-06,2.247894e-06,2.417836e-06,2.502452e-06,2.609612e-06,2.753794e-06,2.798968e-06,2.984994e-06,2.999708e-06,3.166915e-06,3.238385e-06,3.344083e-06,3.468401e-06,3.515972e-06,3.682172e-06,3.688697e-06,3.842371e-06,3.898530e-06,3.996352e-06,4.097431e-06,4.143971e-06,4.285160e-06,4.419906e-06,4.461669e-06,4.548247e-06,4.627058e-06,4.670259e-06,4.781534e-06,4.786048e-06,4.895739e-06,4.925378e-06,4.999475e-06,5.058924e-06,5.097416e-06,5.182554e-06,5.189738e-06,5.276626e-06,5.296692e-06,5.358270e-06,5.401770e-06,5.434859e-06,5.498232e-06,5.506589e-06,5.573655e-06,5.586526e-06,5.636254e-06,5.667108e-06,5.694595e-06,5.740468e-06,5.748890e-06,5.799306e-06,5.807024e-06,5.846016e-06,5.867172e-06,5.889192e-06,5.921293e-06,5.928990e-06,5.965569e-06,5.969749e-06,5.999080e-06,6.012891e-06,6.029669e-06,6.051049e-06,6.057476e-06,6.082633e-06,6.084535e-06,6.105270e-06,6.113647e-06,6.125511e-06,6.138669e-06,6.143476e-06,6.159278e-06,6.159866e-06,6.173026e-06,6.177493e-06,6.184827e-06,6.191789e-06,6.194778e-06,6.202977e-06,6.209515e-06,6.211270e-06,6.214479e-06,6.216868e-06,6.217952e-06,6.219960e-06,6.220017e-06,6.220747e-06,6.220723e-06,6.220218e-06,6.219325e-06,6.218498e-06,6.215921e-06,6.215654e-06,6.211749e-06,6.210661e-06,6.206845e-06,6.203683e-06,6.200998e-06,6.195117e-06,6.194264e-06,6.186695e-06,6.185086e-06,6.178342e-06,6.173704e-06,6.169252e-06,6.161081e-06,6.159472e-06,6.149043e-06,6.147317e-06,6.138008e-06,6.132507e-06,6.126406e-06,6.116741e-06,6.114274e-06,6.101648e-06,6.100102e-06,6.088563e-06,6.082667e-06,6.075049e-06,6.064512e-06,6.061139e-06,6.046861e-06,6.045703e-06,6.032243e-06,6.026307e-06,6.017312e-06,6.006382e-06,6.002093e-06,5.986609e-06,5.985985e-06,5.970884e-06,5.965169e-06,5.954940e-06,5.943983e-06,5.938796e-06,5.922473e-06,5.900682e-06,5.878651e-06,5.856417e-06,5.834014e-06,5.811476e-06,5.788832e-06,5.766112e-06,5.743341e-06,5.720545e-06,5.697745e-06,5.674963e-06,5.652220e-06,5.629532e-06,5.606917e-06,5.584390e-06,5.561966e-06,5.539658e-06,5.517478e-06,5.495438e-06,5.473547e-06,5.451816e-06,5.430254e-06,5.408867e-06,5.387663e-06
0.000000e+00,3.347061e-11,8.214480e-11,2.992250e-10,6.896378e-10,1.005967e-09,2.253107e-09,2.319102e-09,4.381255e-09,5.111432e-09,7.329053e-09,9.581146e-09,1.130322e-08,1.598895e-08,1.644659e-08,2.287942e-08,2.462231e-08,3.064058e-08,3.553113e-08,3.961319e-08,4.828457e-08,4.950846e-08,5.995283e-08,6.207603e-08,7.060382e-08,7.613567e-08,8.120636e-08,8.994874e-08,9.159048e-08,1.016474e-07,1.032210e-07,1.113066e-07,1.157874e-07,1.205211e-07,1.275502e-07,1.292583e-07,1.374960e-07,1.384503e-07,1.452205e-07,1.484548e-07,1.524253e-07,1.575533e-07,1.591107e-07,1.652837e-07,1.657558e-07,1.709567e-07,1.730896e-07,1.761469e-07,1.795967e-07,1.808755e-07,1.851668e-07,1.853297e-07,1.890468e-07,1.903482e-07,1.925430e-07,1.947154e-07,1.956833e-07,1.984951e-07,2.010053e-07,2.017491e-07,2.032396e-07,2.045361e-07,2.052224e-07,2.069104e-07,2.069764e-07,2.085227e-07,2.089211e-07,2.098806e-07,2.106124e-07,2.110678e-07,2.120230e-07,2.121003e-07,2.129926e-07,2.131873e-07,2.137576e-07,2.141349e-07,2.144072e-07,2.148916e-07,2.149517e-07,2.154005e-07,2.154795e-07,2.157619e-07,2.159178e-07,2.160434e-07,2.162231e-07,2.162518e-07,2.163931e-07,2.164099e-07,2.164728e-07,2.164905e-07,2.164955e-07,2.164757e-07,2.164658e-07,2.163874e-07,2.163749e-07,2.162641e-07,2.161964e-07,2.160990e-07,2.159475e-07,2.158952e-07,2.156553e-07,2.156346e-07,2.153817e-07,2.152634e-07,2.150768e-07,2.148390e-07,2.147426e-07,2.143812e-07,2.143662e-07,2.139942e-07,2.138490e-07,2.135834e-07,2.132913e-07,2.131503e-07,2.126964e-07,2.122230e-07,2.120676e-07,2.117314e-07,2.114078e-07,2.112228e-07,2.107196e-07,2.106983e-07,2.101590e-07,2.100055e-07,2.096059e-07,2.092678e-07,2.090399e-07,2.085086e-07,2.084620e-07,2.078729e-07,2.077299e-07,2.072734e-07,2.069335e-07,2.066644e-07,2.061211e-07,2.060465e-07,2.054205e-07,2.052944e-07,2.047869e-07,2.044546e-07,2.041464e-07,2.036034e-07,2.034995e-07,2.028468e-07,2.027419e-07,2.021889e-07,2.018714e-07,2.015262e-07,2.009930e-07,2.008593e-07,2.001885e-07,2.001077e-07,1.995142e-07,1.992166e-07,1.988370e-07,1.983206e-07,1.981572e-07,1.974751e-07,1.974205e-07,1.967912e-07,1.965172e-07,1.961057e-07,1.956114e-07,1.954190e-07,1.947313e-07,1.947038e-07,1.940430e-07,1.937951e-07,1.933544e-07,1.928860e-07,1.926656e-07,1.919770e-07,1.910687e-07,1.901616e-07,1.892561e-07,1.883528e-07,1.874520e-07,1.865541e-07,1.856596e-07,1.847687e-07,1.838817e-07,1.829991e-07,1.821209e-07,1.812476e-07,1.803793e-07,1.795162e-07,1.786587e-07,1.778067e-07,1.769606e-07,1.761205e-07,1.752865e-07,1.744588e-07,1.736375e-07,1.728227e-07,1.720145e-07,1.712130e-07
0.000000e+00,6.502969e-12,1.486119e-11,5.070941e-11,1.144464e-10,1.662776e-10,3.740330e-10,3.851882e-10,7.416017e-10,8.712135e-10,1.274187e-09,1.694609e-09,2.020719e-09,2.909910e-09,2.995932e-09,4.172045e-09,4.478608e-09,5.498821e-09,6.290656e-09,6.932163e-09,8.255898e-09,8.439894e-09,9.997384e-09,1.031297e-08,1.158375e-08,1.241374e-08,1.318012e-08,1.451609e-08,1.476918e-08,1.633522e-08,1.658270e-08,1.786442e-08,1.858184e-08,1.934512e-08,2.048839e-08,2.076795e-08,2.212577e-08,2.228408e-08,2.341361e-08,2.395725e-08,2.462846e-08,2.550204e-08,2.576897e-08,2.683523e-08,2.691735e-08,2.782844e-08,2.820573e-08,2.875072e-08,2.937235e-08,2.960479e-08,3.039386e-08,3.042411e-08,3.112138e-08,3.136892e-08,3.179098e-08,3.221509e-08,3.240632e-08,3.297100e-08,3.348855e-08,3.364476e-08,3.396233e-08,3.424407e-08,3.439555e-08,3.477608e-08,3.479122e-08,3.515218e-08,3.524738e-08,3.548104e-08,3.566397e-08,3.578025e-08,3.603127e-08,3.605206e-08,3.629854e-08,3.635415e-08,3.652162e-08,3.663699e-08,3.672306e-08,3.688369e-08,3.690445e-08,3.706730e-08,3.709777e-08,3.721297e-08,3.728234e-08,3.734270e-08,3.744020e-08,3.745764e-08,3.755885e-08,3.757383e-08,3.764729e-08,3.768547e-08,3.772386e-08,3.777713e-08,3.778938e-08,3.784461e-08,3.785058e-08,3.789025e-08,3.790745e-08,3.792693e-08,3.794919e-08,3.795526e-08,3.797579e-08,3.797711e-08,3.798902e-08,3.799239e-08,3.799544e-08,3.799609e-08,3.799549e-08,3.798957e-08,3.798921e-08,3.797806e-08,3.797262e-08,3.796133e-08,3.794713e-08,3.793970e-08,3.791349e-08,3.788298e-08,3.787235e-08,3.784844e-08,3.782435e-08,3.781014e-08,3.777004e-08,3.776830e-08,3.772316e-08,3.770996e-08,3.767493e-08,3.764459e-08,3.762380e-08,3.757436e-08,3.756996e-08,3.751359e-08,3.749970e-08,3.745485e-08,3.742098e-08,3.739390e-08,3.733855e-08,3.733089e-08,3.726596e-08,3.725275e-08,3.719923e-08,3.716387e-08,3.713085e-08,3.707221e-08,3.706092e-08,3.698956e-08,3.697802e-08,3.691687e-08,3.688155e-08,3.684297e-08,3.678302e-08,3.676793e-08,3.669186e-08,3.668266e-08,3.661484e-08,3.658067e-08,3.653695e-08,3.647722e-08,3.645827e-08,3.637887e-08,3.637249e-08,3.629883e-08,3.626665e-08,3.621821e-08,3.615984e-08,3.613708e-08,3.605549e-08,3.605222e-08,3.597351e-08,3.594391e-08,3.589118e-08,3.583503e-08,3.580857e-08,3.572572e-08,3.561606e-08,3.550618e-08,3.539616e-08,3.528609e-08,3.517605e-08,3.506614e-08,3.495640e-08,3.484693e-08,3.473778e-08,3.462900e-08,3.452066e-08,3.441281e-08,3.430550e-08,3.419876e-08,3.409265e-08,3.398721e-08,3.388245e-08,3.377843e-08,3.367518e-08,3.357271e-08,3.347105e-08,3.337024e-08,3.327028e-08,3.317121e-08
0.000000e+00,1.590838e-12,9.634796e-12,1.314595e-10,7.013076e-10,1.480387e-09,7.060972e-09,7.459232e-09,2.439852e-08,3.226014e-08,6.111871e-08,9.693009e-08,1.280063e-07,2.256758e-07,2.361013e-07,3.964195e-07,4.438528e-07,6.195066e-07,7.755276e-07,9.151056e-07,1.242042e-06,1.291765e-06,1.756230e-06,1.860075e-06,2.312563e-06,2.638470e-06,2.961185e-06,3.574641e-06,3.698220e-06,4.515542e-06,4.653028e-06,5.401568e-06,5.847265e-06,6.342520e-06,7.124993e-06,7.323764e-06,8.330918e-06,8.452869e-06,9.350617e-06,9.800124e-06,1.037091e-05,1.114030e-05,1.138144e-05,1.237341e-05,1.245174e-05,1.333955e-05,1.371742e-05,1.427398e-05,1.492448e-05,1.517206e-05,1.603027e-05,1.606373e-05,1.684610e-05,1.712908e-05,1.761789e-05,1.811709e-05,1.834478e-05,1.902650e-05,1.966338e-05,1.985781e-05,2.025615e-05,2.061287e-05,2.080592e-05,2.129455e-05,2.131410e-05,2.178228e-05,2.190644e-05,2.221222e-05,2.245258e-05,2.260575e-05,2.293729e-05,2.296479e-05,2.329127e-05,2.336499e-05,2.358709e-05,2.374007e-05,2.385414e-05,2.406680e-05,2.409425e-05,2.430919e-05,2.434931e-05,2.450066e-05,2.459148e-05,2.467026e-05,2.479697e-05,2.481955e-05,2.494996e-05,2.496917e-05,2.506287e-05,2.511123e-05,2.515956e-05,2.522604e-05,2.524123e-05,2.530901e-05,2.531626e-05,2.536396e-05,2.538432e-05,2.540705e-05,2.543244e-05,2.543920e-05,2.546126e-05,2.546262e-05,2.547403e-05,2.547669e-05,2.547822e-05,2.547633e-05,2.547454e-05,2.546361e-05,2.546303e-05,2.544602e-05,2.543816e-05,2.542231e-05,2.540296e-05,2.539300e-05,2.535855e-05,2.531940e-05,2.530595e-05,2.527596e-05,2.524607e-05,2.522859e-05,2.517975e-05,2.517764e-05,2.512345e-05,2.510773e-05,2.506631e-05,2.503072e-05,2.500649e-05,2.494931e-05,2.494425e-05,2.487984e-05,2.486408e-05,2.481348e-05,2.477554e-05,2.474537e-05,2.468414e-05,2.467570e-05,2.460466e-05,2.459030e-05,2.453240e-05,2.449440e-05,2.445909e-05,2.439679e-05,2.438486e-05,2.430984e-05,2.429777e-05,2.423416e-05,2.419764e-05,2.415794e-05,2.409664e-05,2.408127e-05,2.400426e-05,2.399500e-05,2.392700e-05,2.389295e-05,2.384957e-05,2.379066e-05,2.377205e-05,2.369451e-05,2.368831e-05,2.361703e-05,2.358606e-05,2.353965e-05,2.348405e-05,2.346245e-05,2.338548e-05,2.338240e-05,2.330877e-05,2.328124e-05,2.323239e-05,2.318065e-05,2.315637e-05,2.308075e-05,2.298160e-05,2.288330e-05,2.278589e-05,2.268945e-05,2.259402e-05,2.249966e-05,2.240640e-05,2.231428e-05,2.222334e-05,2.213359e-05,2.204507e-05,2.195779e-05,2.187177e-05,2.178701e-05,2.170355e-05,2.162137e-05,2.154048e-05,2.146090e-05,2.138261e-05,2.130562e-05,2.122993e-05,2.115553e-05,2.108242e-05,2.101060e-05
0.000000e+00,2.634359e-11,1.201364e-10,9.711116e-10,3.452154e-09,5.986345e-09,1.853028e-08,1.927456e-08,4.515941e-08,5.527336e-08,8.818891e-08,1.243160e-07,1.534310e-07,2.380069e-07,2.466391e-07,3.741103e-07,4.105067e-07,5.420255e-07,6.555859e-07,7.550625e-07,9.809327e-07,1.014426e-06,1.316316e-06,1.381115e-06,1.652297e-06,1.836927e-06,2.011634e-06,2.323896e-06,2.383967e-06,2.760820e-06,2.821085e-06,3.135853e-06,3.313831e-06,3.504512e-06,3.792624e-06,3.863533e-06,4.210552e-06,4.251300e-06,4.543835e-06,4.685789e-06,4.862120e-06,5.093424e-06,5.164513e-06,5.450421e-06,5.472570e-06,5.719504e-06,5.822394e-06,5.971649e-06,6.142740e-06,6.206930e-06,6.425579e-06,6.433984e-06,6.627967e-06,6.696934e-06,6.814568e-06,6.932722e-06,6.985941e-06,7.142708e-06,7.285535e-06,7.328407e-06,7.415112e-06,7.491416e-06,7.532149e-06,7.633363e-06,7.637353e-06,7.731426e-06,7.755866e-06,7.815055e-06,7.860498e-06,7.888908e-06,7.948773e-06,7.953629e-06,8.009835e-06,8.022124e-06,8.058115e-06,8.081899e-06,8.099027e-06,8.129356e-06,8.133101e-06,8.160834e-06,8.165662e-06,8.182698e-06,8.191894e-06,8.199130e-06,8.209041e-06,8.210546e-06,8.217331e-06,8.218011e-06,8.219846e-06,8.219637e-06,8.218429e-06,8.214676e-06,8.213394e-06,8.205033e-06,8.203819e-06,8.193619e-06,8.187696e-06,8.179406e-06,8.166878e-06,8.162630e-06,8.143510e-06,8.141885e-06,8.122250e-06,8.113189e-06,8.099039e-06,8.081219e-06,8.074054e-06,8.047457e-06,8.046362e-06,8.019401e-06,8.008971e-06,7.990026e-06,7.969364e-06,7.959462e-06,7.927831e-06,7.895246e-06,7.884634e-06,7.861809e-06,7.840008e-06,7.827619e-06,7.794170e-06,7.792764e-06,7.757328e-06,7.747312e-06,7.721387e-06,7.699611e-06,7.685013e-06,7.651224e-06,7.648273e-06,7.611226e-06,7.602296e-06,7.573931e-06,7.552956e-06,7.536438e-06,7.503321e-06,7.498798e-06,7.461053e-06,7.453495e-06,7.423246e-06,7.403575e-06,7.385416e-06,7.353645e-06,7.347596e-06,7.309821e-06,7.303783e-06,7.272119e-06,7.254056e-06,7.234519e-06,7.204529e-06,7.197045e-06,7.159722e-06,7.155254e-06,7.122571e-06,7.106284e-06,7.085611e-06,7.057661e-06,7.048861e-06,7.012337e-06,7.009425e-06,6.976054e-06,6.961611e-06,6.940026e-06,6.914251e-06,6.904265e-06,6.868784e-06,6.867370e-06,6.833591e-06,6.820994e-06,6.798696e-06,6.775143e-06,6.764109e-06,6.729835e-06,6.685086e-06,6.640909e-06,6.597315e-06,6.554314e-06,6.511913e-06,6.470118e-06,6.428934e-06,6.388364e-06,6.348410e-06,6.309073e-06,6.270354e-06,6.232251e-06,6.194762e-06,6.157886e-06,6.121619e-06,6.085958e-06,6.050899e-06,6.016436e-06,5.982566e-06,5.949282e-06,5.916580e-06,5.884452e-06,5.852892e-06,5.821895e-06
0.000000e+00,1.481331e-11,3.429491e-11,1.192192e-10,2.724342e-10,3.980549e-10,9.054815e-10,9.328166e-10,1.807149e-09,2.124977e-09,3.112031e-09,4.142318e-09,4.944983e-09,7.171049e-09,7.390472e-09,1.048361e-08,1.132071e-08,1.420273e-08,1.654208e-08,1.850277e-08,2.273373e-08,2.334165e-08,2.868491e-08,2.981139e-08,3.450203e-08,3.770413e-08,4.076241e-08,4.633950e-08,4.743286e-08,5.447648e-08,5.563541e-08,6.185237e-08,6.549787e-08,6.951600e-08,7.582229e-08,7.741996e-08,8.551483e-08,8.649666e-08,9.375028e-08,9.740543e-08,1.020760e-07,1.084337e-07,1.104430e-07,1.188038e-07,1.194711e-07,1.271141e-07,1.304147e-07,1.353326e-07,1.411718e-07,1.434217e-07,1.513481e-07,1.516614e-07,1.590824e-07,1.618148e-07,1.665994e-07,1.715758e-07,1.738779e-07,1.809008e-07,1.876548e-07,1.897575e-07,1.941297e-07,1.981238e-07,2.003186e-07,2.059872e-07,2.062175e-07,2.118249e-07,2.133427e-07,2.171413e-07,2.201924e-07,2.221692e-07,2.265436e-07,2.269127e-07,2.313772e-07,2.324079e-07,2.355693e-07,2.378006e-07,2.394964e-07,2.427393e-07,2.431664e-07,2.465881e-07,2.472434e-07,2.497703e-07,2.513335e-07,2.527223e-07,2.550308e-07,2.554533e-07,2.579728e-07,2.583569e-07,2.602900e-07,2.613332e-07,2.624143e-07,2.639808e-07,2.643546e-07,2.661199e-07,2.663204e-07,2.677187e-07,2.683716e-07,2.691595e-07,2.701537e-07,2.704502e-07,2.715988e-07,2.716847e-07,2.726126e-07,2.729821e-07,2.734990e-07,2.740622e-07,2.742649e-07,2.749169e-07,2.749407e-07,2.754612e-07,2.756320e-07,2.759040e-07,2.761501e-07,2.762510e-07,2.765077e-07,2.766793e-07,2.767171e-07,2.767708e-07,2.767895e-07,2.767869e-07,2.767356e-07,2.767321e-07,2.766107e-07,2.765653e-07,2.764267e-07,2.762878e-07,2.761839e-07,2.759117e-07,2.758860e-07,2.755364e-07,2.754452e-07,2.751384e-07,2.748956e-07,2.746952e-07,2.742700e-07,2.742096e-07,2.736844e-07,2.735749e-07,2.731223e-07,2.728163e-07,2.725258e-07,2.719999e-07,2.718973e-07,2.712389e-07,2.711309e-07,2.705528e-07,2.702143e-07,2.698411e-07,2.692544e-07,2.691055e-07,2.683479e-07,2.682556e-07,2.675701e-07,2.672218e-07,2.667736e-07,2.661566e-07,2.659599e-07,2.651305e-07,2.650635e-07,2.642867e-07,2.639454e-07,2.634298e-07,2.628055e-07,2.625611e-07,2.616817e-07,2.616463e-07,2.607927e-07,2.604705e-07,2.598951e-07,2.592803e-07,2.589899e-07,2.580779e-07,2.568654e-07,2.556445e-07,2.544171e-07,2.531847e-07,2.519489e-07,2.507109e-07,2.494721e-07,2.482337e-07,2.469966e-07,2.457620e-07,2.445308e-07,2.433037e-07,2.420817e-07,2.408653e-07,2.396553e-07,2.384523e-07,2.372568e-07,2.360694e-07,2.348905e-07,2.337204e-07,2.325597e-07,2.314087e-07,2.302676e-07,2.291367e-07
0.000000e+00,1.959888e-13,1.314535e-12,2.213378e-11,1.427438e-10,3.340837e-10,2.073402e-09,2.213683e-09,9.348415e-09,1.323493e-08,2.970686e-08,5.390330e-08,7.761801e-08,1.653968e-07,1.758067e-07,3.571813e-07,4.177717e-07,6.662016e-07,9.156571e-07,1.159628e-06,1.800863e-06,1.906407e-06,2.986514e-06,3.250225e-06,4.488747e-06,5.468004e-06,6.507709e-06,8.673846e-06,9.140263e-06,1.248182e-05,1.308840e-05,1.662269e-05,1.891865e-05,2.164470e-05,2.634453e-05,2.761831e-05,3.460012e-05,3.550781e-05,4.263106e-05,4.650384e-05,5.173509e-05,5.937640e-05,6.191856e-05,7.317007e-05,7.411558e-05,8.546089e-05,9.065863e-05,9.874585e-05,1.088933e-04,1.129646e-04,1.280435e-04,1.286634e-04,1.438970e-04,1.497758e-04,1.604302e-04,1.720090e-04,1.775407e-04,1.951210e-04,2.130606e-04,2.188589e-04,2.312478e-04,2.429663e-04,2.495719e-04,2.671916e-04,2.679250e-04,2.862030e-04,2.912938e-04,3.043074e-04,3.150482e-04,3.221463e-04,3.382505e-04,3.396348e-04,3.566961e-04,3.607195e-04,3.732618e-04,3.822993e-04,3.892718e-04,4.028598e-04,4.046746e-04,4.194273e-04,4.222966e-04,4.334950e-04,4.405302e-04,4.468507e-04,4.575047e-04,4.594748e-04,4.713546e-04,4.731858e-04,4.824837e-04,4.875586e-04,4.928615e-04,5.006259e-04,5.024928e-04,5.113866e-04,5.124049e-04,5.195563e-04,5.229258e-04,5.270187e-04,5.322291e-04,5.337935e-04,5.399027e-04,5.403634e-04,5.453705e-04,5.473837e-04,5.502225e-04,5.533497e-04,5.544856e-04,5.581873e-04,5.583241e-04,5.613557e-04,5.623712e-04,5.640191e-04,5.655562e-04,5.662057e-04,5.679433e-04,5.692596e-04,5.695962e-04,5.701813e-04,5.705763e-04,5.707347e-04,5.709429e-04,5.709451e-04,5.708370e-04,5.707529e-04,5.704339e-04,5.700599e-04,5.697584e-04,5.689147e-04,5.688319e-04,5.676748e-04,5.673650e-04,5.663066e-04,5.654551e-04,5.647457e-04,5.632263e-04,5.630092e-04,5.611136e-04,5.607168e-04,5.590742e-04,5.579618e-04,5.569055e-04,5.549936e-04,5.546208e-04,5.522327e-04,5.518419e-04,5.497531e-04,5.485336e-04,5.471929e-04,5.450935e-04,5.445622e-04,5.418705e-04,5.415438e-04,5.391266e-04,5.379048e-04,5.363385e-04,5.341946e-04,5.335137e-04,5.306592e-04,5.304297e-04,5.277814e-04,5.266250e-04,5.248861e-04,5.227937e-04,5.219787e-04,5.190643e-04,5.189477e-04,5.161473e-04,5.150974e-04,5.132319e-04,5.112523e-04,5.103219e-04,5.074208e-04,5.036101e-04,4.998267e-04,4.960762e-04,4.923636e-04,4.886933e-04,4.850688e-04,4.814933e-04,4.779696e-04,4.745000e-04,4.710862e-04,4.677297e-04,4.644320e-04,4.611937e-04,4.580158e-04,4.548985e-04,4.518423e-04,4.488472e-04,4.459131e-04,4.430400e-04,4.402273e-04,4.374748e-04,4.347820e-04,4.321481e-04,4.295727e-04
0.000000e+00,9.922193e-11,3.253888e-10,1.646436e-09,4.477322e-09,6.973131e-09,1.769872e-08,1.829315e-08,3.771054e-08,4.488256e-08,6.731997e-08,9.087107e-08,1.092744e-07,1.606319e-07,1.657288e-07,2.384661e-07,2.584514e-07,3.281148e-07,3.853695e-07,4.336137e-07,5.378148e-07,5.527502e-07,6.831363e-07,7.103722e-07,8.226631e-07,8.982146e-07,9.695027e-07,1.097286e-06,1.122000e-06,1.278599e-06,1.303936e-06,1.437815e-06,1.514751e-06,1.598237e-06,1.726553e-06,1.758546e-06,1.917531e-06,1.936467e-06,2.074109e-06,2.141992e-06,2.227333e-06,2.341038e-06,2.376396e-06,2.520634e-06,2.531948e-06,2.659514e-06,2.713470e-06,2.792628e-06,2.884732e-06,2.919684e-06,3.040488e-06,3.045188e-06,3.154933e-06,3.194569e-06,3.262989e-06,3.332829e-06,3.364684e-06,3.460101e-06,3.549362e-06,3.576650e-06,3.632622e-06,3.682842e-06,3.710063e-06,3.779113e-06,3.781880e-06,3.848287e-06,3.865941e-06,3.909502e-06,3.943833e-06,3.965751e-06,4.013306e-06,4.017258e-06,4.064249e-06,4.074880e-06,4.106947e-06,4.129065e-06,4.145570e-06,4.176358e-06,4.180332e-06,4.211440e-06,4.217241e-06,4.239095e-06,4.252175e-06,4.263490e-06,4.281599e-06,4.284811e-06,4.303237e-06,4.305928e-06,4.318940e-06,4.325558e-06,4.332083e-06,4.340859e-06,4.342822e-06,4.351306e-06,4.352180e-06,4.357678e-06,4.359847e-06,4.362071e-06,4.364166e-06,4.364614e-06,4.365430e-06,4.365424e-06,4.364633e-06,4.363887e-06,4.362333e-06,4.359804e-06,4.358633e-06,4.353633e-06,4.353408e-06,4.347425e-06,4.344912e-06,4.340097e-06,4.334517e-06,4.331732e-06,4.322408e-06,4.312199e-06,4.308757e-06,4.301176e-06,4.293725e-06,4.289405e-06,4.277458e-06,4.276948e-06,4.263863e-06,4.260094e-06,4.250206e-06,4.241758e-06,4.236028e-06,4.222568e-06,4.221380e-06,4.206306e-06,4.202630e-06,4.190850e-06,4.182044e-06,4.175054e-06,4.160901e-06,4.158954e-06,4.142588e-06,4.139286e-06,4.125989e-06,4.117276e-06,4.109188e-06,4.094941e-06,4.092215e-06,4.075098e-06,4.072347e-06,4.057862e-06,4.049555e-06,4.040533e-06,4.026617e-06,4.023132e-06,4.005681e-06,4.003584e-06,3.988200e-06,3.980503e-06,3.970706e-06,3.957414e-06,3.953218e-06,3.935751e-06,3.934355e-06,3.918320e-06,3.911361e-06,3.900938e-06,3.888462e-06,3.883620e-06,3.866375e-06,3.865687e-06,3.849216e-06,3.843062e-06,3.832152e-06,3.820608e-06,3.815193e-06,3.798347e-06,3.776298e-06,3.754475e-06,3.732894e-06,3.711568e-06,3.690508e-06,3.669723e-06,3.649222e-06,3.629011e-06,3.609099e-06,3.589488e-06,3.570184e-06,3.551189e-06,3.532506e-06,3.514137e-06,3.496082e-06,3.478343e-06,3.460919e-06,3.443809e-06,3.427012e-06,3.410527e-06,3.394351e-06,3.378484e-06,3.362921e-06,3.347661e-06
0.000000e+00,3.989318e-13,2.582426e-12,4.036446e-11,2.430616e-10,5.476969e-10,3.079345e-09,3.274426e-09,1.252511e-08,1.726030e-08,3.620039e-08,6.218112e-08,8.640055e-08,1.700822e-07,1.795784e-07,3.363551e-07,3.860816e-07,5.811035e-07,7.667236e-07,9.412767e-07,1.377034e-06,1.446265e-06,2.125454e-06,2.284619e-06,3.005374e-06,3.549349e-06,4.106363e-06,5.210538e-06,5.439613e-06,7.005393e-06,7.276918e-06,8.792813e-06,9.723691e-06,1.078095e-05,1.249680e-05,1.294096e-05,1.523861e-05,1.552183e-05,1.763680e-05,1.871411e-05,2.009782e-05,2.198768e-05,2.258518e-05,2.506495e-05,2.526206e-05,2.750666e-05,2.846662e-05,2.988385e-05,3.154279e-05,3.217423e-05,3.435976e-05,3.444479e-05,3.642641e-05,3.713921e-05,3.836390e-05,3.960399e-05,4.016537e-05,4.182694e-05,4.334739e-05,4.380423e-05,4.472768e-05,4.553875e-05,4.597064e-05,4.703866e-05,4.708057e-05,4.806293e-05,4.831597e-05,4.892403e-05,4.938536e-05,4.967081e-05,5.026314e-05,5.031056e-05,5.085078e-05,5.096646e-05,5.129899e-05,5.151256e-05,5.166261e-05,5.191836e-05,5.194885e-05,5.216467e-05,5.219997e-05,5.231665e-05,5.237254e-05,5.241103e-05,5.245007e-05,5.245363e-05,5.244989e-05,5.244533e-05,5.240481e-05,5.236986e-05,5.232300e-05,5.223395e-05,5.220868e-05,5.206568e-05,5.204677e-05,5.189751e-05,5.181637e-05,5.170733e-05,5.154982e-05,5.149797e-05,5.127203e-05,5.125330e-05,5.103179e-05,5.093217e-05,5.077934e-05,5.059107e-05,5.051653e-05,5.024502e-05,5.023400e-05,4.996628e-05,4.986443e-05,4.968164e-05,4.948531e-05,4.939227e-05,4.909921e-05,4.880340e-05,4.870830e-05,4.850567e-05,4.831445e-05,4.820675e-05,4.791927e-05,4.790729e-05,4.760787e-05,4.752412e-05,4.730901e-05,4.713015e-05,4.701116e-05,4.673836e-05,4.671471e-05,4.642001e-05,4.634958e-05,4.612739e-05,4.596453e-05,4.583711e-05,4.558379e-05,4.554941e-05,4.526451e-05,4.520788e-05,4.498259e-05,4.483721e-05,4.470380e-05,4.447214e-05,4.442828e-05,4.415616e-05,4.411294e-05,4.388752e-05,4.375985e-05,4.362247e-05,4.341305e-05,4.336106e-05,4.310336e-05,4.307268e-05,4.284940e-05,4.273886e-05,4.259924e-05,4.241167e-05,4.235289e-05,4.211038e-05,4.209114e-05,4.187171e-05,4.177732e-05,4.163689e-05,4.147020e-05,4.140592e-05,4.117878e-05,4.116977e-05,4.095547e-05,4.087602e-05,4.073598e-05,4.058889e-05,4.052027e-05,4.030833e-05,4.003429e-05,3.976669e-05,3.950545e-05,3.925048e-05,3.900169e-05,3.875900e-05,3.852229e-05,3.829146e-05,3.806642e-05,3.784705e-05,3.763324e-05,3.742488e-05,3.722187e-05,3.702409e-05,3.683142e-05,3.664377e-05,3.646101e-05,3.628304e-05,3.610974e-05,3.594102e-05,3.577676e-05,3.561685e-05,3.546120e-05,3.530969e-05
0.000000e+00,6.649714e-12,3.978892e-11,5.301671e-10,2.772765e-09,5.794094e-09,2.699706e-08,2.849516e-08,9.147256e-08,1.204271e-07,2.260615e-07,3.564739e-07,4.694191e-07,8.244455e-07,8.623965e-07,1.448207e-06,1.622417e-06,2.271078e-06,2.851467e-06,3.373472e-06,4.603424e-06,4.791091e-06,6.547115e-06,6.939845e-06,8.648645e-06,9.875683e-06,1.108713e-05,1.338096e-05,1.384186e-05,1.688433e-05,1.739569e-05,2.018200e-05,2.184552e-05,2.370074e-05,2.665187e-05,2.740629e-05,3.126484e-05,3.173658e-05,3.524347e-05,3.702387e-05,3.931038e-05,4.244151e-05,4.343517e-05,4.758909e-05,4.792184e-05,5.174533e-05,5.340288e-05,5.587925e-05,5.882926e-05,5.996859e-05,6.399355e-05,6.415296e-05,6.793685e-05,6.933352e-05,7.178368e-05,7.433801e-05,7.552166e-05,7.914064e-05,8.263259e-05,8.372213e-05,8.599137e-05,8.806901e-05,8.921258e-05,9.217279e-05,9.229330e-05,9.523195e-05,9.602922e-05,9.802806e-05,9.963749e-05,1.006821e-04,1.029996e-04,1.031955e-04,1.055702e-04,1.061197e-04,1.078087e-04,1.090038e-04,1.099139e-04,1.116590e-04,1.118893e-04,1.137384e-04,1.140934e-04,1.154651e-04,1.163158e-04,1.170731e-04,1.183352e-04,1.185667e-04,1.199498e-04,1.201611e-04,1.212266e-04,1.218029e-04,1.224011e-04,1.232699e-04,1.234776e-04,1.244598e-04,1.245716e-04,1.253520e-04,1.257169e-04,1.261578e-04,1.267149e-04,1.268812e-04,1.275258e-04,1.275741e-04,1.280953e-04,1.283028e-04,1.285932e-04,1.289092e-04,1.290228e-04,1.293875e-04,1.294008e-04,1.296906e-04,1.297852e-04,1.299350e-04,1.300693e-04,1.301238e-04,1.302600e-04,1.303461e-04,1.303636e-04,1.303850e-04,1.303863e-04,1.303793e-04,1.303340e-04,1.303313e-04,1.302435e-04,1.302121e-04,1.301182e-04,1.300259e-04,1.299576e-04,1.297804e-04,1.297638e-04,1.295387e-04,1.294803e-04,1.292845e-04,1.291300e-04,1.290028e-04,1.287337e-04,1.286955e-04,1.283644e-04,1.282954e-04,1.280109e-04,1.278188e-04,1.276367e-04,1.273074e-04,1.272432e-04,1.268319e-04,1.267645e-04,1.264041e-04,1.261933e-04,1.259611e-04,1.255966e-04,1.255041e-04,1.250343e-04,1.249772e-04,1.245529e-04,1.243376e-04,1.240608e-04,1.236803e-04,1.235591e-04,1.230487e-04,1.230075e-04,1.225306e-04,1.223214e-04,1.220056e-04,1.216238e-04,1.214745e-04,1.209381e-04,1.209166e-04,1.203972e-04,1.202015e-04,1.198524e-04,1.194801e-04,1.193044e-04,1.187538e-04,1.180241e-04,1.172922e-04,1.165593e-04,1.158264e-04,1.150946e-04,1.143648e-04,1.136378e-04,1.129145e-04,1.121954e-04,1.114813e-04,1.107728e-04,1.100704e-04,1.093746e-04,1.086857e-04,1.080044e-04,1.073307e-04,1.066652e-04,1.060080e-04,1.053594e-04,1.047197e-04,1.040889e-04,1.034673e-04,1.028549e-04,1.022519e-04
0.000000e+00,2.256168e-13,1.476964e-12,2.363727e-11,1.455088e-10,3.319588e-10,1.929086e-09,2.054135e-09,8.136223e-09,1.132382e-08,2.437214e-08,4.279797e-08,6.036657e-08,1.231166e-07,1.303987e-07,2.541375e-07,2.945258e-07,4.569138e-07,6.161199e-07,7.689835e-07,1.160270e-06,1.223426e-06,1.853017e-06,2.002617e-06,2.686925e-06,3.209200e-06,3.748016e-06,4.826056e-06,5.051198e-06,6.602837e-06,6.874138e-06,8.401038e-06,9.349280e-06,1.043652e-05,1.222553e-05,1.269381e-05,1.515255e-05,1.546002e-05,1.778873e-05,1.899810e-05,2.057588e-05,2.277793e-05,2.348607e-05,2.649076e-05,2.673436e-05,2.956149e-05,3.080203e-05,3.267055e-05,3.491786e-05,3.579142e-05,3.889915e-05,3.902285e-05,4.197071e-05,4.306353e-05,4.498522e-05,4.699290e-05,4.792407e-05,5.077106e-05,5.351244e-05,5.436545e-05,5.613684e-05,5.775081e-05,5.863526e-05,6.090891e-05,6.100092e-05,6.322914e-05,6.382799e-05,6.531715e-05,6.650217e-05,6.726395e-05,6.893069e-05,6.907003e-05,7.073727e-05,7.111706e-05,7.226865e-05,7.306831e-05,7.366810e-05,7.479422e-05,7.494034e-05,7.609065e-05,7.630657e-05,7.712475e-05,7.761855e-05,7.804868e-05,7.874418e-05,7.886865e-05,7.959092e-05,7.969784e-05,8.022176e-05,8.049391e-05,8.076735e-05,8.114647e-05,8.123368e-05,8.162657e-05,8.166905e-05,8.195162e-05,8.207453e-05,8.221416e-05,8.237500e-05,8.241924e-05,8.257163e-05,8.258169e-05,8.267582e-05,8.270494e-05,8.273597e-05,8.275422e-05,8.275600e-05,8.273952e-05,8.273815e-05,8.268990e-05,8.266453e-05,8.261024e-05,8.254039e-05,8.250341e-05,8.237203e-05,8.221853e-05,8.216510e-05,8.204513e-05,8.192466e-05,8.185387e-05,8.165519e-05,8.164661e-05,8.142507e-05,8.136069e-05,8.119080e-05,8.104473e-05,8.094523e-05,8.071045e-05,8.068967e-05,8.042530e-05,8.036066e-05,8.015321e-05,7.999784e-05,7.987440e-05,7.962421e-05,7.958977e-05,7.930016e-05,7.924170e-05,7.900631e-05,7.885207e-05,7.870892e-05,7.845684e-05,7.840862e-05,7.810599e-05,7.805739e-05,7.780154e-05,7.765491e-05,7.749577e-05,7.725048e-05,7.718910e-05,7.688194e-05,7.684506e-05,7.657465e-05,7.643949e-05,7.626756e-05,7.603451e-05,7.596099e-05,7.565521e-05,7.563079e-05,7.535047e-05,7.522891e-05,7.504700e-05,7.482941e-05,7.474502e-05,7.444471e-05,7.443274e-05,7.414626e-05,7.403930e-05,7.384981e-05,7.364945e-05,7.355552e-05,7.326350e-05,7.288174e-05,7.250440e-05,7.213169e-05,7.176378e-05,7.140084e-05,7.104299e-05,7.069035e-05,7.034301e-05,7.000104e-05,6.966449e-05,6.933343e-05,6.900787e-05,6.868784e-05,6.837335e-05,6.806439e-05,6.776096e-05,6.746303e-05,6.717060e-05,6.688363e-05,6.660208e-05,6.632591e-05,6.605508e-05,6.578954e-05,6.552924e-05
0.000000e+00,6.270066e-11,2.490790e-10,1.625045e-09,5.058645e-09,8.300719e-09,2.312869e-08,2.397490e-08,5.230064e-08,6.297760e-08,9.677793e-08,1.326532e-07,1.608598e-07,2.401004e-07,2.480006e-07,3.615289e-07,3.930284e-07,5.041723e-07,5.973454e-07,6.772635e-07,8.543346e-07,8.801996e-07,1.110749e-06,1.159911e-06,1.365887e-06,1.507223e-06,1.642451e-06,1.889087e-06,1.937390e-06,2.247783e-06,2.298690e-06,2.570804e-06,2.729526e-06,2.903692e-06,3.175290e-06,3.243747e-06,3.588356e-06,3.629895e-06,3.935020e-06,4.087591e-06,4.281385e-06,4.543074e-06,4.625272e-06,4.964703e-06,4.991611e-06,5.297921e-06,5.429117e-06,5.623389e-06,5.852184e-06,5.939798e-06,6.246060e-06,6.258086e-06,6.541292e-06,6.644738e-06,6.824810e-06,7.010645e-06,7.096105e-06,7.354827e-06,7.600769e-06,7.676754e-06,7.833846e-06,7.976269e-06,8.054077e-06,8.253515e-06,8.261573e-06,8.456515e-06,8.508882e-06,8.639150e-06,8.742943e-06,8.809771e-06,8.956418e-06,8.968712e-06,9.116334e-06,9.150121e-06,9.253019e-06,9.324934e-06,9.379166e-06,9.481780e-06,9.495181e-06,9.601478e-06,9.621607e-06,9.698469e-06,9.745363e-06,9.786565e-06,9.853990e-06,9.866173e-06,9.937692e-06,9.948411e-06,1.000151e-05,1.002953e-05,1.005802e-05,1.009820e-05,1.010758e-05,1.015055e-05,1.015528e-05,1.018729e-05,1.020156e-05,1.021812e-05,1.023780e-05,1.024337e-05,1.026335e-05,1.026473e-05,1.027837e-05,1.028305e-05,1.028870e-05,1.029340e-05,1.029463e-05,1.029641e-05,1.029640e-05,1.029430e-05,1.029263e-05,1.028853e-05,1.028265e-05,1.027935e-05,1.026696e-05,1.025157e-05,1.024605e-05,1.023339e-05,1.022038e-05,1.021261e-05,1.019037e-05,1.018939e-05,1.016393e-05,1.015641e-05,1.013637e-05,1.011889e-05,1.010687e-05,1.007816e-05,1.007559e-05,1.004266e-05,1.003452e-05,1.000821e-05,9.988299e-06,9.972365e-06,9.939767e-06,9.935250e-06,9.896975e-06,9.889190e-06,9.857646e-06,9.836812e-06,9.817364e-06,9.782860e-06,9.776224e-06,9.734317e-06,9.727546e-06,9.691727e-06,9.671065e-06,9.648534e-06,9.613598e-06,9.604816e-06,9.560641e-06,9.555313e-06,9.516079e-06,9.496365e-06,9.471191e-06,9.436896e-06,9.426038e-06,9.380675e-06,9.377039e-06,9.335155e-06,9.316914e-06,9.289527e-06,9.256635e-06,9.243838e-06,9.198130e-06,9.196302e-06,9.152444e-06,9.136010e-06,9.106818e-06,9.075844e-06,9.061286e-06,9.015884e-06,8.956200e-06,8.896857e-06,8.837915e-06,8.779427e-06,8.721440e-06,8.663998e-06,8.607139e-06,8.550898e-06,8.495305e-06,8.440387e-06,8.386167e-06,8.332667e-06,8.279903e-06,8.227891e-06,8.176643e-06,8.126168e-06,8.076476e-06,8.027572e-06,7.979460e-06,7.932143e-06,7.885622e-06,7.839898e-06,7.794968e-06,7.750831e-06
0.000000e+00,7.963729e-11,2.006828e-10,7.630291e-10,1.817658e-09,2.696124e-09,6.282174e-09,6.475896e-09,1.265591e-08,1.488752e-08,2.175171e-08,2.881003e-08,3.424338e-08,4.911356e-08,5.057024e-08,7.110656e-08,7.669337e-08,9.610527e-08,1.120855e-07,1.256273e-07,1.552352e-07,1.595253e-07,1.975102e-07,2.055672e-07,2.392302e-07,2.622769e-07,2.843105e-07,3.244912e-07,3.323629e-07,3.829877e-07,3.912991e-07,4.357759e-07,4.617617e-07,4.903159e-07,5.349352e-07,5.462005e-07,6.030349e-07,6.099007e-07,6.604435e-07,6.857941e-07,7.180765e-07,7.618292e-07,7.756133e-07,8.327657e-07,8.373135e-07,8.892790e-07,9.116547e-07,9.449318e-07,9.843615e-07,9.995349e-07,1.052930e-06,1.055039e-06,1.104987e-06,1.123379e-06,1.155601e-06,1.189152e-06,1.204691e-06,1.252197e-06,1.298074e-06,1.312407e-06,1.342297e-06,1.369724e-06,1.384850e-06,1.424128e-06,1.425731e-06,1.464946e-06,1.475629e-06,1.502509e-06,1.524263e-06,1.538442e-06,1.570082e-06,1.572770e-06,1.605523e-06,1.613153e-06,1.636736e-06,1.653556e-06,1.666445e-06,1.691374e-06,1.694687e-06,1.721504e-06,1.726699e-06,1.746935e-06,1.759625e-06,1.771022e-06,1.790247e-06,1.793807e-06,1.815331e-06,1.818661e-06,1.835637e-06,1.844963e-06,1.854766e-06,1.869249e-06,1.872758e-06,1.889654e-06,1.891610e-06,1.905494e-06,1.912139e-06,1.920317e-06,1.930925e-06,1.934160e-06,1.947061e-06,1.948053e-06,1.959056e-06,1.963608e-06,1.970181e-06,1.977671e-06,1.980470e-06,1.989957e-06,1.990321e-06,1.998675e-06,2.001631e-06,2.006655e-06,2.011676e-06,2.013928e-06,2.020524e-06,2.026471e-06,2.028242e-06,2.031799e-06,2.034895e-06,2.036533e-06,2.040544e-06,2.040700e-06,2.044325e-06,2.045247e-06,2.047433e-06,2.049060e-06,2.050048e-06,2.052037e-06,2.052192e-06,2.053887e-06,2.054229e-06,2.055154e-06,2.055685e-06,2.056015e-06,2.056451e-06,2.056488e-06,2.056593e-06,2.056571e-06,2.056348e-06,2.056088e-06,2.055770e-06,2.055041e-06,2.054877e-06,2.053685e-06,2.053468e-06,2.052210e-06,2.051405e-06,2.050466e-06,2.048888e-06,2.048469e-06,2.046232e-06,2.045948e-06,2.043768e-06,2.042616e-06,2.041091e-06,2.038922e-06,2.038213e-06,2.035146e-06,2.034892e-06,2.031900e-06,2.030555e-06,2.028488e-06,2.025934e-06,2.024919e-06,2.021204e-06,2.021052e-06,2.017352e-06,2.015933e-06,2.013372e-06,2.010597e-06,2.009273e-06,2.005064e-06,1.999353e-06,1.993482e-06,1.987466e-06,1.981323e-06,1.975066e-06,1.968709e-06,1.962267e-06,1.955750e-06,1.949171e-06,1.942540e-06,1.935868e-06,1.929164e-06,1.922438e-06,1.915696e-06,1.908948e-06,1.902200e-06,1.895460e-06,1.888733e-06,1.882026e-06,1.875344e-06,1.868691e-06,1.862074e-06,1.855496e-06,1.848961e-06
0.000000e+00,1.527121e-12,3.499552e-12,1.204803e-11,2.743543e-11,4.004940e-11,9.105086e-11,9.380091e-11,1.818852e-10,2.139522e-10,3.136288e-10,4.176836e-10,4.986458e-10,7.221005e-10,7.440147e-10,1.050574e-09,1.132816e-09,1.413956e-09,1.640187e-09,1.828633e-09,2.232057e-09,2.289683e-09,2.792653e-09,2.897892e-09,3.333138e-09,3.627500e-09,3.906542e-09,4.410113e-09,4.508035e-09,5.132611e-09,5.234347e-09,5.775212e-09,6.088593e-09,6.430854e-09,6.961533e-09,7.094753e-09,7.762431e-09,7.842608e-09,8.429793e-09,8.722370e-09,9.093169e-09,9.592672e-09,9.749341e-09,1.039554e-08,1.044674e-08,1.102945e-08,1.127913e-08,1.164915e-08,1.208565e-08,1.225309e-08,1.284009e-08,1.286321e-08,1.340925e-08,1.360965e-08,1.395993e-08,1.432361e-08,1.449171e-08,1.500438e-08,1.549787e-08,1.565175e-08,1.597226e-08,1.626592e-08,1.642772e-08,1.684739e-08,1.686451e-08,1.728297e-08,1.739691e-08,1.768349e-08,1.791537e-08,1.806650e-08,1.840380e-08,1.843246e-08,1.878184e-08,1.886328e-08,1.911515e-08,1.929498e-08,1.943290e-08,1.970005e-08,1.973560e-08,2.002375e-08,2.007968e-08,2.029786e-08,2.043502e-08,2.055844e-08,2.076723e-08,2.080598e-08,2.104097e-08,2.107744e-08,2.126388e-08,2.136673e-08,2.147518e-08,2.163616e-08,2.167532e-08,2.186473e-08,2.188676e-08,2.204385e-08,2.211951e-08,2.221309e-08,2.233535e-08,2.237285e-08,2.252352e-08,2.253519e-08,2.266547e-08,2.271990e-08,2.279908e-08,2.289030e-08,2.292468e-08,2.304261e-08,2.304718e-08,2.315321e-08,2.319129e-08,2.325679e-08,2.332336e-08,2.335364e-08,2.344407e-08,2.352834e-08,2.355406e-08,2.360674e-08,2.365395e-08,2.367951e-08,2.374432e-08,2.374692e-08,2.380919e-08,2.382574e-08,2.386657e-08,2.389873e-08,2.391926e-08,2.396379e-08,2.396749e-08,2.401146e-08,2.402140e-08,2.405137e-08,2.407201e-08,2.408739e-08,2.411603e-08,2.411972e-08,2.414853e-08,2.415389e-08,2.417399e-08,2.418595e-08,2.419624e-08,2.421258e-08,2.421546e-08,2.423178e-08,2.423413e-08,2.424534e-08,2.425091e-08,2.425628e-08,2.426324e-08,2.426473e-08,2.427082e-08,2.427140e-08,2.427466e-08,2.427566e-08,2.427636e-08,2.427630e-08,2.427604e-08,2.427380e-08,2.427354e-08,2.426974e-08,2.426763e-08,2.426396e-08,2.425878e-08,2.425655e-08,2.424759e-08,2.424720e-08,2.423717e-08,2.423308e-08,2.422538e-08,2.421661e-08,2.421228e-08,2.419796e-08,2.417729e-08,2.415477e-08,2.413052e-08,2.410470e-08,2.407744e-08,2.404885e-08,2.401904e-08,2.398814e-08,2.395624e-08,2.392344e-08,2.388982e-08,2.385548e-08,2.382049e-08,2.378493e-08,2.374887e-08,2.371238e-08,2.367551e-08,2.363834e-08,2.360090e-08,2.356326e-08,2.352546e-08,2.348756e-08,2.344958e-08,2.341157e-08
0.000000e+00,4.647656e-12,1.066105e-11,3.669515e-11,8.340487e-11,1.215514e-10,2.745428e-10,2.827380e-10,5.425235e-10,6.358855e-10,9.225360e-10,1.217160e-09,1.444173e-09,2.067323e-09,2.128543e-09,2.995491e-09,3.232644e-09,4.061091e-09,4.748074e-09,5.333402e-09,6.620911e-09,6.808081e-09,8.467423e-09,8.819172e-09,1.028452e-08,1.128182e-08,1.222950e-08,1.394118e-08,1.427387e-08,1.639212e-08,1.673635e-08,1.856179e-08,1.961557e-08,2.076301e-08,2.253473e-08,2.297806e-08,2.519112e-08,2.545586e-08,2.738809e-08,2.834640e-08,2.955655e-08,3.117881e-08,3.168570e-08,3.376627e-08,3.393038e-08,3.579054e-08,3.658302e-08,3.775218e-08,3.912292e-08,3.964618e-08,4.146873e-08,4.154011e-08,4.321710e-08,4.382798e-08,4.488950e-08,4.598282e-08,4.648497e-08,4.800325e-08,4.944468e-08,4.988983e-08,5.081009e-08,5.164462e-08,5.210073e-08,5.327085e-08,5.331816e-08,5.446420e-08,5.477257e-08,5.554088e-08,5.615449e-08,5.655036e-08,5.742167e-08,5.749490e-08,5.837684e-08,5.857945e-08,5.919855e-08,5.963329e-08,5.996242e-08,6.058866e-08,6.067081e-08,6.132609e-08,6.145098e-08,6.193058e-08,6.222559e-08,6.248653e-08,6.291767e-08,6.299619e-08,6.346170e-08,6.353223e-08,6.388516e-08,6.407409e-08,6.426861e-08,6.454788e-08,6.461401e-08,6.492325e-08,6.495801e-08,6.519816e-08,6.530870e-08,6.544050e-08,6.560393e-08,6.565195e-08,6.583414e-08,6.584750e-08,6.598863e-08,6.604300e-08,6.611690e-08,6.619382e-08,6.622038e-08,6.630044e-08,6.630318e-08,6.635839e-08,6.637408e-08,6.639548e-08,6.640939e-08,6.641289e-08,6.641178e-08,6.639323e-08,6.638378e-08,6.635828e-08,6.632776e-08,6.630792e-08,6.624595e-08,6.624309e-08,6.616469e-08,6.614043e-08,6.607359e-08,6.601317e-08,6.597060e-08,6.586601e-08,6.585649e-08,6.573201e-08,6.570067e-08,6.559786e-08,6.551877e-08,6.545471e-08,6.532180e-08,6.530320e-08,6.514392e-08,6.511119e-08,6.497746e-08,6.488825e-08,6.480436e-08,6.465421e-08,6.462514e-08,6.444029e-08,6.441022e-08,6.425028e-08,6.415736e-08,6.405554e-08,6.389663e-08,6.385650e-08,6.365356e-08,6.362896e-08,6.344709e-08,6.335522e-08,6.323745e-08,6.307621e-08,6.302497e-08,6.280998e-08,6.279268e-08,6.259278e-08,6.250534e-08,6.237365e-08,6.221483e-08,6.215286e-08,6.193067e-08,6.192176e-08,6.170732e-08,6.162667e-08,6.148303e-08,6.133009e-08,6.125802e-08,6.103250e-08,6.073432e-08,6.043598e-08,6.013785e-08,5.984027e-08,5.954356e-08,5.924801e-08,5.895390e-08,5.866145e-08,5.837091e-08,5.808247e-08,5.779632e-08,5.751262e-08,5.723153e-08,5.695318e-08,5.667770e-08,5.640519e-08,5.613575e-08,5.586947e-08,5.560642e-08,5.534666e-08,5.509026e-08,5.483726e-08,5.458770e-08,5.434161e-08
0.000000e+00,2.909829e-12,6.668201e-12,2.294668e-11,5.219267e-11,7.610893e-11,1.722507e-10,1.774093e-10,3.413101e-10,4.003700e-10,5.821449e-10,7.695905e-10,9.143956e-10,1.313347e-09,1.352647e-09,1.910957e-09,2.064223e-09,2.601295e-09,3.048524e-09,3.430843e-09,4.275624e-09,4.398838e-09,5.494985e-09,5.728100e-09,6.701306e-09,7.365050e-09,7.996423e-09,9.137586e-09,9.359432e-09,1.077177e-08,1.100123e-08,1.221757e-08,1.291938e-08,1.368328e-08,1.486232e-08,1.515728e-08,1.662950e-08,1.680562e-08,1.809120e-08,1.872903e-08,1.953482e-08,2.061585e-08,2.095388e-08,2.234289e-08,2.245257e-08,2.369731e-08,2.422854e-08,2.501344e-08,2.593567e-08,2.628835e-08,2.751979e-08,2.756812e-08,2.870617e-08,2.912200e-08,2.984638e-08,3.059504e-08,3.093983e-08,3.198628e-08,3.298586e-08,3.329588e-08,3.393894e-08,3.452480e-08,3.484616e-08,3.567468e-08,3.570831e-08,3.652635e-08,3.674763e-08,3.730133e-08,3.774614e-08,3.803442e-08,3.867291e-08,3.872683e-08,3.937982e-08,3.953082e-08,3.999469e-08,4.032285e-08,4.057274e-08,4.105202e-08,4.111529e-08,4.162365e-08,4.172133e-08,4.209911e-08,4.233378e-08,4.254296e-08,4.289229e-08,4.295646e-08,4.334084e-08,4.339972e-08,4.369732e-08,4.385887e-08,4.402708e-08,4.427241e-08,4.433125e-08,4.461097e-08,4.464294e-08,4.486731e-08,4.497297e-08,4.510132e-08,4.526487e-08,4.531403e-08,4.550640e-08,4.552094e-08,4.567940e-08,4.574338e-08,4.583393e-08,4.593427e-08,4.597089e-08,4.609113e-08,4.609560e-08,4.619546e-08,4.622928e-08,4.628468e-08,4.633711e-08,4.635955e-08,4.642080e-08,4.646912e-08,4.648197e-08,4.650521e-08,4.652218e-08,4.652970e-08,4.654288e-08,4.654321e-08,4.654635e-08,4.654545e-08,4.653969e-08,4.653122e-08,4.652377e-08,4.650141e-08,4.649913e-08,4.646625e-08,4.645719e-08,4.642564e-08,4.639968e-08,4.637774e-08,4.632992e-08,4.632300e-08,4.626185e-08,4.624888e-08,4.619468e-08,4.615750e-08,4.612188e-08,4.605665e-08,4.604383e-08,4.596086e-08,4.594716e-08,4.587333e-08,4.582979e-08,4.578155e-08,4.570527e-08,4.568582e-08,4.558645e-08,4.557429e-08,4.548370e-08,4.543749e-08,4.537784e-08,4.529546e-08,4.526912e-08,4.515780e-08,4.514878e-08,4.504408e-08,4.499798e-08,4.492820e-08,4.484354e-08,4.481036e-08,4.469076e-08,4.468594e-08,4.456958e-08,4.452560e-08,4.444700e-08,4.436294e-08,4.432320e-08,4.419832e-08,4.403210e-08,4.386461e-08,4.369616e-08,4.352703e-08,4.335748e-08,4.318776e-08,4.301810e-08,4.284870e-08,4.267976e-08,4.251146e-08,4.234396e-08,4.217741e-08,4.201196e-08,4.184773e-08,4.168484e-08,4.152339e-08,4.136348e-08,4.120519e-08,4.104861e-08,4.089381e-08,4.074084e-08,4.058976e-08,4.044063e-08,4.029348e-08
0.000000e+00,3.040542e-13,1.940009e-12,2.944290e-11,1.726973e-10,3.836763e-10,2.082026e-09,2.210820e-09,8.180884e-09,1.117715e-08,2.296129e-08,3.882534e-08,5.342695e-08,1.030835e-07,1.086641e-07,1.997700e-07,2.283476e-07,3.392730e-07,4.433546e-07,5.400327e-07,7.768070e-07,8.138689e-07,1.170401e-06,1.252280e-06,1.616411e-06,1.885083e-06,2.155734e-06,2.681770e-06,2.789494e-06,3.516506e-06,3.641300e-06,4.333689e-06,4.756657e-06,5.236414e-06,6.016262e-06,6.218789e-06,7.273878e-06,7.405013e-06,8.393874e-06,8.905062e-06,9.570260e-06,1.049647e-05,1.079397e-05,1.205557e-05,1.215784e-05,1.334539e-05,1.386706e-05,1.465378e-05,1.560196e-05,1.597121e-05,1.728848e-05,1.734104e-05,1.859688e-05,1.906415e-05,1.988829e-05,2.075295e-05,2.115532e-05,2.239136e-05,2.359063e-05,2.396580e-05,2.474822e-05,2.546529e-05,2.586007e-05,2.688142e-05,2.692296e-05,2.793448e-05,2.820824e-05,2.889291e-05,2.944205e-05,2.979726e-05,3.058112e-05,3.064711e-05,3.144258e-05,3.162546e-05,3.218427e-05,3.257647e-05,3.287314e-05,3.343670e-05,3.351051e-05,3.409794e-05,3.420959e-05,3.463719e-05,3.489920e-05,3.513018e-05,3.551003e-05,3.557895e-05,3.598557e-05,3.604687e-05,3.635219e-05,3.651459e-05,3.668094e-05,3.691810e-05,3.697394e-05,3.723326e-05,3.726221e-05,3.746093e-05,3.755159e-05,3.765892e-05,3.779070e-05,3.782911e-05,3.797332e-05,3.798379e-05,3.809327e-05,3.813483e-05,3.819061e-05,3.824757e-05,3.826690e-05,3.832360e-05,3.832549e-05,3.836212e-05,3.837179e-05,3.838376e-05,3.838946e-05,3.838974e-05,3.838122e-05,3.835927e-05,3.834958e-05,3.832491e-05,3.829684e-05,3.827907e-05,3.822509e-05,3.822264e-05,3.815645e-05,3.813627e-05,3.808125e-05,3.803211e-05,3.799777e-05,3.791422e-05,3.790667e-05,3.780857e-05,3.778406e-05,3.770406e-05,3.764294e-05,3.759367e-05,3.749207e-05,3.747791e-05,3.735725e-05,3.733256e-05,3.723211e-05,3.716541e-05,3.710292e-05,3.699153e-05,3.697004e-05,3.683383e-05,3.681175e-05,3.669463e-05,3.662683e-05,3.655272e-05,3.643745e-05,3.640841e-05,3.626196e-05,3.624425e-05,3.611361e-05,3.604780e-05,3.596360e-05,3.584862e-05,3.581215e-05,3.565945e-05,3.564718e-05,3.550568e-05,3.544392e-05,3.535104e-05,3.523923e-05,3.519567e-05,3.503973e-05,3.503348e-05,3.488336e-05,3.482698e-05,3.472669e-05,3.462005e-05,3.456984e-05,3.441294e-05,3.420591e-05,3.399918e-05,3.379296e-05,3.358744e-05,3.338278e-05,3.317913e-05,3.297664e-05,3.277543e-05,3.257561e-05,3.237729e-05,3.218055e-05,3.198548e-05,3.179216e-05,3.160064e-05,3.141099e-05,3.122326e-05,3.103749e-05,3.085373e-05,3.067200e-05,3.049233e-05,3.031476e-05,3.013929e-05,2.996595e-05,2.979475e-05
0.000000e+00,8.925539e-11,2.342997e-10,9.299773e-10,2.262483e-09,3.385196e-09,8.040642e-09,8.294856e-09,1.652902e-08,1.955764e-08,2.904285e-08,3.904569e-08,4.690419e-08,6.902247e-08,7.123082e-08,1.029314e-07,1.116851e-07,1.422749e-07,1.674636e-07,1.887025e-07,2.345932e-07,2.411718e-07,2.986141e-07,3.106164e-07,3.601229e-07,3.934612e-07,4.249493e-07,4.814931e-07,4.924479e-07,5.620362e-07,5.733276e-07,6.331728e-07,6.677181e-07,7.053503e-07,7.635219e-07,7.780945e-07,8.509684e-07,8.597027e-07,9.235754e-07,9.553452e-07,9.955619e-07,1.049665e-06,1.066619e-06,1.136481e-06,1.142012e-06,1.204927e-06,1.231866e-06,1.271773e-06,1.318829e-06,1.336874e-06,1.400119e-06,1.402609e-06,1.461423e-06,1.483005e-06,1.520726e-06,1.559890e-06,1.577992e-06,1.633203e-06,1.686356e-06,1.702932e-06,1.737461e-06,1.769102e-06,1.786538e-06,1.831771e-06,1.833616e-06,1.878731e-06,1.891016e-06,1.921923e-06,1.946934e-06,1.963237e-06,1.999630e-06,2.002722e-06,2.040428e-06,2.049218e-06,2.076406e-06,2.095819e-06,2.110708e-06,2.139550e-06,2.143387e-06,2.174495e-06,2.180533e-06,2.204084e-06,2.218887e-06,2.232206e-06,2.254732e-06,2.258911e-06,2.284251e-06,2.288181e-06,2.308272e-06,2.319349e-06,2.331024e-06,2.348342e-06,2.352552e-06,2.372902e-06,2.375267e-06,2.392118e-06,2.400225e-06,2.410244e-06,2.423316e-06,2.427321e-06,2.443389e-06,2.444632e-06,2.458488e-06,2.464265e-06,2.472655e-06,2.482300e-06,2.485928e-06,2.498342e-06,2.498821e-06,2.509930e-06,2.513906e-06,2.520726e-06,2.527632e-06,2.530763e-06,2.540070e-06,2.548678e-06,2.551290e-06,2.556616e-06,2.561357e-06,2.563910e-06,2.570333e-06,2.570588e-06,2.576676e-06,2.578278e-06,2.582197e-06,2.585248e-06,2.587177e-06,2.591299e-06,2.591637e-06,2.595600e-06,2.596480e-06,2.599088e-06,2.600840e-06,2.602120e-06,2.604427e-06,2.604716e-06,2.606896e-06,2.607284e-06,2.608677e-06,2.609452e-06,2.610078e-06,2.610972e-06,2.611114e-06,2.611803e-06,2.611881e-06,2.612159e-06,2.612216e-06,2.612198e-06,2.612010e-06,2.611934e-06,2.611381e-06,2.611295e-06,2.610552e-06,2.610103e-06,2.609460e-06,2.608462e-06,2.608118e-06,2.606537e-06,2.606400e-06,2.604728e-06,2.603943e-06,2.602703e-06,2.601117e-06,2.600472e-06,2.598045e-06,2.597944e-06,2.595431e-06,2.594447e-06,2.592641e-06,2.590647e-06,2.589682e-06,2.586564e-06,2.582219e-06,2.577627e-06,2.572808e-06,2.567776e-06,2.562548e-06,2.557137e-06,2.551559e-06,2.545825e-06,2.539949e-06,2.533942e-06,2.527816e-06,2.521580e-06,2.515245e-06,2.508821e-06,2.502316e-06,2.495738e-06,2.489097e-06,2.482399e-06,2.475651e-06,2.468861e-06,2.462035e-06,2.455179e-06,2.448298e-06,2.441398e-06
0.000000e+00,2.824662e-11,6.705073e-11,2.395102e-10,5.545536e-10,8.142426e-10,1.867114e-09,1.923889e-09,3.737968e-09,4.395707e-09,6.431013e-09,8.544425e-09,1.018527e-08,1.472955e-08,1.517815e-08,2.153915e-08,2.327491e-08,2.929625e-08,3.422612e-08,3.837895e-08,4.738016e-08,4.867624e-08,6.007829e-08,6.248231e-08,7.248451e-08,7.930056e-08,8.579839e-08,9.761203e-08,9.992210e-08,1.147538e-07,1.171855e-07,1.301874e-07,1.377772e-07,1.461134e-07,1.591346e-07,1.624215e-07,1.790022e-07,1.810052e-07,1.957494e-07,2.031447e-07,2.125623e-07,2.253257e-07,2.293466e-07,2.460165e-07,2.473427e-07,2.624944e-07,2.690163e-07,2.787122e-07,2.901943e-07,2.946107e-07,3.101395e-07,3.107524e-07,3.252570e-07,3.305918e-07,3.399291e-07,3.496379e-07,3.541292e-07,3.678370e-07,3.810382e-07,3.851539e-07,3.937233e-07,4.015684e-07,4.058873e-07,4.170732e-07,4.175289e-07,4.286501e-07,4.316714e-07,4.392557e-07,4.453743e-07,4.493524e-07,4.581993e-07,4.589488e-07,4.680552e-07,4.701691e-07,4.766828e-07,4.813096e-07,4.848438e-07,4.916496e-07,4.925509e-07,4.998175e-07,5.012192e-07,5.066572e-07,5.100497e-07,5.130838e-07,5.181732e-07,5.191113e-07,5.247535e-07,5.256214e-07,5.300241e-07,5.324261e-07,5.349369e-07,5.386185e-07,5.395052e-07,5.437421e-07,5.442289e-07,5.476607e-07,5.492872e-07,5.512734e-07,5.538221e-07,5.545926e-07,5.576304e-07,5.578616e-07,5.603982e-07,5.614324e-07,5.629076e-07,5.645604e-07,5.651693e-07,5.671941e-07,5.672703e-07,5.689923e-07,5.695861e-07,5.705737e-07,5.715303e-07,5.719481e-07,5.731247e-07,5.741125e-07,5.743901e-07,5.749201e-07,5.753463e-07,5.755558e-07,5.760120e-07,5.760278e-07,5.763437e-07,5.764052e-07,5.765110e-07,5.765431e-07,5.765369e-07,5.764418e-07,5.764283e-07,5.761918e-07,5.761167e-07,5.758338e-07,5.755825e-07,5.753604e-07,5.748531e-07,5.747775e-07,5.740908e-07,5.739415e-07,5.733057e-07,5.728604e-07,5.724275e-07,5.716214e-07,5.714611e-07,5.704113e-07,5.702359e-07,5.692828e-07,5.687144e-07,5.680799e-07,5.670669e-07,5.668069e-07,5.654679e-07,5.653030e-07,5.640667e-07,5.634315e-07,5.626071e-07,5.614610e-07,5.610927e-07,5.595268e-07,5.593994e-07,5.579127e-07,5.572543e-07,5.562536e-07,5.550329e-07,5.545525e-07,5.528122e-07,5.527418e-07,5.510354e-07,5.503874e-07,5.492249e-07,5.479757e-07,5.473830e-07,5.455122e-07,5.430024e-07,5.404511e-07,5.378631e-07,5.352428e-07,5.325943e-07,5.299216e-07,5.272283e-07,5.245179e-07,5.217935e-07,5.190582e-07,5.163148e-07,5.135660e-07,5.108141e-07,5.080617e-07,5.053107e-07,5.025632e-07,4.998212e-07,4.970863e-07,4.943601e-07,4.916443e-07,4.889401e-07,4.862489e-07,4.835719e-07,4.809103e-07
0.000000e+00,3.183610e-11,1.459049e-10,1.191222e-09,4.274434e-09,7.453605e-09,2.347016e-08,2.443261e-08,5.860488e-08,7.229251e-08,1.179790e-07,1.698462e-07,2.126768e-07,3.400190e-07,3.531133e-07,5.443713e-07,5.975927e-07,7.830182e-07,9.344956e-07,1.061364e-06,1.333545e-06,1.372415e-06,1.711137e-06,1.781861e-06,2.073812e-06,2.270815e-06,2.457290e-06,2.793282e-06,2.858555e-06,3.274554e-06,3.342273e-06,3.702171e-06,3.910632e-06,4.138270e-06,4.491181e-06,4.579768e-06,5.023708e-06,5.077011e-06,5.467325e-06,5.661753e-06,5.908093e-06,6.239775e-06,6.343760e-06,6.772363e-06,6.806294e-06,7.192227e-06,7.357405e-06,7.601961e-06,7.890056e-06,8.000440e-06,8.386780e-06,8.401971e-06,8.760316e-06,8.891558e-06,9.120573e-06,9.357800e-06,9.467244e-06,9.800167e-06,1.011930e-05,1.021852e-05,1.042470e-05,1.061301e-05,1.071650e-05,1.098404e-05,1.099492e-05,1.126021e-05,1.133218e-05,1.151268e-05,1.165814e-05,1.175265e-05,1.196270e-05,1.198049e-05,1.219656e-05,1.224671e-05,1.240125e-05,1.251106e-05,1.259496e-05,1.275664e-05,1.277807e-05,1.295097e-05,1.298437e-05,1.311407e-05,1.319512e-05,1.326773e-05,1.338979e-05,1.341233e-05,1.354825e-05,1.356922e-05,1.367584e-05,1.373424e-05,1.379546e-05,1.388565e-05,1.390745e-05,1.401213e-05,1.402422e-05,1.410983e-05,1.415068e-05,1.420085e-05,1.426576e-05,1.428551e-05,1.436408e-05,1.437011e-05,1.443684e-05,1.446438e-05,1.450406e-05,1.454918e-05,1.456601e-05,1.462292e-05,1.462510e-05,1.467505e-05,1.469268e-05,1.472261e-05,1.475246e-05,1.476583e-05,1.480492e-05,1.484008e-05,1.485053e-05,1.487151e-05,1.488975e-05,1.489940e-05,1.492300e-05,1.492392e-05,1.494524e-05,1.495066e-05,1.496353e-05,1.497312e-05,1.497896e-05,1.499074e-05,1.499166e-05,1.500178e-05,1.500384e-05,1.500946e-05,1.501274e-05,1.501483e-05,1.501775e-05,1.501802e-05,1.501915e-05,1.501914e-05,1.501833e-05,1.501718e-05,1.501568e-05,1.501211e-05,1.501129e-05,1.500528e-05,1.500417e-05,1.499773e-05,1.499358e-05,1.498873e-05,1.498056e-05,1.497838e-05,1.496676e-05,1.496528e-05,1.495395e-05,1.494795e-05,1.494001e-05,1.492872e-05,1.492504e-05,1.490909e-05,1.490777e-05,1.489223e-05,1.488524e-05,1.487452e-05,1.486128e-05,1.485602e-05,1.483680e-05,1.483602e-05,1.481690e-05,1.480958e-05,1.479637e-05,1.478208e-05,1.477527e-05,1.475364e-05,1.472436e-05,1.469432e-05,1.466363e-05,1.463237e-05,1.460061e-05,1.456843e-05,1.453589e-05,1.450307e-05,1.447002e-05,1.443680e-05,1.440345e-05,1.437003e-05,1.433658e-05,1.430314e-05,1.426974e-05,1.423644e-05,1.420325e-05,1.417021e-05,1.413735e-05,1.410468e-05,1.407224e-05,1.404005e-05,1.400812e-05,1.397648e-05
0.000000e+00,7.956294e-13,5.032923e-12,7.502587e-11,4.329519e-10,9.533414e-10,5.056448e-09,5.364287e-09,1.941242e-08,2.636447e-08,5.336579e-08,8.918739e-08,1.218164e-07,2.312840e-07,2.434831e-07,4.408435e-07,5.022592e-07,7.393765e-07,9.607332e-07,1.165780e-06,1.666555e-06,1.744796e-06,2.495411e-06,2.667204e-06,3.427918e-06,3.985253e-06,4.542830e-06,5.614336e-06,5.831664e-06,7.278858e-06,7.523793e-06,8.864069e-06,9.667292e-06,1.056429e-05,1.199115e-05,1.235553e-05,1.421393e-05,1.444035e-05,1.611659e-05,1.696216e-05,1.804194e-05,1.950807e-05,1.997007e-05,2.188288e-05,2.203474e-05,2.376413e-05,2.450452e-05,2.559952e-05,2.688560e-05,2.737672e-05,2.908536e-05,2.915215e-05,3.071699e-05,3.128420e-05,3.226501e-05,3.326738e-05,3.372459e-05,3.509249e-05,3.636699e-05,3.675500e-05,3.754765e-05,3.825432e-05,3.863520e-05,3.959323e-05,3.963135e-05,4.053859e-05,4.077710e-05,4.136007e-05,4.181328e-05,4.209940e-05,4.271046e-05,4.276057e-05,4.334779e-05,4.347820e-05,4.386539e-05,4.412648e-05,4.431777e-05,4.466536e-05,4.470927e-05,4.504418e-05,4.510474e-05,4.532666e-05,4.545416e-05,4.556070e-05,4.572265e-05,4.575011e-05,4.589850e-05,4.591866e-05,4.600928e-05,4.605004e-05,4.608564e-05,4.612397e-05,4.613058e-05,4.614686e-05,4.614701e-05,4.613706e-05,4.612510e-05,4.610356e-05,4.606362e-05,4.604858e-05,4.597413e-05,4.596739e-05,4.588208e-05,4.584072e-05,4.577414e-05,4.568748e-05,4.565189e-05,4.551678e-05,4.551112e-05,4.537011e-05,4.531472e-05,4.521311e-05,4.510102e-05,4.504689e-05,4.487245e-05,4.469073e-05,4.463118e-05,4.450257e-05,4.437914e-05,4.430876e-05,4.411803e-05,4.410999e-05,4.390693e-05,4.384938e-05,4.370015e-05,4.357454e-05,4.349022e-05,4.329472e-05,4.327762e-05,4.306281e-05,4.301097e-05,4.284620e-05,4.272426e-05,4.262818e-05,4.243542e-05,4.240908e-05,4.218923e-05,4.214520e-05,4.196893e-05,4.185428e-05,4.174843e-05,4.156323e-05,4.152797e-05,4.130779e-05,4.127260e-05,4.108808e-05,4.098284e-05,4.086903e-05,4.069437e-05,4.065080e-05,4.043355e-05,4.040755e-05,4.021741e-05,4.012269e-05,4.000251e-05,3.984010e-05,3.978898e-05,3.957690e-05,3.956000e-05,3.936638e-05,3.928263e-05,3.915751e-05,3.900817e-05,3.895035e-05,3.874498e-05,3.873680e-05,3.854145e-05,3.846865e-05,3.833984e-05,3.820385e-05,3.814017e-05,3.794250e-05,3.768469e-05,3.743050e-05,3.717999e-05,3.693321e-05,3.669019e-05,3.645097e-05,3.621555e-05,3.598396e-05,3.575620e-05,3.553226e-05,3.531214e-05,3.509582e-05,3.488328e-05,3.467451e-05,3.446947e-05,3.426813e-05,3.407047e-05,3.387644e-05,3.368601e-05,3.349914e-05,3.331579e-05,3.313590e-05,3.295945e-05,3.278637e-05
0.000000e+00,4.770843e-11,1.137703e-10,4.089185e-10,9.513006e-10,1.400631e-09,3.239357e-09,3.339218e-09,6.564409e-09,7.749043e-09,1.145904e-08,1.536876e-08,1.843225e-08,2.696718e-08,2.780969e-08,3.967637e-08,4.288086e-08,5.388129e-08,6.277013e-08,7.019094e-08,8.611004e-08,8.838657e-08,1.082766e-07,1.124422e-07,1.296828e-07,1.413546e-07,1.524282e-07,1.724370e-07,1.763318e-07,2.012081e-07,2.052661e-07,2.268697e-07,2.394116e-07,2.531312e-07,2.744513e-07,2.798130e-07,3.067453e-07,3.099864e-07,3.337705e-07,3.456535e-07,3.607452e-07,3.811329e-07,3.875414e-07,4.140470e-07,4.161519e-07,4.401652e-07,4.504852e-07,4.658142e-07,4.839522e-07,4.909259e-07,5.154451e-07,5.164129e-07,5.393278e-07,5.477628e-07,5.625398e-07,5.779278e-07,5.850561e-07,6.068589e-07,6.279372e-07,6.345281e-07,6.482851e-07,6.609239e-07,6.679017e-07,6.860480e-07,6.867896e-07,7.049549e-07,7.099127e-07,7.224061e-07,7.325384e-07,7.391540e-07,7.539515e-07,7.552110e-07,7.705907e-07,7.741826e-07,7.853077e-07,7.932655e-07,7.993776e-07,8.112365e-07,8.128164e-07,8.256407e-07,8.281333e-07,8.378673e-07,8.439945e-07,8.495131e-07,8.588591e-07,8.605950e-07,8.711302e-07,8.727662e-07,8.811355e-07,8.857548e-07,8.906277e-07,8.978631e-07,8.996232e-07,9.081386e-07,9.091289e-07,9.161898e-07,9.195893e-07,9.237926e-07,9.292805e-07,9.309626e-07,9.377149e-07,9.382375e-07,9.440643e-07,9.464946e-07,9.500254e-07,9.540849e-07,9.556123e-07,9.608388e-07,9.610406e-07,9.657184e-07,9.673926e-07,9.702641e-07,9.731710e-07,9.744887e-07,9.784046e-07,9.820239e-07,9.831213e-07,9.853581e-07,9.873477e-07,9.884187e-07,9.911096e-07,9.912166e-07,9.937625e-07,9.944317e-07,9.960668e-07,9.973376e-07,9.981395e-07,9.998501e-07,9.999902e-07,1.001628e-06,1.001991e-06,1.003063e-06,1.003781e-06,1.004303e-06,1.005240e-06,1.005357e-06,1.006233e-06,1.006388e-06,1.006939e-06,1.007241e-06,1.007482e-06,1.007819e-06,1.007871e-06,1.008112e-06,1.008137e-06,1.008212e-06,1.008211e-06,1.008177e-06,1.008057e-06,1.008015e-06,1.007731e-06,1.007689e-06,1.007331e-06,1.007120e-06,1.006822e-06,1.006364e-06,1.006207e-06,1.005494e-06,1.005433e-06,1.004687e-06,1.004339e-06,1.003791e-06,1.003094e-06,1.002811e-06,1.001751e-06,1.001707e-06,1.000616e-06,1.000190e-06,9.994098e-07,9.985511e-07,9.981367e-07,9.968006e-07,9.949469e-07,9.929982e-07,9.909624e-07,9.888469e-07,9.866588e-07,9.844047e-07,9.820909e-07,9.797234e-07,9.773078e-07,9.748495e-07,9.723534e-07,9.698244e-07,9.672668e-07,9.646850e-07,9.620829e-07,9.594642e-07,9.568324e-07,9.541909e-07,9.515428e-07,9.488909e-07,9.462380e-07,9.435867e-07,9.409393e-07,9.382981e-07
0.000000e+00,5.846449e-13,3.744529e-12,5.727565e-11,3.383335e-10,7.545390e-10,4.133405e-09,4.390709e-09,1.638330e-08,2.242869e-08,4.627853e-08,7.846777e-08,1.081225e-07,2.089392e-07,2.202595e-07,4.047398e-07,4.625004e-07,6.864677e-07,8.966116e-07,1.092081e-06,1.572861e-06,1.648445e-06,2.380782e-06,2.550352e-06,3.310709e-06,3.878045e-06,4.454635e-06,5.588594e-06,5.822802e-06,7.419014e-06,7.695496e-06,9.240931e-06,1.019351e-05,1.128071e-05,1.306112e-05,1.352584e-05,1.596003e-05,1.626395e-05,1.856407e-05,1.975822e-05,2.131665e-05,2.349404e-05,2.419511e-05,2.717611e-05,2.741832e-05,3.023625e-05,3.147729e-05,3.335256e-05,3.561866e-05,3.650299e-05,3.966671e-05,3.979325e-05,4.282443e-05,4.395630e-05,4.595858e-05,4.806825e-05,4.905345e-05,5.209521e-05,5.507193e-05,5.600904e-05,5.797352e-05,5.978721e-05,6.079167e-05,6.341237e-05,6.351969e-05,6.615239e-05,6.687191e-05,6.868596e-05,7.015739e-05,7.111779e-05,7.326388e-05,7.344635e-05,7.567101e-05,7.618947e-05,7.779196e-05,7.893467e-05,7.981003e-05,8.150193e-05,8.172662e-05,8.354359e-05,8.389522e-05,8.526316e-05,8.611967e-05,8.688784e-05,8.818123e-05,8.842035e-05,8.986359e-05,9.008643e-05,9.122056e-05,9.184217e-05,9.249435e-05,9.345557e-05,9.368806e-05,9.480483e-05,9.493382e-05,9.584779e-05,9.628410e-05,9.682000e-05,9.751345e-05,9.772452e-05,9.856430e-05,9.862877e-05,9.934225e-05,9.963675e-05,1.000612e-04,1.005438e-04,1.007239e-04,1.013330e-04,1.013563e-04,1.018910e-04,1.020799e-04,1.024006e-04,1.027205e-04,1.028639e-04,1.032835e-04,1.036614e-04,1.037738e-04,1.039997e-04,1.041965e-04,1.043007e-04,1.045561e-04,1.045661e-04,1.047979e-04,1.048570e-04,1.049979e-04,1.051033e-04,1.051678e-04,1.052989e-04,1.053092e-04,1.054238e-04,1.054475e-04,1.055130e-04,1.055524e-04,1.055782e-04,1.056169e-04,1.056209e-04,1.056423e-04,1.056442e-04,1.056438e-04,1.056370e-04,1.056264e-04,1.055981e-04,1.055913e-04,1.055397e-04,1.055299e-04,1.054725e-04,1.054350e-04,1.053907e-04,1.053154e-04,1.052953e-04,1.051871e-04,1.051733e-04,1.050671e-04,1.050107e-04,1.049359e-04,1.048293e-04,1.047945e-04,1.046434e-04,1.046309e-04,1.044835e-04,1.044171e-04,1.043153e-04,1.041894e-04,1.041394e-04,1.039566e-04,1.039492e-04,1.037673e-04,1.036977e-04,1.035721e-04,1.034362e-04,1.033714e-04,1.031659e-04,1.028877e-04,1.026028e-04,1.023119e-04,1.020160e-04,1.017158e-04,1.014121e-04,1.011056e-04,1.007969e-04,1.004865e-04,1.001751e-04,9.986310e-05,9.955098e-05,9.923917e-05,9.892807e-05,9.861803e-05,9.830938e-05,9.800244e-05,9.769747e-05,9.739472e-05,9.709444e-05,9.679682e-05,9.650206e-05,9.621032e-05,9.592176e-05
0.000000e+00,5.872165e-11,1.449857e-10,5.394640e-10,1.272343e-09,1.880626e-09,4.359765e-09,4.493721e-09,8.776780e-09,1.032919e-08,1.512607e-08,2.009291e-08,2.393853e-08,3.454550e-08,3.558971e-08,5.036049e-08,5.438278e-08,6.831316e-08,7.968310e-08,8.922476e-08,1.097510e-07,1.126862e-07,1.382572e-07,1.435887e-07,1.655398e-07,1.802847e-07,1.941815e-07,2.190560e-07,2.238623e-07,2.542854e-07,2.592032e-07,2.851748e-07,3.000919e-07,3.162764e-07,3.411548e-07,3.473598e-07,3.782202e-07,3.818997e-07,4.086797e-07,4.219150e-07,4.385870e-07,4.608689e-07,4.678162e-07,4.962656e-07,4.985053e-07,5.238548e-07,5.346354e-07,5.505229e-07,5.691282e-07,5.762258e-07,6.009340e-07,6.019013e-07,6.246301e-07,6.329111e-07,6.473064e-07,6.621437e-07,6.689633e-07,6.896086e-07,7.092552e-07,7.153339e-07,7.279204e-07,7.393604e-07,7.456246e-07,7.617383e-07,7.623912e-07,7.782453e-07,7.825245e-07,7.932134e-07,8.017804e-07,8.073230e-07,8.195699e-07,8.206023e-07,8.330800e-07,8.359585e-07,8.447846e-07,8.510120e-07,8.557443e-07,8.647950e-07,8.659873e-07,8.755412e-07,8.773717e-07,8.844333e-07,8.888046e-07,8.926905e-07,8.991550e-07,9.003389e-07,9.074040e-07,9.084819e-07,9.139106e-07,9.168426e-07,9.198830e-07,9.242921e-07,9.253446e-07,9.303183e-07,9.308834e-07,9.348260e-07,9.366673e-07,9.388891e-07,9.416925e-07,9.425283e-07,9.457635e-07,9.460055e-07,9.486140e-07,9.496506e-07,9.510983e-07,9.526703e-07,9.532343e-07,9.550393e-07,9.551048e-07,9.565298e-07,9.569925e-07,9.577218e-07,9.583698e-07,9.586307e-07,9.592713e-07,9.596576e-07,9.597298e-07,9.598033e-07,9.597764e-07,9.597216e-07,9.594407e-07,9.594248e-07,9.589251e-07,9.587504e-07,9.582339e-07,9.577319e-07,9.573623e-07,9.564102e-07,9.563209e-07,9.551197e-07,9.548087e-07,9.537685e-07,9.529497e-07,9.522765e-07,9.508541e-07,9.506526e-07,9.489052e-07,9.485417e-07,9.470425e-07,9.460309e-07,9.450722e-07,9.433394e-07,9.430016e-07,9.408379e-07,9.404835e-07,9.385876e-07,9.374787e-07,9.362573e-07,9.343395e-07,9.338531e-07,9.313807e-07,9.310797e-07,9.288457e-07,9.277119e-07,9.262535e-07,9.242482e-07,9.236090e-07,9.209171e-07,9.206998e-07,9.181822e-07,9.170773e-07,9.154088e-07,9.133903e-07,9.126009e-07,9.097624e-07,9.096483e-07,9.068971e-07,9.058597e-07,9.040084e-07,9.020325e-07,9.010997e-07,8.981742e-07,8.942918e-07,8.903918e-07,8.864800e-07,8.825622e-07,8.786435e-07,8.747287e-07,8.708223e-07,8.669282e-07,8.630503e-07,8.591921e-07,8.553567e-07,8.515470e-07,8.477658e-07,8.440155e-07,8.402982e-07,8.366161e-07,8.329709e-07,8.293642e-07,8.257975e-07,8.222722e-07,8.187893e-07,8.153499e-07,8.119549e-07,8.086051e-07
0.000000e+00,6.852459e-11,4.670929e-10,8.137072e-09,5.417516e-08,1.290793e-07,8.400881e-07,8.987020e-07,3.987611e-06,5.724181e-06,1.331501e-05,2.489108e-05,3.656293e-05,8.157800e-05,8.706076e-05,1.859943e-04,2.201917e-04,3.648463e-04,5.158135e-04,6.678622e-04,1.083821e-03,1.154206e-03,1.899445e-03,2.087408e-03,2.996145e-03,3.740942e-03,4.553498e-03,6.308391e-03,6.696071e-03,9.561794e-03,1.009723e-02,1.329936e-02,1.544878e-02,1.806515e-02,2.272608e-02,2.401994e-02,3.132537e-02,3.230039e-02,4.014049e-02,4.453713e-02,5.061830e-02,5.978231e-02,6.290254e-02,7.712476e-02,7.834986e-02,9.340166e-02,1.005107e-01,1.118329e-01,1.264835e-01,1.324993e-01,1.554614e-01,1.564282e-01,1.807585e-01,1.904412e-01,2.084086e-01,2.285534e-01,2.384076e-01,2.707303e-01,3.053307e-01,3.168736e-01,3.421431e-01,3.668258e-01,3.810835e-01,4.203745e-01,4.220507e-01,4.649283e-01,4.772590e-01,5.095864e-01,5.371775e-01,5.558834e-01,5.997940e-01,6.036678e-01,6.527804e-01,6.647467e-01,7.030558e-01,7.316550e-01,7.543247e-01,8.001268e-01,8.064153e-01,8.591550e-01,8.697657e-01,9.123721e-01,9.401773e-01,9.658971e-01,1.010974e+00,1.019564e+00,1.073211e+00,1.081783e+00,1.126684e+00,1.152244e+00,1.179832e+00,1.222021e+00,1.232514e+00,1.284596e+00,1.290799e+00,1.335952e+00,1.358288e+00,1.386466e+00,1.424226e+00,1.436029e+00,1.484544e+00,1.488377e+00,1.531920e+00,1.550533e+00,1.578077e+00,1.610514e+00,1.622943e+00,1.666457e+00,1.668168e+00,1.708564e+00,1.723369e+00,1.749218e+00,1.776015e+00,1.788384e+00,1.826030e+00,1.862134e+00,1.873360e+00,1.896682e+00,1.917972e+00,1.929664e+00,1.959852e+00,1.961078e+00,1.990926e+00,1.999003e+00,2.019216e+00,2.035447e+00,2.045961e+00,2.069217e+00,2.071179e+00,2.094890e+00,2.100359e+00,2.117120e+00,2.128932e+00,2.137897e+00,2.155003e+00,2.157251e+00,2.175216e+00,2.178646e+00,2.191828e+00,2.199943e+00,2.207123e+00,2.218982e+00,2.221140e+00,2.233920e+00,2.235853e+00,2.245504e+00,2.250652e+00,2.255934e+00,2.263474e+00,2.265250e+00,2.273498e+00,2.274418e+00,2.280718e+00,2.283580e+00,2.286954e+00,2.291061e+00,2.292248e+00,2.296642e+00,2.296955e+00,2.300177e+00,2.301360e+00,2.302896e+00,2.304369e+00,2.304837e+00,2.306041e+00,2.306074e+00,2.306546e+00,2.306564e+00,2.306391e+00,2.305926e+00,2.305611e+00,2.304242e+00,2.301594e+00,2.298058e+00,2.293707e+00,2.288613e+00,2.282840e+00,2.276454e+00,2.269513e+00,2.262075e+00,2.254192e+00,2.245916e+00,2.237291e+00,2.228364e+00,2.219175e+00,2.209762e+00,2.200161e+00,2.190405e+00,2.180525e+00,2.170549e+00,2.160504e+00,2.150413e+00,2.140299e+00,2.130183e+00,2.120082e+00,2.110013e+00
