0.000000e+00,1.010101e+00,1.333333e+00,2.020202e+00,2.666667e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,5.333333e+00,6.060606e+00,6.666667e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,9.333333e+00,1.010101e+01,1.066667e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.333333e+01,1.414141e+01,1.466667e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.733333e+01,1.818182e+01,1.866667e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.133333e+01,2.222222e+01,2.266667e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.533333e+01,2.626263e+01,2.666667e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,2.933333e+01,3.030303e+01,3.066667e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.434343e+01,3.466667e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.733333e+01,3.737374e+01,3.838384e+01,3.866667e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.133333e+01,4.141414e+01,4.242424e+01,4.266667e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.533333e+01,4.545455e+01,4.646465e+01,4.666667e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.933333e+01,4.949495e+01,5.050505e+01,5.066667e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.333333e+01,5.353535e+01,5.454545e+01,5.466667e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.733333e+01,5.757576e+01,5.858586e+01,5.866667e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.133333e+01,6.161616e+01,6.262626e+01,6.266667e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.533333e+01,6.565657e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.933333e+01,6.969697e+01,7.066667e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.333333e+01,7.373737e+01,7.466667e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.733333e+01,7.777778e+01,7.866667e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.133333e+01,8.181818e+01,8.266667e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.533333e+01,8.585859e+01,8.666667e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.933333e+01,8.989899e+01,9.066667e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.333333e+01,9.393939e+01,9.466667e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.733333e+01,9.797980e+01,9.866667e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.013333e+02,1.026667e+02,1.040000e+02,1.053333e+02,1.066667e+02,1.080000e+02,1.093333e+02,1.106667e+02,1.120000e+02,1.133333e+02,1.146667e+02,1.160000e+02,1.173333e+02,1.186667e+02,1.200000e+02,1.213333e+02,1.226667e+02,1.240000e+02,1.253333e+02,1.266667e+02,1.280000e+02,1.293333e+02,1.306667e+02,1.320000e+02
0.000000e+00,4.942684e-14,4.192621e-13,9.776475e-12,7.659872e-11,1.945697e-10,1.413737e-09,1.517156e-09,7.098777e-09,1.026869e-08,2.410382e-08,4.497785e-08,6.574142e-08,1.437266e-07,1.530400e-07,3.162120e-07,3.709171e-07,5.954955e-07,8.209811e-07,1.041217e-06,1.617959e-06,1.712550e-06,2.674469e-06,2.907579e-06,3.993004e-06,4.840311e-06,5.729588e-06,7.549447e-06,7.935711e-06,1.064883e-05,1.113162e-05,1.388998e-05,1.563511e-05,1.766321e-05,2.105725e-05,2.195641e-05,2.674315e-05,2.734902e-05,3.198511e-05,3.442378e-05,3.763466e-05,4.216772e-05,4.363756e-05,4.993527e-05,5.045001e-05,5.646714e-05,5.913179e-05,6.317228e-05,6.807368e-05,6.999102e-05,7.686623e-05,7.714164e-05,8.374423e-05,8.621131e-05,9.057550e-05,9.517101e-05,9.731524e-05,1.039236e-04,1.103660e-04,1.123875e-04,1.166128e-04,1.204965e-04,1.226394e-04,1.281994e-04,1.284261e-04,1.339576e-04,1.354591e-04,1.392228e-04,1.422509e-04,1.442143e-04,1.485612e-04,1.489280e-04,1.533629e-04,1.543859e-04,1.575203e-04,1.597286e-04,1.614040e-04,1.645994e-04,1.650193e-04,1.683730e-04,1.690131e-04,1.714733e-04,1.729882e-04,1.743290e-04,1.765459e-04,1.769499e-04,1.793460e-04,1.797093e-04,1.815279e-04,1.825021e-04,1.835059e-04,1.849485e-04,1.852905e-04,1.868922e-04,1.870726e-04,1.883214e-04,1.888981e-04,1.895880e-04,1.904479e-04,1.907018e-04,1.916724e-04,1.917441e-04,1.925087e-04,1.928076e-04,1.932195e-04,1.936582e-04,1.938130e-04,1.942972e-04,1.943144e-04,1.946797e-04,1.947938e-04,1.949675e-04,1.951127e-04,1.951676e-04,1.952863e-04,1.953297e-04,1.953286e-04,1.953035e-04,1.952527e-04,1.952131e-04,1.950706e-04,1.950635e-04,1.948596e-04,1.947933e-04,1.946057e-04,1.944311e-04,1.943060e-04,1.939933e-04,1.939646e-04,1.935850e-04,1.934886e-04,1.931707e-04,1.929247e-04,1.927249e-04,1.923090e-04,1.922507e-04,1.917509e-04,1.916481e-04,1.912280e-04,1.909479e-04,1.906846e-04,1.902140e-04,1.901230e-04,1.895452e-04,1.894514e-04,1.889533e-04,1.886646e-04,1.883490e-04,1.878579e-04,1.877342e-04,1.871104e-04,1.870350e-04,1.864791e-04,1.861994e-04,1.858417e-04,1.853540e-04,1.851995e-04,1.845536e-04,1.845018e-04,1.839052e-04,1.836453e-04,1.832552e-04,1.827868e-04,1.826046e-04,1.819542e-04,1.819282e-04,1.813049e-04,1.810716e-04,1.806574e-04,1.802185e-04,1.800123e-04,1.793704e-04,1.785286e-04,1.776944e-04,1.768687e-04,1.760525e-04,1.752465e-04,1.744515e-04,1.736681e-04,1.728968e-04,1.721380e-04,1.713921e-04,1.706594e-04,1.699401e-04,1.692345e-04,1.685427e-04,1.678648e-04,1.672008e-04,1.665509e-04,1.659149e-04,1.652929e-04,1.646847e-04,1.640904e-04,1.635098e-04,1.629428e-04,1.623892e-04
0.000000e+00,3.893957e-11,9.391873e-11,3.411529e-10,7.965052e-10,1.173629e-09,2.713269e-09,2.796706e-09,5.482204e-09,6.464668e-09,9.532083e-09,1.275790e-08,1.528881e-08,2.240590e-08,2.311634e-08,3.331830e-08,3.613789e-08,4.600454e-08,5.414854e-08,6.103085e-08,7.595064e-08,7.809487e-08,9.687168e-08,1.008068e-07,1.170783e-07,1.280709e-07,1.384785e-07,1.572276e-07,1.608689e-07,1.840658e-07,1.878405e-07,2.078967e-07,2.195121e-07,2.321968e-07,2.518680e-07,2.568077e-07,2.815784e-07,2.845547e-07,3.063667e-07,3.172447e-07,3.310407e-07,3.496420e-07,3.554801e-07,3.795770e-07,3.814870e-07,4.032364e-07,4.125589e-07,4.263765e-07,4.426768e-07,4.489287e-07,4.708368e-07,4.716991e-07,4.920560e-07,4.995189e-07,5.125498e-07,5.260578e-07,5.322927e-07,5.512677e-07,5.694644e-07,5.751223e-07,5.868793e-07,5.976150e-07,6.035139e-07,6.187549e-07,6.193746e-07,6.344710e-07,6.385627e-07,6.488157e-07,6.570681e-07,6.624243e-07,6.743088e-07,6.753139e-07,6.875035e-07,6.903270e-07,6.990129e-07,7.051687e-07,7.098628e-07,7.188821e-07,7.200745e-07,7.296696e-07,7.315166e-07,7.386698e-07,7.431220e-07,7.470967e-07,7.537481e-07,7.549719e-07,7.623165e-07,7.634439e-07,7.691515e-07,7.722574e-07,7.754974e-07,7.802354e-07,7.813742e-07,7.868014e-07,7.874233e-07,7.917980e-07,7.938650e-07,7.963827e-07,7.996025e-07,8.005732e-07,8.043870e-07,8.046763e-07,8.078408e-07,8.091253e-07,8.109510e-07,8.129864e-07,8.137332e-07,8.162026e-07,8.162950e-07,8.183737e-07,8.190850e-07,8.202606e-07,8.213883e-07,8.218768e-07,8.232354e-07,8.243489e-07,8.246555e-07,8.252294e-07,8.256759e-07,8.258884e-07,8.263229e-07,8.263369e-07,8.265858e-07,8.266211e-07,8.266453e-07,8.265941e-07,8.265250e-07,8.262639e-07,8.262346e-07,8.257829e-07,8.256515e-07,8.251788e-07,8.247769e-07,8.244304e-07,8.236588e-07,8.235457e-07,8.225323e-07,8.223148e-07,8.213975e-07,8.207617e-07,8.201482e-07,8.190153e-07,8.187913e-07,8.173329e-07,8.170905e-07,8.157792e-07,8.150014e-07,8.141361e-07,8.127610e-07,8.124092e-07,8.106037e-07,8.103820e-07,8.087248e-07,8.078760e-07,8.067772e-07,8.052541e-07,8.047658e-07,8.026948e-07,8.025267e-07,8.005686e-07,7.997036e-07,7.983912e-07,7.967939e-07,7.961664e-07,7.938978e-07,7.938062e-07,7.915891e-07,7.907488e-07,7.892436e-07,7.876292e-07,7.868644e-07,7.844545e-07,7.812314e-07,7.779663e-07,7.746650e-07,7.713329e-07,7.679754e-07,7.645970e-07,7.612025e-07,7.577960e-07,7.543813e-07,7.509622e-07,7.475421e-07,7.441241e-07,7.407112e-07,7.373061e-07,7.339114e-07,7.305294e-07,7.271624e-07,7.238122e-07,7.204808e-07,7.171699e-07,7.138811e-07,7.106158e-07,7.073753e-07,7.041609e-07
0.000000e+00,3.067110e-11,7.078863e-11,2.460825e-10,5.648102e-10,8.284689e-10,1.913167e-09,1.972444e-09,3.909481e-09,4.631727e-09,6.927466e-09,9.394659e-09,1.135558e-08,1.690692e-08,1.745967e-08,2.527938e-08,2.739242e-08,3.461866e-08,4.041127e-08,4.520947e-08,5.538315e-08,5.682502e-08,6.929359e-08,7.187728e-08,8.247899e-08,8.957904e-08,9.626296e-08,1.082232e-07,1.105352e-07,1.251889e-07,1.275620e-07,1.401204e-07,1.473566e-07,1.552296e-07,1.673808e-07,1.704214e-07,1.856072e-07,1.874252e-07,2.007065e-07,2.073038e-07,2.156467e-07,2.268552e-07,2.303640e-07,2.448043e-07,2.459462e-07,2.589217e-07,2.644695e-07,2.726785e-07,2.823430e-07,2.860447e-07,2.989964e-07,2.995056e-07,3.115160e-07,3.159147e-07,3.235910e-07,3.315437e-07,3.352133e-07,3.463786e-07,3.570857e-07,3.604155e-07,3.673363e-07,3.736587e-07,3.771340e-07,3.861187e-07,3.864842e-07,3.953941e-07,3.978110e-07,4.038716e-07,4.087543e-07,4.119258e-07,4.189701e-07,4.195664e-07,4.268037e-07,4.284819e-07,4.336485e-07,4.373141e-07,4.401115e-07,4.454921e-07,4.462040e-07,4.519371e-07,4.530416e-07,4.573222e-07,4.599886e-07,4.623704e-07,4.663587e-07,4.670929e-07,4.715007e-07,4.721775e-07,4.756048e-07,4.774701e-07,4.794160e-07,4.822610e-07,4.829446e-07,4.862012e-07,4.865742e-07,4.891960e-07,4.904332e-07,4.919387e-07,4.938606e-07,4.944392e-07,4.967068e-07,4.968785e-07,4.987510e-07,4.995080e-07,5.005805e-07,5.017698e-07,5.022042e-07,5.036306e-07,5.036836e-07,5.048679e-07,5.052686e-07,5.059241e-07,5.065429e-07,5.068071e-07,5.075244e-07,5.080832e-07,5.082297e-07,5.084907e-07,5.086752e-07,5.087537e-07,5.088763e-07,5.088788e-07,5.088724e-07,5.088479e-07,5.087408e-07,5.086042e-07,5.084898e-07,5.081586e-07,5.081254e-07,5.076530e-07,5.075242e-07,5.070780e-07,5.067132e-07,5.064057e-07,5.057374e-07,5.056410e-07,5.047887e-07,5.046081e-07,5.038535e-07,5.033359e-07,5.028398e-07,5.019309e-07,5.017521e-07,5.005943e-07,5.004028e-07,4.993705e-07,4.987608e-07,4.980846e-07,4.970135e-07,4.967401e-07,4.953407e-07,4.951693e-07,4.938898e-07,4.932359e-07,4.923905e-07,4.912208e-07,4.908462e-07,4.892596e-07,4.891310e-07,4.876339e-07,4.869732e-07,4.859716e-07,4.847537e-07,4.842756e-07,4.825482e-07,4.824785e-07,4.807920e-07,4.801532e-07,4.790093e-07,4.777831e-07,4.772023e-07,4.753732e-07,4.729283e-07,4.704529e-07,4.679511e-07,4.654270e-07,4.628841e-07,4.603261e-07,4.577563e-07,4.551776e-07,4.525931e-07,4.500053e-07,4.474168e-07,4.448301e-07,4.422472e-07,4.396704e-07,4.371013e-07,4.345420e-07,4.319940e-07,4.294588e-07,4.269378e-07,4.244325e-07,4.219439e-07,4.194732e-07,4.170214e-07,4.145894e-07
0.000000e+00,2.345851e-13,1.875011e-12,3.868195e-11,2.713711e-10,6.491524e-10,4.050162e-09,4.320017e-09,1.747117e-08,2.431891e-08,5.195726e-08,9.012396e-08,1.258126e-07,2.495231e-07,2.635922e-07,4.966381e-07,5.708413e-07,8.629863e-07,1.142340e-06,1.405756e-06,2.064084e-06,2.168557e-06,3.187834e-06,3.424666e-06,4.484664e-06,5.269761e-06,6.059669e-06,7.583637e-06,7.892998e-06,9.948778e-06,1.029539e-05,1.218165e-05,1.330208e-05,1.454316e-05,1.649345e-05,1.698660e-05,1.947005e-05,1.976899e-05,2.195774e-05,2.304585e-05,2.442023e-05,2.626023e-05,2.683405e-05,2.918089e-05,2.936530e-05,3.144690e-05,3.232830e-05,3.362194e-05,3.512755e-05,3.569891e-05,3.767324e-05,3.775003e-05,3.954242e-05,4.018939e-05,4.130564e-05,4.244433e-05,4.296343e-05,4.451741e-05,4.597002e-05,4.641394e-05,4.732437e-05,4.814122e-05,4.858402e-05,4.970782e-05,4.975288e-05,5.083507e-05,5.112312e-05,5.183480e-05,5.239685e-05,5.275636e-05,5.353880e-05,5.360398e-05,5.438184e-05,5.455859e-05,5.509398e-05,5.546554e-05,5.574432e-05,5.626850e-05,5.633663e-05,5.687451e-05,5.697585e-05,5.736136e-05,5.759545e-05,5.780045e-05,5.813460e-05,5.819482e-05,5.854738e-05,5.860010e-05,5.886086e-05,5.899821e-05,5.913783e-05,5.933473e-05,5.938068e-05,5.959170e-05,5.961498e-05,5.977299e-05,5.984386e-05,5.992655e-05,6.002586e-05,6.005425e-05,6.015782e-05,6.016512e-05,6.023892e-05,6.026540e-05,6.029905e-05,6.033019e-05,6.033967e-05,6.036211e-05,6.036264e-05,6.036761e-05,6.036568e-05,6.035737e-05,6.034197e-05,6.033248e-05,6.029395e-05,6.024277e-05,6.022386e-05,6.017982e-05,6.013375e-05,6.010595e-05,6.002550e-05,6.002195e-05,5.992856e-05,5.990082e-05,5.982647e-05,5.976131e-05,5.971633e-05,5.960841e-05,5.959874e-05,5.947428e-05,5.944345e-05,5.934348e-05,5.926765e-05,5.920684e-05,5.908213e-05,5.906482e-05,5.891787e-05,5.888792e-05,5.876639e-05,5.868597e-05,5.861078e-05,5.847713e-05,5.845139e-05,5.828856e-05,5.826221e-05,5.812262e-05,5.804195e-05,5.795386e-05,5.781700e-05,5.778255e-05,5.760898e-05,5.758801e-05,5.743337e-05,5.735552e-05,5.725597e-05,5.712008e-05,5.707699e-05,5.689663e-05,5.688215e-05,5.671510e-05,5.664219e-05,5.653255e-05,5.640060e-05,5.634918e-05,5.616513e-05,5.615775e-05,5.598055e-05,5.591400e-05,5.579559e-05,5.566966e-05,5.561037e-05,5.542502e-05,5.518034e-05,5.493589e-05,5.469187e-05,5.444851e-05,5.420598e-05,5.396447e-05,5.372414e-05,5.348512e-05,5.324756e-05,5.301158e-05,5.277729e-05,5.254478e-05,5.231416e-05,5.208550e-05,5.185888e-05,5.163436e-05,5.141202e-05,5.119189e-05,5.097403e-05,5.075849e-05,5.054529e-05,5.033448e-05,5.012607e-05,4.992010e-05
0.000000e+00,1.810240e-14,1.599880e-13,4.065817e-12,3.448515e-11,9.152804e-11,7.457407e-10,8.040561e-10,4.220711e-09,6.300279e-09,1.600662e-08,3.184553e-08,4.853207e-08,1.164534e-07,1.249824e-07,2.842567e-07,3.409530e-07,5.863792e-07,8.490387e-07,1.118086e-06,1.869371e-06,1.998153e-06,3.381870e-06,3.735477e-06,5.463962e-06,6.899038e-06,8.479233e-06,1.193176e-05,1.270044e-05,1.843333e-05,1.951273e-05,2.600903e-05,3.040147e-05,3.577442e-05,4.539977e-05,4.808118e-05,6.327423e-05,6.530713e-05,8.168032e-05,9.087494e-05,1.035974e-04,1.227640e-04,1.292852e-04,1.589576e-04,1.615088e-04,1.927763e-04,2.074904e-04,2.308470e-04,2.609195e-04,2.732168e-04,3.198743e-04,3.218290e-04,3.707502e-04,3.900759e-04,4.257203e-04,4.653511e-04,4.846093e-04,5.471957e-04,6.132170e-04,6.350216e-04,6.823761e-04,7.281354e-04,7.543478e-04,8.257644e-04,8.287847e-04,9.053242e-04,9.270815e-04,9.835941e-04,1.031230e-03,1.063218e-03,1.137347e-03,1.143823e-03,1.225040e-03,1.244583e-03,1.306511e-03,1.352118e-03,1.387894e-03,1.459178e-03,1.468862e-03,1.549109e-03,1.565046e-03,1.628349e-03,1.669068e-03,1.706320e-03,1.770660e-03,1.782784e-03,1.857526e-03,1.869312e-03,1.930356e-03,1.964585e-03,2.001106e-03,2.056113e-03,2.069635e-03,2.135820e-03,2.143600e-03,2.199563e-03,2.226816e-03,2.260785e-03,2.305591e-03,2.319427e-03,2.375446e-03,2.379813e-03,2.428816e-03,2.449420e-03,2.479528e-03,2.514396e-03,2.527584e-03,2.573001e-03,2.574763e-03,2.615804e-03,2.630580e-03,2.656030e-03,2.681933e-03,2.693722e-03,2.728935e-03,2.761724e-03,2.771715e-03,2.792154e-03,2.810423e-03,2.820294e-03,2.845218e-03,2.846213e-03,2.869986e-03,2.876268e-03,2.891688e-03,2.903749e-03,2.911398e-03,2.927839e-03,2.929194e-03,2.945153e-03,2.948718e-03,2.959354e-03,2.966568e-03,2.971876e-03,2.981566e-03,2.982795e-03,2.992187e-03,2.993889e-03,3.000127e-03,3.003707e-03,3.006689e-03,3.011186e-03,3.011942e-03,3.015957e-03,3.016489e-03,3.018801e-03,3.019770e-03,3.020540e-03,3.021177e-03,3.021236e-03,3.020951e-03,3.020854e-03,3.019744e-03,3.018935e-03,3.017670e-03,3.015549e-03,3.014785e-03,3.011141e-03,3.010818e-03,3.006787e-03,3.004857e-03,3.001772e-03,2.997777e-03,2.996141e-03,2.989938e-03,2.989678e-03,2.983205e-03,2.980659e-03,2.975981e-03,2.970808e-03,2.968304e-03,2.960211e-03,2.948948e-03,2.937093e-03,2.924714e-03,2.911877e-03,2.898640e-03,2.885060e-03,2.871188e-03,2.857073e-03,2.842758e-03,2.828284e-03,2.813688e-03,2.799007e-03,2.784271e-03,2.769510e-03,2.754751e-03,2.740018e-03,2.725333e-03,2.710717e-03,2.696188e-03,2.681764e-03,2.667459e-03,2.653286e-03,2.639259e-03,2.625387e-03
0.000000e+00,2.525533e-13,2.003693e-12,4.071568e-11,2.817806e-10,6.690454e-10,4.093217e-09,4.362371e-09,1.727816e-08,2.390454e-08,5.024250e-08,8.587871e-08,1.186427e-07,2.292300e-07,2.415689e-07,4.407012e-07,5.023931e-07,7.392646e-07,9.587778e-07,1.161091e-06,1.652879e-06,1.729582e-06,2.466329e-06,2.635540e-06,3.389386e-06,3.947518e-06,4.511617e-06,5.613261e-06,5.839664e-06,7.373825e-06,7.638127e-06,9.108681e-06,1.000990e-05,1.103419e-05,1.270289e-05,1.313686e-05,1.540075e-05,1.568243e-05,1.780830e-05,1.890838e-05,2.034095e-05,2.233766e-05,2.297957e-05,2.570489e-05,2.592609e-05,2.849780e-05,2.962968e-05,3.133961e-05,3.340587e-05,3.421235e-05,3.709897e-05,3.721449e-05,3.998352e-05,4.101859e-05,4.285134e-05,4.478504e-05,4.568911e-05,4.848495e-05,5.122843e-05,5.209378e-05,5.391055e-05,5.559133e-05,5.652368e-05,5.896151e-05,5.906151e-05,6.151894e-05,6.219205e-05,6.389202e-05,6.527410e-05,6.617779e-05,6.820182e-05,6.837421e-05,7.048006e-05,7.097191e-05,7.249480e-05,7.358326e-05,7.441850e-05,7.603652e-05,7.625177e-05,7.799563e-05,7.833378e-05,7.965146e-05,8.047827e-05,8.122097e-05,8.247406e-05,8.270610e-05,8.410895e-05,8.432592e-05,8.543181e-05,8.603906e-05,8.667705e-05,8.761901e-05,8.784713e-05,8.894457e-05,8.907149e-05,8.997188e-05,9.040234e-05,9.093163e-05,9.161740e-05,9.182634e-05,9.265853e-05,9.272248e-05,9.343069e-05,9.372329e-05,9.414525e-05,9.462542e-05,9.480461e-05,9.541111e-05,9.543430e-05,9.596704e-05,9.615522e-05,9.647461e-05,9.679325e-05,9.693600e-05,9.735329e-05,9.772851e-05,9.784002e-05,9.806363e-05,9.825795e-05,9.836056e-05,9.861137e-05,9.862111e-05,9.884707e-05,9.890438e-05,9.904014e-05,9.914088e-05,9.920196e-05,9.932460e-05,9.933411e-05,9.943812e-05,9.945906e-05,9.951544e-05,9.954762e-05,9.956749e-05,9.959345e-05,9.959560e-05,9.960108e-05,9.959957e-05,9.958517e-05,9.956884e-05,9.954906e-05,9.950395e-05,9.949389e-05,9.942076e-05,9.940746e-05,9.933071e-05,9.928177e-05,9.922475e-05,9.912917e-05,9.910383e-05,9.896889e-05,9.895179e-05,9.882079e-05,9.875167e-05,9.866037e-05,9.853072e-05,9.848844e-05,9.830577e-05,9.829072e-05,9.811308e-05,9.803336e-05,9.791108e-05,9.776025e-05,9.770043e-05,9.748176e-05,9.747286e-05,9.725569e-05,9.717261e-05,9.702279e-05,9.686080e-05,9.678361e-05,9.653868e-05,9.620739e-05,9.586803e-05,9.552161e-05,9.516907e-05,9.481131e-05,9.444914e-05,9.408335e-05,9.371465e-05,9.334370e-05,9.297114e-05,9.259754e-05,9.222344e-05,9.184933e-05,9.147568e-05,9.110292e-05,9.073142e-05,9.036157e-05,8.999369e-05,8.962808e-05,8.926503e-05,8.890479e-05,8.854760e-05,8.819366e-05,8.784318e-05
0.000000e+00,1.279744e-11,2.953138e-11,1.025403e-10,2.348533e-10,3.439060e-10,7.891031e-10,8.132842e-10,1.596243e-09,1.885073e-09,2.794864e-09,3.763569e-09,4.531030e-09,6.716759e-09,6.936731e-09,1.011884e-08,1.100352e-08,1.410688e-08,1.667055e-08,1.883488e-08,2.351274e-08,2.418308e-08,3.002954e-08,3.124930e-08,3.627288e-08,3.964893e-08,4.283278e-08,4.853956e-08,4.964380e-08,5.664976e-08,5.778536e-08,6.379998e-08,6.726938e-08,7.104735e-08,7.688536e-08,7.834760e-08,8.565894e-08,8.653516e-08,9.294231e-08,9.612876e-08,1.001618e-07,1.055857e-07,1.072848e-07,1.142822e-07,1.148357e-07,1.211286e-07,1.238199e-07,1.278024e-07,1.324902e-07,1.342852e-07,1.405623e-07,1.408090e-07,1.466220e-07,1.487485e-07,1.524554e-07,1.562896e-07,1.580563e-07,1.634208e-07,1.685469e-07,1.701368e-07,1.734342e-07,1.764374e-07,1.780842e-07,1.823269e-07,1.824990e-07,1.866823e-07,1.878127e-07,1.906383e-07,1.929048e-07,1.943719e-07,1.976151e-07,1.978886e-07,2.011943e-07,2.019569e-07,2.042951e-07,2.059445e-07,2.071975e-07,2.095927e-07,2.099080e-07,2.124332e-07,2.129166e-07,2.147797e-07,2.159314e-07,2.169541e-07,2.186525e-07,2.189630e-07,2.208129e-07,2.210946e-07,2.225102e-07,2.232724e-07,2.240610e-07,2.252004e-07,2.254716e-07,2.267478e-07,2.268923e-07,2.278957e-07,2.283615e-07,2.289207e-07,2.296209e-07,2.298284e-07,2.306241e-07,2.306831e-07,2.313130e-07,2.315598e-07,2.319002e-07,2.322626e-07,2.323904e-07,2.327882e-07,2.328023e-07,2.330983e-07,2.331893e-07,2.333250e-07,2.334336e-07,2.334724e-07,2.335446e-07,2.335454e-07,2.335312e-07,2.334786e-07,2.334021e-07,2.333479e-07,2.331653e-07,2.331566e-07,2.329080e-07,2.328286e-07,2.326054e-07,2.323991e-07,2.322518e-07,2.318839e-07,2.318501e-07,2.314031e-07,2.312894e-07,2.309136e-07,2.306219e-07,2.303841e-07,2.298871e-07,2.298171e-07,2.292150e-07,2.290905e-07,2.285800e-07,2.282375e-07,2.279142e-07,2.273328e-07,2.272198e-07,2.264988e-07,2.263810e-07,2.257529e-07,2.253867e-07,2.249841e-07,2.243537e-07,2.241941e-07,2.233845e-07,2.232861e-07,2.225568e-07,2.221873e-07,2.217126e-07,2.210608e-07,2.208533e-07,2.199803e-07,2.199099e-07,2.190948e-07,2.187374e-07,2.181981e-07,2.175462e-07,2.172914e-07,2.163758e-07,2.163390e-07,2.154522e-07,2.151181e-07,2.145219e-07,2.138858e-07,2.135856e-07,2.126444e-07,2.113958e-07,2.101418e-07,2.088843e-07,2.076248e-07,2.063648e-07,2.051057e-07,2.038488e-07,2.025954e-07,2.013464e-07,2.001030e-07,1.988660e-07,1.976364e-07,1.964149e-07,1.952022e-07,1.939990e-07,1.928059e-07,1.916235e-07,1.904522e-07,1.892924e-07,1.881447e-07,1.870093e-07,1.858865e-07,1.847767e-07,1.836800e-07
0.000000e+00,1.377640e-14,1.199279e-13,2.953047e-12,2.433531e-11,6.357802e-11,4.975607e-10,5.356024e-10,2.705118e-09,3.997269e-09,9.909398e-09,1.934982e-08,2.915070e-08,6.831507e-08,7.318210e-08,1.630180e-07,1.946833e-07,3.306851e-07,4.749381e-07,6.217084e-07,1.027484e-06,1.096521e-06,1.830059e-06,2.015298e-06,2.909293e-06,3.638411e-06,4.429004e-06,6.117215e-06,6.486519e-06,9.176191e-06,9.671120e-06,1.258427e-05,1.449758e-05,1.678464e-05,2.075523e-05,2.183573e-05,2.777845e-05,2.855276e-05,3.463533e-05,3.794369e-05,4.241055e-05,4.892626e-05,5.109068e-05,6.064605e-05,6.144705e-05,7.103246e-05,7.540739e-05,8.219322e-05,9.067112e-05,9.406124e-05,1.065612e-04,1.070732e-04,1.196118e-04,1.244284e-04,1.331275e-04,1.425392e-04,1.470208e-04,1.612037e-04,1.755893e-04,1.802216e-04,1.900933e-04,1.994004e-04,2.046348e-04,2.185592e-04,2.191377e-04,2.335309e-04,2.375323e-04,2.477494e-04,2.561717e-04,2.617340e-04,2.743479e-04,2.754321e-04,2.887973e-04,2.919509e-04,3.017898e-04,3.088898e-04,3.143755e-04,3.250923e-04,3.265267e-04,3.382209e-04,3.405033e-04,3.494411e-04,3.550840e-04,3.601751e-04,3.688100e-04,3.704150e-04,3.801572e-04,3.816697e-04,3.894014e-04,3.936625e-04,3.981506e-04,4.047973e-04,4.064104e-04,4.141889e-04,4.150905e-04,4.214961e-04,4.245648e-04,4.283435e-04,4.332479e-04,4.347441e-04,4.407118e-04,4.411709e-04,4.462614e-04,4.483676e-04,4.514082e-04,4.548733e-04,4.561679e-04,4.605563e-04,4.607244e-04,4.645895e-04,4.659575e-04,4.682833e-04,4.706092e-04,4.716533e-04,4.747151e-04,4.774839e-04,4.783104e-04,4.799742e-04,4.814285e-04,4.822005e-04,4.841022e-04,4.841766e-04,4.859159e-04,4.863622e-04,4.874312e-04,4.882382e-04,4.887351e-04,4.897581e-04,4.898394e-04,4.907555e-04,4.909485e-04,4.914942e-04,4.918344e-04,4.920661e-04,4.924391e-04,4.924809e-04,4.927482e-04,4.927848e-04,4.928769e-04,4.928919e-04,4.928756e-04,4.927799e-04,4.927523e-04,4.925148e-04,4.924667e-04,4.921703e-04,4.919691e-04,4.917259e-04,4.913028e-04,4.911881e-04,4.905630e-04,4.904824e-04,4.898566e-04,4.895215e-04,4.890745e-04,4.884327e-04,4.882219e-04,4.873039e-04,4.872277e-04,4.863250e-04,4.859175e-04,4.852899e-04,4.845121e-04,4.842026e-04,4.830672e-04,4.830209e-04,4.818875e-04,4.814527e-04,4.806670e-04,4.798155e-04,4.794090e-04,4.781168e-04,4.763636e-04,4.745623e-04,4.727189e-04,4.708389e-04,4.689273e-04,4.669889e-04,4.650280e-04,4.630486e-04,4.610545e-04,4.590492e-04,4.570357e-04,4.550169e-04,4.529957e-04,4.509744e-04,4.489553e-04,4.469405e-04,4.449320e-04,4.429314e-04,4.409404e-04,4.389605e-04,4.369930e-04,4.350391e-04,4.331000e-04,4.311766e-04
0.000000e+00,4.400080e-14,3.706338e-13,8.518289e-12,6.585485e-11,1.660467e-10,1.183497e-09,1.269076e-09,5.824891e-09,8.381975e-09,1.941840e-08,3.585375e-08,5.204732e-08,1.120745e-07,1.191840e-07,2.424463e-07,2.833526e-07,4.497230e-07,6.147728e-07,7.744366e-07,1.186745e-06,1.253677e-06,1.925365e-06,2.086001e-06,2.825057e-06,3.393347e-06,3.983094e-06,5.172635e-06,5.422578e-06,7.158325e-06,7.464077e-06,9.196673e-06,1.028235e-05,1.153593e-05,1.361823e-05,1.416719e-05,1.707532e-05,1.744199e-05,2.024000e-05,2.170755e-05,2.363670e-05,2.635635e-05,2.723760e-05,3.101243e-05,3.132098e-05,3.492929e-05,3.652846e-05,3.895533e-05,4.190312e-05,4.305750e-05,4.720312e-05,4.736940e-05,5.136054e-05,5.285423e-05,5.549958e-05,5.828915e-05,5.959204e-05,6.361205e-05,6.753632e-05,6.876844e-05,7.134437e-05,7.371229e-05,7.501862e-05,7.840639e-05,7.854441e-05,8.190998e-05,8.282234e-05,8.510632e-05,8.694014e-05,8.812704e-05,9.074753e-05,9.096816e-05,9.362786e-05,9.423917e-05,9.610629e-05,9.741566e-05,9.840530e-05,1.002826e-04,1.005282e-04,1.024794e-04,1.028495e-04,1.042644e-04,1.051290e-04,1.058895e-04,1.071360e-04,1.073615e-04,1.086876e-04,1.088867e-04,1.098753e-04,1.103985e-04,1.109322e-04,1.116887e-04,1.118660e-04,1.126841e-04,1.127749e-04,1.133941e-04,1.136740e-04,1.140030e-04,1.144026e-04,1.145180e-04,1.149455e-04,1.149762e-04,1.152921e-04,1.154094e-04,1.155637e-04,1.157161e-04,1.157661e-04,1.159046e-04,1.159089e-04,1.159843e-04,1.159995e-04,1.160099e-04,1.159988e-04,1.159859e-04,1.159164e-04,1.158052e-04,1.157614e-04,1.156558e-04,1.155418e-04,1.154717e-04,1.152650e-04,1.152558e-04,1.150109e-04,1.149376e-04,1.147398e-04,1.145656e-04,1.144449e-04,1.141544e-04,1.141283e-04,1.137922e-04,1.137088e-04,1.134384e-04,1.132333e-04,1.130688e-04,1.127317e-04,1.126849e-04,1.122884e-04,1.122076e-04,1.118804e-04,1.116643e-04,1.114624e-04,1.111044e-04,1.110356e-04,1.106009e-04,1.105307e-04,1.101594e-04,1.099454e-04,1.097121e-04,1.093506e-04,1.092598e-04,1.088033e-04,1.087482e-04,1.083432e-04,1.081399e-04,1.078804e-04,1.075271e-04,1.074154e-04,1.069487e-04,1.069113e-04,1.064810e-04,1.062937e-04,1.060126e-04,1.056753e-04,1.055441e-04,1.050758e-04,1.050571e-04,1.046082e-04,1.044401e-04,1.041416e-04,1.038250e-04,1.036763e-04,1.032125e-04,1.026034e-04,1.019980e-04,1.013971e-04,1.008009e-04,1.002099e-04,9.962456e-05,9.904507e-05,9.847175e-05,9.790484e-05,9.734456e-05,9.679108e-05,9.624457e-05,9.570516e-05,9.517296e-05,9.464806e-05,9.413054e-05,9.362045e-05,9.311784e-05,9.262274e-05,9.213516e-05,9.165510e-05,9.118257e-05,9.071754e-05,9.025999e-05
0.000000e+00,1.606140e-14,1.418790e-13,3.602743e-12,3.054972e-11,8.109349e-11,6.617538e-10,7.135791e-10,3.761026e-09,5.623347e-09,1.436361e-08,2.874241e-08,4.400182e-08,1.068947e-07,1.148600e-07,2.654382e-07,3.196685e-07,5.568825e-07,8.137652e-07,1.078967e-06,1.825884e-06,1.954509e-06,3.341347e-06,3.696400e-06,5.431551e-06,6.869336e-06,8.448006e-06,1.187854e-05,1.263878e-05,1.826992e-05,1.932293e-05,2.561718e-05,2.983491e-05,3.495737e-05,4.404577e-05,4.655965e-05,6.067730e-05,6.255166e-05,7.754021e-05,8.588233e-05,9.734832e-05,1.144749e-04,1.202662e-04,1.464188e-04,1.486535e-04,1.758887e-04,1.886156e-04,2.087142e-04,2.344248e-04,2.448894e-04,2.843643e-04,2.860108e-04,3.270472e-04,3.431742e-04,3.728069e-04,4.055972e-04,4.214766e-04,4.728576e-04,5.267238e-04,5.444458e-04,5.828266e-04,6.197839e-04,6.408998e-04,6.982445e-04,7.006640e-04,7.618317e-04,7.791705e-04,8.241115e-04,8.618922e-04,8.872127e-04,9.457445e-04,9.508484e-04,1.014739e-03,1.030081e-03,1.078616e-03,1.114285e-03,1.142223e-03,1.197782e-03,1.205319e-03,1.267677e-03,1.280042e-03,1.329092e-03,1.360591e-03,1.389373e-03,1.439008e-03,1.448350e-03,1.505871e-03,1.514930e-03,1.561802e-03,1.588049e-03,1.616027e-03,1.658114e-03,1.668450e-03,1.718989e-03,1.724924e-03,1.767579e-03,1.788328e-03,1.814171e-03,1.848221e-03,1.858728e-03,1.901227e-03,1.904538e-03,1.941657e-03,1.957249e-03,1.980017e-03,2.006360e-03,2.016317e-03,2.050573e-03,2.051901e-03,2.082812e-03,2.093929e-03,2.113064e-03,2.132521e-03,2.141369e-03,2.167768e-03,2.192309e-03,2.199778e-03,2.215042e-03,2.228667e-03,2.236020e-03,2.254560e-03,2.255299e-03,2.272936e-03,2.277588e-03,2.288988e-03,2.297884e-03,2.303515e-03,2.315584e-03,2.316577e-03,2.328231e-03,2.330825e-03,2.338538e-03,2.343743e-03,2.347555e-03,2.354470e-03,2.355341e-03,2.361951e-03,2.363137e-03,2.367443e-03,2.369874e-03,2.371869e-03,2.374803e-03,2.375283e-03,2.377737e-03,2.378044e-03,2.379280e-03,2.379712e-03,2.379961e-03,2.379917e-03,2.379827e-03,2.378923e-03,2.378765e-03,2.377293e-03,2.376356e-03,2.374978e-03,2.372786e-03,2.372019e-03,2.368454e-03,2.368144e-03,2.364322e-03,2.362518e-03,2.359657e-03,2.355987e-03,2.354493e-03,2.348864e-03,2.348629e-03,2.342799e-03,2.340515e-03,2.336330e-03,2.331713e-03,2.329483e-03,2.322287e-03,2.312297e-03,2.301797e-03,2.290842e-03,2.279479e-03,2.267754e-03,2.255711e-03,2.243388e-03,2.230823e-03,2.218051e-03,2.205102e-03,2.192008e-03,2.178795e-03,2.165489e-03,2.152114e-03,2.138691e-03,2.125241e-03,2.111782e-03,2.098331e-03,2.084905e-03,2.071516e-03,2.058179e-03,2.044905e-03,2.031707e-03,2.018592e-03
0.000000e+00,4.253344e-13,3.412736e-12,7.098460e-11,5.019109e-10,1.206058e-09,7.619675e-09,8.131766e-09,3.335738e-08,4.662873e-08,1.007731e-07,1.766045e-07,2.483241e-07,5.012545e-07,5.303600e-07,1.019768e-06,1.177891e-06,1.807834e-06,2.417946e-06,2.997666e-06,4.456723e-06,4.689023e-06,6.959016e-06,7.486687e-06,9.847299e-06,1.159438e-05,1.335164e-05,1.674391e-05,1.743337e-05,2.202842e-05,2.280617e-05,2.705918e-05,2.960475e-05,3.244422e-05,3.695417e-05,3.810471e-05,4.396790e-05,4.468193e-05,4.996853e-05,5.263723e-05,5.604895e-05,6.069210e-05,6.215864e-05,6.825356e-05,6.873934e-05,7.429554e-05,7.668998e-05,8.025170e-05,8.447109e-05,8.609403e-05,9.179899e-05,9.202404e-05,9.734718e-05,9.930303e-05,1.027230e-04,1.062737e-04,1.079142e-04,1.129119e-04,1.177096e-04,1.192019e-04,1.223035e-04,1.251358e-04,1.266919e-04,1.307112e-04,1.308746e-04,1.348531e-04,1.359308e-04,1.386301e-04,1.408010e-04,1.422091e-04,1.453306e-04,1.455944e-04,1.487912e-04,1.495309e-04,1.518046e-04,1.534141e-04,1.546404e-04,1.569936e-04,1.573045e-04,1.598029e-04,1.602832e-04,1.621417e-04,1.632968e-04,1.643270e-04,1.660484e-04,1.663648e-04,1.682610e-04,1.685517e-04,1.700216e-04,1.708201e-04,1.716522e-04,1.728668e-04,1.731584e-04,1.745456e-04,1.747044e-04,1.758192e-04,1.763449e-04,1.769842e-04,1.778001e-04,1.780456e-04,1.790081e-04,1.790810e-04,1.798764e-04,1.801983e-04,1.806548e-04,1.811620e-04,1.813476e-04,1.819590e-04,1.819818e-04,1.824929e-04,1.826668e-04,1.829530e-04,1.832257e-04,1.833431e-04,1.836665e-04,1.839267e-04,1.839971e-04,1.841268e-04,1.842248e-04,1.842700e-04,1.843566e-04,1.843592e-04,1.843971e-04,1.843989e-04,1.843865e-04,1.843580e-04,1.843301e-04,1.842397e-04,1.842301e-04,1.840891e-04,1.840494e-04,1.839092e-04,1.837924e-04,1.836927e-04,1.834735e-04,1.834416e-04,1.831578e-04,1.830973e-04,1.828432e-04,1.826681e-04,1.824997e-04,1.821901e-04,1.821290e-04,1.817326e-04,1.816670e-04,1.813123e-04,1.811024e-04,1.808693e-04,1.804997e-04,1.804052e-04,1.799214e-04,1.798621e-04,1.794191e-04,1.791925e-04,1.788995e-04,1.784939e-04,1.783639e-04,1.778133e-04,1.777687e-04,1.772489e-04,1.770194e-04,1.766716e-04,1.762485e-04,1.760824e-04,1.754822e-04,1.754580e-04,1.748719e-04,1.746499e-04,1.742524e-04,1.738262e-04,1.736244e-04,1.729887e-04,1.721390e-04,1.712787e-04,1.704092e-04,1.695320e-04,1.686482e-04,1.677592e-04,1.668659e-04,1.659695e-04,1.650708e-04,1.641709e-04,1.632705e-04,1.623704e-04,1.614713e-04,1.605740e-04,1.596790e-04,1.587869e-04,1.578983e-04,1.570136e-04,1.561333e-04,1.552579e-04,1.543876e-04,1.535229e-04,1.526642e-04,1.518116e-04
0.000000e+00,2.171735e-13,1.694528e-12,3.327744e-11,2.233760e-10,5.216978e-10,3.061844e-09,3.257784e-09,1.240494e-08,1.698574e-08,3.481030e-08,5.834699e-08,7.961965e-08,1.498538e-07,1.575823e-07,2.803909e-07,3.178832e-07,4.601908e-07,5.903339e-07,7.091935e-07,9.949453e-07,1.039187e-06,1.460701e-06,1.556753e-06,1.981752e-06,2.293589e-06,2.606453e-06,3.210909e-06,3.334063e-06,4.158917e-06,4.299311e-06,5.071229e-06,5.536584e-06,6.058442e-06,6.892801e-06,7.106634e-06,8.201650e-06,8.335544e-06,9.329888e-06,9.833543e-06,1.047872e-05,1.135853e-05,1.163671e-05,1.279360e-05,1.288583e-05,1.394036e-05,1.439442e-05,1.506907e-05,1.586669e-05,1.617290e-05,1.724606e-05,1.728828e-05,1.828372e-05,1.864782e-05,1.928200e-05,1.993676e-05,2.023787e-05,2.114911e-05,2.201421e-05,2.228114e-05,2.283231e-05,2.333108e-05,2.360314e-05,2.429883e-05,2.432688e-05,2.500417e-05,2.518561e-05,2.563596e-05,2.599370e-05,2.622348e-05,2.672615e-05,2.676819e-05,2.727168e-05,2.738658e-05,2.773570e-05,2.797896e-05,2.816202e-05,2.850747e-05,2.855250e-05,2.890897e-05,2.897635e-05,2.923329e-05,2.938982e-05,2.952724e-05,2.975199e-05,2.979259e-05,3.003104e-05,3.006680e-05,3.024422e-05,3.033803e-05,3.043370e-05,3.056923e-05,3.060098e-05,3.074748e-05,3.076373e-05,3.087456e-05,3.092464e-05,3.098347e-05,3.105484e-05,3.107542e-05,3.115154e-05,3.115698e-05,3.121290e-05,3.123354e-05,3.126050e-05,3.128678e-05,3.129527e-05,3.131810e-05,3.131878e-05,3.132981e-05,3.133145e-05,3.133116e-05,3.132654e-05,3.132289e-05,3.130567e-05,3.128014e-05,3.127031e-05,3.124688e-05,3.122180e-05,3.120645e-05,3.116137e-05,3.115936e-05,3.110611e-05,3.109015e-05,3.104713e-05,3.100918e-05,3.098287e-05,3.091941e-05,3.091371e-05,3.084002e-05,3.082170e-05,3.076216e-05,3.071685e-05,3.068044e-05,3.060559e-05,3.059518e-05,3.050665e-05,3.048858e-05,3.041512e-05,3.036643e-05,3.032085e-05,3.023970e-05,3.022406e-05,3.012497e-05,3.010892e-05,3.002380e-05,2.997455e-05,2.992073e-05,2.983703e-05,2.981594e-05,2.970961e-05,2.969675e-05,2.960188e-05,2.955408e-05,2.949291e-05,2.940936e-05,2.938285e-05,2.927181e-05,2.926289e-05,2.915993e-05,2.911496e-05,2.904731e-05,2.896584e-05,2.893407e-05,2.882031e-05,2.881575e-05,2.870612e-05,2.866492e-05,2.859159e-05,2.851355e-05,2.847680e-05,2.836184e-05,2.820994e-05,2.805803e-05,2.790623e-05,2.775470e-05,2.760353e-05,2.745286e-05,2.730278e-05,2.715338e-05,2.700475e-05,2.685697e-05,2.671010e-05,2.656422e-05,2.641939e-05,2.627565e-05,2.613305e-05,2.599165e-05,2.585147e-05,2.571255e-05,2.557494e-05,2.543864e-05,2.530369e-05,2.517011e-05,2.503793e-05,2.490714e-05
0.000000e+00,1.332790e-13,1.189143e-12,3.082978e-11,2.663953e-10,7.144076e-10,5.981530e-09,6.456518e-09,3.484515e-08,5.241272e-08,1.357698e-07,2.744396e-07,4.226267e-07,1.038217e-06,1.116499e-06,2.602802e-06,3.140095e-06,5.498656e-06,8.065566e-06,1.072810e-05,1.828977e-05,1.960082e-05,3.388860e-05,3.758848e-05,5.589226e-05,7.131562e-05,8.849214e-05,1.265984e-04,1.351759e-04,2.000402e-04,2.124105e-04,2.877640e-04,3.395020e-04,4.035546e-04,5.201837e-04,5.530684e-04,7.423107e-04,7.679841e-04,9.775182e-04,1.097204e-03,1.265031e-03,1.522407e-03,1.611154e-03,2.022026e-03,2.057871e-03,2.503481e-03,2.717054e-03,3.060925e-03,3.512090e-03,3.699219e-03,4.422584e-03,4.453340e-03,5.234513e-03,5.549034e-03,6.137707e-03,6.804996e-03,7.134030e-03,8.224475e-03,9.409163e-03,9.808069e-03,1.068734e-02,1.155374e-02,1.205742e-02,1.345692e-02,1.351698e-02,1.506287e-02,1.551068e-02,1.669122e-02,1.770597e-02,1.839753e-02,2.003186e-02,2.017676e-02,2.202335e-02,2.247590e-02,2.393138e-02,2.502438e-02,2.589458e-02,2.766268e-02,2.790646e-02,2.996034e-02,3.037557e-02,3.204948e-02,3.314751e-02,3.416708e-02,3.596293e-02,3.630641e-02,3.846082e-02,3.880649e-02,4.062383e-02,4.166326e-02,4.278912e-02,4.451893e-02,4.495065e-02,4.710262e-02,4.735995e-02,4.923954e-02,5.017367e-02,5.135624e-02,5.294842e-02,5.344788e-02,5.550999e-02,5.567355e-02,5.753842e-02,5.833951e-02,5.952942e-02,6.093782e-02,6.147957e-02,6.338581e-02,6.346111e-02,6.524545e-02,6.590305e-02,6.705611e-02,6.825834e-02,6.881576e-02,7.052267e-02,7.217542e-02,7.269267e-02,7.377287e-02,7.476581e-02,7.531415e-02,7.674037e-02,7.679865e-02,7.822599e-02,7.861537e-02,7.959600e-02,8.039050e-02,8.090872e-02,8.206602e-02,8.216438e-02,8.336335e-02,8.364273e-02,8.450619e-02,8.512191e-02,8.559358e-02,8.650524e-02,8.662632e-02,8.760531e-02,8.779475e-02,8.853157e-02,8.899274e-02,8.940618e-02,9.010178e-02,9.023030e-02,9.100515e-02,9.112464e-02,9.173199e-02,9.206420e-02,9.241213e-02,9.292352e-02,9.304691e-02,9.363768e-02,9.370568e-02,9.418583e-02,9.441387e-02,9.469275e-02,9.505128e-02,9.515982e-02,9.558844e-02,9.562111e-02,9.597999e-02,9.612653e-02,9.633584e-02,9.657073e-02,9.665737e-02,9.694589e-02,9.695677e-02,9.720275e-02,9.728772e-02,9.742923e-02,9.756652e-02,9.762659e-02,9.779609e-02,9.797921e-02,9.811859e-02,9.821685e-02,9.827651e-02,9.829998e-02,9.828957e-02,9.824752e-02,9.817592e-02,9.807681e-02,9.795209e-02,9.780361e-02,9.763310e-02,9.744220e-02,9.723247e-02,9.700540e-02,9.676239e-02,9.650474e-02,9.623371e-02,9.595048e-02,9.565615e-02,9.535176e-02,9.503830e-02,9.471670e-02,9.438780e-02
0.000000e+00,3.597179e-11,8.479031e-11,2.995330e-10,6.874006e-10,1.004454e-09,2.273619e-09,2.341457e-09,4.484164e-09,5.250775e-09,7.594473e-09,9.989196e-09,1.182550e-08,1.682950e-08,1.731830e-08,2.418538e-08,2.604540e-08,3.247650e-08,3.772801e-08,4.214379e-08,5.167742e-08,5.304440e-08,6.498499e-08,6.748015e-08,7.776594e-08,8.468169e-08,9.120111e-08,1.028674e-07,1.051204e-07,1.193668e-07,1.216667e-07,1.337948e-07,1.407446e-07,1.482693e-07,1.597986e-07,1.626662e-07,1.768737e-07,1.785610e-07,1.907927e-07,1.968031e-07,2.043379e-07,2.143379e-07,2.174381e-07,2.300353e-07,2.310199e-07,2.420845e-07,2.467429e-07,2.535526e-07,2.614370e-07,2.644176e-07,2.746671e-07,2.750642e-07,2.842971e-07,2.876126e-07,2.933105e-07,2.990918e-07,3.017163e-07,3.095282e-07,3.167635e-07,3.189604e-07,3.234427e-07,3.274357e-07,3.295879e-07,3.350072e-07,3.352231e-07,3.403729e-07,3.417313e-07,3.450624e-07,3.476656e-07,3.493167e-07,3.528678e-07,3.531608e-07,3.566192e-07,3.573944e-07,3.597155e-07,3.612998e-07,3.624726e-07,3.646357e-07,3.649125e-07,3.670563e-07,3.674513e-07,3.689241e-07,3.697926e-07,3.705349e-07,3.717026e-07,3.719067e-07,3.730567e-07,3.732211e-07,3.740008e-07,3.743853e-07,3.747542e-07,3.752292e-07,3.753311e-07,3.757449e-07,3.757842e-07,3.760080e-07,3.760791e-07,3.761321e-07,3.761403e-07,3.761283e-07,3.760066e-07,3.759921e-07,3.757767e-07,3.756564e-07,3.754475e-07,3.751537e-07,3.750273e-07,3.745239e-07,3.745022e-07,3.739446e-07,3.737187e-07,3.732960e-07,3.728186e-07,3.725844e-07,3.718158e-07,3.709955e-07,3.707229e-07,3.701286e-07,3.695515e-07,3.692198e-07,3.683120e-07,3.682735e-07,3.672937e-07,3.670139e-07,3.662843e-07,3.656659e-07,3.652487e-07,3.642756e-07,3.641902e-07,3.631118e-07,3.628504e-07,3.620164e-07,3.613964e-07,3.609064e-07,3.599196e-07,3.597844e-07,3.586525e-07,3.584252e-07,3.575129e-07,3.569178e-07,3.563674e-07,3.554019e-07,3.552178e-07,3.540657e-07,3.538812e-07,3.529126e-07,3.523592e-07,3.517600e-07,3.508390e-07,3.506090e-07,3.494610e-07,3.493234e-07,3.483168e-07,3.478149e-07,3.471777e-07,3.463158e-07,3.460443e-07,3.449177e-07,3.448279e-07,3.437985e-07,3.433530e-07,3.426874e-07,3.418928e-07,3.415851e-07,3.404921e-07,3.404486e-07,3.394090e-07,3.390216e-07,3.383363e-07,3.376129e-07,3.372742e-07,3.362233e-07,3.348538e-07,3.335048e-07,3.321771e-07,3.308711e-07,3.295871e-07,3.283255e-07,3.270866e-07,3.258704e-07,3.246771e-07,3.235068e-07,3.223595e-07,3.212351e-07,3.201335e-07,3.190548e-07,3.179987e-07,3.169650e-07,3.159537e-07,3.149644e-07,3.139969e-07,3.130511e-07,3.121265e-07,3.112230e-07,3.103403e-07,3.094780e-07
0.000000e+00,2.378717e-11,5.907651e-11,2.207170e-10,5.207196e-10,7.693316e-10,1.779947e-09,1.834463e-09,3.574713e-09,4.204672e-09,6.150753e-09,8.167398e-09,9.731214e-09,1.405921e-08,1.448653e-08,2.055427e-08,2.221374e-08,2.798471e-08,3.272518e-08,3.672781e-08,4.542667e-08,4.668137e-08,5.773829e-08,6.007341e-08,6.980219e-08,7.644404e-08,8.278518e-08,9.433882e-08,9.660200e-08,1.111656e-07,1.135591e-07,1.263851e-07,1.338954e-07,1.421646e-07,1.551247e-07,1.584046e-07,1.750026e-07,1.770134e-07,1.918544e-07,1.993228e-07,2.088566e-07,2.218165e-07,2.259081e-07,2.429119e-07,2.442673e-07,2.597761e-07,2.664634e-07,2.764156e-07,2.882130e-07,2.927528e-07,3.087183e-07,3.093482e-07,3.242510e-07,3.297265e-07,3.392985e-07,3.492310e-07,3.538170e-07,3.677706e-07,3.811317e-07,3.852786e-07,3.938801e-07,4.017109e-07,4.060021e-07,4.170422e-07,4.174895e-07,4.283391e-07,4.312628e-07,4.385528e-07,4.443782e-07,4.481367e-07,4.564060e-07,4.571005e-07,4.654567e-07,4.673734e-07,4.732205e-07,4.773158e-07,4.804092e-07,4.862746e-07,4.870418e-07,4.931382e-07,4.942950e-07,4.987194e-07,5.014251e-07,5.038069e-07,5.077151e-07,5.084229e-07,5.125907e-07,5.132176e-07,5.163340e-07,5.179861e-07,5.196734e-07,5.220678e-07,5.226293e-07,5.252225e-07,5.255103e-07,5.274727e-07,5.283591e-07,5.293989e-07,5.306575e-07,5.310195e-07,5.323526e-07,5.324473e-07,5.334153e-07,5.337683e-07,5.342239e-07,5.346577e-07,5.347942e-07,5.351411e-07,5.351505e-07,5.352788e-07,5.352799e-07,5.352211e-07,5.350767e-07,5.349807e-07,5.345701e-07,5.340010e-07,5.337872e-07,5.332843e-07,5.327531e-07,5.324306e-07,5.314913e-07,5.314497e-07,5.303510e-07,5.300234e-07,5.291432e-07,5.283697e-07,5.278348e-07,5.265489e-07,5.264335e-07,5.249469e-07,5.245781e-07,5.233818e-07,5.224736e-07,5.217450e-07,5.202502e-07,5.200426e-07,5.182805e-07,5.179214e-07,5.164642e-07,5.155000e-07,5.145987e-07,5.129974e-07,5.126891e-07,5.107398e-07,5.104245e-07,5.087552e-07,5.077912e-07,5.067392e-07,5.051064e-07,5.046956e-07,5.026280e-07,5.023785e-07,5.005397e-07,4.996151e-07,4.984338e-07,4.968234e-07,4.963132e-07,4.941807e-07,4.940096e-07,4.920386e-07,4.911797e-07,4.898896e-07,4.883391e-07,4.877357e-07,4.855790e-07,4.854927e-07,4.834215e-07,4.826450e-07,4.812650e-07,4.798000e-07,4.791112e-07,4.769616e-07,4.741330e-07,4.713173e-07,4.685174e-07,4.657356e-07,4.629744e-07,4.602356e-07,4.575212e-07,4.548327e-07,4.521716e-07,4.495391e-07,4.469364e-07,4.443644e-07,4.418240e-07,4.393160e-07,4.368409e-07,4.343992e-07,4.319915e-07,4.296180e-07,4.272790e-07,4.249746e-07,4.227051e-07,4.204705e-07,4.182708e-07,4.161059e-07
0.000000e+00,5.345353e-12,3.560422e-11,5.131491e-10,2.660328e-09,5.446516e-09,2.355047e-08,2.477493e-08,7.347522e-08,9.484681e-08,1.704516e-07,2.613948e-07,3.393264e-07,5.834659e-07,6.096053e-07,1.014762e-06,1.135550e-06,1.583596e-06,1.978901e-06,2.327662e-06,3.119153e-06,3.236041e-06,4.282430e-06,4.505578e-06,5.436654e-06,6.070397e-06,6.672065e-06,7.756962e-06,7.967555e-06,9.306682e-06,9.524070e-06,1.067613e-05,1.134083e-05,1.206450e-05,1.318198e-05,1.346165e-05,1.485836e-05,1.502552e-05,1.624619e-05,1.685204e-05,1.761756e-05,1.864461e-05,1.896574e-05,2.028489e-05,2.038902e-05,2.157009e-05,2.207372e-05,2.281727e-05,2.368986e-05,2.402321e-05,2.518546e-05,2.523102e-05,2.630225e-05,2.669293e-05,2.737244e-05,2.807321e-05,2.839539e-05,2.937094e-05,3.029927e-05,3.058645e-05,3.118092e-05,3.172101e-05,3.201663e-05,3.277660e-05,3.280738e-05,3.355431e-05,3.375576e-05,3.425865e-05,3.466136e-05,3.492172e-05,3.549650e-05,3.554492e-05,3.612966e-05,3.626444e-05,3.667740e-05,3.696850e-05,3.718956e-05,3.761197e-05,3.766757e-05,3.811286e-05,3.819811e-05,3.852681e-05,3.873014e-05,3.891080e-05,3.921117e-05,3.926616e-05,3.959418e-05,3.964421e-05,3.989611e-05,4.003213e-05,4.017318e-05,4.037772e-05,4.042656e-05,4.065738e-05,4.068362e-05,4.086675e-05,4.095235e-05,4.105571e-05,4.118630e-05,4.122528e-05,4.137643e-05,4.138775e-05,4.151009e-05,4.155887e-05,4.162717e-05,4.170168e-05,4.172852e-05,4.181497e-05,4.181813e-05,4.188730e-05,4.191004e-05,4.194628e-05,4.197912e-05,4.199262e-05,4.202701e-05,4.205012e-05,4.205524e-05,4.206258e-05,4.206524e-05,4.206498e-05,4.205837e-05,4.205791e-05,4.204192e-05,4.203591e-05,4.201753e-05,4.199907e-05,4.198523e-05,4.194896e-05,4.194552e-05,4.189883e-05,4.188664e-05,4.184562e-05,4.181312e-05,4.178628e-05,4.172931e-05,4.172121e-05,4.165080e-05,4.163610e-05,4.157538e-05,4.153431e-05,4.149532e-05,4.142470e-05,4.141091e-05,4.132249e-05,4.130799e-05,4.123033e-05,4.118485e-05,4.113472e-05,4.105592e-05,4.103591e-05,4.093417e-05,4.092177e-05,4.082973e-05,4.078297e-05,4.072281e-05,4.064003e-05,4.061363e-05,4.050239e-05,4.049341e-05,4.038930e-05,4.034358e-05,4.027452e-05,4.019094e-05,4.015824e-05,4.004062e-05,4.003589e-05,3.992182e-05,3.987879e-05,3.980198e-05,3.971997e-05,3.968125e-05,3.955975e-05,3.939841e-05,3.923624e-05,3.907347e-05,3.891035e-05,3.874708e-05,3.858387e-05,3.842089e-05,3.825832e-05,3.809632e-05,3.793503e-05,3.777457e-05,3.761508e-05,3.745666e-05,3.729941e-05,3.714343e-05,3.698879e-05,3.683558e-05,3.668387e-05,3.653371e-05,3.638516e-05,3.623827e-05,3.609309e-05,3.594964e-05,3.580798e-05
0.000000e+00,2.222882e-13,1.808392e-12,3.869031e-11,2.804411e-10,6.827955e-10,4.453335e-09,4.758419e-09,2.006032e-08,2.822468e-08,6.187728e-08,1.094321e-07,1.545860e-07,3.140115e-07,3.323358e-07,6.391502e-07,7.377414e-07,1.128403e-06,1.504514e-06,1.860787e-06,2.756650e-06,2.899480e-06,4.302477e-06,4.631026e-06,6.114272e-06,7.227134e-06,8.359920e-06,1.058491e-05,1.104321e-05,1.414864e-05,1.468281e-05,1.764564e-05,1.945161e-05,2.149353e-05,2.479343e-05,2.564595e-05,3.005424e-05,3.059811e-05,3.466988e-05,3.675428e-05,3.944598e-05,4.315572e-05,4.433817e-05,4.930517e-05,4.970461e-05,5.430905e-05,5.631310e-05,5.931539e-05,6.290403e-05,6.429337e-05,6.921578e-05,6.941117e-05,7.405896e-05,7.577911e-05,7.880269e-05,8.196285e-05,8.343004e-05,8.792715e-05,9.228303e-05,9.364563e-05,9.648922e-05,9.909971e-05,1.005396e-04,1.042775e-04,1.044300e-04,1.081582e-04,1.091728e-04,1.117231e-04,1.137839e-04,1.151253e-04,1.181128e-04,1.183662e-04,1.214481e-04,1.221644e-04,1.243739e-04,1.259455e-04,1.271473e-04,1.294649e-04,1.297721e-04,1.322528e-04,1.327320e-04,1.345936e-04,1.357572e-04,1.367994e-04,1.385514e-04,1.388749e-04,1.408248e-04,1.411254e-04,1.426539e-04,1.434903e-04,1.443669e-04,1.456569e-04,1.459685e-04,1.474633e-04,1.476357e-04,1.488557e-04,1.494371e-04,1.501502e-04,1.510711e-04,1.513509e-04,1.524622e-04,1.525473e-04,1.534879e-04,1.538751e-04,1.544320e-04,1.550634e-04,1.552983e-04,1.560904e-04,1.561206e-04,1.568118e-04,1.570548e-04,1.574658e-04,1.578737e-04,1.580557e-04,1.585845e-04,1.590554e-04,1.591943e-04,1.594711e-04,1.597095e-04,1.598344e-04,1.601363e-04,1.601479e-04,1.604143e-04,1.604807e-04,1.606358e-04,1.607482e-04,1.608149e-04,1.609440e-04,1.609537e-04,1.610544e-04,1.610731e-04,1.611190e-04,1.611402e-04,1.611495e-04,1.611497e-04,1.611478e-04,1.611156e-04,1.611057e-04,1.610547e-04,1.610122e-04,1.609666e-04,1.608728e-04,1.608530e-04,1.607152e-04,1.606911e-04,1.605549e-04,1.604702e-04,1.603732e-04,1.602134e-04,1.601715e-04,1.599510e-04,1.599233e-04,1.597129e-04,1.596029e-04,1.594584e-04,1.592546e-04,1.591885e-04,1.589041e-04,1.588808e-04,1.586064e-04,1.584838e-04,1.582962e-04,1.580656e-04,1.579744e-04,1.576419e-04,1.576284e-04,1.572994e-04,1.571738e-04,1.569477e-04,1.567037e-04,1.565875e-04,1.562196e-04,1.557232e-04,1.552157e-04,1.546986e-04,1.541731e-04,1.536404e-04,1.531015e-04,1.525575e-04,1.520093e-04,1.514578e-04,1.509037e-04,1.503480e-04,1.497912e-04,1.492341e-04,1.486772e-04,1.481211e-04,1.475663e-04,1.470134e-04,1.464628e-04,1.459148e-04,1.453699e-04,1.448285e-04,1.442907e-04,1.437570e-04,1.432276e-04
0.000000e+00,3.168785e-11,7.423713e-11,2.614789e-10,6.021730e-10,8.833508e-10,2.032881e-09,2.095383e-09,4.122494e-09,4.871837e-09,7.236836e-09,9.761096e-09,1.176407e-08,1.747521e-08,1.805000e-08,2.634770e-08,2.864473e-08,3.664899e-08,4.318480e-08,4.864221e-08,6.024340e-08,6.188443e-08,7.598117e-08,7.887561e-08,9.063905e-08,9.841019e-08,1.056461e-07,1.184037e-07,1.208422e-07,1.360975e-07,1.385362e-07,1.513017e-07,1.585529e-07,1.663585e-07,1.782400e-07,1.811825e-07,1.956993e-07,1.974176e-07,2.098451e-07,2.159374e-07,2.235659e-07,2.336823e-07,2.368180e-07,2.495670e-07,2.505644e-07,2.617871e-07,2.665229e-07,2.734606e-07,2.815207e-07,2.845766e-07,2.951304e-07,2.955408e-07,3.051224e-07,3.085828e-07,3.145573e-07,3.206590e-07,3.234436e-07,3.317923e-07,3.396170e-07,3.420127e-07,3.469329e-07,3.513556e-07,3.537565e-07,3.598600e-07,3.601050e-07,3.659966e-07,3.675669e-07,3.714495e-07,3.745184e-07,3.764821e-07,3.807567e-07,3.811128e-07,3.853597e-07,3.863239e-07,3.892407e-07,3.912608e-07,3.927732e-07,3.956072e-07,3.959744e-07,3.988608e-07,3.994017e-07,4.014484e-07,4.026811e-07,4.037528e-07,4.054806e-07,4.057890e-07,4.075714e-07,4.078339e-07,4.091137e-07,4.097727e-07,4.104294e-07,4.113272e-07,4.115311e-07,4.124309e-07,4.125259e-07,4.131407e-07,4.133957e-07,4.136715e-07,4.139617e-07,4.140339e-07,4.142382e-07,4.142480e-07,4.142939e-07,4.142767e-07,4.142103e-07,4.140689e-07,4.139963e-07,4.136600e-07,4.136442e-07,4.132096e-07,4.130210e-07,4.126525e-07,4.122165e-07,4.119960e-07,4.112469e-07,4.104116e-07,4.101272e-07,4.094964e-07,4.088714e-07,4.085070e-07,4.074927e-07,4.074491e-07,4.063278e-07,4.060032e-07,4.051481e-07,4.044143e-07,4.039148e-07,4.027365e-07,4.026322e-07,4.013047e-07,4.009798e-07,3.999361e-07,3.991533e-07,3.985304e-07,3.972653e-07,3.970909e-07,3.956212e-07,3.953239e-07,3.941244e-07,3.933363e-07,3.926034e-07,3.913092e-07,3.910611e-07,3.895002e-07,3.892489e-07,3.879232e-07,3.871612e-07,3.863324e-07,3.850514e-07,3.847301e-07,3.831184e-07,3.829244e-07,3.814992e-07,3.807848e-07,3.798743e-07,3.786367e-07,3.782455e-07,3.766145e-07,3.764840e-07,3.749827e-07,3.743301e-07,3.733515e-07,3.721783e-07,3.717224e-07,3.700965e-07,3.700315e-07,3.684749e-07,3.678925e-07,3.668589e-07,3.657636e-07,3.652493e-07,3.636472e-07,3.615451e-07,3.594594e-07,3.573916e-07,3.553432e-07,3.533155e-07,3.513097e-07,3.493270e-07,3.473681e-07,3.454340e-07,3.435254e-07,3.416428e-07,3.397868e-07,3.379578e-07,3.361563e-07,3.343824e-07,3.326364e-07,3.309186e-07,3.292289e-07,3.275675e-07,3.259344e-07,3.243295e-07,3.227529e-07,3.212043e-07,3.196836e-07
0.000000e+00,7.692491e-12,1.779121e-11,6.175417e-11,1.409114e-10,2.056806e-10,4.661726e-10,4.801550e-10,9.247773e-10,1.085197e-09,1.579708e-09,2.090896e-09,2.486631e-09,3.580050e-09,3.687954e-09,5.222351e-09,5.643425e-09,7.114981e-09,8.332482e-09,9.365568e-09,1.161942e-08,1.194477e-08,1.480433e-08,1.540520e-08,1.789164e-08,1.957076e-08,2.115840e-08,2.401023e-08,2.456257e-08,2.806763e-08,2.863559e-08,3.164113e-08,3.337202e-08,3.525381e-08,3.815418e-08,3.887904e-08,4.249273e-08,4.292454e-08,4.607319e-08,4.763304e-08,4.960125e-08,5.223716e-08,5.306021e-08,5.643588e-08,5.670197e-08,5.971644e-08,6.099982e-08,6.289236e-08,6.511001e-08,6.595624e-08,6.890250e-08,6.901785e-08,7.172732e-08,7.271405e-08,7.442843e-08,7.619392e-08,7.700475e-08,7.945629e-08,8.178404e-08,8.250304e-08,8.398974e-08,8.533837e-08,8.607569e-08,8.796816e-08,8.804472e-08,8.990001e-08,9.039958e-08,9.164506e-08,9.264071e-08,9.328358e-08,9.470020e-08,9.481938e-08,9.625633e-08,9.658692e-08,9.759832e-08,9.830982e-08,9.884927e-08,9.987787e-08,1.000130e-07,1.010934e-07,1.012999e-07,1.020942e-07,1.025843e-07,1.030190e-07,1.037396e-07,1.038712e-07,1.046544e-07,1.047735e-07,1.053719e-07,1.056938e-07,1.060268e-07,1.065077e-07,1.066222e-07,1.071612e-07,1.072222e-07,1.076464e-07,1.078437e-07,1.080808e-07,1.083785e-07,1.084669e-07,1.088071e-07,1.088324e-07,1.091040e-07,1.092111e-07,1.093597e-07,1.095196e-07,1.095765e-07,1.097566e-07,1.097630e-07,1.099017e-07,1.099458e-07,1.100140e-07,1.100725e-07,1.100952e-07,1.101470e-07,1.101711e-07,1.101732e-07,1.101690e-07,1.101547e-07,1.101423e-07,1.100949e-07,1.100924e-07,1.100207e-07,1.099969e-07,1.099284e-07,1.098637e-07,1.098168e-07,1.096981e-07,1.096871e-07,1.095403e-07,1.095027e-07,1.093776e-07,1.092798e-07,1.091999e-07,1.090319e-07,1.090082e-07,1.088034e-07,1.087610e-07,1.085864e-07,1.084690e-07,1.083580e-07,1.081579e-07,1.081190e-07,1.078701e-07,1.078294e-07,1.076121e-07,1.074852e-07,1.073455e-07,1.071266e-07,1.070711e-07,1.067895e-07,1.067552e-07,1.065012e-07,1.063723e-07,1.062067e-07,1.059791e-07,1.059066e-07,1.056014e-07,1.055768e-07,1.052915e-07,1.051664e-07,1.049774e-07,1.047489e-07,1.046595e-07,1.043382e-07,1.043253e-07,1.040138e-07,1.038964e-07,1.036868e-07,1.034630e-07,1.033574e-07,1.030260e-07,1.025859e-07,1.021435e-07,1.016993e-07,1.012539e-07,1.008078e-07,1.003615e-07,9.991547e-08,9.947009e-08,9.902574e-08,9.858278e-08,9.814154e-08,9.770230e-08,9.726536e-08,9.683095e-08,9.639932e-08,9.597067e-08,9.554519e-08,9.512307e-08,9.470447e-08,9.428952e-08,9.387837e-08,9.347112e-08,9.306790e-08,9.266878e-08
0.000000e+00,3.119854e-11,7.345592e-11,2.595392e-10,5.966647e-10,8.731508e-10,1.987290e-09,2.047155e-09,3.953045e-09,4.641594e-09,6.766125e-09,8.963007e-09,1.066148e-08,1.532292e-08,1.577909e-08,2.215854e-08,2.386991e-08,2.971460e-08,3.440374e-08,3.829477e-08,4.656629e-08,4.774055e-08,5.790658e-08,6.001421e-08,6.865770e-08,7.443619e-08,7.986377e-08,8.953517e-08,9.139740e-08,1.031345e-07,1.050232e-07,1.149561e-07,1.206275e-07,1.267510e-07,1.360991e-07,1.384177e-07,1.498663e-07,1.512217e-07,1.610193e-07,1.658159e-07,1.718122e-07,1.797414e-07,1.821928e-07,1.921212e-07,1.928950e-07,2.015683e-07,2.052076e-07,2.105145e-07,2.166391e-07,2.189488e-07,2.268677e-07,2.271738e-07,2.342737e-07,2.368155e-07,2.411741e-07,2.455832e-07,2.475802e-07,2.535063e-07,2.589690e-07,2.606222e-07,2.639866e-07,2.669730e-07,2.685781e-07,2.726038e-07,2.727637e-07,2.765634e-07,2.775609e-07,2.799975e-07,2.818908e-07,2.830860e-07,2.856389e-07,2.858483e-07,2.883037e-07,2.888494e-07,2.904706e-07,2.915647e-07,2.923667e-07,2.938249e-07,2.940091e-07,2.954141e-07,2.956680e-07,2.965972e-07,2.971297e-07,2.975732e-07,2.982433e-07,2.983562e-07,2.989594e-07,2.990401e-07,2.993954e-07,2.995489e-07,2.996762e-07,2.997966e-07,2.998130e-07,2.998162e-07,2.998081e-07,2.996960e-07,2.996064e-07,2.994617e-07,2.992127e-07,2.991220e-07,2.986854e-07,2.986465e-07,2.981596e-07,2.979259e-07,2.975518e-07,2.970674e-07,2.968690e-07,2.961176e-07,2.960862e-07,2.953037e-07,2.949964e-07,2.944327e-07,2.938107e-07,2.935102e-07,2.925409e-07,2.915295e-07,2.911976e-07,2.904803e-07,2.897909e-07,2.893974e-07,2.883295e-07,2.882845e-07,2.871451e-07,2.868218e-07,2.859826e-07,2.852752e-07,2.847999e-07,2.836965e-07,2.835999e-07,2.823853e-07,2.820919e-07,2.811586e-07,2.804671e-07,2.799219e-07,2.788271e-07,2.786774e-07,2.774272e-07,2.771766e-07,2.761730e-07,2.755198e-07,2.749166e-07,2.738605e-07,2.736594e-07,2.724030e-07,2.722021e-07,2.711486e-07,2.705477e-07,2.698976e-07,2.689000e-07,2.686510e-07,2.674100e-07,2.672615e-07,2.661753e-07,2.656344e-07,2.649481e-07,2.640207e-07,2.637289e-07,2.625186e-07,2.624222e-07,2.613179e-07,2.608404e-07,2.601273e-07,2.592766e-07,2.589474e-07,2.577786e-07,2.577321e-07,2.566216e-07,2.562079e-07,2.554765e-07,2.547049e-07,2.543438e-07,2.532239e-07,2.517654e-07,2.503301e-07,2.489184e-07,2.475307e-07,2.461672e-07,2.448281e-07,2.435136e-07,2.422237e-07,2.409585e-07,2.397179e-07,2.385019e-07,2.373103e-07,2.361431e-07,2.349999e-07,2.338807e-07,2.327851e-07,2.317130e-07,2.306641e-07,2.296380e-07,2.286345e-07,2.276532e-07,2.266938e-07,2.257560e-07,2.248395e-07
0.000000e+00,3.862908e-11,9.041107e-11,3.179915e-10,7.305102e-10,1.069195e-09,2.436275e-09,2.509804e-09,4.852749e-09,5.699837e-09,8.315316e-09,1.102445e-08,1.312488e-08,1.893979e-08,1.951439e-08,2.769489e-08,2.994188e-08,3.779688e-08,4.429594e-08,4.981046e-08,6.184715e-08,6.358616e-08,7.890073e-08,8.212761e-08,9.552217e-08,1.046104e-07,1.132382e-07,1.288263e-07,1.318591e-07,1.512120e-07,1.543655e-07,1.711357e-07,1.808567e-07,1.914777e-07,2.079551e-07,2.120935e-07,2.328468e-07,2.353402e-07,2.536102e-07,2.627188e-07,2.742668e-07,2.898287e-07,2.947105e-07,3.148472e-07,3.164423e-07,3.345946e-07,3.423683e-07,3.538820e-07,3.674506e-07,3.726505e-07,3.908517e-07,3.915674e-07,4.084474e-07,4.146277e-07,4.254083e-07,4.365682e-07,4.417135e-07,4.573490e-07,4.723073e-07,4.769505e-07,4.865863e-07,4.953693e-07,5.001884e-07,5.126154e-07,5.131199e-07,5.253903e-07,5.287092e-07,5.370117e-07,5.436789e-07,5.479983e-07,5.575588e-07,5.583658e-07,5.681314e-07,5.703875e-07,5.773130e-07,5.822066e-07,5.859294e-07,5.930593e-07,5.939996e-07,6.015429e-07,6.029900e-07,6.085787e-07,6.120432e-07,6.151264e-07,6.202633e-07,6.212052e-07,6.268339e-07,6.276940e-07,6.320311e-07,6.343779e-07,6.368151e-07,6.403567e-07,6.412036e-07,6.452140e-07,6.456707e-07,6.488632e-07,6.503586e-07,6.521674e-07,6.544577e-07,6.551426e-07,6.578041e-07,6.580039e-07,6.601667e-07,6.610313e-07,6.622449e-07,6.635728e-07,6.640524e-07,6.656025e-07,6.656593e-07,6.669081e-07,6.673207e-07,6.679816e-07,6.685850e-07,6.688347e-07,6.694791e-07,6.699255e-07,6.700282e-07,6.701845e-07,6.702566e-07,6.702662e-07,6.701869e-07,6.701804e-07,6.699362e-07,6.698407e-07,6.695426e-07,6.692383e-07,6.690082e-07,6.683990e-07,6.683409e-07,6.675488e-07,6.673409e-07,6.666392e-07,6.660811e-07,6.656192e-07,6.646358e-07,6.644957e-07,6.632753e-07,6.630201e-07,6.619641e-07,6.612483e-07,6.605680e-07,6.593340e-07,6.590928e-07,6.575439e-07,6.572896e-07,6.559265e-07,6.551272e-07,6.542454e-07,6.528578e-07,6.525053e-07,6.507108e-07,6.504920e-07,6.488661e-07,6.480396e-07,6.469752e-07,6.455096e-07,6.450420e-07,6.430702e-07,6.429109e-07,6.410633e-07,6.402514e-07,6.390245e-07,6.375387e-07,6.369571e-07,6.348641e-07,6.347799e-07,6.327482e-07,6.319814e-07,6.306122e-07,6.291495e-07,6.284586e-07,6.262900e-07,6.234080e-07,6.205087e-07,6.175966e-07,6.146760e-07,6.117509e-07,6.088250e-07,6.059017e-07,6.029842e-07,6.000754e-07,5.971779e-07,5.942943e-07,5.914269e-07,5.885776e-07,5.857485e-07,5.829412e-07,5.801574e-07,5.773985e-07,5.746657e-07,5.719604e-07,5.692834e-07,5.666358e-07,5.640184e-07,5.614320e-07,5.588772e-07
0.000000e+00,4.127482e-11,1.877040e-10,1.424080e-09,4.761621e-09,8.030742e-09,2.362329e-08,2.453536e-08,5.605441e-08,6.836185e-08,1.086084e-07,1.531805e-07,1.893731e-07,2.953720e-07,3.062256e-07,4.659135e-07,5.110057e-07,6.706877e-07,8.035817e-07,9.159226e-07,1.157784e-06,1.192252e-06,1.490108e-06,1.551572e-06,1.802119e-06,1.968158e-06,2.123055e-06,2.396724e-06,2.449107e-06,2.777314e-06,2.829860e-06,3.105267e-06,3.261993e-06,3.430962e-06,3.688759e-06,3.752727e-06,4.069188e-06,4.106751e-06,4.379230e-06,4.513381e-06,4.681974e-06,4.906756e-06,4.976744e-06,5.263036e-06,5.285561e-06,5.540493e-06,5.648946e-06,5.808880e-06,5.996422e-06,6.068060e-06,6.317977e-06,6.327780e-06,6.558638e-06,6.643020e-06,6.790103e-06,6.942295e-06,7.012469e-06,7.225866e-06,7.430449e-06,7.494082e-06,7.626391e-06,7.747346e-06,7.813881e-06,7.986103e-06,7.993117e-06,8.164307e-06,8.210828e-06,8.327664e-06,8.422006e-06,8.483400e-06,8.620133e-06,8.631732e-06,8.772878e-06,8.805708e-06,8.907056e-06,8.979231e-06,9.034479e-06,9.141188e-06,9.155354e-06,9.269890e-06,9.292056e-06,9.378304e-06,9.432331e-06,9.480809e-06,9.562490e-06,9.577601e-06,9.668871e-06,9.682976e-06,9.754824e-06,9.794248e-06,9.835646e-06,9.896732e-06,9.911518e-06,9.982621e-06,9.990840e-06,1.004913e-05,1.007698e-05,1.011122e-05,1.015555e-05,1.016906e-05,1.022280e-05,1.022693e-05,1.027262e-05,1.029148e-05,1.031865e-05,1.034954e-05,1.036106e-05,1.039998e-05,1.040146e-05,1.043555e-05,1.044757e-05,1.046792e-05,1.048816e-05,1.049721e-05,1.052354e-05,1.054706e-05,1.055400e-05,1.056786e-05,1.057981e-05,1.058608e-05,1.060123e-05,1.060182e-05,1.061518e-05,1.061852e-05,1.062629e-05,1.063190e-05,1.063522e-05,1.064162e-05,1.064209e-05,1.064699e-05,1.064789e-05,1.065001e-05,1.065091e-05,1.065123e-05,1.065089e-05,1.065075e-05,1.064864e-05,1.064803e-05,1.064498e-05,1.064249e-05,1.063984e-05,1.063445e-05,1.063331e-05,1.062545e-05,1.062407e-05,1.061633e-05,1.061152e-05,1.060601e-05,1.059694e-05,1.059456e-05,1.058204e-05,1.058047e-05,1.056850e-05,1.056224e-05,1.055401e-05,1.054239e-05,1.053861e-05,1.052237e-05,1.052103e-05,1.050531e-05,1.049828e-05,1.048751e-05,1.047425e-05,1.046900e-05,1.044982e-05,1.044904e-05,1.043002e-05,1.042275e-05,1.040964e-05,1.039547e-05,1.038872e-05,1.036729e-05,1.033830e-05,1.030856e-05,1.027817e-05,1.024718e-05,1.021566e-05,1.018368e-05,1.015130e-05,1.011856e-05,1.008553e-05,1.005225e-05,1.001878e-05,9.985140e-06,9.951390e-06,9.917562e-06,9.883693e-06,9.849817e-06,9.815966e-06,9.782169e-06,9.748455e-06,9.714849e-06,9.681376e-06,9.648057e-06,9.614915e-06,9.581967e-06
0.000000e+00,2.020198e-11,4.690567e-11,1.633605e-10,3.730543e-10,5.445132e-10,1.232899e-09,1.269798e-09,2.440866e-09,2.862422e-09,4.159243e-09,5.496203e-09,6.529104e-09,9.375181e-09,9.655500e-09,1.363258e-08,1.472124e-08,1.851725e-08,2.164814e-08,2.429810e-08,3.005928e-08,3.088876e-08,3.815767e-08,3.968044e-08,4.596575e-08,5.019641e-08,5.418666e-08,6.133066e-08,6.271082e-08,7.144269e-08,7.285327e-08,8.029749e-08,8.456879e-08,8.919903e-08,9.630749e-08,9.807858e-08,1.068745e-07,1.079217e-07,1.155320e-07,1.192850e-07,1.240037e-07,1.302927e-07,1.322490e-07,1.402338e-07,1.408605e-07,1.479311e-07,1.509245e-07,1.553194e-07,1.604388e-07,1.623833e-07,1.691120e-07,1.693741e-07,1.754993e-07,1.777146e-07,1.815428e-07,1.854563e-07,1.872433e-07,1.926044e-07,1.976319e-07,1.991714e-07,2.023332e-07,2.051749e-07,2.067173e-07,2.106370e-07,2.107943e-07,2.145751e-07,2.155822e-07,2.180710e-07,2.200366e-07,2.212937e-07,2.240275e-07,2.242551e-07,2.269671e-07,2.275822e-07,2.294416e-07,2.307280e-07,2.316903e-07,2.334914e-07,2.337246e-07,2.355556e-07,2.358984e-07,2.371943e-07,2.379739e-07,2.386511e-07,2.397417e-07,2.399362e-07,2.410593e-07,2.412246e-07,2.420297e-07,2.424440e-07,2.428565e-07,2.434203e-07,2.435483e-07,2.441131e-07,2.441727e-07,2.445588e-07,2.447192e-07,2.448929e-07,2.450766e-07,2.451225e-07,2.452543e-07,2.452608e-07,2.452947e-07,2.452866e-07,2.452497e-07,2.451678e-07,2.451252e-07,2.449266e-07,2.449172e-07,2.446592e-07,2.445470e-07,2.443277e-07,2.440681e-07,2.439369e-07,2.434911e-07,2.429946e-07,2.428256e-07,2.424511e-07,2.420804e-07,2.418645e-07,2.412640e-07,2.412382e-07,2.405756e-07,2.403840e-07,2.398797e-07,2.394475e-07,2.391535e-07,2.384610e-07,2.383998e-07,2.376210e-07,2.374307e-07,2.368198e-07,2.363622e-07,2.359985e-07,2.352607e-07,2.351590e-07,2.343037e-07,2.341308e-07,2.334342e-07,2.329771e-07,2.325525e-07,2.318036e-07,2.316601e-07,2.307588e-07,2.306139e-07,2.298500e-07,2.294115e-07,2.289350e-07,2.281995e-07,2.280152e-07,2.270917e-07,2.269807e-07,2.261658e-07,2.257579e-07,2.252384e-07,2.245333e-07,2.243106e-07,2.233832e-07,2.233091e-07,2.224572e-07,2.220873e-07,2.215333e-07,2.208698e-07,2.206122e-07,2.196947e-07,2.196580e-07,2.187813e-07,2.184536e-07,2.178727e-07,2.172579e-07,2.169694e-07,2.160719e-07,2.148969e-07,2.137337e-07,2.125832e-07,2.114462e-07,2.103233e-07,2.092151e-07,2.081221e-07,2.070447e-07,2.059834e-07,2.049383e-07,2.039098e-07,2.028981e-07,2.019033e-07,2.009255e-07,1.999649e-07,1.990214e-07,1.980951e-07,1.971859e-07,1.962938e-07,1.954187e-07,1.945606e-07,1.937193e-07,1.928946e-07,1.920865e-07
0.000000e+00,5.951677e-13,4.757524e-12,9.810283e-11,6.876437e-10,1.644107e-09,1.025127e-08,1.093442e-08,4.430370e-08,6.174097e-08,1.325170e-07,2.311572e-07,3.241823e-07,6.510151e-07,6.885150e-07,1.315159e-06,1.515797e-06,2.304661e-06,3.051484e-06,3.744959e-06,5.422636e-06,5.681206e-06,8.095761e-06,8.629996e-06,1.090927e-05,1.249047e-05,1.399992e-05,1.670932e-05,1.722989e-05,2.046883e-05,2.098029e-05,2.360880e-05,2.505644e-05,2.657051e-05,2.877640e-05,2.930295e-05,3.177917e-05,3.205854e-05,3.399073e-05,3.488080e-05,3.594222e-05,3.725923e-05,3.764667e-05,3.912200e-05,3.923073e-05,4.038851e-05,4.084136e-05,4.146719e-05,4.213912e-05,4.237860e-05,4.314224e-05,4.316997e-05,4.377613e-05,4.397579e-05,4.429672e-05,4.459359e-05,4.471875e-05,4.505533e-05,4.531799e-05,4.538811e-05,4.551679e-05,4.561460e-05,4.566048e-05,4.575357e-05,4.575658e-05,4.581159e-05,4.582040e-05,4.583105e-05,4.582768e-05,4.581973e-05,4.578563e-05,4.578169e-05,4.572041e-05,4.570258e-05,4.563885e-05,4.558529e-05,4.553957e-05,4.543931e-05,4.542478e-05,4.529635e-05,4.526918e-05,4.515595e-05,4.507869e-05,4.500501e-05,4.487099e-05,4.484477e-05,4.467635e-05,4.464871e-05,4.450072e-05,4.441411e-05,4.431874e-05,4.416912e-05,4.413120e-05,4.393878e-05,4.391540e-05,4.374213e-05,4.365440e-05,4.354179e-05,4.338738e-05,4.333828e-05,4.313207e-05,4.311546e-05,4.292357e-05,4.283962e-05,4.271317e-05,4.256072e-05,4.250124e-05,4.228808e-05,4.227953e-05,4.207400e-05,4.199676e-05,4.185927e-05,4.171302e-05,4.164415e-05,4.142885e-05,4.121360e-05,4.114476e-05,4.099859e-05,4.086118e-05,4.078399e-05,4.057852e-05,4.056997e-05,4.035669e-05,4.029713e-05,4.014429e-05,4.001732e-05,3.993288e-05,3.973938e-05,3.972260e-05,3.951354e-05,3.946356e-05,3.930581e-05,3.919009e-05,3.909949e-05,3.891917e-05,3.889467e-05,3.869143e-05,3.865097e-05,3.848983e-05,3.838566e-05,3.828993e-05,3.812338e-05,3.809180e-05,3.789547e-05,3.786423e-05,3.770101e-05,3.760833e-05,3.750844e-05,3.735578e-05,3.731780e-05,3.712914e-05,3.710663e-05,3.694246e-05,3.686097e-05,3.675781e-05,3.661884e-05,3.657520e-05,3.639464e-05,3.638029e-05,3.621616e-05,3.614535e-05,3.603977e-05,3.591406e-05,3.586547e-05,3.569327e-05,3.568643e-05,3.552318e-05,3.546246e-05,3.535520e-05,3.524218e-05,3.518933e-05,3.502558e-05,3.481265e-05,3.460338e-05,3.439776e-05,3.419577e-05,3.399738e-05,3.380258e-05,3.361134e-05,3.342362e-05,3.323939e-05,3.305861e-05,3.288126e-05,3.270728e-05,3.253665e-05,3.236932e-05,3.220524e-05,3.204437e-05,3.188667e-05,3.173209e-05,3.158059e-05,3.143212e-05,3.128663e-05,3.114408e-05,3.100442e-05,3.086761e-05
0.000000e+00,2.495794e-13,2.048877e-12,4.464885e-11,3.289472e-10,8.078981e-10,5.383603e-09,5.757226e-09,2.474223e-08,3.497895e-08,7.753279e-08,1.381756e-07,1.960370e-07,4.012241e-07,4.248483e-07,8.204573e-07,9.474527e-07,1.449651e-06,1.931719e-06,2.387424e-06,3.531799e-06,3.714302e-06,5.512614e-06,5.935919e-06,7.861162e-06,9.323189e-06,1.082834e-05,1.383658e-05,1.446481e-05,1.879753e-05,1.955577e-05,2.382669e-05,2.648133e-05,2.952620e-05,3.453630e-05,3.584727e-05,4.272370e-05,4.358259e-05,5.007791e-05,5.344371e-05,5.782645e-05,6.392690e-05,6.588463e-05,7.417003e-05,7.484030e-05,8.260485e-05,8.600434e-05,9.111745e-05,9.725809e-05,9.964316e-05,1.081246e-04,1.084622e-04,1.165115e-04,1.194991e-04,1.247607e-04,1.302726e-04,1.328356e-04,1.407058e-04,1.483465e-04,1.507397e-04,1.557381e-04,1.603307e-04,1.628653e-04,1.694486e-04,1.697173e-04,1.762865e-04,1.780745e-04,1.825684e-04,1.861989e-04,1.885614e-04,1.938199e-04,1.942657e-04,1.996837e-04,2.009418e-04,2.048192e-04,2.075736e-04,2.096774e-04,2.137279e-04,2.142642e-04,2.185864e-04,2.194198e-04,2.226516e-04,2.246665e-04,2.264676e-04,2.294864e-04,2.300426e-04,2.333848e-04,2.338986e-04,2.365029e-04,2.379224e-04,2.394053e-04,2.415775e-04,2.421004e-04,2.445966e-04,2.448832e-04,2.469023e-04,2.478585e-04,2.490254e-04,2.505219e-04,2.509740e-04,2.527558e-04,2.528914e-04,2.543783e-04,2.549843e-04,2.558487e-04,2.568174e-04,2.571743e-04,2.583619e-04,2.584066e-04,2.594180e-04,2.597673e-04,2.603491e-04,2.609140e-04,2.611614e-04,2.618608e-04,2.624530e-04,2.626208e-04,2.629436e-04,2.632066e-04,2.633378e-04,2.636302e-04,2.636407e-04,2.638571e-04,2.639029e-04,2.639918e-04,2.640353e-04,2.640493e-04,2.640376e-04,2.640337e-04,2.639493e-04,2.639193e-04,2.638000e-04,2.636895e-04,2.635896e-04,2.633567e-04,2.633216e-04,2.629995e-04,2.629289e-04,2.626266e-04,2.624137e-04,2.622061e-04,2.618182e-04,2.617409e-04,2.612340e-04,2.611492e-04,2.606880e-04,2.604128e-04,2.601056e-04,2.596151e-04,2.594893e-04,2.588414e-04,2.587616e-04,2.581642e-04,2.578575e-04,2.574598e-04,2.569077e-04,2.567304e-04,2.559779e-04,2.559167e-04,2.552040e-04,2.548890e-04,2.544107e-04,2.538284e-04,2.535996e-04,2.527722e-04,2.527388e-04,2.519301e-04,2.516236e-04,2.510747e-04,2.504862e-04,2.502074e-04,2.493296e-04,2.481566e-04,2.469700e-04,2.457721e-04,2.445653e-04,2.433518e-04,2.421334e-04,2.409121e-04,2.396896e-04,2.384674e-04,2.372469e-04,2.360296e-04,2.348167e-04,2.336093e-04,2.324084e-04,2.312150e-04,2.300300e-04,2.288541e-04,2.276882e-04,2.265328e-04,2.253885e-04,2.242559e-04,2.231355e-04,2.220276e-04,2.209328e-04
0.000000e+00,1.204052e-10,2.990687e-10,1.120105e-09,2.652261e-09,3.928187e-09,9.158468e-09,9.442293e-09,1.857363e-08,2.190785e-08,3.228209e-08,4.312510e-08,5.158327e-08,7.516933e-08,7.751092e-08,1.110208e-07,1.202788e-07,1.528280e-07,1.799860e-07,2.031915e-07,2.542948e-07,2.617191e-07,3.273326e-07,3.411737e-07,3.984864e-07,4.371234e-07,4.735315e-07,5.384929e-07,5.509980e-07,6.297030e-07,6.423464e-07,7.087336e-07,7.465718e-07,7.873895e-07,8.496746e-07,8.651266e-07,9.415175e-07,9.505771e-07,1.016225e-06,1.048492e-06,1.088982e-06,1.142846e-06,1.159584e-06,1.227875e-06,1.233235e-06,1.293740e-06,1.319389e-06,1.357103e-06,1.401147e-06,1.417915e-06,1.476155e-06,1.478432e-06,1.531822e-06,1.551234e-06,1.584929e-06,1.619596e-06,1.635508e-06,1.683597e-06,1.729246e-06,1.743347e-06,1.772509e-06,1.798973e-06,1.813447e-06,1.850620e-06,1.852125e-06,1.888607e-06,1.898438e-06,1.922964e-06,1.942585e-06,1.955263e-06,1.983221e-06,1.985575e-06,2.013968e-06,2.020505e-06,2.040513e-06,2.054597e-06,2.065278e-06,2.085652e-06,2.088330e-06,2.109735e-06,2.113825e-06,2.129559e-06,2.139264e-06,2.147865e-06,2.162115e-06,2.164715e-06,2.180171e-06,2.182518e-06,2.194290e-06,2.200609e-06,2.207130e-06,2.216519e-06,2.218747e-06,2.229195e-06,2.230372e-06,2.238526e-06,2.242291e-06,2.246791e-06,2.252390e-06,2.254039e-06,2.260318e-06,2.260780e-06,2.265673e-06,2.267566e-06,2.270148e-06,2.272850e-06,2.273787e-06,2.276630e-06,2.276728e-06,2.278718e-06,2.279292e-06,2.280088e-06,2.280629e-06,2.280778e-06,2.280822e-06,2.280255e-06,2.279950e-06,2.279110e-06,2.278088e-06,2.277418e-06,2.275308e-06,2.275210e-06,2.272514e-06,2.271676e-06,2.269359e-06,2.267257e-06,2.265772e-06,2.262111e-06,2.261777e-06,2.257400e-06,2.256295e-06,2.252665e-06,2.249865e-06,2.247593e-06,2.242869e-06,2.242207e-06,2.236528e-06,2.235358e-06,2.230574e-06,2.227377e-06,2.224366e-06,2.218968e-06,2.217921e-06,2.211257e-06,2.210172e-06,2.204390e-06,2.201027e-06,2.197336e-06,2.191569e-06,2.190111e-06,2.182728e-06,2.181832e-06,2.175201e-06,2.171847e-06,2.167544e-06,2.161644e-06,2.159768e-06,2.151887e-06,2.151252e-06,2.143910e-06,2.140695e-06,2.135850e-06,2.130000e-06,2.127715e-06,2.119516e-06,2.119187e-06,2.111263e-06,2.108280e-06,2.102963e-06,2.097297e-06,2.094626e-06,2.086258e-06,2.075180e-06,2.064079e-06,2.052970e-06,2.041867e-06,2.030783e-06,2.019730e-06,2.008719e-06,1.997760e-06,1.986863e-06,1.976035e-06,1.965286e-06,1.954623e-06,1.944051e-06,1.933578e-06,1.923208e-06,1.912946e-06,1.902797e-06,1.892765e-06,1.882853e-06,1.873065e-06,1.863402e-06,1.853869e-06,1.844465e-06,1.835194e-06
0.000000e+00,1.473060e-11,3.532777e-11,1.272825e-10,2.951658e-10,4.331511e-10,9.884850e-10,1.018247e-09,1.960031e-09,2.297351e-09,3.328460e-09,4.380744e-09,5.186327e-09,7.374862e-09,7.588115e-09,1.057566e-08,1.138270e-08,1.416934e-08,1.644403e-08,1.835870e-08,2.250570e-08,2.310227e-08,2.833865e-08,2.943904e-08,3.399888e-08,3.708643e-08,4.001294e-08,4.528771e-08,4.631189e-08,5.282853e-08,5.388702e-08,5.949797e-08,6.273529e-08,6.625845e-08,7.169347e-08,7.305229e-08,7.982661e-08,8.063591e-08,8.653406e-08,8.945324e-08,9.313312e-08,9.805383e-08,9.958826e-08,1.058698e-07,1.063641e-07,1.119538e-07,1.143277e-07,1.178214e-07,1.219039e-07,1.234584e-07,1.288549e-07,1.290657e-07,1.340048e-07,1.357977e-07,1.389048e-07,1.420939e-07,1.435546e-07,1.479558e-07,1.521119e-07,1.533908e-07,1.560277e-07,1.584105e-07,1.597093e-07,1.630297e-07,1.631636e-07,1.663979e-07,1.672652e-07,1.694204e-07,1.711356e-07,1.722392e-07,1.746597e-07,1.748626e-07,1.772992e-07,1.778571e-07,1.795573e-07,1.807470e-07,1.816452e-07,1.833484e-07,1.835712e-07,1.853431e-07,1.856797e-07,1.869689e-07,1.877590e-07,1.884559e-07,1.896032e-07,1.898116e-07,1.910428e-07,1.912287e-07,1.921562e-07,1.926508e-07,1.931584e-07,1.938842e-07,1.940555e-07,1.948535e-07,1.949428e-07,1.955580e-07,1.958397e-07,1.961743e-07,1.965870e-07,1.967078e-07,1.971631e-07,1.971963e-07,1.975451e-07,1.976784e-07,1.978582e-07,1.980434e-07,1.981066e-07,1.982943e-07,1.983006e-07,1.984252e-07,1.984591e-07,1.985028e-07,1.985269e-07,1.985306e-07,1.985118e-07,1.984496e-07,1.984210e-07,1.983469e-07,1.982612e-07,1.982064e-07,1.980384e-07,1.980308e-07,1.978225e-07,1.977587e-07,1.975840e-07,1.974272e-07,1.973173e-07,1.970491e-07,1.970248e-07,1.967082e-07,1.966289e-07,1.963696e-07,1.961710e-07,1.960106e-07,1.956793e-07,1.956330e-07,1.952384e-07,1.951575e-07,1.948282e-07,1.946092e-07,1.944038e-07,1.940374e-07,1.939666e-07,1.935178e-07,1.934450e-07,1.930586e-07,1.928349e-07,1.925902e-07,1.922094e-07,1.921135e-07,1.916295e-07,1.915710e-07,1.911392e-07,1.909216e-07,1.906434e-07,1.902634e-07,1.901429e-07,1.896386e-07,1.895981e-07,1.891310e-07,1.889273e-07,1.886210e-07,1.882526e-07,1.881091e-07,1.875959e-07,1.875754e-07,1.870820e-07,1.868970e-07,1.865679e-07,1.862185e-07,1.860541e-07,1.855410e-07,1.848655e-07,1.841929e-07,1.835240e-07,1.828595e-07,1.822001e-07,1.815464e-07,1.808989e-07,1.802581e-07,1.796244e-07,1.789982e-07,1.783799e-07,1.777697e-07,1.771679e-07,1.765748e-07,1.759905e-07,1.754151e-07,1.748489e-07,1.742919e-07,1.737441e-07,1.732058e-07,1.726769e-07,1.721573e-07,1.716473e-07,1.711466e-07
0.000000e+00,1.182427e-14,1.057322e-13,2.754350e-12,2.390683e-11,6.427390e-11,5.417706e-10,5.849562e-10,3.179230e-09,4.791569e-09,1.247605e-08,2.532832e-08,3.911904e-08,9.675983e-08,1.041184e-07,2.445898e-07,2.956321e-07,5.207904e-07,7.673161e-07,1.024202e-06,1.758359e-06,1.886186e-06,3.286510e-06,3.650865e-06,5.460958e-06,6.993854e-06,8.707260e-06,1.252635e-05,1.338877e-05,1.993548e-05,2.118823e-05,2.884233e-05,3.411688e-05,4.066468e-05,5.262915e-05,5.601116e-05,7.553433e-05,7.819006e-05,9.991937e-05,1.123703e-04,1.298713e-04,1.567956e-04,1.661012e-04,2.093119e-04,2.130909e-04,2.601837e-04,2.828232e-04,3.193601e-04,3.674450e-04,3.874349e-04,4.649401e-04,4.682432e-04,5.523349e-04,5.862933e-04,6.499968e-04,7.224227e-04,7.582146e-04,8.771829e-04,1.006998e-03,1.050832e-03,1.147658e-03,1.243329e-03,1.299061e-03,1.454332e-03,1.461009e-03,1.633210e-03,1.683214e-03,1.815283e-03,1.929077e-03,2.006766e-03,2.190779e-03,2.207120e-03,2.415741e-03,2.466967e-03,2.631962e-03,2.756102e-03,2.855071e-03,3.056504e-03,3.084311e-03,3.318894e-03,3.366380e-03,3.558009e-03,3.683867e-03,3.800832e-03,4.007060e-03,4.046531e-03,4.294275e-03,4.334049e-03,4.543244e-03,4.662948e-03,4.792634e-03,4.991920e-03,5.041659e-03,5.289564e-03,5.319203e-03,5.535623e-03,5.643125e-03,5.779146e-03,5.962126e-03,6.019483e-03,6.256023e-03,6.274765e-03,6.488201e-03,6.579732e-03,6.715495e-03,6.875854e-03,6.937430e-03,7.153577e-03,7.162097e-03,7.363552e-03,7.437566e-03,7.567018e-03,7.701506e-03,7.763682e-03,7.953295e-03,8.135650e-03,8.192442e-03,8.310581e-03,8.418579e-03,8.477959e-03,8.631453e-03,8.637695e-03,8.789732e-03,8.830918e-03,8.934045e-03,9.016928e-03,9.070643e-03,9.189527e-03,9.199558e-03,9.320853e-03,9.348838e-03,9.434609e-03,9.495059e-03,9.540933e-03,9.628448e-03,9.639949e-03,9.731796e-03,9.749319e-03,9.816632e-03,9.858032e-03,9.894626e-03,9.954984e-03,9.965957e-03,1.003082e-02,1.004061e-02,1.008940e-02,1.011536e-02,1.014192e-02,1.017971e-02,1.018858e-02,1.022959e-02,1.023414e-02,1.026518e-02,1.027917e-02,1.029554e-02,1.031527e-02,1.032092e-02,1.034152e-02,1.034296e-02,1.035755e-02,1.036273e-02,1.036923e-02,1.037507e-02,1.037678e-02,1.038039e-02,1.038046e-02,1.038028e-02,1.037937e-02,1.037664e-02,1.037225e-02,1.036966e-02,1.035954e-02,1.034168e-02,1.031906e-02,1.029209e-02,1.026113e-02,1.022655e-02,1.018867e-02,1.014782e-02,1.010429e-02,1.005839e-02,1.001036e-02,9.960460e-03,9.908930e-03,9.855988e-03,9.801836e-03,9.746667e-03,9.690657e-03,9.633969e-03,9.576755e-03,9.519154e-03,9.461294e-03,9.403295e-03,9.345264e-03,9.287299e-03,9.229493e-03
0.000000e+00,3.104309e-13,2.398227e-12,4.616878e-11,3.046158e-10,7.050277e-10,4.048436e-09,4.303906e-09,1.607889e-08,2.191325e-08,4.442635e-08,7.389952e-08,1.003996e-07,1.874320e-07,1.969838e-07,3.485119e-07,3.947376e-07,5.702782e-07,7.310618e-07,8.781747e-07,1.232972e-06,1.288043e-06,1.814417e-06,1.934747e-06,2.468544e-06,2.861329e-06,3.256051e-06,4.019551e-06,4.175139e-06,5.216166e-06,5.393037e-06,6.362933e-06,6.945041e-06,7.595043e-06,8.627391e-06,8.890498e-06,1.022784e-05,1.039018e-05,1.158752e-05,1.218837e-05,1.295253e-05,1.398462e-05,1.430858e-05,1.564388e-05,1.574951e-05,1.694885e-05,1.746056e-05,1.821580e-05,1.910103e-05,1.943871e-05,2.061290e-05,2.065880e-05,2.173490e-05,2.212553e-05,2.280222e-05,2.349593e-05,2.381328e-05,2.476722e-05,2.566383e-05,2.593867e-05,2.650341e-05,2.701114e-05,2.728672e-05,2.798681e-05,2.801489e-05,2.868933e-05,2.886877e-05,2.931168e-05,2.966084e-05,2.988375e-05,3.036731e-05,3.040748e-05,3.088488e-05,3.099280e-05,3.131803e-05,3.154204e-05,3.170900e-05,3.201983e-05,3.205989e-05,3.237275e-05,3.243094e-05,3.264963e-05,3.278004e-05,3.289249e-05,3.307162e-05,3.310327e-05,3.328384e-05,3.331004e-05,3.343598e-05,3.349943e-05,3.356144e-05,3.364371e-05,3.366188e-05,3.373887e-05,3.374661e-05,3.379395e-05,3.381162e-05,3.382856e-05,3.384201e-05,3.384407e-05,3.384179e-05,3.384088e-05,3.382298e-05,3.381109e-05,3.378881e-05,3.375533e-05,3.374040e-05,3.367882e-05,3.367609e-05,3.360505e-05,3.357569e-05,3.352005e-05,3.345629e-05,3.342471e-05,3.331989e-05,3.320637e-05,3.316833e-05,3.308490e-05,3.300332e-05,3.295620e-05,3.282645e-05,3.282092e-05,3.267970e-05,3.263918e-05,3.253312e-05,3.244283e-05,3.238173e-05,3.223866e-05,3.222606e-05,3.206658e-05,3.202779e-05,3.190375e-05,3.181126e-05,3.173800e-05,3.159004e-05,3.156973e-05,3.139931e-05,3.136500e-05,3.122709e-05,3.113694e-05,3.105340e-05,3.090658e-05,3.087854e-05,3.070279e-05,3.067460e-05,3.052641e-05,3.044160e-05,3.034965e-05,3.020813e-05,3.017274e-05,2.999589e-05,2.997468e-05,2.981929e-05,2.974171e-05,2.964312e-05,2.950963e-05,2.946755e-05,2.929274e-05,2.927879e-05,2.911881e-05,2.904953e-05,2.894592e-05,2.882213e-05,2.877416e-05,2.860366e-05,2.859687e-05,2.843451e-05,2.837397e-05,2.826681e-05,2.815363e-05,2.810063e-05,2.793604e-05,2.772136e-05,2.750971e-05,2.730121e-05,2.709596e-05,2.689405e-05,2.669554e-05,2.650048e-05,2.630893e-05,2.612090e-05,2.593641e-05,2.575549e-05,2.557813e-05,2.540432e-05,2.523406e-05,2.506733e-05,2.490411e-05,2.474436e-05,2.458806e-05,2.443516e-05,2.428564e-05,2.413944e-05,2.399652e-05,2.385684e-05,2.372034e-05
0.000000e+00,1.001419e-14,8.930460e-14,2.312869e-12,1.996516e-11,5.351103e-11,4.473351e-10,4.828261e-10,2.601449e-09,3.911169e-09,1.011925e-08,2.043407e-08,3.144663e-08,7.713309e-08,8.293801e-08,1.930318e-07,2.327899e-07,4.071576e-07,5.967270e-07,7.932095e-07,1.350701e-06,1.447303e-06,2.499427e-06,2.771745e-06,4.118474e-06,5.252904e-06,6.516064e-06,9.317953e-06,9.948589e-06,1.471706e-05,1.562637e-05,2.116457e-05,2.496616e-05,2.967134e-05,3.823440e-05,4.064774e-05,5.452533e-05,5.640658e-05,7.174682e-05,8.049801e-05,9.275510e-05,1.115204e-04,1.179820e-04,1.478374e-04,1.504373e-04,1.826985e-04,1.981213e-04,2.229008e-04,2.553158e-04,2.687293e-04,3.204123e-04,3.226039e-04,3.781158e-04,4.003844e-04,4.419403e-04,4.888567e-04,5.119184e-04,5.880146e-04,6.701265e-04,6.976472e-04,7.580871e-04,8.173485e-04,8.516686e-04,9.465316e-04,9.505868e-04,1.054506e-03,1.084449e-03,1.163047e-03,1.230217e-03,1.275791e-03,1.382840e-03,1.392286e-03,1.512058e-03,1.541237e-03,1.634613e-03,1.704271e-03,1.759444e-03,1.870773e-03,1.886041e-03,2.013893e-03,2.039569e-03,2.142494e-03,2.209498e-03,2.271351e-03,2.379437e-03,2.399984e-03,2.527934e-03,2.548313e-03,2.654763e-03,2.715120e-03,2.780058e-03,2.878929e-03,2.903434e-03,3.024534e-03,3.038897e-03,3.143032e-03,3.194269e-03,3.258633e-03,3.344388e-03,3.371072e-03,3.480116e-03,3.488687e-03,3.585563e-03,3.626696e-03,3.687241e-03,3.758034e-03,3.785006e-03,3.878744e-03,3.882408e-03,3.968365e-03,3.999608e-03,4.053807e-03,4.109499e-03,4.135030e-03,4.212017e-03,4.284771e-03,4.307162e-03,4.353314e-03,4.394989e-03,4.417685e-03,4.475607e-03,4.477939e-03,4.534143e-03,4.549165e-03,4.586378e-03,4.615851e-03,4.634735e-03,4.675884e-03,4.679314e-03,4.720223e-03,4.729508e-03,4.757577e-03,4.776987e-03,4.791496e-03,4.818602e-03,4.822104e-03,4.849528e-03,4.854642e-03,4.873898e-03,4.885407e-03,4.895344e-03,4.911196e-03,4.913999e-03,4.929992e-03,4.932313e-03,4.943455e-03,4.949056e-03,4.954516e-03,4.961721e-03,4.963303e-03,4.969939e-03,4.970597e-03,4.974548e-03,4.975965e-03,4.977248e-03,4.978095e-03,4.978156e-03,4.977382e-03,4.977251e-03,4.975037e-03,4.973683e-03,4.971225e-03,4.967629e-03,4.966047e-03,4.959600e-03,4.959317e-03,4.951976e-03,4.948961e-03,4.943266e-03,4.936766e-03,4.933554e-03,4.922920e-03,4.907604e-03,4.890983e-03,4.873216e-03,4.854448e-03,4.834813e-03,4.814437e-03,4.793435e-03,4.771914e-03,4.749971e-03,4.727695e-03,4.705168e-03,4.682466e-03,4.659655e-03,4.636797e-03,4.613949e-03,4.591160e-03,4.568476e-03,4.545938e-03,4.523581e-03,4.501438e-03,4.479538e-03,4.457906e-03,4.436563e-03,4.415528e-03
0.000000e+00,6.519912e-11,1.530515e-10,5.406904e-10,1.246877e-09,1.829268e-09,4.199820e-09,4.328143e-09,8.455931e-09,9.965358e-09,1.467531e-08,1.962115e-08,2.349351e-08,3.432696e-08,3.540279e-08,5.071184e-08,5.489208e-08,6.933618e-08,8.104855e-08,9.080979e-08,1.115940e-07,1.145431e-07,1.400195e-07,1.452862e-07,1.668284e-07,1.811828e-07,1.946361e-07,2.185556e-07,2.231557e-07,2.521313e-07,2.567940e-07,2.813317e-07,2.953658e-07,3.105488e-07,3.338096e-07,3.395979e-07,3.683177e-07,3.717352e-07,3.965706e-07,4.088235e-07,4.242415e-07,4.448236e-07,4.512365e-07,4.774807e-07,4.795460e-07,5.029167e-07,5.128548e-07,5.275018e-07,5.446591e-07,5.512064e-07,5.740115e-07,5.749048e-07,5.959075e-07,6.035670e-07,6.168924e-07,6.306435e-07,6.369701e-07,6.561496e-07,6.744440e-07,6.801138e-07,6.918694e-07,7.025741e-07,7.084443e-07,7.235752e-07,7.241893e-07,7.391261e-07,7.431667e-07,7.532776e-07,7.614013e-07,7.666673e-07,7.783336e-07,7.793192e-07,7.912575e-07,7.940192e-07,8.025065e-07,8.085139e-07,8.130904e-07,8.218732e-07,8.230333e-07,8.323587e-07,8.341517e-07,8.410901e-07,8.454033e-07,8.492505e-07,8.556803e-07,8.568623e-07,8.639476e-07,8.650338e-07,8.705278e-07,8.735131e-07,8.766239e-07,8.811660e-07,8.822564e-07,8.874450e-07,8.880387e-07,8.922091e-07,8.941756e-07,8.965673e-07,8.996193e-07,9.005378e-07,9.041381e-07,9.044106e-07,9.073851e-07,9.085888e-07,9.102954e-07,9.121912e-07,9.128848e-07,9.151686e-07,9.152538e-07,9.171616e-07,9.178106e-07,9.188781e-07,9.198944e-07,9.203318e-07,9.215361e-07,9.225036e-07,9.227653e-07,9.232468e-07,9.236101e-07,9.237773e-07,9.240971e-07,9.241066e-07,9.242456e-07,9.242518e-07,9.242047e-07,9.240981e-07,9.239942e-07,9.236589e-07,9.236236e-07,9.231022e-07,9.229556e-07,9.224390e-07,9.220088e-07,9.216424e-07,9.208377e-07,9.207207e-07,9.196817e-07,9.194605e-07,9.185328e-07,9.178944e-07,9.172814e-07,9.161558e-07,9.159341e-07,9.144976e-07,9.142599e-07,9.129782e-07,9.122211e-07,9.113818e-07,9.100531e-07,9.097141e-07,9.079807e-07,9.077685e-07,9.061867e-07,9.053795e-07,9.043371e-07,9.028972e-07,9.024367e-07,9.004899e-07,9.003323e-07,8.985010e-07,8.976946e-07,8.964741e-07,8.949935e-07,8.944132e-07,8.923218e-07,8.922376e-07,8.902036e-07,8.894351e-07,8.880618e-07,8.865935e-07,8.858996e-07,8.837200e-07,8.808211e-07,8.779030e-07,8.749713e-07,8.720315e-07,8.690884e-07,8.661466e-07,8.632102e-07,8.602832e-07,8.573691e-07,8.544712e-07,8.515925e-07,8.487358e-07,8.459036e-07,8.430982e-07,8.403217e-07,8.375759e-07,8.348625e-07,8.321831e-07,8.295390e-07,8.269314e-07,8.243613e-07,8.218296e-07,8.193372e-07,8.168846e-07
0.000000e+00,2.342771e-13,1.783363e-12,3.332288e-11,2.141837e-10,4.888738e-10,2.712272e-09,2.879531e-09,1.042109e-08,1.408596e-08,2.799320e-08,4.585380e-08,6.169740e-08,1.128280e-07,1.183768e-07,2.052752e-07,2.314501e-07,3.297930e-07,4.186656e-07,4.991344e-07,6.902920e-07,7.196205e-07,9.956773e-07,1.057755e-06,1.328913e-06,1.524402e-06,1.717796e-06,2.084413e-06,2.158076e-06,2.643655e-06,2.725088e-06,3.167519e-06,3.430444e-06,3.722434e-06,4.183988e-06,4.301373e-06,4.897716e-06,4.970150e-06,5.505323e-06,5.774767e-06,6.118551e-06,6.585179e-06,6.732254e-06,7.341783e-06,7.390237e-06,7.942996e-06,8.180322e-06,8.532265e-06,8.947375e-06,9.106478e-06,9.663034e-06,9.684897e-06,1.019983e-05,1.038790e-05,1.071522e-05,1.105282e-05,1.120799e-05,1.167733e-05,1.212275e-05,1.226019e-05,1.254406e-05,1.280108e-05,1.294135e-05,1.330041e-05,1.331490e-05,1.366516e-05,1.375915e-05,1.399276e-05,1.417872e-05,1.429838e-05,1.456084e-05,1.458283e-05,1.484696e-05,1.490742e-05,1.509165e-05,1.522053e-05,1.531782e-05,1.550224e-05,1.552637e-05,1.571822e-05,1.575466e-05,1.589425e-05,1.597983e-05,1.605535e-05,1.617974e-05,1.620235e-05,1.633608e-05,1.635629e-05,1.645731e-05,1.651129e-05,1.656681e-05,1.664644e-05,1.666528e-05,1.675341e-05,1.676332e-05,1.683184e-05,1.686343e-05,1.690118e-05,1.694817e-05,1.696202e-05,1.701491e-05,1.701881e-05,1.706035e-05,1.707655e-05,1.709884e-05,1.712250e-05,1.713083e-05,1.715677e-05,1.715768e-05,1.717704e-05,1.718303e-05,1.719205e-05,1.719942e-05,1.720214e-05,1.720764e-05,1.720889e-05,1.720844e-05,1.720618e-05,1.720249e-05,1.719978e-05,1.719041e-05,1.718995e-05,1.717696e-05,1.717278e-05,1.716101e-05,1.715012e-05,1.714234e-05,1.712292e-05,1.712114e-05,1.709760e-05,1.709162e-05,1.707191e-05,1.705664e-05,1.704423e-05,1.701835e-05,1.701471e-05,1.698352e-05,1.697709e-05,1.695077e-05,1.693318e-05,1.691662e-05,1.688692e-05,1.688116e-05,1.684453e-05,1.683857e-05,1.680683e-05,1.678838e-05,1.676815e-05,1.673658e-05,1.672860e-05,1.668826e-05,1.668337e-05,1.664721e-05,1.662895e-05,1.660554e-05,1.657349e-05,1.656330e-05,1.652059e-05,1.651715e-05,1.647745e-05,1.646008e-05,1.643394e-05,1.640243e-05,1.639013e-05,1.634607e-05,1.634430e-05,1.630180e-05,1.628582e-05,1.625737e-05,1.622709e-05,1.621282e-05,1.616820e-05,1.610925e-05,1.605031e-05,1.599147e-05,1.593277e-05,1.587430e-05,1.581609e-05,1.575821e-05,1.570070e-05,1.564360e-05,1.558695e-05,1.553078e-05,1.547512e-05,1.542001e-05,1.536546e-05,1.531149e-05,1.525814e-05,1.520541e-05,1.515332e-05,1.510188e-05,1.505111e-05,1.500101e-05,1.495159e-05,1.490287e-05,1.485483e-05
0.000000e+00,1.295942e-14,1.122271e-13,2.734444e-12,2.230100e-11,5.790968e-11,4.454097e-10,4.790989e-10,2.371230e-09,3.482518e-09,8.490032e-09,1.632953e-08,2.433879e-08,5.554518e-08,5.935795e-08,1.280679e-07,1.517187e-07,2.510407e-07,3.534905e-07,4.555495e-07,7.298654e-07,7.756615e-07,1.251497e-06,1.369213e-06,1.927496e-06,2.373456e-06,2.849796e-06,3.847664e-06,4.063064e-06,5.607255e-06,5.887324e-06,7.514703e-06,8.566326e-06,9.807879e-06,1.192804e-05,1.249794e-05,1.558413e-05,1.598062e-05,1.905394e-05,2.069651e-05,2.288390e-05,2.601548e-05,2.704090e-05,3.148379e-05,3.185018e-05,3.616520e-05,3.809307e-05,4.103346e-05,4.462395e-05,4.603443e-05,5.111324e-05,5.131725e-05,5.621589e-05,5.804860e-05,6.129053e-05,6.470038e-05,6.628867e-05,7.116601e-05,7.588312e-05,7.735303e-05,8.040584e-05,8.318488e-05,8.470548e-05,8.860174e-05,8.875891e-05,9.254836e-05,9.356027e-05,9.606125e-05,9.803280e-05,9.928978e-05,1.020059e-04,1.022305e-04,1.048840e-04,1.054785e-04,1.072541e-04,1.084601e-04,1.093477e-04,1.109686e-04,1.111740e-04,1.127442e-04,1.130285e-04,1.140708e-04,1.146690e-04,1.151678e-04,1.159223e-04,1.160496e-04,1.167310e-04,1.168224e-04,1.172271e-04,1.174037e-04,1.175527e-04,1.177003e-04,1.177225e-04,1.177506e-04,1.177451e-04,1.176505e-04,1.175693e-04,1.174352e-04,1.172021e-04,1.171169e-04,1.167068e-04,1.166704e-04,1.162157e-04,1.159988e-04,1.156534e-04,1.152095e-04,1.150289e-04,1.143505e-04,1.143224e-04,1.136258e-04,1.133549e-04,1.128617e-04,1.123227e-04,1.120643e-04,1.112394e-04,1.103919e-04,1.101167e-04,1.095264e-04,1.089650e-04,1.086470e-04,1.077930e-04,1.077572e-04,1.068603e-04,1.066083e-04,1.059591e-04,1.054173e-04,1.050560e-04,1.042255e-04,1.041533e-04,1.032530e-04,1.030375e-04,1.023567e-04,1.018570e-04,1.014658e-04,1.006875e-04,1.005818e-04,9.970560e-05,9.953139e-05,9.883825e-05,9.839099e-05,9.798055e-05,9.726806e-05,9.713320e-05,9.629678e-05,9.616400e-05,9.547180e-05,9.507999e-05,9.465865e-05,9.401689e-05,9.385769e-05,9.306916e-05,9.297538e-05,9.229328e-05,9.195594e-05,9.153020e-05,9.095889e-05,9.078003e-05,9.004283e-05,8.998442e-05,8.931863e-05,8.903260e-05,8.860744e-05,8.810341e-05,8.790921e-05,8.722390e-05,8.719675e-05,8.655143e-05,8.631247e-05,8.589172e-05,8.545034e-05,8.524465e-05,8.461010e-05,8.379144e-05,8.299403e-05,8.221749e-05,8.146144e-05,8.072549e-05,8.000920e-05,7.931216e-05,7.863394e-05,7.797409e-05,7.733219e-05,7.670779e-05,7.610045e-05,7.550973e-05,7.493521e-05,7.437645e-05,7.383303e-05,7.330454e-05,7.279056e-05,7.229070e-05,7.180455e-05,7.133174e-05,7.087187e-05,7.042459e-05,6.998952e-05
0.000000e+00,3.511150e-13,8.031837e-13,2.749736e-12,6.218293e-12,9.035356e-12,2.023171e-11,2.082755e-11,3.954674e-11,4.620239e-11,6.643212e-11,8.693584e-11,1.025560e-10,1.447385e-10,1.488332e-10,2.060222e-10,2.214407e-10,2.747139e-10,3.183613e-10,3.552996e-10,4.361659e-10,4.479110e-10,5.523449e-10,5.746053e-10,6.680103e-10,7.322892e-10,7.939497e-10,9.067895e-10,9.289414e-10,1.071628e-09,1.095078e-09,1.220615e-09,1.293964e-09,1.374534e-09,1.500328e-09,1.532061e-09,1.691934e-09,1.711219e-09,1.852959e-09,1.923885e-09,2.014020e-09,2.135811e-09,2.174084e-09,2.332210e-09,2.344750e-09,2.487552e-09,2.548740e-09,2.639369e-09,2.746129e-09,2.787017e-09,2.929956e-09,2.935569e-09,3.067744e-09,3.116017e-09,3.200032e-09,3.286709e-09,3.326558e-09,3.447139e-09,3.561668e-09,3.597029e-09,3.670095e-09,3.736289e-09,3.772431e-09,3.864996e-09,3.868733e-09,3.959099e-09,3.983355e-09,4.043660e-09,4.091675e-09,4.122574e-09,4.190341e-09,4.196020e-09,4.264193e-09,4.279793e-09,4.327302e-09,4.360510e-09,4.385560e-09,4.432989e-09,4.439187e-09,4.488404e-09,4.497737e-09,4.533431e-09,4.555261e-09,4.574485e-09,4.606058e-09,4.611781e-09,4.645526e-09,4.650610e-09,4.675923e-09,4.689381e-09,4.703165e-09,4.722813e-09,4.727439e-09,4.748926e-09,4.751325e-09,4.767796e-09,4.775312e-09,4.784213e-09,4.795144e-09,4.798331e-09,4.810298e-09,4.811166e-09,4.820253e-09,4.823701e-09,4.828327e-09,4.833048e-09,4.834647e-09,4.839329e-09,4.839484e-09,4.842483e-09,4.843266e-09,4.844215e-09,4.844631e-09,4.844623e-09,4.843799e-09,4.841829e-09,4.840970e-09,4.838795e-09,4.836331e-09,4.834775e-09,4.830053e-09,4.829839e-09,4.824056e-09,4.822294e-09,4.817488e-09,4.813196e-09,4.810196e-09,4.802895e-09,4.802234e-09,4.793656e-09,4.791511e-09,4.784509e-09,4.779156e-09,4.774841e-09,4.765935e-09,4.764693e-09,4.754107e-09,4.751941e-09,4.743121e-09,4.737261e-09,4.731769e-09,4.721975e-09,4.720084e-09,4.708099e-09,4.706156e-09,4.695842e-09,4.689871e-09,4.683341e-09,4.673181e-09,4.670621e-09,4.657706e-09,4.656144e-09,4.644618e-09,4.638811e-09,4.631379e-09,4.621229e-09,4.618009e-09,4.604525e-09,4.603442e-09,4.590945e-09,4.585490e-09,4.577285e-09,4.567409e-09,4.563561e-09,4.549785e-09,4.549233e-09,4.535973e-09,4.530993e-09,4.522135e-09,4.512717e-09,4.508283e-09,4.494429e-09,4.476155e-09,4.457914e-09,4.439727e-09,4.421611e-09,4.403583e-09,4.385657e-09,4.367846e-09,4.350163e-09,4.332619e-09,4.315223e-09,4.297984e-09,4.280910e-09,4.264009e-09,4.247287e-09,4.230748e-09,4.214399e-09,4.198243e-09,4.182284e-09,4.166526e-09,4.150971e-09,4.135621e-09,4.120479e-09,4.105545e-09,4.090821e-09
0.000000e+00,4.666274e-13,3.647446e-12,7.191073e-11,4.846263e-10,1.134593e-09,6.708573e-09,7.140369e-09,2.746333e-08,3.773083e-08,7.809507e-08,1.321974e-07,1.817494e-07,3.490014e-07,3.677087e-07,6.716612e-07,7.666318e-07,1.134322e-06,1.478257e-06,1.796787e-06,2.572123e-06,2.692762e-06,3.841392e-06,4.101898e-06,5.244646e-06,6.071171e-06,6.889737e-06,8.442251e-06,8.754229e-06,1.081121e-05,1.115633e-05,1.303300e-05,1.415013e-05,1.539305e-05,1.736399e-05,1.786668e-05,2.043095e-05,2.074372e-05,2.306435e-05,2.423965e-05,2.574645e-05,2.780538e-05,2.845774e-05,3.117956e-05,3.139722e-05,3.389423e-05,3.497435e-05,3.658519e-05,3.849936e-05,3.923715e-05,4.183627e-05,4.193896e-05,4.437032e-05,4.526455e-05,4.682869e-05,4.845255e-05,4.920249e-05,5.148450e-05,5.366907e-05,5.434685e-05,5.575212e-05,5.703067e-05,5.773090e-05,5.953108e-05,5.960396e-05,6.137093e-05,6.184673e-05,6.303239e-05,6.397918e-05,6.458976e-05,6.593237e-05,6.604510e-05,6.740106e-05,6.771203e-05,6.866068e-05,6.932525e-05,6.982737e-05,7.078006e-05,7.090476e-05,7.189664e-05,7.208510e-05,7.280691e-05,7.324931e-05,7.363951e-05,7.428174e-05,7.439836e-05,7.508732e-05,7.519132e-05,7.571020e-05,7.598681e-05,7.627071e-05,7.667663e-05,7.677244e-05,7.721883e-05,7.726884e-05,7.761322e-05,7.777109e-05,7.795876e-05,7.819058e-05,7.825850e-05,7.851531e-05,7.853409e-05,7.873194e-05,7.880793e-05,7.891099e-05,7.901803e-05,7.905492e-05,7.916606e-05,7.916985e-05,7.924659e-05,7.926849e-05,7.929858e-05,7.931864e-05,7.932399e-05,7.932463e-05,7.930225e-05,7.929049e-05,7.925846e-05,7.921991e-05,7.919479e-05,7.911629e-05,7.911267e-05,7.901345e-05,7.898277e-05,7.889838e-05,7.882224e-05,7.876866e-05,7.863733e-05,7.862540e-05,7.846963e-05,7.843050e-05,7.830235e-05,7.820398e-05,7.812446e-05,7.795984e-05,7.793684e-05,7.774028e-05,7.769996e-05,7.753553e-05,7.742607e-05,7.732332e-05,7.713978e-05,7.710431e-05,7.687911e-05,7.684255e-05,7.664832e-05,7.653572e-05,7.641248e-05,7.622052e-05,7.617211e-05,7.592768e-05,7.589810e-05,7.567965e-05,7.556948e-05,7.542844e-05,7.523563e-05,7.517443e-05,7.491801e-05,7.489741e-05,7.465952e-05,7.455561e-05,7.439927e-05,7.421098e-05,7.413758e-05,7.387473e-05,7.386419e-05,7.361097e-05,7.351585e-05,7.334657e-05,7.316652e-05,7.308174e-05,7.281672e-05,7.246691e-05,7.211753e-05,7.176897e-05,7.142158e-05,7.107569e-05,7.073159e-05,7.038955e-05,7.004981e-05,6.971259e-05,6.937809e-05,6.904649e-05,6.871794e-05,6.839259e-05,6.807057e-05,6.775199e-05,6.743694e-05,6.712552e-05,6.681781e-05,6.651386e-05,6.621374e-05,6.591749e-05,6.562516e-05,6.533676e-05,6.505233e-05
0.000000e+00,1.343804e-11,3.182016e-11,1.133146e-10,2.617735e-10,3.838462e-10,8.763540e-10,9.028076e-10,1.742837e-09,2.045030e-09,2.972774e-09,3.925473e-09,4.658670e-09,6.666811e-09,6.863735e-09,9.645691e-09,1.040462e-08,1.304956e-08,1.523656e-08,1.709656e-08,2.118239e-08,2.177630e-08,2.705050e-08,2.817205e-08,3.286496e-08,3.608223e-08,3.916003e-08,4.477541e-08,4.587574e-08,5.295301e-08,5.411503e-08,6.033374e-08,6.396747e-08,6.796084e-08,7.420228e-08,7.577840e-08,8.373223e-08,8.469336e-08,9.177047e-08,9.532131e-08,9.984418e-08,1.059758e-07,1.079079e-07,1.159202e-07,1.165578e-07,1.238436e-07,1.269805e-07,1.316450e-07,1.371702e-07,1.392957e-07,1.467711e-07,1.470662e-07,1.540508e-07,1.566202e-07,1.611179e-07,1.657951e-07,1.679591e-07,1.745642e-07,1.809259e-07,1.829093e-07,1.870392e-07,1.908200e-07,1.929014e-07,1.982922e-07,1.985117e-07,2.038708e-07,2.053266e-07,2.089809e-07,2.119286e-07,2.138450e-07,2.181063e-07,2.184673e-07,2.228528e-07,2.238707e-07,2.270070e-07,2.292344e-07,2.309357e-07,2.342116e-07,2.346454e-07,2.381427e-07,2.388172e-07,2.414342e-07,2.430668e-07,2.445270e-07,2.469763e-07,2.474278e-07,2.501437e-07,2.505616e-07,2.526816e-07,2.538385e-07,2.550482e-07,2.568228e-07,2.572504e-07,2.592948e-07,2.595298e-07,2.611878e-07,2.619744e-07,2.629358e-07,2.641711e-07,2.645450e-07,2.660214e-07,2.661339e-07,2.673708e-07,2.678763e-07,2.685990e-07,2.694113e-07,2.697114e-07,2.707133e-07,2.707512e-07,2.716100e-07,2.719080e-07,2.724064e-07,2.728931e-07,2.731072e-07,2.737172e-07,2.742408e-07,2.743908e-07,2.746822e-07,2.749236e-07,2.750457e-07,2.753250e-07,2.753352e-07,2.755545e-07,2.756038e-07,2.757073e-07,2.757686e-07,2.757972e-07,2.758271e-07,2.758275e-07,2.758014e-07,2.757871e-07,2.757222e-07,2.756557e-07,2.755927e-07,2.754396e-07,2.754159e-07,2.751946e-07,2.751452e-07,2.749312e-07,2.747785e-07,2.746284e-07,2.743454e-07,2.742886e-07,2.739141e-07,2.738511e-07,2.735070e-07,2.733006e-07,2.730695e-07,2.726989e-07,2.726036e-07,2.721112e-07,2.720504e-07,2.715941e-07,2.713593e-07,2.710542e-07,2.706295e-07,2.704930e-07,2.699122e-07,2.698649e-07,2.693133e-07,2.690689e-07,2.686977e-07,2.682449e-07,2.680668e-07,2.674220e-07,2.673959e-07,2.667644e-07,2.665248e-07,2.660953e-07,2.656343e-07,2.654158e-07,2.647270e-07,2.638052e-07,2.628712e-07,2.619270e-07,2.609745e-07,2.600156e-07,2.590518e-07,2.580849e-07,2.571161e-07,2.561469e-07,2.551784e-07,2.542119e-07,2.532484e-07,2.522889e-07,2.513342e-07,2.503853e-07,2.494427e-07,2.485073e-07,2.475797e-07,2.466605e-07,2.457501e-07,2.448491e-07,2.439579e-07,2.430768e-07,2.422062e-07
0.000000e+00,2.806093e-14,2.372014e-13,5.491834e-12,4.274831e-11,1.081969e-10,7.789217e-10,8.355893e-10,3.874321e-09,5.590660e-09,1.304323e-08,2.422078e-08,3.529161e-08,7.662895e-08,8.154754e-08,1.673207e-07,1.959461e-07,3.129569e-07,4.297739e-07,5.433322e-07,8.385867e-07,8.867509e-07,1.373052e-06,1.490053e-06,2.031259e-06,2.450246e-06,2.887284e-06,3.774728e-06,3.962088e-06,5.270500e-06,5.502166e-06,6.820712e-06,7.651416e-06,8.614334e-06,1.022162e-05,1.064682e-05,1.290814e-05,1.319422e-05,1.538354e-05,1.653586e-05,1.805441e-05,2.020172e-05,2.089902e-05,2.389339e-05,2.413865e-05,2.701191e-05,2.828817e-05,3.022812e-05,3.258928e-05,3.351530e-05,3.684703e-05,3.698086e-05,4.019769e-05,4.140383e-05,4.354293e-05,4.580291e-05,4.686000e-05,5.012804e-05,5.332829e-05,5.433529e-05,5.644422e-05,5.838748e-05,5.946157e-05,6.225438e-05,6.236840e-05,6.515496e-05,6.591257e-05,6.781367e-05,6.934511e-05,7.033891e-05,7.254098e-05,7.272691e-05,7.497555e-05,7.549438e-05,7.708416e-05,7.820401e-05,7.905339e-05,8.067236e-05,8.088496e-05,8.258153e-05,8.290494e-05,8.414654e-05,8.490967e-05,8.558401e-05,8.669623e-05,8.689848e-05,8.809481e-05,8.827560e-05,8.917813e-05,8.965954e-05,9.015373e-05,9.086025e-05,9.102697e-05,9.180322e-05,9.189011e-05,9.248781e-05,9.276136e-05,9.308601e-05,9.348601e-05,9.360293e-05,9.404357e-05,9.407568e-05,9.441276e-05,9.454146e-05,9.471511e-05,9.489392e-05,9.495507e-05,9.513687e-05,9.514299e-05,9.526455e-05,9.529801e-05,9.534193e-05,9.536769e-05,9.537266e-05,9.536015e-05,9.530766e-05,9.528292e-05,9.521823e-05,9.514295e-05,9.509474e-05,9.494666e-05,9.493990e-05,9.475622e-05,9.469996e-05,9.454611e-05,9.440829e-05,9.431179e-05,9.407663e-05,9.405534e-05,9.377873e-05,9.370955e-05,9.348378e-05,9.331124e-05,9.317220e-05,9.288553e-05,9.284559e-05,9.250544e-05,9.243590e-05,9.215313e-05,9.196556e-05,9.178996e-05,9.147740e-05,9.141715e-05,9.103581e-05,9.097408e-05,9.064700e-05,9.045800e-05,9.025168e-05,8.993136e-05,8.985077e-05,8.944510e-05,8.939614e-05,8.903546e-05,8.885415e-05,8.862257e-05,8.830702e-05,8.820711e-05,8.778970e-05,8.775624e-05,8.737091e-05,8.720313e-05,8.695129e-05,8.664892e-05,8.653132e-05,8.611147e-05,8.609468e-05,8.569215e-05,8.554141e-05,8.527376e-05,8.498996e-05,8.485665e-05,8.444115e-05,8.389566e-05,8.335413e-05,8.281713e-05,8.228513e-05,8.175859e-05,8.123788e-05,8.072334e-05,8.021526e-05,7.971390e-05,7.921947e-05,7.873216e-05,7.825210e-05,7.777943e-05,7.731425e-05,7.685662e-05,7.640661e-05,7.596426e-05,7.552957e-05,7.510256e-05,7.468321e-05,7.427150e-05,7.386741e-05,7.347088e-05,7.308187e-05
0.000000e+00,5.622948e-11,1.582557e-10,6.736863e-10,1.689908e-09,2.555793e-09,6.174136e-09,6.372214e-09,1.278726e-08,1.514233e-08,2.249377e-08,3.020513e-08,3.623629e-08,5.311615e-08,5.479616e-08,7.888705e-08,8.554841e-08,1.089286e-07,1.283388e-07,1.448284e-07,1.808242e-07,1.860219e-07,2.317386e-07,2.413568e-07,2.812245e-07,3.082233e-07,3.338171e-07,3.799693e-07,3.889360e-07,4.460580e-07,4.553505e-07,5.046972e-07,5.332476e-07,5.643958e-07,6.126261e-07,6.247216e-07,6.852696e-07,6.925322e-07,7.456655e-07,7.721024e-07,8.055686e-07,8.505766e-07,8.646743e-07,9.227158e-07,9.273060e-07,9.794635e-07,1.001756e-06,1.034725e-06,1.073502e-06,1.088341e-06,1.140187e-06,1.142222e-06,1.190166e-06,1.207687e-06,1.238208e-06,1.269745e-06,1.284266e-06,1.328314e-06,1.370342e-06,1.383365e-06,1.410355e-06,1.434914e-06,1.448371e-06,1.483013e-06,1.484417e-06,1.518528e-06,1.527739e-06,1.550748e-06,1.569191e-06,1.581122e-06,1.607481e-06,1.609703e-06,1.636543e-06,1.642732e-06,1.661700e-06,1.675074e-06,1.685231e-06,1.704638e-06,1.707193e-06,1.727645e-06,1.731559e-06,1.746645e-06,1.755970e-06,1.764250e-06,1.778003e-06,1.780519e-06,1.795506e-06,1.797788e-06,1.809265e-06,1.815450e-06,1.821851e-06,1.831110e-06,1.833315e-06,1.843708e-06,1.844885e-06,1.853078e-06,1.856890e-06,1.861474e-06,1.867230e-06,1.868940e-06,1.875522e-06,1.876012e-06,1.881263e-06,1.883333e-06,1.886204e-06,1.889288e-06,1.890384e-06,1.893843e-06,1.893967e-06,1.896617e-06,1.897455e-06,1.898742e-06,1.899834e-06,1.900252e-06,1.901180e-06,1.901557e-06,1.901567e-06,1.901414e-06,1.901063e-06,1.900780e-06,1.899734e-06,1.899681e-06,1.898146e-06,1.897642e-06,1.896200e-06,1.894844e-06,1.893866e-06,1.891397e-06,1.891169e-06,1.888130e-06,1.887352e-06,1.884771e-06,1.882757e-06,1.881112e-06,1.877660e-06,1.877173e-06,1.872973e-06,1.872103e-06,1.868528e-06,1.866126e-06,1.863857e-06,1.859769e-06,1.858975e-06,1.853897e-06,1.853068e-06,1.848639e-06,1.846055e-06,1.843214e-06,1.838763e-06,1.837636e-06,1.831916e-06,1.831221e-06,1.826068e-06,1.823458e-06,1.820103e-06,1.815498e-06,1.814032e-06,1.807864e-06,1.807367e-06,1.801610e-06,1.799087e-06,1.795279e-06,1.790679e-06,1.788881e-06,1.782422e-06,1.782163e-06,1.775912e-06,1.773557e-06,1.769358e-06,1.764879e-06,1.762767e-06,1.756145e-06,1.747369e-06,1.738565e-06,1.729746e-06,1.720924e-06,1.712109e-06,1.703312e-06,1.694542e-06,1.685808e-06,1.677117e-06,1.668477e-06,1.659894e-06,1.651374e-06,1.642923e-06,1.634546e-06,1.626247e-06,1.618031e-06,1.609901e-06,1.601859e-06,1.593911e-06,1.586057e-06,1.578299e-06,1.570641e-06,1.563084e-06,1.555629e-06
0.000000e+00,7.074295e-13,5.288317e-12,9.525206e-11,5.927128e-10,1.329666e-09,7.068002e-09,7.491302e-09,2.607174e-08,3.489085e-08,6.771559e-08,1.089844e-07,1.450830e-07,2.596722e-07,2.719856e-07,4.628869e-07,5.198440e-07,7.321480e-07,9.219240e-07,1.092068e-06,1.489464e-06,1.549550e-06,2.103096e-06,2.224562e-06,2.742441e-06,3.103474e-06,3.451083e-06,4.085958e-06,4.209971e-06,5.000552e-06,5.128854e-06,5.806424e-06,6.194534e-06,6.613829e-06,7.253226e-06,7.411523e-06,8.190407e-06,8.282246e-06,8.943180e-06,9.264591e-06,9.664071e-06,1.018786e-05,1.034865e-05,1.099371e-05,1.104353e-05,1.159710e-05,1.182650e-05,1.215765e-05,1.253453e-05,1.267506e-05,1.314971e-05,1.316782e-05,1.358258e-05,1.372845e-05,1.397512e-05,1.421990e-05,1.432911e-05,1.464657e-05,1.492970e-05,1.501341e-05,1.518073e-05,1.532559e-05,1.540193e-05,1.558829e-05,1.559554e-05,1.576372e-05,1.580654e-05,1.590855e-05,1.598506e-05,1.603200e-05,1.612828e-05,1.613592e-05,1.622203e-05,1.624023e-05,1.629195e-05,1.632458e-05,1.634713e-05,1.638459e-05,1.638894e-05,1.641861e-05,1.642318e-05,1.643727e-05,1.644297e-05,1.644597e-05,1.644626e-05,1.644563e-05,1.643712e-05,1.643505e-05,1.642120e-05,1.641115e-05,1.639859e-05,1.637612e-05,1.636993e-05,1.633581e-05,1.633137e-05,1.629674e-05,1.627811e-05,1.625322e-05,1.621743e-05,1.620568e-05,1.615452e-05,1.615029e-05,1.610011e-05,1.607752e-05,1.604279e-05,1.599987e-05,1.598284e-05,1.592055e-05,1.591802e-05,1.585618e-05,1.583254e-05,1.578994e-05,1.574395e-05,1.572206e-05,1.565274e-05,1.558213e-05,1.555930e-05,1.551042e-05,1.546402e-05,1.543776e-05,1.536722e-05,1.536426e-05,1.529008e-05,1.526920e-05,1.521531e-05,1.517022e-05,1.514007e-05,1.507052e-05,1.506446e-05,1.498857e-05,1.497032e-05,1.491248e-05,1.486982e-05,1.483627e-05,1.476917e-05,1.476001e-05,1.468377e-05,1.466853e-05,1.460761e-05,1.456805e-05,1.453158e-05,1.446785e-05,1.445573e-05,1.438011e-05,1.436804e-05,1.430478e-05,1.426872e-05,1.422975e-05,1.416999e-05,1.415508e-05,1.408080e-05,1.407191e-05,1.400693e-05,1.397457e-05,1.393351e-05,1.387803e-05,1.386057e-05,1.378812e-05,1.378235e-05,1.371619e-05,1.368757e-05,1.364480e-05,1.359374e-05,1.357397e-05,1.350371e-05,1.350091e-05,1.343403e-05,1.340910e-05,1.336496e-05,1.331835e-05,1.329651e-05,1.322868e-05,1.314011e-05,1.305267e-05,1.296636e-05,1.288121e-05,1.279722e-05,1.271440e-05,1.263275e-05,1.255228e-05,1.247300e-05,1.239489e-05,1.231797e-05,1.224222e-05,1.216764e-05,1.209423e-05,1.202198e-05,1.195089e-05,1.188094e-05,1.181212e-05,1.174444e-05,1.167787e-05,1.161240e-05,1.154803e-05,1.148474e-05,1.142252e-05
0.000000e+00,1.019135e-10,2.484602e-10,9.119370e-10,2.140098e-09,3.161358e-09,7.366352e-09,7.595843e-09,1.506729e-08,1.783988e-08,2.661814e-08,3.602521e-08,4.351285e-08,6.496227e-08,6.712900e-08,9.857794e-08,1.073427e-07,1.380863e-07,1.634023e-07,1.846592e-07,2.300779e-07,2.365171e-07,2.918437e-07,3.031899e-07,3.491852e-07,3.794340e-07,4.074807e-07,4.566165e-07,4.659600e-07,5.240440e-07,5.332691e-07,5.812772e-07,6.083353e-07,6.372882e-07,6.810083e-07,6.917691e-07,7.444660e-07,7.506594e-07,7.951709e-07,8.168063e-07,8.437205e-07,8.791002e-07,8.899925e-07,9.338983e-07,9.373067e-07,9.753841e-07,9.912945e-07,1.014425e-06,1.041021e-06,1.051023e-06,1.085200e-06,1.086517e-06,1.116997e-06,1.127872e-06,1.146470e-06,1.165217e-06,1.173685e-06,1.198718e-06,1.221653e-06,1.228563e-06,1.242577e-06,1.254954e-06,1.261579e-06,1.278098e-06,1.278751e-06,1.294184e-06,1.298206e-06,1.307969e-06,1.315486e-06,1.320195e-06,1.330140e-06,1.330948e-06,1.340314e-06,1.342365e-06,1.348374e-06,1.352347e-06,1.355208e-06,1.360267e-06,1.360891e-06,1.365496e-06,1.366294e-06,1.369092e-06,1.370586e-06,1.371746e-06,1.373294e-06,1.373521e-06,1.374478e-06,1.374558e-06,1.374672e-06,1.374510e-06,1.374158e-06,1.373272e-06,1.372988e-06,1.371209e-06,1.370957e-06,1.368869e-06,1.367672e-06,1.366009e-06,1.363514e-06,1.362671e-06,1.358894e-06,1.358574e-06,1.354714e-06,1.352937e-06,1.350165e-06,1.346679e-06,1.345279e-06,1.340087e-06,1.339873e-06,1.334617e-06,1.332584e-06,1.328895e-06,1.324874e-06,1.322948e-06,1.316798e-06,1.310467e-06,1.308407e-06,1.303977e-06,1.299749e-06,1.297346e-06,1.290866e-06,1.290593e-06,1.283735e-06,1.281798e-06,1.276786e-06,1.272581e-06,1.269763e-06,1.263247e-06,1.262679e-06,1.255546e-06,1.253828e-06,1.248376e-06,1.244349e-06,1.241181e-06,1.234836e-06,1.233970e-06,1.226754e-06,1.225311e-06,1.219541e-06,1.215794e-06,1.212339e-06,1.206303e-06,1.205155e-06,1.197997e-06,1.196855e-06,1.190872e-06,1.187465e-06,1.183784e-06,1.178145e-06,1.176740e-06,1.169743e-06,1.168907e-06,1.162800e-06,1.159762e-06,1.155913e-06,1.150720e-06,1.149087e-06,1.142325e-06,1.141787e-06,1.135630e-06,1.132971e-06,1.129004e-06,1.124278e-06,1.122451e-06,1.115972e-06,1.115714e-06,1.109569e-06,1.107283e-06,1.103244e-06,1.098989e-06,1.096999e-06,1.090834e-06,1.082822e-06,1.074954e-06,1.067232e-06,1.059656e-06,1.052229e-06,1.044948e-06,1.037816e-06,1.030831e-06,1.023992e-06,1.017299e-06,1.010751e-06,1.004346e-06,9.980837e-07,9.919612e-07,9.859773e-07,9.801302e-07,9.744179e-07,9.688383e-07,9.633893e-07,9.580689e-07,9.528747e-07,9.478046e-07,9.428561e-07,9.380271e-07
0.000000e+00,1.889786e-11,1.231880e-10,1.705309e-09,8.565921e-09,1.726984e-08,7.218964e-08,7.585070e-08,2.190695e-07,2.810133e-07,4.977149e-07,7.551191e-07,9.737940e-07,1.651493e-06,1.723569e-06,2.833582e-06,3.162790e-06,4.381015e-06,5.454841e-06,6.403082e-06,8.561488e-06,8.881184e-06,1.175525e-05,1.237106e-05,1.495164e-05,1.671822e-05,1.840276e-05,2.145776e-05,2.205331e-05,2.585893e-05,2.647969e-05,2.978292e-05,3.169900e-05,3.379345e-05,3.704489e-05,3.786195e-05,4.196239e-05,4.245545e-05,4.607107e-05,4.787587e-05,5.016646e-05,5.325817e-05,5.422936e-05,5.824300e-05,5.856151e-05,6.219290e-05,6.375221e-05,6.606689e-05,6.880345e-05,6.985493e-05,7.354885e-05,7.369455e-05,7.714226e-05,7.841032e-05,8.063035e-05,8.294023e-05,8.400958e-05,8.727762e-05,9.043311e-05,9.141898e-05,9.347548e-05,9.536327e-05,9.640487e-05,9.911142e-05,9.922196e-05,1.019279e-04,1.026659e-04,1.045242e-04,1.060301e-04,1.070127e-04,1.092086e-04,1.093954e-04,1.116746e-04,1.122064e-04,1.138525e-04,1.150289e-04,1.159317e-04,1.176817e-04,1.179147e-04,1.198041e-04,1.201709e-04,1.216024e-04,1.225025e-04,1.233124e-04,1.246824e-04,1.249366e-04,1.264777e-04,1.267167e-04,1.279382e-04,1.286114e-04,1.293207e-04,1.303723e-04,1.306277e-04,1.318618e-04,1.320051e-04,1.330253e-04,1.335156e-04,1.341208e-04,1.349092e-04,1.351504e-04,1.361166e-04,1.361912e-04,1.370215e-04,1.373669e-04,1.378675e-04,1.384412e-04,1.386565e-04,1.393908e-04,1.394190e-04,1.400723e-04,1.403051e-04,1.407031e-04,1.411040e-04,1.412850e-04,1.418200e-04,1.423099e-04,1.424574e-04,1.427563e-04,1.430201e-04,1.431612e-04,1.435122e-04,1.435261e-04,1.438526e-04,1.439373e-04,1.441423e-04,1.442991e-04,1.443967e-04,1.446009e-04,1.446174e-04,1.448056e-04,1.448461e-04,1.449629e-04,1.450379e-04,1.450905e-04,1.451792e-04,1.451897e-04,1.452618e-04,1.452730e-04,1.453079e-04,1.453221e-04,1.453293e-04,1.453290e-04,1.453271e-04,1.453024e-04,1.452964e-04,1.452561e-04,1.452266e-04,1.451894e-04,1.451219e-04,1.451031e-04,1.449984e-04,1.449846e-04,1.448759e-04,1.448167e-04,1.447367e-04,1.446202e-04,1.445816e-04,1.444113e-04,1.443971e-04,1.442268e-04,1.441491e-04,1.440287e-04,1.438780e-04,1.438177e-04,1.435946e-04,1.435855e-04,1.433601e-04,1.432730e-04,1.431148e-04,1.429421e-04,1.428592e-04,1.425941e-04,1.422305e-04,1.418525e-04,1.414613e-04,1.410580e-04,1.406437e-04,1.402195e-04,1.397864e-04,1.393452e-04,1.388968e-04,1.384420e-04,1.379817e-04,1.375166e-04,1.370474e-04,1.365746e-04,1.360990e-04,1.356212e-04,1.351416e-04,1.346608e-04,1.341792e-04,1.336975e-04,1.332158e-04,1.327348e-04,1.322547e-04,1.317758e-04
0.000000e+00,8.803915e-11,2.540003e-10,1.106715e-09,2.799460e-09,4.243576e-09,1.027316e-08,1.060287e-08,2.126257e-08,2.516874e-08,3.734599e-08,5.010349e-08,6.007576e-08,8.798088e-08,9.075851e-08,1.305982e-07,1.416151e-07,1.802603e-07,2.122843e-07,2.394195e-07,2.983409e-07,3.068073e-07,3.807563e-07,3.961898e-07,4.596832e-07,5.022403e-07,5.422555e-07,6.136211e-07,6.273702e-07,7.140904e-07,7.280583e-07,8.015930e-07,8.436522e-07,8.891384e-07,9.587538e-07,9.760576e-07,1.061748e-06,1.071922e-06,1.145674e-06,1.181919e-06,1.227368e-06,1.287716e-06,1.306433e-06,1.382541e-06,1.388494e-06,1.455432e-06,1.483641e-06,1.524908e-06,1.572738e-06,1.590833e-06,1.653120e-06,1.655535e-06,1.711730e-06,1.731930e-06,1.766668e-06,1.801944e-06,1.817968e-06,1.865698e-06,1.909943e-06,1.923383e-06,1.950812e-06,1.975252e-06,1.988425e-06,2.021591e-06,2.022912e-06,2.054409e-06,2.062712e-06,2.083059e-06,2.098941e-06,2.109004e-06,2.130607e-06,2.132387e-06,2.153350e-06,2.158037e-06,2.172032e-06,2.181549e-06,2.188569e-06,2.201451e-06,2.203092e-06,2.215726e-06,2.218037e-06,2.226595e-06,2.231587e-06,2.235813e-06,2.242362e-06,2.243492e-06,2.249736e-06,2.250609e-06,2.254647e-06,2.256558e-06,2.258318e-06,2.260424e-06,2.260840e-06,2.262296e-06,2.262403e-06,2.262767e-06,2.262681e-06,2.262326e-06,2.261426e-06,2.261046e-06,2.258992e-06,2.258796e-06,2.256226e-06,2.254934e-06,2.252807e-06,2.249972e-06,2.248789e-06,2.244224e-06,2.244031e-06,2.239160e-06,2.237223e-06,2.233641e-06,2.229650e-06,2.227709e-06,2.221405e-06,2.214763e-06,2.212572e-06,2.207819e-06,2.203230e-06,2.200604e-06,2.193450e-06,2.193148e-06,2.185478e-06,2.183296e-06,2.177621e-06,2.172827e-06,2.169601e-06,2.162097e-06,2.161439e-06,2.153156e-06,2.151153e-06,2.144773e-06,2.140040e-06,2.136305e-06,2.128799e-06,2.127771e-06,2.119186e-06,2.117464e-06,2.110563e-06,2.106069e-06,2.101916e-06,2.094643e-06,2.093257e-06,2.084597e-06,2.083212e-06,2.075947e-06,2.071801e-06,2.067316e-06,2.060431e-06,2.058713e-06,2.050145e-06,2.049120e-06,2.041621e-06,2.037886e-06,2.033147e-06,2.026744e-06,2.024729e-06,2.016373e-06,2.015707e-06,2.008084e-06,2.004788e-06,1.999866e-06,1.993996e-06,1.991724e-06,1.983661e-06,1.983341e-06,1.975682e-06,1.972830e-06,1.967788e-06,1.962471e-06,1.959983e-06,1.952269e-06,1.942230e-06,1.932357e-06,1.922653e-06,1.913123e-06,1.903766e-06,1.894586e-06,1.885582e-06,1.876756e-06,1.868108e-06,1.859637e-06,1.851344e-06,1.843226e-06,1.835283e-06,1.827514e-06,1.819917e-06,1.812490e-06,1.805232e-06,1.798140e-06,1.791212e-06,1.784445e-06,1.777839e-06,1.771389e-06,1.765094e-06,1.758951e-06
0.000000e+00,1.702229e-11,9.855724e-11,1.100886e-09,4.713562e-09,8.825207e-09,3.173169e-08,3.317506e-08,8.691806e-08,1.093810e-07,1.868268e-07,2.781649e-07,3.557384e-07,5.959105e-07,6.213398e-07,1.005872e-06,1.116535e-06,1.510362e-06,1.837722e-06,2.113214e-06,2.702138e-06,2.785652e-06,3.504208e-06,3.651948e-06,4.253025e-06,4.650710e-06,5.021485e-06,5.676417e-06,5.801785e-06,6.587476e-06,6.713295e-06,7.372798e-06,7.748054e-06,8.152469e-06,8.768873e-06,8.921656e-06,9.676011e-06,9.765350e-06,1.041172e-05,1.072867e-05,1.112556e-05,1.165182e-05,1.181491e-05,1.247771e-05,1.252954e-05,1.311251e-05,1.335836e-05,1.371833e-05,1.413623e-05,1.429458e-05,1.484099e-05,1.486223e-05,1.535766e-05,1.553644e-05,1.584497e-05,1.615987e-05,1.630350e-05,1.673398e-05,1.713724e-05,1.726070e-05,1.751425e-05,1.774220e-05,1.786597e-05,1.818081e-05,1.819346e-05,1.849775e-05,1.857894e-05,1.877990e-05,1.893899e-05,1.904093e-05,1.926333e-05,1.928189e-05,1.950378e-05,1.955430e-05,1.970755e-05,1.981410e-05,1.989415e-05,2.004489e-05,2.006450e-05,2.021945e-05,2.024867e-05,2.035986e-05,2.042738e-05,2.048650e-05,2.058282e-05,2.060016e-05,2.070155e-05,2.071668e-05,2.079137e-05,2.083057e-05,2.087028e-05,2.092598e-05,2.093891e-05,2.099786e-05,2.100431e-05,2.104768e-05,2.106686e-05,2.108893e-05,2.111485e-05,2.112210e-05,2.114768e-05,2.114941e-05,2.116612e-05,2.117161e-05,2.117788e-05,2.118242e-05,2.118334e-05,2.118291e-05,2.118277e-05,2.117694e-05,2.117351e-05,2.116580e-05,2.115543e-05,2.114980e-05,2.112927e-05,2.110449e-05,2.109571e-05,2.107575e-05,2.105539e-05,2.104330e-05,2.100891e-05,2.100741e-05,2.096830e-05,2.095680e-05,2.092619e-05,2.089958e-05,2.088131e-05,2.083773e-05,2.083384e-05,2.078398e-05,2.077167e-05,2.073190e-05,2.070183e-05,2.067777e-05,2.062857e-05,2.062176e-05,2.056400e-05,2.055225e-05,2.050464e-05,2.047319e-05,2.044382e-05,2.039169e-05,2.038166e-05,2.031829e-05,2.030804e-05,2.025380e-05,2.022248e-05,2.018831e-05,2.013527e-05,2.012192e-05,2.005473e-05,2.004662e-05,1.998682e-05,1.995673e-05,1.991827e-05,1.986580e-05,1.984917e-05,1.977959e-05,1.977400e-05,1.970960e-05,1.968150e-05,1.963926e-05,1.958845e-05,1.956865e-05,1.949781e-05,1.949497e-05,1.942681e-05,1.940122e-05,1.935569e-05,1.930729e-05,1.928450e-05,1.921330e-05,1.911935e-05,1.902554e-05,1.893194e-05,1.883864e-05,1.874571e-05,1.865322e-05,1.856121e-05,1.846976e-05,1.837891e-05,1.828870e-05,1.819918e-05,1.811039e-05,1.802235e-05,1.793511e-05,1.784868e-05,1.776310e-05,1.767838e-05,1.759455e-05,1.751161e-05,1.742960e-05,1.734852e-05,1.726837e-05,1.718918e-05,1.711095e-05
0.000000e+00,5.693358e-14,4.827010e-13,1.124583e-11,8.805293e-11,2.236097e-10,1.624647e-09,1.743530e-09,8.167541e-09,1.182167e-08,2.780781e-08,5.201776e-08,7.618546e-08,1.675390e-07,1.785007e-07,3.719369e-07,4.372858e-07,7.076184e-07,9.817735e-07,1.251676e-06,1.966252e-06,2.084338e-06,3.295917e-06,3.591947e-06,4.979471e-06,6.070658e-06,7.221378e-06,9.588183e-06,1.009198e-05,1.363833e-05,1.427017e-05,1.788015e-05,2.016187e-05,2.280923e-05,2.722535e-05,2.839175e-05,3.457243e-05,3.535105e-05,4.127976e-05,4.437685e-05,4.843130e-05,5.410929e-05,5.593870e-05,6.371198e-05,6.434266e-05,7.166294e-05,7.487412e-05,7.970782e-05,8.551446e-05,8.776905e-05,9.577651e-05,9.609479e-05,1.036682e-04,1.064702e-04,1.113902e-04,1.165207e-04,1.188971e-04,1.261511e-04,1.331219e-04,1.352888e-04,1.397861e-04,1.438822e-04,1.461266e-04,1.518980e-04,1.521316e-04,1.577944e-04,1.593182e-04,1.631123e-04,1.661379e-04,1.680865e-04,1.723626e-04,1.727210e-04,1.770225e-04,1.780062e-04,1.809995e-04,1.830887e-04,1.846622e-04,1.876345e-04,1.880221e-04,1.910913e-04,1.916714e-04,1.938827e-04,1.952289e-04,1.964096e-04,1.983376e-04,1.986854e-04,2.007233e-04,2.010282e-04,2.025366e-04,2.033310e-04,2.041382e-04,2.052756e-04,2.055407e-04,2.067564e-04,2.068903e-04,2.077969e-04,2.082021e-04,2.086735e-04,2.092368e-04,2.093970e-04,2.099777e-04,2.100182e-04,2.104252e-04,2.105690e-04,2.107489e-04,2.109102e-04,2.109574e-04,2.110591e-04,2.110611e-04,2.110617e-04,2.110398e-04,2.109726e-04,2.108630e-04,2.107985e-04,2.105461e-04,2.102213e-04,2.101031e-04,2.098299e-04,2.095470e-04,2.093773e-04,2.088898e-04,2.088684e-04,2.083080e-04,2.081424e-04,2.077004e-04,2.073149e-04,2.070497e-04,2.064163e-04,2.063598e-04,2.056342e-04,2.054552e-04,2.048764e-04,2.044391e-04,2.040894e-04,2.033751e-04,2.032762e-04,2.024394e-04,2.022695e-04,2.015817e-04,2.011282e-04,2.007054e-04,1.999565e-04,1.998126e-04,1.989055e-04,1.987592e-04,1.979860e-04,1.975408e-04,1.970559e-04,1.963052e-04,1.961167e-04,1.951702e-04,1.950561e-04,1.942176e-04,1.937969e-04,1.932603e-04,1.925304e-04,1.922996e-04,1.913365e-04,1.912594e-04,1.903723e-04,1.899865e-04,1.894078e-04,1.887137e-04,1.884439e-04,1.874816e-04,1.874431e-04,1.865215e-04,1.861766e-04,1.855644e-04,1.849157e-04,1.846110e-04,1.836619e-04,1.824166e-04,1.811808e-04,1.799557e-04,1.787421e-04,1.775409e-04,1.763528e-04,1.751785e-04,1.740184e-04,1.728731e-04,1.717429e-04,1.706283e-04,1.695295e-04,1.684467e-04,1.673802e-04,1.663300e-04,1.652963e-04,1.642792e-04,1.632787e-04,1.622948e-04,1.613274e-04,1.603766e-04,1.594423e-04,1.585244e-04,1.576228e-04
0.000000e+00,1.048007e-12,7.704796e-12,1.344013e-10,8.150819e-10,1.805698e-09,9.345439e-09,9.896239e-09,3.386503e-08,4.519288e-08,8.740367e-08,1.408113e-07,1.879055e-07,3.395144e-07,3.559643e-07,6.132904e-07,6.905043e-07,9.781639e-07,1.233807e-06,1.461266e-06,1.986328e-06,2.065090e-06,2.786397e-06,2.944250e-06,3.619157e-06,4.093941e-06,4.556414e-06,5.419209e-06,5.590974e-06,6.715378e-06,6.903099e-06,7.921690e-06,8.527322e-06,9.201340e-06,1.027169e-05,1.054511e-05,1.194322e-05,1.211417e-05,1.338559e-05,1.403161e-05,1.486199e-05,1.600063e-05,1.636238e-05,1.787708e-05,1.799859e-05,1.939695e-05,2.000444e-05,2.091359e-05,2.199925e-05,2.241936e-05,2.390752e-05,2.396660e-05,2.537220e-05,2.589275e-05,2.680840e-05,2.776657e-05,2.821192e-05,2.957939e-05,3.090809e-05,3.132474e-05,3.219598e-05,3.299809e-05,3.344155e-05,3.459654e-05,3.464379e-05,3.580215e-05,3.611858e-05,3.691639e-05,3.756378e-05,3.798659e-05,3.893254e-05,3.901306e-05,3.999634e-05,4.022597e-05,4.093711e-05,4.144568e-05,4.183621e-05,4.259368e-05,4.269457e-05,4.351321e-05,4.367227e-05,4.429321e-05,4.468390e-05,4.503567e-05,4.563116e-05,4.574173e-05,4.641255e-05,4.651669e-05,4.704930e-05,4.734317e-05,4.765312e-05,4.811325e-05,4.822517e-05,4.876659e-05,4.882955e-05,4.927847e-05,4.949463e-05,4.976192e-05,5.011099e-05,5.021802e-05,5.064779e-05,5.068107e-05,5.105226e-05,5.120719e-05,5.143242e-05,5.169162e-05,5.178923e-05,5.212361e-05,5.213653e-05,5.243648e-05,5.254401e-05,5.272869e-05,5.291604e-05,5.300110e-05,5.325453e-05,5.348975e-05,5.356130e-05,5.370753e-05,5.383809e-05,5.390860e-05,5.408656e-05,5.409367e-05,5.426342e-05,5.430829e-05,5.441850e-05,5.450478e-05,5.455955e-05,5.467745e-05,5.468718e-05,5.480197e-05,5.482767e-05,5.490448e-05,5.495672e-05,5.499525e-05,5.506584e-05,5.507482e-05,5.514367e-05,5.515619e-05,5.520228e-05,5.522888e-05,5.525113e-05,5.528494e-05,5.529066e-05,5.532129e-05,5.532539e-05,5.534343e-05,5.535116e-05,5.535748e-05,5.536315e-05,5.536381e-05,5.536280e-05,5.536220e-05,5.535478e-05,5.534912e-05,5.534010e-05,5.532468e-05,5.531907e-05,5.529201e-05,5.528959e-05,5.525920e-05,5.524454e-05,5.522094e-05,5.519017e-05,5.517750e-05,5.512914e-05,5.512710e-05,5.507610e-05,5.505592e-05,5.501864e-05,5.497716e-05,5.495698e-05,5.489134e-05,5.479897e-05,5.470051e-05,5.459639e-05,5.448703e-05,5.437284e-05,5.425417e-05,5.413139e-05,5.400482e-05,5.387479e-05,5.374158e-05,5.360549e-05,5.346677e-05,5.332568e-05,5.318246e-05,5.303732e-05,5.289049e-05,5.274215e-05,5.259251e-05,5.244172e-05,5.228998e-05,5.213742e-05,5.198420e-05,5.183046e-05,5.167634e-05
0.000000e+00,2.580747e-13,2.071112e-12,4.307604e-11,3.042589e-10,7.302965e-10,4.589490e-09,4.896440e-09,1.988163e-08,2.768500e-08,5.911207e-08,1.022845e-07,1.424104e-07,2.798306e-07,2.953083e-07,5.479138e-07,6.270370e-07,9.336271e-07,1.220815e-06,1.487435e-06,2.140779e-06,2.243144e-06,3.229406e-06,3.456229e-06,4.465584e-06,5.210117e-06,5.959051e-06,7.409048e-06,7.704777e-06,9.687001e-06,1.002460e-05,1.188196e-05,1.300276e-05,1.426080e-05,1.627514e-05,1.679203e-05,1.944337e-05,1.976808e-05,2.218294e-05,2.340834e-05,2.498005e-05,2.712641e-05,2.780568e-05,3.063288e-05,3.085836e-05,3.343693e-05,3.454700e-05,3.619560e-05,3.814261e-05,3.888925e-05,4.150093e-05,4.160348e-05,4.401637e-05,4.489605e-05,4.642396e-05,4.799481e-05,4.871466e-05,5.088181e-05,5.292098e-05,5.354604e-05,5.482972e-05,5.598247e-05,5.660732e-05,5.819118e-05,5.825459e-05,5.977362e-05,6.017637e-05,6.116752e-05,6.194541e-05,6.244024e-05,6.350806e-05,6.359638e-05,6.464099e-05,6.487569e-05,6.557946e-05,6.606072e-05,6.641738e-05,6.707607e-05,6.716042e-05,6.781425e-05,6.793480e-05,6.838448e-05,6.864980e-05,6.887661e-05,6.923354e-05,6.929595e-05,6.964762e-05,6.969794e-05,6.993652e-05,7.005428e-05,7.016732e-05,7.031309e-05,7.034443e-05,7.047204e-05,7.048421e-05,7.055409e-05,7.057672e-05,7.059428e-05,7.059896e-05,7.059606e-05,7.056269e-05,7.055859e-05,7.049717e-05,7.046260e-05,7.040232e-05,7.031735e-05,7.028076e-05,7.013493e-05,7.012862e-05,6.996708e-05,6.990168e-05,6.977932e-05,6.964126e-05,6.957358e-05,6.935167e-05,6.911524e-05,6.903677e-05,6.886583e-05,6.870007e-05,6.860488e-05,6.834473e-05,6.833370e-05,6.805349e-05,6.797357e-05,6.776538e-05,6.758915e-05,6.747039e-05,6.719376e-05,6.716949e-05,6.686355e-05,6.678946e-05,6.655337e-05,6.637809e-05,6.623969e-05,6.596131e-05,6.592321e-05,6.560454e-05,6.554060e-05,6.528427e-05,6.511728e-05,6.496293e-05,6.469252e-05,6.464099e-05,6.431890e-05,6.426738e-05,6.399707e-05,6.384279e-05,6.367586e-05,6.341958e-05,6.335563e-05,6.303667e-05,6.299849e-05,6.271926e-05,6.258016e-05,6.240367e-05,6.216517e-05,6.209012e-05,6.177882e-05,6.175402e-05,6.146996e-05,6.134714e-05,6.116372e-05,6.094493e-05,6.086024e-05,6.055967e-05,6.054771e-05,6.026212e-05,6.015577e-05,5.996771e-05,5.976934e-05,5.967652e-05,5.938865e-05,5.901385e-05,5.864509e-05,5.828249e-05,5.792612e-05,5.757607e-05,5.723238e-05,5.689507e-05,5.656416e-05,5.623965e-05,5.592152e-05,5.560976e-05,5.530432e-05,5.500516e-05,5.471223e-05,5.442548e-05,5.414483e-05,5.387021e-05,5.360156e-05,5.333878e-05,5.308180e-05,5.283053e-05,5.258488e-05,5.234476e-05,5.211008e-05
0.000000e+00,1.971452e-10,5.774823e-10,2.556114e-09,6.511955e-09,9.897014e-09,2.406907e-08,2.484503e-08,4.995575e-08,5.916245e-08,8.785846e-08,1.178908e-07,1.413325e-07,2.067429e-07,2.132390e-07,3.062017e-07,3.318682e-07,4.219373e-07,4.967558e-07,5.603434e-07,6.989721e-07,7.189350e-07,8.933267e-07,9.296573e-07,1.078520e-06,1.177555e-06,1.269998e-06,1.433016e-06,1.464132e-06,1.658141e-06,1.689020e-06,1.849893e-06,1.940634e-06,2.037742e-06,2.184339e-06,2.220405e-06,2.396880e-06,2.417603e-06,2.566403e-06,2.638638e-06,2.728405e-06,2.846248e-06,2.882490e-06,3.028404e-06,3.039720e-06,3.166019e-06,3.218733e-06,3.295310e-06,3.383275e-06,3.416335e-06,3.529225e-06,3.533574e-06,3.634163e-06,3.670036e-06,3.731375e-06,3.793196e-06,3.821118e-06,3.903673e-06,3.979335e-06,4.002141e-06,4.048408e-06,4.089299e-06,4.111200e-06,4.165859e-06,4.168021e-06,4.219176e-06,4.232525e-06,4.264966e-06,4.289987e-06,4.305685e-06,4.338913e-06,4.341618e-06,4.373043e-06,4.379944e-06,4.400227e-06,4.413692e-06,4.423424e-06,4.440737e-06,4.442882e-06,4.458836e-06,4.461626e-06,4.471510e-06,4.476877e-06,4.481120e-06,4.486973e-06,4.487869e-06,4.491951e-06,4.492369e-06,4.493551e-06,4.493489e-06,4.492844e-06,4.490729e-06,4.489995e-06,4.485163e-06,4.484457e-06,4.478495e-06,4.475016e-06,4.470132e-06,4.462724e-06,4.460207e-06,4.448845e-06,4.447877e-06,4.436164e-06,4.430748e-06,4.422276e-06,4.411589e-06,4.407286e-06,4.391293e-06,4.390634e-06,4.374389e-06,4.368098e-06,4.356662e-06,4.344179e-06,4.338193e-06,4.319061e-06,4.299337e-06,4.292911e-06,4.279088e-06,4.265883e-06,4.258378e-06,4.238119e-06,4.237267e-06,4.215810e-06,4.209747e-06,4.194058e-06,4.180886e-06,4.172060e-06,4.151644e-06,4.149861e-06,4.127503e-06,4.122118e-06,4.105025e-06,4.092399e-06,4.082464e-06,4.062567e-06,4.059852e-06,4.037222e-06,4.032696e-06,4.014602e-06,4.002852e-06,3.992019e-06,3.973096e-06,3.969497e-06,3.947060e-06,3.943480e-06,3.924729e-06,3.914053e-06,3.902522e-06,3.884858e-06,3.880458e-06,3.858552e-06,3.855935e-06,3.836819e-06,3.827316e-06,3.815274e-06,3.799031e-06,3.793927e-06,3.772790e-06,3.771108e-06,3.751872e-06,3.743569e-06,3.731183e-06,3.716434e-06,3.710731e-06,3.690522e-06,3.689719e-06,3.670563e-06,3.663440e-06,3.650859e-06,3.637609e-06,3.631415e-06,3.612235e-06,3.587326e-06,3.562888e-06,3.538926e-06,3.515443e-06,3.492441e-06,3.469919e-06,3.447878e-06,3.426315e-06,3.405228e-06,3.384615e-06,3.364470e-06,3.344789e-06,3.325567e-06,3.306799e-06,3.288479e-06,3.270599e-06,3.253153e-06,3.236135e-06,3.219536e-06,3.203350e-06,3.187568e-06,3.172184e-06,3.157189e-06,3.142575e-06
0.000000e+00,4.743736e-15,4.258449e-14,1.118790e-12,9.791914e-12,2.645456e-11,2.261106e-10,2.442836e-10,1.349450e-09,2.043859e-09,5.393970e-09,1.108513e-08,1.726956e-08,4.364378e-08,4.705560e-08,1.134450e-07,1.380196e-07,2.483856e-07,3.719288e-07,5.028556e-07,8.857007e-07,9.533795e-07,1.708647e-06,1.908464e-06,2.915548e-06,3.782856e-06,4.764020e-06,6.983973e-06,7.490298e-06,1.137833e-05,1.212971e-05,1.675926e-05,1.998115e-05,2.400899e-05,3.143303e-05,3.354410e-05,4.581613e-05,4.749522e-05,6.130464e-05,6.926679e-05,8.050927e-05,9.790440e-05,1.039411e-04,1.321133e-04,1.345871e-04,1.655324e-04,1.804798e-04,2.046886e-04,2.366960e-04,2.500473e-04,3.020404e-04,3.042639e-04,3.610595e-04,3.840941e-04,4.274483e-04,4.769531e-04,5.014978e-04,5.834409e-04,6.734491e-04,7.039746e-04,7.716304e-04,8.387779e-04,8.780272e-04,9.878767e-04,9.926167e-04,1.115311e-03,1.151099e-03,1.245960e-03,1.328082e-03,1.384351e-03,1.518279e-03,1.530216e-03,1.683231e-03,1.720978e-03,1.843024e-03,1.935315e-03,2.009179e-03,2.160295e-03,2.181238e-03,2.358713e-03,2.394812e-03,2.541083e-03,2.637671e-03,2.727806e-03,2.887607e-03,2.918321e-03,3.112056e-03,3.143313e-03,3.308429e-03,3.403455e-03,3.506859e-03,3.666692e-03,3.706763e-03,3.907566e-03,3.931696e-03,4.108705e-03,4.197170e-03,4.309629e-03,4.461857e-03,4.509803e-03,4.708714e-03,4.724557e-03,4.905870e-03,4.984135e-03,5.100804e-03,5.239532e-03,5.293075e-03,5.482270e-03,5.489769e-03,5.668005e-03,5.733953e-03,5.849923e-03,5.971280e-03,6.027699e-03,6.201038e-03,6.369674e-03,6.422605e-03,6.533370e-03,6.635448e-03,6.691921e-03,6.839123e-03,6.845148e-03,6.992900e-03,7.033273e-03,7.135055e-03,7.217620e-03,7.271515e-03,7.391964e-03,7.402205e-03,7.527077e-03,7.556177e-03,7.646103e-03,7.710199e-03,7.759274e-03,7.854031e-03,7.866602e-03,7.968119e-03,7.987729e-03,8.063870e-03,8.111403e-03,8.153919e-03,8.225208e-03,8.238340e-03,8.317224e-03,8.329338e-03,8.390671e-03,8.424025e-03,8.458790e-03,8.509530e-03,8.521702e-03,8.579534e-03,8.586139e-03,8.632420e-03,8.654159e-03,8.680500e-03,8.713916e-03,8.723920e-03,8.762827e-03,8.765749e-03,8.797374e-03,8.810006e-03,8.827714e-03,8.847042e-03,8.854003e-03,8.876398e-03,8.877215e-03,8.895054e-03,8.900886e-03,8.910129e-03,8.918412e-03,8.921776e-03,8.930150e-03,8.936449e-03,8.937653e-03,8.934098e-03,8.926109e-03,8.914003e-03,8.898086e-03,8.878652e-03,8.855984e-03,8.830352e-03,8.802015e-03,8.771217e-03,8.738192e-03,8.703162e-03,8.666333e-03,8.627905e-03,8.588062e-03,8.546979e-03,8.504820e-03,8.461739e-03,8.417877e-03,8.373369e-03,8.328338e-03,8.282898e-03,8.237157e-03
0.000000e+00,8.349322e-14,6.871368e-13,1.505248e-11,1.114386e-10,2.744476e-10,1.842690e-09,1.971214e-09,8.544573e-09,1.211125e-08,2.703982e-08,4.851329e-08,6.916434e-08,1.433452e-07,1.519654e-07,2.982207e-07,3.458200e-07,5.364849e-07,7.224595e-07,9.003159e-07,1.353163e-06,1.425983e-06,2.148511e-06,2.319354e-06,3.096997e-06,3.686375e-06,4.290732e-06,5.488806e-06,5.737173e-06,7.432026e-06,7.725417e-06,9.360933e-06,1.036372e-05,1.150194e-05,1.334947e-05,1.382813e-05,1.630995e-05,1.661678e-05,1.891704e-05,2.009612e-05,2.161958e-05,2.371976e-05,2.438910e-05,2.719912e-05,2.742493e-05,3.002537e-05,3.115544e-05,3.284600e-05,3.486237e-05,3.564159e-05,3.839519e-05,3.850425e-05,4.109222e-05,4.204687e-05,4.372038e-05,4.546294e-05,4.626954e-05,4.873157e-05,5.110020e-05,5.183764e-05,5.337082e-05,5.477107e-05,5.554029e-05,5.752611e-05,5.760678e-05,5.956960e-05,6.010063e-05,6.142900e-05,6.249541e-05,6.318604e-05,6.471358e-05,6.484243e-05,6.640044e-05,6.676001e-05,6.786272e-05,6.864089e-05,6.923226e-05,7.036330e-05,7.051229e-05,7.170618e-05,7.193493e-05,7.281741e-05,7.336375e-05,7.384951e-05,7.465790e-05,7.480601e-05,7.569043e-05,7.582548e-05,7.650624e-05,7.687445e-05,7.725682e-05,7.781255e-05,7.794548e-05,7.857543e-05,7.864723e-05,7.914976e-05,7.938563e-05,7.967147e-05,8.003453e-05,8.014341e-05,8.056835e-05,8.060040e-05,8.094892e-05,8.108930e-05,8.128765e-05,8.150697e-05,8.158693e-05,8.184906e-05,8.185880e-05,8.207622e-05,8.214985e-05,8.227050e-05,8.238484e-05,8.243387e-05,8.256820e-05,8.267529e-05,8.270408e-05,8.275681e-05,8.279632e-05,8.281438e-05,8.284852e-05,8.284951e-05,8.286365e-05,8.286404e-05,8.285817e-05,8.284600e-05,8.283435e-05,8.279730e-05,8.279343e-05,8.273655e-05,8.272065e-05,8.266482e-05,8.261855e-05,8.257926e-05,8.249332e-05,8.248087e-05,8.237056e-05,8.234714e-05,8.224921e-05,8.218201e-05,8.211764e-05,8.199980e-05,8.197664e-05,8.182695e-05,8.180224e-05,8.166925e-05,8.159091e-05,8.150421e-05,8.136731e-05,8.133245e-05,8.115454e-05,8.113281e-05,8.097105e-05,8.088867e-05,8.078247e-05,8.063607e-05,8.058932e-05,8.039204e-05,8.037609e-05,8.019107e-05,8.010974e-05,7.998681e-05,7.983793e-05,7.977966e-05,7.956996e-05,7.956152e-05,7.935806e-05,7.928131e-05,7.914429e-05,7.899800e-05,7.892893e-05,7.871227e-05,7.842473e-05,7.813595e-05,7.784644e-05,7.755668e-05,7.726709e-05,7.697808e-05,7.669002e-05,7.640322e-05,7.611799e-05,7.583460e-05,7.555331e-05,7.527432e-05,7.499786e-05,7.472410e-05,7.445319e-05,7.418529e-05,7.392053e-05,7.365901e-05,7.340084e-05,7.314610e-05,7.289487e-05,7.264722e-05,7.240319e-05,7.216284e-05
0.000000e+00,1.762395e-12,1.137583e-11,1.544234e-10,7.621689e-10,1.521677e-09,6.192469e-09,6.498925e-09,1.818928e-08,2.310599e-08,3.981712e-08,5.888275e-08,7.454744e-08,1.207553e-07,1.255017e-07,1.957508e-07,2.158046e-07,2.880876e-07,3.502161e-07,4.044191e-07,5.268678e-07,5.449717e-07,7.079911e-07,7.430260e-07,8.903056e-07,9.915178e-07,1.088256e-06,1.264043e-06,1.298339e-06,1.517433e-06,1.553135e-06,1.742781e-06,1.852436e-06,1.971915e-06,2.156439e-06,2.202600e-06,2.432813e-06,2.460319e-06,2.660745e-06,2.759895e-06,2.884806e-06,3.051654e-06,3.103630e-06,3.316080e-06,3.332771e-06,3.521239e-06,3.601096e-06,3.718399e-06,3.855105e-06,3.907045e-06,4.086831e-06,4.093835e-06,4.257561e-06,4.316791e-06,4.419169e-06,4.523868e-06,4.571694e-06,4.715264e-06,4.850077e-06,4.891408e-06,4.976383e-06,5.052888e-06,5.094474e-06,5.200408e-06,5.204668e-06,5.307306e-06,5.334737e-06,5.402733e-06,5.456676e-06,5.491305e-06,5.567039e-06,5.573373e-06,5.649285e-06,5.666626e-06,5.719380e-06,5.756217e-06,5.783989e-06,5.836560e-06,5.843430e-06,5.898007e-06,5.908365e-06,5.948014e-06,5.972305e-06,5.993729e-06,6.029006e-06,6.035416e-06,6.073326e-06,6.079057e-06,6.107698e-06,6.123005e-06,6.138754e-06,6.161356e-06,6.166709e-06,6.191759e-06,6.194579e-06,6.214095e-06,6.223108e-06,6.233892e-06,6.247343e-06,6.251317e-06,6.266527e-06,6.267652e-06,6.279667e-06,6.284375e-06,6.290877e-06,6.297825e-06,6.300284e-06,6.308012e-06,6.308288e-06,6.314173e-06,6.316029e-06,6.318875e-06,6.321290e-06,6.322218e-06,6.324296e-06,6.325197e-06,6.325251e-06,6.325004e-06,6.324343e-06,6.323796e-06,6.321747e-06,6.321643e-06,6.318616e-06,6.317620e-06,6.314777e-06,6.312110e-06,6.310188e-06,6.305351e-06,6.304904e-06,6.298978e-06,6.297466e-06,6.292460e-06,6.288568e-06,6.285396e-06,6.278763e-06,6.277830e-06,6.269802e-06,6.268145e-06,6.261352e-06,6.256803e-06,6.252515e-06,6.244817e-06,6.243325e-06,6.233813e-06,6.232263e-06,6.224009e-06,6.219208e-06,6.213942e-06,6.205715e-06,6.203636e-06,6.193117e-06,6.191842e-06,6.182408e-06,6.177641e-06,6.171530e-06,6.163162e-06,6.160503e-06,6.149347e-06,6.148449e-06,6.138079e-06,6.133544e-06,6.126715e-06,6.118483e-06,6.115272e-06,6.103763e-06,6.103302e-06,6.092203e-06,6.088032e-06,6.080604e-06,6.072701e-06,6.068979e-06,6.057337e-06,6.041964e-06,6.026603e-06,6.011276e-06,5.996000e-06,5.980793e-06,5.965669e-06,5.950643e-06,5.935727e-06,5.920934e-06,5.906272e-06,5.891751e-06,5.877380e-06,5.863165e-06,5.849115e-06,5.835234e-06,5.821527e-06,5.808000e-06,5.794656e-06,5.781498e-06,5.768529e-06,5.755752e-06,5.743169e-06,5.730780e-06,5.718588e-06
0.000000e+00,1.618573e-13,1.289645e-12,2.643849e-11,1.842973e-10,4.391609e-10,2.708387e-09,2.887306e-09,1.150498e-08,1.593836e-08,3.359157e-08,5.751257e-08,7.951967e-08,1.538183e-07,1.621074e-07,2.958051e-07,3.371872e-07,4.958607e-07,6.425328e-07,7.773253e-07,1.103111e-06,1.153655e-06,1.635023e-06,1.744477e-06,2.226929e-06,2.578706e-06,2.929677e-06,3.602488e-06,3.738792e-06,4.646048e-06,4.799623e-06,5.640668e-06,6.145540e-06,6.710348e-06,7.611374e-06,7.842033e-06,9.022418e-06,9.166706e-06,1.023827e-05,1.078113e-05,1.147666e-05,1.242521e-05,1.272511e-05,1.397179e-05,1.407111e-05,1.520564e-05,1.569329e-05,1.641655e-05,1.726905e-05,1.759543e-05,1.873439e-05,1.877902e-05,1.982673e-05,2.020747e-05,2.086699e-05,2.154241e-05,2.185094e-05,2.277552e-05,2.363879e-05,2.390190e-05,2.443978e-05,2.491967e-05,2.517842e-05,2.582951e-05,2.585542e-05,2.647212e-05,2.663424e-05,2.703040e-05,2.733825e-05,2.753252e-05,2.794713e-05,2.798111e-05,2.837897e-05,2.846723e-05,2.872905e-05,2.890536e-05,2.903439e-05,2.926847e-05,2.929801e-05,2.952291e-05,2.956350e-05,2.971202e-05,2.979716e-05,2.986818e-05,2.997585e-05,2.999407e-05,3.009227e-05,3.010558e-05,3.016521e-05,3.019191e-05,3.021514e-05,3.023995e-05,3.024419e-05,3.025432e-05,3.025436e-05,3.024737e-05,3.023932e-05,3.022499e-05,3.019863e-05,3.018874e-05,3.014004e-05,3.013565e-05,3.008020e-05,3.005340e-05,3.001039e-05,2.995457e-05,2.993170e-05,2.984512e-05,2.984151e-05,2.975155e-05,2.971631e-05,2.965180e-05,2.958082e-05,2.954661e-05,2.943667e-05,2.932257e-05,2.928528e-05,2.920489e-05,2.912793e-05,2.908413e-05,2.896571e-05,2.896073e-05,2.883512e-05,2.879960e-05,2.870767e-05,2.863046e-05,2.857872e-05,2.845903e-05,2.844858e-05,2.831753e-05,2.828598e-05,2.818583e-05,2.811188e-05,2.805370e-05,2.793724e-05,2.792136e-05,2.778898e-05,2.776251e-05,2.765674e-05,2.758808e-05,2.752479e-05,2.741429e-05,2.739328e-05,2.726233e-05,2.724144e-05,2.713205e-05,2.706979e-05,2.700255e-05,2.689957e-05,2.687392e-05,2.674624e-05,2.673098e-05,2.661958e-05,2.656419e-05,2.649401e-05,2.639934e-05,2.636959e-05,2.624638e-05,2.623657e-05,2.612441e-05,2.607598e-05,2.600373e-05,2.591766e-05,2.588438e-05,2.576639e-05,2.576170e-05,2.564978e-05,2.560815e-05,2.553458e-05,2.545706e-05,2.542081e-05,2.530849e-05,2.516246e-05,2.501900e-05,2.487812e-05,2.473983e-05,2.460414e-05,2.447104e-05,2.434053e-05,2.421261e-05,2.408724e-05,2.396443e-05,2.384414e-05,2.372635e-05,2.361104e-05,2.349818e-05,2.338774e-05,2.327969e-05,2.317400e-05,2.307063e-05,2.296955e-05,2.287072e-05,2.277412e-05,2.267969e-05,2.258741e-05,2.249723e-05
0.000000e+00,1.587258e-14,1.345504e-13,3.132703e-12,2.449761e-11,6.214663e-11,4.496355e-10,4.824286e-10,2.243826e-09,3.239366e-09,7.559988e-09,1.402791e-08,2.041819e-08,4.415020e-08,4.696169e-08,9.564128e-08,1.117602e-07,1.771260e-07,2.417116e-07,3.039990e-07,4.642916e-07,4.902649e-07,7.506805e-07,8.129646e-07,1.099916e-06,1.321213e-06,1.551600e-06,2.018768e-06,2.117355e-06,2.805947e-06,2.927926e-06,3.622659e-06,4.060770e-06,4.568962e-06,5.417828e-06,5.642464e-06,6.837120e-06,6.988209e-06,8.143630e-06,8.750915e-06,9.549967e-06,1.067690e-05,1.104197e-05,1.260398e-05,1.273147e-05,1.421940e-05,1.487674e-05,1.587131e-05,1.707382e-05,1.754290e-05,1.921797e-05,1.928483e-05,2.088127e-05,2.147443e-05,2.251876e-05,2.361102e-05,2.411784e-05,2.566753e-05,2.715848e-05,2.762189e-05,2.858304e-05,2.945709e-05,2.993522e-05,3.116109e-05,3.121059e-05,3.240623e-05,3.272647e-05,3.352054e-05,3.414988e-05,3.455314e-05,3.543151e-05,3.550468e-05,3.637672e-05,3.657442e-05,3.717155e-05,3.758397e-05,3.789203e-05,3.846719e-05,3.854149e-05,3.912357e-05,3.923224e-05,3.964214e-05,3.988801e-05,4.010117e-05,4.044370e-05,4.050470e-05,4.085669e-05,4.090849e-05,4.116105e-05,4.129133e-05,4.142153e-05,4.160076e-05,4.164175e-05,4.182514e-05,4.184482e-05,4.197490e-05,4.203093e-05,4.209405e-05,4.216587e-05,4.218541e-05,4.225154e-05,4.225582e-05,4.229486e-05,4.230629e-05,4.231754e-05,4.232223e-05,4.232159e-05,4.230885e-05,4.230801e-05,4.228097e-05,4.226753e-05,4.223948e-05,4.220419e-05,4.218574e-05,4.212100e-05,4.204639e-05,4.202059e-05,4.196292e-05,4.190528e-05,4.187151e-05,4.177707e-05,4.177301e-05,4.166816e-05,4.163776e-05,4.155765e-05,4.148889e-05,4.144210e-05,4.133182e-05,4.132207e-05,4.119807e-05,4.116777e-05,4.107057e-05,4.099780e-05,4.093998e-05,4.082282e-05,4.080670e-05,4.067106e-05,4.064368e-05,4.053339e-05,4.046110e-05,4.039398e-05,4.027573e-05,4.025310e-05,4.011098e-05,4.008814e-05,3.996786e-05,3.989887e-05,3.982394e-05,3.970836e-05,3.967941e-05,3.953444e-05,3.951702e-05,3.938919e-05,3.932524e-05,3.924382e-05,3.913332e-05,3.909844e-05,3.895320e-05,3.894158e-05,3.880819e-05,3.875028e-05,3.866354e-05,3.855966e-05,3.851933e-05,3.837567e-05,3.836993e-05,3.823262e-05,3.818129e-05,3.809027e-05,3.799391e-05,3.794870e-05,3.780795e-05,3.762355e-05,3.744082e-05,3.725989e-05,3.708084e-05,3.690376e-05,3.672874e-05,3.655583e-05,3.638510e-05,3.621660e-05,3.605036e-05,3.588644e-05,3.572485e-05,3.556562e-05,3.540877e-05,3.525432e-05,3.510228e-05,3.495265e-05,3.480543e-05,3.466063e-05,3.451824e-05,3.437825e-05,3.424066e-05,3.410545e-05,3.397262e-05
0.000000e+00,2.421024e-13,1.942877e-12,4.038465e-11,2.849376e-10,6.833490e-10,4.281437e-09,4.567088e-09,1.846077e-08,2.566759e-08,5.456311e-08,9.401036e-08,1.304770e-07,2.542737e-07,2.681275e-07,4.921974e-07,5.617005e-07,8.285254e-07,1.075463e-06,1.302604e-06,1.852543e-06,1.938011e-06,2.754472e-06,2.940812e-06,3.765386e-06,4.369797e-06,4.975166e-06,6.140601e-06,6.377247e-06,7.953681e-06,8.220345e-06,9.676618e-06,1.054562e-05,1.151125e-05,1.303372e-05,1.341937e-05,1.536276e-05,1.559661e-05,1.730581e-05,1.815238e-05,1.921716e-05,2.063224e-05,2.107057e-05,2.284515e-05,2.298320e-05,2.452508e-05,2.516790e-05,2.609916e-05,2.716277e-05,2.756019e-05,2.890437e-05,2.895569e-05,3.013072e-05,3.054354e-05,3.124050e-05,3.193007e-05,3.223677e-05,3.312391e-05,3.390731e-05,3.413706e-05,3.459301e-05,3.498356e-05,3.518747e-05,3.567849e-05,3.569734e-05,3.612930e-05,3.623718e-05,3.648990e-05,3.667467e-05,3.678550e-05,3.700525e-05,3.702215e-05,3.720558e-05,3.724229e-05,3.734114e-05,3.739801e-05,3.743380e-05,3.748348e-05,3.748812e-05,3.750831e-05,3.750859e-05,3.749819e-05,3.748212e-05,3.746125e-05,3.741181e-05,3.740065e-05,3.731921e-05,3.730442e-05,3.721951e-05,3.716584e-05,3.710383e-05,3.700119e-05,3.697425e-05,3.683261e-05,3.681488e-05,3.668056e-05,3.661074e-05,3.651958e-05,3.639208e-05,3.635099e-05,3.617596e-05,3.616171e-05,3.599555e-05,3.592209e-05,3.581069e-05,3.567530e-05,3.562221e-05,3.543086e-05,3.542316e-05,3.523731e-05,3.516720e-05,3.504213e-05,3.490876e-05,3.484586e-05,3.464897e-05,3.445186e-05,3.438880e-05,3.425491e-05,3.412911e-05,3.405846e-05,3.387059e-05,3.386278e-05,3.366814e-05,3.361386e-05,3.347477e-05,3.335944e-05,3.328287e-05,3.310776e-05,3.309261e-05,3.290415e-05,3.285921e-05,3.271764e-05,3.261408e-05,3.253318e-05,3.237265e-05,3.235089e-05,3.217085e-05,3.213512e-05,3.199314e-05,3.190167e-05,3.181783e-05,3.167246e-05,3.164497e-05,3.147460e-05,3.144758e-05,3.130678e-05,3.122713e-05,3.114151e-05,3.101117e-05,3.097884e-05,3.081877e-05,3.079974e-05,3.066132e-05,3.059287e-05,3.050648e-05,3.039057e-05,3.035428e-05,3.020469e-05,3.019283e-05,3.005771e-05,2.999966e-05,2.991335e-05,2.981100e-05,2.977157e-05,2.963236e-05,2.962685e-05,2.949572e-05,2.944715e-05,2.936161e-05,2.927185e-05,2.923002e-05,2.910092e-05,2.893427e-05,2.877186e-05,2.861362e-05,2.845948e-05,2.830936e-05,2.816319e-05,2.802090e-05,2.788242e-05,2.774766e-05,2.761654e-05,2.748899e-05,2.736493e-05,2.724429e-05,2.712697e-05,2.701291e-05,2.690204e-05,2.679426e-05,2.668951e-05,2.658771e-05,2.648880e-05,2.639268e-05,2.629931e-05,2.620859e-05,2.612047e-05
0.000000e+00,7.033040e-12,1.609688e-11,5.526668e-11,1.257361e-10,1.836520e-10,4.201773e-10,4.330531e-10,8.523859e-10,1.008242e-09,1.501779e-09,2.027067e-09,2.438736e-09,3.567664e-09,3.677009e-09,5.172954e-09,5.563656e-09,6.868839e-09,7.888977e-09,8.721005e-09,1.045564e-08,1.069876e-08,1.277776e-08,1.320375e-08,1.493587e-08,1.608215e-08,1.715141e-08,1.904106e-08,1.940281e-08,2.166880e-08,2.203133e-08,2.392892e-08,2.500601e-08,2.616405e-08,2.792246e-08,2.835688e-08,3.049219e-08,3.074392e-08,3.255705e-08,3.344046e-08,3.454090e-08,3.598929e-08,3.643548e-08,3.823459e-08,3.837426e-08,3.993402e-08,4.058527e-08,4.153128e-08,4.261744e-08,4.302538e-08,4.441657e-08,4.447009e-08,4.570615e-08,4.614592e-08,4.689625e-08,4.765009e-08,4.798964e-08,4.898958e-08,4.989970e-08,5.017259e-08,5.072386e-08,5.120807e-08,5.146609e-08,5.210533e-08,5.213046e-08,5.272108e-08,5.287380e-08,5.324203e-08,5.352282e-08,5.369730e-08,5.406151e-08,5.409081e-08,5.442632e-08,5.449862e-08,5.470745e-08,5.484244e-08,5.493770e-08,5.510087e-08,5.512039e-08,5.525872e-08,5.528133e-08,5.535570e-08,5.539076e-08,5.541422e-08,5.543563e-08,5.543698e-08,5.542657e-08,5.542199e-08,5.538543e-08,5.535545e-08,5.531585e-08,5.524117e-08,5.522000e-08,5.509992e-08,5.508398e-08,5.495753e-08,5.488828e-08,5.479463e-08,5.465816e-08,5.461292e-08,5.441399e-08,5.439738e-08,5.419934e-08,5.410939e-08,5.397035e-08,5.379735e-08,5.372836e-08,5.347457e-08,5.346419e-08,5.321014e-08,5.311255e-08,5.293615e-08,5.274489e-08,5.265359e-08,5.236342e-08,5.206649e-08,5.197018e-08,5.176362e-08,5.156703e-08,5.145559e-08,5.115566e-08,5.114308e-08,5.082678e-08,5.073761e-08,5.050727e-08,5.031428e-08,5.018515e-08,4.988694e-08,4.986093e-08,4.953511e-08,4.945673e-08,4.920815e-08,4.902470e-08,4.888045e-08,4.859179e-08,4.855243e-08,4.822442e-08,4.815886e-08,4.789678e-08,4.772665e-08,4.756980e-08,4.729586e-08,4.724377e-08,4.691895e-08,4.686710e-08,4.659557e-08,4.644093e-08,4.627386e-08,4.601782e-08,4.595401e-08,4.563620e-08,4.559821e-08,4.532061e-08,4.518249e-08,4.500738e-08,4.477099e-08,4.469665e-08,4.438855e-08,4.436401e-08,4.408317e-08,4.396181e-08,4.378063e-08,4.356460e-08,4.348101e-08,4.318438e-08,4.317258e-08,4.289083e-08,4.278591e-08,4.260040e-08,4.240472e-08,4.231315e-08,4.202913e-08,4.165921e-08,4.129505e-08,4.093670e-08,4.058417e-08,4.023751e-08,3.989671e-08,3.956177e-08,3.923268e-08,3.890940e-08,3.859191e-08,3.828015e-08,3.797410e-08,3.767368e-08,3.737885e-08,3.708953e-08,3.680566e-08,3.652716e-08,3.625397e-08,3.598600e-08,3.572317e-08,3.546541e-08,3.521263e-08,3.496474e-08,3.472167e-08
0.000000e+00,8.277672e-12,1.896087e-11,6.517922e-11,1.483451e-10,2.166373e-10,4.946222e-10,5.097077e-10,9.982338e-10,1.178458e-09,1.744581e-09,2.340149e-09,2.802721e-09,4.059560e-09,4.180811e-09,5.839823e-09,6.274322e-09,7.732321e-09,8.879724e-09,9.820728e-09,1.179670e-08,1.207508e-08,1.446836e-08,1.496134e-08,1.697390e-08,1.831220e-08,1.956470e-08,2.178701e-08,2.221363e-08,2.489403e-08,2.532409e-08,2.758048e-08,2.886513e-08,3.024947e-08,3.235782e-08,3.287990e-08,3.545341e-08,3.575763e-08,3.795440e-08,3.902848e-08,4.037014e-08,4.214282e-08,4.269060e-08,4.490824e-08,4.508104e-08,4.701774e-08,4.783046e-08,4.901576e-08,5.038428e-08,5.090058e-08,5.267191e-08,5.274042e-08,5.433060e-08,5.490047e-08,5.587840e-08,5.686880e-08,5.731778e-08,5.865180e-08,5.988389e-08,6.025723e-08,6.101779e-08,6.169377e-08,6.205744e-08,6.297061e-08,6.300690e-08,6.387031e-08,6.409720e-08,6.465174e-08,6.508295e-08,6.535526e-08,6.593712e-08,6.598486e-08,6.654445e-08,6.666876e-08,6.703782e-08,6.728655e-08,6.746864e-08,6.779885e-08,6.784047e-08,6.815672e-08,6.821360e-08,6.842068e-08,6.853831e-08,6.863548e-08,6.878012e-08,6.880412e-08,6.892949e-08,6.894571e-08,6.901431e-08,6.904140e-08,6.906120e-08,6.907307e-08,6.907263e-08,6.905097e-08,6.904625e-08,6.899845e-08,6.896612e-08,6.891720e-08,6.883747e-08,6.880923e-08,6.867645e-08,6.866481e-08,6.852066e-08,6.845229e-08,6.834359e-08,6.820382e-08,6.814683e-08,6.793193e-08,6.792298e-08,6.770032e-08,6.761312e-08,6.745337e-08,6.727733e-08,6.719235e-08,6.691848e-08,6.663290e-08,6.653922e-08,6.633668e-08,6.614199e-08,6.603084e-08,6.572905e-08,6.571631e-08,6.539400e-08,6.530248e-08,6.506475e-08,6.486420e-08,6.472934e-08,6.441597e-08,6.438852e-08,6.404297e-08,6.395941e-08,6.369335e-08,6.349601e-08,6.334026e-08,6.302712e-08,6.298427e-08,6.262592e-08,6.255401e-08,6.226570e-08,6.207780e-08,6.190408e-08,6.159954e-08,6.154148e-08,6.117832e-08,6.112019e-08,6.081496e-08,6.064059e-08,6.045177e-08,6.016154e-08,6.008905e-08,5.972712e-08,5.968375e-08,5.936624e-08,5.920786e-08,5.900669e-08,5.873446e-08,5.864869e-08,5.829247e-08,5.826406e-08,5.793824e-08,5.779714e-08,5.758616e-08,5.733411e-08,5.723642e-08,5.688918e-08,5.687534e-08,5.654457e-08,5.642118e-08,5.620273e-08,5.597192e-08,5.586377e-08,5.552780e-08,5.508906e-08,5.465589e-08,5.422846e-08,5.380690e-08,5.339134e-08,5.298187e-08,5.257857e-08,5.218150e-08,5.179070e-08,5.140620e-08,5.102801e-08,5.065613e-08,5.029057e-08,4.993129e-08,4.957827e-08,4.923147e-08,4.889086e-08,4.855637e-08,4.822796e-08,4.790556e-08,4.758910e-08,4.727852e-08,4.697374e-08,4.667469e-08
0.000000e+00,9.135937e-12,5.913969e-11,8.074264e-10,4.007832e-09,8.029857e-09,3.305437e-08,3.470981e-08,9.883644e-08,1.263164e-07,2.217319e-07,3.341102e-07,4.290450e-07,7.214113e-07,7.523978e-07,1.228409e-06,1.369385e-06,1.891104e-06,2.351334e-06,2.757959e-06,3.683048e-06,3.819870e-06,5.045166e-06,5.306252e-06,6.393128e-06,7.129599e-06,7.825585e-06,9.071344e-06,9.311674e-06,1.082781e-05,1.107191e-05,1.235588e-05,1.308925e-05,1.388148e-05,1.509213e-05,1.539273e-05,1.687954e-05,1.705589e-05,1.833330e-05,1.896055e-05,1.974668e-05,2.079003e-05,2.111355e-05,2.242894e-05,2.253182e-05,2.368896e-05,2.417679e-05,2.489075e-05,2.571887e-05,2.603238e-05,2.711277e-05,2.715471e-05,2.813155e-05,2.848325e-05,2.908896e-05,2.970534e-05,2.998580e-05,3.082327e-05,3.160291e-05,3.184047e-05,3.232652e-05,3.276113e-05,3.299607e-05,3.358997e-05,3.361371e-05,3.418162e-05,3.433203e-05,3.470206e-05,3.499249e-05,3.517732e-05,3.557657e-05,3.560963e-05,3.600123e-05,3.608940e-05,3.635429e-05,3.653597e-05,3.667095e-05,3.692112e-05,3.695324e-05,3.720316e-05,3.724942e-05,3.742259e-05,3.752526e-05,3.761338e-05,3.775277e-05,3.777725e-05,3.791588e-05,3.793582e-05,3.803085e-05,3.807807e-05,3.812366e-05,3.818292e-05,3.819575e-05,3.824847e-05,3.825356e-05,3.828311e-05,3.829294e-05,3.830089e-05,3.830383e-05,3.830295e-05,3.829040e-05,3.828879e-05,3.826425e-05,3.825021e-05,3.822548e-05,3.819027e-05,3.817501e-05,3.811369e-05,3.811103e-05,3.804236e-05,3.801437e-05,3.796176e-05,3.790204e-05,3.787263e-05,3.777565e-05,3.767146e-05,3.763669e-05,3.756066e-05,3.748654e-05,3.744382e-05,3.732646e-05,3.732147e-05,3.719411e-05,3.715762e-05,3.706221e-05,3.698108e-05,3.692622e-05,3.679784e-05,3.678654e-05,3.664357e-05,3.660881e-05,3.649767e-05,3.641482e-05,3.634919e-05,3.621663e-05,3.619843e-05,3.604570e-05,3.601494e-05,3.589128e-05,3.581040e-05,3.573543e-05,3.560359e-05,3.557840e-05,3.542041e-05,3.539505e-05,3.526167e-05,3.518528e-05,3.510240e-05,3.497471e-05,3.494276e-05,3.478294e-05,3.476376e-05,3.462310e-05,3.455279e-05,3.446337e-05,3.434215e-05,3.430391e-05,3.414484e-05,3.413214e-05,3.398629e-05,3.392303e-05,3.382835e-05,3.371507e-05,3.367113e-05,3.351473e-05,3.350850e-05,3.335924e-05,3.330350e-05,3.320473e-05,3.310026e-05,3.305128e-05,3.289895e-05,3.269970e-05,3.250265e-05,3.230791e-05,3.211556e-05,3.192571e-05,3.173842e-05,3.155376e-05,3.137177e-05,3.119251e-05,3.101600e-05,3.084228e-05,3.067137e-05,3.050329e-05,3.033803e-05,3.017561e-05,3.001603e-05,2.985928e-05,2.970535e-05,2.955423e-05,2.940590e-05,2.926034e-05,2.911754e-05,2.897746e-05,2.884009e-05
0.000000e+00,1.833766e-10,6.472769e-10,3.512222e-09,9.818594e-09,1.543060e-08,3.969024e-08,4.103710e-08,8.502300e-08,1.012438e-07,1.518479e-07,2.047033e-07,2.458139e-07,3.597126e-07,3.709575e-07,5.306562e-07,5.743850e-07,7.268253e-07,8.524783e-07,9.587268e-07,1.189029e-06,1.222067e-06,1.509595e-06,1.569277e-06,1.813156e-06,1.974876e-06,2.125494e-06,2.390376e-06,2.440834e-06,2.754702e-06,2.804539e-06,3.063589e-06,3.209243e-06,3.364706e-06,3.598503e-06,3.655842e-06,3.935271e-06,3.967950e-06,4.201695e-06,4.314554e-06,4.454201e-06,4.636425e-06,4.692202e-06,4.915396e-06,4.932609e-06,5.123721e-06,5.202912e-06,5.317310e-06,5.447725e-06,5.496450e-06,5.661550e-06,5.667869e-06,5.813110e-06,5.864464e-06,5.951691e-06,6.038819e-06,6.077897e-06,6.192356e-06,6.295708e-06,6.326539e-06,6.388590e-06,6.442829e-06,6.471628e-06,6.542653e-06,6.545436e-06,6.610615e-06,6.627398e-06,6.667740e-06,6.698379e-06,6.717360e-06,6.756831e-06,6.759996e-06,6.796147e-06,6.803910e-06,6.826281e-06,6.840695e-06,6.850842e-06,6.868178e-06,6.870248e-06,6.884890e-06,6.887280e-06,6.895137e-06,6.898844e-06,6.901335e-06,6.903648e-06,6.903805e-06,6.902852e-06,6.902401e-06,6.898756e-06,6.895752e-06,6.891783e-06,6.884297e-06,6.882177e-06,6.870169e-06,6.868577e-06,6.855973e-06,6.849085e-06,6.839787e-06,6.826271e-06,6.821798e-06,6.802178e-06,6.800542e-06,6.781086e-06,6.772272e-06,6.758673e-06,6.741795e-06,6.735077e-06,6.710425e-06,6.709419e-06,6.684838e-06,6.675420e-06,6.658426e-06,6.640047e-06,6.631292e-06,6.603529e-06,6.575227e-06,6.566069e-06,6.546466e-06,6.527853e-06,6.517321e-06,6.489046e-06,6.487862e-06,6.458153e-06,6.449798e-06,6.428253e-06,6.410244e-06,6.398216e-06,6.370505e-06,6.368093e-06,6.337929e-06,6.330688e-06,6.307766e-06,6.290891e-06,6.277644e-06,6.251199e-06,6.247598e-06,6.217660e-06,6.211688e-06,6.187861e-06,6.172428e-06,6.158226e-06,6.133478e-06,6.128781e-06,6.099548e-06,6.094892e-06,6.070547e-06,6.056715e-06,6.041797e-06,6.018988e-06,6.013314e-06,5.985112e-06,5.981748e-06,5.957206e-06,5.945023e-06,5.929606e-06,5.908842e-06,5.902323e-06,5.875367e-06,5.873225e-06,5.848744e-06,5.838191e-06,5.822463e-06,5.803755e-06,5.796529e-06,5.770947e-06,5.769931e-06,5.745721e-06,5.736728e-06,5.720855e-06,5.704152e-06,5.696350e-06,5.672210e-06,5.640905e-06,5.610238e-06,5.580209e-06,5.550817e-06,5.522059e-06,5.493932e-06,5.466431e-06,5.439550e-06,5.413284e-06,5.387625e-06,5.362566e-06,5.338098e-06,5.314214e-06,5.290904e-06,5.268159e-06,5.245970e-06,5.224327e-06,5.203221e-06,5.182641e-06,5.162577e-06,5.143019e-06,5.123957e-06,5.105382e-06,5.087282e-06
0.000000e+00,9.842296e-12,2.264603e-11,7.821080e-11,1.782518e-10,2.602795e-10,5.923652e-10,6.102968e-10,1.186298e-09,1.396844e-09,2.054549e-09,2.747312e-09,3.291798e-09,4.827832e-09,4.981576e-09,7.198136e-09,7.813607e-09,9.975635e-09,1.176671e-08,1.328161e-08,1.655735e-08,1.702623e-08,2.110065e-08,2.194616e-08,2.540721e-08,2.771190e-08,2.986845e-08,3.369105e-08,3.442424e-08,3.902656e-08,3.976449e-08,4.363545e-08,4.583977e-08,4.821648e-08,5.184080e-08,5.273942e-08,5.717763e-08,5.770338e-08,6.150777e-08,6.337351e-08,6.570977e-08,6.880707e-08,6.976673e-08,7.366487e-08,7.396952e-08,7.739340e-08,7.883544e-08,8.094431e-08,8.338783e-08,8.431214e-08,8.749374e-08,8.761711e-08,9.048795e-08,9.152006e-08,9.329536e-08,9.509870e-08,9.591804e-08,9.835935e-08,1.006236e-07,1.013116e-07,1.027160e-07,1.039674e-07,1.046421e-07,1.063404e-07,1.064081e-07,1.080205e-07,1.084453e-07,1.094859e-07,1.102975e-07,1.108112e-07,1.119124e-07,1.120029e-07,1.130680e-07,1.133055e-07,1.140129e-07,1.144920e-07,1.148442e-07,1.154868e-07,1.155682e-07,1.161910e-07,1.163039e-07,1.167185e-07,1.169570e-07,1.171564e-07,1.174590e-07,1.175102e-07,1.177851e-07,1.178222e-07,1.179862e-07,1.180579e-07,1.181183e-07,1.181772e-07,1.181858e-07,1.181931e-07,1.181902e-07,1.181444e-07,1.181063e-07,1.180436e-07,1.179344e-07,1.178943e-07,1.177002e-07,1.176828e-07,1.174645e-07,1.173593e-07,1.171903e-07,1.169709e-07,1.168808e-07,1.165386e-07,1.165242e-07,1.161664e-07,1.160255e-07,1.157667e-07,1.154805e-07,1.153419e-07,1.148943e-07,1.144258e-07,1.142718e-07,1.139385e-07,1.136176e-07,1.134342e-07,1.129357e-07,1.129147e-07,1.123815e-07,1.122300e-07,1.118363e-07,1.115039e-07,1.112804e-07,1.107607e-07,1.107152e-07,1.101420e-07,1.100033e-07,1.095619e-07,1.092344e-07,1.089760e-07,1.084565e-07,1.083854e-07,1.077910e-07,1.076718e-07,1.071938e-07,1.068823e-07,1.065945e-07,1.060900e-07,1.059939e-07,1.053928e-07,1.052966e-07,1.047918e-07,1.045035e-07,1.041915e-07,1.037123e-07,1.035926e-07,1.029956e-07,1.029241e-07,1.024009e-07,1.021400e-07,1.018089e-07,1.013612e-07,1.012203e-07,1.006352e-07,1.005885e-07,1.000541e-07,9.982279e-08,9.947722e-08,9.906471e-08,9.890496e-08,9.833754e-08,9.831495e-08,9.777521e-08,9.757406e-08,9.721819e-08,9.684254e-08,9.666667e-08,9.612083e-08,9.540930e-08,9.470826e-08,9.401798e-08,9.333868e-08,9.267054e-08,9.201371e-08,9.136827e-08,9.073433e-08,9.011190e-08,8.950103e-08,8.890170e-08,8.831388e-08,8.773753e-08,8.717260e-08,8.661899e-08,8.607663e-08,8.554540e-08,8.502518e-08,8.451586e-08,8.401730e-08,8.352937e-08,8.305190e-08,8.258475e-08,8.212776e-08
0.000000e+00,2.020561e-13,1.549003e-12,2.935900e-11,1.910657e-10,4.389773e-10,2.474621e-09,2.628843e-09,9.649166e-09,1.308847e-08,2.622385e-08,4.320686e-08,5.833432e-08,1.073612e-07,1.126930e-07,1.962845e-07,2.214647e-07,3.159338e-07,4.010229e-07,4.777873e-07,6.590768e-07,6.867693e-07,9.462362e-07,1.004369e-06,1.257951e-06,1.440862e-06,1.622287e-06,1.968485e-06,2.038510e-06,2.504997e-06,2.584151e-06,3.019395e-06,3.282466e-06,3.578706e-06,4.056107e-06,4.179354e-06,4.817248e-06,4.896087e-06,5.487856e-06,5.792039e-06,6.186296e-06,6.732579e-06,6.907447e-06,7.646058e-06,7.705743e-06,8.396867e-06,8.699442e-06,9.154705e-06,9.701899e-06,9.914599e-06,1.067185e-05,1.070202e-05,1.142211e-05,1.168972e-05,1.216142e-05,1.265607e-05,1.288624e-05,1.359349e-05,1.428055e-05,1.449576e-05,1.494520e-05,1.535798e-05,1.558567e-05,1.617650e-05,1.620059e-05,1.678894e-05,1.694881e-05,1.735004e-05,1.767344e-05,1.788350e-05,1.834977e-05,1.838920e-05,1.886725e-05,1.897789e-05,1.931793e-05,1.955853e-05,1.974171e-05,2.009285e-05,2.013917e-05,2.051102e-05,2.058238e-05,2.085803e-05,2.102893e-05,2.118104e-05,2.143448e-05,2.148095e-05,2.175869e-05,2.180113e-05,2.201519e-05,2.213104e-05,2.225139e-05,2.242637e-05,2.246824e-05,2.266667e-05,2.268929e-05,2.284760e-05,2.292189e-05,2.301192e-05,2.312624e-05,2.316051e-05,2.329420e-05,2.330428e-05,2.341382e-05,2.345790e-05,2.352014e-05,2.358888e-05,2.361392e-05,2.369587e-05,2.369892e-05,2.376669e-05,2.378959e-05,2.382703e-05,2.386239e-05,2.387751e-05,2.391873e-05,2.395125e-05,2.395991e-05,2.397561e-05,2.398715e-05,2.399232e-05,2.400160e-05,2.400185e-05,2.400468e-05,2.400432e-05,2.400122e-05,2.399629e-05,2.399188e-05,2.397843e-05,2.397706e-05,2.395711e-05,2.395159e-05,2.393238e-05,2.391656e-05,2.390319e-05,2.387407e-05,2.386986e-05,2.383268e-05,2.382480e-05,2.379190e-05,2.376937e-05,2.374781e-05,2.370838e-05,2.370063e-05,2.365060e-05,2.364235e-05,2.359794e-05,2.357178e-05,2.354284e-05,2.349714e-05,2.348550e-05,2.342611e-05,2.341885e-05,2.336483e-05,2.333731e-05,2.330183e-05,2.325288e-05,2.323725e-05,2.317124e-05,2.316590e-05,2.310393e-05,2.307668e-05,2.303546e-05,2.298550e-05,2.296593e-05,2.289547e-05,2.289263e-05,2.282417e-05,2.279832e-05,2.275214e-05,2.270279e-05,2.267948e-05,2.260626e-05,2.250890e-05,2.241091e-05,2.231243e-05,2.221363e-05,2.211465e-05,2.201559e-05,2.191659e-05,2.181776e-05,2.171918e-05,2.162095e-05,2.152314e-05,2.142585e-05,2.132913e-05,2.123304e-05,2.113764e-05,2.104299e-05,2.094912e-05,2.085609e-05,2.076392e-05,2.067266e-05,2.058232e-05,2.049295e-05,2.040456e-05,2.031717e-05
0.000000e+00,1.352657e-11,3.113776e-11,1.077830e-10,2.466945e-10,3.614731e-10,8.340002e-10,8.598612e-10,1.707705e-09,2.025079e-09,3.036271e-09,4.121700e-09,4.978771e-09,7.357129e-09,7.589489e-09,1.079534e-08,1.163904e-08,1.446975e-08,1.669117e-08,1.850665e-08,2.229846e-08,2.283046e-08,2.738384e-08,2.831768e-08,3.211781e-08,3.463562e-08,3.698675e-08,4.114881e-08,4.194677e-08,4.695561e-08,4.775884e-08,5.197323e-08,5.437382e-08,5.696267e-08,6.091144e-08,6.189066e-08,6.672812e-08,6.730132e-08,7.145039e-08,7.348628e-08,7.603703e-08,7.942198e-08,8.047173e-08,8.474210e-08,8.507634e-08,8.883915e-08,9.042801e-08,9.275690e-08,9.546468e-08,9.649199e-08,1.000432e-07,1.001815e-07,1.034112e-07,1.045792e-07,1.065980e-07,1.086631e-07,1.096068e-07,1.124418e-07,1.151077e-07,1.159260e-07,1.176099e-07,1.191280e-07,1.199540e-07,1.220611e-07,1.221460e-07,1.241917e-07,1.247392e-07,1.260974e-07,1.271760e-07,1.278689e-07,1.293854e-07,1.295123e-07,1.310334e-07,1.313809e-07,1.324380e-07,1.331758e-07,1.337317e-07,1.347826e-07,1.349197e-07,1.360075e-07,1.362134e-07,1.370000e-07,1.374800e-07,1.379020e-07,1.385933e-07,1.387184e-07,1.394534e-07,1.395638e-07,1.401116e-07,1.404013e-07,1.406968e-07,1.411153e-07,1.412132e-07,1.416645e-07,1.417144e-07,1.420541e-07,1.422070e-07,1.423857e-07,1.426009e-07,1.426625e-07,1.428875e-07,1.429033e-07,1.430637e-07,1.431212e-07,1.431941e-07,1.432610e-07,1.432812e-07,1.433276e-07,1.433287e-07,1.433358e-07,1.433299e-07,1.433082e-07,1.432699e-07,1.432468e-07,1.431537e-07,1.430311e-07,1.429859e-07,1.428807e-07,1.427708e-07,1.427044e-07,1.425123e-07,1.425039e-07,1.422807e-07,1.422143e-07,1.420364e-07,1.418803e-07,1.417725e-07,1.415135e-07,1.414903e-07,1.411912e-07,1.411170e-07,1.408764e-07,1.406936e-07,1.405470e-07,1.402460e-07,1.402041e-07,1.398489e-07,1.397765e-07,1.394824e-07,1.392875e-07,1.391053e-07,1.387812e-07,1.387187e-07,1.383235e-07,1.382595e-07,1.379203e-07,1.377242e-07,1.375099e-07,1.371770e-07,1.370932e-07,1.366706e-07,1.366195e-07,1.362429e-07,1.360533e-07,1.358107e-07,1.354796e-07,1.353746e-07,1.349350e-07,1.348997e-07,1.344925e-07,1.343148e-07,1.340476e-07,1.337260e-07,1.336007e-07,1.331522e-07,1.331342e-07,1.327025e-07,1.325404e-07,1.322521e-07,1.319455e-07,1.318012e-07,1.313502e-07,1.307552e-07,1.301612e-07,1.295689e-07,1.289787e-07,1.283913e-07,1.278070e-07,1.272264e-07,1.266497e-07,1.260774e-07,1.255098e-07,1.249471e-07,1.243897e-07,1.238377e-07,1.232915e-07,1.227511e-07,1.222167e-07,1.216886e-07,1.211668e-07,1.206514e-07,1.201425e-07,1.196402e-07,1.191447e-07,1.186558e-07,1.181737e-07
0.000000e+00,1.191760e-11,6.798169e-11,7.393273e-10,3.099284e-09,5.738231e-09,1.999659e-08,2.087639e-08,5.250086e-08,6.517636e-08,1.070010e-07,1.534308e-07,1.910339e-07,3.005675e-07,3.117503e-07,4.765174e-07,5.233623e-07,6.915686e-07,8.352612e-07,9.599196e-07,1.239341e-06,1.280440e-06,1.649095e-06,1.728163e-06,2.060887e-06,2.290448e-06,2.510996e-06,2.915483e-06,2.995040e-06,3.508948e-06,3.593680e-06,4.048775e-06,4.315949e-06,4.610602e-06,5.073253e-06,5.190484e-06,5.784470e-06,5.856509e-06,6.388639e-06,6.656709e-06,6.999164e-06,7.465145e-06,7.612370e-06,8.224787e-06,8.273648e-06,8.833196e-06,9.074769e-06,9.434658e-06,9.861920e-06,1.002654e-05,1.060653e-05,1.062945e-05,1.117262e-05,1.137268e-05,1.172312e-05,1.208783e-05,1.225663e-05,1.277202e-05,1.326842e-05,1.342314e-05,1.374518e-05,1.403980e-05,1.420188e-05,1.462118e-05,1.463825e-05,1.505419e-05,1.516699e-05,1.544973e-05,1.567733e-05,1.582504e-05,1.615266e-05,1.618036e-05,1.651601e-05,1.659369e-05,1.683241e-05,1.700134e-05,1.712998e-05,1.737668e-05,1.740924e-05,1.767070e-05,1.772091e-05,1.791492e-05,1.803529e-05,1.814246e-05,1.832112e-05,1.835389e-05,1.854979e-05,1.857974e-05,1.873075e-05,1.881247e-05,1.889734e-05,1.902065e-05,1.905014e-05,1.918971e-05,1.920559e-05,1.931660e-05,1.936856e-05,1.943137e-05,1.951081e-05,1.953454e-05,1.962664e-05,1.963354e-05,1.970816e-05,1.973793e-05,1.977961e-05,1.982508e-05,1.984146e-05,1.989416e-05,1.989608e-05,1.993816e-05,1.995196e-05,1.997390e-05,1.999370e-05,2.000179e-05,2.002224e-05,2.003562e-05,2.003847e-05,2.004231e-05,2.004324e-05,2.004266e-05,2.003737e-05,2.003704e-05,2.002575e-05,2.002162e-05,2.000912e-05,1.999671e-05,1.998746e-05,1.996334e-05,1.996106e-05,1.993019e-05,1.992215e-05,1.989512e-05,1.987375e-05,1.985612e-05,1.981874e-05,1.981343e-05,1.976728e-05,1.975765e-05,1.971789e-05,1.969101e-05,1.966549e-05,1.961929e-05,1.961028e-05,1.955244e-05,1.954296e-05,1.949218e-05,1.946245e-05,1.942967e-05,1.937816e-05,1.936508e-05,1.929857e-05,1.929047e-05,1.923029e-05,1.919973e-05,1.916040e-05,1.910629e-05,1.908903e-05,1.901632e-05,1.901045e-05,1.894240e-05,1.891251e-05,1.886737e-05,1.881274e-05,1.879137e-05,1.871449e-05,1.871140e-05,1.863684e-05,1.860872e-05,1.855852e-05,1.850493e-05,1.847962e-05,1.840023e-05,1.829483e-05,1.818889e-05,1.808259e-05,1.797607e-05,1.786949e-05,1.776298e-05,1.765665e-05,1.755063e-05,1.744500e-05,1.733988e-05,1.723535e-05,1.713149e-05,1.702836e-05,1.692605e-05,1.682461e-05,1.672408e-05,1.662454e-05,1.652601e-05,1.642853e-05,1.633215e-05,1.623690e-05,1.614279e-05,1.604986e-05,1.595813e-05
0.000000e+00,2.773549e-15,2.466010e-14,6.346860e-13,5.446729e-12,1.455062e-11,1.205785e-10,1.300975e-10,6.945805e-10,1.041590e-09,2.677022e-09,5.375671e-09,8.241819e-09,2.004024e-08,2.153197e-08,4.963258e-08,5.971519e-08,1.036656e-07,1.510880e-07,1.999542e-07,3.374886e-07,3.611890e-07,6.175182e-07,6.834306e-07,1.007483e-06,1.278514e-06,1.578715e-06,2.240129e-06,2.388317e-06,3.502888e-06,3.714457e-06,4.998144e-06,5.875483e-06,6.958166e-06,8.921976e-06,9.474277e-06,1.264360e-05,1.307259e-05,1.656738e-05,1.855948e-05,2.134906e-05,2.562074e-05,2.709230e-05,3.389885e-05,3.449227e-05,4.186648e-05,4.539944e-05,5.108697e-05,5.854893e-05,6.164417e-05,7.361225e-05,7.412125e-05,8.705413e-05,9.226411e-05,1.020202e-04,1.130870e-04,1.185470e-04,1.366569e-04,1.563570e-04,1.629960e-04,1.776392e-04,1.920799e-04,2.004801e-04,2.238383e-04,2.248414e-04,2.506701e-04,2.581563e-04,2.778996e-04,2.948772e-04,3.064506e-04,3.338066e-04,3.362321e-04,3.671425e-04,3.747169e-04,3.990713e-04,4.173525e-04,4.319004e-04,4.614361e-04,4.655054e-04,4.997575e-04,5.066739e-04,5.345245e-04,5.527625e-04,5.696728e-04,5.993939e-04,6.050683e-04,6.405781e-04,6.462615e-04,6.760717e-04,6.930652e-04,7.114216e-04,7.395156e-04,7.465053e-04,7.812053e-04,7.853381e-04,8.154103e-04,8.302764e-04,8.490157e-04,8.740948e-04,8.819245e-04,9.140470e-04,9.165804e-04,9.453019e-04,9.575442e-04,9.756157e-04,9.968222e-04,1.004924e-03,1.033169e-03,1.034276e-03,1.060302e-03,1.069790e-03,1.086284e-03,1.103277e-03,1.111081e-03,1.134668e-03,1.157026e-03,1.163920e-03,1.178145e-03,1.191008e-03,1.198019e-03,1.215928e-03,1.216649e-03,1.234041e-03,1.238691e-03,1.250207e-03,1.259324e-03,1.265162e-03,1.277869e-03,1.278926e-03,1.291524e-03,1.294377e-03,1.302981e-03,1.308911e-03,1.313328e-03,1.321541e-03,1.322597e-03,1.330822e-03,1.332345e-03,1.338038e-03,1.341405e-03,1.344284e-03,1.348807e-03,1.349596e-03,1.354014e-03,1.354641e-03,1.357578e-03,1.358996e-03,1.360326e-03,1.361965e-03,1.362299e-03,1.363536e-03,1.363637e-03,1.364075e-03,1.364102e-03,1.363956e-03,1.363448e-03,1.363216e-03,1.361892e-03,1.361762e-03,1.360019e-03,1.359125e-03,1.357634e-03,1.355618e-03,1.354770e-03,1.351459e-03,1.351318e-03,1.347734e-03,1.346298e-03,1.343626e-03,1.340628e-03,1.339163e-03,1.334374e-03,1.327598e-03,1.320360e-03,1.312713e-03,1.304710e-03,1.296398e-03,1.287822e-03,1.279022e-03,1.270038e-03,1.260903e-03,1.251650e-03,1.242309e-03,1.232907e-03,1.223467e-03,1.214013e-03,1.204564e-03,1.195138e-03,1.185753e-03,1.176422e-03,1.167160e-03,1.157976e-03,1.148883e-03,1.139888e-03,1.131000e-03,1.122226e-03
0.000000e+00,1.080127e-10,2.555222e-10,9.115117e-10,2.115321e-09,3.113158e-09,7.207119e-09,7.429991e-09,1.465688e-08,1.732464e-08,2.571961e-08,3.461985e-08,4.162073e-08,6.118867e-08,6.312265e-08,9.037375e-08,9.773567e-08,1.230303e-07,1.435108e-07,1.606481e-07,1.975584e-07,2.028549e-07,2.493418e-07,2.591273e-07,2.998185e-07,3.275436e-07,3.539820e-07,4.020868e-07,4.115006e-07,4.720107e-07,4.819441e-07,5.351206e-07,5.662165e-07,6.004187e-07,6.539489e-07,6.674826e-07,7.358898e-07,7.441691e-07,8.052268e-07,8.359268e-07,8.750975e-07,9.283261e-07,9.451297e-07,1.014980e-06,1.020550e-06,1.084336e-06,1.111877e-06,1.152920e-06,1.201683e-06,1.220486e-06,1.286822e-06,1.289448e-06,1.351749e-06,1.374748e-06,1.415117e-06,1.457253e-06,1.476804e-06,1.536710e-06,1.594761e-06,1.612935e-06,1.650901e-06,1.685810e-06,1.705092e-06,1.755257e-06,1.757307e-06,1.807532e-06,1.821238e-06,1.855765e-06,1.883751e-06,1.902013e-06,1.942822e-06,1.946292e-06,1.988624e-06,1.998497e-06,2.029040e-06,2.050852e-06,2.067581e-06,2.099977e-06,2.104286e-06,2.139191e-06,2.145960e-06,2.172340e-06,2.188897e-06,2.203775e-06,2.228888e-06,2.233540e-06,2.261682e-06,2.266037e-06,2.288246e-06,2.300449e-06,2.313278e-06,2.332232e-06,2.336825e-06,2.358932e-06,2.361490e-06,2.379645e-06,2.388328e-06,2.399009e-06,2.412851e-06,2.417069e-06,2.433869e-06,2.435160e-06,2.449454e-06,2.455357e-06,2.463865e-06,2.473538e-06,2.477144e-06,2.489334e-06,2.489799e-06,2.500472e-06,2.504233e-06,2.510600e-06,2.516929e-06,2.519756e-06,2.527976e-06,2.535298e-06,2.537457e-06,2.541757e-06,2.545454e-06,2.547387e-06,2.552045e-06,2.552223e-06,2.556298e-06,2.557306e-06,2.559642e-06,2.561311e-06,2.562287e-06,2.564130e-06,2.564264e-06,2.565601e-06,2.565829e-06,2.566326e-06,2.566475e-06,2.566466e-06,2.566128e-06,2.566050e-06,2.565101e-06,2.564849e-06,2.563645e-06,2.562695e-06,2.561705e-06,2.559720e-06,2.559306e-06,2.556470e-06,2.555977e-06,2.553217e-06,2.551515e-06,2.549570e-06,2.546382e-06,2.545549e-06,2.541172e-06,2.540624e-06,2.536460e-06,2.534285e-06,2.531430e-06,2.527405e-06,2.526099e-06,2.520485e-06,2.520024e-06,2.514604e-06,2.512180e-06,2.508472e-06,2.503909e-06,2.502103e-06,2.495513e-06,2.495245e-06,2.488715e-06,2.486219e-06,2.481722e-06,2.476863e-06,2.474549e-06,2.467206e-06,2.457276e-06,2.447098e-06,2.436698e-06,2.426099e-06,2.415324e-06,2.404394e-06,2.393328e-06,2.382145e-06,2.370863e-06,2.359499e-06,2.348068e-06,2.336586e-06,2.325066e-06,2.313521e-06,2.301964e-06,2.290406e-06,2.278858e-06,2.267330e-06,2.255831e-06,2.244371e-06,2.232957e-06,2.221598e-06,2.210299e-06,2.199068e-06
0.000000e+00,3.206250e-11,9.158122e-11,3.957949e-10,9.990790e-10,1.513808e-09,3.661397e-09,3.778681e-09,7.557025e-09,8.933885e-09,1.319651e-08,1.761316e-08,2.103171e-08,3.045822e-08,3.138678e-08,4.457146e-08,4.818885e-08,6.086440e-08,7.142923e-08,8.047709e-08,1.005589e-07,1.035011e-07,1.298655e-07,1.355214e-07,1.593418e-07,1.757918e-07,1.915999e-07,2.205783e-07,2.262732e-07,2.629995e-07,2.690430e-07,3.014358e-07,3.203974e-07,3.412601e-07,3.739138e-07,3.821680e-07,4.238710e-07,4.289156e-07,4.660958e-07,4.847730e-07,5.085848e-07,5.409046e-07,5.510977e-07,5.934125e-07,5.967829e-07,6.353274e-07,6.519400e-07,6.766610e-07,7.059707e-07,7.172535e-07,7.569661e-07,7.585346e-07,7.956807e-07,8.093539e-07,8.332981e-07,8.582092e-07,8.697374e-07,9.049351e-07,9.388435e-07,9.494159e-07,9.714283e-07,9.915773e-07,1.002668e-06,1.031381e-06,1.032551e-06,1.061076e-06,1.068821e-06,1.088251e-06,1.103913e-06,1.114088e-06,1.136694e-06,1.138608e-06,1.161834e-06,1.167219e-06,1.183795e-06,1.195552e-06,1.204522e-06,1.221767e-06,1.224048e-06,1.242410e-06,1.245946e-06,1.259644e-06,1.268173e-06,1.275788e-06,1.288534e-06,1.290880e-06,1.304959e-06,1.307120e-06,1.318063e-06,1.324018e-06,1.330231e-06,1.339316e-06,1.341500e-06,1.351907e-06,1.353100e-06,1.361489e-06,1.365454e-06,1.370283e-06,1.376459e-06,1.378321e-06,1.385639e-06,1.386195e-06,1.392270e-06,1.394737e-06,1.398246e-06,1.402160e-06,1.403597e-06,1.408354e-06,1.408532e-06,1.412545e-06,1.413921e-06,1.416200e-06,1.418391e-06,1.419343e-06,1.422003e-06,1.424203e-06,1.424814e-06,1.425968e-06,1.426880e-06,1.427321e-06,1.428253e-06,1.428285e-06,1.428880e-06,1.428983e-06,1.429126e-06,1.429116e-06,1.429045e-06,1.428696e-06,1.428654e-06,1.427971e-06,1.427766e-06,1.427014e-06,1.426365e-06,1.425800e-06,1.424530e-06,1.424343e-06,1.422659e-06,1.422297e-06,1.420764e-06,1.419698e-06,1.418669e-06,1.416766e-06,1.416389e-06,1.413936e-06,1.413529e-06,1.411323e-06,1.410014e-06,1.408559e-06,1.406249e-06,1.405658e-06,1.402628e-06,1.402256e-06,1.399479e-06,1.398059e-06,1.396222e-06,1.393680e-06,1.392865e-06,1.389417e-06,1.389137e-06,1.385885e-06,1.384451e-06,1.382278e-06,1.379638e-06,1.378602e-06,1.374865e-06,1.374715e-06,1.371074e-06,1.369697e-06,1.367234e-06,1.364598e-06,1.363351e-06,1.359432e-06,1.354210e-06,1.348945e-06,1.343647e-06,1.338326e-06,1.332991e-06,1.327651e-06,1.322312e-06,1.316984e-06,1.311671e-06,1.306381e-06,1.301119e-06,1.295890e-06,1.290698e-06,1.285549e-06,1.280446e-06,1.275392e-06,1.270390e-06,1.265444e-06,1.260556e-06,1.255729e-06,1.250964e-06,1.246262e-06,1.241627e-06,1.237058e-06
0.000000e+00,7.588542e-12,3.620452e-11,2.944696e-10,1.022071e-09,1.746115e-09,5.212156e-09,5.413975e-09,1.227465e-08,1.489062e-08,2.321455e-08,3.207373e-08,3.903635e-08,5.852800e-08,6.046428e-08,8.814516e-08,9.578349e-08,1.226413e-07,1.451114e-07,1.644084e-07,2.074255e-07,2.137523e-07,2.707674e-07,2.830812e-07,3.352885e-07,3.716748e-07,4.068946e-07,4.720729e-07,4.849709e-07,5.687939e-07,5.826878e-07,6.575951e-07,7.017595e-07,7.505971e-07,8.275055e-07,8.470301e-07,9.461407e-07,9.581789e-07,1.047198e-06,1.092099e-06,1.149503e-06,1.227678e-06,1.252391e-06,1.355243e-06,1.363452e-06,1.457489e-06,1.498100e-06,1.558613e-06,1.630468e-06,1.658156e-06,1.755716e-06,1.759572e-06,1.850948e-06,1.884604e-06,1.943561e-06,2.004918e-06,2.033317e-06,2.120027e-06,2.203546e-06,2.229580e-06,2.283769e-06,2.333349e-06,2.360627e-06,2.431210e-06,2.434083e-06,2.504127e-06,2.523129e-06,2.570772e-06,2.609140e-06,2.634051e-06,2.689339e-06,2.694015e-06,2.750727e-06,2.763862e-06,2.804261e-06,2.832883e-06,2.854700e-06,2.896599e-06,2.902135e-06,2.946661e-06,2.955225e-06,2.988375e-06,3.008988e-06,3.027377e-06,3.058119e-06,3.063771e-06,3.097657e-06,3.102853e-06,3.129137e-06,3.143422e-06,3.158311e-06,3.180057e-06,3.185279e-06,3.210137e-06,3.212983e-06,3.232980e-06,3.242417e-06,3.253901e-06,3.268570e-06,3.272988e-06,3.290329e-06,3.291644e-06,3.306008e-06,3.311833e-06,3.320106e-06,3.329321e-06,3.332701e-06,3.343868e-06,3.344286e-06,3.353681e-06,3.356895e-06,3.362208e-06,3.367307e-06,3.369517e-06,3.375672e-06,3.380733e-06,3.382132e-06,3.384761e-06,3.386822e-06,3.387811e-06,3.389869e-06,3.389937e-06,3.391190e-06,3.391392e-06,3.391621e-06,3.391504e-06,3.391276e-06,3.390311e-06,3.390199e-06,3.388434e-06,3.387913e-06,3.386022e-06,3.384403e-06,3.383002e-06,3.379870e-06,3.379410e-06,3.375283e-06,3.374396e-06,3.370653e-06,3.368058e-06,3.365554e-06,3.360930e-06,3.360016e-06,3.354067e-06,3.353079e-06,3.347737e-06,3.344570e-06,3.341050e-06,3.335462e-06,3.334033e-06,3.326709e-06,3.325810e-06,3.319100e-06,3.315668e-06,3.311229e-06,3.305084e-06,3.303116e-06,3.294780e-06,3.294104e-06,3.286240e-06,3.282770e-06,3.277513e-06,3.271123e-06,3.268616e-06,3.259564e-06,3.259199e-06,3.250374e-06,3.247034e-06,3.241058e-06,3.234659e-06,3.231631e-06,3.222104e-06,3.209398e-06,3.196566e-06,3.183633e-06,3.170621e-06,3.157551e-06,3.144441e-06,3.131311e-06,3.118177e-06,3.105053e-06,3.091953e-06,3.078892e-06,3.065881e-06,3.052930e-06,3.040050e-06,3.027250e-06,3.014539e-06,3.001924e-06,2.989412e-06,2.977010e-06,2.964723e-06,2.952557e-06,2.940516e-06,2.928604e-06,2.916825e-06
0.000000e+00,3.170725e-14,2.839463e-13,7.420859e-12,6.461707e-11,1.740477e-10,1.474785e-09,1.592707e-09,8.708689e-09,1.314897e-08,3.440465e-08,7.015377e-08,1.086862e-07,2.708912e-07,2.916963e-07,6.915751e-07,8.378507e-07,1.487353e-06,2.204391e-06,2.956396e-06,5.124983e-06,5.504883e-06,9.698800e-06,1.079782e-05,1.629250e-05,2.098142e-05,2.625220e-05,3.808645e-05,4.077223e-05,6.128285e-05,6.522851e-05,8.944914e-05,1.062350e-04,1.271608e-04,1.656047e-04,1.765134e-04,2.397827e-04,2.484240e-04,3.193915e-04,3.602450e-04,4.178713e-04,5.069350e-04,5.378214e-04,6.818634e-04,6.945058e-04,8.525960e-04,9.289324e-04,1.052549e-03,1.215971e-03,1.284139e-03,1.549628e-03,1.560983e-03,1.851084e-03,1.968774e-03,2.190344e-03,2.443453e-03,2.568990e-03,2.988317e-03,3.449318e-03,3.605760e-03,3.952670e-03,4.297217e-03,4.498724e-03,5.063134e-03,5.087502e-03,5.718701e-03,5.902961e-03,6.391698e-03,6.815185e-03,7.105564e-03,7.797370e-03,7.859076e-03,8.650739e-03,8.846225e-03,9.478804e-03,9.957692e-03,1.034129e-02,1.112703e-02,1.123603e-02,1.216065e-02,1.234894e-02,1.311264e-02,1.361763e-02,1.408938e-02,1.492697e-02,1.508814e-02,1.610612e-02,1.627059e-02,1.714047e-02,1.764193e-02,1.818833e-02,1.903443e-02,1.924685e-02,2.031318e-02,2.044153e-02,2.138454e-02,2.185682e-02,2.245819e-02,2.327406e-02,2.353148e-02,2.460185e-02,2.468727e-02,2.566682e-02,2.609078e-02,2.672407e-02,2.747924e-02,2.777135e-02,2.880658e-02,2.884771e-02,2.982779e-02,3.019163e-02,3.083315e-02,3.150688e-02,3.182098e-02,3.278973e-02,3.373800e-02,3.403690e-02,3.466451e-02,3.524554e-02,3.556815e-02,3.641320e-02,3.644792e-02,3.730295e-02,3.753782e-02,3.813249e-02,3.861773e-02,3.893595e-02,3.965164e-02,3.971280e-02,4.046267e-02,4.063859e-02,4.118527e-02,4.157793e-02,4.188040e-02,4.246933e-02,4.254798e-02,4.318799e-02,4.331269e-02,4.380050e-02,4.410819e-02,4.438566e-02,4.485621e-02,4.494368e-02,4.547483e-02,4.555735e-02,4.597945e-02,4.621236e-02,4.645793e-02,4.682216e-02,4.691068e-02,4.733818e-02,4.738781e-02,4.774094e-02,4.791045e-02,4.811949e-02,4.839135e-02,4.847440e-02,4.880626e-02,4.883183e-02,4.911567e-02,4.923329e-02,4.940326e-02,4.959717e-02,4.966967e-02,4.991553e-02,4.992495e-02,5.014150e-02,5.021811e-02,5.034823e-02,5.047816e-02,5.053639e-02,5.070662e-02,5.090499e-02,5.107476e-02,5.121740e-02,5.133434e-02,5.142700e-02,5.149677e-02,5.154495e-02,5.157288e-02,5.158179e-02,5.157291e-02,5.154740e-02,5.150639e-02,5.145096e-02,5.138213e-02,5.130090e-02,5.120821e-02,5.110496e-02,5.099198e-02,5.087011e-02,5.074010e-02,5.060268e-02,5.045853e-02,5.030832e-02,5.015266e-02
0.000000e+00,2.414186e-11,5.751636e-11,2.062923e-10,4.804939e-10,7.094085e-10,1.667653e-09,1.720732e-09,3.486809e-09,4.155092e-09,6.269792e-09,8.464608e-09,1.012816e-08,1.448365e-08,1.489408e-08,2.041017e-08,2.183503e-08,2.658958e-08,3.031945e-08,3.337890e-08,3.982042e-08,4.073065e-08,4.859172e-08,5.021973e-08,5.689977e-08,6.137323e-08,6.558339e-08,7.311025e-08,7.456362e-08,8.375719e-08,8.524229e-08,9.307952e-08,9.757551e-08,1.024478e-07,1.099224e-07,1.117833e-07,1.210137e-07,1.221112e-07,1.300745e-07,1.339927e-07,1.389095e-07,1.454439e-07,1.474718e-07,1.557233e-07,1.563690e-07,1.636344e-07,1.666985e-07,1.711836e-07,1.763867e-07,1.783566e-07,1.851453e-07,1.854088e-07,1.915470e-07,1.937571e-07,1.975636e-07,2.014378e-07,2.032010e-07,2.084677e-07,2.133747e-07,2.148710e-07,2.179347e-07,2.206775e-07,2.221618e-07,2.259202e-07,2.260707e-07,2.296766e-07,2.306341e-07,2.329950e-07,2.348545e-07,2.360413e-07,2.386165e-07,2.388306e-07,2.413776e-07,2.419545e-07,2.436968e-07,2.449012e-07,2.458019e-07,2.474878e-07,2.477061e-07,2.494220e-07,2.497436e-07,2.509615e-07,2.516962e-07,2.523361e-07,2.533710e-07,2.535563e-07,2.546323e-07,2.547917e-07,2.555736e-07,2.559802e-07,2.563891e-07,2.569567e-07,2.570873e-07,2.576759e-07,2.577395e-07,2.581624e-07,2.583459e-07,2.585537e-07,2.587914e-07,2.588562e-07,2.590761e-07,2.590903e-07,2.592189e-07,2.592557e-07,2.592900e-07,2.592996e-07,2.592944e-07,2.592367e-07,2.592331e-07,2.591212e-07,2.590663e-07,2.589520e-07,2.588083e-07,2.587330e-07,2.584676e-07,2.581592e-07,2.580520e-07,2.578110e-07,2.575686e-07,2.574258e-07,2.570238e-07,2.570064e-07,2.565554e-07,2.564237e-07,2.560751e-07,2.557738e-07,2.555678e-07,2.550790e-07,2.550355e-07,2.544804e-07,2.543440e-07,2.539042e-07,2.535730e-07,2.533087e-07,2.527699e-07,2.526954e-07,2.520660e-07,2.519383e-07,2.514219e-07,2.510815e-07,2.507643e-07,2.502025e-07,2.500946e-07,2.494140e-07,2.493041e-07,2.487235e-07,2.483889e-07,2.480243e-07,2.474592e-07,2.473172e-07,2.466033e-07,2.465172e-07,2.458833e-07,2.455649e-07,2.451582e-07,2.446041e-07,2.444286e-07,2.436953e-07,2.436365e-07,2.429590e-07,2.426637e-07,2.422202e-07,2.416871e-07,2.414796e-07,2.407378e-07,2.407081e-07,2.399952e-07,2.397278e-07,2.392524e-07,2.387473e-07,2.385097e-07,2.377678e-07,2.367901e-07,2.358151e-07,2.348436e-07,2.338764e-07,2.329140e-07,2.319572e-07,2.310065e-07,2.300623e-07,2.291252e-07,2.281955e-07,2.272737e-07,2.263601e-07,2.254550e-07,2.245587e-07,2.236714e-07,2.227934e-07,2.219248e-07,2.210659e-07,2.202168e-07,2.193776e-07,2.185484e-07,2.177294e-07,2.169206e-07,2.161220e-07
0.000000e+00,1.691674e-14,1.519182e-13,3.993753e-12,3.496921e-11,9.448931e-11,8.076075e-10,8.725041e-10,4.815986e-09,7.291424e-09,1.921690e-08,3.943165e-08,6.135404e-08,1.545086e-07,1.665293e-07,3.995557e-07,4.854979e-07,8.701366e-07,1.298965e-06,1.752145e-06,3.072949e-06,3.306006e-06,5.902513e-06,6.588716e-06,1.004590e-05,1.302356e-05,1.639394e-05,2.402968e-05,2.577335e-05,3.918914e-05,4.178697e-05,5.782734e-05,6.902240e-05,8.305102e-05,1.089940e-04,1.163895e-04,1.595215e-04,1.654401e-04,2.142535e-04,2.424990e-04,2.824928e-04,3.446043e-04,3.662184e-04,4.674481e-04,4.763634e-04,5.882056e-04,6.424251e-04,7.304862e-04,8.473442e-04,8.962234e-04,1.087257e-03,1.095449e-03,1.305303e-03,1.390718e-03,1.551925e-03,1.736667e-03,1.828511e-03,2.136255e-03,2.476132e-03,2.591808e-03,2.848894e-03,3.104967e-03,3.255055e-03,3.676646e-03,3.694887e-03,4.168418e-03,4.307022e-03,4.675434e-03,4.995538e-03,5.215484e-03,5.740924e-03,5.787887e-03,6.391745e-03,6.541233e-03,7.025953e-03,7.393891e-03,7.689215e-03,8.295758e-03,8.380063e-03,9.096869e-03,9.243192e-03,9.837868e-03,1.023213e-02,1.060117e-02,1.125814e-02,1.138480e-02,1.218669e-02,1.231655e-02,1.300471e-02,1.340245e-02,1.383669e-02,1.451084e-02,1.468042e-02,1.553371e-02,1.563664e-02,1.639435e-02,1.677480e-02,1.726017e-02,1.792033e-02,1.812902e-02,1.899879e-02,1.906835e-02,1.986746e-02,2.021417e-02,2.073305e-02,2.135330e-02,2.159367e-02,2.244750e-02,2.248149e-02,2.329283e-02,2.359475e-02,2.412803e-02,2.468940e-02,2.495158e-02,2.576205e-02,2.655813e-02,2.680963e-02,2.733859e-02,2.782937e-02,2.810233e-02,2.881885e-02,2.884834e-02,2.957573e-02,2.977595e-02,3.028370e-02,3.069886e-02,3.097154e-02,3.158606e-02,3.163866e-02,3.228453e-02,3.243633e-02,3.290875e-02,3.324872e-02,3.351097e-02,3.402252e-02,3.409093e-02,3.464848e-02,3.475729e-02,3.518350e-02,3.545279e-02,3.569595e-02,3.610900e-02,3.618588e-02,3.665337e-02,3.672609e-02,3.709856e-02,3.730440e-02,3.752167e-02,3.784440e-02,3.792292e-02,3.830260e-02,3.834673e-02,3.866106e-02,3.881214e-02,3.899863e-02,3.924147e-02,3.931573e-02,3.961276e-02,3.963567e-02,3.989017e-02,3.999575e-02,4.014844e-02,4.032279e-02,4.038802e-02,4.060944e-02,4.061793e-02,4.081319e-02,4.088232e-02,4.099980e-02,4.111717e-02,4.116979e-02,4.132369e-02,4.150312e-02,4.165668e-02,4.178560e-02,4.189109e-02,4.197437e-02,4.203662e-02,4.207898e-02,4.210260e-02,4.210859e-02,4.209800e-02,4.207188e-02,4.203122e-02,4.197700e-02,4.191015e-02,4.183154e-02,4.174205e-02,4.164247e-02,4.153360e-02,4.141616e-02,4.129088e-02,4.115841e-02,4.101938e-02,4.087441e-02,4.072406e-02
0.000000e+00,1.945685e-11,4.486394e-11,1.554186e-10,3.549027e-10,5.186316e-10,1.181709e-09,1.217503e-09,2.365802e-09,2.784668e-09,4.089780e-09,5.459068e-09,6.531734e-09,9.544896e-09,9.845737e-09,1.417913e-08,1.538382e-08,1.963376e-08,2.318518e-08,2.621480e-08,3.284647e-08,3.380396e-08,4.219232e-08,4.394525e-08,5.114877e-08,5.596155e-08,6.047037e-08,6.846434e-08,6.999692e-08,7.960583e-08,8.114425e-08,8.920222e-08,9.378135e-08,9.871083e-08,1.062131e-07,1.080706e-07,1.172315e-07,1.183154e-07,1.261525e-07,1.299929e-07,1.348003e-07,1.411735e-07,1.431486e-07,1.511773e-07,1.518053e-07,1.588714e-07,1.618530e-07,1.662211e-07,1.712962e-07,1.732206e-07,1.798675e-07,1.801260e-07,1.861626e-07,1.883433e-07,1.921092e-07,1.959564e-07,1.977124e-07,2.029793e-07,2.079180e-07,2.094306e-07,2.125377e-07,2.153315e-07,2.168484e-07,2.207056e-07,2.208605e-07,2.245848e-07,2.255775e-07,2.280323e-07,2.299726e-07,2.312142e-07,2.339164e-07,2.341415e-07,2.368252e-07,2.374342e-07,2.392761e-07,2.405510e-07,2.415050e-07,2.432910e-07,2.435222e-07,2.453379e-07,2.456778e-07,2.469621e-07,2.477341e-07,2.484042e-07,2.494818e-07,2.496736e-07,2.507793e-07,2.509416e-07,2.517299e-07,2.521336e-07,2.525339e-07,2.530768e-07,2.531991e-07,2.537334e-07,2.537890e-07,2.541441e-07,2.542876e-07,2.544385e-07,2.545885e-07,2.546232e-07,2.547050e-07,2.547073e-07,2.546900e-07,2.546582e-07,2.545842e-07,2.544550e-07,2.543933e-07,2.541228e-07,2.541104e-07,2.537780e-07,2.536367e-07,2.533638e-07,2.530450e-07,2.528850e-07,2.523461e-07,2.517514e-07,2.515500e-07,2.511050e-07,2.506660e-07,2.504108e-07,2.497029e-07,2.496725e-07,2.488937e-07,2.486689e-07,2.480777e-07,2.475716e-07,2.472277e-07,2.464182e-07,2.463466e-07,2.454374e-07,2.452153e-07,2.445028e-07,2.439692e-07,2.435452e-07,2.426856e-07,2.425672e-07,2.415710e-07,2.413698e-07,2.405588e-07,2.400269e-07,2.395327e-07,2.386613e-07,2.384945e-07,2.374461e-07,2.372775e-07,2.363892e-07,2.358793e-07,2.353253e-07,2.344703e-07,2.342561e-07,2.331830e-07,2.330540e-07,2.321072e-07,2.316334e-07,2.310301e-07,2.302112e-07,2.299527e-07,2.288763e-07,2.287902e-07,2.278018e-07,2.273727e-07,2.267302e-07,2.259609e-07,2.256623e-07,2.245991e-07,2.245567e-07,2.235413e-07,2.231620e-07,2.224896e-07,2.217783e-07,2.214447e-07,2.204071e-07,2.190498e-07,2.177076e-07,2.163814e-07,2.150723e-07,2.137810e-07,2.125082e-07,2.112547e-07,2.100209e-07,2.088074e-07,2.076144e-07,2.064423e-07,2.052914e-07,2.041618e-07,2.030536e-07,2.019671e-07,2.009021e-07,1.998587e-07,1.988368e-07,1.978364e-07,1.968574e-07,1.958996e-07,1.949629e-07,1.940470e-07,1.931518e-07
0.000000e+00,8.823123e-11,2.207528e-10,8.343467e-10,1.990171e-09,2.961449e-09,7.018479e-09,7.241967e-09,1.460221e-08,1.736686e-08,2.620005e-08,3.574271e-08,4.334678e-08,6.487753e-08,6.701685e-08,9.708841e-08,1.051398e-07,1.324152e-07,1.540019e-07,1.717111e-07,2.087990e-07,2.140086e-07,2.586218e-07,2.677739e-07,3.050196e-07,3.296991e-07,3.527477e-07,3.935644e-07,4.013932e-07,4.505744e-07,4.584692e-07,4.999402e-07,5.236069e-07,5.491736e-07,5.882752e-07,5.979941e-07,6.461589e-07,6.518844e-07,6.934628e-07,7.139589e-07,7.397365e-07,7.741304e-07,7.848435e-07,8.286770e-07,8.321261e-07,8.711563e-07,8.877551e-07,9.122230e-07,9.408935e-07,9.518376e-07,9.899768e-07,9.914715e-07,1.026630e-06,1.039462e-06,1.061799e-06,1.084869e-06,1.095491e-06,1.127723e-06,1.158517e-06,1.168072e-06,1.187899e-06,1.205976e-06,1.215898e-06,1.241506e-06,1.242547e-06,1.267878e-06,1.274740e-06,1.291929e-06,1.305759e-06,1.314734e-06,1.334648e-06,1.336332e-06,1.356760e-06,1.361493e-06,1.376056e-06,1.386381e-06,1.394257e-06,1.409396e-06,1.411399e-06,1.427520e-06,1.430624e-06,1.442655e-06,1.450148e-06,1.456840e-06,1.468048e-06,1.470111e-06,1.482502e-06,1.484405e-06,1.494045e-06,1.499295e-06,1.504775e-06,1.512793e-06,1.514722e-06,1.523918e-06,1.524972e-06,1.532393e-06,1.535902e-06,1.540178e-06,1.545649e-06,1.547299e-06,1.553787e-06,1.554279e-06,1.559666e-06,1.561854e-06,1.564964e-06,1.568433e-06,1.569706e-06,1.573917e-06,1.574074e-06,1.577619e-06,1.578832e-06,1.580837e-06,1.582760e-06,1.583593e-06,1.585907e-06,1.587801e-06,1.588321e-06,1.589294e-06,1.590049e-06,1.590407e-06,1.591133e-06,1.591156e-06,1.591562e-06,1.591616e-06,1.591640e-06,1.591536e-06,1.591407e-06,1.590932e-06,1.590879e-06,1.590073e-06,1.589839e-06,1.589001e-06,1.588291e-06,1.587680e-06,1.586321e-06,1.586122e-06,1.584341e-06,1.583959e-06,1.582349e-06,1.581234e-06,1.580158e-06,1.578173e-06,1.577781e-06,1.575228e-06,1.574803e-06,1.572509e-06,1.571149e-06,1.569636e-06,1.567233e-06,1.566619e-06,1.563465e-06,1.563078e-06,1.560186e-06,1.558705e-06,1.556788e-06,1.554133e-06,1.553282e-06,1.549673e-06,1.549381e-06,1.545971e-06,1.544466e-06,1.542183e-06,1.539405e-06,1.538314e-06,1.534373e-06,1.534214e-06,1.530365e-06,1.528907e-06,1.526296e-06,1.523498e-06,1.522173e-06,1.518000e-06,1.512425e-06,1.506784e-06,1.501089e-06,1.495349e-06,1.489574e-06,1.483772e-06,1.477951e-06,1.472121e-06,1.466286e-06,1.460455e-06,1.454633e-06,1.448826e-06,1.443040e-06,1.437279e-06,1.431548e-06,1.425851e-06,1.420193e-06,1.414575e-06,1.409003e-06,1.403479e-06,1.398006e-06,1.392585e-06,1.387221e-06,1.381913e-06
0.000000e+00,5.596642e-12,1.285487e-11,4.416987e-11,1.000707e-10,1.455682e-10,3.274535e-10,3.371853e-10,6.459024e-10,7.571204e-10,1.100004e-09,1.454951e-09,1.730217e-09,2.492542e-09,2.567842e-09,3.636814e-09,3.928778e-09,4.940872e-09,5.766455e-09,6.457979e-09,7.939289e-09,8.150267e-09,9.978218e-09,1.035697e-08,1.190762e-08,1.294143e-08,1.391024e-08,1.563154e-08,1.596231e-08,1.804314e-08,1.837747e-08,2.013409e-08,2.113631e-08,2.221821e-08,2.387012e-08,2.428000e-08,2.630547e-08,2.654548e-08,2.828221e-08,2.913370e-08,3.019943e-08,3.161105e-08,3.204804e-08,3.382063e-08,3.395897e-08,3.551143e-08,3.616385e-08,3.711621e-08,3.821676e-08,3.863216e-08,4.005784e-08,4.011299e-08,4.139297e-08,4.185154e-08,4.263809e-08,4.343399e-08,4.379453e-08,4.486445e-08,4.585049e-08,4.614878e-08,4.675566e-08,4.729409e-08,4.758335e-08,4.830833e-08,4.833711e-08,4.902059e-08,4.919989e-08,4.963756e-08,4.997736e-08,5.019175e-08,5.064935e-08,5.068688e-08,5.112658e-08,5.122425e-08,5.151437e-08,5.171014e-08,5.185367e-08,5.211472e-08,5.214772e-08,5.239967e-08,5.244526e-08,5.261246e-08,5.270857e-08,5.278891e-08,5.291099e-08,5.293167e-08,5.304326e-08,5.305837e-08,5.312601e-08,5.315615e-08,5.318215e-08,5.320929e-08,5.321373e-08,5.322270e-08,5.322235e-08,5.321087e-08,5.319951e-08,5.317991e-08,5.314457e-08,5.313141e-08,5.306684e-08,5.306102e-08,5.298756e-08,5.295201e-08,5.289484e-08,5.282042e-08,5.278986e-08,5.267372e-08,5.266886e-08,5.254745e-08,5.249969e-08,5.241199e-08,5.231508e-08,5.226822e-08,5.211696e-08,5.195897e-08,5.190711e-08,5.179496e-08,5.168713e-08,5.162557e-08,5.145846e-08,5.145141e-08,5.127304e-08,5.122241e-08,5.109098e-08,5.098017e-08,5.090571e-08,5.073282e-08,5.071768e-08,5.052730e-08,5.048131e-08,5.033496e-08,5.022652e-08,5.014099e-08,4.996923e-08,4.994575e-08,4.974951e-08,4.971017e-08,4.955257e-08,4.944997e-08,4.935518e-08,4.918920e-08,4.915757e-08,4.895998e-08,4.892838e-08,4.876259e-08,4.866797e-08,4.856560e-08,4.840840e-08,4.836917e-08,4.817346e-08,4.815003e-08,4.797862e-08,4.789320e-08,4.778477e-08,4.763819e-08,4.759205e-08,4.740055e-08,4.738529e-08,4.721038e-08,4.713471e-08,4.702163e-08,4.688666e-08,4.683439e-08,4.664873e-08,4.664134e-08,4.646471e-08,4.639889e-08,4.628241e-08,4.615945e-08,4.610187e-08,4.592314e-08,4.569007e-08,4.546033e-08,4.523398e-08,4.501109e-08,4.479170e-08,4.457586e-08,4.436360e-08,4.415492e-08,4.394986e-08,4.374841e-08,4.355057e-08,4.335633e-08,4.316569e-08,4.297863e-08,4.279512e-08,4.261514e-08,4.243867e-08,4.226566e-08,4.209609e-08,4.192992e-08,4.176712e-08,4.160763e-08,4.145143e-08,4.129846e-08
0.000000e+00,4.553285e-11,1.080385e-10,3.874845e-10,9.052946e-10,1.339073e-09,3.159070e-09,3.259908e-09,6.617668e-09,7.896360e-09,1.203699e-08,1.659059e-08,2.026959e-08,3.089167e-08,3.196201e-08,4.724808e-08,5.140599e-08,6.564086e-08,7.702495e-08,8.641487e-08,1.061686e-07,1.089496e-07,1.327996e-07,1.376979e-07,1.576466e-07,1.708779e-07,1.832460e-07,2.051813e-07,2.093943e-07,2.359122e-07,2.401782e-07,2.626371e-07,2.754948e-07,2.894216e-07,3.108019e-07,3.161322e-07,3.426506e-07,3.458148e-07,3.688730e-07,3.802935e-07,3.947102e-07,4.140427e-07,4.200881e-07,4.449459e-07,4.469105e-07,4.692344e-07,4.787815e-07,4.929154e-07,5.095730e-07,5.159600e-07,5.383482e-07,5.392299e-07,5.600663e-07,5.677187e-07,5.811049e-07,5.950214e-07,6.014610e-07,6.211348e-07,6.401306e-07,6.460671e-07,6.584551e-07,6.698343e-07,6.761169e-07,6.924584e-07,6.931264e-07,7.094955e-07,7.139658e-07,7.252370e-07,7.343862e-07,7.403644e-07,7.537515e-07,7.548920e-07,7.688342e-07,7.720949e-07,7.822061e-07,7.894509e-07,7.950227e-07,8.058540e-07,8.072992e-07,8.190507e-07,8.213393e-07,8.302923e-07,8.359414e-07,8.410390e-07,8.496947e-07,8.513057e-07,8.611070e-07,8.626330e-07,8.704574e-07,8.747897e-07,8.793712e-07,8.861972e-07,8.878623e-07,8.959443e-07,8.968874e-07,9.036309e-07,9.068911e-07,9.109350e-07,9.162384e-07,9.178697e-07,9.244473e-07,9.249584e-07,9.306802e-07,9.330795e-07,9.365804e-07,9.406290e-07,9.421594e-07,9.474288e-07,9.476332e-07,9.523994e-07,9.541178e-07,9.570821e-07,9.601072e-07,9.614873e-07,9.656252e-07,9.695056e-07,9.706946e-07,9.731383e-07,9.753374e-07,9.765323e-07,9.795746e-07,9.796969e-07,9.826408e-07,9.834267e-07,9.853725e-07,9.869130e-07,9.879001e-07,9.900523e-07,9.902318e-07,9.923752e-07,9.928625e-07,9.943379e-07,9.953607e-07,9.961270e-07,9.975636e-07,9.977497e-07,9.992127e-07,9.994867e-07,1.000523e-06,1.001145e-06,1.001686e-06,1.002554e-06,1.002708e-06,1.003596e-06,1.003726e-06,1.004355e-06,1.004675e-06,1.004991e-06,1.005414e-06,1.005509e-06,1.005914e-06,1.005955e-06,1.006211e-06,1.006309e-06,1.006405e-06,1.006487e-06,1.006501e-06,1.006504e-06,1.006500e-06,1.006416e-06,1.006357e-06,1.006244e-06,1.006069e-06,1.005991e-06,1.005660e-06,1.005645e-06,1.005256e-06,1.005093e-06,1.004781e-06,1.004421e-06,1.004241e-06,1.003637e-06,1.002750e-06,1.001765e-06,1.000690e-06,9.995319e-07,9.982958e-07,9.969880e-07,9.956141e-07,9.941792e-07,9.926885e-07,9.911467e-07,9.895582e-07,9.879274e-07,9.862582e-07,9.845546e-07,9.828202e-07,9.810584e-07,9.792724e-07,9.774653e-07,9.756401e-07,9.737994e-07,9.719459e-07,9.700819e-07,9.682099e-07,9.663319e-07
0.000000e+00,1.488554e-10,4.487171e-10,2.052413e-09,5.323628e-09,8.155776e-09,2.020233e-08,2.086876e-08,4.272641e-08,5.086292e-08,7.657361e-08,1.039705e-07,1.256485e-07,1.871944e-07,1.933736e-07,2.825628e-07,3.073178e-07,3.941086e-07,4.657879e-07,5.262925e-07,6.569891e-07,6.757048e-07,8.387340e-07,8.726928e-07,1.012318e-06,1.105919e-06,1.194004e-06,1.351401e-06,1.381781e-06,1.573924e-06,1.604968e-06,1.768904e-06,1.863090e-06,1.965337e-06,2.122686e-06,2.161973e-06,2.357691e-06,2.381066e-06,2.551494e-06,2.635933e-06,2.742517e-06,2.885373e-06,2.930017e-06,3.113379e-06,3.127852e-06,3.292078e-06,3.362158e-06,3.465709e-06,3.587404e-06,3.633955e-06,3.796577e-06,3.802962e-06,3.953413e-06,4.008436e-06,4.104358e-06,4.203605e-06,4.249355e-06,4.388392e-06,4.521492e-06,4.562838e-06,4.648708e-06,4.727074e-06,4.770117e-06,4.881295e-06,4.885814e-06,4.995909e-06,5.025749e-06,5.100525e-06,5.160718e-06,5.199792e-06,5.286512e-06,5.293848e-06,5.382836e-06,5.403455e-06,5.466902e-06,5.511884e-06,5.546194e-06,5.612140e-06,5.620860e-06,5.691051e-06,5.704565e-06,5.756914e-06,5.789501e-06,5.818596e-06,5.867284e-06,5.876243e-06,5.929998e-06,5.938247e-06,5.980003e-06,6.002714e-06,6.026396e-06,6.061001e-06,6.069313e-06,6.108886e-06,6.113416e-06,6.145245e-06,6.160258e-06,6.178517e-06,6.201814e-06,6.208824e-06,6.236287e-06,6.238365e-06,6.261022e-06,6.270178e-06,6.283143e-06,6.297513e-06,6.302759e-06,6.319977e-06,6.320618e-06,6.334901e-06,6.339732e-06,6.347631e-06,6.355084e-06,6.358264e-06,6.366893e-06,6.373610e-06,6.375370e-06,6.378503e-06,6.380716e-06,6.381656e-06,6.383122e-06,6.383150e-06,6.383066e-06,6.382770e-06,6.381480e-06,6.379837e-06,6.378464e-06,6.374489e-06,6.374091e-06,6.368427e-06,6.366883e-06,6.361540e-06,6.357172e-06,6.353492e-06,6.345499e-06,6.344345e-06,6.334157e-06,6.331999e-06,6.322985e-06,6.316804e-06,6.310883e-06,6.300037e-06,6.297903e-06,6.284096e-06,6.281813e-06,6.269509e-06,6.262245e-06,6.254190e-06,6.241436e-06,6.238182e-06,6.221528e-06,6.219488e-06,6.204269e-06,6.196494e-06,6.186444e-06,6.172543e-06,6.168092e-06,6.149247e-06,6.147719e-06,6.129945e-06,6.122104e-06,6.110219e-06,6.095771e-06,6.090100e-06,6.069618e-06,6.068792e-06,6.048804e-06,6.041234e-06,6.027684e-06,6.013161e-06,6.006284e-06,5.984632e-06,5.955703e-06,5.926427e-06,5.896854e-06,5.867030e-06,5.837000e-06,5.806804e-06,5.776481e-06,5.746068e-06,5.715598e-06,5.685102e-06,5.654611e-06,5.624151e-06,5.593749e-06,5.563429e-06,5.533212e-06,5.503119e-06,5.473170e-06,5.443382e-06,5.413771e-06,5.384353e-06,5.355141e-06,5.326148e-06,5.297386e-06,5.268866e-06
0.000000e+00,6.047699e-12,1.393560e-11,4.817130e-11,1.097293e-10,1.601104e-10,3.632328e-10,3.741637e-10,7.234212e-10,8.502374e-10,1.243747e-09,1.654286e-09,1.974372e-09,2.866349e-09,2.954794e-09,4.214712e-09,4.559884e-09,5.758585e-09,6.737938e-09,7.558772e-09,9.317298e-09,9.567703e-09,1.173590e-08,1.218478e-08,1.402109e-08,1.524397e-08,1.638895e-08,1.842097e-08,1.881114e-08,2.126352e-08,2.165726e-08,2.372493e-08,2.490403e-08,2.617665e-08,2.811987e-08,2.860215e-08,3.098700e-08,3.126984e-08,3.331884e-08,3.432532e-08,3.558734e-08,3.726382e-08,3.778412e-08,3.990263e-08,4.006857e-08,4.193797e-08,4.272802e-08,4.388676e-08,4.523506e-08,4.574689e-08,4.751742e-08,4.758637e-08,4.919832e-08,4.978164e-08,5.079038e-08,5.182293e-08,5.229500e-08,5.371410e-08,5.504998e-08,5.546030e-08,5.630524e-08,5.706757e-08,5.748267e-08,5.854251e-08,5.858521e-08,5.961588e-08,5.989201e-08,6.057774e-08,6.112311e-08,6.147385e-08,6.224280e-08,6.230724e-08,6.308087e-08,6.325798e-08,6.379768e-08,6.417532e-08,6.446048e-08,6.500125e-08,6.507201e-08,6.563493e-08,6.574191e-08,6.615178e-08,6.640315e-08,6.662500e-08,6.699052e-08,6.705695e-08,6.744985e-08,6.750924e-08,6.780586e-08,6.796424e-08,6.812702e-08,6.836017e-08,6.841527e-08,6.867248e-08,6.870134e-08,6.890040e-08,6.899185e-08,6.910072e-08,6.923549e-08,6.927503e-08,6.942485e-08,6.943582e-08,6.955161e-08,6.959616e-08,6.965667e-08,6.971962e-08,6.974135e-08,6.980685e-08,6.980909e-08,6.985435e-08,6.986726e-08,6.988495e-08,6.989664e-08,6.989970e-08,6.989958e-08,6.988553e-08,6.987824e-08,6.985844e-08,6.983466e-08,6.981916e-08,6.977071e-08,6.976847e-08,6.970713e-08,6.968815e-08,6.963586e-08,6.958861e-08,6.955533e-08,6.947360e-08,6.946617e-08,6.936899e-08,6.934454e-08,6.926436e-08,6.920271e-08,6.915282e-08,6.904935e-08,6.903488e-08,6.891102e-08,6.888558e-08,6.878169e-08,6.871243e-08,6.864734e-08,6.853089e-08,6.850836e-08,6.836514e-08,6.834185e-08,6.821803e-08,6.814615e-08,6.806740e-08,6.794456e-08,6.791355e-08,6.775680e-08,6.773780e-08,6.759742e-08,6.752654e-08,6.743570e-08,6.731138e-08,6.727189e-08,6.710623e-08,6.709291e-08,6.693896e-08,6.687164e-08,6.677027e-08,6.664807e-08,6.660039e-08,6.642950e-08,6.642264e-08,6.625777e-08,6.619578e-08,6.608538e-08,6.596786e-08,6.591249e-08,6.573925e-08,6.551027e-08,6.528122e-08,6.505237e-08,6.482399e-08,6.459630e-08,6.436953e-08,6.414386e-08,6.391948e-08,6.369655e-08,6.347521e-08,6.325562e-08,6.303789e-08,6.282212e-08,6.260843e-08,6.239690e-08,6.218761e-08,6.198064e-08,6.177605e-08,6.157389e-08,6.137422e-08,6.117707e-08,6.098249e-08,6.079051e-08,6.060114e-08
0.000000e+00,4.594650e-14,3.852768e-13,8.770683e-12,6.721250e-11,1.686506e-10,1.187048e-09,1.272233e-09,5.766977e-09,8.270614e-09,1.899870e-08,3.484024e-08,5.035207e-08,1.073527e-07,1.140658e-07,2.295997e-07,2.676580e-07,4.213589e-07,5.724320e-07,7.174755e-07,1.087910e-06,1.147554e-06,1.739762e-06,1.879865e-06,2.517982e-06,3.002240e-06,3.499600e-06,4.488648e-06,4.694275e-06,6.103647e-06,6.348772e-06,7.721771e-06,8.569143e-06,9.536046e-06,1.111669e-05,1.152839e-05,1.367649e-05,1.394355e-05,1.595504e-05,1.699197e-05,1.833688e-05,2.019897e-05,2.079406e-05,2.329870e-05,2.350030e-05,2.582381e-05,2.683381e-05,2.834392e-05,3.014205e-05,3.083559e-05,3.327782e-05,3.337421e-05,3.565225e-05,3.648737e-05,3.794335e-05,3.944709e-05,4.013840e-05,4.222745e-05,4.420316e-05,4.481059e-05,4.606064e-05,4.718604e-05,4.779717e-05,4.934968e-05,4.941194e-05,5.090582e-05,5.130271e-05,5.228102e-05,5.305053e-05,5.354089e-05,5.460171e-05,5.468963e-05,5.573209e-05,5.596706e-05,5.667362e-05,5.715890e-05,5.751988e-05,5.819035e-05,5.827663e-05,5.894964e-05,5.907471e-05,5.954466e-05,5.982511e-05,6.006728e-05,6.045432e-05,6.052294e-05,6.091681e-05,6.097443e-05,6.125384e-05,6.139678e-05,6.153865e-05,6.173184e-05,6.177560e-05,6.196870e-05,6.198911e-05,6.212174e-05,6.217730e-05,6.223825e-05,6.230437e-05,6.232147e-05,6.237441e-05,6.237742e-05,6.239980e-05,6.240281e-05,6.240015e-05,6.238620e-05,6.237777e-05,6.233479e-05,6.233267e-05,6.227314e-05,6.224673e-05,6.219462e-05,6.213241e-05,6.210084e-05,6.199329e-05,6.187334e-05,6.183254e-05,6.174223e-05,6.165299e-05,6.160109e-05,6.145713e-05,6.145097e-05,6.129282e-05,6.124721e-05,6.112750e-05,6.102521e-05,6.095582e-05,6.079289e-05,6.077852e-05,6.059625e-05,6.055183e-05,6.040963e-05,6.030344e-05,6.021923e-05,6.004896e-05,6.002557e-05,5.982911e-05,5.978953e-05,5.963030e-05,5.952613e-05,5.942954e-05,5.925966e-05,5.922719e-05,5.902359e-05,5.899092e-05,5.881905e-05,5.872062e-05,5.861385e-05,5.844940e-05,5.840827e-05,5.820253e-05,5.817784e-05,5.799686e-05,5.790644e-05,5.779146e-05,5.763565e-05,5.758652e-05,5.738222e-05,5.736591e-05,5.717870e-05,5.709755e-05,5.697612e-05,5.683092e-05,5.677461e-05,5.657428e-05,5.656630e-05,5.637526e-05,5.630395e-05,5.617763e-05,5.604409e-05,5.598149e-05,5.578693e-05,5.553264e-05,5.528137e-05,5.503327e-05,5.478844e-05,5.454699e-05,5.430902e-05,5.407458e-05,5.384374e-05,5.361656e-05,5.339306e-05,5.317328e-05,5.295724e-05,5.274496e-05,5.253644e-05,5.233167e-05,5.213066e-05,5.193340e-05,5.173986e-05,5.155003e-05,5.136389e-05,5.118140e-05,5.100254e-05,5.082727e-05,5.065556e-05
0.000000e+00,8.923754e-14,7.129968e-13,1.470297e-11,1.030837e-10,2.464500e-10,1.533549e-09,1.635469e-09,6.577590e-09,9.135491e-09,1.937699e-08,3.334301e-08,4.624823e-08,9.005431e-08,9.495717e-08,1.742880e-07,1.989087e-07,2.934888e-07,3.811039e-07,4.617674e-07,6.573812e-07,6.878262e-07,9.793836e-07,1.046134e-06,1.342650e-06,1.561373e-06,1.781823e-06,2.210801e-06,2.298734e-06,2.892763e-06,2.994800e-06,3.561012e-06,3.906783e-06,4.298670e-06,4.934594e-06,5.099464e-06,5.956083e-06,6.062256e-06,6.860568e-06,7.271574e-06,7.804628e-06,8.543435e-06,8.779904e-06,9.778177e-06,9.858793e-06,1.079154e-05,1.119942e-05,1.181252e-05,1.254844e-05,1.283420e-05,1.385029e-05,1.389073e-05,1.485515e-05,1.521318e-05,1.584384e-05,1.650471e-05,1.681211e-05,1.775636e-05,1.867366e-05,1.896110e-05,1.956164e-05,2.011370e-05,2.041848e-05,2.121051e-05,2.124284e-05,2.203383e-05,2.224925e-05,2.279091e-05,2.322878e-05,2.351387e-05,2.414891e-05,2.420278e-05,2.485792e-05,2.501018e-05,2.547978e-05,2.581372e-05,2.606899e-05,2.656109e-05,2.662631e-05,2.715257e-05,2.725417e-05,2.764870e-05,2.789509e-05,2.811566e-05,2.848610e-05,2.855446e-05,2.896613e-05,2.902954e-05,2.935169e-05,2.952780e-05,2.971220e-05,2.998325e-05,3.004867e-05,3.036212e-05,3.039824e-05,3.065356e-05,3.077507e-05,3.092396e-05,3.111598e-05,3.117428e-05,3.140544e-05,3.142313e-05,3.161834e-05,3.169858e-05,3.181386e-05,3.194434e-05,3.199283e-05,3.215607e-05,3.216228e-05,3.230436e-05,3.235423e-05,3.243845e-05,3.252189e-05,3.255907e-05,3.266691e-05,3.276264e-05,3.279081e-05,3.284689e-05,3.289507e-05,3.292028e-05,3.298106e-05,3.298339e-05,3.303679e-05,3.305007e-05,3.308100e-05,3.310334e-05,3.311655e-05,3.314202e-05,3.314391e-05,3.316357e-05,3.316719e-05,3.317596e-05,3.317988e-05,3.318151e-05,3.318105e-05,3.318062e-05,3.317368e-05,3.317160e-05,3.316107e-05,3.315238e-05,3.314312e-05,3.312417e-05,3.312018e-05,3.309256e-05,3.308773e-05,3.306057e-05,3.304375e-05,3.302450e-05,3.299289e-05,3.298462e-05,3.294118e-05,3.293575e-05,3.289445e-05,3.287290e-05,3.284465e-05,3.280489e-05,3.279201e-05,3.273673e-05,3.273220e-05,3.267903e-05,3.265532e-05,3.261910e-05,3.257466e-05,3.255710e-05,3.249323e-05,3.249064e-05,3.242764e-05,3.240363e-05,3.236048e-05,3.231399e-05,3.229191e-05,3.222205e-05,3.212811e-05,3.203245e-05,3.193534e-05,3.183702e-05,3.173771e-05,3.163764e-05,3.153699e-05,3.143595e-05,3.133468e-05,3.123333e-05,3.113204e-05,3.103095e-05,3.093018e-05,3.082983e-05,3.073000e-05,3.063080e-05,3.053229e-05,3.043456e-05,3.033768e-05,3.024171e-05,3.014671e-05,3.005272e-05,2.995979e-05,2.986797e-05
0.000000e+00,1.812380e-14,1.508343e-13,3.381209e-12,2.555409e-11,6.363530e-11,4.391647e-10,4.703004e-10,2.089747e-09,2.980386e-09,6.749032e-09,1.222806e-08,1.752876e-08,3.666228e-08,3.888893e-08,7.662006e-08,8.886129e-08,1.376556e-07,1.848956e-07,2.297943e-07,3.432170e-07,3.613703e-07,5.408886e-07,5.832827e-07,7.766323e-07,9.240171e-07,1.076258e-06,1.382212e-06,1.446413e-06,1.892421e-06,1.971098e-06,2.418066e-06,2.699354e-06,3.025483e-06,3.570668e-06,3.715150e-06,4.485956e-06,4.583797e-06,5.335324e-06,5.732976e-06,6.259367e-06,7.008531e-06,7.253066e-06,8.310456e-06,8.397602e-06,9.424810e-06,9.884881e-06,1.058883e-05,1.145336e-05,1.179481e-05,1.303485e-05,1.308505e-05,1.430098e-05,1.476165e-05,1.558531e-05,1.646513e-05,1.688018e-05,1.817828e-05,1.947271e-05,1.988509e-05,2.075707e-05,2.157107e-05,2.202554e-05,2.322344e-05,2.327287e-05,2.449441e-05,2.483126e-05,2.568615e-05,2.638543e-05,2.684465e-05,2.787865e-05,2.796706e-05,2.905106e-05,2.930530e-05,3.009487e-05,3.066133e-05,3.109714e-05,3.194406e-05,3.205698e-05,3.297386e-05,3.315206e-05,3.384759e-05,3.428490e-05,3.467828e-05,3.534306e-05,3.546629e-05,3.621221e-05,3.632770e-05,3.691679e-05,3.724057e-05,3.758095e-05,3.808386e-05,3.820572e-05,3.879223e-05,3.886010e-05,3.934169e-05,3.957204e-05,3.985536e-05,4.022260e-05,4.033453e-05,4.078052e-05,4.081480e-05,4.119466e-05,4.135169e-05,4.157827e-05,4.183631e-05,4.193267e-05,4.225916e-05,4.227166e-05,4.255901e-05,4.266068e-05,4.283347e-05,4.300622e-05,4.308376e-05,4.331106e-05,4.351651e-05,4.357783e-05,4.370123e-05,4.380906e-05,4.386628e-05,4.400718e-05,4.401269e-05,4.414145e-05,4.417447e-05,4.425351e-05,4.431311e-05,4.434978e-05,4.442515e-05,4.443113e-05,4.449840e-05,4.451254e-05,4.455238e-05,4.457709e-05,4.459384e-05,4.462055e-05,4.462351e-05,4.464207e-05,4.464451e-05,4.465020e-05,4.465051e-05,4.464851e-05,4.463996e-05,4.463762e-05,4.461809e-05,4.461420e-05,4.459047e-05,4.457449e-05,4.455527e-05,4.452199e-05,4.451299e-05,4.446409e-05,4.445780e-05,4.440902e-05,4.438294e-05,4.434819e-05,4.429836e-05,4.428201e-05,4.421087e-05,4.420497e-05,4.413510e-05,4.410358e-05,4.405507e-05,4.399499e-05,4.397109e-05,4.388347e-05,4.387990e-05,4.379250e-05,4.375899e-05,4.369846e-05,4.363289e-05,4.360160e-05,4.350218e-05,4.336741e-05,4.322907e-05,4.308764e-05,4.294354e-05,4.279718e-05,4.264894e-05,4.249915e-05,4.234814e-05,4.219620e-05,4.204361e-05,4.189061e-05,4.173744e-05,4.158431e-05,4.143142e-05,4.127894e-05,4.112704e-05,4.097587e-05,4.082557e-05,4.067627e-05,4.052809e-05,4.038111e-05,4.023545e-05,4.009118e-05,3.994837e-05
0.000000e+00,1.541271e-12,3.527530e-12,1.209754e-11,2.741794e-11,3.989848e-11,8.978506e-11,9.245166e-11,1.767839e-10,2.070183e-10,2.996798e-10,3.947239e-10,4.678604e-10,6.683355e-10,6.880150e-10,9.665337e-10,1.042692e-09,1.308713e-09,1.529326e-09,1.717318e-09,2.130855e-09,2.190966e-09,2.723605e-09,2.836417e-09,3.305824e-09,3.624661e-09,3.927068e-09,4.471683e-09,4.577283e-09,5.247570e-09,5.356147e-09,5.930203e-09,6.260244e-09,6.618455e-09,7.169102e-09,7.306409e-09,7.988831e-09,8.070125e-09,8.661100e-09,8.952618e-09,9.319164e-09,9.807622e-09,9.959527e-09,1.057922e-08,1.062783e-08,1.117580e-08,1.140750e-08,1.174730e-08,1.214240e-08,1.229224e-08,1.280953e-08,1.282964e-08,1.329849e-08,1.346750e-08,1.375877e-08,1.405535e-08,1.419033e-08,1.459336e-08,1.496830e-08,1.508244e-08,1.531574e-08,1.552401e-08,1.563642e-08,1.591991e-08,1.593121e-08,1.620105e-08,1.627226e-08,1.644693e-08,1.658340e-08,1.666992e-08,1.685577e-08,1.687108e-08,1.705151e-08,1.709184e-08,1.721227e-08,1.729411e-08,1.735445e-08,1.746502e-08,1.747909e-08,1.758722e-08,1.760696e-08,1.767985e-08,1.772222e-08,1.775794e-08,1.781298e-08,1.782242e-08,1.787418e-08,1.788134e-08,1.791407e-08,1.792925e-08,1.794291e-08,1.795856e-08,1.796149e-08,1.797052e-08,1.797100e-08,1.797073e-08,1.796819e-08,1.796276e-08,1.795163e-08,1.794725e-08,1.792479e-08,1.792271e-08,1.789595e-08,1.788274e-08,1.786124e-08,1.783289e-08,1.782116e-08,1.777618e-08,1.777429e-08,1.772674e-08,1.770794e-08,1.767326e-08,1.763477e-08,1.761611e-08,1.755566e-08,1.749225e-08,1.747138e-08,1.742619e-08,1.738267e-08,1.735779e-08,1.729017e-08,1.728731e-08,1.721502e-08,1.719449e-08,1.714116e-08,1.709618e-08,1.706594e-08,1.699574e-08,1.698959e-08,1.691229e-08,1.689362e-08,1.683423e-08,1.679024e-08,1.675557e-08,1.668597e-08,1.667646e-08,1.659706e-08,1.658115e-08,1.651748e-08,1.647608e-08,1.643786e-08,1.637103e-08,1.635831e-08,1.627893e-08,1.626625e-08,1.619982e-08,1.616196e-08,1.612106e-08,1.605836e-08,1.604274e-08,1.596492e-08,1.595562e-08,1.588768e-08,1.585389e-08,1.581107e-08,1.575331e-08,1.573516e-08,1.565998e-08,1.565400e-08,1.558559e-08,1.555606e-08,1.551202e-08,1.545958e-08,1.543931e-08,1.536750e-08,1.536464e-08,1.529660e-08,1.527131e-08,1.522665e-08,1.517964e-08,1.515767e-08,1.508966e-08,1.500143e-08,1.491497e-08,1.483030e-08,1.474743e-08,1.466638e-08,1.458714e-08,1.450972e-08,1.443411e-08,1.436030e-08,1.428828e-08,1.421803e-08,1.414954e-08,1.408278e-08,1.401774e-08,1.395438e-08,1.389269e-08,1.383263e-08,1.377418e-08,1.371731e-08,1.366199e-08,1.360818e-08,1.355586e-08,1.350500e-08,1.345556e-08
0.000000e+00,2.505660e-11,5.952336e-11,2.122576e-10,4.898829e-10,7.177549e-10,1.635316e-09,1.684559e-09,3.248252e-09,3.811233e-09,5.542585e-09,7.326252e-09,8.703306e-09,1.249415e-08,1.286732e-08,1.816172e-08,1.961185e-08,2.467568e-08,2.886417e-08,3.241914e-08,4.017873e-08,4.129912e-08,5.114475e-08,5.321245e-08,6.176043e-08,6.752338e-08,7.296381e-08,8.271302e-08,8.459755e-08,9.652687e-08,9.845494e-08,1.086344e-07,1.144783e-07,1.208159e-07,1.305514e-07,1.329782e-07,1.450376e-07,1.464742e-07,1.569199e-07,1.620750e-07,1.685604e-07,1.772108e-07,1.799034e-07,1.909023e-07,1.917662e-07,2.015194e-07,2.056524e-07,2.117249e-07,2.188053e-07,2.214967e-07,2.308195e-07,2.311830e-07,2.396841e-07,2.427622e-07,2.480863e-07,2.535359e-07,2.560267e-07,2.635095e-07,2.705420e-07,2.726989e-07,2.771340e-07,2.811272e-07,2.832974e-07,2.888232e-07,2.890454e-07,2.943924e-07,2.958197e-07,2.993535e-07,3.021516e-07,3.039446e-07,3.078550e-07,3.081813e-07,3.120796e-07,3.129666e-07,3.156553e-07,3.175226e-07,3.189240e-07,3.215587e-07,3.219011e-07,3.246014e-07,3.251096e-07,3.270396e-07,3.282084e-07,3.292295e-07,3.308870e-07,3.311846e-07,3.329180e-07,3.331756e-07,3.344420e-07,3.351027e-07,3.357686e-07,3.366953e-07,3.369091e-07,3.378743e-07,3.379788e-07,3.386746e-07,3.389771e-07,3.393198e-07,3.397123e-07,3.398194e-07,3.401821e-07,3.402054e-07,3.404164e-07,3.404760e-07,3.405303e-07,3.405420e-07,3.405314e-07,3.404268e-07,3.404206e-07,3.402235e-07,3.401273e-07,3.399277e-07,3.396769e-07,3.395457e-07,3.390831e-07,3.385456e-07,3.383586e-07,3.379382e-07,3.375151e-07,3.372658e-07,3.365635e-07,3.365331e-07,3.357444e-07,3.355141e-07,3.349038e-07,3.343762e-07,3.340153e-07,3.331586e-07,3.330824e-07,3.321088e-07,3.318694e-07,3.310976e-07,3.305161e-07,3.300520e-07,3.291057e-07,3.289749e-07,3.278690e-07,3.276446e-07,3.267369e-07,3.261387e-07,3.255810e-07,3.245935e-07,3.244038e-07,3.232072e-07,3.230141e-07,3.219935e-07,3.214053e-07,3.207644e-07,3.197713e-07,3.195218e-07,3.182675e-07,3.181162e-07,3.170030e-07,3.164437e-07,3.157297e-07,3.147572e-07,3.144493e-07,3.131629e-07,3.130598e-07,3.118718e-07,3.113543e-07,3.105772e-07,3.096436e-07,3.092803e-07,3.079819e-07,3.079299e-07,3.066831e-07,3.062156e-07,3.053848e-07,3.045027e-07,3.040879e-07,3.027931e-07,3.010885e-07,2.993905e-07,2.977004e-07,2.960197e-07,2.943496e-07,2.926910e-07,2.910450e-07,2.894124e-07,2.877941e-07,2.861907e-07,2.846030e-07,2.830314e-07,2.814764e-07,2.799386e-07,2.784183e-07,2.769157e-07,2.754313e-07,2.739653e-07,2.725177e-07,2.710889e-07,2.696789e-07,2.682879e-07,2.669158e-07,2.655628e-07
0.000000e+00,1.193666e-10,2.909167e-10,1.067235e-09,2.501383e-09,3.690229e-09,8.544316e-09,8.807257e-09,1.725567e-08,2.033708e-08,2.991597e-08,3.991251e-08,4.769771e-08,6.933699e-08,7.147916e-08,1.020072e-07,1.103998e-07,1.397771e-07,1.641578e-07,1.849196e-07,2.305074e-07,2.371232e-07,2.956113e-07,3.079644e-07,3.591924e-07,3.937825e-07,4.263866e-07,4.844648e-07,4.956146e-07,5.653990e-07,5.765299e-07,6.345114e-07,6.671639e-07,7.020273e-07,7.544502e-07,7.673035e-07,8.299208e-07,8.372427e-07,8.896225e-07,9.149275e-07,9.462654e-07,9.872272e-07,9.997863e-07,1.050177e-06,1.054074e-06,1.097470e-06,1.115533e-06,1.141726e-06,1.171753e-06,1.183023e-06,1.221458e-06,1.222937e-06,1.257133e-06,1.269322e-06,1.290160e-06,1.311162e-06,1.320651e-06,1.348722e-06,1.374487e-06,1.382263e-06,1.398060e-06,1.412048e-06,1.419552e-06,1.438328e-06,1.439072e-06,1.456725e-06,1.461347e-06,1.472613e-06,1.481339e-06,1.486833e-06,1.498523e-06,1.499478e-06,1.510640e-06,1.513108e-06,1.520405e-06,1.525293e-06,1.528853e-06,1.535262e-06,1.536064e-06,1.542113e-06,1.543190e-06,1.547070e-06,1.549239e-06,1.551003e-06,1.553562e-06,1.553976e-06,1.556050e-06,1.556302e-06,1.557283e-06,1.557592e-06,1.557729e-06,1.557555e-06,1.557441e-06,1.556467e-06,1.556307e-06,1.554855e-06,1.553955e-06,1.552649e-06,1.550600e-06,1.549889e-06,1.546616e-06,1.546334e-06,1.542867e-06,1.541242e-06,1.538677e-06,1.535406e-06,1.534079e-06,1.529105e-06,1.528898e-06,1.523784e-06,1.521789e-06,1.518144e-06,1.514140e-06,1.512211e-06,1.506011e-06,1.499567e-06,1.497457e-06,1.492900e-06,1.488527e-06,1.486032e-06,1.479267e-06,1.478982e-06,1.471768e-06,1.469721e-06,1.464407e-06,1.459928e-06,1.456917e-06,1.449923e-06,1.449311e-06,1.441605e-06,1.439742e-06,1.433811e-06,1.429413e-06,1.425942e-06,1.418966e-06,1.418011e-06,1.410027e-06,1.408425e-06,1.402002e-06,1.397816e-06,1.393945e-06,1.387159e-06,1.385865e-06,1.377771e-06,1.376475e-06,1.369670e-06,1.365781e-06,1.361569e-06,1.355094e-06,1.353476e-06,1.345397e-06,1.344429e-06,1.337338e-06,1.333800e-06,1.329304e-06,1.323219e-06,1.321301e-06,1.313333e-06,1.312697e-06,1.305404e-06,1.302244e-06,1.297519e-06,1.291870e-06,1.289681e-06,1.281893e-06,1.281583e-06,1.274160e-06,1.271390e-06,1.266483e-06,1.261297e-06,1.258866e-06,1.251310e-06,1.241435e-06,1.231675e-06,1.222035e-06,1.212518e-06,1.203128e-06,1.193865e-06,1.184733e-06,1.175734e-06,1.166867e-06,1.158135e-06,1.149538e-06,1.141076e-06,1.132750e-06,1.124559e-06,1.116504e-06,1.108584e-06,1.100797e-06,1.093145e-06,1.085625e-06,1.078236e-06,1.070978e-06,1.063849e-06,1.056849e-06,1.049974e-06
0.000000e+00,9.297524e-11,2.661499e-10,1.151972e-09,2.908933e-09,4.408610e-09,1.067758e-08,1.102061e-08,2.211346e-08,2.617665e-08,3.882569e-08,5.203736e-08,6.233098e-08,9.097689e-08,9.381663e-08,1.343951e-07,1.455911e-07,1.849253e-07,2.177252e-07,2.457452e-07,3.074409e-07,3.164031e-07,3.955932e-07,4.122943e-07,4.814325e-07,5.280252e-07,5.719177e-07,6.502014e-07,6.652659e-07,7.600306e-07,7.752449e-07,8.550783e-07,9.005332e-07,9.495207e-07,1.024161e-06,1.042654e-06,1.133919e-06,1.144723e-06,1.222869e-06,1.261180e-06,1.309153e-06,1.372777e-06,1.392502e-06,1.472717e-06,1.478994e-06,1.549659e-06,1.579499e-06,1.623242e-06,1.674115e-06,1.693421e-06,1.760190e-06,1.762790e-06,1.823571e-06,1.845567e-06,1.883609e-06,1.922559e-06,1.940371e-06,1.993936e-06,2.044394e-06,2.059900e-06,2.091843e-06,2.120680e-06,2.136389e-06,2.176520e-06,2.178138e-06,2.217199e-06,2.227670e-06,2.253683e-06,2.274381e-06,2.287697e-06,2.316904e-06,2.319351e-06,2.348751e-06,2.355482e-06,2.375998e-06,2.390355e-06,2.401195e-06,2.421750e-06,2.424439e-06,2.445825e-06,2.449888e-06,2.465445e-06,2.474978e-06,2.483385e-06,2.497220e-06,2.499732e-06,2.514566e-06,2.516805e-06,2.527966e-06,2.533911e-06,2.540007e-06,2.548709e-06,2.550760e-06,2.560295e-06,2.561360e-06,2.568676e-06,2.572015e-06,2.575967e-06,2.580816e-06,2.582227e-06,2.587515e-06,2.587898e-06,2.591884e-06,2.593386e-06,2.595387e-06,2.597401e-06,2.598073e-06,2.599990e-06,2.600052e-06,2.601183e-06,2.601444e-06,2.601695e-06,2.601674e-06,2.601566e-06,2.600835e-06,2.599541e-06,2.599013e-06,2.597717e-06,2.596287e-06,2.595397e-06,2.592733e-06,2.592613e-06,2.589395e-06,2.588420e-06,2.585772e-06,2.583416e-06,2.581772e-06,2.577780e-06,2.577419e-06,2.572739e-06,2.571570e-06,2.567755e-06,2.564840e-06,2.562489e-06,2.557639e-06,2.556962e-06,2.551194e-06,2.550013e-06,2.545204e-06,2.542007e-06,2.539009e-06,2.533659e-06,2.532626e-06,2.526072e-06,2.525009e-06,2.519362e-06,2.516090e-06,2.512510e-06,2.506935e-06,2.505530e-06,2.498434e-06,2.497575e-06,2.491234e-06,2.488037e-06,2.483943e-06,2.478347e-06,2.476571e-06,2.469128e-06,2.468530e-06,2.461624e-06,2.458607e-06,2.454068e-06,2.448600e-06,2.446468e-06,2.438833e-06,2.438527e-06,2.431171e-06,2.428407e-06,2.423488e-06,2.418255e-06,2.415791e-06,2.408087e-06,2.397917e-06,2.387757e-06,2.377619e-06,2.367515e-06,2.357454e-06,2.347445e-06,2.337496e-06,2.327615e-06,2.317810e-06,2.308085e-06,2.298447e-06,2.288902e-06,2.279452e-06,2.270104e-06,2.260860e-06,2.251723e-06,2.242698e-06,2.233785e-06,2.224987e-06,2.216306e-06,2.207744e-06,2.199302e-06,2.190981e-06,2.182782e-06
0.000000e+00,9.975642e-11,2.545520e-10,9.811958e-10,2.356295e-09,3.509322e-09,8.271587e-09,8.531161e-09,1.692639e-08,2.001001e-08,2.965539e-08,3.980152e-08,4.774452e-08,6.988918e-08,7.207883e-08,1.030353e-07,1.114368e-07,1.404251e-07,1.640181e-07,1.838302e-07,2.266806e-07,2.328468e-07,2.871181e-07,2.985726e-07,3.462969e-07,3.788878e-07,4.100124e-07,4.667398e-07,4.778534e-07,5.493659e-07,5.611162e-07,6.240587e-07,6.608894e-07,7.014137e-07,7.648569e-07,7.808986e-07,8.619808e-07,8.717931e-07,9.441411e-07,9.805043e-07,1.026883e-06,1.089866e-06,1.109738e-06,1.192276e-06,1.198853e-06,1.274106e-06,1.306560e-06,1.354880e-06,1.412210e-06,1.434292e-06,1.512081e-06,1.515155e-06,1.588023e-06,1.614873e-06,1.661933e-06,1.710953e-06,1.733660e-06,1.803069e-06,1.870069e-06,1.890990e-06,1.934599e-06,1.974581e-06,1.996617e-06,2.053772e-06,2.056102e-06,2.113050e-06,2.128541e-06,2.167468e-06,2.198913e-06,2.219378e-06,2.264945e-06,2.268809e-06,2.315801e-06,2.326721e-06,2.360398e-06,2.384344e-06,2.402649e-06,2.437934e-06,2.442610e-06,2.480337e-06,2.487619e-06,2.515890e-06,2.533538e-06,2.549330e-06,2.575833e-06,2.580720e-06,2.610123e-06,2.614648e-06,2.637603e-06,2.650129e-06,2.663224e-06,2.682424e-06,2.687048e-06,2.709138e-06,2.711675e-06,2.729555e-06,2.738025e-06,2.748362e-06,2.761615e-06,2.765618e-06,2.781382e-06,2.782580e-06,2.795711e-06,2.801053e-06,2.808661e-06,2.817163e-06,2.820289e-06,2.830646e-06,2.831035e-06,2.839787e-06,2.842790e-06,2.847762e-06,2.852543e-06,2.854619e-06,2.860408e-06,2.865175e-06,2.866492e-06,2.868965e-06,2.870899e-06,2.871822e-06,2.873728e-06,2.873790e-06,2.874908e-06,2.875074e-06,2.875217e-06,2.875030e-06,2.874755e-06,2.873682e-06,2.873560e-06,2.871668e-06,2.871114e-06,2.869113e-06,2.867405e-06,2.865929e-06,2.862632e-06,2.862148e-06,2.857802e-06,2.856867e-06,2.852920e-06,2.850180e-06,2.847532e-06,2.842635e-06,2.841665e-06,2.835347e-06,2.834296e-06,2.828603e-06,2.825222e-06,2.821458e-06,2.815469e-06,2.813935e-06,2.806059e-06,2.805091e-06,2.797851e-06,2.794140e-06,2.789332e-06,2.782662e-06,2.780522e-06,2.771442e-06,2.770704e-06,2.762109e-06,2.758310e-06,2.752543e-06,2.745519e-06,2.742759e-06,2.732774e-06,2.732371e-06,2.722605e-06,2.718902e-06,2.712266e-06,2.705147e-06,2.701772e-06,2.691137e-06,2.676905e-06,2.662478e-06,2.647884e-06,2.633148e-06,2.618294e-06,2.603345e-06,2.588322e-06,2.573245e-06,2.558132e-06,2.543001e-06,2.527867e-06,2.512746e-06,2.497652e-06,2.482598e-06,2.467595e-06,2.452656e-06,2.437790e-06,2.423008e-06,2.408318e-06,2.393728e-06,2.379246e-06,2.364879e-06,2.350633e-06,2.336513e-06
0.000000e+00,7.221833e-12,1.693686e-11,5.969344e-11,1.372346e-10,2.008847e-10,4.575078e-10,4.712946e-10,9.096869e-10,1.067745e-09,1.554302e-09,2.056000e-09,2.443411e-09,3.508978e-09,3.613720e-09,5.094305e-09,5.497585e-09,6.896687e-09,8.043175e-09,9.009534e-09,1.110367e-08,1.140492e-08,1.404897e-08,1.460462e-08,1.690792e-08,1.846879e-08,1.994968e-08,2.262353e-08,2.314353e-08,2.645971e-08,2.699971e-08,2.986939e-08,3.153105e-08,3.334484e-08,3.615486e-08,3.685981e-08,4.038984e-08,4.081338e-08,4.391264e-08,4.545515e-08,4.740826e-08,5.003592e-08,5.085924e-08,5.425049e-08,5.451881e-08,5.756938e-08,5.887430e-08,6.080560e-08,6.307977e-08,6.395089e-08,6.699890e-08,6.711872e-08,6.994499e-08,7.097998e-08,7.278597e-08,7.465678e-08,7.551993e-08,7.814602e-08,8.066429e-08,8.144747e-08,8.307552e-08,8.456316e-08,8.538111e-08,8.749679e-08,8.758290e-08,8.968312e-08,9.025332e-08,9.168428e-08,9.283856e-08,9.358910e-08,9.525892e-08,9.540045e-08,9.712130e-08,9.752117e-08,9.875466e-08,9.963226e-08,1.003036e-07,1.015992e-07,1.017711e-07,1.031603e-07,1.034290e-07,1.044741e-07,1.051284e-07,1.057154e-07,1.067042e-07,1.068872e-07,1.079921e-07,1.081629e-07,1.090330e-07,1.095106e-07,1.100124e-07,1.107535e-07,1.109330e-07,1.117972e-07,1.118972e-07,1.126073e-07,1.129472e-07,1.133657e-07,1.139089e-07,1.140747e-07,1.147362e-07,1.147872e-07,1.153525e-07,1.155868e-07,1.159255e-07,1.163123e-07,1.164571e-07,1.169491e-07,1.169680e-07,1.174032e-07,1.175578e-07,1.178213e-07,1.180857e-07,1.182048e-07,1.185553e-07,1.188744e-07,1.189700e-07,1.191633e-07,1.193332e-07,1.194236e-07,1.196478e-07,1.196566e-07,1.198634e-07,1.199168e-07,1.200453e-07,1.201429e-07,1.202034e-07,1.203288e-07,1.203388e-07,1.204526e-07,1.204769e-07,1.205459e-07,1.205895e-07,1.206195e-07,1.206688e-07,1.206744e-07,1.207115e-07,1.207169e-07,1.207317e-07,1.207357e-07,1.207357e-07,1.207271e-07,1.207243e-07,1.206983e-07,1.206929e-07,1.206584e-07,1.206346e-07,1.206053e-07,1.205538e-07,1.205397e-07,1.204621e-07,1.204520e-07,1.203731e-07,1.203306e-07,1.202734e-07,1.201908e-07,1.201635e-07,1.200439e-07,1.200339e-07,1.199151e-07,1.198611e-07,1.197776e-07,1.196735e-07,1.196319e-07,1.194784e-07,1.194721e-07,1.193175e-07,1.192578e-07,1.191496e-07,1.190316e-07,1.189751e-07,1.187945e-07,1.185471e-07,1.182903e-07,1.180248e-07,1.177512e-07,1.174704e-07,1.171828e-07,1.168891e-07,1.165897e-07,1.162853e-07,1.159763e-07,1.156632e-07,1.153463e-07,1.150262e-07,1.147032e-07,1.143777e-07,1.140500e-07,1.137204e-07,1.133893e-07,1.130569e-07,1.127235e-07,1.123894e-07,1.120548e-07,1.117200e-07,1.113851e-07
0.000000e+00,5.113437e-11,1.475178e-10,6.454865e-10,1.644539e-09,2.505886e-09,6.177645e-09,6.381650e-09,1.313892e-08,1.568757e-08,2.384448e-08,3.265753e-08,3.966610e-08,5.941094e-08,6.136661e-08,8.888554e-08,9.629868e-08,1.216931e-07,1.421775e-07,1.592740e-07,1.959896e-07,2.012483e-07,2.473218e-07,2.570049e-07,2.972270e-07,3.246007e-07,3.506859e-07,3.981149e-07,4.073926e-07,4.670085e-07,4.767928e-07,5.291656e-07,5.597893e-07,5.934722e-07,6.461928e-07,6.595228e-07,7.269076e-07,7.350642e-07,7.952224e-07,8.254740e-07,8.640756e-07,9.165345e-07,9.330954e-07,1.001937e-06,1.007427e-06,1.070290e-06,1.097429e-06,1.137871e-06,1.185912e-06,1.204434e-06,1.269765e-06,1.272350e-06,1.333681e-06,1.356315e-06,1.396031e-06,1.437470e-06,1.456691e-06,1.515563e-06,1.572573e-06,1.590414e-06,1.627667e-06,1.661905e-06,1.680810e-06,1.729973e-06,1.731982e-06,1.781177e-06,1.794598e-06,1.828401e-06,1.855795e-06,1.873669e-06,1.913607e-06,1.917004e-06,1.958436e-06,1.968101e-06,1.998003e-06,2.019359e-06,2.035742e-06,2.067476e-06,2.071698e-06,2.105917e-06,2.112557e-06,2.138447e-06,2.154711e-06,2.169336e-06,2.194053e-06,2.198636e-06,2.226396e-06,2.230698e-06,2.252666e-06,2.264762e-06,2.277498e-06,2.296362e-06,2.300942e-06,2.323045e-06,2.325610e-06,2.343858e-06,2.352619e-06,2.363428e-06,2.377498e-06,2.381800e-06,2.399022e-06,2.400351e-06,2.415136e-06,2.421282e-06,2.430188e-06,2.440390e-06,2.444218e-06,2.457267e-06,2.457769e-06,2.469376e-06,2.473512e-06,2.480582e-06,2.487706e-06,2.490923e-06,2.500436e-06,2.509154e-06,2.511782e-06,2.517112e-06,2.521821e-06,2.524342e-06,2.530627e-06,2.530875e-06,2.536743e-06,2.538271e-06,2.541974e-06,2.544819e-06,2.546597e-06,2.550335e-06,2.550638e-06,2.554124e-06,2.554881e-06,2.557081e-06,2.558514e-06,2.559532e-06,2.561290e-06,2.561501e-06,2.563011e-06,2.563260e-06,2.564083e-06,2.564475e-06,2.564739e-06,2.564982e-06,2.564997e-06,2.564878e-06,2.564826e-06,2.564401e-06,2.564049e-06,2.563582e-06,2.562693e-06,2.562439e-06,2.560989e-06,2.560795e-06,2.559247e-06,2.558392e-06,2.557228e-06,2.555518e-06,2.554948e-06,2.552420e-06,2.552207e-06,2.549657e-06,2.548489e-06,2.546672e-06,2.544393e-06,2.543478e-06,2.540087e-06,2.539947e-06,2.536510e-06,2.535178e-06,2.532757e-06,2.530110e-06,2.528840e-06,2.524767e-06,2.519171e-06,2.513343e-06,2.507303e-06,2.501069e-06,2.494660e-06,2.488092e-06,2.481380e-06,2.474539e-06,2.467584e-06,2.460528e-06,2.453382e-06,2.446160e-06,2.438871e-06,2.431526e-06,2.424134e-06,2.416706e-06,2.409249e-06,2.401771e-06,2.394280e-06,2.386784e-06,2.379288e-06,2.371799e-06,2.364322e-06,2.356864e-06
0.000000e+00,3.485525e-12,8.025281e-12,2.781541e-11,6.363259e-11,9.309197e-11,2.126624e-10,2.191235e-10,4.264883e-10,5.021280e-10,7.377094e-10,9.846977e-10,1.178067e-09,1.720692e-09,1.774813e-09,2.552628e-09,2.768117e-09,3.525307e-09,4.154889e-09,4.690658e-09,5.864666e-09,6.034833e-09,7.540463e-09,7.859497e-09,9.191302e-09,1.010232e-08,1.097308e-08,1.256155e-08,1.287296e-08,1.487878e-08,1.520874e-08,1.697857e-08,1.801633e-08,1.916034e-08,2.095667e-08,2.141203e-08,2.372157e-08,2.400204e-08,2.607706e-08,2.712502e-08,2.846687e-08,3.029920e-08,3.087986e-08,3.330547e-08,3.349977e-08,3.573386e-08,3.670393e-08,3.815595e-08,3.989130e-08,4.056351e-08,4.294917e-08,4.304404e-08,4.530637e-08,4.614687e-08,4.762940e-08,4.918701e-08,4.991334e-08,5.215395e-08,5.434768e-08,5.503928e-08,5.649161e-08,5.783649e-08,5.858339e-08,6.054070e-08,6.062115e-08,6.260347e-08,6.314843e-08,6.452932e-08,6.565743e-08,6.639802e-08,6.806643e-08,6.820920e-08,6.996272e-08,7.037499e-08,7.165868e-08,7.258338e-08,7.329738e-08,7.469242e-08,7.487927e-08,7.640494e-08,7.670338e-08,7.787510e-08,7.861791e-08,7.929056e-08,8.043790e-08,8.065218e-08,8.196091e-08,8.216546e-08,8.321773e-08,8.380287e-08,8.442369e-08,8.535256e-08,8.557986e-08,8.668733e-08,8.681701e-08,8.774722e-08,8.819878e-08,8.876063e-08,8.950044e-08,8.972870e-08,9.065257e-08,9.072461e-08,9.153337e-08,9.187389e-08,9.237224e-08,9.295088e-08,9.317029e-08,9.392864e-08,9.395816e-08,9.464839e-08,9.489827e-08,9.533065e-08,9.577371e-08,9.597648e-08,9.658695e-08,9.716311e-08,9.734040e-08,9.770599e-08,9.803644e-08,9.821660e-08,9.867736e-08,9.869594e-08,9.914499e-08,9.926542e-08,9.956470e-08,9.980283e-08,9.995600e-08,1.002917e-07,1.003198e-07,1.006571e-07,1.007342e-07,1.009686e-07,1.011322e-07,1.012553e-07,1.014878e-07,1.015180e-07,1.017576e-07,1.018028e-07,1.019747e-07,1.020790e-07,1.021703e-07,1.023184e-07,1.023450e-07,1.024996e-07,1.025225e-07,1.026349e-07,1.026931e-07,1.027515e-07,1.028318e-07,1.028501e-07,1.029315e-07,1.029401e-07,1.029962e-07,1.030195e-07,1.030449e-07,1.030715e-07,1.030781e-07,1.030966e-07,1.030975e-07,1.031009e-07,1.030988e-07,1.030915e-07,1.030766e-07,1.030691e-07,1.030340e-07,1.030324e-07,1.029870e-07,1.029672e-07,1.029284e-07,1.028822e-07,1.028587e-07,1.027785e-07,1.026572e-07,1.025193e-07,1.023658e-07,1.021976e-07,1.020157e-07,1.018208e-07,1.016139e-07,1.013957e-07,1.011670e-07,1.009285e-07,1.006810e-07,1.004250e-07,1.001612e-07,9.989026e-08,9.961273e-08,9.932917e-08,9.904010e-08,9.874603e-08,9.844745e-08,9.814481e-08,9.783855e-08,9.752908e-08,9.721681e-08,9.690210e-08
0.000000e+00,2.400317e-11,1.322077e-10,1.354455e-09,5.449186e-09,9.907503e-09,3.330165e-08,3.472483e-08,8.514899e-08,1.050943e-07,1.702316e-07,2.416299e-07,2.989001e-07,4.634585e-07,4.800950e-07,7.223852e-07,7.904451e-07,1.032541e-06,1.237190e-06,1.413604e-06,1.806756e-06,1.864426e-06,2.381213e-06,2.492075e-06,2.959248e-06,3.282415e-06,3.593654e-06,4.166483e-06,4.279453e-06,5.011445e-06,5.132486e-06,5.784118e-06,6.167757e-06,6.591669e-06,7.258777e-06,7.428073e-06,8.287209e-06,8.391542e-06,9.162984e-06,9.552058e-06,1.004946e-05,1.072685e-05,1.094099e-05,1.183225e-05,1.190339e-05,1.271839e-05,1.307042e-05,1.359502e-05,1.421809e-05,1.445824e-05,1.530467e-05,1.533813e-05,1.613142e-05,1.642375e-05,1.693607e-05,1.746959e-05,1.771666e-05,1.847162e-05,1.919976e-05,1.942694e-05,1.990020e-05,2.033367e-05,2.057237e-05,2.119076e-05,2.121595e-05,2.183084e-05,2.199788e-05,2.241712e-05,2.275524e-05,2.297502e-05,2.346355e-05,2.350493e-05,2.400732e-05,2.412386e-05,2.448276e-05,2.473746e-05,2.493188e-05,2.530590e-05,2.535539e-05,2.575402e-05,2.583082e-05,2.612853e-05,2.631400e-05,2.647971e-05,2.675726e-05,2.680836e-05,2.711530e-05,2.716245e-05,2.740132e-05,2.753141e-05,2.766721e-05,2.786598e-05,2.791379e-05,2.814183e-05,2.816798e-05,2.835209e-05,2.843917e-05,2.854534e-05,2.868129e-05,2.872231e-05,2.888372e-05,2.889599e-05,2.903027e-05,2.908488e-05,2.916264e-05,2.924953e-05,2.928148e-05,2.938744e-05,2.939142e-05,2.948114e-05,2.951198e-05,2.956317e-05,2.961258e-05,2.963410e-05,2.969451e-05,2.974491e-05,2.975901e-05,2.978584e-05,2.980729e-05,2.981778e-05,2.984045e-05,2.984123e-05,2.985663e-05,2.985956e-05,2.986443e-05,2.986564e-05,2.986506e-05,2.985965e-05,2.985892e-05,2.984640e-05,2.984249e-05,2.982789e-05,2.981503e-05,2.980373e-05,2.977808e-05,2.977428e-05,2.973986e-05,2.973240e-05,2.970078e-05,2.967873e-05,2.965736e-05,2.961773e-05,2.960987e-05,2.955859e-05,2.955005e-05,2.950379e-05,2.947631e-05,2.944571e-05,2.939706e-05,2.938460e-05,2.932068e-05,2.931284e-05,2.925418e-05,2.922415e-05,2.918529e-05,2.913146e-05,2.911422e-05,2.904115e-05,2.903522e-05,2.896626e-05,2.893584e-05,2.888973e-05,2.883369e-05,2.881171e-05,2.873235e-05,2.872915e-05,2.865181e-05,2.862255e-05,2.857022e-05,2.851421e-05,2.848772e-05,2.840442e-05,2.829344e-05,2.818155e-05,2.806896e-05,2.795590e-05,2.784257e-05,2.772917e-05,2.761585e-05,2.750279e-05,2.739012e-05,2.727799e-05,2.716651e-05,2.705580e-05,2.694597e-05,2.683710e-05,2.672927e-05,2.662258e-05,2.651709e-05,2.641285e-05,2.630992e-05,2.620836e-05,2.610821e-05,2.600949e-05,2.591225e-05,2.581652e-05
0.000000e+00,1.931286e-11,8.302823e-11,5.807323e-10,1.851145e-09,3.059436e-09,8.618628e-09,8.936826e-09,1.962352e-08,2.366630e-08,3.650786e-08,5.020163e-08,6.100910e-08,9.152616e-08,9.457864e-08,1.385431e-07,1.507509e-07,1.937538e-07,2.296617e-07,2.603480e-07,3.280580e-07,3.379286e-07,4.259061e-07,4.446961e-07,5.236807e-07,5.782004e-07,6.306644e-07,7.272067e-07,7.462530e-07,8.697970e-07,8.902559e-07,1.000587e-06,1.065716e-06,1.137852e-06,1.251772e-06,1.280765e-06,1.428457e-06,1.446459e-06,1.580033e-06,1.647723e-06,1.734588e-06,1.853489e-06,1.891225e-06,2.049073e-06,2.061728e-06,2.207296e-06,2.270512e-06,2.365108e-06,2.478067e-06,2.521781e-06,2.676653e-06,2.682802e-06,2.829129e-06,2.883330e-06,2.978683e-06,3.078476e-06,3.124860e-06,3.267274e-06,3.405602e-06,3.448959e-06,3.539581e-06,3.622950e-06,3.669008e-06,3.788831e-06,3.793728e-06,3.913636e-06,3.946338e-06,4.028666e-06,4.095330e-06,4.138790e-06,4.235772e-06,4.244010e-06,4.344358e-06,4.367722e-06,4.439888e-06,4.491306e-06,4.530673e-06,4.606710e-06,4.616803e-06,4.698382e-06,4.714162e-06,4.775524e-06,4.813924e-06,4.848351e-06,4.906284e-06,4.916991e-06,4.981576e-06,4.991543e-06,5.042242e-06,5.070010e-06,5.099126e-06,5.142002e-06,5.152365e-06,5.202096e-06,5.207835e-06,5.248456e-06,5.267820e-06,5.291577e-06,5.322264e-06,5.331591e-06,5.368629e-06,5.371467e-06,5.402814e-06,5.415718e-06,5.434272e-06,5.455299e-06,5.463120e-06,5.489474e-06,5.490478e-06,5.513447e-06,5.521515e-06,5.535146e-06,5.548657e-06,5.554677e-06,5.572141e-06,5.587634e-06,5.592191e-06,5.601250e-06,5.609022e-06,5.613080e-06,5.622837e-06,5.623210e-06,5.631724e-06,5.633829e-06,5.638700e-06,5.642180e-06,5.644216e-06,5.648065e-06,5.648346e-06,5.651159e-06,5.651646e-06,5.652724e-06,5.653079e-06,5.653105e-06,5.652510e-06,5.652364e-06,5.650560e-06,5.650077e-06,5.647750e-06,5.645910e-06,5.643989e-06,5.640133e-06,5.639329e-06,5.633818e-06,5.632861e-06,5.627505e-06,5.624203e-06,5.620435e-06,5.614263e-06,5.612651e-06,5.604196e-06,5.603138e-06,5.595108e-06,5.590918e-06,5.585425e-06,5.577691e-06,5.575184e-06,5.564418e-06,5.563535e-06,5.553162e-06,5.548529e-06,5.541446e-06,5.532742e-06,5.529300e-06,5.516753e-06,5.516243e-06,5.503832e-06,5.499094e-06,5.490563e-06,5.481354e-06,5.476971e-06,5.463080e-06,5.444324e-06,5.425134e-06,5.405556e-06,5.385634e-06,5.365409e-06,5.344917e-06,5.324195e-06,5.303276e-06,5.282191e-06,5.260968e-06,5.239636e-06,5.218219e-06,5.196741e-06,5.175225e-06,5.153691e-06,5.132157e-06,5.110643e-06,5.089164e-06,5.067736e-06,5.046374e-06,5.025091e-06,5.003899e-06,4.982810e-06,4.961834e-06
0.000000e+00,1.499392e-14,1.331422e-13,3.418276e-12,2.928337e-11,7.817585e-11,6.475762e-10,6.987230e-10,3.739428e-09,5.614696e-09,1.449622e-08,2.926418e-08,4.506054e-08,1.109002e-07,1.192961e-07,2.794377e-07,3.375858e-07,5.938155e-07,8.737491e-07,1.164677e-06,1.991613e-06,2.134922e-06,3.692825e-06,4.094839e-06,6.074236e-06,7.730141e-06,9.562102e-06,1.358507e-05,1.448349e-05,2.120438e-05,2.247293e-05,3.012274e-05,3.530720e-05,4.166008e-05,5.306822e-05,5.625216e-05,7.433909e-05,7.676512e-05,9.635521e-05,1.073957e-04,1.227191e-04,1.459067e-04,1.538242e-04,1.900294e-04,1.931560e-04,2.316518e-04,2.498792e-04,2.789589e-04,3.166618e-04,3.321636e-04,3.914196e-04,3.939172e-04,4.568180e-04,4.818722e-04,5.283858e-04,5.805595e-04,6.060859e-04,6.898176e-04,7.794193e-04,8.092972e-04,8.746710e-04,9.384730e-04,9.752991e-04,1.076661e-03,1.080981e-03,1.191350e-03,1.223040e-03,1.306004e-03,1.376673e-03,1.424508e-03,1.536536e-03,1.546402e-03,1.671208e-03,1.701541e-03,1.798437e-03,1.870558e-03,1.927592e-03,2.042448e-03,2.058178e-03,2.189702e-03,2.216076e-03,2.321681e-03,2.390334e-03,2.453648e-03,2.564160e-03,2.585152e-03,2.715762e-03,2.736549e-03,2.845072e-03,2.906566e-03,2.972700e-03,3.073354e-03,3.098294e-03,3.221527e-03,3.236141e-03,3.342102e-03,3.394243e-03,3.459753e-03,3.547064e-03,3.574241e-03,3.685359e-03,3.694097e-03,3.792924e-03,3.834921e-03,3.896786e-03,3.969201e-03,3.996817e-03,4.092916e-03,4.096677e-03,4.185005e-03,4.217165e-03,4.273030e-03,4.330548e-03,4.356957e-03,4.436771e-03,4.512475e-03,4.535835e-03,4.584089e-03,4.627791e-03,4.651647e-03,4.712731e-03,4.715197e-03,4.774798e-03,4.790788e-03,4.830520e-03,4.862124e-03,4.882442e-03,4.926929e-03,4.930652e-03,4.975241e-03,4.985415e-03,5.016311e-03,5.037811e-03,5.053964e-03,5.084359e-03,5.088309e-03,5.119455e-03,5.125310e-03,5.147516e-03,5.160925e-03,5.172604e-03,5.191465e-03,5.194835e-03,5.214322e-03,5.217193e-03,5.231181e-03,5.238373e-03,5.245524e-03,5.255263e-03,5.257464e-03,5.267110e-03,5.268119e-03,5.274572e-03,5.277190e-03,5.279955e-03,5.282721e-03,5.283364e-03,5.284900e-03,5.284945e-03,5.284662e-03,5.284091e-03,5.282745e-03,5.280377e-03,5.279241e-03,5.274243e-03,5.274013e-03,5.267834e-03,5.265198e-03,5.260099e-03,5.254123e-03,5.251119e-03,5.240972e-03,5.225915e-03,5.209118e-03,5.190734e-03,5.170911e-03,5.149785e-03,5.127486e-03,5.104136e-03,5.079849e-03,5.054730e-03,5.028880e-03,5.002392e-03,4.975352e-03,4.947842e-03,4.919936e-03,4.891705e-03,4.863213e-03,4.834521e-03,4.805683e-03,4.776750e-03,4.747771e-03,4.718788e-03,4.689841e-03,4.660967e-03,4.632199e-03
0.000000e+00,2.400651e-11,1.059597e-10,7.685725e-10,2.497797e-09,4.158426e-09,1.186407e-08,1.230688e-08,2.723302e-08,3.289883e-08,5.094260e-08,7.024547e-08,8.551775e-08,1.288175e-07,1.331640e-07,1.961583e-07,2.138041e-07,2.766051e-07,3.298542e-07,3.759183e-07,4.790075e-07,4.941567e-07,6.297167e-07,6.586707e-07,7.797770e-07,8.624740e-07,9.411477e-07,1.083278e-06,1.110893e-06,1.286545e-06,1.315056e-06,1.466062e-06,1.553092e-06,1.647737e-06,1.793642e-06,1.830109e-06,2.011907e-06,2.033631e-06,2.192023e-06,2.270486e-06,2.369488e-06,2.502072e-06,2.543470e-06,2.713265e-06,2.726649e-06,2.878287e-06,2.942850e-06,3.038064e-06,3.149646e-06,3.192229e-06,3.340509e-06,3.346315e-06,3.482716e-06,3.532400e-06,3.618736e-06,3.707668e-06,3.748520e-06,3.872070e-06,3.989438e-06,4.025704e-06,4.100711e-06,4.168780e-06,4.206005e-06,4.301595e-06,4.305463e-06,4.399243e-06,4.424507e-06,4.487518e-06,4.537917e-06,4.570471e-06,4.642251e-06,4.648292e-06,4.721172e-06,4.737950e-06,4.789306e-06,4.825460e-06,4.852887e-06,4.905225e-06,4.912107e-06,4.967157e-06,4.977682e-06,5.018221e-06,5.043259e-06,5.065480e-06,5.102366e-06,5.109110e-06,5.149282e-06,5.155400e-06,5.186162e-06,5.202741e-06,5.219907e-06,5.244750e-06,5.250672e-06,5.278603e-06,5.281772e-06,5.303844e-06,5.314133e-06,5.326530e-06,5.342143e-06,5.346792e-06,5.364754e-06,5.366095e-06,5.380537e-06,5.386265e-06,5.394254e-06,5.402913e-06,5.406015e-06,5.415924e-06,5.416284e-06,5.424082e-06,5.426609e-06,5.430584e-06,5.434105e-06,5.435519e-06,5.438976e-06,5.441036e-06,5.441413e-06,5.441779e-06,5.441598e-06,5.441279e-06,5.439697e-06,5.439608e-06,5.436835e-06,5.435870e-06,5.433023e-06,5.430264e-06,5.428236e-06,5.423019e-06,5.422531e-06,5.415964e-06,5.414266e-06,5.408589e-06,5.404125e-06,5.400456e-06,5.392711e-06,5.391614e-06,5.382108e-06,5.380131e-06,5.371982e-06,5.366485e-06,5.361277e-06,5.351867e-06,5.350033e-06,5.338286e-06,5.336363e-06,5.326073e-06,5.320055e-06,5.313427e-06,5.303019e-06,5.300379e-06,5.286961e-06,5.285328e-06,5.273202e-06,5.267046e-06,5.259127e-06,5.248237e-06,5.244765e-06,5.230139e-06,5.228958e-06,5.215272e-06,5.209263e-06,5.200188e-06,5.189203e-06,5.184906e-06,5.169447e-06,5.168825e-06,5.153830e-06,5.148172e-06,5.138072e-06,5.127285e-06,5.122191e-06,5.106202e-06,5.084958e-06,5.063586e-06,5.042116e-06,5.020577e-06,4.998995e-06,4.977394e-06,4.955796e-06,4.934224e-06,4.912695e-06,4.891228e-06,4.869839e-06,4.848544e-06,4.827356e-06,4.806288e-06,4.785352e-06,4.764558e-06,4.743917e-06,4.723437e-06,4.703127e-06,4.682995e-06,4.663045e-06,4.643286e-06,4.623722e-06,4.604357e-06
0.000000e+00,5.901781e-11,3.053046e-10,2.821454e-09,1.061407e-08,1.876157e-08,5.989630e-08,6.235849e-08,1.486623e-07,1.826092e-07,2.935718e-07,4.158739e-07,5.146156e-07,8.010032e-07,8.301100e-07,1.254535e-06,1.373375e-06,1.792729e-06,2.142376e-06,2.440254e-06,3.094015e-06,3.188918e-06,4.030587e-06,4.209425e-06,4.957903e-06,5.471607e-06,5.963778e-06,6.864071e-06,7.040877e-06,8.181378e-06,8.369191e-06,9.376941e-06,9.967816e-06,1.061884e-05,1.163971e-05,1.189814e-05,1.320593e-05,1.336436e-05,1.453351e-05,1.512177e-05,1.587262e-05,1.689325e-05,1.721550e-05,1.855506e-05,1.866189e-05,1.988490e-05,2.041283e-05,2.119938e-05,2.213350e-05,2.249357e-05,2.376328e-05,2.381351e-05,2.500500e-05,2.544459e-05,2.621584e-05,2.702036e-05,2.739347e-05,2.853612e-05,2.964244e-05,2.998862e-05,3.071148e-05,3.137582e-05,3.174266e-05,3.269669e-05,3.273568e-05,3.369050e-05,3.395102e-05,3.460729e-05,3.513926e-05,3.548641e-05,3.626235e-05,3.632835e-05,3.713375e-05,3.732168e-05,3.790331e-05,3.831890e-05,3.863783e-05,3.925589e-05,3.933816e-05,4.000519e-05,4.013469e-05,4.063986e-05,4.095742e-05,4.124313e-05,4.172630e-05,4.181594e-05,4.235928e-05,4.244355e-05,4.287412e-05,4.311141e-05,4.336144e-05,4.373211e-05,4.382218e-05,4.425731e-05,4.430785e-05,4.466775e-05,4.484077e-05,4.505444e-05,4.533298e-05,4.541825e-05,4.576009e-05,4.578651e-05,4.608081e-05,4.620337e-05,4.638124e-05,4.658546e-05,4.666222e-05,4.692453e-05,4.693464e-05,4.716895e-05,4.725270e-05,4.739622e-05,4.754135e-05,4.760708e-05,4.780223e-05,4.798236e-05,4.803693e-05,4.814812e-05,4.824697e-05,4.830016e-05,4.843379e-05,4.843910e-05,4.856553e-05,4.859876e-05,4.868002e-05,4.874323e-05,4.878315e-05,4.886843e-05,4.887543e-05,4.895740e-05,4.897559e-05,4.902954e-05,4.906583e-05,4.909234e-05,4.914025e-05,4.914627e-05,4.919176e-05,4.919989e-05,4.922925e-05,4.924572e-05,4.925915e-05,4.927869e-05,4.928185e-05,4.929774e-05,4.929967e-05,4.930718e-05,4.930952e-05,4.931052e-05,4.930902e-05,4.930809e-05,4.930023e-05,4.929894e-05,4.928725e-05,4.927999e-05,4.926943e-05,4.925284e-05,4.924707e-05,4.922044e-05,4.921813e-05,4.918980e-05,4.917648e-05,4.915540e-05,4.912844e-05,4.911748e-05,4.907627e-05,4.907456e-05,4.903200e-05,4.901535e-05,4.898486e-05,4.895128e-05,4.893506e-05,4.888280e-05,4.881035e-05,4.873431e-05,4.865507e-05,4.857297e-05,4.848835e-05,4.840151e-05,4.831275e-05,4.822234e-05,4.813053e-05,4.803756e-05,4.794365e-05,4.784900e-05,4.775382e-05,4.765827e-05,4.756253e-05,4.746675e-05,4.737106e-05,4.727561e-05,4.718051e-05,4.708588e-05,4.699182e-05,4.689842e-05,4.680577e-05,4.671395e-05
0.000000e+00,6.025076e-11,2.151190e-10,1.187845e-09,3.362312e-09,5.316912e-09,1.388286e-08,1.436251e-08,3.019084e-08,3.609417e-08,5.469490e-08,7.438331e-08,8.986163e-08,1.334263e-07,1.377781e-07,2.004627e-07,2.178903e-07,2.794175e-07,3.309657e-07,3.751236e-07,4.727692e-07,4.870157e-07,6.139631e-07,6.410493e-07,7.547256e-07,8.329885e-07,9.081279e-07,1.045942e-06,1.073062e-06,1.248443e-06,1.277400e-06,1.433172e-06,1.524833e-06,1.626122e-06,1.785625e-06,1.826136e-06,2.032039e-06,2.057087e-06,2.242651e-06,2.336512e-06,2.456812e-06,2.621253e-06,2.673396e-06,2.891327e-06,2.908790e-06,3.109600e-06,3.196792e-06,3.327280e-06,3.483165e-06,3.543523e-06,3.757559e-06,3.766064e-06,3.968709e-06,4.043900e-06,4.176381e-06,4.315351e-06,4.380071e-06,4.579349e-06,4.773861e-06,4.835049e-06,4.963319e-06,5.081812e-06,5.147495e-06,5.319175e-06,5.326218e-06,5.499362e-06,5.546831e-06,5.666846e-06,5.764600e-06,5.828626e-06,5.972413e-06,5.984688e-06,6.135047e-06,6.170288e-06,6.279740e-06,6.358314e-06,6.418825e-06,6.536638e-06,6.552374e-06,6.680476e-06,6.705451e-06,6.803228e-06,6.864979e-06,6.920736e-06,7.015473e-06,7.033114e-06,7.140481e-06,7.157203e-06,7.242961e-06,7.290451e-06,7.340678e-06,7.415509e-06,7.433761e-06,7.522338e-06,7.532670e-06,7.606537e-06,7.642232e-06,7.686488e-06,7.744488e-06,7.762319e-06,7.834155e-06,7.839733e-06,7.902122e-06,7.928254e-06,7.966345e-06,8.010334e-06,8.026943e-06,8.084036e-06,8.086248e-06,8.137741e-06,8.156267e-06,8.188172e-06,8.220653e-06,8.235442e-06,8.279659e-06,8.320930e-06,8.333531e-06,8.359358e-06,8.382508e-06,8.395046e-06,8.426820e-06,8.428092e-06,8.458592e-06,8.466688e-06,8.486638e-06,8.502326e-06,8.512322e-06,8.533941e-06,8.535732e-06,8.556953e-06,8.561730e-06,8.576068e-06,8.585883e-06,8.593157e-06,8.606583e-06,8.608299e-06,8.621570e-06,8.624006e-06,8.633041e-06,8.638319e-06,8.642785e-06,8.649686e-06,8.650871e-06,8.657364e-06,8.658259e-06,8.662329e-06,8.664188e-06,8.665829e-06,8.667614e-06,8.667924e-06,8.668671e-06,8.668673e-06,8.668129e-06,8.667495e-06,8.666350e-06,8.664204e-06,8.663389e-06,8.659295e-06,8.658920e-06,8.654118e-06,8.651754e-06,8.647905e-06,8.642817e-06,8.640703e-06,8.632556e-06,8.632211e-06,8.623506e-06,8.620035e-06,8.613595e-06,8.606384e-06,8.602863e-06,8.591348e-06,8.575012e-06,8.557459e-06,8.538767e-06,8.519010e-06,8.498259e-06,8.476581e-06,8.454042e-06,8.430701e-06,8.406618e-06,8.381849e-06,8.356444e-06,8.330456e-06,8.303932e-06,8.276917e-06,8.249454e-06,8.221584e-06,8.193347e-06,8.164778e-06,8.135913e-06,8.106786e-06,8.077427e-06,8.047868e-06,8.018135e-06,7.988256e-06
0.000000e+00,4.856587e-14,4.169659e-13,9.976366e-12,8.005280e-11,2.060716e-10,1.551146e-09,1.667063e-09,8.091854e-09,1.182652e-08,2.851037e-08,5.440713e-08,8.073265e-08,1.828180e-07,1.952664e-07,4.194534e-07,4.966502e-07,8.212572e-07,1.156740e-06,1.491409e-06,2.391929e-06,2.542290e-06,4.102800e-06,4.488083e-06,6.309969e-06,7.758515e-06,9.299092e-06,1.250554e-05,1.319426e-05,1.810064e-05,1.898528e-05,2.409919e-05,2.738333e-05,3.124383e-05,3.780318e-05,3.956067e-05,4.904911e-05,5.026549e-05,5.968387e-05,6.471489e-05,7.141783e-05,8.103088e-05,8.418517e-05,9.790470e-05,9.904067e-05,1.124830e-04,1.185321e-04,1.278178e-04,1.392663e-04,1.438002e-04,1.603183e-04,1.609886e-04,1.772587e-04,1.834390e-04,1.945092e-04,2.063606e-04,2.119603e-04,2.295071e-04,2.470502e-04,2.526479e-04,2.644971e-04,2.755731e-04,2.817629e-04,2.980960e-04,2.987705e-04,3.154512e-04,3.200548e-04,3.317447e-04,3.413130e-04,3.475991e-04,3.617593e-04,3.629703e-04,3.778223e-04,3.813061e-04,3.921259e-04,3.998879e-04,4.058591e-04,4.174594e-04,4.190057e-04,4.315553e-04,4.339931e-04,4.435026e-04,4.494767e-04,4.548466e-04,4.639113e-04,4.655901e-04,4.757395e-04,4.773088e-04,4.853038e-04,4.896900e-04,4.942944e-04,5.010828e-04,5.027247e-04,5.106099e-04,5.115202e-04,5.179661e-04,5.210396e-04,5.248105e-04,5.296810e-04,5.311610e-04,5.370360e-04,5.374860e-04,5.424540e-04,5.444975e-04,5.474338e-04,5.507583e-04,5.519939e-04,5.561529e-04,5.563112e-04,5.599289e-04,5.611980e-04,5.633398e-04,5.654596e-04,5.664031e-04,5.691358e-04,5.715544e-04,5.722646e-04,5.736749e-04,5.748828e-04,5.755128e-04,5.770252e-04,5.770830e-04,5.783999e-04,5.787251e-04,5.794773e-04,5.800144e-04,5.803285e-04,5.809227e-04,5.809662e-04,5.814026e-04,5.814786e-04,5.816492e-04,5.817087e-04,5.817174e-04,5.816382e-04,5.816177e-04,5.813603e-04,5.812908e-04,5.809549e-04,5.806887e-04,5.804108e-04,5.798530e-04,5.797367e-04,5.789411e-04,5.788031e-04,5.780320e-04,5.775575e-04,5.770168e-04,5.761333e-04,5.759030e-04,5.746972e-04,5.745467e-04,5.734061e-04,5.728126e-04,5.720358e-04,5.709451e-04,5.705922e-04,5.690809e-04,5.689573e-04,5.675072e-04,5.668613e-04,5.658760e-04,5.646687e-04,5.641922e-04,5.624602e-04,5.623900e-04,5.606843e-04,5.600350e-04,5.588685e-04,5.576130e-04,5.570167e-04,5.551324e-04,5.526011e-04,5.500266e-04,5.474157e-04,5.447746e-04,5.421092e-04,5.394249e-04,5.367267e-04,5.340192e-04,5.313066e-04,5.285929e-04,5.258817e-04,5.231762e-04,5.204795e-04,5.177943e-04,5.151232e-04,5.124684e-04,5.098322e-04,5.072163e-04,5.046226e-04,5.020525e-04,4.995075e-04,4.969889e-04,4.944977e-04,4.920349e-04
0.000000e+00,1.886145e-11,4.573368e-11,1.650558e-10,3.800546e-10,5.549128e-10,1.249453e-09,1.286409e-09,2.449388e-09,2.864417e-09,4.132764e-09,5.430003e-09,6.426332e-09,9.148894e-09,9.415380e-09,1.316703e-08,1.418512e-08,1.770841e-08,2.058524e-08,2.299990e-08,2.817791e-08,2.891415e-08,3.524052e-08,3.653307e-08,4.172640e-08,4.508187e-08,4.813640e-08,5.333071e-08,5.429358e-08,6.008763e-08,6.097663e-08,6.546243e-08,6.788675e-08,7.039867e-08,7.403361e-08,7.489963e-08,7.898146e-08,7.944417e-08,8.266740e-08,8.417064e-08,8.598426e-08,8.827557e-08,8.896024e-08,9.162371e-08,9.182413e-08,9.400241e-08,9.488013e-08,9.612283e-08,9.750369e-08,9.800995e-08,9.968702e-08,9.975004e-08,1.011754e-07,1.016689e-07,1.024947e-07,1.033043e-07,1.036625e-07,1.046947e-07,1.056056e-07,1.058736e-07,1.064079e-07,1.068696e-07,1.071128e-07,1.077073e-07,1.077304e-07,1.082695e-07,1.084075e-07,1.087379e-07,1.089879e-07,1.091425e-07,1.094636e-07,1.094894e-07,1.097839e-07,1.098473e-07,1.100308e-07,1.101499e-07,1.102343e-07,1.103805e-07,1.103982e-07,1.105258e-07,1.105473e-07,1.106201e-07,1.106568e-07,1.106837e-07,1.107151e-07,1.107190e-07,1.107281e-07,1.107273e-07,1.107131e-07,1.106978e-07,1.106757e-07,1.106306e-07,1.106174e-07,1.105397e-07,1.105291e-07,1.104440e-07,1.103965e-07,1.103314e-07,1.102354e-07,1.102032e-07,1.100604e-07,1.100483e-07,1.099038e-07,1.098375e-07,1.097344e-07,1.096050e-07,1.095531e-07,1.093606e-07,1.093526e-07,1.091576e-07,1.090820e-07,1.089448e-07,1.087948e-07,1.087228e-07,1.084922e-07,1.082536e-07,1.081757e-07,1.080076e-07,1.078464e-07,1.077545e-07,1.075054e-07,1.074949e-07,1.072292e-07,1.071538e-07,1.069578e-07,1.067925e-07,1.066812e-07,1.064223e-07,1.063996e-07,1.061135e-07,1.060442e-07,1.058232e-07,1.056589e-07,1.055289e-07,1.052670e-07,1.052311e-07,1.049299e-07,1.048693e-07,1.046257e-07,1.044664e-07,1.043187e-07,1.040589e-07,1.040092e-07,1.036974e-07,1.036473e-07,1.033835e-07,1.032322e-07,1.030677e-07,1.028139e-07,1.027503e-07,1.024314e-07,1.023931e-07,1.021112e-07,1.019700e-07,1.017899e-07,1.015451e-07,1.014677e-07,1.011446e-07,1.011188e-07,1.008210e-07,1.006914e-07,1.004968e-07,1.002632e-07,1.001723e-07,9.984754e-08,9.983455e-08,9.952269e-08,9.940575e-08,9.919786e-08,9.897704e-08,9.887316e-08,9.854869e-08,9.812093e-08,9.769398e-08,9.726806e-08,9.684334e-08,9.642003e-08,9.599828e-08,9.557826e-08,9.516012e-08,9.474398e-08,9.433000e-08,9.391827e-08,9.350892e-08,9.310205e-08,9.269776e-08,9.229613e-08,9.189724e-08,9.150118e-08,9.110802e-08,9.071781e-08,9.033062e-08,8.994649e-08,8.956549e-08,8.918765e-08,8.881301e-08
0.000000e+00,7.704704e-13,5.580172e-12,9.445911e-11,5.580106e-10,1.218997e-09,6.090482e-09,6.440322e-09,2.129071e-08,2.814368e-08,5.311546e-08,8.382632e-08,1.103180e-07,1.930123e-07,2.018012e-07,3.361305e-07,3.755567e-07,5.200780e-07,6.462793e-07,7.573434e-07,1.010703e-06,1.048429e-06,1.391472e-06,1.466044e-06,1.783200e-06,2.004813e-06,2.219551e-06,2.617223e-06,2.695931e-06,3.207309e-06,3.292021e-06,3.748285e-06,4.016808e-06,4.313188e-06,4.778443e-06,4.896222e-06,5.491629e-06,5.563642e-06,6.093854e-06,6.359636e-06,6.697689e-06,7.154738e-06,7.298383e-06,7.891717e-06,7.938753e-06,8.474047e-06,8.703193e-06,9.042313e-06,9.441338e-06,9.594026e-06,1.012723e-05,1.014815e-05,1.064046e-05,1.082012e-05,1.113269e-05,1.145506e-05,1.160326e-05,1.205184e-05,1.247839e-05,1.261025e-05,1.288305e-05,1.313069e-05,1.326616e-05,1.361413e-05,1.362821e-05,1.396978e-05,1.406183e-05,1.429152e-05,1.447535e-05,1.459416e-05,1.485635e-05,1.487843e-05,1.514513e-05,1.520660e-05,1.539501e-05,1.552790e-05,1.562887e-05,1.582201e-05,1.584746e-05,1.605153e-05,1.609067e-05,1.624181e-05,1.633555e-05,1.641902e-05,1.655827e-05,1.658383e-05,1.673690e-05,1.676034e-05,1.687884e-05,1.694321e-05,1.701028e-05,1.710823e-05,1.713176e-05,1.724385e-05,1.725669e-05,1.734706e-05,1.738978e-05,1.744187e-05,1.750861e-05,1.752877e-05,1.760819e-05,1.761423e-05,1.768055e-05,1.770761e-05,1.774626e-05,1.778966e-05,1.780568e-05,1.785919e-05,1.786121e-05,1.790711e-05,1.792305e-05,1.794976e-05,1.797592e-05,1.798746e-05,1.802048e-05,1.804910e-05,1.805737e-05,1.807357e-05,1.808716e-05,1.809413e-05,1.811042e-05,1.811102e-05,1.812446e-05,1.812763e-05,1.813464e-05,1.813926e-05,1.814175e-05,1.814576e-05,1.814600e-05,1.814754e-05,1.814752e-05,1.814654e-05,1.814493e-05,1.814316e-05,1.813833e-05,1.813754e-05,1.812982e-05,1.812804e-05,1.812013e-05,1.811436e-05,1.810861e-05,1.809758e-05,1.809535e-05,1.808048e-05,1.807796e-05,1.806411e-05,1.805574e-05,1.804632e-05,1.803114e-05,1.802721e-05,1.800688e-05,1.800437e-05,1.798541e-05,1.797562e-05,1.796288e-05,1.794509e-05,1.793936e-05,1.791492e-05,1.791293e-05,1.788963e-05,1.787930e-05,1.786357e-05,1.784435e-05,1.783678e-05,1.780932e-05,1.780821e-05,1.778125e-05,1.777101e-05,1.775263e-05,1.773287e-05,1.772349e-05,1.769389e-05,1.765417e-05,1.761382e-05,1.757292e-05,1.753155e-05,1.748978e-05,1.744769e-05,1.740535e-05,1.736280e-05,1.732012e-05,1.727735e-05,1.723454e-05,1.719173e-05,1.714897e-05,1.710630e-05,1.706376e-05,1.702136e-05,1.697916e-05,1.693717e-05,1.689541e-05,1.685393e-05,1.681273e-05,1.677183e-05,1.673126e-05,1.669104e-05
0.000000e+00,1.148539e-11,7.208123e-11,9.297584e-10,4.422862e-09,8.691133e-09,3.449527e-08,3.618473e-08,1.015055e-07,1.296592e-07,2.286611e-07,3.473512e-07,4.485267e-07,7.576699e-07,7.898155e-07,1.261191e-06,1.392447e-06,1.849172e-06,2.221672e-06,2.533433e-06,3.202364e-06,3.297965e-06,4.132510e-06,4.307181e-06,5.030135e-06,5.519877e-06,5.984960e-06,6.826776e-06,6.990886e-06,8.041087e-06,8.212729e-06,9.127936e-06,9.660226e-06,1.024314e-05,1.114988e-05,1.137800e-05,1.252368e-05,1.266147e-05,1.367147e-05,1.417501e-05,1.481308e-05,1.567178e-05,1.594077e-05,1.704758e-05,1.713503e-05,1.812738e-05,1.855053e-05,1.917493e-05,1.990673e-05,2.018590e-05,2.115685e-05,2.119482e-05,2.208518e-05,2.240858e-05,2.296907e-05,2.354411e-05,2.380735e-05,2.459952e-05,2.534556e-05,2.557461e-05,2.604590e-05,2.647048e-05,2.670133e-05,2.728930e-05,2.731294e-05,2.788204e-05,2.803396e-05,2.841010e-05,2.870790e-05,2.889873e-05,2.931489e-05,2.934961e-05,2.976446e-05,2.985885e-05,3.014502e-05,3.034381e-05,3.049303e-05,3.077372e-05,3.081021e-05,3.109823e-05,3.115248e-05,3.135872e-05,3.148381e-05,3.159324e-05,3.177128e-05,3.180331e-05,3.199037e-05,3.201825e-05,3.215579e-05,3.222790e-05,3.230089e-05,3.240317e-05,3.242690e-05,3.253501e-05,3.254684e-05,3.262633e-05,3.266146e-05,3.270190e-05,3.274942e-05,3.276273e-05,3.280973e-05,3.281292e-05,3.284380e-05,3.285399e-05,3.286576e-05,3.287451e-05,3.287639e-05,3.287642e-05,3.287621e-05,3.286653e-05,3.286068e-05,3.284739e-05,3.282939e-05,3.281958e-05,3.278369e-05,3.274025e-05,3.272484e-05,3.268976e-05,3.265398e-05,3.263271e-05,3.257216e-05,3.256952e-05,3.250063e-05,3.248037e-05,3.242643e-05,3.237950e-05,3.234727e-05,3.227038e-05,3.226352e-05,3.217550e-05,3.215377e-05,3.208351e-05,3.203038e-05,3.198785e-05,3.190084e-05,3.188878e-05,3.178657e-05,3.176577e-05,3.168144e-05,3.162571e-05,3.157364e-05,3.148117e-05,3.146337e-05,3.135083e-05,3.133263e-05,3.123622e-05,3.118051e-05,3.111970e-05,3.102523e-05,3.100145e-05,3.088163e-05,3.086716e-05,3.076039e-05,3.070662e-05,3.063786e-05,3.054396e-05,3.051418e-05,3.038947e-05,3.037945e-05,3.026385e-05,3.021337e-05,3.013743e-05,3.004597e-05,3.001031e-05,2.988260e-05,2.987748e-05,2.975439e-05,2.970812e-05,2.962575e-05,2.953809e-05,2.949679e-05,2.936757e-05,2.919673e-05,2.902572e-05,2.885470e-05,2.868380e-05,2.851314e-05,2.834284e-05,2.817300e-05,2.800373e-05,2.783510e-05,2.766721e-05,2.750012e-05,2.733392e-05,2.716866e-05,2.700440e-05,2.684120e-05,2.667910e-05,2.651816e-05,2.635841e-05,2.619988e-05,2.604262e-05,2.588665e-05,2.573200e-05,2.557869e-05,2.542675e-05
0.000000e+00,4.141035e-11,9.960649e-11,3.622698e-10,8.509469e-10,1.260235e-09,2.970385e-09,3.064764e-09,6.187126e-09,7.366920e-09,1.115497e-08,1.525804e-08,1.851698e-08,2.762894e-08,2.852471e-08,4.101346e-08,4.434736e-08,5.570226e-08,6.481047e-08,7.239051e-08,8.863146e-08,9.095526e-08,1.113084e-07,1.155864e-07,1.333670e-07,1.454813e-07,1.570386e-07,1.780908e-07,1.822152e-07,2.087719e-07,2.131399e-07,2.365689e-07,2.503079e-07,2.654550e-07,2.892415e-07,2.952715e-07,3.258560e-07,3.295700e-07,3.570468e-07,3.709219e-07,3.886859e-07,4.129383e-07,4.206224e-07,4.527139e-07,4.552839e-07,4.848289e-07,4.976541e-07,5.168469e-07,5.397784e-07,5.486594e-07,5.801707e-07,5.814236e-07,6.112969e-07,6.223937e-07,6.419652e-07,6.625259e-07,6.721133e-07,7.016888e-07,7.306482e-07,7.397791e-07,7.589568e-07,7.767197e-07,7.865867e-07,8.124504e-07,8.135138e-07,8.397218e-07,8.469296e-07,8.651993e-07,8.801316e-07,8.899383e-07,9.120425e-07,9.139349e-07,9.371885e-07,9.426590e-07,9.597011e-07,9.719857e-07,9.814764e-07,1.000033e-06,1.002520e-06,1.022840e-06,1.026818e-06,1.042444e-06,1.052359e-06,1.061344e-06,1.076682e-06,1.079549e-06,1.097071e-06,1.099812e-06,1.113923e-06,1.121777e-06,1.130117e-06,1.142607e-06,1.145666e-06,1.160585e-06,1.162333e-06,1.174886e-06,1.180986e-06,1.188583e-06,1.198597e-06,1.201690e-06,1.214222e-06,1.215200e-06,1.226191e-06,1.230825e-06,1.237613e-06,1.245505e-06,1.248500e-06,1.258867e-06,1.259271e-06,1.268727e-06,1.272155e-06,1.278094e-06,1.284188e-06,1.286980e-06,1.295400e-06,1.303367e-06,1.305822e-06,1.310892e-06,1.315483e-06,1.317989e-06,1.324410e-06,1.324670e-06,1.330947e-06,1.332634e-06,1.336832e-06,1.340181e-06,1.342338e-06,1.347077e-06,1.347475e-06,1.352254e-06,1.353350e-06,1.356688e-06,1.359023e-06,1.360786e-06,1.364123e-06,1.364559e-06,1.368019e-06,1.368674e-06,1.371173e-06,1.372697e-06,1.374034e-06,1.376216e-06,1.376610e-06,1.378911e-06,1.379254e-06,1.380945e-06,1.381830e-06,1.382723e-06,1.383966e-06,1.384253e-06,1.385543e-06,1.385682e-06,1.386602e-06,1.386997e-06,1.387438e-06,1.387929e-06,1.388058e-06,1.388471e-06,1.388496e-06,1.388685e-06,1.388716e-06,1.388705e-06,1.388605e-06,1.388540e-06,1.388197e-06,1.388180e-06,1.387682e-06,1.387455e-06,1.387001e-06,1.386447e-06,1.386162e-06,1.385170e-06,1.383637e-06,1.381862e-06,1.379858e-06,1.377637e-06,1.375211e-06,1.372592e-06,1.369791e-06,1.366818e-06,1.363683e-06,1.360397e-06,1.356968e-06,1.353406e-06,1.349720e-06,1.345916e-06,1.342005e-06,1.337992e-06,1.333886e-06,1.329693e-06,1.325420e-06,1.321073e-06,1.316659e-06,1.312184e-06,1.307652e-06,1.303069e-06
0.000000e+00,5.391288e-14,4.394365e-13,9.433620e-12,6.853280e-11,1.670002e-10,1.089951e-09,1.164592e-09,4.899475e-09,6.885905e-09,1.503653e-08,2.647191e-08,3.725732e-08,7.489496e-08,7.918343e-08,1.500819e-07,1.725553e-07,2.604426e-07,3.436271e-07,4.213969e-07,6.135791e-07,6.438566e-07,9.373474e-07,1.005236e-06,1.308780e-06,1.534006e-06,1.761541e-06,2.204479e-06,2.295164e-06,2.905588e-06,3.009949e-06,3.585817e-06,3.934507e-06,4.326750e-06,4.956248e-06,5.117999e-06,5.948558e-06,6.050339e-06,6.807336e-06,7.191337e-06,7.683529e-06,8.354752e-06,8.566890e-06,9.447904e-06,9.518018e-06,1.031792e-05,1.066108e-05,1.116923e-05,1.176677e-05,1.199511e-05,1.278990e-05,1.282097e-05,1.354891e-05,1.381267e-05,1.426850e-05,1.473388e-05,1.494595e-05,1.557945e-05,1.616798e-05,1.634674e-05,1.671125e-05,1.703533e-05,1.720962e-05,1.764659e-05,1.766393e-05,1.807550e-05,1.818330e-05,1.844596e-05,1.864928e-05,1.877720e-05,1.904908e-05,1.907129e-05,1.933043e-05,1.938767e-05,1.955685e-05,1.967020e-05,1.975282e-05,1.990187e-05,1.992058e-05,2.006230e-05,2.008771e-05,2.018009e-05,2.023255e-05,2.027594e-05,2.034090e-05,2.035176e-05,2.040934e-05,2.041697e-05,2.045033e-05,2.046457e-05,2.047629e-05,2.048720e-05,2.048865e-05,2.048874e-05,2.048798e-05,2.047777e-05,2.046973e-05,2.045685e-05,2.043494e-05,2.042702e-05,2.038919e-05,2.038585e-05,2.034422e-05,2.032441e-05,2.029288e-05,2.025236e-05,2.023587e-05,2.017382e-05,2.017124e-05,2.010731e-05,2.008239e-05,2.003688e-05,1.998698e-05,1.996299e-05,1.988607e-05,1.980652e-05,1.978057e-05,1.972469e-05,1.967128e-05,1.964091e-05,1.955890e-05,1.955545e-05,1.946859e-05,1.944405e-05,1.938057e-05,1.932729e-05,1.929160e-05,1.920908e-05,1.920188e-05,1.911158e-05,1.908985e-05,1.902088e-05,1.896996e-05,1.892991e-05,1.884976e-05,1.883882e-05,1.874772e-05,1.872951e-05,1.865672e-05,1.860948e-05,1.856593e-05,1.848988e-05,1.847542e-05,1.838529e-05,1.837091e-05,1.829561e-05,1.825274e-05,1.820644e-05,1.813551e-05,1.811784e-05,1.802987e-05,1.801936e-05,1.794258e-05,1.790440e-05,1.785601e-05,1.779073e-05,1.777020e-05,1.768519e-05,1.767842e-05,1.760100e-05,1.756757e-05,1.751767e-05,1.745821e-05,1.743522e-05,1.735367e-05,1.735042e-05,1.727303e-05,1.724423e-05,1.719334e-05,1.713969e-05,1.711459e-05,1.703681e-05,1.693562e-05,1.683614e-05,1.673839e-05,1.664237e-05,1.654809e-05,1.645554e-05,1.636473e-05,1.627565e-05,1.618828e-05,1.610263e-05,1.601868e-05,1.593642e-05,1.585582e-05,1.577688e-05,1.569957e-05,1.562388e-05,1.554978e-05,1.547725e-05,1.540627e-05,1.533683e-05,1.526888e-05,1.520242e-05,1.513742e-05,1.507385e-05
0.000000e+00,1.179475e-14,1.035924e-13,2.599198e-12,2.180073e-11,5.752599e-11,4.624001e-10,4.983129e-10,2.589226e-09,3.856972e-09,9.764114e-09,1.940707e-08,2.958800e-08,7.129197e-08,7.655702e-08,1.758327e-07,2.115444e-07,3.678739e-07,5.376445e-07,7.135498e-07,1.212357e-06,1.298717e-06,2.236805e-06,2.478685e-06,3.668117e-06,4.660633e-06,5.755326e-06,8.144891e-06,8.675630e-06,1.261060e-05,1.334624e-05,1.773520e-05,2.066479e-05,2.420716e-05,3.044420e-05,3.215787e-05,4.168535e-05,4.293787e-05,5.284960e-05,5.828696e-05,6.567036e-05,7.651084e-05,8.012714e-05,9.616125e-05,9.750954e-05,1.136792e-04,1.210750e-04,1.325571e-04,1.469085e-04,1.526460e-04,1.737778e-04,1.746422e-04,1.957701e-04,2.038614e-04,2.184324e-04,2.341267e-04,2.415710e-04,2.649933e-04,2.885121e-04,2.960290e-04,3.119486e-04,3.268270e-04,3.351356e-04,3.570174e-04,3.579192e-04,3.801604e-04,3.862735e-04,4.017359e-04,4.143166e-04,4.225390e-04,4.409176e-04,4.424792e-04,4.614821e-04,4.658965e-04,4.794889e-04,4.891204e-04,4.964550e-04,5.104999e-04,5.123500e-04,5.271557e-04,5.299853e-04,5.408654e-04,5.475621e-04,5.534826e-04,5.632454e-04,5.650195e-04,5.754963e-04,5.770759e-04,5.849395e-04,5.891144e-04,5.933813e-04,5.994379e-04,6.008580e-04,6.074095e-04,6.081355e-04,6.130785e-04,6.153045e-04,6.179090e-04,6.210475e-04,6.219467e-04,6.252374e-04,6.254697e-04,6.278269e-04,6.286767e-04,6.297609e-04,6.307726e-04,6.310840e-04,6.318397e-04,6.318587e-04,6.320701e-04,6.320323e-04,6.318158e-04,6.313860e-04,6.311158e-04,6.300071e-04,6.285248e-04,6.279771e-04,6.267024e-04,6.253720e-04,6.245710e-04,6.222617e-04,6.221602e-04,6.194974e-04,6.187103e-04,6.166085e-04,6.147766e-04,6.135174e-04,6.105143e-04,6.102465e-04,6.068164e-04,6.059716e-04,6.032463e-04,6.011926e-04,5.995540e-04,5.962165e-04,5.957556e-04,5.918662e-04,5.910786e-04,5.878995e-04,5.858105e-04,5.838682e-04,5.804403e-04,5.797837e-04,5.756566e-04,5.749930e-04,5.714965e-04,5.694906e-04,5.673123e-04,5.639529e-04,5.631119e-04,5.589026e-04,5.583972e-04,5.546908e-04,5.528385e-04,5.504827e-04,5.472902e-04,5.462834e-04,5.420980e-04,5.417639e-04,5.379307e-04,5.362697e-04,5.337855e-04,5.308165e-04,5.296658e-04,5.255749e-04,5.254119e-04,5.215155e-04,5.200623e-04,5.174901e-04,5.147734e-04,5.135009e-04,5.095498e-04,5.043957e-04,4.993143e-04,4.943084e-04,4.893803e-04,4.845317e-04,4.797639e-04,4.750781e-04,4.704750e-04,4.659548e-04,4.615180e-04,4.571643e-04,4.528936e-04,4.487056e-04,4.445997e-04,4.405752e-04,4.366314e-04,4.327674e-04,4.289824e-04,4.252753e-04,4.216450e-04,4.180905e-04,4.146107e-04,4.112042e-04,4.078700e-04
0.000000e+00,3.695256e-12,8.644559e-12,3.042266e-11,6.998017e-11,1.025136e-10,2.341779e-10,2.412720e-10,4.678125e-10,5.499169e-10,8.039674e-10,1.067874e-09,1.272955e-09,1.842572e-09,1.898990e-09,2.704147e-09,2.925803e-09,3.701762e-09,4.344835e-09,4.891313e-09,6.087872e-09,6.261294e-09,7.796434e-09,8.121965e-09,9.482095e-09,1.041371e-08,1.130511e-08,1.293359e-08,1.325319e-08,1.531425e-08,1.565368e-08,1.747596e-08,1.854562e-08,1.972563e-08,2.157989e-08,2.205015e-08,2.443621e-08,2.472604e-08,2.687047e-08,2.795341e-08,2.933976e-08,3.123198e-08,3.183133e-08,3.433304e-08,3.453326e-08,3.683347e-08,3.783090e-08,3.932212e-08,4.110124e-08,4.178942e-08,4.422682e-08,4.432359e-08,4.662679e-08,4.748032e-08,4.898279e-08,5.055688e-08,5.128926e-08,5.354158e-08,5.573596e-08,5.642542e-08,5.786941e-08,5.920175e-08,5.993964e-08,6.186606e-08,6.194501e-08,6.388446e-08,6.441560e-08,6.575739e-08,6.684915e-08,6.756367e-08,6.916676e-08,6.930351e-08,7.097744e-08,7.136946e-08,7.258627e-08,7.345914e-08,7.413099e-08,7.543827e-08,7.561281e-08,7.703305e-08,7.730984e-08,7.839317e-08,7.907717e-08,7.969469e-08,8.074385e-08,8.093921e-08,8.212836e-08,8.231360e-08,8.326382e-08,8.379026e-08,8.434726e-08,8.517768e-08,8.538035e-08,8.636477e-08,8.647971e-08,8.730218e-08,8.770016e-08,8.819420e-08,8.884277e-08,8.904244e-08,8.984848e-08,8.991119e-08,9.061386e-08,9.090897e-08,9.134009e-08,9.183955e-08,9.202862e-08,9.268087e-08,9.270623e-08,9.329824e-08,9.351221e-08,9.388205e-08,9.426054e-08,9.443361e-08,9.495417e-08,9.544494e-08,9.559590e-08,9.590711e-08,9.618841e-08,9.634180e-08,9.673427e-08,9.675011e-08,9.713310e-08,9.723593e-08,9.749177e-08,9.769572e-08,9.782712e-08,9.811586e-08,9.814009e-08,9.843159e-08,9.849846e-08,9.870250e-08,9.884553e-08,9.895366e-08,9.915899e-08,9.918588e-08,9.939995e-08,9.944065e-08,9.959662e-08,9.969226e-08,9.977662e-08,9.991544e-08,9.994064e-08,1.000894e-07,1.001118e-07,1.002234e-07,1.002827e-07,1.003434e-07,1.004297e-07,1.004500e-07,1.005437e-07,1.005541e-07,1.006250e-07,1.006571e-07,1.006946e-07,1.007399e-07,1.007529e-07,1.008004e-07,1.008038e-07,1.008376e-07,1.008497e-07,1.008650e-07,1.008788e-07,1.008828e-07,1.008917e-07,1.008919e-07,1.008920e-07,1.008900e-07,1.008840e-07,1.008741e-07,1.008682e-07,1.008449e-07,1.008032e-07,1.007498e-07,1.006854e-07,1.006107e-07,1.005263e-07,1.004328e-07,1.003308e-07,1.002209e-07,1.001036e-07,9.997936e-08,9.984865e-08,9.971193e-08,9.956962e-08,9.942212e-08,9.926981e-08,9.911306e-08,9.895219e-08,9.878755e-08,9.861943e-08,9.844813e-08,9.827392e-08,9.809707e-08,9.791783e-08,9.773642e-08
0.000000e+00,4.534646e-11,1.051537e-10,3.673354e-10,8.443026e-10,1.238233e-09,2.849760e-09,2.937378e-09,5.775699e-09,6.822473e-09,1.011341e-08,1.359619e-08,1.632983e-08,2.393426e-08,2.468256e-08,3.516159e-08,3.797261e-08,4.757397e-08,5.529068e-08,6.171304e-08,7.545046e-08,7.741190e-08,9.452991e-08,9.811213e-08,1.129343e-07,1.229684e-07,1.324904e-07,1.497060e-07,1.530593e-07,1.744988e-07,1.780004e-07,1.966666e-07,2.075246e-07,2.194231e-07,2.379624e-07,2.426351e-07,2.661777e-07,2.690195e-07,2.899362e-07,3.004311e-07,3.138066e-07,3.319657e-07,3.376965e-07,3.615243e-07,3.634257e-07,3.852193e-07,3.946461e-07,4.087203e-07,4.254913e-07,4.319752e-07,4.549400e-07,4.558520e-07,4.775776e-07,4.856410e-07,4.998573e-07,5.147900e-07,5.217538e-07,5.432464e-07,5.643184e-07,5.709703e-07,5.849566e-07,5.979326e-07,6.051509e-07,6.241125e-07,6.248934e-07,6.441787e-07,6.494962e-07,6.630031e-07,6.740756e-07,6.813645e-07,6.978474e-07,6.992621e-07,7.166964e-07,7.208118e-07,7.336688e-07,7.429725e-07,7.501818e-07,7.643355e-07,7.662383e-07,7.818421e-07,7.849089e-07,7.969976e-07,8.047028e-07,8.117095e-07,8.237286e-07,8.259832e-07,8.398241e-07,8.419988e-07,8.532382e-07,8.595272e-07,8.662317e-07,8.763281e-07,8.788111e-07,8.909830e-07,8.924166e-07,9.027542e-07,9.078084e-07,9.141316e-07,9.225194e-07,9.251223e-07,9.357334e-07,9.365662e-07,9.459722e-07,9.499651e-07,9.558459e-07,9.627330e-07,9.653618e-07,9.745273e-07,9.748867e-07,9.833497e-07,9.864431e-07,9.918362e-07,9.974190e-07,9.999943e-07,1.007831e-06,1.015354e-06,1.017696e-06,1.022570e-06,1.027031e-06,1.029487e-06,1.035851e-06,1.036111e-06,1.042449e-06,1.044174e-06,1.048509e-06,1.052014e-06,1.054297e-06,1.059388e-06,1.059821e-06,1.065086e-06,1.066312e-06,1.070099e-06,1.072799e-06,1.074868e-06,1.078867e-06,1.079398e-06,1.083695e-06,1.084528e-06,1.087767e-06,1.089797e-06,1.091619e-06,1.094689e-06,1.095257e-06,1.098687e-06,1.099217e-06,1.101915e-06,1.103394e-06,1.104946e-06,1.107234e-06,1.107787e-06,1.110443e-06,1.110750e-06,1.112919e-06,1.113953e-06,1.115221e-06,1.116857e-06,1.117353e-06,1.119322e-06,1.119472e-06,1.121131e-06,1.121811e-06,1.122786e-06,1.123885e-06,1.124291e-06,1.125652e-06,1.125704e-06,1.126873e-06,1.127279e-06,1.127958e-06,1.128621e-06,1.128912e-06,1.129739e-06,1.130643e-06,1.131343e-06,1.131848e-06,1.132166e-06,1.132306e-06,1.132277e-06,1.132086e-06,1.131741e-06,1.131250e-06,1.130620e-06,1.129858e-06,1.128971e-06,1.127965e-06,1.126846e-06,1.125622e-06,1.124297e-06,1.122877e-06,1.121368e-06,1.119775e-06,1.118103e-06,1.116357e-06,1.114542e-06,1.112662e-06,1.110721e-06
0.000000e+00,6.135768e-12,1.487663e-11,5.426230e-11,1.267172e-10,1.865709e-10,4.294117e-10,4.425041e-10,8.604628e-10,1.011813e-09,1.479551e-09,1.964349e-09,2.340122e-09,3.377471e-09,3.479569e-09,4.920585e-09,5.311691e-09,6.662839e-09,7.764605e-09,8.691093e-09,1.069818e-08,1.098731e-08,1.353482e-08,1.407308e-08,1.631760e-08,1.785210e-08,1.931883e-08,2.199518e-08,2.251998e-08,2.590052e-08,2.645658e-08,2.943803e-08,3.118479e-08,3.310853e-08,3.612391e-08,3.688703e-08,4.074809e-08,4.121576e-08,4.466640e-08,4.640222e-08,4.861736e-08,5.162743e-08,5.257749e-08,5.652486e-08,5.683948e-08,6.043935e-08,6.199181e-08,6.430287e-08,6.704402e-08,6.809948e-08,7.181540e-08,7.196219e-08,7.543897e-08,7.671895e-08,7.896062e-08,8.129314e-08,8.237268e-08,8.566930e-08,8.884622e-08,8.983707e-08,9.190066e-08,9.379047e-08,9.483109e-08,9.752724e-08,9.763709e-08,1.003192e-07,1.010481e-07,1.028787e-07,1.043564e-07,1.053177e-07,1.074571e-07,1.076385e-07,1.098442e-07,1.103568e-07,1.119380e-07,1.130630e-07,1.139234e-07,1.155839e-07,1.158042e-07,1.175840e-07,1.179282e-07,1.192667e-07,1.201046e-07,1.208562e-07,1.221222e-07,1.223564e-07,1.237710e-07,1.239896e-07,1.251037e-07,1.257154e-07,1.263583e-07,1.273080e-07,1.275382e-07,1.286468e-07,1.287752e-07,1.296875e-07,1.301248e-07,1.306636e-07,1.313639e-07,1.315779e-07,1.324335e-07,1.324995e-07,1.332333e-07,1.335381e-07,1.339798e-07,1.344858e-07,1.346757e-07,1.353234e-07,1.353483e-07,1.359253e-07,1.361312e-07,1.364836e-07,1.368394e-07,1.370004e-07,1.374777e-07,1.379176e-07,1.380507e-07,1.383218e-07,1.385625e-07,1.386920e-07,1.390170e-07,1.390299e-07,1.393371e-07,1.394179e-07,1.396151e-07,1.397685e-07,1.398654e-07,1.400722e-07,1.400891e-07,1.402878e-07,1.403318e-07,1.404625e-07,1.405503e-07,1.406144e-07,1.407302e-07,1.407447e-07,1.408544e-07,1.408739e-07,1.409444e-07,1.409838e-07,1.410159e-07,1.410621e-07,1.410695e-07,1.411063e-07,1.411107e-07,1.411271e-07,1.411315e-07,1.411325e-07,1.411264e-07,1.411234e-07,1.411005e-07,1.410969e-07,1.410644e-07,1.410446e-07,1.410159e-07,1.409710e-07,1.409554e-07,1.408836e-07,1.408774e-07,1.408011e-07,1.407652e-07,1.407083e-07,1.406355e-07,1.406059e-07,1.404942e-07,1.404896e-07,1.403738e-07,1.403283e-07,1.402450e-07,1.401529e-07,1.401083e-07,1.399642e-07,1.397630e-07,1.395504e-07,1.393269e-07,1.390935e-07,1.388507e-07,1.385993e-07,1.383399e-07,1.380730e-07,1.377993e-07,1.375193e-07,1.372334e-07,1.369421e-07,1.366459e-07,1.363452e-07,1.360404e-07,1.357318e-07,1.354199e-07,1.351050e-07,1.347873e-07,1.344673e-07,1.341451e-07,1.338210e-07,1.334954e-07,1.331684e-07
0.000000e+00,3.649417e-12,2.517463e-11,3.876581e-10,2.117208e-09,4.444484e-09,2.024934e-08,2.133916e-08,6.537115e-08,8.484712e-08,1.535959e-07,2.353676e-07,3.044513e-07,5.152739e-07,5.373985e-07,8.719327e-07,9.692807e-07,1.324428e-06,1.633252e-06,1.904487e-06,2.522425e-06,2.614422e-06,3.451896e-06,3.634348e-06,4.412867e-06,4.959964e-06,5.493086e-06,6.489545e-06,6.688334e-06,7.994089e-06,8.212928e-06,9.405123e-06,1.011804e-05,1.091524e-05,1.218984e-05,1.251718e-05,1.420259e-05,1.441002e-05,1.596215e-05,1.675726e-05,1.778570e-05,1.920776e-05,1.966243e-05,2.158110e-05,2.173606e-05,2.353025e-05,2.431588e-05,2.549843e-05,2.692094e-05,2.747433e-05,2.944706e-05,2.952575e-05,3.140620e-05,3.210627e-05,3.334202e-05,3.464042e-05,3.524551e-05,3.710850e-05,3.892369e-05,3.949338e-05,4.068468e-05,4.178068e-05,4.238596e-05,4.395872e-05,4.402292e-05,4.559179e-05,4.601846e-05,4.708963e-05,4.795330e-05,4.851425e-05,4.975893e-05,4.986414e-05,5.113847e-05,5.143303e-05,5.233696e-05,5.297505e-05,5.345983e-05,5.438596e-05,5.450779e-05,5.548190e-05,5.566797e-05,5.638357e-05,5.682436e-05,5.721449e-05,5.785918e-05,5.797657e-05,5.867194e-05,5.877715e-05,5.930283e-05,5.958345e-05,5.987161e-05,6.028355e-05,6.038072e-05,6.083265e-05,6.088316e-05,6.122992e-05,6.138805e-05,6.157505e-05,6.180403e-05,6.187056e-05,6.211893e-05,6.213684e-05,6.232261e-05,6.239210e-05,6.248398e-05,6.257529e-05,6.260539e-05,6.268911e-05,6.269171e-05,6.273734e-05,6.274643e-05,6.275221e-05,6.274431e-05,6.273576e-05,6.268997e-05,6.261673e-05,6.258780e-05,6.251786e-05,6.244194e-05,6.239509e-05,6.225630e-05,6.225009e-05,6.208443e-05,6.203456e-05,6.189963e-05,6.178015e-05,6.169710e-05,6.149631e-05,6.147823e-05,6.124429e-05,6.118604e-05,6.099651e-05,6.085214e-05,6.073605e-05,6.049725e-05,6.046403e-05,6.018146e-05,6.012377e-05,5.988934e-05,5.973397e-05,5.958859e-05,5.932994e-05,5.928009e-05,5.896466e-05,5.891360e-05,5.864307e-05,5.848674e-05,5.831606e-05,5.805102e-05,5.798432e-05,5.764848e-05,5.760794e-05,5.730916e-05,5.715890e-05,5.696691e-05,5.670518e-05,5.662228e-05,5.627576e-05,5.624797e-05,5.592781e-05,5.578833e-05,5.557887e-05,5.532726e-05,5.522935e-05,5.487962e-05,5.486564e-05,5.453004e-05,5.440429e-05,5.418093e-05,5.394396e-05,5.383260e-05,5.348533e-05,5.302899e-05,5.257550e-05,5.212535e-05,5.167898e-05,5.123679e-05,5.079912e-05,5.036629e-05,4.993856e-05,4.951618e-05,4.909934e-05,4.868823e-05,4.828300e-05,4.788376e-05,4.749062e-05,4.710366e-05,4.672294e-05,4.634851e-05,4.598040e-05,4.561861e-05,4.526315e-05,4.491402e-05,4.457118e-05,4.423462e-05,4.390428e-05
0.000000e+00,6.751816e-11,2.779492e-10,1.830413e-09,5.643245e-09,9.204419e-09,2.530617e-08,2.622007e-08,5.668305e-08,6.813206e-08,1.043456e-07,1.427931e-07,1.730559e-07,2.582999e-07,2.668193e-07,3.897159e-07,4.239874e-07,5.456249e-07,6.485830e-07,7.377107e-07,9.380737e-07,9.676747e-07,1.234911e-06,1.292577e-06,1.535948e-06,1.703894e-06,1.864669e-06,2.156592e-06,2.213407e-06,2.574379e-06,2.632794e-06,2.940739e-06,3.116839e-06,3.306989e-06,3.597056e-06,3.668938e-06,4.023452e-06,4.065377e-06,4.368209e-06,4.516352e-06,4.701496e-06,4.946339e-06,5.022061e-06,5.329014e-06,5.352962e-06,5.621750e-06,5.734773e-06,5.899899e-06,6.091029e-06,6.163285e-06,6.411891e-06,6.421529e-06,6.645830e-06,6.726497e-06,6.865324e-06,7.006482e-06,7.070679e-06,7.262269e-06,7.440521e-06,7.494819e-06,7.605897e-06,7.705207e-06,7.758889e-06,7.894582e-06,7.900005e-06,8.029762e-06,8.064130e-06,8.148682e-06,8.215047e-06,8.257282e-06,8.348521e-06,8.356075e-06,8.445564e-06,8.465712e-06,8.526239e-06,8.567746e-06,8.598577e-06,8.655705e-06,8.663039e-06,8.720071e-06,8.730624e-06,8.770100e-06,8.793486e-06,8.813539e-06,8.845222e-06,8.850780e-06,8.882201e-06,8.886713e-06,8.908162e-06,8.918784e-06,8.929004e-06,8.942214e-06,8.945056e-06,8.956628e-06,8.957729e-06,8.964014e-06,8.966012e-06,8.967497e-06,8.967697e-06,8.967341e-06,8.963800e-06,8.963378e-06,8.957112e-06,8.953607e-06,8.947504e-06,8.938898e-06,8.935189e-06,8.920372e-06,8.919729e-06,8.903242e-06,8.896544e-06,8.883980e-06,8.869753e-06,8.862758e-06,8.839737e-06,8.815068e-06,8.806849e-06,8.788894e-06,8.771416e-06,8.761351e-06,8.733738e-06,8.732565e-06,8.702655e-06,8.694095e-06,8.671734e-06,8.652741e-06,8.639908e-06,8.609913e-06,8.607275e-06,8.573928e-06,8.565829e-06,8.539955e-06,8.520688e-06,8.505438e-06,8.474673e-06,8.470452e-06,8.435071e-06,8.427953e-06,8.399360e-06,8.380681e-06,8.363382e-06,8.332998e-06,8.327197e-06,8.290858e-06,8.285033e-06,8.254417e-06,8.236903e-06,8.217921e-06,8.188715e-06,8.181415e-06,8.144938e-06,8.140565e-06,8.108530e-06,8.092541e-06,8.072225e-06,8.044722e-06,8.036055e-06,8.000052e-06,7.997180e-06,7.964242e-06,7.949978e-06,7.928652e-06,7.903176e-06,7.893304e-06,7.858221e-06,7.856824e-06,7.823422e-06,7.810968e-06,7.788926e-06,7.765649e-06,7.754748e-06,7.720904e-06,7.676763e-06,7.633253e-06,7.590399e-06,7.548220e-06,7.506734e-06,7.465954e-06,7.425892e-06,7.386557e-06,7.347956e-06,7.310093e-06,7.272972e-06,7.236593e-06,7.200957e-06,7.166060e-06,7.131902e-06,7.098477e-06,7.065780e-06,7.033806e-06,7.002547e-06,6.971996e-06,6.942145e-06,6.912985e-06,6.884507e-06,6.856702e-06
0.000000e+00,2.074278e-11,6.402445e-11,2.993509e-10,7.811952e-10,1.197103e-09,2.946010e-09,3.041787e-09,6.130447e-09,7.256070e-09,1.073829e-08,1.434136e-08,1.712683e-08,2.479498e-08,2.554949e-08,3.625091e-08,3.918379e-08,4.945191e-08,5.799929e-08,6.530984e-08,8.149361e-08,8.385887e-08,1.049734e-07,1.094832e-07,1.283994e-07,1.413928e-07,1.538299e-07,1.765182e-07,1.809620e-07,2.095181e-07,2.142020e-07,2.392445e-07,2.538587e-07,2.699039e-07,2.949508e-07,3.012699e-07,3.331234e-07,3.369684e-07,3.652521e-07,3.794229e-07,3.974516e-07,4.218502e-07,4.295270e-07,4.612948e-07,4.638178e-07,4.925854e-07,5.049329e-07,5.232443e-07,5.448495e-07,5.531337e-07,5.821331e-07,5.832731e-07,6.101400e-07,6.199626e-07,6.370692e-07,6.547300e-07,6.628526e-07,6.874381e-07,7.107891e-07,7.179966e-07,7.328826e-07,7.463571e-07,7.537081e-07,7.725081e-07,7.732662e-07,7.915674e-07,7.964689e-07,8.086303e-07,8.182841e-07,8.244806e-07,8.380190e-07,8.391500e-07,8.526745e-07,8.557544e-07,8.650941e-07,8.715824e-07,8.764516e-07,8.856030e-07,8.867916e-07,8.961600e-07,8.979212e-07,9.046034e-07,9.086440e-07,9.121686e-07,9.178788e-07,9.189021e-07,9.248497e-07,9.257314e-07,9.300563e-07,9.323050e-07,9.345654e-07,9.376991e-07,9.384196e-07,9.416597e-07,9.420092e-07,9.443254e-07,9.453261e-07,9.464544e-07,9.477357e-07,9.480827e-07,9.492446e-07,9.493184e-07,9.499729e-07,9.501498e-07,9.502985e-07,9.503002e-07,9.502508e-07,9.498577e-07,9.498351e-07,9.491452e-07,9.488153e-07,9.481381e-07,9.472969e-07,9.468596e-07,9.453315e-07,9.435745e-07,9.429670e-07,9.416076e-07,9.402471e-07,9.394491e-07,9.372122e-07,9.371157e-07,9.346234e-07,9.338991e-07,9.319869e-07,9.303416e-07,9.292201e-07,9.265707e-07,9.263359e-07,9.233464e-07,9.226146e-07,9.202629e-07,9.184989e-07,9.170957e-07,9.142473e-07,9.138548e-07,9.105492e-07,9.098811e-07,9.071875e-07,9.054198e-07,9.037773e-07,9.008809e-07,9.003263e-07,8.968410e-07,8.962806e-07,8.933279e-07,8.916334e-07,8.897927e-07,8.869525e-07,8.862411e-07,8.826778e-07,8.822497e-07,8.791078e-07,8.775359e-07,8.755351e-07,8.728207e-07,8.719639e-07,8.683978e-07,8.681128e-07,8.648401e-07,8.634201e-07,8.612940e-07,8.587496e-07,8.577624e-07,8.542478e-07,8.541076e-07,8.507527e-07,8.494997e-07,8.472794e-07,8.449309e-07,8.438297e-07,8.404056e-07,8.359278e-07,8.315009e-07,8.271278e-07,8.228112e-07,8.185534e-07,8.143562e-07,8.102214e-07,8.061502e-07,8.021437e-07,7.982029e-07,7.943285e-07,7.905209e-07,7.867805e-07,7.831074e-07,7.795018e-07,7.759636e-07,7.724925e-07,7.690882e-07,7.657505e-07,7.624788e-07,7.592726e-07,7.561314e-07,7.530544e-07,7.500410e-07
0.000000e+00,5.803077e-12,1.337041e-11,4.642682e-11,1.065408e-10,1.562619e-10,3.605374e-10,3.716833e-10,7.346989e-10,8.694457e-10,1.295841e-09,1.751837e-09,2.113663e-09,3.142091e-09,3.245173e-09,4.721878e-09,5.126832e-09,6.527207e-09,7.662336e-09,8.607776e-09,1.061998e-08,1.090552e-08,1.337419e-08,1.388523e-08,1.597915e-08,1.737832e-08,1.869303e-08,2.103968e-08,2.149244e-08,2.435628e-08,2.481915e-08,2.726509e-08,2.867195e-08,3.020090e-08,3.255792e-08,3.314733e-08,3.608960e-08,3.644176e-08,3.901470e-08,4.029331e-08,4.191128e-08,4.408761e-08,4.476968e-08,4.758180e-08,4.780456e-08,5.034095e-08,5.142853e-08,5.304174e-08,5.494772e-08,5.567988e-08,5.825209e-08,5.835357e-08,6.075591e-08,6.164019e-08,6.318959e-08,6.480382e-08,6.555199e-08,6.784245e-08,7.006076e-08,7.075538e-08,7.220701e-08,7.354298e-08,7.428161e-08,7.620639e-08,7.628517e-08,7.821851e-08,7.874739e-08,8.008259e-08,8.116824e-08,8.187850e-08,8.347153e-08,8.360741e-08,8.527058e-08,8.566010e-08,8.686933e-08,8.773701e-08,8.840504e-08,8.970542e-08,8.987909e-08,9.129293e-08,9.156860e-08,9.264799e-08,9.332988e-08,9.394573e-08,9.499260e-08,9.518761e-08,9.637507e-08,9.656011e-08,9.750957e-08,9.803574e-08,9.859255e-08,9.942281e-08,9.962545e-08,1.006097e-07,1.007246e-07,1.015466e-07,1.019443e-07,1.024377e-07,1.030850e-07,1.032842e-07,1.040875e-07,1.041500e-07,1.048490e-07,1.051421e-07,1.055698e-07,1.060644e-07,1.062514e-07,1.068948e-07,1.069198e-07,1.075015e-07,1.077110e-07,1.080724e-07,1.084409e-07,1.086088e-07,1.091119e-07,1.095828e-07,1.097268e-07,1.100225e-07,1.102880e-07,1.104321e-07,1.107979e-07,1.108126e-07,1.111651e-07,1.112589e-07,1.114905e-07,1.116732e-07,1.117899e-07,1.120430e-07,1.120640e-07,1.123139e-07,1.123704e-07,1.125405e-07,1.126575e-07,1.127445e-07,1.129061e-07,1.129269e-07,1.130884e-07,1.131183e-07,1.132298e-07,1.132957e-07,1.133520e-07,1.134402e-07,1.134556e-07,1.135414e-07,1.135535e-07,1.136100e-07,1.136371e-07,1.136622e-07,1.136926e-07,1.136987e-07,1.137200e-07,1.137216e-07,1.137268e-07,1.137254e-07,1.137197e-07,1.137054e-07,1.136993e-07,1.136662e-07,1.136630e-07,1.136209e-07,1.135994e-07,1.135638e-07,1.135159e-07,1.134957e-07,1.134169e-07,1.134135e-07,1.133279e-07,1.132935e-07,1.132292e-07,1.131568e-07,1.131213e-07,1.130046e-07,1.128378e-07,1.126573e-07,1.124640e-07,1.122588e-07,1.120425e-07,1.118159e-07,1.115797e-07,1.113346e-07,1.110814e-07,1.108206e-07,1.105529e-07,1.102788e-07,1.099990e-07,1.097140e-07,1.094242e-07,1.091301e-07,1.088323e-07,1.085311e-07,1.082270e-07,1.079203e-07,1.076114e-07,1.073007e-07,1.069885e-07,1.066752e-07
0.000000e+00,2.538374e-11,6.356030e-11,2.396504e-10,5.681273e-10,8.410705e-10,1.953889e-09,2.014016e-09,3.936157e-09,4.632781e-09,6.785871e-09,9.017521e-09,1.074819e-08,1.554282e-08,1.601710e-08,2.279028e-08,2.466065e-08,3.124900e-08,3.677182e-08,4.151548e-08,5.205390e-08,5.359603e-08,6.735190e-08,7.028342e-08,8.253611e-08,9.090299e-08,9.886888e-08,1.132862e-07,1.160924e-07,1.339884e-07,1.369016e-07,1.523744e-07,1.613269e-07,1.710937e-07,1.862157e-07,1.900080e-07,2.089924e-07,2.112697e-07,2.279326e-07,2.362249e-07,2.467239e-07,2.608468e-07,2.652711e-07,2.834889e-07,2.849298e-07,3.013016e-07,3.082982e-07,3.186437e-07,3.308069e-07,3.354594e-07,3.517030e-07,3.523403e-07,3.673377e-07,3.728114e-07,3.823354e-07,3.921596e-07,3.966763e-07,4.103476e-07,4.233429e-07,4.273584e-07,4.356616e-07,4.431923e-07,4.473080e-07,4.578638e-07,4.582905e-07,4.686210e-07,4.713987e-07,4.783143e-07,4.838314e-07,4.873874e-07,4.952032e-07,4.958593e-07,5.037500e-07,5.055597e-07,5.110809e-07,5.149498e-07,5.178738e-07,5.234242e-07,5.241509e-07,5.299346e-07,5.310341e-07,5.352471e-07,5.378307e-07,5.401104e-07,5.438643e-07,5.445461e-07,5.485756e-07,5.491840e-07,5.522195e-07,5.538375e-07,5.554980e-07,5.578708e-07,5.584306e-07,5.610362e-07,5.613277e-07,5.633327e-07,5.642497e-07,5.653375e-07,5.666764e-07,5.670674e-07,5.685382e-07,5.686452e-07,5.697653e-07,5.701912e-07,5.707633e-07,5.713477e-07,5.715459e-07,5.721264e-07,5.721456e-07,5.725174e-07,5.726141e-07,5.727309e-07,5.727805e-07,5.727783e-07,5.726703e-07,5.724172e-07,5.723072e-07,5.720288e-07,5.717134e-07,5.715142e-07,5.709096e-07,5.708821e-07,5.701408e-07,5.699148e-07,5.692982e-07,5.687470e-07,5.683615e-07,5.674229e-07,5.673379e-07,5.662339e-07,5.659577e-07,5.650558e-07,5.643659e-07,5.638095e-07,5.626608e-07,5.625006e-07,5.611343e-07,5.608546e-07,5.597156e-07,5.589588e-07,5.582492e-07,5.569838e-07,5.567395e-07,5.551906e-07,5.549395e-07,5.536066e-07,5.528348e-07,5.519910e-07,5.506782e-07,5.503473e-07,5.486789e-07,5.484772e-07,5.469888e-07,5.462390e-07,5.452799e-07,5.439701e-07,5.435548e-07,5.418162e-07,5.416766e-07,5.400665e-07,5.393640e-07,5.383079e-07,5.370373e-07,5.365424e-07,5.347721e-07,5.347012e-07,5.329988e-07,5.323601e-07,5.312243e-07,5.300177e-07,5.294500e-07,5.276777e-07,5.253433e-07,5.230176e-07,5.207032e-07,5.184025e-07,5.161179e-07,5.138514e-07,5.116046e-07,5.093793e-07,5.071770e-07,5.049989e-07,5.028461e-07,5.007197e-07,4.986206e-07,4.965495e-07,4.945072e-07,4.924942e-07,4.905109e-07,4.885577e-07,4.866351e-07,4.847432e-07,4.828821e-07,4.810522e-07,4.792533e-07,4.774855e-07
0.000000e+00,1.050676e-12,7.856349e-12,1.415854e-10,8.815883e-10,1.978500e-09,1.052859e-08,1.115965e-08,3.887924e-08,5.204322e-08,1.010516e-07,1.626657e-07,2.165444e-07,3.874291e-07,4.057783e-07,6.899986e-07,7.747414e-07,1.090698e-06,1.373671e-06,1.628210e-06,2.227359e-06,2.318636e-06,3.169521e-06,3.358794e-06,4.176498e-06,4.756758e-06,5.323115e-06,6.375845e-06,6.584092e-06,7.930034e-06,8.151280e-06,9.331598e-06,1.001613e-05,1.076211e-05,1.191182e-05,1.219863e-05,1.362212e-05,1.379129e-05,1.501694e-05,1.561823e-05,1.637045e-05,1.736520e-05,1.767256e-05,1.891537e-05,1.901205e-05,2.009293e-05,2.054468e-05,2.120101e-05,2.195425e-05,2.223693e-05,2.319936e-05,2.323633e-05,2.408817e-05,2.439025e-05,2.490419e-05,2.541835e-05,2.564912e-05,2.632530e-05,2.693557e-05,2.711745e-05,2.748315e-05,2.780229e-05,2.797149e-05,2.838792e-05,2.840420e-05,2.878493e-05,2.888271e-05,2.911730e-05,2.929499e-05,2.940487e-05,2.963284e-05,2.965109e-05,2.985926e-05,2.990391e-05,3.003250e-05,3.011537e-05,3.017377e-05,3.027385e-05,3.028584e-05,3.037130e-05,3.038541e-05,3.043252e-05,3.045553e-05,3.047174e-05,3.048918e-05,3.049100e-05,3.049219e-05,3.049081e-05,3.047702e-05,3.046441e-05,3.044710e-05,3.041352e-05,3.040388e-05,3.034868e-05,3.034131e-05,3.028271e-05,3.025057e-05,3.020710e-05,3.014380e-05,3.012284e-05,3.003085e-05,3.002319e-05,2.993200e-05,2.989070e-05,2.982702e-05,2.974806e-05,2.971664e-05,2.960148e-05,2.959679e-05,2.948213e-05,2.943824e-05,2.935912e-05,2.927362e-05,2.923292e-05,2.910399e-05,2.897271e-05,2.893027e-05,2.883946e-05,2.875330e-05,2.870457e-05,2.857381e-05,2.856834e-05,2.843106e-05,2.839246e-05,2.829297e-05,2.820983e-05,2.815430e-05,2.802641e-05,2.801528e-05,2.787608e-05,2.784266e-05,2.773688e-05,2.765898e-05,2.759784e-05,2.747573e-05,2.745910e-05,2.732080e-05,2.729320e-05,2.718306e-05,2.711168e-05,2.704597e-05,2.693141e-05,2.690965e-05,2.677418e-05,2.675259e-05,2.663964e-05,2.657542e-05,2.650611e-05,2.640004e-05,2.637364e-05,2.624230e-05,2.622661e-05,2.611214e-05,2.605525e-05,2.598320e-05,2.588606e-05,2.585554e-05,2.572918e-05,2.571913e-05,2.560416e-05,2.555453e-05,2.548050e-05,2.539233e-05,2.535824e-05,2.523740e-05,2.523259e-05,2.511798e-05,2.507534e-05,2.500001e-05,2.492063e-05,2.488350e-05,2.476847e-05,2.461888e-05,2.447188e-05,2.432748e-05,2.418567e-05,2.404645e-05,2.390982e-05,2.377577e-05,2.364427e-05,2.351531e-05,2.338888e-05,2.326494e-05,2.314348e-05,2.302446e-05,2.290786e-05,2.279365e-05,2.268180e-05,2.257227e-05,2.246504e-05,2.236007e-05,2.225732e-05,2.215677e-05,2.205837e-05,2.196209e-05,2.186790e-05
0.000000e+00,5.230352e-15,4.625001e-14,1.176609e-12,9.989304e-12,2.652704e-11,2.164355e-10,2.333737e-10,1.226817e-09,1.832029e-09,4.659500e-09,9.278777e-09,1.414973e-08,3.400475e-08,3.650032e-08,8.316593e-08,9.979921e-08,1.718930e-07,2.491729e-07,3.284303e-07,5.501173e-07,5.881601e-07,9.974403e-07,1.102147e-06,1.614396e-06,2.040041e-06,2.508927e-06,3.533649e-06,3.761798e-06,5.462808e-06,5.782922e-06,7.708154e-06,9.008420e-06,1.059721e-05,1.343857e-05,1.422899e-05,1.869852e-05,1.929542e-05,2.409336e-05,2.678052e-05,3.049049e-05,3.606242e-05,3.795367e-05,4.653139e-05,4.726682e-05,5.625540e-05,6.046974e-05,6.713989e-05,7.569402e-05,7.918135e-05,9.235887e-05,9.290912e-05,1.066350e-04,1.120336e-04,1.219569e-04,1.329398e-04,1.382581e-04,1.554602e-04,1.734746e-04,1.793953e-04,1.922051e-04,2.045213e-04,2.115493e-04,2.305987e-04,2.314012e-04,2.516526e-04,2.573798e-04,2.721953e-04,2.846162e-04,2.929225e-04,3.120650e-04,3.137302e-04,3.345185e-04,3.394942e-04,3.551928e-04,3.666871e-04,3.756641e-04,3.934457e-04,3.958504e-04,4.156768e-04,4.195927e-04,4.350754e-04,4.449734e-04,4.539862e-04,4.694555e-04,4.723564e-04,4.901410e-04,4.929296e-04,5.073020e-04,5.153084e-04,5.238083e-04,5.365253e-04,5.396355e-04,5.547655e-04,5.565336e-04,5.691857e-04,5.753038e-04,5.828891e-04,5.928227e-04,5.958734e-04,6.081407e-04,6.090912e-04,6.196969e-04,6.241223e-04,6.305515e-04,6.379392e-04,6.407168e-04,6.502080e-04,6.505739e-04,6.590422e-04,6.620653e-04,6.672384e-04,6.724579e-04,6.748172e-04,6.818001e-04,6.882097e-04,6.901435e-04,6.940692e-04,6.975414e-04,6.994020e-04,7.040479e-04,7.042318e-04,7.085823e-04,7.097178e-04,7.124771e-04,7.146049e-04,7.159394e-04,7.187625e-04,7.189921e-04,7.216576e-04,7.222421e-04,7.239577e-04,7.250940e-04,7.259134e-04,7.273660e-04,7.275454e-04,7.288733e-04,7.291041e-04,7.299161e-04,7.303517e-04,7.306919e-04,7.311502e-04,7.312183e-04,7.315119e-04,7.315383e-04,7.315884e-04,7.315526e-04,7.314631e-04,7.312271e-04,7.311502e-04,7.306634e-04,7.305939e-04,7.300154e-04,7.296824e-04,7.292185e-04,7.285203e-04,7.282841e-04,7.272232e-04,7.271331e-04,7.260458e-04,7.255445e-04,7.247617e-04,7.237761e-04,7.233798e-04,7.219087e-04,7.218481e-04,7.203563e-04,7.197790e-04,7.187301e-04,7.175857e-04,7.170371e-04,7.152838e-04,7.128875e-04,7.104101e-04,7.078634e-04,7.052584e-04,7.026051e-04,6.999126e-04,6.971891e-04,6.944422e-04,6.916787e-04,6.889048e-04,6.861261e-04,6.833477e-04,6.805743e-04,6.778099e-04,6.750583e-04,6.723229e-04,6.696067e-04,6.669123e-04,6.642423e-04,6.615987e-04,6.589835e-04,6.563982e-04,6.538445e-04,6.513235e-04
0.000000e+00,1.112179e-11,2.557833e-11,8.815100e-11,2.002956e-10,2.918392e-10,6.593161e-10,6.790296e-10,1.306193e-09,1.532781e-09,2.232722e-09,2.958664e-09,3.522125e-09,5.082685e-09,5.236743e-09,7.419848e-09,8.014573e-09,1.007086e-08,1.174297e-08,1.314109e-08,1.613275e-08,1.655883e-08,2.025421e-08,2.102118e-08,2.416766e-08,2.627182e-08,2.824872e-08,3.177366e-08,3.245289e-08,3.673953e-08,3.743047e-08,4.107076e-08,4.315513e-08,4.541129e-08,4.886836e-08,4.972846e-08,5.399264e-08,5.449950e-08,5.817750e-08,5.998768e-08,6.226016e-08,6.528264e-08,6.622134e-08,7.004530e-08,7.034489e-08,7.371964e-08,7.514532e-08,7.723514e-08,7.966427e-08,8.058543e-08,8.376669e-08,8.389039e-08,8.677729e-08,8.781933e-08,8.961749e-08,9.145238e-08,9.228913e-08,9.479530e-08,9.714013e-08,9.785718e-08,9.932852e-08,1.006495e-07,1.013660e-07,1.031854e-07,1.032584e-07,1.050120e-07,1.054789e-07,1.066330e-07,1.075446e-07,1.081279e-07,1.093972e-07,1.095030e-07,1.107646e-07,1.110511e-07,1.119188e-07,1.125205e-07,1.129717e-07,1.138189e-07,1.139289e-07,1.147962e-07,1.149593e-07,1.155787e-07,1.159539e-07,1.162817e-07,1.168142e-07,1.169099e-07,1.174680e-07,1.175511e-07,1.179604e-07,1.181746e-07,1.183912e-07,1.186941e-07,1.187643e-07,1.190835e-07,1.191183e-07,1.193523e-07,1.194554e-07,1.195739e-07,1.197127e-07,1.197515e-07,1.198881e-07,1.198973e-07,1.199864e-07,1.200156e-07,1.200490e-07,1.200734e-07,1.200784e-07,1.200768e-07,1.200762e-07,1.200465e-07,1.200290e-07,1.199895e-07,1.199365e-07,1.199077e-07,1.198029e-07,1.196767e-07,1.196321e-07,1.195309e-07,1.194279e-07,1.193668e-07,1.191934e-07,1.191859e-07,1.189894e-07,1.189318e-07,1.187787e-07,1.186459e-07,1.185548e-07,1.183383e-07,1.183190e-07,1.180721e-07,1.180113e-07,1.178151e-07,1.176671e-07,1.175490e-07,1.173079e-07,1.172745e-07,1.169926e-07,1.169353e-07,1.167038e-07,1.165512e-07,1.164089e-07,1.161570e-07,1.161086e-07,1.158035e-07,1.157542e-07,1.154941e-07,1.153442e-07,1.151809e-07,1.149281e-07,1.148646e-07,1.145455e-07,1.145070e-07,1.142240e-07,1.140820e-07,1.139007e-07,1.136539e-07,1.135758e-07,1.132498e-07,1.132237e-07,1.129230e-07,1.127921e-07,1.125956e-07,1.123598e-07,1.122680e-07,1.119405e-07,1.119274e-07,1.116133e-07,1.114957e-07,1.112867e-07,1.110650e-07,1.109608e-07,1.106359e-07,1.102088e-07,1.097842e-07,1.093625e-07,1.089438e-07,1.085286e-07,1.081172e-07,1.077097e-07,1.073063e-07,1.069074e-07,1.065129e-07,1.061232e-07,1.057383e-07,1.053583e-07,1.049834e-07,1.046136e-07,1.042489e-07,1.038896e-07,1.035355e-07,1.031868e-07,1.028434e-07,1.025054e-07,1.021728e-07,1.018456e-07,1.015238e-07
0.000000e+00,1.624737e-14,1.379669e-13,3.224249e-12,2.530937e-11,6.435459e-11,4.688958e-10,5.032575e-10,2.362355e-09,3.420702e-09,8.052685e-09,1.506834e-08,2.207043e-08,4.852027e-08,5.169215e-08,1.076101e-07,1.264820e-07,2.044845e-07,2.835274e-07,3.613244e-07,5.673805e-07,6.014577e-07,9.517233e-07,1.037500e-06,1.440607e-06,1.758812e-06,2.095416e-06,2.790619e-06,2.939029e-06,3.986982e-06,4.174172e-06,5.245475e-06,5.923584e-06,6.710663e-06,8.022920e-06,8.369150e-06,1.019942e-05,1.042934e-05,1.217387e-05,1.308027e-05,1.426099e-05,1.590211e-05,1.642753e-05,1.864033e-05,1.881838e-05,2.086779e-05,2.175630e-05,2.308098e-05,2.465110e-05,2.525425e-05,2.736564e-05,2.744854e-05,2.939697e-05,3.010576e-05,3.133376e-05,3.259103e-05,3.316500e-05,3.488286e-05,3.648233e-05,3.696868e-05,3.796087e-05,3.884338e-05,3.931802e-05,4.050790e-05,4.055510e-05,4.167483e-05,4.196783e-05,4.268108e-05,4.323229e-05,4.357857e-05,4.431281e-05,4.437267e-05,4.506919e-05,4.522251e-05,4.567420e-05,4.597533e-05,4.619387e-05,4.658552e-05,4.663441e-05,4.700190e-05,4.706715e-05,4.730226e-05,4.743382e-05,4.754119e-05,4.769838e-05,4.772410e-05,4.785611e-05,4.787283e-05,4.794202e-05,4.796820e-05,4.798629e-05,4.799453e-05,4.799307e-05,4.796618e-05,4.796086e-05,4.790911e-05,4.787527e-05,4.782507e-05,4.774497e-05,4.771698e-05,4.758749e-05,4.757628e-05,4.743901e-05,4.737480e-05,4.727371e-05,4.714539e-05,4.709356e-05,4.690031e-05,4.689233e-05,4.669557e-05,4.661932e-05,4.648076e-05,4.632960e-05,4.625717e-05,4.602596e-05,4.578817e-05,4.571084e-05,4.554473e-05,4.538636e-05,4.529648e-05,4.505434e-05,4.504418e-05,4.478848e-05,4.471637e-05,4.453002e-05,4.437384e-05,4.426933e-05,4.402796e-05,4.400691e-05,4.374320e-05,4.367976e-05,4.347860e-05,4.333017e-05,4.321348e-05,4.297999e-05,4.294815e-05,4.268292e-05,4.262991e-05,4.241805e-05,4.228054e-05,4.215378e-05,4.193241e-05,4.189032e-05,4.162788e-05,4.158600e-05,4.136664e-05,4.124171e-05,4.110675e-05,4.089990e-05,4.084835e-05,4.059159e-05,4.056089e-05,4.033657e-05,4.022494e-05,4.008340e-05,3.989230e-05,3.983219e-05,3.958301e-05,3.956316e-05,3.933594e-05,3.923772e-05,3.909105e-05,3.891612e-05,3.884840e-05,3.860805e-05,3.859849e-05,3.837005e-05,3.828494e-05,3.813442e-05,3.797558e-05,3.790122e-05,3.767047e-05,3.736968e-05,3.707326e-05,3.678124e-05,3.649366e-05,3.621053e-05,3.593187e-05,3.565766e-05,3.538792e-05,3.512262e-05,3.486175e-05,3.460528e-05,3.435319e-05,3.410544e-05,3.386201e-05,3.362285e-05,3.338791e-05,3.315717e-05,3.293057e-05,3.270806e-05,3.248959e-05,3.227512e-05,3.206458e-05,3.185792e-05,3.165510e-05
0.000000e+00,1.617176e-13,1.280392e-12,2.590649e-11,1.784633e-10,4.225252e-10,2.563191e-09,2.730701e-09,1.070710e-08,1.476876e-08,3.079026e-08,5.225680e-08,7.184140e-08,1.371967e-07,1.444317e-07,2.600242e-07,2.954632e-07,4.302638e-07,5.536977e-07,6.664198e-07,9.370591e-07,9.789009e-07,1.376693e-06,1.467136e-06,1.866581e-06,2.159055e-06,2.452105e-06,3.017415e-06,3.132465e-06,3.901766e-06,4.032440e-06,4.749042e-06,5.179117e-06,5.659197e-06,6.420778e-06,6.614589e-06,7.596798e-06,7.715611e-06,8.588177e-06,9.023134e-06,9.572930e-06,1.030860e-05,1.053770e-05,1.147175e-05,1.154489e-05,1.236686e-05,1.271260e-05,1.321705e-05,1.379903e-05,1.401827e-05,1.476807e-05,1.479697e-05,1.546533e-05,1.570345e-05,1.611000e-05,1.651869e-05,1.670283e-05,1.724525e-05,1.773914e-05,1.788730e-05,1.818677e-05,1.845011e-05,1.859062e-05,1.893959e-05,1.895334e-05,1.927764e-05,1.936193e-05,1.956625e-05,1.972339e-05,1.982183e-05,2.003004e-05,2.004700e-05,2.024423e-05,2.028768e-05,2.041591e-05,2.050171e-05,2.056424e-05,2.067712e-05,2.069131e-05,2.079905e-05,2.081844e-05,2.088923e-05,2.092974e-05,2.096349e-05,2.101467e-05,2.102334e-05,2.107013e-05,2.107650e-05,2.110514e-05,2.111808e-05,2.112948e-05,2.114197e-05,2.114419e-05,2.115021e-05,2.115038e-05,2.114838e-05,2.114528e-05,2.113947e-05,2.112839e-05,2.112417e-05,2.110312e-05,2.110120e-05,2.107687e-05,2.106504e-05,2.104595e-05,2.102106e-05,2.101082e-05,2.097190e-05,2.097027e-05,2.092958e-05,2.091358e-05,2.088420e-05,2.085175e-05,2.083607e-05,2.078549e-05,2.073272e-05,2.071540e-05,2.067798e-05,2.064202e-05,2.062149e-05,2.056581e-05,2.056346e-05,2.050406e-05,2.048721e-05,2.044346e-05,2.040659e-05,2.038181e-05,2.032429e-05,2.031926e-05,2.025591e-05,2.024061e-05,2.019191e-05,2.015581e-05,2.012734e-05,2.007014e-05,2.006232e-05,1.999693e-05,1.998382e-05,1.993126e-05,1.989703e-05,1.986539e-05,1.980996e-05,1.979939e-05,1.973333e-05,1.972276e-05,1.966727e-05,1.963558e-05,1.960127e-05,1.954854e-05,1.953538e-05,1.946964e-05,1.946176e-05,1.940411e-05,1.937535e-05,1.933882e-05,1.928938e-05,1.927381e-05,1.920912e-05,1.920396e-05,1.914477e-05,1.911914e-05,1.908081e-05,1.903501e-05,1.901726e-05,1.895414e-05,1.895162e-05,1.889147e-05,1.886903e-05,1.882929e-05,1.878728e-05,1.876760e-05,1.870643e-05,1.862649e-05,1.854752e-05,1.846953e-05,1.839256e-05,1.831662e-05,1.824174e-05,1.816792e-05,1.809519e-05,1.802355e-05,1.795302e-05,1.788359e-05,1.781527e-05,1.774807e-05,1.768198e-05,1.761700e-05,1.755314e-05,1.749039e-05,1.742873e-05,1.736818e-05,1.730872e-05,1.725034e-05,1.719303e-05,1.713679e-05,1.708161e-05
0.000000e+00,2.807869e-12,6.398133e-12,2.170583e-11,4.877859e-11,7.074543e-11,1.588220e-10,1.635598e-10,3.156880e-10,3.713990e-10,5.458629e-10,7.295822e-10,8.729985e-10,1.266499e-09,1.304670e-09,1.826060e-09,1.961370e-09,2.408276e-09,2.750655e-09,3.024778e-09,3.580830e-09,3.657099e-09,4.293065e-09,4.419901e-09,4.924108e-09,5.248045e-09,5.543567e-09,6.050862e-09,6.145873e-09,6.726252e-09,6.816800e-09,7.280689e-09,7.536617e-09,7.805925e-09,8.203414e-09,8.299508e-09,8.759794e-09,8.812742e-09,9.185911e-09,9.362511e-09,9.577691e-09,9.852731e-09,9.935575e-09,1.026050e-08,1.028511e-08,1.055378e-08,1.066258e-08,1.081699e-08,1.098890e-08,1.105195e-08,1.126062e-08,1.126845e-08,1.144496e-08,1.150574e-08,1.160691e-08,1.170522e-08,1.174837e-08,1.187119e-08,1.197708e-08,1.200764e-08,1.206755e-08,1.211798e-08,1.214395e-08,1.220525e-08,1.220756e-08,1.225960e-08,1.227224e-08,1.230114e-08,1.232149e-08,1.233334e-08,1.235578e-08,1.235743e-08,1.237417e-08,1.237718e-08,1.238430e-08,1.238731e-08,1.238843e-08,1.238756e-08,1.238713e-08,1.238092e-08,1.237912e-08,1.237024e-08,1.236307e-08,1.235553e-08,1.234033e-08,1.233716e-08,1.231547e-08,1.231171e-08,1.229075e-08,1.227789e-08,1.226328e-08,1.223950e-08,1.223332e-08,1.220109e-08,1.219708e-08,1.216680e-08,1.215110e-08,1.213063e-08,1.210200e-08,1.209277e-08,1.205336e-08,1.205015e-08,1.201256e-08,1.199588e-08,1.197050e-08,1.193950e-08,1.192729e-08,1.188305e-08,1.188126e-08,1.183789e-08,1.182143e-08,1.179191e-08,1.176021e-08,1.174518e-08,1.169779e-08,1.164983e-08,1.163437e-08,1.160136e-08,1.157010e-08,1.155244e-08,1.150513e-08,1.150315e-08,1.145353e-08,1.143958e-08,1.140363e-08,1.137359e-08,1.135352e-08,1.130726e-08,1.130324e-08,1.125282e-08,1.124070e-08,1.120231e-08,1.117400e-08,1.115175e-08,1.110724e-08,1.110117e-08,1.105060e-08,1.104050e-08,1.100008e-08,1.097384e-08,1.094964e-08,1.090734e-08,1.089929e-08,1.084907e-08,1.084105e-08,1.079900e-08,1.077503e-08,1.074911e-08,1.070932e-08,1.069940e-08,1.064990e-08,1.064397e-08,1.060063e-08,1.057902e-08,1.055160e-08,1.051451e-08,1.050283e-08,1.045433e-08,1.045046e-08,1.040612e-08,1.038692e-08,1.035820e-08,1.032390e-08,1.031060e-08,1.026331e-08,1.026143e-08,1.021636e-08,1.019953e-08,1.016974e-08,1.013823e-08,1.012346e-08,1.007754e-08,1.001747e-08,9.958045e-09,9.899270e-09,9.841157e-09,9.783714e-09,9.726950e-09,9.670870e-09,9.615479e-09,9.560783e-09,9.506782e-09,9.453481e-09,9.400879e-09,9.348977e-09,9.297774e-09,9.247271e-09,9.197464e-09,9.148352e-09,9.099931e-09,9.052199e-09,9.005152e-09,8.958785e-09,8.913094e-09,8.868074e-09,8.823720e-09
0.000000e+00,4.176582e-13,3.287990e-12,6.577814e-11,4.491169e-10,1.058856e-09,6.370573e-09,6.785224e-09,2.651017e-08,3.656413e-08,7.636500e-08,1.300833e-07,1.794786e-07,3.468036e-07,3.655489e-07,6.704544e-07,7.658251e-07,1.135725e-06,1.483185e-06,1.806728e-06,2.603124e-06,2.728294e-06,3.938251e-06,4.217311e-06,5.461480e-06,6.381029e-06,7.307165e-06,9.103129e-06,9.469898e-06,1.193325e-05,1.235380e-05,1.467399e-05,1.608033e-05,1.766558e-05,2.022100e-05,2.088055e-05,2.429169e-05,2.471294e-05,2.787246e-05,2.949509e-05,3.159716e-05,3.450876e-05,3.544076e-05,3.937889e-05,3.969731e-05,4.338784e-05,4.500607e-05,4.744464e-05,5.038274e-05,5.152723e-05,5.561468e-05,5.577800e-05,5.968733e-05,6.114630e-05,6.372696e-05,6.644652e-05,6.771699e-05,7.164246e-05,7.549018e-05,7.670310e-05,7.924864e-05,8.160262e-05,8.290805e-05,8.632027e-05,8.646021e-05,8.989845e-05,9.083999e-05,9.321751e-05,9.515003e-05,9.641340e-05,9.924242e-05,9.948333e-05,1.024255e-04,1.031125e-04,1.052391e-04,1.067585e-04,1.079240e-04,1.101808e-04,1.104809e-04,1.129109e-04,1.133819e-04,1.152159e-04,1.163657e-04,1.173979e-04,1.191375e-04,1.194594e-04,1.214031e-04,1.217034e-04,1.232321e-04,1.240701e-04,1.249494e-04,1.262451e-04,1.265583e-04,1.280623e-04,1.282358e-04,1.294646e-04,1.300503e-04,1.307688e-04,1.316964e-04,1.319783e-04,1.330965e-04,1.331822e-04,1.341270e-04,1.345153e-04,1.350730e-04,1.357037e-04,1.359379e-04,1.367250e-04,1.367549e-04,1.374375e-04,1.376764e-04,1.380786e-04,1.384752e-04,1.386512e-04,1.391585e-04,1.396033e-04,1.397329e-04,1.399884e-04,1.402049e-04,1.403166e-04,1.405807e-04,1.405906e-04,1.408129e-04,1.408662e-04,1.409860e-04,1.410673e-04,1.411124e-04,1.411893e-04,1.411943e-04,1.412340e-04,1.412375e-04,1.412337e-04,1.412169e-04,1.411955e-04,1.411321e-04,1.411214e-04,1.410133e-04,1.409878e-04,1.408731e-04,1.407882e-04,1.407027e-04,1.405373e-04,1.405036e-04,1.402777e-04,1.402391e-04,1.400264e-04,1.398972e-04,1.397513e-04,1.395152e-04,1.394540e-04,1.391357e-04,1.390962e-04,1.387979e-04,1.386434e-04,1.384418e-04,1.381597e-04,1.380687e-04,1.376797e-04,1.376479e-04,1.372760e-04,1.371107e-04,1.368588e-04,1.365505e-04,1.364289e-04,1.359875e-04,1.359696e-04,1.355354e-04,1.353703e-04,1.350736e-04,1.347545e-04,1.346030e-04,1.341242e-04,1.334813e-04,1.328275e-04,1.321643e-04,1.314932e-04,1.308156e-04,1.301329e-04,1.294463e-04,1.287569e-04,1.280657e-04,1.273738e-04,1.266821e-04,1.259913e-04,1.253024e-04,1.246160e-04,1.239328e-04,1.232533e-04,1.225783e-04,1.219082e-04,1.212434e-04,1.205844e-04,1.199316e-04,1.192854e-04,1.186460e-04,1.180138e-04
0.000000e+00,5.573580e-12,1.284905e-11,4.455253e-11,1.019136e-10,1.491165e-10,3.412003e-10,3.516067e-10,6.871761e-10,8.103331e-10,1.196272e-09,1.604268e-09,1.925697e-09,2.834633e-09,2.925713e-09,4.239181e-09,4.603721e-09,5.882952e-09,6.941310e-09,7.836067e-09,9.772645e-09,1.005032e-08,1.247184e-08,1.297674e-08,1.505408e-08,1.644772e-08,1.775994e-08,2.010639e-08,2.055956e-08,2.342788e-08,2.389169e-08,2.634290e-08,2.775280e-08,2.928476e-08,3.164537e-08,3.223537e-08,3.517826e-08,3.553016e-08,3.809858e-08,3.937293e-08,4.098318e-08,4.314446e-08,4.382057e-08,4.660093e-08,4.682064e-08,4.931605e-08,5.038228e-08,5.195924e-08,5.381477e-08,5.452520e-08,5.700990e-08,5.710755e-08,5.941044e-08,6.025364e-08,6.172490e-08,6.324899e-08,6.395220e-08,6.609199e-08,6.814450e-08,6.878299e-08,7.011050e-08,7.132384e-08,7.199112e-08,7.371757e-08,7.378785e-08,7.550243e-08,7.596805e-08,7.713679e-08,7.807977e-08,7.869302e-08,8.005764e-08,8.017332e-08,8.157994e-08,8.190683e-08,8.291522e-08,8.363267e-08,8.418147e-08,8.524054e-08,8.538104e-08,8.651626e-08,8.673578e-08,8.758943e-08,8.812371e-08,8.860281e-08,8.940949e-08,8.955865e-08,9.045912e-08,9.059821e-08,9.130637e-08,9.169476e-08,9.210248e-08,9.270390e-08,9.284946e-08,9.354929e-08,9.363019e-08,9.420387e-08,9.447802e-08,9.481505e-08,9.525162e-08,9.538462e-08,9.591431e-08,9.595501e-08,9.640579e-08,9.659205e-08,9.686068e-08,9.716642e-08,9.728054e-08,9.766686e-08,9.768163e-08,9.802109e-08,9.814103e-08,9.834464e-08,9.854780e-08,9.863884e-08,9.890498e-08,9.914432e-08,9.921544e-08,9.935805e-08,9.948193e-08,9.954732e-08,9.970704e-08,9.971324e-08,9.985687e-08,9.989323e-08,9.997924e-08,1.000429e-07,1.000813e-07,1.001582e-07,1.001641e-07,1.002284e-07,1.002412e-07,1.002752e-07,1.002940e-07,1.003052e-07,1.003185e-07,1.003193e-07,1.003183e-07,1.003164e-07,1.003029e-07,1.002894e-07,1.002737e-07,1.002392e-07,1.002316e-07,1.001770e-07,1.001672e-07,1.001108e-07,1.000750e-07,1.000334e-07,9.996381e-08,9.994540e-08,9.984741e-08,9.983501e-08,9.973994e-08,9.968978e-08,9.962349e-08,9.952929e-08,9.949855e-08,9.936559e-08,9.935462e-08,9.922505e-08,9.916680e-08,9.907735e-08,9.896681e-08,9.892291e-08,9.876213e-08,9.875557e-08,9.859537e-08,9.853394e-08,9.842299e-08,9.830274e-08,9.824534e-08,9.806275e-08,9.781471e-08,9.755929e-08,9.729716e-08,9.702892e-08,9.675516e-08,9.647642e-08,9.619322e-08,9.590604e-08,9.561534e-08,9.532156e-08,9.502509e-08,9.472631e-08,9.442560e-08,9.412328e-08,9.381968e-08,9.351508e-08,9.320978e-08,9.290404e-08,9.259809e-08,9.229218e-08,9.198652e-08,9.168131e-08,9.137675e-08,9.107301e-08
0.000000e+00,4.058784e-12,9.326646e-12,3.213252e-11,7.303601e-11,1.064465e-10,2.406728e-10,2.478767e-10,4.771365e-10,5.599825e-10,8.158916e-10,1.081275e-09,1.287253e-09,1.858053e-09,1.914457e-09,2.715825e-09,2.935009e-09,3.696341e-09,4.319474e-09,4.843035e-09,5.969685e-09,6.130723e-09,7.531876e-09,7.823496e-09,9.021993e-09,9.825012e-09,1.058037e-08,1.192908e-08,1.218921e-08,1.383265e-08,1.409783e-08,1.549621e-08,1.629792e-08,1.716657e-08,1.849949e-08,1.883149e-08,2.047989e-08,2.067611e-08,2.210191e-08,2.280498e-08,2.368896e-08,2.486720e-08,2.523376e-08,2.673029e-08,2.684777e-08,2.817372e-08,2.873537e-08,2.956041e-08,3.052220e-08,3.088776e-08,3.215401e-08,3.220338e-08,3.335824e-08,3.377653e-08,3.450025e-08,3.524142e-08,3.558036e-08,3.659943e-08,3.755867e-08,3.785324e-08,3.845962e-08,3.900644e-08,3.930403e-08,4.006328e-08,4.009385e-08,4.083114e-08,4.102846e-08,4.151804e-08,4.190690e-08,4.215674e-08,4.270367e-08,4.274944e-08,4.329835e-08,4.342382e-08,4.380562e-08,4.407230e-08,4.427336e-08,4.465391e-08,4.470362e-08,4.509841e-08,4.517328e-08,4.545963e-08,4.563483e-08,4.578916e-08,4.604276e-08,4.608875e-08,4.636012e-08,4.640102e-08,4.660487e-08,4.671336e-08,4.682457e-08,4.698328e-08,4.702068e-08,4.719460e-08,4.721405e-08,4.734767e-08,4.740874e-08,4.748114e-08,4.757021e-08,4.759621e-08,4.769402e-08,4.770113e-08,4.777564e-08,4.780398e-08,4.784208e-08,4.788106e-08,4.789430e-08,4.793322e-08,4.793451e-08,4.795968e-08,4.796632e-08,4.797451e-08,4.797834e-08,4.797847e-08,4.797227e-08,4.795661e-08,4.794971e-08,4.793213e-08,4.791211e-08,4.789943e-08,4.786085e-08,4.785909e-08,4.781165e-08,4.779717e-08,4.775762e-08,4.772224e-08,4.769748e-08,4.763715e-08,4.763168e-08,4.756066e-08,4.754288e-08,4.748481e-08,4.744036e-08,4.740450e-08,4.733045e-08,4.732011e-08,4.723197e-08,4.721392e-08,4.714039e-08,4.709151e-08,4.704568e-08,4.696390e-08,4.694810e-08,4.684794e-08,4.683169e-08,4.674543e-08,4.669546e-08,4.664081e-08,4.655575e-08,4.653431e-08,4.642612e-08,4.641303e-08,4.631644e-08,4.626776e-08,4.620546e-08,4.612035e-08,4.609335e-08,4.598026e-08,4.597118e-08,4.586635e-08,4.582059e-08,4.575177e-08,4.566893e-08,4.563664e-08,4.552110e-08,4.551647e-08,4.540525e-08,4.536349e-08,4.528921e-08,4.521024e-08,4.517307e-08,4.505695e-08,4.490383e-08,4.475107e-08,4.459884e-08,4.444730e-08,4.429660e-08,4.414688e-08,4.399824e-08,4.385081e-08,4.370467e-08,4.355991e-08,4.341662e-08,4.327486e-08,4.313469e-08,4.299618e-08,4.285937e-08,4.272431e-08,4.259103e-08,4.245956e-08,4.232994e-08,4.220217e-08,4.207629e-08,4.195231e-08,4.183023e-08,4.171007e-08
0.000000e+00,5.348436e-12,1.230131e-11,4.265810e-11,9.804678e-11,1.441188e-10,3.361048e-10,3.467029e-10,6.977395e-10,8.302709e-10,1.252568e-09,1.700244e-09,2.046934e-09,2.978106e-09,3.067104e-09,4.273750e-09,4.587159e-09,5.633636e-09,6.453069e-09,7.123157e-09,8.526029e-09,8.723296e-09,1.041629e-08,1.076447e-08,1.218437e-08,1.312753e-08,1.400973e-08,1.557450e-08,1.587490e-08,1.776325e-08,1.806650e-08,1.965948e-08,2.056838e-08,2.154989e-08,2.304996e-08,2.342257e-08,2.526746e-08,2.548657e-08,2.707624e-08,2.785887e-08,2.884217e-08,3.015237e-08,3.056005e-08,3.222600e-08,3.235694e-08,3.383721e-08,3.446592e-08,3.539178e-08,3.647535e-08,3.688860e-08,3.832714e-08,3.838347e-08,3.970749e-08,4.019022e-08,4.102994e-08,4.189643e-08,4.229512e-08,4.350401e-08,4.465767e-08,4.501539e-08,4.575739e-08,4.643354e-08,4.680454e-08,4.776166e-08,4.780054e-08,4.874684e-08,4.900311e-08,4.964496e-08,5.016134e-08,5.049643e-08,5.123989e-08,5.130278e-08,5.206552e-08,5.224227e-08,5.278619e-08,5.317195e-08,5.346628e-08,5.403236e-08,5.410726e-08,5.471058e-08,5.482685e-08,5.527765e-08,5.555867e-08,5.580987e-08,5.623098e-08,5.630858e-08,5.677510e-08,5.684685e-08,5.721072e-08,5.740921e-08,5.761668e-08,5.792091e-08,5.799420e-08,5.834444e-08,5.838469e-08,5.866854e-08,5.880315e-08,5.896760e-08,5.917880e-08,5.924269e-08,5.949484e-08,5.951405e-08,5.972505e-08,5.981120e-08,5.993426e-08,6.007242e-08,6.012341e-08,6.029340e-08,6.029982e-08,6.044509e-08,6.049537e-08,6.057930e-08,6.066099e-08,6.069684e-08,6.079848e-08,6.088496e-08,6.090955e-08,6.095699e-08,6.099583e-08,6.101527e-08,6.105888e-08,6.106044e-08,6.109316e-08,6.110017e-08,6.111402e-08,6.112110e-08,6.112362e-08,6.112298e-08,6.112251e-08,6.111124e-08,6.110708e-08,6.109033e-08,6.107460e-08,6.106028e-08,6.102664e-08,6.102155e-08,6.097462e-08,6.096429e-08,6.091993e-08,6.088856e-08,6.085788e-08,6.080039e-08,6.078890e-08,6.071336e-08,6.070070e-08,6.063165e-08,6.059033e-08,6.054410e-08,6.047010e-08,6.045107e-08,6.035289e-08,6.034077e-08,6.024985e-08,6.020306e-08,6.014227e-08,6.005765e-08,6.003044e-08,5.991461e-08,5.990518e-08,5.979507e-08,5.974626e-08,5.967205e-08,5.958146e-08,5.954579e-08,5.941654e-08,5.941131e-08,5.928450e-08,5.923632e-08,5.914988e-08,5.905698e-08,5.901289e-08,5.887372e-08,5.868697e-08,5.849714e-08,5.830459e-08,5.810967e-08,5.791271e-08,5.771403e-08,5.751392e-08,5.731264e-08,5.711045e-08,5.690760e-08,5.670429e-08,5.650076e-08,5.629718e-08,5.609374e-08,5.589061e-08,5.568795e-08,5.548590e-08,5.528461e-08,5.508420e-08,5.488479e-08,5.468649e-08,5.448939e-08,5.429360e-08,5.409919e-08
0.000000e+00,6.050776e-15,5.299083e-14,1.321224e-12,1.100981e-11,2.893616e-11,2.297952e-10,2.475047e-10,1.266242e-09,1.876943e-09,4.685607e-09,9.191479e-09,1.388032e-08,3.264179e-08,3.497313e-08,7.792877e-08,9.302962e-08,1.576598e-07,2.258654e-07,2.949700e-07,4.849199e-07,5.171141e-07,8.577918e-07,9.435373e-07,1.356503e-06,1.692780e-06,2.057321e-06,2.836528e-06,3.007231e-06,4.254209e-06,4.484461e-06,5.845198e-06,6.744140e-06,7.824172e-06,9.713264e-06,1.023036e-05,1.309675e-05,1.347294e-05,1.644884e-05,1.808238e-05,2.030384e-05,2.357543e-05,2.467005e-05,2.954673e-05,2.995868e-05,3.492412e-05,3.721145e-05,4.078388e-05,4.528708e-05,4.709965e-05,5.383785e-05,5.411562e-05,6.095870e-05,6.360735e-05,6.841721e-05,7.365698e-05,7.616435e-05,8.414819e-05,9.231505e-05,9.495822e-05,1.006106e-04,1.059623e-04,1.089808e-04,1.170375e-04,1.173730e-04,1.257365e-04,1.280666e-04,1.340236e-04,1.389404e-04,1.421895e-04,1.495602e-04,1.501937e-04,1.579993e-04,1.598394e-04,1.655740e-04,1.697042e-04,1.728896e-04,1.790941e-04,1.799224e-04,1.866529e-04,1.879613e-04,1.930658e-04,1.962709e-04,1.991494e-04,2.039995e-04,2.048961e-04,2.103011e-04,2.111341e-04,2.153630e-04,2.176711e-04,2.200830e-04,2.236152e-04,2.244648e-04,2.285139e-04,2.289778e-04,2.322381e-04,2.337760e-04,2.356461e-04,2.380311e-04,2.387483e-04,2.415558e-04,2.417680e-04,2.440805e-04,2.450140e-04,2.463349e-04,2.477980e-04,2.483319e-04,2.500844e-04,2.501496e-04,2.516055e-04,2.520989e-04,2.529081e-04,2.536756e-04,2.540050e-04,2.549087e-04,2.556315e-04,2.558265e-04,2.561851e-04,2.564559e-04,2.565809e-04,2.568224e-04,2.568297e-04,2.569419e-04,2.569502e-04,2.569275e-04,2.568620e-04,2.567959e-04,2.565789e-04,2.565559e-04,2.562161e-04,2.561206e-04,2.557844e-04,2.555052e-04,2.552681e-04,2.547493e-04,2.546742e-04,2.540093e-04,2.538684e-04,2.532796e-04,2.528764e-04,2.524907e-04,2.517861e-04,2.516479e-04,2.507562e-04,2.506093e-04,2.498203e-04,2.493566e-04,2.488444e-04,2.480376e-04,2.478325e-04,2.467883e-04,2.466610e-04,2.457153e-04,2.452349e-04,2.446166e-04,2.437662e-04,2.434952e-04,2.423538e-04,2.422617e-04,2.411949e-04,2.407271e-04,2.400210e-04,2.391676e-04,2.388341e-04,2.376363e-04,2.375882e-04,2.364294e-04,2.359931e-04,2.352152e-04,2.343861e-04,2.339952e-04,2.327708e-04,2.311503e-04,2.295274e-04,2.279047e-04,2.262844e-04,2.246685e-04,2.230590e-04,2.214574e-04,2.198653e-04,2.182838e-04,2.167142e-04,2.151576e-04,2.136147e-04,2.120865e-04,2.105737e-04,2.090768e-04,2.075964e-04,2.061329e-04,2.046868e-04,2.032585e-04,2.018481e-04,2.004559e-04,1.990821e-04,1.977269e-04,1.963903e-04
0.000000e+00,2.398825e-11,9.148092e-11,5.464788e-10,1.605170e-09,2.572005e-09,6.861163e-09,7.102516e-09,1.508976e-08,1.807296e-08,2.746999e-08,3.740173e-08,4.519579e-08,6.706834e-08,6.924872e-08,1.006010e-07,1.093095e-07,1.400767e-07,1.659153e-07,1.881060e-07,2.373300e-07,2.445234e-07,3.086266e-07,3.222859e-07,3.794496e-07,4.186027e-07,4.560053e-07,5.240757e-07,5.373862e-07,6.227719e-07,6.367541e-07,7.114067e-07,7.548956e-07,8.025809e-07,8.768946e-07,8.956205e-07,9.898850e-07,1.001250e-06,1.084770e-06,1.126569e-06,1.179711e-06,1.251582e-06,1.274189e-06,1.367736e-06,1.375167e-06,1.459937e-06,1.496357e-06,1.550426e-06,1.614343e-06,1.638894e-06,1.725081e-06,1.728478e-06,1.808774e-06,1.838260e-06,1.889806e-06,1.943320e-06,1.968047e-06,2.043408e-06,2.115827e-06,2.138374e-06,2.185274e-06,2.228154e-06,2.251739e-06,2.312751e-06,2.315234e-06,2.375790e-06,2.392225e-06,2.433450e-06,2.466677e-06,2.488267e-06,2.536244e-06,2.540306e-06,2.589638e-06,2.601083e-06,2.636337e-06,2.661369e-06,2.680485e-06,2.717290e-06,2.722164e-06,2.761458e-06,2.769038e-06,2.798451e-06,2.816806e-06,2.833228e-06,2.860791e-06,2.865875e-06,2.896474e-06,2.901185e-06,2.925107e-06,2.938177e-06,2.951856e-06,2.971950e-06,2.976797e-06,3.000009e-06,3.002682e-06,3.021565e-06,3.030544e-06,3.041538e-06,3.055702e-06,3.059997e-06,3.077011e-06,3.078312e-06,3.092644e-06,3.098525e-06,3.106959e-06,3.116484e-06,3.120017e-06,3.131877e-06,3.132327e-06,3.142594e-06,3.146184e-06,3.152223e-06,3.158176e-06,3.160816e-06,3.168421e-06,3.175088e-06,3.177031e-06,3.180862e-06,3.184109e-06,3.185786e-06,3.189754e-06,3.189904e-06,3.193255e-06,3.194062e-06,3.195879e-06,3.197119e-06,3.197811e-06,3.199010e-06,3.199089e-06,3.199744e-06,3.199813e-06,3.199811e-06,3.199603e-06,3.199321e-06,3.198451e-06,3.198302e-06,3.196783e-06,3.196422e-06,3.194792e-06,3.193579e-06,3.192354e-06,3.189980e-06,3.189495e-06,3.186238e-06,3.185681e-06,3.182605e-06,3.180734e-06,3.178619e-06,3.175189e-06,3.174299e-06,3.169667e-06,3.169090e-06,3.164739e-06,3.162483e-06,3.159536e-06,3.155407e-06,3.154073e-06,3.148368e-06,3.147901e-06,3.142435e-06,3.140002e-06,3.136290e-06,3.131742e-06,3.129947e-06,3.123419e-06,3.123154e-06,3.116720e-06,3.114269e-06,3.109862e-06,3.105113e-06,3.102856e-06,3.095714e-06,3.086096e-06,3.076283e-06,3.066296e-06,3.056155e-06,3.045881e-06,3.035490e-06,3.025000e-06,3.014427e-06,3.003784e-06,2.993086e-06,2.982346e-06,2.971576e-06,2.960787e-06,2.949989e-06,2.939192e-06,2.928405e-06,2.917637e-06,2.906895e-06,2.896187e-06,2.885520e-06,2.874900e-06,2.864332e-06,2.853823e-06,2.843376e-06
0.000000e+00,1.720313e-11,4.245580e-11,1.578064e-10,3.718974e-10,5.494937e-10,1.272981e-09,1.312069e-09,2.562153e-09,3.015541e-09,4.418025e-09,5.873250e-09,7.002453e-09,1.012954e-08,1.043844e-08,1.482911e-08,1.603184e-08,2.022179e-08,2.367082e-08,2.658591e-08,3.292074e-08,3.383361e-08,4.185874e-08,4.354792e-08,5.055925e-08,5.531911e-08,5.984169e-08,6.802473e-08,6.961883e-08,7.980692e-08,8.146967e-08,9.032430e-08,9.546611e-08,1.010913e-07,1.098326e-07,1.120307e-07,1.230690e-07,1.243970e-07,1.341375e-07,1.390007e-07,1.451728e-07,1.535018e-07,1.561175e-07,1.669208e-07,1.677776e-07,1.775388e-07,1.817255e-07,1.879340e-07,1.952630e-07,1.980754e-07,2.079378e-07,2.083262e-07,2.175015e-07,2.208684e-07,2.267519e-07,2.328577e-07,2.356785e-07,2.442746e-07,2.525370e-07,2.551103e-07,2.604651e-07,2.653645e-07,2.680608e-07,2.750435e-07,2.753280e-07,2.822719e-07,2.841591e-07,2.888990e-07,2.927264e-07,2.952170e-07,3.007636e-07,3.012341e-07,3.069592e-07,3.082907e-07,3.124013e-07,3.153288e-07,3.175699e-07,3.218996e-07,3.224745e-07,3.271248e-07,3.280252e-07,3.315302e-07,3.337274e-07,3.357002e-07,3.390278e-07,3.396440e-07,3.433707e-07,3.439474e-07,3.468891e-07,3.485066e-07,3.502080e-07,3.527250e-07,3.533356e-07,3.562801e-07,3.566215e-07,3.590492e-07,3.602141e-07,3.616507e-07,3.635201e-07,3.640917e-07,3.663794e-07,3.665560e-07,3.685204e-07,3.693372e-07,3.705213e-07,3.718787e-07,3.723883e-07,3.741275e-07,3.741945e-07,3.757445e-07,3.762978e-07,3.772450e-07,3.782014e-07,3.786341e-07,3.799170e-07,3.810986e-07,3.814560e-07,3.821834e-07,3.828290e-07,3.831760e-07,3.840460e-07,3.840805e-07,3.849012e-07,3.851165e-07,3.856418e-07,3.860494e-07,3.863062e-07,3.868531e-07,3.868979e-07,3.874203e-07,3.875357e-07,3.878767e-07,3.881047e-07,3.882703e-07,3.885670e-07,3.886040e-07,3.888807e-07,3.889294e-07,3.891031e-07,3.891982e-07,3.892739e-07,3.893793e-07,3.893956e-07,3.894705e-07,3.894783e-07,3.895010e-07,3.895005e-07,3.894892e-07,3.894508e-07,3.894373e-07,3.893472e-07,3.893339e-07,3.892209e-07,3.891543e-07,3.890601e-07,3.889161e-07,3.888668e-07,3.886424e-07,3.886232e-07,3.883887e-07,3.882793e-07,3.881071e-07,3.878879e-07,3.877991e-07,3.874662e-07,3.874524e-07,3.871097e-07,3.869758e-07,3.867308e-07,3.864610e-07,3.863308e-07,3.859108e-07,3.853278e-07,3.847145e-07,3.840731e-07,3.834058e-07,3.827148e-07,3.820019e-07,3.812690e-07,3.805178e-07,3.797499e-07,3.789668e-07,3.781701e-07,3.773610e-07,3.765410e-07,3.757110e-07,3.748724e-07,3.740262e-07,3.731734e-07,3.723149e-07,3.714518e-07,3.705847e-07,3.697146e-07,3.688421e-07,3.679681e-07,3.670930e-07
0.000000e+00,4.019883e-12,9.268390e-12,3.212916e-11,7.341008e-11,1.072884e-10,2.442614e-10,2.516419e-10,4.875755e-10,5.732293e-10,8.387646e-10,1.115256e-09,1.330378e-09,1.927420e-09,1.986409e-09,2.822668e-09,3.050671e-09,3.840878e-09,4.487294e-09,5.031705e-09,6.212080e-09,6.382126e-09,7.879393e-09,8.195407e-09,9.511530e-09,1.040963e-08,1.126673e-08,1.282732e-08,1.313283e-08,1.509704e-08,1.541953e-08,1.714597e-08,1.815549e-08,1.926577e-08,2.100321e-08,2.144241e-08,2.366197e-08,2.393054e-08,2.591086e-08,2.690631e-08,2.817616e-08,2.990127e-08,3.044575e-08,3.270849e-08,3.288890e-08,3.495429e-08,3.584583e-08,3.717421e-08,3.875207e-08,3.936039e-08,4.150612e-08,4.159103e-08,4.360572e-08,4.434936e-08,4.565451e-08,4.701670e-08,4.764870e-08,4.958533e-08,5.146215e-08,5.204983e-08,5.327759e-08,5.440675e-08,5.503059e-08,5.665423e-08,5.672062e-08,5.834753e-08,5.879178e-08,5.991153e-08,6.081994e-08,6.141313e-08,6.274013e-08,6.285307e-08,6.423229e-08,6.455439e-08,6.555189e-08,6.626528e-08,6.681310e-08,6.787572e-08,6.801725e-08,6.916573e-08,6.938887e-08,7.026001e-08,7.080810e-08,7.130157e-08,7.213685e-08,7.229194e-08,7.323264e-08,7.337865e-08,7.412521e-08,7.453700e-08,7.497118e-08,7.561541e-08,7.577205e-08,7.652933e-08,7.661735e-08,7.724449e-08,7.754619e-08,7.791898e-08,7.840526e-08,7.855422e-08,7.915159e-08,7.919779e-08,7.971247e-08,7.992690e-08,8.023817e-08,8.059562e-08,8.072999e-08,8.118918e-08,8.120689e-08,8.161697e-08,8.176352e-08,8.201455e-08,8.226823e-08,8.238306e-08,8.272363e-08,8.303734e-08,8.313222e-08,8.332524e-08,8.349642e-08,8.358835e-08,8.381853e-08,8.382765e-08,8.404411e-08,8.410075e-08,8.423863e-08,8.434519e-08,8.441211e-08,8.455388e-08,8.456542e-08,8.469937e-08,8.472873e-08,8.481479e-08,8.487161e-08,8.491243e-08,8.498425e-08,8.499306e-08,8.505738e-08,8.506835e-08,8.510611e-08,8.512551e-08,8.513991e-08,8.515724e-08,8.515943e-08,8.516530e-08,8.516501e-08,8.515811e-08,8.515020e-08,8.513846e-08,8.511413e-08,8.510689e-08,8.506395e-08,8.505806e-08,8.501016e-08,8.498318e-08,8.494601e-08,8.489063e-08,8.487200e-08,8.478857e-08,8.478151e-08,8.469619e-08,8.465683e-08,8.459528e-08,8.451757e-08,8.448625e-08,8.436950e-08,8.436468e-08,8.424542e-08,8.419902e-08,8.411437e-08,8.402145e-08,8.397670e-08,8.383277e-08,8.363373e-08,8.342505e-08,8.320742e-08,8.298149e-08,8.274787e-08,8.250715e-08,8.225988e-08,8.200660e-08,8.174779e-08,8.148394e-08,8.121549e-08,8.094286e-08,8.066647e-08,8.038669e-08,8.010387e-08,7.981837e-08,7.953049e-08,7.924056e-08,7.894885e-08,7.865563e-08,7.836118e-08,7.806573e-08,7.776950e-08,7.747273e-08
0.000000e+00,1.247658e-11,2.907682e-11,1.015929e-10,2.321767e-10,3.388782e-10,7.665300e-10,7.894211e-10,1.514368e-09,1.774652e-09,2.573316e-09,3.393639e-09,4.025293e-09,5.755534e-09,5.925062e-09,8.310434e-09,8.956470e-09,1.118543e-08,1.299848e-08,1.451830e-08,1.778978e-08,1.825827e-08,2.235155e-08,2.320805e-08,2.674707e-08,2.913603e-08,3.139636e-08,3.546344e-08,3.625238e-08,4.126882e-08,4.208328e-08,4.640014e-08,4.889090e-08,5.160204e-08,5.578583e-08,5.683216e-08,6.205083e-08,6.267453e-08,6.722163e-08,6.947307e-08,7.231195e-08,7.610904e-08,7.729324e-08,8.214114e-08,8.252258e-08,8.683547e-08,8.866645e-08,9.136004e-08,9.450549e-08,9.570241e-08,9.985354e-08,1.000155e-07,1.038074e-07,1.051818e-07,1.075608e-07,1.099980e-07,1.111128e-07,1.144643e-07,1.176180e-07,1.185860e-07,1.205778e-07,1.223727e-07,1.233488e-07,1.258365e-07,1.259366e-07,1.283477e-07,1.289921e-07,1.305889e-07,1.318550e-07,1.326672e-07,1.344417e-07,1.345900e-07,1.363643e-07,1.367689e-07,1.379975e-07,1.388532e-07,1.394968e-07,1.407109e-07,1.408691e-07,1.421212e-07,1.423578e-07,1.432597e-07,1.438090e-07,1.442911e-07,1.450790e-07,1.452213e-07,1.460562e-07,1.461814e-07,1.468015e-07,1.471290e-07,1.474625e-07,1.479340e-07,1.480443e-07,1.485516e-07,1.486077e-07,1.489891e-07,1.491606e-07,1.493611e-07,1.496026e-07,1.496718e-07,1.499249e-07,1.499428e-07,1.501243e-07,1.501897e-07,1.502733e-07,1.503512e-07,1.503752e-07,1.504333e-07,1.504347e-07,1.504502e-07,1.504469e-07,1.504290e-07,1.503940e-07,1.503720e-07,1.502819e-07,1.501608e-07,1.501159e-07,1.500109e-07,1.499009e-07,1.498344e-07,1.496417e-07,1.496332e-07,1.494089e-07,1.493423e-07,1.491635e-07,1.490067e-07,1.488984e-07,1.486385e-07,1.486152e-07,1.483153e-07,1.482410e-07,1.480001e-07,1.478173e-07,1.476707e-07,1.473702e-07,1.473285e-07,1.469745e-07,1.469023e-07,1.466097e-07,1.464161e-07,1.462352e-07,1.459137e-07,1.458518e-07,1.454605e-07,1.453972e-07,1.450620e-07,1.448684e-07,1.446572e-07,1.443292e-07,1.442467e-07,1.438312e-07,1.437811e-07,1.434114e-07,1.432255e-07,1.429878e-07,1.426638e-07,1.425611e-07,1.421317e-07,1.420972e-07,1.417001e-07,1.415270e-07,1.412668e-07,1.409541e-07,1.408323e-07,1.403968e-07,1.403794e-07,1.399609e-07,1.398039e-07,1.395249e-07,1.392284e-07,1.390890e-07,1.386536e-07,1.380802e-07,1.375088e-07,1.369399e-07,1.363741e-07,1.358118e-07,1.352534e-07,1.346994e-07,1.341501e-07,1.336057e-07,1.330665e-07,1.325329e-07,1.320050e-07,1.314830e-07,1.309671e-07,1.304575e-07,1.299542e-07,1.294574e-07,1.289672e-07,1.284836e-07,1.280068e-07,1.275367e-07,1.270735e-07,1.266172e-07,1.261677e-07
0.000000e+00,4.816517e-11,1.477162e-10,6.885201e-10,1.800752e-09,2.765512e-09,6.856817e-09,7.082179e-09,1.440391e-08,1.709401e-08,2.547331e-08,3.421756e-08,4.101920e-08,5.988799e-08,6.175400e-08,8.835355e-08,9.567888e-08,1.214142e-07,1.429259e-07,1.613836e-07,2.024438e-07,2.084690e-07,2.625418e-07,2.741563e-07,3.230869e-07,3.568533e-07,3.892453e-07,4.483801e-07,4.599532e-07,5.341116e-07,5.462278e-07,6.107099e-07,6.480824e-07,6.888770e-07,7.520460e-07,7.678839e-07,8.471259e-07,8.566259e-07,9.261006e-07,9.606545e-07,1.004390e-06,1.063216e-06,1.081647e-06,1.157586e-06,1.163596e-06,1.231971e-06,1.261246e-06,1.304615e-06,1.355755e-06,1.375369e-06,1.444119e-06,1.446827e-06,1.510783e-06,1.534259e-06,1.575301e-06,1.617929e-06,1.637638e-06,1.697775e-06,1.755709e-06,1.773784e-06,1.811450e-06,1.845983e-06,1.865019e-06,1.914427e-06,1.916443e-06,1.965758e-06,1.979193e-06,2.013003e-06,2.040376e-06,2.058224e-06,2.098080e-06,2.101468e-06,2.142785e-06,2.152420e-06,2.182226e-06,2.203513e-06,2.219843e-06,2.251480e-06,2.255690e-06,2.289820e-06,2.296445e-06,2.322287e-06,2.338529e-06,2.353142e-06,2.377854e-06,2.382439e-06,2.410229e-06,2.414539e-06,2.436564e-06,2.448702e-06,2.461493e-06,2.480457e-06,2.485066e-06,2.507330e-06,2.509916e-06,2.528333e-06,2.537186e-06,2.548120e-06,2.562373e-06,2.566736e-06,2.584226e-06,2.585578e-06,2.600631e-06,2.606898e-06,2.615992e-06,2.626428e-06,2.630349e-06,2.643743e-06,2.644259e-06,2.656209e-06,2.660477e-06,2.667786e-06,2.675167e-06,2.678507e-06,2.688409e-06,2.697524e-06,2.700280e-06,2.705884e-06,2.710853e-06,2.713521e-06,2.720200e-06,2.720465e-06,2.726745e-06,2.728388e-06,2.732389e-06,2.735482e-06,2.737425e-06,2.741543e-06,2.741878e-06,2.745775e-06,2.746630e-06,2.749139e-06,2.750800e-06,2.751995e-06,2.754106e-06,2.754365e-06,2.756272e-06,2.756599e-06,2.757736e-06,2.758329e-06,2.758778e-06,2.759342e-06,2.759418e-06,2.759675e-06,2.759682e-06,2.759568e-06,2.759392e-06,2.759113e-06,2.758510e-06,2.758328e-06,2.757229e-06,2.757077e-06,2.755832e-06,2.755127e-06,2.754152e-06,2.752695e-06,2.752204e-06,2.750002e-06,2.749815e-06,2.747558e-06,2.746516e-06,2.744887e-06,2.742830e-06,2.742001e-06,2.738911e-06,2.738783e-06,2.735629e-06,2.734403e-06,2.732166e-06,2.729714e-06,2.728533e-06,2.724740e-06,2.719504e-06,2.714028e-06,2.708332e-06,2.702435e-06,2.696355e-06,2.690110e-06,2.683715e-06,2.677186e-06,2.670537e-06,2.663783e-06,2.656935e-06,2.650007e-06,2.643010e-06,2.635953e-06,2.628849e-06,2.621705e-06,2.614532e-06,2.607337e-06,2.600128e-06,2.592913e-06,2.585699e-06,2.578493e-06,2.571299e-06,2.564125e-06
0.000000e+00,9.405129e-12,2.165588e-11,7.490936e-11,1.708272e-10,2.493699e-10,5.656010e-10,5.825847e-10,1.122730e-09,1.317548e-09,1.917459e-09,2.536140e-09,3.013787e-09,4.326239e-09,4.455106e-09,6.273165e-09,6.767117e-09,8.476359e-09,9.871753e-09,1.104422e-08,1.357343e-08,1.393599e-08,1.710471e-08,1.776765e-08,2.050528e-08,2.235132e-08,2.409632e-08,2.723204e-08,2.783973e-08,3.170007e-08,3.232633e-08,3.564429e-08,3.755825e-08,3.964189e-08,4.285962e-08,4.366507e-08,4.768892e-08,4.817076e-08,5.169155e-08,5.344101e-08,5.565405e-08,5.862875e-08,5.956039e-08,6.339727e-08,6.370088e-08,6.715384e-08,6.863199e-08,7.082151e-08,7.340336e-08,7.439359e-08,7.786513e-08,7.800184e-08,8.123259e-08,8.241891e-08,8.449366e-08,8.664972e-08,8.764705e-08,9.069231e-08,9.362967e-08,9.454696e-08,9.645993e-08,9.821563e-08,9.918431e-08,1.017016e-07,1.018044e-07,1.043221e-07,1.050090e-07,1.067395e-07,1.081427e-07,1.090588e-07,1.111081e-07,1.112825e-07,1.134129e-07,1.139106e-07,1.154526e-07,1.165562e-07,1.174042e-07,1.190507e-07,1.192702e-07,1.210532e-07,1.214001e-07,1.227558e-07,1.236102e-07,1.243805e-07,1.256868e-07,1.259298e-07,1.274061e-07,1.276357e-07,1.288120e-07,1.294624e-07,1.301497e-07,1.311724e-07,1.314217e-07,1.326301e-07,1.327710e-07,1.337773e-07,1.342633e-07,1.348654e-07,1.356542e-07,1.358966e-07,1.368727e-07,1.369485e-07,1.377960e-07,1.381510e-07,1.386683e-07,1.392659e-07,1.394915e-07,1.402675e-07,1.402976e-07,1.409980e-07,1.412502e-07,1.416848e-07,1.421276e-07,1.423295e-07,1.429337e-07,1.434990e-07,1.436720e-07,1.440270e-07,1.443460e-07,1.445190e-07,1.449590e-07,1.449766e-07,1.454010e-07,1.455141e-07,1.457937e-07,1.460145e-07,1.461558e-07,1.464631e-07,1.464886e-07,1.467934e-07,1.468625e-07,1.470712e-07,1.472154e-07,1.473231e-07,1.475244e-07,1.475504e-07,1.477538e-07,1.477918e-07,1.479346e-07,1.480199e-07,1.480936e-07,1.482110e-07,1.482318e-07,1.483500e-07,1.483671e-07,1.484491e-07,1.484902e-07,1.485300e-07,1.485821e-07,1.485934e-07,1.486402e-07,1.486447e-07,1.486710e-07,1.486797e-07,1.486866e-07,1.486887e-07,1.486876e-07,1.486748e-07,1.486732e-07,1.486488e-07,1.486348e-07,1.486101e-07,1.485748e-07,1.485594e-07,1.484973e-07,1.484946e-07,1.484243e-07,1.483954e-07,1.483408e-07,1.482785e-07,1.482476e-07,1.481449e-07,1.479958e-07,1.478322e-07,1.476551e-07,1.474654e-07,1.472640e-07,1.470518e-07,1.468295e-07,1.465979e-07,1.463577e-07,1.461095e-07,1.458542e-07,1.455921e-07,1.453240e-07,1.450504e-07,1.447717e-07,1.444886e-07,1.442014e-07,1.439106e-07,1.436166e-07,1.433198e-07,1.430206e-07,1.427194e-07,1.424164e-07,1.421120e-07
0.000000e+00,8.042725e-12,4.539114e-11,4.847160e-10,2.006235e-09,3.693170e-09,1.271369e-08,1.326716e-08,3.301611e-08,4.086803e-08,6.656710e-08,9.476290e-08,1.173690e-07,1.822096e-07,1.887552e-07,2.839922e-07,3.107550e-07,4.062654e-07,4.876689e-07,5.585343e-07,7.192592e-07,7.431822e-07,9.615020e-07,1.009216e-06,1.213289e-06,1.356934e-06,1.496862e-06,1.757665e-06,1.809515e-06,2.148075e-06,2.204430e-06,2.509284e-06,2.689773e-06,2.889971e-06,3.206493e-06,3.287090e-06,3.697707e-06,3.747753e-06,4.118988e-06,4.307018e-06,4.548187e-06,4.878047e-06,4.982667e-06,5.419905e-06,5.454931e-06,5.857519e-06,6.032166e-06,6.293286e-06,6.604737e-06,6.725158e-06,7.151277e-06,7.168178e-06,7.569980e-06,7.718609e-06,7.979804e-06,8.252758e-06,8.379482e-06,8.767942e-06,9.144290e-06,9.262041e-06,9.507807e-06,9.733458e-06,9.857931e-06,1.018106e-05,1.019424e-05,1.051646e-05,1.060413e-05,1.082441e-05,1.100230e-05,1.111803e-05,1.137551e-05,1.139733e-05,1.166241e-05,1.172394e-05,1.191345e-05,1.204797e-05,1.215066e-05,1.234817e-05,1.237430e-05,1.258468e-05,1.262520e-05,1.278214e-05,1.287982e-05,1.296702e-05,1.311289e-05,1.313972e-05,1.330061e-05,1.332528e-05,1.345010e-05,1.351792e-05,1.358858e-05,1.369172e-05,1.371647e-05,1.383418e-05,1.384763e-05,1.394209e-05,1.398658e-05,1.404062e-05,1.410947e-05,1.413016e-05,1.421109e-05,1.421721e-05,1.428379e-05,1.431065e-05,1.434864e-05,1.439066e-05,1.440598e-05,1.445617e-05,1.445804e-05,1.449956e-05,1.451358e-05,1.453647e-05,1.455803e-05,1.456722e-05,1.459212e-05,1.461148e-05,1.461654e-05,1.462556e-05,1.463195e-05,1.463467e-05,1.463896e-05,1.463905e-05,1.463897e-05,1.463819e-05,1.463468e-05,1.463019e-05,1.462642e-05,1.461550e-05,1.461441e-05,1.459887e-05,1.459464e-05,1.458001e-05,1.456808e-05,1.455804e-05,1.453628e-05,1.453315e-05,1.450552e-05,1.449968e-05,1.447532e-05,1.445867e-05,1.444274e-05,1.441364e-05,1.440792e-05,1.437103e-05,1.436495e-05,1.433222e-05,1.431294e-05,1.429161e-05,1.425793e-05,1.424936e-05,1.420558e-05,1.420023e-05,1.416039e-05,1.414010e-05,1.411393e-05,1.407782e-05,1.406629e-05,1.401758e-05,1.401364e-05,1.396790e-05,1.394778e-05,1.391735e-05,1.388046e-05,1.386601e-05,1.381398e-05,1.381189e-05,1.376133e-05,1.374225e-05,1.370815e-05,1.367172e-05,1.365450e-05,1.360046e-05,1.352863e-05,1.345637e-05,1.338382e-05,1.331108e-05,1.323828e-05,1.316552e-05,1.309290e-05,1.302051e-05,1.294842e-05,1.287671e-05,1.280546e-05,1.273472e-05,1.266455e-05,1.259500e-05,1.252612e-05,1.245796e-05,1.239054e-05,1.232391e-05,1.225809e-05,1.219311e-05,1.212900e-05,1.206577e-05,1.200344e-05,1.194203e-05
0.000000e+00,1.475590e-11,3.471406e-11,1.227150e-10,2.824339e-10,4.135513e-10,9.420001e-10,9.703792e-10,1.872119e-09,2.196922e-09,3.195824e-09,4.224532e-09,5.018269e-09,7.200723e-09,7.415354e-09,1.045660e-08,1.128857e-08,1.419199e-08,1.659385e-08,1.863495e-08,2.310733e-08,2.375580e-08,2.949402e-08,3.070943e-08,3.577736e-08,3.923609e-08,4.253388e-08,4.852522e-08,4.969565e-08,5.719841e-08,5.842634e-08,6.498045e-08,6.879738e-08,7.298189e-08,7.950186e-08,8.114457e-08,8.941238e-08,9.040901e-08,9.773181e-08,1.013956e-07,1.060525e-07,1.123482e-07,1.143279e-07,1.225155e-07,1.231655e-07,1.305775e-07,1.337595e-07,1.384805e-07,1.440561e-07,1.461960e-07,1.536999e-07,1.539953e-07,1.609723e-07,1.635306e-07,1.679977e-07,1.726274e-07,1.747638e-07,1.812622e-07,1.874871e-07,1.894208e-07,1.934355e-07,1.970969e-07,1.991066e-07,2.042910e-07,2.045015e-07,2.096232e-07,2.110088e-07,2.144756e-07,2.172600e-07,2.190642e-07,2.230579e-07,2.233950e-07,2.274750e-07,2.284177e-07,2.313116e-07,2.333567e-07,2.349126e-07,2.378930e-07,2.382861e-07,2.414402e-07,2.420455e-07,2.443834e-07,2.458333e-07,2.471240e-07,2.492755e-07,2.496702e-07,2.520302e-07,2.523911e-07,2.542122e-07,2.551986e-07,2.562239e-07,2.577159e-07,2.580731e-07,2.597673e-07,2.599605e-07,2.613137e-07,2.619491e-07,2.627193e-07,2.636977e-07,2.639911e-07,2.651355e-07,2.652218e-07,2.661589e-07,2.665358e-07,2.670674e-07,2.676536e-07,2.678668e-07,2.685628e-07,2.685885e-07,2.691606e-07,2.693529e-07,2.696656e-07,2.699585e-07,2.700827e-07,2.704165e-07,2.706717e-07,2.707375e-07,2.708526e-07,2.709313e-07,2.709633e-07,2.710072e-07,2.710078e-07,2.709898e-07,2.709741e-07,2.709131e-07,2.708402e-07,2.707809e-07,2.706133e-07,2.705967e-07,2.703635e-07,2.703006e-07,2.700844e-07,2.699090e-07,2.697621e-07,2.694450e-07,2.693994e-07,2.689989e-07,2.689144e-07,2.685630e-07,2.683231e-07,2.680941e-07,2.676763e-07,2.675943e-07,2.670659e-07,2.669788e-07,2.665108e-07,2.662355e-07,2.659310e-07,2.654505e-07,2.653282e-07,2.647042e-07,2.646280e-07,2.640606e-07,2.637717e-07,2.633991e-07,2.628852e-07,2.627210e-07,2.620278e-07,2.619717e-07,2.613208e-07,2.610344e-07,2.606013e-07,2.600761e-07,2.598704e-07,2.591294e-07,2.590996e-07,2.583793e-07,2.581072e-07,2.576210e-07,2.571013e-07,2.568557e-07,2.560841e-07,2.550577e-07,2.540237e-07,2.529841e-07,2.519404e-07,2.508940e-07,2.498464e-07,2.487989e-07,2.477525e-07,2.467084e-07,2.456677e-07,2.446311e-07,2.435996e-07,2.425740e-07,2.415548e-07,2.405429e-07,2.395388e-07,2.385430e-07,2.375560e-07,2.365783e-07,2.356102e-07,2.346522e-07,2.337045e-07,2.327674e-07,2.318412e-07
0.000000e+00,1.462854e-13,1.195099e-12,2.578902e-11,1.883783e-10,4.605901e-10,3.037022e-09,3.246524e-09,1.383743e-08,1.952828e-08,4.314701e-08,7.680847e-08,1.089829e-07,2.237089e-07,2.369847e-07,4.612589e-07,5.339803e-07,8.244718e-07,1.106914e-06,1.376377e-06,2.060051e-06,2.169696e-06,3.253708e-06,3.509085e-06,4.667648e-06,5.542105e-06,6.436156e-06,8.202505e-06,8.567908e-06,1.105698e-05,1.148735e-05,1.388585e-05,1.535709e-05,1.702887e-05,1.974898e-05,2.045540e-05,2.413218e-05,2.458858e-05,2.802496e-05,2.979739e-05,3.209954e-05,3.529710e-05,3.632232e-05,4.066063e-05,4.101173e-05,4.508299e-05,4.686868e-05,4.955928e-05,5.279945e-05,5.406086e-05,5.856085e-05,5.874046e-05,6.303425e-05,6.463369e-05,6.745814e-05,7.042744e-05,7.181180e-05,7.607679e-05,8.023704e-05,8.154389e-05,8.427881e-05,8.679798e-05,8.819065e-05,9.181516e-05,9.196330e-05,9.558955e-05,9.657791e-05,9.906412e-05,1.010745e-04,1.023834e-04,1.052984e-04,1.055455e-04,1.085497e-04,1.092472e-04,1.113965e-04,1.129225e-04,1.140874e-04,1.163285e-04,1.166250e-04,1.190122e-04,1.194719e-04,1.212527e-04,1.223612e-04,1.233507e-04,1.250060e-04,1.253105e-04,1.271370e-04,1.274171e-04,1.288349e-04,1.296056e-04,1.304092e-04,1.315830e-04,1.318649e-04,1.332072e-04,1.333609e-04,1.344409e-04,1.349506e-04,1.355710e-04,1.363636e-04,1.366023e-04,1.375396e-04,1.376106e-04,1.383874e-04,1.387025e-04,1.391502e-04,1.396492e-04,1.398323e-04,1.404379e-04,1.404606e-04,1.409709e-04,1.411458e-04,1.414352e-04,1.417136e-04,1.418346e-04,1.421725e-04,1.424523e-04,1.425301e-04,1.426773e-04,1.427939e-04,1.428506e-04,1.429710e-04,1.429750e-04,1.430536e-04,1.430677e-04,1.430888e-04,1.430903e-04,1.430834e-04,1.430445e-04,1.430397e-04,1.429600e-04,1.429358e-04,1.428466e-04,1.427692e-04,1.427016e-04,1.425493e-04,1.425269e-04,1.423244e-04,1.422808e-04,1.420960e-04,1.419676e-04,1.418434e-04,1.416136e-04,1.415681e-04,1.412718e-04,1.412225e-04,1.409559e-04,1.407977e-04,1.406217e-04,1.403422e-04,1.402706e-04,1.399039e-04,1.398589e-04,1.395227e-04,1.393507e-04,1.391281e-04,1.388200e-04,1.387212e-04,1.383031e-04,1.382691e-04,1.378745e-04,1.377004e-04,1.374366e-04,1.371159e-04,1.369900e-04,1.365357e-04,1.365173e-04,1.360743e-04,1.359066e-04,1.356066e-04,1.352853e-04,1.351333e-04,1.346550e-04,1.340170e-04,1.333727e-04,1.327233e-04,1.320700e-04,1.314136e-04,1.307553e-04,1.300959e-04,1.294361e-04,1.287768e-04,1.281187e-04,1.274624e-04,1.268084e-04,1.261573e-04,1.255097e-04,1.248658e-04,1.242263e-04,1.235913e-04,1.229614e-04,1.223367e-04,1.217175e-04,1.211042e-04,1.204968e-04,1.198957e-04,1.193011e-04
0.000000e+00,2.812321e-13,2.225132e-12,4.495724e-11,3.095178e-10,7.328392e-10,4.452810e-09,4.744369e-09,1.868474e-08,2.581836e-08,5.413699e-08,9.245089e-08,1.277200e-07,2.472297e-07,2.606127e-07,4.778985e-07,5.456657e-07,8.074063e-07,1.051522e-06,1.277246e-06,1.826451e-06,1.911979e-06,2.728824e-06,2.914906e-06,3.735630e-06,4.334141e-06,4.931141e-06,6.075156e-06,6.306880e-06,7.849562e-06,8.110836e-06,9.543159e-06,1.040463e-05,1.137035e-05,1.291632e-05,1.331331e-05,1.535413e-05,1.560476e-05,1.747492e-05,1.842881e-05,1.965787e-05,2.134763e-05,2.188535e-05,2.414003e-05,2.432107e-05,2.640505e-05,2.731031e-05,2.866426e-05,3.027868e-05,3.090240e-05,3.310535e-05,3.319255e-05,3.526030e-05,3.602208e-05,3.735583e-05,3.874175e-05,3.938206e-05,4.133066e-05,4.319481e-05,4.377259e-05,4.496918e-05,4.605581e-05,4.664988e-05,4.817276e-05,4.823427e-05,4.972094e-05,5.011962e-05,5.110950e-05,5.189574e-05,5.240051e-05,5.350321e-05,5.359530e-05,5.469586e-05,5.494625e-05,5.570475e-05,5.623077e-05,5.662493e-05,5.736394e-05,5.745972e-05,5.821268e-05,5.835378e-05,5.888754e-05,5.920888e-05,5.948814e-05,5.993809e-05,6.001836e-05,6.048207e-05,6.055035e-05,6.088313e-05,6.105449e-05,6.122530e-05,6.145911e-05,6.151226e-05,6.174758e-05,6.177251e-05,6.193467e-05,6.200257e-05,6.207684e-05,6.215677e-05,6.217722e-05,6.223882e-05,6.224216e-05,6.226449e-05,6.226530e-05,6.225692e-05,6.223233e-05,6.221867e-05,6.215213e-05,6.214891e-05,6.205957e-05,6.202029e-05,6.194311e-05,6.185129e-05,6.180475e-05,6.164637e-05,6.146971e-05,6.140958e-05,6.127640e-05,6.114467e-05,6.106799e-05,6.085503e-05,6.084590e-05,6.061146e-05,6.054377e-05,6.036591e-05,6.021373e-05,6.011040e-05,5.986748e-05,5.984602e-05,5.957377e-05,5.950736e-05,5.929457e-05,5.913550e-05,5.900928e-05,5.875384e-05,5.871871e-05,5.842361e-05,5.836410e-05,5.812465e-05,5.796788e-05,5.782248e-05,5.756660e-05,5.751768e-05,5.721081e-05,5.716155e-05,5.690236e-05,5.675388e-05,5.659280e-05,5.634465e-05,5.628257e-05,5.597206e-05,5.593479e-05,5.566162e-05,5.552514e-05,5.535160e-05,5.511646e-05,5.504231e-05,5.473402e-05,5.470941e-05,5.442699e-05,5.430459e-05,5.412147e-05,5.390254e-05,5.381765e-05,5.351575e-05,5.350372e-05,5.321594e-05,5.310855e-05,5.291838e-05,5.271740e-05,5.262322e-05,5.233059e-05,5.194839e-05,5.157104e-05,5.119876e-05,5.083171e-05,5.047004e-05,5.011387e-05,4.976330e-05,4.941842e-05,4.907926e-05,4.874589e-05,4.841832e-05,4.809657e-05,4.778063e-05,4.747050e-05,4.716615e-05,4.686756e-05,4.657469e-05,4.628749e-05,4.600591e-05,4.572990e-05,4.545939e-05,4.519432e-05,4.493462e-05,4.468022e-05
0.000000e+00,6.322334e-12,1.453577e-11,5.017130e-11,1.142439e-10,1.666574e-10,3.774921e-10,3.888115e-10,7.488671e-10,8.788153e-10,1.279460e-09,1.693625e-09,2.014187e-09,2.899197e-09,2.986452e-09,4.224767e-09,4.563603e-09,5.743623e-09,6.714674e-09,7.534907e-09,9.313713e-09,9.569432e-09,1.180818e-08,1.227696e-08,1.421250e-08,1.551658e-08,1.674800e-08,1.895707e-08,1.938458e-08,2.209545e-08,2.253443e-08,2.485630e-08,2.619267e-08,2.764493e-08,2.988218e-08,3.044112e-08,3.322665e-08,3.355940e-08,3.598530e-08,3.718688e-08,3.870296e-08,4.073344e-08,4.136752e-08,4.396885e-08,4.417397e-08,4.649868e-08,4.748906e-08,4.895041e-08,5.066442e-08,5.131901e-08,5.360080e-08,5.369023e-08,5.579328e-08,5.656040e-08,5.789499e-08,5.927197e-08,5.990532e-08,6.182433e-08,6.365268e-08,6.421879e-08,6.539154e-08,6.645815e-08,6.704247e-08,6.854633e-08,6.860730e-08,7.008812e-08,7.048800e-08,7.148719e-08,7.228839e-08,7.280692e-08,7.395312e-08,7.404978e-08,7.521831e-08,7.548799e-08,7.631509e-08,7.689891e-08,7.734271e-08,7.819186e-08,7.830376e-08,7.920078e-08,7.937273e-08,8.003630e-08,8.044728e-08,8.081276e-08,8.142112e-08,8.153258e-08,8.219811e-08,8.229971e-08,8.281165e-08,8.308835e-08,8.337545e-08,8.379214e-08,8.389168e-08,8.436244e-08,8.441598e-08,8.478978e-08,8.496455e-08,8.517565e-08,8.544237e-08,8.552198e-08,8.583061e-08,8.585372e-08,8.610330e-08,8.620271e-08,8.634179e-08,8.649324e-08,8.654771e-08,8.672265e-08,8.672903e-08,8.686815e-08,8.691361e-08,8.698567e-08,8.705033e-08,8.707664e-08,8.714239e-08,8.718425e-08,8.719280e-08,8.720346e-08,8.720442e-08,8.720122e-08,8.717996e-08,8.717868e-08,8.713695e-08,8.712197e-08,8.707708e-08,8.703288e-08,8.700010e-08,8.691498e-08,8.690696e-08,8.679860e-08,8.677042e-08,8.667590e-08,8.660125e-08,8.653973e-08,8.640939e-08,8.639088e-08,8.623015e-08,8.619664e-08,8.605826e-08,8.596472e-08,8.587594e-08,8.571522e-08,8.568386e-08,8.548267e-08,8.544968e-08,8.527299e-08,8.516950e-08,8.505540e-08,8.487603e-08,8.483048e-08,8.459875e-08,8.457051e-08,8.436074e-08,8.425415e-08,8.411692e-08,8.392803e-08,8.386777e-08,8.361372e-08,8.359320e-08,8.335520e-08,8.325063e-08,8.309261e-08,8.290124e-08,8.282633e-08,8.255672e-08,8.254587e-08,8.228413e-08,8.218533e-08,8.200889e-08,8.182037e-08,8.173131e-08,8.145169e-08,8.107992e-08,8.070569e-08,8.032957e-08,7.995207e-08,7.957369e-08,7.919488e-08,7.881608e-08,7.843768e-08,7.806003e-08,7.768348e-08,7.730834e-08,7.693489e-08,7.656340e-08,7.619412e-08,7.582727e-08,7.546305e-08,7.510166e-08,7.474325e-08,7.438799e-08,7.403602e-08,7.368746e-08,7.334243e-08,7.300102e-08,7.266334e-08
0.000000e+00,4.016329e-12,2.717180e-11,4.029965e-10,2.134180e-09,4.410936e-09,1.938585e-08,2.040174e-08,6.063721e-08,7.811770e-08,1.389491e-07,2.101344e-07,2.696020e-07,4.486310e-07,4.672685e-07,7.474298e-07,8.287541e-07,1.126496e-06,1.388141e-06,1.620823e-06,2.162059e-06,2.243939e-06,3.002600e-06,3.170533e-06,3.894134e-06,4.406721e-06,4.907157e-06,5.839898e-06,6.025064e-06,7.229795e-06,7.429442e-06,8.504267e-06,9.136251e-06,9.833292e-06,1.092680e-05,1.120357e-05,1.260328e-05,1.277270e-05,1.402168e-05,1.464912e-05,1.544886e-05,1.653365e-05,1.687554e-05,1.829304e-05,1.840580e-05,1.969328e-05,2.024685e-05,2.106879e-05,2.204002e-05,2.241281e-05,2.371929e-05,2.377069e-05,2.498293e-05,2.542646e-05,2.619922e-05,2.699731e-05,2.736442e-05,2.847553e-05,2.953027e-05,2.985560e-05,3.052705e-05,3.113409e-05,3.146489e-05,3.230942e-05,3.234342e-05,3.316275e-05,3.338162e-05,3.392341e-05,3.435201e-05,3.462630e-05,3.522298e-05,3.527264e-05,3.586396e-05,3.599787e-05,3.640196e-05,3.668064e-05,3.688852e-05,3.727575e-05,3.732567e-05,3.771553e-05,3.778802e-05,3.806027e-05,3.822242e-05,3.836206e-05,3.858399e-05,3.862312e-05,3.884565e-05,3.887782e-05,3.903183e-05,3.910891e-05,3.918378e-05,3.928208e-05,3.930356e-05,3.939320e-05,3.940203e-05,3.945465e-05,3.947325e-05,3.948979e-05,3.950001e-05,3.950041e-05,3.948824e-05,3.948633e-05,3.945492e-05,3.943602e-05,3.940202e-05,3.935264e-05,3.933102e-05,3.924335e-05,3.923951e-05,3.914034e-05,3.909975e-05,3.902326e-05,3.893623e-05,3.889331e-05,3.875161e-05,3.859922e-05,3.854836e-05,3.843714e-05,3.832877e-05,3.826632e-05,3.809491e-05,3.808762e-05,3.790188e-05,3.784872e-05,3.770987e-05,3.759195e-05,3.751231e-05,3.732623e-05,3.730987e-05,3.710320e-05,3.705303e-05,3.689286e-05,3.677369e-05,3.667942e-05,3.648943e-05,3.646339e-05,3.624523e-05,3.620138e-05,3.602539e-05,3.591054e-05,3.580427e-05,3.561783e-05,3.558226e-05,3.535971e-05,3.532407e-05,3.513693e-05,3.503001e-05,3.491423e-05,3.473632e-05,3.469189e-05,3.447015e-05,3.444359e-05,3.424924e-05,3.415237e-05,3.402939e-05,3.386313e-05,3.381079e-05,3.359361e-05,3.357630e-05,3.337802e-05,3.329226e-05,3.316416e-05,3.301133e-05,3.295216e-05,3.274215e-05,3.273380e-05,3.253424e-05,3.245992e-05,3.232852e-05,3.218992e-05,3.212507e-05,3.192398e-05,3.166225e-05,3.140487e-05,3.115194e-05,3.090355e-05,3.065976e-05,3.042063e-05,3.018619e-05,2.995646e-05,2.973143e-05,2.951112e-05,2.929550e-05,2.908455e-05,2.887823e-05,2.867650e-05,2.847932e-05,2.828663e-05,2.809839e-05,2.791452e-05,2.773496e-05,2.755964e-05,2.738850e-05,2.722146e-05,2.705845e-05,2.689938e-05
0.000000e+00,2.488715e-12,1.765144e-11,2.868900e-10,1.638685e-09,3.519323e-09,1.690970e-08,1.785531e-08,5.720322e-08,7.506467e-08,1.394036e-07,2.176665e-07,2.847974e-07,4.936907e-07,5.159048e-07,8.576591e-07,9.591284e-07,1.337196e-06,1.676265e-06,1.982018e-06,2.705056e-06,2.815622e-06,3.851214e-06,4.082681e-06,5.086748e-06,5.802948e-06,6.504764e-06,7.816537e-06,8.077183e-06,9.771909e-06,1.005231e-05,1.155807e-05,1.243980e-05,1.340865e-05,1.492018e-05,1.530107e-05,1.721674e-05,1.744743e-05,1.914031e-05,1.998579e-05,2.105891e-05,2.250698e-05,2.296169e-05,2.483941e-05,2.498830e-05,2.668427e-05,2.741150e-05,2.848973e-05,2.976219e-05,3.025039e-05,3.196186e-05,3.202925e-05,3.362070e-05,3.420446e-05,3.522426e-05,3.628212e-05,3.677065e-05,3.825860e-05,3.968740e-05,4.013206e-05,4.105679e-05,4.190209e-05,4.236694e-05,4.356938e-05,4.361831e-05,4.481167e-05,4.513553e-05,4.594797e-05,4.660283e-05,4.702836e-05,4.797405e-05,4.805413e-05,4.902665e-05,4.925229e-05,4.994737e-05,5.044090e-05,5.081779e-05,5.154337e-05,5.163944e-05,5.241391e-05,5.256328e-05,5.314275e-05,5.350423e-05,5.382753e-05,5.436983e-05,5.446979e-05,5.507109e-05,5.516359e-05,5.563293e-05,5.588904e-05,5.615681e-05,5.654958e-05,5.664421e-05,5.709655e-05,5.714854e-05,5.751523e-05,5.768914e-05,5.790162e-05,5.817449e-05,5.825704e-05,5.858280e-05,5.860762e-05,5.888014e-05,5.899140e-05,5.915029e-05,5.932861e-05,5.939441e-05,5.961366e-05,5.962193e-05,5.980915e-05,5.987392e-05,5.998195e-05,6.008702e-05,6.013309e-05,6.026357e-05,6.037435e-05,6.040580e-05,6.046637e-05,6.051583e-05,6.054052e-05,6.059570e-05,6.059767e-05,6.063865e-05,6.064734e-05,6.066427e-05,6.067259e-05,6.067530e-05,6.067319e-05,6.067247e-05,6.065652e-05,6.065081e-05,6.062812e-05,6.060702e-05,6.058793e-05,6.054333e-05,6.053660e-05,6.047473e-05,6.046114e-05,6.040290e-05,6.036181e-05,6.032169e-05,6.024660e-05,6.023162e-05,6.013322e-05,6.011673e-05,6.002697e-05,5.997333e-05,5.991337e-05,5.981749e-05,5.979286e-05,5.966587e-05,5.965022e-05,5.953283e-05,5.947248e-05,5.939414e-05,5.928519e-05,5.925018e-05,5.910132e-05,5.908920e-05,5.894790e-05,5.888533e-05,5.879026e-05,5.867432e-05,5.862872e-05,5.846358e-05,5.845691e-05,5.829515e-05,5.823375e-05,5.812369e-05,5.800550e-05,5.794947e-05,5.777275e-05,5.753605e-05,5.729593e-05,5.705289e-05,5.680739e-05,5.655986e-05,5.631071e-05,5.606031e-05,5.580903e-05,5.555718e-05,5.530508e-05,5.505302e-05,5.480126e-05,5.455004e-05,5.429961e-05,5.405017e-05,5.380191e-05,5.355503e-05,5.330968e-05,5.306603e-05,5.282420e-05,5.258435e-05,5.234657e-05,5.211098e-05,5.187768e-05
0.000000e+00,1.091265e-14,9.678311e-14,2.479167e-12,2.120191e-11,5.655947e-11,4.680143e-10,5.049721e-10,2.704010e-09,4.061952e-09,1.050698e-08,2.125987e-08,3.279875e-08,8.118319e-08,8.738035e-08,2.064430e-07,2.500061e-07,4.435361e-07,6.572416e-07,8.812495e-07,1.525616e-06,1.638183e-06,2.873699e-06,3.195243e-06,4.789421e-06,6.133220e-06,7.627170e-06,1.092499e-05,1.166363e-05,1.720236e-05,1.824924e-05,2.456404e-05,2.884124e-05,3.407576e-05,4.345038e-05,4.606014e-05,6.082485e-05,6.279722e-05,7.865313e-05,8.753400e-05,9.979544e-05,1.182114e-04,1.244627e-04,1.528209e-04,1.552528e-04,1.849877e-04,1.989375e-04,2.210301e-04,2.493914e-04,2.609641e-04,3.047547e-04,3.065856e-04,3.523186e-04,3.703417e-04,4.035263e-04,4.403430e-04,4.582063e-04,5.161488e-04,5.771112e-04,5.972135e-04,6.408228e-04,6.829060e-04,7.069897e-04,7.725312e-04,7.753008e-04,8.454324e-04,8.653505e-04,9.170535e-04,9.606021e-04,9.898301e-04,1.057520e-03,1.063430e-03,1.137527e-03,1.155348e-03,1.211802e-03,1.253359e-03,1.285950e-03,1.350863e-03,1.359679e-03,1.432715e-03,1.447216e-03,1.504801e-03,1.541831e-03,1.575701e-03,1.634183e-03,1.645200e-03,1.713101e-03,1.723805e-03,1.779231e-03,1.810298e-03,1.843436e-03,1.893326e-03,1.905585e-03,1.965565e-03,1.972612e-03,2.023284e-03,2.047943e-03,2.078666e-03,2.119158e-03,2.131655e-03,2.182211e-03,2.186150e-03,2.230308e-03,2.248856e-03,2.275935e-03,2.307257e-03,2.319093e-03,2.359796e-03,2.361373e-03,2.398066e-03,2.411255e-03,2.433938e-03,2.456981e-03,2.467451e-03,2.498654e-03,2.527602e-03,2.536398e-03,2.554353e-03,2.570351e-03,2.578972e-03,2.600662e-03,2.601526e-03,2.622084e-03,2.627493e-03,2.640720e-03,2.651009e-03,2.657506e-03,2.671380e-03,2.672517e-03,2.685827e-03,2.688777e-03,2.697512e-03,2.703373e-03,2.707645e-03,2.715337e-03,2.716300e-03,2.723550e-03,2.724838e-03,2.729465e-03,2.732037e-03,2.734116e-03,2.737095e-03,2.737570e-03,2.739893e-03,2.740164e-03,2.741149e-03,2.741391e-03,2.741400e-03,2.740918e-03,2.740706e-03,2.739125e-03,2.738878e-03,2.736711e-03,2.735399e-03,2.733518e-03,2.730601e-03,2.729597e-03,2.724996e-03,2.724600e-03,2.719763e-03,2.717503e-03,2.713942e-03,2.709410e-03,2.707574e-03,2.700701e-03,2.700416e-03,2.693361e-03,2.690611e-03,2.685590e-03,2.680077e-03,2.677423e-03,2.668892e-03,2.657127e-03,2.644849e-03,2.632120e-03,2.618998e-03,2.605537e-03,2.591784e-03,2.577786e-03,2.563585e-03,2.549218e-03,2.534722e-03,2.520129e-03,2.505468e-03,2.490767e-03,2.476051e-03,2.461342e-03,2.446662e-03,2.432029e-03,2.417459e-03,2.402970e-03,2.388574e-03,2.374284e-03,2.360112e-03,2.346068e-03,2.332161e-03
0.000000e+00,1.737031e-13,1.413538e-12,3.024768e-11,2.191921e-10,5.335113e-10,3.475096e-09,3.712904e-09,1.562001e-08,2.196206e-08,4.805454e-08,8.483769e-08,1.196988e-07,2.424627e-07,2.565495e-07,4.919549e-07,5.674632e-07,8.662336e-07,1.153404e-06,1.425107e-06,2.107202e-06,2.215817e-06,3.280871e-06,3.529794e-06,4.651200e-06,5.489940e-06,6.341279e-06,8.006082e-06,8.347751e-06,1.065134e-05,1.104552e-05,1.322078e-05,1.453735e-05,1.601736e-05,1.838990e-05,1.899897e-05,2.212307e-05,2.250557e-05,2.534870e-05,2.679015e-05,2.863751e-05,3.115748e-05,3.195430e-05,3.526703e-05,3.553099e-05,3.854689e-05,3.984375e-05,4.176809e-05,4.403812e-05,4.490783e-05,4.794622e-05,4.806539e-05,5.086619e-05,5.188556e-05,5.365349e-05,5.546708e-05,5.629658e-05,5.878653e-05,6.111691e-05,6.182820e-05,6.328363e-05,6.458346e-05,6.528474e-05,6.705000e-05,6.712026e-05,6.879188e-05,6.923097e-05,7.030280e-05,7.113400e-05,7.165742e-05,7.277028e-05,7.286117e-05,7.392028e-05,7.415369e-05,7.484154e-05,7.529990e-05,7.563215e-05,7.622571e-05,7.629954e-05,7.685129e-05,7.694842e-05,7.729493e-05,7.748539e-05,7.763795e-05,7.785366e-05,7.788763e-05,7.805107e-05,7.806968e-05,7.813507e-05,7.814910e-05,7.814614e-05,7.810664e-05,7.809045e-05,7.797384e-05,7.795602e-05,7.780180e-05,7.770988e-05,7.757948e-05,7.737988e-05,7.731171e-05,7.700296e-05,7.697661e-05,7.665739e-05,7.650974e-05,7.627888e-05,7.598796e-05,7.587099e-05,7.543702e-05,7.541916e-05,7.498001e-05,7.481039e-05,7.450275e-05,7.416798e-05,7.400783e-05,7.349760e-05,7.297421e-05,7.280428e-05,7.243965e-05,7.209251e-05,7.189573e-05,7.136628e-05,7.134409e-05,7.078624e-05,7.062912e-05,7.022355e-05,6.988414e-05,6.965728e-05,6.913412e-05,6.908856e-05,6.851841e-05,6.838147e-05,6.794777e-05,6.762832e-05,6.737749e-05,6.687654e-05,6.680832e-05,6.624096e-05,6.612776e-05,6.567603e-05,6.538341e-05,6.511408e-05,6.464472e-05,6.455562e-05,6.400110e-05,6.391277e-05,6.345091e-05,6.318847e-05,6.290541e-05,6.247260e-05,6.236492e-05,6.182970e-05,6.176584e-05,6.130000e-05,6.106873e-05,6.077602e-05,6.038175e-05,6.025796e-05,5.974597e-05,5.970528e-05,5.924017e-05,5.903962e-05,5.874069e-05,5.838503e-05,5.824761e-05,5.776101e-05,5.774168e-05,5.728094e-05,5.710972e-05,5.680744e-05,5.648923e-05,5.634054e-05,5.588026e-05,5.528283e-05,5.469691e-05,5.412247e-05,5.355943e-05,5.300771e-05,5.246719e-05,5.193777e-05,5.141930e-05,5.091163e-05,5.041461e-05,4.992808e-05,4.945185e-05,4.898577e-05,4.852964e-05,4.808327e-05,4.764650e-05,4.721911e-05,4.680093e-05,4.639176e-05,4.599142e-05,4.559970e-05,4.521644e-05,4.484143e-05,4.447449e-05
0.000000e+00,5.565320e-12,3.735776e-11,5.461861e-10,2.861565e-09,5.885169e-09,2.561816e-08,2.695271e-08,7.971264e-08,1.026280e-07,1.824893e-07,2.762458e-07,3.548276e-07,5.926614e-07,6.175158e-07,9.927527e-07,1.102117e-06,1.503523e-06,1.856926e-06,2.171252e-06,2.901102e-06,3.011255e-06,4.027381e-06,4.251077e-06,5.209416e-06,5.882744e-06,6.535695e-06,7.741403e-06,7.979065e-06,9.512388e-06,9.764402e-06,1.111155e-05,1.189640e-05,1.275612e-05,1.409282e-05,1.442890e-05,1.611530e-05,1.631797e-05,1.780268e-05,1.854254e-05,1.948001e-05,2.074212e-05,2.113771e-05,2.276745e-05,2.289640e-05,2.436214e-05,2.498884e-05,2.591584e-05,2.700636e-05,2.742370e-05,2.888184e-05,2.893908e-05,3.028730e-05,3.077992e-05,3.163788e-05,3.252414e-05,3.293210e-05,3.416912e-05,3.534858e-05,3.571386e-05,3.647059e-05,3.715874e-05,3.753564e-05,3.850521e-05,3.854450e-05,3.949816e-05,3.975546e-05,4.039782e-05,4.091225e-05,4.124483e-05,4.197884e-05,4.204066e-05,4.278684e-05,4.295871e-05,4.348495e-05,4.385552e-05,4.413665e-05,4.467305e-05,4.474358e-05,4.530741e-05,4.541515e-05,4.582980e-05,4.608561e-05,4.631238e-05,4.668817e-05,4.675677e-05,4.716457e-05,4.722653e-05,4.753735e-05,4.770428e-05,4.787661e-05,4.812490e-05,4.818386e-05,4.846054e-05,4.849175e-05,4.870806e-05,4.880808e-05,4.892778e-05,4.907700e-05,4.912104e-05,4.928911e-05,4.930150e-05,4.943322e-05,4.948443e-05,4.955458e-05,4.962851e-05,4.965433e-05,4.973360e-05,4.973636e-05,4.979345e-05,4.981045e-05,4.983492e-05,4.985312e-05,4.985899e-05,4.986662e-05,4.985873e-05,4.985308e-05,4.983620e-05,4.981449e-05,4.979987e-05,4.975277e-05,4.975056e-05,4.968903e-05,4.966971e-05,4.961603e-05,4.956703e-05,4.953228e-05,4.944632e-05,4.943846e-05,4.933521e-05,4.930910e-05,4.922317e-05,4.915681e-05,4.910292e-05,4.899078e-05,4.897505e-05,4.884008e-05,4.881229e-05,4.869855e-05,4.862252e-05,4.855094e-05,4.842260e-05,4.839773e-05,4.823936e-05,4.821357e-05,4.807627e-05,4.799642e-05,4.790885e-05,4.777208e-05,4.773751e-05,4.756261e-05,4.754139e-05,4.738449e-05,4.730518e-05,4.720349e-05,4.706420e-05,4.701993e-05,4.683410e-05,4.681915e-05,4.664630e-05,4.657069e-05,4.645679e-05,4.631942e-05,4.626582e-05,4.607363e-05,4.606592e-05,4.588046e-05,4.581072e-05,4.568652e-05,4.555431e-05,4.549202e-05,4.529714e-05,4.503963e-05,4.478217e-05,4.452513e-05,4.426882e-05,4.401356e-05,4.375962e-05,4.350725e-05,4.325670e-05,4.300817e-05,4.276186e-05,4.251794e-05,4.227657e-05,4.203788e-05,4.180202e-05,4.156908e-05,4.133916e-05,4.111236e-05,4.088875e-05,4.066839e-05,4.045134e-05,4.023765e-05,4.002734e-05,3.982046e-05,3.961702e-05
0.000000e+00,4.970142e-15,4.439944e-14,1.154346e-12,1.000211e-11,2.686683e-11,2.259894e-10,2.439846e-10,1.323890e-09,1.994605e-09,5.190089e-09,1.053400e-08,1.626924e-08,4.025919e-08,4.332395e-08,1.019052e-07,1.232222e-07,2.174034e-07,3.207329e-07,4.285775e-07,7.374584e-07,7.913158e-07,1.382303e-06,1.536299e-06,2.302257e-06,2.951784e-06,3.678462e-06,5.299977e-06,5.666412e-06,8.450465e-06,8.983622e-06,1.224344e-05,1.449191e-05,1.728526e-05,2.239500e-05,2.384061e-05,3.219577e-05,3.333362e-05,4.265478e-05,4.800464e-05,5.553491e-05,6.714325e-05,7.116178e-05,8.986413e-05,9.150299e-05,1.119683e-04,1.218343e-04,1.377931e-04,1.588629e-04,1.676440e-04,2.018086e-04,2.032687e-04,2.405514e-04,2.556661e-04,2.841097e-04,3.165866e-04,3.326899e-04,3.864642e-04,4.455681e-04,4.656238e-04,5.100982e-04,5.542732e-04,5.801115e-04,6.524985e-04,6.556245e-04,7.366130e-04,7.602633e-04,8.230135e-04,8.774106e-04,9.147238e-04,1.003668e-03,1.011605e-03,1.113484e-03,1.138656e-03,1.220154e-03,1.281897e-03,1.331382e-03,1.432826e-03,1.446907e-03,1.566444e-03,1.590807e-03,1.689691e-03,1.755140e-03,1.816329e-03,1.925082e-03,1.946025e-03,2.078438e-03,2.099853e-03,2.213220e-03,2.278654e-03,2.350021e-03,2.460679e-03,2.488489e-03,2.628276e-03,2.645123e-03,2.769037e-03,2.831194e-03,2.910436e-03,3.018123e-03,3.052145e-03,3.193845e-03,3.205172e-03,3.335234e-03,3.391636e-03,3.476019e-03,3.576854e-03,3.615923e-03,3.754686e-03,3.760209e-03,3.892062e-03,3.941133e-03,4.027823e-03,4.119108e-03,4.161756e-03,4.293667e-03,4.423376e-03,4.464392e-03,4.550724e-03,4.630919e-03,4.675564e-03,4.792931e-03,4.797767e-03,4.917218e-03,4.950158e-03,5.033820e-03,5.102377e-03,5.147487e-03,5.249406e-03,5.258147e-03,5.365743e-03,5.391105e-03,5.470229e-03,5.527369e-03,5.571571e-03,5.658131e-03,5.669744e-03,5.764736e-03,5.783352e-03,5.856542e-03,5.903024e-03,5.945167e-03,6.017163e-03,6.030624e-03,6.112931e-03,6.125809e-03,6.192115e-03,6.229024e-03,6.268209e-03,6.326884e-03,6.341250e-03,6.411281e-03,6.419484e-03,6.478347e-03,6.506930e-03,6.542500e-03,6.589340e-03,6.603792e-03,6.662280e-03,6.666840e-03,6.718023e-03,6.739565e-03,6.771081e-03,6.807656e-03,6.821518e-03,6.869395e-03,6.871257e-03,6.914777e-03,6.930517e-03,6.957731e-03,6.985586e-03,6.998321e-03,7.036614e-03,7.083753e-03,7.127154e-03,7.166966e-03,7.203336e-03,7.236409e-03,7.266327e-03,7.293229e-03,7.317252e-03,7.338525e-03,7.357178e-03,7.373335e-03,7.387116e-03,7.398636e-03,7.408007e-03,7.415338e-03,7.420731e-03,7.424287e-03,7.426101e-03,7.426265e-03,7.424866e-03,7.421990e-03,7.417716e-03,7.412122e-03,7.405282e-03
0.000000e+00,3.072549e-11,1.288641e-10,8.707657e-10,2.723540e-09,4.468276e-09,1.242673e-08,1.288061e-08,2.809235e-08,3.384215e-08,5.211897e-08,7.164633e-08,8.708677e-08,1.307721e-07,1.351435e-07,1.979349e-07,2.152655e-07,2.757479e-07,3.254681e-07,3.673631e-07,4.579275e-07,4.709250e-07,5.846717e-07,6.085060e-07,7.070809e-07,7.736973e-07,8.367766e-07,9.503882e-07,9.724424e-07,1.112785e-06,1.135588e-06,1.256534e-06,1.326380e-06,1.402460e-06,1.519986e-06,1.549402e-06,1.696284e-06,1.713858e-06,1.842134e-06,1.905757e-06,1.986097e-06,2.093788e-06,2.127435e-06,2.265531e-06,2.276422e-06,2.399878e-06,2.452474e-06,2.530076e-06,2.621076e-06,2.655822e-06,2.776894e-06,2.781637e-06,2.893145e-06,2.933798e-06,3.004493e-06,3.077391e-06,3.110906e-06,3.212397e-06,3.309014e-06,3.338914e-06,3.400833e-06,3.457126e-06,3.487956e-06,3.567284e-06,3.570500e-06,3.648593e-06,3.669681e-06,3.722378e-06,3.764641e-06,3.791999e-06,3.852504e-06,3.857608e-06,3.919357e-06,3.933619e-06,3.977399e-06,4.008339e-06,4.031885e-06,4.077012e-06,4.082966e-06,4.130791e-06,4.139978e-06,4.175503e-06,4.197570e-06,4.217242e-06,4.250106e-06,4.256145e-06,4.292345e-06,4.297894e-06,4.325968e-06,4.341228e-06,4.357138e-06,4.380388e-06,4.385974e-06,4.412591e-06,4.415641e-06,4.437097e-06,4.447239e-06,4.459599e-06,4.475422e-06,4.480197e-06,4.498989e-06,4.500417e-06,4.516066e-06,4.522437e-06,4.531518e-06,4.541686e-06,4.545430e-06,4.557883e-06,4.558352e-06,4.568954e-06,4.572616e-06,4.578718e-06,4.584646e-06,4.587244e-06,4.594601e-06,4.600853e-06,4.602630e-06,4.606060e-06,4.608873e-06,4.610283e-06,4.613461e-06,4.613575e-06,4.615991e-06,4.616518e-06,4.617582e-06,4.618159e-06,4.618394e-06,4.618494e-06,4.618474e-06,4.617866e-06,4.617623e-06,4.616612e-06,4.615642e-06,4.614750e-06,4.612639e-06,4.612319e-06,4.609354e-06,4.608699e-06,4.605888e-06,4.603900e-06,4.601956e-06,4.598314e-06,4.597587e-06,4.592810e-06,4.592009e-06,4.587653e-06,4.585051e-06,4.582143e-06,4.577497e-06,4.576304e-06,4.570160e-06,4.569404e-06,4.563734e-06,4.560823e-06,4.557048e-06,4.551804e-06,4.550121e-06,4.542973e-06,4.542392e-06,4.535621e-06,4.532628e-06,4.528085e-06,4.522552e-06,4.520378e-06,4.512519e-06,4.512201e-06,4.504520e-06,4.501609e-06,4.496396e-06,4.490807e-06,4.488161e-06,4.479826e-06,4.468692e-06,4.457431e-06,4.446066e-06,4.434621e-06,4.423114e-06,4.411565e-06,4.399991e-06,4.388409e-06,4.376833e-06,4.365278e-06,4.353755e-06,4.342276e-06,4.330853e-06,4.319494e-06,4.308209e-06,4.297007e-06,4.285893e-06,4.274877e-06,4.263963e-06,4.253157e-06,4.242464e-06,4.231889e-06,4.221436e-06,4.211109e-06
0.000000e+00,7.489754e-15,6.670569e-14,1.722895e-12,1.483491e-11,3.970523e-11,3.307073e-10,3.568912e-10,1.915749e-09,2.877276e-09,7.424735e-09,1.496043e-08,2.298994e-08,5.620479e-08,6.041740e-08,1.401153e-07,1.688293e-07,2.944836e-07,4.307207e-07,5.716280e-07,9.702486e-07,1.039180e-06,1.787943e-06,1.981254e-06,2.935012e-06,3.736063e-06,4.625996e-06,6.594001e-06,7.035994e-06,1.036909e-05,1.100314e-05,1.485632e-05,1.749407e-05,2.075207e-05,2.666566e-05,2.832915e-05,3.787281e-05,3.916400e-05,4.967398e-05,5.565648e-05,6.402206e-05,7.680314e-05,8.119763e-05,1.014653e-04,1.032277e-04,1.250669e-04,1.354899e-04,1.522158e-04,1.740618e-04,1.830916e-04,2.178357e-04,2.193075e-04,2.565485e-04,2.714690e-04,2.992871e-04,3.306574e-04,3.460646e-04,3.968496e-04,4.515677e-04,4.698904e-04,5.101030e-04,5.494987e-04,5.723004e-04,6.352786e-04,6.379693e-04,7.068868e-04,7.267323e-04,7.788018e-04,8.232760e-04,8.534392e-04,9.242569e-04,9.305043e-04,1.009687e-03,1.028971e-03,1.090667e-03,1.136678e-03,1.173116e-03,1.246624e-03,1.256704e-03,1.341101e-03,1.358049e-03,1.425982e-03,1.470206e-03,1.511030e-03,1.582373e-03,1.595936e-03,1.680406e-03,1.693862e-03,1.764158e-03,1.804025e-03,1.846927e-03,1.912268e-03,1.928466e-03,2.008546e-03,2.018047e-03,2.086956e-03,2.120877e-03,2.163505e-03,2.220332e-03,2.238022e-03,2.310355e-03,2.316043e-03,2.380371e-03,2.407703e-03,2.447957e-03,2.495059e-03,2.513016e-03,2.575469e-03,2.577912e-03,2.635255e-03,2.656116e-03,2.692328e-03,2.729571e-03,2.746656e-03,2.798221e-03,2.847020e-03,2.862052e-03,2.893058e-03,2.921081e-03,2.936353e-03,2.975360e-03,2.976932e-03,3.014832e-03,3.024969e-03,3.050096e-03,3.070010e-03,3.082775e-03,3.110607e-03,3.112927e-03,3.140613e-03,3.146898e-03,3.165899e-03,3.179038e-03,3.188857e-03,3.207191e-03,3.209559e-03,3.228081e-03,3.231530e-03,3.244500e-03,3.252233e-03,3.258896e-03,3.269483e-03,3.271348e-03,3.281937e-03,3.283463e-03,3.290742e-03,3.294358e-03,3.297843e-03,3.302349e-03,3.303318e-03,3.307247e-03,3.307618e-03,3.309704e-03,3.310340e-03,3.310767e-03,3.310687e-03,3.310508e-03,3.309000e-03,3.308827e-03,3.306313e-03,3.304923e-03,3.302514e-03,3.299129e-03,3.297671e-03,3.291847e-03,3.291595e-03,3.285105e-03,3.282464e-03,3.277503e-03,3.271873e-03,3.269100e-03,3.259950e-03,3.246819e-03,3.232596e-03,3.217390e-03,3.201304e-03,3.184435e-03,3.166874e-03,3.148705e-03,3.130008e-03,3.110857e-03,3.091321e-03,3.071463e-03,3.051342e-03,3.031013e-03,3.010527e-03,2.989930e-03,2.969264e-03,2.948569e-03,2.927881e-03,2.907232e-03,2.886653e-03,2.866170e-03,2.845809e-03,2.825591e-03,2.805537e-03
0.000000e+00,2.163138e-15,1.889052e-14,4.682834e-13,3.882726e-12,1.017798e-11,8.034244e-11,8.651540e-11,4.406924e-10,6.527011e-10,1.627436e-09,3.192540e-09,4.823798e-09,1.137524e-08,1.219165e-08,2.729796e-08,3.262958e-08,5.551925e-08,7.974254e-08,1.043104e-07,1.718058e-07,1.832293e-07,3.036778e-07,3.338556e-07,4.783932e-07,5.951340e-07,7.207744e-07,9.864258e-07,1.044135e-06,1.460969e-06,1.537098e-06,1.982296e-06,2.272382e-06,2.617124e-06,3.211229e-06,3.372051e-06,4.251010e-06,4.364904e-06,5.255159e-06,5.736328e-06,6.382890e-06,7.320094e-06,7.629952e-06,8.989667e-06,9.103060e-06,1.045321e-05,1.106537e-05,1.200995e-05,1.318177e-05,1.364780e-05,1.535362e-05,1.542307e-05,1.711357e-05,1.775768e-05,1.891349e-05,2.015303e-05,2.073923e-05,2.257695e-05,2.441340e-05,2.499874e-05,2.623612e-05,2.739010e-05,2.803361e-05,2.972582e-05,2.979549e-05,3.151255e-05,3.198418e-05,3.317681e-05,3.414718e-05,3.478155e-05,3.620059e-05,3.632127e-05,3.779165e-05,3.813384e-05,3.918948e-05,3.993973e-05,4.051260e-05,4.161415e-05,4.175978e-05,4.293067e-05,4.315571e-05,4.402563e-05,4.456532e-05,4.504570e-05,4.584581e-05,4.599244e-05,4.686788e-05,4.700149e-05,4.767443e-05,4.803788e-05,4.841476e-05,4.896128e-05,4.909175e-05,4.970846e-05,4.977856e-05,5.026799e-05,5.049689e-05,5.077353e-05,5.112355e-05,5.122821e-05,5.163516e-05,5.166575e-05,5.199744e-05,5.213050e-05,5.231798e-05,5.252453e-05,5.259964e-05,5.284514e-05,5.285425e-05,5.305708e-05,5.312564e-05,5.323791e-05,5.334431e-05,5.338997e-05,5.351541e-05,5.361630e-05,5.364370e-05,5.369452e-05,5.373351e-05,5.375185e-05,5.378877e-05,5.378995e-05,5.381034e-05,5.381307e-05,5.381445e-05,5.380964e-05,5.380358e-05,5.378139e-05,5.377894e-05,5.374166e-05,5.373095e-05,5.369277e-05,5.366067e-05,5.363321e-05,5.357267e-05,5.356386e-05,5.348553e-05,5.346885e-05,5.339896e-05,5.335093e-05,5.330485e-05,5.322044e-05,5.320384e-05,5.309649e-05,5.307877e-05,5.298337e-05,5.292716e-05,5.286496e-05,5.276674e-05,5.274173e-05,5.261410e-05,5.259851e-05,5.248248e-05,5.242339e-05,5.234722e-05,5.224220e-05,5.220867e-05,5.206714e-05,5.205569e-05,5.192292e-05,5.186454e-05,5.177629e-05,5.166936e-05,5.162749e-05,5.147678e-05,5.147071e-05,5.132435e-05,5.126911e-05,5.117044e-05,5.106501e-05,5.101521e-05,5.085886e-05,5.065103e-05,5.044189e-05,5.023175e-05,5.002093e-05,4.980968e-05,4.959827e-05,4.938693e-05,4.917587e-05,4.896528e-05,4.875535e-05,4.854623e-05,4.833808e-05,4.813104e-05,4.792522e-05,4.772076e-05,4.751774e-05,4.731628e-05,4.711645e-05,4.691833e-05,4.672200e-05,4.652752e-05,4.633495e-05,4.614434e-05,4.595574e-05
0.000000e+00,1.785457e-11,4.206578e-11,1.490207e-10,3.441110e-10,5.053389e-10,1.165864e-09,1.201835e-09,2.371381e-09,2.805035e-09,4.177472e-09,5.646542e-09,6.813176e-09,1.012877e-08,1.046070e-08,1.519848e-08,1.649089e-08,2.093573e-08,2.451156e-08,2.747218e-08,3.372233e-08,3.460378e-08,4.216946e-08,4.372356e-08,5.004930e-08,5.423953e-08,5.815083e-08,6.507146e-08,6.639798e-08,7.472483e-08,7.606050e-08,8.307240e-08,8.707075e-08,9.138746e-08,9.798382e-08,9.962224e-08,1.077344e-07,1.086979e-07,1.156873e-07,1.191279e-07,1.234498e-07,1.292061e-07,1.309964e-07,1.383068e-07,1.388809e-07,1.453651e-07,1.481154e-07,1.521607e-07,1.568864e-07,1.586859e-07,1.649359e-07,1.651802e-07,1.709098e-07,1.729928e-07,1.766082e-07,1.803273e-07,1.820342e-07,1.871924e-07,1.920883e-07,1.936007e-07,1.967285e-07,1.995675e-07,2.011204e-07,2.051102e-07,2.052718e-07,2.091908e-07,2.102477e-07,2.128859e-07,2.149990e-07,2.163656e-07,2.193839e-07,2.196383e-07,2.227124e-07,2.234216e-07,2.255963e-07,2.271312e-07,2.282980e-07,2.305313e-07,2.308257e-07,2.331869e-07,2.336398e-07,2.353892e-07,2.364740e-07,2.374399e-07,2.390504e-07,2.393459e-07,2.411141e-07,2.413847e-07,2.427509e-07,2.434918e-07,2.442626e-07,2.453860e-07,2.456552e-07,2.469345e-07,2.470806e-07,2.481059e-07,2.485885e-07,2.491747e-07,2.499216e-07,2.501461e-07,2.510248e-07,2.510912e-07,2.518154e-07,2.521080e-07,2.525224e-07,2.529821e-07,2.531500e-07,2.537023e-07,2.537229e-07,2.541831e-07,2.543393e-07,2.545960e-07,2.548398e-07,2.549445e-07,2.552321e-07,2.554618e-07,2.555236e-07,2.556368e-07,2.557214e-07,2.557599e-07,2.558319e-07,2.558340e-07,2.558615e-07,2.558613e-07,2.558451e-07,2.558152e-07,2.557872e-07,2.556991e-07,2.556899e-07,2.555556e-07,2.555180e-07,2.553862e-07,2.552768e-07,2.551837e-07,2.549797e-07,2.549501e-07,2.546871e-07,2.546311e-07,2.543964e-07,2.542348e-07,2.540796e-07,2.537945e-07,2.537383e-07,2.533740e-07,2.533136e-07,2.529880e-07,2.527954e-07,2.525817e-07,2.522429e-07,2.521564e-07,2.517133e-07,2.516589e-07,2.512534e-07,2.510461e-07,2.507781e-07,2.504070e-07,2.502882e-07,2.497847e-07,2.497439e-07,2.492687e-07,2.490590e-07,2.487410e-07,2.483544e-07,2.482025e-07,2.476540e-07,2.476319e-07,2.470963e-07,2.468934e-07,2.465300e-07,2.461405e-07,2.459560e-07,2.453749e-07,2.445980e-07,2.438112e-07,2.430159e-07,2.422131e-07,2.414040e-07,2.405898e-07,2.397713e-07,2.389496e-07,2.381254e-07,2.372997e-07,2.364731e-07,2.356464e-07,2.348201e-07,2.339950e-07,2.331716e-07,2.323504e-07,2.315319e-07,2.307166e-07,2.299049e-07,2.290972e-07,2.282938e-07,2.274952e-07,2.267015e-07,2.259132e-07
0.000000e+00,1.438855e-14,1.203039e-13,2.724801e-12,2.078895e-11,5.203944e-11,3.640279e-10,3.900521e-10,1.756857e-09,2.514979e-09,5.749324e-09,1.049829e-08,1.512708e-08,3.201566e-08,3.399505e-08,6.784729e-08,7.893227e-08,1.234946e-07,1.671066e-07,2.089074e-07,3.157449e-07,3.329875e-07,5.052521e-07,5.463427e-07,7.353866e-07,8.810370e-07,1.032652e-06,1.340243e-06,1.405197e-06,1.859401e-06,1.939961e-06,2.399366e-06,2.689570e-06,3.026659e-06,3.590793e-06,3.740302e-06,4.536978e-06,4.637925e-06,5.411375e-06,5.819002e-06,6.356599e-06,7.117413e-06,7.364595e-06,8.426543e-06,8.513554e-06,9.533208e-06,9.986295e-06,1.067523e-05,1.151417e-05,1.184335e-05,1.302862e-05,1.307627e-05,1.422254e-05,1.465291e-05,1.541714e-05,1.622611e-05,1.660512e-05,1.777985e-05,1.893540e-05,1.930027e-05,2.006661e-05,2.077572e-05,2.116901e-05,2.219672e-05,2.223884e-05,2.327302e-05,2.355585e-05,2.426909e-05,2.484762e-05,2.522516e-05,2.606825e-05,2.613988e-05,2.701239e-05,2.721546e-05,2.784224e-05,2.828827e-05,2.862933e-05,2.928679e-05,2.937391e-05,3.007649e-05,3.021202e-05,3.073778e-05,3.106563e-05,3.135870e-05,3.184985e-05,3.194031e-05,3.248380e-05,3.256730e-05,3.299041e-05,3.322088e-05,3.346148e-05,3.381366e-05,3.389837e-05,3.430247e-05,3.434882e-05,3.467517e-05,3.482958e-05,3.501787e-05,3.525910e-05,3.533194e-05,3.561874e-05,3.564054e-05,3.587958e-05,3.597694e-05,3.611576e-05,3.627124e-05,3.632852e-05,3.651908e-05,3.652626e-05,3.668860e-05,3.674469e-05,3.683820e-05,3.692911e-05,3.696897e-05,3.708193e-05,3.717808e-05,3.720545e-05,3.725836e-05,3.730182e-05,3.732366e-05,3.737307e-05,3.737486e-05,3.741277e-05,3.742111e-05,3.743817e-05,3.744773e-05,3.745182e-05,3.745459e-05,3.745440e-05,3.744661e-05,3.744326e-05,3.742906e-05,3.741521e-05,3.740238e-05,3.737180e-05,3.736714e-05,3.732387e-05,3.731431e-05,3.727311e-05,3.724392e-05,3.721534e-05,3.716174e-05,3.715103e-05,3.708061e-05,3.706880e-05,3.700451e-05,3.696608e-05,3.692312e-05,3.685445e-05,3.683681e-05,3.674595e-05,3.673475e-05,3.665086e-05,3.660777e-05,3.655187e-05,3.647421e-05,3.644928e-05,3.634336e-05,3.633475e-05,3.623439e-05,3.619001e-05,3.612263e-05,3.604057e-05,3.600831e-05,3.589167e-05,3.588696e-05,3.577291e-05,3.572967e-05,3.565223e-05,3.556918e-05,3.552984e-05,3.540591e-05,3.524026e-05,3.507259e-05,3.490324e-05,3.473252e-05,3.456074e-05,3.438815e-05,3.421501e-05,3.404153e-05,3.386795e-05,3.369444e-05,3.352119e-05,3.334837e-05,3.317611e-05,3.300457e-05,3.283387e-05,3.266412e-05,3.249544e-05,3.232790e-05,3.216162e-05,3.199665e-05,3.183308e-05,3.167097e-05,3.151038e-05,3.135136e-05
0.000000e+00,3.017459e-13,2.308612e-12,4.357739e-11,2.825632e-10,6.479165e-10,3.634230e-09,3.859943e-09,1.409845e-08,1.909794e-08,3.813300e-08,6.264805e-08,8.441813e-08,1.546598e-07,1.622751e-07,2.812287e-07,3.169340e-07,4.505679e-07,5.706996e-07,6.790472e-07,9.353342e-07,9.745699e-07,1.343702e-06,1.426804e-06,1.790975e-06,2.055158e-06,2.318182e-06,2.821913e-06,2.923973e-06,3.603990e-06,3.719255e-06,4.351444e-06,4.731749e-06,5.157933e-06,5.839425e-06,6.014206e-06,6.910756e-06,7.020601e-06,7.838217e-06,8.253760e-06,8.787605e-06,9.518574e-06,9.750455e-06,1.071890e-05,1.079640e-05,1.168574e-05,1.207054e-05,1.264445e-05,1.332640e-05,1.358923e-05,1.451500e-05,1.455157e-05,1.541742e-05,1.573586e-05,1.629286e-05,1.687122e-05,1.713837e-05,1.795163e-05,1.873092e-05,1.897291e-05,1.947505e-05,1.993250e-05,2.018332e-05,2.082923e-05,2.085542e-05,2.149141e-05,2.166306e-05,2.209165e-05,2.243488e-05,2.265676e-05,2.314632e-05,2.318754e-05,2.368498e-05,2.379952e-05,2.415018e-05,2.439704e-05,2.458431e-05,2.494166e-05,2.498865e-05,2.536448e-05,2.543634e-05,2.571312e-05,2.588410e-05,2.603588e-05,2.628795e-05,2.633406e-05,2.660896e-05,2.665087e-05,2.686183e-05,2.697574e-05,2.709388e-05,2.726532e-05,2.730629e-05,2.750019e-05,2.752227e-05,2.767668e-05,2.774909e-05,2.783679e-05,2.794813e-05,2.798151e-05,2.811179e-05,2.812161e-05,2.822852e-05,2.827161e-05,2.833255e-05,2.840004e-05,2.842469e-05,2.850570e-05,2.850872e-05,2.857630e-05,2.859931e-05,2.863718e-05,2.867334e-05,2.868896e-05,2.873225e-05,2.876763e-05,2.877737e-05,2.879564e-05,2.880992e-05,2.881676e-05,2.883102e-05,2.883149e-05,2.884026e-05,2.884170e-05,2.884349e-05,2.884294e-05,2.884158e-05,2.883560e-05,2.883490e-05,2.882380e-05,2.882051e-05,2.880859e-05,2.879841e-05,2.878960e-05,2.876998e-05,2.876711e-05,2.874138e-05,2.873587e-05,2.871268e-05,2.869665e-05,2.868123e-05,2.865286e-05,2.864727e-05,2.861099e-05,2.860499e-05,2.857261e-05,2.855349e-05,2.853230e-05,2.849877e-05,2.849023e-05,2.844657e-05,2.844123e-05,2.840147e-05,2.838120e-05,2.835506e-05,2.831901e-05,2.830750e-05,2.825889e-05,2.825496e-05,2.820935e-05,2.818930e-05,2.815900e-05,2.812230e-05,2.810794e-05,2.805626e-05,2.805418e-05,2.800405e-05,2.798515e-05,2.795140e-05,2.791539e-05,2.789838e-05,2.784508e-05,2.777438e-05,2.770343e-05,2.763237e-05,2.756132e-05,2.749039e-05,2.741967e-05,2.734927e-05,2.727925e-05,2.720970e-05,2.714067e-05,2.707224e-05,2.700446e-05,2.693736e-05,2.687101e-05,2.680542e-05,2.674065e-05,2.667672e-05,2.661365e-05,2.655147e-05,2.649019e-05,2.642984e-05,2.637042e-05,2.631195e-05,2.625444e-05
0.000000e+00,1.145079e-14,1.023522e-13,2.664981e-12,2.313848e-11,6.224649e-11,5.265521e-10,5.686480e-10,3.113927e-09,4.706706e-09,1.236731e-08,2.534723e-08,3.943368e-08,9.942260e-08,1.071758e-07,2.577304e-07,3.133022e-07,5.618185e-07,8.380639e-07,1.128806e-06,1.969035e-06,2.116242e-06,3.737783e-06,4.161285e-06,6.268743e-06,8.054450e-06,1.004888e-05,1.448339e-05,1.548233e-05,2.303469e-05,2.447383e-05,3.322754e-05,3.922376e-05,4.663080e-05,6.007284e-05,6.385305e-05,8.553055e-05,8.846211e-05,1.123150e-04,1.258869e-04,1.448609e-04,1.738461e-04,1.838124e-04,2.297903e-04,2.337899e-04,2.833800e-04,3.070695e-04,3.451195e-04,3.948906e-04,4.154893e-04,4.949029e-04,4.982726e-04,5.836993e-04,6.180152e-04,6.821367e-04,7.546732e-04,7.903886e-04,9.085406e-04,1.036589e-03,1.079643e-03,1.174444e-03,1.267738e-03,1.321927e-03,1.472327e-03,1.478777e-03,1.644658e-03,1.692668e-03,1.819157e-03,1.927798e-03,2.001798e-03,2.176559e-03,2.192045e-03,2.389311e-03,2.437629e-03,2.592964e-03,2.709552e-03,2.802337e-03,2.990768e-03,3.016738e-03,3.235452e-03,3.279648e-03,3.457752e-03,3.574523e-03,3.682909e-03,3.873713e-03,3.910192e-03,4.138881e-03,4.175554e-03,4.368268e-03,4.478420e-03,4.597667e-03,4.780745e-03,4.826411e-03,5.053864e-03,5.081043e-03,5.279420e-03,5.377915e-03,5.502507e-03,5.670069e-03,5.722587e-03,5.939161e-03,5.956321e-03,6.151769e-03,6.235606e-03,6.359989e-03,6.506975e-03,6.563440e-03,6.761779e-03,6.769602e-03,6.954704e-03,7.022779e-03,7.141950e-03,7.265915e-03,7.323289e-03,7.498530e-03,7.667514e-03,7.720247e-03,7.830119e-03,7.930794e-03,7.986251e-03,8.129989e-03,8.135847e-03,8.278870e-03,8.317737e-03,8.415311e-03,8.494022e-03,8.545184e-03,8.658896e-03,8.668524e-03,8.785387e-03,8.812478e-03,8.895847e-03,8.954940e-03,8.999994e-03,9.086504e-03,9.097932e-03,9.189782e-03,9.207432e-03,9.275670e-03,9.318022e-03,9.355737e-03,9.418602e-03,9.430130e-03,9.499005e-03,9.509523e-03,9.562521e-03,9.591153e-03,9.620843e-03,9.663876e-03,9.674142e-03,9.722587e-03,9.728083e-03,9.766353e-03,9.784173e-03,9.805614e-03,9.832546e-03,9.840543e-03,9.871315e-03,9.873602e-03,9.898101e-03,9.907738e-03,9.921073e-03,9.935346e-03,9.940399e-03,9.956244e-03,9.956808e-03,9.968771e-03,9.972500e-03,9.978140e-03,9.982786e-03,9.984506e-03,9.988020e-03,9.988543e-03,9.984683e-03,9.976755e-03,9.965062e-03,9.949891e-03,9.931516e-03,9.910199e-03,9.886187e-03,9.859713e-03,9.831000e-03,9.800255e-03,9.767675e-03,9.733445e-03,9.697739e-03,9.660718e-03,9.622535e-03,9.583331e-03,9.543241e-03,9.502386e-03,9.460882e-03,9.418836e-03,9.376347e-03,9.333508e-03,9.290403e-03
0.000000e+00,9.636193e-14,8.029432e-13,1.804800e-11,1.368021e-10,3.413280e-10,2.371222e-09,2.540177e-09,1.140193e-08,1.631936e-08,3.735877e-08,6.844569e-08,9.895870e-08,2.118218e-07,2.251886e-07,4.573562e-07,5.345937e-07,8.494598e-07,1.162479e-06,1.465401e-06,2.246115e-06,2.372488e-06,3.632857e-06,3.931942e-06,5.295566e-06,6.330216e-06,7.391461e-06,9.495332e-06,9.931460e-06,1.290774e-05,1.342304e-05,1.629671e-05,1.805992e-05,2.006281e-05,2.331796e-05,2.416222e-05,2.854614e-05,2.908891e-05,3.316347e-05,3.525577e-05,3.796282e-05,4.170111e-05,4.289402e-05,4.790923e-05,4.831271e-05,5.296371e-05,5.498715e-05,5.801632e-05,6.163205e-05,6.302995e-05,6.797164e-05,6.816739e-05,7.281274e-05,7.452607e-05,7.752880e-05,8.065377e-05,8.209951e-05,8.650847e-05,9.074292e-05,9.205946e-05,9.479345e-05,9.728619e-05,9.865365e-05,1.021769e-04,1.023197e-04,1.057903e-04,1.067270e-04,1.090658e-04,1.109383e-04,1.121484e-04,1.148170e-04,1.150416e-04,1.177500e-04,1.183731e-04,1.202789e-04,1.216190e-04,1.226344e-04,1.245690e-04,1.248231e-04,1.268516e-04,1.272388e-04,1.287271e-04,1.296441e-04,1.304564e-04,1.318012e-04,1.320466e-04,1.335047e-04,1.337262e-04,1.348375e-04,1.354346e-04,1.360515e-04,1.369416e-04,1.371532e-04,1.381489e-04,1.382615e-04,1.390443e-04,1.394081e-04,1.398454e-04,1.403944e-04,1.405574e-04,1.411857e-04,1.412325e-04,1.417351e-04,1.419339e-04,1.422105e-04,1.425093e-04,1.426161e-04,1.429564e-04,1.429687e-04,1.432353e-04,1.433214e-04,1.434566e-04,1.435760e-04,1.436239e-04,1.437406e-04,1.438099e-04,1.438225e-04,1.438348e-04,1.438288e-04,1.438183e-04,1.437659e-04,1.437630e-04,1.436715e-04,1.436397e-04,1.435462e-04,1.434557e-04,1.433893e-04,1.432190e-04,1.432031e-04,1.429894e-04,1.429343e-04,1.427503e-04,1.426059e-04,1.424875e-04,1.422380e-04,1.422027e-04,1.418975e-04,1.418342e-04,1.415735e-04,1.413980e-04,1.412319e-04,1.409325e-04,1.408742e-04,1.405016e-04,1.404407e-04,1.401154e-04,1.399254e-04,1.397165e-04,1.393890e-04,1.393061e-04,1.388851e-04,1.388339e-04,1.384545e-04,1.382623e-04,1.380152e-04,1.376760e-04,1.375680e-04,1.371136e-04,1.370770e-04,1.366528e-04,1.364668e-04,1.361863e-04,1.358472e-04,1.357147e-04,1.352387e-04,1.352195e-04,1.347587e-04,1.345851e-04,1.342755e-04,1.339452e-04,1.337893e-04,1.333008e-04,1.326531e-04,1.320031e-04,1.313515e-04,1.306992e-04,1.300470e-04,1.293956e-04,1.287454e-04,1.280973e-04,1.274516e-04,1.268089e-04,1.261695e-04,1.255340e-04,1.249027e-04,1.242758e-04,1.236538e-04,1.230368e-04,1.224252e-04,1.218191e-04,1.212188e-04,1.206244e-04,1.200361e-04,1.194540e-04,1.188783e-04,1.183091e-04
0.000000e+00,9.675442e-12,2.229469e-11,7.750472e-11,1.782197e-10,2.618014e-10,6.076018e-10,6.265743e-10,1.249519e-09,1.482760e-09,2.224356e-09,3.016100e-09,3.637764e-09,5.352770e-09,5.520094e-09,7.839792e-09,8.456147e-09,1.054911e-08,1.222167e-08,1.360936e-08,1.656871e-08,1.699050e-08,2.066577e-08,2.143376e-08,2.460813e-08,2.675427e-08,2.878889e-08,3.246268e-08,3.317754e-08,3.774236e-08,3.848693e-08,4.245123e-08,4.475335e-08,4.727258e-08,5.119022e-08,5.217610e-08,5.713342e-08,5.773066e-08,6.211852e-08,6.431462e-08,6.710795e-08,7.088997e-08,7.208099e-08,7.701952e-08,7.741263e-08,8.190794e-08,8.384624e-08,8.673304e-08,9.016163e-08,9.148380e-08,9.615124e-08,9.633610e-08,1.007279e-07,1.023520e-07,1.052076e-07,1.081960e-07,1.095857e-07,1.138586e-07,1.180235e-07,1.193331e-07,1.220785e-07,1.246154e-07,1.260224e-07,1.297033e-07,1.298544e-07,1.335743e-07,1.345958e-07,1.371823e-07,1.392935e-07,1.406788e-07,1.437977e-07,1.440646e-07,1.473406e-07,1.481107e-07,1.505082e-07,1.522351e-07,1.535685e-07,1.561742e-07,1.565232e-07,1.593738e-07,1.599315e-07,1.621219e-07,1.635110e-07,1.647694e-07,1.669168e-07,1.673180e-07,1.697697e-07,1.701531e-07,1.721264e-07,1.732244e-07,1.743900e-07,1.761352e-07,1.765625e-07,1.786459e-07,1.788900e-07,1.806421e-07,1.814934e-07,1.825533e-07,1.839501e-07,1.843813e-07,1.861283e-07,1.862646e-07,1.877961e-07,1.884415e-07,1.893868e-07,1.904854e-07,1.909023e-07,1.923445e-07,1.924007e-07,1.937155e-07,1.941919e-07,1.950171e-07,1.958634e-07,1.962511e-07,1.974195e-07,1.985241e-07,1.988643e-07,1.995666e-07,2.002021e-07,2.005489e-07,2.014369e-07,2.014727e-07,2.023398e-07,2.025726e-07,2.031517e-07,2.036131e-07,2.039102e-07,2.045622e-07,2.046169e-07,2.052733e-07,2.054236e-07,2.058812e-07,2.062009e-07,2.064418e-07,2.068975e-07,2.069569e-07,2.074278e-07,2.075168e-07,2.078560e-07,2.080622e-07,2.082428e-07,2.085368e-07,2.085897e-07,2.088980e-07,2.089438e-07,2.091690e-07,2.092862e-07,2.094039e-07,2.095668e-07,2.096041e-07,2.097708e-07,2.097885e-07,2.099050e-07,2.099541e-07,2.100080e-07,2.100662e-07,2.100810e-07,2.101250e-07,2.101273e-07,2.101410e-07,2.101399e-07,2.101302e-07,2.101064e-07,2.100936e-07,2.100321e-07,2.100291e-07,2.099467e-07,2.099103e-07,2.098383e-07,2.097520e-07,2.097079e-07,2.095564e-07,2.093254e-07,2.090609e-07,2.087649e-07,2.084391e-07,2.080851e-07,2.077047e-07,2.072994e-07,2.068708e-07,2.064203e-07,2.059493e-07,2.054592e-07,2.049512e-07,2.044266e-07,2.038865e-07,2.033322e-07,2.027647e-07,2.021850e-07,2.015942e-07,2.009932e-07,2.003829e-07,1.997641e-07,1.991378e-07,1.985047e-07,1.978656e-07
0.000000e+00,1.043636e-11,2.421839e-11,8.465559e-11,1.946721e-10,2.856200e-10,6.586513e-10,6.789810e-10,1.340344e-09,1.585616e-09,2.361186e-09,3.188364e-09,3.841196e-09,5.667279e-09,5.847443e-09,8.373398e-09,9.051285e-09,1.136631e-08,1.322645e-08,1.477454e-08,1.808707e-08,1.856029e-08,2.269444e-08,2.356075e-08,2.715052e-08,2.958591e-08,3.190116e-08,3.609764e-08,3.691660e-08,4.216443e-08,4.302336e-08,4.761002e-08,5.028359e-08,5.321730e-08,5.779494e-08,5.894967e-08,6.477094e-08,6.547379e-08,7.064613e-08,7.323968e-08,7.654213e-08,8.101805e-08,8.242829e-08,8.827670e-08,8.874218e-08,9.406246e-08,9.635422e-08,9.976370e-08,1.038056e-07,1.053616e-07,1.108402e-07,1.110567e-07,1.161863e-07,1.180764e-07,1.213893e-07,1.248412e-07,1.264407e-07,1.313342e-07,1.360652e-07,1.375443e-07,1.406307e-07,1.434649e-07,1.450290e-07,1.490936e-07,1.492596e-07,1.533230e-07,1.544310e-07,1.572205e-07,1.594800e-07,1.609538e-07,1.642458e-07,1.645257e-07,1.679388e-07,1.687347e-07,1.711966e-07,1.729544e-07,1.743026e-07,1.769132e-07,1.772605e-07,1.800742e-07,1.806200e-07,1.827478e-07,1.840840e-07,1.852853e-07,1.873146e-07,1.876908e-07,1.899686e-07,1.903214e-07,1.921226e-07,1.931137e-07,1.941569e-07,1.957010e-07,1.960757e-07,1.978828e-07,1.980923e-07,1.995822e-07,2.002968e-07,2.011777e-07,2.023231e-07,2.026730e-07,2.040719e-07,2.041797e-07,2.053778e-07,2.058750e-07,2.065944e-07,2.074168e-07,2.077249e-07,2.087727e-07,2.088129e-07,2.097409e-07,2.100707e-07,2.106328e-07,2.111972e-07,2.114513e-07,2.121994e-07,2.128799e-07,2.130838e-07,2.134955e-07,2.138567e-07,2.140489e-07,2.145241e-07,2.145427e-07,2.149794e-07,2.150918e-07,2.153614e-07,2.155653e-07,2.156910e-07,2.159499e-07,2.159705e-07,2.162020e-07,2.162506e-07,2.163876e-07,2.164722e-07,2.165293e-07,2.166194e-07,2.166292e-07,2.166891e-07,2.166964e-07,2.167107e-07,2.167075e-07,2.166959e-07,2.166565e-07,2.166463e-07,2.165636e-07,2.165474e-07,2.164493e-07,2.163837e-07,2.163049e-07,2.161687e-07,2.161319e-07,2.159317e-07,2.159059e-07,2.157055e-07,2.155982e-07,2.154548e-07,2.152486e-07,2.151807e-07,2.148845e-07,2.148599e-07,2.145673e-07,2.144348e-07,2.142302e-07,2.139757e-07,2.138742e-07,2.135005e-07,2.134852e-07,2.131099e-07,2.129653e-07,2.127034e-07,2.124184e-07,2.122819e-07,2.118464e-07,2.112513e-07,2.106349e-07,2.099989e-07,2.093450e-07,2.086748e-07,2.079897e-07,2.072912e-07,2.065805e-07,2.058588e-07,2.051275e-07,2.043875e-07,2.036399e-07,2.028858e-07,2.021260e-07,2.013615e-07,2.005931e-07,1.998215e-07,1.990475e-07,1.982718e-07,1.974950e-07,1.967178e-07,1.959407e-07,1.951643e-07,1.943891e-07
0.000000e+00,2.234799e-12,5.144114e-12,1.784768e-11,4.094754e-11,6.005502e-11,1.385811e-10,1.428672e-10,2.825570e-10,3.344566e-10,4.988223e-10,6.746654e-10,8.140656e-10,1.208472e-09,1.247802e-09,1.806700e-09,1.958659e-09,2.481376e-09,2.903511e-09,3.255023e-09,4.005089e-09,4.111860e-09,5.039348e-09,5.232403e-09,6.027361e-09,6.562094e-09,7.067097e-09,7.974464e-09,8.150393e-09,9.269430e-09,9.451285e-09,1.041667e-08,1.097523e-08,1.158491e-08,1.253005e-08,1.276737e-08,1.395776e-08,1.410086e-08,1.515038e-08,1.567451e-08,1.634015e-08,1.723968e-08,1.752258e-08,1.869379e-08,1.878690e-08,1.985050e-08,2.030848e-08,2.098993e-08,2.179832e-08,2.210979e-08,2.320820e-08,2.325167e-08,2.428365e-08,2.466495e-08,2.533495e-08,2.603558e-08,2.636121e-08,2.736175e-08,2.833611e-08,2.864232e-08,2.928398e-08,2.987664e-08,3.020520e-08,3.106448e-08,3.109975e-08,3.196768e-08,3.220595e-08,3.280913e-08,3.330138e-08,3.362433e-08,3.435135e-08,3.441353e-08,3.517707e-08,3.535653e-08,3.591528e-08,3.631776e-08,3.662855e-08,3.723593e-08,3.731730e-08,3.798194e-08,3.811202e-08,3.862294e-08,3.894707e-08,3.924075e-08,3.974213e-08,3.983584e-08,4.040869e-08,4.049832e-08,4.095978e-08,4.121672e-08,4.148960e-08,4.189847e-08,4.199864e-08,4.248739e-08,4.254469e-08,4.295632e-08,4.315650e-08,4.340593e-08,4.373502e-08,4.383671e-08,4.424912e-08,4.428134e-08,4.464365e-08,4.479656e-08,4.502076e-08,4.528176e-08,4.538092e-08,4.572459e-08,4.573800e-08,4.605221e-08,4.616631e-08,4.636424e-08,4.656773e-08,4.666110e-08,4.694323e-08,4.721106e-08,4.729381e-08,4.746500e-08,4.762042e-08,4.770545e-08,4.792397e-08,4.793282e-08,4.814750e-08,4.820539e-08,4.834987e-08,4.846554e-08,4.854031e-08,4.870529e-08,4.871918e-08,4.888685e-08,4.892547e-08,4.904367e-08,4.912688e-08,4.918998e-08,4.931031e-08,4.932613e-08,4.945242e-08,4.947653e-08,4.956920e-08,4.962626e-08,4.967676e-08,4.976023e-08,4.977543e-08,4.986548e-08,4.987911e-08,4.994722e-08,4.998359e-08,5.002093e-08,5.007430e-08,5.008688e-08,5.014534e-08,5.015187e-08,5.019658e-08,5.021690e-08,5.024084e-08,5.026997e-08,5.027838e-08,5.030944e-08,5.031166e-08,5.033426e-08,5.034249e-08,5.035306e-08,5.036299e-08,5.036606e-08,5.037348e-08,5.037366e-08,5.037553e-08,5.037500e-08,5.037242e-08,5.036746e-08,5.036435e-08,5.035150e-08,5.032755e-08,5.029603e-08,5.025733e-08,5.021185e-08,5.015996e-08,5.010201e-08,5.003834e-08,4.996928e-08,4.989516e-08,4.981626e-08,4.973289e-08,4.964531e-08,4.955380e-08,4.945862e-08,4.936001e-08,4.925820e-08,4.915342e-08,4.904589e-08,4.893580e-08,4.882337e-08,4.870878e-08,4.859220e-08,4.847381e-08,4.835378e-08
0.000000e+00,2.522002e-13,2.019252e-12,4.177741e-11,2.935727e-10,7.025850e-10,4.381217e-09,4.672757e-09,1.883023e-08,2.616969e-08,5.562217e-08,9.594066e-08,1.333457e-07,2.613146e-07,2.757291e-07,5.113536e-07,5.853443e-07,8.729919e-07,1.143754e-06,1.396136e-06,2.017773e-06,2.115477e-06,3.058914e-06,3.276058e-06,4.240780e-06,4.949093e-06,5.657333e-06,7.012945e-06,7.286538e-06,9.091877e-06,9.394130e-06,1.102831e-05,1.199037e-05,1.304836e-05,1.469406e-05,1.510681e-05,1.716366e-05,1.740871e-05,1.918540e-05,2.005669e-05,2.114517e-05,2.258018e-05,2.302223e-05,2.480109e-05,2.493880e-05,2.647072e-05,2.710622e-05,2.802370e-05,2.906704e-05,2.945563e-05,3.076459e-05,3.081439e-05,3.195075e-05,3.234802e-05,3.301598e-05,3.367289e-05,3.396357e-05,3.479797e-05,3.552454e-05,3.573523e-05,3.614928e-05,3.649866e-05,3.667869e-05,3.710351e-05,3.711952e-05,3.747865e-05,3.756551e-05,3.776293e-05,3.790036e-05,3.797905e-05,3.812325e-05,3.813348e-05,3.823241e-05,3.824854e-05,3.828163e-05,3.828953e-05,3.828659e-05,3.825835e-05,3.825232e-05,3.818345e-05,3.816590e-05,3.808421e-05,3.802190e-05,3.795845e-05,3.783487e-05,3.780964e-05,3.764091e-05,3.761226e-05,3.745507e-05,3.736053e-05,3.725462e-05,3.708525e-05,3.704179e-05,3.681857e-05,3.679117e-05,3.658670e-05,3.648236e-05,3.634776e-05,3.616227e-05,3.610310e-05,3.585394e-05,3.583385e-05,3.560134e-05,3.549956e-05,3.534625e-05,3.516149e-05,3.508947e-05,3.483174e-05,3.482142e-05,3.457368e-05,3.448080e-05,3.431584e-05,3.414090e-05,3.405872e-05,3.380274e-05,3.354826e-05,3.346719e-05,3.329560e-05,3.313499e-05,3.304504e-05,3.280671e-05,3.279683e-05,3.255116e-05,3.248286e-05,3.230823e-05,3.216384e-05,3.206817e-05,3.184997e-05,3.183112e-05,3.159719e-05,3.154152e-05,3.136647e-05,3.123870e-05,3.113904e-05,3.094167e-05,3.091496e-05,3.069427e-05,3.065054e-05,3.047701e-05,3.036540e-05,3.026321e-05,3.008631e-05,3.005289e-05,2.984605e-05,2.981328e-05,2.964271e-05,2.954635e-05,2.944286e-05,2.928549e-05,2.924649e-05,2.905359e-05,2.903068e-05,2.886414e-05,2.878186e-05,2.867811e-05,2.853900e-05,2.849548e-05,2.831622e-05,2.830202e-05,2.814030e-05,2.807085e-05,2.796768e-05,2.784542e-05,2.779833e-05,2.763220e-05,2.762563e-05,2.746927e-05,2.741139e-05,2.730949e-05,2.720262e-05,2.715281e-05,2.699920e-05,2.680105e-05,2.660805e-05,2.642011e-05,2.623711e-05,2.605895e-05,2.588552e-05,2.571672e-05,2.555243e-05,2.539256e-05,2.523699e-05,2.508563e-05,2.493836e-05,2.479509e-05,2.465571e-05,2.452013e-05,2.438825e-05,2.425997e-05,2.413520e-05,2.401385e-05,2.389582e-05,2.378102e-05,2.366937e-05,2.356079e-05,2.345519e-05
0.000000e+00,2.221459e-15,1.986981e-14,5.182240e-13,4.505477e-12,1.212755e-11,1.026585e-10,1.108652e-10,6.064317e-10,9.159972e-10,2.400703e-09,4.905479e-09,7.613171e-09,1.907008e-08,2.054470e-08,4.902429e-08,5.948739e-08,1.061085e-07,1.577508e-07,2.120032e-07,3.685905e-07,3.960179e-07,6.983691e-07,7.774385e-07,1.171683e-06,1.506766e-06,1.882096e-06,2.720395e-06,2.909902e-06,4.349702e-06,4.625367e-06,6.310067e-06,7.471219e-06,8.912726e-06,1.154674e-05,1.229131e-05,1.658968e-05,1.717445e-05,2.195996e-05,2.470304e-05,2.856022e-05,3.449833e-05,3.655194e-05,4.609742e-05,4.693301e-05,5.735701e-05,6.237588e-05,7.048637e-05,8.118093e-05,8.563387e-05,1.029380e-04,1.036769e-04,1.225250e-04,1.301573e-04,1.445070e-04,1.608724e-04,1.689799e-04,1.960218e-04,2.256924e-04,2.357491e-04,2.580312e-04,2.801384e-04,2.930581e-04,3.292121e-04,3.307720e-04,3.711522e-04,3.829313e-04,4.141575e-04,4.411967e-04,4.597281e-04,5.038516e-04,5.077856e-04,5.582347e-04,5.706863e-04,6.109641e-04,6.414423e-04,6.658482e-04,7.158191e-04,7.227488e-04,7.815160e-04,7.934796e-04,8.419908e-04,8.740573e-04,9.040060e-04,9.571625e-04,9.673882e-04,1.031960e-03,1.042389e-03,1.097539e-03,1.129322e-03,1.163945e-03,1.217541e-03,1.230993e-03,1.298504e-03,1.306628e-03,1.366298e-03,1.396172e-03,1.434201e-03,1.485774e-03,1.502041e-03,1.569654e-03,1.575048e-03,1.636881e-03,1.663629e-03,1.703570e-03,1.751173e-03,1.769579e-03,1.834770e-03,1.837358e-03,1.899015e-03,1.921889e-03,1.962197e-03,2.004497e-03,2.024205e-03,2.084938e-03,2.144303e-03,2.162998e-03,2.202218e-03,2.238487e-03,2.258608e-03,2.311246e-03,2.313406e-03,2.366557e-03,2.381137e-03,2.418010e-03,2.448050e-03,2.467724e-03,2.511897e-03,2.515667e-03,2.561810e-03,2.572615e-03,2.606136e-03,2.630159e-03,2.648630e-03,2.684506e-03,2.689288e-03,2.728107e-03,2.735650e-03,2.765091e-03,2.783601e-03,2.800251e-03,2.828386e-03,2.833601e-03,2.865158e-03,2.870042e-03,2.894945e-03,2.908621e-03,2.922987e-03,2.944185e-03,2.949314e-03,2.973957e-03,2.976803e-03,2.996950e-03,3.006554e-03,3.018330e-03,3.033523e-03,3.038135e-03,3.056404e-03,3.057801e-03,3.073180e-03,3.079482e-03,3.088505e-03,3.098664e-03,3.102421e-03,3.114974e-03,3.115448e-03,3.126207e-03,3.129936e-03,3.136165e-03,3.142232e-03,3.144894e-03,3.152438e-03,3.160659e-03,3.166994e-03,3.171547e-03,3.174415e-03,3.175696e-03,3.175484e-03,3.173871e-03,3.170946e-03,3.166797e-03,3.161504e-03,3.155150e-03,3.147810e-03,3.139556e-03,3.130461e-03,3.120590e-03,3.110008e-03,3.098775e-03,3.086948e-03,3.074584e-03,3.061732e-03,3.048441e-03,3.034758e-03,3.020726e-03,3.006386e-03
0.000000e+00,2.940348e-10,8.086784e-10,3.362739e-09,8.383281e-09,1.269604e-08,3.125398e-08,3.229688e-08,6.759807e-08,8.127468e-08,1.262222e-07,1.766092e-07,2.179530e-07,3.402588e-07,3.528154e-07,5.361679e-07,5.870945e-07,7.632070e-07,9.043705e-07,1.019922e-06,1.257841e-06,1.290627e-06,1.563475e-06,1.617589e-06,1.831114e-06,1.966751e-06,2.089356e-06,2.297281e-06,2.335876e-06,2.569397e-06,2.605503e-06,2.789241e-06,2.889808e-06,2.995101e-06,3.149674e-06,3.186918e-06,3.364824e-06,3.385249e-06,3.529090e-06,3.597142e-06,3.680107e-06,3.786318e-06,3.818365e-06,3.944420e-06,3.953995e-06,4.058874e-06,4.101549e-06,4.162361e-06,4.230444e-06,4.255529e-06,4.339027e-06,4.342175e-06,4.413497e-06,4.438217e-06,4.479564e-06,4.519998e-06,4.537831e-06,4.588875e-06,4.633245e-06,4.646119e-06,4.671458e-06,4.692909e-06,4.704001e-06,4.730331e-06,4.731329e-06,4.753870e-06,4.759378e-06,4.772018e-06,4.780953e-06,4.786143e-06,4.795877e-06,4.796585e-06,4.803661e-06,4.804891e-06,4.807663e-06,4.808663e-06,4.808862e-06,4.807796e-06,4.807506e-06,4.803826e-06,4.802830e-06,4.798034e-06,4.794253e-06,4.790325e-06,4.782501e-06,4.780880e-06,4.769863e-06,4.767965e-06,4.757428e-06,4.750997e-06,4.743714e-06,4.731910e-06,4.728851e-06,4.712958e-06,4.710987e-06,4.696144e-06,4.688480e-06,4.678509e-06,4.664614e-06,4.660145e-06,4.641138e-06,4.639592e-06,4.621565e-06,4.613594e-06,4.601498e-06,4.586781e-06,4.581003e-06,4.560140e-06,4.559298e-06,4.538964e-06,4.531274e-06,4.517527e-06,4.502824e-06,4.495875e-06,4.474051e-06,4.452094e-06,4.445046e-06,4.430040e-06,4.415890e-06,4.407923e-06,4.386658e-06,4.385772e-06,4.363615e-06,4.357414e-06,4.341478e-06,4.328215e-06,4.319383e-06,4.299111e-06,4.297352e-06,4.275402e-06,4.270149e-06,4.253553e-06,4.241367e-06,4.231820e-06,4.212801e-06,4.210216e-06,4.188756e-06,4.184482e-06,4.167451e-06,4.156437e-06,4.146312e-06,4.128690e-06,4.125348e-06,4.104568e-06,4.101261e-06,4.083980e-06,4.074168e-06,4.063590e-06,4.047426e-06,4.043406e-06,4.023431e-06,4.021048e-06,4.003671e-06,3.995046e-06,3.984131e-06,3.969429e-06,3.964813e-06,3.945721e-06,3.944204e-06,3.926858e-06,3.919377e-06,3.908225e-06,3.894953e-06,3.889824e-06,3.871657e-06,3.870936e-06,3.853725e-06,3.847328e-06,3.836029e-06,3.824130e-06,3.818569e-06,3.801344e-06,3.778970e-06,3.757006e-06,3.735451e-06,3.714303e-06,3.693559e-06,3.673218e-06,3.653275e-06,3.633726e-06,3.614568e-06,3.595797e-06,3.577408e-06,3.559397e-06,3.541758e-06,3.524486e-06,3.507577e-06,3.491025e-06,3.474825e-06,3.458971e-06,3.443458e-06,3.428280e-06,3.413432e-06,3.398908e-06,3.384703e-06,3.370811e-06
0.000000e+00,8.285411e-12,1.903081e-11,6.559063e-11,1.493120e-10,2.179067e-10,4.953575e-10,5.103312e-10,9.910725e-10,1.166712e-09,1.715143e-09,2.292324e-09,2.745424e-09,4.019111e-09,4.146086e-09,5.962020e-09,6.460629e-09,8.191142e-09,9.601192e-09,1.077936e-08,1.329156e-08,1.364801e-08,1.672243e-08,1.735643e-08,1.994210e-08,2.165750e-08,2.325934e-08,2.609266e-08,2.663537e-08,3.003726e-08,3.058199e-08,3.343616e-08,3.505895e-08,3.680649e-08,3.946686e-08,4.012559e-08,4.337368e-08,4.375784e-08,4.653383e-08,4.789270e-08,4.959194e-08,5.184078e-08,5.253666e-08,5.535922e-08,5.557954e-08,5.805323e-08,5.909381e-08,6.061443e-08,6.237488e-08,6.304048e-08,6.533068e-08,6.541947e-08,6.748570e-08,6.822872e-08,6.950731e-08,7.080716e-08,7.139823e-08,7.316191e-08,7.480230e-08,7.530190e-08,7.632380e-08,7.723730e-08,7.773106e-08,7.897905e-08,7.902892e-08,8.022232e-08,8.053843e-08,8.131621e-08,8.192682e-08,8.231551e-08,8.315551e-08,8.322509e-08,8.404969e-08,8.423546e-08,8.479394e-08,8.517730e-08,8.546231e-08,8.599115e-08,8.605913e-08,8.658854e-08,8.668669e-08,8.705452e-08,8.727303e-08,8.746086e-08,8.775878e-08,8.781121e-08,8.810903e-08,8.815202e-08,8.835759e-08,8.846033e-08,8.856003e-08,8.869078e-08,8.871932e-08,8.883827e-08,8.884996e-08,8.891954e-08,8.894401e-08,8.896565e-08,8.897866e-08,8.897900e-08,8.896183e-08,8.895920e-08,8.891628e-08,8.889056e-08,8.884435e-08,8.877731e-08,8.874796e-08,8.862888e-08,8.862367e-08,8.848881e-08,8.843355e-08,8.832934e-08,8.821058e-08,8.815196e-08,8.795810e-08,8.774907e-08,8.767919e-08,8.752613e-08,8.737670e-08,8.729047e-08,8.705327e-08,8.704317e-08,8.678529e-08,8.671132e-08,8.651780e-08,8.635308e-08,8.624162e-08,8.598059e-08,8.595760e-08,8.566657e-08,8.559577e-08,8.536928e-08,8.520032e-08,8.506643e-08,8.479587e-08,8.475870e-08,8.444671e-08,8.438385e-08,8.413104e-08,8.396562e-08,8.381225e-08,8.354241e-08,8.349083e-08,8.316728e-08,8.311534e-08,8.284204e-08,8.268544e-08,8.251552e-08,8.225365e-08,8.218811e-08,8.186019e-08,8.182082e-08,8.153207e-08,8.138773e-08,8.120409e-08,8.095509e-08,8.087653e-08,8.054966e-08,8.052355e-08,8.022374e-08,8.009369e-08,7.989899e-08,7.966603e-08,7.957565e-08,7.925389e-08,7.924106e-08,7.893392e-08,7.881920e-08,7.861590e-08,7.840084e-08,7.829998e-08,7.798632e-08,7.757595e-08,7.717001e-08,7.676873e-08,7.637232e-08,7.598098e-08,7.559487e-08,7.521412e-08,7.483885e-08,7.446916e-08,7.410513e-08,7.374682e-08,7.339429e-08,7.304757e-08,7.270669e-08,7.237167e-08,7.204249e-08,7.171917e-08,7.140168e-08,7.109000e-08,7.078410e-08,7.048395e-08,7.018950e-08,6.990071e-08,6.961752e-08
0.000000e+00,1.312619e-12,8.831897e-12,1.297116e-10,6.820768e-10,1.405325e-09,6.141999e-09,6.462882e-09,1.917098e-08,2.469814e-08,4.397660e-08,6.662610e-08,8.561770e-08,1.431333e-07,1.491473e-07,2.400543e-07,2.665993e-07,3.642934e-07,4.507348e-07,5.280342e-07,7.093306e-07,7.369372e-07,9.949346e-07,1.052570e-06,1.302951e-06,1.482147e-06,1.658364e-06,1.989548e-06,2.055643e-06,2.487735e-06,2.559610e-06,2.947402e-06,3.175865e-06,3.428050e-06,3.823842e-06,3.924021e-06,4.430540e-06,4.491832e-06,4.943569e-06,5.170456e-06,5.459651e-06,5.852049e-06,5.975777e-06,6.489313e-06,6.530212e-06,6.997948e-06,7.199569e-06,7.499667e-06,7.855633e-06,7.992727e-06,8.475648e-06,8.494736e-06,8.947194e-06,9.113965e-06,9.406357e-06,9.711101e-06,9.852342e-06,1.028454e-05,1.070253e-05,1.083323e-05,1.110600e-05,1.135654e-05,1.149482e-05,1.185426e-05,1.186895e-05,1.222843e-05,1.232648e-05,1.257342e-05,1.277354e-05,1.290411e-05,1.319595e-05,1.322078e-05,1.352371e-05,1.359441e-05,1.381325e-05,1.396968e-05,1.408977e-05,1.432264e-05,1.435365e-05,1.460528e-05,1.465417e-05,1.484508e-05,1.496523e-05,1.507344e-05,1.525672e-05,1.529077e-05,1.549746e-05,1.552958e-05,1.569392e-05,1.578471e-05,1.588054e-05,1.602301e-05,1.605770e-05,1.622576e-05,1.624534e-05,1.638510e-05,1.645253e-05,1.653605e-05,1.664538e-05,1.667896e-05,1.681416e-05,1.682465e-05,1.694197e-05,1.699109e-05,1.706269e-05,1.714540e-05,1.717663e-05,1.728407e-05,1.728823e-05,1.738527e-05,1.742024e-05,1.748052e-05,1.754201e-05,1.757006e-05,1.765413e-05,1.773298e-05,1.775715e-05,1.780683e-05,1.785156e-05,1.787588e-05,1.793787e-05,1.794036e-05,1.800047e-05,1.801654e-05,1.805638e-05,1.808800e-05,1.810829e-05,1.815266e-05,1.815637e-05,1.820079e-05,1.821093e-05,1.824172e-05,1.826317e-05,1.827930e-05,1.830972e-05,1.831368e-05,1.834502e-05,1.835093e-05,1.837343e-05,1.838710e-05,1.839906e-05,1.841853e-05,1.842203e-05,1.844246e-05,1.844550e-05,1.846046e-05,1.846827e-05,1.847615e-05,1.848710e-05,1.848962e-05,1.850099e-05,1.850221e-05,1.851034e-05,1.851384e-05,1.851777e-05,1.852219e-05,1.852337e-05,1.852722e-05,1.852746e-05,1.852941e-05,1.852983e-05,1.853001e-05,1.852950e-05,1.852910e-05,1.852674e-05,1.852662e-05,1.852302e-05,1.852135e-05,1.851799e-05,1.851385e-05,1.851171e-05,1.850426e-05,1.849270e-05,1.847931e-05,1.846421e-05,1.844750e-05,1.842930e-05,1.840971e-05,1.838883e-05,1.836673e-05,1.834352e-05,1.831927e-05,1.829405e-05,1.826795e-05,1.824102e-05,1.821334e-05,1.818496e-05,1.815594e-05,1.812634e-05,1.809620e-05,1.806558e-05,1.803453e-05,1.800309e-05,1.797129e-05,1.793919e-05,1.790681e-05
0.000000e+00,1.127759e-14,9.502480e-14,2.185476e-12,1.690868e-11,4.265325e-11,3.043984e-10,3.264267e-10,1.500113e-09,2.159303e-09,5.005569e-09,9.245084e-09,1.342176e-08,2.889410e-08,3.072547e-08,6.244434e-08,7.296032e-08,1.157081e-07,1.581264e-07,1.992122e-07,3.057287e-07,3.230915e-07,4.986632e-07,5.410351e-07,7.379785e-07,8.916541e-07,1.053143e-06,1.384805e-06,1.455451e-06,1.954462e-06,2.043789e-06,2.557214e-06,2.884680e-06,3.267699e-06,3.914258e-06,4.086655e-06,5.011680e-06,5.129591e-06,6.037596e-06,6.519106e-06,7.156936e-06,8.064505e-06,8.360501e-06,9.637914e-06,9.742969e-06,1.097811e-05,1.152924e-05,1.236978e-05,1.339733e-05,1.380168e-05,1.526293e-05,1.532185e-05,1.674321e-05,1.727889e-05,1.823288e-05,1.924666e-05,1.972308e-05,2.120581e-05,2.267393e-05,2.313959e-05,2.412115e-05,2.503387e-05,2.554206e-05,2.687709e-05,2.693205e-05,2.828727e-05,2.866006e-05,2.960462e-05,3.037580e-05,3.088164e-05,3.201930e-05,3.211650e-05,3.330789e-05,3.358725e-05,3.445498e-05,3.507784e-05,3.555737e-05,3.649047e-05,3.661503e-05,3.762823e-05,3.782558e-05,3.859750e-05,3.908440e-05,3.952359e-05,4.026880e-05,4.040742e-05,4.125005e-05,4.138113e-05,4.205266e-05,4.242405e-05,4.281648e-05,4.340049e-05,4.354283e-05,4.423304e-05,4.431350e-05,4.488846e-05,4.516618e-05,4.551046e-05,4.596166e-05,4.610039e-05,4.665958e-05,4.670303e-05,4.718933e-05,4.739328e-05,4.769093e-05,4.803534e-05,4.816560e-05,4.861455e-05,4.863199e-05,4.903894e-05,4.918592e-05,4.943988e-05,4.969967e-05,4.981844e-05,5.017565e-05,5.051250e-05,5.061615e-05,5.082993e-05,5.102330e-05,5.112883e-05,5.139914e-05,5.141006e-05,5.167446e-05,5.174558e-05,5.192279e-05,5.206439e-05,5.215580e-05,5.235726e-05,5.237421e-05,5.257868e-05,5.262575e-05,5.276986e-05,5.287135e-05,5.294836e-05,5.309542e-05,5.311477e-05,5.326964e-05,5.329927e-05,5.341349e-05,5.348411e-05,5.354684e-05,5.365108e-05,5.367015e-05,5.378389e-05,5.380122e-05,5.388848e-05,5.393555e-05,5.398434e-05,5.405500e-05,5.407186e-05,5.415141e-05,5.416044e-05,5.422336e-05,5.425269e-05,5.428803e-05,5.433252e-05,5.434576e-05,5.439685e-05,5.440066e-05,5.444159e-05,5.445778e-05,5.448028e-05,5.450452e-05,5.451316e-05,5.454050e-05,5.454148e-05,5.456254e-05,5.456923e-05,5.457952e-05,5.458828e-05,5.459165e-05,5.459914e-05,5.460228e-05,5.459815e-05,5.458715e-05,5.456968e-05,5.454611e-05,5.451679e-05,5.448205e-05,5.444220e-05,5.439755e-05,5.434835e-05,5.429489e-05,5.423740e-05,5.417613e-05,5.411130e-05,5.404312e-05,5.397179e-05,5.389751e-05,5.382045e-05,5.374079e-05,5.365869e-05,5.357431e-05,5.348779e-05,5.339928e-05,5.330891e-05
0.000000e+00,5.723348e-11,2.333127e-10,1.526312e-09,4.736893e-09,7.789999e-09,2.222524e-08,2.307434e-08,5.309293e-08,6.519182e-08,1.060969e-07,1.532478e-07,1.923916e-07,3.076731e-07,3.193511e-07,4.856602e-07,5.306802e-07,6.844422e-07,8.075117e-07,9.094320e-07,1.125845e-06,1.156577e-06,1.423264e-06,1.478767e-06,1.707513e-06,1.861670e-06,2.007541e-06,2.270465e-06,2.321578e-06,2.647813e-06,2.701020e-06,2.984408e-06,3.149115e-06,3.329535e-06,3.610583e-06,3.681418e-06,4.038373e-06,4.081473e-06,4.398837e-06,4.558180e-06,4.761384e-06,5.037522e-06,5.124738e-06,5.487760e-06,5.516757e-06,5.849462e-06,5.993577e-06,6.208987e-06,6.466081e-06,6.565601e-06,6.918680e-06,6.932722e-06,7.267699e-06,7.392265e-06,7.612218e-06,7.843732e-06,7.951873e-06,8.286361e-06,8.615437e-06,8.719564e-06,8.938902e-06,9.142900e-06,9.256598e-06,9.556043e-06,9.568401e-06,9.874216e-06,9.958761e-06,1.017398e-05,1.035090e-05,1.046763e-05,1.073237e-05,1.075515e-05,1.103652e-05,1.110313e-05,1.131174e-05,1.146318e-05,1.158082e-05,1.181256e-05,1.184379e-05,1.210067e-05,1.215132e-05,1.235150e-05,1.247955e-05,1.259632e-05,1.279737e-05,1.283519e-05,1.306816e-05,1.310490e-05,1.329530e-05,1.340227e-05,1.351666e-05,1.368964e-05,1.373232e-05,1.394234e-05,1.396717e-05,1.414680e-05,1.423502e-05,1.434578e-05,1.449338e-05,1.453934e-05,1.472759e-05,1.474242e-05,1.491058e-05,1.498233e-05,1.508841e-05,1.521329e-05,1.526116e-05,1.542891e-05,1.543551e-05,1.559174e-05,1.564918e-05,1.574975e-05,1.585448e-05,1.590302e-05,1.605162e-05,1.619566e-05,1.624080e-05,1.633520e-05,1.642220e-05,1.647035e-05,1.659602e-05,1.660117e-05,1.672776e-05,1.676246e-05,1.685021e-05,1.692171e-05,1.696858e-05,1.707397e-05,1.708297e-05,1.719346e-05,1.721941e-05,1.730013e-05,1.735823e-05,1.740306e-05,1.749061e-05,1.750233e-05,1.759801e-05,1.761673e-05,1.769020e-05,1.773677e-05,1.777895e-05,1.785092e-05,1.786436e-05,1.794650e-05,1.795934e-05,1.802543e-05,1.806220e-05,1.810123e-05,1.815967e-05,1.817398e-05,1.824375e-05,1.825192e-05,1.831060e-05,1.833911e-05,1.837461e-05,1.842140e-05,1.843584e-05,1.849437e-05,1.849893e-05,1.855025e-05,1.857187e-05,1.860355e-05,1.864036e-05,1.865433e-05,1.870267e-05,1.870455e-05,1.874861e-05,1.876458e-05,1.879222e-05,1.882058e-05,1.883357e-05,1.887270e-05,1.892106e-05,1.896580e-05,1.900704e-05,1.904490e-05,1.907951e-05,1.911097e-05,1.913941e-05,1.916494e-05,1.918766e-05,1.920767e-05,1.922509e-05,1.924000e-05,1.925251e-05,1.926271e-05,1.927069e-05,1.927654e-05,1.928035e-05,1.928219e-05,1.928216e-05,1.928032e-05,1.927676e-05,1.927155e-05,1.926476e-05,1.925646e-05
0.000000e+00,2.720236e-13,2.068086e-12,3.853939e-11,2.470949e-10,5.632129e-10,3.113626e-09,3.305166e-09,1.192181e-08,1.610098e-08,3.193653e-08,5.224551e-08,7.024908e-08,1.283369e-07,1.346421e-07,2.334766e-07,2.632896e-07,3.755140e-07,4.772421e-07,5.696152e-07,7.900464e-07,8.239850e-07,1.144789e-06,1.217221e-06,1.534502e-06,1.763822e-06,1.990843e-06,2.420751e-06,2.506955e-06,3.072716e-06,3.167073e-06,3.676483e-06,3.976347e-06,4.306626e-06,4.822515e-06,4.952475e-06,5.604753e-06,5.683073e-06,6.255643e-06,6.539878e-06,6.898654e-06,7.378754e-06,7.528453e-06,8.140688e-06,8.188797e-06,8.731849e-06,8.961770e-06,9.299168e-06,9.691663e-06,9.840529e-06,1.035441e-05,1.037438e-05,1.083980e-05,1.100745e-05,1.129616e-05,1.158981e-05,1.172334e-05,1.212155e-05,1.249127e-05,1.260367e-05,1.283321e-05,1.303788e-05,1.314827e-05,1.342640e-05,1.343748e-05,1.370198e-05,1.377177e-05,1.394297e-05,1.407678e-05,1.416167e-05,1.434426e-05,1.435933e-05,1.453720e-05,1.457708e-05,1.469649e-05,1.477802e-05,1.483839e-05,1.494978e-05,1.496404e-05,1.507454e-05,1.509491e-05,1.517094e-05,1.521582e-05,1.525422e-05,1.531474e-05,1.532534e-05,1.538516e-05,1.539374e-05,1.543453e-05,1.545474e-05,1.547422e-05,1.549949e-05,1.550496e-05,1.552743e-05,1.552960e-05,1.554226e-05,1.554653e-05,1.555006e-05,1.555161e-05,1.555136e-05,1.554668e-05,1.554607e-05,1.553651e-05,1.553099e-05,1.552127e-05,1.550740e-05,1.550138e-05,1.547723e-05,1.547618e-05,1.544917e-05,1.543817e-05,1.541752e-05,1.539411e-05,1.538259e-05,1.534467e-05,1.530402e-05,1.529048e-05,1.526088e-05,1.523208e-05,1.521549e-05,1.516997e-05,1.516804e-05,1.511873e-05,1.510462e-05,1.506776e-05,1.503644e-05,1.501527e-05,1.496579e-05,1.496144e-05,1.490640e-05,1.489302e-05,1.485029e-05,1.481844e-05,1.479323e-05,1.474233e-05,1.473534e-05,1.467673e-05,1.466493e-05,1.461750e-05,1.458649e-05,1.455774e-05,1.450720e-05,1.449754e-05,1.443697e-05,1.442725e-05,1.437611e-05,1.434682e-05,1.431504e-05,1.426606e-05,1.425380e-05,1.419247e-05,1.418511e-05,1.413110e-05,1.410410e-05,1.406975e-05,1.402315e-05,1.400844e-05,1.394724e-05,1.394235e-05,1.388618e-05,1.386180e-05,1.382530e-05,1.378159e-05,1.376463e-05,1.370421e-05,1.370180e-05,1.364406e-05,1.362248e-05,1.358422e-05,1.354371e-05,1.352470e-05,1.346553e-05,1.338801e-05,1.331118e-05,1.323507e-05,1.315974e-05,1.308521e-05,1.301149e-05,1.293863e-05,1.286664e-05,1.279553e-05,1.272533e-05,1.265604e-05,1.258768e-05,1.252024e-05,1.245375e-05,1.238820e-05,1.232360e-05,1.225995e-05,1.219725e-05,1.213549e-05,1.207469e-05,1.201482e-05,1.195590e-05,1.189791e-05,1.184085e-05
0.000000e+00,2.263284e-11,5.362883e-11,1.909366e-10,4.411334e-10,6.472446e-10,1.484457e-09,1.529719e-09,2.984307e-09,3.515966e-09,5.175151e-09,6.917021e-09,8.278544e-09,1.205999e-08,1.243243e-08,1.766399e-08,1.907264e-08,2.389797e-08,2.778818e-08,3.103192e-08,3.798453e-08,3.897863e-08,4.766833e-08,4.948999e-08,5.703983e-08,6.216262e-08,6.703310e-08,7.586190e-08,7.758500e-08,8.862753e-08,9.043505e-08,1.000877e-07,1.057143e-07,1.118882e-07,1.215200e-07,1.239492e-07,1.361895e-07,1.376665e-07,1.485286e-07,1.539688e-07,1.608883e-07,1.702496e-07,1.731943e-07,1.853769e-07,1.863443e-07,1.973724e-07,2.021052e-07,2.091236e-07,2.174048e-07,2.205803e-07,2.316993e-07,2.321365e-07,2.424443e-07,2.462152e-07,2.527861e-07,2.595761e-07,2.627016e-07,2.721738e-07,2.811911e-07,2.839793e-07,2.897468e-07,2.949789e-07,2.978385e-07,3.051711e-07,3.054675e-07,3.126383e-07,3.145649e-07,3.193581e-07,3.231774e-07,3.256365e-07,3.310323e-07,3.314846e-07,3.369152e-07,3.381579e-07,3.419420e-07,3.445860e-07,3.465796e-07,3.503507e-07,3.508431e-07,3.547480e-07,3.554874e-07,3.583100e-07,3.600319e-07,3.615446e-07,3.640199e-07,3.644672e-07,3.670929e-07,3.674865e-07,3.694367e-07,3.704658e-07,3.715130e-07,3.729910e-07,3.733360e-07,3.749192e-07,3.750937e-07,3.762756e-07,3.768039e-07,3.774180e-07,3.781505e-07,3.783584e-07,3.791084e-07,3.791605e-07,3.796790e-07,3.798595e-07,3.800809e-07,3.802714e-07,3.803241e-07,3.804181e-07,3.804189e-07,3.803722e-07,3.803231e-07,3.801949e-07,3.800036e-07,3.798946e-07,3.794789e-07,3.789554e-07,3.787663e-07,3.783311e-07,3.778816e-07,3.776125e-07,3.768400e-07,3.768061e-07,3.759177e-07,3.756551e-07,3.749531e-07,3.743399e-07,3.739175e-07,3.729064e-07,3.728160e-07,3.716534e-07,3.713658e-07,3.704342e-07,3.697283e-07,3.691626e-07,3.680035e-07,3.678427e-07,3.664782e-07,3.662003e-07,3.650728e-07,3.643270e-07,3.636299e-07,3.623911e-07,3.621526e-07,3.606439e-07,3.603998e-07,3.591068e-07,3.583596e-07,3.575438e-07,3.562766e-07,3.559576e-07,3.543504e-07,3.541562e-07,3.527246e-07,3.520038e-07,3.510822e-07,3.498241e-07,3.494253e-07,3.477556e-07,3.476216e-07,3.460751e-07,3.454002e-07,3.443853e-07,3.431638e-07,3.426879e-07,3.409842e-07,3.409159e-07,3.392757e-07,3.386596e-07,3.375636e-07,3.363980e-07,3.358492e-07,3.341336e-07,3.318690e-07,3.296066e-07,3.273483e-07,3.250961e-07,3.228518e-07,3.206170e-07,3.183931e-07,3.161816e-07,3.139835e-07,3.118001e-07,3.096324e-07,3.074811e-07,3.053472e-07,3.032313e-07,3.011342e-07,2.990564e-07,2.969985e-07,2.949608e-07,2.929437e-07,2.909477e-07,2.889730e-07,2.870199e-07,2.850885e-07,2.831790e-07
0.000000e+00,1.643474e-14,1.472382e-13,3.850821e-12,3.355472e-11,9.041834e-11,7.670608e-10,8.284371e-10,4.536055e-09,6.851736e-09,1.794865e-08,3.663758e-08,5.680397e-08,1.418469e-07,1.527676e-07,3.630173e-07,4.400492e-07,7.825992e-07,1.161427e-06,1.559221e-06,2.708075e-06,2.909514e-06,5.135291e-06,5.718947e-06,8.638184e-06,1.113005e-05,1.393129e-05,2.021993e-05,2.164684e-05,3.253927e-05,3.463369e-05,4.748348e-05,5.638220e-05,6.746844e-05,8.781659e-05,9.358634e-05,1.270179e-04,1.315800e-04,1.690144e-04,1.905401e-04,2.208768e-04,2.677075e-04,2.839335e-04,3.595164e-04,3.661437e-04,4.489369e-04,4.888653e-04,5.534613e-04,6.387476e-04,6.742885e-04,8.125277e-04,8.184340e-04,9.691788e-04,1.030253e-03,1.145115e-03,1.276146e-03,1.341067e-03,1.557612e-03,1.795165e-03,1.875664e-03,2.053972e-03,2.230803e-03,2.334105e-03,2.623007e-03,2.635466e-03,2.957786e-03,3.051736e-03,3.300630e-03,3.515949e-03,3.663408e-03,4.014135e-03,4.045380e-03,4.445666e-03,4.544351e-03,4.863265e-03,5.104270e-03,5.297059e-03,5.691234e-03,5.745836e-03,6.208298e-03,6.302313e-03,6.683077e-03,6.934360e-03,7.168753e-03,7.584073e-03,7.663864e-03,8.166922e-03,8.248049e-03,8.676430e-03,8.922843e-03,9.190886e-03,9.605013e-03,9.708803e-03,1.022872e-02,1.029117e-02,1.074919e-02,1.097802e-02,1.126885e-02,1.166240e-02,1.178633e-02,1.230037e-02,1.234130e-02,1.280973e-02,1.301190e-02,1.331326e-02,1.367157e-02,1.380987e-02,1.429856e-02,1.431793e-02,1.477838e-02,1.494878e-02,1.524848e-02,1.556220e-02,1.570808e-02,1.615647e-02,1.659302e-02,1.673012e-02,1.701717e-02,1.728190e-02,1.742845e-02,1.781078e-02,1.782644e-02,1.821081e-02,1.831596e-02,1.858128e-02,1.879680e-02,1.893764e-02,1.925288e-02,1.927972e-02,1.960744e-02,1.968395e-02,1.992075e-02,2.008990e-02,2.021964e-02,2.047079e-02,2.050418e-02,2.077444e-02,2.082679e-02,2.103056e-02,2.115820e-02,2.127270e-02,2.146544e-02,2.150106e-02,2.171585e-02,2.174898e-02,2.191734e-02,2.200941e-02,2.210579e-02,2.224736e-02,2.228149e-02,2.244476e-02,2.246353e-02,2.259591e-02,2.265866e-02,2.273527e-02,2.283353e-02,2.286320e-02,2.298005e-02,2.298893e-02,2.308617e-02,2.312569e-02,2.318192e-02,2.324465e-02,2.326767e-02,2.334378e-02,2.334663e-02,2.341062e-02,2.343249e-02,2.346855e-02,2.350304e-02,2.351793e-02,2.355911e-02,2.360152e-02,2.363104e-02,2.364846e-02,2.365452e-02,2.364995e-02,2.363545e-02,2.361169e-02,2.357933e-02,2.353898e-02,2.349123e-02,2.343667e-02,2.337581e-02,2.330918e-02,2.323726e-02,2.316050e-02,2.307935e-02,2.299421e-02,2.290547e-02,2.281349e-02,2.271861e-02,2.262116e-02,2.252143e-02,2.241972e-02,2.231627e-02
0.000000e+00,1.583941e-11,8.585532e-11,8.557403e-10,3.378236e-09,6.091873e-09,2.016884e-08,2.102144e-08,5.118695e-08,6.313483e-08,1.023245e-07,1.456357e-07,1.806456e-07,2.823303e-07,2.926770e-07,4.438054e-07,4.861863e-07,6.357299e-07,7.601198e-07,8.656712e-07,1.095449e-06,1.128562e-06,1.419358e-06,1.480475e-06,1.733758e-06,1.905315e-06,2.068005e-06,2.361533e-06,2.418579e-06,2.782020e-06,2.841134e-06,3.154884e-06,3.336207e-06,3.533782e-06,3.839042e-06,3.915444e-06,4.296792e-06,4.342396e-06,4.675002e-06,4.839759e-06,5.047551e-06,5.325541e-06,5.412246e-06,5.767230e-06,5.795161e-06,6.110981e-06,6.245056e-06,6.442294e-06,6.672614e-06,6.760255e-06,7.064217e-06,7.076077e-06,7.353760e-06,7.454418e-06,7.628666e-06,7.807210e-06,7.888885e-06,8.134506e-06,8.365733e-06,8.436731e-06,8.582859e-06,8.714586e-06,8.786249e-06,8.968968e-06,8.976320e-06,9.153529e-06,9.200908e-06,9.318358e-06,9.411521e-06,9.471307e-06,9.601964e-06,9.612884e-06,9.743597e-06,9.773409e-06,9.863955e-06,9.927017e-06,9.974455e-06,1.006393e-05,1.007559e-05,1.016782e-05,1.018525e-05,1.025163e-05,1.029203e-05,1.032746e-05,1.038530e-05,1.039573e-05,1.045686e-05,1.046600e-05,1.051125e-05,1.053507e-05,1.055927e-05,1.059335e-05,1.060129e-05,1.063765e-05,1.064165e-05,1.066869e-05,1.068074e-05,1.069472e-05,1.071133e-05,1.071603e-05,1.073292e-05,1.073409e-05,1.074565e-05,1.074963e-05,1.075448e-05,1.075855e-05,1.075965e-05,1.076139e-05,1.076139e-05,1.075992e-05,1.075865e-05,1.075546e-05,1.075081e-05,1.074819e-05,1.073830e-05,1.072598e-05,1.072154e-05,1.071138e-05,1.070091e-05,1.069466e-05,1.067675e-05,1.067597e-05,1.065546e-05,1.064940e-05,1.063325e-05,1.061917e-05,1.060948e-05,1.058632e-05,1.058425e-05,1.055770e-05,1.055113e-05,1.052991e-05,1.051385e-05,1.050099e-05,1.047468e-05,1.047104e-05,1.044014e-05,1.043385e-05,1.040838e-05,1.039155e-05,1.037584e-05,1.034795e-05,1.034258e-05,1.030870e-05,1.030322e-05,1.027424e-05,1.025751e-05,1.023927e-05,1.021096e-05,1.020385e-05,1.016803e-05,1.016371e-05,1.013188e-05,1.011587e-05,1.009543e-05,1.006756e-05,1.005873e-05,1.002183e-05,1.001887e-05,9.984758e-06,9.969894e-06,9.947565e-06,9.920728e-06,9.910282e-06,9.872941e-06,9.871447e-06,9.835575e-06,9.822123e-06,9.798213e-06,9.772822e-06,9.760881e-06,9.723606e-06,9.674531e-06,9.625647e-06,9.577000e-06,9.528634e-06,9.480586e-06,9.432890e-06,9.385579e-06,9.338681e-06,9.292221e-06,9.246221e-06,9.200703e-06,9.155684e-06,9.111179e-06,9.067204e-06,9.023769e-06,8.980886e-06,8.938563e-06,8.896808e-06,8.855626e-06,8.815024e-06,8.775003e-06,8.735567e-06,8.696719e-06,8.658459e-06
0.000000e+00,5.555513e-15,4.916221e-14,1.253202e-12,1.065828e-11,2.832980e-11,2.316502e-10,2.497993e-10,1.315405e-09,1.965025e-09,5.001053e-09,9.961280e-09,1.519031e-08,3.648430e-08,3.915840e-08,8.907774e-08,1.068364e-07,1.836367e-07,2.657057e-07,3.496514e-07,5.835245e-07,6.235457e-07,1.052571e-06,1.161965e-06,1.695626e-06,2.137639e-06,2.623527e-06,3.683017e-06,3.918614e-06,5.673601e-06,6.003741e-06,7.989682e-06,9.332009e-06,1.097398e-05,1.391644e-05,1.473648e-05,1.938663e-05,2.000937e-05,2.502982e-05,2.785299e-05,3.176391e-05,3.766549e-05,3.967601e-05,4.883968e-05,4.962868e-05,5.931249e-05,6.387772e-05,7.113429e-05,8.049378e-05,8.432597e-05,9.888884e-05,9.949968e-05,1.148046e-04,1.208588e-04,1.320358e-04,1.444767e-04,1.505268e-04,1.702053e-04,1.909840e-04,1.978495e-04,2.127624e-04,2.271742e-04,2.354291e-04,2.579136e-04,2.588642e-04,2.829413e-04,2.897802e-04,3.075299e-04,3.224736e-04,3.324977e-04,3.556891e-04,3.577123e-04,3.830435e-04,3.891262e-04,4.083647e-04,4.224946e-04,4.335543e-04,4.555209e-04,4.584974e-04,4.830863e-04,4.879526e-04,5.072215e-04,5.195621e-04,5.308126e-04,5.501487e-04,5.537781e-04,5.760462e-04,5.795401e-04,5.975547e-04,6.075931e-04,6.182506e-04,6.341926e-04,6.380902e-04,6.570384e-04,6.592509e-04,6.750687e-04,6.827062e-04,6.921625e-04,7.045203e-04,7.083086e-04,7.235025e-04,7.246769e-04,7.377459e-04,7.431787e-04,7.510463e-04,7.600453e-04,7.634159e-04,7.748713e-04,7.753108e-04,7.854331e-04,7.890210e-04,7.951249e-04,8.012317e-04,8.039730e-04,8.120061e-04,8.192545e-04,8.214134e-04,8.257499e-04,8.295267e-04,8.315247e-04,8.364215e-04,8.366122e-04,8.410459e-04,8.421748e-04,8.448593e-04,8.468634e-04,8.480856e-04,8.505635e-04,8.507576e-04,8.529077e-04,8.533495e-04,8.545670e-04,8.552933e-04,8.557663e-04,8.564644e-04,8.565349e-04,8.569016e-04,8.569291e-04,8.568936e-04,8.567502e-04,8.565373e-04,8.559873e-04,8.558579e-04,8.548792e-04,8.546963e-04,8.536239e-04,8.529296e-04,8.521138e-04,8.507359e-04,8.503691e-04,8.484092e-04,8.481604e-04,8.462521e-04,8.452450e-04,8.439150e-04,8.420283e-04,8.414139e-04,8.387638e-04,8.385458e-04,8.359789e-04,8.348301e-04,8.330723e-04,8.309112e-04,8.300564e-04,8.269426e-04,8.268161e-04,8.237416e-04,8.225699e-04,8.204636e-04,8.181951e-04,8.171176e-04,8.137123e-04,8.091400e-04,8.044953e-04,7.997932e-04,7.950475e-04,7.902707e-04,7.854739e-04,7.806671e-04,7.758595e-04,7.710589e-04,7.662729e-04,7.615076e-04,7.567690e-04,7.520621e-04,7.473914e-04,7.427610e-04,7.381744e-04,7.336346e-04,7.291444e-04,7.247061e-04,7.203218e-04,7.159932e-04,7.117218e-04,7.075088e-04,7.033553e-04
0.000000e+00,5.307577e-11,1.313895e-10,4.898699e-10,1.156883e-09,1.711737e-09,3.987108e-09,4.110733e-09,8.101290e-09,9.565660e-09,1.414841e-08,1.897953e-08,2.277406e-08,3.344038e-08,3.450347e-08,4.970405e-08,5.387798e-08,6.837391e-08,8.020524e-08,9.011067e-08,1.113088e-07,1.143261e-07,1.404604e-07,1.458753e-07,1.680541e-07,1.828538e-07,1.967365e-07,2.214423e-07,2.261965e-07,2.561602e-07,2.609843e-07,2.863803e-07,3.009097e-07,3.166303e-07,3.407127e-07,3.467043e-07,3.764170e-07,3.799503e-07,4.056051e-07,4.182444e-07,4.341273e-07,4.552850e-07,4.618649e-07,4.887204e-07,4.908283e-07,5.146169e-07,5.246934e-07,5.394963e-07,5.567558e-07,5.633172e-07,5.860531e-07,5.869398e-07,6.076906e-07,6.152104e-07,6.282270e-07,6.415659e-07,6.476689e-07,6.660305e-07,6.833318e-07,6.886483e-07,6.995980e-07,7.094781e-07,7.148575e-07,7.285889e-07,7.291419e-07,7.424846e-07,7.460564e-07,7.549200e-07,7.619606e-07,7.664838e-07,7.763831e-07,7.772113e-07,7.871385e-07,7.894058e-07,7.963007e-07,8.011104e-07,8.047328e-07,8.115764e-07,8.124692e-07,8.195430e-07,8.208812e-07,8.259867e-07,8.290989e-07,8.318318e-07,8.363012e-07,8.371085e-07,8.418462e-07,8.425561e-07,8.460730e-07,8.479284e-07,8.498161e-07,8.524797e-07,8.531014e-07,8.559538e-07,8.562682e-07,8.583974e-07,8.593489e-07,8.604547e-07,8.617736e-07,8.621478e-07,8.634975e-07,8.635912e-07,8.645235e-07,8.648475e-07,8.652448e-07,8.655857e-07,8.656796e-07,8.658449e-07,8.658462e-07,8.657573e-07,8.656669e-07,8.654324e-07,8.650834e-07,8.648849e-07,8.641291e-07,8.631782e-07,8.628349e-07,8.620452e-07,8.612301e-07,8.607421e-07,8.593418e-07,8.592804e-07,8.576710e-07,8.571953e-07,8.559243e-07,8.548145e-07,8.540502e-07,8.522214e-07,8.520579e-07,8.499563e-07,8.494366e-07,8.477538e-07,8.464793e-07,8.454583e-07,8.433672e-07,8.430773e-07,8.406179e-07,8.401172e-07,8.380868e-07,8.367445e-07,8.354905e-07,8.332635e-07,8.328349e-07,8.301257e-07,8.296876e-07,8.273683e-07,8.260291e-07,8.245677e-07,8.222995e-07,8.217288e-07,8.188561e-07,8.185093e-07,8.159538e-07,8.146685e-07,8.130260e-07,8.107862e-07,8.100765e-07,8.071087e-07,8.068706e-07,8.041262e-07,8.029297e-07,8.011320e-07,7.989706e-07,7.981291e-07,7.951203e-07,7.949999e-07,7.921083e-07,7.910236e-07,7.890954e-07,7.870474e-07,7.860840e-07,7.830764e-07,7.791152e-07,7.751683e-07,7.712395e-07,7.673325e-07,7.634504e-07,7.595964e-07,7.557731e-07,7.519829e-07,7.482280e-07,7.445105e-07,7.408320e-07,7.371942e-07,7.335983e-07,7.300457e-07,7.265374e-07,7.230744e-07,7.196573e-07,7.162869e-07,7.129638e-07,7.096883e-07,7.064608e-07,7.032816e-07,7.001509e-07,6.970687e-07
0.000000e+00,2.535340e-11,6.345491e-11,2.388218e-10,5.652246e-10,8.361622e-10,1.940803e-09,2.000534e-09,3.914659e-09,4.610964e-09,6.772457e-09,9.027158e-09,1.078441e-08,1.567836e-08,1.616344e-08,2.307094e-08,2.496279e-08,3.153266e-08,3.690295e-08,4.140843e-08,5.108390e-08,5.246495e-08,6.446653e-08,6.696194e-08,7.721270e-08,8.407871e-08,9.053712e-08,1.020710e-07,1.042962e-07,1.183602e-07,1.206305e-07,1.326078e-07,1.394781e-07,1.469249e-07,1.583563e-07,1.612043e-07,1.753469e-07,1.770304e-07,1.892627e-07,1.952928e-07,2.028720e-07,2.129672e-07,2.161058e-07,2.289067e-07,2.299106e-07,2.412281e-07,2.460141e-07,2.530341e-07,2.612002e-07,2.642984e-07,2.750039e-07,2.754203e-07,2.851413e-07,2.886511e-07,2.947085e-07,3.008900e-07,3.037089e-07,3.121513e-07,3.200479e-07,3.224621e-07,3.274146e-07,3.318594e-07,3.342693e-07,3.403866e-07,3.406319e-07,3.465233e-07,3.480913e-07,3.519651e-07,3.550237e-07,3.569797e-07,3.612346e-07,3.615890e-07,3.658149e-07,3.667745e-07,3.696790e-07,3.716926e-07,3.732019e-07,3.760360e-07,3.764039e-07,3.793044e-07,3.798499e-07,3.819217e-07,3.831768e-07,3.842737e-07,3.860567e-07,3.863772e-07,3.882479e-07,3.885267e-07,3.899011e-07,3.906216e-07,3.913510e-07,3.923735e-07,3.926109e-07,3.936934e-07,3.938120e-07,3.946105e-07,3.949645e-07,3.953733e-07,3.958563e-07,3.959922e-07,3.964772e-07,3.965105e-07,3.968373e-07,3.969484e-07,3.970813e-07,3.971895e-07,3.972171e-07,3.972525e-07,3.972519e-07,3.971944e-07,3.971519e-07,3.970495e-07,3.969046e-07,3.968240e-07,3.965238e-07,3.961542e-07,3.960222e-07,3.957205e-07,3.954114e-07,3.952273e-07,3.947020e-07,3.946791e-07,3.940801e-07,3.939038e-07,3.934343e-07,3.930258e-07,3.927452e-07,3.920761e-07,3.920164e-07,3.912510e-07,3.910622e-07,3.904521e-07,3.899911e-07,3.896225e-07,3.888691e-07,3.887648e-07,3.878815e-07,3.877020e-07,3.869749e-07,3.864951e-07,3.860473e-07,3.852533e-07,3.851006e-07,3.841368e-07,3.839811e-07,3.831576e-07,3.826826e-07,3.821647e-07,3.813616e-07,3.811597e-07,3.801442e-07,3.800216e-07,3.791193e-07,3.786658e-07,3.780865e-07,3.772971e-07,3.770470e-07,3.760019e-07,3.759181e-07,3.749523e-07,3.745314e-07,3.738991e-07,3.731392e-07,3.728433e-07,3.717858e-07,3.717435e-07,3.707274e-07,3.703463e-07,3.696689e-07,3.689494e-07,3.686109e-07,3.675542e-07,3.661624e-07,3.647751e-07,3.633937e-07,3.620192e-07,3.606526e-07,3.592950e-07,3.579470e-07,3.566096e-07,3.552833e-07,3.539688e-07,3.526666e-07,3.513773e-07,3.501013e-07,3.488390e-07,3.475907e-07,3.463568e-07,3.451376e-07,3.439332e-07,3.427439e-07,3.415699e-07,3.404113e-07,3.392682e-07,3.381407e-07,3.370289e-07
0.000000e+00,2.211467e-11,5.575452e-11,2.119596e-10,5.047550e-10,7.485708e-10,1.743636e-09,1.797387e-09,3.512349e-09,4.131813e-09,6.038170e-09,8.000278e-09,9.512167e-09,1.365776e-08,1.406454e-08,1.981436e-08,2.138384e-08,2.685654e-08,3.138534e-08,3.523985e-08,4.371822e-08,4.495213e-08,5.593138e-08,5.827185e-08,6.809120e-08,7.484983e-08,8.133776e-08,9.323423e-08,9.557461e-08,1.107023e-07,1.131985e-07,1.266172e-07,1.345046e-07,1.432120e-07,1.569032e-07,1.603763e-07,1.779982e-07,1.801383e-07,1.959667e-07,2.039544e-07,2.141730e-07,2.281045e-07,2.325128e-07,2.508876e-07,2.523564e-07,2.692059e-07,2.764983e-07,2.873839e-07,3.003425e-07,3.053462e-07,3.230262e-07,3.237266e-07,3.403654e-07,3.465143e-07,3.573141e-07,3.685943e-07,3.738301e-07,3.898790e-07,4.054329e-07,4.103019e-07,4.204702e-07,4.298155e-07,4.349752e-07,4.483889e-07,4.489368e-07,4.623485e-07,4.660047e-07,4.752074e-07,4.826576e-07,4.875142e-07,4.983515e-07,4.992721e-07,5.104868e-07,5.130984e-07,5.211661e-07,5.269160e-07,5.313193e-07,5.398272e-07,5.409569e-07,5.500908e-07,5.518583e-07,5.587336e-07,5.630380e-07,5.668983e-07,5.733973e-07,5.745988e-07,5.818489e-07,5.829681e-07,5.886630e-07,5.917830e-07,5.950552e-07,5.998750e-07,6.010400e-07,6.066315e-07,6.072768e-07,6.118439e-07,6.140209e-07,6.166912e-07,6.201393e-07,6.211870e-07,6.253449e-07,6.256633e-07,6.291780e-07,6.306232e-07,6.326992e-07,6.350486e-07,6.359213e-07,6.388564e-07,6.389680e-07,6.415165e-07,6.424090e-07,6.439132e-07,6.453983e-07,6.460578e-07,6.479614e-07,6.496343e-07,6.501227e-07,6.510871e-07,6.519058e-07,6.523294e-07,6.533331e-07,6.533711e-07,6.542212e-07,6.544262e-07,6.548889e-07,6.552056e-07,6.553828e-07,6.556907e-07,6.557111e-07,6.558820e-07,6.559004e-07,6.559032e-07,6.558524e-07,6.557821e-07,6.555636e-07,6.555260e-07,6.551417e-07,6.550501e-07,6.546360e-07,6.543271e-07,6.540152e-07,6.534093e-07,6.532855e-07,6.524527e-07,6.523103e-07,6.515227e-07,6.510433e-07,6.505007e-07,6.496206e-07,6.493922e-07,6.482020e-07,6.480539e-07,6.469351e-07,6.463545e-07,6.455960e-07,6.445328e-07,6.441892e-07,6.427189e-07,6.425987e-07,6.411892e-07,6.405616e-07,6.396041e-07,6.384305e-07,6.379672e-07,6.362821e-07,6.362137e-07,6.345522e-07,6.339191e-07,6.327809e-07,6.315543e-07,6.309712e-07,6.291261e-07,6.266413e-07,6.241061e-07,6.215263e-07,6.189075e-07,6.162549e-07,6.135733e-07,6.108673e-07,6.081412e-07,6.053990e-07,6.026444e-07,5.998809e-07,5.971119e-07,5.943403e-07,5.915691e-07,5.888009e-07,5.860382e-07,5.832832e-07,5.805381e-07,5.778049e-07,5.750854e-07,5.723813e-07,5.696942e-07,5.670254e-07,5.643763e-07
0.000000e+00,6.281156e-11,2.214995e-10,1.198105e-09,3.340719e-09,5.245810e-09,1.350817e-08,1.396893e-08,2.917101e-08,3.485835e-08,5.288608e-08,7.214069e-08,8.736403e-08,1.301851e-07,1.344306e-07,1.941168e-07,2.101027e-07,2.641918e-07,3.068229e-07,3.416125e-07,4.137866e-07,4.238419e-07,5.090405e-07,5.263098e-07,5.958304e-07,6.412119e-07,6.830935e-07,7.560545e-07,7.698702e-07,8.553233e-07,8.688231e-07,9.387308e-07,9.778578e-07,1.019488e-06,1.081857e-06,1.097112e-06,1.171235e-06,1.179881e-06,1.241603e-06,1.271332e-06,1.308061e-06,1.355910e-06,1.370542e-06,1.429052e-06,1.433563e-06,1.483657e-06,1.504429e-06,1.534467e-06,1.568780e-06,1.581625e-06,1.625297e-06,1.626974e-06,1.665665e-06,1.679425e-06,1.702917e-06,1.726566e-06,1.737244e-06,1.768836e-06,1.797876e-06,1.806660e-06,1.824543e-06,1.840442e-06,1.849004e-06,1.870560e-06,1.871420e-06,1.891939e-06,1.897364e-06,1.910702e-06,1.921172e-06,1.927839e-06,1.942273e-06,1.943470e-06,1.957707e-06,1.960928e-06,1.970653e-06,1.977374e-06,1.982401e-06,1.991820e-06,1.993041e-06,2.002652e-06,2.004457e-06,2.011308e-06,2.015456e-06,2.019079e-06,2.024967e-06,2.026026e-06,2.032207e-06,2.033129e-06,2.037677e-06,2.040064e-06,2.042484e-06,2.045883e-06,2.046673e-06,2.050287e-06,2.050684e-06,2.053364e-06,2.054557e-06,2.055940e-06,2.057584e-06,2.058049e-06,2.059720e-06,2.059836e-06,2.060983e-06,2.061380e-06,2.061865e-06,2.062277e-06,2.062389e-06,2.062579e-06,2.062580e-06,2.062456e-06,2.062340e-06,2.062041e-06,2.061600e-06,2.061351e-06,2.060404e-06,2.059217e-06,2.058788e-06,2.057804e-06,2.056788e-06,2.056180e-06,2.054435e-06,2.054358e-06,2.052352e-06,2.051758e-06,2.050172e-06,2.048785e-06,2.047829e-06,2.045540e-06,2.045335e-06,2.042700e-06,2.042047e-06,2.039931e-06,2.038326e-06,2.037039e-06,2.034398e-06,2.034031e-06,2.030916e-06,2.030280e-06,2.027700e-06,2.025991e-06,2.024391e-06,2.021544e-06,2.020995e-06,2.017519e-06,2.016956e-06,2.013968e-06,2.012239e-06,2.010349e-06,2.007407e-06,2.006666e-06,2.002924e-06,2.002471e-06,1.999129e-06,1.997443e-06,1.995284e-06,1.992332e-06,1.991395e-06,1.987465e-06,1.987149e-06,1.983498e-06,1.981902e-06,1.979498e-06,1.976599e-06,1.975468e-06,1.971412e-06,1.971249e-06,1.967333e-06,1.965860e-06,1.963234e-06,1.960437e-06,1.959118e-06,1.954987e-06,1.949516e-06,1.944031e-06,1.938535e-06,1.933035e-06,1.927534e-06,1.922037e-06,1.916548e-06,1.911071e-06,1.905609e-06,1.900165e-06,1.894743e-06,1.889345e-06,1.883974e-06,1.878633e-06,1.873323e-06,1.868047e-06,1.862806e-06,1.857603e-06,1.852440e-06,1.847316e-06,1.842235e-06,1.837198e-06,1.832205e-06,1.827257e-06
0.000000e+00,3.566271e-14,3.013756e-13,6.972752e-12,5.423346e-11,1.371983e-10,9.861924e-10,1.057863e-09,4.894973e-09,7.058810e-09,1.643718e-08,3.046731e-08,4.433314e-08,9.592160e-08,1.020445e-07,2.084494e-07,2.438387e-07,3.880779e-07,5.316313e-07,6.709390e-07,1.032752e-06,1.091773e-06,1.688486e-06,1.832351e-06,2.499664e-06,3.018420e-06,3.561445e-06,4.669540e-06,4.904317e-06,6.550465e-06,6.842957e-06,8.512090e-06,9.566596e-06,1.079079e-05,1.283660e-05,1.337799e-05,1.625602e-05,1.661980e-05,1.939969e-05,2.085924e-05,2.277801e-05,2.548099e-05,2.635590e-05,3.009584e-05,3.040088e-05,3.395920e-05,3.553045e-05,3.790749e-05,4.078178e-05,4.190329e-05,4.591102e-05,4.607110e-05,4.989754e-05,5.132157e-05,5.383255e-05,5.646494e-05,5.768889e-05,6.144268e-05,6.507341e-05,6.620636e-05,6.856389e-05,7.071761e-05,7.190014e-05,7.494773e-05,7.507130e-05,7.806932e-05,7.887695e-05,8.088883e-05,8.249349e-05,8.352679e-05,8.579255e-05,8.598229e-05,8.825624e-05,8.877523e-05,9.035115e-05,9.144745e-05,9.227081e-05,9.381902e-05,9.402012e-05,9.560486e-05,9.590261e-05,9.703144e-05,9.771304e-05,9.830679e-05,9.926652e-05,9.943817e-05,1.004331e-04,1.005801e-04,1.012990e-04,1.016711e-04,1.020435e-04,1.025568e-04,1.026741e-04,1.031981e-04,1.032541e-04,1.036225e-04,1.037795e-04,1.039543e-04,1.041485e-04,1.042000e-04,1.043660e-04,1.043761e-04,1.044584e-04,1.044760e-04,1.044827e-04,1.044612e-04,1.044445e-04,1.043489e-04,1.043439e-04,1.042006e-04,1.041352e-04,1.040041e-04,1.038452e-04,1.037638e-04,1.034835e-04,1.031670e-04,1.030586e-04,1.028176e-04,1.025783e-04,1.024387e-04,1.020499e-04,1.020332e-04,1.016039e-04,1.014797e-04,1.011533e-04,1.008737e-04,1.006839e-04,1.002373e-04,1.001978e-04,9.969718e-05,9.957507e-05,9.918387e-05,9.889153e-05,9.865963e-05,9.819055e-05,9.812608e-05,9.758471e-05,9.747563e-05,9.703692e-05,9.674994e-05,9.648394e-05,9.601631e-05,9.592697e-05,9.536706e-05,9.527727e-05,9.480520e-05,9.453509e-05,9.424229e-05,9.379177e-05,9.367916e-05,9.311656e-05,9.304911e-05,9.255517e-05,9.230871e-05,9.199563e-05,9.157197e-05,9.143851e-05,9.088433e-05,9.084014e-05,9.033356e-05,9.011430e-05,8.978662e-05,8.939542e-05,8.924390e-05,8.870575e-05,8.868432e-05,8.817247e-05,8.798173e-05,8.764433e-05,8.728827e-05,8.712160e-05,8.660448e-05,8.593080e-05,8.526762e-05,8.461523e-05,8.397391e-05,8.334384e-05,8.272517e-05,8.211802e-05,8.152245e-05,8.093851e-05,8.036619e-05,7.980548e-05,7.925633e-05,7.871867e-05,7.819241e-05,7.767747e-05,7.717371e-05,7.668101e-05,7.619924e-05,7.572823e-05,7.526784e-05,7.481789e-05,7.437823e-05,7.394867e-05,7.352905e-05
0.000000e+00,5.566647e-11,1.332251e-10,4.789383e-10,1.111460e-09,1.633950e-09,3.767222e-09,3.883030e-09,7.628623e-09,9.008442e-09,1.334808e-08,1.795647e-08,2.159710e-08,3.190514e-08,3.293697e-08,4.773019e-08,5.179436e-08,6.586373e-08,7.725204e-08,8.669461e-08,1.065632e-07,1.093507e-07,1.330540e-07,1.378662e-07,1.572277e-07,1.698439e-07,1.814654e-07,2.016585e-07,2.054750e-07,2.290371e-07,2.327535e-07,2.519812e-07,2.627341e-07,2.741727e-07,2.913125e-07,2.955064e-07,3.159021e-07,3.182837e-07,3.353023e-07,3.435126e-07,3.536691e-07,3.669237e-07,3.709822e-07,3.872362e-07,3.884909e-07,4.024383e-07,4.082282e-07,4.166058e-07,4.261798e-07,4.297642e-07,4.419452e-07,4.424126e-07,4.531846e-07,4.570078e-07,4.635218e-07,4.700568e-07,4.729982e-07,4.816558e-07,4.895369e-07,4.919018e-07,4.966838e-07,5.008917e-07,5.031380e-07,5.087198e-07,5.089399e-07,5.141285e-07,5.154766e-07,5.187417e-07,5.212486e-07,5.228158e-07,5.261178e-07,5.263856e-07,5.294838e-07,5.301607e-07,5.321415e-07,5.334484e-07,5.343881e-07,5.360471e-07,5.362514e-07,5.377578e-07,5.380185e-07,5.389321e-07,5.394194e-07,5.397977e-07,5.403023e-07,5.403765e-07,5.406891e-07,5.407158e-07,5.407550e-07,5.407044e-07,5.405924e-07,5.403092e-07,5.402182e-07,5.396487e-07,5.395679e-07,5.388987e-07,5.385152e-07,5.379824e-07,5.371829e-07,5.369130e-07,5.357027e-07,5.356001e-07,5.343631e-07,5.337936e-07,5.329051e-07,5.317877e-07,5.313388e-07,5.296736e-07,5.296050e-07,5.279183e-07,5.272660e-07,5.260813e-07,5.247893e-07,5.241702e-07,5.221922e-07,5.201542e-07,5.194903e-07,5.180623e-07,5.166980e-07,5.159224e-07,5.138281e-07,5.137401e-07,5.115204e-07,5.108928e-07,5.092680e-07,5.079028e-07,5.069875e-07,5.048680e-07,5.046829e-07,5.023580e-07,5.017974e-07,5.000165e-07,4.986993e-07,4.976617e-07,4.955809e-07,4.952966e-07,4.929242e-07,4.924491e-07,4.905471e-07,4.893100e-07,4.881678e-07,4.861692e-07,4.857886e-07,4.834116e-07,4.830316e-07,4.810387e-07,4.799018e-07,4.786719e-07,4.767839e-07,4.763128e-07,4.739629e-07,4.736816e-07,4.716237e-07,4.705982e-07,4.692965e-07,4.675366e-07,4.669825e-07,4.646827e-07,4.644994e-07,4.623984e-07,4.614891e-07,4.601302e-07,4.585077e-07,4.578792e-07,4.556461e-07,4.555571e-07,4.534315e-07,4.526389e-07,4.512362e-07,4.497546e-07,4.490606e-07,4.469053e-07,4.440922e-07,4.413162e-07,4.385781e-07,4.358784e-07,4.332178e-07,4.305967e-07,4.280153e-07,4.254739e-07,4.229728e-07,4.205118e-07,4.180911e-07,4.157107e-07,4.133703e-07,4.110698e-07,4.088091e-07,4.065879e-07,4.044058e-07,4.022627e-07,4.001581e-07,3.980917e-07,3.960631e-07,3.940719e-07,3.921176e-07,3.901998e-07
0.000000e+00,1.554639e-12,1.109775e-11,1.826249e-10,1.053500e-09,2.273368e-09,1.103112e-08,1.165169e-08,3.753253e-08,4.928441e-08,9.152118e-08,1.426198e-07,1.861810e-07,3.201596e-07,3.342731e-07,5.484669e-07,6.110847e-07,8.409447e-07,1.042979e-06,1.222254e-06,1.636987e-06,1.699427e-06,2.274566e-06,2.401187e-06,2.945041e-06,3.329490e-06,3.704955e-06,4.406887e-06,4.546739e-06,5.462165e-06,5.614904e-06,6.442767e-06,6.934082e-06,7.479926e-06,8.344483e-06,8.564868e-06,9.688684e-06,9.825729e-06,1.084243e-05,1.135726e-05,1.201723e-05,1.291887e-05,1.320450e-05,1.439600e-05,1.449127e-05,1.558407e-05,1.605673e-05,1.676166e-05,1.759946e-05,1.792245e-05,1.906086e-05,1.910586e-05,2.017209e-05,2.056467e-05,2.125209e-05,2.196693e-05,2.229754e-05,2.330580e-05,2.427485e-05,2.457641e-05,2.520323e-05,2.577559e-05,2.608999e-05,2.690163e-05,2.693460e-05,2.773693e-05,2.795402e-05,2.849716e-05,2.893326e-05,2.921572e-05,2.984059e-05,2.989331e-05,3.053076e-05,3.067788e-05,3.112907e-05,3.144743e-05,3.168934e-05,3.215186e-05,3.221277e-05,3.270060e-05,3.279401e-05,3.315412e-05,3.337683e-05,3.357465e-05,3.390336e-05,3.396350e-05,3.432200e-05,3.437663e-05,3.465146e-05,3.479967e-05,3.495318e-05,3.517542e-05,3.522841e-05,3.547841e-05,3.550677e-05,3.570437e-05,3.579648e-05,3.590747e-05,3.604724e-05,3.608885e-05,3.624961e-05,3.626161e-05,3.639081e-05,3.644204e-05,3.651347e-05,3.659086e-05,3.661857e-05,3.670706e-05,3.671027e-05,3.677985e-05,3.680237e-05,3.683779e-05,3.686915e-05,3.688174e-05,3.691247e-05,3.693076e-05,3.693411e-05,3.693733e-05,3.693571e-05,3.693288e-05,3.691886e-05,3.691807e-05,3.689354e-05,3.688501e-05,3.685988e-05,3.683554e-05,3.681767e-05,3.677176e-05,3.676746e-05,3.670978e-05,3.669487e-05,3.664511e-05,3.660602e-05,3.657393e-05,3.650626e-05,3.649669e-05,3.641381e-05,3.639659e-05,3.632570e-05,3.627795e-05,3.623275e-05,3.615119e-05,3.613532e-05,3.603375e-05,3.601714e-05,3.592838e-05,3.587654e-05,3.581952e-05,3.573011e-05,3.570746e-05,3.559248e-05,3.557850e-05,3.547485e-05,3.542231e-05,3.535481e-05,3.526213e-05,3.523262e-05,3.510848e-05,3.509847e-05,3.498262e-05,3.493183e-05,3.485522e-05,3.476267e-05,3.472650e-05,3.459661e-05,3.459139e-05,3.446574e-05,3.441841e-05,3.433403e-05,3.424407e-05,3.420164e-05,3.406872e-05,3.389265e-05,3.371616e-05,3.353951e-05,3.336294e-05,3.318666e-05,3.301089e-05,3.283581e-05,3.266159e-05,3.248839e-05,3.231634e-05,3.214558e-05,3.197621e-05,3.180836e-05,3.164211e-05,3.147754e-05,3.131474e-05,3.115376e-05,3.099468e-05,3.083753e-05,3.068237e-05,3.052923e-05,3.037815e-05,3.022915e-05,3.008227e-05
0.000000e+00,3.966144e-12,2.649293e-11,3.835542e-10,1.992337e-09,4.078749e-09,1.755068e-08,1.845638e-08,5.396858e-08,6.926711e-08,1.221912e-07,1.837443e-07,2.349637e-07,3.883964e-07,4.043136e-07,6.424183e-07,7.111149e-07,9.608396e-07,1.177725e-06,1.368382e-06,1.803277e-06,1.868010e-06,2.455051e-06,2.582058e-06,3.118524e-06,3.489129e-06,3.844472e-06,4.492271e-06,4.618896e-06,5.429194e-06,5.561416e-06,6.264382e-06,6.671251e-06,7.114869e-06,7.800551e-06,7.972187e-06,8.828806e-06,8.931228e-06,9.678059e-06,1.004787e-05,1.051412e-05,1.113761e-05,1.133200e-05,1.212754e-05,1.219011e-05,1.289735e-05,1.319747e-05,1.363882e-05,1.415401e-05,1.435000e-05,1.502956e-05,1.505607e-05,1.567669e-05,1.590164e-05,1.629104e-05,1.669007e-05,1.687263e-05,1.742179e-05,1.793910e-05,1.809803e-05,1.842531e-05,1.872060e-05,1.888136e-05,1.929173e-05,1.930826e-05,1.970710e-05,1.981390e-05,2.007902e-05,2.028974e-05,2.042520e-05,2.072195e-05,2.074680e-05,2.104500e-05,2.111322e-05,2.132095e-05,2.146618e-05,2.157576e-05,2.178338e-05,2.181052e-05,2.202629e-05,2.206726e-05,2.222409e-05,2.232016e-05,2.240488e-05,2.254428e-05,2.256960e-05,2.271913e-05,2.274171e-05,2.285434e-05,2.291438e-05,2.297601e-05,2.306414e-05,2.308494e-05,2.318185e-05,2.319270e-05,2.326743e-05,2.330167e-05,2.334234e-05,2.339253e-05,2.340721e-05,2.346263e-05,2.346668e-05,2.350917e-05,2.352541e-05,2.354734e-05,2.356994e-05,2.357767e-05,2.360061e-05,2.360138e-05,2.361662e-05,2.362077e-05,2.362612e-05,2.362908e-05,2.362953e-05,2.362721e-05,2.361953e-05,2.361599e-05,2.360682e-05,2.359620e-05,2.358941e-05,2.356856e-05,2.356760e-05,2.354168e-05,2.353372e-05,2.351192e-05,2.349232e-05,2.347856e-05,2.344492e-05,2.344186e-05,2.340205e-05,2.339205e-05,2.335933e-05,2.333422e-05,2.331391e-05,2.327187e-05,2.326599e-05,2.321574e-05,2.320543e-05,2.316334e-05,2.313529e-05,2.310895e-05,2.306183e-05,2.305272e-05,2.299479e-05,2.298537e-05,2.293531e-05,2.290624e-05,2.287440e-05,2.282472e-05,2.281218e-05,2.274876e-05,2.274108e-05,2.268427e-05,2.265557e-05,2.261879e-05,2.256843e-05,2.255243e-05,2.248527e-05,2.247987e-05,2.241741e-05,2.239008e-05,2.234892e-05,2.229926e-05,2.227988e-05,2.221036e-05,2.220757e-05,2.214043e-05,2.211517e-05,2.207016e-05,2.202221e-05,2.199960e-05,2.192882e-05,2.183512e-05,2.174124e-05,2.164728e-05,2.155334e-05,2.145950e-05,2.136586e-05,2.127249e-05,2.117946e-05,2.108683e-05,2.099467e-05,2.090304e-05,2.081197e-05,2.072152e-05,2.063173e-05,2.054264e-05,2.045428e-05,2.036668e-05,2.027988e-05,2.019390e-05,2.010875e-05,2.002447e-05,1.994107e-05,1.985856e-05,1.977696e-05
0.000000e+00,1.974983e-15,1.707735e-14,4.145705e-13,3.370942e-12,8.740190e-12,6.699360e-11,7.205173e-11,3.556544e-10,5.220189e-10,1.271014e-09,2.442770e-09,3.639554e-09,8.302512e-09,8.872328e-09,1.914708e-08,2.268668e-08,3.756777e-08,5.294481e-08,6.828989e-08,1.096609e-07,1.165850e-07,1.888081e-07,2.067511e-07,2.922355e-07,3.609589e-07,4.347700e-07,5.906722e-07,6.245415e-07,8.694542e-07,9.142534e-07,1.176735e-06,1.348240e-06,1.552538e-06,1.905770e-06,2.001627e-06,2.527162e-06,2.595451e-06,3.130588e-06,3.420757e-06,3.811609e-06,4.379920e-06,4.568244e-06,5.396951e-06,5.466223e-06,6.292797e-06,6.668595e-06,7.249645e-06,7.972384e-06,8.260377e-06,9.317113e-06,9.360222e-06,1.041144e-05,1.081291e-05,1.153460e-05,1.231031e-05,1.267775e-05,1.383206e-05,1.498896e-05,1.535836e-05,1.614024e-05,1.687051e-05,1.727816e-05,1.835135e-05,1.839557e-05,1.948599e-05,1.978566e-05,2.054363e-05,2.116035e-05,2.156345e-05,2.246458e-05,2.254116e-05,2.347322e-05,2.368979e-05,2.435682e-05,2.482965e-05,2.518985e-05,2.587993e-05,2.597088e-05,2.669906e-05,2.683832e-05,2.737413e-05,2.770423e-05,2.799630e-05,2.847854e-05,2.856627e-05,2.908507e-05,2.916342e-05,2.955410e-05,2.976203e-05,2.997500e-05,3.027834e-05,3.034966e-05,3.068012e-05,3.071690e-05,3.096853e-05,3.108269e-05,3.121716e-05,3.138091e-05,3.142829e-05,3.160424e-05,3.161686e-05,3.174731e-05,3.179585e-05,3.185978e-05,3.192304e-05,3.194384e-05,3.200166e-05,3.200346e-05,3.203529e-05,3.204186e-05,3.204671e-05,3.204276e-05,3.203780e-05,3.201033e-05,3.196598e-05,3.194848e-05,3.190632e-05,3.186078e-05,3.183280e-05,3.175048e-05,3.174681e-05,3.164962e-05,3.162056e-05,3.154239e-05,3.147370e-05,3.142622e-05,3.131231e-05,3.130211e-05,3.117097e-05,3.113855e-05,3.103366e-05,3.095435e-05,3.089093e-05,3.076142e-05,3.074350e-05,3.059202e-05,3.056129e-05,3.043707e-05,3.035530e-05,3.027918e-05,3.014465e-05,3.011885e-05,2.995650e-05,2.993037e-05,2.979255e-05,2.971339e-05,2.962735e-05,2.949452e-05,2.946124e-05,2.929451e-05,2.927447e-05,2.912743e-05,2.905386e-05,2.896024e-05,2.883324e-05,2.879316e-05,2.862640e-05,2.861307e-05,2.846012e-05,2.839378e-05,2.829449e-05,2.817572e-05,2.812965e-05,2.796573e-05,2.795920e-05,2.780285e-05,2.774448e-05,2.764110e-05,2.753181e-05,2.748058e-05,2.732138e-05,2.711336e-05,2.690790e-05,2.670512e-05,2.650513e-05,2.630800e-05,2.611382e-05,2.592264e-05,2.573450e-05,2.554944e-05,2.536747e-05,2.518862e-05,2.501290e-05,2.484030e-05,2.467082e-05,2.450445e-05,2.434117e-05,2.418097e-05,2.402382e-05,2.386969e-05,2.371856e-05,2.357040e-05,2.342517e-05,2.328283e-05,2.314335e-05
0.000000e+00,4.196036e-11,1.846136e-10,1.333524e-09,4.325427e-09,7.196526e-09,2.051184e-08,2.127679e-08,4.704974e-08,5.682629e-08,8.793456e-08,1.211643e-07,1.474154e-07,2.216102e-07,2.290355e-07,3.360440e-07,3.657748e-07,4.705226e-07,5.579270e-07,6.324895e-07,7.962431e-07,8.200003e-07,1.030152e-06,1.074632e-06,1.259941e-06,1.386249e-06,1.506550e-06,1.724766e-06,1.767339e-06,2.039770e-06,2.084274e-06,2.321367e-06,2.459076e-06,2.609710e-06,2.843668e-06,2.902463e-06,3.197404e-06,3.232844e-06,3.492458e-06,3.621822e-06,3.785731e-06,4.006378e-06,4.075530e-06,4.360373e-06,4.382907e-06,4.638993e-06,4.748454e-06,4.910332e-06,5.100700e-06,5.173534e-06,5.427926e-06,5.437910e-06,5.673001e-06,5.758874e-06,5.908402e-06,6.062827e-06,6.133901e-06,6.349381e-06,6.554819e-06,6.618445e-06,6.750270e-06,6.870171e-06,6.935855e-06,7.104891e-06,7.111743e-06,7.278148e-06,7.323074e-06,7.435310e-06,7.525282e-06,7.583498e-06,7.712146e-06,7.722993e-06,7.854089e-06,7.884336e-06,7.977089e-06,8.042545e-06,8.092296e-06,8.187473e-06,8.200014e-06,8.300545e-06,8.319816e-06,8.394188e-06,8.440258e-06,8.481235e-06,8.549466e-06,8.561972e-06,8.636676e-06,8.648087e-06,8.705619e-06,8.736742e-06,8.769062e-06,8.816027e-06,8.827258e-06,8.880453e-06,8.886512e-06,8.928882e-06,8.948739e-06,8.972770e-06,9.003224e-06,9.012337e-06,9.047792e-06,9.050457e-06,9.079335e-06,9.090901e-06,9.107160e-06,9.124994e-06,9.131449e-06,9.152382e-06,9.153152e-06,9.170126e-06,9.175765e-06,9.184844e-06,9.193202e-06,9.196690e-06,9.205812e-06,9.212353e-06,9.213923e-06,9.216447e-06,9.217843e-06,9.218224e-06,9.217863e-06,9.217806e-06,9.215311e-06,9.214256e-06,9.210853e-06,9.207280e-06,9.204538e-06,9.197175e-06,9.196468e-06,9.186741e-06,9.184170e-06,9.175450e-06,9.168477e-06,9.162684e-06,9.150298e-06,9.148528e-06,9.133063e-06,9.129819e-06,9.116365e-06,9.107219e-06,9.098507e-06,9.082662e-06,9.079560e-06,9.059590e-06,9.056305e-06,9.038661e-06,9.028293e-06,9.016834e-06,8.998763e-06,8.994164e-06,8.970709e-06,8.967844e-06,8.946519e-06,8.935656e-06,8.921645e-06,8.902313e-06,8.896134e-06,8.870031e-06,8.867919e-06,8.843379e-06,8.832574e-06,8.816219e-06,8.796371e-06,8.788590e-06,8.760528e-06,8.759397e-06,8.732070e-06,8.721734e-06,8.703248e-06,8.683457e-06,8.674094e-06,8.644639e-06,8.605345e-06,8.565639e-06,8.525578e-06,8.485218e-06,8.444609e-06,8.403800e-06,8.362834e-06,8.321753e-06,8.280597e-06,8.239400e-06,8.198197e-06,8.157020e-06,8.115896e-06,8.074854e-06,8.033918e-06,7.993113e-06,7.952459e-06,7.911977e-06,7.871685e-06,7.831601e-06,7.791740e-06,7.752117e-06,7.712745e-06,7.673637e-06
0.000000e+00,2.462318e-11,5.995537e-11,2.188124e-10,5.091826e-10,7.475645e-10,1.704377e-09,1.755563e-09,3.372322e-09,3.950539e-09,5.717203e-09,7.520862e-09,8.903252e-09,1.266976e-08,1.303779e-08,1.821482e-08,1.962008e-08,2.449198e-08,2.848650e-08,3.185626e-08,3.916071e-08,4.021084e-08,4.940694e-08,5.133320e-08,5.928839e-08,6.464994e-08,6.971379e-08,7.879983e-08,8.055839e-08,9.170972e-08,9.351535e-08,1.030637e-07,1.085566e-07,1.145224e-07,1.237031e-07,1.259943e-07,1.373942e-07,1.387536e-07,1.486443e-07,1.535286e-07,1.596750e-07,1.678738e-07,1.704255e-07,1.808442e-07,1.816621e-07,1.908888e-07,1.947941e-07,2.005257e-07,2.071974e-07,2.097298e-07,2.184839e-07,2.188245e-07,2.267777e-07,2.296498e-07,2.346072e-07,2.396665e-07,2.419736e-07,2.488827e-07,2.553440e-07,2.573190e-07,2.613698e-07,2.650045e-07,2.669749e-07,2.719752e-07,2.721757e-07,2.769899e-07,2.782711e-07,2.814358e-07,2.839345e-07,2.855324e-07,2.890090e-07,2.892985e-07,2.927529e-07,2.935376e-07,2.959140e-07,2.975628e-07,2.987997e-07,3.011251e-07,3.014273e-07,3.038136e-07,3.042632e-07,3.059742e-07,3.070137e-07,3.079244e-07,3.094104e-07,3.096784e-07,3.112498e-07,3.114851e-07,3.126512e-07,3.132670e-07,3.138945e-07,3.147830e-07,3.149911e-07,3.159513e-07,3.160578e-07,3.167850e-07,3.171141e-07,3.175013e-07,3.179725e-07,3.181088e-07,3.186154e-07,3.186518e-07,3.190286e-07,3.191693e-07,3.193552e-07,3.195403e-07,3.196016e-07,3.197739e-07,3.197793e-07,3.198775e-07,3.198990e-07,3.199176e-07,3.199111e-07,3.198990e-07,3.198262e-07,3.197034e-07,3.196541e-07,3.195343e-07,3.194035e-07,3.193226e-07,3.190823e-07,3.190715e-07,3.187843e-07,3.186978e-07,3.184638e-07,3.182567e-07,3.181127e-07,3.177648e-07,3.177335e-07,3.173285e-07,3.172277e-07,3.168999e-07,3.166503e-07,3.164497e-07,3.160372e-07,3.159799e-07,3.154921e-07,3.153926e-07,3.149881e-07,3.147201e-07,3.144694e-07,3.140233e-07,3.139373e-07,3.133933e-07,3.133052e-07,3.128386e-07,3.125688e-07,3.122743e-07,3.118167e-07,3.117016e-07,3.111214e-07,3.110513e-07,3.105347e-07,3.102748e-07,3.099425e-07,3.094891e-07,3.093455e-07,3.087445e-07,3.086962e-07,3.081402e-07,3.078977e-07,3.075334e-07,3.070952e-07,3.069246e-07,3.063144e-07,3.062900e-07,3.057035e-07,3.054834e-07,3.050922e-07,3.046767e-07,3.044812e-07,3.038708e-07,3.030668e-07,3.022656e-07,3.014679e-07,3.006745e-07,2.998862e-07,2.991034e-07,2.983267e-07,2.975567e-07,2.967938e-07,2.960384e-07,2.952909e-07,2.945515e-07,2.938207e-07,2.930986e-07,2.923855e-07,2.916815e-07,2.909869e-07,2.903017e-07,2.896262e-07,2.889604e-07,2.883043e-07,2.876582e-07,2.870219e-07,2.863956e-07
0.000000e+00,1.302475e-12,9.208741e-12,1.486903e-10,8.441138e-10,1.806518e-09,8.594043e-09,9.070612e-09,2.870731e-08,3.752498e-08,6.891370e-08,1.064471e-07,1.381632e-07,2.344959e-07,2.445540e-07,3.955290e-07,4.391551e-07,5.977481e-07,7.355572e-07,8.569493e-07,1.135833e-06,1.177685e-06,1.562877e-06,1.647758e-06,2.013240e-06,2.272645e-06,2.526811e-06,3.003694e-06,3.098895e-06,3.722556e-06,3.826583e-06,4.389473e-06,4.722370e-06,5.090834e-06,5.670885e-06,5.817976e-06,6.562775e-06,6.652977e-06,7.317818e-06,7.651540e-06,8.076451e-06,8.651758e-06,8.832779e-06,9.581639e-06,9.641087e-06,1.031857e-05,1.060914e-05,1.103979e-05,1.154754e-05,1.174214e-05,1.242305e-05,1.244981e-05,1.308050e-05,1.331113e-05,1.371295e-05,1.412816e-05,1.431930e-05,1.489883e-05,1.545113e-05,1.562209e-05,1.597610e-05,1.629777e-05,1.647383e-05,1.692632e-05,1.694464e-05,1.738899e-05,1.750874e-05,1.780746e-05,1.804639e-05,1.820072e-05,1.854090e-05,1.856953e-05,1.891469e-05,1.899410e-05,1.923704e-05,1.940792e-05,1.953745e-05,1.978435e-05,1.981678e-05,2.007592e-05,2.012540e-05,2.031574e-05,2.043309e-05,2.053709e-05,2.070938e-05,2.074083e-05,2.092777e-05,2.095618e-05,2.109873e-05,2.117534e-05,2.125448e-05,2.136864e-05,2.139578e-05,2.152337e-05,2.153779e-05,2.163794e-05,2.168440e-05,2.174017e-05,2.181002e-05,2.183073e-05,2.191022e-05,2.191612e-05,2.197926e-05,2.200408e-05,2.203842e-05,2.207520e-05,2.208824e-05,2.212926e-05,2.213072e-05,2.216197e-05,2.217181e-05,2.218687e-05,2.219956e-05,2.220439e-05,2.221499e-05,2.221908e-05,2.221907e-05,2.221705e-05,2.221271e-05,2.220928e-05,2.219676e-05,2.219613e-05,2.217795e-05,2.217200e-05,2.215505e-05,2.213919e-05,2.212776e-05,2.209901e-05,2.209635e-05,2.206112e-05,2.205213e-05,2.202233e-05,2.199914e-05,2.198022e-05,2.194061e-05,2.193504e-05,2.188701e-05,2.187708e-05,2.183635e-05,2.180903e-05,2.178326e-05,2.173693e-05,2.172794e-05,2.167056e-05,2.166120e-05,2.161131e-05,2.158224e-05,2.155033e-05,2.150042e-05,2.148780e-05,2.142385e-05,2.141609e-05,2.135862e-05,2.132955e-05,2.129225e-05,2.124112e-05,2.122486e-05,2.115656e-05,2.115106e-05,2.108746e-05,2.105962e-05,2.101767e-05,2.096705e-05,2.094729e-05,2.087641e-05,2.087356e-05,2.080511e-05,2.077935e-05,2.073348e-05,2.068461e-05,2.066159e-05,2.058951e-05,2.049421e-05,2.039885e-05,2.030356e-05,2.020847e-05,2.011369e-05,2.001932e-05,1.992546e-05,1.983219e-05,1.973958e-05,1.964772e-05,1.955665e-05,1.946644e-05,1.937715e-05,1.928880e-05,1.920146e-05,1.911514e-05,1.902989e-05,1.894573e-05,1.886269e-05,1.878078e-05,1.870003e-05,1.862045e-05,1.854204e-05,1.846483e-05
0.000000e+00,1.063033e-14,9.413340e-14,2.402231e-12,2.045651e-11,5.441872e-11,4.461934e-10,4.812152e-10,2.543886e-09,3.805171e-09,9.721720e-09,1.943794e-08,2.972651e-08,7.194270e-08,7.727210e-08,1.775496e-07,2.135083e-07,3.702499e-07,5.394201e-07,7.137920e-07,1.204662e-06,1.289244e-06,2.203384e-06,2.438178e-06,3.590484e-06,4.551409e-06,5.612616e-06,7.939259e-06,8.458446e-06,1.234067e-05,1.307333e-05,1.749232e-05,2.048859e-05,2.416216e-05,3.076518e-05,3.260952e-05,4.309869e-05,4.450716e-05,5.589322e-05,6.231976e-05,7.125019e-05,8.478664e-05,8.941469e-05,1.106147e-04,1.124482e-04,1.350562e-04,1.457816e-04,1.629190e-04,1.851843e-04,1.943532e-04,2.294760e-04,2.309589e-04,2.683694e-04,2.833039e-04,3.110785e-04,3.423057e-04,3.576110e-04,4.079365e-04,4.619872e-04,4.800542e-04,5.196590e-04,5.584066e-04,5.808131e-04,6.426386e-04,6.452783e-04,7.128537e-04,7.323018e-04,7.833118e-04,8.268669e-04,8.564018e-04,9.257366e-04,9.318529e-04,1.009379e-03,1.028260e-03,1.088680e-03,1.133749e-03,1.169449e-03,1.241492e-03,1.251373e-03,1.334139e-03,1.350765e-03,1.417434e-03,1.460854e-03,1.500950e-03,1.571056e-03,1.584389e-03,1.667460e-03,1.680699e-03,1.749887e-03,1.789146e-03,1.831407e-03,1.895802e-03,1.911772e-03,1.990751e-03,2.000126e-03,2.068134e-03,2.101625e-03,2.143725e-03,2.199868e-03,2.217350e-03,2.288852e-03,2.294476e-03,2.358095e-03,2.385133e-03,2.424961e-03,2.471575e-03,2.489349e-03,2.551177e-03,2.553596e-03,2.610380e-03,2.631040e-03,2.666906e-03,2.703798e-03,2.720723e-03,2.771809e-03,2.820157e-03,2.835051e-03,2.865773e-03,2.893539e-03,2.908671e-03,2.947321e-03,2.948878e-03,2.986430e-03,2.996475e-03,3.021369e-03,3.041100e-03,3.053747e-03,3.081319e-03,3.083618e-03,3.111046e-03,3.117272e-03,3.136096e-03,3.149112e-03,3.158839e-03,3.177003e-03,3.179348e-03,3.197700e-03,3.201118e-03,3.213970e-03,3.221635e-03,3.228239e-03,3.238736e-03,3.240585e-03,3.251089e-03,3.252604e-03,3.259830e-03,3.263423e-03,3.266887e-03,3.271374e-03,3.272339e-03,3.276263e-03,3.276635e-03,3.278735e-03,3.279381e-03,3.279829e-03,3.279784e-03,3.279618e-03,3.278173e-03,3.278006e-03,3.275563e-03,3.274207e-03,3.271854e-03,3.268541e-03,3.267113e-03,3.261402e-03,3.261154e-03,3.254780e-03,3.252184e-03,3.247306e-03,3.241766e-03,3.239037e-03,3.230025e-03,3.217080e-03,3.203044e-03,3.188023e-03,3.172117e-03,3.155420e-03,3.138018e-03,3.119995e-03,3.101427e-03,3.082385e-03,3.062935e-03,3.043139e-03,3.023055e-03,3.002734e-03,2.982226e-03,2.961577e-03,2.940827e-03,2.920015e-03,2.899176e-03,2.878343e-03,2.857544e-03,2.836807e-03,2.816156e-03,2.795613e-03,2.775199e-03
0.000000e+00,1.019182e-12,7.409257e-12,1.264103e-10,7.522007e-10,1.649872e-09,8.332343e-09,8.814915e-09,2.947373e-08,3.908758e-08,7.440746e-08,1.183210e-07,1.565499e-07,2.777356e-07,2.907771e-07,4.941269e-07,5.553110e-07,7.857613e-07,9.951200e-07,1.185601e-06,1.640829e-06,1.710916e-06,2.371937e-06,2.520648e-06,3.169224e-06,3.635177e-06,4.094472e-06,4.960480e-06,5.133783e-06,6.271237e-06,6.461282e-06,7.491326e-06,8.102137e-06,8.780021e-06,9.852004e-06,1.012494e-05,1.151510e-05,1.168447e-05,1.294054e-05,1.357652e-05,1.439209e-05,1.550745e-05,1.586120e-05,1.733986e-05,1.745833e-05,1.882058e-05,1.941187e-05,2.029645e-05,2.135251e-05,2.176117e-05,2.320902e-05,2.326651e-05,2.463496e-05,2.514206e-05,2.603457e-05,2.696930e-05,2.740405e-05,2.874022e-05,3.004045e-05,3.044858e-05,3.130264e-05,3.208972e-05,3.252518e-05,3.366039e-05,3.370686e-05,3.484687e-05,3.515853e-05,3.594473e-05,3.658312e-05,3.700024e-05,3.793395e-05,3.801346e-05,3.898465e-05,3.921153e-05,3.991426e-05,4.041689e-05,4.080286e-05,4.155147e-05,4.165117e-05,4.245997e-05,4.261707e-05,4.323016e-05,4.361570e-05,4.396266e-05,4.454956e-05,4.465846e-05,4.531858e-05,4.542095e-05,4.594404e-05,4.623226e-05,4.653590e-05,4.698590e-05,4.709521e-05,4.762304e-05,4.768431e-05,4.812041e-05,4.832988e-05,4.858838e-05,4.892501e-05,4.902798e-05,4.944020e-05,4.947202e-05,4.982603e-05,4.997320e-05,5.018646e-05,5.043077e-05,5.052243e-05,5.083485e-05,5.084687e-05,5.112465e-05,5.122361e-05,5.139270e-05,5.156299e-05,5.163986e-05,5.186695e-05,5.207479e-05,5.213736e-05,5.226416e-05,5.237602e-05,5.243582e-05,5.258464e-05,5.259051e-05,5.272895e-05,5.276489e-05,5.285182e-05,5.291835e-05,5.295979e-05,5.304652e-05,5.305351e-05,5.313360e-05,5.315086e-05,5.320066e-05,5.323275e-05,5.325529e-05,5.329352e-05,5.329804e-05,5.332945e-05,5.333441e-05,5.335004e-05,5.335665e-05,5.336033e-05,5.336137e-05,5.336080e-05,5.335192e-05,5.334966e-05,5.333414e-05,5.332257e-05,5.330789e-05,5.328108e-05,5.327359e-05,5.323166e-05,5.322613e-05,5.318247e-05,5.315862e-05,5.312640e-05,5.307940e-05,5.306381e-05,5.299504e-05,5.298928e-05,5.292043e-05,5.288903e-05,5.284030e-05,5.277936e-05,5.275495e-05,5.266468e-05,5.266097e-05,5.256977e-05,5.253452e-05,5.247050e-05,5.240063e-05,5.236712e-05,5.225988e-05,5.211283e-05,5.196001e-05,5.180192e-05,5.163902e-05,5.147177e-05,5.130058e-05,5.112585e-05,5.094797e-05,5.076727e-05,5.058410e-05,5.039877e-05,5.021158e-05,5.002281e-05,4.983271e-05,4.964155e-05,4.944955e-05,4.925692e-05,4.906388e-05,4.887061e-05,4.867730e-05,4.848411e-05,4.829120e-05,4.809871e-05,4.790679e-05
0.000000e+00,1.611178e-11,7.950189e-11,6.803934e-10,2.433437e-09,4.207581e-09,1.284609e-08,1.335355e-08,3.078540e-08,3.750968e-08,5.915189e-08,8.257000e-08,1.012377e-07,1.546316e-07,1.600197e-07,2.384008e-07,2.603861e-07,3.383840e-07,4.039311e-07,4.600438e-07,5.834894e-07,6.013929e-07,7.593691e-07,7.926807e-07,9.308707e-07,1.024478e-06,1.113179e-06,1.272952e-06,1.303958e-06,1.501133e-06,1.533145e-06,1.702791e-06,1.800647e-06,1.907132e-06,2.071391e-06,2.112456e-06,2.317165e-06,2.341617e-06,2.519785e-06,2.607926e-06,2.718980e-06,2.867344e-06,2.913567e-06,3.102528e-06,3.117375e-06,3.285006e-06,3.356022e-06,3.460310e-06,3.581779e-06,3.627902e-06,3.787395e-06,3.793602e-06,3.938533e-06,3.990869e-06,4.081184e-06,4.173313e-06,4.215303e-06,4.340930e-06,4.458189e-06,4.493971e-06,4.567252e-06,4.632857e-06,4.668351e-06,4.758158e-06,4.761749e-06,4.847734e-06,4.870524e-06,4.926616e-06,4.970669e-06,4.998715e-06,5.059337e-06,5.064358e-06,5.123874e-06,5.137282e-06,5.177589e-06,5.205255e-06,5.225824e-06,5.263988e-06,5.268893e-06,5.307103e-06,5.314187e-06,5.340746e-06,5.356531e-06,5.370107e-06,5.391659e-06,5.395456e-06,5.417052e-06,5.420175e-06,5.435140e-06,5.442646e-06,5.449956e-06,5.459602e-06,5.461721e-06,5.470646e-06,5.471536e-06,5.476929e-06,5.478905e-06,5.480757e-06,5.482133e-06,5.482307e-06,5.481744e-06,5.481613e-06,5.479226e-06,5.477704e-06,5.474898e-06,5.470741e-06,5.468900e-06,5.461361e-06,5.461029e-06,5.452401e-06,5.448850e-06,5.442136e-06,5.434464e-06,5.430672e-06,5.418108e-06,5.404540e-06,5.400000e-06,5.390053e-06,5.380339e-06,5.374732e-06,5.359308e-06,5.358651e-06,5.341884e-06,5.337075e-06,5.324496e-06,5.313792e-06,5.306552e-06,5.289601e-06,5.288108e-06,5.269221e-06,5.264627e-06,5.249940e-06,5.238989e-06,5.230314e-06,5.212792e-06,5.210386e-06,5.190199e-06,5.186133e-06,5.169790e-06,5.159102e-06,5.149196e-06,5.131778e-06,5.128449e-06,5.107582e-06,5.104234e-06,5.086622e-06,5.076537e-06,5.065597e-06,5.048747e-06,5.044531e-06,5.023448e-06,5.020918e-06,5.002369e-06,4.993101e-06,4.981314e-06,4.965339e-06,4.960300e-06,4.939346e-06,4.937672e-06,4.918466e-06,4.910138e-06,4.897675e-06,4.882768e-06,4.876986e-06,4.856412e-06,4.855592e-06,4.835964e-06,4.828636e-06,4.815652e-06,4.801922e-06,4.795485e-06,4.775473e-06,4.749305e-06,4.723435e-06,4.697878e-06,4.672645e-06,4.647746e-06,4.623192e-06,4.598989e-06,4.575144e-06,4.551663e-06,4.528548e-06,4.505805e-06,4.483434e-06,4.461437e-06,4.439816e-06,4.418569e-06,4.397697e-06,4.377199e-06,4.357073e-06,4.337317e-06,4.317928e-06,4.298904e-06,4.280242e-06,4.261938e-06,4.243989e-06
0.000000e+00,1.063959e-11,2.475023e-11,8.657429e-11,1.986641e-10,2.908872e-10,6.653796e-10,6.856267e-10,1.336269e-09,1.574020e-09,2.315760e-09,3.094739e-09,3.704727e-09,5.410437e-09,5.579659e-09,7.982317e-09,8.636636e-09,1.089424e-08,1.272500e-08,1.425385e-08,1.752619e-08,1.799287e-08,2.205314e-08,2.289937e-08,2.638635e-08,2.873320e-08,3.094986e-08,3.493183e-08,3.570360e-08,4.060864e-08,4.140493e-08,4.562691e-08,4.806501e-08,5.072152e-08,5.482845e-08,5.585728e-08,6.100134e-08,6.161773e-08,6.612364e-08,6.836347e-08,7.119713e-08,7.500563e-08,7.619811e-08,8.110623e-08,8.149433e-08,8.590435e-08,8.778955e-08,9.057842e-08,9.386057e-08,9.511727e-08,9.951225e-08,9.968496e-08,1.037570e-07,1.052475e-07,1.078473e-07,1.105390e-07,1.117803e-07,1.155551e-07,1.191715e-07,1.202955e-07,1.226307e-07,1.247630e-07,1.259346e-07,1.289626e-07,1.290857e-07,1.320872e-07,1.329012e-07,1.349425e-07,1.365870e-07,1.376554e-07,1.400290e-07,1.402300e-07,1.426704e-07,1.432366e-07,1.449810e-07,1.462198e-07,1.471660e-07,1.489884e-07,1.492298e-07,1.511767e-07,1.515525e-07,1.530111e-07,1.539219e-07,1.547371e-07,1.561063e-07,1.563589e-07,1.578806e-07,1.581151e-07,1.593062e-07,1.599574e-07,1.606394e-07,1.616421e-07,1.618842e-07,1.630440e-07,1.631777e-07,1.641226e-07,1.645723e-07,1.651233e-07,1.658338e-07,1.660494e-07,1.669042e-07,1.669696e-07,1.676908e-07,1.679869e-07,1.684121e-07,1.688926e-07,1.690710e-07,1.696703e-07,1.696931e-07,1.702127e-07,1.703946e-07,1.707008e-07,1.710029e-07,1.711370e-07,1.715238e-07,1.718634e-07,1.719624e-07,1.721580e-07,1.723239e-07,1.724097e-07,1.726130e-07,1.726207e-07,1.727927e-07,1.728342e-07,1.729278e-07,1.729918e-07,1.730276e-07,1.730899e-07,1.730940e-07,1.731286e-07,1.731323e-07,1.731329e-07,1.731227e-07,1.731086e-07,1.730645e-07,1.730570e-07,1.729795e-07,1.729610e-07,1.728775e-07,1.728152e-07,1.727523e-07,1.726301e-07,1.726051e-07,1.724370e-07,1.724083e-07,1.722493e-07,1.721525e-07,1.720430e-07,1.718652e-07,1.718191e-07,1.715786e-07,1.715486e-07,1.713224e-07,1.712050e-07,1.710515e-07,1.708363e-07,1.707668e-07,1.704690e-07,1.704446e-07,1.701590e-07,1.700317e-07,1.698374e-07,1.695992e-07,1.695051e-07,1.691628e-07,1.691489e-07,1.688110e-07,1.686822e-07,1.684505e-07,1.682006e-07,1.680818e-07,1.677055e-07,1.671981e-07,1.666797e-07,1.661513e-07,1.656141e-07,1.650690e-07,1.645170e-07,1.639590e-07,1.633958e-07,1.628281e-07,1.622568e-07,1.616826e-07,1.611059e-07,1.605276e-07,1.599480e-07,1.593678e-07,1.587875e-07,1.582075e-07,1.576282e-07,1.570500e-07,1.564734e-07,1.558987e-07,1.553261e-07,1.547561e-07,1.541888e-07