0.000000e+00,8.272049e-11,3.358508e-10,2.262345e-09,7.174784e-09,1.186210e-08,3.353001e-08,3.477352e-08,7.665768e-08,9.254901e-08,1.431523e-07,1.972888e-07,2.401219e-07,3.614764e-07,3.736413e-07,5.491346e-07,5.978917e-07,7.693740e-07,9.119320e-07,1.033116e-06,1.298049e-06,1.336374e-06,1.674605e-06,1.746078e-06,2.043699e-06,2.246586e-06,2.439951e-06,2.791196e-06,2.859815e-06,3.299730e-06,3.371735e-06,3.756062e-06,3.979851e-06,4.225124e-06,4.607060e-06,4.703229e-06,5.186770e-06,5.244994e-06,5.672292e-06,5.885706e-06,6.156558e-06,6.521920e-06,6.636596e-06,7.109743e-06,7.147225e-06,7.573657e-06,7.756175e-06,8.026325e-06,8.344322e-06,8.466059e-06,8.891484e-06,8.908187e-06,9.301511e-06,9.445185e-06,9.695317e-06,9.953534e-06,1.007232e-05,1.043214e-05,1.077459e-05,1.088049e-05,1.109963e-05,1.129855e-05,1.140735e-05,1.168667e-05,1.169797e-05,1.197177e-05,1.204547e-05,1.222912e-05,1.237581e-05,1.247044e-05,1.267870e-05,1.269620e-05,1.290691e-05,1.295529e-05,1.310307e-05,1.320677e-05,1.328523e-05,1.343438e-05,1.345393e-05,1.360973e-05,1.363938e-05,1.375315e-05,1.382303e-05,1.388476e-05,1.398656e-05,1.400507e-05,1.411461e-05,1.413117e-05,1.421389e-05,1.425804e-05,1.430340e-05,1.436831e-05,1.438363e-05,1.445504e-05,1.446304e-05,1.451808e-05,1.454328e-05,1.457319e-05,1.461001e-05,1.462077e-05,1.466123e-05,1.466417e-05,1.469496e-05,1.470665e-05,1.472233e-05,1.473829e-05,1.474369e-05,1.475937e-05,1.475989e-05,1.476971e-05,1.477218e-05,1.477501e-05,1.477590e-05,1.477558e-05,1.477169e-05,1.476361e-05,1.476019e-05,1.475161e-05,1.474198e-05,1.473592e-05,1.471762e-05,1.471679e-05,1.469443e-05,1.468762e-05,1.466906e-05,1.465247e-05,1.464088e-05,1.461263e-05,1.461007e-05,1.457684e-05,1.456852e-05,1.454134e-05,1.452053e-05,1.450374e-05,1.446904e-05,1.446420e-05,1.442287e-05,1.441440e-05,1.437988e-05,1.435692e-05,1.433538e-05,1.429692e-05,1.428949e-05,1.424232e-05,1.423467e-05,1.419400e-05,1.417043e-05,1.414463e-05,1.410444e-05,1.409431e-05,1.404314e-05,1.403694e-05,1.399121e-05,1.396814e-05,1.393860e-05,1.389822e-05,1.388540e-05,1.383168e-05,1.382737e-05,1.377752e-05,1.375575e-05,1.372299e-05,1.368352e-05,1.366814e-05,1.361304e-05,1.361083e-05,1.355775e-05,1.353781e-05,1.350232e-05,1.346458e-05,1.344680e-05,1.339124e-05,1.331791e-05,1.324468e-05,1.317164e-05,1.309886e-05,1.302642e-05,1.295439e-05,1.288283e-05,1.281179e-05,1.274132e-05,1.267147e-05,1.260228e-05,1.253378e-05,1.246601e-05,1.239899e-05,1.233276e-05,1.226733e-05,1.220272e-05,1.213896e-05,1.207604e-05,1.201400e-05,1.195283e-05,1.189254e-05,1.183314e-05,1.177464e-05
0.000000e+00,6.395649e-12,3.793758e-11,4.967816e-10,2.559825e-09,5.308648e-09,2.431845e-08,2.565272e-08,8.142243e-08,1.069951e-07,2.004241e-07,3.163589e-07,4.173005e-07,7.363890e-07,7.705392e-07,1.294327e-06,1.448045e-06,2.009032e-06,2.494565e-06,2.918145e-06,3.871629e-06,4.012162e-06,5.274432e-06,5.545377e-06,6.685398e-06,7.471099e-06,8.224644e-06,9.601640e-06,9.871516e-06,1.160522e-05,1.188929e-05,1.340497e-05,1.428624e-05,1.525019e-05,1.674572e-05,1.712102e-05,1.899873e-05,1.922369e-05,2.086620e-05,2.168064e-05,2.270819e-05,2.408295e-05,2.451165e-05,2.626571e-05,2.640363e-05,2.796170e-05,2.862230e-05,2.959303e-05,3.072482e-05,3.115497e-05,3.264446e-05,3.270250e-05,3.405986e-05,3.455116e-05,3.540075e-05,3.627022e-05,3.666764e-05,3.786184e-05,3.898523e-05,3.933013e-05,4.004014e-05,4.068054e-05,4.102918e-05,4.191933e-05,4.195520e-05,4.282114e-05,4.305324e-05,4.362998e-05,4.408912e-05,4.438471e-05,4.503380e-05,4.508827e-05,4.574352e-05,4.589390e-05,4.635322e-05,4.667575e-05,4.692003e-05,4.738537e-05,4.744650e-05,4.793502e-05,4.802838e-05,4.838789e-05,4.861001e-05,4.880727e-05,4.913516e-05,4.919519e-05,4.955358e-05,4.960830e-05,4.988424e-05,5.003361e-05,5.018886e-05,5.041489e-05,5.046905e-05,5.072629e-05,5.075568e-05,5.096198e-05,5.105920e-05,5.117744e-05,5.132841e-05,5.137389e-05,5.155249e-05,5.156604e-05,5.171432e-05,5.177459e-05,5.186039e-05,5.195634e-05,5.199166e-05,5.210900e-05,5.211342e-05,5.221327e-05,5.224775e-05,5.230523e-05,5.236112e-05,5.238563e-05,5.245515e-05,5.251444e-05,5.253136e-05,5.256411e-05,5.259112e-05,5.260474e-05,5.263572e-05,5.263685e-05,5.266096e-05,5.266634e-05,5.267754e-05,5.268406e-05,5.268703e-05,5.268987e-05,5.268986e-05,5.268643e-05,5.268472e-05,5.267711e-05,5.266945e-05,5.266225e-05,5.264486e-05,5.264219e-05,5.261724e-05,5.261169e-05,5.258769e-05,5.257061e-05,5.255384e-05,5.252226e-05,5.251593e-05,5.247423e-05,5.246723e-05,5.242897e-05,5.240605e-05,5.238037e-05,5.233924e-05,5.232865e-05,5.227400e-05,5.226726e-05,5.221662e-05,5.219055e-05,5.215668e-05,5.210952e-05,5.209436e-05,5.202981e-05,5.202456e-05,5.196320e-05,5.193601e-05,5.189466e-05,5.184420e-05,5.182434e-05,5.175236e-05,5.174945e-05,5.167886e-05,5.165204e-05,5.160394e-05,5.155224e-05,5.152772e-05,5.145030e-05,5.134646e-05,5.124093e-05,5.113392e-05,5.102562e-05,5.091621e-05,5.080586e-05,5.069472e-05,5.058294e-05,5.047065e-05,5.035799e-05,5.024508e-05,5.013202e-05,5.001892e-05,4.990587e-05,4.979298e-05,4.968031e-05,4.956796e-05,4.945600e-05,4.934448e-05,4.923349e-05,4.912307e-05,4.901328e-05,4.890417e-05,4.879580e-05
0.000000e+00,1.907927e-13,1.258551e-12,2.045957e-11,1.277151e-10,2.935417e-10,1.737131e-09,1.851030e-09,7.447777e-09,1.040444e-08,2.257571e-08,3.984184e-08,5.633085e-08,1.151734e-07,1.219885e-07,2.372301e-07,2.746209e-07,4.240157e-07,5.693303e-07,7.080910e-07,1.061247e-06,1.118089e-06,1.684195e-06,1.818816e-06,2.436448e-06,2.910618e-06,3.402865e-06,4.398014e-06,4.607648e-06,6.069686e-06,6.328417e-06,7.801478e-06,8.730442e-06,9.808519e-06,1.161146e-05,1.208916e-05,1.463481e-05,1.495745e-05,1.743051e-05,1.873470e-05,2.045566e-05,2.289281e-05,2.368496e-05,2.708944e-05,2.736843e-05,3.063744e-05,3.208940e-05,3.429570e-05,3.697887e-05,3.803029e-05,4.180753e-05,4.195904e-05,4.559472e-05,4.695451e-05,4.936086e-05,5.189503e-05,5.307718e-05,5.671751e-05,6.025858e-05,6.136739e-05,6.368025e-05,6.579946e-05,6.696549e-05,6.997808e-05,7.010044e-05,7.307426e-05,7.387690e-05,7.587898e-05,7.747835e-05,7.850933e-05,8.077275e-05,8.096245e-05,8.323770e-05,8.375739e-05,8.533631e-05,8.643541e-05,8.726120e-05,8.881476e-05,8.901664e-05,9.060805e-05,9.090719e-05,9.204175e-05,9.272725e-05,9.332475e-05,9.429150e-05,9.446456e-05,9.546903e-05,9.561772e-05,9.634617e-05,9.672433e-05,9.710404e-05,9.762984e-05,9.775064e-05,9.829384e-05,9.835244e-05,9.874130e-05,9.890977e-05,9.910042e-05,9.931863e-05,9.937828e-05,9.958163e-05,9.959487e-05,9.971685e-05,9.975323e-05,9.978998e-05,9.980737e-05,9.980666e-05,9.977216e-05,9.976979e-05,9.969141e-05,9.965191e-05,9.956898e-05,9.946408e-05,9.940908e-05,9.921562e-05,9.899220e-05,9.891492e-05,9.874212e-05,9.856949e-05,9.846841e-05,9.818600e-05,9.817385e-05,9.786099e-05,9.777042e-05,9.753213e-05,9.732803e-05,9.718940e-05,9.686349e-05,9.683472e-05,9.646985e-05,9.638094e-05,9.609637e-05,9.588402e-05,9.571575e-05,9.537593e-05,9.532928e-05,9.493817e-05,9.485949e-05,9.454350e-05,9.433719e-05,9.414623e-05,9.381118e-05,9.374726e-05,9.334738e-05,9.328336e-05,9.294730e-05,9.275539e-05,9.254768e-05,9.222870e-05,9.214910e-05,9.175207e-05,9.170456e-05,9.135708e-05,9.118403e-05,9.096453e-05,9.066807e-05,9.057481e-05,9.018825e-05,9.015747e-05,8.980515e-05,8.965294e-05,8.942577e-05,8.915506e-05,8.905035e-05,8.867910e-05,8.866434e-05,8.831219e-05,8.818120e-05,8.794979e-05,8.770599e-05,8.759202e-05,8.723900e-05,8.678047e-05,8.633057e-05,8.588946e-05,8.545724e-05,8.503397e-05,8.461970e-05,8.421444e-05,8.381818e-05,8.343089e-05,8.305253e-05,8.268302e-05,8.232230e-05,8.197028e-05,8.162684e-05,8.129190e-05,8.096533e-05,8.064700e-05,8.033679e-05,8.003456e-05,7.974017e-05,7.945349e-05,7.917437e-05,7.890265e-05,7.863820e-05
0.000000e+00,2.565822e-13,1.683402e-12,2.706935e-11,1.673195e-10,3.825144e-10,2.233064e-09,2.378184e-09,9.445304e-09,1.314998e-08,2.829718e-08,4.962227e-08,6.988230e-08,1.417176e-07,1.500060e-07,2.895989e-07,3.347334e-07,5.146147e-07,6.891118e-07,8.554382e-07,1.277757e-06,1.345614e-06,2.019855e-06,2.179784e-06,2.911592e-06,3.471323e-06,4.050539e-06,5.216039e-06,5.460670e-06,7.158832e-06,7.457982e-06,9.154047e-06,1.021788e-05,1.144742e-05,1.349270e-05,1.403250e-05,1.689598e-05,1.725744e-05,2.001858e-05,2.146852e-05,2.337609e-05,2.606774e-05,2.694043e-05,3.068068e-05,3.098653e-05,3.456409e-05,3.615002e-05,3.855704e-05,4.148088e-05,4.262587e-05,4.673765e-05,4.690256e-05,5.086080e-05,5.234213e-05,5.496564e-05,5.773239e-05,5.902479e-05,6.301348e-05,6.690977e-05,6.813387e-05,7.069459e-05,7.305082e-05,7.435183e-05,7.773044e-05,7.786826e-05,8.123338e-05,8.214736e-05,8.443931e-05,8.628408e-05,8.748057e-05,9.013020e-05,9.035384e-05,9.305777e-05,9.368152e-05,9.559270e-05,9.693906e-05,9.796045e-05,9.990817e-05,1.001641e-04,1.022077e-04,1.025976e-04,1.040961e-04,1.050186e-04,1.058350e-04,1.071845e-04,1.074304e-04,1.088886e-04,1.091096e-04,1.102162e-04,1.108091e-04,1.114200e-04,1.122984e-04,1.125066e-04,1.134828e-04,1.135928e-04,1.143550e-04,1.147075e-04,1.151297e-04,1.156569e-04,1.158129e-04,1.164107e-04,1.164550e-04,1.169286e-04,1.171147e-04,1.173722e-04,1.176484e-04,1.177465e-04,1.180565e-04,1.180677e-04,1.183067e-04,1.183830e-04,1.185015e-04,1.186044e-04,1.186449e-04,1.187407e-04,1.187926e-04,1.188004e-04,1.188037e-04,1.187910e-04,1.187774e-04,1.187195e-04,1.187164e-04,1.186236e-04,1.185922e-04,1.185013e-04,1.184148e-04,1.183520e-04,1.181927e-04,1.181779e-04,1.179810e-04,1.179305e-04,1.177632e-04,1.176327e-04,1.175262e-04,1.173032e-04,1.172718e-04,1.170013e-04,1.169455e-04,1.167164e-04,1.165629e-04,1.164181e-04,1.161583e-04,1.161079e-04,1.157868e-04,1.157345e-04,1.154559e-04,1.152939e-04,1.151162e-04,1.148386e-04,1.147685e-04,1.144138e-04,1.143708e-04,1.140528e-04,1.138922e-04,1.136863e-04,1.134044e-04,1.133149e-04,1.129393e-04,1.129091e-04,1.125601e-04,1.124075e-04,1.121778e-04,1.119010e-04,1.117930e-04,1.114061e-04,1.113906e-04,1.110176e-04,1.108774e-04,1.106279e-04,1.103624e-04,1.102373e-04,1.098463e-04,1.093300e-04,1.088141e-04,1.082994e-04,1.077863e-04,1.072754e-04,1.067672e-04,1.062620e-04,1.057604e-04,1.052626e-04,1.047690e-04,1.042798e-04,1.037952e-04,1.033156e-04,1.028411e-04,1.023719e-04,1.019081e-04,1.014498e-04,1.009973e-04,1.005505e-04,1.001096e-04,9.967469e-05,9.924573e-05,9.882283e-05,9.840600e-05
0.000000e+00,1.552827e-11,8.082418e-11,8.239231e-10,3.461769e-09,6.479290e-09,2.344286e-08,2.451327e-08,6.396373e-08,8.013283e-08,1.343303e-07,1.955017e-07,2.455634e-07,3.931290e-07,4.083052e-07,6.335705e-07,6.980741e-07,9.309147e-07,1.130967e-06,1.305080e-06,1.696175e-06,1.753708e-06,2.268647e-06,2.378673e-06,2.839400e-06,3.154816e-06,3.455766e-06,4.002157e-06,4.108763e-06,4.790535e-06,4.901808e-06,5.494000e-06,5.837421e-06,6.212578e-06,6.794151e-06,6.940081e-06,7.670701e-06,7.758324e-06,8.399049e-06,8.717521e-06,9.120222e-06,9.660804e-06,9.829848e-06,1.052412e-05,1.057890e-05,1.119982e-05,1.146428e-05,1.185428e-05,1.231112e-05,1.248537e-05,1.309149e-05,1.311520e-05,1.367146e-05,1.387369e-05,1.422452e-05,1.458499e-05,1.475023e-05,1.524848e-05,1.571938e-05,1.586434e-05,1.616325e-05,1.643337e-05,1.658059e-05,1.695683e-05,1.697200e-05,1.733821e-05,1.743634e-05,1.768001e-05,1.787373e-05,1.799826e-05,1.827098e-05,1.829382e-05,1.856760e-05,1.863017e-05,1.882053e-05,1.895339e-05,1.905350e-05,1.924275e-05,1.926744e-05,1.946324e-05,1.950029e-05,1.964175e-05,1.972803e-05,1.980384e-05,1.992790e-05,1.995032e-05,2.008200e-05,2.010175e-05,2.019964e-05,2.025135e-05,2.030400e-05,2.037839e-05,2.039577e-05,2.047565e-05,2.048447e-05,2.054429e-05,2.057110e-05,2.060232e-05,2.063970e-05,2.065034e-05,2.068892e-05,2.069162e-05,2.071862e-05,2.072812e-05,2.073995e-05,2.075040e-05,2.075341e-05,2.075947e-05,2.075957e-05,2.075859e-05,2.075666e-05,2.075121e-05,2.074267e-05,2.073771e-05,2.071850e-05,2.069395e-05,2.068502e-05,2.066439e-05,2.064301e-05,2.063017e-05,2.059323e-05,2.059161e-05,2.054899e-05,2.053637e-05,2.050261e-05,2.047308e-05,2.045273e-05,2.040397e-05,2.039960e-05,2.034348e-05,2.032959e-05,2.028459e-05,2.025048e-05,2.022314e-05,2.016711e-05,2.015934e-05,2.009339e-05,2.007995e-05,2.002546e-05,1.998941e-05,1.995573e-05,1.989588e-05,1.988436e-05,1.981151e-05,1.979973e-05,1.973733e-05,1.970128e-05,1.966194e-05,1.960086e-05,1.958549e-05,1.950809e-05,1.949875e-05,1.942986e-05,1.939521e-05,1.935091e-05,1.929049e-05,1.927134e-05,1.919125e-05,1.918482e-05,1.911073e-05,1.907842e-05,1.902986e-05,1.897146e-05,1.894872e-05,1.886740e-05,1.886414e-05,1.878595e-05,1.875662e-05,1.870445e-05,1.864904e-05,1.862296e-05,1.854154e-05,1.843426e-05,1.832731e-05,1.822079e-05,1.811480e-05,1.800943e-05,1.790476e-05,1.780087e-05,1.769781e-05,1.759565e-05,1.749444e-05,1.739422e-05,1.729505e-05,1.719696e-05,1.709997e-05,1.700413e-05,1.690945e-05,1.681596e-05,1.672368e-05,1.663261e-05,1.654278e-05,1.645419e-05,1.636685e-05,1.628077e-05,1.619595e-05
0.000000e+00,4.614685e-13,3.036260e-12,4.910547e-11,3.051887e-10,6.998769e-10,4.120970e-09,4.390397e-09,1.760508e-08,2.457973e-08,5.329727e-08,9.409356e-08,1.331286e-07,2.729610e-07,2.892018e-07,5.648075e-07,6.545067e-07,1.013536e-06,1.363043e-06,1.696550e-06,2.542810e-06,2.678589e-06,4.023587e-06,4.341467e-06,5.790644e-06,6.893633e-06,8.030739e-06,1.030791e-05,1.078430e-05,1.407964e-05,1.465838e-05,1.793206e-05,1.998020e-05,2.234362e-05,2.626857e-05,2.730346e-05,3.278846e-05,3.348043e-05,3.876435e-05,4.153823e-05,4.518712e-05,5.033543e-05,5.200457e-05,5.915811e-05,5.974304e-05,6.658458e-05,6.961687e-05,7.421807e-05,7.980481e-05,8.199170e-05,8.983925e-05,9.015377e-05,9.769664e-05,1.005159e-04,1.055032e-04,1.107536e-04,1.132025e-04,1.207435e-04,1.280808e-04,1.303791e-04,1.351749e-04,1.395720e-04,1.419927e-04,1.482525e-04,1.485069e-04,1.546964e-04,1.563690e-04,1.605454e-04,1.638867e-04,1.660433e-04,1.707864e-04,1.711845e-04,1.759672e-04,1.770618e-04,1.803934e-04,1.827182e-04,1.844683e-04,1.877698e-04,1.881997e-04,1.915977e-04,1.922383e-04,1.946740e-04,1.961508e-04,1.974416e-04,1.995381e-04,1.999146e-04,2.021077e-04,2.024337e-04,2.040362e-04,2.048722e-04,2.057151e-04,2.068889e-04,2.071598e-04,2.083853e-04,2.085183e-04,2.094063e-04,2.097944e-04,2.102369e-04,2.107494e-04,2.108910e-04,2.113817e-04,2.114142e-04,2.117215e-04,2.118178e-04,2.119223e-04,2.119872e-04,2.119955e-04,2.119516e-04,2.119475e-04,2.118005e-04,2.117217e-04,2.115517e-04,2.113310e-04,2.112137e-04,2.107949e-04,2.103026e-04,2.101308e-04,2.097441e-04,2.093548e-04,2.091257e-04,2.084814e-04,2.084536e-04,2.077333e-04,2.075237e-04,2.069700e-04,2.064934e-04,2.061685e-04,2.054011e-04,2.053331e-04,2.044680e-04,2.042564e-04,2.035769e-04,2.030677e-04,2.026631e-04,2.018428e-04,2.017299e-04,2.007802e-04,2.005886e-04,1.998167e-04,1.993110e-04,1.988417e-04,1.980156e-04,1.978576e-04,1.968663e-04,1.967072e-04,1.958699e-04,1.953902e-04,1.948699e-04,1.940684e-04,1.938680e-04,1.928655e-04,1.927453e-04,1.918639e-04,1.914238e-04,1.908643e-04,1.901066e-04,1.898677e-04,1.888752e-04,1.887960e-04,1.878877e-04,1.874943e-04,1.869060e-04,1.862031e-04,1.859307e-04,1.849626e-04,1.849240e-04,1.840023e-04,1.836585e-04,1.830502e-04,1.824078e-04,1.821069e-04,1.811728e-04,1.799545e-04,1.787536e-04,1.775708e-04,1.764065e-04,1.752613e-04,1.741353e-04,1.730290e-04,1.719424e-04,1.708758e-04,1.698292e-04,1.688026e-04,1.677960e-04,1.668094e-04,1.658426e-04,1.648956e-04,1.639682e-04,1.630602e-04,1.621714e-04,1.613016e-04,1.604505e-04,1.596180e-04,1.588038e-04,1.580075e-04,1.572290e-04
0.000000e+00,8.151802e-11,2.056003e-10,7.879152e-10,1.908657e-09,2.871599e-09,7.081682e-09,7.321764e-09,1.561805e-08,1.888665e-08,2.959487e-08,4.118333e-08,5.020611e-08,7.442210e-08,7.673150e-08,1.079574e-07,1.160476e-07,1.430292e-07,1.641478e-07,1.814287e-07,2.176892e-07,2.228006e-07,2.668408e-07,2.759426e-07,3.132450e-07,3.382027e-07,3.616889e-07,4.037054e-07,4.118264e-07,4.632964e-07,4.716308e-07,5.157328e-07,5.411393e-07,5.687755e-07,6.114138e-07,6.220798e-07,6.753244e-07,6.816955e-07,7.282166e-07,7.513091e-07,7.804959e-07,8.196776e-07,8.319358e-07,8.823432e-07,8.863262e-07,9.315577e-07,9.508792e-07,9.794486e-07,1.013052e-06,1.025913e-06,1.070873e-06,1.072639e-06,1.114271e-06,1.129504e-06,1.156069e-06,1.183566e-06,1.196245e-06,1.234790e-06,1.271707e-06,1.283178e-06,1.307008e-06,1.328761e-06,1.340711e-06,1.371589e-06,1.372844e-06,1.403436e-06,1.411730e-06,1.432520e-06,1.449262e-06,1.460133e-06,1.484273e-06,1.486316e-06,1.511107e-06,1.516855e-06,1.534549e-06,1.547103e-06,1.556684e-06,1.575115e-06,1.577554e-06,1.597201e-06,1.600988e-06,1.615669e-06,1.624819e-06,1.632998e-06,1.646705e-06,1.649230e-06,1.664405e-06,1.666738e-06,1.678564e-06,1.685011e-06,1.691746e-06,1.701613e-06,1.703988e-06,1.715328e-06,1.716630e-06,1.725802e-06,1.730145e-06,1.735445e-06,1.742240e-06,1.744292e-06,1.752376e-06,1.752991e-06,1.759730e-06,1.762474e-06,1.766384e-06,1.770759e-06,1.772369e-06,1.777715e-06,1.777916e-06,1.782450e-06,1.784010e-06,1.786600e-06,1.789103e-06,1.790194e-06,1.793256e-06,1.795811e-06,1.796526e-06,1.797883e-06,1.798966e-06,1.799495e-06,1.800630e-06,1.800669e-06,1.801427e-06,1.801567e-06,1.801788e-06,1.801823e-06,1.801773e-06,1.801444e-06,1.801401e-06,1.800690e-06,1.800471e-06,1.799658e-06,1.798945e-06,1.798321e-06,1.796905e-06,1.796696e-06,1.794798e-06,1.794387e-06,1.792643e-06,1.791425e-06,1.790244e-06,1.788051e-06,1.787616e-06,1.784772e-06,1.784298e-06,1.781724e-06,1.780193e-06,1.778485e-06,1.775764e-06,1.775067e-06,1.771480e-06,1.771038e-06,1.767735e-06,1.766040e-06,1.763842e-06,1.760792e-06,1.759813e-06,1.755654e-06,1.755316e-06,1.751377e-06,1.749635e-06,1.746989e-06,1.743766e-06,1.742498e-06,1.737913e-06,1.737728e-06,1.733241e-06,1.731539e-06,1.728489e-06,1.725216e-06,1.723664e-06,1.718772e-06,1.712224e-06,1.705585e-06,1.698867e-06,1.692082e-06,1.685241e-06,1.678356e-06,1.671436e-06,1.664490e-06,1.657526e-06,1.650554e-06,1.643579e-06,1.636610e-06,1.629653e-06,1.622713e-06,1.615797e-06,1.608910e-06,1.602056e-06,1.595240e-06,1.588466e-06,1.581738e-06,1.575059e-06,1.568433e-06,1.561862e-06,1.555349e-06
0.000000e+00,2.595289e-11,6.082574e-11,2.161031e-10,5.067384e-10,7.544512e-10,1.837523e-09,1.899483e-09,4.054404e-09,4.908560e-09,7.712233e-09,1.073772e-08,1.307910e-08,1.928723e-08,1.987339e-08,2.770389e-08,2.970543e-08,3.630792e-08,4.140410e-08,4.553183e-08,5.408138e-08,5.527529e-08,6.545795e-08,6.754051e-08,7.600377e-08,8.160545e-08,8.683510e-08,9.609546e-08,9.787177e-08,1.090322e-07,1.108239e-07,1.202357e-07,1.256057e-07,1.314046e-07,1.402661e-07,1.424668e-07,1.533567e-07,1.546491e-07,1.640167e-07,1.686212e-07,1.743971e-07,1.820738e-07,1.844572e-07,1.941645e-07,1.949250e-07,2.034940e-07,2.071157e-07,2.124276e-07,2.186078e-07,2.209535e-07,2.290652e-07,2.293811e-07,2.367610e-07,2.394297e-07,2.440417e-07,2.487579e-07,2.509123e-07,2.573800e-07,2.634540e-07,2.653162e-07,2.691452e-07,2.725922e-07,2.744656e-07,2.792360e-07,2.794278e-07,2.840450e-07,2.852778e-07,2.883308e-07,2.907489e-07,2.922989e-07,2.956808e-07,2.959630e-07,2.993368e-07,3.001048e-07,3.024337e-07,3.040519e-07,3.052668e-07,3.075519e-07,3.078489e-07,3.101926e-07,3.106338e-07,3.123098e-07,3.133251e-07,3.142122e-07,3.156525e-07,3.159112e-07,3.174174e-07,3.176412e-07,3.187413e-07,3.193150e-07,3.198930e-07,3.206967e-07,3.208819e-07,3.217172e-07,3.218075e-07,3.224077e-07,3.226678e-07,3.229617e-07,3.232964e-07,3.233873e-07,3.236920e-07,3.237113e-07,3.238831e-07,3.239293e-07,3.239675e-07,3.239659e-07,3.239518e-07,3.238424e-07,3.238361e-07,3.236451e-07,3.235536e-07,3.233656e-07,3.231314e-07,3.230093e-07,3.225814e-07,3.220867e-07,3.219150e-07,3.215298e-07,3.211428e-07,3.209151e-07,3.202745e-07,3.202468e-07,3.195287e-07,3.193193e-07,3.187647e-07,3.182857e-07,3.179583e-07,3.171817e-07,3.171127e-07,3.162312e-07,3.160146e-07,3.153168e-07,3.147914e-07,3.143723e-07,3.135184e-07,3.134004e-07,3.124035e-07,3.122014e-07,3.113842e-07,3.108461e-07,3.103447e-07,3.094574e-07,3.092871e-07,3.082134e-07,3.080402e-07,3.071255e-07,3.065987e-07,3.060251e-07,3.051371e-07,3.049141e-07,3.037940e-07,3.036590e-07,3.026662e-07,3.021679e-07,3.015321e-07,3.006669e-07,3.003932e-07,2.992505e-07,2.991590e-07,2.981053e-07,2.976468e-07,2.969587e-07,2.961329e-07,2.958117e-07,2.946653e-07,2.946194e-07,2.935202e-07,2.931085e-07,2.923775e-07,2.916021e-07,2.912378e-07,2.901019e-07,2.886094e-07,2.871262e-07,2.856535e-07,2.841924e-07,2.827442e-07,2.813096e-07,2.798897e-07,2.784850e-07,2.770965e-07,2.757245e-07,2.743697e-07,2.730325e-07,2.717134e-07,2.704126e-07,2.691304e-07,2.678671e-07,2.666229e-07,2.653979e-07,2.641922e-07,2.630059e-07,2.618391e-07,2.606917e-07,2.595637e-07,2.584551e-07
0.000000e+00,1.063620e-11,6.081786e-11,7.409736e-10,3.592067e-09,7.217152e-09,3.063180e-08,3.221721e-08,9.543709e-08,1.231840e-07,2.208542e-07,3.368803e-07,4.349125e-07,7.344658e-07,7.659537e-07,1.244095e-06,1.384183e-06,1.900145e-06,2.355935e-06,2.762012e-06,3.706129e-06,3.848713e-06,5.165263e-06,5.455537e-06,6.702165e-06,7.582093e-06,8.439538e-06,1.003574e-05,1.035256e-05,1.241562e-05,1.275798e-05,1.460435e-05,1.569289e-05,1.689622e-05,1.878987e-05,1.927031e-05,2.170706e-05,2.200279e-05,2.418799e-05,2.528906e-05,2.669564e-05,2.860920e-05,2.921362e-05,3.172667e-05,3.192708e-05,3.422084e-05,3.521035e-05,3.668352e-05,3.843082e-05,3.910354e-05,4.147119e-05,4.156469e-05,4.377822e-05,4.459255e-05,4.601775e-05,4.749918e-05,4.818420e-05,5.027323e-05,5.228159e-05,5.290682e-05,5.420699e-05,5.539502e-05,5.604801e-05,5.773537e-05,5.780398e-05,5.947488e-05,5.992755e-05,6.106124e-05,6.197286e-05,6.256403e-05,6.387394e-05,6.398460e-05,6.532462e-05,6.563445e-05,6.658600e-05,6.725879e-05,6.777083e-05,6.875193e-05,6.888135e-05,6.991991e-05,7.011920e-05,7.088894e-05,7.136617e-05,7.179090e-05,7.249855e-05,7.262829e-05,7.340359e-05,7.352204e-05,7.411927e-05,7.444233e-05,7.477776e-05,7.526500e-05,7.538148e-05,7.593278e-05,7.599552e-05,7.643397e-05,7.663921e-05,7.688732e-05,7.720122e-05,7.729501e-05,7.765917e-05,7.768648e-05,7.798185e-05,7.809975e-05,7.826504e-05,7.844559e-05,7.851070e-05,7.872069e-05,7.872838e-05,7.889682e-05,7.895227e-05,7.904081e-05,7.912123e-05,7.915434e-05,7.923902e-05,7.929639e-05,7.930923e-05,7.932795e-05,7.933526e-05,7.933512e-05,7.932033e-05,7.931927e-05,7.928172e-05,7.926749e-05,7.922372e-05,7.917961e-05,7.914648e-05,7.905941e-05,7.905114e-05,7.893883e-05,7.890947e-05,7.881059e-05,7.873220e-05,7.866744e-05,7.852989e-05,7.851033e-05,7.834020e-05,7.830469e-05,7.815791e-05,7.805861e-05,7.796432e-05,7.779355e-05,7.776022e-05,7.754638e-05,7.751131e-05,7.732351e-05,7.721354e-05,7.709232e-05,7.690182e-05,7.685347e-05,7.660758e-05,7.657763e-05,7.635525e-05,7.624233e-05,7.609705e-05,7.589722e-05,7.583351e-05,7.556516e-05,7.554349e-05,7.529247e-05,7.518228e-05,7.501590e-05,7.481463e-05,7.473591e-05,7.445289e-05,7.444151e-05,7.416724e-05,7.406384e-05,7.387935e-05,7.368247e-05,7.358955e-05,7.329817e-05,7.291169e-05,7.252369e-05,7.213481e-05,7.174562e-05,7.135666e-05,7.096843e-05,7.058137e-05,7.019590e-05,6.981242e-05,6.943126e-05,6.905275e-05,6.867719e-05,6.830482e-05,6.793590e-05,6.757064e-05,6.720924e-05,6.685186e-05,6.649867e-05,6.614979e-05,6.580535e-05,6.546546e-05,6.513020e-05,6.479965e-05,6.447388e-05
0.000000e+00,3.461302e-12,1.997147e-11,2.474380e-10,1.214837e-09,2.455206e-09,1.054081e-08,1.109028e-08,3.304373e-08,4.267820e-08,7.650674e-08,1.164744e-07,1.500487e-07,2.515847e-07,2.621710e-07,4.211317e-07,4.671283e-07,6.346270e-07,7.804201e-07,9.088475e-07,1.202916e-06,1.246837e-06,1.647064e-06,1.734106e-06,2.103413e-06,2.359907e-06,2.606684e-06,3.058106e-06,3.146509e-06,3.712792e-06,3.805226e-06,4.296402e-06,4.580293e-06,4.889317e-06,5.365610e-06,5.484531e-06,6.075924e-06,6.146373e-06,6.658153e-06,6.910215e-06,7.226598e-06,7.646960e-06,7.777339e-06,8.307148e-06,8.348548e-06,8.813468e-06,9.008970e-06,9.294388e-06,9.624168e-06,9.748603e-06,1.017535e-05,1.019185e-05,1.057437e-05,1.071124e-05,1.094578e-05,1.118282e-05,1.129009e-05,1.160804e-05,1.190061e-05,1.198906e-05,1.216894e-05,1.232851e-05,1.241425e-05,1.262931e-05,1.263785e-05,1.284107e-05,1.289450e-05,1.302524e-05,1.312714e-05,1.319167e-05,1.333020e-05,1.334162e-05,1.347632e-05,1.350651e-05,1.359692e-05,1.365871e-05,1.370453e-05,1.378928e-05,1.380016e-05,1.388478e-05,1.390046e-05,1.395928e-05,1.399429e-05,1.402448e-05,1.407263e-05,1.408115e-05,1.413000e-05,1.413713e-05,1.417166e-05,1.418929e-05,1.420675e-05,1.423044e-05,1.423579e-05,1.425929e-05,1.426176e-05,1.427770e-05,1.428431e-05,1.429146e-05,1.429903e-05,1.430093e-05,1.430648e-05,1.430677e-05,1.430843e-05,1.430826e-05,1.430706e-05,1.430418e-05,1.430266e-05,1.429547e-05,1.429513e-05,1.428572e-05,1.428162e-05,1.427361e-05,1.426414e-05,1.425935e-05,1.424312e-05,1.422506e-05,1.421893e-05,1.420534e-05,1.419191e-05,1.418410e-05,1.416239e-05,1.416146e-05,1.413754e-05,1.413063e-05,1.411246e-05,1.409689e-05,1.408631e-05,1.406139e-05,1.405919e-05,1.403119e-05,1.402435e-05,1.400239e-05,1.398595e-05,1.397287e-05,1.394635e-05,1.394270e-05,1.391194e-05,1.390572e-05,1.388066e-05,1.386420e-05,1.384890e-05,1.382191e-05,1.381674e-05,1.378421e-05,1.377898e-05,1.375136e-05,1.373550e-05,1.371825e-05,1.369158e-05,1.368490e-05,1.365135e-05,1.364731e-05,1.361765e-05,1.360278e-05,1.358382e-05,1.355805e-05,1.354990e-05,1.351591e-05,1.351319e-05,1.348189e-05,1.346828e-05,1.344786e-05,1.342336e-05,1.341383e-05,1.337985e-05,1.337849e-05,1.334592e-05,1.333372e-05,1.331206e-05,1.328910e-05,1.327830e-05,1.324465e-05,1.320044e-05,1.315647e-05,1.311280e-05,1.306944e-05,1.302642e-05,1.298376e-05,1.294149e-05,1.289963e-05,1.285819e-05,1.281718e-05,1.277663e-05,1.273654e-05,1.269693e-05,1.265780e-05,1.261916e-05,1.258102e-05,1.254338e-05,1.250626e-05,1.246965e-05,1.243357e-05,1.239800e-05,1.236295e-05,1.232843e-05,1.229444e-05
0.000000e+00,5.218435e-11,1.408821e-10,5.726014e-10,1.400783e-09,2.095895e-09,4.950296e-09,5.104984e-09,1.006061e-08,1.185970e-08,1.742457e-08,2.319293e-08,2.766183e-08,3.999201e-08,4.120580e-08,5.836436e-08,6.303101e-08,7.915598e-08,9.224748e-08,1.031588e-07,1.263018e-07,1.295670e-07,1.574718e-07,1.631609e-07,1.861025e-07,2.010806e-07,2.148875e-07,2.388811e-07,2.434146e-07,2.713819e-07,2.757887e-07,2.985626e-07,3.112781e-07,3.247865e-07,3.449916e-07,3.499290e-07,3.739035e-07,3.766991e-07,3.966563e-07,4.062729e-07,4.181614e-07,4.336681e-07,4.384156e-07,4.574344e-07,4.589034e-07,4.752476e-07,4.820440e-07,4.918956e-07,5.031876e-07,5.074267e-07,5.218939e-07,5.224512e-07,5.353532e-07,5.399628e-07,5.478617e-07,5.558537e-07,5.594766e-07,5.702539e-07,5.802475e-07,5.832885e-07,5.895090e-07,5.950750e-07,5.980875e-07,6.057235e-07,6.060295e-07,6.133787e-07,6.153359e-07,6.201759e-07,6.240052e-07,6.264593e-07,6.318168e-07,6.322644e-07,6.376243e-07,6.388479e-07,6.425699e-07,6.451692e-07,6.471297e-07,6.508445e-07,6.513304e-07,6.551964e-07,6.559314e-07,6.587498e-07,6.604811e-07,6.620116e-07,6.645401e-07,6.650009e-07,6.677357e-07,6.681508e-07,6.702326e-07,6.713512e-07,6.725069e-07,6.741757e-07,6.745728e-07,6.764434e-07,6.766553e-07,6.781309e-07,6.788184e-07,6.796468e-07,6.806906e-07,6.810016e-07,6.822052e-07,6.822952e-07,6.832667e-07,6.836534e-07,6.841946e-07,6.847845e-07,6.849969e-07,6.856810e-07,6.857060e-07,6.862539e-07,6.864342e-07,6.867221e-07,6.869838e-07,6.870916e-07,6.873682e-07,6.875572e-07,6.876000e-07,6.876636e-07,6.876906e-07,6.876921e-07,6.876503e-07,6.876472e-07,6.875329e-07,6.874890e-07,6.873532e-07,6.872156e-07,6.871119e-07,6.868383e-07,6.868123e-07,6.864578e-07,6.863649e-07,6.860515e-07,6.858024e-07,6.855963e-07,6.851575e-07,6.850950e-07,6.845502e-07,6.844362e-07,6.839644e-07,6.836444e-07,6.833400e-07,6.827872e-07,6.826791e-07,6.819840e-07,6.818697e-07,6.812566e-07,6.808966e-07,6.804989e-07,6.798720e-07,6.797126e-07,6.788995e-07,6.788002e-07,6.780613e-07,6.776849e-07,6.771995e-07,6.765297e-07,6.763156e-07,6.754111e-07,6.753379e-07,6.744872e-07,6.741125e-07,6.735453e-07,6.728566e-07,6.725866e-07,6.716122e-07,6.715729e-07,6.706234e-07,6.702640e-07,6.696211e-07,6.689323e-07,6.686063e-07,6.675802e-07,6.662097e-07,6.648229e-07,6.634217e-07,6.620078e-07,6.605831e-07,6.591491e-07,6.577073e-07,6.562590e-07,6.548057e-07,6.533485e-07,6.518888e-07,6.504274e-07,6.489656e-07,6.475044e-07,6.460445e-07,6.445869e-07,6.431324e-07,6.416819e-07,6.402359e-07,6.387952e-07,6.373604e-07,6.359321e-07,6.345109e-07,6.330972e-07
0.000000e+00,7.093546e-14,4.690939e-13,7.666496e-12,4.809266e-11,1.108397e-10,6.607051e-10,7.042382e-10,2.855128e-09,3.997142e-09,8.721754e-09,1.546600e-08,2.193820e-08,4.520452e-08,4.791270e-08,9.401948e-08,1.090845e-07,1.696830e-07,2.291524e-07,2.863503e-07,4.334593e-07,4.573211e-07,6.973705e-07,7.550377e-07,1.022097e-06,1.229596e-06,1.446991e-06,1.891820e-06,1.986333e-06,2.652077e-06,2.770960e-06,3.452923e-06,3.886886e-06,4.393671e-06,5.247546e-06,5.474925e-06,6.693121e-06,6.848192e-06,8.040823e-06,8.672158e-06,9.507207e-06,1.069276e-05,1.107869e-05,1.273958e-05,1.287581e-05,1.447278e-05,1.518232e-05,1.626040e-05,1.757101e-05,1.808434e-05,1.992679e-05,2.000062e-05,2.177066e-05,2.243168e-05,2.359993e-05,2.482793e-05,2.539989e-05,2.715731e-05,2.886060e-05,2.939255e-05,3.049984e-05,3.151146e-05,3.206677e-05,3.349687e-05,3.355481e-05,3.495893e-05,3.533652e-05,3.627557e-05,3.702261e-05,3.750255e-05,3.855134e-05,3.863892e-05,3.968479e-05,3.992244e-05,4.064127e-05,4.113851e-05,4.151022e-05,4.220453e-05,4.229422e-05,4.299638e-05,4.312729e-05,4.362022e-05,4.391493e-05,4.416959e-05,4.457648e-05,4.464856e-05,4.506133e-05,4.512152e-05,4.541215e-05,4.555979e-05,4.570526e-05,4.590101e-05,4.594484e-05,4.613496e-05,4.615464e-05,4.627957e-05,4.632975e-05,4.638242e-05,4.643490e-05,4.644713e-05,4.647709e-05,4.647808e-05,4.647547e-05,4.646666e-05,4.644527e-05,4.640740e-05,4.638926e-05,4.631002e-05,4.630640e-05,4.620991e-05,4.616920e-05,4.609113e-05,4.600073e-05,4.595569e-05,4.580542e-05,4.564200e-05,4.558718e-05,4.546696e-05,4.534948e-05,4.528168e-05,4.509537e-05,4.508744e-05,4.488537e-05,4.482753e-05,4.467651e-05,4.454833e-05,4.446180e-05,4.425983e-05,4.424209e-05,4.401814e-05,4.396384e-05,4.379064e-05,4.366192e-05,4.356021e-05,4.335547e-05,4.332743e-05,4.309279e-05,4.304568e-05,4.285676e-05,4.273361e-05,4.261974e-05,4.242016e-05,4.238212e-05,4.214422e-05,4.210615e-05,4.190635e-05,4.179227e-05,4.166878e-05,4.147911e-05,4.143176e-05,4.119550e-05,4.116721e-05,4.096021e-05,4.085703e-05,4.072606e-05,4.054896e-05,4.049321e-05,4.026181e-05,4.024337e-05,4.003199e-05,3.994053e-05,3.980387e-05,3.964073e-05,3.957754e-05,3.935311e-05,3.934417e-05,3.913065e-05,3.905107e-05,3.891024e-05,3.876157e-05,3.869195e-05,3.847583e-05,3.819395e-05,3.791604e-05,3.764219e-05,3.737245e-05,3.710688e-05,3.684551e-05,3.658837e-05,3.633549e-05,3.608687e-05,3.584251e-05,3.560240e-05,3.536653e-05,3.513489e-05,3.490744e-05,3.468416e-05,3.446501e-05,3.424996e-05,3.403897e-05,3.383199e-05,3.362899e-05,3.342990e-05,3.323469e-05,3.304329e-05,3.285566e-05
0.000000e+00,3.218952e-11,7.469858e-11,2.604017e-10,5.959022e-10,8.710876e-10,1.982017e-09,2.041805e-09,3.949538e-09,4.640489e-09,6.777169e-09,8.994009e-09,1.071402e-08,1.547454e-08,1.594448e-08,2.261599e-08,2.444043e-08,3.078220e-08,3.597940e-08,4.034875e-08,4.974327e-08,5.108365e-08,6.269966e-08,6.510441e-08,7.493148e-08,8.146163e-08,8.756262e-08,9.835424e-08,1.004207e-07,1.133657e-07,1.154369e-07,1.262812e-07,1.324409e-07,1.390696e-07,1.491534e-07,1.516491e-07,1.639520e-07,1.654070e-07,1.759235e-07,1.810744e-07,1.875203e-07,1.960630e-07,1.987099e-07,2.094687e-07,2.103103e-07,2.197811e-07,2.237789e-07,2.296381e-07,2.364508e-07,2.390358e-07,2.479756e-07,2.483238e-07,2.564620e-07,2.594075e-07,2.645023e-07,2.697198e-07,2.721063e-07,2.792853e-07,2.860521e-07,2.881325e-07,2.924200e-07,2.962927e-07,2.984033e-07,3.037990e-07,3.040166e-07,3.092747e-07,3.106854e-07,3.141923e-07,3.169853e-07,3.187836e-07,3.227318e-07,3.230630e-07,3.270445e-07,3.279572e-07,3.307417e-07,3.326930e-07,3.341680e-07,3.369692e-07,3.373361e-07,3.402585e-07,3.408145e-07,3.429472e-07,3.442568e-07,3.454138e-07,3.473223e-07,3.476695e-07,3.497252e-07,3.500362e-07,3.515910e-07,3.524221e-07,3.532769e-07,3.545025e-07,3.547925e-07,3.561468e-07,3.562989e-07,3.573485e-07,3.578312e-07,3.584061e-07,3.591183e-07,3.593275e-07,3.601202e-07,3.601783e-07,3.607916e-07,3.610278e-07,3.613487e-07,3.616827e-07,3.617980e-07,3.621460e-07,3.621579e-07,3.623985e-07,3.624672e-07,3.625614e-07,3.626238e-07,3.626401e-07,3.626399e-07,3.625657e-07,3.625271e-07,3.624222e-07,3.622961e-07,3.622139e-07,3.619570e-07,3.619451e-07,3.616198e-07,3.615192e-07,3.612419e-07,3.609914e-07,3.608150e-07,3.603820e-07,3.603426e-07,3.598280e-07,3.596986e-07,3.592743e-07,3.589483e-07,3.586846e-07,3.581379e-07,3.580614e-07,3.574077e-07,3.572735e-07,3.567258e-07,3.563609e-07,3.560182e-07,3.554056e-07,3.552871e-07,3.545347e-07,3.544125e-07,3.537630e-07,3.533862e-07,3.529738e-07,3.523312e-07,3.521691e-07,3.513504e-07,3.512513e-07,3.505195e-07,3.501504e-07,3.496778e-07,3.490318e-07,3.488268e-07,3.479677e-07,3.478987e-07,3.471020e-07,3.467541e-07,3.462308e-07,3.456007e-07,3.453551e-07,3.444761e-07,3.444409e-07,3.435948e-07,3.432771e-07,3.427120e-07,3.421114e-07,3.418288e-07,3.409458e-07,3.397819e-07,3.386216e-07,3.374661e-07,3.363170e-07,3.351755e-07,3.340427e-07,3.329196e-07,3.318071e-07,3.307060e-07,3.296172e-07,3.285412e-07,3.274787e-07,3.264301e-07,3.253960e-07,3.243767e-07,3.233725e-07,3.223838e-07,3.214108e-07,3.204536e-07,3.195125e-07,3.185876e-07,3.176789e-07,3.167866e-07,3.159105e-07
0.000000e+00,8.781573e-13,5.937366e-12,1.016828e-10,6.662565e-10,1.573269e-09,9.997475e-09,1.068436e-08,4.623821e-08,6.591041e-08,1.505616e-07,2.772175e-07,4.030871e-07,8.784180e-07,9.355284e-07,1.947705e-06,2.291538e-06,3.723062e-06,5.188282e-06,6.642554e-06,1.054355e-05,1.119489e-05,1.798090e-05,1.966681e-05,2.771073e-05,3.419876e-05,4.119363e-05,5.607032e-05,5.932171e-05,8.304903e-05,8.743098e-05,1.133677e-04,1.305573e-04,1.512829e-04,1.877524e-04,1.977869e-04,2.538350e-04,2.612454e-04,3.203223e-04,3.530969e-04,3.980625e-04,4.651149e-04,4.877703e-04,5.900456e-04,5.987857e-04,7.053619e-04,7.552202e-04,8.340570e-04,9.351180e-04,9.763281e-04,1.132229e-03,1.138748e-03,1.301671e-03,1.365946e-03,1.484427e-03,1.616128e-03,1.680137e-03,1.888315e-03,2.108363e-03,2.181173e-03,2.339579e-03,2.493055e-03,2.581170e-03,2.822052e-03,2.832267e-03,3.091939e-03,3.166051e-03,3.359204e-03,3.522787e-03,3.633047e-03,3.889897e-03,3.912427e-03,4.196295e-03,4.264975e-03,4.483605e-03,4.645614e-03,4.773319e-03,5.029451e-03,5.064424e-03,5.355936e-03,5.414203e-03,5.646908e-03,5.797699e-03,5.936437e-03,6.177899e-03,6.223668e-03,6.507798e-03,6.552921e-03,6.788081e-03,6.921045e-03,7.063826e-03,7.280729e-03,7.334403e-03,7.599239e-03,7.630608e-03,7.857821e-03,7.969497e-03,8.109695e-03,8.296385e-03,8.354461e-03,8.591777e-03,8.610431e-03,8.821351e-03,8.910957e-03,9.042942e-03,9.197434e-03,9.256356e-03,9.461446e-03,9.469475e-03,9.658105e-03,9.726824e-03,9.846265e-03,9.969343e-03,1.002590e-02,1.019700e-02,1.035961e-02,1.040986e-02,1.051378e-02,1.060807e-02,1.065961e-02,1.079184e-02,1.079719e-02,1.092665e-02,1.096147e-02,1.104814e-02,1.111728e-02,1.116182e-02,1.125965e-02,1.126786e-02,1.136643e-02,1.138900e-02,1.145775e-02,1.150578e-02,1.154199e-02,1.161045e-02,1.161938e-02,1.169012e-02,1.170349e-02,1.175443e-02,1.178539e-02,1.181252e-02,1.185667e-02,1.186461e-02,1.191092e-02,1.191781e-02,1.195167e-02,1.196932e-02,1.198708e-02,1.201170e-02,1.201735e-02,1.204271e-02,1.204543e-02,1.206335e-02,1.207100e-02,1.207949e-02,1.208887e-02,1.209133e-02,1.209906e-02,1.209951e-02,1.210288e-02,1.210336e-02,1.210298e-02,1.210085e-02,1.209954e-02,1.209274e-02,1.209240e-02,1.208275e-02,1.207841e-02,1.206974e-02,1.205925e-02,1.205388e-02,1.203531e-02,1.200694e-02,1.197446e-02,1.193821e-02,1.189849e-02,1.185558e-02,1.180978e-02,1.176133e-02,1.171049e-02,1.165749e-02,1.160255e-02,1.154588e-02,1.148768e-02,1.142813e-02,1.136741e-02,1.130567e-02,1.124308e-02,1.117977e-02,1.111588e-02,1.105154e-02,1.098685e-02,1.092193e-02,1.085688e-02,1.079179e-02,1.072675e-02
0.000000e+00,4.259483e-11,9.895586e-11,3.462938e-10,7.967806e-10,1.169281e-09,2.696834e-09,2.780040e-09,5.482464e-09,6.482249e-09,9.636932e-09,1.300075e-08,1.566757e-08,2.327228e-08,2.403883e-08,3.517277e-08,3.828755e-08,4.929374e-08,5.847725e-08,6.628451e-08,8.327361e-08,8.571620e-08,1.070435e-07,1.114913e-07,1.297740e-07,1.420160e-07,1.535211e-07,1.740365e-07,1.779899e-07,2.029471e-07,2.069722e-07,2.281983e-07,2.403727e-07,2.535736e-07,2.738602e-07,2.789205e-07,3.041007e-07,3.071051e-07,3.289894e-07,3.398189e-07,3.534750e-07,3.717534e-07,3.774591e-07,4.008570e-07,4.027013e-07,4.235975e-07,4.324961e-07,4.456219e-07,4.610094e-07,4.668835e-07,4.873472e-07,4.881487e-07,5.069871e-07,5.138523e-07,5.257864e-07,5.380848e-07,5.437360e-07,5.608340e-07,5.770835e-07,5.821053e-07,5.924922e-07,6.019179e-07,6.070721e-07,6.203032e-07,6.208384e-07,6.338088e-07,6.373004e-07,6.460027e-07,6.529551e-07,6.574414e-07,6.673172e-07,6.681473e-07,6.781434e-07,6.804395e-07,6.874535e-07,6.923765e-07,6.961018e-07,7.031839e-07,7.041123e-07,7.115089e-07,7.129166e-07,7.183150e-07,7.216286e-07,7.245540e-07,7.293731e-07,7.302486e-07,7.354216e-07,7.362023e-07,7.400949e-07,7.421669e-07,7.442899e-07,7.473156e-07,7.480276e-07,7.513281e-07,7.516957e-07,7.542111e-07,7.553524e-07,7.566959e-07,7.583294e-07,7.588009e-07,7.605440e-07,7.606683e-07,7.619425e-07,7.624091e-07,7.630131e-07,7.635899e-07,7.637719e-07,7.642344e-07,7.642470e-07,7.644157e-07,7.644149e-07,7.643302e-07,7.641267e-07,7.639917e-07,7.634137e-07,7.626089e-07,7.623055e-07,7.615897e-07,7.608304e-07,7.603679e-07,7.590150e-07,7.589550e-07,7.573618e-07,7.568848e-07,7.555988e-07,7.544637e-07,7.536761e-07,7.517743e-07,7.516032e-07,7.493894e-07,7.488382e-07,7.470436e-07,7.456754e-07,7.445742e-07,7.423052e-07,7.419892e-07,7.392964e-07,7.387456e-07,7.365032e-07,7.350135e-07,7.336167e-07,7.311249e-07,7.306436e-07,7.275904e-07,7.270949e-07,7.244632e-07,7.229376e-07,7.212679e-07,7.186664e-07,7.180101e-07,7.146952e-07,7.142938e-07,7.113282e-07,7.098315e-07,7.079140e-07,7.052905e-07,7.044572e-07,7.009622e-07,7.006810e-07,6.974331e-07,6.960129e-07,6.938741e-07,6.912951e-07,6.902887e-07,6.866807e-07,6.865360e-07,6.830534e-07,6.817435e-07,6.794101e-07,6.769251e-07,6.757538e-07,6.720875e-07,6.672371e-07,6.623800e-07,6.575215e-07,6.526669e-07,6.478209e-07,6.429879e-07,6.381719e-07,6.333767e-07,6.286057e-07,6.238621e-07,6.191488e-07,6.144685e-07,6.098235e-07,6.052162e-07,6.006484e-07,5.961221e-07,5.916388e-07,5.872000e-07,5.828069e-07,5.784609e-07,5.741627e-07,5.699135e-07,5.657138e-07,5.615644e-07
0.000000e+00,4.723579e-11,1.253175e-10,5.028134e-10,1.228435e-09,1.839916e-09,4.367868e-09,4.505455e-09,8.933789e-09,1.054884e-08,1.556173e-08,2.078075e-08,2.483899e-08,3.611100e-08,3.722741e-08,5.317742e-08,5.758008e-08,7.306481e-08,8.600397e-08,9.708029e-08,1.215529e-07,1.251187e-07,1.567725e-07,1.634872e-07,1.914616e-07,2.104991e-07,2.285888e-07,2.612683e-07,2.676222e-07,3.081096e-07,3.146958e-07,3.496637e-07,3.698878e-07,3.919466e-07,4.260948e-07,4.346581e-07,4.775296e-07,4.826732e-07,5.203214e-07,5.390689e-07,5.628212e-07,5.948107e-07,6.048436e-07,6.462287e-07,6.495078e-07,6.868417e-07,7.028448e-07,7.265703e-07,7.545755e-07,7.653237e-07,8.030310e-07,8.045167e-07,8.396376e-07,8.525384e-07,8.751036e-07,8.985549e-07,9.094025e-07,9.425191e-07,9.744473e-07,9.844134e-07,1.005189e-06,1.024245e-06,1.034753e-06,1.062038e-06,1.063152e-06,1.090405e-06,1.097834e-06,1.116534e-06,1.131681e-06,1.141562e-06,1.163639e-06,1.165516e-06,1.188424e-06,1.193769e-06,1.210314e-06,1.222139e-06,1.231216e-06,1.248816e-06,1.251160e-06,1.270176e-06,1.273870e-06,1.288293e-06,1.297369e-06,1.305542e-06,1.319381e-06,1.321952e-06,1.337551e-06,1.339974e-06,1.352369e-06,1.359213e-06,1.366434e-06,1.377161e-06,1.379771e-06,1.392409e-06,1.393880e-06,1.404373e-06,1.409430e-06,1.415688e-06,1.423868e-06,1.426378e-06,1.436469e-06,1.437250e-06,1.445981e-06,1.449630e-06,1.454939e-06,1.461057e-06,1.463363e-06,1.471274e-06,1.471580e-06,1.478694e-06,1.481248e-06,1.485640e-06,1.490104e-06,1.492133e-06,1.498191e-06,1.503830e-06,1.505549e-06,1.509069e-06,1.512219e-06,1.513923e-06,1.518236e-06,1.518409e-06,1.522541e-06,1.523637e-06,1.526335e-06,1.528455e-06,1.529805e-06,1.532722e-06,1.532964e-06,1.535825e-06,1.536469e-06,1.538402e-06,1.539725e-06,1.540705e-06,1.542517e-06,1.542748e-06,1.544542e-06,1.544871e-06,1.546096e-06,1.546814e-06,1.547423e-06,1.548368e-06,1.548531e-06,1.549431e-06,1.549556e-06,1.550132e-06,1.550400e-06,1.550642e-06,1.550919e-06,1.550971e-06,1.551127e-06,1.551134e-06,1.551117e-06,1.551063e-06,1.550950e-06,1.550723e-06,1.550633e-06,1.550173e-06,1.550130e-06,1.549576e-06,1.549301e-06,1.548850e-06,1.548250e-06,1.548000e-06,1.547032e-06,1.546991e-06,1.545953e-06,1.545539e-06,1.544768e-06,1.543904e-06,1.543482e-06,1.542101e-06,1.540140e-06,1.538031e-06,1.535786e-06,1.533414e-06,1.530923e-06,1.528324e-06,1.525624e-06,1.522832e-06,1.519953e-06,1.516997e-06,1.513968e-06,1.510874e-06,1.507721e-06,1.504513e-06,1.501258e-06,1.497958e-06,1.494620e-06,1.491248e-06,1.487847e-06,1.484419e-06,1.480969e-06,1.477501e-06,1.474018e-06,1.470523e-06
0.000000e+00,1.344689e-10,4.498492e-10,2.335504e-09,6.444522e-09,1.010071e-08,2.599757e-08,2.688505e-08,5.614757e-08,6.707106e-08,1.015839e-07,1.383034e-07,1.673107e-07,2.495067e-07,2.577512e-07,3.767325e-07,4.097771e-07,5.258447e-07,6.221071e-07,7.037740e-07,8.818764e-07,9.075992e-07,1.134306e-06,1.182160e-06,1.381328e-06,1.517071e-06,1.646472e-06,1.881722e-06,1.927724e-06,2.223111e-06,2.271551e-06,2.530620e-06,2.681925e-06,2.848183e-06,3.108051e-06,3.173683e-06,3.504988e-06,3.545033e-06,3.839982e-06,3.988015e-06,4.176608e-06,4.432324e-06,4.512904e-06,4.847029e-06,4.873614e-06,5.177292e-06,5.307968e-06,5.502165e-06,5.731970e-06,5.820295e-06,6.130505e-06,6.142734e-06,6.431796e-06,6.537913e-06,6.723339e-06,6.915672e-06,7.004464e-06,7.274655e-06,7.533528e-06,7.613931e-06,7.780820e-06,7.932935e-06,8.016379e-06,8.231426e-06,8.240151e-06,8.452162e-06,8.509430e-06,8.652511e-06,8.767186e-06,8.841355e-06,9.005108e-06,9.018901e-06,9.185399e-06,9.223745e-06,9.341129e-06,9.423747e-06,9.486397e-06,9.605838e-06,9.621530e-06,9.746868e-06,9.770790e-06,9.862760e-06,9.919410e-06,9.969565e-06,1.005252e-05,1.006764e-05,1.015735e-05,1.017095e-05,1.023903e-05,1.027550e-05,1.031306e-05,1.036699e-05,1.037976e-05,1.043948e-05,1.044620e-05,1.049256e-05,1.051388e-05,1.053930e-05,1.057079e-05,1.058003e-05,1.061504e-05,1.061761e-05,1.064464e-05,1.065502e-05,1.066909e-05,1.068367e-05,1.068868e-05,1.070367e-05,1.070418e-05,1.071431e-05,1.071713e-05,1.072085e-05,1.072307e-05,1.072351e-05,1.072253e-05,1.071811e-05,1.071601e-05,1.071047e-05,1.070397e-05,1.069979e-05,1.068686e-05,1.068627e-05,1.067009e-05,1.066510e-05,1.065142e-05,1.063908e-05,1.063041e-05,1.060917e-05,1.060724e-05,1.058205e-05,1.057571e-05,1.055497e-05,1.053904e-05,1.052615e-05,1.049944e-05,1.049571e-05,1.046378e-05,1.045722e-05,1.043047e-05,1.041264e-05,1.039589e-05,1.036595e-05,1.036015e-05,1.032335e-05,1.031737e-05,1.028559e-05,1.026714e-05,1.024694e-05,1.021545e-05,1.020750e-05,1.016735e-05,1.016249e-05,1.012657e-05,1.010844e-05,1.008522e-05,1.005346e-05,1.004338e-05,1.000111e-05,9.997710e-06,9.958467e-06,9.941321e-06,9.915515e-06,9.884428e-06,9.872307e-06,9.828892e-06,9.827152e-06,9.785320e-06,9.769605e-06,9.741636e-06,9.711889e-06,9.697883e-06,9.654101e-06,9.596328e-06,9.538650e-06,9.481141e-06,9.423869e-06,9.366895e-06,9.310276e-06,9.254064e-06,9.198303e-06,9.143037e-06,9.088303e-06,9.034135e-06,8.980563e-06,8.927615e-06,8.875313e-06,8.823680e-06,8.772733e-06,8.722488e-06,8.672958e-06,8.624155e-06,8.576087e-06,8.528762e-06,8.482186e-06,8.436362e-06,8.391293e-06
0.000000e+00,3.751153e-11,1.454200e-10,9.172535e-10,2.809628e-09,4.590539e-09,1.281313e-08,1.328787e-08,2.957260e-08,3.591244e-08,5.669207e-08,7.986131e-08,9.881728e-08,1.550640e-07,1.608815e-07,2.475821e-07,2.724066e-07,3.613577e-07,4.364545e-07,5.005503e-07,6.399187e-07,6.598884e-07,8.329994e-07,8.687690e-07,1.014443e-06,1.110720e-06,1.200265e-06,1.357714e-06,1.387734e-06,1.574937e-06,1.604766e-06,1.760481e-06,1.848633e-06,1.943310e-06,2.087058e-06,2.122600e-06,2.297705e-06,2.318411e-06,2.468125e-06,2.541524e-06,2.633481e-06,2.755593e-06,2.793499e-06,2.947996e-06,2.960114e-06,3.096866e-06,3.154827e-06,3.240067e-06,3.339668e-06,3.377614e-06,3.509559e-06,3.514721e-06,3.635992e-06,3.680180e-06,3.757027e-06,3.836316e-06,3.872800e-06,3.983458e-06,4.089160e-06,4.121965e-06,4.190071e-06,4.252217e-06,4.286359e-06,4.374602e-06,4.378192e-06,4.465741e-06,4.489510e-06,4.549172e-06,4.597322e-06,4.628649e-06,4.698412e-06,4.704331e-06,4.776376e-06,4.793142e-06,4.844934e-06,4.881859e-06,4.910154e-06,4.964897e-06,4.972175e-06,5.031135e-06,5.042572e-06,5.087166e-06,5.115186e-06,5.140394e-06,5.183028e-06,5.190940e-06,5.238922e-06,5.246368e-06,5.284450e-06,5.305465e-06,5.327634e-06,5.360561e-06,5.368574e-06,5.407370e-06,5.411886e-06,5.444116e-06,5.459658e-06,5.478902e-06,5.504081e-06,5.511814e-06,5.542934e-06,5.545349e-06,5.572341e-06,5.583642e-06,5.600112e-06,5.619133e-06,5.626316e-06,5.651024e-06,5.651982e-06,5.674301e-06,5.682343e-06,5.696210e-06,5.710358e-06,5.716811e-06,5.736162e-06,5.754316e-06,5.759881e-06,5.771327e-06,5.781636e-06,5.787244e-06,5.801539e-06,5.802115e-06,5.815986e-06,5.819696e-06,5.828900e-06,5.836207e-06,5.840899e-06,5.851165e-06,5.852024e-06,5.862311e-06,5.864659e-06,5.871797e-06,5.876773e-06,5.880518e-06,5.887585e-06,5.888506e-06,5.895793e-06,5.897169e-06,5.902410e-06,5.905595e-06,5.908385e-06,5.912928e-06,5.913746e-06,5.918520e-06,5.919232e-06,5.922733e-06,5.924563e-06,5.926409e-06,5.928978e-06,5.929570e-06,5.932239e-06,5.932528e-06,5.934439e-06,5.935262e-06,5.936188e-06,5.937228e-06,5.937506e-06,5.938413e-06,5.938469e-06,5.938927e-06,5.939026e-06,5.939063e-06,5.938938e-06,5.938840e-06,5.938272e-06,5.938242e-06,5.937375e-06,5.936974e-06,5.936163e-06,5.935166e-06,5.934650e-06,5.932850e-06,5.930055e-06,5.926809e-06,5.923139e-06,5.919071e-06,5.914626e-06,5.909830e-06,5.904701e-06,5.899262e-06,5.893531e-06,5.887527e-06,5.881266e-06,5.874765e-06,5.868040e-06,5.861105e-06,5.853975e-06,5.846663e-06,5.839182e-06,5.831543e-06,5.823759e-06,5.815839e-06,5.807795e-06,5.799637e-06,5.791373e-06,5.783013e-06
0.000000e+00,1.008071e-11,2.307598e-11,7.875924e-11,1.772332e-10,2.567277e-10,5.698711e-10,5.864380e-10,1.103278e-09,1.285648e-09,1.836478e-09,2.390296e-09,2.809625e-09,3.932289e-09,4.040562e-09,5.540366e-09,5.940780e-09,7.310960e-09,8.417356e-09,9.341481e-09,1.132261e-08,1.160534e-08,1.406149e-08,1.457152e-08,1.666071e-08,1.805214e-08,1.935308e-08,2.165291e-08,2.209270e-08,2.483929e-08,2.527700e-08,2.755822e-08,2.884467e-08,3.022013e-08,3.229200e-08,3.280055e-08,3.527956e-08,3.556945e-08,3.764158e-08,3.864067e-08,3.987499e-08,4.148134e-08,4.197182e-08,4.392736e-08,4.407763e-08,4.573970e-08,4.642459e-08,4.740934e-08,4.852441e-08,4.893869e-08,5.033178e-08,5.038474e-08,5.159377e-08,5.201714e-08,5.273071e-08,5.343576e-08,5.374922e-08,5.465628e-08,5.545900e-08,5.569499e-08,5.616450e-08,5.656824e-08,5.677978e-08,5.729189e-08,5.731165e-08,5.776661e-08,5.788107e-08,5.815087e-08,5.834994e-08,5.847028e-08,5.871161e-08,5.873035e-08,5.893620e-08,5.897807e-08,5.909260e-08,5.916025e-08,5.920398e-08,5.926801e-08,5.927443e-08,5.930771e-08,5.931021e-08,5.930728e-08,5.929481e-08,5.927634e-08,5.922891e-08,5.921780e-08,5.913433e-08,5.911883e-08,5.902839e-08,5.897023e-08,5.890222e-08,5.878810e-08,5.875787e-08,5.859721e-08,5.857691e-08,5.842195e-08,5.834062e-08,5.823365e-08,5.808272e-08,5.803376e-08,5.782356e-08,5.780634e-08,5.760426e-08,5.751424e-08,5.737695e-08,5.720888e-08,5.714262e-08,5.690218e-08,5.689245e-08,5.665646e-08,5.656686e-08,5.640623e-08,5.623385e-08,5.615218e-08,5.589493e-08,5.563508e-08,5.555147e-08,5.537315e-08,5.520465e-08,5.510963e-08,5.485556e-08,5.484495e-08,5.457953e-08,5.450513e-08,5.431372e-08,5.415420e-08,5.404787e-08,5.380352e-08,5.378228e-08,5.351724e-08,5.345374e-08,5.325299e-08,5.310545e-08,5.298978e-08,5.275916e-08,5.272780e-08,5.246726e-08,5.241533e-08,5.220832e-08,5.207436e-08,5.195114e-08,5.173658e-08,5.169587e-08,5.144263e-08,5.140231e-08,5.119155e-08,5.107182e-08,5.094271e-08,5.074532e-08,5.069621e-08,5.045214e-08,5.042302e-08,5.021057e-08,5.010509e-08,4.997157e-08,4.979168e-08,4.973519e-08,4.950148e-08,4.948290e-08,4.927048e-08,4.917885e-08,4.904223e-08,4.887961e-08,4.881676e-08,4.859410e-08,4.858525e-08,4.837426e-08,4.829581e-08,4.815726e-08,4.801134e-08,4.794312e-08,4.773184e-08,4.745734e-08,4.718783e-08,4.692330e-08,4.666374e-08,4.640913e-08,4.615944e-08,4.591462e-08,4.567465e-08,4.543946e-08,4.520903e-08,4.498328e-08,4.476217e-08,4.454564e-08,4.433363e-08,4.412607e-08,4.392290e-08,4.372405e-08,4.352946e-08,4.333905e-08,4.315276e-08,4.297053e-08,4.279226e-08,4.261791e-08,4.244740e-08
0.000000e+00,7.416840e-12,3.876778e-11,3.981557e-10,1.681502e-09,3.153816e-09,1.144229e-08,1.196503e-08,3.116370e-08,3.898803e-08,6.501321e-08,9.402017e-08,1.174833e-07,1.853464e-07,1.922262e-07,2.925900e-07,3.208336e-07,4.216016e-07,5.073588e-07,5.818794e-07,7.504108e-07,7.754432e-07,1.003402e-06,1.053132e-06,1.265573e-06,1.414901e-06,1.560185e-06,1.830321e-06,1.883893e-06,2.232171e-06,2.289838e-06,2.599927e-06,2.781859e-06,2.982057e-06,3.294896e-06,3.373802e-06,3.770904e-06,3.818733e-06,4.169614e-06,4.344698e-06,4.566664e-06,4.865554e-06,4.959221e-06,5.344848e-06,5.375334e-06,5.721469e-06,5.869196e-06,6.087347e-06,6.343315e-06,6.441057e-06,6.781463e-06,6.794790e-06,7.107696e-06,7.221542e-06,7.419123e-06,7.622214e-06,7.715325e-06,7.996069e-06,8.261285e-06,8.342882e-06,8.511037e-06,8.662842e-06,8.745506e-06,8.956472e-06,8.964966e-06,9.169768e-06,9.224540e-06,9.360321e-06,9.468001e-06,9.537080e-06,9.687937e-06,9.700535e-06,9.851198e-06,9.885511e-06,9.989593e-06,1.006194e-05,1.011626e-05,1.021844e-05,1.023172e-05,1.033652e-05,1.035624e-05,1.043117e-05,1.047655e-05,1.051619e-05,1.058054e-05,1.059209e-05,1.065934e-05,1.066933e-05,1.071842e-05,1.074402e-05,1.076979e-05,1.080562e-05,1.081388e-05,1.085111e-05,1.085513e-05,1.088188e-05,1.089347e-05,1.090658e-05,1.092152e-05,1.092558e-05,1.093923e-05,1.094010e-05,1.094786e-05,1.094999e-05,1.095180e-05,1.095190e-05,1.095134e-05,1.094678e-05,1.094652e-05,1.093839e-05,1.093448e-05,1.092642e-05,1.091637e-05,1.091113e-05,1.089274e-05,1.087148e-05,1.086411e-05,1.084757e-05,1.083095e-05,1.082119e-05,1.079372e-05,1.079253e-05,1.076177e-05,1.075280e-05,1.072908e-05,1.070861e-05,1.069462e-05,1.066147e-05,1.065853e-05,1.062096e-05,1.061173e-05,1.058203e-05,1.055969e-05,1.054188e-05,1.050563e-05,1.050062e-05,1.045837e-05,1.044980e-05,1.041522e-05,1.039246e-05,1.037127e-05,1.033381e-05,1.032662e-05,1.028135e-05,1.027406e-05,1.023555e-05,1.021340e-05,1.018929e-05,1.015200e-05,1.014265e-05,1.009568e-05,1.009002e-05,1.004845e-05,1.002761e-05,1.000103e-05,9.964893e-06,9.953467e-06,9.905810e-06,9.901995e-06,9.858110e-06,9.839027e-06,9.810410e-06,9.776091e-06,9.762754e-06,9.715179e-06,9.713279e-06,9.667723e-06,9.650674e-06,9.620418e-06,9.588353e-06,9.573296e-06,9.526385e-06,9.464833e-06,9.403752e-06,9.343192e-06,9.283200e-06,9.223814e-06,9.165071e-06,9.107002e-06,9.049634e-06,8.992992e-06,8.937097e-06,8.881966e-06,8.827614e-06,8.774054e-06,8.721295e-06,8.669346e-06,8.618212e-06,8.567898e-06,8.518406e-06,8.469736e-06,8.421890e-06,8.374865e-06,8.328658e-06,8.283266e-06,8.238684e-06
0.000000e+00,3.457928e-11,1.778839e-10,1.774074e-09,7.327265e-09,1.360079e-08,4.832901e-08,5.050366e-08,1.300530e-07,1.624635e-07,2.707494e-07,3.926864e-07,4.924204e-07,7.865510e-07,8.168232e-07,1.266633e-06,1.395541e-06,1.860868e-06,2.260242e-06,2.607173e-06,3.383131e-06,3.496811e-06,4.507882e-06,4.722308e-06,5.613581e-06,6.217429e-06,6.788745e-06,7.814032e-06,8.012305e-06,9.267053e-06,9.469719e-06,1.053868e-05,1.115139e-05,1.181491e-05,1.283190e-05,1.308494e-05,1.433922e-05,1.448826e-05,1.556937e-05,1.610109e-05,1.676816e-05,1.765446e-05,1.792947e-05,1.904832e-05,1.913587e-05,2.012078e-05,2.053609e-05,2.114391e-05,2.184884e-05,2.211567e-05,2.303484e-05,2.307050e-05,2.390087e-05,2.419963e-05,2.471384e-05,2.523662e-05,2.547431e-05,2.618322e-05,2.684187e-05,2.704227e-05,2.745181e-05,2.781741e-05,2.801478e-05,2.851278e-05,2.853265e-05,2.900738e-05,2.913284e-05,2.944094e-05,2.968216e-05,2.983535e-05,3.016533e-05,3.019259e-05,3.051464e-05,3.058691e-05,3.080341e-05,3.095130e-05,3.106079e-05,3.126273e-05,3.128856e-05,3.148847e-05,3.152525e-05,3.166218e-05,3.174269e-05,3.181129e-05,3.191864e-05,3.193731e-05,3.204170e-05,3.205649e-05,3.212583e-05,3.215940e-05,3.219101e-05,3.223033e-05,3.223846e-05,3.226937e-05,3.227202e-05,3.228483e-05,3.228702e-05,3.228590e-05,3.227770e-05,3.227357e-05,3.224876e-05,3.224626e-05,3.221234e-05,3.219472e-05,3.216516e-05,3.212497e-05,3.210800e-05,3.204157e-05,3.203873e-05,3.196659e-05,3.193762e-05,3.188369e-05,3.182311e-05,3.179349e-05,3.169656e-05,3.159345e-05,3.155923e-05,3.148466e-05,3.141228e-05,3.137067e-05,3.125676e-05,3.125193e-05,3.112885e-05,3.109367e-05,3.100184e-05,3.092390e-05,3.087126e-05,3.074827e-05,3.073746e-05,3.060076e-05,3.056756e-05,3.046148e-05,3.038245e-05,3.031989e-05,3.019360e-05,3.017626e-05,3.003085e-05,3.000158e-05,2.988389e-05,2.980693e-05,2.973560e-05,2.961016e-05,2.958618e-05,2.943583e-05,2.941170e-05,2.928472e-05,2.921197e-05,2.913303e-05,2.901136e-05,2.898090e-05,2.882849e-05,2.881019e-05,2.867593e-05,2.860879e-05,2.852334e-05,2.840743e-05,2.837085e-05,2.821856e-05,2.820639e-05,2.806658e-05,2.800590e-05,2.791500e-05,2.780616e-05,2.776391e-05,2.761338e-05,2.760737e-05,2.746350e-05,2.740972e-05,2.731434e-05,2.721334e-05,2.716595e-05,2.701840e-05,2.682500e-05,2.663328e-05,2.644332e-05,2.625522e-05,2.606905e-05,2.588490e-05,2.570281e-05,2.552284e-05,2.534504e-05,2.516944e-05,2.499607e-05,2.482496e-05,2.465614e-05,2.448961e-05,2.432540e-05,2.416349e-05,2.400391e-05,2.384664e-05,2.369169e-05,2.353905e-05,2.338871e-05,2.324066e-05,2.309489e-05,2.295138e-05
0.000000e+00,3.174390e-12,7.247016e-12,2.468677e-11,5.562446e-11,8.072859e-11,1.809172e-10,1.862781e-10,3.567031e-10,4.183296e-10,6.092291e-10,8.083310e-10,9.637606e-10,1.398521e-09,1.441779e-09,2.060695e-09,2.230934e-09,2.822908e-09,3.305882e-09,3.709151e-09,4.566039e-09,4.687157e-09,5.726055e-09,5.938972e-09,6.802806e-09,7.372203e-09,7.901570e-09,8.833295e-09,9.011190e-09,1.012311e-08,1.030074e-08,1.123012e-08,1.175781e-08,1.232570e-08,1.318983e-08,1.340375e-08,1.445854e-08,1.458329e-08,1.548473e-08,1.592592e-08,1.647747e-08,1.720696e-08,1.743253e-08,1.834628e-08,1.841751e-08,1.921584e-08,1.955078e-08,2.003901e-08,2.060211e-08,2.081431e-08,2.154092e-08,2.156896e-08,2.221862e-08,2.245067e-08,2.284777e-08,2.324825e-08,2.342917e-08,2.396403e-08,2.445390e-08,2.460144e-08,2.490057e-08,2.516467e-08,2.530601e-08,2.565839e-08,2.567232e-08,2.600168e-08,2.608758e-08,2.629629e-08,2.645730e-08,2.655836e-08,2.677259e-08,2.679006e-08,2.699349e-08,2.703834e-08,2.717070e-08,2.725921e-08,2.732362e-08,2.743957e-08,2.745410e-08,2.756388e-08,2.758350e-08,2.765461e-08,2.769476e-08,2.772780e-08,2.777678e-08,2.778488e-08,2.782718e-08,2.783265e-08,2.785591e-08,2.786521e-08,2.787220e-08,2.787699e-08,2.787711e-08,2.787159e-08,2.787027e-08,2.785652e-08,2.784707e-08,2.783271e-08,2.780922e-08,2.780089e-08,2.776174e-08,2.775831e-08,2.771589e-08,2.769580e-08,2.766389e-08,2.762294e-08,2.760627e-08,2.754349e-08,2.754087e-08,2.747600e-08,2.745063e-08,2.740421e-08,2.735314e-08,2.732851e-08,2.724926e-08,2.716679e-08,2.713977e-08,2.708141e-08,2.702536e-08,2.699338e-08,2.690662e-08,2.690296e-08,2.681037e-08,2.678409e-08,2.671581e-08,2.665821e-08,2.661948e-08,2.652943e-08,2.652154e-08,2.642216e-08,2.639811e-08,2.632148e-08,2.626458e-08,2.621962e-08,2.612911e-08,2.611671e-08,2.601286e-08,2.599199e-08,2.590821e-08,2.585352e-08,2.580289e-08,2.571397e-08,2.569699e-08,2.559060e-08,2.557354e-08,2.548380e-08,2.543240e-08,2.537665e-08,2.529074e-08,2.526924e-08,2.516165e-08,2.514874e-08,2.505396e-08,2.500656e-08,2.494624e-08,2.486439e-08,2.483854e-08,2.473093e-08,2.472233e-08,2.462345e-08,2.458051e-08,2.451615e-08,2.443903e-08,2.440907e-08,2.430226e-08,2.429799e-08,2.419576e-08,2.415750e-08,2.408961e-08,2.401765e-08,2.398385e-08,2.387850e-08,2.374014e-08,2.360262e-08,2.346600e-08,2.333034e-08,2.319568e-08,2.306208e-08,2.292956e-08,2.279817e-08,2.266794e-08,2.253891e-08,2.241108e-08,2.228450e-08,2.215917e-08,2.203512e-08,2.191236e-08,2.179090e-08,2.167076e-08,2.155194e-08,2.143446e-08,2.131831e-08,2.120351e-08,2.109004e-08,2.097793e-08,2.086716e-08
0.000000e+00,2.271549e-11,5.257852e-11,1.826785e-10,4.170298e-10,6.087929e-10,1.379697e-09,1.421055e-09,2.734657e-09,3.207814e-09,4.663523e-09,6.163693e-09,7.321834e-09,1.050810e-08,1.082153e-08,1.526273e-08,1.647737e-08,2.071390e-08,2.421422e-08,2.718402e-08,3.366733e-08,3.460376e-08,4.283657e-08,4.456611e-08,5.171572e-08,5.653356e-08,6.107844e-08,6.921137e-08,7.078146e-08,8.070260e-08,8.230304e-08,9.073744e-08,9.556753e-08,1.007956e-07,1.088056e-07,1.107983e-07,1.206771e-07,1.218514e-07,1.303732e-07,1.345683e-07,1.398364e-07,1.468469e-07,1.490253e-07,1.579062e-07,1.586026e-07,1.664528e-07,1.697732e-07,1.746453e-07,1.803167e-07,1.824699e-07,1.899179e-07,1.902079e-07,1.969849e-07,1.994356e-07,2.036705e-07,2.079999e-07,2.099770e-07,2.159097e-07,2.214755e-07,2.231805e-07,2.266833e-07,2.298330e-07,2.315431e-07,2.358910e-07,2.360656e-07,2.402625e-07,2.413809e-07,2.441458e-07,2.463302e-07,2.477276e-07,2.507673e-07,2.510204e-07,2.540365e-07,2.547206e-07,2.567882e-07,2.582182e-07,2.592876e-07,2.612877e-07,2.615465e-07,2.635766e-07,2.639561e-07,2.653890e-07,2.662492e-07,2.669949e-07,2.681919e-07,2.684047e-07,2.696288e-07,2.698080e-07,2.706769e-07,2.711204e-07,2.715588e-07,2.721506e-07,2.722834e-07,2.728596e-07,2.729192e-07,2.732958e-07,2.734455e-07,2.736002e-07,2.737480e-07,2.737804e-07,2.738438e-07,2.738440e-07,2.737975e-07,2.737498e-07,2.736483e-07,2.734808e-07,2.734026e-07,2.730666e-07,2.730514e-07,2.726462e-07,2.724752e-07,2.721468e-07,2.717649e-07,2.715739e-07,2.709325e-07,2.702274e-07,2.699890e-07,2.694632e-07,2.689450e-07,2.686442e-07,2.678102e-07,2.677745e-07,2.668581e-07,2.665937e-07,2.658987e-07,2.653039e-07,2.648998e-07,2.639488e-07,2.638648e-07,2.627967e-07,2.625358e-07,2.616987e-07,2.610717e-07,2.605734e-07,2.595629e-07,2.594237e-07,2.582520e-07,2.580152e-07,2.570607e-07,2.564342e-07,2.558521e-07,2.548250e-07,2.546282e-07,2.533912e-07,2.531921e-07,2.521428e-07,2.515401e-07,2.508849e-07,2.498729e-07,2.496192e-07,2.483471e-07,2.481941e-07,2.470703e-07,2.465073e-07,2.457900e-07,2.448155e-07,2.445076e-07,2.432243e-07,2.431216e-07,2.419412e-07,2.414283e-07,2.406594e-07,2.397379e-07,2.393800e-07,2.381037e-07,2.380527e-07,2.368316e-07,2.363748e-07,2.355643e-07,2.347058e-07,2.343027e-07,2.330475e-07,2.314014e-07,2.297689e-07,2.281511e-07,2.265492e-07,2.249641e-07,2.233967e-07,2.218478e-07,2.203180e-07,2.188080e-07,2.173181e-07,2.158489e-07,2.144008e-07,2.129739e-07,2.115686e-07,2.101850e-07,2.088233e-07,2.074835e-07,2.061657e-07,2.048699e-07,2.035961e-07,2.023442e-07,2.011141e-07,1.999058e-07,1.987190e-07
0.000000e+00,4.711433e-13,3.077232e-12,4.901965e-11,3.005112e-10,6.840306e-10,3.951901e-09,4.207066e-09,1.656441e-08,2.301515e-08,4.931713e-08,8.627332e-08,1.213707e-07,2.459785e-07,2.603800e-07,5.037584e-07,5.827629e-07,8.988757e-07,1.207006e-06,1.501668e-06,2.252389e-06,2.373222e-06,3.574915e-06,3.859985e-06,5.163320e-06,6.158361e-06,7.186020e-06,9.247315e-06,9.678864e-06,1.266472e-05,1.318904e-05,1.615344e-05,1.800637e-05,2.014264e-05,2.368576e-05,2.461906e-05,2.956000e-05,3.018276e-05,3.493498e-05,3.742817e-05,4.070717e-05,4.533420e-05,4.683492e-05,5.327301e-05,5.380005e-05,5.997392e-05,6.271697e-05,6.688890e-05,7.197275e-05,7.396901e-05,8.116598e-05,8.145562e-05,8.843300e-05,9.105760e-05,9.572542e-05,1.006772e-04,1.030013e-04,1.102217e-04,1.173512e-04,1.196081e-04,1.243580e-04,1.287649e-04,1.312141e-04,1.376316e-04,1.378952e-04,1.443805e-04,1.461589e-04,1.506530e-04,1.543085e-04,1.566989e-04,1.620517e-04,1.625075e-04,1.680710e-04,1.693691e-04,1.733841e-04,1.762490e-04,1.784441e-04,1.826868e-04,1.832501e-04,1.878031e-04,1.886835e-04,1.921055e-04,1.942450e-04,1.961613e-04,1.993810e-04,1.999752e-04,2.035531e-04,2.041040e-04,2.069013e-04,2.084290e-04,2.100271e-04,2.123724e-04,2.129377e-04,2.156410e-04,2.159519e-04,2.181449e-04,2.191855e-04,2.204574e-04,2.220918e-04,2.225865e-04,2.245402e-04,2.246892e-04,2.263265e-04,2.269959e-04,2.279531e-04,2.290297e-04,2.294277e-04,2.307576e-04,2.308079e-04,2.319502e-04,2.323472e-04,2.330123e-04,2.336635e-04,2.339507e-04,2.347720e-04,2.354824e-04,2.356873e-04,2.360879e-04,2.364231e-04,2.365943e-04,2.369923e-04,2.370071e-04,2.373316e-04,2.374073e-04,2.375728e-04,2.376796e-04,2.377356e-04,2.378201e-04,2.378246e-04,2.378441e-04,2.378389e-04,2.377983e-04,2.377456e-04,2.376912e-04,2.375493e-04,2.375266e-04,2.373081e-04,2.372582e-04,2.370391e-04,2.368804e-04,2.367229e-04,2.364230e-04,2.363625e-04,2.359609e-04,2.358930e-04,2.355208e-04,2.352967e-04,2.350450e-04,2.346402e-04,2.345358e-04,2.339958e-04,2.339290e-04,2.334270e-04,2.331683e-04,2.328318e-04,2.323629e-04,2.322120e-04,2.315697e-04,2.315174e-04,2.309065e-04,2.306358e-04,2.302243e-04,2.297223e-04,2.295247e-04,2.288091e-04,2.287802e-04,2.280791e-04,2.278131e-04,2.273361e-04,2.268240e-04,2.265812e-04,2.258158e-04,2.247912e-04,2.237528e-04,2.227027e-04,2.216433e-04,2.205763e-04,2.195037e-04,2.184272e-04,2.173483e-04,2.162684e-04,2.151889e-04,2.141110e-04,2.130357e-04,2.119642e-04,2.108974e-04,2.098361e-04,2.087811e-04,2.077331e-04,2.066928e-04,2.056608e-04,2.046375e-04,2.036236e-04,2.026193e-04,2.016252e-04,2.006415e-04
0.000000e+00,6.406743e-11,1.650897e-10,6.436310e-10,1.557035e-09,2.328451e-09,5.559631e-09,5.737696e-09,1.159492e-08,1.379087e-08,2.079809e-08,2.837542e-08,3.444285e-08,5.193529e-08,5.370815e-08,7.947887e-08,8.666136e-08,1.118272e-07,1.325303e-07,1.499257e-07,1.872454e-07,1.925628e-07,2.386417e-07,2.481928e-07,2.873286e-07,3.134654e-07,3.380062e-07,3.817586e-07,3.901926e-07,4.434833e-07,4.520878e-07,4.975176e-07,5.236193e-07,5.519616e-07,5.956011e-07,6.065028e-07,6.608499e-07,6.673455e-07,7.147340e-07,7.382325e-07,7.679110e-07,8.077180e-07,8.201637e-07,8.713023e-07,8.753403e-07,9.211654e-07,9.407224e-07,9.696184e-07,1.003570e-06,1.016553e-06,1.061884e-06,1.063663e-06,1.105551e-06,1.120854e-06,1.147509e-06,1.175050e-06,1.187732e-06,1.226211e-06,1.262948e-06,1.274337e-06,1.297953e-06,1.319459e-06,1.331250e-06,1.361634e-06,1.362867e-06,1.392838e-06,1.400940e-06,1.421203e-06,1.437468e-06,1.448003e-06,1.471317e-06,1.473285e-06,1.497094e-06,1.502595e-06,1.519480e-06,1.531413e-06,1.540491e-06,1.557882e-06,1.560176e-06,1.578584e-06,1.582116e-06,1.595763e-06,1.604226e-06,1.611761e-06,1.624322e-06,1.626626e-06,1.640403e-06,1.642509e-06,1.653137e-06,1.658892e-06,1.664872e-06,1.673570e-06,1.675651e-06,1.685515e-06,1.686639e-06,1.694504e-06,1.698192e-06,1.702657e-06,1.708318e-06,1.710012e-06,1.716605e-06,1.717100e-06,1.722470e-06,1.724620e-06,1.727641e-06,1.730954e-06,1.732152e-06,1.736033e-06,1.736175e-06,1.739314e-06,1.740354e-06,1.742024e-06,1.743556e-06,1.744192e-06,1.745843e-06,1.747004e-06,1.747276e-06,1.747699e-06,1.747910e-06,1.747951e-06,1.747799e-06,1.747784e-06,1.747219e-06,1.746993e-06,1.746278e-06,1.745540e-06,1.744979e-06,1.743485e-06,1.743342e-06,1.741386e-06,1.740871e-06,1.739128e-06,1.737738e-06,1.736585e-06,1.734124e-06,1.733773e-06,1.730707e-06,1.730065e-06,1.727403e-06,1.725595e-06,1.723873e-06,1.720745e-06,1.720133e-06,1.716193e-06,1.715545e-06,1.712068e-06,1.710025e-06,1.707768e-06,1.704211e-06,1.703306e-06,1.698690e-06,1.698127e-06,1.693933e-06,1.691797e-06,1.689043e-06,1.685244e-06,1.684030e-06,1.678904e-06,1.678489e-06,1.673671e-06,1.671550e-06,1.668341e-06,1.664448e-06,1.662921e-06,1.657419e-06,1.657198e-06,1.651842e-06,1.649817e-06,1.646196e-06,1.642321e-06,1.640487e-06,1.634723e-06,1.627037e-06,1.619276e-06,1.611452e-06,1.603575e-06,1.595655e-06,1.587703e-06,1.579727e-06,1.571736e-06,1.563738e-06,1.555739e-06,1.547747e-06,1.539768e-06,1.531807e-06,1.523871e-06,1.515964e-06,1.508091e-06,1.500256e-06,1.492463e-06,1.484716e-06,1.477019e-06,1.469374e-06,1.461784e-06,1.454253e-06,1.446781e-06