0.000000e+00,1.345058e-14,1.172498e-13,2.894440e-12,2.389557e-11,6.247331e-11,4.891647e-10,5.265496e-10,2.653475e-09,3.916255e-09,9.666031e-09,1.877658e-08,2.816562e-08,6.518522e-08,6.974119e-08,1.525813e-07,1.813306e-07,3.029164e-07,4.293823e-07,5.561519e-07,8.998445e-07,9.575799e-07,1.562554e-06,1.713532e-06,2.436014e-06,3.020366e-06,3.651244e-06,4.994283e-06,5.287870e-06,7.429171e-06,7.824234e-06,1.015894e-05,1.170221e-05,1.355810e-05,1.680995e-05,1.770146e-05,2.265467e-05,2.330617e-05,2.847172e-05,3.131583e-05,3.519301e-05,4.092217e-05,4.284397e-05,5.143436e-05,5.216211e-05,6.095817e-05,6.502474e-05,7.139394e-05,7.945269e-05,8.270564e-05,9.484387e-05,9.534576e-05,1.077473e-04,1.125663e-04,1.213444e-04,1.309461e-04,1.355552e-04,1.502934e-04,1.654679e-04,1.704006e-04,1.809850e-04,1.910520e-04,1.967500e-04,2.120301e-04,2.126686e-04,2.286488e-04,2.331221e-04,2.446018e-04,2.541252e-04,2.604432e-04,2.748508e-04,2.760941e-04,2.914814e-04,2.951276e-04,3.065387e-04,3.148042e-04,3.212065e-04,3.337499e-04,3.354321e-04,3.491702e-04,3.518559e-04,3.623825e-04,3.690342e-04,3.750372e-04,3.852179e-04,3.871094e-04,3.985802e-04,4.003587e-04,4.094364e-04,4.144267e-04,4.196704e-04,4.274074e-04,4.292792e-04,4.382643e-04,4.393009e-04,4.466312e-04,4.501188e-04,4.543885e-04,4.598835e-04,4.615480e-04,4.681242e-04,4.686255e-04,4.741333e-04,4.763823e-04,4.795937e-04,4.831962e-04,4.845247e-04,4.889471e-04,4.891137e-04,4.928823e-04,4.941838e-04,4.963521e-04,4.984570e-04,4.993786e-04,5.019843e-04,5.041913e-04,5.048169e-04,5.060215e-04,5.070050e-04,5.074964e-04,5.085978e-04,5.086372e-04,5.094645e-04,5.096427e-04,5.099982e-04,5.101855e-04,5.102576e-04,5.102698e-04,5.102611e-04,5.100266e-04,5.099369e-04,5.095712e-04,5.092257e-04,5.089110e-04,5.081731e-04,5.080616e-04,5.070377e-04,5.068133e-04,5.058534e-04,5.051785e-04,5.045218e-04,5.032987e-04,5.030555e-04,5.014664e-04,5.012015e-04,4.997656e-04,4.989126e-04,4.979636e-04,4.964557e-04,4.960702e-04,4.940947e-04,4.938526e-04,4.920458e-04,4.911232e-04,4.899317e-04,4.882860e-04,4.877598e-04,4.855375e-04,4.853577e-04,4.832712e-04,4.823537e-04,4.809671e-04,4.792881e-04,4.786311e-04,4.762685e-04,4.761735e-04,4.738843e-04,4.730215e-04,4.714830e-04,4.698427e-04,4.690691e-04,4.666463e-04,4.634412e-04,4.602348e-04,4.570342e-04,4.538455e-04,4.506744e-04,4.475257e-04,4.444039e-04,4.413127e-04,4.382556e-04,4.352356e-04,4.322552e-04,4.293166e-04,4.264218e-04,4.235725e-04,4.207698e-04,4.180150e-04,4.153089e-04,4.126523e-04,4.100455e-04,4.074891e-04,4.049831e-04,4.025276e-04,4.001227e-04,3.977681e-04
0.000000e+00,4.911506e-11,1.897759e-10,1.153399e-09,3.423245e-09,5.513176e-09,1.492016e-08,1.545535e-08,3.348719e-08,4.037403e-08,6.256471e-08,8.674578e-08,1.061447e-07,1.617362e-07,1.673172e-07,2.469423e-07,2.686420e-07,3.433604e-07,4.038054e-07,4.542442e-07,5.623078e-07,5.777458e-07,7.124916e-07,7.406862e-07,8.573170e-07,9.362354e-07,1.011091e-06,1.146317e-06,1.172637e-06,1.340717e-06,1.368132e-06,1.514051e-06,1.598734e-06,1.691337e-06,1.835151e-06,1.871297e-06,2.052697e-06,2.074506e-06,2.234383e-06,2.314138e-06,2.415294e-06,2.551679e-06,2.594479e-06,2.771103e-06,2.785100e-06,2.944448e-06,3.012728e-06,3.113909e-06,3.233235e-06,3.278993e-06,3.439304e-06,3.445612e-06,3.594535e-06,3.649128e-06,3.744460e-06,3.843297e-06,3.888926e-06,4.027838e-06,4.161155e-06,4.202634e-06,4.288878e-06,4.367702e-06,4.411046e-06,4.523162e-06,4.527725e-06,4.639007e-06,4.669214e-06,4.745004e-06,4.806116e-06,4.845840e-06,4.934169e-06,4.941653e-06,5.032589e-06,5.053704e-06,5.118798e-06,5.165068e-06,5.200436e-06,5.268619e-06,5.277657e-06,5.350621e-06,5.364717e-06,5.419483e-06,5.453722e-06,5.484399e-06,5.535991e-06,5.545522e-06,5.603003e-06,5.611872e-06,5.656988e-06,5.681702e-06,5.707621e-06,5.745809e-06,5.755043e-06,5.799389e-06,5.804511e-06,5.840792e-06,5.858110e-06,5.879379e-06,5.906898e-06,5.915273e-06,5.948596e-06,5.951154e-06,5.979461e-06,5.991144e-06,6.007980e-06,6.027122e-06,6.034261e-06,6.058407e-06,6.059330e-06,6.080518e-06,6.087997e-06,6.100688e-06,6.113342e-06,6.119010e-06,6.135572e-06,6.150459e-06,6.154883e-06,6.163753e-06,6.171461e-06,6.175532e-06,6.185483e-06,6.185870e-06,6.194840e-06,6.197116e-06,6.202510e-06,6.206516e-06,6.208947e-06,6.213834e-06,6.214214e-06,6.218371e-06,6.219211e-06,6.221477e-06,6.222778e-06,6.223587e-06,6.224662e-06,6.224754e-06,6.225029e-06,6.224982e-06,6.224461e-06,6.223848e-06,6.223097e-06,6.221367e-06,6.220980e-06,6.218153e-06,6.217638e-06,6.214658e-06,6.212754e-06,6.210532e-06,6.206803e-06,6.205813e-06,6.200537e-06,6.199868e-06,6.194738e-06,6.192028e-06,6.188447e-06,6.183356e-06,6.181695e-06,6.174513e-06,6.173920e-06,6.166927e-06,6.163787e-06,6.158966e-06,6.153015e-06,6.150654e-06,6.142016e-06,6.141664e-06,6.133075e-06,6.129787e-06,6.123854e-06,6.117433e-06,6.114372e-06,6.104652e-06,6.091486e-06,6.077978e-06,6.064166e-06,6.050087e-06,6.035776e-06,6.021264e-06,6.006581e-06,5.991756e-06,5.976813e-06,5.961778e-06,5.946673e-06,5.931519e-06,5.916337e-06,5.901143e-06,5.885956e-06,5.870791e-06,5.855663e-06,5.840585e-06,5.825571e-06,5.810631e-06,5.795776e-06,5.781016e-06,5.766361e-06,5.751818e-06
0.000000e+00,4.279444e-13,3.291343e-12,6.279676e-11,4.111307e-10,9.477141e-10,5.389743e-09,5.727764e-09,2.122541e-08,2.887205e-08,5.829250e-08,9.671572e-08,1.312330e-07,2.446353e-07,2.570931e-07,4.551604e-07,5.157448e-07,7.463317e-07,9.579255e-07,1.151507e-06,1.616747e-06,1.688627e-06,2.369409e-06,2.523272e-06,3.197547e-06,3.685381e-06,4.169174e-06,5.089434e-06,5.274853e-06,6.501939e-06,6.708612e-06,7.836459e-06,8.511019e-06,9.264238e-06,1.046426e-05,1.077139e-05,1.234446e-05,1.253704e-05,1.397041e-05,1.469929e-05,1.563653e-05,1.692206e-05,1.733051e-05,1.904044e-05,1.917758e-05,2.075492e-05,2.143956e-05,2.246320e-05,2.368367e-05,2.415527e-05,2.582198e-05,2.588800e-05,2.745513e-05,2.803343e-05,2.904750e-05,3.010381e-05,3.059289e-05,3.208610e-05,3.352289e-05,3.397018e-05,3.489996e-05,3.574878e-05,3.621486e-05,3.741711e-05,3.746592e-05,3.865215e-05,3.897262e-05,3.977321e-05,4.041462e-05,4.082928e-05,4.174399e-05,4.182098e-05,4.274936e-05,4.296289e-05,4.361574e-05,4.407443e-05,4.442174e-05,4.508249e-05,4.516915e-05,4.585995e-05,4.599149e-05,4.649620e-05,4.680620e-05,4.708005e-05,4.753162e-05,4.761372e-05,4.809942e-05,4.817283e-05,4.853938e-05,4.873496e-05,4.893580e-05,4.922306e-05,4.929086e-05,4.960670e-05,4.964206e-05,4.988538e-05,4.999675e-05,5.012893e-05,5.029175e-05,5.033932e-05,5.051842e-05,5.053145e-05,5.066805e-05,5.072005e-05,5.078997e-05,5.086153e-05,5.088584e-05,5.095727e-05,5.095964e-05,5.100579e-05,5.101793e-05,5.103285e-05,5.103972e-05,5.103986e-05,5.102813e-05,5.099893e-05,5.098609e-05,5.095345e-05,5.091632e-05,5.089282e-05,5.082137e-05,5.081813e-05,5.073038e-05,5.070361e-05,5.063056e-05,5.056525e-05,5.051957e-05,5.040834e-05,5.039828e-05,5.026750e-05,5.023478e-05,5.012800e-05,5.004635e-05,4.998052e-05,4.984468e-05,4.982575e-05,4.966432e-05,4.963129e-05,4.949686e-05,4.940758e-05,4.932393e-05,4.917484e-05,4.914608e-05,4.896382e-05,4.893428e-05,4.877762e-05,4.868699e-05,4.858795e-05,4.843399e-05,4.839521e-05,4.819981e-05,4.817621e-05,4.800212e-05,4.791451e-05,4.780249e-05,4.764968e-05,4.760125e-05,4.739869e-05,4.738244e-05,4.719511e-05,4.711346e-05,4.699078e-05,4.684333e-05,4.678594e-05,4.658083e-05,4.657262e-05,4.637566e-05,4.630183e-05,4.617064e-05,4.603141e-05,4.596596e-05,4.576178e-05,4.549332e-05,4.522637e-05,4.496124e-05,4.469820e-05,4.443751e-05,4.417937e-05,4.392400e-05,4.367156e-05,4.342221e-05,4.317608e-05,4.293329e-05,4.269395e-05,4.245813e-05,4.222590e-05,4.199733e-05,4.177247e-05,4.155135e-05,4.133400e-05,4.112043e-05,4.091066e-05,4.070469e-05,4.050252e-05,4.030414e-05,4.010952e-05
0.000000e+00,5.362609e-11,2.258341e-10,1.539442e-09,4.864610e-09,8.039749e-09,2.297910e-08,2.385226e-08,5.432762e-08,6.641452e-08,1.065286e-07,1.513570e-07,1.874644e-07,2.891206e-07,2.991264e-07,4.385900e-07,4.758243e-07,6.027827e-07,7.048726e-07,7.900482e-07,9.732514e-07,9.995435e-07,1.230620e-06,1.279361e-06,1.482505e-06,1.621379e-06,1.754169e-06,1.996692e-06,2.044288e-06,2.351248e-06,2.401804e-06,2.673199e-06,2.832468e-06,3.008105e-06,3.283911e-06,3.353809e-06,3.708102e-06,3.751089e-06,4.068776e-06,4.228937e-06,4.433682e-06,4.712575e-06,4.800770e-06,5.168125e-06,5.197472e-06,5.533990e-06,5.679558e-06,5.896779e-06,6.155287e-06,6.255088e-06,6.607690e-06,6.621660e-06,6.953538e-06,7.076215e-06,7.291750e-06,7.516994e-06,7.621597e-06,7.942498e-06,8.253997e-06,8.351633e-06,8.555755e-06,8.743654e-06,8.847533e-06,9.118110e-06,9.129180e-06,9.400624e-06,9.474797e-06,9.661854e-06,9.813706e-06,9.912916e-06,1.013499e-05,1.015390e-05,1.038494e-05,1.043893e-05,1.060620e-05,1.072590e-05,1.081786e-05,1.099634e-05,1.102012e-05,1.121321e-05,1.125075e-05,1.139737e-05,1.148967e-05,1.157282e-05,1.171367e-05,1.173983e-05,1.189864e-05,1.192330e-05,1.204950e-05,1.211917e-05,1.219267e-05,1.230183e-05,1.232840e-05,1.245693e-05,1.247188e-05,1.257852e-05,1.262988e-05,1.269340e-05,1.277637e-05,1.280181e-05,1.290399e-05,1.291190e-05,1.300017e-05,1.303700e-05,1.309055e-05,1.315217e-05,1.317538e-05,1.325484e-05,1.325791e-05,1.332915e-05,1.335468e-05,1.339851e-05,1.344295e-05,1.346312e-05,1.352315e-05,1.357879e-05,1.359569e-05,1.363022e-05,1.366100e-05,1.367760e-05,1.371944e-05,1.372111e-05,1.376090e-05,1.377139e-05,1.379712e-05,1.381721e-05,1.382994e-05,1.385723e-05,1.385948e-05,1.388588e-05,1.389177e-05,1.390929e-05,1.392114e-05,1.392983e-05,1.394564e-05,1.394763e-05,1.396280e-05,1.396553e-05,1.397547e-05,1.398110e-05,1.398574e-05,1.399259e-05,1.399372e-05,1.399952e-05,1.400025e-05,1.400323e-05,1.400430e-05,1.400495e-05,1.400496e-05,1.400478e-05,1.400280e-05,1.400244e-05,1.399910e-05,1.399695e-05,1.399376e-05,1.398866e-05,1.398686e-05,1.397848e-05,1.397775e-05,1.396869e-05,1.396440e-05,1.395756e-05,1.394876e-05,1.394516e-05,1.393156e-05,1.393099e-05,1.391681e-05,1.391124e-05,1.390098e-05,1.388963e-05,1.388413e-05,1.386631e-05,1.384138e-05,1.381498e-05,1.378722e-05,1.375819e-05,1.372800e-05,1.369674e-05,1.366450e-05,1.363136e-05,1.359741e-05,1.356272e-05,1.352737e-05,1.349141e-05,1.345492e-05,1.341795e-05,1.338056e-05,1.334281e-05,1.330474e-05,1.326640e-05,1.322785e-05,1.318911e-05,1.315023e-05,1.311125e-05,1.307220e-05,1.303312e-05
0.000000e+00,9.941579e-11,2.465988e-10,9.226157e-10,2.190871e-09,3.256861e-09,7.734475e-09,7.982570e-09,1.624169e-08,1.938652e-08,2.957183e-08,4.077584e-08,4.982532e-08,7.587999e-08,7.849541e-08,1.155521e-07,1.255248e-07,1.593045e-07,1.859294e-07,2.076469e-07,2.526797e-07,2.589534e-07,3.121517e-07,3.229516e-07,3.665312e-07,3.950990e-07,4.215742e-07,4.680120e-07,4.768576e-07,5.320030e-07,5.407895e-07,5.866565e-07,6.126167e-07,6.404843e-07,6.827414e-07,6.931743e-07,7.444424e-07,7.504867e-07,7.940363e-07,8.152701e-07,8.417400e-07,8.766212e-07,8.873777e-07,9.308096e-07,9.341855e-07,9.719347e-07,9.877231e-07,1.010688e-06,1.037102e-06,1.047036e-06,1.080976e-06,1.082284e-06,1.112527e-06,1.123308e-06,1.141732e-06,1.160282e-06,1.168652e-06,1.193360e-06,1.215933e-06,1.222721e-06,1.236465e-06,1.248576e-06,1.255048e-06,1.271148e-06,1.271783e-06,1.286767e-06,1.290663e-06,1.300100e-06,1.307349e-06,1.311881e-06,1.321430e-06,1.322204e-06,1.331163e-06,1.333121e-06,1.338847e-06,1.342626e-06,1.345342e-06,1.350138e-06,1.350729e-06,1.355085e-06,1.355840e-06,1.358486e-06,1.359900e-06,1.361000e-06,1.362475e-06,1.362693e-06,1.363626e-06,1.363709e-06,1.363858e-06,1.363737e-06,1.363443e-06,1.362679e-06,1.362432e-06,1.360872e-06,1.360650e-06,1.358808e-06,1.357751e-06,1.356282e-06,1.354076e-06,1.353331e-06,1.349994e-06,1.349711e-06,1.346302e-06,1.344734e-06,1.342289e-06,1.339216e-06,1.337982e-06,1.333409e-06,1.333221e-06,1.328595e-06,1.326808e-06,1.323565e-06,1.320031e-06,1.318339e-06,1.312939e-06,1.307383e-06,1.305575e-06,1.301688e-06,1.297979e-06,1.295871e-06,1.290187e-06,1.289948e-06,1.283932e-06,1.282232e-06,1.277836e-06,1.274145e-06,1.271672e-06,1.265951e-06,1.265451e-06,1.259185e-06,1.257675e-06,1.252881e-06,1.249339e-06,1.246550e-06,1.240963e-06,1.240200e-06,1.233837e-06,1.232564e-06,1.227470e-06,1.224159e-06,1.221103e-06,1.215761e-06,1.214745e-06,1.208399e-06,1.207385e-06,1.202071e-06,1.199041e-06,1.195766e-06,1.190741e-06,1.189488e-06,1.183240e-06,1.182493e-06,1.177027e-06,1.174305e-06,1.170852e-06,1.166185e-06,1.164717e-06,1.158625e-06,1.158140e-06,1.152580e-06,1.150175e-06,1.146582e-06,1.142295e-06,1.140635e-06,1.134739e-06,1.134504e-06,1.128897e-06,1.126807e-06,1.123110e-06,1.119207e-06,1.117379e-06,1.111706e-06,1.104308e-06,1.097013e-06,1.089824e-06,1.082741e-06,1.075767e-06,1.068901e-06,1.062145e-06,1.055497e-06,1.048960e-06,1.042532e-06,1.036213e-06,1.030002e-06,1.023900e-06,1.017905e-06,1.012018e-06,1.006236e-06,1.000559e-06,9.949856e-07,9.895154e-07,9.841470e-07,9.788790e-07,9.737102e-07,9.686395e-07,9.636654e-07
0.000000e+00,8.049682e-15,7.211598e-14,1.886344e-12,1.643707e-11,4.429032e-11,3.756186e-10,4.056655e-10,2.219566e-09,3.351691e-09,8.771781e-09,1.788743e-08,2.771147e-08,6.905021e-08,7.435075e-08,1.761687e-07,2.133909e-07,3.785627e-07,5.607690e-07,7.517561e-07,1.302169e-06,1.398560e-06,2.462450e-06,2.741232e-06,4.135304e-06,5.325494e-06,6.664127e-06,9.672814e-06,1.035624e-05,1.558255e-05,1.658933e-05,2.277866e-05,2.707672e-05,3.244386e-05,4.232799e-05,4.513786e-05,6.147553e-05,6.371193e-05,8.211981e-05,9.274743e-05,1.077731e-04,1.310692e-04,1.391673e-04,1.770528e-04,1.803867e-04,2.221868e-04,2.424388e-04,2.753213e-04,3.189456e-04,3.371911e-04,4.085014e-04,4.115598e-04,4.899168e-04,5.218199e-04,5.820501e-04,6.511069e-04,6.854525e-04,8.006048e-04,9.279099e-04,9.712686e-04,1.067686e-03,1.163798e-03,1.220163e-03,1.378619e-03,1.385479e-03,1.563674e-03,1.615872e-03,1.754698e-03,1.875412e-03,1.958403e-03,2.156808e-03,2.174551e-03,2.402815e-03,2.459357e-03,2.642783e-03,2.782098e-03,2.893965e-03,3.123835e-03,3.155797e-03,3.427648e-03,3.483161e-03,3.708829e-03,3.858486e-03,3.998599e-03,4.248070e-03,4.296173e-03,4.600731e-03,4.650052e-03,4.911423e-03,5.062479e-03,5.227380e-03,5.483344e-03,5.547719e-03,5.871554e-03,5.910607e-03,6.197997e-03,6.342231e-03,6.526169e-03,6.776204e-03,6.855205e-03,7.184259e-03,7.210560e-03,7.512509e-03,7.643404e-03,7.839159e-03,8.072928e-03,8.163448e-03,8.484649e-03,8.497423e-03,8.802074e-03,8.915297e-03,9.115075e-03,9.325077e-03,9.423044e-03,9.725420e-03,1.002168e-02,1.011512e-02,1.031136e-02,1.049310e-02,1.059402e-02,1.085842e-02,1.086928e-02,1.113680e-02,1.121028e-02,1.139628e-02,1.154800e-02,1.164746e-02,1.187103e-02,1.189012e-02,1.212409e-02,1.217894e-02,1.234923e-02,1.247141e-02,1.256544e-02,1.274825e-02,1.277263e-02,1.297078e-02,1.300932e-02,1.315987e-02,1.325463e-02,1.333993e-02,1.348422e-02,1.351099e-02,1.367312e-02,1.369824e-02,1.382642e-02,1.389690e-02,1.397100e-02,1.408046e-02,1.410697e-02,1.423449e-02,1.424924e-02,1.435372e-02,1.440360e-02,1.446483e-02,1.454395e-02,1.456800e-02,1.466342e-02,1.467073e-02,1.475130e-02,1.478439e-02,1.483184e-02,1.488541e-02,1.490526e-02,1.497178e-02,1.497430e-02,1.503161e-02,1.505156e-02,1.508499e-02,1.511772e-02,1.513214e-02,1.517328e-02,1.521877e-02,1.525471e-02,1.528161e-02,1.529997e-02,1.531028e-02,1.531303e-02,1.530868e-02,1.529768e-02,1.528049e-02,1.525751e-02,1.522917e-02,1.519585e-02,1.515792e-02,1.511576e-02,1.506969e-02,1.502005e-02,1.496715e-02,1.491127e-02,1.485271e-02,1.479171e-02,1.472853e-02,1.466340e-02,1.459654e-02,1.452816e-02
0.000000e+00,3.484614e-11,8.290203e-11,2.980805e-10,6.966472e-10,1.029944e-09,2.420848e-09,2.497547e-09,5.030707e-09,5.985596e-09,9.045948e-09,1.236347e-08,1.501274e-08,2.253817e-08,2.328823e-08,3.389616e-08,3.676073e-08,4.655266e-08,5.440101e-08,6.090436e-08,7.470825e-08,7.666677e-08,9.363072e-08,9.715278e-08,1.116322e-07,1.213549e-07,1.305277e-07,1.469914e-07,1.501814e-07,1.704595e-07,1.737531e-07,1.912294e-07,2.013353e-07,2.123611e-07,2.294428e-07,2.337297e-07,2.552170e-07,2.577981e-07,2.767139e-07,2.861498e-07,2.981218e-07,3.142775e-07,3.193523e-07,3.403284e-07,3.419935e-07,3.609841e-07,3.691438e-07,3.812635e-07,3.956055e-07,4.011206e-07,4.205182e-07,4.212841e-07,4.394265e-07,4.461093e-07,4.578232e-07,4.700319e-07,4.756914e-07,4.930199e-07,5.098015e-07,5.150555e-07,5.260330e-07,5.361321e-07,5.417140e-07,5.562519e-07,5.568468e-07,5.714356e-07,5.754239e-07,5.854867e-07,5.936623e-07,5.990075e-07,6.109856e-07,6.120065e-07,6.244932e-07,6.274149e-07,6.364779e-07,6.429740e-07,6.479712e-07,6.576876e-07,6.589842e-07,6.695284e-07,6.715820e-07,6.796153e-07,6.846837e-07,6.892567e-07,6.970197e-07,6.984643e-07,7.072500e-07,7.086173e-07,7.156254e-07,7.195034e-07,7.236024e-07,7.297047e-07,7.311923e-07,7.384067e-07,7.392477e-07,7.452568e-07,7.481583e-07,7.517538e-07,7.564620e-07,7.579085e-07,7.637316e-07,7.641835e-07,7.692338e-07,7.713471e-07,7.744252e-07,7.779763e-07,7.793160e-07,7.839161e-07,7.840942e-07,7.882351e-07,7.897229e-07,7.922823e-07,7.948840e-07,7.960671e-07,7.995983e-07,8.028847e-07,8.038861e-07,8.059348e-07,8.077667e-07,8.087569e-07,8.112591e-07,8.113590e-07,8.137491e-07,8.143813e-07,8.159346e-07,8.171508e-07,8.179230e-07,8.195845e-07,8.197216e-07,8.213373e-07,8.216986e-07,8.227769e-07,8.235086e-07,8.240470e-07,8.250296e-07,8.251540e-07,8.261042e-07,8.262759e-07,8.269035e-07,8.272615e-07,8.275578e-07,8.279995e-07,8.280727e-07,8.284538e-07,8.285027e-07,8.287063e-07,8.287834e-07,8.288354e-07,8.288532e-07,8.288461e-07,8.287432e-07,8.287234e-07,8.285314e-07,8.284049e-07,8.282152e-07,8.279078e-07,8.277990e-07,8.272870e-07,8.272421e-07,8.266834e-07,8.264172e-07,8.259920e-07,8.254421e-07,8.252168e-07,8.243615e-07,8.243256e-07,8.234295e-07,8.230759e-07,8.224244e-07,8.217009e-07,8.213496e-07,8.202082e-07,8.186051e-07,8.168983e-07,8.150945e-07,8.132001e-07,8.112209e-07,8.091628e-07,8.070313e-07,8.048315e-07,8.025684e-07,8.002468e-07,7.978711e-07,7.954458e-07,7.929749e-07,7.904622e-07,7.879116e-07,7.853265e-07,7.827103e-07,7.800662e-07,7.773972e-07,7.747063e-07,7.719961e-07,7.692693e-07,7.665283e-07,7.637754e-07
0.000000e+00,1.948805e-14,1.746832e-13,4.575503e-12,3.993455e-11,1.077227e-10,9.169264e-10,9.904512e-10,5.447794e-09,8.241111e-09,2.168041e-08,4.443545e-08,6.909933e-08,1.738677e-07,1.873864e-07,4.494764e-07,5.461449e-07,9.787327e-07,1.460737e-06,1.969635e-06,3.449508e-06,3.710097e-06,6.602810e-06,7.364236e-06,1.118309e-05,1.445165e-05,1.813136e-05,2.640170e-05,2.827901e-05,4.260731e-05,4.536097e-05,6.223940e-05,7.390958e-05,8.842596e-05,1.150042e-04,1.225254e-04,1.659792e-04,1.718930e-04,2.202847e-04,2.480090e-04,2.869643e-04,3.468510e-04,3.675349e-04,4.634768e-04,4.718591e-04,5.762031e-04,6.262922e-04,7.070314e-04,8.131137e-04,8.571582e-04,1.027636e-03,1.034891e-03,1.219353e-03,1.293713e-03,1.433020e-03,1.591124e-03,1.669156e-03,1.928083e-03,2.209921e-03,2.304940e-03,2.514588e-03,2.721433e-03,2.841802e-03,3.176703e-03,3.191091e-03,3.561800e-03,3.669328e-03,3.953101e-03,4.197363e-03,4.364011e-03,4.758399e-03,4.793401e-03,5.240018e-03,5.349620e-03,5.702498e-03,5.967876e-03,6.179385e-03,6.609749e-03,6.669148e-03,7.170199e-03,7.271621e-03,7.680910e-03,7.949749e-03,8.199628e-03,8.640322e-03,8.724690e-03,9.254443e-03,9.339529e-03,9.787248e-03,1.004361e-02,1.032150e-02,1.074889e-02,1.085564e-02,1.138815e-02,1.145187e-02,1.191758e-02,1.214920e-02,1.244256e-02,1.283774e-02,1.296176e-02,1.347397e-02,1.351460e-02,1.397802e-02,1.417712e-02,1.447287e-02,1.482291e-02,1.495753e-02,1.543112e-02,1.544982e-02,1.589283e-02,1.605600e-02,1.634196e-02,1.663985e-02,1.677787e-02,1.720002e-02,1.760796e-02,1.773543e-02,1.800129e-02,1.824521e-02,1.837971e-02,1.872874e-02,1.874298e-02,1.909093e-02,1.918560e-02,1.942346e-02,1.961555e-02,1.974052e-02,2.001857e-02,2.004213e-02,2.032834e-02,2.039475e-02,2.059927e-02,2.074438e-02,2.085508e-02,2.106784e-02,2.109596e-02,2.132214e-02,2.136563e-02,2.153388e-02,2.163838e-02,2.173148e-02,2.188677e-02,2.191525e-02,2.208554e-02,2.211156e-02,2.224269e-02,2.231357e-02,2.238709e-02,2.249369e-02,2.251912e-02,2.263917e-02,2.265280e-02,2.274766e-02,2.279183e-02,2.284499e-02,2.291174e-02,2.293157e-02,2.300782e-02,2.301348e-02,2.307416e-02,2.309801e-02,2.313099e-02,2.316626e-02,2.317874e-02,2.321781e-02,2.321919e-02,2.324859e-02,2.325772e-02,2.327148e-02,2.328275e-02,2.328688e-02,2.329516e-02,2.329581e-02,2.328552e-02,2.326510e-02,2.323531e-02,2.319688e-02,2.315051e-02,2.309686e-02,2.303658e-02,2.297026e-02,2.289848e-02,2.282177e-02,2.274064e-02,2.265556e-02,2.256699e-02,2.247533e-02,2.238098e-02,2.228431e-02,2.218566e-02,2.208534e-02,2.198364e-02,2.188084e-02,2.177719e-02,2.167292e-02,2.156824e-02
0.000000e+00,3.953408e-14,3.260526e-13,7.174096e-12,5.332268e-11,1.315971e-10,8.880752e-10,9.502027e-10,4.137188e-09,5.870528e-09,1.313918e-08,2.361348e-08,3.369618e-08,6.992796e-08,7.413666e-08,1.453874e-07,1.684912e-07,2.605203e-07,3.494443e-07,4.337212e-07,6.452551e-07,6.789072e-07,1.008441e-06,1.085393e-06,1.432276e-06,1.692437e-06,1.957606e-06,2.480669e-06,2.588909e-06,3.328200e-06,3.456527e-06,4.175352e-06,4.619780e-06,5.128386e-06,5.964683e-06,6.183708e-06,7.336286e-06,7.480843e-06,8.579794e-06,9.153854e-06,9.906745e-06,1.096583e-05,1.130862e-05,1.277605e-05,1.289597e-05,1.429894e-05,1.492128e-05,1.586676e-05,1.701731e-05,1.746864e-05,1.909369e-05,1.915902e-05,2.073116e-05,2.132167e-05,2.237063e-05,2.348154e-05,2.400222e-05,2.561668e-05,2.720557e-05,2.770736e-05,2.876131e-05,2.973646e-05,3.027722e-05,3.168969e-05,3.174756e-05,3.316754e-05,3.355555e-05,3.453326e-05,3.532537e-05,3.584172e-05,3.699301e-05,3.709070e-05,3.827875e-05,3.855472e-05,3.940509e-05,4.000880e-05,4.046954e-05,4.135532e-05,4.147243e-05,4.241456e-05,4.259579e-05,4.329709e-05,4.373292e-05,4.412148e-05,4.477031e-05,4.488947e-05,4.560297e-05,4.571221e-05,4.626404e-05,4.656336e-05,4.687483e-05,4.732875e-05,4.743756e-05,4.795449e-05,4.801355e-05,4.842787e-05,4.862294e-05,4.885993e-05,4.916200e-05,4.925285e-05,4.960879e-05,4.963573e-05,4.992982e-05,5.004891e-05,5.021794e-05,5.040611e-05,5.047509e-05,5.070312e-05,5.071166e-05,5.090377e-05,5.096963e-05,5.107874e-05,5.118385e-05,5.122960e-05,5.135788e-05,5.146498e-05,5.149501e-05,5.155227e-05,5.159833e-05,5.162101e-05,5.167066e-05,5.167239e-05,5.170754e-05,5.171462e-05,5.172752e-05,5.173264e-05,5.173332e-05,5.172693e-05,5.172587e-05,5.170605e-05,5.169954e-05,5.167468e-05,5.165236e-05,5.163253e-05,5.158710e-05,5.158033e-05,5.151875e-05,5.150537e-05,5.144844e-05,5.140862e-05,5.136998e-05,5.129820e-05,5.128395e-05,5.119086e-05,5.117534e-05,5.109120e-05,5.104118e-05,5.098545e-05,5.089675e-05,5.087404e-05,5.075737e-05,5.074303e-05,5.063583e-05,5.058090e-05,5.050978e-05,5.041118e-05,5.037956e-05,5.024548e-05,5.023460e-05,5.010786e-05,5.005187e-05,4.996695e-05,4.986363e-05,4.982304e-05,4.967637e-05,4.967045e-05,4.952718e-05,4.947290e-05,4.937568e-05,4.927145e-05,4.922209e-05,4.906659e-05,4.885874e-05,4.864829e-05,4.843561e-05,4.822105e-05,4.800490e-05,4.778747e-05,4.756902e-05,4.734979e-05,4.713003e-05,4.690994e-05,4.668972e-05,4.646955e-05,4.624960e-05,4.603003e-05,4.581099e-05,4.559260e-05,4.537499e-05,4.515827e-05,4.494255e-05,4.472792e-05,4.451448e-05,4.430231e-05,4.409147e-05,4.388205e-05
0.000000e+00,1.762577e-13,1.440457e-12,3.110918e-11,2.274178e-10,5.562807e-10,3.671864e-09,3.925318e-09,1.674519e-08,2.363625e-08,5.223927e-08,9.299434e-08,1.319254e-07,2.704621e-07,2.864590e-07,5.554100e-07,6.420495e-07,9.852301e-07,1.314553e-06,1.625038e-06,2.398807e-06,2.521276e-06,3.713074e-06,3.989651e-06,5.229506e-06,6.152831e-06,7.088848e-06,8.921910e-06,9.299226e-06,1.185991e-05,1.230167e-05,1.476271e-05,1.627357e-05,1.799329e-05,2.080079e-05,2.153213e-05,2.535552e-05,2.583218e-05,2.943623e-05,3.130566e-05,3.374442e-05,3.715126e-05,3.824829e-05,4.291496e-05,4.329433e-05,4.771118e-05,4.965855e-05,5.260408e-05,5.616889e-05,5.756181e-05,6.255410e-05,6.275410e-05,6.755270e-05,6.934867e-05,7.253171e-05,7.589421e-05,7.746776e-05,8.234015e-05,8.713084e-05,8.864401e-05,9.182438e-05,9.477117e-05,9.640779e-05,1.006944e-04,1.008704e-04,1.052037e-04,1.063929e-04,1.094011e-04,1.118522e-04,1.134576e-04,1.170623e-04,1.173699e-04,1.211358e-04,1.220177e-04,1.247543e-04,1.267162e-04,1.282254e-04,1.311587e-04,1.315499e-04,1.347293e-04,1.353479e-04,1.377654e-04,1.392884e-04,1.406608e-04,1.429862e-04,1.434182e-04,1.460408e-04,1.464481e-04,1.485318e-04,1.496817e-04,1.508946e-04,1.526950e-04,1.531329e-04,1.552503e-04,1.554964e-04,1.572505e-04,1.580944e-04,1.591372e-04,1.604975e-04,1.609142e-04,1.625850e-04,1.627142e-04,1.641535e-04,1.647530e-04,1.656231e-04,1.666221e-04,1.669975e-04,1.682801e-04,1.683296e-04,1.694744e-04,1.698833e-04,1.705836e-04,1.712910e-04,1.716111e-04,1.725600e-04,1.734334e-04,1.736975e-04,1.742344e-04,1.747103e-04,1.749658e-04,1.756051e-04,1.756304e-04,1.762312e-04,1.763883e-04,1.767706e-04,1.770659e-04,1.772514e-04,1.776439e-04,1.776759e-04,1.780467e-04,1.781279e-04,1.783660e-04,1.785232e-04,1.786362e-04,1.788350e-04,1.788594e-04,1.790377e-04,1.790681e-04,1.791732e-04,1.792274e-04,1.792678e-04,1.793171e-04,1.793234e-04,1.793419e-04,1.793416e-04,1.793250e-04,1.793049e-04,1.792745e-04,1.792109e-04,1.791918e-04,1.790787e-04,1.790632e-04,1.789367e-04,1.788653e-04,1.787671e-04,1.786206e-04,1.785714e-04,1.783509e-04,1.783323e-04,1.781070e-04,1.780032e-04,1.778409e-04,1.776362e-04,1.775537e-04,1.772467e-04,1.772340e-04,1.769209e-04,1.767992e-04,1.765774e-04,1.763342e-04,1.762172e-04,1.758413e-04,1.753227e-04,1.747803e-04,1.742163e-04,1.736323e-04,1.730301e-04,1.724115e-04,1.717778e-04,1.711307e-04,1.704714e-04,1.698013e-04,1.691216e-04,1.684335e-04,1.677381e-04,1.670364e-04,1.663293e-04,1.656178e-04,1.649026e-04,1.641848e-04,1.634648e-04,1.627436e-04,1.620217e-04,1.612998e-04,1.605784e-04,1.598581e-04
0.000000e+00,1.803334e-14,1.594318e-13,4.054595e-12,3.441502e-11,9.138093e-11,7.454402e-10,8.037742e-10,4.225029e-09,6.309295e-09,1.604715e-08,3.195738e-08,4.873593e-08,1.171408e-07,1.257398e-07,2.865743e-07,3.439181e-07,5.925573e-07,8.592461e-07,1.132932e-06,1.899379e-06,2.031044e-06,3.450080e-06,3.813851e-06,5.597714e-06,7.085145e-06,8.728874e-06,1.233902e-05,1.314598e-05,1.919628e-05,2.034123e-05,2.726635e-05,3.197917e-05,3.777406e-05,4.823001e-05,5.115857e-05,6.786915e-05,7.011928e-05,8.835340e-05,9.867464e-05,1.130457e-04,1.348795e-04,1.423559e-04,1.766598e-04,1.796302e-04,2.162902e-04,2.336988e-04,2.615294e-04,2.977043e-04,3.126043e-04,3.696818e-04,3.720915e-04,4.328667e-04,4.571183e-04,5.022006e-04,5.528518e-04,5.776626e-04,6.591707e-04,7.465846e-04,7.757739e-04,8.397092e-04,9.021945e-04,9.382991e-04,1.037818e-03,1.042064e-03,1.150672e-03,1.181901e-03,1.263759e-03,1.333599e-03,1.380932e-03,1.491982e-03,1.501774e-03,1.625853e-03,1.656064e-03,1.752724e-03,1.824823e-03,1.881936e-03,1.997222e-03,2.013040e-03,2.145585e-03,2.172229e-03,2.279133e-03,2.348831e-03,2.413254e-03,2.526054e-03,2.547533e-03,2.681573e-03,2.702971e-03,2.814995e-03,2.878713e-03,2.947444e-03,3.052475e-03,3.078583e-03,3.208104e-03,3.223524e-03,3.335720e-03,3.391199e-03,3.461169e-03,3.554915e-03,3.584215e-03,3.704645e-03,3.714161e-03,3.822271e-03,3.868499e-03,3.936928e-03,4.017560e-03,4.048472e-03,4.156781e-03,4.161045e-03,4.261756e-03,4.298714e-03,4.363314e-03,4.430389e-03,4.461392e-03,4.555942e-03,4.646935e-03,4.675298e-03,4.734353e-03,4.788422e-03,4.818193e-03,4.895321e-03,4.898463e-03,4.975184e-03,4.996034e-03,5.048385e-03,5.090632e-03,5.118104e-03,5.179211e-03,5.184388e-03,5.247289e-03,5.261889e-03,5.306867e-03,5.338803e-03,5.363186e-03,5.410105e-03,5.416315e-03,5.466325e-03,5.475960e-03,5.513293e-03,5.536540e-03,5.557297e-03,5.592028e-03,5.598417e-03,5.636735e-03,5.642611e-03,5.672331e-03,5.688476e-03,5.705292e-03,5.729817e-03,5.735698e-03,5.763634e-03,5.766825e-03,5.789183e-03,5.799690e-03,5.812428e-03,5.828603e-03,5.833450e-03,5.852330e-03,5.853750e-03,5.869148e-03,5.875315e-03,5.883982e-03,5.893478e-03,5.896911e-03,5.908008e-03,5.908415e-03,5.917348e-03,5.920295e-03,5.925004e-03,5.929284e-03,5.931046e-03,5.935543e-03,5.939226e-03,5.940484e-03,5.939460e-03,5.936293e-03,5.931116e-03,5.924057e-03,5.915237e-03,5.904774e-03,5.892780e-03,5.879361e-03,5.864619e-03,5.848652e-03,5.831551e-03,5.813405e-03,5.794298e-03,5.774309e-03,5.753514e-03,5.731983e-03,5.709786e-03,5.686986e-03,5.663643e-03,5.639817e-03,5.615560e-03,5.590925e-03
0.000000e+00,6.690418e-14,5.487426e-13,1.193880e-11,8.782111e-11,2.154925e-10,1.432201e-09,1.531415e-09,6.560477e-09,9.265593e-09,2.048069e-08,3.640476e-08,5.155126e-08,1.049909e-07,1.111209e-07,2.132268e-07,2.458136e-07,3.739220e-07,4.958991e-07,6.104146e-07,8.949953e-07,9.400169e-07,1.378926e-06,1.481097e-06,1.940981e-06,2.285538e-06,2.636619e-06,3.328993e-06,3.472238e-06,4.449987e-06,4.619542e-06,5.567941e-06,6.152846e-06,6.820518e-06,7.913762e-06,8.199036e-06,9.692326e-06,9.878630e-06,1.128733e-05,1.201768e-05,1.296967e-05,1.429734e-05,1.472417e-05,1.653538e-05,1.668226e-05,1.838792e-05,1.913715e-05,2.026690e-05,2.162818e-05,2.215821e-05,2.404872e-05,2.412415e-05,2.592649e-05,2.659727e-05,2.778083e-05,2.902357e-05,2.960239e-05,3.138315e-05,3.311638e-05,3.366004e-05,3.479658e-05,3.584202e-05,3.641939e-05,3.792024e-05,3.798152e-05,3.948059e-05,3.988881e-05,4.091507e-05,4.174437e-05,4.228412e-05,4.348568e-05,4.358754e-05,4.482566e-05,4.511316e-05,4.599921e-05,4.662861e-05,4.710932e-05,4.803483e-05,4.815737e-05,4.914498e-05,4.933540e-05,5.007394e-05,5.053445e-05,5.094616e-05,5.163645e-05,5.176366e-05,5.252849e-05,5.264611e-05,5.324274e-05,5.356824e-05,5.390854e-05,5.440769e-05,5.452796e-05,5.510309e-05,5.516923e-05,5.563598e-05,5.585757e-05,5.612860e-05,5.647727e-05,5.658291e-05,5.700081e-05,5.703272e-05,5.738412e-05,5.752816e-05,5.773461e-05,5.796761e-05,5.805401e-05,5.834394e-05,5.835495e-05,5.860600e-05,5.869381e-05,5.884170e-05,5.898767e-05,5.905250e-05,5.923979e-05,5.940491e-05,5.945328e-05,5.954914e-05,5.963104e-05,5.967368e-05,5.977581e-05,5.977971e-05,5.986833e-05,5.989016e-05,5.994059e-05,5.997652e-05,5.999751e-05,6.003715e-05,6.004004e-05,6.006910e-05,6.007417e-05,6.008555e-05,6.008956e-05,6.009021e-05,6.008518e-05,6.008386e-05,6.006726e-05,6.006277e-05,6.004111e-05,6.002395e-05,6.000607e-05,5.997023e-05,5.996277e-05,5.991183e-05,5.990301e-05,5.985381e-05,5.982360e-05,5.978924e-05,5.973322e-05,5.971865e-05,5.964250e-05,5.963301e-05,5.956127e-05,5.952402e-05,5.947537e-05,5.940723e-05,5.938523e-05,5.929121e-05,5.928354e-05,5.919370e-05,5.915379e-05,5.909302e-05,5.901875e-05,5.898950e-05,5.888345e-05,5.887916e-05,5.877515e-05,5.873566e-05,5.866487e-05,5.858889e-05,5.855287e-05,5.843939e-05,5.828770e-05,5.813428e-05,5.797959e-05,5.782402e-05,5.766794e-05,5.751169e-05,5.735557e-05,5.719988e-05,5.704486e-05,5.689074e-05,5.673773e-05,5.658602e-05,5.643579e-05,5.628717e-05,5.614031e-05,5.599533e-05,5.585233e-05,5.571141e-05,5.557264e-05,5.543610e-05,5.530184e-05,5.516991e-05,5.504036e-05,5.491322e-05
0.000000e+00,8.979458e-15,7.991112e-14,2.061116e-12,1.772733e-11,4.742062e-11,3.945340e-10,4.257574e-10,2.284471e-09,3.431194e-09,8.858075e-09,1.786270e-08,2.747073e-08,6.732622e-08,7.239166e-08,1.685600e-07,2.033366e-07,3.561222e-07,5.226391e-07,6.955866e-07,1.187729e-06,1.273171e-06,2.205685e-06,2.447443e-06,3.644205e-06,4.652912e-06,5.775950e-06,8.264537e-06,8.823996e-06,1.304478e-05,1.384764e-05,1.872353e-05,2.205692e-05,2.616805e-05,3.361162e-05,3.570110e-05,4.765200e-05,4.926420e-05,6.234782e-05,6.976561e-05,8.010456e-05,9.583018e-05,1.012187e-04,1.259594e-04,1.281026e-04,1.545617e-04,1.671291e-04,1.872209e-04,2.133339e-04,2.240876e-04,2.652650e-04,2.670027e-04,3.108064e-04,3.282718e-04,3.607148e-04,3.971250e-04,4.149432e-04,4.733959e-04,5.359314e-04,5.567759e-04,6.023649e-04,6.468263e-04,6.724730e-04,7.429944e-04,7.459974e-04,8.226503e-04,8.446316e-04,9.021186e-04,9.510133e-04,9.840696e-04,1.061359e-03,1.068156e-03,1.154019e-03,1.174851e-03,1.241298e-03,1.290656e-03,1.329627e-03,1.407941e-03,1.418648e-03,1.508006e-03,1.525888e-03,1.597359e-03,1.643710e-03,1.686376e-03,1.760660e-03,1.774743e-03,1.862163e-03,1.876043e-03,1.948357e-03,1.989219e-03,2.033070e-03,2.099613e-03,2.116064e-03,2.197125e-03,2.206713e-03,2.276061e-03,2.310075e-03,2.352702e-03,2.409322e-03,2.426899e-03,2.498525e-03,2.504140e-03,2.567472e-03,2.594282e-03,2.633655e-03,2.679556e-03,2.697005e-03,2.757470e-03,2.759828e-03,2.815018e-03,2.835017e-03,2.869630e-03,2.905087e-03,2.921303e-03,2.970045e-03,3.015877e-03,3.029934e-03,3.058833e-03,3.084833e-03,3.098953e-03,3.134848e-03,3.136288e-03,3.170897e-03,3.180108e-03,3.202844e-03,3.220763e-03,3.232199e-03,3.256981e-03,3.259037e-03,3.283436e-03,3.288939e-03,3.305480e-03,3.316827e-03,3.325251e-03,3.340839e-03,3.342837e-03,3.358324e-03,3.361178e-03,3.371801e-03,3.378043e-03,3.383355e-03,3.391639e-03,3.393074e-03,3.401045e-03,3.402164e-03,3.407355e-03,3.409819e-03,3.412088e-03,3.414795e-03,3.415327e-03,3.417154e-03,3.417282e-03,3.417648e-03,3.417463e-03,3.416886e-03,3.415513e-03,3.414943e-03,3.411893e-03,3.411603e-03,3.407804e-03,3.405893e-03,3.402745e-03,3.398538e-03,3.396781e-03,3.389974e-03,3.389685e-03,3.382385e-03,3.379473e-03,3.374071e-03,3.368032e-03,3.365088e-03,3.355487e-03,3.341954e-03,3.327541e-03,3.312351e-03,3.296478e-03,3.280011e-03,3.263033e-03,3.245619e-03,3.227841e-03,3.209764e-03,3.191447e-03,3.172947e-03,3.154314e-03,3.135594e-03,3.116830e-03,3.098062e-03,3.079323e-03,3.060647e-03,3.042062e-03,3.023596e-03,3.005270e-03,2.987106e-03,2.969124e-03,2.951339e-03,2.933767e-03
0.000000e+00,9.688977e-12,6.075611e-11,7.817671e-10,3.704467e-09,7.255779e-09,2.839088e-08,2.975736e-08,8.126344e-08,1.027758e-07,1.758861e-07,2.597497e-07,3.291957e-07,5.371165e-07,5.587189e-07,8.824946e-07,9.759059e-07,1.313823e-06,1.603615e-06,1.854597e-06,2.412676e-06,2.494059e-06,3.214441e-06,3.366578e-06,3.997430e-06,4.423981e-06,4.827288e-06,5.551088e-06,5.691117e-06,6.578059e-06,6.721462e-06,7.478561e-06,7.913041e-06,8.383936e-06,9.106347e-06,9.286186e-06,1.017799e-05,1.028399e-05,1.105277e-05,1.143076e-05,1.190474e-05,1.253390e-05,1.272894e-05,1.352131e-05,1.358322e-05,1.427862e-05,1.457115e-05,1.499843e-05,1.549251e-05,1.567907e-05,1.631952e-05,1.634429e-05,1.691934e-05,1.712533e-05,1.747861e-05,1.783597e-05,1.799778e-05,1.847766e-05,1.891934e-05,1.905281e-05,1.932408e-05,1.956438e-05,1.969331e-05,2.001580e-05,2.002858e-05,2.033149e-05,2.041072e-05,2.060367e-05,2.075292e-05,2.084679e-05,2.104619e-05,2.106247e-05,2.125234e-05,2.129424e-05,2.141794e-05,2.150066e-05,2.156083e-05,2.166893e-05,2.168245e-05,2.178422e-05,2.180230e-05,2.186747e-05,2.190387e-05,2.193349e-05,2.197652e-05,2.198349e-05,2.201863e-05,2.202294e-05,2.203999e-05,2.204566e-05,2.204861e-05,2.204698e-05,2.204545e-05,2.203143e-05,2.202906e-05,2.200740e-05,2.199387e-05,2.197418e-05,2.194324e-05,2.193251e-05,2.188311e-05,2.187885e-05,2.182665e-05,2.180222e-05,2.176373e-05,2.171477e-05,2.169496e-05,2.162086e-05,2.161779e-05,2.154195e-05,2.151245e-05,2.145870e-05,2.139984e-05,2.137155e-05,2.128092e-05,2.118719e-05,2.115660e-05,2.109072e-05,2.102769e-05,2.099184e-05,2.089493e-05,2.089085e-05,2.078806e-05,2.075898e-05,2.068371e-05,2.062047e-05,2.057807e-05,2.047993e-05,2.047136e-05,2.036379e-05,2.033787e-05,2.025556e-05,2.019473e-05,2.014685e-05,2.005093e-05,2.003784e-05,1.992866e-05,1.990682e-05,1.981948e-05,1.976274e-05,1.971041e-05,1.961897e-05,1.960158e-05,1.949310e-05,1.947579e-05,1.938508e-05,1.933341e-05,1.927760e-05,1.919206e-05,1.917075e-05,1.906461e-05,1.905192e-05,1.895924e-05,1.891315e-05,1.885472e-05,1.877588e-05,1.875110e-05,1.864842e-05,1.864025e-05,1.854675e-05,1.850637e-05,1.844611e-05,1.837432e-05,1.834655e-05,1.824810e-05,1.824419e-05,1.815079e-05,1.811604e-05,1.805464e-05,1.798994e-05,1.795968e-05,1.786592e-05,1.774403e-05,1.762429e-05,1.750672e-05,1.739135e-05,1.727817e-05,1.716719e-05,1.705841e-05,1.695183e-05,1.684743e-05,1.674519e-05,1.664511e-05,1.654716e-05,1.645133e-05,1.635757e-05,1.626588e-05,1.617622e-05,1.608857e-05,1.600289e-05,1.591915e-05,1.583733e-05,1.575738e-05,1.567928e-05,1.560299e-05,1.552847e-05
0.000000e+00,1.186074e-10,3.989030e-10,2.053413e-09,5.615743e-09,8.764569e-09,2.234780e-08,2.310252e-08,4.784216e-08,5.701676e-08,8.582572e-08,1.162080e-07,1.400238e-07,2.066139e-07,2.132187e-07,3.070481e-07,3.326505e-07,4.213346e-07,4.938027e-07,5.547892e-07,6.869382e-07,7.059717e-07,8.735651e-07,9.089416e-07,1.056294e-06,1.156854e-06,1.252817e-06,1.427488e-06,1.461669e-06,1.681259e-06,1.717278e-06,1.909893e-06,2.022332e-06,2.145805e-06,2.338576e-06,2.387211e-06,2.632343e-06,2.661928e-06,2.879498e-06,2.988468e-06,3.127065e-06,3.314567e-06,3.373550e-06,3.617600e-06,3.636981e-06,3.858009e-06,3.952912e-06,4.093723e-06,4.260020e-06,4.323843e-06,4.547615e-06,4.556424e-06,4.764422e-06,4.840670e-06,4.973778e-06,5.111690e-06,5.175311e-06,5.368756e-06,5.553937e-06,5.611432e-06,5.730759e-06,5.839525e-06,5.899198e-06,6.053041e-06,6.059285e-06,6.211102e-06,6.252145e-06,6.354773e-06,6.437129e-06,6.490454e-06,6.608378e-06,6.618325e-06,6.738591e-06,6.766347e-06,6.851470e-06,6.911541e-06,6.957192e-06,7.044497e-06,7.055997e-06,7.148127e-06,7.165774e-06,7.233830e-06,7.275938e-06,7.313354e-06,7.375557e-06,7.386943e-06,7.454842e-06,7.465194e-06,7.517291e-06,7.545400e-06,7.574526e-06,7.616715e-06,7.626777e-06,7.674270e-06,7.679660e-06,7.717223e-06,7.734740e-06,7.755850e-06,7.782439e-06,7.790355e-06,7.820939e-06,7.823222e-06,7.847795e-06,7.857535e-06,7.871108e-06,7.885800e-06,7.891057e-06,7.907816e-06,7.908422e-06,7.921550e-06,7.925785e-06,7.932418e-06,7.938251e-06,7.940575e-06,7.946167e-06,7.949335e-06,7.949859e-06,7.950214e-06,7.949636e-06,7.948935e-06,7.945791e-06,7.945620e-06,7.940390e-06,7.938597e-06,7.933356e-06,7.928316e-06,7.924628e-06,7.915192e-06,7.914310e-06,7.902500e-06,7.899455e-06,7.889294e-06,7.881322e-06,7.874780e-06,7.860996e-06,7.859046e-06,7.842173e-06,7.838669e-06,7.824240e-06,7.814521e-06,7.805322e-06,7.788720e-06,7.785488e-06,7.764807e-06,7.761423e-06,7.743343e-06,7.732780e-06,7.721157e-06,7.702927e-06,7.698307e-06,7.674849e-06,7.671996e-06,7.650835e-06,7.640105e-06,7.626314e-06,7.607370e-06,7.601335e-06,7.575942e-06,7.573894e-06,7.550178e-06,7.539777e-06,7.524083e-06,7.505111e-06,7.497694e-06,7.471050e-06,7.469979e-06,7.444183e-06,7.434462e-06,7.417126e-06,7.398634e-06,7.389909e-06,7.362563e-06,7.326312e-06,7.289940e-06,7.253502e-06,7.217048e-06,7.180624e-06,7.144273e-06,7.108034e-06,7.071944e-06,7.036035e-06,7.000339e-06,6.964881e-06,6.929689e-06,6.894785e-06,6.860189e-06,6.825921e-06,6.791998e-06,6.758433e-06,6.725241e-06,6.692435e-06,6.660023e-06,6.628016e-06,6.596420e-06,6.565245e-06,6.534494e-06
0.000000e+00,1.297726e-11,2.996368e-11,1.037026e-10,2.360431e-10,3.440707e-10,7.770426e-10,8.002306e-10,1.535621e-09,1.800210e-09,2.614083e-09,3.453335e-09,4.101983e-09,5.890597e-09,6.066847e-09,8.567613e-09,9.251771e-09,1.163377e-08,1.359274e-08,1.524637e-08,1.882905e-08,1.934374e-08,2.384698e-08,2.478948e-08,2.868003e-08,3.130095e-08,3.377585e-08,3.821611e-08,3.907550e-08,4.452563e-08,4.540827e-08,5.007676e-08,5.276341e-08,5.568236e-08,6.017661e-08,6.129875e-08,6.688520e-08,6.755175e-08,7.240435e-08,7.480264e-08,7.782252e-08,8.185434e-08,8.310997e-08,8.824107e-08,8.864413e-08,9.319431e-08,9.512176e-08,9.795222e-08,1.012492e-07,1.025011e-07,1.068310e-07,1.069995e-07,1.109350e-07,1.123564e-07,1.148093e-07,1.173118e-07,1.184525e-07,1.218652e-07,1.250500e-07,1.260217e-07,1.280113e-07,1.297916e-07,1.307543e-07,1.331883e-07,1.332855e-07,1.356120e-07,1.362278e-07,1.377416e-07,1.389281e-07,1.396822e-07,1.413080e-07,1.414424e-07,1.430306e-07,1.433871e-07,1.444553e-07,1.451849e-07,1.457250e-07,1.467208e-07,1.468481e-07,1.478326e-07,1.480136e-07,1.486866e-07,1.490816e-07,1.494177e-07,1.499422e-07,1.500332e-07,1.505404e-07,1.506119e-07,1.509460e-07,1.511066e-07,1.512567e-07,1.514409e-07,1.514785e-07,1.516175e-07,1.516289e-07,1.516793e-07,1.516834e-07,1.516692e-07,1.516166e-07,1.515923e-07,1.514536e-07,1.514399e-07,1.512574e-07,1.511638e-07,1.510081e-07,1.507980e-07,1.507098e-07,1.503662e-07,1.503516e-07,1.499811e-07,1.498329e-07,1.495577e-07,1.492497e-07,1.490994e-07,1.486090e-07,1.480896e-07,1.479176e-07,1.475436e-07,1.471814e-07,1.469735e-07,1.464059e-07,1.463819e-07,1.457707e-07,1.455964e-07,1.451421e-07,1.447574e-07,1.444980e-07,1.438934e-07,1.438403e-07,1.431705e-07,1.430081e-07,1.424903e-07,1.421053e-07,1.418011e-07,1.411883e-07,1.411043e-07,1.404012e-07,1.402600e-07,1.396930e-07,1.393231e-07,1.389808e-07,1.383802e-07,1.382656e-07,1.375484e-07,1.374335e-07,1.368301e-07,1.364851e-07,1.361115e-07,1.355369e-07,1.353933e-07,1.346763e-07,1.345904e-07,1.339612e-07,1.336472e-07,1.332485e-07,1.327088e-07,1.325387e-07,1.318325e-07,1.317762e-07,1.311303e-07,1.308506e-07,1.304325e-07,1.299330e-07,1.297394e-07,1.290516e-07,1.290242e-07,1.283692e-07,1.281250e-07,1.276927e-07,1.272361e-07,1.270222e-07,1.263580e-07,1.254913e-07,1.246364e-07,1.237937e-07,1.229635e-07,1.221460e-07,1.213416e-07,1.205503e-07,1.197722e-07,1.190076e-07,1.182564e-07,1.175186e-07,1.167943e-07,1.160834e-07,1.153859e-07,1.147017e-07,1.140308e-07,1.133729e-07,1.127281e-07,1.120962e-07,1.114771e-07,1.108705e-07,1.102763e-07,1.096945e-07,1.091247e-07
0.000000e+00,7.245263e-13,5.325166e-12,9.279079e-11,5.616505e-10,1.242279e-09,6.387111e-09,6.761094e-09,2.286175e-08,3.037347e-08,5.792657e-08,9.197073e-08,1.213682e-07,2.130073e-07,2.227311e-07,3.711645e-07,4.147511e-07,5.751440e-07,7.165126e-07,8.422777e-07,1.134795e-06,1.179071e-06,1.590566e-06,1.682142e-06,2.079842e-06,2.365292e-06,2.647404e-06,3.182839e-06,3.290633e-06,4.003541e-06,4.123503e-06,4.777041e-06,5.166564e-06,5.599770e-06,6.285006e-06,6.459228e-06,7.342913e-06,7.450017e-06,8.239182e-06,8.634821e-06,9.137751e-06,9.816776e-06,1.002989e-05,1.090840e-05,1.097791e-05,1.176745e-05,1.210454e-05,1.260242e-05,1.318666e-05,1.340976e-05,1.418680e-05,1.421722e-05,1.493162e-05,1.519161e-05,1.564295e-05,1.610714e-05,1.632006e-05,1.696265e-05,1.757080e-05,1.775819e-05,1.814489e-05,1.849471e-05,1.868553e-05,1.917384e-05,1.919355e-05,1.966988e-05,1.979772e-05,2.011560e-05,2.036879e-05,2.053182e-05,2.088972e-05,2.091974e-05,2.128056e-05,2.136325e-05,2.161549e-05,2.179221e-05,2.192577e-05,2.217935e-05,2.221257e-05,2.247708e-05,2.252741e-05,2.272044e-05,2.283901e-05,2.294378e-05,2.311670e-05,2.314817e-05,2.333464e-05,2.336288e-05,2.350419e-05,2.357985e-05,2.365778e-05,2.376978e-05,2.379632e-05,2.392069e-05,2.393470e-05,2.403171e-05,2.407653e-05,2.413017e-05,2.419707e-05,2.421683e-05,2.429240e-05,2.429798e-05,2.435755e-05,2.438085e-05,2.441295e-05,2.444713e-05,2.445918e-05,2.449684e-05,2.449818e-05,2.452646e-05,2.453526e-05,2.454857e-05,2.455956e-05,2.456365e-05,2.457216e-05,2.457455e-05,2.457409e-05,2.457122e-05,2.456627e-05,2.456257e-05,2.454959e-05,2.454896e-05,2.453074e-05,2.452486e-05,2.450824e-05,2.449282e-05,2.448177e-05,2.445416e-05,2.445162e-05,2.441807e-05,2.440955e-05,2.438138e-05,2.435955e-05,2.434179e-05,2.430474e-05,2.429953e-05,2.425483e-05,2.424561e-05,2.420788e-05,2.418264e-05,2.415887e-05,2.411626e-05,2.410800e-05,2.405543e-05,2.404687e-05,2.400132e-05,2.397485e-05,2.394583e-05,2.390053e-05,2.388909e-05,2.383123e-05,2.382422e-05,2.377240e-05,2.374623e-05,2.371269e-05,2.366680e-05,2.365223e-05,2.359111e-05,2.358620e-05,2.352944e-05,2.350464e-05,2.346731e-05,2.342233e-05,2.340479e-05,2.334198e-05,2.333946e-05,2.327894e-05,2.325621e-05,2.321575e-05,2.317273e-05,2.315248e-05,2.308917e-05,2.300566e-05,2.292233e-05,2.283929e-05,2.275663e-05,2.267444e-05,2.259282e-05,2.251183e-05,2.243154e-05,2.235201e-05,2.227330e-05,2.219546e-05,2.211852e-05,2.204252e-05,2.196751e-05,2.189350e-05,2.182053e-05,2.174861e-05,2.167776e-05,2.160801e-05,2.153934e-05,2.147179e-05,2.140536e-05,2.134005e-05,2.127586e-05
0.000000e+00,2.356473e-15,2.077998e-14,5.257310e-13,4.440878e-12,1.176015e-11,9.526345e-11,1.026887e-10,5.359959e-10,7.988775e-10,2.022133e-09,4.011494e-09,6.102399e-09,1.458735e-08,1.565096e-08,3.547382e-08,4.251844e-08,7.297594e-08,1.055329e-07,1.388585e-07,2.318523e-07,2.477872e-07,4.189425e-07,4.626681e-07,6.763447e-07,8.536753e-07,1.048858e-06,1.475002e-06,1.569823e-06,2.276334e-06,2.409227e-06,3.208213e-06,3.747675e-06,4.406772e-06,5.585514e-06,5.913462e-06,7.768507e-06,8.016346e-06,1.000959e-05,1.112688e-05,1.267070e-05,1.499224e-05,1.578107e-05,1.936443e-05,1.967210e-05,2.343835e-05,2.520798e-05,2.801389e-05,3.162158e-05,3.309538e-05,3.868044e-05,3.891421e-05,4.476014e-05,4.706718e-05,5.131932e-05,5.604297e-05,5.833702e-05,6.578708e-05,7.363869e-05,7.623044e-05,8.185712e-05,8.729200e-05,9.040440e-05,9.888158e-05,9.924002e-05,1.083217e-04,1.109028e-04,1.176060e-04,1.232556e-04,1.270491e-04,1.358393e-04,1.366072e-04,1.462373e-04,1.485546e-04,1.558976e-04,1.613055e-04,1.655479e-04,1.740014e-04,1.751499e-04,1.846677e-04,1.865582e-04,1.940679e-04,1.988992e-04,2.033197e-04,2.109561e-04,2.123953e-04,2.212695e-04,2.226692e-04,2.299202e-04,2.339874e-04,2.383281e-04,2.448684e-04,2.464767e-04,2.543521e-04,2.552782e-04,2.619431e-04,2.651908e-04,2.692411e-04,2.745874e-04,2.762394e-04,2.829339e-04,2.834563e-04,2.893221e-04,2.917915e-04,2.954035e-04,2.995926e-04,3.011790e-04,3.066512e-04,3.068638e-04,3.118238e-04,3.136135e-04,3.167017e-04,3.198534e-04,3.212909e-04,3.255979e-04,3.296301e-04,3.308637e-04,3.333955e-04,3.356692e-04,3.369025e-04,3.400341e-04,3.401597e-04,3.431762e-04,3.439790e-04,3.459612e-04,3.475248e-04,3.485238e-04,3.506930e-04,3.508733e-04,3.530190e-04,3.535047e-04,3.549700e-04,3.559809e-04,3.567354e-04,3.581424e-04,3.583240e-04,3.597445e-04,3.600092e-04,3.610053e-04,3.616005e-04,3.621146e-04,3.629352e-04,3.630804e-04,3.639103e-04,3.640310e-04,3.646118e-04,3.649050e-04,3.651919e-04,3.655733e-04,3.656576e-04,3.660153e-04,3.660513e-04,3.662715e-04,3.663536e-04,3.664320e-04,3.664937e-04,3.665027e-04,3.664891e-04,3.664845e-04,3.663962e-04,3.663380e-04,3.662291e-04,3.660654e-04,3.659924e-04,3.656907e-04,3.656774e-04,3.653282e-04,3.651836e-04,3.649089e-04,3.645933e-04,3.644366e-04,3.639149e-04,3.631565e-04,3.623253e-04,3.614282e-04,3.604716e-04,3.594614e-04,3.584029e-04,3.573014e-04,3.561614e-04,3.549872e-04,3.537830e-04,3.525524e-04,3.512988e-04,3.500255e-04,3.487353e-04,3.474310e-04,3.461151e-04,3.447899e-04,3.434574e-04,3.421198e-04,3.407787e-04,3.394359e-04,3.380929e-04,3.367511e-04,3.354118e-04
0.000000e+00,6.530679e-15,5.846137e-14,1.528314e-12,1.330979e-11,3.585018e-11,3.036327e-10,3.278988e-10,1.790302e-09,2.701472e-09,7.054125e-09,1.435156e-08,2.219413e-08,5.503363e-08,5.922993e-08,1.394014e-07,1.685480e-07,2.971392e-07,4.379215e-07,5.845852e-07,1.003543e-06,1.076466e-06,1.875077e-06,2.082839e-06,3.115115e-06,3.989739e-06,4.968060e-06,7.151957e-06,7.645801e-06,1.140322e-05,1.212397e-05,1.653947e-05,1.959374e-05,2.339766e-05,3.038151e-05,3.236296e-05,4.385897e-05,4.542994e-05,5.834252e-05,6.578554e-05,7.629708e-05,9.257256e-05,9.822495e-05,1.246386e-04,1.269609e-04,1.560515e-04,1.701301e-04,1.929688e-04,2.232319e-04,2.358775e-04,2.852383e-04,2.873530e-04,3.414762e-04,3.634806e-04,4.049741e-04,4.524718e-04,4.760652e-04,5.550283e-04,6.420829e-04,6.716769e-04,7.373869e-04,8.027566e-04,8.410338e-04,9.484115e-04,9.530528e-04,1.073408e-03,1.108590e-03,1.202002e-03,1.283050e-03,1.338676e-03,1.471366e-03,1.483212e-03,1.635341e-03,1.672947e-03,1.794742e-03,1.887048e-03,1.961050e-03,2.112793e-03,2.133859e-03,2.312731e-03,2.349191e-03,2.497195e-03,2.595163e-03,2.686758e-03,2.849557e-03,2.880908e-03,3.079119e-03,3.111173e-03,3.280855e-03,3.378782e-03,3.485577e-03,3.651142e-03,3.692746e-03,3.901826e-03,3.927019e-03,4.112290e-03,4.205199e-03,4.323622e-03,4.484504e-03,4.535318e-03,4.746893e-03,4.763800e-03,4.957880e-03,5.042009e-03,5.167832e-03,5.318118e-03,5.376325e-03,5.582958e-03,5.591179e-03,5.787355e-03,5.860322e-03,5.989165e-03,6.124750e-03,6.188061e-03,6.383745e-03,6.575941e-03,6.636666e-03,6.764400e-03,6.882949e-03,6.948899e-03,7.122105e-03,7.129237e-03,7.305238e-03,7.353719e-03,7.476748e-03,7.577444e-03,7.643638e-03,7.793001e-03,7.805798e-03,7.963136e-03,8.000172e-03,8.115585e-03,8.198799e-03,8.263090e-03,8.388777e-03,8.405616e-03,8.543145e-03,8.570051e-03,8.675672e-03,8.742612e-03,8.803206e-03,8.906492e-03,8.925769e-03,9.043396e-03,9.061761e-03,9.156130e-03,9.208521e-03,9.264026e-03,9.346902e-03,9.367148e-03,9.465566e-03,9.477063e-03,9.559357e-03,9.599182e-03,9.648607e-03,9.713455e-03,9.733406e-03,9.813847e-03,9.820097e-03,9.890029e-03,9.919333e-03,9.962055e-03,1.001140e-02,1.003003e-02,1.009406e-02,1.009654e-02,1.015426e-02,1.017501e-02,1.021073e-02,1.024706e-02,1.026359e-02,1.031295e-02,1.037293e-02,1.042727e-02,1.047621e-02,1.052001e-02,1.055891e-02,1.059317e-02,1.062301e-02,1.064867e-02,1.067039e-02,1.068836e-02,1.070282e-02,1.071396e-02,1.072198e-02,1.072708e-02,1.072943e-02,1.072921e-02,1.072660e-02,1.072175e-02,1.071482e-02,1.070596e-02,1.069530e-02,1.068298e-02,1.066914e-02,1.065387e-02
0.000000e+00,5.131296e-11,1.950269e-10,1.157382e-09,3.380550e-09,5.400961e-09,1.430902e-08,1.480856e-08,3.128670e-08,3.742444e-08,5.673088e-08,7.711641e-08,9.311167e-08,1.380156e-07,1.424938e-07,2.069184e-07,2.248190e-07,2.880468e-07,3.410809e-07,3.865336e-07,4.868404e-07,5.014195e-07,6.301464e-07,6.572582e-07,7.693286e-07,8.447125e-07,9.156403e-07,1.041980e-06,1.066272e-06,1.218981e-06,1.243483e-06,1.371986e-06,1.445099e-06,1.523844e-06,1.643701e-06,1.673370e-06,1.819574e-06,1.836855e-06,1.961639e-06,2.022660e-06,2.098900e-06,2.199673e-06,2.230824e-06,2.357012e-06,2.366850e-06,2.477175e-06,2.523510e-06,2.591132e-06,2.669282e-06,2.698790e-06,2.800136e-06,2.804059e-06,2.895223e-06,2.927942e-06,2.984160e-06,3.041200e-06,3.067098e-06,3.144223e-06,3.215743e-06,3.237484e-06,3.281890e-06,3.321513e-06,3.342901e-06,3.396870e-06,3.399024e-06,3.450508e-06,3.464126e-06,3.497600e-06,3.523849e-06,3.540544e-06,3.576592e-06,3.579577e-06,3.614929e-06,3.622890e-06,3.646821e-06,3.663249e-06,3.675466e-06,3.698148e-06,3.701066e-06,3.723813e-06,3.728036e-06,3.743890e-06,3.753332e-06,3.761469e-06,3.774424e-06,3.776713e-06,3.789776e-06,3.791674e-06,3.800803e-06,3.805413e-06,3.809930e-06,3.815949e-06,3.817284e-06,3.822987e-06,3.823565e-06,3.827150e-06,3.828521e-06,3.829879e-06,3.831055e-06,3.831273e-06,3.831426e-06,3.831387e-06,3.830424e-06,3.829718e-06,3.828348e-06,3.826232e-06,3.825276e-06,3.821278e-06,3.821100e-06,3.816421e-06,3.814475e-06,3.810769e-06,3.806501e-06,3.804379e-06,3.797308e-06,3.789605e-06,3.787015e-06,3.781321e-06,3.775734e-06,3.772498e-06,3.763563e-06,3.763181e-06,3.753409e-06,3.750596e-06,3.743218e-06,3.736918e-06,3.732644e-06,3.722605e-06,3.721719e-06,3.710473e-06,3.707730e-06,3.698936e-06,3.692358e-06,3.687134e-06,3.676549e-06,3.675092e-06,3.662833e-06,3.660358e-06,3.650381e-06,3.643835e-06,3.637754e-06,3.627028e-06,3.624974e-06,3.612057e-06,3.609979e-06,3.599021e-06,3.592726e-06,3.585882e-06,3.575306e-06,3.572654e-06,3.559352e-06,3.557752e-06,3.545990e-06,3.540094e-06,3.532578e-06,3.522359e-06,3.519129e-06,3.505653e-06,3.504574e-06,3.492161e-06,3.486761e-06,3.478661e-06,3.468942e-06,3.465163e-06,3.451676e-06,3.451137e-06,3.438206e-06,3.433362e-06,3.424761e-06,3.415636e-06,3.411347e-06,3.397972e-06,3.380384e-06,3.362885e-06,3.345487e-06,3.328198e-06,3.311030e-06,3.293990e-06,3.277086e-06,3.260325e-06,3.243713e-06,3.227255e-06,3.210958e-06,3.194825e-06,3.178859e-06,3.163066e-06,3.147447e-06,3.132005e-06,3.116742e-06,3.101661e-06,3.086762e-06,3.072048e-06,3.057518e-06,3.043175e-06,3.029017e-06,3.015046e-06
0.000000e+00,2.190674e-13,1.788234e-12,3.852519e-11,2.808989e-10,6.859735e-10,4.504589e-09,4.814344e-09,2.039352e-08,2.871895e-08,6.304164e-08,1.114810e-07,1.573738e-07,3.185692e-07,3.370157e-07,6.436696e-07,7.414185e-07,1.125655e-06,1.491791e-06,1.835979e-06,2.693526e-06,2.829483e-06,4.158599e-06,4.468828e-06,5.868060e-06,6.918554e-06,7.989956e-06,1.010351e-05,1.054062e-05,1.351993e-05,1.403558e-05,1.691286e-05,1.868077e-05,2.069218e-05,2.396968e-05,2.482161e-05,2.925872e-05,2.980968e-05,3.395741e-05,3.609538e-05,3.886976e-05,4.271635e-05,4.394755e-05,4.914326e-05,4.956262e-05,5.441100e-05,5.652840e-05,5.970716e-05,6.351500e-05,6.499101e-05,7.022511e-05,7.043294e-05,7.537564e-05,7.720349e-05,8.041266e-05,8.375956e-05,8.531016e-05,9.004609e-05,9.460229e-05,9.601986e-05,9.896428e-05,1.016488e-04,1.031210e-04,1.069111e-04,1.070647e-04,1.107903e-04,1.117941e-04,1.142955e-04,1.162926e-04,1.175800e-04,1.204082e-04,1.206454e-04,1.234952e-04,1.241476e-04,1.261339e-04,1.275214e-04,1.285672e-04,1.305437e-04,1.308016e-04,1.328442e-04,1.332304e-04,1.347027e-04,1.355989e-04,1.363849e-04,1.376678e-04,1.378991e-04,1.392533e-04,1.394557e-04,1.404558e-04,1.409815e-04,1.415146e-04,1.422636e-04,1.424377e-04,1.432329e-04,1.433200e-04,1.439076e-04,1.441683e-04,1.444693e-04,1.448249e-04,1.449249e-04,1.452813e-04,1.453057e-04,1.455449e-04,1.456257e-04,1.457218e-04,1.457990e-04,1.458181e-04,1.458393e-04,1.458387e-04,1.457908e-04,1.457573e-04,1.456777e-04,1.455663e-04,1.455047e-04,1.452765e-04,1.449973e-04,1.448978e-04,1.446711e-04,1.444396e-04,1.443019e-04,1.439103e-04,1.438932e-04,1.434485e-04,1.433179e-04,1.429708e-04,1.426697e-04,1.424633e-04,1.419725e-04,1.419288e-04,1.413699e-04,1.412324e-04,1.407891e-04,1.404551e-04,1.401887e-04,1.396459e-04,1.395709e-04,1.389378e-04,1.388095e-04,1.382913e-04,1.379504e-04,1.376331e-04,1.370725e-04,1.369650e-04,1.362884e-04,1.361795e-04,1.356049e-04,1.352747e-04,1.349157e-04,1.343612e-04,1.342222e-04,1.335254e-04,1.334417e-04,1.328266e-04,1.325187e-04,1.321266e-04,1.315945e-04,1.314264e-04,1.307269e-04,1.306710e-04,1.300289e-04,1.297502e-04,1.293330e-04,1.288337e-04,1.286400e-04,1.279505e-04,1.279230e-04,1.272650e-04,1.270193e-04,1.265841e-04,1.261239e-04,1.259082e-04,1.252377e-04,1.243618e-04,1.234968e-04,1.226436e-04,1.218026e-04,1.209744e-04,1.201595e-04,1.193583e-04,1.185709e-04,1.177977e-04,1.170388e-04,1.162944e-04,1.155645e-04,1.148493e-04,1.141486e-04,1.134626e-04,1.127912e-04,1.121342e-04,1.114916e-04,1.108633e-04,1.102492e-04,1.096490e-04,1.090626e-04,1.084898e-04,1.079305e-04
0.000000e+00,1.949468e-12,1.419802e-11,2.427886e-10,1.445147e-09,3.167996e-09,1.593846e-08,1.685775e-08,5.596826e-08,7.404490e-08,1.399823e-07,2.211839e-07,2.913368e-07,5.112411e-07,5.347179e-07,8.969302e-07,1.004633e-06,1.405467e-06,1.763251e-06,2.083640e-06,2.830008e-06,2.942558e-06,3.974638e-06,4.199808e-06,5.153902e-06,5.813040e-06,6.442844e-06,7.580752e-06,7.801163e-06,9.192218e-06,9.415714e-06,1.058588e-05,1.124865e-05,1.195874e-05,1.303004e-05,1.329317e-05,1.457599e-05,1.472596e-05,1.579741e-05,1.631346e-05,1.695027e-05,1.777743e-05,1.802954e-05,1.903197e-05,1.910879e-05,1.995585e-05,2.030329e-05,2.080083e-05,2.136077e-05,2.156771e-05,2.225831e-05,2.228438e-05,2.287522e-05,2.307987e-05,2.342166e-05,2.375485e-05,2.390131e-05,2.431815e-05,2.467633e-05,2.477925e-05,2.498011e-05,2.514794e-05,2.523374e-05,2.543389e-05,2.544136e-05,2.560702e-05,2.564641e-05,2.573454e-05,2.579426e-05,2.582755e-05,2.588558e-05,2.588946e-05,2.592344e-05,2.592777e-05,2.593243e-05,2.592758e-05,2.591915e-05,2.589100e-05,2.588606e-05,2.583544e-05,2.582339e-05,2.576934e-05,2.572949e-05,2.568965e-05,2.561344e-05,2.559806e-05,2.549610e-05,2.547892e-05,2.538517e-05,2.532911e-05,2.526652e-05,2.516678e-05,2.514125e-05,2.501038e-05,2.499434e-05,2.487481e-05,2.481388e-05,2.473535e-05,2.462720e-05,2.459272e-05,2.444756e-05,2.443586e-05,2.430046e-05,2.424120e-05,2.415194e-05,2.404437e-05,2.400244e-05,2.385238e-05,2.384637e-05,2.370212e-05,2.364805e-05,2.355199e-05,2.345012e-05,2.340226e-05,2.325320e-05,2.310502e-05,2.305782e-05,2.295792e-05,2.286443e-05,2.281208e-05,2.267338e-05,2.266764e-05,2.252473e-05,2.248501e-05,2.238347e-05,2.229955e-05,2.224396e-05,2.211723e-05,2.210628e-05,2.197051e-05,2.193821e-05,2.183670e-05,2.176265e-05,2.170491e-05,2.159063e-05,2.157518e-05,2.144753e-05,2.142226e-05,2.132200e-05,2.125757e-05,2.119861e-05,2.109662e-05,2.107737e-05,2.095828e-05,2.093942e-05,2.084134e-05,2.078598e-05,2.072657e-05,2.063630e-05,2.061395e-05,2.050347e-05,2.049035e-05,2.039512e-05,2.034812e-05,2.028889e-05,2.020956e-05,2.018476e-05,2.008272e-05,2.007464e-05,1.998273e-05,1.994331e-05,1.988479e-05,1.981552e-05,1.978886e-05,1.969492e-05,1.969121e-05,1.960295e-05,1.957032e-05,1.951292e-05,1.945279e-05,1.942479e-05,1.933855e-05,1.922755e-05,1.911970e-05,1.901495e-05,1.891322e-05,1.881444e-05,1.871855e-05,1.862548e-05,1.853514e-05,1.844748e-05,1.836243e-05,1.827992e-05,1.819988e-05,1.812225e-05,1.804695e-05,1.797394e-05,1.790313e-05,1.783448e-05,1.776792e-05,1.770340e-05,1.764085e-05,1.758021e-05,1.752144e-05,1.746447e-05,1.740926e-05
0.000000e+00,2.414004e-15,2.162066e-14,5.650855e-13,4.920329e-12,1.325213e-11,1.122391e-10,1.212100e-10,6.620745e-10,9.992418e-10,2.611154e-09,5.316928e-09,8.228225e-09,2.044502e-08,2.200851e-08,5.195328e-08,6.286746e-08,1.111463e-07,1.641819e-07,2.195816e-07,3.784215e-07,4.061367e-07,7.105369e-07,7.899258e-07,1.185139e-06,1.520657e-06,1.896373e-06,2.735837e-06,2.925720e-06,4.370126e-06,4.647038e-06,6.341820e-06,7.512218e-06,8.967535e-06,1.163259e-05,1.238713e-05,1.675172e-05,1.734650e-05,2.222132e-05,2.502068e-05,2.896214e-05,3.503959e-05,3.714365e-05,4.693544e-05,4.779337e-05,5.850408e-05,6.366526e-05,7.200997e-05,8.301911e-05,8.760436e-05,1.054266e-04,1.061876e-04,1.256016e-04,1.334619e-04,1.482377e-04,1.650828e-04,1.734249e-04,2.012336e-04,2.317131e-04,2.420359e-04,2.648918e-04,2.875466e-04,3.007763e-04,3.377574e-04,3.393517e-04,3.805826e-04,3.925959e-04,4.244131e-04,4.519289e-04,4.707686e-04,5.155664e-04,5.195565e-04,5.706680e-04,5.832671e-04,6.239796e-04,6.547447e-04,6.793548e-04,7.296748e-04,7.366458e-04,7.956954e-04,8.077020e-04,8.563389e-04,8.884468e-04,9.184054e-04,9.715132e-04,9.817201e-04,1.046105e-03,1.056495e-03,1.111383e-03,1.142981e-03,1.177375e-03,1.230564e-03,1.243905e-03,1.310799e-03,1.318843e-03,1.377889e-03,1.407428e-03,1.445010e-03,1.495945e-03,1.512004e-03,1.578719e-03,1.584040e-03,1.645010e-03,1.671378e-03,1.710742e-03,1.757649e-03,1.775784e-03,1.840017e-03,1.842568e-03,1.903329e-03,1.925875e-03,1.965615e-03,2.007336e-03,2.026782e-03,2.086743e-03,2.145420e-03,2.163915e-03,2.202745e-03,2.238694e-03,2.258656e-03,2.310951e-03,2.313100e-03,2.366030e-03,2.380574e-03,2.417410e-03,2.447479e-03,2.467206e-03,2.511599e-03,2.515394e-03,2.561955e-03,2.572886e-03,2.606877e-03,2.631313e-03,2.650151e-03,2.686867e-03,2.691775e-03,2.731752e-03,2.739551e-03,2.770089e-03,2.789379e-03,2.806796e-03,2.836381e-03,2.841888e-03,2.875383e-03,2.880595e-03,2.907301e-03,2.922068e-03,2.937666e-03,2.960857e-03,2.966504e-03,2.993842e-03,2.997023e-03,3.019712e-03,3.030637e-03,3.044143e-03,3.061770e-03,3.067170e-03,3.088826e-03,3.090500e-03,3.109145e-03,3.116907e-03,3.128164e-03,3.141073e-03,3.145919e-03,3.162446e-03,3.163082e-03,3.177782e-03,3.183019e-03,3.191965e-03,3.200969e-03,3.205030e-03,3.217016e-03,3.231246e-03,3.243742e-03,3.254587e-03,3.263859e-03,3.271640e-03,3.278005e-03,3.283030e-03,3.286787e-03,3.289346e-03,3.290775e-03,3.291140e-03,3.290504e-03,3.288926e-03,3.286466e-03,3.283178e-03,3.279116e-03,3.274330e-03,3.268869e-03,3.262779e-03,3.256104e-03,3.248886e-03,3.241165e-03,3.232977e-03,3.224360e-03
0.000000e+00,2.883010e-11,6.795191e-11,2.416560e-10,5.618866e-10,8.295919e-10,1.952728e-09,2.015039e-09,4.098146e-09,4.895587e-09,7.486984e-09,1.033259e-08,1.261021e-08,1.900623e-08,1.963478e-08,2.834920e-08,3.065450e-08,3.842632e-08,4.456912e-08,4.962115e-08,6.027564e-08,6.178256e-08,7.481495e-08,7.751955e-08,8.864797e-08,9.613668e-08,1.032188e-07,1.159814e-07,1.184629e-07,1.343102e-07,1.368967e-07,1.506836e-07,1.587053e-07,1.674993e-07,1.812107e-07,1.846684e-07,2.020985e-07,2.042032e-07,2.196961e-07,2.274680e-07,2.373681e-07,2.507928e-07,2.550241e-07,2.725778e-07,2.739752e-07,2.899486e-07,2.968289e-07,3.070623e-07,3.191872e-07,3.238521e-07,3.402586e-07,3.409062e-07,3.562307e-07,3.618657e-07,3.717248e-07,3.819692e-07,3.867051e-07,4.011428e-07,4.150159e-07,4.193334e-07,4.283088e-07,4.365068e-07,4.410112e-07,4.526451e-07,4.531179e-07,4.646282e-07,4.677445e-07,4.755451e-07,4.818129e-07,4.858749e-07,4.948678e-07,4.956269e-07,5.048124e-07,5.069341e-07,5.134448e-07,5.180428e-07,5.215389e-07,5.282291e-07,5.291107e-07,5.361773e-07,5.375314e-07,5.427559e-07,5.459900e-07,5.488648e-07,5.536463e-07,5.545218e-07,5.597454e-07,5.605421e-07,5.645536e-07,5.667192e-07,5.689643e-07,5.722187e-07,5.729953e-07,5.766639e-07,5.770806e-07,5.799870e-07,5.813439e-07,5.829810e-07,5.850462e-07,5.856618e-07,5.880450e-07,5.882233e-07,5.901455e-07,5.909097e-07,5.919776e-07,5.931384e-07,5.935553e-07,5.948919e-07,5.949405e-07,5.960002e-07,5.963456e-07,5.968924e-07,5.973817e-07,5.975803e-07,5.980752e-07,5.983878e-07,5.984510e-07,5.985283e-07,5.985326e-07,5.985067e-07,5.983421e-07,5.983323e-07,5.980140e-07,5.979003e-07,5.975604e-07,5.972266e-07,5.969795e-07,5.963393e-07,5.962791e-07,5.954666e-07,5.952557e-07,5.945489e-07,5.939916e-07,5.935329e-07,5.925623e-07,5.924247e-07,5.912304e-07,5.909818e-07,5.899559e-07,5.892632e-07,5.886064e-07,5.874188e-07,5.871873e-07,5.857034e-07,5.854603e-07,5.841594e-07,5.833983e-07,5.825597e-07,5.812428e-07,5.809086e-07,5.792101e-07,5.790032e-07,5.774678e-07,5.766883e-07,5.756855e-07,5.743063e-07,5.738665e-07,5.720141e-07,5.718646e-07,5.701313e-07,5.693704e-07,5.682211e-07,5.668302e-07,5.662861e-07,5.643289e-07,5.642502e-07,5.623521e-07,5.616361e-07,5.603579e-07,5.589931e-07,5.583486e-07,5.563263e-07,5.536400e-07,5.509387e-07,5.482262e-07,5.455061e-07,5.427818e-07,5.400564e-07,5.373329e-07,5.346138e-07,5.319016e-07,5.291985e-07,5.265067e-07,5.238280e-07,5.211643e-07,5.185170e-07,5.158876e-07,5.132775e-07,5.106879e-07,5.081198e-07,5.055743e-07,5.030523e-07,5.005545e-07,4.980817e-07,4.956345e-07,4.932134e-07
0.000000e+00,2.419942e-14,2.053669e-13,4.794939e-12,3.762245e-11,9.565831e-11,6.973812e-10,7.485224e-10,3.520120e-09,5.100954e-09,1.203697e-08,2.258035e-08,3.313610e-08,7.319763e-08,7.801581e-08,1.631903e-07,1.919778e-07,3.108440e-07,4.307881e-07,5.481409e-07,8.551768e-07,9.054191e-07,1.413673e-06,1.536057e-06,2.101936e-06,2.539440e-06,2.995068e-06,3.917807e-06,4.112200e-06,5.465888e-06,5.704909e-06,7.061877e-06,7.914007e-06,8.899316e-06,1.053864e-05,1.097128e-05,1.326547e-05,1.355496e-05,1.576507e-05,1.692479e-05,1.844954e-05,2.059908e-05,2.129552e-05,2.427765e-05,2.452131e-05,2.736940e-05,2.863074e-05,3.054377e-05,3.286543e-05,3.377400e-05,3.703412e-05,3.716480e-05,4.029948e-05,4.147181e-05,4.354711e-05,4.573459e-05,4.675605e-05,4.990752e-05,5.298509e-05,5.395193e-05,5.597465e-05,5.783624e-05,5.886441e-05,6.153582e-05,6.164484e-05,6.430849e-05,6.503258e-05,6.684983e-05,6.831430e-05,6.926511e-05,7.137391e-05,7.155213e-05,7.371007e-05,7.420878e-05,7.573929e-05,7.681992e-05,7.764121e-05,7.921134e-05,7.941805e-05,8.107276e-05,8.138934e-05,8.260883e-05,8.336200e-05,8.403020e-05,8.513860e-05,8.534110e-05,8.654599e-05,8.672924e-05,8.764948e-05,8.814450e-05,8.865623e-05,8.939512e-05,8.957092e-05,9.039820e-05,9.049182e-05,9.114266e-05,9.144513e-05,9.180875e-05,9.226527e-05,9.240085e-05,9.292317e-05,9.296207e-05,9.337977e-05,9.354489e-05,9.377457e-05,9.402267e-05,9.411131e-05,9.439360e-05,9.440381e-05,9.462485e-05,9.469624e-05,9.480832e-05,9.490739e-05,9.494713e-05,9.504422e-05,9.510238e-05,9.511321e-05,9.512427e-05,9.512040e-05,9.511238e-05,9.507141e-05,9.506910e-05,9.499666e-05,9.497145e-05,9.489718e-05,9.482535e-05,9.477266e-05,9.463760e-05,9.462498e-05,9.445591e-05,9.441234e-05,9.426713e-05,9.415339e-05,9.406020e-05,9.386428e-05,9.383662e-05,9.359777e-05,9.354829e-05,9.334497e-05,9.320841e-05,9.307944e-05,9.284742e-05,9.280235e-05,9.251478e-05,9.246787e-05,9.221775e-05,9.207210e-05,9.191222e-05,9.166227e-05,9.159907e-05,9.127916e-05,9.124036e-05,9.095327e-05,9.080818e-05,9.062213e-05,9.036739e-05,9.028644e-05,8.994684e-05,8.991952e-05,8.960392e-05,8.946596e-05,8.925826e-05,8.900798e-05,8.891038e-05,8.856077e-05,8.854675e-05,8.820988e-05,8.808334e-05,8.785815e-05,8.761869e-05,8.750597e-05,8.715370e-05,8.668916e-05,8.622579e-05,8.576425e-05,8.530513e-05,8.484895e-05,8.439620e-05,8.394730e-05,8.350264e-05,8.306255e-05,8.262734e-05,8.219727e-05,8.177259e-05,8.135347e-05,8.094012e-05,8.053267e-05,8.013125e-05,7.973596e-05,7.934691e-05,7.896413e-05,7.858770e-05,7.821765e-05,7.785399e-05,7.749674e-05,7.714590e-05
0.000000e+00,4.835030e-13,3.650955e-12,6.713969e-11,4.257571e-10,9.650801e-10,5.268862e-09,5.590463e-09,1.997518e-08,2.692288e-08,5.318985e-08,8.684016e-08,1.166827e-07,2.131793e-07,2.236746e-07,3.886060e-07,4.384488e-07,6.260003e-07,7.954024e-07,9.483428e-07,1.308908e-06,1.363828e-06,1.875377e-06,1.989128e-06,2.481261e-06,2.832061e-06,3.176589e-06,3.824959e-06,3.954724e-06,4.808210e-06,4.951241e-06,5.729220e-06,6.192934e-06,6.709706e-06,7.531384e-06,7.741425e-06,8.815967e-06,8.947386e-06,9.924831e-06,1.042141e-05,1.105953e-05,1.193405e-05,1.221174e-05,1.337342e-05,1.346653e-05,1.453699e-05,1.500134e-05,1.569540e-05,1.652266e-05,1.684227e-05,1.797190e-05,1.801666e-05,1.907932e-05,1.947171e-05,2.016028e-05,2.087839e-05,2.121125e-05,2.222936e-05,2.321236e-05,2.351922e-05,2.415858e-05,2.474429e-05,2.506683e-05,2.590236e-05,2.593640e-05,2.676693e-05,2.699248e-05,2.755841e-05,2.801465e-05,2.831108e-05,2.896969e-05,2.902544e-05,2.970215e-05,2.985905e-05,3.034204e-05,3.068463e-05,3.094604e-05,3.144870e-05,3.151520e-05,3.205060e-05,3.215373e-05,3.255341e-05,3.280236e-05,3.302477e-05,3.339729e-05,3.346589e-05,3.387794e-05,3.394125e-05,3.426212e-05,3.443697e-05,3.461960e-05,3.488712e-05,3.495152e-05,3.525901e-05,3.529432e-05,3.554316e-05,3.566107e-05,3.580504e-05,3.598982e-05,3.604569e-05,3.626611e-05,3.628290e-05,3.646727e-05,3.654254e-05,3.665009e-05,3.677087e-05,3.681548e-05,3.696429e-05,3.696991e-05,3.709736e-05,3.714156e-05,3.721548e-05,3.728765e-05,3.731941e-05,3.740989e-05,3.748761e-05,3.750989e-05,3.755324e-05,3.758919e-05,3.760742e-05,3.764923e-05,3.765077e-05,3.768386e-05,3.769137e-05,3.770726e-05,3.771688e-05,3.772151e-05,3.772696e-05,3.772710e-05,3.772452e-05,3.772274e-05,3.771424e-05,3.770528e-05,3.769669e-05,3.767558e-05,3.767231e-05,3.764148e-05,3.763458e-05,3.760460e-05,3.758314e-05,3.756202e-05,3.752210e-05,3.751409e-05,3.746114e-05,3.745223e-05,3.740349e-05,3.737424e-05,3.734144e-05,3.728882e-05,3.727527e-05,3.720524e-05,3.719660e-05,3.713163e-05,3.709817e-05,3.705467e-05,3.699409e-05,3.697460e-05,3.689164e-05,3.688488e-05,3.680599e-05,3.677103e-05,3.671787e-05,3.665299e-05,3.662745e-05,3.653492e-05,3.653118e-05,3.644046e-05,3.640601e-05,3.634422e-05,3.627784e-05,3.624636e-05,3.614703e-05,3.601389e-05,3.587872e-05,3.574181e-05,3.560342e-05,3.546380e-05,3.532316e-05,3.518173e-05,3.503969e-05,3.489724e-05,3.475454e-05,3.461175e-05,3.446901e-05,3.432646e-05,3.418423e-05,3.404242e-05,3.390116e-05,3.376053e-05,3.362063e-05,3.348154e-05,3.334334e-05,3.320609e-05,3.306987e-05,3.293472e-05,3.280071e-05
0.000000e+00,9.718616e-11,2.520719e-10,9.857393e-10,2.377974e-09,3.545117e-09,8.357691e-09,8.619668e-09,1.707936e-08,2.018204e-08,2.987981e-08,4.008327e-08,4.808524e-08,7.053855e-08,7.277415e-08,1.047177e-07,1.134855e-07,1.439376e-07,1.688038e-07,1.896365e-07,2.342781e-07,2.406398e-07,2.958258e-07,3.072797e-07,3.542629e-07,3.856749e-07,4.151823e-07,4.677865e-07,4.779221e-07,5.418876e-07,5.521988e-07,6.065325e-07,6.376534e-07,6.713514e-07,7.230190e-07,7.358811e-07,7.997034e-07,8.072965e-07,8.624483e-07,8.896306e-07,9.237962e-07,9.693185e-07,9.834772e-07,1.041269e-06,1.045805e-06,1.096998e-06,1.118681e-06,1.150532e-06,1.187664e-06,1.201779e-06,1.250679e-06,1.252585e-06,1.297202e-06,1.313367e-06,1.341343e-06,1.370006e-06,1.383118e-06,1.422560e-06,1.459713e-06,1.471128e-06,1.494636e-06,1.515846e-06,1.527393e-06,1.556868e-06,1.558055e-06,1.586696e-06,1.594364e-06,1.613395e-06,1.628515e-06,1.638231e-06,1.659502e-06,1.661283e-06,1.682630e-06,1.687508e-06,1.702351e-06,1.712713e-06,1.720522e-06,1.735291e-06,1.737220e-06,1.752516e-06,1.755413e-06,1.766482e-06,1.773241e-06,1.779185e-06,1.788930e-06,1.790693e-06,1.801068e-06,1.802627e-06,1.810371e-06,1.814472e-06,1.818660e-06,1.824598e-06,1.825991e-06,1.832417e-06,1.833130e-06,1.837989e-06,1.840183e-06,1.842757e-06,1.845870e-06,1.846765e-06,1.850059e-06,1.850292e-06,1.852679e-06,1.853548e-06,1.854667e-06,1.855727e-06,1.856059e-06,1.856893e-06,1.856915e-06,1.857202e-06,1.857191e-06,1.857019e-06,1.856630e-06,1.856376e-06,1.855300e-06,1.853821e-06,1.853266e-06,1.851964e-06,1.850589e-06,1.849754e-06,1.847324e-06,1.847216e-06,1.844372e-06,1.843524e-06,1.841243e-06,1.839237e-06,1.837849e-06,1.834510e-06,1.834210e-06,1.830343e-06,1.829383e-06,1.826266e-06,1.823897e-06,1.821994e-06,1.818087e-06,1.817544e-06,1.812929e-06,1.811988e-06,1.808164e-06,1.805631e-06,1.803261e-06,1.799044e-06,1.798232e-06,1.793089e-06,1.792256e-06,1.787843e-06,1.785291e-06,1.782504e-06,1.778172e-06,1.777082e-06,1.771586e-06,1.770922e-06,1.766024e-06,1.763559e-06,1.760406e-06,1.756102e-06,1.754737e-06,1.749027e-06,1.748568e-06,1.743281e-06,1.740974e-06,1.737505e-06,1.733332e-06,1.731707e-06,1.725891e-06,1.725658e-06,1.720063e-06,1.717963e-06,1.714228e-06,1.710258e-06,1.708390e-06,1.702554e-06,1.694860e-06,1.687186e-06,1.679539e-06,1.671927e-06,1.664355e-06,1.656832e-06,1.649361e-06,1.641948e-06,1.634598e-06,1.627315e-06,1.620102e-06,1.612963e-06,1.605900e-06,1.598917e-06,1.592015e-06,1.585197e-06,1.578465e-06,1.571820e-06,1.565263e-06,1.558795e-06,1.552418e-06,1.546131e-06,1.539936e-06,1.533833e-06
0.000000e+00,3.802538e-11,1.863964e-10,1.578191e-09,5.607862e-09,9.674450e-09,2.949945e-08,3.066781e-08,7.116937e-08,8.699750e-08,1.387148e-07,1.958854e-07,2.421930e-07,3.767213e-07,3.903659e-07,5.872943e-07,6.415108e-07,8.288931e-07,9.803047e-07,1.105940e-06,1.371677e-06,1.409192e-06,1.731411e-06,1.797623e-06,2.067067e-06,2.245393e-06,2.411640e-06,2.705056e-06,2.761157e-06,3.111989e-06,3.168017e-06,3.460799e-06,3.626608e-06,3.804564e-06,4.074137e-06,4.140615e-06,4.466675e-06,4.505038e-06,4.780871e-06,4.914966e-06,5.081736e-06,5.300801e-06,5.368191e-06,5.639511e-06,5.660548e-06,5.895285e-06,5.993202e-06,6.135373e-06,6.298566e-06,6.359863e-06,6.569016e-06,6.577068e-06,6.763232e-06,6.829589e-06,6.943024e-06,7.057342e-06,7.108982e-06,7.261740e-06,7.401968e-06,7.444306e-06,7.530349e-06,7.606610e-06,7.647563e-06,7.750207e-06,7.754283e-06,7.851164e-06,7.876614e-06,7.938838e-06,7.987277e-06,8.017913e-06,8.083565e-06,8.088968e-06,8.152548e-06,8.166753e-06,8.209170e-06,8.238020e-06,8.259318e-06,8.298458e-06,8.303450e-06,8.341995e-06,8.349069e-06,8.375352e-06,8.390773e-06,8.403895e-06,8.424406e-06,8.427971e-06,8.447906e-06,8.450732e-06,8.464003e-06,8.470449e-06,8.476542e-06,8.484189e-06,8.485787e-06,8.491980e-06,8.492530e-06,8.495350e-06,8.495993e-06,8.496107e-06,8.495057e-06,8.494448e-06,8.490556e-06,8.490153e-06,8.484600e-06,8.481675e-06,8.476738e-06,8.469982e-06,8.467119e-06,8.455879e-06,8.455397e-06,8.443145e-06,8.438218e-06,8.429037e-06,8.418715e-06,8.413664e-06,8.397131e-06,8.379534e-06,8.373692e-06,8.360960e-06,8.348600e-06,8.341495e-06,8.322041e-06,8.321215e-06,8.300194e-06,8.294185e-06,8.278499e-06,8.265185e-06,8.256193e-06,8.235182e-06,8.233335e-06,8.209979e-06,8.204306e-06,8.186179e-06,8.172674e-06,8.161981e-06,8.140393e-06,8.137430e-06,8.112568e-06,8.107562e-06,8.087434e-06,8.074269e-06,8.062065e-06,8.040598e-06,8.036494e-06,8.010754e-06,8.006622e-06,7.984874e-06,7.972410e-06,7.958881e-06,7.938024e-06,7.932802e-06,7.906661e-06,7.903521e-06,7.880481e-06,7.868955e-06,7.854282e-06,7.834371e-06,7.828085e-06,7.801908e-06,7.799815e-06,7.775767e-06,7.765325e-06,7.749679e-06,7.730937e-06,7.723659e-06,7.697721e-06,7.696685e-06,7.671877e-06,7.662599e-06,7.646140e-06,7.628705e-06,7.620521e-06,7.595029e-06,7.561593e-06,7.528417e-06,7.495519e-06,7.462916e-06,7.430623e-06,7.398653e-06,7.367018e-06,7.335727e-06,7.304792e-06,7.274219e-06,7.244015e-06,7.214187e-06,7.184740e-06,7.155679e-06,7.127006e-06,7.098725e-06,7.070838e-06,7.043347e-06,7.016252e-06,6.989555e-06,6.963255e-06,6.937351e-06,6.911844e-06,6.886732e-06
0.000000e+00,1.213465e-14,1.066113e-13,2.678129e-12,2.250792e-11,5.948709e-11,4.812023e-10,5.187507e-10,2.724277e-09,4.073517e-09,1.042962e-08,2.095763e-08,3.220135e-08,7.898748e-08,8.494539e-08,1.981469e-07,2.390296e-07,4.177814e-07,6.106716e-07,8.088071e-07,1.361290e-06,1.455655e-06,2.460719e-06,2.714818e-06,3.941231e-06,4.941147e-06,6.025045e-06,8.339433e-06,8.845861e-06,1.253831e-05,1.321883e-05,1.723326e-05,1.987939e-05,2.305350e-05,2.859496e-05,3.011001e-05,3.849892e-05,3.959906e-05,4.829898e-05,5.307416e-05,5.956990e-05,6.914462e-05,7.235126e-05,8.666205e-05,8.787308e-05,1.025008e-04,1.092600e-04,1.198461e-04,1.332460e-04,1.386582e-04,1.588797e-04,1.597169e-04,1.804380e-04,1.885101e-04,2.032472e-04,2.194226e-04,2.272099e-04,2.522200e-04,2.781644e-04,2.866448e-04,3.049254e-04,3.224255e-04,3.323827e-04,3.592845e-04,3.604153e-04,3.889033e-04,3.969454e-04,4.177291e-04,4.351393e-04,4.467791e-04,4.736096e-04,4.759447e-04,5.051226e-04,5.121163e-04,5.342165e-04,5.504386e-04,5.631365e-04,5.883767e-04,5.918003e-04,6.201326e-04,6.257532e-04,6.480659e-04,6.624131e-04,6.755396e-04,6.982232e-04,7.025005e-04,7.289021e-04,7.330717e-04,7.547046e-04,7.668669e-04,7.798742e-04,7.995353e-04,8.043831e-04,8.282085e-04,8.310208e-04,8.513331e-04,8.612823e-04,8.737437e-04,8.902926e-04,8.954313e-04,9.163909e-04,9.180361e-04,9.366205e-04,9.445081e-04,9.561212e-04,9.697124e-04,9.748968e-04,9.929534e-04,9.936608e-04,1.010299e-03,1.016371e-03,1.026943e-03,1.037867e-03,1.042898e-03,1.058176e-03,1.072789e-03,1.077328e-03,1.086754e-03,1.095358e-03,1.100085e-03,1.112301e-03,1.112798e-03,1.124909e-03,1.128194e-03,1.136434e-03,1.143075e-03,1.147391e-03,1.156983e-03,1.157795e-03,1.167665e-03,1.169956e-03,1.177016e-03,1.182033e-03,1.185866e-03,1.193251e-03,1.194230e-03,1.202126e-03,1.203650e-03,1.209569e-03,1.213266e-03,1.216576e-03,1.222135e-03,1.223161e-03,1.229341e-03,1.230293e-03,1.235130e-03,1.237774e-03,1.240543e-03,1.244612e-03,1.245594e-03,1.250297e-03,1.250839e-03,1.254666e-03,1.256486e-03,1.258714e-03,1.261583e-03,1.262453e-03,1.265897e-03,1.266160e-03,1.269057e-03,1.270245e-03,1.271946e-03,1.273863e-03,1.274574e-03,1.276952e-03,1.277042e-03,1.279092e-03,1.279806e-03,1.281004e-03,1.282179e-03,1.282697e-03,1.284182e-03,1.285839e-03,1.287169e-03,1.288193e-03,1.288929e-03,1.289396e-03,1.289610e-03,1.289588e-03,1.289346e-03,1.288897e-03,1.288258e-03,1.287440e-03,1.286457e-03,1.285321e-03,1.284043e-03,1.282634e-03,1.281105e-03,1.279465e-03,1.277723e-03,1.275889e-03,1.273970e-03,1.271974e-03,1.269909e-03,1.267782e-03,1.265600e-03
0.000000e+00,7.004053e-11,1.767065e-10,6.727955e-10,1.606676e-09,2.388699e-09,5.623952e-09,5.800746e-09,1.155098e-08,1.367932e-08,2.038938e-08,2.751994e-08,3.313910e-08,4.888156e-08,5.043934e-08,7.238702e-08,7.830738e-08,9.859051e-08,1.149315e-07,1.285424e-07,1.576602e-07,1.618166e-07,1.980717e-07,2.056537e-07,2.370077e-07,2.582175e-07,2.783334e-07,3.146753e-07,3.217498e-07,3.669463e-07,3.743216e-07,4.136021e-07,4.364198e-07,4.613922e-07,5.002239e-07,5.099940e-07,5.590943e-07,5.650055e-07,6.083962e-07,6.300811e-07,6.576244e-07,6.948333e-07,7.065282e-07,7.548835e-07,7.587222e-07,8.024945e-07,8.212918e-07,8.491927e-07,8.821699e-07,8.948368e-07,9.393105e-07,9.410637e-07,9.825209e-07,9.977529e-07,1.024396e-06,1.052081e-06,1.064883e-06,1.103946e-06,1.141562e-06,1.153292e-06,1.177722e-06,1.200100e-06,1.212426e-06,1.244380e-06,1.245683e-06,1.277510e-06,1.286168e-06,1.307929e-06,1.325516e-06,1.336967e-06,1.362489e-06,1.364655e-06,1.391026e-06,1.397163e-06,1.416115e-06,1.429619e-06,1.439960e-06,1.459945e-06,1.462599e-06,1.484070e-06,1.488228e-06,1.504413e-06,1.514558e-06,1.523666e-06,1.539024e-06,1.541867e-06,1.559056e-06,1.561715e-06,1.575270e-06,1.582716e-06,1.590545e-06,1.602113e-06,1.604917e-06,1.618422e-06,1.619986e-06,1.631094e-06,1.636415e-06,1.642967e-06,1.651475e-06,1.654072e-06,1.664441e-06,1.665239e-06,1.674104e-06,1.677778e-06,1.683091e-06,1.689159e-06,1.691430e-06,1.699149e-06,1.699446e-06,1.706274e-06,1.708699e-06,1.712831e-06,1.716977e-06,1.718843e-06,1.724336e-06,1.729331e-06,1.730828e-06,1.733850e-06,1.736503e-06,1.737916e-06,1.741410e-06,1.741547e-06,1.744765e-06,1.745594e-06,1.747586e-06,1.749097e-06,1.750031e-06,1.751961e-06,1.752115e-06,1.753855e-06,1.754224e-06,1.755268e-06,1.755922e-06,1.756369e-06,1.757092e-06,1.757173e-06,1.757694e-06,1.757765e-06,1.757945e-06,1.757973e-06,1.757939e-06,1.757745e-06,1.757690e-06,1.757208e-06,1.757110e-06,1.756506e-06,1.756094e-06,1.755594e-06,1.754721e-06,1.754484e-06,1.753185e-06,1.753017e-06,1.751707e-06,1.751002e-06,1.750059e-06,1.748698e-06,1.748250e-06,1.746289e-06,1.746126e-06,1.744185e-06,1.743304e-06,1.741944e-06,1.740250e-06,1.739574e-06,1.737083e-06,1.736981e-06,1.734478e-06,1.733513e-06,1.731765e-06,1.729862e-06,1.728950e-06,1.726040e-06,1.722062e-06,1.717941e-06,1.713689e-06,1.709316e-06,1.704834e-06,1.700252e-06,1.695581e-06,1.690828e-06,1.686003e-06,1.681114e-06,1.676167e-06,1.671171e-06,1.666131e-06,1.661054e-06,1.655946e-06,1.650813e-06,1.645659e-06,1.640490e-06,1.635309e-06,1.630122e-06,1.624933e-06,1.619745e-06,1.614562e-06,1.609387e-06
0.000000e+00,3.289106e-15,2.945507e-14,7.698098e-13,6.703488e-12,1.805758e-11,1.530819e-10,1.653269e-10,9.048769e-10,1.366771e-09,3.580637e-09,7.310949e-09,1.133848e-08,2.834392e-08,3.052976e-08,7.268500e-08,8.815916e-08,1.571206e-07,2.336207e-07,3.141678e-07,5.477761e-07,5.888630e-07,1.044770e-06,1.164808e-06,1.767496e-06,2.284375e-06,2.867474e-06,4.182418e-06,4.481688e-06,6.774151e-06,7.216243e-06,9.935074e-06,1.182288e-05,1.417876e-05,1.851076e-05,1.974041e-05,2.687195e-05,2.784566e-05,3.583714e-05,4.043226e-05,4.690621e-05,5.689268e-05,6.035021e-05,7.643523e-05,7.784388e-05,9.541687e-05,1.038749e-04,1.175348e-04,1.355257e-04,1.430081e-04,1.720306e-04,1.732678e-04,2.047675e-04,2.174887e-04,2.413520e-04,2.684793e-04,2.818833e-04,3.264251e-04,3.750041e-04,3.914016e-04,4.276109e-04,4.633731e-04,4.841993e-04,5.421952e-04,5.446884e-04,6.089635e-04,6.276198e-04,6.768786e-04,7.193031e-04,7.482585e-04,8.168155e-04,8.229020e-04,9.005842e-04,9.196533e-04,9.810604e-04,1.027250e-03,1.064069e-03,1.138992e-03,1.149334e-03,1.236570e-03,1.254228e-03,1.325483e-03,1.372283e-03,1.415777e-03,1.492472e-03,1.507153e-03,1.599313e-03,1.614112e-03,1.691965e-03,1.736527e-03,1.784820e-03,1.859064e-03,1.877601e-03,1.970039e-03,1.981096e-03,2.061875e-03,2.102029e-03,2.152866e-03,2.221312e-03,2.242782e-03,2.331406e-03,2.338434e-03,2.418539e-03,2.452933e-03,2.503997e-03,2.564395e-03,2.587612e-03,2.669233e-03,2.672454e-03,2.748723e-03,2.776795e-03,2.825965e-03,2.877151e-03,2.900854e-03,2.973303e-03,3.043238e-03,3.065076e-03,3.110600e-03,3.152339e-03,3.175343e-03,3.235002e-03,3.237434e-03,3.296853e-03,3.313010e-03,3.353591e-03,3.386346e-03,3.407647e-03,3.455021e-03,3.459034e-03,3.507771e-03,3.519076e-03,3.553885e-03,3.578577e-03,3.597413e-03,3.633611e-03,3.638396e-03,3.676882e-03,3.684284e-03,3.712923e-03,3.730717e-03,3.746578e-03,3.773048e-03,3.777907e-03,3.806976e-03,3.811422e-03,3.833852e-03,3.845993e-03,3.858604e-03,3.876925e-03,3.881305e-03,3.902026e-03,3.904383e-03,3.920842e-03,3.928537e-03,3.937827e-03,3.949555e-03,3.953053e-03,3.966596e-03,3.967609e-03,3.978529e-03,3.982868e-03,3.988925e-03,3.995498e-03,3.997855e-03,4.005389e-03,4.005662e-03,4.011597e-03,4.013521e-03,4.016547e-03,4.019228e-03,4.020305e-03,4.022934e-03,4.024783e-03,4.024914e-03,4.023460e-03,4.020548e-03,4.016297e-03,4.010823e-03,4.004234e-03,3.996631e-03,3.988111e-03,3.978765e-03,3.968677e-03,3.957927e-03,3.946589e-03,3.934733e-03,3.922423e-03,3.909719e-03,3.896678e-03,3.883350e-03,3.869783e-03,3.856022e-03,3.842106e-03,3.828074e-03,3.813958e-03,3.799791e-03
0.000000e+00,9.130275e-13,6.994763e-12,1.324231e-10,8.612918e-10,1.978741e-09,1.116771e-08,1.186486e-08,4.372285e-08,5.940838e-08,1.197167e-07,1.985184e-07,2.694032e-07,5.029462e-07,5.286541e-07,9.380063e-07,1.063227e-06,1.538501e-06,1.971573e-06,2.364497e-06,3.294884e-06,3.436888e-06,4.760710e-06,5.055092e-06,6.327544e-06,7.232821e-06,8.120098e-06,9.784298e-06,1.011644e-05,1.229274e-05,1.265602e-05,1.462461e-05,1.579196e-05,1.708751e-05,1.913571e-05,1.965694e-05,2.230848e-05,2.263104e-05,2.501805e-05,2.622257e-05,2.776219e-05,2.985700e-05,3.051846e-05,3.326584e-05,3.348466e-05,3.598503e-05,3.706087e-05,3.865874e-05,4.054707e-05,4.127185e-05,4.381143e-05,4.391132e-05,4.626677e-05,4.712836e-05,4.862930e-05,5.017938e-05,5.089245e-05,5.305147e-05,5.510325e-05,5.573686e-05,5.704610e-05,5.823210e-05,5.887956e-05,6.053727e-05,6.060418e-05,6.222139e-05,6.265523e-05,6.373329e-05,6.459096e-05,6.514251e-05,6.635087e-05,6.645204e-05,6.766513e-05,6.794231e-05,6.878531e-05,6.937342e-05,6.981632e-05,7.065292e-05,7.076203e-05,7.162636e-05,7.178980e-05,7.241320e-05,7.279302e-05,7.312641e-05,7.367134e-05,7.376972e-05,7.434678e-05,7.443319e-05,7.486110e-05,7.508670e-05,7.531610e-05,7.563962e-05,7.571508e-05,7.606119e-05,7.609932e-05,7.635745e-05,7.647276e-05,7.660675e-05,7.676656e-05,7.681191e-05,7.697559e-05,7.698697e-05,7.710031e-05,7.713984e-05,7.718849e-05,7.723063e-05,7.724240e-05,7.726423e-05,7.726447e-05,7.725607e-05,7.724617e-05,7.721988e-05,7.718021e-05,7.715752e-05,7.707076e-05,7.696126e-05,7.692167e-05,7.683059e-05,7.673656e-05,7.668027e-05,7.651878e-05,7.651171e-05,7.632625e-05,7.627147e-05,7.612518e-05,7.599753e-05,7.590967e-05,7.569964e-05,7.568087e-05,7.543983e-05,7.538027e-05,7.518755e-05,7.504173e-05,7.492499e-05,7.468615e-05,7.465305e-05,7.437256e-05,7.431551e-05,7.408434e-05,7.393164e-05,7.378910e-05,7.353621e-05,7.348757e-05,7.318041e-05,7.313079e-05,7.286824e-05,7.271679e-05,7.255164e-05,7.229554e-05,7.223116e-05,7.190732e-05,7.186825e-05,7.158060e-05,7.143605e-05,7.125145e-05,7.099994e-05,7.092031e-05,7.058756e-05,7.056088e-05,7.025359e-05,7.011974e-05,6.991874e-05,6.967730e-05,6.958335e-05,6.924771e-05,6.923428e-05,6.891211e-05,6.879136e-05,6.857682e-05,6.834913e-05,6.824209e-05,6.790814e-05,6.746889e-05,6.703183e-05,6.659739e-05,6.616591e-05,6.573775e-05,6.531320e-05,6.489253e-05,6.447598e-05,6.406376e-05,6.365607e-05,6.325305e-05,6.285487e-05,6.246165e-05,6.207348e-05,6.169047e-05,6.131268e-05,6.094019e-05,6.057303e-05,6.021124e-05,5.985485e-05,5.950387e-05,5.915831e-05,5.881818e-05,5.848345e-05
0.000000e+00,3.165657e-11,1.531695e-10,1.273440e-09,4.483154e-09,7.708712e-09,2.336480e-08,2.428475e-08,5.599613e-08,6.829437e-08,1.081294e-07,1.516334e-07,1.865651e-07,2.873018e-07,2.975066e-07,4.458781e-07,4.873125e-07,6.332477e-07,7.546565e-07,8.579326e-07,1.084191e-06,1.116998e-06,1.407651e-06,1.469357e-06,1.727497e-06,1.904624e-06,2.074342e-06,2.384942e-06,2.445974e-06,2.840041e-06,2.905006e-06,3.253999e-06,3.458969e-06,3.685118e-06,4.040438e-06,4.130520e-06,4.587236e-06,4.642660e-06,5.052269e-06,5.258751e-06,5.522656e-06,5.881966e-06,5.995537e-06,6.468204e-06,6.505931e-06,6.938128e-06,7.124806e-06,7.403004e-06,7.733417e-06,7.860762e-06,8.309580e-06,8.327323e-06,8.747879e-06,8.902829e-06,9.174330e-06,9.456976e-06,9.587829e-06,9.987501e-06,1.037268e-05,1.049278e-05,1.074283e-05,1.097168e-05,1.109762e-05,1.142358e-05,1.143685e-05,1.176044e-05,1.184825e-05,1.206844e-05,1.224580e-05,1.236097e-05,1.261661e-05,1.263823e-05,1.290050e-05,1.296125e-05,1.314810e-05,1.328048e-05,1.338138e-05,1.357514e-05,1.360074e-05,1.380660e-05,1.384619e-05,1.399940e-05,1.409463e-05,1.417957e-05,1.432150e-05,1.434759e-05,1.450389e-05,1.452785e-05,1.464895e-05,1.471472e-05,1.478321e-05,1.488315e-05,1.490713e-05,1.502113e-05,1.503417e-05,1.512566e-05,1.516876e-05,1.522114e-05,1.528790e-05,1.530797e-05,1.538655e-05,1.539250e-05,1.545728e-05,1.548345e-05,1.552052e-05,1.556162e-05,1.557664e-05,1.562598e-05,1.562782e-05,1.566889e-05,1.568282e-05,1.570568e-05,1.572736e-05,1.573667e-05,1.576215e-05,1.578242e-05,1.578785e-05,1.579775e-05,1.580509e-05,1.580840e-05,1.581447e-05,1.581464e-05,1.581669e-05,1.581655e-05,1.581480e-05,1.581187e-05,1.580919e-05,1.580092e-05,1.580007e-05,1.578764e-05,1.578419e-05,1.577210e-05,1.576211e-05,1.575363e-05,1.573510e-05,1.573242e-05,1.570862e-05,1.570357e-05,1.568241e-05,1.566787e-05,1.565393e-05,1.562837e-05,1.562334e-05,1.559078e-05,1.558539e-05,1.555637e-05,1.553923e-05,1.552024e-05,1.549019e-05,1.548252e-05,1.544333e-05,1.543853e-05,1.540276e-05,1.538451e-05,1.536093e-05,1.532836e-05,1.531794e-05,1.527388e-05,1.527031e-05,1.522884e-05,1.521056e-05,1.518290e-05,1.514931e-05,1.513615e-05,1.508866e-05,1.508674e-05,1.504050e-05,1.502302e-05,1.499176e-05,1.495830e-05,1.494248e-05,1.489274e-05,1.482647e-05,1.475961e-05,1.469229e-05,1.462462e-05,1.455669e-05,1.448861e-05,1.442046e-05,1.435232e-05,1.428427e-05,1.421637e-05,1.414870e-05,1.408131e-05,1.401425e-05,1.394758e-05,1.388134e-05,1.381557e-05,1.375030e-05,1.368558e-05,1.362144e-05,1.355790e-05,1.349499e-05,1.343273e-05,1.337114e-05,1.331024e-05
0.000000e+00,3.366033e-11,7.960099e-11,2.829567e-10,6.547195e-10,9.627635e-10,2.232797e-09,2.302322e-09,4.578974e-09,5.428429e-09,8.113682e-09,1.094029e-08,1.312091e-08,1.894518e-08,1.949919e-08,2.696250e-08,2.888653e-08,3.526991e-08,4.022656e-08,4.425411e-08,5.261509e-08,5.378335e-08,6.373731e-08,6.576872e-08,7.399884e-08,7.941825e-08,8.445359e-08,9.330499e-08,9.499265e-08,1.055157e-07,1.071917e-07,1.159333e-07,1.208734e-07,1.261690e-07,1.341834e-07,1.361592e-07,1.458532e-07,1.469946e-07,1.552125e-07,1.592170e-07,1.642091e-07,1.707923e-07,1.728245e-07,1.810479e-07,1.816887e-07,1.888751e-07,1.918950e-07,1.963068e-07,2.014154e-07,2.033480e-07,2.100066e-07,2.102651e-07,2.162929e-07,2.184671e-07,2.222188e-07,2.260491e-07,2.277972e-07,2.330417e-07,2.379665e-07,2.394771e-07,2.425855e-07,2.453877e-07,2.469129e-07,2.508056e-07,2.509624e-07,2.547476e-07,2.557620e-07,2.582817e-07,2.602869e-07,2.615773e-07,2.644090e-07,2.646465e-07,2.675011e-07,2.681555e-07,2.701523e-07,2.715521e-07,2.726107e-07,2.746228e-07,2.748866e-07,2.769897e-07,2.773903e-07,2.789291e-07,2.798759e-07,2.807138e-07,2.820993e-07,2.823519e-07,2.838515e-07,2.840791e-07,2.852201e-07,2.858325e-07,2.864646e-07,2.873756e-07,2.875920e-07,2.886085e-07,2.887233e-07,2.895203e-07,2.898897e-07,2.903329e-07,2.908877e-07,2.910520e-07,2.916826e-07,2.917294e-07,2.922295e-07,2.924259e-07,2.926975e-07,2.929879e-07,2.930907e-07,2.934134e-07,2.934249e-07,2.936695e-07,2.937461e-07,2.938627e-07,2.939599e-07,2.939964e-07,2.940741e-07,2.940988e-07,2.940960e-07,2.940734e-07,2.940323e-07,2.940010e-07,2.938895e-07,2.938840e-07,2.937251e-07,2.936734e-07,2.935266e-07,2.933895e-07,2.932908e-07,2.930429e-07,2.930200e-07,2.927160e-07,2.926384e-07,2.923809e-07,2.921804e-07,2.920166e-07,2.916731e-07,2.916247e-07,2.912069e-07,2.911203e-07,2.907648e-07,2.905258e-07,2.902998e-07,2.898927e-07,2.898135e-07,2.893071e-07,2.892243e-07,2.887820e-07,2.885236e-07,2.882393e-07,2.877933e-07,2.876802e-07,2.871058e-07,2.870359e-07,2.865171e-07,2.862538e-07,2.859151e-07,2.854494e-07,2.853009e-07,2.846752e-07,2.846246e-07,2.840389e-07,2.837816e-07,2.833928e-07,2.829220e-07,2.827377e-07,2.820744e-07,2.820477e-07,2.814035e-07,2.811602e-07,2.807257e-07,2.802611e-07,2.800416e-07,2.793518e-07,2.784335e-07,2.775076e-07,2.765752e-07,2.756373e-07,2.746950e-07,2.737493e-07,2.728010e-07,2.718510e-07,2.709000e-07,2.699488e-07,2.689980e-07,2.680483e-07,2.671003e-07,2.661546e-07,2.652116e-07,2.642718e-07,2.633357e-07,2.624037e-07,2.614763e-07,2.605537e-07,2.596363e-07,2.587244e-07,2.578182e-07,2.569182e-07
0.000000e+00,3.396396e-12,7.799656e-12,2.690124e-11,6.126816e-11,8.940512e-11,2.027809e-10,2.088761e-10,4.031452e-10,4.734346e-10,6.906857e-10,9.160652e-10,1.091010e-09,1.575859e-09,1.623780e-09,2.305245e-09,2.491972e-09,3.142536e-09,3.678157e-09,4.131019e-09,5.116050e-09,5.258134e-09,6.509119e-09,6.772922e-09,7.869933e-09,8.616650e-09,9.327695e-09,1.061823e-08,1.087025e-08,1.248573e-08,1.275019e-08,1.416231e-08,1.498529e-08,1.588816e-08,1.729640e-08,1.765152e-08,1.944088e-08,1.965681e-08,2.124511e-08,2.204094e-08,2.305368e-08,2.442502e-08,2.485677e-08,2.664542e-08,2.678764e-08,2.841157e-08,2.911011e-08,3.014814e-08,3.137663e-08,3.184891e-08,3.350865e-08,3.357412e-08,3.512307e-08,3.569246e-08,3.668864e-08,3.772392e-08,3.820267e-08,3.966313e-08,4.106861e-08,4.150660e-08,4.241826e-08,4.325254e-08,4.371169e-08,4.490053e-08,4.494894e-08,4.613037e-08,4.645125e-08,4.725662e-08,4.790623e-08,4.832856e-08,4.926771e-08,4.934727e-08,5.031399e-08,5.053842e-08,5.123006e-08,5.172146e-08,5.209690e-08,5.282018e-08,5.291601e-08,5.368893e-08,5.383811e-08,5.441723e-08,5.477883e-08,5.510248e-08,5.564598e-08,5.574626e-08,5.635013e-08,5.644315e-08,5.691563e-08,5.717389e-08,5.744429e-08,5.784168e-08,5.793758e-08,5.839698e-08,5.844989e-08,5.882388e-08,5.900179e-08,5.921968e-08,5.950051e-08,5.958571e-08,5.992327e-08,5.994908e-08,6.023361e-08,6.035040e-08,6.051794e-08,6.070721e-08,6.077743e-08,6.101322e-08,6.102217e-08,6.122638e-08,6.129778e-08,6.141796e-08,6.153642e-08,6.158896e-08,6.174037e-08,6.187310e-08,6.191177e-08,6.198805e-08,6.205268e-08,6.208607e-08,6.216501e-08,6.216799e-08,6.223460e-08,6.225061e-08,6.228665e-08,6.231120e-08,6.232488e-08,6.234842e-08,6.234996e-08,6.236258e-08,6.236383e-08,6.236337e-08,6.235888e-08,6.235294e-08,6.233495e-08,6.233188e-08,6.230074e-08,6.229335e-08,6.226007e-08,6.223532e-08,6.221037e-08,6.216201e-08,6.215213e-08,6.208584e-08,6.207451e-08,6.201192e-08,6.197387e-08,6.193082e-08,6.186105e-08,6.184295e-08,6.174869e-08,6.173697e-08,6.164842e-08,6.160250e-08,6.154251e-08,6.145844e-08,6.143128e-08,6.131508e-08,6.130557e-08,6.119420e-08,6.114461e-08,6.106896e-08,6.097624e-08,6.093963e-08,6.080649e-08,6.080109e-08,6.066979e-08,6.061976e-08,6.052979e-08,6.043282e-08,6.038672e-08,6.024080e-08,6.004420e-08,5.984349e-08,5.963910e-08,5.943145e-08,5.922093e-08,5.900790e-08,5.879270e-08,5.857565e-08,5.835705e-08,5.813719e-08,5.791631e-08,5.769468e-08,5.747251e-08,5.725003e-08,5.702743e-08,5.680490e-08,5.658262e-08,5.636074e-08,5.613942e-08,5.591880e-08,5.569901e-08,5.548017e-08,5.526240e-08,5.504579e-08
0.000000e+00,9.301834e-13,6.849641e-12,1.197785e-10,7.270772e-10,1.610491e-09,8.308537e-09,8.796193e-09,2.983980e-08,3.968081e-08,7.586679e-08,1.207356e-07,1.596014e-07,2.813876e-07,2.943621e-07,4.935182e-07,5.523595e-07,7.701009e-07,9.633651e-07,1.136141e-06,1.540066e-06,1.601360e-06,2.171203e-06,2.297782e-06,2.844885e-06,3.233907e-06,3.614601e-06,4.325434e-06,4.466591e-06,5.383533e-06,5.535045e-06,6.347165e-06,6.821155e-06,7.340236e-06,8.145606e-06,8.347563e-06,9.356322e-06,9.476945e-06,1.035593e-05,1.079059e-05,1.133782e-05,1.206793e-05,1.229512e-05,1.322243e-05,1.329519e-05,1.411561e-05,1.446260e-05,1.497160e-05,1.556366e-05,1.578828e-05,1.656436e-05,1.659455e-05,1.729920e-05,1.755362e-05,1.799275e-05,1.844096e-05,1.864540e-05,1.925793e-05,1.983139e-05,2.000685e-05,2.036706e-05,2.069071e-05,2.086636e-05,2.131289e-05,2.133082e-05,2.176203e-05,2.187703e-05,2.216160e-05,2.238684e-05,2.253116e-05,2.284601e-05,2.287230e-05,2.318658e-05,2.325818e-05,2.347552e-05,2.362680e-05,2.374058e-05,2.395520e-05,2.398317e-05,2.420463e-05,2.424650e-05,2.440624e-05,2.450363e-05,2.458920e-05,2.472933e-05,2.475467e-05,2.490374e-05,2.492614e-05,2.503742e-05,2.509642e-05,2.515670e-05,2.524236e-05,2.526248e-05,2.535561e-05,2.536598e-05,2.543691e-05,2.546913e-05,2.550714e-05,2.555354e-05,2.556700e-05,2.561717e-05,2.562079e-05,2.565828e-05,2.567232e-05,2.569092e-05,2.570949e-05,2.571565e-05,2.573298e-05,2.573353e-05,2.574340e-05,2.574556e-05,2.574738e-05,2.574663e-05,2.574535e-05,2.573770e-05,2.572482e-05,2.571965e-05,2.570707e-05,2.569331e-05,2.568478e-05,2.565940e-05,2.565826e-05,2.562782e-05,2.561863e-05,2.559372e-05,2.557162e-05,2.555623e-05,2.551896e-05,2.551560e-05,2.547205e-05,2.546119e-05,2.542580e-05,2.539879e-05,2.537705e-05,2.533223e-05,2.532599e-05,2.527281e-05,2.526193e-05,2.521767e-05,2.518828e-05,2.516073e-05,2.511162e-05,2.510214e-05,2.504204e-05,2.503229e-05,2.498056e-05,2.495060e-05,2.491783e-05,2.486682e-05,2.485396e-05,2.478907e-05,2.478121e-05,2.472324e-05,2.469402e-05,2.465660e-05,2.460545e-05,2.458921e-05,2.452118e-05,2.451572e-05,2.445258e-05,2.442500e-05,2.438349e-05,2.433348e-05,2.431398e-05,2.424411e-05,2.424131e-05,2.417396e-05,2.414864e-05,2.410357e-05,2.405561e-05,2.403301e-05,2.396233e-05,2.386894e-05,2.377552e-05,2.368218e-05,2.358900e-05,2.349608e-05,2.340349e-05,2.331129e-05,2.321956e-05,2.312834e-05,2.303769e-05,2.294767e-05,2.285831e-05,2.276966e-05,2.268175e-05,2.259462e-05,2.250830e-05,2.242281e-05,2.233818e-05,2.225443e-05,2.217158e-05,2.208965e-05,2.200865e-05,2.192859e-05,2.184949e-05
0.000000e+00,1.470304e-13,1.186897e-12,2.498317e-11,1.783166e-10,4.303687e-10,2.741086e-09,2.925926e-09,1.202252e-08,1.679105e-08,3.610109e-08,6.278170e-08,8.767080e-08,1.732575e-07,1.829182e-07,3.408594e-07,3.903809e-07,5.822400e-07,7.617159e-07,9.279995e-07,1.333769e-06,1.397110e-06,2.004153e-06,2.142969e-06,2.757462e-06,3.207717e-06,3.658422e-06,4.525763e-06,4.701929e-06,5.877598e-06,6.077061e-06,7.171201e-06,7.829169e-06,8.565992e-06,9.742490e-06,1.004379e-05,1.158577e-05,1.177422e-05,1.317306e-05,1.388103e-05,1.478717e-05,1.602089e-05,1.641039e-05,1.802607e-05,1.815453e-05,1.961892e-05,2.024653e-05,2.117520e-05,2.226627e-05,2.268291e-05,2.413186e-05,2.418848e-05,2.551374e-05,2.599350e-05,2.682208e-05,2.766728e-05,2.805218e-05,2.920100e-05,3.026699e-05,3.059054e-05,3.124990e-05,3.183574e-05,3.215064e-05,3.293975e-05,3.297105e-05,3.371373e-05,3.390817e-05,3.438185e-05,3.474844e-05,3.497905e-05,3.546917e-05,3.550922e-05,3.597645e-05,3.607968e-05,3.638489e-05,3.658950e-05,3.673871e-05,3.700813e-05,3.704199e-05,3.729866e-05,3.734474e-05,3.751254e-05,3.760804e-05,3.768722e-05,3.780617e-05,3.782612e-05,3.793243e-05,3.794662e-05,3.800912e-05,3.803622e-05,3.805894e-05,3.808118e-05,3.808445e-05,3.808799e-05,3.808705e-05,3.807173e-05,3.805882e-05,3.803764e-05,3.800093e-05,3.798753e-05,3.792304e-05,3.791730e-05,3.784567e-05,3.781143e-05,3.775679e-05,3.768637e-05,3.765764e-05,3.754935e-05,3.754484e-05,3.743293e-05,3.738922e-05,3.730933e-05,3.722162e-05,3.717939e-05,3.704387e-05,3.690347e-05,3.685761e-05,3.675882e-05,3.666428e-05,3.661049e-05,3.646512e-05,3.645901e-05,3.630484e-05,3.626125e-05,3.614842e-05,3.605366e-05,3.599015e-05,3.584319e-05,3.583036e-05,3.566939e-05,3.563062e-05,3.550753e-05,3.541661e-05,3.534505e-05,3.520175e-05,3.518219e-05,3.501918e-05,3.498658e-05,3.485621e-05,3.477154e-05,3.469347e-05,3.455706e-05,3.453112e-05,3.436931e-05,3.434348e-05,3.420818e-05,3.413112e-05,3.404786e-05,3.392026e-05,3.388846e-05,3.373008e-05,3.371114e-05,3.357280e-05,3.350398e-05,3.341673e-05,3.329895e-05,3.326192e-05,3.310845e-05,3.309623e-05,3.295638e-05,3.289595e-05,3.280576e-05,3.269824e-05,3.265664e-05,3.250906e-05,3.250319e-05,3.236306e-05,3.231089e-05,3.221867e-05,3.212143e-05,3.207593e-05,3.193485e-05,3.175122e-05,3.157057e-05,3.139292e-05,3.121831e-05,3.104674e-05,3.087822e-05,3.071277e-05,3.055036e-05,3.039100e-05,3.023467e-05,3.008135e-05,2.993102e-05,2.978367e-05,2.963925e-05,2.949775e-05,2.935913e-05,2.922336e-05,2.909040e-05,2.896022e-05,2.883277e-05,2.870803e-05,2.858595e-05,2.846649e-05,2.834961e-05
0.000000e+00,1.831318e-13,1.451266e-12,2.940436e-11,2.027613e-10,4.802629e-10,2.915799e-09,3.106427e-09,1.218520e-08,1.680863e-08,3.504711e-08,5.948726e-08,8.178929e-08,1.562551e-07,1.645032e-07,2.964164e-07,3.369096e-07,4.911281e-07,6.325517e-07,7.617994e-07,1.072034e-06,1.119938e-06,1.573619e-06,1.676175e-06,2.125620e-06,2.450588e-06,2.772382e-06,3.382040e-06,3.504338e-06,4.307400e-06,4.441396e-06,5.164952e-06,5.590844e-06,6.059718e-06,6.791145e-06,6.975131e-06,7.896156e-06,8.006412e-06,8.809668e-06,9.206294e-06,9.704535e-06,1.036643e-05,1.057155e-05,1.140329e-05,1.146812e-05,1.219396e-05,1.249772e-05,1.293925e-05,1.344602e-05,1.363616e-05,1.428289e-05,1.430770e-05,1.487870e-05,1.508072e-05,1.542371e-05,1.576575e-05,1.591884e-05,1.636560e-05,1.676598e-05,1.688468e-05,1.712234e-05,1.732850e-05,1.743728e-05,1.770319e-05,1.771354e-05,1.795392e-05,1.801518e-05,1.816124e-05,1.827090e-05,1.833823e-05,1.847655e-05,1.848754e-05,1.861169e-05,1.863801e-05,1.871305e-05,1.876069e-05,1.879384e-05,1.884954e-05,1.885610e-05,1.890171e-05,1.890899e-05,1.893241e-05,1.894301e-05,1.894976e-05,1.895506e-05,1.895518e-05,1.894996e-05,1.894821e-05,1.893524e-05,1.892512e-05,1.891208e-05,1.888810e-05,1.888141e-05,1.884406e-05,1.883916e-05,1.880078e-05,1.878004e-05,1.875225e-05,1.871223e-05,1.869907e-05,1.864177e-05,1.863702e-05,1.858084e-05,1.855555e-05,1.851671e-05,1.846878e-05,1.844978e-05,1.838039e-05,1.837757e-05,1.830887e-05,1.828265e-05,1.823549e-05,1.818466e-05,1.816051e-05,1.808418e-05,1.800669e-05,1.798168e-05,1.792824e-05,1.787761e-05,1.784900e-05,1.777234e-05,1.776914e-05,1.768878e-05,1.766621e-05,1.760807e-05,1.755952e-05,1.752711e-05,1.745252e-05,1.744603e-05,1.736491e-05,1.734545e-05,1.728385e-05,1.723851e-05,1.720292e-05,1.713188e-05,1.712221e-05,1.704178e-05,1.702574e-05,1.696169e-05,1.692020e-05,1.688200e-05,1.681541e-05,1.680276e-05,1.672402e-05,1.671147e-05,1.664581e-05,1.660848e-05,1.656819e-05,1.650652e-05,1.649117e-05,1.641480e-05,1.640568e-05,1.633910e-05,1.630601e-05,1.626410e-05,1.620758e-05,1.618982e-05,1.611629e-05,1.611044e-05,1.604351e-05,1.601461e-05,1.597151e-05,1.592015e-05,1.590029e-05,1.582988e-05,1.582709e-05,1.576029e-05,1.573544e-05,1.569152e-05,1.564522e-05,1.562357e-05,1.555646e-05,1.546917e-05,1.538335e-05,1.529901e-05,1.521615e-05,1.513478e-05,1.505488e-05,1.497646e-05,1.489950e-05,1.482400e-05,1.474996e-05,1.467734e-05,1.460616e-05,1.453638e-05,1.446800e-05,1.440099e-05,1.433536e-05,1.427106e-05,1.420810e-05,1.414644e-05,1.408608e-05,1.402698e-05,1.396914e-05,1.391253e-05,1.385713e-05
0.000000e+00,6.239571e-12,1.434470e-11,4.968098e-11,1.137638e-10,1.666135e-10,3.823968e-10,3.941124e-10,7.728315e-10,9.121671e-10,1.349539e-09,1.812533e-09,2.177282e-09,3.205829e-09,3.308500e-09,4.777677e-09,5.181393e-09,6.585769e-09,7.737017e-09,8.706329e-09,1.080329e-08,1.110467e-08,1.374933e-08,1.430543e-08,1.661393e-08,1.818270e-08,1.967541e-08,2.238346e-08,2.291228e-08,2.630355e-08,2.685908e-08,2.982827e-08,3.156137e-08,3.346549e-08,3.644235e-08,3.719452e-08,4.099519e-08,4.145515e-08,4.484816e-08,4.655530e-08,4.873522e-08,5.170172e-08,5.263945e-08,5.654542e-08,5.685754e-08,6.043921e-08,6.199048e-08,6.430843e-08,6.707291e-08,6.814223e-08,7.193118e-08,7.208169e-08,7.566721e-08,7.699786e-08,7.934346e-08,8.180621e-08,8.295422e-08,8.649479e-08,8.996133e-08,9.105447e-08,9.335081e-08,9.547853e-08,9.666088e-08,9.976221e-08,9.988979e-08,1.030363e-07,1.039024e-07,1.060996e-07,1.078974e-07,1.090792e-07,1.117465e-07,1.119751e-07,1.147873e-07,1.154499e-07,1.175164e-07,1.190086e-07,1.201629e-07,1.224241e-07,1.227275e-07,1.252112e-07,1.256983e-07,1.276150e-07,1.288337e-07,1.299399e-07,1.318328e-07,1.321872e-07,1.343581e-07,1.346984e-07,1.364539e-07,1.374337e-07,1.384761e-07,1.400417e-07,1.404259e-07,1.423049e-07,1.425257e-07,1.441144e-07,1.448889e-07,1.458559e-07,1.471348e-07,1.475308e-07,1.491407e-07,1.492667e-07,1.506870e-07,1.512880e-07,1.521711e-07,1.532020e-07,1.535945e-07,1.549588e-07,1.550121e-07,1.562652e-07,1.567216e-07,1.575153e-07,1.583339e-07,1.587104e-07,1.598520e-07,1.609415e-07,1.612793e-07,1.619802e-07,1.626189e-07,1.629695e-07,1.638739e-07,1.639106e-07,1.648050e-07,1.650472e-07,1.656539e-07,1.661419e-07,1.664585e-07,1.671608e-07,1.672202e-07,1.679401e-07,1.681068e-07,1.686195e-07,1.689827e-07,1.692595e-07,1.697910e-07,1.698613e-07,1.704260e-07,1.705346e-07,1.709547e-07,1.712158e-07,1.714485e-07,1.718372e-07,1.719086e-07,1.723358e-07,1.724012e-07,1.727314e-07,1.729102e-07,1.730961e-07,1.733665e-07,1.734311e-07,1.737373e-07,1.737721e-07,1.740156e-07,1.741294e-07,1.742669e-07,1.744404e-07,1.744921e-07,1.746921e-07,1.747070e-07,1.748677e-07,1.749314e-07,1.750198e-07,1.751152e-07,1.751492e-07,1.752566e-07,1.752604e-07,1.753428e-07,1.753688e-07,1.754086e-07,1.754420e-07,1.754546e-07,1.754817e-07,1.754895e-07,1.754669e-07,1.754155e-07,1.753366e-07,1.752317e-07,1.751020e-07,1.749489e-07,1.747737e-07,1.745774e-07,1.743612e-07,1.741264e-07,1.738738e-07,1.736046e-07,1.733197e-07,1.730201e-07,1.727067e-07,1.723803e-07,1.720419e-07,1.716921e-07,1.713318e-07,1.709618e-07,1.705826e-07,1.701951e-07,1.697999e-07
0.000000e+00,1.274844e-10,3.583890e-10,1.522975e-09,3.819217e-09,5.779671e-09,1.403263e-08,1.448760e-08,2.941368e-08,3.498673e-08,5.268728e-08,7.168068e-08,8.675853e-08,1.293475e-07,1.335781e-07,1.931755e-07,2.091975e-07,2.637645e-07,3.073109e-07,3.432912e-07,4.194107e-07,4.301862e-07,5.232895e-07,5.425688e-07,6.216385e-07,6.745538e-07,7.243330e-07,8.133002e-07,8.304781e-07,9.391678e-07,9.567336e-07,1.049495e-06,1.102770e-06,1.160568e-06,1.249387e-06,1.271533e-06,1.381594e-06,1.394706e-06,1.490029e-06,1.537058e-06,1.596199e-06,1.675029e-06,1.699551e-06,1.799626e-06,1.807479e-06,1.896053e-06,1.933534e-06,1.988541e-06,2.052572e-06,2.076879e-06,2.160924e-06,2.164195e-06,2.240591e-06,2.268193e-06,2.315852e-06,2.364516e-06,2.386717e-06,2.453239e-06,2.515495e-06,2.534533e-06,2.573590e-06,2.608642e-06,2.627645e-06,2.675862e-06,2.677795e-06,2.724187e-06,2.736524e-06,2.766972e-06,2.790976e-06,2.806306e-06,2.839581e-06,2.842347e-06,2.875252e-06,2.882700e-06,2.905178e-06,2.920693e-06,2.932278e-06,2.953908e-06,2.956702e-06,2.978595e-06,2.982683e-06,2.998099e-06,3.007342e-06,3.015349e-06,3.028193e-06,3.030476e-06,3.043606e-06,3.045529e-06,3.054858e-06,3.059626e-06,3.064348e-06,3.070744e-06,3.072184e-06,3.078471e-06,3.079126e-06,3.083308e-06,3.085001e-06,3.086789e-06,3.088583e-06,3.089003e-06,3.090036e-06,3.090070e-06,3.089967e-06,3.089648e-06,3.088872e-06,3.087490e-06,3.086824e-06,3.083890e-06,3.083755e-06,3.080135e-06,3.078594e-06,3.075619e-06,3.072143e-06,3.070400e-06,3.064532e-06,3.058065e-06,3.055877e-06,3.051048e-06,3.046290e-06,3.043526e-06,3.035870e-06,3.035542e-06,3.027136e-06,3.024712e-06,3.018346e-06,3.012902e-06,3.009207e-06,3.000519e-06,2.999752e-06,2.990013e-06,2.987637e-06,2.980020e-06,2.974323e-06,2.969800e-06,2.960639e-06,2.959378e-06,2.948780e-06,2.946642e-06,2.938029e-06,2.932384e-06,2.927144e-06,2.917914e-06,2.916147e-06,2.905057e-06,2.903275e-06,2.893890e-06,2.888507e-06,2.882662e-06,2.873647e-06,2.871390e-06,2.860087e-06,2.858730e-06,2.848767e-06,2.843784e-06,2.837442e-06,2.828838e-06,2.826123e-06,2.814821e-06,2.813918e-06,2.803546e-06,2.799045e-06,2.792307e-06,2.784242e-06,2.781112e-06,2.769970e-06,2.769525e-06,2.758887e-06,2.754913e-06,2.747871e-06,2.740421e-06,2.736927e-06,2.726061e-06,2.711846e-06,2.697787e-06,2.683893e-06,2.670173e-06,2.656634e-06,2.643281e-06,2.630121e-06,2.617158e-06,2.604396e-06,2.591839e-06,2.579487e-06,2.567345e-06,2.555412e-06,2.543690e-06,2.532179e-06,2.520880e-06,2.509793e-06,2.498916e-06,2.488248e-06,2.477790e-06,2.467538e-06,2.457492e-06,2.447650e-06,2.438010e-06
0.000000e+00,4.698176e-11,1.146548e-10,4.218996e-10,9.913707e-10,1.464322e-09,3.398937e-09,3.503831e-09,6.877690e-09,8.110000e-09,1.194787e-08,1.596588e-08,1.910395e-08,2.785346e-08,2.872042e-08,4.103852e-08,4.440123e-08,5.604701e-08,6.554596e-08,7.351628e-08,9.068263e-08,9.314165e-08,1.146349e-07,1.191348e-07,1.377411e-07,1.503162e-07,1.622282e-07,1.837036e-07,1.878765e-07,2.144734e-07,2.188030e-07,2.418126e-07,2.551406e-07,2.696962e-07,2.922690e-07,2.979373e-07,3.263619e-07,3.297775e-07,3.548114e-07,3.672999e-07,3.831439e-07,4.045209e-07,4.112346e-07,4.389753e-07,4.411766e-07,4.662745e-07,4.770529e-07,4.930555e-07,5.119812e-07,5.192556e-07,5.448247e-07,5.458338e-07,5.697238e-07,5.785175e-07,5.939235e-07,6.099688e-07,6.174028e-07,6.401478e-07,6.621507e-07,6.690344e-07,6.834090e-07,6.966241e-07,7.039243e-07,7.229249e-07,7.237020e-07,7.427501e-07,7.479543e-07,7.610792e-07,7.717366e-07,7.787016e-07,7.943018e-07,7.956311e-07,8.118827e-07,8.156840e-07,8.274723e-07,8.359195e-07,8.424165e-07,8.550471e-07,8.567324e-07,8.704371e-07,8.731063e-07,8.835483e-07,8.901374e-07,8.960836e-07,9.061809e-07,9.080604e-07,9.194963e-07,9.212770e-07,9.304086e-07,9.354655e-07,9.408144e-07,9.487857e-07,9.507305e-07,9.601737e-07,9.612758e-07,9.691600e-07,9.729735e-07,9.777056e-07,9.839151e-07,9.858261e-07,9.935366e-07,9.941362e-07,1.000852e-06,1.003671e-06,1.007787e-06,1.012553e-06,1.014356e-06,1.020572e-06,1.020814e-06,1.026450e-06,1.028485e-06,1.032001e-06,1.035596e-06,1.037238e-06,1.042175e-06,1.046822e-06,1.048250e-06,1.051192e-06,1.053848e-06,1.055295e-06,1.058994e-06,1.059143e-06,1.062745e-06,1.063711e-06,1.066113e-06,1.068025e-06,1.069255e-06,1.071956e-06,1.072182e-06,1.074902e-06,1.075526e-06,1.077425e-06,1.078755e-06,1.079759e-06,1.081663e-06,1.081912e-06,1.083893e-06,1.084269e-06,1.085708e-06,1.086589e-06,1.087366e-06,1.088642e-06,1.088873e-06,1.090237e-06,1.090443e-06,1.091465e-06,1.092007e-06,1.092561e-06,1.093349e-06,1.093534e-06,1.094388e-06,1.094483e-06,1.095130e-06,1.095422e-06,1.095764e-06,1.096178e-06,1.096297e-06,1.096734e-06,1.096764e-06,1.097078e-06,1.097191e-06,1.097336e-06,1.097470e-06,1.097510e-06,1.097607e-06,1.097610e-06,1.097630e-06,1.097621e-06,1.097583e-06,1.097513e-06,1.097470e-06,1.097294e-06,1.096972e-06,1.096556e-06,1.096052e-06,1.095467e-06,1.094808e-06,1.094082e-06,1.093293e-06,1.092448e-06,1.091552e-06,1.090609e-06,1.089624e-06,1.088602e-06,1.087547e-06,1.086461e-06,1.085350e-06,1.084216e-06,1.083063e-06,1.081893e-06,1.080710e-06,1.079515e-06,1.078311e-06,1.077101e-06,1.075887e-06,1.074670e-06
0.000000e+00,5.692948e-12,1.309364e-11,4.533336e-11,1.037735e-10,1.519946e-10,3.494621e-10,3.602160e-10,7.098771e-10,8.394956e-10,1.249257e-09,1.686275e-09,2.031369e-09,2.998773e-09,3.094431e-09,4.439150e-09,4.800827e-09,6.036616e-09,7.028802e-09,7.853137e-09,9.610921e-09,9.861254e-09,1.203918e-08,1.249345e-08,1.436790e-08,1.563238e-08,1.682918e-08,1.898556e-08,1.940450e-08,2.207486e-08,2.250964e-08,2.482089e-08,2.616015e-08,2.762322e-08,2.989287e-08,3.046290e-08,3.332166e-08,3.366517e-08,3.618254e-08,3.743792e-08,3.902991e-08,4.117620e-08,4.184976e-08,4.462971e-08,4.485005e-08,4.735902e-08,4.843448e-08,5.002865e-08,5.190960e-08,5.263116e-08,5.516048e-08,5.526006e-08,5.761187e-08,5.847457e-08,5.998175e-08,6.154537e-08,6.226757e-08,6.446764e-08,6.658107e-08,6.723901e-08,6.860759e-08,6.985905e-08,7.054747e-08,7.232892e-08,7.240144e-08,7.417062e-08,7.465097e-08,7.585638e-08,7.682847e-08,7.746037e-08,7.886538e-08,7.898441e-08,8.043047e-08,8.076615e-08,8.180064e-08,8.253557e-08,8.309705e-08,8.417865e-08,8.432193e-08,8.547752e-08,8.570052e-08,8.656606e-08,8.710635e-08,8.758981e-08,8.840134e-08,8.855102e-08,8.945191e-08,8.959060e-08,9.029467e-08,9.067918e-08,9.108145e-08,9.167200e-08,9.181438e-08,9.249552e-08,9.257388e-08,9.312692e-08,9.338948e-08,9.371053e-08,9.412332e-08,9.424831e-08,9.474211e-08,9.477977e-08,9.519377e-08,9.536303e-08,9.560505e-08,9.587714e-08,9.597768e-08,9.631332e-08,9.632600e-08,9.661358e-08,9.671332e-08,9.688003e-08,9.704268e-08,9.711418e-08,9.731749e-08,9.749136e-08,9.754101e-08,9.763717e-08,9.771637e-08,9.775623e-08,9.784654e-08,9.784981e-08,9.791912e-08,9.793434e-08,9.796536e-08,9.798249e-08,9.798965e-08,9.799355e-08,9.799309e-08,9.797673e-08,9.796997e-08,9.794159e-08,9.791407e-08,9.788864e-08,9.782806e-08,9.781882e-08,9.773303e-08,9.771404e-08,9.763214e-08,9.757399e-08,9.751698e-08,9.740980e-08,9.738834e-08,9.724700e-08,9.722326e-08,9.709369e-08,9.701606e-08,9.692911e-08,9.678980e-08,9.675395e-08,9.656885e-08,9.654600e-08,9.637443e-08,9.628610e-08,9.617130e-08,9.601144e-08,9.596002e-08,9.574113e-08,9.572331e-08,9.551517e-08,9.542292e-08,9.528263e-08,9.511140e-08,9.504399e-08,9.479971e-08,9.478983e-08,9.455023e-08,9.445923e-08,9.429597e-08,9.412054e-08,9.403732e-08,9.377467e-08,9.342246e-08,9.306471e-08,9.270215e-08,9.233550e-08,9.196540e-08,9.159247e-08,9.121729e-08,9.084040e-08,9.046230e-08,9.008347e-08,8.970433e-08,8.932531e-08,8.894678e-08,8.856909e-08,8.819258e-08,8.781756e-08,8.744430e-08,8.707306e-08,8.670409e-08,8.633761e-08,8.597382e-08,8.561291e-08,8.525505e-08,8.490040e-08
0.000000e+00,5.555185e-13,4.189737e-12,7.685881e-11,4.863233e-10,1.101081e-09,5.994281e-09,6.359466e-09,2.266706e-08,3.053291e-08,6.024169e-08,9.826556e-08,1.319714e-07,2.409580e-07,2.528172e-07,4.395639e-07,4.962063e-07,7.106114e-07,9.063884e-07,1.085133e-06,1.514485e-06,1.580860e-06,2.210483e-06,2.353013e-06,2.978105e-06,3.430216e-06,3.877806e-06,4.725205e-06,4.895097e-06,6.010275e-06,6.196356e-06,7.201948e-06,7.795014e-06,8.449571e-06,9.475514e-06,9.734760e-06,1.104164e-05,1.119926e-05,1.235670e-05,1.293488e-05,1.366839e-05,1.465686e-05,1.496679e-05,1.624338e-05,1.634434e-05,1.749082e-05,1.798020e-05,1.870286e-05,1.955062e-05,1.987425e-05,2.100073e-05,2.104480e-05,2.207889e-05,2.245469e-05,2.310621e-05,2.377480e-05,2.408090e-05,2.500190e-05,2.586876e-05,2.613473e-05,2.668159e-05,2.717367e-05,2.744092e-05,2.812045e-05,2.814772e-05,2.880325e-05,2.897781e-05,2.940901e-05,2.974928e-05,2.996671e-05,3.043893e-05,3.047820e-05,3.094542e-05,3.105119e-05,3.137039e-05,3.159068e-05,3.175514e-05,3.206207e-05,3.210171e-05,3.241212e-05,3.247004e-05,3.268835e-05,3.281913e-05,3.293234e-05,3.311375e-05,3.314597e-05,3.333104e-05,3.335812e-05,3.348930e-05,3.355624e-05,3.362243e-05,3.371190e-05,3.373201e-05,3.381957e-05,3.382867e-05,3.388655e-05,3.390987e-05,3.393434e-05,3.395862e-05,3.396422e-05,3.397744e-05,3.397781e-05,3.397514e-05,3.397013e-05,3.395844e-05,3.393808e-05,3.392837e-05,3.388591e-05,3.388396e-05,3.383197e-05,3.380991e-05,3.376742e-05,3.371788e-05,3.369308e-05,3.360971e-05,3.351803e-05,3.348704e-05,3.341871e-05,3.335144e-05,3.331240e-05,3.320430e-05,3.319968e-05,3.308112e-05,3.304694e-05,3.295723e-05,3.288055e-05,3.282851e-05,3.270621e-05,3.269542e-05,3.255838e-05,3.252495e-05,3.241780e-05,3.233767e-05,3.227406e-05,3.214523e-05,3.212750e-05,3.197847e-05,3.194839e-05,3.182726e-05,3.174787e-05,3.167416e-05,3.154430e-05,3.151945e-05,3.136337e-05,3.133828e-05,3.120615e-05,3.113035e-05,3.104802e-05,3.092099e-05,3.088917e-05,3.072980e-05,3.071065e-05,3.057008e-05,3.049974e-05,3.041018e-05,3.028862e-05,3.025024e-05,3.009041e-05,3.007763e-05,2.993082e-05,2.986707e-05,2.977158e-05,2.965722e-05,2.961282e-05,2.945463e-05,2.944832e-05,2.929711e-05,2.924058e-05,2.914035e-05,2.903423e-05,2.898443e-05,2.882942e-05,2.862633e-05,2.842509e-05,2.822583e-05,2.802866e-05,2.783368e-05,2.764098e-05,2.745063e-05,2.726269e-05,2.707722e-05,2.689427e-05,2.671386e-05,2.653604e-05,2.636082e-05,2.618823e-05,2.601827e-05,2.585095e-05,2.568628e-05,2.552425e-05,2.536485e-05,2.520809e-05,2.505394e-05,2.490239e-05,2.475342e-05,2.460701e-05
0.000000e+00,1.775301e-15,1.552277e-14,3.855469e-13,3.202070e-12,8.400008e-12,6.636711e-11,7.146624e-11,3.635928e-10,5.380844e-10,1.337572e-09,2.614198e-09,3.937832e-09,9.205099e-09,9.857296e-09,2.181694e-08,2.600228e-08,4.384309e-08,6.258269e-08,8.150672e-08,1.333149e-07,1.420737e-07,2.345136e-07,2.577273e-07,3.693359e-07,4.600478e-07,5.582610e-07,7.678833e-07,8.137615e-07,1.148526e-06,1.210279e-06,1.574900e-06,1.815512e-06,2.104346e-06,2.608959e-06,2.746966e-06,3.511098e-06,3.611281e-06,4.403017e-06,4.837060e-06,5.426718e-06,6.293942e-06,6.583803e-06,7.873460e-06,7.982281e-06,9.292521e-06,9.895240e-06,1.083559e-05,1.201927e-05,1.249521e-05,1.426214e-05,1.433490e-05,1.612556e-05,1.681773e-05,1.807343e-05,1.943959e-05,2.009271e-05,2.216976e-05,2.429054e-05,2.497612e-05,2.644095e-05,2.782633e-05,2.860708e-05,3.068879e-05,3.077541e-05,3.293303e-05,3.353357e-05,3.506782e-05,3.633304e-05,3.716857e-05,3.906241e-05,3.922508e-05,4.122821e-05,4.170011e-05,4.316998e-05,4.422797e-05,4.504353e-05,4.663122e-05,4.684310e-05,4.856406e-05,4.889848e-05,5.020282e-05,5.102159e-05,5.175679e-05,5.299532e-05,5.322426e-05,5.460440e-05,5.481711e-05,5.589713e-05,5.648674e-05,5.710303e-05,5.800601e-05,5.822329e-05,5.925960e-05,5.937842e-05,6.021411e-05,6.060880e-05,6.108928e-05,6.170305e-05,6.188789e-05,6.261292e-05,6.266784e-05,6.326754e-05,6.351040e-05,6.385501e-05,6.423829e-05,6.437868e-05,6.484191e-05,6.485923e-05,6.524806e-05,6.538095e-05,6.560046e-05,6.581104e-05,6.590234e-05,6.615691e-05,6.636721e-05,6.642566e-05,6.653624e-05,6.662406e-05,6.666682e-05,6.675854e-05,6.676168e-05,6.682340e-05,6.683508e-05,6.685444e-05,6.685931e-05,6.685712e-05,6.683642e-05,6.683363e-05,6.678602e-05,6.677123e-05,6.671624e-05,6.666815e-05,6.662609e-05,6.653126e-05,6.651727e-05,6.639136e-05,6.636426e-05,6.624983e-05,6.617053e-05,6.609406e-05,6.595315e-05,6.592533e-05,6.574481e-05,6.571491e-05,6.555362e-05,6.545835e-05,6.535277e-05,6.518577e-05,6.514321e-05,6.492581e-05,6.489924e-05,6.470141e-05,6.460064e-05,6.447073e-05,6.429166e-05,6.423450e-05,6.399333e-05,6.397385e-05,6.374785e-05,6.364856e-05,6.349858e-05,6.331706e-05,6.324605e-05,6.299071e-05,6.298044e-05,6.273301e-05,6.263974e-05,6.247334e-05,6.229584e-05,6.221208e-05,6.194957e-05,6.160167e-05,6.125281e-05,6.090356e-05,6.055449e-05,6.020605e-05,5.985870e-05,5.951281e-05,5.916873e-05,5.882678e-05,5.848723e-05,5.815033e-05,5.781631e-05,5.748536e-05,5.715766e-05,5.683335e-05,5.651257e-05,5.619545e-05,5.588208e-05,5.557255e-05,5.526693e-05,5.496529e-05,5.466768e-05,5.437415e-05,5.408472e-05
0.000000e+00,6.304965e-12,1.461237e-11,5.089344e-11,1.164063e-10,1.700848e-10,3.860776e-10,3.976668e-10,7.654990e-10,8.978012e-10,1.304010e-09,1.721126e-09,2.041959e-09,2.918312e-09,3.003955e-09,4.205208e-09,4.529642e-09,5.648356e-09,6.559928e-09,7.326775e-09,8.989698e-09,9.229432e-09,1.134292e-08,1.178958e-08,1.365165e-08,1.492351e-08,1.613778e-08,1.834872e-08,1.878141e-08,2.156096e-08,2.201679e-08,2.445376e-08,2.587575e-08,2.743674e-08,2.987265e-08,3.048701e-08,3.358245e-08,3.395593e-08,3.670215e-08,3.807745e-08,3.982676e-08,4.219387e-08,4.293873e-08,4.602243e-08,4.626749e-08,4.906422e-08,5.026651e-08,5.205237e-08,5.416501e-08,5.497702e-08,5.783004e-08,5.794257e-08,6.060484e-08,6.158358e-08,6.329625e-08,6.507674e-08,6.590039e-08,6.841452e-08,7.083684e-08,7.159240e-08,7.316634e-08,7.460835e-08,7.540273e-08,7.746233e-08,7.754630e-08,7.959783e-08,8.015591e-08,8.155846e-08,8.269183e-08,8.342971e-08,8.507379e-08,8.521330e-08,8.691118e-08,8.730615e-08,8.852547e-08,8.939377e-08,9.005837e-08,9.134183e-08,9.151219e-08,9.288930e-08,9.315573e-08,9.419209e-08,9.484097e-08,9.542298e-08,9.640311e-08,9.658436e-08,9.767866e-08,9.784768e-08,9.870823e-08,9.918013e-08,9.967544e-08,1.004059e-07,1.005826e-07,1.014319e-07,1.015301e-07,1.022257e-07,1.025579e-07,1.029661e-07,1.034943e-07,1.036552e-07,1.042950e-07,1.043441e-07,1.048876e-07,1.051119e-07,1.054350e-07,1.058021e-07,1.059389e-07,1.064013e-07,1.064190e-07,1.068239e-07,1.069667e-07,1.072085e-07,1.074492e-07,1.075567e-07,1.078702e-07,1.081504e-07,1.082333e-07,1.083989e-07,1.085419e-07,1.086171e-07,1.087994e-07,1.088065e-07,1.089683e-07,1.090089e-07,1.091040e-07,1.091733e-07,1.092147e-07,1.092955e-07,1.093016e-07,1.093660e-07,1.093782e-07,1.094089e-07,1.094239e-07,1.094314e-07,1.094351e-07,1.094345e-07,1.094193e-07,1.094142e-07,1.093867e-07,1.093632e-07,1.093377e-07,1.092843e-07,1.092730e-07,1.091935e-07,1.091795e-07,1.091002e-07,1.090506e-07,1.089936e-07,1.088995e-07,1.088747e-07,1.087441e-07,1.087277e-07,1.086025e-07,1.085368e-07,1.084505e-07,1.083285e-07,1.082888e-07,1.081181e-07,1.081040e-07,1.079388e-07,1.078648e-07,1.077515e-07,1.076120e-07,1.075568e-07,1.073552e-07,1.073470e-07,1.071471e-07,1.070707e-07,1.069331e-07,1.067843e-07,1.067135e-07,1.064888e-07,1.061851e-07,1.058741e-07,1.055565e-07,1.052333e-07,1.049052e-07,1.045727e-07,1.042366e-07,1.038975e-07,1.035559e-07,1.032124e-07,1.028675e-07,1.025216e-07,1.021751e-07,1.018285e-07,1.014822e-07,1.011364e-07,1.007916e-07,1.004479e-07,1.001058e-07,9.976537e-08,9.942696e-08,9.909074e-08,9.875693e-08,9.842571e-08
0.000000e+00,9.486701e-14,7.496454e-13,1.511388e-11,1.038973e-10,2.458430e-10,1.492758e-09,1.590511e-09,6.271744e-09,8.672750e-09,1.823611e-08,3.124102e-08,4.326263e-08,8.419166e-08,8.878324e-08,1.631860e-07,1.862624e-07,2.745303e-07,3.555050e-07,4.292346e-07,6.045320e-07,6.313695e-07,8.826571e-07,9.388217e-07,1.182870e-06,1.357796e-06,1.530299e-06,1.856595e-06,1.922129e-06,2.354676e-06,2.427377e-06,2.823553e-06,3.060080e-06,3.323799e-06,3.742969e-06,3.850022e-06,4.396548e-06,4.463221e-06,4.957603e-06,5.207593e-06,5.527481e-06,5.963112e-06,6.100713e-06,6.672201e-06,6.717703e-06,7.237333e-06,7.460677e-06,7.792049e-06,8.183026e-06,8.332883e-06,8.856970e-06,8.877551e-06,9.362028e-06,9.538841e-06,9.846323e-06,1.016313e-05,1.030862e-05,1.074812e-05,1.116442e-05,1.129271e-05,1.155742e-05,1.179678e-05,1.192729e-05,1.226098e-05,1.227444e-05,1.259940e-05,1.268651e-05,1.290288e-05,1.307496e-05,1.318563e-05,1.342818e-05,1.344850e-05,1.369236e-05,1.374816e-05,1.391811e-05,1.403696e-05,1.412665e-05,1.429664e-05,1.431887e-05,1.449565e-05,1.452923e-05,1.465784e-05,1.473669e-05,1.480626e-05,1.492088e-05,1.494171e-05,1.506494e-05,1.508357e-05,1.517667e-05,1.522642e-05,1.527760e-05,1.535100e-05,1.536837e-05,1.544961e-05,1.545874e-05,1.552189e-05,1.555100e-05,1.558577e-05,1.562903e-05,1.564177e-05,1.569039e-05,1.569397e-05,1.573207e-05,1.574690e-05,1.576725e-05,1.578880e-05,1.579636e-05,1.581976e-05,1.582058e-05,1.583782e-05,1.584308e-05,1.585088e-05,1.585707e-05,1.585926e-05,1.586327e-05,1.586317e-05,1.586232e-05,1.585925e-05,1.585484e-05,1.585174e-05,1.584139e-05,1.584089e-05,1.582691e-05,1.582247e-05,1.581002e-05,1.579856e-05,1.579040e-05,1.577010e-05,1.576824e-05,1.574371e-05,1.573748e-05,1.571697e-05,1.570109e-05,1.568818e-05,1.566127e-05,1.565749e-05,1.562502e-05,1.561832e-05,1.559090e-05,1.557255e-05,1.555526e-05,1.552423e-05,1.551821e-05,1.547985e-05,1.547359e-05,1.544028e-05,1.542089e-05,1.539960e-05,1.536631e-05,1.535790e-05,1.531525e-05,1.531008e-05,1.527175e-05,1.525236e-05,1.522746e-05,1.519332e-05,1.518246e-05,1.513681e-05,1.513313e-05,1.509057e-05,1.507192e-05,1.504380e-05,1.500983e-05,1.499656e-05,1.494890e-05,1.494699e-05,1.490087e-05,1.488350e-05,1.485252e-05,1.481947e-05,1.480388e-05,1.475501e-05,1.469020e-05,1.462512e-05,1.455986e-05,1.449448e-05,1.442906e-05,1.436365e-05,1.429831e-05,1.423309e-05,1.416804e-05,1.410321e-05,1.403864e-05,1.397436e-05,1.391041e-05,1.384682e-05,1.378363e-05,1.372085e-05,1.365852e-05,1.359665e-05,1.353527e-05,1.347439e-05,1.341404e-05,1.335422e-05,1.329495e-05,1.323624e-05
0.000000e+00,1.070872e-11,6.042610e-11,6.454785e-10,2.674396e-09,4.927206e-09,1.700895e-08,1.775169e-08,4.432728e-08,5.492395e-08,8.969262e-08,1.279540e-07,1.586952e-07,2.470976e-07,2.560362e-07,3.862764e-07,4.229168e-07,5.537218e-07,6.651656e-07,7.620820e-07,9.813391e-07,1.013897e-06,1.310029e-06,1.374527e-06,1.649659e-06,1.842817e-06,2.030768e-06,2.381027e-06,2.450708e-06,2.906554e-06,2.982618e-06,3.395224e-06,3.640509e-06,3.913514e-06,4.347242e-06,4.458100e-06,5.025563e-06,5.095031e-06,5.612426e-06,5.875894e-06,6.215207e-06,6.681852e-06,6.830474e-06,7.454904e-06,7.505157e-06,8.085323e-06,8.338492e-06,8.718748e-06,9.175114e-06,9.352414e-06,9.983794e-06,1.000897e-05,1.061062e-05,1.083476e-05,1.123086e-05,1.164794e-05,1.184273e-05,1.244471e-05,1.303546e-05,1.322194e-05,1.361388e-05,1.397718e-05,1.417906e-05,1.470849e-05,1.473026e-05,1.526687e-05,1.541445e-05,1.578846e-05,1.609406e-05,1.629470e-05,1.674669e-05,1.678536e-05,1.726033e-05,1.737198e-05,1.771956e-05,1.796986e-05,1.816307e-05,1.854042e-05,1.859095e-05,1.900333e-05,1.908396e-05,1.940038e-05,1.960087e-05,1.978233e-05,2.009166e-05,2.014941e-05,2.050187e-05,2.055693e-05,2.084002e-05,2.099732e-05,2.116413e-05,2.141353e-05,2.147453e-05,2.177153e-05,2.180629e-05,2.205546e-05,2.217633e-05,2.232665e-05,2.252444e-05,2.258543e-05,2.283214e-05,2.285136e-05,2.306711e-05,2.315788e-05,2.329067e-05,2.344476e-05,2.350316e-05,2.370490e-05,2.371275e-05,2.389622e-05,2.396260e-05,2.407743e-05,2.419505e-05,2.424886e-05,2.441081e-05,2.456359e-05,2.461059e-05,2.470750e-05,2.479508e-05,2.484283e-05,2.496494e-05,2.496986e-05,2.508889e-05,2.512082e-05,2.520018e-05,2.526335e-05,2.530400e-05,2.539315e-05,2.540062e-05,2.549030e-05,2.551081e-05,2.557327e-05,2.561691e-05,2.564980e-05,2.571199e-05,2.572011e-05,2.578443e-05,2.579660e-05,2.584300e-05,2.587125e-05,2.589602e-05,2.593644e-05,2.594372e-05,2.598630e-05,2.599265e-05,2.602395e-05,2.604034e-05,2.605689e-05,2.607997e-05,2.608529e-05,2.610935e-05,2.611195e-05,2.612923e-05,2.613670e-05,2.614512e-05,2.615462e-05,2.615717e-05,2.616557e-05,2.616608e-05,2.617045e-05,2.617146e-05,2.617198e-05,2.617109e-05,2.617031e-05,2.616557e-05,2.616532e-05,2.615791e-05,2.615446e-05,2.614746e-05,2.613883e-05,2.613436e-05,2.611872e-05,2.609440e-05,2.606615e-05,2.603423e-05,2.599888e-05,2.596034e-05,2.591883e-05,2.587456e-05,2.582774e-05,2.577856e-05,2.572721e-05,2.567386e-05,2.561868e-05,2.556184e-05,2.550347e-05,2.544373e-05,2.538276e-05,2.532067e-05,2.525761e-05,2.519367e-05,2.512898e-05,2.506363e-05,2.499773e-05,2.493137e-05,2.486464e-05
0.000000e+00,9.959310e-11,2.620284e-10,1.040901e-09,2.531836e-09,3.787712e-09,8.996825e-09,9.281423e-09,1.851168e-08,2.191286e-08,3.258479e-08,4.386300e-08,5.272933e-08,7.761078e-08,8.008231e-08,1.151325e-07,1.246492e-07,1.573582e-07,1.837429e-07,2.056932e-07,2.524741e-07,2.591273e-07,3.168606e-07,3.288636e-07,3.782320e-07,4.113826e-07,4.426415e-07,4.986694e-07,5.095099e-07,5.782660e-07,5.894044e-07,6.483490e-07,6.823003e-07,7.192182e-07,7.761351e-07,7.903628e-07,8.613119e-07,8.697919e-07,9.316401e-07,9.622894e-07,1.000973e-06,1.052799e-06,1.068986e-06,1.135408e-06,1.140646e-06,1.200015e-06,1.225308e-06,1.262627e-06,1.306393e-06,1.323106e-06,1.381349e-06,1.383632e-06,1.437287e-06,1.456851e-06,1.490876e-06,1.525963e-06,1.542095e-06,1.590945e-06,1.637440e-06,1.651825e-06,1.681608e-06,1.708673e-06,1.723489e-06,1.761587e-06,1.763130e-06,1.800585e-06,1.810688e-06,1.835912e-06,1.856113e-06,1.869174e-06,1.898007e-06,1.900436e-06,1.929764e-06,1.936523e-06,1.957228e-06,1.971817e-06,1.982893e-06,2.004046e-06,2.006829e-06,2.029102e-06,2.033363e-06,2.049780e-06,2.059924e-06,2.068928e-06,2.083877e-06,2.086610e-06,2.102889e-06,2.105367e-06,2.117826e-06,2.124536e-06,2.131481e-06,2.141521e-06,2.143912e-06,2.155175e-06,2.156450e-06,2.165325e-06,2.169452e-06,2.174414e-06,2.180645e-06,2.182494e-06,2.189614e-06,2.190144e-06,2.195822e-06,2.198059e-06,2.201162e-06,2.204495e-06,2.205680e-06,2.209418e-06,2.209552e-06,2.212416e-06,2.213322e-06,2.214714e-06,2.215896e-06,2.216350e-06,2.217360e-06,2.217778e-06,2.217792e-06,2.217638e-06,2.217271e-06,2.216972e-06,2.215866e-06,2.215810e-06,2.214182e-06,2.213647e-06,2.212116e-06,2.210677e-06,2.209639e-06,2.207018e-06,2.206775e-06,2.203550e-06,2.202725e-06,2.199988e-06,2.197854e-06,2.196110e-06,2.192453e-06,2.191938e-06,2.187492e-06,2.186571e-06,2.182791e-06,2.180253e-06,2.177855e-06,2.173539e-06,2.172701e-06,2.167345e-06,2.166471e-06,2.161804e-06,2.159083e-06,2.156093e-06,2.151412e-06,2.150227e-06,2.144218e-06,2.143488e-06,2.138081e-06,2.135343e-06,2.131827e-06,2.127004e-06,2.125469e-06,2.119018e-06,2.118498e-06,2.112484e-06,2.109849e-06,2.105877e-06,2.101081e-06,2.099207e-06,2.092483e-06,2.092213e-06,2.085714e-06,2.083267e-06,2.078907e-06,2.074261e-06,2.072070e-06,2.065211e-06,2.056134e-06,2.047043e-06,2.037953e-06,2.028877e-06,2.019824e-06,2.010807e-06,2.001834e-06,1.992915e-06,1.984057e-06,1.975268e-06,1.966556e-06,1.957925e-06,1.949381e-06,1.940929e-06,1.932575e-06,1.924320e-06,1.916170e-06,1.908128e-06,1.900195e-06,1.892374e-06,1.884667e-06,1.877077e-06,1.869603e-06,1.862248e-06
0.000000e+00,1.777550e-11,4.188985e-11,1.480041e-10,3.400564e-10,4.975019e-10,1.132298e-09,1.166439e-09,2.255986e-09,2.651042e-09,3.875614e-09,5.152232e-09,6.147853e-09,8.930017e-09,9.206915e-09,1.318467e-08,1.428808e-08,1.817653e-08,2.142336e-08,2.419249e-08,3.025351e-08,3.112860e-08,3.879460e-08,4.039633e-08,4.697658e-08,5.137050e-08,5.548455e-08,6.277161e-08,6.416750e-08,7.290960e-08,7.430754e-08,8.162121e-08,8.577047e-08,9.023100e-08,9.700595e-08,9.868059e-08,1.069213e-07,1.078942e-07,1.149126e-07,1.183407e-07,1.226205e-07,1.282720e-07,1.300178e-07,1.370831e-07,1.376334e-07,1.438006e-07,1.463877e-07,1.501599e-07,1.545134e-07,1.561552e-07,1.617851e-07,1.620027e-07,1.670517e-07,1.688597e-07,1.719605e-07,1.750981e-07,1.765196e-07,1.807391e-07,1.846311e-07,1.858094e-07,1.882085e-07,1.903395e-07,1.914855e-07,1.943622e-07,1.944766e-07,1.971966e-07,1.979116e-07,1.996604e-07,2.010220e-07,2.018829e-07,2.037268e-07,2.038785e-07,2.056612e-07,2.060590e-07,2.072448e-07,2.080495e-07,2.086422e-07,2.097279e-07,2.098660e-07,2.109279e-07,2.111219e-07,2.118394e-07,2.122574e-07,2.126109e-07,2.131582e-07,2.132525e-07,2.137736e-07,2.138464e-07,2.141831e-07,2.143424e-07,2.144891e-07,2.146647e-07,2.146995e-07,2.148214e-07,2.148304e-07,2.148617e-07,2.148551e-07,2.148265e-07,2.147530e-07,2.147218e-07,2.145530e-07,2.145368e-07,2.143251e-07,2.142185e-07,2.140430e-07,2.138087e-07,2.137110e-07,2.133331e-07,2.133171e-07,2.129133e-07,2.127526e-07,2.124550e-07,2.121231e-07,2.119615e-07,2.114359e-07,2.108810e-07,2.106977e-07,2.102994e-07,2.099144e-07,2.096937e-07,2.090915e-07,2.090660e-07,2.084186e-07,2.082340e-07,2.077533e-07,2.073464e-07,2.070721e-07,2.064327e-07,2.063766e-07,2.056684e-07,2.054967e-07,2.049490e-07,2.045418e-07,2.042198e-07,2.035709e-07,2.034820e-07,2.027368e-07,2.025869e-07,2.019853e-07,2.015924e-07,2.012286e-07,2.005896e-07,2.004676e-07,1.997031e-07,1.995806e-07,1.989361e-07,1.985672e-07,1.981673e-07,1.975514e-07,1.973973e-07,1.966269e-07,1.965344e-07,1.958566e-07,1.955179e-07,1.950871e-07,1.945031e-07,1.943189e-07,1.935524e-07,1.934911e-07,1.927881e-07,1.924830e-07,1.920264e-07,1.914798e-07,1.912677e-07,1.905124e-07,1.904823e-07,1.897608e-07,1.894912e-07,1.890132e-07,1.885073e-07,1.882699e-07,1.875312e-07,1.865635e-07,1.856046e-07,1.846550e-07,1.837151e-07,1.827853e-07,1.818658e-07,1.809570e-07,1.800590e-07,1.791720e-07,1.782963e-07,1.774320e-07,1.765791e-07,1.757378e-07,1.749082e-07,1.740902e-07,1.732840e-07,1.724895e-07,1.717069e-07,1.709359e-07,1.701767e-07,1.694292e-07,1.686934e-07,1.679691e-07,1.672564e-07
0.000000e+00,4.915012e-11,1.613390e-10,8.007770e-10,2.132715e-09,3.283801e-09,8.090606e-09,8.352062e-09,1.669246e-08,1.969243e-08,2.885909e-08,3.818466e-08,4.529620e-08,6.448659e-08,6.634665e-08,9.224339e-08,9.919389e-08,1.230832e-07,1.424911e-07,1.587846e-07,1.939813e-07,1.990346e-07,2.432387e-07,2.524804e-07,2.905033e-07,3.159182e-07,3.396878e-07,3.815708e-07,3.895416e-07,4.388785e-07,4.466550e-07,4.867121e-07,5.089140e-07,5.323111e-07,5.668436e-07,5.751832e-07,6.150324e-07,6.196029e-07,6.517111e-07,6.668321e-07,6.851800e-07,7.084912e-07,7.154777e-07,7.426987e-07,7.447472e-07,7.669761e-07,7.758981e-07,7.884699e-07,8.023203e-07,8.073563e-07,8.238205e-07,8.244313e-07,8.380509e-07,8.426630e-07,8.502340e-07,8.574415e-07,8.605504e-07,8.691733e-07,8.762667e-07,8.782390e-07,8.819840e-07,8.849868e-07,8.864669e-07,8.897311e-07,8.898466e-07,8.922428e-07,8.927526e-07,8.937645e-07,8.942993e-07,8.945105e-07,8.945886e-07,8.945701e-07,8.940234e-07,8.938102e-07,8.929429e-07,8.921290e-07,8.913932e-07,8.896872e-07,8.894319e-07,8.871107e-07,8.866074e-07,8.844753e-07,8.829945e-07,8.815668e-07,8.789394e-07,8.784217e-07,8.750726e-07,8.745198e-07,8.715484e-07,8.698024e-07,8.678750e-07,8.648443e-07,8.640752e-07,8.601696e-07,8.596947e-07,8.561764e-07,8.543958e-07,8.521118e-07,8.489839e-07,8.479903e-07,8.438249e-07,8.434901e-07,8.396270e-07,8.379411e-07,8.354070e-07,8.323601e-07,8.311740e-07,8.269363e-07,8.267668e-07,8.227010e-07,8.211782e-07,8.184748e-07,8.156091e-07,8.142634e-07,8.100720e-07,8.059052e-07,8.045777e-07,8.017671e-07,7.991355e-07,7.976614e-07,7.937533e-07,7.935913e-07,7.895595e-07,7.884379e-07,7.855687e-07,7.831948e-07,7.816210e-07,7.780288e-07,7.777183e-07,7.738623e-07,7.729440e-07,7.700545e-07,7.679437e-07,7.662962e-07,7.630305e-07,7.625883e-07,7.589317e-07,7.582067e-07,7.553273e-07,7.534738e-07,7.517756e-07,7.488332e-07,7.482770e-07,7.448320e-07,7.442857e-07,7.414407e-07,7.398320e-07,7.381033e-07,7.354723e-07,7.348199e-07,7.315905e-07,7.312066e-07,7.284150e-07,7.270348e-07,7.252932e-07,7.229564e-07,7.222249e-07,7.192098e-07,7.189709e-07,7.162477e-07,7.150776e-07,7.133382e-07,7.112757e-07,7.104809e-07,7.076753e-07,7.075641e-07,7.049210e-07,7.039419e-07,7.022174e-07,7.004078e-07,6.995642e-07,6.969606e-07,6.935991e-07,6.903218e-07,6.871274e-07,6.840144e-07,6.809814e-07,6.780269e-07,6.751494e-07,6.723473e-07,6.696192e-07,6.669635e-07,6.643786e-07,6.618631e-07,6.594154e-07,6.570339e-07,6.547172e-07,6.524638e-07,6.502722e-07,6.481409e-07,6.460685e-07,6.440535e-07,6.420946e-07,6.401903e-07,6.383393e-07,6.365403e-07
0.000000e+00,1.200979e-11,2.800210e-11,9.857717e-11,2.279866e-10,3.355915e-10,7.813525e-10,8.058219e-10,1.609985e-09,1.911660e-09,2.874658e-09,3.911807e-09,4.734046e-09,7.038511e-09,7.265941e-09,1.045707e-08,1.131516e-08,1.425479e-08,1.662925e-08,1.861476e-08,2.289339e-08,2.350803e-08,2.891427e-08,3.005549e-08,3.481530e-08,3.807288e-08,4.119116e-08,4.689666e-08,4.801820e-08,5.526828e-08,5.646543e-08,6.290887e-08,6.670452e-08,7.090360e-08,7.752793e-08,7.921302e-08,8.779556e-08,8.884180e-08,9.660853e-08,1.005482e-07,1.056090e-07,1.125488e-07,1.147548e-07,1.240050e-07,1.247483e-07,1.333207e-07,1.370571e-07,1.426655e-07,1.493926e-07,1.520055e-07,1.613100e-07,1.616811e-07,1.705513e-07,1.738577e-07,1.797044e-07,1.858669e-07,1.887476e-07,1.976618e-07,2.064306e-07,2.092036e-07,2.150402e-07,2.204611e-07,2.234786e-07,2.314096e-07,2.317364e-07,2.398056e-07,2.420303e-07,2.476801e-07,2.523093e-07,2.553552e-07,2.622371e-07,2.628273e-07,2.700943e-07,2.718076e-07,2.771546e-07,2.810180e-07,2.840080e-07,2.898677e-07,2.906544e-07,2.970949e-07,2.983584e-07,3.033308e-07,3.064932e-07,3.093639e-07,3.142767e-07,3.151966e-07,3.208313e-07,3.217147e-07,3.262709e-07,3.288135e-07,3.315184e-07,3.355803e-07,3.365771e-07,3.414503e-07,3.420228e-07,3.461415e-07,3.481489e-07,3.506544e-07,3.539671e-07,3.549925e-07,3.591597e-07,3.594858e-07,3.631596e-07,3.647136e-07,3.669960e-07,3.696591e-07,3.706727e-07,3.741936e-07,3.743312e-07,3.775623e-07,3.787385e-07,3.807826e-07,3.828895e-07,3.838582e-07,3.867928e-07,3.895901e-07,3.904569e-07,3.922538e-07,3.938899e-07,3.947872e-07,3.971002e-07,3.971941e-07,3.994778e-07,4.000956e-07,4.016417e-07,4.028840e-07,4.036893e-07,4.054731e-07,4.056238e-07,4.074485e-07,4.078704e-07,4.091665e-07,4.100832e-07,4.107810e-07,4.121186e-07,4.122951e-07,4.137118e-07,4.139837e-07,4.150339e-07,4.156850e-07,4.162644e-07,4.172293e-07,4.174062e-07,4.184619e-07,4.186230e-07,4.194343e-07,4.198722e-07,4.203260e-07,4.209830e-07,4.211395e-07,4.218775e-07,4.219611e-07,4.225424e-07,4.228124e-07,4.231366e-07,4.235423e-07,4.236624e-07,4.241221e-07,4.241561e-07,4.245179e-07,4.246589e-07,4.248521e-07,4.250557e-07,4.251268e-07,4.253439e-07,4.253514e-07,4.255056e-07,4.255506e-07,4.256138e-07,4.256578e-07,4.256704e-07,4.256773e-07,4.256133e-07,4.254700e-07,4.252510e-07,4.249604e-07,4.246015e-07,4.241781e-07,4.236933e-07,4.231505e-07,4.225529e-07,4.219033e-07,4.212046e-07,4.204598e-07,4.196713e-07,4.188419e-07,4.179739e-07,4.170697e-07,4.161316e-07,4.151619e-07,4.141625e-07,4.131355e-07,4.120828e-07,4.110062e-07,4.099077e-07,4.087887e-07
0.000000e+00,1.707365e-12,1.180591e-11,1.826731e-10,1.002084e-09,2.108930e-09,9.680165e-09,1.020465e-08,3.157171e-08,4.111361e-08,7.516230e-08,1.163144e-07,1.515774e-07,2.617157e-07,2.734814e-07,4.558322e-07,5.103861e-07,7.145937e-07,8.980333e-07,1.062867e-06,1.447794e-06,1.505888e-06,2.038883e-06,2.155275e-06,2.649527e-06,2.992688e-06,3.322578e-06,3.925474e-06,4.043504e-06,4.800041e-06,4.923702e-06,5.582301e-06,5.964511e-06,6.382260e-06,7.030417e-06,7.193190e-06,8.009247e-06,8.107266e-06,8.825228e-06,9.183012e-06,9.636450e-06,1.024718e-05,1.043869e-05,1.122820e-05,1.129071e-05,1.200167e-05,1.230592e-05,1.275626e-05,1.328652e-05,1.348958e-05,1.419967e-05,1.422757e-05,1.488499e-05,1.512541e-05,1.554438e-05,1.597752e-05,1.617702e-05,1.678242e-05,1.736034e-05,1.753946e-05,1.791077e-05,1.824870e-05,1.843390e-05,1.891073e-05,1.893007e-05,1.939975e-05,1.952660e-05,1.984354e-05,2.009765e-05,2.026208e-05,2.062547e-05,2.065611e-05,2.102639e-05,2.111181e-05,2.137372e-05,2.155851e-05,2.169893e-05,2.196746e-05,2.200284e-05,2.228628e-05,2.234059e-05,2.255009e-05,2.267978e-05,2.279508e-05,2.298692e-05,2.302205e-05,2.323180e-05,2.326382e-05,2.342509e-05,2.351224e-05,2.360267e-05,2.373391e-05,2.376526e-05,2.391357e-05,2.393044e-05,2.404827e-05,2.410340e-05,2.417002e-05,2.425428e-05,2.427945e-05,2.437716e-05,2.438449e-05,2.446375e-05,2.449539e-05,2.453976e-05,2.458825e-05,2.460575e-05,2.466221e-05,2.466428e-05,2.470965e-05,2.472461e-05,2.474854e-05,2.477034e-05,2.477934e-05,2.480247e-05,2.481835e-05,2.482197e-05,2.482738e-05,2.482974e-05,2.482993e-05,2.482663e-05,2.482637e-05,2.481704e-05,2.481344e-05,2.480227e-05,2.479093e-05,2.478238e-05,2.475980e-05,2.475766e-05,2.472840e-05,2.472073e-05,2.469487e-05,2.467433e-05,2.465734e-05,2.462119e-05,2.461604e-05,2.457123e-05,2.456186e-05,2.452311e-05,2.449686e-05,2.447191e-05,2.442667e-05,2.441783e-05,2.436106e-05,2.435174e-05,2.430179e-05,2.427250e-05,2.424019e-05,2.418935e-05,2.417643e-05,2.411067e-05,2.410265e-05,2.404305e-05,2.401275e-05,2.397373e-05,2.391999e-05,2.390284e-05,2.383051e-05,2.382466e-05,2.375685e-05,2.372705e-05,2.368200e-05,2.362742e-05,2.360605e-05,2.352911e-05,2.352602e-05,2.345129e-05,2.342308e-05,2.337268e-05,2.331882e-05,2.329336e-05,2.321343e-05,2.310711e-05,2.300003e-05,2.289235e-05,2.278421e-05,2.267577e-05,2.256715e-05,2.245846e-05,2.234983e-05,2.224136e-05,2.213313e-05,2.202524e-05,2.191778e-05,2.181080e-05,2.170439e-05,2.159861e-05,2.149351e-05,2.138915e-05,2.128557e-05,2.118283e-05,2.108096e-05,2.097999e-05,2.087996e-05,2.078090e-05,2.068284e-05
0.000000e+00,1.013033e-11,2.324279e-11,8.028187e-11,1.837600e-10,2.693413e-10,6.219935e-10,6.412995e-10,1.274129e-09,1.510939e-09,2.265637e-09,3.077750e-09,3.722080e-09,5.532036e-09,5.710847e-09,8.214077e-09,8.883307e-09,1.115594e-08,1.296530e-08,1.445888e-08,1.761710e-08,1.806415e-08,2.192803e-08,2.272861e-08,2.601458e-08,2.821655e-08,3.029067e-08,3.400512e-08,3.472356e-08,3.928003e-08,4.001828e-08,4.392642e-08,4.617875e-08,4.862917e-08,5.240986e-08,5.335547e-08,5.807401e-08,5.863829e-08,6.275553e-08,6.479669e-08,6.737335e-08,7.082554e-08,7.190368e-08,7.632574e-08,7.667427e-08,8.062184e-08,8.230164e-08,8.477734e-08,8.767550e-08,8.878042e-08,9.262194e-08,9.277214e-08,9.629516e-08,9.757538e-08,9.979550e-08,1.020755e-07,1.031202e-07,1.062683e-07,1.092401e-07,1.101541e-07,1.120371e-07,1.137364e-07,1.146616e-07,1.170220e-07,1.171170e-07,1.194072e-07,1.200194e-07,1.215365e-07,1.227389e-07,1.235097e-07,1.251915e-07,1.253318e-07,1.270080e-07,1.273892e-07,1.285438e-07,1.293444e-07,1.299444e-07,1.310696e-07,1.312154e-07,1.323623e-07,1.325772e-07,1.333903e-07,1.338797e-07,1.343049e-07,1.349892e-07,1.351111e-07,1.358143e-07,1.359175e-07,1.364192e-07,1.366762e-07,1.369309e-07,1.372761e-07,1.373539e-07,1.376929e-07,1.377281e-07,1.379522e-07,1.380422e-07,1.381362e-07,1.382282e-07,1.382490e-07,1.382946e-07,1.382954e-07,1.382767e-07,1.382526e-07,1.381991e-07,1.381082e-07,1.380653e-07,1.378786e-07,1.378701e-07,1.376424e-07,1.375458e-07,1.373597e-07,1.371424e-07,1.370335e-07,1.366667e-07,1.362621e-07,1.361250e-07,1.358221e-07,1.355232e-07,1.353494e-07,1.348669e-07,1.348463e-07,1.343150e-07,1.341615e-07,1.337577e-07,1.334118e-07,1.331765e-07,1.326224e-07,1.325734e-07,1.319501e-07,1.317978e-07,1.313085e-07,1.309419e-07,1.306503e-07,1.300585e-07,1.299770e-07,1.292901e-07,1.291513e-07,1.285912e-07,1.282234e-07,1.278815e-07,1.272779e-07,1.271623e-07,1.264348e-07,1.263178e-07,1.257003e-07,1.253455e-07,1.249598e-07,1.243637e-07,1.242142e-07,1.234647e-07,1.233745e-07,1.227120e-07,1.223800e-07,1.219570e-07,1.213823e-07,1.212007e-07,1.204436e-07,1.203830e-07,1.196865e-07,1.193838e-07,1.189301e-07,1.183863e-07,1.181750e-07,1.174218e-07,1.173917e-07,1.166710e-07,1.164015e-07,1.159232e-07,1.154166e-07,1.151788e-07,1.144382e-07,1.134672e-07,1.125045e-07,1.115508e-07,1.106068e-07,1.096732e-07,1.087505e-07,1.078391e-07,1.069396e-07,1.060522e-07,1.051774e-07,1.043152e-07,1.034661e-07,1.026301e-07,1.018074e-07,1.009982e-07,1.002024e-07,9.942023e-08,9.865158e-08,9.789649e-08,9.715494e-08,9.642687e-08,9.571223e-08,9.501091e-08,9.432283e-08
0.000000e+00,6.329279e-14,5.200214e-13,1.134854e-11,8.369719e-11,2.056666e-10,1.372364e-09,1.467698e-09,6.320065e-09,8.941675e-09,1.987041e-08,3.551689e-08,5.051399e-08,1.041490e-07,1.103646e-07,2.154670e-07,2.495552e-07,3.856181e-07,5.176351e-07,6.432595e-07,9.603794e-07,1.011014e-06,1.508260e-06,1.624526e-06,2.147926e-06,2.538709e-06,2.934602e-06,3.706364e-06,3.864351e-06,4.925946e-06,5.106987e-06,6.102853e-06,6.703006e-06,7.375351e-06,8.448034e-06,8.722387e-06,1.012297e-05,1.029367e-05,1.155708e-05,1.219390e-05,1.300626e-05,1.410735e-05,1.445378e-05,1.588481e-05,1.599818e-05,1.728635e-05,1.783616e-05,1.864726e-05,1.959658e-05,1.995810e-05,2.121115e-05,2.125998e-05,2.240028e-05,2.281179e-05,2.352088e-05,2.424205e-05,2.456974e-05,2.554496e-05,2.644581e-05,2.671839e-05,2.727258e-05,2.776336e-05,2.802648e-05,2.868344e-05,2.870943e-05,2.932397e-05,2.948418e-05,2.987310e-05,3.017257e-05,3.036017e-05,3.075650e-05,3.078872e-05,3.116247e-05,3.124443e-05,3.148515e-05,3.164495e-05,3.176051e-05,3.196657e-05,3.199218e-05,3.218369e-05,3.221747e-05,3.233841e-05,3.240539e-05,3.245953e-05,3.253753e-05,3.255008e-05,3.261285e-05,3.262050e-05,3.265047e-05,3.266030e-05,3.266533e-05,3.266234e-05,3.265966e-05,3.263549e-05,3.263143e-05,3.259468e-05,3.257189e-05,3.253892e-05,3.248750e-05,3.246976e-05,3.238859e-05,3.238162e-05,3.229670e-05,3.225720e-05,3.219522e-05,3.211681e-05,3.208520e-05,3.196759e-05,3.196274e-05,3.184323e-05,3.179696e-05,3.171290e-05,3.162123e-05,3.157730e-05,3.143707e-05,3.129276e-05,3.124581e-05,3.114491e-05,3.104865e-05,3.099399e-05,3.084661e-05,3.084042e-05,3.068459e-05,3.064060e-05,3.052686e-05,3.043144e-05,3.036754e-05,3.021982e-05,3.020693e-05,3.004528e-05,3.000636e-05,2.988285e-05,2.979163e-05,2.971986e-05,2.957611e-05,2.955650e-05,2.939296e-05,2.936024e-05,2.922940e-05,2.914440e-05,2.906598e-05,2.892893e-05,2.890285e-05,2.874012e-05,2.871413e-05,2.857792e-05,2.850028e-05,2.841635e-05,2.828761e-05,2.825551e-05,2.809549e-05,2.807634e-05,2.793636e-05,2.786665e-05,2.777821e-05,2.765871e-05,2.762110e-05,2.746508e-05,2.745265e-05,2.731022e-05,2.724861e-05,2.715656e-05,2.704670e-05,2.700415e-05,2.685303e-05,2.684701e-05,2.670323e-05,2.664964e-05,2.655480e-05,2.645465e-05,2.640774e-05,2.626211e-05,2.607206e-05,2.588456e-05,2.569964e-05,2.551733e-05,2.533765e-05,2.516061e-05,2.498624e-05,2.481453e-05,2.464548e-05,2.447910e-05,2.431538e-05,2.415431e-05,2.399588e-05,2.384007e-05,2.368686e-05,2.353624e-05,2.338819e-05,2.324267e-05,2.309968e-05,2.295917e-05,2.282113e-05,2.268552e-05,2.255231e-05,2.242148e-05
0.000000e+00,1.369478e-11,9.310585e-11,1.395707e-09,7.471918e-09,1.554679e-08,6.978928e-08,7.352098e-08,2.251034e-07,2.929112e-07,5.365983e-07,8.352241e-07,1.094619e-06,1.922798e-06,2.012656e-06,3.430181e-06,3.861077e-06,5.489620e-06,6.962823e-06,8.287942e-06,1.137054e-05,1.183346e-05,1.604673e-05,1.695863e-05,2.080088e-05,2.344279e-05,2.596534e-05,3.053886e-05,3.142944e-05,3.710736e-05,3.803107e-05,4.293368e-05,4.576754e-05,4.885701e-05,5.363687e-05,5.483504e-05,6.083143e-05,6.155067e-05,6.681409e-05,6.943462e-05,7.275440e-05,7.722492e-05,7.862688e-05,8.440904e-05,8.486710e-05,9.008134e-05,9.231568e-05,9.562715e-05,9.953389e-05,1.010325e-04,1.062863e-04,1.064931e-04,1.113794e-04,1.131722e-04,1.163051e-04,1.195564e-04,1.210586e-04,1.256368e-04,1.300378e-04,1.314086e-04,1.342612e-04,1.368711e-04,1.383074e-04,1.420264e-04,1.421779e-04,1.458745e-04,1.468788e-04,1.494000e-04,1.514344e-04,1.527574e-04,1.557006e-04,1.559501e-04,1.589817e-04,1.596858e-04,1.618562e-04,1.633988e-04,1.645776e-04,1.668491e-04,1.671501e-04,1.695779e-04,1.700465e-04,1.718653e-04,1.730006e-04,1.740165e-04,1.757214e-04,1.760358e-04,1.779276e-04,1.782187e-04,1.796960e-04,1.805022e-04,1.813451e-04,1.825813e-04,1.828791e-04,1.843020e-04,1.844655e-04,1.856178e-04,1.861639e-04,1.868304e-04,1.876853e-04,1.879436e-04,1.889610e-04,1.890384e-04,1.898864e-04,1.902315e-04,1.907232e-04,1.912729e-04,1.914750e-04,1.921451e-04,1.921702e-04,1.927367e-04,1.929311e-04,1.932531e-04,1.935628e-04,1.936973e-04,1.940724e-04,1.943813e-04,1.944666e-04,1.946268e-04,1.947519e-04,1.948117e-04,1.949345e-04,1.949385e-04,1.950100e-04,1.950204e-04,1.950285e-04,1.950152e-04,1.949965e-04,1.949245e-04,1.949164e-04,1.947903e-04,1.947535e-04,1.946206e-04,1.945072e-04,1.944092e-04,1.941904e-04,1.941583e-04,1.938697e-04,1.938077e-04,1.935455e-04,1.933634e-04,1.931873e-04,1.928616e-04,1.927971e-04,1.923765e-04,1.923065e-04,1.919271e-04,1.917016e-04,1.914505e-04,1.910507e-04,1.909483e-04,1.904219e-04,1.903571e-04,1.898727e-04,1.896242e-04,1.893021e-04,1.888549e-04,1.887114e-04,1.881018e-04,1.880523e-04,1.874746e-04,1.872190e-04,1.868309e-04,1.863579e-04,1.861719e-04,1.854985e-04,1.854713e-04,1.848119e-04,1.845617e-04,1.841130e-04,1.836313e-04,1.834028e-04,1.826822e-04,1.817164e-04,1.807360e-04,1.797425e-04,1.787379e-04,1.777236e-04,1.767012e-04,1.756720e-04,1.746375e-04,1.735989e-04,1.725574e-04,1.715140e-04,1.704699e-04,1.694260e-04,1.683832e-04,1.673424e-04,1.663043e-04,1.652698e-04,1.642394e-04,1.632139e-04,1.621939e-04,1.611798e-04,1.601723e-04,1.591717e-04,1.581785e-04
0.000000e+00,1.702476e-14,1.464975e-13,3.519502e-12,2.833459e-11,7.305322e-11,5.515386e-10,5.928043e-10,2.879809e-09,4.207914e-09,1.012689e-08,1.927364e-08,2.852873e-08,6.409683e-08,6.840465e-08,1.451567e-07,1.712871e-07,2.799276e-07,3.906032e-07,4.998106e-07,7.895264e-07,8.374572e-07,1.330010e-06,1.450598e-06,2.017433e-06,2.465461e-06,2.940471e-06,3.926793e-06,4.138491e-06,5.647465e-06,5.919903e-06,7.498245e-06,8.515470e-06,9.715246e-06,1.176426e-05,1.231554e-05,1.530834e-05,1.569399e-05,1.869485e-05,2.030821e-05,2.246843e-05,2.558678e-05,2.661494e-05,3.111340e-05,3.148770e-05,3.593665e-05,3.794978e-05,4.105227e-05,4.489606e-05,4.642350e-05,5.201022e-05,5.223757e-05,5.776991e-05,5.987732e-05,6.365870e-05,6.771417e-05,6.963223e-05,7.564662e-05,8.165917e-05,8.357608e-05,8.762914e-05,9.140979e-05,9.351829e-05,9.906311e-05,9.929140e-05,1.049166e-04,1.064612e-04,1.103656e-04,1.135400e-04,1.156139e-04,1.202472e-04,1.206407e-04,1.254293e-04,1.265415e-04,1.299661e-04,1.323930e-04,1.342414e-04,1.377821e-04,1.382487e-04,1.419842e-04,1.426986e-04,1.454471e-04,1.471405e-04,1.486389e-04,1.511132e-04,1.515633e-04,1.542257e-04,1.546278e-04,1.566330e-04,1.577004e-04,1.587937e-04,1.603507e-04,1.607168e-04,1.624125e-04,1.626012e-04,1.638913e-04,1.644760e-04,1.651642e-04,1.660007e-04,1.662423e-04,1.671370e-04,1.672010e-04,1.678594e-04,1.681026e-04,1.684205e-04,1.687308e-04,1.688312e-04,1.691019e-04,1.691100e-04,1.692428e-04,1.692637e-04,1.692636e-04,1.692139e-04,1.691736e-04,1.689817e-04,1.686962e-04,1.685864e-04,1.683250e-04,1.680460e-04,1.678757e-04,1.673773e-04,1.673552e-04,1.667702e-04,1.665957e-04,1.661267e-04,1.657150e-04,1.654306e-04,1.647481e-04,1.646870e-04,1.639011e-04,1.637067e-04,1.630774e-04,1.626012e-04,1.622201e-04,1.614412e-04,1.613333e-04,1.604206e-04,1.602352e-04,1.594852e-04,1.589910e-04,1.585304e-04,1.577155e-04,1.575590e-04,1.565737e-04,1.564149e-04,1.555767e-04,1.550948e-04,1.545705e-04,1.537601e-04,1.535569e-04,1.525379e-04,1.524153e-04,1.515152e-04,1.510644e-04,1.504903e-04,1.497108e-04,1.494646e-04,1.484395e-04,1.483575e-04,1.474161e-04,1.470075e-04,1.463955e-04,1.456630e-04,1.453787e-04,1.443666e-04,1.443262e-04,1.433599e-04,1.429990e-04,1.423595e-04,1.416830e-04,1.413658e-04,1.403796e-04,1.390900e-04,1.378154e-04,1.365565e-04,1.353142e-04,1.340891e-04,1.328818e-04,1.316926e-04,1.305220e-04,1.293701e-04,1.282373e-04,1.271235e-04,1.260290e-04,1.249537e-04,1.238977e-04,1.228608e-04,1.218430e-04,1.208441e-04,1.198640e-04,1.189026e-04,1.179596e-04,1.170349e-04,1.161282e-04,1.152392e-04,1.143678e-04
0.000000e+00,2.822858e-11,6.728851e-11,2.411160e-10,5.591403e-10,8.219455e-10,1.895500e-09,1.953790e-09,3.838755e-09,4.532849e-09,6.714606e-09,9.029868e-09,1.085829e-08,1.603594e-08,1.655449e-08,2.400052e-08,2.605150e-08,3.317751e-08,3.898300e-08,4.382771e-08,5.412942e-08,5.558748e-08,6.812373e-08,7.070018e-08,8.117848e-08,8.810565e-08,9.455807e-08,1.059366e-07,1.081114e-07,1.217135e-07,1.238870e-07,1.352568e-07,1.417083e-07,1.486460e-07,1.591894e-07,1.617968e-07,1.746352e-07,1.761517e-07,1.870977e-07,1.924480e-07,1.991311e-07,2.079627e-07,2.106924e-07,2.217488e-07,2.226107e-07,2.322762e-07,2.363352e-07,2.422588e-07,2.491043e-07,2.516887e-07,2.605640e-07,2.609076e-07,2.688882e-07,2.717513e-07,2.766690e-07,2.816556e-07,2.839185e-07,2.906510e-07,2.968834e-07,2.987751e-07,3.026342e-07,3.060708e-07,3.079228e-07,3.125839e-07,3.127695e-07,3.171950e-07,3.183615e-07,3.212200e-07,3.234514e-07,3.248652e-07,3.279008e-07,3.281509e-07,3.310969e-07,3.317555e-07,3.337222e-07,3.350593e-07,3.360455e-07,3.378543e-07,3.380845e-07,3.398565e-07,3.401803e-07,3.413778e-07,3.420749e-07,3.426639e-07,3.435735e-07,3.437299e-07,3.445897e-07,3.447091e-07,3.452569e-07,3.455125e-07,3.457442e-07,3.460126e-07,3.460636e-07,3.462265e-07,3.462361e-07,3.462437e-07,3.462078e-07,3.461254e-07,3.459507e-07,3.458811e-07,3.455199e-07,3.454862e-07,3.450503e-07,3.448340e-07,3.444805e-07,3.440123e-07,3.438178e-07,3.430695e-07,3.430379e-07,3.422423e-07,3.419264e-07,3.413424e-07,3.406920e-07,3.403758e-07,3.393480e-07,3.382643e-07,3.379065e-07,3.371296e-07,3.363787e-07,3.359484e-07,3.347748e-07,3.347252e-07,3.334638e-07,3.331044e-07,3.321683e-07,3.313760e-07,3.308420e-07,3.295976e-07,3.294884e-07,3.281105e-07,3.277765e-07,3.267113e-07,3.259195e-07,3.252935e-07,3.240325e-07,3.238597e-07,3.224123e-07,3.221213e-07,3.209534e-07,3.201910e-07,3.194852e-07,3.182462e-07,3.180097e-07,3.165285e-07,3.162912e-07,3.150435e-07,3.143298e-07,3.135562e-07,3.123657e-07,3.120681e-07,3.105805e-07,3.104020e-07,3.090946e-07,3.084417e-07,3.076117e-07,3.064874e-07,3.061329e-07,3.046591e-07,3.045414e-07,3.031913e-07,3.026060e-07,3.017303e-07,3.006831e-07,3.002770e-07,2.988320e-07,2.987744e-07,2.973961e-07,2.968815e-07,2.959698e-07,2.950058e-07,2.945538e-07,2.931486e-07,2.913109e-07,2.894937e-07,2.876978e-07,2.859241e-07,2.841732e-07,2.824455e-07,2.807416e-07,2.790619e-07,2.774066e-07,2.757761e-07,2.741705e-07,2.725899e-07,2.710344e-07,2.695041e-07,2.679990e-07,2.665190e-07,2.650641e-07,2.636341e-07,2.622290e-07,2.608485e-07,2.594925e-07,2.581608e-07,2.568532e-07,2.555694e-07
0.000000e+00,6.559629e-15,5.876855e-14,1.537200e-12,1.339646e-11,3.610235e-11,3.063789e-10,3.308995e-10,1.812754e-09,2.738654e-09,7.177803e-09,1.465905e-08,2.273640e-08,5.683279e-08,6.121425e-08,1.456603e-07,1.766355e-07,3.145533e-07,4.673501e-07,6.280484e-07,1.093313e-06,1.175043e-06,2.080464e-06,2.318498e-06,3.512038e-06,4.534076e-06,5.685841e-06,8.280087e-06,8.870100e-06,1.338690e-05,1.425760e-05,1.961169e-05,2.332957e-05,2.797060e-05,3.651019e-05,3.893578e-05,5.301886e-05,5.494387e-05,7.076307e-05,7.987556e-05,9.273411e-05,1.126146e-04,1.195102e-04,1.516717e-04,1.544945e-04,1.897906e-04,2.068309e-04,2.344200e-04,2.708803e-04,2.860843e-04,3.452699e-04,3.478001e-04,4.124164e-04,4.386141e-04,4.879097e-04,5.441816e-04,5.720753e-04,6.651732e-04,7.673946e-04,8.020537e-04,8.788584e-04,9.550702e-04,9.996111e-04,1.124248e-03,1.129626e-03,1.268803e-03,1.309393e-03,1.416974e-03,1.510098e-03,1.573903e-03,1.725755e-03,1.739289e-03,1.912775e-03,1.955572e-03,2.093948e-03,2.198592e-03,2.282346e-03,2.453716e-03,2.477467e-03,2.678771e-03,2.719723e-03,2.885684e-03,2.995300e-03,3.097613e-03,3.279059e-03,3.313941e-03,3.534042e-03,3.569566e-03,3.757279e-03,3.865360e-03,3.983015e-03,4.164976e-03,4.210615e-03,4.439450e-03,4.466964e-03,4.668904e-03,4.769904e-03,4.898375e-03,5.072425e-03,5.127280e-03,5.355057e-03,5.373214e-03,5.581168e-03,5.671030e-03,5.805101e-03,5.964710e-03,6.026371e-03,6.244523e-03,6.253178e-03,6.459132e-03,6.535447e-03,6.669803e-03,6.810624e-03,6.876173e-03,7.077910e-03,7.274713e-03,7.336604e-03,7.466313e-03,7.586094e-03,7.652470e-03,7.825865e-03,7.832974e-03,8.007645e-03,8.055485e-03,8.176328e-03,8.274611e-03,8.338898e-03,8.482976e-03,8.495254e-03,8.645320e-03,8.680394e-03,8.789043e-03,8.866744e-03,8.926390e-03,9.041975e-03,9.057353e-03,9.181938e-03,9.206092e-03,9.300171e-03,9.359156e-03,9.412095e-03,9.501275e-03,9.517765e-03,9.617254e-03,9.632604e-03,9.710644e-03,9.753333e-03,9.798031e-03,9.863689e-03,9.879520e-03,9.955224e-03,9.963925e-03,1.002527e-02,1.005432e-02,1.008978e-02,1.013519e-02,1.014889e-02,1.020274e-02,1.020683e-02,1.025149e-02,1.026959e-02,1.029527e-02,1.032380e-02,1.033424e-02,1.036854e-02,1.036982e-02,1.039834e-02,1.040800e-02,1.042380e-02,1.043870e-02,1.044505e-02,1.046227e-02,1.047908e-02,1.048947e-02,1.049379e-02,1.049238e-02,1.048559e-02,1.047373e-02,1.045713e-02,1.043609e-02,1.041092e-02,1.038189e-02,1.034930e-02,1.031340e-02,1.027445e-02,1.023271e-02,1.018840e-02,1.014174e-02,1.009296e-02,1.004225e-02,9.989802e-03,9.935808e-03,9.880435e-03,9.823847e-03,9.766198e-03,9.707634e-03
0.000000e+00,6.975116e-12,1.612517e-11,5.599511e-11,1.280562e-10,1.873210e-10,4.285431e-10,4.416203e-10,8.638937e-10,1.019034e-09,1.504316e-09,2.012290e-09,2.405693e-09,3.472184e-09,3.574976e-09,4.980927e-09,5.349134e-09,6.584974e-09,7.557934e-09,8.356117e-09,1.003267e-08,1.026890e-08,1.229976e-08,1.271806e-08,1.442545e-08,1.556059e-08,1.662284e-08,1.850755e-08,1.886941e-08,2.114387e-08,2.150904e-08,2.342675e-08,2.452036e-08,2.570078e-08,2.750360e-08,2.795115e-08,3.016546e-08,3.042826e-08,3.233374e-08,3.327110e-08,3.444815e-08,3.601540e-08,3.650283e-08,3.849358e-08,3.864999e-08,4.041765e-08,4.116822e-08,4.227344e-08,4.356694e-08,4.406031e-08,4.577839e-08,4.584569e-08,4.742839e-08,4.800594e-08,4.901148e-08,5.005051e-08,5.052915e-08,5.198317e-08,5.337545e-08,5.380827e-08,5.470802e-08,5.553050e-08,5.598298e-08,5.715471e-08,5.720245e-08,5.836855e-08,5.868578e-08,5.948339e-08,6.012855e-08,6.054904e-08,6.148774e-08,6.156753e-08,6.254082e-08,6.276790e-08,6.347082e-08,6.397340e-08,6.435937e-08,6.510842e-08,6.520824e-08,6.601916e-08,6.617693e-08,6.679375e-08,6.718271e-08,6.753360e-08,6.812932e-08,6.824021e-08,6.891502e-08,6.902013e-08,6.955942e-08,6.985831e-08,7.017472e-08,7.064686e-08,7.076218e-08,7.132302e-08,7.138858e-08,7.185837e-08,7.208614e-08,7.236934e-08,7.274200e-08,7.285696e-08,7.332224e-08,7.335852e-08,7.376613e-08,7.393790e-08,7.418953e-08,7.448218e-08,7.459331e-08,7.497830e-08,7.499332e-08,7.534528e-08,7.547313e-08,7.569500e-08,7.592332e-08,7.602818e-08,7.634550e-08,7.664762e-08,7.674119e-08,7.693515e-08,7.711179e-08,7.720868e-08,7.745864e-08,7.746879e-08,7.771602e-08,7.778300e-08,7.795088e-08,7.808606e-08,7.817386e-08,7.836891e-08,7.838543e-08,7.858605e-08,7.863262e-08,7.877615e-08,7.887816e-08,7.895613e-08,7.910647e-08,7.912640e-08,7.928732e-08,7.931841e-08,7.943925e-08,7.951483e-08,7.958255e-08,7.969649e-08,7.971754e-08,7.984454e-08,7.986414e-08,7.996385e-08,8.001848e-08,8.007577e-08,8.016016e-08,8.018056e-08,8.027850e-08,8.028980e-08,8.036984e-08,8.040800e-08,8.045483e-08,8.051532e-08,8.053370e-08,8.060669e-08,8.061228e-08,8.067400e-08,8.069938e-08,8.073585e-08,8.077711e-08,8.079244e-08,8.084395e-08,8.084591e-08,8.089058e-08,8.090621e-08,8.093251e-08,8.095842e-08,8.096990e-08,8.100292e-08,8.104009e-08,8.107027e-08,8.109379e-08,8.111099e-08,8.112214e-08,8.112756e-08,8.112750e-08,8.112223e-08,8.111200e-08,8.109706e-08,8.107762e-08,8.105391e-08,8.102613e-08,8.099449e-08,8.095917e-08,8.092035e-08,8.087822e-08,8.083294e-08,8.078466e-08,8.073354e-08,8.067974e-08,8.062338e-08,8.056461e-08,8.050355e-08
0.000000e+00,8.433599e-11,2.460751e-10,1.086146e-09,2.768017e-09,4.210867e-09,1.028803e-08,1.062242e-08,2.152898e-08,2.556677e-08,3.826656e-08,5.169724e-08,6.223033e-08,9.149843e-08,9.437581e-08,1.346048e-07,1.453731e-07,1.820748e-07,2.114862e-07,2.359085e-07,2.879841e-07,2.954017e-07,3.599468e-07,3.734102e-07,4.289506e-07,4.663906e-07,5.017944e-07,5.654753e-07,5.778272e-07,6.563754e-07,6.691310e-07,7.367594e-07,7.757992e-07,8.183130e-07,8.839695e-07,9.004007e-07,9.824318e-07,9.922457e-07,1.063871e-06,1.099393e-06,1.144245e-06,1.204363e-06,1.223145e-06,1.300226e-06,1.306305e-06,1.375206e-06,1.404558e-06,1.447861e-06,1.498633e-06,1.518017e-06,1.585551e-06,1.588197e-06,1.650379e-06,1.673044e-06,1.712451e-06,1.753075e-06,1.771748e-06,1.828277e-06,1.882064e-06,1.898703e-06,1.933150e-06,1.964453e-06,1.981592e-06,2.025668e-06,2.027454e-06,2.070810e-06,2.082511e-06,2.111737e-06,2.135162e-06,2.150318e-06,2.183812e-06,2.186636e-06,2.220778e-06,2.228657e-06,2.252827e-06,2.269893e-06,2.282870e-06,2.307715e-06,2.310991e-06,2.337271e-06,2.342313e-06,2.361792e-06,2.373873e-06,2.384632e-06,2.402574e-06,2.405866e-06,2.425570e-06,2.428585e-06,2.443814e-06,2.452073e-06,2.460667e-06,2.473192e-06,2.476194e-06,2.490460e-06,2.492090e-06,2.503526e-06,2.508910e-06,2.515450e-06,2.523783e-06,2.526288e-06,2.536094e-06,2.536835e-06,2.544920e-06,2.548186e-06,2.552814e-06,2.557948e-06,2.559825e-06,2.565996e-06,2.566226e-06,2.571371e-06,2.573119e-06,2.575992e-06,2.578722e-06,2.579896e-06,2.583122e-06,2.585705e-06,2.586402e-06,2.587680e-06,2.588639e-06,2.589078e-06,2.589908e-06,2.589932e-06,2.590269e-06,2.590275e-06,2.590119e-06,2.589806e-06,2.589508e-06,2.588561e-06,2.588462e-06,2.587004e-06,2.586596e-06,2.585160e-06,2.583965e-06,2.582949e-06,2.580718e-06,2.580394e-06,2.577515e-06,2.576902e-06,2.574330e-06,2.572559e-06,2.570858e-06,2.567732e-06,2.567115e-06,2.563120e-06,2.562458e-06,2.558886e-06,2.556774e-06,2.554430e-06,2.550714e-06,2.549765e-06,2.544905e-06,2.544309e-06,2.539862e-06,2.537589e-06,2.534650e-06,2.530582e-06,2.529279e-06,2.523761e-06,2.523314e-06,2.518106e-06,2.515809e-06,2.512325e-06,2.508090e-06,2.506427e-06,2.500420e-06,2.500178e-06,2.494314e-06,2.492094e-06,2.488117e-06,2.483855e-06,2.481837e-06,2.475481e-06,2.466986e-06,2.458387e-06,2.449698e-06,2.440931e-06,2.432100e-06,2.423217e-06,2.414291e-06,2.405334e-06,2.396355e-06,2.387363e-06,2.378365e-06,2.369370e-06,2.360385e-06,2.351417e-06,2.342471e-06,2.333553e-06,2.324669e-06,2.315824e-06,2.307022e-06,2.298267e-06,2.289564e-06,2.280916e-06,2.272326e-06,2.263798e-06
0.000000e+00,6.238446e-14,5.265668e-13,1.215444e-11,9.435029e-11,2.384509e-10,1.710510e-09,1.834703e-09,8.481685e-09,1.223101e-08,2.849825e-08,5.288841e-08,7.705252e-08,1.673990e-07,1.781628e-07,3.663124e-07,4.292719e-07,6.873256e-07,9.458277e-07,1.197733e-06,1.854542e-06,1.961858e-06,3.046708e-06,3.307885e-06,4.515791e-06,5.450062e-06,6.423320e-06,8.394694e-06,8.809978e-06,1.170066e-05,1.221074e-05,1.510406e-05,1.691844e-05,1.901371e-05,2.249306e-05,2.340987e-05,2.826180e-05,2.887286e-05,3.353005e-05,3.596830e-05,3.916862e-05,4.367059e-05,4.512691e-05,5.135136e-05,5.185917e-05,5.778685e-05,6.040771e-05,6.437798e-05,6.918921e-05,7.107007e-05,7.781016e-05,7.808004e-05,8.454773e-05,8.696340e-05,9.123541e-05,9.573209e-05,9.782953e-05,1.042905e-04,1.105833e-04,1.125563e-04,1.166772e-04,1.204609e-04,1.225465e-04,1.279498e-04,1.281697e-04,1.335302e-04,1.349822e-04,1.386152e-04,1.415302e-04,1.434160e-04,1.475774e-04,1.479276e-04,1.521482e-04,1.531179e-04,1.560788e-04,1.581545e-04,1.597229e-04,1.626971e-04,1.630860e-04,1.661756e-04,1.667615e-04,1.690005e-04,1.703680e-04,1.715704e-04,1.735399e-04,1.738960e-04,1.759888e-04,1.763028e-04,1.778602e-04,1.786833e-04,1.795220e-04,1.807086e-04,1.809862e-04,1.822643e-04,1.824057e-04,1.833679e-04,1.838011e-04,1.843082e-04,1.849202e-04,1.850960e-04,1.857416e-04,1.857874e-04,1.862551e-04,1.864256e-04,1.866458e-04,1.868563e-04,1.869229e-04,1.870947e-04,1.870995e-04,1.871694e-04,1.871739e-04,1.871543e-04,1.870965e-04,1.870567e-04,1.868832e-04,1.866399e-04,1.865483e-04,1.863326e-04,1.861049e-04,1.859668e-04,1.855652e-04,1.855474e-04,1.850792e-04,1.849399e-04,1.845664e-04,1.842391e-04,1.840133e-04,1.834718e-04,1.834233e-04,1.828002e-04,1.826461e-04,1.821471e-04,1.817694e-04,1.814670e-04,1.808484e-04,1.807627e-04,1.800367e-04,1.798892e-04,1.792916e-04,1.788972e-04,1.785293e-04,1.778774e-04,1.777521e-04,1.769618e-04,1.768343e-04,1.761602e-04,1.757719e-04,1.753488e-04,1.746938e-04,1.745293e-04,1.737029e-04,1.736033e-04,1.728709e-04,1.725034e-04,1.720346e-04,1.713968e-04,1.711950e-04,1.703532e-04,1.702858e-04,1.695100e-04,1.691726e-04,1.686664e-04,1.680591e-04,1.678231e-04,1.669808e-04,1.669472e-04,1.661403e-04,1.658383e-04,1.653022e-04,1.647339e-04,1.644670e-04,1.636352e-04,1.625434e-04,1.614595e-04,1.603843e-04,1.593186e-04,1.582631e-04,1.572185e-04,1.561853e-04,1.551639e-04,1.541547e-04,1.531582e-04,1.521745e-04,1.512039e-04,1.502468e-04,1.493031e-04,1.483731e-04,1.474568e-04,1.465543e-04,1.456657e-04,1.447910e-04,1.439301e-04,1.430831e-04,1.422499e-04,1.414304e-04,1.406246e-04
0.000000e+00,2.836732e-13,2.303627e-12,4.909122e-11,3.545128e-10,8.613747e-10,5.589010e-09,5.970674e-09,2.505245e-08,3.520770e-08,7.698597e-08,1.359210e-07,1.918345e-07,3.891689e-07,4.118512e-07,7.917732e-07,9.139017e-07,1.397825e-06,1.863357e-06,2.303663e-06,3.406616e-06,3.581809e-06,5.291943e-06,5.689494e-06,7.470305e-06,8.791690e-06,1.012418e-05,1.270625e-05,1.323255e-05,1.675166e-05,1.734904e-05,2.062245e-05,2.258582e-05,2.477799e-05,2.826113e-05,2.914944e-05,3.367022e-05,3.421975e-05,3.827846e-05,4.031919e-05,4.291837e-05,4.643527e-05,4.754059e-05,5.210227e-05,5.246346e-05,5.656686e-05,5.831846e-05,6.090374e-05,6.393296e-05,6.508788e-05,6.909941e-05,6.925605e-05,7.292319e-05,7.425158e-05,7.654838e-05,7.889636e-05,7.996797e-05,8.317828e-05,8.617854e-05,8.709447e-05,8.897040e-05,9.064943e-05,9.155749e-05,9.385333e-05,9.394508e-05,9.613971e-05,9.672063e-05,9.814888e-05,9.926872e-05,9.998072e-05,1.015167e-04,1.016438e-04,1.031469e-04,1.034848e-04,1.044989e-04,1.051933e-04,1.057086e-04,1.066625e-04,1.067848e-04,1.077359e-04,1.079118e-04,1.085700e-04,1.089601e-04,1.092949e-04,1.098249e-04,1.099181e-04,1.104466e-04,1.105229e-04,1.108873e-04,1.110695e-04,1.112465e-04,1.114791e-04,1.115301e-04,1.117437e-04,1.117649e-04,1.118926e-04,1.119390e-04,1.119818e-04,1.120125e-04,1.120159e-04,1.119990e-04,1.119956e-04,1.119354e-04,1.118977e-04,1.118287e-04,1.117272e-04,1.116824e-04,1.114998e-04,1.114918e-04,1.112840e-04,1.111986e-04,1.110376e-04,1.108541e-04,1.107634e-04,1.104639e-04,1.101412e-04,1.100334e-04,1.097975e-04,1.095674e-04,1.094347e-04,1.090702e-04,1.090547e-04,1.086592e-04,1.085459e-04,1.082497e-04,1.079980e-04,1.078278e-04,1.074298e-04,1.073947e-04,1.069518e-04,1.068441e-04,1.065001e-04,1.062438e-04,1.060409e-04,1.056313e-04,1.055750e-04,1.051035e-04,1.050086e-04,1.046272e-04,1.043779e-04,1.041469e-04,1.037409e-04,1.036633e-04,1.031772e-04,1.030992e-04,1.026892e-04,1.024544e-04,1.021998e-04,1.018077e-04,1.017096e-04,1.012192e-04,1.011603e-04,1.007289e-04,1.005134e-04,1.002393e-04,9.986785e-05,9.975069e-05,9.926347e-05,9.922457e-05,9.877798e-05,9.858434e-05,9.829453e-05,9.794786e-05,9.781339e-05,9.733485e-05,9.731576e-05,9.685913e-05,9.668860e-05,9.638645e-05,9.606688e-05,9.591703e-05,9.545103e-05,9.484145e-05,9.423848e-05,9.364243e-05,9.305354e-05,9.247205e-05,9.189815e-05,9.133201e-05,9.077376e-05,9.022351e-05,8.968135e-05,8.914736e-05,8.862157e-05,8.810404e-05,8.759476e-05,8.709376e-05,8.660102e-05,8.611651e-05,8.564022e-05,8.517210e-05,8.471210e-05,8.426017e-05,8.381625e-05,8.338027e-05,8.295214e-05
0.000000e+00,1.566389e-11,3.644347e-11,1.274528e-10,2.922567e-10,4.276453e-10,9.755350e-10,1.005073e-09,1.949897e-09,2.293073e-09,3.356418e-09,4.460039e-09,5.313577e-09,7.646330e-09,7.873546e-09,1.103500e-08,1.188034e-08,1.477086e-08,1.710309e-08,1.905251e-08,2.324990e-08,2.385225e-08,2.913947e-08,3.025234e-08,3.487801e-08,3.802658e-08,4.102547e-08,4.647028e-08,4.753372e-08,5.435022e-08,5.546579e-08,6.141961e-08,6.488617e-08,6.868546e-08,7.460199e-08,7.609189e-08,8.358498e-08,8.448753e-08,9.111394e-08,9.442583e-08,9.863196e-08,1.043122e-07,1.060968e-07,1.134711e-07,1.140561e-07,1.207223e-07,1.235820e-07,1.278230e-07,1.328292e-07,1.347502e-07,1.414852e-07,1.417503e-07,1.480133e-07,1.503105e-07,1.543234e-07,1.584854e-07,1.604073e-07,1.662597e-07,1.718774e-07,1.736252e-07,1.772593e-07,1.805802e-07,1.824060e-07,1.871274e-07,1.873195e-07,1.920027e-07,1.932732e-07,1.964596e-07,1.990270e-07,2.006948e-07,2.044000e-07,2.047137e-07,2.085218e-07,2.094051e-07,2.121252e-07,2.140560e-07,2.155301e-07,2.183671e-07,2.187427e-07,2.217696e-07,2.223533e-07,2.246172e-07,2.260292e-07,2.272918e-07,2.294096e-07,2.298000e-07,2.321479e-07,2.325091e-07,2.343418e-07,2.353419e-07,2.363877e-07,2.379218e-07,2.382915e-07,2.400591e-07,2.402623e-07,2.416961e-07,2.423764e-07,2.432080e-07,2.442766e-07,2.446001e-07,2.458775e-07,2.459749e-07,2.470453e-07,2.474827e-07,2.481082e-07,2.488112e-07,2.490710e-07,2.499381e-07,2.499709e-07,2.507140e-07,2.509718e-07,2.514028e-07,2.518234e-07,2.520085e-07,2.525350e-07,2.529862e-07,2.531152e-07,2.533655e-07,2.535722e-07,2.536765e-07,2.539139e-07,2.539225e-07,2.541067e-07,2.541477e-07,2.542322e-07,2.542806e-07,2.543020e-07,2.543193e-07,2.543188e-07,2.542854e-07,2.542702e-07,2.542045e-07,2.541393e-07,2.540784e-07,2.539322e-07,2.539097e-07,2.537007e-07,2.536542e-07,2.534534e-07,2.533105e-07,2.531701e-07,2.529058e-07,2.528528e-07,2.525034e-07,2.524446e-07,2.521237e-07,2.519313e-07,2.517156e-07,2.513698e-07,2.512807e-07,2.508207e-07,2.507639e-07,2.503372e-07,2.501173e-07,2.498315e-07,2.494333e-07,2.493052e-07,2.487595e-07,2.487151e-07,2.481958e-07,2.479656e-07,2.476154e-07,2.471877e-07,2.470193e-07,2.464088e-07,2.463841e-07,2.457849e-07,2.455573e-07,2.451487e-07,2.447095e-07,2.445011e-07,2.438430e-07,2.429599e-07,2.420621e-07,2.411514e-07,2.402296e-07,2.392981e-07,2.383587e-07,2.374126e-07,2.364611e-07,2.355055e-07,2.345470e-07,2.335866e-07,2.326252e-07,2.316639e-07,2.307036e-07,2.297449e-07,2.287887e-07,2.278356e-07,2.268863e-07,2.259415e-07,2.250015e-07,2.240671e-07,2.231385e-07,2.222164e-07,2.213010e-07
0.000000e+00,2.297986e-11,5.295766e-11,1.871763e-10,4.472447e-10,6.781284e-10,1.766241e-09,1.831588e-09,4.235717e-09,5.236761e-09,8.619675e-09,1.234377e-08,1.522923e-08,2.274878e-08,2.344444e-08,3.245757e-08,3.467648e-08,4.175944e-08,4.699224e-08,5.109226e-08,5.922500e-08,6.032481e-08,6.938102e-08,7.116623e-08,7.820797e-08,8.269308e-08,8.676336e-08,9.371304e-08,9.501056e-08,1.029189e-07,1.041509e-07,1.104628e-07,1.139486e-07,1.176229e-07,1.230651e-07,1.243853e-07,1.307427e-07,1.314782e-07,1.366926e-07,1.391819e-07,1.422375e-07,1.461845e-07,1.473837e-07,1.521406e-07,1.525047e-07,1.565202e-07,1.581694e-07,1.605362e-07,1.632110e-07,1.642037e-07,1.675386e-07,1.676653e-07,1.705571e-07,1.715695e-07,1.732758e-07,1.749616e-07,1.757110e-07,1.778787e-07,1.797947e-07,1.803572e-07,1.814743e-07,1.824318e-07,1.829319e-07,1.841355e-07,1.841817e-07,1.852370e-07,1.854994e-07,1.861107e-07,1.865527e-07,1.868147e-07,1.873226e-07,1.873607e-07,1.877595e-07,1.878345e-07,1.880214e-07,1.881120e-07,1.881562e-07,1.881768e-07,1.881729e-07,1.880802e-07,1.880493e-07,1.878862e-07,1.877479e-07,1.875986e-07,1.872900e-07,1.872246e-07,1.867708e-07,1.866912e-07,1.862437e-07,1.859663e-07,1.856491e-07,1.851286e-07,1.849926e-07,1.842795e-07,1.841903e-07,1.835146e-07,1.831628e-07,1.827025e-07,1.820564e-07,1.818476e-07,1.809537e-07,1.808806e-07,1.800247e-07,1.796441e-07,1.790641e-07,1.783547e-07,1.780751e-07,1.770608e-07,1.770197e-07,1.760240e-07,1.756458e-07,1.749675e-07,1.742390e-07,1.738936e-07,1.728048e-07,1.717030e-07,1.713481e-07,1.705905e-07,1.698736e-07,1.694689e-07,1.683853e-07,1.683401e-07,1.672056e-07,1.668871e-07,1.660669e-07,1.653823e-07,1.649255e-07,1.638741e-07,1.637826e-07,1.626394e-07,1.623651e-07,1.614970e-07,1.608579e-07,1.603564e-07,1.593548e-07,1.592185e-07,1.580842e-07,1.578578e-07,1.569543e-07,1.563688e-07,1.558296e-07,1.548892e-07,1.547106e-07,1.535981e-07,1.534207e-07,1.524925e-07,1.519644e-07,1.513944e-07,1.505216e-07,1.503042e-07,1.492225e-07,1.490932e-07,1.481494e-07,1.476802e-07,1.470855e-07,1.462832e-07,1.460310e-07,1.449862e-07,1.449030e-07,1.439513e-07,1.435402e-07,1.429266e-07,1.421952e-07,1.419122e-07,1.409083e-07,1.408684e-07,1.399151e-07,1.395602e-07,1.389327e-07,1.382709e-07,1.379612e-07,1.370006e-07,1.357496e-07,1.345179e-07,1.333056e-07,1.321128e-07,1.309395e-07,1.297855e-07,1.286509e-07,1.275355e-07,1.264392e-07,1.253619e-07,1.243035e-07,1.232637e-07,1.222424e-07,1.212393e-07,1.202543e-07,1.192872e-07,1.183376e-07,1.174054e-07,1.164903e-07,1.155921e-07,1.147105e-07,1.138453e-07,1.129961e-07,1.121628e-07
0.000000e+00,7.868080e-12,1.809081e-11,6.251925e-11,1.427305e-10,2.086618e-10,4.766967e-10,4.912127e-10,9.593151e-10,1.131130e-09,1.669244e-09,2.236212e-09,2.679977e-09,3.911276e-09,4.032299e-09,5.726001e-09,6.180065e-09,7.729827e-09,8.973700e-09,1.000754e-08,1.221417e-08,1.252869e-08,1.526766e-08,1.583950e-08,1.820071e-08,1.979469e-08,2.130394e-08,2.402404e-08,2.455253e-08,2.792068e-08,2.846892e-08,3.138200e-08,3.306876e-08,3.491007e-08,3.776321e-08,3.847908e-08,4.206442e-08,4.249465e-08,4.564309e-08,4.721010e-08,4.919408e-08,5.186268e-08,5.269861e-08,5.614024e-08,5.641241e-08,5.950487e-08,6.082645e-08,6.278070e-08,6.507881e-08,6.595807e-08,6.902933e-08,6.914988e-08,7.198862e-08,7.302570e-08,7.483172e-08,7.669717e-08,7.755580e-08,8.015926e-08,8.264156e-08,8.341033e-08,8.500301e-08,8.645139e-08,8.724469e-08,8.928557e-08,8.936827e-08,9.137590e-08,9.191760e-08,9.327015e-08,9.435345e-08,9.505387e-08,9.659993e-08,9.673016e-08,9.830226e-08,9.866444e-08,9.977356e-08,1.005547e-07,1.011475e-07,1.022788e-07,1.024276e-07,1.036173e-07,1.038448e-07,1.047202e-07,1.052605e-07,1.057397e-07,1.065341e-07,1.066792e-07,1.075420e-07,1.076731e-07,1.083315e-07,1.086853e-07,1.090508e-07,1.095778e-07,1.097031e-07,1.102914e-07,1.103579e-07,1.108187e-07,1.110322e-07,1.112879e-07,1.116072e-07,1.117016e-07,1.120627e-07,1.120894e-07,1.123736e-07,1.124845e-07,1.126369e-07,1.127983e-07,1.128550e-07,1.130301e-07,1.130363e-07,1.131646e-07,1.132035e-07,1.132606e-07,1.133049e-07,1.133201e-07,1.133451e-07,1.133375e-07,1.133285e-07,1.132991e-07,1.132592e-07,1.132318e-07,1.131413e-07,1.131370e-07,1.130166e-07,1.129784e-07,1.128719e-07,1.127741e-07,1.127045e-07,1.125316e-07,1.125157e-07,1.123070e-07,1.122541e-07,1.120796e-07,1.119445e-07,1.118347e-07,1.116056e-07,1.115735e-07,1.112971e-07,1.112401e-07,1.110066e-07,1.108503e-07,1.107029e-07,1.104385e-07,1.103872e-07,1.100602e-07,1.100069e-07,1.097229e-07,1.095576e-07,1.093761e-07,1.090924e-07,1.090207e-07,1.086572e-07,1.086131e-07,1.082866e-07,1.081214e-07,1.079094e-07,1.076188e-07,1.075263e-07,1.071380e-07,1.071067e-07,1.067450e-07,1.065866e-07,1.063479e-07,1.060597e-07,1.059471e-07,1.055433e-07,1.055271e-07,1.051368e-07,1.049899e-07,1.047282e-07,1.044492e-07,1.043177e-07,1.039060e-07,1.033610e-07,1.028151e-07,1.022691e-07,1.017235e-07,1.011792e-07,1.006367e-07,1.000964e-07,9.955894e-08,9.902475e-08,9.849424e-08,9.796778e-08,9.744572e-08,9.692838e-08,9.641603e-08,9.590893e-08,9.540731e-08,9.491137e-08,9.442128e-08,9.393721e-08,9.345930e-08,9.298766e-08,9.252239e-08,9.206359e-08,9.161132e-08
0.000000e+00,4.860366e-12,1.113668e-11,3.832692e-11,8.734602e-11,1.276547e-10,2.919947e-10,3.009195e-10,5.900421e-10,6.967631e-10,1.032916e-09,1.390311e-09,1.672658e-09,2.470516e-09,2.550169e-09,3.685943e-09,3.995704e-09,5.060507e-09,5.915140e-09,6.620266e-09,8.098751e-09,8.306005e-09,1.007099e-08,1.043039e-08,1.188202e-08,1.283368e-08,1.371492e-08,1.525762e-08,1.555092e-08,1.737454e-08,1.766427e-08,1.917272e-08,2.002349e-08,2.093439e-08,2.231115e-08,2.265029e-08,2.431287e-08,2.450850e-08,2.591622e-08,2.660171e-08,2.745584e-08,2.858135e-08,2.892859e-08,3.033245e-08,3.044175e-08,3.166641e-08,3.218034e-08,3.293023e-08,3.379700e-08,3.412439e-08,3.524986e-08,3.529346e-08,3.630805e-08,3.667285e-08,3.730068e-08,3.793922e-08,3.822972e-08,3.909729e-08,3.990564e-08,4.015217e-08,4.065705e-08,4.110915e-08,4.135387e-08,4.197363e-08,4.199844e-08,4.259309e-08,4.275095e-08,4.314010e-08,4.344638e-08,4.364173e-08,4.406503e-08,4.410016e-08,4.451753e-08,4.461182e-08,4.489589e-08,4.509148e-08,4.523724e-08,4.550855e-08,4.554351e-08,4.581654e-08,4.586732e-08,4.605812e-08,4.617187e-08,4.626993e-08,4.642605e-08,4.645362e-08,4.661073e-08,4.663350e-08,4.674276e-08,4.679764e-08,4.685113e-08,4.692172e-08,4.693722e-08,4.700231e-08,4.700877e-08,4.704765e-08,4.706164e-08,4.707441e-08,4.708301e-08,4.708371e-08,4.707664e-08,4.707540e-08,4.705420e-08,4.704114e-08,4.701737e-08,4.698245e-08,4.696706e-08,4.690415e-08,4.690138e-08,4.682947e-08,4.679986e-08,4.674381e-08,4.667967e-08,4.664791e-08,4.654249e-08,4.642822e-08,4.638989e-08,4.630574e-08,4.622332e-08,4.617565e-08,4.604414e-08,4.603852e-08,4.589491e-08,4.585360e-08,4.574532e-08,4.565289e-08,4.559023e-08,4.544310e-08,4.543012e-08,4.526541e-08,4.522524e-08,4.509651e-08,4.500025e-08,4.492382e-08,4.476901e-08,4.474770e-08,4.456850e-08,4.453232e-08,4.438654e-08,4.429094e-08,4.420213e-08,4.404556e-08,4.401557e-08,4.382713e-08,4.379682e-08,4.363706e-08,4.354532e-08,4.344561e-08,4.329161e-08,4.325301e-08,4.305948e-08,4.303620e-08,4.286521e-08,4.277955e-08,4.267040e-08,4.252209e-08,4.247522e-08,4.227985e-08,4.226421e-08,4.208443e-08,4.200629e-08,4.188913e-08,4.174865e-08,4.169407e-08,4.149938e-08,4.149160e-08,4.130518e-08,4.123542e-08,4.111160e-08,4.098036e-08,4.091872e-08,4.072665e-08,4.047451e-08,4.022413e-08,3.997569e-08,3.972933e-08,3.948520e-08,3.924343e-08,3.900413e-08,3.876740e-08,3.853333e-08,3.830199e-08,3.807346e-08,3.784779e-08,3.762504e-08,3.740524e-08,3.718843e-08,3.697464e-08,3.676389e-08,3.655619e-08,3.635156e-08,3.615000e-08,3.595152e-08,3.575611e-08,3.556376e-08,3.537446e-08
0.000000e+00,4.947585e-12,1.133406e-11,3.892435e-11,8.838335e-11,1.288125e-10,2.917184e-10,3.004858e-10,5.808417e-10,6.827700e-10,9.994748e-10,1.330336e-09,1.588329e-09,2.305087e-09,2.375837e-09,3.373789e-09,3.643530e-09,4.567931e-09,5.310638e-09,5.926224e-09,7.229882e-09,7.414273e-09,9.002698e-09,9.330228e-09,1.066732e-08,1.155607e-08,1.238747e-08,1.386177e-08,1.414470e-08,1.592209e-08,1.620729e-08,1.770406e-08,1.855681e-08,1.947641e-08,2.087875e-08,2.122641e-08,2.294292e-08,2.314618e-08,2.461645e-08,2.533712e-08,2.623918e-08,2.743457e-08,2.780485e-08,2.930868e-08,2.942621e-08,3.074726e-08,3.130387e-08,3.211831e-08,3.306294e-08,3.342063e-08,3.465393e-08,3.470183e-08,3.581867e-08,3.622136e-08,3.691577e-08,3.762384e-08,3.794660e-08,3.891297e-08,3.981694e-08,4.009339e-08,4.066074e-08,4.117029e-08,4.144675e-08,4.214923e-08,4.217743e-08,4.285523e-08,4.303588e-08,4.348263e-08,4.383589e-08,4.406206e-08,4.455484e-08,4.459593e-08,4.508659e-08,4.519817e-08,4.553630e-08,4.577107e-08,4.594725e-08,4.627850e-08,4.632155e-08,4.666123e-08,4.672518e-08,4.696822e-08,4.711556e-08,4.724437e-08,4.745380e-08,4.749145e-08,4.771112e-08,4.774383e-08,4.790499e-08,4.798933e-08,4.807457e-08,4.819371e-08,4.822130e-08,4.834654e-08,4.836019e-08,4.845158e-08,4.849172e-08,4.853766e-08,4.859110e-08,4.860591e-08,4.865746e-08,4.866089e-08,4.869332e-08,4.870349e-08,4.871448e-08,4.872114e-08,4.872187e-08,4.871636e-08,4.871589e-08,4.869879e-08,4.868966e-08,4.866993e-08,4.864423e-08,4.863052e-08,4.858126e-08,4.852281e-08,4.850227e-08,4.845580e-08,4.840868e-08,4.838080e-08,4.830181e-08,4.829838e-08,4.820905e-08,4.818287e-08,4.811332e-08,4.805299e-08,4.801164e-08,4.791322e-08,4.790446e-08,4.779219e-08,4.776453e-08,4.767522e-08,4.760781e-08,4.755393e-08,4.744389e-08,4.742866e-08,4.729974e-08,4.727354e-08,4.716747e-08,4.709747e-08,4.703216e-08,4.691634e-08,4.689407e-08,4.675348e-08,4.673076e-08,4.661061e-08,4.654129e-08,4.646570e-08,4.634845e-08,4.631897e-08,4.617063e-08,4.615273e-08,4.602086e-08,4.595456e-08,4.586985e-08,4.575436e-08,4.571777e-08,4.556478e-08,4.555251e-08,4.541103e-08,4.534935e-08,4.525667e-08,4.514522e-08,4.510182e-08,4.494662e-08,4.494040e-08,4.479118e-08,4.473518e-08,4.463561e-08,4.452981e-08,4.448002e-08,4.432451e-08,4.411951e-08,4.391499e-08,4.371115e-08,4.350814e-08,4.330612e-08,4.310522e-08,4.290557e-08,4.270729e-08,4.251048e-08,4.231524e-08,4.212164e-08,4.192978e-08,4.173971e-08,4.155151e-08,4.136523e-08,4.118091e-08,4.099861e-08,4.081835e-08,4.064018e-08,4.046411e-08,4.029019e-08,4.011842e-08,3.994882e-08,3.978141e-08
0.000000e+00,3.916361e-11,1.047085e-10,4.198856e-10,1.018219e-09,1.516917e-09,3.543111e-09,3.652102e-09,7.108969e-09,8.349508e-09,1.214735e-08,1.603241e-08,1.901340e-08,2.714233e-08,2.793669e-08,3.909834e-08,4.212080e-08,5.256124e-08,6.106913e-08,6.820746e-08,8.356578e-08,8.576199e-08,1.048872e-07,1.088715e-07,1.252569e-07,1.362426e-07,1.465791e-07,1.650343e-07,1.685929e-07,1.910593e-07,1.946808e-07,2.137552e-07,2.246688e-07,2.364715e-07,2.545280e-07,2.590137e-07,2.812037e-07,2.838350e-07,3.028819e-07,3.122216e-07,3.239094e-07,3.393821e-07,3.441689e-07,3.635652e-07,3.650773e-07,3.820253e-07,3.891346e-07,3.994959e-07,4.114427e-07,4.159439e-07,4.313535e-07,4.319482e-07,4.457229e-07,4.506430e-07,4.590631e-07,4.675574e-07,4.713961e-07,4.827525e-07,4.931688e-07,4.963102e-07,5.026868e-07,5.083276e-07,5.113515e-07,5.189104e-07,5.192098e-07,5.263094e-07,5.281679e-07,5.326984e-07,5.362103e-07,5.384238e-07,5.431447e-07,5.435316e-07,5.480660e-07,5.490736e-07,5.520690e-07,5.540936e-07,5.555807e-07,5.582945e-07,5.586387e-07,5.612783e-07,5.617590e-07,5.635325e-07,5.645627e-07,5.654320e-07,5.667744e-07,5.670053e-07,5.682786e-07,5.684562e-07,5.692765e-07,5.696642e-07,5.700212e-07,5.704486e-07,5.705334e-07,5.708323e-07,5.708546e-07,5.709352e-07,5.709226e-07,5.708582e-07,5.706885e-07,5.706161e-07,5.702224e-07,5.701847e-07,5.696896e-07,5.694401e-07,5.690291e-07,5.684805e-07,5.682515e-07,5.673664e-07,5.673289e-07,5.663828e-07,5.660061e-07,5.653087e-07,5.645307e-07,5.641519e-07,5.629193e-07,5.616172e-07,5.611869e-07,5.602517e-07,5.593470e-07,5.588282e-07,5.574119e-07,5.573519e-07,5.558274e-07,5.553925e-07,5.542591e-07,5.532988e-07,5.526510e-07,5.511397e-07,5.510070e-07,5.493304e-07,5.489236e-07,5.476246e-07,5.466578e-07,5.458927e-07,5.443491e-07,5.441373e-07,5.423611e-07,5.420036e-07,5.405666e-07,5.396270e-07,5.387561e-07,5.372244e-07,5.369316e-07,5.350953e-07,5.348005e-07,5.332489e-07,5.323596e-07,5.313942e-07,5.299056e-07,5.295328e-07,5.276663e-07,5.274421e-07,5.257961e-07,5.249724e-07,5.239236e-07,5.224996e-07,5.220499e-07,5.201762e-07,5.200263e-07,5.183037e-07,5.175552e-07,5.164333e-07,5.150885e-07,5.145661e-07,5.127029e-07,5.126284e-07,5.108445e-07,5.101769e-07,5.089918e-07,5.077356e-07,5.071455e-07,5.053063e-07,5.028904e-07,5.004893e-07,4.981043e-07,4.957365e-07,4.933869e-07,4.910565e-07,4.887461e-07,4.864564e-07,4.841882e-07,4.819420e-07,4.797185e-07,4.775180e-07,4.753412e-07,4.731882e-07,4.710595e-07,4.689552e-07,4.668758e-07,4.648213e-07,4.627919e-07,4.607878e-07,4.588090e-07,4.568556e-07,4.549277e-07,4.530252e-07
0.000000e+00,1.751989e-11,4.066280e-11,1.421790e-10,3.275001e-10,4.813820e-10,1.119449e-09,1.154533e-09,2.311178e-09,2.746638e-09,4.140817e-09,5.648128e-09,6.846947e-09,1.021814e-08,1.055096e-08,1.519256e-08,1.642554e-08,2.057980e-08,2.384718e-08,2.651620e-08,3.207569e-08,3.285351e-08,3.948479e-08,4.083879e-08,4.632764e-08,4.994631e-08,5.331317e-08,5.924666e-08,6.038065e-08,6.747558e-08,6.860998e-08,7.454918e-08,7.792409e-08,8.155847e-08,8.709449e-08,8.846638e-08,9.524171e-08,9.604456e-08,1.018589e-07,1.047149e-07,1.082975e-07,1.130616e-07,1.145419e-07,1.205806e-07,1.210546e-07,1.264056e-07,1.286746e-07,1.320120e-07,1.359117e-07,1.373972e-07,1.425608e-07,1.427628e-07,1.475041e-07,1.492302e-07,1.522295e-07,1.553200e-07,1.567404e-07,1.610414e-07,1.651371e-07,1.664052e-07,1.690330e-07,1.714240e-07,1.727346e-07,1.761109e-07,1.762479e-07,1.795788e-07,1.804796e-07,1.827334e-07,1.845440e-07,1.857176e-07,1.883179e-07,1.885376e-07,1.911992e-07,1.918151e-07,1.937084e-07,1.950491e-07,1.960709e-07,1.980332e-07,1.982925e-07,2.003786e-07,2.007800e-07,2.023346e-07,2.033020e-07,2.041657e-07,2.056112e-07,2.058772e-07,2.074739e-07,2.077190e-07,2.089606e-07,2.096365e-07,2.103420e-07,2.113743e-07,2.116226e-07,2.128066e-07,2.129425e-07,2.138984e-07,2.143507e-07,2.149020e-07,2.156081e-07,2.158213e-07,2.166600e-07,2.167237e-07,2.174217e-07,2.177057e-07,2.181100e-07,2.185621e-07,2.187283e-07,2.192797e-07,2.193005e-07,2.197675e-07,2.199280e-07,2.201945e-07,2.204516e-07,2.205636e-07,2.208777e-07,2.211393e-07,2.212124e-07,2.213511e-07,2.214616e-07,2.215155e-07,2.216308e-07,2.216347e-07,2.217112e-07,2.217252e-07,2.217469e-07,2.217498e-07,2.217441e-07,2.217092e-07,2.217047e-07,2.216306e-07,2.216079e-07,2.215236e-07,2.214500e-07,2.213855e-07,2.212396e-07,2.212180e-07,2.210226e-07,2.209803e-07,2.208008e-07,2.206757e-07,2.205543e-07,2.203291e-07,2.202843e-07,2.199923e-07,2.199436e-07,2.196795e-07,2.195223e-07,2.193471e-07,2.190679e-07,2.189963e-07,2.186283e-07,2.185830e-07,2.182441e-07,2.180702e-07,2.178448e-07,2.175318e-07,2.174313e-07,2.170046e-07,2.169700e-07,2.165657e-07,2.163868e-07,2.161152e-07,2.157843e-07,2.156542e-07,2.151832e-07,2.151642e-07,2.147032e-07,2.145283e-07,2.142149e-07,2.138783e-07,2.137188e-07,2.132156e-07,2.125418e-07,2.118580e-07,2.111657e-07,2.104660e-07,2.097599e-07,2.090487e-07,2.083332e-07,2.076143e-07,2.068930e-07,2.061700e-07,2.054460e-07,2.047218e-07,2.039981e-07,2.032753e-07,2.025542e-07,2.018352e-07,2.011188e-07,2.004055e-07,1.996957e-07,1.989897e-07,1.982880e-07,1.975909e-07,1.968986e-07,1.962115e-07
0.000000e+00,9.882250e-11,4.079451e-10,2.706591e-09,8.431854e-09,1.386162e-08,3.927420e-08,4.075649e-08,9.244707e-08,1.129615e-07,1.813895e-07,2.591361e-07,3.232079e-07,5.111823e-07,5.302150e-07,8.012740e-07,8.745777e-07,1.124317e-06,1.323279e-06,1.487335e-06,1.833463e-06,1.882372e-06,2.304336e-06,2.391615e-06,2.749429e-06,2.988890e-06,3.214264e-06,3.617535e-06,3.695493e-06,4.189691e-06,4.269734e-06,4.693382e-06,4.937506e-06,5.203107e-06,5.612975e-06,5.715517e-06,6.227449e-06,6.288708e-06,6.735995e-06,6.957997e-06,7.238541e-06,7.615041e-06,7.732795e-06,8.216794e-06,8.255020e-06,8.688897e-06,8.874097e-06,9.147766e-06,9.469353e-06,9.592343e-06,1.002182e-05,1.003867e-05,1.043560e-05,1.058064e-05,1.083331e-05,1.109444e-05,1.121471e-05,1.157972e-05,1.192837e-05,1.203650e-05,1.226079e-05,1.246511e-05,1.257718e-05,1.286610e-05,1.287782e-05,1.316303e-05,1.324017e-05,1.343316e-05,1.358816e-05,1.368860e-05,1.391098e-05,1.392976e-05,1.415707e-05,1.420961e-05,1.437095e-05,1.448503e-05,1.457186e-05,1.473827e-05,1.476022e-05,1.493649e-05,1.497032e-05,1.510109e-05,1.518221e-05,1.525446e-05,1.537492e-05,1.539702e-05,1.552920e-05,1.554941e-05,1.565140e-05,1.570663e-05,1.576403e-05,1.584749e-05,1.586746e-05,1.596209e-05,1.597287e-05,1.604828e-05,1.608362e-05,1.612639e-05,1.618057e-05,1.619678e-05,1.625977e-05,1.626450e-05,1.631569e-05,1.633616e-05,1.636488e-05,1.639628e-05,1.640761e-05,1.644421e-05,1.644555e-05,1.647494e-05,1.648462e-05,1.650009e-05,1.651414e-05,1.651992e-05,1.653469e-05,1.654464e-05,1.654685e-05,1.655001e-05,1.655116e-05,1.655104e-05,1.654814e-05,1.654794e-05,1.654092e-05,1.653828e-05,1.653019e-05,1.652205e-05,1.651594e-05,1.649988e-05,1.649836e-05,1.647763e-05,1.647220e-05,1.645392e-05,1.643941e-05,1.642741e-05,1.640188e-05,1.639824e-05,1.636658e-05,1.635996e-05,1.633257e-05,1.631400e-05,1.629635e-05,1.626431e-05,1.625805e-05,1.621780e-05,1.621119e-05,1.617573e-05,1.615492e-05,1.613195e-05,1.609578e-05,1.608658e-05,1.603973e-05,1.603401e-05,1.599150e-05,1.596986e-05,1.594198e-05,1.590355e-05,1.589128e-05,1.583948e-05,1.583529e-05,1.578666e-05,1.576527e-05,1.573292e-05,1.569370e-05,1.567833e-05,1.562296e-05,1.562073e-05,1.556688e-05,1.554654e-05,1.551017e-05,1.547128e-05,1.545289e-05,1.539510e-05,1.531813e-05,1.524050e-05,1.516234e-05,1.508374e-05,1.500483e-05,1.492568e-05,1.484641e-05,1.476708e-05,1.468779e-05,1.460859e-05,1.452957e-05,1.445079e-05,1.437230e-05,1.429415e-05,1.421640e-05,1.413910e-05,1.406229e-05,1.398600e-05,1.391028e-05,1.383514e-05,1.376064e-05,1.368678e-05,1.361361e-05,1.354113e-05
0.000000e+00,1.480123e-12,1.073851e-11,1.825201e-10,1.083117e-09,2.373140e-09,1.197595e-08,1.267013e-08,4.251917e-08,5.649925e-08,1.083226e-07,1.736701e-07,2.312664e-07,4.170128e-07,4.372039e-07,7.537015e-07,8.487768e-07,1.202623e-06,1.515928e-06,1.793356e-06,2.428079e-06,2.522569e-06,3.379166e-06,3.564575e-06,4.349514e-06,4.894605e-06,5.420367e-06,6.388670e-06,6.579620e-06,7.815995e-06,8.020240e-06,9.118559e-06,9.764095e-06,1.047638e-05,1.159503e-05,1.187845e-05,1.331377e-05,1.348772e-05,1.477154e-05,1.541738e-05,1.624141e-05,1.736060e-05,1.771367e-05,1.917942e-05,1.929615e-05,2.063068e-05,2.120553e-05,2.206046e-05,2.307317e-05,2.346273e-05,2.483247e-05,2.488652e-05,2.616554e-05,2.663582e-05,2.745867e-05,2.831387e-05,2.870934e-05,2.991569e-05,3.107648e-05,3.143817e-05,3.219093e-05,3.287970e-05,3.325873e-05,3.423995e-05,3.427990e-05,3.525478e-05,3.551952e-05,3.618393e-05,3.671978e-05,3.706811e-05,3.784263e-05,3.790824e-05,3.870535e-05,3.889039e-05,3.946059e-05,3.986566e-05,4.017513e-05,4.077125e-05,4.085022e-05,4.148714e-05,4.161006e-05,4.208719e-05,4.238507e-05,4.265165e-05,4.309925e-05,4.318183e-05,4.367900e-05,4.375558e-05,4.414446e-05,4.435697e-05,4.457943e-05,4.490630e-05,4.498516e-05,4.536285e-05,4.540634e-05,4.571366e-05,4.585980e-05,4.603874e-05,4.626928e-05,4.633920e-05,4.661612e-05,4.663729e-05,4.687056e-05,4.696626e-05,4.710351e-05,4.725849e-05,4.731597e-05,4.750888e-05,4.751620e-05,4.768316e-05,4.774151e-05,4.783969e-05,4.793643e-05,4.797932e-05,4.810289e-05,4.821117e-05,4.824272e-05,4.830494e-05,4.835767e-05,4.838492e-05,4.844938e-05,4.845182e-05,4.850631e-05,4.851944e-05,4.854906e-05,4.856932e-05,4.858067e-05,4.860045e-05,4.860176e-05,4.861290e-05,4.861415e-05,4.861463e-05,4.861169e-05,4.860749e-05,4.859427e-05,4.859198e-05,4.856860e-05,4.856301e-05,4.853779e-05,4.851899e-05,4.850002e-05,4.846321e-05,4.845569e-05,4.840523e-05,4.839661e-05,4.834901e-05,4.832010e-05,4.828742e-05,4.823451e-05,4.822080e-05,4.814949e-05,4.814063e-05,4.807381e-05,4.803921e-05,4.799408e-05,4.793096e-05,4.791059e-05,4.782362e-05,4.781652e-05,4.773344e-05,4.769652e-05,4.764030e-05,4.757154e-05,4.754444e-05,4.744609e-05,4.744211e-05,4.734548e-05,4.730875e-05,4.724281e-05,4.717193e-05,4.713829e-05,4.703209e-05,4.688966e-05,4.674501e-05,4.659852e-05,4.645051e-05,4.630131e-05,4.615120e-05,4.600046e-05,4.584933e-05,4.569806e-05,4.554685e-05,4.539590e-05,4.524541e-05,4.509553e-05,4.494643e-05,4.479825e-05,4.465111e-05,4.450515e-05,4.436046e-05,4.421714e-05,4.407529e-05,4.393499e-05,4.379631e-05,4.365931e-05,4.352405e-05
0.000000e+00,5.887418e-12,1.366325e-11,4.758935e-11,1.087633e-10,1.588615e-10,3.606557e-10,3.715007e-10,7.170557e-10,8.420622e-10,1.228482e-09,1.629563e-09,1.941118e-09,2.806144e-09,2.891801e-09,4.113914e-09,4.450208e-09,5.626292e-09,6.598135e-09,7.420462e-09,9.203701e-09,9.459716e-09,1.169377e-08,1.215956e-08,1.407415e-08,1.535599e-08,1.656031e-08,1.870615e-08,1.911930e-08,2.172369e-08,2.214299e-08,2.434992e-08,2.561211e-08,2.697733e-08,2.906771e-08,2.958759e-08,3.216460e-08,3.247093e-08,3.469440e-08,3.578940e-08,3.716505e-08,3.899703e-08,3.956667e-08,4.189124e-08,4.207369e-08,4.413258e-08,4.500473e-08,4.628609e-08,4.778041e-08,4.834863e-08,5.031834e-08,5.039518e-08,5.219443e-08,5.284691e-08,5.397706e-08,5.513629e-08,5.566712e-08,5.726612e-08,5.877607e-08,5.924083e-08,6.019937e-08,6.106602e-08,6.153867e-08,6.274805e-08,6.279686e-08,6.397694e-08,6.429379e-08,6.508201e-08,6.571035e-08,6.611521e-08,6.700496e-08,6.707966e-08,6.797848e-08,6.818477e-08,6.881472e-08,6.925680e-08,6.959138e-08,7.022786e-08,7.031135e-08,7.097748e-08,7.110448e-08,7.159247e-08,7.189294e-08,7.215896e-08,7.259918e-08,7.267947e-08,7.315642e-08,7.322885e-08,7.359214e-08,7.378729e-08,7.398883e-08,7.427952e-08,7.434863e-08,7.467355e-08,7.471029e-08,7.496552e-08,7.508402e-08,7.522637e-08,7.540488e-08,7.545785e-08,7.566162e-08,7.567678e-08,7.583927e-08,7.590335e-08,7.599228e-08,7.608801e-08,7.612210e-08,7.623006e-08,7.623394e-08,7.631746e-08,7.634412e-08,7.638551e-08,7.642133e-08,7.643538e-08,7.646815e-08,7.648487e-08,7.648699e-08,7.648652e-08,7.648010e-08,7.647404e-08,7.644959e-08,7.644831e-08,7.641018e-08,7.639739e-08,7.636044e-08,7.632533e-08,7.629983e-08,7.623510e-08,7.622908e-08,7.614886e-08,7.612827e-08,7.605982e-08,7.600632e-08,7.596254e-08,7.587060e-08,7.585762e-08,7.574559e-08,7.572237e-08,7.562696e-08,7.556283e-08,7.550222e-08,7.539306e-08,7.537183e-08,7.523623e-08,7.521408e-08,7.509583e-08,7.502684e-08,7.495100e-08,7.483222e-08,7.480213e-08,7.464957e-08,7.463102e-08,7.449363e-08,7.442402e-08,7.433462e-08,7.421192e-08,7.417285e-08,7.400859e-08,7.399535e-08,7.384210e-08,7.377494e-08,7.367363e-08,7.355123e-08,7.350341e-08,7.333165e-08,7.332475e-08,7.315858e-08,7.309599e-08,7.298438e-08,7.286538e-08,7.280924e-08,7.263334e-08,7.240025e-08,7.216646e-08,7.193229e-08,7.169805e-08,7.146401e-08,7.123043e-08,7.099754e-08,7.076555e-08,7.053466e-08,7.030505e-08,7.007689e-08,6.985032e-08,6.962549e-08,6.940253e-08,6.918153e-08,6.896261e-08,6.874586e-08,6.853136e-08,6.831918e-08,6.810940e-08,6.790206e-08,6.769722e-08,6.749493e-08,6.729522e-08
0.000000e+00,2.579449e-10,9.630393e-10,5.654817e-09,1.675427e-08,2.722132e-08,7.766402e-08,8.069523e-08,1.919851e-07,2.386264e-07,4.000684e-07,5.867251e-07,7.381854e-07,1.158967e-06,1.199672e-06,1.752667e-06,1.896023e-06,2.372973e-06,2.744788e-06,3.048103e-06,3.682344e-06,3.771558e-06,4.538984e-06,4.697400e-06,5.346428e-06,5.780736e-06,6.189682e-06,6.922304e-06,7.064101e-06,7.964635e-06,8.110791e-06,8.885948e-06,9.333947e-06,9.822570e-06,1.057932e-05,1.076920e-05,1.172074e-05,1.183503e-05,1.267245e-05,1.309013e-05,1.362000e-05,1.433496e-05,1.455952e-05,1.548762e-05,1.556128e-05,1.640137e-05,1.676229e-05,1.729831e-05,1.793253e-05,1.817638e-05,1.903391e-05,1.906777e-05,1.986957e-05,2.016484e-05,2.068231e-05,2.122148e-05,2.147137e-05,2.223619e-05,2.297641e-05,2.320806e-05,2.369185e-05,2.413668e-05,2.438242e-05,2.502205e-05,2.504820e-05,2.568932e-05,2.586445e-05,2.630602e-05,2.666443e-05,2.689857e-05,2.742270e-05,2.746733e-05,2.801267e-05,2.814012e-05,2.853502e-05,2.881766e-05,2.903483e-05,2.945637e-05,2.951255e-05,2.996868e-05,3.005736e-05,3.040371e-05,3.062176e-05,3.081815e-05,3.115074e-05,3.121251e-05,3.158730e-05,3.164549e-05,3.194305e-05,3.210720e-05,3.228027e-05,3.253705e-05,3.259947e-05,3.290117e-05,3.293622e-05,3.318587e-05,3.330589e-05,3.345408e-05,3.364720e-05,3.370630e-05,3.394300e-05,3.396129e-05,3.416469e-05,3.424926e-05,3.437183e-05,3.451222e-05,3.456488e-05,3.474432e-05,3.475122e-05,3.491058e-05,3.496729e-05,3.506411e-05,3.516146e-05,3.520535e-05,3.533470e-05,3.545260e-05,3.548797e-05,3.555944e-05,3.562220e-05,3.565562e-05,3.573828e-05,3.574152e-05,3.581752e-05,3.583708e-05,3.588399e-05,3.591945e-05,3.594129e-05,3.598619e-05,3.598976e-05,3.602973e-05,3.603810e-05,3.606156e-05,3.607593e-05,3.608554e-05,3.610042e-05,3.610200e-05,3.611125e-05,3.611226e-05,3.611357e-05,3.611213e-05,3.610925e-05,3.610069e-05,3.609857e-05,3.608180e-05,3.607857e-05,3.605921e-05,3.604637e-05,3.603104e-05,3.600466e-05,3.599755e-05,3.595897e-05,3.595401e-05,3.591554e-05,3.589495e-05,3.586748e-05,3.582800e-05,3.581501e-05,3.575834e-05,3.575363e-05,3.569767e-05,3.567233e-05,3.563320e-05,3.558454e-05,3.556513e-05,3.549363e-05,3.549070e-05,3.541888e-05,3.539121e-05,3.534107e-05,3.528648e-05,3.526035e-05,3.517688e-05,3.506277e-05,3.494448e-05,3.482236e-05,3.469671e-05,3.456784e-05,3.443601e-05,3.430152e-05,3.416460e-05,3.402551e-05,3.388448e-05,3.374173e-05,3.359748e-05,3.345191e-05,3.330522e-05,3.315758e-05,3.300918e-05,3.286016e-05,3.271068e-05,3.256089e-05,3.241092e-05,3.226088e-05,3.211092e-05,3.196114e-05,3.181165e-05
0.000000e+00,2.121757e-14,1.895204e-13,4.925588e-12,4.266207e-11,1.145660e-10,9.629007e-10,1.039536e-09,5.634761e-09,8.486614e-09,2.206145e-08,4.473581e-08,6.904609e-08,1.705664e-07,1.835216e-07,4.307713e-07,5.206129e-07,9.170476e-07,1.351420e-06,1.804438e-06,3.101290e-06,3.327405e-06,5.809923e-06,6.457357e-06,9.681632e-06,1.242105e-05,1.549123e-05,2.236017e-05,2.391550e-05,3.576280e-05,3.803690e-05,5.197049e-05,6.160534e-05,7.359635e-05,9.557725e-05,1.018044e-04,1.378459e-04,1.427593e-04,1.830363e-04,2.061666e-04,2.387297e-04,2.889216e-04,3.062915e-04,3.870706e-04,3.941434e-04,4.823712e-04,5.248367e-04,5.934268e-04,6.837857e-04,7.213756e-04,8.672378e-04,8.734579e-04,1.031897e-03,1.095922e-03,1.216085e-03,1.352782e-03,1.420365e-03,1.645131e-03,1.890593e-03,1.973521e-03,2.156781e-03,2.337957e-03,2.443546e-03,2.737898e-03,2.750561e-03,3.077332e-03,3.172282e-03,3.423201e-03,3.639563e-03,3.787367e-03,4.137752e-03,4.168888e-03,4.566704e-03,4.664477e-03,4.979646e-03,5.217035e-03,5.406455e-03,5.792460e-03,5.845797e-03,6.296278e-03,6.387585e-03,6.756461e-03,6.999104e-03,7.224879e-03,7.623631e-03,7.700051e-03,8.180497e-03,8.257760e-03,8.664747e-03,8.898113e-03,9.151355e-03,9.541388e-03,9.638908e-03,1.012604e-02,1.018440e-02,1.061142e-02,1.082411e-02,1.109380e-02,1.145766e-02,1.157198e-02,1.204483e-02,1.208240e-02,1.251130e-02,1.269587e-02,1.297040e-02,1.329587e-02,1.342122e-02,1.386295e-02,1.388042e-02,1.429483e-02,1.444776e-02,1.471618e-02,1.499638e-02,1.512641e-02,1.552500e-02,1.591149e-02,1.603255e-02,1.628550e-02,1.651817e-02,1.664672e-02,1.698122e-02,1.699489e-02,1.732982e-02,1.742121e-02,1.765137e-02,1.783785e-02,1.795947e-02,1.823100e-02,1.825407e-02,1.853519e-02,1.860066e-02,1.880288e-02,1.894696e-02,1.905725e-02,1.927016e-02,1.929841e-02,1.952653e-02,1.957060e-02,1.974179e-02,1.984872e-02,1.994443e-02,2.010504e-02,2.013466e-02,2.031275e-02,2.034014e-02,2.047898e-02,2.055464e-02,2.063363e-02,2.074922e-02,2.077700e-02,2.090942e-02,2.092459e-02,2.103119e-02,2.108149e-02,2.114265e-02,2.122067e-02,2.124413e-02,2.133596e-02,2.134290e-02,2.141848e-02,2.144895e-02,2.149202e-02,2.153959e-02,2.155691e-02,2.161350e-02,2.161560e-02,2.166211e-02,2.167772e-02,2.170307e-02,2.172671e-02,2.173669e-02,2.176329e-02,2.178819e-02,2.180209e-02,2.180568e-02,2.179960e-02,2.178449e-02,2.176095e-02,2.172956e-02,2.169088e-02,2.164544e-02,2.159374e-02,2.153628e-02,2.147350e-02,2.140585e-02,2.133374e-02,2.125756e-02,2.117769e-02,2.109447e-02,2.100823e-02,2.091930e-02,2.082795e-02,2.073447e-02,2.063911e-02,2.054212e-02,2.044372e-02
0.000000e+00,2.266148e-13,1.812163e-12,3.743016e-11,2.628472e-10,6.290404e-10,3.927158e-09,4.188840e-09,1.693133e-08,2.355757e-08,5.024485e-08,8.696439e-08,1.211761e-07,2.389731e-07,2.522987e-07,4.711518e-07,5.401373e-07,8.087090e-07,1.061309e-06,1.296063e-06,1.870159e-06,1.959817e-06,2.818125e-06,3.014016e-06,3.878997e-06,4.510533e-06,5.140933e-06,6.349916e-06,6.594922e-06,8.226748e-06,8.503207e-06,1.001891e-05,1.093044e-05,1.195196e-05,1.358606e-05,1.400536e-05,1.615802e-05,1.642200e-05,1.838865e-05,1.938937e-05,2.067610e-05,2.243980e-05,2.299967e-05,2.533947e-05,2.552679e-05,2.767673e-05,2.860698e-05,2.999407e-05,3.164133e-05,3.227577e-05,3.450791e-05,3.459598e-05,3.667846e-05,3.744278e-05,3.877733e-05,4.015935e-05,4.079631e-05,4.272897e-05,4.457058e-05,4.514010e-05,4.631789e-05,4.738576e-05,4.796902e-05,4.946293e-05,4.952324e-05,5.098085e-05,5.137181e-05,5.234298e-05,5.311515e-05,5.361142e-05,5.469769e-05,5.478856e-05,5.587718e-05,5.612562e-05,5.688040e-05,5.740614e-05,5.780156e-05,5.854708e-05,5.864416e-05,5.941179e-05,5.955664e-05,6.010807e-05,6.044315e-05,6.073663e-05,6.121489e-05,6.130103e-05,6.180478e-05,6.187998e-05,6.225128e-05,6.244624e-05,6.264384e-05,6.292121e-05,6.298566e-05,6.327979e-05,6.331202e-05,6.352917e-05,6.362545e-05,6.373661e-05,6.386787e-05,6.390478e-05,6.403623e-05,6.404523e-05,6.413337e-05,6.416313e-05,6.419849e-05,6.422678e-05,6.423377e-05,6.424125e-05,6.424100e-05,6.422289e-05,6.421031e-05,6.418051e-05,6.413887e-05,6.411585e-05,6.403053e-05,6.392610e-05,6.388889e-05,6.380401e-05,6.371723e-05,6.366561e-05,6.351860e-05,6.351219e-05,6.334495e-05,6.329581e-05,6.316504e-05,6.305145e-05,6.297350e-05,6.278790e-05,6.277136e-05,6.255954e-05,6.250736e-05,6.233892e-05,6.221184e-05,6.211033e-05,6.190320e-05,6.187455e-05,6.163230e-05,6.158314e-05,6.138426e-05,6.125321e-05,6.113107e-05,6.091485e-05,6.087333e-05,6.061159e-05,6.056937e-05,6.034637e-05,6.021797e-05,6.007816e-05,5.986175e-05,5.980742e-05,5.953456e-05,5.950170e-05,5.926000e-05,5.913874e-05,5.898409e-05,5.877371e-05,5.870718e-05,5.842959e-05,5.840737e-05,5.815162e-05,5.804039e-05,5.787355e-05,5.767342e-05,5.759563e-05,5.731810e-05,5.730701e-05,5.704119e-05,5.694169e-05,5.676509e-05,5.657791e-05,5.649001e-05,5.621611e-05,5.585664e-05,5.549986e-05,5.514606e-05,5.479551e-05,5.444846e-05,5.410512e-05,5.376567e-05,5.343027e-05,5.309907e-05,5.277219e-05,5.244974e-05,5.213180e-05,5.181844e-05,5.150972e-05,5.120570e-05,5.090639e-05,5.061184e-05,5.032205e-05,5.003702e-05,4.975676e-05,4.948126e-05,4.921049e-05,4.894444e-05,4.868309e-05
0.000000e+00,6.547491e-14,5.469747e-13,1.236045e-11,9.414772e-11,2.355244e-10,1.647053e-09,1.764868e-09,7.969366e-09,1.142327e-08,2.623807e-08,4.817864e-08,6.973919e-08,1.495407e-07,1.589915e-07,3.230141e-07,3.775184e-07,5.994137e-07,8.196402e-07,1.032532e-06,1.580739e-06,1.669461e-06,2.554906e-06,2.765290e-06,3.726417e-06,4.458120e-06,5.211089e-06,6.711690e-06,7.024115e-06,9.168923e-06,9.542539e-06,1.163840e-05,1.293469e-05,1.441665e-05,1.684646e-05,1.748093e-05,2.080348e-05,2.121809e-05,2.435315e-05,2.597845e-05,2.809676e-05,3.105068e-05,3.200028e-05,3.602979e-05,3.635659e-05,4.015225e-05,4.182014e-05,4.433616e-05,4.736996e-05,4.855200e-05,5.277263e-05,5.294120e-05,5.697349e-05,5.847668e-05,6.113278e-05,6.392750e-05,6.523142e-05,6.925307e-05,7.318400e-05,7.442083e-05,7.701292e-05,7.940563e-05,8.073079e-05,8.418896e-05,8.433062e-05,8.780723e-05,8.875807e-05,9.115704e-05,9.310509e-05,9.437785e-05,9.722618e-05,9.746865e-05,1.004294e-04,1.011207e-04,1.032610e-04,1.047908e-04,1.059648e-04,1.082402e-04,1.085430e-04,1.109980e-04,1.114744e-04,1.133326e-04,1.145000e-04,1.155499e-04,1.173242e-04,1.176532e-04,1.196459e-04,1.199547e-04,1.215314e-04,1.223995e-04,1.233134e-04,1.246668e-04,1.249953e-04,1.265808e-04,1.267647e-04,1.280732e-04,1.287013e-04,1.294761e-04,1.304846e-04,1.307929e-04,1.320269e-04,1.321221e-04,1.331814e-04,1.336216e-04,1.342595e-04,1.349901e-04,1.352643e-04,1.361988e-04,1.362347e-04,1.370659e-04,1.373621e-04,1.378685e-04,1.383787e-04,1.386092e-04,1.392906e-04,1.399154e-04,1.401038e-04,1.404860e-04,1.408237e-04,1.410046e-04,1.414559e-04,1.414737e-04,1.418954e-04,1.420052e-04,1.422717e-04,1.424766e-04,1.426048e-04,1.428747e-04,1.428966e-04,1.431489e-04,1.432038e-04,1.433636e-04,1.434680e-04,1.435423e-04,1.436713e-04,1.436869e-04,1.437987e-04,1.438173e-04,1.438795e-04,1.439097e-04,1.439307e-04,1.439518e-04,1.439536e-04,1.439496e-04,1.439466e-04,1.439201e-04,1.438973e-04,1.438663e-04,1.438066e-04,1.437894e-04,1.436905e-04,1.436772e-04,1.435707e-04,1.435116e-04,1.434311e-04,1.433124e-04,1.432727e-04,1.430964e-04,1.430816e-04,1.429033e-04,1.428215e-04,1.426941e-04,1.425341e-04,1.424698e-04,1.422311e-04,1.422213e-04,1.419788e-04,1.418849e-04,1.417138e-04,1.415266e-04,1.414366e-04,1.411480e-04,1.407507e-04,1.403360e-04,1.399054e-04,1.394601e-04,1.390014e-04,1.385303e-04,1.380480e-04,1.375554e-04,1.370535e-04,1.365433e-04,1.360255e-04,1.355010e-04,1.349704e-04,1.344347e-04,1.338943e-04,1.333499e-04,1.328022e-04,1.322516e-04,1.316987e-04,1.311440e-04,1.305880e-04,1.300311e-04,1.294736e-04,1.289161e-04
0.000000e+00,9.188746e-14,7.568889e-13,1.660025e-11,1.229257e-10,3.026600e-10,2.027904e-09,2.169062e-09,9.360532e-09,1.324595e-08,2.942409e-08,5.252244e-08,7.459308e-08,1.530407e-07,1.620882e-07,3.139721e-07,3.628549e-07,5.565797e-07,7.429226e-07,9.191808e-07,1.361151e-06,1.431455e-06,2.119978e-06,2.280738e-06,3.004706e-06,3.546327e-06,4.096583e-06,5.175038e-06,5.396873e-06,6.898042e-06,7.155982e-06,8.585650e-06,9.456442e-06,1.044062e-05,1.203056e-05,1.244126e-05,1.456492e-05,1.482694e-05,1.678901e-05,1.779376e-05,1.909167e-05,2.088135e-05,2.145201e-05,2.385018e-05,2.404309e-05,2.626729e-05,2.723538e-05,2.868538e-05,3.041739e-05,3.108737e-05,3.345713e-05,3.355103e-05,3.577948e-05,3.660118e-05,3.804037e-05,3.953608e-05,4.022699e-05,4.232787e-05,4.433303e-05,4.495305e-05,4.623406e-05,4.739287e-05,4.802417e-05,4.963351e-05,4.969819e-05,5.125257e-05,5.166604e-05,5.268528e-05,5.348622e-05,5.399576e-05,5.509405e-05,5.518474e-05,5.625412e-05,5.649328e-05,5.720683e-05,5.769078e-05,5.804669e-05,5.869596e-05,5.877818e-05,5.940638e-05,5.952010e-05,5.993678e-05,6.017584e-05,6.037514e-05,6.067658e-05,6.072740e-05,6.099954e-05,6.103605e-05,6.119753e-05,6.126794e-05,6.132721e-05,6.138559e-05,6.139425e-05,6.140414e-05,6.140173e-05,6.136207e-05,6.132838e-05,6.127298e-05,6.117668e-05,6.114150e-05,6.097195e-05,6.095687e-05,6.076837e-05,6.067825e-05,6.053447e-05,6.034924e-05,6.027369e-05,5.998917e-05,5.997734e-05,5.968378e-05,5.956924e-05,5.936012e-05,5.913084e-05,5.902059e-05,5.866733e-05,5.830229e-05,5.818327e-05,5.792721e-05,5.768263e-05,5.754368e-05,5.716886e-05,5.715311e-05,5.675679e-05,5.664495e-05,5.635585e-05,5.611349e-05,5.595131e-05,5.557674e-05,5.554409e-05,5.513500e-05,5.503662e-05,5.472478e-05,5.449481e-05,5.431408e-05,5.395272e-05,5.390347e-05,5.349348e-05,5.341160e-05,5.308457e-05,5.287250e-05,5.267714e-05,5.233633e-05,5.227158e-05,5.186819e-05,5.180387e-05,5.146727e-05,5.127578e-05,5.106907e-05,5.075263e-05,5.067383e-05,5.028174e-05,5.023490e-05,4.989297e-05,4.972300e-05,4.950767e-05,4.921726e-05,4.912600e-05,4.874805e-05,4.871798e-05,4.837393e-05,4.822538e-05,4.800374e-05,4.773966e-05,4.763753e-05,4.727539e-05,4.726099e-05,4.691735e-05,4.678947e-05,4.656347e-05,4.632522e-05,4.621377e-05,4.586829e-05,4.541872e-05,4.497656e-05,4.454180e-05,4.411443e-05,4.369445e-05,4.328180e-05,4.287645e-05,4.247835e-05,4.208743e-05,4.170363e-05,4.132686e-05,4.095705e-05,4.059411e-05,4.023795e-05,3.988848e-05,3.954559e-05,3.920920e-05,3.887920e-05,3.855549e-05,3.823796e-05,3.792650e-05,3.762102e-05,3.732140e-05,3.702755e-05
0.000000e+00,1.145877e-11,2.707480e-11,9.608745e-11,2.213769e-10,3.241426e-10,7.372429e-10,7.593769e-10,1.460053e-09,1.711232e-09,2.479988e-09,3.266232e-09,3.869440e-09,5.514584e-09,5.675435e-09,7.940690e-09,8.556788e-09,1.069975e-08,1.246856e-08,1.397189e-08,1.727403e-08,1.775417e-08,2.202101e-08,2.292907e-08,2.673123e-08,2.933985e-08,3.183657e-08,3.639383e-08,3.728704e-08,4.303278e-08,4.397619e-08,4.902449e-08,5.197355e-08,5.521347e-08,6.027442e-08,6.155176e-08,6.799249e-08,6.877009e-08,7.449038e-08,7.735633e-08,8.100222e-08,8.593552e-08,8.748751e-08,9.390881e-08,9.441871e-08,1.002321e-07,1.027270e-07,1.064270e-07,1.107928e-07,1.124670e-07,1.183293e-07,1.185598e-07,1.239948e-07,1.259831e-07,1.294480e-07,1.330285e-07,1.346767e-07,1.396719e-07,1.444271e-07,1.458975e-07,1.489387e-07,1.516974e-07,1.532051e-07,1.570703e-07,1.572265e-07,1.610051e-07,1.620200e-07,1.645443e-07,1.665547e-07,1.678486e-07,1.706860e-07,1.709237e-07,1.737760e-07,1.744281e-07,1.764123e-07,1.777971e-07,1.788402e-07,1.808104e-07,1.810674e-07,1.831018e-07,1.834862e-07,1.849516e-07,1.858432e-07,1.866249e-07,1.879001e-07,1.881299e-07,1.894746e-07,1.896755e-07,1.906671e-07,1.911876e-07,1.917150e-07,1.924544e-07,1.926260e-07,1.934076e-07,1.934930e-07,1.940668e-07,1.943199e-07,1.946106e-07,1.949509e-07,1.950458e-07,1.953787e-07,1.954011e-07,1.956156e-07,1.956848e-07,1.957624e-07,1.958156e-07,1.958248e-07,1.958083e-07,1.958060e-07,1.957179e-07,1.956683e-07,1.955588e-07,1.954136e-07,1.953355e-07,1.950526e-07,1.947144e-07,1.945952e-07,1.943250e-07,1.940506e-07,1.938881e-07,1.934274e-07,1.934074e-07,1.928865e-07,1.927339e-07,1.923285e-07,1.919773e-07,1.917367e-07,1.911647e-07,1.911138e-07,1.904628e-07,1.903027e-07,1.897862e-07,1.893971e-07,1.890865e-07,1.884535e-07,1.883661e-07,1.876270e-07,1.874772e-07,1.868715e-07,1.864728e-07,1.861014e-07,1.854447e-07,1.853186e-07,1.845248e-07,1.843969e-07,1.837217e-07,1.833333e-07,1.829106e-07,1.822571e-07,1.820931e-07,1.812705e-07,1.811715e-07,1.804440e-07,1.800794e-07,1.796148e-07,1.789835e-07,1.787840e-07,1.779525e-07,1.778860e-07,1.771214e-07,1.767892e-07,1.762915e-07,1.756951e-07,1.754636e-07,1.746384e-07,1.746055e-07,1.738167e-07,1.735219e-07,1.729992e-07,1.724459e-07,1.721863e-07,1.713787e-07,1.703216e-07,1.692756e-07,1.682416e-07,1.672205e-07,1.662129e-07,1.652196e-07,1.642410e-07,1.632776e-07,1.623299e-07,1.613981e-07,1.604825e-07,1.595833e-07,1.587007e-07,1.578349e-07,1.569857e-07,1.561534e-07,1.553379e-07,1.545391e-07,1.537570e-07,1.529915e-07,1.522425e-07,1.515098e-07,1.507932e-07,1.500928e-07
0.000000e+00,5.434613e-12,3.121197e-11,3.433466e-10,1.450122e-09,2.692901e-09,9.424980e-09,9.840402e-09,2.473269e-08,3.067376e-08,5.014990e-08,7.154034e-08,8.869295e-08,1.378645e-07,1.428247e-07,2.148885e-07,2.350986e-07,3.070508e-07,3.681315e-07,4.210953e-07,5.403942e-07,5.580457e-07,7.177958e-07,7.523872e-07,8.990738e-07,1.001175e-06,1.099804e-06,1.281693e-06,1.317582e-06,1.549967e-06,1.588345e-06,1.794601e-06,1.915706e-06,2.049213e-06,2.258609e-06,2.311607e-06,2.579657e-06,2.612105e-06,2.851313e-06,2.971477e-06,3.124622e-06,3.332309e-06,3.397749e-06,3.668997e-06,3.690568e-06,3.936824e-06,4.042684e-06,4.199858e-06,4.385592e-06,4.456897e-06,4.706915e-06,4.716757e-06,4.949056e-06,5.034161e-06,5.182627e-06,5.336277e-06,5.407085e-06,5.622025e-06,5.827171e-06,5.890718e-06,6.022354e-06,6.142006e-06,6.207504e-06,6.375822e-06,6.382635e-06,6.547830e-06,6.592322e-06,6.703230e-06,6.791846e-06,6.849025e-06,6.974874e-06,6.985449e-06,7.112764e-06,7.141995e-06,7.231253e-06,7.293865e-06,7.341221e-06,7.431195e-06,7.442983e-06,7.536865e-06,7.554724e-06,7.623192e-06,7.665205e-06,7.702292e-06,7.763391e-06,7.774493e-06,7.840116e-06,7.850027e-06,7.899479e-06,7.925842e-06,7.952893e-06,7.991544e-06,8.000659e-06,8.043071e-06,8.047815e-06,8.080414e-06,8.095309e-06,8.112959e-06,8.134647e-06,8.140970e-06,8.164699e-06,8.166420e-06,8.184392e-06,8.191191e-06,8.200281e-06,8.209492e-06,8.212590e-06,8.221533e-06,8.221824e-06,8.227314e-06,8.228659e-06,8.230126e-06,8.230439e-06,8.230157e-06,8.227582e-06,8.222571e-06,8.220480e-06,8.215285e-06,8.209497e-06,8.205874e-06,8.194976e-06,8.194484e-06,8.181253e-06,8.177236e-06,8.166311e-06,8.156577e-06,8.149783e-06,8.133276e-06,8.131785e-06,8.112428e-06,8.107593e-06,8.091819e-06,8.079768e-06,8.070057e-06,8.050027e-06,8.047236e-06,8.023446e-06,8.018579e-06,7.998771e-06,7.985616e-06,7.973290e-06,7.951320e-06,7.947081e-06,7.920212e-06,7.915857e-06,7.892752e-06,7.879380e-06,7.864764e-06,7.842033e-06,7.836307e-06,7.807438e-06,7.803948e-06,7.778209e-06,7.765247e-06,7.748670e-06,7.726042e-06,7.718868e-06,7.688847e-06,7.686437e-06,7.658647e-06,7.646526e-06,7.628309e-06,7.606399e-06,7.597867e-06,7.567356e-06,7.566135e-06,7.536808e-06,7.525808e-06,7.506253e-06,7.485485e-06,7.475718e-06,7.445229e-06,7.405095e-06,7.365135e-06,7.325395e-06,7.285917e-06,7.246741e-06,7.207898e-06,7.169422e-06,7.131339e-06,7.093675e-06,7.056450e-06,7.019684e-06,6.983395e-06,6.947596e-06,6.912300e-06,6.877518e-06,6.843259e-06,6.809530e-06,6.776337e-06,6.743685e-06,6.711577e-06,6.680015e-06,6.649001e-06,6.618534e-06,6.588614e-06
0.000000e+00,4.198773e-14,3.530585e-13,8.084728e-12,6.229685e-11,1.567944e-10,1.112427e-09,1.192644e-09,5.449079e-09,7.831307e-09,1.808424e-08,3.330058e-08,4.825376e-08,1.034712e-07,1.099948e-07,2.227491e-07,2.600627e-07,4.115083e-07,5.614787e-07,7.064657e-07,1.081055e-06,1.141928e-06,1.754329e-06,1.901242e-06,2.579546e-06,3.103752e-06,3.650047e-06,4.758501e-06,4.992440e-06,6.625836e-06,6.915027e-06,8.561099e-06,9.598331e-06,1.080090e-05,1.280892e-05,1.334031e-05,1.616777e-05,1.652566e-05,1.926618e-05,2.070989e-05,2.261395e-05,2.530975e-05,2.618608e-05,2.995501e-05,3.026416e-05,3.389146e-05,3.550619e-05,3.796516e-05,4.096600e-05,4.214546e-05,4.640187e-05,4.657329e-05,5.070461e-05,5.225937e-05,5.502498e-05,5.795896e-05,5.933579e-05,6.361161e-05,6.782909e-05,6.916285e-05,7.196709e-05,7.456490e-05,7.600679e-05,7.977715e-05,7.993177e-05,8.372800e-05,8.476622e-05,8.738380e-05,8.950587e-05,9.088975e-05,9.397658e-05,9.423857e-05,9.742495e-05,9.816509e-05,1.004454e-04,1.020637e-04,1.032981e-04,1.056695e-04,1.059828e-04,1.085002e-04,1.089838e-04,1.108526e-04,1.120115e-04,1.130428e-04,1.147601e-04,1.150747e-04,1.169527e-04,1.172392e-04,1.186817e-04,1.194603e-04,1.202671e-04,1.214359e-04,1.217146e-04,1.230299e-04,1.231791e-04,1.242190e-04,1.247038e-04,1.252880e-04,1.260237e-04,1.262428e-04,1.270893e-04,1.271526e-04,1.278335e-04,1.281038e-04,1.284810e-04,1.288905e-04,1.290374e-04,1.295082e-04,1.295253e-04,1.298984e-04,1.300202e-04,1.302132e-04,1.303867e-04,1.304574e-04,1.306356e-04,1.307521e-04,1.307771e-04,1.308112e-04,1.308207e-04,1.308168e-04,1.307754e-04,1.307728e-04,1.306827e-04,1.306496e-04,1.305499e-04,1.304511e-04,1.303776e-04,1.301869e-04,1.301689e-04,1.299267e-04,1.298638e-04,1.296535e-04,1.294881e-04,1.293521e-04,1.290653e-04,1.290247e-04,1.286736e-04,1.286008e-04,1.283010e-04,1.280994e-04,1.279088e-04,1.275656e-04,1.274989e-04,1.270730e-04,1.270035e-04,1.266328e-04,1.264169e-04,1.261798e-04,1.258091e-04,1.257154e-04,1.252410e-04,1.251835e-04,1.247579e-04,1.245429e-04,1.242672e-04,1.238898e-04,1.237700e-04,1.232673e-04,1.232268e-04,1.227600e-04,1.225561e-04,1.222492e-04,1.218796e-04,1.217355e-04,1.212198e-04,1.211991e-04,1.207027e-04,1.205164e-04,1.201850e-04,1.198328e-04,1.196671e-04,1.191498e-04,1.184686e-04,1.177903e-04,1.171158e-04,1.164461e-04,1.157820e-04,1.151240e-04,1.144729e-04,1.138293e-04,1.131935e-04,1.125660e-04,1.119472e-04,1.113374e-04,1.107369e-04,1.101458e-04,1.095645e-04,1.089929e-04,1.084313e-04,1.078796e-04,1.073381e-04,1.068066e-04,1.062853e-04,1.057741e-04,1.052729e-04,1.047818e-04
0.000000e+00,2.540668e-11,6.114310e-11,2.215017e-10,5.163823e-10,7.604246e-10,1.756260e-09,1.810222e-09,3.547274e-09,4.182889e-09,6.167044e-09,8.250389e-09,9.879561e-09,1.441385e-08,1.486149e-08,2.117146e-08,2.287681e-08,2.873265e-08,3.346372e-08,3.741162e-08,4.587327e-08,4.708248e-08,5.763884e-08,5.984791e-08,6.898549e-08,7.516734e-08,8.102967e-08,9.161648e-08,9.367644e-08,1.068273e-07,1.089714e-07,1.203806e-07,1.269991e-07,1.342339e-07,1.454642e-07,1.482856e-07,1.624376e-07,1.641381e-07,1.765975e-07,1.828078e-07,1.906789e-07,2.012801e-07,2.046040e-07,2.183042e-07,2.193887e-07,2.317202e-07,2.369954e-07,2.448016e-07,2.539894e-07,2.575069e-07,2.698032e-07,2.702861e-07,2.816650e-07,2.858251e-07,2.930737e-07,3.005663e-07,3.040170e-07,3.144877e-07,3.244832e-07,3.275816e-07,3.340051e-07,3.398524e-07,3.430578e-07,3.513136e-07,3.516485e-07,3.597866e-07,3.619856e-07,3.674831e-07,3.718942e-07,3.747504e-07,3.810685e-07,3.816017e-07,3.880509e-07,3.895405e-07,3.941125e-07,3.973431e-07,3.998010e-07,4.045101e-07,4.051313e-07,4.101179e-07,4.110753e-07,4.147754e-07,4.170720e-07,4.191182e-07,4.225330e-07,4.231600e-07,4.269148e-07,4.274898e-07,4.303956e-07,4.319729e-07,4.336154e-07,4.360116e-07,4.365865e-07,4.393210e-07,4.396338e-07,4.418305e-07,4.428662e-07,4.441260e-07,4.457340e-07,4.462181e-07,4.481172e-07,4.482611e-07,4.498330e-07,4.504701e-07,4.513749e-07,4.523825e-07,4.527519e-07,4.539726e-07,4.540183e-07,4.550451e-07,4.553965e-07,4.559774e-07,4.565350e-07,4.567768e-07,4.574506e-07,4.580055e-07,4.581591e-07,4.584481e-07,4.586752e-07,4.587844e-07,4.590129e-07,4.590205e-07,4.591618e-07,4.591852e-07,4.592139e-07,4.592044e-07,4.591817e-07,4.590819e-07,4.590701e-07,4.588838e-07,4.588285e-07,4.586271e-07,4.584542e-07,4.583043e-07,4.579685e-07,4.579192e-07,4.574757e-07,4.573803e-07,4.569774e-07,4.566977e-07,4.564276e-07,4.559285e-07,4.558298e-07,4.551869e-07,4.550800e-07,4.545019e-07,4.541589e-07,4.537775e-07,4.531716e-07,4.530166e-07,4.522215e-07,4.521239e-07,4.513946e-07,4.510214e-07,4.505384e-07,4.498692e-07,4.496548e-07,4.487460e-07,4.486723e-07,4.478140e-07,4.474351e-07,4.468605e-07,4.461617e-07,4.458874e-07,4.448962e-07,4.448563e-07,4.438887e-07,4.435223e-07,4.428663e-07,4.421632e-07,4.418304e-07,4.407823e-07,4.393825e-07,4.379665e-07,4.365370e-07,4.350963e-07,4.336468e-07,4.321904e-07,4.307290e-07,4.292646e-07,4.277988e-07,4.263330e-07,4.248688e-07,4.234074e-07,4.219501e-07,4.204981e-07,4.190523e-07,4.176138e-07,4.161834e-07,4.147619e-07,4.133502e-07,4.119488e-07,4.105584e-07,4.091796e-07,4.078129e-07,4.064588e-07
0.000000e+00,8.841094e-11,3.123515e-10,1.701827e-09,4.789034e-09,7.564345e-09,1.982875e-08,2.052167e-08,4.379665e-08,5.268047e-08,8.134459e-08,1.126391e-07,1.377573e-07,2.095530e-07,2.167324e-07,3.183202e-07,3.456966e-07,4.388716e-07,5.130131e-07,5.740629e-07,7.024959e-07,7.205938e-07,8.760899e-07,9.080938e-07,1.038660e-06,1.125428e-06,1.206615e-06,1.350684e-06,1.378351e-06,1.552320e-06,1.580263e-06,1.727047e-06,1.810775e-06,1.901153e-06,2.039147e-06,2.073390e-06,2.242653e-06,2.262718e-06,2.407998e-06,2.479301e-06,2.568642e-06,2.687194e-06,2.723954e-06,2.873445e-06,2.885141e-06,3.016762e-06,3.072302e-06,3.153663e-06,3.248179e-06,3.284011e-06,3.407749e-06,3.412561e-06,3.524892e-06,3.565461e-06,3.635511e-06,3.707065e-06,3.739724e-06,3.837683e-06,3.929565e-06,3.957717e-06,4.015570e-06,4.067626e-06,4.095909e-06,4.167910e-06,4.170804e-06,4.240481e-06,4.259086e-06,4.305166e-06,4.341676e-06,4.365087e-06,4.416198e-06,4.420467e-06,4.471526e-06,4.483161e-06,4.518478e-06,4.543055e-06,4.561532e-06,4.596355e-06,4.600889e-06,4.636744e-06,4.643512e-06,4.669285e-06,4.684956e-06,4.698691e-06,4.721096e-06,4.725135e-06,4.748783e-06,4.752317e-06,4.769791e-06,4.778983e-06,4.788312e-06,4.801434e-06,4.804489e-06,4.818459e-06,4.819993e-06,4.830352e-06,4.834960e-06,4.840294e-06,4.846618e-06,4.848402e-06,4.854789e-06,4.855229e-06,4.859561e-06,4.861041e-06,4.862820e-06,4.864284e-06,4.864662e-06,4.865178e-06,4.865172e-06,4.864454e-06,4.863906e-06,4.862573e-06,4.860672e-06,4.859612e-06,4.855644e-06,4.850740e-06,4.848984e-06,4.844965e-06,4.840841e-06,4.838381e-06,4.831355e-06,4.831048e-06,4.823021e-06,4.820656e-06,4.814353e-06,4.808865e-06,4.805093e-06,4.796092e-06,4.795289e-06,4.784985e-06,4.782442e-06,4.774223e-06,4.768011e-06,4.763042e-06,4.752886e-06,4.751480e-06,4.739571e-06,4.737151e-06,4.727350e-06,4.720882e-06,4.714847e-06,4.704148e-06,4.702091e-06,4.689111e-06,4.687015e-06,4.675931e-06,4.669542e-06,4.662578e-06,4.651785e-06,4.649073e-06,4.635439e-06,4.633795e-06,4.621695e-06,4.615619e-06,4.607862e-06,4.597299e-06,4.593956e-06,4.579994e-06,4.578876e-06,4.565993e-06,4.560385e-06,4.551967e-06,4.541860e-06,4.537929e-06,4.523894e-06,4.523332e-06,4.509871e-06,4.504829e-06,4.495874e-06,4.486375e-06,4.481912e-06,4.467995e-06,4.449709e-06,4.431537e-06,4.413495e-06,4.395600e-06,4.377866e-06,4.360305e-06,4.342929e-06,4.325748e-06,4.308771e-06,4.292006e-06,4.275460e-06,4.259139e-06,4.243048e-06,4.227191e-06,4.211573e-06,4.196196e-06,4.181063e-06,4.166176e-06,4.151535e-06,4.137143e-06,4.122999e-06,4.109103e-06,4.095456e-06,4.082056e-06
0.000000e+00,5.301892e-15,4.744955e-14,1.238907e-12,1.077640e-11,2.900786e-11,2.453057e-10,2.648952e-10,1.444566e-09,2.179226e-09,5.687867e-09,1.157037e-08,1.789394e-08,4.439493e-08,4.778377e-08,1.126217e-07,1.362324e-07,2.406019e-07,3.551819e-07,4.748385e-07,8.179472e-07,8.778345e-07,1.536208e-06,1.708126e-06,2.565334e-06,3.294807e-06,4.113456e-06,5.948651e-06,6.364821e-06,9.541445e-06,1.015241e-05,1.390325e-05,1.650356e-05,1.974648e-05,2.570802e-05,2.740048e-05,3.722288e-05,3.856514e-05,4.959355e-05,5.594535e-05,6.490748e-05,7.876200e-05,8.356696e-05,1.059734e-04,1.079396e-04,1.325189e-04,1.443808e-04,1.635784e-04,1.889336e-04,1.995013e-04,2.406050e-04,2.423610e-04,2.871683e-04,3.053142e-04,3.394258e-04,3.783106e-04,3.975638e-04,4.617166e-04,5.319645e-04,5.557368e-04,6.083327e-04,6.604084e-04,6.907906e-04,7.756011e-04,7.792533e-04,8.735827e-04,9.010217e-04,9.735901e-04,1.036224e-03,1.079040e-03,1.180620e-03,1.189652e-03,1.305107e-03,1.333498e-03,1.425052e-03,1.494040e-03,1.549103e-03,1.661339e-03,1.676850e-03,1.807864e-03,1.834420e-03,1.941700e-03,2.012260e-03,2.077904e-03,2.193807e-03,2.216014e-03,2.355568e-03,2.377999e-03,2.496106e-03,2.563781e-03,2.637177e-03,2.750119e-03,2.778337e-03,2.919157e-03,2.936013e-03,3.059223e-03,3.120511e-03,3.198141e-03,3.302718e-03,3.335535e-03,3.471053e-03,3.481803e-03,3.604365e-03,3.657003e-03,3.735166e-03,3.827631e-03,3.863177e-03,3.988143e-03,3.993075e-03,4.109834e-03,4.152801e-03,4.228047e-03,4.306353e-03,4.342603e-03,4.453349e-03,4.560154e-03,4.593481e-03,4.662911e-03,4.726511e-03,4.761535e-03,4.852266e-03,4.855962e-03,4.946149e-03,4.970637e-03,5.032070e-03,5.081571e-03,5.113717e-03,5.185066e-03,5.191101e-03,5.264244e-03,5.281172e-03,5.333185e-03,5.369975e-03,5.397975e-03,5.451605e-03,5.458675e-03,5.515358e-03,5.526219e-03,5.568104e-03,5.594006e-03,5.617004e-03,5.655177e-03,5.662153e-03,5.703653e-03,5.709961e-03,5.741611e-03,5.758606e-03,5.776140e-03,5.801370e-03,5.807353e-03,5.835368e-03,5.838520e-03,5.860304e-03,5.870331e-03,5.882280e-03,5.897078e-03,5.901419e-03,5.917839e-03,5.919039e-03,5.931662e-03,5.936491e-03,5.943007e-03,5.949707e-03,5.951991e-03,5.958731e-03,5.958956e-03,5.963340e-03,5.964500e-03,5.965931e-03,5.966596e-03,5.966613e-03,5.965492e-03,5.961427e-03,5.954632e-03,5.945327e-03,5.933723e-03,5.920021e-03,5.904410e-03,5.887073e-03,5.868178e-03,5.847887e-03,5.826351e-03,5.803709e-03,5.780096e-03,5.755635e-03,5.730439e-03,5.704616e-03,5.678266e-03,5.651481e-03,5.624345e-03,5.596937e-03,5.569330e-03,5.541589e-03,5.513775e-03,5.485943e-03,5.458145e-03
0.000000e+00,1.489201e-14,1.332091e-13,3.474166e-12,3.019484e-11,8.125193e-11,6.869264e-10,7.417905e-10,4.048949e-09,6.111172e-09,1.597962e-08,3.257587e-08,5.046755e-08,1.258218e-07,1.354902e-07,3.213506e-07,3.893244e-07,6.908671e-07,1.023077e-06,1.370638e-06,2.368164e-06,2.542232e-06,4.452166e-06,4.949504e-06,7.419758e-06,9.509568e-06,1.184219e-05,1.702794e-05,1.819641e-05,2.703766e-05,2.872411e-05,3.899483e-05,4.604277e-05,5.476256e-05,7.062274e-05,7.509074e-05,1.007716e-04,1.042518e-04,1.326251e-04,1.488103e-04,1.714828e-04,2.062084e-04,2.181715e-04,2.734965e-04,2.783189e-04,3.382255e-04,3.669124e-04,4.130731e-04,4.735953e-04,4.986869e-04,5.956354e-04,5.997562e-04,7.043977e-04,7.465207e-04,8.253549e-04,9.147176e-04,9.587847e-04,1.104857e-03,1.263632e-03,1.317118e-03,1.435063e-03,1.551352e-03,1.618993e-03,1.807088e-03,1.815166e-03,2.023227e-03,2.083556e-03,2.242730e-03,2.379708e-03,2.473148e-03,2.694254e-03,2.713877e-03,2.964248e-03,3.025693e-03,3.223538e-03,3.372350e-03,3.490976e-03,3.732419e-03,3.765752e-03,4.047031e-03,4.103993e-03,4.333959e-03,4.485106e-03,4.625668e-03,4.873765e-03,4.921292e-03,5.219967e-03,5.267981e-03,5.520843e-03,5.665799e-03,5.823085e-03,6.065319e-03,6.125885e-03,6.428462e-03,6.464720e-03,6.730065e-03,6.862277e-03,7.029981e-03,7.256373e-03,7.327536e-03,7.622093e-03,7.645510e-03,7.913061e-03,8.028319e-03,8.199890e-03,8.403559e-03,8.482075e-03,8.759154e-03,8.770125e-03,9.030709e-03,9.127044e-03,9.296366e-03,9.473472e-03,9.555792e-03,9.808696e-03,1.005483e-02,1.013212e-02,1.029397e-02,1.044328e-02,1.052596e-02,1.074179e-02,1.075063e-02,1.096790e-02,1.102740e-02,1.117768e-02,1.129993e-02,1.137992e-02,1.155930e-02,1.157459e-02,1.176171e-02,1.180549e-02,1.194129e-02,1.203858e-02,1.211338e-02,1.225868e-02,1.227806e-02,1.243539e-02,1.246598e-02,1.258549e-02,1.266071e-02,1.272846e-02,1.284313e-02,1.286442e-02,1.299353e-02,1.301356e-02,1.311591e-02,1.317231e-02,1.323173e-02,1.331976e-02,1.334114e-02,1.344431e-02,1.345628e-02,1.354141e-02,1.358225e-02,1.363261e-02,1.369809e-02,1.371809e-02,1.379804e-02,1.380420e-02,1.387261e-02,1.390098e-02,1.394201e-02,1.398886e-02,1.400639e-02,1.406595e-02,1.406824e-02,1.412086e-02,1.413952e-02,1.417129e-02,1.420312e-02,1.421742e-02,1.425941e-02,1.430880e-02,1.435163e-02,1.438829e-02,1.441912e-02,1.444446e-02,1.446464e-02,1.447996e-02,1.449074e-02,1.449727e-02,1.449981e-02,1.449863e-02,1.449399e-02,1.448612e-02,1.447525e-02,1.446160e-02,1.444537e-02,1.442676e-02,1.440595e-02,1.438311e-02,1.435840e-02,1.433199e-02,1.430402e-02,1.427462e-02,1.424392e-02
0.000000e+00,6.270869e-11,2.233674e-10,1.227332e-09,3.458721e-09,5.456402e-09,1.416448e-08,1.465056e-08,3.063749e-08,3.658026e-08,5.525500e-08,7.494657e-08,9.036946e-08,1.334246e-07,1.376904e-07,1.982196e-07,2.147059e-07,2.716259e-07,3.178097e-07,3.563667e-07,4.387484e-07,4.504719e-07,5.520853e-07,5.731615e-07,6.595680e-07,7.172833e-07,7.714426e-07,8.678104e-07,8.863447e-07,1.003006e-06,1.021756e-06,1.120262e-06,1.176443e-06,1.237062e-06,1.329548e-06,1.352481e-06,1.465731e-06,1.479142e-06,1.576153e-06,1.623703e-06,1.683219e-06,1.762085e-06,1.786514e-06,1.885735e-06,1.893489e-06,1.980666e-06,2.017405e-06,2.071174e-06,2.133561e-06,2.157192e-06,2.238706e-06,2.241873e-06,2.315748e-06,2.342400e-06,2.388383e-06,2.435306e-06,2.456706e-06,2.520830e-06,2.580884e-06,2.599264e-06,2.637007e-06,2.670930e-06,2.689346e-06,2.736171e-06,2.738052e-06,2.783279e-06,2.795340e-06,2.825181e-06,2.848789e-06,2.863910e-06,2.896867e-06,2.899616e-06,2.932445e-06,2.939912e-06,2.962542e-06,2.978254e-06,2.990044e-06,3.012207e-06,3.015087e-06,3.037799e-06,3.042073e-06,3.058306e-06,3.068139e-06,3.076729e-06,3.090677e-06,3.093182e-06,3.107775e-06,3.109944e-06,3.120615e-06,3.126185e-06,3.131802e-06,3.139627e-06,3.141433e-06,3.149601e-06,3.150487e-06,3.156392e-06,3.158966e-06,3.161891e-06,3.165254e-06,3.166177e-06,3.169326e-06,3.169531e-06,3.171409e-06,3.171960e-06,3.172497e-06,3.172699e-06,3.172653e-06,3.171939e-06,3.171893e-06,3.170414e-06,3.169677e-06,3.168133e-06,3.166177e-06,3.165149e-06,3.161512e-06,3.157270e-06,3.155791e-06,3.152466e-06,3.149116e-06,3.147143e-06,3.141582e-06,3.141341e-06,3.135099e-06,3.133277e-06,3.128451e-06,3.124282e-06,3.121431e-06,3.114673e-06,3.114072e-06,3.106404e-06,3.104520e-06,3.098454e-06,3.093889e-06,3.090249e-06,3.082839e-06,3.081816e-06,3.073177e-06,3.071426e-06,3.064355e-06,3.059702e-06,3.055370e-06,3.047712e-06,3.046243e-06,3.036993e-06,3.035502e-06,3.027635e-06,3.023111e-06,3.018188e-06,3.010576e-06,3.008666e-06,2.999084e-06,2.997931e-06,2.989455e-06,2.985207e-06,2.979792e-06,2.972432e-06,2.970106e-06,2.960409e-06,2.959633e-06,2.950710e-06,2.946833e-06,2.941021e-06,2.934054e-06,2.931348e-06,2.921701e-06,2.921316e-06,2.912088e-06,2.908636e-06,2.902515e-06,2.896032e-06,2.892989e-06,2.883517e-06,2.871105e-06,2.858808e-06,2.846636e-06,2.834599e-06,2.822706e-06,2.810963e-06,2.799377e-06,2.787954e-06,2.776700e-06,2.765617e-06,2.754710e-06,2.743982e-06,2.733434e-06,2.723070e-06,2.712889e-06,2.702894e-06,2.693084e-06,2.683461e-06,2.674023e-06,2.664770e-06,2.655702e-06,2.646818e-06,2.638117e-06,2.629596e-06
0.000000e+00,4.516019e-14,3.827920e-13,8.937202e-12,7.042076e-11,1.799146e-10,1.343291e-09,1.443803e-09,7.111136e-09,1.048134e-08,2.603435e-08,5.130208e-08,7.793220e-08,1.861689e-07,1.997007e-07,4.481587e-07,5.344439e-07,8.951138e-07,1.260418e-06,1.615811e-06,2.528811e-06,2.675608e-06,4.119521e-06,4.456571e-06,5.966915e-06,7.085805e-06,8.211294e-06,1.038286e-05,1.082391e-05,1.375930e-05,1.425526e-05,1.696136e-05,1.857517e-05,2.036889e-05,2.320117e-05,2.391997e-05,2.755524e-05,2.799448e-05,3.122003e-05,3.282907e-05,3.486546e-05,3.759666e-05,3.844904e-05,4.193472e-05,4.220841e-05,4.529271e-05,4.659463e-05,4.849917e-05,5.070346e-05,5.153571e-05,5.438897e-05,5.449915e-05,5.705015e-05,5.796012e-05,5.951447e-05,6.107699e-05,6.178068e-05,6.385060e-05,6.572862e-05,6.629006e-05,6.742120e-05,6.841083e-05,6.893646e-05,7.023295e-05,7.028374e-05,7.147322e-05,7.177945e-05,7.251559e-05,7.307493e-05,7.342174e-05,7.414445e-05,7.420255e-05,7.486864e-05,7.501258e-05,7.543025e-05,7.570277e-05,7.589712e-05,7.623686e-05,7.627838e-05,7.658254e-05,7.663482e-05,7.681743e-05,7.691460e-05,7.699023e-05,7.709219e-05,7.710746e-05,7.717502e-05,7.718158e-05,7.719822e-05,7.719501e-05,7.718182e-05,7.714305e-05,7.713006e-05,7.704674e-05,7.703479e-05,7.693523e-05,7.687803e-05,7.679854e-05,7.667946e-05,7.663932e-05,7.645996e-05,7.644481e-05,7.626257e-05,7.617899e-05,7.604901e-05,7.588620e-05,7.582098e-05,7.557996e-05,7.557007e-05,7.532730e-05,7.523373e-05,7.506421e-05,7.487990e-05,7.479177e-05,7.451095e-05,7.422265e-05,7.412895e-05,7.392768e-05,7.373572e-05,7.362674e-05,7.333289e-05,7.332055e-05,7.300968e-05,7.292188e-05,7.269473e-05,7.250401e-05,7.237620e-05,7.208040e-05,7.205457e-05,7.173028e-05,7.165210e-05,7.140374e-05,7.122004e-05,7.107532e-05,7.078503e-05,7.074537e-05,7.041420e-05,7.034785e-05,7.008213e-05,6.990918e-05,6.974942e-05,6.946965e-05,6.941634e-05,6.908313e-05,6.902982e-05,6.875002e-05,6.859023e-05,6.841722e-05,6.815133e-05,6.808492e-05,6.775330e-05,6.771356e-05,6.742253e-05,6.727730e-05,6.709277e-05,6.684292e-05,6.676417e-05,6.643685e-05,6.641073e-05,6.611096e-05,6.598102e-05,6.578660e-05,6.555408e-05,6.546389e-05,6.514292e-05,6.513012e-05,6.482380e-05,6.470938e-05,6.450660e-05,6.429205e-05,6.419141e-05,6.387831e-05,6.346831e-05,6.306221e-05,6.266011e-05,6.226215e-05,6.186841e-05,6.147899e-05,6.109396e-05,6.071339e-05,6.033733e-05,5.996582e-05,5.959892e-05,5.923664e-05,5.887901e-05,5.852604e-05,5.817776e-05,5.783415e-05,5.749523e-05,5.716099e-05,5.683141e-05,5.650649e-05,5.618620e-05,5.587053e-05,5.555945e-05,5.525294e-05
0.000000e+00,8.116875e-15,7.292853e-14,1.920149e-12,1.684290e-11,4.556271e-11,3.908491e-10,4.223295e-10,2.342788e-09,3.552805e-09,9.408069e-09,1.939238e-08,3.027348e-08,7.686754e-08,8.290921e-08,2.007591e-07,2.444516e-07,4.407495e-07,6.603158e-07,8.926367e-07,1.569575e-06,1.688888e-06,3.014259e-06,3.363284e-06,5.114330e-06,6.613693e-06,8.302435e-06,1.210149e-05,1.296460e-05,1.956217e-05,2.083221e-05,2.863205e-05,3.404025e-05,4.078450e-05,5.318009e-05,5.669858e-05,7.711534e-05,7.990516e-05,1.028291e-04,1.160357e-04,1.346770e-04,1.635172e-04,1.735270e-04,2.202655e-04,2.243720e-04,2.757833e-04,3.006467e-04,3.409622e-04,3.943567e-04,4.166613e-04,5.037038e-04,5.074326e-04,6.028644e-04,6.416684e-04,7.148577e-04,7.986753e-04,8.403283e-04,9.798412e-04,1.133875e-03,1.186298e-03,1.302815e-03,1.418897e-03,1.486950e-03,1.678191e-03,1.686468e-03,1.901458e-03,1.964428e-03,2.131904e-03,2.277548e-03,2.377694e-03,2.617193e-03,2.638618e-03,2.914371e-03,2.982717e-03,3.204562e-03,3.373202e-03,3.508717e-03,3.787486e-03,3.826283e-03,4.156639e-03,4.224186e-03,4.499102e-03,4.681724e-03,4.852933e-03,5.158360e-03,5.217343e-03,5.591506e-03,5.652221e-03,5.974563e-03,6.161329e-03,6.365626e-03,6.683635e-03,6.763793e-03,7.168148e-03,7.217043e-03,7.577772e-03,7.759439e-03,7.991746e-03,8.308712e-03,8.409156e-03,8.829103e-03,8.862782e-03,9.250703e-03,9.419612e-03,9.673093e-03,9.977233e-03,1.009544e-02,1.051692e-02,1.053375e-02,1.093678e-02,1.108738e-02,1.135425e-02,1.163641e-02,1.176863e-02,1.217925e-02,1.258548e-02,1.271444e-02,1.298671e-02,1.324063e-02,1.338240e-02,1.375657e-02,1.377204e-02,1.415514e-02,1.426117e-02,1.453127e-02,1.475343e-02,1.490003e-02,1.523249e-02,1.526108e-02,1.561409e-02,1.569759e-02,1.595878e-02,1.614808e-02,1.629490e-02,1.658343e-02,1.662225e-02,1.694063e-02,1.700322e-02,1.724991e-02,1.740710e-02,1.754998e-02,1.779484e-02,1.784073e-02,1.812211e-02,1.816626e-02,1.839409e-02,1.852129e-02,1.865665e-02,1.885992e-02,1.890980e-02,1.915358e-02,1.918220e-02,1.938803e-02,1.948825e-02,1.961323e-02,1.977823e-02,1.982925e-02,2.003620e-02,2.005237e-02,2.023420e-02,2.031092e-02,2.042336e-02,2.055417e-02,2.060384e-02,2.077577e-02,2.078247e-02,2.093931e-02,2.099616e-02,2.109463e-02,2.119563e-02,2.124189e-02,2.138129e-02,2.155354e-02,2.171281e-02,2.185955e-02,2.199421e-02,2.211721e-02,2.222903e-02,2.233011e-02,2.242089e-02,2.250182e-02,2.257334e-02,2.263587e-02,2.268984e-02,2.273565e-02,2.277373e-02,2.280444e-02,2.282819e-02,2.284534e-02,2.285624e-02,2.286125e-02,2.286071e-02,2.285492e-02,2.284422e-02,2.282888e-02,2.280921e-02
0.000000e+00,6.634587e-15,5.885710e-14,1.508662e-12,1.291518e-11,3.447949e-11,2.861433e-10,3.087871e-10,1.661598e-09,2.500442e-09,6.502736e-09,1.322900e-08,2.049111e-08,5.122632e-08,5.518506e-08,1.317275e-07,1.598655e-07,2.851644e-07,4.236213e-07,5.685764e-07,9.838969e-07,1.056186e-06,1.844892e-06,2.048889e-06,3.054060e-06,3.894723e-06,4.823668e-06,6.857963e-06,7.311091e-06,1.068684e-05,1.132127e-05,1.512967e-05,1.769464e-05,2.082130e-05,2.639449e-05,2.794110e-05,3.666096e-05,3.782260e-05,4.714046e-05,5.234643e-05,5.952257e-05,7.028172e-05,7.392990e-05,9.046166e-05,9.187836e-05,1.091913e-04,1.173098e-04,1.301648e-04,1.466662e-04,1.533999e-04,1.788857e-04,1.799515e-04,2.065832e-04,2.170837e-04,2.364261e-04,2.578988e-04,2.683226e-04,3.021573e-04,3.377935e-04,3.495527e-04,3.750760e-04,3.997222e-04,4.138335e-04,4.522581e-04,4.538824e-04,4.950290e-04,5.067195e-04,5.370727e-04,5.626447e-04,5.798093e-04,6.195624e-04,6.230334e-04,6.665411e-04,6.770029e-04,7.101324e-04,7.345072e-04,7.536127e-04,7.916352e-04,7.967954e-04,8.395037e-04,8.479735e-04,8.815713e-04,9.031416e-04,9.228440e-04,9.567944e-04,9.631797e-04,1.002450e-03,1.008626e-03,1.040538e-03,1.058371e-03,1.077344e-03,1.105805e-03,1.112778e-03,1.146767e-03,1.150746e-03,1.179249e-03,1.193050e-03,1.210174e-03,1.232612e-03,1.239504e-03,1.267215e-03,1.269361e-03,1.293289e-03,1.303260e-03,1.317723e-03,1.334299e-03,1.340517e-03,1.361686e-03,1.362499e-03,1.381246e-03,1.387899e-03,1.399225e-03,1.410563e-03,1.415653e-03,1.430567e-03,1.444009e-03,1.448006e-03,1.456022e-03,1.462983e-03,1.466655e-03,1.475611e-03,1.475958e-03,1.483984e-03,1.486009e-03,1.490785e-03,1.494301e-03,1.496418e-03,1.500614e-03,1.500936e-03,1.504395e-03,1.505074e-03,1.506851e-03,1.507808e-03,1.508358e-03,1.508942e-03,1.508970e-03,1.508740e-03,1.508597e-03,1.507720e-03,1.506894e-03,1.505960e-03,1.503946e-03,1.503509e-03,1.500415e-03,1.499863e-03,1.496723e-03,1.494751e-03,1.492477e-03,1.488709e-03,1.487719e-03,1.482489e-03,1.481832e-03,1.476827e-03,1.474208e-03,1.470769e-03,1.465922e-03,1.464350e-03,1.457603e-03,1.457050e-03,1.450560e-03,1.447666e-03,1.443250e-03,1.437838e-03,1.435701e-03,1.427941e-03,1.427626e-03,1.419993e-03,1.417090e-03,1.411881e-03,1.406282e-03,1.403627e-03,1.395250e-03,1.384040e-03,1.372690e-03,1.361240e-03,1.349720e-03,1.338164e-03,1.326596e-03,1.315042e-03,1.303525e-03,1.292063e-03,1.280673e-03,1.269373e-03,1.258175e-03,1.247091e-03,1.236132e-03,1.225306e-03,1.214623e-03,1.204088e-03,1.193707e-03,1.183484e-03,1.173424e-03,1.163530e-03,1.153804e-03,1.144247e-03,1.134861e-03
0.000000e+00,4.665611e-12,1.073979e-11,3.700112e-11,8.395178e-11,1.221892e-10,2.750770e-10,2.832555e-10,5.424627e-10,6.357082e-10,9.226571e-10,1.218824e-09,1.447881e-09,2.079402e-09,2.141558e-09,3.019741e-09,3.258288e-09,4.081368e-09,4.749036e-09,5.306312e-09,6.495959e-09,6.665087e-09,8.128789e-09,8.431863e-09,9.672570e-09,1.049983e-08,1.127521e-08,1.265315e-08,1.291796e-08,1.458367e-08,1.485123e-08,1.625641e-08,1.705744e-08,1.792141e-08,1.923867e-08,1.956510e-08,2.117529e-08,2.136574e-08,2.274126e-08,2.341386e-08,2.425386e-08,2.536304e-08,2.570554e-08,2.709032e-08,2.719806e-08,2.840371e-08,2.890834e-08,2.964262e-08,3.048743e-08,3.080520e-08,3.189070e-08,3.193252e-08,3.289934e-08,3.324380e-08,3.383211e-08,3.442387e-08,3.469064e-08,3.547705e-08,3.619392e-08,3.640908e-08,3.684406e-08,3.722655e-08,3.743054e-08,3.793659e-08,3.795651e-08,3.842523e-08,3.854665e-08,3.883994e-08,3.906419e-08,3.920388e-08,3.949657e-08,3.952020e-08,3.979200e-08,3.985094e-08,4.002226e-08,4.013415e-08,4.021387e-08,4.035269e-08,4.036956e-08,4.049192e-08,4.051262e-08,4.058343e-08,4.061960e-08,4.064642e-08,4.067890e-08,4.068309e-08,4.069552e-08,4.069539e-08,4.068566e-08,4.067354e-08,4.065532e-08,4.061745e-08,4.060620e-08,4.053991e-08,4.053088e-08,4.045794e-08,4.041726e-08,4.036166e-08,4.027974e-08,4.025240e-08,4.013134e-08,4.012118e-08,3.999962e-08,3.994418e-08,3.985828e-08,3.975110e-08,3.970828e-08,3.955054e-08,3.954408e-08,3.938588e-08,3.932507e-08,3.921509e-08,3.909582e-08,3.903888e-08,3.885791e-08,3.867281e-08,3.861280e-08,3.848414e-08,3.836177e-08,3.829243e-08,3.810598e-08,3.809817e-08,3.790180e-08,3.784649e-08,3.770374e-08,3.758425e-08,3.750437e-08,3.732010e-08,3.730404e-08,3.710308e-08,3.705479e-08,3.690179e-08,3.678902e-08,3.670043e-08,3.652337e-08,3.649925e-08,3.629849e-08,3.625841e-08,3.609836e-08,3.599461e-08,3.589905e-08,3.573238e-08,3.570072e-08,3.550355e-08,3.547212e-08,3.530767e-08,3.521415e-08,3.511322e-08,3.495876e-08,3.492030e-08,3.472904e-08,3.470620e-08,3.453952e-08,3.445671e-08,3.435184e-08,3.421046e-08,3.416606e-08,3.398225e-08,3.396763e-08,3.380048e-08,3.372835e-08,3.362079e-08,3.349274e-08,3.344324e-08,3.326786e-08,3.326089e-08,3.309468e-08,3.303288e-08,3.292373e-08,3.280877e-08,3.275504e-08,3.258862e-08,3.237245e-08,3.216029e-08,3.195214e-08,3.174801e-08,3.154790e-08,3.135178e-08,3.115964e-08,3.097145e-08,3.078717e-08,3.060678e-08,3.043022e-08,3.025745e-08,3.008843e-08,2.992310e-08,2.976141e-08,2.960331e-08,2.944873e-08,2.929762e-08,2.914993e-08,2.900558e-08,2.886452e-08,2.872669e-08,2.859203e-08,2.846048e-08
0.000000e+00,1.531540e-10,5.417550e-10,2.959626e-09,8.347389e-09,1.319906e-08,3.467075e-08,3.588446e-08,7.664842e-08,9.220124e-08,1.423701e-07,1.971907e-07,2.413153e-07,3.687168e-07,3.815980e-07,5.672284e-07,6.183356e-07,7.953278e-07,9.389642e-07,1.058683e-06,1.313719e-06,1.349933e-06,1.663201e-06,1.728079e-06,1.993935e-06,2.171555e-06,2.338387e-06,2.635898e-06,2.693246e-06,3.055463e-06,3.113907e-06,3.422180e-06,3.599012e-06,3.790731e-06,4.085235e-06,4.158661e-06,4.523755e-06,4.567279e-06,4.884051e-06,5.040614e-06,5.237852e-06,5.501504e-06,5.583723e-06,5.920480e-06,5.946997e-06,6.247177e-06,6.374867e-06,6.563077e-06,6.783526e-06,6.867634e-06,7.160466e-06,7.171932e-06,7.441333e-06,7.539490e-06,7.710116e-06,7.885972e-06,7.966794e-06,8.211430e-06,8.444155e-06,8.516141e-06,8.665154e-06,8.800542e-06,8.874652e-06,9.065194e-06,9.072913e-06,9.260220e-06,9.310745e-06,9.436881e-06,9.537900e-06,9.603215e-06,9.747401e-06,9.759548e-06,9.906214e-06,9.940013e-06,1.004355e-05,1.011651e-05,1.017189e-05,1.027766e-05,1.029157e-05,1.040293e-05,1.042422e-05,1.050627e-05,1.055696e-05,1.060194e-05,1.067660e-05,1.069024e-05,1.077148e-05,1.078385e-05,1.084597e-05,1.087940e-05,1.091398e-05,1.096393e-05,1.097581e-05,1.103174e-05,1.103806e-05,1.108202e-05,1.110243e-05,1.112693e-05,1.115762e-05,1.116671e-05,1.120161e-05,1.120419e-05,1.123185e-05,1.124270e-05,1.125768e-05,1.127366e-05,1.127930e-05,1.129694e-05,1.129756e-05,1.131078e-05,1.131487e-05,1.132103e-05,1.132605e-05,1.132788e-05,1.133151e-05,1.133208e-05,1.133165e-05,1.132978e-05,1.132687e-05,1.132476e-05,1.131753e-05,1.131718e-05,1.130718e-05,1.130396e-05,1.129490e-05,1.128650e-05,1.128049e-05,1.126545e-05,1.126407e-05,1.124576e-05,1.124110e-05,1.122570e-05,1.121373e-05,1.120398e-05,1.118360e-05,1.118073e-05,1.115604e-05,1.115094e-05,1.113002e-05,1.111600e-05,1.110277e-05,1.107898e-05,1.107436e-05,1.104489e-05,1.104009e-05,1.101445e-05,1.099951e-05,1.098311e-05,1.095744e-05,1.095094e-05,1.091803e-05,1.091403e-05,1.088443e-05,1.086945e-05,1.085022e-05,1.082384e-05,1.081545e-05,1.078018e-05,1.077734e-05,1.074447e-05,1.073008e-05,1.070838e-05,1.068218e-05,1.067195e-05,1.063522e-05,1.063375e-05,1.059826e-05,1.058490e-05,1.056109e-05,1.053572e-05,1.052376e-05,1.048631e-05,1.043675e-05,1.038711e-05,1.033748e-05,1.028791e-05,1.023848e-05,1.018922e-05,1.014021e-05,1.009148e-05,1.004308e-05,9.995056e-06,9.947436e-06,9.900256e-06,9.853547e-06,9.807336e-06,9.761647e-06,9.716503e-06,9.671923e-06,9.627924e-06,9.584522e-06,9.541729e-06,9.499557e-06,9.458015e-06,9.417111e-06,9.376852e-06
0.000000e+00,2.132506e-10,5.777324e-10,2.362791e-09,5.818887e-09,8.742788e-09,2.091246e-08,2.157841e-08,4.320964e-08,5.119342e-08,7.628827e-08,1.028961e-07,1.238988e-07,1.834527e-07,1.894329e-07,2.759185e-07,2.999973e-07,3.846986e-07,4.549365e-07,5.143583e-07,6.428500e-07,6.612415e-07,8.210681e-07,8.542413e-07,9.900749e-07,1.080570e-06,1.165285e-06,1.315538e-06,1.344370e-06,1.525446e-06,1.554493e-06,1.706925e-06,1.793770e-06,1.887437e-06,2.030336e-06,2.065777e-06,2.240891e-06,2.261643e-06,2.411866e-06,2.485579e-06,2.577927e-06,2.700447e-06,2.738432e-06,2.892867e-06,2.904947e-06,3.040836e-06,3.098146e-06,3.182054e-06,3.279442e-06,3.316334e-06,3.443581e-06,3.448524e-06,3.563769e-06,3.605314e-06,3.676938e-06,3.749931e-06,3.783183e-06,3.882638e-06,3.975472e-06,4.003813e-06,4.061883e-06,4.113913e-06,4.142085e-06,4.213451e-06,4.216308e-06,4.284792e-06,4.302972e-06,4.347779e-06,4.383036e-06,4.405517e-06,4.454210e-06,4.458250e-06,4.506222e-06,4.517054e-06,4.549672e-06,4.572116e-06,4.588833e-06,4.619927e-06,4.623932e-06,4.655187e-06,4.660996e-06,4.682812e-06,4.695811e-06,4.707011e-06,4.724833e-06,4.727979e-06,4.745905e-06,4.748503e-06,4.760969e-06,4.767234e-06,4.773342e-06,4.781414e-06,4.783189e-06,4.790666e-06,4.791411e-06,4.795921e-06,4.797566e-06,4.799096e-06,4.800202e-06,4.800326e-06,4.799739e-06,4.799617e-06,4.797455e-06,4.796092e-06,4.793589e-06,4.789888e-06,4.788251e-06,4.781543e-06,4.781248e-06,4.773564e-06,4.770398e-06,4.764405e-06,4.757549e-06,4.754155e-06,4.742895e-06,4.730705e-06,4.726619e-06,4.717657e-06,4.708889e-06,4.703821e-06,4.689859e-06,4.689264e-06,4.674046e-06,4.669675e-06,4.658227e-06,4.648469e-06,4.641861e-06,4.626366e-06,4.625000e-06,4.607693e-06,4.603479e-06,4.589987e-06,4.579913e-06,4.571923e-06,4.555765e-06,4.553544e-06,4.534886e-06,4.531124e-06,4.515986e-06,4.506073e-06,4.496877e-06,4.480688e-06,4.477591e-06,4.458158e-06,4.455036e-06,4.438604e-06,4.429184e-06,4.418957e-06,4.403187e-06,4.399239e-06,4.379475e-06,4.377101e-06,4.359685e-06,4.350974e-06,4.339888e-06,4.324850e-06,4.320104e-06,4.300349e-06,4.298770e-06,4.280639e-06,4.272771e-06,4.260990e-06,4.246887e-06,4.241414e-06,4.221924e-06,4.221147e-06,4.202533e-06,4.195579e-06,4.183252e-06,4.170208e-06,4.164089e-06,4.145055e-06,4.120142e-06,4.095485e-06,4.071100e-06,4.047001e-06,4.023201e-06,3.999710e-06,3.976537e-06,3.953690e-06,3.931176e-06,3.909001e-06,3.887168e-06,3.865683e-06,3.844546e-06,3.823760e-06,3.803327e-06,3.783247e-06,3.763520e-06,3.744145e-06,3.725122e-06,3.706448e-06,3.688121e-06,3.670140e-06,3.652502e-06,3.635204e-06
0.000000e+00,6.812519e-11,2.269646e-10,1.158370e-09,3.163404e-09,4.940705e-09,1.266780e-08,1.309992e-08,2.741155e-08,3.278635e-08,4.987591e-08,6.821843e-08,8.281004e-08,1.245707e-07,1.287901e-07,1.902506e-07,2.075001e-07,2.686469e-07,3.199166e-07,3.637029e-07,4.597141e-07,4.736078e-07,5.959673e-07,6.217304e-07,7.285466e-07,8.008972e-07,8.694926e-07,9.932311e-07,1.017282e-06,1.170613e-06,1.195582e-06,1.328329e-06,1.405274e-06,1.489366e-06,1.619920e-06,1.652736e-06,1.817521e-06,1.837350e-06,1.982873e-06,2.055605e-06,2.148018e-06,2.272958e-06,2.312259e-06,2.474979e-06,2.487914e-06,2.635641e-06,2.699223e-06,2.793782e-06,2.905862e-06,2.949015e-06,3.101017e-06,3.107026e-06,3.249517e-06,3.302079e-06,3.394312e-06,3.490573e-06,3.535241e-06,3.672187e-06,3.805072e-06,3.846729e-06,3.933848e-06,4.014097e-06,4.058492e-06,4.174263e-06,4.179004e-06,4.295404e-06,4.327264e-06,4.407728e-06,4.473185e-06,4.516024e-06,4.612148e-06,4.620350e-06,4.720773e-06,4.744302e-06,4.817367e-06,4.869817e-06,4.910212e-06,4.988880e-06,4.999390e-06,5.084988e-06,5.101685e-06,5.167093e-06,5.208437e-06,5.245795e-06,5.309341e-06,5.321185e-06,5.393353e-06,5.404607e-06,5.462390e-06,5.494442e-06,5.528386e-06,5.579054e-06,5.591431e-06,5.651614e-06,5.658648e-06,5.709021e-06,5.733423e-06,5.763739e-06,5.803579e-06,5.815853e-06,5.865445e-06,5.869306e-06,5.912598e-06,5.930793e-06,5.957390e-06,5.988223e-06,5.999900e-06,6.040205e-06,6.041773e-06,6.078379e-06,6.091614e-06,6.114495e-06,6.137914e-06,6.148623e-06,6.180833e-06,6.211193e-06,6.220527e-06,6.239766e-06,6.257146e-06,6.266619e-06,6.290835e-06,6.291811e-06,6.315405e-06,6.321732e-06,6.337457e-06,6.349972e-06,6.358025e-06,6.375685e-06,6.377165e-06,6.394929e-06,6.398994e-06,6.411370e-06,6.420018e-06,6.426538e-06,6.438872e-06,6.440482e-06,6.453249e-06,6.455665e-06,6.464885e-06,6.470504e-06,6.475435e-06,6.483488e-06,6.484941e-06,6.493445e-06,6.494716e-06,6.500988e-06,6.504279e-06,6.507609e-06,6.512267e-06,6.513345e-06,6.518232e-06,6.518764e-06,6.522307e-06,6.523851e-06,6.525603e-06,6.527608e-06,6.528154e-06,6.529991e-06,6.530108e-06,6.531144e-06,6.531421e-06,6.531645e-06,6.531617e-06,6.531522e-06,6.530801e-06,6.530761e-06,6.529512e-06,6.528913e-06,6.527678e-06,6.526134e-06,6.525326e-06,6.522479e-06,6.518003e-06,6.512758e-06,6.506792e-06,6.500151e-06,6.492881e-06,6.485024e-06,6.476621e-06,6.467709e-06,6.458325e-06,6.448505e-06,6.438281e-06,6.427686e-06,6.416747e-06,6.405496e-06,6.393957e-06,6.382158e-06,6.370122e-06,6.357873e-06,6.345432e-06,6.332820e-06,6.320057e-06,6.307162e-06,6.294152e-06,6.281044e-06
0.000000e+00,2.481699e-11,6.246697e-11,2.366428e-10,5.616615e-10,8.314170e-10,1.927174e-09,1.986185e-09,3.862231e-09,4.537302e-09,6.608380e-09,8.731908e-09,1.036361e-08,1.482084e-08,1.525699e-08,2.140023e-08,2.307000e-08,2.886757e-08,3.363525e-08,3.767193e-08,4.648755e-08,4.776390e-08,5.905711e-08,6.145124e-08,7.145218e-08,7.829897e-08,8.484604e-08,9.679110e-08,9.913239e-08,1.142006e-07,1.166765e-07,1.299355e-07,1.376901e-07,1.462177e-07,1.595561e-07,1.629260e-07,1.799390e-07,1.819954e-07,1.971377e-07,2.047343e-07,2.144076e-07,2.275134e-07,2.316404e-07,2.487358e-07,2.500947e-07,2.656028e-07,2.722671e-07,2.821600e-07,2.938491e-07,2.983363e-07,3.140711e-07,3.146905e-07,3.293135e-07,3.346720e-07,3.440224e-07,3.537031e-07,3.581658e-07,3.717200e-07,3.846686e-07,3.886826e-07,3.970021e-07,4.045706e-07,4.087165e-07,4.193811e-07,4.198132e-07,4.302979e-07,4.331251e-07,4.401799e-07,4.458248e-07,4.494715e-07,4.575111e-07,4.581875e-07,4.663447e-07,4.682213e-07,4.739613e-07,4.779975e-07,4.810564e-07,4.868848e-07,4.876503e-07,4.937634e-07,4.949301e-07,4.994164e-07,5.021811e-07,5.046302e-07,5.086854e-07,5.094253e-07,5.138222e-07,5.144901e-07,5.178408e-07,5.196411e-07,5.215005e-07,5.241825e-07,5.248201e-07,5.278179e-07,5.281569e-07,5.305117e-07,5.316050e-07,5.329183e-07,5.345653e-07,5.350540e-07,5.369346e-07,5.370744e-07,5.385748e-07,5.391668e-07,5.399890e-07,5.408749e-07,5.411907e-07,5.421930e-07,5.422291e-07,5.430080e-07,5.432579e-07,5.436476e-07,5.439881e-07,5.441229e-07,5.444445e-07,5.446223e-07,5.446504e-07,5.446658e-07,5.446274e-07,5.445841e-07,5.443957e-07,5.443856e-07,5.440784e-07,5.439739e-07,5.436700e-07,5.433794e-07,5.431677e-07,5.426284e-07,5.425782e-07,5.419080e-07,5.417358e-07,5.411631e-07,5.407155e-07,5.403492e-07,5.395802e-07,5.394717e-07,5.385357e-07,5.383419e-07,5.375460e-07,5.370116e-07,5.365070e-07,5.355993e-07,5.354231e-07,5.342981e-07,5.341146e-07,5.331360e-07,5.325660e-07,5.319402e-07,5.309616e-07,5.307141e-07,5.294608e-07,5.293087e-07,5.281832e-07,5.276141e-07,5.268841e-07,5.258841e-07,5.255662e-07,5.242318e-07,5.241244e-07,5.228832e-07,5.223403e-07,5.215227e-07,5.205368e-07,5.201521e-07,5.187735e-07,5.187182e-07,5.173885e-07,5.168886e-07,5.159988e-07,5.150519e-07,5.146059e-07,5.132113e-07,5.113702e-07,5.095313e-07,5.076972e-07,5.058703e-07,5.040528e-07,5.022466e-07,5.004534e-07,4.986750e-07,4.969126e-07,4.951676e-07,4.934412e-07,4.917343e-07,4.900479e-07,4.883827e-07,4.867395e-07,4.851188e-07,4.835213e-07,4.819472e-07,4.803970e-07,4.788711e-07,4.773695e-07,4.758925e-07,4.744403e-07,4.730129e-07
0.000000e+00,7.561455e-13,5.806939e-12,1.104630e-10,7.212841e-10,1.660270e-09,9.407414e-09,9.995912e-09,3.690665e-08,5.015211e-08,1.009966e-07,1.672087e-07,2.265584e-07,4.209240e-07,4.422297e-07,7.800628e-07,8.831222e-07,1.274515e-06,1.632770e-06,1.959996e-06,2.745065e-06,2.866241e-06,4.013061e-06,4.272131e-06,5.407315e-06,6.228696e-06,7.043487e-06,8.594211e-06,8.906817e-06,1.097708e-05,1.132603e-05,1.323165e-05,1.437249e-05,1.564734e-05,1.768049e-05,1.820124e-05,2.087096e-05,2.119807e-05,2.363462e-05,2.487485e-05,2.647078e-05,2.866181e-05,2.935845e-05,3.227723e-05,3.251149e-05,3.520747e-05,3.637855e-05,3.813048e-05,4.022068e-05,4.102875e-05,4.388619e-05,4.399942e-05,4.668823e-05,4.768086e-05,4.942197e-05,5.123611e-05,5.207621e-05,5.464148e-05,5.710997e-05,5.787838e-05,5.947546e-05,6.093309e-05,6.173324e-05,6.379629e-05,6.388000e-05,6.591365e-05,6.646265e-05,6.783324e-05,6.893022e-05,6.963879e-05,7.119990e-05,7.133116e-05,7.291194e-05,7.327495e-05,7.438330e-05,7.516044e-05,7.574791e-05,7.686289e-05,7.700884e-05,7.816946e-05,7.838986e-05,7.923338e-05,7.974964e-05,8.020436e-05,8.095098e-05,8.108626e-05,8.188301e-05,8.200285e-05,8.259855e-05,8.291431e-05,8.323679e-05,8.369433e-05,8.380160e-05,8.429679e-05,8.435171e-05,8.472606e-05,8.489500e-05,8.509304e-05,8.533245e-05,8.540124e-05,8.565403e-05,8.567195e-05,8.585468e-05,8.592105e-05,8.600634e-05,8.608689e-05,8.611201e-05,8.617457e-05,8.617622e-05,8.619678e-05,8.619541e-05,8.618127e-05,8.615045e-05,8.613053e-05,8.604696e-05,8.593282e-05,8.589019e-05,8.579025e-05,8.568505e-05,8.562132e-05,8.543612e-05,8.542794e-05,8.521195e-05,8.514766e-05,8.497510e-05,8.482365e-05,8.471901e-05,8.446777e-05,8.444525e-05,8.415528e-05,8.408343e-05,8.385048e-05,8.367380e-05,8.353215e-05,8.324182e-05,8.320154e-05,8.285979e-05,8.279020e-05,8.250800e-05,8.232144e-05,8.214719e-05,8.183785e-05,8.177834e-05,8.140234e-05,8.134157e-05,8.102005e-05,8.083456e-05,8.063228e-05,8.031861e-05,8.023976e-05,7.984321e-05,7.979538e-05,7.944328e-05,7.926640e-05,7.904058e-05,7.873305e-05,7.863571e-05,7.822918e-05,7.819660e-05,7.782151e-05,7.765823e-05,7.741316e-05,7.711897e-05,7.700457e-05,7.659615e-05,7.657982e-05,7.618826e-05,7.604163e-05,7.578127e-05,7.550520e-05,7.537551e-05,7.497126e-05,7.444045e-05,7.391336e-05,7.339051e-05,7.287237e-05,7.235936e-05,7.185184e-05,7.135015e-05,7.085457e-05,7.036535e-05,6.988270e-05,6.940680e-05,6.893783e-05,6.847589e-05,6.802111e-05,6.757355e-05,6.713328e-05,6.670035e-05,6.627479e-05,6.585660e-05,6.544579e-05,6.504233e-05,6.464621e-05,6.425738e-05,6.387581e-05
0.000000e+00,1.205850e-10,3.419177e-10,1.467200e-09,3.693879e-09,5.593463e-09,1.353130e-08,1.396553e-08,2.799963e-08,3.313590e-08,4.910980e-08,6.576550e-08,7.871617e-08,1.145611e-07,1.180931e-07,1.679664e-07,1.815042e-07,2.282704e-07,2.664041e-07,2.984725e-07,3.679436e-07,3.779502e-07,4.660812e-07,4.846890e-07,5.622067e-07,6.151122e-07,6.655964e-07,7.574669e-07,7.754400e-07,8.908578e-07,9.097804e-07,1.010922e-06,1.069925e-06,1.134684e-06,1.235719e-06,1.261198e-06,1.389548e-06,1.405031e-06,1.518866e-06,1.575863e-06,1.648347e-06,1.746408e-06,1.777258e-06,1.904948e-06,1.915093e-06,2.030845e-06,2.080589e-06,2.154458e-06,2.241810e-06,2.275373e-06,2.393250e-06,2.397898e-06,2.507814e-06,2.548203e-06,2.618850e-06,2.692255e-06,2.726196e-06,2.829738e-06,2.929402e-06,2.960468e-06,3.025148e-06,3.084363e-06,3.116965e-06,3.201427e-06,3.204868e-06,3.288894e-06,3.311733e-06,3.369096e-06,3.415408e-06,3.445539e-06,3.512614e-06,3.518302e-06,3.587469e-06,3.603545e-06,3.653135e-06,3.688414e-06,3.715396e-06,3.767450e-06,3.774354e-06,3.830112e-06,3.840889e-06,3.882774e-06,3.908970e-06,3.932447e-06,3.971938e-06,3.979234e-06,4.023242e-06,4.030032e-06,4.064572e-06,4.083489e-06,4.103327e-06,4.132544e-06,4.139606e-06,4.173509e-06,4.177422e-06,4.205130e-06,4.218345e-06,4.234563e-06,4.255526e-06,4.261900e-06,4.287229e-06,4.289171e-06,4.310636e-06,4.319480e-06,4.332205e-06,4.346642e-06,4.352017e-06,4.370150e-06,4.370841e-06,4.386679e-06,4.392252e-06,4.401679e-06,4.411041e-06,4.415220e-06,4.427371e-06,4.438196e-06,4.441391e-06,4.447761e-06,4.453249e-06,4.456126e-06,4.463083e-06,4.463350e-06,4.469491e-06,4.471023e-06,4.474601e-06,4.477196e-06,4.478736e-06,4.481720e-06,4.481943e-06,4.484273e-06,4.484707e-06,4.485772e-06,4.486265e-06,4.486484e-06,4.486494e-06,4.486453e-06,4.485719e-06,4.485491e-06,4.484322e-06,4.483347e-06,4.482300e-06,4.480146e-06,4.479690e-06,4.476526e-06,4.475970e-06,4.472841e-06,4.470896e-06,4.468667e-06,4.464996e-06,4.464034e-06,4.458973e-06,4.458338e-06,4.453510e-06,4.450986e-06,4.447672e-06,4.443000e-06,4.441485e-06,4.434973e-06,4.434438e-06,4.428159e-06,4.425354e-06,4.421065e-06,4.415797e-06,4.413714e-06,4.406123e-06,4.405815e-06,4.398314e-06,4.395452e-06,4.390304e-06,4.384751e-06,4.382110e-06,4.373750e-06,4.362485e-06,4.350992e-06,4.339302e-06,4.327446e-06,4.315451e-06,4.303343e-06,4.291146e-06,4.278885e-06,4.266579e-06,4.254247e-06,4.241909e-06,4.229582e-06,4.217279e-06,4.205017e-06,4.192808e-06,4.180664e-06,4.168598e-06,4.156618e-06,4.144734e-06,4.132956e-06,4.121290e-06,4.109744e-06,4.098324e-06,4.087036e-06
0.000000e+00,2.103086e-13,1.696548e-12,3.566688e-11,2.544644e-10,6.142342e-10,3.919395e-09,4.184229e-09,1.727386e-08,2.417041e-08,5.228166e-08,9.151184e-08,1.284438e-07,2.574559e-07,2.721904e-07,5.171825e-07,5.954019e-07,9.036647e-07,1.198389e-06,1.475979e-06,2.167969e-06,2.277563e-06,3.344708e-06,3.592376e-06,4.701530e-06,5.525393e-06,6.357904e-06,7.978570e-06,8.310394e-06,1.054502e-05,1.092740e-05,1.304058e-05,1.432375e-05,1.577161e-05,1.810749e-05,1.871057e-05,2.182917e-05,2.221413e-05,2.509918e-05,2.657875e-05,2.849275e-05,3.113773e-05,3.198265e-05,3.554236e-05,3.582937e-05,3.914619e-05,4.059453e-05,4.276952e-05,4.537718e-05,4.638891e-05,4.998238e-05,5.012529e-05,5.352958e-05,5.479162e-05,5.701198e-05,5.933445e-05,6.041300e-05,6.371809e-05,6.691476e-05,6.791304e-05,6.999258e-05,7.189601e-05,7.294307e-05,7.564960e-05,7.575963e-05,7.843741e-05,7.916185e-05,8.097318e-05,8.242568e-05,8.336514e-05,8.543827e-05,8.561278e-05,8.771670e-05,8.820042e-05,8.967850e-05,9.071588e-05,9.150056e-05,9.299081e-05,9.318596e-05,9.473836e-05,9.503322e-05,9.616181e-05,9.685252e-05,9.746076e-05,9.845907e-05,9.863988e-05,9.970401e-05,9.986393e-05,1.006581e-04,1.010785e-04,1.015072e-04,1.021143e-04,1.022564e-04,1.029105e-04,1.029829e-04,1.034746e-04,1.036955e-04,1.039535e-04,1.042633e-04,1.043518e-04,1.046742e-04,1.046968e-04,1.049251e-04,1.050064e-04,1.051088e-04,1.052019e-04,1.052295e-04,1.052912e-04,1.052925e-04,1.052976e-04,1.052871e-04,1.052524e-04,1.051940e-04,1.051591e-04,1.050211e-04,1.048415e-04,1.047757e-04,1.046233e-04,1.044648e-04,1.043694e-04,1.040947e-04,1.040826e-04,1.037654e-04,1.036715e-04,1.034203e-04,1.032008e-04,1.030495e-04,1.026878e-04,1.026554e-04,1.022399e-04,1.021373e-04,1.018051e-04,1.015538e-04,1.013527e-04,1.009414e-04,1.008845e-04,1.004021e-04,1.003041e-04,9.990714e-05,9.964525e-05,9.940099e-05,9.896819e-05,9.888503e-05,9.836053e-05,9.827590e-05,9.782869e-05,9.757114e-05,9.729064e-05,9.685642e-05,9.674741e-05,9.620000e-05,9.613408e-05,9.564932e-05,9.540621e-05,9.509622e-05,9.467474e-05,9.454150e-05,9.398590e-05,9.394144e-05,9.343011e-05,9.320789e-05,9.287477e-05,9.247554e-05,9.232047e-05,9.176776e-05,9.174569e-05,9.121715e-05,9.101954e-05,9.066911e-05,9.029813e-05,9.012407e-05,8.958242e-05,8.887325e-05,8.817138e-05,8.747748e-05,8.679212e-05,8.611582e-05,8.544904e-05,8.479214e-05,8.414545e-05,8.350925e-05,8.288376e-05,8.226915e-05,8.166557e-05,8.107313e-05,8.049189e-05,7.992189e-05,7.936315e-05,7.881565e-05,7.827936e-05,7.775423e-05,7.724017e-05,7.673711e-05,7.624494e-05,7.576354e-05,7.529278e-05
0.000000e+00,1.003554e-11,2.292547e-11,7.832899e-11,1.771159e-10,2.575939e-10,5.806598e-10,5.980136e-10,1.152214e-09,1.353566e-09,1.979424e-09,2.634295e-09,3.146119e-09,4.575939e-09,4.717828e-09,6.735427e-09,7.285700e-09,9.182763e-09,1.071288e-08,1.197970e-08,1.464297e-08,1.501650e-08,1.819234e-08,1.883695e-08,2.142951e-08,2.311750e-08,2.467100e-08,2.736579e-08,2.787431e-08,3.100657e-08,3.149931e-08,3.404160e-08,3.545756e-08,3.695847e-08,3.919561e-08,3.974059e-08,4.237530e-08,4.268109e-08,4.485350e-08,4.589273e-08,4.716939e-08,4.881901e-08,4.932004e-08,5.130509e-08,5.145678e-08,5.312634e-08,5.380972e-08,5.478733e-08,5.588672e-08,5.629298e-08,5.764938e-08,5.770063e-08,5.886348e-08,5.926714e-08,5.994271e-08,6.060351e-08,6.089483e-08,6.172774e-08,6.244934e-08,6.265802e-08,6.306741e-08,6.341216e-08,6.358954e-08,6.400730e-08,6.402302e-08,6.437488e-08,6.445968e-08,6.465175e-08,6.478452e-08,6.485994e-08,6.499591e-08,6.500537e-08,6.509360e-08,6.510685e-08,6.512984e-08,6.512923e-08,6.511891e-08,6.507387e-08,6.506533e-08,6.497327e-08,6.495059e-08,6.484661e-08,6.476826e-08,6.468890e-08,6.453487e-08,6.450346e-08,6.429332e-08,6.425760e-08,6.406128e-08,6.394289e-08,6.380991e-08,6.359650e-08,6.354158e-08,6.325844e-08,6.322356e-08,6.296248e-08,6.282867e-08,6.265551e-08,6.241588e-08,6.233920e-08,6.201506e-08,6.198883e-08,6.168447e-08,6.155071e-08,6.134869e-08,6.110436e-08,6.100886e-08,6.066603e-08,6.065227e-08,6.032114e-08,6.019664e-08,5.997504e-08,5.973941e-08,5.962852e-08,5.928227e-08,5.893691e-08,5.882668e-08,5.859302e-08,5.837394e-08,5.825111e-08,5.792515e-08,5.791162e-08,5.757496e-08,5.748126e-08,5.724150e-08,5.704309e-08,5.691155e-08,5.661134e-08,5.658539e-08,5.626328e-08,5.618659e-08,5.594541e-08,5.576934e-08,5.563199e-08,5.535998e-08,5.532317e-08,5.501908e-08,5.495884e-08,5.471984e-08,5.456618e-08,5.442554e-08,5.418220e-08,5.413626e-08,5.385205e-08,5.380705e-08,5.357295e-08,5.344081e-08,5.329900e-08,5.308356e-08,5.303022e-08,5.276660e-08,5.273531e-08,5.250815e-08,5.239606e-08,5.225485e-08,5.206577e-08,5.200667e-08,5.176360e-08,5.174437e-08,5.152559e-08,5.143180e-08,5.129260e-08,5.112794e-08,5.106459e-08,5.084150e-08,5.083268e-08,5.062327e-08,5.054589e-08,5.040985e-08,5.026744e-08,5.020117e-08,4.999717e-08,4.973494e-08,4.948057e-08,4.923391e-08,4.899478e-08,4.876301e-08,4.853843e-08,4.832086e-08,4.811012e-08,4.790604e-08,4.770845e-08,4.751716e-08,4.733201e-08,4.715282e-08,4.697943e-08,4.681167e-08,4.664939e-08,4.649241e-08,4.634058e-08,4.619375e-08,4.605177e-08,4.591448e-08,4.578175e-08,4.565343e-08,4.552939e-08
0.000000e+00,1.140364e-11,7.087349e-11,8.987713e-10,4.222815e-09,8.248624e-09,3.225847e-08,3.381709e-08,9.320461e-08,1.183661e-07,2.052928e-07,3.073248e-07,3.933260e-07,6.561350e-07,6.837228e-07,1.098617e-06,1.218034e-06,1.646987e-06,2.011223e-06,2.324894e-06,3.021142e-06,3.122931e-06,4.031987e-06,4.226451e-06,5.044786e-06,5.610419e-06,6.155307e-06,7.159503e-06,7.357853e-06,8.646405e-06,8.860121e-06,1.001434e-05,1.069702e-05,1.145437e-05,1.265304e-05,1.295865e-05,1.451892e-05,1.470951e-05,1.612672e-05,1.684704e-05,1.777362e-05,1.904630e-05,1.945133e-05,2.115192e-05,2.128873e-05,2.286792e-05,2.355706e-05,2.459238e-05,2.583565e-05,2.631896e-05,2.804192e-05,2.811069e-05,2.975614e-05,3.037024e-05,3.145714e-05,3.260422e-05,3.314095e-05,3.480420e-05,3.644397e-05,3.696332e-05,3.805780e-05,3.907608e-05,3.964363e-05,4.113810e-05,4.119976e-05,4.272478e-05,4.314606e-05,4.421759e-05,4.509744e-05,4.567731e-05,4.699044e-05,4.710327e-05,4.849498e-05,4.882386e-05,4.985212e-05,5.059694e-05,5.117449e-05,5.230936e-05,5.246202e-05,5.371473e-05,5.396110e-05,5.493272e-05,5.555241e-05,5.611618e-05,5.708378e-05,5.726535e-05,5.838054e-05,5.855583e-05,5.946208e-05,5.996938e-05,6.051036e-05,6.132531e-05,6.152579e-05,6.250884e-05,6.262465e-05,6.345995e-05,6.386845e-05,6.437963e-05,6.505787e-05,6.526838e-05,6.612672e-05,6.619409e-05,6.695518e-05,6.727832e-05,6.775431e-05,6.831183e-05,6.852466e-05,6.926677e-05,6.929588e-05,6.998122e-05,7.023175e-05,7.066854e-05,7.112073e-05,7.132932e-05,7.196411e-05,7.257347e-05,7.276318e-05,7.315796e-05,7.351924e-05,7.371813e-05,7.423354e-05,7.425455e-05,7.476775e-05,7.490736e-05,7.525828e-05,7.554194e-05,7.572668e-05,7.613853e-05,7.617349e-05,7.659923e-05,7.669833e-05,7.700443e-05,7.722256e-05,7.738959e-05,7.771238e-05,7.775524e-05,7.810186e-05,7.816895e-05,7.842996e-05,7.859341e-05,7.874002e-05,7.898688e-05,7.903252e-05,7.930793e-05,7.935044e-05,7.956671e-05,7.968516e-05,7.980932e-05,7.999207e-05,8.003622e-05,8.024782e-05,8.027221e-05,8.044458e-05,8.052656e-05,8.062691e-05,8.075609e-05,8.079523e-05,8.094995e-05,8.096175e-05,8.109146e-05,8.114446e-05,8.122016e-05,8.130510e-05,8.133643e-05,8.144064e-05,8.144457e-05,8.153317e-05,8.156369e-05,8.161438e-05,8.166330e-05,8.168461e-05,8.174421e-05,8.180717e-05,8.185296e-05,8.188230e-05,8.189591e-05,8.189447e-05,8.187866e-05,8.184911e-05,8.180646e-05,8.175131e-05,8.168425e-05,8.160585e-05,8.151665e-05,8.141719e-05,8.130798e-05,8.118951e-05,8.106227e-05,8.092672e-05,8.078330e-05,8.063244e-05,8.047456e-05,8.031006e-05,8.013933e-05,7.996272e-05,7.978062e-05
0.000000e+00,9.170994e-15,8.136379e-14,2.086839e-12,1.786694e-11,4.769204e-11,3.952529e-10,4.264917e-10,2.287325e-09,3.437519e-09,8.901881e-09,1.802821e-08,2.782673e-08,6.889735e-08,7.415227e-08,1.747487e-07,2.113717e-07,3.729421e-07,5.494810e-07,7.327749e-07,1.252311e-06,1.342116e-06,2.314195e-06,2.563892e-06,3.787436e-06,4.804451e-06,5.923670e-06,8.363157e-06,8.904952e-06,1.292924e-05,1.368376e-05,1.820525e-05,2.124508e-05,2.494676e-05,3.153834e-05,3.336662e-05,4.367081e-05,4.504329e-05,5.605268e-05,6.220486e-05,7.068757e-05,8.341175e-05,8.772807e-05,1.073000e-04,1.089782e-04,1.294991e-04,1.391297e-04,1.543888e-04,1.739933e-04,1.819986e-04,2.123238e-04,2.135929e-04,2.453255e-04,2.578485e-04,2.809320e-04,3.065808e-04,3.190402e-04,3.595185e-04,4.022094e-04,4.163090e-04,4.469330e-04,4.765315e-04,4.934901e-04,5.397111e-04,5.416664e-04,5.912362e-04,6.053337e-04,6.419655e-04,6.728608e-04,6.936164e-04,7.417435e-04,7.459496e-04,7.987284e-04,8.114356e-04,8.517206e-04,8.814054e-04,9.047018e-04,9.511451e-04,9.574569e-04,1.009782e-03,1.020179e-03,1.061487e-03,1.088070e-03,1.112395e-03,1.154423e-03,1.162344e-03,1.211186e-03,1.218890e-03,1.258792e-03,1.281169e-03,1.305045e-03,1.341006e-03,1.349846e-03,1.393109e-03,1.398194e-03,1.434765e-03,1.452569e-03,1.474756e-03,1.504009e-03,1.513039e-03,1.549584e-03,1.552432e-03,1.584371e-03,1.597791e-03,1.617391e-03,1.640072e-03,1.648646e-03,1.678144e-03,1.679287e-03,1.705903e-03,1.715475e-03,1.731947e-03,1.748694e-03,1.756308e-03,1.779020e-03,1.800125e-03,1.806546e-03,1.819666e-03,1.831373e-03,1.837690e-03,1.853612e-03,1.854247e-03,1.869389e-03,1.873383e-03,1.883169e-03,1.890805e-03,1.895640e-03,1.906006e-03,1.906858e-03,1.916876e-03,1.919108e-03,1.925750e-03,1.930239e-03,1.933532e-03,1.939520e-03,1.940277e-03,1.946035e-03,1.947073e-03,1.950860e-03,1.953016e-03,1.954799e-03,1.957460e-03,1.957902e-03,1.960216e-03,1.960516e-03,1.961785e-03,1.962287e-03,1.962654e-03,1.962873e-03,1.962864e-03,1.962455e-03,1.962367e-03,1.961467e-03,1.960858e-03,1.959935e-03,1.958430e-03,1.957896e-03,1.955383e-03,1.955162e-03,1.952428e-03,1.951129e-03,1.949061e-03,1.946399e-03,1.945312e-03,1.941207e-03,1.941036e-03,1.936774e-03,1.935102e-03,1.932036e-03,1.928652e-03,1.927017e-03,1.921738e-03,1.914408e-03,1.906707e-03,1.898676e-03,1.890353e-03,1.881774e-03,1.872970e-03,1.863973e-03,1.854808e-03,1.845503e-03,1.836079e-03,1.826558e-03,1.816960e-03,1.807303e-03,1.797603e-03,1.787875e-03,1.778133e-03,1.768390e-03,1.758656e-03,1.748943e-03,1.739260e-03,1.729616e-03,1.720019e-03,1.710475e-03,1.700991e-03
0.000000e+00,9.734055e-16,8.654081e-15,2.231389e-13,1.918829e-12,5.132531e-12,4.269099e-11,4.606879e-11,2.470240e-10,3.709109e-10,9.565529e-10,1.926554e-09,2.959763e-09,7.231677e-09,7.773319e-09,1.801634e-08,2.170529e-08,3.784214e-08,5.532956e-08,7.340965e-08,1.245315e-07,1.333688e-07,2.293295e-07,2.540972e-07,3.762808e-07,4.789012e-07,5.929277e-07,8.452217e-07,9.019167e-07,1.329928e-06,1.411449e-06,1.907626e-06,2.248068e-06,2.669456e-06,3.436850e-06,3.653303e-06,4.900007e-06,5.069307e-06,6.452769e-06,7.244462e-06,8.356451e-06,1.006608e-05,1.065680e-05,1.339964e-05,1.363954e-05,1.662998e-05,1.806841e-05,2.039121e-05,2.345111e-05,2.472424e-05,2.966673e-05,2.987760e-05,3.525235e-05,3.742636e-05,4.151016e-05,4.616185e-05,4.846406e-05,5.613237e-05,6.452747e-05,6.736860e-05,7.365561e-05,7.988257e-05,8.351678e-05,9.366742e-05,9.410476e-05,1.054072e-04,1.086975e-04,1.174058e-04,1.249293e-04,1.300766e-04,1.423024e-04,1.433904e-04,1.573132e-04,1.607411e-04,1.718065e-04,1.801563e-04,1.868280e-04,2.004476e-04,2.023320e-04,2.182701e-04,2.215054e-04,2.345916e-04,2.432129e-04,2.512441e-04,2.654488e-04,2.681740e-04,2.853273e-04,2.880889e-04,3.026496e-04,3.110086e-04,3.200871e-04,3.340842e-04,3.375865e-04,3.550957e-04,3.571951e-04,3.725643e-04,3.802250e-04,3.899435e-04,4.030631e-04,4.071866e-04,4.242492e-04,4.256051e-04,4.410895e-04,4.477545e-04,4.576683e-04,4.694224e-04,4.739490e-04,4.898981e-04,4.905287e-04,5.054849e-04,5.110020e-04,5.206815e-04,5.307794e-04,5.354629e-04,5.498073e-04,5.636953e-04,5.680403e-04,5.771105e-04,5.854417e-04,5.900392e-04,6.019825e-04,6.024700e-04,6.143943e-04,6.176414e-04,6.258056e-04,6.324043e-04,6.366996e-04,6.462636e-04,6.470744e-04,6.569298e-04,6.592179e-04,6.662672e-04,6.712712e-04,6.750902e-04,6.824326e-04,6.834035e-04,6.912133e-04,6.927155e-04,6.985272e-04,7.021372e-04,7.053537e-04,7.107184e-04,7.117026e-04,7.175844e-04,7.184829e-04,7.230104e-04,7.254565e-04,7.279927e-04,7.316675e-04,7.325439e-04,7.366769e-04,7.371454e-04,7.404053e-04,7.419211e-04,7.437427e-04,7.460262e-04,7.467031e-04,7.493006e-04,7.494932e-04,7.515495e-04,7.523545e-04,7.534637e-04,7.546428e-04,7.550576e-04,7.563452e-04,7.563905e-04,7.573404e-04,7.576297e-04,7.580569e-04,7.583919e-04,7.585083e-04,7.587079e-04,7.586078e-04,7.581207e-04,7.572748e-04,7.560973e-04,7.546142e-04,7.528504e-04,7.508298e-04,7.485750e-04,7.461076e-04,7.434479e-04,7.406152e-04,7.376276e-04,7.345023e-04,7.312553e-04,7.279016e-04,7.244552e-04,7.209293e-04,7.173359e-04,7.136865e-04,7.099915e-04,7.062607e-04,7.025032e-04,6.987271e-04,6.949402e-04
0.000000e+00,3.305510e-15,2.861852e-14,6.963477e-13,5.671495e-12,1.471575e-11,1.129381e-10,1.214688e-10,5.997110e-10,8.801226e-10,2.141386e-09,4.111337e-09,6.120115e-09,1.392332e-08,1.487475e-08,3.197085e-08,3.783848e-08,6.241283e-08,8.767780e-08,1.127878e-07,1.801008e-07,1.913224e-07,3.078228e-07,3.366416e-07,4.734572e-07,5.830054e-07,7.003424e-07,9.473764e-07,1.000929e-06,1.387234e-06,1.457740e-06,1.870005e-06,2.138650e-06,2.457936e-06,3.008124e-06,3.157016e-06,3.970090e-06,4.075331e-06,4.896662e-06,5.339441e-06,5.932916e-06,6.789683e-06,7.071953e-06,8.304175e-06,8.406438e-06,9.617776e-06,1.016303e-05,1.099929e-05,1.202788e-05,1.243415e-05,1.390724e-05,1.396675e-05,1.540339e-05,1.594479e-05,1.690781e-05,1.792833e-05,1.840645e-05,1.988628e-05,2.133551e-05,2.179107e-05,2.274376e-05,2.361935e-05,2.410210e-05,2.535221e-05,2.540307e-05,2.664072e-05,2.697526e-05,2.781048e-05,2.847837e-05,2.890914e-05,2.985536e-05,2.993468e-05,3.088620e-05,3.110353e-05,3.176375e-05,3.222318e-05,3.256824e-05,3.321701e-05,3.330127e-05,3.396505e-05,3.408972e-05,3.456222e-05,3.484741e-05,3.509580e-05,3.549725e-05,3.556906e-05,3.598545e-05,3.604703e-05,3.634850e-05,3.650487e-05,3.666179e-05,3.687897e-05,3.692886e-05,3.715320e-05,3.717741e-05,3.733818e-05,3.740795e-05,3.748705e-05,3.757795e-05,3.760290e-05,3.768867e-05,3.769431e-05,3.774709e-05,3.776339e-05,3.778075e-05,3.779101e-05,3.779205e-05,3.778321e-05,3.778246e-05,3.775626e-05,3.774249e-05,3.771309e-05,3.767535e-05,3.765542e-05,3.758483e-05,3.750275e-05,3.747428e-05,3.741049e-05,3.734664e-05,3.730922e-05,3.720452e-05,3.720001e-05,3.708385e-05,3.705019e-05,3.696158e-05,3.688564e-05,3.683402e-05,3.671260e-05,3.670187e-05,3.656578e-05,3.653260e-05,3.642632e-05,3.634695e-05,3.628401e-05,3.615680e-05,3.613933e-05,3.599269e-05,3.596316e-05,3.584448e-05,3.576690e-05,3.569503e-05,3.556877e-05,3.554466e-05,3.539364e-05,3.536944e-05,3.524223e-05,3.516947e-05,3.509064e-05,3.496938e-05,3.493909e-05,3.478775e-05,3.476961e-05,3.463679e-05,3.457053e-05,3.448636e-05,3.437247e-05,3.433659e-05,3.418761e-05,3.417573e-05,3.403952e-05,3.398055e-05,3.389242e-05,3.378717e-05,3.374640e-05,3.360153e-05,3.359576e-05,3.345790e-05,3.340651e-05,3.331556e-05,3.321954e-05,3.317458e-05,3.303499e-05,3.285296e-05,3.267353e-05,3.249679e-05,3.232279e-05,3.215158e-05,3.198320e-05,3.181769e-05,3.165506e-05,3.149534e-05,3.133853e-05,3.118464e-05,3.103366e-05,3.088559e-05,3.074041e-05,3.059811e-05,3.045868e-05,3.032208e-05,3.018829e-05,3.005730e-05,2.992906e-05,2.980354e-05,2.968072e-05,2.956056e-05,2.944302e-05
0.000000e+00,1.317496e-12,9.374379e-12,1.532436e-10,8.791113e-10,1.891916e-09,9.132280e-09,9.644653e-09,3.103350e-08,4.077711e-08,7.602010e-08,1.191676e-07,1.564016e-07,2.734485e-07,2.859911e-07,4.808087e-07,5.391854e-07,7.579209e-07,9.546682e-07,1.131665e-06,1.545705e-06,1.608266e-06,2.182707e-06,2.308171e-06,2.840443e-06,3.209063e-06,3.562311e-06,4.204163e-06,4.329160e-06,5.124440e-06,5.253392e-06,5.934853e-06,6.326060e-06,6.749918e-06,7.399659e-06,7.561295e-06,8.362177e-06,8.457298e-06,9.146872e-06,9.485740e-06,9.910563e-06,1.047440e-05,1.064919e-05,1.135939e-05,1.141489e-05,1.203846e-05,1.230089e-05,1.268434e-05,1.312797e-05,1.329555e-05,1.387118e-05,1.389346e-05,1.441082e-05,1.459627e-05,1.491450e-05,1.523667e-05,1.538265e-05,1.581599e-05,1.621552e-05,1.633641e-05,1.658241e-05,1.680072e-05,1.691802e-05,1.721209e-05,1.722377e-05,1.750114e-05,1.757392e-05,1.775165e-05,1.788971e-05,1.797684e-05,1.816296e-05,1.817823e-05,1.835731e-05,1.839713e-05,1.851552e-05,1.859552e-05,1.865426e-05,1.876131e-05,1.877486e-05,1.887861e-05,1.889744e-05,1.896670e-05,1.900670e-05,1.904027e-05,1.909164e-05,1.910040e-05,1.914810e-05,1.915464e-05,1.918430e-05,1.919787e-05,1.920991e-05,1.922332e-05,1.922574e-05,1.923257e-05,1.923281e-05,1.923111e-05,1.922801e-05,1.922203e-05,1.921043e-05,1.920597e-05,1.918349e-05,1.918143e-05,1.915514e-05,1.914226e-05,1.912141e-05,1.909406e-05,1.908277e-05,1.903966e-05,1.903785e-05,1.899247e-05,1.897455e-05,1.894156e-05,1.890501e-05,1.888730e-05,1.882999e-05,1.876993e-05,1.875017e-05,1.870739e-05,1.866619e-05,1.864264e-05,1.857860e-05,1.857590e-05,1.850739e-05,1.848792e-05,1.843733e-05,1.839461e-05,1.836588e-05,1.829908e-05,1.829323e-05,1.821954e-05,1.820172e-05,1.814496e-05,1.810285e-05,1.806962e-05,1.800280e-05,1.799366e-05,1.791718e-05,1.790184e-05,1.784031e-05,1.780021e-05,1.776314e-05,1.769815e-05,1.768576e-05,1.760827e-05,1.759586e-05,1.753073e-05,1.749352e-05,1.745323e-05,1.739130e-05,1.737583e-05,1.729860e-05,1.728935e-05,1.722159e-05,1.718779e-05,1.714486e-05,1.708676e-05,1.706845e-05,1.699242e-05,1.698635e-05,1.691679e-05,1.688666e-05,1.684161e-05,1.678778e-05,1.676692e-05,1.669274e-05,1.668979e-05,1.661911e-05,1.659274e-05,1.654604e-05,1.649669e-05,1.647357e-05,1.640171e-05,1.630783e-05,1.621510e-05,1.612355e-05,1.603320e-05,1.594408e-05,1.585622e-05,1.576963e-05,1.568431e-05,1.560030e-05,1.551758e-05,1.543617e-05,1.535606e-05,1.527726e-05,1.519977e-05,1.512358e-05,1.504870e-05,1.497510e-05,1.490279e-05,1.483175e-05,1.476198e-05,1.469347e-05,1.462620e-05,1.456016e-05,1.449534e-05
0.000000e+00,4.968871e-14,4.038781e-13,8.618580e-12,6.226252e-11,1.512481e-10,9.791333e-10,1.045838e-09,4.364644e-09,6.121119e-09,1.329689e-08,2.331619e-08,3.273591e-08,6.548815e-08,6.921273e-08,1.307018e-07,1.501804e-07,2.264058e-07,2.987135e-07,3.665180e-07,5.351053e-07,5.618108e-07,8.228110e-07,8.837287e-07,1.158457e-06,1.364568e-06,1.574491e-06,1.987127e-06,2.072136e-06,2.647570e-06,2.746349e-06,3.292336e-06,3.623040e-06,3.994497e-06,4.588211e-06,4.740111e-06,5.514669e-06,5.608888e-06,6.304252e-06,6.653127e-06,7.096283e-06,7.693125e-06,7.879921e-06,8.646177e-06,8.706499e-06,9.387839e-06,9.676312e-06,1.009930e-05,1.059044e-05,1.077634e-05,1.141594e-05,1.144071e-05,1.201604e-05,1.222215e-05,1.257542e-05,1.293227e-05,1.309359e-05,1.357058e-05,1.400697e-05,1.413818e-05,1.440370e-05,1.463737e-05,1.476206e-05,1.507144e-05,1.508361e-05,1.537012e-05,1.544431e-05,1.562347e-05,1.576041e-05,1.584568e-05,1.602438e-05,1.603881e-05,1.620490e-05,1.624097e-05,1.634601e-05,1.641487e-05,1.646414e-05,1.655061e-05,1.656121e-05,1.663905e-05,1.665247e-05,1.669943e-05,1.672446e-05,1.674395e-05,1.677023e-05,1.677416e-05,1.679147e-05,1.679313e-05,1.679716e-05,1.679613e-05,1.679245e-05,1.678191e-05,1.677841e-05,1.675603e-05,1.675283e-05,1.672622e-05,1.671096e-05,1.668979e-05,1.665813e-05,1.664748e-05,1.659994e-05,1.659593e-05,1.654776e-05,1.652572e-05,1.649148e-05,1.644869e-05,1.643158e-05,1.636848e-05,1.636590e-05,1.630257e-05,1.627822e-05,1.623419e-05,1.618644e-05,1.616365e-05,1.609124e-05,1.601721e-05,1.599321e-05,1.594176e-05,1.589284e-05,1.586513e-05,1.579060e-05,1.578747e-05,1.570898e-05,1.568687e-05,1.562978e-05,1.558199e-05,1.555003e-05,1.547626e-05,1.546984e-05,1.538932e-05,1.536996e-05,1.530858e-05,1.526330e-05,1.522771e-05,1.515650e-05,1.514679e-05,1.506591e-05,1.504975e-05,1.498513e-05,1.494319e-05,1.490452e-05,1.483699e-05,1.482414e-05,1.474404e-05,1.473125e-05,1.466427e-05,1.462610e-05,1.458486e-05,1.452164e-05,1.450588e-05,1.442734e-05,1.441795e-05,1.434929e-05,1.431511e-05,1.427176e-05,1.421319e-05,1.419477e-05,1.411835e-05,1.411226e-05,1.404252e-05,1.401236e-05,1.396731e-05,1.391355e-05,1.389273e-05,1.381880e-05,1.381586e-05,1.374554e-05,1.371933e-05,1.367295e-05,1.362399e-05,1.360106e-05,1.352987e-05,1.343698e-05,1.334536e-05,1.325500e-05,1.316593e-05,1.307815e-05,1.299167e-05,1.290649e-05,1.282261e-05,1.274004e-05,1.265877e-05,1.257880e-05,1.250012e-05,1.242273e-05,1.234662e-05,1.227178e-05,1.219820e-05,1.212588e-05,1.205479e-05,1.198492e-05,1.191628e-05,1.184883e-05,1.178257e-05,1.171748e-05,1.165356e-05
0.000000e+00,4.790048e-12,1.101200e-11,3.796107e-11,8.633957e-11,1.258990e-10,2.852269e-10,2.937957e-10,5.673909e-10,6.666584e-10,9.744748e-10,1.295306e-09,1.545242e-09,2.240755e-09,2.309637e-09,3.289096e-09,3.556821e-09,4.484488e-09,5.240135e-09,5.872090e-09,7.222594e-09,7.414598e-09,9.074947e-09,9.418317e-09,1.082217e-08,1.175656e-08,1.263123e-08,1.418328e-08,1.448127e-08,1.635424e-08,1.665494e-08,1.823405e-08,1.913451e-08,2.010632e-08,2.159004e-08,2.195823e-08,2.377857e-08,2.399442e-08,2.555777e-08,2.632546e-08,2.728780e-08,2.856571e-08,2.896220e-08,3.057597e-08,3.070234e-08,3.212545e-08,3.272665e-08,3.360816e-08,3.463352e-08,3.502266e-08,3.636842e-08,3.642082e-08,3.764562e-08,3.808878e-08,3.885508e-08,3.963945e-08,3.999808e-08,4.107627e-08,4.209162e-08,4.240360e-08,4.304626e-08,4.362642e-08,4.394248e-08,4.475011e-08,4.478267e-08,4.556924e-08,4.578020e-08,4.630461e-08,4.672226e-08,4.699119e-08,4.758178e-08,4.763134e-08,4.822737e-08,4.836410e-08,4.878150e-08,4.907433e-08,4.929590e-08,4.971735e-08,4.977264e-08,5.021370e-08,5.029779e-08,5.062097e-08,5.082001e-08,5.099628e-08,5.128810e-08,5.134135e-08,5.165782e-08,5.170590e-08,5.194724e-08,5.207700e-08,5.221110e-08,5.240473e-08,5.245080e-08,5.266768e-08,5.269223e-08,5.286298e-08,5.294239e-08,5.303791e-08,5.315792e-08,5.319358e-08,5.333108e-08,5.334132e-08,5.345141e-08,5.349494e-08,5.355552e-08,5.362095e-08,5.364432e-08,5.371867e-08,5.372135e-08,5.377937e-08,5.379803e-08,5.382719e-08,5.385272e-08,5.386285e-08,5.388704e-08,5.390040e-08,5.390249e-08,5.390355e-08,5.390047e-08,5.389706e-08,5.388228e-08,5.388149e-08,5.385735e-08,5.384912e-08,5.382513e-08,5.380212e-08,5.378530e-08,5.374231e-08,5.373830e-08,5.368454e-08,5.367068e-08,5.362443e-08,5.358813e-08,5.355833e-08,5.349550e-08,5.348660e-08,5.340958e-08,5.339357e-08,5.332758e-08,5.328307e-08,5.324090e-08,5.316469e-08,5.314984e-08,5.305466e-08,5.303907e-08,5.295562e-08,5.290679e-08,5.285297e-08,5.276840e-08,5.274694e-08,5.263774e-08,5.262443e-08,5.252559e-08,5.247536e-08,5.241068e-08,5.232163e-08,5.229321e-08,5.217335e-08,5.216367e-08,5.205128e-08,5.200186e-08,5.192715e-08,5.183659e-08,5.180111e-08,5.167332e-08,5.166818e-08,5.154392e-08,5.149696e-08,5.141302e-08,5.132323e-08,5.128077e-08,5.114728e-08,5.096936e-08,5.078972e-08,5.060859e-08,5.042619e-08,5.024271e-08,5.005836e-08,4.987329e-08,4.968769e-08,4.950170e-08,4.931547e-08,4.912913e-08,4.894282e-08,4.875664e-08,4.857072e-08,4.838515e-08,4.820003e-08,4.801545e-08,4.783150e-08,4.764825e-08,4.746578e-08,4.728416e-08,4.710345e-08,4.692370e-08,4.674498e-08
0.000000e+00,4.477596e-12,1.027873e-11,3.534098e-11,8.017757e-11,1.167294e-10,2.631267e-10,2.709667e-10,5.197234e-10,6.092903e-10,8.849914e-10,1.169487e-09,1.389405e-09,1.995352e-09,2.054990e-09,2.898801e-09,3.128700e-09,3.925270e-09,4.575527e-09,5.120919e-09,6.291738e-09,6.458767e-09,7.908424e-09,8.209287e-09,9.442535e-09,1.026584e-08,1.103802e-08,1.241114e-08,1.267514e-08,1.433646e-08,1.460345e-08,1.600620e-08,1.680639e-08,1.766996e-08,1.898784e-08,1.931467e-08,2.092869e-08,2.111981e-08,2.250182e-08,2.317875e-08,2.402539e-08,2.514571e-08,2.549226e-08,2.689679e-08,2.700632e-08,2.823472e-08,2.875054e-08,2.950308e-08,3.037214e-08,3.070002e-08,3.182472e-08,3.186821e-08,3.287728e-08,3.323867e-08,3.385848e-08,3.448561e-08,3.476968e-08,3.561275e-08,3.638990e-08,3.662506e-08,3.710360e-08,3.752831e-08,3.775654e-08,3.832878e-08,3.835150e-08,3.889136e-08,3.903303e-08,3.937898e-08,3.964768e-08,3.981724e-08,4.017926e-08,4.020895e-08,4.055688e-08,4.063416e-08,4.086368e-08,4.101849e-08,4.113194e-08,4.133807e-08,4.136411e-08,4.156257e-08,4.159841e-08,4.172955e-08,4.180467e-08,4.186721e-08,4.196166e-08,4.197756e-08,4.206252e-08,4.207388e-08,4.212390e-08,4.214549e-08,4.216340e-08,4.218033e-08,4.218263e-08,4.218310e-08,4.218196e-08,4.216622e-08,4.215365e-08,4.213334e-08,4.209841e-08,4.208569e-08,4.202445e-08,4.201899e-08,4.195071e-08,4.191794e-08,4.186550e-08,4.179759e-08,4.176978e-08,4.166445e-08,4.166005e-08,4.155035e-08,4.150727e-08,4.142826e-08,4.134105e-08,4.129891e-08,4.116299e-08,4.102115e-08,4.097460e-08,4.087396e-08,4.077722e-08,4.072199e-08,4.057209e-08,4.056576e-08,4.040575e-08,4.036033e-08,4.024240e-08,4.014297e-08,4.007614e-08,3.992094e-08,3.990735e-08,3.973640e-08,3.969509e-08,3.956362e-08,3.946618e-08,3.938932e-08,3.923492e-08,3.921380e-08,3.903732e-08,3.900193e-08,3.886013e-08,3.876780e-08,3.868247e-08,3.853302e-08,3.850455e-08,3.832656e-08,3.829809e-08,3.814869e-08,3.806341e-08,3.797111e-08,3.782937e-08,3.779398e-08,3.761744e-08,3.759630e-08,3.744162e-08,3.736452e-08,3.726664e-08,3.713429e-08,3.709262e-08,3.691965e-08,3.690586e-08,3.674783e-08,3.667945e-08,3.657725e-08,3.645524e-08,3.640798e-08,3.624010e-08,3.623341e-08,3.607366e-08,3.601410e-08,3.590872e-08,3.579746e-08,3.574535e-08,3.558358e-08,3.537256e-08,3.516450e-08,3.495945e-08,3.475748e-08,3.455864e-08,3.436295e-08,3.417046e-08,3.398117e-08,3.379511e-08,3.361228e-08,3.343268e-08,3.325630e-08,3.308314e-08,3.291318e-08,3.274640e-08,3.258278e-08,3.242229e-08,3.226491e-08,3.211061e-08,3.195934e-08,3.181109e-08,3.166580e-08,3.152345e-08,3.138399e-08
0.000000e+00,3.251290e-12,7.484590e-12,2.580567e-11,5.857776e-11,8.525401e-11,1.915987e-10,1.972696e-10,3.759081e-10,4.396255e-10,6.338725e-10,8.315688e-10,9.826860e-10,1.392734e-09,1.432675e-09,1.992584e-09,2.144078e-09,2.668563e-09,3.098731e-09,3.462459e-09,4.255503e-09,4.370144e-09,5.381397e-09,5.594855e-09,6.481877e-09,7.084130e-09,7.655733e-09,8.687029e-09,8.887353e-09,1.016206e-08,1.036908e-08,1.146619e-08,1.209888e-08,1.278711e-08,1.384807e-08,1.411316e-08,1.543369e-08,1.559131e-08,1.673908e-08,1.730644e-08,1.802086e-08,1.897465e-08,1.927167e-08,2.048528e-08,2.058060e-08,2.165659e-08,2.211234e-08,2.278158e-08,2.356114e-08,2.385720e-08,2.488130e-08,2.492117e-08,2.585253e-08,2.618910e-08,2.677027e-08,2.736374e-08,2.763448e-08,2.844565e-08,2.920466e-08,2.943672e-08,2.991275e-08,3.033990e-08,3.057143e-08,3.115885e-08,3.118240e-08,3.174750e-08,3.189777e-08,3.226868e-08,3.256114e-08,3.274795e-08,3.315360e-08,3.318733e-08,3.358888e-08,3.367984e-08,3.395458e-08,3.414446e-08,3.428642e-08,3.455195e-08,3.458631e-08,3.485612e-08,3.490664e-08,3.509764e-08,3.521263e-08,3.531259e-08,3.547381e-08,3.550261e-08,3.566926e-08,3.569386e-08,3.581404e-08,3.587619e-08,3.593837e-08,3.602400e-08,3.604358e-08,3.613094e-08,3.614028e-08,3.620165e-08,3.622778e-08,3.625684e-08,3.628906e-08,3.629757e-08,3.632485e-08,3.632648e-08,3.633962e-08,3.634222e-08,3.634276e-08,3.633829e-08,3.633510e-08,3.631744e-08,3.631654e-08,3.629050e-08,3.627867e-08,3.625498e-08,3.622626e-08,3.621152e-08,3.616073e-08,3.610318e-08,3.608342e-08,3.603939e-08,3.599554e-08,3.596988e-08,3.589820e-08,3.589511e-08,3.581551e-08,3.579242e-08,3.573151e-08,3.567915e-08,3.564348e-08,3.555925e-08,3.555179e-08,3.545676e-08,3.543350e-08,3.535873e-08,3.530263e-08,3.525798e-08,3.516729e-08,3.515479e-08,3.504942e-08,3.502811e-08,3.494211e-08,3.488562e-08,3.483309e-08,3.474034e-08,3.472256e-08,3.461074e-08,3.459274e-08,3.449779e-08,3.444323e-08,3.438390e-08,3.429221e-08,3.426922e-08,3.415390e-08,3.414003e-08,3.403809e-08,3.398701e-08,3.392191e-08,3.383345e-08,3.380549e-08,3.368894e-08,3.367961e-08,3.357236e-08,3.352575e-08,3.345586e-08,3.337208e-08,3.333953e-08,3.322344e-08,3.321881e-08,3.310769e-08,3.306611e-08,3.299233e-08,3.291416e-08,3.287745e-08,3.276310e-08,3.261307e-08,3.246419e-08,3.231657e-08,3.217030e-08,3.202548e-08,3.188218e-08,3.174048e-08,3.160042e-08,3.146207e-08,3.132546e-08,3.119065e-08,3.105766e-08,3.092652e-08,3.079726e-08,3.066989e-08,3.054444e-08,3.042090e-08,3.029929e-08,3.017961e-08,3.006186e-08,2.994605e-08,2.983216e-08,2.972020e-08,2.961015e-08
0.000000e+00,8.763500e-11,2.066919e-10,7.331502e-10,1.691677e-09,2.480592e-09,5.674837e-09,5.846972e-09,1.134405e-08,1.333604e-08,1.949671e-08,2.588843e-08,3.084756e-08,4.457508e-08,4.593054e-08,6.518666e-08,7.045841e-08,8.881215e-08,1.038982e-07,1.166221e-07,1.441393e-07,1.480855e-07,1.825234e-07,1.897090e-07,2.192844e-07,2.391285e-07,2.578080e-07,2.911801e-07,2.976188e-07,3.383061e-07,3.448727e-07,3.795082e-07,3.993720e-07,4.209030e-07,4.539646e-07,4.622050e-07,5.031633e-07,5.080446e-07,5.435606e-07,5.611089e-07,5.832120e-07,6.127523e-07,6.219633e-07,6.596891e-07,6.626596e-07,6.962893e-07,7.105964e-07,7.316873e-07,7.563970e-07,7.658265e-07,7.986676e-07,7.999539e-07,8.301863e-07,8.412067e-07,8.603706e-07,8.801325e-07,8.892188e-07,9.167379e-07,9.429415e-07,9.510518e-07,9.678487e-07,9.831197e-07,9.914831e-07,1.013000e-06,1.013872e-06,1.035044e-06,1.040759e-06,1.055032e-06,1.066471e-06,1.073870e-06,1.090212e-06,1.091590e-06,1.108228e-06,1.112064e-06,1.123820e-06,1.132108e-06,1.138401e-06,1.150425e-06,1.152007e-06,1.164672e-06,1.167095e-06,1.176431e-06,1.182199e-06,1.187318e-06,1.195814e-06,1.197367e-06,1.206610e-06,1.208016e-06,1.215080e-06,1.218881e-06,1.222809e-06,1.228479e-06,1.229827e-06,1.236164e-06,1.236880e-06,1.241849e-06,1.244152e-06,1.246911e-06,1.250359e-06,1.251378e-06,1.255275e-06,1.255563e-06,1.258630e-06,1.259825e-06,1.261467e-06,1.263202e-06,1.263809e-06,1.265682e-06,1.265748e-06,1.267108e-06,1.267515e-06,1.268107e-06,1.268555e-06,1.268703e-06,1.268915e-06,1.268762e-06,1.268639e-06,1.268264e-06,1.267773e-06,1.267439e-06,1.266356e-06,1.266305e-06,1.264878e-06,1.264428e-06,1.263175e-06,1.262027e-06,1.261211e-06,1.259187e-06,1.259002e-06,1.256561e-06,1.255943e-06,1.253903e-06,1.252325e-06,1.251042e-06,1.248364e-06,1.247988e-06,1.244756e-06,1.244089e-06,1.241356e-06,1.239526e-06,1.237801e-06,1.234701e-06,1.234099e-06,1.230263e-06,1.229637e-06,1.226301e-06,1.224358e-06,1.222223e-06,1.218884e-06,1.218039e-06,1.213755e-06,1.213235e-06,1.209382e-06,1.207431e-06,1.204926e-06,1.201489e-06,1.200395e-06,1.195796e-06,1.195426e-06,1.191136e-06,1.189257e-06,1.186422e-06,1.182997e-06,1.181659e-06,1.176853e-06,1.176660e-06,1.172010e-06,1.170259e-06,1.167135e-06,1.163805e-06,1.162234e-06,1.157310e-06,1.150785e-06,1.144238e-06,1.137680e-06,1.131119e-06,1.124562e-06,1.118017e-06,1.111491e-06,1.104990e-06,1.098518e-06,1.092083e-06,1.085689e-06,1.079340e-06,1.073039e-06,1.066792e-06,1.060602e-06,1.054470e-06,1.048401e-06,1.042397e-06,1.036459e-06,1.030590e-06,1.024792e-06,1.019066e-06,1.013414e-06,1.007836e-06
0.000000e+00,4.390948e-15,3.844695e-14,9.580260e-13,7.978765e-12,2.096298e-11,1.663259e-10,1.791372e-10,9.155863e-10,1.356799e-09,3.384778e-09,6.636022e-09,1.001771e-08,2.354144e-08,2.522149e-08,5.617447e-08,6.705770e-08,1.136645e-07,1.629124e-07,2.128832e-07,3.506289e-07,3.740299e-07,6.225420e-07,6.853229e-07,9.888081e-07,1.237127e-06,1.507331e-06,2.087793e-06,2.215406e-06,3.151478e-06,3.324960e-06,4.353363e-06,5.035220e-06,5.856483e-06,7.297170e-06,7.692285e-06,9.886899e-06,1.017538e-05,1.246013e-05,1.371585e-05,1.542476e-05,1.794324e-05,1.878619e-05,2.254237e-05,2.285969e-05,2.668401e-05,2.844519e-05,3.119496e-05,3.465917e-05,3.605283e-05,4.122973e-05,4.144299e-05,4.669307e-05,4.872309e-05,5.240648e-05,5.641450e-05,5.833070e-05,6.442450e-05,7.064554e-05,7.265619e-05,7.695125e-05,8.101186e-05,8.329954e-05,8.939600e-05,8.964953e-05,9.596211e-05,9.771785e-05,1.022004e-04,1.058935e-04,1.083304e-04,1.138475e-04,1.143209e-04,1.201440e-04,1.215138e-04,1.257752e-04,1.288368e-04,1.311933e-04,1.357709e-04,1.363807e-04,1.413229e-04,1.422809e-04,1.460088e-04,1.483414e-04,1.504304e-04,1.539361e-04,1.545822e-04,1.584615e-04,1.590569e-04,1.620682e-04,1.637030e-04,1.654040e-04,1.678801e-04,1.684727e-04,1.712795e-04,1.715990e-04,1.738312e-04,1.748751e-04,1.761356e-04,1.777271e-04,1.782017e-04,1.800390e-04,1.801764e-04,1.816575e-04,1.822460e-04,1.830679e-04,1.839605e-04,1.842808e-04,1.853072e-04,1.853446e-04,1.861579e-04,1.864233e-04,1.868437e-04,1.872212e-04,1.873751e-04,1.877625e-04,1.880158e-04,1.880701e-04,1.881447e-04,1.881662e-04,1.881585e-04,1.880716e-04,1.880660e-04,1.878757e-04,1.878060e-04,1.875956e-04,1.873875e-04,1.872332e-04,1.868332e-04,1.867956e-04,1.862896e-04,1.861586e-04,1.857213e-04,1.853781e-04,1.850967e-04,1.845048e-04,1.844212e-04,1.837000e-04,1.835506e-04,1.829377e-04,1.825265e-04,1.821387e-04,1.814422e-04,1.813071e-04,1.804466e-04,1.803065e-04,1.795607e-04,1.791275e-04,1.786527e-04,1.779123e-04,1.777254e-04,1.767816e-04,1.766673e-04,1.758238e-04,1.753985e-04,1.748542e-04,1.741108e-04,1.738750e-04,1.728881e-04,1.728089e-04,1.718953e-04,1.714969e-04,1.708982e-04,1.701784e-04,1.698982e-04,1.688967e-04,1.688566e-04,1.678950e-04,1.675345e-04,1.668941e-04,1.662144e-04,1.658950e-04,1.648988e-04,1.635894e-04,1.622881e-04,1.609964e-04,1.597157e-04,1.584469e-04,1.571913e-04,1.559496e-04,1.547226e-04,1.535109e-04,1.523150e-04,1.511355e-04,1.499727e-04,1.488268e-04,1.476981e-04,1.465869e-04,1.454932e-04,1.444171e-04,1.433586e-04,1.423178e-04,1.412947e-04,1.402892e-04,1.393011e-04,1.383305e-04,1.373772e-04
0.000000e+00,1.985290e-16,1.763306e-15,4.547224e-14,3.914469e-13,1.047680e-12,8.727275e-12,9.418366e-12,5.057689e-11,7.597248e-11,1.961226e-10,3.953143e-10,6.076284e-10,1.486270e-09,1.597736e-09,3.707127e-09,4.467281e-09,7.794295e-09,1.140207e-08,1.513390e-08,2.569275e-08,2.751889e-08,4.736124e-08,5.248609e-08,7.778631e-08,9.905781e-08,1.227159e-07,1.751403e-07,1.869353e-07,2.761405e-07,2.931619e-07,3.969624e-07,4.683732e-07,5.569650e-07,7.188391e-07,7.646172e-07,1.029238e-06,1.065292e-06,1.360915e-06,1.530846e-06,1.770401e-06,2.140581e-06,2.268987e-06,2.868359e-06,2.921019e-06,3.580437e-06,3.899512e-06,4.417206e-06,5.103565e-06,5.390541e-06,6.512023e-06,6.560122e-06,7.792763e-06,8.294855e-06,9.243230e-06,1.033146e-05,1.087308e-05,1.269102e-05,1.470464e-05,1.539140e-05,1.692031e-05,1.844677e-05,1.934309e-05,2.186720e-05,2.197662e-05,2.482308e-05,2.565838e-05,2.788314e-05,2.982142e-05,3.115596e-05,3.435286e-05,3.463917e-05,3.832892e-05,3.924463e-05,4.221990e-05,4.448430e-05,4.630540e-05,5.005524e-05,5.057744e-05,5.502678e-05,5.593703e-05,5.964308e-05,6.210582e-05,6.441501e-05,6.853477e-05,6.933033e-05,7.437604e-05,7.519455e-05,7.953852e-05,8.205385e-05,8.480363e-05,8.907986e-05,9.015684e-05,9.558340e-05,9.623881e-05,1.010684e-04,1.034964e-04,1.065969e-04,1.108185e-04,1.121540e-04,1.177252e-04,1.181711e-04,1.232961e-04,1.255212e-04,1.288527e-04,1.328370e-04,1.343814e-04,1.398694e-04,1.400879e-04,1.453040e-04,1.472452e-04,1.506737e-04,1.542822e-04,1.559672e-04,1.611741e-04,1.662847e-04,1.678983e-04,1.712902e-04,1.744348e-04,1.761824e-04,1.807654e-04,1.809538e-04,1.855979e-04,1.868746e-04,1.901088e-04,1.927492e-04,1.944813e-04,1.983779e-04,1.987110e-04,2.027942e-04,2.037520e-04,2.067279e-04,2.088645e-04,2.105096e-04,2.137105e-04,2.141377e-04,2.176110e-04,2.182870e-04,2.209289e-04,2.225927e-04,2.240912e-04,2.266277e-04,2.270985e-04,2.299515e-04,2.303937e-04,2.326515e-04,2.338936e-04,2.352002e-04,2.371316e-04,2.375997e-04,2.398522e-04,2.401128e-04,2.419604e-04,2.428431e-04,2.439272e-04,2.453293e-04,2.457557e-04,2.474491e-04,2.475788e-04,2.490110e-04,2.495997e-04,2.504449e-04,2.514001e-04,2.517545e-04,2.529438e-04,2.529889e-04,2.540165e-04,2.543749e-04,2.549767e-04,2.555673e-04,2.558283e-04,2.565753e-04,2.574080e-04,2.580746e-04,2.585842e-04,2.589458e-04,2.591680e-04,2.592595e-04,2.592286e-04,2.590834e-04,2.588316e-04,2.584808e-04,2.580383e-04,2.575109e-04,2.569053e-04,2.562277e-04,2.554843e-04,2.546806e-04,2.538221e-04,2.529138e-04,2.519607e-04,2.509672e-04,2.499376e-04,2.488759e-04,2.477859e-04,2.466711e-04
0.000000e+00,5.456585e-11,2.178046e-10,1.380793e-09,4.185594e-09,6.790655e-09,1.854721e-08,1.921471e-08,4.150731e-08,4.990795e-08,7.655252e-08,1.049463e-07,1.273584e-07,1.906800e-07,1.970162e-07,2.882693e-07,3.135906e-07,4.026588e-07,4.768421e-07,5.400926e-07,6.792109e-07,6.994447e-07,8.793369e-07,9.176617e-07,1.078434e-06,1.189121e-06,1.295426e-06,1.490536e-06,1.528953e-06,1.777553e-06,1.818625e-06,2.039662e-06,2.169789e-06,2.313622e-06,2.540171e-06,2.597717e-06,2.890210e-06,2.925791e-06,3.189376e-06,3.322690e-06,3.493544e-06,3.727072e-06,3.801119e-06,4.110607e-06,4.135407e-06,4.420631e-06,4.544505e-06,4.729938e-06,4.951561e-06,5.037408e-06,5.342051e-06,5.354165e-06,5.643002e-06,5.750293e-06,5.939513e-06,6.138278e-06,6.230951e-06,6.516786e-06,6.796579e-06,6.884777e-06,7.069978e-06,7.241465e-06,7.336702e-06,7.586281e-06,7.596540e-06,7.849335e-06,7.918840e-06,8.094981e-06,8.238909e-06,8.333414e-06,8.546381e-06,8.564610e-06,8.788573e-06,8.841251e-06,9.005337e-06,9.123600e-06,9.214956e-06,9.393569e-06,9.417504e-06,9.613069e-06,9.651353e-06,9.801753e-06,9.897187e-06,9.983671e-06,1.013134e-05,1.015894e-05,1.032769e-05,1.035410e-05,1.049006e-05,1.056577e-05,1.064618e-05,1.076668e-05,1.079620e-05,1.094025e-05,1.095714e-05,1.107848e-05,1.113750e-05,1.121104e-05,1.130809e-05,1.133808e-05,1.145973e-05,1.146923e-05,1.157615e-05,1.162128e-05,1.168747e-05,1.176455e-05,1.179384e-05,1.189540e-05,1.189937e-05,1.199229e-05,1.202605e-05,1.208465e-05,1.214493e-05,1.217260e-05,1.225629e-05,1.233584e-05,1.236045e-05,1.241139e-05,1.245769e-05,1.248305e-05,1.254830e-05,1.255095e-05,1.261521e-05,1.263257e-05,1.267595e-05,1.271074e-05,1.273328e-05,1.278311e-05,1.278731e-05,1.283816e-05,1.284990e-05,1.288593e-05,1.291137e-05,1.293072e-05,1.296777e-05,1.297265e-05,1.301180e-05,1.301931e-05,1.304828e-05,1.306622e-05,1.308217e-05,1.310872e-05,1.311358e-05,1.314258e-05,1.314701e-05,1.316928e-05,1.318129e-05,1.319374e-05,1.321176e-05,1.321606e-05,1.323631e-05,1.323860e-05,1.325457e-05,1.326199e-05,1.327092e-05,1.328211e-05,1.328543e-05,1.329816e-05,1.329911e-05,1.330920e-05,1.331316e-05,1.331861e-05,1.332440e-05,1.332644e-05,1.333278e-05,1.333300e-05,1.333766e-05,1.333908e-05,1.334116e-05,1.334278e-05,1.334334e-05,1.334424e-05,1.334358e-05,1.334091e-05,1.333635e-05,1.333002e-05,1.332201e-05,1.331242e-05,1.330136e-05,1.328892e-05,1.327517e-05,1.326021e-05,1.324413e-05,1.322698e-05,1.320885e-05,1.318981e-05,1.316992e-05,1.314925e-05,1.312786e-05,1.310580e-05,1.308313e-05,1.305991e-05,1.303618e-05,1.301199e-05,1.298739e-05,1.296242e-05
0.000000e+00,1.477539e-11,8.499298e-11,9.383219e-10,3.977434e-09,7.402244e-09,2.607232e-08,2.722923e-08,6.896641e-08,8.573690e-08,1.411075e-07,2.025271e-07,2.521838e-07,3.962634e-07,4.109242e-07,6.260046e-07,6.868883e-07,9.048984e-07,1.090780e-06,1.252069e-06,1.614579e-06,1.668073e-06,2.150497e-06,2.254632e-06,2.695585e-06,3.002433e-06,3.299222e-06,3.848453e-06,3.957206e-06,4.665178e-06,4.782788e-06,5.418515e-06,5.794795e-06,6.212289e-06,6.872929e-06,7.041289e-06,7.900092e-06,8.004889e-06,8.783168e-06,9.177984e-06,9.684989e-06,1.037957e-05,1.060013e-05,1.152339e-05,1.159745e-05,1.244983e-05,1.282026e-05,1.337488e-05,1.403769e-05,1.429436e-05,1.520449e-05,1.524065e-05,1.610194e-05,1.642135e-05,1.698381e-05,1.757328e-05,1.784758e-05,1.869112e-05,1.951270e-05,1.977072e-05,2.031088e-05,2.080892e-05,2.108456e-05,2.180345e-05,2.183289e-05,2.255526e-05,2.275281e-05,2.325127e-05,2.365614e-05,2.392072e-05,2.451311e-05,2.456356e-05,2.517986e-05,2.532384e-05,2.576982e-05,2.608880e-05,2.633374e-05,2.680874e-05,2.687199e-05,2.738501e-05,2.748463e-05,2.787330e-05,2.811760e-05,2.833737e-05,2.870890e-05,2.877781e-05,2.919521e-05,2.925989e-05,2.959017e-05,2.977197e-05,2.996332e-05,3.024657e-05,3.031530e-05,3.064674e-05,3.068517e-05,3.095829e-05,3.108923e-05,3.125057e-05,3.146022e-05,3.152423e-05,3.177989e-05,3.179958e-05,3.201816e-05,3.210874e-05,3.223966e-05,3.238910e-05,3.244500e-05,3.263475e-05,3.264202e-05,3.280949e-05,3.286883e-05,3.296978e-05,3.307082e-05,3.311619e-05,3.324924e-05,3.336946e-05,3.340531e-05,3.347737e-05,3.354019e-05,3.357345e-05,3.365501e-05,3.365819e-05,3.373207e-05,3.375086e-05,3.379553e-05,3.382879e-05,3.384902e-05,3.388979e-05,3.389297e-05,3.392780e-05,3.393484e-05,3.395390e-05,3.396486e-05,3.397168e-05,3.398073e-05,3.398150e-05,3.398374e-05,3.398331e-05,3.397874e-05,3.397340e-05,3.396686e-05,3.395179e-05,3.394841e-05,3.392372e-05,3.391921e-05,3.389309e-05,3.387638e-05,3.385684e-05,3.382396e-05,3.381523e-05,3.376854e-05,3.376261e-05,3.371705e-05,3.369294e-05,3.366101e-05,3.361553e-05,3.360067e-05,3.353626e-05,3.353094e-05,3.346802e-05,3.343970e-05,3.339617e-05,3.334232e-05,3.332091e-05,3.324246e-05,3.323926e-05,3.316101e-05,3.313098e-05,3.307674e-05,3.301793e-05,3.298984e-05,3.290049e-05,3.277906e-05,3.265401e-05,3.252569e-05,3.239442e-05,3.226051e-05,3.212426e-05,3.198594e-05,3.184581e-05,3.170413e-05,3.156112e-05,3.141700e-05,3.127197e-05,3.112624e-05,3.097998e-05,3.083336e-05,3.068655e-05,3.053968e-05,3.039291e-05,3.024636e-05,3.010015e-05,2.995440e-05,2.980921e-05,2.966468e-05,2.952090e-05
0.000000e+00,1.173935e-12,8.375210e-12,1.375752e-10,7.919551e-10,1.706781e-09,8.253287e-09,8.716390e-09,2.799470e-08,3.673838e-08,6.816383e-08,1.062352e-07,1.387634e-07,2.393236e-07,2.499652e-07,4.126430e-07,4.606200e-07,6.383622e-07,7.966937e-07,9.388243e-07,1.273333e-06,1.324352e-06,1.801352e-06,1.907846e-06,2.369553e-06,2.698602e-06,3.020625e-06,3.620530e-06,3.739293e-06,4.506457e-06,4.632383e-06,5.302666e-06,5.689960e-06,6.110606e-06,6.755847e-06,6.916225e-06,7.708774e-06,7.802599e-06,8.480309e-06,8.811586e-06,9.225103e-06,9.770712e-06,9.939091e-06,1.061945e-05,1.067236e-05,1.126430e-05,1.151203e-05,1.187254e-05,1.228749e-05,1.244364e-05,1.297761e-05,1.299820e-05,1.347485e-05,1.364501e-05,1.393613e-05,1.422978e-05,1.436248e-05,1.475516e-05,1.511558e-05,1.522436e-05,1.544529e-05,1.564093e-05,1.574589e-05,1.600862e-05,1.601904e-05,1.626637e-05,1.633123e-05,1.648954e-05,1.661251e-05,1.669014e-05,1.685610e-05,1.686972e-05,1.702977e-05,1.706543e-05,1.717169e-05,1.724375e-05,1.729683e-05,1.739407e-05,1.740644e-05,1.750172e-05,1.751915e-05,1.758376e-05,1.762153e-05,1.765359e-05,1.770351e-05,1.771217e-05,1.776038e-05,1.776719e-05,1.779905e-05,1.781445e-05,1.782894e-05,1.784700e-05,1.785075e-05,1.786511e-05,1.786637e-05,1.787264e-05,1.787393e-05,1.787388e-05,1.787092e-05,1.786933e-05,1.785946e-05,1.785845e-05,1.784470e-05,1.783752e-05,1.782545e-05,1.780902e-05,1.780207e-05,1.777490e-05,1.777374e-05,1.774425e-05,1.773242e-05,1.771041e-05,1.768570e-05,1.767363e-05,1.763416e-05,1.759224e-05,1.757833e-05,1.754806e-05,1.751869e-05,1.750182e-05,1.745566e-05,1.745370e-05,1.740386e-05,1.738962e-05,1.735247e-05,1.732094e-05,1.729965e-05,1.724992e-05,1.724555e-05,1.719028e-05,1.717686e-05,1.713396e-05,1.710201e-05,1.707670e-05,1.702561e-05,1.701860e-05,1.695974e-05,1.694788e-05,1.690021e-05,1.686902e-05,1.684010e-05,1.678920e-05,1.677947e-05,1.671840e-05,1.670859e-05,1.665695e-05,1.662734e-05,1.659518e-05,1.654558e-05,1.653315e-05,1.647091e-05,1.646343e-05,1.640852e-05,1.638102e-05,1.634600e-05,1.629844e-05,1.628342e-05,1.622081e-05,1.621580e-05,1.615820e-05,1.613317e-05,1.609564e-05,1.605064e-05,1.603315e-05,1.597077e-05,1.596828e-05,1.590853e-05,1.588616e-05,1.584644e-05,1.580433e-05,1.578455e-05,1.572287e-05,1.564180e-05,1.556119e-05,1.548108e-05,1.540150e-05,1.532248e-05,1.524407e-05,1.516629e-05,1.508916e-05,1.501271e-05,1.493696e-05,1.486194e-05,1.478765e-05,1.471411e-05,1.464133e-05,1.456933e-05,1.449812e-05,1.442771e-05,1.435809e-05,1.428929e-05,1.422130e-05,1.415413e-05,1.408777e-05,1.402225e-05,1.395754e-05
0.000000e+00,5.037293e-15,4.383122e-14,1.078365e-12,8.874238e-12,2.315941e-11,1.804624e-10,1.942150e-10,9.737192e-10,1.435028e-09,3.528624e-09,6.832805e-09,1.022770e-08,2.355376e-08,2.518907e-08,5.480872e-08,6.504941e-08,1.082064e-07,1.528966e-07,1.975386e-07,3.179741e-07,3.381343e-07,5.484072e-07,6.006420e-07,8.495013e-07,1.049616e-06,1.264649e-06,1.719368e-06,1.818270e-06,2.534879e-06,2.666253e-06,3.437910e-06,3.943920e-06,4.548561e-06,5.598747e-06,5.884758e-06,7.460284e-06,7.665911e-06,9.284149e-06,1.016650e-05,1.136019e-05,1.310591e-05,1.368691e-05,1.625753e-05,1.647340e-05,1.906025e-05,2.024280e-05,2.207866e-05,2.437411e-05,2.529226e-05,2.867713e-05,2.881571e-05,3.220657e-05,3.350709e-05,3.585191e-05,3.838165e-05,3.958313e-05,4.336968e-05,4.718105e-05,4.840103e-05,5.098743e-05,5.340763e-05,5.476024e-05,5.832555e-05,5.847256e-05,6.209956e-05,6.309670e-05,6.561873e-05,6.767006e-05,6.901012e-05,7.200248e-05,7.225649e-05,7.534330e-05,7.605903e-05,7.825877e-05,7.981307e-05,8.099376e-05,8.324600e-05,8.354172e-05,8.589847e-05,8.634667e-05,8.806207e-05,8.911076e-05,9.003260e-05,9.153996e-05,9.181193e-05,9.340354e-05,9.364108e-05,9.481225e-05,9.542519e-05,9.604405e-05,9.690673e-05,9.710585e-05,9.800530e-05,9.810271e-05,9.875062e-05,9.903193e-05,9.935040e-05,9.971434e-05,9.981350e-05,1.001489e-04,1.001705e-04,1.003655e-04,1.004209e-04,1.004722e-04,1.004859e-04,1.004777e-04,1.003904e-04,1.003851e-04,1.002185e-04,1.001373e-04,9.996961e-05,9.976027e-05,9.965128e-05,9.927045e-05,9.883372e-05,9.868318e-05,9.834727e-05,9.801252e-05,9.781685e-05,9.727126e-05,9.724782e-05,9.664513e-05,9.647097e-05,9.601333e-05,9.562204e-05,9.535663e-05,9.473378e-05,9.467886e-05,9.398355e-05,9.381442e-05,9.327387e-05,9.287126e-05,9.255272e-05,9.191072e-05,9.182273e-05,9.108626e-05,9.093838e-05,9.034544e-05,8.995914e-05,8.960218e-05,8.897721e-05,8.885819e-05,8.811500e-05,8.799626e-05,8.737396e-05,8.701938e-05,8.663628e-05,8.604928e-05,8.590303e-05,8.517513e-05,8.508819e-05,8.445342e-05,8.413801e-05,8.373860e-05,8.320033e-05,8.303130e-05,8.233203e-05,8.227645e-05,8.164128e-05,8.136744e-05,8.095941e-05,8.047415e-05,8.028676e-05,7.962359e-05,7.959727e-05,7.897014e-05,7.873731e-05,7.832657e-05,7.789465e-05,7.769301e-05,7.706958e-05,7.626224e-05,7.547273e-05,7.470105e-05,7.394713e-05,7.321088e-05,7.249213e-05,7.179071e-05,7.110635e-05,7.043884e-05,6.978791e-05,6.915324e-05,6.853457e-05,6.793155e-05,6.734387e-05,6.677119e-05,6.621318e-05,6.566950e-05,6.513981e-05,6.462377e-05,6.412104e-05,6.363129e-05,6.315419e-05,6.268941e-05,6.223662e-05
0.000000e+00,9.264436e-14,7.618817e-13,1.666725e-11,1.232346e-10,3.032687e-10,2.031571e-09,2.173039e-09,9.390650e-09,1.329685e-08,2.959602e-08,5.293556e-08,7.529052e-08,1.550357e-07,1.642550e-07,3.194948e-07,3.696089e-07,5.687594e-07,7.610139e-07,9.434112e-07,1.402927e-06,1.476294e-06,2.198675e-06,2.368334e-06,3.136977e-06,3.716886e-06,4.310240e-06,5.485224e-06,5.728862e-06,7.394599e-06,7.683747e-06,9.301486e-06,1.029904e-05,1.143722e-05,1.329917e-05,1.378464e-05,1.632312e-05,1.663950e-05,1.902972e-05,2.026766e-05,2.188016e-05,2.412743e-05,2.484962e-05,2.791335e-05,2.816179e-05,3.104719e-05,3.231515e-05,3.422805e-05,3.653511e-05,3.743419e-05,4.064549e-05,4.077379e-05,4.384368e-05,4.498861e-05,4.701239e-05,4.914286e-05,5.013724e-05,5.320578e-05,5.620749e-05,5.715244e-05,5.913361e-05,6.096334e-05,6.197708e-05,6.462389e-05,6.473235e-05,6.739523e-05,6.812385e-05,6.996276e-05,7.145668e-05,7.243303e-05,7.461891e-05,7.480504e-05,7.707858e-05,7.760962e-05,7.925409e-05,8.042990e-05,8.133254e-05,8.308241e-05,8.331535e-05,8.520432e-05,8.557102e-05,8.700149e-05,8.790049e-05,8.870914e-05,9.007617e-05,9.032971e-05,9.186576e-05,9.210386e-05,9.331993e-05,9.398964e-05,9.469491e-05,9.573969e-05,9.599340e-05,9.721812e-05,9.736026e-05,9.837177e-05,9.885754e-05,9.945699e-05,1.002376e-04,1.004764e-04,1.014327e-04,1.015065e-04,1.023282e-04,1.026700e-04,1.031655e-04,1.037336e-04,1.039470e-04,1.046749e-04,1.047029e-04,1.053516e-04,1.055831e-04,1.059792e-04,1.063791e-04,1.065599e-04,1.070957e-04,1.075886e-04,1.077376e-04,1.080405e-04,1.083090e-04,1.084532e-04,1.088142e-04,1.088285e-04,1.091682e-04,1.092572e-04,1.094739e-04,1.096416e-04,1.097471e-04,1.099711e-04,1.099894e-04,1.102023e-04,1.102491e-04,1.103871e-04,1.104789e-04,1.105452e-04,1.106634e-04,1.106780e-04,1.107867e-04,1.108056e-04,1.108724e-04,1.109082e-04,1.109363e-04,1.109739e-04,1.109795e-04,1.110031e-04,1.110051e-04,1.110081e-04,1.110042e-04,1.109955e-04,1.109733e-04,1.109661e-04,1.109209e-04,1.109145e-04,1.108608e-04,1.108298e-04,1.107865e-04,1.107210e-04,1.106988e-04,1.105985e-04,1.105899e-04,1.104863e-04,1.104382e-04,1.103629e-04,1.102675e-04,1.102289e-04,1.100850e-04,1.100791e-04,1.099318e-04,1.098744e-04,1.097698e-04,1.096549e-04,1.095996e-04,1.094216e-04,1.091759e-04,1.089187e-04,1.086511e-04,1.083740e-04,1.080884e-04,1.077951e-04,1.074949e-04,1.071886e-04,1.068769e-04,1.065604e-04,1.062397e-04,1.059155e-04,1.055883e-04,1.052586e-04,1.049269e-04,1.045936e-04,1.042591e-04,1.039239e-04,1.035883e-04,1.032526e-04,1.029171e-04,1.025823e-04,1.022482e-04,1.019152e-04
0.000000e+00,7.549347e-13,5.305724e-12,8.463448e-11,4.754275e-10,1.011967e-09,4.756044e-09,5.017680e-09,1.575851e-08,2.057632e-08,3.777064e-08,5.847126e-08,7.609288e-08,1.302077e-07,1.358946e-07,2.214666e-07,2.461228e-07,3.348232e-07,4.102662e-07,4.752532e-07,6.191894e-07,6.401630e-07,8.262234e-07,8.656738e-07,1.030056e-06,1.141996e-06,1.248435e-06,1.440835e-06,1.478247e-06,1.716447e-06,1.755136e-06,1.960038e-06,2.078022e-06,2.206126e-06,2.402949e-06,2.451977e-06,2.695101e-06,2.723985e-06,2.933304e-06,3.036062e-06,3.164727e-06,3.335137e-06,3.387868e-06,3.601573e-06,3.618235e-06,3.805017e-06,3.883393e-06,3.997671e-06,4.129542e-06,4.179267e-06,4.349756e-06,4.356346e-06,4.509263e-06,4.564045e-06,4.658054e-06,4.753296e-06,4.796498e-06,4.925038e-06,5.044166e-06,5.080384e-06,5.154402e-06,5.220532e-06,5.256277e-06,5.346703e-06,5.350321e-06,5.437052e-06,5.460094e-06,5.516970e-06,5.561850e-06,5.590552e-06,5.653042e-06,5.658252e-06,5.720493e-06,5.734664e-06,5.777674e-06,5.807623e-06,5.830162e-06,5.872744e-06,5.878302e-06,5.922409e-06,5.930773e-06,5.962776e-06,5.982379e-06,5.999672e-06,6.028164e-06,6.033345e-06,6.064023e-06,6.068668e-06,6.091916e-06,6.104373e-06,6.117218e-06,6.135712e-06,6.140105e-06,6.160741e-06,6.163073e-06,6.179276e-06,6.186802e-06,6.195850e-06,6.207213e-06,6.210590e-06,6.223614e-06,6.224585e-06,6.235032e-06,6.239172e-06,6.244945e-06,6.251203e-06,6.253447e-06,6.260624e-06,6.260884e-06,6.266557e-06,6.268403e-06,6.271321e-06,6.273929e-06,6.274986e-06,6.277617e-06,6.279274e-06,6.279609e-06,6.280016e-06,6.280034e-06,6.279893e-06,6.279010e-06,6.278958e-06,6.277255e-06,6.276647e-06,6.274830e-06,6.273044e-06,6.271722e-06,6.268294e-06,6.267971e-06,6.263614e-06,6.262481e-06,6.258684e-06,6.255686e-06,6.253215e-06,6.247980e-06,6.247237e-06,6.240779e-06,6.239433e-06,6.233869e-06,6.230106e-06,6.226533e-06,6.220059e-06,6.218795e-06,6.210678e-06,6.209346e-06,6.202206e-06,6.198018e-06,6.193398e-06,6.186123e-06,6.184274e-06,6.174855e-06,6.173706e-06,6.165158e-06,6.160807e-06,6.155199e-06,6.147467e-06,6.144997e-06,6.134566e-06,6.133722e-06,6.123920e-06,6.119606e-06,6.113075e-06,6.105151e-06,6.102044e-06,6.090840e-06,6.090388e-06,6.079475e-06,6.075346e-06,6.067960e-06,6.060051e-06,6.056308e-06,6.044528e-06,6.028801e-06,6.012893e-06,5.996824e-06,5.980614e-06,5.964282e-06,5.947846e-06,5.931322e-06,5.914725e-06,5.898071e-06,5.881373e-06,5.864644e-06,5.847896e-06,5.831141e-06,5.814390e-06,5.797653e-06,5.780940e-06,5.764260e-06,5.747621e-06,5.731031e-06,5.714498e-06,5.698028e-06,5.681629e-06,5.665306e-06,5.649065e-06
0.000000e+00,2.567254e-11,8.737497e-11,4.547560e-10,1.248036e-09,1.949859e-09,4.984707e-09,5.153755e-09,1.072328e-08,1.280268e-08,1.937769e-08,2.637855e-08,3.190872e-08,4.755557e-08,4.912238e-08,7.168166e-08,7.793246e-08,9.984023e-08,1.179247e-07,1.331622e-07,1.658463e-07,1.704867e-07,2.102899e-07,2.184182e-07,2.511614e-07,2.724701e-07,2.920410e-07,3.258538e-07,3.322119e-07,3.712063e-07,3.773141e-07,4.087199e-07,4.261400e-07,4.445572e-07,4.719370e-07,4.785974e-07,5.107751e-07,5.145097e-07,5.410668e-07,5.537992e-07,5.694820e-07,5.898430e-07,5.960552e-07,6.208396e-07,6.227470e-07,6.439024e-07,6.526623e-07,6.653199e-07,6.797678e-07,6.851744e-07,7.035510e-07,7.042566e-07,7.205358e-07,7.263261e-07,7.362139e-07,7.461710e-07,7.506683e-07,7.639790e-07,7.762228e-07,7.799274e-07,7.874721e-07,7.941818e-07,7.977958e-07,8.068954e-07,8.072581e-07,8.159197e-07,8.182092e-07,8.238369e-07,8.282519e-07,8.310624e-07,8.371412e-07,8.376453e-07,8.436313e-07,8.449839e-07,8.490627e-07,8.518768e-07,8.539788e-07,8.579078e-07,8.584162e-07,8.624086e-07,8.631566e-07,8.659876e-07,8.676951e-07,8.691823e-07,8.715885e-07,8.720195e-07,8.745244e-07,8.748959e-07,8.767202e-07,8.776707e-07,8.786284e-07,8.799614e-07,8.802691e-07,8.816608e-07,8.818119e-07,8.828207e-07,8.832618e-07,8.837649e-07,8.843473e-07,8.845081e-07,8.850642e-07,8.851010e-07,8.854459e-07,8.855525e-07,8.856653e-07,8.857290e-07,8.857335e-07,8.856609e-07,8.856552e-07,8.854571e-07,8.853533e-07,8.851311e-07,8.848440e-07,8.846913e-07,8.841457e-07,8.835014e-07,8.832756e-07,8.827654e-07,8.822492e-07,8.819440e-07,8.810808e-07,8.810434e-07,8.800689e-07,8.797836e-07,8.790261e-07,8.783696e-07,8.779197e-07,8.768497e-07,8.767544e-07,8.755346e-07,8.752342e-07,8.742642e-07,8.735322e-07,8.729471e-07,8.717523e-07,8.715869e-07,8.701870e-07,8.699025e-07,8.687505e-07,8.679900e-07,8.672803e-07,8.660215e-07,8.657794e-07,8.642503e-07,8.640032e-07,8.626956e-07,8.619409e-07,8.611175e-07,8.598397e-07,8.595183e-07,8.579000e-07,8.577047e-07,8.562647e-07,8.555403e-07,8.546142e-07,8.533507e-07,8.529502e-07,8.512744e-07,8.511398e-07,8.495882e-07,8.489112e-07,8.478933e-07,8.466683e-07,8.461910e-07,8.444825e-07,8.444141e-07,8.427692e-07,8.421514e-07,8.410521e-07,8.398830e-07,8.393325e-07,8.376112e-07,8.353385e-07,8.330668e-07,8.307982e-07,8.285344e-07,8.262771e-07,8.240280e-07,8.217883e-07,8.195596e-07,8.173429e-07,8.151394e-07,8.129502e-07,8.107762e-07,8.086183e-07,8.064774e-07,8.043540e-07,8.022490e-07,8.001630e-07,7.980964e-07,7.960499e-07,7.940238e-07,7.920186e-07,7.900346e-07,7.880722e-07,7.861316e-07
0.000000e+00,1.528696e-12,1.045852e-11,1.584231e-10,8.532934e-10,1.778616e-09,7.974933e-09,8.399361e-09,2.543726e-08,3.294222e-08,5.941415e-08,9.096528e-08,1.177178e-07,1.999493e-07,2.086259e-07,3.405540e-07,3.790993e-07,5.197146e-07,6.414241e-07,7.475060e-07,9.853443e-07,1.020239e-06,1.331305e-06,1.397485e-06,1.673631e-06,1.861875e-06,2.040965e-06,2.365019e-06,2.428102e-06,2.830612e-06,2.896170e-06,3.244511e-06,3.446121e-06,3.666049e-06,4.006351e-06,4.091619e-06,4.517746e-06,4.568760e-06,4.941132e-06,5.125754e-06,5.358713e-06,5.670478e-06,5.767722e-06,6.165729e-06,6.197030e-06,6.550676e-06,6.700610e-06,6.920886e-06,7.177565e-06,7.275054e-06,7.612231e-06,7.625355e-06,7.931802e-06,8.042469e-06,8.233458e-06,8.428318e-06,8.517153e-06,8.783054e-06,9.031505e-06,9.107403e-06,9.263008e-06,9.402554e-06,9.478173e-06,9.669985e-06,9.677673e-06,9.862231e-06,9.911332e-06,1.003261e-05,1.012836e-05,1.018959e-05,1.032285e-05,1.033396e-05,1.046647e-05,1.049659e-05,1.058789e-05,1.065131e-05,1.069894e-05,1.078864e-05,1.080032e-05,1.089266e-05,1.091011e-05,1.097661e-05,1.101715e-05,1.105276e-05,1.111109e-05,1.112164e-05,1.118378e-05,1.119313e-05,1.123965e-05,1.126437e-05,1.128969e-05,1.132582e-05,1.133433e-05,1.137395e-05,1.137839e-05,1.140891e-05,1.142290e-05,1.143953e-05,1.146009e-05,1.146612e-05,1.148896e-05,1.149064e-05,1.150833e-05,1.151515e-05,1.152445e-05,1.153417e-05,1.153755e-05,1.154784e-05,1.154820e-05,1.155552e-05,1.155768e-05,1.156076e-05,1.156301e-05,1.156372e-05,1.156456e-05,1.156343e-05,1.156267e-05,1.156045e-05,1.155763e-05,1.155575e-05,1.154972e-05,1.154944e-05,1.154163e-05,1.153918e-05,1.153241e-05,1.152625e-05,1.152189e-05,1.151114e-05,1.151015e-05,1.149727e-05,1.149402e-05,1.148333e-05,1.147509e-05,1.146840e-05,1.145448e-05,1.145253e-05,1.143581e-05,1.143237e-05,1.141828e-05,1.140887e-05,1.140000e-05,1.138411e-05,1.138103e-05,1.136140e-05,1.135821e-05,1.134118e-05,1.133127e-05,1.132039e-05,1.130339e-05,1.129909e-05,1.127731e-05,1.127467e-05,1.125509e-05,1.124518e-05,1.123245e-05,1.121500e-05,1.120945e-05,1.118609e-05,1.118421e-05,1.116242e-05,1.115287e-05,1.113847e-05,1.112106e-05,1.111425e-05,1.108979e-05,1.108881e-05,1.106512e-05,1.105619e-05,1.104026e-05,1.102326e-05,1.101523e-05,1.099005e-05,1.095660e-05,1.092297e-05,1.088919e-05,1.085530e-05,1.082132e-05,1.078729e-05,1.075324e-05,1.071919e-05,1.068518e-05,1.065122e-05,1.061734e-05,1.058355e-05,1.054987e-05,1.051634e-05,1.048295e-05,1.044972e-05,1.041668e-05,1.038383e-05,1.035118e-05,1.031875e-05,1.028654e-05,1.025457e-05,1.022285e-05,1.019138e-05
0.000000e+00,6.691562e-12,4.110390e-11,5.096964e-10,2.349861e-09,4.543587e-09,1.728594e-08,1.809931e-08,4.826018e-08,6.064418e-08,1.020383e-07,1.484275e-07,1.860959e-07,2.956174e-07,3.067619e-07,4.700614e-07,5.162327e-07,6.815949e-07,8.229473e-07,9.461087e-07,1.225249e-06,1.266738e-06,1.644319e-06,1.726572e-06,2.077334e-06,2.323375e-06,2.562532e-06,3.007375e-06,3.095724e-06,3.672311e-06,3.768274e-06,4.287514e-06,4.595099e-06,4.936454e-06,5.476565e-06,5.614171e-06,6.315659e-06,6.401198e-06,7.035927e-06,7.357524e-06,7.770064e-06,8.334353e-06,8.513319e-06,9.261167e-06,9.321064e-06,1.000937e-05,1.030786e-05,1.075401e-05,1.128596e-05,1.149157e-05,1.221888e-05,1.224772e-05,1.293317e-05,1.318666e-05,1.363206e-05,1.409746e-05,1.431353e-05,1.497590e-05,1.561783e-05,1.581875e-05,1.623826e-05,1.662367e-05,1.683639e-05,1.738911e-05,1.741168e-05,1.796376e-05,1.811416e-05,1.849247e-05,1.879847e-05,1.899780e-05,1.944215e-05,1.947987e-05,1.993890e-05,2.004568e-05,2.037523e-05,2.060980e-05,2.078925e-05,2.113552e-05,2.118145e-05,2.155232e-05,2.162398e-05,2.190243e-05,2.207647e-05,2.223236e-05,2.249435e-05,2.254272e-05,2.283413e-05,2.287904e-05,2.310722e-05,2.323199e-05,2.336264e-05,2.355468e-05,2.360102e-05,2.382299e-05,2.384855e-05,2.402918e-05,2.411507e-05,2.422021e-05,2.435564e-05,2.439670e-05,2.455923e-05,2.457165e-05,2.470840e-05,2.476445e-05,2.484477e-05,2.493535e-05,2.496891e-05,2.508135e-05,2.508562e-05,2.518264e-05,2.521646e-05,2.527326e-05,2.532906e-05,2.535374e-05,2.542453e-05,2.548611e-05,2.550395e-05,2.553893e-05,2.556834e-05,2.558342e-05,2.561868e-05,2.562000e-05,2.564907e-05,2.565592e-05,2.567102e-05,2.568094e-05,2.568623e-05,2.569458e-05,2.569506e-05,2.569785e-05,2.569765e-05,2.569493e-05,2.569092e-05,2.568663e-05,2.567511e-05,2.567325e-05,2.565509e-05,2.565091e-05,2.563243e-05,2.561896e-05,2.560555e-05,2.557989e-05,2.557469e-05,2.554012e-05,2.553426e-05,2.550207e-05,2.548264e-05,2.546077e-05,2.542553e-05,2.541643e-05,2.536927e-05,2.536343e-05,2.531948e-05,2.529679e-05,2.526726e-05,2.522605e-05,2.521278e-05,2.515623e-05,2.515162e-05,2.509776e-05,2.507387e-05,2.503753e-05,2.499317e-05,2.497571e-05,2.491242e-05,2.490986e-05,2.484780e-05,2.482424e-05,2.478199e-05,2.473662e-05,2.471510e-05,2.464727e-05,2.455645e-05,2.446440e-05,2.437135e-05,2.427750e-05,2.418305e-05,2.408819e-05,2.399308e-05,2.389787e-05,2.380272e-05,2.370775e-05,2.361308e-05,2.351884e-05,2.342512e-05,2.333202e-05,2.323963e-05,2.314802e-05,2.305728e-05,2.296745e-05,2.287861e-05,2.279081e-05,2.270409e-05,2.261849e-05,2.253406e-05,2.245083e-05
0.000000e+00,4.133994e-13,3.185172e-12,6.099832e-11,4.007318e-10,9.254989e-10,5.289629e-09,5.622520e-09,2.094073e-08,2.852424e-08,5.779036e-08,9.614663e-08,1.306870e-07,2.444882e-07,2.570100e-07,4.563748e-07,5.174250e-07,7.499713e-07,9.636135e-07,1.159314e-06,1.630780e-06,1.703775e-06,2.396999e-06,2.554083e-06,3.243584e-06,3.742920e-06,4.237869e-06,5.176835e-06,5.365414e-06,6.606158e-06,6.813696e-06,7.937761e-06,8.602663e-06,9.338128e-06,1.049412e-05,1.078682e-05,1.226562e-05,1.244433e-05,1.375863e-05,1.441643e-05,1.525206e-05,1.637998e-05,1.673404e-05,1.819445e-05,1.831008e-05,1.962473e-05,2.018676e-05,2.101776e-05,2.199438e-05,2.236776e-05,2.367020e-05,2.372125e-05,2.492160e-05,2.535911e-05,2.611952e-05,2.690271e-05,2.726236e-05,2.834927e-05,2.938003e-05,2.969805e-05,3.035495e-05,3.094991e-05,3.127476e-05,3.210693e-05,3.214054e-05,3.295363e-05,3.317206e-05,3.371558e-05,3.414890e-05,3.442807e-05,3.504141e-05,3.509288e-05,3.571188e-05,3.585383e-05,3.628693e-05,3.659048e-05,3.681994e-05,3.725571e-05,3.731280e-05,3.776735e-05,3.785383e-05,3.818542e-05,3.838900e-05,3.856880e-05,3.886528e-05,3.891920e-05,3.923829e-05,3.928655e-05,3.952770e-05,3.965653e-05,3.978897e-05,3.997873e-05,4.002359e-05,4.023300e-05,4.025650e-05,4.041857e-05,4.049300e-05,4.058160e-05,4.069121e-05,4.072335e-05,4.084502e-05,4.085392e-05,4.094775e-05,4.098378e-05,4.103262e-05,4.108325e-05,4.110067e-05,4.115289e-05,4.115466e-05,4.119021e-05,4.120017e-05,4.121352e-05,4.122181e-05,4.122368e-05,4.122149e-05,4.120771e-05,4.120097e-05,4.118306e-05,4.116191e-05,4.114825e-05,4.110587e-05,4.110392e-05,4.105070e-05,4.103428e-05,4.098916e-05,4.094848e-05,4.091987e-05,4.084974e-05,4.084336e-05,4.076013e-05,4.073921e-05,4.067065e-05,4.061799e-05,4.057538e-05,4.048708e-05,4.047473e-05,4.036911e-05,4.034742e-05,4.025889e-05,4.019989e-05,4.014445e-05,4.004530e-05,4.002612e-05,3.990423e-05,3.988441e-05,3.977907e-05,3.971792e-05,3.965093e-05,3.954647e-05,3.952010e-05,3.938682e-05,3.937067e-05,3.925133e-05,3.919108e-05,3.911388e-05,3.900822e-05,3.897466e-05,3.883389e-05,3.882257e-05,3.869176e-05,3.863457e-05,3.854845e-05,3.844463e-05,3.840413e-05,3.825896e-05,3.825313e-05,3.811309e-05,3.806043e-05,3.796666e-05,3.786684e-05,3.781981e-05,3.767267e-05,3.747819e-05,3.728364e-05,3.708928e-05,3.689530e-05,3.670191e-05,3.650928e-05,3.631758e-05,3.612695e-05,3.593754e-05,3.574947e-05,3.556285e-05,3.537778e-05,3.519435e-05,3.501265e-05,3.483275e-05,3.465472e-05,3.447862e-05,3.430449e-05,3.413239e-05,3.396235e-05,3.379440e-05,3.362859e-05,3.346492e-05,3.330342e-05
0.000000e+00,1.065310e-13,9.028129e-13,2.101460e-11,1.643946e-10,4.172550e-10,3.026629e-09,3.247853e-09,1.518138e-08,2.195774e-08,5.154293e-08,9.622125e-08,1.407128e-07,3.082015e-07,3.282395e-07,6.802490e-07,7.985836e-07,1.285502e-06,1.775567e-06,2.254830e-06,3.510709e-06,3.716653e-06,5.808509e-06,6.314593e-06,8.666215e-06,1.049656e-05,1.241300e-05,1.632258e-05,1.715060e-05,2.295343e-05,2.398413e-05,2.986587e-05,3.358328e-05,3.790222e-05,4.513207e-05,4.704861e-05,5.726604e-05,5.856144e-05,6.849412e-05,7.373509e-05,8.065485e-05,9.046466e-05,9.365638e-05,1.073965e-04,1.085244e-04,1.217660e-04,1.276647e-04,1.366514e-04,1.476238e-04,1.519377e-04,1.675110e-04,1.681383e-04,1.832599e-04,1.889518e-04,1.990780e-04,2.098223e-04,2.148648e-04,2.305271e-04,2.459798e-04,2.508676e-04,2.611463e-04,2.706712e-04,2.759592e-04,2.897925e-04,2.903599e-04,3.042989e-04,3.081132e-04,3.177350e-04,3.255413e-04,3.306354e-04,3.420089e-04,3.429749e-04,3.547352e-04,3.574700e-04,3.659043e-04,3.718982e-04,3.764760e-04,3.852838e-04,3.864491e-04,3.958267e-04,3.976313e-04,4.046157e-04,4.089565e-04,4.128261e-04,4.192849e-04,4.204705e-04,4.275639e-04,4.286487e-04,4.341226e-04,4.370860e-04,4.401643e-04,4.446382e-04,4.457080e-04,4.507730e-04,4.513496e-04,4.553792e-04,4.572658e-04,4.595467e-04,4.624329e-04,4.632955e-04,4.666456e-04,4.668970e-04,4.696167e-04,4.707034e-04,4.722282e-04,4.738964e-04,4.744989e-04,4.764473e-04,4.765188e-04,4.780912e-04,4.786118e-04,4.794479e-04,4.802150e-04,4.805341e-04,4.813657e-04,4.819583e-04,4.820999e-04,4.823266e-04,4.824511e-04,4.824846e-04,4.824512e-04,4.824461e-04,4.822237e-04,4.821303e-04,4.818300e-04,4.815164e-04,4.812765e-04,4.806359e-04,4.805745e-04,4.797345e-04,4.795135e-04,4.787666e-04,4.781723e-04,4.776804e-04,4.766338e-04,4.764849e-04,4.751886e-04,4.749180e-04,4.737999e-04,4.730437e-04,4.723262e-04,4.710281e-04,4.707750e-04,4.691530e-04,4.688874e-04,4.674668e-04,4.666364e-04,4.657225e-04,4.642890e-04,4.639258e-04,4.620822e-04,4.618580e-04,4.601968e-04,4.593552e-04,4.582744e-04,4.567914e-04,4.563195e-04,4.543365e-04,4.541767e-04,4.523292e-04,4.515204e-04,4.503015e-04,4.488309e-04,4.482568e-04,4.461985e-04,4.461160e-04,4.441296e-04,4.433828e-04,4.420530e-04,4.406379e-04,4.399714e-04,4.378873e-04,4.351364e-04,4.323901e-04,4.296528e-04,4.269288e-04,4.242216e-04,4.215346e-04,4.188707e-04,4.162325e-04,4.136225e-04,4.110428e-04,4.084952e-04,4.059812e-04,4.035025e-04,4.010600e-04,3.986550e-04,3.962882e-04,3.939604e-04,3.916721e-04,3.894238e-04,3.872159e-04,3.850486e-04,3.829220e-04,3.808361e-04,3.787910e-04
0.000000e+00,1.225632e-10,3.323599e-10,1.364740e-09,3.382918e-09,5.108291e-09,1.244868e-08,1.285730e-08,2.647731e-08,3.165752e-08,4.837082e-08,6.660511e-08,8.119525e-08,1.224869e-07,1.265788e-07,1.838893e-07,1.991971e-07,2.510911e-07,2.923017e-07,3.262535e-07,3.978708e-07,4.079911e-07,4.953073e-07,5.133672e-07,5.873945e-07,6.369188e-07,6.835129e-07,7.668363e-07,7.829360e-07,8.849325e-07,9.014420e-07,9.887744e-07,1.039064e-06,1.093748e-06,1.178079e-06,1.199166e-06,1.304385e-06,1.316969e-06,1.408814e-06,1.454373e-06,1.511922e-06,1.589113e-06,1.613246e-06,1.712388e-06,1.720215e-06,1.809012e-06,1.846892e-06,1.902839e-06,1.968542e-06,1.993657e-06,2.081307e-06,2.084746e-06,2.165673e-06,2.195225e-06,2.246677e-06,2.299818e-06,2.324279e-06,2.398467e-06,2.469252e-06,2.491190e-06,2.536667e-06,2.578066e-06,2.600760e-06,2.659221e-06,2.661593e-06,2.719238e-06,2.734819e-06,2.773773e-06,2.805030e-06,2.825269e-06,2.870042e-06,2.873821e-06,2.919536e-06,2.930095e-06,2.962501e-06,2.985398e-06,3.002818e-06,3.036181e-06,3.040580e-06,3.075881e-06,3.082654e-06,3.108814e-06,3.125034e-06,3.139472e-06,3.163532e-06,3.167945e-06,3.194320e-06,3.198352e-06,3.218685e-06,3.229691e-06,3.241125e-06,3.257746e-06,3.261721e-06,3.280555e-06,3.282700e-06,3.297702e-06,3.304732e-06,3.313238e-06,3.324011e-06,3.327233e-06,3.339759e-06,3.340700e-06,3.350882e-06,3.354954e-06,3.360669e-06,3.366923e-06,3.369181e-06,3.376481e-06,3.376748e-06,3.382625e-06,3.384564e-06,3.387669e-06,3.390499e-06,3.391668e-06,3.394673e-06,3.396734e-06,3.397202e-06,3.397899e-06,3.398196e-06,3.398214e-06,3.397756e-06,3.397722e-06,3.396466e-06,3.395983e-06,3.394486e-06,3.392967e-06,3.391822e-06,3.388797e-06,3.388510e-06,3.384585e-06,3.383556e-06,3.380083e-06,3.377322e-06,3.375036e-06,3.370168e-06,3.369474e-06,3.363429e-06,3.362165e-06,3.356929e-06,3.353378e-06,3.350000e-06,3.343869e-06,3.342670e-06,3.334964e-06,3.333697e-06,3.326904e-06,3.322917e-06,3.318515e-06,3.311581e-06,3.309818e-06,3.300834e-06,3.299737e-06,3.291582e-06,3.287432e-06,3.282083e-06,3.274708e-06,3.272353e-06,3.262411e-06,3.261606e-06,3.252272e-06,3.248165e-06,3.241953e-06,3.234420e-06,3.231468e-06,3.220832e-06,3.220404e-06,3.210059e-06,3.206149e-06,3.199161e-06,3.191685e-06,3.188151e-06,3.177040e-06,3.162238e-06,3.147305e-06,3.132263e-06,3.117133e-06,3.101936e-06,3.086689e-06,3.071410e-06,3.056115e-06,3.040818e-06,3.025534e-06,3.010276e-06,2.995056e-06,2.979884e-06,2.964771e-06,2.949727e-06,2.934760e-06,2.919878e-06,2.905090e-06,2.890401e-06,2.875818e-06,2.861346e-06,2.846992e-06,2.832759e-06,2.818652e-06
0.000000e+00,9.269893e-16,8.292380e-15,2.168427e-13,1.889193e-12,5.089920e-12,4.314320e-11,4.659284e-11,2.546400e-10,3.843537e-10,1.004470e-09,2.045172e-09,3.164556e-09,7.858285e-09,8.458624e-09,1.994476e-08,2.412668e-08,4.260489e-08,6.287594e-08,8.402952e-08,1.446106e-07,1.551746e-07,2.711582e-07,3.014062e-07,4.520552e-07,5.800862e-07,7.236416e-07,1.045159e-06,1.118037e-06,1.674199e-06,1.781176e-06,2.438241e-06,2.894215e-06,3.463530e-06,4.512288e-06,4.810573e-06,6.546671e-06,6.784580e-06,8.745364e-06,9.879521e-06,1.148566e-05,1.398176e-05,1.485109e-05,1.892859e-05,1.928822e-05,2.380732e-05,2.600331e-05,2.957725e-05,3.433373e-05,3.632786e-05,4.414666e-05,4.448284e-05,5.311781e-05,5.664499e-05,6.332075e-05,7.100009e-05,7.482889e-05,8.770840e-05,1.020171e-04,1.069060e-04,1.178037e-04,1.287009e-04,1.351066e-04,1.531699e-04,1.539537e-04,1.743616e-04,1.803565e-04,1.963356e-04,2.102695e-04,2.198692e-04,2.428824e-04,2.449446e-04,2.715325e-04,2.781345e-04,2.995928e-04,3.159312e-04,3.290747e-04,3.561468e-04,3.599175e-04,3.920515e-04,3.986265e-04,4.253984e-04,4.431899e-04,4.598723e-04,4.896339e-04,4.953808e-04,5.318257e-04,5.377370e-04,5.691040e-04,5.872624e-04,6.071090e-04,6.379626e-04,6.457311e-04,6.848589e-04,6.895829e-04,7.243802e-04,7.418651e-04,7.641823e-04,7.945510e-04,8.041536e-04,8.441839e-04,8.473856e-04,8.841653e-04,9.001204e-04,9.239925e-04,9.525156e-04,9.635642e-04,1.002783e-03,1.004343e-03,1.041554e-03,1.055386e-03,1.079791e-03,1.105444e-03,1.117410e-03,1.154333e-03,1.190488e-03,1.201885e-03,1.225809e-03,1.247948e-03,1.260234e-03,1.292390e-03,1.293710e-03,1.326187e-03,1.335096e-03,1.357622e-03,1.375968e-03,1.387978e-03,1.414925e-03,1.417224e-03,1.445331e-03,1.451905e-03,1.472280e-03,1.486860e-03,1.498055e-03,1.519756e-03,1.522644e-03,1.546040e-03,1.550575e-03,1.568241e-03,1.579314e-03,1.589249e-03,1.605977e-03,1.609069e-03,1.627710e-03,1.630584e-03,1.645185e-03,1.653164e-03,1.661510e-03,1.673752e-03,1.676701e-03,1.690780e-03,1.692395e-03,1.703769e-03,1.709146e-03,1.715694e-03,1.724061e-03,1.726580e-03,1.736457e-03,1.737204e-03,1.745352e-03,1.748643e-03,1.753298e-03,1.758448e-03,1.760324e-03,1.766464e-03,1.766692e-03,1.771750e-03,1.773450e-03,1.776214e-03,1.778798e-03,1.779891e-03,1.782813e-03,1.785571e-03,1.787148e-03,1.787619e-03,1.787059e-03,1.785540e-03,1.783132e-03,1.779903e-03,1.775921e-03,1.771248e-03,1.765945e-03,1.760072e-03,1.753683e-03,1.746833e-03,1.739571e-03,1.731945e-03,1.724000e-03,1.715778e-03,1.707319e-03,1.698659e-03,1.689834e-03,1.680876e-03,1.671814e-03,1.662677e-03,1.653490e-03
0.000000e+00,1.143678e-10,3.064162e-10,1.253660e-09,3.151790e-09,4.828579e-09,1.248877e-08,1.293824e-08,2.898676e-08,3.547575e-08,5.686347e-08,7.977517e-08,9.732038e-08,1.432386e-07,1.475426e-07,2.047744e-07,2.193594e-07,2.674434e-07,3.045750e-07,3.346818e-07,3.971586e-07,4.058969e-07,4.805634e-07,4.958639e-07,5.581403e-07,5.994400e-07,6.380496e-07,7.065322e-07,7.196842e-07,8.024270e-07,8.157279e-07,8.856715e-07,9.256361e-07,9.688411e-07,1.034964e-06,1.051405e-06,1.132889e-06,1.142574e-06,1.212879e-06,1.247510e-06,1.291027e-06,1.349009e-06,1.367045e-06,1.440702e-06,1.446487e-06,1.511825e-06,1.539535e-06,1.580289e-06,1.627886e-06,1.646007e-06,1.708932e-06,1.711390e-06,1.769043e-06,1.789995e-06,1.826346e-06,1.863720e-06,1.880865e-06,1.932642e-06,1.981731e-06,1.996883e-06,2.028199e-06,2.056592e-06,2.072110e-06,2.111929e-06,2.113539e-06,2.152567e-06,2.163076e-06,2.189274e-06,2.210219e-06,2.223743e-06,2.253550e-06,2.256057e-06,2.286298e-06,2.293257e-06,2.314548e-06,2.329529e-06,2.340888e-06,2.362550e-06,2.365397e-06,2.388153e-06,2.392500e-06,2.409231e-06,2.419552e-06,2.428704e-06,2.443873e-06,2.446644e-06,2.463119e-06,2.465624e-06,2.478197e-06,2.484957e-06,2.491941e-06,2.502019e-06,2.504415e-06,2.515677e-06,2.516950e-06,2.525786e-06,2.529883e-06,2.534797e-06,2.540944e-06,2.542764e-06,2.549738e-06,2.550254e-06,2.555768e-06,2.557926e-06,2.560901e-06,2.564068e-06,2.565184e-06,2.568659e-06,2.568782e-06,2.571368e-06,2.572164e-06,2.573352e-06,2.574306e-06,2.574648e-06,2.575294e-06,2.575324e-06,2.575209e-06,2.574772e-06,2.574128e-06,2.573670e-06,2.572122e-06,2.572048e-06,2.569937e-06,2.569261e-06,2.567363e-06,2.565609e-06,2.564355e-06,2.561224e-06,2.560936e-06,2.557133e-06,2.556166e-06,2.552968e-06,2.550486e-06,2.548463e-06,2.544235e-06,2.543640e-06,2.538519e-06,2.537461e-06,2.533119e-06,2.530207e-06,2.527459e-06,2.522516e-06,2.521556e-06,2.515426e-06,2.514426e-06,2.509087e-06,2.505973e-06,2.502552e-06,2.497193e-06,2.495837e-06,2.488955e-06,2.488118e-06,2.481919e-06,2.478777e-06,2.474741e-06,2.469200e-06,2.467435e-06,2.460010e-06,2.459411e-06,2.452478e-06,2.449437e-06,2.444848e-06,2.439300e-06,2.437131e-06,2.429336e-06,2.429023e-06,2.421471e-06,2.418624e-06,2.413544e-06,2.408123e-06,2.405564e-06,2.397538e-06,2.386884e-06,2.376178e-06,2.365434e-06,2.354664e-06,2.343881e-06,2.333097e-06,2.322321e-06,2.311565e-06,2.300836e-06,2.290144e-06,2.279496e-06,2.268900e-06,2.258361e-06,2.247887e-06,2.237482e-06,2.227152e-06,2.216901e-06,2.206734e-06,2.196654e-06,2.186666e-06,2.176771e-06,2.166974e-06,2.157276e-06,2.147680e-06
0.000000e+00,1.521728e-11,3.774631e-11,1.411709e-10,3.339898e-10,4.944362e-10,1.151244e-09,1.186852e-09,2.331383e-09,2.749009e-09,4.048507e-09,5.407845e-09,6.469232e-09,9.430438e-09,9.724172e-09,1.390886e-08,1.505606e-08,1.905089e-08,2.233918e-08,2.512200e-08,3.119611e-08,3.207563e-08,3.986821e-08,4.152403e-08,4.846224e-08,5.323630e-08,5.782288e-08,6.625207e-08,6.791421e-08,7.869673e-08,8.048317e-08,9.012596e-08,9.582728e-08,1.021521e-07,1.121659e-07,1.147201e-07,1.277706e-07,1.293661e-07,1.412405e-07,1.472833e-07,1.550641e-07,1.657654e-07,1.691744e-07,1.835041e-07,1.846580e-07,1.979869e-07,2.038083e-07,2.125581e-07,2.230694e-07,2.271561e-07,2.417223e-07,2.423036e-07,2.562025e-07,2.613846e-07,2.705467e-07,2.801997e-07,2.847095e-07,2.986506e-07,3.123343e-07,3.166536e-07,3.257298e-07,3.341393e-07,3.388108e-07,3.510526e-07,3.515557e-07,3.639463e-07,3.673501e-07,3.759681e-07,3.829995e-07,3.876103e-07,3.979794e-07,3.988655e-07,4.097292e-07,4.122779e-07,4.201992e-07,4.258903e-07,4.302755e-07,4.388185e-07,4.399601e-07,4.492571e-07,4.510704e-07,4.581715e-07,4.626580e-07,4.667099e-07,4.735968e-07,4.748795e-07,4.826886e-07,4.839052e-07,4.901461e-07,4.936036e-07,4.972616e-07,5.027147e-07,5.040454e-07,5.105081e-07,5.112625e-07,5.166596e-07,5.192702e-07,5.225096e-07,5.267600e-07,5.280680e-07,5.333448e-07,5.337551e-07,5.383501e-07,5.402784e-07,5.430936e-07,5.463520e-07,5.475846e-07,5.518325e-07,5.519974e-07,5.558463e-07,5.572358e-07,5.596352e-07,5.620874e-07,5.632076e-07,5.665720e-07,5.697366e-07,5.707083e-07,5.727092e-07,5.745144e-07,5.754973e-07,5.780073e-07,5.781084e-07,5.805494e-07,5.812034e-07,5.828272e-07,5.841183e-07,5.849483e-07,5.867668e-07,5.869191e-07,5.887457e-07,5.891633e-07,5.904340e-07,5.913212e-07,5.919896e-07,5.932532e-07,5.934180e-07,5.947243e-07,5.949714e-07,5.959136e-07,5.964874e-07,5.969907e-07,5.978121e-07,5.979601e-07,5.988264e-07,5.989557e-07,5.995938e-07,5.999282e-07,6.002664e-07,6.007389e-07,6.008481e-07,6.013427e-07,6.013964e-07,6.017539e-07,6.019092e-07,6.020850e-07,6.022852e-07,6.023395e-07,6.025205e-07,6.025319e-07,6.026311e-07,6.026563e-07,6.026743e-07,6.026653e-07,6.026529e-07,6.025697e-07,6.025651e-07,6.024271e-07,6.023618e-07,6.022279e-07,6.020612e-07,6.019742e-07,6.016686e-07,6.011893e-07,6.006281e-07,5.999897e-07,5.992783e-07,5.984983e-07,5.976536e-07,5.967479e-07,5.957847e-07,5.947675e-07,5.936995e-07,5.925837e-07,5.914231e-07,5.902203e-07,5.889780e-07,5.876987e-07,5.863848e-07,5.850385e-07,5.836619e-07,5.822571e-07,5.808260e-07,5.793704e-07,5.778922e-07,5.763929e-07,5.748742e-07
0.000000e+00,1.697470e-13,1.519009e-12,3.963127e-11,3.445159e-10,9.270564e-10,7.832995e-09,8.458224e-09,4.608479e-08,6.950394e-08,1.812793e-07,3.685205e-07,5.696572e-07,1.411569e-06,1.519140e-06,3.574606e-06,4.322116e-06,7.621855e-06,1.123779e-05,1.500826e-05,2.579606e-05,2.767609e-05,4.830292e-05,5.367908e-05,8.044140e-05,1.031726e-04,1.286496e-04,1.856801e-04,1.986024e-04,2.971743e-04,3.161267e-04,4.324890e-04,5.131985e-04,6.139287e-04,7.993807e-04,8.521034e-04,1.158780e-03,1.200782e-03,1.546769e-03,1.746748e-03,2.029781e-03,2.469281e-03,2.622249e-03,3.339125e-03,3.402305e-03,4.195660e-03,4.580813e-03,5.207169e-03,6.039927e-03,6.388787e-03,7.755230e-03,7.813933e-03,9.320553e-03,9.935323e-03,1.109793e-02,1.243387e-02,1.309942e-02,1.533582e-02,1.781645e-02,1.866314e-02,2.054903e-02,2.243294e-02,2.353955e-02,2.665702e-02,2.679219e-02,3.030928e-02,3.134155e-02,3.409121e-02,3.648696e-02,3.813651e-02,4.208792e-02,4.244179e-02,4.700185e-02,4.813343e-02,5.180968e-02,5.460715e-02,5.685665e-02,6.148769e-02,6.213250e-02,6.762555e-02,6.874910e-02,7.332279e-02,7.636138e-02,7.921002e-02,8.429102e-02,8.527203e-02,9.149271e-02,9.250162e-02,9.785522e-02,1.009545e-01,1.043422e-01,1.096094e-01,1.109357e-01,1.176178e-01,1.184247e-01,1.243701e-01,1.273587e-01,1.311745e-01,1.363694e-01,1.380127e-01,1.448670e-01,1.454155e-01,1.517198e-01,1.544567e-01,1.585541e-01,1.634540e-01,1.653533e-01,1.721015e-01,1.723701e-01,1.787834e-01,1.811699e-01,1.853847e-01,1.898204e-01,1.918915e-01,1.982910e-01,2.045713e-01,2.065540e-01,2.107212e-01,2.145839e-01,2.167304e-01,2.223583e-01,2.225897e-01,2.282907e-01,2.298575e-01,2.338257e-01,2.370644e-01,2.391883e-01,2.439645e-01,2.443726e-01,2.493737e-01,2.505462e-01,2.541875e-01,2.568001e-01,2.588107e-01,2.627194e-01,2.632407e-01,2.674758e-01,2.682993e-01,2.715148e-01,2.735374e-01,2.753573e-01,2.784332e-01,2.790034e-01,2.824538e-01,2.829878e-01,2.857098e-01,2.872041e-01,2.887732e-01,2.910866e-01,2.916461e-01,2.943312e-01,2.946410e-01,2.968316e-01,2.978741e-01,2.991506e-01,3.007940e-01,3.012920e-01,3.032596e-01,3.034096e-01,3.050577e-01,3.057304e-01,3.066907e-01,3.077669e-01,3.081633e-01,3.094802e-01,3.095297e-01,3.106463e-01,3.110301e-01,3.116666e-01,3.122797e-01,3.125461e-01,3.132901e-01,3.140732e-01,3.146409e-01,3.150051e-01,3.151776e-01,3.151699e-01,3.149936e-01,3.146597e-01,3.141793e-01,3.135629e-01,3.128208e-01,3.119629e-01,3.109988e-01,3.099376e-01,3.087880e-01,3.075585e-01,3.062571e-01,3.048913e-01,3.034682e-01,3.019947e-01,3.004772e-01,2.989218e-01,2.973340e-01,2.957191e-01,2.940822e-01
0.000000e+00,1.794135e-13,1.423266e-12,2.891399e-11,2.000567e-10,4.749394e-10,2.904736e-09,3.095706e-09,1.225918e-08,1.696075e-08,3.565292e-08,6.095846e-08,8.423979e-08,1.629275e-07,1.717171e-07,3.138273e-07,3.579466e-07,5.277141e-07,6.855078e-07,8.312817e-07,1.186748e-06,1.242306e-06,1.777025e-06,1.900023e-06,2.448271e-06,2.854052e-06,3.263680e-06,4.061258e-06,4.224675e-06,5.326562e-06,5.515345e-06,6.559570e-06,7.194155e-06,7.910316e-06,9.065302e-06,9.363293e-06,1.090208e-05,1.109171e-05,1.251019e-05,1.323557e-05,1.417163e-05,1.546063e-05,1.587123e-05,1.759483e-05,1.773335e-05,1.932932e-05,2.002347e-05,2.106281e-05,2.230424e-05,2.278458e-05,2.448513e-05,2.455259e-05,2.615616e-05,2.674910e-05,2.779055e-05,2.887791e-05,2.938232e-05,3.092657e-05,3.241938e-05,3.288571e-05,3.385777e-05,3.474874e-05,3.523956e-05,3.651149e-05,3.656331e-05,3.782823e-05,3.817181e-05,3.903404e-05,3.972924e-05,4.018098e-05,4.118466e-05,4.126962e-05,4.230091e-05,4.254000e-05,4.327600e-05,4.379802e-05,4.419629e-05,4.496203e-05,4.506332e-05,4.587874e-05,4.603578e-05,4.664429e-05,4.702327e-05,4.736178e-05,4.792866e-05,4.803302e-05,4.865987e-05,4.875617e-05,4.924415e-05,4.951002e-05,4.978769e-05,5.019439e-05,5.029228e-05,5.075968e-05,5.081335e-05,5.119160e-05,5.137083e-05,5.158971e-05,5.187066e-05,5.195563e-05,5.229093e-05,5.231648e-05,5.259712e-05,5.271178e-05,5.287566e-05,5.305989e-05,5.312796e-05,5.335537e-05,5.336397e-05,5.355918e-05,5.362702e-05,5.374065e-05,5.385188e-05,5.390095e-05,5.404122e-05,5.416257e-05,5.419757e-05,5.426603e-05,5.432332e-05,5.435260e-05,5.442070e-05,5.442323e-05,5.447882e-05,5.449182e-05,5.452026e-05,5.453867e-05,5.454836e-05,5.456310e-05,5.456390e-05,5.456764e-05,5.456687e-05,5.456030e-05,5.455160e-05,5.454255e-05,5.451885e-05,5.451505e-05,5.447841e-05,5.447003e-05,5.443321e-05,5.440651e-05,5.438001e-05,5.432954e-05,5.431935e-05,5.425172e-05,5.424029e-05,5.417761e-05,5.413987e-05,5.409747e-05,5.402930e-05,5.401172e-05,5.392079e-05,5.390955e-05,5.382505e-05,5.378150e-05,5.372488e-05,5.364600e-05,5.362063e-05,5.351262e-05,5.350383e-05,5.340117e-05,5.335570e-05,5.328658e-05,5.320229e-05,5.316913e-05,5.304909e-05,5.304424e-05,5.292670e-05,5.288211e-05,5.280221e-05,5.271647e-05,5.267584e-05,5.254780e-05,5.237659e-05,5.220325e-05,5.202820e-05,5.185181e-05,5.167441e-05,5.149633e-05,5.131785e-05,5.113926e-05,5.096079e-05,5.078269e-05,5.060515e-05,5.042837e-05,5.025253e-05,5.007778e-05,4.990428e-05,4.973215e-05,4.956153e-05,4.939250e-05,4.922519e-05,4.905967e-05,4.889602e-05,4.873431e-05,4.857461e-05,4.841697e-05
0.000000e+00,3.702972e-15,3.289363e-14,8.451463e-13,7.241783e-12,1.932985e-11,1.598386e-10,1.724419e-10,9.186867e-10,1.376862e-09,3.533608e-09,7.087599e-09,1.085846e-08,2.636013e-08,2.831848e-08,6.517147e-08,7.838220e-08,1.359209e-07,1.979436e-07,2.618059e-07,4.413436e-07,4.722563e-07,8.061772e-07,8.919289e-07,1.312915e-06,1.664297e-06,2.052781e-06,2.906263e-06,3.097050e-06,4.527383e-06,4.798022e-06,6.434720e-06,7.548387e-06,8.917666e-06,1.138838e-05,1.208046e-05,1.603065e-05,1.656274e-05,2.087652e-05,2.331998e-05,2.672441e-05,3.190182e-05,3.367610e-05,4.182621e-05,4.253262e-05,5.125985e-05,5.540958e-05,6.205045e-05,7.069417e-05,7.425800e-05,8.792756e-05,8.850522e-05,1.030882e-04,1.089140e-04,1.197524e-04,1.319413e-04,1.379157e-04,1.575569e-04,1.786383e-04,1.856803e-04,2.011068e-04,2.161840e-04,2.248949e-04,2.488981e-04,2.499218e-04,2.760951e-04,2.836153e-04,3.033122e-04,3.200978e-04,3.314624e-04,3.580838e-04,3.604282e-04,3.900874e-04,3.972949e-04,4.203146e-04,4.374426e-04,4.509829e-04,4.782351e-04,4.819655e-04,5.131371e-04,5.193833e-04,5.443754e-04,5.606061e-04,5.755618e-04,6.016349e-04,6.065826e-04,6.373302e-04,6.422176e-04,6.677034e-04,6.821216e-04,6.976080e-04,7.211359e-04,7.269575e-04,7.556729e-04,7.590726e-04,7.836832e-04,7.957678e-04,8.109253e-04,8.310814e-04,8.373442e-04,8.628922e-04,8.648972e-04,8.875295e-04,8.971219e-04,9.112235e-04,9.276844e-04,9.339485e-04,9.556852e-04,9.565339e-04,9.764205e-04,9.836386e-04,9.961472e-04,1.008984e-03,1.014863e-03,1.032571e-03,1.049278e-03,1.054415e-03,1.064996e-03,1.074542e-03,1.079738e-03,1.092990e-03,1.093523e-03,1.106371e-03,1.109803e-03,1.118305e-03,1.125036e-03,1.129349e-03,1.138746e-03,1.139530e-03,1.148875e-03,1.150997e-03,1.157414e-03,1.161855e-03,1.165176e-03,1.171387e-03,1.172190e-03,1.178488e-03,1.179664e-03,1.184099e-03,1.186756e-03,1.189055e-03,1.192732e-03,1.193384e-03,1.197118e-03,1.197662e-03,1.200285e-03,1.201613e-03,1.202915e-03,1.204651e-03,1.205035e-03,1.206674e-03,1.206840e-03,1.207858e-03,1.208242e-03,1.208613e-03,1.208915e-03,1.208964e-03,1.208936e-03,1.208918e-03,1.208551e-03,1.208302e-03,1.207832e-03,1.207120e-03,1.206801e-03,1.205479e-03,1.205420e-03,1.203884e-03,1.203247e-03,1.202036e-03,1.200644e-03,1.199953e-03,1.197652e-03,1.194308e-03,1.190647e-03,1.186703e-03,1.182505e-03,1.178083e-03,1.173462e-03,1.168667e-03,1.163720e-03,1.158643e-03,1.153454e-03,1.148172e-03,1.142812e-03,1.137389e-03,1.131918e-03,1.126410e-03,1.120878e-03,1.115332e-03,1.109780e-03,1.104233e-03,1.098698e-03,1.093181e-03,1.087690e-03,1.082231e-03,1.076808e-03
0.000000e+00,4.445739e-11,1.141766e-10,4.425698e-10,1.065611e-09,1.589424e-09,3.767837e-09,3.887296e-09,7.791430e-09,9.244771e-09,1.385448e-08,1.880330e-08,2.274685e-08,3.405937e-08,3.520311e-08,5.181658e-08,5.644972e-08,7.271140e-08,8.612254e-08,9.740800e-08,1.216394e-07,1.250914e-07,1.549657e-07,1.611452e-07,1.864044e-07,2.032112e-07,2.189419e-07,2.468605e-07,2.522230e-07,2.859590e-07,2.913820e-07,3.199014e-07,3.362006e-07,3.538268e-07,3.808171e-07,3.875311e-07,4.208284e-07,4.247885e-07,4.535498e-07,4.677255e-07,4.855459e-07,5.092978e-07,5.166877e-07,5.468642e-07,5.492338e-07,5.759850e-07,5.873212e-07,6.039791e-07,6.234065e-07,6.307930e-07,6.563903e-07,6.573885e-07,6.807493e-07,6.892132e-07,7.038607e-07,7.188648e-07,7.257273e-07,7.463623e-07,7.657870e-07,7.717515e-07,7.840286e-07,7.950972e-07,8.011197e-07,8.164790e-07,8.170972e-07,8.320008e-07,8.359870e-07,8.458722e-07,8.537173e-07,8.587542e-07,8.697692e-07,8.706903e-07,8.817240e-07,8.842427e-07,8.918989e-07,8.972376e-07,9.012575e-07,9.088511e-07,9.098416e-07,9.176919e-07,9.191774e-07,9.248478e-07,9.283072e-07,9.313474e-07,9.363267e-07,9.372273e-07,9.425225e-07,9.433178e-07,9.472669e-07,9.493580e-07,9.514926e-07,9.545203e-07,9.552302e-07,9.585089e-07,9.588729e-07,9.613566e-07,9.624799e-07,9.637996e-07,9.654011e-07,9.658630e-07,9.675705e-07,9.676924e-07,9.689446e-07,9.694058e-07,9.700067e-07,9.705895e-07,9.707768e-07,9.712742e-07,9.712886e-07,9.715166e-07,9.715449e-07,9.715214e-07,9.713970e-07,9.713044e-07,9.708809e-07,9.702652e-07,9.700299e-07,9.694710e-07,9.688748e-07,9.685108e-07,9.674442e-07,9.673968e-07,9.661403e-07,9.657644e-07,9.647520e-07,9.638600e-07,9.632420e-07,9.617534e-07,9.616197e-07,9.598942e-07,9.594656e-07,9.580738e-07,9.570159e-07,9.561664e-07,9.544219e-07,9.541796e-07,9.521203e-07,9.517003e-07,9.499951e-07,9.488660e-07,9.478102e-07,9.459332e-07,9.455716e-07,9.432846e-07,9.429145e-07,9.409544e-07,9.398220e-07,9.385859e-07,9.366666e-07,9.361836e-07,9.337518e-07,9.334581e-07,9.312944e-07,9.302060e-07,9.288152e-07,9.269187e-07,9.263178e-07,9.238055e-07,9.236039e-07,9.212813e-07,9.202689e-07,9.187481e-07,9.169201e-07,9.162086e-07,9.136654e-07,9.135636e-07,9.111208e-07,9.102048e-07,9.085770e-07,9.068488e-07,9.060362e-07,9.035001e-07,9.001629e-07,8.968409e-07,8.935377e-07,8.902564e-07,8.869997e-07,8.837702e-07,8.805703e-07,8.774019e-07,8.742669e-07,8.711669e-07,8.681034e-07,8.650777e-07,8.620908e-07,8.591437e-07,8.562372e-07,8.533722e-07,8.505490e-07,8.477683e-07,8.450305e-07,8.423357e-07,8.396843e-07,8.370763e-07,8.345119e-07,8.319910e-07
0.000000e+00,9.910969e-12,2.274962e-11,7.802192e-11,1.763835e-10,2.562238e-10,5.738759e-10,5.908104e-10,1.125145e-09,1.316368e-09,1.902042e-09,2.502739e-09,2.965168e-09,4.233725e-09,4.358301e-09,6.120376e-09,6.601235e-09,8.273764e-09,9.648389e-09,1.080796e-08,1.331321e-08,1.367179e-08,1.678655e-08,1.743218e-08,2.006952e-08,2.181883e-08,2.344924e-08,2.632088e-08,2.686869e-08,3.028286e-08,3.082611e-08,3.365545e-08,3.525053e-08,3.695651e-08,3.952894e-08,4.016108e-08,4.324837e-08,4.361012e-08,4.620142e-08,4.745468e-08,4.900688e-08,5.103403e-08,5.165471e-08,5.413795e-08,5.432936e-08,5.645258e-08,5.733082e-08,5.859713e-08,6.003621e-08,6.057232e-08,6.238081e-08,6.244974e-08,6.402682e-08,6.458062e-08,6.551580e-08,6.644185e-08,6.685417e-08,6.804905e-08,6.910802e-08,6.941947e-08,7.003896e-08,7.057124e-08,7.084982e-08,7.152267e-08,7.154857e-08,7.214303e-08,7.229184e-08,7.264084e-08,7.289621e-08,7.304935e-08,7.335238e-08,7.337561e-08,7.362631e-08,7.367595e-08,7.380778e-08,7.388140e-08,7.392598e-08,7.398209e-08,7.398648e-08,7.399449e-08,7.399023e-08,7.395488e-08,7.391697e-08,7.387214e-08,7.377238e-08,7.375046e-08,7.359368e-08,7.356558e-08,7.340537e-08,7.330476e-08,7.318882e-08,7.299729e-08,7.294705e-08,7.268284e-08,7.264975e-08,7.239873e-08,7.226803e-08,7.209707e-08,7.185740e-08,7.178001e-08,7.144949e-08,7.142252e-08,7.110732e-08,7.096756e-08,7.075514e-08,7.049621e-08,7.039444e-08,7.002659e-08,7.001175e-08,6.965285e-08,6.951708e-08,6.927434e-08,6.901476e-08,6.889209e-08,6.850706e-08,6.812008e-08,6.799597e-08,6.773195e-08,6.748325e-08,6.734335e-08,6.697045e-08,6.695492e-08,6.656724e-08,6.645890e-08,6.618084e-08,6.594980e-08,6.579616e-08,6.544416e-08,6.541364e-08,6.503366e-08,6.494288e-08,6.465655e-08,6.444674e-08,6.428261e-08,6.395639e-08,6.391212e-08,6.354531e-08,6.347241e-08,6.318239e-08,6.299527e-08,6.282355e-08,6.252539e-08,6.246894e-08,6.211872e-08,6.206310e-08,6.177299e-08,6.160867e-08,6.143187e-08,6.116234e-08,6.109543e-08,6.076376e-08,6.072428e-08,6.043690e-08,6.029463e-08,6.011491e-08,5.987347e-08,5.979782e-08,5.948565e-08,5.946089e-08,5.917842e-08,5.905691e-08,5.887613e-08,5.866154e-08,5.857879e-08,5.828637e-08,5.827478e-08,5.799888e-08,5.789658e-08,5.771628e-08,5.752690e-08,5.743856e-08,5.716567e-08,5.681281e-08,5.646824e-08,5.613185e-08,5.580353e-08,5.548317e-08,5.517063e-08,5.486581e-08,5.456856e-08,5.427874e-08,5.399623e-08,5.372087e-08,5.345253e-08,5.319106e-08,5.293633e-08,5.268818e-08,5.244648e-08,5.221108e-08,5.198184e-08,5.175862e-08,5.154128e-08,5.132968e-08,5.112368e-08,5.092315e-08,5.072795e-08
0.000000e+00,4.680136e-12,1.073091e-11,3.689015e-11,8.375555e-11,1.219996e-10,2.753261e-10,2.835404e-10,5.441681e-10,6.379741e-10,9.265139e-10,1.223869e-09,1.453441e-09,2.084665e-09,2.146687e-09,3.022336e-09,3.260343e-09,4.083518e-09,4.754344e-09,5.316679e-09,6.524531e-09,6.697034e-09,8.197453e-09,8.509710e-09,9.793198e-09,1.065337e-08,1.146263e-08,1.290779e-08,1.318654e-08,1.494750e-08,1.523161e-08,1.672957e-08,1.758813e-08,1.851818e-08,1.994492e-08,2.030023e-08,2.206407e-08,2.227401e-08,2.379961e-08,2.455203e-08,2.549830e-08,2.676026e-08,2.715307e-08,2.875824e-08,2.888437e-08,3.030944e-08,3.091406e-08,3.180345e-08,3.284243e-08,3.323802e-08,3.461177e-08,3.466544e-08,3.592408e-08,3.638145e-08,3.717493e-08,3.799061e-08,3.836478e-08,3.949453e-08,4.056538e-08,4.089584e-08,4.157876e-08,4.219793e-08,4.253633e-08,4.340470e-08,4.343983e-08,4.429113e-08,4.452040e-08,4.509215e-08,4.554944e-08,4.584483e-08,4.649628e-08,4.655113e-08,4.721297e-08,4.736541e-08,4.783227e-08,4.816120e-08,4.841091e-08,4.888794e-08,4.895073e-08,4.945351e-08,4.954977e-08,4.992097e-08,5.015065e-08,5.035480e-08,5.069440e-08,5.075660e-08,5.112794e-08,5.118462e-08,5.147030e-08,5.162477e-08,5.178513e-08,5.201810e-08,5.207381e-08,5.233766e-08,5.236771e-08,5.257793e-08,5.267650e-08,5.279585e-08,5.294723e-08,5.299257e-08,5.316919e-08,5.318249e-08,5.332677e-08,5.338470e-08,5.346633e-08,5.355618e-08,5.358881e-08,5.369514e-08,5.369907e-08,5.378619e-08,5.381539e-08,5.386279e-08,5.390704e-08,5.392575e-08,5.397581e-08,5.401369e-08,5.402335e-08,5.404009e-08,5.405125e-08,5.405565e-08,5.406097e-08,5.406099e-08,5.405671e-08,5.405387e-08,5.404337e-08,5.403124e-08,5.402151e-08,5.399430e-08,5.399163e-08,5.395421e-08,5.394416e-08,5.390972e-08,5.388188e-08,5.385859e-08,5.380844e-08,5.380125e-08,5.373808e-08,5.372478e-08,5.366945e-08,5.363174e-08,5.359574e-08,5.353013e-08,5.351727e-08,5.343437e-08,5.342071e-08,5.334734e-08,5.330418e-08,5.325647e-08,5.318121e-08,5.316205e-08,5.306432e-08,5.305239e-08,5.296355e-08,5.291830e-08,5.285996e-08,5.277948e-08,5.275377e-08,5.264521e-08,5.263643e-08,5.253447e-08,5.248961e-08,5.242175e-08,5.233946e-08,5.230721e-08,5.219105e-08,5.218637e-08,5.207341e-08,5.203073e-08,5.195445e-08,5.187289e-08,5.183433e-08,5.171317e-08,5.155188e-08,5.138930e-08,5.122569e-08,5.106131e-08,5.089636e-08,5.073108e-08,5.056564e-08,5.040024e-08,5.023504e-08,5.007019e-08,4.990584e-08,4.974212e-08,4.957915e-08,4.941705e-08,4.925592e-08,4.909585e-08,4.893693e-08,4.877924e-08,4.862285e-08,4.846783e-08,4.831423e-08,4.816212e-08,4.801153e-08,4.786253e-08
0.000000e+00,8.233328e-14,7.372904e-13,1.926807e-11,1.677632e-10,4.518481e-10,3.827475e-09,4.133428e-09,2.258296e-08,3.408592e-08,8.908598e-08,1.814200e-07,2.807715e-07,6.976705e-07,7.510217e-07,1.772690e-06,2.145012e-06,3.791827e-06,5.600915e-06,7.490977e-06,1.291367e-05,1.386054e-05,2.427618e-05,2.699780e-05,4.057976e-05,5.215361e-05,6.516028e-05,9.438880e-05,1.010308e-04,1.518965e-04,1.617131e-04,2.222089e-04,2.643729e-04,3.172021e-04,4.149925e-04,4.429063e-04,6.061385e-04,6.286002e-04,8.144681e-04,9.225260e-04,1.076159e-03,1.316172e-03,1.400086e-03,1.795639e-03,1.830669e-03,2.272605e-03,2.488432e-03,2.841033e-03,3.312647e-03,3.511099e-03,4.292962e-03,4.326704e-03,5.196612e-03,5.553616e-03,6.231728e-03,7.015432e-03,7.407538e-03,8.732680e-03,1.021509e-02,1.072385e-02,1.186186e-02,1.300496e-02,1.367920e-02,1.558913e-02,1.567229e-02,1.784523e-02,1.848633e-02,2.020104e-02,2.170310e-02,2.274153e-02,2.524248e-02,2.546736e-02,2.837801e-02,2.910390e-02,3.147177e-02,3.328325e-02,3.474580e-02,3.777293e-02,3.819612e-02,4.181771e-02,4.256206e-02,4.560451e-02,4.763666e-02,4.954954e-02,5.297991e-02,5.364493e-02,5.788202e-02,5.857248e-02,6.225143e-02,6.439284e-02,6.674318e-02,7.041758e-02,7.134671e-02,7.605103e-02,7.662179e-02,8.084479e-02,8.297939e-02,8.571635e-02,8.946348e-02,9.065387e-02,9.564541e-02,9.604671e-02,1.006790e-01,1.027015e-01,1.057427e-01,1.094005e-01,1.108246e-01,1.159131e-01,1.161167e-01,1.209968e-01,1.228236e-01,1.260646e-01,1.294960e-01,1.311055e-01,1.361092e-01,1.410657e-01,1.426402e-01,1.459654e-01,1.490672e-01,1.507992e-01,1.553697e-01,1.555585e-01,1.602353e-01,1.615290e-01,1.648221e-01,1.675279e-01,1.693117e-01,1.733510e-01,1.736979e-01,1.779747e-01,1.789843e-01,1.821368e-01,1.844156e-01,1.861793e-01,1.896345e-01,1.900981e-01,1.938893e-01,1.946319e-01,1.975498e-01,1.994006e-01,2.010768e-01,2.039348e-01,2.044682e-01,2.077221e-01,2.082299e-01,2.108373e-01,2.122831e-01,2.138129e-01,2.160925e-01,2.166483e-01,2.193436e-01,2.196576e-01,2.218989e-01,2.229791e-01,2.243150e-01,2.260587e-01,2.265928e-01,2.287334e-01,2.288988e-01,2.307386e-01,2.315031e-01,2.326100e-01,2.338757e-01,2.343496e-01,2.359598e-01,2.360216e-01,2.374430e-01,2.379463e-01,2.388017e-01,2.396559e-01,2.400387e-01,2.411569e-01,2.424563e-01,2.435613e-01,2.444793e-01,2.452182e-01,2.457856e-01,2.461896e-01,2.464381e-01,2.465390e-01,2.465003e-01,2.463298e-01,2.460354e-01,2.456245e-01,2.451047e-01,2.444832e-01,2.437672e-01,2.429636e-01,2.420789e-01,2.411198e-01,2.400923e-01,2.390024e-01,2.378559e-01,2.366582e-01,2.354145e-01,2.341298e-01
0.000000e+00,4.920281e-12,2.733429e-11,2.838750e-10,1.151384e-09,2.099797e-09,7.089478e-09,7.393186e-09,1.814816e-08,2.239803e-08,3.626157e-08,5.143683e-08,6.359887e-08,9.852155e-08,1.020516e-07,1.534797e-07,1.679351e-07,2.193859e-07,2.628951e-07,3.003885e-07,3.838008e-07,3.960118e-07,5.050721e-07,5.283754e-07,6.261998e-07,6.935198e-07,7.580955e-07,8.763221e-07,8.995484e-07,1.049385e-06,1.074058e-06,1.206421e-06,1.284000e-06,1.369441e-06,1.503329e-06,1.537200e-06,1.708438e-06,1.729161e-06,1.881904e-06,1.958619e-06,2.056378e-06,2.188933e-06,2.230695e-06,2.403766e-06,2.417527e-06,2.574593e-06,2.642091e-06,2.742280e-06,2.860626e-06,2.906043e-06,3.065210e-06,3.071473e-06,3.219220e-06,3.273310e-06,3.367620e-06,3.465145e-06,3.510060e-06,3.646281e-06,3.776113e-06,3.816292e-06,3.899458e-06,3.974978e-06,4.016286e-06,4.122333e-06,4.126623e-06,4.230542e-06,4.258505e-06,4.328159e-06,4.383764e-06,4.419621e-06,4.498476e-06,4.505098e-06,4.584785e-06,4.603071e-06,4.658887e-06,4.698025e-06,4.727621e-06,4.783845e-06,4.791211e-06,4.849884e-06,4.861049e-06,4.903866e-06,4.930159e-06,4.953384e-06,4.991691e-06,4.998659e-06,5.039909e-06,5.046149e-06,5.077345e-06,5.094020e-06,5.111173e-06,5.135771e-06,5.141591e-06,5.168789e-06,5.171845e-06,5.192949e-06,5.202663e-06,5.214247e-06,5.228622e-06,5.232849e-06,5.248914e-06,5.250094e-06,5.262594e-06,5.267431e-06,5.274033e-06,5.280958e-06,5.283366e-06,5.290724e-06,5.290979e-06,5.296229e-06,5.297780e-06,5.299997e-06,5.301622e-06,5.302137e-06,5.302753e-06,5.301944e-06,5.301400e-06,5.299802e-06,5.297772e-06,5.296415e-06,5.292068e-06,5.291864e-06,5.286229e-06,5.284466e-06,5.279581e-06,5.275136e-06,5.271992e-06,5.264233e-06,5.263525e-06,5.254243e-06,5.251901e-06,5.244204e-06,5.238272e-06,5.233462e-06,5.223470e-06,5.222070e-06,5.210075e-06,5.207608e-06,5.197524e-06,5.190792e-06,5.184459e-06,5.173119e-06,5.170923e-06,5.156952e-06,5.154678e-06,5.142583e-06,5.135554e-06,5.127850e-06,5.115823e-06,5.112785e-06,5.097419e-06,5.095556e-06,5.081779e-06,5.074818e-06,5.065893e-06,5.053671e-06,5.049786e-06,5.033481e-06,5.032169e-06,5.017001e-06,5.010365e-06,5.000367e-06,4.988306e-06,4.983598e-06,4.966714e-06,4.966036e-06,4.949731e-06,4.943596e-06,4.932666e-06,4.921023e-06,4.915535e-06,4.898351e-06,4.875613e-06,4.852837e-06,4.830051e-06,4.807279e-06,4.784544e-06,4.761867e-06,4.739266e-06,4.716760e-06,4.694364e-06,4.672093e-06,4.649960e-06,4.627977e-06,4.606157e-06,4.584507e-06,4.563038e-06,4.541758e-06,4.520673e-06,4.499792e-06,4.479119e-06,4.458659e-06,4.438418e-06,4.418400e-06,4.398607e-06,4.379042e-06
0.000000e+00,4.674211e-14,3.905772e-13,8.830200e-12,6.727902e-11,1.683240e-10,1.176980e-09,1.261148e-09,5.690307e-09,8.153618e-09,1.870611e-08,3.430475e-08,4.960731e-08,1.060837e-07,1.127583e-07,2.282390e-07,2.664863e-07,4.216891e-07,5.750785e-07,7.228894e-07,1.101996e-06,1.163197e-06,1.772566e-06,1.917106e-06,2.576981e-06,3.079361e-06,3.596776e-06,4.630239e-06,4.845895e-06,6.331893e-06,6.591822e-06,8.056414e-06,8.968032e-06,1.001586e-05,1.174725e-05,1.220213e-05,1.460328e-05,1.490517e-05,1.720420e-05,1.840740e-05,1.998716e-05,2.221184e-05,2.293237e-05,2.601848e-05,2.627079e-05,2.922313e-05,3.053305e-05,3.252340e-05,3.494591e-05,3.589634e-05,3.931935e-05,3.945700e-05,4.277063e-05,4.401599e-05,4.622949e-05,4.857593e-05,4.967663e-05,5.309436e-05,5.646675e-05,5.753398e-05,5.977969e-05,6.186303e-05,6.302092e-05,6.605537e-05,6.618005e-05,6.924840e-05,7.009029e-05,7.221902e-05,7.395215e-05,7.508645e-05,7.762990e-05,7.784670e-05,8.049701e-05,8.111652e-05,8.303575e-05,8.440844e-05,8.546229e-05,8.750496e-05,8.777682e-05,8.998026e-05,9.040774e-05,9.207413e-05,9.312030e-05,9.406046e-05,9.564763e-05,9.594167e-05,9.772049e-05,9.799579e-05,9.939990e-05,1.001716e-04,1.009830e-04,1.021824e-04,1.024732e-04,1.038737e-04,1.040359e-04,1.051880e-04,1.057398e-04,1.064194e-04,1.073020e-04,1.075714e-04,1.086474e-04,1.087302e-04,1.096505e-04,1.100320e-04,1.105840e-04,1.112148e-04,1.114510e-04,1.122546e-04,1.122855e-04,1.129978e-04,1.132511e-04,1.136834e-04,1.141180e-04,1.143141e-04,1.148926e-04,1.154214e-04,1.155806e-04,1.159031e-04,1.161877e-04,1.163399e-04,1.167192e-04,1.167342e-04,1.170880e-04,1.171801e-04,1.174034e-04,1.175751e-04,1.176825e-04,1.179088e-04,1.179271e-04,1.181390e-04,1.181852e-04,1.183200e-04,1.184084e-04,1.184717e-04,1.185821e-04,1.185956e-04,1.186933e-04,1.187098e-04,1.187662e-04,1.187947e-04,1.188156e-04,1.188400e-04,1.188429e-04,1.188493e-04,1.188485e-04,1.188360e-04,1.188229e-04,1.188041e-04,1.187659e-04,1.187546e-04,1.186887e-04,1.186797e-04,1.186072e-04,1.185666e-04,1.185111e-04,1.184288e-04,1.184012e-04,1.182785e-04,1.182682e-04,1.181437e-04,1.180865e-04,1.179975e-04,1.178856e-04,1.178407e-04,1.176740e-04,1.176671e-04,1.174980e-04,1.174324e-04,1.173133e-04,1.171831e-04,1.171205e-04,1.169203e-04,1.166453e-04,1.163594e-04,1.160635e-04,1.157588e-04,1.154460e-04,1.151262e-04,1.148001e-04,1.144685e-04,1.141322e-04,1.137917e-04,1.134477e-04,1.131009e-04,1.127517e-04,1.124006e-04,1.120482e-04,1.116948e-04,1.113409e-04,1.109868e-04,1.106329e-04,1.102795e-04,1.099270e-04,1.095755e-04,1.092254e-04,1.088769e-04
0.000000e+00,5.743176e-14,4.929220e-13,1.177958e-11,9.438589e-11,2.427265e-10,1.820733e-09,1.956455e-09,9.446050e-09,1.377999e-08,3.303189e-08,6.267257e-08,9.258642e-08,2.071525e-07,2.209994e-07,4.671119e-07,5.507222e-07,8.977694e-07,1.250712e-06,1.598617e-06,2.520671e-06,2.673145e-06,4.239594e-06,4.623064e-06,6.425755e-06,7.850931e-06,9.362282e-06,1.250152e-05,1.317546e-05,1.798031e-05,1.884794e-05,2.387480e-05,2.711457e-05,3.093545e-05,3.745960e-05,3.921454e-05,4.873868e-05,4.996555e-05,5.950874e-05,6.463697e-05,7.150079e-05,8.140385e-05,8.466777e-05,9.894190e-05,1.001292e-04,1.142374e-04,1.206194e-04,1.304534e-04,1.426360e-04,1.474773e-04,1.651878e-04,1.659087e-04,1.834581e-04,1.901475e-04,2.021586e-04,2.150545e-04,2.211598e-04,2.403349e-04,2.595613e-04,2.657055e-04,2.787232e-04,2.909025e-04,2.977122e-04,3.156866e-04,3.164289e-04,3.347835e-04,3.398468e-04,3.526962e-04,3.632023e-04,3.700973e-04,3.856032e-04,3.869274e-04,4.031367e-04,4.069299e-04,4.186851e-04,4.270914e-04,4.335411e-04,4.460231e-04,4.476816e-04,4.610912e-04,4.636845e-04,4.737609e-04,4.800557e-04,4.856881e-04,4.951350e-04,4.968755e-04,5.073304e-04,5.089359e-04,5.170641e-04,5.214842e-04,5.260911e-04,5.328157e-04,5.344291e-04,5.420976e-04,5.429738e-04,5.491181e-04,5.520078e-04,5.555136e-04,5.599709e-04,5.613080e-04,5.665257e-04,5.669189e-04,5.711917e-04,5.729093e-04,5.753312e-04,5.779996e-04,5.789691e-04,5.821304e-04,5.822472e-04,5.848395e-04,5.857087e-04,5.871204e-04,5.884388e-04,5.889966e-04,5.904909e-04,5.916253e-04,5.919158e-04,5.924212e-04,5.927626e-04,5.928993e-04,5.930777e-04,5.930795e-04,5.929806e-04,5.929054e-04,5.926210e-04,5.922874e-04,5.920181e-04,5.912629e-04,5.911886e-04,5.901484e-04,5.898691e-04,5.889126e-04,5.881405e-04,5.874956e-04,5.861096e-04,5.859111e-04,5.841721e-04,5.838069e-04,5.822910e-04,5.812605e-04,5.802794e-04,5.784969e-04,5.781483e-04,5.759083e-04,5.755405e-04,5.735692e-04,5.724140e-04,5.711403e-04,5.691385e-04,5.686305e-04,5.660480e-04,5.657336e-04,5.634007e-04,5.622173e-04,5.606960e-04,5.586062e-04,5.579407e-04,5.551413e-04,5.549157e-04,5.523040e-04,5.511598e-04,5.494346e-04,5.473516e-04,5.465383e-04,5.436201e-04,5.435030e-04,5.406849e-04,5.396248e-04,5.377369e-04,5.357271e-04,5.347803e-04,5.318188e-04,5.279084e-04,5.240032e-04,5.201102e-04,5.162354e-04,5.123845e-04,5.085625e-04,5.047737e-04,5.010223e-04,4.973117e-04,4.936452e-04,4.900253e-04,4.864546e-04,4.829351e-04,4.794686e-04,4.760566e-04,4.727004e-04,4.694009e-04,4.661590e-04,4.629753e-04,4.598503e-04,4.567843e-04,4.537773e-04,4.508294e-04,4.479406e-04
0.000000e+00,2.033274e-13,1.692584e-12,3.799756e-11,2.880825e-10,7.194115e-10,5.026189e-09,5.386236e-09,2.448291e-08,3.521374e-08,8.187306e-08,1.524351e-07,2.230817e-07,4.924059e-07,5.249250e-07,1.102472e-06,1.298245e-06,2.106140e-06,2.917564e-06,3.705970e-06,5.739776e-06,6.068574e-06,9.335723e-06,1.010755e-05,1.361076e-05,1.625384e-05,1.895414e-05,2.428402e-05,2.538609e-05,3.289346e-05,3.419214e-05,4.143757e-05,4.589084e-05,5.096163e-05,5.924040e-05,6.139670e-05,7.266612e-05,7.407069e-05,8.468855e-05,9.019542e-05,9.738015e-05,1.074211e-04,1.106561e-04,1.244319e-04,1.255530e-04,1.386241e-04,1.443993e-04,1.531516e-04,1.637752e-04,1.679365e-04,1.829047e-04,1.835062e-04,1.979864e-04,2.034311e-04,2.131172e-04,2.234038e-04,2.282380e-04,2.432951e-04,2.582409e-04,2.629930e-04,2.730332e-04,2.824025e-04,2.876352e-04,3.014449e-04,3.020155e-04,3.161472e-04,3.200564e-04,3.300080e-04,3.381866e-04,3.435795e-04,3.557973e-04,3.568472e-04,3.697994e-04,3.728600e-04,3.824275e-04,3.893553e-04,3.947253e-04,4.052707e-04,4.066885e-04,4.183150e-04,4.205998e-04,4.296039e-04,4.353410e-04,4.405560e-04,4.494966e-04,4.511729e-04,4.614573e-04,4.630722e-04,4.714127e-04,4.760756e-04,4.810431e-04,4.885166e-04,4.903532e-04,4.993481e-04,5.004065e-04,5.080332e-04,5.117579e-04,5.164142e-04,5.225840e-04,5.244970e-04,5.322879e-04,5.328987e-04,5.397930e-04,5.427164e-04,5.470186e-04,5.520516e-04,5.539712e-04,5.606572e-04,5.609192e-04,5.670829e-04,5.693337e-04,5.732549e-04,5.773101e-04,5.791794e-04,5.848630e-04,5.903118e-04,5.920069e-04,5.955321e-04,5.987561e-04,6.005301e-04,6.051247e-04,6.053119e-04,6.098834e-04,6.111266e-04,6.142507e-04,6.167753e-04,6.184194e-04,6.220842e-04,6.223953e-04,6.261840e-04,6.270660e-04,6.297910e-04,6.317336e-04,6.332217e-04,6.360992e-04,6.364815e-04,6.395755e-04,6.401749e-04,6.425089e-04,6.439724e-04,6.452865e-04,6.475030e-04,6.479133e-04,6.503940e-04,6.507776e-04,6.527332e-04,6.538071e-04,6.549355e-04,6.566017e-04,6.570053e-04,6.589469e-04,6.591715e-04,6.607646e-04,6.615261e-04,6.624624e-04,6.636751e-04,6.640444e-04,6.655145e-04,6.656274e-04,6.668765e-04,6.673919e-04,6.681341e-04,6.689769e-04,6.692909e-04,6.703504e-04,6.703908e-04,6.713161e-04,6.716414e-04,6.721913e-04,6.727364e-04,6.729792e-04,6.736830e-04,6.744884e-04,6.751593e-04,6.757025e-04,6.761241e-04,6.764303e-04,6.766269e-04,6.767196e-04,6.767138e-04,6.766147e-04,6.764272e-04,6.761563e-04,6.758065e-04,6.753822e-04,6.748876e-04,6.743270e-04,6.737041e-04,6.730227e-04,6.722864e-04,6.714987e-04,6.706628e-04,6.697819e-04,6.688590e-04,6.678970e-04,6.668987e-04
0.000000e+00,8.476167e-11,2.622325e-10,1.230277e-09,3.219356e-09,4.941169e-09,1.221930e-08,1.261946e-08,2.560148e-08,3.036767e-08,4.522042e-08,6.074635e-08,7.284779e-08,1.065328e-07,1.098718e-07,1.575289e-07,1.706437e-07,2.165018e-07,2.543884e-07,2.864441e-07,3.559708e-07,3.659557e-07,4.531458e-07,4.713406e-07,5.461954e-07,5.963726e-07,6.435582e-07,7.277234e-07,7.439397e-07,8.462257e-07,8.627009e-07,9.494318e-07,9.990355e-07,1.052678e-06,1.134773e-06,1.155179e-06,1.256242e-06,1.268243e-06,1.355265e-06,1.398054e-06,1.451739e-06,1.523093e-06,1.545244e-06,1.635444e-06,1.642509e-06,1.722079e-06,1.755691e-06,1.804962e-06,1.862242e-06,1.883967e-06,1.959020e-06,1.961939e-06,2.030098e-06,2.054715e-06,2.097217e-06,2.140620e-06,2.160424e-06,2.219782e-06,2.275384e-06,2.292401e-06,2.327337e-06,2.358725e-06,2.375757e-06,2.419035e-06,2.420772e-06,2.462515e-06,2.473635e-06,2.501121e-06,2.522834e-06,2.536724e-06,2.566946e-06,2.569462e-06,2.599471e-06,2.606282e-06,2.626883e-06,2.641148e-06,2.651829e-06,2.671842e-06,2.674436e-06,2.694827e-06,2.698650e-06,2.713121e-06,2.721844e-06,2.729434e-06,2.741687e-06,2.743877e-06,2.756554e-06,2.758426e-06,2.767569e-06,2.772294e-06,2.777018e-06,2.783514e-06,2.784996e-06,2.791591e-06,2.792293e-06,2.796887e-06,2.798828e-06,2.800967e-06,2.803301e-06,2.803906e-06,2.805779e-06,2.805884e-06,2.806654e-06,2.806739e-06,2.806597e-06,2.806016e-06,2.805673e-06,2.803939e-06,2.803854e-06,2.801453e-06,2.800384e-06,2.798268e-06,2.795729e-06,2.794435e-06,2.790001e-06,2.785012e-06,2.783306e-06,2.779511e-06,2.775741e-06,2.773539e-06,2.767397e-06,2.767133e-06,2.760330e-06,2.758358e-06,2.753164e-06,2.748703e-06,2.745666e-06,2.738503e-06,2.737868e-06,2.729798e-06,2.727824e-06,2.721483e-06,2.716729e-06,2.712948e-06,2.705274e-06,2.704217e-06,2.695312e-06,2.693512e-06,2.686255e-06,2.681491e-06,2.677064e-06,2.669255e-06,2.667760e-06,2.658358e-06,2.656846e-06,2.648875e-06,2.644299e-06,2.639327e-06,2.631651e-06,2.629728e-06,2.620090e-06,2.618932e-06,2.610427e-06,2.606171e-06,2.600751e-06,2.593394e-06,2.591071e-06,2.581398e-06,2.580625e-06,2.571741e-06,2.567885e-06,2.562110e-06,2.555196e-06,2.552512e-06,2.542954e-06,2.542573e-06,2.533444e-06,2.530034e-06,2.523988e-06,2.517592e-06,2.514592e-06,2.505262e-06,2.493054e-06,2.480979e-06,2.469046e-06,2.457263e-06,2.445638e-06,2.434176e-06,2.422883e-06,2.411764e-06,2.400821e-06,2.390060e-06,2.379481e-06,2.369087e-06,2.358880e-06,2.348861e-06,2.339030e-06,2.329387e-06,2.319933e-06,2.310667e-06,2.301588e-06,2.292695e-06,2.283987e-06,2.275462e-06,2.267120e-06,2.258958e-06
0.000000e+00,6.357119e-15,5.473950e-14,1.317092e-12,1.061637e-11,2.738741e-11,2.070111e-10,2.225074e-10,1.081519e-09,1.580337e-09,3.802576e-09,7.233840e-09,1.070261e-08,2.400966e-08,2.561915e-08,5.423435e-08,6.395467e-08,1.042799e-07,1.452496e-07,1.855962e-07,2.923774e-07,3.100179e-07,4.910528e-07,5.353293e-07,7.433382e-07,9.076822e-07,1.081904e-06,1.443668e-06,1.521319e-06,2.074834e-06,2.174765e-06,2.753603e-06,3.126501e-06,3.566080e-06,4.316025e-06,4.517597e-06,5.610162e-06,5.750719e-06,6.842438e-06,7.427838e-06,8.209875e-06,9.335005e-06,9.704969e-06,1.131761e-05,1.145135e-05,1.303550e-05,1.374902e-05,1.484456e-05,1.619494e-05,1.672941e-05,1.867381e-05,1.875259e-05,2.066105e-05,2.138372e-05,2.267441e-05,2.405001e-05,2.469746e-05,2.671441e-05,2.871037e-05,2.934236e-05,3.067157e-05,3.190268e-05,3.258554e-05,3.436824e-05,3.444123e-05,3.622908e-05,3.671639e-05,3.794106e-05,3.892906e-05,3.957066e-05,4.099279e-05,4.111285e-05,4.256403e-05,4.289848e-05,4.392188e-05,4.464107e-05,4.518534e-05,4.621907e-05,4.635440e-05,4.743003e-05,4.763410e-05,4.841404e-05,4.889032e-05,4.930892e-05,4.999398e-05,5.011775e-05,5.084406e-05,5.095287e-05,5.149174e-05,5.177590e-05,5.206491e-05,5.247266e-05,5.256784e-05,5.300491e-05,5.305314e-05,5.338047e-05,5.352735e-05,5.369885e-05,5.390517e-05,5.396426e-05,5.418081e-05,5.419615e-05,5.435244e-05,5.440935e-05,5.448287e-05,5.455329e-05,5.457568e-05,5.463420e-05,5.463587e-05,5.466156e-05,5.466435e-05,5.466068e-05,5.464534e-05,5.463427e-05,5.458484e-05,5.451468e-05,5.448821e-05,5.442593e-05,5.436027e-05,5.432052e-05,5.420531e-05,5.420024e-05,5.406669e-05,5.402713e-05,5.392137e-05,5.382908e-05,5.376560e-05,5.361412e-05,5.360060e-05,5.342749e-05,5.338485e-05,5.324726e-05,5.314357e-05,5.306082e-05,5.289227e-05,5.286899e-05,5.267251e-05,5.263272e-05,5.247206e-05,5.236646e-05,5.226825e-05,5.209485e-05,5.206162e-05,5.185268e-05,5.181907e-05,5.164188e-05,5.154015e-05,5.142962e-05,5.125901e-05,5.121627e-05,5.100218e-05,5.097645e-05,5.078764e-05,5.069318e-05,5.057293e-05,5.040980e-05,5.035831e-05,5.014399e-05,5.012686e-05,4.993018e-05,4.984484e-05,4.971707e-05,4.956416e-05,4.950483e-05,4.929362e-05,4.928519e-05,4.908356e-05,4.900825e-05,4.887479e-05,4.873362e-05,4.866742e-05,4.846156e-05,4.819228e-05,4.792598e-05,4.766281e-05,4.740293e-05,4.714646e-05,4.689351e-05,4.664416e-05,4.639849e-05,4.615656e-05,4.591842e-05,4.568410e-05,4.545363e-05,4.522703e-05,4.500431e-05,4.478548e-05,4.457054e-05,4.435948e-05,4.415229e-05,4.394894e-05,4.374942e-05,4.355370e-05,4.336175e-05,4.317353e-05,4.298901e-05
0.000000e+00,9.677885e-14,7.657485e-13,1.547785e-11,1.066262e-10,2.525726e-10,1.537415e-09,1.638240e-09,6.472283e-09,8.953830e-09,1.884426e-08,3.230603e-08,4.476497e-08,8.735569e-08,9.215501e-08,1.706796e-07,1.953451e-07,2.910585e-07,3.806446e-07,4.635222e-07,6.646541e-07,6.958689e-07,9.921217e-07,1.059110e-06,1.352343e-06,1.563993e-06,1.773397e-06,2.170316e-06,2.250069e-06,2.776085e-06,2.864384e-06,3.344800e-06,3.630993e-06,3.949568e-06,4.454971e-06,4.583895e-06,5.241476e-06,5.321656e-06,5.916194e-06,6.216968e-06,6.602138e-06,7.127461e-06,7.293632e-06,7.985303e-06,8.040492e-06,8.672140e-06,8.944481e-06,9.349570e-06,9.829181e-06,1.001351e-05,1.066041e-05,1.068589e-05,1.128728e-05,1.150757e-05,1.189169e-05,1.228886e-05,1.247172e-05,1.302600e-05,1.355359e-05,1.371669e-05,1.405399e-05,1.435989e-05,1.452704e-05,1.495560e-05,1.497292e-05,1.539204e-05,1.550468e-05,1.578502e-05,1.600860e-05,1.615267e-05,1.646931e-05,1.649589e-05,1.681569e-05,1.688908e-05,1.711313e-05,1.727034e-05,1.738930e-05,1.761561e-05,1.764530e-05,1.788224e-05,1.792743e-05,1.810119e-05,1.820828e-05,1.830320e-05,1.846054e-05,1.848929e-05,1.866044e-05,1.868650e-05,1.881757e-05,1.888827e-05,1.896157e-05,1.906787e-05,1.909326e-05,1.921345e-05,1.922713e-05,1.932286e-05,1.936776e-05,1.942219e-05,1.949134e-05,1.951209e-05,1.959317e-05,1.959930e-05,1.966601e-05,1.969295e-05,1.973112e-05,1.977350e-05,1.978901e-05,1.984014e-05,1.984205e-05,1.988493e-05,1.989959e-05,1.992380e-05,1.994703e-05,1.995711e-05,1.998522e-05,2.000845e-05,2.001490e-05,2.002711e-05,2.003678e-05,2.004147e-05,2.005147e-05,2.005181e-05,2.005838e-05,2.005957e-05,2.006140e-05,2.006160e-05,2.006109e-05,2.005805e-05,2.005766e-05,2.005130e-05,2.004935e-05,2.004217e-05,2.003592e-05,2.003046e-05,2.001813e-05,2.001631e-05,1.999988e-05,1.999633e-05,1.998130e-05,1.997084e-05,1.996071e-05,1.994194e-05,1.993822e-05,1.991394e-05,1.990990e-05,1.988800e-05,1.987499e-05,1.986049e-05,1.983742e-05,1.983151e-05,1.980114e-05,1.979741e-05,1.976948e-05,1.975517e-05,1.973661e-05,1.971087e-05,1.970260e-05,1.966753e-05,1.966468e-05,1.963147e-05,1.961678e-05,1.959447e-05,1.956730e-05,1.955661e-05,1.951794e-05,1.951638e-05,1.947852e-05,1.946416e-05,1.943840e-05,1.941074e-05,1.939763e-05,1.935625e-05,1.930080e-05,1.924446e-05,1.918735e-05,1.912955e-05,1.907113e-05,1.901217e-05,1.895275e-05,1.889293e-05,1.883276e-05,1.877232e-05,1.871166e-05,1.865082e-05,1.858985e-05,1.852881e-05,1.846773e-05,1.840665e-05,1.834561e-05,1.828465e-05,1.822379e-05,1.816308e-05,1.810253e-05,1.804218e-05,1.798205e-05,1.792217e-05
0.000000e+00,3.446940e-12,7.909659e-12,2.709098e-11,6.123777e-11,8.903062e-11,2.006445e-10,2.066472e-10,3.989673e-10,4.691727e-10,6.885386e-10,9.197836e-10,1.101548e-09,1.612670e-09,1.663566e-09,2.387941e-09,2.585168e-09,3.261937e-09,3.803117e-09,4.247598e-09,5.171307e-09,5.299729e-09,6.381022e-09,6.598316e-09,7.465474e-09,8.024661e-09,8.535842e-09,9.415411e-09,9.580443e-09,1.059095e-08,1.074903e-08,1.156113e-08,1.201104e-08,1.248620e-08,1.319130e-08,1.336252e-08,1.418746e-08,1.428291e-08,1.495936e-08,1.528196e-08,1.567741e-08,1.618704e-08,1.634154e-08,1.695240e-08,1.699900e-08,1.751123e-08,1.772057e-08,1.801975e-08,1.835591e-08,1.848007e-08,1.889457e-08,1.891023e-08,1.926582e-08,1.938940e-08,1.959650e-08,1.979958e-08,1.988933e-08,2.014699e-08,2.037213e-08,2.043773e-08,2.056734e-08,2.067771e-08,2.073509e-08,2.087244e-08,2.087769e-08,2.099732e-08,2.102698e-08,2.109602e-08,2.114598e-08,2.117567e-08,2.123364e-08,2.123803e-08,2.128469e-08,2.129371e-08,2.131711e-08,2.132957e-08,2.133666e-08,2.134419e-08,2.134456e-08,2.134192e-08,2.134022e-08,2.132978e-08,2.132001e-08,2.130905e-08,2.128561e-08,2.128057e-08,2.124512e-08,2.123885e-08,2.120338e-08,2.118131e-08,2.115600e-08,2.111442e-08,2.110355e-08,2.104653e-08,2.103941e-08,2.098545e-08,2.095739e-08,2.092071e-08,2.086931e-08,2.085272e-08,2.078183e-08,2.077604e-08,2.070836e-08,2.067833e-08,2.063263e-08,2.057684e-08,2.055489e-08,2.047539e-08,2.047217e-08,2.039436e-08,2.036485e-08,2.031200e-08,2.025534e-08,2.022852e-08,2.014406e-08,2.005881e-08,2.003138e-08,1.997289e-08,1.991762e-08,1.988645e-08,1.980308e-08,1.979960e-08,1.971247e-08,1.968803e-08,1.962514e-08,1.957270e-08,1.953772e-08,1.945729e-08,1.945030e-08,1.936294e-08,1.934200e-08,1.927574e-08,1.922699e-08,1.918874e-08,1.911241e-08,1.910202e-08,1.901562e-08,1.899839e-08,1.892962e-08,1.888506e-08,1.884404e-08,1.877251e-08,1.875893e-08,1.867434e-08,1.866085e-08,1.859029e-08,1.855016e-08,1.850683e-08,1.844051e-08,1.842399e-08,1.834178e-08,1.833196e-08,1.826024e-08,1.822458e-08,1.817939e-08,1.811842e-08,1.809925e-08,1.801984e-08,1.801351e-08,1.794116e-08,1.790991e-08,1.786325e-08,1.780763e-08,1.778611e-08,1.770975e-08,1.770672e-08,1.763419e-08,1.760718e-08,1.755943e-08,1.750905e-08,1.748548e-08,1.741234e-08,1.731706e-08,1.722322e-08,1.713083e-08,1.703989e-08,1.695040e-08,1.686237e-08,1.677578e-08,1.669064e-08,1.660694e-08,1.652468e-08,1.644384e-08,1.636441e-08,1.628639e-08,1.620977e-08,1.613452e-08,1.606064e-08,1.598811e-08,1.591692e-08,1.584706e-08,1.577850e-08,1.571123e-08,1.564523e-08,1.558049e-08,1.551700e-08
0.000000e+00,3.111893e-11,1.051711e-10,5.443657e-10,1.491957e-09,2.329477e-09,5.932462e-09,6.132067e-09,1.263650e-08,1.502916e-08,2.247508e-08,3.022496e-08,3.623592e-08,5.283149e-08,5.446660e-08,7.766902e-08,8.402754e-08,1.062764e-07,1.247812e-07,1.406020e-07,1.756386e-07,1.807642e-07,2.266264e-07,2.364530e-07,2.778102e-07,3.063541e-07,3.337788e-07,3.840510e-07,3.939315e-07,4.576615e-07,4.681505e-07,5.243788e-07,5.572965e-07,5.935152e-07,6.501987e-07,6.645251e-07,7.368864e-07,7.456367e-07,8.101031e-07,8.424683e-07,8.837096e-07,9.396441e-07,9.572739e-07,1.030401e-06,1.036221e-06,1.102735e-06,1.131375e-06,1.173962e-06,1.224404e-06,1.243807e-06,1.312035e-06,1.314727e-06,1.378449e-06,1.401883e-06,1.442889e-06,1.485514e-06,1.505227e-06,1.565364e-06,1.623230e-06,1.641259e-06,1.678776e-06,1.713096e-06,1.731978e-06,1.780837e-06,1.782826e-06,1.831327e-06,1.844489e-06,1.877502e-06,1.904102e-06,1.921380e-06,1.959755e-06,1.963003e-06,2.002417e-06,2.011553e-06,2.039676e-06,2.059620e-06,2.074837e-06,2.104092e-06,2.107962e-06,2.139114e-06,2.145113e-06,2.168359e-06,2.182835e-06,2.195764e-06,2.217411e-06,2.221395e-06,2.245320e-06,2.248994e-06,2.267605e-06,2.277738e-06,2.288316e-06,2.303795e-06,2.307518e-06,2.325276e-06,2.327313e-06,2.341651e-06,2.348433e-06,2.356704e-06,2.367297e-06,2.370494e-06,2.383079e-06,2.384036e-06,2.394515e-06,2.398779e-06,2.404855e-06,2.411651e-06,2.414152e-06,2.422457e-06,2.422769e-06,2.429818e-06,2.432246e-06,2.436282e-06,2.440189e-06,2.441896e-06,2.446702e-06,2.450742e-06,2.451879e-06,2.454057e-06,2.455815e-06,2.456685e-06,2.458597e-06,2.458664e-06,2.460030e-06,2.460307e-06,2.460816e-06,2.461023e-06,2.461056e-06,2.460821e-06,2.460780e-06,2.460020e-06,2.459769e-06,2.458803e-06,2.457933e-06,2.457158e-06,2.455377e-06,2.455111e-06,2.452686e-06,2.452158e-06,2.449909e-06,2.448332e-06,2.446801e-06,2.443951e-06,2.443385e-06,2.439682e-06,2.439064e-06,2.435711e-06,2.433716e-06,2.431492e-06,2.427951e-06,2.427043e-06,2.422381e-06,2.421808e-06,2.417523e-06,2.415327e-06,2.412483e-06,2.408542e-06,2.407278e-06,2.401921e-06,2.401486e-06,2.396425e-06,2.394191e-06,2.390804e-06,2.386686e-06,2.385069e-06,2.379232e-06,2.378997e-06,2.373305e-06,2.371150e-06,2.367296e-06,2.363169e-06,2.361216e-06,2.355075e-06,2.346889e-06,2.338629e-06,2.330314e-06,2.321960e-06,2.313581e-06,2.305191e-06,2.296805e-06,2.288432e-06,2.280085e-06,2.271774e-06,2.263506e-06,2.255292e-06,2.247139e-06,2.239053e-06,2.231041e-06,2.223109e-06,2.215261e-06,2.207503e-06,2.199839e-06,2.192273e-06,2.184807e-06,2.177444e-06,2.170188e-06,2.163040e-06
0.000000e+00,1.821786e-14,1.568672e-13,3.775182e-12,3.045015e-11,7.860140e-11,5.956855e-10,6.403702e-10,3.127232e-09,4.577416e-09,1.107270e-08,2.118009e-08,3.146920e-08,7.141480e-08,7.628758e-08,1.640242e-07,1.942182e-07,3.210684e-07,4.519988e-07,5.824768e-07,9.331061e-07,9.916040e-07,1.598257e-06,1.747948e-06,2.455531e-06,3.017915e-06,3.615894e-06,4.860064e-06,5.127219e-06,7.029363e-06,7.372097e-06,9.351642e-06,1.062112e-05,1.211132e-05,1.463754e-05,1.531307e-05,1.894934e-05,1.941411e-05,2.300127e-05,2.490870e-05,2.744006e-05,3.104974e-05,3.222867e-05,3.732357e-05,3.774297e-05,4.267655e-05,4.487862e-05,4.823647e-05,5.233827e-05,5.395081e-05,5.976714e-05,6.000119e-05,6.563437e-05,6.774955e-05,7.150376e-05,7.547279e-05,7.732977e-05,8.307070e-05,8.868916e-05,9.045569e-05,9.415226e-05,9.755392e-05,9.943185e-05,1.043057e-04,1.045044e-04,1.093510e-04,1.106654e-04,1.139568e-04,1.166003e-04,1.183114e-04,1.220897e-04,1.224078e-04,1.262423e-04,1.271235e-04,1.298143e-04,1.317007e-04,1.331259e-04,1.358277e-04,1.361810e-04,1.389857e-04,1.395173e-04,1.415475e-04,1.427865e-04,1.438750e-04,1.456560e-04,1.459778e-04,1.478660e-04,1.481489e-04,1.495504e-04,1.502898e-04,1.510419e-04,1.521036e-04,1.523515e-04,1.534901e-04,1.536158e-04,1.544685e-04,1.548510e-04,1.552973e-04,1.558334e-04,1.559866e-04,1.565464e-04,1.565858e-04,1.569859e-04,1.571301e-04,1.573143e-04,1.574867e-04,1.575400e-04,1.576712e-04,1.576746e-04,1.577154e-04,1.577114e-04,1.576798e-04,1.576134e-04,1.575711e-04,1.573956e-04,1.571591e-04,1.570714e-04,1.568671e-04,1.566535e-04,1.565247e-04,1.561529e-04,1.561366e-04,1.557072e-04,1.555801e-04,1.552404e-04,1.549441e-04,1.547402e-04,1.542535e-04,1.542100e-04,1.536530e-04,1.535157e-04,1.530722e-04,1.527375e-04,1.524703e-04,1.519252e-04,1.518498e-04,1.512131e-04,1.510840e-04,1.505624e-04,1.502191e-04,1.498996e-04,1.493348e-04,1.492265e-04,1.485448e-04,1.484350e-04,1.478561e-04,1.475234e-04,1.471617e-04,1.466031e-04,1.464630e-04,1.457612e-04,1.456768e-04,1.450573e-04,1.447472e-04,1.443524e-04,1.438166e-04,1.436474e-04,1.429430e-04,1.428868e-04,1.422402e-04,1.419596e-04,1.415395e-04,1.410367e-04,1.408416e-04,1.401472e-04,1.401195e-04,1.394566e-04,1.392091e-04,1.387704e-04,1.383066e-04,1.380891e-04,1.374130e-04,1.365292e-04,1.356558e-04,1.347934e-04,1.339427e-04,1.331040e-04,1.322777e-04,1.314641e-04,1.306636e-04,1.298763e-04,1.291023e-04,1.283418e-04,1.275949e-04,1.268616e-04,1.261419e-04,1.254358e-04,1.247433e-04,1.240643e-04,1.233988e-04,1.227466e-04,1.221076e-04,1.214818e-04,1.208689e-04,1.202688e-04,1.196815e-04
0.000000e+00,8.754564e-13,6.403322e-12,1.104892e-10,6.630570e-10,1.459968e-09,7.426819e-09,7.858585e-09,2.635338e-08,3.495192e-08,6.645333e-08,1.054103e-07,1.391399e-07,2.450299e-07,2.563389e-07,4.307754e-07,4.826247e-07,6.756309e-07,8.481863e-07,1.003143e-06,1.366535e-06,1.421687e-06,1.932516e-06,2.045270e-06,2.528585e-06,2.867915e-06,3.196421e-06,3.800871e-06,3.919615e-06,4.681897e-06,4.806492e-06,5.468817e-06,5.851638e-06,6.268223e-06,6.909914e-06,7.070050e-06,7.865930e-06,7.960688e-06,8.648812e-06,8.987593e-06,9.412744e-06,9.977549e-06,1.015273e-05,1.086463e-05,1.092027e-05,1.154517e-05,1.180801e-05,1.219182e-05,1.263541e-05,1.280282e-05,1.337707e-05,1.339927e-05,1.391407e-05,1.409827e-05,1.441385e-05,1.473266e-05,1.487688e-05,1.530398e-05,1.569629e-05,1.581469e-05,1.605514e-05,1.626793e-05,1.638203e-05,1.666727e-05,1.667857e-05,1.694642e-05,1.701651e-05,1.718727e-05,1.731953e-05,1.740281e-05,1.758017e-05,1.759469e-05,1.776452e-05,1.780218e-05,1.791386e-05,1.798909e-05,1.804418e-05,1.814425e-05,1.815689e-05,1.825333e-05,1.827078e-05,1.833475e-05,1.837154e-05,1.840232e-05,1.844918e-05,1.845714e-05,1.850023e-05,1.850611e-05,1.853256e-05,1.854452e-05,1.855501e-05,1.856640e-05,1.856839e-05,1.857346e-05,1.857354e-05,1.857092e-05,1.856755e-05,1.856141e-05,1.854989e-05,1.854552e-05,1.852384e-05,1.852187e-05,1.849686e-05,1.848470e-05,1.846508e-05,1.843947e-05,1.842893e-05,1.838880e-05,1.838712e-05,1.834507e-05,1.832852e-05,1.829809e-05,1.826445e-05,1.824818e-05,1.819562e-05,1.814067e-05,1.812263e-05,1.808359e-05,1.804604e-05,1.802460e-05,1.796638e-05,1.796392e-05,1.790174e-05,1.788409e-05,1.783824e-05,1.779958e-05,1.777359e-05,1.771322e-05,1.770794e-05,1.764142e-05,1.762535e-05,1.757418e-05,1.753625e-05,1.750633e-05,1.744621e-05,1.743799e-05,1.736925e-05,1.735547e-05,1.730022e-05,1.726423e-05,1.723098e-05,1.717271e-05,1.716160e-05,1.709217e-05,1.708106e-05,1.702276e-05,1.698946e-05,1.695342e-05,1.689804e-05,1.688422e-05,1.681520e-05,1.680694e-05,1.674643e-05,1.671626e-05,1.667794e-05,1.662610e-05,1.660978e-05,1.654198e-05,1.653657e-05,1.647458e-05,1.644773e-05,1.640761e-05,1.635967e-05,1.634110e-05,1.627508e-05,1.627245e-05,1.620957e-05,1.618611e-05,1.614459e-05,1.610072e-05,1.608017e-05,1.601632e-05,1.593294e-05,1.585061e-05,1.576938e-05,1.568925e-05,1.561025e-05,1.553240e-05,1.545571e-05,1.538019e-05,1.530585e-05,1.523270e-05,1.516074e-05,1.508996e-05,1.502037e-05,1.495197e-05,1.488475e-05,1.481872e-05,1.475385e-05,1.469015e-05,1.462760e-05,1.456620e-05,1.450594e-05,1.444681e-05,1.438879e-05,1.433187e-05
0.000000e+00,7.357503e-11,1.962739e-10,7.909565e-10,1.938616e-09,2.910972e-09,6.987746e-09,7.212358e-09,1.459317e-08,1.735612e-08,2.615025e-08,3.559376e-08,4.307432e-08,6.404061e-08,6.610843e-08,9.500124e-08,1.027117e-07,1.288699e-07,1.496811e-07,1.668573e-07,2.031792e-07,2.083212e-07,2.527668e-07,2.619753e-07,2.997622e-07,3.250691e-07,3.488902e-07,3.914973e-07,3.997288e-07,4.518487e-07,4.602779e-07,5.048198e-07,5.304239e-07,5.582209e-07,6.009804e-07,6.116501e-07,6.647341e-07,6.710645e-07,7.171347e-07,7.398962e-07,7.685539e-07,8.068171e-07,8.187358e-07,8.674670e-07,8.712974e-07,9.145752e-07,9.329328e-07,9.599266e-07,9.914350e-07,1.003422e-06,1.044995e-06,1.046618e-06,1.084605e-06,1.098381e-06,1.122236e-06,1.146695e-06,1.157890e-06,1.191586e-06,1.223358e-06,1.233125e-06,1.253248e-06,1.271412e-06,1.281306e-06,1.306571e-06,1.307589e-06,1.332159e-06,1.338740e-06,1.355079e-06,1.368067e-06,1.376415e-06,1.394702e-06,1.396233e-06,1.414599e-06,1.418799e-06,1.431580e-06,1.440508e-06,1.447239e-06,1.459977e-06,1.461641e-06,1.474846e-06,1.477349e-06,1.486916e-06,1.492762e-06,1.497906e-06,1.506345e-06,1.507873e-06,1.516870e-06,1.518223e-06,1.524949e-06,1.528515e-06,1.532158e-06,1.537331e-06,1.538544e-06,1.544153e-06,1.544776e-06,1.549026e-06,1.550949e-06,1.553206e-06,1.555942e-06,1.556730e-06,1.559635e-06,1.559842e-06,1.561958e-06,1.562731e-06,1.563731e-06,1.564685e-06,1.564986e-06,1.565754e-06,1.565775e-06,1.566062e-06,1.566067e-06,1.565940e-06,1.565623e-06,1.565411e-06,1.564502e-06,1.563235e-06,1.562758e-06,1.561633e-06,1.560441e-06,1.559716e-06,1.557599e-06,1.557505e-06,1.555018e-06,1.554274e-06,1.552273e-06,1.550509e-06,1.549287e-06,1.546341e-06,1.546076e-06,1.542656e-06,1.541806e-06,1.539041e-06,1.536936e-06,1.535244e-06,1.531763e-06,1.531279e-06,1.527157e-06,1.526315e-06,1.522891e-06,1.520619e-06,1.518491e-06,1.514699e-06,1.513967e-06,1.509331e-06,1.508579e-06,1.504590e-06,1.502280e-06,1.499754e-06,1.495822e-06,1.494830e-06,1.489828e-06,1.489223e-06,1.484754e-06,1.482501e-06,1.479615e-06,1.475671e-06,1.474419e-06,1.469171e-06,1.468749e-06,1.463877e-06,1.461748e-06,1.458543e-06,1.454680e-06,1.453174e-06,1.447775e-06,1.447559e-06,1.442352e-06,1.440394e-06,1.436908e-06,1.433196e-06,1.431447e-06,1.425974e-06,1.418738e-06,1.411494e-06,1.404251e-06,1.397015e-06,1.389793e-06,1.382590e-06,1.375412e-06,1.368264e-06,1.361150e-06,1.354075e-06,1.347042e-06,1.340055e-06,1.333116e-06,1.326230e-06,1.319398e-06,1.312623e-06,1.305907e-06,1.299252e-06,1.292660e-06,1.286132e-06,1.279670e-06,1.273274e-06,1.266946e-06,1.260687e-06
0.000000e+00,2.384177e-12,1.505755e-11,1.963382e-10,9.397217e-10,1.848998e-09,7.294900e-09,7.647677e-09,2.092761e-08,2.645096e-08,4.508231e-08,6.617417e-08,8.342132e-08,1.340365e-07,1.392207e-07,2.157909e-07,2.376287e-07,3.164420e-07,3.844807e-07,4.441995e-07,5.807693e-07,6.011855e-07,7.879152e-07,8.287436e-07,1.003080e-06,1.125359e-06,1.244048e-06,1.464087e-06,1.507653e-06,1.790761e-06,1.837672e-06,2.090493e-06,2.239491e-06,2.404225e-06,2.663647e-06,2.729517e-06,3.064049e-06,3.104707e-06,3.405585e-06,3.557521e-06,3.751965e-06,4.017171e-06,4.101111e-06,4.451049e-06,4.479022e-06,4.799927e-06,4.938793e-06,5.146035e-06,5.392641e-06,5.487823e-06,5.823907e-06,5.837215e-06,6.153082e-06,6.269688e-06,6.474312e-06,6.687763e-06,6.786734e-06,7.089650e-06,7.382512e-06,7.474034e-06,7.664913e-06,7.840025e-06,7.936573e-06,8.187108e-06,8.197328e-06,8.447110e-06,8.515084e-06,8.685941e-06,8.824018e-06,8.913913e-06,9.114189e-06,9.131181e-06,9.337953e-06,9.386043e-06,9.534474e-06,9.640151e-06,9.721024e-06,9.877181e-06,9.897908e-06,1.006545e-05,1.009786e-05,1.022397e-05,1.030296e-05,1.037383e-05,1.049327e-05,1.051537e-05,1.064892e-05,1.066957e-05,1.077484e-05,1.083267e-05,1.089346e-05,1.098332e-05,1.100510e-05,1.111010e-05,1.112227e-05,1.120876e-05,1.125024e-05,1.130139e-05,1.136793e-05,1.138827e-05,1.146970e-05,1.147598e-05,1.154593e-05,1.157503e-05,1.161723e-05,1.166565e-05,1.168384e-05,1.174600e-05,1.174840e-05,1.180394e-05,1.182380e-05,1.185786e-05,1.189235e-05,1.190798e-05,1.195449e-05,1.199757e-05,1.201066e-05,1.203740e-05,1.206126e-05,1.207415e-05,1.210667e-05,1.210797e-05,1.213902e-05,1.214724e-05,1.216744e-05,1.218329e-05,1.219337e-05,1.221513e-05,1.221693e-05,1.223825e-05,1.224304e-05,1.225744e-05,1.226730e-05,1.227462e-05,1.228815e-05,1.228988e-05,1.230334e-05,1.230582e-05,1.231507e-05,1.232053e-05,1.232518e-05,1.233248e-05,1.233375e-05,1.234085e-05,1.234186e-05,1.234657e-05,1.234885e-05,1.235098e-05,1.235360e-05,1.235414e-05,1.235613e-05,1.235629e-05,1.235700e-05,1.235704e-05,1.235681e-05,1.235600e-05,1.235562e-05,1.235349e-05,1.235328e-05,1.235047e-05,1.234901e-05,1.234659e-05,1.234331e-05,1.234192e-05,1.233649e-05,1.233626e-05,1.233034e-05,1.232796e-05,1.232352e-05,1.231852e-05,1.231607e-05,1.230801e-05,1.229651e-05,1.228410e-05,1.227084e-05,1.225681e-05,1.224206e-05,1.222665e-05,1.221063e-05,1.219406e-05,1.217699e-05,1.215945e-05,1.214150e-05,1.212316e-05,1.210449e-05,1.208550e-05,1.206625e-05,1.204675e-05,1.202703e-05,1.200713e-05,1.198707e-05,1.196687e-05,1.194656e-05,1.192615e-05,1.190568e-05,1.188515e-05
0.000000e+00,1.381406e-11,3.222891e-11,1.129433e-10,2.588541e-10,3.783752e-10,8.586197e-10,8.843542e-10,1.699482e-09,1.991927e-09,2.887705e-09,3.804815e-09,4.508952e-09,6.431114e-09,6.619165e-09,9.269478e-09,9.991033e-09,1.250428e-08,1.458442e-08,1.635792e-08,2.027694e-08,2.084986e-08,2.597859e-08,2.707878e-08,3.171595e-08,3.492205e-08,3.800490e-08,4.365473e-08,4.476390e-08,5.189727e-08,5.306676e-08,5.930729e-08,6.293523e-08,6.690285e-08,7.305835e-08,7.460337e-08,8.233945e-08,8.326726e-08,9.005189e-08,9.342460e-08,9.769030e-08,1.034194e-07,1.052120e-07,1.125808e-07,1.131628e-07,1.197667e-07,1.225841e-07,1.267448e-07,1.316290e-07,1.334952e-07,1.400022e-07,1.402572e-07,1.462539e-07,1.484403e-07,1.522420e-07,1.561605e-07,1.579611e-07,1.634085e-07,1.685835e-07,1.701822e-07,1.734877e-07,1.764855e-07,1.781239e-07,1.823265e-07,1.824964e-07,1.866106e-07,1.877171e-07,1.904726e-07,1.926716e-07,1.940893e-07,1.972063e-07,1.974680e-07,2.006164e-07,2.013387e-07,2.035426e-07,2.050872e-07,2.062546e-07,2.084705e-07,2.087606e-07,2.110688e-07,2.115074e-07,2.131873e-07,2.142166e-07,2.151242e-07,2.166167e-07,2.168874e-07,2.184847e-07,2.187254e-07,2.199237e-07,2.205604e-07,2.212118e-07,2.221384e-07,2.223561e-07,2.233636e-07,2.234757e-07,2.242412e-07,2.245878e-07,2.249952e-07,2.254896e-07,2.256321e-07,2.261579e-07,2.261953e-07,2.265785e-07,2.267185e-07,2.268994e-07,2.270719e-07,2.271262e-07,2.272640e-07,2.272677e-07,2.273178e-07,2.273175e-07,2.272924e-07,2.272323e-07,2.271924e-07,2.270222e-07,2.267860e-07,2.266972e-07,2.264878e-07,2.262663e-07,2.261315e-07,2.257382e-07,2.257208e-07,2.252591e-07,2.251212e-07,2.247498e-07,2.244228e-07,2.241962e-07,2.236502e-07,2.236012e-07,2.229678e-07,2.228104e-07,2.222987e-07,2.219095e-07,2.215966e-07,2.209535e-07,2.208640e-07,2.201033e-07,2.199480e-07,2.193168e-07,2.188983e-07,2.185066e-07,2.178092e-07,2.176747e-07,2.168232e-07,2.166852e-07,2.159538e-07,2.155306e-07,2.150683e-07,2.143494e-07,2.141684e-07,2.132556e-07,2.131453e-07,2.123315e-07,2.119217e-07,2.113974e-07,2.106817e-07,2.104548e-07,2.095047e-07,2.094285e-07,2.085485e-07,2.081646e-07,2.075873e-07,2.068927e-07,2.066221e-07,2.056539e-07,2.056151e-07,2.046837e-07,2.043341e-07,2.037123e-07,2.030515e-07,2.027406e-07,2.017694e-07,2.004893e-07,1.992129e-07,1.979416e-07,1.966768e-07,1.954195e-07,1.941710e-07,1.929321e-07,1.917039e-07,1.904871e-07,1.892824e-07,1.880906e-07,1.869121e-07,1.857475e-07,1.845974e-07,1.834620e-07,1.823417e-07,1.812368e-07,1.801475e-07,1.790741e-07,1.780168e-07,1.769755e-07,1.759506e-07,1.749419e-07,1.739496e-07
0.000000e+00,7.501138e-15,6.501503e-14,1.587468e-12,1.298121e-11,3.377107e-11,2.614302e-10,2.812947e-10,1.405817e-09,2.071553e-09,5.100601e-09,9.907089e-09,1.487454e-08,3.459013e-08,3.702875e-08,8.169516e-08,9.730207e-08,1.636483e-07,2.329705e-07,3.025661e-07,4.910213e-07,5.225952e-07,8.513102e-07,9.326807e-07,1.318290e-06,1.625754e-06,1.953559e-06,2.638492e-06,2.786084e-06,3.842457e-06,4.033853e-06,5.145824e-06,5.864897e-06,6.715070e-06,8.171521e-06,8.564257e-06,1.070228e-05,1.097848e-05,1.313274e-05,1.429454e-05,1.585394e-05,1.811249e-05,1.885907e-05,2.213653e-05,2.241004e-05,2.567029e-05,2.715122e-05,2.944045e-05,3.228839e-05,3.342374e-05,3.759421e-05,3.776453e-05,4.192380e-05,4.351577e-05,4.638308e-05,4.947406e-05,5.094183e-05,5.556967e-05,6.023666e-05,6.173358e-05,6.491375e-05,6.789955e-05,6.957329e-05,7.400586e-05,7.418936e-05,7.873805e-05,7.999660e-05,8.319769e-05,8.582262e-05,8.754901e-05,9.144205e-05,9.177518e-05,9.586184e-05,9.682051e-05,9.979708e-05,1.019310e-04,1.035713e-04,1.067536e-04,1.071772e-04,1.106095e-04,1.112748e-04,1.138648e-04,1.154869e-04,1.169414e-04,1.193877e-04,1.198394e-04,1.225599e-04,1.229789e-04,1.251055e-04,1.262663e-04,1.274797e-04,1.292583e-04,1.296866e-04,1.317312e-04,1.319660e-04,1.336192e-04,1.344018e-04,1.353564e-04,1.365796e-04,1.369489e-04,1.384033e-04,1.385139e-04,1.397261e-04,1.402197e-04,1.409236e-04,1.417121e-04,1.420026e-04,1.429693e-04,1.430057e-04,1.438301e-04,1.441152e-04,1.445910e-04,1.450545e-04,1.452580e-04,1.458368e-04,1.463329e-04,1.464750e-04,1.467514e-04,1.469810e-04,1.470975e-04,1.473659e-04,1.473758e-04,1.475909e-04,1.476403e-04,1.477469e-04,1.478139e-04,1.478480e-04,1.478958e-04,1.478980e-04,1.479003e-04,1.478942e-04,1.478584e-04,1.478168e-04,1.477755e-04,1.476709e-04,1.476545e-04,1.474981e-04,1.474628e-04,1.473090e-04,1.471986e-04,1.470897e-04,1.468838e-04,1.468424e-04,1.465692e-04,1.465233e-04,1.462722e-04,1.461218e-04,1.459533e-04,1.456834e-04,1.456141e-04,1.452563e-04,1.452122e-04,1.448815e-04,1.447116e-04,1.444911e-04,1.441847e-04,1.440864e-04,1.436686e-04,1.436347e-04,1.432391e-04,1.430641e-04,1.427987e-04,1.424755e-04,1.423486e-04,1.418897e-04,1.418712e-04,1.414229e-04,1.412531e-04,1.409490e-04,1.406232e-04,1.404689e-04,1.399832e-04,1.393347e-04,1.386792e-04,1.380180e-04,1.373523e-04,1.366832e-04,1.360118e-04,1.353390e-04,1.346656e-04,1.339924e-04,1.333201e-04,1.326495e-04,1.319810e-04,1.313152e-04,1.306527e-04,1.299938e-04,1.293390e-04,1.286887e-04,1.280432e-04,1.274028e-04,1.267677e-04,1.261383e-04,1.255148e-04,1.248972e-04,1.242859e-04
0.000000e+00,1.512972e-10,4.371111e-10,1.914191e-09,4.877626e-09,7.433351e-09,1.833810e-08,1.894437e-08,3.903485e-08,4.661333e-08,7.087834e-08,9.718826e-08,1.182749e-07,1.790690e-07,1.852282e-07,2.747039e-07,2.996237e-07,3.868585e-07,4.584744e-07,5.184857e-07,6.465263e-07,6.646764e-07,8.208298e-07,8.529271e-07,9.834235e-07,1.069638e-06,1.149897e-06,1.291318e-06,1.318334e-06,1.487215e-06,1.514190e-06,1.655276e-06,1.735331e-06,1.821438e-06,1.952369e-06,1.984769e-06,2.144478e-06,2.163366e-06,2.299898e-06,2.366780e-06,2.450487e-06,2.561438e-06,2.595819e-06,2.735569e-06,2.746501e-06,2.869508e-06,2.921422e-06,2.997491e-06,3.085910e-06,3.119449e-06,3.235373e-06,3.239885e-06,3.345306e-06,3.383428e-06,3.449318e-06,3.516719e-06,3.547519e-06,3.640048e-06,3.727057e-06,3.753761e-06,3.808715e-06,3.858252e-06,3.885203e-06,3.953939e-06,3.956706e-06,4.023410e-06,4.041252e-06,4.085502e-06,4.120624e-06,4.143174e-06,4.192486e-06,4.196610e-06,4.245994e-06,4.257263e-06,4.291506e-06,4.315367e-06,4.333322e-06,4.367196e-06,4.371610e-06,4.406536e-06,4.413132e-06,4.438261e-06,4.453544e-06,4.466939e-06,4.488783e-06,4.492719e-06,4.515744e-06,4.519181e-06,4.536152e-06,4.545057e-06,4.554075e-06,4.566710e-06,4.569640e-06,4.582970e-06,4.584425e-06,4.594181e-06,4.598472e-06,4.603386e-06,4.609105e-06,4.610690e-06,4.616198e-06,4.616563e-06,4.620005e-06,4.621074e-06,4.622207e-06,4.622849e-06,4.622893e-06,4.622148e-06,4.622089e-06,4.620053e-06,4.618984e-06,4.616687e-06,4.613709e-06,4.612123e-06,4.606432e-06,4.599682e-06,4.597309e-06,4.591937e-06,4.586487e-06,4.583259e-06,4.574103e-06,4.573705e-06,4.563330e-06,4.560286e-06,4.552189e-06,4.545157e-06,4.540331e-06,4.528830e-06,4.527804e-06,4.514654e-06,4.511410e-06,4.500923e-06,4.492996e-06,4.486653e-06,4.473681e-06,4.471884e-06,4.456651e-06,4.453553e-06,4.440992e-06,4.432691e-06,4.424938e-06,4.411172e-06,4.408522e-06,4.391774e-06,4.389066e-06,4.374723e-06,4.366439e-06,4.357396e-06,4.343352e-06,4.339818e-06,4.322015e-06,4.319864e-06,4.304008e-06,4.296027e-06,4.285821e-06,4.271891e-06,4.267474e-06,4.248987e-06,4.247503e-06,4.230378e-06,4.222905e-06,4.211665e-06,4.198137e-06,4.192865e-06,4.173993e-06,4.173237e-06,4.155064e-06,4.148238e-06,4.136092e-06,4.123174e-06,4.117091e-06,4.098074e-06,4.072964e-06,4.047871e-06,4.022817e-06,3.997825e-06,3.972914e-06,3.948103e-06,3.923409e-06,3.898846e-06,3.874429e-06,3.850172e-06,3.826085e-06,3.802180e-06,3.778466e-06,3.754953e-06,3.731647e-06,3.708557e-06,3.685688e-06,3.663047e-06,3.640638e-06,3.618465e-06,3.596533e-06,3.574845e-06,3.553404e-06,3.532211e-06
0.000000e+00,2.962773e-15,2.597397e-14,6.492427e-13,5.422223e-12,1.426769e-11,1.136316e-10,1.224021e-10,6.277231e-10,9.309894e-10,2.326864e-09,4.567591e-09,6.899707e-09,1.622900e-08,1.738786e-08,3.872237e-08,4.621505e-08,7.824840e-08,1.120068e-07,1.461744e-07,2.399714e-07,2.558567e-07,4.238430e-07,4.661060e-07,6.696390e-07,8.354168e-07,1.015214e-06,1.399931e-06,1.484294e-06,2.101512e-06,2.215668e-06,2.891488e-06,3.339052e-06,3.877897e-06,4.823222e-06,5.082589e-06,6.524794e-06,6.714614e-06,8.220431e-06,9.050060e-06,1.018158e-05,1.185459e-05,1.241605e-05,1.492718e-05,1.514002e-05,1.771370e-05,1.890426e-05,2.076976e-05,2.313146e-05,2.408516e-05,2.764557e-05,2.779284e-05,3.143296e-05,3.284797e-05,3.542605e-05,3.824671e-05,3.960087e-05,4.393125e-05,4.838949e-05,4.983847e-05,5.294690e-05,5.590225e-05,5.757437e-05,6.205573e-05,6.224291e-05,6.692411e-05,6.823337e-05,7.159066e-05,7.437270e-05,7.621664e-05,8.041587e-05,8.077785e-05,8.525210e-05,8.631071e-05,8.961934e-05,9.201154e-05,9.386182e-05,9.747969e-05,9.796411e-05,1.019131e-04,1.026836e-04,1.056982e-04,1.075987e-04,1.093108e-04,1.122074e-04,1.127446e-04,1.159952e-04,1.164981e-04,1.190601e-04,1.204651e-04,1.219387e-04,1.241078e-04,1.246316e-04,1.271410e-04,1.274299e-04,1.294700e-04,1.304387e-04,1.316230e-04,1.331446e-04,1.336050e-04,1.354218e-04,1.355602e-04,1.370798e-04,1.377000e-04,1.385856e-04,1.395796e-04,1.399463e-04,1.411692e-04,1.412153e-04,1.422613e-04,1.426240e-04,1.432302e-04,1.438223e-04,1.440830e-04,1.448267e-04,1.454684e-04,1.456533e-04,1.460148e-04,1.463175e-04,1.464724e-04,1.468338e-04,1.468473e-04,1.471456e-04,1.472161e-04,1.473728e-04,1.474772e-04,1.475343e-04,1.476292e-04,1.476352e-04,1.476802e-04,1.476832e-04,1.476739e-04,1.476494e-04,1.476202e-04,1.475371e-04,1.475233e-04,1.473866e-04,1.473548e-04,1.472137e-04,1.471104e-04,1.470075e-04,1.468109e-04,1.467711e-04,1.465072e-04,1.464626e-04,1.462183e-04,1.460714e-04,1.459066e-04,1.456424e-04,1.455744e-04,1.452236e-04,1.451803e-04,1.448560e-04,1.446894e-04,1.444734e-04,1.441735e-04,1.440773e-04,1.436690e-04,1.436359e-04,1.432500e-04,1.430797e-04,1.428215e-04,1.425077e-04,1.423845e-04,1.419402e-04,1.419223e-04,1.414894e-04,1.413257e-04,1.410330e-04,1.407199e-04,1.405719e-04,1.401068e-04,1.394880e-04,1.388648e-04,1.382386e-04,1.376105e-04,1.369817e-04,1.363530e-04,1.357253e-04,1.350995e-04,1.344761e-04,1.338558e-04,1.332392e-04,1.326268e-04,1.320190e-04,1.314163e-04,1.308189e-04,1.302273e-04,1.296417e-04,1.290623e-04,1.284894e-04,1.279232e-04,1.273638e-04,1.268115e-04,1.262662e-04,1.257283e-04
0.000000e+00,1.524550e-11,9.911506e-11,1.363849e-09,6.807553e-09,1.367041e-08,5.642679e-08,5.925265e-08,1.681440e-07,2.144207e-07,3.732560e-07,5.568436e-07,7.092633e-07,1.165767e-06,1.213174e-06,1.924217e-06,2.130062e-06,2.880823e-06,3.535534e-06,4.112617e-06,5.432100e-06,5.628670e-06,7.410207e-06,7.794969e-06,9.415657e-06,1.053012e-05,1.159425e-05,1.352263e-05,1.389782e-05,1.628580e-05,1.667341e-05,1.872527e-05,1.990640e-05,2.118923e-05,2.316260e-05,2.365488e-05,2.610256e-05,2.639424e-05,2.851519e-05,2.956176e-05,3.087802e-05,3.263266e-05,3.317849e-05,3.540616e-05,3.558097e-05,3.755261e-05,3.838692e-05,3.961128e-05,4.103639e-05,4.157734e-05,4.344749e-05,4.352027e-05,4.521979e-05,4.583367e-05,4.689343e-05,4.797522e-05,4.846860e-05,4.994628e-05,5.132808e-05,5.175035e-05,5.261615e-05,5.339247e-05,5.381302e-05,5.487889e-05,5.492158e-05,5.594493e-05,5.621663e-05,5.688629e-05,5.741312e-05,5.774896e-05,5.847604e-05,5.853634e-05,5.925179e-05,5.941317e-05,5.989866e-05,6.023218e-05,6.048024e-05,6.094059e-05,6.099976e-05,6.146036e-05,6.154568e-05,6.186512e-05,6.205451e-05,6.221701e-05,6.247386e-05,6.251892e-05,6.277359e-05,6.281013e-05,6.298369e-05,6.306946e-05,6.315178e-05,6.325765e-05,6.328030e-05,6.337162e-05,6.338019e-05,6.342798e-05,6.344225e-05,6.345150e-05,6.344870e-05,6.344426e-05,6.340820e-05,6.340412e-05,6.334518e-05,6.331282e-05,6.325697e-05,6.317882e-05,6.314527e-05,6.301167e-05,6.300589e-05,6.285770e-05,6.279756e-05,6.268481e-05,6.255713e-05,6.249436e-05,6.228767e-05,6.206597e-05,6.199204e-05,6.183042e-05,6.167292e-05,6.158214e-05,6.133278e-05,6.132216e-05,6.105150e-05,6.097392e-05,6.077107e-05,6.059850e-05,6.048177e-05,6.020849e-05,6.018443e-05,5.987984e-05,5.980574e-05,5.956874e-05,5.939195e-05,5.925184e-05,5.896870e-05,5.892980e-05,5.860323e-05,5.853743e-05,5.827273e-05,5.809949e-05,5.793883e-05,5.765612e-05,5.760207e-05,5.726291e-05,5.720846e-05,5.692183e-05,5.675755e-05,5.657924e-05,5.630435e-05,5.623554e-05,5.589111e-05,5.584975e-05,5.554630e-05,5.539455e-05,5.520143e-05,5.493948e-05,5.485681e-05,5.451272e-05,5.448522e-05,5.416942e-05,5.403238e-05,5.382716e-05,5.358151e-05,5.348618e-05,5.314667e-05,5.313312e-05,5.280884e-05,5.268767e-05,5.247287e-05,5.224555e-05,5.213892e-05,5.180715e-05,5.137278e-05,5.094275e-05,5.051731e-05,5.009669e-05,4.968110e-05,4.927071e-05,4.886566e-05,4.846610e-05,4.807213e-05,4.768383e-05,4.730128e-05,4.692454e-05,4.655364e-05,4.618862e-05,4.582950e-05,4.547627e-05,4.512893e-05,4.478747e-05,4.445186e-05,4.412207e-05,4.379808e-05,4.347982e-05,4.316726e-05,4.286034e-05
0.000000e+00,8.493494e-11,2.297022e-10,9.373385e-10,2.303444e-09,3.455434e-09,8.213958e-09,8.472695e-09,1.678756e-08,1.981472e-08,2.919662e-08,3.894638e-08,4.651723e-08,6.749999e-08,6.957417e-08,9.910104e-08,1.072077e-07,1.355250e-07,1.589248e-07,1.787588e-07,2.219958e-07,2.282376e-07,2.831754e-07,2.947472e-07,3.427799e-07,3.753756e-07,4.063278e-07,4.622716e-07,4.731595e-07,5.426564e-07,5.539834e-07,6.142252e-07,6.491446e-07,6.872909e-07,7.464470e-07,7.612978e-07,8.357144e-07,8.446478e-07,9.100404e-07,9.425943e-07,9.838126e-07,1.039248e-06,1.056609e-06,1.128053e-06,1.133700e-06,1.197818e-06,1.225189e-06,1.265622e-06,1.313096e-06,1.331235e-06,1.394468e-06,1.396945e-06,1.455175e-06,1.476389e-06,1.513248e-06,1.551196e-06,1.568616e-06,1.621235e-06,1.671090e-06,1.686460e-06,1.718186e-06,1.746891e-06,1.762549e-06,1.802605e-06,1.804221e-06,1.843257e-06,1.853723e-06,1.879720e-06,1.900394e-06,1.913685e-06,1.942794e-06,1.945231e-06,1.974441e-06,1.981114e-06,2.001403e-06,2.015552e-06,2.026204e-06,2.046312e-06,2.048933e-06,2.069680e-06,2.073599e-06,2.088533e-06,2.097618e-06,2.105580e-06,2.118566e-06,2.120906e-06,2.134594e-06,2.136638e-06,2.146727e-06,2.152021e-06,2.157382e-06,2.164895e-06,2.166638e-06,2.174567e-06,2.175432e-06,2.181241e-06,2.183797e-06,2.186728e-06,2.190145e-06,2.191094e-06,2.194402e-06,2.194623e-06,2.196713e-06,2.197372e-06,2.198085e-06,2.198523e-06,2.198573e-06,2.198230e-06,2.198200e-06,2.197107e-06,2.196520e-06,2.195251e-06,2.193594e-06,2.192709e-06,2.189524e-06,2.185738e-06,2.184406e-06,2.181391e-06,2.178332e-06,2.176521e-06,2.171387e-06,2.171163e-06,2.165352e-06,2.163648e-06,2.159119e-06,2.155191e-06,2.152496e-06,2.146084e-06,2.145512e-06,2.138194e-06,2.136391e-06,2.130569e-06,2.126174e-06,2.122661e-06,2.115487e-06,2.114494e-06,2.106091e-06,2.104383e-06,2.097471e-06,2.092910e-06,2.088656e-06,2.081114e-06,2.079664e-06,2.070513e-06,2.069035e-06,2.061219e-06,2.056712e-06,2.051799e-06,2.044182e-06,2.042268e-06,2.032639e-06,2.031478e-06,2.022927e-06,2.018630e-06,2.013142e-06,2.005666e-06,2.003299e-06,1.993406e-06,1.992613e-06,1.983476e-06,1.979495e-06,1.973517e-06,1.966335e-06,1.963540e-06,1.953552e-06,1.953152e-06,1.943561e-06,1.939966e-06,1.933576e-06,1.926793e-06,1.923604e-06,1.913650e-06,1.900551e-06,1.887510e-06,1.874537e-06,1.861645e-06,1.848842e-06,1.836139e-06,1.823542e-06,1.811060e-06,1.798698e-06,1.786464e-06,1.774360e-06,1.762393e-06,1.750566e-06,1.738882e-06,1.727345e-06,1.715956e-06,1.704719e-06,1.693635e-06,1.682704e-06,1.671928e-06,1.661308e-06,1.650845e-06,1.640538e-06,1.630387e-06
0.000000e+00,6.412176e-11,1.573956e-10,5.819376e-10,1.368393e-09,2.020321e-09,4.674531e-09,4.817883e-09,9.400646e-09,1.106192e-08,1.619811e-08,2.152365e-08,2.565412e-08,3.709138e-08,3.822169e-08,5.432128e-08,5.874758e-08,7.424393e-08,8.709899e-08,9.803347e-08,1.219855e-07,1.254550e-07,1.560958e-07,1.625696e-07,1.894969e-07,2.078111e-07,2.252261e-07,2.567517e-07,2.628939e-07,3.021459e-07,3.085509e-07,3.426528e-07,3.624503e-07,3.841047e-07,4.177487e-07,4.262080e-07,4.686859e-07,4.737960e-07,5.112803e-07,5.299967e-07,5.537533e-07,5.858179e-07,5.958889e-07,6.374939e-07,6.407941e-07,6.783984e-07,6.945306e-07,7.184564e-07,7.467033e-07,7.575435e-07,7.955561e-07,7.970530e-07,8.324107e-07,8.453817e-07,8.680415e-07,8.915454e-07,9.023987e-07,9.354468e-07,9.671627e-07,9.770282e-07,9.975342e-07,1.016265e-06,1.026558e-06,1.053159e-06,1.054240e-06,1.080592e-06,1.087734e-06,1.105629e-06,1.120030e-06,1.129374e-06,1.150100e-06,1.151852e-06,1.173091e-06,1.178007e-06,1.193121e-06,1.203821e-06,1.211974e-06,1.227617e-06,1.229683e-06,1.246283e-06,1.249473e-06,1.261808e-06,1.269468e-06,1.276294e-06,1.287684e-06,1.289775e-06,1.302287e-06,1.304201e-06,1.313864e-06,1.319099e-06,1.324540e-06,1.332456e-06,1.334351e-06,1.343328e-06,1.344351e-06,1.351505e-06,1.354858e-06,1.358914e-06,1.364050e-06,1.365586e-06,1.371551e-06,1.371999e-06,1.376841e-06,1.378773e-06,1.381482e-06,1.384439e-06,1.385504e-06,1.388934e-06,1.389060e-06,1.391799e-06,1.392697e-06,1.394124e-06,1.395409e-06,1.395934e-06,1.397254e-06,1.398106e-06,1.398284e-06,1.398513e-06,1.398551e-06,1.398498e-06,1.398104e-06,1.398080e-06,1.397281e-06,1.396992e-06,1.396120e-06,1.395258e-06,1.394616e-06,1.392944e-06,1.392787e-06,1.390650e-06,1.390093e-06,1.388222e-06,1.386742e-06,1.385520e-06,1.382928e-06,1.382560e-06,1.379355e-06,1.378686e-06,1.375921e-06,1.374049e-06,1.372271e-06,1.369048e-06,1.368418e-06,1.364376e-06,1.363713e-06,1.360157e-06,1.358072e-06,1.355771e-06,1.352151e-06,1.351231e-06,1.346547e-06,1.345975e-06,1.341729e-06,1.339569e-06,1.336787e-06,1.332955e-06,1.331732e-06,1.326570e-06,1.326153e-06,1.321312e-06,1.319184e-06,1.315966e-06,1.312065e-06,1.310538e-06,1.305037e-06,1.304816e-06,1.299471e-06,1.297452e-06,1.293845e-06,1.289988e-06,1.288166e-06,1.282440e-06,1.274822e-06,1.267144e-06,1.259421e-06,1.251663e-06,1.243880e-06,1.236082e-06,1.228279e-06,1.220479e-06,1.212689e-06,1.204917e-06,1.197170e-06,1.189454e-06,1.181774e-06,1.174137e-06,1.166546e-06,1.159007e-06,1.151524e-06,1.144100e-06,1.136739e-06,1.129444e-06,1.122217e-06,1.115062e-06,1.107981e-06,1.100975e-06
0.000000e+00,2.886508e-12,1.829479e-11,2.396946e-10,1.149496e-09,2.262780e-09,8.934771e-09,9.367442e-09,2.572855e-08,3.258469e-08,5.596659e-08,8.292673e-08,1.053515e-07,1.729211e-07,1.799708e-07,2.860064e-07,3.166586e-07,4.273768e-07,5.217445e-07,6.027693e-07,7.798297e-07,8.052433e-07,1.025238e-06,1.070530e-06,1.253994e-06,1.374175e-06,1.485063e-06,1.677776e-06,1.714174e-06,1.938542e-06,1.973864e-06,2.156243e-06,2.257935e-06,2.365834e-06,2.526892e-06,2.566171e-06,2.756330e-06,2.778429e-06,2.935592e-06,3.010874e-06,3.103439e-06,3.223172e-06,3.259563e-06,3.403850e-06,3.414883e-06,3.536372e-06,3.586133e-06,3.657361e-06,3.737534e-06,3.767186e-06,3.866322e-06,3.870073e-06,3.955325e-06,3.985002e-06,4.034803e-06,4.083732e-06,4.105393e-06,4.167744e-06,4.222500e-06,4.238520e-06,4.270285e-06,4.297488e-06,4.311700e-06,4.345991e-06,4.347311e-06,4.377645e-06,4.385261e-06,4.403195e-06,4.416417e-06,4.424410e-06,4.440456e-06,4.441704e-06,4.455451e-06,4.458261e-06,4.465992e-06,4.470610e-06,4.473633e-06,4.478180e-06,4.478652e-06,4.481299e-06,4.481564e-06,4.481797e-06,4.481275e-06,4.480348e-06,4.477760e-06,4.477134e-06,4.472317e-06,4.471408e-06,4.466044e-06,4.462555e-06,4.458447e-06,4.451496e-06,4.449645e-06,4.439746e-06,4.438489e-06,4.428846e-06,4.423757e-06,4.417035e-06,4.407499e-06,4.404393e-06,4.390992e-06,4.389889e-06,4.376899e-06,4.371082e-06,4.362174e-06,4.351214e-06,4.346875e-06,4.331051e-06,4.330407e-06,4.314749e-06,4.308772e-06,4.298014e-06,4.286406e-06,4.280884e-06,4.263397e-06,4.245586e-06,4.239824e-06,4.227484e-06,4.215760e-06,4.209120e-06,4.191269e-06,4.190521e-06,4.171712e-06,4.166412e-06,4.152718e-06,4.141242e-06,4.133560e-06,4.115809e-06,4.114260e-06,4.094836e-06,4.090158e-06,4.075306e-06,4.064330e-06,4.055688e-06,4.038363e-06,4.035996e-06,4.016247e-06,4.012292e-06,3.996454e-06,3.986148e-06,3.976629e-06,3.959961e-06,3.956785e-06,3.936933e-06,3.933757e-06,3.917085e-06,3.907562e-06,3.897250e-06,3.881397e-06,3.877437e-06,3.857656e-06,3.855284e-06,3.837914e-06,3.829242e-06,3.818219e-06,3.803288e-06,3.798580e-06,3.779002e-06,3.777438e-06,3.759492e-06,3.751708e-06,3.740055e-06,3.726110e-06,3.720698e-06,3.701426e-06,3.700657e-06,3.682243e-06,3.675360e-06,3.663154e-06,3.650230e-06,3.644164e-06,3.625275e-06,3.600505e-06,3.575928e-06,3.551549e-06,3.527376e-06,3.503414e-06,3.479669e-06,3.456144e-06,3.432843e-06,3.409771e-06,3.386930e-06,3.364323e-06,3.341952e-06,3.319818e-06,3.297924e-06,3.276271e-06,3.254859e-06,3.233689e-06,3.212761e-06,3.192076e-06,3.171634e-06,3.151433e-06,3.131475e-06,3.111757e-06,3.092279e-06
0.000000e+00,8.981574e-12,5.480178e-11,6.703785e-10,3.053625e-09,5.866013e-09,2.194829e-08,2.296551e-08,6.022603e-08,7.533423e-08,1.252745e-07,1.804473e-07,2.247556e-07,3.515750e-07,3.643338e-07,5.487054e-07,6.000480e-07,7.814870e-07,9.338810e-07,1.064866e-06,1.356252e-06,1.398963e-06,1.781181e-06,1.862970e-06,2.206167e-06,2.441690e-06,2.666654e-06,3.075072e-06,3.154680e-06,3.662460e-06,3.745046e-06,4.182771e-06,4.435019e-06,4.709050e-06,5.130374e-06,5.235383e-06,5.756495e-06,5.818451e-06,6.267766e-06,6.488563e-06,6.765234e-06,7.132019e-06,7.245592e-06,7.706179e-06,7.742106e-06,8.144941e-06,8.313984e-06,8.560389e-06,8.844505e-06,8.951539e-06,9.317853e-06,9.331986e-06,9.659174e-06,9.775953e-06,9.975661e-06,1.017689e-05,1.026774e-05,1.053602e-05,1.078131e-05,1.085509e-05,1.100451e-05,1.113620e-05,1.120659e-05,1.138169e-05,1.138859e-05,1.155159e-05,1.159398e-05,1.169666e-05,1.177554e-05,1.182487e-05,1.192883e-05,1.193726e-05,1.203486e-05,1.205620e-05,1.211866e-05,1.215991e-05,1.218960e-05,1.224211e-05,1.224859e-05,1.229649e-05,1.230481e-05,1.233412e-05,1.234989e-05,1.236226e-05,1.237908e-05,1.238162e-05,1.239291e-05,1.239401e-05,1.239677e-05,1.239616e-05,1.239379e-05,1.238688e-05,1.238456e-05,1.236958e-05,1.236742e-05,1.234936e-05,1.233893e-05,1.232436e-05,1.230242e-05,1.229500e-05,1.226169e-05,1.225886e-05,1.222479e-05,1.220911e-05,1.218466e-05,1.215394e-05,1.214161e-05,1.209593e-05,1.209406e-05,1.204792e-05,1.203011e-05,1.199781e-05,1.196268e-05,1.194586e-05,1.189229e-05,1.183729e-05,1.181942e-05,1.178105e-05,1.174449e-05,1.172375e-05,1.166789e-05,1.166555e-05,1.160660e-05,1.158998e-05,1.154704e-05,1.151106e-05,1.148699e-05,1.143142e-05,1.142657e-05,1.136589e-05,1.135130e-05,1.130504e-05,1.127093e-05,1.124412e-05,1.119052e-05,1.118321e-05,1.112238e-05,1.111024e-05,1.106171e-05,1.103025e-05,1.100126e-05,1.095069e-05,1.094108e-05,1.088123e-05,1.087169e-05,1.082176e-05,1.079336e-05,1.076270e-05,1.071579e-05,1.070411e-05,1.064601e-05,1.063907e-05,1.058844e-05,1.056328e-05,1.053142e-05,1.048847e-05,1.047498e-05,1.041914e-05,1.041470e-05,1.036393e-05,1.034202e-05,1.030935e-05,1.027047e-05,1.025544e-05,1.020219e-05,1.020007e-05,1.014961e-05,1.013086e-05,1.009773e-05,1.006285e-05,1.004655e-05,9.996065e-06,9.930512e-06,9.866201e-06,9.803134e-06,9.741312e-06,9.680734e-06,9.621396e-06,9.563289e-06,9.506407e-06,9.450738e-06,9.396272e-06,9.342994e-06,9.290890e-06,9.239946e-06,9.190144e-06,9.141469e-06,9.093901e-06,9.047424e-06,9.002018e-06,8.957665e-06,8.914345e-06,8.872039e-06,8.830728e-06,8.790392e-06,8.751012e-06
0.000000e+00,9.993954e-12,2.297480e-11,7.963054e-11,1.827355e-10,2.681515e-10,6.206216e-10,6.399282e-10,1.272983e-09,1.510001e-09,2.266544e-09,3.084693e-09,3.738688e-09,5.608085e-09,5.795639e-09,8.472827e-09,9.202728e-09,1.171350e-08,1.373758e-08,1.541897e-08,1.899206e-08,1.949897e-08,2.388445e-08,2.479334e-08,2.852242e-08,3.101920e-08,3.336911e-08,3.757298e-08,3.838548e-08,4.353512e-08,4.436909e-08,4.878345e-08,5.132800e-08,5.409768e-08,5.837582e-08,5.944713e-08,6.480348e-08,6.544546e-08,7.014112e-08,7.247777e-08,7.543724e-08,7.942217e-08,8.067194e-08,8.582813e-08,8.623678e-08,9.089143e-08,9.288797e-08,9.584982e-08,9.934936e-08,1.006936e-07,1.054151e-07,1.056013e-07,1.100082e-07,1.116294e-07,1.144685e-07,1.174240e-07,1.187928e-07,1.229790e-07,1.270260e-07,1.282916e-07,1.309334e-07,1.333610e-07,1.347015e-07,1.381888e-07,1.383313e-07,1.418241e-07,1.427777e-07,1.451814e-07,1.471317e-07,1.484054e-07,1.512556e-07,1.514982e-07,1.544623e-07,1.551548e-07,1.573001e-07,1.588352e-07,1.600145e-07,1.623031e-07,1.626080e-07,1.650837e-07,1.655649e-07,1.674444e-07,1.686274e-07,1.696929e-07,1.714972e-07,1.718322e-07,1.738654e-07,1.741810e-07,1.757952e-07,1.766857e-07,1.776246e-07,1.790179e-07,1.793566e-07,1.809940e-07,1.811842e-07,1.825396e-07,1.831913e-07,1.839963e-07,1.850456e-07,1.853668e-07,1.866539e-07,1.867534e-07,1.878603e-07,1.883208e-07,1.889885e-07,1.897539e-07,1.900412e-07,1.910210e-07,1.910587e-07,1.919302e-07,1.922408e-07,1.927714e-07,1.933058e-07,1.935469e-07,1.942591e-07,1.949102e-07,1.951060e-07,1.955025e-07,1.958516e-07,1.960380e-07,1.965008e-07,1.965191e-07,1.969476e-07,1.970584e-07,1.973256e-07,1.975290e-07,1.976551e-07,1.979170e-07,1.979379e-07,1.981760e-07,1.982267e-07,1.983711e-07,1.984622e-07,1.985249e-07,1.986276e-07,1.986393e-07,1.987157e-07,1.987266e-07,1.987559e-07,1.987630e-07,1.987613e-07,1.987402e-07,1.987336e-07,1.986741e-07,1.986617e-07,1.985843e-07,1.985308e-07,1.984655e-07,1.983505e-07,1.983191e-07,1.981464e-07,1.981240e-07,1.979487e-07,1.978540e-07,1.977270e-07,1.975434e-07,1.974827e-07,1.972169e-07,1.971947e-07,1.969305e-07,1.968105e-07,1.966248e-07,1.963933e-07,1.963007e-07,1.959593e-07,1.959453e-07,1.956014e-07,1.954687e-07,1.952279e-07,1.949656e-07,1.948399e-07,1.944381e-07,1.938881e-07,1.933174e-07,1.927277e-07,1.921207e-07,1.914979e-07,1.908610e-07,1.902112e-07,1.895500e-07,1.888786e-07,1.881982e-07,1.875101e-07,1.868152e-07,1.861147e-07,1.854095e-07,1.847006e-07,1.839887e-07,1.832748e-07,1.825596e-07,1.818438e-07,1.811282e-07,1.804133e-07,1.796999e-07,1.789884e-07,1.782794e-07
0.000000e+00,1.997724e-11,4.728432e-11,1.685405e-10,3.901827e-10,5.730679e-10,1.316060e-09,1.356186e-09,2.641140e-09,3.108256e-09,4.557183e-09,6.066161e-09,7.239732e-09,1.049082e-08,1.081135e-08,1.533934e-08,1.656894e-08,2.081868e-08,2.428747e-08,2.720781e-08,3.354720e-08,3.446200e-08,4.254006e-08,4.425093e-08,5.140027e-08,5.630157e-08,6.099632e-08,6.958711e-08,7.127524e-08,8.217706e-08,8.397481e-08,9.363558e-08,9.931270e-08,1.055798e-07,1.154351e-07,1.179356e-07,1.306274e-07,1.321695e-07,1.435804e-07,1.493434e-07,1.567212e-07,1.667907e-07,1.699800e-07,1.832910e-07,1.843563e-07,1.965935e-07,2.018995e-07,2.098320e-07,2.192960e-07,2.229569e-07,2.359241e-07,2.364390e-07,2.486954e-07,2.532385e-07,2.612375e-07,2.696209e-07,2.735227e-07,2.855275e-07,2.972330e-07,3.009129e-07,3.086240e-07,3.157436e-07,3.196888e-07,3.299961e-07,3.304188e-07,3.408082e-07,3.436556e-07,3.508532e-07,3.567141e-07,3.605522e-07,3.691700e-07,3.699055e-07,3.789147e-07,3.810260e-07,3.875826e-07,3.922889e-07,3.959131e-07,4.029686e-07,4.039110e-07,4.115818e-07,4.130772e-07,4.189315e-07,4.226287e-07,4.259668e-07,4.316384e-07,4.326944e-07,4.391217e-07,4.401227e-07,4.452559e-07,4.480985e-07,4.511046e-07,4.555832e-07,4.566756e-07,4.619763e-07,4.625946e-07,4.670147e-07,4.691504e-07,4.717983e-07,4.752682e-07,4.763349e-07,4.806319e-07,4.809656e-07,4.846970e-07,4.862597e-07,4.885375e-07,4.911676e-07,4.921606e-07,4.955737e-07,4.957059e-07,4.987836e-07,4.998908e-07,5.017974e-07,5.037381e-07,5.046217e-07,5.072631e-07,5.097282e-07,5.104808e-07,5.120232e-07,5.134056e-07,5.141542e-07,5.160514e-07,5.161273e-07,5.179483e-07,5.184317e-07,5.196229e-07,5.205597e-07,5.211566e-07,5.224478e-07,5.225547e-07,5.238226e-07,5.241081e-07,5.249653e-07,5.255524e-07,5.259878e-07,5.267918e-07,5.268947e-07,5.276908e-07,5.278372e-07,5.283806e-07,5.286988e-07,5.289685e-07,5.293865e-07,5.294586e-07,5.298550e-07,5.299100e-07,5.301619e-07,5.302784e-07,5.303829e-07,5.305004e-07,5.305218e-07,5.305822e-07,5.305844e-07,5.305676e-07,5.305383e-07,5.304814e-07,5.303700e-07,5.303269e-07,5.301070e-07,5.300867e-07,5.298250e-07,5.296955e-07,5.294838e-07,5.292030e-07,5.290861e-07,5.286347e-07,5.286156e-07,5.281323e-07,5.279394e-07,5.275814e-07,5.271804e-07,5.269845e-07,5.263439e-07,5.254354e-07,5.244598e-07,5.234220e-07,5.223266e-07,5.211778e-07,5.199798e-07,5.187366e-07,5.174519e-07,5.161292e-07,5.147719e-07,5.133833e-07,5.119663e-07,5.105238e-07,5.090586e-07,5.075731e-07,5.060700e-07,5.045514e-07,5.030195e-07,5.014765e-07,4.999243e-07,4.983646e-07,4.967993e-07,4.952300e-07,4.936581e-07
0.000000e+00,6.545100e-11,2.784060e-10,1.920254e-09,6.079355e-09,1.002370e-08,2.813293e-08,2.916855e-08,6.391768e-08,7.704900e-08,1.187081e-07,1.630431e-07,1.979695e-07,2.963258e-07,3.061461e-07,4.473923e-07,4.865861e-07,6.247196e-07,7.402323e-07,8.390948e-07,1.057671e-06,1.089577e-06,1.374303e-06,1.435176e-06,1.691202e-06,1.868009e-06,2.038173e-06,2.351271e-06,2.413026e-06,2.813406e-06,2.879668e-06,3.236761e-06,3.447335e-06,3.680357e-06,4.047878e-06,4.141317e-06,4.616677e-06,4.674546e-06,5.103451e-06,5.320483e-06,5.598687e-06,5.978963e-06,6.099529e-06,6.603261e-06,6.643607e-06,7.107342e-06,7.308541e-06,7.609435e-06,7.968514e-06,8.107423e-06,8.599417e-06,8.618948e-06,9.083757e-06,9.255962e-06,9.559006e-06,9.876351e-06,1.002394e-05,1.047754e-05,1.091897e-05,1.105755e-05,1.134757e-05,1.161488e-05,1.176280e-05,1.214852e-05,1.216431e-05,1.255182e-05,1.265780e-05,1.292519e-05,1.314239e-05,1.328434e-05,1.360222e-05,1.362930e-05,1.396014e-05,1.403745e-05,1.427699e-05,1.444839e-05,1.458005e-05,1.483549e-05,1.486952e-05,1.514566e-05,1.519932e-05,1.540876e-05,1.554050e-05,1.565909e-05,1.585975e-05,1.589699e-05,1.612278e-05,1.615780e-05,1.633678e-05,1.643542e-05,1.653934e-05,1.669338e-05,1.673080e-05,1.691151e-05,1.693249e-05,1.708180e-05,1.715352e-05,1.724202e-05,1.735726e-05,1.739251e-05,1.753359e-05,1.754448e-05,1.766561e-05,1.771595e-05,1.778887e-05,1.787239e-05,1.790371e-05,1.801042e-05,1.801453e-05,1.810932e-05,1.814307e-05,1.820070e-05,1.825869e-05,1.828484e-05,1.836204e-05,1.843256e-05,1.845377e-05,1.849668e-05,1.853447e-05,1.855465e-05,1.860475e-05,1.860672e-05,1.865315e-05,1.866517e-05,1.869416e-05,1.871626e-05,1.872999e-05,1.875857e-05,1.876086e-05,1.878698e-05,1.879257e-05,1.880858e-05,1.881876e-05,1.882583e-05,1.883759e-05,1.883896e-05,1.884813e-05,1.884951e-05,1.885354e-05,1.885492e-05,1.885536e-05,1.885424e-05,1.885376e-05,1.884890e-05,1.884784e-05,1.884095e-05,1.883608e-05,1.883006e-05,1.881933e-05,1.881637e-05,1.880003e-05,1.879790e-05,1.878117e-05,1.877211e-05,1.875992e-05,1.874226e-05,1.873642e-05,1.871078e-05,1.870864e-05,1.868312e-05,1.867152e-05,1.865356e-05,1.863115e-05,1.862220e-05,1.858914e-05,1.858779e-05,1.855450e-05,1.854166e-05,1.851836e-05,1.849298e-05,1.848081e-05,1.844196e-05,1.838880e-05,1.833368e-05,1.827679e-05,1.821830e-05,1.815835e-05,1.809710e-05,1.803469e-05,1.797126e-05,1.790693e-05,1.784181e-05,1.777603e-05,1.770968e-05,1.764287e-05,1.757569e-05,1.750822e-05,1.744055e-05,1.737275e-05,1.730490e-05,1.723707e-05,1.716931e-05,1.710168e-05,1.703425e-05,1.696705e-05,1.690015e-05
0.000000e+00,1.146191e-10,3.033616e-10,1.210871e-09,2.952753e-09,4.425422e-09,1.059591e-08,1.093603e-08,2.213054e-08,2.633079e-08,3.973977e-08,5.423405e-08,6.582067e-08,9.902278e-08,1.023646e-07,1.502760e-07,1.633746e-07,2.083040e-07,2.441425e-07,2.735108e-07,3.344348e-07,3.429026e-07,4.143005e-07,4.286859e-07,4.862844e-07,5.236210e-07,5.579072e-07,6.172876e-07,6.284872e-07,6.974984e-07,7.083653e-07,7.645194e-07,7.958804e-07,8.292121e-07,8.791098e-07,8.913120e-07,9.506229e-07,9.575458e-07,1.007011e-06,1.030874e-06,1.060399e-06,1.098948e-06,1.110759e-06,1.158103e-06,1.161762e-06,1.202480e-06,1.219416e-06,1.243964e-06,1.272093e-06,1.282648e-06,1.318644e-06,1.320030e-06,1.352070e-06,1.363499e-06,1.383053e-06,1.402791e-06,1.411720e-06,1.438200e-06,1.462620e-06,1.470020e-06,1.485105e-06,1.498534e-06,1.505773e-06,1.524011e-06,1.524739e-06,1.542112e-06,1.546706e-06,1.557997e-06,1.566855e-06,1.572492e-06,1.584680e-06,1.585690e-06,1.597677e-06,1.600383e-06,1.608536e-06,1.614152e-06,1.618342e-06,1.626159e-06,1.627168e-06,1.635081e-06,1.636559e-06,1.642142e-06,1.645497e-06,1.648410e-06,1.653103e-06,1.653941e-06,1.658784e-06,1.659498e-06,1.662987e-06,1.664790e-06,1.666594e-06,1.669078e-06,1.669646e-06,1.672181e-06,1.672452e-06,1.674235e-06,1.674995e-06,1.675841e-06,1.676782e-06,1.677031e-06,1.677832e-06,1.677880e-06,1.678273e-06,1.678354e-06,1.678378e-06,1.678258e-06,1.678170e-06,1.677672e-06,1.677646e-06,1.676904e-06,1.676565e-06,1.675885e-06,1.675058e-06,1.674633e-06,1.673165e-06,1.671496e-06,1.670922e-06,1.669642e-06,1.668363e-06,1.667614e-06,1.665518e-06,1.665428e-06,1.663093e-06,1.662415e-06,1.660623e-06,1.659079e-06,1.658026e-06,1.655534e-06,1.655313e-06,1.652493e-06,1.651802e-06,1.649575e-06,1.647901e-06,1.646567e-06,1.643852e-06,1.643477e-06,1.640311e-06,1.639669e-06,1.637076e-06,1.635369e-06,1.633779e-06,1.630966e-06,1.630426e-06,1.627022e-06,1.626473e-06,1.623572e-06,1.621901e-06,1.620081e-06,1.617262e-06,1.616554e-06,1.612995e-06,1.612566e-06,1.609409e-06,1.607823e-06,1.605798e-06,1.603041e-06,1.602168e-06,1.598520e-06,1.598227e-06,1.594858e-06,1.593391e-06,1.591186e-06,1.588537e-06,1.587506e-06,1.583821e-06,1.583673e-06,1.580132e-06,1.578804e-06,1.576444e-06,1.573936e-06,1.572757e-06,1.569073e-06,1.564221e-06,1.559382e-06,1.554562e-06,1.549763e-06,1.544989e-06,1.540242e-06,1.535526e-06,1.530843e-06,1.526195e-06,1.521585e-06,1.517013e-06,1.512482e-06,1.507994e-06,1.503549e-06,1.499150e-06,1.494796e-06,1.490490e-06,1.486232e-06,1.482023e-06,1.477863e-06,1.473754e-06,1.469695e-06,1.465687e-06,1.461730e-06
0.000000e+00,1.578612e-14,1.380302e-13,3.429398e-12,2.848022e-11,7.470524e-11,5.900411e-10,6.353640e-10,3.230656e-09,4.780082e-09,1.187453e-08,2.319166e-08,3.491453e-08,8.148438e-08,8.724337e-08,1.926342e-07,2.294368e-07,3.859697e-07,5.499264e-07,7.151465e-07,1.166288e-06,1.242442e-06,2.045138e-06,2.246571e-06,3.215197e-06,4.003277e-06,4.857840e-06,6.687376e-06,7.088887e-06,1.003089e-05,1.057592e-05,1.380818e-05,1.595360e-05,1.854103e-05,2.308977e-05,2.433948e-05,3.129704e-05,3.221350e-05,3.948510e-05,4.349020e-05,4.894816e-05,5.700278e-05,5.970054e-05,7.172472e-05,7.274033e-05,8.497129e-05,9.059528e-05,9.936053e-05,1.103692e-04,1.147854e-04,1.311157e-04,1.317857e-04,1.482027e-04,1.545084e-04,1.658846e-04,1.781619e-04,1.839920e-04,2.023525e-04,2.207960e-04,2.266885e-04,2.391586e-04,2.507964e-04,2.572859e-04,2.743351e-04,2.750362e-04,2.922821e-04,2.970049e-04,3.089118e-04,3.185537e-04,3.248303e-04,3.387792e-04,3.399589e-04,3.542354e-04,3.575294e-04,3.676130e-04,3.746994e-04,3.800598e-04,3.902279e-04,3.915572e-04,4.020987e-04,4.040925e-04,4.116887e-04,4.163036e-04,4.203407e-04,4.268991e-04,4.280764e-04,4.349238e-04,4.359391e-04,4.409164e-04,4.435002e-04,4.460919e-04,4.496712e-04,4.504909e-04,4.541563e-04,4.545489e-04,4.571322e-04,4.582346e-04,4.594633e-04,4.608312e-04,4.611943e-04,4.623695e-04,4.624408e-04,4.630321e-04,4.631631e-04,4.632240e-04,4.630935e-04,4.629856e-04,4.623555e-04,4.623227e-04,4.613704e-04,4.609356e-04,4.600649e-04,4.590110e-04,4.584718e-04,4.566216e-04,4.545430e-04,4.538339e-04,4.522623e-04,4.507082e-04,4.498044e-04,4.472989e-04,4.471917e-04,4.444453e-04,4.436550e-04,4.415842e-04,4.398199e-04,4.386260e-04,4.358325e-04,4.355867e-04,4.324810e-04,4.317273e-04,4.293222e-04,4.275346e-04,4.261223e-04,4.232811e-04,4.228923e-04,4.196418e-04,4.189901e-04,4.163798e-04,4.146817e-04,4.131142e-04,4.103734e-04,4.098520e-04,4.065995e-04,4.060804e-04,4.033623e-04,4.018155e-04,4.001455e-04,3.975897e-04,3.969535e-04,3.937900e-04,3.934125e-04,3.906586e-04,3.892917e-04,3.875621e-04,3.852338e-04,3.845032e-04,3.814840e-04,3.812442e-04,3.785064e-04,3.773274e-04,3.755720e-04,3.734867e-04,3.726821e-04,3.698378e-04,3.697250e-04,3.670400e-04,3.660443e-04,3.642893e-04,3.624461e-04,3.615863e-04,3.589313e-04,3.555006e-04,3.521542e-04,3.488917e-04,3.457130e-04,3.426172e-04,3.396036e-04,3.366711e-04,3.338186e-04,3.310448e-04,3.283483e-04,3.257277e-04,3.231815e-04,3.207081e-04,3.183059e-04,3.159734e-04,3.137088e-04,3.115106e-04,3.093771e-04,3.073067e-04,3.052977e-04,3.033486e-04,3.014577e-04,2.996234e-04,2.978442e-04
0.000000e+00,1.284884e-10,3.984654e-10,1.885494e-09,5.009508e-09,7.785536e-09,2.023009e-08,2.094680e-08,4.593830e-08,5.591552e-08,8.944736e-08,1.277766e-07,1.593419e-07,2.509939e-07,2.601715e-07,3.887713e-07,4.229083e-07,5.373399e-07,6.265610e-07,6.989085e-07,8.481482e-07,8.688826e-07,1.044385e-06,1.079967e-06,1.223471e-06,1.317508e-06,1.404654e-06,1.557544e-06,1.586676e-06,1.768400e-06,1.797377e-06,1.948779e-06,2.034599e-06,2.126856e-06,2.267076e-06,2.301767e-06,2.472758e-06,2.492981e-06,2.639177e-06,2.710808e-06,2.800479e-06,2.919388e-06,2.956252e-06,3.106193e-06,3.117929e-06,3.250081e-06,3.305909e-06,3.387784e-06,3.483066e-06,3.519244e-06,3.644459e-06,3.649339e-06,3.763480e-06,3.804828e-06,3.876398e-06,3.949751e-06,3.983322e-06,4.084405e-06,4.179816e-06,4.209179e-06,4.269739e-06,4.324494e-06,4.354358e-06,4.430780e-06,4.433864e-06,4.508454e-06,4.528485e-06,4.578322e-06,4.618058e-06,4.643664e-06,4.699944e-06,4.704670e-06,4.761528e-06,4.774577e-06,4.814422e-06,4.842377e-06,4.863530e-06,4.903750e-06,4.909024e-06,4.951073e-06,4.959084e-06,4.989838e-06,5.008749e-06,5.025473e-06,5.053097e-06,5.058128e-06,5.087947e-06,5.092464e-06,5.115067e-06,5.127166e-06,5.139621e-06,5.157502e-06,5.161736e-06,5.181531e-06,5.183757e-06,5.199124e-06,5.206196e-06,5.214625e-06,5.225071e-06,5.228139e-06,5.239768e-06,5.240620e-06,5.249609e-06,5.253065e-06,5.257753e-06,5.262616e-06,5.264288e-06,5.269299e-06,5.269469e-06,5.272865e-06,5.273810e-06,5.275063e-06,5.275813e-06,5.275965e-06,5.275641e-06,5.274156e-06,5.273447e-06,5.271575e-06,5.269374e-06,5.267956e-06,5.263559e-06,5.263357e-06,5.257832e-06,5.256127e-06,5.251434e-06,5.247196e-06,5.244212e-06,5.236879e-06,5.236212e-06,5.227479e-06,5.225279e-06,5.218057e-06,5.212494e-06,5.207985e-06,5.198616e-06,5.197303e-06,5.186047e-06,5.183730e-06,5.174252e-06,5.167917e-06,5.161952e-06,5.151253e-06,5.149178e-06,5.135961e-06,5.133807e-06,5.122329e-06,5.115647e-06,5.108310e-06,5.096834e-06,5.093930e-06,5.079213e-06,5.077426e-06,5.064184e-06,5.057478e-06,5.048864e-06,5.037040e-06,5.033275e-06,5.017438e-06,5.016160e-06,5.001371e-06,4.994884e-06,4.985093e-06,4.973252e-06,4.968622e-06,4.951974e-06,4.951305e-06,4.935165e-06,4.929077e-06,4.918210e-06,4.906605e-06,4.901124e-06,4.883919e-06,4.861051e-06,4.838027e-06,4.814875e-06,4.791618e-06,4.768280e-06,4.744882e-06,4.721444e-06,4.697985e-06,4.674522e-06,4.651072e-06,4.627649e-06,4.604267e-06,4.580941e-06,4.557681e-06,4.534500e-06,4.511408e-06,4.488414e-06,4.465528e-06,4.442758e-06,4.420112e-06,4.397597e-06,4.375220e-06,4.352987e-06,4.330903e-06
0.000000e+00,3.990693e-12,2.667163e-11,3.867874e-10,2.014877e-09,4.135103e-09,1.799230e-08,1.893291e-08,5.657976e-08,7.322274e-08,1.325874e-07,2.048414e-07,2.673576e-07,4.658055e-07,4.872272e-07,8.215408e-07,9.216149e-07,1.292522e-06,1.618029e-06,1.903143e-06,2.541778e-06,2.635061e-06,3.458378e-06,3.631284e-06,4.343107e-06,4.819134e-06,5.265064e-06,6.055196e-06,6.206585e-06,7.155011e-06,7.306739e-06,8.100948e-06,8.551904e-06,9.037069e-06,9.774859e-06,9.957417e-06,1.085704e-05,1.096339e-05,1.173181e-05,1.210795e-05,1.257838e-05,1.320126e-05,1.339411e-05,1.417700e-05,1.423817e-05,1.492567e-05,1.521534e-05,1.563925e-05,1.613105e-05,1.631733e-05,1.695993e-05,1.698490e-05,1.756736e-05,1.777753e-05,1.814021e-05,1.851039e-05,1.867927e-05,1.918548e-05,1.965989e-05,1.980518e-05,2.010366e-05,2.037214e-05,2.051797e-05,2.088913e-05,2.090405e-05,2.126310e-05,2.135897e-05,2.159638e-05,2.178446e-05,2.190506e-05,2.216836e-05,2.219035e-05,2.245339e-05,2.251333e-05,2.269530e-05,2.282194e-05,2.291715e-05,2.309662e-05,2.311999e-05,2.330481e-05,2.333970e-05,2.347257e-05,2.355337e-05,2.362418e-05,2.373970e-05,2.376052e-05,2.388242e-05,2.390063e-05,2.399067e-05,2.403800e-05,2.408602e-05,2.415352e-05,2.416921e-05,2.424091e-05,2.424878e-05,2.430178e-05,2.432529e-05,2.435242e-05,2.438444e-05,2.439344e-05,2.442537e-05,2.442755e-05,2.444876e-05,2.445584e-05,2.446410e-05,2.447043e-05,2.447187e-05,2.447251e-05,2.447239e-05,2.446646e-05,2.446272e-05,2.445411e-05,2.444232e-05,2.443586e-05,2.441206e-05,2.438305e-05,2.437272e-05,2.434917e-05,2.432506e-05,2.431071e-05,2.426977e-05,2.426798e-05,2.422124e-05,2.420748e-05,2.417077e-05,2.413879e-05,2.411680e-05,2.406426e-05,2.405957e-05,2.399931e-05,2.398441e-05,2.393621e-05,2.389972e-05,2.387049e-05,2.381063e-05,2.380232e-05,2.373190e-05,2.371755e-05,2.365937e-05,2.362089e-05,2.358491e-05,2.352098e-05,2.350867e-05,2.343078e-05,2.341818e-05,2.335138e-05,2.331278e-05,2.327061e-05,2.320507e-05,2.318857e-05,2.310538e-05,2.309533e-05,2.302116e-05,2.298380e-05,2.293600e-05,2.287071e-05,2.285000e-05,2.276325e-05,2.275628e-05,2.267583e-05,2.264070e-05,2.258784e-05,2.252416e-05,2.249934e-05,2.241040e-05,2.240684e-05,2.232110e-05,2.228888e-05,2.223151e-05,2.217045e-05,2.214168e-05,2.205167e-05,2.193266e-05,2.181356e-05,2.169445e-05,2.157546e-05,2.145665e-05,2.133814e-05,2.121998e-05,2.110226e-05,2.098504e-05,2.086838e-05,2.075234e-05,2.063698e-05,2.052233e-05,2.040845e-05,2.029537e-05,2.018313e-05,2.007176e-05,1.996129e-05,1.985175e-05,1.974316e-05,1.963554e-05,1.952891e-05,1.942329e-05,1.931870e-05
0.000000e+00,1.667684e-12,1.230569e-11,2.161515e-10,1.318256e-09,2.928850e-09,1.526799e-08,1.617265e-08,5.577327e-08,7.460652e-08,1.452710e-07,2.355776e-07,3.159167e-07,5.784224e-07,6.072287e-07,1.064917e-06,1.204507e-06,1.731369e-06,2.205826e-06,2.630543e-06,3.611759e-06,3.758396e-06,5.086158e-06,5.372104e-06,6.571966e-06,7.392414e-06,8.172199e-06,9.576256e-06,9.848089e-06,1.156781e-05,1.184525e-05,1.330588e-05,1.414052e-05,1.504189e-05,1.641797e-05,1.675926e-05,1.844434e-05,1.864382e-05,2.008590e-05,2.079199e-05,2.167485e-05,2.284277e-05,2.320400e-05,2.466792e-05,2.478209e-05,2.606278e-05,2.660080e-05,2.738615e-05,2.829399e-05,2.863682e-05,2.981464e-05,2.986025e-05,3.092034e-05,3.130099e-05,3.195535e-05,3.261975e-05,3.292162e-05,3.382154e-05,3.465773e-05,3.491231e-05,3.543302e-05,3.589858e-05,3.615031e-05,3.678710e-05,3.681257e-05,3.742274e-05,3.758464e-05,3.798369e-05,3.829781e-05,3.849824e-05,3.893299e-05,3.896912e-05,3.939891e-05,3.949623e-05,3.979012e-05,3.999323e-05,4.014511e-05,4.042934e-05,4.046614e-05,4.075532e-05,4.080952e-05,4.101467e-05,4.113838e-05,4.124609e-05,4.142019e-05,4.145134e-05,4.163212e-05,4.165888e-05,4.178999e-05,4.185808e-05,4.192644e-05,4.202111e-05,4.204285e-05,4.214052e-05,4.215104e-05,4.222068e-05,4.225070e-05,4.228447e-05,4.232266e-05,4.233296e-05,4.236715e-05,4.236930e-05,4.238800e-05,4.239280e-05,4.239638e-05,4.239517e-05,4.239313e-05,4.237902e-05,4.237823e-05,4.235477e-05,4.234369e-05,4.232107e-05,4.229308e-05,4.227856e-05,4.222784e-05,4.216947e-05,4.214927e-05,4.210399e-05,4.205857e-05,4.203188e-05,4.195685e-05,4.195361e-05,4.186961e-05,4.184513e-05,4.178031e-05,4.172434e-05,4.168608e-05,4.159535e-05,4.158728e-05,4.148426e-05,4.145894e-05,4.137733e-05,4.131586e-05,4.126680e-05,4.116677e-05,4.115294e-05,4.103602e-05,4.101230e-05,4.091630e-05,4.085301e-05,4.079400e-05,4.068944e-05,4.066935e-05,4.054255e-05,4.052208e-05,4.041381e-05,4.035137e-05,4.028329e-05,4.017773e-05,4.015119e-05,4.001766e-05,4.000155e-05,3.988286e-05,3.982318e-05,3.974692e-05,3.964294e-05,3.961000e-05,3.947220e-05,3.946115e-05,3.933367e-05,3.927807e-05,3.919450e-05,3.909398e-05,3.905482e-05,3.891471e-05,3.890910e-05,3.877428e-05,3.872366e-05,3.863361e-05,3.853787e-05,3.849279e-05,3.835190e-05,3.816594e-05,3.798015e-05,3.779468e-05,3.760965e-05,3.742520e-05,3.724145e-05,3.705850e-05,3.687645e-05,3.669538e-05,3.651539e-05,3.633655e-05,3.615892e-05,3.598258e-05,3.580758e-05,3.563396e-05,3.546179e-05,3.529110e-05,3.512193e-05,3.495432e-05,3.478830e-05,3.462389e-05,3.446111e-05,3.430000e-05,3.414057e-05
0.000000e+00,7.696527e-11,2.385442e-10,1.124685e-09,2.958708e-09,4.555560e-09,1.136858e-08,1.174557e-08,2.408192e-08,2.865612e-08,4.304047e-08,5.825615e-08,7.021890e-08,1.038360e-07,1.071840e-07,1.550192e-07,1.681592e-07,2.139455e-07,2.516403e-07,2.835316e-07,3.530842e-07,3.631470e-07,4.521828e-07,4.710698e-07,5.500652e-07,6.042687e-07,6.562131e-07,7.513107e-07,7.700033e-07,8.907527e-07,9.106695e-07,1.017717e-06,1.080635e-06,1.150100e-06,1.259348e-06,1.287067e-06,1.427761e-06,1.444853e-06,1.571324e-06,1.635183e-06,1.716915e-06,1.828419e-06,1.863722e-06,2.010979e-06,2.022757e-06,2.157972e-06,2.216547e-06,2.304049e-06,2.408325e-06,2.448623e-06,2.591172e-06,2.596825e-06,2.731243e-06,2.780984e-06,2.868445e-06,2.959935e-06,3.002452e-06,3.132991e-06,3.259845e-06,3.299630e-06,3.382841e-06,3.459474e-06,3.501853e-06,3.612271e-06,3.616790e-06,3.727593e-06,3.757873e-06,3.834235e-06,3.896220e-06,3.936712e-06,4.027326e-06,4.035040e-06,4.129256e-06,4.151261e-06,4.219408e-06,4.268142e-06,4.305560e-06,4.378122e-06,4.387785e-06,4.466161e-06,4.481383e-06,4.540778e-06,4.578123e-06,4.611726e-06,4.668558e-06,4.679102e-06,4.743004e-06,4.752912e-06,4.803532e-06,4.831416e-06,4.860787e-06,4.904303e-06,4.914871e-06,4.965886e-06,4.971806e-06,5.013932e-06,5.034157e-06,5.059108e-06,5.091584e-06,5.101514e-06,5.141247e-06,5.144313e-06,5.178401e-06,5.192562e-06,5.213070e-06,5.236545e-06,5.245346e-06,5.275318e-06,5.276471e-06,5.303074e-06,5.312539e-06,5.328697e-06,5.344946e-06,5.352271e-06,5.373877e-06,5.393592e-06,5.399515e-06,5.411493e-06,5.422032e-06,5.427654e-06,5.441596e-06,5.442144e-06,5.455035e-06,5.458367e-06,5.466393e-06,5.472499e-06,5.476283e-06,5.484140e-06,5.484768e-06,5.491909e-06,5.493429e-06,5.497764e-06,5.500502e-06,5.502390e-06,5.505488e-06,5.505843e-06,5.508174e-06,5.508510e-06,5.509436e-06,5.509686e-06,5.509677e-06,5.509126e-06,5.508946e-06,5.507288e-06,5.506939e-06,5.504747e-06,5.503227e-06,5.501366e-06,5.498085e-06,5.497187e-06,5.492248e-06,5.491607e-06,5.486589e-06,5.483880e-06,5.480245e-06,5.474988e-06,5.473252e-06,5.465644e-06,5.465010e-06,5.457454e-06,5.454022e-06,5.448713e-06,5.442096e-06,5.439452e-06,5.429700e-06,5.429300e-06,5.419484e-06,5.415698e-06,5.408831e-06,5.401351e-06,5.397768e-06,5.386319e-06,5.370655e-06,5.354412e-06,5.337640e-06,5.320386e-06,5.302693e-06,5.284603e-06,5.266157e-06,5.247391e-06,5.228341e-06,5.209040e-06,5.189519e-06,5.169810e-06,5.149938e-06,5.129931e-06,5.109814e-06,5.089609e-06,5.069338e-06,5.049023e-06,5.028681e-06,5.008332e-06,4.987993e-06,4.967679e-06,4.947404e-06,4.927184e-06
0.000000e+00,3.790680e-12,2.736728e-11,4.606679e-10,2.710551e-09,5.911380e-09,2.946200e-08,3.115307e-08,1.030565e-07,1.363321e-07,2.581044e-07,4.089171e-07,5.398703e-07,9.531059e-07,9.973783e-07,1.680769e-06,1.883358e-06,2.631844e-06,3.291474e-06,3.875706e-06,5.219366e-06,5.420631e-06,7.263995e-06,7.667850e-06,9.398122e-06,1.061959e-05,1.181323e-05,1.405076e-05,1.449790e-05,1.743859e-05,1.793182e-05,2.061909e-05,2.222539e-05,2.402025e-05,2.688545e-05,2.762023e-05,3.139491e-05,3.185840e-05,3.531859e-05,3.708536e-05,3.936464e-05,4.250499e-05,4.350627e-05,4.771715e-05,4.805625e-05,5.197196e-05,5.368079e-05,5.624687e-05,5.932477e-05,6.051980e-05,6.477072e-05,6.494004e-05,6.898172e-05,7.048480e-05,7.313702e-05,7.592379e-05,7.722302e-05,8.122811e-05,8.514261e-05,8.637477e-05,8.895856e-05,9.134605e-05,9.266960e-05,9.612891e-05,9.627080e-05,9.975853e-05,1.007144e-04,1.031303e-04,1.050969e-04,1.063844e-04,1.092737e-04,1.095202e-04,1.125376e-04,1.132442e-04,1.154371e-04,1.170097e-04,1.182198e-04,1.205730e-04,1.208871e-04,1.234407e-04,1.239380e-04,1.258828e-04,1.271093e-04,1.282156e-04,1.300924e-04,1.304414e-04,1.325630e-04,1.328929e-04,1.345829e-04,1.355171e-04,1.365038e-04,1.379712e-04,1.383286e-04,1.400600e-04,1.402616e-04,1.417009e-04,1.423949e-04,1.432540e-04,1.443774e-04,1.447221e-04,1.461081e-04,1.462155e-04,1.474145e-04,1.479155e-04,1.486442e-04,1.494835e-04,1.497997e-04,1.508837e-04,1.509256e-04,1.518987e-04,1.522476e-04,1.528471e-04,1.534552e-04,1.537314e-04,1.545540e-04,1.553172e-04,1.555492e-04,1.560231e-04,1.564460e-04,1.566742e-04,1.572494e-04,1.572723e-04,1.578197e-04,1.579642e-04,1.583184e-04,1.585950e-04,1.587702e-04,1.591461e-04,1.591771e-04,1.595409e-04,1.596220e-04,1.598634e-04,1.600266e-04,1.601464e-04,1.603639e-04,1.603914e-04,1.606001e-04,1.606377e-04,1.607742e-04,1.608514e-04,1.609150e-04,1.610087e-04,1.610240e-04,1.611027e-04,1.611126e-04,1.611525e-04,1.611665e-04,1.611746e-04,1.611732e-04,1.611703e-04,1.611408e-04,1.611356e-04,1.610874e-04,1.610566e-04,1.610112e-04,1.609386e-04,1.609132e-04,1.607946e-04,1.607842e-04,1.606563e-04,1.605957e-04,1.604994e-04,1.603755e-04,1.603248e-04,1.601335e-04,1.601255e-04,1.599262e-04,1.598479e-04,1.597039e-04,1.595446e-04,1.594674e-04,1.592175e-04,1.588682e-04,1.584985e-04,1.581100e-04,1.577041e-04,1.572823e-04,1.568459e-04,1.563962e-04,1.559344e-04,1.554616e-04,1.549790e-04,1.544875e-04,1.539881e-04,1.534818e-04,1.529694e-04,1.524517e-04,1.519295e-04,1.514035e-04,1.508744e-04,1.503429e-04,1.498095e-04,1.492748e-04,1.487393e-04,1.482036e-04,1.476681e-04
0.000000e+00,1.739061e-12,1.144827e-11,1.612961e-10,8.202524e-10,1.662070e-09,6.992147e-09,7.347008e-09,2.110441e-08,2.697045e-08,4.709418e-08,7.025995e-08,8.938639e-08,1.460451e-07,1.518764e-07,2.382917e-07,2.629913e-07,3.521965e-07,4.292535e-07,4.969484e-07,6.522637e-07,6.755762e-07,8.905499e-07,9.380646e-07,1.143439e-06,1.290078e-06,1.434517e-06,1.707616e-06,1.762461e-06,2.124338e-06,2.185118e-06,2.515931e-06,2.713013e-06,2.932302e-06,3.279799e-06,3.368339e-06,3.819149e-06,3.874022e-06,4.280254e-06,4.485354e-06,4.747653e-06,5.104887e-06,5.217799e-06,5.687554e-06,5.725032e-06,6.154155e-06,6.339358e-06,6.615177e-06,6.942460e-06,7.068506e-06,7.512322e-06,7.529854e-06,7.945078e-06,8.097907e-06,8.365485e-06,8.643763e-06,8.772492e-06,9.165268e-06,9.543182e-06,9.660896e-06,9.905780e-06,1.012966e-05,1.025277e-05,1.057106e-05,1.058400e-05,1.089944e-05,1.098494e-05,1.119916e-05,1.137151e-05,1.148332e-05,1.173120e-05,1.175215e-05,1.200595e-05,1.206466e-05,1.224505e-05,1.237268e-05,1.246985e-05,1.265615e-05,1.268073e-05,1.287815e-05,1.291605e-05,1.306254e-05,1.315342e-05,1.323436e-05,1.336931e-05,1.339407e-05,1.354214e-05,1.356478e-05,1.367902e-05,1.374089e-05,1.380519e-05,1.389870e-05,1.392108e-05,1.402713e-05,1.403922e-05,1.412380e-05,1.416346e-05,1.421148e-05,1.427238e-05,1.429061e-05,1.436157e-05,1.436691e-05,1.442477e-05,1.444795e-05,1.448056e-05,1.451635e-05,1.452932e-05,1.457139e-05,1.457294e-05,1.460712e-05,1.461849e-05,1.463683e-05,1.465375e-05,1.466083e-05,1.467942e-05,1.469289e-05,1.469617e-05,1.470153e-05,1.470463e-05,1.470558e-05,1.470541e-05,1.470532e-05,1.470099e-05,1.469908e-05,1.469282e-05,1.468616e-05,1.468103e-05,1.466717e-05,1.466584e-05,1.464745e-05,1.464258e-05,1.462606e-05,1.461285e-05,1.460186e-05,1.457838e-05,1.457503e-05,1.454574e-05,1.453960e-05,1.451414e-05,1.449686e-05,1.448040e-05,1.445052e-05,1.444467e-05,1.440708e-05,1.440090e-05,1.436777e-05,1.434833e-05,1.432687e-05,1.429309e-05,1.428450e-05,1.424078e-05,1.423544e-05,1.419581e-05,1.417566e-05,1.414970e-05,1.411396e-05,1.410256e-05,1.405447e-05,1.405059e-05,1.400553e-05,1.398573e-05,1.395582e-05,1.391960e-05,1.390542e-05,1.385441e-05,1.385236e-05,1.380286e-05,1.378419e-05,1.375085e-05,1.371524e-05,1.369843e-05,1.364567e-05,1.357560e-05,1.350516e-05,1.343447e-05,1.336363e-05,1.329275e-05,1.322192e-05,1.315122e-05,1.308073e-05,1.301052e-05,1.294067e-05,1.287122e-05,1.280224e-05,1.273377e-05,1.266587e-05,1.259856e-05,1.253190e-05,1.246591e-05,1.240063e-05,1.233608e-05,1.227228e-05,1.220926e-05,1.214703e-05,1.208562e-05,1.202503e-05
0.000000e+00,1.772706e-12,1.282767e-11,2.167705e-10,1.278387e-09,2.790018e-09,1.390662e-08,1.470411e-08,4.852177e-08,6.411937e-08,1.209746e-07,1.910044e-07,2.515552e-07,4.417307e-07,4.620667e-07,7.765290e-07,8.702540e-07,1.219717e-06,1.532258e-06,1.812437e-06,2.465847e-06,2.564457e-06,3.470077e-06,3.668112e-06,4.510086e-06,5.095353e-06,5.658156e-06,6.686078e-06,6.887090e-06,8.172465e-06,8.381934e-06,9.493684e-06,1.013545e-05,1.083360e-05,1.190924e-05,1.217780e-05,1.351390e-05,1.367316e-05,1.483114e-05,1.540230e-05,1.612019e-05,1.707603e-05,1.737303e-05,1.858296e-05,1.867773e-05,1.974454e-05,2.019465e-05,2.085356e-05,2.161777e-05,2.190699e-05,2.290283e-05,2.294145e-05,2.384007e-05,2.416306e-05,2.471850e-05,2.528247e-05,2.553862e-05,2.630149e-05,2.700865e-05,2.722348e-05,2.766199e-05,2.805285e-05,2.826364e-05,2.879476e-05,2.881594e-05,2.932133e-05,2.945478e-05,2.978233e-05,3.003866e-05,3.020143e-05,3.055216e-05,3.058115e-05,3.092392e-05,3.100095e-05,3.123211e-05,3.139044e-05,3.150800e-05,3.172582e-05,3.175379e-05,3.197156e-05,3.201192e-05,3.216327e-05,3.225328e-05,3.233077e-05,3.245405e-05,3.247581e-05,3.260005e-05,3.261810e-05,3.270501e-05,3.274897e-05,3.279214e-05,3.284990e-05,3.286277e-05,3.291817e-05,3.292385e-05,3.295950e-05,3.297351e-05,3.298785e-05,3.300134e-05,3.300423e-05,3.300959e-05,3.300957e-05,3.300480e-05,3.300023e-05,3.299067e-05,3.297515e-05,3.296797e-05,3.293739e-05,3.293602e-05,3.289960e-05,3.288434e-05,3.285519e-05,3.282150e-05,3.280472e-05,3.274872e-05,3.268768e-05,3.266716e-05,3.262205e-05,3.257783e-05,3.255224e-05,3.248166e-05,3.247865e-05,3.240164e-05,3.237951e-05,3.232153e-05,3.227212e-05,3.223865e-05,3.216019e-05,3.215328e-05,3.206569e-05,3.204437e-05,3.197613e-05,3.192520e-05,3.188483e-05,3.180322e-05,3.179201e-05,3.169787e-05,3.167889e-05,3.160258e-05,3.155264e-05,3.150633e-05,3.142486e-05,3.140928e-05,3.131157e-05,3.129588e-05,3.121334e-05,3.116604e-05,3.111471e-05,3.103561e-05,3.101582e-05,3.091676e-05,3.090487e-05,3.081764e-05,3.077403e-05,3.071855e-05,3.064332e-05,3.061959e-05,3.052082e-05,3.051293e-05,3.042233e-05,3.038302e-05,3.032418e-05,3.025376e-05,3.022644e-05,3.012916e-05,3.012528e-05,3.003241e-05,2.999771e-05,2.993622e-05,2.987117e-05,2.984065e-05,2.974574e-05,2.962153e-05,2.949861e-05,2.937705e-05,2.925692e-05,2.913827e-05,2.902115e-05,2.890559e-05,2.879163e-05,2.867931e-05,2.856864e-05,2.845966e-05,2.835236e-05,2.824677e-05,2.814290e-05,2.804074e-05,2.794031e-05,2.784161e-05,2.774462e-05,2.764936e-05,2.755580e-05,2.746395e-05,2.737378e-05,2.728530e-05,2.719849e-05
0.000000e+00,4.057392e-14,3.407685e-13,7.789597e-12,5.994723e-11,1.508036e-10,1.069343e-09,1.146460e-09,5.243359e-09,7.540177e-09,1.745106e-08,3.222082e-08,4.679241e-08,1.009809e-07,1.074163e-07,2.195286e-07,2.569447e-07,4.101086e-07,5.635203e-07,7.132122e-07,1.105075e-06,1.169352e-06,1.823320e-06,1.981874e-06,2.720247e-06,3.296428e-06,3.900604e-06,5.134217e-06,5.395446e-06,7.223070e-06,7.546849e-06,9.387668e-06,1.054410e-05,1.187990e-05,1.409583e-05,1.467882e-05,1.775451e-05,1.814053e-05,2.107097e-05,2.259637e-05,2.458866e-05,2.737156e-05,2.826674e-05,3.206474e-05,3.237258e-05,3.594375e-05,3.750977e-05,3.986729e-05,4.270085e-05,4.380180e-05,4.771693e-05,4.787273e-05,5.158566e-05,5.296238e-05,5.538433e-05,5.791686e-05,5.909253e-05,6.269303e-05,6.617156e-05,6.725698e-05,6.951664e-05,7.158324e-05,7.271936e-05,7.565395e-05,7.577318e-05,7.867368e-05,7.945796e-05,8.141832e-05,8.298985e-05,8.400620e-05,8.624906e-05,8.643788e-05,8.871512e-05,8.923897e-05,9.084071e-05,9.196612e-05,9.281828e-05,9.443949e-05,9.465211e-05,9.634704e-05,9.666981e-05,9.790826e-05,9.866907e-05,9.934125e-05,1.004500e-04,1.006517e-04,1.018453e-04,1.020258e-04,1.029278e-04,1.034097e-04,1.039050e-04,1.046148e-04,1.047826e-04,1.055660e-04,1.056539e-04,1.062606e-04,1.065394e-04,1.068716e-04,1.072831e-04,1.074040e-04,1.078627e-04,1.078963e-04,1.082522e-04,1.083896e-04,1.085770e-04,1.087731e-04,1.088412e-04,1.090488e-04,1.090560e-04,1.092037e-04,1.092472e-04,1.093093e-04,1.093547e-04,1.093691e-04,1.093862e-04,1.093638e-04,1.093487e-04,1.093046e-04,1.092487e-04,1.092113e-04,1.090920e-04,1.090865e-04,1.089325e-04,1.088844e-04,1.087515e-04,1.086309e-04,1.085457e-04,1.083361e-04,1.083171e-04,1.080674e-04,1.080045e-04,1.077985e-04,1.076400e-04,1.075119e-04,1.072463e-04,1.072092e-04,1.068918e-04,1.068267e-04,1.065611e-04,1.063843e-04,1.062184e-04,1.059220e-04,1.058648e-04,1.055013e-04,1.054424e-04,1.051292e-04,1.049477e-04,1.047492e-04,1.044403e-04,1.043624e-04,1.039696e-04,1.039221e-04,1.035715e-04,1.033948e-04,1.031689e-04,1.028603e-04,1.027624e-04,1.023529e-04,1.023200e-04,1.019407e-04,1.017752e-04,1.015265e-04,1.012273e-04,1.011108e-04,1.006941e-04,1.006774e-04,1.002768e-04,1.001266e-04,9.985942e-05,9.957569e-05,9.944224e-05,9.902566e-05,9.847727e-05,9.793120e-05,9.738810e-05,9.684853e-05,9.631301e-05,9.578200e-05,9.525590e-05,9.473509e-05,9.421988e-05,9.371055e-05,9.320736e-05,9.271053e-05,9.222025e-05,9.173667e-05,9.125994e-05,9.079017e-05,9.032745e-05,8.987186e-05,8.942345e-05,8.898227e-05,8.854833e-05,8.812166e-05,8.770224e-05,8.729008e-05
0.000000e+00,3.816141e-12,8.732624e-12,2.993874e-11,6.787629e-11,9.883259e-11,2.231636e-10,2.298384e-10,4.425131e-10,5.195075e-10,7.578613e-10,1.005879e-09,1.198969e-09,1.736840e-09,1.790223e-09,2.553725e-09,2.764302e-09,3.501768e-09,4.111843e-09,4.628096e-09,5.746069e-09,5.906260e-09,7.298858e-09,7.587775e-09,8.769112e-09,9.553956e-09,1.028662e-08,1.158044e-08,1.182782e-08,1.337440e-08,1.362133e-08,1.491177e-08,1.564286e-08,1.642800e-08,1.761904e-08,1.791317e-08,1.935901e-08,1.952953e-08,2.075873e-08,2.135855e-08,2.210690e-08,2.309440e-08,2.339932e-08,2.463293e-08,2.472901e-08,2.580574e-08,2.625755e-08,2.691659e-08,2.767784e-08,2.796519e-08,2.895191e-08,2.899010e-08,2.987761e-08,3.019617e-08,3.074362e-08,3.129926e-08,3.155164e-08,3.230362e-08,3.300172e-08,3.321410e-08,3.364821e-08,3.403598e-08,3.424548e-08,3.477476e-08,3.479591e-08,3.530191e-08,3.543596e-08,3.576588e-08,3.602508e-08,3.619018e-08,3.654744e-08,3.657707e-08,3.692876e-08,3.700816e-08,3.724737e-08,3.741210e-08,3.753492e-08,3.776383e-08,3.779337e-08,3.802455e-08,3.806767e-08,3.823020e-08,3.832761e-08,3.841200e-08,3.854741e-08,3.857149e-08,3.871016e-08,3.873051e-08,3.882940e-08,3.888012e-08,3.893052e-08,3.899920e-08,3.901476e-08,3.908326e-08,3.909048e-08,3.913713e-08,3.915646e-08,3.917738e-08,3.919945e-08,3.920497e-08,3.922080e-08,3.922159e-08,3.922572e-08,3.922481e-08,3.922052e-08,3.921092e-08,3.920593e-08,3.918266e-08,3.918155e-08,3.915134e-08,3.913822e-08,3.911260e-08,3.908231e-08,3.906700e-08,3.901508e-08,3.895734e-08,3.893771e-08,3.889424e-08,3.885125e-08,3.882622e-08,3.875668e-08,3.875370e-08,3.867705e-08,3.865491e-08,3.859665e-08,3.854674e-08,3.851281e-08,3.843293e-08,3.842587e-08,3.833611e-08,3.831417e-08,3.824380e-08,3.819109e-08,3.814921e-08,3.806427e-08,3.805257e-08,3.795412e-08,3.793423e-08,3.785405e-08,3.780145e-08,3.775257e-08,3.766637e-08,3.764987e-08,3.754610e-08,3.752941e-08,3.744144e-08,3.739093e-08,3.733603e-08,3.725126e-08,3.723002e-08,3.712353e-08,3.711072e-08,3.701668e-08,3.696958e-08,3.690959e-08,3.682811e-08,3.680237e-08,3.669511e-08,3.668653e-08,3.658790e-08,3.654505e-08,3.648083e-08,3.640387e-08,3.637397e-08,3.626741e-08,3.626316e-08,3.616121e-08,3.612308e-08,3.605543e-08,3.598378e-08,3.595014e-08,3.584538e-08,3.570801e-08,3.557176e-08,3.543673e-08,3.530301e-08,3.517068e-08,3.503979e-08,3.491041e-08,3.478259e-08,3.465638e-08,3.453182e-08,3.440894e-08,3.428777e-08,3.416833e-08,3.405064e-08,3.393473e-08,3.382060e-08,3.370825e-08,3.359771e-08,3.348897e-08,3.338202e-08,3.327688e-08,3.317353e-08,3.307197e-08,3.297218e-08
0.000000e+00,6.270728e-12,1.438779e-11,4.967300e-11,1.137867e-10,1.670070e-10,3.886966e-10,4.009498e-10,8.092010e-10,9.651138e-10,1.472336e-09,2.034011e-09,2.490042e-09,3.811577e-09,3.944779e-09,5.839620e-09,6.351513e-09,8.089927e-09,9.463853e-09,1.058622e-08,1.291643e-08,1.324125e-08,1.599611e-08,1.655538e-08,1.881168e-08,2.029025e-08,2.166014e-08,2.406224e-08,2.451973e-08,2.737181e-08,2.782629e-08,3.019948e-08,3.154346e-08,3.298712e-08,3.517859e-08,3.572018e-08,3.838549e-08,3.870019e-08,4.097108e-08,4.208075e-08,4.346662e-08,4.529766e-08,4.586351e-08,4.815473e-08,4.833329e-08,5.033497e-08,5.117509e-08,5.240044e-08,5.381518e-08,5.434886e-08,5.617933e-08,5.625009e-08,5.789217e-08,5.848017e-08,5.948840e-08,6.050823e-08,6.097006e-08,6.233993e-08,6.360120e-08,6.398247e-08,6.475762e-08,6.544452e-08,6.581316e-08,6.673552e-08,6.677208e-08,6.763876e-08,6.786552e-08,6.841767e-08,6.884474e-08,6.911325e-08,6.968336e-08,6.972989e-08,7.027198e-08,7.039146e-08,7.074375e-08,7.097878e-08,7.114934e-08,7.145470e-08,7.149275e-08,7.177782e-08,7.182817e-08,7.200825e-08,7.210766e-08,7.218757e-08,7.230116e-08,7.231914e-08,7.240617e-08,7.241617e-08,7.245171e-08,7.245969e-08,7.245865e-08,7.243825e-08,7.242972e-08,7.236752e-08,7.235794e-08,7.227450e-08,7.222440e-08,7.215295e-08,7.204284e-08,7.200506e-08,7.183288e-08,7.181811e-08,7.163834e-08,7.155467e-08,7.142325e-08,7.125663e-08,7.118933e-08,7.093818e-08,7.092779e-08,7.067130e-08,7.057164e-08,7.039010e-08,7.019139e-08,7.009592e-08,6.978999e-08,6.947348e-08,6.937014e-08,6.914747e-08,6.893432e-08,6.881299e-08,6.848480e-08,6.847098e-08,6.812235e-08,6.802365e-08,6.776791e-08,6.755279e-08,6.740845e-08,6.707393e-08,6.704469e-08,6.667731e-08,6.658867e-08,6.630693e-08,6.609843e-08,6.593414e-08,6.560453e-08,6.555949e-08,6.518347e-08,6.510815e-08,6.480658e-08,6.461038e-08,6.442922e-08,6.411219e-08,6.405182e-08,6.367475e-08,6.361447e-08,6.329835e-08,6.311801e-08,6.292294e-08,6.262353e-08,6.254883e-08,6.217627e-08,6.213168e-08,6.180553e-08,6.164304e-08,6.143684e-08,6.115812e-08,6.107039e-08,6.070639e-08,6.067739e-08,6.034502e-08,6.020124e-08,5.998642e-08,5.973004e-08,5.963076e-08,5.927815e-08,5.926411e-08,5.892872e-08,5.880373e-08,5.858258e-08,5.834913e-08,5.823981e-08,5.790052e-08,5.745808e-08,5.702196e-08,5.659228e-08,5.616914e-08,5.575263e-08,5.534279e-08,5.493968e-08,5.454332e-08,5.415373e-08,5.377089e-08,5.339480e-08,5.302544e-08,5.266277e-08,5.230676e-08,5.195735e-08,5.161449e-08,5.127811e-08,5.094816e-08,5.062455e-08,5.030722e-08,4.999607e-08,4.969104e-08,4.939204e-08,4.909897e-08
0.000000e+00,8.004295e-12,1.836789e-11,6.347353e-11,1.458314e-10,2.146218e-10,5.047729e-10,5.209529e-10,1.065743e-09,1.275803e-09,1.962834e-09,2.726411e-09,3.347018e-09,5.146423e-09,5.327803e-09,7.902140e-09,8.593491e-09,1.091675e-08,1.271797e-08,1.416268e-08,1.708061e-08,1.747852e-08,2.076814e-08,2.141777e-08,2.397878e-08,2.560672e-08,2.708085e-08,2.958941e-08,3.005649e-08,3.289418e-08,3.333486e-08,3.558629e-08,3.682530e-08,3.812809e-08,4.005170e-08,4.051730e-08,4.275371e-08,4.301187e-08,4.483894e-08,4.570931e-08,4.677614e-08,4.815208e-08,4.856971e-08,5.022498e-08,5.035161e-08,5.174802e-08,5.232165e-08,5.314532e-08,5.407731e-08,5.442364e-08,5.558984e-08,5.563426e-08,5.665076e-08,5.700820e-08,5.761306e-08,5.821443e-08,5.848325e-08,5.926753e-08,5.997183e-08,6.018124e-08,6.060177e-08,6.096837e-08,6.116265e-08,6.164072e-08,6.165942e-08,6.209674e-08,6.220913e-08,6.247894e-08,6.268351e-08,6.281008e-08,6.307288e-08,6.309394e-08,6.333400e-08,6.338547e-08,6.353353e-08,6.362869e-08,6.369554e-08,6.380931e-08,6.382284e-08,6.391801e-08,6.393341e-08,6.398347e-08,6.400652e-08,6.402145e-08,6.403363e-08,6.403402e-08,6.402308e-08,6.401927e-08,6.399042e-08,6.396752e-08,6.393769e-08,6.388207e-08,6.386640e-08,6.377798e-08,6.376628e-08,6.367373e-08,6.362316e-08,6.355488e-08,6.345548e-08,6.342255e-08,6.327780e-08,6.326571e-08,6.312159e-08,6.305611e-08,6.295484e-08,6.282873e-08,6.277839e-08,6.259301e-08,6.258542e-08,6.239944e-08,6.232788e-08,6.219835e-08,6.205763e-08,6.199037e-08,6.177609e-08,6.155605e-08,6.148451e-08,6.133077e-08,6.118406e-08,6.110072e-08,6.087579e-08,6.086633e-08,6.062804e-08,6.056067e-08,6.038621e-08,6.023957e-08,6.014121e-08,5.991330e-08,5.989338e-08,5.964302e-08,5.958260e-08,5.939044e-08,5.924812e-08,5.913590e-08,5.891050e-08,5.887967e-08,5.862198e-08,5.857029e-08,5.836305e-08,5.822800e-08,5.810311e-08,5.788410e-08,5.784233e-08,5.758091e-08,5.753904e-08,5.731903e-08,5.719320e-08,5.705683e-08,5.684695e-08,5.679447e-08,5.653210e-08,5.650062e-08,5.626983e-08,5.615451e-08,5.600781e-08,5.580890e-08,5.574614e-08,5.548493e-08,5.546406e-08,5.522428e-08,5.512020e-08,5.496429e-08,5.477756e-08,5.470505e-08,5.444664e-08,5.443632e-08,5.418914e-08,5.409667e-08,5.393261e-08,5.375877e-08,5.367714e-08,5.342277e-08,5.308881e-08,5.275701e-08,5.242748e-08,5.210033e-08,5.177566e-08,5.145355e-08,5.113406e-08,5.081728e-08,5.050326e-08,5.019206e-08,4.988373e-08,4.957830e-08,4.927582e-08,4.897631e-08,4.867982e-08,4.838635e-08,4.809592e-08,4.780857e-08,4.752428e-08,4.724308e-08,4.696497e-08,4.668996e-08,4.641803e-08,4.614920e-08
0.000000e+00,2.617613e-11,1.343064e-10,1.224585e-09,4.566439e-09,8.041837e-09,2.550058e-08,2.654343e-08,6.304952e-08,7.739914e-08,1.243067e-07,1.760485e-07,2.178861e-07,3.398907e-07,3.523719e-07,5.370123e-07,5.897843e-07,7.803388e-07,9.443874e-07,1.087508e-06,1.410044e-06,1.457581e-06,1.883330e-06,1.974243e-06,2.354134e-06,2.613165e-06,2.859345e-06,3.303676e-06,3.389968e-06,3.938825e-06,4.027933e-06,4.500126e-06,4.772514e-06,5.069004e-06,5.526701e-06,5.641225e-06,6.213008e-06,6.281427e-06,6.780950e-06,7.028828e-06,7.341998e-06,7.762105e-06,7.893445e-06,8.432926e-06,8.475505e-06,8.958420e-06,9.164312e-06,9.468236e-06,9.824810e-06,9.960996e-06,1.043562e-05,1.045422e-05,1.089131e-05,1.105061e-05,1.132750e-05,1.161277e-05,1.174382e-05,1.214012e-05,1.251639e-05,1.263257e-05,1.287273e-05,1.309044e-05,1.320939e-05,1.351437e-05,1.352670e-05,1.382504e-05,1.390524e-05,1.410489e-05,1.426413e-05,1.436675e-05,1.459224e-05,1.461116e-05,1.483869e-05,1.489084e-05,1.504991e-05,1.516130e-05,1.524543e-05,1.540497e-05,1.542584e-05,1.559172e-05,1.562320e-05,1.574367e-05,1.581737e-05,1.588227e-05,1.598881e-05,1.600810e-05,1.612173e-05,1.613881e-05,1.622369e-05,1.626865e-05,1.631453e-05,1.637955e-05,1.639477e-05,1.646491e-05,1.647268e-05,1.652545e-05,1.654917e-05,1.657686e-05,1.661011e-05,1.661960e-05,1.665411e-05,1.665653e-05,1.668082e-05,1.668941e-05,1.670014e-05,1.670971e-05,1.671248e-05,1.671820e-05,1.671830e-05,1.671768e-05,1.671603e-05,1.671127e-05,1.670372e-05,1.669931e-05,1.668211e-05,1.666000e-05,1.665194e-05,1.663327e-05,1.661387e-05,1.660221e-05,1.656856e-05,1.656708e-05,1.652815e-05,1.651660e-05,1.648566e-05,1.645857e-05,1.643987e-05,1.639500e-05,1.639098e-05,1.633923e-05,1.632641e-05,1.628481e-05,1.625325e-05,1.622793e-05,1.617599e-05,1.616877e-05,1.610752e-05,1.609503e-05,1.604434e-05,1.601077e-05,1.597939e-05,1.592358e-05,1.591283e-05,1.584481e-05,1.583380e-05,1.577547e-05,1.574175e-05,1.570493e-05,1.564773e-05,1.563333e-05,1.556078e-05,1.555201e-05,1.548739e-05,1.545487e-05,1.541328e-05,1.535654e-05,1.533855e-05,1.526328e-05,1.525724e-05,1.518758e-05,1.515719e-05,1.511152e-05,1.505658e-05,1.503519e-05,1.495866e-05,1.495560e-05,1.488201e-05,1.485440e-05,1.480530e-05,1.475314e-05,1.472860e-05,1.465196e-05,1.455099e-05,1.445036e-05,1.435017e-05,1.425053e-05,1.415152e-05,1.405323e-05,1.395574e-05,1.385911e-05,1.376341e-05,1.366870e-05,1.357502e-05,1.348241e-05,1.339093e-05,1.330059e-05,1.321144e-05,1.312350e-05,1.303679e-05,1.295133e-05,1.286713e-05,1.278421e-05,1.270258e-05,1.262224e-05,1.254320e-05,1.246546e-05
0.000000e+00,1.128753e-11,2.607951e-11,9.064971e-11,2.074794e-10,3.034816e-10,6.922921e-10,7.132650e-10,1.384542e-09,1.628543e-09,2.385515e-09,3.173838e-09,3.786619e-09,5.480859e-09,5.647557e-09,7.995283e-09,8.630624e-09,1.082020e-08,1.260088e-08,1.409587e-08,1.732888e-08,1.779407e-08,2.188752e-08,2.275121e-08,2.634813e-08,2.880271e-08,3.114530e-08,3.541045e-08,3.624533e-08,4.161156e-08,4.249229e-08,4.720513e-08,4.995902e-08,5.298588e-08,5.771809e-08,5.891342e-08,6.494810e-08,6.567764e-08,7.105186e-08,7.375008e-08,7.718891e-08,8.185492e-08,8.332625e-08,8.943398e-08,8.992050e-08,9.548548e-08,9.788500e-08,1.014574e-07,1.056965e-07,1.073296e-07,1.130852e-07,1.133128e-07,1.187098e-07,1.207003e-07,1.241920e-07,1.278338e-07,1.295226e-07,1.346943e-07,1.397019e-07,1.412690e-07,1.445417e-07,1.475500e-07,1.492115e-07,1.535333e-07,1.537100e-07,1.580372e-07,1.592182e-07,1.621938e-07,1.646064e-07,1.661812e-07,1.697019e-07,1.700014e-07,1.736570e-07,1.745102e-07,1.771508e-07,1.790378e-07,1.804860e-07,1.832925e-07,1.836660e-07,1.866946e-07,1.872824e-07,1.895753e-07,1.910162e-07,1.923122e-07,1.945028e-07,1.949091e-07,1.973700e-07,1.977514e-07,1.996990e-07,2.007712e-07,2.018999e-07,2.035713e-07,2.039769e-07,2.059339e-07,2.061608e-07,2.077747e-07,2.085489e-07,2.095033e-07,2.107443e-07,2.111234e-07,2.126388e-07,2.127557e-07,2.140532e-07,2.145915e-07,2.153702e-07,2.162600e-07,2.165932e-07,2.177258e-07,2.177692e-07,2.187712e-07,2.191269e-07,2.197328e-07,2.203405e-07,2.206139e-07,2.214174e-07,2.221464e-07,2.223645e-07,2.228040e-07,2.231886e-07,2.233929e-07,2.238963e-07,2.239160e-07,2.243759e-07,2.244937e-07,2.247753e-07,2.249870e-07,2.251168e-07,2.253819e-07,2.254028e-07,2.256356e-07,2.256839e-07,2.258177e-07,2.258984e-07,2.259513e-07,2.260304e-07,2.260385e-07,2.260815e-07,2.260849e-07,2.260822e-07,2.260666e-07,2.260427e-07,2.259798e-07,2.259648e-07,2.258505e-07,2.258289e-07,2.257013e-07,2.256179e-07,2.255192e-07,2.253508e-07,2.253056e-07,2.250623e-07,2.250311e-07,2.247907e-07,2.246626e-07,2.244923e-07,2.242485e-07,2.241686e-07,2.238208e-07,2.237920e-07,2.234505e-07,2.232963e-07,2.230587e-07,2.227641e-07,2.226468e-07,2.222160e-07,2.221984e-07,2.217673e-07,2.216016e-07,2.213018e-07,2.209763e-07,2.208207e-07,2.203248e-07,2.196495e-07,2.189524e-07,2.182355e-07,2.175007e-07,2.167499e-07,2.159848e-07,2.152069e-07,2.144179e-07,2.136191e-07,2.128119e-07,2.119975e-07,2.111773e-07,2.103523e-07,2.095236e-07,2.086922e-07,2.078590e-07,2.070249e-07,2.061908e-07,2.053574e-07,2.045255e-07,2.036957e-07,2.028686e-07,2.020450e-07,2.012252e-07
0.000000e+00,2.857762e-13,2.023296e-12,3.272793e-11,1.858539e-10,3.976219e-10,1.887432e-09,1.991853e-09,6.282409e-09,8.204050e-09,1.503255e-08,2.318860e-08,3.008195e-08,5.106202e-08,5.325718e-08,8.629968e-08,9.586878e-08,1.306416e-07,1.607289e-07,1.870463e-07,2.466010e-07,2.554152e-07,3.349477e-07,3.520943e-07,4.244830e-07,4.745806e-07,5.227775e-07,6.112316e-07,6.286275e-07,7.408833e-07,7.593635e-07,8.584213e-07,9.163857e-07,9.801157e-07,1.079699e-06,1.104827e-06,1.231411e-06,1.246672e-06,1.358729e-06,1.414696e-06,1.485680e-06,1.581271e-06,1.611219e-06,1.734383e-06,1.744107e-06,1.854310e-06,1.901201e-06,1.970247e-06,2.050895e-06,2.081567e-06,2.187764e-06,2.191899e-06,2.288453e-06,2.323298e-06,2.383368e-06,2.444525e-06,2.472346e-06,2.555323e-06,2.632316e-06,2.655703e-06,2.703415e-06,2.745892e-06,2.768769e-06,2.826282e-06,2.828571e-06,2.883051e-06,2.897386e-06,2.932466e-06,2.959797e-06,2.977088e-06,3.014150e-06,3.017200e-06,3.053087e-06,3.061103e-06,3.085032e-06,3.101304e-06,3.113315e-06,3.135387e-06,3.138203e-06,3.159954e-06,3.163950e-06,3.178814e-06,3.187555e-06,3.195013e-06,3.206722e-06,3.208767e-06,3.220280e-06,3.221927e-06,3.229739e-06,3.233601e-06,3.237317e-06,3.242134e-06,3.243175e-06,3.247461e-06,3.247876e-06,3.250308e-06,3.251139e-06,3.251843e-06,3.252202e-06,3.252178e-06,3.251418e-06,3.251313e-06,3.249657e-06,3.248692e-06,3.246982e-06,3.244535e-06,3.243473e-06,3.239201e-06,3.239015e-06,3.234233e-06,3.232286e-06,3.228630e-06,3.224484e-06,3.222445e-06,3.215731e-06,3.208534e-06,3.206135e-06,3.200895e-06,3.195793e-06,3.192854e-06,3.184790e-06,3.184447e-06,3.175707e-06,3.173204e-06,3.166664e-06,3.161104e-06,3.157346e-06,3.148553e-06,3.147779e-06,3.137986e-06,3.135605e-06,3.127991e-06,3.122313e-06,3.117813e-06,3.108721e-06,3.107471e-06,3.096984e-06,3.094870e-06,3.086367e-06,3.080800e-06,3.075635e-06,3.066543e-06,3.064803e-06,3.053885e-06,3.052130e-06,3.042891e-06,3.037591e-06,3.031834e-06,3.022951e-06,3.020725e-06,3.009574e-06,3.008233e-06,2.998389e-06,2.993460e-06,2.987180e-06,2.978650e-06,2.975955e-06,2.964721e-06,2.963822e-06,2.953486e-06,2.948993e-06,2.942256e-06,2.934178e-06,2.931038e-06,2.919838e-06,2.919390e-06,2.908660e-06,2.904643e-06,2.897511e-06,2.889948e-06,2.886394e-06,2.875315e-06,2.860755e-06,2.846277e-06,2.831888e-06,2.817596e-06,2.803408e-06,2.789329e-06,2.775366e-06,2.761523e-06,2.747805e-06,2.734216e-06,2.720760e-06,2.707439e-06,2.694258e-06,2.681217e-06,2.668320e-06,2.655569e-06,2.642964e-06,2.630508e-06,2.618201e-06,2.606045e-06,2.594040e-06,2.582187e-06,2.570486e-06,2.558936e-06
0.000000e+00,1.210896e-11,2.886922e-11,1.037124e-10,2.411651e-10,3.549792e-10,8.203325e-10,8.455910e-10,1.660815e-09,1.960092e-09,2.897508e-09,3.887018e-09,4.664740e-09,6.848868e-09,7.066096e-09,1.015690e-08,1.100037e-08,1.391653e-08,1.628918e-08,1.827675e-08,2.255183e-08,2.316393e-08,2.851517e-08,2.963629e-08,3.427701e-08,3.741914e-08,4.040060e-08,4.578913e-08,4.683831e-08,5.354213e-08,5.463619e-08,6.046342e-08,6.384853e-08,6.755335e-08,7.331428e-08,7.476373e-08,8.204794e-08,8.292488e-08,8.936179e-08,9.257858e-08,9.666425e-08,1.021833e-07,1.039179e-07,1.110893e-07,1.116586e-07,1.181492e-07,1.209361e-07,1.250724e-07,1.299603e-07,1.318375e-07,1.384272e-07,1.386869e-07,1.448273e-07,1.470828e-07,1.510270e-07,1.551241e-07,1.570182e-07,1.627950e-07,1.683541e-07,1.700867e-07,1.736937e-07,1.769958e-07,1.788138e-07,1.835235e-07,1.837154e-07,1.884008e-07,1.896744e-07,1.928733e-07,1.954561e-07,1.971366e-07,2.008779e-07,2.011952e-07,2.050540e-07,2.059510e-07,2.087182e-07,2.106872e-07,2.121933e-07,2.150994e-07,2.154849e-07,2.185988e-07,2.192008e-07,2.215408e-07,2.230047e-07,2.243168e-07,2.265245e-07,2.269325e-07,2.293938e-07,2.297736e-07,2.317063e-07,2.327651e-07,2.338756e-07,2.355117e-07,2.359073e-07,2.378067e-07,2.380260e-07,2.395791e-07,2.403200e-07,2.412296e-07,2.424055e-07,2.427631e-07,2.441847e-07,2.442937e-07,2.454988e-07,2.459955e-07,2.467102e-07,2.475213e-07,2.478232e-07,2.488421e-07,2.488810e-07,2.497710e-07,2.500842e-07,2.506140e-07,2.511400e-07,2.513748e-07,2.520571e-07,2.526647e-07,2.528439e-07,2.532010e-07,2.535082e-07,2.536692e-07,2.540576e-07,2.540726e-07,2.544143e-07,2.544993e-07,2.546972e-07,2.548400e-07,2.549243e-07,2.550862e-07,2.550983e-07,2.552218e-07,2.552442e-07,2.552973e-07,2.553196e-07,2.553274e-07,2.553182e-07,2.553144e-07,2.552605e-07,2.552450e-07,2.551678e-07,2.551051e-07,2.550386e-07,2.549031e-07,2.548746e-07,2.546780e-07,2.546436e-07,2.544504e-07,2.543307e-07,2.541937e-07,2.539685e-07,2.539095e-07,2.535995e-07,2.535606e-07,2.532652e-07,2.531107e-07,2.529080e-07,2.526221e-07,2.525294e-07,2.521307e-07,2.520980e-07,2.517133e-07,2.515413e-07,2.512783e-07,2.509549e-07,2.508270e-07,2.503604e-07,2.503415e-07,2.498798e-07,2.497035e-07,2.493860e-07,2.490433e-07,2.488801e-07,2.483631e-07,2.476650e-07,2.469509e-07,2.462228e-07,2.454823e-07,2.447310e-07,2.439706e-07,2.432023e-07,2.424275e-07,2.416476e-07,2.408636e-07,2.400766e-07,2.392877e-07,2.384979e-07,2.377079e-07,2.369187e-07,2.361309e-07,2.353454e-07,2.345628e-07,2.337836e-07,2.330085e-07,2.322379e-07,2.314724e-07,2.307124e-07,2.299583e-07
0.000000e+00,1.112288e-10,4.163409e-10,2.436621e-09,7.115020e-09,1.140392e-08,3.074620e-08,3.185091e-08,6.939529e-08,8.389789e-08,1.311939e-07,1.836438e-07,2.263813e-07,3.522007e-07,3.651149e-07,5.548450e-07,6.081617e-07,7.957040e-07,9.505074e-07,1.080838e-06,1.361235e-06,1.401281e-06,1.749391e-06,1.821801e-06,2.119448e-06,2.319075e-06,2.507119e-06,2.843788e-06,2.908888e-06,3.321688e-06,3.388570e-06,3.742712e-06,3.946948e-06,4.169336e-06,4.513012e-06,4.599105e-06,5.029730e-06,5.081360e-06,5.459116e-06,5.647161e-06,5.885381e-06,6.206216e-06,6.306851e-06,6.722077e-06,6.754987e-06,7.129826e-06,7.290597e-06,7.529073e-06,7.810777e-06,7.918958e-06,8.298795e-06,8.313771e-06,8.668058e-06,8.798326e-06,9.026357e-06,9.263593e-06,9.373417e-06,9.709059e-06,1.003319e-05,1.013448e-05,1.034580e-05,1.053983e-05,1.064691e-05,1.092526e-05,1.093663e-05,1.121506e-05,1.129102e-05,1.148238e-05,1.163751e-05,1.173876e-05,1.196515e-05,1.198442e-05,1.221957e-05,1.227447e-05,1.244445e-05,1.256598e-05,1.265930e-05,1.284027e-05,1.286437e-05,1.305991e-05,1.309790e-05,1.324620e-05,1.333948e-05,1.342347e-05,1.356560e-05,1.359199e-05,1.375202e-05,1.377685e-05,1.390381e-05,1.397382e-05,1.404762e-05,1.415708e-05,1.418369e-05,1.431227e-05,1.432721e-05,1.443361e-05,1.448477e-05,1.454794e-05,1.463029e-05,1.465550e-05,1.475651e-05,1.476432e-05,1.485120e-05,1.488736e-05,1.493979e-05,1.499991e-05,1.502249e-05,1.509950e-05,1.510247e-05,1.517104e-05,1.519550e-05,1.523731e-05,1.527945e-05,1.529849e-05,1.535477e-05,1.540634e-05,1.542187e-05,1.545337e-05,1.548117e-05,1.549604e-05,1.553305e-05,1.553451e-05,1.556896e-05,1.557790e-05,1.559953e-05,1.561608e-05,1.562638e-05,1.564793e-05,1.564966e-05,1.566952e-05,1.567379e-05,1.568609e-05,1.569399e-05,1.569951e-05,1.570882e-05,1.570991e-05,1.571743e-05,1.571859e-05,1.572217e-05,1.572358e-05,1.572426e-05,1.572406e-05,1.572383e-05,1.572097e-05,1.572029e-05,1.571579e-05,1.571252e-05,1.570841e-05,1.570098e-05,1.569891e-05,1.568741e-05,1.568590e-05,1.567399e-05,1.566750e-05,1.565874e-05,1.564598e-05,1.564175e-05,1.562311e-05,1.562155e-05,1.560290e-05,1.559439e-05,1.558119e-05,1.556468e-05,1.555806e-05,1.553359e-05,1.553259e-05,1.550785e-05,1.549828e-05,1.548090e-05,1.546192e-05,1.545281e-05,1.542364e-05,1.538360e-05,1.534192e-05,1.529873e-05,1.525415e-05,1.520830e-05,1.516129e-05,1.511322e-05,1.506420e-05,1.501430e-05,1.496363e-05,1.491227e-05,1.486029e-05,1.480778e-05,1.475480e-05,1.470143e-05,1.464772e-05,1.459373e-05,1.453953e-05,1.448517e-05,1.443069e-05,1.437615e-05,1.432159e-05,1.426705e-05,1.421258e-05