0.000000e+00,1.082451e-11,5.787844e-11,6.199093e-10,2.706212e-09,5.160764e-09,1.949100e-08,2.041426e-08,5.538643e-08,7.013611e-08,1.209459e-07,1.804577e-07,2.306333e-07,3.848240e-07,4.011250e-07,6.496385e-07,7.223265e-07,9.867999e-07,1.213947e-06,1.410057e-06,1.842341e-06,1.904858e-06,2.451866e-06,2.565901e-06,3.033301e-06,3.344529e-06,3.635432e-06,4.149895e-06,4.248372e-06,4.864950e-06,4.963556e-06,5.479669e-06,5.772726e-06,6.088030e-06,6.567518e-06,6.686153e-06,7.270606e-06,7.339674e-06,7.838366e-06,8.082202e-06,8.386813e-06,8.789347e-06,8.913748e-06,9.417402e-06,9.456646e-06,9.896451e-06,1.008097e-05,1.035002e-05,1.066054e-05,1.077764e-05,1.117919e-05,1.119471e-05,1.155486e-05,1.168385e-05,1.190512e-05,1.212913e-05,1.223066e-05,1.253232e-05,1.281110e-05,1.289564e-05,1.306806e-05,1.322158e-05,1.330431e-05,1.351269e-05,1.352099e-05,1.371926e-05,1.377163e-05,1.390025e-05,1.400101e-05,1.406506e-05,1.420335e-05,1.421479e-05,1.435048e-05,1.438106e-05,1.447307e-05,1.453636e-05,1.458351e-05,1.467134e-05,1.468268e-05,1.477137e-05,1.478792e-05,1.485036e-05,1.488784e-05,1.492036e-05,1.497268e-05,1.498201e-05,1.503595e-05,1.504390e-05,1.508273e-05,1.510279e-05,1.512287e-05,1.515054e-05,1.515687e-05,1.518517e-05,1.518820e-05,1.520818e-05,1.521673e-05,1.522628e-05,1.523698e-05,1.523983e-05,1.524916e-05,1.524973e-05,1.525455e-05,1.525568e-05,1.525630e-05,1.525545e-05,1.525466e-05,1.524987e-05,1.524961e-05,1.524214e-05,1.523868e-05,1.523169e-05,1.522312e-05,1.521870e-05,1.520335e-05,1.518580e-05,1.517975e-05,1.516621e-05,1.515267e-05,1.514472e-05,1.512242e-05,1.512146e-05,1.509655e-05,1.508929e-05,1.507010e-05,1.505355e-05,1.504224e-05,1.501543e-05,1.501305e-05,1.498263e-05,1.497515e-05,1.495107e-05,1.493292e-05,1.491845e-05,1.488893e-05,1.488484e-05,1.485033e-05,1.484333e-05,1.481498e-05,1.479629e-05,1.477885e-05,1.474795e-05,1.474201e-05,1.470451e-05,1.469845e-05,1.466640e-05,1.464791e-05,1.462773e-05,1.459644e-05,1.458856e-05,1.454893e-05,1.454415e-05,1.450888e-05,1.449114e-05,1.446845e-05,1.443750e-05,1.442768e-05,1.438661e-05,1.438331e-05,1.434526e-05,1.432866e-05,1.430368e-05,1.427360e-05,1.426188e-05,1.421991e-05,1.421823e-05,1.417778e-05,1.416258e-05,1.413553e-05,1.410674e-05,1.409317e-05,1.405074e-05,1.399464e-05,1.393849e-05,1.388233e-05,1.382620e-05,1.377014e-05,1.371419e-05,1.365838e-05,1.360274e-05,1.354730e-05,1.349209e-05,1.343712e-05,1.338243e-05,1.332804e-05,1.327396e-05,1.322021e-05,1.316682e-05,1.311379e-05,1.306113e-05,1.300888e-05,1.295702e-05,1.290559e-05,1.285458e-05,1.280400e-05,1.275387e-05
0.000000e+00,5.699211e-13,3.705147e-12,5.844631e-11,3.550733e-10,8.042219e-10,4.588046e-09,4.881837e-09,1.899706e-08,2.631692e-08,5.600540e-08,9.750198e-08,1.367951e-07,2.759461e-07,2.920136e-07,5.635363e-07,6.517193e-07,1.004804e-06,1.349175e-06,1.678447e-06,2.515941e-06,2.650452e-06,3.982189e-06,4.296314e-06,5.722821e-06,6.800868e-06,7.904136e-06,1.008662e-05,1.053851e-05,1.361966e-05,1.415281e-05,1.712524e-05,1.894883e-05,2.102044e-05,2.438802e-05,2.526163e-05,2.979972e-05,3.036179e-05,3.458283e-05,3.675146e-05,3.955841e-05,4.343666e-05,4.467468e-05,4.988164e-05,5.030068e-05,5.513174e-05,5.723372e-05,6.038020e-05,6.413455e-05,6.558535e-05,7.070883e-05,7.091156e-05,7.571570e-05,7.748348e-05,8.057463e-05,8.377992e-05,8.525794e-05,8.974171e-05,9.400581e-05,9.532115e-05,9.803385e-05,1.004819e-04,1.018131e-04,1.051987e-04,1.053346e-04,1.085924e-04,1.094569e-04,1.115840e-04,1.132512e-04,1.143098e-04,1.165851e-04,1.167726e-04,1.189778e-04,1.194694e-04,1.209325e-04,1.219209e-04,1.226456e-04,1.239612e-04,1.241272e-04,1.253885e-04,1.256154e-04,1.264416e-04,1.269110e-04,1.272988e-04,1.278768e-04,1.279728e-04,1.284765e-04,1.285421e-04,1.288224e-04,1.289361e-04,1.290230e-04,1.290870e-04,1.290904e-04,1.290360e-04,1.290219e-04,1.288711e-04,1.287662e-04,1.286060e-04,1.283437e-04,1.282507e-04,1.278144e-04,1.277763e-04,1.273057e-04,1.270837e-04,1.267326e-04,1.262842e-04,1.261024e-04,1.254220e-04,1.253938e-04,1.246975e-04,1.244271e-04,1.239347e-04,1.233968e-04,1.231387e-04,1.223142e-04,1.214655e-04,1.211895e-04,1.205965e-04,1.200312e-04,1.197105e-04,1.188470e-04,1.188108e-04,1.179002e-04,1.176436e-04,1.169811e-04,1.164266e-04,1.160559e-04,1.152011e-04,1.151267e-04,1.141951e-04,1.139713e-04,1.132628e-04,1.127410e-04,1.123313e-04,1.115133e-04,1.114019e-04,1.104757e-04,1.102909e-04,1.095537e-04,1.090762e-04,1.086368e-04,1.078711e-04,1.077258e-04,1.068214e-04,1.066774e-04,1.059243e-04,1.054964e-04,1.050349e-04,1.043293e-04,1.041537e-04,1.032812e-04,1.031771e-04,1.024177e-04,1.020407e-04,1.015635e-04,1.009207e-04,1.007188e-04,9.988397e-05,9.981761e-05,9.905906e-05,9.873192e-05,9.824427e-05,9.766396e-05,9.743972e-05,9.664550e-05,9.661395e-05,9.586169e-05,9.558207e-05,9.508832e-05,9.456842e-05,9.432545e-05,9.357306e-05,9.259598e-05,9.163713e-05,9.069643e-05,8.977377e-05,8.886900e-05,8.798196e-05,8.711245e-05,8.626027e-05,8.542520e-05,8.460700e-05,8.380541e-05,8.302018e-05,8.225104e-05,8.149773e-05,8.075996e-05,8.003746e-05,7.932994e-05,7.863711e-05,7.795870e-05,7.729442e-05,7.664398e-05,7.600709e-05,7.538348e-05,7.477287e-05
0.000000e+00,3.442771e-13,2.330776e-12,4.002233e-11,2.628683e-10,6.215390e-10,3.962780e-09,4.235606e-09,1.838788e-08,2.623236e-08,6.003973e-08,1.107050e-07,1.611080e-07,3.516682e-07,3.745772e-07,7.807871e-07,9.188135e-07,1.493511e-06,2.081712e-06,2.665490e-06,4.231564e-06,4.493100e-06,7.219755e-06,7.897819e-06,1.113756e-05,1.375664e-05,1.658666e-05,2.262765e-05,2.395189e-05,3.365658e-05,3.545639e-05,4.615397e-05,5.328299e-05,6.191654e-05,7.720012e-05,8.142424e-05,1.051521e-04,1.083050e-04,1.335579e-04,1.476503e-04,1.670708e-04,1.961979e-04,2.060808e-04,2.509293e-04,2.547784e-04,3.019020e-04,3.240581e-04,3.592225e-04,4.045149e-04,4.230482e-04,4.934681e-04,4.964225e-04,5.705008e-04,5.998439e-04,6.540962e-04,7.146324e-04,7.441368e-04,8.404406e-04,9.427657e-04,9.767343e-04,1.050815e-03,1.122812e-03,1.164241e-03,1.277827e-03,1.282654e-03,1.405626e-03,1.440814e-03,1.532700e-03,1.610714e-03,1.663394e-03,1.786400e-03,1.797208e-03,1.933633e-03,1.966707e-03,2.072154e-03,2.150449e-03,2.212255e-03,2.336448e-03,2.353428e-03,2.495175e-03,2.523550e-03,2.637010e-03,2.710644e-03,2.778468e-03,2.896675e-03,2.919103e-03,3.058494e-03,3.080655e-03,3.196245e-03,3.261674e-03,3.331987e-03,3.438905e-03,3.465380e-03,3.596113e-03,3.611608e-03,3.723903e-03,3.779132e-03,3.848498e-03,3.940914e-03,3.969674e-03,4.087235e-03,4.096479e-03,4.201014e-03,4.245434e-03,4.310870e-03,4.387470e-03,4.416686e-03,4.518371e-03,4.522351e-03,4.615856e-03,4.649913e-03,4.709093e-03,4.770054e-03,4.798056e-03,4.882735e-03,4.963137e-03,4.987966e-03,5.039287e-03,5.085807e-03,5.111221e-03,5.176359e-03,5.178990e-03,5.242656e-03,5.259757e-03,5.302290e-03,5.336168e-03,5.357972e-03,5.405786e-03,5.409791e-03,5.457842e-03,5.468824e-03,5.502223e-03,5.525514e-03,5.543042e-03,5.576100e-03,5.580405e-03,5.614424e-03,5.620837e-03,5.645213e-03,5.659985e-03,5.672887e-03,5.693810e-03,5.697561e-03,5.719352e-03,5.722579e-03,5.738376e-03,5.746559e-03,5.754749e-03,5.766015e-03,5.768584e-03,5.779995e-03,5.781207e-03,5.789093e-03,5.792392e-03,5.795988e-03,5.799820e-03,5.800786e-03,5.803592e-03,5.803733e-03,5.804509e-03,5.804369e-03,5.803636e-03,5.801954e-03,5.801070e-03,5.796905e-03,5.796706e-03,5.791231e-03,5.788837e-03,5.784138e-03,5.778547e-03,5.775709e-03,5.766028e-03,5.751464e-03,5.735028e-03,5.716885e-03,5.697192e-03,5.676096e-03,5.653737e-03,5.630245e-03,5.605746e-03,5.580354e-03,5.554177e-03,5.527319e-03,5.499873e-03,5.471929e-03,5.443569e-03,5.414871e-03,5.385905e-03,5.356738e-03,5.327432e-03,5.298043e-03,5.268624e-03,5.239223e-03,5.209884e-03,5.180648e-03,5.151551e-03
0.000000e+00,8.040138e-11,1.944297e-10,7.103971e-10,1.668458e-09,2.467250e-09,5.765092e-09,5.945250e-09,1.180828e-08,1.398048e-08,2.083599e-08,2.813132e-08,3.388671e-08,5.004140e-08,5.164281e-08,7.427795e-08,8.041095e-08,1.015238e-07,1.186527e-07,1.330022e-07,1.639452e-07,1.683886e-07,2.074129e-07,2.156322e-07,2.498240e-07,2.731315e-07,2.953645e-07,3.358355e-07,3.437582e-07,3.947083e-07,4.030768e-07,4.479013e-07,4.741358e-07,5.030135e-07,5.482658e-07,5.597187e-07,6.176960e-07,6.247240e-07,6.766364e-07,7.027993e-07,7.362477e-07,7.818335e-07,7.962590e-07,8.564224e-07,8.612352e-07,9.165152e-07,9.404873e-07,9.763393e-07,1.019148e-06,1.035721e-06,1.094508e-06,1.096845e-06,1.152571e-06,1.173274e-06,1.209800e-06,1.248192e-06,1.266103e-06,1.321403e-06,1.375638e-06,1.392759e-06,1.428757e-06,1.462150e-06,1.480722e-06,1.529493e-06,1.531501e-06,1.581074e-06,1.594736e-06,1.629424e-06,1.657844e-06,1.676543e-06,1.718801e-06,1.722426e-06,1.767073e-06,1.777604e-06,1.810487e-06,1.834263e-06,1.852675e-06,1.888794e-06,1.893647e-06,1.933412e-06,1.941222e-06,1.971985e-06,1.991577e-06,2.009380e-06,2.039894e-06,2.045614e-06,2.080702e-06,2.086211e-06,2.114664e-06,2.130571e-06,2.147518e-06,2.173016e-06,2.179283e-06,2.209978e-06,2.213591e-06,2.239625e-06,2.252343e-06,2.268244e-06,2.289319e-06,2.295855e-06,2.322478e-06,2.324566e-06,2.348136e-06,2.358134e-06,2.372849e-06,2.390068e-06,2.396637e-06,2.419522e-06,2.420419e-06,2.441525e-06,2.449233e-06,2.462665e-06,2.476558e-06,2.482964e-06,2.502441e-06,2.521117e-06,2.526928e-06,2.539012e-06,2.550064e-06,2.556145e-06,2.571894e-06,2.572536e-06,2.588203e-06,2.592463e-06,2.603166e-06,2.611814e-06,2.617444e-06,2.629989e-06,2.631053e-06,2.644013e-06,2.647029e-06,2.656342e-06,2.662976e-06,2.668055e-06,2.677869e-06,2.679172e-06,2.689707e-06,2.691746e-06,2.699678e-06,2.704646e-06,2.709101e-06,2.716605e-06,2.717992e-06,2.726366e-06,2.727659e-06,2.734238e-06,2.737842e-06,2.741623e-06,2.747190e-06,2.748536e-06,2.754990e-06,2.755735e-06,2.761001e-06,2.763508e-06,2.766581e-06,2.770541e-06,2.771743e-06,2.776501e-06,2.776865e-06,2.780868e-06,2.782508e-06,2.784856e-06,2.787499e-06,2.788476e-06,2.791742e-06,2.791865e-06,2.794663e-06,2.795633e-06,2.797253e-06,2.798830e-06,2.799521e-06,2.801479e-06,2.803605e-06,2.805231e-06,2.806381e-06,2.807076e-06,2.807337e-06,2.807184e-06,2.806637e-06,2.805716e-06,2.804438e-06,2.802822e-06,2.800883e-06,2.798640e-06,2.796107e-06,2.793301e-06,2.790235e-06,2.786923e-06,2.783381e-06,2.779620e-06,2.775653e-06,2.771493e-06,2.767151e-06,2.762638e-06,2.757965e-06,2.753143e-06
0.000000e+00,1.665153e-11,3.837058e-11,1.331465e-10,3.051257e-10,4.470626e-10,1.027888e-09,1.059490e-09,2.085024e-09,2.464296e-09,3.661629e-09,4.940142e-09,5.955234e-09,8.854555e-09,9.146911e-09,1.338449e-08,1.456472e-08,1.870955e-08,2.213759e-08,2.503399e-08,3.130189e-08,3.220108e-08,4.005639e-08,4.169852e-08,4.847525e-08,5.304275e-08,5.736070e-08,6.512719e-08,6.663412e-08,7.622738e-08,7.778776e-08,8.607813e-08,9.088051e-08,9.612731e-08,1.042714e-07,1.063183e-07,1.165969e-07,1.178337e-07,1.269116e-07,1.314490e-07,1.372141e-07,1.450078e-07,1.474592e-07,1.576068e-07,1.584132e-07,1.676200e-07,1.715804e-07,1.774671e-07,1.844383e-07,1.871202e-07,1.965557e-07,1.969283e-07,2.057539e-07,2.090040e-07,2.146989e-07,2.206302e-07,2.233779e-07,2.317811e-07,2.399016e-07,2.424397e-07,2.477347e-07,2.525957e-07,2.552776e-07,2.622450e-07,2.625295e-07,2.694909e-07,2.713882e-07,2.761637e-07,2.800300e-07,2.825507e-07,2.881778e-07,2.886559e-07,2.944838e-07,2.958418e-07,3.000394e-07,3.030337e-07,3.053284e-07,3.097668e-07,3.103567e-07,3.151305e-07,3.160554e-07,3.196565e-07,3.219142e-07,3.239411e-07,3.273587e-07,3.279912e-07,3.318136e-07,3.324044e-07,3.354149e-07,3.370671e-07,3.388021e-07,3.413622e-07,3.419819e-07,3.449611e-07,3.453054e-07,3.477462e-07,3.489118e-07,3.503438e-07,3.521965e-07,3.527603e-07,3.550022e-07,3.551742e-07,3.570755e-07,3.578591e-07,3.589865e-07,3.602652e-07,3.607410e-07,3.623449e-07,3.624060e-07,3.638039e-07,3.642947e-07,3.651235e-07,3.659439e-07,3.663091e-07,3.673660e-07,3.682994e-07,3.685728e-07,3.691142e-07,3.695757e-07,3.698153e-07,3.703857e-07,3.704073e-07,3.708950e-07,3.710134e-07,3.712826e-07,3.714690e-07,3.715746e-07,3.717623e-07,3.717750e-07,3.718880e-07,3.719025e-07,3.719174e-07,3.718989e-07,3.718671e-07,3.717598e-07,3.717407e-07,3.715418e-07,3.714936e-07,3.712738e-07,3.711082e-07,3.709400e-07,3.706111e-07,3.705436e-07,3.700878e-07,3.700096e-07,3.695755e-07,3.693104e-07,3.690097e-07,3.685203e-07,3.683930e-07,3.677282e-07,3.676453e-07,3.670179e-07,3.666916e-07,3.662646e-07,3.656649e-07,3.654707e-07,3.646386e-07,3.645704e-07,3.637704e-07,3.634135e-07,3.628682e-07,3.621989e-07,3.619343e-07,3.609705e-07,3.609314e-07,3.599789e-07,3.596154e-07,3.589611e-07,3.582550e-07,3.579190e-07,3.568544e-07,3.554172e-07,3.539470e-07,3.524473e-07,3.509212e-07,3.493718e-07,3.478019e-07,3.462144e-07,3.446116e-07,3.429961e-07,3.413702e-07,3.397359e-07,3.380952e-07,3.364502e-07,3.348025e-07,3.331539e-07,3.315058e-07,3.298598e-07,3.282172e-07,3.265794e-07,3.249474e-07,3.233225e-07,3.217057e-07,3.200978e-07,3.184999e-07
0.000000e+00,1.153805e-10,4.079091e-10,2.275502e-09,6.539358e-09,1.043465e-08,2.801056e-08,2.901642e-08,6.336281e-08,7.670446e-08,1.203550e-07,1.686305e-07,2.075227e-07,3.181856e-07,3.291868e-07,4.841108e-07,5.258272e-07,6.685760e-07,7.835436e-07,8.793829e-07,1.084888e-06,1.114290e-06,1.371563e-06,1.425560e-06,1.649585e-06,1.801794e-06,1.946642e-06,2.209506e-06,2.260848e-06,2.590137e-06,2.644078e-06,2.932307e-06,3.100453e-06,3.285067e-06,3.573345e-06,3.646105e-06,4.013153e-06,4.057497e-06,4.384030e-06,4.547898e-06,4.756696e-06,5.039955e-06,5.129271e-06,5.500061e-06,5.529601e-06,5.867562e-06,6.013342e-06,6.230464e-06,6.488267e-06,6.587642e-06,6.938147e-06,6.952017e-06,7.281198e-06,7.402745e-06,7.616164e-06,7.839064e-06,7.942548e-06,8.259967e-06,8.568133e-06,8.664755e-06,8.866838e-06,9.052979e-06,9.155949e-06,9.424415e-06,9.435408e-06,9.705213e-06,9.779033e-06,9.965409e-06,1.011695e-05,1.021608e-05,1.043837e-05,1.045733e-05,1.068932e-05,1.074363e-05,1.091221e-05,1.103315e-05,1.112624e-05,1.130743e-05,1.133162e-05,1.152853e-05,1.156691e-05,1.171718e-05,1.181209e-05,1.189778e-05,1.204342e-05,1.207054e-05,1.223568e-05,1.226141e-05,1.239341e-05,1.246655e-05,1.254394e-05,1.265933e-05,1.268749e-05,1.282426e-05,1.284022e-05,1.295446e-05,1.300972e-05,1.307830e-05,1.316829e-05,1.319598e-05,1.330771e-05,1.331640e-05,1.341367e-05,1.345448e-05,1.351406e-05,1.358299e-05,1.360905e-05,1.369885e-05,1.370234e-05,1.378362e-05,1.381294e-05,1.386354e-05,1.391520e-05,1.393878e-05,1.400950e-05,1.407586e-05,1.409621e-05,1.413803e-05,1.417569e-05,1.419616e-05,1.424829e-05,1.425039e-05,1.430086e-05,1.431434e-05,1.434772e-05,1.437417e-05,1.439111e-05,1.442807e-05,1.443115e-05,1.446798e-05,1.447635e-05,1.450171e-05,1.451930e-05,1.453247e-05,1.455717e-05,1.456038e-05,1.458554e-05,1.459025e-05,1.460806e-05,1.461877e-05,1.462806e-05,1.464298e-05,1.464564e-05,1.466088e-05,1.466311e-05,1.467390e-05,1.467938e-05,1.468478e-05,1.469200e-05,1.469361e-05,1.470047e-05,1.470117e-05,1.470546e-05,1.470709e-05,1.470866e-05,1.470993e-05,1.471013e-05,1.470996e-05,1.470988e-05,1.470822e-05,1.470711e-05,1.470499e-05,1.470176e-05,1.470032e-05,1.469428e-05,1.469401e-05,1.468694e-05,1.468399e-05,1.467836e-05,1.467185e-05,1.466860e-05,1.465771e-05,1.464171e-05,1.462396e-05,1.460458e-05,1.458368e-05,1.456137e-05,1.453774e-05,1.451289e-05,1.448691e-05,1.445988e-05,1.443188e-05,1.440300e-05,1.437331e-05,1.434287e-05,1.431175e-05,1.428002e-05,1.424773e-05,1.421495e-05,1.418172e-05,1.414809e-05,1.411412e-05,1.407984e-05,1.404531e-05,1.401056e-05,1.397563e-05
0.000000e+00,2.929624e-11,1.999599e-10,3.492999e-09,2.331310e-08,5.561993e-08,3.631707e-07,3.885584e-07,1.728986e-06,2.483654e-06,5.786050e-06,1.082711e-05,1.591211e-05,3.552602e-05,3.791458e-05,8.098568e-05,9.585941e-05,1.586953e-04,2.241481e-04,2.899581e-04,4.695356e-04,4.998668e-04,8.202993e-04,9.009535e-04,1.290250e-03,1.608753e-03,1.955865e-03,2.704804e-03,2.870185e-03,4.092622e-03,4.321078e-03,5.688183e-03,6.606882e-03,7.726488e-03,9.724931e-03,1.028061e-02,1.342579e-02,1.384654e-02,1.723805e-02,1.914627e-02,2.179279e-02,2.579621e-02,2.716336e-02,3.341967e-02,3.396043e-02,4.062693e-02,4.378961e-02,4.884444e-02,5.541629e-02,5.812455e-02,6.851178e-02,6.895084e-02,8.004208e-02,8.447827e-02,9.274230e-02,1.020560e-01,1.066299e-01,1.217126e-01,1.379885e-01,1.434473e-01,1.554464e-01,1.672305e-01,1.740656e-01,1.930053e-01,1.938167e-01,2.146620e-01,2.206888e-01,2.365563e-01,2.501749e-01,2.594472e-01,2.813368e-01,2.832762e-01,3.079791e-01,3.140303e-01,3.334873e-01,3.480966e-01,3.597281e-01,3.833659e-01,3.866258e-01,4.141024e-01,4.196602e-01,4.420784e-01,4.567966e-01,4.704733e-01,4.945898e-01,4.992065e-01,5.281980e-01,5.328553e-01,5.573686e-01,5.714112e-01,5.866407e-01,6.100807e-01,6.159389e-01,6.451900e-01,6.486936e-01,6.743238e-01,6.870880e-01,7.032730e-01,7.251116e-01,7.319738e-01,7.603660e-01,7.626223e-01,7.883929e-01,7.994895e-01,8.160019e-01,8.355940e-01,8.431441e-01,8.697747e-01,8.708287e-01,8.958527e-01,9.050983e-01,9.213412e-01,9.383196e-01,9.462070e-01,9.704208e-01,9.939570e-01,1.001342e+00,1.016794e+00,1.031033e+00,1.038912e+00,1.059456e+00,1.060297e+00,1.080936e+00,1.086580e+00,1.100821e+00,1.112386e+00,1.119944e+00,1.136863e+00,1.138303e+00,1.155897e+00,1.160005e+00,1.172726e+00,1.181817e+00,1.188794e+00,1.202309e+00,1.204107e+00,1.218671e+00,1.221494e+00,1.232495e+00,1.239395e+00,1.245591e+00,1.256036e+00,1.257969e+00,1.269642e+00,1.271446e+00,1.280625e+00,1.285656e+00,1.290933e+00,1.298703e+00,1.300581e+00,1.309585e+00,1.310623e+00,1.317963e+00,1.321456e+00,1.325733e+00,1.331242e+00,1.332912e+00,1.339519e+00,1.340023e+00,1.345571e+00,1.347841e+00,1.351088e+00,1.354739e+00,1.356088e+00,1.360590e+00,1.360760e+00,1.364612e+00,1.365946e+00,1.368173e+00,1.370340e+00,1.371291e+00,1.373984e+00,1.376918e+00,1.379183e+00,1.380818e+00,1.381861e+00,1.382349e+00,1.382318e+00,1.381802e+00,1.380834e+00,1.379446e+00,1.377669e+00,1.375531e+00,1.373061e+00,1.370284e+00,1.367226e+00,1.363911e+00,1.360361e+00,1.356598e+00,1.352641e+00,1.348511e+00,1.344225e+00,1.339800e+00,1.335251e+00,1.330594e+00,1.325843e+00
0.000000e+00,1.493550e-11,7.933916e-11,8.409318e-10,3.648639e-09,6.942938e-09,2.615520e-08,2.739324e-08,7.432450e-08,9.412652e-08,1.622908e-07,2.419097e-07,3.087833e-07,5.126036e-07,5.340012e-07,8.571260e-07,9.507553e-07,1.289618e-06,1.580145e-06,1.831953e-06,2.394437e-06,2.476938e-06,3.214990e-06,3.372957e-06,4.037167e-06,4.495359e-06,4.935796e-06,5.744687e-06,5.904004e-06,6.935177e-06,7.105562e-06,8.022600e-06,8.562514e-06,9.159333e-06,1.009943e-05,1.033824e-05,1.155210e-05,1.169977e-05,1.279377e-05,1.334712e-05,1.405634e-05,1.502581e-05,1.533324e-05,1.661836e-05,1.672136e-05,1.790612e-05,1.842081e-05,1.919146e-05,2.011289e-05,2.046993e-05,2.173761e-05,2.178804e-05,2.299111e-05,2.343834e-05,2.422759e-05,2.505740e-05,2.544459e-05,2.664009e-05,2.781243e-05,2.818246e-05,2.896026e-05,2.968152e-05,3.008255e-05,3.113517e-05,3.117849e-05,3.224750e-05,3.254194e-05,3.328917e-05,3.390094e-05,3.430325e-05,3.521171e-05,3.528959e-05,3.624820e-05,3.647415e-05,3.717915e-05,3.768845e-05,3.808259e-05,3.885505e-05,3.895876e-05,3.980792e-05,3.997454e-05,4.063040e-05,4.104766e-05,4.142656e-05,4.207528e-05,4.219679e-05,4.294151e-05,4.305833e-05,4.366116e-05,4.399782e-05,4.435620e-05,4.489482e-05,4.502709e-05,4.567431e-05,4.575041e-05,4.629836e-05,4.656572e-05,4.689972e-05,4.734188e-05,4.747889e-05,4.803637e-05,4.808004e-05,4.857265e-05,4.878134e-05,4.908824e-05,4.944693e-05,4.958363e-05,5.005932e-05,5.007795e-05,5.051579e-05,5.067551e-05,5.095354e-05,5.124075e-05,5.137303e-05,5.177476e-05,5.215918e-05,5.227862e-05,5.252676e-05,5.275339e-05,5.287797e-05,5.320013e-05,5.321324e-05,5.353302e-05,5.361984e-05,5.383775e-05,5.401354e-05,5.412785e-05,5.438220e-05,5.440376e-05,5.466587e-05,5.472677e-05,5.491459e-05,5.504818e-05,5.515032e-05,5.534734e-05,5.537346e-05,5.558437e-05,5.562512e-05,5.578344e-05,5.588240e-05,5.597103e-05,5.611999e-05,5.614749e-05,5.631318e-05,5.633872e-05,5.646844e-05,5.653936e-05,5.661360e-05,5.672267e-05,5.674898e-05,5.687491e-05,5.688940e-05,5.699170e-05,5.704026e-05,5.709964e-05,5.717595e-05,5.719904e-05,5.729018e-05,5.729712e-05,5.737335e-05,5.740444e-05,5.744881e-05,5.749853e-05,5.751684e-05,5.757769e-05,5.757998e-05,5.763163e-05,5.764940e-05,5.767889e-05,5.770734e-05,5.771972e-05,5.775435e-05,5.779095e-05,5.781766e-05,5.783496e-05,5.784332e-05,5.784319e-05,5.783502e-05,5.781923e-05,5.779621e-05,5.776637e-05,5.773006e-05,5.768767e-05,5.763952e-05,5.758595e-05,5.752729e-05,5.746383e-05,5.739588e-05,5.732371e-05,5.724759e-05,5.716779e-05,5.708456e-05,5.699812e-05,5.690871e-05,5.681655e-05,5.672185e-05
0.000000e+00,5.258084e-13,3.471582e-12,5.655622e-11,3.538606e-10,8.145053e-10,4.842098e-09,5.160680e-09,2.088988e-08,2.923981e-08,6.380197e-08,1.132065e-07,1.606961e-07,3.319840e-07,3.519744e-07,6.936864e-07,8.058166e-07,1.258644e-06,1.705110e-06,2.135838e-06,3.246988e-06,3.427472e-06,5.243727e-06,5.679807e-06,7.696241e-06,9.258735e-06,1.089155e-05,1.422009e-05,1.492538e-05,1.987840e-05,2.076064e-05,2.581335e-05,2.902439e-05,3.277358e-05,3.909646e-05,4.078265e-05,4.984466e-05,5.100236e-05,5.994525e-05,6.471099e-05,7.105290e-05,8.013984e-05,8.312061e-05,9.608764e-05,9.716175e-05,1.098814e-04,1.156122e-04,1.244194e-04,1.352972e-04,1.396114e-04,1.553611e-04,1.560013e-04,1.715684e-04,1.774954e-04,1.881312e-04,1.995445e-04,2.049469e-04,2.219146e-04,2.389362e-04,2.443790e-04,2.559176e-04,2.667234e-04,2.727702e-04,2.887506e-04,2.894112e-04,3.057651e-04,3.102832e-04,3.217634e-04,3.311661e-04,3.373453e-04,3.512672e-04,3.524578e-04,3.670555e-04,3.704780e-04,3.811005e-04,3.887126e-04,3.945623e-04,4.059073e-04,4.074172e-04,4.196479e-04,4.220180e-04,4.312430e-04,4.370191e-04,4.421966e-04,4.509009e-04,4.525076e-04,4.621794e-04,4.636679e-04,4.712189e-04,4.753363e-04,4.796366e-04,4.859319e-04,4.874457e-04,4.946616e-04,4.954884e-04,5.013017e-04,5.040458e-04,5.073850e-04,5.116482e-04,5.129316e-04,5.179624e-04,5.183432e-04,5.224990e-04,5.241801e-04,5.265632e-04,5.292092e-04,5.301770e-04,5.333624e-04,5.334812e-04,5.361411e-04,5.370460e-04,5.385345e-04,5.399527e-04,5.405636e-04,5.422487e-04,5.436097e-04,5.439799e-04,5.446658e-04,5.451901e-04,5.454353e-04,5.459210e-04,5.459361e-04,5.461853e-04,5.462122e-04,5.461991e-04,5.461008e-04,5.459930e-04,5.456221e-04,5.455820e-04,5.449801e-04,5.448088e-04,5.442008e-04,5.436916e-04,5.432567e-04,5.422992e-04,5.421599e-04,5.409219e-04,5.406583e-04,5.395534e-04,5.387936e-04,5.380646e-04,5.367281e-04,5.364652e-04,5.347642e-04,5.344831e-04,5.329701e-04,5.320783e-04,5.310910e-04,5.295317e-04,5.291345e-04,5.271077e-04,5.268601e-04,5.250173e-04,5.240791e-04,5.228696e-04,5.212026e-04,5.206705e-04,5.184254e-04,5.182440e-04,5.161396e-04,5.152150e-04,5.138180e-04,5.121269e-04,5.114651e-04,5.090852e-04,5.089895e-04,5.066822e-04,5.058122e-04,5.042599e-04,5.026035e-04,5.018217e-04,4.993709e-04,4.961217e-04,4.928621e-04,4.895980e-04,4.863348e-04,4.830773e-04,4.798298e-04,4.765962e-04,4.733801e-04,4.701848e-04,4.670130e-04,4.638674e-04,4.607503e-04,4.576636e-04,4.546093e-04,4.515888e-04,4.486036e-04,4.456548e-04,4.427436e-04,4.398708e-04,4.370371e-04,4.342431e-04,4.314894e-04,4.287764e-04,4.261043e-04
0.000000e+00,1.169068e-11,7.986645e-11,1.397754e-09,9.344918e-09,2.231575e-08,1.460558e-07,1.562806e-07,6.969532e-07,1.001731e-06,2.336844e-06,4.377146e-06,6.436694e-06,1.438718e-05,1.535579e-05,3.282922e-05,3.886535e-05,6.437298e-05,9.095355e-05,1.176896e-04,1.906992e-04,2.030386e-04,3.335358e-04,3.664213e-04,5.253567e-04,6.556286e-04,7.978272e-04,1.105366e-03,1.173400e-03,1.677517e-03,1.771952e-03,2.338362e-03,2.720137e-03,3.186518e-03,4.021730e-03,4.254540e-03,5.576457e-03,5.753802e-03,7.187220e-03,7.996559e-03,9.122119e-03,1.083099e-02,1.141617e-02,1.410351e-02,1.433647e-02,1.721681e-02,1.858834e-02,2.078672e-02,2.365568e-02,2.484134e-02,2.940578e-02,2.959928e-02,3.450172e-02,3.646995e-02,4.014713e-02,4.430716e-02,4.635597e-02,5.313804e-02,6.049885e-02,6.297686e-02,6.843959e-02,7.382476e-02,7.695716e-02,8.566993e-02,8.604422e-02,9.568942e-02,9.848811e-02,1.058775e-01,1.122432e-01,1.165896e-01,1.268885e-01,1.278035e-01,1.394939e-01,1.423674e-01,1.516328e-01,1.586152e-01,1.641897e-01,1.755597e-01,1.771321e-01,1.904258e-01,1.931236e-01,2.040351e-01,2.112246e-01,2.179236e-01,2.297781e-01,2.320536e-01,2.463875e-01,2.486973e-01,2.608873e-01,2.678951e-01,2.755153e-01,2.872848e-01,2.902341e-01,3.050069e-01,3.067816e-01,3.197979e-01,3.263027e-01,3.345723e-01,3.457689e-01,3.492963e-01,3.639377e-01,3.651045e-01,3.784656e-01,3.842383e-01,3.928507e-01,4.031039e-01,4.070653e-01,4.210835e-01,4.216398e-01,4.348812e-01,4.397900e-01,4.484359e-01,4.575036e-01,4.617269e-01,4.747355e-01,4.874446e-01,4.914457e-01,4.998389e-01,5.075997e-01,5.119048e-01,5.231681e-01,5.236304e-01,5.350055e-01,5.381265e-01,5.460214e-01,5.524555e-01,5.566709e-01,5.661400e-01,5.669484e-01,5.768494e-01,5.791693e-01,5.863710e-01,5.915367e-01,5.955115e-01,6.032392e-01,6.042701e-01,6.126474e-01,6.142772e-01,6.206449e-01,6.246543e-01,6.282651e-01,6.343768e-01,6.355112e-01,6.423875e-01,6.434537e-01,6.488987e-01,6.518961e-01,6.550505e-01,6.597172e-01,6.608489e-01,6.663006e-01,6.669319e-01,6.714128e-01,6.735565e-01,6.761930e-01,6.796087e-01,6.806491e-01,6.847894e-01,6.851072e-01,6.886224e-01,6.900714e-01,6.921567e-01,6.945216e-01,6.954014e-01,6.983654e-01,6.984783e-01,7.010579e-01,7.019625e-01,7.034880e-01,7.049954e-01,7.056651e-01,7.075982e-01,7.097921e-01,7.115981e-01,7.130369e-01,7.141290e-01,7.148943e-01,7.153524e-01,7.155224e-01,7.154228e-01,7.150716e-01,7.144860e-01,7.136829e-01,7.126781e-01,7.114872e-01,7.101250e-01,7.086054e-01,7.069420e-01,7.051476e-01,7.032344e-01,7.012139e-01,6.990971e-01,6.968942e-01,6.946151e-01,6.922690e-01,6.898644e-01
0.000000e+00,3.137500e-13,2.078959e-12,3.411906e-11,2.148790e-10,4.963350e-10,2.976016e-09,3.172869e-09,1.293977e-08,1.814454e-08,3.974892e-08,7.070553e-08,1.004915e-07,2.079197e-07,2.204485e-07,4.341749e-07,5.041225e-07,7.857689e-07,1.062394e-06,1.328528e-06,2.012999e-06,2.124007e-06,3.240463e-06,3.508626e-06,4.750659e-06,5.716290e-06,6.728976e-06,8.805680e-06,9.247872e-06,1.237387e-05,1.293432e-05,1.616344e-05,1.823126e-05,2.065921e-05,2.478227e-05,2.588702e-05,3.185411e-05,3.261947e-05,3.854860e-05,4.171742e-05,4.594014e-05,5.199548e-05,5.398164e-05,6.261166e-05,6.332537e-05,7.175737e-05,7.554208e-05,8.133762e-05,8.845610e-05,9.126604e-05,1.014539e-04,1.018656e-04,1.118127e-04,1.155671e-04,1.222565e-04,1.293650e-04,1.327036e-04,1.430780e-04,1.533103e-04,1.565443e-04,1.633385e-04,1.696241e-04,1.731084e-04,1.822013e-04,1.825735e-04,1.916951e-04,1.941831e-04,2.004416e-04,2.054992e-04,2.087888e-04,2.160999e-04,2.167186e-04,2.242189e-04,2.259542e-04,2.312829e-04,2.350472e-04,2.379085e-04,2.433776e-04,2.440974e-04,2.498551e-04,2.509556e-04,2.551898e-04,2.578002e-04,2.601123e-04,2.639378e-04,2.646352e-04,2.687726e-04,2.693999e-04,2.725399e-04,2.742215e-04,2.759533e-04,2.784402e-04,2.790293e-04,2.817849e-04,2.820949e-04,2.842373e-04,2.852246e-04,2.864033e-04,2.878682e-04,2.882996e-04,2.899425e-04,2.900635e-04,2.913480e-04,2.918472e-04,2.925314e-04,2.932542e-04,2.935074e-04,2.942903e-04,2.943178e-04,2.948936e-04,2.950694e-04,2.953302e-04,2.955381e-04,2.956123e-04,2.957515e-04,2.957586e-04,2.957348e-04,2.956442e-04,2.955115e-04,2.954177e-04,2.951034e-04,2.950883e-04,2.946646e-04,2.945302e-04,2.941547e-04,2.938104e-04,2.935659e-04,2.929607e-04,2.929054e-04,2.921796e-04,2.919964e-04,2.913947e-04,2.909315e-04,2.905563e-04,2.897786e-04,2.896699e-04,2.887401e-04,2.885494e-04,2.877718e-04,2.872544e-04,2.867691e-04,2.859031e-04,2.857359e-04,2.846761e-04,2.845042e-04,2.835929e-04,2.830656e-04,2.824895e-04,2.815942e-04,2.813688e-04,2.802336e-04,2.800966e-04,2.790864e-04,2.785784e-04,2.779294e-04,2.770449e-04,2.767648e-04,2.755946e-04,2.755008e-04,2.744206e-04,2.739503e-04,2.732444e-04,2.723971e-04,2.720677e-04,2.708917e-04,2.708447e-04,2.697179e-04,2.692961e-04,2.685474e-04,2.677540e-04,2.673814e-04,2.662208e-04,2.646986e-04,2.631894e-04,2.616949e-04,2.602163e-04,2.587552e-04,2.573125e-04,2.558893e-04,2.544864e-04,2.531044e-04,2.517440e-04,2.504057e-04,2.490899e-04,2.477968e-04,2.465268e-04,2.452799e-04,2.440564e-04,2.428562e-04,2.416793e-04,2.405258e-04,2.393955e-04,2.382884e-04,2.372042e-04,2.361428e-04,2.351040e-04
0.000000e+00,8.967080e-12,2.054601e-11,7.092722e-11,1.627205e-10,2.391115e-10,5.583737e-10,5.760459e-10,1.164236e-09,1.387758e-09,2.105560e-09,2.875294e-09,3.476116e-09,5.098126e-09,5.253199e-09,7.348321e-09,7.889609e-09,9.687973e-09,1.108746e-08,1.222714e-08,1.460237e-08,1.493544e-08,1.778724e-08,1.837262e-08,2.075737e-08,2.234001e-08,2.381984e-08,2.644417e-08,2.694798e-08,3.011514e-08,3.062377e-08,3.329555e-08,3.481968e-08,3.646504e-08,3.897791e-08,3.960163e-08,4.268590e-08,4.305167e-08,4.570118e-08,4.700237e-08,4.863358e-08,5.079976e-08,5.147186e-08,5.420731e-08,5.442150e-08,5.683344e-08,5.785222e-08,5.934576e-08,6.108254e-08,6.174149e-08,6.401932e-08,6.410798e-08,6.617914e-08,6.692793e-08,6.822183e-08,6.954479e-08,7.014907e-08,7.196317e-08,7.366691e-08,7.418930e-08,7.526345e-08,7.623055e-08,7.675621e-08,7.809497e-08,7.814879e-08,7.944491e-08,7.979105e-08,8.064834e-08,8.132749e-08,8.176289e-08,8.271301e-08,8.279232e-08,8.374039e-08,8.395623e-08,8.461077e-08,8.506559e-08,8.540705e-08,8.604926e-08,8.613273e-08,8.679120e-08,8.691512e-08,8.738577e-08,8.767075e-08,8.791962e-08,8.832339e-08,8.839584e-08,8.881740e-08,8.887998e-08,8.918718e-08,8.934709e-08,8.950791e-08,8.973096e-08,8.978224e-08,9.001268e-08,9.003750e-08,9.020166e-08,9.027229e-08,9.035152e-08,9.044061e-08,9.046447e-08,9.054265e-08,9.054746e-08,9.058809e-08,9.059753e-08,9.060272e-08,9.059520e-08,9.058836e-08,9.054676e-08,9.054456e-08,9.047962e-08,9.044950e-08,9.038852e-08,9.031368e-08,9.027500e-08,9.014051e-08,8.998642e-08,8.993319e-08,8.981404e-08,8.969470e-08,8.962462e-08,8.942784e-08,8.941934e-08,8.919930e-08,8.913520e-08,8.896558e-08,8.881920e-08,8.871919e-08,8.848213e-08,8.846107e-08,8.819214e-08,8.812608e-08,8.791326e-08,8.775304e-08,8.762524e-08,8.736484e-08,8.732886e-08,8.702484e-08,8.696318e-08,8.671388e-08,8.654965e-08,8.639663e-08,8.612574e-08,8.607372e-08,8.574572e-08,8.569281e-08,8.541319e-08,8.525212e-08,8.507666e-08,8.480488e-08,8.473661e-08,8.439351e-08,8.435216e-08,8.404781e-08,8.389497e-08,8.369990e-08,8.343427e-08,8.335019e-08,8.299904e-08,8.297090e-08,8.264680e-08,8.250567e-08,8.229378e-08,8.203931e-08,8.194030e-08,8.158664e-08,8.157250e-08,8.123308e-08,8.110587e-08,8.087986e-08,8.063998e-08,8.052721e-08,8.017537e-08,7.971251e-08,7.925185e-08,7.879378e-08,7.833867e-08,7.788686e-08,7.743863e-08,7.699427e-08,7.655401e-08,7.611808e-08,7.568666e-08,7.525995e-08,7.483808e-08,7.442119e-08,7.400940e-08,7.360282e-08,7.320152e-08,7.280558e-08,7.241507e-08,7.203002e-08,7.165047e-08,7.127646e-08,7.090799e-08,7.054508e-08,7.018772e-08
0.000000e+00,6.616406e-14,4.377300e-13,7.163840e-12,4.503720e-11,1.039681e-10,6.235446e-10,6.648391e-10,2.721673e-09,3.823237e-09,8.427781e-09,1.509830e-08,2.158279e-08,4.539716e-08,4.821188e-08,9.718694e-08,1.135527e-07,1.807814e-07,2.484961e-07,3.148773e-07,4.897036e-07,5.184908e-07,8.125329e-07,8.840651e-07,1.218074e-06,1.479581e-06,1.754543e-06,2.318371e-06,2.438199e-06,3.281090e-06,3.431286e-06,4.290503e-06,4.835062e-06,5.468860e-06,6.531854e-06,6.813965e-06,8.319459e-06,8.510458e-06,9.975423e-06,1.074850e-05,1.176904e-05,1.321504e-05,1.368523e-05,1.570729e-05,1.587311e-05,1.781747e-05,1.868213e-05,1.999747e-05,2.159997e-05,2.222889e-05,2.449362e-05,2.458465e-05,2.677417e-05,2.759580e-05,2.905391e-05,3.059571e-05,3.131734e-05,3.355017e-05,3.573954e-05,3.642904e-05,3.787398e-05,3.920654e-05,3.994355e-05,4.186143e-05,4.193978e-05,4.385567e-05,4.437693e-05,4.568564e-05,4.674055e-05,4.742543e-05,4.894382e-05,4.907207e-05,5.062371e-05,5.098185e-05,5.207956e-05,5.285301e-05,5.343976e-05,5.455837e-05,5.470528e-05,5.587778e-05,5.610131e-05,5.695954e-05,5.748708e-05,5.795330e-05,5.872235e-05,5.886222e-05,5.968975e-05,5.981485e-05,6.043958e-05,6.077301e-05,6.111553e-05,6.160573e-05,6.172152e-05,6.226150e-05,6.232205e-05,6.273940e-05,6.293101e-05,6.315909e-05,6.344147e-05,6.352437e-05,6.383890e-05,6.386198e-05,6.410621e-05,6.420068e-05,6.432969e-05,6.446527e-05,6.451256e-05,6.465786e-05,6.466293e-05,6.476848e-05,6.480035e-05,6.484713e-05,6.488366e-05,6.489635e-05,6.491850e-05,6.491579e-05,6.491002e-05,6.489029e-05,6.486288e-05,6.484388e-05,6.478131e-05,6.477835e-05,6.469531e-05,6.466913e-05,6.459628e-05,6.452976e-05,6.448264e-05,6.436630e-05,6.435568e-05,6.421657e-05,6.418150e-05,6.406641e-05,6.397786e-05,6.390618e-05,6.375759e-05,6.373681e-05,6.355914e-05,6.352268e-05,6.337395e-05,6.327492e-05,6.318196e-05,6.301591e-05,6.298382e-05,6.278015e-05,6.274708e-05,6.257149e-05,6.246971e-05,6.235836e-05,6.218496e-05,6.214124e-05,6.192056e-05,6.189386e-05,6.169672e-05,6.159734e-05,6.147011e-05,6.129623e-05,6.124106e-05,6.100988e-05,6.099131e-05,6.077689e-05,6.068324e-05,6.054234e-05,6.037266e-05,6.030650e-05,6.006960e-05,6.006011e-05,5.983186e-05,5.974610e-05,5.959347e-05,5.943110e-05,5.935464e-05,5.911552e-05,5.879974e-05,5.848411e-05,5.816893e-05,5.785450e-05,5.754107e-05,5.722889e-05,5.691818e-05,5.660912e-05,5.630190e-05,5.599667e-05,5.569359e-05,5.539279e-05,5.509439e-05,5.479849e-05,5.450519e-05,5.421459e-05,5.392675e-05,5.364176e-05,5.335967e-05,5.308054e-05,5.280441e-05,5.253134e-05,5.226134e-05,5.199446e-05
0.000000e+00,1.037126e-11,2.374637e-11,8.184646e-11,1.876036e-10,2.756468e-10,6.445812e-10,6.650551e-10,1.349007e-09,1.609593e-09,2.443998e-09,3.327614e-09,4.006860e-09,5.801728e-09,5.971068e-09,8.235603e-09,8.815688e-09,1.073418e-08,1.222049e-08,1.342775e-08,1.593668e-08,1.628781e-08,1.928807e-08,1.990259e-08,2.240135e-08,2.405548e-08,2.559909e-08,2.832892e-08,2.885184e-08,3.213028e-08,3.265531e-08,3.540624e-08,3.697005e-08,3.865358e-08,4.121495e-08,4.184880e-08,4.497145e-08,4.534044e-08,4.800430e-08,4.930659e-08,5.093337e-08,5.308322e-08,5.374772e-08,5.643930e-08,5.664914e-08,5.900256e-08,5.999112e-08,6.143418e-08,6.310258e-08,6.373274e-08,6.589838e-08,6.598226e-08,6.793252e-08,6.863307e-08,6.983762e-08,7.106101e-08,7.161692e-08,7.327426e-08,7.481392e-08,7.528249e-08,7.624047e-08,7.709630e-08,7.755868e-08,7.872674e-08,7.877340e-08,7.988952e-08,8.018502e-08,8.091187e-08,8.148227e-08,8.184524e-08,8.262937e-08,8.269430e-08,8.346357e-08,8.363681e-08,8.415744e-08,8.451465e-08,8.478013e-08,8.527243e-08,8.533568e-08,8.582799e-08,8.591919e-08,8.626077e-08,8.646347e-08,8.663755e-08,8.691326e-08,8.696173e-08,8.723650e-08,8.727608e-08,8.746491e-08,8.755893e-08,8.764985e-08,8.776836e-08,8.779408e-08,8.790018e-08,8.791046e-08,8.797061e-08,8.799091e-08,8.800771e-08,8.801498e-08,8.801368e-08,8.799060e-08,8.798756e-08,8.794043e-08,8.791320e-08,8.786504e-08,8.779611e-08,8.776616e-08,8.764546e-08,8.764020e-08,8.750449e-08,8.744907e-08,8.734473e-08,8.722607e-08,8.716757e-08,8.697431e-08,8.676617e-08,8.669662e-08,8.654433e-08,8.639566e-08,8.630986e-08,8.607385e-08,8.606380e-08,8.580710e-08,8.573345e-08,8.554069e-08,8.537653e-08,8.526540e-08,8.500499e-08,8.498205e-08,8.469139e-08,8.462062e-08,8.439413e-08,8.422503e-08,8.409093e-08,8.381972e-08,8.378244e-08,8.346922e-08,8.340606e-08,8.315184e-08,8.298534e-08,8.283082e-08,8.255870e-08,8.250664e-08,8.217976e-08,8.212723e-08,8.185060e-08,8.169192e-08,8.151957e-08,8.125365e-08,8.118704e-08,8.085337e-08,8.081327e-08,8.051888e-08,8.037153e-08,8.018388e-08,7.992912e-08,7.984866e-08,7.951348e-08,7.948668e-08,7.917860e-08,7.904479e-08,7.884425e-08,7.860397e-08,7.851065e-08,7.817800e-08,7.816472e-08,7.784649e-08,7.772746e-08,7.751630e-08,7.729260e-08,7.718758e-08,7.686049e-08,7.643146e-08,7.600580e-08,7.558378e-08,7.516564e-08,7.475158e-08,7.434180e-08,7.393646e-08,7.353570e-08,7.313967e-08,7.274846e-08,7.236218e-08,7.198090e-08,7.160469e-08,7.123361e-08,7.086771e-08,7.050701e-08,7.015154e-08,6.980132e-08,6.945636e-08,6.911665e-08,6.878219e-08,6.845297e-08,6.812896e-08,6.781016e-08
0.000000e+00,1.898164e-11,9.233085e-11,8.332249e-10,3.196666e-09,5.733518e-09,1.896173e-08,1.976586e-08,4.831241e-08,5.964221e-08,9.680522e-08,1.378216e-07,1.709259e-07,2.669744e-07,2.767553e-07,4.204306e-07,4.611369e-07,6.067566e-07,7.303909e-07,8.369844e-07,1.073334e-06,1.107773e-06,1.412748e-06,1.477225e-06,1.744981e-06,1.926448e-06,2.098377e-06,2.407855e-06,2.467871e-06,2.849155e-06,2.910993e-06,3.238391e-06,3.427004e-06,3.632054e-06,3.947966e-06,4.026873e-06,4.419824e-06,4.466719e-06,4.808159e-06,4.976920e-06,5.189426e-06,5.473141e-06,5.561497e-06,5.922571e-06,5.950935e-06,6.271170e-06,6.406847e-06,6.606133e-06,6.838361e-06,6.926585e-06,7.231917e-06,7.243809e-06,7.521748e-06,7.622254e-06,7.795907e-06,7.973379e-06,8.054396e-06,8.297346e-06,8.525012e-06,8.594694e-06,8.737751e-06,8.866260e-06,8.935981e-06,9.113072e-06,9.120176e-06,9.290861e-06,9.336305e-06,9.448578e-06,9.537216e-06,9.593887e-06,9.717105e-06,9.727361e-06,9.849572e-06,9.877289e-06,9.961080e-06,1.001906e-05,1.006244e-05,1.014367e-05,1.015419e-05,1.023686e-05,1.025235e-05,1.031096e-05,1.034627e-05,1.037697e-05,1.042652e-05,1.043537e-05,1.048661e-05,1.049417e-05,1.053111e-05,1.055020e-05,1.056929e-05,1.059555e-05,1.060154e-05,1.062822e-05,1.063107e-05,1.064970e-05,1.065758e-05,1.066630e-05,1.067585e-05,1.067834e-05,1.068613e-05,1.068657e-05,1.068994e-05,1.069041e-05,1.069005e-05,1.068798e-05,1.068671e-05,1.068016e-05,1.067984e-05,1.067063e-05,1.066651e-05,1.065833e-05,1.064849e-05,1.064346e-05,1.062622e-05,1.060677e-05,1.060011e-05,1.058530e-05,1.057057e-05,1.056196e-05,1.053793e-05,1.053690e-05,1.051026e-05,1.050253e-05,1.048217e-05,1.046467e-05,1.045276e-05,1.042464e-05,1.042215e-05,1.039044e-05,1.038268e-05,1.035774e-05,1.033903e-05,1.032415e-05,1.029392e-05,1.028976e-05,1.025465e-05,1.024754e-05,1.021890e-05,1.020008e-05,1.018259e-05,1.015171e-05,1.014579e-05,1.010857e-05,1.010258e-05,1.007098e-05,1.005283e-05,1.003309e-05,1.000260e-05,9.994955e-06,9.956617e-06,9.952005e-06,9.918126e-06,9.901153e-06,9.879527e-06,9.850145e-06,9.840861e-06,9.802168e-06,9.799072e-06,9.763481e-06,9.748017e-06,9.724836e-06,9.697054e-06,9.686262e-06,9.647789e-06,9.646253e-06,9.609444e-06,9.595676e-06,9.571251e-06,9.545378e-06,9.533232e-06,9.495411e-06,9.445820e-06,9.396646e-06,9.347925e-06,9.299692e-06,9.251974e-06,9.204798e-06,9.158186e-06,9.112158e-06,9.066732e-06,9.021921e-06,8.977739e-06,8.934196e-06,8.891300e-06,8.849059e-06,8.807478e-06,8.766561e-06,8.726310e-06,8.686727e-06,8.647812e-06,8.609564e-06,8.571982e-06,8.535063e-06,8.498803e-06,8.463200e-06
0.000000e+00,4.936222e-13,2.987976e-12,4.071132e-11,2.168375e-10,4.572630e-10,2.174643e-09,2.297007e-09,7.489112e-09,9.893336e-09,1.870165e-08,2.960851e-08,3.906019e-08,6.872473e-08,7.188915e-08,1.205397e-07,1.349369e-07,1.882917e-07,2.357530e-07,2.782782e-07,3.781459e-07,3.933667e-07,5.359339e-07,5.678991e-07,7.075076e-07,8.083313e-07,9.083254e-07,1.098626e-06,1.136968e-06,1.390258e-06,1.432775e-06,1.663519e-06,1.800147e-06,1.951132e-06,2.187575e-06,2.247182e-06,2.546044e-06,2.581853e-06,2.842760e-06,2.971548e-06,3.133235e-06,3.347820e-06,3.414266e-06,3.683480e-06,3.704453e-06,3.939216e-06,4.037480e-06,4.180403e-06,4.344696e-06,4.406441e-06,4.617100e-06,4.625207e-06,4.812440e-06,4.879060e-06,4.992741e-06,5.106978e-06,5.158451e-06,5.310142e-06,5.448475e-06,5.490036e-06,5.574166e-06,5.648322e-06,5.687970e-06,5.786750e-06,5.790654e-06,5.882984e-06,5.907084e-06,5.965714e-06,6.011048e-06,6.039573e-06,6.100291e-06,6.105261e-06,6.163443e-06,6.176360e-06,6.214744e-06,6.240686e-06,6.259749e-06,6.294579e-06,6.299002e-06,6.333008e-06,6.339221e-06,6.362229e-06,6.375676e-06,6.387092e-06,6.404895e-06,6.407986e-06,6.425269e-06,6.427721e-06,6.439264e-06,6.444902e-06,6.450267e-06,6.457097e-06,6.458547e-06,6.464347e-06,6.464887e-06,6.467888e-06,6.468784e-06,6.469372e-06,6.469236e-06,6.468980e-06,6.466879e-06,6.466641e-06,6.463217e-06,6.461347e-06,6.458133e-06,6.453661e-06,6.451749e-06,6.444179e-06,6.443853e-06,6.435527e-06,6.432165e-06,6.425886e-06,6.418809e-06,6.415341e-06,6.403973e-06,6.391852e-06,6.387825e-06,6.379045e-06,6.370516e-06,6.365612e-06,6.352180e-06,6.351609e-06,6.337088e-06,6.332936e-06,6.322097e-06,6.312894e-06,6.306678e-06,6.292151e-06,6.290873e-06,6.274719e-06,6.270794e-06,6.258250e-06,6.248903e-06,6.241499e-06,6.226549e-06,6.224496e-06,6.207269e-06,6.203799e-06,6.189844e-06,6.180712e-06,6.172244e-06,6.157342e-06,6.154493e-06,6.136611e-06,6.133739e-06,6.118618e-06,6.109947e-06,6.100532e-06,6.086008e-06,6.082371e-06,6.064150e-06,6.061961e-06,6.045886e-06,6.037839e-06,6.027590e-06,6.013674e-06,6.009278e-06,5.990961e-06,5.989496e-06,5.972651e-06,5.965331e-06,5.954359e-06,5.941205e-06,5.936094e-06,5.917866e-06,5.917138e-06,5.899685e-06,5.893152e-06,5.881557e-06,5.869266e-06,5.863492e-06,5.845497e-06,5.821860e-06,5.798370e-06,5.775040e-06,5.751882e-06,5.728908e-06,5.706127e-06,5.683547e-06,5.661179e-06,5.639027e-06,5.617100e-06,5.595403e-06,5.573942e-06,5.552720e-06,5.531743e-06,5.511013e-06,5.490534e-06,5.470308e-06,5.450338e-06,5.430625e-06,5.411171e-06,5.391977e-06,5.373043e-06,5.354370e-06,5.335959e-06
0.000000e+00,2.267060e-11,5.253533e-11,1.824266e-10,4.157039e-10,6.061378e-10,1.369316e-09,1.410185e-09,2.706291e-09,3.172627e-09,4.607073e-09,6.085985e-09,7.228475e-09,1.037308e-08,1.068225e-08,1.504802e-08,1.623406e-08,2.033073e-08,2.366137e-08,2.644762e-08,3.241645e-08,3.326737e-08,4.065577e-08,4.219094e-08,4.849398e-08,5.271267e-08,5.667814e-08,6.375156e-08,6.511474e-08,7.371723e-08,7.510353e-08,8.240457e-08,8.658222e-08,9.110119e-08,9.801822e-08,9.973755e-08,1.082509e-07,1.092616e-07,1.165860e-07,1.201845e-07,1.246955e-07,1.306831e-07,1.325397e-07,1.400871e-07,1.406773e-07,1.473132e-07,1.501095e-07,1.542004e-07,1.589427e-07,1.607373e-07,1.669176e-07,1.671574e-07,1.727399e-07,1.747486e-07,1.782063e-07,1.817229e-07,1.833223e-07,1.880960e-07,1.925372e-07,1.938900e-07,1.966574e-07,1.991317e-07,2.004693e-07,2.038508e-07,2.039859e-07,2.072211e-07,2.080784e-07,2.101887e-07,2.118466e-07,2.129026e-07,2.151871e-07,2.153765e-07,2.176238e-07,2.181309e-07,2.196575e-07,2.207079e-07,2.214904e-07,2.229468e-07,2.231345e-07,2.246016e-07,2.248747e-07,2.259027e-07,2.265172e-07,2.270484e-07,2.278981e-07,2.280488e-07,2.289134e-07,2.290398e-07,2.296513e-07,2.299629e-07,2.302709e-07,2.306868e-07,2.307802e-07,2.311870e-07,2.312292e-07,2.314982e-07,2.316066e-07,2.317206e-07,2.318342e-07,2.318606e-07,2.319240e-07,2.319259e-07,2.319164e-07,2.318946e-07,2.318429e-07,2.317520e-07,2.317084e-07,2.315176e-07,2.315089e-07,2.312747e-07,2.311753e-07,2.309838e-07,2.307605e-07,2.306486e-07,2.302727e-07,2.298593e-07,2.297196e-07,2.294115e-07,2.291083e-07,2.289323e-07,2.284452e-07,2.284243e-07,2.278902e-07,2.277363e-07,2.273322e-07,2.269869e-07,2.267526e-07,2.262021e-07,2.261535e-07,2.255368e-07,2.253864e-07,2.249043e-07,2.245439e-07,2.242578e-07,2.236784e-07,2.235987e-07,2.229287e-07,2.227934e-07,2.222489e-07,2.218921e-07,2.215609e-07,2.209774e-07,2.208657e-07,2.201645e-07,2.200518e-07,2.194584e-07,2.191179e-07,2.187482e-07,2.181778e-07,2.180350e-07,2.173195e-07,2.172336e-07,2.166026e-07,2.162869e-07,2.158850e-07,2.153396e-07,2.151674e-07,2.144503e-07,2.143930e-07,2.137345e-07,2.134486e-07,2.130204e-07,2.125076e-07,2.123086e-07,2.115994e-07,2.115711e-07,2.108935e-07,2.106402e-07,2.101910e-07,2.097156e-07,2.094925e-07,2.087983e-07,2.078889e-07,2.069882e-07,2.060967e-07,2.052149e-07,2.043432e-07,2.034822e-07,2.026321e-07,2.017932e-07,2.009658e-07,2.001501e-07,1.993462e-07,1.985545e-07,1.977749e-07,1.970075e-07,1.962525e-07,1.955099e-07,1.947797e-07,1.940618e-07,1.933564e-07,1.926633e-07,1.919825e-07,1.913139e-07,1.906576e-07,1.900133e-07
0.000000e+00,2.982333e-11,6.965696e-11,2.449595e-10,5.649520e-10,8.301505e-10,1.924113e-09,1.984007e-09,3.943648e-09,4.673168e-09,6.969445e-09,9.370242e-09,1.121564e-08,1.615434e-08,1.662664e-08,2.305789e-08,2.473892e-08,3.038737e-08,3.484831e-08,3.852004e-08,4.627184e-08,4.736849e-08,5.684139e-08,5.880234e-08,6.684007e-08,7.221263e-08,7.726001e-08,8.625977e-08,8.799387e-08,9.893566e-08,1.006988e-07,1.099842e-07,1.152976e-07,1.210459e-07,1.298480e-07,1.320369e-07,1.428838e-07,1.441727e-07,1.535242e-07,1.581270e-07,1.639069e-07,1.716000e-07,1.739912e-07,1.837455e-07,1.845108e-07,1.931465e-07,1.968042e-07,2.021782e-07,2.084465e-07,2.108306e-07,2.190987e-07,2.194214e-07,2.269816e-07,2.297256e-07,2.344819e-07,2.393661e-07,2.416047e-07,2.483573e-07,2.547483e-07,2.567186e-07,2.607876e-07,2.644733e-07,2.664862e-07,2.716466e-07,2.718552e-07,2.769063e-07,2.782653e-07,2.816514e-07,2.843565e-07,2.861024e-07,2.899477e-07,2.902711e-07,2.941692e-07,2.950658e-07,2.978083e-07,2.997372e-07,3.011995e-07,3.039875e-07,3.043539e-07,3.072820e-07,3.078415e-07,3.099944e-07,3.113228e-07,3.125009e-07,3.144544e-07,3.148112e-07,3.169347e-07,3.172578e-07,3.188804e-07,3.197536e-07,3.206567e-07,3.219616e-07,3.222722e-07,3.237347e-07,3.239002e-07,3.250518e-07,3.255872e-07,3.262309e-07,3.270391e-07,3.272791e-07,3.282030e-07,3.282717e-07,3.290090e-07,3.292999e-07,3.297034e-07,3.301376e-07,3.302920e-07,3.307805e-07,3.307980e-07,3.311741e-07,3.312936e-07,3.314781e-07,3.316361e-07,3.316974e-07,3.318365e-07,3.319000e-07,3.319051e-07,3.318922e-07,3.318516e-07,3.318170e-07,3.316851e-07,3.316784e-07,3.314800e-07,3.314142e-07,3.312254e-07,3.310470e-07,3.309179e-07,3.305910e-07,3.305607e-07,3.301568e-07,3.300532e-07,3.297091e-07,3.294404e-07,3.292205e-07,3.287586e-07,3.286934e-07,3.281304e-07,3.280137e-07,3.275339e-07,3.272112e-07,3.269061e-07,3.263561e-07,3.262491e-07,3.255651e-07,3.254533e-07,3.248559e-07,3.245071e-07,3.241234e-07,3.235218e-07,3.233693e-07,3.225954e-07,3.225013e-07,3.218031e-07,3.214491e-07,3.209941e-07,3.203688e-07,3.201696e-07,3.193312e-07,3.192635e-07,3.184799e-07,3.181361e-07,3.176172e-07,3.169895e-07,3.167441e-07,3.158617e-07,3.158262e-07,3.149711e-07,3.146486e-07,3.140732e-07,3.134590e-07,3.131690e-07,3.122594e-07,3.110518e-07,3.098380e-07,3.086196e-07,3.073984e-07,3.061755e-07,3.049526e-07,3.037306e-07,3.025109e-07,3.012945e-07,3.000824e-07,2.988754e-07,2.976744e-07,2.964802e-07,2.952935e-07,2.941149e-07,2.929450e-07,2.917843e-07,2.906334e-07,2.894927e-07,2.883625e-07,2.872434e-07,2.861355e-07,2.850392e-07,2.839547e-07
0.000000e+00,3.046485e-13,1.994285e-12,3.191538e-11,1.964530e-10,4.481358e-10,2.602507e-09,2.771088e-09,1.095756e-08,1.523964e-08,3.272063e-08,5.729944e-08,8.063869e-08,1.633970e-07,1.729496e-07,3.340410e-07,3.862200e-07,5.946721e-07,7.976697e-07,9.919004e-07,1.488353e-06,1.568561e-06,2.372009e-06,2.564272e-06,3.451823e-06,4.138769e-06,4.856381e-06,6.318886e-06,6.628688e-06,8.802231e-06,9.188815e-06,1.139770e-05,1.279575e-05,1.442115e-05,1.714259e-05,1.786373e-05,2.170283e-05,2.218865e-05,2.590427e-05,2.785683e-05,3.042492e-05,3.404399e-05,3.521560e-05,4.022375e-05,4.063219e-05,4.539583e-05,4.749872e-05,5.067928e-05,5.452408e-05,5.602402e-05,6.138357e-05,6.159765e-05,6.671576e-05,6.862129e-05,7.198315e-05,7.551116e-05,7.715320e-05,8.219824e-05,8.709522e-05,8.862783e-05,9.182554e-05,9.475860e-05,9.637464e-05,1.005611e-04,1.007316e-04,1.048889e-04,1.060165e-04,1.088418e-04,1.111144e-04,1.125880e-04,1.158519e-04,1.161275e-04,1.194620e-04,1.202321e-04,1.225947e-04,1.242624e-04,1.255300e-04,1.279541e-04,1.282734e-04,1.308309e-04,1.313207e-04,1.332094e-04,1.343778e-04,1.354159e-04,1.371419e-04,1.374579e-04,1.393429e-04,1.396304e-04,1.410784e-04,1.418606e-04,1.426721e-04,1.438499e-04,1.441314e-04,1.454636e-04,1.456152e-04,1.466758e-04,1.471729e-04,1.477749e-04,1.485387e-04,1.487676e-04,1.496603e-04,1.497276e-04,1.504591e-04,1.507536e-04,1.511698e-04,1.516302e-04,1.517981e-04,1.523492e-04,1.523697e-04,1.528282e-04,1.529838e-04,1.532398e-04,1.534835e-04,1.535885e-04,1.538787e-04,1.541143e-04,1.541788e-04,1.542992e-04,1.543925e-04,1.544369e-04,1.545278e-04,1.545308e-04,1.545841e-04,1.545921e-04,1.545997e-04,1.545922e-04,1.545805e-04,1.545344e-04,1.545292e-04,1.544481e-04,1.544244e-04,1.543396e-04,1.542677e-04,1.542059e-04,1.540690e-04,1.540490e-04,1.538709e-04,1.538329e-04,1.536733e-04,1.535634e-04,1.534580e-04,1.532645e-04,1.532264e-04,1.529801e-04,1.529394e-04,1.527205e-04,1.525915e-04,1.524488e-04,1.522235e-04,1.521662e-04,1.518739e-04,1.518382e-04,1.515729e-04,1.514380e-04,1.512643e-04,1.510251e-04,1.509488e-04,1.506274e-04,1.506015e-04,1.503010e-04,1.501691e-04,1.499701e-04,1.497296e-04,1.496356e-04,1.492980e-04,1.492844e-04,1.489580e-04,1.488351e-04,1.486161e-04,1.483828e-04,1.482728e-04,1.479287e-04,1.474738e-04,1.470191e-04,1.465655e-04,1.461136e-04,1.456642e-04,1.452180e-04,1.447753e-04,1.443368e-04,1.439029e-04,1.434739e-04,1.430503e-04,1.426322e-04,1.422201e-04,1.418140e-04,1.414141e-04,1.410208e-04,1.406340e-04,1.402538e-04,1.398805e-04,1.395140e-04,1.391544e-04,1.388017e-04,1.384559e-04,1.381171e-04
0.000000e+00,3.458691e-11,1.063175e-10,4.965977e-10,1.293179e-09,1.977963e-09,4.837076e-09,4.992900e-09,9.988752e-09,1.179832e-08,1.736960e-08,2.310156e-08,2.751513e-08,3.960054e-08,4.078492e-08,5.748543e-08,6.202651e-08,7.777405e-08,9.067454e-08,1.015413e-07,1.250354e-07,1.284060e-07,1.578532e-07,1.640067e-07,1.893727e-07,2.064285e-07,2.225096e-07,2.512995e-07,2.568622e-07,2.920642e-07,2.977522e-07,3.277730e-07,3.449974e-07,3.636643e-07,3.923021e-07,3.994315e-07,4.347886e-07,4.389912e-07,4.694735e-07,4.844604e-07,5.032518e-07,5.281906e-07,5.359200e-07,5.673064e-07,5.697576e-07,5.972726e-07,6.088365e-07,6.257123e-07,6.452002e-07,6.525501e-07,6.777390e-07,6.787119e-07,7.012577e-07,7.093152e-07,7.231075e-07,7.370220e-07,7.433091e-07,7.618993e-07,7.789278e-07,7.840567e-07,7.944547e-07,8.036348e-07,8.085474e-07,8.207947e-07,8.212788e-07,8.327248e-07,8.357099e-07,8.429631e-07,8.485587e-07,8.520714e-07,8.595190e-07,8.601265e-07,8.672034e-07,8.687644e-07,8.733745e-07,8.764606e-07,8.787091e-07,8.827643e-07,8.832734e-07,8.871296e-07,8.878211e-07,8.903363e-07,8.917655e-07,8.929484e-07,8.947206e-07,8.950170e-07,8.965896e-07,8.967982e-07,8.977102e-07,8.980996e-07,8.984195e-07,8.987163e-07,8.987552e-07,8.987518e-07,8.987301e-07,8.984409e-07,8.982143e-07,8.978516e-07,8.972340e-07,8.970105e-07,8.959422e-07,8.958476e-07,8.946689e-07,8.941069e-07,8.932112e-07,8.920578e-07,8.915875e-07,8.898150e-07,8.897412e-07,8.879093e-07,8.871934e-07,8.858847e-07,8.844467e-07,8.837541e-07,8.815295e-07,8.792217e-07,8.784672e-07,8.768405e-07,8.752824e-07,8.743951e-07,8.719948e-07,8.718937e-07,8.693438e-07,8.686221e-07,8.667524e-07,8.651803e-07,8.641259e-07,8.616834e-07,8.614699e-07,8.587900e-07,8.581438e-07,8.560908e-07,8.545726e-07,8.533770e-07,8.509798e-07,8.506525e-07,8.479210e-07,8.473742e-07,8.451861e-07,8.437636e-07,8.424508e-07,8.401551e-07,8.397181e-07,8.369906e-07,8.365548e-07,8.342706e-07,8.329684e-07,8.315604e-07,8.294007e-07,8.288620e-07,8.261773e-07,8.258561e-07,8.235079e-07,8.223386e-07,8.208553e-07,8.188515e-07,8.182210e-07,8.156062e-07,8.153979e-07,8.130121e-07,8.119805e-07,8.104397e-07,8.086016e-07,8.078901e-07,8.053640e-07,8.052634e-07,8.028622e-07,8.019676e-07,8.003854e-07,7.987158e-07,7.979342e-07,7.955092e-07,7.923491e-07,7.892363e-07,7.861717e-07,7.831558e-07,7.801893e-07,7.772724e-07,7.744055e-07,7.715887e-07,7.688220e-07,7.661055e-07,7.634392e-07,7.608227e-07,7.582559e-07,7.557386e-07,7.532703e-07,7.508508e-07,7.484797e-07,7.461563e-07,7.438804e-07,7.416513e-07,7.394686e-07,7.373316e-07,7.352398e-07,7.331925e-07
0.000000e+00,9.525652e-13,6.051568e-12,9.103106e-11,5.297284e-10,1.171876e-09,6.291975e-09,6.678398e-09,2.447152e-08,3.335034e-08,6.810249e-08,1.146405e-07,1.573265e-07,3.019146e-07,3.181297e-07,5.825120e-07,6.654388e-07,9.879653e-07,1.292066e-06,1.576144e-06,2.278967e-06,2.389881e-06,3.468028e-06,3.718138e-06,4.838939e-06,5.672310e-06,6.514829e-06,8.154032e-06,8.489176e-06,1.073777e-05,1.112060e-05,1.322258e-05,1.448570e-05,1.589697e-05,1.813919e-05,1.871065e-05,2.161383e-05,2.196597e-05,2.456014e-05,2.585934e-05,2.750834e-05,2.972827e-05,3.042310e-05,3.327519e-05,3.349991e-05,3.604116e-05,3.711921e-05,3.870286e-05,4.054696e-05,4.124677e-05,4.366344e-05,4.375737e-05,4.594684e-05,4.673555e-05,4.809379e-05,4.947527e-05,5.010346e-05,5.197690e-05,5.371669e-05,5.424577e-05,5.532654e-05,5.629076e-05,5.681107e-05,5.812317e-05,5.817551e-05,5.942549e-05,5.975578e-05,6.056694e-05,6.120222e-05,6.160588e-05,6.247635e-05,6.254833e-05,6.340028e-05,6.359192e-05,6.416753e-05,6.456230e-05,6.485572e-05,6.540023e-05,6.547025e-05,6.601631e-05,6.611773e-05,6.649877e-05,6.672608e-05,6.692230e-05,6.723570e-05,6.729124e-05,6.760971e-05,6.765624e-05,6.788155e-05,6.799654e-05,6.811037e-05,6.826470e-05,6.829951e-05,6.845210e-05,6.846810e-05,6.857107e-05,6.861346e-05,6.865911e-05,6.870690e-05,6.871875e-05,6.875231e-05,6.875393e-05,6.876197e-05,6.875959e-05,6.874973e-05,6.872841e-05,6.871746e-05,6.866688e-05,6.866450e-05,6.859959e-05,6.857157e-05,6.851708e-05,6.845297e-05,6.842070e-05,6.831173e-05,6.819134e-05,6.815058e-05,6.806062e-05,6.797200e-05,6.792057e-05,6.777820e-05,6.777212e-05,6.761613e-05,6.757121e-05,6.745339e-05,6.735282e-05,6.728465e-05,6.712468e-05,6.711058e-05,6.693181e-05,6.688827e-05,6.674892e-05,6.664491e-05,6.656246e-05,6.639581e-05,6.637292e-05,6.618076e-05,6.614205e-05,6.598640e-05,6.588460e-05,6.579024e-05,6.562433e-05,6.559263e-05,6.539391e-05,6.536203e-05,6.519439e-05,6.509842e-05,6.499435e-05,6.483412e-05,6.479405e-05,6.459373e-05,6.456970e-05,6.439362e-05,6.430569e-05,6.419392e-05,6.404253e-05,6.399481e-05,6.379646e-05,6.378063e-05,6.359904e-05,6.352036e-05,6.340269e-05,6.326205e-05,6.320754e-05,6.301370e-05,6.300598e-05,6.282129e-05,6.275240e-05,6.263042e-05,6.250154e-05,6.244116e-05,6.225360e-05,6.200874e-05,6.176713e-05,6.152888e-05,6.129412e-05,6.106292e-05,6.083538e-05,6.061156e-05,6.039150e-05,6.017527e-05,5.996287e-05,5.975433e-05,5.954967e-05,5.934889e-05,5.915198e-05,5.895894e-05,5.876975e-05,5.858440e-05,5.840285e-05,5.822508e-05,5.805105e-05,5.788073e-05,5.771409e-05,5.755108e-05,5.739165e-05
0.000000e+00,5.358136e-11,1.256877e-10,4.472202e-10,1.047897e-09,1.557414e-09,3.755440e-09,3.879822e-09,8.139890e-09,9.805208e-09,1.524746e-08,2.115488e-08,2.578177e-08,3.831572e-08,3.951849e-08,5.587287e-08,6.013238e-08,7.438763e-08,8.558910e-08,9.477906e-08,1.141237e-07,1.168568e-07,1.404643e-07,1.453561e-07,1.654492e-07,1.789330e-07,1.916514e-07,2.144781e-07,2.189013e-07,2.470225e-07,2.515908e-07,2.758361e-07,2.898605e-07,3.051655e-07,3.288863e-07,3.348414e-07,3.647049e-07,3.682940e-07,3.946102e-07,4.077475e-07,4.244263e-07,4.469550e-07,4.540373e-07,4.833425e-07,4.856710e-07,5.122555e-07,5.236942e-07,5.407035e-07,5.608638e-07,5.686261e-07,5.959744e-07,5.970558e-07,6.227094e-07,6.321777e-07,6.487999e-07,6.661605e-07,6.742214e-07,6.989557e-07,7.229905e-07,7.305325e-07,7.463178e-07,7.608740e-07,7.689336e-07,7.899753e-07,7.908378e-07,8.120325e-07,8.178405e-07,8.325224e-07,8.444807e-07,8.523141e-07,8.699133e-07,8.714163e-07,8.898412e-07,8.941638e-07,9.076008e-07,9.172594e-07,9.247054e-07,9.392252e-07,9.411670e-07,9.569979e-07,9.600895e-07,9.722106e-07,9.798813e-07,9.868182e-07,9.986308e-07,1.000834e-06,1.014272e-06,1.016369e-06,1.027145e-06,1.033127e-06,1.039466e-06,1.048936e-06,1.051250e-06,1.062510e-06,1.063827e-06,1.073259e-06,1.077831e-06,1.083511e-06,1.090979e-06,1.093280e-06,1.102578e-06,1.103302e-06,1.111419e-06,1.114831e-06,1.119816e-06,1.125593e-06,1.127781e-06,1.135327e-06,1.135620e-06,1.142466e-06,1.144939e-06,1.149210e-06,1.153578e-06,1.155573e-06,1.161564e-06,1.167196e-06,1.168924e-06,1.172480e-06,1.175685e-06,1.177428e-06,1.181870e-06,1.182049e-06,1.186355e-06,1.187506e-06,1.190356e-06,1.192615e-06,1.194062e-06,1.197220e-06,1.197484e-06,1.200630e-06,1.201345e-06,1.203510e-06,1.205010e-06,1.206134e-06,1.208237e-06,1.208510e-06,1.210647e-06,1.211047e-06,1.212555e-06,1.213458e-06,1.214240e-06,1.215490e-06,1.215712e-06,1.216977e-06,1.217161e-06,1.218045e-06,1.218489e-06,1.218922e-06,1.219491e-06,1.219615e-06,1.220133e-06,1.220183e-06,1.220480e-06,1.220582e-06,1.220666e-06,1.220701e-06,1.220695e-06,1.220574e-06,1.220558e-06,1.220309e-06,1.220164e-06,1.219906e-06,1.219534e-06,1.219372e-06,1.218710e-06,1.218681e-06,1.217928e-06,1.217618e-06,1.217031e-06,1.216357e-06,1.216022e-06,1.214908e-06,1.213284e-06,1.211495e-06,1.209551e-06,1.207462e-06,1.205237e-06,1.202886e-06,1.200416e-06,1.197837e-06,1.195155e-06,1.192379e-06,1.189516e-06,1.186573e-06,1.183555e-06,1.180470e-06,1.177323e-06,1.174121e-06,1.170867e-06,1.167569e-06,1.164230e-06,1.160855e-06,1.157448e-06,1.154015e-06,1.150559e-06,1.147083e-06
0.000000e+00,1.556289e-11,6.996632e-11,5.522702e-10,1.932099e-09,3.327286e-09,1.016414e-08,1.056799e-08,2.457162e-08,3.003489e-08,4.781811e-08,6.734454e-08,8.306225e-08,1.283022e-07,1.328622e-07,1.983536e-07,2.163404e-07,2.786435e-07,3.293434e-07,3.717668e-07,4.627827e-07,4.757845e-07,5.891046e-07,6.127632e-07,7.103696e-07,7.761443e-07,8.383069e-07,9.500000e-07,9.716434e-07,1.109081e-06,1.131365e-06,1.249312e-06,1.317233e-06,1.391042e-06,1.504670e-06,1.533032e-06,1.674123e-06,1.690943e-06,1.813268e-06,1.873632e-06,1.949543e-06,2.050705e-06,2.082164e-06,2.210484e-06,2.220548e-06,2.333992e-06,2.381959e-06,2.452306e-06,2.534120e-06,2.565157e-06,2.672383e-06,2.676554e-06,2.773909e-06,2.809061e-06,2.869735e-06,2.931671e-06,2.959924e-06,3.044585e-06,3.123870e-06,3.148134e-06,3.197958e-06,3.242738e-06,3.267048e-06,3.328872e-06,3.331355e-06,3.391101e-06,3.407044e-06,3.446513e-06,3.477773e-06,3.497816e-06,3.541577e-06,3.545232e-06,3.588981e-06,3.598958e-06,3.629272e-06,3.650401e-06,3.666310e-06,3.696367e-06,3.700289e-06,3.731395e-06,3.737287e-06,3.759803e-06,3.773565e-06,3.785680e-06,3.805576e-06,3.809183e-06,3.830462e-06,3.833669e-06,3.849655e-06,3.858165e-06,3.866893e-06,3.879360e-06,3.882301e-06,3.895993e-06,3.897526e-06,3.908078e-06,3.912912e-06,3.918657e-06,3.925749e-06,3.927826e-06,3.935674e-06,3.936247e-06,3.942283e-06,3.944598e-06,3.947733e-06,3.950981e-06,3.952097e-06,3.955442e-06,3.955556e-06,3.957834e-06,3.958473e-06,3.959332e-06,3.959869e-06,3.959993e-06,3.959870e-06,3.959012e-06,3.958590e-06,3.957466e-06,3.956135e-06,3.955275e-06,3.952604e-06,3.952481e-06,3.949122e-06,3.948085e-06,3.945234e-06,3.942661e-06,3.940851e-06,3.936409e-06,3.936005e-06,3.930727e-06,3.929399e-06,3.925045e-06,3.921696e-06,3.918984e-06,3.913358e-06,3.912571e-06,3.905829e-06,3.904443e-06,3.898780e-06,3.895000e-06,3.891445e-06,3.885078e-06,3.883845e-06,3.875997e-06,3.874720e-06,3.867920e-06,3.863966e-06,3.859630e-06,3.852855e-06,3.851143e-06,3.842474e-06,3.841422e-06,3.833636e-06,3.829698e-06,3.824644e-06,3.817715e-06,3.815510e-06,3.806246e-06,3.805499e-06,3.796862e-06,3.793078e-06,3.787371e-06,3.780475e-06,3.777781e-06,3.768103e-06,3.767714e-06,3.758345e-06,3.754814e-06,3.748516e-06,3.741796e-06,3.738625e-06,3.728678e-06,3.715477e-06,3.702207e-06,3.688885e-06,3.675524e-06,3.662137e-06,3.648735e-06,3.635330e-06,3.621931e-06,3.608549e-06,3.595193e-06,3.581870e-06,3.568589e-06,3.555357e-06,3.542179e-06,3.529064e-06,3.516015e-06,3.503040e-06,3.490141e-06,3.477325e-06,3.464595e-06,3.451955e-06,3.439408e-06,3.426959e-06,3.414609e-06
0.000000e+00,7.301037e-14,4.893356e-13,8.225915e-12,5.297136e-11,1.238766e-10,7.672195e-10,8.190586e-10,3.451777e-09,4.884052e-09,1.094677e-08,1.983900e-08,2.854401e-08,6.070959e-08,6.451980e-08,1.308055e-07,1.529159e-07,2.434509e-07,3.342168e-07,4.228920e-07,6.556902e-07,6.939848e-07,1.085758e-06,1.181412e-06,1.630845e-06,1.986535e-06,2.364587e-06,3.153690e-06,3.323866e-06,4.545747e-06,4.768041e-06,6.066065e-06,6.911716e-06,7.918061e-06,9.658392e-06,1.013115e-05,1.272991e-05,1.306863e-05,1.573323e-05,1.718637e-05,1.915384e-05,2.203665e-05,2.299795e-05,2.726522e-05,2.762472e-05,3.194886e-05,3.393621e-05,3.703600e-05,4.093841e-05,4.250815e-05,4.834177e-05,4.858225e-05,5.450898e-05,5.680488e-05,6.097829e-05,6.553254e-05,6.771534e-05,7.468365e-05,8.184542e-05,8.417176e-05,8.916213e-05,9.390834e-05,9.659528e-05,1.038054e-04,1.041069e-04,1.116601e-04,1.137775e-04,1.192194e-04,1.237438e-04,1.267512e-04,1.336293e-04,1.342243e-04,1.416093e-04,1.433656e-04,1.488798e-04,1.528921e-04,1.560117e-04,1.621560e-04,1.629836e-04,1.697766e-04,1.711123e-04,1.763746e-04,1.797238e-04,1.827637e-04,1.879606e-04,1.889324e-04,1.948716e-04,1.958001e-04,2.005742e-04,2.032257e-04,2.060348e-04,2.102269e-04,2.112502e-04,2.162185e-04,2.167981e-04,2.209394e-04,2.229384e-04,2.254139e-04,2.286509e-04,2.296440e-04,2.336329e-04,2.339417e-04,2.373846e-04,2.388199e-04,2.409038e-04,2.432967e-04,2.441960e-04,2.472670e-04,2.473853e-04,2.501232e-04,2.511001e-04,2.527712e-04,2.544565e-04,2.552180e-04,2.574706e-04,2.595364e-04,2.601592e-04,2.614226e-04,2.625390e-04,2.631366e-04,2.646267e-04,2.646856e-04,2.660769e-04,2.664392e-04,2.673176e-04,2.679927e-04,2.684148e-04,2.693033e-04,2.693753e-04,2.702059e-04,2.703867e-04,2.709131e-04,2.712577e-04,2.715033e-04,2.719308e-04,2.719827e-04,2.723573e-04,2.724201e-04,2.726327e-04,2.727387e-04,2.728147e-04,2.728992e-04,2.729085e-04,2.729193e-04,2.729137e-04,2.728521e-04,2.727935e-04,2.727115e-04,2.725493e-04,2.725022e-04,2.722284e-04,2.721914e-04,2.718943e-04,2.717292e-04,2.715039e-04,2.711719e-04,2.710610e-04,2.705692e-04,2.705279e-04,2.700320e-04,2.698051e-04,2.694525e-04,2.690110e-04,2.688340e-04,2.681794e-04,2.681525e-04,2.674915e-04,2.672362e-04,2.667729e-04,2.662681e-04,2.660263e-04,2.652540e-04,2.641990e-04,2.631082e-04,2.619860e-04,2.608367e-04,2.596643e-04,2.584724e-04,2.572645e-04,2.560435e-04,2.548125e-04,2.535740e-04,2.523305e-04,2.510843e-04,2.498375e-04,2.485919e-04,2.473492e-04,2.461112e-04,2.448792e-04,2.436545e-04,2.424384e-04,2.412319e-04,2.400359e-04,2.388515e-04,2.376794e-04,2.365202e-04
0.000000e+00,2.985887e-11,6.924298e-11,2.416881e-10,5.544894e-10,8.119641e-10,1.857603e-09,1.914120e-09,3.728510e-09,4.390504e-09,6.452383e-09,8.613168e-09,1.030308e-08,1.502818e-08,1.549753e-08,2.218950e-08,2.402383e-08,3.040012e-08,3.562649e-08,4.002824e-08,4.955634e-08,5.092632e-08,6.295321e-08,6.548291e-08,7.598522e-08,8.312164e-08,8.991030e-08,1.022189e-07,1.046211e-07,1.200108e-07,1.225290e-07,1.359722e-07,1.438051e-07,1.523976e-07,1.658004e-07,1.691806e-07,1.862179e-07,1.882747e-07,2.034108e-07,2.110009e-07,2.206669e-07,2.337709e-07,2.379008e-07,2.550357e-07,2.564000e-07,2.720025e-07,2.787285e-07,2.887412e-07,3.006224e-07,3.052000e-07,3.213344e-07,3.219725e-07,3.371077e-07,3.426917e-07,3.524898e-07,3.627136e-07,3.674566e-07,3.819896e-07,3.960749e-07,4.004860e-07,4.097030e-07,4.181822e-07,4.228679e-07,4.350678e-07,4.355668e-07,4.477995e-07,4.511413e-07,4.595679e-07,4.664078e-07,4.708761e-07,4.808778e-07,4.817295e-07,4.921349e-07,4.945664e-07,5.021003e-07,5.074919e-07,5.116344e-07,5.196749e-07,5.207464e-07,5.294461e-07,5.311375e-07,5.377438e-07,5.419032e-07,5.456499e-07,5.519963e-07,5.531752e-07,5.603306e-07,5.614418e-07,5.671267e-07,5.702645e-07,5.735745e-07,5.784893e-07,5.796849e-07,5.854685e-07,5.861411e-07,5.909360e-07,5.932443e-07,5.960979e-07,5.998229e-07,6.009645e-07,6.055460e-07,6.059005e-07,6.098524e-07,6.115001e-07,6.138935e-07,6.166441e-07,6.176788e-07,6.212176e-07,6.213542e-07,6.245192e-07,6.256515e-07,6.275925e-07,6.295563e-07,6.304461e-07,6.330886e-07,6.355281e-07,6.362672e-07,6.377728e-07,6.391107e-07,6.398303e-07,6.416366e-07,6.417083e-07,6.434142e-07,6.438620e-07,6.449550e-07,6.458032e-07,6.463378e-07,6.474761e-07,6.475691e-07,6.486556e-07,6.488955e-07,6.496036e-07,6.500761e-07,6.504190e-07,6.510317e-07,6.511079e-07,6.516759e-07,6.517755e-07,6.521286e-07,6.523201e-07,6.524712e-07,6.526779e-07,6.527091e-07,6.528471e-07,6.528602e-07,6.528900e-07,6.528783e-07,6.528426e-07,6.527425e-07,6.527092e-07,6.524942e-07,6.524632e-07,6.522019e-07,6.520497e-07,6.518361e-07,6.515113e-07,6.514007e-07,6.508996e-07,6.508568e-07,6.503362e-07,6.500943e-07,6.497141e-07,6.492317e-07,6.490366e-07,6.483068e-07,6.482766e-07,6.475279e-07,6.472360e-07,6.467028e-07,6.461168e-07,6.458343e-07,6.449253e-07,6.436676e-07,6.423494e-07,6.409763e-07,6.395533e-07,6.380854e-07,6.365772e-07,6.350330e-07,6.334570e-07,6.318530e-07,6.302247e-07,6.285756e-07,6.269089e-07,6.252276e-07,6.235346e-07,6.218327e-07,6.201243e-07,6.184117e-07,6.166974e-07,6.149831e-07,6.132710e-07,6.115629e-07,6.098603e-07,6.081648e-07,6.064780e-07