0.000000e+00,2.177792e-11,5.097360e-11,1.786418e-10,4.083433e-10,5.958320e-10,1.346201e-09,1.386338e-09,2.657103e-09,3.113479e-09,4.515256e-09,5.958272e-09,7.072201e-09,1.013825e-08,1.043992e-08,1.470955e-08,1.587373e-08,1.991284e-08,2.321900e-08,2.600060e-08,3.200674e-08,3.286806e-08,4.039771e-08,4.197340e-08,4.848231e-08,5.287417e-08,5.702846e-08,6.450256e-08,6.595256e-08,7.517653e-08,7.667514e-08,8.462504e-08,8.921836e-08,9.422429e-08,1.019635e-07,1.039018e-07,1.135873e-07,1.147468e-07,1.232131e-07,1.274131e-07,1.327158e-07,1.398191e-07,1.420366e-07,1.511225e-07,1.518377e-07,1.599267e-07,1.633603e-07,1.684093e-07,1.742987e-07,1.765371e-07,1.842833e-07,1.845849e-07,1.916278e-07,1.941706e-07,1.985565e-07,2.030261e-07,2.050611e-07,2.111379e-07,2.167881e-07,2.185068e-07,2.220166e-07,2.251451e-07,2.268313e-07,2.310744e-07,2.312433e-07,2.352653e-07,2.363235e-07,2.389121e-07,2.409266e-07,2.421995e-07,2.449210e-07,2.451444e-07,2.477641e-07,2.483463e-07,2.500761e-07,2.512430e-07,2.520981e-07,2.536515e-07,2.538476e-07,2.553418e-07,2.556114e-07,2.565970e-07,2.571607e-07,2.576294e-07,2.583358e-07,2.584544e-07,2.590869e-07,2.591711e-07,2.595407e-07,2.596991e-07,2.598293e-07,2.599497e-07,2.599653e-07,2.599605e-07,2.599510e-07,2.598261e-07,2.597286e-07,2.595726e-07,2.593064e-07,2.592099e-07,2.587471e-07,2.587060e-07,2.581928e-07,2.579472e-07,2.575549e-07,2.570482e-07,2.568410e-07,2.560579e-07,2.560252e-07,2.552121e-07,2.548934e-07,2.543095e-07,2.536662e-07,2.533557e-07,2.523559e-07,2.513147e-07,2.509736e-07,2.502367e-07,2.495292e-07,2.491258e-07,2.480319e-07,2.479858e-07,2.468203e-07,2.464899e-07,2.456325e-07,2.449104e-07,2.444253e-07,2.433000e-07,2.432016e-07,2.419638e-07,2.416649e-07,2.407143e-07,2.400103e-07,2.394553e-07,2.383411e-07,2.381887e-07,2.369165e-07,2.366615e-07,2.356402e-07,2.349755e-07,2.343616e-07,2.332866e-07,2.330819e-07,2.318025e-07,2.315979e-07,2.305246e-07,2.299121e-07,2.292494e-07,2.282318e-07,2.279778e-07,2.267108e-07,2.265591e-07,2.254492e-07,2.248961e-07,2.241939e-07,2.232444e-07,2.229455e-07,2.217047e-07,2.216058e-07,2.204720e-07,2.199814e-07,2.192481e-07,2.183725e-07,2.180334e-07,2.168283e-07,2.167803e-07,2.156332e-07,2.152055e-07,2.144485e-07,2.136490e-07,2.132745e-07,2.121115e-07,2.105935e-07,2.090956e-07,2.076182e-07,2.061616e-07,2.047260e-07,2.033117e-07,2.019189e-07,2.005476e-07,1.991979e-07,1.978698e-07,1.965633e-07,1.952784e-07,1.940149e-07,1.927728e-07,1.915520e-07,1.903522e-07,1.891733e-07,1.880151e-07,1.868775e-07,1.857601e-07,1.846628e-07,1.835854e-07,1.825275e-07,1.814890e-07
0.000000e+00,1.217624e-11,2.795031e-11,9.646919e-11,2.203131e-10,3.223130e-10,7.390679e-10,7.617342e-10,1.497725e-09,1.770230e-09,2.631473e-09,3.551470e-09,4.280696e-09,6.346423e-09,6.552685e-09,9.487683e-09,1.028609e-08,1.302911e-08,1.523673e-08,1.706773e-08,2.094866e-08,2.149803e-08,2.623725e-08,2.721631e-08,3.122174e-08,3.389310e-08,3.639971e-08,4.086571e-08,4.172621e-08,4.716047e-08,4.803740e-08,5.266488e-08,5.532158e-08,5.820465e-08,6.264044e-08,6.374797e-08,6.926611e-08,6.992536e-08,7.473362e-08,7.711745e-08,8.012830e-08,8.416775e-08,8.543116e-08,9.062629e-08,9.103684e-08,9.570061e-08,9.769408e-08,1.006436e-07,1.041166e-07,1.054472e-07,1.101051e-07,1.102883e-07,1.146129e-07,1.161985e-07,1.189679e-07,1.218411e-07,1.231684e-07,1.272138e-07,1.311045e-07,1.323170e-07,1.348415e-07,1.371533e-07,1.384266e-07,1.417274e-07,1.418619e-07,1.451501e-07,1.460448e-07,1.482939e-07,1.501122e-07,1.512966e-07,1.539371e-07,1.541613e-07,1.568916e-07,1.575272e-07,1.594910e-07,1.608908e-07,1.619631e-07,1.640361e-07,1.643115e-07,1.665400e-07,1.669717e-07,1.686522e-07,1.697058e-07,1.706517e-07,1.722468e-07,1.725421e-07,1.743270e-07,1.746030e-07,1.760099e-07,1.767825e-07,1.775943e-07,1.787932e-07,1.790836e-07,1.804811e-07,1.806428e-07,1.817902e-07,1.823389e-07,1.830139e-07,1.838889e-07,1.841555e-07,1.852180e-07,1.852997e-07,1.862044e-07,1.865783e-07,1.871176e-07,1.877313e-07,1.879604e-07,1.887355e-07,1.887652e-07,1.894457e-07,1.896860e-07,1.900935e-07,1.904997e-07,1.906814e-07,1.912120e-07,1.916875e-07,1.918284e-07,1.921102e-07,1.923541e-07,1.924824e-07,1.927942e-07,1.928063e-07,1.930839e-07,1.931536e-07,1.933172e-07,1.934368e-07,1.935082e-07,1.936482e-07,1.936588e-07,1.937708e-07,1.937921e-07,1.938459e-07,1.938726e-07,1.938860e-07,1.938934e-07,1.938925e-07,1.938671e-07,1.938583e-07,1.938113e-07,1.937708e-07,1.937266e-07,1.936342e-07,1.936144e-07,1.934761e-07,1.934517e-07,1.933130e-07,1.932263e-07,1.931264e-07,1.929610e-07,1.929175e-07,1.926874e-07,1.926584e-07,1.924374e-07,1.923213e-07,1.921684e-07,1.919520e-07,1.918816e-07,1.915780e-07,1.915530e-07,1.912585e-07,1.911265e-07,1.909241e-07,1.906745e-07,1.905756e-07,1.902139e-07,1.901992e-07,1.898399e-07,1.897024e-07,1.894544e-07,1.891860e-07,1.890580e-07,1.886516e-07,1.881009e-07,1.875355e-07,1.869567e-07,1.863660e-07,1.857646e-07,1.851539e-07,1.845348e-07,1.839086e-07,1.832762e-07,1.826387e-07,1.819969e-07,1.813517e-07,1.807038e-07,1.800542e-07,1.794033e-07,1.787521e-07,1.781009e-07,1.774505e-07,1.768014e-07,1.761540e-07,1.755090e-07,1.748666e-07,1.742273e-07,1.735915e-07
0.000000e+00,1.487248e-11,6.859340e-11,5.296677e-10,1.781006e-09,3.003099e-09,8.747969e-09,9.079688e-09,2.028280e-08,2.453479e-08,3.804360e-08,5.242232e-08,6.373886e-08,9.552815e-08,9.869542e-08,1.441458e-07,1.567364e-07,2.011239e-07,2.383374e-07,2.702986e-07,3.413498e-07,3.517589e-07,4.448126e-07,4.646928e-07,5.479167e-07,6.047820e-07,6.588486e-07,7.562357e-07,7.750875e-07,8.942184e-07,9.134041e-07,1.014181e-06,1.071563e-06,1.133338e-06,1.227228e-06,1.250433e-06,1.364523e-06,1.377976e-06,1.474904e-06,1.522158e-06,1.581061e-06,1.658686e-06,1.682629e-06,1.779367e-06,1.786893e-06,1.871131e-06,1.906427e-06,1.957859e-06,2.017185e-06,2.039556e-06,2.116281e-06,2.119247e-06,2.188133e-06,2.212832e-06,2.255247e-06,2.298256e-06,2.317778e-06,2.375901e-06,2.429802e-06,2.446189e-06,2.479672e-06,2.509563e-06,2.525706e-06,2.566471e-06,2.568099e-06,2.607044e-06,2.617356e-06,2.642728e-06,2.662649e-06,2.675334e-06,2.702765e-06,2.705038e-06,2.732011e-06,2.738095e-06,2.756413e-06,2.769013e-06,2.778399e-06,2.795866e-06,2.798117e-06,2.815707e-06,2.818981e-06,2.831301e-06,2.838662e-06,2.845023e-06,2.855191e-06,2.856993e-06,2.867323e-06,2.868830e-06,2.876116e-06,2.879821e-06,2.883473e-06,2.888388e-06,2.889487e-06,2.894246e-06,2.894737e-06,2.897833e-06,2.899059e-06,2.900324e-06,2.901531e-06,2.901794e-06,2.902311e-06,2.902313e-06,2.901940e-06,2.901556e-06,2.900740e-06,2.899396e-06,2.898770e-06,2.896082e-06,2.895960e-06,2.892727e-06,2.891365e-06,2.888752e-06,2.885718e-06,2.884202e-06,2.879118e-06,2.873539e-06,2.871655e-06,2.867502e-06,2.863414e-06,2.861041e-06,2.854470e-06,2.854189e-06,2.846977e-06,2.844896e-06,2.839432e-06,2.834757e-06,2.831582e-06,2.824112e-06,2.823452e-06,2.815065e-06,2.813017e-06,2.806444e-06,2.801522e-06,2.797610e-06,2.789675e-06,2.788582e-06,2.779379e-06,2.777519e-06,2.770018e-06,2.765093e-06,2.760514e-06,2.752433e-06,2.750885e-06,2.741143e-06,2.739574e-06,2.731302e-06,2.726547e-06,2.721374e-06,2.713378e-06,2.711373e-06,2.701308e-06,2.700096e-06,2.691189e-06,2.686723e-06,2.681028e-06,2.673282e-06,2.670832e-06,2.660611e-06,2.659793e-06,2.650373e-06,2.646274e-06,2.640124e-06,2.632743e-06,2.629873e-06,2.619625e-06,2.619215e-06,2.609387e-06,2.605705e-06,2.599165e-06,2.592225e-06,2.588964e-06,2.578789e-06,2.565405e-06,2.552086e-06,2.538839e-06,2.525674e-06,2.512597e-06,2.499615e-06,2.486736e-06,2.473963e-06,2.461303e-06,2.448760e-06,2.436338e-06,2.424041e-06,2.411871e-06,2.399832e-06,2.387926e-06,2.376155e-06,2.364521e-06,2.353025e-06,2.341669e-06,2.330454e-06,2.319381e-06,2.308450e-06,2.297662e-06,2.287016e-06
0.000000e+00,3.423595e-11,1.097414e-10,5.348155e-10,1.423640e-09,2.198409e-09,5.490799e-09,5.672192e-09,1.156214e-08,1.372471e-08,2.045868e-08,2.748741e-08,3.295879e-08,4.816796e-08,4.967488e-08,7.120845e-08,7.715260e-08,9.805141e-08,1.154953e-07,1.304062e-07,1.632655e-07,1.680435e-07,2.103697e-07,2.193330e-07,2.566493e-07,2.820397e-07,3.061774e-07,3.498357e-07,3.583343e-07,4.125749e-07,4.214133e-07,4.684056e-07,4.956328e-07,5.253657e-07,5.714531e-07,5.830191e-07,6.409513e-07,6.479031e-07,6.987714e-07,7.240817e-07,7.561148e-07,7.991703e-07,8.126475e-07,8.680690e-07,8.724465e-07,9.221144e-07,9.432950e-07,9.745560e-07,1.011212e-06,1.025203e-06,1.073901e-06,1.075807e-06,1.120530e-06,1.136792e-06,1.165001e-06,1.193978e-06,1.207256e-06,1.247262e-06,1.285008e-06,1.296610e-06,1.320504e-06,1.342053e-06,1.353779e-06,1.383669e-06,1.384872e-06,1.413836e-06,1.421573e-06,1.440734e-06,1.455909e-06,1.465633e-06,1.486841e-06,1.488610e-06,1.509741e-06,1.514547e-06,1.529107e-06,1.539211e-06,1.546789e-06,1.561023e-06,1.562870e-06,1.577431e-06,1.580168e-06,1.590552e-06,1.596832e-06,1.602312e-06,1.611194e-06,1.612786e-06,1.622050e-06,1.623425e-06,1.630174e-06,1.633690e-06,1.637228e-06,1.642145e-06,1.643277e-06,1.648385e-06,1.648937e-06,1.652611e-06,1.654206e-06,1.656013e-06,1.658081e-06,1.658646e-06,1.660560e-06,1.660683e-06,1.661805e-06,1.662126e-06,1.662427e-06,1.662514e-06,1.662471e-06,1.661976e-06,1.661946e-06,1.660983e-06,1.660511e-06,1.659528e-06,1.658293e-06,1.657646e-06,1.655369e-06,1.652729e-06,1.651812e-06,1.649753e-06,1.647686e-06,1.646470e-06,1.643052e-06,1.642904e-06,1.639080e-06,1.637966e-06,1.635019e-06,1.632479e-06,1.630744e-06,1.626638e-06,1.626274e-06,1.621627e-06,1.620487e-06,1.616820e-06,1.614065e-06,1.611871e-06,1.607409e-06,1.606794e-06,1.601603e-06,1.600552e-06,1.596312e-06,1.593525e-06,1.590933e-06,1.586355e-06,1.585478e-06,1.579957e-06,1.579068e-06,1.574381e-06,1.571688e-06,1.568760e-06,1.564235e-06,1.563101e-06,1.557413e-06,1.556729e-06,1.551704e-06,1.549188e-06,1.545982e-06,1.541627e-06,1.540251e-06,1.534520e-06,1.534061e-06,1.528792e-06,1.526504e-06,1.523074e-06,1.518966e-06,1.517371e-06,1.511687e-06,1.511460e-06,1.506026e-06,1.503994e-06,1.500392e-06,1.496578e-06,1.494788e-06,1.489219e-06,1.481924e-06,1.474700e-06,1.467551e-06,1.460484e-06,1.453501e-06,1.446608e-06,1.439806e-06,1.433100e-06,1.426491e-06,1.419982e-06,1.413573e-06,1.407268e-06,1.401065e-06,1.394967e-06,1.388974e-06,1.383086e-06,1.377303e-06,1.371626e-06,1.366053e-06,1.360585e-06,1.355222e-06,1.349961e-06,1.344804e-06,1.339749e-06
0.000000e+00,4.471030e-11,1.099959e-10,4.060597e-10,9.520728e-10,1.403985e-09,3.249064e-09,3.349164e-09,6.583306e-09,7.773547e-09,1.151512e-08,1.548597e-08,1.861935e-08,2.744720e-08,2.832541e-08,4.076329e-08,4.412703e-08,5.561125e-08,6.476502e-08,7.229297e-08,8.805098e-08,9.025985e-08,1.090949e-07,1.129378e-07,1.284942e-07,1.387257e-07,1.482252e-07,1.649141e-07,1.680956e-07,1.879369e-07,1.910984e-07,2.075963e-07,2.169268e-07,2.269347e-07,2.420896e-07,2.458269e-07,2.641632e-07,2.663216e-07,2.818506e-07,2.894073e-07,2.988131e-07,3.111830e-07,3.149920e-07,3.303460e-07,3.315379e-07,3.448499e-07,3.504103e-07,3.584919e-07,3.677806e-07,3.712730e-07,3.832044e-07,3.836643e-07,3.943067e-07,3.981058e-07,4.046073e-07,4.111684e-07,4.141355e-07,4.229270e-07,4.310189e-07,4.334668e-07,4.384500e-07,4.428774e-07,4.452599e-07,4.512491e-07,4.514875e-07,4.571710e-07,4.586700e-07,4.623473e-07,4.652244e-07,4.670518e-07,4.709923e-07,4.713183e-07,4.751785e-07,4.760479e-07,4.786625e-07,4.804596e-07,4.817981e-07,4.842903e-07,4.846117e-07,4.871275e-07,4.875969e-07,4.893680e-07,4.904313e-07,4.913542e-07,4.928401e-07,4.931053e-07,4.946390e-07,4.948654e-07,4.959719e-07,4.965449e-07,4.971191e-07,4.979125e-07,4.980945e-07,4.989109e-07,4.989987e-07,4.995802e-07,4.998309e-07,5.001132e-07,5.004334e-07,5.005201e-07,5.008099e-07,5.008283e-07,5.009913e-07,5.010353e-07,5.010722e-07,5.010723e-07,5.010598e-07,5.009608e-07,5.009551e-07,5.007814e-07,5.006982e-07,5.005274e-07,5.003148e-07,5.002041e-07,4.998164e-07,4.993690e-07,4.992139e-07,4.988661e-07,4.985169e-07,4.983116e-07,4.977343e-07,4.977093e-07,4.970626e-07,4.968740e-07,4.963747e-07,4.959434e-07,4.956485e-07,4.949491e-07,4.948869e-07,4.940925e-07,4.938973e-07,4.932678e-07,4.927935e-07,4.924150e-07,4.916430e-07,4.915363e-07,4.906336e-07,4.904504e-07,4.897090e-07,4.892201e-07,4.887642e-07,4.879561e-07,4.878008e-07,4.868205e-07,4.866621e-07,4.858246e-07,4.853415e-07,4.848147e-07,4.839974e-07,4.837919e-07,4.827577e-07,4.826328e-07,4.817130e-07,4.812504e-07,4.806591e-07,4.798526e-07,4.795970e-07,4.785276e-07,4.784418e-07,4.774519e-07,4.770201e-07,4.763708e-07,4.755895e-07,4.752851e-07,4.741955e-07,4.741519e-07,4.731029e-07,4.727090e-07,4.720080e-07,4.712624e-07,4.709113e-07,4.698135e-07,4.683639e-07,4.669146e-07,4.654670e-07,4.640221e-07,4.625810e-07,4.611446e-07,4.597138e-07,4.582894e-07,4.568722e-07,4.554628e-07,4.540619e-07,4.526702e-07,4.512881e-07,4.499162e-07,4.485550e-07,4.472048e-07,4.458661e-07,4.445392e-07,4.432244e-07,4.419221e-07,4.406324e-07,4.393557e-07,4.380922e-07,4.368420e-07
0.000000e+00,2.241942e-14,2.000576e-13,5.189023e-12,4.486150e-11,1.203518e-10,1.008895e-09,1.089075e-09,5.887786e-09,8.861280e-09,2.299292e-08,4.655338e-08,7.177827e-08,1.768989e-07,1.902958e-07,4.454980e-07,5.380602e-07,9.457509e-07,1.391374e-06,1.855177e-06,3.178707e-06,3.408932e-06,5.928095e-06,6.582874e-06,9.832686e-06,1.258161e-05,1.565148e-05,2.248568e-05,2.402761e-05,3.571941e-05,3.795439e-05,5.159635e-05,6.098561e-05,7.263024e-05,9.388081e-05,9.988215e-05,1.344856e-04,1.391880e-04,1.776268e-04,1.996268e-04,2.305230e-04,2.780018e-04,2.943984e-04,3.704609e-04,3.771078e-04,4.598784e-04,4.996347e-04,5.637551e-04,6.480759e-04,6.831109e-04,8.188615e-04,8.246442e-04,9.718015e-04,1.031199e-03,1.142590e-03,1.269189e-03,1.331740e-03,1.539608e-03,1.766392e-03,1.842968e-03,2.012127e-03,2.179290e-03,2.276685e-03,2.548109e-03,2.559784e-03,2.860984e-03,2.948488e-03,3.179705e-03,3.379056e-03,3.515232e-03,3.838041e-03,3.866726e-03,4.233238e-03,4.323321e-03,4.613721e-03,4.832477e-03,5.007047e-03,5.362848e-03,5.412018e-03,5.827383e-03,5.911589e-03,6.251847e-03,6.475728e-03,6.684093e-03,7.052219e-03,7.122788e-03,7.566597e-03,7.637992e-03,8.014195e-03,8.230004e-03,8.464279e-03,8.825279e-03,8.915575e-03,9.366846e-03,9.420941e-03,9.816904e-03,1.001425e-02,1.026461e-02,1.060263e-02,1.070889e-02,1.114871e-02,1.118368e-02,1.158313e-02,1.175519e-02,1.201126e-02,1.231516e-02,1.243229e-02,1.284545e-02,1.286181e-02,1.325009e-02,1.339355e-02,1.364558e-02,1.390902e-02,1.403140e-02,1.440706e-02,1.477216e-02,1.488670e-02,1.512636e-02,1.534719e-02,1.546937e-02,1.578792e-02,1.580096e-02,1.612097e-02,1.620848e-02,1.642927e-02,1.660860e-02,1.672579e-02,1.698816e-02,1.701050e-02,1.728341e-02,1.734716e-02,1.754458e-02,1.768573e-02,1.779408e-02,1.800410e-02,1.803205e-02,1.825862e-02,1.830259e-02,1.847398e-02,1.858159e-02,1.867830e-02,1.884157e-02,1.887182e-02,1.905475e-02,1.908306e-02,1.922736e-02,1.930662e-02,1.938990e-02,1.951286e-02,1.954263e-02,1.968585e-02,1.970241e-02,1.981984e-02,1.987595e-02,1.994489e-02,2.003413e-02,2.006129e-02,2.016935e-02,2.017764e-02,2.026935e-02,2.030717e-02,2.036161e-02,2.042340e-02,2.044640e-02,2.052404e-02,2.052700e-02,2.059479e-02,2.061864e-02,2.065896e-02,2.069898e-02,2.071682e-02,2.076865e-02,2.082827e-02,2.087846e-02,2.091979e-02,2.095281e-02,2.097808e-02,2.099611e-02,2.100738e-02,2.101237e-02,2.101153e-02,2.100528e-02,2.099402e-02,2.097813e-02,2.095798e-02,2.093391e-02,2.090624e-02,2.087528e-02,2.084130e-02,2.080458e-02,2.076536e-02,2.072388e-02,2.068037e-02,2.063503e-02,2.058804e-02,2.053959e-02
0.000000e+00,2.208827e-15,1.981758e-14,5.199631e-13,4.544825e-12,1.226877e-11,1.046087e-10,1.130037e-10,6.222858e-10,9.415502e-10,2.477613e-09,5.077497e-09,7.893952e-09,1.984364e-08,2.138422e-08,5.121409e-08,6.220450e-08,1.113533e-07,1.661070e-07,2.239487e-07,3.925129e-07,4.222607e-07,7.538822e-07,8.415930e-07,1.283954e-06,1.665543e-06,2.098046e-06,3.079865e-06,3.304403e-06,5.035345e-06,5.371113e-06,7.447687e-06,8.899837e-06,1.072217e-05,1.409830e-05,1.506192e-05,2.068997e-05,2.146315e-05,2.784616e-05,3.154377e-05,3.678328e-05,4.492732e-05,4.776290e-05,6.105079e-05,6.222151e-05,7.691232e-05,8.403613e-05,9.560778e-05,1.109645e-04,1.173879e-04,1.424893e-04,1.435656e-04,1.711310e-04,1.823475e-04,2.035105e-04,2.277529e-04,2.398007e-04,2.801475e-04,3.246676e-04,3.398103e-04,3.734469e-04,4.069273e-04,4.265397e-04,4.815876e-04,4.839679e-04,5.457215e-04,5.637827e-04,6.117585e-04,6.534077e-04,6.820060e-04,7.502649e-04,7.563616e-04,8.346947e-04,8.540696e-04,9.168483e-04,9.644567e-04,1.002642e-03,1.080989e-03,1.091871e-03,1.184315e-03,1.203169e-03,1.279733e-03,1.330442e-03,1.377871e-03,1.462214e-03,1.478462e-03,1.581231e-03,1.597857e-03,1.685894e-03,1.736721e-03,1.792164e-03,1.878141e-03,1.899750e-03,2.008362e-03,2.021450e-03,2.117710e-03,2.165983e-03,2.227510e-03,2.311087e-03,2.337481e-03,2.447350e-03,2.456127e-03,2.556853e-03,2.600494e-03,2.665733e-03,2.743604e-03,2.773747e-03,2.880660e-03,2.884911e-03,2.986253e-03,3.023902e-03,3.090315e-03,3.160104e-03,3.192654e-03,3.293086e-03,3.391446e-03,3.422458e-03,3.487580e-03,3.547872e-03,3.581348e-03,3.669023e-03,3.672625e-03,3.761300e-03,3.785649e-03,3.847274e-03,3.897526e-03,3.930462e-03,4.004473e-03,4.010793e-03,4.088206e-03,4.106345e-03,4.162654e-03,4.203036e-03,4.234100e-03,4.294469e-03,4.302519e-03,4.367895e-03,4.380604e-03,4.430222e-03,4.461428e-03,4.489503e-03,4.536955e-03,4.545751e-03,4.598986e-03,4.607225e-03,4.649234e-03,4.672302e-03,4.696529e-03,4.732267e-03,4.740912e-03,4.782429e-03,4.787221e-03,4.821130e-03,4.837281e-03,4.857072e-03,4.882578e-03,4.890313e-03,4.920916e-03,4.923253e-03,4.948949e-03,4.959458e-03,4.974481e-03,4.991354e-03,4.997581e-03,5.018325e-03,5.019107e-03,5.036786e-03,5.042888e-03,5.053040e-03,5.062872e-03,5.067165e-03,5.079236e-03,5.092158e-03,5.101816e-03,5.108387e-03,5.112045e-03,5.112964e-03,5.111313e-03,5.107257e-03,5.100958e-03,5.092572e-03,5.082250e-03,5.070139e-03,5.056379e-03,5.041105e-03,5.024448e-03,5.006530e-03,4.987469e-03,4.967378e-03,4.946364e-03,4.924527e-03,4.901964e-03,4.878764e-03,4.855012e-03,4.830788e-03,4.806166e-03
0.000000e+00,1.154218e-10,3.614217e-10,1.710311e-09,4.477282e-09,6.865857e-09,1.692777e-08,1.748017e-08,3.540316e-08,4.199390e-08,6.259746e-08,8.425631e-08,1.012265e-07,1.488390e-07,1.535854e-07,2.217362e-07,2.405934e-07,3.067170e-07,3.614036e-07,4.075855e-07,5.070356e-07,5.212034e-07,6.432760e-07,6.683311e-07,7.697144e-07,8.360863e-07,8.973163e-07,1.003700e-06,1.023785e-06,1.147507e-06,1.166966e-06,1.267328e-06,1.323201e-06,1.382408e-06,1.470637e-06,1.492128e-06,1.596039e-06,1.608102e-06,1.693830e-06,1.734867e-06,1.785311e-06,1.850562e-06,1.870399e-06,1.949097e-06,1.955118e-06,2.021484e-06,2.048705e-06,2.087714e-06,2.131694e-06,2.147980e-06,2.202517e-06,2.204583e-06,2.251593e-06,2.267979e-06,2.295495e-06,2.322545e-06,2.334521e-06,2.368975e-06,2.399161e-06,2.407968e-06,2.425377e-06,2.440208e-06,2.447916e-06,2.466352e-06,2.467056e-06,2.483063e-06,2.487018e-06,2.496190e-06,2.502784e-06,2.506676e-06,2.514180e-06,2.514741e-06,2.520595e-06,2.521693e-06,2.524431e-06,2.525764e-06,2.526427e-06,2.526795e-06,2.526751e-06,2.525555e-06,2.525146e-06,2.522980e-06,2.521140e-06,2.519158e-06,2.515070e-06,2.514206e-06,2.508236e-06,2.507193e-06,2.501348e-06,2.497743e-06,2.493634e-06,2.486926e-06,2.485180e-06,2.476063e-06,2.474927e-06,2.466353e-06,2.461911e-06,2.456118e-06,2.448023e-06,2.445415e-06,2.434300e-06,2.433395e-06,2.422823e-06,2.418141e-06,2.411029e-06,2.402365e-06,2.398961e-06,2.386656e-06,2.386160e-06,2.374150e-06,2.369605e-06,2.361475e-06,2.352775e-06,2.348660e-06,2.335732e-06,2.322715e-06,2.318535e-06,2.309632e-06,2.301234e-06,2.296504e-06,2.283874e-06,2.283348e-06,2.270182e-06,2.266496e-06,2.257021e-06,2.249134e-06,2.243880e-06,2.231819e-06,2.230772e-06,2.217708e-06,2.214580e-06,2.204698e-06,2.197441e-06,2.191753e-06,2.180422e-06,2.178882e-06,2.166092e-06,2.163544e-06,2.153390e-06,2.146822e-06,2.140783e-06,2.130271e-06,2.128278e-06,2.115878e-06,2.113904e-06,2.103588e-06,2.097730e-06,2.091414e-06,2.081759e-06,2.079358e-06,2.067424e-06,2.066000e-06,2.055614e-06,2.050458e-06,2.043932e-06,2.035140e-06,2.032379e-06,2.020957e-06,2.020049e-06,2.009668e-06,2.005190e-06,1.998513e-06,1.990566e-06,1.987494e-06,1.976610e-06,1.976177e-06,1.965862e-06,1.962027e-06,1.955252e-06,1.948115e-06,1.944779e-06,1.934443e-06,1.921010e-06,1.907816e-06,1.894859e-06,1.882139e-06,1.869654e-06,1.857402e-06,1.845382e-06,1.833591e-06,1.822026e-06,1.810686e-06,1.799567e-06,1.788666e-06,1.777982e-06,1.767510e-06,1.757248e-06,1.747192e-06,1.737340e-06,1.727687e-06,1.718232e-06,1.708970e-06,1.699898e-06,1.691013e-06,1.682311e-06,1.673790e-06
0.000000e+00,1.278330e-11,3.082024e-11,1.117441e-10,2.600725e-10,3.822606e-10,8.753189e-10,9.017842e-10,1.740577e-09,2.041483e-09,2.962379e-09,3.903550e-09,4.624882e-09,6.588127e-09,6.779735e-09,9.471377e-09,1.020129e-08,1.273349e-08,1.481659e-08,1.658288e-08,2.045286e-08,2.101480e-08,2.600530e-08,2.706741e-08,3.151855e-08,3.457829e-08,3.751268e-08,4.288618e-08,4.394220e-08,5.075854e-08,5.188165e-08,5.791039e-08,6.144680e-08,6.534423e-08,7.145747e-08,7.300517e-08,8.083795e-08,8.178683e-08,8.878806e-08,9.230958e-08,9.680270e-08,1.029060e-07,1.048318e-07,1.128285e-07,1.134655e-07,1.207501e-07,1.238889e-07,1.285581e-07,1.340904e-07,1.362187e-07,1.437025e-07,1.439978e-07,1.509846e-07,1.535527e-07,1.580446e-07,1.627100e-07,1.648660e-07,1.714363e-07,1.777461e-07,1.797092e-07,1.837894e-07,1.875154e-07,1.895626e-07,1.948498e-07,1.950647e-07,2.002965e-07,2.017134e-07,2.052609e-07,2.081128e-07,2.099619e-07,2.140586e-07,2.144047e-07,2.185956e-07,2.195647e-07,2.225416e-07,2.246472e-07,2.262503e-07,2.293239e-07,2.297296e-07,2.329879e-07,2.336138e-07,2.360336e-07,2.375362e-07,2.388753e-07,2.411108e-07,2.415215e-07,2.439806e-07,2.443573e-07,2.462612e-07,2.472949e-07,2.483714e-07,2.499423e-07,2.503193e-07,2.521127e-07,2.523178e-07,2.537591e-07,2.544390e-07,2.552661e-07,2.563224e-07,2.566406e-07,2.578895e-07,2.579842e-07,2.590194e-07,2.594394e-07,2.600366e-07,2.607025e-07,2.609471e-07,2.617567e-07,2.617871e-07,2.624711e-07,2.627059e-07,2.630953e-07,2.634710e-07,2.636346e-07,2.640937e-07,2.644773e-07,2.645848e-07,2.647896e-07,2.649541e-07,2.650349e-07,2.652110e-07,2.652171e-07,2.653399e-07,2.653642e-07,2.654071e-07,2.654220e-07,2.654219e-07,2.653920e-07,2.653875e-07,2.653072e-07,2.652814e-07,2.651837e-07,2.650967e-07,2.650198e-07,2.648443e-07,2.648182e-07,2.645814e-07,2.645300e-07,2.643117e-07,2.641592e-07,2.640113e-07,2.637369e-07,2.636824e-07,2.633270e-07,2.632678e-07,2.629469e-07,2.627563e-07,2.625441e-07,2.622065e-07,2.621201e-07,2.616766e-07,2.616222e-07,2.612152e-07,2.610068e-07,2.607372e-07,2.603638e-07,2.602442e-07,2.597372e-07,2.596961e-07,2.592177e-07,2.590066e-07,2.586866e-07,2.582978e-07,2.581452e-07,2.575945e-07,2.575723e-07,2.570354e-07,2.568323e-07,2.564689e-07,2.560799e-07,2.558958e-07,2.553170e-07,2.545454e-07,2.537668e-07,2.529828e-07,2.521947e-07,2.514039e-07,2.506116e-07,2.498189e-07,2.490268e-07,2.482362e-07,2.474481e-07,2.466632e-07,2.458823e-07,2.451060e-07,2.443349e-07,2.435696e-07,2.428105e-07,2.420582e-07,2.413131e-07,2.405754e-07,2.398456e-07,2.391240e-07,2.384107e-07,2.377060e-07,2.370102e-07
0.000000e+00,7.081728e-12,1.642914e-11,5.714484e-11,1.303636e-10,1.901734e-10,4.299312e-10,4.427687e-10,8.495383e-10,9.956760e-10,1.444322e-09,1.905414e-09,2.260613e-09,3.234319e-09,3.329791e-09,4.674791e-09,5.039594e-09,6.299443e-09,7.324467e-09,8.182873e-09,1.002490e-08,1.028784e-08,1.257402e-08,1.304969e-08,1.500468e-08,1.631479e-08,1.754732e-08,1.974813e-08,2.017259e-08,2.285346e-08,2.328585e-08,2.556481e-08,2.687022e-08,2.828352e-08,3.044958e-08,3.098857e-08,3.366126e-08,3.397901e-08,3.628534e-08,3.742090e-08,3.884703e-08,4.074511e-08,4.133496e-08,4.374008e-08,4.392869e-08,4.605544e-08,4.695526e-08,4.827601e-08,4.981419e-08,5.039844e-08,5.242083e-08,5.249964e-08,5.434249e-08,5.500967e-08,5.616375e-08,5.734542e-08,5.788576e-08,5.951032e-08,6.103976e-08,6.150953e-08,6.247679e-08,6.334936e-08,6.382439e-08,6.503690e-08,6.508574e-08,6.626417e-08,6.657972e-08,6.736303e-08,6.798558e-08,6.838574e-08,6.926228e-08,6.933567e-08,7.021616e-08,7.041751e-08,7.103049e-08,7.145880e-08,7.178183e-08,7.239339e-08,7.247330e-08,7.310789e-08,7.322824e-08,7.368849e-08,7.396999e-08,7.421787e-08,7.462493e-08,7.469871e-08,7.513355e-08,7.519903e-08,7.552486e-08,7.569790e-08,7.587495e-08,7.612686e-08,7.618607e-08,7.646033e-08,7.649087e-08,7.669977e-08,7.679459e-08,7.690632e-08,7.704242e-08,7.708180e-08,7.722797e-08,7.723845e-08,7.734649e-08,7.738651e-08,7.743894e-08,7.749019e-08,7.750680e-08,7.755152e-08,7.755284e-08,7.757442e-08,7.757758e-08,7.757681e-08,7.756734e-08,7.755990e-08,7.752484e-08,7.747272e-08,7.745261e-08,7.740459e-08,7.735304e-08,7.732143e-08,7.722832e-08,7.722417e-08,7.711370e-08,7.708052e-08,7.699087e-08,7.691156e-08,7.685645e-08,7.672321e-08,7.671121e-08,7.655587e-08,7.651716e-08,7.639110e-08,7.629494e-08,7.621753e-08,7.605801e-08,7.603579e-08,7.584643e-08,7.580770e-08,7.565002e-08,7.554527e-08,7.544707e-08,7.527189e-08,7.523806e-08,7.502346e-08,7.498863e-08,7.480370e-08,7.469651e-08,7.457921e-08,7.439647e-08,7.435038e-08,7.411757e-08,7.408938e-08,7.388114e-08,7.377605e-08,7.364143e-08,7.345724e-08,7.339874e-08,7.315339e-08,7.313365e-08,7.290564e-08,7.280594e-08,7.265577e-08,7.247470e-08,7.240404e-08,7.215067e-08,7.214050e-08,7.189589e-08,7.180387e-08,7.163993e-08,7.146529e-08,7.138297e-08,7.112521e-08,7.078407e-08,7.044223e-08,7.010006e-08,6.975788e-08,6.941600e-08,6.907470e-08,6.873425e-08,6.839489e-08,6.805685e-08,6.772032e-08,6.738550e-08,6.705257e-08,6.672168e-08,6.639297e-08,6.606659e-08,6.574265e-08,6.542127e-08,6.510253e-08,6.478655e-08,6.447339e-08,6.416311e-08,6.385580e-08,6.355151e-08,6.325029e-08
0.000000e+00,1.141849e-13,9.095943e-13,1.863580e-11,1.299199e-10,3.097012e-10,1.914174e-09,2.040892e-09,8.167434e-09,1.133260e-08,2.400021e-08,4.129213e-08,5.730321e-08,1.119289e-07,1.180701e-07,2.181745e-07,2.495098e-07,3.709305e-07,4.847055e-07,5.903690e-07,8.493685e-07,8.899481e-07,1.280723e-06,1.370514e-06,1.769534e-06,2.063194e-06,2.357942e-06,2.926633e-06,3.042292e-06,3.814677e-06,3.945736e-06,4.664333e-06,5.096041e-06,5.579000e-06,6.349023e-06,6.546012e-06,7.553038e-06,7.676011e-06,8.588513e-06,9.050372e-06,9.641867e-06,1.044850e-05,1.070363e-05,1.176543e-05,1.185015e-05,1.282000e-05,1.323837e-05,1.386111e-05,1.459942e-05,1.488355e-05,1.588302e-05,1.592247e-05,1.685607e-05,1.719937e-05,1.780004e-05,1.842429e-05,1.871294e-05,1.959339e-05,2.044055e-05,2.070452e-05,2.125398e-05,2.175684e-05,2.203363e-05,2.275056e-05,2.277976e-05,2.349285e-05,2.368669e-05,2.417358e-05,2.456681e-05,2.482276e-05,2.539294e-05,2.544132e-05,2.603025e-05,2.616731e-05,2.659061e-05,2.689234e-05,2.712348e-05,2.757051e-05,2.762992e-05,2.811104e-05,2.820431e-05,2.856789e-05,2.879622e-05,2.900154e-05,2.934862e-05,2.941300e-05,2.980327e-05,2.986382e-05,3.017332e-05,3.034404e-05,3.052408e-05,3.079139e-05,3.085643e-05,3.117123e-05,3.120787e-05,3.146931e-05,3.159537e-05,3.175145e-05,3.195568e-05,3.201840e-05,3.227088e-05,3.229047e-05,3.250957e-05,3.260133e-05,3.273512e-05,3.288973e-05,3.294815e-05,3.314926e-05,3.315707e-05,3.333901e-05,3.340464e-05,3.351792e-05,3.363366e-05,3.368652e-05,3.384529e-05,3.399468e-05,3.404058e-05,3.413514e-05,3.422054e-05,3.426709e-05,3.438611e-05,3.439091e-05,3.450700e-05,3.453816e-05,3.461570e-05,3.467752e-05,3.471736e-05,3.480494e-05,3.481230e-05,3.490084e-05,3.492117e-05,3.498326e-05,3.502686e-05,3.505986e-05,3.512265e-05,3.513089e-05,3.519660e-05,3.520913e-05,3.525725e-05,3.528686e-05,3.531306e-05,3.535636e-05,3.536425e-05,3.541103e-05,3.541812e-05,3.545360e-05,3.547260e-05,3.549215e-05,3.552022e-05,3.552686e-05,3.555790e-05,3.556139e-05,3.558544e-05,3.559649e-05,3.560964e-05,3.562588e-05,3.563064e-05,3.564859e-05,3.564990e-05,3.566363e-05,3.566886e-05,3.567588e-05,3.568305e-05,3.568548e-05,3.569254e-05,3.569277e-05,3.569717e-05,3.569826e-05,3.569949e-05,3.569979e-05,3.569959e-05,3.569759e-05,3.569187e-05,3.568285e-05,3.567073e-05,3.565569e-05,3.563790e-05,3.561754e-05,3.559476e-05,3.556972e-05,3.554254e-05,3.551337e-05,3.548233e-05,3.544954e-05,3.541512e-05,3.537918e-05,3.534181e-05,3.530311e-05,3.526318e-05,3.522210e-05,3.517995e-05,3.513682e-05,3.509278e-05,3.504789e-05,3.500224e-05,3.495587e-05
0.000000e+00,1.062945e-12,7.445775e-12,1.181137e-10,6.610668e-10,1.404927e-09,6.582476e-09,6.943796e-09,2.173923e-08,2.835358e-08,5.185349e-08,7.994423e-08,1.037125e-07,1.762082e-07,1.838077e-07,2.986139e-07,3.320409e-07,4.544274e-07,5.617332e-07,6.568398e-07,8.767420e-07,9.098548e-07,1.215166e-06,1.282482e-06,1.572129e-06,1.777424e-06,1.978376e-06,2.355272e-06,2.430554e-06,2.924853e-06,3.007584e-06,3.457267e-06,3.725153e-06,4.023659e-06,4.498382e-06,4.619776e-06,5.241267e-06,5.317341e-06,5.883713e-06,6.171885e-06,6.542685e-06,7.051863e-06,7.213813e-06,7.892859e-06,7.947403e-06,8.575782e-06,8.849180e-06,9.258797e-06,9.748655e-06,9.938417e-06,1.061149e-05,1.063823e-05,1.127520e-05,1.151136e-05,1.192710e-05,1.236255e-05,1.256507e-05,1.318735e-05,1.379246e-05,1.398227e-05,1.437924e-05,1.474473e-05,1.494678e-05,1.547290e-05,1.549442e-05,1.602171e-05,1.616566e-05,1.652838e-05,1.682243e-05,1.701433e-05,1.744313e-05,1.747960e-05,1.792434e-05,1.802805e-05,1.834881e-05,1.857777e-05,1.875333e-05,1.909312e-05,1.913830e-05,1.950419e-05,1.957512e-05,1.985148e-05,2.002489e-05,2.018069e-05,2.044365e-05,2.049237e-05,2.078709e-05,2.083271e-05,2.106542e-05,2.119337e-05,2.132794e-05,2.152696e-05,2.157522e-05,2.180784e-05,2.183480e-05,2.202637e-05,2.211820e-05,2.223136e-05,2.237844e-05,2.242337e-05,2.260293e-05,2.261678e-05,2.277057e-05,2.283441e-05,2.292680e-05,2.303250e-05,2.307212e-05,2.320700e-05,2.321218e-05,2.333191e-05,2.337452e-05,2.344730e-05,2.352056e-05,2.355362e-05,2.365127e-05,2.374067e-05,2.376759e-05,2.382220e-05,2.387042e-05,2.389624e-05,2.396061e-05,2.396315e-05,2.402329e-05,2.403896e-05,2.407698e-05,2.410623e-05,2.412454e-05,2.416316e-05,2.416629e-05,2.420251e-05,2.421042e-05,2.423350e-05,2.424867e-05,2.425952e-05,2.427851e-05,2.428083e-05,2.429769e-05,2.430054e-05,2.431032e-05,2.431530e-05,2.431897e-05,2.432331e-05,2.432384e-05,2.432515e-05,2.432505e-05,2.432310e-05,2.432098e-05,2.431788e-05,2.431154e-05,2.430967e-05,2.429865e-05,2.429714e-05,2.428498e-05,2.427817e-05,2.426882e-05,2.425497e-05,2.425033e-05,2.422965e-05,2.422791e-05,2.420692e-05,2.419728e-05,2.418227e-05,2.416340e-05,2.415583e-05,2.412771e-05,2.412656e-05,2.409804e-05,2.408700e-05,2.406692e-05,2.404499e-05,2.403446e-05,2.400075e-05,2.395452e-05,2.390648e-05,2.385683e-05,2.380576e-05,2.375343e-05,2.370000e-05,2.364562e-05,2.359042e-05,2.353453e-05,2.347807e-05,2.342115e-05,2.336388e-05,2.330635e-05,2.324865e-05,2.319086e-05,2.313307e-05,2.307533e-05,2.301773e-05,2.296031e-05,2.290314e-05,2.284626e-05,2.278973e-05,2.273358e-05,2.267787e-05
0.000000e+00,1.201831e-10,3.897203e-10,1.929639e-09,5.189378e-09,8.051575e-09,2.031855e-08,2.099755e-08,4.313988e-08,5.129866e-08,7.674673e-08,1.033276e-07,1.240064e-07,1.813347e-07,1.869982e-07,2.675119e-07,2.895876e-07,3.666845e-07,4.304982e-07,4.847705e-07,6.040169e-07,6.213631e-07,7.757513e-07,8.086915e-07,9.470805e-07,1.042545e-06,1.134363e-06,1.303183e-06,1.336463e-06,1.552091e-06,1.587754e-06,1.779824e-06,1.892990e-06,2.018134e-06,2.215330e-06,2.265431e-06,2.520094e-06,2.551072e-06,2.780520e-06,2.896528e-06,3.045147e-06,3.248156e-06,3.312489e-06,3.581153e-06,3.602665e-06,3.849858e-06,3.957086e-06,4.117438e-06,4.308812e-06,4.382855e-06,4.645190e-06,4.655608e-06,4.903646e-06,4.995605e-06,5.157539e-06,5.327284e-06,5.406297e-06,5.649447e-06,5.886602e-06,5.961172e-06,6.117450e-06,6.261770e-06,6.341753e-06,6.550767e-06,6.559340e-06,6.770088e-06,6.827860e-06,6.973920e-06,7.092885e-06,7.170806e-06,7.345810e-06,7.360750e-06,7.543785e-06,7.586692e-06,7.719972e-06,7.815675e-06,7.889392e-06,8.032971e-06,8.052155e-06,8.208386e-06,8.238860e-06,8.358216e-06,8.433639e-06,8.501771e-06,8.617612e-06,8.639194e-06,8.770636e-06,8.791121e-06,8.896247e-06,8.954513e-06,9.016180e-06,9.108143e-06,9.130592e-06,9.239640e-06,9.252373e-06,9.343482e-06,9.387564e-06,9.442276e-06,9.514079e-06,9.536178e-06,9.625343e-06,9.632276e-06,9.709922e-06,9.742504e-06,9.790067e-06,9.845107e-06,9.865924e-06,9.937639e-06,9.940424e-06,1.000536e-05,1.002878e-05,1.006922e-05,1.011051e-05,1.012936e-05,1.018591e-05,1.023901e-05,1.025529e-05,1.028878e-05,1.031894e-05,1.033534e-05,1.037715e-05,1.037883e-05,1.041935e-05,1.043018e-05,1.045702e-05,1.047831e-05,1.049196e-05,1.052178e-05,1.052427e-05,1.055406e-05,1.056085e-05,1.058143e-05,1.059574e-05,1.060648e-05,1.062668e-05,1.062931e-05,1.065000e-05,1.065390e-05,1.066866e-05,1.067759e-05,1.068537e-05,1.069795e-05,1.070021e-05,1.071326e-05,1.071519e-05,1.072461e-05,1.072948e-05,1.073434e-05,1.074100e-05,1.074251e-05,1.074920e-05,1.074991e-05,1.075448e-05,1.075637e-05,1.075841e-05,1.076054e-05,1.076106e-05,1.076250e-05,1.076257e-05,1.076278e-05,1.076258e-05,1.076196e-05,1.076072e-05,1.076010e-05,1.075725e-05,1.075712e-05,1.075346e-05,1.075188e-05,1.074879e-05,1.074513e-05,1.074328e-05,1.073698e-05,1.072752e-05,1.071686e-05,1.070509e-05,1.069231e-05,1.067858e-05,1.066399e-05,1.064863e-05,1.063255e-05,1.061583e-05,1.059853e-05,1.058072e-05,1.056244e-05,1.054375e-05,1.052471e-05,1.050535e-05,1.048573e-05,1.046589e-05,1.044587e-05,1.042570e-05,1.040541e-05,1.038505e-05,1.036465e-05,1.034422e-05,1.032380e-05
0.000000e+00,3.733916e-11,1.572245e-10,1.068100e-09,3.349115e-09,5.498172e-09,1.528425e-08,1.584118e-08,3.442029e-08,4.139799e-08,6.341734e-08,8.669086e-08,1.049295e-07,1.559300e-07,1.609979e-07,2.335518e-07,2.536066e-07,3.241771e-07,3.831715e-07,4.336980e-07,5.455262e-07,5.618555e-07,7.074361e-07,7.384962e-07,8.687317e-07,9.582094e-07,1.043918e-06,1.200496e-06,1.231202e-06,1.428844e-06,1.461313e-06,1.635131e-06,1.736721e-06,1.848368e-06,2.022833e-06,2.066877e-06,2.289018e-06,2.315843e-06,2.513203e-06,2.612099e-06,2.737920e-06,2.908189e-06,2.961759e-06,3.183421e-06,3.201024e-06,3.401738e-06,3.487892e-06,3.615675e-06,3.766490e-06,3.824337e-06,4.026964e-06,4.034934e-06,4.222928e-06,4.291744e-06,4.411729e-06,4.535819e-06,4.592976e-06,4.766380e-06,4.931757e-06,4.982964e-06,5.089005e-06,5.185355e-06,5.238080e-06,5.373525e-06,5.379006e-06,5.511872e-06,5.547646e-06,5.636799e-06,5.708008e-06,5.753945e-06,5.855013e-06,5.863503e-06,5.965689e-06,5.989142e-06,6.060734e-06,6.110933e-06,6.148889e-06,6.220970e-06,6.230411e-06,6.305563e-06,6.319852e-06,6.374606e-06,6.408182e-06,6.437805e-06,6.486570e-06,6.495425e-06,6.547726e-06,6.555618e-06,6.594962e-06,6.615911e-06,6.637384e-06,6.668019e-06,6.675235e-06,6.708753e-06,6.712495e-06,6.738168e-06,6.749869e-06,6.763703e-06,6.780645e-06,6.785570e-06,6.803978e-06,6.805307e-06,6.819124e-06,6.824312e-06,6.831198e-06,6.838092e-06,6.840383e-06,6.846853e-06,6.847058e-06,6.850777e-06,6.851596e-06,6.852312e-06,6.852070e-06,6.851611e-06,6.848820e-06,6.844077e-06,6.842168e-06,6.837513e-06,6.832415e-06,6.829253e-06,6.819840e-06,6.819418e-06,6.808118e-06,6.804707e-06,6.795463e-06,6.787262e-06,6.781554e-06,6.767733e-06,6.766488e-06,6.750355e-06,6.746335e-06,6.733244e-06,6.723265e-06,6.715235e-06,6.698708e-06,6.696407e-06,6.676833e-06,6.672835e-06,6.656583e-06,6.645807e-06,6.635721e-06,6.617771e-06,6.614311e-06,6.592409e-06,6.588863e-06,6.570071e-06,6.559209e-06,6.547349e-06,6.528928e-06,6.524292e-06,6.500945e-06,6.498126e-06,6.477351e-06,6.466903e-06,6.453552e-06,6.435350e-06,6.429584e-06,6.405484e-06,6.403551e-06,6.381285e-06,6.371585e-06,6.357018e-06,6.339520e-06,6.332713e-06,6.308396e-06,6.307423e-06,6.284093e-06,6.275352e-06,6.259828e-06,6.243361e-06,6.235623e-06,6.211499e-06,6.179811e-06,6.148337e-06,6.117113e-06,6.086171e-06,6.055542e-06,6.025251e-06,5.995321e-06,5.965773e-06,5.936625e-06,5.907892e-06,5.879589e-06,5.851726e-06,5.824314e-06,5.797360e-06,5.770871e-06,5.744853e-06,5.719308e-06,5.694241e-06,5.669651e-06,5.645541e-06,5.621909e-06,5.598754e-06,5.576075e-06,5.553869e-06
0.000000e+00,1.104935e-11,2.587332e-11,9.099857e-11,2.089100e-10,3.055957e-10,6.948773e-10,7.157734e-10,1.379599e-09,1.618701e-09,2.354202e-09,3.112035e-09,3.697094e-09,5.307440e-09,5.465950e-09,7.715190e-09,8.331622e-09,1.048698e-08,1.227458e-08,1.379627e-08,1.713402e-08,1.761784e-08,2.188889e-08,2.278995e-08,2.652797e-08,2.905850e-08,3.145402e-08,3.576084e-08,3.659524e-08,4.189016e-08,4.274797e-08,4.728581e-08,4.989768e-08,5.273585e-08,5.710733e-08,5.819928e-08,6.363982e-08,6.428958e-08,6.902549e-08,7.137049e-08,7.432847e-08,7.828863e-08,7.952494e-08,8.459487e-08,8.499448e-08,8.952183e-08,9.144955e-08,9.429274e-08,9.762539e-08,9.889751e-08,1.033288e-07,1.035023e-07,1.075815e-07,1.090682e-07,1.116529e-07,1.143171e-07,1.155416e-07,1.192481e-07,1.227738e-07,1.238642e-07,1.261213e-07,1.281716e-07,1.292939e-07,1.321788e-07,1.322957e-07,1.351310e-07,1.358958e-07,1.378049e-07,1.393337e-07,1.403223e-07,1.425046e-07,1.426885e-07,1.449090e-07,1.454208e-07,1.469892e-07,1.480948e-07,1.489345e-07,1.505390e-07,1.507503e-07,1.524420e-07,1.527659e-07,1.540147e-07,1.547873e-07,1.554737e-07,1.566150e-07,1.568239e-07,1.580702e-07,1.582603e-07,1.592174e-07,1.597341e-07,1.602700e-07,1.610469e-07,1.612324e-07,1.621090e-07,1.622086e-07,1.629038e-07,1.632287e-07,1.636209e-07,1.641163e-07,1.642641e-07,1.648371e-07,1.648800e-07,1.653433e-07,1.655279e-07,1.657863e-07,1.660679e-07,1.661693e-07,1.664953e-07,1.665072e-07,1.667674e-07,1.668527e-07,1.669885e-07,1.671110e-07,1.671612e-07,1.672883e-07,1.673723e-07,1.673904e-07,1.674155e-07,1.674228e-07,1.674202e-07,1.673906e-07,1.673886e-07,1.673229e-07,1.672987e-07,1.672250e-07,1.671516e-07,1.670969e-07,1.669538e-07,1.669403e-07,1.667570e-07,1.667092e-07,1.665487e-07,1.664217e-07,1.663169e-07,1.660948e-07,1.660632e-07,1.657890e-07,1.657318e-07,1.654956e-07,1.653360e-07,1.651844e-07,1.649101e-07,1.648566e-07,1.645134e-07,1.644571e-07,1.641559e-07,1.639795e-07,1.637851e-07,1.634796e-07,1.634021e-07,1.630079e-07,1.629598e-07,1.626033e-07,1.624222e-07,1.621892e-07,1.618687e-07,1.617665e-07,1.613360e-07,1.613012e-07,1.608983e-07,1.607214e-07,1.604543e-07,1.601310e-07,1.600045e-07,1.595496e-07,1.595313e-07,1.590902e-07,1.589238e-07,1.586269e-07,1.583099e-07,1.581602e-07,1.576906e-07,1.570671e-07,1.564406e-07,1.558118e-07,1.551818e-07,1.545513e-07,1.539211e-07,1.532920e-07,1.526645e-07,1.520394e-07,1.514170e-07,1.507980e-07,1.501828e-07,1.495719e-07,1.489655e-07,1.483642e-07,1.477681e-07,1.471776e-07,1.465930e-07,1.460145e-07,1.454422e-07,1.448765e-07,1.443174e-07,1.437651e-07,1.432198e-07
0.000000e+00,3.370454e-14,3.018272e-13,7.887199e-12,6.866434e-11,1.849255e-10,1.566247e-09,1.691443e-09,9.242022e-09,1.395080e-08,3.647556e-08,7.432088e-08,1.150769e-07,2.863861e-07,3.083366e-07,7.295820e-07,8.834406e-07,1.565605e-06,2.317339e-06,3.104675e-06,5.371249e-06,5.767892e-06,1.014179e-05,1.128699e-05,1.700963e-05,2.189137e-05,2.737886e-05,3.970421e-05,4.250276e-05,6.389479e-05,6.801437e-05,9.333470e-05,1.109147e-04,1.328662e-04,1.732929e-04,1.847864e-04,2.516268e-04,2.607785e-04,3.361278e-04,3.796491e-04,4.412057e-04,5.367024e-04,5.699153e-04,7.254072e-04,7.390992e-04,9.108814e-04,9.941845e-04,1.129540e-03,1.309296e-03,1.384537e-03,1.678931e-03,1.691568e-03,2.015633e-03,2.147733e-03,2.397363e-03,2.683938e-03,2.826605e-03,3.305569e-03,3.836151e-03,4.017104e-03,4.419908e-03,4.821983e-03,5.058028e-03,5.722515e-03,5.751312e-03,6.500161e-03,6.719805e-03,7.304568e-03,7.813722e-03,8.164113e-03,9.002889e-03,9.077970e-03,1.004491e-02,1.028471e-02,1.106333e-02,1.165541e-02,1.213125e-02,1.311013e-02,1.324635e-02,1.440598e-02,1.464300e-02,1.560722e-02,1.624726e-02,1.684688e-02,1.791539e-02,1.812154e-02,1.942759e-02,1.963922e-02,2.076126e-02,2.141010e-02,2.211866e-02,2.321900e-02,2.349581e-02,2.488867e-02,2.505667e-02,2.629317e-02,2.691379e-02,2.770526e-02,2.878105e-02,2.912092e-02,3.053619e-02,3.064928e-02,3.194720e-02,3.250957e-02,3.335020e-02,3.435335e-02,3.474155e-02,3.611780e-02,3.617249e-02,3.747562e-02,3.795932e-02,3.881189e-02,3.970674e-02,4.012367e-02,4.140822e-02,4.266300e-02,4.305786e-02,4.388569e-02,4.465039e-02,4.507418e-02,4.618119e-02,4.622657e-02,4.734116e-02,4.764627e-02,4.841650e-02,4.904231e-02,4.945130e-02,5.036659e-02,5.044450e-02,5.139523e-02,5.161700e-02,5.230280e-02,5.279200e-02,5.316672e-02,5.389060e-02,5.398666e-02,5.476245e-02,5.491230e-02,5.549408e-02,5.585712e-02,5.618169e-02,5.672546e-02,5.682556e-02,5.742607e-02,5.751816e-02,5.798374e-02,5.823639e-02,5.849921e-02,5.888166e-02,5.897317e-02,5.940644e-02,5.945573e-02,5.979989e-02,5.996065e-02,6.015449e-02,6.039862e-02,6.047125e-02,6.075122e-02,6.077206e-02,6.099552e-02,6.108351e-02,6.120530e-02,6.133563e-02,6.138174e-02,6.152604e-02,6.153116e-02,6.163941e-02,6.167289e-02,6.172309e-02,6.176366e-02,6.177831e-02,6.180631e-02,6.180368e-02,6.175857e-02,6.167377e-02,6.155199e-02,6.139590e-02,6.120809e-02,6.099108e-02,6.074728e-02,6.047903e-02,6.018857e-02,5.987804e-02,5.954948e-02,5.920481e-02,5.884588e-02,5.847443e-02,5.809208e-02,5.770038e-02,5.730077e-02,5.689459e-02,5.648310e-02,5.606748e-02,5.564880e-02,5.522807e-02,5.480623e-02
0.000000e+00,1.031625e-14,9.224378e-14,2.402836e-12,2.085765e-11,5.608292e-11,4.730157e-10,5.107385e-10,2.779034e-09,4.190162e-09,1.092409e-08,2.220645e-08,3.433133e-08,8.514378e-08,9.164257e-08,2.160544e-07,2.613935e-07,4.620112e-07,6.825823e-07,9.132337e-07,1.576007e-06,1.691868e-06,2.968289e-06,3.302275e-06,4.970800e-06,6.394087e-06,7.994261e-06,1.158992e-05,1.240664e-05,1.865266e-05,1.985599e-05,2.725415e-05,3.239175e-05,3.880671e-05,5.061685e-05,5.397305e-05,7.347337e-05,7.614061e-05,9.807294e-05,1.107166e-04,1.285679e-04,1.561862e-04,1.657698e-04,2.104894e-04,2.144157e-04,2.635202e-04,2.872314e-04,3.256227e-04,3.763560e-04,3.975094e-04,4.798313e-04,4.833497e-04,5.731653e-04,6.095590e-04,6.780042e-04,7.560745e-04,7.947483e-04,9.236989e-04,1.065054e-03,1.112925e-03,1.218906e-03,1.323927e-03,1.385240e-03,1.556556e-03,1.563939e-03,1.754781e-03,1.810352e-03,1.957449e-03,2.084559e-03,2.171532e-03,2.378146e-03,2.396535e-03,2.631885e-03,2.689838e-03,2.876939e-03,3.018148e-03,3.130993e-03,3.361407e-03,3.393292e-03,3.663036e-03,3.717805e-03,3.939392e-03,4.085426e-03,4.221502e-03,4.462281e-03,4.508490e-03,4.799472e-03,4.846341e-03,5.093564e-03,5.235574e-03,5.389885e-03,5.627966e-03,5.687571e-03,5.985772e-03,6.021551e-03,6.283666e-03,6.414435e-03,6.580457e-03,6.804810e-03,6.875383e-03,7.167719e-03,7.190973e-03,7.456777e-03,7.571336e-03,7.741912e-03,7.944441e-03,8.022523e-03,8.298051e-03,8.308959e-03,8.567985e-03,8.663700e-03,8.831856e-03,9.007610e-03,9.089245e-03,9.339773e-03,9.583110e-03,9.659410e-03,9.818966e-03,9.965872e-03,1.004709e-02,1.025863e-02,1.026729e-02,1.047938e-02,1.053729e-02,1.068324e-02,1.080156e-02,1.087877e-02,1.105126e-02,1.106592e-02,1.124465e-02,1.128629e-02,1.141496e-02,1.150666e-02,1.157688e-02,1.171246e-02,1.173045e-02,1.187576e-02,1.190383e-02,1.201289e-02,1.208100e-02,1.214196e-02,1.224425e-02,1.226311e-02,1.237647e-02,1.239390e-02,1.248222e-02,1.253032e-02,1.258052e-02,1.265391e-02,1.267155e-02,1.275551e-02,1.276512e-02,1.283260e-02,1.286439e-02,1.290301e-02,1.295220e-02,1.296697e-02,1.302468e-02,1.302904e-02,1.307636e-02,1.309540e-02,1.312223e-02,1.315178e-02,1.316251e-02,1.319741e-02,1.319870e-02,1.322715e-02,1.323663e-02,1.325195e-02,1.326609e-02,1.327201e-02,1.328756e-02,1.330151e-02,1.330841e-02,1.330872e-02,1.330287e-02,1.329129e-02,1.327439e-02,1.325256e-02,1.322618e-02,1.319560e-02,1.316118e-02,1.312323e-02,1.308207e-02,1.303799e-02,1.299127e-02,1.294217e-02,1.289094e-02,1.283781e-02,1.278299e-02,1.272670e-02,1.266912e-02,1.261042e-02,1.255079e-02,1.249037e-02,1.242930e-02
0.000000e+00,1.043585e-13,8.690850e-13,1.951361e-11,1.477718e-10,3.685053e-10,2.556246e-09,2.738202e-09,1.226752e-08,1.754718e-08,4.009370e-08,7.331614e-08,1.058457e-07,2.256740e-07,2.398242e-07,4.846035e-07,5.657086e-07,8.951934e-07,1.221480e-06,1.536490e-06,2.346660e-06,2.477701e-06,3.785152e-06,4.095818e-06,5.515661e-06,6.597569e-06,7.712081e-06,9.937357e-06,1.040143e-05,1.359519e-05,1.415302e-05,1.729106e-05,1.923973e-05,2.147517e-05,2.515873e-05,2.612444e-05,3.120866e-05,3.184635e-05,3.669224e-05,3.922145e-05,4.253563e-05,4.719128e-05,4.869651e-05,5.513077e-05,5.565597e-05,6.179343e-05,6.451233e-05,6.863941e-05,7.365706e-05,7.562431e-05,8.270505e-05,8.298969e-05,8.984048e-05,9.241508e-05,9.699186e-05,1.018455e-04,1.041233e-04,1.112020e-04,1.181984e-04,1.204156e-04,1.250865e-04,1.294273e-04,1.318434e-04,1.381885e-04,1.384497e-04,1.448889e-04,1.466601e-04,1.511477e-04,1.548117e-04,1.572153e-04,1.626214e-04,1.630834e-04,1.687461e-04,1.700741e-04,1.741992e-04,1.771605e-04,1.794404e-04,1.838767e-04,1.844689e-04,1.892851e-04,1.902230e-04,1.938904e-04,1.962027e-04,1.982874e-04,2.018221e-04,2.024792e-04,2.064696e-04,2.070896e-04,2.102629e-04,2.120151e-04,2.138639e-04,2.166095e-04,2.172775e-04,2.205089e-04,2.208847e-04,2.235636e-04,2.248531e-04,2.264470e-04,2.285272e-04,2.291646e-04,2.317221e-04,2.319199e-04,2.341249e-04,2.350440e-04,2.363786e-04,2.379120e-04,2.384886e-04,2.404603e-04,2.405363e-04,2.422988e-04,2.429291e-04,2.440094e-04,2.451020e-04,2.455970e-04,2.470667e-04,2.484231e-04,2.488341e-04,2.496710e-04,2.504148e-04,2.508149e-04,2.518192e-04,2.518591e-04,2.528079e-04,2.530571e-04,2.536655e-04,2.541379e-04,2.544358e-04,2.550707e-04,2.551227e-04,2.557299e-04,2.558642e-04,2.562611e-04,2.565266e-04,2.567196e-04,2.570658e-04,2.571089e-04,2.574323e-04,2.574893e-04,2.576927e-04,2.578043e-04,2.578933e-04,2.580176e-04,2.580368e-04,2.581262e-04,2.581357e-04,2.581641e-04,2.581648e-04,2.581531e-04,2.581108e-04,2.580957e-04,2.579942e-04,2.579791e-04,2.578509e-04,2.577752e-04,2.576680e-04,2.575039e-04,2.574477e-04,2.571920e-04,2.571701e-04,2.569028e-04,2.567782e-04,2.565821e-04,2.563326e-04,2.562315e-04,2.558528e-04,2.558371e-04,2.554478e-04,2.552958e-04,2.550178e-04,2.547120e-04,2.545645e-04,2.540894e-04,2.534310e-04,2.527400e-04,2.520191e-04,2.512711e-04,2.504986e-04,2.497039e-04,2.488894e-04,2.480571e-04,2.472091e-04,2.463471e-04,2.454731e-04,2.445887e-04,2.436954e-04,2.427947e-04,2.418880e-04,2.409765e-04,2.400615e-04,2.391440e-04,2.382252e-04,2.373060e-04,2.363873e-04,2.354701e-04,2.345549e-04,2.336427e-04
0.000000e+00,2.342351e-10,8.512847e-10,4.797853e-09,1.372630e-08,2.181544e-08,5.781828e-08,5.985958e-08,1.286768e-07,1.550456e-07,2.404586e-07,3.343141e-07,4.101646e-07,6.300428e-07,6.523063e-07,9.727968e-07,1.060773e-06,1.364228e-06,1.609071e-06,1.812229e-06,2.242560e-06,2.303422e-06,2.827727e-06,2.935866e-06,3.377588e-06,3.671549e-06,3.946887e-06,4.436183e-06,4.530261e-06,5.122767e-06,5.218102e-06,5.719770e-06,6.006643e-06,6.316931e-06,6.792070e-06,6.910246e-06,7.496106e-06,7.565752e-06,8.071324e-06,8.320325e-06,8.633152e-06,9.049752e-06,9.179286e-06,9.707848e-06,9.749326e-06,1.021736e-05,1.041557e-05,1.070671e-05,1.104612e-05,1.117513e-05,1.162214e-05,1.163958e-05,1.204747e-05,1.219526e-05,1.245106e-05,1.271314e-05,1.283304e-05,1.319370e-05,1.353343e-05,1.363779e-05,1.385270e-05,1.404655e-05,1.415206e-05,1.442129e-05,1.443213e-05,1.469353e-05,1.476347e-05,1.493695e-05,1.507464e-05,1.516305e-05,1.535638e-05,1.537254e-05,1.556611e-05,1.561028e-05,1.574445e-05,1.583791e-05,1.590823e-05,1.604085e-05,1.605813e-05,1.619479e-05,1.622060e-05,1.631887e-05,1.637862e-05,1.643098e-05,1.651634e-05,1.653172e-05,1.662168e-05,1.663512e-05,1.670143e-05,1.673624e-05,1.677150e-05,1.682095e-05,1.683243e-05,1.688471e-05,1.689043e-05,1.692883e-05,1.694578e-05,1.696526e-05,1.698807e-05,1.699443e-05,1.701679e-05,1.701829e-05,1.703272e-05,1.703739e-05,1.704264e-05,1.704626e-05,1.704690e-05,1.704587e-05,1.704573e-05,1.703989e-05,1.703659e-05,1.702928e-05,1.701957e-05,1.701434e-05,1.699538e-05,1.697268e-05,1.696467e-05,1.694649e-05,1.692803e-05,1.691708e-05,1.688604e-05,1.688469e-05,1.684954e-05,1.683923e-05,1.681185e-05,1.678810e-05,1.677183e-05,1.673311e-05,1.672966e-05,1.668555e-05,1.667469e-05,1.663966e-05,1.661324e-05,1.659215e-05,1.654914e-05,1.654320e-05,1.649293e-05,1.648273e-05,1.644149e-05,1.641433e-05,1.638902e-05,1.634424e-05,1.633564e-05,1.628147e-05,1.627274e-05,1.622661e-05,1.620007e-05,1.617118e-05,1.612648e-05,1.611526e-05,1.605895e-05,1.605217e-05,1.600234e-05,1.597736e-05,1.594551e-05,1.590222e-05,1.588853e-05,1.583148e-05,1.582691e-05,1.577441e-05,1.575160e-05,1.571741e-05,1.567642e-05,1.566051e-05,1.560377e-05,1.560151e-05,1.554725e-05,1.552697e-05,1.549099e-05,1.545291e-05,1.543504e-05,1.537943e-05,1.530662e-05,1.523454e-05,1.516328e-05,1.509289e-05,1.502343e-05,1.495494e-05,1.488747e-05,1.482105e-05,1.475571e-05,1.469149e-05,1.462840e-05,1.456646e-05,1.450569e-05,1.444609e-05,1.438768e-05,1.433046e-05,1.427443e-05,1.421959e-05,1.416593e-05,1.411346e-05,1.406217e-05,1.401205e-05,1.396309e-05,1.391527e-05
0.000000e+00,8.215649e-15,7.359733e-14,1.924674e-12,1.676841e-11,4.517927e-11,3.830709e-10,4.137098e-10,2.262922e-09,3.416821e-09,8.939470e-09,1.822339e-08,2.822454e-08,7.027588e-08,7.566479e-08,1.790877e-07,2.168620e-07,3.843279e-07,5.688496e-07,7.620939e-07,1.318392e-06,1.415748e-06,2.489566e-06,2.770814e-06,4.176896e-06,5.377263e-06,6.727538e-06,9.763778e-06,1.045378e-05,1.573461e-05,1.675276e-05,2.301782e-05,2.737407e-05,3.281984e-05,4.286439e-05,4.572327e-05,6.237223e-05,6.465448e-05,8.346565e-05,9.434535e-05,1.097488e-04,1.336747e-04,1.420032e-04,1.810357e-04,1.844757e-04,2.276660e-04,2.486295e-04,2.827141e-04,3.280153e-04,3.469876e-04,4.212688e-04,4.244589e-04,5.063020e-04,5.396817e-04,6.027824e-04,6.752542e-04,7.113444e-04,8.325525e-04,9.668922e-04,1.012722e-03,1.114763e-03,1.216648e-03,1.276473e-03,1.444932e-03,1.452234e-03,1.642158e-03,1.697879e-03,1.846259e-03,1.975493e-03,2.064450e-03,2.277472e-03,2.296546e-03,2.542264e-03,2.603223e-03,2.801231e-03,2.951871e-03,3.072987e-03,3.322282e-03,3.356989e-03,3.652620e-03,3.713082e-03,3.959193e-03,4.122691e-03,4.275964e-03,4.549347e-03,4.602130e-03,4.936849e-03,4.991138e-03,5.279236e-03,5.446039e-03,5.628380e-03,5.911933e-03,5.983347e-03,6.343189e-03,6.386653e-03,6.706953e-03,6.868005e-03,7.073682e-03,7.353797e-03,7.442430e-03,7.812259e-03,7.841864e-03,8.182252e-03,8.330093e-03,8.551513e-03,8.816441e-03,8.919176e-03,9.284404e-03,9.298951e-03,9.646396e-03,9.775773e-03,1.000439e-02,1.024517e-02,1.035766e-02,1.070553e-02,1.104736e-02,1.115537e-02,1.138256e-02,1.159336e-02,1.171059e-02,1.201828e-02,1.203094e-02,1.234317e-02,1.242908e-02,1.264686e-02,1.282483e-02,1.294166e-02,1.320474e-02,1.322725e-02,1.350334e-02,1.356817e-02,1.376972e-02,1.391458e-02,1.402619e-02,1.424357e-02,1.427260e-02,1.450884e-02,1.455486e-02,1.473482e-02,1.484826e-02,1.495051e-02,1.512372e-02,1.515588e-02,1.535097e-02,1.538123e-02,1.553581e-02,1.562091e-02,1.571047e-02,1.584294e-02,1.587505e-02,1.602968e-02,1.604757e-02,1.617448e-02,1.623512e-02,1.630961e-02,1.640596e-02,1.643526e-02,1.655160e-02,1.656051e-02,1.665884e-02,1.669923e-02,1.675719e-02,1.682263e-02,1.684688e-02,1.692815e-02,1.693123e-02,1.700122e-02,1.702557e-02,1.706635e-02,1.710624e-02,1.712380e-02,1.717380e-02,1.722886e-02,1.727200e-02,1.730383e-02,1.732493e-02,1.733591e-02,1.733733e-02,1.732978e-02,1.731382e-02,1.728998e-02,1.725880e-02,1.722080e-02,1.717648e-02,1.712631e-02,1.707076e-02,1.701026e-02,1.694525e-02,1.687613e-02,1.680328e-02,1.672707e-02,1.664785e-02,1.656594e-02,1.648167e-02,1.639532e-02,1.630716e-02
0.000000e+00,4.220074e-15,3.754548e-14,9.678396e-13,8.320824e-12,2.225494e-11,1.851397e-10,1.997927e-10,1.072443e-09,1.611099e-09,4.162256e-09,8.400265e-09,1.292717e-08,3.174195e-08,3.413652e-08,7.969759e-08,9.621094e-08,1.689354e-07,2.484548e-07,3.312731e-07,5.679377e-07,6.091523e-07,1.060894e-06,1.178504e-06,1.763105e-06,2.258452e-06,2.812252e-06,4.046506e-06,4.325124e-06,6.438071e-06,6.841894e-06,9.305068e-06,1.099811e-05,1.309471e-05,1.691102e-05,1.798638e-05,2.416586e-05,2.500285e-05,3.182056e-05,3.570368e-05,4.113472e-05,4.943224e-05,5.228467e-05,6.543443e-05,6.657735e-05,8.073168e-05,8.748128e-05,9.830438e-05,1.124258e-04,1.182579e-04,1.406726e-04,1.416213e-04,1.656029e-04,1.751997e-04,1.930759e-04,2.132108e-04,2.230911e-04,2.556213e-04,2.906127e-04,3.023176e-04,3.279869e-04,3.531108e-04,3.676422e-04,4.077436e-04,4.094559e-04,4.532862e-04,4.658990e-04,4.989752e-04,5.272096e-04,5.463507e-04,5.912684e-04,5.952296e-04,6.454199e-04,6.576389e-04,6.967237e-04,7.258650e-04,7.489391e-04,7.954815e-04,8.018630e-04,8.552931e-04,8.660222e-04,9.090298e-04,9.370290e-04,9.628779e-04,1.008058e-03,1.016648e-03,1.070160e-03,1.078686e-03,1.123240e-03,1.148516e-03,1.175724e-03,1.217180e-03,1.227461e-03,1.278308e-03,1.284343e-03,1.328135e-03,1.349704e-03,1.376823e-03,1.412998e-03,1.424265e-03,1.470366e-03,1.473994e-03,1.515043e-03,1.532499e-03,1.558224e-03,1.588352e-03,1.599847e-03,1.639862e-03,1.641428e-03,1.678229e-03,1.691632e-03,1.714918e-03,1.738897e-03,1.749908e-03,1.783185e-03,1.814746e-03,1.824484e-03,1.844594e-03,1.862801e-03,1.872737e-03,1.898166e-03,1.899192e-03,1.923980e-03,1.930626e-03,1.947128e-03,1.960241e-03,1.968666e-03,1.987089e-03,1.988629e-03,2.007055e-03,2.011253e-03,2.023986e-03,2.032830e-03,2.039465e-03,2.051922e-03,2.053538e-03,2.066252e-03,2.068636e-03,2.077656e-03,2.083084e-03,2.087799e-03,2.095381e-03,2.096731e-03,2.104503e-03,2.105642e-03,2.111165e-03,2.113983e-03,2.116767e-03,2.120520e-03,2.121360e-03,2.124992e-03,2.125365e-03,2.127712e-03,2.128632e-03,2.129568e-03,2.130429e-03,2.130606e-03,2.130873e-03,2.130862e-03,2.130412e-03,2.130034e-03,2.129267e-03,2.128042e-03,2.127479e-03,2.125089e-03,2.124982e-03,2.122135e-03,2.120941e-03,2.118656e-03,2.116008e-03,2.114687e-03,2.110262e-03,2.103782e-03,2.096639e-03,2.088901e-03,2.080634e-03,2.071897e-03,2.062747e-03,2.053234e-03,2.043409e-03,2.033316e-03,2.022997e-03,2.012491e-03,2.001833e-03,1.991056e-03,1.980190e-03,1.969263e-03,1.958300e-03,1.947324e-03,1.936355e-03,1.925414e-03,1.914517e-03,1.903679e-03,1.892915e-03,1.882237e-03,1.871656e-03
0.000000e+00,1.886797e-11,9.718317e-11,8.898278e-10,3.317585e-09,5.833549e-09,1.834450e-08,1.908574e-08,4.467404e-08,5.456310e-08,8.632960e-08,1.205111e-07,1.475845e-07,2.241462e-07,2.318044e-07,3.420970e-07,3.727520e-07,4.810719e-07,5.721212e-07,6.504599e-07,8.250156e-07,8.506325e-07,1.080126e-06,1.129266e-06,1.335363e-06,1.476488e-06,1.610827e-06,1.852958e-06,1.899819e-06,2.195535e-06,2.243057e-06,2.491988e-06,2.633105e-06,2.784439e-06,3.013146e-06,3.069412e-06,3.344467e-06,3.376721e-06,3.607953e-06,3.719930e-06,3.858804e-06,4.040597e-06,4.096385e-06,4.320378e-06,4.337707e-06,4.530712e-06,4.611041e-06,4.727501e-06,4.860940e-06,4.910999e-06,5.081568e-06,5.088127e-06,5.239645e-06,5.293589e-06,5.385724e-06,5.478473e-06,5.520333e-06,5.644023e-06,5.757352e-06,5.791521e-06,5.860881e-06,5.922250e-06,5.955157e-06,6.037456e-06,6.040718e-06,6.118086e-06,6.138350e-06,6.187765e-06,6.226083e-06,6.250236e-06,6.301739e-06,6.305959e-06,6.355373e-06,6.366341e-06,6.398898e-06,6.420847e-06,6.436928e-06,6.466144e-06,6.469835e-06,6.497971e-06,6.503055e-06,6.521666e-06,6.532337e-06,6.541233e-06,6.554694e-06,6.556965e-06,6.569138e-06,6.570773e-06,6.578011e-06,6.581169e-06,6.583825e-06,6.586428e-06,6.586809e-06,6.587175e-06,6.587053e-06,6.585124e-06,6.583504e-06,6.580842e-06,6.576204e-06,6.574505e-06,6.566275e-06,6.565540e-06,6.556307e-06,6.551865e-06,6.544743e-06,6.535505e-06,6.531718e-06,6.517357e-06,6.516756e-06,6.501775e-06,6.495889e-06,6.485084e-06,6.473151e-06,6.467383e-06,6.448769e-06,6.429330e-06,6.422949e-06,6.409150e-06,6.395880e-06,6.388304e-06,6.367733e-06,6.366865e-06,6.344900e-06,6.338664e-06,6.322471e-06,6.308816e-06,6.299637e-06,6.278318e-06,6.276451e-06,6.252965e-06,6.247289e-06,6.229224e-06,6.215834e-06,6.205272e-06,6.184053e-06,6.181150e-06,6.156895e-06,6.152031e-06,6.132542e-06,6.119850e-06,6.108123e-06,6.087581e-06,6.083667e-06,6.059203e-06,6.055290e-06,6.034757e-06,6.023036e-06,6.010351e-06,5.990871e-06,5.986008e-06,5.961749e-06,5.958844e-06,5.937590e-06,5.926997e-06,5.913550e-06,5.895369e-06,5.889645e-06,5.865887e-06,5.863994e-06,5.842292e-06,5.832902e-06,5.818870e-06,5.802120e-06,5.795633e-06,5.772590e-06,5.771673e-06,5.749751e-06,5.741581e-06,5.727124e-06,5.711862e-06,5.704716e-06,5.682533e-06,5.653607e-06,5.625097e-06,5.597012e-06,5.569360e-06,5.542149e-06,5.515384e-06,5.489068e-06,5.463206e-06,5.437798e-06,5.412847e-06,5.388351e-06,5.364311e-06,5.340725e-06,5.317591e-06,5.294907e-06,5.272670e-06,5.250876e-06,5.229521e-06,5.208601e-06,5.188112e-06,5.168048e-06,5.148405e-06,5.129176e-06,5.110358e-06
0.000000e+00,3.049194e-15,2.707210e-14,6.950238e-13,5.954751e-12,1.589818e-11,1.316900e-10,1.420892e-10,7.597905e-10,1.140299e-09,2.939054e-09,5.920953e-09,9.101453e-09,2.229366e-08,2.397059e-08,5.582664e-08,6.735578e-08,1.180619e-07,1.734161e-07,2.309969e-07,3.952742e-07,4.238520e-07,7.366917e-07,8.180501e-07,1.222115e-06,1.564199e-06,1.946480e-06,2.798242e-06,2.990521e-06,4.449287e-06,4.728254e-06,6.431393e-06,7.603750e-06,9.057653e-06,1.171027e-05,1.245918e-05,1.677507e-05,1.736124e-05,2.214974e-05,2.488786e-05,2.873013e-05,3.462784e-05,3.666273e-05,4.609070e-05,4.691370e-05,5.715106e-05,6.206134e-05,6.997200e-05,8.035941e-05,8.467050e-05,1.013502e-04,1.020599e-04,1.200996e-04,1.273705e-04,1.409907e-04,1.564482e-04,1.640774e-04,1.893957e-04,2.169623e-04,2.262586e-04,2.467751e-04,2.670253e-04,2.788134e-04,3.116277e-04,3.130381e-04,3.493929e-04,3.599444e-04,3.878050e-04,4.118038e-04,4.281865e-04,4.669894e-04,4.704354e-04,5.144373e-04,5.252449e-04,5.600669e-04,5.862805e-04,6.071893e-04,6.497789e-04,6.556620e-04,7.053362e-04,7.154017e-04,7.560582e-04,7.827957e-04,8.076712e-04,8.515988e-04,8.600167e-04,9.129358e-04,9.214455e-04,9.662703e-04,9.919724e-04,1.019864e-03,1.062823e-03,1.073564e-03,1.127221e-03,1.133650e-03,1.180691e-03,1.204123e-03,1.233835e-03,1.273926e-03,1.286522e-03,1.338625e-03,1.342764e-03,1.390026e-03,1.410365e-03,1.440615e-03,1.476478e-03,1.490288e-03,1.538951e-03,1.540875e-03,1.586515e-03,1.603354e-03,1.632903e-03,1.663739e-03,1.678044e-03,1.721874e-03,1.764338e-03,1.777630e-03,1.805389e-03,1.830900e-03,1.844985e-03,1.881600e-03,1.883095e-03,1.919691e-03,1.929664e-03,1.954754e-03,1.975049e-03,1.988269e-03,2.017728e-03,2.020228e-03,2.050628e-03,2.057693e-03,2.079473e-03,2.094949e-03,2.106769e-03,2.129517e-03,2.132527e-03,2.156764e-03,2.161430e-03,2.179497e-03,2.190733e-03,2.200751e-03,2.217479e-03,2.220550e-03,2.238923e-03,2.241733e-03,2.255901e-03,2.263564e-03,2.271515e-03,2.283049e-03,2.285802e-03,2.298796e-03,2.300270e-03,2.310535e-03,2.315313e-03,2.321058e-03,2.328266e-03,2.330404e-03,2.338613e-03,2.339222e-03,2.345726e-03,2.348273e-03,2.351783e-03,2.355513e-03,2.356825e-03,2.360892e-03,2.361035e-03,2.364026e-03,2.364934e-03,2.366267e-03,2.367301e-03,2.367654e-03,2.368228e-03,2.367805e-03,2.366118e-03,2.363255e-03,2.359295e-03,2.354321e-03,2.348408e-03,2.341631e-03,2.334061e-03,2.325765e-03,2.316809e-03,2.307253e-03,2.297156e-03,2.286574e-03,2.275559e-03,2.264161e-03,2.252425e-03,2.240396e-03,2.228115e-03,2.215619e-03,2.202945e-03,2.190126e-03,2.177193e-03,2.164175e-03,2.151099e-03
0.000000e+00,3.937704e-12,2.129362e-11,2.112525e-10,8.303899e-10,1.493535e-09,4.903440e-09,5.108615e-09,1.228548e-08,1.508798e-08,2.414077e-08,3.392629e-08,4.169194e-08,6.367895e-08,6.587915e-08,9.757724e-08,1.063929e-07,1.375784e-07,1.638518e-07,1.865138e-07,2.372308e-07,2.447019e-07,3.120060e-07,3.265157e-07,3.878434e-07,4.303717e-07,4.713565e-07,5.467456e-07,5.615971e-07,6.576251e-07,6.734656e-07,7.585331e-07,8.084427e-07,8.634394e-07,9.496622e-07,9.714802e-07,1.081809e-06,1.095162e-06,1.193600e-06,1.243045e-06,1.306059e-06,1.391509e-06,1.418433e-06,1.530020e-06,1.538894e-06,1.640180e-06,1.683713e-06,1.748337e-06,1.824684e-06,1.853987e-06,1.956698e-06,1.960740e-06,2.056109e-06,2.091032e-06,2.151930e-06,2.214919e-06,2.243933e-06,2.331953e-06,2.415880e-06,2.441861e-06,2.495651e-06,2.544514e-06,2.571249e-06,2.639912e-06,2.642691e-06,2.710027e-06,2.728155e-06,2.773333e-06,2.809423e-06,2.832708e-06,2.883958e-06,2.888265e-06,2.940132e-06,2.952046e-06,2.988446e-06,3.014003e-06,3.033350e-06,3.070164e-06,3.074993e-06,3.113526e-06,3.120872e-06,3.149097e-06,3.166473e-06,3.181856e-06,3.207308e-06,3.211950e-06,3.239522e-06,3.243709e-06,3.264712e-06,3.275997e-06,3.287654e-06,3.304477e-06,3.308478e-06,3.327309e-06,3.329440e-06,3.344265e-06,3.351162e-06,3.359461e-06,3.369899e-06,3.373005e-06,3.384999e-06,3.385894e-06,3.395541e-06,3.399372e-06,3.404723e-06,3.410541e-06,3.412633e-06,3.419353e-06,3.419598e-06,3.424961e-06,3.426722e-06,3.429530e-06,3.432079e-06,3.433129e-06,3.435824e-06,3.437676e-06,3.438100e-06,3.438742e-06,3.439037e-06,3.439076e-06,3.438756e-06,3.438730e-06,3.437751e-06,3.437369e-06,3.436184e-06,3.434979e-06,3.434071e-06,3.431679e-06,3.431451e-06,3.428363e-06,3.427556e-06,3.424841e-06,3.422691e-06,3.420917e-06,3.417157e-06,3.416623e-06,3.411986e-06,3.411021e-06,3.407035e-06,3.404345e-06,3.401795e-06,3.397187e-06,3.396289e-06,3.390540e-06,3.389599e-06,3.384569e-06,3.381629e-06,3.378395e-06,3.373322e-06,3.372037e-06,3.365512e-06,3.364718e-06,3.358836e-06,3.355855e-06,3.352025e-06,3.346767e-06,3.345093e-06,3.338054e-06,3.337486e-06,3.330919e-06,3.328041e-06,3.323700e-06,3.318457e-06,3.316409e-06,3.309056e-06,3.308761e-06,3.301651e-06,3.298974e-06,3.294202e-06,3.289117e-06,3.286719e-06,3.279209e-06,3.269266e-06,3.259306e-06,3.249342e-06,3.239387e-06,3.229454e-06,3.219554e-06,3.209697e-06,3.199892e-06,3.190146e-06,3.180469e-06,3.170866e-06,3.161345e-06,3.151909e-06,3.142566e-06,3.133318e-06,3.124170e-06,3.115125e-06,3.106188e-06,3.097359e-06,3.088643e-06,3.080040e-06,3.071554e-06,3.063184e-06,3.054933e-06
0.000000e+00,1.050378e-10,3.412625e-10,1.686544e-09,4.517715e-09,6.994069e-09,1.757821e-08,1.816400e-08,3.733204e-08,4.444052e-08,6.681083e-08,9.051971e-08,1.092078e-07,1.620462e-07,1.673399e-07,2.436808e-07,2.648716e-07,3.392345e-07,4.007217e-07,4.526400e-07,5.646716e-07,5.806870e-07,7.197258e-07,7.485620e-07,8.665921e-07,9.452029e-07,1.018785e-06,1.149282e-06,1.174321e-06,1.331563e-06,1.356784e-06,1.489101e-06,1.564454e-06,1.645690e-06,1.769527e-06,1.800220e-06,1.951710e-06,1.969642e-06,2.099306e-06,2.162822e-06,2.242277e-06,2.347467e-06,2.380021e-06,2.512059e-06,2.522363e-06,2.638026e-06,2.686653e-06,2.757670e-06,2.839806e-06,2.870833e-06,2.977446e-06,2.981574e-06,3.077513e-06,3.111945e-06,3.171099e-06,3.231093e-06,3.258320e-06,3.339339e-06,3.414347e-06,3.437116e-06,3.483563e-06,3.524929e-06,3.547221e-06,3.603331e-06,3.605566e-06,3.658849e-06,3.672895e-06,3.707323e-06,3.734205e-06,3.751242e-06,3.787837e-06,3.790853e-06,3.826401e-06,3.834354e-06,3.858120e-06,3.874296e-06,3.886240e-06,3.908180e-06,3.910977e-06,3.932543e-06,3.936494e-06,3.951137e-06,3.959695e-06,3.966949e-06,3.978214e-06,3.980160e-06,3.990940e-06,3.992450e-06,3.999450e-06,4.002775e-06,4.005845e-06,4.009534e-06,4.010267e-06,4.012853e-06,4.013047e-06,4.013731e-06,4.013607e-06,4.013020e-06,4.011487e-06,4.010834e-06,4.007278e-06,4.006938e-06,4.002454e-06,4.000190e-06,3.996453e-06,3.991455e-06,3.989365e-06,3.981272e-06,3.980928e-06,3.972250e-06,3.968789e-06,3.962373e-06,3.955203e-06,3.951709e-06,3.940321e-06,3.928268e-06,3.924281e-06,3.915608e-06,3.907211e-06,3.902392e-06,3.889227e-06,3.888669e-06,3.874485e-06,3.870437e-06,3.859884e-06,3.850939e-06,3.844905e-06,3.830823e-06,3.829585e-06,3.813962e-06,3.810170e-06,3.798066e-06,3.789058e-06,3.781930e-06,3.767553e-06,3.765581e-06,3.749048e-06,3.745721e-06,3.732354e-06,3.723618e-06,3.715524e-06,3.701297e-06,3.698579e-06,3.681541e-06,3.678807e-06,3.664427e-06,3.656191e-06,3.647257e-06,3.633490e-06,3.630046e-06,3.612810e-06,3.610741e-06,3.595564e-06,3.587976e-06,3.578321e-06,3.565226e-06,3.561093e-06,3.543893e-06,3.542519e-06,3.526731e-06,3.519879e-06,3.509617e-06,3.497330e-06,3.492560e-06,3.475570e-06,3.474892e-06,3.458654e-06,3.452584e-06,3.441819e-06,3.430422e-06,3.425073e-06,3.408421e-06,3.386596e-06,3.364957e-06,3.343517e-06,3.322285e-06,3.301269e-06,3.280476e-06,3.259914e-06,3.239588e-06,3.219503e-06,3.199663e-06,3.180071e-06,3.160732e-06,3.141646e-06,3.122816e-06,3.104243e-06,3.085928e-06,3.067872e-06,3.050074e-06,3.032535e-06,3.015255e-06,2.998231e-06,2.981464e-06,2.964951e-06,2.948692e-06
0.000000e+00,7.724942e-15,6.923907e-14,1.812803e-12,1.581179e-11,4.263067e-11,3.621750e-10,3.911773e-10,2.144871e-09,3.241040e-09,8.497783e-09,1.735795e-08,2.692363e-08,6.729005e-08,7.247567e-08,1.723600e-07,2.089728e-07,3.718648e-07,5.521392e-07,7.415722e-07,1.289366e-06,1.385516e-06,2.449674e-06,2.729215e-06,4.130035e-06,5.328875e-06,6.679497e-06,9.721201e-06,1.041300e-05,1.571050e-05,1.673210e-05,2.301753e-05,2.738590e-05,3.284339e-05,4.289809e-05,4.575699e-05,6.238046e-05,6.465585e-05,8.338098e-05,9.418785e-05,1.094610e-04,1.331256e-04,1.413473e-04,1.797789e-04,1.831584e-04,2.254951e-04,2.459847e-04,2.792225e-04,3.232620e-04,3.416629e-04,4.134813e-04,4.165580e-04,4.952952e-04,5.273047e-04,5.876636e-04,6.567572e-04,6.910791e-04,8.059593e-04,9.326410e-04,9.757151e-04,1.071376e-03,1.166570e-03,1.222325e-03,1.378796e-03,1.385561e-03,1.561064e-03,1.612390e-03,1.748723e-03,1.867074e-03,1.948340e-03,2.142307e-03,2.159632e-03,2.382236e-03,2.437297e-03,2.615713e-03,2.751021e-03,2.859553e-03,3.082252e-03,3.113185e-03,3.375981e-03,3.429581e-03,3.647263e-03,3.791446e-03,3.926312e-03,4.166165e-03,4.212374e-03,4.504669e-03,4.551961e-03,4.802394e-03,4.946992e-03,5.104736e-03,5.349382e-03,5.410873e-03,5.719987e-03,5.757241e-03,6.031259e-03,6.168696e-03,6.343888e-03,6.581906e-03,6.657083e-03,6.970078e-03,6.995087e-03,7.282129e-03,7.406524e-03,7.592521e-03,7.814590e-03,7.900569e-03,8.205623e-03,8.217754e-03,8.507067e-03,8.614591e-03,8.804324e-03,9.003789e-03,9.096853e-03,9.384154e-03,9.665767e-03,9.754613e-03,9.941272e-03,1.011421e-02,1.021029e-02,1.046212e-02,1.047247e-02,1.072752e-02,1.079762e-02,1.097517e-02,1.112012e-02,1.121520e-02,1.142912e-02,1.144741e-02,1.167163e-02,1.172425e-02,1.188776e-02,1.200522e-02,1.209569e-02,1.227184e-02,1.229536e-02,1.248673e-02,1.252401e-02,1.266980e-02,1.276171e-02,1.284456e-02,1.298498e-02,1.301107e-02,1.316938e-02,1.319395e-02,1.331956e-02,1.338879e-02,1.346172e-02,1.356973e-02,1.359595e-02,1.372240e-02,1.373706e-02,1.384119e-02,1.389107e-02,1.395248e-02,1.403214e-02,1.405643e-02,1.415320e-02,1.416064e-02,1.424298e-02,1.427698e-02,1.432595e-02,1.438158e-02,1.440230e-02,1.447222e-02,1.447489e-02,1.453591e-02,1.455735e-02,1.459357e-02,1.462944e-02,1.464540e-02,1.469160e-02,1.474431e-02,1.478804e-02,1.482323e-02,1.485034e-02,1.486982e-02,1.488211e-02,1.488763e-02,1.488680e-02,1.488002e-02,1.486767e-02,1.485013e-02,1.482777e-02,1.480092e-02,1.476993e-02,1.473510e-02,1.469674e-02,1.465514e-02,1.461057e-02,1.456330e-02,1.451356e-02,1.446160e-02,1.440762e-02,1.435185e-02,1.429447e-02
0.000000e+00,3.437454e-15,3.078888e-14,8.048402e-13,7.008742e-12,1.887814e-11,1.599117e-10,1.726939e-10,9.433646e-10,1.423788e-09,3.720431e-09,7.575074e-09,1.172186e-08,2.911776e-08,3.134356e-08,7.395813e-08,8.948504e-08,1.581505e-07,2.335670e-07,3.123462e-07,5.383057e-07,5.777518e-07,1.011480e-06,1.124756e-06,1.689669e-06,2.170539e-06,2.710351e-06,3.921111e-06,4.195806e-06,6.294142e-06,6.698044e-06,9.179921e-06,1.090273e-05,1.305372e-05,1.701461e-05,1.814059e-05,2.468752e-05,2.558370e-05,3.295988e-05,3.721797e-05,4.323721e-05,5.256639e-05,5.580829e-05,7.096588e-05,7.229899e-05,8.900124e-05,9.708517e-05,1.101985e-04,1.275716e-04,1.348295e-04,1.631483e-04,1.643611e-04,1.953869e-04,2.079929e-04,2.317509e-04,2.589258e-04,2.724160e-04,3.175248e-04,3.671851e-04,3.840503e-04,4.214680e-04,4.586520e-04,4.804070e-04,5.413655e-04,5.439981e-04,6.121998e-04,6.321129e-04,6.849347e-04,7.307060e-04,7.620900e-04,8.368526e-04,8.435204e-04,9.290499e-04,9.501647e-04,1.018474e-03,1.070168e-03,1.111563e-03,1.196315e-03,1.208066e-03,1.307712e-03,1.327993e-03,1.410213e-03,1.464543e-03,1.515270e-03,1.605266e-03,1.622573e-03,1.731805e-03,1.749440e-03,1.842647e-03,1.896328e-03,1.954776e-03,2.045191e-03,2.067872e-03,2.181620e-03,2.195298e-03,2.295707e-03,2.345936e-03,2.409833e-03,2.496414e-03,2.523704e-03,2.637038e-03,2.646074e-03,2.749566e-03,2.794294e-03,2.861033e-03,2.940495e-03,2.971197e-03,3.079831e-03,3.084142e-03,3.186727e-03,3.224745e-03,3.291689e-03,3.361868e-03,3.394540e-03,3.495119e-03,3.593280e-03,3.624159e-03,3.688893e-03,3.748696e-03,3.781846e-03,3.868485e-03,3.872039e-03,3.959389e-03,3.983328e-03,4.043828e-03,4.093071e-03,4.125301e-03,4.197599e-03,4.203764e-03,4.279190e-03,4.296837e-03,4.351558e-03,4.390747e-03,4.420864e-03,4.479321e-03,4.487109e-03,4.550307e-03,4.562583e-03,4.610481e-03,4.640585e-03,4.667659e-03,4.713401e-03,4.721879e-03,4.773185e-03,4.781127e-03,4.821628e-03,4.843880e-03,4.867263e-03,4.901789e-03,4.910150e-03,4.950353e-03,4.955000e-03,4.987941e-03,5.003669e-03,5.022984e-03,5.047960e-03,5.055557e-03,5.085734e-03,5.088047e-03,5.113594e-03,5.124107e-03,5.139215e-03,5.156320e-03,5.162676e-03,5.184058e-03,5.184871e-03,5.203441e-03,5.209945e-03,5.220905e-03,5.231724e-03,5.236529e-03,5.250392e-03,5.266128e-03,5.279109e-03,5.289507e-03,5.297491e-03,5.303224e-03,5.306864e-03,5.308562e-03,5.308464e-03,5.306712e-03,5.303438e-03,5.298769e-03,5.292828e-03,5.285729e-03,5.277580e-03,5.268486e-03,5.258541e-03,5.247839e-03,5.236465e-03,5.224497e-03,5.212012e-03,5.199080e-03,5.185763e-03,5.172125e-03,5.158221e-03
0.000000e+00,1.172779e-11,2.708245e-11,9.381902e-11,2.138328e-10,3.119786e-10,7.066328e-10,7.278199e-10,1.402014e-09,1.645531e-09,2.397102e-09,3.175081e-09,3.777565e-09,5.438333e-09,5.601578e-09,7.900684e-09,8.522786e-09,1.066381e-08,1.239852e-08,1.384837e-08,1.695894e-08,1.740351e-08,2.128170e-08,2.209224e-08,2.543959e-08,2.769847e-08,2.983584e-08,3.368302e-08,3.442961e-08,3.917982e-08,3.995162e-08,4.404541e-08,4.640993e-08,4.898586e-08,5.296576e-08,5.396203e-08,5.893683e-08,5.953205e-08,6.387590e-08,6.602963e-08,6.874814e-08,7.238928e-08,7.352603e-08,7.818574e-08,7.855279e-08,8.270724e-08,8.447335e-08,8.707410e-08,9.011503e-08,9.127326e-08,9.529484e-08,9.545190e-08,9.913191e-08,1.004672e-07,1.027801e-07,1.051517e-07,1.062371e-07,1.095026e-07,1.125780e-07,1.135223e-07,1.154658e-07,1.172172e-07,1.181697e-07,1.205967e-07,1.206943e-07,1.230447e-07,1.236724e-07,1.252267e-07,1.264575e-07,1.272462e-07,1.289661e-07,1.291096e-07,1.308233e-07,1.312131e-07,1.323939e-07,1.332133e-07,1.338278e-07,1.349816e-07,1.351314e-07,1.363112e-07,1.365328e-07,1.373733e-07,1.378811e-07,1.383237e-07,1.390402e-07,1.391684e-07,1.399131e-07,1.400233e-07,1.405632e-07,1.408432e-07,1.411240e-07,1.415117e-07,1.416005e-07,1.419977e-07,1.420403e-07,1.423203e-07,1.424397e-07,1.425725e-07,1.427199e-07,1.427588e-07,1.428831e-07,1.428905e-07,1.429494e-07,1.429605e-07,1.429613e-07,1.429381e-07,1.429223e-07,1.428357e-07,1.428313e-07,1.427046e-07,1.426472e-07,1.425322e-07,1.423928e-07,1.423212e-07,1.420743e-07,1.417942e-07,1.416979e-07,1.414831e-07,1.412688e-07,1.411434e-07,1.407924e-07,1.407772e-07,1.403867e-07,1.402733e-07,1.399738e-07,1.397160e-07,1.395402e-07,1.391246e-07,1.390877e-07,1.386180e-07,1.385029e-07,1.381326e-07,1.378545e-07,1.376329e-07,1.371825e-07,1.371204e-07,1.365962e-07,1.364901e-07,1.360617e-07,1.357800e-07,1.355179e-07,1.350548e-07,1.349660e-07,1.344069e-07,1.343169e-07,1.338417e-07,1.335684e-07,1.332711e-07,1.328114e-07,1.326961e-07,1.321174e-07,1.320478e-07,1.315358e-07,1.312792e-07,1.309520e-07,1.305072e-07,1.303665e-07,1.297801e-07,1.297332e-07,1.291932e-07,1.289585e-07,1.286065e-07,1.281844e-07,1.280203e-07,1.274352e-07,1.274119e-07,1.268516e-07,1.266420e-07,1.262699e-07,1.258756e-07,1.256904e-07,1.251136e-07,1.243566e-07,1.236054e-07,1.228605e-07,1.221225e-07,1.213919e-07,1.206690e-07,1.199544e-07,1.192482e-07,1.185508e-07,1.178625e-07,1.171834e-07,1.165138e-07,1.158537e-07,1.152034e-07,1.145629e-07,1.139323e-07,1.133117e-07,1.127010e-07,1.121004e-07,1.115097e-07,1.109290e-07,1.103583e-07,1.097975e-07,1.092466e-07
0.000000e+00,5.200436e-13,3.912901e-12,7.148802e-11,4.512217e-10,1.020874e-09,5.562619e-09,5.902307e-09,2.116995e-08,2.859651e-08,5.695764e-08,9.387615e-08,1.271026e-07,2.371830e-07,2.493709e-07,4.454103e-07,5.060808e-07,7.389001e-07,9.538749e-07,1.150606e-06,1.620180e-06,1.692097e-06,2.362471e-06,2.511128e-06,3.150111e-06,3.600291e-06,4.037440e-06,4.845929e-06,5.005490e-06,6.036689e-06,6.206493e-06,7.115883e-06,7.647109e-06,8.230275e-06,9.139744e-06,9.368949e-06,1.052243e-05,1.066143e-05,1.168234e-05,1.219278e-05,1.284120e-05,1.371712e-05,1.399238e-05,1.513003e-05,1.522030e-05,1.624908e-05,1.669050e-05,1.734522e-05,1.811822e-05,1.841487e-05,1.945515e-05,1.949611e-05,2.046377e-05,2.081879e-05,2.143905e-05,2.208255e-05,2.237976e-05,2.328513e-05,2.415474e-05,2.442543e-05,2.498847e-05,2.550328e-05,2.578645e-05,2.651921e-05,2.654903e-05,2.727672e-05,2.747431e-05,2.797016e-05,2.837008e-05,2.863007e-05,2.920828e-05,2.925728e-05,2.985265e-05,2.999091e-05,3.041710e-05,3.072004e-05,3.095157e-05,3.139787e-05,3.145702e-05,3.193441e-05,3.202661e-05,3.238472e-05,3.260848e-05,3.280888e-05,3.314568e-05,3.320786e-05,3.358257e-05,3.364034e-05,3.393394e-05,3.409457e-05,3.426287e-05,3.451044e-05,3.457023e-05,3.485688e-05,3.488992e-05,3.512364e-05,3.523492e-05,3.537132e-05,3.554729e-05,3.560072e-05,3.581259e-05,3.582881e-05,3.600768e-05,3.608118e-05,3.618670e-05,3.630603e-05,3.635034e-05,3.649926e-05,3.650492e-05,3.663412e-05,3.667934e-05,3.675553e-05,3.683073e-05,3.686411e-05,3.696043e-05,3.704504e-05,3.706974e-05,3.711850e-05,3.715990e-05,3.718132e-05,3.723207e-05,3.723399e-05,3.727700e-05,3.728738e-05,3.731082e-05,3.732687e-05,3.733587e-05,3.735156e-05,3.735260e-05,3.736141e-05,3.736239e-05,3.736270e-05,3.736028e-05,3.735685e-05,3.734609e-05,3.734423e-05,3.732517e-05,3.732062e-05,3.730002e-05,3.728465e-05,3.726910e-05,3.723890e-05,3.723272e-05,3.719117e-05,3.718407e-05,3.714474e-05,3.712080e-05,3.709370e-05,3.704972e-05,3.703831e-05,3.697881e-05,3.697141e-05,3.691546e-05,3.688642e-05,3.684847e-05,3.679527e-05,3.677808e-05,3.670448e-05,3.669846e-05,3.662787e-05,3.659644e-05,3.654846e-05,3.648965e-05,3.646643e-05,3.638194e-05,3.637851e-05,3.629517e-05,3.626341e-05,3.620628e-05,3.614470e-05,3.611542e-05,3.602275e-05,3.589787e-05,3.577036e-05,3.564052e-05,3.550862e-05,3.537491e-05,3.523963e-05,3.510299e-05,3.496523e-05,3.482652e-05,3.468706e-05,3.454701e-05,3.440655e-05,3.426582e-05,3.412496e-05,3.398410e-05,3.384337e-05,3.370289e-05,3.356275e-05,3.342306e-05,3.328392e-05,3.314540e-05,3.300759e-05,3.287056e-05,3.273437e-05
0.000000e+00,4.851938e-15,4.330937e-14,1.124129e-12,9.724861e-12,2.609879e-11,2.190085e-10,2.364246e-10,1.279766e-09,1.926850e-09,5.005467e-09,1.014580e-08,1.565638e-08,3.867177e-08,4.160946e-08,9.770511e-08,1.181010e-07,2.081623e-07,3.069270e-07,4.099908e-07,7.051853e-07,7.566620e-07,1.321649e-06,1.468900e-06,2.201377e-06,2.822478e-06,3.517173e-06,5.066165e-06,5.415936e-06,8.069439e-06,8.576746e-06,1.167224e-05,1.380098e-05,1.643835e-05,2.124239e-05,2.259686e-05,3.038681e-05,3.144278e-05,4.005147e-05,4.496029e-05,5.183240e-05,6.234556e-05,6.596338e-05,8.266470e-05,8.411803e-05,1.021377e-04,1.107436e-04,1.245598e-04,1.426149e-04,1.500805e-04,1.788176e-04,1.800353e-04,2.108553e-04,2.232071e-04,2.462414e-04,2.722238e-04,2.849872e-04,3.270671e-04,3.724193e-04,3.876082e-04,4.209469e-04,4.536126e-04,4.725205e-04,5.247482e-04,5.269797e-04,5.841369e-04,6.005960e-04,6.437801e-04,6.806632e-04,7.056765e-04,7.643966e-04,7.695761e-04,8.352153e-04,8.511973e-04,9.023206e-04,9.404358e-04,9.706122e-04,1.031466e-03,1.039808e-03,1.109624e-03,1.123638e-03,1.179784e-03,1.216311e-03,1.250012e-03,1.308865e-03,1.320046e-03,1.389632e-03,1.400708e-03,1.458528e-03,1.491285e-03,1.526506e-03,1.580086e-03,1.593356e-03,1.658882e-03,1.666647e-03,1.722903e-03,1.750555e-03,1.785260e-03,1.831449e-03,1.845808e-03,1.904420e-03,1.909022e-03,1.960987e-03,1.983020e-03,2.015417e-03,2.053240e-03,2.067634e-03,2.117577e-03,2.119527e-03,2.165202e-03,2.181772e-03,2.210476e-03,2.239911e-03,2.253384e-03,2.293918e-03,2.332086e-03,2.343803e-03,2.367905e-03,2.389608e-03,2.401400e-03,2.431402e-03,2.432607e-03,2.461567e-03,2.469280e-03,2.488330e-03,2.503356e-03,2.512951e-03,2.533763e-03,2.535491e-03,2.556013e-03,2.560645e-03,2.574585e-03,2.584160e-03,2.591278e-03,2.604471e-03,2.606165e-03,2.619320e-03,2.621750e-03,2.630820e-03,2.636170e-03,2.640738e-03,2.647905e-03,2.649153e-03,2.656139e-03,2.657129e-03,2.661772e-03,2.664017e-03,2.666125e-03,2.668735e-03,2.669271e-03,2.671281e-03,2.671450e-03,2.672224e-03,2.672319e-03,2.672168e-03,2.671498e-03,2.671178e-03,2.669317e-03,2.669132e-03,2.666646e-03,2.665365e-03,2.663225e-03,2.660328e-03,2.659108e-03,2.654351e-03,2.654149e-03,2.649005e-03,2.646946e-03,2.643119e-03,2.638832e-03,2.636740e-03,2.629912e-03,2.620283e-03,2.610037e-03,2.599257e-03,2.588022e-03,2.576403e-03,2.564467e-03,2.552275e-03,2.539881e-03,2.527337e-03,2.514688e-03,2.501976e-03,2.489239e-03,2.476510e-03,2.463820e-03,2.451197e-03,2.438664e-03,2.426243e-03,2.413954e-03,2.401812e-03,2.389833e-03,2.378029e-03,2.366411e-03,2.354987e-03,2.343767e-03
0.000000e+00,1.184122e-14,1.023088e-13,2.479263e-12,2.012292e-11,5.212045e-11,3.983976e-10,4.284286e-10,2.109011e-09,3.093346e-09,7.519056e-09,1.443345e-08,2.148986e-08,4.896242e-08,5.231859e-08,1.128365e-07,1.336901e-07,2.214158e-07,3.121672e-07,4.028361e-07,6.477912e-07,6.888566e-07,1.118231e-06,1.225170e-06,1.735856e-06,2.147635e-06,2.590866e-06,3.529517e-06,3.733776e-06,5.213061e-06,5.483936e-06,7.071644e-06,8.108965e-06,9.343851e-06,1.147559e-05,1.205313e-05,1.521070e-05,1.561980e-05,1.881523e-05,2.053975e-05,2.285320e-05,2.619721e-05,2.730008e-05,3.212185e-05,3.252259e-05,3.727687e-05,3.942172e-05,4.271772e-05,4.678340e-05,4.839308e-05,5.424955e-05,5.448681e-05,6.023313e-05,6.240805e-05,6.629065e-05,7.042575e-05,7.237087e-05,7.842540e-05,8.440940e-05,8.630260e-05,9.028208e-05,9.396519e-05,9.600707e-05,1.013345e-04,1.015526e-04,1.068914e-04,1.083460e-04,1.120009e-04,1.149488e-04,1.168629e-04,1.211054e-04,1.214635e-04,1.257927e-04,1.267905e-04,1.298440e-04,1.319901e-04,1.336143e-04,1.366996e-04,1.371035e-04,1.403140e-04,1.409231e-04,1.432506e-04,1.446714e-04,1.459196e-04,1.479609e-04,1.483294e-04,1.504893e-04,1.508124e-04,1.524098e-04,1.532499e-04,1.541020e-04,1.552993e-04,1.555777e-04,1.568487e-04,1.569881e-04,1.579274e-04,1.583441e-04,1.588257e-04,1.593952e-04,1.595557e-04,1.601293e-04,1.601687e-04,1.605577e-04,1.606909e-04,1.608521e-04,1.609871e-04,1.610231e-04,1.610808e-04,1.610809e-04,1.610348e-04,1.609946e-04,1.608942e-04,1.607490e-04,1.606676e-04,1.603631e-04,1.599881e-04,1.598544e-04,1.595497e-04,1.592389e-04,1.590544e-04,1.585310e-04,1.585082e-04,1.579169e-04,1.577439e-04,1.572854e-04,1.568894e-04,1.566187e-04,1.559780e-04,1.559212e-04,1.551968e-04,1.550193e-04,1.544492e-04,1.540217e-04,1.536819e-04,1.529927e-04,1.528979e-04,1.521001e-04,1.519391e-04,1.512910e-04,1.508666e-04,1.504729e-04,1.497805e-04,1.496481e-04,1.488185e-04,1.486854e-04,1.479858e-04,1.475854e-04,1.471515e-04,1.464840e-04,1.463172e-04,1.454842e-04,1.453843e-04,1.446535e-04,1.442890e-04,1.438263e-04,1.432004e-04,1.430034e-04,1.421858e-04,1.421206e-04,1.413742e-04,1.410513e-04,1.405692e-04,1.399941e-04,1.397714e-04,1.389815e-04,1.389501e-04,1.381998e-04,1.379204e-04,1.374267e-04,1.369061e-04,1.366626e-04,1.359079e-04,1.349263e-04,1.339619e-04,1.330151e-04,1.320862e-04,1.311753e-04,1.302828e-04,1.294086e-04,1.285527e-04,1.277153e-04,1.268961e-04,1.260951e-04,1.253122e-04,1.245471e-04,1.237998e-04,1.230700e-04,1.223575e-04,1.216620e-04,1.209833e-04,1.203211e-04,1.196751e-04,1.190451e-04,1.184308e-04,1.178319e-04,1.172480e-04
0.000000e+00,3.279139e-11,1.158760e-10,6.302475e-10,1.765383e-09,2.777065e-09,7.156225e-09,7.399458e-09,1.534154e-08,1.826852e-08,2.739165e-08,3.690923e-08,4.430660e-08,6.479686e-08,6.682062e-08,9.560792e-08,1.035113e-07,1.311613e-07,1.540984e-07,1.736277e-07,2.165302e-07,2.227635e-07,2.780702e-07,2.898208e-07,3.389621e-07,3.726366e-07,4.048487e-07,4.636289e-07,4.751499e-07,5.492866e-07,5.614653e-07,6.266716e-07,6.647951e-07,7.067073e-07,7.722378e-07,7.887886e-07,8.723100e-07,8.824009e-07,9.566756e-07,9.939144e-07,1.041309e-06,1.105471e-06,1.125661e-06,1.209221e-06,1.215857e-06,1.291521e-06,1.323992e-06,1.372139e-06,1.428935e-06,1.450709e-06,1.526912e-06,1.529907e-06,1.600484e-06,1.626284e-06,1.671211e-06,1.717593e-06,1.738926e-06,1.803506e-06,1.864867e-06,1.883815e-06,1.922964e-06,1.958425e-06,1.977782e-06,2.027336e-06,2.029336e-06,2.077663e-06,2.090624e-06,2.122821e-06,2.148424e-06,2.164883e-06,2.200921e-06,2.203937e-06,2.240080e-06,2.248333e-06,2.273418e-06,2.290904e-06,2.304063e-06,2.328892e-06,2.332127e-06,2.357730e-06,2.362565e-06,2.380987e-06,2.392193e-06,2.402017e-06,2.418045e-06,2.420934e-06,2.437852e-06,2.440381e-06,2.452882e-06,2.459458e-06,2.466132e-06,2.475519e-06,2.477705e-06,2.487701e-06,2.488799e-06,2.496216e-06,2.499518e-06,2.503343e-06,2.507886e-06,2.509170e-06,2.513779e-06,2.514098e-06,2.517252e-06,2.518339e-06,2.519662e-06,2.520781e-06,2.521083e-06,2.521582e-06,2.521584e-06,2.521224e-06,2.520896e-06,2.520068e-06,2.518856e-06,2.518173e-06,2.515592e-06,2.512376e-06,2.511221e-06,2.508574e-06,2.505854e-06,2.504230e-06,2.499590e-06,2.499388e-06,2.494086e-06,2.492524e-06,2.488362e-06,2.484741e-06,2.482253e-06,2.476319e-06,2.475790e-06,2.469005e-06,2.467332e-06,2.461926e-06,2.457845e-06,2.454582e-06,2.447920e-06,2.446998e-06,2.439198e-06,2.437614e-06,2.431204e-06,2.426977e-06,2.423037e-06,2.416057e-06,2.414717e-06,2.406262e-06,2.404898e-06,2.397689e-06,2.393538e-06,2.389016e-06,2.382013e-06,2.380255e-06,2.371422e-06,2.370358e-06,2.362530e-06,2.358602e-06,2.353591e-06,2.346772e-06,2.344615e-06,2.335615e-06,2.334894e-06,2.326598e-06,2.322990e-06,2.317576e-06,2.311081e-06,2.308556e-06,2.299546e-06,2.299186e-06,2.290554e-06,2.287322e-06,2.281585e-06,2.275504e-06,2.272648e-06,2.263747e-06,2.252062e-06,2.240461e-06,2.228954e-06,2.217550e-06,2.206258e-06,2.195083e-06,2.184034e-06,2.173115e-06,2.162330e-06,2.151685e-06,2.141183e-06,2.130826e-06,2.120618e-06,2.110561e-06,2.100656e-06,2.090904e-06,2.081307e-06,2.071866e-06,2.062580e-06,2.053449e-06,2.044475e-06,2.035655e-06,2.026990e-06,2.018479e-06
0.000000e+00,7.930293e-12,1.825195e-11,6.370127e-11,1.482194e-10,2.199981e-10,5.318125e-10,5.495604e-10,1.161672e-09,1.401957e-09,2.184040e-09,3.020889e-09,3.666339e-09,5.379182e-09,5.541404e-09,7.722048e-09,8.284024e-09,1.015213e-08,1.160920e-08,1.279890e-08,1.528926e-08,1.563975e-08,1.865481e-08,1.927696e-08,2.182373e-08,2.352518e-08,2.512468e-08,2.798254e-08,2.853442e-08,3.202878e-08,3.259410e-08,3.558344e-08,3.730406e-08,3.917460e-08,4.205861e-08,4.277971e-08,4.637769e-08,4.680803e-08,4.994938e-08,5.150825e-08,5.347823e-08,5.612264e-08,5.694995e-08,6.035235e-08,6.062123e-08,6.367539e-08,6.498051e-08,6.691098e-08,6.918281e-08,7.005274e-08,7.309582e-08,7.321544e-08,7.603676e-08,7.707002e-08,7.887329e-08,8.074173e-08,8.160393e-08,8.422758e-08,8.674484e-08,8.752805e-08,8.915660e-08,9.064524e-08,9.146398e-08,9.358241e-08,9.366864e-08,9.577228e-08,9.634348e-08,9.777701e-08,9.893329e-08,9.968505e-08,1.013571e-07,1.014988e-07,1.032206e-07,1.036205e-07,1.048532e-07,1.057294e-07,1.063990e-07,1.076898e-07,1.078609e-07,1.092413e-07,1.095078e-07,1.105429e-07,1.111894e-07,1.117683e-07,1.127406e-07,1.129200e-07,1.140007e-07,1.141672e-07,1.150128e-07,1.154750e-07,1.159589e-07,1.166698e-07,1.168413e-07,1.176625e-07,1.177570e-07,1.184246e-07,1.187419e-07,1.191301e-07,1.196297e-07,1.197810e-07,1.203797e-07,1.204254e-07,1.209280e-07,1.211338e-07,1.214282e-07,1.217595e-07,1.218821e-07,1.222916e-07,1.223071e-07,1.226587e-07,1.227808e-07,1.229852e-07,1.231848e-07,1.232727e-07,1.235230e-07,1.237377e-07,1.237992e-07,1.239185e-07,1.240170e-07,1.240668e-07,1.241800e-07,1.241841e-07,1.242718e-07,1.242913e-07,1.243314e-07,1.243542e-07,1.243642e-07,1.243718e-07,1.243715e-07,1.243544e-07,1.243468e-07,1.243142e-07,1.242821e-07,1.242521e-07,1.241802e-07,1.241692e-07,1.240665e-07,1.240437e-07,1.239451e-07,1.238749e-07,1.238059e-07,1.236760e-07,1.236500e-07,1.234782e-07,1.234493e-07,1.232914e-07,1.231967e-07,1.230905e-07,1.229201e-07,1.228762e-07,1.226495e-07,1.226214e-07,1.224109e-07,1.223024e-07,1.221613e-07,1.219646e-07,1.219013e-07,1.216316e-07,1.216097e-07,1.213529e-07,1.212390e-07,1.210657e-07,1.208540e-07,1.207706e-07,1.204683e-07,1.204560e-07,1.201591e-07,1.200463e-07,1.198438e-07,1.196260e-07,1.195226e-07,1.191962e-07,1.187580e-07,1.183123e-07,1.178602e-07,1.174024e-07,1.169398e-07,1.164731e-07,1.160031e-07,1.155305e-07,1.150559e-07,1.145799e-07,1.141030e-07,1.136258e-07,1.131488e-07,1.126725e-07,1.121971e-07,1.117233e-07,1.112512e-07,1.107813e-07,1.103139e-07,1.098493e-07,1.093877e-07,1.089294e-07,1.084746e-07,1.080235e-07
0.000000e+00,7.580354e-12,1.746301e-11,6.081472e-11,1.407573e-10,2.080757e-10,4.961062e-10,5.123343e-10,1.065904e-09,1.281525e-09,1.983782e-09,2.741224e-09,3.330395e-09,4.908344e-09,5.058471e-09,7.080659e-09,7.602126e-09,9.334085e-09,1.068235e-08,1.178113e-08,1.407466e-08,1.439674e-08,1.716025e-08,1.772895e-08,2.005157e-08,2.159865e-08,2.304972e-08,2.563462e-08,2.613266e-08,2.927776e-08,2.978522e-08,3.246230e-08,3.399836e-08,3.566419e-08,3.822412e-08,3.886257e-08,4.203825e-08,4.241697e-08,4.517403e-08,4.653718e-08,4.825488e-08,5.055162e-08,5.126798e-08,5.420270e-08,5.443382e-08,5.705047e-08,5.816366e-08,5.980458e-08,6.172670e-08,6.246008e-08,6.501361e-08,6.511360e-08,6.746312e-08,6.831924e-08,6.980750e-08,7.134149e-08,7.204656e-08,7.418090e-08,7.621175e-08,7.684003e-08,7.814081e-08,7.932298e-08,7.997026e-08,8.163514e-08,8.170260e-08,8.334052e-08,8.378261e-08,8.488692e-08,8.577209e-08,8.634483e-08,8.761076e-08,8.771752e-08,8.900846e-08,8.930647e-08,9.022074e-08,9.086637e-08,9.135736e-08,9.229747e-08,9.242142e-08,9.341585e-08,9.360664e-08,9.434357e-08,9.480057e-08,9.520743e-08,9.588575e-08,9.601020e-08,9.675459e-08,9.686845e-08,9.744318e-08,9.775462e-08,9.807846e-08,9.854994e-08,9.866286e-08,9.919874e-08,9.925989e-08,9.968835e-08,9.988969e-08,1.001339e-07,1.004443e-07,1.005374e-07,1.009010e-07,1.009284e-07,1.012265e-07,1.013465e-07,1.015158e-07,1.017027e-07,1.017707e-07,1.019930e-07,1.020012e-07,1.021842e-07,1.022457e-07,1.023459e-07,1.024398e-07,1.024796e-07,1.025868e-07,1.026689e-07,1.026900e-07,1.027270e-07,1.027524e-07,1.027627e-07,1.027767e-07,1.027769e-07,1.027709e-07,1.027658e-07,1.027458e-07,1.027220e-07,1.027026e-07,1.026478e-07,1.026424e-07,1.025661e-07,1.025455e-07,1.024746e-07,1.024170e-07,1.023688e-07,1.022645e-07,1.022495e-07,1.021176e-07,1.020897e-07,1.019737e-07,1.018945e-07,1.018187e-07,1.016804e-07,1.016532e-07,1.014779e-07,1.014489e-07,1.012933e-07,1.012017e-07,1.011002e-07,1.009399e-07,1.008991e-07,1.006904e-07,1.006649e-07,1.004749e-07,1.003779e-07,1.002528e-07,1.000801e-07,1.000248e-07,9.979123e-08,9.977232e-08,9.955255e-08,9.945574e-08,9.930916e-08,9.913122e-08,9.906145e-08,9.880979e-08,9.879965e-08,9.855453e-08,9.846182e-08,9.829600e-08,9.811850e-08,9.803452e-08,9.777039e-08,9.741816e-08,9.706244e-08,9.670379e-08,9.634276e-08,9.597985e-08,9.561554e-08,9.525025e-08,9.488441e-08,9.451838e-08,9.415253e-08,9.378718e-08,9.342263e-08,9.305916e-08,9.269704e-08,9.233651e-08,9.197779e-08,9.162108e-08,9.126658e-08,9.091447e-08,9.056489e-08,9.021800e-08,8.987393e-08,8.953280e-08,8.919472e-08
0.000000e+00,5.578905e-11,1.326708e-10,4.738316e-10,1.094983e-09,1.605520e-09,3.666121e-09,3.776896e-09,7.302449e-09,8.574915e-09,1.249581e-08,1.654369e-08,1.967231e-08,2.829008e-08,2.913835e-08,4.116327e-08,4.445307e-08,5.593058e-08,6.541844e-08,7.347289e-08,9.107051e-08,9.361326e-08,1.159571e-07,1.206440e-07,1.399640e-07,1.529138e-07,1.650639e-07,1.866181e-07,1.907488e-07,2.166081e-07,2.207394e-07,2.423243e-07,2.545438e-07,2.676551e-07,2.875161e-07,2.924151e-07,3.164628e-07,3.192952e-07,3.396908e-07,3.496302e-07,3.620199e-07,3.783536e-07,3.833940e-07,4.037761e-07,4.053631e-07,4.231455e-07,4.306077e-07,4.414948e-07,4.540761e-07,4.588273e-07,4.751553e-07,4.757877e-07,4.904976e-07,4.957842e-07,5.048788e-07,5.141232e-07,5.183269e-07,5.308731e-07,5.425505e-07,5.461093e-07,5.533932e-07,5.599107e-07,5.634362e-07,5.723575e-07,5.727144e-07,5.812625e-07,5.835298e-07,5.891149e-07,5.935063e-07,5.963050e-07,6.023631e-07,6.028655e-07,6.088282e-07,6.101737e-07,6.142237e-07,6.170085e-07,6.190816e-07,6.229344e-07,6.234303e-07,6.272972e-07,6.280151e-07,6.307085e-07,6.323107e-07,6.336893e-07,6.358779e-07,6.362635e-07,6.384540e-07,6.387703e-07,6.402826e-07,6.410380e-07,6.417703e-07,6.427283e-07,6.429368e-07,6.438010e-07,6.438852e-07,6.443808e-07,6.445503e-07,6.446934e-07,6.447622e-07,6.447549e-07,6.445808e-07,6.445572e-07,6.441858e-07,6.439690e-07,6.435837e-07,6.430294e-07,6.427877e-07,6.418103e-07,6.417676e-07,6.406634e-07,6.402112e-07,6.393582e-07,6.383857e-07,6.379054e-07,6.363150e-07,6.345966e-07,6.340212e-07,6.327593e-07,6.315250e-07,6.308116e-07,6.288456e-07,6.287617e-07,6.266172e-07,6.260008e-07,6.243853e-07,6.230072e-07,6.220730e-07,6.198802e-07,6.196867e-07,6.172326e-07,6.166342e-07,6.147164e-07,6.132823e-07,6.121436e-07,6.098369e-07,6.095194e-07,6.068487e-07,6.063094e-07,6.041360e-07,6.027103e-07,6.013857e-07,5.990494e-07,5.986019e-07,5.957885e-07,5.953358e-07,5.929490e-07,5.915778e-07,5.900870e-07,5.877833e-07,5.872056e-07,5.843079e-07,5.839592e-07,5.813967e-07,5.801122e-07,5.784748e-07,5.762484e-07,5.755446e-07,5.726085e-07,5.723734e-07,5.696688e-07,5.684924e-07,5.667276e-07,5.646100e-07,5.637868e-07,5.608482e-07,5.607308e-07,5.579137e-07,5.568585e-07,5.549847e-07,5.529970e-07,5.520629e-07,5.491496e-07,5.453193e-07,5.415089e-07,5.377211e-07,5.339580e-07,5.302217e-07,5.265143e-07,5.228373e-07,5.191924e-07,5.155808e-07,5.120039e-07,5.084627e-07,5.049581e-07,5.014911e-07,4.980622e-07,4.946722e-07,4.913216e-07,4.880109e-07,4.847403e-07,4.815102e-07,4.783207e-07,4.751721e-07,4.720645e-07,4.689978e-07,4.659721e-07
0.000000e+00,3.430737e-14,3.060631e-13,7.944048e-12,6.885880e-11,1.851912e-10,1.569930e-09,1.695763e-09,9.357863e-09,1.419005e-08,3.767891e-08,7.808879e-08,1.225290e-07,3.159629e-07,3.413206e-07,8.435627e-07,1.032307e-06,1.889729e-06,2.859474e-06,3.891931e-06,6.915029e-06,7.448623e-06,1.336748e-05,1.492113e-05,2.267358e-05,2.925368e-05,3.660257e-05,5.291384e-05,5.658047e-05,8.419230e-05,8.943123e-05,1.211428e-04,1.427171e-04,1.692117e-04,2.168872e-04,2.302068e-04,3.059166e-04,3.160735e-04,3.980647e-04,4.442387e-04,5.082671e-04,6.050071e-04,6.379949e-04,7.885416e-04,8.015188e-04,9.609962e-04,1.036314e-03,1.156223e-03,1.311247e-03,1.374846e-03,1.617244e-03,1.627437e-03,1.883542e-03,1.985244e-03,2.173619e-03,2.384280e-03,2.487114e-03,2.823435e-03,3.181775e-03,3.300937e-03,3.561134e-03,3.814415e-03,3.960330e-03,4.360985e-03,4.378030e-03,4.812765e-03,4.937331e-03,5.262957e-03,5.539801e-03,5.726939e-03,6.164496e-03,6.202982e-03,6.689310e-03,6.807360e-03,7.184126e-03,7.464259e-03,7.685629e-03,8.131061e-03,8.192029e-03,8.701569e-03,8.803702e-03,9.212533e-03,9.478244e-03,9.723262e-03,1.015093e-02,1.023216e-02,1.073772e-02,1.081820e-02,1.123850e-02,1.147678e-02,1.173315e-02,1.212362e-02,1.222043e-02,1.269918e-02,1.275601e-02,1.316834e-02,1.337148e-02,1.362694e-02,1.396789e-02,1.407413e-02,1.450914e-02,1.454340e-02,1.493130e-02,1.509644e-02,1.534003e-02,1.562572e-02,1.573483e-02,1.611530e-02,1.613022e-02,1.648111e-02,1.660916e-02,1.683200e-02,1.706200e-02,1.716781e-02,1.748841e-02,1.779375e-02,1.788824e-02,1.808385e-02,1.826153e-02,1.835875e-02,1.860848e-02,1.861858e-02,1.886349e-02,1.892941e-02,1.909366e-02,1.922478e-02,1.930932e-02,1.949514e-02,1.951073e-02,1.969819e-02,1.974113e-02,1.987199e-02,1.996348e-02,2.003248e-02,2.016297e-02,2.017999e-02,2.031491e-02,2.034041e-02,2.043759e-02,2.049668e-02,2.054843e-02,2.063267e-02,2.064782e-02,2.073616e-02,2.074930e-02,2.081385e-02,2.084748e-02,2.088129e-02,2.092814e-02,2.093889e-02,2.098704e-02,2.099220e-02,2.102614e-02,2.104058e-02,2.105658e-02,2.107417e-02,2.107876e-02,2.109306e-02,2.109387e-02,2.109984e-02,2.110053e-02,2.109948e-02,2.109500e-02,2.109234e-02,2.107877e-02,2.107809e-02,2.105910e-02,2.105060e-02,2.103368e-02,2.101327e-02,2.100282e-02,2.096685e-02,2.091203e-02,2.084949e-02,2.077987e-02,2.070378e-02,2.062181e-02,2.053450e-02,2.044237e-02,2.034593e-02,2.024564e-02,2.014194e-02,2.003525e-02,1.992595e-02,1.981441e-02,1.970098e-02,1.958598e-02,1.946970e-02,1.935242e-02,1.923440e-02,1.911589e-02,1.899711e-02,1.887826e-02,1.875955e-02,1.864113e-02,1.852318e-02
0.000000e+00,3.162666e-14,2.815653e-13,7.275895e-12,6.279521e-11,1.684655e-10,1.418418e-09,1.531660e-09,8.389301e-09,1.269404e-08,3.351851e-08,6.914218e-08,1.081567e-07,2.770062e-07,2.990683e-07,7.343080e-07,8.973353e-07,1.635995e-06,2.469097e-06,3.354425e-06,5.940746e-06,6.396574e-06,1.144374e-05,1.276636e-05,1.935595e-05,2.493820e-05,3.116315e-05,4.495046e-05,4.804493e-05,7.130128e-05,7.570554e-05,1.023173e-04,1.203808e-04,1.425244e-04,1.822747e-04,1.933605e-04,2.562314e-04,2.646490e-04,3.324737e-04,3.705791e-04,4.233228e-04,5.028224e-04,5.298835e-04,6.531072e-04,6.637095e-04,7.937727e-04,8.550620e-04,9.524731e-04,1.078136e-03,1.129607e-03,1.325376e-03,1.333595e-03,1.539783e-03,1.621502e-03,1.772639e-03,1.941335e-03,2.023570e-03,2.292028e-03,2.577305e-03,2.672011e-03,2.878549e-03,3.079276e-03,3.194778e-03,3.511443e-03,3.524900e-03,3.867730e-03,3.965829e-03,4.222007e-03,4.439523e-03,4.586417e-03,4.929456e-03,4.959601e-03,5.340181e-03,5.432466e-03,5.726768e-03,5.945366e-03,6.117983e-03,6.464996e-03,6.512462e-03,6.908875e-03,6.988275e-03,7.305931e-03,7.512240e-03,7.702390e-03,8.034086e-03,8.097068e-03,8.488844e-03,8.551188e-03,8.876667e-03,9.061127e-03,9.259555e-03,9.561701e-03,9.636601e-03,1.000697e-02,1.005093e-02,1.036992e-02,1.052708e-02,1.072475e-02,1.098862e-02,1.107087e-02,1.140773e-02,1.143427e-02,1.173489e-02,1.186294e-02,1.205194e-02,1.227377e-02,1.235855e-02,1.265446e-02,1.266607e-02,1.293946e-02,1.303935e-02,1.321339e-02,1.339328e-02,1.347614e-02,1.372767e-02,1.396796e-02,1.404248e-02,1.419703e-02,1.433778e-02,1.441495e-02,1.461376e-02,1.462182e-02,1.481776e-02,1.487069e-02,1.500293e-02,1.510893e-02,1.517749e-02,1.532890e-02,1.534166e-02,1.549564e-02,1.553110e-02,1.563967e-02,1.571606e-02,1.577398e-02,1.588435e-02,1.589884e-02,1.601451e-02,1.603656e-02,1.612125e-02,1.617332e-02,1.621935e-02,1.629528e-02,1.630908e-02,1.639073e-02,1.640306e-02,1.646458e-02,1.649734e-02,1.653090e-02,1.657874e-02,1.659000e-02,1.664213e-02,1.664793e-02,1.668759e-02,1.670555e-02,1.672665e-02,1.675221e-02,1.675957e-02,1.678663e-02,1.678855e-02,1.680808e-02,1.681515e-02,1.682418e-02,1.683260e-02,1.683518e-02,1.684132e-02,1.684146e-02,1.684283e-02,1.684229e-02,1.683996e-02,1.683562e-02,1.683293e-02,1.682194e-02,1.680175e-02,1.677551e-02,1.674367e-02,1.670665e-02,1.666487e-02,1.661870e-02,1.656852e-02,1.651467e-02,1.645749e-02,1.639729e-02,1.633436e-02,1.626898e-02,1.620141e-02,1.613191e-02,1.606071e-02,1.598802e-02,1.591406e-02,1.583900e-02,1.576305e-02,1.568635e-02,1.560908e-02,1.553137e-02,1.545337e-02,1.537521e-02
0.000000e+00,3.516476e-15,3.062645e-14,7.547927e-13,6.223144e-12,1.625997e-11,1.271701e-10,1.368851e-10,6.896537e-10,1.017989e-09,2.514517e-09,4.890233e-09,7.343364e-09,1.705287e-08,1.825130e-08,4.014630e-08,4.778407e-08,8.026104e-08,1.142865e-07,1.485930e-07,2.423650e-07,2.582055e-07,4.252839e-07,4.672266e-07,6.688719e-07,8.327817e-07,1.010282e-06,1.389266e-06,1.472234e-06,2.077842e-06,2.189589e-06,2.849544e-06,3.285141e-06,3.808094e-06,4.721784e-06,4.971668e-06,6.355157e-06,6.536522e-06,7.969639e-06,8.755131e-06,9.822047e-06,1.139078e-05,1.191501e-05,1.424687e-05,1.444359e-05,1.681177e-05,1.790093e-05,1.959997e-05,2.173838e-05,2.259812e-05,2.578969e-05,2.592111e-05,2.915540e-05,3.040560e-05,3.267371e-05,3.514149e-05,3.632131e-05,4.007361e-05,4.390525e-05,4.514392e-05,4.779051e-05,5.029339e-05,5.170382e-05,5.546373e-05,5.562014e-05,5.951529e-05,6.059897e-05,6.336630e-05,6.564671e-05,6.715168e-05,7.055919e-05,7.085160e-05,7.444811e-05,7.529406e-05,7.792521e-05,7.981494e-05,8.126894e-05,8.409162e-05,8.446743e-05,8.751085e-05,8.810020e-05,9.039138e-05,9.182286e-05,9.310316e-05,9.524763e-05,9.564214e-05,9.800601e-05,9.836791e-05,1.001940e-04,1.011820e-04,1.022069e-04,1.036924e-04,1.040467e-04,1.057164e-04,1.059055e-04,1.072203e-04,1.078307e-04,1.085632e-04,1.094797e-04,1.097509e-04,1.107895e-04,1.108663e-04,1.116857e-04,1.120058e-04,1.124464e-04,1.129143e-04,1.130788e-04,1.135903e-04,1.136083e-04,1.139881e-04,1.141049e-04,1.142795e-04,1.144206e-04,1.144717e-04,1.145718e-04,1.145867e-04,1.145745e-04,1.145228e-04,1.144436e-04,1.143866e-04,1.141934e-04,1.141841e-04,1.139212e-04,1.138375e-04,1.136033e-04,1.133883e-04,1.132355e-04,1.128574e-04,1.128228e-04,1.123697e-04,1.122554e-04,1.118804e-04,1.115921e-04,1.113590e-04,1.108764e-04,1.108090e-04,1.102340e-04,1.101162e-04,1.096370e-04,1.093189e-04,1.090210e-04,1.084908e-04,1.083886e-04,1.077424e-04,1.076378e-04,1.070844e-04,1.067651e-04,1.064169e-04,1.058773e-04,1.057417e-04,1.050605e-04,1.049784e-04,1.043748e-04,1.040721e-04,1.036861e-04,1.031615e-04,1.029957e-04,1.023046e-04,1.022494e-04,1.016141e-04,1.013382e-04,1.009248e-04,1.004300e-04,1.002379e-04,9.955390e-05,9.952661e-05,9.887359e-05,9.862970e-05,9.819756e-05,9.774059e-05,9.752635e-05,9.686044e-05,9.599025e-05,9.513087e-05,9.428300e-05,9.344722e-05,9.262403e-05,9.181381e-05,9.101687e-05,9.023345e-05,8.946373e-05,8.870782e-05,8.796581e-05,8.723770e-05,8.652351e-05,8.582319e-05,8.513667e-05,8.446386e-05,8.380466e-05,8.315892e-05,8.252649e-05,8.190723e-05,8.130095e-05,8.070748e-05,8.012662e-05,7.955817e-05
0.000000e+00,7.473070e-15,6.645075e-14,1.711539e-12,1.470180e-11,3.930104e-11,3.264526e-10,3.522665e-10,1.887594e-09,2.834223e-09,7.312282e-09,1.474056e-08,2.266641e-08,5.555193e-08,5.973256e-08,1.391338e-07,1.678559e-07,2.940463e-07,4.315238e-07,5.742016e-07,9.794471e-07,1.049682e-06,1.813986e-06,2.011508e-06,2.985983e-06,3.803606e-06,4.710531e-06,6.709904e-06,7.157724e-06,1.052080e-05,1.115789e-05,1.501293e-05,1.763690e-05,2.086293e-05,2.668138e-05,2.831038e-05,3.760004e-05,3.885024e-05,4.897604e-05,5.470404e-05,6.267598e-05,7.478140e-05,7.892513e-05,9.793089e-05,9.957615e-05,1.198778e-04,1.295163e-04,1.449231e-04,1.649463e-04,1.731929e-04,2.047792e-04,2.061125e-04,2.397380e-04,2.531535e-04,2.780879e-04,3.060946e-04,3.198097e-04,3.648467e-04,4.131060e-04,4.292097e-04,4.644604e-04,4.988794e-04,5.187509e-04,5.734575e-04,5.757892e-04,6.353615e-04,6.524642e-04,6.972320e-04,7.353524e-04,7.611467e-04,8.215229e-04,8.268370e-04,8.940240e-04,9.103400e-04,9.624222e-04,1.001147e-03,1.031743e-03,1.093279e-03,1.101698e-03,1.172003e-03,1.186081e-03,1.242379e-03,1.278912e-03,1.312557e-03,1.371164e-03,1.382279e-03,1.451300e-03,1.462263e-03,1.519391e-03,1.551681e-03,1.586337e-03,1.638937e-03,1.651942e-03,1.716024e-03,1.723604e-03,1.778423e-03,1.805307e-03,1.838994e-03,1.883728e-03,1.897612e-03,1.954167e-03,1.958600e-03,2.008569e-03,2.029709e-03,2.060742e-03,2.096894e-03,2.110628e-03,2.158183e-03,2.160036e-03,2.203375e-03,2.219062e-03,2.246188e-03,2.273940e-03,2.286618e-03,2.324670e-03,2.360361e-03,2.371288e-03,2.393717e-03,2.413854e-03,2.424771e-03,2.452455e-03,2.453564e-03,2.480144e-03,2.487197e-03,2.504563e-03,2.518202e-03,2.526880e-03,2.545607e-03,2.547155e-03,2.565454e-03,2.569559e-03,2.581844e-03,2.590214e-03,2.596393e-03,2.607730e-03,2.609173e-03,2.620255e-03,2.622273e-03,2.629710e-03,2.634008e-03,2.637611e-03,2.643098e-03,2.644029e-03,2.649034e-03,2.649709e-03,2.652698e-03,2.654000e-03,2.655088e-03,2.656129e-03,2.656272e-03,2.656316e-03,2.656248e-03,2.655283e-03,2.654504e-03,2.653236e-03,2.651038e-03,2.650234e-03,2.646336e-03,2.645988e-03,2.641599e-03,2.639481e-03,2.636075e-03,2.631641e-03,2.629817e-03,2.622875e-03,2.622584e-03,2.615296e-03,2.612421e-03,2.607126e-03,2.601255e-03,2.598408e-03,2.589184e-03,2.576300e-03,2.562687e-03,2.548426e-03,2.533591e-03,2.518252e-03,2.502472e-03,2.486311e-03,2.469824e-03,2.453062e-03,2.436072e-03,2.418897e-03,2.401577e-03,2.384148e-03,2.366644e-03,2.349096e-03,2.331530e-03,2.313973e-03,2.296448e-03,2.278976e-03,2.261575e-03,2.244263e-03,2.227055e-03,2.209966e-03,2.193008e-03
0.000000e+00,2.521289e-12,5.806147e-12,2.011498e-11,4.599329e-11,6.727522e-11,1.537231e-10,1.583990e-10,3.087812e-10,3.637896e-10,5.356141e-10,7.164724e-10,8.584801e-10,1.258228e-09,1.298158e-09,1.871952e-09,2.030643e-09,2.586267e-09,3.045241e-09,3.433371e-09,4.275646e-09,4.396798e-09,5.458893e-09,5.681754e-09,6.604333e-09,7.228590e-09,7.820382e-09,8.888402e-09,9.096115e-09,1.042169e-08,1.063779e-08,1.178793e-08,1.245559e-08,1.318611e-08,1.432206e-08,1.460793e-08,1.604552e-08,1.621873e-08,1.749151e-08,1.812865e-08,1.893914e-08,2.003660e-08,2.038221e-08,2.181522e-08,2.192928e-08,2.323329e-08,2.379537e-08,2.463220e-08,2.562548e-08,2.600830e-08,2.735856e-08,2.741200e-08,2.868048e-08,2.914901e-08,2.997198e-08,3.083198e-08,3.123144e-08,3.245761e-08,3.364959e-08,3.402369e-08,3.480673e-08,3.552883e-08,3.592865e-08,3.697240e-08,3.701518e-08,3.806631e-08,3.835431e-08,3.908220e-08,3.967493e-08,4.006312e-08,4.093501e-08,4.100945e-08,4.192166e-08,4.213557e-08,4.280028e-08,4.327786e-08,4.364592e-08,4.436330e-08,4.445921e-08,4.524082e-08,4.539340e-08,4.599144e-08,4.636975e-08,4.671178e-08,4.729399e-08,4.740257e-08,4.806454e-08,4.816783e-08,4.869845e-08,4.899297e-08,4.930503e-08,4.977111e-08,4.988502e-08,5.043916e-08,5.050396e-08,5.096819e-08,5.119319e-08,5.147282e-08,5.184048e-08,5.195378e-08,5.241177e-08,5.244744e-08,5.284749e-08,5.301569e-08,5.326162e-08,5.354680e-08,5.365482e-08,5.402777e-08,5.404228e-08,5.438110e-08,5.450362e-08,5.471545e-08,5.493228e-08,5.503144e-08,5.532966e-08,5.561071e-08,5.569711e-08,5.587516e-08,5.603596e-08,5.612358e-08,5.634749e-08,5.635652e-08,5.657450e-08,5.663292e-08,5.677805e-08,5.689346e-08,5.696767e-08,5.713025e-08,5.714386e-08,5.730710e-08,5.734440e-08,5.745785e-08,5.753698e-08,5.759656e-08,5.770903e-08,5.772368e-08,5.783964e-08,5.786152e-08,5.794484e-08,5.799543e-08,5.803969e-08,5.811166e-08,5.812459e-08,5.819991e-08,5.821109e-08,5.826602e-08,5.829458e-08,5.832328e-08,5.836294e-08,5.837203e-08,5.841261e-08,5.841695e-08,5.844535e-08,5.845735e-08,5.847056e-08,5.848488e-08,5.848855e-08,5.849961e-08,5.850020e-08,5.850403e-08,5.850400e-08,5.850208e-08,5.849689e-08,5.849404e-08,5.848016e-08,5.847948e-08,5.846069e-08,5.845236e-08,5.843589e-08,5.841609e-08,5.840597e-08,5.837118e-08,5.831815e-08,5.825749e-08,5.818965e-08,5.811509e-08,5.803423e-08,5.794747e-08,5.785520e-08,5.775779e-08,5.765559e-08,5.754893e-08,5.743814e-08,5.732352e-08,5.720537e-08,5.708395e-08,5.695954e-08,5.683238e-08,5.670272e-08,5.657077e-08,5.643677e-08,5.630091e-08,5.616339e-08,5.602439e-08,5.588409e-08,5.574266e-08
0.000000e+00,1.327552e-15,1.169533e-14,2.952986e-13,2.489299e-12,6.583875e-12,5.313572e-11,5.726772e-11,2.975345e-10,4.428167e-10,1.116278e-09,2.205965e-09,3.346400e-09,7.941966e-09,8.515264e-09,1.912331e-08,2.286559e-08,3.892529e-08,5.592519e-08,7.318923e-08,1.208154e-07,1.289105e-07,2.149617e-07,2.367293e-07,3.421609e-07,4.287203e-07,5.232428e-07,7.275651e-07,7.727239e-07,1.106658e-06,1.169064e-06,1.542289e-06,1.792787e-06,2.097627e-06,2.640372e-06,2.790949e-06,3.640279e-06,3.753512e-06,4.662852e-06,5.171832e-06,5.874601e-06,6.930834e-06,7.289675e-06,8.920022e-06,9.060050e-06,1.077504e-05,1.158152e-05,1.286128e-05,1.450867e-05,1.518230e-05,1.773852e-05,1.784564e-05,2.052721e-05,2.158701e-05,2.354254e-05,2.571805e-05,2.677571e-05,3.021516e-05,3.384678e-05,3.504687e-05,3.765422e-05,4.017489e-05,4.161922e-05,4.555545e-05,4.572194e-05,4.994134e-05,5.114071e-05,5.425551e-05,5.688020e-05,5.864207e-05,6.272225e-05,6.307846e-05,6.754232e-05,6.861528e-05,7.201173e-05,7.450910e-05,7.646552e-05,8.035585e-05,8.088347e-05,8.524654e-05,8.611098e-05,8.953698e-05,9.173384e-05,9.373850e-05,9.718823e-05,9.783636e-05,1.018174e-04,1.024427e-04,1.056701e-04,1.074708e-04,1.093845e-04,1.122509e-04,1.129524e-04,1.163669e-04,1.167661e-04,1.196229e-04,1.210042e-04,1.227164e-04,1.249573e-04,1.256451e-04,1.284075e-04,1.286213e-04,1.310037e-04,1.319957e-04,1.334343e-04,1.350829e-04,1.357013e-04,1.378073e-04,1.378882e-04,1.397554e-04,1.404189e-04,1.415497e-04,1.426842e-04,1.431946e-04,1.446949e-04,1.460557e-04,1.464626e-04,1.472826e-04,1.480000e-04,1.483810e-04,1.493200e-04,1.493568e-04,1.502157e-04,1.504360e-04,1.509635e-04,1.513613e-04,1.516060e-04,1.521090e-04,1.521489e-04,1.525978e-04,1.526922e-04,1.529582e-04,1.531234e-04,1.532354e-04,1.534146e-04,1.534346e-04,1.535606e-04,1.535775e-04,1.536184e-04,1.536229e-04,1.536124e-04,1.535613e-04,1.535470e-04,1.534264e-04,1.534022e-04,1.532545e-04,1.531549e-04,1.530350e-04,1.528276e-04,1.527715e-04,1.524674e-04,1.524283e-04,1.521257e-04,1.519643e-04,1.517495e-04,1.514421e-04,1.513414e-04,1.509042e-04,1.508680e-04,1.504402e-04,1.502477e-04,1.499519e-04,1.495863e-04,1.494412e-04,1.489102e-04,1.488886e-04,1.483608e-04,1.481588e-04,1.477946e-04,1.474010e-04,1.472134e-04,1.466187e-04,1.458152e-04,1.449935e-04,1.441562e-04,1.433060e-04,1.424449e-04,1.415749e-04,1.406981e-04,1.398159e-04,1.389299e-04,1.380414e-04,1.371518e-04,1.362621e-04,1.353734e-04,1.344865e-04,1.336023e-04,1.327215e-04,1.318449e-04,1.309730e-04,1.301063e-04,1.292454e-04,1.283907e-04,1.275426e-04,1.267015e-04,1.258676e-04
0.000000e+00,3.949374e-11,9.145437e-11,3.185557e-10,7.304739e-10,1.070128e-09,2.457957e-09,2.533394e-09,4.978722e-09,5.881936e-09,8.729496e-09,1.176296e-08,1.416511e-08,2.098762e-08,2.167194e-08,3.150555e-08,3.421468e-08,4.362640e-08,5.129586e-08,5.770118e-08,7.135029e-08,7.328626e-08,8.998349e-08,9.342758e-08,1.074815e-07,1.168150e-07,1.255396e-07,1.409975e-07,1.439626e-07,1.625842e-07,1.655720e-07,1.812566e-07,1.901977e-07,1.998465e-07,2.145781e-07,2.182340e-07,2.363121e-07,2.384561e-07,2.539869e-07,2.616149e-07,2.711781e-07,2.838783e-07,2.878187e-07,3.038543e-07,3.051097e-07,3.192427e-07,3.252096e-07,3.339530e-07,3.441127e-07,3.479648e-07,3.612658e-07,3.617829e-07,3.738502e-07,3.782053e-07,3.857199e-07,3.933865e-07,3.968819e-07,4.073473e-07,4.171311e-07,4.201208e-07,4.262509e-07,4.317482e-07,4.347265e-07,4.422765e-07,4.425789e-07,4.498305e-07,4.517565e-07,4.565045e-07,4.602413e-07,4.626242e-07,4.677853e-07,4.682134e-07,4.732956e-07,4.744425e-07,4.778942e-07,4.802667e-07,4.820321e-07,4.853103e-07,4.857319e-07,4.890155e-07,4.896242e-07,4.919043e-07,4.932574e-07,4.944191e-07,4.962570e-07,4.965798e-07,4.984058e-07,4.986682e-07,4.999158e-07,5.005337e-07,5.011278e-07,5.018944e-07,5.020589e-07,5.027258e-07,5.027888e-07,5.031442e-07,5.032535e-07,5.033294e-07,5.033230e-07,5.032958e-07,5.030574e-07,5.030298e-07,5.026273e-07,5.024045e-07,5.020183e-07,5.014757e-07,5.012423e-07,5.003108e-07,5.002705e-07,4.992348e-07,4.988141e-07,4.980247e-07,4.971302e-07,4.966902e-07,4.952409e-07,4.936856e-07,4.931669e-07,4.920327e-07,4.909274e-07,4.902904e-07,4.885405e-07,4.884661e-07,4.865671e-07,4.860229e-07,4.846002e-07,4.833902e-07,4.825718e-07,4.806567e-07,4.804881e-07,4.783547e-07,4.778359e-07,4.761772e-07,4.749403e-07,4.739605e-07,4.719814e-07,4.717096e-07,4.694291e-07,4.689698e-07,4.671231e-07,4.659152e-07,4.647957e-07,4.628269e-07,4.624507e-07,4.600916e-07,4.597131e-07,4.577219e-07,4.565815e-07,4.553445e-07,4.534391e-07,4.529624e-07,4.505784e-07,4.502924e-07,4.481951e-07,4.471472e-07,4.458147e-07,4.440089e-07,4.434395e-07,4.410716e-07,4.408825e-07,4.387129e-07,4.377724e-07,4.363652e-07,4.346826e-07,4.340301e-07,4.317092e-07,4.316167e-07,4.294039e-07,4.285780e-07,4.271154e-07,4.255695e-07,4.248450e-07,4.225937e-07,4.196531e-07,4.167496e-07,4.138851e-07,4.110611e-07,4.082791e-07,4.055401e-07,4.028452e-07,4.001952e-07,3.975907e-07,3.950323e-07,3.925203e-07,3.900550e-07,3.876366e-07,3.852651e-07,3.829405e-07,3.806627e-07,3.784315e-07,3.762465e-07,3.741076e-07,3.720143e-07,3.699662e-07,3.679627e-07,3.660035e-07,3.640878e-07
0.000000e+00,3.429634e-12,7.906040e-12,2.733061e-11,6.218468e-11,9.062086e-11,2.043648e-10,2.104441e-10,4.024994e-10,4.712285e-10,6.813832e-10,8.961565e-10,1.060888e-09,1.510177e-09,1.554113e-09,2.173054e-09,2.341444e-09,2.927201e-09,3.410604e-09,3.821309e-09,4.722972e-09,4.854044e-09,6.019059e-09,6.267168e-09,7.307391e-09,8.022807e-09,8.709210e-09,9.967077e-09,1.021444e-08,1.181284e-08,1.207653e-08,1.349386e-08,1.432691e-08,1.524662e-08,1.669297e-08,1.705993e-08,1.892238e-08,1.914863e-08,2.082248e-08,2.166751e-08,2.274883e-08,2.422356e-08,2.469032e-08,2.663623e-08,2.679178e-08,2.857644e-08,2.934879e-08,3.050152e-08,3.187332e-08,3.240283e-08,3.427256e-08,3.434659e-08,3.610383e-08,3.675249e-08,3.789064e-08,3.907762e-08,3.962785e-08,4.131119e-08,4.293721e-08,4.344498e-08,4.450323e-08,4.547306e-08,4.600728e-08,4.739160e-08,4.744800e-08,4.882465e-08,4.919858e-08,5.013695e-08,5.089352e-08,5.138511e-08,5.247726e-08,5.256970e-08,5.369162e-08,5.395168e-08,5.475203e-08,5.531951e-08,5.575233e-08,5.658413e-08,5.669411e-08,5.757907e-08,5.774940e-08,5.840904e-08,5.881953e-08,5.918594e-08,5.979893e-08,5.991170e-08,6.058831e-08,6.069214e-08,6.121777e-08,6.150375e-08,6.180206e-08,6.223830e-08,6.234315e-08,6.284299e-08,6.290028e-08,6.330346e-08,6.349409e-08,6.372644e-08,6.402394e-08,6.411372e-08,6.446704e-08,6.449389e-08,6.478808e-08,6.490783e-08,6.507847e-08,6.526944e-08,6.533976e-08,6.557347e-08,6.558226e-08,6.578103e-08,6.584962e-08,6.596382e-08,6.607465e-08,6.612316e-08,6.626032e-08,6.637649e-08,6.640942e-08,6.647282e-08,6.652458e-08,6.655042e-08,6.660824e-08,6.661031e-08,6.665350e-08,6.666273e-08,6.668092e-08,6.669019e-08,6.669349e-08,6.669265e-08,6.669204e-08,6.667739e-08,6.667200e-08,6.665032e-08,6.663001e-08,6.661156e-08,6.656833e-08,6.656180e-08,6.650170e-08,6.648850e-08,6.643189e-08,6.639196e-08,6.635297e-08,6.628005e-08,6.626551e-08,6.617003e-08,6.615404e-08,6.606705e-08,6.601510e-08,6.595705e-08,6.586430e-08,6.584049e-08,6.571780e-08,6.570269e-08,6.558940e-08,6.553120e-08,6.545568e-08,6.535072e-08,6.531700e-08,6.517373e-08,6.516207e-08,6.502618e-08,6.496604e-08,6.487469e-08,6.476334e-08,6.471954e-08,6.456103e-08,6.455463e-08,6.439943e-08,6.434054e-08,6.423498e-08,6.412165e-08,6.406793e-08,6.389851e-08,6.367162e-08,6.344144e-08,6.320842e-08,6.297296e-08,6.273545e-08,6.249623e-08,6.225564e-08,6.201398e-08,6.177153e-08,6.152857e-08,6.128532e-08,6.104202e-08,6.079888e-08,6.055610e-08,6.031386e-08,6.007232e-08,5.983164e-08,5.959196e-08,5.935342e-08,5.911613e-08,5.888022e-08,5.864577e-08,5.841290e-08,5.818167e-08
0.000000e+00,2.804154e-15,2.513109e-14,6.578050e-13,5.736146e-12,1.546361e-11,1.313494e-10,1.418673e-10,7.779591e-10,1.175663e-09,3.083797e-09,6.302569e-09,9.780513e-09,2.448047e-08,2.637108e-08,6.285715e-08,7.625764e-08,1.360006e-07,2.022956e-07,2.721056e-07,4.745662e-07,5.101707e-07,9.051321e-07,1.009089e-06,1.530861e-06,1.978153e-06,2.482600e-06,3.619823e-06,3.878606e-06,5.860836e-06,6.243123e-06,8.594652e-06,1.022810e-05,1.226753e-05,1.602074e-05,1.708688e-05,2.327707e-05,2.412318e-05,3.107570e-05,3.508001e-05,4.072951e-05,4.946173e-05,5.248979e-05,6.660764e-05,6.784634e-05,8.332916e-05,9.080016e-05,1.028907e-04,1.188588e-04,1.255141e-04,1.514030e-04,1.525091e-04,1.807381e-04,1.921732e-04,2.136747e-04,2.381944e-04,2.503390e-04,2.908263e-04,3.351992e-04,3.502248e-04,3.834864e-04,4.164432e-04,4.356822e-04,4.894306e-04,4.917466e-04,5.516061e-04,5.690332e-04,6.151544e-04,6.549981e-04,6.822542e-04,7.469800e-04,7.527390e-04,8.264157e-04,8.445494e-04,9.030668e-04,9.472024e-04,9.824533e-04,1.054372e-03,1.064318e-03,1.148387e-03,1.165440e-03,1.234375e-03,1.279750e-03,1.321988e-03,1.396617e-03,1.410923e-03,1.500876e-03,1.515342e-03,1.591540e-03,1.635223e-03,1.682613e-03,1.755564e-03,1.773795e-03,1.864792e-03,1.875686e-03,1.955321e-03,1.994934e-03,2.045108e-03,2.112687e-03,2.133890e-03,2.221420e-03,2.228361e-03,2.307463e-03,2.341414e-03,2.391801e-03,2.451355e-03,2.474232e-03,2.554570e-03,2.557737e-03,2.632646e-03,2.660170e-03,2.708309e-03,2.758313e-03,2.781425e-03,2.851877e-03,2.919564e-03,2.940625e-03,2.984401e-03,3.024370e-03,3.046322e-03,3.102972e-03,3.105272e-03,3.161214e-03,3.176334e-03,3.214122e-03,3.244406e-03,3.263986e-03,3.307173e-03,3.310807e-03,3.354597e-03,3.364659e-03,3.395380e-03,3.416917e-03,3.433189e-03,3.464034e-03,3.468066e-03,3.500061e-03,3.506119e-03,3.529233e-03,3.543307e-03,3.555644e-03,3.575749e-03,3.579367e-03,3.600474e-03,3.603614e-03,3.619046e-03,3.627085e-03,3.635166e-03,3.646354e-03,3.648919e-03,3.660395e-03,3.661623e-03,3.669683e-03,3.673100e-03,3.676874e-03,3.680994e-03,3.682062e-03,3.685338e-03,3.685520e-03,3.686795e-03,3.686889e-03,3.686525e-03,3.685313e-03,3.684620e-03,3.681170e-03,3.681001e-03,3.676263e-03,3.674157e-03,3.669986e-03,3.664979e-03,3.662425e-03,3.653663e-03,3.640396e-03,3.625356e-03,3.608718e-03,3.590645e-03,3.571294e-03,3.550814e-03,3.529345e-03,3.507019e-03,3.483960e-03,3.460285e-03,3.436100e-03,3.411507e-03,3.386599e-03,3.361460e-03,3.336172e-03,3.310804e-03,3.285426e-03,3.260096e-03,3.234870e-03,3.209797e-03,3.184921e-03,3.160284e-03,3.135921e-03,3.111862e-03
0.000000e+00,7.696329e-15,6.898995e-14,1.806507e-12,1.575723e-11,4.248244e-11,3.608292e-10,3.897174e-10,2.135631e-09,3.226334e-09,8.452904e-09,1.725232e-08,2.674265e-08,6.671761e-08,7.184629e-08,1.704331e-07,2.064960e-07,3.666055e-07,5.433323e-07,7.286594e-07,1.263118e-06,1.356761e-06,2.391071e-06,2.662301e-06,4.019652e-06,5.179661e-06,6.485416e-06,9.423517e-06,1.009144e-05,1.520416e-05,1.618989e-05,2.225409e-05,2.646859e-05,3.173407e-05,4.143613e-05,4.419504e-05,6.023943e-05,6.243583e-05,8.051268e-05,9.094648e-05,1.056931e-04,1.285423e-04,1.364805e-04,1.735841e-04,1.768465e-04,2.177098e-04,2.374817e-04,2.695477e-04,3.120194e-04,3.297596e-04,3.989680e-04,4.019317e-04,4.777446e-04,5.085471e-04,5.666013e-04,6.330110e-04,6.659818e-04,7.762549e-04,8.977090e-04,9.389714e-04,1.030548e-03,1.121599e-03,1.174891e-03,1.324312e-03,1.330768e-03,1.498124e-03,1.547024e-03,1.676819e-03,1.789389e-03,1.866629e-03,2.050817e-03,2.067257e-03,2.278328e-03,2.330491e-03,2.499402e-03,2.627389e-03,2.729979e-03,2.940307e-03,2.969502e-03,3.217367e-03,3.267884e-03,3.472928e-03,3.608637e-03,3.735507e-03,3.960981e-03,4.004397e-03,4.278874e-03,4.323259e-03,4.558196e-03,4.693772e-03,4.841617e-03,5.070801e-03,5.128387e-03,5.417762e-03,5.452627e-03,5.709007e-03,5.837560e-03,6.001398e-03,6.223948e-03,6.294232e-03,6.586825e-03,6.610202e-03,6.878519e-03,6.994802e-03,7.168682e-03,7.376314e-03,7.456714e-03,7.742045e-03,7.753394e-03,8.024136e-03,8.124799e-03,8.302487e-03,8.489387e-03,8.576627e-03,8.846124e-03,9.110582e-03,9.194083e-03,9.369635e-03,9.532443e-03,9.622960e-03,9.860487e-03,9.870260e-03,1.011128e-02,1.017761e-02,1.034579e-02,1.048328e-02,1.057359e-02,1.077710e-02,1.079452e-02,1.100844e-02,1.105872e-02,1.121524e-02,1.132791e-02,1.141484e-02,1.158449e-02,1.160718e-02,1.179223e-02,1.182836e-02,1.196997e-02,1.205950e-02,1.214040e-02,1.227794e-02,1.230356e-02,1.245949e-02,1.248377e-02,1.260824e-02,1.267712e-02,1.274990e-02,1.285817e-02,1.288454e-02,1.301227e-02,1.302714e-02,1.313320e-02,1.318429e-02,1.324745e-02,1.332989e-02,1.335514e-02,1.345642e-02,1.346425e-02,1.355142e-02,1.358770e-02,1.364030e-02,1.370058e-02,1.372320e-02,1.380029e-02,1.380326e-02,1.387172e-02,1.389608e-02,1.393766e-02,1.397944e-02,1.399826e-02,1.405370e-02,1.411925e-02,1.417647e-02,1.422574e-02,1.426743e-02,1.430191e-02,1.432955e-02,1.435070e-02,1.436572e-02,1.437495e-02,1.437871e-02,1.437732e-02,1.437110e-02,1.436035e-02,1.434535e-02,1.432639e-02,1.430373e-02,1.427762e-02,1.424832e-02,1.421605e-02,1.418105e-02,1.414353e-02,1.410369e-02,1.406172e-02,1.401781e-02
0.000000e+00,6.208491e-15,5.468990e-14,1.380322e-12,1.163461e-11,3.077518e-11,2.486217e-10,2.679736e-10,1.395780e-09,2.079444e-09,5.259561e-09,1.043189e-08,1.587101e-08,3.797596e-08,4.075033e-08,9.256694e-08,1.110215e-07,1.909696e-07,2.766101e-07,3.643715e-07,6.093789e-07,6.513466e-07,1.101310e-06,1.215967e-06,1.774294e-06,2.235129e-06,2.739802e-06,3.833080e-06,4.074864e-06,5.861508e-06,6.194896e-06,8.183868e-06,9.513439e-06,1.112517e-05,1.397735e-05,1.476474e-05,1.917527e-05,1.975947e-05,2.442037e-05,2.700658e-05,3.055253e-05,3.583121e-05,3.761151e-05,4.562322e-05,4.630576e-05,5.459906e-05,5.845909e-05,6.453568e-05,7.227550e-05,7.541524e-05,8.720592e-05,8.769590e-05,9.986291e-05,1.046209e-04,1.133296e-04,1.229155e-04,1.275388e-04,1.424147e-04,1.578743e-04,1.629302e-04,1.738289e-04,1.842571e-04,1.901863e-04,2.061808e-04,2.068522e-04,2.237318e-04,2.284836e-04,2.407312e-04,2.509502e-04,2.577590e-04,2.733738e-04,2.747270e-04,2.915516e-04,2.955594e-04,3.081546e-04,3.173281e-04,3.244633e-04,3.385192e-04,3.404120e-04,3.559412e-04,3.589919e-04,3.709985e-04,3.786265e-04,3.855386e-04,3.973241e-04,3.995228e-04,4.129193e-04,4.150064e-04,4.257026e-04,4.316149e-04,4.378535e-04,4.471095e-04,4.493583e-04,4.602089e-04,4.614668e-04,4.704021e-04,4.746789e-04,4.799389e-04,4.867510e-04,4.888246e-04,4.970678e-04,4.976998e-04,5.046803e-04,5.075519e-04,5.116766e-04,5.163417e-04,5.180734e-04,5.238893e-04,5.241101e-04,5.291445e-04,5.309031e-04,5.338601e-04,5.367699e-04,5.380585e-04,5.417625e-04,5.449952e-04,5.459339e-04,5.477800e-04,5.493380e-04,5.501403e-04,5.520283e-04,5.520993e-04,5.536797e-04,5.540575e-04,5.549040e-04,5.554768e-04,5.557941e-04,5.563359e-04,5.563710e-04,5.566555e-04,5.566824e-04,5.566672e-04,5.565618e-04,5.564253e-04,5.560171e-04,5.559479e-04,5.552524e-04,5.550886e-04,5.543555e-04,5.538146e-04,5.532726e-04,5.522305e-04,5.520191e-04,5.506088e-04,5.503695e-04,5.490552e-04,5.482623e-04,5.473710e-04,5.459375e-04,5.455680e-04,5.436574e-04,5.434214e-04,5.416497e-04,5.407381e-04,5.395547e-04,5.379098e-04,5.373816e-04,5.351390e-04,5.349568e-04,5.328348e-04,5.318976e-04,5.304767e-04,5.287493e-04,5.280714e-04,5.256256e-04,5.255270e-04,5.231453e-04,5.222450e-04,5.206359e-04,5.189157e-04,5.181028e-04,5.155507e-04,5.121604e-04,5.087539e-04,5.053398e-04,5.019255e-04,4.985178e-04,4.951226e-04,4.917454e-04,4.883908e-04,4.850631e-04,4.817659e-04,4.785025e-04,4.752759e-04,4.720883e-04,4.689420e-04,4.658388e-04,4.627802e-04,4.597676e-04,4.568019e-04,4.538841e-04,4.510147e-04,4.481945e-04,4.454236e-04,4.427023e-04,4.400308e-04
0.000000e+00,7.141641e-11,1.868631e-10,7.366369e-10,1.780802e-09,2.654520e-09,6.234324e-09,6.428080e-09,1.262407e-08,1.486828e-08,2.179462e-08,2.895513e-08,3.449439e-08,4.977543e-08,5.128167e-08,7.267906e-08,7.854758e-08,9.906357e-08,1.160613e-07,1.305115e-07,1.621511e-07,1.667330e-07,2.071845e-07,2.157276e-07,2.512464e-07,2.753875e-07,2.983290e-07,3.398199e-07,3.478972e-07,3.994614e-07,4.078659e-07,4.525633e-07,4.784695e-07,5.067666e-07,5.506414e-07,5.616543e-07,6.168287e-07,6.234508e-07,6.719149e-07,6.960341e-07,7.265645e-07,7.676091e-07,7.804592e-07,8.333133e-07,8.374889e-07,8.848761e-07,9.050902e-07,9.349321e-07,9.699367e-07,9.833008e-07,1.029836e-06,1.031657e-06,1.074423e-06,1.089981e-06,1.116979e-06,1.144725e-06,1.157443e-06,1.195783e-06,1.231984e-06,1.243118e-06,1.266054e-06,1.286749e-06,1.298012e-06,1.326738e-06,1.327894e-06,1.355743e-06,1.363184e-06,1.381613e-06,1.396211e-06,1.405566e-06,1.425964e-06,1.427665e-06,1.447981e-06,1.452600e-06,1.466586e-06,1.476285e-06,1.483553e-06,1.497189e-06,1.498957e-06,1.512871e-06,1.515481e-06,1.525368e-06,1.531330e-06,1.536520e-06,1.544900e-06,1.546398e-06,1.555071e-06,1.556351e-06,1.562605e-06,1.565835e-06,1.569064e-06,1.573499e-06,1.574510e-06,1.579004e-06,1.579482e-06,1.582603e-06,1.583917e-06,1.585361e-06,1.586927e-06,1.587331e-06,1.588562e-06,1.588631e-06,1.589104e-06,1.589137e-06,1.589000e-06,1.588551e-06,1.588295e-06,1.587029e-06,1.586967e-06,1.585241e-06,1.584477e-06,1.582969e-06,1.581164e-06,1.580246e-06,1.577107e-06,1.573582e-06,1.572378e-06,1.569702e-06,1.567044e-06,1.565493e-06,1.561169e-06,1.560983e-06,1.556197e-06,1.554810e-06,1.551158e-06,1.548022e-06,1.545887e-06,1.540853e-06,1.540407e-06,1.534737e-06,1.533350e-06,1.528895e-06,1.525555e-06,1.522899e-06,1.517507e-06,1.516765e-06,1.510508e-06,1.509243e-06,1.504143e-06,1.500795e-06,1.497684e-06,1.492194e-06,1.491143e-06,1.484531e-06,1.483468e-06,1.477862e-06,1.474642e-06,1.471143e-06,1.465741e-06,1.464387e-06,1.457600e-06,1.456784e-06,1.450793e-06,1.447793e-06,1.443973e-06,1.438785e-06,1.437147e-06,1.430323e-06,1.429777e-06,1.423506e-06,1.420783e-06,1.416703e-06,1.411816e-06,1.409919e-06,1.403159e-06,1.402889e-06,1.396428e-06,1.394013e-06,1.389731e-06,1.385198e-06,1.383072e-06,1.376453e-06,1.367786e-06,1.359203e-06,1.350712e-06,1.342317e-06,1.334024e-06,1.325837e-06,1.317760e-06,1.309796e-06,1.301947e-06,1.294216e-06,1.286605e-06,1.279116e-06,1.271748e-06,1.264504e-06,1.257384e-06,1.250388e-06,1.243516e-06,1.236768e-06,1.230144e-06,1.223643e-06,1.217264e-06,1.211007e-06,1.204870e-06,1.198853e-06
0.000000e+00,3.515273e-11,1.432712e-10,9.330636e-10,2.868581e-09,4.680960e-09,1.295221e-08,1.342546e-08,2.942093e-08,3.553832e-08,5.523868e-08,7.668457e-08,9.389732e-08,1.435298e-07,1.485533e-07,2.213109e-07,2.414978e-07,3.120297e-07,3.700213e-07,4.188884e-07,5.246250e-07,5.398205e-07,6.731532e-07,7.011876e-07,8.175661e-07,8.966547e-07,9.719066e-07,1.108408e-06,1.135058e-06,1.305877e-06,1.333841e-06,1.483173e-06,1.570216e-06,1.665718e-06,1.814697e-06,1.852268e-06,2.041591e-06,2.064439e-06,2.232492e-06,2.316694e-06,2.423839e-06,2.568914e-06,2.614586e-06,2.803778e-06,2.818820e-06,2.990568e-06,3.064443e-06,3.174217e-06,3.304138e-06,3.354090e-06,3.529659e-06,3.536586e-06,3.700494e-06,3.760767e-06,3.866253e-06,3.975935e-06,4.026678e-06,4.181581e-06,4.330840e-06,4.377398e-06,4.474386e-06,4.563247e-06,4.612199e-06,4.739122e-06,4.744296e-06,4.870730e-06,4.905126e-06,4.991577e-06,5.061446e-06,5.106939e-06,5.208327e-06,5.216932e-06,5.321686e-06,5.346063e-06,5.421343e-06,5.474978e-06,5.516049e-06,5.595416e-06,5.605957e-06,5.691223e-06,5.707733e-06,5.772005e-06,5.812291e-06,5.848458e-06,5.909449e-06,5.920740e-06,5.989006e-06,5.999565e-06,6.053406e-06,6.082989e-06,6.114090e-06,6.160060e-06,6.171204e-06,6.224890e-06,6.231108e-06,6.275285e-06,6.296452e-06,6.322525e-06,6.356397e-06,6.366739e-06,6.408052e-06,6.411236e-06,6.446587e-06,6.461250e-06,6.482462e-06,6.506707e-06,6.515788e-06,6.546677e-06,6.547863e-06,6.575232e-06,6.584960e-06,6.601556e-06,6.618231e-06,6.625745e-06,6.647894e-06,6.668093e-06,6.674159e-06,6.686429e-06,6.697224e-06,6.702984e-06,6.717277e-06,6.717839e-06,6.731071e-06,6.734495e-06,6.742753e-06,6.749048e-06,6.752956e-06,6.761095e-06,6.761748e-06,6.769194e-06,6.770788e-06,6.775357e-06,6.778269e-06,6.780295e-06,6.783675e-06,6.784068e-06,6.786730e-06,6.787133e-06,6.788333e-06,6.788765e-06,6.788928e-06,6.788685e-06,6.788565e-06,6.787288e-06,6.787002e-06,6.785143e-06,6.783818e-06,6.782173e-06,6.779230e-06,6.778418e-06,6.773918e-06,6.773330e-06,6.768710e-06,6.766203e-06,6.762830e-06,6.757932e-06,6.756312e-06,6.749189e-06,6.748594e-06,6.741493e-06,6.738262e-06,6.733255e-06,6.727003e-06,6.724503e-06,6.715264e-06,6.714885e-06,6.705566e-06,6.701967e-06,6.695434e-06,6.688308e-06,6.684892e-06,6.673964e-06,6.658985e-06,6.643420e-06,6.627317e-06,6.610717e-06,6.593663e-06,6.576193e-06,6.558344e-06,6.540149e-06,6.521642e-06,6.502853e-06,6.483811e-06,6.464545e-06,6.445078e-06,6.425437e-06,6.405644e-06,6.385721e-06,6.365687e-06,6.345563e-06,6.325365e-06,6.305112e-06,6.284819e-06,6.264501e-06,6.244172e-06,6.223846e-06
0.000000e+00,2.768187e-11,1.145440e-10,7.622168e-10,2.373529e-09,3.894525e-09,1.090197e-08,1.130507e-08,2.501659e-08,3.029440e-08,4.737013e-08,6.601311e-08,8.094251e-08,1.234324e-07,1.276743e-07,1.880003e-07,2.044548e-07,2.614752e-07,3.081961e-07,3.476703e-07,4.338456e-07,4.463380e-07,5.572804e-07,5.809207e-07,6.802342e-07,7.487930e-07,8.148078e-07,9.364374e-07,9.604593e-07,1.116500e-06,1.142377e-06,1.282106e-06,1.364724e-06,1.456344e-06,1.601267e-06,1.638196e-06,1.826589e-06,1.849584e-06,2.020423e-06,2.107150e-06,2.218602e-06,2.371471e-06,2.420066e-06,2.623793e-06,2.640159e-06,2.828821e-06,2.910996e-06,3.034265e-06,3.181983e-06,3.239313e-06,3.443233e-06,3.451357e-06,3.645378e-06,3.717604e-06,3.845178e-06,3.979448e-06,4.042141e-06,4.235843e-06,4.425930e-06,4.485944e-06,4.612105e-06,4.729092e-06,4.794128e-06,4.964784e-06,4.971806e-06,5.144987e-06,5.192656e-06,5.313561e-06,5.412459e-06,5.477447e-06,5.624038e-06,5.636595e-06,5.790977e-06,5.827319e-06,5.940588e-06,6.022291e-06,6.085441e-06,6.208996e-06,6.225562e-06,6.360992e-06,6.387520e-06,6.491782e-06,6.557978e-06,6.617990e-06,6.720515e-06,6.739686e-06,6.856940e-06,6.875294e-06,6.969832e-06,7.022495e-06,7.078444e-06,7.162309e-06,7.182860e-06,7.283169e-06,7.294934e-06,7.379459e-06,7.420576e-06,7.471820e-06,7.539444e-06,7.560344e-06,7.645123e-06,7.651747e-06,7.726249e-06,7.757697e-06,7.803812e-06,7.857504e-06,7.877905e-06,7.948618e-06,7.951378e-06,8.016041e-06,8.039524e-06,8.080262e-06,8.122148e-06,8.141369e-06,8.199450e-06,8.254589e-06,8.271625e-06,8.306870e-06,8.338868e-06,8.356376e-06,8.401367e-06,8.403189e-06,8.447388e-06,8.459306e-06,8.489051e-06,8.512864e-06,8.528255e-06,8.562216e-06,8.565075e-06,8.599585e-06,8.607532e-06,8.631857e-06,8.648977e-06,8.661960e-06,8.686713e-06,8.689964e-06,8.715937e-06,8.720894e-06,8.739943e-06,8.751671e-06,8.762048e-06,8.779191e-06,8.782312e-06,8.800798e-06,8.803595e-06,8.817566e-06,8.825021e-06,8.832672e-06,8.843599e-06,8.846174e-06,8.858127e-06,8.859459e-06,8.868584e-06,8.872725e-06,8.877597e-06,8.883514e-06,8.885219e-06,8.891497e-06,8.891943e-06,8.896480e-06,8.898122e-06,8.900216e-06,8.902158e-06,8.902749e-06,8.904123e-06,8.904155e-06,8.904383e-06,8.904212e-06,8.903570e-06,8.902424e-06,8.901724e-06,8.898884e-06,8.893681e-06,8.886899e-06,8.878620e-06,8.868924e-06,8.857886e-06,8.845578e-06,8.832071e-06,8.817432e-06,8.801725e-06,8.785012e-06,8.767352e-06,8.748803e-06,8.729417e-06,8.709249e-06,8.688348e-06,8.666761e-06,8.644536e-06,8.621715e-06,8.598341e-06,8.574454e-06,8.550092e-06,8.525293e-06,8.500091e-06,8.474519e-06
0.000000e+00,9.946436e-15,8.787697e-14,2.231690e-12,1.891577e-11,5.018512e-11,4.084454e-10,4.403644e-10,2.308835e-09,3.445238e-09,8.745337e-09,1.738627e-08,2.648350e-08,6.347776e-08,6.812049e-08,1.547551e-07,1.855727e-07,3.188913e-07,4.614598e-07,6.074043e-07,1.014544e-06,1.084283e-06,1.832770e-06,2.023818e-06,2.956494e-06,3.729466e-06,4.579296e-06,6.431850e-06,6.843600e-06,9.907426e-06,1.048304e-05,1.394024e-05,1.627173e-05,1.911796e-05,2.420339e-05,2.561739e-05,3.361060e-05,3.467799e-05,4.325934e-05,4.806761e-05,5.470984e-05,6.469570e-05,6.808824e-05,8.349666e-05,8.481948e-05,1.010102e-04,1.086164e-04,1.206747e-04,1.361749e-04,1.425056e-04,1.664870e-04,1.674904e-04,1.925727e-04,2.024649e-04,2.206869e-04,2.409115e-04,2.507261e-04,2.825616e-04,3.160420e-04,3.270758e-04,3.509967e-04,3.740557e-04,3.872389e-04,4.230580e-04,4.245696e-04,4.627806e-04,4.736085e-04,5.016586e-04,5.252159e-04,5.409880e-04,5.773854e-04,5.805545e-04,6.201475e-04,6.296310e-04,6.595633e-04,6.814857e-04,6.986070e-04,7.325113e-04,7.370946e-04,7.748544e-04,7.823048e-04,8.117284e-04,8.305047e-04,8.475734e-04,8.767937e-04,8.822612e-04,9.156794e-04,9.209018e-04,9.477311e-04,9.626061e-04,9.783349e-04,1.001730e-03,1.007424e-03,1.034948e-03,1.038144e-03,1.060868e-03,1.071758e-03,1.085160e-03,1.102524e-03,1.107810e-03,1.128819e-03,1.130429e-03,1.148194e-03,1.155490e-03,1.165953e-03,1.177754e-03,1.182124e-03,1.196739e-03,1.197292e-03,1.209839e-03,1.214193e-03,1.221469e-03,1.228563e-03,1.231679e-03,1.240522e-03,1.248054e-03,1.250197e-03,1.254334e-03,1.257724e-03,1.259423e-03,1.263243e-03,1.263380e-03,1.266267e-03,1.266892e-03,1.268146e-03,1.268815e-03,1.269078e-03,1.269149e-03,1.269121e-03,1.268336e-03,1.268030e-03,1.266779e-03,1.265591e-03,1.264506e-03,1.261957e-03,1.261571e-03,1.258027e-03,1.257249e-03,1.253922e-03,1.251583e-03,1.249306e-03,1.245066e-03,1.244223e-03,1.238716e-03,1.237799e-03,1.232828e-03,1.229877e-03,1.226596e-03,1.221389e-03,1.220058e-03,1.213248e-03,1.212415e-03,1.206200e-03,1.203030e-03,1.198942e-03,1.193305e-03,1.191505e-03,1.183914e-03,1.183301e-03,1.176195e-03,1.173076e-03,1.168370e-03,1.162683e-03,1.160461e-03,1.152487e-03,1.152167e-03,1.144467e-03,1.141572e-03,1.136417e-03,1.130935e-03,1.128354e-03,1.120291e-03,1.109669e-03,1.099096e-03,1.088597e-03,1.078191e-03,1.067897e-03,1.057731e-03,1.047705e-03,1.037831e-03,1.028119e-03,1.018576e-03,1.009210e-03,1.000026e-03,9.910264e-04,9.822156e-04,9.735954e-04,9.651669e-04,9.569306e-04,9.488864e-04,9.410335e-04,9.333708e-04,9.258965e-04,9.186085e-04,9.115046e-04,9.045821e-04
0.000000e+00,1.004221e-13,8.105155e-13,1.704630e-11,1.215476e-10,2.931676e-10,1.863423e-09,1.988888e-09,8.150057e-09,1.137263e-08,2.438969e-08,4.231259e-08,5.898190e-08,1.160237e-07,1.224396e-07,2.268202e-07,2.593817e-07,3.849694e-07,5.018393e-07,6.097569e-07,8.722707e-07,9.131923e-07,1.305289e-06,1.395012e-06,1.792786e-06,2.084976e-06,2.378098e-06,2.943795e-06,3.058915e-06,3.828529e-06,3.959265e-06,4.676732e-06,5.108148e-06,5.590939e-06,6.360542e-06,6.557305e-06,7.561615e-06,7.684015e-06,8.589946e-06,9.046589e-06,9.629109e-06,1.041858e-05,1.066693e-05,1.169241e-05,1.177361e-05,1.269582e-05,1.308908e-05,1.366876e-05,1.434639e-05,1.460416e-05,1.549625e-05,1.553096e-05,1.634055e-05,1.663214e-05,1.713380e-05,1.764291e-05,1.787386e-05,1.855959e-05,1.919080e-05,1.938134e-05,1.976803e-05,2.010968e-05,2.029251e-05,2.074799e-05,2.076597e-05,2.119058e-05,2.130104e-05,2.156878e-05,2.177452e-05,2.190323e-05,2.217469e-05,2.219673e-05,2.245210e-05,2.250803e-05,2.267217e-05,2.278103e-05,2.285971e-05,2.299997e-05,2.301741e-05,2.314781e-05,2.317083e-05,2.325334e-05,2.329916e-05,2.333629e-05,2.339006e-05,2.339876e-05,2.344272e-05,2.344816e-05,2.346999e-05,2.347764e-05,2.348223e-05,2.348223e-05,2.348096e-05,2.346756e-05,2.346520e-05,2.344330e-05,2.342949e-05,2.340932e-05,2.337764e-05,2.336665e-05,2.331624e-05,2.331189e-05,2.325891e-05,2.323423e-05,2.319545e-05,2.314635e-05,2.312654e-05,2.305279e-05,2.304975e-05,2.297478e-05,2.294575e-05,2.289301e-05,2.283549e-05,2.280793e-05,2.271996e-05,2.262948e-05,2.260005e-05,2.253681e-05,2.247650e-05,2.244227e-05,2.235000e-05,2.234613e-05,2.224864e-05,2.222114e-05,2.215004e-05,2.209043e-05,2.205052e-05,2.195833e-05,2.195028e-05,2.184949e-05,2.182524e-05,2.174831e-05,2.169152e-05,2.164686e-05,2.155749e-05,2.154529e-05,2.144371e-05,2.142341e-05,2.134223e-05,2.128953e-05,2.124095e-05,2.115608e-05,2.113994e-05,2.103931e-05,2.102324e-05,2.093911e-05,2.089119e-05,2.083942e-05,2.076007e-05,2.074030e-05,2.064180e-05,2.063002e-05,2.054397e-05,2.050115e-05,2.044687e-05,2.037357e-05,2.035052e-05,2.025497e-05,2.024737e-05,2.016026e-05,2.012262e-05,2.006641e-05,1.999939e-05,1.997345e-05,1.988140e-05,1.987774e-05,1.979029e-05,1.975773e-05,1.970014e-05,1.963938e-05,1.961095e-05,1.952275e-05,1.940786e-05,1.929473e-05,1.918339e-05,1.907384e-05,1.896610e-05,1.886017e-05,1.875606e-05,1.865376e-05,1.855328e-05,1.845460e-05,1.835772e-05,1.826262e-05,1.816930e-05,1.807774e-05,1.798793e-05,1.789984e-05,1.781347e-05,1.772879e-05,1.764578e-05,1.756442e-05,1.748470e-05,1.740658e-05,1.733005e-05,1.725508e-05
0.000000e+00,7.937558e-11,3.088830e-10,1.897336e-09,5.677536e-09,9.187781e-09,2.525425e-08,2.618002e-08,5.799193e-08,7.041069e-08,1.110512e-07,1.556372e-07,1.910608e-07,2.893061e-07,2.989001e-07,4.320021e-07,4.674404e-07,5.882179e-07,6.853577e-07,7.664374e-07,9.409094e-07,9.659523e-07,1.186009e-06,1.232402e-06,1.425608e-06,1.557501e-06,1.683442e-06,1.912943e-06,1.957899e-06,2.247106e-06,2.294612e-06,2.548997e-06,2.697769e-06,2.861379e-06,3.117332e-06,3.182010e-06,3.508664e-06,3.548164e-06,3.839184e-06,3.985306e-06,4.171529e-06,4.424165e-06,4.503813e-06,4.834320e-06,4.860637e-06,5.161524e-06,5.291174e-06,5.484085e-06,5.712803e-06,5.800856e-06,6.110864e-06,6.123112e-06,6.413310e-06,6.520209e-06,6.707543e-06,6.902666e-06,6.993055e-06,7.269459e-06,7.536477e-06,7.619909e-06,7.793926e-06,7.953621e-06,8.041702e-06,8.270432e-06,8.279769e-06,8.508149e-06,8.570369e-06,8.726913e-06,8.853600e-06,8.936171e-06,9.120413e-06,9.136063e-06,9.326758e-06,9.371177e-06,9.508444e-06,9.606328e-06,9.681325e-06,9.826349e-06,9.845619e-06,1.000155e-05,1.003175e-05,1.014935e-05,1.022307e-05,1.028926e-05,1.040086e-05,1.042151e-05,1.054635e-05,1.056565e-05,1.066401e-05,1.071801e-05,1.077473e-05,1.085847e-05,1.087875e-05,1.097629e-05,1.098757e-05,1.106759e-05,1.110584e-05,1.115287e-05,1.121379e-05,1.123234e-05,1.130623e-05,1.131190e-05,1.137474e-05,1.140068e-05,1.143807e-05,1.148058e-05,1.149643e-05,1.155001e-05,1.155206e-05,1.159900e-05,1.161555e-05,1.164358e-05,1.167147e-05,1.168393e-05,1.172022e-05,1.175262e-05,1.176220e-05,1.178130e-05,1.179776e-05,1.180640e-05,1.182727e-05,1.182808e-05,1.184648e-05,1.185107e-05,1.186176e-05,1.186948e-05,1.187405e-05,1.188282e-05,1.188347e-05,1.189016e-05,1.189137e-05,1.189424e-05,1.189543e-05,1.189583e-05,1.189527e-05,1.189505e-05,1.189201e-05,1.189113e-05,1.188680e-05,1.188328e-05,1.187955e-05,1.187194e-05,1.187034e-05,1.185928e-05,1.185734e-05,1.184645e-05,1.183969e-05,1.183194e-05,1.181918e-05,1.181584e-05,1.179823e-05,1.179602e-05,1.177919e-05,1.177038e-05,1.175880e-05,1.174244e-05,1.173713e-05,1.171424e-05,1.171236e-05,1.169021e-05,1.168030e-05,1.166511e-05,1.164640e-05,1.163899e-05,1.161191e-05,1.161081e-05,1.158393e-05,1.157365e-05,1.155511e-05,1.153506e-05,1.152550e-05,1.149515e-05,1.145404e-05,1.141182e-05,1.136862e-05,1.132450e-05,1.127958e-05,1.123393e-05,1.118764e-05,1.114077e-05,1.109340e-05,1.104561e-05,1.099744e-05,1.094897e-05,1.090024e-05,1.085132e-05,1.080224e-05,1.075306e-05,1.070382e-05,1.065456e-05,1.060532e-05,1.055614e-05,1.050705e-05,1.045808e-05,1.040925e-05,1.036061e-05
0.000000e+00,1.491237e-11,3.587400e-11,1.296470e-10,3.011229e-10,4.422405e-10,1.011717e-09,1.042307e-09,2.014056e-09,2.363895e-09,3.439096e-09,4.545274e-09,5.398026e-09,7.739416e-09,7.969422e-09,1.122420e-08,1.211334e-08,1.521307e-08,1.777399e-08,1.994764e-08,2.469743e-08,2.538401e-08,3.142419e-08,3.269352e-08,3.793902e-08,4.146996e-08,4.479626e-08,5.073393e-08,5.187771e-08,5.908414e-08,6.024308e-08,6.633379e-08,6.980871e-08,7.355924e-08,7.928433e-08,8.070468e-08,8.772400e-08,8.855598e-08,9.457945e-08,9.753584e-08,1.012406e-07,1.061582e-07,1.076835e-07,1.138902e-07,1.143761e-07,1.198476e-07,1.221588e-07,1.255474e-07,1.294890e-07,1.309849e-07,1.361587e-07,1.363602e-07,1.410701e-07,1.427746e-07,1.457228e-07,1.487414e-07,1.501219e-07,1.542741e-07,1.581872e-07,1.593903e-07,1.618696e-07,1.641094e-07,1.653303e-07,1.684525e-07,1.685785e-07,1.716237e-07,1.724413e-07,1.744755e-07,1.760976e-07,1.771432e-07,1.794429e-07,1.796362e-07,1.819633e-07,1.824982e-07,1.841336e-07,1.852835e-07,1.861553e-07,1.878182e-07,1.880368e-07,1.897859e-07,1.901205e-07,1.914101e-07,1.922077e-07,1.929166e-07,1.940961e-07,1.943122e-07,1.956035e-07,1.958008e-07,1.967966e-07,1.973362e-07,1.978975e-07,1.987155e-07,1.989116e-07,1.998443e-07,1.999509e-07,2.007004e-07,2.010541e-07,2.014848e-07,2.020357e-07,2.022019e-07,2.028558e-07,2.029055e-07,2.034506e-07,2.036727e-07,2.039899e-07,2.043458e-07,2.044773e-07,2.049161e-07,2.049327e-07,2.053094e-07,2.054405e-07,2.056602e-07,2.058759e-07,2.059713e-07,2.062452e-07,2.064845e-07,2.065541e-07,2.066914e-07,2.068079e-07,2.068681e-07,2.070113e-07,2.070168e-07,2.071392e-07,2.071690e-07,2.072372e-07,2.072851e-07,2.073126e-07,2.073633e-07,2.073669e-07,2.074016e-07,2.074072e-07,2.074182e-07,2.074201e-07,2.074180e-07,2.074048e-07,2.074022e-07,2.073720e-07,2.073643e-07,2.073285e-07,2.073009e-07,2.072727e-07,2.072171e-07,2.072057e-07,2.071283e-07,2.071150e-07,2.070413e-07,2.069965e-07,2.069457e-07,2.068634e-07,2.068421e-07,2.067312e-07,2.067175e-07,2.066138e-07,2.065601e-07,2.064903e-07,2.063929e-07,2.063615e-07,2.062278e-07,2.062169e-07,2.060897e-07,2.060334e-07,2.059478e-07,2.058435e-07,2.058025e-07,2.056541e-07,2.056481e-07,2.055031e-07,2.054482e-07,2.053499e-07,2.052446e-07,2.051947e-07,2.050379e-07,2.048290e-07,2.046184e-07,2.044067e-07,2.041945e-07,2.039820e-07,2.037699e-07,2.035585e-07,2.033481e-07,2.031390e-07,2.029315e-07,2.027258e-07,2.025223e-07,2.023210e-07,2.021222e-07,2.019259e-07,2.017324e-07,2.015418e-07,2.013541e-07,2.011694e-07,2.009879e-07,2.008094e-07,2.006342e-07,2.004622e-07,2.002935e-07
0.000000e+00,9.481223e-14,7.771075e-13,1.688152e-11,1.240163e-10,3.041028e-10,2.018182e-09,2.157888e-09,9.237253e-09,1.304561e-08,2.884553e-08,5.131504e-08,7.272690e-08,1.485651e-07,1.572924e-07,3.034309e-07,3.503581e-07,5.360552e-07,7.144914e-07,8.832914e-07,1.307346e-06,1.374956e-06,2.040095e-06,2.196264e-06,2.903983e-06,3.438310e-06,3.985446e-06,5.070172e-06,5.295296e-06,6.836091e-06,7.103816e-06,8.602948e-06,9.528318e-06,1.058494e-05,1.231518e-05,1.276664e-05,1.512948e-05,1.542423e-05,1.765289e-05,1.880848e-05,2.031510e-05,2.241744e-05,2.309372e-05,2.596623e-05,2.619941e-05,2.891028e-05,3.010301e-05,3.190403e-05,3.407842e-05,3.492639e-05,3.795730e-05,3.807844e-05,4.097791e-05,4.205940e-05,4.397081e-05,4.598202e-05,4.692019e-05,4.981192e-05,5.263362e-05,5.352000e-05,5.537471e-05,5.708255e-05,5.802635e-05,6.048113e-05,6.058141e-05,6.303433e-05,6.370226e-05,6.538106e-05,6.673695e-05,6.761889e-05,6.958023e-05,6.974635e-05,7.176300e-05,7.223055e-05,7.366937e-05,7.468922e-05,7.546676e-05,7.695986e-05,7.715713e-05,7.874299e-05,7.904787e-05,8.022727e-05,8.096003e-05,8.161325e-05,8.270408e-05,8.290445e-05,8.410457e-05,8.428839e-05,8.521740e-05,8.572169e-05,8.624681e-05,8.701287e-05,8.719667e-05,8.807080e-05,8.817079e-05,8.887300e-05,8.920413e-05,8.960694e-05,9.012132e-05,9.027624e-05,9.088436e-05,9.093047e-05,9.143467e-05,9.163933e-05,9.193038e-05,9.225522e-05,9.237458e-05,9.277022e-05,9.278508e-05,9.312011e-05,9.323539e-05,9.342692e-05,9.361226e-05,9.369321e-05,9.392137e-05,9.411369e-05,9.416802e-05,9.427234e-05,9.435716e-05,9.439937e-05,9.449336e-05,9.449671e-05,9.456619e-05,9.458089e-05,9.460953e-05,9.462367e-05,9.462837e-05,9.462538e-05,9.462424e-05,9.459860e-05,9.458940e-05,9.455281e-05,9.451885e-05,9.448817e-05,9.441665e-05,9.440588e-05,9.430711e-05,9.428547e-05,9.419292e-05,9.412780e-05,9.406435e-05,9.394594e-05,9.392235e-05,9.376783e-05,9.374201e-05,9.360165e-05,9.351797e-05,9.342460e-05,9.327566e-05,9.323746e-05,9.304093e-05,9.301674e-05,9.283569e-05,9.274279e-05,9.262238e-05,9.245524e-05,9.240160e-05,9.217392e-05,9.215543e-05,9.193987e-05,9.184459e-05,9.169996e-05,9.152386e-05,9.145466e-05,9.120442e-05,9.119431e-05,9.094966e-05,9.085692e-05,9.069079e-05,9.051259e-05,9.042817e-05,9.016217e-05,8.980644e-05,8.944611e-05,8.908186e-05,8.871430e-05,8.834402e-05,8.797154e-05,8.759735e-05,8.722192e-05,8.684566e-05,8.646896e-05,8.609218e-05,8.571566e-05,8.533970e-05,8.496459e-05,8.459059e-05,8.421794e-05,8.384686e-05,8.347757e-05,8.311025e-05,8.274508e-05,8.238221e-05,8.202178e-05,8.166394e-05,8.130881e-05
0.000000e+00,1.249564e-14,1.068650e-13,2.535469e-12,2.018138e-11,5.170663e-11,3.840439e-10,4.125013e-10,1.971096e-09,2.867050e-09,6.820457e-09,1.285730e-08,1.891104e-08,4.187584e-08,4.463397e-08,9.323903e-08,1.096118e-07,1.770391e-07,2.449459e-07,3.113946e-07,4.858276e-07,5.144905e-07,8.069170e-07,8.780682e-07,1.211050e-06,1.473082e-06,1.750231e-06,2.324596e-06,2.447783e-06,3.325926e-06,3.484567e-06,4.404725e-06,4.998946e-06,5.701156e-06,6.903980e-06,7.228377e-06,8.995249e-06,9.223631e-06,1.100609e-05,1.196824e-05,1.326064e-05,1.513439e-05,1.575426e-05,1.847820e-05,1.870571e-05,2.142000e-05,2.265430e-05,2.456396e-05,2.694252e-05,2.789163e-05,3.138235e-05,3.152505e-05,3.501373e-05,3.635095e-05,3.876221e-05,4.136568e-05,4.260350e-05,4.651307e-05,5.046658e-05,5.173707e-05,5.444021e-05,5.698327e-05,5.841105e-05,6.220025e-05,6.235737e-05,6.625884e-05,6.734062e-05,7.009673e-05,7.236180e-05,7.385404e-05,7.722649e-05,7.751557e-05,8.106800e-05,8.190303e-05,8.449987e-05,8.636539e-05,8.780155e-05,9.059308e-05,9.096521e-05,9.398467e-05,9.457084e-05,9.685539e-05,9.828830e-05,9.957427e-05,1.017395e-04,1.021396e-04,1.045508e-04,1.049224e-04,1.068086e-04,1.078382e-04,1.089144e-04,1.104912e-04,1.108706e-04,1.126803e-04,1.128878e-04,1.143472e-04,1.150365e-04,1.158755e-04,1.169471e-04,1.172697e-04,1.185348e-04,1.186305e-04,1.196757e-04,1.200985e-04,1.206978e-04,1.213631e-04,1.216064e-04,1.224069e-04,1.224367e-04,1.231047e-04,1.233318e-04,1.237051e-04,1.240604e-04,1.242133e-04,1.246346e-04,1.249738e-04,1.250659e-04,1.252360e-04,1.253655e-04,1.254257e-04,1.255440e-04,1.255476e-04,1.256060e-04,1.256116e-04,1.256051e-04,1.255777e-04,1.255488e-04,1.254514e-04,1.254410e-04,1.252853e-04,1.252412e-04,1.250852e-04,1.249550e-04,1.248440e-04,1.246001e-04,1.245647e-04,1.242502e-04,1.241834e-04,1.239035e-04,1.237113e-04,1.235270e-04,1.231896e-04,1.231233e-04,1.226947e-04,1.226240e-04,1.222434e-04,1.220193e-04,1.217715e-04,1.213803e-04,1.212808e-04,1.207733e-04,1.207113e-04,1.202506e-04,1.200162e-04,1.197144e-04,1.192987e-04,1.191661e-04,1.186071e-04,1.185620e-04,1.180388e-04,1.178092e-04,1.174624e-04,1.170431e-04,1.168791e-04,1.162899e-04,1.162662e-04,1.156958e-04,1.154810e-04,1.150978e-04,1.146894e-04,1.144968e-04,1.138934e-04,1.130948e-04,1.122952e-04,1.114959e-04,1.106984e-04,1.099037e-04,1.091130e-04,1.083271e-04,1.075469e-04,1.067733e-04,1.060068e-04,1.052480e-04,1.044975e-04,1.037557e-04,1.030231e-04,1.022999e-04,1.015866e-04,1.008832e-04,1.001901e-04,9.950738e-05,9.883523e-05,9.817373e-05,9.752296e-05,9.688296e-05,9.625378e-05
0.000000e+00,9.338548e-13,7.142771e-12,1.347234e-10,8.727182e-10,1.999930e-09,1.120076e-08,1.189578e-08,4.341588e-08,5.881458e-08,1.175381e-07,1.934321e-07,2.610927e-07,4.810111e-07,5.049877e-07,8.820171e-07,9.958264e-07,1.422552e-06,1.805237e-06,2.148141e-06,2.946322e-06,3.066641e-06,4.171972e-06,4.414137e-06,5.447643e-06,6.171005e-06,6.871270e-06,8.163349e-06,8.418074e-06,1.006285e-05,1.033344e-05,1.178084e-05,1.262441e-05,1.354809e-05,1.498185e-05,1.534158e-05,1.713957e-05,1.735465e-05,1.892181e-05,1.969620e-05,2.066996e-05,2.196572e-05,2.236786e-05,2.400174e-05,2.412933e-05,2.556034e-05,2.616067e-05,2.703493e-05,2.804097e-05,2.841917e-05,2.970895e-05,2.975854e-05,3.090215e-05,3.130794e-05,3.199839e-05,3.268895e-05,3.299875e-05,3.390546e-05,3.472172e-05,3.496443e-05,3.545138e-05,3.587492e-05,3.609881e-05,3.664732e-05,3.666868e-05,3.716585e-05,3.729269e-05,3.759520e-05,3.782229e-05,3.796161e-05,3.824721e-05,3.826983e-05,3.852445e-05,3.857808e-05,3.872986e-05,3.882496e-05,3.889022e-05,3.899720e-05,3.900946e-05,3.909126e-05,3.910343e-05,3.913904e-05,3.915151e-05,3.915599e-05,3.914858e-05,3.914508e-05,3.910901e-05,3.910107e-05,3.905030e-05,3.901477e-05,3.897127e-05,3.889484e-05,3.887403e-05,3.876053e-05,3.874590e-05,3.863254e-05,3.857206e-05,3.849170e-05,3.837698e-05,3.833949e-05,3.817726e-05,3.816389e-05,3.800626e-05,3.793566e-05,3.782761e-05,3.769483e-05,3.764234e-05,3.745139e-05,3.744365e-05,3.725560e-05,3.718408e-05,3.705575e-05,3.691789e-05,3.685254e-05,3.664661e-05,3.643854e-05,3.637159e-05,3.622886e-05,3.609403e-05,3.601803e-05,3.581497e-05,3.580650e-05,3.559465e-05,3.553533e-05,3.538284e-05,3.525590e-05,3.517138e-05,3.497739e-05,3.496056e-05,3.475063e-05,3.470041e-05,3.454184e-05,3.442548e-05,3.433438e-05,3.415307e-05,3.412844e-05,3.392419e-05,3.388356e-05,3.372178e-05,3.361730e-05,3.352133e-05,3.335456e-05,3.332297e-05,3.312678e-05,3.309560e-05,3.293287e-05,3.284062e-05,3.274130e-05,3.258978e-05,3.255214e-05,3.236546e-05,3.234323e-05,3.218129e-05,3.210107e-05,3.199968e-05,3.186339e-05,3.182066e-05,3.164426e-05,3.163026e-05,3.147049e-05,3.140172e-05,3.129936e-05,3.117780e-05,3.113089e-05,3.096508e-05,3.095851e-05,3.080193e-05,3.074385e-05,3.064144e-05,3.053382e-05,3.048359e-05,3.032838e-05,3.012752e-05,2.993118e-05,2.973934e-05,2.955193e-05,2.936889e-05,2.919018e-05,2.901573e-05,2.884547e-05,2.867933e-05,2.851723e-05,2.835912e-05,2.820490e-05,2.805451e-05,2.790787e-05,2.776490e-05,2.762553e-05,2.748967e-05,2.735725e-05,2.722820e-05,2.710244e-05,2.697990e-05,2.686049e-05,2.674414e-05,2.663079e-05
0.000000e+00,1.505014e-14,1.293472e-13,3.100442e-12,2.491188e-11,6.416260e-11,4.832413e-10,5.193506e-10,2.518271e-09,3.678244e-09,8.846422e-09,1.683413e-08,2.492065e-08,5.604406e-08,5.981850e-08,1.272296e-07,1.502443e-07,2.462351e-07,3.444671e-07,4.417723e-07,7.014002e-07,7.445303e-07,1.189971e-06,1.299527e-06,1.816336e-06,2.226327e-06,2.661853e-06,3.567270e-06,3.761599e-06,5.144583e-06,5.393659e-06,6.831481e-06,7.752745e-06,8.833234e-06,1.066215e-05,1.115055e-05,1.377422e-05,1.410887e-05,1.668604e-05,1.805210e-05,1.986016e-05,2.242847e-05,2.326469e-05,2.686330e-05,2.715842e-05,3.061690e-05,3.215270e-05,3.448508e-05,3.731842e-05,3.842747e-05,4.240484e-05,4.256412e-05,4.638001e-05,4.780381e-05,5.031858e-05,5.295990e-05,5.418947e-05,5.796517e-05,6.162203e-05,6.276378e-05,6.514023e-05,6.731156e-05,6.850376e-05,7.157572e-05,7.170025e-05,7.472074e-05,7.553406e-05,7.755937e-05,7.917389e-05,8.021312e-05,8.249078e-05,8.268145e-05,8.496596e-05,8.548724e-05,8.707007e-05,8.817135e-05,8.899869e-05,9.055552e-05,9.075791e-05,9.235475e-05,9.265530e-05,9.379688e-05,9.448834e-05,9.509243e-05,9.607354e-05,9.624978e-05,9.727744e-05,9.743039e-05,9.818385e-05,9.857831e-05,9.897732e-05,9.953622e-05,9.966593e-05,1.002574e-04,1.003223e-04,1.007593e-04,1.009535e-04,1.011785e-04,1.014460e-04,1.015218e-04,1.017954e-04,1.018144e-04,1.020051e-04,1.020723e-04,1.021563e-04,1.022318e-04,1.022541e-04,1.023031e-04,1.023041e-04,1.023076e-04,1.022991e-04,1.022716e-04,1.022258e-04,1.021986e-04,1.020921e-04,1.019549e-04,1.019051e-04,1.017900e-04,1.016710e-04,1.015998e-04,1.013956e-04,1.013867e-04,1.011528e-04,1.010838e-04,1.009000e-04,1.007400e-04,1.006302e-04,1.003682e-04,1.003449e-04,1.000456e-04,9.997190e-05,9.973380e-05,9.955413e-05,9.941060e-05,9.911771e-05,9.907720e-05,9.873463e-05,9.866510e-05,9.838384e-05,9.819850e-05,9.802577e-05,9.771995e-05,9.766121e-05,9.729090e-05,9.723116e-05,9.691557e-05,9.673383e-05,9.653587e-05,9.622933e-05,9.615235e-05,9.576559e-05,9.571899e-05,9.537612e-05,9.520400e-05,9.498436e-05,9.468538e-05,9.459077e-05,9.419575e-05,9.416410e-05,9.379966e-05,9.364101e-05,9.340286e-05,9.311690e-05,9.300566e-05,9.260835e-05,9.259246e-05,9.221122e-05,9.206835e-05,9.181453e-05,9.154515e-05,9.141851e-05,9.102339e-05,9.050357e-05,8.998611e-05,8.947142e-05,8.895985e-05,8.845174e-05,8.794738e-05,8.744702e-05,8.695090e-05,8.645924e-05,8.597223e-05,8.549005e-05,8.501283e-05,8.454073e-05,8.407385e-05,8.361231e-05,8.315618e-05,8.270554e-05,8.226046e-05,8.182100e-05,8.138718e-05,8.095905e-05,8.053664e-05,8.011995e-05,7.970899e-05
0.000000e+00,1.570066e-11,8.891922e-11,9.508766e-10,3.917310e-09,7.178527e-09,2.430998e-08,2.534862e-08,6.180722e-08,7.606019e-08,1.220706e-07,1.717435e-07,2.111296e-07,3.225260e-07,3.336618e-07,4.935713e-07,5.377578e-07,6.923167e-07,8.196500e-07,9.268671e-07,1.157138e-06,1.189914e-06,1.472638e-06,1.530822e-06,1.767170e-06,1.922873e-06,2.067301e-06,2.320151e-06,2.368167e-06,2.665814e-06,2.712909e-06,2.956913e-06,3.093468e-06,3.238644e-06,3.455697e-06,3.508669e-06,3.765128e-06,3.794921e-06,4.006638e-06,4.107913e-06,4.232275e-06,4.392821e-06,4.441539e-06,4.634309e-06,4.649022e-06,4.810783e-06,4.876905e-06,4.971418e-06,5.077628e-06,5.116868e-06,5.247933e-06,5.252888e-06,5.365503e-06,5.404706e-06,5.470524e-06,5.535261e-06,5.563957e-06,5.646753e-06,5.719836e-06,5.741317e-06,5.784086e-06,5.820954e-06,5.840328e-06,5.887501e-06,5.889331e-06,5.931800e-06,5.942610e-06,5.968381e-06,5.987749e-06,5.999661e-06,6.024214e-06,6.026170e-06,6.048387e-06,6.053129e-06,6.066740e-06,6.075475e-06,6.081614e-06,6.092101e-06,6.093355e-06,6.102272e-06,6.103741e-06,6.108639e-06,6.111025e-06,6.112702e-06,6.114495e-06,6.114679e-06,6.114768e-06,6.114618e-06,6.113143e-06,6.111802e-06,6.109965e-06,6.106400e-06,6.105376e-06,6.099504e-06,6.098719e-06,6.092465e-06,6.089025e-06,6.084363e-06,6.077555e-06,6.075295e-06,6.065347e-06,6.064516e-06,6.054599e-06,6.050092e-06,6.043122e-06,6.034445e-06,6.030983e-06,6.018241e-06,6.017720e-06,6.004954e-06,6.000048e-06,5.991173e-06,5.981544e-06,5.976945e-06,5.962313e-06,5.947318e-06,5.942449e-06,5.931998e-06,5.922038e-06,5.916387e-06,5.901158e-06,5.900519e-06,5.884423e-06,5.879879e-06,5.868127e-06,5.858264e-06,5.851657e-06,5.836373e-06,5.835038e-06,5.818293e-06,5.814257e-06,5.801442e-06,5.791966e-06,5.784505e-06,5.769544e-06,5.767500e-06,5.750446e-06,5.747030e-06,5.733357e-06,5.724463e-06,5.716250e-06,5.701875e-06,5.699137e-06,5.682033e-06,5.679298e-06,5.664949e-06,5.656760e-06,5.647897e-06,5.634285e-06,5.630887e-06,5.613930e-06,5.611899e-06,5.597034e-06,5.589622e-06,5.580209e-06,5.567473e-06,5.563462e-06,5.546800e-06,5.545471e-06,5.530232e-06,5.523632e-06,5.513762e-06,5.501969e-06,5.497398e-06,5.481144e-06,5.480497e-06,5.465007e-06,5.459226e-06,5.448989e-06,5.438168e-06,5.433097e-06,5.417333e-06,5.396728e-06,5.376361e-06,5.356239e-06,5.336368e-06,5.316753e-06,5.297398e-06,5.278307e-06,5.259484e-06,5.240930e-06,5.222648e-06,5.204639e-06,5.186905e-06,5.169446e-06,5.152263e-06,5.135355e-06,5.118722e-06,5.102364e-06,5.086280e-06,5.070468e-06,5.054928e-06,5.039656e-06,5.024653e-06,5.009915e-06,4.995441e-06
0.000000e+00,9.198480e-12,5.804126e-11,7.562157e-10,3.625530e-09,7.151140e-09,2.861092e-08,3.002042e-08,8.467348e-08,1.082778e-07,1.914236e-07,2.915994e-07,3.777742e-07,6.483400e-07,6.772256e-07,1.117987e-06,1.246058e-06,1.705910e-06,2.092681e-06,2.421029e-06,3.130220e-06,3.231460e-06,4.107656e-06,4.288717e-06,5.027575e-06,5.517884e-06,5.975746e-06,6.785700e-06,6.940870e-06,7.913961e-06,8.069868e-06,8.887333e-06,9.352621e-06,9.854165e-06,1.061879e-05,1.080834e-05,1.174446e-05,1.185536e-05,1.265785e-05,1.305150e-05,1.354457e-05,1.419866e-05,1.440144e-05,1.522598e-05,1.529049e-05,1.601640e-05,1.632273e-05,1.677149e-05,1.729288e-05,1.749057e-05,1.817340e-05,1.819996e-05,1.882011e-05,1.904417e-05,1.943116e-05,1.982665e-05,2.000723e-05,2.054920e-05,2.105807e-05,2.121410e-05,2.153497e-05,2.182394e-05,2.198106e-05,2.238148e-05,2.239759e-05,2.278578e-05,2.288957e-05,2.314689e-05,2.335107e-05,2.348215e-05,2.376882e-05,2.379279e-05,2.407999e-05,2.414556e-05,2.434491e-05,2.448396e-05,2.458868e-05,2.478656e-05,2.481238e-05,2.501705e-05,2.505579e-05,2.520370e-05,2.529395e-05,2.537328e-05,2.550322e-05,2.552672e-05,2.566488e-05,2.568563e-05,2.578862e-05,2.584312e-05,2.589872e-05,2.597749e-05,2.599594e-05,2.608102e-05,2.609045e-05,2.615463e-05,2.618356e-05,2.621744e-05,2.625832e-05,2.627005e-05,2.631307e-05,2.631611e-05,2.634705e-05,2.635823e-05,2.637252e-05,2.638588e-05,2.638999e-05,2.639994e-05,2.640019e-05,2.640281e-05,2.640220e-05,2.639905e-05,2.639290e-05,2.638905e-05,2.637320e-05,2.635186e-05,2.634393e-05,2.632539e-05,2.630590e-05,2.629411e-05,2.625984e-05,2.625833e-05,2.621834e-05,2.620643e-05,2.617443e-05,2.614631e-05,2.612686e-05,2.608006e-05,2.607587e-05,2.602170e-05,2.600825e-05,2.596457e-05,2.593137e-05,2.590470e-05,2.584991e-05,2.584229e-05,2.577752e-05,2.576430e-05,2.571058e-05,2.567496e-05,2.564163e-05,2.558227e-05,2.557083e-05,2.549833e-05,2.548658e-05,2.542428e-05,2.538822e-05,2.534881e-05,2.528750e-05,2.527205e-05,2.519413e-05,2.518470e-05,2.511514e-05,2.508009e-05,2.503521e-05,2.497389e-05,2.495444e-05,2.487291e-05,2.486636e-05,2.479072e-05,2.475768e-05,2.470796e-05,2.464807e-05,2.462471e-05,2.454105e-05,2.453769e-05,2.445704e-05,2.442672e-05,2.437275e-05,2.431531e-05,2.428825e-05,2.420360e-05,2.409173e-05,2.397981e-05,2.386796e-05,2.375629e-05,2.364488e-05,2.353384e-05,2.342323e-05,2.331314e-05,2.320363e-05,2.309476e-05,2.298660e-05,2.287919e-05,2.277259e-05,2.266683e-05,2.256196e-05,2.245801e-05,2.235502e-05,2.225300e-05,2.215200e-05,2.205202e-05,2.195310e-05,2.185525e-05,2.175848e-05,2.166281e-05
0.000000e+00,4.653030e-11,1.193339e-10,4.622047e-10,1.116381e-09,1.671487e-09,4.035312e-09,4.167513e-09,8.624107e-09,1.034405e-08,1.597289e-08,2.222469e-08,2.728866e-08,4.179470e-08,4.323926e-08,6.342185e-08,6.876435e-08,8.661465e-08,1.004507e-07,1.116051e-07,1.344030e-07,1.375462e-07,1.638997e-07,1.691865e-07,1.903099e-07,2.039777e-07,2.165191e-07,2.382284e-07,2.423222e-07,2.675477e-07,2.715201e-07,2.920498e-07,3.035171e-07,3.157061e-07,3.339541e-07,3.384165e-07,3.601030e-07,3.626337e-07,3.807106e-07,3.894267e-07,4.002048e-07,4.142641e-07,4.185678e-07,4.357985e-07,4.371283e-07,4.519081e-07,4.580428e-07,4.669190e-07,4.770634e-07,4.808617e-07,4.937732e-07,4.942688e-07,5.056955e-07,5.097539e-07,5.166738e-07,5.236243e-07,5.267557e-07,5.359861e-07,5.444126e-07,5.469469e-07,5.520817e-07,5.566132e-07,5.590382e-07,5.650870e-07,5.653263e-07,5.709880e-07,5.724666e-07,5.760635e-07,5.788434e-07,5.805908e-07,5.843027e-07,5.846059e-07,5.881431e-07,5.889246e-07,5.912348e-07,5.927828e-07,5.939111e-07,5.959455e-07,5.962008e-07,5.981305e-07,5.984755e-07,5.997254e-07,6.004303e-07,6.010090e-07,6.018628e-07,6.020033e-07,6.027290e-07,6.028214e-07,6.032052e-07,6.033506e-07,6.034501e-07,6.034908e-07,6.034804e-07,6.033120e-07,6.032791e-07,6.029594e-07,6.027495e-07,6.024364e-07,6.019329e-07,6.017558e-07,6.009297e-07,6.008576e-07,5.999691e-07,5.995495e-07,5.988845e-07,5.980323e-07,5.976856e-07,5.963817e-07,5.963274e-07,5.949810e-07,5.944547e-07,5.934917e-07,5.924321e-07,5.919210e-07,5.902760e-07,5.885631e-07,5.880016e-07,5.867882e-07,5.856225e-07,5.849572e-07,5.831514e-07,5.830752e-07,5.811471e-07,5.805996e-07,5.791775e-07,5.779777e-07,5.771708e-07,5.752953e-07,5.751309e-07,5.730616e-07,5.725610e-07,5.709664e-07,5.697830e-07,5.688485e-07,5.669685e-07,5.667110e-07,5.645568e-07,5.641242e-07,5.623884e-07,5.612561e-07,5.602084e-07,5.583700e-07,5.580192e-07,5.558227e-07,5.554708e-07,5.536212e-07,5.525632e-07,5.514164e-07,5.496514e-07,5.492101e-07,5.470039e-07,5.467393e-07,5.447994e-07,5.438304e-07,5.425980e-07,5.409279e-07,5.404011e-07,5.382097e-07,5.380347e-07,5.360252e-07,5.351535e-07,5.338484e-07,5.322866e-07,5.316805e-07,5.295224e-07,5.294363e-07,5.273749e-07,5.266045e-07,5.252387e-07,5.237930e-07,5.231147e-07,5.210034e-07,5.182371e-07,5.154955e-07,5.127797e-07,5.100907e-07,5.074294e-07,5.047967e-07,5.021933e-07,4.996197e-07,4.970766e-07,4.945644e-07,4.920834e-07,4.896340e-07,4.872165e-07,4.848311e-07,4.824778e-07,4.801569e-07,4.778683e-07,4.756121e-07,4.733884e-07,4.711969e-07,4.690377e-07,4.669106e-07,4.648156e-07,4.627523e-07
0.000000e+00,4.263128e-11,1.028255e-10,3.722734e-10,8.648382e-10,1.270090e-09,2.905741e-09,2.993642e-09,5.789426e-09,6.797816e-09,9.903788e-09,1.310996e-08,1.558884e-08,2.242616e-08,2.310021e-08,3.268391e-08,3.531696e-08,4.455014e-08,5.224687e-08,5.883326e-08,7.341222e-08,7.554163e-08,9.451210e-08,9.855001e-08,1.153968e-07,1.268540e-07,1.377058e-07,1.571477e-07,1.608954e-07,1.844558e-07,1.882303e-07,2.079636e-07,2.191293e-07,2.310922e-07,2.491578e-07,2.536008e-07,2.753164e-07,2.778628e-07,2.961164e-07,3.049555e-07,3.159164e-07,3.302604e-07,3.346607e-07,3.523165e-07,3.536814e-07,3.688689e-07,3.751803e-07,3.843173e-07,3.947626e-07,3.986731e-07,4.119568e-07,4.124662e-07,4.241964e-07,4.283534e-07,4.354257e-07,4.425039e-07,4.456828e-07,4.550089e-07,4.634471e-07,4.659670e-07,4.710418e-07,4.754805e-07,4.778379e-07,4.836522e-07,4.838799e-07,4.892121e-07,4.905838e-07,4.938776e-07,4.963743e-07,4.979182e-07,5.011186e-07,5.013745e-07,5.042853e-07,5.049069e-07,5.066879e-07,5.078247e-07,5.086178e-07,5.099520e-07,5.101088e-07,5.111927e-07,5.113634e-07,5.119000e-07,5.121284e-07,5.122591e-07,5.123116e-07,5.122972e-07,5.120394e-07,5.119723e-07,5.115097e-07,5.111656e-07,5.107306e-07,5.099417e-07,5.097228e-07,5.085062e-07,5.083471e-07,5.070992e-07,5.064242e-07,5.055189e-07,5.042119e-07,5.037814e-07,5.019018e-07,5.017457e-07,4.998940e-07,4.990579e-07,4.977711e-07,4.961782e-07,4.955453e-07,4.932279e-07,4.931334e-07,4.908294e-07,4.899480e-07,4.883596e-07,4.866441e-07,4.858276e-07,4.832418e-07,4.806101e-07,4.797595e-07,4.779397e-07,4.762134e-07,4.752373e-07,4.726186e-07,4.725091e-07,4.697608e-07,4.689884e-07,4.669977e-07,4.653348e-07,4.642248e-07,4.616688e-07,4.614464e-07,4.586667e-07,4.579999e-07,4.558896e-07,4.543368e-07,4.531185e-07,4.506874e-07,4.503565e-07,4.476067e-07,4.470584e-07,4.448715e-07,4.434559e-07,4.421536e-07,4.398853e-07,4.394550e-07,4.367777e-07,4.363514e-07,4.341235e-07,4.328582e-07,4.314941e-07,4.294094e-07,4.288909e-07,4.263152e-07,4.260080e-07,4.237682e-07,4.226568e-07,4.212508e-07,4.193580e-07,4.187640e-07,4.163085e-07,4.161135e-07,4.138851e-07,4.129248e-07,4.114942e-07,4.097932e-07,4.091364e-07,4.068121e-07,4.067198e-07,4.045216e-07,4.037053e-07,4.022651e-07,4.007503e-07,4.000429e-07,3.978550e-07,3.950197e-07,3.922443e-07,3.895288e-07,3.868729e-07,3.842763e-07,3.817384e-07,3.792587e-07,3.768367e-07,3.744716e-07,3.721626e-07,3.699090e-07,3.677100e-07,3.655646e-07,3.634720e-07,3.614312e-07,3.594412e-07,3.575012e-07,3.556101e-07,3.537670e-07,3.519708e-07,3.502207e-07,3.485154e-07,3.468542e-07,3.452360e-07
0.000000e+00,3.435372e-15,3.051982e-14,7.841641e-13,6.719977e-12,1.793900e-11,1.484112e-10,1.601180e-10,8.538594e-10,1.280174e-09,3.289293e-09,6.605695e-09,1.012993e-08,2.465770e-08,2.649661e-08,6.120927e-08,7.369287e-08,1.282488e-07,1.873222e-07,2.483741e-07,4.209513e-07,4.507807e-07,7.746277e-07,8.581910e-07,1.270216e-06,1.615928e-06,1.999617e-06,2.846655e-06,3.036614e-06,4.465913e-06,4.737182e-06,6.381667e-06,7.503616e-06,8.885411e-06,1.138315e-05,1.208352e-05,1.608439e-05,1.662357e-05,2.099547e-05,2.347159e-05,2.692030e-05,3.216104e-05,3.395566e-05,4.218891e-05,4.290168e-05,5.169579e-05,5.586956e-05,6.253838e-05,7.119914e-05,7.476370e-05,8.840255e-05,8.897776e-05,1.034689e-04,1.092422e-04,1.199598e-04,1.319778e-04,1.378553e-04,1.571194e-04,1.777007e-04,1.845546e-04,1.995335e-04,2.141276e-04,2.225394e-04,2.456454e-04,2.466285e-04,2.717017e-04,2.788841e-04,2.976517e-04,3.135957e-04,3.243653e-04,3.495152e-04,3.517249e-04,3.796101e-04,3.863673e-04,4.078997e-04,4.238733e-04,4.364726e-04,4.617567e-04,4.652099e-04,4.939955e-04,4.997485e-04,5.227175e-04,5.375921e-04,5.512690e-04,5.750465e-04,5.795491e-04,6.074630e-04,6.118893e-04,6.349233e-04,6.479192e-04,6.618495e-04,6.829566e-04,6.881687e-04,7.138157e-04,7.168453e-04,7.387327e-04,7.494518e-04,7.628697e-04,7.806655e-04,7.861838e-04,8.086392e-04,8.103976e-04,8.302070e-04,8.385804e-04,8.508648e-04,8.651654e-04,8.705961e-04,8.893902e-04,8.901224e-04,9.072418e-04,9.134373e-04,9.241502e-04,9.351110e-04,9.401194e-04,9.551571e-04,9.692749e-04,9.736006e-04,9.824874e-04,9.904763e-04,9.948121e-04,1.005827e-03,1.006269e-03,1.016879e-03,1.019702e-03,1.026667e-03,1.032156e-03,1.035658e-03,1.043248e-03,1.043877e-03,1.051353e-03,1.053039e-03,1.058112e-03,1.061595e-03,1.064183e-03,1.068979e-03,1.069595e-03,1.074376e-03,1.075259e-03,1.078554e-03,1.080497e-03,1.082157e-03,1.084760e-03,1.085214e-03,1.087751e-03,1.088111e-03,1.089796e-03,1.090611e-03,1.091375e-03,1.092320e-03,1.092513e-03,1.093235e-03,1.093295e-03,1.093566e-03,1.093593e-03,1.093527e-03,1.093265e-03,1.093142e-03,1.092433e-03,1.092363e-03,1.091419e-03,1.090933e-03,1.090121e-03,1.089021e-03,1.088558e-03,1.086748e-03,1.086670e-03,1.084708e-03,1.083920e-03,1.082454e-03,1.080808e-03,1.080003e-03,1.077370e-03,1.073638e-03,1.069644e-03,1.065416e-03,1.060980e-03,1.056362e-03,1.051585e-03,1.046669e-03,1.041634e-03,1.036498e-03,1.031277e-03,1.025988e-03,1.020643e-03,1.015256e-03,1.009839e-03,1.004402e-03,9.989555e-04,9.935079e-04,9.880676e-04,9.826420e-04,9.772377e-04,9.718608e-04,9.665169e-04,9.612109e-04,9.559470e-04
0.000000e+00,6.080771e-12,3.345733e-11,3.417635e-10,1.370114e-09,2.485410e-09,8.295704e-09,8.647456e-09,2.101991e-08,2.587357e-08,4.159769e-08,5.864372e-08,7.219440e-08,1.106307e-07,1.144811e-07,1.700120e-07,1.854718e-07,2.402080e-07,2.863808e-07,3.262556e-07,4.157000e-07,4.289046e-07,5.482624e-07,5.740992e-07,6.837602e-07,7.602582e-07,8.343388e-07,9.715293e-07,9.986957e-07,1.175451e-06,1.204790e-06,1.363216e-06,1.456844e-06,1.560596e-06,1.724481e-06,1.766189e-06,1.978577e-06,2.004453e-06,2.196333e-06,2.293479e-06,2.418031e-06,2.588290e-06,2.642262e-06,2.867655e-06,2.885697e-06,3.092894e-06,3.182666e-06,3.316738e-06,3.476391e-06,3.538035e-06,3.755730e-06,3.764350e-06,3.968879e-06,4.044335e-06,4.176648e-06,4.314487e-06,4.378321e-06,4.573298e-06,4.761088e-06,4.819597e-06,4.941304e-06,5.052533e-06,5.113663e-06,5.271553e-06,5.277969e-06,5.434110e-06,5.476360e-06,5.582048e-06,5.666881e-06,5.721808e-06,5.843236e-06,5.853474e-06,5.977175e-06,6.005697e-06,6.093083e-06,6.154661e-06,6.201399e-06,6.290620e-06,6.302354e-06,6.396197e-06,6.414135e-06,6.483194e-06,6.525817e-06,6.563619e-06,6.626305e-06,6.637756e-06,6.705891e-06,6.716254e-06,6.768308e-06,6.796322e-06,6.825293e-06,6.867156e-06,6.877123e-06,6.924071e-06,6.929390e-06,6.966403e-06,6.983632e-06,7.004374e-06,7.030471e-06,7.038236e-06,7.068227e-06,7.070466e-06,7.094576e-06,7.104145e-06,7.117502e-06,7.132007e-06,7.137214e-06,7.153912e-06,7.154520e-06,7.167785e-06,7.172123e-06,7.179013e-06,7.185225e-06,7.187767e-06,7.194207e-06,7.198485e-06,7.199421e-06,7.200745e-06,7.201196e-06,7.201124e-06,7.199835e-06,7.199748e-06,7.196739e-06,7.195619e-06,7.192210e-06,7.188808e-06,7.186268e-06,7.179640e-06,7.179014e-06,7.170541e-06,7.168336e-06,7.160939e-06,7.155100e-06,7.150292e-06,7.140119e-06,7.138677e-06,7.126168e-06,7.123565e-06,7.112835e-06,7.105598e-06,7.098743e-06,7.086362e-06,7.083951e-06,7.068519e-06,7.065994e-06,7.052499e-06,7.044615e-06,7.035942e-06,7.022341e-06,7.018895e-06,7.001402e-06,6.999275e-06,6.983506e-06,6.975513e-06,6.965244e-06,6.951145e-06,6.946655e-06,6.927772e-06,6.926250e-06,6.908628e-06,6.900904e-06,6.889252e-06,6.875175e-06,6.869674e-06,6.849919e-06,6.849125e-06,6.830012e-06,6.822813e-06,6.809978e-06,6.796292e-06,6.789837e-06,6.769611e-06,6.742813e-06,6.715940e-06,6.689029e-06,6.662116e-06,6.635231e-06,6.608402e-06,6.581657e-06,6.555020e-06,6.528511e-06,6.502151e-06,6.475958e-06,6.449949e-06,6.424138e-06,6.398539e-06,6.373163e-06,6.348023e-06,6.323127e-06,6.298485e-06,6.274103e-06,6.249990e-06,6.226151e-06,6.202590e-06,6.179314e-06,6.156325e-06
0.000000e+00,4.199062e-13,3.221344e-12,6.113901e-11,3.983615e-10,9.158554e-10,5.172991e-09,5.495881e-09,2.022709e-08,2.746253e-08,5.518328e-08,9.119767e-08,1.234213e-07,2.286709e-07,2.401860e-07,4.223082e-07,4.777119e-07,6.875727e-07,8.790107e-07,1.053394e-06,1.470102e-06,1.534215e-06,2.138115e-06,2.273764e-06,2.864355e-06,3.287466e-06,3.703350e-06,4.483519e-06,4.638908e-06,5.651388e-06,5.819157e-06,6.720502e-06,7.248108e-06,7.827135e-06,8.727893e-06,8.954196e-06,1.008688e-05,1.022255e-05,1.121255e-05,1.170281e-05,1.232057e-05,1.314536e-05,1.340209e-05,1.444985e-05,1.453202e-05,1.545803e-05,1.584919e-05,1.642217e-05,1.708719e-05,1.733897e-05,1.820619e-05,1.823983e-05,1.902255e-05,1.930387e-05,1.978754e-05,2.027846e-05,2.050135e-05,2.116468e-05,2.177873e-05,2.196505e-05,2.234499e-05,2.268312e-05,2.286522e-05,2.332317e-05,2.334139e-05,2.377556e-05,2.388989e-05,2.416985e-05,2.438818e-05,2.452642e-05,2.482301e-05,2.484743e-05,2.513497e-05,2.519923e-05,2.539111e-05,2.552158e-05,2.561783e-05,2.579454e-05,2.581705e-05,2.599060e-05,2.602238e-05,2.614021e-05,2.620910e-05,2.626753e-05,2.635841e-05,2.637414e-05,2.646149e-05,2.647378e-05,2.653099e-05,2.655840e-05,2.658394e-05,2.661521e-05,2.662157e-05,2.664502e-05,2.664693e-05,2.665537e-05,2.665604e-05,2.665365e-05,2.664483e-05,2.664078e-05,2.661765e-05,2.661538e-05,2.658509e-05,2.656960e-05,2.654388e-05,2.650924e-05,2.649471e-05,2.643828e-05,2.643588e-05,2.637520e-05,2.635098e-05,2.630606e-05,2.625585e-05,2.623139e-05,2.615172e-05,2.606751e-05,2.603967e-05,2.597919e-05,2.592071e-05,2.588719e-05,2.579574e-05,2.579187e-05,2.569359e-05,2.566559e-05,2.559269e-05,2.553101e-05,2.548946e-05,2.539268e-05,2.538419e-05,2.527715e-05,2.525122e-05,2.516858e-05,2.510720e-05,2.505871e-05,2.496111e-05,2.494774e-05,2.483589e-05,2.481342e-05,2.472331e-05,2.466455e-05,2.461020e-05,2.451487e-05,2.449669e-05,2.438293e-05,2.436472e-05,2.426907e-05,2.421441e-05,2.415521e-05,2.406421e-05,2.404148e-05,2.392797e-05,2.391437e-05,2.381478e-05,2.376511e-05,2.370201e-05,2.361663e-05,2.358974e-05,2.347803e-05,2.346912e-05,2.336695e-05,2.332272e-05,2.325658e-05,2.317758e-05,2.314696e-05,2.303815e-05,2.303382e-05,2.293020e-05,2.289156e-05,2.282315e-05,2.275088e-05,2.271703e-05,2.261189e-05,2.247464e-05,2.233920e-05,2.220563e-05,2.207397e-05,2.194427e-05,2.181654e-05,2.169082e-05,2.156713e-05,2.144548e-05,2.132587e-05,2.120832e-05,2.109282e-05,2.097938e-05,2.086798e-05,2.075862e-05,2.065129e-05,2.054597e-05,2.044265e-05,2.034131e-05,2.024193e-05,2.014449e-05,2.004898e-05,1.995536e-05,1.986361e-05
0.000000e+00,1.000706e-12,7.988243e-12,1.644263e-10,1.151878e-09,2.754182e-09,1.718771e-08,1.833399e-08,7.436639e-08,1.036554e-07,2.224966e-07,3.879470e-07,5.437952e-07,1.090483e-06,1.153168e-06,2.201687e-06,2.538363e-06,3.869966e-06,5.145464e-06,6.345358e-06,9.319401e-06,9.787523e-06,1.429853e-05,1.533304e-05,1.991064e-05,2.325585e-05,2.659277e-05,3.297713e-05,3.426777e-05,4.283164e-05,4.427671e-05,5.216926e-05,5.689189e-05,6.216433e-05,7.055808e-05,7.270454e-05,8.368356e-05,8.502572e-05,9.500123e-05,1.000638e-04,1.065631e-04,1.154586e-04,1.182803e-04,1.300689e-04,1.310128e-04,1.418511e-04,1.465458e-04,1.535547e-04,1.618956e-04,1.651142e-04,1.764710e-04,1.769203e-04,1.875737e-04,1.914996e-04,1.983779e-04,2.055352e-04,2.088468e-04,2.189501e-04,2.286642e-04,2.316875e-04,2.379715e-04,2.437087e-04,2.468595e-04,2.549908e-04,2.553210e-04,2.633526e-04,2.655244e-04,2.709546e-04,2.753109e-04,2.781305e-04,2.843609e-04,2.848860e-04,2.912292e-04,2.926913e-04,2.971698e-04,3.003246e-04,3.027186e-04,3.072869e-04,3.078875e-04,3.126891e-04,3.136065e-04,3.171366e-04,3.193137e-04,3.212432e-04,3.244393e-04,3.250226e-04,3.284882e-04,3.290145e-04,3.316535e-04,3.330701e-04,3.345318e-04,3.366365e-04,3.371361e-04,3.394793e-04,3.397435e-04,3.415737e-04,3.424195e-04,3.434314e-04,3.446923e-04,3.450643e-04,3.464835e-04,3.465882e-04,3.477001e-04,3.481324e-04,3.487246e-04,3.493490e-04,3.495671e-04,3.502374e-04,3.502608e-04,3.507449e-04,3.508895e-04,3.510985e-04,3.512555e-04,3.513069e-04,3.513783e-04,3.513206e-04,3.512761e-04,3.511414e-04,3.509662e-04,3.508477e-04,3.504647e-04,3.504466e-04,3.499446e-04,3.497869e-04,3.493480e-04,3.489471e-04,3.486627e-04,3.479589e-04,3.478945e-04,3.470487e-04,3.468348e-04,3.461306e-04,3.455867e-04,3.451450e-04,3.442257e-04,3.440967e-04,3.429901e-04,3.427621e-04,3.418293e-04,3.412057e-04,3.406185e-04,3.395656e-04,3.393615e-04,3.380619e-04,3.378502e-04,3.367230e-04,3.360674e-04,3.353483e-04,3.342247e-04,3.339407e-04,3.325033e-04,3.323289e-04,3.310388e-04,3.303865e-04,3.295498e-04,3.284033e-04,3.280388e-04,3.265082e-04,3.263850e-04,3.249602e-04,3.243366e-04,3.233970e-04,3.222631e-04,3.218205e-04,3.202325e-04,3.201688e-04,3.186350e-04,3.180579e-04,3.170295e-04,3.159341e-04,3.154177e-04,3.138010e-04,3.116619e-04,3.095197e-04,3.073772e-04,3.052370e-04,3.031014e-04,3.009727e-04,2.988526e-04,2.967431e-04,2.946458e-04,2.925621e-04,2.904936e-04,2.884413e-04,2.864064e-04,2.843899e-04,2.823927e-04,2.804155e-04,2.784592e-04,2.765244e-04,2.746115e-04,2.727211e-04,2.708536e-04,2.690093e-04,2.671886e-04,2.653916e-04
0.000000e+00,1.037280e-10,2.633196e-10,1.006617e-09,2.401124e-09,3.562932e-09,8.313740e-09,8.570892e-09,1.680876e-08,1.980085e-08,2.906297e-08,3.867606e-08,4.613320e-08,6.676590e-08,6.880287e-08,9.776937e-08,1.057201e-07,1.335367e-07,1.566210e-07,1.762840e-07,2.194732e-07,2.257412e-07,2.811273e-07,2.928139e-07,3.412150e-07,3.738328e-07,4.045341e-07,4.591493e-07,4.696290e-07,5.352487e-07,5.457275e-07,6.004166e-07,6.313166e-07,6.644120e-07,7.144120e-07,7.267191e-07,7.869747e-07,7.940546e-07,8.449273e-07,8.696509e-07,9.004082e-07,9.408536e-07,9.533116e-07,1.003580e-06,1.007487e-06,1.051193e-06,1.069497e-06,1.096161e-06,1.126918e-06,1.138517e-06,1.178312e-06,1.179851e-06,1.215609e-06,1.228438e-06,1.250482e-06,1.272854e-06,1.283015e-06,1.313291e-06,1.341402e-06,1.349955e-06,1.367438e-06,1.383054e-06,1.391489e-06,1.412797e-06,1.413648e-06,1.434002e-06,1.439390e-06,1.452640e-06,1.463035e-06,1.469648e-06,1.483926e-06,1.485108e-06,1.499101e-06,1.502250e-06,1.511705e-06,1.518184e-06,1.522994e-06,1.531899e-06,1.533041e-06,1.541914e-06,1.543554e-06,1.549681e-06,1.553303e-06,1.556404e-06,1.561288e-06,1.562143e-06,1.566958e-06,1.567646e-06,1.570902e-06,1.572502e-06,1.574029e-06,1.575977e-06,1.576390e-06,1.578031e-06,1.578182e-06,1.578998e-06,1.579222e-06,1.579335e-06,1.579195e-06,1.579083e-06,1.578281e-06,1.578194e-06,1.576965e-06,1.576303e-06,1.575172e-06,1.573603e-06,1.572933e-06,1.570282e-06,1.570168e-06,1.567248e-06,1.566068e-06,1.563860e-06,1.561367e-06,1.560144e-06,1.556125e-06,1.551829e-06,1.550399e-06,1.547276e-06,1.544239e-06,1.542490e-06,1.537694e-06,1.537491e-06,1.532296e-06,1.530809e-06,1.526925e-06,1.523625e-06,1.521395e-06,1.516180e-06,1.515721e-06,1.509919e-06,1.508509e-06,1.504003e-06,1.500646e-06,1.497987e-06,1.492619e-06,1.491882e-06,1.485701e-06,1.484457e-06,1.479455e-06,1.476185e-06,1.473154e-06,1.467827e-06,1.466809e-06,1.460427e-06,1.459404e-06,1.454019e-06,1.450936e-06,1.447592e-06,1.442441e-06,1.441153e-06,1.434709e-06,1.433936e-06,1.428267e-06,1.425435e-06,1.421834e-06,1.416954e-06,1.415414e-06,1.409014e-06,1.408503e-06,1.402637e-06,1.400094e-06,1.396289e-06,1.391739e-06,1.389974e-06,1.383696e-06,1.383445e-06,1.377457e-06,1.375222e-06,1.371263e-06,1.367077e-06,1.365115e-06,1.359016e-06,1.351045e-06,1.343171e-06,1.335397e-06,1.327727e-06,1.320166e-06,1.312715e-06,1.305378e-06,1.298158e-06,1.291054e-06,1.284070e-06,1.277207e-06,1.270463e-06,1.263842e-06,1.257342e-06,1.250964e-06,1.244707e-06,1.238571e-06,1.232557e-06,1.226662e-06,1.220886e-06,1.215229e-06,1.209688e-06,1.204264e-06,1.198955e-06
0.000000e+00,6.973151e-14,5.867961e-13,1.346549e-11,1.039629e-10,2.619449e-10,1.863412e-09,1.997988e-09,9.149441e-09,1.315623e-08,3.041236e-08,5.602937e-08,8.119752e-08,1.740264e-07,1.849805e-07,3.738712e-07,4.362057e-07,6.884256e-07,9.371411e-07,1.176795e-06,1.793317e-06,1.893234e-06,2.895849e-06,3.135920e-06,4.243470e-06,5.099302e-06,5.991766e-06,7.805685e-06,8.189139e-06,1.087308e-05,1.134947e-05,1.406762e-05,1.578568e-05,1.778214e-05,2.112512e-05,2.201146e-05,2.673697e-05,2.733605e-05,3.192845e-05,3.435040e-05,3.754629e-05,4.207244e-05,4.354374e-05,4.986909e-05,5.038766e-05,5.646772e-05,5.917121e-05,6.328387e-05,6.829502e-05,7.026211e-05,7.734861e-05,7.763359e-05,8.449213e-05,8.706842e-05,9.164478e-05,9.649117e-05,9.876254e-05,1.058057e-04,1.127388e-04,1.149291e-04,1.195312e-04,1.237921e-04,1.261565e-04,1.323388e-04,1.325924e-04,1.388208e-04,1.405256e-04,1.448276e-04,1.483205e-04,1.506016e-04,1.557014e-04,1.561351e-04,1.614229e-04,1.626551e-04,1.664626e-04,1.691760e-04,1.712534e-04,1.752645e-04,1.757967e-04,1.800951e-04,1.809258e-04,1.841528e-04,1.861693e-04,1.879748e-04,1.910073e-04,1.915669e-04,1.949357e-04,1.954544e-04,1.980882e-04,1.995267e-04,2.010318e-04,2.032413e-04,2.037740e-04,2.063228e-04,2.066160e-04,2.086858e-04,2.096688e-04,2.108710e-04,2.124177e-04,2.128862e-04,2.147391e-04,2.148805e-04,2.164371e-04,2.170746e-04,2.179876e-04,2.190168e-04,2.193980e-04,2.206751e-04,2.207235e-04,2.218258e-04,2.222103e-04,2.228565e-04,2.234922e-04,2.237737e-04,2.245833e-04,2.252914e-04,2.254974e-04,2.259034e-04,2.262473e-04,2.264249e-04,2.268450e-04,2.268609e-04,2.272165e-04,2.273023e-04,2.274963e-04,2.276298e-04,2.277050e-04,2.278379e-04,2.278468e-04,2.279259e-04,2.279360e-04,2.279463e-04,2.279334e-04,2.279116e-04,2.278383e-04,2.278254e-04,2.276912e-04,2.276589e-04,2.275122e-04,2.274024e-04,2.272915e-04,2.270760e-04,2.270320e-04,2.267365e-04,2.266860e-04,2.264076e-04,2.262386e-04,2.260479e-04,2.257395e-04,2.256597e-04,2.252453e-04,2.251939e-04,2.248067e-04,2.246067e-04,2.243462e-04,2.239826e-04,2.238654e-04,2.233664e-04,2.233257e-04,2.228507e-04,2.226401e-04,2.223200e-04,2.219295e-04,2.217758e-04,2.212197e-04,2.211972e-04,2.206528e-04,2.204463e-04,2.200765e-04,2.196799e-04,2.194921e-04,2.189006e-04,2.181109e-04,2.173130e-04,2.165092e-04,2.157012e-04,2.148910e-04,2.140802e-04,2.132702e-04,2.124624e-04,2.116580e-04,2.108583e-04,2.100641e-04,2.092765e-04,2.084962e-04,2.077241e-04,2.069607e-04,2.062067e-04,2.054626e-04,2.047289e-04,2.040059e-04,2.032941e-04,2.025937e-04,2.019049e-04,2.012281e-04,2.005633e-04
0.000000e+00,5.599134e-11,1.596965e-10,6.871543e-10,1.728405e-09,2.615423e-09,6.323821e-09,6.527042e-09,1.312763e-08,1.556106e-08,2.319263e-08,3.125008e-08,3.758308e-08,5.541224e-08,5.719279e-08,8.277954e-08,8.985887e-08,1.146547e-07,1.351163e-07,1.523610e-07,1.894009e-07,1.946689e-07,2.400034e-07,2.493008e-07,2.869203e-07,3.115606e-07,3.343105e-07,3.738974e-07,3.813820e-07,4.275727e-07,4.348526e-07,4.724764e-07,4.934823e-07,5.157951e-07,5.491597e-07,5.573102e-07,5.968660e-07,6.014757e-07,6.343600e-07,6.501876e-07,6.697338e-07,6.951867e-07,7.029678e-07,7.340722e-07,7.364695e-07,7.630849e-07,7.741167e-07,7.900632e-07,8.082669e-07,8.150776e-07,8.382117e-07,8.390992e-07,8.595553e-07,8.668188e-07,8.792028e-07,8.916433e-07,8.972504e-07,9.137943e-07,9.289289e-07,9.334895e-07,9.427465e-07,9.509397e-07,9.553357e-07,9.663443e-07,9.667811e-07,9.771629e-07,9.798895e-07,9.865564e-07,9.917478e-07,9.950326e-07,1.002078e-06,1.002658e-06,1.009495e-06,1.011025e-06,1.015602e-06,1.018722e-06,1.021031e-06,1.025289e-06,1.025834e-06,1.030056e-06,1.030834e-06,1.033740e-06,1.035457e-06,1.036927e-06,1.039246e-06,1.039653e-06,1.041952e-06,1.042282e-06,1.043856e-06,1.044638e-06,1.045394e-06,1.046380e-06,1.046594e-06,1.047480e-06,1.047567e-06,1.048076e-06,1.048252e-06,1.048403e-06,1.048484e-06,1.048482e-06,1.048330e-06,1.048308e-06,1.047965e-06,1.047762e-06,1.047402e-06,1.046884e-06,1.046658e-06,1.045744e-06,1.045704e-06,1.044675e-06,1.044254e-06,1.043461e-06,1.042560e-06,1.042115e-06,1.040645e-06,1.039063e-06,1.038534e-06,1.037376e-06,1.036245e-06,1.035593e-06,1.033798e-06,1.033721e-06,1.031768e-06,1.031208e-06,1.029741e-06,1.028492e-06,1.027646e-06,1.025663e-06,1.025488e-06,1.023273e-06,1.022734e-06,1.021007e-06,1.019717e-06,1.018694e-06,1.016623e-06,1.016338e-06,1.013944e-06,1.013461e-06,1.011516e-06,1.010241e-06,1.009057e-06,1.006970e-06,1.006571e-06,1.004061e-06,1.003657e-06,1.001530e-06,1.000308e-06,9.989804e-07,9.969298e-07,9.964157e-07,9.938381e-07,9.935280e-07,9.912498e-07,9.901081e-07,9.886531e-07,9.866752e-07,9.860500e-07,9.834425e-07,9.832338e-07,9.808325e-07,9.797881e-07,9.782215e-07,9.763419e-07,9.756112e-07,9.730031e-07,9.728988e-07,9.703986e-07,9.694622e-07,9.677991e-07,9.660348e-07,9.652057e-07,9.626197e-07,9.592192e-07,9.558356e-07,9.524712e-07,9.491278e-07,9.458073e-07,9.425112e-07,9.392411e-07,9.359982e-07,9.327838e-07,9.295991e-07,9.264450e-07,9.233223e-07,9.202320e-07,9.171747e-07,9.141511e-07,9.111617e-07,9.082070e-07,9.052874e-07,9.024034e-07,8.995551e-07,8.967430e-07,8.939670e-07,8.912275e-07,8.885245e-07
0.000000e+00,1.117102e-10,2.654912e-10,9.510696e-10,2.210012e-09,3.253201e-09,7.527449e-09,7.759857e-09,1.528129e-08,1.805139e-08,2.675339e-08,3.597271e-08,4.323800e-08,6.371035e-08,6.575106e-08,9.484987e-08,1.028046e-07,1.303151e-07,1.526755e-07,1.713705e-07,2.114211e-07,2.171348e-07,2.668447e-07,2.772027e-07,3.198676e-07,3.485649e-07,3.756562e-07,4.242895e-07,4.337107e-07,4.935587e-07,5.032703e-07,5.547482e-07,5.844685e-07,6.168494e-07,6.669142e-07,6.794582e-07,7.422013e-07,7.497231e-07,8.047406e-07,8.321141e-07,8.667738e-07,9.134171e-07,9.280376e-07,9.883063e-07,9.930788e-07,1.047388e-06,1.070653e-06,1.105126e-06,1.145793e-06,1.161393e-06,1.216088e-06,1.218242e-06,1.269135e-06,1.287818e-06,1.320479e-06,1.354401e-06,1.370084e-06,1.417925e-06,1.463995e-06,1.478364e-06,1.508295e-06,1.535723e-06,1.550836e-06,1.590035e-06,1.591634e-06,1.630713e-06,1.641352e-06,1.668104e-06,1.689740e-06,1.703837e-06,1.735277e-06,1.737947e-06,1.770472e-06,1.778046e-06,1.801450e-06,1.818138e-06,1.830922e-06,1.855644e-06,1.858929e-06,1.885511e-06,1.890661e-06,1.910712e-06,1.923283e-06,1.934572e-06,1.953608e-06,1.957133e-06,1.978436e-06,1.981731e-06,1.998523e-06,2.007745e-06,2.017434e-06,2.031743e-06,2.035209e-06,2.051886e-06,2.053815e-06,2.067504e-06,2.074051e-06,2.082102e-06,2.092535e-06,2.095715e-06,2.108379e-06,2.109353e-06,2.120131e-06,2.124584e-06,2.131004e-06,2.138307e-06,2.141031e-06,2.150246e-06,2.150598e-06,2.158679e-06,2.161530e-06,2.166363e-06,2.171174e-06,2.173326e-06,2.179598e-06,2.185207e-06,2.186866e-06,2.190181e-06,2.193043e-06,2.194546e-06,2.198187e-06,2.198327e-06,2.201551e-06,2.202357e-06,2.204241e-06,2.205608e-06,2.206420e-06,2.207993e-06,2.208111e-06,2.209336e-06,2.209563e-06,2.210117e-06,2.210367e-06,2.210472e-06,2.210450e-06,2.210424e-06,2.209990e-06,2.209858e-06,2.209188e-06,2.208633e-06,2.208038e-06,2.206814e-06,2.206555e-06,2.204757e-06,2.204441e-06,2.202659e-06,2.201550e-06,2.200277e-06,2.198176e-06,2.197625e-06,2.194718e-06,2.194353e-06,2.191570e-06,2.190112e-06,2.188194e-06,2.185483e-06,2.184602e-06,2.180807e-06,2.180495e-06,2.176821e-06,2.175175e-06,2.172654e-06,2.169549e-06,2.168319e-06,2.163825e-06,2.163642e-06,2.159182e-06,2.157476e-06,2.154401e-06,2.151074e-06,2.149489e-06,2.144457e-06,2.137645e-06,2.130655e-06,2.123507e-06,2.116216e-06,2.108799e-06,2.101270e-06,2.093644e-06,2.085934e-06,2.078153e-06,2.070311e-06,2.062422e-06,2.054494e-06,2.046537e-06,2.038562e-06,2.030576e-06,2.022588e-06,2.014606e-06,2.006635e-06,1.998684e-06,1.990758e-06,1.982863e-06,1.975004e-06,1.967186e-06,1.959414e-06
0.000000e+00,8.570168e-13,6.116446e-12,1.005898e-10,5.799159e-10,1.251015e-09,6.066518e-09,6.407694e-09,2.064044e-08,2.710767e-08,5.038121e-08,7.860536e-08,1.027249e-07,1.772189e-07,1.850905e-07,3.049653e-07,3.401081e-07,4.692025e-07,5.825022e-07,6.827108e-07,9.128762e-07,9.473058e-07,1.261637e-06,1.330180e-06,1.622102e-06,1.826225e-06,2.023966e-06,2.389784e-06,2.462113e-06,2.931391e-06,3.009022e-06,3.426699e-06,3.672211e-06,3.942997e-06,4.367802e-06,4.475310e-06,5.018788e-06,5.084532e-06,5.568767e-06,5.811674e-06,6.120852e-06,6.539338e-06,6.670992e-06,7.215542e-06,7.258766e-06,7.751299e-06,7.962510e-06,8.275522e-06,8.644524e-06,8.785933e-06,9.280693e-06,9.300137e-06,9.758383e-06,9.925960e-06,1.021796e-05,1.051975e-05,1.065871e-05,1.108022e-05,1.148232e-05,1.160689e-05,1.186505e-05,1.209993e-05,1.222864e-05,1.255998e-05,1.257341e-05,1.289985e-05,1.298803e-05,1.320847e-05,1.338534e-05,1.349987e-05,1.375331e-05,1.377470e-05,1.403362e-05,1.409346e-05,1.427729e-05,1.440734e-05,1.450640e-05,1.469650e-05,1.472162e-05,1.492360e-05,1.496247e-05,1.511300e-05,1.520673e-05,1.529045e-05,1.543070e-05,1.545654e-05,1.561186e-05,1.563575e-05,1.575697e-05,1.582315e-05,1.589240e-05,1.599412e-05,1.601866e-05,1.613624e-05,1.614978e-05,1.624559e-05,1.629122e-05,1.634717e-05,1.641942e-05,1.644138e-05,1.652861e-05,1.653530e-05,1.660925e-05,1.663973e-05,1.668363e-05,1.673352e-05,1.675211e-05,1.681500e-05,1.681740e-05,1.687259e-05,1.689208e-05,1.692517e-05,1.695820e-05,1.697301e-05,1.701636e-05,1.705546e-05,1.706711e-05,1.709053e-05,1.711097e-05,1.712180e-05,1.714843e-05,1.714947e-05,1.717372e-05,1.717992e-05,1.719474e-05,1.720587e-05,1.721270e-05,1.722666e-05,1.722776e-05,1.724008e-05,1.724265e-05,1.724981e-05,1.725417e-05,1.725708e-05,1.726154e-05,1.726202e-05,1.726475e-05,1.726505e-05,1.726540e-05,1.726495e-05,1.726408e-05,1.726152e-05,1.726089e-05,1.725593e-05,1.725498e-05,1.724930e-05,1.724555e-05,1.724108e-05,1.723343e-05,1.723137e-05,1.722025e-05,1.721882e-05,1.720779e-05,1.720190e-05,1.719406e-05,1.718283e-05,1.717914e-05,1.716310e-05,1.716177e-05,1.714599e-05,1.713886e-05,1.712788e-05,1.711425e-05,1.710882e-05,1.708887e-05,1.708806e-05,1.706809e-05,1.706041e-05,1.704651e-05,1.703141e-05,1.702419e-05,1.700117e-05,1.696979e-05,1.693736e-05,1.690397e-05,1.686971e-05,1.683464e-05,1.679884e-05,1.676238e-05,1.672533e-05,1.668774e-05,1.664967e-05,1.661118e-05,1.657231e-05,1.653311e-05,1.649363e-05,1.645391e-05,1.641398e-05,1.637389e-05,1.633367e-05,1.629335e-05,1.625297e-05,1.621255e-05,1.617212e-05,1.613171e-05,1.609133e-05
0.000000e+00,7.768865e-13,5.476898e-12,8.765325e-11,4.919348e-10,1.044811e-09,4.853947e-09,5.117603e-09,1.574160e-08,2.040556e-08,3.666839e-08,5.562974e-08,7.136317e-08,1.180651e-07,1.228703e-07,1.939294e-07,2.141775e-07,2.870393e-07,3.495902e-07,4.041770e-07,5.277479e-07,5.460564e-07,7.112971e-07,7.468603e-07,8.962294e-07,9.984741e-07,1.095645e-06,1.270285e-06,1.304012e-06,1.516445e-06,1.550541e-06,1.729133e-06,1.830467e-06,1.939309e-06,2.104298e-06,2.145002e-06,2.344755e-06,2.368269e-06,2.537425e-06,2.619706e-06,2.722060e-06,2.856500e-06,2.897839e-06,3.064059e-06,3.076926e-06,3.220145e-06,3.279639e-06,3.365661e-06,3.463721e-06,3.500321e-06,3.623996e-06,3.628714e-06,3.736706e-06,3.774625e-06,3.838613e-06,3.901880e-06,3.930002e-06,4.011263e-06,4.082876e-06,4.103842e-06,4.145385e-06,4.180883e-06,4.199375e-06,4.243746e-06,4.245444e-06,4.284200e-06,4.293823e-06,4.316245e-06,4.332494e-06,4.342163e-06,4.361082e-06,4.362518e-06,4.377850e-06,4.380839e-06,4.388658e-06,4.392909e-06,4.395406e-06,4.398330e-06,4.398526e-06,4.398409e-06,4.398029e-06,4.395408e-06,4.392815e-06,4.389843e-06,4.383400e-06,4.382004e-06,4.372152e-06,4.370405e-06,4.360516e-06,4.354359e-06,4.347303e-06,4.335720e-06,4.332696e-06,4.316860e-06,4.314885e-06,4.299943e-06,4.292190e-06,4.282072e-06,4.267923e-06,4.263362e-06,4.243917e-06,4.242333e-06,4.223830e-06,4.215633e-06,4.203181e-06,4.188009e-06,4.182046e-06,4.160489e-06,4.159619e-06,4.138569e-06,4.130599e-06,4.116338e-06,4.101069e-06,4.093846e-06,4.071135e-06,4.048245e-06,4.040888e-06,4.025211e-06,4.010409e-06,4.002065e-06,3.979767e-06,3.978836e-06,3.955552e-06,3.949026e-06,3.932236e-06,3.918241e-06,3.908911e-06,3.887462e-06,3.885598e-06,3.862315e-06,3.856733e-06,3.839078e-06,3.826092e-06,3.815904e-06,3.795574e-06,3.792807e-06,3.769800e-06,3.765211e-06,3.746896e-06,3.735029e-06,3.724105e-06,3.705055e-06,3.701437e-06,3.678902e-06,3.675309e-06,3.656508e-06,3.645811e-06,3.634263e-06,3.616579e-06,3.612174e-06,3.590247e-06,3.587627e-06,3.568488e-06,3.558969e-06,3.546902e-06,3.530616e-06,3.525494e-06,3.504269e-06,3.502579e-06,3.483229e-06,3.474867e-06,3.462379e-06,3.447486e-06,3.441722e-06,3.421259e-06,3.420445e-06,3.400994e-06,3.393747e-06,3.380928e-06,3.367398e-06,3.361063e-06,3.341401e-06,3.315759e-06,3.290473e-06,3.265545e-06,3.240977e-06,3.216767e-06,3.192916e-06,3.169424e-06,3.146288e-06,3.123507e-06,3.101080e-06,3.079003e-06,3.057276e-06,3.035894e-06,3.014855e-06,2.994156e-06,2.973793e-06,2.953763e-06,2.934062e-06,2.914686e-06,2.895632e-06,2.876895e-06,2.858471e-06,2.840356e-06,2.822547e-06
0.000000e+00,6.144544e-12,3.825112e-11,4.856610e-10,2.277627e-09,4.438411e-09,1.716015e-08,1.797765e-08,4.852400e-08,6.116046e-08,1.036852e-07,1.517811e-07,1.911337e-07,3.068718e-07,3.187481e-07,4.945150e-07,5.447145e-07,7.258020e-07,8.816369e-07,1.017720e-06,1.325428e-06,1.370936e-06,1.780415e-06,1.868261e-06,2.236444e-06,2.488091e-06,2.727313e-06,3.158274e-06,3.241746e-06,3.770086e-06,3.855362e-06,4.304442e-06,4.561135e-06,4.838388e-06,5.261680e-06,5.366660e-06,5.884907e-06,5.946245e-06,6.389540e-06,6.606493e-06,6.877648e-06,7.236116e-06,7.346921e-06,7.795606e-06,7.830571e-06,8.222441e-06,8.386859e-06,8.626602e-06,8.903295e-06,9.007644e-06,9.365442e-06,9.379272e-06,9.700138e-06,9.815036e-06,1.001209e-05,1.021148e-05,1.030182e-05,1.056999e-05,1.081734e-05,1.089224e-05,1.104471e-05,1.118014e-05,1.125296e-05,1.143570e-05,1.144296e-05,1.161563e-05,1.166100e-05,1.177186e-05,1.185808e-05,1.191253e-05,1.202895e-05,1.203851e-05,1.215064e-05,1.217558e-05,1.224972e-05,1.229981e-05,1.233655e-05,1.240342e-05,1.241187e-05,1.247640e-05,1.248807e-05,1.253083e-05,1.255535e-05,1.257580e-05,1.260672e-05,1.261193e-05,1.263982e-05,1.264355e-05,1.266002e-05,1.266713e-05,1.267305e-05,1.267865e-05,1.267941e-05,1.267958e-05,1.267920e-05,1.267399e-05,1.266981e-05,1.266306e-05,1.265143e-05,1.264719e-05,1.262675e-05,1.262493e-05,1.260209e-05,1.259111e-05,1.257353e-05,1.255073e-05,1.254139e-05,1.250595e-05,1.250447e-05,1.246749e-05,1.245296e-05,1.242627e-05,1.239678e-05,1.238252e-05,1.233647e-05,1.228833e-05,1.227251e-05,1.223830e-05,1.220537e-05,1.218656e-05,1.213544e-05,1.213329e-05,1.207864e-05,1.206312e-05,1.202279e-05,1.198875e-05,1.196585e-05,1.191263e-05,1.190797e-05,1.184927e-05,1.183508e-05,1.178987e-05,1.175634e-05,1.172988e-05,1.167666e-05,1.166938e-05,1.160849e-05,1.159627e-05,1.154728e-05,1.151536e-05,1.148584e-05,1.143411e-05,1.142424e-05,1.136256e-05,1.135269e-05,1.130085e-05,1.127125e-05,1.123919e-05,1.118992e-05,1.117761e-05,1.111619e-05,1.110883e-05,1.105495e-05,1.102808e-05,1.099396e-05,1.094779e-05,1.093324e-05,1.087284e-05,1.086802e-05,1.081279e-05,1.078888e-05,1.075312e-05,1.071041e-05,1.069386e-05,1.063504e-05,1.063270e-05,1.057668e-05,1.055579e-05,1.051880e-05,1.047973e-05,1.046143e-05,1.040457e-05,1.033034e-05,1.025708e-05,1.018481e-05,1.011356e-05,1.004335e-05,9.974182e-06,9.906083e-06,9.839057e-06,9.773112e-06,9.708253e-06,9.644480e-06,9.581794e-06,9.520194e-06,9.459675e-06,9.400233e-06,9.341863e-06,9.284555e-06,9.228303e-06,9.173097e-06,9.118926e-06,9.065779e-06,9.013645e-06,8.962511e-06,8.912364e-06
0.000000e+00,5.620999e-11,1.509161e-10,6.085967e-10,1.481990e-09,2.212942e-09,5.204392e-09,5.366194e-09,1.054067e-08,1.241680e-08,1.821965e-08,2.424236e-08,2.891792e-08,4.186918e-08,4.314779e-08,6.126040e-08,6.618951e-08,8.319653e-08,9.697052e-08,1.084413e-07,1.328357e-07,1.362933e-07,1.661145e-07,1.722680e-07,1.973926e-07,2.140920e-07,2.297109e-07,2.573980e-07,2.627098e-07,2.960627e-07,3.014114e-07,3.294653e-07,3.454321e-07,3.626340e-07,3.888243e-07,3.953077e-07,4.272512e-07,4.310252e-07,4.582585e-07,4.715591e-07,4.881554e-07,5.100460e-07,5.168001e-07,5.440831e-07,5.462044e-07,5.699258e-07,5.798474e-07,5.942780e-07,6.108743e-07,6.171157e-07,6.384368e-07,6.392583e-07,6.582574e-07,6.650311e-07,6.766091e-07,6.882717e-07,6.935367e-07,7.090939e-07,7.233414e-07,7.276346e-07,7.363445e-07,7.440449e-07,7.481714e-07,7.584831e-07,7.588916e-07,7.685741e-07,7.711087e-07,7.772874e-07,7.820777e-07,7.850976e-07,7.915405e-07,7.920688e-07,7.982620e-07,7.996391e-07,8.037352e-07,8.065062e-07,8.085432e-07,8.122649e-07,8.127375e-07,8.163663e-07,8.170283e-07,8.194747e-07,8.208993e-07,8.221042e-07,8.239712e-07,8.242934e-07,8.260781e-07,8.263284e-07,8.274915e-07,8.280471e-07,8.285642e-07,8.291959e-07,8.293242e-07,8.297974e-07,8.298361e-07,8.300078e-07,8.300229e-07,8.299774e-07,8.298057e-07,8.297263e-07,8.292733e-07,8.292288e-07,8.286353e-07,8.283319e-07,8.278282e-07,8.271506e-07,8.268665e-07,8.257635e-07,8.257166e-07,8.245315e-07,8.240587e-07,8.231820e-07,8.222024e-07,8.217252e-07,8.201709e-07,8.185280e-07,8.179849e-07,8.168046e-07,8.156630e-07,8.150084e-07,8.132221e-07,8.131464e-07,8.112251e-07,8.106773e-07,8.092505e-07,8.080424e-07,8.072281e-07,8.053297e-07,8.051631e-07,8.030603e-07,8.025504e-07,8.009240e-07,7.997147e-07,7.987585e-07,7.968316e-07,7.965674e-07,7.943544e-07,7.939095e-07,7.921228e-07,7.909560e-07,7.898756e-07,7.879779e-07,7.876155e-07,7.853454e-07,7.849814e-07,7.830675e-07,7.819721e-07,7.807843e-07,7.789552e-07,7.784977e-07,7.762099e-07,7.759353e-07,7.739226e-07,7.729168e-07,7.716375e-07,7.699033e-07,7.693562e-07,7.670803e-07,7.668985e-07,7.648110e-07,7.639054e-07,7.625497e-07,7.609271e-07,7.602974e-07,7.580554e-07,7.579660e-07,7.558246e-07,7.550245e-07,7.536060e-07,7.521047e-07,7.514003e-07,7.492085e-07,7.463377e-07,7.434939e-07,7.406783e-07,7.378923e-07,7.351369e-07,7.324132e-07,7.297219e-07,7.270639e-07,7.244397e-07,7.218499e-07,7.192951e-07,7.167756e-07,7.142917e-07,7.118437e-07,7.094317e-07,7.070559e-07,7.047165e-07,7.024134e-07,7.001465e-07,6.979160e-07,6.957216e-07,6.935633e-07,6.914408e-07,6.893541e-07
0.000000e+00,5.941605e-15,5.270421e-14,1.349914e-12,1.153562e-11,3.074843e-11,2.534944e-10,2.734548e-10,1.454224e-09,2.178994e-09,5.592399e-09,1.122535e-08,1.721250e-08,4.191399e-08,4.504293e-08,1.041707e-07,1.254538e-07,2.185067e-07,3.192505e-07,4.232832e-07,7.166488e-07,7.672381e-07,1.314187e-06,1.454666e-06,2.143788e-06,2.717943e-06,3.351418e-06,4.738119e-06,5.047173e-06,7.354084e-06,7.788702e-06,1.040565e-05,1.217610e-05,1.434285e-05,1.822770e-05,1.931075e-05,2.545494e-05,2.627811e-05,3.291786e-05,3.665461e-05,4.183520e-05,4.966283e-05,5.233254e-05,6.452221e-05,6.557350e-05,7.850069e-05,8.461114e-05,9.434631e-05,1.069450e-04,1.121176e-04,1.318522e-04,1.326827e-04,1.535659e-04,1.618670e-04,1.772532e-04,1.944748e-04,2.028869e-04,2.304195e-04,2.597842e-04,2.695545e-04,2.908966e-04,3.116799e-04,3.236561e-04,3.565489e-04,3.579485e-04,3.936476e-04,4.038771e-04,4.306176e-04,4.533503e-04,4.687153e-04,5.046337e-04,5.077923e-04,5.476968e-04,5.573801e-04,5.882760e-04,6.112381e-04,6.293774e-04,6.658591e-04,6.708507e-04,7.125494e-04,7.209036e-04,7.543318e-04,7.760464e-04,7.960621e-04,8.309809e-04,8.376116e-04,8.788587e-04,8.854225e-04,9.196904e-04,9.391109e-04,9.600018e-04,9.918115e-04,9.996969e-04,1.038689e-03,1.043317e-03,1.076899e-03,1.093445e-03,1.114257e-03,1.142042e-03,1.150703e-03,1.186183e-03,1.188978e-03,1.220653e-03,1.234149e-03,1.254074e-03,1.277471e-03,1.286417e-03,1.317658e-03,1.318884e-03,1.347779e-03,1.358346e-03,1.376768e-03,1.395831e-03,1.404620e-03,1.431332e-03,1.456908e-03,1.464854e-03,1.481355e-03,1.496412e-03,1.504682e-03,1.526036e-03,1.526903e-03,1.548036e-03,1.553760e-03,1.568097e-03,1.579629e-03,1.587109e-03,1.603692e-03,1.605093e-03,1.622075e-03,1.626004e-03,1.638079e-03,1.646624e-03,1.653132e-03,1.665613e-03,1.667260e-03,1.680492e-03,1.683034e-03,1.692856e-03,1.698951e-03,1.704380e-03,1.713432e-03,1.715092e-03,1.725022e-03,1.726540e-03,1.734196e-03,1.738340e-03,1.742644e-03,1.748898e-03,1.750393e-03,1.757470e-03,1.758276e-03,1.763902e-03,1.766535e-03,1.769716e-03,1.773737e-03,1.774937e-03,1.779590e-03,1.779938e-03,1.783700e-03,1.785197e-03,1.787290e-03,1.789567e-03,1.790384e-03,1.793005e-03,1.793101e-03,1.795174e-03,1.795849e-03,1.796913e-03,1.797859e-03,1.798241e-03,1.799178e-03,1.799850e-03,1.799917e-03,1.799419e-03,1.798394e-03,1.796878e-03,1.794906e-03,1.792510e-03,1.789721e-03,1.786568e-03,1.783078e-03,1.779279e-03,1.775194e-03,1.770847e-03,1.766259e-03,1.761452e-03,1.756445e-03,1.751255e-03,1.745901e-03,1.740398e-03,1.734762e-03,1.729007e-03,1.723146e-03,1.717192e-03,1.711157e-03
0.000000e+00,1.665086e-11,8.426826e-11,7.509610e-10,2.755535e-09,4.815414e-09,1.498612e-08,1.558696e-08,3.628168e-08,4.426400e-08,6.986789e-08,9.736670e-08,1.191158e-07,1.805071e-07,1.866409e-07,2.749122e-07,2.994421e-07,3.861946e-07,4.592928e-07,5.223803e-07,6.638026e-07,6.846714e-07,8.731602e-07,9.139106e-07,1.086516e-06,1.206439e-06,1.322054e-06,1.534460e-06,1.576221e-06,1.845194e-06,1.889354e-06,2.125300e-06,2.262710e-06,2.413199e-06,2.647118e-06,2.705916e-06,3.000809e-06,3.036228e-06,3.295532e-06,3.424612e-06,3.588008e-06,3.807658e-06,3.876417e-06,4.159177e-06,4.181512e-06,4.434942e-06,4.543031e-06,4.702588e-06,4.889746e-06,4.961202e-06,5.210065e-06,5.219808e-06,5.448637e-06,5.531926e-06,5.676540e-06,5.825295e-06,5.893538e-06,6.099519e-06,6.294475e-06,6.354545e-06,6.478490e-06,6.590588e-06,6.651721e-06,6.808077e-06,6.814383e-06,6.966743e-06,7.007598e-06,7.109101e-06,7.189852e-06,7.241788e-06,7.355618e-06,7.365153e-06,7.479558e-06,7.505723e-06,7.585373e-06,7.641017e-06,7.682972e-06,7.762358e-06,7.772726e-06,7.855005e-06,7.870596e-06,7.930170e-06,7.966563e-06,7.998576e-06,8.051067e-06,8.060569e-06,8.116481e-06,8.124885e-06,8.166637e-06,8.188760e-06,8.211349e-06,8.243400e-06,8.250915e-06,8.285624e-06,8.289476e-06,8.315751e-06,8.327624e-06,8.341560e-06,8.358441e-06,8.363302e-06,8.381217e-06,8.382492e-06,8.395535e-06,8.400304e-06,8.406473e-06,8.412373e-06,8.414239e-06,8.419030e-06,8.419162e-06,8.421033e-06,8.421106e-06,8.420426e-06,8.418610e-06,8.417379e-06,8.412051e-06,8.404594e-06,8.401782e-06,8.395153e-06,8.388132e-06,8.383863e-06,8.371405e-06,8.370853e-06,8.356246e-06,8.351886e-06,8.340158e-06,8.329840e-06,8.322698e-06,8.305511e-06,8.303968e-06,8.284068e-06,8.279128e-06,8.263089e-06,8.250903e-06,8.241119e-06,8.221031e-06,8.218240e-06,8.194529e-06,8.189694e-06,8.170061e-06,8.157061e-06,8.144904e-06,8.123288e-06,8.119124e-06,8.092781e-06,8.088518e-06,8.065935e-06,8.052885e-06,8.038638e-06,8.016513e-06,8.010944e-06,7.982900e-06,7.979514e-06,7.954552e-06,7.941993e-06,7.925942e-06,7.904048e-06,7.897110e-06,7.868095e-06,7.865767e-06,7.838931e-06,7.827231e-06,7.809651e-06,7.788517e-06,7.780288e-06,7.750870e-06,7.749692e-06,7.721423e-06,7.710821e-06,7.691975e-06,7.671961e-06,7.662548e-06,7.633165e-06,7.594482e-06,7.555956e-06,7.517626e-06,7.479530e-06,7.441699e-06,7.404165e-06,7.366954e-06,7.330090e-06,7.293596e-06,7.257489e-06,7.221788e-06,7.186508e-06,7.151661e-06,7.117259e-06,7.083313e-06,7.049830e-06,7.016818e-06,6.984282e-06,6.952228e-06,6.920660e-06,6.889579e-06,6.858987e-06,6.828886e-06,6.799276e-06
0.000000e+00,1.170155e-11,2.727668e-11,9.562102e-11,2.197078e-10,3.219224e-10,7.379569e-10,7.604918e-10,1.486773e-09,1.753142e-09,2.587404e-09,3.468918e-09,4.163361e-09,6.128600e-09,6.325743e-09,9.175667e-09,9.969381e-09,1.276548e-08,1.509170e-08,1.706694e-08,2.136573e-08,2.198444e-08,2.740039e-08,2.853371e-08,3.320889e-08,3.635539e-08,3.932472e-08,4.464955e-08,4.568008e-08,5.221879e-08,5.327865e-08,5.889182e-08,6.212936e-08,6.565456e-08,7.110140e-08,7.246555e-08,7.928586e-08,8.010317e-08,8.607914e-08,8.905085e-08,9.281178e-08,9.786908e-08,9.945318e-08,1.059759e-07,1.064919e-07,1.123560e-07,1.148633e-07,1.185728e-07,1.229379e-07,1.246089e-07,1.304504e-07,1.306798e-07,1.360861e-07,1.380630e-07,1.415080e-07,1.450696e-07,1.467101e-07,1.516892e-07,1.564436e-07,1.579176e-07,1.609737e-07,1.637560e-07,1.652812e-07,1.692095e-07,1.693688e-07,1.732406e-07,1.742867e-07,1.769012e-07,1.789985e-07,1.803560e-07,1.833577e-07,1.836108e-07,1.866719e-07,1.873784e-07,1.895455e-07,1.910754e-07,1.922385e-07,1.944641e-07,1.947574e-07,1.971090e-07,1.975598e-07,1.992999e-07,2.003779e-07,2.013368e-07,2.029335e-07,2.032262e-07,2.049744e-07,2.052414e-07,2.065876e-07,2.073158e-07,2.080720e-07,2.091707e-07,2.094334e-07,2.106775e-07,2.108192e-07,2.118098e-07,2.122739e-07,2.128355e-07,2.135471e-07,2.137599e-07,2.145878e-07,2.146500e-07,2.153240e-07,2.155938e-07,2.159729e-07,2.163885e-07,2.165389e-07,2.170263e-07,2.170442e-07,2.174389e-07,2.175698e-07,2.177806e-07,2.179743e-07,2.180550e-07,2.182657e-07,2.184161e-07,2.184519e-07,2.185092e-07,2.185401e-07,2.185481e-07,2.185372e-07,2.185358e-07,2.184750e-07,2.184497e-07,2.183685e-07,2.182836e-07,2.182186e-07,2.180446e-07,2.180279e-07,2.177987e-07,2.177382e-07,2.175331e-07,2.173693e-07,2.172333e-07,2.169427e-07,2.169012e-07,2.165388e-07,2.164628e-07,2.161479e-07,2.159339e-07,2.157301e-07,2.153598e-07,2.152873e-07,2.148209e-07,2.147441e-07,2.143324e-07,2.140905e-07,2.138232e-07,2.134020e-07,2.132948e-07,2.127484e-07,2.126816e-07,2.121852e-07,2.119324e-07,2.116064e-07,2.111568e-07,2.110132e-07,2.104065e-07,2.103574e-07,2.097874e-07,2.095365e-07,2.091569e-07,2.086964e-07,2.085158e-07,2.078651e-07,2.078389e-07,2.072056e-07,2.069661e-07,2.065380e-07,2.060798e-07,2.058630e-07,2.051815e-07,2.042729e-07,2.033554e-07,2.024305e-07,2.014992e-07,2.005630e-07,1.996228e-07,1.986796e-07,1.977345e-07,1.967884e-07,1.958421e-07,1.948963e-07,1.939517e-07,1.930091e-07,1.920691e-07,1.911322e-07,1.901990e-07,1.892700e-07,1.883456e-07,1.874262e-07,1.865122e-07,1.856041e-07,1.847020e-07,1.838064e-07,1.829174e-07
0.000000e+00,1.322762e-12,9.223148e-12,1.450090e-10,8.057579e-10,1.706434e-09,7.938018e-09,8.371870e-09,2.612024e-08,3.406187e-08,6.237444e-08,9.646315e-08,1.255331e-07,2.154997e-07,2.250419e-07,3.715795e-07,4.150224e-07,5.766108e-07,7.209824e-07,8.505258e-07,1.153716e-06,1.199645e-06,1.624067e-06,1.717566e-06,2.118116e-06,2.399594e-06,2.672754e-06,3.178254e-06,3.278135e-06,3.925135e-06,4.031971e-06,4.605825e-06,4.942478e-06,5.313357e-06,5.894618e-06,6.041671e-06,6.785227e-06,6.875228e-06,7.538827e-06,7.872313e-06,8.297539e-06,8.874690e-06,9.056684e-06,9.811859e-06,9.871977e-06,1.055899e-05,1.085474e-05,1.129434e-05,1.181463e-05,1.201460e-05,1.271684e-05,1.274452e-05,1.339858e-05,1.363858e-05,1.405775e-05,1.449223e-05,1.469268e-05,1.530209e-05,1.588505e-05,1.606591e-05,1.644096e-05,1.678238e-05,1.696948e-05,1.745105e-05,1.747056e-05,1.794435e-05,1.807216e-05,1.839116e-05,1.864650e-05,1.881149e-05,1.917532e-05,1.920594e-05,1.957521e-05,1.966018e-05,1.992009e-05,2.010287e-05,2.024141e-05,2.050538e-05,2.054005e-05,2.081691e-05,2.086976e-05,2.107293e-05,2.119812e-05,2.130900e-05,2.149257e-05,2.152606e-05,2.172498e-05,2.175519e-05,2.190666e-05,2.198800e-05,2.207196e-05,2.219297e-05,2.222172e-05,2.235674e-05,2.237199e-05,2.247781e-05,2.252685e-05,2.258567e-05,2.265927e-05,2.268106e-05,2.276466e-05,2.277086e-05,2.283715e-05,2.286317e-05,2.289914e-05,2.293762e-05,2.295125e-05,2.299404e-05,2.299556e-05,2.302807e-05,2.303827e-05,2.305385e-05,2.306693e-05,2.307189e-05,2.308266e-05,2.308659e-05,2.308648e-05,2.308412e-05,2.307936e-05,2.307564e-05,2.306221e-05,2.306154e-05,2.304218e-05,2.303586e-05,2.301790e-05,2.300111e-05,2.298902e-05,2.295866e-05,2.295586e-05,2.291869e-05,2.290921e-05,2.287780e-05,2.285337e-05,2.283345e-05,2.279174e-05,2.278587e-05,2.273531e-05,2.272486e-05,2.268198e-05,2.265322e-05,2.262609e-05,2.257731e-05,2.256784e-05,2.250741e-05,2.249755e-05,2.244497e-05,2.241434e-05,2.238069e-05,2.232806e-05,2.231474e-05,2.224725e-05,2.223905e-05,2.217836e-05,2.214764e-05,2.210821e-05,2.205412e-05,2.203692e-05,2.196460e-05,2.195877e-05,2.189137e-05,2.186185e-05,2.181733e-05,2.176358e-05,2.174258e-05,2.166721e-05,2.166418e-05,2.159130e-05,2.156386e-05,2.151494e-05,2.146280e-05,2.143821e-05,2.136117e-05,2.125914e-05,2.115684e-05,2.105441e-05,2.095198e-05,2.084966e-05,2.074754e-05,2.064574e-05,2.054433e-05,2.044340e-05,2.034302e-05,2.024325e-05,2.014416e-05,2.004580e-05,1.994822e-05,1.985147e-05,1.975559e-05,1.966061e-05,1.956657e-05,1.947350e-05,1.938142e-05,1.929036e-05,1.920034e-05,1.911136e-05,1.902346e-05
0.000000e+00,8.002148e-11,1.989444e-10,7.456527e-10,1.765737e-09,2.614968e-09,6.094433e-09,6.283203e-09,1.235681e-08,1.457568e-08,2.148747e-08,2.872872e-08,3.439157e-08,5.025035e-08,5.182982e-08,7.450152e-08,8.077717e-08,1.028179e-07,1.211182e-07,1.366515e-07,1.704579e-07,1.753232e-07,2.178860e-07,2.267822e-07,2.634209e-07,2.880121e-07,3.111589e-07,3.525018e-07,3.604765e-07,4.108591e-07,4.189890e-07,4.618681e-07,4.864607e-07,5.131208e-07,5.540705e-07,5.642801e-07,6.150494e-07,6.211029e-07,6.651702e-07,6.869594e-07,7.144203e-07,7.511514e-07,7.626122e-07,8.095908e-07,8.132928e-07,8.552314e-07,8.730903e-07,8.994364e-07,9.303331e-07,9.421325e-07,9.832679e-07,9.848803e-07,1.022809e-06,1.036650e-06,1.060739e-06,1.085608e-06,1.097052e-06,1.131757e-06,1.164868e-06,1.175130e-06,1.196409e-06,1.215784e-06,1.226408e-06,1.253789e-06,1.254901e-06,1.281923e-06,1.289231e-06,1.307514e-06,1.322200e-06,1.331718e-06,1.352796e-06,1.354576e-06,1.376134e-06,1.381119e-06,1.396435e-06,1.407272e-06,1.415525e-06,1.431357e-06,1.433448e-06,1.450248e-06,1.453477e-06,1.465969e-06,1.473732e-06,1.480654e-06,1.492219e-06,1.494344e-06,1.507080e-06,1.509032e-06,1.518903e-06,1.524265e-06,1.529851e-06,1.538005e-06,1.539962e-06,1.549273e-06,1.550338e-06,1.557820e-06,1.561347e-06,1.565636e-06,1.571109e-06,1.572756e-06,1.579212e-06,1.579700e-06,1.585034e-06,1.587193e-06,1.590254e-06,1.593655e-06,1.594900e-06,1.599000e-06,1.599153e-06,1.602582e-06,1.603749e-06,1.605671e-06,1.607503e-06,1.608292e-06,1.610470e-06,1.612227e-06,1.612704e-06,1.613586e-06,1.614257e-06,1.614568e-06,1.615176e-06,1.615195e-06,1.615484e-06,1.615507e-06,1.615456e-06,1.615294e-06,1.615128e-06,1.614576e-06,1.614517e-06,1.613641e-06,1.613393e-06,1.612515e-06,1.611782e-06,1.611155e-06,1.609776e-06,1.609575e-06,1.607788e-06,1.607407e-06,1.605809e-06,1.604708e-06,1.603650e-06,1.601706e-06,1.601323e-06,1.598839e-06,1.598428e-06,1.596211e-06,1.594901e-06,1.593447e-06,1.591147e-06,1.590560e-06,1.587557e-06,1.587189e-06,1.584448e-06,1.583049e-06,1.581243e-06,1.578747e-06,1.577949e-06,1.574573e-06,1.574300e-06,1.571125e-06,1.569726e-06,1.567610e-06,1.565042e-06,1.564036e-06,1.560408e-06,1.560262e-06,1.556734e-06,1.555401e-06,1.553019e-06,1.550472e-06,1.549268e-06,1.545487e-06,1.540457e-06,1.535394e-06,1.530307e-06,1.525206e-06,1.520098e-06,1.514992e-06,1.509894e-06,1.504813e-06,1.499753e-06,1.494721e-06,1.489721e-06,1.484758e-06,1.479838e-06,1.474962e-06,1.470136e-06,1.465362e-06,1.460644e-06,1.455983e-06,1.451383e-06,1.446844e-06,1.442370e-06,1.437961e-06,1.433619e-06,1.429345e-06
0.000000e+00,2.991856e-11,7.058205e-11,2.502525e-10,5.770243e-10,8.457912e-10,1.933506e-09,1.992122e-09,3.865410e-09,4.545203e-09,6.651958e-09,8.845675e-09,1.055381e-08,1.531160e-08,1.578379e-08,2.253896e-08,2.440351e-08,3.094365e-08,3.637167e-08,4.098162e-08,5.102934e-08,5.247707e-08,6.515437e-08,6.780555e-08,7.872191e-08,8.604130e-08,9.292129e-08,1.051788e-07,1.075378e-07,1.223943e-07,1.247833e-07,1.373418e-07,1.445109e-07,1.522530e-07,1.640814e-07,1.670179e-07,1.815412e-07,1.832638e-07,1.957416e-07,2.018693e-07,2.095504e-07,2.197480e-07,2.229111e-07,2.357786e-07,2.367856e-07,2.481183e-07,2.529004e-07,2.599049e-07,2.680393e-07,2.711219e-07,2.817600e-07,2.821734e-07,2.918161e-07,2.952941e-07,3.012926e-07,3.074089e-07,3.101964e-07,3.185378e-07,3.263302e-07,3.287102e-07,3.335889e-07,3.379624e-07,3.403313e-07,3.463350e-07,3.465755e-07,3.523408e-07,3.538719e-07,3.576467e-07,3.606181e-07,3.625132e-07,3.666194e-07,3.669602e-07,3.710073e-07,3.719212e-07,3.746739e-07,3.765682e-07,3.779792e-07,3.806036e-07,3.809416e-07,3.835791e-07,3.840691e-07,3.859092e-07,3.870049e-07,3.879486e-07,3.894491e-07,3.897137e-07,3.912199e-07,3.914379e-07,3.924822e-07,3.930057e-07,3.935149e-07,3.941850e-07,3.943318e-07,3.949458e-07,3.950064e-07,3.953694e-07,3.954986e-07,3.956147e-07,3.956887e-07,3.956928e-07,3.956146e-07,3.956019e-07,3.953904e-07,3.952620e-07,3.950299e-07,3.946912e-07,3.945424e-07,3.939367e-07,3.939102e-07,3.932212e-07,3.929382e-07,3.924037e-07,3.917934e-07,3.914917e-07,3.904925e-07,3.894126e-07,3.890511e-07,3.882585e-07,3.874837e-07,3.870362e-07,3.858039e-07,3.857514e-07,3.844094e-07,3.840241e-07,3.830154e-07,3.821560e-07,3.815741e-07,3.802102e-07,3.800900e-07,3.785674e-07,3.781967e-07,3.770104e-07,3.761248e-07,3.754226e-07,3.740029e-07,3.738078e-07,3.721691e-07,3.718387e-07,3.705097e-07,3.696397e-07,3.688327e-07,3.674123e-07,3.671407e-07,3.654364e-07,3.651627e-07,3.637222e-07,3.628965e-07,3.620004e-07,3.606189e-07,3.602731e-07,3.585423e-07,3.583345e-07,3.568099e-07,3.560477e-07,3.550777e-07,3.537623e-07,3.533472e-07,3.516200e-07,3.514820e-07,3.498975e-07,3.492101e-07,3.481809e-07,3.469494e-07,3.464716e-07,3.447705e-07,3.447027e-07,3.430789e-07,3.424723e-07,3.413975e-07,3.402605e-07,3.397273e-07,3.380691e-07,3.359000e-07,3.337546e-07,3.316343e-07,3.295404e-07,3.274739e-07,3.254357e-07,3.234265e-07,3.214472e-07,3.194981e-07,3.175798e-07,3.156927e-07,3.138370e-07,3.120129e-07,3.102205e-07,3.084600e-07,3.067312e-07,3.050343e-07,3.033691e-07,3.017354e-07,3.001330e-07,2.985618e-07,2.970216e-07,2.955119e-07,2.940325e-07
0.000000e+00,1.297554e-11,2.963965e-11,1.009549e-10,2.271211e-10,3.291224e-10,7.326590e-10,7.540903e-10,1.426931e-09,1.666281e-09,2.395021e-09,3.135889e-09,3.701782e-09,5.234798e-09,5.383857e-09,7.465982e-09,8.026411e-09,9.954622e-09,1.152033e-08,1.283200e-08,1.564999e-08,1.605235e-08,1.954238e-08,2.026467e-08,2.320727e-08,2.514740e-08,2.694253e-08,3.006135e-08,3.064874e-08,3.424364e-08,3.480420e-08,3.766781e-08,3.923899e-08,4.088360e-08,4.329213e-08,4.387075e-08,4.662146e-08,4.693562e-08,4.913632e-08,5.016955e-08,5.142135e-08,5.300999e-08,5.348600e-08,5.534176e-08,5.548158e-08,5.700131e-08,5.761313e-08,5.847779e-08,5.943494e-08,5.978444e-08,6.093423e-08,6.097714e-08,6.193970e-08,6.226865e-08,6.281276e-08,6.333660e-08,6.356469e-08,6.420600e-08,6.474650e-08,6.489967e-08,6.519524e-08,6.543816e-08,6.556057e-08,6.583995e-08,6.585017e-08,6.607107e-08,6.612150e-08,6.622969e-08,6.629744e-08,6.633192e-08,6.638076e-08,6.638309e-08,6.638808e-08,6.638291e-08,6.635133e-08,6.631405e-08,6.627690e-08,6.618316e-08,6.616847e-08,6.602941e-08,6.599819e-08,6.586276e-08,6.576614e-08,6.567131e-08,6.549318e-08,6.545758e-08,6.522388e-08,6.518478e-08,6.497232e-08,6.484579e-08,6.470480e-08,6.448047e-08,6.442307e-08,6.412871e-08,6.409260e-08,6.382316e-08,6.368553e-08,6.350777e-08,6.326222e-08,6.318372e-08,6.285211e-08,6.282529e-08,6.251396e-08,6.237707e-08,6.217017e-08,6.191964e-08,6.182160e-08,6.146899e-08,6.145481e-08,6.111305e-08,6.098421e-08,6.075440e-08,6.050927e-08,6.039363e-08,6.003127e-08,5.966780e-08,5.955133e-08,5.930367e-08,5.907048e-08,5.893929e-08,5.858960e-08,5.857504e-08,5.821124e-08,5.810950e-08,5.784821e-08,5.763088e-08,5.748623e-08,5.715436e-08,5.712556e-08,5.676643e-08,5.668049e-08,5.640906e-08,5.620977e-08,5.605363e-08,5.574261e-08,5.570034e-08,5.534933e-08,5.527942e-08,5.500076e-08,5.482050e-08,5.465475e-08,5.436618e-08,5.431143e-08,5.397091e-08,5.391669e-08,5.363327e-08,5.347226e-08,5.329861e-08,5.303307e-08,5.296700e-08,5.263850e-08,5.259930e-08,5.231319e-08,5.217107e-08,5.199110e-08,5.174850e-08,5.167229e-08,5.135678e-08,5.133169e-08,5.104463e-08,5.092071e-08,5.073585e-08,5.051563e-08,5.043046e-08,5.012849e-08,5.011648e-08,4.982994e-08,4.972331e-08,4.953483e-08,4.933612e-08,4.924317e-08,4.895494e-08,4.857976e-08,4.821057e-08,4.784734e-08,4.749006e-08,4.713870e-08,4.679320e-08,4.645354e-08,4.611966e-08,4.579151e-08,4.546904e-08,4.515219e-08,4.484088e-08,4.453507e-08,4.423468e-08,4.393964e-08,4.364989e-08,4.336534e-08,4.308594e-08,4.281159e-08,4.254224e-08,4.227779e-08,4.201819e-08,4.176335e-08,4.151319e-08
0.000000e+00,3.458052e-11,1.428619e-10,9.469467e-10,2.938081e-09,4.812031e-09,1.341981e-08,1.391437e-08,3.072900e-08,3.720245e-08,5.817247e-08,8.116069e-08,9.969321e-08,1.533287e-07,1.587627e-07,2.372783e-07,2.589455e-07,3.340355e-07,3.949402e-07,4.456301e-07,5.533166e-07,5.685725e-07,7.001788e-07,7.273545e-07,8.384370e-07,9.124080e-07,9.817108e-07,1.104876e-06,1.128555e-06,1.277638e-06,1.301615e-06,1.427723e-06,1.499783e-06,1.577677e-06,1.696860e-06,1.726485e-06,1.873258e-06,1.890697e-06,2.017239e-06,2.079541e-06,2.157804e-06,2.262036e-06,2.294451e-06,2.426796e-06,2.437188e-06,2.554552e-06,2.604324e-06,2.677527e-06,2.763037e-06,2.795599e-06,2.908711e-06,2.913132e-06,3.016859e-06,3.054583e-06,3.120078e-06,3.187486e-06,3.218437e-06,3.312030e-06,3.400969e-06,3.428467e-06,3.485382e-06,3.537094e-06,3.565406e-06,3.638233e-06,3.641185e-06,3.712865e-06,3.732221e-06,3.780596e-06,3.819402e-06,3.844528e-06,3.900118e-06,3.904809e-06,3.961586e-06,3.974707e-06,4.015001e-06,4.043499e-06,4.065197e-06,4.106813e-06,4.112308e-06,4.156469e-06,4.164958e-06,4.197807e-06,4.218229e-06,4.236447e-06,4.266908e-06,4.272509e-06,4.306108e-06,4.311263e-06,4.337356e-06,4.351552e-06,4.366360e-06,4.388017e-06,4.393223e-06,4.418043e-06,4.420888e-06,4.440914e-06,4.450384e-06,4.461929e-06,4.476712e-06,4.481173e-06,4.498731e-06,4.500065e-06,4.514682e-06,4.520630e-06,4.529102e-06,4.538579e-06,4.542065e-06,4.553641e-06,4.554076e-06,4.563896e-06,4.567277e-06,4.572894e-06,4.578326e-06,4.580697e-06,4.587363e-06,4.592947e-06,4.594515e-06,4.597504e-06,4.599904e-06,4.601083e-06,4.603646e-06,4.603735e-06,4.605505e-06,4.605848e-06,4.606437e-06,4.606612e-06,4.606575e-06,4.606034e-06,4.605958e-06,4.604626e-06,4.604204e-06,4.602615e-06,4.601205e-06,4.599960e-06,4.597119e-06,4.596696e-06,4.592854e-06,4.592019e-06,4.588465e-06,4.585976e-06,4.583558e-06,4.579057e-06,4.578162e-06,4.572303e-06,4.571324e-06,4.566006e-06,4.562835e-06,4.559296e-06,4.553646e-06,4.552196e-06,4.544729e-06,4.543809e-06,4.536915e-06,4.533372e-06,4.528774e-06,4.522381e-06,4.520327e-06,4.511591e-06,4.510880e-06,4.502584e-06,4.498909e-06,4.493322e-06,4.486506e-06,4.483823e-06,4.474100e-06,4.473707e-06,4.464170e-06,4.460546e-06,4.454045e-06,4.447056e-06,4.443739e-06,4.433265e-06,4.419202e-06,4.404893e-06,4.390363e-06,4.375636e-06,4.360733e-06,4.345676e-06,4.330483e-06,4.315173e-06,4.299763e-06,4.284269e-06,4.268706e-06,4.253088e-06,4.237430e-06,4.221743e-06,4.206038e-06,4.190328e-06,4.174622e-06,4.158930e-06,4.143262e-06,4.127625e-06,4.112027e-06,4.096477e-06,4.080980e-06,4.065544e-06
0.000000e+00,3.331065e-11,8.980048e-11,3.628057e-10,8.822229e-10,1.315520e-09,3.078541e-09,3.173497e-09,6.192275e-09,7.279041e-09,1.061692e-08,1.404549e-08,1.668225e-08,2.386774e-08,2.456737e-08,3.429024e-08,3.687888e-08,4.565459e-08,5.262174e-08,5.835409e-08,7.039885e-08,7.209389e-08,8.662339e-08,8.960445e-08,1.017241e-07,1.097351e-07,1.171956e-07,1.303402e-07,1.328497e-07,1.485103e-07,1.510055e-07,1.640160e-07,1.713608e-07,1.792235e-07,1.910917e-07,1.940102e-07,2.082758e-07,2.099488e-07,2.219425e-07,2.277508e-07,2.349538e-07,2.443811e-07,2.472734e-07,2.588825e-07,2.597803e-07,2.697769e-07,2.739361e-07,2.799650e-07,2.868728e-07,2.894647e-07,2.983010e-07,2.986410e-07,3.065041e-07,3.093086e-07,3.141076e-07,3.189535e-07,3.211469e-07,3.276580e-07,3.336769e-07,3.355047e-07,3.392383e-07,3.425732e-07,3.443759e-07,3.489385e-07,3.491212e-07,3.535041e-07,3.546702e-07,3.575524e-07,3.598315e-07,3.612917e-07,3.644793e-07,3.647457e-07,3.679362e-07,3.686649e-07,3.708831e-07,3.724338e-07,3.736046e-07,3.758263e-07,3.761173e-07,3.784364e-07,3.788782e-07,3.805755e-07,3.816210e-07,3.825474e-07,3.840828e-07,3.843633e-07,3.860338e-07,3.862882e-07,3.875684e-07,3.882594e-07,3.889759e-07,3.900157e-07,3.902642e-07,3.914405e-07,3.915745e-07,3.925117e-07,3.929513e-07,3.934838e-07,3.941598e-07,3.943625e-07,3.951530e-07,3.952126e-07,3.958603e-07,3.961210e-07,3.964889e-07,3.968950e-07,3.970428e-07,3.975260e-07,3.975440e-07,3.979422e-07,3.980762e-07,3.982946e-07,3.984996e-07,3.985866e-07,3.988210e-07,3.990006e-07,3.990470e-07,3.991282e-07,3.991836e-07,3.992060e-07,3.992363e-07,3.992366e-07,3.992221e-07,3.992102e-07,3.991645e-07,3.991101e-07,3.990659e-07,3.989405e-07,3.989281e-07,3.987530e-07,3.987056e-07,3.985421e-07,3.984091e-07,3.982972e-07,3.980547e-07,3.980197e-07,3.977112e-07,3.976458e-07,3.973729e-07,3.971857e-07,3.970063e-07,3.966774e-07,3.966126e-07,3.961930e-07,3.961236e-07,3.957488e-07,3.955271e-07,3.952809e-07,3.948903e-07,3.947905e-07,3.942786e-07,3.942158e-07,3.937462e-07,3.935056e-07,3.931942e-07,3.927621e-07,3.926235e-07,3.920350e-07,3.919872e-07,3.914296e-07,3.911828e-07,3.908079e-07,3.903508e-07,3.901709e-07,3.895192e-07,3.894929e-07,3.888536e-07,3.886107e-07,3.881747e-07,3.877058e-07,3.874832e-07,3.867798e-07,3.858339e-07,3.848696e-07,3.838882e-07,3.828908e-07,3.818786e-07,3.808528e-07,3.798143e-07,3.787643e-07,3.777036e-07,3.766332e-07,3.755539e-07,3.744666e-07,3.733720e-07,3.722710e-07,3.711642e-07,3.700523e-07,3.689360e-07,3.678159e-07,3.666926e-07,3.655666e-07,3.644386e-07,3.633090e-07,3.621783e-07,3.610470e-07
0.000000e+00,1.660699e-13,1.341851e-12,2.830528e-11,2.024895e-10,4.894062e-10,3.130656e-09,3.342430e-09,1.380929e-08,1.931956e-08,4.173641e-08,7.290240e-08,1.021257e-07,2.034333e-07,2.149349e-07,4.045029e-07,4.644680e-07,6.988672e-07,9.209230e-07,1.128936e-06,1.645377e-06,1.727095e-06,2.524637e-06,2.710525e-06,3.547879e-06,4.175297e-06,4.813887e-06,6.068783e-06,6.327376e-06,8.079926e-06,8.381323e-06,1.005159e-05,1.106769e-05,1.221394e-05,1.405880e-05,1.453364e-05,1.697552e-05,1.727510e-05,1.950494e-05,2.063710e-05,2.208921e-05,2.407144e-05,2.469845e-05,2.730583e-05,2.751361e-05,2.988766e-05,3.090851e-05,3.242326e-05,3.421015e-05,3.489480e-05,3.728715e-05,3.738101e-05,3.958770e-05,4.039139e-05,4.178623e-05,4.321878e-05,4.387473e-05,4.584728e-05,4.769983e-05,4.826688e-05,4.943006e-05,5.047278e-05,5.103716e-05,5.246464e-05,5.252169e-05,5.388531e-05,5.424580e-05,5.513069e-05,5.582257e-05,5.626127e-05,5.720350e-05,5.728112e-05,5.819479e-05,5.839881e-05,5.900719e-05,5.941980e-05,5.972344e-05,6.027840e-05,6.034882e-05,6.088865e-05,6.098682e-05,6.134823e-05,6.155724e-05,6.173278e-05,6.200155e-05,6.204739e-05,6.229700e-05,6.233123e-05,6.248638e-05,6.255723e-05,6.262007e-05,6.268986e-05,6.270243e-05,6.273756e-05,6.273880e-05,6.272938e-05,6.271301e-05,6.268154e-05,6.262079e-05,6.259750e-05,6.248049e-05,6.246979e-05,6.233353e-05,6.226700e-05,6.215945e-05,6.201880e-05,6.196087e-05,6.174026e-05,6.173101e-05,6.149987e-05,6.140890e-05,6.124181e-05,6.105725e-05,6.096805e-05,6.068038e-05,6.038048e-05,6.028218e-05,6.006989e-05,5.986616e-05,5.975003e-05,5.943546e-05,5.942221e-05,5.908764e-05,5.899291e-05,5.874743e-05,5.854102e-05,5.840259e-05,5.808205e-05,5.805406e-05,5.770269e-05,5.761803e-05,5.734927e-05,5.715073e-05,5.699452e-05,5.668175e-05,5.663908e-05,5.628356e-05,5.621249e-05,5.592849e-05,5.574420e-05,5.557437e-05,5.527797e-05,5.522164e-05,5.487071e-05,5.481475e-05,5.452194e-05,5.435539e-05,5.417566e-05,5.390063e-05,5.383216e-05,5.349172e-05,5.345108e-05,5.315456e-05,5.300731e-05,5.282090e-05,5.256977e-05,5.249091e-05,5.216477e-05,5.213885e-05,5.184262e-05,5.171490e-05,5.152457e-05,5.129818e-05,5.121074e-05,5.090121e-05,5.088892e-05,5.059607e-05,5.048730e-05,5.029536e-05,5.009345e-05,4.999915e-05,4.970747e-05,4.932943e-05,4.895937e-05,4.859731e-05,4.824323e-05,4.789711e-05,4.755890e-05,4.722855e-05,4.690597e-05,4.659109e-05,4.628380e-05,4.598401e-05,4.569160e-05,4.540646e-05,4.512845e-05,4.485745e-05,4.459334e-05,4.433598e-05,4.408523e-05,4.384095e-05,4.360302e-05,4.337129e-05,4.314562e-05,4.292588e-05,4.271192e-05
0.000000e+00,1.812935e-12,1.329207e-11,2.304190e-10,1.388348e-09,3.063640e-09,1.567415e-08,1.658938e-08,5.598443e-08,7.439378e-08,1.422090e-07,2.267298e-07,3.003974e-07,5.339973e-07,5.591164e-07,9.491934e-07,1.065696e-06,1.499379e-06,1.885161e-06,2.228841e-06,3.022609e-06,3.141577e-06,4.227139e-06,4.463367e-06,5.466104e-06,6.163527e-06,6.835996e-06,8.071884e-06,8.315020e-06,9.883360e-06,1.014136e-05,1.152309e-05,1.233061e-05,1.321758e-05,1.460188e-05,1.495091e-05,1.670757e-05,1.691921e-05,1.847239e-05,1.924769e-05,2.023067e-05,2.155395e-05,2.196842e-05,2.367257e-05,2.380708e-05,2.533127e-05,2.597963e-05,2.693406e-05,2.804836e-05,2.847199e-05,2.993769e-05,2.999473e-05,3.132541e-05,3.180504e-05,3.263090e-05,3.347019e-05,3.385138e-05,3.498538e-05,3.603262e-05,3.634951e-05,3.699383e-05,3.756456e-05,3.787061e-05,3.863503e-05,3.866527e-05,3.938070e-05,3.956726e-05,4.002019e-05,4.036893e-05,4.058737e-05,4.104861e-05,4.108608e-05,4.152027e-05,4.161532e-05,4.189393e-05,4.207823e-05,4.221105e-05,4.244644e-05,4.247553e-05,4.269119e-05,4.272879e-05,4.286170e-05,4.293369e-05,4.299057e-05,4.306910e-05,4.308115e-05,4.313661e-05,4.314242e-05,4.315992e-05,4.316052e-05,4.315388e-05,4.312969e-05,4.312111e-05,4.306404e-05,4.305566e-05,4.298492e-05,4.294367e-05,4.288586e-05,4.279843e-05,4.276879e-05,4.263552e-05,4.262421e-05,4.248769e-05,4.242483e-05,4.232683e-05,4.220373e-05,4.215434e-05,4.197150e-05,4.196399e-05,4.177951e-05,4.170835e-05,4.157943e-05,4.143927e-05,4.137226e-05,4.115892e-05,4.094024e-05,4.086926e-05,4.071697e-05,4.057200e-05,4.048982e-05,4.026870e-05,4.025943e-05,4.002636e-05,3.996070e-05,3.979116e-05,3.964921e-05,3.955430e-05,3.933531e-05,3.931623e-05,3.907735e-05,3.901994e-05,3.883803e-05,3.870394e-05,3.859860e-05,3.838804e-05,3.835935e-05,3.812057e-05,3.807290e-05,3.788251e-05,3.775907e-05,3.764538e-05,3.744707e-05,3.740940e-05,3.717474e-05,3.713733e-05,3.694157e-05,3.683023e-05,3.671005e-05,3.652611e-05,3.648031e-05,3.625247e-05,3.622526e-05,3.602662e-05,3.592791e-05,3.580288e-05,3.563429e-05,3.558132e-05,3.536202e-05,3.534457e-05,3.514503e-05,3.505890e-05,3.493043e-05,3.477742e-05,3.471825e-05,3.450855e-05,3.450021e-05,3.430134e-05,3.422737e-05,3.409667e-05,3.395896e-05,3.389456e-05,3.369502e-05,3.343560e-05,3.318072e-05,3.293037e-05,3.268457e-05,3.244330e-05,3.220654e-05,3.197428e-05,3.174647e-05,3.152309e-05,3.130408e-05,3.108942e-05,3.087903e-05,3.067288e-05,3.047090e-05,3.027305e-05,3.007925e-05,2.988945e-05,2.970358e-05,2.952159e-05,2.934340e-05,2.916894e-05,2.899816e-05,2.883099e-05,2.866736e-05
0.000000e+00,3.129271e-11,1.199424e-10,7.202240e-10,2.118299e-09,3.394100e-09,9.040217e-09,9.357320e-09,1.982172e-08,2.371733e-08,3.595106e-08,4.882701e-08,5.889600e-08,8.697988e-08,8.976405e-08,1.294186e-07,1.402914e-07,1.781688e-07,2.093602e-07,2.357584e-07,2.933536e-07,3.016882e-07,3.754411e-07,3.910860e-07,4.565099e-07,5.013821e-07,5.443618e-07,6.229710e-07,6.384086e-07,7.379959e-07,7.543969e-07,8.424070e-07,8.940141e-07,9.508753e-07,1.040035e-06,1.062602e-06,1.176773e-06,1.190600e-06,1.292583e-06,1.343856e-06,1.409248e-06,1.498024e-06,1.526022e-06,1.642211e-06,1.651462e-06,1.757182e-06,1.802700e-06,1.870367e-06,1.950471e-06,1.981267e-06,2.089455e-06,2.093721e-06,2.194573e-06,2.231605e-06,2.296328e-06,2.363480e-06,2.394490e-06,2.488885e-06,2.579393e-06,2.607521e-06,2.665937e-06,2.719227e-06,2.748481e-06,2.823960e-06,2.827025e-06,2.901596e-06,2.921771e-06,2.972248e-06,3.012787e-06,3.039054e-06,3.097194e-06,3.102102e-06,3.161496e-06,3.175219e-06,3.217347e-06,3.247120e-06,3.269773e-06,3.313175e-06,3.318900e-06,3.364853e-06,3.373674e-06,3.407761e-06,3.428912e-06,3.447751e-06,3.479182e-06,3.484952e-06,3.519488e-06,3.524775e-06,3.551483e-06,3.565973e-06,3.581056e-06,3.603049e-06,3.608323e-06,3.633397e-06,3.636264e-06,3.656387e-06,3.665869e-06,3.677397e-06,3.692102e-06,3.696528e-06,3.713875e-06,3.715189e-06,3.729532e-06,3.735341e-06,3.743585e-06,3.752758e-06,3.756120e-06,3.767216e-06,3.767631e-06,3.776950e-06,3.780135e-06,3.785394e-06,3.790436e-06,3.792619e-06,3.798690e-06,3.803670e-06,3.805042e-06,3.807618e-06,3.809629e-06,3.810591e-06,3.812578e-06,3.812643e-06,3.813825e-06,3.814007e-06,3.814186e-06,3.814028e-06,3.813772e-06,3.812744e-06,3.812627e-06,3.810791e-06,3.810253e-06,3.808306e-06,3.806644e-06,3.805207e-06,3.802002e-06,3.801532e-06,3.797312e-06,3.796406e-06,3.792582e-06,3.789930e-06,3.787370e-06,3.782642e-06,3.781706e-06,3.775618e-06,3.774606e-06,3.769131e-06,3.765882e-06,3.762269e-06,3.756527e-06,3.755057e-06,3.747517e-06,3.746591e-06,3.739670e-06,3.736125e-06,3.731536e-06,3.725173e-06,3.723133e-06,3.714481e-06,3.713778e-06,3.705596e-06,3.701980e-06,3.696494e-06,3.689816e-06,3.687191e-06,3.677703e-06,3.677319e-06,3.668042e-06,3.664524e-06,3.658221e-06,3.651459e-06,3.648255e-06,3.638154e-06,3.624634e-06,3.610924e-06,3.597048e-06,3.583026e-06,3.568878e-06,3.554624e-06,3.540281e-06,3.525865e-06,3.511392e-06,3.496876e-06,3.482329e-06,3.467765e-06,3.453195e-06,3.438630e-06,3.424079e-06,3.409553e-06,3.395059e-06,3.380607e-06,3.366203e-06,3.351855e-06,3.337568e-06,3.323349e-06,3.309204e-06,3.295138e-06
0.000000e+00,3.679148e-14,3.014246e-13,6.540856e-12,4.799972e-11,1.176286e-10,7.792846e-10,8.331651e-10,3.559024e-09,5.023006e-09,1.108536e-08,1.968401e-08,2.785879e-08,5.669767e-08,6.000653e-08,1.151678e-07,1.327945e-07,2.022027e-07,2.684555e-07,3.307969e-07,4.862633e-07,5.109238e-07,7.521453e-07,8.084875e-07,1.062842e-06,1.254117e-06,1.449544e-06,1.836290e-06,1.916501e-06,2.465563e-06,2.561033e-06,3.096289e-06,3.427390e-06,3.806217e-06,4.428450e-06,4.591205e-06,5.445762e-06,5.552682e-06,6.363358e-06,6.785212e-06,7.336692e-06,8.108893e-06,8.357923e-06,9.418879e-06,9.505222e-06,1.051124e-05,1.095511e-05,1.162670e-05,1.243956e-05,1.275713e-05,1.389473e-05,1.394028e-05,1.503211e-05,1.544017e-05,1.616241e-05,1.692375e-05,1.727938e-05,1.837741e-05,1.945159e-05,1.978958e-05,2.049768e-05,2.115078e-05,2.151214e-05,2.245357e-05,2.249207e-05,2.343520e-05,2.369244e-05,2.433983e-05,2.486361e-05,2.520477e-05,2.596485e-05,2.602931e-05,2.681316e-05,2.699523e-05,2.755636e-05,2.795493e-05,2.825928e-05,2.884501e-05,2.892253e-05,2.954694e-05,2.966724e-05,3.013348e-05,3.042389e-05,3.068329e-05,3.111763e-05,3.119759e-05,3.167766e-05,3.175139e-05,3.212486e-05,3.232824e-05,3.254055e-05,3.285133e-05,3.292610e-05,3.328288e-05,3.332383e-05,3.361226e-05,3.374885e-05,3.391557e-05,3.412946e-05,3.419412e-05,3.444916e-05,3.446858e-05,3.468192e-05,3.476906e-05,3.489360e-05,3.503358e-05,3.508532e-05,3.525817e-05,3.526471e-05,3.541320e-05,3.546484e-05,3.555140e-05,3.563625e-05,3.567373e-05,3.578109e-05,3.587433e-05,3.590133e-05,3.595429e-05,3.599885e-05,3.602174e-05,3.607540e-05,3.607741e-05,3.612200e-05,3.613259e-05,3.615618e-05,3.617195e-05,3.618057e-05,3.619487e-05,3.619576e-05,3.620233e-05,3.620268e-05,3.620080e-05,3.619659e-05,3.619167e-05,3.617773e-05,3.617542e-05,3.615250e-05,3.614716e-05,3.612334e-05,3.610585e-05,3.608834e-05,3.605470e-05,3.604787e-05,3.600231e-05,3.599457e-05,3.595198e-05,3.592623e-05,3.589721e-05,3.585040e-05,3.583830e-05,3.577555e-05,3.576777e-05,3.570921e-05,3.567895e-05,3.563954e-05,3.558453e-05,3.556680e-05,3.549120e-05,3.548503e-05,3.541296e-05,3.538097e-05,3.533229e-05,3.527280e-05,3.524937e-05,3.516440e-05,3.516096e-05,3.507753e-05,3.504583e-05,3.498894e-05,3.492780e-05,3.489878e-05,3.480719e-05,3.468434e-05,3.455953e-05,3.443304e-05,3.430512e-05,3.417600e-05,3.404590e-05,3.391503e-05,3.378356e-05,3.365168e-05,3.351953e-05,3.338728e-05,3.325504e-05,3.312296e-05,3.299114e-05,3.285969e-05,3.272872e-05,3.259830e-05,3.246853e-05,3.233948e-05,3.221122e-05,3.208382e-05,3.195733e-05,3.183180e-05,3.170729e-05
0.000000e+00,2.223607e-11,5.364419e-11,1.942347e-10,4.514030e-10,6.632464e-10,1.521379e-09,1.567649e-09,3.047885e-09,3.585845e-09,5.255484e-09,6.996179e-09,8.350756e-09,1.210013e-08,1.246904e-08,1.764806e-08,1.904004e-08,2.378644e-08,2.757579e-08,3.070240e-08,3.728747e-08,3.821529e-08,4.617538e-08,4.780988e-08,5.445967e-08,5.886000e-08,6.296227e-08,7.020342e-08,7.158819e-08,8.025078e-08,8.163482e-08,8.887135e-08,9.297335e-08,9.737969e-08,1.040641e-07,1.057146e-07,1.138246e-07,1.147805e-07,1.216674e-07,1.250248e-07,1.292101e-07,1.347267e-07,1.364286e-07,1.433062e-07,1.438413e-07,1.498332e-07,1.523447e-07,1.560055e-07,1.602304e-07,1.618242e-07,1.672940e-07,1.675056e-07,1.724227e-07,1.741875e-07,1.772205e-07,1.802999e-07,1.816991e-07,1.858715e-07,1.897515e-07,1.909337e-07,1.933533e-07,1.955190e-07,1.966910e-07,1.996600e-07,1.997789e-07,2.026309e-07,2.033890e-07,2.052605e-07,2.067369e-07,2.076807e-07,2.097332e-07,2.099042e-07,2.119429e-07,2.124059e-07,2.138082e-07,2.147812e-07,2.155111e-07,2.168832e-07,2.170616e-07,2.184694e-07,2.187346e-07,2.197436e-07,2.203562e-07,2.208927e-07,2.217673e-07,2.219249e-07,2.228475e-07,2.229855e-07,2.236678e-07,2.240271e-07,2.243923e-07,2.249072e-07,2.250273e-07,2.255785e-07,2.256393e-07,2.260515e-07,2.262362e-07,2.264514e-07,2.267094e-07,2.267830e-07,2.270507e-07,2.270695e-07,2.272588e-07,2.273262e-07,2.274112e-07,2.274885e-07,2.275116e-07,2.275634e-07,2.275645e-07,2.275699e-07,2.275618e-07,2.275342e-07,2.274872e-07,2.274591e-07,2.273472e-07,2.272010e-07,2.271474e-07,2.270230e-07,2.268933e-07,2.268153e-07,2.265899e-07,2.265799e-07,2.263189e-07,2.262415e-07,2.260341e-07,2.258524e-07,2.257271e-07,2.254265e-07,2.253995e-07,2.250530e-07,2.249672e-07,2.246889e-07,2.244778e-07,2.243085e-07,2.239613e-07,2.239131e-07,2.235039e-07,2.234205e-07,2.230819e-07,2.228579e-07,2.226484e-07,2.222759e-07,2.222041e-07,2.217501e-07,2.216766e-07,2.212872e-07,2.210621e-07,2.208163e-07,2.204343e-07,2.203381e-07,2.198533e-07,2.197948e-07,2.193627e-07,2.191452e-07,2.188669e-07,2.184870e-07,2.183665e-07,2.178620e-07,2.178215e-07,2.173540e-07,2.171500e-07,2.168431e-07,2.164736e-07,2.163296e-07,2.158141e-07,2.157935e-07,2.152970e-07,2.151105e-07,2.147787e-07,2.144257e-07,2.142595e-07,2.137398e-07,2.130536e-07,2.123679e-07,2.116832e-07,2.110003e-07,2.103197e-07,2.096419e-07,2.089673e-07,2.082964e-07,2.076297e-07,2.069674e-07,2.063099e-07,2.056576e-07,2.050106e-07,2.043694e-07,2.037340e-07,2.031047e-07,2.024816e-07,2.018651e-07,2.012551e-07,2.006519e-07,2.000555e-07,1.994661e-07,1.988837e-07,1.983085e-07