0.000000e+00,6.116413e-12,3.511428e-11,4.312155e-10,2.104388e-09,4.242433e-09,1.814410e-08,1.908838e-08,5.685829e-08,7.346850e-08,1.319586e-07,2.013642e-07,2.598841e-07,4.378483e-07,4.564775e-07,7.376321e-07,8.194423e-07,1.118975e-06,1.381784e-06,1.615008e-06,2.155810e-06,2.237468e-06,2.993520e-06,3.161008e-06,3.884896e-06,4.401007e-06,4.908469e-06,5.865720e-06,6.057708e-06,7.324096e-06,7.536962e-06,8.698102e-06,9.392911e-06,1.016967e-05,1.141020e-05,1.172841e-05,1.336370e-05,1.356456e-05,1.506470e-05,1.583115e-05,1.682052e-05,1.818493e-05,1.862031e-05,2.045344e-05,2.060122e-05,2.230961e-05,2.305633e-05,2.417905e-05,2.552808e-05,2.605257e-05,2.792171e-05,2.799627e-05,2.977874e-05,3.044295e-05,3.161676e-05,3.285258e-05,3.342963e-05,3.521202e-05,3.695934e-05,3.751043e-05,3.866774e-05,3.973918e-05,4.033401e-05,4.189158e-05,4.195556e-05,4.353033e-05,4.396266e-05,4.505678e-05,4.594897e-05,4.653378e-05,4.784832e-05,4.796061e-05,4.933687e-05,4.965963e-05,5.066244e-05,5.138267e-05,5.193747e-05,5.301795e-05,5.316229e-05,5.433744e-05,5.456656e-05,5.546358e-05,5.603006e-05,5.654150e-05,5.741035e-05,5.757211e-05,5.855636e-05,5.870961e-05,5.949531e-05,5.993023e-05,6.039003e-05,6.107472e-05,6.124165e-05,6.205131e-05,6.214571e-05,6.282019e-05,6.314588e-05,6.354946e-05,6.407794e-05,6.424030e-05,6.489389e-05,6.494460e-05,6.551140e-05,6.574856e-05,6.609399e-05,6.649248e-05,6.664282e-05,6.715901e-05,6.717899e-05,6.764368e-05,6.781066e-05,6.809793e-05,6.838998e-05,6.852282e-05,6.891942e-05,6.928874e-05,6.940133e-05,6.963180e-05,6.983803e-05,6.994958e-05,7.023174e-05,7.024303e-05,7.051308e-05,7.058462e-05,7.076064e-05,7.089875e-05,7.098660e-05,7.117613e-05,7.119181e-05,7.137710e-05,7.141870e-05,7.154329e-05,7.162830e-05,7.169115e-05,7.180673e-05,7.182146e-05,7.193495e-05,7.195569e-05,7.203233e-05,7.207683e-05,7.211430e-05,7.217173e-05,7.218152e-05,7.223466e-05,7.224189e-05,7.227433e-05,7.228877e-05,7.230114e-05,7.231373e-05,7.231569e-05,7.231853e-05,7.231811e-05,7.231022e-05,7.230317e-05,7.229129e-05,7.227011e-05,7.226225e-05,7.222358e-05,7.222009e-05,7.217578e-05,7.215420e-05,7.211929e-05,7.207348e-05,7.205455e-05,7.198201e-05,7.197895e-05,7.190206e-05,7.187154e-05,7.181511e-05,7.175217e-05,7.172153e-05,7.162169e-05,7.148092e-05,7.133064e-05,7.117158e-05,7.100446e-05,7.082993e-05,7.064863e-05,7.046116e-05,7.026807e-05,7.006992e-05,6.986721e-05,6.966041e-05,6.944999e-05,6.923638e-05,6.901997e-05,6.880116e-05,6.858029e-05,6.835772e-05,6.813376e-05,6.790872e-05,6.768286e-05,6.745647e-05,6.722979e-05,6.700305e-05,6.677647e-05
0.000000e+00,1.687235e-10,6.460235e-10,3.997127e-09,1.208889e-08,1.963778e-08,5.413719e-08,5.611818e-08,1.237195e-07,1.499274e-07,2.356422e-07,3.310134e-07,4.088519e-07,6.376886e-07,6.610881e-07,1.001435e-06,1.095737e-06,1.422595e-06,1.687087e-06,1.906459e-06,2.369582e-06,2.434841e-06,2.994043e-06,3.108682e-06,3.574456e-06,3.882245e-06,4.169025e-06,4.675242e-06,4.772096e-06,5.378753e-06,5.475846e-06,5.984493e-06,6.273678e-06,6.585114e-06,7.059284e-06,7.176701e-06,7.755660e-06,7.824131e-06,8.318799e-06,8.560840e-06,8.863348e-06,9.263321e-06,9.386976e-06,9.887816e-06,9.926853e-06,1.036444e-05,1.054808e-05,1.081586e-05,1.112490e-05,1.124144e-05,1.164092e-05,1.165636e-05,1.201434e-05,1.214244e-05,1.236200e-05,1.258396e-05,1.268443e-05,1.298223e-05,1.325624e-05,1.333905e-05,1.350735e-05,1.365651e-05,1.373656e-05,1.393693e-05,1.394487e-05,1.413335e-05,1.418271e-05,1.430305e-05,1.439630e-05,1.445503e-05,1.458010e-05,1.459033e-05,1.470996e-05,1.473645e-05,1.481490e-05,1.486760e-05,1.490609e-05,1.497569e-05,1.498444e-05,1.505083e-05,1.506274e-05,1.510606e-05,1.513064e-05,1.515092e-05,1.518114e-05,1.518616e-05,1.521245e-05,1.521588e-05,1.523047e-05,1.523636e-05,1.524082e-05,1.524398e-05,1.524409e-05,1.524082e-05,1.524001e-05,1.523152e-05,1.522564e-05,1.521666e-05,1.520192e-05,1.519669e-05,1.517203e-05,1.516986e-05,1.514306e-05,1.513035e-05,1.511015e-05,1.508421e-05,1.507365e-05,1.503385e-05,1.503220e-05,1.499107e-05,1.497499e-05,1.494557e-05,1.491321e-05,1.489761e-05,1.484743e-05,1.479525e-05,1.477816e-05,1.474128e-05,1.470588e-05,1.468570e-05,1.463101e-05,1.462871e-05,1.457045e-05,1.455394e-05,1.451110e-05,1.447502e-05,1.445079e-05,1.439457e-05,1.438965e-05,1.432781e-05,1.431288e-05,1.426539e-05,1.423021e-05,1.420248e-05,1.414680e-05,1.413919e-05,1.407561e-05,1.406287e-05,1.401183e-05,1.397861e-05,1.394792e-05,1.389419e-05,1.388395e-05,1.382000e-05,1.380977e-05,1.375612e-05,1.372550e-05,1.369237e-05,1.364150e-05,1.362880e-05,1.356546e-05,1.355788e-05,1.350241e-05,1.347476e-05,1.343966e-05,1.339221e-05,1.337727e-05,1.331527e-05,1.331033e-05,1.325369e-05,1.322918e-05,1.319256e-05,1.314883e-05,1.313190e-05,1.307174e-05,1.306934e-05,1.301209e-05,1.299075e-05,1.295299e-05,1.291311e-05,1.289444e-05,1.283646e-05,1.276082e-05,1.268623e-05,1.261272e-05,1.254029e-05,1.246896e-05,1.239875e-05,1.232967e-05,1.226172e-05,1.219491e-05,1.212923e-05,1.206470e-05,1.200131e-05,1.193904e-05,1.187791e-05,1.181790e-05,1.175901e-05,1.170123e-05,1.164454e-05,1.158894e-05,1.153441e-05,1.148095e-05,1.142854e-05,1.137717e-05,1.132683e-05
0.000000e+00,2.452952e-11,5.723791e-11,1.996274e-10,4.547798e-10,6.626093e-10,1.493338e-09,1.537773e-09,2.946708e-09,3.454059e-09,5.017736e-09,6.635886e-09,7.890487e-09,1.136370e-08,1.170666e-08,1.657198e-08,1.789926e-08,2.249155e-08,2.622349e-08,2.933670e-08,3.595858e-08,3.689604e-08,4.495573e-08,4.661146e-08,5.333973e-08,5.778097e-08,6.191151e-08,6.917760e-08,7.056348e-08,7.920700e-08,8.058395e-08,8.776605e-08,9.182452e-08,9.617405e-08,1.027521e-07,1.043725e-07,1.123104e-07,1.132433e-07,1.199447e-07,1.231982e-07,1.272399e-07,1.325402e-07,1.341684e-07,1.407097e-07,1.412159e-07,1.468507e-07,1.491933e-07,1.525846e-07,1.564600e-07,1.579102e-07,1.628312e-07,1.630198e-07,1.673558e-07,1.688897e-07,1.714952e-07,1.740970e-07,1.752633e-07,1.786760e-07,1.817506e-07,1.826660e-07,1.845053e-07,1.861090e-07,1.869588e-07,1.890481e-07,1.891297e-07,1.910368e-07,1.915260e-07,1.926983e-07,1.935846e-07,1.941317e-07,1.952635e-07,1.953539e-07,1.963812e-07,1.966005e-07,1.972290e-07,1.976308e-07,1.979117e-07,1.983867e-07,1.984429e-07,1.988351e-07,1.988979e-07,1.991000e-07,1.991912e-07,1.992487e-07,1.992912e-07,1.992912e-07,1.992371e-07,1.992200e-07,1.990949e-07,1.989977e-07,1.988725e-07,1.986419e-07,1.985774e-07,1.982163e-07,1.981688e-07,1.977954e-07,1.975928e-07,1.973206e-07,1.969268e-07,1.967970e-07,1.962295e-07,1.961824e-07,1.956227e-07,1.953698e-07,1.949805e-07,1.944983e-07,1.943067e-07,1.936048e-07,1.935761e-07,1.928779e-07,1.926107e-07,1.921289e-07,1.916084e-07,1.913606e-07,1.905753e-07,1.897754e-07,1.895166e-07,1.889628e-07,1.884370e-07,1.881395e-07,1.873406e-07,1.873071e-07,1.864674e-07,1.862312e-07,1.856218e-07,1.851121e-07,1.847716e-07,1.839864e-07,1.839180e-07,1.830622e-07,1.828566e-07,1.822053e-07,1.817252e-07,1.813481e-07,1.805943e-07,1.804916e-07,1.796365e-07,1.794658e-07,1.787837e-07,1.783413e-07,1.779337e-07,1.772223e-07,1.770871e-07,1.762447e-07,1.761103e-07,1.754067e-07,1.750063e-07,1.745738e-07,1.739113e-07,1.737463e-07,1.729246e-07,1.728264e-07,1.721091e-07,1.717523e-07,1.713001e-07,1.706898e-07,1.704979e-07,1.697027e-07,1.696394e-07,1.689148e-07,1.686017e-07,1.681343e-07,1.675771e-07,1.673615e-07,1.665965e-07,1.665661e-07,1.658394e-07,1.655689e-07,1.650905e-07,1.645859e-07,1.643497e-07,1.636172e-07,1.626632e-07,1.617238e-07,1.607993e-07,1.598897e-07,1.589950e-07,1.581153e-07,1.572505e-07,1.564006e-07,1.555656e-07,1.547454e-07,1.539399e-07,1.531490e-07,1.523726e-07,1.516106e-07,1.508628e-07,1.501290e-07,1.494093e-07,1.487032e-07,1.480108e-07,1.473318e-07,1.466661e-07,1.460135e-07,1.453737e-07,1.447466e-07
0.000000e+00,2.538655e-12,5.810151e-12,1.991358e-11,4.508899e-11,6.556942e-11,1.472236e-10,1.515797e-10,2.889458e-10,3.380170e-10,4.878714e-10,6.407788e-10,7.579095e-10,1.076636e-09,1.107737e-09,1.544120e-09,1.662162e-09,2.069918e-09,2.402639e-09,2.682425e-09,3.287212e-09,3.374066e-09,4.134879e-09,4.294425e-09,4.954487e-09,5.400562e-09,5.822828e-09,6.582811e-09,6.730232e-09,7.667363e-09,7.819456e-09,8.625208e-09,9.089780e-09,9.595138e-09,1.037429e-08,1.056901e-08,1.153929e-08,1.165515e-08,1.249913e-08,1.291655e-08,1.344244e-08,1.414502e-08,1.436394e-08,1.525917e-08,1.532954e-08,1.612447e-08,1.646152e-08,1.695690e-08,1.753465e-08,1.775427e-08,1.851499e-08,1.854464e-08,1.923803e-08,1.948900e-08,1.992290e-08,2.036672e-08,2.056947e-08,2.117798e-08,2.174898e-08,2.192389e-08,2.228323e-08,2.260630e-08,2.278170e-08,2.322759e-08,2.324549e-08,2.367582e-08,2.379049e-08,2.407397e-08,2.429797e-08,2.444128e-08,2.475313e-08,2.477911e-08,2.508883e-08,2.515913e-08,2.537182e-08,2.551911e-08,2.562941e-08,2.583615e-08,2.586295e-08,2.607371e-08,2.611325e-08,2.626296e-08,2.635327e-08,2.643190e-08,2.655897e-08,2.658169e-08,2.671345e-08,2.673293e-08,2.682824e-08,2.687761e-08,2.692709e-08,2.699534e-08,2.701097e-08,2.708081e-08,2.708829e-08,2.713749e-08,2.715848e-08,2.718185e-08,2.720781e-08,2.721467e-08,2.723672e-08,2.723804e-08,2.724871e-08,2.725084e-08,2.725131e-08,2.724774e-08,2.724517e-08,2.723088e-08,2.723015e-08,2.720903e-08,2.719941e-08,2.718014e-08,2.715674e-08,2.714472e-08,2.710326e-08,2.705621e-08,2.704005e-08,2.700400e-08,2.696806e-08,2.694702e-08,2.688820e-08,2.688566e-08,2.682027e-08,2.680129e-08,2.675119e-08,2.670810e-08,2.667873e-08,2.660934e-08,2.660319e-08,2.652485e-08,2.650566e-08,2.644397e-08,2.639766e-08,2.636080e-08,2.628589e-08,2.627556e-08,2.618848e-08,2.617087e-08,2.609977e-08,2.605305e-08,2.600960e-08,2.593287e-08,2.591816e-08,2.582562e-08,2.581072e-08,2.573213e-08,2.568697e-08,2.563785e-08,2.556194e-08,2.554291e-08,2.544743e-08,2.543594e-08,2.535154e-08,2.530925e-08,2.525536e-08,2.518212e-08,2.515898e-08,2.506250e-08,2.505478e-08,2.496602e-08,2.492744e-08,2.486962e-08,2.480030e-08,2.477338e-08,2.467737e-08,2.467353e-08,2.458166e-08,2.454729e-08,2.448631e-08,2.442171e-08,2.439139e-08,2.429694e-08,2.417308e-08,2.405024e-08,2.392852e-08,2.380800e-08,2.368875e-08,2.357084e-08,2.345433e-08,2.333927e-08,2.322570e-08,2.311366e-08,2.300319e-08,2.289430e-08,2.278703e-08,2.268139e-08,2.257740e-08,2.247506e-08,2.237438e-08,2.227537e-08,2.217803e-08,2.208235e-08,2.198834e-08,2.189598e-08,2.180527e-08,2.171619e-08
0.000000e+00,7.056017e-12,1.622890e-11,5.608117e-11,1.279248e-10,1.868648e-10,4.254259e-10,4.382991e-10,8.510820e-10,1.001549e-09,1.469732e-09,1.958877e-09,2.339465e-09,3.388949e-09,3.491792e-09,4.929897e-09,5.315781e-09,6.636106e-09,7.700412e-09,8.588418e-09,1.049418e-08,1.076693e-08,1.315325e-08,1.365383e-08,1.572880e-08,1.713636e-08,1.847380e-08,2.089498e-08,2.136691e-08,2.438549e-08,2.487854e-08,2.750602e-08,2.903309e-08,3.070470e-08,3.330408e-08,3.395800e-08,3.724320e-08,3.763853e-08,4.053890e-08,4.198718e-08,4.382534e-08,4.630574e-08,4.708461e-08,5.030085e-08,5.055586e-08,5.346025e-08,5.470539e-08,5.655103e-08,5.872826e-08,5.956326e-08,6.248883e-08,6.260396e-08,6.532148e-08,6.631753e-08,6.805643e-08,6.985858e-08,7.069023e-08,7.322063e-08,7.564636e-08,7.640040e-08,7.796702e-08,7.939724e-08,8.018295e-08,8.221257e-08,8.229508e-08,8.430486e-08,8.484950e-08,8.621413e-08,8.731233e-08,8.802505e-08,8.960631e-08,8.974004e-08,9.136171e-08,9.173733e-08,9.289282e-08,9.371174e-08,9.433622e-08,9.553616e-08,9.569481e-08,9.697156e-08,9.721735e-08,9.816943e-08,9.876213e-08,9.929137e-08,1.001773e-07,1.003403e-07,1.013191e-07,1.014694e-07,1.022307e-07,1.026451e-07,1.030777e-07,1.037108e-07,1.038630e-07,1.045892e-07,1.046725e-07,1.052588e-07,1.055362e-07,1.058744e-07,1.063076e-07,1.064384e-07,1.069531e-07,1.069922e-07,1.074208e-07,1.075953e-07,1.078438e-07,1.081218e-07,1.082241e-07,1.085638e-07,1.085765e-07,1.088648e-07,1.089641e-07,1.091291e-07,1.092888e-07,1.093585e-07,1.095548e-07,1.097196e-07,1.097659e-07,1.098545e-07,1.099259e-07,1.099611e-07,1.100383e-07,1.100410e-07,1.100955e-07,1.101064e-07,1.101260e-07,1.101334e-07,1.101339e-07,1.101221e-07,1.101203e-07,1.100866e-07,1.100756e-07,1.100338e-07,1.099963e-07,1.099631e-07,1.098868e-07,1.098755e-07,1.097720e-07,1.097495e-07,1.096537e-07,1.095866e-07,1.095214e-07,1.094002e-07,1.093761e-07,1.092184e-07,1.091922e-07,1.090494e-07,1.089644e-07,1.088697e-07,1.087188e-07,1.086801e-07,1.084812e-07,1.084568e-07,1.082738e-07,1.081800e-07,1.080585e-07,1.078899e-07,1.078358e-07,1.076064e-07,1.075878e-07,1.073708e-07,1.072750e-07,1.071296e-07,1.069526e-07,1.068831e-07,1.066320e-07,1.066218e-07,1.063766e-07,1.062837e-07,1.061173e-07,1.059391e-07,1.058547e-07,1.055889e-07,1.052342e-07,1.048755e-07,1.045137e-07,1.041495e-07,1.037834e-07,1.034161e-07,1.030481e-07,1.026799e-07,1.023121e-07,1.019449e-07,1.015789e-07,1.012144e-07,1.008517e-07,1.004912e-07,1.001331e-07,9.977767e-08,9.942521e-08,9.907590e-08,9.872993e-08,9.838750e-08,9.804875e-08,9.771383e-08,9.738287e-08,9.705599e-08
0.000000e+00,5.348782e-12,1.226861e-11,4.223284e-11,9.603742e-11,1.400279e-10,3.169558e-10,3.264565e-10,6.288980e-10,7.381894e-10,1.075658e-09,1.425262e-09,1.696234e-09,2.444529e-09,2.518209e-09,3.558770e-09,3.841310e-09,4.816971e-09,5.611078e-09,6.277111e-09,7.712655e-09,7.918516e-09,9.721171e-09,1.009941e-08,1.166658e-08,1.272872e-08,1.373703e-08,1.555999e-08,1.591494e-08,1.818253e-08,1.855247e-08,2.052187e-08,2.166498e-08,2.291510e-08,2.485669e-08,2.534471e-08,2.779389e-08,2.808835e-08,3.024685e-08,3.132353e-08,3.268894e-08,3.452946e-08,3.510692e-08,3.748901e-08,3.767771e-08,3.982499e-08,4.074445e-08,4.210608e-08,4.371034e-08,4.432500e-08,4.647581e-08,4.656035e-08,4.855382e-08,4.928337e-08,5.055551e-08,5.187175e-08,5.247837e-08,5.432071e-08,5.608163e-08,5.662789e-08,5.776099e-08,5.879312e-08,5.935915e-08,6.081777e-08,6.087695e-08,6.231563e-08,6.270449e-08,6.367675e-08,6.445693e-08,6.496210e-08,6.607940e-08,6.617366e-08,6.731360e-08,6.757677e-08,6.838416e-08,6.895424e-08,6.938769e-08,7.021722e-08,7.032655e-08,7.120316e-08,7.137122e-08,7.201992e-08,7.242177e-08,7.277922e-08,7.337437e-08,7.348344e-08,7.413491e-08,7.423440e-08,7.473592e-08,7.500715e-08,7.528872e-08,7.569771e-08,7.579548e-08,7.625834e-08,7.631103e-08,7.667935e-08,7.685186e-08,7.706053e-08,7.732477e-08,7.740380e-08,7.771104e-08,7.773412e-08,7.798405e-08,7.808406e-08,7.822457e-08,7.837858e-08,7.843428e-08,7.861479e-08,7.862142e-08,7.876764e-08,7.881618e-08,7.889432e-08,7.896625e-08,7.899627e-08,7.907484e-08,7.913136e-08,7.914499e-08,7.916707e-08,7.917957e-08,7.918319e-08,7.918128e-08,7.918085e-08,7.916117e-08,7.915269e-08,7.912519e-08,7.909619e-08,7.907391e-08,7.901406e-08,7.900831e-08,7.892929e-08,7.890842e-08,7.883772e-08,7.878128e-08,7.873445e-08,7.863451e-08,7.862026e-08,7.849591e-08,7.846988e-08,7.836212e-08,7.828905e-08,7.821957e-08,7.809355e-08,7.806893e-08,7.791080e-08,7.788485e-08,7.774579e-08,7.766429e-08,7.757444e-08,7.743316e-08,7.739729e-08,7.721485e-08,7.719263e-08,7.702760e-08,7.694380e-08,7.683599e-08,7.668771e-08,7.664045e-08,7.644139e-08,7.642532e-08,7.623919e-08,7.615752e-08,7.603423e-08,7.588514e-08,7.582685e-08,7.561737e-08,7.560895e-08,7.540611e-08,7.532967e-08,7.519335e-08,7.504797e-08,7.497938e-08,7.476445e-08,7.447968e-08,7.419420e-08,7.390847e-08,7.362296e-08,7.333806e-08,7.305415e-08,7.277158e-08,7.249066e-08,7.221168e-08,7.193489e-08,7.166054e-08,7.138884e-08,7.111997e-08,7.085413e-08,7.059145e-08,7.033207e-08,7.007613e-08,6.982371e-08,6.957492e-08,6.932983e-08,6.908851e-08,6.885102e-08,6.861740e-08,6.838769e-08
0.000000e+00,2.760163e-12,1.874540e-11,3.240499e-10,2.141833e-09,5.082214e-09,3.270925e-08,3.497487e-08,1.533223e-07,2.193269e-07,5.054994e-07,9.374794e-07,1.369560e-06,3.015929e-06,3.214850e-06,6.765155e-06,7.979168e-06,1.306295e-05,1.830285e-05,2.353090e-05,3.765557e-05,4.002576e-05,6.487869e-05,7.109222e-05,1.009166e-04,1.251602e-04,1.514615e-04,2.078931e-04,2.203077e-04,3.116780e-04,3.286897e-04,4.301632e-04,4.980923e-04,5.806469e-04,7.274895e-04,7.682203e-04,9.980888e-04,1.028764e-03,1.275475e-03,1.413910e-03,1.605523e-03,1.894643e-03,1.993197e-03,2.443194e-03,2.482019e-03,2.959856e-03,3.186078e-03,3.547088e-03,4.015526e-03,4.208296e-03,4.946323e-03,4.977476e-03,5.763406e-03,6.077236e-03,6.661141e-03,7.318171e-03,7.640459e-03,8.701619e-03,9.844210e-03,1.022688e-02,1.106716e-02,1.189126e-02,1.236876e-02,1.369016e-02,1.374671e-02,1.519812e-02,1.561722e-02,1.671959e-02,1.766451e-02,1.830725e-02,1.982269e-02,1.995683e-02,2.166366e-02,2.208128e-02,2.342282e-02,2.442887e-02,2.522910e-02,2.685335e-02,2.707714e-02,2.896143e-02,2.934214e-02,3.087638e-02,3.188242e-02,3.281640e-02,3.446131e-02,3.477591e-02,3.674939e-02,3.706608e-02,3.873144e-02,3.968431e-02,4.071678e-02,4.230401e-02,4.270034e-02,4.467722e-02,4.491377e-02,4.664276e-02,4.750286e-02,4.859254e-02,5.006126e-02,5.052239e-02,5.242844e-02,5.257978e-02,5.430706e-02,5.505008e-02,5.615493e-02,5.746464e-02,5.796901e-02,5.974652e-02,5.981683e-02,6.148500e-02,6.210087e-02,6.318224e-02,6.431182e-02,6.483632e-02,6.644555e-02,6.800854e-02,6.849872e-02,6.952409e-02,7.046870e-02,7.099126e-02,7.235356e-02,7.240933e-02,7.377778e-02,7.415200e-02,7.509626e-02,7.586331e-02,7.636465e-02,7.748731e-02,7.758294e-02,7.875131e-02,7.902433e-02,7.987008e-02,8.047508e-02,8.093968e-02,8.184070e-02,8.196067e-02,8.293372e-02,8.312264e-02,8.385957e-02,8.432265e-02,8.473908e-02,8.544271e-02,8.557315e-02,8.636276e-02,8.648504e-02,8.710894e-02,8.745199e-02,8.781277e-02,8.834608e-02,8.847535e-02,8.909783e-02,8.916989e-02,8.968139e-02,8.992613e-02,9.022720e-02,9.061751e-02,9.073647e-02,9.121038e-02,9.124681e-02,9.165017e-02,9.181679e-02,9.205701e-02,9.233022e-02,9.243211e-02,9.277666e-02,9.278982e-02,9.309182e-02,9.319831e-02,9.337875e-02,9.355832e-02,9.363859e-02,9.387244e-02,9.414320e-02,9.437304e-02,9.456434e-02,9.471938e-02,9.484036e-02,9.492941e-02,9.498855e-02,9.501973e-02,9.502480e-02,9.500553e-02,9.496360e-02,9.490060e-02,9.481807e-02,9.471743e-02,9.460003e-02,9.446718e-02,9.432008e-02,9.415989e-02,9.398769e-02,9.380449e-02,9.361126e-02,9.340890e-02,9.319825e-02,9.298011e-02
0.000000e+00,5.691174e-11,2.835210e-10,2.673080e-09,1.060726e-08,1.933869e-08,6.632047e-08,6.922421e-08,1.741883e-07,2.165434e-07,3.571725e-07,5.144783e-07,6.425657e-07,1.018173e-06,1.056688e-06,1.626931e-06,1.789903e-06,2.377954e-06,2.883800e-06,3.325197e-06,4.322745e-06,4.470358e-06,5.803288e-06,6.091037e-06,7.307998e-06,8.152665e-06,8.967509e-06,1.046939e-05,1.076583e-05,1.268809e-05,1.300620e-05,1.472010e-05,1.573037e-05,1.684800e-05,1.861018e-05,1.905814e-05,2.133711e-05,2.161458e-05,2.367187e-05,2.471360e-05,2.604994e-05,2.787897e-05,2.845956e-05,3.088980e-05,3.108481e-05,3.333068e-05,3.430795e-05,3.577317e-05,3.752821e-05,3.820924e-05,4.063180e-05,4.072833e-05,4.303466e-05,4.389381e-05,4.541247e-05,4.701275e-05,4.776073e-05,5.007557e-05,5.235379e-05,5.307463e-05,5.459272e-05,5.600401e-05,5.679021e-05,5.885919e-05,5.894451e-05,6.105425e-05,6.163684e-05,6.311837e-05,6.433461e-05,6.513609e-05,6.695095e-05,6.710687e-05,6.903037e-05,6.948495e-05,7.090641e-05,7.193626e-05,7.273498e-05,7.430493e-05,7.451618e-05,7.625021e-05,7.659138e-05,7.793737e-05,7.879630e-05,7.957805e-05,8.092063e-05,8.117270e-05,8.272182e-05,8.296548e-05,8.422595e-05,8.493213e-05,8.568569e-05,8.682195e-05,8.710168e-05,8.847455e-05,8.863643e-05,8.980500e-05,9.037714e-05,9.109373e-05,9.204570e-05,9.234145e-05,9.354889e-05,9.364377e-05,9.471680e-05,9.517306e-05,9.584592e-05,9.663529e-05,9.693700e-05,9.799082e-05,9.803220e-05,9.900811e-05,9.936555e-05,9.998966e-05,1.006371e-04,1.009362e-04,1.018486e-04,1.027274e-04,1.030017e-04,1.035735e-04,1.040982e-04,1.043877e-04,1.051399e-04,1.051706e-04,1.059230e-04,1.061283e-04,1.066457e-04,1.070652e-04,1.073392e-04,1.079523e-04,1.080045e-04,1.086421e-04,1.087911e-04,1.092528e-04,1.095832e-04,1.098372e-04,1.103302e-04,1.103960e-04,1.109299e-04,1.110337e-04,1.114395e-04,1.116951e-04,1.119255e-04,1.123160e-04,1.123885e-04,1.128292e-04,1.128976e-04,1.132481e-04,1.134416e-04,1.136458e-04,1.139492e-04,1.140230e-04,1.143803e-04,1.144218e-04,1.147181e-04,1.148607e-04,1.150371e-04,1.152672e-04,1.153378e-04,1.156207e-04,1.156426e-04,1.158864e-04,1.159879e-04,1.161353e-04,1.163045e-04,1.163681e-04,1.165851e-04,1.165934e-04,1.167869e-04,1.168559e-04,1.169739e-04,1.170929e-04,1.171466e-04,1.173055e-04,1.174947e-04,1.176616e-04,1.178071e-04,1.179321e-04,1.180376e-04,1.181243e-04,1.181932e-04,1.182451e-04,1.182807e-04,1.183009e-04,1.183063e-04,1.182977e-04,1.182758e-04,1.182413e-04,1.181948e-04,1.181368e-04,1.180681e-04,1.179892e-04,1.179007e-04,1.178031e-04,1.176968e-04,1.175825e-04,1.174606e-04,1.173316e-04
0.000000e+00,2.049005e-13,1.347935e-12,2.180176e-11,1.355992e-10,3.112120e-10,1.839378e-09,1.960059e-09,7.916551e-09,1.108276e-08,2.423576e-08,4.316866e-08,6.150075e-08,1.285333e-07,1.364379e-07,2.736719e-07,3.194448e-07,5.071773e-07,6.958530e-07,8.804341e-07,1.364776e-06,1.444281e-06,2.252415e-06,2.447946e-06,3.355688e-06,4.060626e-06,4.796709e-06,6.290835e-06,6.605885e-06,8.799368e-06,9.186295e-06,1.137877e-05,1.275096e-05,1.433227e-05,1.694909e-05,1.763658e-05,2.125935e-05,2.171369e-05,2.516171e-05,2.695632e-05,2.930059e-05,3.257655e-05,3.363080e-05,3.810680e-05,3.846983e-05,4.268404e-05,4.453369e-05,4.732009e-05,5.067211e-05,5.197536e-05,5.661368e-05,5.679839e-05,6.120258e-05,6.283686e-05,6.571347e-05,6.872355e-05,7.012165e-05,7.440620e-05,7.854989e-05,7.984377e-05,8.253887e-05,8.500557e-05,8.636247e-05,8.987026e-05,9.001288e-05,9.348489e-05,9.442463e-05,9.677556e-05,9.866245e-05,9.988395e-05,1.025833e-04,1.028108e-04,1.055584e-04,1.061915e-04,1.081300e-04,1.094949e-04,1.105302e-04,1.125045e-04,1.127639e-04,1.148371e-04,1.152330e-04,1.167559e-04,1.176948e-04,1.185268e-04,1.199050e-04,1.201565e-04,1.216518e-04,1.218791e-04,1.230195e-04,1.236326e-04,1.242663e-04,1.251810e-04,1.253987e-04,1.264233e-04,1.265393e-04,1.273463e-04,1.277217e-04,1.281736e-04,1.287421e-04,1.289113e-04,1.295646e-04,1.296134e-04,1.301391e-04,1.303479e-04,1.306396e-04,1.309569e-04,1.310710e-04,1.314379e-04,1.314512e-04,1.317444e-04,1.318408e-04,1.319947e-04,1.321347e-04,1.321925e-04,1.323415e-04,1.324450e-04,1.324690e-04,1.325061e-04,1.325245e-04,1.325280e-04,1.325145e-04,1.325133e-04,1.324647e-04,1.324453e-04,1.323846e-04,1.323225e-04,1.322754e-04,1.321511e-04,1.321393e-04,1.319782e-04,1.319360e-04,1.317940e-04,1.316814e-04,1.315885e-04,1.313914e-04,1.313634e-04,1.311202e-04,1.310695e-04,1.308604e-04,1.307192e-04,1.305853e-04,1.303434e-04,1.302963e-04,1.299944e-04,1.299450e-04,1.296809e-04,1.295265e-04,1.293567e-04,1.290904e-04,1.290229e-04,1.286803e-04,1.286386e-04,1.283298e-04,1.281733e-04,1.279722e-04,1.276962e-04,1.276083e-04,1.272387e-04,1.272089e-04,1.268641e-04,1.267130e-04,1.264851e-04,1.262098e-04,1.261023e-04,1.257162e-04,1.257007e-04,1.253274e-04,1.251868e-04,1.249362e-04,1.246691e-04,1.245431e-04,1.241486e-04,1.236262e-04,1.231027e-04,1.225789e-04,1.220553e-04,1.215327e-04,1.210116e-04,1.204925e-04,1.199759e-04,1.194622e-04,1.189517e-04,1.184449e-04,1.179420e-04,1.174433e-04,1.169491e-04,1.164596e-04,1.159750e-04,1.154954e-04,1.150211e-04,1.145522e-04,1.140888e-04,1.136310e-04,1.131789e-04,1.127326e-04,1.122922e-04
0.000000e+00,1.695997e-11,7.631022e-11,6.002926e-10,2.082708e-09,3.563881e-09,1.065442e-08,1.106642e-08,2.500991e-08,3.030173e-08,4.709013e-08,6.492500e-08,7.894687e-08,1.183288e-07,1.222551e-07,1.787104e-07,1.943957e-07,2.498684e-07,2.965708e-07,3.367935e-07,4.263902e-07,4.395162e-07,5.564695e-07,5.813013e-07,6.843104e-07,7.535923e-07,8.184652e-07,9.325458e-07,9.541902e-07,1.087510e-06,1.108414e-06,1.215614e-06,1.274713e-06,1.336789e-06,1.428126e-06,1.450151e-06,1.555360e-06,1.567435e-06,1.652409e-06,1.692570e-06,1.741488e-06,1.804041e-06,1.822899e-06,1.897007e-06,1.902632e-06,1.964217e-06,1.989265e-06,2.024956e-06,2.064924e-06,2.079657e-06,2.128758e-06,2.130612e-06,2.172691e-06,2.187324e-06,2.211878e-06,2.236022e-06,2.246725e-06,2.277619e-06,2.304922e-06,2.312956e-06,2.328969e-06,2.342795e-06,2.350072e-06,2.367830e-06,2.368521e-06,2.384579e-06,2.388679e-06,2.398481e-06,2.405877e-06,2.410442e-06,2.419900e-06,2.420657e-06,2.429299e-06,2.431156e-06,2.436521e-06,2.439997e-06,2.442461e-06,2.446726e-06,2.447242e-06,2.450974e-06,2.451603e-06,2.453754e-06,2.454853e-06,2.455670e-06,2.456669e-06,2.456800e-06,2.457210e-06,2.457212e-06,2.456959e-06,2.456621e-06,2.456104e-06,2.455019e-06,2.454694e-06,2.452771e-06,2.452508e-06,2.450376e-06,2.449181e-06,2.447543e-06,2.445119e-06,2.444307e-06,2.440696e-06,2.440392e-06,2.436738e-06,2.435063e-06,2.432457e-06,2.429188e-06,2.427877e-06,2.423018e-06,2.422819e-06,2.417901e-06,2.415999e-06,2.412543e-06,2.408770e-06,2.406960e-06,2.401170e-06,2.395185e-06,2.393232e-06,2.389021e-06,2.384987e-06,2.382689e-06,2.376464e-06,2.376202e-06,2.369571e-06,2.367690e-06,2.362807e-06,2.358688e-06,2.355919e-06,2.349481e-06,2.348917e-06,2.341811e-06,2.340090e-06,2.334607e-06,2.330534e-06,2.327315e-06,2.320831e-06,2.319942e-06,2.312495e-06,2.310997e-06,2.304980e-06,2.301048e-06,2.297404e-06,2.290998e-06,2.289774e-06,2.282094e-06,2.280861e-06,2.274370e-06,2.270649e-06,2.266608e-06,2.260374e-06,2.258813e-06,2.250988e-06,2.250047e-06,2.243138e-06,2.239678e-06,2.235269e-06,2.229277e-06,2.227383e-06,2.219484e-06,2.218852e-06,2.211576e-06,2.208411e-06,2.203663e-06,2.197964e-06,2.195748e-06,2.187833e-06,2.187516e-06,2.179922e-06,2.177075e-06,2.172017e-06,2.166647e-06,2.164121e-06,2.156238e-06,2.145853e-06,2.135497e-06,2.125176e-06,2.114894e-06,2.104655e-06,2.094463e-06,2.084321e-06,2.074233e-06,2.064202e-06,2.054231e-06,2.044322e-06,2.034478e-06,2.024701e-06,2.014994e-06,2.005358e-06,1.995795e-06,1.986306e-06,1.976894e-06,1.967558e-06,1.958302e-06,1.949125e-06,1.940028e-06,1.931013e-06,1.922080e-06
0.000000e+00,1.501981e-11,3.554303e-11,1.260824e-10,2.899925e-10,4.242071e-10,9.632506e-10,9.921417e-10,1.908772e-09,2.238640e-09,3.253209e-09,4.298658e-09,5.105487e-09,7.319335e-09,7.536246e-09,1.058040e-08,1.140109e-08,1.421784e-08,1.649286e-08,1.839040e-08,2.245216e-08,2.303180e-08,2.808087e-08,2.913463e-08,3.348168e-08,3.641125e-08,3.918048e-08,4.415855e-08,4.512365e-08,5.125698e-08,5.225231e-08,5.752593e-08,6.056732e-08,6.387657e-08,6.898066e-08,7.025658e-08,7.661644e-08,7.737604e-08,8.291034e-08,8.564795e-08,8.909698e-08,9.370454e-08,9.514002e-08,1.010084e-07,1.014695e-07,1.066763e-07,1.088826e-07,1.121233e-07,1.158992e-07,1.173336e-07,1.222960e-07,1.224893e-07,1.270036e-07,1.286352e-07,1.314529e-07,1.343304e-07,1.356433e-07,1.395772e-07,1.432589e-07,1.443847e-07,1.466945e-07,1.487675e-07,1.498914e-07,1.527438e-07,1.528582e-07,1.556041e-07,1.563346e-07,1.581387e-07,1.595622e-07,1.604721e-07,1.624499e-07,1.626145e-07,1.645758e-07,1.650207e-07,1.663662e-07,1.672978e-07,1.679953e-07,1.693031e-07,1.694727e-07,1.708075e-07,1.710581e-07,1.720083e-07,1.725827e-07,1.730837e-07,1.738959e-07,1.740416e-07,1.748895e-07,1.750155e-07,1.756347e-07,1.759578e-07,1.762838e-07,1.767383e-07,1.768433e-07,1.773192e-07,1.773709e-07,1.777170e-07,1.778688e-07,1.780422e-07,1.782438e-07,1.782997e-07,1.784941e-07,1.785071e-07,1.786298e-07,1.786686e-07,1.787110e-07,1.787378e-07,1.787414e-07,1.787246e-07,1.787230e-07,1.786639e-07,1.786320e-07,1.785626e-07,1.784719e-07,1.784235e-07,1.782494e-07,1.780428e-07,1.779703e-07,1.778062e-07,1.776401e-07,1.775418e-07,1.772637e-07,1.772517e-07,1.769378e-07,1.768459e-07,1.766020e-07,1.763908e-07,1.762461e-07,1.759022e-07,1.758715e-07,1.754800e-07,1.753836e-07,1.750727e-07,1.748383e-07,1.746511e-07,1.742693e-07,1.742165e-07,1.737699e-07,1.736792e-07,1.733124e-07,1.730706e-07,1.728451e-07,1.724457e-07,1.723689e-07,1.718848e-07,1.718066e-07,1.713935e-07,1.711554e-07,1.708958e-07,1.704936e-07,1.703925e-07,1.698843e-07,1.698230e-07,1.693718e-07,1.691451e-07,1.688556e-07,1.684612e-07,1.683363e-07,1.678144e-07,1.677725e-07,1.672904e-07,1.670803e-07,1.667647e-07,1.663855e-07,1.662379e-07,1.657104e-07,1.656892e-07,1.651824e-07,1.649923e-07,1.646544e-07,1.642955e-07,1.641267e-07,1.635996e-07,1.629054e-07,1.622133e-07,1.615241e-07,1.608382e-07,1.601561e-07,1.594782e-07,1.588049e-07,1.581367e-07,1.574738e-07,1.568165e-07,1.561651e-07,1.555198e-07,1.548809e-07,1.542485e-07,1.536228e-07,1.530040e-07,1.523922e-07,1.517874e-07,1.511899e-07,1.505997e-07,1.500168e-07,1.494413e-07,1.488733e-07,1.483129e-07
0.000000e+00,2.985151e-11,6.875046e-11,2.377605e-10,5.432701e-10,7.951954e-10,1.829652e-09,1.886187e-09,3.738088e-09,4.431306e-09,6.643583e-09,9.029140e-09,1.092385e-08,1.624124e-08,1.676540e-08,2.406760e-08,2.600710e-08,3.255140e-08,3.771659e-08,4.195208e-08,5.083192e-08,5.208121e-08,6.280939e-08,6.501802e-08,7.403934e-08,8.004927e-08,8.568756e-08,9.573696e-08,9.767428e-08,1.099188e-07,1.118963e-07,1.223384e-07,1.283373e-07,1.348487e-07,1.448653e-07,1.473649e-07,1.598036e-07,1.612872e-07,1.720848e-07,1.774190e-07,1.841333e-07,1.930920e-07,1.958803e-07,2.072640e-07,2.081574e-07,2.182319e-07,2.224925e-07,2.287401e-07,2.360012e-07,2.387533e-07,2.482444e-07,2.486129e-07,2.571942e-07,2.602811e-07,2.655909e-07,2.709817e-07,2.734292e-07,2.807095e-07,2.874375e-07,2.894753e-07,2.936228e-07,2.973027e-07,2.992789e-07,3.042262e-07,3.044223e-07,3.090711e-07,3.102867e-07,3.132445e-07,3.155293e-07,3.169641e-07,3.200040e-07,3.202516e-07,3.231293e-07,3.237615e-07,3.256196e-07,3.268533e-07,3.277448e-07,3.293303e-07,3.295267e-07,3.309865e-07,3.312416e-07,3.321450e-07,3.326351e-07,3.330224e-07,3.335561e-07,3.336377e-07,3.340094e-07,3.340474e-07,3.341549e-07,3.341493e-07,3.340908e-07,3.338992e-07,3.338329e-07,3.333960e-07,3.333322e-07,3.327942e-07,3.324805e-07,3.320406e-07,3.313742e-07,3.311479e-07,3.301275e-07,3.300407e-07,3.289905e-07,3.285053e-07,3.277470e-07,3.267912e-07,3.264066e-07,3.249783e-07,3.249195e-07,3.234704e-07,3.229096e-07,3.218908e-07,3.207793e-07,3.202466e-07,3.185446e-07,3.167911e-07,3.162201e-07,3.149920e-07,3.138191e-07,3.131527e-07,3.113538e-07,3.112782e-07,3.093733e-07,3.088351e-07,3.074423e-07,3.062729e-07,3.054893e-07,3.036762e-07,3.035179e-07,3.015316e-07,3.010530e-07,2.995336e-07,2.984108e-07,2.975269e-07,2.957560e-07,2.955143e-07,2.934981e-07,2.930946e-07,2.914808e-07,2.904320e-07,2.894644e-07,2.877729e-07,2.874511e-07,2.854424e-07,2.851216e-07,2.834402e-07,2.824819e-07,2.814459e-07,2.798572e-07,2.794610e-07,2.774866e-07,2.772504e-07,2.755239e-07,2.746644e-07,2.735741e-07,2.721013e-07,2.716380e-07,2.697165e-07,2.695634e-07,2.678103e-07,2.670523e-07,2.659203e-07,2.645697e-07,2.640469e-07,2.621908e-07,2.621169e-07,2.603525e-07,2.596951e-07,2.585324e-07,2.573053e-07,2.567308e-07,2.549482e-07,2.526246e-07,2.503349e-07,2.480797e-07,2.458592e-07,2.436737e-07,2.415232e-07,2.394079e-07,2.373278e-07,2.352826e-07,2.332724e-07,2.312969e-07,2.293559e-07,2.274491e-07,2.255763e-07,2.237370e-07,2.219309e-07,2.201576e-07,2.184167e-07,2.167078e-07,2.150304e-07,2.133841e-07,2.117684e-07,2.101828e-07,2.086269e-07
0.000000e+00,4.156617e-13,2.741303e-12,4.456297e-11,2.783848e-10,6.403883e-10,3.805750e-09,4.056283e-09,1.645788e-08,2.306445e-08,5.054979e-08,9.015701e-08,1.285189e-07,2.687316e-07,2.852552e-07,5.717186e-07,6.671073e-07,1.057666e-06,1.449349e-06,1.831944e-06,2.834062e-06,2.998383e-06,4.666960e-06,5.070361e-06,6.942182e-06,8.395069e-06,9.911644e-06,1.298864e-05,1.363721e-05,1.814997e-05,1.894544e-05,2.344898e-05,2.626371e-05,2.950320e-05,3.485272e-05,3.625557e-05,4.362828e-05,4.455041e-05,5.152853e-05,5.514562e-05,5.985404e-05,6.640024e-05,6.849812e-05,7.735398e-05,7.806846e-05,8.631817e-05,8.991213e-05,9.529341e-05,1.017120e-04,1.041905e-04,1.129294e-04,1.132747e-04,1.214405e-04,1.244369e-04,1.296644e-04,1.350671e-04,1.375520e-04,1.450644e-04,1.521720e-04,1.543573e-04,1.588539e-04,1.629005e-04,1.650969e-04,1.706718e-04,1.708951e-04,1.762485e-04,1.776683e-04,1.811622e-04,1.839031e-04,1.856457e-04,1.894018e-04,1.897121e-04,1.933772e-04,1.941991e-04,1.966590e-04,1.983366e-04,1.995769e-04,2.018598e-04,2.021513e-04,2.044032e-04,2.048168e-04,2.063538e-04,2.072558e-04,2.080238e-04,2.092248e-04,2.094338e-04,2.106037e-04,2.107699e-04,2.115526e-04,2.119350e-04,2.122987e-04,2.127613e-04,2.128593e-04,2.132507e-04,2.132870e-04,2.134879e-04,2.135471e-04,2.135852e-04,2.135737e-04,2.135557e-04,2.134117e-04,2.133956e-04,2.131643e-04,2.130387e-04,2.128238e-04,2.125264e-04,2.123998e-04,2.119008e-04,2.118794e-04,2.113347e-04,2.111160e-04,2.107089e-04,2.102525e-04,2.100298e-04,2.093034e-04,2.085352e-04,2.082814e-04,2.077301e-04,2.071976e-04,2.068926e-04,2.060618e-04,2.060266e-04,2.051361e-04,2.048827e-04,2.042241e-04,2.036680e-04,2.032939e-04,2.024243e-04,2.023481e-04,2.013892e-04,2.011574e-04,2.004195e-04,1.998726e-04,1.994411e-04,1.985743e-04,1.984557e-04,1.974651e-04,1.972665e-04,1.964708e-04,1.959528e-04,1.954742e-04,1.946362e-04,1.944766e-04,1.934790e-04,1.933195e-04,1.924826e-04,1.920050e-04,1.914882e-04,1.906948e-04,1.904968e-04,1.895090e-04,1.893908e-04,1.885257e-04,1.880946e-04,1.875474e-04,1.868076e-04,1.865747e-04,1.856082e-04,1.855311e-04,1.846483e-04,1.842662e-04,1.836954e-04,1.830139e-04,1.827499e-04,1.818122e-04,1.817749e-04,1.808826e-04,1.805499e-04,1.799613e-04,1.793397e-04,1.790486e-04,1.781448e-04,1.769655e-04,1.758024e-04,1.746556e-04,1.735256e-04,1.724124e-04,1.713163e-04,1.702374e-04,1.691758e-04,1.681314e-04,1.671044e-04,1.660948e-04,1.651024e-04,1.641272e-04,1.631692e-04,1.622282e-04,1.613042e-04,1.603970e-04,1.595065e-04,1.586325e-04,1.577748e-04,1.569333e-04,1.561078e-04,1.552982e-04,1.545041e-04
0.000000e+00,1.295902e-12,8.316937e-12,1.278023e-10,7.586223e-10,1.696998e-09,9.384926e-09,9.973590e-09,3.769354e-08,5.181882e-08,1.082256e-07,1.856556e-07,2.580171e-07,5.095535e-07,5.382350e-07,1.014681e-06,1.166620e-06,1.764161e-06,2.333153e-06,2.866857e-06,4.188727e-06,4.397099e-06,6.415746e-06,6.882210e-06,8.965896e-06,1.051081e-05,1.207182e-05,1.511559e-05,1.574011e-05,1.996200e-05,2.068759e-05,2.471597e-05,2.717790e-05,2.997037e-05,3.450787e-05,3.568570e-05,4.181669e-05,4.257803e-05,4.831409e-05,5.127578e-05,5.512633e-05,6.048192e-05,6.220096e-05,6.948593e-05,7.007628e-05,7.693067e-05,7.994243e-05,8.448705e-05,8.997133e-05,9.211000e-05,9.975810e-05,1.000640e-04,1.073938e-04,1.101331e-04,1.149838e-04,1.201036e-04,1.224986e-04,1.299128e-04,1.372050e-04,1.395096e-04,1.443568e-04,1.488533e-04,1.513534e-04,1.579130e-04,1.581829e-04,1.648356e-04,1.666656e-04,1.713044e-04,1.750951e-04,1.775840e-04,1.831910e-04,1.836708e-04,1.895627e-04,1.909476e-04,1.952587e-04,1.983629e-04,2.007589e-04,2.054378e-04,2.060642e-04,2.111762e-04,2.121756e-04,2.160971e-04,2.185813e-04,2.208296e-04,2.246615e-04,2.253767e-04,2.297417e-04,2.304234e-04,2.339282e-04,2.358754e-04,2.379400e-04,2.410263e-04,2.417810e-04,2.454551e-04,2.458850e-04,2.489665e-04,2.504611e-04,2.523193e-04,2.547639e-04,2.555176e-04,2.585655e-04,2.588030e-04,2.614673e-04,2.625880e-04,2.642269e-04,2.661282e-04,2.668486e-04,2.693363e-04,2.694331e-04,2.716940e-04,2.725117e-04,2.739256e-04,2.753731e-04,2.760351e-04,2.780262e-04,2.799027e-04,2.804795e-04,2.816681e-04,2.827414e-04,2.833262e-04,2.848202e-04,2.848804e-04,2.863341e-04,2.867236e-04,2.876908e-04,2.884595e-04,2.889536e-04,2.900353e-04,2.901259e-04,2.912106e-04,2.914583e-04,2.922109e-04,2.927353e-04,2.931297e-04,2.938731e-04,2.939699e-04,2.947343e-04,2.948783e-04,2.954257e-04,2.957572e-04,2.960466e-04,2.965157e-04,2.965998e-04,2.970876e-04,2.971598e-04,2.975126e-04,2.976949e-04,2.978771e-04,2.981267e-04,2.981834e-04,2.984337e-04,2.984601e-04,2.986302e-04,2.987002e-04,2.987751e-04,2.988518e-04,2.988703e-04,2.989178e-04,2.989196e-04,2.989195e-04,2.989078e-04,2.988774e-04,2.988208e-04,2.987931e-04,2.986685e-04,2.986626e-04,2.985051e-04,2.984372e-04,2.983047e-04,2.981481e-04,2.980689e-04,2.977991e-04,2.973935e-04,2.969346e-04,2.964255e-04,2.958693e-04,2.952687e-04,2.946266e-04,2.939456e-04,2.932280e-04,2.924765e-04,2.916931e-04,2.908802e-04,2.900397e-04,2.891736e-04,2.882839e-04,2.873724e-04,2.864407e-04,2.854904e-04,2.845232e-04,2.835406e-04,2.825438e-04,2.815343e-04,2.805134e-04,2.794822e-04,2.784420e-04
0.000000e+00,5.115588e-12,3.065313e-11,4.095363e-10,2.146314e-09,4.489467e-09,2.096213e-08,2.212695e-08,7.113670e-08,9.368552e-08,1.759937e-07,2.776700e-07,3.657664e-07,6.428274e-07,6.724511e-07,1.129595e-06,1.265404e-06,1.769928e-06,2.219159e-06,2.620973e-06,3.558303e-06,3.700120e-06,5.012240e-06,5.302219e-06,6.550906e-06,7.435967e-06,8.301666e-06,9.922269e-06,1.024535e-05,1.236042e-05,1.271322e-05,1.462419e-05,1.575683e-05,1.701352e-05,1.899969e-05,1.950506e-05,2.207554e-05,2.238821e-05,2.470208e-05,2.586976e-05,2.736249e-05,2.939404e-05,3.003570e-05,3.270208e-05,3.291454e-05,3.534370e-05,3.638978e-05,3.794460e-05,3.978413e-05,4.049085e-05,4.297062e-05,4.306829e-05,4.537414e-05,4.621919e-05,4.769361e-05,4.921972e-05,4.992305e-05,5.205815e-05,5.409607e-05,5.472739e-05,5.603527e-05,5.722431e-05,5.787533e-05,5.954895e-05,5.961673e-05,6.126075e-05,6.170387e-05,6.280929e-05,6.369355e-05,6.426471e-05,6.552385e-05,6.562980e-05,6.690758e-05,6.720162e-05,6.810130e-05,6.873432e-05,6.921432e-05,7.012974e-05,7.025007e-05,7.121200e-05,7.139583e-05,7.210356e-05,7.254048e-05,7.292813e-05,7.357145e-05,7.368906e-05,7.438957e-05,7.449626e-05,7.503282e-05,7.532213e-05,7.562183e-05,7.605597e-05,7.615954e-05,7.664874e-05,7.670431e-05,7.709212e-05,7.727336e-05,7.749224e-05,7.776892e-05,7.785156e-05,7.817240e-05,7.819647e-05,7.845698e-05,7.856113e-05,7.870741e-05,7.886769e-05,7.892568e-05,7.911370e-05,7.912061e-05,7.927326e-05,7.932407e-05,7.940607e-05,7.948193e-05,7.951375e-05,7.959783e-05,7.965974e-05,7.967510e-05,7.970087e-05,7.971688e-05,7.972250e-05,7.972606e-05,7.972586e-05,7.971212e-05,7.970535e-05,7.968235e-05,7.965724e-05,7.963761e-05,7.958405e-05,7.957886e-05,7.950703e-05,7.948794e-05,7.942299e-05,7.937090e-05,7.932757e-05,7.923480e-05,7.922154e-05,7.910565e-05,7.908134e-05,7.898058e-05,7.891214e-05,7.884699e-05,7.872866e-05,7.870551e-05,7.855672e-05,7.853227e-05,7.840117e-05,7.832426e-05,7.823938e-05,7.810579e-05,7.807184e-05,7.789903e-05,7.787796e-05,7.772137e-05,7.764178e-05,7.753929e-05,7.739818e-05,7.735317e-05,7.716337e-05,7.714804e-05,7.697026e-05,7.689216e-05,7.677416e-05,7.663128e-05,7.657537e-05,7.637419e-05,7.636610e-05,7.617089e-05,7.609724e-05,7.596574e-05,7.582530e-05,7.575898e-05,7.555083e-05,7.527433e-05,7.499626e-05,7.471705e-05,7.443711e-05,7.415679e-05,7.387644e-05,7.359636e-05,7.331684e-05,7.303814e-05,7.276052e-05,7.248418e-05,7.220933e-05,7.193616e-05,7.166484e-05,7.139553e-05,7.112835e-05,7.086344e-05,7.060092e-05,7.034089e-05,7.008344e-05,6.982865e-05,6.957661e-05,6.932737e-05,6.908100e-05
0.000000e+00,7.905926e-13,5.192411e-12,8.368259e-11,5.184916e-10,1.187111e-09,6.962312e-09,7.416372e-09,2.963521e-08,4.134018e-08,8.946366e-08,1.577347e-07,2.230173e-07,4.568759e-07,4.840514e-07,9.460215e-07,1.096744e-06,1.701874e-06,2.293595e-06,2.860373e-06,4.306372e-06,4.539276e-06,6.857098e-06,7.407344e-06,9.925330e-06,1.185065e-05,1.384223e-05,1.784793e-05,1.868855e-05,2.452499e-05,2.555364e-05,3.139110e-05,3.505876e-05,3.930524e-05,4.639028e-05,4.826516e-05,5.824920e-05,5.951441e-05,6.921784e-05,7.434217e-05,8.111550e-05,9.073667e-05,9.387256e-05,1.074076e-04,1.085214e-04,1.216299e-04,1.274894e-04,1.364413e-04,1.474129e-04,1.517394e-04,1.674191e-04,1.680527e-04,1.833752e-04,1.891670e-04,1.995043e-04,2.105197e-04,2.157065e-04,2.318869e-04,2.479568e-04,2.530623e-04,2.638347e-04,2.738613e-04,2.794467e-04,2.941230e-04,2.947271e-04,3.096186e-04,3.137116e-04,3.240720e-04,3.325164e-04,3.380463e-04,3.504505e-04,3.515079e-04,3.644308e-04,3.674498e-04,3.767954e-04,3.834704e-04,3.885882e-04,3.984865e-04,3.998014e-04,4.104318e-04,4.124881e-04,4.204809e-04,4.254781e-04,4.299535e-04,4.374709e-04,4.388578e-04,4.472047e-04,4.484893e-04,4.550071e-04,4.585631e-04,4.622798e-04,4.677274e-04,4.690390e-04,4.753020e-04,4.760210e-04,4.810867e-04,4.834852e-04,4.864116e-04,4.901626e-04,4.912956e-04,4.957575e-04,4.960968e-04,4.998163e-04,5.013311e-04,5.034906e-04,5.059084e-04,5.067988e-04,5.097590e-04,5.098704e-04,5.123887e-04,5.132578e-04,5.147050e-04,5.161096e-04,5.167245e-04,5.184632e-04,5.199365e-04,5.203543e-04,5.211592e-04,5.218168e-04,5.221455e-04,5.228827e-04,5.229092e-04,5.234631e-04,5.235824e-04,5.238199e-04,5.239442e-04,5.239913e-04,5.239952e-04,5.239888e-04,5.238232e-04,5.237603e-04,5.235047e-04,5.232633e-04,5.230432e-04,5.225261e-04,5.224479e-04,5.217276e-04,5.215693e-04,5.208908e-04,5.204123e-04,5.199454e-04,5.190729e-04,5.188989e-04,5.177586e-04,5.175679e-04,5.165311e-04,5.159128e-04,5.152229e-04,5.141223e-04,5.138400e-04,5.123883e-04,5.122097e-04,5.108731e-04,5.101876e-04,5.092996e-04,5.080677e-04,5.076726e-04,5.059967e-04,5.058607e-04,5.042763e-04,5.035765e-04,5.025154e-04,5.012247e-04,5.007179e-04,4.988874e-04,4.988136e-04,4.970274e-04,4.963512e-04,4.951411e-04,4.938450e-04,4.932316e-04,4.913017e-04,4.887276e-04,4.861285e-04,4.835098e-04,4.808762e-04,4.782325e-04,4.755827e-04,4.729307e-04,4.702800e-04,4.676338e-04,4.649950e-04,4.623664e-04,4.597503e-04,4.571491e-04,4.545647e-04,4.519990e-04,4.494536e-04,4.469301e-04,4.444297e-04,4.419537e-04,4.395031e-04,4.370789e-04,4.346820e-04,4.323130e-04,4.299727e-04
0.000000e+00,1.669072e-10,6.936705e-10,4.845472e-09,1.574419e-08,2.633457e-08,7.668021e-08,7.962546e-08,1.817028e-07,2.217302e-07,3.531136e-07,4.988643e-07,6.167364e-07,9.549786e-07,9.888114e-07,1.466691e-06,1.595159e-06,2.031401e-06,2.377420e-06,2.661556e-06,3.256770e-06,3.340346e-06,4.055118e-06,4.201457e-06,4.795564e-06,5.187709e-06,5.552664e-06,6.195547e-06,6.318318e-06,7.085294e-06,7.207698e-06,7.847282e-06,8.209656e-06,8.598928e-06,9.189811e-06,9.335831e-06,1.005449e-05,1.013937e-05,1.075222e-05,1.105206e-05,1.142705e-05,1.192374e-05,1.207761e-05,1.270302e-05,1.275195e-05,1.330281e-05,1.353551e-05,1.387682e-05,1.427421e-05,1.442518e-05,1.494816e-05,1.496856e-05,1.544622e-05,1.561952e-05,1.591991e-05,1.622842e-05,1.636987e-05,1.679678e-05,1.720138e-05,1.732626e-05,1.758442e-05,1.781861e-05,1.794667e-05,1.827559e-05,1.828891e-05,1.861189e-05,1.869898e-05,1.891638e-05,1.909051e-05,1.920312e-05,1.945188e-05,1.947284e-05,1.972626e-05,1.978474e-05,1.996408e-05,2.009068e-05,2.018695e-05,2.037125e-05,2.039555e-05,2.059049e-05,2.062790e-05,2.077240e-05,2.086204e-05,2.094187e-05,2.107502e-05,2.109946e-05,2.124572e-05,2.126811e-05,2.138118e-05,2.144251e-05,2.150635e-05,2.159939e-05,2.162170e-05,2.172772e-05,2.173984e-05,2.182486e-05,2.186489e-05,2.191353e-05,2.197551e-05,2.199415e-05,2.206713e-05,2.207264e-05,2.213283e-05,2.215715e-05,2.219162e-05,2.222987e-05,2.224385e-05,2.228985e-05,2.229156e-05,2.232993e-05,2.234298e-05,2.236441e-05,2.238480e-05,2.239357e-05,2.241769e-05,2.243703e-05,2.244225e-05,2.245185e-05,2.245907e-05,2.246239e-05,2.246869e-05,2.246888e-05,2.247154e-05,2.247162e-05,2.247058e-05,2.246835e-05,2.246620e-05,2.245932e-05,2.245860e-05,2.244795e-05,2.244496e-05,2.243444e-05,2.242568e-05,2.241822e-05,2.240184e-05,2.239946e-05,2.237831e-05,2.237380e-05,2.235491e-05,2.234190e-05,2.232940e-05,2.230644e-05,2.230191e-05,2.227257e-05,2.226771e-05,2.224149e-05,2.222599e-05,2.220879e-05,2.218153e-05,2.217457e-05,2.213895e-05,2.213458e-05,2.210201e-05,2.208536e-05,2.206385e-05,2.203409e-05,2.202456e-05,2.198422e-05,2.198095e-05,2.194292e-05,2.192614e-05,2.190072e-05,2.186983e-05,2.185771e-05,2.181395e-05,2.181219e-05,2.176951e-05,2.175336e-05,2.172445e-05,2.169349e-05,2.167883e-05,2.163271e-05,2.157115e-05,2.150892e-05,2.144613e-05,2.138288e-05,2.131927e-05,2.125538e-05,2.119130e-05,2.112711e-05,2.106287e-05,2.099865e-05,2.093451e-05,2.087051e-05,2.080671e-05,2.074315e-05,2.067987e-05,2.061693e-05,2.055435e-05,2.049217e-05,2.043043e-05,2.036916e-05,2.030838e-05,2.024812e-05,2.018840e-05,2.012924e-05
0.000000e+00,1.647493e-11,3.806398e-11,1.322719e-10,3.031264e-10,4.441628e-10,1.022704e-09,1.054267e-09,2.084149e-09,2.467769e-09,3.687161e-09,4.998915e-09,6.043025e-09,9.007070e-09,9.302826e-09,1.349555e-08,1.463037e-08,1.851296e-08,2.162403e-08,2.419847e-08,2.964605e-08,3.041674e-08,3.706625e-08,3.844077e-08,4.406927e-08,4.782879e-08,5.136116e-08,5.766679e-08,5.888354e-08,6.658078e-08,6.782493e-08,7.439877e-08,7.817877e-08,8.228483e-08,8.860847e-08,9.018816e-08,9.806073e-08,9.900121e-08,1.058579e-07,1.092542e-07,1.135392e-07,1.192772e-07,1.210687e-07,1.284150e-07,1.289940e-07,1.355517e-07,1.383426e-07,1.424570e-07,1.472758e-07,1.491138e-07,1.555091e-07,1.557593e-07,1.616335e-07,1.637707e-07,1.674810e-07,1.712976e-07,1.730487e-07,1.783360e-07,1.833444e-07,1.848888e-07,1.880775e-07,1.909643e-07,1.925400e-07,1.965751e-07,1.967380e-07,2.006785e-07,2.017367e-07,2.043690e-07,2.064667e-07,2.078178e-07,2.107845e-07,2.110334e-07,2.140245e-07,2.147100e-07,2.168001e-07,2.182636e-07,2.193691e-07,2.214659e-07,2.217402e-07,2.239224e-07,2.243369e-07,2.259242e-07,2.268966e-07,2.277540e-07,2.291642e-07,2.294201e-07,2.309304e-07,2.311581e-07,2.322926e-07,2.328961e-07,2.335143e-07,2.343953e-07,2.346027e-07,2.355646e-07,2.356719e-07,2.364068e-07,2.367411e-07,2.371357e-07,2.376176e-07,2.377573e-07,2.382777e-07,2.383151e-07,2.387024e-07,2.388467e-07,2.390368e-07,2.392245e-07,2.392860e-07,2.394550e-07,2.394602e-07,2.395485e-07,2.395646e-07,2.395709e-07,2.395478e-07,2.395266e-07,2.394194e-07,2.392534e-07,2.391885e-07,2.390322e-07,2.388633e-07,2.387593e-07,2.384518e-07,2.384381e-07,2.380717e-07,2.379614e-07,2.376631e-07,2.373989e-07,2.372152e-07,2.367707e-07,2.367307e-07,2.362122e-07,2.360829e-07,2.356621e-07,2.353412e-07,2.350828e-07,2.345506e-07,2.344765e-07,2.338452e-07,2.337161e-07,2.331910e-07,2.328423e-07,2.325157e-07,2.319334e-07,2.318210e-07,2.311088e-07,2.309933e-07,2.303805e-07,2.300257e-07,2.296378e-07,2.290340e-07,2.288819e-07,2.281143e-07,2.280214e-07,2.273362e-07,2.269908e-07,2.265489e-07,2.259450e-07,2.257534e-07,2.249509e-07,2.248864e-07,2.241423e-07,2.238174e-07,2.233286e-07,2.227402e-07,2.225108e-07,2.216896e-07,2.216567e-07,2.208659e-07,2.205689e-07,2.200404e-07,2.194784e-07,2.192138e-07,2.183868e-07,2.172955e-07,2.162059e-07,2.151193e-07,2.140366e-07,2.129590e-07,2.118873e-07,2.108225e-07,2.097654e-07,2.087165e-07,2.076766e-07,2.066462e-07,2.056259e-07,2.046161e-07,2.036172e-07,2.026296e-07,2.016536e-07,2.006895e-07,1.997376e-07,1.987980e-07,1.978710e-07,1.969566e-07,1.960551e-07,1.951664e-07,1.942908e-07
0.000000e+00,1.005072e-11,5.716314e-11,6.890791e-10,3.310172e-09,6.619156e-09,2.777256e-08,2.919706e-08,8.561461e-08,1.102232e-07,1.964242e-07,2.982611e-07,3.839706e-07,6.444036e-07,6.716592e-07,1.082508e-06,1.201696e-06,1.635442e-06,2.011416e-06,2.340751e-06,3.087732e-06,3.198506e-06,4.200859e-06,4.417655e-06,5.335679e-06,5.973589e-06,6.589196e-06,7.723484e-06,7.947194e-06,9.395307e-06,9.634399e-06,1.091901e-05,1.167292e-05,1.250362e-05,1.380530e-05,1.413447e-05,1.579714e-05,1.599813e-05,1.747773e-05,1.821947e-05,1.916320e-05,2.044000e-05,2.084156e-05,2.250205e-05,2.263383e-05,2.413529e-05,2.477911e-05,2.573325e-05,2.685817e-05,2.728931e-05,2.879811e-05,2.885742e-05,3.025554e-05,3.076702e-05,3.165856e-05,3.258045e-05,3.300512e-05,3.429398e-05,3.552464e-05,3.590616e-05,3.669720e-05,3.741739e-05,3.781223e-05,3.882944e-05,3.887071e-05,3.987391e-05,4.014511e-05,4.082338e-05,4.136796e-05,4.172079e-05,4.250201e-05,4.256799e-05,4.336686e-05,4.355161e-05,4.411936e-05,4.452124e-05,4.482745e-05,4.541540e-05,4.549310e-05,4.611823e-05,4.623856e-05,4.670474e-05,4.699508e-05,4.725448e-05,4.768917e-05,4.776925e-05,4.825077e-05,4.832484e-05,4.870071e-05,4.890593e-05,4.912067e-05,4.943609e-05,4.951220e-05,4.987675e-05,4.991875e-05,5.021574e-05,5.035714e-05,5.053050e-05,5.075430e-05,5.082230e-05,5.109236e-05,5.111306e-05,5.134183e-05,5.143610e-05,5.157180e-05,5.172589e-05,5.178332e-05,5.197737e-05,5.198478e-05,5.215489e-05,5.221492e-05,5.231677e-05,5.241835e-05,5.246386e-05,5.259695e-05,5.271681e-05,5.275248e-05,5.282415e-05,5.288659e-05,5.291965e-05,5.300081e-05,5.300397e-05,5.307772e-05,5.309655e-05,5.314147e-05,5.317515e-05,5.319578e-05,5.323785e-05,5.324117e-05,5.327813e-05,5.328580e-05,5.330714e-05,5.332008e-05,5.332864e-05,5.334169e-05,5.334306e-05,5.335078e-05,5.335156e-05,5.335220e-05,5.335056e-05,5.334767e-05,5.333952e-05,5.333753e-05,5.332211e-05,5.331918e-05,5.330172e-05,5.329025e-05,5.327664e-05,5.325340e-05,5.324716e-05,5.321353e-05,5.320923e-05,5.317601e-05,5.315833e-05,5.313483e-05,5.310123e-05,5.309022e-05,5.304239e-05,5.303843e-05,5.299154e-05,5.297040e-05,5.293787e-05,5.289758e-05,5.288156e-05,5.282277e-05,5.282037e-05,5.276169e-05,5.273917e-05,5.269846e-05,5.265431e-05,5.263323e-05,5.256614e-05,5.247497e-05,5.238109e-05,5.228478e-05,5.218628e-05,5.208584e-05,5.198368e-05,5.188001e-05,5.177502e-05,5.166889e-05,5.156179e-05,5.145389e-05,5.134533e-05,5.123624e-05,5.112676e-05,5.101702e-05,5.090711e-05,5.079716e-05,5.068725e-05,5.057748e-05,5.046793e-05,5.035868e-05,5.024981e-05,5.014138e-05,5.003346e-05
0.000000e+00,1.965857e-11,1.336205e-10,2.313646e-09,1.531531e-08,3.637136e-08,2.346176e-07,2.508924e-07,1.102547e-06,1.578305e-06,3.644485e-06,6.770056e-06,9.901664e-06,2.186529e-05,2.331332e-05,4.922027e-05,5.810038e-05,9.536980e-05,1.338887e-04,1.723974e-04,2.766974e-04,2.942269e-04,4.783273e-04,5.244126e-04,7.457841e-04,9.258311e-04,1.121174e-03,1.540137e-03,1.632256e-03,2.309503e-03,2.435437e-03,3.185514e-03,3.686559e-03,4.294326e-03,5.372330e-03,5.670673e-03,7.349217e-03,7.572569e-03,9.363768e-03,1.036499e-02,1.174654e-02,1.382221e-02,1.452743e-02,1.773341e-02,1.800898e-02,2.138792e-02,2.297981e-02,2.551041e-02,2.877705e-02,3.011600e-02,3.521513e-02,3.542946e-02,4.081347e-02,4.295138e-02,4.691180e-02,5.134238e-02,5.350605e-02,6.058742e-02,6.814257e-02,7.065752e-02,7.615390e-02,8.151074e-02,8.459984e-02,9.309352e-02,9.345525e-02,1.026918e-01,1.053422e-01,1.122786e-01,1.181849e-01,1.221821e-01,1.315429e-01,1.323672e-01,1.427975e-01,1.453330e-01,1.534353e-01,1.594689e-01,1.642426e-01,1.738629e-01,1.751812e-01,1.862133e-01,1.884277e-01,1.973014e-01,2.030773e-01,2.084091e-01,2.177287e-01,2.195010e-01,2.305430e-01,2.323029e-01,2.415029e-01,2.467254e-01,2.523499e-01,2.609269e-01,2.630554e-01,2.735925e-01,2.748445e-01,2.839366e-01,2.884209e-01,2.940650e-01,3.016058e-01,3.039574e-01,3.135953e-01,3.143548e-01,3.229624e-01,3.266303e-01,3.320448e-01,3.384007e-01,3.408300e-01,3.493081e-01,3.496407e-01,3.574707e-01,3.603306e-01,3.653111e-01,3.704561e-01,3.728247e-01,3.800080e-01,3.868595e-01,3.889817e-01,3.933786e-01,3.973769e-01,3.995664e-01,4.051970e-01,4.054250e-01,4.109575e-01,4.124487e-01,4.161681e-01,4.191421e-01,4.210619e-01,4.252893e-01,4.256447e-01,4.299229e-01,4.309052e-01,4.339038e-01,4.360060e-01,4.375949e-01,4.406099e-01,4.410044e-01,4.441407e-01,4.447360e-01,4.470126e-01,4.484044e-01,4.496289e-01,4.516360e-01,4.519990e-01,4.541320e-01,4.544519e-01,4.560373e-01,4.568737e-01,4.577242e-01,4.589229e-01,4.592022e-01,4.604805e-01,4.606209e-01,4.615684e-01,4.619890e-01,4.624748e-01,4.630480e-01,4.632089e-01,4.637794e-01,4.638182e-01,4.641948e-01,4.643195e-01,4.644636e-01,4.645710e-01,4.645940e-01,4.645939e-01,4.645913e-01,4.644710e-01,4.643981e-01,4.642327e-01,4.640086e-01,4.638864e-01,4.634390e-01,4.627049e-01,4.618209e-01,4.608011e-01,4.596586e-01,4.584059e-01,4.570545e-01,4.556155e-01,4.540992e-01,4.525150e-01,4.508720e-01,4.491784e-01,4.474419e-01,4.456697e-01,4.438683e-01,4.420438e-01,4.402018e-01,4.383476e-01,4.364857e-01,4.346204e-01,4.327558e-01,4.308955e-01,4.290425e-01,4.272000e-01,4.253705e-01
0.000000e+00,1.353331e-10,4.125247e-10,1.917539e-09,5.023346e-09,7.739304e-09,1.956643e-08,2.023387e-08,4.287368e-08,5.165356e-08,8.046532e-08,1.124943e-07,1.383604e-07,2.115725e-07,2.187774e-07,3.179586e-07,3.438409e-07,4.296416e-07,4.957552e-07,5.489856e-07,6.579598e-07,6.730248e-07,7.999178e-07,8.255183e-07,9.283534e-07,9.953845e-07,1.057246e-06,1.165141e-06,1.185603e-06,1.312491e-06,1.332597e-06,1.437030e-06,1.495736e-06,1.558420e-06,1.652783e-06,1.675950e-06,1.789020e-06,1.802265e-06,1.897147e-06,1.943058e-06,1.999965e-06,2.074397e-06,2.097222e-06,2.188773e-06,2.195849e-06,2.274565e-06,2.307273e-06,2.354626e-06,2.408771e-06,2.429049e-06,2.497981e-06,2.500627e-06,2.561609e-06,2.583258e-06,2.620152e-06,2.657181e-06,2.673854e-06,2.722972e-06,2.767766e-06,2.781227e-06,2.808484e-06,2.832525e-06,2.845387e-06,2.877456e-06,2.878724e-06,2.908732e-06,2.916570e-06,2.935644e-06,2.950397e-06,2.959678e-06,2.979424e-06,2.981039e-06,2.999919e-06,3.004102e-06,3.016502e-06,3.024848e-06,3.030956e-06,3.042042e-06,3.043441e-06,3.054102e-06,3.056028e-06,3.063077e-06,3.067119e-06,3.070491e-06,3.075599e-06,3.076462e-06,3.081098e-06,3.081722e-06,3.084499e-06,3.085721e-06,3.086759e-06,3.087803e-06,3.087964e-06,3.088193e-06,3.088158e-06,3.087519e-06,3.086955e-06,3.086011e-06,3.084347e-06,3.083733e-06,3.080742e-06,3.080473e-06,3.077092e-06,3.075459e-06,3.072834e-06,3.069418e-06,3.068015e-06,3.062677e-06,3.062453e-06,3.056861e-06,3.054658e-06,3.050604e-06,3.046115e-06,3.043941e-06,3.036903e-06,3.029522e-06,3.027091e-06,3.021824e-06,3.016743e-06,3.013836e-06,3.005917e-06,3.005582e-06,2.997085e-06,2.994665e-06,2.988365e-06,2.983035e-06,2.979444e-06,2.971073e-06,2.970338e-06,2.961065e-06,2.958817e-06,2.951642e-06,2.946305e-06,2.942083e-06,2.933571e-06,2.932403e-06,2.922614e-06,2.920645e-06,2.912730e-06,2.907556e-06,2.902761e-06,2.894330e-06,2.892719e-06,2.882613e-06,2.880991e-06,2.872454e-06,2.867561e-06,2.862250e-06,2.854060e-06,2.852009e-06,2.841741e-06,2.840507e-06,2.831451e-06,2.826918e-06,2.821147e-06,2.813310e-06,2.810835e-06,2.800522e-06,2.799697e-06,2.790214e-06,2.786093e-06,2.779915e-06,2.772508e-06,2.769630e-06,2.759366e-06,2.758956e-06,2.749125e-06,2.745445e-06,2.738912e-06,2.731986e-06,2.728732e-06,2.718587e-06,2.705256e-06,2.692000e-06,2.678827e-06,2.665742e-06,2.652751e-06,2.639858e-06,2.627070e-06,2.614388e-06,2.601819e-06,2.589364e-06,2.577027e-06,2.564811e-06,2.552718e-06,2.540750e-06,2.528909e-06,2.517197e-06,2.505615e-06,2.494165e-06,2.482847e-06,2.471662e-06,2.460611e-06,2.449695e-06,2.438913e-06,2.428266e-06
0.000000e+00,6.436036e-11,2.075992e-10,1.026595e-09,2.753708e-09,4.264420e-09,1.071843e-08,1.107561e-08,2.277222e-08,2.711658e-08,4.081394e-08,5.535870e-08,6.682055e-08,9.900318e-08,1.021954e-07,1.472336e-07,1.593641e-07,2.006581e-07,2.334779e-07,2.604325e-07,3.168130e-07,3.247151e-07,3.921105e-07,4.058653e-07,4.615523e-07,4.981749e-07,5.321643e-07,5.918197e-07,6.031800e-07,6.739088e-07,6.851563e-07,7.437290e-07,7.767557e-07,8.120911e-07,8.654116e-07,8.785240e-07,9.426390e-07,9.501617e-07,1.004131e-06,1.030295e-06,1.062774e-06,1.105342e-06,1.118417e-06,1.170978e-06,1.175048e-06,1.220429e-06,1.239342e-06,1.266792e-06,1.298294e-06,1.310127e-06,1.350525e-06,1.352081e-06,1.388098e-06,1.400957e-06,1.422973e-06,1.445216e-06,1.455286e-06,1.485181e-06,1.512802e-06,1.521183e-06,1.538289e-06,1.553546e-06,1.561783e-06,1.582587e-06,1.583418e-06,1.603321e-06,1.608600e-06,1.621613e-06,1.631863e-06,1.638409e-06,1.652631e-06,1.653815e-06,1.667931e-06,1.671138e-06,1.680850e-06,1.687595e-06,1.692659e-06,1.702194e-06,1.703435e-06,1.713252e-06,1.715107e-06,1.722179e-06,1.726490e-06,1.730278e-06,1.736483e-06,1.737606e-06,1.744217e-06,1.745211e-06,1.750159e-06,1.752787e-06,1.755478e-06,1.759313e-06,1.760216e-06,1.764411e-06,1.764879e-06,1.768098e-06,1.769569e-06,1.771312e-06,1.773456e-06,1.774082e-06,1.776436e-06,1.776607e-06,1.778401e-06,1.779084e-06,1.780001e-06,1.780940e-06,1.781259e-06,1.782196e-06,1.782227e-06,1.782831e-06,1.782990e-06,1.783183e-06,1.783269e-06,1.783269e-06,1.783104e-06,1.782704e-06,1.782528e-06,1.782082e-06,1.781574e-06,1.781252e-06,1.780271e-06,1.780226e-06,1.779015e-06,1.778645e-06,1.777631e-06,1.776721e-06,1.776082e-06,1.774522e-06,1.774380e-06,1.772534e-06,1.772070e-06,1.770550e-06,1.769383e-06,1.768439e-06,1.766481e-06,1.766207e-06,1.763861e-06,1.763379e-06,1.761409e-06,1.760094e-06,1.758857e-06,1.756640e-06,1.756210e-06,1.753476e-06,1.753031e-06,1.750659e-06,1.749279e-06,1.747765e-06,1.745397e-06,1.744798e-06,1.741763e-06,1.741395e-06,1.738666e-06,1.737284e-06,1.735509e-06,1.733074e-06,1.732298e-06,1.729036e-06,1.728773e-06,1.725727e-06,1.724390e-06,1.722373e-06,1.719934e-06,1.718980e-06,1.715550e-06,1.715412e-06,1.712085e-06,1.710830e-06,1.708589e-06,1.706196e-06,1.705065e-06,1.701515e-06,1.696794e-06,1.692038e-06,1.687252e-06,1.682442e-06,1.677611e-06,1.672764e-06,1.667905e-06,1.663038e-06,1.658167e-06,1.653294e-06,1.648423e-06,1.643558e-06,1.638700e-06,1.633853e-06,1.629018e-06,1.624199e-06,1.619397e-06,1.614615e-06,1.609854e-06,1.605116e-06,1.600402e-06,1.595715e-06,1.591056e-06,1.586426e-06
0.000000e+00,1.242827e-10,3.106480e-10,1.171812e-09,2.784259e-09,4.128718e-09,9.642663e-09,9.941851e-09,1.956138e-08,2.307055e-08,3.397692e-08,4.535243e-08,5.420237e-08,7.869975e-08,8.111210e-08,1.150968e-07,1.242865e-07,1.558750e-07,1.814254e-07,2.027546e-07,2.484524e-07,2.549775e-07,3.118420e-07,3.237138e-07,3.726942e-07,4.057029e-07,4.369018e-07,4.929737e-07,5.038425e-07,5.729071e-07,5.841149e-07,6.435078e-07,6.777773e-07,7.150899e-07,7.727163e-07,7.871411e-07,8.591987e-07,8.678260e-07,9.308533e-07,9.621603e-07,1.001750e-06,1.054936e-06,1.071586e-06,1.140110e-06,1.145528e-06,1.207115e-06,1.233454e-06,1.272437e-06,1.318353e-06,1.335946e-06,1.397544e-06,1.399968e-06,1.457161e-06,1.478127e-06,1.514747e-06,1.552730e-06,1.570273e-06,1.623728e-06,1.675110e-06,1.691117e-06,1.724432e-06,1.754925e-06,1.771712e-06,1.815207e-06,1.816979e-06,1.860265e-06,1.872035e-06,1.901607e-06,1.925496e-06,1.941046e-06,1.975688e-06,1.978627e-06,2.014395e-06,2.022714e-06,2.048397e-06,2.066684e-06,2.080681e-06,2.107710e-06,2.111298e-06,2.140296e-06,2.145905e-06,2.167724e-06,2.181384e-06,2.193634e-06,2.214259e-06,2.218073e-06,2.241090e-06,2.244644e-06,2.262734e-06,2.272649e-06,2.283052e-06,2.298383e-06,2.302091e-06,2.319897e-06,2.321953e-06,2.336515e-06,2.343462e-06,2.351989e-06,2.363012e-06,2.366363e-06,2.379678e-06,2.380699e-06,2.391977e-06,2.396620e-06,2.403298e-06,2.410866e-06,2.413681e-06,2.423165e-06,2.423526e-06,2.431786e-06,2.434685e-06,2.439580e-06,2.444426e-06,2.446583e-06,2.452828e-06,2.458348e-06,2.459967e-06,2.463175e-06,2.465916e-06,2.467341e-06,2.470745e-06,2.470874e-06,2.473805e-06,2.474521e-06,2.476160e-06,2.477309e-06,2.477968e-06,2.479170e-06,2.479254e-06,2.480044e-06,2.480162e-06,2.480362e-06,2.480342e-06,2.480231e-06,2.479764e-06,2.479675e-06,2.478715e-06,2.478477e-06,2.477373e-06,2.476531e-06,2.475669e-06,2.473971e-06,2.473622e-06,2.471251e-06,2.470843e-06,2.468574e-06,2.467187e-06,2.465610e-06,2.463043e-06,2.462375e-06,2.458884e-06,2.458449e-06,2.455154e-06,2.453440e-06,2.451199e-06,2.448052e-06,2.447034e-06,2.442672e-06,2.442315e-06,2.438127e-06,2.436260e-06,2.433410e-06,2.429916e-06,2.428536e-06,2.423514e-06,2.423310e-06,2.418356e-06,2.416468e-06,2.413073e-06,2.409414e-06,2.407674e-06,2.402170e-06,2.394760e-06,2.387202e-06,2.379516e-06,2.371719e-06,2.363830e-06,2.355863e-06,2.347834e-06,2.339756e-06,2.331643e-06,2.323506e-06,2.315357e-06,2.307207e-06,2.299066e-06,2.290942e-06,2.282845e-06,2.274782e-06,2.266760e-06,2.258786e-06,2.250867e-06,2.243009e-06,2.235216e-06,2.227493e-06,2.219845e-06,2.212275e-06
0.000000e+00,1.548114e-12,9.876501e-12,1.498254e-10,8.784683e-10,1.951412e-09,1.059205e-08,1.124769e-08,4.169809e-08,5.702157e-08,1.175200e-07,1.994664e-07,2.753179e-07,5.355540e-07,5.649707e-07,1.048012e-06,1.200154e-06,1.791092e-06,2.344146e-06,2.855383e-06,4.094420e-06,4.286549e-06,6.109073e-06,6.521134e-06,8.325601e-06,9.629124e-06,1.091982e-05,1.336859e-05,1.386087e-05,1.710789e-05,1.765272e-05,2.061386e-05,2.237402e-05,2.432857e-05,2.741620e-05,2.820079e-05,3.217990e-05,3.266223e-05,3.621702e-05,3.799973e-05,4.026603e-05,4.332483e-05,4.428427e-05,4.823324e-05,4.854512e-05,5.207902e-05,5.358178e-05,5.579263e-05,5.837097e-05,5.935017e-05,6.273278e-05,6.286424e-05,6.592654e-05,6.702812e-05,6.892208e-05,7.084305e-05,7.171427e-05,7.430165e-05,7.668597e-05,7.740672e-05,7.887162e-05,8.016911e-05,8.086511e-05,8.260562e-05,8.267457e-05,8.430934e-05,8.473713e-05,8.577949e-05,8.658694e-05,8.709556e-05,8.817943e-05,8.826821e-05,8.930804e-05,8.953899e-05,9.022537e-05,9.068929e-05,9.103014e-05,9.165271e-05,9.173176e-05,9.233912e-05,9.245002e-05,9.286049e-05,9.310019e-05,9.330354e-05,9.362036e-05,9.367534e-05,9.398238e-05,9.402591e-05,9.423061e-05,9.433047e-05,9.442541e-05,9.454610e-05,9.457169e-05,9.467390e-05,9.468340e-05,9.473605e-05,9.475166e-05,9.476178e-05,9.475903e-05,9.475440e-05,9.471687e-05,9.471265e-05,9.465190e-05,9.461878e-05,9.456191e-05,9.448288e-05,9.444911e-05,9.431552e-05,9.430977e-05,9.416294e-05,9.410368e-05,9.399303e-05,9.386837e-05,9.380731e-05,9.360714e-05,9.339379e-05,9.332293e-05,9.316841e-05,9.301834e-05,9.293205e-05,9.269573e-05,9.268569e-05,9.243023e-05,9.235719e-05,9.216649e-05,9.200460e-05,9.189524e-05,9.163966e-05,9.161718e-05,9.133297e-05,9.126391e-05,9.104321e-05,9.087873e-05,9.074846e-05,9.048537e-05,9.044924e-05,9.014606e-05,9.008498e-05,8.983935e-05,8.967861e-05,8.952955e-05,8.926722e-05,8.921705e-05,8.890223e-05,8.885166e-05,8.858542e-05,8.843274e-05,8.826695e-05,8.801119e-05,8.794713e-05,8.762624e-05,8.758767e-05,8.730454e-05,8.716280e-05,8.698228e-05,8.673713e-05,8.665969e-05,8.633699e-05,8.631118e-05,8.601440e-05,8.588543e-05,8.569209e-05,8.546031e-05,8.537025e-05,8.504905e-05,8.503622e-05,8.472865e-05,8.461353e-05,8.440919e-05,8.419256e-05,8.409081e-05,8.377363e-05,8.335701e-05,8.294296e-05,8.253171e-05,8.212347e-05,8.171844e-05,8.131678e-05,8.091867e-05,8.052423e-05,8.013360e-05,7.974690e-05,7.936422e-05,7.898566e-05,7.861129e-05,7.824119e-05,7.787542e-05,7.751402e-05,7.715704e-05,7.680452e-05,7.645648e-05,7.611295e-05,7.577394e-05,7.543947e-05,7.510954e-05,7.478415e-05
0.000000e+00,1.636153e-13,1.111133e-12,1.920471e-11,1.269117e-10,3.011089e-10,1.937444e-09,2.071622e-09,9.079900e-09,1.298840e-08,2.993499e-08,5.551979e-08,8.111549e-08,1.786849e-07,1.904777e-07,4.010768e-07,4.731375e-07,7.751148e-07,1.086678e-06,1.397801e-06,2.239458e-06,2.380827e-06,3.865028e-06,4.236548e-06,6.021733e-06,7.474709e-06,9.052354e-06,1.244037e-05,1.318606e-05,1.867561e-05,1.969765e-05,2.579168e-05,2.986765e-05,3.481609e-05,4.360159e-05,4.603441e-05,5.972838e-05,6.155103e-05,7.616848e-05,8.433790e-05,9.560691e-05,1.125266e-04,1.182714e-04,1.443596e-04,1.465997e-04,1.740348e-04,1.869386e-04,2.074222e-04,2.338092e-04,2.446070e-04,2.856324e-04,2.873535e-04,3.304997e-04,3.475859e-04,3.791685e-04,4.143952e-04,4.315582e-04,4.875498e-04,5.469889e-04,5.667078e-04,6.096885e-04,6.514287e-04,6.754326e-04,7.411875e-04,7.439800e-04,8.150683e-04,8.353906e-04,8.884179e-04,9.333916e-04,9.637358e-04,1.034507e-03,1.040720e-03,1.119062e-03,1.138031e-03,1.198452e-03,1.243253e-03,1.278582e-03,1.349466e-03,1.359147e-03,1.439850e-03,1.455982e-03,1.520403e-03,1.562139e-03,1.600530e-03,1.667314e-03,1.679968e-03,1.758468e-03,1.770925e-03,1.835798e-03,1.872438e-03,1.911744e-03,1.971369e-03,1.986106e-03,2.058705e-03,2.067291e-03,2.129379e-03,2.159829e-03,2.197985e-03,2.248663e-03,2.264395e-03,2.328501e-03,2.333527e-03,2.390212e-03,2.414207e-03,2.449451e-03,2.490539e-03,2.506159e-03,2.560290e-03,2.562402e-03,2.611815e-03,2.629721e-03,2.660713e-03,2.692461e-03,2.706981e-03,2.750622e-03,2.791654e-03,2.804237e-03,2.830102e-03,2.853367e-03,2.865998e-03,2.898097e-03,2.899385e-03,2.930312e-03,2.938537e-03,2.958831e-03,2.974812e-03,2.985004e-03,3.007064e-03,3.008893e-03,3.030567e-03,3.035447e-03,3.050097e-03,3.060124e-03,3.067556e-03,3.081267e-03,3.083020e-03,3.096564e-03,3.099050e-03,3.108269e-03,3.113653e-03,3.118210e-03,3.125256e-03,3.126468e-03,3.133119e-03,3.134039e-03,3.138241e-03,3.140180e-03,3.141912e-03,3.143854e-03,3.144206e-03,3.145197e-03,3.145232e-03,3.144958e-03,3.144481e-03,3.143559e-03,3.141764e-03,3.141071e-03,3.137559e-03,3.137236e-03,3.133089e-03,3.131046e-03,3.127723e-03,3.123340e-03,3.121523e-03,3.114547e-03,3.114253e-03,3.106852e-03,3.103915e-03,3.098490e-03,3.092450e-03,3.089514e-03,3.079973e-03,3.066595e-03,3.052417e-03,3.037536e-03,3.022042e-03,3.006019e-03,2.989545e-03,2.972693e-03,2.955528e-03,2.938114e-03,2.920506e-03,2.902757e-03,2.884915e-03,2.867024e-03,2.849124e-03,2.831250e-03,2.813435e-03,2.795710e-03,2.778101e-03,2.760631e-03,2.743323e-03,2.726194e-03,2.709263e-03,2.692543e-03,2.676048e-03
0.000000e+00,3.293558e-13,2.140483e-12,3.373975e-11,2.047847e-10,4.634948e-10,2.636397e-09,2.804753e-09,1.085373e-08,1.500382e-08,3.171136e-08,5.479914e-08,7.643144e-08,1.516486e-07,1.602164e-07,3.022128e-07,3.473997e-07,5.250080e-07,6.944169e-07,8.539250e-07,1.252731e-06,1.316166e-06,1.939804e-06,2.086362e-06,2.752579e-06,3.258701e-06,3.780440e-06,4.826646e-06,5.045861e-06,6.566063e-06,6.833740e-06,8.351431e-06,9.303633e-06,1.040442e-05,1.223580e-05,1.271912e-05,1.528161e-05,1.560483e-05,1.807090e-05,1.936331e-05,2.106025e-05,2.344709e-05,2.421882e-05,2.751323e-05,2.778162e-05,3.090906e-05,3.228810e-05,3.437212e-05,3.688858e-05,3.786946e-05,4.137019e-05,4.150988e-05,4.484600e-05,4.608621e-05,4.827152e-05,5.056068e-05,5.162452e-05,5.488591e-05,5.803972e-05,5.902402e-05,6.107297e-05,6.294614e-05,6.397542e-05,6.663160e-05,6.673942e-05,6.935962e-05,7.006701e-05,7.183270e-05,7.324525e-05,7.415717e-05,7.616444e-05,7.633307e-05,7.836178e-05,7.882702e-05,8.024575e-05,8.123878e-05,8.198837e-05,8.340817e-05,8.359372e-05,8.506646e-05,8.534554e-05,8.641168e-05,8.706257e-05,8.763475e-05,8.857181e-05,8.874125e-05,8.973688e-05,8.988628e-05,9.062736e-05,9.101911e-05,9.141837e-05,9.198335e-05,9.211554e-05,9.272438e-05,9.279176e-05,9.325023e-05,9.345666e-05,9.369828e-05,9.398985e-05,9.407353e-05,9.438076e-05,9.440254e-05,9.462456e-05,9.470530e-05,9.480929e-05,9.490807e-05,9.493911e-05,9.501798e-05,9.502013e-05,9.504963e-05,9.505015e-05,9.503759e-05,9.500616e-05,9.498520e-05,9.489559e-05,9.477171e-05,9.472529e-05,9.461635e-05,9.450159e-05,9.443209e-05,9.423030e-05,9.422139e-05,9.398654e-05,9.391675e-05,9.372969e-05,9.356585e-05,9.345283e-05,9.318207e-05,9.315785e-05,9.284650e-05,9.276952e-05,9.252041e-05,9.233194e-05,9.218111e-05,9.187274e-05,9.183003e-05,9.146849e-05,9.139504e-05,9.109774e-05,9.090169e-05,9.071891e-05,9.039526e-05,9.033310e-05,8.994128e-05,8.987810e-05,8.954440e-05,8.935234e-05,8.914330e-05,8.881992e-05,8.873878e-05,8.833158e-05,8.828257e-05,8.792238e-05,8.774186e-05,8.751181e-05,8.719923e-05,8.710046e-05,8.668887e-05,8.665595e-05,8.627754e-05,8.611318e-05,8.586691e-05,8.557194e-05,8.545742e-05,8.504946e-05,8.503317e-05,8.464337e-05,8.449770e-05,8.423948e-05,8.396625e-05,8.383810e-05,8.343948e-05,8.291797e-05,8.240222e-05,8.189267e-05,8.138972e-05,8.089370e-05,8.040489e-05,7.992355e-05,7.944986e-05,7.898401e-05,7.852611e-05,7.807629e-05,7.763462e-05,7.720115e-05,7.677592e-05,7.635894e-05,7.595022e-05,7.554972e-05,7.515742e-05,7.477327e-05,7.439721e-05,7.402917e-05,7.366907e-05,7.331683e-05,7.297236e-05