0.000000e+00,2.006051e-14,1.804968e-13,4.764372e-12,4.186678e-11,1.133403e-10,9.729579e-10,1.051307e-09,5.821683e-09,8.819636e-09,2.326833e-08,4.775130e-08,7.427722e-08,1.866999e-07,2.011757e-07,4.806882e-07,5.833360e-07,1.040600e-06,1.547266e-06,2.080070e-06,3.622385e-06,3.893309e-06,6.895999e-06,7.686062e-06,1.165345e-05,1.505973e-05,1.890910e-05,2.762187e-05,2.961155e-05,4.493848e-05,4.791160e-05,6.631586e-05,7.921138e-05,9.543101e-05,1.255990e-04,1.342387e-04,1.849601e-04,1.919624e-04,2.500735e-04,2.839753e-04,3.322982e-04,4.080329e-04,4.345711e-04,5.600171e-04,5.711511e-04,7.119134e-04,7.808346e-04,8.936503e-04,1.044919e-03,1.108687e-03,1.360507e-03,1.371394e-03,1.652568e-03,1.768216e-03,1.988257e-03,2.243120e-03,2.370843e-03,2.803430e-03,3.288914e-03,3.455882e-03,3.829948e-03,4.206467e-03,4.428898e-03,5.060288e-03,5.087819e-03,5.808426e-03,6.021443e-03,6.592070e-03,7.092935e-03,7.439724e-03,8.276610e-03,8.351974e-03,9.329006e-03,9.573119e-03,1.037061e-02,1.098191e-02,1.147619e-02,1.250124e-02,1.264476e-02,1.387495e-02,1.412823e-02,1.516504e-02,1.585890e-02,1.651299e-02,1.768825e-02,1.791642e-02,1.937267e-02,1.961037e-02,2.087880e-02,2.161854e-02,2.243165e-02,2.370530e-02,2.402784e-02,2.566382e-02,2.586263e-02,2.733587e-02,2.808201e-02,2.904016e-02,3.035457e-02,3.077276e-02,3.252970e-02,3.267118e-02,3.430693e-02,3.502261e-02,3.610043e-02,3.739955e-02,3.790616e-02,3.972013e-02,3.979280e-02,4.153841e-02,4.219330e-02,4.335715e-02,4.459223e-02,4.517258e-02,4.698105e-02,4.877904e-02,4.935163e-02,5.056318e-02,5.169625e-02,5.233021e-02,5.400763e-02,5.407708e-02,5.580087e-02,5.627901e-02,5.749884e-02,5.850415e-02,5.916843e-02,6.067734e-02,6.080726e-02,6.241314e-02,6.279341e-02,6.398404e-02,6.484778e-02,6.551813e-02,6.683637e-02,6.701376e-02,6.846945e-02,6.875568e-02,6.988390e-02,7.060273e-02,7.125596e-02,7.237503e-02,7.258468e-02,7.386923e-02,7.407061e-02,7.510896e-02,7.568796e-02,7.630337e-02,7.722600e-02,7.745208e-02,7.855486e-02,7.868410e-02,7.961161e-02,8.006199e-02,8.062233e-02,8.135978e-02,8.158716e-02,8.250632e-02,8.257789e-02,8.338015e-02,8.371708e-02,8.420906e-02,8.477834e-02,8.499355e-02,8.573421e-02,8.576293e-02,8.643168e-02,8.667233e-02,8.708667e-02,8.750820e-02,8.769997e-02,8.827239e-02,8.896687e-02,8.959375e-02,9.015524e-02,9.065363e-02,9.109125e-02,9.147052e-02,9.179383e-02,9.206364e-02,9.228239e-02,9.245250e-02,9.257638e-02,9.265642e-02,9.269496e-02,9.269431e-02,9.265671e-02,9.258436e-02,9.247938e-02,9.234387e-02,9.217980e-02,9.198913e-02,9.177373e-02,9.153538e-02,9.127581e-02,9.099667e-02
0.000000e+00,5.464846e-12,1.257783e-11,4.346575e-11,9.904771e-11,1.445459e-10,3.278069e-10,3.376567e-10,6.515497e-10,7.651191e-10,1.116226e-09,1.480711e-09,1.763871e-09,2.550044e-09,2.627876e-09,3.737531e-09,4.042528e-09,5.108061e-09,5.988129e-09,6.733586e-09,8.357213e-09,8.591489e-09,1.065309e-08,1.108736e-08,1.289068e-08,1.411543e-08,1.527942e-08,1.738629e-08,1.779685e-08,2.042190e-08,2.085054e-08,2.313431e-08,2.446146e-08,2.591427e-08,2.817386e-08,2.874244e-08,3.160007e-08,3.194410e-08,3.446919e-08,3.573083e-08,3.733285e-08,3.949589e-08,4.017539e-08,4.298247e-08,4.320511e-08,4.574128e-08,4.682872e-08,4.844061e-08,5.034185e-08,5.107084e-08,5.362379e-08,5.372421e-08,5.609280e-08,5.696004e-08,5.847261e-08,6.003783e-08,6.075921e-08,6.294974e-08,6.504240e-08,6.569121e-08,6.703627e-08,6.826041e-08,6.893122e-08,7.065783e-08,7.072782e-08,7.242716e-08,7.288576e-08,7.403084e-08,7.494792e-08,7.554080e-08,7.684915e-08,7.695932e-08,7.828892e-08,7.859508e-08,7.953227e-08,8.019194e-08,8.069223e-08,8.164630e-08,8.177169e-08,8.277363e-08,8.296498e-08,8.370106e-08,8.415488e-08,8.455698e-08,8.522287e-08,8.534437e-08,8.606618e-08,8.617578e-08,8.672530e-08,8.702025e-08,8.732458e-08,8.776277e-08,8.786678e-08,8.835459e-08,8.840960e-08,8.879065e-08,8.896677e-08,8.917747e-08,8.944004e-08,8.951751e-08,8.981313e-08,8.983493e-08,9.006662e-08,9.015671e-08,9.028016e-08,9.041037e-08,9.045588e-08,9.059578e-08,9.060066e-08,9.070182e-08,9.073207e-08,9.077587e-08,9.080885e-08,9.081970e-08,9.083502e-08,9.082348e-08,9.081437e-08,9.078663e-08,9.075046e-08,9.072598e-08,9.064667e-08,9.064293e-08,9.053887e-08,9.050615e-08,9.041509e-08,9.033188e-08,9.027283e-08,9.012665e-08,9.011328e-08,8.993755e-08,8.989309e-08,8.974672e-08,8.963365e-08,8.954182e-08,8.935064e-08,8.932382e-08,8.909364e-08,8.904622e-08,8.885217e-08,8.872242e-08,8.860023e-08,8.838111e-08,8.833863e-08,8.806813e-08,8.802407e-08,8.778943e-08,8.765294e-08,8.750322e-08,8.726928e-08,8.721015e-08,8.691083e-08,8.687451e-08,8.660584e-08,8.646999e-08,8.629573e-08,8.605695e-08,8.598103e-08,8.566223e-08,8.563656e-08,8.533979e-08,8.520990e-08,8.501416e-08,8.477797e-08,8.468577e-08,8.435499e-08,8.434172e-08,8.402222e-08,8.390199e-08,8.368779e-08,8.345961e-08,8.335205e-08,8.301530e-08,8.256976e-08,8.212362e-08,8.167746e-08,8.123184e-08,8.078723e-08,8.034411e-08,7.990289e-08,7.946395e-08,7.902765e-08,7.859430e-08,7.816419e-08,7.773759e-08,7.731474e-08,7.689586e-08,7.648113e-08,7.607073e-08,7.566481e-08,7.526351e-08,7.486695e-08,7.447524e-08,7.408846e-08,7.370669e-08,7.333000e-08,7.295844e-08
0.000000e+00,4.505942e-14,3.974754e-13,1.006163e-11,8.504223e-11,2.252919e-10,1.827214e-09,1.969749e-09,1.029840e-08,1.535760e-08,3.893403e-08,7.735211e-08,1.177986e-07,2.823783e-07,3.030466e-07,6.892680e-07,8.268777e-07,1.423277e-06,2.062635e-06,2.718442e-06,4.552972e-06,4.867779e-06,8.253404e-06,9.119043e-06,1.334998e-05,1.686008e-05,2.072073e-05,2.913611e-05,3.100581e-05,4.490396e-05,4.751175e-05,6.314939e-05,7.367008e-05,8.648580e-05,1.093099e-04,1.156397e-04,1.512949e-04,1.560405e-04,1.940692e-04,2.152859e-04,2.444950e-04,2.882057e-04,3.030042e-04,3.699165e-04,3.756394e-04,4.454337e-04,4.780723e-04,5.296372e-04,5.956256e-04,6.224892e-04,7.238382e-04,7.280655e-04,8.334260e-04,8.748290e-04,9.508982e-04,1.035062e-03,1.075815e-03,1.207664e-03,1.345872e-03,1.391342e-03,1.489822e-03,1.584661e-03,1.638858e-03,1.786091e-03,1.792305e-03,1.949478e-03,1.994060e-03,2.109689e-03,2.206991e-03,2.272260e-03,2.423340e-03,2.436528e-03,2.601855e-03,2.641622e-03,2.767629e-03,2.860441e-03,2.933273e-03,3.078501e-03,3.098245e-03,3.262042e-03,3.294619e-03,3.424201e-03,3.507735e-03,3.584301e-03,3.716911e-03,3.741958e-03,3.896831e-03,3.921332e-03,4.048619e-03,4.120303e-03,4.197057e-03,4.313240e-03,4.341916e-03,4.483002e-03,4.499671e-03,4.620153e-03,4.679217e-03,4.753236e-03,4.851594e-03,4.882148e-03,5.006810e-03,5.016597e-03,5.127166e-03,5.174094e-03,5.243182e-03,5.324018e-03,5.354844e-03,5.462154e-03,5.466356e-03,5.565129e-03,5.601145e-03,5.663802e-03,5.728463e-03,5.758215e-03,5.848423e-03,5.934489e-03,5.961167e-03,6.016485e-03,6.066861e-03,6.094487e-03,6.165690e-03,6.168579e-03,6.238850e-03,6.257854e-03,6.305392e-03,6.343566e-03,6.368298e-03,6.423044e-03,6.427666e-03,6.483594e-03,6.496516e-03,6.536181e-03,6.564209e-03,6.585529e-03,6.626354e-03,6.631736e-03,6.674905e-03,6.683182e-03,6.715133e-03,6.734923e-03,6.752521e-03,6.781803e-03,6.787166e-03,6.819165e-03,6.824045e-03,6.848613e-03,6.861869e-03,6.875603e-03,6.895487e-03,6.900227e-03,6.922575e-03,6.925108e-03,6.942734e-03,6.950933e-03,6.960790e-03,6.973159e-03,6.976828e-03,6.990929e-03,6.991975e-03,7.003172e-03,7.007566e-03,7.013634e-03,7.020108e-03,7.022392e-03,7.029518e-03,7.029770e-03,7.035083e-03,7.036718e-03,7.039157e-03,7.041109e-03,7.041805e-03,7.043093e-03,7.042815e-03,7.040415e-03,7.036025e-03,7.029771e-03,7.021776e-03,7.012154e-03,7.001016e-03,6.988468e-03,6.974610e-03,6.959537e-03,6.943340e-03,6.926105e-03,6.907914e-03,6.888846e-03,6.868973e-03,6.848367e-03,6.827093e-03,6.805215e-03,6.782792e-03,6.759881e-03,6.736534e-03,6.712802e-03,6.688732e-03,6.664370e-03
0.000000e+00,1.227619e-10,3.032565e-10,1.137025e-09,2.724964e-09,4.081301e-09,9.961239e-09,1.029473e-08,2.176867e-08,2.629475e-08,4.135373e-08,5.830998e-08,7.207849e-08,1.112270e-07,1.150953e-07,1.688193e-07,1.830223e-07,2.307675e-07,2.683067e-07,2.990294e-07,3.633575e-07,3.724048e-07,4.501393e-07,4.661603e-07,5.317015e-07,5.754788e-07,6.166500e-07,6.903150e-07,7.045624e-07,7.950032e-07,8.096781e-07,8.875146e-07,9.325156e-07,9.816178e-07,1.057715e-06,1.076820e-06,1.172626e-06,1.184139e-06,1.268547e-06,1.310667e-06,1.364114e-06,1.436236e-06,1.458886e-06,1.552454e-06,1.559877e-06,1.644451e-06,1.680734e-06,1.734548e-06,1.798082e-06,1.822463e-06,1.907956e-06,1.911322e-06,1.990827e-06,2.019986e-06,2.070916e-06,2.123724e-06,2.148101e-06,2.222291e-06,2.293425e-06,2.315536e-06,2.361468e-06,2.403388e-06,2.426410e-06,2.485843e-06,2.488258e-06,2.547036e-06,2.562948e-06,2.602783e-06,2.634797e-06,2.655550e-06,2.701513e-06,2.705395e-06,2.752386e-06,2.763248e-06,2.796597e-06,2.820169e-06,2.838104e-06,2.872457e-06,2.876988e-06,2.913332e-06,2.920303e-06,2.947221e-06,2.963901e-06,2.978739e-06,3.003445e-06,3.007972e-06,3.035004e-06,3.039130e-06,3.059919e-06,3.071150e-06,3.082799e-06,3.099693e-06,3.103726e-06,3.122779e-06,3.124943e-06,3.140036e-06,3.147080e-06,3.155573e-06,3.166276e-06,3.169463e-06,3.181778e-06,3.182697e-06,3.192587e-06,3.196505e-06,3.201959e-06,3.207853e-06,3.209958e-06,3.216647e-06,3.216888e-06,3.222088e-06,3.223752e-06,3.226339e-06,3.228579e-06,3.229457e-06,3.231497e-06,3.232512e-06,3.232629e-06,3.232553e-06,3.232091e-06,3.231668e-06,3.229992e-06,3.229905e-06,3.227310e-06,3.226439e-06,3.223924e-06,3.221531e-06,3.219791e-06,3.215363e-06,3.214950e-06,3.209441e-06,3.208023e-06,3.203300e-06,3.199598e-06,3.196562e-06,3.190166e-06,3.189262e-06,3.181432e-06,3.179805e-06,3.173104e-06,3.168586e-06,3.164307e-06,3.156577e-06,3.155070e-06,3.145422e-06,3.143841e-06,3.135387e-06,3.130440e-06,3.124991e-06,3.116431e-06,3.114259e-06,3.103212e-06,3.101867e-06,3.091874e-06,3.086799e-06,3.080266e-06,3.071274e-06,3.068406e-06,3.056315e-06,3.055338e-06,3.044011e-06,3.039033e-06,3.031511e-06,3.022399e-06,3.018832e-06,3.005989e-06,3.005472e-06,2.992999e-06,2.988289e-06,2.979875e-06,2.970881e-06,2.966631e-06,2.953281e-06,2.935515e-06,2.917613e-06,2.899599e-06,2.881496e-06,2.863327e-06,2.845113e-06,2.826873e-06,2.808625e-06,2.790385e-06,2.772170e-06,2.753993e-06,2.735867e-06,2.717806e-06,2.699821e-06,2.681923e-06,2.664120e-06,2.646423e-06,2.628839e-06,2.611376e-06,2.594042e-06,2.576841e-06,2.559781e-06,2.542866e-06,2.526101e-06
0.000000e+00,2.892947e-14,2.462714e-13,5.786839e-12,4.567089e-11,1.164949e-10,8.563506e-10,9.194591e-10,4.359615e-09,6.331519e-09,1.502437e-08,2.831184e-08,4.166967e-08,9.266817e-08,9.882578e-08,2.082707e-07,2.454674e-07,3.999031e-07,5.568723e-07,7.113477e-07,1.118858e-06,1.185933e-06,1.869356e-06,2.035061e-06,2.805827e-06,3.406078e-06,4.034494e-06,5.315595e-06,5.586715e-06,7.484370e-06,7.820978e-06,9.739172e-06,1.094919e-05,1.235276e-05,1.469706e-05,1.531741e-05,1.861707e-05,1.903451e-05,2.222858e-05,2.390916e-05,2.612300e-05,2.925155e-05,3.026693e-05,3.462375e-05,3.498035e-05,3.915483e-05,4.100719e-05,4.382059e-05,4.724115e-05,4.858156e-05,5.339913e-05,5.359248e-05,5.823639e-05,5.997586e-05,6.305864e-05,6.631278e-05,6.783395e-05,7.253339e-05,7.713135e-05,7.857753e-05,8.160556e-05,8.439525e-05,8.593713e-05,8.994674e-05,9.011047e-05,9.411316e-05,9.520196e-05,9.793568e-05,1.001398e-04,1.015713e-04,1.047472e-04,1.050156e-04,1.082665e-04,1.090179e-04,1.113238e-04,1.129518e-04,1.141889e-04,1.165533e-04,1.168645e-04,1.193547e-04,1.198309e-04,1.216643e-04,1.227958e-04,1.237990e-04,1.254615e-04,1.257649e-04,1.275688e-04,1.278428e-04,1.292173e-04,1.299556e-04,1.307177e-04,1.318161e-04,1.320771e-04,1.333025e-04,1.334408e-04,1.344010e-04,1.348459e-04,1.353795e-04,1.360471e-04,1.362448e-04,1.370035e-04,1.370597e-04,1.376618e-04,1.378984e-04,1.382259e-04,1.385770e-04,1.387016e-04,1.390945e-04,1.391086e-04,1.394100e-04,1.395056e-04,1.396531e-04,1.397796e-04,1.398287e-04,1.399413e-04,1.399953e-04,1.400009e-04,1.399949e-04,1.399677e-04,1.399437e-04,1.398505e-04,1.398457e-04,1.397041e-04,1.396571e-04,1.395223e-04,1.393951e-04,1.393032e-04,1.390713e-04,1.390499e-04,1.387650e-04,1.386922e-04,1.384510e-04,1.382634e-04,1.381104e-04,1.377904e-04,1.377453e-04,1.373580e-04,1.372781e-04,1.369504e-04,1.367311e-04,1.365244e-04,1.361535e-04,1.360816e-04,1.356238e-04,1.355492e-04,1.351524e-04,1.349217e-04,1.346689e-04,1.342742e-04,1.341746e-04,1.336707e-04,1.336097e-04,1.331585e-04,1.329307e-04,1.326390e-04,1.322399e-04,1.321132e-04,1.315822e-04,1.315395e-04,1.310467e-04,1.308314e-04,1.305076e-04,1.301177e-04,1.299657e-04,1.294217e-04,1.293999e-04,1.288762e-04,1.286796e-04,1.283300e-04,1.279583e-04,1.277834e-04,1.272372e-04,1.265175e-04,1.258002e-04,1.250862e-04,1.243765e-04,1.236717e-04,1.229726e-04,1.222797e-04,1.215936e-04,1.209148e-04,1.202437e-04,1.195807e-04,1.189260e-04,1.182801e-04,1.176431e-04,1.170152e-04,1.163966e-04,1.157874e-04,1.151878e-04,1.145978e-04,1.140175e-04,1.134469e-04,1.128861e-04,1.123351e-04,1.117938e-04
0.000000e+00,3.650077e-11,8.621338e-11,3.079476e-10,7.199225e-10,1.067029e-09,2.545243e-09,2.628154e-09,5.442265e-09,6.537779e-09,1.015435e-08,1.421805e-08,1.753964e-08,2.717977e-08,2.814923e-08,4.186831e-08,4.555471e-08,5.804080e-08,6.790007e-08,7.596490e-08,9.277691e-08,9.512998e-08,1.152044e-07,1.193078e-07,1.359684e-07,1.469836e-07,1.572615e-07,1.754598e-07,1.789520e-07,2.009202e-07,2.044531e-07,2.230509e-07,2.336981e-07,2.452312e-07,2.629365e-07,2.673502e-07,2.893002e-07,2.919179e-07,3.109800e-07,3.204093e-07,3.322968e-07,3.482023e-07,3.531659e-07,3.735130e-07,3.751162e-07,3.932742e-07,4.010024e-07,4.123962e-07,4.257437e-07,4.308361e-07,4.485620e-07,4.492559e-07,4.655491e-07,4.714800e-07,4.817809e-07,4.923829e-07,4.972496e-07,5.119531e-07,5.258953e-07,5.301974e-07,5.390850e-07,5.471370e-07,5.515344e-07,5.628034e-07,5.632586e-07,5.742758e-07,5.772366e-07,5.846059e-07,5.904831e-07,5.942704e-07,6.025932e-07,6.032917e-07,6.116930e-07,6.136197e-07,6.194978e-07,6.236168e-07,6.267298e-07,6.326388e-07,6.334125e-07,6.395694e-07,6.407396e-07,6.452233e-07,6.479721e-07,6.503969e-07,6.543875e-07,6.551120e-07,6.593902e-07,6.600356e-07,6.632522e-07,6.649639e-07,6.667179e-07,6.692182e-07,6.698068e-07,6.725374e-07,6.728419e-07,6.749279e-07,6.758764e-07,6.769954e-07,6.783609e-07,6.787564e-07,6.802270e-07,6.803325e-07,6.814222e-07,6.818265e-07,6.823566e-07,6.828758e-07,6.830443e-07,6.834984e-07,6.835119e-07,6.837318e-07,6.837641e-07,6.837565e-07,6.836602e-07,6.835843e-07,6.832261e-07,6.826926e-07,6.824865e-07,6.819938e-07,6.814643e-07,6.811393e-07,6.801810e-07,6.801383e-07,6.789995e-07,6.786570e-07,6.777311e-07,6.769113e-07,6.763412e-07,6.749616e-07,6.748372e-07,6.732264e-07,6.728246e-07,6.715154e-07,6.705160e-07,6.697108e-07,6.680503e-07,6.678189e-07,6.658453e-07,6.654413e-07,6.637958e-07,6.627018e-07,6.616756e-07,6.598438e-07,6.594898e-07,6.572432e-07,6.568784e-07,6.549402e-07,6.538161e-07,6.525853e-07,6.506667e-07,6.501825e-07,6.477357e-07,6.474393e-07,6.452487e-07,6.441425e-07,6.427248e-07,6.407842e-07,6.401676e-07,6.375800e-07,6.373718e-07,6.349652e-07,6.339123e-07,6.323260e-07,6.304121e-07,6.296649e-07,6.269847e-07,6.268772e-07,6.242877e-07,6.233131e-07,6.215762e-07,6.197252e-07,6.188524e-07,6.161183e-07,6.124968e-07,6.088649e-07,6.052266e-07,6.015854e-07,5.979447e-07,5.943075e-07,5.906768e-07,5.870551e-07,5.834450e-07,5.798486e-07,5.762682e-07,5.727054e-07,5.691622e-07,5.656402e-07,5.621407e-07,5.586652e-07,5.552149e-07,5.517909e-07,5.483943e-07,5.450258e-07,5.416864e-07,5.383768e-07,5.350977e-07,5.318495e-07
0.000000e+00,2.262900e-12,1.566853e-11,2.429950e-10,1.334681e-09,2.809606e-09,1.287911e-08,1.357518e-08,4.177163e-08,5.426732e-08,9.841705e-08,1.509454e-07,1.953024e-07,3.304378e-07,3.445965e-07,5.581529e-07,6.201181e-07,8.455186e-07,1.040617e-06,1.211179e-06,1.596462e-06,1.653382e-06,2.165569e-06,2.275640e-06,2.738864e-06,3.058007e-06,3.363889e-06,3.922218e-06,4.031545e-06,4.733173e-06,4.848030e-06,5.460527e-06,5.816477e-06,6.205772e-06,6.809885e-06,6.961547e-06,7.721064e-06,7.812159e-06,8.478194e-06,8.809158e-06,9.227543e-06,9.788965e-06,9.964478e-06,1.068513e-05,1.074197e-05,1.138634e-05,1.166080e-05,1.206564e-05,1.254009e-05,1.272115e-05,1.335153e-05,1.337621e-05,1.395589e-05,1.416697e-05,1.453371e-05,1.491136e-05,1.508480e-05,1.560922e-05,1.610725e-05,1.626111e-05,1.657931e-05,1.686806e-05,1.702596e-05,1.743144e-05,1.744785e-05,1.784570e-05,1.795290e-05,1.822028e-05,1.843419e-05,1.857238e-05,1.887717e-05,1.890283e-05,1.921245e-05,1.928375e-05,1.950206e-05,1.965581e-05,1.977249e-05,1.999525e-05,2.002455e-05,2.025903e-05,2.030388e-05,2.047670e-05,2.058350e-05,2.067832e-05,2.083581e-05,2.086462e-05,2.103633e-05,2.106249e-05,2.119411e-05,2.126510e-05,2.133865e-05,2.144517e-05,2.147057e-05,2.159050e-05,2.160412e-05,2.169903e-05,2.174331e-05,2.179672e-05,2.186405e-05,2.188412e-05,2.196175e-05,2.196756e-05,2.203013e-05,2.205499e-05,2.208972e-05,2.212745e-05,2.214099e-05,2.218439e-05,2.218596e-05,2.222032e-05,2.223151e-05,2.224920e-05,2.226500e-05,2.227140e-05,2.228730e-05,2.229725e-05,2.229923e-05,2.230158e-05,2.230155e-05,2.230060e-05,2.229497e-05,2.229464e-05,2.228396e-05,2.228017e-05,2.226887e-05,2.225779e-05,2.224960e-05,2.222842e-05,2.222643e-05,2.219958e-05,2.219261e-05,2.216928e-05,2.215089e-05,2.213576e-05,2.210375e-05,2.209921e-05,2.205984e-05,2.205164e-05,2.201782e-05,2.199500e-05,2.197335e-05,2.193422e-05,2.192659e-05,2.187769e-05,2.186968e-05,2.182681e-05,2.180173e-05,2.177410e-05,2.173070e-05,2.171969e-05,2.166372e-05,2.165690e-05,2.160630e-05,2.158061e-05,2.154756e-05,2.150210e-05,2.148761e-05,2.142655e-05,2.142162e-05,2.136449e-05,2.133940e-05,2.130151e-05,2.125566e-05,2.123772e-05,2.117320e-05,2.117060e-05,2.110802e-05,2.108442e-05,2.104227e-05,2.099727e-05,2.097602e-05,2.090934e-05,2.082076e-05,2.073168e-05,2.064223e-05,2.055253e-05,2.046270e-05,2.037283e-05,2.028303e-05,2.019338e-05,2.010396e-05,2.001485e-05,1.992613e-05,1.983784e-05,1.975006e-05,1.966284e-05,1.957622e-05,1.949025e-05,1.940498e-05,1.932043e-05,1.923665e-05,1.915366e-05,1.907148e-05,1.899016e-05,1.890970e-05,1.883012e-05
0.000000e+00,1.777034e-13,1.594837e-12,4.187012e-11,3.660785e-10,9.882519e-10,8.421620e-09,9.097062e-09,5.000855e-08,7.561113e-08,1.984963e-07,4.057515e-07,6.295519e-07,1.573731e-06,1.694977e-06,4.028145e-06,4.882401e-06,8.677955e-06,1.287098e-05,1.727065e-05,2.996842e-05,3.219434e-05,5.679633e-05,6.325193e-05,9.557970e-05,1.232324e-04,1.543844e-04,2.245683e-04,2.405395e-04,3.629756e-04,3.866167e-04,5.322920e-04,6.337587e-04,7.607711e-04,9.954579e-04,1.062341e-03,1.452487e-03,1.506046e-03,1.948114e-03,2.204242e-03,2.567365e-03,3.132432e-03,3.329397e-03,4.254130e-03,4.335746e-03,5.361965e-03,5.860979e-03,6.673485e-03,7.755399e-03,8.209145e-03,9.988954e-03,1.006550e-02,1.203217e-02,1.283575e-02,1.435698e-02,1.610737e-02,1.698026e-02,1.991724e-02,2.318134e-02,2.429685e-02,2.678390e-02,2.927148e-02,3.073406e-02,3.485955e-02,3.503860e-02,3.970181e-02,4.107208e-02,4.472546e-02,4.791246e-02,5.010880e-02,5.537631e-02,5.584848e-02,6.193867e-02,6.345160e-02,6.837109e-02,7.211888e-02,7.513515e-02,8.135173e-02,8.221803e-02,8.960486e-02,9.111726e-02,9.727885e-02,1.013767e-01,1.052215e-01,1.120864e-01,1.134128e-01,1.218315e-01,1.231981e-01,1.304551e-01,1.346604e-01,1.392602e-01,1.464190e-01,1.482229e-01,1.573186e-01,1.584179e-01,1.665224e-01,1.706000e-01,1.758095e-01,1.829080e-01,1.851549e-01,1.945339e-01,1.952850e-01,2.039225e-01,2.076752e-01,2.132967e-01,2.200245e-01,2.226338e-01,2.319114e-01,2.322809e-01,2.411081e-01,2.443951e-01,2.502036e-01,2.563208e-01,2.591786e-01,2.680148e-01,2.766952e-01,2.794375e-01,2.852041e-01,2.905529e-01,2.935267e-01,3.013287e-01,3.016497e-01,3.095609e-01,3.117366e-01,3.172496e-01,3.217518e-01,3.247059e-01,3.313533e-01,3.319216e-01,3.388892e-01,3.405238e-01,3.456026e-01,3.492492e-01,3.520569e-01,3.575192e-01,3.582481e-01,3.641733e-01,3.653262e-01,3.698304e-01,3.726658e-01,3.752185e-01,3.795364e-01,3.803374e-01,3.851877e-01,3.859389e-01,3.897708e-01,3.918763e-01,3.940888e-01,3.973542e-01,3.981445e-01,4.019413e-01,4.023797e-01,4.054830e-01,4.069617e-01,4.087741e-01,4.111107e-01,4.118194e-01,4.146241e-01,4.148382e-01,4.171938e-01,4.181572e-01,4.195344e-01,4.210812e-01,4.216520e-01,4.235530e-01,4.236247e-01,4.252440e-01,4.258026e-01,4.267316e-01,4.276306e-01,4.280228e-01,4.291242e-01,4.302995e-01,4.311725e-01,4.317592e-01,4.320755e-01,4.321372e-01,4.319597e-01,4.315582e-01,4.309474e-01,4.301417e-01,4.291552e-01,4.280011e-01,4.266926e-01,4.252421e-01,4.236615e-01,4.219622e-01,4.201552e-01,4.182509e-01,4.162589e-01,4.141888e-01,4.120492e-01,4.098485e-01,4.075946e-01,4.052947e-01,4.029558e-01
0.000000e+00,1.611324e-11,8.224234e-11,7.417857e-10,2.738867e-09,4.797122e-09,1.499813e-08,1.560253e-08,3.655175e-08,4.470675e-08,7.116848e-08,1.001224e-07,1.234158e-07,1.909585e-07,1.978433e-07,2.992171e-07,3.280125e-07,4.311643e-07,5.187380e-07,5.940888e-07,7.601679e-07,7.842171e-07,9.951050e-07,1.039170e-06,1.220075e-06,1.340733e-06,1.453596e-06,1.653262e-06,1.691476e-06,1.930561e-06,1.968755e-06,2.168396e-06,2.281516e-06,2.402994e-06,2.587217e-06,2.632695e-06,2.856104e-06,2.882432e-06,3.072050e-06,3.164448e-06,3.279578e-06,3.431199e-06,3.477935e-06,3.666561e-06,3.681218e-06,3.845074e-06,3.913595e-06,4.013260e-06,4.127913e-06,4.171047e-06,4.318488e-06,4.324173e-06,4.455742e-06,4.502705e-06,4.583055e-06,4.664107e-06,4.700740e-06,4.809158e-06,4.908713e-06,4.938769e-06,4.999834e-06,5.053926e-06,5.082957e-06,5.155647e-06,5.158531e-06,5.226998e-06,5.244955e-06,5.288795e-06,5.322849e-06,5.344347e-06,5.390291e-06,5.394063e-06,5.438335e-06,5.448192e-06,5.477539e-06,5.497413e-06,5.512031e-06,5.538755e-06,5.542148e-06,5.568203e-06,5.572953e-06,5.590489e-06,5.600679e-06,5.609280e-06,5.622554e-06,5.624835e-06,5.637397e-06,5.639144e-06,5.647188e-06,5.650965e-06,5.654415e-06,5.658481e-06,5.659272e-06,5.661939e-06,5.662121e-06,5.662586e-06,5.662270e-06,5.661365e-06,5.659277e-06,5.658421e-06,5.653888e-06,5.653461e-06,5.647891e-06,5.645108e-06,5.640544e-06,5.634479e-06,5.631955e-06,5.622223e-06,5.621811e-06,5.611440e-06,5.607317e-06,5.599691e-06,5.591192e-06,5.587058e-06,5.573612e-06,5.559424e-06,5.554738e-06,5.544558e-06,5.534714e-06,5.529071e-06,5.513673e-06,5.513021e-06,5.496458e-06,5.491735e-06,5.479430e-06,5.469009e-06,5.461982e-06,5.445594e-06,5.444155e-06,5.425988e-06,5.421581e-06,5.407516e-06,5.397052e-06,5.388775e-06,5.372083e-06,5.369793e-06,5.350602e-06,5.346741e-06,5.331228e-06,5.321090e-06,5.311697e-06,5.295186e-06,5.292031e-06,5.272254e-06,5.269081e-06,5.252386e-06,5.242823e-06,5.232446e-06,5.216455e-06,5.212452e-06,5.192421e-06,5.190016e-06,5.172369e-06,5.163543e-06,5.152309e-06,5.137068e-06,5.132256e-06,5.112222e-06,5.110621e-06,5.092219e-06,5.084229e-06,5.072258e-06,5.057918e-06,5.052349e-06,5.032502e-06,5.031709e-06,5.012725e-06,5.005625e-06,4.993028e-06,4.979682e-06,4.973416e-06,4.953899e-06,4.928290e-06,4.902871e-06,4.877652e-06,4.852646e-06,4.827862e-06,4.803311e-06,4.778999e-06,4.754934e-06,4.731124e-06,4.707572e-06,4.684285e-06,4.661266e-06,4.638520e-06,4.616048e-06,4.593855e-06,4.571941e-06,4.550309e-06,4.528959e-06,4.507893e-06,4.487111e-06,4.466614e-06,4.446400e-06,4.426470e-06,4.406824e-06
0.000000e+00,3.940778e-13,3.052842e-12,5.908607e-11,3.917461e-10,9.093091e-10,5.269544e-09,5.604590e-09,2.122891e-08,2.907407e-08,5.983827e-08,1.010822e-07,1.389468e-07,2.674456e-07,2.818733e-07,5.169562e-07,5.904128e-07,8.733353e-07,1.134541e-06,1.372672e-06,1.935502e-06,2.020897e-06,2.805527e-06,2.976630e-06,3.699704e-06,4.196823e-06,4.669665e-06,5.518238e-06,5.681719e-06,6.706586e-06,6.870117e-06,7.721076e-06,8.199078e-06,8.707943e-06,9.469151e-06,9.654894e-06,1.055344e-05,1.065771e-05,1.139787e-05,1.175129e-05,1.218458e-05,1.274260e-05,1.291158e-05,1.357814e-05,1.362885e-05,1.418462e-05,1.441065e-05,1.473229e-05,1.509130e-05,1.522316e-05,1.565981e-05,1.567619e-05,1.604528e-05,1.617216e-05,1.638291e-05,1.658695e-05,1.667619e-05,1.692870e-05,1.714396e-05,1.720553e-05,1.732538e-05,1.742524e-05,1.747621e-05,1.759508e-05,1.759952e-05,1.769815e-05,1.772170e-05,1.777471e-05,1.781106e-05,1.783159e-05,1.786839e-05,1.787094e-05,1.789471e-05,1.789830e-05,1.790464e-05,1.790475e-05,1.790229e-05,1.789117e-05,1.788905e-05,1.786613e-05,1.786049e-05,1.783464e-05,1.781519e-05,1.779553e-05,1.775742e-05,1.774966e-05,1.769780e-05,1.768900e-05,1.764063e-05,1.761147e-05,1.757873e-05,1.752617e-05,1.751264e-05,1.744285e-05,1.743425e-05,1.736977e-05,1.733668e-05,1.729380e-05,1.723433e-05,1.721526e-05,1.713447e-05,1.712792e-05,1.705170e-05,1.701810e-05,1.696721e-05,1.690543e-05,1.688121e-05,1.679393e-05,1.679041e-05,1.670554e-05,1.667348e-05,1.661621e-05,1.655501e-05,1.652610e-05,1.643534e-05,1.634408e-05,1.631478e-05,1.625242e-05,1.619360e-05,1.616047e-05,1.607202e-05,1.606834e-05,1.597611e-05,1.595028e-05,1.588387e-05,1.582855e-05,1.579169e-05,1.570701e-05,1.569965e-05,1.560782e-05,1.558581e-05,1.551624e-05,1.546509e-05,1.542498e-05,1.534497e-05,1.533408e-05,1.524360e-05,1.522556e-05,1.515358e-05,1.510696e-05,1.506405e-05,1.498925e-05,1.497505e-05,1.488661e-05,1.487252e-05,1.479877e-05,1.475683e-05,1.471155e-05,1.464224e-05,1.462498e-05,1.453908e-05,1.452881e-05,1.445386e-05,1.441659e-05,1.436935e-05,1.430561e-05,1.428557e-05,1.420253e-05,1.419592e-05,1.412024e-05,1.408754e-05,1.403872e-05,1.398050e-05,1.395797e-05,1.387801e-05,1.387482e-05,1.379884e-05,1.377053e-05,1.372047e-05,1.366763e-05,1.364290e-05,1.356615e-05,1.346608e-05,1.336743e-05,1.327022e-05,1.317443e-05,1.308008e-05,1.298715e-05,1.289565e-05,1.280556e-05,1.271689e-05,1.262961e-05,1.254374e-05,1.245925e-05,1.237613e-05,1.229437e-05,1.221396e-05,1.213488e-05,1.205712e-05,1.198067e-05,1.190551e-05,1.183163e-05,1.175900e-05,1.168762e-05,1.161746e-05,1.154851e-05
0.000000e+00,7.135350e-11,1.992915e-10,8.437834e-10,2.121309e-09,3.220218e-09,7.924135e-09,8.186878e-09,1.698146e-08,2.034351e-08,3.125808e-08,4.330380e-08,5.306657e-08,8.138252e-08,8.424433e-08,1.252258e-07,1.364005e-07,1.747287e-07,2.054604e-07,2.308656e-07,2.844932e-07,2.920639e-07,3.572125e-07,3.706425e-07,4.255150e-07,4.620666e-07,4.963443e-07,5.573926e-07,5.691538e-07,6.434332e-07,6.554213e-07,7.186910e-07,7.550220e-07,7.944520e-07,8.551172e-07,8.702623e-07,9.456951e-07,9.547025e-07,1.020357e-06,1.052871e-06,1.093894e-06,1.148838e-06,1.165996e-06,1.236396e-06,1.241948e-06,1.304872e-06,1.331681e-06,1.371241e-06,1.417643e-06,1.435364e-06,1.497134e-06,1.499555e-06,1.556478e-06,1.577238e-06,1.613350e-06,1.650600e-06,1.667730e-06,1.719616e-06,1.769024e-06,1.784316e-06,1.815985e-06,1.844775e-06,1.860541e-06,1.901100e-06,1.902744e-06,1.942652e-06,1.953424e-06,1.980331e-06,2.001895e-06,2.015847e-06,2.046673e-06,2.049271e-06,2.080677e-06,2.087922e-06,2.110137e-06,2.125811e-06,2.137723e-06,2.160509e-06,2.163511e-06,2.187570e-06,2.192181e-06,2.209973e-06,2.220990e-06,2.230788e-06,2.247095e-06,2.250083e-06,2.267925e-06,2.270649e-06,2.284378e-06,2.291800e-06,2.299503e-06,2.310688e-06,2.313362e-06,2.326011e-06,2.327450e-06,2.337508e-06,2.342215e-06,2.347906e-06,2.355106e-06,2.357258e-06,2.365613e-06,2.366240e-06,2.373020e-06,2.375728e-06,2.379526e-06,2.383676e-06,2.385173e-06,2.390006e-06,2.390183e-06,2.394066e-06,2.395345e-06,2.397390e-06,2.399251e-06,2.400018e-06,2.401984e-06,2.403324e-06,2.403626e-06,2.404071e-06,2.404252e-06,2.404255e-06,2.403932e-06,2.403908e-06,2.403058e-06,2.402734e-06,2.401733e-06,2.400720e-06,2.399959e-06,2.397952e-06,2.397761e-06,2.395163e-06,2.394483e-06,2.392189e-06,2.390368e-06,2.388861e-06,2.385655e-06,2.385199e-06,2.381224e-06,2.380393e-06,2.376954e-06,2.374623e-06,2.372408e-06,2.368388e-06,2.367603e-06,2.362556e-06,2.361727e-06,2.357282e-06,2.354675e-06,2.351797e-06,2.347267e-06,2.346115e-06,2.340250e-06,2.339535e-06,2.334215e-06,2.331509e-06,2.328022e-06,2.323217e-06,2.321683e-06,2.315209e-06,2.314686e-06,2.308612e-06,2.305940e-06,2.301900e-06,2.297003e-06,2.295085e-06,2.288175e-06,2.287896e-06,2.281178e-06,2.278640e-06,2.274104e-06,2.269254e-06,2.266960e-06,2.259754e-06,2.250159e-06,2.240484e-06,2.230743e-06,2.220949e-06,2.211115e-06,2.201254e-06,2.191375e-06,2.181489e-06,2.171605e-06,2.161733e-06,2.151881e-06,2.142055e-06,2.132263e-06,2.122512e-06,2.112807e-06,2.103154e-06,2.093558e-06,2.084024e-06,2.074555e-06,2.065157e-06,2.055832e-06,2.046584e-06,2.037415e-06,2.028329e-06
0.000000e+00,1.450549e-10,3.903194e-10,1.589679e-09,3.921956e-09,5.907497e-09,1.428429e-08,1.474752e-08,3.002685e-08,3.576684e-08,5.409303e-08,7.389716e-08,8.972879e-08,1.351840e-07,1.397735e-07,2.061226e-07,2.244978e-07,2.885218e-07,3.408173e-07,3.845247e-07,4.776464e-07,4.908471e-07,6.045769e-07,6.280059e-07,7.235035e-07,7.868367e-07,8.459829e-07,9.506701e-07,9.707387e-07,1.096725e-06,1.116935e-06,1.223049e-06,1.283573e-06,1.348936e-06,1.448874e-06,1.473711e-06,1.596792e-06,1.611424e-06,1.717684e-06,1.770073e-06,1.835972e-06,1.923919e-06,1.951318e-06,2.063456e-06,2.072282e-06,2.172177e-06,2.214672e-06,2.277326e-06,2.350759e-06,2.378795e-06,2.476516e-06,2.480346e-06,2.570452e-06,2.603340e-06,2.660595e-06,2.719733e-06,2.746961e-06,2.829580e-06,2.908502e-06,2.932986e-06,2.983786e-06,3.030091e-06,3.055502e-06,3.121065e-06,3.123728e-06,3.188544e-06,3.206093e-06,3.250035e-06,3.285371e-06,3.308291e-06,3.359107e-06,3.363402e-06,3.415460e-06,3.427510e-06,3.464557e-06,3.490792e-06,3.510784e-06,3.549163e-06,3.554233e-06,3.594997e-06,3.602835e-06,3.633164e-06,3.652015e-06,3.668824e-06,3.696906e-06,3.702066e-06,3.732975e-06,3.737709e-06,3.761635e-06,3.774618e-06,3.788130e-06,3.807822e-06,3.812541e-06,3.834947e-06,3.837505e-06,3.855425e-06,3.863844e-06,3.874051e-06,3.887012e-06,3.890897e-06,3.906035e-06,3.907175e-06,3.919535e-06,3.924492e-06,3.931465e-06,3.939118e-06,3.941889e-06,3.950870e-06,3.951201e-06,3.958472e-06,3.960882e-06,3.964753e-06,3.968299e-06,3.969771e-06,3.973582e-06,3.976241e-06,3.976857e-06,3.977799e-06,3.978243e-06,3.978308e-06,3.977855e-06,3.977817e-06,3.976372e-06,3.975803e-06,3.974019e-06,3.972191e-06,3.970803e-06,3.967119e-06,3.966766e-06,3.961949e-06,3.960682e-06,3.956392e-06,3.952971e-06,3.950132e-06,3.944072e-06,3.943207e-06,3.935651e-06,3.934067e-06,3.927499e-06,3.923036e-06,3.918784e-06,3.911051e-06,3.909537e-06,3.899789e-06,3.898184e-06,3.889568e-06,3.884502e-06,3.878903e-06,3.870069e-06,3.867820e-06,3.856346e-06,3.854944e-06,3.844505e-06,3.839185e-06,3.832322e-06,3.822847e-06,3.819818e-06,3.807017e-06,3.805981e-06,3.793939e-06,3.788635e-06,3.780604e-06,3.770855e-06,3.767032e-06,3.753241e-06,3.752685e-06,3.739249e-06,3.734166e-06,3.725074e-06,3.715337e-06,3.710730e-06,3.696234e-06,3.676892e-06,3.657343e-06,3.637618e-06,3.617746e-06,3.597753e-06,3.577666e-06,3.557507e-06,3.537300e-06,3.517066e-06,3.496823e-06,3.476591e-06,3.456386e-06,3.436225e-06,3.416122e-06,3.396092e-06,3.376146e-06,3.356298e-06,3.336558e-06,3.316937e-06,3.297444e-06,3.278087e-06,3.258875e-06,3.239815e-06,3.220914e-06
0.000000e+00,2.238069e-15,1.967343e-14,4.945061e-13,4.154352e-12,1.097107e-11,8.832968e-11,9.519453e-11,4.949519e-10,7.372753e-10,1.865508e-09,3.704334e-09,5.642279e-09,1.354876e-08,1.454359e-08,3.317725e-08,3.982719e-08,6.865318e-08,9.950733e-08,1.310651e-07,2.187690e-07,2.337322e-07,3.931541e-07,4.335080e-07,6.286934e-07,7.883798e-07,9.620325e-07,1.334630e-06,1.416466e-06,2.016092e-06,2.127121e-06,2.784956e-06,3.220977e-06,3.746204e-06,4.668202e-06,4.921273e-06,6.329157e-06,6.514540e-06,7.985772e-06,8.796797e-06,9.903444e-06,1.154076e-05,1.209052e-05,1.455112e-05,1.475981e-05,1.728502e-05,1.845422e-05,2.028767e-05,2.261125e-05,2.355035e-05,2.706040e-05,2.720573e-05,3.080159e-05,3.220135e-05,3.475452e-05,3.755229e-05,3.889711e-05,4.320511e-05,4.765264e-05,4.910093e-05,5.221271e-05,5.517749e-05,5.685774e-05,6.137120e-05,6.156005e-05,6.629233e-05,6.761909e-05,7.102799e-05,7.386037e-05,7.574159e-05,8.003792e-05,8.040908e-05,8.500806e-05,8.609929e-05,8.951794e-05,9.199754e-05,9.392013e-05,9.769176e-05,9.819806e-05,1.023373e-04,1.031473e-04,1.063254e-04,1.083359e-04,1.101520e-04,1.132355e-04,1.138089e-04,1.172895e-04,1.178297e-04,1.205892e-04,1.221078e-04,1.237049e-04,1.260640e-04,1.266352e-04,1.293800e-04,1.296970e-04,1.319405e-04,1.330092e-04,1.343188e-04,1.360065e-04,1.365182e-04,1.385428e-04,1.386974e-04,1.403974e-04,1.410927e-04,1.420871e-04,1.432050e-04,1.436180e-04,1.449960e-04,1.450481e-04,1.462278e-04,1.466366e-04,1.473198e-04,1.479860e-04,1.482789e-04,1.491118e-04,1.498253e-04,1.500296e-04,1.504262e-04,1.507546e-04,1.509210e-04,1.513021e-04,1.513161e-04,1.516179e-04,1.516865e-04,1.518325e-04,1.519219e-04,1.519658e-04,1.520213e-04,1.520232e-04,1.520104e-04,1.519975e-04,1.519324e-04,1.518621e-04,1.517941e-04,1.516262e-04,1.516002e-04,1.513550e-04,1.513002e-04,1.510628e-04,1.508936e-04,1.507275e-04,1.504152e-04,1.503528e-04,1.499421e-04,1.498733e-04,1.494988e-04,1.492753e-04,1.490258e-04,1.486280e-04,1.485260e-04,1.480021e-04,1.479377e-04,1.474565e-04,1.472102e-04,1.468915e-04,1.464506e-04,1.463094e-04,1.457120e-04,1.456636e-04,1.451012e-04,1.448535e-04,1.444787e-04,1.440242e-04,1.438462e-04,1.432051e-04,1.431793e-04,1.425567e-04,1.423217e-04,1.419023e-04,1.414544e-04,1.412430e-04,1.405800e-04,1.397006e-04,1.388184e-04,1.379352e-04,1.370527e-04,1.361723e-04,1.352953e-04,1.344229e-04,1.335562e-04,1.326959e-04,1.318430e-04,1.309981e-04,1.301619e-04,1.293349e-04,1.285176e-04,1.277104e-04,1.269137e-04,1.261276e-04,1.253526e-04,1.245887e-04,1.238361e-04,1.230950e-04,1.223655e-04,1.216476e-04,1.209413e-04
0.000000e+00,4.917518e-13,3.644714e-12,6.459799e-11,3.968849e-10,8.848917e-10,4.642473e-09,4.918304e-09,1.696536e-08,2.266419e-08,4.384365e-08,7.046012e-08,9.375677e-08,1.678661e-07,1.758455e-07,2.999729e-07,3.371639e-07,4.764697e-07,6.019780e-07,7.153738e-07,9.837648e-07,1.024803e-06,1.408841e-06,1.494585e-06,1.866203e-06,2.131079e-06,2.390614e-06,2.876032e-06,2.972575e-06,3.601387e-06,3.705636e-06,4.266619e-06,4.596047e-06,4.958821e-06,5.526400e-06,5.669715e-06,6.392114e-06,6.479269e-06,7.119773e-06,7.440183e-06,7.847259e-06,8.397105e-06,8.569853e-06,9.283497e-06,9.340095e-06,9.984743e-06,1.026111e-05,1.067071e-05,1.115382e-05,1.133906e-05,1.198792e-05,1.201345e-05,1.261586e-05,1.283658e-05,1.322182e-05,1.362095e-05,1.380510e-05,1.436526e-05,1.490209e-05,1.506895e-05,1.541561e-05,1.573209e-05,1.590596e-05,1.635518e-05,1.637344e-05,1.681845e-05,1.693908e-05,1.724145e-05,1.748491e-05,1.764298e-05,1.799392e-05,1.802361e-05,1.838397e-05,1.846750e-05,1.872467e-05,1.890712e-05,1.904637e-05,1.931426e-05,1.934971e-05,1.963535e-05,1.969041e-05,1.990394e-05,2.003708e-05,2.015612e-05,2.035573e-05,2.039252e-05,2.061375e-05,2.064779e-05,2.082044e-05,2.091466e-05,2.101317e-05,2.115769e-05,2.119252e-05,2.135904e-05,2.137819e-05,2.151329e-05,2.157741e-05,2.165579e-05,2.175655e-05,2.178706e-05,2.190757e-05,2.191677e-05,2.201783e-05,2.205916e-05,2.211827e-05,2.218477e-05,2.220936e-05,2.229151e-05,2.229462e-05,2.236514e-05,2.238964e-05,2.243065e-05,2.247075e-05,2.248842e-05,2.253881e-05,2.258218e-05,2.259463e-05,2.261886e-05,2.263899e-05,2.264920e-05,2.267263e-05,2.267348e-05,2.269203e-05,2.269623e-05,2.270512e-05,2.271047e-05,2.271303e-05,2.271597e-05,2.271603e-05,2.271437e-05,2.271331e-05,2.270830e-05,2.270306e-05,2.269804e-05,2.268573e-05,2.268382e-05,2.266586e-05,2.266184e-05,2.264436e-05,2.263185e-05,2.261952e-05,2.259620e-05,2.259152e-05,2.256054e-05,2.255532e-05,2.252676e-05,2.250960e-05,2.249034e-05,2.245941e-05,2.245144e-05,2.241020e-05,2.240511e-05,2.236678e-05,2.234701e-05,2.232130e-05,2.228545e-05,2.227391e-05,2.222471e-05,2.222070e-05,2.217384e-05,2.215305e-05,2.212141e-05,2.208276e-05,2.206753e-05,2.201230e-05,2.201006e-05,2.195581e-05,2.193519e-05,2.189817e-05,2.185837e-05,2.183947e-05,2.177979e-05,2.169965e-05,2.161812e-05,2.153537e-05,2.145157e-05,2.136685e-05,2.128135e-05,2.119521e-05,2.110854e-05,2.102145e-05,2.093406e-05,2.084645e-05,2.075873e-05,2.067097e-05,2.058326e-05,2.049567e-05,2.040827e-05,2.032113e-05,2.023429e-05,2.014783e-05,2.006178e-05,1.997620e-05,1.989113e-05,1.980661e-05,1.972268e-05
0.000000e+00,1.247032e-11,2.885024e-11,1.002689e-10,2.290694e-10,3.345392e-10,7.587422e-10,7.815005e-10,1.504002e-09,1.764017e-09,2.563108e-09,3.385292e-09,4.019228e-09,5.760649e-09,5.931797e-09,8.355565e-09,9.018347e-09,1.133140e-08,1.324574e-08,1.487368e-08,1.844552e-08,1.896401e-08,2.355857e-08,2.453318e-08,2.860200e-08,3.138303e-08,3.403743e-08,3.886604e-08,3.981016e-08,4.586804e-08,4.686039e-08,5.216096e-08,5.525078e-08,5.864051e-08,6.392701e-08,6.525989e-08,7.197423e-08,7.278429e-08,7.874096e-08,8.172455e-08,8.552024e-08,9.065816e-08,9.227532e-08,9.897277e-08,9.950515e-08,1.055827e-07,1.081962e-07,1.120789e-07,1.166728e-07,1.184386e-07,1.246426e-07,1.248873e-07,1.306748e-07,1.328018e-07,1.365223e-07,1.403877e-07,1.421748e-07,1.476247e-07,1.528664e-07,1.544991e-07,1.578964e-07,1.610036e-07,1.627130e-07,1.671357e-07,1.673157e-07,1.717056e-07,1.728968e-07,1.758845e-07,1.782919e-07,1.798555e-07,1.833282e-07,1.836221e-07,1.871885e-07,1.880151e-07,1.905594e-07,1.923636e-07,1.937398e-07,1.963853e-07,1.967352e-07,1.995510e-07,2.000931e-07,2.021930e-07,2.035001e-07,2.046670e-07,2.066195e-07,2.069788e-07,2.091343e-07,2.094650e-07,2.111392e-07,2.120499e-07,2.129995e-07,2.143874e-07,2.147208e-07,2.163086e-07,2.164905e-07,2.177686e-07,2.183719e-07,2.191062e-07,2.200440e-07,2.203265e-07,2.214347e-07,2.215187e-07,2.224359e-07,2.228075e-07,2.233349e-07,2.239215e-07,2.241364e-07,2.248451e-07,2.248715e-07,2.254652e-07,2.256677e-07,2.260013e-07,2.263198e-07,2.264573e-07,2.268373e-07,2.271452e-07,2.272291e-07,2.273846e-07,2.275036e-07,2.275593e-07,2.276691e-07,2.276725e-07,2.277278e-07,2.277333e-07,2.277282e-07,2.277034e-07,2.276769e-07,2.275865e-07,2.275767e-07,2.274306e-07,2.273890e-07,2.272413e-07,2.271174e-07,2.270114e-07,2.267774e-07,2.267433e-07,2.264395e-07,2.263747e-07,2.261024e-07,2.259146e-07,2.257340e-07,2.254019e-07,2.253365e-07,2.249119e-07,2.248415e-07,2.244621e-07,2.242378e-07,2.239890e-07,2.235949e-07,2.234943e-07,2.229797e-07,2.229167e-07,2.224468e-07,2.222069e-07,2.218971e-07,2.214690e-07,2.213321e-07,2.207531e-07,2.207062e-07,2.201614e-07,2.199215e-07,2.195584e-07,2.191179e-07,2.189452e-07,2.183229e-07,2.182979e-07,2.176927e-07,2.174640e-07,2.170554e-07,2.166186e-07,2.164121e-07,2.157638e-07,2.149016e-07,2.140339e-07,2.131624e-07,2.122888e-07,2.114145e-07,2.105408e-07,2.096692e-07,2.088007e-07,2.079364e-07,2.070774e-07,2.062244e-07,2.053784e-07,2.045400e-07,2.037100e-07,2.028890e-07,2.020776e-07,2.012761e-07,2.004851e-07,1.997050e-07,1.989361e-07,1.981786e-07,1.974330e-07,1.966993e-07,1.959777e-07
0.000000e+00,1.050822e-10,2.608082e-10,9.763515e-10,2.310693e-09,3.420341e-09,7.950879e-09,8.195861e-09,1.603089e-08,1.887046e-08,2.764118e-08,3.671811e-08,4.374547e-08,6.315366e-08,6.506847e-08,9.231399e-08,9.980494e-08,1.260835e-07,1.479926e-07,1.667368e-07,2.082078e-07,2.142644e-07,2.682882e-07,2.798208e-07,3.281963e-07,3.614448e-07,3.932979e-07,4.514973e-07,4.629118e-07,5.363956e-07,5.484712e-07,6.131442e-07,6.509734e-07,6.925829e-07,7.577014e-07,7.741632e-07,8.573610e-07,8.674295e-07,9.416782e-07,9.790103e-07,1.026645e-06,1.091385e-06,1.111826e-06,1.196818e-06,1.203598e-06,1.281256e-06,1.314802e-06,1.364814e-06,1.424267e-06,1.447203e-06,1.528174e-06,1.531380e-06,1.607510e-06,1.635635e-06,1.685031e-06,1.736631e-06,1.760587e-06,1.834058e-06,1.905350e-06,1.927691e-06,1.974390e-06,2.017371e-06,2.041129e-06,2.103003e-06,2.105534e-06,2.167588e-06,2.184541e-06,2.227288e-06,2.261982e-06,2.284643e-06,2.335354e-06,2.339671e-06,2.392398e-06,2.404714e-06,2.442859e-06,2.470141e-06,2.491092e-06,2.531729e-06,2.537141e-06,2.581055e-06,2.589586e-06,2.622884e-06,2.643828e-06,2.662680e-06,2.694578e-06,2.700498e-06,2.736394e-06,2.741963e-06,2.770425e-06,2.786113e-06,2.802646e-06,2.827160e-06,2.833116e-06,2.861890e-06,2.865232e-06,2.889026e-06,2.900461e-06,2.914579e-06,2.932974e-06,2.938604e-06,2.961155e-06,2.962897e-06,2.982286e-06,2.990353e-06,3.002049e-06,3.015460e-06,3.020496e-06,3.037675e-06,3.038337e-06,3.053638e-06,3.059096e-06,3.068431e-06,3.077845e-06,3.082100e-06,3.094692e-06,3.106250e-06,3.109738e-06,3.116818e-06,3.123081e-06,3.126437e-06,3.134815e-06,3.135146e-06,3.142987e-06,3.145032e-06,3.149996e-06,3.153818e-06,3.156211e-06,3.161258e-06,3.161667e-06,3.166399e-06,3.167430e-06,3.170440e-06,3.172413e-06,3.173822e-06,3.176279e-06,3.176577e-06,3.178735e-06,3.179098e-06,3.180325e-06,3.180937e-06,3.181375e-06,3.181860e-06,3.181912e-06,3.181963e-06,3.181927e-06,3.181552e-06,3.181198e-06,3.180704e-06,3.179726e-06,3.179442e-06,3.177789e-06,3.177565e-06,3.175766e-06,3.174764e-06,3.173394e-06,3.171371e-06,3.170694e-06,3.167684e-06,3.167431e-06,3.164384e-06,3.162986e-06,3.160810e-06,3.158078e-06,3.156980e-06,3.152911e-06,3.152744e-06,3.148618e-06,3.147021e-06,3.144116e-06,3.140943e-06,3.139420e-06,3.134543e-06,3.127852e-06,3.120899e-06,3.113710e-06,3.106313e-06,3.098731e-06,3.090987e-06,3.083103e-06,3.075099e-06,3.066994e-06,3.058805e-06,3.050550e-06,3.042244e-06,3.033902e-06,3.025538e-06,3.017163e-06,3.008791e-06,3.000431e-06,2.992095e-06,2.983791e-06,2.975529e-06,2.967316e-06,2.959161e-06,2.951069e-06,2.943048e-06
0.000000e+00,2.630283e-12,1.470383e-11,1.543755e-10,6.310006e-10,1.154763e-09,3.925379e-09,4.094426e-09,1.009060e-08,1.246167e-08,2.019145e-08,2.863514e-08,3.538516e-08,5.467629e-08,5.661894e-08,8.479677e-08,9.268570e-08,1.207220e-07,1.444493e-07,1.649572e-07,2.108870e-07,2.176498e-07,2.784715e-07,2.915553e-07,3.467412e-07,3.849081e-07,4.216192e-07,4.889889e-07,5.022387e-07,5.877534e-07,6.018349e-07,6.773434e-07,7.215587e-07,7.702090e-07,8.463344e-07,8.655693e-07,9.626659e-07,9.743992e-07,1.060772e-06,1.104080e-06,1.159201e-06,1.233830e-06,1.257318e-06,1.354544e-06,1.362268e-06,1.450365e-06,1.488197e-06,1.544331e-06,1.610621e-06,1.636060e-06,1.725232e-06,1.728742e-06,1.811592e-06,1.841952e-06,1.894939e-06,1.949816e-06,1.975125e-06,2.052049e-06,2.125652e-06,2.148498e-06,2.195906e-06,2.239114e-06,2.262819e-06,2.323937e-06,2.326418e-06,2.386755e-06,2.403074e-06,2.443898e-06,2.476683e-06,2.497926e-06,2.544958e-06,2.548929e-06,2.597006e-06,2.608121e-06,2.642260e-06,2.666408e-06,2.684795e-06,2.720065e-06,2.724722e-06,2.762147e-06,2.769342e-06,2.797181e-06,2.814488e-06,2.829928e-06,2.855746e-06,2.860495e-06,2.888982e-06,2.893354e-06,2.915491e-06,2.927540e-06,2.940117e-06,2.958525e-06,2.962953e-06,2.984090e-06,2.986516e-06,3.003611e-06,3.011711e-06,3.021601e-06,3.034297e-06,3.038137e-06,3.053294e-06,3.054450e-06,3.067145e-06,3.072335e-06,3.079758e-06,3.088110e-06,3.091199e-06,3.101530e-06,3.101921e-06,3.110810e-06,3.113904e-06,3.119095e-06,3.124188e-06,3.126439e-06,3.132893e-06,3.138505e-06,3.140131e-06,3.143322e-06,3.146008e-06,3.147388e-06,3.150621e-06,3.150742e-06,3.153426e-06,3.154063e-06,3.155477e-06,3.156418e-06,3.156929e-06,3.157767e-06,3.157818e-06,3.158174e-06,3.158184e-06,3.158029e-06,3.157739e-06,3.157410e-06,3.156496e-06,3.156346e-06,3.154862e-06,3.154517e-06,3.152983e-06,3.151858e-06,3.150733e-06,3.148571e-06,3.148133e-06,3.145205e-06,3.144707e-06,3.141968e-06,3.140311e-06,3.138443e-06,3.135426e-06,3.134646e-06,3.130595e-06,3.130092e-06,3.126306e-06,3.124347e-06,3.121794e-06,3.118226e-06,3.117075e-06,3.112162e-06,3.111761e-06,3.107068e-06,3.104982e-06,3.101805e-06,3.097919e-06,3.096387e-06,3.090823e-06,3.090597e-06,3.085124e-06,3.083042e-06,3.079302e-06,3.075277e-06,3.073365e-06,3.067322e-06,3.059200e-06,3.050927e-06,3.042523e-06,3.034003e-06,3.025382e-06,3.016675e-06,3.007896e-06,2.999057e-06,2.990169e-06,2.981243e-06,2.972290e-06,2.963318e-06,2.954337e-06,2.945355e-06,2.936379e-06,2.927416e-06,2.918473e-06,2.909557e-06,2.900672e-06,2.891823e-06,2.883017e-06,2.874257e-06,2.865547e-06,2.856892e-06
0.000000e+00,3.338551e-15,2.912889e-14,7.215125e-13,5.976738e-12,1.565598e-11,1.232349e-10,1.326830e-10,6.725016e-10,9.942049e-10,2.464820e-09,4.806663e-09,7.229670e-09,1.684184e-08,1.802961e-08,3.974829e-08,4.732705e-08,7.954002e-08,1.132466e-07,1.471778e-07,2.396420e-07,2.552226e-07,4.189615e-07,4.599140e-07,6.561112e-07,8.149033e-07,9.863175e-07,1.350895e-06,1.430509e-06,2.010165e-06,2.116912e-06,2.746555e-06,3.161715e-06,3.659994e-06,4.530836e-06,4.769150e-06,6.090432e-06,6.263920e-06,7.637477e-06,8.392514e-06,9.420735e-06,1.093842e-05,1.144718e-05,1.372013e-05,1.391263e-05,1.623918e-05,1.731492e-05,1.900025e-05,2.113392e-05,2.199570e-05,2.521461e-05,2.534783e-05,2.864304e-05,2.992544e-05,3.226439e-05,3.482759e-05,3.605986e-05,4.000881e-05,4.408929e-05,4.541910e-05,4.827840e-05,5.100567e-05,5.255280e-05,5.671471e-05,5.688905e-05,6.126404e-05,6.249289e-05,6.565527e-05,6.828878e-05,7.004117e-05,7.405394e-05,7.440135e-05,7.871675e-05,7.974380e-05,8.296984e-05,8.531834e-05,8.714468e-05,9.074244e-05,9.122700e-05,9.520423e-05,9.598608e-05,9.906548e-05,1.010244e-04,1.028015e-04,1.058374e-04,1.064047e-04,1.098689e-04,1.104099e-04,1.131894e-04,1.147311e-04,1.163628e-04,1.187942e-04,1.193871e-04,1.222610e-04,1.225958e-04,1.249846e-04,1.261356e-04,1.275587e-04,1.294159e-04,1.299848e-04,1.322653e-04,1.324415e-04,1.344029e-04,1.352187e-04,1.364010e-04,1.377553e-04,1.382632e-04,1.399937e-04,1.400603e-04,1.415967e-04,1.421434e-04,1.430766e-04,1.440150e-04,1.444381e-04,1.456858e-04,1.468245e-04,1.471666e-04,1.478589e-04,1.484683e-04,1.487936e-04,1.496016e-04,1.496334e-04,1.503828e-04,1.505770e-04,1.510462e-04,1.514049e-04,1.516281e-04,1.520949e-04,1.521326e-04,1.525638e-04,1.526568e-04,1.529257e-04,1.530995e-04,1.532221e-04,1.534316e-04,1.534566e-04,1.536329e-04,1.536615e-04,1.537542e-04,1.537967e-04,1.538238e-04,1.538446e-04,1.538448e-04,1.538201e-04,1.538121e-04,1.537525e-04,1.537056e-04,1.536447e-04,1.535312e-04,1.534992e-04,1.533184e-04,1.532944e-04,1.531046e-04,1.530007e-04,1.528600e-04,1.526548e-04,1.525867e-04,1.522866e-04,1.522615e-04,1.519615e-04,1.518249e-04,1.516132e-04,1.513491e-04,1.512434e-04,1.508537e-04,1.508377e-04,1.504454e-04,1.502942e-04,1.500201e-04,1.497218e-04,1.495790e-04,1.491234e-04,1.485018e-04,1.478595e-04,1.471988e-04,1.465221e-04,1.458313e-04,1.451282e-04,1.444146e-04,1.436921e-04,1.429622e-04,1.422263e-04,1.414855e-04,1.407411e-04,1.399942e-04,1.392457e-04,1.384965e-04,1.377474e-04,1.369993e-04,1.362529e-04,1.355087e-04,1.347675e-04,1.340296e-04,1.332957e-04,1.325661e-04,1.318413e-04
0.000000e+00,3.562498e-11,1.763697e-10,1.515281e-09,5.425473e-09,9.381691e-09,2.863841e-08,2.976996e-08,6.872399e-08,8.380823e-08,1.326202e-07,1.858984e-07,2.286826e-07,3.521263e-07,3.646335e-07,5.462304e-07,5.967612e-07,7.735272e-07,9.186529e-07,1.040425e-06,1.301268e-06,1.338393e-06,1.659715e-06,1.726222e-06,1.998310e-06,2.179565e-06,2.349336e-06,2.650776e-06,2.708671e-06,3.072590e-06,3.131007e-06,3.437616e-06,3.612254e-06,3.800484e-06,4.087181e-06,4.158167e-06,4.507914e-06,4.549231e-06,4.847292e-06,4.992782e-06,5.174215e-06,5.413286e-06,5.486982e-06,5.784263e-06,5.807344e-06,6.065074e-06,6.172635e-06,6.328780e-06,6.507854e-06,6.575038e-06,6.803766e-06,6.812552e-06,7.015114e-06,7.087003e-06,7.209411e-06,7.332032e-06,7.387135e-06,7.548882e-06,7.695330e-06,7.739082e-06,7.827217e-06,7.904339e-06,7.945316e-06,8.046455e-06,8.050419e-06,8.143321e-06,8.167254e-06,8.224806e-06,8.268538e-06,8.295643e-06,8.352047e-06,8.356574e-06,8.408311e-06,8.419436e-06,8.451534e-06,8.472261e-06,8.486886e-06,8.511969e-06,8.514976e-06,8.536374e-06,8.539898e-06,8.551615e-06,8.557275e-06,8.561201e-06,8.565224e-06,8.565596e-06,8.565236e-06,8.564764e-06,8.560522e-06,8.556823e-06,8.551828e-06,8.542241e-06,8.539501e-06,8.523861e-06,8.521776e-06,8.505206e-06,8.496113e-06,8.483808e-06,8.465869e-06,8.459922e-06,8.433781e-06,8.431599e-06,8.405601e-06,8.393804e-06,8.375582e-06,8.352934e-06,8.343908e-06,8.310749e-06,8.309394e-06,8.276260e-06,8.263547e-06,8.240587e-06,8.215721e-06,8.203863e-06,8.166210e-06,8.127742e-06,8.115277e-06,8.088563e-06,8.063161e-06,8.048770e-06,8.010073e-06,8.008451e-06,7.967688e-06,7.956205e-06,7.926556e-06,7.901730e-06,7.885125e-06,7.846799e-06,7.843459e-06,7.801616e-06,7.791553e-06,7.759650e-06,7.736115e-06,7.717612e-06,7.680595e-06,7.675547e-06,7.633498e-06,7.625093e-06,7.591502e-06,7.569698e-06,7.549597e-06,7.514489e-06,7.507813e-06,7.466182e-06,7.459537e-06,7.424730e-06,7.404904e-06,7.383482e-06,7.350646e-06,7.342461e-06,7.301688e-06,7.296813e-06,7.261181e-06,7.243448e-06,7.220959e-06,7.190589e-06,7.181036e-06,7.141427e-06,7.138272e-06,7.102144e-06,7.086525e-06,7.063199e-06,7.035374e-06,7.024602e-06,6.986363e-06,6.984841e-06,6.948488e-06,6.934944e-06,6.910987e-06,6.885701e-06,6.873864e-06,6.837125e-06,6.789226e-06,6.742014e-06,6.695495e-06,6.649675e-06,6.604558e-06,6.560145e-06,6.516438e-06,6.473436e-06,6.431137e-06,6.389540e-06,6.348641e-06,6.308436e-06,6.268920e-06,6.230089e-06,6.191936e-06,6.154455e-06,6.117639e-06,6.081481e-06,6.045973e-06,6.011108e-06,5.976877e-06,5.943272e-06,5.910284e-06,5.877905e-06
0.000000e+00,2.561550e-11,5.910143e-11,2.080401e-10,4.904215e-10,7.348585e-10,1.833061e-09,1.896994e-09,4.171024e-09,5.096482e-09,8.238746e-09,1.183657e-08,1.477427e-08,2.310141e-08,2.391823e-08,3.509127e-08,3.798608e-08,4.752913e-08,5.483324e-08,6.068685e-08,7.260443e-08,7.424569e-08,8.801827e-08,9.078695e-08,1.018817e-07,1.090952e-07,1.157434e-07,1.273285e-07,1.295253e-07,1.431583e-07,1.453216e-07,1.565807e-07,1.629324e-07,1.697382e-07,1.800419e-07,1.825842e-07,1.950795e-07,1.965538e-07,2.071926e-07,2.123948e-07,2.188991e-07,2.275126e-07,2.301808e-07,2.410254e-07,2.418739e-07,2.514257e-07,2.554606e-07,2.613786e-07,2.682676e-07,2.708843e-07,2.799463e-07,2.802996e-07,2.885701e-07,2.915688e-07,2.967631e-07,3.020928e-07,3.045342e-07,3.118932e-07,3.188509e-07,3.209945e-07,3.254186e-07,3.294226e-07,3.316079e-07,3.372047e-07,3.374307e-07,3.428991e-07,3.443684e-07,3.480251e-07,3.509414e-07,3.528208e-07,3.569512e-07,3.572979e-07,3.614684e-07,3.624249e-07,3.653437e-07,3.673891e-07,3.689351e-07,3.718696e-07,3.722539e-07,3.753107e-07,3.758916e-07,3.781164e-07,3.794794e-07,3.806810e-07,3.826565e-07,3.830148e-07,3.851273e-07,3.854454e-07,3.870281e-07,3.878680e-07,3.887264e-07,3.899452e-07,3.902311e-07,3.915507e-07,3.916970e-07,3.926936e-07,3.931426e-07,3.936679e-07,3.943004e-07,3.944813e-07,3.951414e-07,3.951878e-07,3.956555e-07,3.958217e-07,3.960304e-07,3.962181e-07,3.962731e-07,3.963899e-07,3.963921e-07,3.963873e-07,3.963582e-07,3.962712e-07,3.961303e-07,3.960474e-07,3.957215e-07,3.952990e-07,3.951442e-07,3.947850e-07,3.944103e-07,3.941844e-07,3.935310e-07,3.935022e-07,3.927427e-07,3.925169e-07,3.919106e-07,3.913782e-07,3.910100e-07,3.901244e-07,3.900449e-07,3.890193e-07,3.887646e-07,3.879370e-07,3.873074e-07,3.868014e-07,3.857608e-07,3.856160e-07,3.843842e-07,3.841325e-07,3.831090e-07,3.824297e-07,3.817934e-07,3.806594e-07,3.804405e-07,3.790528e-07,3.788278e-07,3.776332e-07,3.769411e-07,3.761839e-07,3.750049e-07,3.747076e-07,3.732065e-07,3.730248e-07,3.716827e-07,3.710057e-07,3.701385e-07,3.689523e-07,3.685757e-07,3.669963e-07,3.668693e-07,3.654021e-07,3.647607e-07,3.637949e-07,3.626305e-07,3.621763e-07,3.605478e-07,3.604825e-07,3.589110e-07,3.583200e-07,3.572673e-07,3.561463e-07,3.556180e-07,3.539644e-07,3.517772e-07,3.495872e-07,3.473971e-07,3.452089e-07,3.430249e-07,3.408471e-07,3.386772e-07,3.365171e-07,3.343681e-07,3.322319e-07,3.301096e-07,3.280026e-07,3.259120e-07,3.238387e-07,3.217838e-07,3.197481e-07,3.177323e-07,3.157371e-07,3.137632e-07,3.118111e-07,3.098813e-07,3.079743e-07,3.060904e-07,3.042300e-07
0.000000e+00,8.236843e-11,1.954504e-10,6.991010e-10,1.625673e-09,2.396437e-09,5.588771e-09,5.763997e-09,1.152427e-08,1.368643e-08,2.059275e-08,2.803447e-08,3.393207e-08,5.041162e-08,5.203160e-08,7.458423e-08,8.058419e-08,1.009137e-07,1.170792e-07,1.304261e-07,1.586864e-07,1.626924e-07,1.973869e-07,2.045920e-07,2.342264e-07,2.541393e-07,2.729349e-07,3.066863e-07,3.132274e-07,3.548058e-07,3.615572e-07,3.973615e-07,4.180436e-07,4.405821e-07,4.754286e-07,4.841575e-07,5.277874e-07,5.330130e-07,5.711885e-07,5.901443e-07,6.140993e-07,6.462371e-07,6.562834e-07,6.975326e-07,7.007866e-07,7.376676e-07,7.533748e-07,7.765374e-07,8.036702e-07,8.140191e-07,8.500158e-07,8.514236e-07,8.844542e-07,8.964599e-07,9.172825e-07,9.386690e-07,9.484688e-07,9.779982e-07,1.005870e-06,1.014441e-06,1.032097e-06,1.048027e-06,1.056698e-06,1.078813e-06,1.079703e-06,1.101146e-06,1.106875e-06,1.121066e-06,1.132305e-06,1.139508e-06,1.155212e-06,1.156521e-06,1.172157e-06,1.175710e-06,1.186467e-06,1.193921e-06,1.199504e-06,1.209967e-06,1.211322e-06,1.221977e-06,1.223974e-06,1.231527e-06,1.236077e-06,1.240032e-06,1.246404e-06,1.247541e-06,1.254102e-06,1.255068e-06,1.259766e-06,1.262179e-06,1.264577e-06,1.267842e-06,1.268580e-06,1.271821e-06,1.272160e-06,1.274339e-06,1.275229e-06,1.276176e-06,1.277141e-06,1.277371e-06,1.277960e-06,1.277983e-06,1.277981e-06,1.277838e-06,1.277467e-06,1.276784e-06,1.276451e-06,1.274964e-06,1.274896e-06,1.273038e-06,1.272242e-06,1.270699e-06,1.268888e-06,1.267976e-06,1.264895e-06,1.261481e-06,1.260322e-06,1.257758e-06,1.255223e-06,1.253747e-06,1.249647e-06,1.249471e-06,1.244950e-06,1.243643e-06,1.240204e-06,1.237255e-06,1.235250e-06,1.230524e-06,1.230106e-06,1.224789e-06,1.223489e-06,1.219314e-06,1.216185e-06,1.213696e-06,1.208646e-06,1.207950e-06,1.202088e-06,1.200903e-06,1.196123e-06,1.192984e-06,1.190067e-06,1.184918e-06,1.183931e-06,1.177726e-06,1.176727e-06,1.171461e-06,1.168436e-06,1.165147e-06,1.160065e-06,1.158791e-06,1.152402e-06,1.151634e-06,1.145989e-06,1.143161e-06,1.139557e-06,1.134661e-06,1.133115e-06,1.126668e-06,1.126152e-06,1.120222e-06,1.117646e-06,1.113784e-06,1.109156e-06,1.107358e-06,1.100950e-06,1.100694e-06,1.094563e-06,1.092270e-06,1.088202e-06,1.083894e-06,1.081872e-06,1.075575e-06,1.067320e-06,1.059137e-06,1.051033e-06,1.043011e-06,1.035079e-06,1.027240e-06,1.019499e-06,1.011857e-06,1.004320e-06,9.968887e-07,9.895657e-07,9.823528e-07,9.752515e-07,9.682628e-07,9.613877e-07,9.546267e-07,9.479800e-07,9.414479e-07,9.350302e-07,9.287267e-07,9.225369e-07,9.164602e-07,9.104960e-07,9.046432e-07
0.000000e+00,2.314840e-12,5.304199e-12,1.816562e-11,4.104530e-11,5.960805e-11,1.333500e-10,1.372755e-10,2.608072e-10,3.048563e-10,4.392510e-10,5.763161e-10,6.813303e-10,9.674013e-10,9.953494e-10,1.388300e-09,1.494860e-09,1.863750e-09,2.165418e-09,2.419265e-09,2.967333e-09,3.045868e-09,3.730674e-09,3.873423e-09,4.460273e-09,4.853267e-09,5.222512e-09,5.880238e-09,6.006815e-09,6.803944e-09,6.932115e-09,7.605704e-09,7.990012e-09,8.404768e-09,9.037660e-09,9.194601e-09,9.969443e-09,1.006117e-08,1.072432e-08,1.104902e-08,1.145502e-08,1.199206e-08,1.215814e-08,1.283100e-08,1.288345e-08,1.347162e-08,1.371853e-08,1.407869e-08,1.449455e-08,1.465144e-08,1.518965e-08,1.521046e-08,1.569348e-08,1.586654e-08,1.616348e-08,1.646415e-08,1.660045e-08,1.700544e-08,1.737965e-08,1.749312e-08,1.772442e-08,1.793027e-08,1.804116e-08,1.832020e-08,1.833132e-08,1.859637e-08,1.866628e-08,1.883778e-08,1.897189e-08,1.905700e-08,1.924029e-08,1.925543e-08,1.943444e-08,1.947466e-08,1.959533e-08,1.967798e-08,1.973934e-08,1.985304e-08,1.986764e-08,1.998135e-08,2.000244e-08,2.008152e-08,2.012859e-08,2.016913e-08,2.023370e-08,2.024511e-08,2.031030e-08,2.031979e-08,2.036552e-08,2.038871e-08,2.041152e-08,2.044214e-08,2.044899e-08,2.047858e-08,2.048163e-08,2.050089e-08,2.050855e-08,2.051649e-08,2.052417e-08,2.052589e-08,2.052957e-08,2.052963e-08,2.052799e-08,2.052597e-08,2.052155e-08,2.051413e-08,2.051065e-08,2.049564e-08,2.049496e-08,2.047685e-08,2.046922e-08,2.045459e-08,2.043762e-08,2.042914e-08,2.040078e-08,2.036973e-08,2.035927e-08,2.033625e-08,2.031363e-08,2.030052e-08,2.026431e-08,2.026276e-08,2.022314e-08,2.021174e-08,2.018184e-08,2.015631e-08,2.013901e-08,2.009838e-08,2.009480e-08,2.004935e-08,2.003827e-08,2.000278e-08,1.997626e-08,1.995522e-08,1.991262e-08,1.990676e-08,1.985753e-08,1.984759e-08,1.980760e-08,1.978140e-08,1.975707e-08,1.971423e-08,1.970603e-08,1.965454e-08,1.964627e-08,1.960269e-08,1.957769e-08,1.955054e-08,1.950864e-08,1.949814e-08,1.944557e-08,1.943925e-08,1.939286e-08,1.936965e-08,1.934008e-08,1.929994e-08,1.928727e-08,1.923447e-08,1.923025e-08,1.918173e-08,1.916065e-08,1.912907e-08,1.909124e-08,1.907655e-08,1.902418e-08,1.902209e-08,1.897200e-08,1.895327e-08,1.892004e-08,1.888485e-08,1.886833e-08,1.881688e-08,1.874941e-08,1.868250e-08,1.861618e-08,1.855049e-08,1.848547e-08,1.842114e-08,1.835754e-08,1.829468e-08,1.823259e-08,1.817128e-08,1.811077e-08,1.805108e-08,1.799221e-08,1.793417e-08,1.787698e-08,1.782064e-08,1.776515e-08,1.771051e-08,1.765673e-08,1.760382e-08,1.755175e-08,1.750055e-08,1.745020e-08,1.740070e-08
0.000000e+00,3.995429e-15,3.477511e-14,8.556830e-13,7.042295e-12,1.837919e-11,1.432338e-10,1.541505e-10,7.730942e-10,1.139509e-09,2.803289e-09,5.431285e-09,8.133607e-09,1.875723e-08,2.006240e-08,4.374532e-08,5.194932e-08,8.659134e-08,1.225548e-07,1.585486e-07,2.558883e-07,2.722068e-07,4.426418e-07,4.850192e-07,6.869617e-07,8.492923e-07,1.023577e-06,1.391412e-06,1.471270e-06,2.048173e-06,2.153600e-06,2.770757e-06,3.173547e-06,3.652934e-06,4.480843e-06,4.705322e-06,5.934723e-06,6.094318e-06,7.343815e-06,8.020496e-06,8.931059e-06,1.025318e-05,1.069080e-05,1.261352e-05,1.277401e-05,1.468626e-05,1.555388e-05,1.689308e-05,1.855481e-05,1.921567e-05,2.163388e-05,2.173230e-05,2.412642e-05,2.503771e-05,2.667137e-05,2.842064e-05,2.924675e-05,3.183109e-05,3.440376e-05,3.522135e-05,3.694542e-05,3.854754e-05,3.943830e-05,4.177070e-05,4.186640e-05,4.421563e-05,4.485760e-05,4.647395e-05,4.778105e-05,4.863133e-05,5.052003e-05,5.067974e-05,5.261310e-05,5.305947e-05,5.442714e-05,5.538986e-05,5.611929e-05,5.750669e-05,5.768851e-05,5.913512e-05,5.940984e-05,6.046065e-05,6.110288e-05,6.166765e-05,6.259240e-05,6.275953e-05,6.374039e-05,6.388733e-05,6.461490e-05,6.499836e-05,6.538810e-05,6.593732e-05,6.606536e-05,6.665219e-05,6.671680e-05,6.715422e-05,6.734969e-05,6.757705e-05,6.784885e-05,6.792623e-05,6.820718e-05,6.822687e-05,6.842514e-05,6.849583e-05,6.858516e-05,6.866721e-05,6.869205e-05,6.875038e-05,6.875177e-05,6.876446e-05,6.875948e-05,6.873832e-05,6.869951e-05,6.867574e-05,6.858024e-05,6.845507e-05,6.840925e-05,6.830325e-05,6.819339e-05,6.812756e-05,6.793880e-05,6.793054e-05,6.771453e-05,6.765095e-05,6.748168e-05,6.733471e-05,6.723394e-05,6.699440e-05,6.697309e-05,6.670076e-05,6.663386e-05,6.641843e-05,6.625647e-05,6.612745e-05,6.586519e-05,6.582903e-05,6.552428e-05,6.546266e-05,6.521420e-05,6.505117e-05,6.489971e-05,6.463272e-05,6.458162e-05,6.426067e-05,6.420910e-05,6.393754e-05,6.378185e-05,6.361284e-05,6.335232e-05,6.328712e-05,6.296087e-05,6.292170e-05,6.263454e-05,6.249104e-05,6.230854e-05,6.206123e-05,6.198324e-05,6.165895e-05,6.163306e-05,6.133599e-05,6.120724e-05,6.101462e-05,6.078435e-05,6.069507e-05,6.037758e-05,6.036492e-05,6.006232e-05,5.994940e-05,5.974947e-05,5.953820e-05,5.943920e-05,5.913164e-05,5.873003e-05,5.833361e-05,5.794259e-05,5.755715e-05,5.717744e-05,5.680358e-05,5.643565e-05,5.607374e-05,5.571790e-05,5.536818e-05,5.502458e-05,5.468713e-05,5.435583e-05,5.403066e-05,5.371160e-05,5.339862e-05,5.309167e-05,5.279072e-05,5.249571e-05,5.220658e-05,5.192327e-05,5.164571e-05,5.137384e-05,5.110758e-05
0.000000e+00,2.013799e-10,4.747829e-10,1.696957e-09,3.982777e-09,5.922889e-09,1.430302e-08,1.477773e-08,3.107309e-08,3.746867e-08,5.852255e-08,8.169554e-08,1.000630e-07,1.503793e-07,1.552252e-07,2.209127e-07,2.378921e-07,2.941550e-07,3.376968e-07,3.729646e-07,4.458795e-07,4.560402e-07,5.424218e-07,5.600224e-07,6.313036e-07,6.782653e-07,7.219539e-07,7.989664e-07,8.136905e-07,9.058805e-07,9.206337e-07,9.979481e-07,1.041943e-06,1.089378e-06,1.161763e-06,1.179726e-06,1.268612e-06,1.279165e-06,1.355719e-06,1.393414e-06,1.440790e-06,1.503955e-06,1.523622e-06,1.604059e-06,1.610387e-06,1.681987e-06,1.712437e-06,1.757324e-06,1.809933e-06,1.830019e-06,1.900042e-06,1.902787e-06,1.967384e-06,1.990972e-06,2.032053e-06,2.074511e-06,2.094069e-06,2.153463e-06,2.210272e-06,2.227912e-06,2.264540e-06,2.297961e-06,2.316317e-06,2.363728e-06,2.365656e-06,2.412613e-06,2.425342e-06,2.457246e-06,2.482936e-06,2.499616e-06,2.536649e-06,2.539783e-06,2.577808e-06,2.586623e-06,2.613755e-06,2.633000e-06,2.647684e-06,2.675923e-06,2.679658e-06,2.709739e-06,2.715533e-06,2.737986e-06,2.751971e-06,2.764461e-06,2.785374e-06,2.789223e-06,2.812331e-06,2.815878e-06,2.833841e-06,2.843616e-06,2.853811e-06,2.868715e-06,2.872296e-06,2.889350e-06,2.891303e-06,2.905027e-06,2.911501e-06,2.919377e-06,2.929429e-06,2.932453e-06,2.944303e-06,2.945200e-06,2.954976e-06,2.958925e-06,2.964518e-06,2.970713e-06,2.972975e-06,2.980391e-06,2.980667e-06,2.986811e-06,2.988886e-06,2.992275e-06,2.995466e-06,2.996825e-06,3.000499e-06,3.003337e-06,3.004075e-06,3.005376e-06,3.006278e-06,3.006651e-06,3.007189e-06,3.007197e-06,3.007049e-06,3.006887e-06,3.006238e-06,3.005448e-06,3.004797e-06,3.002941e-06,3.002756e-06,3.000145e-06,2.999436e-06,2.996991e-06,2.994999e-06,2.993324e-06,2.989691e-06,2.989168e-06,2.984550e-06,2.983573e-06,2.979495e-06,2.976701e-06,2.974026e-06,2.969129e-06,2.968166e-06,2.961938e-06,2.960909e-06,2.955363e-06,2.952090e-06,2.948461e-06,2.942718e-06,2.941253e-06,2.933757e-06,2.932839e-06,2.925991e-06,2.922493e-06,2.917973e-06,2.911722e-06,2.909720e-06,2.901249e-06,2.900562e-06,2.892574e-06,2.889051e-06,2.883711e-06,2.877222e-06,2.874675e-06,2.865478e-06,2.865107e-06,2.856134e-06,2.852736e-06,2.846656e-06,2.840140e-06,2.837055e-06,2.827345e-06,2.814376e-06,2.801258e-06,2.788015e-06,2.774666e-06,2.761234e-06,2.747736e-06,2.734191e-06,2.720615e-06,2.707025e-06,2.693434e-06,2.679857e-06,2.666307e-06,2.652796e-06,2.639334e-06,2.625933e-06,2.612602e-06,2.599349e-06,2.586184e-06,2.573113e-06,2.560144e-06,2.547284e-06,2.534537e-06,2.521911e-06,2.509409e-06
0.000000e+00,6.985205e-15,6.264787e-14,1.642438e-12,1.434202e-11,3.868964e-11,3.290776e-10,3.554427e-10,1.950055e-09,2.946744e-09,7.724442e-09,1.576985e-08,2.444708e-08,6.098788e-08,6.567470e-08,1.557139e-07,1.886272e-07,3.346349e-07,4.956124e-07,6.642597e-07,1.149911e-06,1.234916e-06,2.172585e-06,2.418178e-06,3.645955e-06,4.694010e-06,5.872845e-06,8.523238e-06,9.125500e-06,1.373437e-05,1.462290e-05,2.009013e-05,2.389153e-05,2.864370e-05,3.740932e-05,3.990433e-05,5.443580e-05,5.642801e-05,7.285068e-05,8.235073e-05,9.580303e-05,1.167032e-04,1.239797e-04,1.580907e-04,1.610976e-04,1.988584e-04,2.171916e-04,2.470062e-04,2.866437e-04,3.032477e-04,3.682747e-04,3.710680e-04,4.427470e-04,4.719895e-04,5.272811e-04,5.908020e-04,6.224415e-04,7.287313e-04,8.465854e-04,8.868021e-04,9.763639e-04,1.065813e-03,1.118347e-03,1.266318e-03,1.272733e-03,1.439632e-03,1.488612e-03,1.619070e-03,1.732730e-03,1.810986e-03,1.998446e-03,2.015235e-03,2.231589e-03,2.285283e-03,2.459743e-03,2.592524e-03,2.699315e-03,2.919230e-03,2.949858e-03,3.210857e-03,3.264263e-03,3.481744e-03,3.626309e-03,3.761898e-03,4.003904e-03,4.050655e-03,4.347312e-03,4.395462e-03,4.651138e-03,4.799299e-03,4.961375e-03,5.213663e-03,5.277252e-03,5.597984e-03,5.636761e-03,5.922784e-03,6.066781e-03,6.250862e-03,6.501914e-03,6.581439e-03,6.913743e-03,6.940380e-03,7.247021e-03,7.380439e-03,7.580537e-03,7.820416e-03,7.913580e-03,8.245464e-03,8.258706e-03,8.575534e-03,8.693793e-03,8.903163e-03,9.124253e-03,9.227760e-03,9.548767e-03,9.865664e-03,9.966122e-03,1.017796e-02,1.037521e-02,1.048522e-02,1.077505e-02,1.078701e-02,1.108298e-02,1.116476e-02,1.137277e-02,1.154356e-02,1.165609e-02,1.191079e-02,1.193266e-02,1.220226e-02,1.226590e-02,1.246467e-02,1.260843e-02,1.271974e-02,1.293801e-02,1.296732e-02,1.320729e-02,1.325437e-02,1.343958e-02,1.355732e-02,1.366413e-02,1.384674e-02,1.388090e-02,1.408989e-02,1.412260e-02,1.429109e-02,1.438492e-02,1.448455e-02,1.463377e-02,1.467031e-02,1.484843e-02,1.486930e-02,1.501900e-02,1.509168e-02,1.518210e-02,1.530114e-02,1.533785e-02,1.548636e-02,1.549794e-02,1.562777e-02,1.568237e-02,1.576219e-02,1.585474e-02,1.588979e-02,1.601071e-02,1.601541e-02,1.612510e-02,1.616471e-02,1.623313e-02,1.630304e-02,1.633496e-02,1.643076e-02,1.654827e-02,1.665596e-02,1.675423e-02,1.684347e-02,1.692408e-02,1.699644e-02,1.706094e-02,1.711795e-02,1.716784e-02,1.721097e-02,1.724770e-02,1.727836e-02,1.730327e-02,1.732277e-02,1.733715e-02,1.734672e-02,1.735174e-02,1.735250e-02,1.734925e-02,1.734225e-02,1.733172e-02,1.731791e-02,1.730101e-02,1.728124e-02
0.000000e+00,8.882569e-14,7.941109e-13,2.067672e-11,1.793872e-10,4.821707e-10,4.061801e-09,4.385467e-09,2.382113e-08,3.589643e-08,9.342951e-08,1.896182e-07,2.928032e-07,7.239255e-07,7.789519e-07,1.829103e-06,2.210615e-06,3.893383e-06,5.735898e-06,7.656196e-06,1.314746e-05,1.410415e-05,2.459701e-05,2.733103e-05,4.093652e-05,5.248703e-05,6.542639e-05,9.436518e-05,1.009171e-04,1.508295e-04,1.604126e-04,2.191540e-04,2.598012e-04,3.104233e-04,4.033200e-04,4.296607e-04,5.823046e-04,6.031377e-04,7.741152e-04,8.724541e-04,1.011065e-03,1.225071e-03,1.299223e-03,1.644628e-03,1.674911e-03,2.053164e-03,2.235525e-03,2.530446e-03,2.919607e-03,3.081698e-03,3.711657e-03,3.738553e-03,4.424480e-03,4.702077e-03,5.223667e-03,5.817897e-03,6.112002e-03,7.091507e-03,8.163413e-03,8.526030e-03,9.328148e-03,1.012216e-02,1.058534e-02,1.187815e-02,1.193382e-02,1.337169e-02,1.378996e-02,1.489629e-02,1.585133e-02,1.650431e-02,1.805401e-02,1.819184e-02,1.995438e-02,2.038801e-02,2.178696e-02,2.284180e-02,2.368418e-02,2.540265e-02,2.564030e-02,2.764929e-02,2.805689e-02,2.970492e-02,3.079015e-02,3.180078e-02,3.358768e-02,3.393042e-02,3.608735e-02,3.643456e-02,3.826510e-02,3.931594e-02,4.045731e-02,4.221729e-02,4.265774e-02,4.486031e-02,4.512449e-02,4.705919e-02,4.802407e-02,4.924875e-02,5.090328e-02,5.142365e-02,5.357883e-02,5.375025e-02,5.570954e-02,5.655397e-02,5.781135e-02,5.930445e-02,5.988017e-02,6.191222e-02,6.199269e-02,6.390408e-02,6.461070e-02,6.585264e-02,6.715151e-02,6.775514e-02,6.960911e-02,7.141244e-02,7.197850e-02,7.316328e-02,7.425556e-02,7.486011e-02,7.643707e-02,7.650165e-02,7.808693e-02,7.852062e-02,7.961520e-02,8.050458e-02,8.108596e-02,8.238800e-02,8.249891e-02,8.385398e-02,8.417060e-02,8.515129e-02,8.585264e-02,8.639111e-02,8.743496e-02,8.757390e-02,8.870025e-02,8.891881e-02,8.977089e-02,9.030587e-02,9.078664e-02,9.159816e-02,9.174848e-02,9.265742e-02,9.279802e-02,9.351459e-02,9.390799e-02,9.432118e-02,9.493086e-02,9.507843e-02,9.578764e-02,9.586958e-02,9.645016e-02,9.672722e-02,9.706734e-02,9.750694e-02,9.764059e-02,9.817131e-02,9.821197e-02,9.866094e-02,9.884560e-02,9.911089e-02,9.941108e-02,9.952258e-02,9.989745e-02,9.991170e-02,1.002369e-01,1.003507e-01,1.005423e-01,1.007313e-01,1.008151e-01,1.010566e-01,1.013296e-01,1.015535e-01,1.017311e-01,1.018651e-01,1.019584e-01,1.020136e-01,1.020331e-01,1.020193e-01,1.019747e-01,1.019014e-01,1.018014e-01,1.016769e-01,1.015297e-01,1.013615e-01,1.011742e-01,1.009693e-01,1.007483e-01,1.005127e-01,1.002639e-01,1.000030e-01,9.973143e-02,9.945018e-02,9.916034e-02,9.886291e-02
0.000000e+00,9.680755e-11,2.922291e-10,1.341932e-09,3.495151e-09,5.367243e-09,1.337870e-08,1.382361e-08,2.848330e-08,3.396731e-08,5.137127e-08,7.002721e-08,8.486588e-08,1.273875e-07,1.316917e-07,1.946523e-07,2.124331e-07,2.759342e-07,3.297757e-07,3.761806e-07,4.791421e-07,4.941621e-07,6.274890e-07,6.557659e-07,7.736036e-07,8.538880e-07,9.303032e-07,1.068798e-06,1.095807e-06,1.268654e-06,1.296906e-06,1.447592e-06,1.535311e-06,1.631491e-06,1.781477e-06,1.819305e-06,2.010047e-06,2.033088e-06,2.202784e-06,2.287991e-06,2.396635e-06,2.544203e-06,2.590785e-06,2.784479e-06,2.799933e-06,2.977032e-06,3.053594e-06,3.167830e-06,3.303811e-06,3.356330e-06,3.542057e-06,3.549422e-06,3.724600e-06,3.789467e-06,3.903612e-06,4.023175e-06,4.078806e-06,4.249945e-06,4.416843e-06,4.469329e-06,4.579352e-06,4.680999e-06,4.737356e-06,4.884726e-06,4.890774e-06,5.039550e-06,5.080370e-06,5.183653e-06,5.267867e-06,5.323074e-06,5.447219e-06,5.457828e-06,5.587938e-06,5.618478e-06,5.713445e-06,5.781736e-06,5.834399e-06,5.937123e-06,5.950864e-06,6.062911e-06,6.084799e-06,6.170635e-06,6.224972e-06,6.274122e-06,6.357833e-06,6.373449e-06,6.468704e-06,6.483572e-06,6.559974e-06,6.602394e-06,6.647348e-06,6.714503e-06,6.730916e-06,6.810771e-06,6.820109e-06,6.887005e-06,6.919425e-06,6.959710e-06,7.012662e-06,7.028977e-06,7.094896e-06,7.100028e-06,7.157559e-06,7.181733e-06,7.217056e-06,7.257984e-06,7.273477e-06,7.326909e-06,7.328986e-06,7.377441e-06,7.394938e-06,7.425157e-06,7.456039e-06,7.470142e-06,7.512479e-06,7.552249e-06,7.564446e-06,7.589532e-06,7.612125e-06,7.624408e-06,7.655695e-06,7.656953e-06,7.687243e-06,7.695330e-06,7.715353e-06,7.731202e-06,7.741354e-06,7.763475e-06,7.765318e-06,7.787315e-06,7.792309e-06,7.807411e-06,7.817859e-06,7.825673e-06,7.840278e-06,7.842165e-06,7.856952e-06,7.859710e-06,7.870093e-06,7.876297e-06,7.881650e-06,7.890176e-06,7.891681e-06,7.900242e-06,7.901479e-06,7.907390e-06,7.910334e-06,7.913177e-06,7.916864e-06,7.917658e-06,7.920882e-06,7.921187e-06,7.922900e-06,7.923418e-06,7.923760e-06,7.923668e-06,7.923509e-06,7.922193e-06,7.922043e-06,7.919856e-06,7.918646e-06,7.916542e-06,7.913574e-06,7.912292e-06,7.907146e-06,7.906922e-06,7.901145e-06,7.898782e-06,7.894326e-06,7.889242e-06,7.886727e-06,7.878384e-06,7.866290e-06,7.853037e-06,7.838699e-06,7.823348e-06,7.807050e-06,7.789873e-06,7.771877e-06,7.753123e-06,7.733668e-06,7.713566e-06,7.692869e-06,7.671628e-06,7.649889e-06,7.627698e-06,7.605099e-06,7.582132e-06,7.558836e-06,7.535249e-06,7.511406e-06,7.487341e-06,7.463086e-06,7.438671e-06,7.414125e-06,7.389476e-06
0.000000e+00,1.600529e-10,3.930650e-10,1.451393e-09,3.415685e-09,5.054461e-09,1.186210e-08,1.223648e-08,2.457338e-08,2.921465e-08,4.405415e-08,6.003213e-08,7.265702e-08,1.075815e-07,1.109772e-07,1.573755e-07,1.694266e-07,2.093325e-07,2.400796e-07,2.648467e-07,3.155792e-07,3.225941e-07,3.816605e-07,3.935672e-07,4.413322e-07,4.723932e-07,5.009917e-07,5.506847e-07,5.600784e-07,6.180811e-07,6.272296e-07,6.745442e-07,7.009813e-07,7.290730e-07,7.710805e-07,7.813395e-07,8.310857e-07,8.368762e-07,8.781216e-07,8.979240e-07,9.223209e-07,9.539713e-07,9.636153e-07,1.001986e-06,1.004930e-06,1.037456e-06,1.050844e-06,1.070084e-06,1.091861e-06,1.099952e-06,1.127164e-06,1.128199e-06,1.151837e-06,1.160121e-06,1.174096e-06,1.187922e-06,1.194076e-06,1.211912e-06,1.227738e-06,1.232400e-06,1.241687e-06,1.249688e-06,1.253886e-06,1.264065e-06,1.264458e-06,1.273521e-06,1.275803e-06,1.281185e-06,1.285157e-06,1.287557e-06,1.292361e-06,1.292733e-06,1.296808e-06,1.297632e-06,1.299868e-06,1.301168e-06,1.301993e-06,1.303150e-06,1.303258e-06,1.303734e-06,1.303740e-06,1.303485e-06,1.303089e-06,1.302572e-06,1.301332e-06,1.301050e-06,1.298971e-06,1.298591e-06,1.296384e-06,1.294975e-06,1.293333e-06,1.290586e-06,1.289859e-06,1.286000e-06,1.285512e-06,1.281791e-06,1.279836e-06,1.277265e-06,1.273631e-06,1.272452e-06,1.267380e-06,1.266963e-06,1.262074e-06,1.259892e-06,1.256559e-06,1.252471e-06,1.250857e-06,1.244988e-06,1.244750e-06,1.238970e-06,1.236771e-06,1.232822e-06,1.228575e-06,1.226559e-06,1.220196e-06,1.213748e-06,1.211668e-06,1.207225e-06,1.203018e-06,1.200641e-06,1.194273e-06,1.194007e-06,1.187331e-06,1.185456e-06,1.180624e-06,1.176588e-06,1.173894e-06,1.167688e-06,1.167148e-06,1.160395e-06,1.158774e-06,1.153640e-06,1.149859e-06,1.146890e-06,1.140958e-06,1.140150e-06,1.133426e-06,1.132084e-06,1.126723e-06,1.123246e-06,1.120044e-06,1.114456e-06,1.113394e-06,1.106776e-06,1.105721e-06,1.100194e-06,1.097049e-06,1.093652e-06,1.088447e-06,1.087150e-06,1.080694e-06,1.079922e-06,1.074283e-06,1.071478e-06,1.067922e-06,1.063121e-06,1.061611e-06,1.055352e-06,1.054854e-06,1.049147e-06,1.046681e-06,1.042998e-06,1.038605e-06,1.036905e-06,1.030869e-06,1.030629e-06,1.024892e-06,1.022754e-06,1.018974e-06,1.014984e-06,1.013116e-06,1.007318e-06,9.997596e-07,9.923082e-07,9.849648e-07,9.777300e-07,9.706040e-07,9.635868e-07,9.566784e-07,9.498784e-07,9.431866e-07,9.366023e-07,9.301249e-07,9.237537e-07,9.174878e-07,9.113264e-07,9.052685e-07,8.993130e-07,8.934589e-07,8.877049e-07,8.820499e-07,8.764927e-07,8.710319e-07,8.656664e-07,8.603948e-07,8.552158e-07
0.000000e+00,1.335577e-11,6.775784e-11,6.069218e-10,2.239348e-09,3.928146e-09,1.239263e-08,1.289855e-08,3.068085e-08,3.771421e-08,6.087843e-08,8.671132e-08,1.077854e-07,1.699386e-07,1.763383e-07,2.712780e-07,2.983585e-07,3.952666e-07,4.771717e-07,5.473378e-07,7.013745e-07,7.236606e-07,9.197199e-07,9.609461e-07,1.131685e-06,1.247188e-06,1.356616e-06,1.553869e-06,1.592192e-06,1.836428e-06,1.876186e-06,2.087495e-06,2.209917e-06,2.343638e-06,2.551052e-06,2.603141e-06,2.864340e-06,2.895722e-06,3.125642e-06,3.240257e-06,3.385547e-06,3.581284e-06,3.642672e-06,3.895771e-06,3.915811e-06,4.143742e-06,4.241275e-06,4.385631e-06,4.555574e-06,4.620645e-06,4.848128e-06,4.857063e-06,5.067555e-06,5.144498e-06,5.278538e-06,5.417038e-06,5.480800e-06,5.674160e-06,5.858534e-06,5.915633e-06,6.033911e-06,6.141450e-06,6.200340e-06,6.351796e-06,6.357931e-06,6.506836e-06,6.546998e-06,6.647241e-06,6.727492e-06,6.779362e-06,6.893802e-06,6.903438e-06,7.019725e-06,7.046504e-06,7.128486e-06,7.186206e-06,7.229992e-06,7.313534e-06,7.324518e-06,7.412341e-06,7.429125e-06,7.493738e-06,7.533615e-06,7.568981e-06,7.627626e-06,7.638338e-06,7.702073e-06,7.711767e-06,7.760444e-06,7.786631e-06,7.813701e-06,7.852789e-06,7.862087e-06,7.905838e-06,7.910787e-06,7.945180e-06,7.961150e-06,7.980332e-06,8.004378e-06,8.011508e-06,8.038910e-06,8.040945e-06,8.062733e-06,8.071303e-06,8.083166e-06,8.095880e-06,8.100389e-06,8.114574e-06,8.115081e-06,8.125887e-06,8.129287e-06,8.134485e-06,8.138860e-06,8.140521e-06,8.144139e-06,8.145477e-06,8.145446e-06,8.144668e-06,8.143081e-06,8.141836e-06,8.137328e-06,8.137103e-06,8.130584e-06,8.128453e-06,8.122387e-06,8.116707e-06,8.112616e-06,8.102324e-06,8.101372e-06,8.088749e-06,8.085524e-06,8.074836e-06,8.066514e-06,8.059720e-06,8.045486e-06,8.043481e-06,8.026198e-06,8.022623e-06,8.007944e-06,7.998092e-06,7.988790e-06,7.972053e-06,7.968801e-06,7.948041e-06,7.944652e-06,7.926571e-06,7.916030e-06,7.904447e-06,7.886313e-06,7.881723e-06,7.858450e-06,7.855623e-06,7.834678e-06,7.824072e-06,7.810453e-06,7.791765e-06,7.785817e-06,7.760813e-06,7.758798e-06,7.735479e-06,7.725262e-06,7.709854e-06,7.691242e-06,7.683971e-06,7.657865e-06,7.656816e-06,7.631566e-06,7.622057e-06,7.605104e-06,7.587032e-06,7.578508e-06,7.551803e-06,7.516428e-06,7.480962e-06,7.445453e-06,7.409947e-06,7.374487e-06,7.339111e-06,7.303854e-06,7.268750e-06,7.233829e-06,7.199118e-06,7.164642e-06,7.130423e-06,7.096484e-06,7.062842e-06,7.029515e-06,6.996518e-06,6.963864e-06,6.931567e-06,6.899636e-06,6.868081e-06,6.836912e-06,6.806134e-06,6.775754e-06,6.745778e-06
0.000000e+00,2.046893e-11,7.366302e-11,4.104900e-10,1.167169e-09,1.849137e-09,4.849909e-09,5.018429e-09,1.060497e-08,1.270025e-08,1.933964e-08,2.642311e-08,3.202753e-08,4.794088e-08,4.954001e-08,7.270523e-08,7.917460e-08,1.020399e-07,1.211638e-07,1.374830e-07,1.732850e-07,1.784725e-07,2.242896e-07,2.339735e-07,2.742906e-07,3.017652e-07,3.279457e-07,3.755056e-07,3.847996e-07,4.444308e-07,4.542020e-07,5.064274e-07,5.369048e-07,5.703765e-07,6.226631e-07,6.358638e-07,7.024771e-07,7.105270e-07,7.698134e-07,7.995700e-07,8.374856e-07,8.889151e-07,9.051280e-07,9.724024e-07,9.777590e-07,1.039001e-06,1.065389e-06,1.104649e-06,1.151191e-06,1.169107e-06,1.232166e-06,1.234656e-06,1.293653e-06,1.315375e-06,1.353424e-06,1.393029e-06,1.411365e-06,1.467388e-06,1.521428e-06,1.538295e-06,1.573441e-06,1.605653e-06,1.623402e-06,1.669423e-06,1.671299e-06,1.717138e-06,1.729606e-06,1.760933e-06,1.786239e-06,1.802709e-06,1.839387e-06,1.842497e-06,1.880337e-06,1.889134e-06,1.916272e-06,1.935581e-06,1.950350e-06,1.978842e-06,1.982620e-06,2.013137e-06,2.019035e-06,2.041953e-06,2.056284e-06,2.069125e-06,2.090718e-06,2.094706e-06,2.118754e-06,2.122463e-06,2.141322e-06,2.151645e-06,2.162465e-06,2.178391e-06,2.182238e-06,2.200692e-06,2.202821e-06,2.217881e-06,2.225055e-06,2.233853e-06,2.245209e-06,2.248658e-06,2.262345e-06,2.263393e-06,2.274960e-06,2.279716e-06,2.286548e-06,2.294279e-06,2.297152e-06,2.306816e-06,2.307183e-06,2.315579e-06,2.318522e-06,2.323483e-06,2.328385e-06,2.330564e-06,2.336860e-06,2.342406e-06,2.344028e-06,2.347236e-06,2.349968e-06,2.351384e-06,2.354754e-06,2.354882e-06,2.357759e-06,2.358457e-06,2.360045e-06,2.361145e-06,2.361769e-06,2.362882e-06,2.362958e-06,2.363637e-06,2.363727e-06,2.363832e-06,2.363739e-06,2.363567e-06,2.362972e-06,2.362865e-06,2.361748e-06,2.361477e-06,2.360238e-06,2.359304e-06,2.358355e-06,2.356499e-06,2.356118e-06,2.353547e-06,2.353106e-06,2.350659e-06,2.349165e-06,2.347472e-06,2.344717e-06,2.344002e-06,2.340265e-06,2.339799e-06,2.336276e-06,2.334445e-06,2.332050e-06,2.328688e-06,2.327600e-06,2.322941e-06,2.322559e-06,2.318084e-06,2.316089e-06,2.313043e-06,2.309305e-06,2.307828e-06,2.302451e-06,2.302232e-06,2.296922e-06,2.294897e-06,2.291252e-06,2.287321e-06,2.285451e-06,2.279527e-06,2.271536e-06,2.263367e-06,2.255039e-06,2.246568e-06,2.237971e-06,2.229262e-06,2.220458e-06,2.211570e-06,2.202611e-06,2.193594e-06,2.184529e-06,2.175427e-06,2.166297e-06,2.157149e-06,2.147991e-06,2.138831e-06,2.129677e-06,2.120535e-06,2.111412e-06,2.102314e-06,2.093246e-06,2.084214e-06,2.075223e-06,2.066277e-06
0.000000e+00,2.007080e-15,1.772791e-14,4.502511e-13,3.816632e-12,1.012631e-11,8.241783e-11,8.885827e-11,4.657694e-10,6.949251e-10,1.763073e-09,3.502852e-09,5.332775e-09,1.276078e-08,1.369173e-08,3.102484e-08,3.717589e-08,6.371793e-08,9.200449e-08,1.208797e-07,2.011098e-07,2.148144e-07,3.614099e-07,3.987159e-07,5.804099e-07,7.306223e-07,8.955426e-07,1.254678e-06,1.334480e-06,1.928615e-06,2.040357e-06,2.712661e-06,3.167371e-06,3.724072e-06,4.723385e-06,5.002326e-06,6.588100e-06,6.801007e-06,8.522361e-06,9.494272e-06,1.084543e-05,1.289491e-05,1.359604e-05,1.681047e-05,1.708867e-05,2.052167e-05,2.215187e-05,2.475856e-05,2.814843e-05,2.954537e-05,3.490116e-05,3.512743e-05,4.083940e-05,4.312140e-05,4.736775e-05,5.214523e-05,5.448794e-05,6.219579e-05,7.048128e-05,7.325225e-05,7.932886e-05,8.527689e-05,8.871772e-05,9.821654e-05,9.862226e-05,1.090125e-04,1.120043e-04,1.198547e-04,1.265617e-04,1.311118e-04,1.418007e-04,1.427441e-04,1.547098e-04,1.576264e-04,1.669656e-04,1.739391e-04,1.794672e-04,1.906364e-04,1.921699e-04,2.050291e-04,2.076159e-04,2.180008e-04,2.247762e-04,2.310419e-04,2.420195e-04,2.441107e-04,2.571670e-04,2.592523e-04,2.701727e-04,2.763868e-04,2.830918e-04,2.933419e-04,2.958904e-04,3.085374e-04,3.100435e-04,3.210039e-04,3.264252e-04,3.332638e-04,3.424285e-04,3.452934e-04,3.570718e-04,3.580026e-04,3.685803e-04,3.731045e-04,3.798031e-04,3.876986e-04,3.907262e-04,4.013384e-04,4.017563e-04,4.116304e-04,4.152556e-04,4.215948e-04,4.281807e-04,4.312263e-04,4.405213e-04,4.494778e-04,4.522722e-04,4.580953e-04,4.634329e-04,4.663747e-04,4.740066e-04,4.743180e-04,4.819284e-04,4.840002e-04,4.892100e-04,4.934232e-04,4.961679e-04,5.022881e-04,5.028077e-04,5.091358e-04,5.106090e-04,5.151592e-04,5.184020e-04,5.208853e-04,5.256844e-04,5.263217e-04,5.314766e-04,5.324745e-04,5.363581e-04,5.387913e-04,5.409749e-04,5.446546e-04,5.453354e-04,5.494482e-04,5.500839e-04,5.533221e-04,5.550992e-04,5.569656e-04,5.597202e-04,5.603872e-04,5.635955e-04,5.639666e-04,5.665988e-04,5.678574e-04,5.694052e-04,5.714115e-04,5.720230e-04,5.744598e-04,5.746472e-04,5.767236e-04,5.775823e-04,5.788217e-04,5.802340e-04,5.807616e-04,5.825503e-04,5.826188e-04,5.841946e-04,5.847525e-04,5.857013e-04,5.866505e-04,5.870768e-04,5.883274e-04,5.897969e-04,5.910724e-04,5.921665e-04,5.930912e-04,5.938578e-04,5.944771e-04,5.949593e-04,5.953140e-04,5.955503e-04,5.956769e-04,5.957017e-04,5.956324e-04,5.954763e-04,5.952400e-04,5.949300e-04,5.945522e-04,5.941122e-04,5.936154e-04,5.930667e-04,5.924707e-04,5.918317e-04,5.911539e-04,5.904410e-04,5.896966e-04
0.000000e+00,7.996017e-13,5.454327e-12,8.204223e-11,4.383940e-10,9.090757e-10,4.007834e-09,4.217692e-09,1.247238e-08,1.602388e-08,2.823138e-08,4.224685e-08,5.375560e-08,8.744554e-08,9.087772e-08,1.409969e-07,1.550779e-07,2.051034e-07,2.473494e-07,2.837863e-07,3.652189e-07,3.771996e-07,4.849760e-07,5.081784e-07,6.061033e-07,6.738158e-07,7.388379e-07,8.575498e-07,8.807599e-07,1.029011e-06,1.053120e-06,1.180638e-06,1.253797e-06,1.332887e-06,1.453518e-06,1.483375e-06,1.630146e-06,1.647432e-06,1.771656e-06,1.831938e-06,1.906723e-06,2.004520e-06,2.034478e-06,2.154324e-06,2.163558e-06,2.265895e-06,2.308162e-06,2.369022e-06,2.438040e-06,2.463706e-06,2.550081e-06,2.553366e-06,2.628395e-06,2.654675e-06,2.698976e-06,2.742752e-06,2.762216e-06,2.818547e-06,2.868423e-06,2.883096e-06,2.912309e-06,2.937466e-06,2.950666e-06,2.982707e-06,2.983946e-06,3.012581e-06,3.019823e-06,3.036982e-06,3.049751e-06,3.057534e-06,3.073352e-06,3.074596e-06,3.088500e-06,3.091401e-06,3.099548e-06,3.104593e-06,3.108020e-06,3.113544e-06,3.114166e-06,3.118218e-06,3.118795e-06,3.120380e-06,3.120821e-06,3.120841e-06,3.120037e-06,3.119770e-06,3.117320e-06,3.116809e-06,3.113628e-06,3.111451e-06,3.108817e-06,3.104238e-06,3.102999e-06,3.096274e-06,3.095411e-06,3.088733e-06,3.085178e-06,3.080459e-06,3.073724e-06,3.071523e-06,3.061993e-06,3.061207e-06,3.051930e-06,3.047768e-06,3.041390e-06,3.033533e-06,3.030421e-06,3.019070e-06,3.018608e-06,3.007377e-06,3.003091e-06,2.995380e-06,2.987067e-06,2.983115e-06,2.970613e-06,2.957902e-06,2.953795e-06,2.945009e-06,2.936673e-06,2.931958e-06,2.919302e-06,2.918772e-06,2.905471e-06,2.901729e-06,2.892076e-06,2.884000e-06,2.878603e-06,2.866153e-06,2.865068e-06,2.851487e-06,2.848223e-06,2.837874e-06,2.830241e-06,2.824241e-06,2.812238e-06,2.810601e-06,2.796963e-06,2.794237e-06,2.783340e-06,2.776264e-06,2.769740e-06,2.758340e-06,2.756172e-06,2.742644e-06,2.740483e-06,2.729163e-06,2.722712e-06,2.715738e-06,2.705040e-06,2.702373e-06,2.689074e-06,2.687483e-06,2.675848e-06,2.670053e-06,2.662700e-06,2.652761e-06,2.649633e-06,2.636652e-06,2.635617e-06,2.623761e-06,2.618631e-06,2.610964e-06,2.601809e-06,2.598263e-06,2.585663e-06,2.585161e-06,2.573165e-06,2.568691e-06,2.560771e-06,2.552405e-06,2.548485e-06,2.536308e-06,2.520405e-06,2.504698e-06,2.489191e-06,2.473886e-06,2.458785e-06,2.443891e-06,2.429203e-06,2.414723e-06,2.400452e-06,2.386390e-06,2.372536e-06,2.358890e-06,2.345452e-06,2.332221e-06,2.319196e-06,2.306376e-06,2.293760e-06,2.281346e-06,2.269132e-06,2.257117e-06,2.245299e-06,2.233677e-06,2.222247e-06,2.211008e-06
0.000000e+00,7.664709e-13,5.589047e-12,9.585093e-11,5.721912e-10,1.256357e-09,6.344430e-09,6.711202e-09,2.232351e-08,2.953316e-08,5.575171e-08,8.782703e-08,1.153324e-07,2.003148e-07,2.092805e-07,3.452795e-07,3.849685e-07,5.303141e-07,6.576945e-07,7.705688e-07,1.031825e-06,1.071236e-06,1.436117e-06,1.516999e-06,1.867003e-06,2.116986e-06,2.363049e-06,2.827396e-06,2.920470e-06,3.532823e-06,3.635358e-06,4.191774e-06,4.521906e-06,4.888029e-06,5.465529e-06,5.612133e-06,6.355018e-06,6.445019e-06,7.108282e-06,7.441013e-06,7.864301e-06,8.436494e-06,8.616258e-06,9.358141e-06,9.416894e-06,1.008471e-05,1.037003e-05,1.079149e-05,1.128599e-05,1.147473e-05,1.213135e-05,1.215703e-05,1.275896e-05,1.297742e-05,1.335573e-05,1.374327e-05,1.392042e-05,1.445227e-05,1.495093e-05,1.510350e-05,1.541647e-05,1.569718e-05,1.584924e-05,1.623444e-05,1.624985e-05,1.661916e-05,1.671708e-05,1.695814e-05,1.714745e-05,1.726794e-05,1.752822e-05,1.754977e-05,1.780490e-05,1.786230e-05,1.803465e-05,1.815272e-05,1.824034e-05,1.840251e-05,1.842331e-05,1.858487e-05,1.861472e-05,1.872629e-05,1.879228e-05,1.884881e-05,1.893802e-05,1.895366e-05,1.904198e-05,1.905465e-05,1.911489e-05,1.914472e-05,1.917343e-05,1.921061e-05,1.921863e-05,1.925143e-05,1.925458e-05,1.927274e-05,1.927869e-05,1.928340e-05,1.928489e-05,1.928423e-05,1.927598e-05,1.927495e-05,1.925936e-05,1.925052e-05,1.923503e-05,1.921311e-05,1.920363e-05,1.916575e-05,1.916410e-05,1.912192e-05,1.910479e-05,1.907266e-05,1.903632e-05,1.901846e-05,1.895976e-05,1.889698e-05,1.887609e-05,1.883050e-05,1.878619e-05,1.876070e-05,1.869087e-05,1.868791e-05,1.861244e-05,1.859087e-05,1.853460e-05,1.848686e-05,1.845464e-05,1.837945e-05,1.837284e-05,1.828942e-05,1.826918e-05,1.820460e-05,1.815656e-05,1.811858e-05,1.804205e-05,1.803156e-05,1.794370e-05,1.792604e-05,1.785518e-05,1.780893e-05,1.776613e-05,1.769103e-05,1.767670e-05,1.758702e-05,1.757265e-05,1.749720e-05,1.745407e-05,1.740736e-05,1.733553e-05,1.731758e-05,1.722798e-05,1.721724e-05,1.713862e-05,1.709941e-05,1.704960e-05,1.698220e-05,1.696097e-05,1.687281e-05,1.686578e-05,1.678517e-05,1.675027e-05,1.669811e-05,1.663582e-05,1.661168e-05,1.652593e-05,1.652251e-05,1.644089e-05,1.641046e-05,1.635660e-05,1.629973e-05,1.627309e-05,1.619040e-05,1.608254e-05,1.597619e-05,1.587141e-05,1.576822e-05,1.566666e-05,1.556675e-05,1.546852e-05,1.537197e-05,1.527711e-05,1.518395e-05,1.509249e-05,1.500273e-05,1.491466e-05,1.482827e-05,1.474356e-05,1.466052e-05,1.457912e-05,1.449935e-05,1.442120e-05,1.434465e-05,1.426968e-05,1.419626e-05,1.412438e-05,1.405401e-05
0.000000e+00,9.396209e-15,8.243719e-14,2.063024e-12,1.724962e-11,4.541873e-11,3.623206e-10,3.903113e-10,2.004688e-09,2.974303e-09,7.439977e-09,1.461221e-08,2.207853e-08,5.194600e-08,5.565548e-08,1.239170e-07,1.478781e-07,2.502678e-07,3.581191e-07,4.672616e-07,7.669871e-07,8.177790e-07,1.355716e-06,1.491319e-06,2.146002e-06,2.681271e-06,3.263829e-06,4.517077e-06,4.793062e-06,6.823950e-06,7.201689e-06,9.450273e-06,1.095012e-05,1.276618e-05,1.597692e-05,1.686295e-05,2.182582e-05,2.248330e-05,2.773112e-05,3.064520e-05,3.464377e-05,4.060335e-05,4.261530e-05,5.168228e-05,5.245569e-05,6.186544e-05,6.625277e-05,7.316915e-05,8.199561e-05,8.558151e-05,9.907483e-05,9.963649e-05,1.136066e-04,1.190817e-04,1.291205e-04,1.401965e-04,1.455482e-04,1.628107e-04,1.808205e-04,1.867261e-04,1.994830e-04,2.117239e-04,2.186990e-04,2.375717e-04,2.383658e-04,2.583795e-04,2.640314e-04,2.786366e-04,2.908651e-04,2.990351e-04,3.178414e-04,3.194760e-04,3.398647e-04,3.447401e-04,3.601115e-04,3.713562e-04,3.801325e-04,3.975026e-04,3.998504e-04,4.191946e-04,4.230128e-04,4.381016e-04,4.477415e-04,4.565152e-04,4.715652e-04,4.743863e-04,4.916729e-04,4.943820e-04,5.083397e-04,5.161110e-04,5.243581e-04,5.366907e-04,5.397057e-04,5.543659e-04,5.560783e-04,5.683274e-04,5.742474e-04,5.815841e-04,5.911864e-04,5.941340e-04,6.059796e-04,6.068970e-04,6.171268e-04,6.213920e-04,6.275846e-04,6.346939e-04,6.373649e-04,6.464820e-04,6.468331e-04,6.549521e-04,6.578464e-04,6.627932e-04,6.677757e-04,6.700246e-04,6.766668e-04,6.827409e-04,6.845682e-04,6.882687e-04,6.915301e-04,6.932725e-04,6.976038e-04,6.977745e-04,7.017972e-04,7.028407e-04,7.053629e-04,7.072922e-04,7.084937e-04,7.110087e-04,7.112115e-04,7.135374e-04,7.140397e-04,7.154925e-04,7.164329e-04,7.170970e-04,7.182347e-04,7.183707e-04,7.193327e-04,7.194893e-04,7.200015e-04,7.202393e-04,7.203949e-04,7.205250e-04,7.205300e-04,7.204232e-04,7.203848e-04,7.200904e-04,7.198548e-04,7.195465e-04,7.189692e-04,7.188061e-04,7.178827e-04,7.177603e-04,7.167895e-04,7.162579e-04,7.155389e-04,7.144905e-04,7.141428e-04,7.126122e-04,7.124843e-04,7.109580e-04,7.102640e-04,7.091901e-04,7.078523e-04,7.073182e-04,7.053513e-04,7.052708e-04,7.032980e-04,7.025391e-04,7.011662e-04,6.996757e-04,6.989636e-04,6.966975e-04,6.936201e-04,6.904581e-04,6.872248e-04,6.839324e-04,6.805922e-04,6.772146e-04,6.738090e-04,6.703843e-04,6.669482e-04,6.635080e-04,6.600703e-04,6.566411e-04,6.532258e-04,6.498292e-04,6.464558e-04,6.431095e-04,6.397938e-04,6.365120e-04,6.332668e-04,6.300607e-04,6.268960e-04,6.237746e-04,6.206980e-04,6.176677e-04
0.000000e+00,7.675048e-15,6.827431e-14,1.758993e-12,1.510997e-11,4.038818e-11,3.352257e-10,3.617153e-10,1.934787e-09,2.903050e-09,7.472934e-09,1.502782e-08,2.306394e-08,5.622688e-08,6.042687e-08,1.397424e-07,1.682723e-07,2.929485e-07,4.279106e-07,5.673419e-07,9.612121e-07,1.029257e-06,1.767501e-06,1.957879e-06,2.896150e-06,3.683077e-06,4.556297e-06,6.484039e-06,6.916424e-06,1.017122e-05,1.078929e-05,1.453883e-05,1.709967e-05,2.025667e-05,2.597169e-05,2.757606e-05,3.675597e-05,3.799496e-05,4.805621e-05,5.376579e-05,6.173043e-05,7.385926e-05,7.801922e-05,9.714356e-05,9.880205e-05,1.192989e-04,1.290478e-04,1.446502e-04,1.649566e-04,1.733276e-04,2.054232e-04,2.067790e-04,2.409892e-04,2.546460e-04,2.800367e-04,3.085639e-04,3.225355e-04,3.684152e-04,4.175666e-04,4.339633e-04,4.698446e-04,5.048623e-04,5.250708e-04,5.806687e-04,5.830371e-04,6.435098e-04,6.608570e-04,7.062335e-04,7.448353e-04,7.709353e-04,8.319625e-04,8.373294e-04,9.051207e-04,9.215652e-04,9.740094e-04,1.012954e-03,1.043695e-03,1.105439e-03,1.113878e-03,1.184266e-03,1.198343e-03,1.254575e-03,1.291013e-03,1.324531e-03,1.382831e-03,1.393874e-03,1.462359e-03,1.473222e-03,1.529757e-03,1.561660e-03,1.595858e-03,1.647673e-03,1.660467e-03,1.723412e-03,1.730846e-03,1.784536e-03,1.810819e-03,1.843705e-03,1.887291e-03,1.900799e-03,1.955720e-03,1.960017e-03,2.008386e-03,2.028807e-03,2.058733e-03,2.093519e-03,2.106713e-03,2.152290e-03,2.154063e-03,2.195448e-03,2.210390e-03,2.236178e-03,2.262491e-03,2.274488e-03,2.310394e-03,2.343923e-03,2.354155e-03,2.375110e-03,2.393862e-03,2.404001e-03,2.429621e-03,2.430645e-03,2.455099e-03,2.461562e-03,2.477425e-03,2.489827e-03,2.497689e-03,2.514572e-03,2.515962e-03,2.532315e-03,2.535963e-03,2.546824e-03,2.554172e-03,2.559564e-03,2.569374e-03,2.570613e-03,2.580049e-03,2.581749e-03,2.587947e-03,2.591473e-03,2.594387e-03,2.598724e-03,2.599444e-03,2.603192e-03,2.603676e-03,2.605708e-03,2.606498e-03,2.607061e-03,2.607356e-03,2.607324e-03,2.606565e-03,2.606408e-03,2.604850e-03,2.603809e-03,2.602243e-03,2.599704e-03,2.598807e-03,2.594601e-03,2.594232e-03,2.589682e-03,2.587527e-03,2.584105e-03,2.579712e-03,2.577923e-03,2.571186e-03,2.570906e-03,2.563942e-03,2.561218e-03,2.556235e-03,2.550752e-03,2.548109e-03,2.539604e-03,2.527864e-03,2.515614e-03,2.502933e-03,2.489889e-03,2.476550e-03,2.462974e-03,2.449217e-03,2.435328e-03,2.421354e-03,2.407335e-03,2.393309e-03,2.379310e-03,2.365369e-03,2.351511e-03,2.337763e-03,2.324145e-03,2.310676e-03,2.297374e-03,2.284253e-03,2.271326e-03,2.258604e-03,2.246096e-03,2.233810e-03,2.221753e-03
0.000000e+00,1.855879e-11,7.203753e-11,4.381738e-10,1.292979e-09,2.071760e-09,5.501721e-09,5.693672e-09,1.199814e-08,1.433323e-08,2.163584e-08,2.928384e-08,3.524510e-08,5.182446e-08,5.346697e-08,7.692587e-08,8.339761e-08,1.061459e-07,1.251386e-07,1.413850e-07,1.772357e-07,1.824532e-07,2.286787e-07,2.384593e-07,2.790888e-07,3.066131e-07,3.326605e-07,3.794254e-07,3.884719e-07,4.457425e-07,4.549959e-07,5.038153e-07,5.318067e-07,5.621262e-07,6.086120e-07,6.201804e-07,6.775380e-07,6.843550e-07,7.338066e-07,7.581288e-07,7.886393e-07,8.291646e-07,8.417346e-07,8.928364e-07,8.968319e-07,9.417348e-07,9.606388e-07,9.882648e-07,1.020230e-06,1.032305e-06,1.073775e-06,1.075380e-06,1.112633e-06,1.125979e-06,1.148868e-06,1.172019e-06,1.182500e-06,1.213575e-06,1.242156e-06,1.250788e-06,1.268324e-06,1.283850e-06,1.292175e-06,1.312988e-06,1.313812e-06,1.333343e-06,1.338450e-06,1.350884e-06,1.360501e-06,1.366550e-06,1.379405e-06,1.380456e-06,1.392715e-06,1.395425e-06,1.403439e-06,1.408814e-06,1.412735e-06,1.419816e-06,1.420706e-06,1.427451e-06,1.428662e-06,1.433064e-06,1.435564e-06,1.437630e-06,1.440717e-06,1.441231e-06,1.443944e-06,1.444300e-06,1.445840e-06,1.446480e-06,1.446987e-06,1.447406e-06,1.447445e-06,1.447272e-06,1.447211e-06,1.446521e-06,1.446019e-06,1.445239e-06,1.443939e-06,1.443474e-06,1.441265e-06,1.441071e-06,1.438654e-06,1.437504e-06,1.435673e-06,1.433318e-06,1.432357e-06,1.428736e-06,1.428585e-06,1.424837e-06,1.423370e-06,1.420686e-06,1.417731e-06,1.416307e-06,1.411720e-06,1.406948e-06,1.405384e-06,1.402007e-06,1.398765e-06,1.396915e-06,1.391900e-06,1.391688e-06,1.386341e-06,1.384823e-06,1.380885e-06,1.377566e-06,1.375335e-06,1.370155e-06,1.369701e-06,1.363995e-06,1.362615e-06,1.358225e-06,1.354969e-06,1.352401e-06,1.347237e-06,1.346531e-06,1.340623e-06,1.339437e-06,1.334684e-06,1.331585e-06,1.328720e-06,1.323697e-06,1.322739e-06,1.316745e-06,1.315785e-06,1.310743e-06,1.307862e-06,1.304740e-06,1.299938e-06,1.298738e-06,1.292743e-06,1.292024e-06,1.286758e-06,1.284128e-06,1.280786e-06,1.276259e-06,1.274832e-06,1.268897e-06,1.268424e-06,1.262986e-06,1.260628e-06,1.257100e-06,1.252879e-06,1.251242e-06,1.245414e-06,1.245181e-06,1.239618e-06,1.237540e-06,1.233856e-06,1.229959e-06,1.228131e-06,1.222442e-06,1.214993e-06,1.207615e-06,1.200311e-06,1.193082e-06,1.185931e-06,1.178859e-06,1.171869e-06,1.164962e-06,1.158138e-06,1.151399e-06,1.144745e-06,1.138178e-06,1.131696e-06,1.125302e-06,1.118995e-06,1.112775e-06,1.106641e-06,1.100595e-06,1.094636e-06,1.088763e-06,1.082976e-06,1.077275e-06,1.071659e-06,1.066128e-06
0.000000e+00,2.177920e-11,5.098037e-11,1.797832e-10,4.145879e-10,6.083147e-10,1.396697e-09,1.439348e-09,2.809152e-09,3.308937e-09,4.864844e-09,6.493881e-09,7.766991e-09,1.132521e-08,1.167874e-08,1.672711e-08,1.811418e-08,2.294730e-08,2.692001e-08,3.027140e-08,3.753523e-08,3.858017e-08,4.775334e-08,4.968215e-08,5.768519e-08,6.311809e-08,6.828177e-08,7.763232e-08,7.945534e-08,9.112091e-08,9.302746e-08,1.031951e-07,1.091117e-07,1.155962e-07,1.256994e-07,1.282454e-07,1.410678e-07,1.426148e-07,1.539934e-07,1.596966e-07,1.669579e-07,1.768010e-07,1.799032e-07,1.927777e-07,1.938032e-07,2.055362e-07,2.105981e-07,2.181395e-07,2.270990e-07,2.305545e-07,2.427532e-07,2.432363e-07,2.547125e-07,2.589555e-07,2.664137e-07,2.742152e-07,2.778417e-07,2.889848e-07,2.998344e-07,3.032432e-07,3.103841e-07,3.169764e-07,3.206296e-07,3.301769e-07,3.305685e-07,3.402000e-07,3.428417e-07,3.495243e-07,3.549720e-07,3.585429e-07,3.665718e-07,3.672579e-07,3.756726e-07,3.776478e-07,3.837905e-07,3.882084e-07,3.916157e-07,3.982634e-07,3.991528e-07,4.064067e-07,4.078240e-07,4.133826e-07,4.169019e-07,4.200858e-07,4.255098e-07,4.265219e-07,4.326965e-07,4.336606e-07,4.386156e-07,4.413676e-07,4.442848e-07,4.486443e-07,4.497102e-07,4.548975e-07,4.555043e-07,4.598528e-07,4.619611e-07,4.645819e-07,4.680283e-07,4.690906e-07,4.733849e-07,4.737193e-07,4.774704e-07,4.790475e-07,4.813530e-07,4.840259e-07,4.850382e-07,4.885317e-07,4.886675e-07,4.918389e-07,4.929849e-07,4.949653e-07,4.969907e-07,4.979163e-07,5.006970e-07,5.033127e-07,5.041157e-07,5.057684e-07,5.072583e-07,5.080690e-07,5.101364e-07,5.102196e-07,5.122247e-07,5.127608e-07,5.140892e-07,5.151422e-07,5.158175e-07,5.172912e-07,5.174142e-07,5.188836e-07,5.192178e-07,5.202301e-07,5.209319e-07,5.214577e-07,5.224429e-07,5.225705e-07,5.235726e-07,5.237600e-07,5.244677e-07,5.248922e-07,5.252598e-07,5.258481e-07,5.259524e-07,5.265492e-07,5.266360e-07,5.270537e-07,5.272640e-07,5.274692e-07,5.277398e-07,5.277991e-07,5.280466e-07,5.280709e-07,5.282149e-07,5.282646e-07,5.283070e-07,5.283278e-07,5.283259e-07,5.282744e-07,5.282673e-07,5.281554e-07,5.280895e-07,5.279716e-07,5.278006e-07,5.277256e-07,5.274200e-07,5.274066e-07,5.270574e-07,5.269133e-07,5.266400e-07,5.263262e-07,5.261704e-07,5.256507e-07,5.248918e-07,5.240544e-07,5.231432e-07,5.221629e-07,5.211176e-07,5.200115e-07,5.188487e-07,5.176329e-07,5.163677e-07,5.150567e-07,5.137031e-07,5.123102e-07,5.108811e-07,5.094185e-07,5.079254e-07,5.064044e-07,5.048579e-07,5.032884e-07,5.016983e-07,5.000897e-07,4.984646e-07,4.968252e-07,4.951732e-07,4.935105e-07
0.000000e+00,3.569074e-12,2.423799e-11,3.622083e-10,1.930711e-09,4.004276e-09,1.775488e-08,1.869206e-08,5.605946e-08,7.240525e-08,1.296530e-07,1.971949e-07,2.539694e-07,4.262909e-07,4.443243e-07,7.167729e-07,7.961819e-07,1.087386e-06,1.343246e-06,1.570296e-06,2.095329e-06,2.174288e-06,2.898921e-06,3.057503e-06,3.732828e-06,4.203230e-06,4.656083e-06,5.483574e-06,5.645342e-06,6.678441e-06,6.846504e-06,7.736743e-06,8.249207e-06,8.805472e-06,9.660127e-06,9.873098e-06,1.093053e-05,1.105637e-05,1.197052e-05,1.242105e-05,1.298725e-05,1.374152e-05,1.397608e-05,1.493335e-05,1.500848e-05,1.585625e-05,1.621531e-05,1.674274e-05,1.735765e-05,1.759141e-05,1.840140e-05,1.843298e-05,1.917231e-05,1.944026e-05,1.990414e-05,2.037959e-05,2.059717e-05,2.125195e-05,2.186922e-05,2.205896e-05,2.244985e-05,2.280269e-05,2.299486e-05,2.348554e-05,2.350531e-05,2.398234e-05,2.411008e-05,2.442711e-05,2.467898e-05,2.484080e-05,2.519498e-05,2.522461e-05,2.557972e-05,2.566081e-05,2.590732e-05,2.607918e-05,2.620855e-05,2.645274e-05,2.648457e-05,2.673648e-05,2.678407e-05,2.696538e-05,2.707566e-05,2.717232e-05,2.732993e-05,2.735833e-05,2.752441e-05,2.754920e-05,2.767153e-05,2.773569e-05,2.780062e-05,2.789152e-05,2.791258e-05,2.800825e-05,2.801868e-05,2.808848e-05,2.811908e-05,2.815404e-05,2.819455e-05,2.820573e-05,2.824426e-05,2.824680e-05,2.827036e-05,2.827747e-05,2.828469e-05,2.828808e-05,2.828789e-05,2.828060e-05,2.828009e-05,2.826340e-05,2.825489e-05,2.823686e-05,2.821377e-05,2.820154e-05,2.815795e-05,2.810659e-05,2.808859e-05,2.804793e-05,2.800676e-05,2.798242e-05,2.791349e-05,2.791049e-05,2.783256e-05,2.780972e-05,2.774903e-05,2.769637e-05,2.766026e-05,2.757427e-05,2.756661e-05,2.746842e-05,2.744422e-05,2.736602e-05,2.730695e-05,2.725971e-05,2.716316e-05,2.714978e-05,2.703652e-05,2.701349e-05,2.692019e-05,2.685857e-05,2.680104e-05,2.669895e-05,2.667931e-05,2.655522e-05,2.653517e-05,2.642900e-05,2.636771e-05,2.630084e-05,2.619705e-05,2.617094e-05,2.603948e-05,2.602361e-05,2.590663e-05,2.584779e-05,2.577257e-05,2.566996e-05,2.563744e-05,2.550140e-05,2.549048e-05,2.536458e-05,2.530966e-05,2.522711e-05,2.512781e-05,2.508913e-05,2.495074e-05,2.494520e-05,2.481206e-05,2.476208e-05,2.467319e-05,2.457870e-05,2.453423e-05,2.439527e-05,2.421200e-05,2.402907e-05,2.384665e-05,2.366491e-05,2.348398e-05,2.330400e-05,2.312509e-05,2.294737e-05,2.277092e-05,2.259584e-05,2.242222e-05,2.225013e-05,2.207963e-05,2.191079e-05,2.174365e-05,2.157827e-05,2.141468e-05,2.125292e-05,2.109302e-05,2.093500e-05,2.077889e-05,2.062471e-05,2.047247e-05,2.032217e-05
0.000000e+00,1.545070e-14,1.359174e-13,3.421237e-12,2.877361e-11,7.602788e-11,6.128381e-10,6.604934e-10,3.436568e-09,5.119508e-09,1.295336e-08,2.571414e-08,3.915549e-08,9.396356e-08,1.008597e-07,2.301950e-07,2.764653e-07,4.779075e-07,6.951733e-07,9.191277e-07,1.549947e-06,1.658702e-06,2.834783e-06,3.136945e-06,4.619428e-06,5.854251e-06,7.215581e-06,1.018924e-05,1.085051e-05,1.576658e-05,1.668856e-05,2.221040e-05,2.591701e-05,3.042160e-05,3.841309e-05,4.062218e-05,5.300730e-05,5.464835e-05,6.773790e-05,7.499524e-05,8.493548e-05,9.970571e-05,1.046789e-04,1.270034e-04,1.289009e-04,1.519011e-04,1.625710e-04,1.793230e-04,2.005826e-04,2.091827e-04,2.413601e-04,2.426934e-04,2.757063e-04,2.885692e-04,3.120485e-04,3.378041e-04,3.501951e-04,3.899409e-04,4.310713e-04,4.444897e-04,4.733672e-04,5.009466e-04,5.166087e-04,5.588086e-04,5.605787e-04,6.050656e-04,6.175866e-04,6.498660e-04,6.768159e-04,6.947867e-04,7.360638e-04,7.396462e-04,7.842759e-04,7.949353e-04,8.285205e-04,8.530761e-04,8.722389e-04,9.101747e-04,9.153041e-04,9.576031e-04,9.659619e-04,9.990364e-04,1.020211e-03,1.039518e-03,1.072733e-03,1.078974e-03,1.117343e-03,1.123377e-03,1.154574e-03,1.172029e-03,1.190627e-03,1.218600e-03,1.225471e-03,1.259085e-03,1.263035e-03,1.291452e-03,1.305297e-03,1.322567e-03,1.345376e-03,1.352428e-03,1.381040e-03,1.383276e-03,1.408413e-03,1.419017e-03,1.434559e-03,1.452634e-03,1.459496e-03,1.483245e-03,1.484171e-03,1.505829e-03,1.513679e-03,1.527274e-03,1.541219e-03,1.547606e-03,1.566854e-03,1.585047e-03,1.590652e-03,1.602217e-03,1.612683e-03,1.618394e-03,1.633020e-03,1.633610e-03,1.647897e-03,1.651734e-03,1.661285e-03,1.668900e-03,1.673807e-03,1.684590e-03,1.685495e-03,1.696378e-03,1.698874e-03,1.706488e-03,1.711822e-03,1.715853e-03,1.723503e-03,1.724505e-03,1.732470e-03,1.733984e-03,1.739778e-03,1.743327e-03,1.746455e-03,1.751597e-03,1.752529e-03,1.758024e-03,1.758852e-03,1.762967e-03,1.765150e-03,1.767380e-03,1.770546e-03,1.771289e-03,1.774715e-03,1.775095e-03,1.777680e-03,1.778845e-03,1.780207e-03,1.781846e-03,1.782315e-03,1.784024e-03,1.784144e-03,1.785353e-03,1.785783e-03,1.786321e-03,1.786804e-03,1.786946e-03,1.787244e-03,1.787249e-03,1.787232e-03,1.787154e-03,1.786925e-03,1.786557e-03,1.786340e-03,1.785490e-03,1.783987e-03,1.782078e-03,1.779793e-03,1.777158e-03,1.774201e-03,1.770946e-03,1.767417e-03,1.763634e-03,1.759620e-03,1.755394e-03,1.750975e-03,1.746379e-03,1.741624e-03,1.736726e-03,1.731698e-03,1.726555e-03,1.721309e-03,1.715974e-03,1.710560e-03,1.705078e-03,1.699538e-03,1.693950e-03,1.688322e-03,1.682663e-03
0.000000e+00,2.796762e-14,2.499512e-13,6.503314e-12,5.638998e-11,1.515286e-10,1.275758e-09,1.377393e-09,7.479621e-09,1.127090e-08,2.933732e-08,5.955282e-08,9.197873e-08,2.275666e-07,2.448827e-07,5.756725e-07,6.959669e-07,1.227108e-06,1.809429e-06,2.416932e-06,4.156302e-06,4.459561e-06,7.787939e-06,8.655550e-06,1.297335e-05,1.663795e-05,2.074096e-05,2.990640e-05,3.197925e-05,4.774247e-05,5.076350e-05,6.924526e-05,8.200019e-05,9.785011e-05,1.268458e-04,1.350482e-04,1.824345e-04,1.888842e-04,2.416786e-04,2.719429e-04,3.144923e-04,3.799651e-04,4.025957e-04,5.076825e-04,5.168726e-04,6.313860e-04,6.864290e-04,7.752469e-04,8.921102e-04,9.406838e-04,1.128967e-03,1.136989e-03,1.341195e-03,1.423640e-03,1.578278e-03,1.754060e-03,1.840922e-03,2.129621e-03,2.444650e-03,2.551035e-03,2.786065e-03,3.018353e-03,3.153707e-03,3.530975e-03,3.547205e-03,3.965988e-03,4.087680e-03,4.409298e-03,4.686674e-03,4.876198e-03,5.325645e-03,5.365597e-03,5.876258e-03,6.001833e-03,6.406824e-03,6.712092e-03,6.955828e-03,7.452975e-03,7.521721e-03,8.102879e-03,8.220797e-03,8.697633e-03,9.011712e-03,9.304275e-03,9.821782e-03,9.921083e-03,1.054633e-02,1.064704e-02,1.117830e-02,1.148353e-02,1.181529e-02,1.232740e-02,1.245566e-02,1.309779e-02,1.317488e-02,1.374011e-02,1.402240e-02,1.438113e-02,1.486655e-02,1.501942e-02,1.565361e-02,1.570413e-02,1.628243e-02,1.653218e-02,1.690467e-02,1.734797e-02,1.751920e-02,1.812498e-02,1.814902e-02,1.872106e-02,1.893310e-02,1.930656e-02,1.969824e-02,1.988067e-02,2.044269e-02,2.099198e-02,2.116497e-02,2.152797e-02,2.186379e-02,2.205016e-02,2.253811e-02,2.255815e-02,2.305157e-02,2.318708e-02,2.353014e-02,2.381005e-02,2.399361e-02,2.440653e-02,2.444182e-02,2.487463e-02,2.497621e-02,2.529198e-02,2.551893e-02,2.569384e-02,2.603466e-02,2.608021e-02,2.645116e-02,2.652351e-02,2.680678e-02,2.698567e-02,2.714717e-02,2.742146e-02,2.747251e-02,2.778296e-02,2.783126e-02,2.807873e-02,2.821555e-02,2.836004e-02,2.857484e-02,2.862714e-02,2.888029e-02,2.890974e-02,2.911976e-02,2.922087e-02,2.934584e-02,2.950890e-02,2.955884e-02,2.975905e-02,2.977452e-02,2.994679e-02,3.001847e-02,3.012239e-02,3.024148e-02,3.028617e-02,3.043845e-02,3.044430e-02,3.057957e-02,3.062770e-02,3.070985e-02,3.079243e-02,3.082964e-02,3.093927e-02,3.106895e-02,3.118224e-02,3.127988e-02,3.136259e-02,3.143108e-02,3.148605e-02,3.152818e-02,3.155814e-02,3.157656e-02,3.158408e-02,3.158129e-02,3.156879e-02,3.154713e-02,3.151687e-02,3.147851e-02,3.143258e-02,3.137955e-02,3.131988e-02,3.125402e-02,3.118241e-02,3.110543e-02,3.102349e-02,3.093696e-02,3.084619e-02
0.000000e+00,1.939360e-14,1.731367e-13,4.495759e-12,3.891833e-11,1.044927e-10,8.781413e-10,9.480384e-10,5.141342e-09,7.745347e-09,2.015118e-08,4.089952e-08,6.317046e-08,1.563610e-07,1.682698e-07,3.960378e-07,4.789809e-07,8.457937e-07,1.248881e-06,1.670261e-06,2.880671e-06,3.092220e-06,5.422131e-06,6.031587e-06,9.075276e-06,1.167038e-05,1.458682e-05,2.113632e-05,2.262335e-05,3.398997e-05,3.617888e-05,4.963227e-05,5.897223e-05,7.063324e-05,9.210286e-05,9.820514e-05,1.336767e-04,1.385311e-04,1.784765e-04,2.015300e-04,2.341133e-04,2.846071e-04,3.021531e-04,3.841954e-04,3.914119e-04,4.818477e-04,5.256367e-04,5.966997e-04,6.909138e-04,7.302979e-04,8.841215e-04,8.907151e-04,1.059559e-03,1.128257e-03,1.257885e-03,1.406412e-03,1.480246e-03,1.727637e-03,2.000894e-03,2.093912e-03,2.300677e-03,2.506689e-03,2.627467e-03,2.966865e-03,2.981555e-03,3.363044e-03,3.474764e-03,3.771847e-03,4.030134e-03,4.207690e-03,4.632157e-03,4.670116e-03,5.158491e-03,5.279477e-03,5.672016e-03,5.970225e-03,6.209734e-03,6.702068e-03,6.770545e-03,7.353213e-03,7.472252e-03,7.956386e-03,8.277660e-03,8.578607e-03,9.114863e-03,9.218328e-03,9.873924e-03,9.980181e-03,1.054371e-02,1.086974e-02,1.122596e-02,1.177954e-02,1.191890e-02,1.262075e-02,1.270549e-02,1.332973e-02,1.364347e-02,1.404403e-02,1.458938e-02,1.476190e-02,1.548160e-02,1.553920e-02,1.620141e-02,1.648899e-02,1.691968e-02,1.743497e-02,1.763480e-02,1.834522e-02,1.837352e-02,1.904946e-02,1.930120e-02,1.974612e-02,2.021482e-02,2.043384e-02,2.111138e-02,2.177756e-02,2.198816e-02,2.243128e-02,2.284266e-02,2.307153e-02,2.367264e-02,2.369739e-02,2.430799e-02,2.447613e-02,2.490260e-02,2.525139e-02,2.548052e-02,2.599695e-02,2.604115e-02,2.658399e-02,2.671157e-02,2.710857e-02,2.739423e-02,2.761454e-02,2.804416e-02,2.810160e-02,2.856951e-02,2.866078e-02,2.901811e-02,2.924371e-02,2.944729e-02,2.979277e-02,2.985702e-02,3.024729e-02,3.030794e-02,3.061818e-02,3.078935e-02,3.096979e-02,3.123730e-02,3.130228e-02,3.161583e-02,3.165220e-02,3.191070e-02,3.203458e-02,3.218713e-02,3.238508e-02,3.244544e-02,3.268596e-02,3.270444e-02,3.290903e-02,3.299346e-02,3.311503e-02,3.325301e-02,3.330437e-02,3.347746e-02,3.348405e-02,3.363472e-02,3.368755e-02,3.377661e-02,3.386454e-02,3.390357e-02,3.401606e-02,3.414319e-02,3.424701e-02,3.432862e-02,3.438911e-02,3.442957e-02,3.445107e-02,3.445468e-02,3.444144e-02,3.441238e-02,3.436850e-02,3.431077e-02,3.424013e-02,3.415750e-02,3.406376e-02,3.395976e-02,3.384631e-02,3.372420e-02,3.359416e-02,3.345692e-02,3.331316e-02,3.316352e-02,3.300861e-02,3.284902e-02,3.268530e-02
0.000000e+00,6.088536e-13,4.530517e-12,8.089613e-11,5.000359e-10,1.118290e-09,5.909414e-09,6.262256e-09,2.174504e-08,2.910257e-08,5.657339e-08,9.132058e-08,1.219037e-07,2.200310e-07,2.306588e-07,3.969424e-07,4.469566e-07,6.341685e-07,8.018559e-07,9.520655e-07,1.301871e-06,1.354648e-06,1.840563e-06,1.947363e-06,2.405058e-06,2.727626e-06,3.041992e-06,3.628394e-06,3.745084e-06,4.508347e-06,4.635668e-06,5.326032e-06,5.736170e-06,6.192396e-06,6.916558e-06,7.101504e-06,8.047095e-06,8.162707e-06,9.022565e-06,9.459469e-06,1.002102e-05,1.079086e-05,1.103538e-05,1.205851e-05,1.214053e-05,1.308339e-05,1.349230e-05,1.410323e-05,1.483079e-05,1.511164e-05,1.610266e-05,1.614186e-05,1.707095e-05,1.741303e-05,1.801174e-05,1.863367e-05,1.892096e-05,1.979519e-05,2.063166e-05,2.089099e-05,2.142825e-05,2.191641e-05,2.218343e-05,2.286854e-05,2.289623e-05,2.356618e-05,2.374608e-05,2.419324e-05,2.454903e-05,2.477777e-05,2.527854e-05,2.532044e-05,2.582220e-05,2.593666e-05,2.628424e-05,2.652612e-05,2.670790e-05,2.705016e-05,2.709468e-05,2.744615e-05,2.751236e-05,2.776398e-05,2.791651e-05,2.804983e-05,2.826649e-05,2.830542e-05,2.853242e-05,2.856620e-05,2.873250e-05,2.881946e-05,2.890729e-05,2.902998e-05,2.905837e-05,2.918727e-05,2.920132e-05,2.929545e-05,2.933684e-05,2.938430e-05,2.943974e-05,2.945518e-05,2.950933e-05,2.951298e-05,2.954796e-05,2.955932e-05,2.957220e-05,2.958134e-05,2.958311e-05,2.958170e-05,2.958140e-05,2.956889e-05,2.956167e-05,2.954558e-05,2.952415e-05,2.951258e-05,2.947067e-05,2.942055e-05,2.940289e-05,2.936290e-05,2.932235e-05,2.929835e-05,2.923042e-05,2.922747e-05,2.915081e-05,2.912838e-05,2.906886e-05,2.901736e-05,2.898211e-05,2.889842e-05,2.889098e-05,2.879587e-05,2.877250e-05,2.869718e-05,2.864046e-05,2.859523e-05,2.850309e-05,2.849037e-05,2.838288e-05,2.836110e-05,2.827306e-05,2.821512e-05,2.816117e-05,2.806575e-05,2.804743e-05,2.793209e-05,2.791350e-05,2.781535e-05,2.775887e-05,2.769740e-05,2.760229e-05,2.757842e-05,2.745858e-05,2.744415e-05,2.733804e-05,2.728481e-05,2.721693e-05,2.712460e-05,2.709540e-05,2.697356e-05,2.696380e-05,2.685153e-05,2.680269e-05,2.672942e-05,2.664150e-05,2.660732e-05,2.648533e-05,2.648046e-05,2.636354e-05,2.631975e-05,2.624201e-05,2.615956e-05,2.612083e-05,2.600005e-05,2.584136e-05,2.568363e-05,2.552695e-05,2.537145e-05,2.521722e-05,2.506433e-05,2.491286e-05,2.476288e-05,2.461444e-05,2.446760e-05,2.432239e-05,2.417887e-05,2.403705e-05,2.389697e-05,2.375865e-05,2.362211e-05,2.348737e-05,2.335443e-05,2.322331e-05,2.309400e-05,2.296652e-05,2.284086e-05,2.271703e-05,2.259501e-05
0.000000e+00,2.119868e-11,5.087437e-11,1.838552e-10,4.282257e-10,6.303673e-10,1.454155e-09,1.498739e-09,2.930828e-09,3.453404e-09,5.080754e-09,6.786129e-09,8.120754e-09,1.186585e-08,1.223961e-08,1.762472e-08,1.912315e-08,2.441802e-08,2.885643e-08,3.265534e-08,4.102180e-08,4.223644e-08,5.296301e-08,5.522572e-08,6.460925e-08,7.095909e-08,7.696935e-08,8.777655e-08,8.987104e-08,1.031718e-07,1.053287e-07,1.167510e-07,1.233365e-07,1.305033e-07,1.415665e-07,1.443351e-07,1.581616e-07,1.598168e-07,1.719068e-07,1.779111e-07,1.855024e-07,1.956973e-07,1.988877e-07,2.120103e-07,2.130474e-07,2.248249e-07,2.298557e-07,2.372934e-07,2.460390e-07,2.493853e-07,2.610757e-07,2.615347e-07,2.723459e-07,2.762975e-07,2.831825e-07,2.902991e-07,2.935768e-07,3.035241e-07,3.130233e-07,3.159686e-07,3.220762e-07,3.276379e-07,3.306873e-07,3.385442e-07,3.388630e-07,3.466114e-07,3.487057e-07,3.539420e-07,3.581442e-07,3.608654e-07,3.668851e-07,3.673930e-07,3.735368e-07,3.749556e-07,3.793093e-07,3.823844e-07,3.847230e-07,3.892003e-07,3.897905e-07,3.945246e-07,3.954325e-07,3.989380e-07,4.011103e-07,4.030431e-07,4.062624e-07,4.068525e-07,4.103782e-07,4.109168e-07,4.136321e-07,4.151009e-07,4.166259e-07,4.188411e-07,4.193707e-07,4.218776e-07,4.221629e-07,4.241572e-07,4.250910e-07,4.262199e-07,4.276487e-07,4.280757e-07,4.297342e-07,4.298586e-07,4.312047e-07,4.317423e-07,4.324962e-07,4.333201e-07,4.336173e-07,4.345765e-07,4.346116e-07,4.353818e-07,4.356355e-07,4.360408e-07,4.364092e-07,4.365609e-07,4.369494e-07,4.372131e-07,4.372722e-07,4.373585e-07,4.373924e-07,4.373919e-07,4.373243e-07,4.373194e-07,4.371468e-07,4.370813e-07,4.368796e-07,4.366761e-07,4.365231e-07,4.361207e-07,4.360824e-07,4.355625e-07,4.354264e-07,4.349679e-07,4.346040e-07,4.343031e-07,4.336635e-07,4.335725e-07,4.327799e-07,4.326144e-07,4.319295e-07,4.314655e-07,4.310247e-07,4.302255e-07,4.300694e-07,4.290667e-07,4.289021e-07,4.280199e-07,4.275028e-07,4.269322e-07,4.260346e-07,4.258065e-07,4.246456e-07,4.245040e-07,4.234521e-07,4.229173e-07,4.222286e-07,4.212802e-07,4.209776e-07,4.197013e-07,4.195981e-07,4.184019e-07,4.178762e-07,4.170816e-07,4.161191e-07,4.157423e-07,4.143860e-07,4.143314e-07,4.130143e-07,4.125171e-07,4.116291e-07,4.106802e-07,4.102320e-07,4.088244e-07,4.069530e-07,4.050691e-07,4.031757e-07,4.012756e-07,3.993713e-07,3.974652e-07,3.955594e-07,3.936561e-07,3.917570e-07,3.898640e-07,3.879785e-07,3.861022e-07,3.842365e-07,3.823824e-07,3.805412e-07,3.787140e-07,3.769017e-07,3.751051e-07,3.733252e-07,3.715624e-07,3.698177e-07,3.680914e-07,3.663841e-07,3.646963e-07
0.000000e+00,1.088617e-14,9.662810e-14,2.479310e-12,2.121690e-11,5.659223e-11,4.671223e-10,5.039188e-10,2.680109e-09,4.015003e-09,1.029344e-08,2.063016e-08,3.159120e-08,7.661888e-08,8.230511e-08,1.892689e-07,2.276013e-07,3.945311e-07,5.744597e-07,7.597382e-07,1.280775e-06,1.370515e-06,2.340512e-06,2.589796e-06,3.814702e-06,4.838393e-06,5.971443e-06,8.464812e-06,9.022865e-06,1.321320e-05,1.400721e-05,1.881501e-05,2.209120e-05,2.612337e-05,3.340690e-05,3.544843e-05,4.710681e-05,4.867761e-05,6.141226e-05,6.862361e-05,7.866627e-05,9.392469e-05,9.914895e-05,1.231108e-04,1.251847e-04,1.507654e-04,1.629009e-04,1.822834e-04,2.074399e-04,2.177884e-04,2.573534e-04,2.590209e-04,3.009997e-04,3.177072e-04,3.486968e-04,3.834050e-04,4.003631e-04,4.558692e-04,5.150401e-04,5.347146e-04,5.776602e-04,6.194323e-04,6.434778e-04,7.094086e-04,7.122101e-04,7.835487e-04,8.039462e-04,8.571652e-04,9.022864e-04,9.327169e-04,1.003631e-03,1.009852e-03,1.088213e-03,1.107163e-03,1.167446e-03,1.212065e-03,1.247199e-03,1.317540e-03,1.327130e-03,1.406910e-03,1.422819e-03,1.486222e-03,1.527181e-03,1.564771e-03,1.629956e-03,1.642276e-03,1.718482e-03,1.730538e-03,1.793151e-03,1.828384e-03,1.866072e-03,1.923020e-03,1.937053e-03,2.005926e-03,2.014042e-03,2.072547e-03,2.101113e-03,2.136790e-03,2.183963e-03,2.198555e-03,2.257759e-03,2.262383e-03,2.314339e-03,2.336225e-03,2.368249e-03,2.405394e-03,2.419461e-03,2.467963e-03,2.469846e-03,2.513755e-03,2.529580e-03,2.556853e-03,2.584633e-03,2.597282e-03,2.635079e-03,2.670289e-03,2.681018e-03,2.702966e-03,2.722578e-03,2.733171e-03,2.759903e-03,2.760969e-03,2.786434e-03,2.793155e-03,2.809639e-03,2.822510e-03,2.830664e-03,2.848150e-03,2.849589e-03,2.866498e-03,2.870265e-03,2.881473e-03,2.889046e-03,2.894600e-03,2.904689e-03,2.905962e-03,2.915644e-03,2.917386e-03,2.923728e-03,2.927328e-03,2.930297e-03,2.934702e-03,2.935430e-03,2.939207e-03,2.939691e-03,2.941704e-03,2.942470e-03,2.942996e-03,2.943211e-03,2.943155e-03,2.942252e-03,2.942075e-03,2.940353e-03,2.939219e-03,2.937524e-03,2.934790e-03,2.933827e-03,2.929323e-03,2.928930e-03,2.924069e-03,2.921769e-03,2.918119e-03,2.913434e-03,2.911526e-03,2.904341e-03,2.904041e-03,2.896609e-03,2.893702e-03,2.888378e-03,2.882517e-03,2.879689e-03,2.870583e-03,2.857990e-03,2.844820e-03,2.831150e-03,2.817051e-03,2.802588e-03,2.787822e-03,2.772808e-03,2.757596e-03,2.742234e-03,2.726765e-03,2.711227e-03,2.695655e-03,2.680083e-03,2.664539e-03,2.649049e-03,2.633638e-03,2.618326e-03,2.603134e-03,2.588077e-03,2.573172e-03,2.558431e-03,2.543867e-03,2.529490e-03,2.515309e-03
0.000000e+00,4.123026e-14,3.661342e-13,9.403828e-12,8.061238e-11,2.152934e-10,1.785135e-09,1.926188e-09,1.031193e-08,1.548151e-08,3.993883e-08,8.052198e-08,1.238397e-07,3.037063e-07,3.265854e-07,7.616038e-07,9.191755e-07,1.612724e-06,2.370552e-06,3.159405e-06,5.412110e-06,5.804242e-06,1.010040e-05,1.121856e-05,1.677620e-05,2.148626e-05,2.675447e-05,3.850846e-05,4.116464e-05,6.134689e-05,6.521224e-05,8.884810e-05,1.051528e-04,1.254098e-04,1.624657e-04,1.729490e-04,2.335335e-04,2.417831e-04,3.093507e-04,3.481197e-04,4.026743e-04,4.867369e-04,5.158270e-04,6.511424e-04,6.629945e-04,8.109263e-04,8.821957e-04,9.974182e-04,1.149435e-03,1.212755e-03,1.458937e-03,1.469453e-03,1.737796e-03,1.846505e-03,2.050966e-03,2.284252e-03,2.399863e-03,2.785662e-03,3.209282e-03,3.352943e-03,3.671377e-03,3.987497e-03,4.172329e-03,4.689898e-03,4.712242e-03,5.290948e-03,5.459885e-03,5.908011e-03,6.296381e-03,6.562735e-03,7.197534e-03,7.254174e-03,7.981147e-03,8.160758e-03,8.742259e-03,9.182805e-03,9.535910e-03,1.025983e-02,1.036032e-02,1.121355e-02,1.138747e-02,1.209352e-02,1.256094e-02,1.299802e-02,1.377509e-02,1.392477e-02,1.487138e-02,1.502452e-02,1.583542e-02,1.630363e-02,1.681443e-02,1.760673e-02,1.780590e-02,1.880736e-02,1.892809e-02,1.981633e-02,2.026202e-02,2.083035e-02,2.160292e-02,2.184704e-02,2.286404e-02,2.294535e-02,2.387909e-02,2.428406e-02,2.488998e-02,2.561406e-02,2.589460e-02,2.689094e-02,2.693059e-02,2.787707e-02,2.822923e-02,2.885119e-02,2.950586e-02,2.981160e-02,3.075670e-02,3.168502e-02,3.197831e-02,3.259520e-02,3.316761e-02,3.348599e-02,3.432185e-02,3.435626e-02,3.520498e-02,3.543864e-02,3.603126e-02,3.651592e-02,3.683429e-02,3.755195e-02,3.761338e-02,3.836794e-02,3.854532e-02,3.909746e-02,3.949491e-02,3.980157e-02,4.039990e-02,4.047994e-02,4.113236e-02,4.125971e-02,4.175869e-02,4.207404e-02,4.235886e-02,4.284281e-02,4.293290e-02,4.348086e-02,4.356613e-02,4.400291e-02,4.424434e-02,4.449923e-02,4.487793e-02,4.497007e-02,4.541575e-02,4.546756e-02,4.583661e-02,4.601403e-02,4.623305e-02,4.651826e-02,4.660548e-02,4.695438e-02,4.698129e-02,4.728022e-02,4.740422e-02,4.758354e-02,4.778827e-02,4.786486e-02,4.812474e-02,4.813470e-02,4.836377e-02,4.844482e-02,4.858252e-02,4.871999e-02,4.878159e-02,4.896160e-02,4.917105e-02,4.934976e-02,4.949915e-02,4.962063e-02,4.971560e-02,4.978547e-02,4.983158e-02,4.985530e-02,4.985791e-02,4.984069e-02,4.980489e-02,4.975170e-02,4.968229e-02,4.959778e-02,4.949924e-02,4.938773e-02,4.926423e-02,4.912970e-02,4.898504e-02,4.883113e-02,4.866879e-02,4.849880e-02,4.832191e-02,4.813882e-02
0.000000e+00,7.527819e-13,5.528420e-12,9.620341e-11,5.818508e-10,1.286653e-09,6.615708e-09,7.003248e-09,2.370798e-08,3.151373e-08,6.020094e-08,9.575014e-08,1.265272e-07,2.228747e-07,2.331307e-07,3.903609e-07,4.367462e-07,6.081453e-07,7.599869e-07,8.955418e-07,1.211968e-06,1.259949e-06,1.706077e-06,1.805284e-06,2.235176e-06,2.542474e-06,2.844993e-06,3.415951e-06,3.530431e-06,4.284526e-06,4.411028e-06,5.099295e-06,5.509471e-06,5.966326e-06,6.691875e-06,6.877135e-06,7.823359e-06,7.938897e-06,8.796889e-06,9.231880e-06,9.789973e-06,1.055328e-05,1.079531e-05,1.180614e-05,1.188705e-05,1.281628e-05,1.321889e-05,1.382022e-05,1.453647e-05,1.481311e-05,1.579073e-05,1.582946e-05,1.674953e-05,1.708950e-05,1.768655e-05,1.831003e-05,1.859939e-05,1.948615e-05,2.034541e-05,2.061439e-05,2.117612e-05,2.169246e-05,2.197759e-05,2.271912e-05,2.274942e-05,2.349147e-05,2.369390e-05,2.420379e-05,2.461701e-05,2.488664e-05,2.548914e-05,2.554038e-05,2.616553e-05,2.631138e-05,2.676267e-05,2.708507e-05,2.733245e-05,2.781179e-05,2.787558e-05,2.839282e-05,2.849323e-05,2.888494e-05,2.913119e-05,2.935275e-05,2.972750e-05,2.979704e-05,3.021862e-05,3.028402e-05,3.061830e-05,3.080261e-05,3.099688e-05,3.128509e-05,3.135515e-05,3.169388e-05,3.173325e-05,3.201384e-05,3.214886e-05,3.231575e-05,3.253360e-05,3.260036e-05,3.286837e-05,3.288911e-05,3.312046e-05,3.321699e-05,3.335730e-05,3.351874e-05,3.357953e-05,3.378778e-05,3.379583e-05,3.398266e-05,3.404965e-05,3.416474e-05,3.428154e-05,3.433460e-05,3.449278e-05,3.463979e-05,3.468456e-05,3.477616e-05,3.485806e-05,3.490235e-05,3.501437e-05,3.501885e-05,3.512611e-05,3.515455e-05,3.522456e-05,3.527957e-05,3.531461e-05,3.539039e-05,3.539667e-05,3.547112e-05,3.548790e-05,3.553833e-05,3.557294e-05,3.559866e-05,3.564633e-05,3.565245e-05,3.570003e-05,3.570882e-05,3.574170e-05,3.576114e-05,3.577777e-05,3.580395e-05,3.580853e-05,3.583425e-05,3.583792e-05,3.585521e-05,3.586364e-05,3.587164e-05,3.588170e-05,3.588380e-05,3.589191e-05,3.589263e-05,3.589621e-05,3.589694e-05,3.589689e-05,3.589512e-05,3.589417e-05,3.588824e-05,3.588763e-05,3.587929e-05,3.587490e-05,3.586749e-05,3.585732e-05,3.585301e-05,3.583602e-05,3.583529e-05,3.581667e-05,3.580915e-05,3.579511e-05,3.577926e-05,3.577148e-05,3.574591e-05,3.570942e-05,3.567006e-05,3.562809e-05,3.558377e-05,3.553732e-05,3.548897e-05,3.543891e-05,3.538733e-05,3.533443e-05,3.528035e-05,3.522526e-05,3.516930e-05,3.511261e-05,3.505532e-05,3.499754e-05,3.493939e-05,3.488097e-05,3.482236e-05,3.476367e-05,3.470497e-05,3.464634e-05,3.458785e-05,3.452957e-05,3.447154e-05
0.000000e+00,7.294416e-13,5.617761e-12,1.074391e-10,7.043462e-10,1.624202e-09,9.233145e-09,9.811612e-09,3.626343e-08,4.927246e-08,9.911854e-08,1.638139e-07,2.216078e-07,4.097211e-07,4.302429e-07,7.534260e-07,8.512847e-07,1.220455e-06,1.555685e-06,1.860274e-06,2.587136e-06,2.699010e-06,3.755636e-06,3.993945e-06,5.036481e-06,5.788375e-06,6.531115e-06,7.932208e-06,8.212157e-06,1.003947e-05,1.034235e-05,1.196674e-05,1.291361e-05,1.394772e-05,1.554296e-05,1.594075e-05,1.791090e-05,1.814439e-05,1.983046e-05,2.065342e-05,2.167843e-05,2.302536e-05,2.343942e-05,2.510275e-05,2.523136e-05,2.666147e-05,2.725470e-05,2.811164e-05,2.908761e-05,2.945174e-05,3.068218e-05,3.072914e-05,3.180491e-05,3.218330e-05,3.282307e-05,3.345775e-05,3.374075e-05,3.456268e-05,3.529407e-05,3.550989e-05,3.594040e-05,3.631200e-05,3.650727e-05,3.698192e-05,3.700029e-05,3.742499e-05,3.753239e-05,3.778671e-05,3.797565e-05,3.809058e-05,3.832325e-05,3.834148e-05,3.854401e-05,3.858590e-05,3.870245e-05,3.877343e-05,3.882081e-05,3.889478e-05,3.890282e-05,3.895190e-05,3.895804e-05,3.897120e-05,3.897044e-05,3.896363e-05,3.893844e-05,3.893183e-05,3.887825e-05,3.886781e-05,3.880509e-05,3.876363e-05,3.871438e-05,3.863042e-05,3.860796e-05,3.848750e-05,3.847217e-05,3.835452e-05,3.829241e-05,3.821042e-05,3.809425e-05,3.805646e-05,3.789378e-05,3.788042e-05,3.772342e-05,3.765334e-05,3.754632e-05,3.741512e-05,3.736335e-05,3.717527e-05,3.716765e-05,3.698281e-05,3.691257e-05,3.678660e-05,3.665134e-05,3.658723e-05,3.638522e-05,3.618108e-05,3.611537e-05,3.597522e-05,3.584276e-05,3.576806e-05,3.556829e-05,3.555995e-05,3.535123e-05,3.529271e-05,3.514219e-05,3.501673e-05,3.493311e-05,3.474093e-05,3.472423e-05,3.451579e-05,3.446585e-05,3.430798e-05,3.419195e-05,3.410099e-05,3.391965e-05,3.389498e-05,3.369011e-05,3.364929e-05,3.348651e-05,3.338119e-05,3.328431e-05,3.311561e-05,3.308360e-05,3.288450e-05,3.285280e-05,3.268709e-05,3.259296e-05,3.249145e-05,3.233626e-05,3.229765e-05,3.210575e-05,3.208285e-05,3.191581e-05,3.183287e-05,3.172788e-05,3.158642e-05,3.154200e-05,3.135820e-05,3.134359e-05,3.117652e-05,3.110445e-05,3.099698e-05,3.086905e-05,3.081960e-05,3.064441e-05,3.063744e-05,3.047140e-05,3.040966e-05,3.030061e-05,3.018573e-05,3.013203e-05,2.996566e-05,2.974946e-05,2.953711e-05,2.932862e-05,2.912396e-05,2.892312e-05,2.872607e-05,2.853277e-05,2.834320e-05,2.815732e-05,2.797508e-05,2.779646e-05,2.762139e-05,2.744983e-05,2.728174e-05,2.711706e-05,2.695575e-05,2.679775e-05,2.664301e-05,2.649147e-05,2.634309e-05,2.619780e-05,2.605556e-05,2.591631e-05,2.577999e-05
0.000000e+00,9.697516e-15,8.324100e-14,1.990135e-12,1.596024e-11,4.107649e-11,3.092386e-10,3.323591e-10,1.616065e-09,2.363909e-09,5.715511e-09,1.094398e-08,1.628370e-08,3.715599e-08,3.971542e-08,8.616929e-08,1.022853e-07,1.704854e-07,2.414580e-07,3.125540e-07,5.045624e-07,5.366669e-07,8.697299e-07,9.518183e-07,1.338678e-06,1.644442e-06,1.967690e-06,2.633855e-06,2.775773e-06,3.775101e-06,3.953154e-06,4.970228e-06,5.612819e-06,6.358112e-06,7.600707e-06,7.928777e-06,9.666404e-06,9.885211e-06,1.155065e-05,1.242019e-05,1.355799e-05,1.515030e-05,1.566302e-05,1.783956e-05,1.801600e-05,2.006170e-05,2.095768e-05,2.230447e-05,2.391886e-05,2.454453e-05,2.676054e-05,2.684841e-05,2.893347e-05,2.970191e-05,3.104675e-05,3.244244e-05,3.308634e-05,3.504073e-05,3.690079e-05,3.747492e-05,3.865973e-05,3.973014e-05,4.031286e-05,4.179771e-05,4.185738e-05,4.329225e-05,4.367439e-05,4.461788e-05,4.536148e-05,4.583596e-05,4.686395e-05,4.694924e-05,4.796131e-05,4.818960e-05,4.887641e-05,4.934828e-05,4.969931e-05,5.035119e-05,5.043505e-05,5.108892e-05,5.121034e-05,5.166628e-05,5.193803e-05,5.217245e-05,5.254646e-05,5.261268e-05,5.299206e-05,5.304744e-05,5.331547e-05,5.345220e-05,5.358755e-05,5.377121e-05,5.381268e-05,5.399495e-05,5.401413e-05,5.413818e-05,5.418975e-05,5.424590e-05,5.430603e-05,5.432136e-05,5.436754e-05,5.437005e-05,5.438717e-05,5.438816e-05,5.438274e-05,5.436593e-05,5.435651e-05,5.431053e-05,5.430830e-05,5.424666e-05,5.421962e-05,5.416659e-05,5.410368e-05,5.407185e-05,5.396381e-05,5.384371e-05,5.380292e-05,5.371269e-05,5.362358e-05,5.357177e-05,5.342802e-05,5.342187e-05,5.326383e-05,5.321822e-05,5.309841e-05,5.299592e-05,5.292633e-05,5.276265e-05,5.274819e-05,5.256460e-05,5.251978e-05,5.237607e-05,5.226851e-05,5.218308e-05,5.200992e-05,5.198608e-05,5.178548e-05,5.174496e-05,5.158165e-05,5.147450e-05,5.137494e-05,5.119930e-05,5.116566e-05,5.095412e-05,5.092008e-05,5.074059e-05,5.063747e-05,5.052533e-05,5.035203e-05,5.030857e-05,5.009054e-05,5.006430e-05,4.987144e-05,4.977475e-05,4.965147e-05,4.948382e-05,4.943080e-05,4.920961e-05,4.919189e-05,4.898804e-05,4.889934e-05,4.876624e-05,4.860649e-05,4.854436e-05,4.832252e-05,4.831365e-05,4.810083e-05,4.802109e-05,4.787942e-05,4.772907e-05,4.765839e-05,4.743784e-05,4.714759e-05,4.685852e-05,4.657083e-05,4.628466e-05,4.600017e-05,4.571751e-05,4.543678e-05,4.515811e-05,4.488159e-05,4.460733e-05,4.433541e-05,4.406589e-05,4.379886e-05,4.353437e-05,4.327247e-05,4.301322e-05,4.275665e-05,4.250280e-05,4.225170e-05,4.200338e-05,4.175786e-05,4.151516e-05,4.127529e-05,4.103826e-05
0.000000e+00,3.304296e-11,1.457030e-10,1.056205e-09,3.434721e-09,5.722209e-09,1.637019e-08,1.698353e-08,3.773499e-08,4.564729e-08,7.095838e-08,9.820483e-08,1.198687e-07,1.816759e-07,1.879027e-07,2.782691e-07,3.035381e-07,3.928937e-07,4.676586e-07,5.314733e-07,6.714947e-07,6.917819e-07,8.708604e-07,9.086722e-07,1.065864e-06,1.172716e-06,1.274286e-06,1.458083e-06,1.493883e-06,1.722576e-06,1.759877e-06,1.958379e-06,2.073527e-06,2.199385e-06,2.394701e-06,2.443762e-06,2.689780e-06,2.719334e-06,2.935827e-06,3.043714e-06,3.180435e-06,3.364559e-06,3.422288e-06,3.660233e-06,3.679069e-06,3.893280e-06,3.984937e-06,4.120601e-06,4.280339e-06,4.341516e-06,4.555486e-06,4.563894e-06,4.762101e-06,4.834623e-06,4.961069e-06,5.091898e-06,5.152198e-06,5.335375e-06,5.510554e-06,5.564924e-06,5.677758e-06,5.780617e-06,5.837061e-06,5.982653e-06,5.988565e-06,6.132413e-06,6.171342e-06,6.268780e-06,6.347088e-06,6.397855e-06,6.510338e-06,6.519841e-06,6.634966e-06,6.661600e-06,6.743463e-06,6.801418e-06,6.845581e-06,6.930359e-06,6.941560e-06,7.031621e-06,7.048943e-06,7.115995e-06,7.157702e-06,7.194921e-06,7.257168e-06,7.268616e-06,7.337297e-06,7.347835e-06,7.401181e-06,7.430203e-06,7.460479e-06,7.504753e-06,7.515395e-06,7.566123e-06,7.571938e-06,7.612853e-06,7.632195e-06,7.655769e-06,7.685944e-06,7.695049e-06,7.730864e-06,7.733585e-06,7.763380e-06,7.775498e-06,7.792756e-06,7.812048e-06,7.819144e-06,7.842691e-06,7.843576e-06,7.863539e-06,7.870409e-06,7.881822e-06,7.892858e-06,7.897672e-06,7.911213e-06,7.922564e-06,7.925753e-06,7.931840e-06,7.936738e-06,7.939150e-06,7.944417e-06,7.944600e-06,7.948290e-06,7.949020e-06,7.950315e-06,7.950770e-06,7.950768e-06,7.949873e-06,7.949737e-06,7.947306e-06,7.946524e-06,7.943555e-06,7.940907e-06,7.938561e-06,7.933196e-06,7.932396e-06,7.925132e-06,7.923553e-06,7.916833e-06,7.912131e-06,7.907565e-06,7.899075e-06,7.897388e-06,7.886360e-06,7.884520e-06,7.874535e-06,7.868592e-06,7.861967e-06,7.851412e-06,7.848706e-06,7.834800e-06,7.833090e-06,7.820293e-06,7.813732e-06,7.805230e-06,7.793436e-06,7.789652e-06,7.773597e-06,7.772294e-06,7.757104e-06,7.750392e-06,7.740208e-06,7.727812e-06,7.722943e-06,7.705340e-06,7.704629e-06,7.687430e-06,7.680913e-06,7.669242e-06,7.656730e-06,7.650804e-06,7.632142e-06,7.607207e-06,7.581978e-06,7.556505e-06,7.530835e-06,7.505011e-06,7.479073e-06,7.453059e-06,7.427004e-06,7.400940e-06,7.374897e-06,7.348902e-06,7.322981e-06,7.297157e-06,7.271453e-06,7.245889e-06,7.220482e-06,7.195250e-06,7.170207e-06,7.145369e-06,7.120748e-06,7.096354e-06,7.072200e-06,7.048295e-06,7.024646e-06
0.000000e+00,3.131443e-11,8.790891e-11,3.738125e-10,9.383363e-10,1.419936e-09,3.434749e-09,3.545081e-09,7.116159e-09,8.425283e-09,1.250279e-08,1.676405e-08,2.008563e-08,2.933681e-08,3.025458e-08,4.338255e-08,4.700877e-08,5.975922e-08,7.040230e-08,7.950364e-08,9.959985e-08,1.025293e-07,1.286042e-07,1.341601e-07,1.574418e-07,1.734334e-07,1.887554e-07,2.167732e-07,2.222734e-07,2.577362e-07,2.635737e-07,2.948904e-07,3.132517e-07,3.334860e-07,3.652344e-07,3.732763e-07,4.140189e-07,4.189607e-07,4.554790e-07,4.738904e-07,4.974320e-07,5.295152e-07,5.396663e-07,5.819859e-07,5.853697e-07,6.242116e-07,6.410387e-07,6.661813e-07,6.961593e-07,7.077507e-07,7.487936e-07,7.504228e-07,7.892009e-07,8.035734e-07,8.288792e-07,8.554037e-07,8.677505e-07,9.057506e-07,9.428274e-07,9.544901e-07,9.789402e-07,1.001532e-06,1.014058e-06,1.046814e-06,1.048159e-06,1.081227e-06,1.090300e-06,1.113255e-06,1.131971e-06,1.144240e-06,1.171826e-06,1.174183e-06,1.203091e-06,1.209876e-06,1.230974e-06,1.246144e-06,1.257843e-06,1.280661e-06,1.283713e-06,1.308601e-06,1.313462e-06,1.332524e-06,1.344589e-06,1.355501e-06,1.374086e-06,1.377553e-06,1.398700e-06,1.402001e-06,1.418963e-06,1.428382e-06,1.438365e-06,1.453281e-06,1.456927e-06,1.474671e-06,1.476747e-06,1.491620e-06,1.498831e-06,1.507796e-06,1.519585e-06,1.523220e-06,1.537914e-06,1.539059e-06,1.551901e-06,1.557302e-06,1.565200e-06,1.574362e-06,1.577834e-06,1.589822e-06,1.590288e-06,1.601185e-06,1.605127e-06,1.611944e-06,1.618924e-06,1.622117e-06,1.631723e-06,1.640782e-06,1.643569e-06,1.649312e-06,1.654502e-06,1.657331e-06,1.664563e-06,1.664855e-06,1.671903e-06,1.673793e-06,1.678490e-06,1.682228e-06,1.684634e-06,1.689907e-06,1.690349e-06,1.695651e-06,1.696864e-06,1.700556e-06,1.703134e-06,1.705077e-06,1.708750e-06,1.709229e-06,1.713026e-06,1.713744e-06,1.716481e-06,1.718146e-06,1.719606e-06,1.721987e-06,1.722416e-06,1.724921e-06,1.725295e-06,1.727134e-06,1.728096e-06,1.729067e-06,1.730418e-06,1.730730e-06,1.732134e-06,1.732286e-06,1.733290e-06,1.733723e-06,1.734209e-06,1.734754e-06,1.734899e-06,1.735371e-06,1.735400e-06,1.735634e-06,1.735682e-06,1.735696e-06,1.735622e-06,1.735567e-06,1.735255e-06,1.735238e-06,1.734767e-06,1.734551e-06,1.734113e-06,1.733576e-06,1.733299e-06,1.732332e-06,1.730836e-06,1.729102e-06,1.727146e-06,1.724982e-06,1.722624e-06,1.720085e-06,1.717377e-06,1.714512e-06,1.711502e-06,1.708357e-06,1.705088e-06,1.701704e-06,1.698214e-06,1.694629e-06,1.690955e-06,1.687201e-06,1.683375e-06,1.679484e-06,1.675534e-06,1.671533e-06,1.667486e-06,1.663399e-06,1.659278e-06,1.655127e-06
0.000000e+00,6.311921e-11,2.347779e-10,1.357018e-09,3.912330e-09,6.219133e-09,1.631207e-08,1.687537e-08,3.533574e-08,4.215845e-08,6.345309e-08,8.568874e-08,1.029740e-07,1.508416e-07,1.555683e-07,2.228254e-07,2.413148e-07,3.062016e-07,3.603980e-07,4.069031e-07,5.104728e-07,5.256925e-07,6.626275e-07,6.921317e-07,8.168085e-07,9.031869e-07,9.862752e-07,1.138376e-06,1.168183e-06,1.359218e-06,1.390406e-06,1.556069e-06,1.651727e-06,1.755742e-06,1.915787e-06,1.955693e-06,2.153834e-06,2.177406e-06,2.348474e-06,2.432644e-06,2.538249e-06,2.678546e-06,2.722071e-06,2.899075e-06,2.912920e-06,3.068591e-06,3.134183e-06,3.230114e-06,3.341253e-06,3.383282e-06,3.527862e-06,3.533465e-06,3.663731e-06,3.710503e-06,3.790859e-06,3.872338e-06,3.909300e-06,4.019174e-06,4.120660e-06,4.151399e-06,4.213980e-06,4.269539e-06,4.299396e-06,4.374224e-06,4.377193e-06,4.447681e-06,4.466152e-06,4.511182e-06,4.546065e-06,4.568024e-06,4.614726e-06,4.618543e-06,4.663071e-06,4.672903e-06,4.701940e-06,4.721355e-06,4.735473e-06,4.760821e-06,4.763988e-06,4.787794e-06,4.792016e-06,4.807187e-06,4.815624e-06,4.822455e-06,4.832293e-06,4.833872e-06,4.841700e-06,4.842637e-06,4.846192e-06,4.847233e-06,4.847585e-06,4.846621e-06,4.846106e-06,4.841970e-06,4.841305e-06,4.835380e-06,4.831753e-06,4.826529e-06,4.818402e-06,4.815598e-06,4.802758e-06,4.801653e-06,4.788170e-06,4.781879e-06,4.771985e-06,4.759424e-06,4.754346e-06,4.735387e-06,4.734603e-06,4.715232e-06,4.707706e-06,4.693999e-06,4.679001e-06,4.671797e-06,4.648731e-06,4.624895e-06,4.617120e-06,4.600380e-06,4.584373e-06,4.575269e-06,4.550674e-06,4.549640e-06,4.523566e-06,4.516195e-06,4.497115e-06,4.481089e-06,4.470349e-06,4.445497e-06,4.443327e-06,4.416103e-06,4.409544e-06,4.388727e-06,4.373347e-06,4.361245e-06,4.337009e-06,4.333701e-06,4.306135e-06,4.300622e-06,4.278582e-06,4.264271e-06,4.251077e-06,4.228032e-06,4.223650e-06,4.196330e-06,4.191970e-06,4.169143e-06,4.156148e-06,4.142113e-06,4.120616e-06,4.115261e-06,4.088607e-06,4.085423e-06,4.062170e-06,4.050610e-06,4.035964e-06,4.016212e-06,4.010005e-06,3.984307e-06,3.982262e-06,3.958880e-06,3.948787e-06,3.933734e-06,3.915810e-06,3.908881e-06,3.884326e-06,3.883350e-06,3.860078e-06,3.851425e-06,3.836142e-06,3.820047e-06,3.812524e-06,3.789228e-06,3.758976e-06,3.729298e-06,3.700197e-06,3.671676e-06,3.643737e-06,3.616378e-06,3.589598e-06,3.563394e-06,3.537763e-06,3.512698e-06,3.488195e-06,3.464247e-06,3.440848e-06,3.417990e-06,3.395664e-06,3.373863e-06,3.352579e-06,3.331801e-06,3.311522e-06,3.291731e-06,3.272420e-06,3.253578e-06,3.235197e-06,3.217266e-06
0.000000e+00,1.675961e-12,1.300408e-11,2.526048e-10,1.680260e-09,3.906149e-09,2.268184e-08,2.412385e-08,9.107446e-08,1.244587e-07,2.539638e-07,4.244848e-07,5.783728e-07,1.085833e-06,1.141646e-06,2.028427e-06,2.299156e-06,3.326770e-06,4.266310e-06,5.123864e-06,7.181756e-06,7.499740e-06,1.051838e-05,1.120316e-05,1.421825e-05,1.641496e-05,1.860616e-05,2.280643e-05,2.365736e-05,2.932116e-05,3.027983e-05,3.552945e-05,3.868033e-05,4.220510e-05,4.782864e-05,4.926858e-05,5.664216e-05,5.754430e-05,6.425255e-05,6.765848e-05,7.203208e-05,7.801959e-05,7.991929e-05,8.785906e-05,8.849500e-05,9.580253e-05,9.897119e-05,1.037070e-04,1.093530e-04,1.115354e-04,1.192565e-04,1.195627e-04,1.268437e-04,1.295380e-04,1.342753e-04,1.392308e-04,1.415337e-04,1.486048e-04,1.554780e-04,1.576342e-04,1.621452e-04,1.663014e-04,1.686007e-04,1.745956e-04,1.748411e-04,1.808643e-04,1.825118e-04,1.866698e-04,1.900489e-04,1.922584e-04,1.972095e-04,1.976315e-04,2.027917e-04,2.039987e-04,2.077418e-04,2.104235e-04,2.124855e-04,2.164923e-04,2.170267e-04,2.213696e-04,2.222147e-04,2.255187e-04,2.276011e-04,2.294786e-04,2.326624e-04,2.332543e-04,2.368506e-04,2.374097e-04,2.402725e-04,2.418545e-04,2.435250e-04,2.460083e-04,2.466130e-04,2.495417e-04,2.498826e-04,2.523158e-04,2.534888e-04,2.549405e-04,2.568382e-04,2.574205e-04,2.597606e-04,2.599419e-04,2.619655e-04,2.628107e-04,2.640400e-04,2.654554e-04,2.659885e-04,2.678156e-04,2.678863e-04,2.695257e-04,2.701134e-04,2.711229e-04,2.721467e-04,2.726116e-04,2.739957e-04,2.752793e-04,2.756695e-04,2.764663e-04,2.771771e-04,2.775605e-04,2.785270e-04,2.785655e-04,2.794850e-04,2.797276e-04,2.803224e-04,2.807869e-04,2.810811e-04,2.817125e-04,2.817644e-04,2.823755e-04,2.825118e-04,2.829176e-04,2.831920e-04,2.833934e-04,2.837599e-04,2.838061e-04,2.841584e-04,2.842219e-04,2.844531e-04,2.845844e-04,2.846927e-04,2.848533e-04,2.848798e-04,2.850170e-04,2.850344e-04,2.851065e-04,2.851332e-04,2.851507e-04,2.851549e-04,2.851518e-04,2.851119e-04,2.851045e-04,2.850332e-04,2.849868e-04,2.849176e-04,2.848063e-04,2.847671e-04,2.845834e-04,2.845673e-04,2.843685e-04,2.842741e-04,2.841239e-04,2.839305e-04,2.838515e-04,2.835527e-04,2.835402e-04,2.832291e-04,2.831069e-04,2.828823e-04,2.826338e-04,2.825135e-04,2.821242e-04,2.815811e-04,2.810075e-04,2.804059e-04,2.797791e-04,2.791294e-04,2.784592e-04,2.777706e-04,2.770657e-04,2.763465e-04,2.756147e-04,2.748722e-04,2.741204e-04,2.733611e-04,2.725955e-04,2.718250e-04,2.710509e-04,2.702744e-04,2.694966e-04,2.687185e-04,2.679410e-04,2.671651e-04,2.663917e-04,2.656214e-04,2.648549e-04
0.000000e+00,9.490007e-12,2.183404e-11,7.538677e-11,1.716218e-10,2.503017e-10,5.665023e-10,5.834677e-10,1.122664e-09,1.317082e-09,1.915993e-09,2.534442e-09,3.012731e-09,4.331878e-09,4.461857e-09,6.305889e-09,6.810459e-09,8.568577e-09,1.001704e-08,1.124197e-08,1.390271e-08,1.428563e-08,1.764103e-08,1.834410e-08,2.124749e-08,2.320355e-08,2.505008e-08,2.836052e-08,2.900078e-08,3.305730e-08,3.371357e-08,3.718170e-08,3.917534e-08,4.133971e-08,4.466933e-08,4.550026e-08,4.963551e-08,5.012884e-08,5.372079e-08,5.549683e-08,5.773462e-08,6.072597e-08,6.165871e-08,6.547781e-08,6.577841e-08,6.917961e-08,7.062524e-08,7.275443e-08,7.524546e-08,7.619491e-08,7.949588e-08,7.962497e-08,8.265405e-08,8.375565e-08,8.566768e-08,8.763417e-08,8.853643e-08,9.126106e-08,9.384328e-08,9.463990e-08,9.628553e-08,9.777649e-08,9.859084e-08,1.006784e-07,1.007627e-07,1.028051e-07,1.033542e-07,1.047219e-07,1.058136e-07,1.065176e-07,1.080663e-07,1.081964e-07,1.097627e-07,1.101224e-07,1.112211e-07,1.119923e-07,1.125759e-07,1.136859e-07,1.138315e-07,1.149921e-07,1.152131e-07,1.160619e-07,1.165837e-07,1.170450e-07,1.178067e-07,1.179454e-07,1.187670e-07,1.188914e-07,1.195134e-07,1.198461e-07,1.201884e-07,1.206792e-07,1.207953e-07,1.213376e-07,1.213985e-07,1.218185e-07,1.220114e-07,1.222410e-07,1.225250e-07,1.226083e-07,1.229231e-07,1.229461e-07,1.231882e-07,1.232809e-07,1.234062e-07,1.235355e-07,1.235798e-07,1.237112e-07,1.237156e-07,1.238028e-07,1.238264e-07,1.238568e-07,1.238731e-07,1.238753e-07,1.238604e-07,1.238140e-07,1.237928e-07,1.237379e-07,1.236745e-07,1.236340e-07,1.235094e-07,1.235037e-07,1.233489e-07,1.233013e-07,1.231709e-07,1.230536e-07,1.229713e-07,1.227697e-07,1.227514e-07,1.225125e-07,1.224525e-07,1.222560e-07,1.221051e-07,1.219830e-07,1.217300e-07,1.216946e-07,1.213919e-07,1.213298e-07,1.210760e-07,1.209069e-07,1.207479e-07,1.204634e-07,1.204084e-07,1.200584e-07,1.200015e-07,1.196988e-07,1.195230e-07,1.193304e-07,1.190298e-07,1.189539e-07,1.185701e-07,1.185236e-07,1.181796e-07,1.180059e-07,1.177831e-07,1.174781e-07,1.173812e-07,1.169745e-07,1.169417e-07,1.165634e-07,1.163979e-07,1.161486e-07,1.158479e-07,1.157306e-07,1.153097e-07,1.152928e-07,1.148864e-07,1.147336e-07,1.144612e-07,1.141712e-07,1.140345e-07,1.136065e-07,1.130403e-07,1.124735e-07,1.119066e-07,1.113403e-07,1.107752e-07,1.102118e-07,1.096507e-07,1.090923e-07,1.085370e-07,1.079853e-07,1.074374e-07,1.068936e-07,1.063543e-07,1.058198e-07,1.052902e-07,1.047658e-07,1.042468e-07,1.037334e-07,1.032256e-07,1.027236e-07,1.022276e-07,1.017377e-07,1.012538e-07,1.007762e-07
0.000000e+00,1.332870e-13,1.080576e-12,2.294374e-11,1.651254e-10,4.004630e-10,2.586453e-09,2.762594e-09,1.154861e-08,1.621752e-08,3.541651e-08,6.251751e-08,8.826770e-08,1.794889e-07,1.900070e-07,3.669921e-07,4.241394e-07,6.512703e-07,8.701916e-07,1.077132e-06,1.593304e-06,1.674891e-06,2.464263e-06,2.645851e-06,3.450338e-06,4.038142e-06,4.623445e-06,5.737948e-06,5.962135e-06,7.437582e-06,7.684225e-06,9.017892e-06,9.804314e-06,1.067138e-05,1.202698e-05,1.236863e-05,1.408350e-05,1.428936e-05,1.579337e-05,1.653907e-05,1.747903e-05,1.873387e-05,1.912428e-05,2.071566e-05,2.084029e-05,2.224208e-05,2.283240e-05,2.369463e-05,2.469074e-05,2.506634e-05,2.635209e-05,2.640168e-05,2.754841e-05,2.795677e-05,2.865338e-05,2.935228e-05,2.966651e-05,3.058856e-05,3.142134e-05,3.166941e-05,3.216760e-05,3.260138e-05,3.283081e-05,3.339308e-05,3.341499e-05,3.392456e-05,3.405451e-05,3.436421e-05,3.459644e-05,3.473875e-05,3.502997e-05,3.505300e-05,3.531173e-05,3.536609e-05,3.551959e-05,3.561543e-05,3.568102e-05,3.578806e-05,3.580028e-05,3.588138e-05,3.589335e-05,3.592804e-05,3.593985e-05,3.594373e-05,3.593533e-05,3.593165e-05,3.589474e-05,3.588671e-05,3.583567e-05,3.580017e-05,3.575689e-05,3.568116e-05,3.566060e-05,3.554882e-05,3.553446e-05,3.542337e-05,3.536427e-05,3.528588e-05,3.517425e-05,3.513783e-05,3.498054e-05,3.496760e-05,3.481522e-05,3.474708e-05,3.464292e-05,3.451510e-05,3.446463e-05,3.428119e-05,3.427376e-05,3.409341e-05,3.402488e-05,3.390197e-05,3.377002e-05,3.370749e-05,3.351055e-05,3.331165e-05,3.324767e-05,3.311125e-05,3.298239e-05,3.290974e-05,3.271561e-05,3.270751e-05,3.250487e-05,3.244810e-05,3.230214e-05,3.218056e-05,3.209956e-05,3.191355e-05,3.189740e-05,3.169585e-05,3.164760e-05,3.149512e-05,3.138313e-05,3.129538e-05,3.112055e-05,3.109678e-05,3.089947e-05,3.086017e-05,3.070356e-05,3.060229e-05,3.050918e-05,3.034715e-05,3.031642e-05,3.012537e-05,3.009497e-05,2.993612e-05,2.984593e-05,2.974872e-05,2.960019e-05,2.956325e-05,2.937975e-05,2.935786e-05,2.919827e-05,2.911906e-05,2.901884e-05,2.888388e-05,2.884152e-05,2.866631e-05,2.865239e-05,2.849326e-05,2.842464e-05,2.832237e-05,2.820067e-05,2.815366e-05,2.798714e-05,2.798053e-05,2.782283e-05,2.776422e-05,2.766073e-05,2.755176e-05,2.750083e-05,2.734314e-05,2.713838e-05,2.693744e-05,2.674031e-05,2.654697e-05,2.635740e-05,2.617154e-05,2.598938e-05,2.581087e-05,2.563597e-05,2.546463e-05,2.529680e-05,2.513244e-05,2.497150e-05,2.481392e-05,2.465965e-05,2.450864e-05,2.436084e-05,2.421618e-05,2.407461e-05,2.393608e-05,2.380053e-05,2.366791e-05,2.353815e-05,2.341122e-05
0.000000e+00,1.261422e-12,8.794634e-12,1.380535e-10,7.647044e-10,1.615566e-09,7.451189e-09,7.855151e-09,2.422080e-08,3.146786e-08,5.703836e-08,8.740937e-08,1.130331e-07,1.911290e-07,1.993239e-07,3.235341e-07,3.598551e-07,4.933244e-07,6.106911e-07,7.146696e-07,9.535308e-07,9.891905e-07,1.312447e-06,1.382164e-06,1.674853e-06,1.874826e-06,2.064483e-06,2.404324e-06,2.469807e-06,2.881177e-06,2.947028e-06,3.291107e-06,3.485651e-06,3.693968e-06,4.008280e-06,4.085518e-06,4.462511e-06,4.506646e-06,4.822438e-06,4.974885e-06,5.163374e-06,5.408890e-06,5.483894e-06,5.783025e-06,5.806012e-06,6.060205e-06,6.164877e-06,6.315243e-06,6.485227e-06,6.548279e-06,6.759738e-06,6.767756e-06,6.950278e-06,7.013911e-06,7.120749e-06,7.225706e-06,7.272140e-06,7.405536e-06,7.522086e-06,7.556016e-06,7.622965e-06,7.679848e-06,7.709350e-06,7.779715e-06,7.782395e-06,7.843221e-06,7.858209e-06,7.892895e-06,7.917770e-06,7.932430e-06,7.960664e-06,7.962775e-06,7.984813e-06,7.988958e-06,7.999362e-06,8.004520e-06,8.007172e-06,8.009022e-06,8.008935e-06,8.005278e-06,8.003948e-06,7.996775e-06,7.990612e-06,7.983945e-06,7.970172e-06,7.967262e-06,7.947152e-06,7.943643e-06,7.923999e-06,7.911908e-06,7.898151e-06,7.875744e-06,7.869921e-06,7.839593e-06,7.835825e-06,7.807420e-06,7.792739e-06,7.773631e-06,7.746999e-06,7.738433e-06,7.702012e-06,7.699050e-06,7.664535e-06,7.649283e-06,7.626155e-06,7.598038e-06,7.587006e-06,7.547212e-06,7.545609e-06,7.506884e-06,7.492255e-06,7.466122e-06,7.438202e-06,7.425016e-06,7.383648e-06,7.342092e-06,7.328766e-06,7.300414e-06,7.273705e-06,7.258675e-06,7.218597e-06,7.216928e-06,7.175224e-06,7.163561e-06,7.133608e-06,7.108697e-06,7.092120e-06,7.054095e-06,7.050795e-06,7.009668e-06,6.999830e-06,6.968767e-06,6.945971e-06,6.928119e-06,6.892577e-06,6.887748e-06,6.847677e-06,6.839701e-06,6.807925e-06,6.787386e-06,6.768510e-06,6.735672e-06,6.729446e-06,6.690749e-06,6.684593e-06,6.652431e-06,6.634175e-06,6.614501e-06,6.584444e-06,6.576970e-06,6.539845e-06,6.535418e-06,6.503134e-06,6.487114e-06,6.466844e-06,6.439547e-06,6.430979e-06,6.395543e-06,6.392727e-06,6.360541e-06,6.346663e-06,6.325976e-06,6.301360e-06,6.291849e-06,6.258161e-06,6.256823e-06,6.224915e-06,6.213054e-06,6.192109e-06,6.170054e-06,6.159745e-06,6.127822e-06,6.086355e-06,6.045652e-06,6.005708e-06,5.966517e-06,5.928074e-06,5.890372e-06,5.853404e-06,5.817162e-06,5.781638e-06,5.746822e-06,5.712706e-06,5.679280e-06,5.646535e-06,5.614460e-06,5.583045e-06,5.552280e-06,5.522154e-06,5.492658e-06,5.463779e-06,5.435509e-06,5.407834e-06,5.380747e-06,5.354234e-06,5.328286e-06
0.000000e+00,2.681536e-14,2.212534e-13,4.870598e-12,3.619329e-11,8.928446e-11,6.011161e-10,6.430785e-10,2.786650e-09,3.947009e-09,8.783551e-09,1.569041e-08,2.228488e-08,4.565726e-08,4.834541e-08,9.324476e-08,1.076095e-07,1.641879e-07,2.181779e-07,2.689510e-07,3.954477e-07,4.155005e-07,6.115657e-07,6.573546e-07,8.641249e-07,1.019720e-06,1.178801e-06,1.493872e-06,1.559242e-06,2.006635e-06,2.084369e-06,2.519473e-06,2.787763e-06,3.093636e-06,3.592899e-06,3.722749e-06,4.398713e-06,4.482548e-06,5.112318e-06,5.435726e-06,5.853827e-06,6.430014e-06,6.613471e-06,7.381856e-06,7.443438e-06,8.150248e-06,8.455809e-06,8.910762e-06,9.449529e-06,9.656476e-06,1.038148e-05,1.040997e-05,1.108087e-05,1.132559e-05,1.175072e-05,1.218777e-05,1.238803e-05,1.299065e-05,1.355720e-05,1.373075e-05,1.408697e-05,1.440665e-05,1.457985e-05,1.501865e-05,1.503621e-05,1.545685e-05,1.556837e-05,1.584288e-05,1.605845e-05,1.619568e-05,1.649224e-05,1.651681e-05,1.680795e-05,1.687356e-05,1.707087e-05,1.720645e-05,1.730737e-05,1.749506e-05,1.751924e-05,1.770825e-05,1.774346e-05,1.787610e-05,1.795557e-05,1.802444e-05,1.813511e-05,1.815483e-05,1.826873e-05,1.828552e-05,1.836754e-05,1.840999e-05,1.845254e-05,1.851139e-05,1.852490e-05,1.858575e-05,1.859232e-05,1.863608e-05,1.865514e-05,1.867684e-05,1.870193e-05,1.870887e-05,1.873294e-05,1.873455e-05,1.874977e-05,1.875462e-05,1.876000e-05,1.876361e-05,1.876422e-05,1.876295e-05,1.876279e-05,1.875668e-05,1.875329e-05,1.874586e-05,1.873610e-05,1.873088e-05,1.871211e-05,1.868988e-05,1.868209e-05,1.866450e-05,1.864673e-05,1.863624e-05,1.860664e-05,1.860536e-05,1.857208e-05,1.856237e-05,1.853663e-05,1.851439e-05,1.849918e-05,1.846313e-05,1.845993e-05,1.841904e-05,1.840900e-05,1.837665e-05,1.835232e-05,1.833291e-05,1.829341e-05,1.828795e-05,1.824188e-05,1.823255e-05,1.819483e-05,1.817000e-05,1.814688e-05,1.810598e-05,1.809813e-05,1.804868e-05,1.804071e-05,1.799860e-05,1.797436e-05,1.794797e-05,1.790712e-05,1.789686e-05,1.784534e-05,1.783913e-05,1.779347e-05,1.777055e-05,1.774130e-05,1.770149e-05,1.768889e-05,1.763630e-05,1.763208e-05,1.758356e-05,1.756244e-05,1.753072e-05,1.749264e-05,1.747783e-05,1.742492e-05,1.742280e-05,1.737202e-05,1.735298e-05,1.731917e-05,1.728328e-05,1.726640e-05,1.721375e-05,1.714446e-05,1.707546e-05,1.700683e-05,1.693859e-05,1.687079e-05,1.680349e-05,1.673670e-05,1.667047e-05,1.660483e-05,1.653980e-05,1.647541e-05,1.641168e-05,1.634863e-05,1.628627e-05,1.622463e-05,1.616372e-05,1.610354e-05,1.604411e-05,1.598544e-05,1.592753e-05,1.587039e-05,1.581403e-05,1.575844e-05,1.570364e-05
0.000000e+00,2.435657e-15,2.130417e-14,5.298544e-13,4.405467e-12,1.156404e-11,9.153489e-11,9.857590e-11,5.026546e-10,7.444102e-10,1.854142e-09,3.630538e-09,5.476125e-09,1.284474e-08,1.375916e-08,3.057979e-08,3.648407e-08,6.172065e-08,8.831175e-08,1.152218e-07,1.890703e-07,2.015724e-07,3.336693e-07,3.668668e-07,5.265165e-07,6.562663e-07,7.966970e-07,1.096184e-06,1.161682e-06,1.639052e-06,1.727007e-06,2.245712e-06,2.587450e-06,2.997143e-06,3.711621e-06,3.906760e-06,4.985376e-06,5.126571e-06,6.240806e-06,6.850505e-06,7.677606e-06,8.891721e-06,9.296948e-06,1.109661e-05,1.124824e-05,1.307111e-05,1.390803e-05,1.521186e-05,1.684988e-05,1.750753e-05,1.994433e-05,2.004452e-05,2.250648e-05,2.345622e-05,2.517655e-05,2.704440e-05,2.793597e-05,3.076545e-05,3.364537e-05,3.457439e-05,3.655619e-05,3.842650e-05,3.947884e-05,4.227866e-05,4.239496e-05,4.528724e-05,4.609058e-05,4.813958e-05,4.982565e-05,5.093731e-05,5.345164e-05,5.366726e-05,5.631785e-05,5.694104e-05,5.887914e-05,6.027128e-05,6.134280e-05,6.342468e-05,6.370210e-05,6.595182e-05,6.638826e-05,6.808818e-05,6.915341e-05,7.010870e-05,7.171550e-05,7.201217e-05,7.379844e-05,7.407341e-05,7.546835e-05,7.622905e-05,7.702359e-05,7.818682e-05,7.846657e-05,7.980032e-05,7.995319e-05,8.102835e-05,8.153620e-05,8.215460e-05,8.294505e-05,8.318327e-05,8.411880e-05,8.418976e-05,8.496578e-05,8.528082e-05,8.572886e-05,8.622894e-05,8.641269e-05,8.702192e-05,8.704481e-05,8.756110e-05,8.773892e-05,8.803467e-05,8.832142e-05,8.844693e-05,8.880204e-05,8.910397e-05,8.918998e-05,8.935651e-05,8.949389e-05,8.956327e-05,8.972185e-05,8.972765e-05,8.985288e-05,8.988134e-05,8.994197e-05,8.997925e-05,8.999774e-05,9.002190e-05,9.002284e-05,9.001973e-05,9.001505e-05,8.999072e-05,8.996397e-05,8.993794e-05,8.987341e-05,8.986337e-05,8.976885e-05,8.974770e-05,8.965607e-05,8.959074e-05,8.952662e-05,8.940605e-05,8.938193e-05,8.922336e-05,8.919678e-05,8.905214e-05,8.896580e-05,8.886941e-05,8.871567e-05,8.867624e-05,8.847360e-05,8.844869e-05,8.826239e-05,8.816696e-05,8.804344e-05,8.787233e-05,8.781752e-05,8.758534e-05,8.756652e-05,8.734756e-05,8.725101e-05,8.710477e-05,8.692719e-05,8.685755e-05,8.660639e-05,8.659627e-05,8.635179e-05,8.625938e-05,8.609418e-05,8.591749e-05,8.583397e-05,8.557154e-05,8.522232e-05,8.487059e-05,8.451701e-05,8.416221e-05,8.380673e-05,8.345107e-05,8.309569e-05,8.274101e-05,8.238739e-05,8.203518e-05,8.168468e-05,8.133619e-05,8.098995e-05,8.064619e-05,8.030513e-05,7.996694e-05,7.963180e-05,7.929986e-05,7.897125e-05,7.864610e-05,7.832452e-05,7.800659e-05,7.769240e-05,7.738203e-05
0.000000e+00,8.301661e-13,6.136176e-12,1.081311e-10,6.608895e-10,1.469281e-09,7.649870e-09,8.101792e-09,2.771764e-08,3.693884e-08,7.099069e-08,1.134133e-07,1.502754e-07,2.662068e-07,2.785843e-07,4.689467e-07,5.252734e-07,7.337991e-07,9.187837e-07,1.083916e-06,1.468605e-06,1.526786e-06,2.065160e-06,2.184172e-06,2.696700e-06,3.059878e-06,3.414876e-06,4.078382e-06,4.210446e-06,5.072798e-06,5.216233e-06,5.990855e-06,6.448058e-06,6.953577e-06,7.748684e-06,7.950227e-06,8.970528e-06,9.094086e-06,1.000479e-05,1.046196e-05,1.104405e-05,1.183217e-05,1.208013e-05,1.310577e-05,1.318717e-05,1.411462e-05,1.451222e-05,1.510130e-05,1.579545e-05,1.606135e-05,1.699117e-05,1.702769e-05,1.788796e-05,1.820230e-05,1.874965e-05,1.931480e-05,1.957481e-05,2.036256e-05,2.111249e-05,2.134446e-05,2.182456e-05,2.226054e-05,2.249907e-05,2.311178e-05,2.313658e-05,2.373785e-05,2.389983e-05,2.430378e-05,2.462681e-05,2.483542e-05,2.529520e-05,2.533388e-05,2.580034e-05,2.590767e-05,2.623602e-05,2.646701e-05,2.664214e-05,2.697606e-05,2.701994e-05,2.737065e-05,2.743765e-05,2.769548e-05,2.785456e-05,2.799561e-05,2.822949e-05,2.827221e-05,2.852640e-05,2.856507e-05,2.875928e-05,2.886380e-05,2.897190e-05,2.912810e-05,2.916528e-05,2.934041e-05,2.936024e-05,2.949822e-05,2.956241e-05,2.963963e-05,2.973666e-05,2.976549e-05,2.987665e-05,2.988493e-05,2.997389e-05,3.000906e-05,3.005798e-05,3.011079e-05,3.012964e-05,3.018956e-05,3.019173e-05,3.023842e-05,3.025341e-05,3.027682e-05,3.029728e-05,3.030539e-05,3.032469e-05,3.033526e-05,3.033689e-05,3.033763e-05,3.033506e-05,3.033228e-05,3.032033e-05,3.031969e-05,3.030030e-05,3.029372e-05,3.027455e-05,3.025620e-05,3.024282e-05,3.020869e-05,3.020551e-05,3.016297e-05,3.015202e-05,3.011555e-05,3.008700e-05,3.006359e-05,3.001435e-05,3.000739e-05,2.994724e-05,2.993477e-05,2.988343e-05,2.984889e-05,2.981623e-05,2.975733e-05,2.974587e-05,2.967261e-05,2.966064e-05,2.959667e-05,2.955933e-05,2.951826e-05,2.945388e-05,2.943758e-05,2.935482e-05,2.934476e-05,2.927018e-05,2.923238e-05,2.918381e-05,2.911713e-05,2.909589e-05,2.900656e-05,2.899936e-05,2.891598e-05,2.887942e-05,2.882427e-05,2.875762e-05,2.873157e-05,2.863799e-05,2.863424e-05,2.854367e-05,2.850955e-05,2.844870e-05,2.838380e-05,2.835319e-05,2.825723e-05,2.813003e-05,2.800242e-05,2.787457e-05,2.774664e-05,2.761880e-05,2.749117e-05,2.736391e-05,2.723711e-05,2.711090e-05,2.698537e-05,2.686061e-05,2.673671e-05,2.661375e-05,2.649179e-05,2.637089e-05,2.625111e-05,2.613251e-05,2.601513e-05,2.589900e-05,2.578417e-05,2.567066e-05,2.555850e-05,2.544772e-05,2.533834e-05
0.000000e+00,3.256862e-11,1.112779e-10,5.785761e-10,1.576627e-09,2.449148e-09,6.134055e-09,6.335666e-09,1.280247e-08,1.514057e-08,2.231069e-08,2.963512e-08,3.523639e-08,5.040629e-08,5.188045e-08,7.246685e-08,7.801094e-08,9.712380e-08,1.127137e-07,1.258423e-07,1.543149e-07,1.584142e-07,1.943794e-07,2.019211e-07,2.330335e-07,2.539158e-07,2.735255e-07,3.083257e-07,3.149926e-07,3.566601e-07,3.633004e-07,3.978814e-07,4.173522e-07,4.381370e-07,4.693671e-07,4.770165e-07,5.142024e-07,5.185389e-07,5.494556e-07,5.643082e-07,5.826040e-07,6.063175e-07,6.135343e-07,6.421838e-07,6.443764e-07,6.685338e-07,6.784330e-07,6.926027e-07,7.085462e-07,7.144393e-07,7.341171e-07,7.348605e-07,7.517286e-07,7.575830e-07,7.673799e-07,7.769615e-07,7.811859e-07,7.932664e-07,8.037444e-07,8.067790e-07,8.127425e-07,8.177800e-07,8.203802e-07,8.265401e-07,8.267734e-07,8.320328e-07,8.333168e-07,8.362634e-07,8.383491e-07,8.395634e-07,8.418566e-07,8.420246e-07,8.437321e-07,8.440386e-07,8.447644e-07,8.450746e-07,8.451935e-07,8.451248e-07,8.450856e-07,8.445005e-07,8.443311e-07,8.434927e-07,8.428182e-07,8.421116e-07,8.406958e-07,8.404019e-07,8.384039e-07,8.380599e-07,8.361540e-07,8.349944e-07,8.336852e-07,8.315723e-07,8.310268e-07,8.282053e-07,8.278569e-07,8.252443e-07,8.239029e-07,8.221652e-07,8.197578e-07,8.189869e-07,8.157266e-07,8.154627e-07,8.123996e-07,8.110532e-07,8.090195e-07,8.065598e-07,8.055984e-07,8.021474e-07,8.020088e-07,7.986760e-07,7.974231e-07,7.951931e-07,7.928221e-07,7.917064e-07,7.882227e-07,7.847482e-07,7.836392e-07,7.812883e-07,7.790838e-07,7.778478e-07,7.745672e-07,7.744311e-07,7.710418e-07,7.700982e-07,7.676835e-07,7.656845e-07,7.643589e-07,7.613323e-07,7.610706e-07,7.578209e-07,7.570470e-07,7.546118e-07,7.528330e-07,7.514448e-07,7.486939e-07,7.483215e-07,7.452429e-07,7.446327e-07,7.422102e-07,7.406517e-07,7.392242e-07,7.367526e-07,7.362856e-07,7.333949e-07,7.329368e-07,7.305525e-07,7.292054e-07,7.277587e-07,7.255587e-07,7.250136e-07,7.223174e-07,7.219972e-07,7.196701e-07,7.185207e-07,7.170715e-07,7.151291e-07,7.145215e-07,7.120199e-07,7.118219e-07,7.095665e-07,7.085985e-07,7.071608e-07,7.054581e-07,7.048026e-07,7.024914e-07,7.023999e-07,7.002267e-07,6.994228e-07,6.980082e-07,6.965257e-07,6.958352e-07,6.937073e-07,6.909665e-07,6.883019e-07,6.857120e-07,6.831955e-07,6.807508e-07,6.783766e-07,6.760713e-07,6.738334e-07,6.716614e-07,6.695538e-07,6.675091e-07,6.655256e-07,6.636020e-07,6.617368e-07,6.599284e-07,6.581754e-07,6.564764e-07,6.548299e-07,6.532345e-07,6.516888e-07,6.501916e-07,6.487413e-07,6.473368e-07,6.459767e-07
0.000000e+00,4.925138e-11,1.983973e-10,1.267610e-09,3.841952e-09,6.223694e-09,1.690181e-08,1.750574e-08,3.760685e-08,4.516408e-08,6.912830e-08,9.470403e-08,1.149404e-07,1.723948e-07,1.781674e-07,2.617343e-07,2.850395e-07,3.671822e-07,4.354542e-07,4.932611e-07,6.181329e-07,6.359696e-07,7.903327e-07,8.222011e-07,9.519880e-07,1.037792e-06,1.117616e-06,1.257978e-06,1.284732e-06,1.451406e-06,1.477924e-06,1.616067e-06,1.693996e-06,1.777403e-06,1.903332e-06,1.934313e-06,2.085889e-06,2.103682e-06,2.231395e-06,2.293343e-06,2.370268e-06,2.471123e-06,2.502106e-06,2.626646e-06,2.636289e-06,2.743757e-06,2.788513e-06,2.853418e-06,2.927799e-06,2.955702e-06,3.050756e-06,3.054411e-06,3.138790e-06,3.168811e-06,3.220056e-06,3.271597e-06,3.294841e-06,3.363454e-06,3.426213e-06,3.445114e-06,3.483449e-06,3.517333e-06,3.535490e-06,3.580863e-06,3.582660e-06,3.625271e-06,3.636427e-06,3.663628e-06,3.684722e-06,3.698021e-06,3.726400e-06,3.728727e-06,3.756006e-06,3.762071e-06,3.780106e-06,3.792301e-06,3.801260e-06,3.817611e-06,3.819685e-06,3.835585e-06,3.838479e-06,3.849149e-06,3.855339e-06,3.860555e-06,3.868590e-06,3.869968e-06,3.877542e-06,3.878593e-06,3.883419e-06,3.885676e-06,3.887731e-06,3.890138e-06,3.890602e-06,3.892145e-06,3.892247e-06,3.892467e-06,3.892247e-06,3.891666e-06,3.890361e-06,3.889831e-06,3.887049e-06,3.886788e-06,3.883397e-06,3.881709e-06,3.878948e-06,3.875288e-06,3.873768e-06,3.867920e-06,3.867673e-06,3.861463e-06,3.858999e-06,3.854449e-06,3.849387e-06,3.846929e-06,3.838948e-06,3.830549e-06,3.827780e-06,3.821772e-06,3.815974e-06,3.812655e-06,3.803612e-06,3.803230e-06,3.793530e-06,3.790769e-06,3.783585e-06,3.777512e-06,3.773422e-06,3.763901e-06,3.763066e-06,3.752540e-06,3.749992e-06,3.741868e-06,3.735834e-06,3.731068e-06,3.721475e-06,3.720161e-06,3.709163e-06,3.706954e-06,3.698090e-06,3.692309e-06,3.686959e-06,3.677573e-06,3.675783e-06,3.664575e-06,3.662779e-06,3.653346e-06,3.647953e-06,3.642110e-06,3.633121e-06,3.630874e-06,3.619651e-06,3.618305e-06,3.608447e-06,3.603526e-06,3.597272e-06,3.588803e-06,3.586133e-06,3.575037e-06,3.574151e-06,3.563991e-06,3.559588e-06,3.553001e-06,3.545125e-06,3.542072e-06,3.531209e-06,3.530776e-06,3.520418e-06,3.516551e-06,3.509702e-06,3.502460e-06,3.499065e-06,3.488511e-06,3.474713e-06,3.461073e-06,3.447595e-06,3.434286e-06,3.421150e-06,3.408191e-06,3.395412e-06,3.382816e-06,3.370406e-06,3.358183e-06,3.346149e-06,3.334304e-06,3.322650e-06,3.311187e-06,3.299916e-06,3.288835e-06,3.277945e-06,3.267245e-06,3.256734e-06,3.246412e-06,3.236276e-06,3.226327e-06,3.216561e-06,3.206979e-06
0.000000e+00,1.229043e-13,9.660242e-13,1.925209e-11,1.308946e-10,3.077802e-10,1.836506e-09,1.955292e-09,7.557813e-09,1.038842e-08,2.148581e-08,3.626334e-08,4.969654e-08,9.436839e-08,9.930586e-08,1.781365e-07,2.023070e-07,2.943365e-07,3.787740e-07,4.560373e-07,6.421088e-07,6.709404e-07,9.457064e-07,1.008307e-06,1.285090e-06,1.487859e-06,1.690932e-06,2.081936e-06,2.161345e-06,2.690460e-06,2.779982e-06,3.268927e-06,3.560731e-06,3.885015e-06,4.396404e-06,4.525971e-06,5.179273e-06,5.257942e-06,5.833533e-06,6.119137e-06,6.479015e-06,6.958780e-06,7.107816e-06,7.713820e-06,7.761170e-06,8.292520e-06,8.515615e-06,8.840791e-06,9.215552e-06,9.356649e-06,9.839037e-06,9.857630e-06,1.028764e-05,1.044090e-05,1.070272e-05,1.096617e-05,1.108498e-05,1.143548e-05,1.175550e-05,1.185171e-05,1.204652e-05,1.221826e-05,1.231008e-05,1.253881e-05,1.254784e-05,1.276144e-05,1.281714e-05,1.295251e-05,1.305701e-05,1.312267e-05,1.326206e-05,1.327345e-05,1.340635e-05,1.343574e-05,1.352277e-05,1.358126e-05,1.362403e-05,1.370161e-05,1.371140e-05,1.378602e-05,1.379951e-05,1.384898e-05,1.387745e-05,1.390129e-05,1.393767e-05,1.394387e-05,1.397758e-05,1.398221e-05,1.400321e-05,1.401286e-05,1.402149e-05,1.403126e-05,1.403307e-05,1.403858e-05,1.403886e-05,1.403857e-05,1.403695e-05,1.403355e-05,1.402669e-05,1.402401e-05,1.401035e-05,1.400910e-05,1.399299e-05,1.398509e-05,1.397229e-05,1.395549e-05,1.394856e-05,1.392212e-05,1.392101e-05,1.389324e-05,1.388230e-05,1.386218e-05,1.383993e-05,1.382916e-05,1.379441e-05,1.375811e-05,1.374619e-05,1.372044e-05,1.369569e-05,1.368156e-05,1.364325e-05,1.364164e-05,1.360079e-05,1.358921e-05,1.355916e-05,1.353385e-05,1.351685e-05,1.347742e-05,1.347397e-05,1.343062e-05,1.342015e-05,1.338688e-05,1.336225e-05,1.334284e-05,1.330389e-05,1.329857e-05,1.325414e-05,1.324524e-05,1.320962e-05,1.318645e-05,1.316505e-05,1.312763e-05,1.312050e-05,1.307602e-05,1.306891e-05,1.303163e-05,1.301038e-05,1.298740e-05,1.295214e-05,1.294334e-05,1.289951e-05,1.289426e-05,1.285592e-05,1.283682e-05,1.281260e-05,1.277988e-05,1.276959e-05,1.272690e-05,1.272350e-05,1.268455e-05,1.266772e-05,1.264257e-05,1.261258e-05,1.260097e-05,1.255977e-05,1.255813e-05,1.251897e-05,1.250438e-05,1.247859e-05,1.245139e-05,1.243865e-05,1.239915e-05,1.234770e-05,1.229706e-05,1.224723e-05,1.219822e-05,1.215005e-05,1.210273e-05,1.205625e-05,1.201061e-05,1.196583e-05,1.192189e-05,1.187880e-05,1.183655e-05,1.179514e-05,1.175457e-05,1.171482e-05,1.167588e-05,1.163777e-05,1.160045e-05,1.156393e-05,1.152820e-05,1.149324e-05,1.145904e-05,1.142561e-05,1.139291e-05
0.000000e+00,1.442051e-11,3.477465e-11,1.260133e-10,2.932146e-10,4.310923e-10,9.899348e-10,1.020065e-09,1.983128e-09,2.332648e-09,3.415833e-09,4.543005e-09,5.419057e-09,7.840746e-09,8.078866e-09,1.142394e-08,1.232528e-08,1.541514e-08,1.790821e-08,1.998781e-08,2.444609e-08,2.508351e-08,3.065314e-08,3.181995e-08,3.665141e-08,3.992476e-08,4.303238e-08,4.865262e-08,4.974737e-08,5.674464e-08,5.788681e-08,6.397002e-08,6.750295e-08,7.136803e-08,7.737345e-08,7.888325e-08,8.646167e-08,8.737285e-08,9.405186e-08,9.738281e-08,1.016060e-07,1.072961e-07,1.090806e-07,1.164369e-07,1.170192e-07,1.236412e-07,1.264739e-07,1.306651e-07,1.355972e-07,1.374851e-07,1.440823e-07,1.443413e-07,1.504424e-07,1.526719e-07,1.565550e-07,1.605667e-07,1.624134e-07,1.680138e-07,1.733553e-07,1.750101e-07,1.784392e-07,1.815591e-07,1.832686e-07,1.876698e-07,1.878483e-07,1.921842e-07,1.933555e-07,1.962833e-07,1.986322e-07,2.001532e-07,2.035179e-07,2.038019e-07,2.072379e-07,2.080319e-07,2.104700e-07,2.121941e-07,2.135067e-07,2.160245e-07,2.163569e-07,2.190291e-07,2.195430e-07,2.215318e-07,2.227689e-07,2.238731e-07,2.257210e-07,2.260610e-07,2.281033e-07,2.284171e-07,2.300074e-07,2.308744e-07,2.317804e-07,2.331089e-07,2.334290e-07,2.349599e-07,2.351360e-07,2.363792e-07,2.369699e-07,2.376929e-07,2.386241e-07,2.389066e-07,2.400256e-07,2.401111e-07,2.410550e-07,2.414427e-07,2.419996e-07,2.426298e-07,2.428640e-07,2.436525e-07,2.436825e-07,2.443692e-07,2.446104e-07,2.450180e-07,2.454223e-07,2.456026e-07,2.461263e-07,2.465926e-07,2.467302e-07,2.470046e-07,2.472410e-07,2.473651e-07,2.476654e-07,2.476769e-07,2.479428e-07,2.480094e-07,2.481652e-07,2.482787e-07,2.483464e-07,2.484787e-07,2.484887e-07,2.485943e-07,2.486144e-07,2.486651e-07,2.486903e-07,2.487030e-07,2.487106e-07,2.487099e-07,2.486874e-07,2.486795e-07,2.486371e-07,2.486005e-07,2.485607e-07,2.484773e-07,2.484595e-07,2.483349e-07,2.483129e-07,2.481883e-07,2.481104e-07,2.480208e-07,2.478727e-07,2.478337e-07,2.476281e-07,2.476023e-07,2.474051e-07,2.473016e-07,2.471655e-07,2.469731e-07,2.469105e-07,2.466410e-07,2.466188e-07,2.463577e-07,2.462407e-07,2.460615e-07,2.458407e-07,2.457533e-07,2.454336e-07,2.454206e-07,2.451034e-07,2.449820e-07,2.447631e-07,2.445264e-07,2.444135e-07,2.440553e-07,2.435699e-07,2.430717e-07,2.425618e-07,2.420412e-07,2.415110e-07,2.409722e-07,2.404258e-07,2.398725e-07,2.393133e-07,2.387488e-07,2.381797e-07,2.376068e-07,2.370306e-07,2.364518e-07,2.358709e-07,2.352884e-07,2.347048e-07,2.341206e-07,2.335363e-07,2.329521e-07,2.323685e-07,2.317858e-07,2.312045e-07,2.306247e-07
0.000000e+00,5.726304e-15,4.939076e-14,1.192282e-12,9.641112e-12,2.491605e-11,1.892226e-10,2.034271e-10,9.935742e-10,1.453777e-09,3.509996e-09,6.695949e-09,9.925007e-09,2.235707e-08,2.386412e-08,5.073249e-08,5.988272e-08,9.792197e-08,1.366566e-07,1.748561e-07,2.760909e-07,2.928250e-07,4.645662e-07,5.065513e-07,7.035809e-07,8.589282e-07,1.023246e-06,1.363123e-06,1.435833e-06,1.951574e-06,2.044206e-06,2.577894e-06,2.919142e-06,3.318880e-06,3.994676e-06,4.175018e-06,5.143205e-06,5.266643e-06,6.216977e-06,6.720553e-06,7.386917e-06,8.333187e-06,8.641203e-06,9.966204e-06,1.007482e-05,1.134711e-05,1.191168e-05,1.276852e-05,1.380837e-05,1.421505e-05,1.567174e-05,1.573001e-05,1.712452e-05,1.764404e-05,1.856050e-05,1.952145e-05,1.996820e-05,2.133765e-05,2.266051e-05,2.307284e-05,2.393003e-05,2.471207e-05,2.514102e-05,2.624502e-05,2.628974e-05,2.737378e-05,2.766553e-05,2.839192e-05,2.897105e-05,2.934396e-05,3.016203e-05,3.023058e-05,3.105321e-05,3.124133e-05,3.181383e-05,3.221359e-05,3.251488e-05,3.308470e-05,3.315911e-05,3.374951e-05,3.386140e-05,3.428919e-05,3.455084e-05,3.478133e-05,3.516028e-05,3.522906e-05,3.563549e-05,3.569689e-05,3.600363e-05,3.616758e-05,3.633634e-05,3.657885e-05,3.663636e-05,3.690625e-05,3.693673e-05,3.714842e-05,3.724677e-05,3.736509e-05,3.751398e-05,3.755833e-05,3.773006e-05,3.774292e-05,3.788202e-05,3.793764e-05,3.801583e-05,3.810176e-05,3.813295e-05,3.823472e-05,3.823849e-05,3.832235e-05,3.835066e-05,3.839697e-05,3.844079e-05,3.845958e-05,3.851111e-05,3.855239e-05,3.856356e-05,3.858418e-05,3.859988e-05,3.860720e-05,3.862162e-05,3.862206e-05,3.862937e-05,3.863014e-05,3.862965e-05,3.862665e-05,3.862340e-05,3.861226e-05,3.861106e-05,3.859305e-05,3.858793e-05,3.856975e-05,3.855453e-05,3.854153e-05,3.851287e-05,3.850870e-05,3.847157e-05,3.846365e-05,3.843043e-05,3.840753e-05,3.838553e-05,3.834511e-05,3.833714e-05,3.828547e-05,3.827691e-05,3.823075e-05,3.820345e-05,3.817317e-05,3.812519e-05,3.811293e-05,3.805021e-05,3.804253e-05,3.798518e-05,3.795588e-05,3.791800e-05,3.786559e-05,3.784881e-05,3.777775e-05,3.777199e-05,3.770497e-05,3.767540e-05,3.763059e-05,3.757611e-05,3.755473e-05,3.747750e-05,3.747438e-05,3.739901e-05,3.737047e-05,3.731936e-05,3.726460e-05,3.723866e-05,3.715700e-05,3.704787e-05,3.693739e-05,3.682576e-05,3.671312e-05,3.659965e-05,3.648547e-05,3.637073e-05,3.625554e-05,3.614004e-05,3.602434e-05,3.590852e-05,3.579270e-05,3.567696e-05,3.556139e-05,3.544607e-05,3.533106e-05,3.521644e-05,3.510227e-05,3.498861e-05,3.487552e-05,3.476305e-05,3.465123e-05,3.454013e-05,3.442978e-05
0.000000e+00,1.564657e-12,1.021141e-11,1.413536e-10,7.076108e-10,1.421668e-09,5.852638e-09,6.144302e-09,1.727980e-08,2.195661e-08,3.779125e-08,5.572677e-08,7.035803e-08,1.130030e-07,1.173432e-07,1.808350e-07,1.987388e-07,2.626682e-07,3.170884e-07,3.643554e-07,4.710656e-07,4.868847e-07,6.304602e-07,6.616544e-07,7.943851e-07,8.872092e-07,9.772122e-07,1.144015e-06,1.177046e-06,1.391816e-06,1.427426e-06,1.619427e-06,1.732631e-06,1.857803e-06,2.054877e-06,2.104894e-06,2.358667e-06,2.389473e-06,2.617103e-06,2.731777e-06,2.878211e-06,3.077243e-06,3.140048e-06,3.400744e-06,3.421496e-06,3.658526e-06,3.760451e-06,3.911752e-06,4.090407e-06,4.158925e-06,4.398709e-06,4.408129e-06,4.629944e-06,4.710902e-06,4.851652e-06,4.996558e-06,5.063037e-06,5.263483e-06,5.452540e-06,5.510581e-06,5.629918e-06,5.737240e-06,5.795476e-06,5.943278e-06,5.949201e-06,6.091193e-06,6.128873e-06,6.221653e-06,6.294509e-06,6.340865e-06,6.440907e-06,6.449181e-06,6.547005e-06,6.568970e-06,6.634784e-06,6.679729e-06,6.712994e-06,6.774297e-06,6.782131e-06,6.842700e-06,6.853831e-06,6.895210e-06,6.919499e-06,6.940167e-06,6.972457e-06,6.978067e-06,7.009395e-06,7.013829e-06,7.034619e-06,7.044691e-06,7.054189e-06,7.066062e-06,7.068533e-06,7.078057e-06,7.078894e-06,7.083145e-06,7.084073e-06,7.084160e-06,7.082419e-06,7.081445e-06,7.075316e-06,7.074687e-06,7.066070e-06,7.061561e-06,7.053983e-06,7.043667e-06,7.039313e-06,7.022298e-06,7.021571e-06,7.003158e-06,6.995788e-06,6.982099e-06,6.966778e-06,6.959307e-06,6.934956e-06,6.909205e-06,6.900693e-06,6.882202e-06,6.864325e-06,6.854081e-06,6.826150e-06,6.824968e-06,6.794976e-06,6.786436e-06,6.764212e-06,6.745422e-06,6.732770e-06,6.703322e-06,6.700739e-06,6.668201e-06,6.660324e-06,6.635229e-06,6.616601e-06,6.601891e-06,6.572302e-06,6.568251e-06,6.534366e-06,6.527564e-06,6.500288e-06,6.482507e-06,6.466064e-06,6.437237e-06,6.431740e-06,6.397355e-06,6.391851e-06,6.362947e-06,6.346433e-06,6.328549e-06,6.301059e-06,6.294192e-06,6.259905e-06,6.255796e-06,6.225713e-06,6.210705e-06,6.191640e-06,6.165837e-06,6.157707e-06,6.123935e-06,6.121240e-06,6.090340e-06,6.076956e-06,6.056940e-06,6.033021e-06,6.023749e-06,5.990781e-06,5.989467e-06,5.958047e-06,5.946322e-06,5.925558e-06,5.903612e-06,5.893326e-06,5.861357e-06,5.819578e-06,5.778290e-06,5.737506e-06,5.697238e-06,5.657496e-06,5.618288e-06,5.579620e-06,5.541497e-06,5.503924e-06,5.466901e-06,5.430432e-06,5.394515e-06,5.359152e-06,5.324341e-06,5.290081e-06,5.256367e-06,5.223199e-06,5.190572e-06,5.158482e-06,5.126925e-06,5.095895e-06,5.065389e-06,5.035401e-06,5.005924e-06
0.000000e+00,1.456709e-14,1.262618e-13,3.081998e-12,2.518319e-11,6.547044e-11,5.053656e-10,5.436794e-10,2.703350e-09,3.976189e-09,9.734802e-09,1.879965e-08,2.810397e-08,6.463552e-08,6.912277e-08,1.506194e-07,1.788938e-07,2.985374e-07,4.231236e-07,5.481218e-07,8.872250e-07,9.441818e-07,1.540015e-06,1.688306e-06,2.394948e-06,2.962461e-06,3.570864e-06,4.851092e-06,5.128283e-06,7.122561e-06,7.485465e-06,9.600650e-06,1.097305e-05,1.259866e-05,1.538777e-05,1.614028e-05,2.023609e-05,2.076484e-05,2.488352e-05,2.709968e-05,3.006745e-05,3.435007e-05,3.576128e-05,4.192820e-05,4.244069e-05,4.852276e-05,5.126876e-05,5.549246e-05,6.071059e-05,6.277941e-05,7.032199e-05,7.062811e-05,7.805637e-05,8.087527e-05,8.591803e-05,9.130398e-05,9.384306e-05,1.017694e-04,1.096377e-04,1.121342e-04,1.173927e-04,1.222727e-04,1.249833e-04,1.320729e-04,1.323635e-04,1.394927e-04,1.414390e-04,1.463358e-04,1.502919e-04,1.528634e-04,1.585697e-04,1.590519e-04,1.648828e-04,1.662275e-04,1.703432e-04,1.732358e-04,1.754247e-04,1.795799e-04,1.801236e-04,1.844402e-04,1.852579e-04,1.883783e-04,1.902788e-04,1.919451e-04,1.946611e-04,1.951501e-04,1.980053e-04,1.984306e-04,2.005245e-04,2.016187e-04,2.027227e-04,2.042611e-04,2.046162e-04,2.062217e-04,2.063959e-04,2.075566e-04,2.080627e-04,2.086383e-04,2.093017e-04,2.094841e-04,2.101112e-04,2.101524e-04,2.105361e-04,2.106532e-04,2.107752e-04,2.108409e-04,2.108439e-04,2.107570e-04,2.107504e-04,2.105285e-04,2.104142e-04,2.101719e-04,2.098625e-04,2.096994e-04,2.091229e-04,2.084531e-04,2.082207e-04,2.077001e-04,2.071788e-04,2.068732e-04,2.060180e-04,2.059811e-04,2.050317e-04,2.047565e-04,2.040321e-04,2.034111e-04,2.029890e-04,2.019962e-04,2.019086e-04,2.007962e-04,2.005250e-04,1.996569e-04,1.990089e-04,1.984953e-04,1.974578e-04,1.973154e-04,1.961210e-04,1.958806e-04,1.949154e-04,1.942851e-04,1.937017e-04,1.926779e-04,1.924826e-04,1.912606e-04,1.910649e-04,1.900378e-04,1.894512e-04,1.888163e-04,1.878412e-04,1.875978e-04,1.863838e-04,1.862385e-04,1.851759e-04,1.846466e-04,1.839751e-04,1.830680e-04,1.827827e-04,1.815996e-04,1.815053e-04,1.804266e-04,1.799605e-04,1.792646e-04,1.784351e-04,1.781142e-04,1.769760e-04,1.769307e-04,1.758504e-04,1.754484e-04,1.747380e-04,1.739892e-04,1.736391e-04,1.725540e-04,1.711432e-04,1.697574e-04,1.683970e-04,1.670622e-04,1.657531e-04,1.644699e-04,1.632125e-04,1.619809e-04,1.607750e-04,1.595945e-04,1.584393e-04,1.573092e-04,1.562038e-04,1.551229e-04,1.540662e-04,1.530332e-04,1.520237e-04,1.510373e-04,1.500736e-04,1.491321e-04,1.482126e-04,1.473145e-04,1.464375e-04,1.455811e-04
0.000000e+00,7.042742e-12,1.667149e-11,5.921635e-11,1.364435e-10,1.998392e-10,4.556529e-10,4.694129e-10,9.082476e-10,1.067152e-09,1.558633e-09,2.068510e-09,2.463575e-09,3.549234e-09,3.655441e-09,5.137241e-09,5.533471e-09,6.883241e-09,7.963715e-09,8.859752e-09,1.076600e-08,1.103699e-08,1.338910e-08,1.387835e-08,1.589168e-08,1.724437e-08,1.852021e-08,2.080716e-08,2.124959e-08,2.405434e-08,2.450839e-08,2.690916e-08,2.829003e-08,2.978960e-08,3.209686e-08,3.267263e-08,3.553716e-08,3.587874e-08,3.836441e-08,3.959230e-08,4.113809e-08,4.320173e-08,4.384449e-08,4.647242e-08,4.667899e-08,4.901312e-08,5.000343e-08,5.146000e-08,5.316103e-08,5.380849e-08,5.605574e-08,5.614350e-08,5.820038e-08,5.894727e-08,6.024229e-08,6.157254e-08,6.218238e-08,6.402237e-08,6.576463e-08,6.630196e-08,6.741199e-08,6.841798e-08,6.896768e-08,7.037807e-08,7.043512e-08,7.181792e-08,7.219043e-08,7.311974e-08,7.386350e-08,7.434427e-08,7.540573e-08,7.549518e-08,7.657605e-08,7.682543e-08,7.759038e-08,7.813062e-08,7.854159e-08,7.932902e-08,7.943293e-08,8.026755e-08,8.042793e-08,8.104845e-08,8.143424e-08,8.177848e-08,8.235440e-08,8.246038e-08,8.309673e-08,8.319448e-08,8.368998e-08,8.396011e-08,8.424244e-08,8.465653e-08,8.475632e-08,8.523367e-08,8.528860e-08,8.567647e-08,8.586083e-08,8.608655e-08,8.637740e-08,8.646566e-08,8.681545e-08,8.684221e-08,8.713747e-08,8.725883e-08,8.743319e-08,8.763060e-08,8.770399e-08,8.795118e-08,8.796060e-08,8.817599e-08,8.825167e-08,8.837958e-08,8.850647e-08,8.856305e-08,8.872744e-08,8.887373e-08,8.891687e-08,8.900284e-08,8.907687e-08,8.911565e-08,8.920939e-08,8.921299e-08,8.929564e-08,8.931625e-08,8.936434e-08,8.939916e-08,8.941979e-08,8.945969e-08,8.946267e-08,8.949359e-08,8.949930e-08,8.951315e-08,8.951936e-08,8.952193e-08,8.952116e-08,8.952046e-08,8.950924e-08,8.950587e-08,8.948877e-08,8.947462e-08,8.945950e-08,8.942844e-08,8.942187e-08,8.937630e-08,8.936829e-08,8.932317e-08,8.929510e-08,8.926287e-08,8.920971e-08,8.919576e-08,8.912217e-08,8.911292e-08,8.904243e-08,8.900548e-08,8.895686e-08,8.888810e-08,8.886574e-08,8.876935e-08,8.876142e-08,8.866797e-08,8.862608e-08,8.856186e-08,8.848266e-08,8.845125e-08,8.833638e-08,8.833170e-08,8.821748e-08,8.817373e-08,8.809475e-08,8.800922e-08,8.796841e-08,8.783865e-08,8.766244e-08,8.748100e-08,8.729473e-08,8.710397e-08,8.690909e-08,8.671041e-08,8.650822e-08,8.630283e-08,8.609452e-08,8.588353e-08,8.567012e-08,8.545452e-08,8.523696e-08,8.501764e-08,8.479676e-08,8.457452e-08,8.435109e-08,8.412663e-08,8.390132e-08,8.367530e-08,8.344872e-08,8.322171e-08,8.299441e-08,8.276693e-08
0.000000e+00,5.048716e-14,4.507786e-13,1.170607e-11,1.013269e-10,2.720333e-10,2.285582e-09,2.467484e-09,1.337985e-08,2.015683e-08,5.245181e-08,1.064939e-07,1.645377e-07,4.077262e-07,4.388330e-07,1.034715e-06,1.252055e-06,2.214734e-06,3.274553e-06,4.383824e-06,7.574000e-06,8.131826e-06,1.427453e-05,1.588024e-05,2.388782e-05,3.069765e-05,3.833006e-05,5.539114e-05,5.924997e-05,8.857858e-05,9.419448e-05,1.285061e-04,1.521372e-04,1.814449e-04,2.348976e-04,2.499812e-04,3.368184e-04,3.485995e-04,4.447151e-04,4.995715e-04,5.764201e-04,6.940889e-04,7.346077e-04,9.218154e-04,9.381174e-04,1.140385e-03,1.237073e-03,1.392413e-03,1.595614e-03,1.679700e-03,2.003721e-03,2.017463e-03,2.365592e-03,2.505286e-03,2.766052e-03,3.060602e-03,3.205451e-03,3.683751e-03,4.200524e-03,4.373897e-03,4.754972e-03,5.129071e-03,5.345939e-03,5.946247e-03,5.971938e-03,6.631175e-03,6.821444e-03,7.321588e-03,7.749849e-03,8.040870e-03,8.725953e-03,8.786512e-03,9.555838e-03,9.743691e-03,1.034604e-02,1.079659e-02,1.115421e-02,1.187790e-02,1.197738e-02,1.281255e-02,1.298076e-02,1.365673e-02,1.409828e-02,1.450696e-02,1.522369e-02,1.536032e-02,1.621397e-02,1.635040e-02,1.706519e-02,1.747214e-02,1.791136e-02,1.858298e-02,1.874999e-02,1.957873e-02,1.967741e-02,2.039540e-02,2.075038e-02,2.119797e-02,2.179733e-02,2.198456e-02,2.275349e-02,2.281419e-02,2.350321e-02,2.379741e-02,2.423236e-02,2.474394e-02,2.493975e-02,2.562433e-02,2.565122e-02,2.628522e-02,2.651720e-02,2.692170e-02,2.734026e-02,2.753318e-02,2.811921e-02,2.867947e-02,2.885328e-02,2.921377e-02,2.954206e-02,2.972203e-02,3.018547e-02,3.020426e-02,3.066058e-02,3.078374e-02,3.109121e-02,3.133737e-02,3.149643e-02,3.184711e-02,3.187661e-02,3.223217e-02,3.231389e-02,3.256360e-02,3.273886e-02,3.287144e-02,3.312328e-02,3.315626e-02,3.341869e-02,3.346855e-02,3.365938e-02,3.377617e-02,3.387901e-02,3.404772e-02,3.407827e-02,3.425788e-02,3.428484e-02,3.441856e-02,3.448917e-02,3.456104e-02,3.466243e-02,3.468608e-02,3.479439e-02,3.480630e-02,3.488672e-02,3.492246e-02,3.496379e-02,3.501261e-02,3.502633e-02,3.507505e-02,3.507837e-02,3.511065e-02,3.512138e-02,3.513382e-02,3.514319e-02,3.514524e-02,3.514555e-02,3.514534e-02,3.513540e-02,3.512930e-02,3.511541e-02,3.509650e-02,3.508617e-02,3.504829e-02,3.498597e-02,3.491080e-02,3.482395e-02,3.472654e-02,3.461964e-02,3.450425e-02,3.438130e-02,3.425169e-02,3.411625e-02,3.397575e-02,3.383092e-02,3.368244e-02,3.353092e-02,3.337697e-02,3.322110e-02,3.306382e-02,3.290560e-02,3.274684e-02,3.258793e-02,3.242923e-02,3.227106e-02,3.211371e-02,3.195744e-02,3.180249e-02
0.000000e+00,3.198385e-10,8.930342e-10,3.787147e-09,9.558338e-09,1.455631e-08,3.624543e-08,3.746922e-08,7.900992e-08,9.512942e-08,1.480845e-07,2.072554e-07,2.555112e-07,3.957029e-07,4.098331e-07,6.104399e-07,6.645081e-07,8.479966e-07,9.932224e-07,1.112241e-06,1.361062e-06,1.395969e-06,1.694610e-06,1.755837e-06,2.005026e-06,2.170258e-06,2.324733e-06,2.598839e-06,2.651511e-06,2.983246e-06,3.036646e-06,3.317885e-06,3.478958e-06,3.653452e-06,3.921315e-06,3.988078e-06,4.320021e-06,4.359596e-06,4.647690e-06,4.790146e-06,4.969692e-06,5.209867e-06,5.284809e-06,5.592017e-06,5.616225e-06,5.890468e-06,6.007239e-06,6.179479e-06,6.381416e-06,6.458516e-06,6.727198e-06,6.737726e-06,6.985254e-06,7.075518e-06,7.232520e-06,7.394457e-06,7.468923e-06,7.694466e-06,7.909212e-06,7.975669e-06,8.113279e-06,8.238350e-06,8.306826e-06,8.482914e-06,8.490047e-06,8.663160e-06,8.709853e-06,8.826408e-06,8.919727e-06,8.980047e-06,9.113139e-06,9.124346e-06,9.259582e-06,9.290722e-06,9.386039e-06,9.453125e-06,9.504001e-06,9.601008e-06,9.613754e-06,9.715587e-06,9.735028e-06,9.809781e-06,9.855837e-06,9.896619e-06,9.964081e-06,9.976378e-06,1.004933e-05,1.006039e-05,1.011575e-05,1.014538e-05,1.017589e-05,1.021966e-05,1.023001e-05,1.027837e-05,1.028380e-05,1.032121e-05,1.033836e-05,1.035875e-05,1.038390e-05,1.039125e-05,1.041892e-05,1.042093e-05,1.044198e-05,1.044996e-05,1.046064e-05,1.047146e-05,1.047510e-05,1.048557e-05,1.048591e-05,1.049224e-05,1.049375e-05,1.049530e-05,1.049540e-05,1.049491e-05,1.049127e-05,1.048452e-05,1.048174e-05,1.047484e-05,1.046718e-05,1.046238e-05,1.044795e-05,1.044730e-05,1.042972e-05,1.042438e-05,1.040981e-05,1.039678e-05,1.038767e-05,1.036547e-05,1.036346e-05,1.033728e-05,1.033072e-05,1.030926e-05,1.029281e-05,1.027952e-05,1.025200e-05,1.024815e-05,1.021528e-05,1.020853e-05,1.018098e-05,1.016263e-05,1.014538e-05,1.011452e-05,1.010854e-05,1.007058e-05,1.006440e-05,1.003156e-05,1.001248e-05,9.991566e-06,9.958928e-06,9.950683e-06,9.908981e-06,9.903926e-06,9.866531e-06,9.847634e-06,9.823401e-06,9.790206e-06,9.779654e-06,9.735353e-06,9.731787e-06,9.690555e-06,9.672510e-06,9.645318e-06,9.612504e-06,9.599693e-06,9.553731e-06,9.551887e-06,9.507482e-06,9.490770e-06,9.460989e-06,9.429259e-06,9.414298e-06,9.367449e-06,9.305433e-06,9.243296e-06,9.181115e-06,9.118964e-06,9.056912e-06,8.995022e-06,8.933352e-06,8.871956e-06,8.810884e-06,8.750183e-06,8.689893e-06,8.630053e-06,8.570700e-06,8.511864e-06,8.453575e-06,8.395860e-06,8.338741e-06,8.282241e-06,8.226378e-06,8.171169e-06,8.116629e-06,8.062771e-06,8.009605e-06,7.957140e-06
0.000000e+00,8.871668e-13,7.043725e-12,1.434257e-10,9.955590e-10,2.369266e-09,1.463061e-08,1.560059e-08,6.282794e-08,8.746509e-08,1.874716e-07,3.271202e-07,4.592157e-07,9.266248e-07,9.805824e-07,1.891755e-06,2.187112e-06,3.364222e-06,4.500667e-06,5.574334e-06,8.243308e-06,8.663628e-06,1.270657e-05,1.363067e-05,1.770093e-05,2.065376e-05,2.357986e-05,2.912303e-05,3.023482e-05,3.753866e-05,3.875881e-05,4.536274e-05,4.926730e-05,5.358674e-05,6.038096e-05,6.210281e-05,7.081607e-05,7.187086e-05,7.964350e-05,8.354462e-05,8.851222e-05,9.524034e-05,9.735814e-05,1.061248e-04,1.068212e-04,1.147629e-04,1.181722e-04,1.232293e-04,1.291981e-04,1.314875e-04,1.395066e-04,1.398220e-04,1.472615e-04,1.499846e-04,1.547322e-04,1.596421e-04,1.619037e-04,1.687651e-04,1.753095e-04,1.773361e-04,1.815334e-04,1.853482e-04,1.874363e-04,1.928026e-04,1.930198e-04,1.982880e-04,1.997073e-04,2.032462e-04,2.060753e-04,2.079015e-04,2.119234e-04,2.122616e-04,2.163352e-04,2.172713e-04,2.201316e-04,2.221400e-04,2.236603e-04,2.265522e-04,2.269314e-04,2.299548e-04,2.305306e-04,2.327406e-04,2.340986e-04,2.352987e-04,2.372789e-04,2.376391e-04,2.397716e-04,2.400941e-04,2.417055e-04,2.425661e-04,2.434504e-04,2.447163e-04,2.450153e-04,2.464088e-04,2.465650e-04,2.476397e-04,2.481318e-04,2.487161e-04,2.494357e-04,2.496459e-04,2.504370e-04,2.504945e-04,2.510966e-04,2.513252e-04,2.516318e-04,2.519441e-04,2.520496e-04,2.523563e-04,2.523664e-04,2.525585e-04,2.526068e-04,2.526619e-04,2.526789e-04,2.526725e-04,2.525957e-04,2.524368e-04,2.523695e-04,2.522009e-04,2.520118e-04,2.518928e-04,2.515333e-04,2.515171e-04,2.510781e-04,2.509444e-04,2.505801e-04,2.502546e-04,2.500270e-04,2.494728e-04,2.494226e-04,2.487707e-04,2.486075e-04,2.480745e-04,2.476666e-04,2.473375e-04,2.466575e-04,2.465626e-04,2.457529e-04,2.455870e-04,2.449112e-04,2.444617e-04,2.440401e-04,2.432876e-04,2.431422e-04,2.422200e-04,2.420703e-04,2.412755e-04,2.408150e-04,2.403112e-04,2.395267e-04,2.393289e-04,2.383306e-04,2.382098e-04,2.373181e-04,2.368686e-04,2.362932e-04,2.355070e-04,2.352575e-04,2.342126e-04,2.341287e-04,2.331599e-04,2.327369e-04,2.321008e-04,2.313349e-04,2.310365e-04,2.299683e-04,2.299255e-04,2.288974e-04,2.285114e-04,2.278248e-04,2.270949e-04,2.267515e-04,2.256785e-04,2.242640e-04,2.228535e-04,2.214487e-04,2.200511e-04,2.186622e-04,2.172834e-04,2.159158e-04,2.145604e-04,2.132183e-04,2.118904e-04,2.105773e-04,2.092799e-04,2.079987e-04,2.067342e-04,2.054869e-04,2.042573e-04,2.030456e-04,2.018522e-04,2.006773e-04,1.995210e-04,1.983836e-04,1.972651e-04,1.961656e-04,1.950851e-04
0.000000e+00,5.709669e-15,4.924996e-14,1.189554e-12,9.626816e-12,2.489413e-11,1.895112e-10,2.037639e-10,9.993964e-10,1.464550e-09,3.553105e-09,6.812676e-09,1.013818e-08,2.309056e-08,2.467388e-08,5.326206e-08,6.312718e-08,1.046732e-07,1.476789e-07,1.906226e-07,3.062999e-07,3.256267e-07,5.263186e-07,5.758867e-07,8.102953e-07,9.966308e-07,1.194714e-06,1.606539e-06,1.694899e-06,2.323169e-06,2.436204e-06,3.088014e-06,3.505056e-06,3.993645e-06,4.819547e-06,5.039896e-06,6.222435e-06,6.373150e-06,7.533169e-06,8.147692e-06,8.960796e-06,1.011551e-05,1.049143e-05,1.210927e-05,1.224195e-05,1.379719e-05,1.448801e-05,1.553740e-05,1.681264e-05,1.731195e-05,1.910319e-05,1.917495e-05,2.089424e-05,2.153588e-05,2.266924e-05,2.385961e-05,2.441368e-05,2.611454e-05,2.776044e-05,2.827389e-05,2.934170e-05,3.031604e-05,3.085037e-05,3.222455e-05,3.228016e-05,3.362641e-05,3.398792e-05,3.488594e-05,3.559925e-05,3.605699e-05,3.705573e-05,3.713902e-05,3.813260e-05,3.835805e-05,3.903924e-05,3.950980e-05,3.986122e-05,4.051686e-05,4.060149e-05,4.126349e-05,4.138683e-05,4.185104e-05,4.212850e-05,4.236824e-05,4.275140e-05,4.281930e-05,4.320856e-05,4.326540e-05,4.354033e-05,4.368042e-05,4.381887e-05,4.400616e-05,4.404832e-05,4.423266e-05,4.425193e-05,4.437570e-05,4.442649e-05,4.448105e-05,4.453801e-05,4.455211e-05,4.459205e-05,4.459399e-05,4.460381e-05,4.460124e-05,4.459012e-05,4.456594e-05,4.455351e-05,4.449627e-05,4.449358e-05,4.442053e-05,4.438910e-05,4.432820e-05,4.425684e-05,4.422104e-05,4.410064e-05,4.396846e-05,4.392389e-05,4.382579e-05,4.372954e-05,4.367383e-05,4.352019e-05,4.351364e-05,4.334619e-05,4.329812e-05,4.317235e-05,4.306532e-05,4.299292e-05,4.282351e-05,4.280860e-05,4.262005e-05,4.257423e-05,4.242784e-05,4.231881e-05,4.223250e-05,4.205840e-05,4.203452e-05,4.183432e-05,4.179405e-05,4.163229e-05,4.152663e-05,4.142879e-05,4.125696e-05,4.122415e-05,4.101866e-05,4.098572e-05,4.081258e-05,4.071353e-05,4.060616e-05,4.044094e-05,4.039963e-05,4.019318e-05,4.016842e-05,3.998701e-05,3.989642e-05,3.978127e-05,3.962530e-05,3.957613e-05,3.937172e-05,3.935540e-05,3.916817e-05,3.908702e-05,3.896560e-05,3.882042e-05,3.876412e-05,3.856383e-05,3.855584e-05,3.836481e-05,3.829349e-05,3.816714e-05,3.803354e-05,3.797091e-05,3.777617e-05,3.752151e-05,3.726969e-05,3.702082e-05,3.677499e-05,3.653227e-05,3.629274e-05,3.605645e-05,3.582345e-05,3.559378e-05,3.536746e-05,3.514453e-05,3.492500e-05,3.470887e-05,3.449615e-05,3.428685e-05,3.408094e-05,3.387843e-05,3.367929e-05,3.348351e-05,3.329108e-05,3.310196e-05,3.291612e-05,3.273355e-05,3.255421e-05
0.000000e+00,2.694230e-11,6.288028e-11,2.207055e-10,5.082875e-10,7.464986e-10,1.729907e-09,1.783815e-09,3.553684e-09,4.216594e-09,6.324916e-09,8.573683e-09,1.033440e-08,1.514760e-08,1.561271e-08,2.196275e-08,2.361811e-08,2.914070e-08,3.344960e-08,3.695889e-08,4.425966e-08,4.528119e-08,5.399837e-08,5.578046e-08,6.301244e-08,6.778602e-08,7.223021e-08,8.006476e-08,8.156190e-08,9.092220e-08,9.241711e-08,1.002320e-07,1.046615e-07,1.094201e-07,1.166410e-07,1.184246e-07,1.271931e-07,1.282273e-07,1.356832e-07,1.393217e-07,1.438615e-07,1.498532e-07,1.517036e-07,1.591925e-07,1.597761e-07,1.663182e-07,1.690655e-07,1.730760e-07,1.777139e-07,1.794662e-07,1.854928e-07,1.857264e-07,1.911627e-07,1.931183e-07,1.964853e-07,1.999117e-07,2.014713e-07,2.061331e-07,2.104835e-07,2.118121e-07,2.145360e-07,2.169796e-07,2.183043e-07,2.216671e-07,2.218020e-07,2.250426e-07,2.259058e-07,2.280395e-07,2.297260e-07,2.308055e-07,2.331571e-07,2.333531e-07,2.356944e-07,2.362269e-07,2.378409e-07,2.389619e-07,2.398036e-07,2.413871e-07,2.415931e-07,2.432194e-07,2.435259e-07,2.446922e-07,2.454003e-07,2.460204e-07,2.470307e-07,2.472127e-07,2.482773e-07,2.484363e-07,2.492218e-07,2.496347e-07,2.500536e-07,2.506426e-07,2.507796e-07,2.514063e-07,2.514751e-07,2.519399e-07,2.521466e-07,2.523861e-07,2.526703e-07,2.527506e-07,2.530384e-07,2.530582e-07,2.532544e-07,2.533218e-07,2.534034e-07,2.534715e-07,2.534895e-07,2.535170e-07,2.535169e-07,2.534897e-07,2.534671e-07,2.534112e-07,2.533303e-07,2.532849e-07,2.531142e-07,2.529020e-07,2.528258e-07,2.526513e-07,2.524718e-07,2.523647e-07,2.520581e-07,2.520447e-07,2.516939e-07,2.515904e-07,2.513144e-07,2.510739e-07,2.509085e-07,2.505133e-07,2.504780e-07,2.500250e-07,2.499131e-07,2.495511e-07,2.492772e-07,2.490581e-07,2.486096e-07,2.485475e-07,2.480209e-07,2.479137e-07,2.474796e-07,2.471927e-07,2.469249e-07,2.464496e-07,2.463582e-07,2.457805e-07,2.456871e-07,2.451930e-07,2.449078e-07,2.445967e-07,2.441140e-07,2.439926e-07,2.433816e-07,2.433078e-07,2.427645e-07,2.424913e-07,2.421423e-07,2.416663e-07,2.415155e-07,2.408851e-07,2.408345e-07,2.402515e-07,2.399974e-07,2.396155e-07,2.391565e-07,2.389777e-07,2.383386e-07,2.383130e-07,2.376988e-07,2.374683e-07,2.370586e-07,2.366234e-07,2.364187e-07,2.357794e-07,2.349371e-07,2.340976e-07,2.332614e-07,2.324294e-07,2.316023e-07,2.307806e-07,2.299648e-07,2.291555e-07,2.283532e-07,2.275581e-07,2.267708e-07,2.259915e-07,2.252205e-07,2.244580e-07,2.237044e-07,2.229598e-07,2.222244e-07,2.214983e-07,2.207817e-07,2.200746e-07,2.193773e-07,2.186897e-07,2.180119e-07,2.173440e-07
0.000000e+00,3.483362e-11,8.153290e-11,2.868685e-10,6.595100e-10,9.659034e-10,2.206758e-09,2.273681e-09,4.415308e-09,5.193648e-09,7.608093e-09,1.012234e-08,1.207675e-08,1.748104e-08,1.801274e-08,2.549000e-08,2.750634e-08,3.441234e-08,3.996454e-08,4.457337e-08,5.436318e-08,5.575150e-08,6.775063e-08,7.023363e-08,8.040045e-08,8.718420e-08,9.354794e-08,1.048729e-07,1.070519e-07,1.207816e-07,1.229910e-07,1.346163e-07,1.412620e-07,1.484474e-07,1.594444e-07,1.621784e-07,1.757259e-07,1.773359e-07,1.890197e-07,1.947732e-07,2.020018e-07,2.116309e-07,2.146260e-07,2.268558e-07,2.278163e-07,2.386647e-07,2.432660e-07,2.500340e-07,2.579408e-07,2.609518e-07,2.714115e-07,2.718204e-07,2.814117e-07,2.848996e-07,2.909545e-07,2.971848e-07,3.000449e-07,3.086906e-07,3.169009e-07,3.194380e-07,3.246867e-07,3.294521e-07,3.320596e-07,3.387611e-07,3.390324e-07,3.456182e-07,3.473946e-07,3.518302e-07,3.553836e-07,3.576820e-07,3.627591e-07,3.631871e-07,3.683591e-07,3.695522e-07,3.732112e-07,3.757936e-07,3.777566e-07,3.815130e-07,3.820081e-07,3.859783e-07,3.867396e-07,3.896794e-07,3.915016e-07,3.931233e-07,3.958260e-07,3.963217e-07,3.992856e-07,3.997388e-07,4.020260e-07,4.032650e-07,4.045532e-07,4.064283e-07,4.068774e-07,4.090083e-07,4.092515e-07,4.109554e-07,4.117562e-07,4.127276e-07,4.139628e-07,4.143335e-07,4.157817e-07,4.158910e-07,4.170800e-07,4.175592e-07,4.182362e-07,4.189849e-07,4.192577e-07,4.201515e-07,4.201847e-07,4.209244e-07,4.211743e-07,4.215829e-07,4.219685e-07,4.221332e-07,4.225812e-07,4.229328e-07,4.230258e-07,4.231932e-07,4.233145e-07,4.233677e-07,4.234591e-07,4.234614e-07,4.234788e-07,4.234706e-07,4.234246e-07,4.233595e-07,4.233031e-07,4.231353e-07,4.231183e-07,4.228744e-07,4.228074e-07,4.225749e-07,4.223843e-07,4.222235e-07,4.218740e-07,4.218236e-07,4.213784e-07,4.212842e-07,4.208910e-07,4.206219e-07,4.203644e-07,4.198938e-07,4.198014e-07,4.192046e-07,4.191061e-07,4.185765e-07,4.182646e-07,4.179196e-07,4.173748e-07,4.172361e-07,4.165282e-07,4.164417e-07,4.157980e-07,4.154702e-07,4.150475e-07,4.144645e-07,4.142784e-07,4.134925e-07,4.134290e-07,4.126916e-07,4.123673e-07,4.118771e-07,4.112832e-07,4.110506e-07,4.102135e-07,4.101798e-07,4.093671e-07,4.090604e-07,4.085128e-07,4.079278e-07,4.076516e-07,4.067847e-07,4.056336e-07,4.044767e-07,4.033161e-07,4.021539e-07,4.009917e-07,3.998314e-07,3.986744e-07,3.975220e-07,3.963757e-07,3.952365e-07,3.941056e-07,3.929839e-07,3.918723e-07,3.907715e-07,3.896824e-07,3.886056e-07,3.875416e-07,3.864910e-07,3.854542e-07,3.844316e-07,3.834236e-07,3.824304e-07,3.814524e-07,3.804897e-07
0.000000e+00,4.223327e-12,9.692370e-12,3.343818e-11,7.628116e-11,1.114768e-10,2.543558e-10,2.620839e-10,5.107754e-10,6.018382e-10,8.866564e-10,1.187093e-09,1.423491e-09,2.091773e-09,2.158798e-09,3.128953e-09,3.399916e-09,4.358673e-09,5.162070e-09,5.848370e-09,7.352811e-09,7.570273e-09,9.478994e-09,9.878867e-09,1.152679e-08,1.263260e-08,1.367251e-08,1.552639e-08,1.588337e-08,1.813359e-08,1.849584e-08,2.040244e-08,2.149295e-08,2.267274e-08,2.448021e-08,2.492999e-08,2.716172e-08,2.742729e-08,2.935724e-08,3.030939e-08,3.150744e-08,3.310654e-08,3.360469e-08,3.564275e-08,3.580308e-08,3.761660e-08,3.838727e-08,3.952242e-08,4.085087e-08,4.135740e-08,4.311968e-08,4.318864e-08,4.480817e-08,4.539788e-08,4.642251e-08,4.747799e-08,4.796291e-08,4.943006e-08,5.082505e-08,5.125643e-08,5.214930e-08,5.296045e-08,5.340447e-08,5.454617e-08,5.459242e-08,5.571516e-08,5.601812e-08,5.677478e-08,5.738115e-08,5.777345e-08,5.864030e-08,5.871338e-08,5.959680e-08,5.980066e-08,6.042592e-08,6.086733e-08,6.120294e-08,6.184534e-08,6.193002e-08,6.260930e-08,6.273960e-08,6.324284e-08,6.355488e-08,6.383266e-08,6.429577e-08,6.438074e-08,6.488897e-08,6.496671e-08,6.535920e-08,6.557193e-08,6.579320e-08,6.611548e-08,6.619270e-08,6.655934e-08,6.660121e-08,6.689471e-08,6.703277e-08,6.720035e-08,6.741365e-08,6.747771e-08,6.772822e-08,6.774714e-08,6.795321e-08,6.803635e-08,6.815398e-08,6.828424e-08,6.833178e-08,6.848779e-08,6.849359e-08,6.862314e-08,6.866702e-08,6.873893e-08,6.880703e-08,6.883620e-08,6.891594e-08,6.897909e-08,6.899595e-08,6.902658e-08,6.904915e-08,6.905926e-08,6.907747e-08,6.907796e-08,6.908348e-08,6.908276e-08,6.907656e-08,6.906674e-08,6.905793e-08,6.903104e-08,6.902827e-08,6.898825e-08,6.897717e-08,6.893847e-08,6.890656e-08,6.887954e-08,6.882056e-08,6.881202e-08,6.873646e-08,6.872042e-08,6.865336e-08,6.860733e-08,6.856322e-08,6.848240e-08,6.846650e-08,6.836365e-08,6.834665e-08,6.825509e-08,6.820107e-08,6.814121e-08,6.804655e-08,6.802242e-08,6.789905e-08,6.788396e-08,6.777147e-08,6.771409e-08,6.764000e-08,6.753768e-08,6.750496e-08,6.736663e-08,6.735543e-08,6.722530e-08,6.716799e-08,6.708123e-08,6.697596e-08,6.693469e-08,6.678591e-08,6.677992e-08,6.663512e-08,6.658039e-08,6.648254e-08,6.637786e-08,6.632836e-08,6.617280e-08,6.596562e-08,6.575674e-08,6.554652e-08,6.533529e-08,6.512339e-08,6.491110e-08,6.469869e-08,6.448644e-08,6.427455e-08,6.406326e-08,6.385277e-08,6.364325e-08,6.343487e-08,6.322779e-08,6.302216e-08,6.281810e-08,6.261572e-08,6.241515e-08,6.221647e-08,6.201977e-08,6.182514e-08,6.163264e-08,6.144233e-08,6.125429e-08
0.000000e+00,1.662432e-13,1.313181e-12,2.643258e-11,1.812695e-10,4.281558e-10,2.582499e-09,2.750662e-09,1.073009e-08,1.478112e-08,3.071960e-08,5.201274e-08,7.139957e-08,1.359232e-07,1.430541e-07,2.567591e-07,2.915529e-07,4.236917e-07,5.444616e-07,6.546033e-07,9.186038e-07,9.593730e-07,1.346489e-06,1.434401e-06,1.822324e-06,2.106079e-06,2.390227e-06,2.938142e-06,3.049650e-06,3.795694e-06,3.922546e-06,4.619295e-06,5.038627e-06,5.508058e-06,6.256275e-06,6.447477e-06,7.422184e-06,7.540793e-06,8.417025e-06,8.857432e-06,9.417825e-06,1.017452e-05,1.041185e-05,1.138803e-05,1.146506e-05,1.233701e-05,1.270720e-05,1.325107e-05,1.388406e-05,1.412406e-05,1.495125e-05,1.498333e-05,1.572916e-05,1.599667e-05,1.645549e-05,1.691923e-05,1.712893e-05,1.774902e-05,1.831607e-05,1.848646e-05,1.883101e-05,1.913386e-05,1.929526e-05,1.969495e-05,1.971065e-05,2.007933e-05,2.017450e-05,2.040365e-05,2.057798e-05,2.068611e-05,2.091124e-05,2.092931e-05,2.113586e-05,2.118027e-05,2.130837e-05,2.139105e-05,2.144938e-05,2.154938e-05,2.156137e-05,2.164673e-05,2.166080e-05,2.170772e-05,2.173052e-05,2.174648e-05,2.176335e-05,2.176504e-05,2.176527e-05,2.176373e-05,2.174895e-05,2.173571e-05,2.171769e-05,2.168295e-05,2.167301e-05,2.161631e-05,2.160876e-05,2.154886e-05,2.151609e-05,2.147184e-05,2.140758e-05,2.138633e-05,2.129331e-05,2.128557e-05,2.119368e-05,2.115216e-05,2.108826e-05,2.100919e-05,2.097779e-05,2.086296e-05,2.085829e-05,2.074439e-05,2.070089e-05,2.062262e-05,2.053827e-05,2.049819e-05,2.037153e-05,2.024308e-05,2.020166e-05,2.011321e-05,2.002950e-05,1.998225e-05,1.985581e-05,1.985053e-05,1.971832e-05,1.968125e-05,1.958586e-05,1.950637e-05,1.945339e-05,1.933168e-05,1.932111e-05,1.918920e-05,1.915761e-05,1.905782e-05,1.898454e-05,1.892712e-05,1.881278e-05,1.879724e-05,1.866829e-05,1.864262e-05,1.854036e-05,1.847428e-05,1.841356e-05,1.830798e-05,1.828797e-05,1.816365e-05,1.814388e-05,1.804067e-05,1.798213e-05,1.791908e-05,1.782285e-05,1.779893e-05,1.768027e-05,1.766613e-05,1.756311e-05,1.751205e-05,1.744750e-05,1.736068e-05,1.733346e-05,1.722100e-05,1.721207e-05,1.711014e-05,1.706624e-05,1.700089e-05,1.692323e-05,1.689326e-05,1.678725e-05,1.678305e-05,1.668287e-05,1.664569e-05,1.658012e-05,1.651117e-05,1.647898e-05,1.637946e-05,1.625056e-05,1.612444e-05,1.600108e-05,1.588044e-05,1.576250e-05,1.564722e-05,1.553456e-05,1.542449e-05,1.531695e-05,1.521192e-05,1.510934e-05,1.500917e-05,1.491137e-05,1.481588e-05,1.472267e-05,1.463168e-05,1.454287e-05,1.445619e-05,1.437160e-05,1.428905e-05,1.420849e-05,1.412988e-05,1.405318e-05,1.397834e-05
0.000000e+00,2.809855e-12,1.901132e-11,2.823966e-10,1.500900e-09,3.112005e-09,1.386753e-08,1.460547e-08,4.451632e-08,5.788321e-08,1.059443e-07,1.649418e-07,2.162775e-07,3.804028e-07,3.982013e-07,6.774433e-07,7.614849e-07,1.074577e-06,1.351496e-06,1.595889e-06,2.150553e-06,2.232503e-06,2.967526e-06,3.124763e-06,3.783578e-06,4.235080e-06,4.666437e-06,5.451701e-06,5.605324e-06,6.591923e-06,6.753730e-06,7.619269e-06,8.124983e-06,8.680972e-06,9.550875e-06,9.770786e-06,1.088243e-05,1.101700e-05,1.200960e-05,1.250885e-05,1.314601e-05,1.401209e-05,1.428555e-05,1.542232e-05,1.551297e-05,1.655081e-05,1.699874e-05,1.766595e-05,1.845798e-05,1.876314e-05,1.983834e-05,1.988084e-05,2.088802e-05,2.125907e-05,2.190922e-05,2.258608e-05,2.289947e-05,2.385680e-05,2.477970e-05,2.506756e-05,2.566704e-05,2.621592e-05,2.651808e-05,2.730052e-05,2.733238e-05,2.810979e-05,2.832086e-05,2.885039e-05,2.927720e-05,2.955447e-05,3.017036e-05,3.022249e-05,3.085503e-05,3.100164e-05,3.145282e-05,3.177269e-05,3.201664e-05,3.248539e-05,3.254736e-05,3.304592e-05,3.314186e-05,3.351327e-05,3.374429e-05,3.395040e-05,3.429498e-05,3.435832e-05,3.473804e-05,3.479625e-05,3.509058e-05,3.525044e-05,3.541695e-05,3.565987e-05,3.571815e-05,3.599516e-05,3.602682e-05,3.624896e-05,3.635352e-05,3.648050e-05,3.664215e-05,3.669070e-05,3.688049e-05,3.689482e-05,3.705074e-05,3.711356e-05,3.720230e-05,3.730034e-05,3.733603e-05,3.745272e-05,3.745705e-05,3.755317e-05,3.758550e-05,3.763813e-05,3.768742e-05,3.770833e-05,3.776448e-05,3.780728e-05,3.781826e-05,3.783737e-05,3.785026e-05,3.785540e-05,3.786192e-05,3.786197e-05,3.785769e-05,3.785462e-05,3.784312e-05,3.782966e-05,3.781879e-05,3.778826e-05,3.778525e-05,3.774299e-05,3.773161e-05,3.769251e-05,3.766081e-05,3.763425e-05,3.757692e-05,3.756868e-05,3.749622e-05,3.748093e-05,3.741727e-05,3.737379e-05,3.733225e-05,3.725640e-05,3.724151e-05,3.714543e-05,3.712958e-05,3.704435e-05,3.699415e-05,3.693859e-05,3.685084e-05,3.682849e-05,3.671433e-05,3.670038e-05,3.659642e-05,3.654341e-05,3.647502e-05,3.638058e-05,3.635040e-05,3.622281e-05,3.621248e-05,3.609249e-05,3.603965e-05,3.595968e-05,3.586263e-05,3.582458e-05,3.568742e-05,3.568189e-05,3.554839e-05,3.549791e-05,3.540767e-05,3.531111e-05,3.526545e-05,3.512190e-05,3.493066e-05,3.473773e-05,3.454345e-05,3.434813e-05,3.415206e-05,3.395550e-05,3.375870e-05,3.356189e-05,3.336529e-05,3.316911e-05,3.297351e-05,3.277868e-05,3.258477e-05,3.239193e-05,3.220029e-05,3.200997e-05,3.182108e-05,3.163373e-05,3.144800e-05,3.126399e-05,3.108177e-05,3.090140e-05,3.072296e-05,3.054649e-05
0.000000e+00,2.157922e-13,1.708914e-12,3.460822e-11,2.387994e-10,5.660981e-10,3.450301e-09,3.676658e-09,1.451796e-08,2.007260e-08,4.213705e-08,7.199215e-08,9.946059e-08,1.923806e-07,2.027699e-07,3.710451e-07,4.233971e-07,6.252375e-07,8.132395e-07,9.870884e-07,1.410895e-06,1.477051e-06,2.111589e-06,2.256871e-06,2.900936e-06,3.373897e-06,3.848243e-06,4.763766e-06,4.950168e-06,6.198359e-06,6.410893e-06,7.581076e-06,8.288569e-06,9.084547e-06,1.036431e-05,1.069392e-05,1.239387e-05,1.260321e-05,1.416894e-05,1.496980e-05,1.600379e-05,1.742902e-05,1.788343e-05,1.979332e-05,1.994700e-05,2.171965e-05,2.249185e-05,2.364946e-05,2.503431e-05,2.557077e-05,2.747273e-05,2.754827e-05,2.934571e-05,3.001123e-05,3.118128e-05,3.240439e-05,3.297226e-05,3.471265e-05,3.639761e-05,3.692444e-05,3.802333e-05,3.903135e-05,3.958697e-05,4.102782e-05,4.108655e-05,4.252085e-05,4.291067e-05,4.388930e-05,4.467874e-05,4.519190e-05,4.633252e-05,4.642911e-05,4.760178e-05,4.787375e-05,4.871110e-05,4.930516e-05,4.975848e-05,5.063023e-05,5.074555e-05,5.167409e-05,5.185294e-05,5.254598e-05,5.297762e-05,5.336317e-05,5.400882e-05,5.412768e-05,5.484153e-05,5.495118e-05,5.550674e-05,5.580937e-05,5.612534e-05,5.658800e-05,5.669932e-05,5.723062e-05,5.729161e-05,5.772118e-05,5.792459e-05,5.817284e-05,5.849121e-05,5.858742e-05,5.896667e-05,5.899554e-05,5.931230e-05,5.944150e-05,5.962593e-05,5.983283e-05,5.990915e-05,6.016347e-05,6.017307e-05,6.039036e-05,6.046559e-05,6.059121e-05,6.071360e-05,6.076736e-05,6.092010e-05,6.105065e-05,6.108794e-05,6.116021e-05,6.121983e-05,6.124989e-05,6.131829e-05,6.132078e-05,6.137390e-05,6.138572e-05,6.141023e-05,6.142436e-05,6.143071e-05,6.143632e-05,6.143623e-05,6.142766e-05,6.142359e-05,6.140580e-05,6.138804e-05,6.137143e-05,6.133142e-05,6.132528e-05,6.126807e-05,6.125536e-05,6.120046e-05,6.116141e-05,6.112310e-05,6.105101e-05,6.103658e-05,6.094149e-05,6.092552e-05,6.083839e-05,6.078620e-05,6.072778e-05,6.063423e-05,6.061018e-05,6.048605e-05,6.047073e-05,6.035584e-05,6.029674e-05,6.021999e-05,6.011322e-05,6.007890e-05,5.993295e-05,5.992108e-05,5.978252e-05,5.972117e-05,5.962795e-05,5.951428e-05,5.946957e-05,5.930769e-05,5.930115e-05,5.914262e-05,5.908247e-05,5.897464e-05,5.885888e-05,5.880401e-05,5.863099e-05,5.839935e-05,5.816448e-05,5.792686e-05,5.768695e-05,5.744517e-05,5.720190e-05,5.695751e-05,5.671233e-05,5.646668e-05,5.622084e-05,5.597508e-05,5.572965e-05,5.548478e-05,5.524067e-05,5.499752e-05,5.475551e-05,5.451480e-05,5.427554e-05,5.403786e-05,5.380191e-05,5.356778e-05,5.333559e-05,5.310543e-05,5.287738e-05
0.000000e+00,5.164033e-11,1.283286e-10,4.800441e-10,1.136645e-09,1.685472e-09,3.965185e-09,4.090434e-09,8.208059e-09,9.752597e-09,1.467733e-08,1.996221e-08,2.413021e-08,3.566557e-08,3.679019e-08,5.227181e-08,5.633696e-08,6.995271e-08,8.061524e-08,8.931610e-08,1.074542e-07,1.099956e-07,1.317171e-07,1.361656e-07,1.542490e-07,1.662142e-07,1.773761e-07,1.971092e-07,2.008887e-07,2.245818e-07,2.283761e-07,2.482574e-07,2.595601e-07,2.717288e-07,2.902435e-07,2.948252e-07,3.173950e-07,3.200615e-07,3.393071e-07,3.487113e-07,3.604534e-07,3.759596e-07,3.807493e-07,4.001315e-07,4.016412e-07,4.185558e-07,4.256510e-07,4.359962e-07,4.479374e-07,4.524418e-07,4.678945e-07,4.684921e-07,4.823672e-07,4.873417e-07,4.958827e-07,5.045395e-07,5.084669e-07,5.201521e-07,5.309748e-07,5.342621e-07,5.409732e-07,5.469581e-07,5.501873e-07,5.583326e-07,5.586577e-07,5.664242e-07,5.684780e-07,5.735260e-07,5.774841e-07,5.800016e-07,5.854381e-07,5.858882e-07,5.912215e-07,5.924230e-07,5.960356e-07,5.985169e-07,6.003629e-07,6.037927e-07,6.042341e-07,6.076784e-07,6.083185e-07,6.107233e-07,6.121574e-07,6.133946e-07,6.153677e-07,6.157167e-07,6.177123e-07,6.180027e-07,6.194029e-07,6.201119e-07,6.208084e-07,6.217404e-07,6.219478e-07,6.228387e-07,6.229296e-07,6.234974e-07,6.237177e-07,6.239394e-07,6.241393e-07,6.241791e-07,6.242301e-07,6.242264e-07,6.241050e-07,6.240083e-07,6.238155e-07,6.235116e-07,6.233728e-07,6.227873e-07,6.227610e-07,6.220685e-07,6.217789e-07,6.212256e-07,6.205859e-07,6.202670e-07,6.192009e-07,6.180345e-07,6.176413e-07,6.167750e-07,6.159231e-07,6.154289e-07,6.140608e-07,6.140023e-07,6.125011e-07,6.120681e-07,6.109305e-07,6.099571e-07,6.092958e-07,6.077394e-07,6.076018e-07,6.058528e-07,6.054254e-07,6.040532e-07,6.030247e-07,6.022068e-07,6.005464e-07,6.003175e-07,5.983887e-07,5.979985e-07,5.964238e-07,5.953887e-07,5.944258e-07,5.927240e-07,5.923976e-07,5.903421e-07,5.900109e-07,5.882618e-07,5.872552e-07,5.861592e-07,5.844625e-07,5.840365e-07,5.818959e-07,5.816380e-07,5.797395e-07,5.787862e-07,5.775693e-07,5.759117e-07,5.753869e-07,5.731942e-07,5.730184e-07,5.709927e-07,5.701100e-07,5.687840e-07,5.671900e-07,5.665695e-07,5.643505e-07,5.642617e-07,5.621284e-07,5.613279e-07,5.599043e-07,5.583914e-07,5.576794e-07,5.554547e-07,5.525202e-07,5.495900e-07,5.466662e-07,5.437506e-07,5.408448e-07,5.379505e-07,5.350692e-07,5.322021e-07,5.293504e-07,5.265155e-07,5.236981e-07,5.208994e-07,5.181202e-07,5.153612e-07,5.126232e-07,5.099069e-07,5.072128e-07,5.045415e-07,5.018935e-07,4.992691e-07,4.966689e-07,4.940930e-07,4.915419e-07,4.890158e-07
0.000000e+00,1.766828e-12,1.304814e-11,2.297888e-10,1.406584e-09,3.133501e-09,1.649504e-08,1.748110e-08,6.120145e-08,8.229242e-08,1.626991e-07,2.677465e-07,3.628890e-07,6.817307e-07,7.172902e-07,1.291832e-06,1.469570e-06,2.146387e-06,2.761062e-06,3.314077e-06,4.599914e-06,4.793047e-06,6.554676e-06,6.937411e-06,8.558414e-06,9.682294e-06,1.076339e-05,1.274479e-05,1.313391e-05,1.564024e-05,1.605215e-05,1.825748e-05,1.954663e-05,2.096372e-05,2.317933e-05,2.373898e-05,2.656437e-05,2.690593e-05,2.942190e-05,3.068495e-05,3.229447e-05,3.447776e-05,3.516603e-05,3.802181e-05,3.824918e-05,4.084843e-05,4.196821e-05,4.363407e-05,4.560853e-05,4.636847e-05,4.904289e-05,4.914852e-05,5.165010e-05,5.257108e-05,5.418425e-05,5.586334e-05,5.664073e-05,5.901610e-05,6.130791e-05,6.202337e-05,6.351462e-05,6.488185e-05,6.563542e-05,6.759039e-05,6.767012e-05,6.961907e-05,7.014950e-05,7.148303e-05,7.256108e-05,7.326315e-05,7.482798e-05,7.496080e-05,7.657762e-05,7.695383e-05,7.811542e-05,7.894277e-05,7.957611e-05,8.079935e-05,8.096172e-05,8.227435e-05,8.252831e-05,8.351612e-05,8.413456e-05,8.468921e-05,8.562310e-05,8.579577e-05,8.683798e-05,8.699891e-05,8.781800e-05,8.826695e-05,8.873796e-05,8.943208e-05,8.959994e-05,9.040603e-05,9.049910e-05,9.115826e-05,9.147268e-05,9.185860e-05,9.235736e-05,9.250900e-05,9.311136e-05,9.315753e-05,9.366753e-05,9.387746e-05,9.417930e-05,9.452127e-05,9.464843e-05,9.507661e-05,9.509291e-05,9.546550e-05,9.559620e-05,9.581671e-05,9.603479e-05,9.613178e-05,9.641221e-05,9.665948e-05,9.673183e-05,9.687498e-05,9.699686e-05,9.706008e-05,9.721040e-05,9.721610e-05,9.734431e-05,9.737540e-05,9.744595e-05,9.749467e-05,9.752220e-05,9.757091e-05,9.757421e-05,9.760308e-05,9.760669e-05,9.760989e-05,9.760445e-05,9.759566e-05,9.756652e-05,9.756138e-05,9.750801e-05,9.749513e-05,9.743647e-05,9.739238e-05,9.734765e-05,9.726030e-05,9.724239e-05,9.712152e-05,9.710079e-05,9.698583e-05,9.691566e-05,9.683609e-05,9.670666e-05,9.667301e-05,9.649731e-05,9.647540e-05,9.630965e-05,9.622346e-05,9.611069e-05,9.595231e-05,9.590105e-05,9.568134e-05,9.566334e-05,9.545212e-05,9.535789e-05,9.521395e-05,9.503722e-05,9.496735e-05,9.471284e-05,9.470251e-05,9.445091e-05,9.435489e-05,9.418203e-05,9.399544e-05,9.390663e-05,9.362516e-05,9.324501e-05,9.285589e-05,9.245865e-05,9.205411e-05,9.164303e-05,9.122611e-05,9.080405e-05,9.037748e-05,8.994699e-05,8.951317e-05,8.907654e-05,8.863760e-05,8.819682e-05,8.775466e-05,8.731152e-05,8.686780e-05,8.642386e-05,8.598004e-05,8.553668e-05,8.509405e-05,8.465246e-05,8.421216e-05,8.377339e-05,8.333639e-05
0.000000e+00,3.788729e-11,1.109545e-10,4.920172e-10,1.257389e-09,1.915148e-09,4.690340e-09,4.843151e-09,9.828471e-09,1.167388e-08,1.747822e-08,2.362884e-08,2.847771e-08,4.219894e-08,4.357523e-08,6.348433e-08,6.903870e-08,8.866161e-08,1.050615e-07,1.190357e-07,1.495506e-07,1.539484e-07,1.924225e-07,2.004572e-07,2.334922e-07,2.556010e-07,2.763564e-07,3.132835e-07,3.203842e-07,3.650716e-07,3.722540e-07,4.100007e-07,4.315455e-07,4.548134e-07,4.903686e-07,4.991975e-07,5.428803e-07,5.480636e-07,5.856257e-07,6.040837e-07,6.272327e-07,6.579889e-07,6.675346e-07,7.063970e-07,7.094405e-07,7.437164e-07,7.581942e-07,7.794168e-07,8.040891e-07,8.134472e-07,8.457790e-07,8.470368e-07,8.764031e-07,8.870107e-07,9.053269e-07,9.240340e-07,9.325709e-07,9.581644e-07,9.821460e-07,9.894870e-07,1.004561e-06,1.018108e-06,1.025460e-06,1.044143e-06,1.044893e-06,1.062918e-06,1.067721e-06,1.079592e-06,1.088971e-06,1.094971e-06,1.108028e-06,1.109115e-06,1.122080e-06,1.125023e-06,1.133928e-06,1.140095e-06,1.144714e-06,1.153371e-06,1.154493e-06,1.163314e-06,1.164968e-06,1.171230e-06,1.175004e-06,1.178287e-06,1.183586e-06,1.184532e-06,1.190010e-06,1.190818e-06,1.194762e-06,1.196797e-06,1.198830e-06,1.201617e-06,1.202252e-06,1.205066e-06,1.205364e-06,1.207307e-06,1.208120e-06,1.209008e-06,1.209959e-06,1.210201e-06,1.210917e-06,1.210954e-06,1.211185e-06,1.211172e-06,1.211032e-06,1.210676e-06,1.210484e-06,1.209567e-06,1.209522e-06,1.208303e-06,1.207767e-06,1.206715e-06,1.205461e-06,1.204824e-06,1.202651e-06,1.200214e-06,1.199382e-06,1.197532e-06,1.195694e-06,1.194621e-06,1.191626e-06,1.191497e-06,1.188177e-06,1.187213e-06,1.184673e-06,1.182489e-06,1.181001e-06,1.177485e-06,1.177173e-06,1.173201e-06,1.172228e-06,1.169097e-06,1.166745e-06,1.164872e-06,1.161062e-06,1.160536e-06,1.156099e-06,1.155200e-06,1.151570e-06,1.149181e-06,1.146957e-06,1.143025e-06,1.142270e-06,1.137516e-06,1.136749e-06,1.132701e-06,1.130371e-06,1.127834e-06,1.123906e-06,1.122920e-06,1.117966e-06,1.117369e-06,1.112977e-06,1.110772e-06,1.107959e-06,1.104129e-06,1.102916e-06,1.097855e-06,1.097449e-06,1.092778e-06,1.090744e-06,1.087691e-06,1.084024e-06,1.082597e-06,1.077501e-06,1.077297e-06,1.072405e-06,1.070571e-06,1.067313e-06,1.063854e-06,1.062228e-06,1.057153e-06,1.050473e-06,1.043821e-06,1.037202e-06,1.030620e-06,1.024081e-06,1.017587e-06,1.011142e-06,1.004750e-06,9.984139e-07,9.921356e-07,9.859177e-07,9.797623e-07,9.736712e-07,9.676460e-07,9.616881e-07,9.557986e-07,9.499787e-07,9.442292e-07,9.385508e-07,9.329441e-07,9.274096e-07,9.219475e-07,9.165581e-07,9.112416e-07
0.000000e+00,6.091425e-14,5.450804e-13,1.422248e-11,1.236501e-10,3.327637e-10,2.812864e-09,3.037460e-09,1.656279e-08,2.498696e-08,6.523120e-08,1.327377e-07,2.053426e-07,5.099150e-07,5.488904e-07,1.295475e-06,1.567676e-06,2.772466e-06,4.097335e-06,5.482745e-06,9.462676e-06,1.015820e-05,1.781593e-05,1.981821e-05,2.981314e-05,3.832985e-05,4.789681e-05,6.937048e-05,7.424453e-05,1.114941e-04,1.186670e-04,1.627598e-04,1.933829e-04,2.316350e-04,3.021277e-04,3.221804e-04,4.388992e-04,4.548934e-04,5.866983e-04,6.629206e-04,7.708393e-04,9.385012e-04,9.968778e-04,1.270596e-03,1.294730e-03,1.597925e-03,1.745211e-03,1.984866e-03,2.303739e-03,2.437405e-03,2.961428e-03,2.983957e-03,3.562636e-03,3.799021e-03,4.246459e-03,4.761260e-03,5.017983e-03,5.881870e-03,6.842293e-03,7.170625e-03,7.902876e-03,8.635637e-03,9.066644e-03,1.028315e-02,1.033598e-02,1.171258e-02,1.211740e-02,1.319745e-02,1.414050e-02,1.479090e-02,1.635242e-02,1.649250e-02,1.830113e-02,1.875093e-02,2.021495e-02,2.133174e-02,2.223148e-02,2.408850e-02,2.434757e-02,2.655948e-02,2.701300e-02,2.886291e-02,3.009528e-02,3.125303e-02,3.332387e-02,3.372455e-02,3.627175e-02,3.668593e-02,3.888858e-02,4.016752e-02,4.156865e-02,4.375380e-02,4.430535e-02,4.709187e-02,4.742927e-02,4.992127e-02,5.117797e-02,5.278651e-02,5.498372e-02,5.568053e-02,5.859629e-02,5.883028e-02,6.152679e-02,6.270158e-02,6.446516e-02,6.658186e-02,6.740465e-02,7.033870e-02,7.045586e-02,7.326095e-02,7.430888e-02,7.616527e-02,7.812697e-02,7.904582e-02,8.189700e-02,8.471355e-02,8.560671e-02,8.749050e-02,8.924480e-02,9.022320e-02,9.280094e-02,9.290732e-02,9.553890e-02,9.626582e-02,9.811427e-02,9.963113e-02,1.006301e-01,1.028896e-01,1.030835e-01,1.054717e-01,1.060349e-01,1.077924e-01,1.090618e-01,1.100437e-01,1.119659e-01,1.122237e-01,1.143311e-01,1.147437e-01,1.163647e-01,1.173927e-01,1.183237e-01,1.199111e-01,1.202074e-01,1.220155e-01,1.222978e-01,1.237479e-01,1.245525e-01,1.254045e-01,1.266755e-01,1.269857e-01,1.284920e-01,1.286677e-01,1.299239e-01,1.305306e-01,1.312823e-01,1.322661e-01,1.325681e-01,1.337824e-01,1.338765e-01,1.349264e-01,1.353645e-01,1.360013e-01,1.367332e-01,1.370085e-01,1.379496e-01,1.379859e-01,1.388261e-01,1.391261e-01,1.396396e-01,1.401575e-01,1.403916e-01,1.410841e-01,1.419097e-01,1.426386e-01,1.432747e-01,1.438223e-01,1.442854e-01,1.446683e-01,1.449750e-01,1.452096e-01,1.453759e-01,1.454778e-01,1.455193e-01,1.455038e-01,1.454350e-01,1.453163e-01,1.451510e-01,1.449423e-01,1.446934e-01,1.444070e-01,1.440861e-01,1.437334e-01,1.433513e-01,1.429424e-01,1.425089e-01,1.420531e-01
0.000000e+00,9.809912e-12,2.260474e-11,7.810213e-11,1.777334e-10,2.591256e-10,5.859673e-10,6.034987e-10,1.160798e-09,1.361876e-09,1.981967e-09,2.623392e-09,3.120102e-09,4.491154e-09,4.626184e-09,6.535354e-09,7.054555e-09,8.849368e-09,1.031078e-08,1.153556e-08,1.416868e-08,1.454529e-08,1.783020e-08,1.851633e-08,2.134727e-08,2.325491e-08,2.505775e-08,2.829741e-08,2.892532e-08,3.291485e-08,3.356218e-08,3.699197e-08,3.897025e-08,4.112326e-08,4.444563e-08,4.527657e-08,4.942163e-08,4.991713e-08,5.353044e-08,5.532020e-08,5.757766e-08,6.059844e-08,6.154086e-08,6.540075e-08,6.570457e-08,6.914110e-08,7.060070e-08,7.274868e-08,7.525801e-08,7.621314e-08,7.952674e-08,7.965606e-08,8.268412e-08,8.378186e-08,8.568206e-08,8.762879e-08,8.851913e-08,9.119550e-08,9.371264e-08,9.448490e-08,9.607313e-08,9.750319e-08,9.828040e-08,1.002591e-07,1.003386e-07,1.022523e-07,1.027630e-07,1.040267e-07,1.050266e-07,1.056670e-07,1.070625e-07,1.071788e-07,1.085677e-07,1.088834e-07,1.098392e-07,1.105021e-07,1.109990e-07,1.119315e-07,1.120525e-07,1.130051e-07,1.131840e-07,1.138621e-07,1.142716e-07,1.146285e-07,1.152060e-07,1.153093e-07,1.159093e-07,1.159981e-07,1.164329e-07,1.166583e-07,1.168845e-07,1.171967e-07,1.172683e-07,1.175883e-07,1.176226e-07,1.178483e-07,1.179446e-07,1.180519e-07,1.181710e-07,1.182025e-07,1.183035e-07,1.183096e-07,1.183580e-07,1.183674e-07,1.183688e-07,1.183512e-07,1.183389e-07,1.182708e-07,1.182673e-07,1.181671e-07,1.181215e-07,1.180301e-07,1.179191e-07,1.178621e-07,1.176653e-07,1.174416e-07,1.173646e-07,1.171929e-07,1.170215e-07,1.169211e-07,1.166400e-07,1.166279e-07,1.163147e-07,1.162237e-07,1.159833e-07,1.157762e-07,1.156350e-07,1.153007e-07,1.152711e-07,1.148929e-07,1.148001e-07,1.145016e-07,1.142772e-07,1.140984e-07,1.137345e-07,1.136842e-07,1.132602e-07,1.131743e-07,1.128273e-07,1.125989e-07,1.123863e-07,1.120103e-07,1.119381e-07,1.114835e-07,1.114102e-07,1.110231e-07,1.108004e-07,1.105578e-07,1.101824e-07,1.100882e-07,1.096148e-07,1.095578e-07,1.091383e-07,1.089278e-07,1.086592e-07,1.082937e-07,1.081780e-07,1.076952e-07,1.076565e-07,1.072112e-07,1.070174e-07,1.067265e-07,1.063772e-07,1.062414e-07,1.057563e-07,1.057369e-07,1.052715e-07,1.050972e-07,1.047875e-07,1.044588e-07,1.043044e-07,1.038225e-07,1.031888e-07,1.025583e-07,1.019314e-07,1.013087e-07,1.006905e-07,1.000772e-07,9.946915e-08,9.886662e-08,9.826989e-08,9.767920e-08,9.709474e-08,9.651671e-08,9.594527e-08,9.538055e-08,9.482268e-08,9.427174e-08,9.372784e-08,9.319103e-08,9.266137e-08,9.213889e-08,9.162363e-08,9.111561e-08,9.061482e-08,9.012127e-08
0.000000e+00,2.358403e-11,9.960214e-11,6.798246e-10,2.138587e-09,3.516423e-09,9.812961e-09,1.017212e-08,2.218973e-08,2.671856e-08,4.105525e-08,5.627238e-08,6.823576e-08,1.018188e-07,1.051630e-07,1.530698e-07,1.662949e-07,2.126582e-07,2.511413e-07,2.838835e-07,3.557061e-07,3.661303e-07,4.585464e-07,4.781704e-07,5.602259e-07,6.164546e-07,6.702455e-07,7.684110e-07,7.876520e-07,9.114523e-07,9.317854e-07,1.040619e-06,1.104217e-06,1.174103e-06,1.283297e-06,1.310860e-06,1.449866e-06,1.466650e-06,1.590142e-06,1.652027e-06,1.730772e-06,1.837366e-06,1.870913e-06,2.009813e-06,2.020851e-06,2.146805e-06,2.200935e-06,2.281308e-06,2.376328e-06,2.412828e-06,2.540960e-06,2.546010e-06,2.665370e-06,2.709195e-06,2.785799e-06,2.865316e-06,2.902053e-06,3.013992e-06,3.121527e-06,3.155000e-06,3.224613e-06,3.288246e-06,3.323238e-06,3.413744e-06,3.417427e-06,3.507228e-06,3.531594e-06,3.592708e-06,3.641958e-06,3.673955e-06,3.745049e-06,3.751068e-06,3.824158e-06,3.841114e-06,3.893341e-06,3.930424e-06,3.958743e-06,4.013269e-06,4.020490e-06,4.078712e-06,4.089945e-06,4.133540e-06,4.160753e-06,4.185106e-06,4.225995e-06,4.233539e-06,4.278969e-06,4.285967e-06,4.321521e-06,4.340961e-06,4.361320e-06,4.391259e-06,4.398487e-06,4.433140e-06,4.437135e-06,4.465394e-06,4.478854e-06,4.495359e-06,4.516668e-06,4.523143e-06,4.548851e-06,4.550821e-06,4.572583e-06,4.581544e-06,4.594435e-06,4.609057e-06,4.614501e-06,4.632870e-06,4.633571e-06,4.649629e-06,4.655284e-06,4.664861e-06,4.674386e-06,4.678644e-06,4.691054e-06,4.702166e-06,4.705459e-06,4.712048e-06,4.717758e-06,4.720767e-06,4.728104e-06,4.728388e-06,4.734972e-06,4.736638e-06,4.740577e-06,4.743493e-06,4.745258e-06,4.748796e-06,4.749070e-06,4.752064e-06,4.752666e-06,4.754287e-06,4.755213e-06,4.755786e-06,4.756542e-06,4.756606e-06,4.756788e-06,4.756752e-06,4.756373e-06,4.755934e-06,4.755398e-06,4.754174e-06,4.753901e-06,4.751916e-06,4.751555e-06,4.749475e-06,4.748151e-06,4.746610e-06,4.744033e-06,4.743351e-06,4.739726e-06,4.739268e-06,4.735762e-06,4.733917e-06,4.731485e-06,4.728039e-06,4.726918e-06,4.722084e-06,4.721687e-06,4.717006e-06,4.714911e-06,4.711704e-06,4.707758e-06,4.706197e-06,4.700504e-06,4.700273e-06,4.694643e-06,4.692495e-06,4.688630e-06,4.684462e-06,4.682480e-06,4.676209e-06,4.667769e-06,4.659171e-06,4.650444e-06,4.641613e-06,4.632702e-06,4.623733e-06,4.614726e-06,4.605700e-06,4.596671e-06,4.587656e-06,4.578668e-06,4.569721e-06,4.560827e-06,4.551996e-06,4.543239e-06,4.534563e-06,4.525978e-06,4.517490e-06,4.509106e-06,4.500831e-06,4.492670e-06,4.484628e-06,4.476708e-06,4.468914e-06
0.000000e+00,1.378427e-12,3.155481e-12,1.083070e-11,2.461945e-11,3.593431e-11,8.200163e-11,8.450349e-11,1.656810e-10,1.957005e-10,2.901229e-10,3.894064e-10,4.663535e-10,6.747193e-10,6.947877e-10,9.694117e-10,1.041450e-09,1.283853e-09,1.475519e-09,1.633397e-09,1.967168e-09,2.014451e-09,2.423795e-09,2.508774e-09,2.858150e-09,3.092736e-09,3.313978e-09,3.710677e-09,3.787454e-09,4.274510e-09,4.353418e-09,4.770925e-09,5.011278e-09,5.272447e-09,5.674543e-09,5.774920e-09,6.274385e-09,6.333940e-09,6.767168e-09,6.981009e-09,7.249958e-09,7.608388e-09,7.719844e-09,8.174345e-09,8.209976e-09,8.611415e-09,8.780986e-09,9.029434e-09,9.317911e-09,9.427181e-09,9.803811e-09,9.818429e-09,1.015881e-08,1.028126e-08,1.049195e-08,1.070602e-08,1.080328e-08,1.109304e-08,1.136164e-08,1.144321e-08,1.160965e-08,1.175788e-08,1.183775e-08,1.203868e-08,1.204668e-08,1.223726e-08,1.228745e-08,1.241035e-08,1.250616e-08,1.256680e-08,1.269680e-08,1.270750e-08,1.283332e-08,1.286140e-08,1.294513e-08,1.300193e-08,1.304376e-08,1.312030e-08,1.313002e-08,1.320471e-08,1.321832e-08,1.326856e-08,1.329773e-08,1.332231e-08,1.336014e-08,1.336662e-08,1.340215e-08,1.340706e-08,1.342952e-08,1.343992e-08,1.344929e-08,1.346001e-08,1.346201e-08,1.346820e-08,1.346853e-08,1.346834e-08,1.346659e-08,1.346287e-08,1.345523e-08,1.345222e-08,1.343679e-08,1.343536e-08,1.341694e-08,1.340785e-08,1.339303e-08,1.337348e-08,1.336538e-08,1.333428e-08,1.333297e-08,1.330003e-08,1.328698e-08,1.326288e-08,1.323610e-08,1.322309e-08,1.318088e-08,1.313647e-08,1.312182e-08,1.309005e-08,1.305938e-08,1.304182e-08,1.299396e-08,1.299194e-08,1.294058e-08,1.292595e-08,1.288789e-08,1.285570e-08,1.283401e-08,1.278350e-08,1.277907e-08,1.272319e-08,1.270966e-08,1.266649e-08,1.263442e-08,1.260907e-08,1.255803e-08,1.255103e-08,1.249247e-08,1.248070e-08,1.243346e-08,1.240262e-08,1.237408e-08,1.232398e-08,1.231442e-08,1.225453e-08,1.224493e-08,1.219449e-08,1.216563e-08,1.213434e-08,1.208619e-08,1.207416e-08,1.201397e-08,1.200676e-08,1.195385e-08,1.192742e-08,1.189382e-08,1.184828e-08,1.183392e-08,1.177420e-08,1.176943e-08,1.171469e-08,1.169096e-08,1.165543e-08,1.161292e-08,1.159643e-08,1.153773e-08,1.153539e-08,1.147935e-08,1.145842e-08,1.142132e-08,1.138207e-08,1.136366e-08,1.130638e-08,1.123139e-08,1.115714e-08,1.108367e-08,1.101099e-08,1.093913e-08,1.086812e-08,1.079798e-08,1.072871e-08,1.066033e-08,1.059285e-08,1.052629e-08,1.046064e-08,1.039590e-08,1.033210e-08,1.026921e-08,1.020725e-08,1.014622e-08,1.008610e-08,1.002690e-08,9.968621e-09,9.911246e-09,9.854773e-09,9.799197e-09,9.744509e-09
0.000000e+00,8.202645e-15,6.876715e-14,1.565069e-12,1.198771e-11,3.006740e-11,2.112768e-10,2.264180e-10,1.023420e-09,1.466216e-09,3.357528e-09,6.137403e-09,8.848306e-09,1.874268e-08,1.990240e-08,3.973324e-08,4.622487e-08,7.230899e-08,9.781504e-08,1.222393e-07,1.845504e-07,1.945900e-07,2.946016e-07,3.183748e-07,4.273091e-07,5.107357e-07,5.971112e-07,7.709115e-07,8.073742e-07,1.060150e-06,1.104601e-06,1.356051e-06,1.513214e-06,1.694267e-06,1.993941e-06,2.072710e-06,2.488231e-06,2.540404e-06,2.936857e-06,3.143582e-06,3.414033e-06,3.792763e-06,3.914840e-06,4.434180e-06,4.476374e-06,4.966933e-06,5.182659e-06,5.508077e-06,5.900181e-06,6.052793e-06,6.596539e-06,6.618208e-06,7.135111e-06,7.326983e-06,7.664692e-06,8.017918e-06,8.181881e-06,8.683720e-06,9.167694e-06,9.318443e-06,9.631738e-06,9.917497e-06,1.007422e-05,1.047760e-05,1.049394e-05,1.089006e-05,1.099668e-05,1.126214e-05,1.147377e-05,1.161003e-05,1.190885e-05,1.193388e-05,1.223409e-05,1.230268e-05,1.251125e-05,1.265667e-05,1.276613e-05,1.297270e-05,1.299962e-05,1.321273e-05,1.325299e-05,1.340651e-05,1.350000e-05,1.358206e-05,1.371627e-05,1.374052e-05,1.388300e-05,1.390439e-05,1.401062e-05,1.406691e-05,1.412444e-05,1.420626e-05,1.422550e-05,1.431480e-05,1.432477e-05,1.439327e-05,1.442460e-05,1.446180e-05,1.450775e-05,1.452122e-05,1.457229e-05,1.457604e-05,1.461573e-05,1.463111e-05,1.465219e-05,1.467446e-05,1.468228e-05,1.470656e-05,1.470742e-05,1.472554e-05,1.473117e-05,1.473969e-05,1.474676e-05,1.474942e-05,1.475512e-05,1.475716e-05,1.475708e-05,1.475583e-05,1.475336e-05,1.475145e-05,1.474460e-05,1.474426e-05,1.473452e-05,1.473137e-05,1.472244e-05,1.471416e-05,1.470823e-05,1.469342e-05,1.469205e-05,1.467409e-05,1.466953e-05,1.465450e-05,1.464286e-05,1.463340e-05,1.461370e-05,1.461094e-05,1.458722e-05,1.458234e-05,1.456236e-05,1.454902e-05,1.453646e-05,1.451396e-05,1.450960e-05,1.448187e-05,1.447736e-05,1.445335e-05,1.443941e-05,1.442412e-05,1.440025e-05,1.439423e-05,1.436375e-05,1.436006e-05,1.433274e-05,1.431894e-05,1.430126e-05,1.427704e-05,1.426935e-05,1.423706e-05,1.423446e-05,1.420443e-05,1.419130e-05,1.417152e-05,1.414765e-05,1.413834e-05,1.410495e-05,1.410361e-05,1.407137e-05,1.405924e-05,1.403764e-05,1.401462e-05,1.400378e-05,1.396982e-05,1.392490e-05,1.387991e-05,1.383491e-05,1.378994e-05,1.374505e-05,1.370027e-05,1.365565e-05,1.361121e-05,1.356700e-05,1.352304e-05,1.347935e-05,1.343596e-05,1.339289e-05,1.335017e-05,1.330780e-05,1.326582e-05,1.322422e-05,1.318304e-05,1.314227e-05,1.310193e-05,1.306204e-05,1.302259e-05,1.298360e-05,1.294507e-05
0.000000e+00,1.370208e-14,1.184841e-13,2.876106e-12,2.338081e-11,6.061141e-11,4.643457e-10,4.993935e-10,2.463789e-09,3.615854e-09,8.802104e-09,1.691625e-08,2.520561e-08,5.752474e-08,6.147651e-08,1.328119e-07,1.574168e-07,2.609950e-07,3.682031e-07,4.753191e-07,7.645190e-07,8.129592e-07,1.318485e-06,1.444099e-06,2.042387e-06,2.523003e-06,3.038734e-06,4.126352e-06,4.362332e-06,6.065769e-06,6.376843e-06,8.196724e-06,9.383668e-06,1.079577e-05,1.323378e-05,1.389480e-05,1.751607e-05,1.798640e-05,2.167179e-05,2.367055e-05,2.636420e-05,3.028519e-05,3.158595e-05,3.732079e-05,3.780106e-05,4.354436e-05,4.616379e-05,5.022514e-05,5.529746e-05,5.732544e-05,6.480238e-05,6.510864e-05,7.260889e-05,7.549031e-05,8.069471e-05,8.632589e-05,8.900735e-05,9.749299e-05,1.060974e-04,1.088671e-04,1.147667e-04,1.203248e-04,1.234483e-04,1.317469e-04,1.320912e-04,1.406471e-04,1.430209e-04,1.490704e-04,1.540432e-04,1.573193e-04,1.647210e-04,1.653552e-04,1.731439e-04,1.749729e-04,1.806551e-04,1.847303e-04,1.878628e-04,1.939372e-04,1.947452e-04,2.012846e-04,2.025501e-04,2.074673e-04,2.105378e-04,2.132832e-04,2.178805e-04,2.187261e-04,2.237929e-04,2.245687e-04,2.284837e-04,2.306024e-04,2.328011e-04,2.359897e-04,2.367504e-04,2.403388e-04,2.407456e-04,2.435755e-04,2.448910e-04,2.464712e-04,2.484512e-04,2.490379e-04,2.512886e-04,2.514554e-04,2.532370e-04,2.539350e-04,2.548975e-04,2.559231e-04,2.562849e-04,2.574140e-04,2.574540e-04,2.582999e-04,2.585621e-04,2.589574e-04,2.592816e-04,2.594013e-04,2.596459e-04,2.597052e-04,2.596873e-04,2.595929e-04,2.594370e-04,2.593221e-04,2.589246e-04,2.589052e-04,2.583545e-04,2.581778e-04,2.576811e-04,2.572228e-04,2.568961e-04,2.560841e-04,2.560097e-04,2.550315e-04,2.547841e-04,2.539708e-04,2.533438e-04,2.528359e-04,2.517823e-04,2.516350e-04,2.503754e-04,2.501171e-04,2.490642e-04,2.483641e-04,2.477078e-04,2.465379e-04,2.463122e-04,2.448830e-04,2.446516e-04,2.434254e-04,2.427170e-04,2.419440e-04,2.407447e-04,2.404432e-04,2.389271e-04,2.387443e-04,2.373993e-04,2.367243e-04,2.358632e-04,2.346922e-04,2.343220e-04,2.327784e-04,2.326549e-04,2.312351e-04,2.306183e-04,2.296943e-04,2.285877e-04,2.281582e-04,2.266287e-04,2.265677e-04,2.251075e-04,2.245623e-04,2.235963e-04,2.225750e-04,2.220964e-04,2.206090e-04,2.186668e-04,2.167507e-04,2.148625e-04,2.130039e-04,2.111762e-04,2.093805e-04,2.076176e-04,2.058882e-04,2.041927e-04,2.025316e-04,2.009050e-04,1.993131e-04,1.977557e-04,1.962328e-04,1.947441e-04,1.932895e-04,1.918686e-04,1.904809e-04,1.891262e-04,1.878038e-04,1.865135e-04,1.852545e-04,1.840264e-04,1.828286e-04
0.000000e+00,2.829975e-14,2.370936e-13,5.393620e-12,4.136474e-11,1.039175e-10,7.362718e-10,7.894228e-10,3.628165e-09,5.230996e-09,1.222123e-08,2.281545e-08,3.343343e-08,7.400293e-08,7.891355e-08,1.666935e-07,1.967101e-07,3.219628e-07,4.498111e-07,5.757365e-07,9.068584e-07,9.611025e-07,1.508259e-06,1.639287e-06,2.240128e-06,2.698444e-06,3.169729e-06,4.105542e-06,4.299593e-06,5.622799e-06,5.851576e-06,7.124931e-06,7.903882e-06,8.786344e-06,1.021492e-05,1.058428e-05,1.249464e-05,1.273028e-05,1.449325e-05,1.539454e-05,1.655678e-05,1.815492e-05,1.866330e-05,2.079257e-05,2.096334e-05,2.292626e-05,2.377722e-05,2.504792e-05,2.655985e-05,2.714304e-05,2.919901e-05,2.928027e-05,3.120499e-05,3.191311e-05,3.315192e-05,3.443823e-05,3.503235e-05,3.684037e-05,3.857149e-05,3.910866e-05,4.022254e-05,4.123619e-05,4.179146e-05,4.321944e-05,4.327728e-05,4.467987e-05,4.505776e-05,4.599991e-05,4.675283e-05,4.723870e-05,4.830820e-05,4.839808e-05,4.948030e-05,4.972883e-05,5.048794e-05,5.102069e-05,5.142383e-05,5.219043e-05,5.229096e-05,5.309242e-05,5.324510e-05,5.383134e-05,5.419192e-05,5.451089e-05,5.503811e-05,5.513419e-05,5.570429e-05,5.579077e-05,5.622419e-05,5.645677e-05,5.669678e-05,5.704266e-05,5.712484e-05,5.751104e-05,5.755469e-05,5.785791e-05,5.799871e-05,5.816790e-05,5.838023e-05,5.844329e-05,5.868626e-05,5.870436e-05,5.889887e-05,5.897585e-05,5.908306e-05,5.919912e-05,5.924067e-05,5.937342e-05,5.937824e-05,5.948293e-05,5.951696e-05,5.957072e-05,5.961875e-05,5.963822e-05,5.968678e-05,5.971764e-05,5.972398e-05,5.973200e-05,5.973304e-05,5.973096e-05,5.971644e-05,5.971556e-05,5.968678e-05,5.967645e-05,5.964552e-05,5.961514e-05,5.959265e-05,5.953444e-05,5.952896e-05,5.945522e-05,5.943610e-05,5.937212e-05,5.932175e-05,5.928033e-05,5.919286e-05,5.918047e-05,5.907312e-05,5.905080e-05,5.895883e-05,5.889683e-05,5.883811e-05,5.873210e-05,5.871145e-05,5.857929e-05,5.855767e-05,5.844207e-05,5.837451e-05,5.830017e-05,5.818354e-05,5.815397e-05,5.800383e-05,5.798557e-05,5.785008e-05,5.778137e-05,5.769303e-05,5.757163e-05,5.753296e-05,5.737015e-05,5.735702e-05,5.720487e-05,5.713812e-05,5.703736e-05,5.691549e-05,5.686783e-05,5.669651e-05,5.668962e-05,5.652360e-05,5.646100e-05,5.634929e-05,5.623005e-05,5.617375e-05,5.599717e-05,5.576272e-05,5.552706e-05,5.529049e-05,5.505329e-05,5.481575e-05,5.457809e-05,5.434056e-05,5.410335e-05,5.386667e-05,5.363067e-05,5.339554e-05,5.316142e-05,5.292844e-05,5.269673e-05,5.246642e-05,5.223760e-05,5.201037e-05,5.178482e-05,5.156103e-05,5.133907e-05,5.111902e-05,5.090092e-05,5.068484e-05,5.047082e-05
0.000000e+00,1.314515e-13,1.024501e-12,2.006923e-11,1.343908e-10,3.134401e-10,1.832815e-09,1.949807e-09,7.396627e-09,1.011771e-08,2.068322e-08,3.460100e-08,4.715968e-08,8.854549e-08,9.309466e-08,1.653129e-07,1.873435e-07,2.709255e-07,3.473228e-07,4.170618e-07,5.845243e-07,6.104183e-07,8.564738e-07,9.123438e-07,1.158453e-06,1.337746e-06,1.516428e-06,1.858020e-06,1.927015e-06,2.383804e-06,2.460631e-06,2.878332e-06,3.126360e-06,3.401202e-06,3.833581e-06,3.943032e-06,4.495091e-06,4.561647e-06,5.049652e-06,5.292705e-06,5.600095e-06,6.012242e-06,6.140898e-06,6.667544e-06,6.708950e-06,7.176422e-06,7.374342e-06,7.664716e-06,8.002333e-06,8.130318e-06,8.571740e-06,8.588879e-06,8.988036e-06,9.131647e-06,9.378730e-06,9.629725e-06,9.743746e-06,1.008335e-05,1.039807e-05,1.049364e-05,1.068866e-05,1.086240e-05,1.095605e-05,1.119188e-05,1.120128e-05,1.142548e-05,1.148464e-05,1.162981e-05,1.174338e-05,1.181549e-05,1.197086e-05,1.198370e-05,1.213561e-05,1.216977e-05,1.227236e-05,1.234273e-05,1.239505e-05,1.249221e-05,1.250472e-05,1.260236e-05,1.262053e-05,1.268889e-05,1.272980e-05,1.276520e-05,1.282198e-05,1.283208e-05,1.289030e-05,1.289886e-05,1.294055e-05,1.296203e-05,1.298348e-05,1.301296e-05,1.301969e-05,1.304972e-05,1.305293e-05,1.307408e-05,1.308313e-05,1.309325e-05,1.310459e-05,1.310763e-05,1.311764e-05,1.311826e-05,1.312362e-05,1.312496e-05,1.312591e-05,1.312545e-05,1.312482e-05,1.312061e-05,1.312039e-05,1.311356e-05,1.311037e-05,1.310390e-05,1.309594e-05,1.309183e-05,1.307757e-05,1.306130e-05,1.305569e-05,1.304318e-05,1.303069e-05,1.302337e-05,1.300291e-05,1.300203e-05,1.297926e-05,1.297266e-05,1.295522e-05,1.294022e-05,1.293000e-05,1.290585e-05,1.290371e-05,1.287645e-05,1.286978e-05,1.284831e-05,1.283220e-05,1.281938e-05,1.279332e-05,1.278973e-05,1.275943e-05,1.275330e-05,1.272856e-05,1.271230e-05,1.269717e-05,1.267045e-05,1.266532e-05,1.263307e-05,1.262787e-05,1.260046e-05,1.258470e-05,1.256755e-05,1.254103e-05,1.253438e-05,1.250098e-05,1.249696e-05,1.246740e-05,1.245257e-05,1.243367e-05,1.240796e-05,1.239983e-05,1.236590e-05,1.236318e-05,1.233191e-05,1.231831e-05,1.229790e-05,1.227341e-05,1.226389e-05,1.222989e-05,1.222854e-05,1.219594e-05,1.218374e-05,1.216206e-05,1.213906e-05,1.212825e-05,1.209454e-05,1.205024e-05,1.200616e-05,1.196236e-05,1.191887e-05,1.187569e-05,1.183287e-05,1.179042e-05,1.174837e-05,1.170672e-05,1.166550e-05,1.162472e-05,1.158440e-05,1.154453e-05,1.150515e-05,1.146624e-05,1.142782e-05,1.138990e-05,1.135249e-05,1.131558e-05,1.127917e-05,1.124328e-05,1.120791e-05,1.117305e-05,1.113871e-05