0.000000e+00,6.678346e-13,4.264572e-12,6.482908e-11,3.808335e-10,8.467978e-10,4.605307e-09,4.890634e-09,1.813795e-08,2.479643e-08,5.102018e-08,8.638299e-08,1.189738e-07,2.300264e-07,2.425253e-07,4.470579e-07,5.114018e-07,7.620118e-07,9.983794e-07,1.218936e-06,1.762713e-06,1.848240e-06,2.675493e-06,2.866425e-06,3.718557e-06,4.349537e-06,4.986274e-06,6.225000e-06,6.478641e-06,8.188019e-06,8.480814e-06,1.010074e-05,1.108589e-05,1.219872e-05,1.399642e-05,1.446092e-05,1.686441e-05,1.716120e-05,1.938532e-05,2.052548e-05,2.199945e-05,2.403377e-05,2.468283e-05,2.741213e-05,2.763178e-05,3.016504e-05,3.126806e-05,3.292056e-05,3.489517e-05,3.565925e-05,3.836346e-05,3.847068e-05,4.101744e-05,4.195787e-05,4.360745e-05,4.532605e-05,4.612176e-05,4.855067e-05,5.088638e-05,5.161310e-05,5.312295e-05,5.450030e-05,5.525613e-05,5.720417e-05,5.728319e-05,5.920277e-05,5.972095e-05,6.101472e-05,6.205054e-05,6.271988e-05,6.419577e-05,6.431997e-05,6.581739e-05,6.616181e-05,6.721511e-05,6.795554e-05,6.851653e-05,6.958506e-05,6.972536e-05,7.084553e-05,7.105928e-05,7.188110e-05,7.238752e-05,7.283618e-05,7.357928e-05,7.371491e-05,7.452136e-05,7.464395e-05,7.525953e-05,7.559074e-05,7.593330e-05,7.642848e-05,7.654643e-05,7.710252e-05,7.716559e-05,7.760503e-05,7.781001e-05,7.805724e-05,7.836921e-05,7.846227e-05,7.882308e-05,7.885012e-05,7.914247e-05,7.925922e-05,7.942306e-05,7.960246e-05,7.966734e-05,7.987763e-05,7.988537e-05,8.005614e-05,8.011302e-05,8.020491e-05,8.029008e-05,8.032588e-05,8.042085e-05,8.049152e-05,8.050926e-05,8.053948e-05,8.055893e-05,8.056620e-05,8.057317e-05,8.057308e-05,8.056143e-05,8.055502e-05,8.053247e-05,8.050726e-05,8.048734e-05,8.043245e-05,8.042710e-05,8.035277e-05,8.033294e-05,8.026528e-05,8.021087e-05,8.016552e-05,8.006824e-05,8.005431e-05,7.993243e-05,7.990684e-05,7.980061e-05,7.972836e-05,7.965953e-05,7.953434e-05,7.950984e-05,7.935213e-05,7.932619e-05,7.918697e-05,7.910521e-05,7.901490e-05,7.887260e-05,7.883641e-05,7.865198e-05,7.862947e-05,7.846205e-05,7.837685e-05,7.826704e-05,7.811567e-05,7.806734e-05,7.786332e-05,7.784682e-05,7.765533e-05,7.757109e-05,7.744369e-05,7.728924e-05,7.722873e-05,7.701073e-05,7.700195e-05,7.678997e-05,7.670987e-05,7.656671e-05,7.641359e-05,7.634119e-05,7.611365e-05,7.581057e-05,7.550481e-05,7.519682e-05,7.488700e-05,7.457573e-05,7.426336e-05,7.395021e-05,7.363659e-05,7.332277e-05,7.300901e-05,7.269556e-05,7.238264e-05,7.207045e-05,7.175919e-05,7.144903e-05,7.114014e-05,7.083267e-05,7.052676e-05,7.022254e-05,6.992013e-05,6.961965e-05,6.932118e-05,6.902483e-05,6.873068e-05
0.000000e+00,1.653973e-11,3.819868e-11,1.324949e-10,3.025024e-10,4.418315e-10,1.004097e-09,1.034361e-09,2.000930e-09,2.351612e-09,3.438700e-09,4.571130e-09,5.452804e-09,7.902614e-09,8.144839e-09,1.157915e-08,1.251474e-08,1.575034e-08,1.838578e-08,2.059560e-08,2.535309e-08,2.603454e-08,3.199216e-08,3.323998e-08,3.840224e-08,4.189399e-08,4.520394e-08,5.117706e-08,5.233858e-08,5.974800e-08,6.095513e-08,6.737418e-08,7.109481e-08,7.515963e-08,8.146493e-08,8.304830e-08,9.098643e-08,9.193989e-08,9.892340e-08,1.024031e-07,1.068125e-07,1.127501e-07,1.146116e-07,1.222831e-07,1.228903e-07,1.297945e-07,1.327479e-07,1.371181e-07,1.422616e-07,1.442307e-07,1.511136e-07,1.513840e-07,1.577523e-07,1.600803e-07,1.641357e-07,1.683266e-07,1.702561e-07,1.761087e-07,1.816914e-07,1.834208e-07,1.870042e-07,1.902635e-07,1.920489e-07,1.966424e-07,1.968286e-07,2.013473e-07,2.025665e-07,2.056103e-07,2.080478e-07,2.096235e-07,2.131007e-07,2.133935e-07,2.169276e-07,2.177416e-07,2.202335e-07,2.219879e-07,2.233188e-07,2.258580e-07,2.261918e-07,2.288606e-07,2.293705e-07,2.313334e-07,2.325448e-07,2.336194e-07,2.354021e-07,2.357278e-07,2.376665e-07,2.379614e-07,2.394427e-07,2.402399e-07,2.410643e-07,2.422550e-07,2.425383e-07,2.438718e-07,2.440228e-07,2.450718e-07,2.455591e-07,2.461447e-07,2.468791e-07,2.470970e-07,2.479350e-07,2.479972e-07,2.486644e-07,2.489270e-07,2.492910e-07,2.496817e-07,2.498204e-07,2.502579e-07,2.502735e-07,2.506085e-07,2.507144e-07,2.508771e-07,2.510154e-07,2.510685e-07,2.511870e-07,2.512370e-07,2.512392e-07,2.512225e-07,2.511813e-07,2.511476e-07,2.510222e-07,2.510158e-07,2.508309e-07,2.507701e-07,2.505963e-07,2.504330e-07,2.503151e-07,2.500181e-07,2.499906e-07,2.496256e-07,2.495323e-07,2.492230e-07,2.489821e-07,2.487855e-07,2.483736e-07,2.483156e-07,2.478158e-07,2.477125e-07,2.472884e-07,2.470040e-07,2.467356e-07,2.462531e-07,2.461594e-07,2.455619e-07,2.454644e-07,2.449449e-07,2.446424e-07,2.443102e-07,2.437909e-07,2.436595e-07,2.429944e-07,2.429137e-07,2.423164e-07,2.420144e-07,2.416270e-07,2.410962e-07,2.409274e-07,2.402190e-07,2.401620e-07,2.395030e-07,2.392148e-07,2.387806e-07,2.382570e-07,2.380527e-07,2.373204e-07,2.372911e-07,2.365848e-07,2.363192e-07,2.358465e-07,2.353435e-07,2.351066e-07,2.343658e-07,2.333879e-07,2.324112e-07,2.314374e-07,2.304676e-07,2.295032e-07,2.285451e-07,2.275946e-07,2.266524e-07,2.257193e-07,2.247962e-07,2.238837e-07,2.229823e-07,2.220926e-07,2.212151e-07,2.203501e-07,2.194981e-07,2.186592e-07,2.178338e-07,2.170221e-07,2.162242e-07,2.154403e-07,2.146705e-07,2.139148e-07,2.131733e-07
0.000000e+00,8.011891e-13,5.431246e-12,9.352638e-11,6.160159e-10,1.458949e-09,9.345625e-09,9.991094e-09,4.360875e-08,6.231292e-08,1.432402e-07,2.651330e-07,3.868804e-07,8.499897e-07,9.058919e-07,1.902644e-06,2.243203e-06,3.668473e-06,5.136562e-06,6.600655e-06,1.055359e-05,1.121657e-05,1.816267e-05,1.989764e-05,2.821584e-05,3.496558e-05,4.227569e-05,5.791517e-05,6.134745e-05,8.651725e-05,9.118584e-05,1.189216e-04,1.373844e-04,1.597140e-04,1.991521e-04,2.100304e-04,2.709563e-04,2.790291e-04,3.434963e-04,3.793289e-04,4.285475e-04,5.020312e-04,5.268770e-04,6.391053e-04,6.486990e-04,7.656937e-04,8.204215e-04,9.069366e-04,1.017782e-03,1.062959e-03,1.233718e-03,1.240853e-03,1.419007e-03,1.489204e-03,1.618465e-03,1.761938e-03,1.831586e-03,2.057732e-03,2.296149e-03,2.374896e-03,2.545978e-03,2.711425e-03,2.806275e-03,3.065068e-03,3.076027e-03,3.354162e-03,3.433392e-03,3.639571e-03,3.813837e-03,3.931120e-03,4.203782e-03,4.227662e-03,4.528050e-03,4.600589e-03,4.831151e-03,5.001657e-03,5.135853e-03,5.404457e-03,5.441076e-03,5.745779e-03,5.806569e-03,6.048967e-03,6.205710e-03,6.349695e-03,6.599753e-03,6.647074e-03,6.940274e-03,6.986746e-03,7.228526e-03,7.364919e-03,7.511123e-03,7.732695e-03,7.787423e-03,8.056845e-03,8.088688e-03,8.318873e-03,8.431704e-03,8.573053e-03,8.760735e-03,8.818989e-03,9.056346e-03,9.074955e-03,9.284842e-03,9.373707e-03,9.504251e-03,9.656497e-03,9.714395e-03,9.915147e-03,9.922981e-03,1.010642e-02,1.017295e-02,1.028818e-02,1.040634e-02,1.046042e-02,1.062317e-02,1.077650e-02,1.082359e-02,1.092050e-02,1.100783e-02,1.105531e-02,1.117619e-02,1.118105e-02,1.129791e-02,1.132906e-02,1.140606e-02,1.146687e-02,1.150572e-02,1.159009e-02,1.159711e-02,1.168044e-02,1.169927e-02,1.175596e-02,1.179494e-02,1.182393e-02,1.187769e-02,1.188459e-02,1.193821e-02,1.194811e-02,1.198505e-02,1.200681e-02,1.202537e-02,1.205440e-02,1.205944e-02,1.208753e-02,1.209148e-02,1.210990e-02,1.211868e-02,1.212680e-02,1.213658e-02,1.213851e-02,1.214528e-02,1.214577e-02,1.214735e-02,1.214684e-02,1.214497e-02,1.214034e-02,1.213839e-02,1.212783e-02,1.212682e-02,1.211352e-02,1.210680e-02,1.209569e-02,1.208078e-02,1.207454e-02,1.205029e-02,1.204926e-02,1.202314e-02,1.201270e-02,1.199329e-02,1.197153e-02,1.196090e-02,1.192618e-02,1.187705e-02,1.182451e-02,1.176892e-02,1.171061e-02,1.164991e-02,1.158711e-02,1.152248e-02,1.145628e-02,1.138876e-02,1.132013e-02,1.125061e-02,1.118039e-02,1.110965e-02,1.103855e-02,1.096724e-02,1.089586e-02,1.082454e-02,1.075340e-02,1.068254e-02,1.061205e-02,1.054203e-02,1.047255e-02,1.040369e-02,1.033550e-02
0.000000e+00,4.434029e-12,1.016524e-11,3.494215e-11,7.932636e-11,1.155386e-10,2.606381e-10,2.684077e-10,5.147215e-10,6.032824e-10,8.754135e-10,1.155481e-09,1.371480e-09,1.964525e-09,2.022733e-09,2.843479e-09,3.066285e-09,3.836550e-09,4.464708e-09,4.992310e-09,6.131041e-09,6.294446e-09,7.725648e-09,8.025921e-09,9.269579e-09,1.011181e-08,1.091075e-08,1.235340e-08,1.263403e-08,1.442437e-08,1.471604e-08,1.626676e-08,1.716525e-08,1.814642e-08,1.966729e-08,2.004897e-08,2.196071e-08,2.219012e-08,2.386888e-08,2.470428e-08,2.576176e-08,2.718363e-08,2.762888e-08,2.946102e-08,2.960584e-08,3.125030e-08,3.195248e-08,3.299008e-08,3.420899e-08,3.467495e-08,3.630066e-08,3.636441e-08,3.786398e-08,3.841104e-08,3.936261e-08,4.034393e-08,4.079504e-08,4.216049e-08,4.345880e-08,4.386012e-08,4.469031e-08,4.544377e-08,4.585580e-08,4.691359e-08,4.695639e-08,4.799348e-08,4.827271e-08,4.896871e-08,4.952489e-08,4.988387e-08,5.067441e-08,5.074087e-08,5.154173e-08,5.172582e-08,5.228852e-08,5.268389e-08,5.298335e-08,5.355347e-08,5.362831e-08,5.422550e-08,5.433939e-08,5.477700e-08,5.504640e-08,5.528484e-08,5.567916e-08,5.575103e-08,5.617752e-08,5.624220e-08,5.656619e-08,5.673987e-08,5.691889e-08,5.717635e-08,5.723740e-08,5.752343e-08,5.755565e-08,5.777864e-08,5.788158e-08,5.800461e-08,5.815774e-08,5.820288e-08,5.837491e-08,5.838758e-08,5.852211e-08,5.857434e-08,5.864583e-08,5.872109e-08,5.874735e-08,5.882791e-08,5.883072e-08,5.888870e-08,5.890595e-08,5.893082e-08,5.894936e-08,5.895536e-08,5.896335e-08,5.895576e-08,5.895019e-08,5.893352e-08,5.891201e-08,5.889752e-08,5.885081e-08,5.884861e-08,5.878759e-08,5.876844e-08,5.871523e-08,5.866667e-08,5.863225e-08,5.854713e-08,5.853935e-08,5.843719e-08,5.841137e-08,5.832640e-08,5.826080e-08,5.820756e-08,5.809678e-08,5.808124e-08,5.794799e-08,5.792055e-08,5.780830e-08,5.773329e-08,5.766267e-08,5.753608e-08,5.751155e-08,5.735537e-08,5.732994e-08,5.719455e-08,5.711582e-08,5.702947e-08,5.689460e-08,5.686051e-08,5.668802e-08,5.666710e-08,5.651233e-08,5.643409e-08,5.633375e-08,5.619628e-08,5.615258e-08,5.596910e-08,5.595433e-08,5.578357e-08,5.570885e-08,5.559626e-08,5.546041e-08,5.540738e-08,5.521717e-08,5.520954e-08,5.502584e-08,5.495672e-08,5.483359e-08,5.470242e-08,5.464060e-08,5.444705e-08,5.419100e-08,5.393461e-08,5.367823e-08,5.342216e-08,5.316667e-08,5.291202e-08,5.265844e-08,5.240616e-08,5.215537e-08,5.190624e-08,5.165894e-08,5.141362e-08,5.117041e-08,5.092943e-08,5.069080e-08,5.045461e-08,5.022094e-08,4.998988e-08,4.976149e-08,4.953584e-08,4.931296e-08,4.909292e-08,4.887574e-08,4.866145e-08
0.000000e+00,5.298173e-11,1.938058e-10,1.127467e-09,3.296007e-09,5.278279e-09,1.408527e-08,1.458121e-08,3.100101e-08,3.713463e-08,5.645011e-08,7.685014e-08,9.284659e-08,1.376741e-07,1.421377e-07,2.062196e-07,2.239866e-07,2.866481e-07,3.391479e-07,3.841561e-07,4.837977e-07,4.983433e-07,6.279079e-07,6.555199e-07,7.711714e-07,8.505168e-07,9.264422e-07,1.064981e-06,1.092128e-06,1.266721e-06,1.295385e-06,1.448765e-06,1.538373e-06,1.636834e-06,1.790684e-06,1.829527e-06,2.025482e-06,2.049153e-06,2.223388e-06,2.310762e-06,2.422004e-06,2.572713e-06,2.620176e-06,2.816848e-06,2.832488e-06,3.011071e-06,3.087884e-06,3.202010e-06,3.337043e-06,3.388942e-06,3.571254e-06,3.578443e-06,3.748438e-06,3.810888e-06,3.920087e-06,4.033481e-06,4.085883e-06,4.245589e-06,4.399043e-06,4.446810e-06,4.546144e-06,4.636933e-06,4.686849e-06,4.815911e-06,4.821161e-06,4.949123e-06,4.983824e-06,5.070811e-06,5.140856e-06,5.186331e-06,5.287267e-06,5.295806e-06,5.399383e-06,5.423380e-06,5.497216e-06,5.549556e-06,5.589474e-06,5.666188e-06,5.676332e-06,5.757970e-06,5.773688e-06,5.834573e-06,5.872477e-06,5.906323e-06,5.962979e-06,5.973406e-06,6.036004e-06,6.045615e-06,6.094297e-06,6.120802e-06,6.148465e-06,6.188946e-06,6.198682e-06,6.245117e-06,6.250443e-06,6.287937e-06,6.305674e-06,6.327303e-06,6.355007e-06,6.363370e-06,6.396291e-06,6.398793e-06,6.426211e-06,6.437371e-06,6.453272e-06,6.471063e-06,6.477611e-06,6.499359e-06,6.500177e-06,6.518644e-06,6.525006e-06,6.535585e-06,6.545828e-06,6.550302e-06,6.562907e-06,6.573506e-06,6.576492e-06,6.582206e-06,6.586822e-06,6.589104e-06,6.594120e-06,6.594296e-06,6.597874e-06,6.598599e-06,6.599926e-06,6.600459e-06,6.600534e-06,6.599888e-06,6.599780e-06,6.597739e-06,6.597066e-06,6.594486e-06,6.592161e-06,6.590091e-06,6.585331e-06,6.584620e-06,6.578138e-06,6.576726e-06,6.570706e-06,6.566485e-06,6.562382e-06,6.554742e-06,6.553222e-06,6.543280e-06,6.541620e-06,6.532606e-06,6.527236e-06,6.521248e-06,6.511701e-06,6.509253e-06,6.496665e-06,6.495116e-06,6.483525e-06,6.477579e-06,6.469874e-06,6.459181e-06,6.455750e-06,6.441188e-06,6.440006e-06,6.426224e-06,6.420133e-06,6.410890e-06,6.399638e-06,6.395217e-06,6.379234e-06,6.378589e-06,6.362971e-06,6.357053e-06,6.346454e-06,6.335089e-06,6.329707e-06,6.312756e-06,6.290106e-06,6.267188e-06,6.244049e-06,6.220731e-06,6.197275e-06,6.173718e-06,6.150094e-06,6.126436e-06,6.102773e-06,6.079132e-06,6.055540e-06,6.032019e-06,6.008591e-06,5.985277e-06,5.962094e-06,5.939060e-06,5.916189e-06,5.893496e-06,5.870993e-06,5.848693e-06,5.826605e-06,5.804740e-06,5.783106e-06,5.761711e-06
0.000000e+00,2.725621e-13,1.844793e-12,3.166356e-11,2.078827e-10,4.914141e-10,3.131162e-09,3.346645e-09,1.451895e-08,2.070896e-08,4.737449e-08,8.731527e-08,1.270327e-07,2.770985e-07,2.951316e-07,6.146885e-07,7.232018e-07,1.174720e-06,1.636428e-06,2.094301e-06,3.321054e-06,3.525719e-06,5.656311e-06,6.185303e-06,8.708507e-06,1.074344e-05,1.293767e-05,1.760662e-05,1.862754e-05,2.608340e-05,2.746139e-05,3.562355e-05,4.103774e-05,4.756961e-05,5.907082e-05,6.223650e-05,7.992260e-05,8.226110e-05,1.009007e-04,1.112369e-04,1.254100e-04,1.465230e-04,1.536498e-04,1.857744e-04,1.885157e-04,2.218897e-04,2.374675e-04,2.620517e-04,2.934791e-04,3.062658e-04,3.544878e-04,3.564989e-04,4.066264e-04,4.263302e-04,4.625459e-04,5.026426e-04,5.220704e-04,5.849880e-04,6.510558e-04,6.728196e-04,7.200051e-04,7.655118e-04,7.915463e-04,8.623809e-04,8.653740e-04,9.411723e-04,9.627052e-04,1.018619e-03,1.065744e-03,1.097391e-03,1.170754e-03,1.177165e-03,1.257627e-03,1.277006e-03,1.338469e-03,1.383796e-03,1.419396e-03,1.490458e-03,1.500126e-03,1.580393e-03,1.596368e-03,1.659947e-03,1.700955e-03,1.738556e-03,1.803703e-03,1.816010e-03,1.892112e-03,1.904151e-03,1.966689e-03,2.001898e-03,2.039585e-03,2.096599e-03,2.110663e-03,2.179803e-03,2.187965e-03,2.246905e-03,2.275761e-03,2.311883e-03,2.359803e-03,2.374668e-03,2.435206e-03,2.439950e-03,2.493456e-03,2.516109e-03,2.549390e-03,2.588221e-03,2.602994e-03,2.654262e-03,2.656264e-03,2.703199e-03,2.720248e-03,2.749819e-03,2.780209e-03,2.794145e-03,2.836205e-03,2.876034e-03,2.888315e-03,2.913674e-03,2.936635e-03,2.949170e-03,2.981275e-03,2.982571e-03,3.013931e-03,3.022354e-03,3.043305e-03,3.060000e-03,3.070751e-03,3.094349e-03,3.096328e-03,3.120097e-03,3.125540e-03,3.142120e-03,3.153713e-03,3.162459e-03,3.179013e-03,3.181175e-03,3.198332e-03,3.201582e-03,3.213991e-03,3.221562e-03,3.228212e-03,3.239092e-03,3.241057e-03,3.252585e-03,3.254311e-03,3.262853e-03,3.267351e-03,3.271918e-03,3.278342e-03,3.279836e-03,3.286661e-03,3.287409e-03,3.292446e-03,3.294674e-03,3.297241e-03,3.300254e-03,3.301096e-03,3.304058e-03,3.304258e-03,3.306174e-03,3.306794e-03,3.307489e-03,3.307963e-03,3.308045e-03,3.307883e-03,3.307862e-03,3.307043e-03,3.306583e-03,3.305565e-03,3.304212e-03,3.303483e-03,3.300833e-03,3.296522e-03,3.291354e-03,3.285397e-03,3.278718e-03,3.271377e-03,3.263432e-03,3.254938e-03,3.245944e-03,3.236499e-03,3.226647e-03,3.216430e-03,3.205887e-03,3.195055e-03,3.183966e-03,3.172653e-03,3.161146e-03,3.149472e-03,3.137656e-03,3.125722e-03,3.113693e-03,3.101589e-03,3.089429e-03,3.077230e-03,3.065010e-03
0.000000e+00,8.711126e-11,2.692075e-10,1.271151e-09,3.345139e-09,5.148686e-09,1.282688e-08,1.325123e-08,2.712722e-08,3.227128e-08,4.845462e-08,6.558388e-08,7.904988e-08,1.167916e-07,1.205363e-07,1.736234e-07,1.880532e-07,2.378015e-07,2.781683e-07,3.119414e-07,3.845340e-07,3.949270e-07,4.858268e-07,5.048844e-07,5.838348e-07,6.373541e-07,6.881855e-07,7.801728e-07,7.980999e-07,9.127621e-07,9.314920e-07,1.031316e-06,1.089345e-06,1.152876e-06,1.251682e-06,1.276539e-06,1.401411e-06,1.416435e-06,1.526617e-06,1.581598e-06,1.651328e-06,1.745297e-06,1.774768e-06,1.896233e-06,1.905846e-06,2.015092e-06,2.061780e-06,2.130796e-06,2.211884e-06,2.242877e-06,2.350950e-06,2.355185e-06,2.454706e-06,2.490954e-06,2.553910e-06,2.618681e-06,2.648395e-06,2.738055e-06,2.822837e-06,2.848935e-06,2.902736e-06,2.951323e-06,2.977787e-06,3.045341e-06,3.048061e-06,3.113655e-06,3.131199e-06,3.174691e-06,3.209181e-06,3.231306e-06,3.279620e-06,3.283654e-06,3.331898e-06,3.342885e-06,3.376208e-06,3.399367e-06,3.416756e-06,3.449468e-06,3.453720e-06,3.487273e-06,3.493590e-06,3.517592e-06,3.532135e-06,3.544845e-06,3.565493e-06,3.569202e-06,3.590823e-06,3.594039e-06,3.609867e-06,3.618137e-06,3.626484e-06,3.638130e-06,3.640822e-06,3.653018e-06,3.654344e-06,3.663206e-06,3.667085e-06,3.671513e-06,3.676643e-06,3.678061e-06,3.682963e-06,3.683287e-06,3.686329e-06,3.687269e-06,3.688263e-06,3.688823e-06,3.688862e-06,3.688218e-06,3.688168e-06,3.686419e-06,3.685505e-06,3.683547e-06,3.681022e-06,3.679680e-06,3.674891e-06,3.669249e-06,3.667275e-06,3.662819e-06,3.658319e-06,3.655662e-06,3.648161e-06,3.647836e-06,3.639393e-06,3.636926e-06,3.630386e-06,3.624731e-06,3.620862e-06,3.611682e-06,3.610865e-06,3.600438e-06,3.597876e-06,3.589620e-06,3.583405e-06,3.578448e-06,3.568351e-06,3.566956e-06,3.555178e-06,3.552790e-06,3.543143e-06,3.536793e-06,3.530880e-06,3.520422e-06,3.518415e-06,3.505774e-06,3.503737e-06,3.492980e-06,3.486791e-06,3.480055e-06,3.469635e-06,3.467020e-06,3.453892e-06,3.452311e-06,3.440691e-06,3.434863e-06,3.427432e-06,3.417326e-06,3.414131e-06,3.400803e-06,3.399736e-06,3.387461e-06,3.382123e-06,3.374118e-06,3.364516e-06,3.360784e-06,3.347472e-06,3.346940e-06,3.334190e-06,3.329419e-06,3.320949e-06,3.311973e-06,3.307757e-06,3.294622e-06,3.277383e-06,3.260271e-06,3.243301e-06,3.226484e-06,3.209833e-06,3.193355e-06,3.177061e-06,3.160958e-06,3.145053e-06,3.129350e-06,3.113857e-06,3.098575e-06,3.083510e-06,3.068664e-06,3.054039e-06,3.039637e-06,3.025460e-06,3.011509e-06,2.997783e-06,2.984283e-06,2.971010e-06,2.957961e-06,2.945137e-06,2.932537e-06
0.000000e+00,3.445033e-12,7.897022e-12,2.721285e-11,6.205057e-11,9.066745e-11,2.068501e-10,2.131351e-10,4.154511e-10,4.895605e-10,7.213870e-10,9.657678e-10,1.157688e-09,1.696317e-09,1.749878e-09,2.512150e-09,2.720235e-09,3.439557e-09,4.024237e-09,4.513272e-09,5.561870e-09,5.711584e-09,7.015468e-09,7.287468e-09,8.408988e-09,9.164373e-09,9.878229e-09,1.116149e-08,1.141034e-08,1.299300e-08,1.325012e-08,1.461428e-08,1.540279e-08,1.626260e-08,1.759327e-08,1.792691e-08,1.959682e-08,1.979712e-08,2.126273e-08,2.199220e-08,2.291597e-08,2.415916e-08,2.454880e-08,2.615450e-08,2.628160e-08,2.772731e-08,2.834612e-08,2.926242e-08,3.034212e-08,3.075591e-08,3.220466e-08,3.226165e-08,3.360629e-08,3.409898e-08,3.495903e-08,3.585035e-08,3.626171e-08,3.751362e-08,3.871449e-08,3.908798e-08,3.986436e-08,4.057366e-08,4.096359e-08,4.197175e-08,4.201276e-08,4.301267e-08,4.328394e-08,4.396425e-08,4.451243e-08,4.486856e-08,4.565977e-08,4.572676e-08,4.654008e-08,4.672874e-08,4.730980e-08,4.772229e-08,4.803724e-08,4.864348e-08,4.872374e-08,4.937064e-08,4.949539e-08,4.997930e-08,5.028114e-08,5.055107e-08,5.100381e-08,5.108727e-08,5.158922e-08,5.166644e-08,5.205821e-08,5.227200e-08,5.249553e-08,5.282341e-08,5.290241e-08,5.328006e-08,5.332347e-08,5.362968e-08,5.377493e-08,5.395241e-08,5.418041e-08,5.424939e-08,5.452170e-08,5.454245e-08,5.477039e-08,5.486349e-08,5.499650e-08,5.514588e-08,5.520103e-08,5.538492e-08,5.539186e-08,5.554911e-08,5.560357e-08,5.569451e-08,5.578308e-08,5.582197e-08,5.593234e-08,5.602642e-08,5.605321e-08,5.610500e-08,5.614749e-08,5.616882e-08,5.621687e-08,5.621861e-08,5.625506e-08,5.626297e-08,5.627885e-08,5.628731e-08,5.629062e-08,5.629136e-08,5.629099e-08,5.628055e-08,5.627651e-08,5.625989e-08,5.624406e-08,5.622955e-08,5.619526e-08,5.619005e-08,5.614191e-08,5.613129e-08,5.608561e-08,5.605327e-08,5.602162e-08,5.596225e-08,5.595039e-08,5.587234e-08,5.585924e-08,5.578789e-08,5.574519e-08,5.569742e-08,5.562098e-08,5.560133e-08,5.549997e-08,5.548746e-08,5.539368e-08,5.534543e-08,5.528279e-08,5.519564e-08,5.516763e-08,5.504849e-08,5.503880e-08,5.492566e-08,5.487556e-08,5.479943e-08,5.470657e-08,5.467004e-08,5.453776e-08,5.453241e-08,5.440282e-08,5.435364e-08,5.426546e-08,5.417078e-08,5.412589e-08,5.398432e-08,5.379472e-08,5.360241e-08,5.340780e-08,5.321127e-08,5.301316e-08,5.281382e-08,5.261354e-08,5.241263e-08,5.221134e-08,5.200993e-08,5.180862e-08,5.160765e-08,5.140720e-08,5.120747e-08,5.100863e-08,5.081082e-08,5.061421e-08,5.041893e-08,5.022509e-08,5.003282e-08,4.984222e-08,4.965338e-08,4.946638e-08,4.928131e-08
0.000000e+00,1.543934e-12,1.050807e-11,1.824662e-10,1.211130e-09,2.880716e-09,1.866225e-08,1.996047e-08,8.813445e-08,1.263410e-07,2.928234e-07,5.457332e-07,7.999819e-07,1.776274e-06,1.894846e-06,4.026293e-06,4.760329e-06,7.854768e-06,1.107087e-05,1.429998e-05,2.309762e-05,2.458220e-05,4.025036e-05,4.419048e-05,6.319178e-05,7.871882e-05,9.562201e-05,1.320283e-04,1.400558e-04,1.992623e-04,2.103023e-04,2.762078e-04,3.203487e-04,3.739894e-04,4.693381e-04,4.957642e-04,6.446762e-04,6.645158e-04,8.237830e-04,9.129108e-04,1.035987e-03,1.221057e-03,1.283970e-03,1.570138e-03,1.594745e-03,1.896566e-03,2.038806e-03,2.264962e-03,2.556944e-03,2.676632e-03,3.132460e-03,3.151620e-03,3.632891e-03,3.823980e-03,4.177930e-03,4.573834e-03,4.767146e-03,5.399682e-03,6.074276e-03,6.298771e-03,6.789286e-03,7.267194e-03,7.542716e-03,8.300013e-03,8.332256e-03,9.155314e-03,9.391395e-03,1.000905e-02,1.053477e-02,1.089044e-02,1.172298e-02,1.179627e-02,1.272322e-02,1.294845e-02,1.366788e-02,1.420334e-02,1.462680e-02,1.547969e-02,1.559652e-02,1.657357e-02,1.676956e-02,1.755456e-02,1.806513e-02,1.853617e-02,1.935884e-02,1.951518e-02,2.048848e-02,2.064348e-02,2.145311e-02,2.191223e-02,2.240628e-02,2.315877e-02,2.334533e-02,2.426781e-02,2.437729e-02,2.517145e-02,2.556253e-02,2.605414e-02,2.670981e-02,2.691400e-02,2.774933e-02,2.781505e-02,2.855860e-02,2.887472e-02,2.934051e-02,2.988588e-02,3.009390e-02,3.081782e-02,3.084616e-02,3.151149e-02,3.175368e-02,3.217428e-02,3.260710e-02,3.280573e-02,3.340554e-02,3.397352e-02,3.414855e-02,3.450965e-02,3.483608e-02,3.501400e-02,3.546846e-02,3.548677e-02,3.592827e-02,3.604633e-02,3.633889e-02,3.657063e-02,3.671911e-02,3.704255e-02,3.706950e-02,3.739069e-02,3.746350e-02,3.768336e-02,3.783508e-02,3.794827e-02,3.815904e-02,3.818619e-02,3.839796e-02,3.843725e-02,3.858443e-02,3.867169e-02,3.874649e-02,3.886441e-02,3.888504e-02,3.900101e-02,3.901753e-02,3.909532e-02,3.913317e-02,3.916890e-02,3.921348e-02,3.922270e-02,3.925763e-02,3.926060e-02,3.927463e-02,3.927666e-02,3.927461e-02,3.926376e-02,3.925846e-02,3.922708e-02,3.922394e-02,3.918134e-02,3.915921e-02,3.912208e-02,3.907151e-02,3.905014e-02,3.896632e-02,3.896273e-02,3.887141e-02,3.883467e-02,3.876616e-02,3.868907e-02,3.865132e-02,3.852759e-02,3.835182e-02,3.816324e-02,3.796329e-02,3.775330e-02,3.753453e-02,3.730819e-02,3.707536e-02,3.683710e-02,3.659437e-02,3.634806e-02,3.609902e-02,3.584800e-02,3.559571e-02,3.534281e-02,3.508987e-02,3.483745e-02,3.458604e-02,3.433607e-02,3.408795e-02,3.384205e-02,3.359868e-02,3.335814e-02,3.312066e-02,3.288648e-02
0.000000e+00,5.158744e-12,2.931132e-11,3.523403e-10,1.686610e-09,3.364774e-09,1.401466e-08,1.472849e-08,4.278864e-08,5.492975e-08,9.712116e-08,1.464403e-07,1.876040e-07,3.112563e-07,3.241004e-07,5.163618e-07,5.718514e-07,7.736135e-07,9.489686e-07,1.103297e-06,1.456262e-06,1.508930e-06,1.988149e-06,2.092171e-06,2.532516e-06,2.837223e-06,3.129375e-06,3.660916e-06,3.764541e-06,4.424444e-06,4.531502e-06,5.097190e-06,5.421670e-06,5.772799e-06,6.309750e-06,6.443016e-06,7.101019e-06,7.178879e-06,7.741162e-06,8.015938e-06,8.358803e-06,8.810823e-06,8.950194e-06,9.512421e-06,9.556070e-06,1.004333e-05,1.024659e-05,1.054149e-05,1.087942e-05,1.100611e-05,1.143694e-05,1.145348e-05,1.183427e-05,1.196923e-05,1.219877e-05,1.242837e-05,1.253143e-05,1.283352e-05,1.310648e-05,1.318793e-05,1.335188e-05,1.349522e-05,1.357135e-05,1.375920e-05,1.376656e-05,1.393919e-05,1.398370e-05,1.409085e-05,1.417246e-05,1.422315e-05,1.432904e-05,1.433757e-05,1.443556e-05,1.445678e-05,1.451846e-05,1.455877e-05,1.458754e-05,1.463783e-05,1.464397e-05,1.468884e-05,1.469652e-05,1.472315e-05,1.473714e-05,1.474784e-05,1.476176e-05,1.476375e-05,1.477165e-05,1.477222e-05,1.477227e-05,1.477018e-05,1.476626e-05,1.475708e-05,1.475421e-05,1.473667e-05,1.473422e-05,1.471414e-05,1.470277e-05,1.468707e-05,1.466372e-05,1.465588e-05,1.462095e-05,1.461800e-05,1.458262e-05,1.456641e-05,1.454122e-05,1.450966e-05,1.449702e-05,1.445030e-05,1.444838e-05,1.440130e-05,1.438314e-05,1.435023e-05,1.431443e-05,1.429731e-05,1.424272e-05,1.418663e-05,1.416839e-05,1.412921e-05,1.409182e-05,1.407059e-05,1.401332e-05,1.401092e-05,1.395031e-05,1.393318e-05,1.388888e-05,1.385167e-05,1.382673e-05,1.376901e-05,1.376397e-05,1.370068e-05,1.368543e-05,1.363695e-05,1.360110e-05,1.357286e-05,1.351621e-05,1.350847e-05,1.344386e-05,1.343091e-05,1.337907e-05,1.334534e-05,1.331418e-05,1.325963e-05,1.324923e-05,1.318428e-05,1.317388e-05,1.311935e-05,1.308822e-05,1.305451e-05,1.300273e-05,1.298979e-05,1.292523e-05,1.291749e-05,1.286085e-05,1.283259e-05,1.279669e-05,1.274809e-05,1.273278e-05,1.266914e-05,1.266406e-05,1.260580e-05,1.258056e-05,1.254279e-05,1.249763e-05,1.248011e-05,1.241780e-05,1.241532e-05,1.235587e-05,1.233368e-05,1.229434e-05,1.225273e-05,1.223322e-05,1.217252e-05,1.209308e-05,1.201442e-05,1.193658e-05,1.185957e-05,1.178341e-05,1.170812e-05,1.163370e-05,1.156018e-05,1.148755e-05,1.141583e-05,1.134503e-05,1.127514e-05,1.120616e-05,1.113811e-05,1.107098e-05,1.100477e-05,1.093948e-05,1.087511e-05,1.081165e-05,1.074910e-05,1.068745e-05,1.062670e-05,1.056685e-05,1.050788e-05
0.000000e+00,2.638079e-13,1.784027e-12,3.056782e-11,2.004041e-10,4.733977e-10,3.011454e-09,3.218506e-09,1.394468e-08,1.988370e-08,4.545522e-08,8.373847e-08,1.217965e-07,2.655487e-07,2.828206e-07,5.888566e-07,6.927739e-07,1.125184e-06,1.567408e-06,2.006030e-06,3.181602e-06,3.377787e-06,5.421131e-06,5.928755e-06,8.351668e-06,1.030769e-05,1.241884e-05,1.691794e-05,1.790299e-05,2.511073e-05,2.644553e-05,3.436890e-05,3.964065e-05,4.601744e-05,5.728941e-05,6.040166e-05,7.786416e-05,8.018245e-05,9.873688e-05,1.090829e-04,1.233334e-04,1.446956e-04,1.519418e-04,1.848185e-04,1.876399e-04,2.221828e-04,2.384262e-04,2.642121e-04,2.974380e-04,3.110390e-04,3.627491e-04,3.649198e-04,4.193793e-04,4.409698e-04,4.809178e-04,5.255392e-04,5.473051e-04,6.184356e-04,6.941597e-04,7.193316e-04,7.742872e-04,8.277760e-04,8.585905e-04,9.432085e-04,9.468089e-04,1.038653e-03,1.064976e-03,1.133807e-03,1.192351e-03,1.231938e-03,1.324547e-03,1.332696e-03,1.435718e-03,1.460740e-03,1.540637e-03,1.600082e-03,1.647081e-03,1.741719e-03,1.754680e-03,1.863066e-03,1.884806e-03,1.971880e-03,2.028516e-03,2.080773e-03,2.172057e-03,2.189408e-03,2.297460e-03,2.314674e-03,2.404625e-03,2.455663e-03,2.510612e-03,2.594372e-03,2.615151e-03,2.717992e-03,2.730208e-03,2.818904e-03,2.862638e-03,2.917675e-03,2.991192e-03,3.014116e-03,3.108056e-03,3.115458e-03,3.199346e-03,3.235090e-03,3.287854e-03,3.349795e-03,3.373471e-03,3.456101e-03,3.459343e-03,3.535670e-03,3.563553e-03,3.612118e-03,3.662297e-03,3.685402e-03,3.755493e-03,3.822376e-03,3.843101e-03,3.886050e-03,3.925121e-03,3.946524e-03,4.001588e-03,4.003819e-03,4.057966e-03,4.072568e-03,4.109004e-03,4.138154e-03,4.156981e-03,4.198464e-03,4.201953e-03,4.243980e-03,4.253636e-03,4.283130e-03,4.303823e-03,4.319474e-03,4.349196e-03,4.353088e-03,4.384052e-03,4.389933e-03,4.412447e-03,4.426225e-03,4.438357e-03,4.458265e-03,4.461869e-03,4.483070e-03,4.486254e-03,4.502047e-03,4.510393e-03,4.518889e-03,4.530884e-03,4.533684e-03,4.546518e-03,4.547931e-03,4.557480e-03,4.561732e-03,4.566655e-03,4.572485e-03,4.574127e-03,4.579981e-03,4.580381e-03,4.584296e-03,4.585610e-03,4.587154e-03,4.588352e-03,4.588631e-03,4.588805e-03,4.588786e-03,4.587748e-03,4.587080e-03,4.585532e-03,4.583398e-03,4.582226e-03,4.577896e-03,4.570724e-03,4.562022e-03,4.551926e-03,4.540564e-03,4.528057e-03,4.514518e-03,4.500055e-03,4.484769e-03,4.468756e-03,4.452102e-03,4.434891e-03,4.417199e-03,4.399099e-03,4.380657e-03,4.361934e-03,4.342986e-03,4.323868e-03,4.304627e-03,4.285307e-03,4.265950e-03,4.246594e-03,4.227271e-03,4.208014e-03,4.188850e-03
0.000000e+00,1.646900e-10,4.375011e-10,1.753950e-09,4.274265e-09,6.390441e-09,1.508653e-08,1.555783e-08,3.064208e-08,3.610793e-08,5.297260e-08,7.038909e-08,8.384336e-08,1.208532e-07,1.244921e-07,1.760030e-07,1.900733e-07,2.390901e-07,2.795206e-07,3.137741e-07,3.883875e-07,3.991450e-07,4.934956e-07,5.132640e-07,5.947832e-07,6.495338e-07,7.010478e-07,7.929026e-07,8.105865e-07,9.219560e-07,9.398603e-07,1.033927e-06,1.087570e-06,1.145441e-06,1.233706e-06,1.255586e-06,1.363578e-06,1.376360e-06,1.468757e-06,1.513999e-06,1.570574e-06,1.645435e-06,1.668593e-06,1.762472e-06,1.769795e-06,1.851963e-06,1.886490e-06,1.936896e-06,1.995166e-06,2.017171e-06,2.092748e-06,2.095674e-06,2.163638e-06,2.188020e-06,2.229892e-06,2.272338e-06,2.291593e-06,2.348854e-06,2.401805e-06,2.417863e-06,2.450593e-06,2.479704e-06,2.495373e-06,2.534745e-06,2.536311e-06,2.573575e-06,2.583373e-06,2.607334e-06,2.625978e-06,2.637758e-06,2.662948e-06,2.665016e-06,2.689273e-06,2.694666e-06,2.710690e-06,2.721502e-06,2.729424e-06,2.743813e-06,2.745629e-06,2.759451e-06,2.761942e-06,2.771032e-06,2.776214e-06,2.780508e-06,2.786938e-06,2.788011e-06,2.793664e-06,2.794405e-06,2.797588e-06,2.798891e-06,2.799896e-06,2.800652e-06,2.800697e-06,2.800094e-06,2.799932e-06,2.798186e-06,2.796957e-06,2.795067e-06,2.791940e-06,2.790824e-06,2.785541e-06,2.785076e-06,2.779298e-06,2.776548e-06,2.772167e-06,2.766525e-06,2.764222e-06,2.755528e-06,2.755165e-06,2.746148e-06,2.742615e-06,2.736143e-06,2.729011e-06,2.725568e-06,2.714477e-06,2.702918e-06,2.699129e-06,2.690939e-06,2.683073e-06,2.678584e-06,2.666407e-06,2.665894e-06,2.652907e-06,2.649223e-06,2.639661e-06,2.631603e-06,2.626189e-06,2.613623e-06,2.612524e-06,2.598694e-06,2.595354e-06,2.584728e-06,2.576858e-06,2.570652e-06,2.558194e-06,2.556491e-06,2.542266e-06,2.539415e-06,2.527999e-06,2.520570e-06,2.513709e-06,2.501701e-06,2.499415e-06,2.485133e-06,2.482850e-06,2.470879e-06,2.464051e-06,2.456667e-06,2.445337e-06,2.442511e-06,2.428424e-06,2.426738e-06,2.414415e-06,2.408279e-06,2.400496e-06,2.389983e-06,2.386676e-06,2.372964e-06,2.371872e-06,2.359368e-06,2.353963e-06,2.345894e-06,2.336273e-06,2.332550e-06,2.319341e-06,2.318815e-06,2.306272e-06,2.301603e-06,2.293348e-06,2.284645e-06,2.280574e-06,2.267953e-06,2.251532e-06,2.235389e-06,2.219530e-06,2.203958e-06,2.188676e-06,2.173686e-06,2.158990e-06,2.144588e-06,2.130479e-06,2.116664e-06,2.103140e-06,2.089906e-06,2.076960e-06,2.064300e-06,2.051921e-06,2.039821e-06,2.027997e-06,2.016444e-06,2.005159e-06,1.994137e-06,1.983375e-06,1.972867e-06,1.962609e-06,1.952598e-06
0.000000e+00,1.606636e-11,3.695550e-11,1.277476e-10,2.913884e-10,4.255122e-10,9.666661e-10,9.957806e-10,1.924392e-09,2.260581e-09,3.300036e-09,4.378800e-09,5.216532e-09,7.541961e-09,7.772279e-09,1.106416e-08,1.197332e-08,1.517242e-08,1.784670e-08,2.013624e-08,2.519428e-08,2.593109e-08,3.246803e-08,3.385355e-08,3.961981e-08,4.353703e-08,4.725306e-08,5.394855e-08,5.524750e-08,6.350085e-08,6.483946e-08,7.192693e-08,7.601084e-08,8.045229e-08,8.730101e-08,8.901328e-08,9.755426e-08,9.857546e-08,1.060265e-07,1.097213e-07,1.143873e-07,1.206443e-07,1.226001e-07,1.306336e-07,1.312677e-07,1.384616e-07,1.415303e-07,1.460628e-07,1.513856e-07,1.534203e-07,1.605211e-07,1.607996e-07,1.673558e-07,1.697498e-07,1.739180e-07,1.782227e-07,1.802041e-07,1.862130e-07,1.919452e-07,1.937214e-07,1.974031e-07,2.007539e-07,2.025904e-07,2.073202e-07,2.075120e-07,2.121735e-07,2.134330e-07,2.165814e-07,2.191072e-07,2.207425e-07,2.243592e-07,2.246643e-07,2.283543e-07,2.292063e-07,2.318204e-07,2.336665e-07,2.350704e-07,2.377580e-07,2.381124e-07,2.409542e-07,2.414992e-07,2.436037e-07,2.449081e-07,2.460688e-07,2.480025e-07,2.483570e-07,2.504759e-07,2.507997e-07,2.524329e-07,2.533167e-07,2.542349e-07,2.555698e-07,2.558891e-07,2.574023e-07,2.575747e-07,2.587808e-07,2.593464e-07,2.600312e-07,2.608996e-07,2.611596e-07,2.621720e-07,2.622481e-07,2.630740e-07,2.634051e-07,2.638712e-07,2.643833e-07,2.645689e-07,2.651724e-07,2.651946e-07,2.656865e-07,2.658506e-07,2.661159e-07,2.663619e-07,2.664653e-07,2.667391e-07,2.669414e-07,2.669917e-07,2.670762e-07,2.671290e-07,2.671476e-07,2.671598e-07,2.671591e-07,2.671144e-07,2.670922e-07,2.670167e-07,2.669341e-07,2.668695e-07,2.666929e-07,2.666758e-07,2.664385e-07,2.663754e-07,2.661605e-07,2.659881e-07,2.658446e-07,2.655372e-07,2.654933e-07,2.651091e-07,2.650285e-07,2.646943e-07,2.644673e-07,2.642513e-07,2.638588e-07,2.637821e-07,2.632887e-07,2.632077e-07,2.627732e-07,2.625184e-07,2.622374e-07,2.617952e-07,2.616829e-07,2.611116e-07,2.610420e-07,2.605249e-07,2.602623e-07,2.599244e-07,2.594597e-07,2.593115e-07,2.586876e-07,2.586372e-07,2.580538e-07,2.577979e-07,2.574116e-07,2.569445e-07,2.567619e-07,2.561059e-07,2.560795e-07,2.554446e-07,2.552054e-07,2.547790e-07,2.543243e-07,2.541099e-07,2.534384e-07,2.525493e-07,2.516590e-07,2.507690e-07,2.498807e-07,2.489956e-07,2.481149e-07,2.472397e-07,2.463710e-07,2.455098e-07,2.446569e-07,2.438131e-07,2.429791e-07,2.421555e-07,2.413428e-07,2.405416e-07,2.397523e-07,2.389752e-07,2.382106e-07,2.374589e-07,2.367203e-07,2.359950e-07,2.352830e-07,2.345846e-07,2.338998e-07
0.000000e+00,7.212272e-13,4.860545e-12,8.267146e-11,5.382219e-10,1.266380e-09,7.971192e-09,8.515498e-09,3.649197e-08,5.187521e-08,1.176690e-07,2.153866e-07,3.119562e-07,6.736861e-07,7.169173e-07,1.477747e-06,1.734418e-06,2.796252e-06,3.874435e-06,4.938014e-06,7.767024e-06,8.236610e-06,1.309355e-05,1.429178e-05,1.997292e-05,2.451905e-05,2.939062e-05,3.966665e-05,4.189916e-05,5.806938e-05,6.103467e-05,7.847088e-05,8.992902e-05,1.036526e-04,1.275841e-04,1.341244e-04,1.703411e-04,1.750923e-04,2.126887e-04,2.333459e-04,2.614736e-04,3.029939e-04,3.169154e-04,3.791420e-04,3.844150e-04,4.481882e-04,4.777063e-04,5.239963e-04,5.826863e-04,6.064199e-04,6.952292e-04,6.989103e-04,7.901179e-04,8.256959e-04,8.907119e-04,9.621558e-04,9.965782e-04,1.107235e-03,1.222162e-03,1.259751e-03,1.340809e-03,1.418434e-03,1.462608e-03,1.581963e-03,1.586980e-03,1.713346e-03,1.749007e-03,1.841131e-03,1.918250e-03,1.969775e-03,2.088420e-03,2.098737e-03,2.227497e-03,2.258315e-03,2.355567e-03,2.426813e-03,2.482489e-03,2.592891e-03,2.607837e-03,2.731221e-03,2.755631e-03,2.852289e-03,2.914221e-03,2.970722e-03,3.067965e-03,3.086241e-03,3.198601e-03,3.216271e-03,3.307591e-03,3.358655e-03,3.413032e-03,3.494732e-03,3.514780e-03,3.612716e-03,3.624208e-03,3.706754e-03,3.746878e-03,3.796829e-03,3.862611e-03,3.882903e-03,3.964958e-03,3.971348e-03,4.042996e-03,4.073091e-03,4.117038e-03,4.167893e-03,4.187119e-03,4.253288e-03,4.255854e-03,4.315608e-03,4.337114e-03,4.374150e-03,4.411843e-03,4.428997e-03,4.480237e-03,4.527965e-03,4.542513e-03,4.572283e-03,4.598905e-03,4.613295e-03,4.649656e-03,4.651109e-03,4.685835e-03,4.695020e-03,4.717585e-03,4.735252e-03,4.746470e-03,4.770610e-03,4.772602e-03,4.796093e-03,4.801351e-03,4.817055e-03,4.827729e-03,4.835596e-03,4.849995e-03,4.851824e-03,4.865845e-03,4.868394e-03,4.877763e-03,4.883163e-03,4.887680e-03,4.894534e-03,4.895692e-03,4.901897e-03,4.902729e-03,4.906387e-03,4.907960e-03,4.909253e-03,4.910434e-03,4.910580e-03,4.910454e-03,4.910345e-03,4.908955e-03,4.907880e-03,4.906161e-03,4.903218e-03,4.902148e-03,4.896987e-03,4.896526e-03,4.890748e-03,4.887965e-03,4.883497e-03,4.877685e-03,4.875297e-03,4.866210e-03,4.865829e-03,4.856294e-03,4.852532e-03,4.845604e-03,4.837921e-03,4.834194e-03,4.822114e-03,4.805224e-03,4.787355e-03,4.768607e-03,4.749071e-03,4.728834e-03,4.707976e-03,4.686573e-03,4.664694e-03,4.642404e-03,4.619765e-03,4.596833e-03,4.573660e-03,4.550295e-03,4.526784e-03,4.503166e-03,4.479483e-03,4.455767e-03,4.432054e-03,4.408372e-03,4.384749e-03,4.361211e-03,4.337781e-03,4.314480e-03,4.291328e-03
0.000000e+00,1.875316e-10,5.622175e-10,2.568372e-09,6.660867e-09,1.020080e-08,2.522047e-08,2.604975e-08,5.317460e-08,6.324184e-08,9.497873e-08,1.287115e-07,1.553647e-07,2.309487e-07,2.385338e-07,3.479921e-07,3.783665e-07,4.848280e-07,5.727067e-07,6.468500e-07,8.069031e-07,8.298115e-07,1.029250e-06,1.070767e-06,1.241364e-06,1.355625e-06,1.463068e-06,1.654814e-06,1.691784e-06,1.925255e-06,1.962912e-06,2.161431e-06,2.275193e-06,2.398414e-06,2.587395e-06,2.634446e-06,2.867913e-06,2.895686e-06,3.097357e-06,3.196700e-06,3.321489e-06,3.487584e-06,3.539194e-06,3.749538e-06,3.766024e-06,3.951758e-06,4.030233e-06,4.145259e-06,4.278929e-06,4.329603e-06,4.504499e-06,4.511295e-06,4.669782e-06,4.726915e-06,4.825383e-06,4.925668e-06,4.971325e-06,5.107726e-06,5.234753e-06,5.273458e-06,5.352635e-06,5.423402e-06,5.461639e-06,5.558204e-06,5.562060e-06,5.654217e-06,5.678585e-06,5.738444e-06,5.785318e-06,5.815087e-06,5.879199e-06,5.884494e-06,5.947014e-06,5.961032e-06,6.002992e-06,6.031610e-06,6.052770e-06,6.091710e-06,6.096680e-06,6.135048e-06,6.142084e-06,6.168187e-06,6.183454e-06,6.196401e-06,6.216509e-06,6.219983e-06,6.239213e-06,6.241904e-06,6.254359e-06,6.260255e-06,6.265680e-06,6.272147e-06,6.273420e-06,6.277814e-06,6.278127e-06,6.279083e-06,6.278707e-06,6.277440e-06,6.274367e-06,6.273085e-06,6.266209e-06,6.265555e-06,6.256991e-06,6.252688e-06,6.245604e-06,6.236153e-06,6.232209e-06,6.216958e-06,6.216312e-06,6.199997e-06,6.193498e-06,6.181461e-06,6.168023e-06,6.161479e-06,6.140174e-06,6.117658e-06,6.110215e-06,6.094040e-06,6.078393e-06,6.069421e-06,6.044934e-06,6.043897e-06,6.017557e-06,6.010048e-06,5.990486e-06,5.973925e-06,5.962762e-06,5.936744e-06,5.934461e-06,5.905650e-06,5.898667e-06,5.876397e-06,5.859844e-06,5.846761e-06,5.820411e-06,5.816800e-06,5.786568e-06,5.780494e-06,5.756114e-06,5.740206e-06,5.725486e-06,5.699654e-06,5.694725e-06,5.663874e-06,5.658932e-06,5.632970e-06,5.618127e-06,5.602047e-06,5.577319e-06,5.571140e-06,5.540276e-06,5.536577e-06,5.509486e-06,5.495968e-06,5.478795e-06,5.455550e-06,5.448226e-06,5.417802e-06,5.415375e-06,5.387544e-06,5.375491e-06,5.357470e-06,5.335940e-06,5.327596e-06,5.297940e-06,5.296759e-06,5.268516e-06,5.257982e-06,5.239336e-06,5.219639e-06,5.210413e-06,5.181756e-06,5.144356e-06,5.107457e-06,5.071078e-06,5.035232e-06,4.999932e-06,4.965188e-06,4.931007e-06,4.897395e-06,4.864358e-06,4.831899e-06,4.800019e-06,4.768718e-06,4.737996e-06,4.707852e-06,4.678283e-06,4.649285e-06,4.620856e-06,4.592989e-06,4.565680e-06,4.538923e-06,4.512711e-06,4.487039e-06,4.461899e-06,4.437284e-06
0.000000e+00,7.903448e-13,4.938232e-12,7.175248e-11,4.046181e-10,8.799702e-10,4.527493e-09,4.797518e-09,1.691336e-08,2.282949e-08,4.560194e-08,7.558941e-08,1.028151e-07,1.938752e-07,2.039968e-07,3.665488e-07,4.165232e-07,6.059765e-07,7.773691e-07,9.313346e-07,1.289057e-06,1.342769e-06,1.832112e-06,1.938171e-06,2.385455e-06,2.693001e-06,2.986177e-06,3.515032e-06,3.617419e-06,4.263659e-06,4.367520e-06,4.911485e-06,5.219666e-06,5.549829e-06,6.047691e-06,6.169889e-06,6.764924e-06,6.834395e-06,7.330009e-06,7.568245e-06,7.861799e-06,8.242425e-06,8.358307e-06,8.818697e-06,8.853966e-06,9.243088e-06,9.402940e-06,9.632361e-06,9.891699e-06,9.987984e-06,1.031185e-05,1.032417e-05,1.060612e-05,1.070525e-05,1.087310e-05,1.104027e-05,1.111516e-05,1.133459e-05,1.153362e-05,1.159335e-05,1.171433e-05,1.182125e-05,1.187861e-05,1.202248e-05,1.202820e-05,1.216465e-05,1.220069e-05,1.228933e-05,1.235900e-05,1.240346e-05,1.250005e-05,1.250810e-05,1.260418e-05,1.262605e-05,1.269250e-05,1.273884e-05,1.277378e-05,1.283996e-05,1.284862e-05,1.291756e-05,1.293068e-05,1.298106e-05,1.301207e-05,1.303954e-05,1.308505e-05,1.309337e-05,1.314285e-05,1.315038e-05,1.318828e-05,1.320873e-05,1.322992e-05,1.326066e-05,1.326800e-05,1.330272e-05,1.330668e-05,1.333429e-05,1.334722e-05,1.336287e-05,1.338269e-05,1.338862e-05,1.341171e-05,1.341344e-05,1.343225e-05,1.343979e-05,1.345039e-05,1.346202e-05,1.346623e-05,1.347991e-05,1.348041e-05,1.349151e-05,1.349520e-05,1.350114e-05,1.350662e-05,1.350890e-05,1.351487e-05,1.351913e-05,1.352014e-05,1.352176e-05,1.352263e-05,1.352284e-05,1.352249e-05,1.352245e-05,1.352063e-05,1.351988e-05,1.351747e-05,1.351495e-05,1.351302e-05,1.350785e-05,1.350735e-05,1.350050e-05,1.349868e-05,1.349252e-05,1.348759e-05,1.348348e-05,1.347468e-05,1.347342e-05,1.346238e-05,1.346006e-05,1.345041e-05,1.344384e-05,1.343756e-05,1.342610e-05,1.342385e-05,1.340934e-05,1.340694e-05,1.339406e-05,1.338646e-05,1.337804e-05,1.336472e-05,1.336132e-05,1.334393e-05,1.334180e-05,1.332591e-05,1.331778e-05,1.330728e-05,1.329273e-05,1.328807e-05,1.326831e-05,1.326671e-05,1.324804e-05,1.323978e-05,1.322726e-05,1.321201e-05,1.320602e-05,1.318433e-05,1.318345e-05,1.316221e-05,1.315415e-05,1.313970e-05,1.312417e-05,1.311680e-05,1.309354e-05,1.306233e-05,1.303056e-05,1.299829e-05,1.296554e-05,1.293237e-05,1.289880e-05,1.286487e-05,1.283062e-05,1.279606e-05,1.276124e-05,1.272617e-05,1.269089e-05,1.265542e-05,1.261979e-05,1.258401e-05,1.254811e-05,1.251212e-05,1.247604e-05,1.243990e-05,1.240373e-05,1.236752e-05,1.233131e-05,1.229510e-05,1.225891e-05
0.000000e+00,3.210282e-11,7.633903e-11,2.730538e-10,6.331786e-10,9.311397e-10,2.152126e-09,2.218602e-09,4.378587e-09,5.178974e-09,7.711782e-09,1.042522e-08,1.258381e-08,1.874653e-08,1.936617e-08,2.826712e-08,3.071285e-08,3.917397e-08,4.602792e-08,5.172820e-08,6.382237e-08,6.553362e-08,8.026900e-08,8.330545e-08,9.569517e-08,1.039277e-07,1.116298e-07,1.252981e-07,1.279238e-07,1.444474e-07,1.471044e-07,1.610817e-07,1.690727e-07,1.777161e-07,1.909543e-07,1.942476e-07,2.105811e-07,2.125236e-07,2.266305e-07,2.335822e-07,2.423195e-07,2.539610e-07,2.575819e-07,2.723629e-07,2.735232e-07,2.866182e-07,2.921652e-07,3.003142e-07,3.098153e-07,3.134267e-07,3.259382e-07,3.264260e-07,3.378402e-07,3.419752e-07,3.491307e-07,3.564606e-07,3.598134e-07,3.698968e-07,3.793932e-07,3.823105e-07,3.883179e-07,3.937378e-07,3.966886e-07,4.042211e-07,4.045246e-07,4.118465e-07,4.138074e-07,4.186758e-07,4.225458e-07,4.250341e-07,4.304865e-07,4.309433e-07,4.364252e-07,4.376796e-07,4.415012e-07,4.441742e-07,4.461921e-07,4.500179e-07,4.505184e-07,4.544997e-07,4.552562e-07,4.581548e-07,4.599327e-07,4.615020e-07,4.640884e-07,4.645586e-07,4.673412e-07,4.677621e-07,4.698656e-07,4.709900e-07,4.721467e-07,4.738060e-07,4.741988e-07,4.760353e-07,4.762418e-07,4.776691e-07,4.783269e-07,4.791122e-07,4.800886e-07,4.803761e-07,4.814715e-07,4.815522e-07,4.824087e-07,4.827414e-07,4.831972e-07,4.836779e-07,4.838460e-07,4.843639e-07,4.843820e-07,4.847588e-07,4.848723e-07,4.850383e-07,4.851662e-07,4.852097e-07,4.852797e-07,4.852546e-07,4.852275e-07,4.851405e-07,4.850234e-07,4.849430e-07,4.846800e-07,4.846675e-07,4.843191e-07,4.842091e-07,4.839023e-07,4.836214e-07,4.834218e-07,4.829271e-07,4.828818e-07,4.822862e-07,4.821354e-07,4.816387e-07,4.812548e-07,4.809430e-07,4.802934e-07,4.802023e-07,4.794198e-07,4.792585e-07,4.785984e-07,4.781569e-07,4.777411e-07,4.769950e-07,4.768503e-07,4.759286e-07,4.757785e-07,4.749784e-07,4.745128e-07,4.740019e-07,4.732031e-07,4.730011e-07,4.719780e-07,4.718539e-07,4.709346e-07,4.704695e-07,4.698726e-07,4.690540e-07,4.687936e-07,4.676992e-07,4.676110e-07,4.665909e-07,4.661440e-07,4.654700e-07,4.646561e-07,4.643381e-07,4.631961e-07,4.631503e-07,4.620454e-07,4.616293e-07,4.608871e-07,4.600956e-07,4.597222e-07,4.585517e-07,4.569997e-07,4.554415e-07,4.538791e-07,4.523142e-07,4.507483e-07,4.491831e-07,4.476198e-07,4.460596e-07,4.445039e-07,4.429536e-07,4.414098e-07,4.398734e-07,4.383452e-07,4.368260e-07,4.353165e-07,4.338174e-07,4.323292e-07,4.308526e-07,4.293880e-07,4.279359e-07,4.264967e-07,4.250708e-07,4.236584e-07,4.222600e-07
0.000000e+00,1.434138e-10,4.249640e-10,1.920163e-09,4.967100e-09,7.609980e-09,1.892229e-08,1.955158e-08,4.038585e-08,4.823045e-08,7.326701e-08,1.001951e-07,1.215268e-07,1.813020e-07,1.872006e-07,2.698631e-07,2.920352e-07,3.677218e-07,4.284999e-07,4.790523e-07,5.871073e-07,6.025284e-07,7.370520e-07,7.651907e-07,8.815741e-07,9.603152e-07,1.034995e-06,1.169880e-06,1.196129e-06,1.363709e-06,1.391032e-06,1.536414e-06,1.620737e-06,1.712897e-06,1.855910e-06,1.891830e-06,2.071930e-06,2.093562e-06,2.251994e-06,2.330922e-06,2.430918e-06,2.565523e-06,2.607710e-06,2.781502e-06,2.795252e-06,2.951545e-06,3.018369e-06,3.117215e-06,3.233500e-06,3.278004e-06,3.433516e-06,3.439622e-06,3.583446e-06,3.636010e-06,3.727577e-06,3.822203e-06,3.865776e-06,3.997969e-06,4.124122e-06,4.163219e-06,4.244265e-06,4.318030e-06,4.358460e-06,4.462577e-06,4.466799e-06,4.569404e-06,4.597124e-06,4.666413e-06,4.721994e-06,4.757977e-06,4.837546e-06,4.844258e-06,4.925425e-06,4.944164e-06,5.001655e-06,5.042252e-06,5.073124e-06,5.132220e-06,5.140011e-06,5.202493e-06,5.214476e-06,5.260746e-06,5.289425e-06,5.314945e-06,5.357461e-06,5.365257e-06,5.411850e-06,5.418970e-06,5.454884e-06,5.474324e-06,5.494518e-06,5.523879e-06,5.530903e-06,5.564186e-06,5.567978e-06,5.594510e-06,5.606951e-06,5.622012e-06,5.641108e-06,5.646825e-06,5.669075e-06,5.670748e-06,5.688885e-06,5.696153e-06,5.706374e-06,5.717592e-06,5.721654e-06,5.734833e-06,5.735318e-06,5.746017e-06,5.749573e-06,5.755303e-06,5.760584e-06,5.762790e-06,5.768567e-06,5.772722e-06,5.773724e-06,5.775341e-06,5.776247e-06,5.776502e-06,5.776318e-06,5.776283e-06,5.774758e-06,5.774106e-06,5.771996e-06,5.769774e-06,5.768065e-06,5.763471e-06,5.763029e-06,5.756949e-06,5.755341e-06,5.749884e-06,5.745519e-06,5.741890e-06,5.734130e-06,5.733021e-06,5.723326e-06,5.721292e-06,5.712855e-06,5.707119e-06,5.701654e-06,5.691714e-06,5.689768e-06,5.677239e-06,5.675177e-06,5.664106e-06,5.657600e-06,5.650409e-06,5.639070e-06,5.636184e-06,5.621466e-06,5.619669e-06,5.606289e-06,5.599473e-06,5.590683e-06,5.578555e-06,5.574679e-06,5.558306e-06,5.556981e-06,5.541592e-06,5.534816e-06,5.524561e-06,5.512118e-06,5.507240e-06,5.489652e-06,5.488944e-06,5.471820e-06,5.465344e-06,5.453764e-06,5.441369e-06,5.435505e-06,5.417063e-06,5.392469e-06,5.367628e-06,5.342576e-06,5.317349e-06,5.291979e-06,5.266496e-06,5.240930e-06,5.215306e-06,5.189650e-06,5.163983e-06,5.138328e-06,5.112705e-06,5.087131e-06,5.061625e-06,5.036201e-06,5.010876e-06,4.985662e-06,4.960572e-06,4.935618e-06,4.910810e-06,4.886158e-06,4.861672e-06,4.837359e-06,4.813227e-06
0.000000e+00,7.013300e-12,1.623485e-11,5.647824e-11,1.291367e-10,1.886891e-10,4.285864e-10,4.414713e-10,8.511410e-10,9.988240e-10,1.453337e-09,1.921784e-09,2.283386e-09,3.277928e-09,3.375743e-09,4.761876e-09,5.141175e-09,6.465816e-09,7.563293e-09,8.497371e-09,1.054813e-08,1.084579e-08,1.347940e-08,1.403650e-08,1.635330e-08,1.792669e-08,1.941961e-08,2.211143e-08,2.263403e-08,2.595793e-08,2.649762e-08,2.935797e-08,3.100839e-08,3.280521e-08,3.557986e-08,3.627433e-08,3.974317e-08,4.015846e-08,4.319240e-08,4.469947e-08,4.660535e-08,4.916608e-08,4.996778e-08,5.326779e-08,5.352879e-08,5.649557e-08,5.776463e-08,5.964324e-08,6.185642e-08,6.270462e-08,6.567504e-08,6.579192e-08,6.855116e-08,6.956301e-08,7.133072e-08,7.316498e-08,7.401244e-08,7.659582e-08,7.908102e-08,7.985566e-08,8.146876e-08,8.294626e-08,8.376016e-08,8.587065e-08,8.595672e-08,8.806019e-08,8.863275e-08,9.007257e-08,9.123715e-08,9.199599e-08,9.368890e-08,9.383270e-08,9.558506e-08,9.599334e-08,9.725547e-08,9.815600e-08,9.884635e-08,1.001825e-07,1.003602e-07,1.017993e-07,1.020784e-07,1.031663e-07,1.038495e-07,1.044636e-07,1.055010e-07,1.056934e-07,1.068581e-07,1.070386e-07,1.079601e-07,1.084675e-07,1.090016e-07,1.097927e-07,1.099847e-07,1.109117e-07,1.110193e-07,1.117846e-07,1.121520e-07,1.126054e-07,1.131956e-07,1.133761e-07,1.140987e-07,1.141545e-07,1.147750e-07,1.150329e-07,1.154067e-07,1.158351e-07,1.159958e-07,1.165438e-07,1.165649e-07,1.170524e-07,1.172261e-07,1.175231e-07,1.178225e-07,1.179576e-07,1.183574e-07,1.187237e-07,1.188341e-07,1.190581e-07,1.192560e-07,1.193619e-07,1.196259e-07,1.196363e-07,1.198827e-07,1.199468e-07,1.201021e-07,1.202214e-07,1.202959e-07,1.204524e-07,1.204650e-07,1.206106e-07,1.206422e-07,1.207338e-07,1.207933e-07,1.208354e-07,1.209078e-07,1.209165e-07,1.209781e-07,1.209881e-07,1.210209e-07,1.210360e-07,1.210459e-07,1.210537e-07,1.210538e-07,1.210456e-07,1.210428e-07,1.210219e-07,1.210053e-07,1.209835e-07,1.209427e-07,1.209311e-07,1.208654e-07,1.208567e-07,1.207870e-07,1.207487e-07,1.206966e-07,1.206203e-07,1.205948e-07,1.204821e-07,1.204727e-07,1.203592e-07,1.203072e-07,1.202265e-07,1.201252e-07,1.200845e-07,1.199339e-07,1.199277e-07,1.197749e-07,1.197158e-07,1.196082e-07,1.194906e-07,1.194341e-07,1.192531e-07,1.190042e-07,1.187448e-07,1.184757e-07,1.181978e-07,1.179117e-07,1.176183e-07,1.173181e-07,1.170118e-07,1.167000e-07,1.163833e-07,1.160622e-07,1.157372e-07,1.154089e-07,1.150775e-07,1.147436e-07,1.144076e-07,1.140699e-07,1.137308e-07,1.133905e-07,1.130496e-07,1.127082e-07,1.123666e-07,1.120251e-07,1.116840e-07
0.000000e+00,4.595411e-12,2.735319e-11,3.605766e-10,1.867737e-09,3.882540e-09,1.784977e-08,1.883007e-08,5.965168e-08,7.824981e-08,1.455394e-07,2.277482e-07,2.983713e-07,5.177591e-07,5.410144e-07,8.961429e-07,1.000542e-06,1.385300e-06,1.725110e-06,2.027826e-06,2.732669e-06,2.839373e-06,3.829903e-06,4.049830e-06,5.001471e-06,5.680128e-06,6.346523e-06,7.597960e-06,7.847654e-06,9.479276e-06,9.750438e-06,1.121079e-05,1.206797e-05,1.301019e-05,1.447799e-05,1.484697e-05,1.669402e-05,1.691522e-05,1.852840e-05,1.932657e-05,2.033146e-05,2.167163e-05,2.208844e-05,2.378798e-05,2.392119e-05,2.542161e-05,2.605517e-05,2.698322e-05,2.806059e-05,2.846867e-05,2.987545e-05,2.993007e-05,3.120234e-05,3.166041e-05,3.244919e-05,3.325166e-05,3.361670e-05,3.470622e-05,3.571964e-05,3.602822e-05,3.665922e-05,3.722296e-05,3.752750e-05,3.829652e-05,3.832723e-05,3.906128e-05,3.925544e-05,3.973258e-05,4.010648e-05,4.034410e-05,4.085644e-05,4.089880e-05,4.139958e-05,4.151207e-05,4.184932e-05,4.207992e-05,4.225080e-05,4.256634e-05,4.260673e-05,4.291972e-05,4.297739e-05,4.319229e-05,4.331886e-05,4.342687e-05,4.359625e-05,4.362577e-05,4.379121e-05,4.381472e-05,4.392532e-05,4.397916e-05,4.403012e-05,4.409414e-05,4.410752e-05,4.415937e-05,4.416396e-05,4.418741e-05,4.419263e-05,4.419327e-05,4.418387e-05,4.417854e-05,4.414469e-05,4.414119e-05,4.409312e-05,4.406783e-05,4.402517e-05,4.396680e-05,4.394208e-05,4.384506e-05,4.384090e-05,4.373521e-05,4.369273e-05,4.361359e-05,4.352468e-05,4.348120e-05,4.333897e-05,4.318779e-05,4.313765e-05,4.302847e-05,4.292260e-05,4.286180e-05,4.269557e-05,4.268852e-05,4.250931e-05,4.245815e-05,4.232481e-05,4.221183e-05,4.213563e-05,4.195794e-05,4.194234e-05,4.174546e-05,4.169773e-05,4.154550e-05,4.143234e-05,4.134291e-05,4.116280e-05,4.113812e-05,4.093155e-05,4.089005e-05,4.072356e-05,4.061497e-05,4.051451e-05,4.033833e-05,4.030473e-05,4.009451e-05,4.006085e-05,3.988414e-05,3.978319e-05,3.967388e-05,3.950591e-05,3.946397e-05,3.925463e-05,3.922956e-05,3.904607e-05,3.895460e-05,3.883848e-05,3.868146e-05,3.863202e-05,3.842687e-05,3.841052e-05,3.822317e-05,3.814212e-05,3.802104e-05,3.787656e-05,3.782062e-05,3.762201e-05,3.761411e-05,3.742532e-05,3.735500e-05,3.723064e-05,3.709944e-05,3.703803e-05,3.684759e-05,3.659962e-05,3.635565e-05,3.611579e-05,3.588012e-05,3.564872e-05,3.542164e-05,3.519893e-05,3.498061e-05,3.476669e-05,3.455718e-05,3.435208e-05,3.415137e-05,3.395503e-05,3.376303e-05,3.357533e-05,3.339190e-05,3.321269e-05,3.303764e-05,3.286671e-05,3.269984e-05,3.253696e-05,3.237802e-05,3.222295e-05,3.207168e-05
0.000000e+00,9.461034e-11,4.082083e-10,3.022249e-09,1.017733e-08,1.727336e-08,5.164366e-08,5.367096e-08,1.244240e-07,1.523459e-07,2.445867e-07,3.481579e-07,4.331243e-07,6.845238e-07,7.103565e-07,1.089004e-06,1.194987e-06,1.566436e-06,1.872037e-06,2.129118e-06,2.682995e-06,2.762280e-06,3.454384e-06,3.599097e-06,4.197008e-06,4.600902e-06,4.983535e-06,5.673859e-06,5.808115e-06,6.665080e-06,6.804817e-06,7.548676e-06,7.980534e-06,8.453003e-06,9.187365e-06,9.372069e-06,1.029989e-05,1.041154e-05,1.123060e-05,1.163958e-05,1.215862e-05,1.285886e-05,1.307869e-05,1.398598e-05,1.405788e-05,1.487618e-05,1.522661e-05,1.574549e-05,1.635660e-05,1.659064e-05,1.740891e-05,1.744105e-05,1.819808e-05,1.847470e-05,1.895641e-05,1.945378e-05,1.968260e-05,2.037575e-05,2.103530e-05,2.123922e-05,2.166104e-05,2.204378e-05,2.225302e-05,2.278978e-05,2.281148e-05,2.333687e-05,2.347813e-05,2.382976e-05,2.411018e-05,2.429083e-05,2.468756e-05,2.472084e-05,2.512069e-05,2.521227e-05,2.549133e-05,2.568650e-05,2.583376e-05,2.611256e-05,2.614899e-05,2.643806e-05,2.649283e-05,2.670205e-05,2.682976e-05,2.694202e-05,2.712584e-05,2.715908e-05,2.735444e-05,2.738376e-05,2.752917e-05,2.760597e-05,2.768417e-05,2.779466e-05,2.782046e-05,2.793892e-05,2.795198e-05,2.804044e-05,2.807997e-05,2.812590e-05,2.818060e-05,2.819610e-05,2.825186e-05,2.825572e-05,2.829395e-05,2.830712e-05,2.832311e-05,2.833650e-05,2.834006e-05,2.834547e-05,2.834546e-05,2.834001e-05,2.833551e-05,2.832431e-05,2.830809e-05,2.829897e-05,2.826456e-05,2.822164e-05,2.820619e-05,2.817073e-05,2.813419e-05,2.811234e-05,2.804968e-05,2.804694e-05,2.797500e-05,2.795374e-05,2.789695e-05,2.784737e-05,2.781322e-05,2.773149e-05,2.772418e-05,2.763023e-05,2.760699e-05,2.753173e-05,2.747470e-05,2.742900e-05,2.733538e-05,2.732239e-05,2.721219e-05,2.718975e-05,2.709871e-05,2.703849e-05,2.698221e-05,2.688222e-05,2.686297e-05,2.674123e-05,2.672153e-05,2.661723e-05,2.655698e-05,2.649120e-05,2.638905e-05,2.636335e-05,2.623388e-05,2.621824e-05,2.610298e-05,2.604498e-05,2.597084e-05,2.586968e-05,2.583761e-05,2.570348e-05,2.569271e-05,2.556857e-05,2.551443e-05,2.543305e-05,2.533517e-05,2.529704e-05,2.516068e-05,2.515521e-05,2.502407e-05,2.497485e-05,2.488733e-05,2.479434e-05,2.475058e-05,2.461391e-05,2.443377e-05,2.425413e-05,2.407518e-05,2.389707e-05,2.371995e-05,2.354398e-05,2.336926e-05,2.319593e-05,2.302407e-05,2.285378e-05,2.268515e-05,2.251824e-05,2.235313e-05,2.218987e-05,2.202851e-05,2.186910e-05,2.171167e-05,2.155625e-05,2.140288e-05,2.125157e-05,2.110234e-05,2.095521e-05,2.081017e-05,2.066725e-05
0.000000e+00,1.398707e-12,3.236559e-12,1.119135e-11,2.538805e-11,3.692143e-11,8.280830e-11,8.525355e-11,1.623173e-10,1.898480e-10,2.739983e-10,3.600401e-10,4.260985e-10,6.065973e-10,6.242731e-10,8.736302e-10,9.415487e-10,1.177858e-09,1.372689e-09,1.537859e-09,1.898282e-09,1.950324e-09,2.407299e-09,2.503078e-09,2.897571e-09,3.161662e-09,3.409169e-09,3.847511e-09,3.931404e-09,4.455703e-09,4.539321e-09,4.975535e-09,5.221983e-09,5.486020e-09,5.885209e-09,5.983534e-09,6.465402e-09,6.522076e-09,6.929685e-09,7.128033e-09,7.375037e-09,7.700301e-09,7.800602e-09,8.205931e-09,8.237478e-09,8.590915e-09,8.739242e-09,8.955725e-09,9.206112e-09,9.300757e-09,9.626583e-09,9.639227e-09,9.933908e-09,1.004017e-08,1.022353e-08,1.041080e-08,1.049631e-08,1.075314e-08,1.099494e-08,1.106928e-08,1.122259e-08,1.136128e-08,1.143699e-08,1.163113e-08,1.163898e-08,1.182938e-08,1.188072e-08,1.200896e-08,1.211183e-08,1.217846e-08,1.232607e-08,1.233855e-08,1.248987e-08,1.252495e-08,1.263302e-08,1.270982e-08,1.276854e-08,1.288190e-08,1.289695e-08,1.301871e-08,1.304230e-08,1.313425e-08,1.319202e-08,1.324399e-08,1.333195e-08,1.334828e-08,1.344747e-08,1.346289e-08,1.354186e-08,1.358555e-08,1.363175e-08,1.370059e-08,1.371740e-08,1.379905e-08,1.380859e-08,1.387692e-08,1.391004e-08,1.395123e-08,1.400544e-08,1.402216e-08,1.408990e-08,1.409518e-08,1.415460e-08,1.417967e-08,1.421642e-08,1.425923e-08,1.427550e-08,1.433197e-08,1.433417e-08,1.438595e-08,1.440479e-08,1.443755e-08,1.447134e-08,1.448689e-08,1.453405e-08,1.457914e-08,1.459315e-08,1.462224e-08,1.464882e-08,1.466344e-08,1.470126e-08,1.470280e-08,1.474040e-08,1.475063e-08,1.477632e-08,1.479709e-08,1.481061e-08,1.484078e-08,1.484334e-08,1.487456e-08,1.488184e-08,1.490433e-08,1.492039e-08,1.493270e-08,1.495655e-08,1.495972e-08,1.498544e-08,1.499043e-08,1.500990e-08,1.502214e-08,1.503315e-08,1.505177e-08,1.505523e-08,1.507616e-08,1.507941e-08,1.509601e-08,1.510515e-08,1.511479e-08,1.512907e-08,1.513254e-08,1.514930e-08,1.515124e-08,1.516509e-08,1.517174e-08,1.517995e-08,1.519064e-08,1.519391e-08,1.520700e-08,1.520801e-08,1.521923e-08,1.522389e-08,1.523064e-08,1.523836e-08,1.524126e-08,1.525110e-08,1.525148e-08,1.526019e-08,1.526328e-08,1.526855e-08,1.527383e-08,1.527621e-08,1.528318e-08,1.529137e-08,1.529845e-08,1.530445e-08,1.530943e-08,1.531342e-08,1.531646e-08,1.531858e-08,1.531983e-08,1.532022e-08,1.531981e-08,1.531861e-08,1.531666e-08,1.531399e-08,1.531062e-08,1.530658e-08,1.530191e-08,1.529661e-08,1.529072e-08,1.528426e-08,1.527725e-08,1.526971e-08,1.526167e-08,1.525314e-08,1.524414e-08
0.000000e+00,5.604693e-11,1.404185e-10,5.301290e-10,1.258115e-09,1.863638e-09,4.336395e-09,4.470155e-09,8.753043e-09,1.030816e-08,1.512262e-08,2.012227e-08,2.400309e-08,3.474403e-08,3.580369e-08,5.081104e-08,5.489825e-08,6.903817e-08,8.056000e-08,9.022148e-08,1.110145e-07,1.139915e-07,1.400003e-07,1.454432e-07,1.679415e-07,1.831403e-07,1.975322e-07,2.234609e-07,2.284960e-07,2.605568e-07,2.657699e-07,2.934386e-07,3.094333e-07,3.268694e-07,3.538324e-07,3.605866e-07,3.943424e-07,3.983846e-07,4.279079e-07,4.425625e-07,4.610769e-07,4.859073e-07,4.936675e-07,5.255230e-07,5.280355e-07,5.565117e-07,5.686397e-07,5.865262e-07,6.074848e-07,6.154814e-07,6.433128e-07,6.444020e-07,6.699743e-07,6.792799e-07,6.954361e-07,7.120561e-07,7.196821e-07,7.427086e-07,7.645213e-07,7.712472e-07,7.851347e-07,7.977072e-07,8.045695e-07,8.221427e-07,8.228523e-07,8.400132e-07,8.446218e-07,8.560861e-07,8.652223e-07,8.711066e-07,8.840282e-07,8.851122e-07,8.981415e-07,9.011275e-07,9.102331e-07,9.166095e-07,9.214262e-07,9.305637e-07,9.317596e-07,9.412716e-07,9.430788e-07,9.499999e-07,9.542412e-07,9.579813e-07,9.641348e-07,9.652518e-07,9.718462e-07,9.728408e-07,9.777982e-07,9.804366e-07,9.831405e-07,9.869965e-07,9.879045e-07,9.921206e-07,9.925911e-07,9.958178e-07,9.972874e-07,9.990241e-07,1.001149e-06,1.001766e-06,1.004070e-06,1.004236e-06,1.005960e-06,1.006606e-06,1.007460e-06,1.008311e-06,1.008592e-06,1.009377e-06,1.009402e-06,1.009837e-06,1.009926e-06,1.009990e-06,1.009929e-06,1.009855e-06,1.009451e-06,1.008793e-06,1.008532e-06,1.007898e-06,1.007208e-06,1.006782e-06,1.005515e-06,1.005458e-06,1.003941e-06,1.003483e-06,1.002243e-06,1.001144e-06,1.000378e-06,9.985244e-07,9.983572e-07,9.961915e-07,9.956513e-07,9.938917e-07,9.925491e-07,9.914681e-07,9.892405e-07,9.889303e-07,9.862872e-07,9.857468e-07,9.835477e-07,9.820876e-07,9.807197e-07,9.782815e-07,9.778110e-07,9.748290e-07,9.743456e-07,9.717806e-07,9.702956e-07,9.686722e-07,9.661465e-07,9.655101e-07,9.623000e-07,9.619119e-07,9.590476e-07,9.576045e-07,9.557580e-07,9.532360e-07,9.524361e-07,9.490864e-07,9.488174e-07,9.457135e-07,9.443587e-07,9.423213e-07,9.398693e-07,9.389138e-07,9.354945e-07,9.353576e-07,9.320669e-07,9.308316e-07,9.286342e-07,9.262986e-07,9.251994e-07,9.217653e-07,9.172378e-07,9.127217e-07,9.082222e-07,9.037441e-07,8.992916e-07,8.948685e-07,8.904786e-07,8.861249e-07,8.818104e-07,8.775377e-07,8.733091e-07,8.691267e-07,8.649924e-07,8.609078e-07,8.568744e-07,8.528933e-07,8.489656e-07,8.450923e-07,8.412742e-07,8.375118e-07,8.338056e-07,8.301561e-07,8.265634e-07,8.230279e-07
0.000000e+00,2.781454e-12,1.646184e-11,2.145896e-10,1.101017e-09,2.277426e-09,1.034615e-08,1.090933e-08,3.419234e-08,4.473030e-08,8.264848e-08,1.286783e-07,1.680427e-07,2.896163e-07,3.024548e-07,4.977160e-07,5.548992e-07,7.650799e-07,9.502105e-07,1.114909e-06,1.498117e-06,1.556137e-06,2.095414e-06,2.215403e-06,2.736188e-06,3.109568e-06,3.478221e-06,4.177160e-06,4.317812e-06,5.248544e-06,5.405388e-06,6.262190e-06,6.775485e-06,7.349447e-06,8.265634e-06,8.500451e-06,9.705080e-06,9.852755e-06,1.095315e-05,1.151346e-05,1.223457e-05,1.322466e-05,1.353945e-05,1.485822e-05,1.496405e-05,1.618180e-05,1.671064e-05,1.750165e-05,1.844520e-05,1.880993e-05,2.009952e-05,2.015062e-05,2.136409e-05,2.181213e-05,2.259813e-05,2.341739e-05,2.379691e-05,2.495651e-05,2.607373e-05,2.642187e-05,2.714610e-05,2.780800e-05,2.817177e-05,2.911128e-05,2.914946e-05,3.007843e-05,3.032975e-05,3.095837e-05,3.146282e-05,3.178937e-05,3.251103e-05,3.257186e-05,3.330654e-05,3.347584e-05,3.399433e-05,3.435942e-05,3.463636e-05,3.516449e-05,3.523389e-05,3.578832e-05,3.589416e-05,3.630111e-05,3.655181e-05,3.677379e-05,3.714099e-05,3.720793e-05,3.760513e-05,3.766536e-05,3.796699e-05,3.812859e-05,3.829508e-05,3.853431e-05,3.859099e-05,3.885626e-05,3.888610e-05,3.909239e-05,3.918745e-05,3.930088e-05,3.944172e-05,3.948315e-05,3.964059e-05,3.965216e-05,3.977456e-05,3.982186e-05,3.988633e-05,3.995378e-05,3.997718e-05,4.004830e-05,4.005075e-05,4.010083e-05,4.011541e-05,4.013590e-05,4.015030e-05,4.015454e-05,4.015779e-05,4.014659e-05,4.014011e-05,4.012188e-05,4.009938e-05,4.008454e-05,4.003757e-05,4.003539e-05,3.997525e-05,3.995654e-05,3.990486e-05,3.985801e-05,3.982495e-05,3.974362e-05,3.973621e-05,3.963928e-05,3.961487e-05,3.953479e-05,3.947319e-05,3.942332e-05,3.931989e-05,3.930542e-05,3.918162e-05,3.915620e-05,3.905243e-05,3.898327e-05,3.891830e-05,3.880215e-05,3.877969e-05,3.863702e-05,3.861384e-05,3.849068e-05,3.841925e-05,3.834106e-05,3.821922e-05,3.818849e-05,3.803333e-05,3.801455e-05,3.787588e-05,3.780595e-05,3.771644e-05,3.759411e-05,3.755529e-05,3.739269e-05,3.737963e-05,3.722889e-05,3.716308e-05,3.706411e-05,3.694500e-05,3.689859e-05,3.673251e-05,3.672586e-05,3.656608e-05,3.650611e-05,3.639946e-05,3.628614e-05,3.623283e-05,3.606634e-05,3.584703e-05,3.562853e-05,3.541111e-05,3.519504e-05,3.498053e-05,3.476779e-05,3.455701e-05,3.434837e-05,3.414199e-05,3.393802e-05,3.373657e-05,3.353775e-05,3.334164e-05,3.314831e-05,3.295784e-05,3.277027e-05,3.258566e-05,3.240403e-05,3.222541e-05,3.204982e-05,3.187729e-05,3.170780e-05,3.154138e-05,3.137800e-05
0.000000e+00,1.632532e-12,1.007215e-11,1.427247e-10,7.876443e-10,1.693529e-09,8.468192e-09,8.962997e-09,3.072910e-08,4.115985e-08,8.060306e-08,1.314046e-07,1.767709e-07,3.253676e-07,3.416916e-07,6.019172e-07,6.818412e-07,9.875611e-07,1.270171e-06,1.530348e-06,2.161281e-06,2.259397e-06,3.195535e-06,3.408565e-06,4.346681e-06,5.028682e-06,5.706534e-06,6.996899e-06,7.256686e-06,8.970682e-06,9.258125e-06,1.081829e-05,1.174355e-05,1.276888e-05,1.438399e-05,1.479355e-05,1.686624e-05,1.711707e-05,1.896402e-05,1.988977e-05,2.106703e-05,2.265825e-05,2.315826e-05,2.522321e-05,2.538689e-05,2.724965e-05,2.804710e-05,2.922738e-05,3.061641e-05,3.114801e-05,3.300484e-05,3.307771e-05,3.479265e-05,3.541859e-05,3.650760e-05,3.763075e-05,3.814705e-05,3.970945e-05,4.119417e-05,4.165288e-05,4.260135e-05,4.346160e-05,4.393179e-05,4.513804e-05,4.518681e-05,4.636820e-05,4.668607e-05,4.747804e-05,4.811057e-05,4.851869e-05,4.941717e-05,4.949270e-05,5.040272e-05,5.061191e-05,5.125148e-05,5.170105e-05,5.204172e-05,5.269091e-05,5.277619e-05,5.345759e-05,5.358774e-05,5.408860e-05,5.439766e-05,5.467178e-05,5.512653e-05,5.520965e-05,5.570461e-05,5.577998e-05,5.615900e-05,5.636335e-05,5.657504e-05,5.688169e-05,5.695485e-05,5.730047e-05,5.733974e-05,5.761383e-05,5.774196e-05,5.789675e-05,5.809249e-05,5.815098e-05,5.837818e-05,5.839523e-05,5.857990e-05,5.865380e-05,5.875764e-05,5.887155e-05,5.891279e-05,5.904669e-05,5.905162e-05,5.916057e-05,5.919691e-05,5.925565e-05,5.931012e-05,5.933302e-05,5.939375e-05,5.943885e-05,5.945013e-05,5.946925e-05,5.948141e-05,5.948585e-05,5.948958e-05,5.948949e-05,5.948097e-05,5.947650e-05,5.946103e-05,5.944388e-05,5.943038e-05,5.939331e-05,5.938970e-05,5.933962e-05,5.932627e-05,5.928074e-05,5.924413e-05,5.921361e-05,5.914814e-05,5.913877e-05,5.905673e-05,5.903949e-05,5.896795e-05,5.891928e-05,5.887289e-05,5.878850e-05,5.877197e-05,5.866560e-05,5.864810e-05,5.855414e-05,5.849895e-05,5.843796e-05,5.834185e-05,5.831740e-05,5.819277e-05,5.817756e-05,5.806438e-05,5.800677e-05,5.793251e-05,5.783013e-05,5.779743e-05,5.765940e-05,5.764824e-05,5.751865e-05,5.746165e-05,5.737542e-05,5.727088e-05,5.722992e-05,5.708236e-05,5.707641e-05,5.693292e-05,5.687869e-05,5.678178e-05,5.667814e-05,5.662913e-05,5.647512e-05,5.627002e-05,5.606314e-05,5.585482e-05,5.564532e-05,5.543491e-05,5.522385e-05,5.501236e-05,5.480064e-05,5.458891e-05,5.437734e-05,5.416610e-05,5.395534e-05,5.374521e-05,5.353585e-05,5.332737e-05,5.311990e-05,5.291353e-05,5.270837e-05,5.250450e-05,5.230201e-05,5.210097e-05,5.190145e-05,5.170350e-05,5.150720e-05
0.000000e+00,2.955942e-12,1.648845e-11,1.913770e-10,8.906840e-10,1.752342e-09,7.074824e-09,7.426809e-09,2.105769e-08,2.688111e-08,4.693936e-08,7.017633e-08,8.946680e-08,1.470908e-07,1.530582e-07,2.421851e-07,2.678771e-07,3.613572e-07,4.428580e-07,5.149272e-07,6.814970e-07,7.066034e-07,9.386444e-07,9.899377e-07,1.210957e-06,1.367602e-06,1.520573e-06,1.805459e-06,1.861922e-06,2.227794e-06,2.288095e-06,2.610551e-06,2.798140e-06,3.003053e-06,3.319895e-06,3.399142e-06,3.793765e-06,3.840820e-06,4.182887e-06,4.351511e-06,4.563326e-06,4.845102e-06,4.932598e-06,5.288784e-06,5.316667e-06,5.630427e-06,5.762763e-06,5.956466e-06,6.181129e-06,6.266169e-06,6.559094e-06,6.570458e-06,6.835037e-06,6.930214e-06,7.094001e-06,7.260483e-06,7.336164e-06,7.561842e-06,7.771465e-06,7.835236e-06,7.965550e-06,8.081879e-06,8.144684e-06,8.303170e-06,8.309495e-06,8.460646e-06,8.500612e-06,8.598813e-06,8.675766e-06,8.724681e-06,8.830202e-06,8.838930e-06,8.942230e-06,8.965465e-06,9.035232e-06,9.083053e-06,9.118570e-06,9.184396e-06,9.192851e-06,9.258658e-06,9.270852e-06,9.316547e-06,9.343697e-06,9.367047e-06,9.404124e-06,9.410659e-06,9.447856e-06,9.453243e-06,9.479085e-06,9.492080e-06,9.504767e-06,9.521586e-06,9.525298e-06,9.541049e-06,9.542635e-06,9.552369e-06,9.556031e-06,9.559585e-06,9.562512e-06,9.563002e-06,9.562906e-06,9.562755e-06,9.559566e-06,9.557379e-06,9.553232e-06,9.546949e-06,9.544137e-06,9.532500e-06,9.531985e-06,9.518525e-06,9.512958e-06,9.502401e-06,9.490301e-06,9.484307e-06,9.464408e-06,9.442859e-06,9.435638e-06,9.419803e-06,9.404319e-06,9.395375e-06,9.370750e-06,9.369701e-06,9.342896e-06,9.335204e-06,9.315071e-06,9.297928e-06,9.286326e-06,9.259149e-06,9.256755e-06,9.226447e-06,9.219073e-06,9.195483e-06,9.177886e-06,9.163941e-06,9.135760e-06,9.131890e-06,9.099397e-06,9.092851e-06,9.066523e-06,9.049297e-06,9.033326e-06,9.005229e-06,8.999858e-06,8.966170e-06,8.960763e-06,8.932307e-06,8.916003e-06,8.898312e-06,8.871047e-06,8.864224e-06,8.830080e-06,8.825980e-06,8.795914e-06,8.780882e-06,8.761758e-06,8.735824e-06,8.727641e-06,8.693590e-06,8.690870e-06,8.659631e-06,8.646078e-06,8.625786e-06,8.601501e-06,8.592077e-06,8.558524e-06,8.557186e-06,8.525146e-06,8.513175e-06,8.491957e-06,8.469506e-06,8.458975e-06,8.426212e-06,8.383325e-06,8.340869e-06,8.298870e-06,8.257348e-06,8.216321e-06,8.175805e-06,8.135815e-06,8.096360e-06,8.057452e-06,8.019099e-06,7.981307e-06,7.944082e-06,7.907428e-06,7.871347e-06,7.835841e-06,7.800912e-06,7.766560e-06,7.732783e-06,7.699579e-06,7.666948e-06,7.634885e-06,7.603389e-06,7.572453e-06,7.542076e-06
0.000000e+00,5.267911e-11,2.492581e-10,2.145385e-09,7.964597e-09,1.407884e-08,4.524981e-08,4.712482e-08,1.130786e-07,1.390666e-07,2.239745e-07,3.173897e-07,3.926907e-07,6.110496e-07,6.332835e-07,9.597260e-07,1.052092e-06,1.381693e-06,1.660338e-06,1.899740e-06,2.428687e-06,2.505647e-06,3.187531e-06,3.331994e-06,3.934006e-06,4.344409e-06,4.735333e-06,5.444595e-06,5.583008e-06,6.469130e-06,6.613962e-06,7.386003e-06,7.834782e-06,8.325997e-06,9.089560e-06,9.281561e-06,1.024533e-05,1.036119e-05,1.121025e-05,1.163345e-05,1.216970e-05,1.289149e-05,1.311765e-05,1.404864e-05,1.412224e-05,1.495794e-05,1.531465e-05,1.584149e-05,1.645978e-05,1.669592e-05,1.751852e-05,1.755073e-05,1.830718e-05,1.858247e-05,1.906035e-05,1.955169e-05,1.977700e-05,2.045652e-05,2.109868e-05,2.129630e-05,2.170362e-05,2.207140e-05,2.227170e-05,2.278295e-05,2.280353e-05,2.329991e-05,2.343267e-05,2.376177e-05,2.402274e-05,2.419015e-05,2.455566e-05,2.458618e-05,2.495106e-05,2.503413e-05,2.528600e-05,2.546096e-05,2.559226e-05,2.583904e-05,2.587110e-05,2.612377e-05,2.617128e-05,2.635152e-05,2.646051e-05,2.655557e-05,2.670951e-05,2.673709e-05,2.689726e-05,2.692098e-05,2.703721e-05,2.709752e-05,2.715802e-05,2.724160e-05,2.726075e-05,2.734641e-05,2.735559e-05,2.741598e-05,2.744174e-05,2.747041e-05,2.750220e-05,2.751059e-05,2.753737e-05,2.753896e-05,2.755158e-05,2.755393e-05,2.755401e-05,2.754889e-05,2.754541e-05,2.752649e-05,2.752553e-05,2.749793e-05,2.748541e-05,2.746038e-05,2.743002e-05,2.741444e-05,2.736072e-05,2.729976e-05,2.727882e-05,2.723210e-05,2.718550e-05,2.715822e-05,2.708190e-05,2.707861e-05,2.699372e-05,2.696906e-05,2.690396e-05,2.684795e-05,2.680975e-05,2.671947e-05,2.671146e-05,2.660946e-05,2.658446e-05,2.650407e-05,2.644370e-05,2.639563e-05,2.629792e-05,2.628444e-05,2.617077e-05,2.614777e-05,2.605491e-05,2.599387e-05,2.593710e-05,2.583681e-05,2.581758e-05,2.569657e-05,2.567709e-05,2.557430e-05,2.551521e-05,2.545095e-05,2.535162e-05,2.532671e-05,2.520175e-05,2.518672e-05,2.507625e-05,2.502089e-05,2.495034e-05,2.485448e-05,2.482419e-05,2.469791e-05,2.468780e-05,2.457163e-05,2.452115e-05,2.444547e-05,2.435477e-05,2.431954e-05,2.419394e-05,2.418893e-05,2.406877e-05,2.402383e-05,2.394410e-05,2.385966e-05,2.382003e-05,2.369662e-05,2.353486e-05,2.337452e-05,2.321573e-05,2.305861e-05,2.290326e-05,2.274977e-05,2.259823e-05,2.244869e-05,2.230121e-05,2.215586e-05,2.201266e-05,2.187166e-05,2.173288e-05,2.159635e-05,2.146208e-05,2.133008e-05,2.120036e-05,2.107292e-05,2.094775e-05,2.082486e-05,2.070423e-05,2.058585e-05,2.046971e-05,2.035578e-05
0.000000e+00,5.726263e-11,1.974315e-10,1.059966e-09,2.961731e-09,4.655648e-09,1.198083e-08,1.238752e-08,2.566888e-08,3.056785e-08,4.586342e-08,6.187117e-08,7.435202e-08,1.090972e-07,1.125416e-07,1.617126e-07,1.752477e-07,2.225823e-07,2.616895e-07,2.947744e-07,3.665250e-07,3.768298e-07,4.668476e-07,4.856449e-07,5.630473e-07,6.150068e-07,6.639311e-07,7.513604e-07,7.682301e-07,8.748201e-07,8.920172e-07,9.826689e-07,1.034598e-06,1.090812e-06,1.176933e-06,1.198352e-06,1.304460e-06,1.317061e-06,1.408394e-06,1.453265e-06,1.509502e-06,1.584106e-06,1.607224e-06,1.701104e-06,1.708436e-06,1.790780e-06,1.825411e-06,1.875986e-06,1.934461e-06,1.956541e-06,2.032343e-06,2.035275e-06,2.103358e-06,2.127755e-06,2.169612e-06,2.211982e-06,2.231180e-06,2.288175e-06,2.340743e-06,2.356658e-06,2.389055e-06,2.417826e-06,2.433297e-06,2.472123e-06,2.473666e-06,2.510368e-06,2.520016e-06,2.543610e-06,2.561982e-06,2.573600e-06,2.598493e-06,2.600541e-06,2.624628e-06,2.630006e-06,2.646053e-06,2.656956e-06,2.664997e-06,2.679756e-06,2.681636e-06,2.696133e-06,2.698789e-06,2.708643e-06,2.714413e-06,2.719314e-06,2.726956e-06,2.728282e-06,2.735675e-06,2.736720e-06,2.741613e-06,2.743980e-06,2.746208e-06,2.748987e-06,2.749564e-06,2.751777e-06,2.751970e-06,2.752937e-06,2.753135e-06,2.753127e-06,2.752670e-06,2.752424e-06,2.750900e-06,2.750745e-06,2.748621e-06,2.747512e-06,2.745649e-06,2.743112e-06,2.742041e-06,2.737848e-06,2.737669e-06,2.733121e-06,2.731297e-06,2.727904e-06,2.724098e-06,2.722239e-06,2.716165e-06,2.709719e-06,2.707583e-06,2.702933e-06,2.698426e-06,2.695838e-06,2.688763e-06,2.688463e-06,2.680835e-06,2.678657e-06,2.672979e-06,2.668164e-06,2.664916e-06,2.657336e-06,2.656670e-06,2.648259e-06,2.646218e-06,2.639702e-06,2.634852e-06,2.631015e-06,2.623277e-06,2.622216e-06,2.613318e-06,2.611528e-06,2.604335e-06,2.599635e-06,2.595281e-06,2.587628e-06,2.586166e-06,2.577003e-06,2.575533e-06,2.567800e-06,2.563372e-06,2.558568e-06,2.551168e-06,2.549316e-06,2.540052e-06,2.538940e-06,2.530783e-06,2.526705e-06,2.521517e-06,2.514480e-06,2.512260e-06,2.503018e-06,2.502279e-06,2.493797e-06,2.490116e-06,2.484603e-06,2.478003e-06,2.475441e-06,2.466314e-06,2.465950e-06,2.457227e-06,2.453966e-06,2.448184e-06,2.442063e-06,2.439190e-06,2.430246e-06,2.418523e-06,2.406901e-06,2.395386e-06,2.383982e-06,2.372695e-06,2.361528e-06,2.350485e-06,2.339569e-06,2.328783e-06,2.318130e-06,2.307611e-06,2.297228e-06,2.286983e-06,2.276876e-06,2.266909e-06,2.257081e-06,2.247395e-06,2.237849e-06,2.228444e-06,2.219180e-06,2.210057e-06,2.201074e-06,2.192230e-06,2.183526e-06
0.000000e+00,7.890640e-11,2.094502e-10,8.396622e-10,2.049663e-09,3.069754e-09,7.303506e-09,7.534914e-09,1.504689e-08,1.781886e-08,2.653369e-08,3.577839e-08,4.307813e-08,6.377509e-08,6.585218e-08,9.582618e-08,1.041419e-07,1.332666e-07,1.572664e-07,1.774750e-07,2.209491e-07,2.271536e-07,2.809723e-07,2.921320e-07,3.378392e-07,3.683264e-07,3.969098e-07,4.477391e-07,4.575150e-07,5.190960e-07,5.290061e-07,5.811640e-07,6.109990e-07,6.432796e-07,6.927371e-07,7.050441e-07,7.660987e-07,7.733620e-07,8.261238e-07,8.521349e-07,8.848389e-07,9.284382e-07,9.420058e-07,9.974267e-07,1.001780e-06,1.050943e-06,1.071788e-06,1.102433e-06,1.138201e-06,1.151810e-06,1.199016e-06,1.200859e-06,1.244021e-06,1.259682e-06,1.286818e-06,1.314664e-06,1.327419e-06,1.365852e-06,1.402160e-06,1.413338e-06,1.436394e-06,1.457242e-06,1.468613e-06,1.497711e-06,1.498885e-06,1.527280e-06,1.534904e-06,1.553870e-06,1.568990e-06,1.578732e-06,1.600143e-06,1.601940e-06,1.623569e-06,1.628533e-06,1.643693e-06,1.654332e-06,1.662385e-06,1.677704e-06,1.679714e-06,1.695750e-06,1.698807e-06,1.710558e-06,1.717794e-06,1.724202e-06,1.734809e-06,1.736744e-06,1.748242e-06,1.749988e-06,1.758752e-06,1.763461e-06,1.768327e-06,1.775349e-06,1.777019e-06,1.784876e-06,1.785765e-06,1.791945e-06,1.794817e-06,1.798269e-06,1.802603e-06,1.803891e-06,1.808849e-06,1.809218e-06,1.813181e-06,1.814747e-06,1.816924e-06,1.819272e-06,1.820110e-06,1.822772e-06,1.822868e-06,1.824941e-06,1.825606e-06,1.826645e-06,1.827551e-06,1.827911e-06,1.828765e-06,1.829231e-06,1.829303e-06,1.829334e-06,1.829218e-06,1.829094e-06,1.828561e-06,1.828532e-06,1.827668e-06,1.827375e-06,1.826521e-06,1.825704e-06,1.825108e-06,1.823588e-06,1.823446e-06,1.821550e-06,1.821062e-06,1.819436e-06,1.818162e-06,1.817117e-06,1.814918e-06,1.814607e-06,1.811919e-06,1.811361e-06,1.809064e-06,1.807517e-06,1.806054e-06,1.803414e-06,1.802900e-06,1.799611e-06,1.799073e-06,1.796197e-06,1.794517e-06,1.792668e-06,1.789768e-06,1.789032e-06,1.785297e-06,1.784843e-06,1.781471e-06,1.779761e-06,1.777561e-06,1.774538e-06,1.773574e-06,1.769517e-06,1.769189e-06,1.765395e-06,1.763730e-06,1.761215e-06,1.758173e-06,1.756983e-06,1.752703e-06,1.752530e-06,1.748380e-06,1.746814e-06,1.744019e-06,1.741034e-06,1.739625e-06,1.735202e-06,1.729325e-06,1.723412e-06,1.717472e-06,1.711512e-06,1.705538e-06,1.699558e-06,1.693577e-06,1.687600e-06,1.681632e-06,1.675679e-06,1.669744e-06,1.663832e-06,1.657946e-06,1.652090e-06,1.646267e-06,1.640479e-06,1.634730e-06,1.629021e-06,1.623355e-06,1.617735e-06,1.612161e-06,1.606636e-06,1.601162e-06,1.595738e-06
0.000000e+00,4.768599e-13,3.182132e-12,5.301511e-11,3.387118e-10,7.888374e-10,4.839070e-09,5.164243e-09,2.161083e-08,3.053632e-08,6.829605e-08,1.237521e-07,1.781795e-07,3.805086e-07,4.045918e-07,8.266378e-07,9.684512e-07,1.552721e-06,2.142230e-06,2.720093e-06,4.239722e-06,4.489575e-06,7.036448e-06,7.654903e-06,1.053942e-05,1.279620e-05,1.516956e-05,2.004308e-05,2.108055e-05,2.840080e-05,2.970982e-05,3.722804e-05,4.202040e-05,4.762582e-05,5.709486e-05,5.962217e-05,7.320979e-05,7.494562e-05,8.834757e-05,9.548171e-05,1.049632e-04,1.185189e-04,1.229567e-04,1.422039e-04,1.437936e-04,1.625611e-04,1.709796e-04,1.838694e-04,1.997053e-04,2.059591e-04,2.286539e-04,2.295717e-04,2.517751e-04,2.601689e-04,2.751455e-04,2.910913e-04,2.985923e-04,3.219506e-04,3.450653e-04,3.523869e-04,3.677934e-04,3.820761e-04,3.900053e-04,4.107361e-04,4.115858e-04,4.324347e-04,4.381294e-04,4.524669e-04,4.640645e-04,4.716124e-04,4.883950e-04,4.898155e-04,5.070344e-04,5.110171e-04,5.232406e-04,5.318669e-04,5.384170e-04,5.509155e-04,5.525577e-04,5.656661e-04,5.681649e-04,5.777544e-04,5.836433e-04,5.888418e-04,5.974003e-04,5.989539e-04,6.081213e-04,6.095027e-04,6.163787e-04,6.200300e-04,6.237640e-04,6.290711e-04,6.303172e-04,6.360801e-04,6.367205e-04,6.410953e-04,6.430762e-04,6.454057e-04,6.482367e-04,6.490542e-04,6.520829e-04,6.522997e-04,6.545331e-04,6.553603e-04,6.564449e-04,6.575098e-04,6.578570e-04,6.588063e-04,6.588352e-04,6.593284e-04,6.594182e-04,6.594567e-04,6.593353e-04,6.592231e-04,6.586575e-04,6.577880e-04,6.574500e-04,6.566411e-04,6.557729e-04,6.552414e-04,6.536810e-04,6.536117e-04,6.517734e-04,6.512240e-04,6.497463e-04,6.484471e-04,6.475487e-04,6.453909e-04,6.451976e-04,6.427086e-04,6.420924e-04,6.400962e-04,6.385843e-04,6.373736e-04,6.348964e-04,6.345532e-04,6.316461e-04,6.310553e-04,6.286628e-04,6.270845e-04,6.256127e-04,6.230055e-04,6.225046e-04,6.193466e-04,6.188371e-04,6.161459e-04,6.145964e-04,6.129093e-04,6.102984e-04,6.096430e-04,6.063527e-04,6.059565e-04,6.030436e-04,6.015828e-04,5.997203e-04,5.971880e-04,5.963874e-04,5.930487e-04,5.927814e-04,5.897078e-04,5.883717e-04,5.863682e-04,5.839662e-04,5.830330e-04,5.797047e-04,5.795718e-04,5.763862e-04,5.751943e-04,5.730796e-04,5.708391e-04,5.697871e-04,5.665107e-04,5.622134e-04,5.579507e-04,5.537260e-04,5.495419e-04,5.454011e-04,5.413057e-04,5.372575e-04,5.332582e-04,5.293091e-04,5.254114e-04,5.215662e-04,5.177741e-04,5.140359e-04,5.103521e-04,5.067230e-04,5.031489e-04,4.996299e-04,4.961662e-04,4.927576e-04,4.894041e-04,4.861054e-04,4.828614e-04,4.796717e-04,4.765360e-04
0.000000e+00,7.692794e-13,4.461307e-12,5.586681e-11,2.770472e-10,5.630577e-10,2.452991e-09,2.582402e-09,7.806778e-09,1.012221e-08,1.831952e-08,2.809706e-08,3.636426e-08,6.156475e-08,6.420522e-08,1.040614e-07,1.156545e-07,1.580714e-07,1.952564e-07,2.282460e-07,3.047979e-07,3.163716e-07,4.238392e-07,4.477347e-07,5.514100e-07,6.256985e-07,6.989898e-07,8.376773e-07,8.655271e-07,1.049105e-06,1.079897e-06,1.247210e-06,1.346642e-06,1.457045e-06,1.631469e-06,1.675806e-06,1.900860e-06,1.928173e-06,2.129830e-06,2.231267e-06,2.360620e-06,2.536107e-06,2.591407e-06,2.820619e-06,2.838846e-06,3.046908e-06,3.136343e-06,3.269134e-06,3.426078e-06,3.486343e-06,3.697752e-06,3.706078e-06,3.902732e-06,3.974852e-06,4.100792e-06,4.231328e-06,4.291566e-06,4.474798e-06,4.650326e-06,4.704854e-06,4.818073e-06,4.921341e-06,4.978029e-06,5.124303e-06,5.130245e-06,5.274817e-06,5.313945e-06,5.411883e-06,5.490589e-06,5.541612e-06,5.654647e-06,5.664196e-06,5.779845e-06,5.806594e-06,5.888784e-06,5.946946e-06,5.991246e-06,6.076243e-06,6.087469e-06,6.177694e-06,6.195041e-06,6.262164e-06,6.303893e-06,6.341117e-06,6.403349e-06,6.414792e-06,6.483420e-06,6.493948e-06,6.547229e-06,6.576211e-06,6.606441e-06,6.650646e-06,6.661271e-06,6.711927e-06,6.717735e-06,6.758610e-06,6.777943e-06,6.801516e-06,6.831712e-06,6.840830e-06,6.876733e-06,6.879463e-06,6.909398e-06,6.921595e-06,6.938991e-06,6.958485e-06,6.965671e-06,6.989589e-06,6.990491e-06,7.010893e-06,7.017949e-06,7.029720e-06,7.041177e-06,7.046206e-06,7.060476e-06,7.072653e-06,7.076126e-06,7.082852e-06,7.088394e-06,7.091185e-06,7.097527e-06,7.097757e-06,7.102669e-06,7.103760e-06,7.106017e-06,7.107313e-06,7.107892e-06,7.108391e-06,7.108381e-06,7.107567e-06,7.107187e-06,7.105529e-06,7.103882e-06,7.102343e-06,7.098646e-06,7.098080e-06,7.092807e-06,7.091637e-06,7.086590e-06,7.083004e-06,7.079489e-06,7.072885e-06,7.071564e-06,7.062870e-06,7.061411e-06,7.053459e-06,7.048702e-06,7.043382e-06,7.034872e-06,7.032685e-06,7.021415e-06,7.020027e-06,7.009614e-06,7.004264e-06,6.997323e-06,6.987678e-06,6.984580e-06,6.971422e-06,6.970352e-06,6.957883e-06,6.952368e-06,6.943996e-06,6.933799e-06,6.929792e-06,6.915301e-06,6.914716e-06,6.900551e-06,6.895183e-06,6.885568e-06,6.875259e-06,6.870377e-06,6.855001e-06,6.834460e-06,6.813685e-06,6.792720e-06,6.771606e-06,6.750382e-06,6.729084e-06,6.707743e-06,6.686390e-06,6.665052e-06,6.643757e-06,6.622526e-06,6.601382e-06,6.580345e-06,6.559433e-06,6.538663e-06,6.518049e-06,6.497606e-06,6.477346e-06,6.457281e-06,6.437420e-06,6.417772e-06,6.398346e-06,6.379150e-06,6.360189e-06
0.000000e+00,2.817973e-13,1.852988e-12,2.992790e-11,1.857296e-10,4.255357e-10,2.498433e-09,2.661421e-09,1.063137e-08,1.482485e-08,3.203157e-08,5.636128e-08,7.955194e-08,1.621676e-07,1.717296e-07,3.334100e-07,3.858875e-07,5.957162e-07,8.000363e-07,9.952935e-07,1.492572e-06,1.572623e-06,2.369513e-06,2.558841e-06,3.426226e-06,4.090583e-06,4.778754e-06,6.165322e-06,6.456641e-06,8.481512e-06,8.838681e-06,1.086630e-05,1.214037e-05,1.361508e-05,1.607340e-05,1.672331e-05,2.017849e-05,2.061557e-05,2.396099e-05,2.572252e-05,2.804494e-05,3.133144e-05,3.239933e-05,3.698903e-05,3.736525e-05,4.177586e-05,4.373684e-05,4.671964e-05,5.035323e-05,5.177917e-05,5.691315e-05,5.711948e-05,6.208104e-05,6.394221e-05,6.724383e-05,7.073270e-05,7.236466e-05,7.740937e-05,8.234690e-05,8.389966e-05,8.714962e-05,9.014135e-05,9.179347e-05,9.608315e-05,9.625807e-05,1.005267e-04,1.016849e-04,1.045862e-04,1.069173e-04,1.084268e-04,1.117610e-04,1.120418e-04,1.154277e-04,1.162061e-04,1.185834e-04,1.202504e-04,1.215101e-04,1.238988e-04,1.242111e-04,1.266914e-04,1.271616e-04,1.289575e-04,1.300537e-04,1.310169e-04,1.325932e-04,1.328780e-04,1.345500e-04,1.348006e-04,1.360424e-04,1.366978e-04,1.373650e-04,1.383076e-04,1.385278e-04,1.395406e-04,1.396526e-04,1.404133e-04,1.407553e-04,1.411552e-04,1.416374e-04,1.417758e-04,1.422837e-04,1.423198e-04,1.426876e-04,1.428219e-04,1.429955e-04,1.431621e-04,1.432150e-04,1.433533e-04,1.433572e-04,1.434171e-04,1.434230e-04,1.434126e-04,1.433736e-04,1.433458e-04,1.432221e-04,1.430465e-04,1.429801e-04,1.428237e-04,1.426583e-04,1.425580e-04,1.422663e-04,1.422534e-04,1.419136e-04,1.418126e-04,1.415420e-04,1.413050e-04,1.411415e-04,1.407502e-04,1.407152e-04,1.402656e-04,1.401545e-04,1.397951e-04,1.395233e-04,1.393059e-04,1.388616e-04,1.388001e-04,1.382795e-04,1.381737e-04,1.377458e-04,1.374636e-04,1.372005e-04,1.367347e-04,1.366452e-04,1.360811e-04,1.359902e-04,1.355095e-04,1.352327e-04,1.349314e-04,1.344650e-04,1.343479e-04,1.337598e-04,1.336890e-04,1.331682e-04,1.329069e-04,1.325737e-04,1.321204e-04,1.319771e-04,1.313791e-04,1.313312e-04,1.307802e-04,1.305406e-04,1.301811e-04,1.297499e-04,1.295822e-04,1.289841e-04,1.289602e-04,1.283872e-04,1.281727e-04,1.277919e-04,1.273882e-04,1.271986e-04,1.266075e-04,1.258314e-04,1.250606e-04,1.242955e-04,1.235368e-04,1.227848e-04,1.220401e-04,1.213030e-04,1.205737e-04,1.198527e-04,1.191400e-04,1.184360e-04,1.177408e-04,1.170545e-04,1.163773e-04,1.157093e-04,1.150506e-04,1.144012e-04,1.137612e-04,1.131306e-04,1.125094e-04,1.118976e-04,1.112953e-04,1.107023e-04,1.101187e-04
0.000000e+00,3.941311e-11,9.806112e-11,3.675247e-10,8.729624e-10,1.298142e-09,3.091522e-09,3.191294e-09,6.535936e-09,7.819200e-09,1.199119e-08,1.656090e-08,2.019765e-08,3.025113e-08,3.122420e-08,4.442267e-08,4.782546e-08,5.904680e-08,6.766644e-08,7.460672e-08,8.884823e-08,9.082239e-08,1.075190e-07,1.109039e-07,1.245634e-07,1.335242e-07,1.418362e-07,1.564357e-07,1.592196e-07,1.765950e-07,1.793665e-07,1.938459e-07,2.020491e-07,2.108609e-07,2.242338e-07,2.275375e-07,2.437848e-07,2.457018e-07,2.595254e-07,2.662740e-07,2.746964e-07,2.858152e-07,2.892495e-07,3.031506e-07,3.042338e-07,3.163783e-07,3.214783e-07,3.289230e-07,3.375321e-07,3.407849e-07,3.519727e-07,3.524063e-07,3.625014e-07,3.661343e-07,3.723918e-07,3.787649e-07,3.816681e-07,3.903575e-07,3.984888e-07,4.009778e-07,4.060917e-07,4.106942e-07,4.131963e-07,4.195753e-07,4.198321e-07,4.260282e-07,4.276881e-07,4.318125e-07,4.350966e-07,4.372118e-07,4.418610e-07,4.422515e-07,4.469556e-07,4.480372e-07,4.513468e-07,4.536770e-07,4.554460e-07,4.588274e-07,4.592729e-07,4.628459e-07,4.635316e-07,4.661820e-07,4.678284e-07,4.692969e-07,4.717532e-07,4.722052e-07,4.749203e-07,4.753376e-07,4.774548e-07,4.786105e-07,4.798200e-07,4.815976e-07,4.820268e-07,4.840848e-07,4.843223e-07,4.860033e-07,4.868054e-07,4.877905e-07,4.890659e-07,4.894543e-07,4.910019e-07,4.911209e-07,4.924399e-07,4.929859e-07,4.937746e-07,4.946748e-07,4.950117e-07,4.961566e-07,4.962005e-07,4.972142e-07,4.975745e-07,4.981892e-07,4.988072e-07,4.990859e-07,4.999085e-07,5.006606e-07,5.008870e-07,5.013458e-07,5.017508e-07,5.019675e-07,5.025074e-07,5.025288e-07,5.030325e-07,5.031637e-07,5.034816e-07,5.037258e-07,5.038785e-07,5.041998e-07,5.042258e-07,5.045257e-07,5.045909e-07,5.047805e-07,5.049043e-07,5.049922e-07,5.051445e-07,5.051628e-07,5.052942e-07,5.053159e-07,5.053881e-07,5.054226e-07,5.054462e-07,5.054685e-07,5.054701e-07,5.054613e-07,5.054569e-07,5.054213e-07,5.053914e-07,5.053514e-07,5.052750e-07,5.052531e-07,5.051275e-07,5.051106e-07,5.049758e-07,5.049011e-07,5.047992e-07,5.046491e-07,5.045989e-07,5.043757e-07,5.043569e-07,5.041308e-07,5.040270e-07,5.038652e-07,5.036615e-07,5.035796e-07,5.032751e-07,5.032626e-07,5.029525e-07,5.028321e-07,5.026126e-07,5.023719e-07,5.022561e-07,5.018840e-07,5.013698e-07,5.008310e-07,5.002691e-07,4.996856e-07,4.990818e-07,4.984591e-07,4.978186e-07,4.971616e-07,4.964892e-07,4.958024e-07,4.951023e-07,4.943899e-07,4.936660e-07,4.929316e-07,4.921875e-07,4.914345e-07,4.906734e-07,4.899050e-07,4.891298e-07,4.883486e-07,4.875620e-07,4.867707e-07,4.859751e-07,4.851759e-07
0.000000e+00,1.852079e-11,4.270437e-11,1.479863e-10,3.381284e-10,4.943327e-10,1.128139e-09,1.162406e-09,2.264530e-09,2.667846e-09,3.928236e-09,5.254514e-09,6.293784e-09,9.194562e-09,9.481459e-09,1.353088e-08,1.462597e-08,1.838433e-08,2.141599e-08,2.394115e-08,2.933680e-08,3.010591e-08,3.679905e-08,3.819491e-08,4.395174e-08,4.783137e-08,5.149978e-08,5.809959e-08,5.938020e-08,6.753008e-08,6.885487e-08,7.588674e-08,7.995326e-08,8.438871e-08,9.125509e-08,9.297689e-08,1.015956e-07,1.026294e-07,1.101936e-07,1.139581e-07,1.187247e-07,1.251382e-07,1.271480e-07,1.354283e-07,1.360836e-07,1.435358e-07,1.467247e-07,1.514458e-07,1.570076e-07,1.591388e-07,1.665994e-07,1.668928e-07,1.738162e-07,1.763531e-07,1.807816e-07,1.853719e-07,1.874907e-07,1.939409e-07,2.001323e-07,2.020591e-07,2.060665e-07,2.097307e-07,2.117465e-07,2.169642e-07,2.171767e-07,2.223622e-07,2.237711e-07,2.273090e-07,2.301652e-07,2.320235e-07,2.361617e-07,2.365127e-07,2.407836e-07,2.417770e-07,2.448436e-07,2.470278e-07,2.487000e-07,2.519311e-07,2.523603e-07,2.558318e-07,2.565041e-07,2.591218e-07,2.607632e-07,2.622374e-07,2.647249e-07,2.651857e-07,2.679734e-07,2.684049e-07,2.706071e-07,2.718185e-07,2.730934e-07,2.749804e-07,2.754385e-07,2.776484e-07,2.779047e-07,2.797289e-07,2.806049e-07,2.816858e-07,2.830936e-07,2.835244e-07,2.852499e-07,2.853832e-07,2.868675e-07,2.874853e-07,2.883818e-07,2.894108e-07,2.897976e-07,2.911192e-07,2.911702e-07,2.923511e-07,2.927734e-07,2.934973e-07,2.942297e-07,2.945616e-07,2.955480e-07,2.964600e-07,2.967366e-07,2.973010e-07,2.978035e-07,2.980744e-07,2.987562e-07,2.987833e-07,2.994309e-07,2.996016e-07,3.000199e-07,3.003465e-07,3.005533e-07,3.009971e-07,3.010336e-07,3.014634e-07,3.015593e-07,3.018451e-07,3.020388e-07,3.021811e-07,3.024408e-07,3.024737e-07,3.027248e-07,3.027703e-07,3.029367e-07,3.030319e-07,3.031111e-07,3.032302e-07,3.032501e-07,3.033554e-07,3.033692e-07,3.034286e-07,3.034529e-07,3.034715e-07,3.034850e-07,3.034856e-07,3.034723e-07,3.034689e-07,3.034331e-07,3.034080e-07,3.033694e-07,3.033054e-07,3.032824e-07,3.031735e-07,3.031639e-07,3.030437e-07,3.029863e-07,3.028943e-07,3.027752e-07,3.027263e-07,3.025408e-07,3.025330e-07,3.023387e-07,3.022620e-07,3.021210e-07,3.019645e-07,3.018886e-07,3.016423e-07,3.012975e-07,3.009318e-07,3.005470e-07,3.001446e-07,2.997261e-07,2.992930e-07,2.988466e-07,2.983881e-07,2.979187e-07,2.974396e-07,2.969517e-07,2.964561e-07,2.959536e-07,2.954452e-07,2.949316e-07,2.944137e-07,2.938920e-07,2.933674e-07,2.928404e-07,2.923117e-07,2.917817e-07,2.912510e-07,2.907201e-07,2.901894e-07
0.000000e+00,1.926941e-11,4.424979e-11,1.526761e-10,3.486022e-10,5.100918e-10,1.172014e-09,1.208123e-09,2.386639e-09,2.825578e-09,4.218348e-09,5.707085e-09,6.880632e-09,1.014089e-08,1.046025e-08,1.488968e-08,1.606319e-08,2.002443e-08,2.315802e-08,2.573455e-08,3.115903e-08,3.192466e-08,3.852243e-08,3.988538e-08,4.546610e-08,4.919409e-08,5.269722e-08,5.895073e-08,6.015730e-08,6.778706e-08,6.901958e-08,7.552691e-08,7.926382e-08,8.331811e-08,8.954988e-08,9.110404e-08,9.883146e-08,9.975242e-08,1.064512e-07,1.097583e-07,1.139197e-07,1.194709e-07,1.211989e-07,1.282566e-07,1.288108e-07,1.350665e-07,1.377161e-07,1.416075e-07,1.461415e-07,1.478639e-07,1.538245e-07,1.540566e-07,1.594824e-07,1.614444e-07,1.648343e-07,1.682986e-07,1.698800e-07,1.746219e-07,1.790647e-07,1.804242e-07,1.832147e-07,1.857206e-07,1.870796e-07,1.905300e-07,1.906683e-07,1.939903e-07,1.948741e-07,1.970558e-07,1.987763e-07,1.998752e-07,2.022610e-07,2.024593e-07,2.048187e-07,2.053527e-07,2.069641e-07,2.080761e-07,2.089061e-07,2.104550e-07,2.106551e-07,2.122209e-07,2.125130e-07,2.136136e-07,2.142725e-07,2.148425e-07,2.157548e-07,2.159167e-07,2.168450e-07,2.169805e-07,2.176358e-07,2.179689e-07,2.182971e-07,2.187381e-07,2.188367e-07,2.192618e-07,2.193055e-07,2.195795e-07,2.196870e-07,2.197964e-07,2.198978e-07,2.199189e-07,2.199529e-07,2.199519e-07,2.199041e-07,2.198626e-07,2.197780e-07,2.196422e-07,2.195796e-07,2.193139e-07,2.193020e-07,2.189855e-07,2.188527e-07,2.185986e-07,2.183042e-07,2.181574e-07,2.176658e-07,2.171275e-07,2.169460e-07,2.165460e-07,2.161526e-07,2.159244e-07,2.152931e-07,2.152661e-07,2.145737e-07,2.143742e-07,2.138502e-07,2.134022e-07,2.130981e-07,2.123830e-07,2.123198e-07,2.115178e-07,2.113220e-07,2.106940e-07,2.102241e-07,2.098507e-07,2.090939e-07,2.089897e-07,2.081128e-07,2.079357e-07,2.072218e-07,2.067534e-07,2.063182e-07,2.055506e-07,2.054036e-07,2.044793e-07,2.043307e-07,2.035468e-07,2.030966e-07,2.026072e-07,2.018512e-07,2.016617e-07,2.007114e-07,2.005971e-07,1.997574e-07,1.993367e-07,1.988007e-07,1.980722e-07,1.978420e-07,1.968823e-07,1.968055e-07,1.959224e-07,1.955385e-07,1.949629e-07,1.942728e-07,1.940046e-07,1.930481e-07,1.930099e-07,1.920940e-07,1.917512e-07,1.911428e-07,1.904980e-07,1.901951e-07,1.892514e-07,1.880125e-07,1.867822e-07,1.855613e-07,1.843506e-07,1.831508e-07,1.819624e-07,1.807861e-07,1.796222e-07,1.784713e-07,1.773336e-07,1.762096e-07,1.750994e-07,1.740032e-07,1.729214e-07,1.718540e-07,1.708012e-07,1.697630e-07,1.687395e-07,1.677308e-07,1.667369e-07,1.657577e-07,1.647933e-07,1.638436e-07,1.629086e-07
0.000000e+00,3.080739e-12,1.870044e-11,2.564045e-10,1.374340e-09,2.909074e-09,1.398472e-08,1.477865e-08,4.879780e-08,6.471081e-08,1.236139e-07,1.975678e-07,2.623859e-07,4.693443e-07,4.916941e-07,8.406351e-07,9.455330e-07,1.339168e-06,1.694099e-06,2.014533e-06,2.770982e-06,2.886371e-06,3.963301e-06,4.203252e-06,5.242849e-06,5.984884e-06,6.714030e-06,8.086204e-06,8.360719e-06,1.016438e-05,1.046625e-05,1.210571e-05,1.308076e-05,1.416536e-05,1.588538e-05,1.632416e-05,1.856308e-05,1.883624e-05,2.086322e-05,2.188984e-05,2.320586e-05,2.500336e-05,2.557262e-05,2.794569e-05,2.813529e-05,3.030809e-05,3.124646e-05,3.264392e-05,3.430099e-05,3.493855e-05,3.717887e-05,3.726718e-05,3.935335e-05,4.011810e-05,4.145213e-05,4.283182e-05,4.346703e-05,4.539150e-05,4.722056e-05,4.778509e-05,4.895067e-05,5.000495e-05,5.057964e-05,5.204734e-05,5.210644e-05,5.353111e-05,5.391181e-05,5.485455e-05,5.560071e-05,5.607847e-05,5.711853e-05,5.720515e-05,5.823743e-05,5.847148e-05,5.917851e-05,5.966699e-05,6.003192e-05,6.071334e-05,6.080137e-05,6.149074e-05,6.161935e-05,6.210398e-05,6.239409e-05,6.264505e-05,6.304669e-05,6.311792e-05,6.352649e-05,6.358615e-05,6.387458e-05,6.402127e-05,6.416589e-05,6.436049e-05,6.440403e-05,6.459244e-05,6.461186e-05,6.473444e-05,6.478305e-05,6.483322e-05,6.488125e-05,6.489180e-05,6.491307e-05,6.491324e-05,6.489975e-05,6.488532e-05,6.485443e-05,6.480336e-05,6.477955e-05,6.467739e-05,6.467277e-05,6.455012e-05,6.449855e-05,6.439977e-05,6.428533e-05,6.422826e-05,6.403738e-05,6.382882e-05,6.375861e-05,6.360416e-05,6.345260e-05,6.336486e-05,6.312265e-05,6.311231e-05,6.284779e-05,6.277174e-05,6.257250e-05,6.240264e-05,6.228758e-05,6.201785e-05,6.199408e-05,6.169297e-05,6.161967e-05,6.138515e-05,6.121017e-05,6.107148e-05,6.079123e-05,6.075274e-05,6.042966e-05,6.036459e-05,6.010293e-05,5.993179e-05,5.977316e-05,5.949426e-05,5.944096e-05,5.910686e-05,5.905327e-05,5.877137e-05,5.860998e-05,5.843496e-05,5.816545e-05,5.809805e-05,5.776103e-05,5.772060e-05,5.742428e-05,5.727628e-05,5.708812e-05,5.683324e-05,5.675288e-05,5.641882e-05,5.639216e-05,5.608622e-05,5.595364e-05,5.575532e-05,5.551824e-05,5.542633e-05,5.509945e-05,5.508642e-05,5.477486e-05,5.465861e-05,5.445274e-05,5.423517e-05,5.413322e-05,5.381644e-05,5.340270e-05,5.299419e-05,5.259113e-05,5.219369e-05,5.180202e-05,5.141626e-05,5.103649e-05,5.066280e-05,5.029524e-05,4.993386e-05,4.957869e-05,4.922973e-05,4.888698e-05,4.855044e-05,4.822007e-05,4.789586e-05,4.757774e-05,4.726568e-05,4.695963e-05,4.665952e-05,4.636528e-05,4.607684e-05,4.579414e-05,4.551709e-05
0.000000e+00,2.962553e-11,6.880025e-11,2.405189e-10,5.524034e-10,8.094561e-10,1.856421e-09,1.913148e-09,3.741756e-09,4.412456e-09,6.512792e-09,8.730557e-09,1.047503e-08,1.538376e-08,1.587282e-08,2.284700e-08,2.475487e-08,3.136470e-08,3.675841e-08,4.128847e-08,5.107249e-08,5.247821e-08,6.482455e-08,6.742475e-08,7.824087e-08,8.561446e-08,9.264981e-08,1.054639e-07,1.079739e-07,1.241309e-07,1.267875e-07,1.410320e-07,1.493811e-07,1.585823e-07,1.730228e-07,1.766818e-07,1.952275e-07,1.974780e-07,2.141154e-07,2.225078e-07,2.332424e-07,2.478769e-07,2.525082e-07,2.718170e-07,2.733609e-07,2.910793e-07,2.987524e-07,3.102122e-07,3.238653e-07,3.291405e-07,3.477967e-07,3.485364e-07,3.661212e-07,3.726266e-07,3.840623e-07,3.960205e-07,4.015759e-07,4.186250e-07,4.351792e-07,4.403680e-07,4.512144e-07,4.611957e-07,4.667119e-07,4.810710e-07,4.816581e-07,4.960438e-07,4.999705e-07,5.098637e-07,5.178832e-07,5.231160e-07,5.348077e-07,5.358018e-07,5.479246e-07,5.507510e-07,5.594904e-07,5.657266e-07,5.705065e-07,5.797534e-07,5.809823e-07,5.909278e-07,5.928543e-07,6.003546e-07,6.050554e-07,6.092746e-07,6.163852e-07,6.177007e-07,6.256460e-07,6.268735e-07,6.331241e-07,6.365516e-07,6.401487e-07,6.454512e-07,6.467338e-07,6.528932e-07,6.536044e-07,6.586410e-07,6.610432e-07,6.639909e-07,6.677993e-07,6.689568e-07,6.735521e-07,6.739041e-07,6.777903e-07,6.793884e-07,6.816843e-07,6.842823e-07,6.852473e-07,6.884917e-07,6.886150e-07,6.914300e-07,6.924151e-07,6.940741e-07,6.957102e-07,6.964360e-07,6.985270e-07,7.003584e-07,7.008914e-07,7.019410e-07,7.028281e-07,7.032853e-07,7.043612e-07,7.044016e-07,7.052999e-07,7.055137e-07,7.059898e-07,7.063076e-07,7.064807e-07,7.067643e-07,7.067815e-07,7.069012e-07,7.069039e-07,7.068481e-07,7.067459e-07,7.066304e-07,7.063091e-07,7.062561e-07,7.057329e-07,7.056110e-07,7.050680e-07,7.046688e-07,7.042688e-07,7.034985e-07,7.033419e-07,7.022942e-07,7.021158e-07,7.011319e-07,7.005352e-07,6.998613e-07,6.987708e-07,6.984883e-07,6.970186e-07,6.968360e-07,6.954577e-07,6.947434e-07,6.938109e-07,6.925050e-07,6.920833e-07,6.902798e-07,6.901324e-07,6.884052e-07,6.876364e-07,6.864638e-07,6.850273e-07,6.844602e-07,6.823984e-07,6.823148e-07,6.802825e-07,6.795082e-07,6.781162e-07,6.766163e-07,6.759034e-07,6.736474e-07,6.706093e-07,6.675093e-07,6.643546e-07,6.611516e-07,6.579066e-07,6.546255e-07,6.513137e-07,6.479764e-07,6.446186e-07,6.412447e-07,6.378591e-07,6.344658e-07,6.310685e-07,6.276708e-07,6.242759e-07,6.208869e-07,6.175067e-07,6.141380e-07,6.107831e-07,6.074445e-07,6.041242e-07,6.008241e-07,5.975462e-07,5.942920e-07
0.000000e+00,1.658464e-11,3.848864e-11,1.346581e-10,3.100283e-10,4.551988e-10,1.051667e-09,1.084204e-09,2.143418e-09,2.536434e-09,3.780199e-09,5.111330e-09,6.168768e-09,9.180867e-09,9.483277e-09,1.382361e-08,1.501632e-08,1.914990e-08,2.251303e-08,2.532448e-08,3.134429e-08,3.220282e-08,3.967229e-08,4.122933e-08,4.764825e-08,5.197267e-08,5.606172e-08,6.342166e-08,6.485065e-08,7.395549e-08,7.543765e-08,8.331761e-08,8.788579e-08,9.287921e-08,1.006342e-07,1.025840e-07,1.123780e-07,1.135569e-07,1.222107e-07,1.265371e-07,1.320352e-07,1.394701e-07,1.418092e-07,1.514951e-07,1.522651e-07,1.610597e-07,1.648452e-07,1.704748e-07,1.771474e-07,1.797163e-07,1.887641e-07,1.891217e-07,1.976020e-07,2.007296e-07,2.062169e-07,2.119424e-07,2.145987e-07,2.227401e-07,2.306355e-07,2.331096e-07,2.382817e-07,2.430436e-07,2.456769e-07,2.525398e-07,2.528207e-07,2.597137e-07,2.615991e-07,2.663578e-07,2.702257e-07,2.727553e-07,2.784259e-07,2.789093e-07,2.848236e-07,2.862078e-07,2.905022e-07,2.935808e-07,2.959494e-07,3.005555e-07,3.011702e-07,3.061692e-07,3.071428e-07,3.109516e-07,3.133545e-07,3.155225e-07,3.192026e-07,3.198873e-07,3.240511e-07,3.246990e-07,3.280194e-07,3.298562e-07,3.317973e-07,3.346862e-07,3.353902e-07,3.388035e-07,3.392012e-07,3.420422e-07,3.434133e-07,3.451116e-07,3.473341e-07,3.480167e-07,3.507625e-07,3.509754e-07,3.533541e-07,3.543485e-07,3.557961e-07,3.574646e-07,3.580935e-07,3.602509e-07,3.603343e-07,3.622728e-07,3.629684e-07,3.641638e-07,3.653771e-07,3.659283e-07,3.675704e-07,3.690945e-07,3.695580e-07,3.705046e-07,3.713491e-07,3.718047e-07,3.729529e-07,3.729987e-07,3.740904e-07,3.743783e-07,3.750835e-07,3.756335e-07,3.759816e-07,3.767269e-07,3.767882e-07,3.775067e-07,3.776664e-07,3.781404e-07,3.784594e-07,3.786925e-07,3.791135e-07,3.791663e-07,3.795646e-07,3.796355e-07,3.798906e-07,3.800324e-07,3.801469e-07,3.803106e-07,3.803365e-07,3.804621e-07,3.804764e-07,3.805262e-07,3.805359e-07,3.805314e-07,3.804948e-07,3.804801e-07,3.803748e-07,3.803586e-07,3.802177e-07,3.801328e-07,3.800112e-07,3.798224e-07,3.797573e-07,3.794582e-07,3.794324e-07,3.791159e-07,3.789673e-07,3.787323e-07,3.784317e-07,3.783094e-07,3.778491e-07,3.778299e-07,3.773530e-07,3.771660e-07,3.768230e-07,3.764440e-07,3.762606e-07,3.756675e-07,3.748402e-07,3.739656e-07,3.730468e-07,3.720870e-07,3.710892e-07,3.700563e-07,3.689910e-07,3.678957e-07,3.667731e-07,3.656255e-07,3.644550e-07,3.632638e-07,3.620539e-07,3.608272e-07,3.595856e-07,3.583308e-07,3.570644e-07,3.557880e-07,3.545030e-07,3.532109e-07,3.519130e-07,3.506105e-07,3.493046e-07,3.479964e-07
0.000000e+00,2.355776e-11,1.194066e-10,1.160848e-09,4.713325e-09,8.689328e-09,3.059935e-08,3.197310e-08,8.269715e-08,1.036682e-07,1.750628e-07,2.577848e-07,3.271005e-07,5.385567e-07,5.608012e-07,8.977919e-07,9.956984e-07,1.350037e-06,1.652760e-06,1.913576e-06,2.488969e-06,2.572414e-06,3.307277e-06,3.461819e-06,4.101273e-06,4.533017e-06,4.941230e-06,5.674778e-06,5.816933e-06,6.720024e-06,6.866563e-06,7.643218e-06,8.091520e-06,8.579860e-06,9.334661e-06,9.523726e-06,1.046899e-05,1.058225e-05,1.141024e-05,1.182183e-05,1.234254e-05,1.304235e-05,1.326145e-05,1.416309e-05,1.423437e-05,1.504410e-05,1.539008e-05,1.590167e-05,1.650332e-05,1.673354e-05,1.753790e-05,1.756949e-05,1.831341e-05,1.858533e-05,1.905909e-05,1.954879e-05,1.977433e-05,2.045881e-05,2.111247e-05,2.131515e-05,2.173545e-05,2.211821e-05,2.232808e-05,2.286890e-05,2.289084e-05,2.342430e-05,2.356851e-05,2.392914e-05,2.421861e-05,2.440610e-05,2.482097e-05,2.485598e-05,2.527962e-05,2.537749e-05,2.567788e-05,2.589013e-05,2.605161e-05,2.636093e-05,2.640172e-05,2.672907e-05,2.679189e-05,2.703454e-05,2.718503e-05,2.731899e-05,2.754231e-05,2.758328e-05,2.782822e-05,2.786567e-05,2.805464e-05,2.815698e-05,2.826333e-05,2.841804e-05,2.845507e-05,2.863059e-05,2.865060e-05,2.879064e-05,2.885634e-05,2.893591e-05,2.903685e-05,2.906708e-05,2.918482e-05,2.919368e-05,2.928976e-05,2.932829e-05,2.938251e-05,2.944207e-05,2.946366e-05,2.953378e-05,2.953636e-05,2.959341e-05,2.961242e-05,2.964309e-05,2.967145e-05,2.968332e-05,2.971458e-05,2.973734e-05,2.974290e-05,2.975205e-05,2.975744e-05,2.975914e-05,2.975915e-05,2.975901e-05,2.975206e-05,2.974895e-05,2.973868e-05,2.972771e-05,2.971921e-05,2.969624e-05,2.969402e-05,2.966342e-05,2.965531e-05,2.962775e-05,2.960566e-05,2.958729e-05,2.954796e-05,2.954234e-05,2.949318e-05,2.948286e-05,2.944007e-05,2.941098e-05,2.938327e-05,2.933287e-05,2.932301e-05,2.925953e-05,2.924909e-05,2.919304e-05,2.916013e-05,2.912376e-05,2.906647e-05,2.905189e-05,2.897762e-05,2.896855e-05,2.890112e-05,2.886681e-05,2.882258e-05,2.876162e-05,2.874215e-05,2.866000e-05,2.865336e-05,2.857627e-05,2.854237e-05,2.849110e-05,2.842897e-05,2.840464e-05,2.831700e-05,2.831347e-05,2.822832e-05,2.819615e-05,2.813870e-05,2.807728e-05,2.804825e-05,2.795709e-05,2.783582e-05,2.771368e-05,2.759088e-05,2.746759e-05,2.734400e-05,2.722025e-05,2.709651e-05,2.697290e-05,2.684956e-05,2.672660e-05,2.660413e-05,2.648225e-05,2.636106e-05,2.624064e-05,2.612106e-05,2.600240e-05,2.588472e-05,2.576808e-05,2.565253e-05,2.553813e-05,2.542490e-05,2.531291e-05,2.520217e-05,2.509271e-05
0.000000e+00,3.372107e-12,2.286252e-11,3.941322e-10,2.602419e-09,6.176923e-09,3.993551e-08,4.271539e-08,1.895097e-07,2.723925e-07,6.374833e-07,1.201287e-06,1.776348e-06,4.035636e-06,4.314119e-06,9.410971e-06,1.119347e-05,1.878886e-05,2.675632e-05,3.478528e-05,5.666138e-05,6.034422e-05,9.895461e-05,1.085826e-04,1.545517e-04,1.915803e-04,2.313959e-04,3.156208e-04,3.339414e-04,4.667022e-04,4.910469e-04,6.341219e-04,7.280531e-04,8.404527e-04,1.036200e-03,1.089645e-03,1.385250e-03,1.423993e-03,1.730342e-03,1.898532e-03,2.127447e-03,2.465246e-03,2.578499e-03,3.084807e-03,3.127723e-03,3.647036e-03,3.887612e-03,4.265209e-03,4.744615e-03,4.938716e-03,5.666345e-03,5.696552e-03,6.446315e-03,6.739489e-03,7.276323e-03,7.867911e-03,8.153593e-03,9.074938e-03,1.003682e-02,1.035257e-02,1.103541e-02,1.169191e-02,1.206666e-02,1.308346e-02,1.312634e-02,1.421015e-02,1.451734e-02,1.531370e-02,1.598349e-02,1.643263e-02,1.747192e-02,1.756263e-02,1.869947e-02,1.897287e-02,1.983906e-02,2.047696e-02,2.097747e-02,2.197532e-02,2.211096e-02,2.323599e-02,2.345969e-02,2.434927e-02,2.492250e-02,2.544773e-02,2.635693e-02,2.652857e-02,2.758921e-02,2.775688e-02,2.862736e-02,2.911707e-02,2.964096e-02,3.043295e-02,3.062821e-02,3.158754e-02,3.170072e-02,3.251762e-02,3.291730e-02,3.341735e-02,3.408029e-02,3.428583e-02,3.512236e-02,3.518788e-02,3.592643e-02,3.623888e-02,3.669770e-02,3.723260e-02,3.743599e-02,3.814129e-02,3.816882e-02,3.881369e-02,3.904774e-02,3.945342e-02,3.986994e-02,4.006081e-02,4.063630e-02,4.118041e-02,4.134799e-02,4.169373e-02,4.200639e-02,4.217691e-02,4.261307e-02,4.263066e-02,4.305575e-02,4.316974e-02,4.345296e-02,4.367825e-02,4.382312e-02,4.414051e-02,4.416708e-02,4.448570e-02,4.455850e-02,4.477986e-02,4.493424e-02,4.505044e-02,4.526975e-02,4.529832e-02,4.552438e-02,4.556705e-02,4.572949e-02,4.582816e-02,4.591452e-02,4.605504e-02,4.608031e-02,4.622770e-02,4.624963e-02,4.635750e-02,4.641380e-02,4.647053e-02,4.654938e-02,4.656754e-02,4.664931e-02,4.665813e-02,4.671656e-02,4.674174e-02,4.677001e-02,4.680183e-02,4.681035e-02,4.683825e-02,4.683996e-02,4.685434e-02,4.685761e-02,4.685925e-02,4.685619e-02,4.685357e-02,4.683787e-02,4.683704e-02,4.681270e-02,4.680142e-02,4.677858e-02,4.675053e-02,4.673603e-02,4.668552e-02,4.660743e-02,4.651729e-02,4.641603e-02,4.630454e-02,4.618367e-02,4.605419e-02,4.591683e-02,4.577228e-02,4.562118e-02,4.546413e-02,4.530169e-02,4.513439e-02,4.496271e-02,4.478710e-02,4.460800e-02,4.442580e-02,4.424086e-02,4.405353e-02,4.386414e-02,4.367296e-02,4.348030e-02,4.328639e-02,4.309148e-02,4.289580e-02
0.000000e+00,1.108963e-10,3.550140e-10,1.749350e-09,4.708304e-09,7.313864e-09,1.856326e-08,1.919001e-08,3.987272e-08,4.761405e-08,7.215908e-08,9.836394e-08,1.190538e-07,1.770486e-07,1.827854e-07,2.635906e-07,2.854033e-07,3.603077e-07,4.209399e-07,4.716828e-07,5.810355e-07,5.967357e-07,7.346161e-07,7.636557e-07,8.844446e-07,9.667546e-07,1.045233e-06,1.187948e-06,1.215859e-06,1.395078e-06,1.424462e-06,1.581550e-06,1.673225e-06,1.773881e-06,1.931016e-06,1.970660e-06,2.170497e-06,2.194619e-06,2.372057e-06,2.460962e-06,2.574085e-06,2.727225e-06,2.775427e-06,2.975042e-06,2.990908e-06,3.172010e-06,3.249873e-06,3.365534e-06,3.502352e-06,3.554935e-06,3.739650e-06,3.746935e-06,3.919224e-06,3.982540e-06,4.093299e-06,4.208387e-06,4.261604e-06,4.423948e-06,4.580209e-06,4.628915e-06,4.730321e-06,4.823158e-06,4.874272e-06,5.006694e-06,5.012090e-06,5.143839e-06,5.179654e-06,5.269613e-06,5.342257e-06,5.389528e-06,5.494790e-06,5.503718e-06,5.612334e-06,5.637590e-06,5.715535e-06,5.771024e-06,5.813489e-06,5.895485e-06,5.906369e-06,5.994351e-06,6.011376e-06,6.077613e-06,6.119103e-06,6.156333e-06,6.219076e-06,6.230686e-06,6.300847e-06,6.311695e-06,6.366986e-06,6.397354e-06,6.429272e-06,6.476436e-06,6.487868e-06,6.542933e-06,6.549311e-06,6.594621e-06,6.616334e-06,6.643084e-06,6.677847e-06,6.688465e-06,6.730905e-06,6.734177e-06,6.770538e-06,6.785636e-06,6.807496e-06,6.832520e-06,6.841904e-06,6.873882e-06,6.875112e-06,6.903545e-06,6.913679e-06,6.931006e-06,6.948476e-06,6.956371e-06,6.979743e-06,7.001219e-06,7.007706e-06,7.020894e-06,7.032583e-06,7.038858e-06,7.054574e-06,7.055197e-06,7.069995e-06,7.073872e-06,7.083329e-06,7.090658e-06,7.095275e-06,7.105102e-06,7.105906e-06,7.115291e-06,7.117365e-06,7.123495e-06,7.127598e-06,7.130583e-06,7.135943e-06,7.136613e-06,7.141643e-06,7.142535e-06,7.145729e-06,7.147498e-06,7.148923e-06,7.150953e-06,7.151274e-06,7.152831e-06,7.153010e-06,7.153639e-06,7.153773e-06,7.153741e-06,7.153342e-06,7.153178e-06,7.151991e-06,7.151808e-06,7.150216e-06,7.149259e-06,7.147890e-06,7.145774e-06,7.145046e-06,7.141718e-06,7.141431e-06,7.137935e-06,7.136302e-06,7.133728e-06,7.130452e-06,7.129124e-06,7.124151e-06,7.123944e-06,7.118833e-06,7.116839e-06,7.113195e-06,7.109189e-06,7.107259e-06,7.101048e-06,7.092463e-06,7.083479e-06,7.074138e-06,7.064479e-06,7.054539e-06,7.044353e-06,7.033952e-06,7.023366e-06,7.012622e-06,7.001747e-06,6.990765e-06,6.979697e-06,6.968565e-06,6.957388e-06,6.946184e-06,6.934968e-06,6.923757e-06,6.912564e-06,6.901402e-06,6.890283e-06,6.879219e-06,6.868218e-06,6.857292e-06,6.846447e-06
0.000000e+00,7.283430e-14,4.826892e-13,7.926172e-12,4.994964e-11,1.154243e-10,6.931333e-10,7.390399e-10,3.021557e-09,4.240803e-09,9.317006e-09,1.662363e-08,2.368319e-08,4.933017e-08,5.233736e-08,1.040487e-07,1.211170e-07,1.904100e-07,2.591775e-07,3.258480e-07,4.989522e-07,5.271915e-07,8.127359e-07,8.815868e-07,1.200948e-06,1.449202e-06,1.709071e-06,2.239468e-06,2.351884e-06,3.140746e-06,3.281068e-06,4.083013e-06,4.590865e-06,5.181788e-06,6.172882e-06,6.435959e-06,7.840458e-06,8.018725e-06,9.386679e-06,1.010901e-05,1.106298e-05,1.241536e-05,1.285526e-05,1.474749e-05,1.490267e-05,1.672233e-05,1.753135e-05,1.876164e-05,2.025950e-05,2.084696e-05,2.295999e-05,2.304483e-05,2.508294e-05,2.584634e-05,2.719889e-05,2.862562e-05,2.929204e-05,3.134795e-05,3.335364e-05,3.398296e-05,3.529777e-05,3.650514e-05,3.717060e-05,3.889393e-05,3.896406e-05,4.067170e-05,4.113375e-05,4.228859e-05,4.321367e-05,4.381129e-05,4.512713e-05,4.523767e-05,4.656685e-05,4.687139e-05,4.779901e-05,4.844704e-05,4.893530e-05,4.985744e-05,4.997765e-05,5.092868e-05,5.110820e-05,5.179157e-05,5.220661e-05,5.256990e-05,5.316122e-05,5.326760e-05,5.388881e-05,5.398139e-05,5.443781e-05,5.467696e-05,5.491894e-05,5.525791e-05,5.533655e-05,5.569493e-05,5.573415e-05,5.599825e-05,5.611533e-05,5.625059e-05,5.641067e-05,5.645584e-05,5.661771e-05,5.662889e-05,5.673974e-05,5.677814e-05,5.682523e-05,5.686594e-05,5.687733e-05,5.689895e-05,5.689921e-05,5.689279e-05,5.688426e-05,5.686137e-05,5.682678e-05,5.680703e-05,5.673191e-05,5.663799e-05,5.660426e-05,5.652708e-05,5.644796e-05,5.640086e-05,5.626670e-05,5.626085e-05,5.610845e-05,5.606373e-05,5.594493e-05,5.584197e-05,5.577146e-05,5.560398e-05,5.558909e-05,5.539879e-05,5.535204e-05,5.520146e-05,5.508817e-05,5.499788e-05,5.481416e-05,5.478881e-05,5.457489e-05,5.453159e-05,5.435676e-05,5.424185e-05,5.413495e-05,5.394617e-05,5.390999e-05,5.368234e-05,5.364569e-05,5.345241e-05,5.334135e-05,5.322060e-05,5.303405e-05,5.298728e-05,5.275276e-05,5.272455e-05,5.251735e-05,5.241356e-05,5.228131e-05,5.210166e-05,5.204490e-05,5.180835e-05,5.178942e-05,5.157186e-05,5.147733e-05,5.133563e-05,5.116581e-05,5.109984e-05,5.086465e-05,5.085526e-05,5.063022e-05,5.054603e-05,5.039667e-05,5.023843e-05,5.016414e-05,4.993274e-05,4.962921e-05,4.932806e-05,4.902949e-05,4.873367e-05,4.844076e-05,4.815089e-05,4.786419e-05,4.758076e-05,4.730069e-05,4.702406e-05,4.675094e-05,4.648138e-05,4.621543e-05,4.595314e-05,4.569454e-05,4.543963e-05,4.518845e-05,4.494101e-05,4.469731e-05,4.445734e-05,4.422111e-05,4.398860e-05,4.375980e-05,4.353469e-05
0.000000e+00,3.642482e-13,2.308313e-12,3.454008e-11,1.999304e-10,4.408774e-10,2.344715e-09,2.487639e-09,9.006708e-09,1.222789e-08,2.470082e-08,4.115553e-08,5.605673e-08,1.055061e-07,1.109692e-07,1.982247e-07,2.249936e-07,3.269618e-07,4.205437e-07,5.061681e-07,7.122849e-07,7.442096e-07,1.048347e-06,1.117636e-06,1.424214e-06,1.649272e-06,1.875311e-06,2.313177e-06,2.402635e-06,3.004564e-06,3.107555e-06,3.677010e-06,4.023081e-06,4.413778e-06,5.044292e-06,5.207049e-06,6.047879e-06,6.151523e-06,6.926667e-06,7.322819e-06,7.833558e-06,8.535567e-06,8.758780e-06,9.692910e-06,9.767755e-06,1.062708e-05,1.099890e-05,1.155312e-05,1.221069e-05,1.246370e-05,1.335238e-05,1.338738e-05,1.421362e-05,1.451604e-05,1.504285e-05,1.558653e-05,1.583639e-05,1.659146e-05,1.730606e-05,1.752597e-05,1.797896e-05,1.838743e-05,1.860957e-05,1.917517e-05,1.919789e-05,1.974441e-05,1.989005e-05,2.025001e-05,2.053424e-05,2.071593e-05,2.111080e-05,2.114365e-05,2.153483e-05,2.162347e-05,2.189127e-05,2.207641e-05,2.221487e-05,2.247399e-05,2.250754e-05,2.277122e-05,2.282065e-05,2.300782e-05,2.312076e-05,2.321918e-05,2.337856e-05,2.340712e-05,2.357336e-05,2.359805e-05,2.371951e-05,2.378300e-05,2.384715e-05,2.393689e-05,2.395770e-05,2.405255e-05,2.406294e-05,2.413296e-05,2.416407e-05,2.420010e-05,2.424293e-05,2.425507e-05,2.429889e-05,2.430194e-05,2.433247e-05,2.434324e-05,2.435669e-05,2.436878e-05,2.437234e-05,2.438014e-05,2.438030e-05,2.438076e-05,2.437935e-05,2.437482e-05,2.436732e-05,2.436287e-05,2.434545e-05,2.432301e-05,2.431485e-05,2.429600e-05,2.427651e-05,2.426482e-05,2.423131e-05,2.422984e-05,2.419139e-05,2.418004e-05,2.414978e-05,2.412342e-05,2.410531e-05,2.406208e-05,2.405822e-05,2.400878e-05,2.399658e-05,2.395719e-05,2.392744e-05,2.390367e-05,2.385512e-05,2.384841e-05,2.379157e-05,2.378003e-05,2.373334e-05,2.370255e-05,2.367385e-05,2.362301e-05,2.361324e-05,2.355165e-05,2.354171e-05,2.348919e-05,2.345894e-05,2.342598e-05,2.337494e-05,2.336212e-05,2.329770e-05,2.328994e-05,2.323282e-05,2.320415e-05,2.316755e-05,2.311774e-05,2.310198e-05,2.303617e-05,2.303090e-05,2.297019e-05,2.294377e-05,2.290411e-05,2.285649e-05,2.283797e-05,2.277184e-05,2.276920e-05,2.270577e-05,2.268200e-05,2.263979e-05,2.259501e-05,2.257396e-05,2.250832e-05,2.242201e-05,2.233617e-05,2.225086e-05,2.216616e-05,2.208211e-05,2.199878e-05,2.191620e-05,2.183443e-05,2.175350e-05,2.167344e-05,2.159428e-05,2.151606e-05,2.143879e-05,2.136250e-05,2.128720e-05,2.121290e-05,2.113963e-05,2.106738e-05,2.099618e-05,2.092602e-05,2.085691e-05,2.078886e-05,2.072186e-05,2.065592e-05
0.000000e+00,2.801922e-13,1.903381e-12,3.291449e-11,2.176019e-10,5.163783e-10,3.323631e-09,3.553834e-09,1.557610e-08,2.227924e-08,5.132999e-08,9.515532e-08,1.389658e-07,3.057268e-07,3.258601e-07,6.847540e-07,8.073078e-07,1.319720e-06,1.846670e-06,2.371338e-06,3.783969e-06,4.020373e-06,6.489343e-06,7.104020e-06,1.004169e-05,1.241566e-05,1.497856e-05,2.043870e-05,2.163348e-05,3.036522e-05,3.197996e-05,4.154931e-05,4.790117e-05,5.556869e-05,6.908165e-05,7.280387e-05,9.362302e-05,9.637890e-05,1.183725e-04,1.305900e-04,1.473678e-04,1.724161e-04,1.808863e-04,2.191596e-04,2.224327e-04,2.623694e-04,2.810658e-04,3.106424e-04,3.485759e-04,3.640490e-04,4.226015e-04,4.250502e-04,4.862549e-04,5.104010e-04,5.549082e-04,6.043718e-04,6.284073e-04,7.065485e-04,7.890829e-04,8.163755e-04,8.757213e-04,9.331752e-04,9.661395e-04,1.056169e-03,1.059984e-03,1.156878e-03,1.184501e-03,1.256426e-03,1.317260e-03,1.358221e-03,1.453500e-03,1.461848e-03,1.566890e-03,1.592265e-03,1.672934e-03,1.732604e-03,1.779572e-03,1.873589e-03,1.886407e-03,1.993055e-03,2.014329e-03,2.099149e-03,2.153983e-03,2.204342e-03,2.291768e-03,2.308307e-03,2.410739e-03,2.426967e-03,2.511356e-03,2.558932e-03,2.609902e-03,2.687089e-03,2.706142e-03,2.799870e-03,2.810940e-03,2.890901e-03,2.930058e-03,2.979075e-03,3.044092e-03,3.064256e-03,3.146330e-03,3.152759e-03,3.225203e-03,3.255840e-03,3.300805e-03,3.353182e-03,3.373083e-03,3.442001e-03,3.444688e-03,3.507544e-03,3.530312e-03,3.569708e-03,3.610056e-03,3.628507e-03,3.683966e-03,3.736122e-03,3.752123e-03,3.785025e-03,3.814642e-03,3.830732e-03,3.871664e-03,3.873308e-03,3.912827e-03,3.923356e-03,3.949369e-03,3.969900e-03,3.983018e-03,4.011497e-03,4.013864e-03,4.041998e-03,4.048357e-03,4.067517e-03,4.080701e-03,4.090517e-03,4.108752e-03,4.111098e-03,4.129359e-03,4.132741e-03,4.145399e-03,4.152896e-03,4.159320e-03,4.169446e-03,4.171218e-03,4.181192e-03,4.182616e-03,4.189339e-03,4.192628e-03,4.195752e-03,4.199698e-03,4.200525e-03,4.203748e-03,4.204035e-03,4.205510e-03,4.205844e-03,4.205895e-03,4.205318e-03,4.204987e-03,4.202866e-03,4.202646e-03,4.199609e-03,4.198005e-03,4.195291e-03,4.191566e-03,4.189985e-03,4.183757e-03,4.183490e-03,4.176676e-03,4.173930e-03,4.168803e-03,4.163029e-03,4.160200e-03,4.150923e-03,4.137739e-03,4.123596e-03,4.108605e-03,4.092870e-03,4.076486e-03,4.059544e-03,4.042125e-03,4.024306e-03,4.006157e-03,3.987744e-03,3.969125e-03,3.950357e-03,3.931487e-03,3.912563e-03,3.893625e-03,3.874711e-03,3.855855e-03,3.837088e-03,3.818438e-03,3.799929e-03,3.781583e-03,3.763420e-03,3.745458e-03,3.727713e-03
0.000000e+00,1.583866e-13,1.049031e-12,1.720439e-11,1.082904e-10,2.500648e-10,1.498601e-09,1.597706e-09,6.515184e-09,9.136424e-09,2.002326e-08,3.563996e-08,5.068326e-08,1.050568e-07,1.114085e-07,2.200179e-07,2.556478e-07,3.993927e-07,5.408454e-07,6.770445e-07,1.027267e-06,1.084014e-06,1.653241e-06,1.789479e-06,2.417696e-06,2.902831e-06,3.408541e-06,4.436233e-06,4.653520e-06,6.175661e-06,6.446170e-06,7.992329e-06,8.972454e-06,1.011463e-05,1.203580e-05,1.254710e-05,1.528775e-05,1.563701e-05,1.832822e-05,1.975755e-05,2.165428e-05,2.436123e-05,2.524637e-05,2.908038e-05,2.939674e-05,3.312843e-05,3.480077e-05,3.735975e-05,4.050141e-05,4.174152e-05,4.623982e-05,4.642169e-05,5.082036e-05,5.248294e-05,5.544928e-05,5.860779e-05,6.009380e-05,6.472277e-05,6.930715e-05,7.076032e-05,7.382035e-05,7.666030e-05,7.823849e-05,8.237092e-05,8.254054e-05,8.670839e-05,8.784919e-05,9.072684e-05,9.306094e-05,9.458353e-05,9.798047e-05,9.826881e-05,1.017756e-04,1.025900e-04,1.050990e-04,1.068790e-04,1.082365e-04,1.108430e-04,1.111873e-04,1.139522e-04,1.144831e-04,1.165338e-04,1.178048e-04,1.189354e-04,1.208172e-04,1.211618e-04,1.232183e-04,1.235320e-04,1.251110e-04,1.259632e-04,1.268463e-04,1.281260e-04,1.284313e-04,1.298729e-04,1.300367e-04,1.311785e-04,1.317117e-04,1.323553e-04,1.331679e-04,1.334104e-04,1.343510e-04,1.344215e-04,1.351840e-04,1.354885e-04,1.359160e-04,1.363843e-04,1.365537e-04,1.371031e-04,1.371234e-04,1.375703e-04,1.377195e-04,1.379609e-04,1.381856e-04,1.382804e-04,1.385336e-04,1.387256e-04,1.387749e-04,1.388608e-04,1.389195e-04,1.389435e-04,1.389771e-04,1.389776e-04,1.389669e-04,1.389563e-04,1.389149e-04,1.388652e-04,1.388248e-04,1.387109e-04,1.386997e-04,1.385425e-04,1.385003e-04,1.383557e-04,1.382392e-04,1.381419e-04,1.379333e-04,1.379034e-04,1.376423e-04,1.375875e-04,1.373605e-04,1.372065e-04,1.370600e-04,1.367942e-04,1.367423e-04,1.364092e-04,1.363546e-04,1.360622e-04,1.358910e-04,1.357025e-04,1.354065e-04,1.353314e-04,1.349502e-04,1.349038e-04,1.345600e-04,1.343856e-04,1.341617e-04,1.338542e-04,1.337563e-04,1.333447e-04,1.333116e-04,1.329278e-04,1.327597e-04,1.325062e-04,1.322003e-04,1.320808e-04,1.316520e-04,1.316348e-04,1.312207e-04,1.310648e-04,1.307872e-04,1.304915e-04,1.303522e-04,1.299161e-04,1.293395e-04,1.287628e-04,1.281868e-04,1.276122e-04,1.270399e-04,1.264704e-04,1.259042e-04,1.253420e-04,1.247841e-04,1.242309e-04,1.236829e-04,1.231403e-04,1.226035e-04,1.220727e-04,1.215481e-04,1.210299e-04,1.205183e-04,1.200135e-04,1.195155e-04,1.190245e-04,1.185405e-04,1.180637e-04,1.175941e-04,1.171317e-04
0.000000e+00,3.140989e-13,2.116948e-12,3.601014e-11,2.344392e-10,5.515760e-10,3.470489e-09,3.707378e-09,1.587435e-08,2.255923e-08,5.112212e-08,9.348328e-08,1.352933e-07,2.915622e-07,3.102084e-07,6.375588e-07,7.476974e-07,1.202033e-06,1.661502e-06,2.113146e-06,3.307793e-06,3.505247e-06,5.535430e-06,6.033233e-06,8.379433e-06,1.024224e-05,1.222594e-05,1.637425e-05,1.726977e-05,2.370458e-05,2.487578e-05,3.171547e-05,3.617108e-05,4.147201e-05,5.063430e-05,5.312199e-05,6.678618e-05,6.856584e-05,8.255424e-05,9.017434e-05,1.004820e-04,1.155653e-04,1.205897e-04,1.428623e-04,1.447364e-04,1.672498e-04,1.775794e-04,1.936692e-04,2.138872e-04,2.220078e-04,2.521260e-04,2.533656e-04,2.838617e-04,2.956482e-04,3.170340e-04,3.403127e-04,3.514479e-04,3.868985e-04,4.231750e-04,4.349232e-04,4.600648e-04,4.838985e-04,4.973568e-04,5.333441e-04,5.348448e-04,5.723302e-04,5.827997e-04,6.096243e-04,6.318346e-04,6.465499e-04,6.800550e-04,6.829433e-04,7.186549e-04,7.271090e-04,7.535503e-04,7.726900e-04,7.875100e-04,8.165377e-04,8.204301e-04,8.522217e-04,8.584379e-04,8.828108e-04,8.982213e-04,9.121372e-04,9.357611e-04,9.401543e-04,9.668283e-04,9.709698e-04,9.921366e-04,1.003796e-03,1.016067e-03,1.034219e-03,1.038619e-03,1.059798e-03,1.062248e-03,1.079619e-03,1.087915e-03,1.098102e-03,1.111272e-03,1.115276e-03,1.131172e-03,1.132390e-03,1.145827e-03,1.151350e-03,1.159280e-03,1.168246e-03,1.171574e-03,1.182754e-03,1.183179e-03,1.192866e-03,1.196254e-03,1.201957e-03,1.207579e-03,1.210074e-03,1.217266e-03,1.223581e-03,1.225424e-03,1.229066e-03,1.232162e-03,1.233766e-03,1.237584e-03,1.237729e-03,1.240998e-03,1.241795e-03,1.243616e-03,1.244892e-03,1.245626e-03,1.246971e-03,1.247066e-03,1.247976e-03,1.248119e-03,1.248392e-03,1.248423e-03,1.248351e-03,1.247962e-03,1.247885e-03,1.247026e-03,1.246810e-03,1.245806e-03,1.245038e-03,1.244253e-03,1.242710e-03,1.242393e-03,1.240253e-03,1.239886e-03,1.237857e-03,1.236622e-03,1.235227e-03,1.232969e-03,1.232385e-03,1.229351e-03,1.228975e-03,1.226144e-03,1.224682e-03,1.222781e-03,1.220132e-03,1.219279e-03,1.215654e-03,1.215359e-03,1.211919e-03,1.210397e-03,1.208088e-03,1.205277e-03,1.204173e-03,1.200186e-03,1.200025e-03,1.196138e-03,1.194667e-03,1.192038e-03,1.189225e-03,1.187896e-03,1.183720e-03,1.178170e-03,1.172591e-03,1.166999e-03,1.161406e-03,1.155825e-03,1.150267e-03,1.144740e-03,1.139253e-03,1.133814e-03,1.128430e-03,1.123105e-03,1.117845e-03,1.112655e-03,1.107538e-03,1.102497e-03,1.097535e-03,1.092655e-03,1.087858e-03,1.083146e-03,1.078521e-03,1.073982e-03,1.069530e-03,1.065167e-03,1.060892e-03
0.000000e+00,1.016497e-13,6.888885e-13,1.186518e-11,7.815950e-11,1.851028e-10,1.185141e-09,1.266953e-09,5.523379e-09,7.888774e-09,1.810788e-08,3.346681e-08,4.877839e-08,1.068360e-07,1.138283e-07,2.380828e-07,2.803862e-07,4.567884e-07,6.376008e-07,8.171839e-07,1.299080e-06,1.379541e-06,2.217529e-06,2.425613e-06,3.417862e-06,4.217571e-06,5.079259e-06,6.910673e-06,7.310779e-06,1.022965e-05,1.076861e-05,1.395868e-05,1.607322e-05,1.862340e-05,2.311310e-05,2.434901e-05,3.125728e-05,3.217131e-05,3.946353e-05,4.351320e-05,4.907375e-05,5.737488e-05,6.018201e-05,7.286817e-05,7.395326e-05,8.719605e-05,9.339787e-05,1.032120e-04,1.158050e-04,1.209438e-04,1.404003e-04,1.412144e-04,1.615716e-04,1.696080e-04,1.844287e-04,2.009114e-04,2.089251e-04,2.349972e-04,2.625662e-04,2.716897e-04,2.915394e-04,3.107712e-04,3.218119e-04,3.519893e-04,3.532687e-04,3.857866e-04,3.950642e-04,4.192359e-04,4.396969e-04,4.534825e-04,4.855761e-04,4.883898e-04,5.238202e-04,5.323861e-04,5.596369e-04,5.798127e-04,5.957052e-04,6.275493e-04,6.318941e-04,6.680770e-04,6.753021e-04,7.041330e-04,7.227936e-04,7.399474e-04,7.697660e-04,7.754128e-04,8.104293e-04,8.159840e-04,8.449048e-04,8.612360e-04,8.787555e-04,9.053351e-04,9.119057e-04,9.442878e-04,9.481191e-04,9.758424e-04,9.894507e-04,1.006518e-03,1.029216e-03,1.036271e-03,1.065064e-03,1.067325e-03,1.092869e-03,1.103709e-03,1.119662e-03,1.138317e-03,1.145427e-03,1.170153e-03,1.171120e-03,1.193834e-03,1.202104e-03,1.216471e-03,1.231268e-03,1.238065e-03,1.258627e-03,1.278166e-03,1.284205e-03,1.296698e-03,1.308037e-03,1.314239e-03,1.330166e-03,1.330811e-03,1.346434e-03,1.350641e-03,1.361132e-03,1.369518e-03,1.374931e-03,1.386854e-03,1.387857e-03,1.399937e-03,1.402713e-03,1.411198e-03,1.417158e-03,1.421670e-03,1.430255e-03,1.431381e-03,1.440359e-03,1.442069e-03,1.448633e-03,1.452667e-03,1.456232e-03,1.462114e-03,1.463184e-03,1.469517e-03,1.470475e-03,1.475258e-03,1.477811e-03,1.480433e-03,1.484184e-03,1.485069e-03,1.489191e-03,1.489652e-03,1.492824e-03,1.494274e-03,1.495992e-03,1.498103e-03,1.498718e-03,1.501024e-03,1.501191e-03,1.502931e-03,1.503588e-03,1.504462e-03,1.505341e-03,1.505634e-03,1.506469e-03,1.506496e-03,1.506984e-03,1.507094e-03,1.507196e-03,1.507176e-03,1.507122e-03,1.506779e-03,1.505940e-03,1.504691e-03,1.503064e-03,1.501088e-03,1.498791e-03,1.496198e-03,1.493335e-03,1.490222e-03,1.486882e-03,1.483333e-03,1.479594e-03,1.475683e-03,1.471614e-03,1.467404e-03,1.463065e-03,1.458610e-03,1.454052e-03,1.449401e-03,1.444667e-03,1.439862e-03,1.434992e-03,1.430068e-03,1.425096e-03,1.420084e-03
0.000000e+00,2.164931e-11,1.162125e-10,1.255341e-09,5.526715e-09,1.059275e-08,4.060476e-08,4.255669e-08,1.175965e-07,1.497585e-07,2.622543e-07,3.964512e-07,5.108813e-07,8.648845e-07,9.022555e-07,1.464772e-06,1.626152e-06,2.201436e-06,2.683182e-06,3.092488e-06,3.981960e-06,4.109804e-06,5.227736e-06,5.461539e-06,6.426221e-06,7.075984e-06,7.689713e-06,8.791759e-06,9.005248e-06,1.036102e-05,1.058091e-05,1.174564e-05,1.241722e-05,1.314796e-05,1.427523e-05,1.455709e-05,1.596259e-05,1.613054e-05,1.735472e-05,1.796069e-05,1.872459e-05,1.974592e-05,2.006434e-05,2.136721e-05,2.146968e-05,2.262759e-05,2.311880e-05,2.384096e-05,2.468349e-05,2.500385e-05,2.611374e-05,2.615701e-05,2.716903e-05,2.753538e-05,2.816886e-05,2.881695e-05,2.911306e-05,3.000197e-05,3.083644e-05,3.109215e-05,3.161761e-05,3.209023e-05,3.234689e-05,3.299972e-05,3.302594e-05,3.365654e-05,3.382468e-05,3.424060e-05,3.456952e-05,3.478011e-05,3.523882e-05,3.527706e-05,3.573347e-05,3.583720e-05,3.615133e-05,3.636923e-05,3.653260e-05,3.683937e-05,3.687919e-05,3.719297e-05,3.725194e-05,3.747571e-05,3.761105e-05,3.772916e-05,3.792063e-05,3.795497e-05,3.815475e-05,3.818440e-05,3.832999e-05,3.840583e-05,3.848217e-05,3.858822e-05,3.861265e-05,3.872275e-05,3.873465e-05,3.881371e-05,3.884798e-05,3.888672e-05,3.893089e-05,3.894290e-05,3.898330e-05,3.898589e-05,3.900895e-05,3.901529e-05,3.902078e-05,3.902125e-05,3.901970e-05,3.900655e-05,3.900578e-05,3.898214e-05,3.897075e-05,3.894724e-05,3.891787e-05,3.890254e-05,3.884874e-05,3.878647e-05,3.876485e-05,3.871632e-05,3.866757e-05,3.863888e-05,3.855816e-05,3.855467e-05,3.846419e-05,3.843780e-05,3.836793e-05,3.830758e-05,3.826633e-05,3.816850e-05,3.815981e-05,3.804877e-05,3.802149e-05,3.793359e-05,3.786741e-05,3.781461e-05,3.770704e-05,3.769217e-05,3.756659e-05,3.754112e-05,3.743814e-05,3.737032e-05,3.730712e-05,3.719526e-05,3.717378e-05,3.703837e-05,3.701653e-05,3.690111e-05,3.683463e-05,3.676222e-05,3.665007e-05,3.662190e-05,3.648035e-05,3.646329e-05,3.633774e-05,3.627469e-05,3.619423e-05,3.608467e-05,3.605000e-05,3.590518e-05,3.589357e-05,3.575992e-05,3.570171e-05,3.561433e-05,3.550939e-05,3.546855e-05,3.532269e-05,3.531686e-05,3.517686e-05,3.512438e-05,3.503115e-05,3.493218e-05,3.488565e-05,3.474046e-05,3.454941e-05,3.435920e-05,3.416999e-05,3.398192e-05,3.379512e-05,3.360970e-05,3.342577e-05,3.324342e-05,3.306275e-05,3.288382e-05,3.270671e-05,3.253147e-05,3.235816e-05,3.218681e-05,3.201749e-05,3.185020e-05,3.168500e-05,3.152190e-05,3.136091e-05,3.120207e-05,3.104537e-05,3.089083e-05,3.073846e-05,3.058825e-05
0.000000e+00,2.355351e-13,1.528914e-12,2.404091e-11,1.456038e-10,3.291831e-10,1.867797e-09,1.986904e-09,7.677328e-09,1.061094e-08,2.242895e-08,3.878837e-08,5.414870e-08,1.077923e-07,1.139246e-07,2.161396e-07,2.488764e-07,3.783773e-07,5.029359e-07,6.209545e-07,9.183045e-07,9.658242e-07,1.434795e-06,1.545263e-06,2.047401e-06,2.428020e-06,2.818974e-06,3.597313e-06,3.759345e-06,4.872339e-06,5.066381e-06,6.155962e-06,6.830781e-06,7.603061e-06,8.870905e-06,9.202245e-06,1.093888e-05,1.115572e-05,1.279600e-05,1.364660e-05,1.475518e-05,1.630058e-05,1.679716e-05,1.890245e-05,1.907303e-05,2.105176e-05,2.191960e-05,2.322640e-05,2.479777e-05,2.540853e-05,2.758144e-05,2.766794e-05,2.972970e-05,3.049430e-05,3.183931e-05,3.324536e-05,3.389784e-05,3.589442e-05,3.781982e-05,3.841962e-05,3.966641e-05,4.080401e-05,4.142813e-05,4.303529e-05,4.310042e-05,4.468007e-05,4.510549e-05,4.616521e-05,4.701057e-05,4.755508e-05,4.874985e-05,4.884996e-05,5.005103e-05,5.032552e-05,5.116019e-05,5.174211e-05,5.218000e-05,5.300591e-05,5.311348e-05,5.396408e-05,5.412458e-05,5.473551e-05,5.510665e-05,5.543167e-05,5.596122e-05,5.605659e-05,5.661433e-05,5.669760e-05,5.710894e-05,5.732511e-05,5.754442e-05,5.785285e-05,5.792466e-05,5.825343e-05,5.828960e-05,5.853435e-05,5.864369e-05,5.877088e-05,5.892297e-05,5.896629e-05,5.912367e-05,5.913470e-05,5.924593e-05,5.928562e-05,5.933580e-05,5.938188e-05,5.939582e-05,5.942837e-05,5.942913e-05,5.943565e-05,5.943249e-05,5.941971e-05,5.939658e-05,5.938245e-05,5.932560e-05,5.925080e-05,5.922332e-05,5.915954e-05,5.909314e-05,5.905320e-05,5.893810e-05,5.893305e-05,5.880026e-05,5.876096e-05,5.865591e-05,5.856418e-05,5.850101e-05,5.834996e-05,5.833646e-05,5.816312e-05,5.812029e-05,5.798176e-05,5.787697e-05,5.779311e-05,5.762161e-05,5.759784e-05,5.739657e-05,5.735564e-05,5.718985e-05,5.708038e-05,5.697821e-05,5.679700e-05,5.676215e-05,5.654211e-05,5.650656e-05,5.631851e-05,5.621003e-05,5.609174e-05,5.590827e-05,5.586215e-05,5.563008e-05,5.560208e-05,5.539583e-05,5.529215e-05,5.515971e-05,5.497916e-05,5.492197e-05,5.468286e-05,5.466368e-05,5.444262e-05,5.434626e-05,5.420146e-05,5.402737e-05,5.395958e-05,5.371718e-05,5.370747e-05,5.347441e-05,5.338696e-05,5.323146e-05,5.306621e-05,5.298846e-05,5.274557e-05,5.242532e-05,5.210576e-05,5.178715e-05,5.146971e-05,5.115366e-05,5.083920e-05,5.052649e-05,5.021571e-05,4.990700e-05,4.960048e-05,4.929629e-05,4.899452e-05,4.869527e-05,4.839863e-05,4.810468e-05,4.781349e-05,4.752512e-05,4.723962e-05,4.695704e-05,4.667742e-05,4.640081e-05,4.612722e-05,4.585668e-05,4.558922e-05
0.000000e+00,2.915095e-13,1.980508e-12,3.426327e-11,2.266297e-10,5.379737e-10,3.466397e-09,3.706687e-09,1.627208e-08,2.328747e-08,5.374058e-08,9.978704e-08,1.459109e-07,3.220826e-07,3.434048e-07,7.249175e-07,8.557121e-07,1.404804e-06,1.972549e-06,2.540353e-06,4.079038e-06,4.337728e-06,7.055464e-06,7.735937e-06,1.100477e-05,1.366311e-05,1.654655e-05,2.272716e-05,2.408534e-05,3.406098e-05,3.591403e-05,4.693836e-05,5.429053e-05,6.319609e-05,7.895924e-05,8.331462e-05,1.077642e-04,1.110108e-04,1.369932e-04,1.514767e-04,1.714175e-04,2.012858e-04,2.114099e-04,2.572923e-04,2.612257e-04,3.093278e-04,3.319118e-04,3.677155e-04,4.137640e-04,4.325861e-04,5.039995e-04,5.069922e-04,5.819442e-04,6.115894e-04,6.663376e-04,7.273340e-04,7.570282e-04,8.537987e-04,9.563704e-04,9.903653e-04,1.064408e-03,1.136245e-03,1.177527e-03,1.290504e-03,1.295299e-03,1.417255e-03,1.452086e-03,1.542902e-03,1.619845e-03,1.671718e-03,1.792569e-03,1.803169e-03,1.936709e-03,1.969009e-03,2.071790e-03,2.147905e-03,2.207867e-03,2.328010e-03,2.344401e-03,2.480869e-03,2.508110e-03,2.616765e-03,2.687042e-03,2.751602e-03,2.863710e-03,2.884920e-03,3.016286e-03,3.037096e-03,3.145296e-03,3.206272e-03,3.271576e-03,3.370405e-03,3.394787e-03,3.514620e-03,3.528759e-03,3.630801e-03,3.680700e-03,3.743088e-03,3.825693e-03,3.851273e-03,3.955179e-03,3.963302e-03,4.054659e-03,4.093185e-03,4.149598e-03,4.215091e-03,4.239906e-03,4.325525e-03,4.328851e-03,4.406417e-03,4.434378e-03,4.482571e-03,4.531653e-03,4.553996e-03,4.620722e-03,4.682797e-03,4.701689e-03,4.740286e-03,4.774708e-03,4.793267e-03,4.839976e-03,4.841835e-03,4.886094e-03,4.897729e-03,4.926157e-03,4.948232e-03,4.962148e-03,4.991775e-03,4.994197e-03,5.022441e-03,5.028669e-03,5.047021e-03,5.059238e-03,5.068080e-03,5.083817e-03,5.085766e-03,5.100229e-03,5.102747e-03,5.111616e-03,5.116372e-03,5.120078e-03,5.125033e-03,5.125762e-03,5.128815e-03,5.129069e-03,5.129383e-03,5.128814e-03,5.127607e-03,5.124593e-03,5.123627e-03,5.117579e-03,5.116721e-03,5.109597e-03,5.105505e-03,5.099808e-03,5.091237e-03,5.088338e-03,5.075306e-03,5.074200e-03,5.060830e-03,5.054660e-03,5.045021e-03,5.032873e-03,5.027985e-03,5.009826e-03,5.009078e-03,4.990641e-03,4.983502e-03,4.970524e-03,4.956358e-03,4.949564e-03,4.927845e-03,4.898150e-03,4.867446e-03,4.835893e-03,4.803641e-03,4.770826e-03,4.737574e-03,4.704002e-03,4.670214e-03,4.636308e-03,4.602371e-03,4.568482e-03,4.534713e-03,4.501127e-03,4.467783e-03,4.434731e-03,4.402017e-03,4.369681e-03,4.337758e-03,4.306278e-03,4.275268e-03,4.244749e-03,4.214741e-03,4.185260e-03,4.156318e-03