0.000000e+00,1.719882e-12,1.211875e-11,1.944468e-10,1.098735e-09,2.346733e-09,1.113282e-08,1.174985e-08,3.726057e-08,4.878099e-08,9.014214e-08,1.403199e-07,1.833182e-07,3.171024e-07,3.313333e-07,5.502668e-07,6.151994e-07,8.562790e-07,1.070668e-06,1.262005e-06,1.705733e-06,1.772464e-06,2.383741e-06,2.517241e-06,3.085311e-06,3.481388e-06,3.863781e-06,4.567286e-06,4.705751e-06,5.599108e-06,5.746083e-06,6.533188e-06,6.993195e-06,7.498522e-06,8.287486e-06,8.486504e-06,9.489177e-06,9.610127e-06,1.049913e-05,1.094403e-05,1.150951e-05,1.227378e-05,1.251401e-05,1.350697e-05,1.358576e-05,1.448339e-05,1.486832e-05,1.543891e-05,1.611187e-05,1.636988e-05,1.727328e-05,1.730881e-05,1.814672e-05,1.845345e-05,1.898836e-05,1.954181e-05,1.979687e-05,2.057139e-05,2.131144e-05,2.154094e-05,2.201685e-05,2.245020e-05,2.268778e-05,2.329976e-05,2.332458e-05,2.392782e-05,2.409081e-05,2.449821e-05,2.482500e-05,2.503656e-05,2.550434e-05,2.554379e-05,2.602089e-05,2.613103e-05,2.646888e-05,2.670743e-05,2.688881e-05,2.723599e-05,2.728175e-05,2.764877e-05,2.771915e-05,2.799093e-05,2.815938e-05,2.830928e-05,2.855907e-05,2.860487e-05,2.887870e-05,2.892056e-05,2.913177e-05,2.924614e-05,2.936502e-05,2.953798e-05,2.957939e-05,2.977578e-05,2.979817e-05,2.995504e-05,3.002872e-05,3.011803e-05,3.023151e-05,3.026554e-05,3.039834e-05,3.040835e-05,3.051717e-05,3.056095e-05,3.062275e-05,3.069094e-05,3.071575e-05,3.079683e-05,3.079983e-05,3.086660e-05,3.088907e-05,3.092568e-05,3.096003e-05,3.097462e-05,3.101397e-05,3.104426e-05,3.105211e-05,3.106597e-05,3.107558e-05,3.107958e-05,3.108545e-05,3.108555e-05,3.108430e-05,3.108271e-05,3.107624e-05,3.106831e-05,3.106177e-05,3.104312e-05,3.104127e-05,3.101508e-05,3.100798e-05,3.098354e-05,3.096366e-05,3.094698e-05,3.091090e-05,3.090570e-05,3.086000e-05,3.085036e-05,3.081016e-05,3.078269e-05,3.075643e-05,3.070848e-05,3.069907e-05,3.063832e-05,3.062830e-05,3.057441e-05,3.054267e-05,3.050755e-05,3.045208e-05,3.043796e-05,3.036581e-05,3.035699e-05,3.029131e-05,3.025782e-05,3.021462e-05,3.015498e-05,3.013592e-05,3.005536e-05,3.004884e-05,2.997309e-05,2.993974e-05,2.988926e-05,2.982802e-05,2.980401e-05,2.971746e-05,2.971397e-05,2.962973e-05,2.959789e-05,2.954095e-05,2.948003e-05,2.945122e-05,2.936064e-05,2.923995e-05,2.911818e-05,2.899552e-05,2.887216e-05,2.874827e-05,2.862401e-05,2.849952e-05,2.837495e-05,2.825043e-05,2.812606e-05,2.800196e-05,2.787824e-05,2.775497e-05,2.763226e-05,2.751017e-05,2.738879e-05,2.726817e-05,2.714838e-05,2.702948e-05,2.691151e-05,2.679452e-05,2.667855e-05,2.656364e-05,2.644983e-05
0.000000e+00,8.001874e-12,1.839543e-11,6.360641e-11,1.452481e-10,2.122945e-10,4.838530e-10,4.985073e-10,9.681029e-10,1.139111e-09,1.670933e-09,2.227291e-09,2.661933e-09,3.876113e-09,3.996689e-09,5.716863e-09,6.188969e-09,7.832823e-09,9.183621e-09,1.032356e-08,1.279721e-08,1.315348e-08,1.628620e-08,1.694612e-08,1.968877e-08,2.155468e-08,2.333103e-08,2.655465e-08,2.718413e-08,3.121952e-08,3.188018e-08,3.540850e-08,3.746532e-08,3.972233e-08,4.324406e-08,4.413243e-08,4.861083e-08,4.915154e-08,5.313067e-08,5.512591e-08,5.766653e-08,6.110991e-08,6.219482e-08,6.669398e-08,6.705206e-08,7.114468e-08,7.290749e-08,7.552982e-08,7.863810e-08,7.983455e-08,8.404618e-08,8.421255e-08,8.815410e-08,8.960583e-08,9.214961e-08,9.479876e-08,9.602580e-08,9.977728e-08,1.034001e-07,1.045318e-07,1.068916e-07,1.090564e-07,1.102501e-07,1.133484e-07,1.134749e-07,1.165661e-07,1.174077e-07,1.195244e-07,1.212362e-07,1.223513e-07,1.248375e-07,1.250486e-07,1.276184e-07,1.282164e-07,1.300632e-07,1.313788e-07,1.323859e-07,1.343312e-07,1.345894e-07,1.366768e-07,1.370806e-07,1.386513e-07,1.396346e-07,1.405163e-07,1.420007e-07,1.422752e-07,1.439312e-07,1.441868e-07,1.454877e-07,1.462006e-07,1.469483e-07,1.480498e-07,1.483161e-07,1.495945e-07,1.497421e-07,1.507869e-07,1.512850e-07,1.518963e-07,1.526860e-07,1.529260e-07,1.538790e-07,1.539520e-07,1.547584e-07,1.550902e-07,1.555671e-07,1.561073e-07,1.563080e-07,1.569840e-07,1.570097e-07,1.575976e-07,1.578038e-07,1.581517e-07,1.584958e-07,1.586488e-07,1.590913e-07,1.594817e-07,1.595960e-07,1.598223e-07,1.600153e-07,1.601155e-07,1.603543e-07,1.603633e-07,1.605681e-07,1.606179e-07,1.607317e-07,1.608110e-07,1.608562e-07,1.609379e-07,1.609436e-07,1.609956e-07,1.610030e-07,1.610140e-07,1.610103e-07,1.610006e-07,1.609638e-07,1.609571e-07,1.608849e-07,1.608672e-07,1.607858e-07,1.607240e-07,1.606611e-07,1.605376e-07,1.605122e-07,1.603407e-07,1.603112e-07,1.601476e-07,1.600477e-07,1.599344e-07,1.597502e-07,1.597023e-07,1.594524e-07,1.594212e-07,1.591857e-07,1.590634e-07,1.589035e-07,1.586793e-07,1.586068e-07,1.582964e-07,1.582710e-07,1.579735e-07,1.578409e-07,1.576388e-07,1.573910e-07,1.572932e-07,1.569376e-07,1.569232e-07,1.565728e-07,1.564394e-07,1.561995e-07,1.559412e-07,1.558185e-07,1.554304e-07,1.549084e-07,1.543768e-07,1.538367e-07,1.532896e-07,1.527367e-07,1.521789e-07,1.516174e-07,1.510532e-07,1.504871e-07,1.499200e-07,1.493527e-07,1.487859e-07,1.482204e-07,1.476567e-07,1.470954e-07,1.465371e-07,1.459822e-07,1.454313e-07,1.448847e-07,1.443429e-07,1.438061e-07,1.432748e-07,1.427492e-07,1.422295e-07
0.000000e+00,1.462587e-11,8.842798e-11,1.065376e-09,4.807588e-09,9.204961e-09,3.436045e-08,3.595640e-08,9.497895e-08,1.192385e-07,2.007538e-07,2.930123e-07,3.685696e-07,5.902122e-07,6.128308e-07,9.426493e-07,1.034836e-06,1.359487e-06,1.629708e-06,1.859849e-06,2.365362e-06,2.438825e-06,3.091441e-06,3.230354e-06,3.812524e-06,4.212659e-06,4.596294e-06,5.298290e-06,5.436136e-06,6.324611e-06,6.470746e-06,7.253619e-06,7.711447e-06,8.214636e-06,9.000660e-06,9.198980e-06,1.019808e-05,1.031857e-05,1.120371e-05,1.164624e-05,1.220816e-05,1.296640e-05,1.320441e-05,1.418620e-05,1.426395e-05,1.514812e-05,1.552626e-05,1.608556e-05,1.674319e-05,1.699472e-05,1.787257e-05,1.790700e-05,1.871677e-05,1.901209e-05,1.952560e-05,2.005480e-05,2.029792e-05,2.103304e-05,2.173071e-05,2.194606e-05,2.239100e-05,2.279412e-05,2.301427e-05,2.357833e-05,2.360111e-05,2.415231e-05,2.430038e-05,2.466878e-05,2.496242e-05,2.515155e-05,2.556688e-05,2.560172e-05,2.602046e-05,2.611641e-05,2.640896e-05,2.661376e-05,2.676842e-05,2.706171e-05,2.710008e-05,2.740513e-05,2.746305e-05,2.768477e-05,2.782054e-05,2.794018e-05,2.813684e-05,2.817251e-05,2.838286e-05,2.841456e-05,2.857234e-05,2.865618e-05,2.874197e-05,2.886409e-05,2.889279e-05,2.902576e-05,2.904056e-05,2.914182e-05,2.918777e-05,2.924188e-05,2.930776e-05,2.932680e-05,2.939741e-05,2.940246e-05,2.945450e-05,2.947372e-05,2.949883e-05,2.952325e-05,2.953112e-05,2.955207e-05,2.955268e-05,2.956234e-05,2.956355e-05,2.956256e-05,2.955727e-05,2.955332e-05,2.953520e-05,2.950874e-05,2.949860e-05,2.947447e-05,2.944866e-05,2.943287e-05,2.938647e-05,2.938441e-05,2.932953e-05,2.931308e-05,2.926867e-05,2.922945e-05,2.920222e-05,2.913648e-05,2.913057e-05,2.905407e-05,2.903503e-05,2.897307e-05,2.892587e-05,2.888790e-05,2.880974e-05,2.879886e-05,2.870625e-05,2.868733e-05,2.861035e-05,2.855927e-05,2.851142e-05,2.842616e-05,2.840970e-05,2.830545e-05,2.828854e-05,2.819886e-05,2.814694e-05,2.809017e-05,2.800183e-05,2.797957e-05,2.786724e-05,2.785365e-05,2.775337e-05,2.770282e-05,2.763812e-05,2.754971e-05,2.752166e-05,2.740413e-05,2.739469e-05,2.728568e-05,2.723807e-05,2.716644e-05,2.708017e-05,2.704653e-05,2.692608e-05,2.692126e-05,2.680520e-05,2.676159e-05,2.668399e-05,2.660142e-05,2.656254e-05,2.644097e-05,2.628043e-05,2.611999e-05,2.595982e-05,2.580009e-05,2.564094e-05,2.548249e-05,2.532488e-05,2.516821e-05,2.501258e-05,2.485808e-05,2.470480e-05,2.455281e-05,2.440217e-05,2.425295e-05,2.410520e-05,2.395897e-05,2.381430e-05,2.367122e-05,2.352978e-05,2.338998e-05,2.325187e-05,2.311546e-05,2.298076e-05,2.284779e-05
0.000000e+00,6.320239e-11,1.770143e-10,7.452411e-10,1.856806e-09,2.804739e-09,6.829942e-09,7.054122e-09,1.455475e-08,1.742177e-08,2.668683e-08,3.671615e-08,4.460320e-08,6.605020e-08,6.810546e-08,9.579427e-08,1.029010e-07,1.263167e-07,1.443184e-07,1.588400e-07,1.887513e-07,1.929120e-07,2.282681e-07,2.354759e-07,2.647127e-07,2.840323e-07,3.020580e-07,3.339745e-07,3.400985e-07,3.786040e-07,3.847914e-07,4.173211e-07,4.359018e-07,4.559807e-07,4.866818e-07,4.943072e-07,5.320277e-07,5.365009e-07,5.688819e-07,5.847613e-07,6.046327e-07,6.309348e-07,6.390696e-07,6.720124e-07,6.745786e-07,7.033146e-07,7.153500e-07,7.328645e-07,7.530099e-07,7.605833e-07,7.864238e-07,7.874181e-07,8.103683e-07,8.185250e-07,8.324245e-07,8.463585e-07,8.526224e-07,8.710136e-07,8.876610e-07,8.926302e-07,9.026326e-07,9.113753e-07,9.160155e-07,9.274483e-07,9.278959e-07,9.383665e-07,9.410583e-07,9.475200e-07,9.524181e-07,9.554482e-07,9.617378e-07,9.622416e-07,9.679875e-07,9.692201e-07,9.727696e-07,9.750562e-07,9.766668e-07,9.794233e-07,9.797531e-07,9.820982e-07,9.824841e-07,9.837671e-07,9.843877e-07,9.848197e-07,9.852683e-07,9.853114e-07,9.852930e-07,9.852459e-07,9.848111e-07,9.844278e-07,9.839083e-07,9.829093e-07,9.826236e-07,9.809923e-07,9.807748e-07,9.790467e-07,9.780987e-07,9.768161e-07,9.749467e-07,9.743271e-07,9.716040e-07,9.713767e-07,9.686687e-07,9.674398e-07,9.655415e-07,9.631813e-07,9.622404e-07,9.587821e-07,9.586407e-07,9.551817e-07,9.538535e-07,9.514530e-07,9.488507e-07,9.476086e-07,9.436601e-07,9.396180e-07,9.383064e-07,9.354920e-07,9.328114e-07,9.312909e-07,9.271950e-07,9.270230e-07,9.226958e-07,9.214745e-07,9.183162e-07,9.156660e-07,9.138907e-07,9.097836e-07,9.094250e-07,9.049247e-07,9.038401e-07,9.003949e-07,8.978471e-07,8.958403e-07,8.918151e-07,8.912652e-07,8.866736e-07,8.857537e-07,8.820694e-07,8.796714e-07,8.774560e-07,8.735761e-07,8.728367e-07,8.682146e-07,8.674750e-07,8.635924e-07,8.613745e-07,8.589728e-07,8.552806e-07,8.543582e-07,8.497510e-07,8.491987e-07,8.451532e-07,8.431336e-07,8.405668e-07,8.370899e-07,8.359936e-07,8.314355e-07,8.310715e-07,8.268940e-07,8.250823e-07,8.223705e-07,8.191256e-07,8.178666e-07,8.133834e-07,8.132045e-07,8.089222e-07,8.073217e-07,8.044840e-07,8.014798e-07,8.000700e-07,7.956810e-07,7.899275e-07,7.842210e-07,7.785633e-07,7.729557e-07,7.673997e-07,7.618964e-07,7.564468e-07,7.510518e-07,7.457123e-07,7.404288e-07,7.352019e-07,7.300321e-07,7.249198e-07,7.198653e-07,7.148687e-07,7.099302e-07,7.050500e-07,7.002279e-07,6.954640e-07,6.907581e-07,6.861102e-07,6.815200e-07,6.769873e-07,6.725119e-07
0.000000e+00,5.531184e-12,3.177256e-11,3.495917e-10,1.476462e-09,2.741512e-09,9.589111e-09,1.001140e-08,2.513255e-08,3.115622e-08,5.087170e-08,7.247358e-08,8.975967e-08,1.391520e-07,1.441222e-07,2.161094e-07,2.362331e-07,3.077077e-07,3.682501e-07,4.207202e-07,5.391229e-07,5.566951e-07,7.167834e-07,7.517555e-07,9.015228e-07,1.007267e-06,1.110610e-06,1.304160e-06,1.342779e-06,1.595885e-06,1.638147e-06,1.867184e-06,2.002990e-06,2.153670e-06,2.391768e-06,2.452335e-06,2.760315e-06,2.797770e-06,3.074951e-06,3.214863e-06,3.393799e-06,3.637550e-06,3.714611e-06,4.035335e-06,4.060931e-06,4.354095e-06,4.480663e-06,4.669196e-06,4.892945e-06,4.979121e-06,5.282523e-06,5.294506e-06,5.578232e-06,5.682606e-06,5.865245e-06,6.055012e-06,6.142722e-06,6.409979e-06,6.666477e-06,6.746215e-06,6.911813e-06,7.062836e-06,7.145706e-06,7.359320e-06,7.367988e-06,7.578587e-06,7.635461e-06,7.777520e-06,7.891316e-06,7.964879e-06,8.127160e-06,8.140819e-06,8.305551e-06,8.343446e-06,8.459329e-06,8.540766e-06,8.602442e-06,8.719814e-06,8.735211e-06,8.857976e-06,8.881360e-06,8.971095e-06,9.026226e-06,9.074935e-06,9.155264e-06,9.169871e-06,9.256281e-06,9.269340e-06,9.334541e-06,9.369322e-06,9.405027e-06,9.456066e-06,9.468107e-06,9.524145e-06,9.530413e-06,9.573494e-06,9.593178e-06,9.616499e-06,9.645147e-06,9.653496e-06,9.684809e-06,9.687078e-06,9.710752e-06,9.719692e-06,9.731624e-06,9.743676e-06,9.747717e-06,9.759308e-06,9.759682e-06,9.766665e-06,9.768327e-06,9.770044e-06,9.770193e-06,9.769687e-06,9.765830e-06,9.758694e-06,9.755753e-06,9.748491e-06,9.740446e-06,9.735424e-06,9.720363e-06,9.719685e-06,9.701455e-06,9.695929e-06,9.680910e-06,9.667540e-06,9.658214e-06,9.635568e-06,9.633522e-06,9.606985e-06,9.600357e-06,9.578742e-06,9.562231e-06,9.548926e-06,9.521489e-06,9.517665e-06,9.485076e-06,9.478410e-06,9.451274e-06,9.433253e-06,9.416365e-06,9.386259e-06,9.380449e-06,9.343623e-06,9.337652e-06,9.305975e-06,9.287638e-06,9.267592e-06,9.236408e-06,9.228552e-06,9.188931e-06,9.184141e-06,9.148800e-06,9.130999e-06,9.108227e-06,9.077133e-06,9.067273e-06,9.025998e-06,9.022683e-06,8.984457e-06,8.967778e-06,8.942703e-06,8.912535e-06,8.900784e-06,8.858746e-06,8.857063e-06,8.816633e-06,8.801462e-06,8.774484e-06,8.745822e-06,8.732338e-06,8.690228e-06,8.634755e-06,8.579473e-06,8.524446e-06,8.469730e-06,8.415378e-06,8.361436e-06,8.307947e-06,8.254949e-06,8.202476e-06,8.150558e-06,8.099222e-06,8.048491e-06,7.998387e-06,7.948926e-06,7.900125e-06,7.851996e-06,7.804550e-06,7.757797e-06,7.711743e-06,7.666394e-06,7.621754e-06,7.577825e-06,7.534609e-06,7.492105e-06
0.000000e+00,2.476913e-12,5.679588e-12,1.955500e-11,4.450375e-11,6.493206e-11,1.473418e-10,1.517776e-10,2.934944e-10,3.449348e-10,5.044849e-10,6.708735e-10,8.006151e-10,1.162710e-09,1.198691e-09,1.713724e-09,1.855840e-09,2.353589e-09,2.765552e-09,3.114653e-09,3.874179e-09,3.983591e-09,4.943533e-09,5.145003e-09,5.978589e-09,6.541906e-09,7.075169e-09,8.035282e-09,8.221630e-09,9.407640e-09,9.600428e-09,1.062369e-08,1.121542e-08,1.186083e-08,1.286001e-08,1.311058e-08,1.436494e-08,1.451541e-08,1.561640e-08,1.616433e-08,1.685809e-08,1.779135e-08,1.808374e-08,1.928782e-08,1.938307e-08,2.046550e-08,2.092823e-08,2.161265e-08,2.241776e-08,2.272587e-08,2.380240e-08,2.384466e-08,2.484008e-08,2.520382e-08,2.583735e-08,2.649182e-08,2.679309e-08,2.770670e-08,2.857791e-08,2.884775e-08,2.940681e-08,2.991525e-08,3.019374e-08,3.091027e-08,3.093931e-08,3.164428e-08,3.183452e-08,3.230958e-08,3.269016e-08,3.293626e-08,3.347967e-08,3.352546e-08,3.407836e-08,3.420580e-08,3.459622e-08,3.487139e-08,3.508032e-08,3.547941e-08,3.553193e-08,3.595236e-08,3.603281e-08,3.634287e-08,3.653454e-08,3.670474e-08,3.698749e-08,3.703922e-08,3.734752e-08,3.739450e-08,3.763083e-08,3.775828e-08,3.789030e-08,3.808148e-08,3.812707e-08,3.834221e-08,3.836662e-08,3.853677e-08,3.861612e-08,3.871176e-08,3.883227e-08,3.886816e-08,3.900691e-08,3.901727e-08,3.912889e-08,3.917319e-08,3.923499e-08,3.930200e-08,3.932601e-08,3.940276e-08,3.940555e-08,3.946600e-08,3.948560e-08,3.951646e-08,3.954382e-08,3.955482e-08,3.958175e-08,3.959789e-08,3.960088e-08,3.960385e-08,3.960258e-08,3.960020e-08,3.958817e-08,3.958750e-08,3.956626e-08,3.955886e-08,3.953701e-08,3.951581e-08,3.950021e-08,3.946008e-08,3.945632e-08,3.940578e-08,3.939271e-08,3.934900e-08,3.931463e-08,3.928638e-08,3.922673e-08,3.921829e-08,3.914508e-08,3.912986e-08,3.906711e-08,3.902479e-08,3.898469e-08,3.891225e-08,3.889813e-08,3.880773e-08,3.879293e-08,3.871376e-08,3.866746e-08,3.861648e-08,3.853645e-08,3.851615e-08,3.841301e-08,3.840046e-08,3.830728e-08,3.826000e-08,3.819918e-08,3.811556e-08,3.808891e-08,3.797667e-08,3.796761e-08,3.786263e-08,3.781656e-08,3.774698e-08,3.766280e-08,3.762988e-08,3.751147e-08,3.750671e-08,3.739193e-08,3.734864e-08,3.727137e-08,3.718889e-08,3.714994e-08,3.702776e-08,3.686554e-08,3.670247e-08,3.653880e-08,3.637475e-08,3.621051e-08,3.604628e-08,3.588223e-08,3.571853e-08,3.555532e-08,3.539273e-08,3.523090e-08,3.506994e-08,3.490996e-08,3.475105e-08,3.459331e-08,3.443680e-08,3.428161e-08,3.412780e-08,3.397544e-08,3.382457e-08,3.367524e-08,3.352750e-08,3.338139e-08,3.323693e-08
0.000000e+00,2.364672e-14,1.980804e-13,4.498030e-12,3.437693e-11,8.611495e-11,6.031226e-10,6.462607e-10,2.912377e-09,4.169484e-09,9.533680e-09,1.741372e-08,2.509947e-08,5.318825e-08,5.648519e-08,1.130231e-07,1.315956e-07,2.065184e-07,2.801887e-07,3.510567e-07,5.329807e-07,5.624139e-07,8.568501e-07,9.270670e-07,1.249286e-06,1.496091e-06,1.751226e-06,2.262284e-06,2.368993e-06,3.102737e-06,3.230574e-06,3.946382e-06,4.387168e-06,4.888439e-06,5.702573e-06,5.913334e-06,7.002960e-06,7.137157e-06,8.138170e-06,8.647192e-06,9.300033e-06,1.018988e-05,1.047078e-05,1.163440e-05,1.172675e-05,1.277702e-05,1.322551e-05,1.388702e-05,1.466064e-05,1.495496e-05,1.597350e-05,1.601313e-05,1.693717e-05,1.726988e-05,1.784221e-05,1.842292e-05,1.868633e-05,1.946850e-05,2.018874e-05,2.040628e-05,2.084800e-05,2.123864e-05,2.144789e-05,2.196998e-05,2.199062e-05,2.247883e-05,2.260615e-05,2.291546e-05,2.315399e-05,2.330366e-05,2.362084e-05,2.364670e-05,2.394785e-05,2.401426e-05,2.421040e-05,2.434175e-05,2.443752e-05,2.461052e-05,2.463228e-05,2.479759e-05,2.482736e-05,2.493618e-05,2.499854e-05,2.505060e-05,2.512978e-05,2.514322e-05,2.521619e-05,2.522618e-05,2.527150e-05,2.529230e-05,2.531093e-05,2.533214e-05,2.533610e-05,2.534849e-05,2.534918e-05,2.534938e-05,2.534645e-05,2.533997e-05,2.532656e-05,2.532129e-05,2.529428e-05,2.529178e-05,2.525978e-05,2.524405e-05,2.521853e-05,2.518504e-05,2.517121e-05,2.511840e-05,2.511618e-05,2.506065e-05,2.503874e-05,2.499843e-05,2.495378e-05,2.493216e-05,2.486225e-05,2.478903e-05,2.476496e-05,2.471283e-05,2.466263e-05,2.463394e-05,2.455590e-05,2.455260e-05,2.446908e-05,2.444533e-05,2.438358e-05,2.433142e-05,2.429631e-05,2.421460e-05,2.420744e-05,2.411715e-05,2.409529e-05,2.402560e-05,2.397384e-05,2.393293e-05,2.385057e-05,2.383928e-05,2.374477e-05,2.372577e-05,2.364952e-05,2.359973e-05,2.355363e-05,2.347266e-05,2.345721e-05,2.336034e-05,2.334481e-05,2.326313e-05,2.321637e-05,2.316565e-05,2.308752e-05,2.306797e-05,2.297017e-05,2.295843e-05,2.287232e-05,2.282926e-05,2.277447e-05,2.270015e-05,2.267669e-05,2.257903e-05,2.257123e-05,2.248155e-05,2.244261e-05,2.238428e-05,2.231442e-05,2.228728e-05,2.219059e-05,2.218673e-05,2.209425e-05,2.205965e-05,2.199828e-05,2.193326e-05,2.190273e-05,2.180763e-05,2.168283e-05,2.155893e-05,2.143598e-05,2.131403e-05,2.119312e-05,2.107331e-05,2.095463e-05,2.083711e-05,2.072078e-05,2.060566e-05,2.049179e-05,2.037918e-05,2.026785e-05,2.015781e-05,2.004908e-05,1.994167e-05,1.983558e-05,1.973082e-05,1.962740e-05,1.952532e-05,1.942458e-05,1.932518e-05,1.922712e-05,1.913039e-05
0.000000e+00,6.290626e-15,5.638782e-14,1.476546e-12,1.287905e-11,3.472222e-11,2.948810e-10,3.184867e-10,1.744757e-09,2.635506e-09,6.902118e-09,1.408085e-08,2.181881e-08,5.437850e-08,5.855270e-08,1.386916e-07,1.679670e-07,2.977449e-07,4.406842e-07,5.902952e-07,1.020464e-06,1.095669e-06,1.923813e-06,2.140348e-06,3.221043e-06,4.141602e-06,5.175368e-06,7.494783e-06,8.021104e-06,1.204259e-05,1.281689e-05,1.757679e-05,2.088326e-05,2.501470e-05,3.263309e-05,3.480153e-05,4.743545e-05,4.916839e-05,6.346503e-05,7.174559e-05,8.348546e-05,1.017605e-04,1.081335e-04,1.380813e-04,1.407268e-04,1.740290e-04,1.902491e-04,2.166973e-04,2.519905e-04,2.668180e-04,3.251253e-04,3.276382e-04,3.923463e-04,4.188653e-04,4.691909e-04,5.272925e-04,5.563429e-04,6.544506e-04,7.641176e-04,8.017440e-04,8.858952e-04,9.704180e-04,1.020275e-03,1.161529e-03,1.167680e-03,1.328465e-03,1.375921e-03,1.502904e-03,1.614206e-03,1.691193e-03,1.876749e-03,1.893444e-03,2.109688e-03,2.163664e-03,2.339867e-03,2.474807e-03,2.583844e-03,2.809784e-03,2.841398e-03,3.112228e-03,3.167956e-03,3.395960e-03,3.548453e-03,3.692146e-03,3.950193e-03,4.000272e-03,4.319763e-03,4.371894e-03,4.649986e-03,4.812108e-03,4.990261e-03,5.269233e-03,5.339863e-03,5.698028e-03,5.741546e-03,6.063963e-03,6.227226e-03,6.436850e-03,6.724380e-03,6.815853e-03,7.200123e-03,7.231067e-03,7.588805e-03,7.745321e-03,7.981043e-03,8.265178e-03,8.375985e-03,8.772791e-03,8.788690e-03,9.170632e-03,9.313952e-03,9.568699e-03,9.839110e-03,9.966203e-03,1.036238e-02,1.075651e-02,1.088207e-02,1.114787e-02,1.139658e-02,1.153580e-02,1.190440e-02,1.191967e-02,1.229887e-02,1.240413e-02,1.267284e-02,1.289450e-02,1.304107e-02,1.337435e-02,1.340307e-02,1.375838e-02,1.384262e-02,1.410661e-02,1.429838e-02,1.444738e-02,1.474083e-02,1.478037e-02,1.510527e-02,1.516926e-02,1.542184e-02,1.558308e-02,1.572985e-02,1.598181e-02,1.602910e-02,1.631945e-02,1.636507e-02,1.660076e-02,1.673255e-02,1.687295e-02,1.708408e-02,1.713594e-02,1.738969e-02,1.741952e-02,1.763420e-02,1.773885e-02,1.786946e-02,1.804210e-02,1.809551e-02,1.831240e-02,1.832936e-02,1.852020e-02,1.860080e-02,1.871900e-02,1.885662e-02,1.890890e-02,1.909002e-02,1.909708e-02,1.926249e-02,1.932249e-02,1.942646e-02,1.953318e-02,1.958207e-02,1.972950e-02,1.991186e-02,2.008066e-02,2.023635e-02,2.037935e-02,2.051013e-02,2.062914e-02,2.073686e-02,2.083374e-02,2.092025e-02,2.099686e-02,2.106401e-02,2.112216e-02,2.117175e-02,2.121322e-02,2.124698e-02,2.127344e-02,2.129301e-02,2.130606e-02,2.131297e-02,2.131410e-02,2.130980e-02,2.130040e-02,2.128622e-02,2.126756e-02
0.000000e+00,3.003854e-12,6.905578e-12,2.382456e-11,5.424656e-11,7.915329e-11,1.796383e-10,1.850484e-10,3.580152e-10,4.208640e-10,6.160200e-10,8.198564e-10,9.789784e-10,1.423632e-09,1.467846e-09,2.100942e-09,2.275632e-09,2.887092e-09,3.392352e-09,3.819601e-09,4.745002e-09,4.877740e-09,6.034966e-09,6.276020e-09,7.266129e-09,7.928402e-09,8.550195e-09,9.657112e-09,9.870096e-09,1.121178e-08,1.142765e-08,1.256334e-08,1.321254e-08,1.391452e-08,1.498914e-08,1.525637e-08,1.658112e-08,1.673861e-08,1.788209e-08,1.844549e-08,1.915364e-08,2.009746e-08,2.039114e-08,2.159087e-08,2.168513e-08,2.274999e-08,2.320179e-08,2.386645e-08,2.464308e-08,2.493885e-08,2.596637e-08,2.600653e-08,2.694875e-08,2.729137e-08,2.788613e-08,2.849808e-08,2.877900e-08,2.962814e-08,3.043458e-08,3.068380e-08,3.119947e-08,3.166780e-08,3.192412e-08,3.258323e-08,3.260993e-08,3.325836e-08,3.343342e-08,3.387089e-08,3.422180e-08,3.444902e-08,3.495176e-08,3.499420e-08,3.550791e-08,3.562668e-08,3.599159e-08,3.624985e-08,3.644662e-08,3.682444e-08,3.687437e-08,3.727613e-08,3.735348e-08,3.765317e-08,3.783986e-08,3.800669e-08,3.828633e-08,3.833786e-08,3.864779e-08,3.869548e-08,3.893754e-08,3.906976e-08,3.920814e-08,3.941146e-08,3.946053e-08,3.969566e-08,3.972275e-08,3.991438e-08,4.000565e-08,4.011755e-08,4.026204e-08,4.030595e-08,4.048035e-08,4.049371e-08,4.064144e-08,4.070231e-08,4.078993e-08,4.088939e-08,4.092645e-08,4.105162e-08,4.105640e-08,4.116603e-08,4.120469e-08,4.127022e-08,4.133551e-08,4.136473e-08,4.145005e-08,4.152666e-08,4.154941e-08,4.159501e-08,4.163462e-08,4.165553e-08,4.170663e-08,4.170862e-08,4.175466e-08,4.176634e-08,4.179403e-08,4.181459e-08,4.182707e-08,4.185216e-08,4.185411e-08,4.187546e-08,4.187978e-08,4.189143e-08,4.189813e-08,4.190230e-08,4.190785e-08,4.190832e-08,4.190977e-08,4.190953e-08,4.190688e-08,4.190374e-08,4.189989e-08,4.189100e-08,4.188901e-08,4.187445e-08,4.187179e-08,4.185641e-08,4.184657e-08,4.183508e-08,4.181577e-08,4.181064e-08,4.178326e-08,4.177979e-08,4.175311e-08,4.173900e-08,4.172033e-08,4.169376e-08,4.168508e-08,4.164750e-08,4.164440e-08,4.160772e-08,4.159122e-08,4.156587e-08,4.153452e-08,4.152206e-08,4.147642e-08,4.147456e-08,4.142905e-08,4.141160e-08,4.138007e-08,4.134589e-08,4.132956e-08,4.127763e-08,4.120706e-08,4.113436e-08,4.105972e-08,4.098331e-08,4.090530e-08,4.082585e-08,4.074509e-08,4.066317e-08,4.058021e-08,4.049633e-08,4.041165e-08,4.032627e-08,4.024030e-08,4.015382e-08,4.006692e-08,3.997970e-08,3.989222e-08,3.980456e-08,3.971679e-08,3.962898e-08,3.954118e-08,3.945345e-08,3.936584e-08,3.927842e-08
0.000000e+00,3.925808e-13,2.958034e-12,5.415249e-11,3.419253e-10,7.731292e-10,4.191226e-09,4.445664e-09,1.575096e-08,2.117343e-08,4.151966e-08,6.730875e-08,8.997140e-08,1.621999e-07,1.699740e-07,2.905534e-07,3.265245e-07,4.605997e-07,5.806089e-07,6.885425e-07,9.428998e-07,9.817256e-07,1.345393e-06,1.426832e-06,1.781626e-06,2.036755e-06,2.288820e-06,2.766142e-06,2.862001e-06,3.493755e-06,3.599696e-06,4.175322e-06,4.517462e-06,4.897482e-06,5.498297e-06,5.651117e-06,6.427512e-06,6.521815e-06,7.218489e-06,7.569159e-06,8.016453e-06,8.623263e-06,8.814428e-06,9.606074e-06,9.668957e-06,1.038572e-05,1.069307e-05,1.114837e-05,1.168453e-05,1.188975e-05,1.260626e-05,1.263436e-05,1.329497e-05,1.353565e-05,1.395361e-05,1.438343e-05,1.458049e-05,1.517448e-05,1.573490e-05,1.590710e-05,1.626154e-05,1.658089e-05,1.675450e-05,1.719645e-05,1.721421e-05,1.764135e-05,1.775523e-05,1.803680e-05,1.825927e-05,1.840157e-05,1.871107e-05,1.873683e-05,1.904379e-05,1.911340e-05,1.932375e-05,1.946923e-05,1.957803e-05,1.978159e-05,1.980794e-05,2.001481e-05,2.005353e-05,2.019994e-05,2.028804e-05,2.036461e-05,2.048802e-05,2.051005e-05,2.063747e-05,2.065626e-05,2.074800e-05,2.079539e-05,2.084277e-05,2.090792e-05,2.092280e-05,2.098911e-05,2.099619e-05,2.104265e-05,2.106239e-05,2.108431e-05,2.110856e-05,2.111495e-05,2.113537e-05,2.113658e-05,2.114632e-05,2.114821e-05,2.114852e-05,2.114506e-05,2.114264e-05,2.112930e-05,2.112862e-05,2.110911e-05,2.110026e-05,2.108260e-05,2.106124e-05,2.105031e-05,2.101271e-05,2.097027e-05,2.095573e-05,2.092340e-05,2.089126e-05,2.087250e-05,2.082020e-05,2.081795e-05,2.076009e-05,2.074334e-05,2.069925e-05,2.066143e-05,2.063572e-05,2.057515e-05,2.056979e-05,2.050173e-05,2.048510e-05,2.043176e-05,2.039184e-05,2.036013e-05,2.029589e-05,2.028705e-05,2.021270e-05,2.019770e-05,2.013728e-05,2.009769e-05,2.006095e-05,1.999625e-05,1.998387e-05,1.990619e-05,1.989371e-05,1.982803e-05,1.979039e-05,1.974954e-05,1.968657e-05,1.967082e-05,1.959197e-05,1.958251e-05,1.951311e-05,1.947843e-05,1.943432e-05,1.937453e-05,1.935568e-05,1.927728e-05,1.927102e-05,1.919917e-05,1.916803e-05,1.912144e-05,1.906574e-05,1.904414e-05,1.896732e-05,1.896426e-05,1.889103e-05,1.886371e-05,1.881533e-05,1.876420e-05,1.874024e-05,1.866581e-05,1.856863e-05,1.847272e-05,1.837815e-05,1.828496e-05,1.819320e-05,1.810291e-05,1.801411e-05,1.792683e-05,1.784109e-05,1.775690e-05,1.767427e-05,1.759321e-05,1.751372e-05,1.743580e-05,1.735944e-05,1.728464e-05,1.721140e-05,1.713969e-05,1.706951e-05,1.700084e-05,1.693366e-05,1.686797e-05,1.680374e-05,1.674094e-05
0.000000e+00,6.059849e-12,3.564503e-11,4.080541e-10,1.769031e-09,3.321375e-09,1.186672e-08,1.239810e-08,3.162243e-08,3.937052e-08,6.505468e-08,9.375486e-08,1.171332e-07,1.858251e-07,1.928796e-07,2.972951e-07,3.270238e-07,4.332306e-07,5.226640e-07,5.988956e-07,7.644468e-07,7.881514e-07,9.935352e-07,1.035959e-06,1.208730e-06,1.322928e-06,1.429153e-06,1.615931e-06,1.651534e-06,1.873381e-06,1.908685e-06,2.092627e-06,2.196402e-06,2.307462e-06,2.475064e-06,2.516274e-06,2.717642e-06,2.741247e-06,2.910354e-06,2.992140e-06,3.093417e-06,3.225615e-06,3.266071e-06,3.427788e-06,3.440242e-06,3.578255e-06,3.635262e-06,3.717364e-06,3.810520e-06,3.845181e-06,3.961920e-06,3.966364e-06,4.067920e-06,4.103533e-06,4.163615e-06,4.223054e-06,4.249505e-06,4.326139e-06,4.394091e-06,4.414097e-06,4.453948e-06,4.488281e-06,4.506299e-06,4.550028e-06,4.551719e-06,4.590761e-06,4.600624e-06,4.623960e-06,4.641286e-06,4.651820e-06,4.673139e-06,4.674810e-06,4.693372e-06,4.697214e-06,4.707916e-06,4.714447e-06,4.718819e-06,4.725677e-06,4.726427e-06,4.731060e-06,4.731656e-06,4.733008e-06,4.733049e-06,4.732536e-06,4.730446e-06,4.729884e-06,4.725270e-06,4.724363e-06,4.718893e-06,4.715260e-06,4.710935e-06,4.703540e-06,4.701559e-06,4.690913e-06,4.689556e-06,4.679131e-06,4.673618e-06,4.666334e-06,4.655999e-06,4.652634e-06,4.638130e-06,4.636938e-06,4.622914e-06,4.616646e-06,4.607066e-06,4.595308e-06,4.590663e-06,4.573773e-06,4.573088e-06,4.556457e-06,4.550130e-06,4.538772e-06,4.526561e-06,4.520769e-06,4.502494e-06,4.483991e-06,4.478028e-06,4.465298e-06,4.453252e-06,4.446451e-06,4.428244e-06,4.427483e-06,4.408423e-06,4.403073e-06,4.389298e-06,4.377802e-06,4.370133e-06,4.352485e-06,4.350950e-06,4.331771e-06,4.327171e-06,4.312615e-06,4.301904e-06,4.293498e-06,4.276721e-06,4.274437e-06,4.255446e-06,4.251658e-06,4.236539e-06,4.226744e-06,4.217727e-06,4.202007e-06,4.199022e-06,4.180433e-06,4.177470e-06,4.161970e-06,4.153155e-06,4.143642e-06,4.129081e-06,4.125455e-06,4.107416e-06,4.105262e-06,4.089533e-06,4.081715e-06,4.071810e-06,4.058450e-06,4.054252e-06,4.036864e-06,4.035480e-06,4.019649e-06,4.012813e-06,4.002613e-06,3.990458e-06,3.985756e-06,3.969083e-06,3.968420e-06,3.952596e-06,3.946707e-06,3.936297e-06,3.925321e-06,3.920187e-06,3.904268e-06,3.883549e-06,3.863166e-06,3.843121e-06,3.823415e-06,3.804048e-06,3.785018e-06,3.766326e-06,3.747970e-06,3.729948e-06,3.712259e-06,3.694899e-06,3.677866e-06,3.661158e-06,3.644771e-06,3.628701e-06,3.612946e-06,3.597501e-06,3.582363e-06,3.567528e-06,3.552992e-06,3.538751e-06,3.524800e-06,3.511135e-06,3.497751e-06
0.000000e+00,4.320381e-13,3.317397e-12,6.308878e-11,4.118568e-10,9.478882e-10,5.367730e-09,5.703317e-09,2.102983e-08,2.856126e-08,5.740538e-08,9.482407e-08,1.282378e-07,2.369109e-07,2.487583e-07,4.351253e-07,4.914823e-07,7.038179e-07,8.963331e-07,1.071084e-06,1.487897e-06,1.552071e-06,2.159486e-06,2.296999e-06,2.902169e-06,3.343384e-06,3.784247e-06,4.632657e-06,4.805200e-06,5.960640e-06,6.157541e-06,7.243373e-06,7.901688e-06,8.644326e-06,9.843314e-06,1.015320e-05,1.175888e-05,1.195751e-05,1.344966e-05,1.421744e-05,1.521339e-05,1.659497e-05,1.703763e-05,1.890976e-05,1.906122e-05,2.081713e-05,2.158716e-05,2.274732e-05,2.414436e-05,2.468821e-05,2.662826e-05,2.670568e-05,2.855656e-05,2.924590e-05,3.046302e-05,3.174221e-05,3.233845e-05,3.417461e-05,3.596426e-05,3.652608e-05,3.770117e-05,3.878264e-05,3.938007e-05,4.093324e-05,4.099666e-05,4.254752e-05,4.296961e-05,4.403007e-05,4.488602e-05,4.544248e-05,4.667898e-05,4.678364e-05,4.805302e-05,4.834698e-05,4.925065e-05,4.989014e-05,5.037702e-05,5.130999e-05,5.143303e-05,5.241993e-05,5.260914e-05,5.333922e-05,5.379111e-05,5.419267e-05,5.486008e-05,5.498220e-05,5.570989e-05,5.582072e-05,5.637793e-05,5.667806e-05,5.698858e-05,5.743733e-05,5.754414e-05,5.804697e-05,5.810387e-05,5.849937e-05,5.868305e-05,5.890367e-05,5.918019e-05,5.926217e-05,5.957712e-05,5.960050e-05,5.985073e-05,5.994908e-05,6.008515e-05,6.023086e-05,6.028249e-05,6.044478e-05,6.045057e-05,6.057396e-05,6.061274e-05,6.067196e-05,6.072170e-05,6.074057e-05,6.078158e-05,6.079665e-05,6.079626e-05,6.078741e-05,6.076946e-05,6.075541e-05,6.070463e-05,6.070211e-05,6.062893e-05,6.060506e-05,6.053722e-05,6.047383e-05,6.042825e-05,6.031381e-05,6.030325e-05,6.016338e-05,6.012772e-05,6.000974e-05,5.991809e-05,5.984339e-05,5.968727e-05,5.966531e-05,5.947646e-05,5.943747e-05,5.927772e-05,5.917075e-05,5.906995e-05,5.888902e-05,5.885394e-05,5.863045e-05,5.859405e-05,5.840020e-05,5.828749e-05,5.816388e-05,5.797086e-05,5.792210e-05,5.767549e-05,5.764560e-05,5.742460e-05,5.731300e-05,5.716998e-05,5.697427e-05,5.691212e-05,5.665149e-05,5.663054e-05,5.638855e-05,5.628282e-05,5.612372e-05,5.593208e-05,5.585737e-05,5.558988e-05,5.557916e-05,5.532160e-05,5.522488e-05,5.505284e-05,5.486996e-05,5.478391e-05,5.451508e-05,5.416083e-05,5.380777e-05,5.345641e-05,5.310720e-05,5.276055e-05,5.241683e-05,5.207638e-05,5.173948e-05,5.140641e-05,5.107740e-05,5.075264e-05,5.043233e-05,5.011662e-05,4.980563e-05,4.949949e-05,4.919828e-05,4.890209e-05,4.861096e-05,4.832495e-05,4.804410e-05,4.776841e-05,4.749790e-05,4.723257e-05,4.697240e-05
0.000000e+00,1.288584e-11,6.221509e-11,5.146149e-10,1.801685e-09,3.087255e-09,9.258087e-09,9.617849e-09,2.187106e-08,2.655608e-08,4.151842e-08,5.754327e-08,7.021395e-08,1.060357e-07,1.096205e-07,1.612680e-07,1.756125e-07,2.261311e-07,2.682587e-07,3.041767e-07,3.830018e-07,3.944323e-07,4.955105e-07,5.169005e-07,6.060196e-07,6.667823e-07,7.246789e-07,8.297727e-07,8.502891e-07,9.816815e-07,1.003163e-06,1.117691e-06,1.184273e-06,1.257151e-06,1.370425e-06,1.398904e-06,1.541822e-06,1.558999e-06,1.684826e-06,1.747512e-06,1.826906e-06,1.933699e-06,1.967142e-06,2.104709e-06,2.115577e-06,2.238892e-06,2.291479e-06,2.369087e-06,2.460075e-06,2.494797e-06,2.615632e-06,2.620360e-06,2.731299e-06,2.771632e-06,2.841595e-06,2.913464e-06,2.946400e-06,3.045662e-06,3.139389e-06,3.168222e-06,3.227644e-06,3.281300e-06,3.310527e-06,3.385168e-06,3.388175e-06,3.460750e-06,3.480186e-06,3.528434e-06,3.566778e-06,3.591423e-06,3.645402e-06,3.649922e-06,3.704141e-06,3.716540e-06,3.754292e-06,3.780680e-06,3.800588e-06,3.838304e-06,3.843236e-06,3.882439e-06,3.889884e-06,3.918395e-06,3.935872e-06,3.951293e-06,3.976700e-06,3.981318e-06,4.008642e-06,4.012775e-06,4.033435e-06,4.044482e-06,4.055852e-06,4.072177e-06,4.076045e-06,4.094153e-06,4.096193e-06,4.110312e-06,4.116837e-06,4.124646e-06,4.134393e-06,4.137275e-06,4.148308e-06,4.149125e-06,4.157851e-06,4.161273e-06,4.166001e-06,4.171058e-06,4.172850e-06,4.178485e-06,4.178686e-06,4.182985e-06,4.184342e-06,4.186427e-06,4.188198e-06,4.188880e-06,4.190412e-06,4.191083e-06,4.191126e-06,4.190953e-06,4.190474e-06,4.190075e-06,4.188576e-06,4.188500e-06,4.186276e-06,4.185543e-06,4.183448e-06,4.181479e-06,4.180058e-06,4.176475e-06,4.176144e-06,4.171743e-06,4.170619e-06,4.166891e-06,4.163989e-06,4.161619e-06,4.156657e-06,4.155958e-06,4.149937e-06,4.148691e-06,4.143581e-06,4.140152e-06,4.136916e-06,4.131096e-06,4.129966e-06,4.122753e-06,4.121575e-06,4.115297e-06,4.111638e-06,4.107619e-06,4.101328e-06,4.099736e-06,4.091666e-06,4.090686e-06,4.083425e-06,4.079749e-06,4.075029e-06,4.068553e-06,4.066492e-06,4.057827e-06,4.057129e-06,4.049048e-06,4.045507e-06,4.040166e-06,4.033713e-06,4.031192e-06,4.022138e-06,4.021774e-06,4.013013e-06,4.009712e-06,4.003827e-06,3.997549e-06,3.994588e-06,3.985305e-06,3.972998e-06,3.960645e-06,3.948261e-06,3.935862e-06,3.923460e-06,3.911067e-06,3.898696e-06,3.886357e-06,3.874059e-06,3.861811e-06,3.849621e-06,3.837497e-06,3.825446e-06,3.813475e-06,3.801588e-06,3.789792e-06,3.778091e-06,3.766489e-06,3.754992e-06,3.743601e-06,3.732321e-06,3.721155e-06,3.710104e-06,3.699172e-06
0.000000e+00,2.881339e-14,2.467850e-13,5.872292e-12,4.686858e-11,1.202702e-10,8.972064e-10,9.638718e-10,4.628920e-09,6.743152e-09,1.610791e-08,3.047987e-08,4.495201e-08,1.002198e-07,1.068884e-07,2.251955e-07,2.653238e-07,4.316991e-07,6.007186e-07,7.672317e-07,1.208362e-06,1.281300e-06,2.030694e-06,2.214182e-06,3.076980e-06,3.759335e-06,4.483138e-06,5.986968e-06,6.309858e-06,8.612036e-06,9.027737e-06,1.143588e-05,1.298749e-05,1.481687e-05,1.793901e-05,1.877850e-05,2.333196e-05,2.391822e-05,2.847630e-05,3.092421e-05,3.419918e-05,3.892185e-05,4.047786e-05,4.728044e-05,4.784614e-05,5.456721e-05,5.760734e-05,6.229202e-05,6.809651e-05,7.040363e-05,7.884713e-05,7.919097e-05,8.756516e-05,9.075959e-05,9.649915e-05,1.026677e-04,1.055904e-04,1.147813e-04,1.240159e-04,1.269714e-04,1.332408e-04,1.391164e-04,1.424060e-04,1.511053e-04,1.514651e-04,1.603759e-04,1.628391e-04,1.691006e-04,1.742320e-04,1.776057e-04,1.852117e-04,1.858625e-04,1.938465e-04,1.957197e-04,2.015377e-04,2.057107e-04,2.089201e-04,2.151516e-04,2.159818e-04,2.227141e-04,2.240205e-04,2.291119e-04,2.323057e-04,2.351729e-04,2.400039e-04,2.408973e-04,2.462877e-04,2.471195e-04,2.513488e-04,2.536629e-04,2.560867e-04,2.596493e-04,2.605089e-04,2.646243e-04,2.650980e-04,2.684424e-04,2.700309e-04,2.719736e-04,2.744720e-04,2.752286e-04,2.782186e-04,2.784467e-04,2.809550e-04,2.819810e-04,2.834491e-04,2.851012e-04,2.857123e-04,2.877560e-04,2.878333e-04,2.895911e-04,2.902028e-04,2.912286e-04,2.922346e-04,2.926790e-04,2.939525e-04,2.950590e-04,2.953793e-04,2.960080e-04,2.965369e-04,2.968086e-04,2.974458e-04,2.974696e-04,2.979994e-04,2.981253e-04,2.984059e-04,2.985937e-04,2.986966e-04,2.988682e-04,2.988789e-04,2.989596e-04,2.989646e-04,2.989452e-04,2.988979e-04,2.988419e-04,2.986820e-04,2.986554e-04,2.983914e-04,2.983297e-04,2.980550e-04,2.978531e-04,2.976512e-04,2.972633e-04,2.971846e-04,2.966597e-04,2.965705e-04,2.960805e-04,2.957844e-04,2.954511e-04,2.949138e-04,2.947751e-04,2.940559e-04,2.939669e-04,2.932970e-04,2.929512e-04,2.925013e-04,2.918738e-04,2.916718e-04,2.908112e-04,2.907410e-04,2.899220e-04,2.895590e-04,2.890068e-04,2.883331e-04,2.880679e-04,2.871072e-04,2.870684e-04,2.861270e-04,2.857697e-04,2.851291e-04,2.844413e-04,2.841152e-04,2.830871e-04,2.817109e-04,2.803159e-04,2.789055e-04,2.774823e-04,2.760491e-04,2.746083e-04,2.731622e-04,2.717126e-04,2.702617e-04,2.688110e-04,2.673622e-04,2.659167e-04,2.644758e-04,2.630408e-04,2.616127e-04,2.601926e-04,2.587813e-04,2.573797e-04,2.559886e-04,2.546086e-04,2.532404e-04,2.518844e-04,2.505412e-04,2.492112e-04
0.000000e+00,1.872253e-11,5.024038e-11,2.025591e-10,4.931128e-10,7.360252e-10,1.726690e-09,1.780096e-09,3.477518e-09,4.087809e-09,5.958132e-09,7.872816e-09,9.342104e-09,1.334725e-08,1.373848e-08,1.923442e-08,2.072298e-08,2.586970e-08,3.007140e-08,3.360180e-08,4.120431e-08,4.229107e-08,5.173183e-08,5.369066e-08,6.170546e-08,6.703562e-08,7.201466e-08,8.081067e-08,8.249237e-08,9.299860e-08,9.467408e-08,1.034153e-07,1.083535e-07,1.136427e-07,1.216318e-07,1.235975e-07,1.332112e-07,1.343391e-07,1.424292e-07,1.463487e-07,1.512101e-07,1.575727e-07,1.595243e-07,1.673529e-07,1.679579e-07,1.746864e-07,1.774805e-07,1.815230e-07,1.861404e-07,1.878679e-07,1.937314e-07,1.939561e-07,1.991281e-07,2.009599e-07,2.040756e-07,2.071936e-07,2.085940e-07,2.127048e-07,2.164301e-07,2.175446e-07,2.197928e-07,2.217651e-07,2.228155e-07,2.254180e-07,2.255204e-07,2.279292e-07,2.285534e-07,2.300627e-07,2.312190e-07,2.319410e-07,2.334598e-07,2.335829e-07,2.350066e-07,2.353176e-07,2.362287e-07,2.368311e-07,2.372653e-07,2.380358e-07,2.381312e-07,2.388402e-07,2.389644e-07,2.394054e-07,2.396465e-07,2.398387e-07,2.401090e-07,2.401514e-07,2.403537e-07,2.403764e-07,2.404552e-07,2.404708e-07,2.404649e-07,2.404120e-07,2.403909e-07,2.402407e-07,2.402180e-07,2.400215e-07,2.399049e-07,2.397397e-07,2.394873e-07,2.394012e-07,2.390114e-07,2.389782e-07,2.385756e-07,2.383894e-07,2.380983e-07,2.377315e-07,2.375839e-07,2.370363e-07,2.370138e-07,2.364592e-07,2.362448e-07,2.358558e-07,2.354322e-07,2.352295e-07,2.345828e-07,2.339186e-07,2.337027e-07,2.332392e-07,2.327974e-07,2.325467e-07,2.318717e-07,2.318434e-07,2.311309e-07,2.309301e-07,2.304111e-07,2.299764e-07,2.296855e-07,2.290142e-07,2.289556e-07,2.282227e-07,2.280465e-07,2.274880e-07,2.270762e-07,2.267527e-07,2.261058e-07,2.260176e-07,2.252839e-07,2.251374e-07,2.245523e-07,2.241729e-07,2.238235e-07,2.232142e-07,2.230985e-07,2.223776e-07,2.222627e-07,2.216616e-07,2.213198e-07,2.209510e-07,2.203866e-07,2.202461e-07,2.195476e-07,2.194642e-07,2.188557e-07,2.185535e-07,2.181708e-07,2.176552e-07,2.174932e-07,2.168232e-07,2.167700e-07,2.161611e-07,2.158984e-07,2.155069e-07,2.150410e-07,2.148610e-07,2.142235e-07,2.141982e-07,2.135945e-07,2.133702e-07,2.129742e-07,2.125573e-07,2.123625e-07,2.117598e-07,2.109777e-07,2.102111e-07,2.094603e-07,2.087250e-07,2.080054e-07,2.073014e-07,2.066128e-07,2.059397e-07,2.052819e-07,2.046392e-07,2.040116e-07,2.033988e-07,2.028006e-07,2.022169e-07,2.016474e-07,2.010920e-07,2.005503e-07,2.000223e-07,1.995076e-07,1.990061e-07,1.985174e-07,1.980413e-07,1.975777e-07,1.971261e-07
0.000000e+00,1.628224e-12,1.161515e-11,1.907455e-10,1.097642e-09,2.364976e-09,1.142564e-08,1.206620e-08,3.870026e-08,5.076414e-08,9.406005e-08,1.464061e-07,1.910539e-07,3.287004e-07,3.432345e-07,5.646094e-07,6.295719e-07,8.686291e-07,1.079025e-06,1.265513e-06,1.694699e-06,1.758936e-06,2.344706e-06,2.472105e-06,3.012498e-06,3.387806e-06,3.749086e-06,4.411118e-06,4.541022e-06,5.375956e-06,5.512784e-06,6.242907e-06,6.667496e-06,7.132052e-06,7.853295e-06,8.034419e-06,8.941679e-06,9.050504e-06,9.846066e-06,1.024121e-05,1.074040e-05,1.140932e-05,1.161813e-05,1.247346e-05,1.254076e-05,1.330133e-05,1.362381e-05,1.409752e-05,1.464925e-05,1.485867e-05,1.558220e-05,1.561033e-05,1.626630e-05,1.650270e-05,1.690989e-05,1.732414e-05,1.751251e-05,1.807424e-05,1.859564e-05,1.875411e-05,1.907764e-05,1.936599e-05,1.952146e-05,1.991298e-05,1.992858e-05,2.030062e-05,2.039874e-05,2.063933e-05,2.082731e-05,2.094652e-05,2.120287e-05,2.122402e-05,2.147365e-05,2.152962e-05,2.169721e-05,2.181168e-05,2.189646e-05,2.205301e-05,2.207307e-05,2.222865e-05,2.225738e-05,2.236474e-05,2.242828e-05,2.248277e-05,2.256897e-05,2.258411e-05,2.267002e-05,2.268242e-05,2.274169e-05,2.277136e-05,2.280023e-05,2.283828e-05,2.284665e-05,2.288190e-05,2.288542e-05,2.290687e-05,2.291482e-05,2.292238e-05,2.292829e-05,2.292916e-05,2.292792e-05,2.292750e-05,2.291931e-05,2.291393e-05,2.290390e-05,2.288891e-05,2.288225e-05,2.285485e-05,2.285364e-05,2.282218e-05,2.280921e-05,2.278466e-05,2.275658e-05,2.274269e-05,2.269664e-05,2.264684e-05,2.263016e-05,2.259360e-05,2.255787e-05,2.253723e-05,2.248039e-05,2.247797e-05,2.241609e-05,2.239832e-05,2.235181e-05,2.231218e-05,2.228534e-05,2.222243e-05,2.221689e-05,2.214663e-05,2.212952e-05,2.207474e-05,2.203383e-05,2.200138e-05,2.193572e-05,2.192669e-05,2.185082e-05,2.183551e-05,2.177388e-05,2.173350e-05,2.169601e-05,2.162995e-05,2.161731e-05,2.153788e-05,2.152511e-05,2.145782e-05,2.141920e-05,2.137723e-05,2.131242e-05,2.129618e-05,2.121476e-05,2.120497e-05,2.113303e-05,2.109700e-05,2.105108e-05,2.098868e-05,2.096895e-05,2.088672e-05,2.088014e-05,2.080444e-05,2.077152e-05,2.072215e-05,2.066294e-05,2.063992e-05,2.055778e-05,2.055450e-05,2.047578e-05,2.044630e-05,2.039396e-05,2.033844e-05,2.031236e-05,2.023100e-05,2.012405e-05,2.001767e-05,1.991191e-05,1.980683e-05,1.970249e-05,1.959893e-05,1.949620e-05,1.939433e-05,1.929336e-05,1.919332e-05,1.909424e-05,1.899614e-05,1.889905e-05,1.880299e-05,1.870797e-05,1.861400e-05,1.852110e-05,1.842929e-05,1.833856e-05,1.824893e-05,1.816040e-05,1.807298e-05,1.798667e-05,1.790147e-05
0.000000e+00,6.438312e-15,5.751966e-14,1.495618e-12,1.296036e-11,3.481334e-11,2.927590e-10,3.160647e-10,1.713653e-09,2.580970e-09,6.708357e-09,1.359868e-08,2.098164e-08,5.177418e-08,5.569990e-08,1.304971e-07,1.576267e-07,2.770974e-07,4.076354e-07,5.434490e-07,9.307992e-07,9.981530e-07,1.734868e-06,1.926301e-06,2.876325e-06,3.679957e-06,4.577594e-06,6.576970e-06,7.028299e-06,1.045360e-05,1.110901e-05,1.511383e-05,1.787445e-05,2.130279e-05,2.757161e-05,2.934472e-05,3.959005e-05,4.098501e-05,5.241021e-05,5.896594e-05,6.819149e-05,8.240826e-05,8.732835e-05,1.102162e-04,1.122210e-04,1.372442e-04,1.492994e-04,1.687877e-04,1.944952e-04,2.052015e-04,2.468126e-04,2.485895e-04,2.939149e-04,3.122662e-04,3.467628e-04,3.860910e-04,4.055675e-04,4.704929e-04,5.416528e-04,5.657523e-04,6.191092e-04,6.719923e-04,7.028716e-04,7.891766e-04,7.928968e-04,8.890900e-04,9.171108e-04,9.913063e-04,1.055449e-03,1.099354e-03,1.203704e-03,1.212995e-03,1.331953e-03,1.361260e-03,1.455913e-03,1.527386e-03,1.584527e-03,1.701259e-03,1.717419e-03,1.854192e-03,1.881975e-03,1.994425e-03,2.068571e-03,2.137687e-03,2.260045e-03,2.283536e-03,2.431522e-03,2.455369e-03,2.581198e-03,2.653510e-03,2.732115e-03,2.853445e-03,2.883832e-03,3.035918e-03,3.054173e-03,3.187953e-03,3.254727e-03,3.339531e-03,3.454186e-03,3.490265e-03,3.639783e-03,3.651682e-03,3.787738e-03,3.846408e-03,3.933801e-03,4.037622e-03,4.077666e-03,4.219052e-03,4.224652e-03,4.357699e-03,4.406896e-03,4.493373e-03,4.583823e-03,4.625861e-03,4.754976e-03,4.880552e-03,4.919965e-03,5.002447e-03,5.078470e-03,5.120538e-03,5.230233e-03,5.234724e-03,5.344926e-03,5.375059e-03,5.451081e-03,5.512812e-03,5.553144e-03,5.643405e-03,5.651089e-03,5.744904e-03,5.766805e-03,5.834591e-03,5.883019e-03,5.920167e-03,5.992096e-03,6.001661e-03,6.079112e-03,6.094121e-03,6.152570e-03,6.189210e-03,6.222096e-03,6.277506e-03,6.287755e-03,6.349624e-03,6.359176e-03,6.407782e-03,6.434405e-03,6.462316e-03,6.503396e-03,6.513318e-03,6.560883e-03,6.566364e-03,6.605108e-03,6.623535e-03,6.646094e-03,6.675141e-03,6.683945e-03,6.718764e-03,6.721422e-03,6.750656e-03,6.762617e-03,6.779726e-03,6.798968e-03,6.806079e-03,6.829820e-03,6.830717e-03,6.851053e-03,6.858103e-03,6.869881e-03,6.881362e-03,6.886405e-03,6.900723e-03,6.916416e-03,6.928656e-03,6.937657e-03,6.943625e-03,6.946755e-03,6.947241e-03,6.945261e-03,6.940991e-03,6.934597e-03,6.926237e-03,6.916060e-03,6.904210e-03,6.890820e-03,6.876018e-03,6.859923e-03,6.842649e-03,6.824301e-03,6.804980e-03,6.784779e-03,6.763786e-03,6.742083e-03,6.719747e-03,6.696851e-03,6.673461e-03
0.000000e+00,8.485114e-15,7.594536e-14,1.984618e-12,1.728010e-11,4.653947e-11,3.941077e-10,4.256041e-10,2.324095e-09,3.507302e-09,9.162155e-09,1.865029e-08,2.885524e-08,7.165156e-08,7.712629e-08,1.819186e-07,2.200921e-07,3.888760e-07,5.742089e-07,7.677649e-07,1.322729e-06,1.419580e-06,2.483911e-06,2.761704e-06,4.146017e-06,5.323055e-06,6.643010e-06,9.598833e-06,1.026861e-05,1.537608e-05,1.635760e-05,2.237912e-05,2.655051e-05,3.175043e-05,4.130593e-05,4.401832e-05,5.976104e-05,6.191277e-05,7.959943e-05,8.979347e-05,1.041878e-04,1.264683e-04,1.342039e-04,1.703373e-04,1.735130e-04,2.132778e-04,2.325126e-04,2.637033e-04,3.050128e-04,3.222677e-04,3.895892e-04,3.924724e-04,4.662395e-04,4.962185e-04,5.527339e-04,6.174053e-04,6.495220e-04,7.569805e-04,8.754070e-04,9.156572e-04,1.005015e-03,1.093894e-03,1.145931e-03,1.291886e-03,1.298194e-03,1.461751e-03,1.509554e-03,1.636465e-03,1.746558e-03,1.822111e-03,2.002299e-03,2.018384e-03,2.224901e-03,2.275941e-03,2.441209e-03,2.566426e-03,2.666787e-03,2.872508e-03,2.901059e-03,3.143394e-03,3.192770e-03,3.393120e-03,3.525664e-03,3.649527e-03,3.869533e-03,3.911877e-03,4.179410e-03,4.222645e-03,4.451352e-03,4.583222e-03,4.726924e-03,4.949469e-03,5.005343e-03,5.285834e-03,5.319596e-03,5.567632e-03,5.691845e-03,5.849991e-03,6.064509e-03,6.132182e-03,6.413504e-03,6.435952e-03,6.693285e-03,6.804621e-03,6.970884e-03,7.169063e-03,7.245695e-03,7.517147e-03,7.527927e-03,7.784708e-03,7.879982e-03,8.047886e-03,8.224109e-03,8.306226e-03,8.559316e-03,8.806783e-03,8.884729e-03,9.048292e-03,9.199594e-03,9.283550e-03,9.503276e-03,9.512299e-03,9.734318e-03,9.795252e-03,9.949424e-03,1.007511e-02,1.015747e-02,1.034252e-02,1.035833e-02,1.055192e-02,1.059729e-02,1.073818e-02,1.083928e-02,1.091709e-02,1.106843e-02,1.108863e-02,1.125283e-02,1.128479e-02,1.140973e-02,1.148845e-02,1.155938e-02,1.167955e-02,1.170187e-02,1.183729e-02,1.185830e-02,1.196574e-02,1.202497e-02,1.208737e-02,1.217983e-02,1.220229e-02,1.231065e-02,1.232322e-02,1.241262e-02,1.245549e-02,1.250834e-02,1.257701e-02,1.259799e-02,1.268173e-02,1.268818e-02,1.275976e-02,1.278940e-02,1.283223e-02,1.288109e-02,1.289935e-02,1.296129e-02,1.296366e-02,1.301823e-02,1.303754e-02,1.307035e-02,1.310315e-02,1.311785e-02,1.316090e-02,1.321122e-02,1.325450e-02,1.329114e-02,1.332152e-02,1.334603e-02,1.336502e-02,1.337884e-02,1.338783e-02,1.339232e-02,1.339260e-02,1.338898e-02,1.338174e-02,1.337114e-02,1.335744e-02,1.334087e-02,1.332168e-02,1.330006e-02,1.327623e-02,1.325038e-02,1.322268e-02,1.319330e-02,1.316241e-02,1.313015e-02,1.309666e-02
0.000000e+00,3.220117e-11,7.920353e-11,2.939087e-10,6.935472e-10,1.026216e-09,2.391108e-09,2.465261e-09,4.857019e-09,5.733615e-09,8.473437e-09,1.135765e-08,1.362166e-08,1.998906e-08,2.062449e-08,2.974030e-08,3.225615e-08,4.104982e-08,4.830317e-08,5.443600e-08,6.776379e-08,6.968454e-08,8.657931e-08,9.013883e-08,1.049332e-07,1.149993e-07,1.245838e-07,1.419832e-07,1.453821e-07,1.671839e-07,1.707557e-07,1.898453e-07,2.009858e-07,2.132220e-07,2.323414e-07,2.371697e-07,2.615457e-07,2.644930e-07,2.862117e-07,2.971223e-07,3.110355e-07,3.299302e-07,3.358927e-07,3.606689e-07,3.626443e-07,3.852602e-07,3.950237e-07,4.095735e-07,4.268607e-07,4.335272e-07,4.570507e-07,4.579818e-07,4.800841e-07,4.882462e-07,5.025774e-07,5.175433e-07,5.244900e-07,5.457898e-07,5.664523e-07,5.729267e-07,5.864598e-07,5.989152e-07,6.058005e-07,6.237342e-07,6.244679e-07,6.424597e-07,6.473765e-07,6.597777e-07,6.698469e-07,6.764265e-07,6.911590e-07,6.924139e-07,7.077494e-07,7.113341e-07,7.224445e-07,7.303989e-07,7.365123e-07,7.483842e-07,7.499669e-07,7.628233e-07,7.653242e-07,7.750974e-07,7.812550e-07,7.868049e-07,7.962134e-07,7.979623e-07,8.085859e-07,8.102372e-07,8.186924e-07,8.233647e-07,8.282983e-07,8.356337e-07,8.374201e-07,8.460738e-07,8.470816e-07,8.542757e-07,8.577454e-07,8.620413e-07,8.676609e-07,8.693861e-07,8.763253e-07,8.768634e-07,8.828736e-07,8.853868e-07,8.890455e-07,8.932640e-07,8.948550e-07,9.003157e-07,9.005271e-07,9.054410e-07,9.072066e-07,9.102439e-07,9.133320e-07,9.147368e-07,9.189319e-07,9.228410e-07,9.240333e-07,9.264755e-07,9.286626e-07,9.298465e-07,9.328446e-07,9.329646e-07,9.358403e-07,9.366034e-07,9.384834e-07,9.399618e-07,9.409038e-07,9.429418e-07,9.431107e-07,9.451131e-07,9.455643e-07,9.469198e-07,9.478492e-07,9.485391e-07,9.498156e-07,9.499792e-07,9.512478e-07,9.514816e-07,9.523525e-07,9.528646e-07,9.533006e-07,9.539810e-07,9.540990e-07,9.547545e-07,9.548466e-07,9.552737e-07,9.554762e-07,9.556627e-07,9.558842e-07,9.559276e-07,9.560742e-07,9.560841e-07,9.561080e-07,9.560886e-07,9.560345e-07,9.559101e-07,9.558589e-07,9.555860e-07,9.555601e-07,9.552208e-07,9.550498e-07,9.547677e-07,9.543896e-07,9.542312e-07,9.536156e-07,9.535894e-07,9.529249e-07,9.526587e-07,9.521632e-07,9.516065e-07,9.513341e-07,9.504412e-07,9.491710e-07,9.478035e-07,9.463459e-07,9.448051e-07,9.431876e-07,9.414995e-07,9.397467e-07,9.379348e-07,9.360688e-07,9.341538e-07,9.321943e-07,9.301949e-07,9.281596e-07,9.260925e-07,9.239971e-07,9.218770e-07,9.197355e-07,9.175758e-07,9.154006e-07,9.132129e-07,9.110152e-07,9.088099e-07,9.065993e-07,9.043856e-07
0.000000e+00,8.016087e-12,1.854130e-11,6.430780e-11,1.466172e-10,2.139434e-10,4.849678e-10,4.995351e-10,9.642000e-10,1.132606e-09,1.654353e-09,2.197553e-09,2.620274e-09,3.793369e-09,3.909186e-09,5.545866e-09,5.989564e-09,7.515309e-09,8.747428e-09,9.773125e-09,1.195918e-08,1.226994e-08,1.496325e-08,1.552228e-08,1.781759e-08,1.935502e-08,2.080171e-08,2.338729e-08,2.388644e-08,2.704371e-08,2.755377e-08,3.024630e-08,3.179192e-08,3.346809e-08,3.604270e-08,3.668440e-08,3.987239e-08,4.025205e-08,4.301148e-08,4.437240e-08,4.608349e-08,4.836368e-08,4.907285e-08,5.196659e-08,5.219363e-08,5.475426e-08,5.583774e-08,5.742779e-08,5.927870e-08,5.998133e-08,6.241097e-08,6.250554e-08,6.471454e-08,6.551279e-08,6.689136e-08,6.829944e-08,6.894200e-08,7.086809e-08,7.267210e-08,7.322409e-08,7.435716e-08,7.537484e-08,7.592692e-08,7.732917e-08,7.738542e-08,7.873697e-08,7.909684e-08,7.998603e-08,8.068817e-08,8.113717e-08,8.211370e-08,8.219500e-08,8.316410e-08,8.338398e-08,8.404898e-08,8.450938e-08,8.485407e-08,8.549996e-08,8.558367e-08,8.624195e-08,8.636540e-08,8.683292e-08,8.711492e-08,8.736046e-08,8.775728e-08,8.782826e-08,8.823988e-08,8.830075e-08,8.859869e-08,8.875311e-08,8.890791e-08,8.912163e-08,8.917059e-08,8.938964e-08,8.941313e-08,8.956781e-08,8.963394e-08,8.970772e-08,8.978998e-08,8.981183e-08,8.988248e-08,8.988676e-08,8.992188e-08,8.992936e-08,8.993210e-08,8.992251e-08,8.991513e-08,8.987281e-08,8.987062e-08,8.980691e-08,8.977773e-08,8.971907e-08,8.964761e-08,8.961085e-08,8.948372e-08,8.933907e-08,8.928929e-08,8.917819e-08,8.906728e-08,8.900231e-08,8.882043e-08,8.881259e-08,8.861011e-08,8.855127e-08,8.839589e-08,8.826213e-08,8.817090e-08,8.795517e-08,8.793604e-08,8.769216e-08,8.763237e-08,8.744006e-08,8.729557e-08,8.718048e-08,8.694644e-08,8.691415e-08,8.664171e-08,8.658654e-08,8.636379e-08,8.621730e-08,8.608097e-08,8.584002e-08,8.579381e-08,8.550281e-08,8.545593e-08,8.520846e-08,8.506612e-08,8.491122e-08,8.467162e-08,8.461149e-08,8.430970e-08,8.427336e-08,8.400619e-08,8.387220e-08,8.370134e-08,8.346894e-08,8.339545e-08,8.308884e-08,8.306429e-08,8.278179e-08,8.265890e-08,8.247456e-08,8.225339e-08,8.216741e-08,8.186057e-08,8.184830e-08,8.155425e-08,8.144414e-08,8.124865e-08,8.104136e-08,8.094397e-08,8.064037e-08,8.024155e-08,7.984525e-08,7.945177e-08,7.906140e-08,7.867438e-08,7.829094e-08,7.791127e-08,7.753557e-08,7.716398e-08,7.679665e-08,7.643370e-08,7.607524e-08,7.572136e-08,7.537213e-08,7.502762e-08,7.468789e-08,7.435298e-08,7.402292e-08,7.369774e-08,7.337745e-08,7.306207e-08,7.275158e-08,7.244600e-08,7.214531e-08
0.000000e+00,3.716003e-12,8.519252e-12,2.932647e-11,6.674242e-11,9.738713e-11,2.211119e-10,2.277766e-10,4.409798e-10,5.184943e-10,7.592292e-10,1.010423e-09,1.205966e-09,1.746875e-09,1.800040e-09,2.545749e-09,2.746292e-09,3.432690e-09,3.985553e-09,4.446227e-09,5.432620e-09,5.573529e-09,6.803595e-09,7.061020e-09,8.125949e-09,8.846485e-09,9.529794e-09,1.076365e-08,1.100370e-08,1.253564e-08,1.278531e-08,1.411323e-08,1.488302e-08,1.572402e-08,1.702836e-08,1.735584e-08,1.899707e-08,1.919412e-08,2.063685e-08,2.135532e-08,2.226533e-08,2.348993e-08,2.387367e-08,2.545420e-08,2.557923e-08,2.700034e-08,2.760791e-08,2.850662e-08,2.956394e-08,2.996861e-08,3.138279e-08,3.143833e-08,3.274654e-08,3.322475e-08,3.405796e-08,3.491919e-08,3.531584e-08,3.651952e-08,3.766885e-08,3.802518e-08,3.876404e-08,3.943682e-08,3.980569e-08,4.075605e-08,4.079461e-08,4.173187e-08,4.198521e-08,4.261870e-08,4.312715e-08,4.345645e-08,4.418509e-08,4.424658e-08,4.499059e-08,4.516247e-08,4.569006e-08,4.606289e-08,4.634656e-08,4.689002e-08,4.696170e-08,4.753707e-08,4.764752e-08,4.807425e-08,4.833900e-08,4.857479e-08,4.896804e-08,4.904021e-08,4.947201e-08,4.953808e-08,4.987166e-08,5.005248e-08,5.024056e-08,5.051447e-08,5.058009e-08,5.089159e-08,5.092714e-08,5.117633e-08,5.129347e-08,5.143557e-08,5.161628e-08,5.167051e-08,5.188229e-08,5.189827e-08,5.207204e-08,5.214201e-08,5.224083e-08,5.234995e-08,5.238967e-08,5.251956e-08,5.252438e-08,5.263146e-08,5.266750e-08,5.272625e-08,5.278140e-08,5.280483e-08,5.286801e-08,5.291661e-08,5.292921e-08,5.295139e-08,5.296674e-08,5.297309e-08,5.298225e-08,5.298239e-08,5.297998e-08,5.297730e-08,5.296650e-08,5.295335e-08,5.294256e-08,5.291180e-08,5.290874e-08,5.286561e-08,5.285393e-08,5.281370e-08,5.278099e-08,5.275352e-08,5.269412e-08,5.268557e-08,5.261029e-08,5.259440e-08,5.252815e-08,5.248286e-08,5.243955e-08,5.236045e-08,5.234492e-08,5.224462e-08,5.222807e-08,5.213903e-08,5.208658e-08,5.202851e-08,5.193675e-08,5.191337e-08,5.179394e-08,5.177934e-08,5.167053e-08,5.161504e-08,5.154341e-08,5.144450e-08,5.141288e-08,5.127917e-08,5.126835e-08,5.114256e-08,5.108715e-08,5.100326e-08,5.090144e-08,5.086151e-08,5.071753e-08,5.071172e-08,5.057150e-08,5.051847e-08,5.042363e-08,5.032212e-08,5.027410e-08,5.012309e-08,4.992175e-08,4.971848e-08,4.951359e-08,4.930741e-08,4.910022e-08,4.889230e-08,4.868390e-08,4.847524e-08,4.826655e-08,4.805804e-08,4.784988e-08,4.764225e-08,4.743531e-08,4.722921e-08,4.702408e-08,4.682005e-08,4.661725e-08,4.641576e-08,4.621570e-08,4.601715e-08,4.582020e-08,4.562490e-08,4.543135e-08,4.523959e-08
0.000000e+00,6.744403e-11,1.625307e-10,5.901182e-10,1.378210e-09,2.031492e-09,4.703412e-09,4.848411e-09,9.524603e-09,1.123919e-08,1.660214e-08,2.225174e-08,2.668559e-08,3.911865e-08,4.035426e-08,5.791945e-08,6.270583e-08,7.921350e-08,9.258391e-08,1.037350e-07,1.275571e-07,1.309495e-07,1.604153e-07,1.665458e-07,1.917710e-07,2.087165e-07,2.246991e-07,2.533557e-07,2.589017e-07,2.940903e-07,2.997931e-07,3.299846e-07,3.473848e-07,3.663151e-07,3.955221e-07,4.028275e-07,4.392868e-07,4.436480e-07,4.754800e-07,4.912712e-07,5.112185e-07,5.379743e-07,5.463390e-07,5.807023e-07,5.834151e-07,6.141933e-07,6.273240e-07,6.467192e-07,6.694982e-07,6.782064e-07,7.085993e-07,7.097916e-07,7.378584e-07,7.481087e-07,7.659575e-07,7.843945e-07,7.928821e-07,8.186275e-07,8.431972e-07,8.508127e-07,8.666015e-07,8.809757e-07,8.888561e-07,9.091575e-07,9.099811e-07,9.300003e-07,9.354111e-07,9.489403e-07,9.597980e-07,9.668296e-07,9.823858e-07,9.836984e-07,9.995778e-07,1.003245e-06,1.014499e-06,1.022449e-06,1.028496e-06,1.040072e-06,1.041598e-06,1.053840e-06,1.056188e-06,1.065254e-06,1.070871e-06,1.075869e-06,1.084193e-06,1.085719e-06,1.094833e-06,1.096225e-06,1.103241e-06,1.107035e-06,1.110973e-06,1.116692e-06,1.118058e-06,1.124522e-06,1.125258e-06,1.130394e-06,1.132797e-06,1.135699e-06,1.139368e-06,1.140464e-06,1.144712e-06,1.145030e-06,1.148467e-06,1.149836e-06,1.151753e-06,1.153841e-06,1.154592e-06,1.157006e-06,1.157094e-06,1.159016e-06,1.159644e-06,1.160641e-06,1.161536e-06,1.161901e-06,1.162814e-06,1.163399e-06,1.163520e-06,1.163673e-06,1.163693e-06,1.163653e-06,1.163371e-06,1.163353e-06,1.162791e-06,1.162588e-06,1.161980e-06,1.161380e-06,1.160935e-06,1.159778e-06,1.159669e-06,1.158195e-06,1.157811e-06,1.156525e-06,1.155510e-06,1.154673e-06,1.152900e-06,1.152648e-06,1.150462e-06,1.150007e-06,1.148126e-06,1.146855e-06,1.145649e-06,1.143467e-06,1.143041e-06,1.140312e-06,1.139864e-06,1.137469e-06,1.136067e-06,1.134522e-06,1.132094e-06,1.131477e-06,1.128344e-06,1.127963e-06,1.125129e-06,1.123690e-06,1.121839e-06,1.119293e-06,1.118481e-06,1.115060e-06,1.114784e-06,1.111583e-06,1.110178e-06,1.108056e-06,1.105489e-06,1.104484e-06,1.100872e-06,1.100727e-06,1.097225e-06,1.095904e-06,1.093547e-06,1.091032e-06,1.089844e-06,1.086118e-06,1.081174e-06,1.076207e-06,1.071225e-06,1.066236e-06,1.061247e-06,1.056263e-06,1.051291e-06,1.046336e-06,1.041403e-06,1.036496e-06,1.031620e-06,1.026779e-06,1.021976e-06,1.017215e-06,1.012497e-06,1.007827e-06,1.003206e-06,9.986367e-07,9.941205e-07,9.896595e-07,9.852550e-07,9.809083e-07,9.766207e-07,9.723931e-07
0.000000e+00,3.029313e-12,6.968316e-12,2.410017e-11,5.509018e-11,8.062644e-11,1.850433e-10,1.907255e-10,3.753847e-10,4.438332e-10,6.605078e-10,8.928200e-10,1.077926e-09,1.609781e-09,1.663678e-09,2.450775e-09,2.672005e-09,3.455399e-09,4.109434e-09,4.664684e-09,5.867951e-09,6.040228e-09,7.535189e-09,7.844709e-09,9.108329e-09,9.946474e-09,1.072828e-08,1.210831e-08,1.237219e-08,1.402317e-08,1.428707e-08,1.566819e-08,1.645253e-08,1.729677e-08,1.858192e-08,1.890023e-08,2.047125e-08,2.065729e-08,2.200366e-08,2.266433e-08,2.349232e-08,2.459188e-08,2.493311e-08,2.632268e-08,2.643155e-08,2.765853e-08,2.817742e-08,2.893893e-08,2.982584e-08,3.016278e-08,3.132956e-08,3.137504e-08,3.243929e-08,3.282489e-08,3.349238e-08,3.417653e-08,3.448964e-08,3.543212e-08,3.632115e-08,3.659460e-08,3.715823e-08,3.766743e-08,3.794497e-08,3.865448e-08,3.868310e-08,3.937440e-08,3.955982e-08,4.002070e-08,4.038763e-08,4.062382e-08,4.114213e-08,4.118560e-08,4.170784e-08,4.182749e-08,4.219232e-08,4.244780e-08,4.264080e-08,4.300702e-08,4.305497e-08,4.343647e-08,4.350899e-08,4.378690e-08,4.395736e-08,4.410781e-08,4.435564e-08,4.440067e-08,4.466692e-08,4.470714e-08,4.490792e-08,4.501502e-08,4.512499e-08,4.528226e-08,4.531938e-08,4.549231e-08,4.551167e-08,4.564492e-08,4.570592e-08,4.577832e-08,4.586749e-08,4.589354e-08,4.599160e-08,4.599873e-08,4.607345e-08,4.610186e-08,4.614000e-08,4.617893e-08,4.619211e-08,4.623062e-08,4.623189e-08,4.625630e-08,4.626255e-08,4.626991e-08,4.627263e-08,4.627215e-08,4.626371e-08,4.624522e-08,4.623728e-08,4.621730e-08,4.619475e-08,4.618053e-08,4.613742e-08,4.613546e-08,4.608262e-08,4.606650e-08,4.602250e-08,4.598313e-08,4.595557e-08,4.588838e-08,4.588229e-08,4.580308e-08,4.578324e-08,4.571835e-08,4.566863e-08,4.562848e-08,4.554542e-08,4.553382e-08,4.543474e-08,4.541442e-08,4.533154e-08,4.527637e-08,4.522456e-08,4.513197e-08,4.511407e-08,4.500035e-08,4.498188e-08,4.488368e-08,4.482670e-08,4.476430e-08,4.466700e-08,4.464244e-08,4.451833e-08,4.450330e-08,4.439219e-08,4.433609e-08,4.426421e-08,4.416583e-08,4.413458e-08,4.400348e-08,4.399294e-08,4.387109e-08,4.381780e-08,4.373755e-08,4.364079e-08,4.360303e-08,4.346767e-08,4.346224e-08,4.333160e-08,4.328246e-08,4.319494e-08,4.310175e-08,4.305783e-08,4.292037e-08,4.273857e-08,4.255658e-08,4.237461e-08,4.219286e-08,4.201150e-08,4.183071e-08,4.165064e-08,4.147143e-08,4.129320e-08,4.111607e-08,4.094015e-08,4.076555e-08,4.059234e-08,4.042061e-08,4.025043e-08,4.008186e-08,3.991498e-08,3.974983e-08,3.958645e-08,3.942489e-08,3.926519e-08,3.910738e-08,3.895148e-08,3.879752e-08
0.000000e+00,3.316699e-13,2.588074e-12,5.088514e-11,3.424048e-10,8.013474e-10,4.743519e-09,5.049431e-09,1.951925e-08,2.687508e-08,5.602701e-08,9.556977e-08,1.321536e-07,2.573510e-07,2.714658e-07,5.019631e-07,5.740357e-07,8.515745e-07,1.108071e-06,1.342681e-06,1.903025e-06,1.989030e-06,2.796030e-06,2.976725e-06,3.762988e-06,4.327668e-06,4.885549e-06,5.944152e-06,6.157378e-06,7.570978e-06,7.809760e-06,9.117918e-06,9.905090e-06,1.078879e-05,1.220773e-05,1.257314e-05,1.445948e-05,1.469212e-05,1.643543e-05,1.732989e-05,1.848793e-05,2.009080e-05,2.060359e-05,2.276893e-05,2.294390e-05,2.497073e-05,2.585880e-05,2.719631e-05,2.880669e-05,2.943370e-05,3.167183e-05,3.176123e-05,3.390067e-05,3.469901e-05,3.611121e-05,3.759985e-05,3.829555e-05,4.044683e-05,4.255920e-05,4.322612e-05,4.462776e-05,4.592676e-05,4.664848e-05,4.854034e-05,4.861811e-05,5.053408e-05,5.106066e-05,5.239447e-05,5.348342e-05,5.419787e-05,5.580587e-05,5.594336e-05,5.763041e-05,5.802658e-05,5.925882e-05,6.014515e-05,6.082870e-05,6.216204e-05,6.234038e-05,6.379441e-05,6.407836e-05,6.519150e-05,6.589575e-05,6.653248e-05,6.761624e-05,6.781831e-05,6.905004e-05,6.924217e-05,7.022878e-05,7.077609e-05,7.135570e-05,7.222075e-05,7.243202e-05,7.345898e-05,7.357896e-05,7.443784e-05,7.485363e-05,7.536988e-05,7.604771e-05,7.625639e-05,7.709863e-05,7.716414e-05,7.789791e-05,7.820588e-05,7.865549e-05,7.917583e-05,7.937263e-05,8.005058e-05,8.007690e-05,8.069057e-05,8.091191e-05,8.129382e-05,8.168365e-05,8.186152e-05,8.239484e-05,8.289495e-05,8.304815e-05,8.336296e-05,8.364615e-05,8.379998e-05,8.419137e-05,8.420709e-05,8.458535e-05,8.468624e-05,8.493580e-05,8.513314e-05,8.525944e-05,8.553436e-05,8.555725e-05,8.583020e-05,8.589211e-05,8.607921e-05,8.620855e-05,8.630520e-05,8.648573e-05,8.650905e-05,8.669162e-05,8.672565e-05,8.685374e-05,8.693024e-05,8.699623e-05,8.710134e-05,8.711989e-05,8.722547e-05,8.724073e-05,8.731371e-05,8.735013e-05,8.738535e-05,8.743118e-05,8.744108e-05,8.748158e-05,8.748545e-05,8.750751e-05,8.751446e-05,8.751949e-05,8.751966e-05,8.751816e-05,8.750410e-05,8.750245e-05,8.747790e-05,8.746414e-05,8.744011e-05,8.740603e-05,8.739128e-05,8.733192e-05,8.732933e-05,8.726254e-05,8.723521e-05,8.718364e-05,8.712478e-05,8.709568e-05,8.699912e-05,8.685923e-05,8.670609e-05,8.654062e-05,8.636371e-05,8.617620e-05,8.597888e-05,8.577253e-05,8.555787e-05,8.533559e-05,8.510635e-05,8.487076e-05,8.462942e-05,8.438289e-05,8.413171e-05,8.387638e-05,8.361737e-05,8.335514e-05,8.309012e-05,8.282272e-05,8.255330e-05,8.228225e-05,8.200989e-05,8.173655e-05,8.146253e-05
0.000000e+00,5.818553e-15,5.153752e-14,1.315815e-12,1.120874e-11,2.982151e-11,2.445424e-10,2.637357e-10,1.393723e-09,2.084335e-09,5.321268e-09,1.062988e-08,1.624384e-08,3.922189e-08,4.211737e-08,9.643913e-08,1.158596e-07,2.002532e-07,2.909866e-07,3.842334e-07,6.456994e-07,6.906366e-07,1.174844e-06,1.298876e-06,1.906177e-06,2.411188e-06,2.967689e-06,4.184030e-06,4.454815e-06,6.472852e-06,6.852415e-06,9.133488e-06,1.067233e-05,1.255066e-05,1.590436e-05,1.683608e-05,2.209475e-05,2.279580e-05,2.842084e-05,3.156361e-05,3.589402e-05,4.237983e-05,4.457655e-05,5.451115e-05,5.536081e-05,6.571977e-05,7.056080e-05,7.820305e-05,8.796968e-05,9.194068e-05,1.068923e-04,1.075148e-04,1.229990e-04,1.290661e-04,1.401854e-04,1.524436e-04,1.583617e-04,1.774263e-04,1.972684e-04,2.037630e-04,2.177703e-04,2.311817e-04,2.388103e-04,2.594000e-04,2.602646e-04,2.820098e-04,2.881340e-04,3.039248e-04,3.171063e-04,3.258923e-04,3.460525e-04,3.478004e-04,3.695436e-04,3.747264e-04,3.910239e-04,4.029042e-04,4.121515e-04,4.303872e-04,4.328450e-04,4.530319e-04,4.570028e-04,4.726488e-04,4.826057e-04,4.916408e-04,5.070772e-04,5.099618e-04,5.275740e-04,5.303241e-04,5.444475e-04,5.522775e-04,5.605598e-04,5.728908e-04,5.758952e-04,5.904447e-04,5.921377e-04,6.042049e-04,6.100095e-04,6.171774e-04,6.265135e-04,6.293687e-04,6.407893e-04,6.416700e-04,6.514531e-04,6.555105e-04,6.613773e-04,6.680756e-04,6.705814e-04,6.790872e-04,6.794132e-04,6.869181e-04,6.895767e-04,6.940988e-04,6.986234e-04,7.006550e-04,7.066132e-04,7.119999e-04,7.136074e-04,7.168423e-04,7.196681e-04,7.211671e-04,7.248568e-04,7.250010e-04,7.283701e-04,7.292337e-04,7.313001e-04,7.328578e-04,7.338159e-04,7.357857e-04,7.359420e-04,7.377016e-04,7.380719e-04,7.391176e-04,7.397687e-04,7.402118e-04,7.409251e-04,7.410051e-04,7.415175e-04,7.415880e-04,7.417680e-04,7.418009e-04,7.417748e-04,7.416048e-04,7.415551e-04,7.411252e-04,7.410379e-04,7.405004e-04,7.401357e-04,7.396955e-04,7.389310e-04,7.387241e-04,7.375991e-04,7.374544e-04,7.363328e-04,7.357338e-04,7.349366e-04,7.337953e-04,7.334213e-04,7.317969e-04,7.316626e-04,7.300730e-04,7.293575e-04,7.282583e-04,7.269001e-04,7.263611e-04,7.243891e-04,7.243088e-04,7.223497e-04,7.216002e-04,7.202494e-04,7.187897e-04,7.180947e-04,7.158913e-04,7.129176e-04,7.098804e-04,7.067900e-04,7.036562e-04,7.004877e-04,6.972923e-04,6.940772e-04,6.908491e-04,6.876137e-04,6.843765e-04,6.811422e-04,6.779152e-04,6.746996e-04,6.714987e-04,6.683159e-04,6.651540e-04,6.620156e-04,6.589030e-04,6.558182e-04,6.527631e-04,6.497394e-04,6.467484e-04,6.437914e-04,6.408696e-04
0.000000e+00,3.496508e-15,3.019324e-14,7.305391e-13,5.919316e-12,1.531435e-11,1.166234e-10,1.253918e-10,6.140308e-10,8.990486e-10,2.174253e-09,4.153067e-09,6.160765e-09,1.390138e-08,1.484052e-08,3.160213e-08,3.731640e-08,6.109527e-08,8.534115e-08,1.092795e-07,1.728394e-07,1.833618e-07,2.915999e-07,3.181280e-07,4.429647e-07,5.417844e-07,6.466789e-07,8.648160e-07,9.116832e-07,1.246093e-06,1.306516e-06,1.656708e-06,1.882437e-06,2.148612e-06,2.602815e-06,2.724901e-06,3.386538e-06,3.471635e-06,4.132326e-06,4.486359e-06,4.958990e-06,5.638221e-06,5.861350e-06,6.832550e-06,6.912981e-06,7.864344e-06,8.291966e-06,8.947397e-06,9.753285e-06,1.007161e-05,1.122641e-05,1.127309e-05,1.240109e-05,1.282679e-05,1.358504e-05,1.439017e-05,1.476801e-05,1.594031e-05,1.709299e-05,1.745635e-05,1.821793e-05,1.892000e-05,1.930800e-05,2.031594e-05,2.035705e-05,2.135996e-05,2.163192e-05,2.231262e-05,2.285876e-05,2.321192e-05,2.399025e-05,2.405567e-05,2.484255e-05,2.502287e-05,2.557203e-05,2.595550e-05,2.624426e-05,2.678907e-05,2.686001e-05,2.742056e-05,2.752619e-05,2.792762e-05,2.817082e-05,2.838324e-05,2.872789e-05,2.878973e-05,2.914960e-05,2.920302e-05,2.946547e-05,2.960226e-05,2.974005e-05,2.993182e-05,2.997606e-05,3.017621e-05,3.019795e-05,3.034315e-05,3.040676e-05,3.047946e-05,3.056410e-05,3.058761e-05,3.066997e-05,3.067551e-05,3.072876e-05,3.074616e-05,3.076609e-05,3.078080e-05,3.078393e-05,3.078411e-05,3.078378e-05,3.076833e-05,3.075905e-05,3.073815e-05,3.071015e-05,3.069502e-05,3.064026e-05,3.057508e-05,3.055221e-05,3.050059e-05,3.044849e-05,3.041779e-05,3.033134e-05,3.032760e-05,3.023085e-05,3.020269e-05,3.012829e-05,3.006426e-05,3.002062e-05,2.991757e-05,2.990844e-05,2.979233e-05,2.976393e-05,2.967279e-05,2.960452e-05,2.955027e-05,2.944033e-05,2.942520e-05,2.929796e-05,2.927228e-05,2.916888e-05,2.910114e-05,2.903828e-05,2.892761e-05,2.890644e-05,2.877361e-05,2.875228e-05,2.864002e-05,2.857569e-05,2.850589e-05,2.839831e-05,2.837139e-05,2.823671e-05,2.822055e-05,2.810201e-05,2.804277e-05,2.796742e-05,2.786529e-05,2.783308e-05,2.769910e-05,2.768840e-05,2.756560e-05,2.751235e-05,2.743266e-05,2.733735e-05,2.730039e-05,2.716885e-05,2.716361e-05,2.703813e-05,2.699128e-05,2.690828e-05,2.682052e-05,2.677938e-05,2.665147e-05,2.648424e-05,2.631894e-05,2.615563e-05,2.599442e-05,2.583535e-05,2.567848e-05,2.552386e-05,2.537153e-05,2.522150e-05,2.507381e-05,2.492848e-05,2.478551e-05,2.464492e-05,2.450671e-05,2.437088e-05,2.423741e-05,2.410631e-05,2.397757e-05,2.385116e-05,2.372708e-05,2.360530e-05,2.348581e-05,2.336858e-05,2.325359e-05
0.000000e+00,9.021943e-11,2.158639e-10,7.753245e-10,1.795923e-09,2.635849e-09,6.035822e-09,6.219085e-09,1.208013e-08,1.420957e-08,2.081751e-08,2.770626e-08,3.306777e-08,4.791868e-08,4.938118e-08,6.995598e-08,7.550377e-08,9.449741e-08,1.097601e-07,1.224270e-07,1.493375e-07,1.531552e-07,1.861790e-07,1.930206e-07,2.210697e-07,2.398214e-07,2.574411e-07,2.888704e-07,2.949289e-07,3.331817e-07,3.393503e-07,3.718611e-07,3.904834e-07,4.106449e-07,4.415439e-07,4.492319e-07,4.873474e-07,4.918776e-07,5.247464e-07,5.409191e-07,5.612167e-07,5.882019e-07,5.965796e-07,6.306892e-07,6.333601e-07,6.634306e-07,6.761242e-07,6.947193e-07,7.163145e-07,7.244979e-07,7.527322e-07,7.538292e-07,7.794082e-07,7.886303e-07,8.045297e-07,8.207344e-07,8.281170e-07,8.501975e-07,8.708078e-07,8.771002e-07,8.899951e-07,9.015512e-07,9.078096e-07,9.236705e-07,9.243058e-07,9.395411e-07,9.435889e-07,9.535738e-07,9.614404e-07,9.664622e-07,9.773587e-07,9.782642e-07,9.890371e-07,9.914757e-07,9.988370e-07,1.003920e-06,1.007718e-06,1.014816e-06,1.015734e-06,1.022933e-06,1.024280e-06,1.029366e-06,1.032423e-06,1.035078e-06,1.039351e-06,1.040113e-06,1.044513e-06,1.045161e-06,1.048318e-06,1.049945e-06,1.051566e-06,1.053788e-06,1.054293e-06,1.056531e-06,1.056769e-06,1.058314e-06,1.058962e-06,1.059670e-06,1.060434e-06,1.060629e-06,1.061217e-06,1.061249e-06,1.061460e-06,1.061465e-06,1.061380e-06,1.061135e-06,1.061000e-06,1.060342e-06,1.060310e-06,1.059424e-06,1.059034e-06,1.058266e-06,1.057350e-06,1.056885e-06,1.055297e-06,1.053518e-06,1.052911e-06,1.051562e-06,1.050223e-06,1.049443e-06,1.047266e-06,1.047173e-06,1.044764e-06,1.044067e-06,1.042229e-06,1.040651e-06,1.039576e-06,1.037042e-06,1.036817e-06,1.033961e-06,1.033262e-06,1.031015e-06,1.029330e-06,1.027990e-06,1.025266e-06,1.024891e-06,1.021727e-06,1.021086e-06,1.018503e-06,1.016806e-06,1.015228e-06,1.012440e-06,1.011905e-06,1.008542e-06,1.008001e-06,1.005143e-06,1.003501e-06,1.001714e-06,9.989506e-07,9.982575e-07,9.947795e-07,9.943609e-07,9.912836e-07,9.897407e-07,9.877735e-07,9.850985e-07,9.842527e-07,9.807246e-07,9.804421e-07,9.771922e-07,9.757787e-07,9.736585e-07,9.711148e-07,9.701260e-07,9.665973e-07,9.664563e-07,9.630748e-07,9.618086e-07,9.595605e-07,9.571767e-07,9.560567e-07,9.525650e-07,9.479778e-07,9.434186e-07,9.388909e-07,9.343976e-07,9.299416e-07,9.255252e-07,9.211508e-07,9.168203e-07,9.125353e-07,9.082976e-07,9.041084e-07,8.999690e-07,8.958803e-07,8.918433e-07,8.878588e-07,8.839272e-07,8.800493e-07,8.762252e-07,8.724555e-07,8.687403e-07,8.650798e-07,8.614739e-07,8.579228e-07,8.544264e-07
0.000000e+00,3.697767e-11,8.600807e-11,3.013480e-10,6.948830e-10,1.021983e-09,2.381244e-09,2.456114e-09,4.931168e-09,5.866121e-09,8.870194e-09,1.213677e-08,1.474967e-08,2.217168e-08,2.291015e-08,3.329346e-08,3.607117e-08,4.545814e-08,5.284936e-08,5.888048e-08,7.140210e-08,7.314847e-08,8.797454e-08,9.098762e-08,1.031528e-07,1.111307e-07,1.185242e-07,1.314883e-07,1.339567e-07,1.493367e-07,1.517858e-07,1.645648e-07,1.717945e-07,1.795550e-07,1.913264e-07,1.942343e-07,2.085423e-07,2.102318e-07,2.224301e-07,2.283976e-07,2.358602e-07,2.457435e-07,2.488049e-07,2.612451e-07,2.622181e-07,2.731686e-07,2.777921e-07,2.845705e-07,2.924563e-07,2.954500e-07,3.058110e-07,3.062147e-07,3.156604e-07,3.190827e-07,3.250078e-07,3.310833e-07,3.338651e-07,3.422457e-07,3.501636e-07,3.526021e-07,3.576338e-07,3.621868e-07,3.646716e-07,3.710358e-07,3.712928e-07,3.775129e-07,3.791848e-07,3.833476e-07,3.866699e-07,3.888123e-07,3.935260e-07,3.939221e-07,3.986919e-07,3.997877e-07,4.031363e-07,4.054882e-07,4.072693e-07,4.106596e-07,4.111046e-07,4.146555e-07,4.153327e-07,4.179350e-07,4.195371e-07,4.209553e-07,4.233009e-07,4.237285e-07,4.262660e-07,4.266509e-07,4.285791e-07,4.296128e-07,4.306784e-07,4.322109e-07,4.325742e-07,4.342763e-07,4.344680e-07,4.357942e-07,4.364061e-07,4.371370e-07,4.380458e-07,4.383134e-07,4.393317e-07,4.394066e-07,4.402000e-07,4.405071e-07,4.409259e-07,4.413645e-07,4.415167e-07,4.419795e-07,4.419954e-07,4.423209e-07,4.424154e-07,4.425474e-07,4.426389e-07,4.426651e-07,4.426799e-07,4.425973e-07,4.425512e-07,4.424227e-07,4.422651e-07,4.421613e-07,4.418332e-07,4.418179e-07,4.413972e-07,4.412661e-07,4.409036e-07,4.405742e-07,4.403413e-07,4.397669e-07,4.397144e-07,4.390268e-07,4.388532e-07,4.382821e-07,4.378415e-07,4.374839e-07,4.367399e-07,4.366355e-07,4.357401e-07,4.355556e-07,4.348007e-07,4.342958e-07,4.338202e-07,4.329669e-07,4.328014e-07,4.317470e-07,4.315751e-07,4.306593e-07,4.301261e-07,4.295408e-07,4.286254e-07,4.283938e-07,4.272204e-07,4.270779e-07,4.260227e-07,4.254885e-07,4.248026e-07,4.238615e-07,4.235620e-07,4.223027e-07,4.222012e-07,4.210263e-07,4.205113e-07,4.197344e-07,4.187955e-07,4.184285e-07,4.171102e-07,4.170572e-07,4.157807e-07,4.152996e-07,4.144414e-07,4.135257e-07,4.130935e-07,4.117382e-07,4.099396e-07,4.081324e-07,4.063189e-07,4.045011e-07,4.026810e-07,4.008603e-07,3.990407e-07,3.972239e-07,3.954111e-07,3.936039e-07,3.918033e-07,3.900107e-07,3.882269e-07,3.864531e-07,3.846900e-07,3.829386e-07,3.811996e-07,3.794736e-07,3.777613e-07,3.760634e-07,3.743802e-07,3.727123e-07,3.710601e-07,3.694240e-07
0.000000e+00,6.469144e-14,5.460969e-13,1.260565e-11,9.783367e-11,2.471987e-10,1.771283e-09,1.899764e-09,8.762927e-09,1.262581e-08,2.933802e-08,5.428808e-08,7.890975e-08,1.703366e-07,1.811749e-07,3.692513e-07,4.317187e-07,6.860147e-07,9.387056e-07,1.183601e-06,1.818306e-06,1.921668e-06,2.964025e-06,3.214638e-06,4.373737e-06,5.271198e-06,6.207513e-06,8.109080e-06,8.510527e-06,1.131264e-05,1.180838e-05,1.462645e-05,1.639808e-05,1.844723e-05,2.185535e-05,2.275415e-05,2.751260e-05,2.811188e-05,3.267694e-05,3.506418e-05,3.819332e-05,4.258482e-05,4.400237e-05,5.004163e-05,5.053281e-05,5.624762e-05,5.876260e-05,6.255763e-05,6.713111e-05,6.891107e-05,7.525070e-05,7.550323e-05,8.152343e-05,8.375579e-05,8.768101e-05,9.178023e-05,9.368045e-05,9.948427e-05,1.050606e-04,1.067926e-04,1.103832e-04,1.136467e-04,1.154312e-04,1.200042e-04,1.201887e-04,1.246449e-04,1.258376e-04,1.287931e-04,1.311330e-04,1.326307e-04,1.358877e-04,1.361586e-04,1.393806e-04,1.401090e-04,1.423031e-04,1.438121e-04,1.449347e-04,1.470180e-04,1.472857e-04,1.493675e-04,1.497527e-04,1.511928e-04,1.520450e-04,1.527748e-04,1.539256e-04,1.541271e-04,1.552635e-04,1.554262e-04,1.561978e-04,1.565785e-04,1.569437e-04,1.574136e-04,1.575143e-04,1.579227e-04,1.579614e-04,1.581812e-04,1.582506e-04,1.583018e-04,1.583082e-04,1.582958e-04,1.581740e-04,1.581595e-04,1.579464e-04,1.578279e-04,1.576226e-04,1.573349e-04,1.572114e-04,1.567213e-04,1.567002e-04,1.561600e-04,1.559419e-04,1.555347e-04,1.550764e-04,1.548521e-04,1.541184e-04,1.533393e-04,1.530813e-04,1.525202e-04,1.519772e-04,1.516658e-04,1.508167e-04,1.507807e-04,1.498690e-04,1.496095e-04,1.489345e-04,1.483644e-04,1.479807e-04,1.470888e-04,1.470107e-04,1.460274e-04,1.457897e-04,1.450335e-04,1.444732e-04,1.440315e-04,1.431446e-04,1.430234e-04,1.420114e-04,1.418087e-04,1.409973e-04,1.404697e-04,1.399827e-04,1.391312e-04,1.389691e-04,1.379580e-04,1.377965e-04,1.369505e-04,1.364685e-04,1.359477e-04,1.351496e-04,1.349507e-04,1.339604e-04,1.338420e-04,1.329774e-04,1.325475e-04,1.320027e-04,1.312677e-04,1.310367e-04,1.300801e-04,1.300040e-04,1.291333e-04,1.287575e-04,1.281969e-04,1.275292e-04,1.272711e-04,1.263563e-04,1.263200e-04,1.254529e-04,1.251304e-04,1.245609e-04,1.239611e-04,1.236807e-04,1.228123e-04,1.216846e-04,1.205779e-04,1.194926e-04,1.184287e-04,1.173861e-04,1.163649e-04,1.153649e-04,1.143860e-04,1.134280e-04,1.124907e-04,1.115739e-04,1.106774e-04,1.098007e-04,1.089437e-04,1.081060e-04,1.072873e-04,1.064872e-04,1.057055e-04,1.049418e-04,1.041957e-04,1.034668e-04,1.027549e-04,1.020595e-04,1.013803e-04
0.000000e+00,7.790506e-11,1.931226e-10,7.253028e-10,1.733900e-09,2.589658e-09,6.244506e-09,6.449411e-09,1.337833e-08,1.605963e-08,2.483851e-08,3.455526e-08,4.237310e-08,6.446344e-08,6.664227e-08,9.691727e-08,1.049326e-07,1.319226e-07,1.531901e-07,1.706222e-07,2.071799e-07,2.123261e-07,2.565609e-07,2.656781e-07,3.029563e-07,3.278249e-07,3.511798e-07,3.928624e-07,4.009060e-07,4.518057e-07,4.600363e-07,5.035457e-07,5.285816e-07,5.557942e-07,5.977433e-07,6.082308e-07,6.605508e-07,6.668077e-07,7.124723e-07,7.351248e-07,7.637404e-07,8.021275e-07,8.141300e-07,8.634464e-07,8.673403e-07,9.115261e-07,9.303807e-07,9.582349e-07,9.909554e-07,1.003466e-06,1.047138e-06,1.048852e-06,1.089192e-06,1.103928e-06,1.129590e-06,1.156102e-06,1.168308e-06,1.205341e-06,1.240692e-06,1.251652e-06,1.274378e-06,1.295073e-06,1.306422e-06,1.335667e-06,1.336854e-06,1.365709e-06,1.373512e-06,1.393029e-06,1.408700e-06,1.418854e-06,1.441333e-06,1.443231e-06,1.466204e-06,1.471515e-06,1.487823e-06,1.499355e-06,1.508134e-06,1.524964e-06,1.527185e-06,1.545024e-06,1.548450e-06,1.561697e-06,1.569922e-06,1.577251e-06,1.589485e-06,1.591731e-06,1.605181e-06,1.607241e-06,1.617645e-06,1.623289e-06,1.629164e-06,1.637726e-06,1.639779e-06,1.649529e-06,1.650643e-06,1.658454e-06,1.662129e-06,1.666590e-06,1.672268e-06,1.673973e-06,1.680637e-06,1.681140e-06,1.686616e-06,1.688823e-06,1.691941e-06,1.695389e-06,1.696645e-06,1.700756e-06,1.700908e-06,1.704303e-06,1.705447e-06,1.707313e-06,1.709067e-06,1.709814e-06,1.711829e-06,1.713385e-06,1.713789e-06,1.714504e-06,1.715001e-06,1.715208e-06,1.715514e-06,1.715519e-06,1.715458e-06,1.715376e-06,1.715044e-06,1.714634e-06,1.714296e-06,1.713329e-06,1.713233e-06,1.711872e-06,1.711502e-06,1.710229e-06,1.709191e-06,1.708320e-06,1.706432e-06,1.706161e-06,1.703765e-06,1.703259e-06,1.701148e-06,1.699704e-06,1.698322e-06,1.695796e-06,1.695300e-06,1.692094e-06,1.691565e-06,1.688716e-06,1.687037e-06,1.685177e-06,1.682236e-06,1.681487e-06,1.677656e-06,1.677187e-06,1.673695e-06,1.671912e-06,1.669611e-06,1.666432e-06,1.665415e-06,1.661115e-06,1.660766e-06,1.656717e-06,1.654933e-06,1.652231e-06,1.648950e-06,1.647663e-06,1.643021e-06,1.642833e-06,1.638310e-06,1.636598e-06,1.633537e-06,1.630259e-06,1.628708e-06,1.623828e-06,1.617320e-06,1.610744e-06,1.604113e-06,1.597436e-06,1.590724e-06,1.583984e-06,1.577226e-06,1.570457e-06,1.563684e-06,1.556914e-06,1.550153e-06,1.543407e-06,1.536681e-06,1.529981e-06,1.523311e-06,1.516675e-06,1.510077e-06,1.503521e-06,1.497010e-06,1.490547e-06,1.484134e-06,1.477776e-06,1.471473e-06,1.465228e-06
0.000000e+00,3.060414e-11,1.586326e-10,1.469450e-09,5.530076e-09,9.771339e-09,3.111462e-08,3.238882e-08,7.685543e-08,9.425409e-08,1.508229e-07,2.127206e-07,2.624156e-07,4.055936e-07,4.200927e-07,6.311226e-07,6.901862e-07,8.987301e-07,1.072660e-06,1.220702e-06,1.544479e-06,1.591299e-06,2.003993e-06,2.091039e-06,2.452719e-06,2.698450e-06,2.931963e-06,3.354303e-06,3.436524e-06,3.961342e-06,4.046859e-06,4.501446e-06,4.764697e-06,5.051995e-06,5.496828e-06,5.608350e-06,6.166167e-06,6.233010e-06,6.721462e-06,6.964059e-06,7.270673e-06,7.682071e-06,7.810685e-06,8.338845e-06,8.380516e-06,8.852946e-06,9.054237e-06,9.351209e-06,9.699359e-06,9.832249e-06,1.029504e-05,1.031316e-05,1.073885e-05,1.089388e-05,1.116322e-05,1.144057e-05,1.156793e-05,1.195294e-05,1.231839e-05,1.243123e-05,1.266450e-05,1.287604e-05,1.299165e-05,1.328828e-05,1.330028e-05,1.359086e-05,1.366907e-05,1.386396e-05,1.401967e-05,1.412015e-05,1.434142e-05,1.436002e-05,1.458419e-05,1.463572e-05,1.479327e-05,1.490400e-05,1.498788e-05,1.514765e-05,1.516863e-05,1.533611e-05,1.536807e-05,1.549092e-05,1.556660e-05,1.563363e-05,1.574456e-05,1.576480e-05,1.588497e-05,1.590321e-05,1.599466e-05,1.604375e-05,1.609440e-05,1.616734e-05,1.618466e-05,1.626592e-05,1.627509e-05,1.633864e-05,1.636804e-05,1.640325e-05,1.644719e-05,1.646017e-05,1.650981e-05,1.651348e-05,1.655255e-05,1.656780e-05,1.658876e-05,1.661099e-05,1.661880e-05,1.664301e-05,1.664386e-05,1.666170e-05,1.666714e-05,1.667519e-05,1.668155e-05,1.668378e-05,1.668774e-05,1.668735e-05,1.668635e-05,1.668286e-05,1.667795e-05,1.667452e-05,1.666311e-05,1.666256e-05,1.664721e-05,1.664233e-05,1.662867e-05,1.661610e-05,1.660715e-05,1.658488e-05,1.658283e-05,1.655591e-05,1.654908e-05,1.652656e-05,1.650912e-05,1.649493e-05,1.646535e-05,1.646119e-05,1.642550e-05,1.641813e-05,1.638797e-05,1.636779e-05,1.634877e-05,1.631463e-05,1.630800e-05,1.626580e-05,1.625892e-05,1.622228e-05,1.620095e-05,1.617754e-05,1.614095e-05,1.613170e-05,1.608484e-05,1.607916e-05,1.603707e-05,1.601578e-05,1.598847e-05,1.595103e-05,1.593912e-05,1.588910e-05,1.588507e-05,1.583849e-05,1.581810e-05,1.578736e-05,1.575026e-05,1.573578e-05,1.568380e-05,1.568171e-05,1.563149e-05,1.561259e-05,1.557891e-05,1.554302e-05,1.552610e-05,1.547312e-05,1.540300e-05,1.533276e-05,1.526250e-05,1.519230e-05,1.512224e-05,1.505240e-05,1.498283e-05,1.491361e-05,1.484479e-05,1.477642e-05,1.470855e-05,1.464122e-05,1.457446e-05,1.450832e-05,1.444282e-05,1.437800e-05,1.431387e-05,1.425047e-05,1.418780e-05,1.412589e-05,1.406475e-05,1.400440e-05,1.394485e-05,1.388610e-05
0.000000e+00,4.619248e-12,2.693708e-11,3.040218e-10,1.306104e-09,2.442963e-09,8.663798e-09,9.049361e-09,2.292627e-08,2.848215e-08,4.675246e-08,6.691012e-08,8.314141e-08,1.299952e-07,1.347472e-07,2.042427e-07,2.238600e-07,2.939705e-07,3.535966e-07,4.051991e-07,5.205256e-07,5.374459e-07,6.885711e-07,7.208023e-07,8.555696e-07,9.476470e-07,1.035353e-06,1.194191e-06,1.225118e-06,1.422396e-06,1.454508e-06,1.624985e-06,1.723518e-06,1.830875e-06,1.996712e-06,2.038210e-06,2.245263e-06,2.270014e-06,2.450453e-06,2.539772e-06,2.652347e-06,2.802793e-06,2.849672e-06,3.041330e-06,3.056389e-06,3.226399e-06,3.298408e-06,3.404132e-06,3.527229e-06,3.573954e-06,3.735449e-06,3.741731e-06,3.888345e-06,3.941251e-06,4.032499e-06,4.125514e-06,4.167886e-06,4.294571e-06,4.412703e-06,4.448733e-06,4.522497e-06,4.588510e-06,4.624218e-06,4.714554e-06,4.718166e-06,4.804674e-06,4.827610e-06,4.884089e-06,4.928482e-06,4.956770e-06,5.018000e-06,5.023079e-06,5.083378e-06,5.096994e-06,5.138020e-06,5.166279e-06,5.187353e-06,5.226641e-06,5.231712e-06,5.271417e-06,5.278828e-06,5.306778e-06,5.323546e-06,5.338085e-06,5.361455e-06,5.365617e-06,5.389636e-06,5.393169e-06,5.410387e-06,5.419256e-06,5.428104e-06,5.440238e-06,5.443002e-06,5.455286e-06,5.456593e-06,5.465145e-06,5.468762e-06,5.472758e-06,5.477144e-06,5.478290e-06,5.481896e-06,5.482106e-06,5.483720e-06,5.483980e-06,5.483895e-06,5.483071e-06,5.482547e-06,5.479792e-06,5.479654e-06,5.475738e-06,5.473981e-06,5.470486e-06,5.466278e-06,5.464129e-06,5.456754e-06,5.448442e-06,5.445597e-06,5.439269e-06,5.432979e-06,5.429305e-06,5.419055e-06,5.418615e-06,5.407260e-06,5.403969e-06,5.395296e-06,5.387848e-06,5.382777e-06,5.370811e-06,5.369751e-06,5.356264e-06,5.352964e-06,5.342360e-06,5.334405e-06,5.328076e-06,5.315224e-06,5.313452e-06,5.298520e-06,5.295500e-06,5.283314e-06,5.275309e-06,5.267864e-06,5.254717e-06,5.252197e-06,5.236340e-06,5.233787e-06,5.220317e-06,5.212574e-06,5.204151e-06,5.191129e-06,5.187863e-06,5.171473e-06,5.169500e-06,5.155000e-06,5.147730e-06,5.138460e-06,5.125856e-06,5.121871e-06,5.105246e-06,5.103915e-06,5.088601e-06,5.081939e-06,5.071947e-06,5.059959e-06,5.055298e-06,5.038665e-06,5.038000e-06,5.022058e-06,5.016088e-06,5.005487e-06,4.994244e-06,4.988961e-06,4.972490e-06,4.950844e-06,4.929323e-06,4.907941e-06,4.886714e-06,4.865653e-06,4.844770e-06,4.824074e-06,4.803575e-06,4.783282e-06,4.763201e-06,4.743338e-06,4.723700e-06,4.704291e-06,4.685116e-06,4.666178e-06,4.647480e-06,4.629026e-06,4.610818e-06,4.592856e-06,4.575143e-06,4.557679e-06,4.540465e-06,4.523501e-06,4.506788e-06
0.000000e+00,1.727376e-14,1.475473e-13,3.491132e-12,2.772013e-11,7.093019e-11,5.251911e-10,5.640406e-10,2.688080e-09,3.907473e-09,9.282694e-09,1.748355e-08,2.570421e-08,5.688686e-08,6.063262e-08,1.266847e-07,1.489546e-07,2.407727e-07,3.334018e-07,4.241772e-07,6.629908e-07,7.022932e-07,1.103974e-06,1.201858e-06,1.660407e-06,2.021533e-06,2.403527e-06,3.194632e-06,3.364137e-06,4.569980e-06,4.787287e-06,6.044025e-06,6.852054e-06,7.803183e-06,9.422793e-06,9.857519e-06,1.221002e-05,1.251224e-05,1.485679e-05,1.611218e-05,1.778763e-05,2.019558e-05,2.098684e-05,2.443416e-05,2.471997e-05,2.810577e-05,2.963138e-05,3.197533e-05,3.486832e-05,3.601488e-05,4.019567e-05,4.036544e-05,4.448898e-05,4.605667e-05,4.886666e-05,5.187782e-05,5.330168e-05,5.776852e-05,6.224346e-05,6.367355e-05,6.670478e-05,6.954373e-05,7.113286e-05,7.533633e-05,7.551025e-05,7.982163e-05,8.101513e-05,8.405375e-05,8.655023e-05,8.819537e-05,9.191763e-05,9.223710e-05,9.617128e-05,9.709877e-05,9.999183e-05,1.020799e-04,1.036941e-04,1.068515e-04,1.072747e-04,1.107314e-04,1.114077e-04,1.140629e-04,1.157457e-04,1.172689e-04,1.198651e-04,1.203496e-04,1.233060e-04,1.237676e-04,1.261397e-04,1.274568e-04,1.288524e-04,1.309372e-04,1.314466e-04,1.339248e-04,1.342145e-04,1.362897e-04,1.372951e-04,1.385443e-04,1.401861e-04,1.406919e-04,1.427354e-04,1.428945e-04,1.446783e-04,1.454279e-04,1.465237e-04,1.477940e-04,1.482750e-04,1.499355e-04,1.500001e-04,1.515085e-04,1.520539e-04,1.529971e-04,1.539628e-04,1.544045e-04,1.557339e-04,1.569882e-04,1.573743e-04,1.581706e-04,1.588908e-04,1.592838e-04,1.602901e-04,1.603307e-04,1.613141e-04,1.615784e-04,1.622366e-04,1.627619e-04,1.631008e-04,1.638465e-04,1.639092e-04,1.646643e-04,1.648378e-04,1.653683e-04,1.657411e-04,1.660236e-04,1.665617e-04,1.666323e-04,1.671966e-04,1.673043e-04,1.677184e-04,1.679737e-04,1.681999e-04,1.685743e-04,1.686427e-04,1.690488e-04,1.691104e-04,1.694198e-04,1.695860e-04,1.697576e-04,1.700049e-04,1.700637e-04,1.703396e-04,1.703708e-04,1.705869e-04,1.706870e-04,1.708069e-04,1.709568e-04,1.710012e-04,1.711709e-04,1.711834e-04,1.713173e-04,1.713697e-04,1.714418e-04,1.715184e-04,1.715453e-04,1.716292e-04,1.716321e-04,1.716943e-04,1.717134e-04,1.717418e-04,1.717645e-04,1.717726e-04,1.717877e-04,1.717851e-04,1.717586e-04,1.717101e-04,1.716414e-04,1.715540e-04,1.714495e-04,1.713294e-04,1.711951e-04,1.710478e-04,1.708887e-04,1.707190e-04,1.705397e-04,1.703519e-04,1.701565e-04,1.699542e-04,1.697461e-04,1.695327e-04,1.693149e-04,1.690933e-04,1.688684e-04,1.686410e-04,1.684115e-04,1.681804e-04,1.679482e-04
0.000000e+00,5.293458e-12,3.601936e-11,5.402350e-10,2.888039e-09,5.998749e-09,2.670433e-08,2.811884e-08,8.476319e-08,1.096726e-07,1.974743e-07,3.021156e-07,3.909016e-07,6.645630e-07,6.935308e-07,1.137107e-06,1.267992e-06,1.750940e-06,2.175755e-06,2.550661e-06,3.403847e-06,3.530201e-06,4.665508e-06,4.908533e-06,5.925535e-06,6.620147e-06,7.281093e-06,8.475874e-06,8.708171e-06,1.018750e-05,1.042793e-05,1.170304e-05,1.243916e-05,1.324066e-05,1.447789e-05,1.478736e-05,1.633096e-05,1.651544e-05,1.786011e-05,1.852562e-05,1.936433e-05,2.048504e-05,2.083422e-05,2.226149e-05,2.237361e-05,2.363911e-05,2.417492e-05,2.496129e-05,2.587632e-05,2.622347e-05,2.742225e-05,2.746885e-05,2.855533e-05,2.894687e-05,2.962136e-05,3.030768e-05,3.061985e-05,3.155101e-05,3.241569e-05,3.267856e-05,3.321526e-05,3.369364e-05,3.395154e-05,3.460076e-05,3.462662e-05,3.524283e-05,3.540515e-05,3.580266e-05,3.611260e-05,3.630875e-05,3.672910e-05,3.676368e-05,3.717014e-05,3.726078e-05,3.753081e-05,3.771376e-05,3.784830e-05,3.809402e-05,3.812518e-05,3.836396e-05,3.840736e-05,3.856702e-05,3.865926e-05,3.873665e-05,3.885493e-05,3.887506e-05,3.898436e-05,3.899928e-05,3.906654e-05,3.909692e-05,3.912351e-05,3.915214e-05,3.915706e-05,3.916889e-05,3.916893e-05,3.916062e-05,3.915101e-05,3.913376e-05,3.910179e-05,3.908974e-05,3.902989e-05,3.902446e-05,3.895549e-05,3.892192e-05,3.886771e-05,3.879686e-05,3.876767e-05,3.865640e-05,3.865173e-05,3.853490e-05,3.848882e-05,3.840406e-05,3.831020e-05,3.826475e-05,3.811776e-05,3.796384e-05,3.791324e-05,3.780369e-05,3.769823e-05,3.763797e-05,3.747418e-05,3.746727e-05,3.729216e-05,3.724242e-05,3.711318e-05,3.700414e-05,3.693082e-05,3.676044e-05,3.674552e-05,3.655772e-05,3.651232e-05,3.636782e-05,3.626069e-05,3.617617e-05,3.600635e-05,3.598312e-05,3.578899e-05,3.575006e-05,3.559407e-05,3.549249e-05,3.539863e-05,3.523425e-05,3.520293e-05,3.500718e-05,3.497587e-05,3.481161e-05,3.471786e-05,3.461641e-05,3.446065e-05,3.442177e-05,3.422785e-05,3.420463e-05,3.403480e-05,3.395017e-05,3.384276e-05,3.369757e-05,3.365187e-05,3.346223e-05,3.344712e-05,3.327396e-05,3.319906e-05,3.308716e-05,3.295361e-05,3.290190e-05,3.271827e-05,3.271096e-05,3.253634e-05,3.247127e-05,3.235618e-05,3.223470e-05,3.217783e-05,3.200136e-05,3.177136e-05,3.154479e-05,3.132171e-05,3.110219e-05,3.088628e-05,3.067401e-05,3.046540e-05,3.026047e-05,3.005923e-05,2.986166e-05,2.966778e-05,2.947756e-05,2.929098e-05,2.910801e-05,2.892864e-05,2.875282e-05,2.858052e-05,2.841171e-05,2.824633e-05,2.808435e-05,2.792571e-05,2.777038e-05,2.761830e-05,2.746941e-05
0.000000e+00,1.085767e-14,9.373672e-14,2.268179e-12,1.839171e-11,4.762138e-11,3.640973e-10,3.915624e-10,1.932368e-09,2.837610e-09,6.926009e-09,1.335826e-08,1.996573e-08,4.598989e-08,4.919546e-08,1.077001e-07,1.281029e-07,2.148656e-07,3.057317e-07,3.972391e-07,6.463921e-07,6.883078e-07,1.126895e-06,1.235948e-06,1.754369e-06,2.168878e-06,2.611217e-06,3.534905e-06,3.733638e-06,5.150688e-06,5.406229e-06,6.882278e-06,7.828416e-06,8.938114e-06,1.081611e-05,1.131751e-05,1.400993e-05,1.435323e-05,1.699614e-05,1.839650e-05,2.024950e-05,2.288099e-05,2.373767e-05,2.742414e-05,2.772647e-05,3.126986e-05,3.284373e-05,3.523461e-05,3.814039e-05,3.927829e-05,4.336198e-05,4.352563e-05,4.744877e-05,4.891409e-05,5.150446e-05,5.422859e-05,5.549802e-05,5.940194e-05,6.319234e-05,6.437789e-05,6.684906e-05,6.911143e-05,7.035559e-05,7.356843e-05,7.369890e-05,7.686926e-05,7.772498e-05,7.985996e-05,8.156639e-05,8.266703e-05,8.508599e-05,8.528892e-05,8.772621e-05,8.828391e-05,8.998127e-05,9.116591e-05,9.205801e-05,9.374210e-05,9.396157e-05,9.569809e-05,9.602595e-05,9.727445e-05,9.803330e-05,9.869806e-05,9.978154e-05,9.997671e-05,1.011184e-04,1.012889e-04,1.021312e-04,1.025739e-04,1.030231e-04,1.036550e-04,1.038021e-04,1.044758e-04,1.045499e-04,1.050516e-04,1.052758e-04,1.055367e-04,1.058489e-04,1.059379e-04,1.062617e-04,1.062844e-04,1.065141e-04,1.065964e-04,1.067009e-04,1.067978e-04,1.068275e-04,1.068988e-04,1.069006e-04,1.069196e-04,1.069156e-04,1.068943e-04,1.068527e-04,1.068267e-04,1.067208e-04,1.065798e-04,1.065279e-04,1.064071e-04,1.062813e-04,1.062056e-04,1.059875e-04,1.059779e-04,1.057266e-04,1.056523e-04,1.054539e-04,1.052809e-04,1.051620e-04,1.048781e-04,1.048527e-04,1.045280e-04,1.044479e-04,1.041893e-04,1.039942e-04,1.038383e-04,1.035203e-04,1.034763e-04,1.031046e-04,1.030292e-04,1.027244e-04,1.025236e-04,1.023366e-04,1.020058e-04,1.019424e-04,1.015425e-04,1.014781e-04,1.011379e-04,1.009422e-04,1.007293e-04,1.004000e-04,1.003174e-04,9.990290e-05,9.985300e-05,9.948631e-05,9.930251e-05,9.906823e-05,9.874979e-05,9.864914e-05,9.822952e-05,9.819594e-05,9.780979e-05,9.764195e-05,9.739033e-05,9.708870e-05,9.697152e-05,9.655367e-05,9.653699e-05,9.613710e-05,9.598750e-05,9.572208e-05,9.544089e-05,9.530887e-05,9.489770e-05,9.435844e-05,9.382355e-05,9.329343e-05,9.276843e-05,9.224886e-05,9.173499e-05,9.122705e-05,9.072525e-05,9.022978e-05,8.974078e-05,8.925839e-05,8.878270e-05,8.831382e-05,8.785182e-05,8.739675e-05,8.694864e-05,8.650754e-05,8.607345e-05,8.564639e-05,8.522634e-05,8.481328e-05,8.440721e-05,8.400809e-05,8.361588e-05
0.000000e+00,3.154453e-11,1.580677e-10,1.386554e-09,5.040918e-09,8.781848e-09,2.728955e-08,2.838794e-08,6.669823e-08,8.174379e-08,1.310474e-07,1.857301e-07,2.301644e-07,3.603239e-07,3.736414e-07,5.688984e-07,6.237180e-07,8.165731e-07,9.757568e-07,1.109669e-06,1.397002e-06,1.437918e-06,1.791928e-06,1.865144e-06,2.164376e-06,2.363407e-06,2.549593e-06,2.879630e-06,2.942941e-06,3.340416e-06,3.404151e-06,3.738452e-06,3.928758e-06,4.133856e-06,4.446370e-06,4.523798e-06,4.905817e-06,4.951024e-06,5.277831e-06,5.437894e-06,5.638131e-06,5.903282e-06,5.985369e-06,6.318538e-06,6.344560e-06,6.636921e-06,6.760027e-06,6.940073e-06,7.148778e-06,7.227770e-06,7.499978e-06,7.510546e-06,7.756829e-06,7.845582e-06,7.998569e-06,8.154480e-06,8.225519e-06,8.438095e-06,8.636752e-06,8.697466e-06,8.822002e-06,8.933769e-06,8.994372e-06,9.148231e-06,9.154402e-06,9.302639e-06,9.342106e-06,9.439626e-06,9.516643e-06,9.565901e-06,9.673067e-06,9.681992e-06,9.788411e-06,9.812569e-06,9.885658e-06,9.936289e-06,9.974212e-06,1.004532e-05,1.005454e-05,1.012708e-05,1.014069e-05,1.019227e-05,1.022339e-05,1.025050e-05,1.029434e-05,1.030218e-05,1.034767e-05,1.035440e-05,1.038733e-05,1.040439e-05,1.042149e-05,1.044508e-05,1.045048e-05,1.047460e-05,1.047718e-05,1.049414e-05,1.050136e-05,1.050937e-05,1.051823e-05,1.052056e-05,1.052796e-05,1.052839e-05,1.053179e-05,1.053237e-05,1.053227e-05,1.053067e-05,1.052963e-05,1.052406e-05,1.052378e-05,1.051574e-05,1.051211e-05,1.050486e-05,1.049608e-05,1.049159e-05,1.047607e-05,1.045848e-05,1.045243e-05,1.043894e-05,1.042548e-05,1.041760e-05,1.039552e-05,1.039457e-05,1.036999e-05,1.036284e-05,1.034396e-05,1.032770e-05,1.031660e-05,1.029033e-05,1.028800e-05,1.025826e-05,1.025097e-05,1.022748e-05,1.020981e-05,1.019573e-05,1.016705e-05,1.016309e-05,1.012966e-05,1.012288e-05,1.009548e-05,1.007745e-05,1.006064e-05,1.003091e-05,1.002520e-05,9.989218e-06,9.983414e-06,9.952749e-06,9.935087e-06,9.915847e-06,9.886049e-06,9.878564e-06,9.840947e-06,9.836412e-06,9.803040e-06,9.786281e-06,9.764886e-06,9.735749e-06,9.726525e-06,9.687993e-06,9.684905e-06,9.649327e-06,9.633829e-06,9.610557e-06,9.582598e-06,9.571717e-06,9.532834e-06,9.531278e-06,9.493936e-06,9.479934e-06,9.455048e-06,9.428623e-06,9.416195e-06,9.377400e-06,9.326312e-06,9.275405e-06,9.224720e-06,9.174295e-06,9.124163e-06,9.074355e-06,9.024901e-06,8.975826e-06,8.927152e-06,8.878901e-06,8.831092e-06,8.783741e-06,8.736864e-06,8.690474e-06,8.644582e-06,8.599199e-06,8.554333e-06,8.509993e-06,8.466185e-06,8.422914e-06,8.380185e-06,8.338001e-06,8.296365e-06,8.255279e-06
0.000000e+00,7.656603e-11,2.341639e-10,1.089497e-09,2.854333e-09,4.393620e-09,1.101592e-08,1.138520e-08,2.363335e-08,2.825116e-08,4.299801e-08,5.886984e-08,7.145306e-08,1.067804e-07,1.102725e-07,1.593204e-07,1.725076e-07,2.176031e-07,2.538870e-07,2.841023e-07,3.487623e-07,3.579962e-07,4.385803e-07,4.554403e-07,5.251739e-07,5.723452e-07,6.170729e-07,6.978285e-07,7.135385e-07,8.138051e-07,8.301488e-07,9.170999e-07,9.675324e-07,1.022661e-06,1.108250e-06,1.129759e-06,1.237710e-06,1.250691e-06,1.345889e-06,1.393414e-06,1.453736e-06,1.535172e-06,1.560758e-06,1.666530e-06,1.674926e-06,1.770690e-06,1.811834e-06,1.872939e-06,1.945234e-06,1.973030e-06,2.070765e-06,2.074623e-06,2.165992e-06,2.199636e-06,2.258595e-06,2.320023e-06,2.348493e-06,2.435629e-06,2.519963e-06,2.546356e-06,2.601480e-06,2.652172e-06,2.680179e-06,2.753088e-06,2.756070e-06,2.829177e-06,2.849153e-06,2.899536e-06,2.940448e-06,2.967186e-06,3.027071e-06,3.032173e-06,3.094552e-06,3.109142e-06,3.154383e-06,3.186800e-06,3.211733e-06,3.260202e-06,3.266668e-06,3.319245e-06,3.329482e-06,3.369523e-06,3.394782e-06,3.417569e-06,3.456246e-06,3.463442e-06,3.507205e-06,3.514015e-06,3.548919e-06,3.568232e-06,3.588645e-06,3.619035e-06,3.626444e-06,3.662375e-06,3.666564e-06,3.696498e-06,3.710955e-06,3.728871e-06,3.752337e-06,3.759549e-06,3.788588e-06,3.790842e-06,3.816044e-06,3.826595e-06,3.841969e-06,3.859718e-06,3.866417e-06,3.889438e-06,3.890330e-06,3.911081e-06,3.918546e-06,3.931397e-06,3.944477e-06,3.950431e-06,3.968230e-06,3.984840e-06,3.989911e-06,4.000303e-06,4.009618e-06,4.014663e-06,4.027448e-06,4.027960e-06,4.040235e-06,4.043494e-06,4.051527e-06,4.057845e-06,4.061873e-06,4.070588e-06,4.071311e-06,4.079875e-06,4.081804e-06,4.087601e-06,4.091573e-06,4.094521e-06,4.099971e-06,4.100669e-06,4.106076e-06,4.107071e-06,4.110771e-06,4.112942e-06,4.114785e-06,4.117651e-06,4.118145e-06,4.120880e-06,4.121262e-06,4.123016e-06,4.123837e-06,4.124579e-06,4.125433e-06,4.125594e-06,4.126084e-06,4.126109e-06,4.126073e-06,4.125915e-06,4.125584e-06,4.124905e-06,4.124637e-06,4.123255e-06,4.123126e-06,4.121457e-06,4.120626e-06,4.119263e-06,4.117448e-06,4.116691e-06,4.113760e-06,4.113636e-06,4.110488e-06,4.109230e-06,4.106891e-06,4.104267e-06,4.102985e-06,4.098786e-06,4.092822e-06,4.086406e-06,4.079572e-06,4.072349e-06,4.064767e-06,4.056852e-06,4.048630e-06,4.040127e-06,4.031365e-06,4.022367e-06,4.013153e-06,4.003745e-06,3.994161e-06,3.984418e-06,3.974534e-06,3.964526e-06,3.954407e-06,3.944194e-06,3.933899e-06,3.923535e-06,3.913115e-06,3.902650e-06,3.892151e-06,3.881628e-06
0.000000e+00,1.118457e-14,9.760160e-14,2.415166e-12,1.998758e-11,5.233361e-11,4.116035e-10,4.431516e-10,2.246052e-09,3.321053e-09,8.240378e-09,1.608840e-08,2.422343e-08,5.660861e-08,6.062082e-08,1.342860e-07,1.601019e-07,2.703085e-07,3.862709e-07,5.035132e-07,8.248608e-07,8.792162e-07,1.452874e-06,1.596870e-06,2.288516e-06,2.849670e-06,3.456118e-06,4.746555e-06,5.028272e-06,7.076569e-06,7.453056e-06,9.668060e-06,1.112271e-05,1.286208e-05,1.588446e-05,1.670764e-05,2.124148e-05,2.183304e-05,2.648678e-05,2.902294e-05,3.245259e-05,3.746587e-05,3.913383e-05,4.651182e-05,4.713130e-05,5.455523e-05,5.794971e-05,6.322143e-05,6.981766e-05,7.245806e-05,8.220472e-05,8.260427e-05,9.239482e-05,9.615824e-05,1.029574e-04,1.103152e-04,1.138188e-04,1.249046e-04,1.361408e-04,1.397562e-04,1.474552e-04,1.547054e-04,1.587788e-04,1.695978e-04,1.700466e-04,1.811984e-04,1.842924e-04,1.921790e-04,1.986645e-04,2.029392e-04,2.126064e-04,2.134355e-04,2.236301e-04,2.260283e-04,2.334915e-04,2.388582e-04,2.429933e-04,2.510410e-04,2.521150e-04,2.608407e-04,2.625373e-04,2.691595e-04,2.733219e-04,2.770644e-04,2.833825e-04,2.845526e-04,2.916243e-04,2.927173e-04,2.982829e-04,3.013339e-04,3.045343e-04,3.092476e-04,3.103866e-04,3.158495e-04,3.164794e-04,3.209345e-04,3.230553e-04,3.256539e-04,3.290044e-04,3.300211e-04,3.340501e-04,3.343582e-04,3.377551e-04,3.391497e-04,3.411509e-04,3.434126e-04,3.442521e-04,3.470732e-04,3.471804e-04,3.496287e-04,3.504864e-04,3.519327e-04,3.533628e-04,3.539990e-04,3.558409e-04,3.574714e-04,3.579505e-04,3.589028e-04,3.597199e-04,3.601470e-04,3.611760e-04,3.612155e-04,3.621189e-04,3.623437e-04,3.628677e-04,3.632468e-04,3.634715e-04,3.639071e-04,3.639398e-04,3.642812e-04,3.643452e-04,3.645041e-04,3.645801e-04,3.646163e-04,3.646292e-04,3.646250e-04,3.645374e-04,3.645089e-04,3.643598e-04,3.642340e-04,3.640985e-04,3.638184e-04,3.637591e-04,3.633471e-04,3.632748e-04,3.628676e-04,3.626149e-04,3.623253e-04,3.618494e-04,3.617248e-04,3.610702e-04,3.609882e-04,3.603654e-04,3.600404e-04,3.596142e-04,3.590144e-04,3.588200e-04,3.579861e-04,3.579178e-04,3.571155e-04,3.567577e-04,3.562111e-04,3.555405e-04,3.552756e-04,3.543114e-04,3.542723e-04,3.533210e-04,3.529585e-04,3.523066e-04,3.516041e-04,3.512702e-04,3.502139e-04,3.487920e-04,3.473423e-04,3.458686e-04,3.443741e-04,3.428619e-04,3.413349e-04,3.397956e-04,3.382464e-04,3.366895e-04,3.351271e-04,3.335609e-04,3.319927e-04,3.304241e-04,3.288565e-04,3.272914e-04,3.257299e-04,3.241732e-04,3.226224e-04,3.210783e-04,3.195420e-04,3.180142e-04,3.164957e-04,3.149871e-04,3.134891e-04
0.000000e+00,7.287780e-15,6.346479e-14,1.564678e-12,1.290415e-11,3.372097e-11,2.638214e-10,2.839795e-10,1.431280e-09,2.112957e-09,5.221139e-09,1.015795e-08,1.525798e-08,3.545879e-08,3.795333e-08,8.355433e-08,9.946887e-08,1.671530e-07,2.380554e-07,3.095081e-07,5.045264e-07,5.374207e-07,8.833955e-07,9.699569e-07,1.384468e-06,1.719445e-06,2.080293e-06,2.844529e-06,3.010769e-06,4.213521e-06,4.433517e-06,5.721559e-06,6.561911e-06,7.561323e-06,9.284660e-06,9.751250e-06,1.230092e-05,1.263116e-05,1.521072e-05,1.660323e-05,1.847208e-05,2.117568e-05,2.206803e-05,2.597411e-05,2.629911e-05,3.015952e-05,3.190401e-05,3.458842e-05,3.790587e-05,3.922121e-05,4.401587e-05,4.421042e-05,4.892925e-05,5.071880e-05,5.391817e-05,5.733220e-05,5.894046e-05,6.395584e-05,6.892663e-05,7.050213e-05,7.381828e-05,7.689292e-05,7.859977e-05,8.306105e-05,8.324387e-05,8.772724e-05,8.895105e-05,9.203046e-05,9.451927e-05,9.613791e-05,9.973352e-05,1.000376e-04,1.037210e-04,1.045722e-04,1.071827e-04,1.090233e-04,1.104200e-04,1.130831e-04,1.134329e-04,1.162234e-04,1.167552e-04,1.187956e-04,1.200486e-04,1.211549e-04,1.229772e-04,1.233082e-04,1.252632e-04,1.255582e-04,1.270286e-04,1.278112e-04,1.286134e-04,1.297576e-04,1.300271e-04,1.312793e-04,1.314192e-04,1.323798e-04,1.328183e-04,1.333380e-04,1.339770e-04,1.341635e-04,1.348653e-04,1.349164e-04,1.354523e-04,1.356569e-04,1.359330e-04,1.362178e-04,1.363154e-04,1.366072e-04,1.366171e-04,1.368156e-04,1.368715e-04,1.369473e-04,1.369965e-04,1.370089e-04,1.370061e-04,1.369446e-04,1.369134e-04,1.368295e-04,1.367298e-04,1.366654e-04,1.364660e-04,1.364569e-04,1.362080e-04,1.361315e-04,1.359224e-04,1.357349e-04,1.356036e-04,1.352837e-04,1.352547e-04,1.348788e-04,1.347848e-04,1.344784e-04,1.342444e-04,1.340560e-04,1.336680e-04,1.336140e-04,1.331543e-04,1.330604e-04,1.326788e-04,1.324260e-04,1.321894e-04,1.317687e-04,1.316876e-04,1.311750e-04,1.310920e-04,1.306528e-04,1.303991e-04,1.301222e-04,1.296926e-04,1.295846e-04,1.290408e-04,1.289751e-04,1.284918e-04,1.282488e-04,1.279385e-04,1.275157e-04,1.273818e-04,1.268224e-04,1.267776e-04,1.262610e-04,1.260360e-04,1.256982e-04,1.252924e-04,1.251345e-04,1.245706e-04,1.245480e-04,1.240069e-04,1.238041e-04,1.234439e-04,1.230616e-04,1.228819e-04,1.223215e-04,1.215846e-04,1.208516e-04,1.201232e-04,1.194000e-04,1.186825e-04,1.179712e-04,1.172665e-04,1.165688e-04,1.158784e-04,1.151956e-04,1.145206e-04,1.138537e-04,1.131951e-04,1.125448e-04,1.119032e-04,1.112702e-04,1.106459e-04,1.100305e-04,1.094240e-04,1.088264e-04,1.082377e-04,1.076580e-04,1.070873e-04,1.065255e-04
0.000000e+00,1.376216e-10,5.632717e-10,3.697736e-09,1.148285e-08,1.888662e-08,5.395158e-08,5.601783e-08,1.292850e-07,1.589063e-07,2.593322e-07,3.757344e-07,4.731583e-07,7.660951e-07,7.963212e-07,1.236042e-06,1.357187e-06,1.773000e-06,2.104462e-06,2.376062e-06,2.940444e-06,3.019072e-06,3.684783e-06,3.819612e-06,4.362280e-06,4.716707e-06,5.044208e-06,5.616423e-06,5.725107e-06,6.400596e-06,6.507920e-06,7.067027e-06,7.382773e-06,7.721324e-06,8.234287e-06,8.360925e-06,8.983732e-06,9.057257e-06,9.588083e-06,9.847809e-06,1.017270e-05,1.060323e-05,1.073666e-05,1.127933e-05,1.132181e-05,1.180033e-05,1.200262e-05,1.229949e-05,1.264537e-05,1.277683e-05,1.323249e-05,1.325027e-05,1.366673e-05,1.381788e-05,1.407990e-05,1.434903e-05,1.447242e-05,1.484474e-05,1.519739e-05,1.530617e-05,1.553089e-05,1.573454e-05,1.584580e-05,1.613115e-05,1.614268e-05,1.642212e-05,1.649731e-05,1.668467e-05,1.683435e-05,1.693093e-05,1.714359e-05,1.716147e-05,1.737684e-05,1.742634e-05,1.757761e-05,1.768387e-05,1.776433e-05,1.791745e-05,1.793754e-05,1.809777e-05,1.812830e-05,1.824553e-05,1.831761e-05,1.838133e-05,1.848651e-05,1.850565e-05,1.861899e-05,1.863613e-05,1.872180e-05,1.876754e-05,1.881453e-05,1.888176e-05,1.889763e-05,1.897152e-05,1.897979e-05,1.903661e-05,1.906257e-05,1.909330e-05,1.913101e-05,1.914199e-05,1.918303e-05,1.918599e-05,1.921680e-05,1.922834e-05,1.924363e-05,1.925886e-05,1.926388e-05,1.927786e-05,1.927829e-05,1.928589e-05,1.928738e-05,1.928826e-05,1.928680e-05,1.928528e-05,1.927721e-05,1.926433e-05,1.925923e-05,1.924690e-05,1.923347e-05,1.922516e-05,1.920047e-05,1.919936e-05,1.916973e-05,1.916078e-05,1.913649e-05,1.911490e-05,1.909985e-05,1.906331e-05,1.906001e-05,1.901717e-05,1.900646e-05,1.897152e-05,1.894479e-05,1.892323e-05,1.887870e-05,1.887248e-05,1.881944e-05,1.880857e-05,1.876426e-05,1.873477e-05,1.870709e-05,1.865764e-05,1.864808e-05,1.858736e-05,1.857750e-05,1.852508e-05,1.849466e-05,1.846134e-05,1.840940e-05,1.839628e-05,1.833001e-05,1.832199e-05,1.826264e-05,1.823268e-05,1.819428e-05,1.814172e-05,1.812502e-05,1.805496e-05,1.804932e-05,1.798418e-05,1.795570e-05,1.791279e-05,1.786104e-05,1.784085e-05,1.776845e-05,1.776555e-05,1.769566e-05,1.766938e-05,1.762255e-05,1.757269e-05,1.754919e-05,1.747564e-05,1.737837e-05,1.728101e-05,1.718367e-05,1.708648e-05,1.698953e-05,1.689292e-05,1.679673e-05,1.670106e-05,1.660598e-05,1.651156e-05,1.641786e-05,1.632493e-05,1.623285e-05,1.614164e-05,1.605136e-05,1.596204e-05,1.587373e-05,1.578645e-05,1.570023e-05,1.561510e-05,1.553107e-05,1.544818e-05,1.536642e-05,1.528583e-05
0.000000e+00,7.221678e-12,4.462199e-11,5.578349e-10,2.579277e-09,4.987101e-09,1.889277e-08,1.977628e-08,5.229146e-08,6.553681e-08,1.095186e-07,1.584428e-07,1.979800e-07,3.122945e-07,3.238830e-07,4.927712e-07,5.401582e-07,7.080812e-07,8.488204e-07,9.689060e-07,1.231239e-06,1.269020e-06,1.598656e-06,1.667200e-06,1.947480e-06,2.133387e-06,2.306480e-06,2.610569e-06,2.668429e-06,3.027617e-06,3.084512e-06,3.379481e-06,3.544669e-06,3.720361e-06,3.983183e-06,4.047354e-06,4.358238e-06,4.394379e-06,4.651411e-06,4.774510e-06,4.925838e-06,5.121520e-06,5.180985e-06,5.416750e-06,5.434780e-06,5.633383e-06,5.714790e-06,5.831414e-06,5.962888e-06,6.011586e-06,6.174800e-06,6.180989e-06,6.322055e-06,6.371362e-06,6.454402e-06,6.536429e-06,6.572912e-06,6.678651e-06,6.772656e-06,6.800425e-06,6.855930e-06,6.904025e-06,6.929399e-06,6.991504e-06,6.993923e-06,7.050327e-06,7.064768e-06,7.099353e-06,7.125519e-06,7.141697e-06,7.175300e-06,7.177995e-06,7.208815e-06,7.215456e-06,7.234683e-06,7.247189e-06,7.256084e-06,7.271560e-06,7.273442e-06,7.287145e-06,7.289478e-06,7.297545e-06,7.301758e-06,7.304967e-06,7.309110e-06,7.309697e-06,7.311992e-06,7.312149e-06,7.312087e-06,7.311415e-06,7.310197e-06,7.307386e-06,7.306514e-06,7.301215e-06,7.300478e-06,7.294455e-06,7.291055e-06,7.286379e-06,7.279442e-06,7.277118e-06,7.266791e-06,7.265922e-06,7.255506e-06,7.250747e-06,7.243362e-06,7.234136e-06,7.230448e-06,7.216846e-06,7.216288e-06,7.202631e-06,7.197377e-06,7.187872e-06,7.177558e-06,7.172633e-06,7.156971e-06,7.140939e-06,7.135739e-06,7.124585e-06,7.113971e-06,7.107954e-06,7.091766e-06,7.091087e-06,7.074022e-06,7.069213e-06,7.056793e-06,7.046390e-06,7.039432e-06,7.023369e-06,7.021969e-06,7.004431e-06,7.000213e-06,6.986842e-06,6.976979e-06,6.969226e-06,6.953719e-06,6.951605e-06,6.933996e-06,6.930478e-06,6.916419e-06,6.907297e-06,6.898889e-06,6.884213e-06,6.881423e-06,6.864033e-06,6.861258e-06,6.846733e-06,6.838464e-06,6.829534e-06,6.815855e-06,6.812447e-06,6.795483e-06,6.793456e-06,6.778649e-06,6.771286e-06,6.761955e-06,6.749365e-06,6.745408e-06,6.729014e-06,6.727709e-06,6.712780e-06,6.706332e-06,6.696710e-06,6.685245e-06,6.680811e-06,6.665086e-06,6.664460e-06,6.649539e-06,6.643986e-06,6.634174e-06,6.623831e-06,6.618994e-06,6.604001e-06,6.584502e-06,6.565337e-06,6.546511e-06,6.528027e-06,6.509885e-06,6.492086e-06,6.474632e-06,6.457521e-06,6.440753e-06,6.424327e-06,6.408241e-06,6.392492e-06,6.377078e-06,6.361996e-06,6.347244e-06,6.332816e-06,6.318711e-06,6.304924e-06,6.291450e-06,6.278286e-06,6.265427e-06,6.252868e-06,6.240606e-06,6.228634e-06
0.000000e+00,1.036504e-13,8.698718e-13,1.985655e-11,1.525963e-10,3.835231e-10,2.711734e-09,2.906901e-09,1.324391e-08,1.902184e-08,4.387011e-08,8.073322e-08,1.169653e-07,2.509057e-07,2.667475e-07,5.411520e-07,6.321935e-07,1.002745e-06,1.371080e-06,1.728237e-06,2.654510e-06,2.805396e-06,4.326581e-06,4.692030e-06,6.379781e-06,7.683145e-06,9.039340e-06,1.178179e-05,1.235871e-05,1.636649e-05,1.707217e-05,2.106577e-05,2.356191e-05,2.643631e-05,3.118976e-05,3.243817e-05,3.901614e-05,3.984116e-05,4.610403e-05,4.936554e-05,5.362860e-05,5.959198e-05,6.151280e-05,6.967845e-05,7.034153e-05,7.804823e-05,8.143643e-05,8.654734e-05,9.270670e-05,9.510471e-05,1.036539e-04,1.039948e-04,1.121338e-04,1.151587e-04,1.204890e-04,1.260740e-04,1.286704e-04,1.366350e-04,1.443463e-04,1.467552e-04,1.517737e-04,1.563666e-04,1.588926e-04,1.654189e-04,1.656841e-04,1.721344e-04,1.738780e-04,1.782345e-04,1.817244e-04,1.839798e-04,1.889511e-04,1.893691e-04,1.944050e-04,1.955615e-04,1.990925e-04,2.015680e-04,2.034390e-04,2.069894e-04,2.074541e-04,2.111485e-04,2.118500e-04,2.145343e-04,2.161773e-04,2.176245e-04,2.200015e-04,2.204324e-04,2.229719e-04,2.233542e-04,2.252569e-04,2.262673e-04,2.273012e-04,2.287728e-04,2.291188e-04,2.307228e-04,2.309016e-04,2.321265e-04,2.326840e-04,2.333425e-04,2.341486e-04,2.343829e-04,2.352593e-04,2.353227e-04,2.359829e-04,2.362320e-04,2.365643e-04,2.369003e-04,2.370133e-04,2.373395e-04,2.373502e-04,2.375519e-04,2.376021e-04,2.376588e-04,2.376754e-04,2.376683e-04,2.375876e-04,2.374239e-04,2.373550e-04,2.371836e-04,2.369925e-04,2.368729e-04,2.365136e-04,2.364974e-04,2.360627e-04,2.359310e-04,2.355736e-04,2.352561e-04,2.350349e-04,2.344992e-04,2.344509e-04,2.338257e-04,2.336699e-04,2.331630e-04,2.327769e-04,2.324665e-04,2.318281e-04,2.317393e-04,2.309847e-04,2.308307e-04,2.302053e-04,2.297912e-04,2.294039e-04,2.287156e-04,2.285830e-04,2.277448e-04,2.276093e-04,2.268916e-04,2.264772e-04,2.260251e-04,2.253238e-04,2.251474e-04,2.242602e-04,2.241531e-04,2.233649e-04,2.229688e-04,2.224631e-04,2.217743e-04,2.215562e-04,2.206454e-04,2.205724e-04,2.197320e-04,2.193661e-04,2.188169e-04,2.181576e-04,2.179012e-04,2.169859e-04,2.169493e-04,2.160718e-04,2.157431e-04,2.151596e-04,2.145409e-04,2.142502e-04,2.133442e-04,2.121544e-04,2.109729e-04,2.098009e-04,2.086393e-04,2.074890e-04,2.063509e-04,2.052257e-04,2.041140e-04,2.030163e-04,2.019331e-04,2.008648e-04,1.998117e-04,1.987741e-04,1.977522e-04,1.967463e-04,1.957564e-04,1.947826e-04,1.938251e-04,1.928838e-04,1.919588e-04,1.910501e-04,1.901575e-04,1.892811e-04,1.884208e-04
0.000000e+00,4.881651e-12,1.124238e-11,3.880788e-11,8.819157e-11,1.284279e-10,2.889770e-10,2.975415e-10,5.673158e-10,6.634965e-10,9.564514e-10,1.254115e-09,1.481271e-09,2.095961e-09,2.155707e-09,2.991151e-09,3.216632e-09,3.996152e-09,4.635111e-09,5.175914e-09,6.359698e-09,6.531595e-09,8.059454e-09,8.384965e-09,9.750077e-09,1.068866e-08,1.158812e-08,1.323111e-08,1.355306e-08,1.562090e-08,1.595961e-08,1.776637e-08,1.881646e-08,1.996479e-08,2.174617e-08,2.219322e-08,2.443095e-08,2.469920e-08,2.665959e-08,2.763309e-08,2.886305e-08,3.051219e-08,3.102739e-08,3.314069e-08,3.330724e-08,3.519293e-08,3.599483e-08,3.717587e-08,3.855688e-08,3.908286e-08,4.090880e-08,4.098009e-08,4.264989e-08,4.325538e-08,4.430357e-08,4.537734e-08,4.586834e-08,4.734361e-08,4.872958e-08,4.915436e-08,5.002715e-08,5.081183e-08,5.123773e-08,5.231981e-08,5.236323e-08,5.340589e-08,5.368333e-08,5.436824e-08,5.490825e-08,5.525305e-08,5.600107e-08,5.606320e-08,5.680172e-08,5.696864e-08,5.747166e-08,5.781803e-08,5.807613e-08,5.855635e-08,5.861821e-08,5.910096e-08,5.919066e-08,5.952741e-08,5.972789e-08,5.990049e-08,6.017476e-08,6.022310e-08,6.049802e-08,6.053777e-08,6.072796e-08,6.082312e-08,6.091553e-08,6.103677e-08,6.106324e-08,6.117351e-08,6.118434e-08,6.124866e-08,6.127117e-08,6.129089e-08,6.130228e-08,6.130233e-08,6.128500e-08,6.128242e-08,6.124082e-08,6.121604e-08,6.117163e-08,6.110731e-08,6.107917e-08,6.096511e-08,6.096012e-08,6.083101e-08,6.077812e-08,6.067837e-08,6.056471e-08,6.050861e-08,6.032306e-08,6.012299e-08,6.005610e-08,5.990960e-08,5.976657e-08,5.968403e-08,5.945701e-08,5.944734e-08,5.920055e-08,5.912977e-08,5.894461e-08,5.878702e-08,5.868041e-08,5.843078e-08,5.840880e-08,5.813058e-08,5.806290e-08,5.784648e-08,5.768510e-08,5.755723e-08,5.729894e-08,5.726347e-08,5.696583e-08,5.690589e-08,5.666488e-08,5.650727e-08,5.636117e-08,5.610430e-08,5.605521e-08,5.574748e-08,5.569810e-08,5.543841e-08,5.528970e-08,5.512842e-08,5.488003e-08,5.481790e-08,5.450721e-08,5.446993e-08,5.419669e-08,5.406019e-08,5.388664e-08,5.365149e-08,5.357735e-08,5.326909e-08,5.324448e-08,5.296211e-08,5.283973e-08,5.265663e-08,5.243774e-08,5.235287e-08,5.205102e-08,5.203899e-08,5.175125e-08,5.164388e-08,5.145373e-08,5.125278e-08,5.115861e-08,5.086603e-08,5.048389e-08,5.010664e-08,4.973448e-08,4.936760e-08,4.900617e-08,4.865031e-08,4.830015e-08,4.795576e-08,4.761722e-08,4.728458e-08,4.695789e-08,4.663715e-08,4.632237e-08,4.601356e-08,4.571070e-08,4.541376e-08,4.512271e-08,4.483750e-08,4.455809e-08,4.428442e-08,4.401642e-08,4.375404e-08,4.349720e-08,4.324581e-08
0.000000e+00,2.651860e-13,2.040874e-12,3.900892e-11,2.559835e-10,5.910291e-10,3.380121e-09,3.593112e-09,1.342739e-08,1.831751e-08,3.730308e-08,6.242474e-08,8.525201e-08,1.616376e-07,1.701408e-07,3.076567e-07,3.504429e-07,5.155163e-07,6.692299e-07,8.110783e-07,1.154642e-06,1.207913e-06,1.713243e-06,1.827479e-06,2.327575e-06,2.688683e-06,3.046174e-06,3.724674e-06,3.861183e-06,4.763421e-06,4.915243e-06,5.743481e-06,6.238853e-06,6.792223e-06,7.674768e-06,7.900886e-06,9.061042e-06,9.203331e-06,1.026452e-05,1.080572e-05,1.150337e-05,1.246379e-05,1.276986e-05,1.405658e-05,1.416017e-05,1.535644e-05,1.587856e-05,1.666281e-05,1.760398e-05,1.796958e-05,1.927116e-05,1.932304e-05,2.056256e-05,2.102410e-05,2.183938e-05,2.269731e-05,2.309779e-05,2.433453e-05,2.554686e-05,2.592926e-05,2.673250e-05,2.747645e-05,2.788963e-05,2.897229e-05,2.901679e-05,3.011287e-05,3.041409e-05,3.117708e-05,3.180007e-05,3.220888e-05,3.312922e-05,3.320794e-05,3.417414e-05,3.440114e-05,3.510752e-05,3.561594e-05,3.600825e-05,3.677410e-05,3.687661e-05,3.771297e-05,3.787644e-05,3.851779e-05,3.892400e-05,3.929159e-05,3.991801e-05,4.003492e-05,4.074839e-05,4.085981e-05,4.143263e-05,4.175088e-05,4.208831e-05,4.259274e-05,4.271610e-05,4.331670e-05,4.338698e-05,4.389079e-05,4.413517e-05,4.443907e-05,4.483894e-05,4.496225e-05,4.546102e-05,4.549988e-05,4.593607e-05,4.611961e-05,4.638811e-05,4.669970e-05,4.681780e-05,4.722582e-05,4.724170e-05,4.761283e-05,4.774714e-05,4.797949e-05,4.821753e-05,4.832645e-05,4.865432e-05,4.896373e-05,4.905894e-05,4.925528e-05,4.943278e-05,4.952957e-05,4.977718e-05,4.978717e-05,5.002866e-05,5.009347e-05,5.025459e-05,5.038290e-05,5.046549e-05,5.064671e-05,5.066190e-05,5.084432e-05,5.088608e-05,5.101326e-05,5.110216e-05,5.116921e-05,5.129607e-05,5.131264e-05,5.144400e-05,5.146887e-05,5.156376e-05,5.162160e-05,5.167235e-05,5.175524e-05,5.177019e-05,5.185770e-05,5.187077e-05,5.193527e-05,5.196909e-05,5.200330e-05,5.205110e-05,5.206215e-05,5.211221e-05,5.211764e-05,5.215381e-05,5.216953e-05,5.218731e-05,5.220756e-05,5.221305e-05,5.223134e-05,5.223249e-05,5.224249e-05,5.224503e-05,5.224682e-05,5.224587e-05,5.224461e-05,5.223615e-05,5.223569e-05,5.222172e-05,5.221511e-05,5.220158e-05,5.218475e-05,5.217599e-05,5.214519e-05,5.209699e-05,5.204067e-05,5.197675e-05,5.190572e-05,5.182804e-05,5.174416e-05,5.165450e-05,5.155945e-05,5.145942e-05,5.135477e-05,5.124584e-05,5.113297e-05,5.101648e-05,5.089667e-05,5.077383e-05,5.064822e-05,5.052012e-05,5.038977e-05,5.025739e-05,5.012322e-05,4.998746e-05,4.985032e-05,4.971198e-05,4.957263e-05
0.000000e+00,4.458327e-12,1.017590e-11,3.468978e-11,7.826990e-11,1.137011e-10,2.555799e-10,2.631903e-10,5.059160e-10,5.940077e-10,8.676831e-10,1.153994e-09,1.377827e-09,2.003830e-09,2.066027e-09,2.952188e-09,3.194420e-09,4.030791e-09,4.706027e-09,5.264853e-09,6.437205e-09,6.601250e-09,7.991115e-09,8.272089e-09,9.398148e-09,1.012793e-08,1.079731e-08,1.195366e-08,1.217124e-08,1.350748e-08,1.371712e-08,1.479671e-08,1.539671e-08,1.603192e-08,1.697763e-08,1.720789e-08,1.832091e-08,1.845012e-08,1.936865e-08,1.980865e-08,2.034997e-08,2.105126e-08,2.126477e-08,2.211385e-08,2.217898e-08,2.289872e-08,2.319513e-08,2.362145e-08,2.410477e-08,2.428461e-08,2.489108e-08,2.491420e-08,2.544396e-08,2.563052e-08,2.594655e-08,2.626117e-08,2.640195e-08,2.681332e-08,2.718379e-08,2.729419e-08,2.751635e-08,2.771064e-08,2.781389e-08,2.806913e-08,2.807915e-08,2.831469e-08,2.837564e-08,2.852290e-08,2.863565e-08,2.870603e-08,2.885414e-08,2.886615e-08,2.900518e-08,2.903561e-08,2.912490e-08,2.918412e-08,2.922694e-08,2.930330e-08,2.931280e-08,2.938387e-08,2.939642e-08,2.944141e-08,2.946638e-08,2.948659e-08,2.951576e-08,2.952046e-08,2.954401e-08,2.954688e-08,2.955812e-08,2.956179e-08,2.956362e-08,2.956233e-08,2.956126e-08,2.955172e-08,2.955012e-08,2.953563e-08,2.952663e-08,2.951357e-08,2.949314e-08,2.948608e-08,2.945362e-08,2.945083e-08,2.941666e-08,2.940071e-08,2.937561e-08,2.934372e-08,2.933083e-08,2.928268e-08,2.928068e-08,2.923147e-08,2.921235e-08,2.917750e-08,2.913937e-08,2.912105e-08,2.906235e-08,2.900164e-08,2.898183e-08,2.893914e-08,2.889828e-08,2.887503e-08,2.881215e-08,2.880951e-08,2.874273e-08,2.872383e-08,2.867485e-08,2.863366e-08,2.860602e-08,2.854197e-08,2.853637e-08,2.846603e-08,2.844905e-08,2.839509e-08,2.835516e-08,2.832368e-08,2.826052e-08,2.825189e-08,2.817981e-08,2.816536e-08,2.810752e-08,2.806987e-08,2.803510e-08,2.797422e-08,2.796262e-08,2.789016e-08,2.787857e-08,2.781777e-08,2.778306e-08,2.774550e-08,2.768782e-08,2.767342e-08,2.760158e-08,2.759297e-08,2.753001e-08,2.749861e-08,2.745876e-08,2.740484e-08,2.738786e-08,2.731736e-08,2.731174e-08,2.724729e-08,2.721939e-08,2.717767e-08,2.712785e-08,2.710854e-08,2.703992e-08,2.703719e-08,2.697184e-08,2.694746e-08,2.690431e-08,2.685871e-08,2.683735e-08,2.677099e-08,2.668433e-08,2.659877e-08,2.651433e-08,2.643104e-08,2.634892e-08,2.626799e-08,2.618827e-08,2.610976e-08,2.603248e-08,2.595643e-08,2.588162e-08,2.580805e-08,2.573572e-08,2.566463e-08,2.559478e-08,2.552617e-08,2.545879e-08,2.539263e-08,2.532769e-08,2.526395e-08,2.520142e-08,2.514007e-08,2.507991e-08,2.502091e-08
0.000000e+00,3.818662e-11,2.041637e-10,1.990419e-09,7.747043e-09,1.388585e-08,4.540728e-08,4.730541e-08,1.139167e-07,1.400467e-07,2.248845e-07,3.172637e-07,3.910215e-07,6.017044e-07,6.229213e-07,9.307993e-07,1.017042e-06,1.323653e-06,1.583180e-06,1.807437e-06,2.309213e-06,2.383023e-06,3.045913e-06,3.188303e-06,3.788207e-06,4.202598e-06,4.600919e-06,5.331508e-06,5.475167e-06,6.402406e-06,6.555124e-06,7.374331e-06,7.854328e-06,8.382789e-06,9.210475e-06,9.419778e-06,1.047752e-05,1.060549e-05,1.154859e-05,1.202226e-05,1.262599e-05,1.344505e-05,1.370326e-05,1.477453e-05,1.485981e-05,1.583459e-05,1.625443e-05,1.687888e-05,1.761877e-05,1.790347e-05,1.890507e-05,1.894461e-05,1.988094e-05,2.022553e-05,2.082891e-05,2.145669e-05,2.174725e-05,2.263467e-05,2.349027e-05,2.375724e-05,2.431345e-05,2.482312e-05,2.510391e-05,2.583188e-05,2.586156e-05,2.658653e-05,2.678370e-05,2.727912e-05,2.767930e-05,2.793974e-05,2.851975e-05,2.856894e-05,2.916734e-05,2.930645e-05,2.973563e-05,3.004101e-05,3.027457e-05,3.072517e-05,3.078494e-05,3.126755e-05,3.136082e-05,3.172325e-05,3.194987e-05,3.215290e-05,3.249428e-05,3.255733e-05,3.293742e-05,3.299604e-05,3.329402e-05,3.345708e-05,3.362796e-05,3.387937e-05,3.394009e-05,3.423123e-05,3.426479e-05,3.450218e-05,3.461521e-05,3.475374e-05,3.493243e-05,3.498668e-05,3.520175e-05,3.521821e-05,3.539969e-05,3.547424e-05,3.558123e-05,3.570216e-05,3.574704e-05,3.589782e-05,3.590355e-05,3.603422e-05,3.607993e-05,3.615687e-05,3.623274e-05,3.626640e-05,3.636339e-05,3.644843e-05,3.647321e-05,3.652208e-05,3.656348e-05,3.658487e-05,3.663541e-05,3.663732e-05,3.667994e-05,3.669018e-05,3.671321e-05,3.672889e-05,3.673761e-05,3.675259e-05,3.675357e-05,3.676153e-05,3.676230e-05,3.676191e-05,3.675896e-05,3.675511e-05,3.674350e-05,3.674152e-05,3.672150e-05,3.671676e-05,3.669542e-05,3.667958e-05,3.666362e-05,3.663272e-05,3.662642e-05,3.658414e-05,3.657692e-05,3.653708e-05,3.651289e-05,3.648554e-05,3.644127e-05,3.642979e-05,3.637010e-05,3.636269e-05,3.630672e-05,3.627773e-05,3.623991e-05,3.618697e-05,3.616988e-05,3.609687e-05,3.609091e-05,3.602109e-05,3.599005e-05,3.594275e-05,3.588487e-05,3.586204e-05,3.577915e-05,3.577579e-05,3.569426e-05,3.566324e-05,3.560753e-05,3.554759e-05,3.551913e-05,3.542922e-05,3.530847e-05,3.518565e-05,3.506107e-05,3.493501e-05,3.480774e-05,3.467950e-05,3.455051e-05,3.442101e-05,3.429118e-05,3.416121e-05,3.403127e-05,3.390153e-05,3.377213e-05,3.364320e-05,3.351489e-05,3.338730e-05,3.326054e-05,3.313471e-05,3.300990e-05,3.288620e-05,3.276367e-05,3.264239e-05,3.252241e-05,3.240380e-05
0.000000e+00,4.071739e-13,3.149022e-12,6.074520e-11,4.014217e-10,9.297794e-10,5.347129e-09,5.684826e-09,2.125580e-08,2.897202e-08,5.874175e-08,9.769755e-08,1.327064e-07,2.475863e-07,2.601868e-07,4.599409e-07,5.208421e-07,7.520422e-07,9.637903e-07,1.157582e-06,1.625326e-06,1.697987e-06,2.393398e-06,2.552604e-06,3.259861e-06,3.781250e-06,4.305945e-06,5.322672e-06,5.530130e-06,6.920270e-06,7.156787e-06,8.455341e-06,9.235934e-06,1.010863e-05,1.149693e-05,1.185120e-05,1.365467e-05,1.387391e-05,1.549303e-05,1.630696e-05,1.734346e-05,1.874578e-05,1.918651e-05,2.100591e-05,2.115002e-05,2.278820e-05,2.348819e-05,2.452237e-05,2.573610e-05,2.619950e-05,2.781250e-05,2.787561e-05,2.935586e-05,2.989359e-05,3.082548e-05,3.178118e-05,3.221848e-05,3.353311e-05,3.476857e-05,3.514718e-05,3.592490e-05,3.662375e-05,3.700287e-05,3.796525e-05,3.800383e-05,3.892965e-05,3.917572e-05,3.978262e-05,4.026048e-05,4.056530e-05,4.122571e-05,4.128051e-05,4.193124e-05,4.207816e-05,4.252057e-05,4.282495e-05,4.305164e-05,4.347329e-05,4.352760e-05,4.395156e-05,4.403039e-05,4.432661e-05,4.450329e-05,4.465572e-05,4.489881e-05,4.494181e-05,4.518766e-05,4.522344e-05,4.539595e-05,4.548335e-05,4.556924e-05,4.568431e-05,4.570997e-05,4.582044e-05,4.583177e-05,4.590285e-05,4.593075e-05,4.595925e-05,4.598594e-05,4.599161e-05,4.600173e-05,4.600163e-05,4.599135e-05,4.598182e-05,4.596207e-05,4.593015e-05,4.591541e-05,4.585278e-05,4.584997e-05,4.577551e-05,4.574434e-05,4.568482e-05,4.561609e-05,4.558188e-05,4.546775e-05,4.534344e-05,4.530167e-05,4.520989e-05,4.511998e-05,4.506797e-05,4.492460e-05,4.491849e-05,4.476220e-05,4.471731e-05,4.459980e-05,4.449970e-05,4.443195e-05,4.427323e-05,4.425925e-05,4.408227e-05,4.403922e-05,4.390153e-05,4.379886e-05,4.371751e-05,4.355323e-05,4.353067e-05,4.334143e-05,4.330332e-05,4.315016e-05,4.305002e-05,4.295723e-05,4.279413e-05,4.276297e-05,4.256769e-05,4.253637e-05,4.237167e-05,4.227739e-05,4.217517e-05,4.201779e-05,4.197843e-05,4.178169e-05,4.175809e-05,4.158513e-05,4.149876e-05,4.138896e-05,4.124023e-05,4.119334e-05,4.099845e-05,4.098289e-05,4.080441e-05,4.072707e-05,4.061137e-05,4.047308e-05,4.041946e-05,4.022878e-05,4.022118e-05,4.003943e-05,3.997161e-05,3.985151e-05,3.972459e-05,3.966511e-05,3.948029e-05,3.923889e-05,3.900051e-05,3.876528e-05,3.853331e-05,3.830468e-05,3.807946e-05,3.785772e-05,3.763950e-05,3.742485e-05,3.721378e-05,3.700631e-05,3.680247e-05,3.660225e-05,3.640564e-05,3.621264e-05,3.602323e-05,3.583740e-05,3.565513e-05,3.547637e-05,3.530111e-05,3.512931e-05,3.496094e-05,3.479595e-05,3.463431e-05
0.000000e+00,1.986567e-14,1.732781e-13,4.285804e-12,3.544609e-11,9.276492e-11,7.282977e-10,7.840465e-10,3.962348e-09,5.852799e-09,1.447712e-08,2.817573e-08,4.232072e-08,9.826480e-08,1.051642e-07,2.309960e-07,2.748003e-07,4.606225e-07,6.546674e-07,8.497853e-07,1.381064e-06,1.470574e-06,2.411716e-06,2.647309e-06,3.777374e-06,4.693651e-06,5.684294e-06,7.795752e-06,8.257525e-06,1.162511e-05,1.224610e-05,1.591235e-05,1.833169e-05,2.123620e-05,2.631171e-05,2.770009e-05,3.538971e-05,3.639814e-05,4.436971e-05,4.874123e-05,5.468144e-05,6.342033e-05,6.634179e-05,7.934289e-05,8.044010e-05,9.365270e-05,9.973149e-05,1.092163e-04,1.211565e-04,1.259577e-04,1.437823e-04,1.445163e-04,1.625795e-04,1.695611e-04,1.822254e-04,1.960014e-04,2.025860e-04,2.235203e-04,2.448828e-04,2.517853e-04,2.665269e-04,2.804597e-04,2.883073e-04,3.092128e-04,3.100820e-04,3.317150e-04,3.377292e-04,3.530778e-04,3.657157e-04,3.740509e-04,3.929076e-04,3.945248e-04,4.144012e-04,4.190727e-04,4.335934e-04,4.440137e-04,4.520264e-04,4.675693e-04,4.696374e-04,4.863749e-04,4.896139e-04,5.021990e-04,5.100565e-04,5.170806e-04,5.288385e-04,5.310005e-04,5.439491e-04,5.459306e-04,5.559253e-04,5.613302e-04,5.669357e-04,5.750574e-04,5.769936e-04,5.861185e-04,5.871519e-04,5.943348e-04,5.976694e-04,6.016712e-04,6.066783e-04,6.081602e-04,6.138366e-04,6.142567e-04,6.187377e-04,6.204896e-04,6.229020e-04,6.254663e-04,6.263691e-04,6.291791e-04,6.292784e-04,6.313721e-04,6.320182e-04,6.329878e-04,6.337767e-04,6.340654e-04,6.346431e-04,6.347580e-04,6.347030e-04,6.344460e-04,6.340383e-04,6.337415e-04,6.327265e-04,6.326775e-04,6.312851e-04,6.308405e-04,6.295942e-04,6.284481e-04,6.276328e-04,6.256122e-04,6.254274e-04,6.230028e-04,6.223908e-04,6.203822e-04,6.188372e-04,6.175873e-04,6.149997e-04,6.146384e-04,6.115541e-04,6.109226e-04,6.083520e-04,6.066457e-04,6.050480e-04,6.022049e-04,6.016571e-04,5.981929e-04,5.976326e-04,5.946679e-04,5.929577e-04,5.910936e-04,5.882059e-04,5.874807e-04,5.838388e-04,5.834002e-04,5.801765e-04,5.785608e-04,5.765020e-04,5.737057e-04,5.728225e-04,5.691446e-04,5.688507e-04,5.654743e-04,5.640095e-04,5.618169e-04,5.591944e-04,5.581773e-04,5.545598e-04,5.544156e-04,5.509683e-04,5.496823e-04,5.474061e-04,5.450023e-04,5.438765e-04,5.403822e-04,5.358275e-04,5.313431e-04,5.269329e-04,5.226000e-04,5.183471e-04,5.141762e-04,5.100888e-04,5.060859e-04,5.021684e-04,4.983365e-04,4.945904e-04,4.909298e-04,4.873545e-04,4.838636e-04,4.804566e-04,4.771325e-04,4.738902e-04,4.707287e-04,4.676466e-04,4.646427e-04,4.617156e-04,4.588639e-04,4.560863e-04,4.533811e-04
0.000000e+00,1.150222e-10,2.794108e-10,1.024679e-09,2.409516e-09,3.564689e-09,8.340995e-09,8.602302e-09,1.712988e-08,2.030098e-08,3.034843e-08,4.110008e-08,4.961949e-08,7.366190e-08,7.605257e-08,1.098973e-07,1.190687e-07,1.505896e-07,1.760764e-07,1.973586e-07,2.430336e-07,2.495692e-07,3.067380e-07,3.187307e-07,3.684625e-07,4.022334e-07,4.343619e-07,4.926583e-07,5.040451e-07,5.770959e-07,5.890674e-07,6.530722e-07,6.904444e-07,7.315104e-07,7.957142e-07,8.119351e-07,8.938691e-07,9.037802e-07,9.768431e-07,1.013563e-06,1.060403e-06,1.124036e-06,1.144121e-06,1.227599e-06,1.234256e-06,1.310474e-06,1.343380e-06,1.392417e-06,1.450677e-06,1.473142e-06,1.552395e-06,1.555531e-06,1.629962e-06,1.657437e-06,1.705661e-06,1.755994e-06,1.779345e-06,1.850893e-06,1.920214e-06,1.941914e-06,1.987236e-06,2.028902e-06,2.051912e-06,2.111766e-06,2.114212e-06,2.174120e-06,2.190464e-06,2.231632e-06,2.264995e-06,2.286763e-06,2.335401e-06,2.339536e-06,2.389978e-06,2.401741e-06,2.438124e-06,2.464098e-06,2.484016e-06,2.522572e-06,2.527699e-06,2.569223e-06,2.577273e-06,2.608639e-06,2.628320e-06,2.646001e-06,2.675838e-06,2.681364e-06,2.714786e-06,2.719958e-06,2.746325e-06,2.760811e-06,2.776036e-06,2.798529e-06,2.803978e-06,2.830209e-06,2.833244e-06,2.854784e-06,2.865087e-06,2.877760e-06,2.894187e-06,2.899193e-06,2.919137e-06,2.920669e-06,2.937645e-06,2.944658e-06,2.954771e-06,2.966274e-06,2.970565e-06,2.985079e-06,2.985634e-06,2.998361e-06,3.002850e-06,3.010458e-06,3.018032e-06,3.021419e-06,3.031288e-06,3.040110e-06,3.042719e-06,3.047927e-06,3.052423e-06,3.054783e-06,3.060496e-06,3.060716e-06,3.065767e-06,3.067029e-06,3.069974e-06,3.072109e-06,3.073374e-06,3.075820e-06,3.076003e-06,3.077895e-06,3.078243e-06,3.079084e-06,3.079455e-06,3.079603e-06,3.079530e-06,3.079483e-06,3.078755e-06,3.078539e-06,3.077448e-06,3.076548e-06,3.075589e-06,3.073623e-06,3.073208e-06,3.070329e-06,3.069824e-06,3.066979e-06,3.065211e-06,3.063182e-06,3.059838e-06,3.058962e-06,3.054341e-06,3.053760e-06,3.049341e-06,3.047027e-06,3.043985e-06,3.039687e-06,3.038291e-06,3.032280e-06,3.031786e-06,3.025970e-06,3.023367e-06,3.019380e-06,3.014472e-06,3.012527e-06,3.005428e-06,3.005139e-06,2.998099e-06,2.995407e-06,2.990554e-06,2.985309e-06,2.982810e-06,2.974881e-06,2.964152e-06,2.953153e-06,2.941913e-06,2.930458e-06,2.918813e-06,2.907001e-06,2.895046e-06,2.882969e-06,2.870789e-06,2.858525e-06,2.846194e-06,2.833814e-06,2.821399e-06,2.808965e-06,2.796524e-06,2.784089e-06,2.771673e-06,2.759286e-06,2.746939e-06,2.734641e-06,2.722401e-06,2.710227e-06,2.698128e-06,2.686110e-06
0.000000e+00,4.312426e-11,1.053062e-10,3.884424e-10,9.166307e-10,1.358554e-09,3.195587e-09,3.296487e-09,6.607656e-09,7.846579e-09,1.179157e-08,1.603434e-08,1.940315e-08,2.889853e-08,2.983971e-08,4.307071e-08,4.662287e-08,5.872057e-08,6.838261e-08,7.637392e-08,9.330690e-08,9.570687e-08,1.164725e-07,1.207789e-07,1.384632e-07,1.503184e-07,1.614867e-07,1.814881e-07,1.853565e-07,2.098890e-07,2.138637e-07,2.349059e-07,2.470357e-07,2.602371e-07,2.806215e-07,2.857242e-07,3.112220e-07,3.142761e-07,3.366015e-07,3.477012e-07,3.617493e-07,3.806460e-07,3.865677e-07,4.109746e-07,4.129073e-07,4.349019e-07,4.443258e-07,4.582945e-07,4.747812e-07,4.811088e-07,5.033113e-07,5.041863e-07,5.248770e-07,5.324812e-07,5.457885e-07,5.596286e-07,5.660345e-07,5.856088e-07,6.045099e-07,6.104164e-07,6.227399e-07,6.340570e-07,6.403036e-07,6.565442e-07,6.572078e-07,6.734617e-07,6.778976e-07,6.890756e-07,6.981416e-07,7.040612e-07,7.173039e-07,7.184312e-07,7.321987e-07,7.354147e-07,7.453776e-07,7.525060e-07,7.579821e-07,7.686105e-07,7.700268e-07,7.815263e-07,7.837621e-07,7.924953e-07,7.979944e-07,8.029485e-07,8.113414e-07,8.129007e-07,8.223665e-07,8.238368e-07,8.313603e-07,8.355139e-07,8.398966e-07,8.464056e-07,8.479893e-07,8.556525e-07,8.565439e-07,8.628998e-07,8.659604e-07,8.697447e-07,8.746857e-07,8.762003e-07,8.822795e-07,8.827500e-07,8.879950e-07,8.901821e-07,8.933591e-07,8.970104e-07,8.983838e-07,9.030810e-07,9.032622e-07,9.074621e-07,9.089640e-07,9.115382e-07,9.141415e-07,9.153204e-07,9.188192e-07,9.220449e-07,9.230211e-07,9.250076e-07,9.267702e-07,9.277170e-07,9.300885e-07,9.301826e-07,9.324136e-07,9.329974e-07,9.344189e-07,9.355174e-07,9.362073e-07,9.376682e-07,9.377871e-07,9.391664e-07,9.394686e-07,9.403533e-07,9.409368e-07,9.413554e-07,9.420902e-07,9.421801e-07,9.428345e-07,9.429456e-07,9.433257e-07,9.435188e-07,9.436604e-07,9.438254e-07,9.438451e-07,9.438862e-07,9.438798e-07,9.437896e-07,9.436962e-07,9.435615e-07,9.432880e-07,9.432074e-07,9.427329e-07,9.426681e-07,9.421433e-07,9.418488e-07,9.414438e-07,9.408418e-07,9.406394e-07,9.397348e-07,9.396582e-07,9.387347e-07,9.383090e-07,9.376437e-07,9.368042e-07,9.364659e-07,9.352057e-07,9.351536e-07,9.338670e-07,9.333666e-07,9.324537e-07,9.314520e-07,9.309697e-07,9.294184e-07,9.272737e-07,9.250257e-07,9.226817e-07,9.202486e-07,9.177332e-07,9.151417e-07,9.124802e-07,9.097543e-07,9.069695e-07,9.041310e-07,9.012436e-07,8.983121e-07,8.953408e-07,8.923339e-07,8.892955e-07,8.862292e-07,8.831387e-07,8.800274e-07,8.768984e-07,8.737549e-07,8.705996e-07,8.674353e-07,8.642645e-07,8.610897e-07
0.000000e+00,6.491351e-11,1.903953e-10,8.490395e-10,2.185110e-09,3.343581e-09,8.310796e-09,8.587574e-09,1.777495e-08,2.124487e-08,3.235230e-08,4.434698e-08,5.387795e-08,8.069268e-08,8.334647e-08,1.206917e-07,1.307628e-07,1.653378e-07,1.933353e-07,2.167858e-07,2.674110e-07,2.746913e-07,3.387739e-07,3.523068e-07,4.087436e-07,4.473450e-07,4.842637e-07,5.517018e-07,5.649381e-07,6.503150e-07,6.643789e-07,7.398964e-07,7.842344e-07,8.331533e-07,9.100390e-07,9.295406e-07,1.028512e-06,1.040537e-06,1.129533e-06,1.174499e-06,1.232092e-06,1.310768e-06,1.335708e-06,1.439936e-06,1.448288e-06,1.544371e-06,1.586120e-06,1.648649e-06,1.723449e-06,1.752447e-06,1.855482e-06,1.859584e-06,1.957508e-06,1.993949e-06,2.058313e-06,2.126071e-06,2.157718e-06,2.255572e-06,2.351749e-06,2.382155e-06,2.446147e-06,2.505588e-06,2.538682e-06,2.625701e-06,2.629288e-06,2.717914e-06,2.742370e-06,2.804523e-06,2.855508e-06,2.889087e-06,2.965064e-06,2.971588e-06,3.052018e-06,3.071013e-06,3.130375e-06,3.173349e-06,3.206660e-06,3.272086e-06,3.280884e-06,3.353060e-06,3.367250e-06,3.423203e-06,3.458881e-06,3.491334e-06,3.547025e-06,3.557475e-06,3.621650e-06,3.631738e-06,3.683887e-06,3.713081e-06,3.744214e-06,3.791118e-06,3.802658e-06,3.859252e-06,3.865921e-06,3.914027e-06,3.937559e-06,3.967013e-06,4.006108e-06,4.018245e-06,4.067755e-06,4.071642e-06,4.115576e-06,4.134239e-06,4.161742e-06,4.193975e-06,4.206286e-06,4.249243e-06,4.250929e-06,4.290646e-06,4.305177e-06,4.330528e-06,4.356797e-06,4.368924e-06,4.405865e-06,4.441386e-06,4.452458e-06,4.475519e-06,4.496651e-06,4.508297e-06,4.538518e-06,4.539751e-06,4.569914e-06,4.578133e-06,4.598817e-06,4.615567e-06,4.626491e-06,4.650892e-06,4.652967e-06,4.678274e-06,4.684177e-06,4.702442e-06,4.715490e-06,4.725501e-06,4.744899e-06,4.747480e-06,4.768406e-06,4.772467e-06,4.788308e-06,4.798261e-06,4.807212e-06,4.822340e-06,4.825146e-06,4.842136e-06,4.844768e-06,4.858207e-06,4.865603e-06,4.873386e-06,4.884903e-06,4.887697e-06,4.901165e-06,4.902725e-06,4.913812e-06,4.919123e-06,4.925663e-06,4.934152e-06,4.936741e-06,4.947068e-06,4.947862e-06,4.956666e-06,4.960306e-06,4.965556e-06,4.971531e-06,4.973760e-06,4.981297e-06,4.981585e-06,4.988189e-06,4.990516e-06,4.994454e-06,4.998367e-06,5.000112e-06,5.005182e-06,5.011004e-06,5.015874e-06,5.019831e-06,5.022914e-06,5.025160e-06,5.026605e-06,5.027284e-06,5.027231e-06,5.026478e-06,5.025056e-06,5.022998e-06,5.020330e-06,5.017084e-06,5.013285e-06,5.008960e-06,5.004136e-06,4.998836e-06,4.993084e-06,4.986905e-06,4.980319e-06,4.973348e-06,4.966013e-06,4.958334e-06,4.950330e-06
0.000000e+00,8.266954e-11,2.084033e-10,7.942383e-10,1.901672e-09,2.833035e-09,6.718405e-09,6.932048e-09,1.393567e-08,1.654536e-08,2.476846e-08,3.340011e-08,4.007591e-08,5.818245e-08,5.993447e-08,8.416448e-08,9.061227e-08,1.126172e-07,1.303564e-07,1.451893e-07,1.771752e-07,1.817726e-07,2.222185e-07,2.307542e-07,2.663226e-07,2.906172e-07,3.138214e-07,3.561128e-07,3.643973e-07,4.176882e-07,4.264406e-07,4.732982e-07,5.006932e-07,5.308116e-07,5.779083e-07,5.898052e-07,6.498604e-07,6.571190e-07,7.105732e-07,7.373954e-07,7.715602e-07,8.178742e-07,8.324669e-07,8.929758e-07,8.977907e-07,9.528048e-07,9.764893e-07,1.011706e-06,1.053420e-06,1.069468e-06,1.125913e-06,1.128141e-06,1.180894e-06,1.200306e-06,1.234295e-06,1.269656e-06,1.286023e-06,1.336010e-06,1.384208e-06,1.399249e-06,1.430588e-06,1.459308e-06,1.475132e-06,1.516165e-06,1.517838e-06,1.558714e-06,1.569834e-06,1.597778e-06,1.620355e-06,1.635051e-06,1.667788e-06,1.670565e-06,1.704354e-06,1.712211e-06,1.736456e-06,1.753712e-06,1.766912e-06,1.792387e-06,1.795766e-06,1.823062e-06,1.828338e-06,1.848845e-06,1.861670e-06,1.873162e-06,1.892490e-06,1.896060e-06,1.917586e-06,1.920905e-06,1.937784e-06,1.947022e-06,1.956702e-06,1.970945e-06,1.974385e-06,1.990876e-06,1.992777e-06,2.006221e-06,2.012620e-06,2.020461e-06,2.030570e-06,2.033638e-06,2.045794e-06,2.046723e-06,2.056968e-06,2.061171e-06,2.067199e-06,2.074002e-06,2.076524e-06,2.084981e-06,2.085301e-06,2.092604e-06,2.095151e-06,2.099429e-06,2.103631e-06,2.105488e-06,2.110815e-06,2.115440e-06,2.116777e-06,2.119394e-06,2.121585e-06,2.122705e-06,2.125307e-06,2.125403e-06,2.127515e-06,2.128005e-06,2.129067e-06,2.129740e-06,2.130084e-06,2.130569e-06,2.130592e-06,2.130613e-06,2.130549e-06,2.130171e-06,2.129730e-06,2.129288e-06,2.128163e-06,2.127985e-06,2.126282e-06,2.125896e-06,2.124200e-06,2.122973e-06,2.121756e-06,2.119437e-06,2.118969e-06,2.115858e-06,2.115331e-06,2.112437e-06,2.110691e-06,2.108725e-06,2.105555e-06,2.104736e-06,2.100485e-06,2.099958e-06,2.095987e-06,2.093933e-06,2.091255e-06,2.087511e-06,2.086303e-06,2.081144e-06,2.080722e-06,2.075789e-06,2.073595e-06,2.070251e-06,2.066156e-06,2.064540e-06,2.058668e-06,2.058429e-06,2.052644e-06,2.050440e-06,2.046479e-06,2.042211e-06,2.040182e-06,2.033763e-06,2.025116e-06,2.016290e-06,2.007301e-06,1.998168e-06,1.988907e-06,1.979532e-06,1.970057e-06,1.960497e-06,1.950863e-06,1.941168e-06,1.931422e-06,1.921637e-06,1.911821e-06,1.901985e-06,1.892136e-06,1.882283e-06,1.872434e-06,1.862596e-06,1.852774e-06,1.842977e-06,1.833208e-06,1.823474e-06,1.813779e-06,1.804129e-06
0.000000e+00,3.470464e-15,3.082741e-14,7.917979e-13,6.782587e-12,1.810125e-11,1.496306e-10,1.614274e-10,8.598835e-10,1.288731e-09,3.307706e-09,6.635619e-09,1.016770e-08,2.469675e-08,2.653307e-08,6.111595e-08,7.352267e-08,1.276031e-07,1.859577e-07,2.460905e-07,4.153220e-07,4.444804e-07,7.597102e-07,8.407218e-07,1.238690e-06,1.571116e-06,1.938860e-06,2.747445e-06,2.928308e-06,4.285440e-06,4.542455e-06,6.098205e-06,7.158167e-06,8.462896e-06,1.082114e-05,1.148262e-05,1.526545e-05,1.577592e-05,1.992236e-05,2.227711e-05,2.556502e-05,3.058056e-05,3.230350e-05,4.024394e-05,4.093415e-05,4.948637e-05,5.356878e-05,6.012256e-05,6.868988e-05,7.223409e-05,8.589071e-05,8.646995e-05,1.011488e-04,1.070424e-04,1.180505e-04,1.304967e-04,1.366225e-04,1.568761e-04,1.788063e-04,1.861752e-04,2.023929e-04,2.183416e-04,2.275999e-04,2.532766e-04,2.543771e-04,2.826603e-04,2.908393e-04,3.123729e-04,3.308503e-04,3.434268e-04,3.730972e-04,3.757243e-04,4.091587e-04,4.173397e-04,4.436169e-04,4.633166e-04,4.789802e-04,5.107510e-04,5.151257e-04,5.519285e-04,5.593568e-04,5.892623e-04,6.088440e-04,6.270014e-04,6.589243e-04,6.650213e-04,7.032003e-04,7.093157e-04,7.414200e-04,7.597464e-04,7.795668e-04,8.099584e-04,8.175318e-04,8.552123e-04,8.597102e-04,8.925114e-04,9.087789e-04,9.293394e-04,9.569620e-04,9.656130e-04,1.001256e-03,1.004078e-03,1.036200e-03,1.049968e-03,1.070383e-03,1.094493e-03,1.103750e-03,1.136254e-03,1.137535e-03,1.167852e-03,1.178999e-03,1.198510e-03,1.218807e-03,1.228201e-03,1.256900e-03,1.284591e-03,1.293237e-03,1.311262e-03,1.327793e-03,1.336906e-03,1.360554e-03,1.361519e-03,1.385103e-03,1.391523e-03,1.407664e-03,1.420712e-03,1.429208e-03,1.448142e-03,1.449749e-03,1.469300e-03,1.473846e-03,1.487877e-03,1.497862e-03,1.505499e-03,1.520233e-03,1.522187e-03,1.537962e-03,1.541009e-03,1.552847e-03,1.560244e-03,1.566868e-03,1.577995e-03,1.580048e-03,1.592415e-03,1.594320e-03,1.603994e-03,1.609279e-03,1.614811e-03,1.622934e-03,1.624893e-03,1.634268e-03,1.635347e-03,1.642961e-03,1.646578e-03,1.651000e-03,1.656688e-03,1.658411e-03,1.665219e-03,1.665738e-03,1.671450e-03,1.673786e-03,1.677129e-03,1.680890e-03,1.682281e-03,1.686929e-03,1.687105e-03,1.691098e-03,1.692485e-03,1.694808e-03,1.697082e-03,1.698084e-03,1.700945e-03,1.704124e-03,1.706663e-03,1.708606e-03,1.709995e-03,1.710869e-03,1.711267e-03,1.711224e-03,1.710773e-03,1.709946e-03,1.708773e-03,1.707284e-03,1.705504e-03,1.703458e-03,1.701170e-03,1.698663e-03,1.695956e-03,1.693069e-03,1.690021e-03,1.686829e-03,1.683508e-03,1.680073e-03,1.676538e-03,1.672917e-03,1.669220e-03
0.000000e+00,7.781037e-12,1.779618e-11,6.116750e-11,1.399173e-10,2.054294e-10,4.801491e-10,4.954101e-10,1.006270e-09,1.201582e-09,1.831569e-09,2.510313e-09,3.041471e-09,4.473492e-09,4.609690e-09,6.424186e-09,6.883248e-09,8.374648e-09,9.497917e-09,1.038854e-08,1.217759e-08,1.242148e-08,1.444379e-08,1.484492e-08,1.643299e-08,1.744805e-08,1.837070e-08,1.994737e-08,2.024170e-08,2.203356e-08,2.231224e-08,2.373670e-08,2.452057e-08,2.534424e-08,2.655847e-08,2.685187e-08,2.825736e-08,2.841913e-08,2.956061e-08,3.010203e-08,3.076328e-08,3.161174e-08,3.186819e-08,3.287907e-08,3.295601e-08,3.380036e-08,3.414485e-08,3.463685e-08,3.518942e-08,3.539355e-08,3.607556e-08,3.610135e-08,3.668789e-08,3.689223e-08,3.723546e-08,3.757322e-08,3.772297e-08,3.815491e-08,3.853553e-08,3.864714e-08,3.886880e-08,3.905897e-08,3.915844e-08,3.939868e-08,3.940793e-08,3.962049e-08,3.967380e-08,3.979911e-08,3.989114e-08,3.994653e-08,4.005682e-08,4.006532e-08,4.015783e-08,4.017637e-08,4.022622e-08,4.025474e-08,4.027251e-08,4.029641e-08,4.029852e-08,4.030595e-08,4.030535e-08,4.029638e-08,4.028516e-08,4.027123e-08,4.023904e-08,4.023183e-08,4.017941e-08,4.016989e-08,4.011508e-08,4.008029e-08,4.003989e-08,3.997256e-08,3.995479e-08,3.986066e-08,3.984879e-08,3.975831e-08,3.971086e-08,3.964848e-08,3.956045e-08,3.953188e-08,3.940914e-08,3.939908e-08,3.928085e-08,3.922810e-08,3.914755e-08,3.904875e-08,3.900974e-08,3.886789e-08,3.886214e-08,3.872243e-08,3.866926e-08,3.857376e-08,3.847102e-08,3.842224e-08,3.826822e-08,3.811201e-08,3.806160e-08,3.795389e-08,3.785183e-08,3.779415e-08,3.763949e-08,3.763303e-08,3.747075e-08,3.742514e-08,3.730755e-08,3.720926e-08,3.714361e-08,3.699230e-08,3.697912e-08,3.681425e-08,3.677464e-08,3.664916e-08,3.655666e-08,3.648399e-08,3.633869e-08,3.631888e-08,3.615395e-08,3.612100e-08,3.598933e-08,3.590388e-08,3.582511e-08,3.568756e-08,3.566141e-08,3.549829e-08,3.547226e-08,3.533587e-08,3.525817e-08,3.517420e-08,3.504547e-08,3.501337e-08,3.485344e-08,3.483431e-08,3.469446e-08,3.462484e-08,3.453651e-08,3.441717e-08,3.437962e-08,3.422385e-08,3.421144e-08,3.406923e-08,3.400772e-08,3.391582e-08,3.380612e-08,3.376363e-08,3.361271e-08,3.360670e-08,3.346309e-08,3.340954e-08,3.331478e-08,3.321470e-08,3.316782e-08,3.302223e-08,3.283216e-08,3.264455e-08,3.245941e-08,3.227678e-08,3.209667e-08,3.191910e-08,3.174408e-08,3.157162e-08,3.140171e-08,3.123437e-08,3.106958e-08,3.090734e-08,3.074764e-08,3.059047e-08,3.043582e-08,3.028366e-08,3.013399e-08,2.998678e-08,2.984201e-08,2.969967e-08,2.955972e-08,2.942215e-08,2.928693e-08,2.915404e-08
0.000000e+00,4.560125e-12,2.966477e-11,4.079579e-10,2.030899e-09,4.069075e-09,1.665931e-08,1.748674e-08,4.909371e-08,6.240513e-08,1.077291e-07,1.596127e-07,2.023947e-07,3.294256e-07,3.425427e-07,5.379856e-07,5.941583e-07,7.975602e-07,9.729873e-07,1.126006e-06,1.469803e-06,1.520268e-06,1.968477e-06,2.063098e-06,2.453213e-06,2.713661e-06,2.956528e-06,3.382536e-06,3.463359e-06,3.962509e-06,4.041099e-06,4.446154e-06,4.671143e-06,4.908908e-06,5.261556e-06,5.347094e-06,5.758229e-06,5.805664e-06,6.140719e-06,6.299693e-06,6.493692e-06,6.742020e-06,6.816870e-06,7.110484e-06,7.132713e-06,7.375190e-06,7.473192e-06,7.611985e-06,7.765893e-06,7.822128e-06,8.007073e-06,8.013969e-06,8.168406e-06,8.221024e-06,8.307786e-06,8.390886e-06,8.426899e-06,8.527406e-06,8.610929e-06,8.634326e-06,8.679024e-06,8.715189e-06,8.733157e-06,8.773268e-06,8.774704e-06,8.804945e-06,8.811549e-06,8.825057e-06,8.832717e-06,8.836122e-06,8.839157e-06,8.839122e-06,8.834952e-06,8.832976e-06,8.824424e-06,8.816027e-06,8.808269e-06,8.789922e-06,8.787145e-06,8.761644e-06,8.756066e-06,8.732296e-06,8.715676e-06,8.699579e-06,8.669807e-06,8.663920e-06,8.625699e-06,8.619369e-06,8.585258e-06,8.565149e-06,8.542903e-06,8.507827e-06,8.498909e-06,8.453520e-06,8.447990e-06,8.406955e-06,8.386145e-06,8.359409e-06,8.322728e-06,8.311059e-06,8.262061e-06,8.258117e-06,8.212556e-06,8.192640e-06,8.162669e-06,8.126578e-06,8.112514e-06,8.062191e-06,8.060176e-06,8.011792e-06,7.993645e-06,7.961397e-06,7.927168e-06,7.911078e-06,7.860901e-06,7.810923e-06,7.794981e-06,7.761196e-06,7.729524e-06,7.711766e-06,7.664632e-06,7.662675e-06,7.613959e-06,7.600390e-06,7.565650e-06,7.536872e-06,7.517777e-06,7.474142e-06,7.470366e-06,7.423440e-06,7.412252e-06,7.377017e-06,7.351246e-06,7.331114e-06,7.291162e-06,7.285747e-06,7.240928e-06,7.232032e-06,7.196669e-06,7.173878e-06,7.152977e-06,7.116721e-06,7.109861e-06,7.067327e-06,7.060576e-06,7.025380e-06,7.005455e-06,6.984023e-06,6.951364e-06,6.943258e-06,6.903088e-06,6.898307e-06,6.863512e-06,6.846288e-06,6.824532e-06,6.795304e-06,6.786145e-06,6.748351e-06,6.745353e-06,6.711146e-06,6.696429e-06,6.674530e-06,6.648527e-06,6.638497e-06,6.603044e-06,6.601638e-06,6.568168e-06,6.555753e-06,6.533863e-06,6.510860e-06,6.500126e-06,6.466950e-06,6.424008e-06,6.382023e-06,6.340981e-06,6.300866e-06,6.261666e-06,6.223364e-06,6.185945e-06,6.149395e-06,6.113696e-06,6.078833e-06,6.044790e-06,6.011551e-06,5.979101e-06,5.947422e-06,5.916500e-06,5.886318e-06,5.856861e-06,5.828112e-06,5.800058e-06,5.772682e-06,5.745969e-06,5.719904e-06,5.694473e-06,5.669661e-06
0.000000e+00,5.727458e-14,4.891065e-13,1.156853e-11,9.184698e-11,2.350367e-10,1.741698e-09,1.870638e-09,8.933290e-09,1.299647e-08,3.095892e-08,5.848346e-08,8.618553e-08,1.920064e-07,2.047825e-07,4.317471e-07,5.088458e-07,8.289208e-07,1.154470e-06,1.475304e-06,2.324711e-06,2.465000e-06,3.902812e-06,4.253778e-06,5.898296e-06,7.192407e-06,8.559388e-06,1.138291e-05,1.198655e-05,1.626806e-05,1.703750e-05,2.147675e-05,2.432319e-05,2.766792e-05,3.335370e-05,3.487854e-05,4.312729e-05,4.418713e-05,5.241520e-05,5.682769e-05,6.272689e-05,7.123031e-05,7.403201e-05,8.628701e-05,8.730687e-05,9.943697e-05,1.049334e-04,1.134176e-04,1.239579e-04,1.281570e-04,1.435781e-04,1.442080e-04,1.595998e-04,1.654987e-04,1.761392e-04,1.876392e-04,1.931131e-04,2.104393e-04,2.280380e-04,2.337145e-04,2.458325e-04,2.572900e-04,2.637503e-04,2.810043e-04,2.817235e-04,2.996894e-04,3.047106e-04,3.175905e-04,3.282783e-04,3.353749e-04,3.515934e-04,3.529960e-04,3.704126e-04,3.745580e-04,3.875883e-04,3.970897e-04,4.044919e-04,4.191205e-04,4.210964e-04,4.373793e-04,4.405955e-04,4.533216e-04,4.614717e-04,4.689078e-04,4.817162e-04,4.841259e-04,4.989662e-04,5.013051e-04,5.134219e-04,5.202226e-04,5.274882e-04,5.384589e-04,5.411623e-04,5.544430e-04,5.560103e-04,5.673307e-04,5.728771e-04,5.798269e-04,5.890639e-04,5.919344e-04,6.036568e-04,6.045780e-04,6.149984e-04,6.194295e-04,6.259643e-04,6.336302e-04,6.365600e-04,6.467918e-04,6.471936e-04,6.566660e-04,6.601344e-04,6.661893e-04,6.724683e-04,6.753687e-04,6.842115e-04,6.927248e-04,6.953807e-04,7.009161e-04,7.059930e-04,7.087929e-04,7.160658e-04,7.163628e-04,7.236331e-04,7.256162e-04,7.306115e-04,7.346615e-04,7.373054e-04,7.432189e-04,7.437222e-04,7.498693e-04,7.513053e-04,7.557540e-04,7.589375e-04,7.613834e-04,7.661318e-04,7.667647e-04,7.719048e-04,7.729045e-04,7.768107e-04,7.792714e-04,7.814890e-04,7.852480e-04,7.859466e-04,7.901900e-04,7.908495e-04,7.942255e-04,7.960906e-04,7.980595e-04,8.009858e-04,8.016982e-04,8.051476e-04,8.055491e-04,8.084137e-04,8.097941e-04,8.115021e-04,8.137340e-04,8.144185e-04,8.171686e-04,8.173815e-04,8.197576e-04,8.207493e-04,8.221908e-04,8.238492e-04,8.244734e-04,8.266105e-04,8.266930e-04,8.286068e-04,8.292919e-04,8.304672e-04,8.316570e-04,8.321963e-04,8.337986e-04,8.357271e-04,8.374523e-04,8.389835e-04,8.403301e-04,8.415008e-04,8.425041e-04,8.433482e-04,8.440410e-04,8.445901e-04,8.450027e-04,8.452860e-04,8.454466e-04,8.454910e-04,8.454255e-04,8.452560e-04,8.449883e-04,8.446278e-04,8.441800e-04,8.436497e-04,8.430420e-04,8.423615e-04,8.416125e-04,8.407994e-04,8.399263e-04
0.000000e+00,6.894880e-12,1.613186e-11,5.644439e-11,1.287155e-10,1.874883e-10,4.209449e-10,4.333564e-10,8.225606e-10,9.606269e-10,1.379389e-09,1.802627e-09,2.124356e-09,2.990554e-09,3.074450e-09,4.243060e-09,4.557169e-09,5.639416e-09,6.522546e-09,7.267308e-09,8.888678e-09,9.123057e-09,1.119344e-08,1.163138e-08,1.345510e-08,1.469656e-08,1.587670e-08,1.800860e-08,1.842287e-08,2.105796e-08,2.148553e-08,2.374819e-08,2.504990e-08,2.646266e-08,2.863278e-08,2.917338e-08,3.185533e-08,3.217415e-08,3.448632e-08,3.562272e-08,3.704698e-08,3.893574e-08,3.952072e-08,4.189370e-08,4.207883e-08,4.415472e-08,4.502575e-08,4.629512e-08,4.775793e-08,4.830866e-08,5.019127e-08,5.026381e-08,5.194086e-08,5.253803e-08,5.355709e-08,5.458048e-08,5.504111e-08,5.639536e-08,5.762330e-08,5.799024e-08,5.872922e-08,5.937524e-08,5.971807e-08,6.056224e-08,6.059525e-08,6.136649e-08,6.156425e-08,6.203769e-08,6.239489e-08,6.261486e-08,6.306795e-08,6.310398e-08,6.351096e-08,6.359706e-08,6.384158e-08,6.399546e-08,6.410142e-08,6.427580e-08,6.429585e-08,6.443001e-08,6.445005e-08,6.450878e-08,6.452940e-08,6.453678e-08,6.452424e-08,6.451834e-08,6.445757e-08,6.444417e-08,6.435827e-08,6.429799e-08,6.422403e-08,6.409370e-08,6.405815e-08,6.386373e-08,6.383863e-08,6.364364e-08,6.353936e-08,6.340053e-08,6.320188e-08,6.313685e-08,6.285485e-08,6.283157e-08,6.255664e-08,6.243325e-08,6.224412e-08,6.201126e-08,6.191908e-08,6.158312e-08,6.156947e-08,6.123774e-08,6.111136e-08,6.088430e-08,6.064001e-08,6.052407e-08,6.015817e-08,5.978767e-08,5.966829e-08,5.941351e-08,5.917253e-08,5.903656e-08,5.867282e-08,5.865764e-08,5.827744e-08,5.817085e-08,5.789665e-08,5.766813e-08,5.751584e-08,5.716596e-08,5.713557e-08,5.675632e-08,5.666551e-08,5.637855e-08,5.616778e-08,5.600264e-08,5.567367e-08,5.562896e-08,5.525784e-08,5.518394e-08,5.488955e-08,5.469926e-08,5.452437e-08,5.422018e-08,5.416252e-08,5.380421e-08,5.374722e-08,5.344961e-08,5.328077e-08,5.309888e-08,5.282118e-08,5.275217e-08,5.240958e-08,5.236876e-08,5.207124e-08,5.192373e-08,5.173721e-08,5.148628e-08,5.140757e-08,5.108239e-08,5.105657e-08,5.076171e-08,5.063471e-08,5.044558e-08,5.022078e-08,5.013400e-08,4.982701e-08,4.981483e-08,4.952462e-08,4.941688e-08,4.922682e-08,4.902694e-08,4.893362e-08,4.864499e-08,4.827100e-08,4.790491e-08,4.754667e-08,4.719619e-08,4.685339e-08,4.651818e-08,4.619045e-08,4.587010e-08,4.555701e-08,4.525106e-08,4.495214e-08,4.466012e-08,4.437486e-08,4.409625e-08,4.382416e-08,4.355844e-08,4.329897e-08,4.304563e-08,4.279827e-08,4.255677e-08,4.232100e-08,4.209083e-08,4.186614e-08,4.164679e-08
0.000000e+00,1.028136e-14,9.048945e-14,2.279536e-12,1.917776e-11,5.067011e-11,4.079391e-10,4.396220e-10,2.279672e-09,3.391404e-09,8.542508e-09,1.687592e-08,2.559927e-08,6.078308e-08,6.517601e-08,1.465997e-07,1.753817e-07,2.991897e-07,4.306922e-07,5.646379e-07,9.358702e-07,9.991861e-07,1.675337e-06,1.847147e-06,2.682772e-06,3.372331e-06,4.128171e-06,5.769784e-06,6.133758e-06,8.834556e-06,9.340734e-06,1.237458e-05,1.441542e-05,1.690224e-05,2.133498e-05,2.256539e-05,2.950625e-05,3.043142e-05,3.785665e-05,4.200817e-05,4.773372e-05,5.632292e-05,5.923632e-05,7.244215e-05,7.357400e-05,8.740577e-05,9.389098e-05,1.041573e-04,1.173295e-04,1.227021e-04,1.430209e-04,1.438700e-04,1.650706e-04,1.734203e-04,1.887861e-04,2.058211e-04,2.140816e-04,2.408533e-04,2.689815e-04,2.782477e-04,2.983334e-04,3.176949e-04,3.287656e-04,3.588566e-04,3.601270e-04,3.922613e-04,4.013758e-04,4.250095e-04,4.448867e-04,4.582122e-04,4.890245e-04,4.917117e-04,5.253543e-04,5.334332e-04,5.589914e-04,5.777726e-04,5.924812e-04,6.217240e-04,6.256900e-04,6.584927e-04,6.649942e-04,6.907743e-04,7.073194e-04,7.224294e-04,7.484660e-04,7.533634e-04,7.834918e-04,7.882325e-04,8.127409e-04,8.264490e-04,8.410469e-04,8.629764e-04,8.683563e-04,8.946249e-04,8.977055e-04,9.198179e-04,9.305549e-04,9.439087e-04,9.614688e-04,9.668786e-04,9.887166e-04,9.904145e-04,1.009418e-03,1.017380e-03,1.028984e-03,1.042373e-03,1.047423e-03,1.064746e-03,1.065416e-03,1.080969e-03,1.086544e-03,1.096113e-03,1.105805e-03,1.110200e-03,1.123257e-03,1.135312e-03,1.138963e-03,1.146395e-03,1.152993e-03,1.156538e-03,1.165421e-03,1.165774e-03,1.174135e-03,1.176325e-03,1.181657e-03,1.185781e-03,1.188373e-03,1.193870e-03,1.194318e-03,1.199527e-03,1.200671e-03,1.204032e-03,1.206261e-03,1.207869e-03,1.210717e-03,1.211068e-03,1.213664e-03,1.214113e-03,1.215687e-03,1.216523e-03,1.217168e-03,1.218015e-03,1.218137e-03,1.218622e-03,1.218656e-03,1.218651e-03,1.218511e-03,1.218252e-03,1.217641e-03,1.217449e-03,1.216268e-03,1.216102e-03,1.214733e-03,1.213951e-03,1.212867e-03,1.211240e-03,1.210691e-03,1.208226e-03,1.208017e-03,1.205492e-03,1.204328e-03,1.202509e-03,1.200217e-03,1.199295e-03,1.195866e-03,1.195724e-03,1.192239e-03,1.190888e-03,1.188430e-03,1.185743e-03,1.184454e-03,1.180324e-03,1.174659e-03,1.168780e-03,1.162711e-03,1.156478e-03,1.150105e-03,1.143611e-03,1.137017e-03,1.130341e-03,1.123599e-03,1.116808e-03,1.109980e-03,1.103130e-03,1.096269e-03,1.089409e-03,1.082558e-03,1.075727e-03,1.068924e-03,1.062155e-03,1.055429e-03,1.048751e-03,1.042127e-03,1.035561e-03,1.029059e-03,1.022624e-03
0.000000e+00,9.758984e-11,3.153081e-10,1.553014e-09,4.164068e-09,6.454609e-09,1.629096e-08,1.683699e-08,3.476174e-08,4.142906e-08,6.244715e-08,8.474221e-08,1.022993e-07,1.516626e-07,1.565736e-07,2.264052e-07,2.454326e-07,3.110556e-07,3.642318e-07,4.086181e-07,5.035950e-07,5.171392e-07,6.349767e-07,6.595347e-07,7.607065e-07,8.287604e-07,8.929932e-07,1.008223e-06,1.030527e-06,1.172014e-06,1.194934e-06,1.316190e-06,1.385992e-06,1.461846e-06,1.578678e-06,1.607858e-06,1.753201e-06,1.770553e-06,1.896970e-06,1.959523e-06,2.038379e-06,2.143859e-06,2.176765e-06,2.311585e-06,2.322203e-06,2.442402e-06,2.493530e-06,2.568881e-06,2.657118e-06,2.690774e-06,2.807909e-06,2.812493e-06,2.920179e-06,2.959394e-06,3.027532e-06,3.097720e-06,3.129963e-06,3.227502e-06,3.320210e-06,3.348870e-06,3.408170e-06,3.462020e-06,3.491485e-06,3.567203e-06,3.570269e-06,3.644652e-06,3.664708e-06,3.714765e-06,3.754841e-06,3.780748e-06,3.837927e-06,3.842743e-06,3.900894e-06,3.914295e-06,3.955345e-06,3.984274e-06,4.006238e-06,4.048193e-06,4.053714e-06,4.097913e-06,4.106371e-06,4.138970e-06,4.159122e-06,4.177018e-06,4.206748e-06,4.212187e-06,4.244602e-06,4.249542e-06,4.274387e-06,4.287784e-06,4.301659e-06,4.321745e-06,4.326534e-06,4.349121e-06,4.351683e-06,4.369529e-06,4.377844e-06,4.387859e-06,4.400462e-06,4.404212e-06,4.418683e-06,4.419762e-06,4.431364e-06,4.435955e-06,4.442344e-06,4.449243e-06,4.451707e-06,4.459535e-06,4.459818e-06,4.465907e-06,4.467859e-06,4.470898e-06,4.473540e-06,4.474580e-06,4.477021e-06,4.478289e-06,4.478457e-06,4.478445e-06,4.477991e-06,4.477552e-06,4.475761e-06,4.475667e-06,4.472846e-06,4.471895e-06,4.469141e-06,4.466515e-06,4.464603e-06,4.459736e-06,4.459282e-06,4.453223e-06,4.451664e-06,4.446471e-06,4.442402e-06,4.439067e-06,4.432046e-06,4.431053e-06,4.422467e-06,4.420684e-06,4.413345e-06,4.408401e-06,4.403722e-06,4.395277e-06,4.393633e-06,4.383109e-06,4.381386e-06,4.372179e-06,4.366798e-06,4.360874e-06,4.351578e-06,4.349221e-06,4.337245e-06,4.335788e-06,4.324973e-06,4.319485e-06,4.312427e-06,4.302723e-06,4.299630e-06,4.286605e-06,4.285553e-06,4.273370e-06,4.268022e-06,4.259946e-06,4.250174e-06,4.246351e-06,4.232603e-06,4.232051e-06,4.218719e-06,4.213690e-06,4.204713e-06,4.195128e-06,4.190602e-06,4.176399e-06,4.157533e-06,4.138560e-06,4.119508e-06,4.100400e-06,4.081261e-06,4.062113e-06,4.042976e-06,4.023867e-06,4.004806e-06,3.985807e-06,3.966885e-06,3.948054e-06,3.929327e-06,3.910715e-06,3.892228e-06,3.873876e-06,3.855668e-06,3.837612e-06,3.819715e-06,3.801984e-06,3.784424e-06,3.767042e-06,3.749841e-06,3.732826e-06
0.000000e+00,3.753467e-11,9.886812e-11,3.930252e-10,9.547650e-10,1.426066e-09,3.360549e-09,3.465277e-09,6.809218e-09,8.016742e-09,1.172743e-08,1.553536e-08,1.846061e-08,2.643993e-08,2.721962e-08,3.818243e-08,4.115781e-08,5.148791e-08,5.999775e-08,6.722448e-08,8.310231e-08,8.541318e-08,1.059911e-07,1.103817e-07,1.288088e-07,1.414888e-07,1.536488e-07,1.758919e-07,1.802571e-07,2.083676e-07,2.129869e-07,2.377162e-07,2.521676e-07,2.680466e-07,2.928521e-07,2.991129e-07,3.306818e-07,3.344933e-07,3.625346e-07,3.765870e-07,3.944688e-07,4.186792e-07,4.263001e-07,4.578630e-07,4.603719e-07,4.890115e-07,5.013258e-07,5.196189e-07,5.412601e-07,5.495775e-07,5.787973e-07,5.799496e-07,6.072047e-07,6.172209e-07,6.347415e-07,6.529460e-07,6.613631e-07,6.870370e-07,7.117413e-07,7.194396e-07,7.354635e-07,7.501277e-07,7.581988e-07,7.790980e-07,7.799492e-07,8.007224e-07,8.063653e-07,8.205306e-07,8.319589e-07,8.393900e-07,8.559190e-07,8.573197e-07,8.743412e-07,8.782939e-07,8.904782e-07,8.991377e-07,9.057553e-07,9.185086e-07,9.201987e-07,9.338347e-07,9.364675e-07,9.466906e-07,9.530763e-07,9.587933e-07,9.683976e-07,9.701702e-07,9.808482e-07,9.824936e-07,9.908541e-07,9.954259e-07,1.000214e-06,1.007255e-06,1.008954e-06,1.017100e-06,1.018038e-06,1.024675e-06,1.027834e-06,1.031705e-06,1.036697e-06,1.038212e-06,1.044220e-06,1.044679e-06,1.049750e-06,1.051833e-06,1.054824e-06,1.058206e-06,1.059462e-06,1.063685e-06,1.063845e-06,1.067512e-06,1.068796e-06,1.070961e-06,1.073100e-06,1.074051e-06,1.076798e-06,1.079220e-06,1.079929e-06,1.081332e-06,1.082529e-06,1.083151e-06,1.084633e-06,1.084690e-06,1.085964e-06,1.086275e-06,1.086986e-06,1.087485e-06,1.087771e-06,1.088293e-06,1.088330e-06,1.088676e-06,1.088728e-06,1.088819e-06,1.088816e-06,1.088773e-06,1.088582e-06,1.088546e-06,1.088149e-06,1.088050e-06,1.087592e-06,1.087242e-06,1.086884e-06,1.086180e-06,1.086035e-06,1.085052e-06,1.084883e-06,1.083944e-06,1.083371e-06,1.082719e-06,1.081660e-06,1.081385e-06,1.079948e-06,1.079768e-06,1.078414e-06,1.077711e-06,1.076792e-06,1.075503e-06,1.075087e-06,1.073304e-06,1.073159e-06,1.071450e-06,1.070690e-06,1.069530e-06,1.068110e-06,1.067549e-06,1.065512e-06,1.065429e-06,1.063423e-06,1.062660e-06,1.061288e-06,1.059811e-06,1.059109e-06,1.056892e-06,1.053912e-06,1.050880e-06,1.047803e-06,1.044688e-06,1.041542e-06,1.038371e-06,1.035181e-06,1.031978e-06,1.028766e-06,1.025550e-06,1.022335e-06,1.019125e-06,1.015923e-06,1.012732e-06,1.009556e-06,1.006398e-06,1.003260e-06,1.000146e-06,9.970557e-07,9.939930e-07,9.909592e-07,9.879560e-07,9.849850e-07,9.820474e-07
0.000000e+00,3.362862e-15,2.938714e-14,7.292425e-13,6.049497e-12,1.585847e-11,1.250564e-10,1.346538e-10,6.836277e-10,1.011088e-09,2.509287e-09,4.897296e-09,7.369701e-09,1.718686e-08,1.840068e-08,4.061549e-08,4.837519e-08,8.139922e-08,1.160270e-07,1.509607e-07,2.465364e-07,2.626948e-07,4.333859e-07,4.763142e-07,6.831613e-07,8.518667e-07,1.035120e-06,1.428229e-06,1.514604e-06,2.148155e-06,2.265603e-06,2.962268e-06,3.424642e-06,3.982069e-06,4.961240e-06,5.230052e-06,6.724966e-06,6.921674e-06,8.480958e-06,9.338808e-06,1.050698e-05,1.222969e-05,1.280649e-05,1.537739e-05,1.559460e-05,1.821220e-05,1.941739e-05,2.129846e-05,2.366690e-05,2.461921e-05,2.815363e-05,2.829912e-05,3.187772e-05,3.325979e-05,3.576501e-05,3.848723e-05,3.978727e-05,4.391518e-05,4.811904e-05,4.947547e-05,5.236929e-05,5.510044e-05,5.663710e-05,6.072501e-05,6.089479e-05,6.511622e-05,6.628837e-05,6.927713e-05,7.173531e-05,7.335534e-05,7.701711e-05,7.733096e-05,8.118645e-05,8.209216e-05,8.490670e-05,8.692614e-05,8.847902e-05,9.149204e-05,9.189308e-05,9.514083e-05,9.576987e-05,9.821638e-05,9.974623e-05,1.011158e-04,1.034137e-04,1.038371e-04,1.063799e-04,1.067702e-04,1.087453e-04,1.098184e-04,1.109358e-04,1.125646e-04,1.129550e-04,1.148073e-04,1.150186e-04,1.164982e-04,1.171926e-04,1.180337e-04,1.191007e-04,1.194202e-04,1.206646e-04,1.207582e-04,1.217739e-04,1.221814e-04,1.227554e-04,1.233870e-04,1.236164e-04,1.243640e-04,1.243917e-04,1.250056e-04,1.252119e-04,1.255480e-04,1.258637e-04,1.259981e-04,1.263623e-04,1.266471e-04,1.267224e-04,1.268584e-04,1.269577e-04,1.270019e-04,1.270810e-04,1.270831e-04,1.271069e-04,1.271040e-04,1.270783e-04,1.270378e-04,1.270017e-04,1.268923e-04,1.268812e-04,1.267208e-04,1.266767e-04,1.265240e-04,1.263993e-04,1.262944e-04,1.260675e-04,1.260348e-04,1.257484e-04,1.256881e-04,1.254376e-04,1.252671e-04,1.251049e-04,1.248102e-04,1.247526e-04,1.243827e-04,1.243220e-04,1.239972e-04,1.238071e-04,1.235977e-04,1.232692e-04,1.231859e-04,1.227633e-04,1.227119e-04,1.223311e-04,1.221383e-04,1.218907e-04,1.215511e-04,1.214431e-04,1.209894e-04,1.209528e-04,1.205305e-04,1.203457e-04,1.200673e-04,1.197316e-04,1.196006e-04,1.191310e-04,1.191122e-04,1.186594e-04,1.184892e-04,1.181862e-04,1.178639e-04,1.177121e-04,1.172375e-04,1.166111e-04,1.159857e-04,1.153622e-04,1.147413e-04,1.141237e-04,1.135099e-04,1.129007e-04,1.122964e-04,1.116974e-04,1.111041e-04,1.105169e-04,1.099361e-04,1.093618e-04,1.087944e-04,1.082340e-04,1.076808e-04,1.071349e-04,1.065964e-04,1.060655e-04,1.055422e-04,1.050265e-04,1.045185e-04,1.040183e-04,1.035259e-04
0.000000e+00,2.406590e-11,6.304753e-11,2.487247e-10,6.011213e-10,8.957081e-10,2.100217e-09,2.165305e-09,4.241448e-09,4.991047e-09,7.296967e-09,9.669108e-09,1.149595e-08,1.649650e-08,1.698610e-08,2.387044e-08,2.573431e-08,3.216755e-08,3.740689e-08,4.180554e-08,5.129888e-08,5.266137e-08,6.459814e-08,6.710309e-08,7.747820e-08,8.450280e-08,9.116329e-08,1.031782e-07,1.055130e-07,1.203848e-07,1.228031e-07,1.356357e-07,1.430494e-07,1.511253e-07,1.635976e-07,1.667183e-07,1.822876e-07,1.841486e-07,1.977166e-07,2.044335e-07,2.129009e-07,2.242207e-07,2.277493e-07,2.421840e-07,2.433189e-07,2.561409e-07,2.615779e-07,2.695685e-07,2.788862e-07,2.824276e-07,2.946897e-07,2.951675e-07,3.063364e-07,3.103763e-07,3.173574e-07,3.244926e-07,3.277500e-07,3.375176e-07,3.466688e-07,3.494690e-07,3.552163e-07,3.603770e-07,3.631759e-07,3.702811e-07,3.705661e-07,3.774071e-07,3.792272e-07,3.837207e-07,3.872650e-07,3.895293e-07,3.944468e-07,3.948558e-07,3.997233e-07,4.008258e-07,4.041548e-07,4.064546e-07,4.081731e-07,4.113851e-07,4.118004e-07,4.150584e-07,4.156675e-07,4.179680e-07,4.193501e-07,4.205495e-07,4.224788e-07,4.228226e-07,4.248057e-07,4.250974e-07,4.265170e-07,4.272468e-07,4.279733e-07,4.289657e-07,4.291908e-07,4.301851e-07,4.302901e-07,4.309707e-07,4.312539e-07,4.315616e-07,4.318885e-07,4.319709e-07,4.322110e-07,4.322232e-07,4.322936e-07,4.322852e-07,4.322300e-07,4.320996e-07,4.320306e-07,4.317053e-07,4.316898e-07,4.312633e-07,4.310774e-07,4.307135e-07,4.302824e-07,4.300642e-07,4.293232e-07,4.284977e-07,4.282168e-07,4.275947e-07,4.269790e-07,4.266205e-07,4.256242e-07,4.255814e-07,4.244830e-07,4.241656e-07,4.233307e-07,4.226155e-07,4.221295e-07,4.209853e-07,4.208841e-07,4.195989e-07,4.192850e-07,4.182782e-07,4.175244e-07,4.169256e-07,4.157120e-07,4.155450e-07,4.141397e-07,4.138559e-07,4.127128e-07,4.119633e-07,4.112674e-07,4.100409e-07,4.098061e-07,4.083317e-07,4.080947e-07,4.068465e-07,4.061304e-07,4.053528e-07,4.041531e-07,4.038526e-07,4.023480e-07,4.021672e-07,4.008407e-07,4.001770e-07,3.993324e-07,3.981864e-07,3.978247e-07,3.963191e-07,3.961988e-07,3.948169e-07,3.942172e-07,3.933193e-07,3.922446e-07,3.918275e-07,3.903426e-07,3.902834e-07,3.888656e-07,3.883360e-07,3.873973e-07,3.864043e-07,3.859386e-07,3.844903e-07,3.825955e-07,3.807214e-07,3.788693e-07,3.770402e-07,3.752352e-07,3.734550e-07,3.717006e-07,3.699723e-07,3.682708e-07,3.665965e-07,3.649497e-07,3.633306e-07,3.617395e-07,3.601764e-07,3.586415e-07,3.571348e-07,3.556561e-07,3.542055e-07,3.527827e-07,3.513878e-07,3.500204e-07,3.486803e-07,3.473674e-07,3.460812e-07
0.000000e+00,1.714216e-11,4.016637e-11,1.411543e-10,3.237715e-10,4.735763e-10,1.079111e-09,1.111755e-09,2.157621e-09,2.538675e-09,3.724745e-09,4.965786e-09,5.933413e-09,8.611258e-09,8.874239e-09,1.255087e-08,1.353432e-08,1.687764e-08,1.954152e-08,2.173989e-08,2.638033e-08,2.703585e-08,3.268217e-08,3.384704e-08,3.860715e-08,4.177626e-08,4.474488e-08,5.001875e-08,5.103225e-08,5.740826e-08,5.843270e-08,6.381447e-08,6.688389e-08,7.019597e-08,7.524939e-08,7.650246e-08,8.268915e-08,8.342160e-08,8.871719e-08,9.131063e-08,9.455397e-08,9.884562e-08,1.001732e-07,1.055546e-07,1.059744e-07,1.106834e-07,1.126619e-07,1.155499e-07,1.188881e-07,1.201487e-07,1.244782e-07,1.246458e-07,1.285401e-07,1.299376e-07,1.323386e-07,1.347741e-07,1.358797e-07,1.391714e-07,1.422226e-07,1.431498e-07,1.450431e-07,1.467319e-07,1.476432e-07,1.499419e-07,1.500336e-07,1.522250e-07,1.528044e-07,1.542282e-07,1.553441e-07,1.560537e-07,1.575851e-07,1.577118e-07,1.592125e-07,1.595503e-07,1.605653e-07,1.612618e-07,1.617796e-07,1.627404e-07,1.628639e-07,1.638268e-07,1.640055e-07,1.646760e-07,1.650752e-07,1.654191e-07,1.659665e-07,1.660632e-07,1.666148e-07,1.666949e-07,1.670803e-07,1.672749e-07,1.674655e-07,1.677197e-07,1.677760e-07,1.680170e-07,1.680415e-07,1.681934e-07,1.682517e-07,1.683096e-07,1.683604e-07,1.683701e-07,1.683787e-07,1.683773e-07,1.683394e-07,1.683109e-07,1.682555e-07,1.681693e-07,1.681303e-07,1.679671e-07,1.679598e-07,1.677685e-07,1.676889e-07,1.675374e-07,1.673629e-07,1.672762e-07,1.669874e-07,1.666730e-07,1.665674e-07,1.663352e-07,1.661077e-07,1.659760e-07,1.656125e-07,1.655970e-07,1.652001e-07,1.650859e-07,1.647867e-07,1.645314e-07,1.643584e-07,1.639524e-07,1.639166e-07,1.634624e-07,1.633518e-07,1.629973e-07,1.627324e-07,1.625222e-07,1.620967e-07,1.620382e-07,1.615464e-07,1.614472e-07,1.610476e-07,1.607858e-07,1.605427e-07,1.601145e-07,1.600326e-07,1.595179e-07,1.594351e-07,1.589994e-07,1.587493e-07,1.584777e-07,1.580585e-07,1.579534e-07,1.574272e-07,1.573640e-07,1.568996e-07,1.566671e-07,1.563710e-07,1.559689e-07,1.558419e-07,1.553128e-07,1.552705e-07,1.547841e-07,1.545728e-07,1.542561e-07,1.538766e-07,1.537292e-07,1.532037e-07,1.531827e-07,1.526799e-07,1.524918e-07,1.521582e-07,1.518046e-07,1.516387e-07,1.511217e-07,1.504435e-07,1.497705e-07,1.491032e-07,1.484420e-07,1.477871e-07,1.471389e-07,1.464977e-07,1.458637e-07,1.452371e-07,1.446181e-07,1.440068e-07,1.434034e-07,1.428081e-07,1.422208e-07,1.416417e-07,1.410709e-07,1.405084e-07,1.399541e-07,1.394083e-07,1.388708e-07,1.383416e-07,1.378208e-07,1.373082e-07,1.368040e-07
0.000000e+00,1.338897e-12,3.068752e-12,1.057533e-11,2.416475e-11,3.539678e-11,8.174488e-11,8.428755e-11,1.680420e-10,1.995938e-10,3.008048e-10,4.104238e-10,4.975087e-10,7.405995e-10,7.644215e-10,1.093953e-09,1.180929e-09,1.473597e-09,1.704330e-09,1.893696e-09,2.291843e-09,2.348015e-09,2.832266e-09,2.932395e-09,3.342952e-09,3.617853e-09,3.876743e-09,4.340471e-09,4.430198e-09,4.999684e-09,5.092037e-09,5.581397e-09,5.863818e-09,6.171437e-09,6.646843e-09,6.765906e-09,7.361008e-09,7.432289e-09,7.953139e-09,8.211864e-09,8.538962e-09,8.978101e-09,9.115464e-09,9.679997e-09,9.724572e-09,1.023028e-08,1.044596e-08,1.076440e-08,1.113808e-08,1.128082e-08,1.177836e-08,1.179786e-08,1.225615e-08,1.242320e-08,1.271361e-08,1.301289e-08,1.315041e-08,1.356644e-08,1.396181e-08,1.408399e-08,1.433673e-08,1.456613e-08,1.469160e-08,1.501384e-08,1.502688e-08,1.534312e-08,1.542834e-08,1.564094e-08,1.581106e-08,1.592100e-08,1.616355e-08,1.618397e-08,1.643057e-08,1.648740e-08,1.666150e-08,1.678425e-08,1.687748e-08,1.705571e-08,1.707919e-08,1.726732e-08,1.730338e-08,1.744255e-08,1.752877e-08,1.760550e-08,1.773337e-08,1.775682e-08,1.789710e-08,1.791856e-08,1.802691e-08,1.808567e-08,1.814681e-08,1.823594e-08,1.825731e-08,1.835893e-08,1.837055e-08,1.845214e-08,1.849060e-08,1.853738e-08,1.859711e-08,1.861510e-08,1.868569e-08,1.869105e-08,1.874955e-08,1.877329e-08,1.880704e-08,1.884468e-08,1.885851e-08,1.890428e-08,1.890599e-08,1.894466e-08,1.895794e-08,1.897996e-08,1.900119e-08,1.901044e-08,1.903637e-08,1.905800e-08,1.906406e-08,1.907557e-08,1.908478e-08,1.908929e-08,1.909904e-08,1.909938e-08,1.910603e-08,1.910730e-08,1.910944e-08,1.911000e-08,1.910978e-08,1.910753e-08,1.910722e-08,1.910192e-08,1.910026e-08,1.909404e-08,1.908854e-08,1.908371e-08,1.907270e-08,1.907107e-08,1.905625e-08,1.905303e-08,1.903937e-08,1.902982e-08,1.902055e-08,1.900332e-08,1.899990e-08,1.897752e-08,1.897378e-08,1.895351e-08,1.894143e-08,1.892796e-08,1.890647e-08,1.890096e-08,1.887260e-08,1.886911e-08,1.884295e-08,1.882952e-08,1.881210e-08,1.878789e-08,1.878011e-08,1.874706e-08,1.874437e-08,1.871300e-08,1.869911e-08,1.867801e-08,1.865226e-08,1.864213e-08,1.860543e-08,1.860395e-08,1.856797e-08,1.855430e-08,1.852978e-08,1.850342e-08,1.849092e-08,1.845143e-08,1.839843e-08,1.834451e-08,1.828976e-08,1.823426e-08,1.817811e-08,1.812136e-08,1.806409e-08,1.800636e-08,1.794824e-08,1.788978e-08,1.783104e-08,1.777207e-08,1.771291e-08,1.765362e-08,1.759422e-08,1.753477e-08,1.747530e-08,1.741585e-08,1.735644e-08,1.729711e-08,1.723788e-08,1.717879e-08,1.711987e-08,1.706112e-08
0.000000e+00,1.232529e-12,9.581908e-12,1.868997e-10,1.247752e-09,2.906376e-09,1.696076e-08,1.804270e-08,6.845811e-08,9.368387e-08,1.918756e-07,3.217500e-07,4.393915e-07,8.295824e-07,8.726790e-07,1.561233e-06,1.772666e-06,2.579113e-06,3.320419e-06,3.999132e-06,5.631395e-06,5.883703e-06,8.275388e-06,8.816578e-06,1.119185e-05,1.291455e-05,1.462686e-05,1.789526e-05,1.855562e-05,2.294097e-05,2.368211e-05,2.773870e-05,3.017412e-05,3.290100e-05,3.726025e-05,3.837862e-05,4.412197e-05,4.482669e-05,5.008198e-05,5.276061e-05,5.621067e-05,6.095274e-05,6.246177e-05,6.879140e-05,6.929992e-05,7.515854e-05,7.770733e-05,8.152547e-05,8.609025e-05,8.785811e-05,9.412617e-05,9.437516e-05,1.003032e-04,1.025001e-04,1.063664e-04,1.104145e-04,1.122968e-04,1.180784e-04,1.236986e-04,1.254613e-04,1.291474e-04,1.325411e-04,1.344172e-04,1.393029e-04,1.395027e-04,1.444002e-04,1.457375e-04,1.491078e-04,1.518408e-04,1.536247e-04,1.576124e-04,1.579516e-04,1.620897e-04,1.630550e-04,1.660412e-04,1.681736e-04,1.698090e-04,1.729753e-04,1.733964e-04,1.768070e-04,1.774682e-04,1.800448e-04,1.816616e-04,1.831141e-04,1.855652e-04,1.860192e-04,1.887647e-04,1.891895e-04,1.913553e-04,1.925451e-04,1.937955e-04,1.956426e-04,1.960901e-04,1.982438e-04,1.984929e-04,2.002611e-04,2.011068e-04,2.021468e-04,2.034946e-04,2.039053e-04,2.055412e-04,2.056669e-04,2.070589e-04,2.076338e-04,2.084627e-04,2.094053e-04,2.097568e-04,2.109455e-04,2.109909e-04,2.120327e-04,2.124001e-04,2.130225e-04,2.136419e-04,2.139187e-04,2.147250e-04,2.154452e-04,2.156580e-04,2.160827e-04,2.164489e-04,2.166410e-04,2.171056e-04,2.171235e-04,2.175335e-04,2.176357e-04,2.178740e-04,2.180462e-04,2.181481e-04,2.183442e-04,2.183588e-04,2.185089e-04,2.185362e-04,2.186012e-04,2.186287e-04,2.186384e-04,2.186276e-04,2.186231e-04,2.185576e-04,2.185388e-04,2.184446e-04,2.183677e-04,2.182862e-04,2.181198e-04,2.180847e-04,2.178423e-04,2.177999e-04,2.175611e-04,2.174129e-04,2.172430e-04,2.169633e-04,2.168900e-04,2.165040e-04,2.164555e-04,2.160867e-04,2.158936e-04,2.156399e-04,2.152815e-04,2.151651e-04,2.146642e-04,2.146230e-04,2.141384e-04,2.139215e-04,2.135894e-04,2.131805e-04,2.130185e-04,2.124271e-04,2.124030e-04,2.118164e-04,2.115922e-04,2.111879e-04,2.107508e-04,2.105425e-04,2.098815e-04,2.089870e-04,2.080696e-04,2.071316e-04,2.061751e-04,2.052022e-04,2.042148e-04,2.032147e-04,2.022036e-04,2.011830e-04,2.001546e-04,1.991197e-04,1.980796e-04,1.970356e-04,1.959888e-04,1.949404e-04,1.938913e-04,1.928426e-04,1.917951e-04,1.907496e-04,1.897069e-04,1.886677e-04,1.876328e-04,1.866026e-04,1.855779e-04
0.000000e+00,4.031074e-11,1.264096e-10,6.022891e-10,1.589270e-09,2.448377e-09,6.109281e-09,6.311687e-09,1.293078e-08,1.538426e-08,2.310193e-08,3.127534e-08,3.771276e-08,5.588240e-08,5.769970e-08,8.383081e-08,9.105833e-08,1.163488e-07,1.372155e-07,1.548434e-07,1.930524e-07,1.985445e-07,2.466670e-07,2.567611e-07,2.985413e-07,3.268082e-07,3.536028e-07,4.019488e-07,4.113489e-07,4.713053e-07,4.810724e-07,5.330084e-07,5.631112e-07,5.959988e-07,6.470129e-07,6.598230e-07,7.240389e-07,7.317507e-07,7.882228e-07,8.163498e-07,8.519757e-07,8.999115e-07,9.149290e-07,9.767517e-07,9.816397e-07,1.037152e-06,1.060856e-06,1.095878e-06,1.137003e-06,1.152718e-06,1.207500e-06,1.209647e-06,1.260091e-06,1.278467e-06,1.310389e-06,1.343247e-06,1.358328e-06,1.403865e-06,1.446985e-06,1.460274e-06,1.487694e-06,1.512492e-06,1.526014e-06,1.560589e-06,1.561984e-06,1.595653e-06,1.604676e-06,1.627082e-06,1.644892e-06,1.656339e-06,1.681400e-06,1.683497e-06,1.708634e-06,1.714375e-06,1.731830e-06,1.744002e-06,1.753167e-06,1.770470e-06,1.772726e-06,1.790591e-06,1.793968e-06,1.806843e-06,1.814683e-06,1.821561e-06,1.832796e-06,1.834824e-06,1.846707e-06,1.848486e-06,1.857285e-06,1.861919e-06,1.866628e-06,1.873260e-06,1.874805e-06,1.881882e-06,1.882660e-06,1.887922e-06,1.890266e-06,1.892985e-06,1.896215e-06,1.897129e-06,1.900409e-06,1.900636e-06,1.902878e-06,1.903650e-06,1.904586e-06,1.905371e-06,1.905580e-06,1.905905e-06,1.905905e-06,1.905605e-06,1.905351e-06,1.904719e-06,1.903803e-06,1.903288e-06,1.901346e-06,1.898929e-06,1.898060e-06,1.896069e-06,1.894021e-06,1.892798e-06,1.889298e-06,1.889145e-06,1.885138e-06,1.883956e-06,1.880802e-06,1.878054e-06,1.876164e-06,1.871648e-06,1.871245e-06,1.866069e-06,1.864790e-06,1.860655e-06,1.857528e-06,1.855024e-06,1.849904e-06,1.849195e-06,1.843184e-06,1.841962e-06,1.837009e-06,1.833738e-06,1.830684e-06,1.825267e-06,1.824225e-06,1.817645e-06,1.816582e-06,1.810958e-06,1.807713e-06,1.804174e-06,1.798687e-06,1.797307e-06,1.790366e-06,1.789529e-06,1.783362e-06,1.780263e-06,1.776304e-06,1.770910e-06,1.769202e-06,1.762063e-06,1.761490e-06,1.754895e-06,1.752022e-06,1.747706e-06,1.742521e-06,1.740503e-06,1.733292e-06,1.733004e-06,1.726080e-06,1.723484e-06,1.718871e-06,1.713974e-06,1.711671e-06,1.704485e-06,1.695029e-06,1.685615e-06,1.676253e-06,1.666949e-06,1.657711e-06,1.648546e-06,1.639460e-06,1.630457e-06,1.621543e-06,1.612722e-06,1.603998e-06,1.595373e-06,1.586851e-06,1.578435e-06,1.570125e-06,1.561925e-06,1.553836e-06,1.545859e-06,1.537994e-06,1.530244e-06,1.522607e-06,1.515086e-06,1.507679e-06,1.500387e-06
0.000000e+00,1.280254e-12,2.932171e-12,1.005335e-11,2.276397e-11,3.310593e-11,7.437568e-11,7.657939e-11,1.461881e-10,1.711102e-10,2.473944e-10,3.254935e-10,3.854877e-10,5.494592e-10,5.655166e-10,7.920337e-10,8.537420e-10,1.068614e-09,1.246161e-09,1.397133e-09,1.728703e-09,1.776875e-09,2.203777e-09,2.294210e-09,2.670356e-09,2.925419e-09,3.166711e-09,3.598902e-09,3.682262e-09,4.207284e-09,4.291600e-09,4.733668e-09,4.984876e-09,5.255006e-09,5.665073e-09,5.766344e-09,6.263883e-09,6.322515e-09,6.744723e-09,6.950417e-09,7.206679e-09,7.544133e-09,7.648151e-09,8.068029e-09,8.100662e-09,8.465614e-09,8.618317e-09,8.840557e-09,9.096456e-09,9.192804e-09,9.522543e-09,9.535270e-09,9.830161e-09,9.935589e-09,1.011620e-08,1.029872e-08,1.038133e-08,1.062630e-08,1.085194e-08,1.092020e-08,1.105911e-08,1.118241e-08,1.124869e-08,1.141497e-08,1.142158e-08,1.157866e-08,1.161994e-08,1.172082e-08,1.179930e-08,1.184890e-08,1.195502e-08,1.196373e-08,1.206612e-08,1.208892e-08,1.215682e-08,1.220278e-08,1.223656e-08,1.229822e-08,1.230604e-08,1.236593e-08,1.237681e-08,1.241683e-08,1.243996e-08,1.245936e-08,1.248901e-08,1.249406e-08,1.252146e-08,1.252520e-08,1.254205e-08,1.254965e-08,1.255630e-08,1.256344e-08,1.256465e-08,1.256752e-08,1.256751e-08,1.256527e-08,1.256276e-08,1.255829e-08,1.255002e-08,1.254690e-08,1.253143e-08,1.253003e-08,1.251218e-08,1.250348e-08,1.248942e-08,1.247101e-08,1.246342e-08,1.243442e-08,1.243320e-08,1.240265e-08,1.239058e-08,1.236834e-08,1.234365e-08,1.233167e-08,1.229284e-08,1.225203e-08,1.223858e-08,1.220941e-08,1.218124e-08,1.216512e-08,1.212117e-08,1.211931e-08,1.207212e-08,1.205868e-08,1.202368e-08,1.199406e-08,1.197410e-08,1.192758e-08,1.192350e-08,1.187198e-08,1.185949e-08,1.181963e-08,1.179000e-08,1.176656e-08,1.171932e-08,1.171284e-08,1.165855e-08,1.164764e-08,1.160378e-08,1.157512e-08,1.154858e-08,1.150194e-08,1.149303e-08,1.143718e-08,1.142822e-08,1.138109e-08,1.135410e-08,1.132481e-08,1.127970e-08,1.126841e-08,1.121191e-08,1.120512e-08,1.115536e-08,1.113048e-08,1.109881e-08,1.105585e-08,1.104229e-08,1.098584e-08,1.098133e-08,1.092949e-08,1.090698e-08,1.087327e-08,1.083288e-08,1.081720e-08,1.076132e-08,1.075909e-08,1.070565e-08,1.068566e-08,1.065021e-08,1.061265e-08,1.059502e-08,1.054010e-08,1.046806e-08,1.039656e-08,1.032563e-08,1.025531e-08,1.018562e-08,1.011659e-08,1.004823e-08,9.980576e-09,9.913631e-09,9.847414e-09,9.781936e-09,9.717208e-09,9.653238e-09,9.590033e-09,9.527599e-09,9.465941e-09,9.405060e-09,9.344960e-09,9.285641e-09,9.227102e-09,9.169344e-09,9.112365e-09,9.056161e-09,9.000731e-09
0.000000e+00,2.510635e-11,5.792293e-11,2.003309e-10,4.559873e-10,6.648150e-10,1.503264e-09,1.548236e-09,2.978027e-09,3.494070e-09,5.086269e-09,6.734789e-09,8.012605e-09,1.154573e-08,1.189417e-08,1.682816e-08,1.817163e-08,2.281634e-08,2.659394e-08,2.975359e-08,3.651975e-08,3.748411e-08,4.585733e-08,4.759744e-08,5.474498e-08,5.953290e-08,6.403729e-08,7.208339e-08,7.363592e-08,8.344952e-08,8.503381e-08,9.339188e-08,9.818590e-08,1.033818e-07,1.113570e-07,1.133437e-07,1.232084e-07,1.243826e-07,1.329140e-07,1.371199e-07,1.424065e-07,1.494495e-07,1.516397e-07,1.605755e-07,1.612766e-07,1.691834e-07,1.725292e-07,1.774400e-07,1.831575e-07,1.853284e-07,1.928374e-07,1.931298e-07,1.999611e-07,2.024309e-07,2.066979e-07,2.110586e-07,2.130495e-07,2.190209e-07,2.246196e-07,2.263339e-07,2.298549e-07,2.330198e-07,2.347378e-07,2.391048e-07,2.392801e-07,2.434948e-07,2.446180e-07,2.473952e-07,2.495902e-07,2.509949e-07,2.540530e-07,2.543078e-07,2.573475e-07,2.580379e-07,2.601276e-07,2.615760e-07,2.626613e-07,2.646975e-07,2.649616e-07,2.670411e-07,2.674316e-07,2.689120e-07,2.698063e-07,2.705859e-07,2.718480e-07,2.720741e-07,2.733874e-07,2.735820e-07,2.745361e-07,2.750320e-07,2.755301e-07,2.762203e-07,2.763788e-07,2.770911e-07,2.771678e-07,2.776755e-07,2.778943e-07,2.781401e-07,2.784179e-07,2.784926e-07,2.787402e-07,2.787557e-07,2.788898e-07,2.789237e-07,2.789480e-07,2.789367e-07,2.789208e-07,2.788142e-07,2.788084e-07,2.786337e-07,2.785516e-07,2.783844e-07,2.781781e-07,2.780713e-07,2.776990e-07,2.772719e-07,2.771244e-07,2.767942e-07,2.764637e-07,2.762697e-07,2.757257e-07,2.757022e-07,2.750950e-07,2.749184e-07,2.744515e-07,2.740492e-07,2.737747e-07,2.731251e-07,2.730675e-07,2.723326e-07,2.721524e-07,2.715727e-07,2.711370e-07,2.707900e-07,2.700842e-07,2.699868e-07,2.691654e-07,2.689991e-07,2.683276e-07,2.678861e-07,2.674753e-07,2.667495e-07,2.666103e-07,2.657343e-07,2.655932e-07,2.648487e-07,2.644207e-07,2.639551e-07,2.632353e-07,2.630547e-07,2.621489e-07,2.620399e-07,2.612388e-07,2.608373e-07,2.603256e-07,2.596300e-07,2.594102e-07,2.584937e-07,2.584203e-07,2.575769e-07,2.572103e-07,2.566607e-07,2.560019e-07,2.557459e-07,2.548332e-07,2.547967e-07,2.539232e-07,2.535964e-07,2.530166e-07,2.524024e-07,2.521140e-07,2.512159e-07,2.500382e-07,2.488702e-07,2.477129e-07,2.465672e-07,2.454338e-07,2.443133e-07,2.432063e-07,2.421134e-07,2.410350e-07,2.399715e-07,2.389232e-07,2.378903e-07,2.368732e-07,2.358719e-07,2.348867e-07,2.339177e-07,2.329648e-07,2.320283e-07,2.311080e-07,2.302040e-07,2.293162e-07,2.284446e-07,2.275892e-07,2.267497e-07
0.000000e+00,2.895647e-12,1.801472e-11,2.284446e-10,1.070107e-09,2.083830e-09,8.037454e-09,8.419334e-09,2.263925e-08,2.849633e-08,4.811007e-08,7.013157e-08,8.803597e-08,1.401895e-07,1.455039e-07,2.235210e-07,2.456245e-07,3.249140e-07,3.927899e-07,4.519460e-07,5.858166e-07,6.056672e-07,7.854382e-07,8.243496e-07,9.891278e-07,1.103541e-06,1.213818e-06,1.416545e-06,1.456449e-06,1.714120e-06,1.756560e-06,1.984126e-06,2.117357e-06,2.263914e-06,2.493136e-06,2.551030e-06,2.843102e-06,2.878374e-06,3.137845e-06,3.267815e-06,3.433089e-06,3.656554e-06,3.726803e-06,4.017123e-06,4.040151e-06,4.302376e-06,4.414722e-06,4.581091e-06,4.777002e-06,4.852008e-06,5.114077e-06,5.124363e-06,5.366451e-06,5.454801e-06,5.608477e-06,5.766893e-06,5.839677e-06,6.059734e-06,6.268475e-06,6.332871e-06,6.465849e-06,6.586224e-06,6.651911e-06,6.820022e-06,6.826806e-06,6.990749e-06,7.034728e-06,7.144018e-06,7.230988e-06,7.286934e-06,7.409578e-06,7.419852e-06,7.543154e-06,7.571360e-06,7.657237e-06,7.717248e-06,7.762508e-06,7.848183e-06,7.859377e-06,7.948255e-06,7.965108e-06,8.029548e-06,8.068954e-06,8.103653e-06,8.160632e-06,8.170960e-06,8.231844e-06,8.241014e-06,8.286668e-06,8.310935e-06,8.335782e-06,8.371188e-06,8.379522e-06,8.418207e-06,8.422524e-06,8.452143e-06,8.465646e-06,8.481622e-06,8.501214e-06,8.506918e-06,8.528293e-06,8.529841e-06,8.545995e-06,8.552100e-06,8.560258e-06,8.568524e-06,8.571305e-06,8.579345e-06,8.579606e-06,8.584574e-06,8.585806e-06,8.587182e-06,8.587546e-06,8.587342e-06,8.585221e-06,8.580975e-06,8.579192e-06,8.574751e-06,8.569793e-06,8.566687e-06,8.557336e-06,8.556913e-06,8.545554e-06,8.542105e-06,8.532723e-06,8.524364e-06,8.518530e-06,8.504356e-06,8.503075e-06,8.486456e-06,8.482304e-06,8.468762e-06,8.458416e-06,8.450079e-06,8.432882e-06,8.430486e-06,8.410057e-06,8.405878e-06,8.388864e-06,8.377564e-06,8.366973e-06,8.348090e-06,8.344445e-06,8.321339e-06,8.317592e-06,8.297710e-06,8.286198e-06,8.273610e-06,8.254022e-06,8.249086e-06,8.224184e-06,8.221173e-06,8.198947e-06,8.187747e-06,8.173415e-06,8.153836e-06,8.147625e-06,8.121612e-06,8.119523e-06,8.095410e-06,8.084883e-06,8.069049e-06,8.049987e-06,8.042558e-06,8.015965e-06,8.014899e-06,7.989295e-06,7.979679e-06,7.962571e-06,7.944380e-06,7.935816e-06,7.909052e-06,7.873740e-06,7.838486e-06,7.803327e-06,7.768299e-06,7.733432e-06,7.698756e-06,7.664296e-06,7.630076e-06,7.596118e-06,7.562442e-06,7.529063e-06,7.495999e-06,7.463263e-06,7.430867e-06,7.398823e-06,7.367140e-06,7.335826e-06,7.304890e-06,7.274338e-06,7.244174e-06,7.214404e-06,7.185031e-06,7.156059e-06,7.127489e-06
0.000000e+00,1.667211e-14,1.472018e-13,3.733191e-12,3.160565e-11,8.380266e-11,6.811194e-10,7.343106e-10,3.845953e-09,5.737613e-09,1.455754e-08,2.893390e-08,4.406843e-08,1.056148e-07,1.133391e-07,2.574901e-07,3.087711e-07,5.306215e-07,7.678578e-07,1.010693e-06,1.688011e-06,1.804011e-06,3.048753e-06,3.366405e-06,4.916887e-06,6.201616e-06,7.613867e-06,1.069171e-05,1.137565e-05,1.646293e-05,1.741828e-05,2.315297e-05,2.701684e-05,3.172950e-05,4.013714e-05,4.247185e-05,5.564388e-05,5.739944e-05,7.148381e-05,7.935251e-05,9.019543e-05,1.064384e-04,1.119411e-04,1.368371e-04,1.389672e-04,1.649505e-04,1.771023e-04,1.962988e-04,2.208569e-04,2.308508e-04,2.685293e-04,2.700999e-04,3.092151e-04,3.245690e-04,3.527513e-04,3.838888e-04,3.989491e-04,4.475933e-04,4.984479e-04,5.151476e-04,5.512620e-04,5.859712e-04,6.057748e-04,6.594590e-04,6.617210e-04,7.188348e-04,7.350001e-04,7.768541e-04,8.119937e-04,8.355236e-04,8.898627e-04,8.945980e-04,9.538437e-04,9.680635e-04,1.013041e-03,1.046094e-03,1.071986e-03,1.123497e-03,1.130488e-03,1.188377e-03,1.199867e-03,1.245495e-03,1.274846e-03,1.301704e-03,1.348126e-03,1.356880e-03,1.410915e-03,1.419448e-03,1.463716e-03,1.488598e-03,1.515204e-03,1.555403e-03,1.565312e-03,1.613988e-03,1.619731e-03,1.661189e-03,1.681482e-03,1.706883e-03,1.740589e-03,1.751049e-03,1.793672e-03,1.797015e-03,1.834746e-03,1.850742e-03,1.874273e-03,1.901777e-03,1.912259e-03,1.948716e-03,1.950143e-03,1.983663e-03,1.995878e-03,2.017120e-03,2.039032e-03,2.049111e-03,2.079665e-03,2.108811e-03,2.117846e-03,2.136582e-03,2.153649e-03,2.163011e-03,2.187154e-03,2.188134e-03,2.211987e-03,2.218443e-03,2.234606e-03,2.247600e-03,2.256028e-03,2.274712e-03,2.276291e-03,2.295432e-03,2.299863e-03,2.313489e-03,2.323141e-03,2.330498e-03,2.344629e-03,2.346497e-03,2.361521e-03,2.364412e-03,2.375607e-03,2.382572e-03,2.388789e-03,2.399188e-03,2.401101e-03,2.412578e-03,2.414339e-03,2.423253e-03,2.428100e-03,2.433156e-03,2.440544e-03,2.442319e-03,2.450774e-03,2.451742e-03,2.458548e-03,2.461760e-03,2.465670e-03,2.470665e-03,2.472169e-03,2.478071e-03,2.478518e-03,2.483402e-03,2.485380e-03,2.488187e-03,2.491307e-03,2.492450e-03,2.496215e-03,2.496356e-03,2.499505e-03,2.500577e-03,2.502341e-03,2.504021e-03,2.504744e-03,2.506735e-03,2.508765e-03,2.510153e-03,2.510942e-03,2.511168e-03,2.510871e-03,2.510084e-03,2.508842e-03,2.507175e-03,2.505114e-03,2.502687e-03,2.499921e-03,2.496841e-03,2.493472e-03,2.489836e-03,2.485955e-03,2.481849e-03,2.477537e-03,2.473038e-03,2.468369e-03,2.463545e-03,2.458583e-03,2.453495e-03,2.448297e-03,2.442999e-03
0.000000e+00,2.587694e-12,5.886389e-12,1.994076e-11,4.471574e-11,6.471068e-11,1.437412e-10,1.479391e-10,2.799835e-10,3.271191e-10,4.713232e-10,6.191187e-10,7.328438e-10,1.044180e-09,1.074659e-09,1.502257e-09,1.617424e-09,2.011505e-09,2.327406e-09,2.588501e-09,3.138216e-09,3.215541e-09,3.876523e-09,4.011603e-09,4.558528e-09,4.917992e-09,5.251294e-09,5.835300e-09,5.946351e-09,6.636416e-09,6.745923e-09,7.315076e-09,7.635094e-09,7.976675e-09,8.490337e-09,8.616290e-09,9.229757e-09,9.301446e-09,9.813679e-09,1.006054e-08,1.036544e-08,1.076211e-08,1.088320e-08,1.136580e-08,1.140287e-08,1.181272e-08,1.198150e-08,1.222403e-08,1.249840e-08,1.260026e-08,1.294233e-08,1.295531e-08,1.325148e-08,1.335500e-08,1.352921e-08,1.370093e-08,1.377713e-08,1.399701e-08,1.419063e-08,1.424735e-08,1.435982e-08,1.445610e-08,1.450636e-08,1.462734e-08,1.463198e-08,1.473838e-08,1.476494e-08,1.482713e-08,1.487256e-08,1.489977e-08,1.495358e-08,1.495771e-08,1.500225e-08,1.501108e-08,1.503462e-08,1.504785e-08,1.505594e-08,1.506639e-08,1.506726e-08,1.506951e-08,1.506896e-08,1.506358e-08,1.505753e-08,1.505026e-08,1.503388e-08,1.503026e-08,1.500426e-08,1.499958e-08,1.497285e-08,1.495601e-08,1.493658e-08,1.490440e-08,1.489594e-08,1.485139e-08,1.484580e-08,1.480334e-08,1.478118e-08,1.475216e-08,1.471137e-08,1.469818e-08,1.464173e-08,1.463712e-08,1.458308e-08,1.455906e-08,1.452248e-08,1.447778e-08,1.446017e-08,1.439636e-08,1.439378e-08,1.433125e-08,1.430752e-08,1.426500e-08,1.421940e-08,1.419779e-08,1.412976e-08,1.406105e-08,1.403893e-08,1.399177e-08,1.394718e-08,1.392204e-08,1.385477e-08,1.385196e-08,1.378163e-08,1.376191e-08,1.371114e-08,1.366879e-08,1.364055e-08,1.357561e-08,1.356996e-08,1.349941e-08,1.348250e-08,1.342898e-08,1.338961e-08,1.335872e-08,1.329707e-08,1.328868e-08,1.321890e-08,1.320499e-08,1.314944e-08,1.311345e-08,1.308032e-08,1.302256e-08,1.301159e-08,1.294327e-08,1.293238e-08,1.287540e-08,1.284299e-08,1.280800e-08,1.275444e-08,1.274110e-08,1.267472e-08,1.266679e-08,1.260888e-08,1.258009e-08,1.254360e-08,1.249437e-08,1.247889e-08,1.241477e-08,1.240967e-08,1.235125e-08,1.232602e-08,1.228835e-08,1.224344e-08,1.222606e-08,1.216441e-08,1.216196e-08,1.210340e-08,1.208160e-08,1.204304e-08,1.200236e-08,1.198333e-08,1.192427e-08,1.184733e-08,1.177155e-08,1.169692e-08,1.162346e-08,1.155117e-08,1.148003e-08,1.141006e-08,1.134124e-08,1.127356e-08,1.120703e-08,1.114164e-08,1.107736e-08,1.101421e-08,1.095216e-08,1.089120e-08,1.083133e-08,1.077253e-08,1.071478e-08,1.065808e-08,1.060241e-08,1.054776e-08,1.049412e-08,1.044146e-08,1.038978e-08
0.000000e+00,2.260429e-11,1.015994e-10,7.555447e-10,2.486543e-09,4.157482e-09,1.192919e-08,1.237578e-08,2.740181e-08,3.308914e-08,5.114161e-08,7.036143e-08,8.550765e-08,1.281948e-07,1.324602e-07,1.938855e-07,2.109541e-07,2.711639e-07,3.215175e-07,3.645510e-07,4.592273e-07,4.729724e-07,5.945225e-07,6.202228e-07,7.271178e-07,7.997839e-07,8.688304e-07,9.936465e-07,1.017933e-06,1.172848e-06,1.198074e-06,1.332094e-06,1.409653e-06,1.494258e-06,1.625180e-06,1.657989e-06,1.822009e-06,1.841652e-06,1.985121e-06,2.056316e-06,2.146228e-06,2.266718e-06,2.304345e-06,2.458607e-06,2.470759e-06,2.608275e-06,2.666714e-06,2.752734e-06,2.853240e-06,2.891495e-06,3.024180e-06,3.029357e-06,3.150521e-06,3.194415e-06,3.270346e-06,3.348058e-06,3.383568e-06,3.490175e-06,3.590216e-06,3.620857e-06,3.683793e-06,3.740358e-06,3.771055e-06,3.849055e-06,3.852185e-06,3.927391e-06,3.947418e-06,3.996896e-06,4.035958e-06,4.060930e-06,4.115217e-06,4.119735e-06,4.173564e-06,4.185771e-06,4.222669e-06,4.248197e-06,4.267297e-06,4.303063e-06,4.307695e-06,4.344110e-06,4.350935e-06,4.376775e-06,4.392355e-06,4.405918e-06,4.427837e-06,4.431758e-06,4.454510e-06,4.457877e-06,4.474376e-06,4.482947e-06,4.491564e-06,4.503521e-06,4.506272e-06,4.518664e-06,4.520002e-06,4.528890e-06,4.532747e-06,4.537113e-06,4.542104e-06,4.543464e-06,4.548076e-06,4.548374e-06,4.551078e-06,4.551854e-06,4.552583e-06,4.552801e-06,4.552700e-06,4.551537e-06,4.551465e-06,4.549187e-06,4.548068e-06,4.545741e-06,4.542815e-06,4.541283e-06,4.535895e-06,4.529650e-06,4.527482e-06,4.522618e-06,4.517734e-06,4.514863e-06,4.506796e-06,4.506448e-06,4.497428e-06,4.494802e-06,4.487858e-06,4.481872e-06,4.477786e-06,4.468118e-06,4.467260e-06,4.456323e-06,4.453641e-06,4.445015e-06,4.438536e-06,4.433375e-06,4.422885e-06,4.421438e-06,4.409237e-06,4.406768e-06,4.396802e-06,4.390254e-06,4.384163e-06,4.373408e-06,4.371346e-06,4.358376e-06,4.356288e-06,4.345276e-06,4.338948e-06,4.332068e-06,4.321437e-06,4.318772e-06,4.305407e-06,4.303799e-06,4.291991e-06,4.286075e-06,4.278539e-06,4.268301e-06,4.265066e-06,4.251588e-06,4.250510e-06,4.238116e-06,4.232732e-06,4.224663e-06,4.214995e-06,4.211240e-06,4.197857e-06,4.197322e-06,4.184523e-06,4.179737e-06,4.171248e-06,4.162259e-06,4.158040e-06,4.144905e-06,4.127693e-06,4.110636e-06,4.093747e-06,4.077037e-06,4.060517e-06,4.044196e-06,4.028080e-06,4.012178e-06,3.996494e-06,3.981034e-06,3.965801e-06,3.950800e-06,3.936032e-06,3.921501e-06,3.907207e-06,3.893152e-06,3.879337e-06,3.865762e-06,3.852426e-06,3.839330e-06,3.826472e-06,3.813852e-06,3.801467e-06,3.789317e-06
0.000000e+00,6.492550e-11,2.186281e-10,1.129472e-09,3.100545e-09,4.849273e-09,1.242992e-08,1.285231e-08,2.673606e-08,3.189673e-08,4.812197e-08,6.525461e-08,7.870166e-08,1.164765e-07,1.202457e-07,1.745171e-07,1.896131e-07,2.430099e-07,2.879205e-07,3.265399e-07,4.123975e-07,4.249700e-07,5.373634e-07,5.614042e-07,6.624066e-07,7.319747e-07,7.987414e-07,9.210491e-07,9.450870e-07,1.100248e-06,1.125815e-06,1.263087e-06,1.343652e-06,1.432502e-06,1.572043e-06,1.607414e-06,1.786775e-06,1.808548e-06,1.969567e-06,2.050830e-06,2.154817e-06,2.296682e-06,2.341604e-06,2.529073e-06,2.544076e-06,2.716437e-06,2.791191e-06,2.902982e-06,3.036426e-06,3.088070e-06,3.271137e-06,3.278411e-06,3.451693e-06,3.515995e-06,3.629314e-06,3.748235e-06,3.803642e-06,3.974376e-06,4.141269e-06,4.193830e-06,4.304123e-06,4.406155e-06,4.462780e-06,4.611033e-06,4.617122e-06,4.767063e-06,4.808249e-06,4.912543e-06,4.997676e-06,5.053530e-06,5.179258e-06,5.190011e-06,5.321991e-06,5.352998e-06,5.449490e-06,5.518945e-06,5.572543e-06,5.677186e-06,5.691193e-06,5.805495e-06,5.827838e-06,5.915508e-06,5.971043e-06,6.021301e-06,6.106958e-06,6.122945e-06,6.220518e-06,6.235757e-06,6.314099e-06,6.357624e-06,6.403770e-06,6.472749e-06,6.489616e-06,6.571724e-06,6.581329e-06,6.650179e-06,6.683564e-06,6.725069e-06,6.779656e-06,6.796483e-06,6.864508e-06,6.869806e-06,6.929232e-06,6.954217e-06,6.990743e-06,7.033089e-06,7.049126e-06,7.104469e-06,7.106621e-06,7.156856e-06,7.175008e-06,7.206371e-06,7.238443e-06,7.253097e-06,7.297116e-06,7.338509e-06,7.351213e-06,7.377354e-06,7.400915e-06,7.413730e-06,7.446399e-06,7.447714e-06,7.479379e-06,7.487840e-06,7.508801e-06,7.525406e-06,7.536050e-06,7.559262e-06,7.561198e-06,7.584314e-06,7.589567e-06,7.605466e-06,7.616477e-06,7.624719e-06,7.640142e-06,7.642138e-06,7.657787e-06,7.660710e-06,7.671727e-06,7.678320e-06,7.684018e-06,7.693112e-06,7.694719e-06,7.703888e-06,7.705216e-06,7.711579e-06,7.714762e-06,7.717848e-06,7.721874e-06,7.722747e-06,7.726328e-06,7.726672e-06,7.728641e-06,7.729270e-06,7.729736e-06,7.729781e-06,7.729658e-06,7.728456e-06,7.728312e-06,7.726173e-06,7.724967e-06,7.722854e-06,7.719845e-06,7.718540e-06,7.713273e-06,7.713043e-06,7.707094e-06,7.704653e-06,7.700040e-06,7.694763e-06,7.692150e-06,7.683460e-06,7.670825e-06,7.656937e-06,7.641871e-06,7.625702e-06,7.608497e-06,7.590323e-06,7.571246e-06,7.551326e-06,7.530621e-06,7.509188e-06,7.487081e-06,7.464351e-06,7.441047e-06,7.417215e-06,7.392902e-06,7.368149e-06,7.342997e-06,7.317485e-06,7.291650e-06,7.265528e-06,7.239151e-06,7.212553e-06,7.185763e-06,7.158810e-06
0.000000e+00,1.511302e-12,1.110037e-11,1.931599e-10,1.167836e-09,2.581590e-09,1.325703e-08,1.403271e-08,4.741899e-08,6.299620e-08,1.201622e-07,1.908773e-07,2.520220e-07,4.431340e-07,4.634583e-07,7.747691e-07,8.665495e-07,1.205610e-06,1.506012e-06,1.774304e-06,2.401218e-06,2.496368e-06,3.382136e-06,3.579323e-06,4.434256e-06,5.045369e-06,5.646475e-06,6.778200e-06,7.004517e-06,8.488612e-06,8.736283e-06,1.007636e-05,1.086858e-05,1.174499e-05,1.312348e-05,1.347278e-05,1.523965e-05,1.545342e-05,1.702740e-05,1.781635e-05,1.881969e-05,2.017586e-05,2.060199e-05,2.236152e-05,2.250095e-05,2.408720e-05,2.476584e-05,2.576964e-05,2.694975e-05,2.740098e-05,2.897491e-05,2.903660e-05,3.048648e-05,3.101465e-05,3.193205e-05,3.287601e-05,3.330910e-05,3.461613e-05,3.585253e-05,3.623326e-05,3.701840e-05,3.772787e-05,3.811449e-05,3.910224e-05,3.914204e-05,4.010270e-05,4.035996e-05,4.099843e-05,4.150561e-05,4.183143e-05,4.254442e-05,4.260407e-05,4.331884e-05,4.348206e-05,4.397829e-05,4.432438e-05,4.458500e-05,4.507732e-05,4.514154e-05,4.565048e-05,4.574678e-05,4.611432e-05,4.633850e-05,4.653550e-05,4.685806e-05,4.691639e-05,4.725931e-05,4.731080e-05,4.756644e-05,4.770178e-05,4.783992e-05,4.803584e-05,4.808177e-05,4.829393e-05,4.831748e-05,4.847825e-05,4.855099e-05,4.863649e-05,4.874033e-05,4.877031e-05,4.888130e-05,4.888924e-05,4.897096e-05,4.900118e-05,4.904072e-05,4.907938e-05,4.909191e-05,4.912582e-05,4.912684e-05,4.914364e-05,4.914634e-05,4.914651e-05,4.914046e-05,4.913549e-05,4.911159e-05,4.907577e-05,4.906194e-05,4.902892e-05,4.899354e-05,4.897188e-05,4.890828e-05,4.890545e-05,4.883038e-05,4.880790e-05,4.874735e-05,4.869400e-05,4.865704e-05,4.856806e-05,4.856007e-05,4.845701e-05,4.843143e-05,4.834841e-05,4.828537e-05,4.823478e-05,4.813102e-05,4.811662e-05,4.799436e-05,4.796945e-05,4.786842e-05,4.780162e-05,4.773922e-05,4.762842e-05,4.760710e-05,4.747243e-05,4.745067e-05,4.733553e-05,4.726912e-05,4.719670e-05,4.708444e-05,4.705623e-05,4.691438e-05,4.689727e-05,4.677139e-05,4.670817e-05,4.662750e-05,4.651767e-05,4.648292e-05,4.633785e-05,4.632623e-05,4.619248e-05,4.613428e-05,4.604698e-05,4.594223e-05,4.590151e-05,4.575622e-05,4.575042e-05,4.561125e-05,4.555917e-05,4.546673e-05,4.536877e-05,4.532278e-05,4.517949e-05,4.499156e-05,4.480520e-05,4.462058e-05,4.443788e-05,4.425724e-05,4.407880e-05,4.390267e-05,4.372896e-05,4.355774e-05,4.338910e-05,4.322310e-05,4.305978e-05,4.289920e-05,4.274140e-05,4.258639e-05,4.243419e-05,4.228483e-05,4.213830e-05,4.199460e-05,4.185374e-05,4.171570e-05,4.158047e-05,4.144804e-05,4.131838e-05
0.000000e+00,3.584757e-11,1.395159e-10,8.559103e-10,2.550112e-09,4.109048e-09,1.107272e-08,1.146576e-08,2.449685e-08,2.936720e-08,4.469428e-08,6.085002e-08,7.348869e-08,1.087544e-07,1.122537e-07,1.622880e-07,1.761072e-07,2.247652e-07,2.655567e-07,3.006418e-07,3.789862e-07,3.905190e-07,4.944792e-07,5.169234e-07,6.119574e-07,6.780069e-07,7.417360e-07,8.590101e-07,8.821005e-07,1.031103e-06,1.055614e-06,1.186800e-06,1.263377e-06,1.347395e-06,1.478325e-06,1.511302e-06,1.677138e-06,1.697109e-06,1.843711e-06,1.916967e-06,2.009995e-06,2.135630e-06,2.175108e-06,2.338298e-06,2.351250e-06,2.498928e-06,2.562341e-06,2.656466e-06,2.767730e-06,2.810475e-06,2.960602e-06,2.966522e-06,3.106567e-06,3.158054e-06,3.248160e-06,3.341864e-06,3.385225e-06,3.517658e-06,3.645398e-06,3.685278e-06,3.768418e-06,3.844676e-06,3.886725e-06,3.995894e-06,4.000350e-06,4.109343e-06,4.139041e-06,4.213776e-06,4.274279e-06,4.313729e-06,4.401811e-06,4.409298e-06,4.500584e-06,4.521868e-06,4.587698e-06,4.634701e-06,4.670752e-06,4.740574e-06,4.749863e-06,4.825152e-06,4.839761e-06,4.896738e-06,4.932540e-06,4.964742e-06,5.019186e-06,5.029285e-06,5.090486e-06,5.099976e-06,5.148464e-06,5.175182e-06,5.203333e-06,5.245069e-06,5.255210e-06,5.304206e-06,5.309897e-06,5.350430e-06,5.369919e-06,5.393990e-06,5.425379e-06,5.434991e-06,5.473534e-06,5.476514e-06,5.509717e-06,5.523552e-06,5.543638e-06,5.566712e-06,5.575389e-06,5.605061e-06,5.606206e-06,5.632741e-06,5.642235e-06,5.658516e-06,5.674995e-06,5.682465e-06,5.704670e-06,5.725207e-06,5.731439e-06,5.744150e-06,5.755470e-06,5.761571e-06,5.776927e-06,5.777539e-06,5.792120e-06,5.795963e-06,5.805380e-06,5.812727e-06,5.817379e-06,5.827357e-06,5.828178e-06,5.837834e-06,5.839988e-06,5.846403e-06,5.850747e-06,5.853938e-06,5.859753e-06,5.860489e-06,5.866107e-06,5.867123e-06,5.870839e-06,5.872964e-06,5.874730e-06,5.877380e-06,5.877824e-06,5.880163e-06,5.880469e-06,5.881787e-06,5.882324e-06,5.882735e-06,5.883032e-06,5.883044e-06,5.882750e-06,5.882676e-06,5.881887e-06,5.881336e-06,5.880488e-06,5.879085e-06,5.878583e-06,5.876204e-06,5.875994e-06,5.873378e-06,5.872129e-06,5.870134e-06,5.867553e-06,5.866497e-06,5.862493e-06,5.862325e-06,5.858146e-06,5.856501e-06,5.853479e-06,5.850134e-06,5.848514e-06,5.843272e-06,5.835962e-06,5.828248e-06,5.820170e-06,5.811769e-06,5.803080e-06,5.794136e-06,5.784970e-06,5.775611e-06,5.766088e-06,5.756426e-06,5.746650e-06,5.736782e-06,5.726844e-06,5.716854e-06,5.706832e-06,5.696794e-06,5.686756e-06,5.676732e-06,5.666736e-06,5.656781e-06,5.646877e-06,5.637035e-06,5.627265e-06,5.617576e-06
0.000000e+00,5.781679e-12,4.095768e-11,6.639098e-10,3.781936e-09,8.109112e-09,3.877733e-08,4.093701e-08,1.303843e-07,1.707849e-07,3.155613e-07,4.904202e-07,6.395207e-07,1.099202e-06,1.147745e-06,1.887070e-06,2.103936e-06,2.901192e-06,3.601470e-06,4.220941e-06,5.642675e-06,5.855096e-06,7.789933e-06,8.210629e-06,9.997033e-06,1.124104e-05,1.244227e-05,1.465514e-05,1.509132e-05,1.791155e-05,1.837659e-05,2.087198e-05,2.233398e-05,2.394276e-05,2.645939e-05,2.709499e-05,3.030070e-05,3.068770e-05,3.353319e-05,3.495745e-05,3.676741e-05,3.921230e-05,3.998030e-05,4.315113e-05,4.340241e-05,4.626167e-05,4.748541e-05,4.929625e-05,5.142667e-05,5.224177e-05,5.508757e-05,5.519921e-05,5.782528e-05,5.878312e-05,6.044859e-05,6.216475e-05,6.295305e-05,6.533584e-05,6.759556e-05,6.829261e-05,6.973199e-05,7.103492e-05,7.174591e-05,7.356550e-05,7.363893e-05,7.541332e-05,7.588926e-05,7.707187e-05,7.801272e-05,7.861779e-05,7.994358e-05,8.005460e-05,8.138603e-05,8.169032e-05,8.261597e-05,8.326190e-05,8.374843e-05,8.466754e-05,8.478742e-05,8.573699e-05,8.591653e-05,8.660115e-05,8.701807e-05,8.738385e-05,8.798123e-05,8.808900e-05,8.872041e-05,8.881484e-05,8.928177e-05,8.952741e-05,8.977670e-05,9.012715e-05,9.020867e-05,9.058107e-05,9.062191e-05,9.089716e-05,9.101920e-05,9.116005e-05,9.132614e-05,9.137277e-05,9.153821e-05,9.154948e-05,9.165914e-05,9.169565e-05,9.173822e-05,9.177068e-05,9.177800e-05,9.178089e-05,9.178028e-05,9.174924e-05,9.172981e-05,9.168525e-05,9.162434e-05,9.159103e-05,9.146860e-05,9.131987e-05,9.126702e-05,9.114667e-05,9.102379e-05,9.095074e-05,9.074279e-05,9.073372e-05,9.049718e-05,9.042766e-05,9.024261e-05,9.008179e-05,8.997141e-05,8.970837e-05,8.968492e-05,8.938441e-05,8.931033e-05,8.907107e-05,8.889043e-05,8.874605e-05,8.845121e-05,8.841041e-05,8.806517e-05,8.799505e-05,8.771128e-05,8.752414e-05,8.734965e-05,8.704053e-05,8.698114e-05,8.660654e-05,8.654609e-05,8.622661e-05,8.604257e-05,8.584208e-05,8.553158e-05,8.545359e-05,8.506180e-05,8.501459e-05,8.466729e-05,8.449299e-05,8.427062e-05,8.396802e-05,8.387230e-05,8.347283e-05,8.344084e-05,8.307266e-05,8.291250e-05,8.267223e-05,8.238397e-05,8.227192e-05,8.187212e-05,8.185614e-05,8.147316e-05,8.132981e-05,8.107538e-05,8.080571e-05,8.067906e-05,8.028450e-05,7.976679e-05,7.925312e-05,7.874398e-05,7.823980e-05,7.774098e-05,7.724786e-05,7.676074e-05,7.627990e-05,7.580556e-05,7.533794e-05,7.487720e-05,7.442349e-05,7.397692e-05,7.353760e-05,7.310560e-05,7.268098e-05,7.226377e-05,7.185400e-05,7.145168e-05,7.105679e-05,7.066932e-05,7.028925e-05,6.991652e-05,6.955110e-05
0.000000e+00,9.961514e-11,2.722200e-10,1.120619e-09,2.760945e-09,4.144327e-09,9.862090e-09,1.017329e-08,2.020159e-08,2.386844e-08,3.529450e-08,4.726920e-08,5.663398e-08,8.282009e-08,8.542122e-08,1.224873e-07,1.326324e-07,1.677987e-07,1.964677e-07,2.204805e-07,2.719969e-07,2.793503e-07,3.433202e-07,3.566438e-07,4.114875e-07,4.483361e-07,4.830886e-07,5.453842e-07,5.574378e-07,6.338878e-07,6.462725e-07,7.118094e-07,7.495530e-07,7.905863e-07,8.538194e-07,8.696181e-07,9.483283e-07,9.577257e-07,1.026173e-06,1.060019e-06,1.102647e-06,1.159569e-06,1.177296e-06,1.249717e-06,1.255404e-06,1.319565e-06,1.346717e-06,1.386551e-06,1.432877e-06,1.450444e-06,1.511069e-06,1.513424e-06,1.568300e-06,1.588055e-06,1.622058e-06,1.656610e-06,1.672308e-06,1.719050e-06,1.762315e-06,1.775435e-06,1.802164e-06,1.825912e-06,1.838679e-06,1.870690e-06,1.871960e-06,1.902122e-06,1.910024e-06,1.929287e-06,1.944201e-06,1.953585e-06,1.973522e-06,1.975150e-06,1.994119e-06,1.998300e-06,2.010628e-06,2.018849e-06,2.024814e-06,2.035485e-06,2.036815e-06,2.046765e-06,2.048521e-06,2.054796e-06,2.058254e-06,2.061032e-06,2.064973e-06,2.065596e-06,2.068607e-06,2.068953e-06,2.070179e-06,2.070455e-06,2.070426e-06,2.069750e-06,2.069466e-06,2.067392e-06,2.067072e-06,2.064287e-06,2.062618e-06,2.060239e-06,2.056578e-06,2.055323e-06,2.049611e-06,2.049122e-06,2.043173e-06,2.040410e-06,2.036074e-06,2.030586e-06,2.028373e-06,2.020125e-06,2.019784e-06,2.011384e-06,2.008126e-06,2.002200e-06,1.995724e-06,1.992617e-06,1.982680e-06,1.972427e-06,1.969085e-06,1.961895e-06,1.955025e-06,1.951119e-06,1.940575e-06,1.940131e-06,1.928961e-06,1.925804e-06,1.917635e-06,1.910777e-06,1.906181e-06,1.895549e-06,1.894620e-06,1.882976e-06,1.880171e-06,1.871268e-06,1.864691e-06,1.859515e-06,1.849148e-06,1.847734e-06,1.835940e-06,1.833582e-06,1.824150e-06,1.818024e-06,1.812375e-06,1.802505e-06,1.800628e-06,1.788921e-06,1.787052e-06,1.777263e-06,1.771688e-06,1.765665e-06,1.756434e-06,1.754134e-06,1.742678e-06,1.741309e-06,1.731305e-06,1.726329e-06,1.720021e-06,1.711508e-06,1.708831e-06,1.697741e-06,1.696859e-06,1.686756e-06,1.682392e-06,1.675879e-06,1.668117e-06,1.665115e-06,1.654466e-06,1.654042e-06,1.643935e-06,1.640173e-06,1.633525e-06,1.626516e-06,1.623238e-06,1.613075e-06,1.599854e-06,1.586855e-06,1.574080e-06,1.561531e-06,1.549209e-06,1.537113e-06,1.525242e-06,1.513598e-06,1.502177e-06,1.490978e-06,1.480001e-06,1.469241e-06,1.458699e-06,1.448369e-06,1.438251e-06,1.428341e-06,1.418636e-06,1.409133e-06,1.399829e-06,1.390720e-06,1.381803e-06,1.373075e-06,1.364532e-06,1.356171e-06
0.000000e+00,4.637791e-11,2.290930e-10,1.966591e-09,7.058332e-09,1.223067e-08,3.756841e-08,3.906254e-08,9.064108e-08,1.106392e-07,1.752798e-07,2.455976e-07,3.018762e-07,4.637890e-07,4.802026e-07,7.206191e-07,7.886617e-07,1.032550e-06,1.240785e-06,1.421533e-06,1.826971e-06,1.886606e-06,2.420703e-06,2.534934e-06,3.013751e-06,3.342011e-06,3.655565e-06,4.225734e-06,4.337120e-06,5.050660e-06,5.167329e-06,5.789376e-06,6.151079e-06,6.547127e-06,7.163211e-06,7.318245e-06,8.097442e-06,8.191251e-06,8.879787e-06,9.223826e-06,9.660716e-06,1.025069e-05,1.043606e-05,1.120205e-05,1.126282e-05,1.195537e-05,1.225249e-05,1.269312e-05,1.321325e-05,1.341282e-05,1.411242e-05,1.413996e-05,1.479022e-05,1.502864e-05,1.544493e-05,1.587641e-05,1.607553e-05,1.668130e-05,1.726181e-05,1.744220e-05,1.781682e-05,1.815861e-05,1.834628e-05,1.883066e-05,1.885034e-05,1.932924e-05,1.945887e-05,1.978337e-05,2.004416e-05,2.021322e-05,2.058768e-05,2.061931e-05,2.100224e-05,2.109077e-05,2.136266e-05,2.155492e-05,2.170125e-05,2.198170e-05,2.201870e-05,2.231573e-05,2.237275e-05,2.259306e-05,2.272972e-05,2.285141e-05,2.305429e-05,2.309151e-05,2.331408e-05,2.334811e-05,2.351981e-05,2.361279e-05,2.370941e-05,2.384993e-05,2.388356e-05,2.404291e-05,2.406107e-05,2.418813e-05,2.424771e-05,2.431984e-05,2.441128e-05,2.443865e-05,2.454516e-05,2.455317e-05,2.463995e-05,2.467471e-05,2.472357e-05,2.477717e-05,2.479657e-05,2.485945e-05,2.486177e-05,2.491274e-05,2.492966e-05,2.495690e-05,2.498196e-05,2.499241e-05,2.501971e-05,2.503924e-05,2.504392e-05,2.505141e-05,2.505552e-05,2.505661e-05,2.505541e-05,2.505523e-05,2.504764e-05,2.504445e-05,2.503419e-05,2.502345e-05,2.501521e-05,2.499315e-05,2.499103e-05,2.496196e-05,2.495429e-05,2.492830e-05,2.490754e-05,2.489032e-05,2.485354e-05,2.484830e-05,2.480249e-05,2.479290e-05,2.475315e-05,2.472618e-05,2.470052e-05,2.465392e-05,2.464481e-05,2.458625e-05,2.457662e-05,2.452503e-05,2.449476e-05,2.446136e-05,2.440879e-05,2.439543e-05,2.432740e-05,2.431910e-05,2.425746e-05,2.422611e-05,2.418575e-05,2.413018e-05,2.411245e-05,2.403769e-05,2.403165e-05,2.396161e-05,2.393083e-05,2.388434e-05,2.382804e-05,2.380601e-05,2.372674e-05,2.372356e-05,2.364665e-05,2.361763e-05,2.356583e-05,2.351052e-05,2.348440e-05,2.340244e-05,2.329361e-05,2.318422e-05,2.307446e-05,2.296450e-05,2.285449e-05,2.274458e-05,2.263490e-05,2.252557e-05,2.241672e-05,2.230844e-05,2.220084e-05,2.209398e-05,2.198797e-05,2.188287e-05,2.177874e-05,2.167565e-05,2.157366e-05,2.147279e-05,2.137312e-05,2.127466e-05,2.117745e-05,2.108153e-05,2.098691e-05,2.089363e-05
0.000000e+00,1.677134e-11,3.872156e-11,1.340513e-10,3.054070e-10,4.455674e-10,1.010012e-09,1.040362e-09,2.009121e-09,2.360515e-09,3.450129e-09,4.586321e-09,5.472240e-09,7.943982e-09,8.189462e-09,1.169812e-08,1.266389e-08,1.603479e-08,1.880812e-08,2.114461e-08,2.618038e-08,2.690018e-08,3.315339e-08,3.445166e-08,3.977175e-08,4.332083e-08,4.664714e-08,5.255638e-08,5.369170e-08,6.083168e-08,6.197853e-08,6.800282e-08,7.143900e-08,7.514789e-08,8.081047e-08,8.221552e-08,8.915969e-08,8.998271e-08,9.593984e-08,9.886189e-08,1.025208e-07,1.073707e-07,1.088730e-07,1.149722e-07,1.154486e-07,1.207993e-07,1.230506e-07,1.263401e-07,1.301466e-07,1.315849e-07,1.365279e-07,1.367193e-07,1.411672e-07,1.427631e-07,1.455038e-07,1.482815e-07,1.495413e-07,1.532848e-07,1.567418e-07,1.577890e-07,1.599210e-07,1.618144e-07,1.628321e-07,1.653841e-07,1.654854e-07,1.678921e-07,1.685233e-07,1.700635e-07,1.712580e-07,1.720108e-07,1.736143e-07,1.737455e-07,1.752790e-07,1.756183e-07,1.766223e-07,1.772956e-07,1.777864e-07,1.786708e-07,1.787817e-07,1.796186e-07,1.797678e-07,1.803068e-07,1.806091e-07,1.808558e-07,1.812161e-07,1.812747e-07,1.815721e-07,1.816089e-07,1.817561e-07,1.818065e-07,1.818347e-07,1.818267e-07,1.818153e-07,1.817048e-07,1.816858e-07,1.815101e-07,1.813993e-07,1.812373e-07,1.809816e-07,1.808926e-07,1.804814e-07,1.804458e-07,1.800091e-07,1.798042e-07,1.794808e-07,1.790683e-07,1.789010e-07,1.782743e-07,1.782483e-07,1.776048e-07,1.773541e-07,1.768964e-07,1.763944e-07,1.761528e-07,1.753775e-07,1.745736e-07,1.743108e-07,1.737442e-07,1.732013e-07,1.728921e-07,1.720552e-07,1.720200e-07,1.711303e-07,1.708784e-07,1.702254e-07,1.696760e-07,1.693073e-07,1.684529e-07,1.683782e-07,1.674399e-07,1.672135e-07,1.664941e-07,1.659617e-07,1.655424e-07,1.647013e-07,1.645864e-07,1.636274e-07,1.634354e-07,1.626668e-07,1.621671e-07,1.617058e-07,1.608990e-07,1.607454e-07,1.597867e-07,1.596336e-07,1.588307e-07,1.583730e-07,1.578781e-07,1.571191e-07,1.569299e-07,1.559867e-07,1.558739e-07,1.550492e-07,1.546387e-07,1.541181e-07,1.534150e-07,1.531938e-07,1.522770e-07,1.522040e-07,1.513680e-07,1.510068e-07,1.504674e-07,1.498242e-07,1.495754e-07,1.486924e-07,1.486573e-07,1.478187e-07,1.475065e-07,1.469546e-07,1.463726e-07,1.461003e-07,1.452560e-07,1.441572e-07,1.430765e-07,1.420143e-07,1.409705e-07,1.399456e-07,1.389395e-07,1.379523e-07,1.369839e-07,1.360345e-07,1.351038e-07,1.341918e-07,1.332985e-07,1.324235e-07,1.315668e-07,1.307281e-07,1.299073e-07,1.291040e-07,1.283182e-07,1.275495e-07,1.267976e-07,1.260624e-07,1.253435e-07,1.246406e-07,1.239535e-07
0.000000e+00,5.513785e-12,1.267093e-11,4.376641e-11,9.983238e-11,1.458220e-10,3.317710e-10,3.417936e-10,6.624235e-10,7.789349e-10,1.140390e-09,1.516888e-09,1.809642e-09,2.619589e-09,2.699317e-09,3.821991e-09,4.125441e-09,5.168358e-09,6.011969e-09,6.716374e-09,8.226388e-09,8.442113e-09,1.032356e-08,1.071672e-08,1.234033e-08,1.343601e-08,1.447280e-08,1.633930e-08,1.670158e-08,1.900755e-08,1.938241e-08,2.137202e-08,2.252245e-08,2.377710e-08,2.571910e-08,2.620603e-08,2.864334e-08,2.893570e-08,3.107516e-08,3.214021e-08,3.348923e-08,3.530541e-08,3.587485e-08,3.822291e-08,3.840890e-08,4.052582e-08,4.143289e-08,4.277730e-08,4.436367e-08,4.497234e-08,4.710700e-08,4.719108e-08,4.917827e-08,4.990796e-08,5.118399e-08,5.250969e-08,5.312275e-08,5.499368e-08,5.679646e-08,5.735895e-08,5.853114e-08,5.960578e-08,6.019815e-08,6.173544e-08,6.179816e-08,6.333211e-08,6.374992e-08,6.480110e-08,6.565182e-08,6.620637e-08,6.744412e-08,6.754929e-08,6.883132e-08,6.913011e-08,7.005397e-08,7.071331e-08,7.121882e-08,7.219734e-08,7.232746e-08,7.338152e-08,7.358593e-08,7.438263e-08,7.488283e-08,7.533243e-08,7.609179e-08,7.623254e-08,7.708459e-08,7.721656e-08,7.789017e-08,7.826081e-08,7.865087e-08,7.922817e-08,7.936825e-08,8.004384e-08,8.012218e-08,8.067915e-08,8.094630e-08,8.127564e-08,8.170392e-08,8.183477e-08,8.235795e-08,8.239829e-08,8.284654e-08,8.303260e-08,8.330189e-08,8.360990e-08,8.372532e-08,8.411809e-08,8.413318e-08,8.448144e-08,8.460528e-08,8.481658e-08,8.502896e-08,8.512468e-08,8.540686e-08,8.566424e-08,8.574154e-08,8.589789e-08,8.603544e-08,8.610882e-08,8.629089e-08,8.629805e-08,8.646655e-08,8.651014e-08,8.661525e-08,8.669535e-08,8.674506e-08,8.684855e-08,8.685686e-08,8.695148e-08,8.697173e-08,8.702976e-08,8.706675e-08,8.709248e-08,8.713541e-08,8.714040e-08,8.717425e-08,8.717940e-08,8.719475e-08,8.720035e-08,8.720256e-08,8.719982e-08,8.719836e-08,8.718278e-08,8.717927e-08,8.715641e-08,8.714010e-08,8.711985e-08,8.708365e-08,8.707367e-08,8.701840e-08,8.701118e-08,8.695456e-08,8.692388e-08,8.688265e-08,8.682291e-08,8.680316e-08,8.671655e-08,8.670932e-08,8.662325e-08,8.658415e-08,8.652369e-08,8.644837e-08,8.641829e-08,8.630742e-08,8.630288e-08,8.619147e-08,8.614856e-08,8.607079e-08,8.598621e-08,8.594573e-08,8.581661e-08,8.564049e-08,8.545853e-08,8.527138e-08,8.507964e-08,8.488390e-08,8.468468e-08,8.448249e-08,8.427780e-08,8.407106e-08,8.386268e-08,8.365305e-08,8.344253e-08,8.323146e-08,8.302015e-08,8.280890e-08,8.259799e-08,8.238765e-08,8.217814e-08,8.196966e-08,8.176241e-08,8.155658e-08,8.135234e-08,8.114983e-08,8.094922e-08
0.000000e+00,3.136791e-10,8.976001e-10,3.888971e-09,9.846880e-09,1.495781e-08,3.656838e-08,3.776209e-08,7.696165e-08,9.159318e-08,1.379323e-07,1.872567e-07,2.260061e-07,3.334078e-07,3.439341e-07,4.906797e-07,5.298951e-07,6.636173e-07,7.709934e-07,8.603640e-07,1.051651e-06,1.078980e-06,1.317681e-06,1.367671e-06,1.574612e-06,1.714755e-06,1.847745e-06,2.088085e-06,2.134868e-06,2.433612e-06,2.482326e-06,2.741517e-06,2.891836e-06,3.056099e-06,3.310929e-06,3.374917e-06,3.695633e-06,3.734141e-06,4.016063e-06,4.156439e-06,4.334209e-06,4.573367e-06,4.648287e-06,4.956734e-06,4.981125e-06,5.258212e-06,5.376594e-06,5.551600e-06,5.757309e-06,5.835984e-06,6.110635e-06,6.121411e-06,6.375003e-06,6.467578e-06,6.628693e-06,6.794967e-06,6.871449e-06,7.103128e-06,7.323675e-06,7.391902e-06,7.533119e-06,7.661382e-06,7.731564e-06,7.911859e-06,7.919156e-06,8.096090e-06,8.143753e-06,8.262605e-06,8.357623e-06,8.418968e-06,8.554104e-06,8.565468e-06,8.702409e-06,8.733888e-06,8.830114e-06,8.897723e-06,8.948932e-06,9.046432e-06,9.059229e-06,9.161323e-06,9.180785e-06,9.255540e-06,9.301530e-06,9.342209e-06,9.409406e-06,9.421642e-06,9.494153e-06,9.505133e-06,9.560049e-06,9.589417e-06,9.619628e-06,9.662939e-06,9.673181e-06,9.720988e-06,9.726351e-06,9.763321e-06,9.780282e-06,9.800446e-06,9.825336e-06,9.832619e-06,9.860089e-06,9.862091e-06,9.883094e-06,9.891098e-06,9.901865e-06,9.912882e-06,9.916622e-06,9.927579e-06,9.927942e-06,9.934940e-06,9.936748e-06,9.938903e-06,9.939752e-06,9.939655e-06,9.937379e-06,9.932248e-06,9.930031e-06,9.924430e-06,9.918089e-06,9.914083e-06,9.901913e-06,9.901361e-06,9.886408e-06,9.881841e-06,9.869366e-06,9.858194e-06,9.850368e-06,9.831271e-06,9.829540e-06,9.807005e-06,9.801356e-06,9.782879e-06,9.768715e-06,9.757273e-06,9.733600e-06,9.730293e-06,9.702038e-06,9.696243e-06,9.672606e-06,9.656865e-06,9.642086e-06,9.615673e-06,9.610566e-06,9.578129e-06,9.572860e-06,9.544853e-06,9.528605e-06,9.510813e-06,9.483078e-06,9.476079e-06,9.440720e-06,9.436437e-06,9.404797e-06,9.388829e-06,9.368373e-06,9.340391e-06,9.331505e-06,9.294247e-06,9.291251e-06,9.256650e-06,9.241527e-06,9.218763e-06,9.191330e-06,9.180632e-06,9.142300e-06,9.140763e-06,9.103809e-06,9.089921e-06,9.065197e-06,9.038891e-06,9.026501e-06,8.987755e-06,8.936590e-06,8.885463e-06,8.834439e-06,8.783576e-06,8.732929e-06,8.682547e-06,8.632475e-06,8.582754e-06,8.533423e-06,8.484513e-06,8.436058e-06,8.388083e-06,8.340614e-06,8.293674e-06,8.247280e-06,8.201452e-06,8.156204e-06,8.111548e-06,8.067498e-06,8.024061e-06,7.981246e-06,7.939059e-06,7.897505e-06,7.856589e-06
0.000000e+00,1.294065e-11,2.988615e-11,1.036594e-10,2.369727e-10,3.466644e-10,7.939981e-10,8.182957e-10,1.606009e-09,1.897187e-09,2.816233e-09,3.796164e-09,4.571366e-09,6.756292e-09,6.973304e-09,1.003378e-08,1.085740e-08,1.366184e-08,1.589606e-08,1.773780e-08,2.161869e-08,2.216628e-08,2.687967e-08,2.785187e-08,3.182682e-08,3.447707e-08,3.696402e-08,4.139606e-08,4.225019e-08,4.764488e-08,4.851541e-08,5.310781e-08,5.574255e-08,5.859926e-08,6.298703e-08,6.408074e-08,6.951583e-08,7.016329e-08,7.487079e-08,7.719361e-08,8.011516e-08,8.401026e-08,8.522210e-08,9.016861e-08,9.055680e-08,9.493552e-08,9.678842e-08,9.950743e-08,1.026717e-07,1.038725e-07,1.080221e-07,1.081835e-07,1.119507e-07,1.133102e-07,1.156552e-07,1.180460e-07,1.191351e-07,1.223916e-07,1.254275e-07,1.263531e-07,1.282471e-07,1.299406e-07,1.308558e-07,1.331674e-07,1.332597e-07,1.354657e-07,1.360489e-07,1.374811e-07,1.386020e-07,1.393135e-07,1.408445e-07,1.409708e-07,1.424609e-07,1.427945e-07,1.437918e-07,1.444705e-07,1.449714e-07,1.458904e-07,1.460074e-07,1.469076e-07,1.470720e-07,1.476793e-07,1.480322e-07,1.483297e-07,1.487873e-07,1.488656e-07,1.492939e-07,1.493529e-07,1.496211e-07,1.497441e-07,1.498536e-07,1.499754e-07,1.499973e-07,1.500578e-07,1.500598e-07,1.500407e-07,1.500098e-07,1.499509e-07,1.498373e-07,1.497936e-07,1.495733e-07,1.495531e-07,1.492946e-07,1.491677e-07,1.489616e-07,1.486905e-07,1.485783e-07,1.481486e-07,1.481304e-07,1.476759e-07,1.474959e-07,1.471638e-07,1.467946e-07,1.466154e-07,1.460337e-07,1.454216e-07,1.452198e-07,1.447819e-07,1.443591e-07,1.441169e-07,1.434571e-07,1.434292e-07,1.427210e-07,1.425193e-07,1.419943e-07,1.415503e-07,1.412513e-07,1.405548e-07,1.404937e-07,1.397233e-07,1.395367e-07,1.389418e-07,1.384998e-07,1.381506e-07,1.374477e-07,1.373514e-07,1.365453e-07,1.363834e-07,1.357337e-07,1.353099e-07,1.349178e-07,1.342298e-07,1.340986e-07,1.332772e-07,1.331456e-07,1.324545e-07,1.320594e-07,1.316315e-07,1.309734e-07,1.308089e-07,1.299876e-07,1.298892e-07,1.291683e-07,1.288085e-07,1.283515e-07,1.277329e-07,1.275380e-07,1.267282e-07,1.266636e-07,1.259228e-07,1.256019e-07,1.251221e-07,1.245489e-07,1.243267e-07,1.235369e-07,1.235054e-07,1.227531e-07,1.224724e-07,1.219755e-07,1.214506e-07,1.212047e-07,1.204407e-07,1.194432e-07,1.184587e-07,1.174876e-07,1.165302e-07,1.155868e-07,1.146578e-07,1.137433e-07,1.128434e-07,1.119583e-07,1.110880e-07,1.102327e-07,1.093922e-07,1.085666e-07,1.077559e-07,1.069599e-07,1.061786e-07,1.054119e-07,1.046596e-07,1.039216e-07,1.031978e-07,1.024880e-07,1.017920e-07,1.011097e-07,1.004408e-07
0.000000e+00,1.792042e-10,5.373267e-10,2.436669e-09,6.273226e-09,9.567996e-09,2.338267e-08,2.413890e-08,4.856539e-08,5.749504e-08,8.523486e-08,1.141273e-07,1.365911e-07,1.989137e-07,2.050761e-07,2.927259e-07,3.167421e-07,4.003631e-07,4.690779e-07,5.270211e-07,6.523747e-07,6.703658e-07,8.276427e-07,8.605363e-07,9.962546e-07,1.087633e-06,1.173884e-06,1.328520e-06,1.358430e-06,1.547941e-06,1.578598e-06,1.740568e-06,1.833618e-06,1.934560e-06,2.089628e-06,2.128273e-06,2.320187e-06,2.343029e-06,2.508925e-06,2.590643e-06,2.693267e-06,2.829772e-06,2.872158e-06,3.044717e-06,3.058226e-06,3.210231e-06,3.274333e-06,3.368139e-06,3.476888e-06,3.518032e-06,3.659637e-06,3.665126e-06,3.792799e-06,3.838658e-06,3.917469e-06,3.997409e-06,4.033684e-06,4.141558e-06,4.241265e-06,4.271482e-06,4.333029e-06,4.387707e-06,4.417108e-06,4.490863e-06,4.493792e-06,4.563389e-06,4.581649e-06,4.626220e-06,4.660809e-06,4.682615e-06,4.729100e-06,4.732906e-06,4.777424e-06,4.787285e-06,4.816496e-06,4.836117e-06,4.850441e-06,4.876318e-06,4.879569e-06,4.904179e-06,4.908584e-06,4.924560e-06,4.933579e-06,4.940989e-06,4.951929e-06,4.953731e-06,4.963038e-06,4.964224e-06,4.969150e-06,4.971017e-06,4.972297e-06,4.972823e-06,4.972692e-06,4.970542e-06,4.970122e-06,4.966038e-06,4.963359e-06,4.959364e-06,4.952945e-06,4.950690e-06,4.940177e-06,4.939261e-06,4.927979e-06,4.922659e-06,4.914236e-06,4.903461e-06,4.899083e-06,4.882646e-06,4.881964e-06,4.865042e-06,4.858440e-06,4.846381e-06,4.833140e-06,4.826766e-06,4.806294e-06,4.785054e-06,4.778109e-06,4.763131e-06,4.748777e-06,4.740602e-06,4.718474e-06,4.717542e-06,4.694018e-06,4.687357e-06,4.670094e-06,4.655572e-06,4.645829e-06,4.623250e-06,4.621277e-06,4.596489e-06,4.590510e-06,4.571513e-06,4.557461e-06,4.546393e-06,4.524200e-06,4.521169e-06,4.495878e-06,4.490815e-06,4.470556e-06,4.457386e-06,4.445234e-06,4.423985e-06,4.419942e-06,4.394707e-06,4.390676e-06,4.369554e-06,4.357516e-06,4.344506e-06,4.324557e-06,4.319584e-06,4.294807e-06,4.291845e-06,4.270193e-06,4.259419e-06,4.245758e-06,4.227315e-06,4.221516e-06,4.197480e-06,4.195566e-06,4.173662e-06,4.164198e-06,4.150072e-06,4.133235e-06,4.126721e-06,4.103617e-06,4.102698e-06,4.080767e-06,4.072605e-06,4.058178e-06,4.042969e-06,4.035855e-06,4.013805e-06,3.985121e-06,3.956926e-06,3.929226e-06,3.902025e-06,3.875327e-06,3.849134e-06,3.823445e-06,3.798261e-06,3.773579e-06,3.749397e-06,3.725712e-06,3.702520e-06,3.679816e-06,3.657595e-06,3.635852e-06,3.614580e-06,3.593773e-06,3.573425e-06,3.553528e-06,3.534075e-06,3.515060e-06,3.496473e-06,3.478308e-06,3.460557e-06
0.000000e+00,1.900496e-11,6.540248e-11,3.427629e-10,9.372557e-10,1.457625e-09,3.656890e-09,3.777239e-09,7.636785e-09,9.031610e-09,1.330621e-08,1.766771e-08,2.099928e-08,3.000394e-08,3.087751e-08,4.304856e-08,4.631738e-08,5.755886e-08,6.669981e-08,7.438140e-08,9.100809e-08,9.340000e-08,1.143937e-07,1.188020e-07,1.370282e-07,1.493046e-07,1.608656e-07,1.814485e-07,1.853989e-07,2.101091e-07,2.140464e-07,2.345219e-07,2.460156e-07,2.582448e-07,2.765225e-07,2.809789e-07,3.025123e-07,3.050084e-07,3.227060e-07,3.311442e-07,3.414791e-07,3.547732e-07,3.587958e-07,3.746547e-07,3.758611e-07,3.890813e-07,3.944605e-07,4.021207e-07,4.106834e-07,4.138329e-07,4.242876e-07,4.246807e-07,4.335616e-07,4.366265e-07,4.417348e-07,4.467054e-07,4.488886e-07,4.551036e-07,4.604584e-07,4.620026e-07,4.650282e-07,4.675741e-07,4.688845e-07,4.719778e-07,4.720946e-07,4.747208e-07,4.753595e-07,4.768211e-07,4.778510e-07,4.784484e-07,4.795697e-07,4.796514e-07,4.804745e-07,4.806200e-07,4.809578e-07,4.810937e-07,4.811377e-07,4.810711e-07,4.810470e-07,4.807154e-07,4.806226e-07,4.801696e-07,4.798091e-07,4.794335e-07,4.786839e-07,4.785285e-07,4.774742e-07,4.772928e-07,4.762877e-07,4.756759e-07,4.749847e-07,4.738678e-07,4.735791e-07,4.720835e-07,4.718986e-07,4.705091e-07,4.697941e-07,4.688661e-07,4.675771e-07,4.671635e-07,4.654096e-07,4.652672e-07,4.636116e-07,4.628816e-07,4.617763e-07,4.604352e-07,4.599097e-07,4.580171e-07,4.579410e-07,4.561035e-07,4.554103e-07,4.541732e-07,4.528531e-07,4.522302e-07,4.502782e-07,4.483203e-07,4.476931e-07,4.463597e-07,4.451046e-07,4.443988e-07,4.425184e-07,4.424401e-07,4.404859e-07,4.399398e-07,4.385382e-07,4.373733e-07,4.365986e-07,4.348228e-07,4.346689e-07,4.327504e-07,4.322918e-07,4.308446e-07,4.297833e-07,4.289527e-07,4.273000e-07,4.270756e-07,4.252144e-07,4.248442e-07,4.233700e-07,4.224178e-07,4.215432e-07,4.200226e-07,4.197345e-07,4.179447e-07,4.176601e-07,4.161743e-07,4.153315e-07,4.144237e-07,4.130378e-07,4.126934e-07,4.109837e-07,4.107800e-07,4.092950e-07,4.085587e-07,4.076275e-07,4.063746e-07,4.059815e-07,4.043571e-07,4.042280e-07,4.027544e-07,4.021195e-07,4.011736e-07,4.000490e-07,3.996148e-07,3.980780e-07,3.980170e-07,3.965632e-07,3.960232e-07,3.950704e-07,3.940679e-07,3.935996e-07,3.921508e-07,3.902719e-07,3.884309e-07,3.866276e-07,3.848617e-07,3.831328e-07,3.814407e-07,3.797849e-07,3.781650e-07,3.765805e-07,3.750310e-07,3.735160e-07,3.720350e-07,3.705875e-07,3.691730e-07,3.677909e-07,3.664407e-07,3.651218e-07,3.638337e-07,3.625759e-07,3.613478e-07,3.601489e-07,3.589785e-07,3.578362e-07,3.567213e-07
0.000000e+00,1.874030e-11,4.385765e-11,1.539903e-10,3.529491e-10,5.158680e-10,1.170950e-09,1.206094e-09,2.322517e-09,2.724786e-09,3.963112e-09,5.240529e-09,6.227551e-09,8.945440e-09,9.212852e-09,1.299702e-08,1.402869e-08,1.760716e-08,2.053319e-08,2.299019e-08,2.826959e-08,2.902291e-08,3.555785e-08,3.691281e-08,4.245982e-08,4.615561e-08,4.961601e-08,5.575470e-08,5.693274e-08,6.433024e-08,6.551658e-08,7.173916e-08,7.528139e-08,7.909886e-08,8.491548e-08,8.635659e-08,9.346719e-08,9.430870e-08,1.003928e-07,1.033733e-07,1.071025e-07,1.120423e-07,1.135720e-07,1.197829e-07,1.202682e-07,1.257221e-07,1.280197e-07,1.313812e-07,1.352798e-07,1.367559e-07,1.418448e-07,1.420425e-07,1.466498e-07,1.483108e-07,1.511748e-07,1.540945e-07,1.554252e-07,1.594081e-07,1.631316e-07,1.642697e-07,1.666044e-07,1.686997e-07,1.698358e-07,1.727198e-07,1.728354e-07,1.756131e-07,1.763525e-07,1.781789e-07,1.796207e-07,1.805426e-07,1.825469e-07,1.827137e-07,1.847017e-07,1.851526e-07,1.865159e-07,1.874592e-07,1.881652e-07,1.894870e-07,1.896582e-07,1.910033e-07,1.912553e-07,1.922086e-07,1.927825e-07,1.932815e-07,1.940861e-07,1.942297e-07,1.950600e-07,1.951824e-07,1.957794e-07,1.960872e-07,1.963942e-07,1.968150e-07,1.969107e-07,1.973346e-07,1.973795e-07,1.976715e-07,1.977936e-07,1.979268e-07,1.980694e-07,1.981056e-07,1.982125e-07,1.982181e-07,1.982522e-07,1.982503e-07,1.982291e-07,1.981758e-07,1.981471e-07,1.980103e-07,1.980037e-07,1.978222e-07,1.977426e-07,1.975864e-07,1.974005e-07,1.973063e-07,1.969848e-07,1.966251e-07,1.965023e-07,1.962299e-07,1.959595e-07,1.958018e-07,1.953623e-07,1.953434e-07,1.948570e-07,1.947161e-07,1.943449e-07,1.940262e-07,1.938092e-07,1.932973e-07,1.932519e-07,1.926749e-07,1.925337e-07,1.920799e-07,1.917395e-07,1.914686e-07,1.909185e-07,1.908426e-07,1.902034e-07,1.900741e-07,1.895524e-07,1.892097e-07,1.888909e-07,1.883280e-07,1.882201e-07,1.875412e-07,1.874319e-07,1.868554e-07,1.865239e-07,1.861635e-07,1.856064e-07,1.854666e-07,1.847657e-07,1.846813e-07,1.840615e-07,1.837508e-07,1.833548e-07,1.828166e-07,1.826464e-07,1.819371e-07,1.818803e-07,1.812274e-07,1.809435e-07,1.805179e-07,1.800076e-07,1.798093e-07,1.791020e-07,1.790737e-07,1.783966e-07,1.781432e-07,1.776935e-07,1.772169e-07,1.769931e-07,1.762959e-07,1.753811e-07,1.744731e-07,1.735727e-07,1.726806e-07,1.717973e-07,1.709233e-07,1.700590e-07,1.692049e-07,1.683613e-07,1.675285e-07,1.667067e-07,1.658963e-07,1.650973e-07,1.643099e-07,1.635343e-07,1.627705e-07,1.620186e-07,1.612787e-07,1.605509e-07,1.598350e-07,1.591311e-07,1.584393e-07,1.577593e-07,1.570913e-07
0.000000e+00,1.154299e-13,9.342547e-13,1.977742e-11,1.419406e-10,3.436668e-10,2.208386e-09,2.358210e-09,9.787626e-09,1.371056e-08,2.971655e-08,5.205132e-08,7.305383e-08,1.461657e-07,1.544889e-07,2.920905e-07,3.357247e-07,5.064296e-07,6.679737e-07,8.188463e-07,1.190493e-06,1.248853e-06,1.811452e-06,1.940770e-06,2.515366e-06,2.938170e-06,3.362606e-06,4.182257e-06,4.349150e-06,5.466211e-06,5.656275e-06,6.701600e-06,7.332443e-06,8.040900e-06,9.176613e-06,9.468382e-06,1.096767e-05,1.115162e-05,1.252222e-05,1.321952e-05,1.411573e-05,1.534312e-05,1.573243e-05,1.735736e-05,1.748729e-05,1.897664e-05,1.961988e-05,2.057760e-05,2.171260e-05,2.214903e-05,2.368115e-05,2.374150e-05,2.516576e-05,2.568726e-05,2.659617e-05,2.753515e-05,2.796713e-05,2.927478e-05,3.051649e-05,3.089964e-05,3.169078e-05,3.240665e-05,3.279709e-05,3.379547e-05,3.383573e-05,3.480765e-05,3.506804e-05,3.571440e-05,3.622796e-05,3.655793e-05,3.728010e-05,3.734052e-05,3.806470e-05,3.823010e-05,3.873314e-05,3.908415e-05,3.934861e-05,3.984863e-05,3.991391e-05,4.043182e-05,4.052996e-05,4.090509e-05,4.113444e-05,4.133639e-05,4.166814e-05,4.172830e-05,4.208331e-05,4.213684e-05,4.240378e-05,4.254600e-05,4.269196e-05,4.290069e-05,4.294998e-05,4.317985e-05,4.320564e-05,4.338346e-05,4.346519e-05,4.356259e-05,4.368338e-05,4.371890e-05,4.385395e-05,4.386388e-05,4.396920e-05,4.401007e-05,4.406602e-05,4.412502e-05,4.414566e-05,4.420933e-05,4.421156e-05,4.425813e-05,4.427226e-05,4.429309e-05,4.430945e-05,4.431517e-05,4.432528e-05,4.432425e-05,4.432170e-05,4.431287e-05,4.430048e-05,4.429185e-05,4.426325e-05,4.426189e-05,4.422361e-05,4.421148e-05,4.417761e-05,4.414654e-05,4.412445e-05,4.406965e-05,4.406464e-05,4.399865e-05,4.398195e-05,4.392695e-05,4.388446e-05,4.384996e-05,4.377814e-05,4.376807e-05,4.368165e-05,4.366385e-05,4.359105e-05,4.354239e-05,4.349658e-05,4.341448e-05,4.339857e-05,4.329728e-05,4.328079e-05,4.319299e-05,4.314193e-05,4.308594e-05,4.299848e-05,4.297638e-05,4.286451e-05,4.285095e-05,4.275056e-05,4.269981e-05,4.263471e-05,4.254551e-05,4.251715e-05,4.239805e-05,4.238846e-05,4.227756e-05,4.222902e-05,4.215585e-05,4.206754e-05,4.203306e-05,4.190931e-05,4.190434e-05,4.178474e-05,4.173971e-05,4.165946e-05,4.157392e-05,4.153358e-05,4.140722e-05,4.123983e-05,4.107198e-05,4.090384e-05,4.073562e-05,4.056746e-05,4.039954e-05,4.023198e-05,4.006491e-05,3.989846e-05,3.973275e-05,3.956785e-05,3.940389e-05,3.924092e-05,3.907905e-05,3.891833e-05,3.875883e-05,3.860062e-05,3.844374e-05,3.828824e-05,3.813417e-05,3.798158e-05,3.783048e-05,3.768093e-05,3.753294e-05
0.000000e+00,1.479473e-10,3.870773e-10,1.529653e-09,3.714374e-09,5.555355e-09,1.320713e-08,1.362600e-08,2.725768e-08,3.230293e-08,4.820518e-08,6.511678e-08,7.847808e-08,1.162332e-07,1.200021e-07,1.737664e-07,1.884572e-07,2.391964e-07,2.803438e-07,3.146794e-07,3.880453e-07,3.984922e-07,4.891951e-07,5.080560e-07,5.856170e-07,6.376776e-07,6.867490e-07,7.746612e-07,7.916654e-07,8.994863e-07,9.169502e-07,1.009366e-06,1.062599e-06,1.120493e-06,1.209778e-06,1.232104e-06,1.343491e-06,1.356811e-06,1.454010e-06,1.502214e-06,1.563091e-06,1.644719e-06,1.670233e-06,1.775013e-06,1.783282e-06,1.877078e-06,1.917079e-06,1.976145e-06,2.045489e-06,2.071990e-06,2.164443e-06,2.168068e-06,2.253384e-06,2.284528e-06,2.338737e-06,2.394705e-06,2.420460e-06,2.498547e-06,2.573009e-06,2.596074e-06,2.643875e-06,2.687368e-06,2.711202e-06,2.772564e-06,2.775052e-06,2.835504e-06,2.851833e-06,2.892642e-06,2.925373e-06,2.946559e-06,2.993397e-06,2.997347e-06,3.045106e-06,3.056128e-06,3.089935e-06,3.113798e-06,3.131937e-06,3.166639e-06,3.171212e-06,3.207861e-06,3.214884e-06,3.241984e-06,3.258763e-06,3.273680e-06,3.298501e-06,3.303047e-06,3.330178e-06,3.334318e-06,3.355166e-06,3.366427e-06,3.378103e-06,3.395034e-06,3.399075e-06,3.418170e-06,3.420339e-06,3.435469e-06,3.442532e-06,3.451053e-06,3.461799e-06,3.465001e-06,3.477387e-06,3.478313e-06,3.488285e-06,3.492244e-06,3.497766e-06,3.503752e-06,3.505896e-06,3.512741e-06,3.512989e-06,3.518366e-06,3.520103e-06,3.522829e-06,3.525231e-06,3.526190e-06,3.528505e-06,3.529829e-06,3.530051e-06,3.530212e-06,3.529987e-06,3.529705e-06,3.528425e-06,3.528356e-06,3.526210e-06,3.525473e-06,3.523313e-06,3.521231e-06,3.519706e-06,3.515795e-06,3.515429e-06,3.510522e-06,3.509254e-06,3.505021e-06,3.501695e-06,3.498963e-06,3.493198e-06,3.492381e-06,3.485308e-06,3.483837e-06,3.477775e-06,3.473686e-06,3.469812e-06,3.462812e-06,3.461447e-06,3.452708e-06,3.451277e-06,3.443621e-06,3.439142e-06,3.434209e-06,3.426463e-06,3.424498e-06,3.414510e-06,3.413293e-06,3.404265e-06,3.399682e-06,3.393786e-06,3.385676e-06,3.383090e-06,3.372197e-06,3.371318e-06,3.361125e-06,3.356650e-06,3.349891e-06,3.341711e-06,3.338510e-06,3.326998e-06,3.326535e-06,3.315370e-06,3.311158e-06,3.303638e-06,3.295609e-06,3.291817e-06,3.279919e-06,3.264115e-06,3.248222e-06,3.232265e-06,3.216265e-06,3.200243e-06,3.184219e-06,3.168209e-06,3.152230e-06,3.136298e-06,3.120426e-06,3.104628e-06,3.088915e-06,3.073298e-06,3.057788e-06,3.042393e-06,3.027122e-06,3.011983e-06,2.996982e-06,2.982126e-06,2.967420e-06,2.952869e-06,2.938479e-06,2.924252e-06,2.910192e-06