0.000000e+00,3.016660e-13,2.028999e-12,3.436086e-11,2.227848e-10,5.229732e-10,3.271357e-09,3.493824e-09,1.487396e-08,2.110476e-08,4.764173e-08,8.685248e-08,1.254512e-07,2.692171e-07,2.863357e-07,5.861673e-07,6.868490e-07,1.101643e-06,1.520724e-06,1.932624e-06,3.023173e-06,3.203652e-06,5.064382e-06,5.522185e-06,7.688599e-06,9.418983e-06,1.127150e-05,1.517679e-05,1.602515e-05,2.217243e-05,2.330048e-05,2.993984e-05,3.430935e-05,3.954985e-05,4.870686e-05,5.121341e-05,6.512291e-05,6.695123e-05,8.144611e-05,8.942976e-05,1.003212e-04,1.164388e-04,1.218530e-04,1.461102e-04,1.481697e-04,1.731243e-04,1.847018e-04,2.028891e-04,2.259999e-04,2.353611e-04,2.704615e-04,2.719187e-04,3.080780e-04,3.222093e-04,3.480680e-04,3.765312e-04,3.902616e-04,4.344654e-04,4.804666e-04,4.955296e-04,5.280364e-04,5.591938e-04,5.769347e-04,6.248968e-04,6.269135e-04,6.777211e-04,6.920613e-04,7.291052e-04,7.601086e-04,7.808167e-04,8.284712e-04,8.326123e-04,8.842574e-04,8.966046e-04,9.355279e-04,9.639965e-04,9.862127e-04,1.030174e-03,1.036115e-03,1.085054e-03,1.094711e-03,1.132863e-03,1.157228e-03,1.179395e-03,1.217399e-03,1.224519e-03,1.268120e-03,1.274948e-03,1.310102e-03,1.329654e-03,1.350383e-03,1.381340e-03,1.388899e-03,1.425600e-03,1.429880e-03,1.460450e-03,1.475191e-03,1.493426e-03,1.517229e-03,1.524519e-03,1.553729e-03,1.555985e-03,1.581068e-03,1.591484e-03,1.606556e-03,1.623776e-03,1.630221e-03,1.652099e-03,1.652938e-03,1.672233e-03,1.679062e-03,1.690668e-03,1.702260e-03,1.707457e-03,1.722653e-03,1.736317e-03,1.740375e-03,1.748506e-03,1.755562e-03,1.759283e-03,1.768359e-03,1.768711e-03,1.776851e-03,1.778909e-03,1.783768e-03,1.787357e-03,1.789524e-03,1.793848e-03,1.794182e-03,1.797801e-03,1.798521e-03,1.800441e-03,1.801514e-03,1.802161e-03,1.802959e-03,1.803018e-03,1.803066e-03,1.802983e-03,1.802357e-03,1.801707e-03,1.800944e-03,1.799248e-03,1.798875e-03,1.796196e-03,1.795714e-03,1.792953e-03,1.791209e-03,1.789189e-03,1.785829e-03,1.784943e-03,1.780256e-03,1.779665e-03,1.775162e-03,1.772802e-03,1.769698e-03,1.765317e-03,1.763896e-03,1.757786e-03,1.757285e-03,1.751399e-03,1.748772e-03,1.744761e-03,1.739841e-03,1.737899e-03,1.730836e-03,1.730550e-03,1.723596e-03,1.720950e-03,1.716199e-03,1.711090e-03,1.708666e-03,1.701015e-03,1.690765e-03,1.680377e-03,1.669883e-03,1.659316e-03,1.648701e-03,1.638064e-03,1.627428e-03,1.616813e-03,1.606236e-03,1.595715e-03,1.585263e-03,1.574894e-03,1.564618e-03,1.554446e-03,1.544387e-03,1.534448e-03,1.524636e-03,1.514957e-03,1.505416e-03,1.496017e-03,1.486763e-03,1.477657e-03,1.468702e-03,1.459898e-03
0.000000e+00,7.566755e-11,2.082696e-10,8.665634e-10,2.147893e-09,3.231305e-09,7.710424e-09,7.953878e-09,1.576402e-08,1.859995e-08,2.736242e-08,3.642625e-08,4.343553e-08,6.273098e-08,6.462778e-08,9.141425e-08,9.869733e-08,1.239102e-07,1.445131e-07,1.618502e-07,1.993851e-07,2.047853e-07,2.522444e-07,2.622388e-07,3.037715e-07,3.320225e-07,3.589111e-07,4.076761e-07,4.171921e-07,4.781229e-07,4.880839e-07,5.411943e-07,5.720770e-07,6.058888e-07,6.584668e-07,6.716917e-07,7.381023e-07,7.460895e-07,8.046449e-07,8.338500e-07,8.708768e-07,9.207561e-07,9.363957e-07,1.000843e-06,1.005943e-06,1.063908e-06,1.088685e-06,1.125324e-06,1.168399e-06,1.184874e-06,1.242381e-06,1.244637e-06,1.297711e-06,1.317077e-06,1.350765e-06,1.385506e-06,1.401477e-06,1.449810e-06,1.495752e-06,1.509949e-06,1.539311e-06,1.565951e-06,1.580515e-06,1.617892e-06,1.619404e-06,1.656030e-06,1.665888e-06,1.690454e-06,1.710080e-06,1.722745e-06,1.750631e-06,1.752975e-06,1.781222e-06,1.787715e-06,1.807564e-06,1.821514e-06,1.832082e-06,1.852211e-06,1.854855e-06,1.875962e-06,1.879990e-06,1.895482e-06,1.905031e-06,1.913492e-06,1.927507e-06,1.930065e-06,1.945275e-06,1.947587e-06,1.959192e-06,1.965433e-06,1.971883e-06,1.981197e-06,1.983413e-06,1.993844e-06,1.995024e-06,2.003235e-06,2.007052e-06,2.011643e-06,2.017410e-06,2.019123e-06,2.025727e-06,2.026219e-06,2.031503e-06,2.033592e-06,2.036498e-06,2.039637e-06,2.040758e-06,2.044324e-06,2.044453e-06,2.047237e-06,2.048133e-06,2.049535e-06,2.050765e-06,2.051254e-06,2.052428e-06,2.053090e-06,2.053199e-06,2.053272e-06,2.053149e-06,2.053001e-06,2.052342e-06,2.052307e-06,2.051215e-06,2.050841e-06,2.049749e-06,2.048701e-06,2.047935e-06,2.045976e-06,2.045793e-06,2.043346e-06,2.042715e-06,2.040612e-06,2.038964e-06,2.037612e-06,2.034765e-06,2.034362e-06,2.030881e-06,2.030158e-06,2.027183e-06,2.025179e-06,2.023284e-06,2.019864e-06,2.019199e-06,2.014940e-06,2.014244e-06,2.010522e-06,2.008348e-06,2.005955e-06,2.002203e-06,2.001252e-06,1.996424e-06,1.995836e-06,1.991480e-06,1.989270e-06,1.986430e-06,1.982528e-06,1.981284e-06,1.976050e-06,1.975628e-06,1.970737e-06,1.968591e-06,1.965352e-06,1.961434e-06,1.959903e-06,1.954396e-06,1.954174e-06,1.948838e-06,1.946825e-06,1.943235e-06,1.939402e-06,1.937593e-06,1.931918e-06,1.924385e-06,1.916813e-06,1.909214e-06,1.901597e-06,1.893971e-06,1.886343e-06,1.878723e-06,1.871116e-06,1.863529e-06,1.855969e-06,1.848440e-06,1.840947e-06,1.833496e-06,1.826090e-06,1.818733e-06,1.811429e-06,1.804181e-06,1.796993e-06,1.789865e-06,1.782802e-06,1.775805e-06,1.768876e-06,1.762018e-06,1.755230e-06
0.000000e+00,1.128350e-12,7.699547e-12,1.344406e-10,8.971402e-10,2.140443e-09,1.398478e-08,1.496308e-08,6.669680e-08,9.587557e-08,2.238598e-07,4.198821e-07,6.181742e-07,1.386245e-06,1.480020e-06,3.175555e-06,3.762218e-06,6.242516e-06,8.825648e-06,1.142016e-05,1.848098e-05,1.967068e-05,3.219080e-05,3.532916e-05,5.041316e-05,6.268474e-05,7.599763e-05,1.045395e-04,1.108128e-04,1.569090e-04,1.654764e-04,2.164832e-04,2.505394e-04,2.918379e-04,3.650708e-04,3.853361e-04,4.993525e-04,5.145250e-04,6.362245e-04,7.042734e-04,7.982040e-04,9.394110e-04,9.874112e-04,1.205793e-03,1.224577e-03,1.455083e-03,1.563797e-03,1.736774e-03,1.960353e-03,2.052090e-03,2.401965e-03,2.416689e-03,2.787033e-03,2.934345e-03,3.207621e-03,3.513932e-03,3.663748e-03,4.155129e-03,4.681188e-03,4.856718e-03,5.241066e-03,5.616631e-03,5.833647e-03,6.432029e-03,6.457569e-03,7.111255e-03,7.299384e-03,7.792932e-03,8.214574e-03,8.500660e-03,9.172989e-03,9.232355e-03,9.985816e-03,1.016963e-02,1.075875e-02,1.119922e-02,1.154880e-02,1.225629e-02,1.235356e-02,1.317061e-02,1.333528e-02,1.399753e-02,1.443063e-02,1.483191e-02,1.553683e-02,1.567140e-02,1.651366e-02,1.664853e-02,1.735646e-02,1.776056e-02,1.819763e-02,1.886799e-02,1.903509e-02,1.986685e-02,1.996619e-02,2.069105e-02,2.105083e-02,2.150590e-02,2.211793e-02,2.230978e-02,2.310113e-02,2.316385e-02,2.387854e-02,2.418531e-02,2.464073e-02,2.517941e-02,2.538651e-02,2.611484e-02,2.614359e-02,2.682476e-02,2.707567e-02,2.751546e-02,2.797379e-02,2.818622e-02,2.883642e-02,2.946556e-02,2.966237e-02,3.007323e-02,3.045071e-02,3.065910e-02,3.120082e-02,3.122295e-02,3.176462e-02,3.191230e-02,3.228404e-02,3.258502e-02,3.278122e-02,3.321904e-02,3.325622e-02,3.370917e-02,3.381462e-02,3.414025e-02,3.437219e-02,3.454971e-02,3.489236e-02,3.493781e-02,3.530490e-02,3.537583e-02,3.565134e-02,3.582345e-02,3.597751e-02,3.623616e-02,3.628386e-02,3.657083e-02,3.661498e-02,3.683889e-02,3.696099e-02,3.708855e-02,3.727536e-02,3.732030e-02,3.753468e-02,3.755926e-02,3.773220e-02,3.781391e-02,3.791341e-02,3.804056e-02,3.807886e-02,3.822908e-02,3.824046e-02,3.836463e-02,3.841486e-02,3.848605e-02,3.856502e-02,3.859387e-02,3.868865e-02,3.869217e-02,3.877090e-02,3.879755e-02,3.884116e-02,3.888234e-02,3.889993e-02,3.894773e-02,3.899487e-02,3.902486e-02,3.903880e-02,3.903772e-02,3.902263e-02,3.899451e-02,3.895427e-02,3.890281e-02,3.884097e-02,3.876958e-02,3.868940e-02,3.860115e-02,3.850555e-02,3.840324e-02,3.829485e-02,3.818097e-02,3.806215e-02,3.793891e-02,3.781174e-02,3.768111e-02,3.754745e-02,3.741115e-02,3.727261e-02,3.713216e-02
0.000000e+00,1.246004e-12,8.494973e-12,1.480750e-10,9.865602e-10,2.351740e-09,1.533103e-08,1.640203e-08,7.295274e-08,1.048082e-07,2.443724e-07,4.578547e-07,6.736124e-07,1.508302e-06,1.610132e-06,3.449431e-06,4.085199e-06,6.770504e-06,9.563612e-06,1.236615e-05,1.998158e-05,2.126333e-05,3.473253e-05,3.810394e-05,5.428587e-05,6.742747e-05,8.166436e-05,1.121287e-04,1.188152e-04,1.678598e-04,1.769599e-04,2.310544e-04,2.671005e-04,3.107446e-04,3.879767e-04,4.093161e-04,5.291429e-04,5.450612e-04,6.725356e-04,7.436655e-04,8.416914e-04,9.887406e-04,1.038647e-03,1.265237e-03,1.284694e-03,1.523055e-03,1.635233e-03,1.813428e-03,2.043245e-03,2.137387e-03,2.495658e-03,2.510709e-03,2.888645e-03,3.038645e-03,3.316434e-03,3.627104e-03,3.778794e-03,4.275184e-03,4.804770e-03,4.981075e-03,5.366444e-03,5.742135e-03,5.958842e-03,6.554973e-03,6.580371e-03,7.229233e-03,7.415548e-03,7.903456e-03,8.319284e-03,8.600915e-03,9.261174e-03,9.319369e-03,1.005648e-02,1.023590e-02,1.080985e-02,1.123793e-02,1.157703e-02,1.226162e-02,1.235556e-02,1.314299e-02,1.330132e-02,1.393688e-02,1.435146e-02,1.473485e-02,1.540659e-02,1.553457e-02,1.633380e-02,1.646148e-02,1.713036e-02,1.751116e-02,1.792220e-02,1.855095e-02,1.870736e-02,1.948399e-02,1.957653e-02,2.025037e-02,2.058391e-02,2.100489e-02,2.156949e-02,2.174608e-02,2.247259e-02,2.253004e-02,2.318319e-02,2.346272e-02,2.387677e-02,2.436507e-02,2.455238e-02,2.520914e-02,2.523501e-02,2.584632e-02,2.607079e-02,2.646329e-02,2.687101e-02,2.705952e-02,2.763460e-02,2.818820e-02,2.836078e-02,2.872010e-02,2.904905e-02,2.923015e-02,2.969919e-02,2.971829e-02,3.018454e-02,3.031117e-02,3.062897e-02,3.088521e-02,3.105173e-02,3.142170e-02,3.145302e-02,3.183310e-02,3.192120e-02,3.219228e-02,3.238441e-02,3.253089e-02,3.281217e-02,3.284934e-02,3.314802e-02,3.320543e-02,3.342740e-02,3.356520e-02,3.368794e-02,3.389260e-02,3.393014e-02,3.415451e-02,3.418878e-02,3.436156e-02,3.445496e-02,3.455185e-02,3.469237e-02,3.472591e-02,3.488429e-02,3.490227e-02,3.502755e-02,3.508594e-02,3.515624e-02,3.524465e-02,3.527092e-02,3.537213e-02,3.537966e-02,3.546042e-02,3.549224e-02,3.553633e-02,3.558362e-02,3.560039e-02,3.565313e-02,3.565501e-02,3.569506e-02,3.570760e-02,3.572668e-02,3.574254e-02,3.574848e-02,3.576095e-02,3.576390e-02,3.575245e-02,3.572760e-02,3.569030e-02,3.564147e-02,3.558200e-02,3.551272e-02,3.543444e-02,3.534789e-02,3.525381e-02,3.515286e-02,3.504570e-02,3.493291e-02,3.481508e-02,3.469273e-02,3.456637e-02,3.443646e-02,3.430346e-02,3.416776e-02,3.402975e-02,3.388980e-02,3.374823e-02,3.360535e-02,3.346146e-02
0.000000e+00,9.993665e-11,3.508205e-10,1.931107e-09,5.477033e-09,8.665838e-09,2.261089e-08,2.339008e-08,4.901563e-08,5.853500e-08,8.842133e-08,1.199049e-07,1.445612e-07,2.135219e-07,2.203731e-07,3.181646e-07,3.450217e-07,4.385869e-07,5.155073e-07,5.804320e-07,7.213400e-07,7.416369e-07,9.201544e-07,9.577708e-07,1.114146e-06,1.220560e-06,1.321878e-06,1.505722e-06,1.541612e-06,1.771552e-06,1.809165e-06,2.009831e-06,2.126607e-06,2.254539e-06,2.453645e-06,2.503759e-06,2.755610e-06,2.785922e-06,3.008284e-06,3.119280e-06,3.260086e-06,3.449909e-06,3.509459e-06,3.755006e-06,3.774447e-06,3.995500e-06,4.090041e-06,4.229888e-06,4.394368e-06,4.457294e-06,4.677006e-06,4.685627e-06,4.888471e-06,4.962496e-06,5.091277e-06,5.224091e-06,5.285143e-06,5.469903e-06,5.645489e-06,5.699740e-06,5.811919e-06,5.913667e-06,5.969281e-06,6.111955e-06,6.117724e-06,6.257442e-06,6.295030e-06,6.388668e-06,6.463435e-06,6.511663e-06,6.617793e-06,6.626712e-06,6.734110e-06,6.758781e-06,6.834165e-06,6.887105e-06,6.927190e-06,7.003484e-06,7.013496e-06,7.093395e-06,7.108633e-06,7.167193e-06,7.203257e-06,7.235191e-06,7.288041e-06,7.297681e-06,7.354948e-06,7.363644e-06,7.407265e-06,7.430697e-06,7.454896e-06,7.489798e-06,7.498095e-06,7.537105e-06,7.541516e-06,7.572159e-06,7.586387e-06,7.603479e-06,7.624915e-06,7.631275e-06,7.655751e-06,7.657571e-06,7.677096e-06,7.684800e-06,7.695495e-06,7.707013e-06,7.711118e-06,7.724130e-06,7.724599e-06,7.734687e-06,7.737916e-06,7.742937e-06,7.747299e-06,7.749017e-06,7.753062e-06,7.755196e-06,7.755494e-06,7.755537e-06,7.754866e-06,7.754197e-06,7.751428e-06,7.751283e-06,7.746894e-06,7.745414e-06,7.741126e-06,7.737040e-06,7.734067e-06,7.726507e-06,7.725803e-06,7.716414e-06,7.714001e-06,7.705975e-06,7.699697e-06,7.694557e-06,7.683755e-06,7.682229e-06,7.669054e-06,7.666323e-06,7.655093e-06,7.647541e-06,7.640401e-06,7.627536e-06,7.625034e-06,7.609043e-06,7.606429e-06,7.592474e-06,7.584329e-06,7.575373e-06,7.561339e-06,7.557784e-06,7.539747e-06,7.537555e-06,7.521300e-06,7.513063e-06,7.502479e-06,7.487946e-06,7.483318e-06,7.463849e-06,7.462279e-06,7.444103e-06,7.436133e-06,7.424108e-06,7.409572e-06,7.403891e-06,7.383477e-06,7.382657e-06,7.362892e-06,7.355444e-06,7.342157e-06,7.327983e-06,7.321294e-06,7.300323e-06,7.272508e-06,7.244578e-06,7.216572e-06,7.188524e-06,7.160467e-06,7.132429e-06,7.104439e-06,7.076522e-06,7.048700e-06,7.020995e-06,6.993427e-06,6.966013e-06,6.938769e-06,6.911711e-06,6.884853e-06,6.858206e-06,6.831782e-06,6.805592e-06,6.779644e-06,6.753947e-06,6.728508e-06,6.703334e-06,6.678430e-06,6.653802e-06
0.000000e+00,1.266478e-10,4.040456e-10,1.982967e-09,5.329177e-09,8.277079e-09,2.104209e-08,2.175530e-08,4.541063e-08,5.432148e-08,8.276487e-08,1.134483e-07,1.379214e-07,2.078294e-07,2.148530e-07,3.155679e-07,3.431963e-07,4.387630e-07,5.163052e-07,5.809814e-07,7.189950e-07,7.386229e-07,9.087644e-07,9.440815e-07,1.089094e-06,1.186236e-06,1.277661e-06,1.441128e-06,1.472700e-06,1.672541e-06,1.704854e-06,1.875591e-06,1.973743e-06,2.080326e-06,2.244367e-06,2.285322e-06,2.489266e-06,2.513611e-06,2.690979e-06,2.778752e-06,2.889420e-06,3.037492e-06,3.083696e-06,3.273067e-06,3.287986e-06,3.456927e-06,3.528816e-06,3.634797e-06,3.758950e-06,3.806320e-06,3.971239e-06,3.977695e-06,4.129389e-06,4.184648e-06,4.280690e-06,4.379647e-06,4.425114e-06,4.562681e-06,4.693472e-06,4.733910e-06,4.817593e-06,4.893593e-06,4.935183e-06,5.042074e-06,5.046402e-06,5.151425e-06,5.179747e-06,5.250440e-06,5.307045e-06,5.343641e-06,5.424424e-06,5.431229e-06,5.513408e-06,5.532349e-06,5.590380e-06,5.631286e-06,5.662349e-06,5.721703e-06,5.729516e-06,5.792076e-06,5.804053e-06,5.850225e-06,5.878782e-06,5.904151e-06,5.946319e-06,5.954037e-06,6.000062e-06,6.007079e-06,6.042399e-06,6.061461e-06,6.081217e-06,6.109845e-06,6.116676e-06,6.148935e-06,6.152598e-06,6.178142e-06,6.190065e-06,6.204445e-06,6.222577e-06,6.227981e-06,6.248886e-06,6.250448e-06,6.267288e-06,6.273977e-06,6.283312e-06,6.293444e-06,6.297077e-06,6.308696e-06,6.309117e-06,6.318278e-06,6.321250e-06,6.325929e-06,6.330080e-06,6.331749e-06,6.335833e-06,6.338274e-06,6.338722e-06,6.339160e-06,6.338949e-06,6.338574e-06,6.336702e-06,6.336597e-06,6.333306e-06,6.332160e-06,6.328775e-06,6.325490e-06,6.323073e-06,6.316851e-06,6.316268e-06,6.308423e-06,6.306392e-06,6.299600e-06,6.294253e-06,6.289856e-06,6.280565e-06,6.279248e-06,6.267829e-06,6.265452e-06,6.255648e-06,6.249030e-06,6.242755e-06,6.231408e-06,6.229196e-06,6.215013e-06,6.212689e-06,6.200250e-06,6.192969e-06,6.184945e-06,6.172338e-06,6.169138e-06,6.152862e-06,6.150880e-06,6.136154e-06,6.128674e-06,6.119046e-06,6.105796e-06,6.101570e-06,6.083753e-06,6.082314e-06,6.065626e-06,6.058294e-06,6.047214e-06,6.033796e-06,6.028543e-06,6.009638e-06,6.008877e-06,5.990521e-06,5.983592e-06,5.971215e-06,5.957989e-06,5.951739e-06,5.932114e-06,5.906013e-06,5.879724e-06,5.853286e-06,5.826734e-06,5.800100e-06,5.773416e-06,5.746710e-06,5.720007e-06,5.693333e-06,5.666709e-06,5.640158e-06,5.613697e-06,5.587347e-06,5.561121e-06,5.535038e-06,5.509109e-06,5.483348e-06,5.457768e-06,5.432378e-06,5.407189e-06,5.382210e-06,5.357448e-06,5.332913e-06,5.308609e-06
0.000000e+00,1.424041e-10,3.850132e-10,1.569416e-09,3.849376e-09,5.767897e-09,1.367711e-08,1.410692e-08,2.793240e-08,3.297755e-08,4.867072e-08,6.508187e-08,7.789990e-08,1.137417e-07,1.173072e-07,1.683806e-07,1.824739e-07,2.317720e-07,2.724432e-07,3.067769e-07,3.809622e-07,3.915852e-07,4.840578e-07,5.032966e-07,5.822722e-07,6.350792e-07,6.846596e-07,7.729508e-07,7.899451e-07,8.970544e-07,9.142967e-07,1.005044e-06,1.056939e-06,1.113061e-06,1.198968e-06,1.220325e-06,1.326119e-06,1.338684e-06,1.429793e-06,1.474587e-06,1.530770e-06,1.605394e-06,1.628544e-06,1.722687e-06,1.730050e-06,1.812838e-06,1.847718e-06,1.898726e-06,1.957805e-06,1.980141e-06,2.056944e-06,2.059919e-06,2.129056e-06,2.153862e-06,2.196452e-06,2.239598e-06,2.259155e-06,2.317229e-06,2.370769e-06,2.386965e-06,2.419901e-06,2.449097e-06,2.464768e-06,2.503980e-06,2.505534e-06,2.542373e-06,2.552009e-06,2.575466e-06,2.593602e-06,2.605001e-06,2.629191e-06,2.631165e-06,2.654146e-06,2.659208e-06,2.674129e-06,2.684078e-06,2.691296e-06,2.704214e-06,2.705823e-06,2.717880e-06,2.720010e-06,2.727631e-06,2.731842e-06,2.735232e-06,2.740066e-06,2.740833e-06,2.744576e-06,2.745012e-06,2.746595e-06,2.746989e-06,2.747017e-06,2.746287e-06,2.745963e-06,2.743546e-06,2.743169e-06,2.739872e-06,2.737883e-06,2.735041e-06,2.730654e-06,2.729147e-06,2.722278e-06,2.721689e-06,2.714516e-06,2.711178e-06,2.705937e-06,2.699296e-06,2.696615e-06,2.686616e-06,2.686202e-06,2.676002e-06,2.672042e-06,2.664832e-06,2.656947e-06,2.653160e-06,2.641038e-06,2.628512e-06,2.624426e-06,2.615627e-06,2.607210e-06,2.602422e-06,2.589481e-06,2.588937e-06,2.575206e-06,2.571322e-06,2.561263e-06,2.552807e-06,2.547137e-06,2.534004e-06,2.532857e-06,2.518448e-06,2.514974e-06,2.503936e-06,2.495773e-06,2.489343e-06,2.476450e-06,2.474689e-06,2.459994e-06,2.457051e-06,2.445274e-06,2.437616e-06,2.430548e-06,2.418183e-06,2.415829e-06,2.401131e-06,2.398782e-06,2.386468e-06,2.379445e-06,2.371851e-06,2.360198e-06,2.357291e-06,2.342797e-06,2.341063e-06,2.328379e-06,2.322062e-06,2.314046e-06,2.303213e-06,2.299803e-06,2.285659e-06,2.284532e-06,2.271620e-06,2.266035e-06,2.257691e-06,2.247733e-06,2.243877e-06,2.230183e-06,2.229638e-06,2.216613e-06,2.211759e-06,2.203170e-06,2.194104e-06,2.189859e-06,2.176681e-06,2.159494e-06,2.142550e-06,2.125853e-06,2.109404e-06,2.093207e-06,2.077263e-06,2.061574e-06,2.046140e-06,2.030961e-06,2.016036e-06,2.001365e-06,1.986947e-06,1.972780e-06,1.958863e-06,1.945193e-06,1.931768e-06,1.918585e-06,1.905643e-06,1.892938e-06,1.880468e-06,1.868228e-06,1.856217e-06,1.844430e-06,1.832866e-06
0.000000e+00,1.985403e-10,6.397617e-10,3.179402e-09,8.597852e-09,1.338093e-08,3.406271e-08,3.521502e-08,7.317401e-08,8.733618e-08,1.320621e-07,1.795908e-07,2.170705e-07,3.228090e-07,3.333698e-07,4.847159e-07,5.263802e-07,6.714417e-07,7.902934e-07,8.901551e-07,1.105120e-06,1.135869e-06,1.403906e-06,1.459836e-06,1.690350e-06,1.845447e-06,1.991847e-06,2.254512e-06,2.305364e-06,2.628084e-06,2.680395e-06,2.957370e-06,3.117034e-06,3.290777e-06,3.558963e-06,3.626074e-06,3.961266e-06,4.001396e-06,4.294599e-06,4.440279e-06,4.624561e-06,4.872283e-06,4.949874e-06,5.269474e-06,5.294768e-06,5.582490e-06,5.705691e-06,5.888226e-06,6.103540e-06,6.186141e-06,6.475812e-06,6.487223e-06,6.756933e-06,6.856000e-06,7.029290e-06,7.209414e-06,7.292746e-06,7.547227e-06,7.792715e-06,7.869376e-06,8.029237e-06,8.175933e-06,8.256855e-06,8.467075e-06,8.475659e-06,8.685765e-06,8.743053e-06,8.887304e-06,9.004177e-06,9.080426e-06,9.250802e-06,9.265292e-06,9.442073e-06,9.483318e-06,9.610948e-06,9.702133e-06,9.772101e-06,9.907676e-06,9.925719e-06,1.007199e-05,1.010038e-05,1.021112e-05,1.028070e-05,1.034329e-05,1.044908e-05,1.046870e-05,1.058753e-05,1.060595e-05,1.070000e-05,1.075177e-05,1.080628e-05,1.088698e-05,1.090657e-05,1.100105e-05,1.101201e-05,1.108991e-05,1.112728e-05,1.117334e-05,1.123321e-05,1.125150e-05,1.132458e-05,1.133022e-05,1.139276e-05,1.141869e-05,1.145619e-05,1.149902e-05,1.151505e-05,1.156950e-05,1.157159e-05,1.161970e-05,1.163677e-05,1.166581e-05,1.169490e-05,1.170797e-05,1.174634e-05,1.178105e-05,1.179142e-05,1.181226e-05,1.183045e-05,1.184009e-05,1.186377e-05,1.186469e-05,1.188617e-05,1.189165e-05,1.190468e-05,1.191440e-05,1.192032e-05,1.193229e-05,1.193322e-05,1.194350e-05,1.194558e-05,1.195126e-05,1.195455e-05,1.195662e-05,1.195943e-05,1.195968e-05,1.196055e-05,1.196047e-05,1.195932e-05,1.195788e-05,1.195609e-05,1.195189e-05,1.195095e-05,1.194399e-05,1.194272e-05,1.193531e-05,1.193055e-05,1.192497e-05,1.191558e-05,1.191308e-05,1.189970e-05,1.189800e-05,1.188491e-05,1.187797e-05,1.186878e-05,1.185567e-05,1.185139e-05,1.183280e-05,1.183126e-05,1.181308e-05,1.180489e-05,1.179229e-05,1.177670e-05,1.177050e-05,1.174776e-05,1.174683e-05,1.172413e-05,1.171542e-05,1.169967e-05,1.168258e-05,1.167442e-05,1.164845e-05,1.161312e-05,1.157671e-05,1.153933e-05,1.150106e-05,1.146200e-05,1.142224e-05,1.138185e-05,1.134093e-05,1.129953e-05,1.125774e-05,1.121561e-05,1.117320e-05,1.113059e-05,1.108781e-05,1.104493e-05,1.100199e-05,1.095904e-05,1.091611e-05,1.087325e-05,1.083051e-05,1.078790e-05,1.074547e-05,1.070324e-05,1.066125e-05
0.000000e+00,4.883675e-12,2.758342e-11,3.279636e-10,1.556906e-09,3.093785e-09,1.277842e-08,1.342536e-08,3.876150e-08,4.968806e-08,8.755854e-08,1.316810e-07,1.684109e-07,2.783024e-07,2.896827e-07,4.593529e-07,5.081057e-07,6.846786e-07,8.374183e-07,9.714574e-07,1.277526e-06,1.323226e-06,1.741020e-06,1.832440e-06,2.223827e-06,2.499837e-06,2.769301e-06,3.273649e-06,3.374306e-06,4.035205e-06,4.145871e-06,4.747948e-06,5.107183e-06,5.508065e-06,6.146997e-06,6.310669e-06,7.150480e-06,7.253494e-06,8.021877e-06,8.413790e-06,8.918981e-06,9.614264e-06,9.835760e-06,1.076614e-05,1.084098e-05,1.170411e-05,1.208011e-05,1.264385e-05,1.331841e-05,1.357979e-05,1.450672e-05,1.454354e-05,1.541987e-05,1.574438e-05,1.631489e-05,1.691116e-05,1.718793e-05,1.803565e-05,1.885522e-05,1.911115e-05,1.964432e-05,2.013248e-05,2.040110e-05,2.109590e-05,2.112416e-05,2.181253e-05,2.199897e-05,2.246561e-05,2.284039e-05,2.308313e-05,2.361990e-05,2.366516e-05,2.421198e-05,2.433803e-05,2.472412e-05,2.499603e-05,2.520230e-05,2.559569e-05,2.564738e-05,2.606037e-05,2.613921e-05,2.644235e-05,2.662910e-05,2.679447e-05,2.706808e-05,2.711797e-05,2.741407e-05,2.745899e-05,2.768405e-05,2.780473e-05,2.792917e-05,2.810821e-05,2.815068e-05,2.834983e-05,2.837228e-05,2.852782e-05,2.859974e-05,2.868584e-05,2.879328e-05,2.882502e-05,2.894649e-05,2.895547e-05,2.905129e-05,2.908877e-05,2.914044e-05,2.919550e-05,2.921493e-05,2.927567e-05,2.927782e-05,2.932354e-05,2.933780e-05,2.935940e-05,2.937732e-05,2.938402e-05,2.939817e-05,2.940256e-05,2.940201e-05,2.939785e-05,2.939036e-05,2.938468e-05,2.936464e-05,2.936365e-05,2.933532e-05,2.932615e-05,2.930021e-05,2.927611e-05,2.925883e-05,2.921562e-05,2.921165e-05,2.915909e-05,2.914572e-05,2.910158e-05,2.906735e-05,2.903949e-05,2.898137e-05,2.897320e-05,2.890305e-05,2.888858e-05,2.882934e-05,2.878971e-05,2.875239e-05,2.868544e-05,2.867247e-05,2.858984e-05,2.857639e-05,2.850476e-05,2.846311e-05,2.841744e-05,2.834613e-05,2.832812e-05,2.823698e-05,2.822593e-05,2.814423e-05,2.810294e-05,2.805002e-05,2.797757e-05,2.795455e-05,2.785794e-05,2.785017e-05,2.776037e-05,2.772109e-05,2.766194e-05,2.759063e-05,2.756281e-05,2.746308e-05,2.745908e-05,2.736286e-05,2.732669e-05,2.726227e-05,2.719369e-05,2.716138e-05,2.706031e-05,2.692673e-05,2.679314e-05,2.665970e-05,2.652656e-05,2.639385e-05,2.626170e-05,2.613022e-05,2.599951e-05,2.586967e-05,2.574076e-05,2.561288e-05,2.548608e-05,2.536043e-05,2.523597e-05,2.511277e-05,2.499085e-05,2.487026e-05,2.475103e-05,2.463319e-05,2.451676e-05,2.440177e-05,2.428822e-05,2.417614e-05,2.406554e-05
0.000000e+00,4.376192e-12,1.001721e-11,3.447277e-11,7.890433e-11,1.158709e-10,2.709096e-10,2.795250e-10,5.682160e-10,6.787108e-10,1.034963e-09,1.417277e-09,1.714829e-09,2.511561e-09,2.587136e-09,3.596153e-09,3.852949e-09,4.694077e-09,5.335798e-09,5.850241e-09,6.899830e-09,7.044656e-09,8.262328e-09,8.507501e-09,9.490413e-09,1.012919e-08,1.071713e-08,1.173851e-08,1.193157e-08,1.312378e-08,1.331187e-08,1.428501e-08,1.482917e-08,1.540786e-08,1.627447e-08,1.648639e-08,1.751611e-08,1.763623e-08,1.849387e-08,1.890710e-08,1.941778e-08,2.008341e-08,2.028703e-08,2.110169e-08,2.116453e-08,2.186260e-08,2.215221e-08,2.257114e-08,2.304984e-08,2.322908e-08,2.383852e-08,2.386192e-08,2.440173e-08,2.459363e-08,2.492111e-08,2.525052e-08,2.539914e-08,2.583826e-08,2.624088e-08,2.636239e-08,2.660933e-08,2.682826e-08,2.694588e-08,2.724091e-08,2.725264e-08,2.753165e-08,2.760506e-08,2.778482e-08,2.792507e-08,2.801394e-08,2.820495e-08,2.822071e-08,2.840667e-08,2.844838e-08,2.857332e-08,2.865871e-08,2.872200e-08,2.883899e-08,2.885399e-08,2.897046e-08,2.899200e-08,2.907253e-08,2.912025e-08,2.916119e-08,2.922602e-08,2.923741e-08,2.930205e-08,2.931137e-08,2.935593e-08,2.937820e-08,2.939981e-08,2.942818e-08,2.943439e-08,2.946031e-08,2.946287e-08,2.947819e-08,2.948366e-08,2.948860e-08,2.949182e-08,2.949204e-08,2.948902e-08,2.948851e-08,2.947998e-08,2.947477e-08,2.946534e-08,2.945156e-08,2.944551e-08,2.942084e-08,2.941975e-08,2.939167e-08,2.938014e-08,2.935834e-08,2.933344e-08,2.932112e-08,2.928031e-08,2.923616e-08,2.922137e-08,2.918892e-08,2.915716e-08,2.913881e-08,2.908820e-08,2.908604e-08,2.903082e-08,2.901494e-08,2.897332e-08,2.893781e-08,2.891374e-08,2.885721e-08,2.885222e-08,2.878893e-08,2.877349e-08,2.872401e-08,2.868699e-08,2.865759e-08,2.859801e-08,2.858981e-08,2.852078e-08,2.850683e-08,2.845061e-08,2.841371e-08,2.837942e-08,2.831890e-08,2.830730e-08,2.823434e-08,2.822260e-08,2.816064e-08,2.812502e-08,2.808628e-08,2.802636e-08,2.801133e-08,2.793587e-08,2.792679e-08,2.785998e-08,2.782646e-08,2.778371e-08,2.772553e-08,2.770713e-08,2.763029e-08,2.762414e-08,2.755326e-08,2.752241e-08,2.747608e-08,2.742045e-08,2.739881e-08,2.732148e-08,2.731839e-08,2.724415e-08,2.721631e-08,2.716685e-08,2.711432e-08,2.708962e-08,2.701250e-08,2.691093e-08,2.680968e-08,2.670882e-08,2.660841e-08,2.650851e-08,2.640918e-08,2.631047e-08,2.621241e-08,2.611505e-08,2.601842e-08,2.592257e-08,2.582753e-08,2.573331e-08,2.563996e-08,2.554748e-08,2.545591e-08,2.536526e-08,2.527554e-08,2.518679e-08,2.509899e-08,2.501218e-08,2.492636e-08,2.484153e-08,2.475770e-08
0.000000e+00,7.403615e-11,2.360496e-10,1.156579e-09,3.101971e-09,4.811119e-09,1.217165e-08,1.258116e-08,2.607286e-08,3.111326e-08,4.706654e-08,6.406614e-08,7.748178e-08,1.151576e-07,1.188927e-07,1.715631e-07,1.857568e-07,2.342041e-07,2.729451e-07,3.049730e-07,3.726846e-07,3.822575e-07,4.647557e-07,4.817803e-07,5.513437e-07,5.976382e-07,6.409807e-07,7.179049e-07,7.326747e-07,8.254844e-07,8.403779e-07,9.185333e-07,9.630448e-07,1.011027e-06,1.084147e-06,1.102264e-06,1.191646e-06,1.202223e-06,1.278677e-06,1.316119e-06,1.362956e-06,1.424976e-06,1.444177e-06,1.522112e-06,1.528199e-06,1.596606e-06,1.625417e-06,1.667565e-06,1.716440e-06,1.734945e-06,1.798742e-06,1.801219e-06,1.858987e-06,1.879817e-06,1.915738e-06,1.952372e-06,1.969072e-06,2.019080e-06,2.065867e-06,2.080177e-06,2.109544e-06,2.135918e-06,2.150227e-06,2.186577e-06,2.188035e-06,2.223090e-06,2.232428e-06,2.255510e-06,2.273748e-06,2.285416e-06,2.310810e-06,2.312925e-06,2.338151e-06,2.343878e-06,2.361207e-06,2.373211e-06,2.382201e-06,2.399053e-06,2.401238e-06,2.418419e-06,2.421642e-06,2.433843e-06,2.441201e-06,2.447604e-06,2.457943e-06,2.459791e-06,2.470492e-06,2.472071e-06,2.479789e-06,2.483776e-06,2.487761e-06,2.493237e-06,2.494485e-06,2.500034e-06,2.500624e-06,2.504475e-06,2.506095e-06,2.507875e-06,2.509802e-06,2.510297e-06,2.511801e-06,2.511883e-06,2.512443e-06,2.512471e-06,2.512278e-06,2.511688e-06,2.511357e-06,2.509730e-06,2.509651e-06,2.507442e-06,2.506466e-06,2.504538e-06,2.502233e-06,2.501060e-06,2.497048e-06,2.492539e-06,2.490997e-06,2.487569e-06,2.484161e-06,2.482171e-06,2.476617e-06,2.476379e-06,2.470221e-06,2.468436e-06,2.463728e-06,2.459682e-06,2.456926e-06,2.450417e-06,2.449840e-06,2.442496e-06,2.440697e-06,2.434916e-06,2.430576e-06,2.427121e-06,2.420101e-06,2.419132e-06,2.410970e-06,2.409318e-06,2.402650e-06,2.398268e-06,2.394192e-06,2.386991e-06,2.385610e-06,2.376921e-06,2.375521e-06,2.368138e-06,2.363893e-06,2.359275e-06,2.352135e-06,2.350345e-06,2.341359e-06,2.340277e-06,2.332329e-06,2.328344e-06,2.323265e-06,2.316360e-06,2.314177e-06,2.305074e-06,2.304346e-06,2.295966e-06,2.292322e-06,2.286859e-06,2.280307e-06,2.277761e-06,2.268681e-06,2.268318e-06,2.259623e-06,2.256369e-06,2.250594e-06,2.244474e-06,2.241601e-06,2.232647e-06,2.220898e-06,2.209239e-06,2.197677e-06,2.186222e-06,2.174881e-06,2.163661e-06,2.152569e-06,2.141608e-06,2.130784e-06,2.120101e-06,2.109563e-06,2.099172e-06,2.088931e-06,2.078841e-06,2.068906e-06,2.059125e-06,2.049500e-06,2.040032e-06,2.030721e-06,2.021567e-06,2.012570e-06,2.003730e-06,1.995045e-06,1.986516e-06
0.000000e+00,1.853748e-12,4.281900e-12,1.486475e-11,3.395057e-11,4.957736e-11,1.123719e-10,1.157373e-10,2.223379e-10,2.605757e-10,3.776345e-10,4.973337e-10,5.891091e-10,8.389796e-10,8.633693e-10,1.205974e-09,1.298874e-09,1.621194e-09,1.886518e-09,2.111737e-09,2.606451e-09,2.678460e-09,3.320146e-09,3.457217e-09,4.033373e-09,4.430747e-09,4.812542e-09,5.512532e-09,5.650108e-09,6.537023e-09,6.682851e-09,7.463362e-09,7.919032e-09,8.419027e-09,9.198169e-09,9.394380e-09,1.038069e-08,1.049941e-08,1.137037e-08,1.180520e-08,1.235699e-08,1.310148e-08,1.333525e-08,1.430082e-08,1.437740e-08,1.525018e-08,1.562475e-08,1.618058e-08,1.683749e-08,1.708984e-08,1.797631e-08,1.801128e-08,1.883877e-08,1.914319e-08,1.967634e-08,2.023138e-08,2.048847e-08,2.127484e-08,2.203536e-08,2.227327e-08,2.277008e-08,2.322685e-08,2.347920e-08,2.413615e-08,2.416303e-08,2.482195e-08,2.500205e-08,2.545644e-08,2.582561e-08,2.606700e-08,2.660806e-08,2.665419e-08,2.721857e-08,2.735070e-08,2.776075e-08,2.805490e-08,2.828134e-08,2.872209e-08,2.878095e-08,2.926020e-08,2.935366e-08,2.971970e-08,2.995104e-08,3.016007e-08,3.051562e-08,3.058189e-08,3.098578e-08,3.104877e-08,3.137230e-08,3.155183e-08,3.174203e-08,3.202610e-08,3.209553e-08,3.243334e-08,3.247285e-08,3.275599e-08,3.289328e-08,3.306399e-08,3.328859e-08,3.335785e-08,3.363806e-08,3.365990e-08,3.390509e-08,3.400831e-08,3.415939e-08,3.433487e-08,3.440142e-08,3.463161e-08,3.464057e-08,3.485037e-08,3.492640e-08,3.505810e-08,3.519327e-08,3.525521e-08,3.544206e-08,3.561903e-08,3.567363e-08,3.578647e-08,3.588878e-08,3.594471e-08,3.608829e-08,3.609410e-08,3.623495e-08,3.627290e-08,3.636756e-08,3.644330e-08,3.649224e-08,3.660018e-08,3.660927e-08,3.671893e-08,3.674419e-08,3.682149e-08,3.687592e-08,3.691721e-08,3.699598e-08,3.700633e-08,3.708910e-08,3.710492e-08,3.716575e-08,3.720327e-08,3.723651e-08,3.729154e-08,3.730158e-08,3.736118e-08,3.737022e-08,3.741551e-08,3.743977e-08,3.746476e-08,3.750063e-08,3.750912e-08,3.754878e-08,3.755323e-08,3.758390e-08,3.759796e-08,3.761465e-08,3.763521e-08,3.764120e-08,3.766371e-08,3.766534e-08,3.768232e-08,3.768870e-08,3.769717e-08,3.770563e-08,3.770842e-08,3.771619e-08,3.771643e-08,3.772062e-08,3.772142e-08,3.772184e-08,3.772088e-08,3.771995e-08,3.771509e-08,3.770430e-08,3.768878e-08,3.766875e-08,3.764445e-08,3.761609e-08,3.758388e-08,3.754802e-08,3.750870e-08,3.746609e-08,3.742038e-08,3.737173e-08,3.732029e-08,3.726622e-08,3.720965e-08,3.715073e-08,3.708959e-08,3.702634e-08,3.696112e-08,3.689404e-08,3.682520e-08,3.675471e-08,3.668267e-08,3.660918e-08,3.653432e-08
0.000000e+00,2.384711e-13,1.582784e-12,2.606716e-11,1.646928e-10,3.810819e-10,2.295467e-09,2.447766e-09,1.002972e-08,1.408256e-08,3.095625e-08,5.522558e-08,7.864586e-08,1.634884e-07,1.734128e-07,3.434001e-07,3.992641e-07,6.250816e-07,8.479832e-07,1.063261e-06,1.619829e-06,1.710415e-06,2.625121e-06,2.845601e-06,3.869350e-06,4.667161e-06,5.504696e-06,7.222439e-06,7.587964e-06,1.016683e-05,1.062798e-05,1.327621e-05,1.496354e-05,1.693575e-05,2.026221e-05,2.114865e-05,2.590166e-05,2.650711e-05,3.116615e-05,3.363412e-05,3.689995e-05,4.153904e-05,4.304974e-05,4.955364e-05,5.008725e-05,5.634392e-05,5.912436e-05,6.334956e-05,6.848657e-05,7.049864e-05,7.772047e-05,7.800988e-05,8.494727e-05,8.753777e-05,9.211567e-05,9.692701e-05,9.916773e-05,1.060517e-04,1.127225e-04,1.148057e-04,1.191419e-04,1.231035e-04,1.252783e-04,1.308802e-04,1.311071e-04,1.366097e-04,1.380901e-04,1.417734e-04,1.447055e-04,1.465906e-04,1.507141e-04,1.510588e-04,1.551793e-04,1.561170e-04,1.589572e-04,1.609260e-04,1.624004e-04,1.651619e-04,1.655194e-04,1.683266e-04,1.688519e-04,1.708359e-04,1.720279e-04,1.730622e-04,1.747250e-04,1.750211e-04,1.767288e-04,1.769798e-04,1.782014e-04,1.788294e-04,1.794550e-04,1.803108e-04,1.805053e-04,1.813679e-04,1.814594e-04,1.820573e-04,1.823095e-04,1.825879e-04,1.828932e-04,1.829731e-04,1.832256e-04,1.832405e-04,1.833575e-04,1.833791e-04,1.833800e-04,1.833343e-04,1.833035e-04,1.831377e-04,1.831293e-04,1.828916e-04,1.827850e-04,1.825736e-04,1.823201e-04,1.821912e-04,1.817516e-04,1.812610e-04,1.810943e-04,1.807255e-04,1.803617e-04,1.801504e-04,1.795655e-04,1.795405e-04,1.789003e-04,1.787161e-04,1.782338e-04,1.778229e-04,1.775448e-04,1.768938e-04,1.768365e-04,1.761120e-04,1.759361e-04,1.753741e-04,1.749558e-04,1.746251e-04,1.739586e-04,1.738673e-04,1.731027e-04,1.729492e-04,1.723332e-04,1.719317e-04,1.715604e-04,1.709097e-04,1.707857e-04,1.700106e-04,1.698866e-04,1.692361e-04,1.688649e-04,1.684634e-04,1.678471e-04,1.676934e-04,1.669270e-04,1.668353e-04,1.661650e-04,1.658312e-04,1.654080e-04,1.648365e-04,1.646567e-04,1.639117e-04,1.638524e-04,1.631733e-04,1.628800e-04,1.624422e-04,1.619204e-04,1.617185e-04,1.610028e-04,1.609743e-04,1.602952e-04,1.600425e-04,1.595960e-04,1.591255e-04,1.589055e-04,1.582238e-04,1.573378e-04,1.564678e-04,1.556140e-04,1.547767e-04,1.539558e-04,1.531514e-04,1.523637e-04,1.515926e-04,1.508380e-04,1.500998e-04,1.493780e-04,1.486724e-04,1.479829e-04,1.473092e-04,1.466513e-04,1.460089e-04,1.453818e-04,1.447698e-04,1.441726e-04,1.435900e-04,1.430218e-04,1.424678e-04,1.419276e-04,1.414010e-04
0.000000e+00,1.422336e-12,9.046044e-12,1.364007e-10,7.955290e-10,1.762104e-09,9.492620e-09,1.007701e-08,3.705234e-08,5.054438e-08,1.034696e-07,1.745366e-07,2.398510e-07,4.616020e-07,4.864971e-07,8.922495e-07,1.019253e-06,1.510905e-06,1.970292e-06,2.395372e-06,3.430367e-06,3.591659e-06,5.134814e-06,5.487275e-06,7.047422e-06,8.191935e-06,9.340046e-06,1.155977e-05,1.201265e-05,1.505627e-05,1.557668e-05,1.845456e-05,2.020530e-05,2.218496e-05,2.538996e-05,2.621980e-05,3.052707e-05,3.106060e-05,3.507131e-05,3.713611e-05,3.981445e-05,4.352778e-05,4.471664e-05,4.973724e-05,5.014278e-05,5.483565e-05,5.688787e-05,5.997222e-05,6.367278e-05,6.510899e-05,7.021040e-05,7.041325e-05,7.524379e-05,7.703341e-05,8.017982e-05,8.346738e-05,8.499268e-05,8.966024e-05,9.416404e-05,9.556814e-05,9.848918e-05,1.011581e-04,1.026241e-04,1.064070e-04,1.065605e-04,1.102928e-04,1.113008e-04,1.138181e-04,1.158334e-04,1.171354e-04,1.200048e-04,1.202461e-04,1.231530e-04,1.238207e-04,1.258601e-04,1.272907e-04,1.283726e-04,1.304275e-04,1.306967e-04,1.328390e-04,1.332463e-04,1.348067e-04,1.357634e-04,1.366073e-04,1.379963e-04,1.382485e-04,1.397380e-04,1.399628e-04,1.410835e-04,1.416804e-04,1.422927e-04,1.431668e-04,1.433729e-04,1.443316e-04,1.444388e-04,1.451757e-04,1.455126e-04,1.459121e-04,1.464037e-04,1.465473e-04,1.470875e-04,1.471268e-04,1.475387e-04,1.476955e-04,1.479066e-04,1.481229e-04,1.481965e-04,1.484136e-04,1.484209e-04,1.485628e-04,1.486007e-04,1.486485e-04,1.486729e-04,1.486752e-04,1.486469e-04,1.485674e-04,1.485318e-04,1.484404e-04,1.483358e-04,1.482693e-04,1.480665e-04,1.480573e-04,1.478073e-04,1.477309e-04,1.475223e-04,1.473356e-04,1.472049e-04,1.468864e-04,1.468575e-04,1.464826e-04,1.463888e-04,1.460824e-04,1.458479e-04,1.456588e-04,1.452683e-04,1.452138e-04,1.447494e-04,1.446543e-04,1.442670e-04,1.440097e-04,1.437684e-04,1.433382e-04,1.432551e-04,1.427284e-04,1.426430e-04,1.421897e-04,1.419272e-04,1.416402e-04,1.411935e-04,1.410810e-04,1.405132e-04,1.404446e-04,1.399379e-04,1.396826e-04,1.393560e-04,1.389098e-04,1.387683e-04,1.381757e-04,1.381281e-04,1.375790e-04,1.373393e-04,1.369789e-04,1.365450e-04,1.363760e-04,1.357710e-04,1.357468e-04,1.351645e-04,1.349459e-04,1.345570e-04,1.341436e-04,1.339491e-04,1.333411e-04,1.325394e-04,1.317395e-04,1.309421e-04,1.301481e-04,1.293581e-04,1.285729e-04,1.277929e-04,1.270187e-04,1.262508e-04,1.254896e-04,1.247354e-04,1.239885e-04,1.232494e-04,1.225181e-04,1.217951e-04,1.210803e-04,1.203741e-04,1.196766e-04,1.189878e-04,1.183079e-04,1.176370e-04,1.169751e-04,1.163222e-04,1.156785e-04
0.000000e+00,2.783728e-12,1.899043e-11,3.313991e-10,2.209760e-09,5.269250e-09,3.435857e-08,3.675837e-08,1.633403e-07,2.345472e-07,5.458995e-07,1.020735e-06,1.499382e-06,3.343720e-06,3.568162e-06,7.610829e-06,9.005144e-06,1.488729e-05,2.100206e-05,2.713943e-05,4.384217e-05,4.665787e-05,7.633024e-05,8.378110e-05,1.196682e-04,1.489545e-04,1.808124e-04,2.493933e-04,2.645144e-04,3.760972e-04,3.969210e-04,5.213940e-04,6.049370e-04,7.066691e-04,8.880999e-04,9.385220e-04,1.223778e-03,1.261926e-03,1.569367e-03,1.742325e-03,1.982203e-03,2.345104e-03,2.469050e-03,3.036402e-03,3.085454e-03,3.690358e-03,3.977461e-03,4.436508e-03,5.033647e-03,5.279836e-03,6.224626e-03,6.264580e-03,7.274390e-03,7.678546e-03,8.431812e-03,9.281311e-03,9.698699e-03,1.107597e-02,1.256362e-02,1.306286e-02,1.416077e-02,1.523963e-02,1.586565e-02,1.760127e-02,1.767564e-02,1.958734e-02,2.014029e-02,2.159657e-02,2.284694e-02,2.369850e-02,2.570946e-02,2.588766e-02,2.815806e-02,2.871433e-02,3.050322e-02,3.184662e-02,3.291629e-02,3.509026e-02,3.539008e-02,3.791720e-02,3.842836e-02,4.049006e-02,4.184349e-02,4.310101e-02,4.531799e-02,4.574233e-02,4.840639e-02,4.883424e-02,5.108561e-02,5.237484e-02,5.377259e-02,5.592289e-02,5.646009e-02,5.914115e-02,5.946212e-02,6.180903e-02,6.297706e-02,6.445733e-02,6.645319e-02,6.707998e-02,6.967123e-02,6.987701e-02,7.222572e-02,7.323609e-02,7.473846e-02,7.651919e-02,7.720486e-02,7.962069e-02,7.971622e-02,8.198214e-02,8.281827e-02,8.428577e-02,8.581763e-02,8.652852e-02,8.870770e-02,9.082102e-02,9.148303e-02,9.286648e-02,9.413921e-02,9.484247e-02,9.667285e-02,9.674769e-02,9.858113e-02,9.908152e-02,1.003421e-01,1.013637e-01,1.020301e-01,1.035186e-01,1.036451e-01,1.051870e-01,1.055462e-01,1.066562e-01,1.074474e-01,1.080532e-01,1.092233e-01,1.093786e-01,1.106333e-01,1.108758e-01,1.118183e-01,1.124073e-01,1.129347e-01,1.138205e-01,1.139839e-01,1.149672e-01,1.151185e-01,1.158861e-01,1.163047e-01,1.167421e-01,1.173827e-01,1.175369e-01,1.182722e-01,1.183565e-01,1.189497e-01,1.192299e-01,1.195712e-01,1.200072e-01,1.201385e-01,1.206535e-01,1.206924e-01,1.211179e-01,1.212899e-01,1.215336e-01,1.218039e-01,1.219025e-01,1.222264e-01,1.222385e-01,1.225071e-01,1.225980e-01,1.227465e-01,1.228865e-01,1.229462e-01,1.231081e-01,1.232667e-01,1.233662e-01,1.234104e-01,1.234029e-01,1.233472e-01,1.232466e-01,1.231043e-01,1.229236e-01,1.227073e-01,1.224582e-01,1.221791e-01,1.218725e-01,1.215408e-01,1.211863e-01,1.208111e-01,1.204173e-01,1.200069e-01,1.195815e-01,1.191430e-01,1.186928e-01,1.182325e-01,1.177634e-01,1.172869e-01,1.168042e-01
0.000000e+00,2.084121e-12,1.420054e-11,2.471854e-10,1.644432e-09,3.916280e-09,2.545515e-08,2.722961e-08,1.206342e-07,1.730884e-07,4.021019e-07,7.508088e-07,1.101957e-06,2.453568e-06,2.617974e-06,5.579198e-06,6.600975e-06,1.091637e-05,1.541215e-05,1.993495e-05,3.229354e-05,3.438356e-05,5.650767e-05,6.208813e-05,8.907954e-05,1.112210e-04,1.353994e-04,1.876991e-04,1.992674e-04,2.849301e-04,3.009628e-04,3.970058e-04,4.616145e-04,5.403938e-04,6.810597e-04,7.201745e-04,9.415024e-04,9.710979e-04,1.209498e-03,1.343492e-03,1.529144e-03,1.809547e-03,1.905181e-03,2.342018e-03,2.379714e-03,2.843650e-03,3.063249e-03,3.413583e-03,3.867912e-03,4.054777e-03,4.769600e-03,4.799751e-03,5.559790e-03,5.862939e-03,6.426441e-03,7.059689e-03,7.369992e-03,8.390226e-03,9.486291e-03,9.852824e-03,1.065672e-02,1.144390e-02,1.189947e-02,1.315814e-02,1.321194e-02,1.459104e-02,1.498866e-02,1.603325e-02,1.692723e-02,1.753461e-02,1.896445e-02,1.909086e-02,2.069743e-02,2.108996e-02,2.234952e-02,2.329273e-02,2.404216e-02,2.556118e-02,2.577025e-02,2.752861e-02,2.788345e-02,2.931203e-02,3.024759e-02,3.111533e-02,3.264170e-02,3.293337e-02,3.476111e-02,3.505412e-02,3.659364e-02,3.747354e-02,3.842619e-02,3.988916e-02,4.025418e-02,4.207323e-02,4.229072e-02,4.387920e-02,4.466866e-02,4.566815e-02,4.701411e-02,4.743642e-02,4.918057e-02,4.931896e-02,5.089745e-02,5.157590e-02,5.258414e-02,5.377839e-02,5.423802e-02,5.585670e-02,5.592068e-02,5.743804e-02,5.799782e-02,5.898018e-02,6.000560e-02,6.048148e-02,6.194054e-02,6.335617e-02,6.379984e-02,6.472743e-02,6.558138e-02,6.605354e-02,6.728361e-02,6.733394e-02,6.856826e-02,6.890557e-02,6.975626e-02,7.044681e-02,7.089791e-02,7.190734e-02,7.199327e-02,7.304259e-02,7.328762e-02,7.404621e-02,7.458845e-02,7.500459e-02,7.581099e-02,7.591830e-02,7.678799e-02,7.695671e-02,7.761439e-02,7.802728e-02,7.839832e-02,7.902464e-02,7.914065e-02,7.984232e-02,7.995087e-02,8.050429e-02,8.080823e-02,8.112757e-02,8.159906e-02,8.171324e-02,8.226234e-02,8.232583e-02,8.277599e-02,8.299105e-02,8.325530e-02,8.359729e-02,8.370138e-02,8.411536e-02,8.414713e-02,8.449837e-02,8.464316e-02,8.485154e-02,8.508796e-02,8.517597e-02,8.547278e-02,8.548409e-02,8.574306e-02,8.583407e-02,8.598789e-02,8.614038e-02,8.620834e-02,8.640544e-02,8.663161e-02,8.682117e-02,8.697635e-02,8.709930e-02,8.719208e-02,8.725668e-02,8.729499e-02,8.730886e-02,8.730000e-02,8.727009e-02,8.722071e-02,8.715336e-02,8.706947e-02,8.697038e-02,8.685737e-02,8.673165e-02,8.659436e-02,8.644656e-02,8.628927e-02,8.612344e-02,8.594995e-02,8.576964e-02,8.558330e-02,8.539167e-02
0.000000e+00,1.002895e-11,2.307837e-11,7.989379e-11,1.828846e-10,2.679530e-10,6.176136e-10,6.367209e-10,1.261157e-09,1.493698e-09,2.228048e-09,3.001217e-09,3.599070e-09,5.208782e-09,5.363187e-09,7.469649e-09,8.021088e-09,9.875947e-09,1.134305e-08,1.255224e-08,1.511069e-08,1.547332e-08,1.861362e-08,1.926558e-08,2.194537e-08,2.374365e-08,2.543856e-08,2.847457e-08,2.906169e-08,3.278287e-08,3.338525e-08,3.657087e-08,3.840406e-08,4.039607e-08,4.346456e-08,4.423114e-08,4.805155e-08,4.850796e-08,5.183578e-08,5.348453e-08,5.556541e-08,5.835382e-08,5.922502e-08,6.280204e-08,6.308432e-08,6.628648e-08,6.765254e-08,6.967066e-08,7.204195e-08,7.294894e-08,7.611740e-08,7.624182e-08,7.917361e-08,8.024610e-08,8.211635e-08,8.405247e-08,8.494544e-08,8.766150e-08,9.026583e-08,9.107590e-08,9.276024e-08,9.429999e-08,9.514696e-08,9.733924e-08,9.742852e-08,9.960769e-08,1.001999e-07,1.016874e-07,1.028888e-07,1.036707e-07,1.054129e-07,1.055607e-07,1.073605e-07,1.077794e-07,1.090733e-07,1.099957e-07,1.107022e-07,1.120688e-07,1.122504e-07,1.137208e-07,1.140058e-07,1.151164e-07,1.158136e-07,1.164403e-07,1.174989e-07,1.176951e-07,1.188838e-07,1.190680e-07,1.200090e-07,1.205272e-07,1.210732e-07,1.218825e-07,1.220791e-07,1.230291e-07,1.231395e-07,1.239256e-07,1.243036e-07,1.247708e-07,1.253802e-07,1.255669e-07,1.263160e-07,1.263740e-07,1.270203e-07,1.272898e-07,1.276816e-07,1.281322e-07,1.283018e-07,1.288829e-07,1.289053e-07,1.294264e-07,1.296132e-07,1.299341e-07,1.302597e-07,1.304076e-07,1.308485e-07,1.312582e-07,1.313830e-07,1.316382e-07,1.318664e-07,1.319898e-07,1.323019e-07,1.323143e-07,1.326131e-07,1.326923e-07,1.328872e-07,1.330404e-07,1.331379e-07,1.333488e-07,1.333662e-07,1.335733e-07,1.336200e-07,1.337602e-07,1.338563e-07,1.339277e-07,1.340599e-07,1.340769e-07,1.342086e-07,1.342329e-07,1.343237e-07,1.343773e-07,1.344230e-07,1.344949e-07,1.345074e-07,1.345775e-07,1.345874e-07,1.346340e-07,1.346565e-07,1.346777e-07,1.347038e-07,1.347092e-07,1.347291e-07,1.347308e-07,1.347381e-07,1.347387e-07,1.347367e-07,1.347290e-07,1.347254e-07,1.347048e-07,1.347028e-07,1.346755e-07,1.346614e-07,1.346378e-07,1.346057e-07,1.345922e-07,1.345392e-07,1.345370e-07,1.344792e-07,1.344560e-07,1.344126e-07,1.343638e-07,1.343398e-07,1.342611e-07,1.341489e-07,1.340279e-07,1.338988e-07,1.337622e-07,1.336189e-07,1.334694e-07,1.333142e-07,1.331540e-07,1.329892e-07,1.328203e-07,1.326477e-07,1.324719e-07,1.322932e-07,1.321119e-07,1.319286e-07,1.317433e-07,1.315566e-07,1.313685e-07,1.311795e-07,1.309898e-07,1.307995e-07,1.306089e-07,1.304183e-07,1.302277e-07
0.000000e+00,1.744657e-11,5.968413e-11,3.187645e-10,8.926815e-10,1.407154e-09,3.658488e-09,3.784515e-09,7.945256e-09,9.498347e-09,1.439594e-08,1.958163e-08,2.365360e-08,3.504311e-08,3.617215e-08,5.219649e-08,5.656669e-08,7.171412e-08,8.411468e-08,9.457158e-08,1.172994e-07,1.205805e-07,1.495427e-07,1.556710e-07,1.812427e-07,1.987296e-07,2.154390e-07,2.458976e-07,2.518635e-07,2.902263e-07,2.965240e-07,3.302232e-07,3.499113e-07,3.715449e-07,4.053507e-07,4.138863e-07,4.569537e-07,4.621572e-07,5.004711e-07,5.196951e-07,5.441849e-07,5.773974e-07,5.878669e-07,6.313149e-07,6.347752e-07,6.743538e-07,6.914205e-07,7.168340e-07,7.470026e-07,7.586303e-07,7.996396e-07,8.012623e-07,8.397789e-07,8.540030e-07,8.789830e-07,9.050818e-07,9.172024e-07,9.544009e-07,9.905536e-07,1.001899e-06,1.025646e-06,1.047545e-06,1.059670e-06,1.091329e-06,1.092627e-06,1.124521e-06,1.133263e-06,1.155363e-06,1.173369e-06,1.185167e-06,1.211683e-06,1.213948e-06,1.241726e-06,1.248246e-06,1.268521e-06,1.283104e-06,1.294354e-06,1.316310e-06,1.319249e-06,1.343228e-06,1.347916e-06,1.366317e-06,1.377978e-06,1.388538e-06,1.406552e-06,1.409917e-06,1.430476e-06,1.433692e-06,1.450242e-06,1.459454e-06,1.469236e-06,1.483892e-06,1.487483e-06,1.505005e-06,1.507060e-06,1.521826e-06,1.529010e-06,1.537967e-06,1.549793e-06,1.553450e-06,1.568297e-06,1.569458e-06,1.582528e-06,1.588053e-06,1.596164e-06,1.605624e-06,1.609224e-06,1.621727e-06,1.622216e-06,1.633693e-06,1.637872e-06,1.645138e-06,1.652633e-06,1.656081e-06,1.666539e-06,1.676529e-06,1.679629e-06,1.686066e-06,1.691939e-06,1.695166e-06,1.703505e-06,1.703845e-06,1.712116e-06,1.714361e-06,1.719994e-06,1.724538e-06,1.727493e-06,1.734069e-06,1.734627e-06,1.741407e-06,1.742983e-06,1.747846e-06,1.751308e-06,1.753957e-06,1.759073e-06,1.759751e-06,1.765240e-06,1.766302e-06,1.770434e-06,1.773021e-06,1.775343e-06,1.779255e-06,1.779978e-06,1.784349e-06,1.785025e-06,1.788466e-06,1.790354e-06,1.792337e-06,1.795262e-06,1.795971e-06,1.799377e-06,1.799771e-06,1.802563e-06,1.803897e-06,1.805537e-06,1.807661e-06,1.808308e-06,1.810882e-06,1.811079e-06,1.813266e-06,1.814168e-06,1.815468e-06,1.816944e-06,1.817494e-06,1.819351e-06,1.819422e-06,1.821046e-06,1.821617e-06,1.822583e-06,1.823542e-06,1.823969e-06,1.825210e-06,1.826635e-06,1.827828e-06,1.828801e-06,1.829565e-06,1.830131e-06,1.830507e-06,1.830705e-06,1.830733e-06,1.830600e-06,1.830315e-06,1.829884e-06,1.829317e-06,1.828620e-06,1.827800e-06,1.826863e-06,1.825817e-06,1.824668e-06,1.823420e-06,1.822080e-06,1.820652e-06,1.819143e-06,1.817556e-06,1.815897e-06,1.814170e-06
0.000000e+00,4.495745e-13,3.029246e-12,5.150624e-11,3.353414e-10,7.892099e-10,4.975560e-09,5.315850e-09,2.286303e-08,3.254745e-08,7.416931e-08,1.364389e-07,1.983869e-07,4.331243e-07,4.614138e-07,9.655305e-07,1.137822e-06,1.859721e-06,2.604737e-06,3.348876e-06,5.361230e-06,5.698948e-06,9.235446e-06,1.011748e-05,1.433450e-05,1.773929e-05,2.140778e-05,2.918839e-05,3.088369e-05,4.318730e-05,4.544565e-05,5.872105e-05,6.743302e-05,7.784771e-05,9.594579e-05,1.008765e-04,1.280523e-04,1.316011e-04,1.595489e-04,1.748045e-04,1.954651e-04,2.257338e-04,2.358234e-04,2.805722e-04,2.843385e-04,3.295890e-04,3.503507e-04,3.826860e-04,4.233062e-04,4.396170e-04,5.000847e-04,5.025723e-04,5.637489e-04,5.873792e-04,6.302349e-04,6.768537e-04,6.991423e-04,7.700529e-04,8.425387e-04,8.659964e-04,9.161691e-04,9.636961e-04,9.905179e-04,1.062182e-03,1.065169e-03,1.139722e-03,1.160527e-03,1.213795e-03,1.257859e-03,1.287031e-03,1.353384e-03,1.359099e-03,1.429694e-03,1.446387e-03,1.498543e-03,1.536245e-03,1.565404e-03,1.622426e-03,1.630062e-03,1.692336e-03,1.704491e-03,1.752073e-03,1.782091e-03,1.809149e-03,1.854965e-03,1.863467e-03,1.914956e-03,1.922928e-03,1.963568e-03,1.985872e-03,2.009278e-03,2.043753e-03,2.052082e-03,2.091992e-03,2.096588e-03,2.129038e-03,2.144442e-03,2.163265e-03,2.187425e-03,2.194728e-03,2.223496e-03,2.225683e-03,2.249644e-03,2.259389e-03,2.273258e-03,2.288740e-03,2.294427e-03,2.313246e-03,2.313952e-03,2.329815e-03,2.335248e-03,2.344234e-03,2.352863e-03,2.356606e-03,2.367034e-03,2.375620e-03,2.377996e-03,2.382468e-03,2.385985e-03,2.387678e-03,2.391230e-03,2.391348e-03,2.393576e-03,2.393954e-03,2.394454e-03,2.394371e-03,2.394074e-03,2.392687e-03,2.392522e-03,2.389884e-03,2.389098e-03,2.386240e-03,2.383789e-03,2.381667e-03,2.376934e-03,2.376240e-03,2.370027e-03,2.368696e-03,2.363096e-03,2.359228e-03,2.355509e-03,2.348673e-03,2.347326e-03,2.338604e-03,2.337162e-03,2.329394e-03,2.324815e-03,2.319747e-03,2.311746e-03,2.309710e-03,2.299326e-03,2.298058e-03,2.288636e-03,2.283845e-03,2.277678e-03,2.269194e-03,2.266489e-03,2.255101e-03,2.254182e-03,2.243546e-03,2.238883e-03,2.231852e-03,2.223361e-03,2.220045e-03,2.208152e-03,2.207674e-03,2.196193e-03,2.191876e-03,2.184191e-03,2.176014e-03,2.172164e-03,2.160131e-03,2.144265e-03,2.128451e-03,2.112719e-03,2.097096e-03,2.081606e-03,2.066269e-03,2.051105e-03,2.036128e-03,2.021354e-03,2.006793e-03,1.992455e-03,1.978350e-03,1.964483e-03,1.950862e-03,1.937489e-03,1.924369e-03,1.911504e-03,1.898896e-03,1.886545e-03,1.874452e-03,1.862616e-03,1.851036e-03,1.839712e-03,1.828639e-03
0.000000e+00,7.365266e-12,3.637219e-11,3.365406e-10,1.312223e-09,2.369416e-09,7.930723e-09,8.270069e-09,2.035902e-08,2.517313e-08,4.101372e-08,5.857705e-08,7.280859e-08,1.143484e-07,1.185970e-07,1.813231e-07,1.991872e-07,2.633486e-07,3.180501e-07,3.652944e-07,4.699159e-07,4.851056e-07,6.183753e-07,6.461769e-07,7.598320e-07,8.350182e-07,9.047713e-07,1.026590e-06,1.049657e-06,1.192069e-06,1.214510e-06,1.330408e-06,1.395040e-06,1.463621e-06,1.566022e-06,1.591010e-06,1.712125e-06,1.726222e-06,1.826693e-06,1.874991e-06,1.934583e-06,2.012102e-06,2.035782e-06,2.130370e-06,2.137656e-06,2.218507e-06,2.252004e-06,2.300415e-06,2.355681e-06,2.376362e-06,2.446646e-06,2.449344e-06,2.511587e-06,2.533721e-06,2.571514e-06,2.609571e-06,2.626761e-06,2.677654e-06,2.724512e-06,2.738703e-06,2.767636e-06,2.793409e-06,2.807313e-06,2.842410e-06,2.843812e-06,2.877380e-06,2.886286e-06,2.908250e-06,2.925566e-06,2.936633e-06,2.960718e-06,2.962726e-06,2.986705e-06,2.992164e-06,3.008734e-06,3.020274e-06,3.028961e-06,3.045378e-06,3.047522e-06,3.064540e-06,3.067768e-06,3.080126e-06,3.087699e-06,3.094383e-06,3.105400e-06,3.107403e-06,3.119272e-06,3.121070e-06,3.130067e-06,3.134888e-06,3.139858e-06,3.147011e-06,3.148709e-06,3.156681e-06,3.157581e-06,3.163826e-06,3.166722e-06,3.170196e-06,3.174547e-06,3.175836e-06,3.180789e-06,3.181156e-06,3.185093e-06,3.186641e-06,3.188785e-06,3.191083e-06,3.191899e-06,3.194465e-06,3.194556e-06,3.196513e-06,3.197129e-06,3.198070e-06,3.198861e-06,3.199161e-06,3.199810e-06,3.200039e-06,3.200027e-06,3.199869e-06,3.199560e-06,3.199319e-06,3.198452e-06,3.198409e-06,3.197154e-06,3.196744e-06,3.195573e-06,3.194473e-06,3.193679e-06,3.191674e-06,3.191488e-06,3.189014e-06,3.188380e-06,3.186270e-06,3.184620e-06,3.183268e-06,3.180423e-06,3.180021e-06,3.176539e-06,3.175815e-06,3.172833e-06,3.170822e-06,3.168915e-06,3.165466e-06,3.164793e-06,3.160477e-06,3.159769e-06,3.155976e-06,3.153752e-06,3.151298e-06,3.147434e-06,3.146452e-06,3.141445e-06,3.140834e-06,3.136286e-06,3.133969e-06,3.130980e-06,3.126855e-06,3.125536e-06,3.119959e-06,3.119508e-06,3.114257e-06,3.111942e-06,3.108435e-06,3.104172e-06,3.102499e-06,3.096455e-06,3.096211e-06,3.090308e-06,3.088070e-06,3.084063e-06,3.079763e-06,3.077725e-06,3.071300e-06,3.062693e-06,3.053950e-06,3.045083e-06,3.036100e-06,3.027010e-06,3.017821e-06,3.008543e-06,2.999181e-06,2.989743e-06,2.980237e-06,2.970669e-06,2.961045e-06,2.951372e-06,2.941654e-06,2.931897e-06,2.922107e-06,2.912289e-06,2.902447e-06,2.892586e-06,2.882709e-06,2.872822e-06,2.862928e-06,2.853031e-06,2.843134e-06
0.000000e+00,1.694553e-11,7.219205e-11,5.230545e-10,1.735142e-09,2.925599e-09,8.640851e-09,8.976854e-09,2.069582e-08,2.532653e-08,4.066608e-08,5.795557e-08,7.217052e-08,1.142124e-07,1.185191e-07,1.810031e-07,1.982107e-07,2.573335e-07,3.045232e-07,3.432127e-07,4.236183e-07,4.348175e-07,5.295727e-07,5.487452e-07,6.258214e-07,6.760636e-07,7.224019e-07,8.031124e-07,8.183994e-07,9.130345e-07,9.280029e-07,1.005627e-06,1.049169e-06,1.095588e-06,1.165326e-06,1.182422e-06,1.265732e-06,1.275477e-06,1.345217e-06,1.378922e-06,1.420669e-06,1.475235e-06,1.491963e-06,1.559049e-06,1.564234e-06,1.621939e-06,1.645934e-06,1.680699e-06,1.720506e-06,1.735433e-06,1.786274e-06,1.788229e-06,1.833378e-06,1.849454e-06,1.876918e-06,1.904581e-06,1.917074e-06,1.954028e-06,1.987965e-06,1.998218e-06,2.019067e-06,2.037566e-06,2.047510e-06,2.072471e-06,2.073464e-06,2.097092e-06,2.103312e-06,2.118547e-06,2.130439e-06,2.137977e-06,2.154184e-06,2.155521e-06,2.171310e-06,2.174852e-06,2.185466e-06,2.192722e-06,2.198101e-06,2.208045e-06,2.209320e-06,2.219224e-06,2.221055e-06,2.227905e-06,2.231965e-06,2.235450e-06,2.240967e-06,2.241937e-06,2.247440e-06,2.248234e-06,2.252029e-06,2.253927e-06,2.255770e-06,2.258190e-06,2.258720e-06,2.260936e-06,2.261155e-06,2.262470e-06,2.262941e-06,2.263369e-06,2.263656e-06,2.263679e-06,2.263441e-06,2.263400e-06,2.262694e-06,2.262261e-06,2.261475e-06,2.260323e-06,2.259816e-06,2.257749e-06,2.257659e-06,2.255305e-06,2.254337e-06,2.252509e-06,2.250420e-06,2.249387e-06,2.245963e-06,2.242260e-06,2.241020e-06,2.238299e-06,2.235636e-06,2.234097e-06,2.229856e-06,2.229675e-06,2.225048e-06,2.223718e-06,2.220233e-06,2.217260e-06,2.215245e-06,2.210514e-06,2.210097e-06,2.204802e-06,2.203511e-06,2.199374e-06,2.196280e-06,2.193823e-06,2.188845e-06,2.188160e-06,2.182395e-06,2.181231e-06,2.176539e-06,2.173460e-06,2.170599e-06,2.165551e-06,2.164584e-06,2.158503e-06,2.157524e-06,2.152361e-06,2.149395e-06,2.146168e-06,2.141179e-06,2.139928e-06,2.133649e-06,2.132893e-06,2.127335e-06,2.124548e-06,2.120993e-06,2.116157e-06,2.114627e-06,2.108243e-06,2.107732e-06,2.101845e-06,2.099283e-06,2.095437e-06,2.090820e-06,2.089024e-06,2.082608e-06,2.082351e-06,2.076194e-06,2.073886e-06,2.069785e-06,2.065431e-06,2.063384e-06,2.056994e-06,2.048581e-06,2.040198e-06,2.031850e-06,2.023543e-06,2.015282e-06,2.007070e-06,1.998911e-06,1.990810e-06,1.982768e-06,1.974790e-06,1.966878e-06,1.959034e-06,1.951261e-06,1.943561e-06,1.935935e-06,1.928385e-06,1.920913e-06,1.913519e-06,1.906206e-06,1.898973e-06,1.891822e-06,1.884754e-06,1.877769e-06,1.870867e-06
0.000000e+00,2.271548e-11,1.126205e-10,1.050861e-09,4.129994e-09,7.490297e-09,2.536270e-08,2.646050e-08,6.590673e-08,8.175451e-08,1.343019e-07,1.931297e-07,2.411452e-07,3.826407e-07,3.972015e-07,6.133238e-07,6.750903e-07,8.968819e-07,1.085357e-06,1.247482e-06,1.604712e-06,1.656455e-06,2.110897e-06,2.206087e-06,2.598091e-06,2.860789e-06,3.107521e-06,3.546519e-06,3.630911e-06,4.161635e-06,4.246848e-06,4.694137e-06,4.948929e-06,5.223587e-06,5.642061e-06,5.745712e-06,6.256746e-06,6.317163e-06,6.753400e-06,6.966635e-06,7.232881e-06,7.584368e-06,7.692889e-06,8.131611e-06,8.165746e-06,8.547694e-06,8.707569e-06,8.940218e-06,9.207932e-06,9.308646e-06,9.652782e-06,9.666043e-06,9.972720e-06,1.008203e-05,1.026880e-05,1.045676e-05,1.054154e-05,1.079165e-05,1.101992e-05,1.108849e-05,1.122723e-05,1.134935e-05,1.141454e-05,1.157646e-05,1.158284e-05,1.173313e-05,1.177212e-05,1.186643e-05,1.193866e-05,1.198371e-05,1.207832e-05,1.208596e-05,1.217413e-05,1.219330e-05,1.224913e-05,1.228569e-05,1.231182e-05,1.235748e-05,1.236305e-05,1.240361e-05,1.241051e-05,1.243426e-05,1.244652e-05,1.245572e-05,1.246713e-05,1.246865e-05,1.247371e-05,1.247382e-05,1.247148e-05,1.246799e-05,1.246253e-05,1.245089e-05,1.244739e-05,1.242656e-05,1.242370e-05,1.240050e-05,1.238749e-05,1.236965e-05,1.234325e-05,1.233441e-05,1.229517e-05,1.229187e-05,1.225227e-05,1.223417e-05,1.220606e-05,1.217091e-05,1.215684e-05,1.210489e-05,1.210276e-05,1.205049e-05,1.203036e-05,1.199389e-05,1.195426e-05,1.193532e-05,1.187499e-05,1.181312e-05,1.179302e-05,1.174987e-05,1.170876e-05,1.168544e-05,1.162262e-05,1.161998e-05,1.155364e-05,1.153493e-05,1.148656e-05,1.144601e-05,1.141887e-05,1.135615e-05,1.135068e-05,1.128211e-05,1.126561e-05,1.121326e-05,1.117462e-05,1.114423e-05,1.108339e-05,1.107509e-05,1.100593e-05,1.099211e-05,1.093683e-05,1.090094e-05,1.086785e-05,1.081005e-05,1.079906e-05,1.073050e-05,1.071956e-05,1.066224e-05,1.062960e-05,1.059433e-05,1.054027e-05,1.052679e-05,1.045969e-05,1.045167e-05,1.039304e-05,1.036387e-05,1.032689e-05,1.027697e-05,1.026127e-05,1.019620e-05,1.019101e-05,1.013170e-05,1.010607e-05,1.006780e-05,1.002217e-05,1.000452e-05,9.941867e-06,9.939374e-06,9.879867e-06,9.857709e-06,9.818529e-06,9.777204e-06,9.757865e-06,9.697885e-06,9.619771e-06,9.542878e-06,9.467217e-06,9.392797e-06,9.319622e-06,9.247695e-06,9.177015e-06,9.107579e-06,9.039384e-06,8.972421e-06,8.906684e-06,8.842163e-06,8.778846e-06,8.716722e-06,8.655777e-06,8.595999e-06,8.537371e-06,8.479879e-06,8.423508e-06,8.368239e-06,8.314058e-06,8.260946e-06,8.208887e-06,8.157863e-06
0.000000e+00,4.301235e-12,2.939103e-11,5.146633e-10,3.442790e-09,8.224206e-09,5.388234e-08,5.765715e-08,2.574676e-07,3.702142e-07,8.646808e-07,1.621501e-06,2.386467e-06,5.345692e-06,5.706726e-06,1.223201e-05,1.449014e-05,2.404647e-05,3.402000e-05,4.406096e-05,7.150257e-05,7.614208e-05,1.252108e-04,1.375743e-04,1.973051e-04,2.462318e-04,2.996039e-04,4.149197e-04,4.404105e-04,6.290975e-04,6.644095e-04,8.760133e-04,1.018475e-03,1.192355e-03,1.503386e-03,1.590011e-03,2.081377e-03,2.147239e-03,2.679152e-03,2.979181e-03,3.396126e-03,4.028542e-03,4.244951e-03,5.237923e-03,5.323944e-03,6.386764e-03,6.892423e-03,7.702409e-03,8.758598e-03,9.194826e-03,1.087284e-02,1.094393e-02,1.274398e-02,1.346610e-02,1.481439e-02,1.633851e-02,1.708868e-02,1.956992e-02,2.225956e-02,2.316428e-02,2.515745e-02,2.712063e-02,2.826182e-02,3.143321e-02,3.156936e-02,3.507523e-02,3.609160e-02,3.877319e-02,4.108105e-02,4.265563e-02,4.638286e-02,4.671374e-02,5.093759e-02,5.197478e-02,5.531623e-02,5.783152e-02,5.983788e-02,6.392529e-02,6.449001e-02,6.925949e-02,7.022628e-02,7.413273e-02,7.670320e-02,7.909578e-02,8.332380e-02,8.413449e-02,8.923459e-02,9.005535e-02,9.438182e-02,9.686508e-02,9.956205e-02,1.037206e-01,1.047613e-01,1.099660e-01,1.105903e-01,1.151629e-01,1.174437e-01,1.203390e-01,1.242515e-01,1.254822e-01,1.305805e-01,1.309861e-01,1.356229e-01,1.376218e-01,1.405987e-01,1.441346e-01,1.454982e-01,1.503121e-01,1.505027e-01,1.550319e-01,1.567065e-01,1.596498e-01,1.627281e-01,1.641587e-01,1.685523e-01,1.728248e-01,1.741655e-01,1.769711e-01,1.795566e-01,1.809871e-01,1.847163e-01,1.848689e-01,1.886135e-01,1.896371e-01,1.922185e-01,1.943136e-01,1.956818e-01,1.987419e-01,1.990022e-01,2.021789e-01,2.029198e-01,2.052114e-01,2.068467e-01,2.081000e-01,2.105232e-01,2.108451e-01,2.134477e-01,2.139512e-01,2.159091e-01,2.171337e-01,2.182309e-01,2.200749e-01,2.204152e-01,2.224642e-01,2.227796e-01,2.243803e-01,2.252537e-01,2.261663e-01,2.275033e-01,2.278250e-01,2.293597e-01,2.295356e-01,2.307734e-01,2.313580e-01,2.320696e-01,2.329783e-01,2.332518e-01,2.343235e-01,2.344046e-01,2.352884e-01,2.356452e-01,2.361501e-01,2.367088e-01,2.369124e-01,2.375791e-01,2.376038e-01,2.381538e-01,2.383389e-01,2.386403e-01,2.389227e-01,2.390424e-01,2.393637e-01,2.396704e-01,2.398509e-01,2.399136e-01,2.398661e-01,2.397162e-01,2.394714e-01,2.391389e-01,2.387254e-01,2.382377e-01,2.376821e-01,2.370647e-01,2.363913e-01,2.356673e-01,2.348980e-01,2.340883e-01,2.332427e-01,2.323658e-01,2.314615e-01,2.305339e-01,2.295864e-01,2.286224e-01,2.276452e-01,2.266575e-01,2.256622e-01
0.000000e+00,4.829231e-13,3.268067e-12,5.606947e-11,3.680529e-10,8.700613e-10,5.547268e-09,5.929301e-09,2.576995e-08,3.678432e-08,8.435873e-08,1.559071e-07,2.273216e-07,4.989228e-07,5.317157e-07,1.116937e-06,1.317111e-06,2.155827e-06,3.020846e-06,3.884076e-06,6.214872e-06,6.605596e-06,1.069227e-05,1.171063e-05,1.657797e-05,2.050888e-05,2.474775e-05,3.375666e-05,3.572360e-05,5.004819e-05,5.268749e-05,6.826778e-05,7.855413e-05,9.091535e-05,1.125614e-04,1.184946e-04,1.514655e-04,1.558042e-04,1.902316e-04,2.092141e-04,2.351298e-04,2.735174e-04,2.864216e-04,3.442881e-04,3.492049e-04,4.088258e-04,4.365142e-04,4.800459e-04,5.354240e-04,5.578748e-04,6.421570e-04,6.456595e-04,7.326598e-04,7.667071e-04,8.290788e-04,8.978373e-04,9.310453e-04,1.038134e-03,1.149871e-03,1.186525e-03,1.265743e-03,1.341823e-03,1.385209e-03,1.502752e-03,1.507702e-03,1.632646e-03,1.667991e-03,1.759458e-03,1.836201e-03,1.887558e-03,2.006057e-03,2.016376e-03,2.145356e-03,2.176275e-03,2.273964e-03,2.345631e-03,2.401692e-03,2.512982e-03,2.528059e-03,2.652618e-03,2.677276e-03,2.774956e-03,2.837566e-03,2.894694e-03,2.993016e-03,3.011493e-03,3.125049e-03,3.142899e-03,3.235096e-03,3.286603e-03,3.341403e-03,3.423625e-03,3.443777e-03,3.542058e-03,3.553571e-03,3.636119e-03,3.676143e-03,3.725864e-03,3.791141e-03,3.811226e-03,3.892165e-03,3.898449e-03,3.968667e-03,3.998027e-03,4.040740e-03,4.089906e-03,4.108413e-03,4.171734e-03,4.174177e-03,4.230767e-03,4.250985e-03,4.285593e-03,4.320518e-03,4.336303e-03,4.383001e-03,4.425799e-03,4.438690e-03,4.464818e-03,4.487866e-03,4.500185e-03,4.530824e-03,4.532032e-03,4.560494e-03,4.567876e-03,4.585710e-03,4.599339e-03,4.607818e-03,4.625535e-03,4.626960e-03,4.643276e-03,4.646787e-03,4.656905e-03,4.663414e-03,4.667984e-03,4.675731e-03,4.676648e-03,4.683031e-03,4.684045e-03,4.687262e-03,4.688653e-03,4.689467e-03,4.689844e-03,4.689769e-03,4.688288e-03,4.687893e-03,4.685137e-03,4.683065e-03,4.680428e-03,4.675611e-03,4.674268e-03,4.666759e-03,4.665771e-03,4.657998e-03,4.653771e-03,4.648080e-03,4.639823e-03,4.637093e-03,4.625123e-03,4.624126e-03,4.612251e-03,4.606867e-03,4.598554e-03,4.588221e-03,4.584104e-03,4.568970e-03,4.568352e-03,4.553219e-03,4.547409e-03,4.536911e-03,4.525534e-03,4.520105e-03,4.502856e-03,4.479495e-03,4.455562e-03,4.431157e-03,4.406374e-03,4.381297e-03,4.356006e-03,4.330570e-03,4.305054e-03,4.279517e-03,4.254010e-03,4.228583e-03,4.203278e-03,4.178133e-03,4.153182e-03,4.128458e-03,4.103986e-03,4.079791e-03,4.055894e-03,4.032313e-03,4.009064e-03,3.986162e-03,3.963616e-03,3.941438e-03,3.919634e-03
0.000000e+00,2.231564e-13,1.505386e-12,2.565624e-11,1.673400e-10,3.941374e-10,2.487636e-09,2.657804e-09,1.142236e-08,1.625081e-08,3.694188e-08,6.774801e-08,9.825195e-08,2.128618e-07,2.265876e-07,4.688568e-07,5.508313e-07,8.909176e-07,1.237475e-06,1.580267e-06,2.495314e-06,2.647561e-06,4.226431e-06,4.616861e-06,6.471367e-06,7.958357e-06,9.553880e-06,1.292444e-05,1.365739e-05,1.897133e-05,1.994659e-05,2.568494e-05,2.945876e-05,3.398120e-05,4.187312e-05,4.403104e-05,5.598825e-05,5.755781e-05,6.998496e-05,7.681817e-05,8.612813e-05,9.988215e-05,1.044967e-04,1.251398e-04,1.268903e-04,1.480756e-04,1.578901e-04,1.732914e-04,1.928353e-04,2.007438e-04,2.303604e-04,2.315887e-04,2.620414e-04,2.739287e-04,2.956623e-04,3.195585e-04,3.310763e-04,3.681178e-04,4.066056e-04,4.191959e-04,4.463463e-04,4.723447e-04,4.871376e-04,5.270928e-04,5.287717e-04,5.710388e-04,5.829585e-04,6.137298e-04,6.394620e-04,6.566388e-04,6.961359e-04,6.995662e-04,7.423203e-04,7.525350e-04,7.847192e-04,8.082434e-04,8.265924e-04,8.628804e-04,8.677822e-04,9.081439e-04,9.161052e-04,9.475472e-04,9.676189e-04,9.858758e-04,1.017166e-03,1.023028e-03,1.058916e-03,1.064535e-03,1.093466e-03,1.109557e-03,1.126618e-03,1.152101e-03,1.158325e-03,1.188552e-03,1.192079e-03,1.217275e-03,1.229432e-03,1.244480e-03,1.264138e-03,1.270164e-03,1.294331e-03,1.296199e-03,1.316995e-03,1.325645e-03,1.338177e-03,1.352523e-03,1.357901e-03,1.376199e-03,1.376902e-03,1.393108e-03,1.398862e-03,1.408667e-03,1.418497e-03,1.422918e-03,1.435909e-03,1.447685e-03,1.451205e-03,1.458296e-03,1.464498e-03,1.467791e-03,1.475903e-03,1.476220e-03,1.483634e-03,1.485534e-03,1.490081e-03,1.493507e-03,1.495613e-03,1.499935e-03,1.500277e-03,1.504121e-03,1.504927e-03,1.507191e-03,1.508590e-03,1.509533e-03,1.511026e-03,1.511190e-03,1.512205e-03,1.512334e-03,1.512617e-03,1.512607e-03,1.512467e-03,1.511932e-03,1.511790e-03,1.510624e-03,1.510394e-03,1.509002e-03,1.508070e-03,1.506955e-03,1.505034e-03,1.504517e-03,1.501714e-03,1.501354e-03,1.498575e-03,1.497094e-03,1.495126e-03,1.492313e-03,1.491392e-03,1.487396e-03,1.487065e-03,1.483159e-03,1.481402e-03,1.478703e-03,1.475369e-03,1.474046e-03,1.469207e-03,1.469010e-03,1.464203e-03,1.462364e-03,1.459050e-03,1.455468e-03,1.453762e-03,1.448354e-03,1.441054e-03,1.433595e-03,1.426002e-03,1.418299e-03,1.410507e-03,1.402645e-03,1.394730e-03,1.386779e-03,1.378805e-03,1.370822e-03,1.362843e-03,1.354876e-03,1.346933e-03,1.339021e-03,1.331149e-03,1.323324e-03,1.315552e-03,1.307838e-03,1.300189e-03,1.292607e-03,1.285098e-03,1.277664e-03,1.270309e-03,1.263036e-03
0.000000e+00,3.896113e-13,2.645743e-12,4.572379e-11,3.021647e-10,7.169659e-10,4.615616e-09,4.935436e-09,2.165808e-08,3.099582e-08,7.154942e-08,1.329271e-07,1.944717e-07,4.300243e-07,4.585782e-07,9.707745e-07,1.146849e-06,1.888103e-06,2.657378e-06,3.429010e-06,5.528677e-06,5.882683e-06,9.614423e-06,1.055169e-05,1.506574e-05,1.874751e-05,2.274895e-05,3.134532e-05,3.323697e-05,4.714939e-05,4.973631e-05,6.513608e-05,7.541141e-05,8.785955e-05,1.098910e-04,1.159769e-04,1.501223e-04,1.546535e-04,1.908904e-04,2.110680e-04,2.388218e-04,2.803344e-04,2.943897e-04,3.579897e-04,3.634346e-04,4.299307e-04,4.610942e-04,5.104291e-04,5.737582e-04,5.996054e-04,6.974818e-04,7.015771e-04,8.039838e-04,8.444062e-04,9.189419e-04,1.001815e-03,1.042096e-03,1.173103e-03,1.311539e-03,1.357329e-03,1.456914e-03,1.553342e-03,1.608674e-03,1.759812e-03,1.766217e-03,1.928894e-03,1.975272e-03,2.096028e-03,2.198156e-03,2.266916e-03,2.426833e-03,2.440841e-03,2.617082e-03,2.659645e-03,2.794919e-03,2.894940e-03,2.973642e-03,3.131100e-03,3.152558e-03,3.330996e-03,3.366570e-03,3.508314e-03,3.599872e-03,3.683900e-03,3.829633e-03,3.857180e-03,4.027617e-03,4.054589e-03,4.194715e-03,4.273602e-03,4.358022e-03,4.485661e-03,4.517128e-03,4.671667e-03,4.689889e-03,4.821318e-03,4.885542e-03,4.965801e-03,5.072006e-03,5.104881e-03,5.238362e-03,5.248793e-03,5.366087e-03,5.415537e-03,5.487937e-03,5.571984e-03,5.603830e-03,5.713714e-03,5.717984e-03,5.817570e-03,5.853484e-03,5.915408e-03,5.978517e-03,6.007262e-03,6.093192e-03,6.173279e-03,6.197688e-03,6.247621e-03,6.292239e-03,6.316336e-03,6.377130e-03,6.379555e-03,6.437424e-03,6.452689e-03,6.490096e-03,6.519273e-03,6.537736e-03,6.577269e-03,6.580517e-03,6.618616e-03,6.627083e-03,6.652214e-03,6.669133e-03,6.681497e-03,6.703845e-03,6.706652e-03,6.727864e-03,6.731650e-03,6.745322e-03,6.752978e-03,6.759211e-03,6.768254e-03,6.769714e-03,6.777014e-03,6.777896e-03,6.781287e-03,6.782315e-03,6.782708e-03,6.781906e-03,6.781447e-03,6.777669e-03,6.777054e-03,6.771534e-03,6.768127e-03,6.763196e-03,6.755479e-03,6.752806e-03,6.740508e-03,6.739446e-03,6.726440e-03,6.720347e-03,6.710735e-03,6.698485e-03,6.693520e-03,6.674917e-03,6.674146e-03,6.655042e-03,6.647598e-03,6.634006e-03,6.619092e-03,6.611913e-03,6.588863e-03,6.557131e-03,6.524100e-03,6.489958e-03,6.454881e-03,6.419029e-03,6.382552e-03,6.345585e-03,6.308253e-03,6.270671e-03,6.232942e-03,6.195160e-03,6.157411e-03,6.119771e-03,6.082312e-03,6.045094e-03,6.008173e-03,5.971600e-03,5.935418e-03,5.899666e-03,5.864377e-03,5.829581e-03,5.795304e-03,5.761566e-03,5.728387e-03
0.000000e+00,2.649216e-12,1.803878e-11,3.137293e-10,2.087621e-09,4.975261e-09,3.248081e-08,3.475452e-08,1.554456e-07,2.238564e-07,5.261142e-07,9.943406e-07,1.472989e-06,3.361031e-06,3.594501e-06,7.893396e-06,9.407470e-06,1.591203e-05,2.281400e-05,2.983727e-05,4.925121e-05,5.255352e-05,8.764037e-05,9.650353e-05,1.393227e-04,1.743248e-04,2.123840e-04,2.940930e-04,3.120542e-04,4.438819e-04,4.683401e-04,6.135981e-04,7.102175e-04,8.269775e-04,1.032944e-03,1.089703e-03,1.407238e-03,1.449272e-03,1.784701e-03,1.970994e-03,2.226767e-03,2.608505e-03,2.737563e-03,3.320598e-03,3.370451e-03,3.978690e-03,4.263436e-03,4.713928e-03,5.291842e-03,5.527636e-03,6.420356e-03,6.457707e-03,7.391852e-03,7.760706e-03,8.441125e-03,9.198198e-03,9.566435e-03,1.076534e-02,1.203476e-02,1.245527e-02,1.337099e-02,1.425931e-02,1.476981e-02,1.616722e-02,1.622654e-02,1.773607e-02,1.816747e-02,1.929299e-02,2.024753e-02,2.089161e-02,2.239414e-02,2.252607e-02,2.419038e-02,2.459358e-02,2.587848e-02,2.683196e-02,2.758433e-02,2.909541e-02,2.930195e-02,3.102544e-02,3.137034e-02,3.274909e-02,3.364360e-02,3.446736e-02,3.590266e-02,3.617494e-02,3.786680e-02,3.813572e-02,3.953818e-02,4.033184e-02,4.118461e-02,4.248100e-02,4.280196e-02,4.438641e-02,4.457417e-02,4.593449e-02,4.660331e-02,4.744306e-02,4.856141e-02,4.890932e-02,5.033078e-02,5.044249e-02,5.170530e-02,5.224155e-02,5.303107e-02,5.395455e-02,5.430654e-02,5.553049e-02,5.557837e-02,5.670199e-02,5.711074e-02,5.782033e-02,5.855022e-02,5.888510e-02,5.989609e-02,6.085333e-02,6.114832e-02,6.175704e-02,6.230750e-02,6.260763e-02,6.337475e-02,6.340567e-02,6.415190e-02,6.435167e-02,6.484718e-02,6.524030e-02,6.549250e-02,6.604303e-02,6.608897e-02,6.663778e-02,6.676254e-02,6.714020e-02,6.740178e-02,6.759757e-02,6.796389e-02,6.801128e-02,6.838280e-02,6.845217e-02,6.871359e-02,6.887001e-02,6.900517e-02,6.922090e-02,6.925905e-02,6.947678e-02,6.950837e-02,6.965990e-02,6.973595e-02,6.980994e-02,6.990717e-02,6.992842e-02,7.001685e-02,7.002551e-02,7.007672e-02,7.009439e-02,7.010949e-02,7.011717e-02,7.011661e-02,7.009947e-02,7.009709e-02,7.005945e-02,7.003734e-02,6.999788e-02,6.994094e-02,6.991607e-02,6.981526e-02,6.981085e-02,6.969669e-02,6.964988e-02,6.956151e-02,6.946070e-02,6.941088e-02,6.924587e-02,6.900783e-02,6.874887e-02,6.847117e-02,6.817677e-02,6.786759e-02,6.754543e-02,6.721198e-02,6.686881e-02,6.651739e-02,6.615908e-02,6.579512e-02,6.542669e-02,6.505487e-02,6.468064e-02,6.430490e-02,6.392850e-02,6.355220e-02,6.317669e-02,6.280259e-02,6.243048e-02,6.206089e-02,6.169425e-02,6.133101e-02,6.097151e-02
0.000000e+00,5.381469e-12,2.933115e-11,3.260069e-10,1.466594e-09,2.838289e-09,1.105698e-08,1.159251e-08,3.201605e-08,4.063383e-08,7.008738e-08,1.039710e-07,1.320020e-07,2.155054e-07,2.241422e-07,3.529996e-07,3.900873e-07,5.246707e-07,6.413515e-07,7.438742e-07,9.781688e-07,1.013158e-06,1.332960e-06,1.402913e-06,1.702314e-06,1.913423e-06,2.119552e-06,2.505589e-06,2.582687e-06,3.089514e-06,3.174502e-06,3.637587e-06,3.914521e-06,4.224169e-06,4.719124e-06,4.846213e-06,5.500369e-06,5.580856e-06,6.183028e-06,6.491453e-06,6.890385e-06,7.442075e-06,7.618504e-06,8.363406e-06,8.423604e-06,9.121135e-06,9.426948e-06,9.887823e-06,1.044329e-05,1.065974e-05,1.143336e-05,1.146430e-05,1.220540e-05,1.248235e-05,1.297281e-05,1.349061e-05,1.373287e-05,1.448309e-05,1.522130e-05,1.545468e-05,1.594560e-05,1.640108e-05,1.665435e-05,1.731884e-05,1.734618e-05,1.801992e-05,1.820520e-05,1.867466e-05,1.905806e-05,1.930965e-05,1.987593e-05,1.992435e-05,2.051835e-05,2.065780e-05,2.109140e-05,2.140311e-05,2.164337e-05,2.211165e-05,2.217424e-05,2.268408e-05,2.278353e-05,2.317303e-05,2.341910e-05,2.364132e-05,2.401892e-05,2.408923e-05,2.451708e-05,2.458370e-05,2.492524e-05,2.511428e-05,2.531412e-05,2.561161e-05,2.568412e-05,2.603572e-05,2.607669e-05,2.636935e-05,2.651059e-05,2.668551e-05,2.691440e-05,2.698468e-05,2.726733e-05,2.728925e-05,2.753397e-05,2.763625e-05,2.778508e-05,2.795654e-05,2.802116e-05,2.824267e-05,2.825124e-05,2.845012e-05,2.852144e-05,2.864396e-05,2.876825e-05,2.882467e-05,2.899271e-05,2.914853e-05,2.919588e-05,2.929257e-05,2.937877e-05,2.942526e-05,2.954236e-05,2.954703e-05,2.965829e-05,2.968761e-05,2.975944e-05,2.981545e-05,2.985088e-05,2.992676e-05,2.993299e-05,3.000615e-05,3.002241e-05,3.007071e-05,3.010324e-05,3.012703e-05,3.017004e-05,3.017545e-05,3.021630e-05,3.022360e-05,3.024992e-05,3.026464e-05,3.027660e-05,3.029388e-05,3.029665e-05,3.031038e-05,3.031200e-05,3.031805e-05,3.031967e-05,3.031995e-05,3.031750e-05,3.031635e-05,3.030750e-05,3.030610e-05,3.029365e-05,3.028603e-05,3.027504e-05,3.025786e-05,3.025191e-05,3.022448e-05,3.022210e-05,3.019296e-05,3.017926e-05,3.015758e-05,3.012981e-05,3.011852e-05,3.007599e-05,3.007421e-05,3.003016e-05,3.001290e-05,2.998124e-05,2.994628e-05,2.992938e-05,2.987476e-05,2.979870e-05,2.971846e-05,2.963439e-05,2.954679e-05,2.945599e-05,2.936226e-05,2.926589e-05,2.916712e-05,2.906622e-05,2.896341e-05,2.885890e-05,2.875292e-05,2.864566e-05,2.853729e-05,2.842801e-05,2.831796e-05,2.820731e-05,2.809620e-05,2.798477e-05,2.787315e-05,2.776146e-05,2.764981e-05,2.753830e-05,2.742704e-05
0.000000e+00,8.127490e-13,5.540369e-12,9.653273e-11,6.428640e-10,1.532015e-09,9.978660e-09,1.067533e-08,4.742920e-08,6.811594e-08,1.586692e-07,2.970426e-07,4.368065e-07,9.774132e-07,1.043392e-06,2.237357e-06,2.651229e-06,4.406404e-06,6.243715e-06,8.098103e-06,1.318395e-05,1.404584e-05,2.318545e-05,2.549340e-05,3.666035e-05,4.581934e-05,5.581507e-05,7.740807e-05,8.217852e-05,1.174386e-04,1.240256e-04,1.634099e-04,1.898375e-04,2.219967e-04,2.792620e-04,2.951533e-04,3.848420e-04,3.968078e-04,4.929918e-04,5.469080e-04,6.214583e-04,7.337586e-04,7.719852e-04,9.461703e-04,9.611710e-04,1.145434e-03,1.232442e-03,1.370994e-03,1.550247e-03,1.623843e-03,1.904735e-03,1.916562e-03,2.214170e-03,2.332610e-03,2.552395e-03,2.798836e-03,2.919396e-03,3.314907e-03,3.738415e-03,3.879735e-03,4.189173e-03,4.491520e-03,4.666213e-03,5.147812e-03,5.168364e-03,5.694273e-03,5.845582e-03,6.242422e-03,6.581303e-03,6.811154e-03,7.351038e-03,7.398689e-03,8.003155e-03,8.150531e-03,8.622601e-03,8.975290e-03,9.255027e-03,9.820682e-03,9.898396e-03,1.055066e-02,1.068200e-02,1.120978e-02,1.155456e-02,1.187373e-02,1.243373e-02,1.254053e-02,1.320825e-02,1.331504e-02,1.387501e-02,1.419419e-02,1.453902e-02,1.506710e-02,1.519857e-02,1.585203e-02,1.592996e-02,1.649787e-02,1.677925e-02,1.713466e-02,1.761175e-02,1.776108e-02,1.837590e-02,1.842455e-02,1.897801e-02,1.921507e-02,1.956640e-02,1.998104e-02,2.014017e-02,2.069851e-02,2.072051e-02,2.124073e-02,2.143186e-02,2.176623e-02,2.211375e-02,2.227449e-02,2.276511e-02,2.323775e-02,2.338516e-02,2.369217e-02,2.397336e-02,2.412820e-02,2.452939e-02,2.454573e-02,2.494475e-02,2.505316e-02,2.532528e-02,2.554476e-02,2.568741e-02,2.600446e-02,2.603130e-02,2.635713e-02,2.643266e-02,2.666514e-02,2.682994e-02,2.695561e-02,2.719695e-02,2.722884e-02,2.748520e-02,2.753447e-02,2.772503e-02,2.784335e-02,2.794875e-02,2.812452e-02,2.815676e-02,2.834950e-02,2.837895e-02,2.852741e-02,2.860767e-02,2.869095e-02,2.881175e-02,2.884059e-02,2.897679e-02,2.899226e-02,2.910004e-02,2.915029e-02,2.921080e-02,2.928693e-02,2.930957e-02,2.939680e-02,2.940330e-02,2.947298e-02,2.950046e-02,2.953856e-02,2.957949e-02,2.959402e-02,2.963980e-02,2.964143e-02,2.967634e-02,2.968732e-02,2.970409e-02,2.971816e-02,2.972348e-02,2.973491e-02,2.973851e-02,2.972986e-02,2.970984e-02,2.967928e-02,2.963898e-02,2.958969e-02,2.953213e-02,2.946701e-02,2.939496e-02,2.931661e-02,2.923254e-02,2.914330e-02,2.904941e-02,2.895136e-02,2.884960e-02,2.874457e-02,2.863666e-02,2.852626e-02,2.841370e-02,2.829932e-02,2.818343e-02,2.806629e-02,2.794818e-02,2.782934e-02
0.000000e+00,2.051802e-12,1.391062e-11,2.396298e-10,1.579279e-09,3.742127e-09,2.401928e-08,2.568104e-08,1.124960e-07,1.609610e-07,3.715552e-07,6.907597e-07,1.011395e-06,2.242948e-06,2.392640e-06,5.088615e-06,6.019110e-06,9.950211e-06,1.404562e-05,1.816311e-05,2.938965e-05,3.128384e-05,5.124700e-05,5.625649e-05,8.034333e-05,9.993558e-05,1.211737e-04,1.666169e-04,1.765856e-04,2.495990e-04,2.631219e-04,3.433263e-04,3.965921e-04,4.608921e-04,5.741675e-04,6.053543e-04,7.796316e-04,8.026798e-04,9.864358e-04,1.088375e-03,1.228214e-03,1.436679e-03,1.507096e-03,1.824858e-03,1.852003e-03,2.182887e-03,2.337607e-03,2.582163e-03,2.895512e-03,3.023244e-03,3.506264e-03,3.526454e-03,4.030939e-03,4.229899e-03,4.596580e-03,5.004082e-03,5.202112e-03,5.846101e-03,6.526781e-03,6.752018e-03,7.242091e-03,7.717003e-03,7.989713e-03,8.735472e-03,8.767105e-03,9.571545e-03,9.801248e-03,1.040017e-02,1.090772e-02,1.125000e-02,1.204797e-02,1.211801e-02,1.300112e-02,1.321497e-02,1.389626e-02,1.440166e-02,1.480039e-02,1.560108e-02,1.571051e-02,1.662372e-02,1.680649e-02,1.753721e-02,1.801143e-02,1.844828e-02,1.920983e-02,1.935437e-02,2.025306e-02,2.039601e-02,2.114208e-02,2.156475e-02,2.201933e-02,2.271134e-02,2.288286e-02,2.373089e-02,2.383154e-02,2.456181e-02,2.492161e-02,2.537415e-02,2.597832e-02,2.616664e-02,2.693812e-02,2.699890e-02,2.768763e-02,2.798108e-02,2.841431e-02,2.892299e-02,2.911747e-02,2.979653e-02,2.982319e-02,3.045106e-02,3.068062e-02,3.108073e-02,3.149458e-02,3.168530e-02,3.226467e-02,3.281881e-02,3.299082e-02,3.334778e-02,3.367316e-02,3.385171e-02,3.431211e-02,3.433080e-02,3.478534e-02,3.490826e-02,3.521565e-02,3.546236e-02,3.562210e-02,3.597534e-02,3.600513e-02,3.636518e-02,3.644824e-02,3.670277e-02,3.688220e-02,3.701841e-02,3.727845e-02,3.731265e-02,3.758607e-02,3.763830e-02,3.783924e-02,3.796308e-02,3.807276e-02,3.825418e-02,3.828724e-02,3.848329e-02,3.851299e-02,3.866154e-02,3.874095e-02,3.882259e-02,3.893947e-02,3.896706e-02,3.909558e-02,3.910995e-02,3.920873e-02,3.925382e-02,3.930714e-02,3.937243e-02,3.939139e-02,3.946207e-02,3.946716e-02,3.951976e-02,3.953932e-02,3.956501e-02,3.959020e-02,3.959838e-02,3.962042e-02,3.962107e-02,3.963165e-02,3.963314e-02,3.963258e-02,3.962759e-02,3.962372e-02,3.960555e-02,3.956812e-02,3.951635e-02,3.945124e-02,3.937377e-02,3.928485e-02,3.918537e-02,3.907616e-02,3.895803e-02,3.883173e-02,3.869799e-02,3.855749e-02,3.841087e-02,3.825876e-02,3.810172e-02,3.794031e-02,3.777505e-02,3.760641e-02,3.743485e-02,3.726080e-02,3.708467e-02,3.690683e-02,3.672763e-02,3.654740e-02,3.636645e-02
0.000000e+00,2.502260e-11,1.300846e-10,1.322775e-09,5.544804e-09,1.036419e-08,3.735581e-08,3.905479e-08,1.014248e-07,1.268701e-07,2.117438e-07,3.068566e-07,3.842167e-07,6.101078e-07,6.331814e-07,9.731362e-07,1.069857e-06,1.418198e-06,1.718067e-06,1.980661e-06,2.579231e-06,2.668492e-06,3.482270e-06,3.659528e-06,4.413142e-06,4.937913e-06,5.443590e-06,6.369601e-06,6.550968e-06,7.711796e-06,7.901022e-06,8.904816e-06,9.483537e-06,1.011222e-05,1.107871e-05,1.131959e-05,1.251541e-05,1.265767e-05,1.369043e-05,1.419889e-05,1.483724e-05,1.568623e-05,1.594988e-05,1.702367e-05,1.710778e-05,1.805499e-05,1.845501e-05,1.904119e-05,1.972227e-05,1.998045e-05,2.087168e-05,2.090632e-05,2.171438e-05,2.200587e-05,2.250861e-05,2.302122e-05,2.325484e-05,2.395393e-05,2.460700e-05,2.480648e-05,2.521541e-05,2.558205e-05,2.578068e-05,2.628428e-05,2.630446e-05,2.678847e-05,2.691710e-05,2.723448e-05,2.748459e-05,2.764428e-05,2.799087e-05,2.801968e-05,2.836243e-05,2.844003e-05,2.867429e-05,2.883606e-05,2.895694e-05,2.918282e-05,2.921203e-05,2.944114e-05,2.948398e-05,2.964579e-05,2.974304e-05,2.982746e-05,2.996333e-05,2.998755e-05,3.012738e-05,3.014796e-05,3.024823e-05,3.029986e-05,3.035131e-05,3.042175e-05,3.043777e-05,3.050869e-05,3.051621e-05,3.056511e-05,3.058559e-05,3.060800e-05,3.063212e-05,3.063829e-05,3.065684e-05,3.065784e-05,3.066448e-05,3.066466e-05,3.066199e-05,3.065433e-05,3.065009e-05,3.062948e-05,3.062849e-05,3.060081e-05,3.058864e-05,3.056469e-05,3.053617e-05,3.052169e-05,3.047237e-05,3.041721e-05,3.039841e-05,3.035672e-05,3.031540e-05,3.029132e-05,3.022433e-05,3.022146e-05,3.014752e-05,3.012613e-05,3.006987e-05,3.002165e-05,2.998887e-05,2.991167e-05,2.990484e-05,2.981809e-05,2.979690e-05,2.972891e-05,2.967801e-05,2.963756e-05,2.955558e-05,2.954430e-05,2.944936e-05,2.943019e-05,2.935296e-05,2.930233e-05,2.925531e-05,2.917245e-05,2.915660e-05,2.905700e-05,2.904100e-05,2.895670e-05,2.890834e-05,2.885583e-05,2.877484e-05,2.875456e-05,2.865300e-05,2.864080e-05,2.855129e-05,2.850653e-05,2.844955e-05,2.837227e-05,2.834788e-05,2.824638e-05,2.823827e-05,2.814515e-05,2.810475e-05,2.804427e-05,2.797190e-05,2.794382e-05,2.784387e-05,2.783989e-05,2.774450e-05,2.770888e-05,2.764576e-05,2.757901e-05,2.754771e-05,2.745040e-05,2.732318e-05,2.719743e-05,2.707324e-05,2.695069e-05,2.682984e-05,2.671075e-05,2.659348e-05,2.647805e-05,2.636451e-05,2.625288e-05,2.614318e-05,2.603543e-05,2.592964e-05,2.582581e-05,2.572396e-05,2.562408e-05,2.552616e-05,2.543020e-05,2.533619e-05,2.524411e-05,2.515396e-05,2.506571e-05,2.497935e-05,2.489486e-05
0.000000e+00,1.940149e-12,1.306189e-11,2.216934e-10,1.440836e-09,3.387411e-09,2.129147e-08,2.274457e-08,9.746467e-08,1.385915e-07,3.148224e-07,5.774337e-07,8.378291e-07,1.819326e-06,1.937176e-06,4.026043e-06,4.735992e-06,7.694095e-06,1.072447e-05,1.373327e-05,2.180079e-05,2.314660e-05,3.713540e-05,4.060005e-05,5.706594e-05,7.026720e-05,8.442118e-05,1.142659e-04,1.207442e-04,1.675796e-04,1.761495e-04,2.264167e-04,2.593331e-04,2.986391e-04,3.668896e-04,3.854808e-04,4.879907e-04,5.013870e-04,6.070065e-04,6.647677e-04,7.431358e-04,8.582746e-04,8.967459e-04,1.067961e-03,1.082417e-03,1.256666e-03,1.336976e-03,1.462516e-03,1.621036e-03,1.684948e-03,1.923204e-03,1.933051e-03,2.176349e-03,2.270921e-03,2.443294e-03,2.632083e-03,2.722823e-03,3.013617e-03,3.314279e-03,3.412340e-03,3.623361e-03,3.824910e-03,3.939384e-03,4.247918e-03,4.260863e-03,4.586325e-03,4.677970e-03,4.914326e-03,5.111762e-03,5.243470e-03,5.546139e-03,5.572418e-03,5.899901e-03,5.978145e-03,6.224729e-03,6.405057e-03,6.545796e-03,6.824416e-03,6.862087e-03,7.172676e-03,7.234035e-03,7.476733e-03,7.632012e-03,7.773519e-03,8.016726e-03,8.062389e-03,8.342784e-03,8.386828e-03,8.614233e-03,8.741233e-03,8.876345e-03,9.079099e-03,9.128806e-03,9.371375e-03,9.399810e-03,9.603878e-03,9.702958e-03,9.826200e-03,9.988322e-03,1.003829e-02,1.024014e-02,1.025584e-02,1.043179e-02,1.050561e-02,1.061332e-02,1.073783e-02,1.078486e-02,1.094655e-02,1.095282e-02,1.109858e-02,1.115099e-02,1.124115e-02,1.133281e-02,1.137448e-02,1.149882e-02,1.161441e-02,1.164960e-02,1.172153e-02,1.178576e-02,1.182044e-02,1.190794e-02,1.191143e-02,1.199478e-02,1.201679e-02,1.207078e-02,1.211297e-02,1.213971e-02,1.219713e-02,1.220186e-02,1.225752e-02,1.226994e-02,1.230696e-02,1.233203e-02,1.235046e-02,1.238404e-02,1.238829e-02,1.242072e-02,1.242658e-02,1.244800e-02,1.246025e-02,1.247040e-02,1.248562e-02,1.248816e-02,1.250152e-02,1.250327e-02,1.251071e-02,1.251371e-02,1.251596e-02,1.251746e-02,1.251748e-02,1.251548e-02,1.251501e-02,1.251016e-02,1.250682e-02,1.250173e-02,1.249334e-02,1.249036e-02,1.247623e-02,1.247499e-02,1.245953e-02,1.245216e-02,1.244040e-02,1.242523e-02,1.241902e-02,1.239553e-02,1.239455e-02,1.237008e-02,1.236046e-02,1.234280e-02,1.232328e-02,1.231383e-02,1.228330e-02,1.224079e-02,1.219603e-02,1.214925e-02,1.210068e-02,1.205054e-02,1.199902e-02,1.194632e-02,1.189261e-02,1.183804e-02,1.178276e-02,1.172693e-02,1.167066e-02,1.161407e-02,1.155728e-02,1.150038e-02,1.144347e-02,1.138664e-02,1.132996e-02,1.127351e-02,1.121736e-02,1.116155e-02,1.110616e-02,1.105122e-02,1.099679e-02
0.000000e+00,1.683957e-13,1.136854e-12,1.942049e-11,1.271227e-10,3.002416e-10,1.915231e-09,2.047384e-09,8.952698e-09,1.281498e-08,2.966966e-08,5.541132e-08,8.146105e-08,1.828272e-07,1.952602e-07,4.219860e-07,5.011588e-07,8.388809e-07,1.194275e-06,1.553675e-06,2.538370e-06,2.704792e-06,4.457335e-06,4.896008e-06,6.995814e-06,8.690969e-06,1.051508e-05,1.437253e-05,1.521077e-05,2.127026e-05,2.237806e-05,2.886477e-05,3.310002e-05,3.814296e-05,4.686026e-05,4.922608e-05,6.220466e-05,6.389256e-05,7.713662e-05,8.433309e-05,9.404671e-05,1.082176e-04,1.129269e-04,1.337377e-04,1.354841e-04,1.564104e-04,1.659802e-04,1.808494e-04,1.994730e-04,2.069354e-04,2.345288e-04,2.356617e-04,2.634731e-04,2.741913e-04,2.935984e-04,3.146667e-04,3.247249e-04,3.566667e-04,3.892343e-04,3.997571e-04,4.222383e-04,4.435033e-04,4.554917e-04,4.874808e-04,4.888127e-04,5.220266e-04,5.312844e-04,5.549675e-04,5.745359e-04,5.874801e-04,6.168897e-04,6.194208e-04,6.506583e-04,6.580373e-04,6.810745e-04,6.977092e-04,7.105646e-04,7.356771e-04,7.390374e-04,7.664150e-04,7.717532e-04,7.926326e-04,8.057896e-04,8.176382e-04,8.376763e-04,8.413913e-04,8.638632e-04,8.673384e-04,8.850354e-04,8.947335e-04,9.048994e-04,9.198486e-04,9.234555e-04,9.407122e-04,9.426963e-04,9.566851e-04,9.633119e-04,9.713961e-04,9.817493e-04,9.848728e-04,9.971474e-04,9.980785e-04,1.008256e-03,1.012382e-03,1.018238e-03,1.024752e-03,1.027136e-03,1.034994e-03,1.035287e-03,1.041857e-03,1.044094e-03,1.047773e-03,1.051278e-03,1.052787e-03,1.056949e-03,1.060303e-03,1.061214e-03,1.062898e-03,1.064181e-03,1.064779e-03,1.065954e-03,1.065990e-03,1.066575e-03,1.066632e-03,1.066576e-03,1.066313e-03,1.066033e-03,1.065088e-03,1.064987e-03,1.063474e-03,1.063046e-03,1.061531e-03,1.060267e-03,1.059191e-03,1.056830e-03,1.056487e-03,1.053450e-03,1.052806e-03,1.050110e-03,1.048262e-03,1.046493e-03,1.043260e-03,1.042626e-03,1.038533e-03,1.037858e-03,1.034236e-03,1.032108e-03,1.029758e-03,1.026058e-03,1.025118e-03,1.020335e-03,1.019752e-03,1.015426e-03,1.013231e-03,1.010408e-03,1.006530e-03,1.005295e-03,1.000102e-03,9.996836e-04,9.948414e-04,9.927209e-04,9.895251e-04,9.856692e-04,9.841643e-04,9.787691e-04,9.785527e-04,9.733489e-04,9.713932e-04,9.679124e-04,9.642102e-04,9.624674e-04,9.570212e-04,9.498418e-04,9.426856e-04,9.355649e-04,9.284906e-04,9.214722e-04,9.145180e-04,9.076352e-04,9.008303e-04,8.941086e-04,8.874749e-04,8.809330e-04,8.744864e-04,8.681377e-04,8.618892e-04,8.557428e-04,8.496998e-04,8.437614e-04,8.379281e-04,8.322005e-04,8.265787e-04,8.210626e-04,8.156521e-04,8.103466e-04,8.051455e-04
0.000000e+00,3.435364e-13,2.317709e-12,3.951396e-11,2.578918e-10,6.077393e-10,3.844110e-09,4.107545e-09,1.771808e-08,2.524119e-08,5.761085e-08,1.060851e-07,1.543264e-07,3.370827e-07,3.590952e-07,7.506817e-07,8.841910e-07,1.441741e-06,2.014152e-06,2.583125e-06,4.110049e-06,4.364848e-06,7.013397e-06,7.669300e-06,1.078592e-05,1.328405e-05,1.596219e-05,2.160939e-05,2.283539e-05,3.170227e-05,3.332559e-05,4.285364e-05,4.909952e-05,5.656527e-05,6.954870e-05,7.308980e-05,9.264967e-05,9.521010e-05,1.154314e-04,1.265152e-04,1.415810e-04,1.637718e-04,1.712009e-04,2.043481e-04,2.071529e-04,2.410337e-04,2.566925e-04,2.812232e-04,3.122872e-04,3.248387e-04,3.717610e-04,3.737046e-04,4.218333e-04,4.405947e-04,4.748651e-04,5.125060e-04,5.306365e-04,5.889033e-04,6.494015e-04,6.691869e-04,7.118521e-04,7.527120e-04,7.759663e-04,8.388077e-04,8.414496e-04,9.080062e-04,9.267943e-04,9.753429e-04,1.016000e-03,1.043172e-03,1.105772e-03,1.111217e-03,1.179209e-03,1.195491e-03,1.246897e-03,1.284580e-03,1.314043e-03,1.372507e-03,1.380426e-03,1.445844e-03,1.458796e-03,1.510113e-03,1.543022e-03,1.573065e-03,1.624819e-03,1.634554e-03,1.694449e-03,1.703877e-03,1.752640e-03,1.779938e-03,1.809032e-03,1.852796e-03,1.863546e-03,1.916119e-03,1.922295e-03,1.966703e-03,1.988321e-03,2.015264e-03,2.050802e-03,2.061778e-03,2.106235e-03,2.109702e-03,2.148633e-03,2.165018e-03,2.188982e-03,2.216773e-03,2.227298e-03,2.263605e-03,2.265016e-03,2.297935e-03,2.309817e-03,2.330324e-03,2.351260e-03,2.360813e-03,2.389447e-03,2.416275e-03,2.424487e-03,2.441348e-03,2.456499e-03,2.464720e-03,2.485609e-03,2.486447e-03,2.506584e-03,2.511945e-03,2.525188e-03,2.535640e-03,2.542318e-03,2.556825e-03,2.558031e-03,2.572384e-03,2.575632e-03,2.585434e-03,2.592193e-03,2.597237e-03,2.606636e-03,2.607848e-03,2.617321e-03,2.619084e-03,2.625710e-03,2.629661e-03,2.633066e-03,2.638483e-03,2.639438e-03,2.644877e-03,2.645664e-03,2.649429e-03,2.651312e-03,2.653139e-03,2.655531e-03,2.656052e-03,2.658211e-03,2.658422e-03,2.659656e-03,2.660076e-03,2.660427e-03,2.660585e-03,2.660561e-03,2.660094e-03,2.660032e-03,2.659062e-03,2.658498e-03,2.657497e-03,2.656059e-03,2.655432e-03,2.652897e-03,2.652786e-03,2.649920e-03,2.648746e-03,2.646531e-03,2.644003e-03,2.642754e-03,2.638616e-03,2.632641e-03,2.626129e-03,2.619130e-03,2.611689e-03,2.603849e-03,2.595649e-03,2.587128e-03,2.578319e-03,2.569255e-03,2.559966e-03,2.550480e-03,2.540823e-03,2.531020e-03,2.521092e-03,2.511061e-03,2.500945e-03,2.490764e-03,2.480532e-03,2.470267e-03,2.459981e-03,2.449688e-03,2.439401e-03,2.429129e-03,2.418884e-03
0.000000e+00,2.358567e-13,1.547643e-12,2.489282e-11,1.539529e-10,3.521233e-10,2.059553e-09,2.193618e-09,8.739818e-09,1.218139e-08,2.630188e-08,4.628166e-08,6.534782e-08,1.334508e-07,1.413506e-07,2.754045e-07,3.190883e-07,4.944540e-07,6.661118e-07,8.308310e-07,1.252714e-06,1.320899e-06,2.002979e-06,2.165807e-06,2.915012e-06,3.492056e-06,4.092419e-06,5.309526e-06,5.566439e-06,7.363036e-06,7.681854e-06,9.502311e-06,1.065524e-05,1.199832e-05,1.425762e-05,1.485917e-05,1.808728e-05,1.849924e-05,2.167974e-05,2.337401e-05,2.562875e-05,2.886104e-05,2.992200e-05,3.454315e-05,3.492644e-05,3.947229e-05,4.152513e-05,4.468642e-05,4.860275e-05,5.015989e-05,5.586498e-05,5.609759e-05,6.177232e-05,6.394264e-05,6.785147e-05,7.206758e-05,7.407135e-05,8.040078e-05,8.680886e-05,8.887110e-05,9.326542e-05,9.740957e-05,9.974137e-05,1.059508e-04,1.062090e-04,1.126423e-04,1.144341e-04,1.190170e-04,1.228044e-04,1.253110e-04,1.310127e-04,1.315040e-04,1.375780e-04,1.390163e-04,1.435172e-04,1.467790e-04,1.493077e-04,1.542709e-04,1.549377e-04,1.603974e-04,1.614682e-04,1.656788e-04,1.683525e-04,1.707756e-04,1.749107e-04,1.756830e-04,1.803981e-04,1.811345e-04,1.849188e-04,1.870194e-04,1.892445e-04,1.925650e-04,1.933757e-04,1.973137e-04,1.977734e-04,2.010608e-04,2.026498e-04,2.046198e-04,2.072010e-04,2.079942e-04,2.111878e-04,2.114356e-04,2.142051e-04,2.153636e-04,2.170505e-04,2.189957e-04,2.197291e-04,2.222459e-04,2.223433e-04,2.246060e-04,2.254183e-04,2.268146e-04,2.282327e-04,2.288771e-04,2.307986e-04,2.325845e-04,2.331282e-04,2.342400e-04,2.352334e-04,2.357701e-04,2.371258e-04,2.371800e-04,2.384745e-04,2.388169e-04,2.396585e-04,2.403178e-04,2.407367e-04,2.416392e-04,2.417137e-04,2.425939e-04,2.427913e-04,2.433817e-04,2.437840e-04,2.440811e-04,2.446268e-04,2.446963e-04,2.452312e-04,2.453288e-04,2.456894e-04,2.458986e-04,2.460747e-04,2.463444e-04,2.463904e-04,2.466401e-04,2.466741e-04,2.468268e-04,2.468950e-04,2.469537e-04,2.470142e-04,2.470239e-04,2.470400e-04,2.470385e-04,2.470050e-04,2.469740e-04,2.469213e-04,2.468269e-04,2.467917e-04,2.466184e-04,2.466027e-04,2.464038e-04,2.463069e-04,2.461501e-04,2.459444e-04,2.458595e-04,2.455339e-04,2.455202e-04,2.451754e-04,2.450386e-04,2.447858e-04,2.445040e-04,2.443668e-04,2.439203e-04,2.432913e-04,2.426207e-04,2.419116e-04,2.411674e-04,2.403910e-04,2.395852e-04,2.387525e-04,2.378956e-04,2.370167e-04,2.361180e-04,2.352015e-04,2.342693e-04,2.333230e-04,2.323645e-04,2.313952e-04,2.304167e-04,2.294305e-04,2.284377e-04,2.274396e-04,2.264375e-04,2.254322e-04,2.244249e-04,2.234165e-04,2.224079e-04
0.000000e+00,3.383943e-13,2.301041e-12,3.988424e-11,2.642848e-10,6.280077e-10,4.057898e-09,4.339705e-09,1.910828e-08,2.736979e-08,6.330147e-08,1.177594e-07,1.724058e-07,3.816650e-07,4.070335e-07,8.619115e-07,1.018175e-06,1.675381e-06,2.356403e-06,3.038607e-06,4.891322e-06,5.203267e-06,8.486360e-06,9.309777e-06,1.327121e-05,1.649874e-05,2.000447e-05,2.753288e-05,2.918941e-05,4.137618e-05,4.364335e-05,5.714975e-05,6.617268e-05,7.711636e-05,9.652077e-05,1.018891e-04,1.320731e-04,1.360869e-04,1.682516e-04,1.862118e-04,2.109719e-04,2.481239e-04,2.607334e-04,3.179768e-04,3.228911e-04,3.830745e-04,4.113820e-04,4.563240e-04,5.142362e-04,5.379422e-04,6.280622e-04,6.318448e-04,7.267319e-04,7.643414e-04,8.339141e-04,9.116024e-04,9.494888e-04,1.073257e-03,1.204943e-03,1.248701e-03,1.344205e-03,1.437123e-03,1.490636e-03,1.637527e-03,1.643775e-03,1.803114e-03,1.848766e-03,1.968103e-03,2.069569e-03,2.138162e-03,2.298574e-03,2.312685e-03,2.491050e-03,2.534359e-03,2.672624e-03,2.775472e-03,2.856774e-03,3.020453e-03,3.042866e-03,3.230277e-03,3.267864e-03,3.418399e-03,3.516305e-03,3.606639e-03,3.764436e-03,3.794429e-03,3.981227e-03,4.010987e-03,4.166516e-03,4.254775e-03,4.349812e-03,4.494708e-03,4.530661e-03,4.708645e-03,4.729792e-03,4.883377e-03,4.959137e-03,5.054505e-03,5.181956e-03,5.221712e-03,5.384714e-03,5.397565e-03,5.543261e-03,5.605383e-03,5.697135e-03,5.804925e-03,5.846149e-03,5.990146e-03,5.995799e-03,6.128998e-03,6.177705e-03,6.262604e-03,6.350421e-03,6.390890e-03,6.513805e-03,6.631319e-03,6.667782e-03,6.743427e-03,6.812343e-03,6.850139e-03,6.947534e-03,6.951485e-03,7.047512e-03,7.073454e-03,7.138278e-03,7.190243e-03,7.223858e-03,7.298083e-03,7.304336e-03,7.379808e-03,7.397188e-03,7.450378e-03,7.487798e-03,7.516159e-03,7.570178e-03,7.577269e-03,7.633833e-03,7.644611e-03,7.685979e-03,7.711394e-03,7.733842e-03,7.770836e-03,7.777557e-03,7.817262e-03,7.823252e-03,7.853097e-03,7.868963e-03,7.885200e-03,7.908291e-03,7.913714e-03,7.938776e-03,7.941558e-03,7.960526e-03,7.969083e-03,7.979103e-03,7.991181e-03,7.994640e-03,8.007273e-03,8.008162e-03,8.017132e-03,8.020328e-03,8.024347e-03,8.027975e-03,8.029043e-03,8.031344e-03,8.031388e-03,8.031370e-03,8.030845e-03,8.029237e-03,8.026612e-03,8.025060e-03,8.018946e-03,8.008094e-03,7.994291e-03,7.977762e-03,7.958722e-03,7.937374e-03,7.913912e-03,7.888520e-03,7.861369e-03,7.832625e-03,7.802441e-03,7.770963e-03,7.738328e-03,7.704664e-03,7.670093e-03,7.634726e-03,7.598670e-03,7.562022e-03,7.524874e-03,7.487312e-03,7.449416e-03,7.411260e-03,7.372911e-03,7.334433e-03,7.295886e-03
0.000000e+00,2.815739e-11,1.484719e-10,1.551195e-09,6.650109e-09,1.257696e-08,4.670050e-08,4.888440e-08,1.310221e-07,1.654389e-07,2.833470e-07,4.204780e-07,5.354631e-07,8.861392e-07,9.230262e-07,1.482489e-06,1.645430e-06,2.237374e-06,2.746365e-06,3.187598e-06,4.170516e-06,4.314186e-06,5.592132e-06,5.863835e-06,6.999155e-06,7.775866e-06,8.517837e-06,9.869732e-06,1.013448e-05,1.183737e-05,1.211709e-05,1.361545e-05,1.449241e-05,1.545769e-05,1.697009e-05,1.735278e-05,1.928914e-05,1.952372e-05,2.125506e-05,2.212642e-05,2.323892e-05,2.475166e-05,2.522938e-05,2.721564e-05,2.737405e-05,2.918755e-05,2.997017e-05,3.113576e-05,3.251905e-05,3.305188e-05,3.492853e-05,3.500268e-05,3.675931e-05,3.740608e-05,3.853878e-05,3.971718e-05,4.026245e-05,4.192674e-05,4.352885e-05,4.402804e-05,4.506675e-05,4.601667e-05,4.653910e-05,4.789012e-05,4.794508e-05,4.928437e-05,4.964743e-05,5.055712e-05,5.128905e-05,5.176387e-05,5.281649e-05,5.290544e-05,5.398296e-05,5.423218e-05,5.499776e-05,5.553919e-05,5.595130e-05,5.674103e-05,5.684520e-05,5.768119e-05,5.784160e-05,5.846110e-05,5.884509e-05,5.918675e-05,5.975575e-05,5.986003e-05,6.048284e-05,6.057794e-05,6.105708e-05,6.131603e-05,6.158465e-05,6.197435e-05,6.206741e-05,6.250719e-05,6.255716e-05,6.290581e-05,6.306862e-05,6.326503e-05,6.351277e-05,6.358660e-05,6.387219e-05,6.389354e-05,6.412345e-05,6.421470e-05,6.434197e-05,6.447989e-05,6.452928e-05,6.468689e-05,6.469260e-05,6.481624e-05,6.485616e-05,6.491872e-05,6.497375e-05,6.499568e-05,6.504842e-05,6.507818e-05,6.508304e-05,6.508616e-05,6.508039e-05,6.507354e-05,6.504305e-05,6.504141e-05,6.499084e-05,6.497352e-05,6.492287e-05,6.487414e-05,6.483847e-05,6.474712e-05,6.473858e-05,6.462412e-05,6.459458e-05,6.449595e-05,6.441849e-05,6.435489e-05,6.422074e-05,6.420175e-05,6.403728e-05,6.400309e-05,6.386221e-05,6.376721e-05,6.367723e-05,6.351468e-05,6.348301e-05,6.328018e-05,6.324696e-05,6.306934e-05,6.296547e-05,6.285108e-05,6.267149e-05,6.262594e-05,6.239445e-05,6.236627e-05,6.215712e-05,6.205096e-05,6.191441e-05,6.172663e-05,6.166678e-05,6.141467e-05,6.139431e-05,6.115848e-05,6.105495e-05,6.089861e-05,6.070943e-05,6.063542e-05,6.036928e-05,6.035858e-05,6.010052e-05,6.000319e-05,5.982945e-05,5.964397e-05,5.955639e-05,5.928160e-05,5.891672e-05,5.854992e-05,5.818172e-05,5.781266e-05,5.744318e-05,5.707374e-05,5.670472e-05,5.633652e-05,5.596946e-05,5.560387e-05,5.524003e-05,5.487822e-05,5.451868e-05,5.416164e-05,5.380729e-05,5.345583e-05,5.310741e-05,5.276221e-05,5.242034e-05,5.208193e-05,5.174709e-05,5.141592e-05,5.108850e-05,5.076491e-05
0.000000e+00,5.781646e-12,3.945489e-11,6.890007e-10,4.597706e-09,1.096868e-08,7.163332e-08,7.664230e-08,3.413085e-07,4.904538e-07,1.143942e-06,2.143446e-06,3.153507e-06,7.062025e-06,7.539092e-06,1.617064e-05,1.916142e-05,3.183598e-05,4.508793e-05,5.844782e-05,9.502209e-05,1.012119e-04,1.667374e-04,1.832574e-04,2.630816e-04,3.284542e-04,3.997308e-04,5.535542e-04,5.875205e-04,8.385018e-04,8.853848e-04,1.165762e-03,1.354000e-03,1.583207e-03,1.991812e-03,2.105313e-03,2.746852e-03,2.832567e-03,3.522617e-03,3.910234e-03,4.447124e-03,5.257847e-03,5.534335e-03,6.797378e-03,6.906386e-03,8.248297e-03,8.883723e-03,9.897822e-03,1.121369e-02,1.175516e-02,1.382784e-02,1.391531e-02,1.612156e-02,1.700220e-02,1.864011e-02,2.048215e-02,2.138530e-02,2.435696e-02,2.755291e-02,2.862236e-02,3.096904e-02,3.326824e-02,3.459938e-02,3.827887e-02,3.843619e-02,4.247006e-02,4.363341e-02,4.669010e-02,4.930643e-02,5.108404e-02,5.526850e-02,5.563842e-02,6.033878e-02,6.148690e-02,6.516978e-02,6.792627e-02,7.011543e-02,7.454934e-02,7.515922e-02,8.028431e-02,8.131759e-02,8.547369e-02,8.819191e-02,9.071031e-02,9.513320e-02,9.597726e-02,1.012579e-01,1.021029e-01,1.065358e-01,1.090636e-01,1.117953e-01,1.159793e-01,1.170210e-01,1.221985e-01,1.228158e-01,1.273137e-01,1.295413e-01,1.323537e-01,1.361261e-01,1.373061e-01,1.421596e-01,1.425433e-01,1.469037e-01,1.487685e-01,1.515288e-01,1.547803e-01,1.560262e-01,1.603882e-01,1.605598e-01,1.646080e-01,1.660911e-01,1.686795e-01,1.713608e-01,1.725977e-01,1.763583e-01,1.799579e-01,1.810754e-01,1.833939e-01,1.855062e-01,1.866643e-01,1.896471e-01,1.897680e-01,1.927044e-01,1.934966e-01,1.954736e-01,1.970551e-01,1.980762e-01,2.003245e-01,2.005135e-01,2.027871e-01,2.033087e-01,2.048993e-01,2.060126e-01,2.068526e-01,2.084424e-01,2.086499e-01,2.102946e-01,2.106055e-01,2.117901e-01,2.125100e-01,2.131402e-01,2.141650e-01,2.143492e-01,2.154210e-01,2.155801e-01,2.163603e-01,2.167653e-01,2.171714e-01,2.177312e-01,2.178591e-01,2.184279e-01,2.184884e-01,2.188827e-01,2.190479e-01,2.192282e-01,2.194207e-01,2.194693e-01,2.196106e-01,2.196177e-01,2.196570e-01,2.196500e-01,2.196130e-01,2.195281e-01,2.194835e-01,2.192729e-01,2.192629e-01,2.189857e-01,2.188645e-01,2.186264e-01,2.183430e-01,2.181992e-01,2.177083e-01,2.169698e-01,2.161365e-01,2.152171e-01,2.142199e-01,2.131529e-01,2.120235e-01,2.108388e-01,2.096057e-01,2.083304e-01,2.070188e-01,2.056764e-01,2.043086e-01,2.029201e-01,2.015154e-01,2.000987e-01,1.986738e-01,1.972444e-01,1.958135e-01,1.943844e-01,1.929596e-01,1.915416e-01,1.901327e-01,1.887349e-01,1.873500e-01
0.000000e+00,5.907175e-11,1.398692e-10,4.986798e-10,1.155992e-09,1.700487e-09,3.936413e-09,4.058310e-09,8.022453e-09,9.490293e-09,1.411072e-08,1.898015e-08,2.276737e-08,3.310051e-08,3.410222e-08,4.792540e-08,5.158596e-08,6.400112e-08,7.391696e-08,8.214509e-08,9.970274e-08,1.022066e-07,1.240388e-07,1.286039e-07,1.474818e-07,1.602500e-07,1.723563e-07,1.942125e-07,1.984640e-07,2.255919e-07,2.300123e-07,2.535182e-07,2.671405e-07,2.820185e-07,3.050835e-07,3.108722e-07,3.398681e-07,3.433476e-07,3.688083e-07,3.814772e-07,3.975124e-07,4.190691e-07,4.258182e-07,4.535837e-07,4.557778e-07,4.806876e-07,4.913207e-07,5.070290e-07,5.254756e-07,5.325254e-07,5.571116e-07,5.580754e-07,5.807385e-07,5.890022e-07,6.033708e-07,6.181806e-07,6.249856e-07,6.455706e-07,6.651228e-07,6.711621e-07,6.836476e-07,6.949688e-07,7.011550e-07,7.170186e-07,7.176598e-07,7.331829e-07,7.373565e-07,7.477472e-07,7.560363e-07,7.613787e-07,7.731199e-07,7.741054e-07,7.859564e-07,7.886737e-07,7.969619e-07,8.027670e-07,8.071524e-07,8.154704e-07,8.165589e-07,8.252123e-07,8.268554e-07,8.331435e-07,8.369925e-07,8.403829e-07,8.459512e-07,8.469604e-07,8.529051e-07,8.537995e-07,8.582459e-07,8.606032e-07,8.630106e-07,8.664259e-07,8.672264e-07,8.709197e-07,8.713289e-07,8.741159e-07,8.753711e-07,8.768398e-07,8.786087e-07,8.791152e-07,8.809651e-07,8.810954e-07,8.824117e-07,8.828822e-07,8.834763e-07,8.840179e-07,8.841795e-07,8.845410e-07,8.845486e-07,8.845796e-07,8.845181e-07,8.843137e-07,8.839678e-07,8.837606e-07,8.829370e-07,8.818589e-07,8.814627e-07,8.805417e-07,8.795799e-07,8.789999e-07,8.773215e-07,8.772475e-07,8.752979e-07,8.747185e-07,8.731640e-07,8.718002e-07,8.708578e-07,8.685940e-07,8.683911e-07,8.657748e-07,8.651258e-07,8.630196e-07,8.614198e-07,8.601356e-07,8.574987e-07,8.571324e-07,8.540190e-07,8.533838e-07,8.508041e-07,8.490951e-07,8.474961e-07,8.446511e-07,8.441028e-07,8.406316e-07,8.400694e-07,8.370896e-07,8.353663e-07,8.334835e-07,8.305569e-07,8.298198e-07,8.261044e-07,8.256554e-07,8.223431e-07,8.206750e-07,8.185413e-07,8.156280e-07,8.147041e-07,8.108365e-07,8.105259e-07,8.069429e-07,8.053792e-07,8.030277e-07,8.001978e-07,7.990951e-07,7.951488e-07,7.949908e-07,7.911926e-07,7.897666e-07,7.872299e-07,7.845331e-07,7.832638e-07,7.792975e-07,7.740664e-07,7.688459e-07,7.636416e-07,7.584587e-07,7.533019e-07,7.481756e-07,7.430835e-07,7.380293e-07,7.330163e-07,7.280472e-07,7.231249e-07,7.182515e-07,7.134292e-07,7.086599e-07,7.039453e-07,6.992866e-07,6.946853e-07,6.901423e-07,6.856586e-07,6.812350e-07,6.768719e-07,6.725700e-07,6.683295e-07,6.641507e-07
0.000000e+00,6.221818e-10,1.753251e-09,7.533329e-09,1.913914e-08,2.920667e-08,7.281432e-08,7.526847e-08,1.581776e-07,1.901808e-07,2.949388e-07,4.118337e-07,5.074876e-07,7.897748e-07,8.187276e-07,1.241911e-06,1.359911e-06,1.771619e-06,2.107905e-06,2.388938e-06,2.988372e-06,3.073494e-06,3.809361e-06,3.961628e-06,4.585169e-06,5.001523e-06,5.392573e-06,6.090332e-06,6.224948e-06,7.076588e-06,7.214285e-06,7.942290e-06,8.361379e-06,8.817176e-06,9.520594e-06,9.696642e-06,1.057638e-05,1.068177e-05,1.145238e-05,1.183570e-05,1.232103e-05,1.297427e-05,1.317907e-05,1.402364e-05,1.409055e-05,1.485229e-05,1.517881e-05,1.566292e-05,1.623445e-05,1.645382e-05,1.722359e-05,1.725393e-05,1.797113e-05,1.823464e-05,1.869561e-05,1.917478e-05,1.939644e-05,2.007321e-05,2.072570e-05,2.092935e-05,2.135384e-05,2.174308e-05,2.195767e-05,2.251463e-05,2.253735e-05,2.309311e-05,2.324448e-05,2.362527e-05,2.393339e-05,2.413420e-05,2.458224e-05,2.462030e-05,2.508402e-05,2.519204e-05,2.552585e-05,2.576391e-05,2.594630e-05,2.629901e-05,2.634587e-05,2.672510e-05,2.679855e-05,2.708453e-05,2.726379e-05,2.742470e-05,2.769595e-05,2.774615e-05,2.804942e-05,2.809630e-05,2.833506e-05,2.846607e-05,2.860361e-05,2.880649e-05,2.885559e-05,2.909153e-05,2.911878e-05,2.931194e-05,2.940414e-05,2.951735e-05,2.966373e-05,2.970825e-05,2.988514e-05,2.989870e-05,3.004849e-05,3.011015e-05,3.019879e-05,3.029918e-05,3.033649e-05,3.046206e-05,3.046684e-05,3.057593e-05,3.061414e-05,3.067853e-05,3.074209e-05,3.077030e-05,3.085164e-05,3.092295e-05,3.094372e-05,3.098463e-05,3.101923e-05,3.103706e-05,3.107903e-05,3.108060e-05,3.111563e-05,3.112395e-05,3.114248e-05,3.115481e-05,3.116150e-05,3.117237e-05,3.117302e-05,3.117737e-05,3.117738e-05,3.117485e-05,3.117055e-05,3.116576e-05,3.115257e-05,3.115041e-05,3.112907e-05,3.112410e-05,3.110201e-05,3.108578e-05,3.106952e-05,3.103820e-05,3.103184e-05,3.098922e-05,3.098196e-05,3.094191e-05,3.091760e-05,3.089014e-05,3.084567e-05,3.083414e-05,3.077412e-05,3.076666e-05,3.071030e-05,3.068107e-05,3.064288e-05,3.058936e-05,3.057206e-05,3.049803e-05,3.049197e-05,3.042097e-05,3.038934e-05,3.034106e-05,3.028185e-05,3.025847e-05,3.017336e-05,3.016991e-05,3.008590e-05,3.005387e-05,2.999624e-05,2.993408e-05,2.990452e-05,2.981088e-05,2.968458e-05,2.955549e-05,2.942388e-05,2.929002e-05,2.915419e-05,2.901661e-05,2.887751e-05,2.873712e-05,2.859565e-05,2.845328e-05,2.831020e-05,2.816658e-05,2.802259e-05,2.787838e-05,2.773409e-05,2.758987e-05,2.744584e-05,2.730211e-05,2.715881e-05,2.701603e-05,2.687388e-05,2.673244e-05,2.659181e-05,2.645205e-05
0.000000e+00,5.665566e-13,3.788524e-12,6.339550e-11,4.066965e-10,9.493276e-10,5.858054e-09,6.253197e-09,2.631954e-08,3.724725e-08,8.362352e-08,1.519804e-07,2.192402e-07,4.701147e-07,5.000372e-07,1.025675e-06,1.202693e-06,1.933492e-06,2.672850e-06,3.399332e-06,5.317432e-06,5.633828e-06,8.875127e-06,9.666557e-06,1.337964e-05,1.630907e-05,1.941224e-05,2.585384e-05,2.723686e-05,3.710820e-05,3.889374e-05,4.926444e-05,5.597542e-05,6.392149e-05,7.757560e-05,8.126815e-05,1.014625e-04,1.040835e-04,1.246290e-04,1.357881e-04,1.508567e-04,1.728706e-04,1.801979e-04,2.126675e-04,2.153998e-04,2.482434e-04,2.633316e-04,2.868670e-04,3.165119e-04,3.284447e-04,3.728498e-04,3.746826e-04,4.199247e-04,4.374905e-04,4.694844e-04,5.044982e-04,5.213192e-04,5.751986e-04,6.308751e-04,6.490288e-04,6.880881e-04,7.253867e-04,7.465682e-04,8.036461e-04,8.060406e-04,8.662293e-04,8.831731e-04,9.268606e-04,9.633399e-04,9.876662e-04,1.043538e-03,1.048386e-03,1.108772e-03,1.123188e-03,1.168588e-03,1.201753e-03,1.227613e-03,1.278740e-03,1.285645e-03,1.342496e-03,1.353709e-03,1.397998e-03,1.426276e-03,1.452002e-03,1.496112e-03,1.504377e-03,1.555012e-03,1.562945e-03,1.603811e-03,1.626559e-03,1.650697e-03,1.686788e-03,1.695611e-03,1.738507e-03,1.743517e-03,1.779355e-03,1.796675e-03,1.818139e-03,1.846232e-03,1.854856e-03,1.889510e-03,1.892194e-03,1.922121e-03,1.934598e-03,1.952713e-03,1.973509e-03,1.981321e-03,2.007985e-03,2.009012e-03,2.032751e-03,2.041213e-03,2.055672e-03,2.070233e-03,2.076803e-03,2.096202e-03,2.113930e-03,2.119261e-03,2.130051e-03,2.139554e-03,2.144628e-03,2.157230e-03,2.157726e-03,2.169411e-03,2.172438e-03,2.179747e-03,2.185328e-03,2.188799e-03,2.196046e-03,2.196629e-03,2.203301e-03,2.204736e-03,2.208874e-03,2.211538e-03,2.213409e-03,2.216586e-03,2.216962e-03,2.219591e-03,2.220010e-03,2.221348e-03,2.221935e-03,2.222286e-03,2.222478e-03,2.222455e-03,2.221904e-03,2.221752e-03,2.220677e-03,2.219862e-03,2.218820e-03,2.216909e-03,2.216374e-03,2.213380e-03,2.212986e-03,2.209875e-03,2.208181e-03,2.205897e-03,2.202577e-03,2.201478e-03,2.196654e-03,2.196251e-03,2.191454e-03,2.189275e-03,2.185907e-03,2.181716e-03,2.180043e-03,2.173887e-03,2.173635e-03,2.167464e-03,2.165091e-03,2.160797e-03,2.156136e-03,2.153909e-03,2.146821e-03,2.137191e-03,2.127287e-03,2.117151e-03,2.106816e-03,2.096316e-03,2.085681e-03,2.074939e-03,2.064116e-03,2.053235e-03,2.042318e-03,2.031383e-03,2.020449e-03,2.009532e-03,1.998646e-03,1.987806e-03,1.977023e-03,1.966307e-03,1.955670e-03,1.945119e-03,1.934663e-03,1.924309e-03,1.914063e-03,1.903930e-03,1.893916e-03
0.000000e+00,1.113867e-11,7.590075e-11,1.321455e-09,8.794612e-09,2.095158e-08,1.363606e-07,1.458765e-07,6.476766e-07,9.300058e-07,2.165399e-06,4.052265e-06,5.957291e-06,1.332071e-05,1.421894e-05,3.046257e-05,3.608989e-05,5.994608e-05,8.491634e-05,1.101266e-04,1.793472e-04,1.910917e-04,3.159025e-04,3.474972e-04,5.007775e-04,6.269560e-04,7.650744e-04,1.064674e-03,1.131059e-03,1.623488e-03,1.715772e-03,2.269043e-03,2.641476e-03,3.095668e-03,3.906486e-03,4.131856e-03,5.405917e-03,5.576106e-03,6.945282e-03,7.713393e-03,8.775841e-03,1.037653e-02,1.092135e-02,1.340295e-02,1.361656e-02,1.623870e-02,1.747558e-02,1.944330e-02,2.198538e-02,2.302784e-02,2.699965e-02,2.716664e-02,3.136227e-02,3.302855e-02,3.611546e-02,3.956885e-02,4.125527e-02,4.677426e-02,5.266162e-02,5.462119e-02,5.890347e-02,6.307670e-02,6.548314e-02,7.209966e-02,7.238145e-02,7.957705e-02,8.164197e-02,8.704672e-02,9.164983e-02,9.476572e-02,1.020651e-01,1.027081e-01,1.108471e-01,1.128266e-01,1.191551e-01,1.238712e-01,1.276046e-01,1.351350e-01,1.361677e-01,1.448168e-01,1.465546e-01,1.535248e-01,1.580674e-01,1.622651e-01,1.696130e-01,1.710119e-01,1.797404e-01,1.811336e-01,1.884268e-01,1.925746e-01,1.970484e-01,2.038848e-01,2.055840e-01,2.140135e-01,2.150170e-01,2.223181e-01,2.259281e-01,2.304807e-01,2.365793e-01,2.384852e-01,2.463173e-01,2.469361e-01,2.539639e-01,2.569680e-01,2.614133e-01,2.666490e-01,2.686552e-01,2.756806e-01,2.759570e-01,2.824817e-01,2.848740e-01,2.890521e-01,2.933854e-01,2.953865e-01,3.014805e-01,3.073310e-01,3.091514e-01,3.129359e-01,3.163935e-01,3.182939e-01,3.232049e-01,3.234046e-01,3.282684e-01,3.295861e-01,3.328864e-01,3.355400e-01,3.372605e-01,3.410713e-01,3.413931e-01,3.452873e-01,3.461867e-01,3.489465e-01,3.508945e-01,3.523747e-01,3.552039e-01,3.555763e-01,3.585561e-01,3.591258e-01,3.613189e-01,3.626717e-01,3.638702e-01,3.658538e-01,3.662155e-01,3.683603e-01,3.686853e-01,3.703107e-01,3.711796e-01,3.720726e-01,3.733503e-01,3.736519e-01,3.750549e-01,3.752117e-01,3.762876e-01,3.767777e-01,3.773562e-01,3.780624e-01,3.782669e-01,3.790258e-01,3.790801e-01,3.796388e-01,3.798445e-01,3.801120e-01,3.803695e-01,3.804514e-01,3.806627e-01,3.806685e-01,3.807516e-01,3.807547e-01,3.807238e-01,3.806410e-01,3.805847e-01,3.803397e-01,3.798630e-01,3.792226e-01,3.784297e-01,3.774950e-01,3.764290e-01,3.752415e-01,3.739421e-01,3.725397e-01,3.710429e-01,3.694599e-01,3.677985e-01,3.660659e-01,3.642691e-01,3.624146e-01,3.605086e-01,3.585570e-01,3.565650e-01,3.545380e-01,3.524807e-01,3.503977e-01,3.482931e-01,3.461709e-01,3.440347e-01,3.418880e-01
0.000000e+00,3.749542e-13,2.522929e-12,4.276441e-11,2.775426e-10,6.519165e-10,4.085836e-09,4.364088e-09,1.862656e-08,2.645119e-08,5.985154e-08,1.093542e-07,1.582083e-07,3.409061e-07,3.627207e-07,7.462766e-07,8.755708e-07,1.410156e-06,1.952655e-06,2.487601e-06,3.909788e-06,4.145771e-06,6.585257e-06,7.186727e-06,1.003639e-05,1.231409e-05,1.475202e-05,1.988424e-05,2.099730e-05,2.903748e-05,3.050764e-05,3.912516e-05,4.476266e-05,5.148822e-05,6.314792e-05,6.631949e-05,8.376875e-05,8.604392e-05,1.039372e-04,1.136874e-04,1.268746e-04,1.461594e-04,1.525788e-04,1.809973e-04,1.833853e-04,2.120304e-04,2.251453e-04,2.455363e-04,2.710924e-04,2.813359e-04,3.192194e-04,3.207749e-04,3.589528e-04,3.736616e-04,4.002839e-04,4.291672e-04,4.429487e-04,4.866769e-04,5.311976e-04,5.455678e-04,5.762436e-04,6.052285e-04,6.215555e-04,6.650745e-04,6.668851e-04,7.119979e-04,7.245605e-04,7.566756e-04,7.831891e-04,8.007175e-04,8.405172e-04,8.439410e-04,8.861831e-04,8.961587e-04,9.272995e-04,9.497857e-04,9.671653e-04,1.001128e-03,1.005674e-03,1.042736e-03,1.049969e-03,1.078281e-03,1.096145e-03,1.112252e-03,1.139540e-03,1.144607e-03,1.175320e-03,1.180080e-03,1.204375e-03,1.217730e-03,1.231767e-03,1.252487e-03,1.257502e-03,1.281596e-03,1.284378e-03,1.304070e-03,1.313453e-03,1.324953e-03,1.339782e-03,1.344281e-03,1.362092e-03,1.363453e-03,1.378431e-03,1.384564e-03,1.393343e-03,1.403225e-03,1.406879e-03,1.419089e-03,1.419550e-03,1.430026e-03,1.433662e-03,1.439743e-03,1.445681e-03,1.448293e-03,1.455731e-03,1.462110e-03,1.463936e-03,1.467482e-03,1.470415e-03,1.471899e-03,1.475289e-03,1.475413e-03,1.478072e-03,1.478671e-03,1.479927e-03,1.480672e-03,1.481023e-03,1.481400e-03,1.481405e-03,1.481118e-03,1.480955e-03,1.480204e-03,1.479434e-03,1.478704e-03,1.476929e-03,1.476656e-03,1.474097e-03,1.473527e-03,1.471063e-03,1.469309e-03,1.467589e-03,1.464353e-03,1.463705e-03,1.459444e-03,1.458729e-03,1.454834e-03,1.452506e-03,1.449903e-03,1.445746e-03,1.444678e-03,1.439183e-03,1.438507e-03,1.433442e-03,1.430844e-03,1.427477e-03,1.422807e-03,1.421310e-03,1.414959e-03,1.414444e-03,1.408444e-03,1.405797e-03,1.401783e-03,1.396906e-03,1.394992e-03,1.388086e-03,1.387808e-03,1.381081e-03,1.378537e-03,1.373989e-03,1.369124e-03,1.366824e-03,1.359598e-03,1.349985e-03,1.340309e-03,1.330592e-03,1.320853e-03,1.311112e-03,1.301385e-03,1.291686e-03,1.282030e-03,1.272428e-03,1.262891e-03,1.253429e-03,1.244052e-03,1.234767e-03,1.225581e-03,1.216499e-03,1.207529e-03,1.198673e-03,1.189936e-03,1.181322e-03,1.172834e-03,1.164474e-03,1.156243e-03,1.148144e-03,1.140178e-03
0.000000e+00,3.330208e-10,9.367205e-10,3.993919e-09,1.003188e-08,1.518287e-08,3.676683e-08,3.795129e-08,7.648651e-08,9.072156e-08,1.354676e-07,1.829036e-07,2.203451e-07,3.265581e-07,3.372306e-07,4.917753e-07,5.348789e-07,6.868218e-07,8.132776e-07,9.206710e-07,1.154523e-06,1.188205e-06,1.483478e-06,1.545384e-06,1.801273e-06,1.973992e-06,2.137370e-06,2.431291e-06,2.488312e-06,2.851114e-06,2.910079e-06,3.223053e-06,3.404070e-06,3.601555e-06,3.907414e-06,3.984142e-06,4.368416e-06,4.414532e-06,4.752080e-06,4.920131e-06,5.132949e-06,5.419281e-06,5.508986e-06,5.878317e-06,5.907522e-06,6.239254e-06,6.380939e-06,6.590311e-06,6.836227e-06,6.930206e-06,7.257861e-06,7.270700e-06,7.572398e-06,7.682283e-06,7.873131e-06,8.069477e-06,8.159550e-06,8.431311e-06,8.688220e-06,8.767280e-06,8.930211e-06,9.077276e-06,9.157336e-06,9.361532e-06,9.369748e-06,9.567684e-06,9.620552e-06,9.751451e-06,9.855061e-06,9.921416e-06,1.006595e-05,1.007799e-05,1.022163e-05,1.025423e-05,1.035280e-05,1.042100e-05,1.047201e-05,1.056741e-05,1.057976e-05,1.067656e-05,1.069466e-05,1.076294e-05,1.080391e-05,1.083942e-05,1.089637e-05,1.090649e-05,1.096466e-05,1.097317e-05,1.101441e-05,1.103545e-05,1.105624e-05,1.108430e-05,1.109059e-05,1.111792e-05,1.112075e-05,1.113866e-05,1.114580e-05,1.115322e-05,1.116040e-05,1.116200e-05,1.116538e-05,1.116543e-05,1.116374e-05,1.116175e-05,1.115741e-05,1.115014e-05,1.114673e-05,1.113202e-05,1.113135e-05,1.111358e-05,1.110608e-05,1.109169e-05,1.107497e-05,1.106662e-05,1.103864e-05,1.100798e-05,1.099764e-05,1.097487e-05,1.095250e-05,1.093954e-05,1.090371e-05,1.090218e-05,1.086299e-05,1.085171e-05,1.082215e-05,1.079692e-05,1.077983e-05,1.073973e-05,1.073619e-05,1.069139e-05,1.068048e-05,1.064557e-05,1.061951e-05,1.059886e-05,1.055711e-05,1.055138e-05,1.050325e-05,1.049356e-05,1.045459e-05,1.042910e-05,1.040549e-05,1.036397e-05,1.035604e-05,1.030635e-05,1.029838e-05,1.025648e-05,1.023251e-05,1.020653e-05,1.016654e-05,1.015655e-05,1.010661e-05,1.010063e-05,1.005679e-05,1.003491e-05,1.000712e-05,9.969518e-06,9.957672e-06,9.908486e-06,9.904564e-06,9.859608e-06,9.840152e-06,9.811078e-06,9.776373e-06,9.762933e-06,9.715208e-06,9.713309e-06,9.667934e-06,9.651031e-06,9.621137e-06,9.589602e-06,9.574844e-06,9.529078e-06,9.469505e-06,9.410925e-06,9.353373e-06,9.296877e-06,9.241460e-06,9.187142e-06,9.133938e-06,9.081857e-06,9.030907e-06,8.981091e-06,8.932410e-06,8.884862e-06,8.838443e-06,8.793146e-06,8.748962e-06,8.705882e-06,8.663894e-06,8.622984e-06,8.583138e-06,8.544341e-06,8.506577e-06,8.469828e-06,8.434077e-06,8.399306e-06
0.000000e+00,7.867926e-14,5.166727e-13,8.320063e-12,5.148169e-11,1.177494e-10,6.879779e-10,7.327033e-10,2.910543e-09,4.051815e-09,8.715024e-09,1.527247e-08,2.149510e-08,4.351086e-08,4.604684e-08,8.865308e-08,1.023925e-07,1.570132e-07,2.098348e-07,2.600733e-07,3.873264e-07,4.077467e-07,6.104959e-07,6.585806e-07,8.787413e-07,1.047364e-06,1.222110e-06,1.574520e-06,1.648611e-06,2.163866e-06,2.254766e-06,2.770540e-06,3.094172e-06,3.468058e-06,4.089026e-06,4.252615e-06,5.117453e-06,5.226213e-06,6.053349e-06,6.484846e-06,7.049200e-06,7.838574e-06,8.092655e-06,9.170740e-06,9.258091e-06,1.027041e-05,1.071346e-05,1.137902e-05,1.217605e-05,1.248470e-05,1.357667e-05,1.361992e-05,1.464536e-05,1.502278e-05,1.568259e-05,1.636640e-05,1.668155e-05,1.763681e-05,1.854426e-05,1.882404e-05,1.940100e-05,1.992183e-05,2.020524e-05,2.092715e-05,2.095616e-05,2.165378e-05,2.183964e-05,2.229882e-05,2.266113e-05,2.289260e-05,2.339511e-05,2.343688e-05,2.393379e-05,2.404626e-05,2.438569e-05,2.462005e-05,2.479514e-05,2.512243e-05,2.516477e-05,2.549726e-05,2.555953e-05,2.579524e-05,2.593742e-05,2.606132e-05,2.626202e-05,2.629801e-05,2.650771e-05,2.653890e-05,2.669268e-05,2.677331e-05,2.685506e-05,2.697005e-05,2.699685e-05,2.711989e-05,2.713348e-05,2.722589e-05,2.726754e-05,2.731642e-05,2.737576e-05,2.739291e-05,2.745667e-05,2.746126e-05,2.750889e-05,2.752680e-05,2.755066e-05,2.757481e-05,2.758295e-05,2.760664e-05,2.760742e-05,2.762255e-05,2.762651e-05,2.763139e-05,2.763370e-05,2.763381e-05,2.763041e-05,2.762172e-05,2.761791e-05,2.760822e-05,2.759726e-05,2.759035e-05,2.756944e-05,2.756849e-05,2.754302e-05,2.753528e-05,2.751425e-05,2.749553e-05,2.748248e-05,2.745083e-05,2.744798e-05,2.741100e-05,2.740178e-05,2.737175e-05,2.734887e-05,2.733045e-05,2.729256e-05,2.728729e-05,2.724243e-05,2.723327e-05,2.719605e-05,2.717137e-05,2.714828e-05,2.710718e-05,2.709926e-05,2.704912e-05,2.704100e-05,2.699797e-05,2.697310e-05,2.694593e-05,2.690372e-05,2.689309e-05,2.683956e-05,2.683309e-05,2.678541e-05,2.676141e-05,2.673072e-05,2.668886e-05,2.667559e-05,2.662006e-05,2.661560e-05,2.656422e-05,2.654181e-05,2.650812e-05,2.646760e-05,2.645182e-05,2.639538e-05,2.639312e-05,2.633884e-05,2.631847e-05,2.628226e-05,2.624378e-05,2.622568e-05,2.616913e-05,2.609463e-05,2.602034e-05,2.594635e-05,2.587273e-05,2.579953e-05,2.572682e-05,2.565465e-05,2.558306e-05,2.551211e-05,2.544182e-05,2.537223e-05,2.530338e-05,2.523530e-05,2.516801e-05,2.510153e-05,2.503588e-05,2.497108e-05,2.490714e-05,2.484408e-05,2.478191e-05,2.472064e-05,2.466027e-05,2.460082e-05,2.454228e-05
0.000000e+00,6.115760e-13,3.875871e-12,5.796945e-11,3.353521e-10,7.392979e-10,3.931491e-09,4.171256e-09,1.513220e-08,2.056640e-08,4.171719e-08,6.986595e-08,9.557879e-08,1.822311e-07,1.919169e-07,3.490823e-07,3.980810e-07,5.871393e-07,7.629678e-07,9.249342e-07,1.315988e-06,1.376469e-06,1.948181e-06,2.076914e-06,2.638131e-06,3.040790e-06,3.437039e-06,4.181776e-06,4.330348e-06,5.300542e-06,5.461671e-06,6.329124e-06,6.838240e-06,7.398044e-06,8.270903e-06,8.490538e-06,9.591543e-06,9.723588e-06,1.068782e-05,1.116567e-05,1.176792e-05,1.257189e-05,1.282206e-05,1.384205e-05,1.392196e-05,1.482116e-05,1.520011e-05,1.575404e-05,1.639477e-05,1.663665e-05,1.746617e-05,1.749822e-05,1.824091e-05,1.850625e-05,1.896021e-05,1.941776e-05,1.962432e-05,2.023427e-05,2.079175e-05,2.095941e-05,2.129895e-05,2.159836e-05,2.175846e-05,2.215735e-05,2.217312e-05,2.254592e-05,2.264323e-05,2.287995e-05,2.306303e-05,2.317825e-05,2.342370e-05,2.344380e-05,2.367947e-05,2.373188e-05,2.388794e-05,2.399376e-05,2.407175e-05,2.421496e-05,2.423323e-05,2.437451e-05,2.440052e-05,2.449755e-05,2.455491e-05,2.460411e-05,2.468204e-05,2.469576e-05,2.477394e-05,2.478528e-05,2.483990e-05,2.486757e-05,2.489479e-05,2.493139e-05,2.493959e-05,2.497523e-05,2.497892e-05,2.500248e-05,2.501200e-05,2.502206e-05,2.503221e-05,2.503462e-05,2.504070e-05,2.504093e-05,2.504084e-05,2.503932e-05,2.503547e-05,2.502843e-05,2.502502e-05,2.500986e-05,2.500916e-05,2.499032e-05,2.498228e-05,2.496673e-05,2.494851e-05,2.493936e-05,2.490846e-05,2.487429e-05,2.486270e-05,2.483707e-05,2.481173e-05,2.479699e-05,2.475600e-05,2.475424e-05,2.470902e-05,2.469593e-05,2.466147e-05,2.463190e-05,2.461176e-05,2.456425e-05,2.456004e-05,2.450643e-05,2.449330e-05,2.445108e-05,2.441935e-05,2.439408e-05,2.434267e-05,2.433557e-05,2.427565e-05,2.426351e-05,2.421442e-05,2.418210e-05,2.415198e-05,2.409865e-05,2.408841e-05,2.402381e-05,2.401338e-05,2.395825e-05,2.392647e-05,2.389182e-05,2.383809e-05,2.382458e-05,2.375660e-05,2.374840e-05,2.368796e-05,2.365756e-05,2.361871e-05,2.356571e-05,2.354891e-05,2.347862e-05,2.347298e-05,2.340790e-05,2.337950e-05,2.333679e-05,2.328538e-05,2.326534e-05,2.319360e-05,2.319073e-05,2.312162e-05,2.309565e-05,2.304943e-05,2.300024e-05,2.297707e-05,2.290458e-05,2.280877e-05,2.271287e-05,2.261695e-05,2.252109e-05,2.242536e-05,2.232979e-05,2.223447e-05,2.213942e-05,2.204471e-05,2.195037e-05,2.185646e-05,2.176300e-05,2.167003e-05,2.157759e-05,2.148570e-05,2.139440e-05,2.130372e-05,2.121367e-05,2.112427e-05,2.103556e-05,2.094754e-05,2.086024e-05,2.077367e-05,2.068785e-05
0.000000e+00,1.766033e-13,1.184823e-12,1.999125e-11,1.294027e-10,3.037293e-10,1.905111e-09,2.035102e-09,8.734213e-09,1.243323e-08,2.835842e-08,5.226073e-08,7.611355e-08,1.669415e-07,1.779208e-07,3.741360e-07,4.413094e-07,7.226844e-07,1.012416e-06,1.300887e-06,2.076305e-06,2.205818e-06,3.553433e-06,3.887512e-06,5.476791e-06,6.753015e-06,8.123657e-06,1.102267e-05,1.165368e-05,1.623528e-05,1.707749e-05,2.204236e-05,2.531674e-05,2.925094e-05,3.614442e-05,3.803573e-05,4.856683e-05,4.995573e-05,6.100658e-05,6.712423e-05,7.550654e-05,8.798999e-05,9.220493e-05,1.112243e-04,1.128493e-04,1.326694e-04,1.419466e-04,1.566262e-04,1.754679e-04,1.831601e-04,2.123159e-04,2.135371e-04,2.441170e-04,2.562141e-04,2.785659e-04,3.034953e-04,3.156447e-04,3.553154e-04,3.975213e-04,4.115510e-04,4.421884e-04,4.720258e-04,4.892262e-04,5.365157e-04,5.385300e-04,5.899818e-04,6.047559e-04,6.434525e-04,6.764467e-04,6.988035e-04,7.512611e-04,7.558881e-04,8.145535e-04,8.288510e-04,8.746421e-04,9.088536e-04,9.359933e-04,9.908978e-04,9.984446e-04,1.061833e-03,1.074609e-03,1.125997e-03,1.159616e-03,1.190776e-03,1.245551e-03,1.256013e-03,1.321555e-03,1.332059e-03,1.387252e-03,1.418799e-03,1.452960e-03,1.505443e-03,1.518543e-03,1.583868e-03,1.591684e-03,1.648811e-03,1.677233e-03,1.713252e-03,1.761824e-03,1.777081e-03,1.840195e-03,1.845210e-03,1.902496e-03,1.927169e-03,1.963896e-03,2.007499e-03,2.024312e-03,2.083670e-03,2.086021e-03,2.141902e-03,2.162578e-03,2.198948e-03,2.237033e-03,2.254753e-03,2.309269e-03,2.362457e-03,2.379190e-03,2.414279e-03,2.446715e-03,2.464707e-03,2.511783e-03,2.513716e-03,2.561287e-03,2.574348e-03,2.607407e-03,2.634377e-03,2.652065e-03,2.691854e-03,2.695255e-03,2.736978e-03,2.746773e-03,2.777234e-03,2.799140e-03,2.816030e-03,2.848970e-03,2.853375e-03,2.889280e-03,2.896290e-03,2.923760e-03,2.941132e-03,2.956832e-03,2.983538e-03,2.988515e-03,3.018829e-03,3.023554e-03,3.047798e-03,3.061233e-03,3.075446e-03,3.096630e-03,3.101798e-03,3.126882e-03,3.129808e-03,3.150725e-03,3.160829e-03,3.173355e-03,3.189761e-03,3.194802e-03,3.215096e-03,3.216670e-03,3.234267e-03,3.241628e-03,3.252346e-03,3.264703e-03,3.269363e-03,3.285349e-03,3.285968e-03,3.300336e-03,3.305493e-03,3.314354e-03,3.323349e-03,3.327434e-03,3.339607e-03,3.354336e-03,3.367605e-03,3.379482e-03,3.390032e-03,3.399319e-03,3.407407e-03,3.414356e-03,3.420225e-03,3.425073e-03,3.428954e-03,3.431922e-03,3.434028e-03,3.435323e-03,3.435853e-03,3.435664e-03,3.434801e-03,3.433305e-03,3.431216e-03,3.428573e-03,3.425411e-03,3.421767e-03,3.417673e-03,3.413160e-03,3.408259e-03
0.000000e+00,1.176263e-10,3.041116e-10,1.182144e-09,2.834896e-09,4.211397e-09,9.828213e-09,1.013176e-08,1.983984e-08,2.336148e-08,3.426113e-08,4.558383e-08,5.437986e-08,7.877414e-08,8.118544e-08,1.154322e-07,1.247878e-07,1.572052e-07,1.836115e-07,2.056902e-07,2.528372e-07,2.595350e-07,3.173908e-07,3.293411e-07,3.781469e-07,4.105852e-07,4.409165e-07,4.946554e-07,5.049604e-07,5.696286e-07,5.799932e-07,6.343294e-07,6.652360e-07,6.985189e-07,7.491663e-07,7.616995e-07,8.234243e-07,8.307142e-07,8.833015e-07,9.089742e-07,9.409982e-07,9.832196e-07,9.962421e-07,1.048821e-06,1.052907e-06,1.098579e-06,1.117668e-06,1.145415e-06,1.177295e-06,1.189274e-06,1.230144e-06,1.231717e-06,1.268049e-06,1.280979e-06,1.303043e-06,1.325214e-06,1.335202e-06,1.364622e-06,1.391413e-06,1.399451e-06,1.415696e-06,1.429980e-06,1.437598e-06,1.456505e-06,1.457249e-06,1.474780e-06,1.479327e-06,1.490322e-06,1.498746e-06,1.504003e-06,1.515054e-06,1.515948e-06,1.526278e-06,1.528530e-06,1.535108e-06,1.539439e-06,1.542547e-06,1.548026e-06,1.548699e-06,1.553660e-06,1.554518e-06,1.557523e-06,1.559126e-06,1.560373e-06,1.562044e-06,1.562291e-06,1.563353e-06,1.563448e-06,1.563626e-06,1.563497e-06,1.563178e-06,1.562340e-06,1.562067e-06,1.560351e-06,1.560107e-06,1.558081e-06,1.556920e-06,1.555306e-06,1.552886e-06,1.552069e-06,1.548413e-06,1.548104e-06,1.544376e-06,1.542662e-06,1.539992e-06,1.536640e-06,1.535295e-06,1.530315e-06,1.530111e-06,1.525080e-06,1.523138e-06,1.519616e-06,1.515781e-06,1.513946e-06,1.508093e-06,1.502077e-06,1.500120e-06,1.495917e-06,1.491907e-06,1.489630e-06,1.483491e-06,1.483233e-06,1.476740e-06,1.474907e-06,1.470165e-06,1.466186e-06,1.463521e-06,1.457358e-06,1.456820e-06,1.450071e-06,1.448446e-06,1.443286e-06,1.439474e-06,1.436473e-06,1.430462e-06,1.429642e-06,1.422798e-06,1.421429e-06,1.415951e-06,1.412391e-06,1.409106e-06,1.403363e-06,1.402270e-06,1.395449e-06,1.394359e-06,1.388647e-06,1.385390e-06,1.381869e-06,1.376467e-06,1.375119e-06,1.368402e-06,1.367599e-06,1.361722e-06,1.358795e-06,1.355081e-06,1.350062e-06,1.348483e-06,1.341930e-06,1.341408e-06,1.335425e-06,1.332837e-06,1.328970e-06,1.324355e-06,1.322568e-06,1.316220e-06,1.315967e-06,1.309928e-06,1.307676e-06,1.303693e-06,1.299487e-06,1.297517e-06,1.291401e-06,1.283421e-06,1.275550e-06,1.267789e-06,1.260140e-06,1.252603e-06,1.245180e-06,1.237871e-06,1.230677e-06,1.223597e-06,1.216631e-06,1.209781e-06,1.203044e-06,1.196421e-06,1.189910e-06,1.183512e-06,1.177226e-06,1.171050e-06,1.164984e-06,1.159026e-06,1.153176e-06,1.147431e-06,1.141792e-06,1.136257e-06,1.130824e-06
0.000000e+00,2.840977e-11,1.197095e-10,8.539655e-10,2.806101e-09,4.708437e-09,1.368354e-08,1.420348e-08,3.184237e-08,3.856738e-08,6.000692e-08,8.291629e-08,1.009943e-07,1.519432e-07,1.570304e-07,2.301908e-07,2.504966e-07,3.221484e-07,3.822445e-07,4.338558e-07,5.486481e-07,5.654875e-07,7.166947e-07,7.492342e-07,8.868654e-07,9.825998e-07,1.075233e-06,1.246863e-06,1.280886e-06,1.502752e-06,1.539675e-06,1.739597e-06,1.858202e-06,1.990037e-06,2.199164e-06,2.252559e-06,2.525560e-06,2.558945e-06,2.807375e-06,2.933732e-06,3.096321e-06,3.319658e-06,3.390725e-06,3.688961e-06,3.712938e-06,3.989472e-06,4.109981e-06,4.290790e-06,4.507472e-06,4.591557e-06,4.890531e-06,4.902436e-06,5.186590e-06,5.292262e-06,5.478739e-06,5.674717e-06,5.766106e-06,6.047935e-06,6.323585e-06,6.410398e-06,6.592519e-06,6.760905e-06,6.854297e-06,7.098543e-06,7.108566e-06,7.355054e-06,7.422648e-06,7.593559e-06,7.732769e-06,7.823940e-06,8.028640e-06,8.046110e-06,8.260034e-06,8.310148e-06,8.465714e-06,8.577308e-06,8.663190e-06,8.830235e-06,8.852528e-06,9.033824e-06,9.069128e-06,9.207193e-06,9.294255e-06,9.372766e-06,9.505930e-06,9.530690e-06,9.681123e-06,9.704508e-06,9.824233e-06,9.890375e-06,9.960194e-06,1.006394e-05,1.008918e-05,1.021139e-05,1.022561e-05,1.032700e-05,1.037582e-05,1.043619e-05,1.051500e-05,1.053916e-05,1.063609e-05,1.064359e-05,1.072717e-05,1.076200e-05,1.081258e-05,1.087067e-05,1.089251e-05,1.096713e-05,1.097001e-05,1.103663e-05,1.106043e-05,1.110118e-05,1.114233e-05,1.116095e-05,1.121610e-05,1.126681e-05,1.128213e-05,1.131323e-05,1.134077e-05,1.135553e-05,1.139239e-05,1.139384e-05,1.142833e-05,1.143733e-05,1.145914e-05,1.147592e-05,1.148642e-05,1.150850e-05,1.151029e-05,1.153090e-05,1.153537e-05,1.154837e-05,1.155683e-05,1.156283e-05,1.157317e-05,1.157441e-05,1.158323e-05,1.158467e-05,1.158939e-05,1.159159e-05,1.159302e-05,1.159419e-05,1.159423e-05,1.159311e-05,1.159272e-05,1.158977e-05,1.158741e-05,1.158432e-05,1.157849e-05,1.157684e-05,1.156743e-05,1.156617e-05,1.155618e-05,1.155066e-05,1.154317e-05,1.153217e-05,1.152850e-05,1.151223e-05,1.151086e-05,1.149446e-05,1.148694e-05,1.147525e-05,1.146057e-05,1.145468e-05,1.143282e-05,1.143192e-05,1.140973e-05,1.140113e-05,1.138549e-05,1.136837e-05,1.136015e-05,1.133378e-05,1.129749e-05,1.125962e-05,1.122031e-05,1.117967e-05,1.113782e-05,1.109485e-05,1.105086e-05,1.100597e-05,1.096024e-05,1.091377e-05,1.086664e-05,1.081893e-05,1.077071e-05,1.072205e-05,1.067301e-05,1.062365e-05,1.057403e-05,1.052421e-05,1.047424e-05,1.042417e-05,1.037403e-05,1.032388e-05,1.027376e-05,1.022369e-05
0.000000e+00,2.849322e-13,1.855531e-12,2.938238e-11,1.791951e-10,4.067863e-10,2.335252e-09,2.485448e-09,9.736466e-09,1.351307e-08,2.889128e-08,5.048225e-08,7.098764e-08,1.438407e-07,1.522660e-07,2.947280e-07,3.409766e-07,5.258496e-07,7.056028e-07,8.769706e-07,1.311028e-06,1.380550e-06,2.067095e-06,2.228746e-06,2.962567e-06,3.517607e-06,4.086701e-06,5.217218e-06,5.452247e-06,7.064951e-06,7.345952e-06,8.924019e-06,9.902143e-06,1.102286e-05,1.286695e-05,1.334992e-05,1.588956e-05,1.620773e-05,1.862285e-05,1.988141e-05,2.152841e-05,2.383763e-05,2.458306e-05,2.776257e-05,2.802158e-05,3.104220e-05,3.237656e-05,3.439732e-05,3.684618e-05,3.780383e-05,4.123862e-05,4.137628e-05,4.467989e-05,4.591639e-05,4.810743e-05,5.042082e-05,5.150278e-05,5.484939e-05,5.813266e-05,5.916781e-05,6.133995e-05,6.334772e-05,6.446055e-05,6.736652e-05,6.748559e-05,7.040791e-05,7.120696e-05,7.322196e-05,7.485667e-05,7.592365e-05,7.830754e-05,7.851018e-05,8.097990e-05,8.155516e-05,8.333218e-05,8.459822e-05,8.556725e-05,8.743792e-05,8.768609e-05,8.969027e-05,9.007752e-05,9.158187e-05,9.252184e-05,9.336342e-05,9.477691e-05,9.503772e-05,9.660787e-05,9.684965e-05,9.807714e-05,9.874755e-05,9.944893e-05,1.004785e-04,1.007267e-04,1.019141e-04,1.020506e-04,1.030145e-04,1.034721e-04,1.040315e-04,1.047509e-04,1.049687e-04,1.058295e-04,1.058952e-04,1.066172e-04,1.069126e-04,1.073353e-04,1.078109e-04,1.079868e-04,1.085749e-04,1.085971e-04,1.091027e-04,1.092785e-04,1.095731e-04,1.098616e-04,1.099889e-04,1.103529e-04,1.106676e-04,1.107584e-04,1.109357e-04,1.110839e-04,1.111596e-04,1.113350e-04,1.113415e-04,1.114838e-04,1.115168e-04,1.115886e-04,1.116343e-04,1.116578e-04,1.116920e-04,1.116936e-04,1.116978e-04,1.116943e-04,1.116722e-04,1.116454e-04,1.116184e-04,1.115492e-04,1.115382e-04,1.114332e-04,1.114093e-04,1.113047e-04,1.112292e-04,1.111543e-04,1.110120e-04,1.109833e-04,1.107930e-04,1.107609e-04,1.105847e-04,1.104786e-04,1.103594e-04,1.101678e-04,1.101184e-04,1.098627e-04,1.098311e-04,1.095934e-04,1.094708e-04,1.093113e-04,1.090890e-04,1.090175e-04,1.087127e-04,1.086879e-04,1.083979e-04,1.082693e-04,1.080738e-04,1.078351e-04,1.077411e-04,1.074006e-04,1.073869e-04,1.070530e-04,1.069262e-04,1.066989e-04,1.064546e-04,1.063388e-04,1.059735e-04,1.054840e-04,1.049873e-04,1.044846e-04,1.039769e-04,1.034651e-04,1.029502e-04,1.024328e-04,1.019139e-04,1.013940e-04,1.008739e-04,1.003541e-04,9.983515e-05,9.931764e-05,9.880200e-05,9.828866e-05,9.777801e-05,9.727042e-05,9.676622e-05,9.626570e-05,9.576915e-05,9.527681e-05,9.478890e-05,9.430564e-05,9.382719e-05