0.000000e+00,7.443548e-12,1.721744e-11,5.974959e-11,1.362740e-10,1.988465e-10,4.502107e-10,4.636919e-10,8.919053e-10,1.046213e-09,1.521387e-09,2.011968e-09,2.391444e-09,3.439248e-09,3.542637e-09,5.013965e-09,5.418414e-09,6.835730e-09,8.014082e-09,9.018608e-09,1.122515e-08,1.154526e-08,1.437295e-08,1.496979e-08,1.744605e-08,1.912225e-08,2.070854e-08,2.355856e-08,2.411036e-08,2.760858e-08,2.817471e-08,3.116649e-08,3.288601e-08,3.475235e-08,3.762236e-08,3.833835e-08,4.190002e-08,4.232473e-08,4.541583e-08,4.694333e-08,4.886704e-08,5.143675e-08,5.223755e-08,5.551380e-08,5.577147e-08,5.868463e-08,5.992138e-08,6.174116e-08,6.386719e-08,6.467658e-08,6.748600e-08,6.759570e-08,7.016619e-08,7.109906e-08,7.271545e-08,7.437389e-08,7.513335e-08,7.742055e-08,7.957865e-08,8.024234e-08,8.160999e-08,8.284486e-08,8.351752e-08,8.523543e-08,8.530465e-08,8.697520e-08,8.742260e-08,8.853321e-08,8.941576e-08,8.998293e-08,9.122478e-08,9.132872e-08,9.257501e-08,9.285980e-08,9.372621e-08,9.433100e-08,9.478674e-08,9.564844e-08,9.576092e-08,9.665303e-08,9.682196e-08,9.746720e-08,9.786111e-08,9.820748e-08,9.877507e-08,9.887777e-08,9.948185e-08,9.957260e-08,1.000233e-07,1.002621e-07,1.005058e-07,1.008514e-07,1.009324e-07,1.013065e-07,1.013480e-07,1.016312e-07,1.017591e-07,1.019092e-07,1.020912e-07,1.021436e-07,1.023368e-07,1.023505e-07,1.024914e-07,1.025430e-07,1.026099e-07,1.026740e-07,1.026944e-07,1.027473e-07,1.027488e-07,1.027705e-07,1.027719e-07,1.027659e-07,1.027480e-07,1.027356e-07,1.026811e-07,1.026042e-07,1.025751e-07,1.025064e-07,1.024336e-07,1.023892e-07,1.022599e-07,1.022541e-07,1.021024e-07,1.020571e-07,1.019352e-07,1.018281e-07,1.017539e-07,1.015756e-07,1.015596e-07,1.013532e-07,1.013020e-07,1.011358e-07,1.010096e-07,1.009084e-07,1.007006e-07,1.006718e-07,1.004268e-07,1.003769e-07,1.001744e-07,1.000404e-07,9.991511e-08,9.969260e-08,9.964976e-08,9.937896e-08,9.933518e-08,9.910336e-08,9.896953e-08,9.882352e-08,9.859696e-08,9.853999e-08,9.825329e-08,9.821869e-08,9.796390e-08,9.783583e-08,9.767227e-08,9.744940e-08,9.737882e-08,9.708396e-08,9.706032e-08,9.678806e-08,9.666948e-08,9.649145e-08,9.627765e-08,9.619447e-08,9.589742e-08,9.588554e-08,9.560058e-08,9.549382e-08,9.530422e-08,9.510309e-08,9.500858e-08,9.471388e-08,9.432670e-08,9.394198e-08,9.356014e-08,9.318153e-08,9.280649e-08,9.243531e-08,9.206825e-08,9.170554e-08,9.134739e-08,9.099398e-08,9.064546e-08,9.030196e-08,8.996361e-08,8.963049e-08,8.930270e-08,8.898029e-08,8.866331e-08,8.835181e-08,8.804581e-08,8.774532e-08,8.745035e-08,8.716089e-08,8.687694e-08,8.659847e-08
0.000000e+00,3.313782e-11,9.491008e-11,4.110926e-10,1.038199e-09,1.573091e-09,3.803442e-09,3.925199e-09,7.846313e-09,9.274892e-09,1.369785e-08,1.828212e-08,2.183200e-08,3.162864e-08,3.259424e-08,4.631007e-08,5.007277e-08,6.324147e-08,7.418208e-08,8.351421e-08,1.040733e-07,1.070665e-07,1.336774e-07,1.393408e-07,1.630478e-07,1.793064e-07,1.948636e-07,2.232553e-07,2.288200e-07,2.646231e-07,2.705037e-07,3.019860e-07,3.203911e-07,3.406261e-07,3.722700e-07,3.802643e-07,4.206275e-07,4.255072e-07,4.614514e-07,4.794942e-07,5.024834e-07,5.336603e-07,5.434863e-07,5.842411e-07,5.874846e-07,6.245482e-07,6.405052e-07,6.642298e-07,6.923246e-07,7.031296e-07,7.411131e-07,7.426117e-07,7.780669e-07,7.910996e-07,8.138977e-07,8.375824e-07,8.485310e-07,8.819094e-07,9.139912e-07,9.239787e-07,9.447487e-07,9.637308e-07,9.741661e-07,1.001142e-06,1.002239e-06,1.028970e-06,1.036217e-06,1.054373e-06,1.068985e-06,1.078466e-06,1.099495e-06,1.101273e-06,1.122821e-06,1.127808e-06,1.143142e-06,1.153999e-06,1.162271e-06,1.178146e-06,1.180243e-06,1.197097e-06,1.200337e-06,1.212872e-06,1.220661e-06,1.227606e-06,1.239208e-06,1.241340e-06,1.254112e-06,1.256068e-06,1.265961e-06,1.271333e-06,1.276927e-06,1.285089e-06,1.287047e-06,1.296359e-06,1.297424e-06,1.304898e-06,1.308419e-06,1.312700e-06,1.318157e-06,1.319799e-06,1.326228e-06,1.326714e-06,1.332019e-06,1.334164e-06,1.337203e-06,1.340576e-06,1.341810e-06,1.345869e-06,1.346020e-06,1.349407e-06,1.350559e-06,1.352451e-06,1.354252e-06,1.355027e-06,1.357160e-06,1.358872e-06,1.359334e-06,1.360186e-06,1.360828e-06,1.361124e-06,1.361690e-06,1.361707e-06,1.361955e-06,1.361967e-06,1.361886e-06,1.361700e-06,1.361519e-06,1.360932e-06,1.360870e-06,1.359958e-06,1.359701e-06,1.358796e-06,1.358043e-06,1.357401e-06,1.355992e-06,1.355787e-06,1.353968e-06,1.353580e-06,1.351956e-06,1.350838e-06,1.349764e-06,1.347793e-06,1.347405e-06,1.344889e-06,1.344473e-06,1.342227e-06,1.340901e-06,1.339430e-06,1.337101e-06,1.336507e-06,1.333467e-06,1.333095e-06,1.330320e-06,1.328904e-06,1.327074e-06,1.324545e-06,1.323737e-06,1.320316e-06,1.320039e-06,1.316819e-06,1.315400e-06,1.313252e-06,1.310644e-06,1.309622e-06,1.305936e-06,1.305787e-06,1.302198e-06,1.300841e-06,1.298415e-06,1.295820e-06,1.294592e-06,1.290734e-06,1.285595e-06,1.280413e-06,1.275198e-06,1.269958e-06,1.264701e-06,1.259435e-06,1.254167e-06,1.248903e-06,1.243650e-06,1.238412e-06,1.233194e-06,1.228002e-06,1.222840e-06,1.217711e-06,1.212619e-06,1.207567e-06,1.202559e-06,1.197596e-06,1.192681e-06,1.187817e-06,1.183005e-06,1.178247e-06,1.173545e-06,1.168899e-06
0.000000e+00,3.954249e-11,9.193389e-11,3.222886e-10,7.430021e-10,1.091754e-09,2.528660e-09,2.607211e-09,5.172161e-09,6.127039e-09,9.155648e-09,1.239943e-08,1.497015e-08,2.221839e-08,2.293816e-08,3.309797e-08,3.583968e-08,4.522004e-08,5.275547e-08,5.901451e-08,7.234985e-08,7.424754e-08,9.074232e-08,9.417953e-08,1.083523e-07,1.179050e-07,1.269413e-07,1.432134e-07,1.463736e-07,1.665108e-07,1.697889e-07,1.872129e-07,1.973095e-07,2.083402e-07,2.254563e-07,2.297563e-07,2.513315e-07,2.539254e-07,2.729445e-07,2.824372e-07,2.944844e-07,3.107442e-07,3.158518e-07,3.369592e-07,3.386342e-07,3.577309e-07,3.659308e-07,3.781027e-07,3.924923e-07,3.980211e-07,4.174423e-07,4.182083e-07,4.363317e-07,4.429963e-07,4.546623e-07,4.667975e-07,4.724141e-07,4.895732e-07,5.061306e-07,5.113010e-07,5.220817e-07,5.319718e-07,5.374259e-07,5.515871e-07,5.521652e-07,5.663043e-07,5.701566e-07,5.798501e-07,5.876963e-07,5.928111e-07,6.042272e-07,6.051972e-07,6.170194e-07,6.197741e-07,6.282896e-07,6.343644e-07,6.390203e-07,6.480274e-07,6.492245e-07,6.589158e-07,6.607937e-07,6.681078e-07,6.726949e-07,6.768142e-07,6.837626e-07,6.850491e-07,6.928262e-07,6.940290e-07,7.001594e-07,7.035257e-07,7.070625e-07,7.122844e-07,7.135490e-07,7.196326e-07,7.203362e-07,7.253264e-07,7.277116e-07,7.306436e-07,7.344407e-07,7.355970e-07,7.401992e-07,7.405526e-07,7.444626e-07,7.460758e-07,7.483992e-07,7.510380e-07,7.520210e-07,7.553395e-07,7.554661e-07,7.583660e-07,7.593862e-07,7.611115e-07,7.628234e-07,7.635867e-07,7.658021e-07,7.677679e-07,7.683458e-07,7.694939e-07,7.704772e-07,7.709898e-07,7.722181e-07,7.722650e-07,7.733285e-07,7.735896e-07,7.741892e-07,7.746117e-07,7.748555e-07,7.753040e-07,7.753358e-07,7.756382e-07,7.756851e-07,7.757703e-07,7.757728e-07,7.757398e-07,7.755843e-07,7.755540e-07,7.752199e-07,7.751359e-07,7.747444e-07,7.744434e-07,7.741341e-07,7.735219e-07,7.733953e-07,7.725343e-07,7.723856e-07,7.715570e-07,7.710484e-07,7.704693e-07,7.695232e-07,7.692766e-07,7.679843e-07,7.678228e-07,7.665976e-07,7.659589e-07,7.651216e-07,7.639430e-07,7.635610e-07,7.619205e-07,7.617860e-07,7.602046e-07,7.594981e-07,7.584175e-07,7.570892e-07,7.565635e-07,7.546466e-07,7.545686e-07,7.526705e-07,7.519453e-07,7.506390e-07,7.492278e-07,7.485557e-07,7.464239e-07,7.435414e-07,7.405876e-07,7.375692e-07,7.344927e-07,7.313644e-07,7.281901e-07,7.249752e-07,7.217250e-07,7.184444e-07,7.151380e-07,7.118103e-07,7.084654e-07,7.051071e-07,7.017391e-07,6.983650e-07,6.949878e-07,6.916108e-07,6.882366e-07,6.848680e-07,6.815075e-07,6.781574e-07,6.748199e-07,6.714970e-07,6.681906e-07
0.000000e+00,8.016744e-13,6.196361e-12,1.193151e-10,7.866611e-10,1.819307e-09,1.041340e-08,1.106868e-08,4.115191e-08,5.599763e-08,1.130495e-07,1.873588e-07,2.539186e-07,4.714186e-07,4.952126e-07,8.712768e-07,9.855634e-07,1.417903e-06,1.811458e-06,2.169213e-06,3.021058e-06,3.151727e-06,4.377279e-06,4.651265e-06,5.838685e-06,6.684034e-06,7.510714e-06,9.050496e-06,9.355495e-06,1.132935e-05,1.165419e-05,1.338860e-05,1.439542e-05,1.549320e-05,1.718596e-05,1.760835e-05,1.970463e-05,1.995371e-05,2.175763e-05,2.264191e-05,2.374721e-05,2.520664e-05,2.565694e-05,2.747363e-05,2.761462e-05,2.918699e-05,2.984161e-05,3.078938e-05,3.187140e-05,3.227564e-05,3.364285e-05,3.369504e-05,3.489013e-05,3.530992e-05,3.601842e-05,3.671890e-05,3.703020e-05,3.792925e-05,3.872036e-05,3.895162e-05,3.940914e-05,3.979907e-05,4.000172e-05,4.048613e-05,4.050461e-05,4.092444e-05,4.102803e-05,4.126790e-05,4.144004e-05,4.154153e-05,4.173706e-05,4.175169e-05,4.190444e-05,4.193321e-05,4.200555e-05,4.204163e-05,4.206039e-05,4.207438e-05,4.207398e-05,4.205095e-05,4.204232e-05,4.199552e-05,4.195519e-05,4.191157e-05,4.182161e-05,4.180263e-05,4.167188e-05,4.164913e-05,4.152219e-05,4.144439e-05,4.135616e-05,4.121312e-05,4.117608e-05,4.098404e-05,4.096028e-05,4.078188e-05,4.069016e-05,4.057125e-05,4.040641e-05,4.035360e-05,4.013025e-05,4.011217e-05,3.990233e-05,3.981011e-05,3.967087e-05,3.950253e-05,3.943677e-05,3.920083e-05,3.919136e-05,3.896375e-05,3.887825e-05,3.872616e-05,3.856458e-05,3.848859e-05,3.825153e-05,3.801540e-05,3.794010e-05,3.778057e-05,3.763111e-05,3.754736e-05,3.732527e-05,3.731606e-05,3.708690e-05,3.702315e-05,3.686011e-05,3.672524e-05,3.663586e-05,3.643194e-05,3.641432e-05,3.619563e-05,3.614358e-05,3.597989e-05,3.586040e-05,3.576720e-05,3.558263e-05,3.555765e-05,3.535129e-05,3.531041e-05,3.514818e-05,3.504387e-05,3.494837e-05,3.478309e-05,3.475188e-05,3.455873e-05,3.452814e-05,3.436894e-05,3.427904e-05,3.418252e-05,3.403580e-05,3.399945e-05,3.381975e-05,3.379841e-05,3.364339e-05,3.356685e-05,3.347036e-05,3.334107e-05,3.330063e-05,3.313419e-05,3.312102e-05,3.297101e-05,3.290664e-05,3.281105e-05,3.269786e-05,3.265429e-05,3.250068e-05,3.249460e-05,3.235019e-05,3.229677e-05,3.220278e-05,3.210429e-05,3.205842e-05,3.191705e-05,3.173497e-05,3.155795e-05,3.138587e-05,3.121863e-05,3.105614e-05,3.089828e-05,3.074495e-05,3.059604e-05,3.045145e-05,3.031106e-05,3.017479e-05,3.004251e-05,2.991413e-05,2.978955e-05,2.966867e-05,2.955139e-05,2.943761e-05,2.932723e-05,2.922018e-05,2.911634e-05,2.901564e-05,2.891798e-05,2.882328e-05,2.873145e-05
0.000000e+00,6.253082e-11,1.468124e-10,5.174032e-10,1.189398e-09,1.741859e-09,3.983333e-09,4.104502e-09,8.001536e-09,9.427886e-09,1.388653e-08,1.857833e-08,2.225180e-08,3.246308e-08,3.346787e-08,4.751062e-08,5.125888e-08,6.395936e-08,7.402857e-08,8.230547e-08,9.968857e-08,1.021353e-07,1.231295e-07,1.274440e-07,1.450207e-07,1.566768e-07,1.675642e-07,1.868337e-07,1.905264e-07,2.136821e-07,2.173904e-07,2.368169e-07,2.478550e-07,2.597314e-07,2.777822e-07,2.822449e-07,3.041983e-07,3.067884e-07,3.254562e-07,3.345598e-07,3.459070e-07,3.608546e-07,3.654623e-07,3.840560e-07,3.855004e-07,4.016419e-07,4.083871e-07,4.181916e-07,4.294581e-07,4.336924e-07,4.481444e-07,4.487008e-07,4.615588e-07,4.661376e-07,4.739555e-07,4.818172e-07,4.853611e-07,4.958078e-07,5.053316e-07,5.081905e-07,5.139711e-07,5.190550e-07,5.217668e-07,5.284951e-07,5.287600e-07,5.349922e-07,5.366066e-07,5.405051e-07,5.434845e-07,5.453394e-07,5.492221e-07,5.495351e-07,5.531310e-07,5.539090e-07,5.561647e-07,5.576315e-07,5.586722e-07,5.604712e-07,5.606883e-07,5.622459e-07,5.625052e-07,5.633765e-07,5.638057e-07,5.641101e-07,5.644402e-07,5.644750e-07,5.644981e-07,5.644718e-07,5.642050e-07,5.639591e-07,5.636197e-07,5.629564e-07,5.627649e-07,5.616620e-07,5.615139e-07,5.603310e-07,5.596781e-07,5.587910e-07,5.574918e-07,5.570598e-07,5.551540e-07,5.549945e-07,5.530893e-07,5.522223e-07,5.508805e-07,5.492086e-07,5.485413e-07,5.460845e-07,5.459840e-07,5.435223e-07,5.425763e-07,5.408659e-07,5.390111e-07,5.381257e-07,5.353117e-07,5.324330e-07,5.314996e-07,5.294981e-07,5.275939e-07,5.265149e-07,5.236125e-07,5.234908e-07,5.204327e-07,5.195712e-07,5.173470e-07,5.154847e-07,5.142394e-07,5.113660e-07,5.111156e-07,5.079806e-07,5.072271e-07,5.048390e-07,5.030785e-07,5.016952e-07,4.989300e-07,4.985532e-07,4.954166e-07,4.947903e-07,4.922888e-07,4.906669e-07,4.891729e-07,4.865668e-07,4.860718e-07,4.829879e-07,4.824963e-07,4.799237e-07,4.784606e-07,4.768814e-07,4.744646e-07,4.738629e-07,4.708699e-07,4.705125e-07,4.679041e-07,4.666081e-07,4.649668e-07,4.627544e-07,4.620594e-07,4.591831e-07,4.589543e-07,4.563387e-07,4.552101e-07,4.535273e-07,4.515238e-07,4.507495e-07,4.480061e-07,4.478971e-07,4.452976e-07,4.443312e-07,4.426246e-07,4.408274e-07,4.399874e-07,4.373863e-07,4.340086e-07,4.306947e-07,4.274448e-07,4.242589e-07,4.211370e-07,4.180788e-07,4.150840e-07,4.121520e-07,4.092825e-07,4.064748e-07,4.037281e-07,4.010417e-07,3.984148e-07,3.958465e-07,3.933360e-07,3.908823e-07,3.884845e-07,3.861415e-07,3.838524e-07,3.816162e-07,3.794318e-07,3.772982e-07,3.752144e-07,3.731793e-07
0.000000e+00,3.362308e-14,2.826491e-13,6.469421e-12,4.982293e-11,1.253530e-10,8.883105e-10,9.523143e-10,4.344492e-09,6.240925e-09,1.439339e-08,2.647384e-08,3.833041e-08,8.202549e-08,8.718051e-08,1.761006e-07,2.054646e-07,3.244026e-07,4.418774e-07,5.552267e-07,8.473300e-07,8.947173e-07,1.370466e-06,1.484360e-06,2.009114e-06,2.413375e-06,2.833392e-06,3.681150e-06,3.859235e-06,5.093668e-06,5.310486e-06,6.533910e-06,7.295070e-06,8.167735e-06,9.600749e-06,9.974832e-06,1.192878e-05,1.217170e-05,1.399922e-05,1.493886e-05,1.615400e-05,1.782819e-05,1.836094e-05,2.058928e-05,2.076760e-05,2.281073e-05,2.369163e-05,2.500013e-05,2.654435e-05,2.713582e-05,2.919975e-05,2.928060e-05,3.117744e-05,3.186606e-05,3.305778e-05,3.427659e-05,3.483274e-05,3.649706e-05,3.804792e-05,3.852005e-05,3.948453e-05,4.034439e-05,4.080785e-05,4.197383e-05,4.202023e-05,4.312512e-05,4.341579e-05,4.412680e-05,4.468028e-05,4.503016e-05,4.577897e-05,4.584051e-05,4.656337e-05,4.672447e-05,4.720439e-05,4.752971e-05,4.776918e-05,4.820752e-05,4.826325e-05,4.869194e-05,4.877029e-05,4.906038e-05,4.922978e-05,4.937343e-05,4.959695e-05,4.963567e-05,4.985142e-05,4.988189e-05,5.002468e-05,5.009385e-05,5.015916e-05,5.024116e-05,5.025832e-05,5.032533e-05,5.033135e-05,5.036310e-05,5.037115e-05,5.037430e-05,5.036656e-05,5.036138e-05,5.032659e-05,5.032292e-05,5.027195e-05,5.024497e-05,5.019935e-05,5.013692e-05,5.011049e-05,5.000691e-05,5.000248e-05,4.989004e-05,4.984497e-05,4.976117e-05,4.966728e-05,4.962147e-05,4.947202e-05,4.931380e-05,4.926146e-05,4.914770e-05,4.903764e-05,4.897454e-05,4.880236e-05,4.879507e-05,4.860997e-05,4.855722e-05,4.841988e-05,4.830366e-05,4.822536e-05,4.804294e-05,4.802694e-05,4.782511e-05,4.777621e-05,4.762030e-05,4.750447e-05,4.741295e-05,4.722865e-05,4.720340e-05,4.699202e-05,4.694955e-05,4.677911e-05,4.666790e-05,4.656498e-05,4.638436e-05,4.634989e-05,4.613409e-05,4.609951e-05,4.591780e-05,4.581388e-05,4.570125e-05,4.552794e-05,4.548462e-05,4.526809e-05,4.524212e-05,4.505184e-05,4.495681e-05,4.483601e-05,4.467235e-05,4.462075e-05,4.440619e-05,4.438906e-05,4.419244e-05,4.410719e-05,4.397962e-05,4.382702e-05,4.376783e-05,4.355716e-05,4.354876e-05,4.334771e-05,4.327262e-05,4.313954e-05,4.299876e-05,4.293273e-05,4.272735e-05,4.245854e-05,4.219245e-05,4.192918e-05,4.166884e-05,4.141151e-05,4.115726e-05,4.090617e-05,4.065827e-05,4.041362e-05,4.017225e-05,3.993420e-05,3.969948e-05,3.946811e-05,3.924011e-05,3.901548e-05,3.879422e-05,3.857633e-05,3.836179e-05,3.815061e-05,3.794276e-05,3.773823e-05,3.753700e-05,3.733904e-05,3.714434e-05
0.000000e+00,2.886794e-11,1.071715e-10,6.177341e-10,1.777818e-09,2.823862e-09,7.395266e-09,7.650272e-09,1.600622e-08,1.909535e-08,2.874517e-08,3.883931e-08,4.670088e-08,6.853861e-08,7.069966e-08,1.014943e-07,1.099591e-07,1.395666e-07,1.640869e-07,1.849169e-07,2.305004e-07,2.371031e-07,2.954886e-07,3.078522e-07,3.594293e-07,3.946722e-07,4.283219e-07,4.895963e-07,5.015895e-07,5.786569e-07,5.913013e-07,6.589362e-07,6.984339e-07,7.418215e-07,8.095892e-07,8.266920e-07,9.129200e-07,9.233289e-07,9.998811e-07,1.038218e-06,1.086965e-06,1.152871e-06,1.173588e-06,1.259201e-06,1.265991e-06,1.343298e-06,1.376409e-06,1.425424e-06,1.483107e-06,1.505177e-06,1.582211e-06,1.585232e-06,1.656238e-06,1.682105e-06,1.727024e-06,1.773214e-06,1.794390e-06,1.858206e-06,1.918389e-06,1.936872e-06,1.974896e-06,2.009129e-06,2.027724e-06,2.075001e-06,2.076899e-06,2.122476e-06,2.134603e-06,2.164534e-06,2.188120e-06,2.203171e-06,2.235791e-06,2.238498e-06,2.270641e-06,2.277896e-06,2.299731e-06,2.314741e-06,2.325910e-06,2.346650e-06,2.349318e-06,2.370100e-06,2.373954e-06,2.388401e-06,2.396985e-06,2.404364e-06,2.416068e-06,2.418129e-06,2.429831e-06,2.431522e-06,2.439605e-06,2.443649e-06,2.447578e-06,2.452741e-06,2.453872e-06,2.458604e-06,2.459073e-06,2.461888e-06,2.462901e-06,2.463829e-06,2.464468e-06,2.464527e-06,2.464078e-06,2.463995e-06,2.462571e-06,2.461691e-06,2.460091e-06,2.457747e-06,2.456717e-06,2.452523e-06,2.452339e-06,2.447579e-06,2.445629e-06,2.441951e-06,2.437764e-06,2.435699e-06,2.428879e-06,2.421546e-06,2.419098e-06,2.413747e-06,2.408533e-06,2.405529e-06,2.397286e-06,2.396935e-06,2.388005e-06,2.385449e-06,2.378774e-06,2.373107e-06,2.369279e-06,2.360336e-06,2.359550e-06,2.349616e-06,2.347205e-06,2.339506e-06,2.333776e-06,2.329244e-06,2.320106e-06,2.318853e-06,2.308356e-06,2.306246e-06,2.297773e-06,2.292241e-06,2.287121e-06,2.278134e-06,2.276418e-06,2.265680e-06,2.263960e-06,2.254921e-06,2.249753e-06,2.244154e-06,2.235543e-06,2.233391e-06,2.222645e-06,2.221357e-06,2.211925e-06,2.207218e-06,2.201240e-06,2.193149e-06,2.190600e-06,2.180012e-06,2.179167e-06,2.169483e-06,2.165290e-06,2.159021e-06,2.151532e-06,2.148630e-06,2.138317e-06,2.137906e-06,2.128087e-06,2.124425e-06,2.117943e-06,2.111097e-06,2.107891e-06,2.097932e-06,2.084938e-06,2.072119e-06,2.059483e-06,2.047033e-06,2.034774e-06,2.022708e-06,2.010837e-06,1.999164e-06,1.987690e-06,1.976415e-06,1.965340e-06,1.954464e-06,1.943788e-06,1.933310e-06,1.923029e-06,1.912945e-06,1.903055e-06,1.893358e-06,1.883853e-06,1.874536e-06,1.865406e-06,1.856461e-06,1.847698e-06,1.839115e-06
0.000000e+00,8.496889e-11,3.254104e-10,1.951035e-09,5.732111e-09,9.180568e-09,2.444577e-08,2.530373e-08,5.367541e-08,6.427086e-08,9.767407e-08,1.330480e-07,1.608650e-07,2.391479e-07,2.469629e-07,3.592414e-07,3.903075e-07,4.991849e-07,5.892286e-07,6.654005e-07,8.305697e-07,8.542958e-07,1.061740e-06,1.105118e-06,1.284026e-06,1.404412e-06,1.517990e-06,1.721509e-06,1.760859e-06,2.010085e-06,2.050390e-06,2.263276e-06,2.385546e-06,2.518168e-06,2.721873e-06,2.772636e-06,3.024715e-06,3.054718e-06,3.272630e-06,3.379982e-06,3.514812e-06,3.694198e-06,3.749912e-06,3.976802e-06,3.994570e-06,4.194573e-06,4.278964e-06,4.402523e-06,4.545875e-06,4.600147e-06,4.787112e-06,4.794366e-06,4.963239e-06,5.023979e-06,5.128481e-06,5.234658e-06,5.282905e-06,5.426680e-06,5.560034e-06,5.600549e-06,5.683245e-06,5.756939e-06,5.796665e-06,5.896673e-06,5.900657e-06,5.995623e-06,6.020652e-06,6.081972e-06,6.129819e-06,6.160122e-06,6.225142e-06,6.230496e-06,6.293513e-06,6.307588e-06,6.349582e-06,6.378097e-06,6.399106e-06,6.437581e-06,6.442473e-06,6.480061e-06,6.486918e-06,6.512234e-06,6.526939e-06,6.539339e-06,6.558434e-06,6.561708e-06,6.579658e-06,6.582141e-06,6.593491e-06,6.598753e-06,6.603492e-06,6.608916e-06,6.609931e-06,6.613066e-06,6.613232e-06,6.613139e-06,6.612260e-06,6.610377e-06,6.606516e-06,6.604996e-06,6.597200e-06,6.596477e-06,6.587177e-06,6.582586e-06,6.575109e-06,6.565248e-06,6.561163e-06,6.545498e-06,6.544838e-06,6.528261e-06,6.521699e-06,6.509593e-06,6.496146e-06,6.489622e-06,6.468471e-06,6.446254e-06,6.438937e-06,6.423078e-06,6.407788e-06,6.399043e-06,6.375246e-06,6.374241e-06,6.348759e-06,6.341514e-06,6.322680e-06,6.306776e-06,6.296077e-06,6.271202e-06,6.269022e-06,6.241580e-06,6.234944e-06,6.213813e-06,6.198142e-06,6.185776e-06,6.160924e-06,6.157523e-06,6.129103e-06,6.123403e-06,6.100560e-06,6.085684e-06,6.071938e-06,6.047861e-06,6.043274e-06,6.014604e-06,6.010019e-06,5.985963e-06,5.972233e-06,5.957379e-06,5.934574e-06,5.928882e-06,5.900498e-06,5.897101e-06,5.872250e-06,5.859870e-06,5.844160e-06,5.822929e-06,5.816248e-06,5.788532e-06,5.786323e-06,5.761028e-06,5.750090e-06,5.733753e-06,5.714264e-06,5.706719e-06,5.679939e-06,5.678873e-06,5.653424e-06,5.643945e-06,5.627184e-06,5.609502e-06,5.601227e-06,5.575562e-06,5.542141e-06,5.509254e-06,5.476912e-06,5.445123e-06,5.413894e-06,5.383231e-06,5.353138e-06,5.323616e-06,5.294666e-06,5.266287e-06,5.238479e-06,5.211238e-06,5.184561e-06,5.158445e-06,5.132883e-06,5.107871e-06,5.083402e-06,5.059471e-06,5.036070e-06,5.013192e-06,4.990830e-06,4.968975e-06,4.947620e-06,4.926756e-06
0.000000e+00,4.887475e-11,1.134553e-10,3.965810e-10,9.117105e-10,1.337400e-09,3.082672e-09,3.177767e-09,6.271101e-09,7.418538e-09,1.105150e-08,1.494477e-08,1.804238e-08,2.689390e-08,2.778513e-08,4.063302e-08,4.418171e-08,5.652886e-08,6.661003e-08,7.504477e-08,9.307511e-08,9.563959e-08,1.178401e-07,1.224388e-07,1.412775e-07,1.538557e-07,1.656633e-07,1.867052e-07,1.907595e-07,2.163582e-07,2.204879e-07,2.422714e-07,2.547700e-07,2.683257e-07,2.891629e-07,2.943614e-07,3.202326e-07,3.233197e-07,3.458080e-07,3.569370e-07,3.709716e-07,3.897582e-07,3.956230e-07,4.196760e-07,4.215722e-07,4.430607e-07,4.522143e-07,4.657200e-07,4.815597e-07,4.876087e-07,5.086939e-07,5.095202e-07,5.289525e-07,5.360402e-07,5.483701e-07,5.610901e-07,5.669402e-07,5.846624e-07,6.015420e-07,6.067670e-07,6.175887e-07,6.274276e-07,6.328159e-07,6.466781e-07,6.472398e-07,6.608792e-07,6.645604e-07,6.737547e-07,6.811226e-07,6.858886e-07,6.964163e-07,6.973036e-07,7.080229e-07,7.104946e-07,7.180702e-07,7.234121e-07,7.274695e-07,7.352239e-07,7.362448e-07,7.444199e-07,7.459850e-07,7.520183e-07,7.557493e-07,7.590632e-07,7.645700e-07,7.655775e-07,7.715834e-07,7.724987e-07,7.771029e-07,7.795857e-07,7.821571e-07,7.858795e-07,7.867669e-07,7.909522e-07,7.914268e-07,7.947326e-07,7.962726e-07,7.981271e-07,8.004601e-07,8.011539e-07,8.038308e-07,8.040304e-07,8.061748e-07,8.070230e-07,8.082025e-07,8.094755e-07,8.099298e-07,8.113719e-07,8.114239e-07,8.125438e-07,8.129022e-07,8.134596e-07,8.139430e-07,8.141329e-07,8.145770e-07,8.148044e-07,8.148334e-07,8.148274e-07,8.147401e-07,8.146574e-07,8.143232e-07,8.143058e-07,8.137832e-07,8.136076e-07,8.130998e-07,8.126167e-07,8.122655e-07,8.113728e-07,8.112898e-07,8.101815e-07,8.098968e-07,8.089494e-07,8.082084e-07,8.076016e-07,8.063261e-07,8.061460e-07,8.045902e-07,8.042676e-07,8.029412e-07,8.020493e-07,8.012061e-07,7.996867e-07,7.993912e-07,7.975028e-07,7.971943e-07,7.955469e-07,7.945857e-07,7.935291e-07,7.918739e-07,7.914547e-07,7.893290e-07,7.890707e-07,7.871567e-07,7.861874e-07,7.849426e-07,7.832345e-07,7.826909e-07,7.804059e-07,7.802217e-07,7.780915e-07,7.771583e-07,7.757515e-07,7.740528e-07,7.733894e-07,7.710086e-07,7.709130e-07,7.686123e-07,7.677465e-07,7.662036e-07,7.645600e-07,7.637852e-07,7.613599e-07,7.581521e-07,7.549420e-07,7.517348e-07,7.485351e-07,7.453471e-07,7.421747e-07,7.390216e-07,7.358911e-07,7.327862e-07,7.297096e-07,7.266638e-07,7.236509e-07,7.206731e-07,7.177321e-07,7.148296e-07,7.119669e-07,7.091453e-07,7.063660e-07,7.036297e-07,7.009374e-07,6.982897e-07,6.956872e-07,6.931302e-07,6.906192e-07
0.000000e+00,8.458609e-12,1.945672e-11,6.745049e-11,1.548155e-10,2.272537e-10,5.269463e-10,5.433993e-10,1.084915e-09,1.288600e-09,1.941762e-09,2.652712e-09,3.224084e-09,4.870479e-09,5.036631e-09,7.424076e-09,8.079268e-09,1.034328e-08,1.217722e-08,1.370511e-08,1.696250e-08,1.742566e-08,2.144288e-08,2.227782e-08,2.571275e-08,2.802164e-08,3.020206e-08,3.412222e-08,3.488297e-08,3.972971e-08,4.051888e-08,4.471693e-08,4.715319e-08,4.981902e-08,5.396591e-08,5.500994e-08,6.026348e-08,6.089688e-08,6.555364e-08,6.788632e-08,7.085499e-08,7.487648e-08,7.614320e-08,8.139530e-08,8.181326e-08,8.659002e-08,8.864745e-08,9.170802e-08,9.533567e-08,9.673199e-08,1.016467e-07,1.018408e-07,1.064390e-07,1.081321e-07,1.110979e-07,1.141850e-07,1.156143e-07,1.199807e-07,1.241917e-07,1.255056e-07,1.282430e-07,1.307508e-07,1.321321e-07,1.357114e-07,1.358573e-07,1.394182e-07,1.403859e-07,1.428154e-07,1.447755e-07,1.460500e-07,1.488839e-07,1.491240e-07,1.520399e-07,1.527166e-07,1.548007e-07,1.562802e-07,1.574097e-07,1.595829e-07,1.598705e-07,1.621871e-07,1.626334e-07,1.643633e-07,1.654410e-07,1.664036e-07,1.680154e-07,1.683120e-07,1.700930e-07,1.703664e-07,1.717509e-07,1.725042e-07,1.732899e-07,1.744385e-07,1.747145e-07,1.760288e-07,1.761793e-07,1.772371e-07,1.777362e-07,1.783435e-07,1.791187e-07,1.793520e-07,1.802667e-07,1.803359e-07,1.810913e-07,1.813968e-07,1.818297e-07,1.823100e-07,1.824855e-07,1.830623e-07,1.830838e-07,1.835635e-07,1.837261e-07,1.839926e-07,1.842448e-07,1.843527e-07,1.846471e-07,1.848788e-07,1.849401e-07,1.850506e-07,1.851306e-07,1.851655e-07,1.852249e-07,1.852263e-07,1.852355e-07,1.852292e-07,1.851957e-07,1.851494e-07,1.851095e-07,1.849911e-07,1.849791e-07,1.848068e-07,1.847595e-07,1.845949e-07,1.844597e-07,1.843455e-07,1.840965e-07,1.840605e-07,1.837420e-07,1.836744e-07,1.833918e-07,1.831978e-07,1.830118e-07,1.826707e-07,1.826036e-07,1.821690e-07,1.820971e-07,1.817095e-07,1.814805e-07,1.812266e-07,1.808245e-07,1.807218e-07,1.801966e-07,1.801323e-07,1.796522e-07,1.794070e-07,1.790900e-07,1.786516e-07,1.785112e-07,1.779170e-07,1.778688e-07,1.773084e-07,1.770612e-07,1.766867e-07,1.762314e-07,1.760527e-07,1.754076e-07,1.753816e-07,1.747522e-07,1.745139e-07,1.740874e-07,1.736305e-07,1.734142e-07,1.727332e-07,1.718240e-07,1.709044e-07,1.699761e-07,1.690406e-07,1.680992e-07,1.671534e-07,1.662042e-07,1.652529e-07,1.643006e-07,1.633482e-07,1.623966e-07,1.614467e-07,1.604994e-07,1.595553e-07,1.586152e-07,1.576796e-07,1.567492e-07,1.558246e-07,1.549061e-07,1.539944e-07,1.530897e-07,1.521925e-07,1.513031e-07,1.504218e-07
0.000000e+00,2.168380e-12,4.985975e-12,1.725719e-11,3.947942e-11,5.778934e-11,1.324917e-10,1.365470e-10,2.677254e-10,3.160553e-10,4.680765e-10,6.295520e-10,7.571351e-10,1.118220e-09,1.154337e-09,1.671652e-09,1.813804e-09,2.307828e-09,2.712133e-09,3.052084e-09,3.786316e-09,3.891730e-09,4.815937e-09,5.010130e-09,5.815992e-09,6.363507e-09,6.884486e-09,7.829889e-09,8.014562e-09,9.199443e-09,9.393650e-09,1.043221e-08,1.103887e-08,1.170574e-08,1.274902e-08,1.301274e-08,1.434583e-08,1.450721e-08,1.569773e-08,1.629668e-08,1.706131e-08,1.810124e-08,1.842977e-08,1.979669e-08,1.990579e-08,2.115614e-08,2.169660e-08,2.250275e-08,2.346164e-08,2.383171e-08,2.513885e-08,2.519063e-08,2.642053e-08,2.687507e-08,2.767357e-08,2.850795e-08,2.889541e-08,3.008393e-08,3.123749e-08,3.159904e-08,3.235487e-08,3.305058e-08,3.343518e-08,3.443684e-08,3.447782e-08,3.548249e-08,3.575699e-08,3.644915e-08,3.701095e-08,3.737793e-08,3.819924e-08,3.826916e-08,3.912330e-08,3.932283e-08,3.994092e-08,4.038309e-08,4.072271e-08,4.138165e-08,4.146943e-08,4.218189e-08,4.232035e-08,4.286095e-08,4.320117e-08,4.350752e-08,4.402620e-08,4.412251e-08,4.470687e-08,4.479759e-08,4.526153e-08,4.551751e-08,4.578746e-08,4.618814e-08,4.628558e-08,4.675684e-08,4.681164e-08,4.720217e-08,4.739013e-08,4.762247e-08,4.792570e-08,4.801863e-08,4.839153e-08,4.842039e-08,4.874204e-08,4.887615e-08,4.907098e-08,4.929492e-08,4.937917e-08,4.966741e-08,4.967853e-08,4.993646e-08,5.002877e-08,5.018708e-08,5.034734e-08,5.041999e-08,5.063589e-08,5.083548e-08,5.089601e-08,5.101940e-08,5.112919e-08,5.118830e-08,5.133689e-08,5.134280e-08,5.148350e-08,5.152050e-08,5.161097e-08,5.168133e-08,5.172576e-08,5.182065e-08,5.182843e-08,5.191948e-08,5.193966e-08,5.199941e-08,5.203951e-08,5.206872e-08,5.212129e-08,5.212787e-08,5.217730e-08,5.218606e-08,5.221745e-08,5.223480e-08,5.224873e-08,5.226846e-08,5.227156e-08,5.228630e-08,5.228793e-08,5.229334e-08,5.229409e-08,5.229303e-08,5.228773e-08,5.228572e-08,5.227174e-08,5.226963e-08,5.225141e-08,5.224053e-08,5.222504e-08,5.220113e-08,5.219291e-08,5.215532e-08,5.215209e-08,5.211254e-08,5.209404e-08,5.206483e-08,5.202757e-08,5.201244e-08,5.195562e-08,5.195326e-08,5.189459e-08,5.187163e-08,5.182958e-08,5.178321e-08,5.176081e-08,5.168848e-08,5.158789e-08,5.148187e-08,5.137085e-08,5.125520e-08,5.113530e-08,5.101150e-08,5.088413e-08,5.075350e-08,5.061990e-08,5.048362e-08,5.034493e-08,5.020406e-08,5.006125e-08,4.991674e-08,4.977072e-08,4.962340e-08,4.947496e-08,4.932559e-08,4.917544e-08,4.902467e-08,4.887343e-08,4.872186e-08,4.857009e-08,4.841824e-08
0.000000e+00,2.950091e-13,2.133482e-12,3.597898e-11,2.115481e-10,4.606749e-10,2.277744e-09,2.407369e-09,7.844154e-09,1.032001e-08,1.921299e-08,2.993020e-08,3.901874e-08,6.667626e-08,6.956400e-08,1.128309e-07,1.252963e-07,1.704461e-07,2.094631e-07,2.436689e-07,3.217093e-07,3.333593e-07,4.398997e-07,4.632225e-07,5.630667e-07,6.333969e-07,7.018987e-07,8.293674e-07,8.546497e-07,1.018896e-06,1.046055e-06,1.191788e-06,1.276971e-06,1.370349e-06,1.515349e-06,1.551720e-06,1.733317e-06,1.755014e-06,1.912903e-06,1.990786e-06,2.088594e-06,2.218550e-06,2.258843e-06,2.422414e-06,2.435181e-06,2.578351e-06,2.638423e-06,2.725950e-06,2.826782e-06,2.864733e-06,2.994419e-06,2.999416e-06,3.114905e-06,3.156031e-06,3.226230e-06,3.296778e-06,3.328559e-06,3.422155e-06,3.507356e-06,3.532910e-06,3.584556e-06,3.629965e-06,3.654189e-06,3.714341e-06,3.716711e-06,3.772589e-06,3.787107e-06,3.822289e-06,3.849335e-06,3.866270e-06,3.902064e-06,3.904976e-06,3.938834e-06,3.946284e-06,3.968246e-06,3.982918e-06,3.993593e-06,4.012817e-06,4.015228e-06,4.033481e-06,4.036753e-06,4.048655e-06,4.055423e-06,4.061031e-06,4.069453e-06,4.070865e-06,4.078392e-06,4.079397e-06,4.083826e-06,4.085749e-06,4.087362e-06,4.088945e-06,4.089178e-06,4.089438e-06,4.089372e-06,4.088288e-06,4.087370e-06,4.085860e-06,4.083236e-06,4.082276e-06,4.077646e-06,4.077234e-06,4.072070e-06,4.069596e-06,4.065639e-06,4.060526e-06,4.058435e-06,4.050533e-06,4.050204e-06,4.042001e-06,4.038787e-06,4.032900e-06,4.026417e-06,4.023289e-06,4.013219e-06,4.002737e-06,3.999303e-06,3.991887e-06,3.984768e-06,3.980707e-06,3.969699e-06,3.969235e-06,3.957503e-06,3.954175e-06,3.945541e-06,3.938267e-06,3.933379e-06,3.922035e-06,3.921043e-06,3.908555e-06,3.905538e-06,3.895938e-06,3.888824e-06,3.883212e-06,3.871938e-06,3.870396e-06,3.857508e-06,3.854923e-06,3.844563e-06,3.837814e-06,3.831576e-06,3.820645e-06,3.818561e-06,3.805532e-06,3.803446e-06,3.792498e-06,3.786244e-06,3.779472e-06,3.769064e-06,3.766464e-06,3.753482e-06,3.751927e-06,3.740536e-06,3.734853e-06,3.727634e-06,3.717862e-06,3.714783e-06,3.701989e-06,3.700969e-06,3.689261e-06,3.684189e-06,3.676602e-06,3.667535e-06,3.664019e-06,3.651517e-06,3.651019e-06,3.639100e-06,3.634652e-06,3.626772e-06,3.618442e-06,3.614537e-06,3.602400e-06,3.586531e-06,3.570844e-06,3.555343e-06,3.540034e-06,3.524922e-06,3.510010e-06,3.495302e-06,3.480800e-06,3.466506e-06,3.452423e-06,3.438551e-06,3.424893e-06,3.411447e-06,3.398216e-06,3.385198e-06,3.372394e-06,3.359803e-06,3.347424e-06,3.335257e-06,3.323300e-06,3.311553e-06,3.300013e-06,3.288679e-06,3.277550e-06
0.000000e+00,6.830453e-14,5.706473e-13,1.289104e-11,9.810513e-11,2.452632e-10,1.711468e-09,1.833712e-09,8.260039e-09,1.183228e-08,2.713772e-08,4.978496e-08,7.203471e-08,1.544301e-07,1.641958e-07,3.339973e-07,3.905543e-07,6.214074e-07,8.512857e-07,1.074001e-06,1.648483e-06,1.741474e-06,2.667524e-06,2.886687e-06,3.881706e-06,4.631105e-06,5.393969e-06,6.887041e-06,7.193150e-06,9.249178e-06,9.599165e-06,1.151772e-05,1.266674e-05,1.394587e-05,1.596562e-05,1.647757e-05,1.905805e-05,1.936854e-05,2.163708e-05,2.275985e-05,2.417086e-05,2.604359e-05,2.662298e-05,2.896451e-05,2.914636e-05,3.117369e-05,3.201667e-05,3.323519e-05,3.462240e-05,3.513933e-05,3.688121e-05,3.694749e-05,3.845990e-05,3.898863e-05,3.987767e-05,4.075219e-05,4.113930e-05,4.225151e-05,4.322238e-05,4.350467e-05,4.406096e-05,4.453264e-05,4.477684e-05,4.535779e-05,4.537987e-05,4.587988e-05,4.600274e-05,4.628647e-05,4.648945e-05,4.660887e-05,4.683864e-05,4.685581e-05,4.703545e-05,4.706940e-05,4.715533e-05,4.719897e-05,4.722238e-05,4.724270e-05,4.724290e-05,4.722254e-05,4.721403e-05,4.716640e-05,4.712459e-05,4.707901e-05,4.698440e-05,4.696438e-05,4.682608e-05,4.680197e-05,4.666724e-05,4.658452e-05,4.649061e-05,4.633814e-05,4.629862e-05,4.609339e-05,4.606796e-05,4.587678e-05,4.577829e-05,4.565042e-05,4.547276e-05,4.541575e-05,4.517403e-05,4.515442e-05,4.492635e-05,4.482584e-05,4.467370e-05,4.448920e-05,4.441693e-05,4.415681e-05,4.414635e-05,4.389402e-05,4.379888e-05,4.362915e-05,4.344813e-05,4.336274e-05,4.309528e-05,4.282717e-05,4.274131e-05,4.255882e-05,4.238710e-05,4.229056e-05,4.203339e-05,4.202269e-05,4.175550e-05,4.168084e-05,4.148924e-05,4.133002e-05,4.122413e-05,4.098142e-05,4.096037e-05,4.069816e-05,4.063547e-05,4.043764e-05,4.029256e-05,4.017899e-05,3.995300e-05,3.992231e-05,3.966774e-05,3.961709e-05,3.941539e-05,3.928507e-05,3.916534e-05,3.895715e-05,3.891769e-05,3.867251e-05,3.863352e-05,3.842987e-05,3.831432e-05,3.818982e-05,3.799968e-05,3.795242e-05,3.771771e-05,3.768972e-05,3.748573e-05,3.738453e-05,3.725651e-05,3.708417e-05,3.703008e-05,3.680646e-05,3.678869e-05,3.658566e-05,3.649814e-05,3.636771e-05,3.621255e-05,3.615261e-05,3.594035e-05,3.593192e-05,3.573096e-05,3.565627e-05,3.552442e-05,3.538559e-05,3.532072e-05,3.511987e-05,3.485909e-05,3.460322e-05,3.435222e-05,3.410606e-05,3.386470e-05,3.362809e-05,3.339617e-05,3.316889e-05,3.294620e-05,3.272804e-05,3.251433e-05,3.230503e-05,3.210006e-05,3.189935e-05,3.170284e-05,3.151047e-05,3.132215e-05,3.113783e-05,3.095743e-05,3.078087e-05,3.060810e-05,3.043905e-05,3.027363e-05,3.011178e-05
0.000000e+00,2.446544e-12,1.676812e-11,2.549137e-10,1.376838e-09,2.873252e-09,1.289617e-08,1.358197e-08,4.097967e-08,5.295819e-08,9.476299e-08,1.437221e-07,1.845590e-07,3.068355e-07,3.194970e-07,5.081430e-07,5.623106e-07,7.584817e-07,9.283531e-07,1.077732e-06,1.420435e-06,1.471828e-06,1.944498e-06,2.048565e-06,2.496138e-06,2.813138e-06,3.123052e-06,3.702360e-06,3.817636e-06,4.569523e-06,4.694372e-06,5.367109e-06,5.762763e-06,6.198835e-06,6.881533e-06,7.053947e-06,7.922807e-06,8.027579e-06,8.796902e-06,9.181202e-06,9.668765e-06,1.032586e-05,1.053190e-05,1.138068e-05,1.144781e-05,1.221030e-05,1.253586e-05,1.301675e-05,1.358117e-05,1.379673e-05,1.454763e-05,1.457704e-05,1.526748e-05,1.551874e-05,1.595487e-05,1.640327e-05,1.660890e-05,1.722913e-05,1.781549e-05,1.799601e-05,1.836826e-05,1.870463e-05,1.888796e-05,1.935644e-05,1.937533e-05,1.983129e-05,1.995347e-05,2.025688e-05,2.049812e-05,2.065322e-05,2.099306e-05,2.102152e-05,2.136302e-05,2.144113e-05,2.167896e-05,2.184519e-05,2.197059e-05,2.220811e-05,2.223916e-05,2.248586e-05,2.253268e-05,2.271189e-05,2.282163e-05,2.291838e-05,2.307755e-05,2.310644e-05,2.327712e-05,2.330288e-05,2.343142e-05,2.349995e-05,2.357031e-05,2.367093e-05,2.369469e-05,2.380545e-05,2.381786e-05,2.390337e-05,2.394260e-05,2.398925e-05,2.404690e-05,2.406380e-05,2.412772e-05,2.413240e-05,2.418167e-05,2.420059e-05,2.422625e-05,2.425287e-05,2.426204e-05,2.428958e-05,2.429051e-05,2.430938e-05,2.431471e-05,2.432193e-05,2.432655e-05,2.432768e-05,2.432706e-05,2.432047e-05,2.431716e-05,2.430829e-05,2.429772e-05,2.429086e-05,2.426951e-05,2.426853e-05,2.424161e-05,2.423329e-05,2.421040e-05,2.418973e-05,2.417518e-05,2.413946e-05,2.413621e-05,2.409373e-05,2.408304e-05,2.404798e-05,2.402101e-05,2.399918e-05,2.395388e-05,2.394754e-05,2.389324e-05,2.388208e-05,2.383648e-05,2.380605e-05,2.377743e-05,2.372617e-05,2.371625e-05,2.365309e-05,2.364281e-05,2.358810e-05,2.355630e-05,2.352142e-05,2.346694e-05,2.345317e-05,2.338348e-05,2.337503e-05,2.331247e-05,2.328083e-05,2.324023e-05,2.318458e-05,2.316688e-05,2.309251e-05,2.308652e-05,2.301721e-05,2.298685e-05,2.294107e-05,2.288578e-05,2.286418e-05,2.278659e-05,2.278348e-05,2.270840e-05,2.268012e-05,2.262967e-05,2.257586e-05,2.255047e-05,2.247085e-05,2.236521e-05,2.225908e-05,2.215258e-05,2.204580e-05,2.193885e-05,2.183183e-05,2.172482e-05,2.161789e-05,2.151113e-05,2.140460e-05,2.129837e-05,2.119249e-05,2.108702e-05,2.098201e-05,2.087750e-05,2.077354e-05,2.067018e-05,2.056743e-05,2.046534e-05,2.036394e-05,2.026326e-05,2.016332e-05,2.006415e-05,1.996576e-05
0.000000e+00,7.761138e-14,6.414838e-13,1.416765e-11,1.055687e-10,2.608018e-10,1.762336e-09,1.885646e-09,8.202916e-09,1.163214e-08,2.597030e-08,4.653634e-08,6.624886e-08,1.365847e-07,1.447149e-07,2.815265e-07,3.256526e-07,5.008280e-07,6.696942e-07,8.297055e-07,1.232033e-06,1.296166e-06,1.925979e-06,2.073431e-06,2.738945e-06,3.238032e-06,3.745725e-06,4.741423e-06,4.946188e-06,6.329585e-06,6.566693e-06,7.876227e-06,8.669108e-06,9.560013e-06,1.098581e-05,1.135113e-05,1.321852e-05,1.344627e-05,1.513169e-05,1.598054e-05,1.706207e-05,1.852461e-05,1.898375e-05,2.087386e-05,2.102310e-05,2.271272e-05,2.343010e-05,2.448375e-05,2.570913e-05,2.617333e-05,2.777065e-05,2.783250e-05,2.926748e-05,2.978055e-05,3.065800e-05,3.154089e-05,3.193857e-05,3.310752e-05,3.416493e-05,3.447996e-05,3.511239e-05,3.566235e-05,3.595280e-05,3.666255e-05,3.669013e-05,3.732919e-05,3.749125e-05,3.787544e-05,3.816109e-05,3.833478e-05,3.868591e-05,3.871337e-05,3.901747e-05,3.908006e-05,3.925333e-05,3.935790e-05,3.942708e-05,3.953330e-05,3.954463e-05,3.961160e-05,3.961940e-05,3.963332e-05,3.962838e-05,3.961473e-05,3.957135e-05,3.956044e-05,3.947467e-05,3.945828e-05,3.936125e-05,3.929804e-05,3.922370e-05,3.909841e-05,3.906516e-05,3.888847e-05,3.886617e-05,3.869616e-05,3.860719e-05,3.849050e-05,3.832650e-05,3.827348e-05,3.804690e-05,3.802841e-05,3.781233e-05,3.771659e-05,3.757118e-05,3.739417e-05,3.732467e-05,3.707388e-05,3.706378e-05,3.681977e-05,3.672764e-05,3.656317e-05,3.638764e-05,3.630482e-05,3.604536e-05,3.578537e-05,3.570215e-05,3.552535e-05,3.535913e-05,3.526574e-05,3.501725e-05,3.500692e-05,3.474923e-05,3.467732e-05,3.449297e-05,3.434001e-05,3.423840e-05,3.400588e-05,3.398574e-05,3.373520e-05,3.367541e-05,3.348695e-05,3.334899e-05,3.324115e-05,3.302696e-05,3.299791e-05,3.275737e-05,3.270959e-05,3.251961e-05,3.239710e-05,3.228472e-05,3.208968e-05,3.205277e-05,3.182382e-05,3.178747e-05,3.159792e-05,3.149058e-05,3.137510e-05,3.119909e-05,3.115540e-05,3.093885e-05,3.091308e-05,3.072545e-05,3.063256e-05,3.051523e-05,3.035758e-05,3.030817e-05,3.010429e-05,3.008812e-05,2.990358e-05,2.982418e-05,2.970603e-05,2.956575e-05,2.951163e-05,2.932036e-05,2.931278e-05,2.913221e-05,2.906523e-05,2.894715e-05,2.882306e-05,2.876516e-05,2.858621e-05,2.835462e-05,2.812821e-05,2.790691e-05,2.769065e-05,2.747935e-05,2.727292e-05,2.707128e-05,2.687434e-05,2.668202e-05,2.649422e-05,2.631086e-05,2.613185e-05,2.595710e-05,2.578652e-05,2.562001e-05,2.545749e-05,2.529888e-05,2.514407e-05,2.499300e-05,2.484556e-05,2.470168e-05,2.456128e-05,2.442426e-05,2.429055e-05
0.000000e+00,1.085272e-14,9.482100e-14,2.353344e-12,1.954345e-11,5.128947e-11,4.065796e-10,4.379131e-10,2.245403e-09,3.333217e-09,8.367564e-09,1.652434e-08,2.509086e-08,5.991652e-08,6.429126e-08,1.461231e-07,1.752992e-07,3.016651e-07,4.367278e-07,5.746355e-07,9.564901e-07,1.021421e-06,1.709203e-06,1.882156e-06,2.712513e-06,3.384665e-06,4.108823e-06,5.640971e-06,5.973836e-06,8.377044e-06,8.815646e-06,1.137794e-05,1.304488e-05,1.502306e-05,1.842478e-05,1.934402e-05,2.435640e-05,2.500449e-05,3.005954e-05,3.278405e-05,3.643697e-05,4.171609e-05,4.345749e-05,5.107664e-05,5.171042e-05,5.923852e-05,6.264088e-05,6.787785e-05,7.435329e-05,7.692207e-05,8.629354e-05,8.667407e-05,9.591160e-05,9.941873e-05,1.056946e-04,1.123999e-04,1.155617e-04,1.254343e-04,1.352381e-04,1.383491e-04,1.449031e-04,1.509862e-04,1.543656e-04,1.632058e-04,1.635683e-04,1.724608e-04,1.748890e-04,1.809998e-04,1.859383e-04,1.891494e-04,1.962781e-04,1.968806e-04,2.041711e-04,2.058534e-04,2.110053e-04,2.146293e-04,2.173734e-04,2.225881e-04,2.232710e-04,2.286986e-04,2.297281e-04,2.336612e-04,2.360607e-04,2.381674e-04,2.416084e-04,2.422289e-04,2.458602e-04,2.464023e-04,2.490777e-04,2.504805e-04,2.518998e-04,2.538856e-04,2.543457e-04,2.564356e-04,2.566635e-04,2.581904e-04,2.588616e-04,2.596307e-04,2.605280e-04,2.607776e-04,2.616514e-04,2.617101e-04,2.622723e-04,2.624542e-04,2.626596e-04,2.628044e-04,2.628322e-04,2.628078e-04,2.628030e-04,2.626037e-04,2.624893e-04,2.622358e-04,2.619000e-04,2.617195e-04,2.610690e-04,2.602977e-04,2.600274e-04,2.594180e-04,2.588034e-04,2.584414e-04,2.574228e-04,2.573787e-04,2.562397e-04,2.559084e-04,2.550335e-04,2.542811e-04,2.537685e-04,2.525594e-04,2.524524e-04,2.510923e-04,2.507600e-04,2.496945e-04,2.488975e-04,2.482650e-04,2.469850e-04,2.468091e-04,2.453316e-04,2.450340e-04,2.438370e-04,2.430544e-04,2.423293e-04,2.410552e-04,2.408120e-04,2.392884e-04,2.390442e-04,2.377614e-04,2.370281e-04,2.362338e-04,2.350128e-04,2.347079e-04,2.331858e-04,2.330035e-04,2.316695e-04,2.310046e-04,2.301606e-04,2.290199e-04,2.286608e-04,2.271714e-04,2.270527e-04,2.256936e-04,2.251059e-04,2.242284e-04,2.231818e-04,2.227768e-04,2.213397e-04,2.212825e-04,2.199178e-04,2.194097e-04,2.185116e-04,2.175647e-04,2.171218e-04,2.157489e-04,2.139630e-04,2.122079e-04,2.104842e-04,2.087922e-04,2.071323e-04,2.055046e-04,2.039093e-04,2.023464e-04,2.008157e-04,1.993170e-04,1.978503e-04,1.964152e-04,1.950114e-04,1.936386e-04,1.922964e-04,1.909844e-04,1.897021e-04,1.884491e-04,1.872250e-04,1.860292e-04,1.848613e-04,1.837207e-04,1.826069e-04,1.815195e-04
0.000000e+00,2.055359e-12,1.424870e-11,2.214024e-10,1.217350e-09,2.563299e-09,1.174585e-08,1.238009e-08,3.801936e-08,4.935279e-08,8.927827e-08,1.365821e-07,1.763911e-07,2.971148e-07,3.097280e-07,4.996072e-07,5.546759e-07,7.553858e-07,9.299789e-07,1.083458e-06,1.433249e-06,1.485281e-06,1.957178e-06,2.059373e-06,2.492004e-06,2.792158e-06,3.081213e-06,3.611877e-06,3.716212e-06,4.388851e-06,4.499447e-06,5.091448e-06,5.437177e-06,5.816689e-06,6.408458e-06,6.557553e-06,7.307316e-06,7.397579e-06,8.059617e-06,8.389891e-06,8.808542e-06,9.372139e-06,9.548718e-06,1.027538e-05,1.033280e-05,1.098443e-05,1.126232e-05,1.167242e-05,1.215316e-05,1.233659e-05,1.297478e-05,1.299975e-05,1.358544e-05,1.379832e-05,1.416753e-05,1.454672e-05,1.472048e-05,1.524413e-05,1.573863e-05,1.589079e-05,1.620444e-05,1.648780e-05,1.664222e-05,1.703688e-05,1.705280e-05,1.743713e-05,1.754018e-05,1.779627e-05,1.800011e-05,1.813132e-05,1.841927e-05,1.844342e-05,1.873373e-05,1.880029e-05,1.900340e-05,1.914581e-05,1.925353e-05,1.945838e-05,1.948525e-05,1.969962e-05,1.974050e-05,1.989764e-05,1.999448e-05,2.008030e-05,2.022254e-05,2.024853e-05,2.040320e-05,2.042674e-05,2.054515e-05,2.060900e-05,2.067517e-05,2.077108e-05,2.079399e-05,2.090231e-05,2.091463e-05,2.100078e-05,2.104115e-05,2.109002e-05,2.115203e-05,2.117061e-05,2.124307e-05,2.124853e-05,2.130792e-05,2.133183e-05,2.136562e-05,2.140299e-05,2.141662e-05,2.146133e-05,2.146299e-05,2.150013e-05,2.151273e-05,2.153340e-05,2.155303e-05,2.156147e-05,2.158465e-05,2.160324e-05,2.160827e-05,2.161753e-05,2.162454e-05,2.162778e-05,2.163403e-05,2.163422e-05,2.163710e-05,2.163729e-05,2.163662e-05,2.163480e-05,2.163299e-05,2.162703e-05,2.162640e-05,2.161702e-05,2.161438e-05,2.160504e-05,2.159724e-05,2.159060e-05,2.157598e-05,2.157385e-05,2.155495e-05,2.155092e-05,2.153401e-05,2.152236e-05,2.151116e-05,2.149058e-05,2.148652e-05,2.146021e-05,2.145585e-05,2.143232e-05,2.141841e-05,2.140297e-05,2.137848e-05,2.137223e-05,2.134020e-05,2.133628e-05,2.130697e-05,2.129199e-05,2.127261e-05,2.124579e-05,2.123720e-05,2.120081e-05,2.119786e-05,2.116350e-05,2.114834e-05,2.112535e-05,2.109739e-05,2.108641e-05,2.104673e-05,2.104513e-05,2.100638e-05,2.099170e-05,2.096541e-05,2.093722e-05,2.092386e-05,2.088179e-05,2.082551e-05,2.076849e-05,2.071082e-05,2.065257e-05,2.059382e-05,2.053466e-05,2.047515e-05,2.041535e-05,2.035533e-05,2.029513e-05,2.023482e-05,2.017445e-05,2.011405e-05,2.005368e-05,1.999337e-05,1.993317e-05,1.987310e-05,1.981321e-05,1.975351e-05,1.969405e-05,1.963485e-05,1.957593e-05,1.951731e-05,1.945903e-05
0.000000e+00,3.909085e-11,1.203862e-10,5.609884e-10,1.460736e-09,2.236296e-09,5.494428e-09,5.672827e-09,1.142898e-08,1.352889e-08,2.003323e-08,2.677439e-08,3.199128e-08,4.636052e-08,4.777394e-08,6.778074e-08,7.324428e-08,9.227568e-08,1.079793e-07,1.212952e-07,1.503515e-07,1.545461e-07,1.913524e-07,1.990575e-07,2.307361e-07,2.518757e-07,2.716253e-07,3.064265e-07,3.130587e-07,3.542785e-07,3.608139e-07,3.947226e-07,4.137357e-07,4.339829e-07,4.643376e-07,4.717644e-07,5.078567e-07,5.120667e-07,5.421141e-07,5.565803e-07,5.744432e-07,5.976914e-07,6.047937e-07,6.331502e-07,6.353327e-07,6.595255e-07,6.695283e-07,6.839556e-07,7.003701e-07,7.064938e-07,7.272069e-07,7.279985e-07,7.461710e-07,7.525858e-07,7.634689e-07,7.743235e-07,7.791867e-07,7.934126e-07,8.062347e-07,8.100556e-07,8.177400e-07,8.244515e-07,8.280131e-07,8.367924e-07,8.371362e-07,8.451879e-07,8.472607e-07,8.522433e-07,8.560280e-07,8.583734e-07,8.632533e-07,8.636450e-07,8.681216e-07,8.690844e-07,8.718629e-07,8.736579e-07,8.749250e-07,8.770993e-07,8.773601e-07,8.792172e-07,8.795233e-07,8.805421e-07,8.810350e-07,8.813775e-07,8.817303e-07,8.817634e-07,8.817366e-07,8.816964e-07,8.813317e-07,8.810126e-07,8.805810e-07,8.797516e-07,8.795144e-07,8.781600e-07,8.779794e-07,8.765437e-07,8.757557e-07,8.746891e-07,8.731338e-07,8.726182e-07,8.703511e-07,8.701619e-07,8.679069e-07,8.668836e-07,8.653032e-07,8.633390e-07,8.625563e-07,8.596815e-07,8.595640e-07,8.566926e-07,8.555912e-07,8.536025e-07,8.514495e-07,8.504231e-07,8.471655e-07,8.438399e-07,8.427629e-07,8.404558e-07,8.382633e-07,8.370219e-07,8.336861e-07,8.335464e-07,8.300366e-07,8.290487e-07,8.264995e-07,8.243668e-07,8.229414e-07,8.196544e-07,8.193681e-07,8.157849e-07,8.149241e-07,8.121969e-07,8.101872e-07,8.086085e-07,8.054537e-07,8.050239e-07,8.014469e-07,8.007328e-07,7.978811e-07,7.960323e-07,7.943296e-07,7.913596e-07,7.907954e-07,7.872812e-07,7.867209e-07,7.837893e-07,7.821219e-07,7.803221e-07,7.775674e-07,7.768815e-07,7.734694e-07,7.730620e-07,7.700874e-07,7.686092e-07,7.667369e-07,7.642125e-07,7.634194e-07,7.601359e-07,7.598747e-07,7.568876e-07,7.555983e-07,7.536753e-07,7.513853e-07,7.505000e-07,7.473622e-07,7.472375e-07,7.442627e-07,7.431563e-07,7.412019e-07,7.391429e-07,7.381803e-07,7.351982e-07,7.313230e-07,7.275176e-07,7.237825e-07,7.201178e-07,7.165234e-07,7.129994e-07,7.095453e-07,7.061609e-07,7.028458e-07,6.995994e-07,6.964211e-07,6.933102e-07,6.902660e-07,6.872878e-07,6.843746e-07,6.815257e-07,6.787400e-07,6.760168e-07,6.733550e-07,6.707537e-07,6.682119e-07,6.657286e-07,6.633027e-07,6.609333e-07
0.000000e+00,9.867537e-12,5.898109e-11,6.966713e-10,3.101148e-09,5.902967e-09,2.180446e-08,2.281035e-08,5.996791e-08,7.524631e-08,1.266985e-07,1.852411e-07,2.335206e-07,3.776239e-07,3.925835e-07,6.172001e-07,6.822776e-07,9.192985e-07,1.124892e-06,1.304782e-06,1.710584e-06,1.770381e-06,2.305666e-06,2.419963e-06,2.897996e-06,3.224686e-06,3.535988e-06,4.100372e-06,4.210400e-06,4.913732e-06,5.028511e-06,5.639592e-06,5.994306e-06,6.382253e-06,6.984922e-06,7.136441e-06,7.897251e-06,7.988774e-06,8.660140e-06,8.995386e-06,9.420956e-06,9.995473e-06,1.017596e-05,1.092185e-05,1.098104e-05,1.165575e-05,1.194540e-05,1.237523e-05,1.288316e-05,1.307825e-05,1.376315e-05,1.379015e-05,1.442863e-05,1.466324e-05,1.507368e-05,1.550025e-05,1.569755e-05,1.629976e-05,1.687999e-05,1.706099e-05,1.743811e-05,1.778370e-05,1.797413e-05,1.846804e-05,1.848818e-05,1.898049e-05,1.911447e-05,1.945135e-05,1.972373e-05,1.990114e-05,2.029669e-05,2.033027e-05,2.073920e-05,2.083439e-05,2.112842e-05,2.133796e-05,2.149842e-05,2.180855e-05,2.184974e-05,2.218288e-05,2.224738e-05,2.249842e-05,2.265572e-05,2.279691e-05,2.303486e-05,2.307889e-05,2.334490e-05,2.338601e-05,2.359546e-05,2.371040e-05,2.383112e-05,2.400926e-05,2.405239e-05,2.425978e-05,2.428376e-05,2.445379e-05,2.453504e-05,2.463491e-05,2.476425e-05,2.480364e-05,2.496042e-05,2.497246e-05,2.510572e-05,2.516072e-05,2.523997e-05,2.533005e-05,2.536363e-05,2.547711e-05,2.548144e-05,2.558081e-05,2.561583e-05,2.567515e-05,2.573414e-05,2.576049e-05,2.583723e-05,2.590571e-05,2.592594e-05,2.596629e-05,2.600108e-05,2.601932e-05,2.606342e-05,2.606512e-05,2.610401e-05,2.611370e-05,2.613629e-05,2.615261e-05,2.616227e-05,2.618085e-05,2.618223e-05,2.619645e-05,2.619904e-05,2.620520e-05,2.620781e-05,2.620874e-05,2.620773e-05,2.620731e-05,2.620115e-05,2.619938e-05,2.619051e-05,2.618327e-05,2.617560e-05,2.615993e-05,2.615663e-05,2.613381e-05,2.612982e-05,2.610735e-05,2.609341e-05,2.607743e-05,2.605113e-05,2.604424e-05,2.600796e-05,2.600340e-05,2.596875e-05,2.595062e-05,2.592679e-05,2.589315e-05,2.588223e-05,2.583521e-05,2.583135e-05,2.578590e-05,2.576556e-05,2.573442e-05,2.569609e-05,2.568091e-05,2.562550e-05,2.562324e-05,2.556831e-05,2.554731e-05,2.550947e-05,2.546856e-05,2.544908e-05,2.538725e-05,2.530362e-05,2.521789e-05,2.513028e-05,2.504101e-05,2.495025e-05,2.485819e-05,2.476499e-05,2.467083e-05,2.457585e-05,2.448020e-05,2.438399e-05,2.428737e-05,2.419045e-05,2.409334e-05,2.399614e-05,2.389895e-05,2.380185e-05,2.370494e-05,2.360829e-05,2.351197e-05,2.341606e-05,2.332061e-05,2.322568e-05,2.313133e-05
0.000000e+00,1.337026e-12,9.750273e-12,1.679486e-10,1.014542e-09,2.252734e-09,1.196926e-08,1.269760e-08,4.635045e-08,6.337746e-08,1.315649e-07,2.253051e-07,3.120978e-07,6.008932e-07,6.323476e-07,1.112648e-06,1.251058e-06,1.742333e-06,2.149886e-06,2.493140e-06,3.229961e-06,3.334905e-06,4.243373e-06,4.431433e-06,5.201055e-06,5.714135e-06,6.195171e-06,7.050834e-06,7.215451e-06,8.252691e-06,8.419633e-06,9.298107e-06,9.800303e-06,1.034321e-05,1.117365e-05,1.137997e-05,1.240098e-05,1.252213e-05,1.339972e-05,1.383063e-05,1.437059e-05,1.508699e-05,1.530907e-05,1.621160e-05,1.628217e-05,1.707563e-05,1.741005e-05,1.789943e-05,1.846709e-05,1.868204e-05,1.942314e-05,1.945192e-05,2.012291e-05,2.036481e-05,2.078194e-05,2.120729e-05,2.140118e-05,2.198177e-05,2.252504e-05,2.269124e-05,2.303244e-05,2.333906e-05,2.350550e-05,2.392875e-05,2.394575e-05,2.435477e-05,2.446390e-05,2.473409e-05,2.494806e-05,2.508523e-05,2.538467e-05,2.540968e-05,2.570886e-05,2.577705e-05,2.598414e-05,2.612835e-05,2.623685e-05,2.644155e-05,2.646824e-05,2.667951e-05,2.671946e-05,2.687182e-05,2.696469e-05,2.704625e-05,2.717970e-05,2.720382e-05,2.734552e-05,2.736678e-05,2.747227e-05,2.752805e-05,2.758494e-05,2.766549e-05,2.768435e-05,2.777130e-05,2.778094e-05,2.784652e-05,2.787608e-05,2.791071e-05,2.795251e-05,2.796451e-05,2.800856e-05,2.801168e-05,2.804344e-05,2.805494e-05,2.806969e-05,2.808355e-05,2.808785e-05,2.809840e-05,2.809867e-05,2.810181e-05,2.810137e-05,2.809851e-05,2.809265e-05,2.808892e-05,2.807342e-05,2.805238e-05,2.804453e-05,2.802615e-05,2.800679e-05,2.799506e-05,2.796091e-05,2.795940e-05,2.791949e-05,2.790758e-05,2.787558e-05,2.784742e-05,2.782793e-05,2.778102e-05,2.777680e-05,2.772242e-05,2.770890e-05,2.766499e-05,2.763158e-05,2.760473e-05,2.754951e-05,2.754183e-05,2.747647e-05,2.746312e-05,2.740883e-05,2.737281e-05,2.733908e-05,2.727896e-05,2.726736e-05,2.719382e-05,2.718190e-05,2.711861e-05,2.708195e-05,2.704185e-05,2.697941e-05,2.696366e-05,2.688417e-05,2.687455e-05,2.680349e-05,2.676763e-05,2.672171e-05,2.665888e-05,2.663893e-05,2.655526e-05,2.654853e-05,2.647078e-05,2.643678e-05,2.638557e-05,2.632382e-05,2.629972e-05,2.621329e-05,2.620982e-05,2.612636e-05,2.609495e-05,2.603899e-05,2.597937e-05,2.595125e-05,2.586320e-05,2.574660e-05,2.562967e-05,2.551253e-05,2.539529e-05,2.527805e-05,2.516089e-05,2.504390e-05,2.492716e-05,2.481074e-05,2.469470e-05,2.457912e-05,2.446405e-05,2.434953e-05,2.423563e-05,2.412237e-05,2.400982e-05,2.389800e-05,2.378695e-05,2.367669e-05,2.356727e-05,2.345871e-05,2.335103e-05,2.324425e-05,2.313840e-05
0.000000e+00,6.036198e-11,1.412892e-10,4.974525e-10,1.145927e-09,1.681455e-09,3.873047e-09,3.992286e-09,7.861449e-09,9.291268e-09,1.378974e-08,1.853808e-08,2.224144e-08,3.238316e-08,3.336769e-08,4.693486e-08,5.051499e-08,6.259913e-08,7.217901e-08,8.007820e-08,9.678320e-08,9.914906e-08,1.196115e-07,1.238536e-07,1.412659e-07,1.529288e-07,1.639051e-07,1.835267e-07,1.873152e-07,2.112800e-07,2.151516e-07,2.355875e-07,2.473169e-07,2.600353e-07,2.795677e-07,2.844355e-07,3.086187e-07,3.114988e-07,3.324358e-07,3.427657e-07,3.557592e-07,3.730883e-07,3.784821e-07,4.005180e-07,4.022490e-07,4.217988e-07,4.300880e-07,4.422744e-07,4.564977e-07,4.619091e-07,4.806803e-07,4.814130e-07,4.985763e-07,5.048038e-07,5.155946e-07,5.266688e-07,5.317415e-07,5.470269e-07,5.614657e-07,5.659106e-07,5.750782e-07,5.833666e-07,5.878865e-07,5.994486e-07,5.999151e-07,6.111902e-07,6.142159e-07,6.217389e-07,6.277308e-07,6.315885e-07,6.400563e-07,6.407665e-07,6.493006e-07,6.512560e-07,6.572182e-07,6.613928e-07,6.645463e-07,6.705286e-07,6.713115e-07,6.775395e-07,6.787228e-07,6.832553e-07,6.860332e-07,6.884832e-07,6.925149e-07,6.932469e-07,6.975690e-07,6.982210e-07,7.014715e-07,7.032020e-07,7.049756e-07,7.075057e-07,7.081016e-07,7.108690e-07,7.111778e-07,7.132964e-07,7.142614e-07,7.154018e-07,7.167971e-07,7.172024e-07,7.187146e-07,7.188236e-07,7.199543e-07,7.203772e-07,7.209364e-07,7.214921e-07,7.216752e-07,7.221846e-07,7.222004e-07,7.224776e-07,7.225325e-07,7.225666e-07,7.225168e-07,7.224637e-07,7.221802e-07,7.217269e-07,7.215477e-07,7.211141e-07,7.206427e-07,7.203516e-07,7.194875e-07,7.194488e-07,7.184146e-07,7.181026e-07,7.172574e-07,7.165074e-07,7.159853e-07,7.147201e-07,7.146060e-07,7.131266e-07,7.127575e-07,7.115543e-07,7.106355e-07,7.098954e-07,7.083689e-07,7.081562e-07,7.063427e-07,7.059716e-07,7.044604e-07,7.034563e-07,7.025148e-07,7.008352e-07,7.005108e-07,6.984533e-07,6.981194e-07,6.963468e-07,6.953195e-07,6.941956e-07,6.924452e-07,6.920038e-07,6.897752e-07,6.895055e-07,6.875136e-07,6.865089e-07,6.852223e-07,6.834632e-07,6.829047e-07,6.805639e-07,6.803757e-07,6.782028e-07,6.772533e-07,6.758241e-07,6.741021e-07,6.734305e-07,6.710245e-07,6.709280e-07,6.686083e-07,6.677364e-07,6.661842e-07,6.645324e-07,6.637543e-07,6.613204e-07,6.581049e-07,6.548897e-07,6.516785e-07,6.484746e-07,6.452811e-07,6.421009e-07,6.389364e-07,6.357902e-07,6.326644e-07,6.295609e-07,6.264815e-07,6.234279e-07,6.204015e-07,6.174037e-07,6.144357e-07,6.114985e-07,6.085931e-07,6.057204e-07,6.028810e-07,6.000755e-07,5.973047e-07,5.945689e-07,5.918685e-07,5.892039e-07
0.000000e+00,9.727274e-14,8.071082e-13,1.798242e-11,1.351656e-10,3.356130e-10,2.299701e-09,2.462069e-09,1.087259e-08,1.548358e-08,3.495004e-08,6.319844e-08,9.050913e-08,1.891217e-07,2.006066e-07,3.955931e-07,4.589986e-07,7.123042e-07,9.581497e-07,1.192104e-06,1.783203e-06,1.877720e-06,2.809442e-06,3.028480e-06,4.021638e-06,4.771823e-06,5.540286e-06,7.065051e-06,7.381770e-06,9.552727e-06,9.930607e-06,1.205063e-05,1.336290e-05,1.486478e-05,1.733206e-05,1.797741e-05,2.136492e-05,2.178859e-05,2.499901e-05,2.666802e-05,2.884780e-05,3.189538e-05,3.287691e-05,3.705052e-05,3.738956e-05,4.133229e-05,4.306721e-05,4.568630e-05,4.884635e-05,5.007781e-05,5.447392e-05,5.464942e-05,5.884410e-05,6.040559e-05,6.316062e-05,6.605244e-05,6.739874e-05,7.153692e-05,7.555680e-05,7.681560e-05,7.944315e-05,8.185456e-05,8.318372e-05,8.662872e-05,8.676906e-05,9.019224e-05,9.112099e-05,9.344863e-05,9.532125e-05,9.653564e-05,9.922535e-05,9.945244e-05,1.021997e-04,1.028340e-04,1.047794e-04,1.061519e-04,1.071945e-04,1.091867e-04,1.094489e-04,1.115471e-04,1.119485e-04,1.134942e-04,1.144487e-04,1.152956e-04,1.167003e-04,1.169569e-04,1.184841e-04,1.187164e-04,1.198831e-04,1.205109e-04,1.211599e-04,1.220974e-04,1.223204e-04,1.233706e-04,1.234894e-04,1.243160e-04,1.247003e-04,1.251624e-04,1.257428e-04,1.259152e-04,1.265797e-04,1.266292e-04,1.271609e-04,1.273712e-04,1.276637e-04,1.279799e-04,1.280929e-04,1.284529e-04,1.284659e-04,1.287480e-04,1.288392e-04,1.289823e-04,1.291089e-04,1.291598e-04,1.292840e-04,1.293587e-04,1.293726e-04,1.293870e-04,1.293824e-04,1.293723e-04,1.293204e-04,1.293175e-04,1.292255e-04,1.291935e-04,1.290990e-04,1.290077e-04,1.289406e-04,1.287688e-04,1.287527e-04,1.285376e-04,1.284821e-04,1.282973e-04,1.281526e-04,1.280341e-04,1.277850e-04,1.277498e-04,1.274462e-04,1.273833e-04,1.271250e-04,1.269516e-04,1.267878e-04,1.264934e-04,1.264362e-04,1.260715e-04,1.260121e-04,1.256952e-04,1.255107e-04,1.253084e-04,1.249922e-04,1.249123e-04,1.245080e-04,1.244590e-04,1.240966e-04,1.239136e-04,1.236791e-04,1.233582e-04,1.232563e-04,1.228291e-04,1.227948e-04,1.223983e-04,1.222251e-04,1.219646e-04,1.216509e-04,1.215287e-04,1.210913e-04,1.210738e-04,1.206529e-04,1.204950e-04,1.202142e-04,1.199159e-04,1.197756e-04,1.193376e-04,1.187612e-04,1.181875e-04,1.176175e-04,1.170519e-04,1.164913e-04,1.159364e-04,1.153878e-04,1.148458e-04,1.143109e-04,1.137835e-04,1.132639e-04,1.127524e-04,1.122491e-04,1.117544e-04,1.112682e-04,1.107909e-04,1.103224e-04,1.098628e-04,1.094122e-04,1.089707e-04,1.085382e-04,1.081146e-04,1.077001e-04,1.072945e-04
0.000000e+00,1.043079e-11,2.410396e-11,8.361435e-11,1.908671e-10,2.787675e-10,6.337698e-10,6.528945e-10,1.264720e-09,1.487170e-09,2.178100e-09,2.899380e-09,3.461391e-09,5.020426e-09,5.174089e-09,7.336411e-09,7.919265e-09,9.913052e-09,1.151318e-08,1.284002e-08,1.565663e-08,1.605607e-08,1.951079e-08,2.022652e-08,2.316133e-08,2.512391e-08,2.696852e-08,3.026023e-08,3.089497e-08,3.490458e-08,3.555150e-08,3.896278e-08,4.091835e-08,4.303711e-08,4.628806e-08,4.709777e-08,5.111806e-08,5.159664e-08,5.507469e-08,5.679021e-08,5.894783e-08,6.182534e-08,6.272105e-08,6.638119e-08,6.666879e-08,6.991806e-08,7.129653e-08,7.332417e-08,7.569263e-08,7.659437e-08,7.972558e-08,7.984791e-08,8.271637e-08,8.375863e-08,8.556670e-08,8.742525e-08,8.827774e-08,9.085157e-08,9.329102e-08,9.404380e-08,9.559945e-08,9.700983e-08,9.778066e-08,9.975874e-08,9.983875e-08,1.017780e-07,1.023003e-07,1.036029e-07,1.046448e-07,1.053179e-07,1.068024e-07,1.069274e-07,1.084360e-07,1.087835e-07,1.098481e-07,1.105983e-07,1.111679e-07,1.122564e-07,1.123997e-07,1.135476e-07,1.137675e-07,1.146155e-07,1.151404e-07,1.156072e-07,1.163841e-07,1.165264e-07,1.173767e-07,1.175066e-07,1.181615e-07,1.185159e-07,1.188840e-07,1.194193e-07,1.195474e-07,1.201547e-07,1.202239e-07,1.207087e-07,1.209364e-07,1.212123e-07,1.215628e-07,1.216680e-07,1.220783e-07,1.221092e-07,1.224456e-07,1.225810e-07,1.227722e-07,1.229834e-07,1.230603e-07,1.233119e-07,1.233212e-07,1.235291e-07,1.235991e-07,1.237136e-07,1.238214e-07,1.238673e-07,1.239919e-07,1.240891e-07,1.241146e-07,1.241603e-07,1.241929e-07,1.242070e-07,1.242301e-07,1.242306e-07,1.242325e-07,1.242293e-07,1.242140e-07,1.241935e-07,1.241761e-07,1.241252e-07,1.241201e-07,1.240471e-07,1.240271e-07,1.239581e-07,1.239016e-07,1.238540e-07,1.237507e-07,1.237358e-07,1.236044e-07,1.235766e-07,1.234607e-07,1.233813e-07,1.233053e-07,1.231665e-07,1.231392e-07,1.229630e-07,1.229339e-07,1.227773e-07,1.226851e-07,1.225829e-07,1.224215e-07,1.223804e-07,1.221703e-07,1.221447e-07,1.219533e-07,1.218557e-07,1.217298e-07,1.215559e-07,1.215003e-07,1.212653e-07,1.212463e-07,1.210253e-07,1.209280e-07,1.207807e-07,1.206020e-07,1.205319e-07,1.202793e-07,1.202691e-07,1.200232e-07,1.199302e-07,1.197640e-07,1.195862e-07,1.195021e-07,1.192377e-07,1.188854e-07,1.185299e-07,1.181719e-07,1.178119e-07,1.174504e-07,1.170878e-07,1.167247e-07,1.163615e-07,1.159984e-07,1.156359e-07,1.152743e-07,1.149138e-07,1.145548e-07,1.141976e-07,1.138422e-07,1.134891e-07,1.131383e-07,1.127901e-07,1.124445e-07,1.121019e-07,1.117622e-07,1.114257e-07,1.110924e-07,1.107625e-07
0.000000e+00,2.269374e-10,7.343626e-10,3.622567e-09,9.716691e-09,1.506023e-08,3.796698e-08,3.923648e-08,8.078446e-08,9.617611e-08,1.444851e-07,1.954145e-07,2.353386e-07,3.471442e-07,3.582606e-07,5.170368e-07,5.606642e-07,7.126133e-07,8.372983e-07,9.421990e-07,1.168211e-06,1.200539e-06,1.481970e-06,1.540571e-06,1.781466e-06,1.942894e-06,2.094734e-06,2.365766e-06,2.418023e-06,2.747964e-06,2.801164e-06,3.081499e-06,3.242047e-06,3.415855e-06,3.682256e-06,3.748555e-06,4.077420e-06,4.116534e-06,4.400580e-06,4.540546e-06,4.716460e-06,4.950859e-06,5.023774e-06,5.321498e-06,5.344876e-06,5.608841e-06,5.720735e-06,5.885221e-06,6.077199e-06,6.150245e-06,6.403663e-06,6.413556e-06,6.645350e-06,6.729480e-06,6.875295e-06,7.024985e-06,7.093570e-06,7.300316e-06,7.495730e-06,7.555907e-06,7.680051e-06,7.792322e-06,7.853555e-06,8.010218e-06,8.016539e-06,8.169322e-06,8.210317e-06,8.312232e-06,8.393379e-06,8.445607e-06,8.560182e-06,8.569786e-06,8.685113e-06,8.711512e-06,8.791928e-06,8.848152e-06,8.890569e-06,8.970877e-06,8.981370e-06,9.064659e-06,9.080443e-06,9.140756e-06,9.177589e-06,9.209976e-06,9.263031e-06,9.272626e-06,9.329002e-06,9.337460e-06,9.379395e-06,9.401541e-06,9.424086e-06,9.455915e-06,9.463346e-06,9.497439e-06,9.501195e-06,9.526620e-06,9.537967e-06,9.551135e-06,9.566791e-06,9.571220e-06,9.587104e-06,9.588200e-06,9.599007e-06,9.602701e-06,9.607141e-06,9.610779e-06,9.611710e-06,9.612910e-06,9.612890e-06,9.610928e-06,9.609471e-06,9.605945e-06,9.600931e-06,9.598134e-06,9.587661e-06,9.574685e-06,9.570029e-06,9.559358e-06,9.548383e-06,9.541827e-06,9.523051e-06,9.522229e-06,9.500699e-06,9.494342e-06,9.477364e-06,9.462547e-06,9.452345e-06,9.427941e-06,9.425759e-06,9.397717e-06,9.390782e-06,9.368324e-06,9.351312e-06,9.337681e-06,9.309758e-06,9.305884e-06,9.273025e-06,9.266333e-06,9.239190e-06,9.221237e-06,9.204462e-06,9.174659e-06,9.168920e-06,9.132640e-06,9.126771e-06,9.095691e-06,9.077739e-06,9.058142e-06,9.027714e-06,9.020057e-06,8.981496e-06,8.976840e-06,8.942518e-06,8.925249e-06,8.903175e-06,8.873064e-06,8.863521e-06,8.823604e-06,8.820400e-06,8.783470e-06,8.767365e-06,8.743163e-06,8.714058e-06,8.702724e-06,8.662191e-06,8.660569e-06,8.621603e-06,8.606983e-06,8.580992e-06,8.553381e-06,8.540392e-06,8.499832e-06,8.446405e-06,8.393160e-06,8.340154e-06,8.287439e-06,8.235060e-06,8.183061e-06,8.131481e-06,8.080356e-06,8.029716e-06,7.979592e-06,7.930007e-06,7.880986e-06,7.832548e-06,7.784712e-06,7.737493e-06,7.690904e-06,7.644957e-06,7.599661e-06,7.555024e-06,7.511054e-06,7.467754e-06,7.425129e-06,7.383180e-06,7.341909e-06
0.000000e+00,1.294634e-11,3.057792e-11,1.087607e-10,2.519512e-10,3.706329e-10,8.589557e-10,8.856268e-10,1.756184e-09,2.080396e-09,3.110140e-09,4.215821e-09,5.093792e-09,7.573182e-09,7.819470e-09,1.129320e-08,1.222934e-08,1.542753e-08,1.799151e-08,2.011784e-08,2.463897e-08,2.528143e-08,3.085748e-08,3.201782e-08,3.679773e-08,4.001619e-08,4.305902e-08,4.853576e-08,4.959917e-08,5.637507e-08,5.747814e-08,6.334236e-08,6.674133e-08,7.045563e-08,7.622064e-08,7.766920e-08,8.493800e-08,8.581188e-08,9.221851e-08,9.541491e-08,9.946944e-08,1.049366e-07,1.066524e-07,1.137326e-07,1.142937e-07,1.206795e-07,1.234147e-07,1.274659e-07,1.322398e-07,1.340690e-07,1.404697e-07,1.407213e-07,1.466525e-07,1.488226e-07,1.526054e-07,1.565174e-07,1.583194e-07,1.637885e-07,1.690088e-07,1.706265e-07,1.739789e-07,1.770286e-07,1.786993e-07,1.829978e-07,1.831720e-07,1.873998e-07,1.885402e-07,1.913869e-07,1.936659e-07,1.951387e-07,1.983876e-07,1.986611e-07,2.019604e-07,2.027198e-07,2.050436e-07,2.066783e-07,2.079177e-07,2.102798e-07,2.105900e-07,2.130682e-07,2.135411e-07,2.153595e-07,2.164797e-07,2.174716e-07,2.191126e-07,2.194118e-07,2.211875e-07,2.214568e-07,2.228058e-07,2.235288e-07,2.242739e-07,2.253448e-07,2.255986e-07,2.267865e-07,2.269202e-07,2.278443e-07,2.282701e-07,2.287781e-07,2.294087e-07,2.295941e-07,2.302982e-07,2.303499e-07,2.308960e-07,2.311066e-07,2.313931e-07,2.316915e-07,2.317946e-07,2.321056e-07,2.321162e-07,2.323310e-07,2.323921e-07,2.324755e-07,2.325298e-07,2.325435e-07,2.325392e-07,2.324669e-07,2.324301e-07,2.323305e-07,2.322112e-07,2.321336e-07,2.318911e-07,2.318799e-07,2.315728e-07,2.314777e-07,2.312156e-07,2.309786e-07,2.308115e-07,2.304008e-07,2.303634e-07,2.298741e-07,2.297509e-07,2.293465e-07,2.290352e-07,2.287830e-07,2.282594e-07,2.281861e-07,2.275583e-07,2.274292e-07,2.269017e-07,2.265496e-07,2.262184e-07,2.256254e-07,2.255106e-07,2.247800e-07,2.246612e-07,2.240286e-07,2.236611e-07,2.232581e-07,2.226291e-07,2.224702e-07,2.216663e-07,2.215688e-07,2.208480e-07,2.204838e-07,2.200167e-07,2.193771e-07,2.191738e-07,2.183205e-07,2.182518e-07,2.174580e-07,2.171107e-07,2.165874e-07,2.159562e-07,2.157099e-07,2.148264e-07,2.147909e-07,2.139379e-07,2.136170e-07,2.130453e-07,2.124365e-07,2.121495e-07,2.112512e-07,2.100631e-07,2.088738e-07,2.076847e-07,2.064972e-07,2.053127e-07,2.041323e-07,2.029571e-07,2.017881e-07,2.006261e-07,1.994722e-07,1.983269e-07,1.971909e-07,1.960650e-07,1.949496e-07,1.938452e-07,1.927524e-07,1.916714e-07,1.906027e-07,1.895466e-07,1.885033e-07,1.874730e-07,1.864560e-07,1.854525e-07,1.844625e-07
0.000000e+00,5.800818e-15,5.044961e-14,1.241046e-12,1.022009e-11,2.669080e-11,2.086879e-10,2.246353e-10,1.133613e-09,1.674771e-09,4.149994e-09,8.101277e-09,1.220285e-08,2.859123e-08,3.062779e-08,6.821745e-08,8.146582e-08,1.383527e-07,1.986534e-07,2.599564e-07,4.291412e-07,4.578793e-07,7.624083e-07,8.390773e-07,1.207852e-06,1.507186e-06,1.830426e-06,2.516443e-06,2.665802e-06,3.746689e-06,3.944347e-06,5.100720e-06,5.854113e-06,6.748838e-06,8.288218e-06,8.704239e-06,1.097190e-05,1.126493e-05,1.354856e-05,1.477761e-05,1.642320e-05,1.879633e-05,1.957774e-05,2.298808e-05,2.327111e-05,2.662514e-05,2.813620e-05,3.045612e-05,3.331469e-05,3.444561e-05,3.855676e-05,3.872321e-05,4.275228e-05,4.427621e-05,4.699542e-05,4.988979e-05,5.125072e-05,5.548468e-05,5.966632e-05,6.098872e-05,6.376751e-05,6.633838e-05,6.776326e-05,7.147982e-05,7.163188e-05,7.535499e-05,7.636925e-05,7.891750e-05,8.097285e-05,8.230753e-05,8.526631e-05,8.551617e-05,8.853731e-05,8.923404e-05,9.136742e-05,9.286830e-05,9.400527e-05,9.616809e-05,9.645161e-05,9.870898e-05,9.913811e-05,1.007814e-04,1.017876e-04,1.026741e-04,1.041296e-04,1.043932e-04,1.059460e-04,1.061795e-04,1.073399e-04,1.079549e-04,1.085829e-04,1.094743e-04,1.096834e-04,1.106497e-04,1.107570e-04,1.114901e-04,1.118221e-04,1.122129e-04,1.126886e-04,1.128262e-04,1.133379e-04,1.133747e-04,1.137555e-04,1.138978e-04,1.140862e-04,1.142745e-04,1.143370e-04,1.145143e-04,1.145200e-04,1.146243e-04,1.146485e-04,1.146727e-04,1.146732e-04,1.146649e-04,1.146060e-04,1.145005e-04,1.144576e-04,1.143528e-04,1.142380e-04,1.141669e-04,1.139560e-04,1.139465e-04,1.136950e-04,1.136194e-04,1.134155e-04,1.132355e-04,1.131108e-04,1.128106e-04,1.127837e-04,1.124364e-04,1.123504e-04,1.120713e-04,1.118597e-04,1.116903e-04,1.113433e-04,1.112952e-04,1.108878e-04,1.108050e-04,1.104696e-04,1.102483e-04,1.100419e-04,1.096764e-04,1.096061e-04,1.091634e-04,1.090920e-04,1.087148e-04,1.084976e-04,1.082612e-04,1.078954e-04,1.078036e-04,1.073428e-04,1.072873e-04,1.068795e-04,1.066750e-04,1.064144e-04,1.060601e-04,1.059481e-04,1.054812e-04,1.054438e-04,1.050142e-04,1.048275e-04,1.045476e-04,1.042121e-04,1.040817e-04,1.036171e-04,1.035985e-04,1.031540e-04,1.029877e-04,1.026928e-04,1.023804e-04,1.022337e-04,1.017771e-04,1.011785e-04,1.005851e-04,9.999729e-05,9.941555e-05,9.884017e-05,9.827147e-05,9.770971e-05,9.715511e-05,9.660786e-05,9.606813e-05,9.553605e-05,9.501173e-05,9.449527e-05,9.398674e-05,9.348619e-05,9.299366e-05,9.250917e-05,9.203272e-05,9.156432e-05,9.110394e-05,9.065156e-05,9.020714e-05,8.977065e-05,8.934203e-05
0.000000e+00,4.750511e-11,1.602311e-10,8.237185e-10,2.240543e-09,3.483014e-09,8.769292e-09,9.060165e-09,1.846696e-08,2.190121e-08,3.252949e-08,4.352381e-08,5.201756e-08,7.536293e-08,7.765657e-08,1.101064e-07,1.189700e-07,1.498809e-07,1.754483e-07,1.971811e-07,2.447875e-07,2.516819e-07,3.124416e-07,3.252275e-07,3.780857e-07,4.136587e-07,4.471443e-07,5.068175e-07,5.182938e-07,5.904292e-07,6.019994e-07,6.626446e-07,6.971117e-07,7.341916e-07,7.905240e-07,8.044447e-07,8.728817e-07,8.809507e-07,9.390703e-07,9.673881e-07,1.002661e-06,1.049082e-06,1.063382e-06,1.121030e-06,1.125505e-06,1.175471e-06,1.196330e-06,1.226626e-06,1.261406e-06,1.274468e-06,1.319014e-06,1.320728e-06,1.360318e-06,1.374408e-06,1.398461e-06,1.422646e-06,1.433549e-06,1.465705e-06,1.495062e-06,1.503889e-06,1.521765e-06,1.537529e-06,1.545959e-06,1.566963e-06,1.567793e-06,1.587413e-06,1.592529e-06,1.604963e-06,1.614558e-06,1.620583e-06,1.633364e-06,1.634407e-06,1.646563e-06,1.649246e-06,1.657173e-06,1.662482e-06,1.666352e-06,1.673331e-06,1.674207e-06,1.680840e-06,1.682028e-06,1.686345e-06,1.688792e-06,1.690812e-06,1.693821e-06,1.694321e-06,1.696950e-06,1.697293e-06,1.698768e-06,1.699373e-06,1.699843e-06,1.700207e-06,1.700233e-06,1.699997e-06,1.699929e-06,1.699185e-06,1.698658e-06,1.697846e-06,1.696503e-06,1.696023e-06,1.693759e-06,1.693560e-06,1.691092e-06,1.689919e-06,1.688055e-06,1.685658e-06,1.684681e-06,1.681002e-06,1.680848e-06,1.677043e-06,1.675554e-06,1.672830e-06,1.669834e-06,1.668388e-06,1.663739e-06,1.658901e-06,1.657316e-06,1.653894e-06,1.650610e-06,1.648736e-06,1.643657e-06,1.643442e-06,1.638028e-06,1.636492e-06,1.632506e-06,1.629147e-06,1.626890e-06,1.621650e-06,1.621191e-06,1.615421e-06,1.614026e-06,1.609589e-06,1.606300e-06,1.603705e-06,1.598491e-06,1.597778e-06,1.591815e-06,1.590619e-06,1.585824e-06,1.582700e-06,1.579812e-06,1.574751e-06,1.573786e-06,1.567751e-06,1.566785e-06,1.561713e-06,1.558815e-06,1.555677e-06,1.550852e-06,1.549647e-06,1.543629e-06,1.542908e-06,1.537626e-06,1.534990e-06,1.531641e-06,1.527108e-06,1.525679e-06,1.519743e-06,1.519269e-06,1.513835e-06,1.511480e-06,1.507958e-06,1.503748e-06,1.502115e-06,1.496308e-06,1.496077e-06,1.490539e-06,1.488472e-06,1.484811e-06,1.480939e-06,1.479124e-06,1.473480e-06,1.466100e-06,1.458801e-06,1.451586e-06,1.444458e-06,1.437418e-06,1.430468e-06,1.423610e-06,1.416845e-06,1.410174e-06,1.403597e-06,1.397116e-06,1.390730e-06,1.384441e-06,1.378247e-06,1.372150e-06,1.366149e-06,1.360244e-06,1.354435e-06,1.348720e-06,1.343100e-06,1.337575e-06,1.332142e-06,1.326803e-06,1.321555e-06
0.000000e+00,1.968326e-12,1.377943e-11,2.183713e-10,1.221831e-09,2.597265e-09,1.220010e-08,1.287213e-08,4.058630e-08,5.309288e-08,9.806786e-08,1.528570e-07,2.000132e-07,3.476606e-07,3.634197e-07,6.059048e-07,6.775550e-07,9.413167e-07,1.172358e-06,1.375767e-06,1.838987e-06,1.907819e-06,2.531831e-06,2.667078e-06,3.241148e-06,3.641637e-06,4.029638e-06,4.749186e-06,4.891894e-06,5.822826e-06,5.977806e-06,6.817240e-06,7.315483e-06,7.869534e-06,8.748928e-06,8.973557e-06,1.012261e-05,1.026319e-05,1.130953e-05,1.184185e-05,1.252681e-05,1.346753e-05,1.376677e-05,1.502173e-05,1.512255e-05,1.628415e-05,1.678958e-05,1.754681e-05,1.845222e-05,1.880289e-05,2.004607e-05,2.009544e-05,2.127062e-05,2.170589e-05,2.247143e-05,2.327211e-05,2.364402e-05,2.478454e-05,2.588979e-05,2.623558e-05,2.695715e-05,2.761939e-05,2.798454e-05,2.893181e-05,2.897043e-05,2.991374e-05,3.017013e-05,3.081379e-05,3.133292e-05,3.167029e-05,3.241983e-05,3.248328e-05,3.325304e-05,3.343141e-05,3.398012e-05,3.436891e-05,3.466526e-05,3.523417e-05,3.530933e-05,3.591336e-05,3.602946e-05,3.647848e-05,3.675736e-05,3.700589e-05,3.742068e-05,3.749684e-05,3.795263e-05,3.802239e-05,3.837459e-05,3.856550e-05,3.876404e-05,3.905310e-05,3.912232e-05,3.945074e-05,3.948821e-05,3.975062e-05,3.987385e-05,4.002323e-05,4.021296e-05,4.026983e-05,4.049165e-05,4.050836e-05,4.068987e-05,4.076281e-05,4.086564e-05,4.097893e-05,4.102009e-05,4.115429e-05,4.115925e-05,4.126928e-05,4.130617e-05,4.136607e-05,4.142198e-05,4.144562e-05,4.150885e-05,4.155665e-05,4.156883e-05,4.158987e-05,4.160385e-05,4.160932e-05,4.161576e-05,4.161578e-05,4.161000e-05,4.160628e-05,4.159268e-05,4.157704e-05,4.156451e-05,4.152956e-05,4.152613e-05,4.147816e-05,4.146529e-05,4.142119e-05,4.138557e-05,4.135579e-05,4.129168e-05,4.128248e-05,4.120178e-05,4.118480e-05,4.111417e-05,4.106604e-05,4.102012e-05,4.093645e-05,4.092005e-05,4.081440e-05,4.079700e-05,4.070355e-05,4.064861e-05,4.058789e-05,4.049213e-05,4.046777e-05,4.034352e-05,4.032835e-05,4.021549e-05,4.015803e-05,4.008396e-05,3.998184e-05,3.994923e-05,3.981158e-05,3.980045e-05,3.967127e-05,3.961446e-05,3.952854e-05,3.942442e-05,3.938364e-05,3.923677e-05,3.923086e-05,3.908816e-05,3.903427e-05,3.893800e-05,3.883510e-05,3.878647e-05,3.863376e-05,3.843066e-05,3.822615e-05,3.802056e-05,3.781421e-05,3.760739e-05,3.740035e-05,3.719335e-05,3.698661e-05,3.678034e-05,3.657472e-05,3.636994e-05,3.616616e-05,3.596352e-05,3.576216e-05,3.556220e-05,3.536375e-05,3.516691e-05,3.497177e-05,3.477843e-05,3.458694e-05,3.439738e-05,3.420980e-05,3.402426e-05,3.384080e-05
0.000000e+00,2.475984e-14,2.086755e-13,4.803615e-12,3.721630e-11,9.398205e-11,6.735457e-10,7.224501e-10,3.343782e-09,4.825473e-09,1.127392e-08,2.098607e-08,3.064358e-08,6.691719e-08,7.124824e-08,1.469868e-07,1.722925e-07,2.755953e-07,3.783122e-07,4.776817e-07,7.338487e-07,7.753580e-07,1.190834e-06,1.289953e-06,1.745214e-06,2.094824e-06,2.457592e-06,3.190225e-06,3.344437e-06,4.419197e-06,4.609326e-06,5.692079e-06,6.375576e-06,7.169932e-06,8.502236e-06,8.856223e-06,1.075109e-05,1.099237e-05,1.285145e-05,1.383925e-05,1.515123e-05,1.702710e-05,1.764161e-05,2.031133e-05,2.053227e-05,2.314712e-05,2.432464e-05,2.613405e-05,2.836921e-05,2.925600e-05,3.249606e-05,3.262787e-05,3.583692e-05,3.706097e-05,3.926128e-05,4.162883e-05,4.275212e-05,4.629302e-05,4.986837e-05,5.101734e-05,5.346353e-05,5.576851e-05,5.706492e-05,6.051663e-05,6.066018e-05,6.423810e-05,6.523542e-05,6.778869e-05,6.990221e-05,7.130313e-05,7.449784e-05,7.477371e-05,7.819377e-05,7.900642e-05,8.155766e-05,8.341508e-05,8.486060e-05,8.771362e-05,8.809864e-05,9.126859e-05,9.189417e-05,9.436787e-05,9.595091e-05,9.739454e-05,9.987975e-05,1.003471e-04,1.032247e-04,1.036780e-04,1.060265e-04,1.073444e-04,1.087523e-04,1.108783e-04,1.114022e-04,1.139764e-04,1.142802e-04,1.164753e-04,1.175512e-04,1.188997e-04,1.206928e-04,1.212502e-04,1.235279e-04,1.237070e-04,1.257338e-04,1.265962e-04,1.278689e-04,1.293630e-04,1.299345e-04,1.319317e-04,1.320102e-04,1.338620e-04,1.345407e-04,1.357265e-04,1.369575e-04,1.375267e-04,1.392639e-04,1.409394e-04,1.414628e-04,1.425548e-04,1.435577e-04,1.441113e-04,1.455515e-04,1.456104e-04,1.470534e-04,1.474476e-04,1.484417e-04,1.492490e-04,1.497767e-04,1.509589e-04,1.510597e-04,1.522920e-04,1.525804e-04,1.534750e-04,1.541165e-04,1.546100e-04,1.555701e-04,1.556983e-04,1.567411e-04,1.569443e-04,1.577397e-04,1.582418e-04,1.586952e-04,1.594655e-04,1.596089e-04,1.604821e-04,1.606181e-04,1.613157e-04,1.617021e-04,1.621110e-04,1.627204e-04,1.628690e-04,1.635910e-04,1.636752e-04,1.642778e-04,1.645692e-04,1.649306e-04,1.654046e-04,1.655504e-04,1.661382e-04,1.661839e-04,1.666949e-04,1.669092e-04,1.672216e-04,1.675827e-04,1.677191e-04,1.681883e-04,1.682065e-04,1.686301e-04,1.687827e-04,1.690455e-04,1.693132e-04,1.694351e-04,1.698000e-04,1.702448e-04,1.706496e-04,1.710160e-04,1.713457e-04,1.716402e-04,1.719013e-04,1.721302e-04,1.723286e-04,1.724978e-04,1.726391e-04,1.727539e-04,1.728433e-04,1.729086e-04,1.729510e-04,1.729715e-04,1.729713e-04,1.729514e-04,1.729127e-04,1.728562e-04,1.727829e-04,1.726935e-04,1.725891e-04,1.724703e-04,1.723380e-04
0.000000e+00,1.560691e-11,3.597060e-11,1.247263e-10,2.851608e-10,4.169178e-10,9.499646e-10,9.786923e-10,1.896812e-09,2.229910e-09,3.261538e-09,4.334191e-09,5.168017e-09,7.482517e-09,7.711479e-09,1.096969e-08,1.186294e-08,1.497604e-08,1.754023e-08,1.970928e-08,2.443203e-08,2.511390e-08,3.112607e-08,3.239599e-08,3.768515e-08,4.129306e-08,4.473436e-08,5.099421e-08,5.221869e-08,6.008314e-08,6.137303e-08,6.827214e-08,7.230169e-08,7.672969e-08,8.365172e-08,8.540023e-08,9.422939e-08,9.529704e-08,1.031650e-07,1.071175e-07,1.121578e-07,1.190023e-07,1.211621e-07,1.301364e-07,1.308519e-07,1.390434e-07,1.425798e-07,1.478500e-07,1.541123e-07,1.565275e-07,1.650514e-07,1.653888e-07,1.734006e-07,1.763602e-07,1.815581e-07,1.869883e-07,1.895098e-07,1.972448e-07,2.047548e-07,2.071094e-07,2.120332e-07,2.165675e-07,2.190753e-07,2.256112e-07,2.258787e-07,2.324421e-07,2.342368e-07,2.387654e-07,2.424445e-07,2.448497e-07,2.502376e-07,2.506967e-07,2.563092e-07,2.576216e-07,2.616902e-07,2.646037e-07,2.668433e-07,2.711927e-07,2.717725e-07,2.764824e-07,2.773984e-07,2.809773e-07,2.832314e-07,2.852622e-07,2.887027e-07,2.893419e-07,2.932216e-07,2.938241e-07,2.969062e-07,2.986072e-07,3.004011e-07,3.030638e-07,3.037114e-07,3.068421e-07,3.072060e-07,3.097986e-07,3.110456e-07,3.125860e-07,3.145944e-07,3.152093e-07,3.176735e-07,3.178639e-07,3.199837e-07,3.208657e-07,3.221446e-07,3.236108e-07,3.241612e-07,3.260382e-07,3.261104e-07,3.277801e-07,3.283750e-07,3.293916e-07,3.304152e-07,3.308772e-07,3.322411e-07,3.334877e-07,3.338625e-07,3.346211e-07,3.352890e-07,3.356455e-07,3.365299e-07,3.365647e-07,3.373828e-07,3.375942e-07,3.381034e-07,3.384905e-07,3.387303e-07,3.392273e-07,3.392670e-07,3.397170e-07,3.398125e-07,3.400838e-07,3.402541e-07,3.403707e-07,3.405595e-07,3.405807e-07,3.407172e-07,3.407359e-07,3.407830e-07,3.407904e-07,3.407812e-07,3.407295e-07,3.407146e-07,3.405860e-07,3.405598e-07,3.403980e-07,3.402874e-07,3.401532e-07,3.399183e-07,3.398543e-07,3.395035e-07,3.394581e-07,3.391034e-07,3.389122e-07,3.386561e-07,3.382860e-07,3.381639e-07,3.376289e-07,3.375843e-07,3.370532e-07,3.368120e-07,3.364389e-07,3.359737e-07,3.357878e-07,3.351018e-07,3.350736e-07,3.343827e-07,3.341161e-07,3.336324e-07,3.331051e-07,3.328524e-07,3.320444e-07,3.309376e-07,3.297883e-07,3.285997e-07,3.273749e-07,3.261170e-07,3.248289e-07,3.235132e-07,3.221725e-07,3.208092e-07,3.194258e-07,3.180244e-07,3.166071e-07,3.151759e-07,3.137328e-07,3.122793e-07,3.108174e-07,3.093485e-07,3.078742e-07,3.063958e-07,3.049148e-07,3.034324e-07,3.019498e-07,3.004682e-07,2.989885e-07
0.000000e+00,1.909747e-11,4.438446e-11,1.552564e-10,3.568308e-10,5.232460e-10,1.204140e-09,1.241180e-09,2.442957e-09,2.887233e-09,4.287818e-09,5.775510e-09,6.945864e-09,1.020460e-08,1.052505e-08,1.500123e-08,1.619797e-08,2.027385e-08,2.353886e-08,2.625074e-08,3.204037e-08,3.286619e-08,4.006927e-08,4.157625e-08,4.781249e-08,5.203594e-08,5.604562e-08,6.329975e-08,6.471335e-08,7.375501e-08,7.523209e-08,8.310566e-08,8.768389e-08,9.269757e-08,1.004987e-07,1.024621e-07,1.123315e-07,1.135197e-07,1.222403e-07,1.265967e-07,1.321270e-07,1.395909e-07,1.419348e-07,1.516124e-07,1.523796e-07,1.611146e-07,1.648573e-07,1.704019e-07,1.769368e-07,1.794410e-07,1.882044e-07,1.885488e-07,1.966699e-07,1.996411e-07,2.048204e-07,2.101762e-07,2.126432e-07,2.201299e-07,2.272751e-07,2.294891e-07,2.340770e-07,2.382502e-07,2.405361e-07,2.464169e-07,2.466552e-07,2.524387e-07,2.539987e-07,2.578927e-07,2.610100e-07,2.630245e-07,2.674683e-07,2.678423e-07,2.723550e-07,2.733937e-07,2.765721e-07,2.788082e-07,2.805034e-07,2.837345e-07,2.841590e-07,2.875491e-07,2.881961e-07,2.906839e-07,2.922165e-07,2.935736e-07,2.958191e-07,2.962285e-07,2.986584e-07,2.990269e-07,3.008731e-07,3.018625e-07,3.028822e-07,3.043478e-07,3.046951e-07,3.063209e-07,3.065038e-07,3.077683e-07,3.083509e-07,3.090460e-07,3.099085e-07,3.101621e-07,3.111248e-07,3.111954e-07,3.119417e-07,3.122293e-07,3.126202e-07,3.130270e-07,3.131674e-07,3.135904e-07,3.136048e-07,3.138955e-07,3.139778e-07,3.140893e-07,3.141606e-07,3.141778e-07,3.141667e-07,3.140618e-07,3.140093e-07,3.138683e-07,3.137004e-07,3.135914e-07,3.132517e-07,3.132360e-07,3.128068e-07,3.126740e-07,3.123082e-07,3.119775e-07,3.117445e-07,3.111720e-07,3.111199e-07,3.104382e-07,3.102665e-07,3.097031e-07,3.092695e-07,3.089182e-07,3.081890e-07,3.080869e-07,3.072124e-07,3.070326e-07,3.062977e-07,3.058072e-07,3.053459e-07,3.045196e-07,3.043596e-07,3.033416e-07,3.031760e-07,3.022944e-07,3.017820e-07,3.012202e-07,3.003432e-07,3.001216e-07,2.990005e-07,2.988645e-07,2.978590e-07,2.973508e-07,2.966992e-07,2.958065e-07,2.955228e-07,2.943316e-07,2.942357e-07,2.931272e-07,2.926421e-07,2.919113e-07,2.910295e-07,2.906853e-07,2.894507e-07,2.894011e-07,2.882087e-07,2.877601e-07,2.869607e-07,2.861092e-07,2.857078e-07,2.844512e-07,2.827885e-07,2.811234e-07,2.794580e-07,2.777944e-07,2.761342e-07,2.744791e-07,2.728306e-07,2.711903e-07,2.695592e-07,2.679387e-07,2.663297e-07,2.647332e-07,2.631501e-07,2.615813e-07,2.600273e-07,2.584889e-07,2.569667e-07,2.554611e-07,2.539725e-07,2.525015e-07,2.510482e-07,2.496131e-07,2.481963e-07,2.467981e-07
0.000000e+00,3.904105e-11,1.807451e-10,1.407990e-09,4.777615e-09,8.100139e-09,2.397595e-08,2.490290e-08,5.671319e-08,6.901005e-08,1.087739e-07,1.521398e-07,1.869508e-07,2.875702e-07,2.978024e-07,4.480528e-07,4.906276e-07,6.430305e-07,7.726264e-07,8.845940e-07,1.134009e-06,1.170518e-06,1.496112e-06,1.565533e-06,1.856255e-06,2.055638e-06,2.246378e-06,2.594365e-06,2.662557e-06,3.101305e-06,3.173380e-06,3.559378e-06,3.785199e-06,4.033658e-06,4.422704e-06,4.521103e-06,5.018754e-06,5.079021e-06,5.523757e-06,5.747582e-06,6.033399e-06,6.422255e-06,6.545134e-06,7.056626e-06,7.097470e-06,7.565744e-06,7.768290e-06,8.070575e-06,8.430453e-06,8.569448e-06,9.060902e-06,9.080388e-06,9.543689e-06,9.715164e-06,1.001676e-05,1.033246e-05,1.047925e-05,1.093046e-05,1.136983e-05,1.150785e-05,1.179692e-05,1.206367e-05,1.221143e-05,1.259733e-05,1.261315e-05,1.300194e-05,1.310847e-05,1.337774e-05,1.359700e-05,1.374057e-05,1.406295e-05,1.409047e-05,1.442755e-05,1.450655e-05,1.475193e-05,1.492810e-05,1.506379e-05,1.532801e-05,1.536331e-05,1.565070e-05,1.570674e-05,1.592618e-05,1.606481e-05,1.619000e-05,1.640277e-05,1.644240e-05,1.668364e-05,1.672122e-05,1.691397e-05,1.702074e-05,1.713367e-05,1.730195e-05,1.734300e-05,1.754223e-05,1.756547e-05,1.773162e-05,1.781191e-05,1.791145e-05,1.804189e-05,1.808198e-05,1.824349e-05,1.825602e-05,1.839622e-05,1.845491e-05,1.854044e-05,1.863916e-05,1.867641e-05,1.880437e-05,1.880933e-05,1.892459e-05,1.896601e-05,1.903729e-05,1.910976e-05,1.914273e-05,1.924112e-05,1.933272e-05,1.936063e-05,1.941774e-05,1.946880e-05,1.949640e-05,1.956614e-05,1.956893e-05,1.963552e-05,1.965314e-05,1.969640e-05,1.973026e-05,1.975175e-05,1.979797e-05,1.980178e-05,1.984668e-05,1.985672e-05,1.988664e-05,1.990693e-05,1.992184e-05,1.994902e-05,1.995245e-05,1.997866e-05,1.998339e-05,2.000062e-05,2.001042e-05,2.001851e-05,2.003050e-05,2.003247e-05,2.004268e-05,2.004397e-05,2.004927e-05,2.005119e-05,2.005239e-05,2.005249e-05,2.005219e-05,2.004880e-05,2.004819e-05,2.004236e-05,2.003859e-05,2.003300e-05,2.002400e-05,2.002084e-05,2.000600e-05,2.000470e-05,1.998861e-05,1.998096e-05,1.996877e-05,1.995304e-05,1.994661e-05,1.992222e-05,1.992120e-05,1.989571e-05,1.988567e-05,1.986718e-05,1.984668e-05,1.983674e-05,1.980446e-05,1.975922e-05,1.971116e-05,1.966047e-05,1.960734e-05,1.955194e-05,1.949445e-05,1.943501e-05,1.937380e-05,1.931095e-05,1.924660e-05,1.918089e-05,1.911394e-05,1.904587e-05,1.897680e-05,1.890684e-05,1.883608e-05,1.876464e-05,1.869259e-05,1.862003e-05,1.854704e-05,1.847371e-05,1.840010e-05,1.832630e-05,1.825235e-05
0.000000e+00,8.605317e-13,6.582912e-12,1.242623e-10,8.059275e-10,1.848467e-09,1.038238e-08,1.102813e-08,4.040241e-08,5.479690e-08,1.098635e-07,1.813282e-07,2.452595e-07,4.542503e-07,4.771407e-07,8.399250e-07,9.505528e-07,1.370423e-06,1.754113e-06,2.103766e-06,2.938456e-06,3.066693e-06,4.271725e-06,4.541766e-06,5.715835e-06,6.556499e-06,7.383640e-06,8.940963e-06,9.252431e-06,1.129656e-05,1.163815e-05,1.349013e-05,1.458874e-05,1.580813e-05,1.773603e-05,1.822666e-05,2.072283e-05,2.102652e-05,2.327452e-05,2.440933e-05,2.586043e-05,2.783599e-05,2.846011e-05,3.105420e-05,3.126093e-05,3.362464e-05,3.464244e-05,3.615495e-05,3.794357e-05,3.863038e-05,4.103809e-05,4.113283e-05,4.336714e-05,4.418456e-05,4.560856e-05,4.707895e-05,4.775521e-05,4.980175e-05,5.174446e-05,5.234379e-05,5.358108e-05,5.470036e-05,5.531066e-05,5.687050e-05,5.693337e-05,5.845031e-05,5.885634e-05,5.986339e-05,6.066243e-05,6.117516e-05,6.229513e-05,6.238867e-05,6.350734e-05,6.376212e-05,6.453490e-05,6.507199e-05,6.547526e-05,6.623382e-05,6.633242e-05,6.711048e-05,6.725696e-05,6.781350e-05,6.815076e-05,6.844553e-05,6.892447e-05,6.901052e-05,6.951235e-05,6.958703e-05,6.995475e-05,7.014706e-05,7.034133e-05,7.061272e-05,7.067554e-05,7.096068e-05,7.099176e-05,7.119993e-05,7.129144e-05,7.139628e-05,7.151857e-05,7.155258e-05,7.167153e-05,7.167951e-05,7.175568e-05,7.178014e-05,7.180744e-05,7.182595e-05,7.182911e-05,7.182281e-05,7.182200e-05,7.179057e-05,7.177298e-05,7.173428e-05,7.168319e-05,7.165574e-05,7.155663e-05,7.143851e-05,7.139694e-05,7.130287e-05,7.120752e-05,7.115110e-05,7.099143e-05,7.098450e-05,7.080428e-05,7.075153e-05,7.061158e-05,7.049043e-05,7.040749e-05,7.021052e-05,7.019300e-05,6.996904e-05,6.991398e-05,6.973651e-05,6.960284e-05,6.949620e-05,6.927893e-05,6.924891e-05,6.899533e-05,6.894392e-05,6.873615e-05,6.859937e-05,6.847198e-05,6.824667e-05,6.820343e-05,6.793102e-05,6.788711e-05,6.765527e-05,6.752187e-05,6.737667e-05,6.715202e-05,6.709564e-05,6.681261e-05,6.677853e-05,6.652796e-05,6.640230e-05,6.624205e-05,6.602413e-05,6.595522e-05,6.566778e-05,6.564476e-05,6.538000e-05,6.526487e-05,6.509218e-05,6.488505e-05,6.480454e-05,6.451733e-05,6.450586e-05,6.423076e-05,6.412779e-05,6.394503e-05,6.375130e-05,6.366032e-05,6.337679e-05,6.300463e-05,6.263515e-05,6.226863e-05,6.190534e-05,6.154553e-05,6.118938e-05,6.083709e-05,6.048882e-05,6.014471e-05,5.980487e-05,5.946942e-05,5.913844e-05,5.881201e-05,5.849019e-05,5.817302e-05,5.786055e-05,5.755280e-05,5.724979e-05,5.695154e-05,5.665804e-05,5.636929e-05,5.608528e-05,5.580599e-05,5.553141e-05
0.000000e+00,2.600268e-12,5.963822e-12,2.048550e-11,4.643660e-11,6.756448e-11,1.519183e-10,1.564235e-10,2.987391e-10,3.496925e-10,5.056476e-10,6.652936e-10,7.879057e-10,1.122713e-09,1.155456e-09,1.615671e-09,1.740253e-09,2.170150e-09,2.519838e-09,2.812817e-09,3.442344e-09,3.532323e-09,4.316160e-09,4.479605e-09,5.152737e-09,5.605090e-09,6.031584e-09,6.795378e-09,6.943013e-09,7.877891e-09,8.029062e-09,8.827572e-09,9.286275e-09,9.783954e-09,1.054884e-08,1.073957e-08,1.168768e-08,1.180066e-08,1.262237e-08,1.302804e-08,1.353854e-08,1.421980e-08,1.443195e-08,1.529915e-08,1.536731e-08,1.613748e-08,1.646427e-08,1.694497e-08,1.750647e-08,1.772024e-08,1.846248e-08,1.849148e-08,1.917132e-08,1.941832e-08,1.984678e-08,2.028718e-08,2.048919e-08,2.109912e-08,2.167736e-08,2.185585e-08,2.222483e-08,2.255953e-08,2.274255e-08,2.321260e-08,2.323163e-08,2.369322e-08,2.381770e-08,2.412849e-08,2.437750e-08,2.453861e-08,2.489473e-08,2.492476e-08,2.528810e-08,2.537202e-08,2.562973e-08,2.581197e-08,2.595075e-08,2.621704e-08,2.625222e-08,2.653514e-08,2.658959e-08,2.680049e-08,2.693185e-08,2.704921e-08,2.724591e-08,2.728215e-08,2.750018e-08,2.753373e-08,2.770407e-08,2.779715e-08,2.789459e-08,2.803787e-08,2.807246e-08,2.823835e-08,2.825749e-08,2.839291e-08,2.845749e-08,2.853675e-08,2.863924e-08,2.867043e-08,2.879451e-08,2.880404e-08,2.890949e-08,2.895305e-08,2.901587e-08,2.908739e-08,2.911409e-08,2.920460e-08,2.920807e-08,2.928780e-08,2.931604e-08,2.936408e-08,2.941219e-08,2.943381e-08,2.949733e-08,2.955496e-08,2.957221e-08,2.960702e-08,2.963755e-08,2.965380e-08,2.969399e-08,2.969557e-08,2.973260e-08,2.974216e-08,2.976514e-08,2.978260e-08,2.979341e-08,2.981585e-08,2.981765e-08,2.983805e-08,2.984240e-08,2.985483e-08,2.986271e-08,2.986816e-08,2.987719e-08,2.987823e-08,2.988521e-08,2.988625e-08,2.988927e-08,2.989026e-08,2.989054e-08,2.988957e-08,2.988918e-08,2.988533e-08,2.988449e-08,2.987911e-08,2.987532e-08,2.987065e-08,2.986236e-08,2.986008e-08,2.984750e-08,2.984586e-08,2.983301e-08,2.982606e-08,2.981673e-08,2.980321e-08,2.979875e-08,2.977915e-08,2.977752e-08,2.975804e-08,2.974919e-08,2.973549e-08,2.971841e-08,2.971158e-08,2.968639e-08,2.968536e-08,2.965999e-08,2.965021e-08,2.963245e-08,2.961311e-08,2.960384e-08,2.957422e-08,2.953367e-08,2.949160e-08,2.944813e-08,2.940337e-08,2.935743e-08,2.931042e-08,2.926243e-08,2.921356e-08,2.916389e-08,2.911350e-08,2.906246e-08,2.901086e-08,2.895875e-08,2.890621e-08,2.885328e-08,2.880004e-08,2.874652e-08,2.869279e-08,2.863889e-08,2.858487e-08,2.853076e-08,2.847661e-08,2.842245e-08,2.836832e-08
0.000000e+00,3.734333e-11,1.271695e-10,6.593926e-10,1.796760e-09,2.792647e-09,7.014429e-09,7.246115e-09,1.471303e-08,1.742881e-08,2.580705e-08,3.443936e-08,4.108848e-08,5.928968e-08,6.107266e-08,8.620981e-08,9.304938e-08,1.168222e-07,1.364002e-07,1.529877e-07,1.891693e-07,1.943927e-07,2.402479e-07,2.498540e-07,2.893805e-07,3.157877e-07,3.404805e-07,3.840357e-07,3.923408e-07,4.439739e-07,4.521606e-07,4.946229e-07,5.184125e-07,5.437218e-07,5.816009e-07,5.908542e-07,6.357183e-07,6.409387e-07,6.781035e-07,6.959302e-07,7.178735e-07,7.463021e-07,7.549543e-07,7.893236e-07,7.919563e-07,8.210027e-07,8.329328e-07,8.500487e-07,8.693782e-07,8.765466e-07,9.006021e-07,9.015152e-07,9.223361e-07,9.296172e-07,9.418808e-07,9.539907e-07,9.593736e-07,9.749540e-07,9.887611e-07,9.928271e-07,1.000931e-06,1.007920e-06,1.011593e-06,1.020528e-06,1.020874e-06,1.028892e-06,1.030926e-06,1.035756e-06,1.039365e-06,1.041571e-06,1.046077e-06,1.046432e-06,1.050428e-06,1.051267e-06,1.053638e-06,1.055121e-06,1.056138e-06,1.057804e-06,1.057995e-06,1.059271e-06,1.059461e-06,1.060022e-06,1.060222e-06,1.060298e-06,1.060199e-06,1.060148e-06,1.059611e-06,1.059492e-06,1.058727e-06,1.058190e-06,1.057530e-06,1.056369e-06,1.056052e-06,1.054320e-06,1.054097e-06,1.052361e-06,1.051433e-06,1.050198e-06,1.048431e-06,1.047852e-06,1.045342e-06,1.045135e-06,1.042687e-06,1.041587e-06,1.039901e-06,1.037823e-06,1.037000e-06,1.033996e-06,1.033874e-06,1.030901e-06,1.029767e-06,1.027728e-06,1.025530e-06,1.024485e-06,1.021182e-06,1.017827e-06,1.016744e-06,1.014428e-06,1.012233e-06,1.010992e-06,1.007665e-06,1.007526e-06,1.004034e-06,1.003053e-06,1.000524e-06,9.984105e-07,9.969992e-07,9.937478e-07,9.934648e-07,9.899249e-07,9.890750e-07,9.863834e-07,9.844008e-07,9.828438e-07,9.797332e-07,9.793094e-07,9.757831e-07,9.750791e-07,9.722677e-07,9.704449e-07,9.687657e-07,9.658361e-07,9.652795e-07,9.618111e-07,9.612579e-07,9.583625e-07,9.567147e-07,9.549355e-07,9.522105e-07,9.515317e-07,9.481526e-07,9.477488e-07,9.447996e-07,9.433329e-07,9.414739e-07,9.389653e-07,9.381766e-07,9.349087e-07,9.346486e-07,9.316711e-07,9.303848e-07,9.284647e-07,9.261758e-07,9.252902e-07,9.221482e-07,9.220232e-07,9.190393e-07,9.179283e-07,9.159641e-07,9.138923e-07,9.129229e-07,9.099163e-07,9.060009e-07,9.021468e-07,8.983545e-07,8.946244e-07,8.909566e-07,8.873514e-07,8.838087e-07,8.803284e-07,8.769105e-07,8.735546e-07,8.702605e-07,8.670279e-07,8.638562e-07,8.607451e-07,8.576940e-07,8.547024e-07,8.517696e-07,8.488951e-07,8.460781e-07,8.433181e-07,8.406142e-07,8.379658e-07,8.353721e-07,8.328323e-07
0.000000e+00,7.361214e-11,2.671421e-10,1.498550e-09,4.261398e-09,6.745056e-09,1.763450e-08,1.824502e-08,3.847990e-08,4.607915e-08,7.023265e-08,9.613903e-08,1.167249e-07,1.753772e-07,1.812691e-07,2.659594e-07,2.892781e-07,3.702138e-07,4.361311e-07,4.912238e-07,6.089837e-07,6.257445e-07,7.711060e-07,8.012913e-07,9.252707e-07,1.008361e-06,1.086598e-06,1.226588e-06,1.253643e-06,1.425034e-06,1.452770e-06,1.599426e-06,1.683808e-06,1.775485e-06,1.916651e-06,1.951901e-06,2.127408e-06,2.148350e-06,2.300810e-06,2.376151e-06,2.471002e-06,2.597585e-06,2.636990e-06,2.797906e-06,2.810537e-06,2.953009e-06,3.013283e-06,3.101696e-06,3.204506e-06,3.243491e-06,3.378047e-06,3.383275e-06,3.505128e-06,3.549019e-06,3.624604e-06,3.701482e-06,3.736439e-06,3.840674e-06,3.937421e-06,3.966824e-06,4.026843e-06,4.080325e-06,4.109151e-06,4.181699e-06,4.184587e-06,4.253423e-06,4.271554e-06,4.315948e-06,4.350558e-06,4.372462e-06,4.419408e-06,4.423270e-06,4.468681e-06,4.478811e-06,4.509001e-06,4.529469e-06,4.544530e-06,4.572064e-06,4.575560e-06,4.602374e-06,4.607256e-06,4.625246e-06,4.635668e-06,4.644436e-06,4.657892e-06,4.660193e-06,4.672754e-06,4.674482e-06,4.682343e-06,4.685953e-06,4.689173e-06,4.692783e-06,4.693441e-06,4.695335e-06,4.695412e-06,4.695032e-06,4.694244e-06,4.692695e-06,4.689655e-06,4.688480e-06,4.682531e-06,4.681985e-06,4.674985e-06,4.671548e-06,4.665967e-06,4.658629e-06,4.655595e-06,4.643980e-06,4.643491e-06,4.631224e-06,4.626371e-06,4.617423e-06,4.607487e-06,4.602666e-06,4.587037e-06,4.570613e-06,4.565201e-06,4.553466e-06,4.542144e-06,4.535664e-06,4.518016e-06,4.517270e-06,4.498341e-06,4.492952e-06,4.478932e-06,4.467077e-06,4.459093e-06,4.440502e-06,4.438871e-06,4.418311e-06,4.413331e-06,4.397453e-06,4.385656e-06,4.376334e-06,4.357562e-06,4.354990e-06,4.333454e-06,4.329127e-06,4.311756e-06,4.300419e-06,4.289925e-06,4.271502e-06,4.267986e-06,4.245964e-06,4.242435e-06,4.223882e-06,4.213268e-06,4.201761e-06,4.184049e-06,4.179620e-06,4.157478e-06,4.154821e-06,4.135351e-06,4.125624e-06,4.113254e-06,4.096491e-06,4.091203e-06,4.069211e-06,4.067454e-06,4.047289e-06,4.038543e-06,4.025450e-06,4.009782e-06,4.003703e-06,3.982059e-06,3.981195e-06,3.960526e-06,3.952803e-06,3.939113e-06,3.924624e-06,3.917827e-06,3.896674e-06,3.868969e-06,3.841522e-06,3.814343e-06,3.787444e-06,3.760833e-06,3.734517e-06,3.708504e-06,3.682799e-06,3.657407e-06,3.632332e-06,3.607577e-06,3.583144e-06,3.559036e-06,3.535253e-06,3.511797e-06,3.488667e-06,3.465863e-06,3.443386e-06,3.421233e-06,3.399404e-06,3.377897e-06,3.356710e-06,3.335841e-06,3.315289e-06
0.000000e+00,1.784346e-15,1.573947e-14,3.986670e-13,3.372883e-12,8.941377e-12,7.268897e-11,7.836842e-11,4.111745e-10,6.139063e-10,1.561934e-09,3.114205e-09,4.755211e-09,1.147828e-08,1.232644e-08,2.827653e-08,3.399307e-08,5.889213e-08,8.572510e-08,1.133339e-07,1.907742e-07,2.040764e-07,3.471116e-07,3.836469e-07,5.618825e-07,7.092934e-07,8.709523e-07,1.221772e-06,1.299453e-06,1.874361e-06,1.981798e-06,2.623671e-06,3.053563e-06,3.575498e-06,4.501194e-06,4.757183e-06,6.194428e-06,6.385206e-06,7.910501e-06,8.759221e-06,9.925532e-06,1.166715e-05,1.225593e-05,1.491394e-05,1.514100e-05,1.790730e-05,1.919938e-05,2.123906e-05,2.384673e-05,2.490758e-05,2.890657e-05,2.907327e-05,3.322529e-05,3.485555e-05,3.784886e-05,4.115764e-05,4.275863e-05,4.793262e-05,5.334605e-05,5.512454e-05,5.897180e-05,6.267043e-05,6.478099e-05,7.050243e-05,7.074349e-05,7.682845e-05,7.854994e-05,8.300476e-05,8.674152e-05,8.924153e-05,9.500672e-05,9.550849e-05,1.017764e-04,1.032776e-04,1.080171e-04,1.114902e-04,1.142043e-04,1.195851e-04,1.203133e-04,1.263213e-04,1.275090e-04,1.322077e-04,1.352142e-04,1.379537e-04,1.426599e-04,1.435430e-04,1.489612e-04,1.498114e-04,1.541961e-04,1.566407e-04,1.592375e-04,1.631257e-04,1.640771e-04,1.687087e-04,1.692503e-04,1.731275e-04,1.750036e-04,1.773307e-04,1.803800e-04,1.813168e-04,1.850856e-04,1.853777e-04,1.886382e-04,1.899993e-04,1.919771e-04,1.942503e-04,1.951052e-04,1.980268e-04,1.981394e-04,2.007465e-04,2.016773e-04,2.032699e-04,2.048767e-04,2.056029e-04,2.077517e-04,2.097232e-04,2.103177e-04,2.115242e-04,2.125906e-04,2.131617e-04,2.145867e-04,2.146430e-04,2.159753e-04,2.163226e-04,2.171658e-04,2.178150e-04,2.182217e-04,2.190803e-04,2.191500e-04,2.199577e-04,2.201343e-04,2.206515e-04,2.209928e-04,2.212381e-04,2.216706e-04,2.217238e-04,2.221148e-04,2.221822e-04,2.224172e-04,2.225412e-04,2.226365e-04,2.227606e-04,2.227783e-04,2.228479e-04,2.228527e-04,2.228502e-04,2.228288e-04,2.227900e-04,2.226998e-04,2.226718e-04,2.224999e-04,2.224758e-04,2.222784e-04,2.221662e-04,2.220110e-04,2.217794e-04,2.217015e-04,2.213532e-04,2.213237e-04,2.209693e-04,2.208065e-04,2.205528e-04,2.202344e-04,2.201066e-04,2.196334e-04,2.196139e-04,2.191355e-04,2.189507e-04,2.186155e-04,2.182502e-04,2.180753e-04,2.175173e-04,2.167562e-04,2.159712e-04,2.151659e-04,2.143437e-04,2.135076e-04,2.126605e-04,2.118047e-04,2.109426e-04,2.100764e-04,2.092077e-04,2.083384e-04,2.074700e-04,2.066038e-04,2.057411e-04,2.048829e-04,2.040303e-04,2.031842e-04,2.023452e-04,2.015142e-04,2.006918e-04,1.998784e-04,1.990747e-04,1.982809e-04,1.974975e-04
0.000000e+00,1.062655e-10,2.632768e-10,9.842292e-10,2.329430e-09,3.449422e-09,8.035775e-09,8.284402e-09,1.626932e-08,1.917881e-08,2.821566e-08,3.764387e-08,4.499268e-08,6.548824e-08,6.752454e-08,9.671546e-08,1.047973e-07,1.332594e-07,1.570472e-07,1.773919e-07,2.222652e-07,2.287966e-07,2.867750e-07,2.990873e-07,3.505060e-07,3.856549e-07,4.192013e-07,4.802184e-07,4.921483e-07,5.687004e-07,5.812428e-07,6.482574e-07,6.873440e-07,7.302500e-07,7.972307e-07,8.141332e-07,8.993850e-07,9.096833e-07,9.855082e-07,1.023557e-06,1.072034e-06,1.137794e-06,1.158528e-06,1.244588e-06,1.251443e-06,1.329853e-06,1.363663e-06,1.414001e-06,1.473735e-06,1.496748e-06,1.577850e-06,1.581057e-06,1.657100e-06,1.685142e-06,1.734324e-06,1.785606e-06,1.809381e-06,1.882160e-06,1.952574e-06,1.974596e-06,2.020561e-06,2.062779e-06,2.086079e-06,2.146630e-06,2.149103e-06,2.209625e-06,2.226123e-06,2.267649e-06,2.301270e-06,2.323190e-06,2.372117e-06,2.376274e-06,2.426934e-06,2.438736e-06,2.475208e-06,2.501216e-06,2.521142e-06,2.559666e-06,2.564783e-06,2.606185e-06,2.614202e-06,2.645403e-06,2.664951e-06,2.682492e-06,2.712045e-06,2.717512e-06,2.750521e-06,2.755620e-06,2.781580e-06,2.795812e-06,2.810747e-06,2.832760e-06,2.838084e-06,2.863650e-06,2.866601e-06,2.887503e-06,2.897471e-06,2.909702e-06,2.925504e-06,2.930306e-06,2.949370e-06,2.950830e-06,2.966951e-06,2.973580e-06,2.983102e-06,2.993877e-06,2.997879e-06,3.011333e-06,3.011844e-06,3.023515e-06,3.027599e-06,3.034476e-06,3.041256e-06,3.044264e-06,3.052926e-06,3.060510e-06,3.062716e-06,3.067060e-06,3.070729e-06,3.072619e-06,3.077064e-06,3.077231e-06,3.080936e-06,3.081816e-06,3.083774e-06,3.085078e-06,3.085785e-06,3.086936e-06,3.087006e-06,3.087472e-06,3.087476e-06,3.087221e-06,3.086778e-06,3.086284e-06,3.084920e-06,3.084697e-06,3.082489e-06,3.081976e-06,3.079694e-06,3.078017e-06,3.076339e-06,3.073110e-06,3.072454e-06,3.068066e-06,3.067319e-06,3.063203e-06,3.060707e-06,3.057890e-06,3.053332e-06,3.052152e-06,3.046013e-06,3.045250e-06,3.039496e-06,3.036514e-06,3.032623e-06,3.027175e-06,3.025416e-06,3.017895e-06,3.017281e-06,3.010081e-06,3.006877e-06,3.001991e-06,2.996007e-06,2.993645e-06,2.985060e-06,2.984712e-06,2.976252e-06,2.973031e-06,2.967239e-06,2.961001e-06,2.958036e-06,2.948656e-06,2.936031e-06,2.923157e-06,2.910062e-06,2.896774e-06,2.883321e-06,2.869727e-06,2.856015e-06,2.842206e-06,2.828323e-06,2.814383e-06,2.800406e-06,2.786408e-06,2.772405e-06,2.758412e-06,2.744443e-06,2.730510e-06,2.716627e-06,2.702804e-06,2.689051e-06,2.675379e-06,2.661795e-06,2.648309e-06,2.634928e-06,2.621658e-06
0.000000e+00,2.273521e-14,1.934832e-13,4.542507e-12,3.580655e-11,9.124921e-11,6.683901e-10,7.175115e-10,3.381683e-09,4.900541e-09,1.155016e-08,2.161239e-08,3.163691e-08,6.932729e-08,7.382905e-08,1.526304e-07,1.790099e-07,2.870817e-07,3.952644e-07,5.006735e-07,7.759114e-07,8.209820e-07,1.279025e-06,1.390079e-06,1.908290e-06,2.314655e-06,2.743345e-06,3.628634e-06,3.818004e-06,5.163144e-06,5.405274e-06,6.804423e-06,7.703152e-06,8.760252e-06,1.055822e-05,1.104031e-05,1.364479e-05,1.397878e-05,1.656442e-05,1.794453e-05,1.978116e-05,2.240909e-05,2.326943e-05,2.699758e-05,2.730514e-05,3.092959e-05,3.255084e-05,3.502664e-05,3.805620e-05,3.924862e-05,4.355548e-05,4.372896e-05,4.790828e-05,4.947934e-05,5.227005e-05,5.522355e-05,5.660649e-05,6.088634e-05,6.508176e-05,6.640238e-05,6.916836e-05,7.171690e-05,7.312528e-05,7.678574e-05,7.693513e-05,8.058378e-05,8.157495e-05,8.406024e-05,8.605997e-05,8.735637e-05,9.022475e-05,9.046664e-05,9.338786e-05,9.406066e-05,9.611891e-05,9.756542e-05,9.866047e-05,1.007420e-04,1.010148e-04,1.031853e-04,1.035978e-04,1.051767e-04,1.061433e-04,1.069945e-04,1.083917e-04,1.086448e-04,1.101342e-04,1.103580e-04,1.114698e-04,1.120585e-04,1.126590e-04,1.135098e-04,1.137091e-04,1.146276e-04,1.147293e-04,1.154219e-04,1.157340e-04,1.160995e-04,1.165408e-04,1.166675e-04,1.171329e-04,1.171659e-04,1.175024e-04,1.176249e-04,1.177827e-04,1.179328e-04,1.179801e-04,1.181004e-04,1.181037e-04,1.181495e-04,1.181507e-04,1.181327e-04,1.180863e-04,1.180553e-04,1.179220e-04,1.177376e-04,1.176685e-04,1.175064e-04,1.173357e-04,1.172323e-04,1.169326e-04,1.169194e-04,1.165711e-04,1.164677e-04,1.161908e-04,1.159486e-04,1.157817e-04,1.153825e-04,1.153468e-04,1.148887e-04,1.147756e-04,1.144100e-04,1.141339e-04,1.139132e-04,1.134627e-04,1.134004e-04,1.128736e-04,1.127668e-04,1.123349e-04,1.120506e-04,1.117860e-04,1.113182e-04,1.112285e-04,1.106639e-04,1.105730e-04,1.100937e-04,1.098184e-04,1.095191e-04,1.090571e-04,1.089414e-04,1.083616e-04,1.082919e-04,1.077808e-04,1.075251e-04,1.071999e-04,1.067588e-04,1.066197e-04,1.060410e-04,1.059948e-04,1.054646e-04,1.052348e-04,1.048910e-04,1.044802e-04,1.043210e-04,1.037549e-04,1.037324e-04,1.031934e-04,1.029924e-04,1.026367e-04,1.022613e-04,1.020855e-04,1.015399e-04,1.008289e-04,1.001291e-04,9.944085e-05,9.876469e-05,9.810096e-05,9.744996e-05,9.681192e-05,9.618702e-05,9.557537e-05,9.497705e-05,9.439211e-05,9.382052e-05,9.326225e-05,9.271724e-05,9.218539e-05,9.166657e-05,9.116066e-05,9.066750e-05,9.018691e-05,8.971872e-05,8.926273e-05,8.881874e-05,8.838653e-05,8.796589e-05
0.000000e+00,5.871543e-12,1.349970e-11,4.669536e-11,1.068423e-10,1.564971e-10,3.603296e-10,3.714562e-10,7.347704e-10,8.702087e-10,1.301149e-09,1.765834e-09,2.136952e-09,3.198895e-09,3.305612e-09,4.831792e-09,5.248325e-09,6.679898e-09,7.830787e-09,8.783878e-09,1.079965e-08,1.108458e-08,1.353964e-08,1.404639e-08,1.611896e-08,1.750136e-08,1.879903e-08,2.111314e-08,2.155940e-08,2.438081e-08,2.483664e-08,2.724451e-08,2.862869e-08,3.013211e-08,3.244738e-08,3.302576e-08,3.590843e-08,3.625284e-08,3.876418e-08,4.000836e-08,4.157840e-08,4.368134e-08,4.433804e-08,4.703166e-08,4.724399e-08,4.964950e-08,5.067355e-08,5.218345e-08,5.395221e-08,5.462697e-08,5.697501e-08,5.706689e-08,5.922387e-08,6.000867e-08,6.137107e-08,6.277232e-08,6.341518e-08,6.535572e-08,6.719301e-08,6.775928e-08,6.892803e-08,6.998546e-08,7.056231e-08,7.203830e-08,7.209785e-08,7.353702e-08,7.392306e-08,7.488243e-08,7.564587e-08,7.613697e-08,7.721346e-08,7.730363e-08,7.838554e-08,7.863294e-08,7.938589e-08,7.991165e-08,8.030788e-08,8.105699e-08,8.115475e-08,8.192970e-08,8.207634e-08,8.263591e-08,8.297700e-08,8.327648e-08,8.376607e-08,8.385447e-08,8.437285e-08,8.445046e-08,8.483453e-08,8.503682e-08,8.524231e-08,8.553156e-08,8.559892e-08,8.590699e-08,8.594081e-08,8.616905e-08,8.627042e-08,8.638756e-08,8.652595e-08,8.656487e-08,8.670325e-08,8.671270e-08,8.680486e-08,8.683569e-08,8.687180e-08,8.689964e-08,8.690605e-08,8.690953e-08,8.690905e-08,8.688406e-08,8.686815e-08,8.683140e-08,8.678092e-08,8.675323e-08,8.665113e-08,8.652663e-08,8.648230e-08,8.638119e-08,8.627775e-08,8.621619e-08,8.604061e-08,8.603294e-08,8.583272e-08,8.577378e-08,8.561672e-08,8.548002e-08,8.538607e-08,8.516187e-08,8.514186e-08,8.488512e-08,8.482175e-08,8.461684e-08,8.446190e-08,8.433792e-08,8.408439e-08,8.404927e-08,8.375171e-08,8.369120e-08,8.344605e-08,8.328414e-08,8.313302e-08,8.286491e-08,8.281334e-08,8.248770e-08,8.243508e-08,8.215672e-08,8.199613e-08,8.182100e-08,8.154941e-08,8.148113e-08,8.113763e-08,8.109619e-08,8.079101e-08,8.063764e-08,8.044176e-08,8.017485e-08,8.009033e-08,7.973713e-08,7.970881e-08,7.938258e-08,7.924047e-08,7.902706e-08,7.877067e-08,7.867090e-08,7.831445e-08,7.830020e-08,7.795803e-08,7.782978e-08,7.760192e-08,7.736008e-08,7.724639e-08,7.689171e-08,7.642523e-08,7.596114e-08,7.549991e-08,7.504196e-08,7.458768e-08,7.413741e-08,7.369146e-08,7.325011e-08,7.281361e-08,7.238218e-08,7.195602e-08,7.153530e-08,7.112017e-08,7.071075e-08,7.030717e-08,6.990950e-08,6.951782e-08,6.913220e-08,6.875268e-08,6.837929e-08,6.801205e-08,6.765099e-08,6.729609e-08,6.694735e-08
0.000000e+00,8.793730e-15,7.580558e-14,1.829030e-12,1.479730e-11,3.827368e-11,2.920496e-10,3.140636e-10,1.549297e-09,2.275592e-09,5.561376e-09,1.074571e-08,1.608512e-08,3.719280e-08,3.979783e-08,8.738119e-08,1.039620e-07,1.742468e-07,2.473850e-07,3.205447e-07,5.174950e-07,5.503439e-07,8.901719e-07,9.737445e-07,1.367251e-06,1.678346e-06,2.007746e-06,2.689416e-06,2.835254e-06,3.869637e-06,4.055430e-06,5.126241e-06,5.811588e-06,6.615448e-06,7.978004e-06,8.342534e-06,1.030775e-05,1.055941e-05,1.250657e-05,1.354592e-05,1.493012e-05,1.691458e-05,1.756562e-05,2.039696e-05,2.063138e-05,2.340530e-05,2.465355e-05,2.656963e-05,2.893195e-05,2.986744e-05,3.327526e-05,3.341352e-05,3.676921e-05,3.804353e-05,4.032554e-05,4.276761e-05,4.392105e-05,4.753349e-05,5.114186e-05,5.229245e-05,5.472666e-05,5.700027e-05,5.827009e-05,6.161798e-05,6.175614e-05,6.517068e-05,6.611222e-05,6.850144e-05,7.045527e-05,7.173800e-05,7.462498e-05,7.487172e-05,7.789563e-05,7.860440e-05,8.080434e-05,8.238136e-05,8.359389e-05,8.594798e-05,8.626161e-05,8.880603e-05,8.930006e-05,9.122667e-05,9.243660e-05,9.352397e-05,9.535923e-05,9.569912e-05,9.775396e-05,9.807172e-05,9.969088e-05,1.005795e-04,1.015127e-04,1.028894e-04,1.032226e-04,1.048241e-04,1.050091e-04,1.063207e-04,1.069469e-04,1.077162e-04,1.087117e-04,1.090147e-04,1.102199e-04,1.103124e-04,1.113358e-04,1.117580e-04,1.123663e-04,1.130576e-04,1.133153e-04,1.141866e-04,1.142199e-04,1.149839e-04,1.152535e-04,1.157108e-04,1.161666e-04,1.163707e-04,1.169672e-04,1.175035e-04,1.176629e-04,1.179827e-04,1.182608e-04,1.184079e-04,1.187679e-04,1.187819e-04,1.191075e-04,1.191904e-04,1.193875e-04,1.195346e-04,1.196243e-04,1.198061e-04,1.198204e-04,1.199780e-04,1.200104e-04,1.200995e-04,1.201525e-04,1.201869e-04,1.202371e-04,1.202421e-04,1.202672e-04,1.202687e-04,1.202638e-04,1.202515e-04,1.202338e-04,1.201892e-04,1.201787e-04,1.201002e-04,1.200855e-04,1.199996e-04,1.199439e-04,1.198783e-04,1.197674e-04,1.197378e-04,1.195792e-04,1.195590e-04,1.194038e-04,1.193215e-04,1.192126e-04,1.190575e-04,1.190068e-04,1.187873e-04,1.187692e-04,1.185551e-04,1.184589e-04,1.183112e-04,1.181288e-04,1.180563e-04,1.177914e-04,1.177806e-04,1.175171e-04,1.174162e-04,1.172342e-04,1.170373e-04,1.169434e-04,1.166454e-04,1.162420e-04,1.158283e-04,1.154057e-04,1.149752e-04,1.145380e-04,1.140950e-04,1.136472e-04,1.131954e-04,1.127404e-04,1.122829e-04,1.118236e-04,1.113632e-04,1.109022e-04,1.104411e-04,1.099805e-04,1.095208e-04,1.090624e-04,1.086057e-04,1.081510e-04,1.076988e-04,1.072492e-04,1.068025e-04,1.063590e-04,1.059190e-04
0.000000e+00,2.052893e-15,1.778240e-14,4.331411e-13,3.531177e-12,9.166923e-12,7.043526e-11,7.575877e-11,3.743472e-10,5.494669e-10,1.337141e-09,2.567025e-09,3.820536e-09,8.684054e-09,9.276462e-09,1.990224e-08,2.354168e-08,3.874903e-08,5.433279e-08,6.977740e-08,1.110033e-07,1.178544e-07,1.886893e-07,2.061418e-07,2.887035e-07,3.545313e-07,4.248320e-07,5.723447e-07,6.042593e-07,8.341053e-07,8.760170e-07,1.121087e-06,1.280925e-06,1.471186e-06,1.800075e-06,1.889349e-06,2.379251e-06,2.442982e-06,2.943126e-06,3.214902e-06,3.581673e-06,4.116441e-06,4.294040e-06,5.077867e-06,5.143556e-06,5.929390e-06,6.287867e-06,6.843584e-06,7.537216e-06,7.814338e-06,8.834651e-06,8.876388e-06,9.896837e-06,1.028791e-05,1.099273e-05,1.175289e-05,1.211389e-05,1.325180e-05,1.439802e-05,1.476522e-05,1.554437e-05,1.627448e-05,1.668305e-05,1.776219e-05,1.780677e-05,1.890882e-05,1.921268e-05,1.998317e-05,2.061222e-05,2.102446e-05,2.194929e-05,2.202810e-05,2.299022e-05,2.321459e-05,2.390770e-05,2.440106e-05,2.477812e-05,2.550375e-05,2.559973e-05,2.637142e-05,2.651971e-05,2.709265e-05,2.744774e-05,2.776343e-05,2.828820e-05,2.838419e-05,2.895581e-05,2.904278e-05,2.947947e-05,2.971423e-05,2.995668e-05,3.030615e-05,3.038916e-05,3.077880e-05,3.082278e-05,3.112765e-05,3.126877e-05,3.143784e-05,3.164907e-05,3.171154e-05,3.195097e-05,3.196871e-05,3.215830e-05,3.223273e-05,3.233570e-05,3.244609e-05,3.248528e-05,3.260908e-05,3.261353e-05,3.270907e-05,3.273959e-05,3.278710e-05,3.282855e-05,3.284497e-05,3.288435e-05,3.290682e-05,3.291068e-05,3.291385e-05,3.291088e-05,3.290681e-05,3.288801e-05,3.288699e-05,3.285556e-05,3.284483e-05,3.281361e-05,3.278382e-05,3.276217e-05,3.270724e-05,3.270214e-05,3.263438e-05,3.261705e-05,3.255967e-05,3.251506e-05,3.247871e-05,3.240283e-05,3.239217e-05,3.230062e-05,3.228176e-05,3.220462e-05,3.215311e-05,3.210466e-05,3.201796e-05,3.200119e-05,3.189462e-05,3.187730e-05,3.178531e-05,3.173198e-05,3.167362e-05,3.158276e-05,3.155986e-05,3.144429e-05,3.143032e-05,3.132720e-05,3.127525e-05,3.120880e-05,3.111808e-05,3.108932e-05,3.096895e-05,3.095929e-05,3.084788e-05,3.079928e-05,3.072625e-05,3.063843e-05,3.060423e-05,3.048196e-05,3.047706e-05,3.035955e-05,3.031547e-05,3.023712e-05,3.015391e-05,3.011478e-05,2.999263e-05,2.983182e-05,2.967167e-05,2.951234e-05,2.935399e-05,2.919674e-05,2.904072e-05,2.888602e-05,2.873273e-05,2.858095e-05,2.843074e-05,2.828216e-05,2.813527e-05,2.799013e-05,2.784677e-05,2.770524e-05,2.756555e-05,2.742774e-05,2.729182e-05,2.715782e-05,2.702574e-05,2.689560e-05,2.676741e-05,2.664116e-05,2.651685e-05
0.000000e+00,1.200801e-14,1.045662e-13,2.575944e-12,2.122709e-11,5.544323e-11,4.331293e-10,4.661922e-10,2.345063e-09,3.459719e-09,8.532870e-09,1.657027e-08,2.485514e-08,5.755016e-08,6.157726e-08,1.349209e-07,1.604231e-07,2.685142e-07,3.812958e-07,4.946527e-07,8.032259e-07,8.552136e-07,1.401998e-06,1.538937e-06,2.196231e-06,2.729721e-06,3.307029e-06,4.539096e-06,4.808800e-06,6.777822e-06,7.141251e-06,9.288360e-06,1.070616e-05,1.240878e-05,1.538420e-05,1.619798e-05,2.070254e-05,2.129284e-05,2.595465e-05,2.850726e-05,3.197093e-05,3.705535e-05,3.875201e-05,4.628300e-05,4.691708e-05,5.453436e-05,5.802746e-05,6.346346e-05,7.028215e-05,7.301631e-05,8.312955e-05,8.354476e-05,9.373255e-05,9.765504e-05,1.047495e-04,1.124372e-04,1.161013e-04,1.277075e-04,1.394882e-04,1.432819e-04,1.513649e-04,1.589815e-04,1.632625e-04,1.746377e-04,1.751098e-04,1.868406e-04,1.900959e-04,1.983940e-04,2.052178e-04,2.097151e-04,2.198834e-04,2.207552e-04,2.314717e-04,2.339914e-04,2.418282e-04,2.474590e-04,2.517942e-04,2.602214e-04,2.613449e-04,2.704611e-04,2.722308e-04,2.791284e-04,2.834547e-04,2.873374e-04,2.938746e-04,2.950825e-04,3.023621e-04,3.034837e-04,3.091778e-04,3.122859e-04,3.155344e-04,3.202938e-04,3.214390e-04,3.269008e-04,3.275270e-04,3.319312e-04,3.340110e-04,3.365426e-04,3.397756e-04,3.407489e-04,3.445648e-04,3.448537e-04,3.480058e-04,3.492807e-04,3.510876e-04,3.530933e-04,3.538265e-04,3.562388e-04,3.563287e-04,3.583407e-04,3.590245e-04,3.601484e-04,3.612177e-04,3.616777e-04,3.629444e-04,3.639635e-04,3.642398e-04,3.647500e-04,3.651379e-04,3.653181e-04,3.656710e-04,3.656818e-04,3.658541e-04,3.658699e-04,3.658480e-04,3.657638e-04,3.656757e-04,3.653803e-04,3.653487e-04,3.648783e-04,3.647452e-04,3.642750e-04,3.638830e-04,3.635490e-04,3.628162e-04,3.627098e-04,3.617664e-04,3.615660e-04,3.607274e-04,3.601521e-04,3.596010e-04,3.585927e-04,3.583946e-04,3.571157e-04,3.569047e-04,3.557708e-04,3.551037e-04,3.543664e-04,3.532041e-04,3.529085e-04,3.514028e-04,3.512191e-04,3.498544e-04,3.491610e-04,3.482685e-04,3.470409e-04,3.466496e-04,3.450020e-04,3.448690e-04,3.433298e-04,3.426549e-04,3.416368e-04,3.404069e-04,3.399265e-04,3.382023e-04,3.381331e-04,3.364671e-04,3.358403e-04,3.347239e-04,3.335353e-04,3.329753e-04,3.312237e-04,3.289109e-04,3.266017e-04,3.243004e-04,3.220109e-04,3.197367e-04,3.174808e-04,3.152461e-04,3.130349e-04,3.108494e-04,3.086915e-04,3.065628e-04,3.044648e-04,3.023986e-04,3.003653e-04,2.983657e-04,2.964006e-04,2.944705e-04,2.925758e-04,2.907169e-04,2.888940e-04,2.871072e-04,2.853564e-04,2.836418e-04,2.819630e-04
0.000000e+00,1.116497e-10,4.477175e-10,2.854366e-09,8.714873e-09,1.423794e-08,4.023001e-08,4.175948e-08,9.608758e-08,1.181138e-07,1.928222e-07,2.787164e-07,3.493491e-07,5.520285e-07,5.720751e-07,8.481204e-07,9.199838e-07,1.157162e-06,1.338579e-06,1.483694e-06,1.777971e-06,1.818348e-06,2.155433e-06,2.222779e-06,2.491039e-06,2.663923e-06,2.822071e-06,3.094644e-06,3.145863e-06,3.460045e-06,3.509280e-06,3.762555e-06,3.903097e-06,4.051678e-06,4.272409e-06,4.326051e-06,4.584688e-06,4.614633e-06,4.826950e-06,4.928266e-06,5.052525e-06,5.212773e-06,5.261382e-06,5.453728e-06,5.468413e-06,5.629960e-06,5.696059e-06,5.790623e-06,5.897021e-06,5.936366e-06,6.067916e-06,6.072893e-06,6.186039e-06,6.225428e-06,6.291525e-06,6.356442e-06,6.385167e-06,6.467746e-06,6.540022e-06,6.561095e-06,6.602727e-06,6.638161e-06,6.656561e-06,6.700510e-06,6.702186e-06,6.740226e-06,6.749599e-06,6.771270e-06,6.786767e-06,6.795866e-06,6.813241e-06,6.814527e-06,6.827732e-06,6.830139e-06,6.835923e-06,6.838476e-06,6.839515e-06,6.839175e-06,6.838889e-06,6.834399e-06,6.833067e-06,6.826374e-06,6.820905e-06,6.815116e-06,6.803367e-06,6.800906e-06,6.784005e-06,6.781067e-06,6.764650e-06,6.754554e-06,6.743064e-06,6.724327e-06,6.719452e-06,6.694002e-06,6.690833e-06,6.666888e-06,6.654473e-06,6.638273e-06,6.615612e-06,6.608304e-06,6.577119e-06,6.574576e-06,6.544845e-06,6.531658e-06,6.511600e-06,6.487122e-06,6.477490e-06,6.442617e-06,6.441208e-06,6.407072e-06,6.394128e-06,6.370941e-06,6.346076e-06,6.334301e-06,6.297226e-06,6.259782e-06,6.247732e-06,6.222031e-06,6.197736e-06,6.184031e-06,6.147363e-06,6.145832e-06,6.107485e-06,6.096727e-06,6.069033e-06,6.045929e-06,6.030518e-06,5.995061e-06,5.991977e-06,5.953446e-06,5.944204e-06,5.914957e-06,5.893432e-06,5.876538e-06,5.842810e-06,5.838218e-06,5.800021e-06,5.792398e-06,5.761969e-06,5.742248e-06,5.724085e-06,5.692405e-06,5.686387e-06,5.648892e-06,5.642913e-06,5.611617e-06,5.593807e-06,5.574576e-06,5.545121e-06,5.537782e-06,5.501248e-06,5.496882e-06,5.464985e-06,5.449117e-06,5.429001e-06,5.401847e-06,5.393307e-06,5.357910e-06,5.355091e-06,5.322817e-06,5.308867e-06,5.288035e-06,5.263187e-06,5.253568e-06,5.219423e-06,5.218064e-06,5.185603e-06,5.173508e-06,5.152112e-06,5.129528e-06,5.118953e-06,5.086129e-06,5.043318e-06,5.001097e-06,4.959470e-06,4.918438e-06,4.878001e-06,4.838159e-06,4.798911e-06,4.760255e-06,4.722188e-06,4.684707e-06,4.647808e-06,4.611487e-06,4.575740e-06,4.540561e-06,4.505944e-06,4.471885e-06,4.438376e-06,4.405413e-06,4.372988e-06,4.341095e-06,4.309727e-06,4.278876e-06,4.248537e-06,4.218702e-06
0.000000e+00,1.019192e-11,2.346632e-11,8.105349e-11,1.844566e-10,2.689104e-10,6.075587e-10,6.256955e-10,1.200488e-09,1.407003e-09,2.040916e-09,2.692218e-09,3.193846e-09,4.569345e-09,4.704319e-09,6.610797e-09,7.130227e-09,8.935012e-09,1.041781e-08,1.167000e-08,1.438697e-08,1.477780e-08,1.820168e-08,1.891904e-08,2.188157e-08,2.387762e-08,2.576199e-08,2.914020e-08,2.979352e-08,3.393181e-08,3.460111e-08,3.813658e-08,4.016754e-08,4.237101e-08,4.575732e-08,4.660165e-08,5.079843e-08,5.129846e-08,5.493477e-08,5.672956e-08,5.898768e-08,6.199998e-08,6.293767e-08,6.676871e-08,6.706965e-08,7.046796e-08,7.190846e-08,7.402558e-08,7.649526e-08,7.743442e-08,8.068968e-08,8.081665e-08,8.378866e-08,8.486581e-08,8.673043e-08,8.864127e-08,8.951555e-08,9.214576e-08,9.462375e-08,9.538511e-08,9.695304e-08,9.836765e-08,9.913779e-08,1.011034e-07,1.011826e-07,1.030924e-07,1.036037e-07,1.048724e-07,1.058802e-07,1.065278e-07,1.079454e-07,1.080641e-07,1.094866e-07,1.098117e-07,1.108007e-07,1.114912e-07,1.120116e-07,1.129960e-07,1.131245e-07,1.141445e-07,1.143378e-07,1.150764e-07,1.155278e-07,1.159251e-07,1.165768e-07,1.166949e-07,1.173903e-07,1.174950e-07,1.180156e-07,1.182919e-07,1.185746e-07,1.189768e-07,1.190713e-07,1.195094e-07,1.195582e-07,1.198924e-07,1.200443e-07,1.202236e-07,1.204426e-07,1.205062e-07,1.207433e-07,1.207604e-07,1.209377e-07,1.210042e-07,1.210922e-07,1.211802e-07,1.212094e-07,1.212918e-07,1.212944e-07,1.213416e-07,1.213521e-07,1.213612e-07,1.213583e-07,1.213526e-07,1.213178e-07,1.212587e-07,1.212350e-07,1.211771e-07,1.211138e-07,1.210746e-07,1.209580e-07,1.209528e-07,1.208133e-07,1.207713e-07,1.206574e-07,1.205566e-07,1.204866e-07,1.203172e-07,1.203019e-07,1.201047e-07,1.200557e-07,1.198961e-07,1.197746e-07,1.196770e-07,1.194765e-07,1.194486e-07,1.192116e-07,1.191633e-07,1.189671e-07,1.188372e-07,1.187158e-07,1.185000e-07,1.184585e-07,1.181958e-07,1.181534e-07,1.179286e-07,1.177989e-07,1.176574e-07,1.174380e-07,1.173828e-07,1.171054e-07,1.170720e-07,1.168258e-07,1.167021e-07,1.165443e-07,1.163294e-07,1.162614e-07,1.159776e-07,1.159549e-07,1.156933e-07,1.155795e-07,1.154088e-07,1.152040e-07,1.151244e-07,1.148406e-07,1.148293e-07,1.145575e-07,1.144559e-07,1.142755e-07,1.140845e-07,1.139948e-07,1.137157e-07,1.133499e-07,1.129876e-07,1.126292e-07,1.122751e-07,1.119255e-07,1.115808e-07,1.112411e-07,1.109067e-07,1.105778e-07,1.102545e-07,1.099370e-07,1.096253e-07,1.093195e-07,1.090197e-07,1.087259e-07,1.084382e-07,1.081565e-07,1.078810e-07,1.076115e-07,1.073480e-07,1.070905e-07,1.068390e-07,1.065935e-07,1.063538e-07
0.000000e+00,6.066922e-13,4.361904e-12,7.279896e-11,4.250221e-10,9.228863e-10,4.544767e-09,4.803124e-09,1.566765e-08,2.063620e-08,3.858787e-08,6.042197e-08,7.909257e-08,1.366799e-07,1.427542e-07,2.350099e-07,2.619932e-07,3.611036e-07,4.483741e-07,5.260382e-07,7.069957e-07,7.344374e-07,9.902300e-07,1.047344e-06,1.296146e-06,1.475441e-06,1.653178e-06,1.991879e-06,2.060278e-06,2.514503e-06,2.591277e-06,3.011527e-06,3.263821e-06,3.546261e-06,3.997614e-06,4.113371e-06,4.707608e-06,4.780499e-06,5.323965e-06,5.600940e-06,5.957714e-06,6.448262e-06,6.604430e-06,7.259983e-06,7.312692e-06,7.920535e-06,8.185352e-06,8.582545e-06,9.058266e-06,9.242778e-06,9.898309e-06,9.924394e-06,1.054653e-05,1.077764e-05,1.118514e-05,1.161287e-05,1.181214e-05,1.242583e-05,1.302480e-05,1.321316e-05,1.360787e-05,1.397225e-05,1.417410e-05,1.470119e-05,1.472280e-05,1.525342e-05,1.539870e-05,1.576561e-05,1.606399e-05,1.625917e-05,1.669671e-05,1.673401e-05,1.719016e-05,1.729687e-05,1.762774e-05,1.786475e-05,1.804696e-05,1.840089e-05,1.844808e-05,1.883142e-05,1.890598e-05,1.919735e-05,1.938088e-05,1.954626e-05,1.982651e-05,1.987859e-05,2.019478e-05,2.024390e-05,2.049529e-05,2.063410e-05,2.078059e-05,2.099820e-05,2.105116e-05,2.130748e-05,2.133730e-05,2.155003e-05,2.165252e-05,2.177929e-05,2.194493e-05,2.199573e-05,2.219982e-05,2.221562e-05,2.239200e-05,2.246565e-05,2.257274e-05,2.269602e-05,2.274246e-05,2.290159e-05,2.290774e-05,2.305056e-05,2.310177e-05,2.318976e-05,2.327904e-05,2.331959e-05,2.344045e-05,2.355269e-05,2.358685e-05,2.365668e-05,2.371906e-05,2.375277e-05,2.383789e-05,2.384129e-05,2.392258e-05,2.394408e-05,2.399694e-05,2.403837e-05,2.406470e-05,2.412144e-05,2.412613e-05,2.418152e-05,2.419395e-05,2.423115e-05,2.425653e-05,2.427528e-05,2.430977e-05,2.431417e-05,2.434806e-05,2.435426e-05,2.437719e-05,2.439053e-05,2.440179e-05,2.441911e-05,2.442207e-05,2.443824e-05,2.444046e-05,2.445051e-05,2.445508e-05,2.445908e-05,2.446338e-05,2.446412e-05,2.446582e-05,2.446580e-05,2.446435e-05,2.446274e-05,2.445987e-05,2.445456e-05,2.445255e-05,2.444254e-05,2.444163e-05,2.442999e-05,2.442429e-05,2.441503e-05,2.440285e-05,2.439780e-05,2.437843e-05,2.437761e-05,2.435704e-05,2.434887e-05,2.433376e-05,2.431690e-05,2.430869e-05,2.428194e-05,2.424425e-05,2.420404e-05,2.416154e-05,2.411695e-05,2.407045e-05,2.402224e-05,2.397247e-05,2.392131e-05,2.386891e-05,2.381541e-05,2.376095e-05,2.370564e-05,2.364961e-05,2.359296e-05,2.353580e-05,2.347822e-05,2.342032e-05,2.336217e-05,2.330386e-05,2.324547e-05,2.318705e-05,2.312867e-05,2.307040e-05,2.301229e-05
0.000000e+00,1.335620e-14,1.188945e-13,3.069819e-12,2.645084e-11,7.086105e-11,5.930687e-10,6.402078e-10,3.469879e-09,5.230421e-09,1.365171e-08,2.783494e-08,4.316412e-08,1.081058e-07,1.164752e-07,2.784838e-07,3.381326e-07,6.043623e-07,8.996631e-07,1.209970e-06,2.104658e-06,2.261137e-06,3.980410e-06,4.428244e-06,6.650446e-06,8.526013e-06,1.061378e-05,1.523267e-05,1.626918e-05,2.406497e-05,2.554310e-05,3.448988e-05,4.057907e-05,4.806216e-05,6.154572e-05,6.531734e-05,8.679532e-05,8.968186e-05,1.130274e-04,1.262080e-04,1.445233e-04,1.722753e-04,1.817595e-04,2.251676e-04,2.289186e-04,2.751252e-04,2.970149e-04,3.319470e-04,3.772497e-04,3.958784e-04,4.670907e-04,4.700922e-04,5.456775e-04,5.757793e-04,6.316536e-04,6.943088e-04,7.249552e-04,8.254412e-04,9.328967e-04,9.687098e-04,1.047037e-03,1.123437e-03,1.167514e-03,1.288755e-03,1.293920e-03,1.425797e-03,1.463636e-03,1.562644e-03,1.646915e-03,1.703922e-03,1.837325e-03,1.849064e-03,1.997484e-03,2.033525e-03,2.148578e-03,2.234132e-03,2.301739e-03,2.437747e-03,2.456358e-03,2.611835e-03,2.642981e-03,2.767580e-03,2.848482e-03,2.923019e-03,3.052948e-03,3.077602e-03,3.230802e-03,3.255152e-03,3.382122e-03,3.453950e-03,3.531096e-03,3.648293e-03,3.677290e-03,3.820305e-03,3.837236e-03,3.959779e-03,4.019940e-03,4.095384e-03,4.195677e-03,4.226830e-03,4.353861e-03,4.363826e-03,4.476258e-03,4.523876e-03,4.593835e-03,4.675420e-03,4.706441e-03,4.813954e-03,4.818148e-03,4.916286e-03,4.951843e-03,5.013373e-03,5.076378e-03,5.105181e-03,5.191700e-03,5.272944e-03,5.297833e-03,5.348947e-03,5.394863e-03,5.419763e-03,5.482932e-03,5.485463e-03,5.546133e-03,5.562232e-03,5.601874e-03,5.632999e-03,5.652798e-03,5.695501e-03,5.699030e-03,5.740700e-03,5.750038e-03,5.777950e-03,5.796932e-03,5.810923e-03,5.836524e-03,5.839773e-03,5.864653e-03,5.869166e-03,5.885720e-03,5.895221e-03,5.903134e-03,5.915054e-03,5.917053e-03,5.927639e-03,5.929034e-03,5.935049e-03,5.937524e-03,5.939441e-03,5.940886e-03,5.940970e-03,5.939789e-03,5.939472e-03,5.936048e-03,5.933628e-03,5.929893e-03,5.923688e-03,5.921466e-03,5.910908e-03,5.909975e-03,5.898352e-03,5.892799e-03,5.883928e-03,5.872458e-03,5.867763e-03,5.849977e-03,5.849233e-03,5.830687e-03,5.823396e-03,5.810004e-03,5.795200e-03,5.788037e-03,5.764887e-03,5.732684e-03,5.698803e-03,5.663444e-03,5.626794e-03,5.589027e-03,5.550302e-03,5.510771e-03,5.470572e-03,5.429832e-03,5.388670e-03,5.347193e-03,5.305501e-03,5.263683e-03,5.221824e-03,5.179997e-03,5.138272e-03,5.096709e-03,5.055365e-03,5.014289e-03,4.973525e-03,4.933115e-03,4.893093e-03,4.853491e-03,4.814335e-03
0.000000e+00,1.382192e-13,1.078572e-12,2.118607e-11,1.422206e-10,3.321349e-10,1.948124e-09,2.072711e-09,7.881252e-09,1.078557e-08,2.206431e-08,3.691216e-08,5.029406e-08,9.426115e-08,9.908108e-08,1.752525e-07,1.983632e-07,2.855449e-07,3.646030e-07,4.363094e-07,6.070172e-07,6.332578e-07,8.811428e-07,9.371572e-07,1.183305e-06,1.362434e-06,1.541139e-06,1.884111e-06,1.953682e-06,2.417548e-06,2.496188e-06,2.927257e-06,3.186193e-06,3.475843e-06,3.937498e-06,4.055545e-06,4.658400e-06,4.731927e-06,5.276671e-06,5.551705e-06,5.903114e-06,6.380589e-06,6.531128e-06,7.154819e-06,7.204367e-06,7.769013e-06,8.011009e-06,8.369252e-06,8.790646e-06,8.951776e-06,9.513486e-06,9.535485e-06,1.005192e-05,1.023967e-05,1.056519e-05,1.089914e-05,1.105196e-05,1.151136e-05,1.194296e-05,1.207518e-05,1.234670e-05,1.259057e-05,1.272283e-05,1.305840e-05,1.307185e-05,1.339449e-05,1.348022e-05,1.369162e-05,1.385807e-05,1.396425e-05,1.419437e-05,1.421348e-05,1.444043e-05,1.449172e-05,1.464631e-05,1.475284e-05,1.483230e-05,1.498046e-05,1.499959e-05,1.514934e-05,1.517729e-05,1.528269e-05,1.534592e-05,1.540074e-05,1.548884e-05,1.550454e-05,1.559510e-05,1.560843e-05,1.567338e-05,1.570686e-05,1.574028e-05,1.578619e-05,1.579666e-05,1.584331e-05,1.584829e-05,1.588098e-05,1.589490e-05,1.591038e-05,1.592760e-05,1.593217e-05,1.594695e-05,1.594785e-05,1.595530e-05,1.595696e-05,1.595775e-05,1.595612e-05,1.595477e-05,1.594684e-05,1.594643e-05,1.593437e-05,1.592885e-05,1.591777e-05,1.590430e-05,1.589739e-05,1.587357e-05,1.584662e-05,1.583738e-05,1.581684e-05,1.579641e-05,1.578449e-05,1.575124e-05,1.574981e-05,1.571305e-05,1.570242e-05,1.567442e-05,1.565042e-05,1.563410e-05,1.559568e-05,1.559229e-05,1.554914e-05,1.553860e-05,1.550482e-05,1.547954e-05,1.545946e-05,1.541880e-05,1.541321e-05,1.536618e-05,1.535669e-05,1.531849e-05,1.529346e-05,1.527024e-05,1.522935e-05,1.522153e-05,1.517246e-05,1.516457e-05,1.512309e-05,1.509931e-05,1.507351e-05,1.503374e-05,1.502378e-05,1.497398e-05,1.496800e-05,1.492416e-05,1.490225e-05,1.487438e-05,1.483660e-05,1.482468e-05,1.477511e-05,1.477116e-05,1.472572e-05,1.470603e-05,1.467655e-05,1.464130e-05,1.462763e-05,1.457898e-05,1.457704e-05,1.453065e-05,1.451334e-05,1.448266e-05,1.445024e-05,1.443504e-05,1.438780e-05,1.432607e-05,1.426509e-05,1.420491e-05,1.414554e-05,1.408702e-05,1.402936e-05,1.397260e-05,1.391674e-05,1.386179e-05,1.380778e-05,1.375469e-05,1.370255e-05,1.365136e-05,1.360110e-05,1.355179e-05,1.350342e-05,1.345599e-05,1.340950e-05,1.336393e-05,1.331929e-05,1.327556e-05,1.323273e-05,1.319080e-05,1.314976e-05
0.000000e+00,3.993632e-15,3.449161e-14,8.369236e-13,6.802271e-12,1.763011e-11,1.349099e-10,1.450827e-10,7.140953e-10,1.047057e-09,2.541452e-09,4.868988e-09,7.236909e-09,1.640058e-08,1.751495e-08,3.746015e-08,4.427737e-08,7.270759e-08,1.017694e-07,1.305153e-07,2.070299e-07,2.197195e-07,3.505719e-07,3.827265e-07,5.344626e-07,6.550597e-07,7.835310e-07,1.052192e-06,1.110173e-06,1.526455e-06,1.602140e-06,2.043476e-06,2.330289e-06,2.670713e-06,3.256832e-06,3.415438e-06,4.282240e-06,4.394568e-06,5.272715e-06,5.747423e-06,6.385338e-06,7.309912e-06,7.615526e-06,8.955850e-06,9.067552e-06,1.039638e-05,1.099803e-05,1.192514e-05,1.307292e-05,1.352857e-05,1.519206e-05,1.525964e-05,1.690043e-05,1.752348e-05,1.863838e-05,1.982941e-05,2.039092e-05,2.214368e-05,2.388323e-05,2.443505e-05,2.559725e-05,2.667567e-05,2.727470e-05,2.884165e-05,2.890590e-05,3.048258e-05,3.091331e-05,3.199786e-05,3.287520e-05,3.344621e-05,3.471593e-05,3.482341e-05,3.612641e-05,3.642785e-05,3.735326e-05,3.800664e-05,3.850300e-05,3.945089e-05,3.957553e-05,4.057152e-05,4.076163e-05,4.149224e-05,4.194185e-05,4.233952e-05,4.299612e-05,4.311561e-05,4.382311e-05,4.393014e-05,4.446488e-05,4.475046e-05,4.504395e-05,4.546418e-05,4.556347e-05,4.602669e-05,4.607865e-05,4.643684e-05,4.660134e-05,4.679716e-05,4.703963e-05,4.711081e-05,4.738090e-05,4.740071e-05,4.761041e-05,4.769151e-05,4.780225e-05,4.791860e-05,4.795917e-05,4.808382e-05,4.808817e-05,4.817869e-05,4.820601e-05,4.824614e-05,4.827748e-05,4.828839e-05,4.830754e-05,4.830554e-05,4.830074e-05,4.828423e-05,4.826124e-05,4.824530e-05,4.819283e-05,4.819034e-05,4.812083e-05,4.809895e-05,4.803814e-05,4.798273e-05,4.794353e-05,4.784698e-05,4.783819e-05,4.772318e-05,4.769426e-05,4.759953e-05,4.752685e-05,4.746815e-05,4.734682e-05,4.732989e-05,4.718555e-05,4.715602e-05,4.703585e-05,4.695612e-05,4.688146e-05,4.674860e-05,4.672300e-05,4.656101e-05,4.653480e-05,4.639603e-05,4.631592e-05,4.622853e-05,4.609300e-05,4.605894e-05,4.588767e-05,4.586702e-05,4.571507e-05,4.563880e-05,4.554150e-05,4.540911e-05,4.536725e-05,4.519261e-05,4.517863e-05,4.501783e-05,4.494793e-05,4.484315e-05,4.471756e-05,4.466879e-05,4.449493e-05,4.448799e-05,4.432176e-05,4.425962e-05,4.414943e-05,4.403281e-05,4.397810e-05,4.380790e-05,4.358516e-05,4.336484e-05,4.314715e-05,4.293227e-05,4.272036e-05,4.251156e-05,4.230598e-05,4.210372e-05,4.190486e-05,4.170945e-05,4.151756e-05,4.132922e-05,4.114445e-05,4.096326e-05,4.078568e-05,4.061169e-05,4.044128e-05,4.027445e-05,4.011117e-05,3.995143e-05,3.979517e-05,3.964239e-05,3.949304e-05,3.934707e-05
0.000000e+00,3.872016e-13,3.004486e-12,5.827618e-11,3.863973e-10,8.960240e-10,5.157537e-09,5.483116e-09,2.046075e-08,2.786209e-08,5.632486e-08,9.341310e-08,1.266377e-07,2.352175e-07,2.470971e-07,4.349038e-07,4.919993e-07,7.080579e-07,9.047714e-07,1.083549e-06,1.508719e-06,1.573841e-06,2.182835e-06,2.318469e-06,2.903769e-06,3.317775e-06,3.720357e-06,4.464039e-06,4.610390e-06,5.549968e-06,5.703364e-06,6.516764e-06,6.984780e-06,7.491820e-06,8.267523e-06,8.460007e-06,9.409669e-06,9.521938e-06,1.033192e-05,1.072719e-05,1.121988e-05,1.186841e-05,1.206812e-05,1.287233e-05,1.293466e-05,1.362902e-05,1.391775e-05,1.433546e-05,1.481184e-05,1.498967e-05,1.559038e-05,1.561328e-05,1.613705e-05,1.632065e-05,1.662988e-05,1.693466e-05,1.706971e-05,1.745797e-05,1.779662e-05,1.789488e-05,1.808801e-05,1.825092e-05,1.833482e-05,1.853251e-05,1.853995e-05,1.870644e-05,1.874655e-05,1.883738e-05,1.890015e-05,1.893583e-05,1.900031e-05,1.900482e-05,1.904723e-05,1.905376e-05,1.906581e-05,1.906678e-05,1.906315e-05,1.904515e-05,1.904166e-05,1.900353e-05,1.899409e-05,1.895080e-05,1.891822e-05,1.888530e-05,1.882163e-05,1.880869e-05,1.872246e-05,1.870786e-05,1.862794e-05,1.857998e-05,1.852633e-05,1.844064e-05,1.841867e-05,1.830590e-05,1.829206e-05,1.818884e-05,1.813617e-05,1.806823e-05,1.797459e-05,1.794471e-05,1.781883e-05,1.780867e-05,1.769109e-05,1.763958e-05,1.756194e-05,1.746828e-05,1.743174e-05,1.730084e-05,1.729560e-05,1.716954e-05,1.712222e-05,1.703808e-05,1.694873e-05,1.690671e-05,1.677561e-05,1.664497e-05,1.660328e-05,1.651493e-05,1.643209e-05,1.638564e-05,1.626233e-05,1.625721e-05,1.612974e-05,1.609424e-05,1.600334e-05,1.592803e-05,1.587806e-05,1.576388e-05,1.575400e-05,1.563120e-05,1.560192e-05,1.550972e-05,1.544228e-05,1.538960e-05,1.528505e-05,1.527088e-05,1.515360e-05,1.513032e-05,1.503778e-05,1.497814e-05,1.492344e-05,1.482856e-05,1.481061e-05,1.469929e-05,1.468162e-05,1.458950e-05,1.453735e-05,1.448125e-05,1.439575e-05,1.437453e-05,1.426936e-05,1.425685e-05,1.416573e-05,1.412063e-05,1.406365e-05,1.398709e-05,1.396309e-05,1.386407e-05,1.385622e-05,1.376658e-05,1.372801e-05,1.367060e-05,1.360242e-05,1.357612e-05,1.348314e-05,1.347945e-05,1.339164e-05,1.335906e-05,1.330161e-05,1.324122e-05,1.321303e-05,1.312590e-05,1.301306e-05,1.290267e-05,1.279469e-05,1.268908e-05,1.258579e-05,1.248480e-05,1.238606e-05,1.228951e-05,1.219513e-05,1.210287e-05,1.201269e-05,1.192454e-05,1.183839e-05,1.175418e-05,1.167188e-05,1.159145e-05,1.151285e-05,1.143602e-05,1.136094e-05,1.128757e-05,1.121586e-05,1.114577e-05,1.107728e-05,1.101033e-05
0.000000e+00,6.671418e-12,1.532049e-11,5.272343e-11,1.197250e-10,1.744052e-10,3.938227e-10,4.055900e-10,7.797632e-10,9.148554e-10,1.331851e-09,1.763903e-09,2.099040e-09,3.027279e-09,3.118997e-09,4.422933e-09,4.780053e-09,6.022665e-09,7.042026e-09,7.899539e-09,9.744956e-09,1.000847e-08,1.229478e-08,1.276874e-08,1.470805e-08,1.599894e-08,1.720656e-08,1.934620e-08,1.975642e-08,2.232955e-08,2.274177e-08,2.490216e-08,2.613069e-08,2.745372e-08,2.946784e-08,2.996654e-08,3.242548e-08,3.271630e-08,3.481780e-08,3.584655e-08,3.713307e-08,3.883596e-08,3.936299e-08,4.150123e-08,4.166818e-08,4.354327e-08,4.433244e-08,4.548615e-08,4.682270e-08,4.732831e-08,4.906933e-08,4.913688e-08,5.070980e-08,5.127600e-08,5.225110e-08,5.324355e-08,5.369525e-08,5.504479e-08,5.630261e-08,5.668626e-08,5.747191e-08,5.817535e-08,5.855605e-08,5.951995e-08,5.955853e-08,6.048290e-08,6.072821e-08,6.133273e-08,6.180833e-08,6.211157e-08,6.276841e-08,6.282292e-08,6.347019e-08,6.361638e-08,6.405673e-08,6.435987e-08,6.458576e-08,6.500622e-08,6.506041e-08,6.548368e-08,6.556243e-08,6.585846e-08,6.603510e-08,6.618751e-08,6.643051e-08,6.647348e-08,6.671890e-08,6.675456e-08,6.692617e-08,6.701279e-08,6.709760e-08,6.721040e-08,6.723535e-08,6.734152e-08,6.735224e-08,6.741808e-08,6.744286e-08,6.746688e-08,6.748652e-08,6.748972e-08,6.748827e-08,6.748715e-08,6.746412e-08,6.744845e-08,6.741879e-08,6.737384e-08,6.735371e-08,6.727022e-08,6.726651e-08,6.716961e-08,6.712943e-08,6.705308e-08,6.696533e-08,6.692178e-08,6.677678e-08,6.661911e-08,6.656613e-08,6.644972e-08,6.633559e-08,6.626953e-08,6.608717e-08,6.607939e-08,6.588010e-08,6.582277e-08,6.567244e-08,6.554411e-08,6.545711e-08,6.525281e-08,6.523479e-08,6.500612e-08,6.495036e-08,6.477169e-08,6.463812e-08,6.453208e-08,6.431736e-08,6.428781e-08,6.403939e-08,6.398924e-08,6.378727e-08,6.365486e-08,6.353190e-08,6.331519e-08,6.327370e-08,6.301305e-08,6.297115e-08,6.275032e-08,6.262357e-08,6.248585e-08,6.227324e-08,6.221996e-08,6.195296e-08,6.192086e-08,6.168511e-08,6.156707e-08,6.141670e-08,6.121247e-08,6.114795e-08,6.087911e-08,6.085761e-08,6.061039e-08,6.050298e-08,6.034199e-08,6.014904e-08,6.007409e-08,5.980688e-08,5.979621e-08,5.954050e-08,5.944485e-08,5.927512e-08,5.909531e-08,5.901088e-08,5.874790e-08,5.840290e-08,5.806056e-08,5.772111e-08,5.738476e-08,5.705169e-08,5.672205e-08,5.639600e-08,5.607365e-08,5.575513e-08,5.544052e-08,5.512991e-08,5.482336e-08,5.452095e-08,5.422271e-08,5.392868e-08,5.363889e-08,5.335337e-08,5.307212e-08,5.279516e-08,5.252248e-08,5.225408e-08,5.198994e-08,5.173006e-08,5.147441e-08
0.000000e+00,1.012387e-13,9.105349e-13,2.401128e-11,2.108004e-10,5.703670e-10,4.889382e-09,5.282802e-09,2.921203e-08,4.423775e-08,1.165937e-07,2.390805e-07,3.716944e-07,9.331849e-07,1.005441e-06,2.399543e-06,2.911155e-06,5.188814e-06,7.710711e-06,1.036126e-05,1.802799e-05,1.937402e-05,3.428146e-05,3.820105e-05,5.786904e-05,7.473828e-05,9.378530e-05,1.368407e-04,1.466631e-04,2.222220e-04,2.368592e-04,3.273442e-04,3.906327e-04,4.701201e-04,6.176666e-04,6.598586e-04,9.070615e-04,9.411286e-04,1.223363e-03,1.387656e-03,1.621432e-03,1.986977e-03,2.114849e-03,2.717947e-03,2.771377e-03,3.445639e-03,3.775019e-03,4.313215e-03,5.033165e-03,5.336136e-03,6.529822e-03,6.581336e-03,7.909422e-03,8.454435e-03,9.489608e-03,1.068588e-02,1.128436e-02,1.330677e-02,1.556887e-02,1.634516e-02,1.808143e-02,1.982533e-02,2.085388e-02,2.376729e-02,2.389412e-02,2.720849e-02,2.818630e-02,3.080162e-02,3.309260e-02,3.467645e-02,3.849117e-02,3.883420e-02,4.327431e-02,4.438174e-02,4.799454e-02,5.075881e-02,5.299093e-02,5.761182e-02,5.825793e-02,6.378844e-02,6.492543e-02,6.957389e-02,7.267984e-02,7.560437e-02,8.085121e-02,8.186873e-02,8.835470e-02,8.941214e-02,9.504898e-02,9.833210e-02,1.019374e-01,1.075780e-01,1.090052e-01,1.162367e-01,1.171147e-01,1.236160e-01,1.269055e-01,1.311267e-01,1.369126e-01,1.387523e-01,1.464761e-01,1.470977e-01,1.542813e-01,1.574225e-01,1.621513e-01,1.678487e-01,1.700698e-01,1.780204e-01,1.783389e-01,1.859876e-01,1.888568e-01,1.939557e-01,1.993671e-01,2.019101e-01,2.098364e-01,2.177208e-01,2.202328e-01,2.255503e-01,2.305266e-01,2.333125e-01,2.406900e-01,2.409956e-01,2.485888e-01,2.506973e-01,2.560816e-01,2.605252e-01,2.634647e-01,2.701526e-01,2.707292e-01,2.778672e-01,2.795606e-01,2.848712e-01,2.887325e-01,2.917348e-01,2.976540e-01,2.984521e-01,3.050179e-01,3.063125e-01,3.114277e-01,3.146979e-01,3.176777e-01,3.228017e-01,3.237645e-01,3.296856e-01,3.306175e-01,3.354389e-01,3.381404e-01,3.410229e-01,3.453675e-01,3.464365e-01,3.516793e-01,3.522969e-01,3.567511e-01,3.589286e-01,3.616522e-01,3.652634e-01,3.663835e-01,3.709459e-01,3.713036e-01,3.753408e-01,3.770523e-01,3.795701e-01,3.825137e-01,3.836357e-01,3.875399e-01,3.876928e-01,3.912852e-01,3.925951e-01,3.948742e-01,3.972270e-01,3.983099e-01,4.015952e-01,4.057071e-01,4.095703e-01,4.131925e-01,4.165820e-01,4.197470e-01,4.226959e-01,4.254371e-01,4.279789e-01,4.303298e-01,4.324981e-01,4.344919e-01,4.363194e-01,4.379884e-01,4.395068e-01,4.408819e-01,4.421210e-01,4.432314e-01,4.442198e-01,4.450928e-01,4.458570e-01,4.465184e-01,4.470829e-01,4.475563e-01,4.479440e-01
0.000000e+00,1.101243e-14,9.643280e-14,2.403533e-12,2.002062e-11,5.260401e-11,4.173637e-10,4.495078e-10,2.296523e-09,3.402505e-09,8.481884e-09,1.661437e-08,2.506217e-08,5.876227e-08,6.294105e-08,1.396969e-07,1.665970e-07,2.814022e-07,4.021684e-07,5.242704e-07,8.592157e-07,9.159351e-07,1.516116e-06,1.667275e-06,2.396378e-06,2.991673e-06,3.638714e-06,5.027588e-06,5.332853e-06,7.572405e-06,7.987605e-06,1.045021e-05,1.208418e-05,1.405334e-05,1.750998e-05,1.845834e-05,2.372697e-05,2.441952e-05,2.990301e-05,3.291477e-05,3.701004e-05,4.303628e-05,4.505044e-05,5.400541e-05,5.476028e-05,6.383599e-05,6.800112e-05,7.448486e-05,8.261811e-05,8.587868e-05,9.793091e-05,9.842536e-05,1.105448e-04,1.152034e-04,1.236163e-04,1.327112e-04,1.370373e-04,1.506981e-04,1.644902e-04,1.689141e-04,1.783084e-04,1.871192e-04,1.920526e-04,2.050905e-04,2.056292e-04,2.189528e-04,2.226273e-04,2.319461e-04,2.395550e-04,2.445413e-04,2.557267e-04,2.566797e-04,2.683122e-04,2.710240e-04,2.793985e-04,2.853562e-04,2.899073e-04,2.986589e-04,2.998156e-04,3.091078e-04,3.108914e-04,3.177753e-04,3.220346e-04,3.258160e-04,3.320882e-04,3.332333e-04,3.400354e-04,3.410674e-04,3.462347e-04,3.490008e-04,3.518471e-04,3.559270e-04,3.568913e-04,3.613886e-04,3.618926e-04,3.653618e-04,3.669502e-04,3.688350e-04,3.711557e-04,3.718334e-04,3.743825e-04,3.745678e-04,3.765080e-04,3.772453e-04,3.782356e-04,3.792473e-04,3.795906e-04,3.805979e-04,3.806313e-04,3.812815e-04,3.814529e-04,3.816647e-04,3.817652e-04,3.817700e-04,3.816187e-04,3.812313e-04,3.810607e-04,3.806273e-04,3.801356e-04,3.798250e-04,3.788843e-04,3.788417e-04,3.776937e-04,3.773448e-04,3.763962e-04,3.755519e-04,3.749634e-04,3.735374e-04,3.734088e-04,3.717446e-04,3.713302e-04,3.699824e-04,3.689568e-04,3.681328e-04,3.664408e-04,3.662058e-04,3.642105e-04,3.638040e-04,3.621553e-04,3.610656e-04,3.600481e-04,3.582430e-04,3.578959e-04,3.557054e-04,3.553518e-04,3.534827e-04,3.524059e-04,3.512332e-04,3.494178e-04,3.489621e-04,3.466741e-04,3.463986e-04,3.443734e-04,3.433581e-04,3.420639e-04,3.403050e-04,3.397492e-04,3.374326e-04,3.372472e-04,3.351169e-04,3.341915e-04,3.328049e-04,3.311439e-04,3.304990e-04,3.282014e-04,3.281097e-04,3.259141e-04,3.250935e-04,3.236389e-04,3.220995e-04,3.213775e-04,3.191312e-04,3.161916e-04,3.132834e-04,3.104089e-04,3.075700e-04,3.047684e-04,3.020054e-04,2.992822e-04,2.965998e-04,2.939587e-04,2.913598e-04,2.888032e-04,2.862894e-04,2.838184e-04,2.813904e-04,2.790053e-04,2.766630e-04,2.743632e-04,2.721058e-04,2.698904e-04,2.677166e-04,2.655841e-04,2.634923e-04,2.614409e-04,2.594292e-04
0.000000e+00,2.498341e-15,2.182322e-14,5.411264e-13,4.486497e-12,1.175876e-11,9.271716e-11,9.983376e-11,5.072226e-10,7.504681e-10,1.865007e-09,3.645597e-09,5.493119e-09,1.285771e-08,1.377085e-08,3.055542e-08,3.644473e-08,6.162226e-08,8.817642e-08,1.150870e-07,1.891642e-07,2.017389e-07,3.351807e-07,3.688721e-07,5.316638e-07,6.647843e-07,8.095540e-07,1.120219e-06,1.188449e-06,1.688043e-06,1.780445e-06,2.326888e-06,2.687876e-06,3.121206e-06,3.877384e-06,4.083869e-06,5.223640e-06,5.372562e-06,6.544705e-06,7.183434e-06,8.046505e-06,9.305708e-06,9.723835e-06,1.156719e-05,1.172145e-05,1.356326e-05,1.440085e-05,1.569558e-05,1.730464e-05,1.794518e-05,2.029137e-05,2.038692e-05,2.271237e-05,2.359798e-05,2.518603e-05,2.688697e-05,2.769039e-05,3.020420e-05,3.270734e-05,3.350299e-05,3.518114e-05,3.674109e-05,3.760868e-05,3.988161e-05,3.997491e-05,4.226675e-05,4.289358e-05,4.447315e-05,4.575212e-05,4.658502e-05,4.843828e-05,4.859522e-05,5.049837e-05,5.093875e-05,5.229080e-05,5.324535e-05,5.397039e-05,5.535443e-05,5.553635e-05,5.698914e-05,5.726623e-05,5.833024e-05,5.898423e-05,5.956203e-05,6.051451e-05,6.068761e-05,6.171071e-05,6.186516e-05,6.263548e-05,6.304576e-05,6.346643e-05,6.406685e-05,6.420834e-05,6.486609e-05,6.493960e-05,6.544465e-05,6.567542e-05,6.594900e-05,6.628569e-05,6.638404e-05,6.675456e-05,6.678155e-05,6.706523e-05,6.717375e-05,6.732055e-05,6.747253e-05,6.752482e-05,6.768213e-05,6.768750e-05,6.779635e-05,6.782764e-05,6.787114e-05,6.790123e-05,6.790992e-05,6.791590e-05,6.789207e-05,6.787860e-05,6.784119e-05,6.779564e-05,6.776585e-05,6.767272e-05,6.766843e-05,6.755109e-05,6.751495e-05,6.741588e-05,6.732693e-05,6.726462e-05,6.711277e-05,6.709904e-05,6.692068e-05,6.687613e-05,6.673098e-05,6.662028e-05,6.653124e-05,6.634812e-05,6.632266e-05,6.610633e-05,6.606222e-05,6.588324e-05,6.576486e-05,6.565428e-05,6.545804e-05,6.542029e-05,6.518200e-05,6.514352e-05,6.494010e-05,6.482289e-05,6.469521e-05,6.449752e-05,6.444789e-05,6.419865e-05,6.416863e-05,6.394796e-05,6.383731e-05,6.369625e-05,6.350449e-05,6.344389e-05,6.319124e-05,6.317102e-05,6.293861e-05,6.283763e-05,6.268630e-05,6.250497e-05,6.243456e-05,6.218362e-05,6.217361e-05,6.193372e-05,6.184404e-05,6.168503e-05,6.151671e-05,6.143774e-05,6.119201e-05,6.087026e-05,6.055178e-05,6.023680e-05,5.992555e-05,5.961823e-05,5.931500e-05,5.901600e-05,5.872135e-05,5.843115e-05,5.814549e-05,5.786443e-05,5.758802e-05,5.731630e-05,5.704929e-05,5.678702e-05,5.652948e-05,5.627668e-05,5.602860e-05,5.578524e-05,5.554657e-05,5.531256e-05,5.508319e-05,5.485840e-05,5.463818e-05
0.000000e+00,2.090092e-12,1.479639e-11,2.397317e-10,1.366187e-09,2.930932e-09,1.404767e-08,1.483176e-08,4.738839e-08,6.212898e-08,1.150550e-07,1.791006e-07,2.337631e-07,4.023797e-07,4.201877e-07,6.914983e-07,7.711698e-07,1.064912e-06,1.324654e-06,1.556271e-06,2.095860e-06,2.177524e-06,2.934471e-06,3.102187e-06,3.826489e-06,4.342051e-06,4.848174e-06,5.800754e-06,5.991488e-06,7.247281e-06,7.458010e-06,8.605967e-06,9.291807e-06,1.005772e-05,1.127937e-05,1.159247e-05,1.319993e-05,1.339722e-05,1.486970e-05,1.562146e-05,1.659139e-05,1.792830e-05,1.835479e-05,2.015005e-05,2.029476e-05,2.196785e-05,2.269931e-05,2.379951e-05,2.512237e-05,2.563704e-05,2.747322e-05,2.754654e-05,2.930157e-05,2.995675e-05,3.111642e-05,3.234025e-05,3.291280e-05,3.468643e-05,3.643367e-05,3.698670e-05,3.815147e-05,3.923422e-05,3.983729e-05,4.142365e-05,4.148905e-05,4.310509e-05,4.355099e-05,4.468410e-05,4.561331e-05,4.622509e-05,4.760859e-05,4.772733e-05,4.919032e-05,4.953557e-05,5.061378e-05,5.139360e-05,5.199758e-05,5.318252e-05,5.334173e-05,5.464639e-05,5.490260e-05,5.591180e-05,5.655441e-05,5.713829e-05,5.813875e-05,5.832625e-05,5.947616e-05,5.965665e-05,6.058853e-05,6.110930e-05,6.166393e-05,6.249802e-05,6.270294e-05,6.370618e-05,6.382420e-05,6.467430e-05,6.508932e-05,6.560797e-05,6.629494e-05,6.650787e-05,6.737468e-05,6.744262e-05,6.820910e-05,6.853396e-05,6.901184e-05,6.957060e-05,6.978361e-05,7.052511e-05,7.055415e-05,7.123706e-05,7.148626e-05,7.192015e-05,7.236853e-05,7.257509e-05,7.320258e-05,7.380331e-05,7.399000e-05,7.437796e-05,7.473238e-05,7.492723e-05,7.543126e-05,7.545177e-05,7.595226e-05,7.608817e-05,7.642934e-05,7.670462e-05,7.688366e-05,7.728207e-05,7.731585e-05,7.772654e-05,7.782198e-05,7.811635e-05,7.832575e-05,7.848588e-05,7.879476e-05,7.883572e-05,7.916646e-05,7.923036e-05,7.947866e-05,7.963386e-05,7.977288e-05,8.000654e-05,8.004968e-05,8.030960e-05,8.034965e-05,8.055315e-05,8.066440e-05,8.078086e-05,8.095196e-05,8.099323e-05,8.119075e-05,8.121348e-05,8.137391e-05,8.145007e-05,8.154317e-05,8.166280e-05,8.169900e-05,8.184185e-05,8.185273e-05,8.197216e-05,8.202087e-05,8.209035e-05,8.216818e-05,8.219685e-05,8.229205e-05,8.229563e-05,8.237637e-05,8.240413e-05,8.245018e-05,8.249456e-05,8.251386e-05,8.256779e-05,8.262464e-05,8.266591e-05,8.269238e-05,8.270479e-05,8.270385e-05,8.269026e-05,8.266468e-05,8.262776e-05,8.258012e-05,8.252234e-05,8.245501e-05,8.237867e-05,8.229385e-05,8.220106e-05,8.210079e-05,8.199350e-05,8.187965e-05,8.175966e-05,8.163395e-05,8.150292e-05,8.136695e-05,8.122639e-05,8.108160e-05,8.093291e-05
0.000000e+00,1.633249e-15,1.439915e-14,3.640155e-13,3.072061e-12,8.130450e-12,6.573259e-11,7.084947e-11,3.688110e-10,5.492076e-10,1.386576e-09,2.743794e-09,4.166175e-09,9.910314e-09,1.062794e-08,2.393454e-08,2.863880e-08,4.886982e-08,7.034521e-08,9.220422e-08,1.527111e-07,1.630209e-07,2.729772e-07,3.008832e-07,4.364738e-07,5.482487e-07,6.707016e-07,9.365806e-07,9.955348e-07,1.433252e-06,1.515359e-06,2.008077e-06,2.340166e-06,2.745564e-06,3.470242e-06,3.671861e-06,4.812892e-06,4.965444e-06,6.193532e-06,6.882935e-06,7.836786e-06,9.273961e-06,9.763052e-06,1.198947e-05,1.218098e-05,1.452940e-05,1.563536e-05,1.739203e-05,1.965579e-05,2.058211e-05,2.409986e-05,2.424733e-05,2.794090e-05,2.940127e-05,3.209648e-05,3.509546e-05,3.655359e-05,4.129532e-05,4.630127e-05,4.795521e-05,5.154791e-05,5.502009e-05,5.700909e-05,6.242746e-05,6.265656e-05,6.846043e-05,7.010933e-05,7.438970e-05,7.799432e-05,8.041277e-05,8.600956e-05,8.649791e-05,9.261366e-05,9.408256e-05,9.872928e-05,1.021429e-04,1.048151e-04,1.101234e-04,1.108428e-04,1.167857e-04,1.179618e-04,1.226190e-04,1.256014e-04,1.283200e-04,1.329916e-04,1.338682e-04,1.392452e-04,1.400886e-04,1.444350e-04,1.468555e-04,1.494239e-04,1.532626e-04,1.542005e-04,1.587554e-04,1.592868e-04,1.630817e-04,1.649114e-04,1.671741e-04,1.701260e-04,1.710296e-04,1.746467e-04,1.749258e-04,1.780257e-04,1.793110e-04,1.811683e-04,1.832862e-04,1.840774e-04,1.867573e-04,1.868598e-04,1.892132e-04,1.900436e-04,1.914512e-04,1.928519e-04,1.934780e-04,1.953012e-04,1.969286e-04,1.974094e-04,1.983687e-04,1.991958e-04,1.996298e-04,2.006803e-04,2.007208e-04,2.016504e-04,2.018830e-04,2.024275e-04,2.028242e-04,2.030609e-04,2.035240e-04,2.035591e-04,2.039307e-04,2.040020e-04,2.041840e-04,2.042771e-04,2.043268e-04,2.043674e-04,2.043671e-04,2.043122e-04,2.042904e-04,2.041692e-04,2.040624e-04,2.039451e-04,2.036989e-04,2.036463e-04,2.032789e-04,2.032142e-04,2.028489e-04,2.026218e-04,2.023616e-04,2.019341e-04,2.018223e-04,2.012359e-04,2.011625e-04,2.006068e-04,2.003176e-04,1.999394e-04,1.994090e-04,1.992376e-04,1.985052e-04,1.984453e-04,1.977455e-04,1.974347e-04,1.969618e-04,1.963843e-04,1.961570e-04,1.953340e-04,1.953007e-04,1.944952e-04,1.941898e-04,1.936430e-04,1.930569e-04,1.927795e-04,1.919068e-04,1.907436e-04,1.895713e-04,1.883932e-04,1.872123e-04,1.860313e-04,1.848526e-04,1.836782e-04,1.825100e-04,1.813496e-04,1.801985e-04,1.790578e-04,1.779287e-04,1.768120e-04,1.757086e-04,1.746192e-04,1.735443e-04,1.724844e-04,1.714400e-04,1.704112e-04,1.693985e-04,1.684021e-04,1.674220e-04,1.664584e-04,1.655113e-04
0.000000e+00,2.242624e-13,1.775289e-12,3.591928e-11,2.477363e-10,5.872705e-10,3.582578e-09,3.817886e-09,1.511823e-08,2.092715e-08,4.410235e-08,7.567219e-08,1.048997e-07,2.048332e-07,2.160966e-07,4.006125e-07,4.587189e-07,6.852805e-07,8.993163e-07,1.099309e-06,1.593190e-06,1.670933e-06,2.422877e-06,2.596273e-06,3.368545e-06,3.938140e-06,4.510571e-06,5.616662e-06,5.841867e-06,7.348195e-06,7.604251e-06,9.011058e-06,9.858881e-06,1.081010e-05,1.233352e-05,1.272471e-05,1.473494e-05,1.498168e-05,1.682192e-05,1.775992e-05,1.896803e-05,2.062851e-05,2.115691e-05,2.337346e-05,2.355155e-05,2.560382e-05,2.649698e-05,2.783543e-05,2.943655e-05,3.005696e-05,3.225839e-05,3.234590e-05,3.443092e-05,3.520446e-05,3.656700e-05,3.799540e-05,3.866023e-05,4.070532e-05,4.269797e-05,4.332397e-05,4.463480e-05,4.584387e-05,4.651325e-05,4.825991e-05,4.833147e-05,5.008823e-05,5.056900e-05,5.178285e-05,5.276968e-05,5.341509e-05,5.486179e-05,5.498511e-05,5.649338e-05,5.684625e-05,5.794062e-05,5.872476e-05,5.932776e-05,6.049962e-05,6.065593e-05,6.192634e-05,6.217361e-05,6.314036e-05,6.374982e-05,6.429939e-05,6.523156e-05,6.540490e-05,6.645843e-05,6.662227e-05,6.746148e-05,6.792548e-05,6.841562e-05,6.914475e-05,6.932239e-05,7.018332e-05,7.028363e-05,7.099995e-05,7.134562e-05,7.177378e-05,7.233418e-05,7.250629e-05,7.319894e-05,7.325268e-05,7.385317e-05,7.410441e-05,7.447036e-05,7.489257e-05,7.505188e-05,7.559906e-05,7.562025e-05,7.611320e-05,7.629045e-05,7.659556e-05,7.690604e-05,7.704737e-05,7.746982e-05,7.786407e-05,7.798445e-05,7.823123e-05,7.845250e-05,7.857239e-05,7.887643e-05,7.888861e-05,7.918090e-05,7.925859e-05,7.945026e-05,7.960126e-05,7.969763e-05,7.990660e-05,7.992395e-05,8.013009e-05,8.017666e-05,8.031692e-05,8.041342e-05,8.048528e-05,8.061878e-05,8.063595e-05,8.076973e-05,8.079453e-05,8.088736e-05,8.094238e-05,8.098955e-05,8.106397e-05,8.107700e-05,8.115038e-05,8.116086e-05,8.121034e-05,8.123453e-05,8.125749e-05,8.128640e-05,8.129244e-05,8.131577e-05,8.131781e-05,8.132802e-05,8.133004e-05,8.132973e-05,8.132430e-05,8.132142e-05,8.130357e-05,8.130175e-05,8.127668e-05,8.126348e-05,8.124118e-05,8.121055e-05,8.119753e-05,8.114614e-05,8.114392e-05,8.108742e-05,8.106456e-05,8.102176e-05,8.097334e-05,8.094953e-05,8.087110e-05,8.075866e-05,8.063677e-05,8.050614e-05,8.036745e-05,8.022136e-05,8.006846e-05,7.990934e-05,7.974454e-05,7.957457e-05,7.939992e-05,7.922105e-05,7.903840e-05,7.885237e-05,7.866334e-05,7.847168e-05,7.827774e-05,7.808184e-05,7.788427e-05,7.768533e-05,7.748528e-05,7.728437e-05,7.708285e-05,7.688092e-05,7.667881e-05
0.000000e+00,7.365733e-15,6.590939e-14,1.721734e-12,1.498579e-11,4.035202e-11,3.415173e-10,3.688018e-10,2.012660e-09,3.036762e-09,7.929130e-09,1.613353e-08,2.495402e-08,6.191950e-08,6.664622e-08,1.570617e-07,1.899768e-07,3.354167e-07,4.949862e-07,6.615290e-07,1.138623e-06,1.221836e-06,2.135668e-06,2.374039e-06,3.561327e-06,4.570311e-06,5.701409e-06,8.233269e-06,8.806820e-06,1.317907e-05,1.401903e-05,1.917049e-05,2.273755e-05,2.718231e-05,3.534485e-05,3.766059e-05,5.109024e-05,5.292437e-05,6.798734e-05,7.665867e-05,8.889010e-05,1.077937e-04,1.143489e-04,1.449157e-04,1.475981e-04,1.811331e-04,1.973203e-04,2.235241e-04,2.581461e-04,2.725811e-04,3.287572e-04,3.311582e-04,3.924574e-04,4.173004e-04,4.640310e-04,5.173479e-04,5.437659e-04,6.318834e-04,7.285351e-04,7.612811e-04,8.338009e-04,9.056980e-04,9.476880e-04,1.065071e-03,1.070132e-03,1.200997e-03,1.239123e-03,1.340082e-03,1.427369e-03,1.487119e-03,1.629138e-03,1.641783e-03,1.803693e-03,1.843583e-03,1.972421e-03,2.069711e-03,2.147492e-03,2.306399e-03,2.328398e-03,2.514598e-03,2.552424e-03,2.705527e-03,2.806485e-03,2.900600e-03,3.067228e-03,3.099221e-03,3.300787e-03,3.333270e-03,3.504692e-03,3.603220e-03,3.710333e-03,3.875697e-03,3.917117e-03,4.124461e-03,4.149353e-03,4.331799e-03,4.422883e-03,4.538581e-03,4.695041e-03,4.744284e-03,4.948405e-03,4.964652e-03,5.150469e-03,5.230618e-03,5.350030e-03,5.491927e-03,5.546668e-03,5.739997e-03,5.747656e-03,5.929658e-03,5.996975e-03,6.115326e-03,6.239146e-03,6.296703e-03,6.473526e-03,6.645560e-03,6.699565e-03,6.812598e-03,6.916798e-03,6.974464e-03,7.124851e-03,7.131009e-03,7.282110e-03,7.323428e-03,7.427668e-03,7.512311e-03,7.567611e-03,7.691353e-03,7.701886e-03,7.830465e-03,7.860474e-03,7.953336e-03,8.019655e-03,8.070510e-03,8.168930e-03,8.182012e-03,8.287884e-03,8.308388e-03,8.388182e-03,8.438156e-03,8.482975e-03,8.558406e-03,8.572344e-03,8.656381e-03,8.669339e-03,8.735188e-03,8.771189e-03,8.808874e-03,8.864214e-03,8.877556e-03,8.941357e-03,8.948691e-03,9.000405e-03,9.024915e-03,9.054833e-03,9.093192e-03,9.104778e-03,9.150377e-03,9.153842e-03,9.191772e-03,9.207185e-03,9.229107e-03,9.253552e-03,9.262522e-03,9.292162e-03,9.293271e-03,9.318170e-03,9.326671e-03,9.340688e-03,9.354079e-03,9.359857e-03,9.375818e-03,9.392206e-03,9.403553e-03,9.410163e-03,9.412330e-03,9.410340e-03,9.404469e-03,9.394982e-03,9.382136e-03,9.366176e-03,9.347336e-03,9.325840e-03,9.301901e-03,9.275723e-03,9.247499e-03,9.217409e-03,9.185629e-03,9.152321e-03,9.117638e-03,9.081727e-03,9.044723e-03,9.006754e-03,8.967942e-03,8.928397e-03,8.888226e-03
0.000000e+00,5.518700e-11,1.409691e-10,5.423842e-10,1.297529e-09,1.927299e-09,4.503895e-09,4.643373e-09,9.110899e-09,1.073328e-08,1.575561e-08,2.097044e-08,2.501839e-08,3.623141e-08,3.733915e-08,5.308208e-08,5.739206e-08,7.238636e-08,8.469005e-08,9.504970e-08,1.174066e-07,1.206088e-07,1.485376e-07,1.543648e-07,1.783644e-07,1.944891e-07,2.096886e-07,2.369009e-07,2.421601e-07,2.754613e-07,2.808465e-07,3.092973e-07,3.256471e-07,3.433933e-07,3.706860e-07,3.774955e-07,4.113732e-07,4.154134e-07,4.448211e-07,4.593549e-07,4.776601e-07,5.021159e-07,5.097381e-07,5.409293e-07,5.433831e-07,5.711330e-07,5.829199e-07,6.002716e-07,6.205595e-07,6.282887e-07,6.551462e-07,6.561960e-07,6.808221e-07,6.897742e-07,7.053082e-07,7.212803e-07,7.286077e-07,7.507331e-07,7.717046e-07,7.781760e-07,7.915485e-07,8.036707e-07,8.102952e-07,8.272914e-07,8.279788e-07,8.446360e-07,8.491213e-07,8.603052e-07,8.692489e-07,8.750258e-07,8.877649e-07,8.888373e-07,9.017791e-07,9.047601e-07,9.138903e-07,9.203241e-07,9.252093e-07,9.345445e-07,9.357736e-07,9.456196e-07,9.475057e-07,9.547826e-07,9.592887e-07,9.632965e-07,9.699705e-07,9.711940e-07,9.785068e-07,9.796246e-07,9.852649e-07,9.883203e-07,9.914972e-07,9.961230e-07,9.972313e-07,1.002493e-06,1.003094e-06,1.007309e-06,1.009292e-06,1.011701e-06,1.014771e-06,1.015694e-06,1.019308e-06,1.019581e-06,1.022564e-06,1.023771e-06,1.025482e-06,1.027384e-06,1.028081e-06,1.030377e-06,1.030463e-06,1.032389e-06,1.033047e-06,1.034132e-06,1.035171e-06,1.035620e-06,1.036869e-06,1.037892e-06,1.038174e-06,1.038703e-06,1.039115e-06,1.039312e-06,1.039719e-06,1.039733e-06,1.039975e-06,1.040013e-06,1.040050e-06,1.040019e-06,1.039968e-06,1.039761e-06,1.039737e-06,1.039367e-06,1.039258e-06,1.038866e-06,1.038532e-06,1.038243e-06,1.037599e-06,1.037505e-06,1.036659e-06,1.036477e-06,1.035712e-06,1.035181e-06,1.034670e-06,1.033727e-06,1.033540e-06,1.032328e-06,1.032127e-06,1.031038e-06,1.030394e-06,1.029677e-06,1.028540e-06,1.028250e-06,1.026760e-06,1.026577e-06,1.025213e-06,1.024515e-06,1.023612e-06,1.022362e-06,1.021962e-06,1.020267e-06,1.020129e-06,1.018529e-06,1.017824e-06,1.016754e-06,1.015453e-06,1.014943e-06,1.013100e-06,1.013025e-06,1.011227e-06,1.010546e-06,1.009328e-06,1.008023e-06,1.007405e-06,1.005461e-06,1.002866e-06,1.000243e-06,9.975956e-07,9.949296e-07,9.922484e-07,9.895560e-07,9.868557e-07,9.841509e-07,9.814445e-07,9.787393e-07,9.760380e-07,9.733429e-07,9.706562e-07,9.679800e-07,9.653162e-07,9.626665e-07,9.600326e-07,9.574158e-07,9.548175e-07,9.522391e-07,9.496815e-07,9.471459e-07,9.446331e-07,9.421441e-07
0.000000e+00,1.163179e-14,1.044092e-13,2.743472e-12,2.400744e-11,6.483923e-11,5.531635e-10,5.975551e-10,3.288124e-09,4.972698e-09,1.306120e-08,2.670729e-08,4.144457e-08,1.036170e-07,1.115998e-07,2.651598e-07,3.213569e-07,5.708932e-07,8.463142e-07,1.135084e-06,1.967529e-06,2.113340e-06,3.723316e-06,4.145403e-06,6.257543e-06,8.062768e-06,1.009532e-05,1.467157e-05,1.571250e-05,2.368828e-05,2.522758e-05,3.470798e-05,4.130677e-05,4.956174e-05,6.479971e-05,6.913875e-05,9.441744e-05,9.788340e-05,1.264519e-04,1.429724e-04,1.663553e-04,2.026533e-04,2.152808e-04,2.744011e-04,2.796063e-04,3.448866e-04,3.765211e-04,4.278836e-04,4.960092e-04,5.244934e-04,6.357518e-04,6.405206e-04,7.626106e-04,8.122660e-04,9.059208e-04,1.013150e-03,1.066419e-03,1.244713e-03,1.441277e-03,1.508094e-03,1.656441e-03,1.803997e-03,1.890387e-03,2.132680e-03,2.143151e-03,2.414621e-03,2.493953e-03,2.704538e-03,2.887184e-03,3.012507e-03,3.311330e-03,3.338000e-03,3.680362e-03,3.764956e-03,4.038825e-03,4.246277e-03,4.412517e-03,4.753199e-03,4.800473e-03,5.201645e-03,5.283368e-03,5.614916e-03,5.834212e-03,6.039114e-03,6.402992e-03,6.473018e-03,6.915376e-03,6.986853e-03,7.364912e-03,7.582862e-03,7.820341e-03,8.188061e-03,8.280374e-03,8.743732e-03,8.799498e-03,9.209153e-03,9.414273e-03,9.675401e-03,1.002956e-02,1.014127e-02,1.060560e-02,1.064265e-02,1.106726e-02,1.125094e-02,1.152520e-02,1.185202e-02,1.197838e-02,1.242585e-02,1.244362e-02,1.286672e-02,1.302365e-02,1.330013e-02,1.359021e-02,1.372533e-02,1.414159e-02,1.454828e-02,1.467629e-02,1.494479e-02,1.519299e-02,1.533063e-02,1.569055e-02,1.570532e-02,1.606847e-02,1.616803e-02,1.641973e-02,1.662467e-02,1.675883e-02,1.705986e-02,1.708554e-02,1.739967e-02,1.747318e-02,1.770111e-02,1.786433e-02,1.798976e-02,1.823318e-02,1.826560e-02,1.852863e-02,1.857970e-02,1.877889e-02,1.890400e-02,1.901646e-02,1.920630e-02,1.924145e-02,1.945401e-02,1.948688e-02,1.965430e-02,1.974614e-02,1.984253e-02,1.998456e-02,2.001889e-02,2.018364e-02,2.020264e-02,2.033702e-02,2.040098e-02,2.047931e-02,2.058021e-02,2.061079e-02,2.073175e-02,2.074098e-02,2.084250e-02,2.088401e-02,2.094334e-02,2.101000e-02,2.103460e-02,2.111660e-02,2.111969e-02,2.118966e-02,2.121383e-02,2.125410e-02,2.129317e-02,2.131026e-02,2.135846e-02,2.141044e-02,2.144986e-02,2.147743e-02,2.149387e-02,2.149988e-02,2.149613e-02,2.148327e-02,2.146195e-02,2.143277e-02,2.139632e-02,2.135316e-02,2.130383e-02,2.124886e-02,2.118872e-02,2.112388e-02,2.105478e-02,2.098185e-02,2.090548e-02,2.082603e-02,2.074386e-02,2.065930e-02,2.057266e-02,2.048422e-02,2.039426e-02
0.000000e+00,1.246513e-14,1.119731e-13,2.947371e-12,2.584031e-11,6.987208e-11,5.983062e-10,6.464323e-10,3.574558e-09,5.414471e-09,1.428662e-08,2.934104e-08,4.567852e-08,1.151643e-07,1.241355e-07,2.981639e-07,3.623890e-07,6.500326e-07,9.710517e-07,1.310634e-06,2.302111e-06,2.477307e-06,4.433643e-06,4.951901e-06,7.569687e-06,9.832234e-06,1.240065e-05,1.824398e-05,1.958247e-05,2.992292e-05,3.193279e-05,4.438740e-05,5.311912e-05,6.409919e-05,8.449912e-05,9.033406e-05,1.245097e-04,1.292165e-04,1.681701e-04,1.908076e-04,2.229666e-04,2.731252e-04,2.906347e-04,3.729688e-04,3.802437e-04,4.717951e-04,5.163539e-04,5.889437e-04,6.856513e-04,7.262202e-04,8.853777e-04,8.922231e-04,1.068090e-03,1.139939e-03,1.275927e-03,1.432348e-03,1.510329e-03,1.772591e-03,2.063838e-03,2.163319e-03,2.385016e-03,2.606633e-03,2.736875e-03,3.104036e-03,3.119964e-03,3.534620e-03,3.656403e-03,3.980971e-03,4.263969e-03,4.458932e-03,4.926325e-03,4.968209e-03,5.508302e-03,5.642436e-03,6.078516e-03,6.410672e-03,6.677969e-03,7.228837e-03,7.305602e-03,7.960191e-03,8.094225e-03,8.640365e-03,9.003670e-03,9.344615e-03,9.953605e-03,1.007132e-02,1.081874e-02,1.094012e-02,1.158505e-02,1.195905e-02,1.236838e-02,1.300598e-02,1.316677e-02,1.397824e-02,1.407640e-02,1.480076e-02,1.516566e-02,1.563233e-02,1.626911e-02,1.647090e-02,1.731448e-02,1.738213e-02,1.816109e-02,1.850014e-02,1.900877e-02,1.961870e-02,1.985563e-02,2.069982e-02,2.073351e-02,2.153957e-02,2.184046e-02,2.237317e-02,2.293566e-02,2.319897e-02,2.401544e-02,2.482109e-02,2.507638e-02,2.561455e-02,2.611536e-02,2.639452e-02,2.712950e-02,2.715982e-02,2.790932e-02,2.811621e-02,2.864202e-02,2.907319e-02,2.935700e-02,2.999842e-02,3.005343e-02,3.073056e-02,3.089013e-02,3.138775e-02,3.174684e-02,3.202442e-02,3.256733e-02,3.264009e-02,3.323437e-02,3.335063e-02,3.380693e-02,3.409599e-02,3.435752e-02,3.480290e-02,3.488595e-02,3.539213e-02,3.547104e-02,3.587598e-02,3.610031e-02,3.633753e-02,3.669076e-02,3.677684e-02,3.719403e-02,3.724262e-02,3.758927e-02,3.775627e-02,3.796276e-02,3.823222e-02,3.831476e-02,3.864556e-02,3.867112e-02,3.895550e-02,3.907370e-02,3.924492e-02,3.944081e-02,3.951421e-02,3.976379e-02,3.977337e-02,3.999409e-02,4.007236e-02,4.020555e-02,4.033884e-02,4.039866e-02,4.057390e-02,4.077868e-02,4.095435e-02,4.110209e-02,4.122310e-02,4.131860e-02,4.138979e-02,4.143787e-02,4.146404e-02,4.146947e-02,4.145532e-02,4.142273e-02,4.137280e-02,4.130663e-02,4.122526e-02,4.112972e-02,4.102099e-02,4.090003e-02,4.076777e-02,4.062508e-02,4.047282e-02,4.031179e-02,4.014279e-02,3.996655e-02,3.978377e-02
0.000000e+00,2.314277e-14,2.075367e-13,5.442096e-12,4.754276e-11,1.283018e-10,1.093004e-09,1.180676e-09,6.495780e-09,9.826001e-09,2.584047e-08,5.293136e-08,8.226863e-08,2.066889e-07,2.227259e-07,5.331658e-07,6.475154e-07,1.158735e-06,1.727957e-06,2.328921e-06,4.078008e-06,4.386327e-06,7.816408e-06,8.721580e-06,1.327486e-05,1.718821e-05,2.160953e-05,3.159846e-05,3.387465e-05,5.133594e-05,5.470754e-05,7.546616e-05,8.989988e-05,1.079316e-04,1.411353e-04,1.505701e-04,2.053620e-04,2.128521e-04,2.743957e-04,3.098367e-04,3.598285e-04,4.370696e-04,4.638452e-04,5.886162e-04,5.995583e-04,7.362544e-04,8.021682e-04,9.087755e-04,1.049460e-03,1.108060e-03,1.335818e-03,1.345542e-03,1.593559e-03,1.693941e-03,1.882569e-03,2.097497e-03,2.203886e-03,2.558286e-03,2.946273e-03,3.077568e-03,3.368076e-03,3.655765e-03,3.823645e-03,4.292459e-03,4.312655e-03,4.834516e-03,4.986416e-03,5.388386e-03,5.735630e-03,5.973179e-03,6.537381e-03,6.587589e-03,7.230107e-03,7.388309e-03,7.899041e-03,8.284497e-03,8.592538e-03,9.221556e-03,9.308608e-03,1.004515e-02,1.019472e-02,1.079996e-02,1.119893e-02,1.157078e-02,1.222895e-02,1.235529e-02,1.315116e-02,1.327940e-02,1.395604e-02,1.434489e-02,1.476759e-02,1.542009e-02,1.558351e-02,1.640154e-02,1.649974e-02,1.721948e-02,1.757879e-02,1.803519e-02,1.865237e-02,1.884662e-02,1.965182e-02,1.971591e-02,2.044893e-02,2.076511e-02,2.123619e-02,2.179599e-02,2.201196e-02,2.277471e-02,2.280493e-02,2.352303e-02,2.378864e-02,2.425563e-02,2.474420e-02,2.497131e-02,2.566904e-02,2.634786e-02,2.656095e-02,2.700694e-02,2.741805e-02,2.764556e-02,2.823883e-02,2.826312e-02,2.885911e-02,2.902206e-02,2.943312e-02,2.976684e-02,2.998483e-02,3.047252e-02,3.051402e-02,3.102056e-02,3.113875e-02,3.150439e-02,3.176541e-02,3.196552e-02,3.235260e-02,3.240404e-02,3.282009e-02,3.290063e-02,3.321390e-02,3.340996e-02,3.358570e-02,3.388125e-02,3.393583e-02,3.426462e-02,3.431528e-02,3.457248e-02,3.471294e-02,3.485983e-02,3.507525e-02,3.512713e-02,3.537487e-02,3.540331e-02,3.560355e-02,3.569827e-02,3.581370e-02,3.596136e-02,3.600587e-02,3.618061e-02,3.619385e-02,3.633848e-02,3.639703e-02,3.648006e-02,3.657223e-02,3.660592e-02,3.671664e-02,3.672076e-02,3.681280e-02,3.684396e-02,3.689497e-02,3.694314e-02,3.696372e-02,3.701962e-02,3.707468e-02,3.710958e-02,3.712555e-02,3.712379e-02,3.710547e-02,3.707171e-02,3.702360e-02,3.696217e-02,3.688842e-02,3.680331e-02,3.670775e-02,3.660262e-02,3.648873e-02,3.636687e-02,3.623779e-02,3.610218e-02,3.596070e-02,3.581399e-02,3.566262e-02,3.550715e-02,3.534809e-02,3.518593e-02,3.502112e-02,3.485407e-02
0.000000e+00,2.646501e-15,2.289714e-14,5.563395e-13,4.525083e-12,1.173184e-11,8.983042e-11,9.660577e-11,4.756115e-10,6.973765e-10,1.692479e-09,3.241682e-09,4.817037e-09,1.090817e-08,1.164841e-08,2.488356e-08,2.940228e-08,4.822537e-08,6.743724e-08,8.641649e-08,1.368437e-07,1.451960e-07,2.311833e-07,2.522799e-07,3.516976e-07,4.305830e-07,5.145220e-07,6.898192e-07,7.276197e-07,9.988157e-07,1.048099e-06,1.335458e-06,1.522252e-06,1.744083e-06,2.126492e-06,2.230102e-06,2.797542e-06,2.871239e-06,3.448840e-06,3.762230e-06,4.184731e-06,4.800020e-06,5.004194e-06,5.904488e-06,5.979883e-06,6.881243e-06,7.292092e-06,7.928620e-06,8.722505e-06,9.039495e-06,1.020570e-05,1.025337e-05,1.141823e-05,1.186426e-05,1.266755e-05,1.353308e-05,1.394379e-05,1.523699e-05,1.653732e-05,1.695337e-05,1.783528e-05,1.866054e-05,1.912185e-05,2.033845e-05,2.038864e-05,2.162800e-05,2.196915e-05,2.283307e-05,2.353713e-05,2.399787e-05,2.502952e-05,2.511730e-05,2.618715e-05,2.643615e-05,2.720410e-05,2.774952e-05,2.816564e-05,2.896460e-05,2.907008e-05,2.991643e-05,3.007869e-05,3.070439e-05,3.109113e-05,3.143425e-05,3.200300e-05,3.210681e-05,3.272332e-05,3.281686e-05,3.328540e-05,3.353643e-05,3.379499e-05,3.416632e-05,3.425426e-05,3.466554e-05,3.471179e-05,3.503133e-05,3.517852e-05,3.535418e-05,3.557241e-05,3.563666e-05,3.588137e-05,3.589939e-05,3.609086e-05,3.616536e-05,3.626763e-05,3.637601e-05,3.641410e-05,3.653260e-05,3.653679e-05,3.662536e-05,3.665285e-05,3.669448e-05,3.672900e-05,3.674196e-05,3.676967e-05,3.677936e-05,3.677892e-05,3.677266e-05,3.676047e-05,3.675108e-05,3.671767e-05,3.671602e-05,3.666878e-05,3.665354e-05,3.661054e-05,3.657078e-05,3.654239e-05,3.647181e-05,3.646534e-05,3.638028e-05,3.635877e-05,3.628807e-05,3.623359e-05,3.618946e-05,3.609794e-05,3.608514e-05,3.597576e-05,3.595332e-05,3.586187e-05,3.580105e-05,3.574401e-05,3.564229e-05,3.562266e-05,3.549824e-05,3.547808e-05,3.537115e-05,3.530931e-05,3.524175e-05,3.513679e-05,3.511037e-05,3.497730e-05,3.496123e-05,3.484281e-05,3.478326e-05,3.470716e-05,3.460342e-05,3.457056e-05,3.443322e-05,3.442221e-05,3.429533e-05,3.424006e-05,3.415706e-05,3.405736e-05,3.401856e-05,3.387998e-05,3.387444e-05,3.374145e-05,3.369162e-05,3.360309e-05,3.350915e-05,3.346500e-05,3.332729e-05,3.314625e-05,3.296621e-05,3.278735e-05,3.260981e-05,3.243374e-05,3.225924e-05,3.208643e-05,3.191540e-05,3.174622e-05,3.157897e-05,3.141372e-05,3.125051e-05,3.108940e-05,3.093042e-05,3.077360e-05,3.061898e-05,3.046658e-05,3.031641e-05,3.016848e-05,3.002281e-05,2.987939e-05,2.973823e-05,2.959933e-05,2.946269e-05
0.000000e+00,8.057814e-12,1.835606e-11,6.205910e-11,1.386081e-10,2.000806e-10,4.414108e-10,4.541767e-10,8.540290e-10,9.961936e-10,1.429987e-09,1.873320e-09,2.213728e-09,3.141815e-09,3.232297e-09,4.492026e-09,4.827789e-09,5.964404e-09,6.862080e-09,7.595652e-09,9.118186e-09,9.330192e-09,1.112342e-08,1.148602e-08,1.294209e-08,1.388919e-08,1.476078e-08,1.627332e-08,1.655888e-08,1.831878e-08,1.859577e-08,2.002513e-08,2.082114e-08,2.166450e-08,2.292003e-08,2.322548e-08,2.469874e-08,2.486927e-08,2.607711e-08,2.665218e-08,2.735562e-08,2.825864e-08,2.853136e-08,2.960334e-08,2.968463e-08,3.057234e-08,3.093157e-08,3.144062e-08,3.200534e-08,3.221167e-08,3.288987e-08,3.291513e-08,3.348032e-08,3.367247e-08,3.398859e-08,3.429023e-08,3.442049e-08,3.478204e-08,3.507918e-08,3.516156e-08,3.531739e-08,3.544148e-08,3.550221e-08,3.563428e-08,3.563889e-08,3.573227e-08,3.575129e-08,3.578693e-08,3.580290e-08,3.580707e-08,3.579840e-08,3.579651e-08,3.575877e-08,3.574602e-08,3.569702e-08,3.565303e-08,3.561413e-08,3.552576e-08,3.551269e-08,3.539501e-08,3.536971e-08,3.526316e-08,3.518962e-08,3.511899e-08,3.498959e-08,3.496417e-08,3.480015e-08,3.477314e-08,3.462825e-08,3.454328e-08,3.444963e-08,3.430259e-08,3.426532e-08,3.407627e-08,3.405330e-08,3.388327e-08,3.379730e-08,3.368707e-08,3.353622e-08,3.348831e-08,3.328757e-08,3.327144e-08,3.308535e-08,3.300416e-08,3.288213e-08,3.273541e-08,3.267829e-08,3.247422e-08,3.246605e-08,3.227022e-08,3.219685e-08,3.206658e-08,3.192846e-08,3.186357e-08,3.166141e-08,3.146031e-08,3.139621e-08,3.126043e-08,3.113324e-08,3.106195e-08,3.087286e-08,3.086501e-08,3.066973e-08,3.061537e-08,3.047622e-08,3.036101e-08,3.028459e-08,3.011001e-08,3.009491e-08,2.990727e-08,2.986254e-08,2.972172e-08,2.961875e-08,2.953833e-08,2.937877e-08,2.935715e-08,2.917821e-08,2.914269e-08,2.900155e-08,2.891060e-08,2.882720e-08,2.868254e-08,2.865518e-08,2.848551e-08,2.845858e-08,2.831820e-08,2.823873e-08,2.815326e-08,2.802302e-08,2.799070e-08,2.783052e-08,2.781146e-08,2.767272e-08,2.760404e-08,2.751729e-08,2.740074e-08,2.736422e-08,2.721352e-08,2.720156e-08,2.706516e-08,2.700647e-08,2.691913e-08,2.681543e-08,2.677542e-08,2.663401e-08,2.662840e-08,2.649488e-08,2.644535e-08,2.635802e-08,2.626623e-08,2.622340e-08,2.609100e-08,2.591959e-08,2.575195e-08,2.558804e-08,2.542778e-08,2.527113e-08,2.511801e-08,2.496837e-08,2.482214e-08,2.467927e-08,2.453968e-08,2.440332e-08,2.427011e-08,2.414000e-08,2.401292e-08,2.388881e-08,2.376761e-08,2.364925e-08,2.353367e-08,2.342082e-08,2.331062e-08,2.320303e-08,2.309798e-08,2.299541e-08,2.289527e-08
0.000000e+00,4.729046e-12,3.107529e-11,4.365457e-10,2.216367e-09,4.489000e-09,1.889390e-08,1.985426e-08,5.721705e-08,7.322329e-08,1.284501e-07,1.925936e-07,2.459817e-07,4.062441e-07,4.229077e-07,6.732400e-07,7.458796e-07,1.011775e-06,1.245353e-06,1.452984e-06,1.935539e-06,2.008489e-06,2.683808e-06,2.833176e-06,3.476553e-06,3.932330e-06,4.377564e-06,5.208775e-06,5.374073e-06,6.452606e-06,6.631923e-06,7.600575e-06,8.172903e-06,8.806696e-06,9.806618e-06,1.006083e-05,1.135368e-05,1.151100e-05,1.267655e-05,1.326600e-05,1.402128e-05,1.505313e-05,1.538015e-05,1.674594e-05,1.685530e-05,1.811195e-05,1.865703e-05,1.947204e-05,2.044450e-05,2.082066e-05,2.215287e-05,2.220575e-05,2.346431e-05,2.393061e-05,2.475125e-05,2.561071e-05,2.601048e-05,2.723934e-05,2.843565e-05,2.881129e-05,2.959766e-05,3.032271e-05,3.072402e-05,3.177087e-05,3.181374e-05,3.286611e-05,3.315401e-05,3.388069e-05,3.447120e-05,3.485727e-05,3.572216e-05,3.579585e-05,3.669660e-05,3.690718e-05,3.755980e-05,3.802694e-05,3.838587e-05,3.908251e-05,3.917533e-05,3.992878e-05,4.007520e-05,4.064687e-05,4.100653e-05,4.133030e-05,4.187817e-05,4.197985e-05,4.259629e-05,4.269191e-05,4.318045e-05,4.344962e-05,4.373314e-05,4.415321e-05,4.425522e-05,4.474751e-05,4.480463e-05,4.521087e-05,4.540580e-05,4.564614e-05,4.595867e-05,4.605416e-05,4.643576e-05,4.646518e-05,4.679179e-05,4.692722e-05,4.712305e-05,4.734668e-05,4.743036e-05,4.771451e-05,4.772540e-05,4.797627e-05,4.806517e-05,4.821642e-05,4.836777e-05,4.843572e-05,4.863490e-05,4.881468e-05,4.886823e-05,4.897578e-05,4.906939e-05,4.911887e-05,4.923994e-05,4.924464e-05,4.935375e-05,4.938141e-05,4.944684e-05,4.949527e-05,4.952454e-05,4.958295e-05,4.958745e-05,4.963616e-05,4.964581e-05,4.967126e-05,4.968518e-05,4.969331e-05,4.970234e-05,4.970284e-05,4.970040e-05,4.969852e-05,4.968649e-05,4.967490e-05,4.966162e-05,4.963261e-05,4.962627e-05,4.958090e-05,4.957274e-05,4.952598e-05,4.949635e-05,4.946195e-05,4.940444e-05,4.938922e-05,4.930823e-05,4.929797e-05,4.921936e-05,4.917786e-05,4.912301e-05,4.904500e-05,4.901954e-05,4.890933e-05,4.890023e-05,4.879272e-05,4.874436e-05,4.867004e-05,4.857815e-05,4.854164e-05,4.840782e-05,4.840235e-05,4.826888e-05,4.821767e-05,4.812512e-05,4.802476e-05,4.797683e-05,4.782428e-05,4.761682e-05,4.740298e-05,4.718330e-05,4.695831e-05,4.672850e-05,4.649435e-05,4.625632e-05,4.601482e-05,4.577027e-05,4.552303e-05,4.527349e-05,4.502198e-05,4.476883e-05,4.451433e-05,4.425879e-05,4.400247e-05,4.374564e-05,4.348852e-05,4.323136e-05,4.297436e-05,4.271772e-05,4.246164e-05,4.220628e-05,4.195182e-05
0.000000e+00,1.556773e-13,1.307104e-12,2.985381e-11,2.295905e-10,5.773573e-10,4.090698e-09,4.385571e-09,2.004366e-08,2.881877e-08,6.667242e-08,1.230677e-07,1.786975e-07,3.855489e-07,4.101142e-07,8.380567e-07,9.808657e-07,1.565265e-06,2.150079e-06,2.719994e-06,4.207752e-06,4.451172e-06,6.917864e-06,7.513338e-06,1.027496e-05,1.241887e-05,1.465878e-05,1.921380e-05,2.017613e-05,2.689817e-05,2.808829e-05,3.485929e-05,3.912197e-05,4.405955e-05,5.229282e-05,5.446922e-05,6.603436e-05,6.749654e-05,7.868217e-05,8.456821e-05,9.232581e-05,1.033018e-04,1.068686e-04,1.222075e-04,1.234659e-04,1.382359e-04,1.448161e-04,1.548457e-04,1.671046e-04,1.719298e-04,1.893832e-04,1.900876e-04,2.071048e-04,2.135315e-04,2.249981e-04,2.372172e-04,2.429726e-04,2.609441e-04,2.788354e-04,2.845321e-04,2.965768e-04,3.078233e-04,3.141055e-04,3.306819e-04,3.313666e-04,3.483119e-04,3.529942e-04,3.649002e-04,3.746672e-04,3.810968e-04,3.956269e-04,3.968729e-04,4.122052e-04,4.158168e-04,4.270754e-04,4.351956e-04,4.414698e-04,4.537355e-04,4.553787e-04,4.687957e-04,4.714198e-04,4.817178e-04,4.882414e-04,4.941443e-04,5.042009e-04,5.060771e-04,5.175200e-04,5.193057e-04,5.284782e-04,5.335679e-04,5.389586e-04,5.470040e-04,5.489689e-04,5.585181e-04,5.596335e-04,5.676157e-04,5.714782e-04,5.762718e-04,5.825617e-04,5.844970e-04,5.923023e-04,5.929089e-04,5.996988e-04,6.025455e-04,6.066979e-04,6.114976e-04,6.133111e-04,6.195497e-04,6.197916e-04,6.254253e-04,6.274539e-04,6.309493e-04,6.345105e-04,6.361329e-04,6.409872e-04,6.455235e-04,6.469097e-04,6.497524e-04,6.523026e-04,6.536847e-04,6.571904e-04,6.573309e-04,6.607012e-04,6.615969e-04,6.638057e-04,6.655449e-04,6.666542e-04,6.690570e-04,6.692563e-04,6.716213e-04,6.721547e-04,6.737585e-04,6.748591e-04,6.756767e-04,6.771905e-04,6.773846e-04,6.788907e-04,6.791684e-04,6.802030e-04,6.808116e-04,6.813297e-04,6.821382e-04,6.822784e-04,6.830566e-04,6.831658e-04,6.836717e-04,6.839111e-04,6.841307e-04,6.843901e-04,6.844405e-04,6.846077e-04,6.846184e-04,6.846387e-04,6.846108e-04,6.845398e-04,6.843815e-04,6.843170e-04,6.839762e-04,6.839440e-04,6.835229e-04,6.833114e-04,6.829627e-04,6.824961e-04,6.823008e-04,6.815422e-04,6.815099e-04,6.806919e-04,6.803643e-04,6.797547e-04,6.790700e-04,6.787351e-04,6.776374e-04,6.760764e-04,6.743962e-04,6.726059e-04,6.707139e-04,6.687284e-04,6.666569e-04,6.645068e-04,6.622851e-04,6.599982e-04,6.576525e-04,6.552539e-04,6.528078e-04,6.503197e-04,6.477945e-04,6.452370e-04,6.426516e-04,6.400426e-04,6.374139e-04,6.347693e-04,6.321122e-04,6.294461e-04,6.267740e-04,6.240989e-04,6.214235e-04
0.000000e+00,5.434506e-14,4.506139e-13,1.002369e-11,7.525212e-11,1.867823e-10,1.281195e-09,1.371822e-09,6.093939e-09,8.702424e-09,1.983599e-08,3.627480e-08,5.242899e-08,1.124374e-07,1.195717e-07,2.442816e-07,2.860519e-07,4.573774e-07,6.288366e-07,7.953697e-07,1.225261e-06,1.294773e-06,1.984119e-06,2.146280e-06,2.876759e-06,3.420215e-06,3.967228e-06,5.019351e-06,5.232021e-06,6.633842e-06,6.867889e-06,8.127565e-06,8.863330e-06,9.666205e-06,1.089971e-05,1.120577e-05,1.270847e-05,1.288481e-05,1.414438e-05,1.474913e-05,1.549177e-05,1.644769e-05,1.673660e-05,1.787137e-05,1.795730e-05,1.889394e-05,1.927186e-05,1.980617e-05,2.039724e-05,2.061282e-05,2.132050e-05,2.134685e-05,2.193695e-05,2.213812e-05,2.247042e-05,2.279002e-05,2.292920e-05,2.332135e-05,2.365449e-05,2.374979e-05,2.393564e-05,2.409128e-05,2.417121e-05,2.435984e-05,2.436697e-05,2.452804e-05,2.456756e-05,2.465894e-05,2.472466e-05,2.476361e-05,2.483970e-05,2.484548e-05,2.490754e-05,2.491978e-05,2.495234e-05,2.497073e-05,2.498209e-05,2.499733e-05,2.499868e-05,2.500374e-05,2.500349e-05,2.499865e-05,2.499240e-05,2.498461e-05,2.496666e-05,2.496265e-05,2.493366e-05,2.492842e-05,2.489840e-05,2.487945e-05,2.485755e-05,2.482123e-05,2.481168e-05,2.476131e-05,2.475498e-05,2.470688e-05,2.468175e-05,2.464879e-05,2.460241e-05,2.458740e-05,2.452303e-05,2.451776e-05,2.445596e-05,2.442844e-05,2.438646e-05,2.433505e-05,2.431477e-05,2.424109e-05,2.423811e-05,2.416563e-05,2.413806e-05,2.408856e-05,2.403532e-05,2.401005e-05,2.393024e-05,2.384929e-05,2.382316e-05,2.376732e-05,2.371438e-05,2.368445e-05,2.360417e-05,2.360081e-05,2.351649e-05,2.349277e-05,2.343159e-05,2.338041e-05,2.334621e-05,2.326730e-05,2.326043e-05,2.317433e-05,2.315362e-05,2.308798e-05,2.303955e-05,2.300146e-05,2.292523e-05,2.291483e-05,2.282815e-05,2.281082e-05,2.274149e-05,2.269644e-05,2.265488e-05,2.258222e-05,2.256839e-05,2.248206e-05,2.246827e-05,2.239594e-05,2.235468e-05,2.231006e-05,2.224155e-05,2.222446e-05,2.213918e-05,2.212897e-05,2.205426e-05,2.201701e-05,2.196971e-05,2.190574e-05,2.188559e-05,2.180190e-05,2.179522e-05,2.171868e-05,2.168552e-05,2.163594e-05,2.157669e-05,2.155372e-05,2.147203e-05,2.146877e-05,2.139089e-05,2.136181e-05,2.131031e-05,2.125585e-05,2.123032e-05,2.115093e-05,2.104706e-05,2.094429e-05,2.084264e-05,2.074213e-05,2.064278e-05,2.054461e-05,2.044762e-05,2.035184e-05,2.025727e-05,2.016392e-05,2.007181e-05,1.998092e-05,1.989127e-05,1.980286e-05,1.971568e-05,1.962974e-05,1.954504e-05,1.946157e-05,1.937933e-05,1.929831e-05,1.921852e-05,1.913993e-05,1.906255e-05,1.898637e-05
0.000000e+00,8.861015e-11,2.866889e-10,1.412348e-09,3.780719e-09,5.851630e-09,1.468183e-08,1.516923e-08,3.102413e-08,3.685493e-08,5.502683e-08,7.399694e-08,8.874765e-08,1.295501e-07,1.335687e-07,1.902937e-07,2.056866e-07,2.588277e-07,3.020865e-07,3.383857e-07,4.166955e-07,4.279333e-07,5.264032e-07,5.470733e-07,6.327161e-07,6.907305e-07,7.457587e-07,8.450709e-07,8.643757e-07,9.873834e-07,1.007393e-06,1.113595e-06,1.174973e-06,1.241853e-06,1.345189e-06,1.371055e-06,1.500179e-06,1.515623e-06,1.628302e-06,1.684146e-06,1.754612e-06,1.848961e-06,1.878411e-06,1.999114e-06,2.008622e-06,2.116249e-06,2.162016e-06,2.229442e-06,2.308340e-06,2.338415e-06,2.442969e-06,2.447057e-06,2.542977e-06,2.577854e-06,2.638377e-06,2.700608e-06,2.729155e-06,2.815340e-06,2.896995e-06,2.922182e-06,2.974210e-06,3.021348e-06,3.047096e-06,3.113110e-06,3.115778e-06,3.180396e-06,3.197779e-06,3.241093e-06,3.275691e-06,3.298019e-06,3.347193e-06,3.351328e-06,3.401172e-06,3.412636e-06,3.447703e-06,3.472369e-06,3.491071e-06,3.526734e-06,3.531421e-06,3.568897e-06,3.576060e-06,3.603637e-06,3.620665e-06,3.635775e-06,3.660855e-06,3.665440e-06,3.692756e-06,3.696917e-06,3.717843e-06,3.729127e-06,3.740815e-06,3.757743e-06,3.761780e-06,3.780844e-06,3.783009e-06,3.798107e-06,3.805156e-06,3.813663e-06,3.824400e-06,3.827603e-06,3.840014e-06,3.840944e-06,3.850978e-06,3.854977e-06,3.860574e-06,3.866678e-06,3.868876e-06,3.875954e-06,3.876213e-06,3.881877e-06,3.883739e-06,3.886709e-06,3.889401e-06,3.890509e-06,3.893337e-06,3.895247e-06,3.895672e-06,3.896291e-06,3.896527e-06,3.896518e-06,3.896013e-06,3.895977e-06,3.894711e-06,3.894233e-06,3.892764e-06,3.891284e-06,3.890174e-06,3.887258e-06,3.886981e-06,3.883221e-06,3.882238e-06,3.878927e-06,3.876303e-06,3.874134e-06,3.869527e-06,3.868872e-06,3.863169e-06,3.861979e-06,3.857056e-06,3.853722e-06,3.850556e-06,3.844818e-06,3.843697e-06,3.836502e-06,3.835321e-06,3.828992e-06,3.825283e-06,3.821191e-06,3.814754e-06,3.813118e-06,3.804793e-06,3.803778e-06,3.796234e-06,3.792398e-06,3.787458e-06,3.780653e-06,3.778482e-06,3.769321e-06,3.768581e-06,3.759992e-06,3.756215e-06,3.750506e-06,3.743588e-06,3.740879e-06,3.731122e-06,3.730729e-06,3.721248e-06,3.717667e-06,3.711268e-06,3.704427e-06,3.701193e-06,3.691033e-06,3.677508e-06,3.663873e-06,3.650148e-06,3.636351e-06,3.622499e-06,3.608607e-06,3.594690e-06,3.580762e-06,3.566836e-06,3.552922e-06,3.539034e-06,3.525179e-06,3.511368e-06,3.497610e-06,3.483912e-06,3.470281e-06,3.456726e-06,3.443251e-06,3.429863e-06,3.416567e-06,3.403368e-06,3.390271e-06,3.377279e-06,3.364396e-06
0.000000e+00,2.658790e-11,7.076690e-11,2.831543e-10,6.881783e-10,1.027803e-09,2.426460e-09,2.502532e-09,4.958072e-09,5.858945e-09,8.678046e-09,1.165002e-08,1.398346e-08,2.052291e-08,2.117187e-08,3.036328e-08,3.285451e-08,4.139743e-08,4.826069e-08,5.394737e-08,6.598822e-08,6.769161e-08,8.237853e-08,8.541139e-08,9.781610e-08,1.060873e-07,1.138472e-07,1.276694e-07,1.303319e-07,1.471374e-07,1.498473e-07,1.641344e-07,1.723239e-07,1.811971e-07,1.948125e-07,1.982038e-07,2.150398e-07,2.170436e-07,2.315996e-07,2.387734e-07,2.477882e-07,2.597920e-07,2.635231e-07,2.787349e-07,2.799275e-07,2.933676e-07,2.990484e-07,3.073779e-07,3.170625e-07,3.207355e-07,3.334209e-07,3.339142e-07,3.454247e-07,3.495788e-07,3.567461e-07,3.640581e-07,3.673920e-07,3.773757e-07,3.867153e-07,3.895713e-07,3.954325e-07,4.006963e-07,4.035522e-07,4.108099e-07,4.111013e-07,4.181076e-07,4.199760e-07,4.245997e-07,4.282602e-07,4.306064e-07,4.357282e-07,4.361560e-07,4.412762e-07,4.424441e-07,4.459937e-07,4.484693e-07,4.503343e-07,4.538619e-07,4.543227e-07,4.579820e-07,4.586764e-07,4.613345e-07,4.629634e-07,4.644007e-07,4.667695e-07,4.672002e-07,4.697510e-07,4.701372e-07,4.720698e-07,4.731051e-07,4.741724e-07,4.757087e-07,4.760735e-07,4.777865e-07,4.779801e-07,4.793241e-07,4.799481e-07,4.806980e-07,4.816392e-07,4.819188e-07,4.829967e-07,4.830771e-07,4.839410e-07,4.842832e-07,4.847601e-07,4.852770e-07,4.854622e-07,4.860547e-07,4.860762e-07,4.865443e-07,4.866967e-07,4.869376e-07,4.871530e-07,4.872404e-07,4.874582e-07,4.875963e-07,4.876244e-07,4.876594e-07,4.876625e-07,4.876519e-07,4.875823e-07,4.875781e-07,4.874419e-07,4.873931e-07,4.872469e-07,4.871031e-07,4.869966e-07,4.867201e-07,4.866941e-07,4.863425e-07,4.862511e-07,4.859446e-07,4.857025e-07,4.855030e-07,4.850804e-07,4.850203e-07,4.844989e-07,4.843901e-07,4.839409e-07,4.836370e-07,4.833484e-07,4.828256e-07,4.827235e-07,4.820680e-07,4.819604e-07,4.813837e-07,4.810455e-07,4.806722e-07,4.800846e-07,4.799353e-07,4.791742e-07,4.790814e-07,4.783906e-07,4.780390e-07,4.775858e-07,4.769607e-07,4.767610e-07,4.759175e-07,4.758493e-07,4.750565e-07,4.747074e-07,4.741790e-07,4.735377e-07,4.732862e-07,4.723791e-07,4.723425e-07,4.714585e-07,4.711241e-07,4.705256e-07,4.698845e-07,4.695810e-07,4.686257e-07,4.673495e-07,4.660578e-07,4.647521e-07,4.634340e-07,4.621049e-07,4.607663e-07,4.594193e-07,4.580652e-07,4.567053e-07,4.553405e-07,4.539718e-07,4.526003e-07,4.512269e-07,4.498524e-07,4.484776e-07,4.471033e-07,4.457302e-07,4.443590e-07,4.429903e-07,4.416247e-07,4.402629e-07,4.389052e-07,4.375523e-07,4.362046e-07
0.000000e+00,3.962083e-15,3.404864e-14,8.156089e-13,6.547130e-12,1.685105e-11,1.266020e-10,1.360452e-10,6.571809e-10,9.586393e-10,2.296561e-09,4.353023e-09,6.424856e-09,1.433353e-08,1.528702e-08,3.216765e-08,3.787827e-08,6.148058e-08,8.535005e-08,1.087761e-07,1.704999e-07,1.806669e-07,2.846720e-07,3.100385e-07,4.289714e-07,5.227505e-07,6.220583e-07,8.280817e-07,8.722866e-07,1.187337e-06,1.244213e-06,1.573654e-06,1.785856e-06,2.035928e-06,2.462212e-06,2.576683e-06,3.196032e-06,3.275549e-06,3.891612e-06,4.220678e-06,4.658692e-06,5.285347e-06,5.490425e-06,6.378213e-06,6.451368e-06,7.312133e-06,7.696217e-06,8.281382e-06,8.994813e-06,9.274722e-06,1.028088e-05,1.032124e-05,1.128892e-05,1.165025e-05,1.228849e-05,1.295849e-05,1.327012e-05,1.422532e-05,1.514674e-05,1.543340e-05,1.602815e-05,1.656889e-05,1.686453e-05,1.762148e-05,1.765200e-05,1.838776e-05,1.858423e-05,1.907000e-05,1.945326e-05,1.969785e-05,2.022735e-05,2.027122e-05,2.079075e-05,2.090755e-05,2.125765e-05,2.149674e-05,2.167361e-05,2.199918e-05,2.204073e-05,2.236139e-05,2.242017e-05,2.263819e-05,2.276570e-05,2.287388e-05,2.304213e-05,2.307126e-05,2.323316e-05,2.325596e-05,2.336240e-05,2.341363e-05,2.346171e-05,2.352141e-05,2.353376e-05,2.358108e-05,2.358522e-05,2.360610e-05,2.361062e-05,2.361106e-05,2.360274e-05,2.359811e-05,2.356920e-05,2.356625e-05,2.352615e-05,2.350536e-05,2.347065e-05,2.342383e-05,2.340421e-05,2.332824e-05,2.332502e-05,2.324400e-05,2.321187e-05,2.315262e-05,2.308694e-05,2.305515e-05,2.295250e-05,2.284551e-05,2.281048e-05,2.273492e-05,2.266256e-05,2.262139e-05,2.251018e-05,2.250551e-05,2.238780e-05,2.235458e-05,2.226873e-05,2.219680e-05,2.214870e-05,2.203774e-05,2.202808e-05,2.190718e-05,2.187816e-05,2.178629e-05,2.171869e-05,2.166566e-05,2.155989e-05,2.154550e-05,2.142601e-05,2.140220e-05,2.130734e-05,2.124601e-05,2.118964e-05,2.109162e-05,2.107304e-05,2.095764e-05,2.093930e-05,2.084354e-05,2.078926e-05,2.073082e-05,2.064168e-05,2.061954e-05,2.050977e-05,2.049670e-05,2.040155e-05,2.035444e-05,2.029493e-05,2.021498e-05,2.018993e-05,2.008658e-05,2.007838e-05,1.998490e-05,1.994470e-05,1.988492e-05,1.981398e-05,1.978663e-05,1.969004e-05,1.968621e-05,1.959517e-05,1.956143e-05,1.950200e-05,1.943962e-05,1.941053e-05,1.932077e-05,1.920487e-05,1.909188e-05,1.898180e-05,1.887457e-05,1.877017e-05,1.866855e-05,1.856966e-05,1.847346e-05,1.837990e-05,1.828893e-05,1.820051e-05,1.811457e-05,1.803107e-05,1.794995e-05,1.787116e-05,1.779465e-05,1.772036e-05,1.764825e-05,1.757825e-05,1.751032e-05,1.744440e-05,1.738045e-05,1.731840e-05,1.725822e-05
0.000000e+00,2.321370e-14,1.939824e-13,4.384010e-12,3.336948e-11,8.341486e-11,5.812437e-10,6.226940e-10,2.793212e-09,3.994038e-09,9.105025e-09,1.658994e-08,2.387283e-08,5.039213e-08,5.349696e-08,1.065503e-07,1.239129e-07,1.936993e-07,2.619953e-07,3.274539e-07,4.946913e-07,5.216639e-07,7.906371e-07,8.546210e-07,1.147855e-06,1.372323e-06,1.604485e-06,2.070500e-06,2.168032e-06,2.841451e-06,2.959336e-06,3.622884e-06,4.034629e-06,4.505990e-06,5.279009e-06,5.480692e-06,6.534146e-06,6.665172e-06,7.651757e-06,8.159866e-06,8.818102e-06,9.727584e-06,1.001771e-05,1.123566e-05,1.133347e-05,1.245801e-05,1.294529e-05,1.367206e-05,1.453467e-05,1.486657e-05,1.603178e-05,1.607765e-05,1.715945e-05,1.755487e-05,1.824282e-05,1.895144e-05,1.927657e-05,2.025667e-05,2.118031e-05,2.146364e-05,2.204577e-05,2.256874e-05,2.285228e-05,2.357112e-05,2.359990e-05,2.428941e-05,2.447223e-05,2.492217e-05,2.527533e-05,2.550001e-05,2.598498e-05,2.602510e-05,2.649991e-05,2.660667e-05,2.692708e-05,2.714651e-05,2.730936e-05,2.761086e-05,2.764955e-05,2.795043e-05,2.800614e-05,2.821475e-05,2.833864e-05,2.844517e-05,2.861439e-05,2.864424e-05,2.881440e-05,2.883910e-05,2.895796e-05,2.901807e-05,2.907709e-05,2.915618e-05,2.917383e-05,2.925004e-05,2.925790e-05,2.930748e-05,2.932723e-05,2.934776e-05,2.936780e-05,2.937235e-05,2.938261e-05,2.938285e-05,2.937979e-05,2.937526e-05,2.936503e-05,2.934760e-05,2.933938e-05,2.930379e-05,2.930217e-05,2.925913e-05,2.924099e-05,2.920619e-05,2.916584e-05,2.914571e-05,2.907833e-05,2.900468e-05,2.897988e-05,2.892531e-05,2.887174e-05,2.884071e-05,2.875502e-05,2.875136e-05,2.865769e-05,2.863074e-05,2.856008e-05,2.849977e-05,2.845889e-05,2.836293e-05,2.835446e-05,2.824709e-05,2.822091e-05,2.813706e-05,2.807438e-05,2.802463e-05,2.792389e-05,2.791003e-05,2.779350e-05,2.776998e-05,2.767523e-05,2.761312e-05,2.755543e-05,2.745373e-05,2.743426e-05,2.731189e-05,2.729221e-05,2.718847e-05,2.712890e-05,2.706415e-05,2.696413e-05,2.693906e-05,2.681331e-05,2.679818e-05,2.668703e-05,2.663132e-05,2.656032e-05,2.646379e-05,2.643328e-05,2.630600e-05,2.629581e-05,2.617858e-05,2.612759e-05,2.605109e-05,2.595930e-05,2.592361e-05,2.579621e-05,2.579111e-05,2.566895e-05,2.562319e-05,2.554191e-05,2.545567e-05,2.541513e-05,2.528868e-05,2.512233e-05,2.495674e-05,2.479201e-05,2.462821e-05,2.446544e-05,2.430377e-05,2.414326e-05,2.398398e-05,2.382598e-05,2.366930e-05,2.351400e-05,2.336012e-05,2.320768e-05,2.305672e-05,2.290727e-05,2.275936e-05,2.261299e-05,2.246819e-05,2.232498e-05,2.218337e-05,2.204336e-05,2.190497e-05,2.176820e-05,2.163306e-05
0.000000e+00,5.898636e-14,4.968452e-13,1.142442e-11,8.839926e-11,2.230536e-10,1.594522e-09,1.710093e-09,7.888763e-09,1.137245e-08,2.649272e-08,4.919178e-08,7.171518e-08,1.561805e-07,1.662656e-07,3.430522e-07,4.023545e-07,6.457521e-07,8.896772e-07,1.127158e-06,1.744347e-06,1.844857e-06,2.855169e-06,3.096843e-06,4.207078e-06,5.057918e-06,5.937583e-06,7.700640e-06,8.069112e-06,1.060896e-05,1.105295e-05,1.355024e-05,1.509941e-05,1.687373e-05,1.978840e-05,2.055027e-05,2.454312e-05,2.504156e-05,2.881024e-05,3.076309e-05,3.330642e-05,3.684799e-05,3.798496e-05,4.279924e-05,4.318888e-05,4.770393e-05,4.968138e-05,5.265596e-05,5.622812e-05,5.761530e-05,6.254547e-05,6.274160e-05,6.741394e-05,6.914588e-05,7.219227e-05,7.537747e-05,7.685613e-05,8.138527e-05,8.576326e-05,8.713010e-05,8.997728e-05,9.258367e-05,9.401780e-05,9.772732e-05,9.787822e-05,1.015546e-04,1.025507e-04,1.050451e-04,1.070502e-04,1.083499e-04,1.112279e-04,1.114709e-04,1.144110e-04,1.150901e-04,1.171744e-04,1.186464e-04,1.197659e-04,1.219087e-04,1.221912e-04,1.244562e-04,1.248905e-04,1.265672e-04,1.276062e-04,1.285307e-04,1.300708e-04,1.303532e-04,1.320413e-04,1.322994e-04,1.336015e-04,1.343068e-04,1.350401e-04,1.361076e-04,1.363633e-04,1.375772e-04,1.377158e-04,1.386876e-04,1.391449e-04,1.397001e-04,1.404075e-04,1.406202e-04,1.414529e-04,1.415159e-04,1.422033e-04,1.424814e-04,1.428760e-04,1.433148e-04,1.434755e-04,1.440061e-04,1.440259e-04,1.444718e-04,1.446243e-04,1.448764e-04,1.451186e-04,1.452237e-04,1.455171e-04,1.457597e-04,1.458272e-04,1.459548e-04,1.460561e-04,1.461053e-04,1.462103e-04,1.462139e-04,1.462832e-04,1.462959e-04,1.463157e-04,1.463186e-04,1.463138e-04,1.462836e-04,1.462797e-04,1.462155e-04,1.461958e-04,1.461230e-04,1.460597e-04,1.460043e-04,1.458794e-04,1.458610e-04,1.456948e-04,1.456590e-04,1.455073e-04,1.454019e-04,1.453000e-04,1.451115e-04,1.450742e-04,1.448313e-04,1.447910e-04,1.445726e-04,1.444430e-04,1.442991e-04,1.440704e-04,1.440120e-04,1.437123e-04,1.436756e-04,1.434011e-04,1.432607e-04,1.430792e-04,1.428280e-04,1.427476e-04,1.424070e-04,1.423794e-04,1.420583e-04,1.419167e-04,1.417021e-04,1.414415e-04,1.413392e-04,1.409703e-04,1.409554e-04,1.405959e-04,1.404598e-04,1.402166e-04,1.399561e-04,1.398329e-04,1.394455e-04,1.389290e-04,1.384078e-04,1.378828e-04,1.373549e-04,1.368249e-04,1.362935e-04,1.357615e-04,1.352295e-04,1.346981e-04,1.341679e-04,1.336393e-04,1.331128e-04,1.325888e-04,1.320677e-04,1.315499e-04,1.310356e-04,1.305252e-04,1.300189e-04,1.295170e-04,1.290196e-04,1.285270e-04,1.280394e-04,1.275569e-04,1.270797e-04
0.000000e+00,9.664036e-13,7.199257e-12,1.289097e-10,7.996441e-10,1.792937e-09,9.566857e-09,1.014328e-08,3.579923e-08,4.819347e-08,9.537334e-08,1.567321e-07,2.120199e-07,3.956831e-07,4.160433e-07,7.428476e-07,8.433779e-07,1.224812e-06,1.569938e-06,1.879615e-06,2.596501e-06,2.703749e-06,3.675693e-06,3.885172e-06,4.764686e-06,5.366539e-06,5.938899e-06,6.970318e-06,7.170133e-06,8.435198e-06,8.639450e-06,9.715507e-06,1.033097e-05,1.099611e-05,1.201250e-05,1.226476e-05,1.351131e-05,1.365900e-05,1.472732e-05,1.525085e-05,1.590585e-05,1.677300e-05,1.704135e-05,1.812953e-05,1.821444e-05,1.916731e-05,1.956783e-05,2.015266e-05,2.082900e-05,2.108448e-05,2.196246e-05,2.199646e-05,2.278696e-05,2.307085e-05,2.355888e-05,2.405440e-05,2.427952e-05,2.495051e-05,2.557369e-05,2.576334e-05,2.615107e-05,2.649751e-05,2.668473e-05,2.715790e-05,2.717682e-05,2.762946e-05,2.774942e-05,2.804477e-05,2.827691e-05,2.842484e-05,2.874509e-05,2.877165e-05,2.908716e-05,2.915844e-05,2.937323e-05,2.952122e-05,2.963161e-05,2.983745e-05,2.986402e-05,3.007204e-05,3.011085e-05,3.025720e-05,3.034493e-05,3.042094e-05,3.054293e-05,3.056462e-05,3.068951e-05,3.070783e-05,3.079682e-05,3.084241e-05,3.088768e-05,3.094925e-05,3.096316e-05,3.102427e-05,3.103068e-05,3.107195e-05,3.108890e-05,3.110708e-05,3.112591e-05,3.113050e-05,3.114299e-05,3.114354e-05,3.114529e-05,3.114350e-05,3.113807e-05,3.112735e-05,3.112199e-05,3.109766e-05,3.109653e-05,3.106565e-05,3.105235e-05,3.102648e-05,3.099602e-05,3.098067e-05,3.092867e-05,3.087095e-05,3.085133e-05,3.080789e-05,3.076493e-05,3.073991e-05,3.067035e-05,3.066736e-05,3.059059e-05,3.056838e-05,3.050991e-05,3.045976e-05,3.042564e-05,3.034517e-05,3.033805e-05,3.024741e-05,3.022523e-05,3.015398e-05,3.010052e-05,3.005798e-05,2.997156e-05,2.995964e-05,2.985917e-05,2.983883e-05,2.975676e-05,2.970280e-05,2.965259e-05,2.956386e-05,2.954684e-05,2.943966e-05,2.942239e-05,2.933121e-05,2.927875e-05,2.922164e-05,2.913326e-05,2.911107e-05,2.899964e-05,2.898621e-05,2.888745e-05,2.883788e-05,2.877462e-05,2.868851e-05,2.866126e-05,2.854746e-05,2.853834e-05,2.843332e-05,2.838759e-05,2.831892e-05,2.823644e-05,2.820434e-05,2.808966e-05,2.808507e-05,2.797495e-05,2.793366e-05,2.786028e-05,2.778235e-05,2.774570e-05,2.763129e-05,2.748059e-05,2.733039e-05,2.718078e-05,2.703186e-05,2.688373e-05,2.673647e-05,2.659015e-05,2.644484e-05,2.630061e-05,2.615750e-05,2.601557e-05,2.587486e-05,2.573542e-05,2.559729e-05,2.546049e-05,2.532506e-05,2.519102e-05,2.505839e-05,2.492720e-05,2.479746e-05,2.466918e-05,2.454237e-05,2.441706e-05,2.429323e-05
0.000000e+00,6.390219e-14,5.291199e-13,1.172864e-11,8.767524e-11,2.169612e-10,1.471928e-09,1.575151e-09,6.873903e-09,9.754194e-09,2.180580e-08,3.909443e-08,5.565699e-08,1.146442e-07,1.214505e-07,2.356187e-07,2.723031e-07,4.173639e-07,5.564816e-07,6.878027e-07,1.016552e-06,1.068830e-06,1.581508e-06,1.701510e-06,2.243860e-06,2.651850e-06,3.068305e-06,3.889672e-06,4.059354e-06,5.212275e-06,5.410953e-06,6.513134e-06,7.183941e-06,7.940142e-06,9.154268e-06,9.465872e-06,1.105983e-05,1.125421e-05,1.269091e-05,1.341259e-05,1.432938e-05,1.556287e-05,1.594833e-05,1.752457e-05,1.764822e-05,1.903896e-05,1.962390e-05,2.047650e-05,2.145759e-05,2.182611e-05,2.308023e-05,2.312834e-05,2.423440e-05,2.462501e-05,2.528680e-05,2.594442e-05,2.623780e-05,2.708950e-05,2.784537e-05,2.806772e-05,2.850992e-05,2.888968e-05,2.908835e-05,2.956790e-05,2.958635e-05,3.000985e-05,3.011590e-05,3.036485e-05,3.054745e-05,3.065729e-05,3.087601e-05,3.089290e-05,3.107720e-05,3.111438e-05,3.121536e-05,3.127439e-05,3.131222e-05,3.136683e-05,3.137222e-05,3.139946e-05,3.140131e-05,3.139764e-05,3.138633e-05,3.137011e-05,3.132933e-05,3.131989e-05,3.124967e-05,3.123674e-05,3.116185e-05,3.111409e-05,3.105858e-05,3.096611e-05,3.094174e-05,3.081303e-05,3.079686e-05,3.067392e-05,3.060976e-05,3.052572e-05,3.040774e-05,3.036961e-05,3.020662e-05,3.019331e-05,3.003765e-05,2.996857e-05,2.986352e-05,2.973536e-05,2.968495e-05,2.950258e-05,2.949521e-05,2.931697e-05,2.924947e-05,2.912865e-05,2.899927e-05,2.893807e-05,2.874562e-05,2.855170e-05,2.848938e-05,2.835661e-05,2.823129e-05,2.816067e-05,2.797200e-05,2.796413e-05,2.776726e-05,2.771210e-05,2.757026e-05,2.745209e-05,2.737334e-05,2.719241e-05,2.717669e-05,2.698046e-05,2.693345e-05,2.678482e-05,2.667556e-05,2.658989e-05,2.641906e-05,2.639582e-05,2.620269e-05,2.616419e-05,2.601063e-05,2.591121e-05,2.581973e-05,2.566032e-05,2.563006e-05,2.544171e-05,2.541170e-05,2.525475e-05,2.516552e-05,2.506924e-05,2.492191e-05,2.488523e-05,2.470278e-05,2.468099e-05,2.452193e-05,2.444288e-05,2.434273e-05,2.420765e-05,2.416520e-05,2.398938e-05,2.397539e-05,2.381530e-05,2.374616e-05,2.364299e-05,2.352002e-05,2.347245e-05,2.330371e-05,2.329700e-05,2.313678e-05,2.307714e-05,2.297168e-05,2.286046e-05,2.280841e-05,2.264698e-05,2.243671e-05,2.222967e-05,2.202583e-05,2.182521e-05,2.162778e-05,2.143354e-05,2.124247e-05,2.105454e-05,2.086973e-05,2.068801e-05,2.050935e-05,2.033373e-05,2.016110e-05,1.999144e-05,1.982470e-05,1.966085e-05,1.949985e-05,1.934165e-05,1.918623e-05,1.903353e-05,1.888352e-05,1.873616e-05,1.859139e-05,1.844919e-05
0.000000e+00,9.454298e-15,7.978866e-14,1.840202e-12,1.426421e-11,3.600950e-11,2.572250e-10,2.758411e-10,1.266737e-09,1.822479e-09,4.217027e-09,7.772005e-09,1.126365e-08,2.412998e-08,2.564700e-08,5.176983e-08,6.037697e-08,9.514647e-08,1.293563e-07,1.622585e-07,2.466680e-07,2.603196e-07,3.969268e-07,4.295413e-07,5.795666e-07,6.950173e-07,8.149745e-07,1.057409e-06,1.108419e-06,1.463042e-06,1.525534e-06,1.879392e-06,2.100621e-06,2.355261e-06,2.775642e-06,2.885818e-06,3.464011e-06,3.536195e-06,4.081132e-06,4.362512e-06,4.727454e-06,5.231961e-06,5.392858e-06,6.067378e-06,6.121447e-06,6.741650e-06,7.009360e-06,7.407222e-06,7.876880e-06,8.056757e-06,8.684139e-06,8.708701e-06,9.284493e-06,9.493258e-06,9.854133e-06,1.022259e-05,1.039048e-05,1.089196e-05,1.135785e-05,1.149939e-05,1.178814e-05,1.204510e-05,1.218344e-05,1.253100e-05,1.254482e-05,1.287371e-05,1.296020e-05,1.317178e-05,1.333661e-05,1.344091e-05,1.366461e-05,1.368303e-05,1.390013e-05,1.394873e-05,1.409419e-05,1.419351e-05,1.426711e-05,1.440328e-05,1.442076e-05,1.455687e-05,1.458213e-05,1.467707e-05,1.473380e-05,1.478288e-05,1.486166e-05,1.487569e-05,1.495677e-05,1.496873e-05,1.502728e-05,1.505768e-05,1.508826e-05,1.513081e-05,1.514064e-05,1.518527e-05,1.519015e-05,1.522291e-05,1.523743e-05,1.525423e-05,1.527417e-05,1.527982e-05,1.530022e-05,1.530164e-05,1.531590e-05,1.532096e-05,1.532730e-05,1.533307e-05,1.533479e-05,1.533871e-05,1.533880e-05,1.533936e-05,1.533885e-05,1.533702e-05,1.533384e-05,1.533192e-05,1.532430e-05,1.531436e-05,1.531071e-05,1.530226e-05,1.529347e-05,1.528818e-05,1.527295e-05,1.527228e-05,1.525468e-05,1.524947e-05,1.523552e-05,1.522332e-05,1.521491e-05,1.519477e-05,1.519297e-05,1.516978e-05,1.516404e-05,1.514545e-05,1.513135e-05,1.512005e-05,1.509690e-05,1.509369e-05,1.506641e-05,1.506086e-05,1.503831e-05,1.502339e-05,1.500944e-05,1.498465e-05,1.497987e-05,1.494966e-05,1.494477e-05,1.491886e-05,1.490387e-05,1.488751e-05,1.486208e-05,1.485568e-05,1.482340e-05,1.481950e-05,1.479072e-05,1.477623e-05,1.475768e-05,1.473236e-05,1.472432e-05,1.469068e-05,1.468797e-05,1.465678e-05,1.464316e-05,1.462266e-05,1.459798e-05,1.458836e-05,1.455389e-05,1.455251e-05,1.451930e-05,1.450682e-05,1.448460e-05,1.446096e-05,1.444982e-05,1.441498e-05,1.436894e-05,1.432289e-05,1.427686e-05,1.423090e-05,1.418506e-05,1.413935e-05,1.409381e-05,1.404849e-05,1.400339e-05,1.395855e-05,1.391399e-05,1.386973e-05,1.382580e-05,1.378221e-05,1.373897e-05,1.369611e-05,1.365363e-05,1.361156e-05,1.356989e-05,1.352865e-05,1.348783e-05,1.344746e-05,1.340753e-05,1.336805e-05
0.000000e+00,2.931195e-15,2.631588e-14,6.913664e-13,6.048509e-12,1.633379e-11,1.393071e-10,1.504848e-10,8.278589e-10,1.251922e-09,3.287948e-09,6.722897e-09,1.043268e-08,2.608593e-08,2.809611e-08,6.677703e-08,8.093814e-08,1.438472e-07,2.133257e-07,2.862104e-07,4.964805e-07,5.333310e-07,9.404815e-07,1.047286e-06,1.582000e-06,2.039268e-06,2.554320e-06,3.714548e-06,3.978556e-06,6.002460e-06,6.393269e-06,8.801606e-06,1.047932e-05,1.257973e-05,1.646166e-05,1.756817e-05,2.402447e-05,2.491099e-05,3.223003e-05,3.647188e-05,4.248716e-05,5.185067e-05,5.511524e-05,7.044649e-05,7.179993e-05,8.882117e-05,9.710010e-05,1.105825e-04,1.285393e-04,1.360713e-04,1.656209e-04,1.668919e-04,1.995513e-04,2.128976e-04,2.381648e-04,2.672405e-04,2.817406e-04,3.305305e-04,3.847552e-04,4.032863e-04,4.446006e-04,4.859215e-04,5.102149e-04,5.787334e-04,5.817069e-04,6.591434e-04,6.818953e-04,7.425492e-04,7.954523e-04,8.319063e-04,9.193197e-04,9.271541e-04,1.028190e-03,1.053285e-03,1.134872e-03,1.197014e-03,1.247019e-03,1.350056e-03,1.364412e-03,1.486801e-03,1.511854e-03,1.613903e-03,1.681757e-03,1.745408e-03,1.859030e-03,1.880981e-03,2.020265e-03,2.042870e-03,2.162887e-03,2.232418e-03,2.308459e-03,2.426773e-03,2.456582e-03,2.606849e-03,2.625006e-03,2.758850e-03,2.826174e-03,2.912174e-03,3.029331e-03,3.066409e-03,3.221152e-03,3.233542e-03,3.376004e-03,3.437888e-03,3.530577e-03,3.641484e-03,3.684493e-03,3.837390e-03,3.843479e-03,3.988918e-03,4.043069e-03,4.138747e-03,4.239498e-03,4.286561e-03,4.432066e-03,4.574985e-03,4.620131e-03,4.715063e-03,4.803111e-03,4.852063e-03,4.980489e-03,4.985771e-03,5.115992e-03,5.151805e-03,5.242552e-03,5.316666e-03,5.365296e-03,5.474736e-03,5.484091e-03,5.598821e-03,5.625740e-03,5.709390e-03,5.769461e-03,5.815720e-03,5.905735e-03,5.917750e-03,6.015435e-03,6.034448e-03,6.108747e-03,6.155536e-03,6.197673e-03,6.268981e-03,6.282213e-03,6.362380e-03,6.374802e-03,6.438200e-03,6.473060e-03,6.509710e-03,6.563847e-03,6.576958e-03,6.640000e-03,6.647286e-03,6.698903e-03,6.723528e-03,6.753740e-03,6.792746e-03,6.804592e-03,6.851545e-03,6.855136e-03,6.894692e-03,6.910906e-03,6.934129e-03,6.960284e-03,6.969959e-03,7.002284e-03,7.003506e-03,7.031214e-03,7.040818e-03,7.056856e-03,7.072471e-03,7.079322e-03,7.098725e-03,7.119838e-03,7.136072e-03,7.147685e-03,7.154937e-03,7.158080e-03,7.157366e-03,7.153038e-03,7.145335e-03,7.134489e-03,7.120723e-03,7.104254e-03,7.085290e-03,7.064032e-03,7.040670e-03,7.015387e-03,6.988358e-03,6.959747e-03,6.929712e-03,6.898402e-03,6.865957e-03,6.832510e-03,6.798185e-03,6.763098e-03,6.727361e-03
0.000000e+00,4.952489e-15,4.349470e-14,1.091463e-12,9.150630e-12,2.413206e-11,1.933939e-10,2.083769e-10,1.076202e-09,1.599488e-09,4.020390e-09,7.931927e-09,1.202441e-08,2.853204e-08,3.059402e-08,6.886327e-08,8.241374e-08,1.408237e-07,2.030466e-07,2.665797e-07,4.432466e-07,4.734423e-07,7.965897e-07,8.788277e-07,1.279039e-06,1.609233e-06,1.970802e-06,2.754053e-06,2.927268e-06,4.207010e-06,4.445739e-06,5.869242e-06,6.819923e-06,7.971199e-06,1.000504e-05,1.056565e-05,1.369873e-05,1.411278e-05,1.740812e-05,1.923042e-05,2.172181e-05,2.541546e-05,2.665717e-05,3.222065e-05,3.269280e-05,3.840774e-05,4.105416e-05,4.520341e-05,5.045953e-05,5.258280e-05,6.051218e-05,6.084023e-05,6.894998e-05,7.210296e-05,7.784810e-05,8.413471e-05,8.715318e-05,9.680786e-05,1.067521e-04,1.099854e-04,1.169245e-04,1.235259e-04,1.272631e-04,1.372880e-04,1.377070e-04,1.481966e-04,1.511341e-04,1.586749e-04,1.649339e-04,1.690880e-04,1.785670e-04,1.793855e-04,1.895209e-04,1.919245e-04,1.994522e-04,2.049104e-04,2.091419e-04,2.174425e-04,2.185567e-04,2.276682e-04,2.294519e-04,2.364522e-04,2.408837e-04,2.448888e-04,2.516954e-04,2.529622e-04,2.606605e-04,2.618569e-04,2.679755e-04,2.713489e-04,2.749020e-04,2.801621e-04,2.814381e-04,2.875843e-04,2.882958e-04,2.933438e-04,2.957568e-04,2.987218e-04,3.025581e-04,3.037252e-04,3.083627e-04,3.087181e-04,3.126440e-04,3.142593e-04,3.165802e-04,3.192071e-04,3.201830e-04,3.234648e-04,3.235896e-04,3.264387e-04,3.274365e-04,3.291179e-04,3.307783e-04,3.315158e-04,3.336460e-04,3.355218e-04,3.360705e-04,3.371566e-04,3.380824e-04,3.385634e-04,3.397116e-04,3.397553e-04,3.407446e-04,3.409869e-04,3.415434e-04,3.419362e-04,3.421636e-04,3.425860e-04,3.426163e-04,3.429125e-04,3.429615e-04,3.430626e-04,3.430865e-04,3.430764e-04,3.429834e-04,3.429635e-04,3.427327e-04,3.426732e-04,3.423928e-04,3.421756e-04,3.419518e-04,3.415088e-04,3.414173e-04,3.407965e-04,3.406897e-04,3.400964e-04,3.397340e-04,3.393232e-04,3.386562e-04,3.384832e-04,3.375819e-04,3.374699e-04,3.366247e-04,3.361872e-04,3.356167e-04,3.348196e-04,3.345626e-04,3.334668e-04,3.333774e-04,3.323333e-04,3.318703e-04,3.311662e-04,3.303070e-04,3.299689e-04,3.287449e-04,3.286954e-04,3.274972e-04,3.270428e-04,3.262288e-04,3.253559e-04,3.249425e-04,3.236408e-04,3.219029e-04,3.201473e-04,3.183785e-04,3.166006e-04,3.148175e-04,3.130324e-04,3.112484e-04,3.094683e-04,3.076946e-04,3.059295e-04,3.041749e-04,3.024328e-04,3.007046e-04,2.989918e-04,2.972956e-04,2.956172e-04,2.939575e-04,2.923175e-04,2.906978e-04,2.890991e-04,2.875220e-04,2.859669e-04,2.844342e-04,2.829242e-04
0.000000e+00,1.661978e-14,1.478223e-13,3.807846e-12,3.271617e-11,8.747317e-11,7.271455e-10,7.846764e-10,4.210256e-09,6.324748e-09,1.634178e-08,3.299160e-08,5.078773e-08,1.248468e-07,1.342813e-07,3.140597e-07,3.793186e-07,6.671442e-07,9.824211e-07,1.311184e-06,2.251962e-06,2.415911e-06,4.213575e-06,4.681578e-06,7.006472e-06,8.973832e-06,1.117001e-05,1.605117e-05,1.715046e-05,2.545734e-05,2.703921e-05,3.665122e-05,4.322377e-05,5.132772e-05,6.598791e-05,7.009930e-05,9.357572e-05,9.673732e-05,1.223447e-04,1.368226e-04,1.569533e-04,1.874657e-04,1.978919e-04,2.455794e-04,2.496966e-04,3.003520e-04,3.243030e-04,3.624550e-04,4.117957e-04,4.320374e-04,5.091488e-04,5.123895e-04,5.937404e-04,6.259995e-04,6.856673e-04,7.522506e-04,7.846935e-04,8.904983e-04,1.002685e-03,1.039858e-03,1.120788e-03,1.199240e-03,1.244286e-03,1.367391e-03,1.372609e-03,1.505151e-03,1.542934e-03,1.641280e-03,1.724408e-03,1.780345e-03,1.910312e-03,1.921688e-03,2.064654e-03,2.099134e-03,2.208594e-03,2.289390e-03,2.352878e-03,2.479648e-03,2.496896e-03,2.640067e-03,2.668551e-03,2.781841e-03,2.854839e-03,2.921704e-03,3.037362e-03,3.059179e-03,3.193829e-03,3.215084e-03,3.325260e-03,3.387097e-03,3.453117e-03,3.552618e-03,3.577088e-03,3.696903e-03,3.710990e-03,3.812331e-03,3.861678e-03,3.923179e-03,4.004266e-03,4.029295e-03,4.130557e-03,4.138446e-03,4.226882e-03,4.264015e-03,4.318213e-03,4.380864e-03,4.404525e-03,4.485819e-03,4.488967e-03,4.562120e-03,4.588375e-03,4.633475e-03,4.679205e-03,4.699951e-03,4.761631e-03,4.818616e-03,4.835877e-03,4.871016e-03,4.902204e-03,4.918957e-03,4.960909e-03,4.962572e-03,5.002003e-03,5.012313e-03,5.037395e-03,5.056756e-03,5.068903e-03,5.094593e-03,5.096682e-03,5.120891e-03,5.126187e-03,5.141688e-03,5.151904e-03,5.159235e-03,5.172113e-03,5.173689e-03,5.185210e-03,5.187176e-03,5.193953e-03,5.197453e-03,5.200072e-03,5.203293e-03,5.203716e-03,5.205031e-03,5.205036e-03,5.204162e-03,5.203009e-03,5.201246e-03,5.197529e-03,5.196417e-03,5.189805e-03,5.188897e-03,5.181534e-03,5.177400e-03,5.171724e-03,5.163311e-03,5.160491e-03,5.147945e-03,5.146888e-03,5.134190e-03,5.128373e-03,5.119327e-03,5.107994e-03,5.103453e-03,5.086657e-03,5.085967e-03,5.069026e-03,5.062490e-03,5.050641e-03,5.037750e-03,5.031582e-03,5.011919e-03,4.985157e-03,4.957613e-03,4.929422e-03,4.900710e-03,4.871594e-03,4.842177e-03,4.812558e-03,4.782823e-03,4.753053e-03,4.723319e-03,4.693686e-03,4.664214e-03,4.634954e-03,4.605953e-03,4.577253e-03,4.548890e-03,4.520898e-03,4.493303e-03,4.466132e-03,4.439404e-03,4.413138e-03,4.387349e-03,4.362048e-03,4.337247e-03
0.000000e+00,8.223270e-15,7.189415e-14,1.788072e-12,1.487470e-11,3.906859e-11,3.101387e-10,3.340502e-10,1.712755e-09,2.541708e-09,6.371242e-09,1.255785e-08,1.903758e-08,4.526188e-08,4.854661e-08,1.097739e-07,1.315420e-07,2.256627e-07,3.261622e-07,4.287987e-07,7.134555e-07,7.619446e-07,1.277236e-06,1.407286e-06,2.034126e-06,2.544292e-06,3.096428e-06,4.272223e-06,4.528918e-06,6.393901e-06,6.736325e-06,8.748061e-06,1.006641e-05,1.163983e-05,1.436634e-05,1.510736e-05,1.917716e-05,1.970681e-05,2.386337e-05,2.612144e-05,2.916761e-05,3.360610e-05,3.507932e-05,4.157654e-05,4.212071e-05,4.862702e-05,5.159316e-05,5.618954e-05,6.192452e-05,6.421540e-05,7.264998e-05,7.299505e-05,8.143438e-05,8.467056e-05,9.050688e-05,9.680859e-05,9.980445e-05,1.092641e-04,1.188239e-04,1.218944e-04,1.284243e-04,1.345635e-04,1.380085e-04,1.471452e-04,1.475239e-04,1.569215e-04,1.595256e-04,1.661573e-04,1.716046e-04,1.751920e-04,1.832966e-04,1.839912e-04,1.925251e-04,1.945309e-04,2.007688e-04,2.052508e-04,2.087021e-04,2.154135e-04,2.163087e-04,2.235765e-04,2.249886e-04,2.304972e-04,2.339569e-04,2.370656e-04,2.423093e-04,2.432797e-04,2.491401e-04,2.500451e-04,2.546497e-04,2.571711e-04,2.598134e-04,2.636998e-04,2.646380e-04,2.691314e-04,2.696488e-04,2.733030e-04,2.750392e-04,2.771630e-04,2.798950e-04,2.807224e-04,2.839926e-04,2.842420e-04,2.869855e-04,2.881077e-04,2.897131e-04,2.915197e-04,2.921878e-04,2.944215e-04,2.945060e-04,2.964265e-04,2.970945e-04,2.982145e-04,2.993125e-04,2.997973e-04,3.011863e-04,3.023924e-04,3.027416e-04,3.034265e-04,3.040027e-04,3.042987e-04,3.049931e-04,3.050191e-04,3.055970e-04,3.057345e-04,3.060415e-04,3.062479e-04,3.063614e-04,3.065527e-04,3.065648e-04,3.066597e-04,3.066671e-04,3.066534e-04,3.066084e-04,3.065531e-04,3.063923e-04,3.063654e-04,3.060966e-04,3.060336e-04,3.057527e-04,3.055461e-04,3.053393e-04,3.049423e-04,3.048618e-04,3.043251e-04,3.042340e-04,3.037339e-04,3.034321e-04,3.030928e-04,3.025467e-04,3.024058e-04,3.016769e-04,3.015868e-04,3.009099e-04,3.005611e-04,3.001080e-04,2.994774e-04,2.992746e-04,2.984128e-04,2.983427e-04,2.975253e-04,2.971637e-04,2.966148e-04,2.959464e-04,2.956838e-04,2.947346e-04,2.946963e-04,2.937695e-04,2.934186e-04,2.927905e-04,2.921177e-04,2.917994e-04,2.907981e-04,2.894635e-04,2.881174e-04,2.867632e-04,2.854037e-04,2.840415e-04,2.826792e-04,2.813188e-04,2.799625e-04,2.786119e-04,2.772687e-04,2.759344e-04,2.746102e-04,2.732974e-04,2.719970e-04,2.707099e-04,2.694370e-04,2.681789e-04,2.669364e-04,2.657099e-04,2.645001e-04,2.633072e-04,2.621316e-04,2.609737e-04,2.598337e-04
0.000000e+00,1.444611e-14,1.242031e-13,2.979534e-12,2.396737e-11,6.178179e-11,4.667759e-10,5.017367e-10,2.445165e-09,3.577805e-09,8.651193e-09,1.655220e-08,2.460452e-08,5.594683e-08,5.977795e-08,1.289888e-07,1.528914e-07,2.536624e-07,3.581347e-07,4.625923e-07,7.445052e-07,7.916700e-07,1.282288e-06,1.403670e-06,1.978594e-06,2.436537e-06,2.924134e-06,3.940155e-06,4.158518e-06,5.714637e-06,5.995223e-06,7.616690e-06,8.657177e-06,9.879121e-06,1.195184e-05,1.250636e-05,1.549325e-05,1.587527e-05,1.882594e-05,2.039661e-05,2.248307e-05,2.546273e-05,2.643712e-05,3.065577e-05,3.100364e-05,3.510328e-05,3.693791e-05,3.974171e-05,4.317773e-05,4.453209e-05,4.943540e-05,4.963333e-05,5.441343e-05,5.621668e-05,5.942947e-05,6.284434e-05,6.444892e-05,6.943966e-05,7.437242e-05,7.593428e-05,7.922094e-05,8.226898e-05,8.396212e-05,8.839409e-05,8.857598e-05,9.304565e-05,9.426936e-05,9.735723e-05,9.986357e-05,1.014996e-04,1.051539e-04,1.054644e-04,1.092456e-04,1.101252e-04,1.128392e-04,1.147689e-04,1.162433e-04,1.190821e-04,1.194578e-04,1.224840e-04,1.230668e-04,1.253242e-04,1.267289e-04,1.279822e-04,1.300773e-04,1.304624e-04,1.327698e-04,1.331233e-04,1.349102e-04,1.358801e-04,1.368897e-04,1.383617e-04,1.387147e-04,1.403916e-04,1.405832e-04,1.419273e-04,1.425599e-04,1.433282e-04,1.443070e-04,1.446012e-04,1.457527e-04,1.458397e-04,1.467891e-04,1.471729e-04,1.477167e-04,1.483206e-04,1.485416e-04,1.492696e-04,1.492968e-04,1.499064e-04,1.501143e-04,1.504573e-04,1.507856e-04,1.509276e-04,1.513222e-04,1.516458e-04,1.517351e-04,1.519029e-04,1.520345e-04,1.520977e-04,1.522300e-04,1.522344e-04,1.523166e-04,1.523304e-04,1.523480e-04,1.523440e-04,1.523321e-04,1.522785e-04,1.522721e-04,1.521710e-04,1.521410e-04,1.520318e-04,1.519381e-04,1.518570e-04,1.516760e-04,1.516494e-04,1.514112e-04,1.513601e-04,1.511449e-04,1.509959e-04,1.508524e-04,1.505880e-04,1.505358e-04,1.501971e-04,1.501409e-04,1.498379e-04,1.496587e-04,1.494599e-04,1.491452e-04,1.490648e-04,1.486540e-04,1.486037e-04,1.482289e-04,1.480376e-04,1.477907e-04,1.474498e-04,1.473408e-04,1.468802e-04,1.468429e-04,1.464100e-04,1.462195e-04,1.459313e-04,1.455818e-04,1.454449e-04,1.449518e-04,1.449319e-04,1.444528e-04,1.442719e-04,1.439487e-04,1.436033e-04,1.434402e-04,1.429279e-04,1.422472e-04,1.415625e-04,1.408750e-04,1.401860e-04,1.394964e-04,1.388072e-04,1.381193e-04,1.374334e-04,1.367504e-04,1.360707e-04,1.353951e-04,1.347240e-04,1.340580e-04,1.333974e-04,1.327427e-04,1.320943e-04,1.314524e-04,1.308172e-04,1.301892e-04,1.295684e-04,1.289551e-04,1.283494e-04,1.277514e-04,1.271614e-04
0.000000e+00,2.786476e-11,1.082379e-10,6.578903e-10,1.939607e-09,3.108330e-09,8.291831e-09,8.584107e-09,1.833520e-08,2.202485e-08,3.383550e-08,4.661485e-08,5.682105e-08,8.590318e-08,8.880955e-08,1.299139e-07,1.409653e-07,1.783746e-07,2.078247e-07,2.318181e-07,2.814815e-07,2.883906e-07,3.468754e-07,3.587247e-07,4.064430e-07,4.376281e-07,4.664488e-07,5.167801e-07,5.263311e-07,5.855709e-07,5.949568e-07,6.436848e-07,6.710484e-07,7.002325e-07,7.440810e-07,7.548273e-07,8.071465e-07,8.132591e-07,8.569355e-07,8.779910e-07,9.040096e-07,9.378955e-07,9.482512e-07,9.896041e-07,9.927871e-07,1.028066e-06,1.042650e-06,1.063680e-06,1.087602e-06,1.096526e-06,1.126711e-06,1.127865e-06,1.154364e-06,1.163725e-06,1.179624e-06,1.195511e-06,1.202641e-06,1.223567e-06,1.242551e-06,1.248239e-06,1.259739e-06,1.269864e-06,1.275274e-06,1.288754e-06,1.289287e-06,1.301905e-06,1.305203e-06,1.313242e-06,1.319476e-06,1.323408e-06,1.331811e-06,1.332501e-06,1.340612e-06,1.342422e-06,1.347823e-06,1.351497e-06,1.354211e-06,1.359204e-06,1.359842e-06,1.364781e-06,1.365690e-06,1.369082e-06,1.371084e-06,1.372797e-06,1.375498e-06,1.375972e-06,1.378649e-06,1.379033e-06,1.380866e-06,1.381777e-06,1.382658e-06,1.383807e-06,1.384057e-06,1.385090e-06,1.385191e-06,1.385784e-06,1.385989e-06,1.386164e-06,1.386256e-06,1.386251e-06,1.386065e-06,1.386038e-06,1.385624e-06,1.385380e-06,1.384946e-06,1.384320e-06,1.384046e-06,1.382939e-06,1.382891e-06,1.381639e-06,1.381126e-06,1.380157e-06,1.379052e-06,1.378506e-06,1.376696e-06,1.374737e-06,1.374081e-06,1.372640e-06,1.371228e-06,1.370411e-06,1.368157e-06,1.368061e-06,1.365597e-06,1.364887e-06,1.363025e-06,1.361434e-06,1.360353e-06,1.357813e-06,1.357588e-06,1.354735e-06,1.354038e-06,1.351801e-06,1.350124e-06,1.348790e-06,1.346081e-06,1.345708e-06,1.342559e-06,1.341922e-06,1.339349e-06,1.337657e-06,1.336082e-06,1.333296e-06,1.332762e-06,1.329392e-06,1.328849e-06,1.325977e-06,1.324323e-06,1.322520e-06,1.319727e-06,1.319025e-06,1.315495e-06,1.315069e-06,1.311932e-06,1.310355e-06,1.308340e-06,1.305592e-06,1.304721e-06,1.301078e-06,1.300786e-06,1.297414e-06,1.295943e-06,1.293732e-06,1.291069e-06,1.290032e-06,1.286318e-06,1.286169e-06,1.282591e-06,1.281246e-06,1.278853e-06,1.276307e-06,1.275108e-06,1.271355e-06,1.266393e-06,1.261426e-06,1.256458e-06,1.251490e-06,1.246528e-06,1.241572e-06,1.236626e-06,1.231693e-06,1.226774e-06,1.221873e-06,1.216991e-06,1.212129e-06,1.207290e-06,1.202476e-06,1.197687e-06,1.192926e-06,1.188194e-06,1.183492e-06,1.178820e-06,1.174181e-06,1.169575e-06,1.165003e-06,1.160466e-06,1.155965e-06
0.000000e+00,1.088665e-12,8.439532e-12,1.636647e-10,1.087472e-09,2.527273e-09,1.468374e-08,1.561852e-08,5.919031e-08,8.103242e-08,1.664013e-07,2.801825e-07,3.840556e-07,7.333670e-07,7.723431e-07,1.403045e-06,1.599031e-06,2.352417e-06,3.049182e-06,3.687893e-06,5.219307e-06,5.454999e-06,7.671804e-06,8.168922e-06,1.033200e-05,1.188330e-05,1.341246e-05,1.630125e-05,1.688076e-05,2.070044e-05,2.134168e-05,2.483376e-05,2.691796e-05,2.924258e-05,3.294229e-05,3.388864e-05,3.873340e-05,3.932629e-05,4.373822e-05,4.598111e-05,4.886460e-05,5.281861e-05,5.407467e-05,5.933181e-05,5.975336e-05,6.460121e-05,6.670504e-05,6.985040e-05,7.360052e-05,7.504970e-05,8.017250e-05,8.037548e-05,8.519539e-05,8.697520e-05,9.009824e-05,9.335483e-05,9.486409e-05,9.947904e-05,1.039321e-04,1.053214e-04,1.082148e-04,1.108635e-04,1.123212e-04,1.160936e-04,1.162472e-04,1.199906e-04,1.210059e-04,1.235509e-04,1.255993e-04,1.269285e-04,1.298761e-04,1.301252e-04,1.331436e-04,1.338417e-04,1.359867e-04,1.375038e-04,1.386586e-04,1.408717e-04,1.411636e-04,1.435066e-04,1.439562e-04,1.456929e-04,1.467696e-04,1.477278e-04,1.493242e-04,1.496169e-04,1.513657e-04,1.516329e-04,1.529798e-04,1.537083e-04,1.544645e-04,1.555628e-04,1.558253e-04,1.570673e-04,1.572086e-04,1.581957e-04,1.586576e-04,1.592157e-04,1.599212e-04,1.601320e-04,1.609494e-04,1.610107e-04,1.616727e-04,1.619366e-04,1.623063e-04,1.627094e-04,1.628545e-04,1.633218e-04,1.633388e-04,1.637120e-04,1.638344e-04,1.640291e-04,1.642050e-04,1.642770e-04,1.644592e-04,1.645793e-04,1.646051e-04,1.646406e-04,1.646506e-04,1.646465e-04,1.646028e-04,1.646000e-04,1.645041e-04,1.644687e-04,1.643616e-04,1.642550e-04,1.641754e-04,1.639677e-04,1.639480e-04,1.636820e-04,1.636127e-04,1.633798e-04,1.631956e-04,1.630436e-04,1.627215e-04,1.626757e-04,1.622782e-04,1.621954e-04,1.618531e-04,1.616218e-04,1.614023e-04,1.610051e-04,1.609276e-04,1.604308e-04,1.603493e-04,1.599135e-04,1.596583e-04,1.593773e-04,1.589357e-04,1.588236e-04,1.582541e-04,1.581847e-04,1.576699e-04,1.574085e-04,1.570724e-04,1.566102e-04,1.564628e-04,1.558423e-04,1.557922e-04,1.552120e-04,1.549574e-04,1.545730e-04,1.541080e-04,1.539262e-04,1.532725e-04,1.532462e-04,1.526130e-04,1.523742e-04,1.519483e-04,1.514939e-04,1.512794e-04,1.506070e-04,1.497152e-04,1.488200e-04,1.479229e-04,1.470252e-04,1.461280e-04,1.452326e-04,1.443399e-04,1.434509e-04,1.425664e-04,1.416873e-04,1.408142e-04,1.399479e-04,1.390888e-04,1.382376e-04,1.373948e-04,1.365607e-04,1.357358e-04,1.349204e-04,1.341147e-04,1.333192e-04,1.325340e-04,1.317593e-04,1.309953e-04,1.302421e-04
0.000000e+00,1.314848e-15,1.172114e-14,3.033337e-13,2.616885e-12,7.011940e-12,5.859113e-11,6.323908e-11,3.407488e-10,5.123647e-10,1.326373e-09,2.680423e-09,4.127746e-09,1.014551e-08,1.091139e-08,2.547594e-08,3.075049e-08,5.395180e-08,7.927352e-08,1.055995e-07,1.806152e-07,1.936512e-07,3.361151e-07,3.730999e-07,5.564549e-07,7.113231e-07,8.840703e-07,1.268009e-06,1.354527e-06,2.009517e-06,2.134537e-06,2.896541e-06,3.420039e-06,4.068348e-06,5.249154e-06,5.582143e-06,7.498606e-06,7.758618e-06,9.880780e-06,1.109300e-05,1.279285e-05,1.539986e-05,1.629885e-05,2.046139e-05,2.082457e-05,2.534036e-05,2.750524e-05,3.099170e-05,3.556768e-05,3.746624e-05,4.480872e-05,4.512104e-05,5.305683e-05,5.625385e-05,6.224043e-05,6.903097e-05,7.238104e-05,8.349130e-05,9.557482e-05,9.964644e-05,1.086260e-04,1.174802e-04,1.226302e-04,1.369489e-04,1.375637e-04,1.533946e-04,1.579827e-04,1.700826e-04,1.804875e-04,1.875804e-04,2.043470e-04,2.058337e-04,2.247822e-04,2.294262e-04,2.443608e-04,2.555742e-04,2.644998e-04,2.826278e-04,2.851262e-04,3.061647e-04,3.104151e-04,3.275380e-04,3.387586e-04,3.491682e-04,3.674791e-04,3.709773e-04,3.928881e-04,3.963982e-04,4.148246e-04,4.253415e-04,4.367131e-04,4.541412e-04,4.584822e-04,4.800639e-04,4.826380e-04,5.013934e-04,5.106827e-04,5.224100e-04,5.381383e-04,5.430570e-04,5.632821e-04,5.648804e-04,5.830374e-04,5.907982e-04,6.022798e-04,6.157948e-04,6.209706e-04,6.390757e-04,6.397873e-04,6.565658e-04,6.627067e-04,6.734158e-04,6.844974e-04,6.896050e-04,7.051170e-04,7.199391e-04,7.245349e-04,7.340625e-04,7.427322e-04,7.474818e-04,7.597002e-04,7.601952e-04,7.722036e-04,7.754400e-04,7.835109e-04,7.899614e-04,7.941236e-04,8.032814e-04,8.040506e-04,8.133026e-04,8.154241e-04,8.218925e-04,8.264189e-04,8.298346e-04,8.363004e-04,8.371448e-04,8.438400e-04,8.451068e-04,8.499383e-04,8.528798e-04,8.554586e-04,8.596634e-04,8.604206e-04,8.648441e-04,8.655033e-04,8.687498e-04,8.704467e-04,8.721583e-04,8.745412e-04,8.750905e-04,8.775670e-04,8.778346e-04,8.796086e-04,8.803744e-04,8.812358e-04,8.822078e-04,8.824688e-04,8.833276e-04,8.833807e-04,8.838316e-04,8.839381e-04,8.839999e-04,8.839238e-04,8.838513e-04,8.834037e-04,8.833799e-04,8.826748e-04,8.823469e-04,8.816816e-04,8.808636e-04,8.804404e-04,8.789671e-04,8.766926e-04,8.740734e-04,8.711411e-04,8.679252e-04,8.644537e-04,8.607529e-04,8.568471e-04,8.527591e-04,8.485104e-04,8.441206e-04,8.396081e-04,8.349898e-04,8.302816e-04,8.254978e-04,8.206518e-04,8.157559e-04,8.108214e-04,8.058585e-04,8.008767e-04,7.958847e-04,7.908903e-04,7.859007e-04,7.809223e-04,7.759611e-04
0.000000e+00,8.602206e-11,2.340230e-10,9.608839e-10,2.370045e-09,3.562794e-09,8.530186e-09,8.802143e-09,1.764334e-08,2.090984e-08,3.118095e-08,4.204891e-08,5.057762e-08,7.428809e-08,7.661926e-08,1.092038e-07,1.179227e-07,1.476299e-07,1.714273e-07,1.911838e-07,2.333060e-07,2.393060e-07,2.915288e-07,3.024262e-07,3.474044e-07,3.777496e-07,4.064662e-07,4.581770e-07,4.682163e-07,5.321286e-07,5.425191e-07,5.976600e-07,6.295295e-07,6.642643e-07,7.179603e-07,7.314070e-07,7.985794e-07,8.066191e-07,8.653087e-07,8.944174e-07,9.311676e-07,9.804041e-07,9.957787e-07,1.058816e-06,1.063783e-06,1.120008e-06,1.143916e-06,1.179132e-06,1.220323e-06,1.236016e-06,1.290532e-06,1.292662e-06,1.342591e-06,1.360720e-06,1.392140e-06,1.424386e-06,1.439155e-06,1.483639e-06,1.525616e-06,1.538526e-06,1.565128e-06,1.589147e-06,1.602230e-06,1.635642e-06,1.636988e-06,1.669478e-06,1.678180e-06,1.699780e-06,1.716946e-06,1.727978e-06,1.752137e-06,1.754160e-06,1.778413e-06,1.783957e-06,1.800827e-06,1.812608e-06,1.821488e-06,1.838290e-06,1.840484e-06,1.857897e-06,1.861197e-06,1.873810e-06,1.881517e-06,1.888300e-06,1.899429e-06,1.901445e-06,1.913318e-06,1.915104e-06,1.923988e-06,1.928703e-06,1.933523e-06,1.940377e-06,1.941987e-06,1.949441e-06,1.950270e-06,1.955942e-06,1.958516e-06,1.961548e-06,1.965240e-06,1.966308e-06,1.970275e-06,1.970560e-06,1.973495e-06,1.974584e-06,1.976013e-06,1.977415e-06,1.977871e-06,1.979110e-06,1.979147e-06,1.979767e-06,1.979869e-06,1.979880e-06,1.979662e-06,1.979481e-06,1.978604e-06,1.977278e-06,1.976764e-06,1.975533e-06,1.974209e-06,1.973396e-06,1.971000e-06,1.970893e-06,1.968048e-06,1.967193e-06,1.964884e-06,1.962842e-06,1.961423e-06,1.957994e-06,1.957685e-06,1.953690e-06,1.952695e-06,1.949457e-06,1.946988e-06,1.945001e-06,1.940910e-06,1.940341e-06,1.935490e-06,1.934499e-06,1.930465e-06,1.927787e-06,1.925278e-06,1.920806e-06,1.919943e-06,1.914471e-06,1.913584e-06,1.908875e-06,1.906148e-06,1.903165e-06,1.898523e-06,1.897352e-06,1.891446e-06,1.890731e-06,1.885454e-06,1.882794e-06,1.879387e-06,1.874731e-06,1.873253e-06,1.867058e-06,1.866560e-06,1.860811e-06,1.858298e-06,1.854517e-06,1.849961e-06,1.848185e-06,1.841819e-06,1.841563e-06,1.835425e-06,1.833118e-06,1.829009e-06,1.824636e-06,1.822576e-06,1.816131e-06,1.807611e-06,1.799087e-06,1.790568e-06,1.782062e-06,1.773576e-06,1.765118e-06,1.756693e-06,1.748307e-06,1.739967e-06,1.731675e-06,1.723438e-06,1.715259e-06,1.707142e-06,1.699090e-06,1.691106e-06,1.683193e-06,1.675353e-06,1.667589e-06,1.659902e-06,1.652295e-06,1.644768e-06,1.637324e-06,1.629962e-06,1.622685e-06
0.000000e+00,3.198613e-11,7.764864e-11,2.831558e-10,6.604181e-10,9.716178e-10,2.232510e-09,2.300456e-09,4.469817e-09,5.255874e-09,7.687664e-09,1.021287e-08,1.217414e-08,1.761357e-08,1.815149e-08,2.580701e-08,2.790651e-08,3.522231e-08,4.123571e-08,4.630126e-08,5.721414e-08,5.877270e-08,7.228375e-08,7.508020e-08,8.649866e-08,9.407432e-08,1.011410e-07,1.136105e-07,1.159934e-07,1.308839e-07,1.332602e-07,1.456733e-07,1.527019e-07,1.602473e-07,1.716875e-07,1.745117e-07,1.883897e-07,1.900261e-07,2.018199e-07,2.075745e-07,2.147546e-07,2.242317e-07,2.271589e-07,2.390091e-07,2.399327e-07,2.502910e-07,2.546431e-07,2.609988e-07,2.683535e-07,2.711338e-07,2.807020e-07,2.810731e-07,2.897143e-07,2.928255e-07,2.981856e-07,3.036456e-07,3.061329e-07,3.135753e-07,3.205334e-07,3.226612e-07,3.270284e-07,3.309519e-07,3.330815e-07,3.384969e-07,3.387144e-07,3.439484e-07,3.453453e-07,3.488044e-07,3.515451e-07,3.533028e-07,3.571423e-07,3.574631e-07,3.613045e-07,3.621810e-07,3.648451e-07,3.667030e-07,3.681023e-07,3.707474e-07,3.710927e-07,3.738321e-07,3.743512e-07,3.763354e-07,3.775486e-07,3.786169e-07,3.803718e-07,3.806900e-07,3.825674e-07,3.828504e-07,3.842611e-07,3.850123e-07,3.857826e-07,3.868829e-07,3.871425e-07,3.883508e-07,3.884861e-07,3.894172e-07,3.898437e-07,3.903506e-07,3.909762e-07,3.911594e-07,3.918516e-07,3.919022e-07,3.924347e-07,3.926390e-07,3.929158e-07,3.932027e-07,3.933014e-07,3.935979e-07,3.936080e-07,3.938111e-07,3.938685e-07,3.939465e-07,3.939969e-07,3.940094e-07,3.940046e-07,3.939368e-07,3.939025e-07,3.938103e-07,3.937004e-07,3.936291e-07,3.934073e-07,3.933971e-07,3.931180e-07,3.930318e-07,3.927950e-07,3.925815e-07,3.924314e-07,3.920636e-07,3.920302e-07,3.915942e-07,3.914847e-07,3.911261e-07,3.908509e-07,3.906284e-07,3.901677e-07,3.901034e-07,3.895533e-07,3.894404e-07,3.889802e-07,3.886737e-07,3.883860e-07,3.878721e-07,3.877727e-07,3.871419e-07,3.870395e-07,3.864952e-07,3.861797e-07,3.858343e-07,3.852961e-07,3.851604e-07,3.844750e-07,3.843920e-07,3.837793e-07,3.834703e-07,3.830746e-07,3.825336e-07,3.823619e-07,3.816423e-07,3.815844e-07,3.809168e-07,3.806251e-07,3.801863e-07,3.796578e-07,3.794517e-07,3.787138e-07,3.786842e-07,3.779734e-07,3.777064e-07,3.772312e-07,3.767258e-07,3.764879e-07,3.757440e-07,3.747623e-07,3.737821e-07,3.728044e-07,3.718303e-07,3.708609e-07,3.698968e-07,3.689391e-07,3.679883e-07,3.670452e-07,3.661103e-07,3.651842e-07,3.642674e-07,3.633603e-07,3.624633e-07,3.615767e-07,3.607009e-07,3.598361e-07,3.589825e-07,3.581404e-07,3.573099e-07,3.564911e-07,3.556843e-07,3.548894e-07,3.541066e-07
0.000000e+00,2.138039e-14,1.807354e-13,4.190634e-12,3.265775e-11,8.269601e-11,5.957463e-10,6.390958e-10,2.963199e-09,4.275469e-09,9.970815e-09,1.850725e-08,2.695779e-08,5.848838e-08,6.223839e-08,1.275945e-07,1.493920e-07,2.384224e-07,3.271815e-07,4.133302e-07,6.366102e-07,6.729287e-07,1.037860e-06,1.125167e-06,1.526485e-06,1.834323e-06,2.152809e-06,2.791541e-06,2.925062e-06,3.845113e-06,4.005830e-06,4.908650e-06,5.467429e-06,6.105911e-06,7.150607e-06,7.422741e-06,8.841777e-06,9.018021e-06,1.034359e-05,1.102536e-05,1.190773e-05,1.312544e-05,1.351355e-05,1.514095e-05,1.527149e-05,1.677089e-05,1.741958e-05,1.838581e-05,1.953031e-05,1.996991e-05,2.150936e-05,2.156983e-05,2.299236e-05,2.351048e-05,2.440920e-05,2.533088e-05,2.575224e-05,2.701579e-05,2.819602e-05,2.855569e-05,2.929076e-05,2.994619e-05,3.029939e-05,3.118724e-05,3.122255e-05,3.206201e-05,3.228241e-05,3.282045e-05,3.323801e-05,3.350126e-05,3.406239e-05,3.410834e-05,3.464600e-05,3.476521e-05,3.511876e-05,3.535687e-05,3.553122e-05,3.584800e-05,3.588803e-05,3.619371e-05,3.624910e-05,3.645265e-05,3.657022e-05,3.666903e-05,3.682079e-05,3.684679e-05,3.698963e-05,3.700948e-05,3.710096e-05,3.714415e-05,3.718396e-05,3.723189e-05,3.724149e-05,3.727619e-05,3.727894e-05,3.729044e-05,3.729079e-05,3.728639e-05,3.727227e-05,3.726597e-05,3.723092e-05,3.722753e-05,3.718280e-05,3.716021e-05,3.712300e-05,3.707343e-05,3.705278e-05,3.697324e-05,3.696987e-05,3.688538e-05,3.685189e-05,3.679009e-05,3.672147e-05,3.668819e-05,3.658038e-05,3.646731e-05,3.643011e-05,3.634955e-05,3.627198e-05,3.622764e-05,3.610713e-05,3.610204e-05,3.597319e-05,3.593658e-05,3.584147e-05,3.576121e-05,3.570723e-05,3.558179e-05,3.557080e-05,3.543248e-05,3.539903e-05,3.529253e-05,3.521354e-05,3.515120e-05,3.502587e-05,3.500872e-05,3.486529e-05,3.483651e-05,3.472110e-05,3.464589e-05,3.457634e-05,3.445441e-05,3.443116e-05,3.428572e-05,3.426243e-05,3.414014e-05,3.407026e-05,3.399457e-05,3.387819e-05,3.384912e-05,3.370390e-05,3.368649e-05,3.355901e-05,3.349538e-05,3.341454e-05,3.330509e-05,3.327059e-05,3.312723e-05,3.311579e-05,3.298454e-05,3.292767e-05,3.284258e-05,3.274086e-05,3.270142e-05,3.256112e-05,3.255553e-05,3.242173e-05,3.237178e-05,3.228330e-05,3.218974e-05,3.214587e-05,3.200949e-05,3.183113e-05,3.165474e-05,3.148038e-05,3.130812e-05,3.113800e-05,3.097008e-05,3.080438e-05,3.064095e-05,3.047981e-05,3.032098e-05,3.016448e-05,3.001032e-05,2.985850e-05,2.970904e-05,2.956193e-05,2.941717e-05,2.927476e-05,2.913468e-05,2.899694e-05,2.886151e-05,2.872839e-05,2.859755e-05,2.846898e-05,2.834266e-05
0.000000e+00,2.980179e-12,6.846164e-12,2.345129e-11,5.294890e-11,7.690273e-11,1.726730e-10,1.778060e-10,3.414337e-10,4.007969e-10,5.851327e-10,7.776195e-10,9.275700e-10,1.342263e-09,1.382957e-09,1.949951e-09,2.100579e-09,2.607313e-09,3.003739e-09,3.325315e-09,3.986776e-09,4.078315e-09,4.847924e-09,5.002635e-09,5.621243e-09,6.021566e-09,6.388693e-09,7.023217e-09,7.142679e-09,7.876948e-09,7.992242e-09,8.586325e-09,8.916720e-09,9.266630e-09,9.787752e-09,9.914651e-09,1.052811e-08,1.059933e-08,1.110560e-08,1.134813e-08,1.164653e-08,1.203320e-08,1.215097e-08,1.261958e-08,1.265556e-08,1.305347e-08,1.321762e-08,1.345408e-08,1.372283e-08,1.382307e-08,1.416229e-08,1.417526e-08,1.447362e-08,1.457925e-08,1.475901e-08,1.493922e-08,1.502035e-08,1.525948e-08,1.547816e-08,1.554410e-08,1.567806e-08,1.579687e-08,1.586075e-08,1.602127e-08,1.602767e-08,1.618013e-08,1.622040e-08,1.631937e-08,1.639702e-08,1.644648e-08,1.655360e-08,1.656249e-08,1.666832e-08,1.669230e-08,1.676479e-08,1.681502e-08,1.685266e-08,1.692342e-08,1.693262e-08,1.700527e-08,1.701898e-08,1.707120e-08,1.710299e-08,1.713090e-08,1.717658e-08,1.718484e-08,1.723343e-08,1.724074e-08,1.727707e-08,1.729636e-08,1.731610e-08,1.734421e-08,1.735083e-08,1.738156e-08,1.738499e-08,1.740855e-08,1.741931e-08,1.743205e-08,1.744771e-08,1.745228e-08,1.746945e-08,1.747070e-08,1.748375e-08,1.748870e-08,1.749535e-08,1.750213e-08,1.750442e-08,1.751112e-08,1.751134e-08,1.751557e-08,1.751665e-08,1.751792e-08,1.751838e-08,1.751829e-08,1.751678e-08,1.751352e-08,1.751212e-08,1.750859e-08,1.750461e-08,1.750210e-08,1.749448e-08,1.749413e-08,1.748477e-08,1.748191e-08,1.747409e-08,1.746709e-08,1.746217e-08,1.745018e-08,1.744909e-08,1.743490e-08,1.743134e-08,1.741967e-08,1.741071e-08,1.740346e-08,1.738843e-08,1.738633e-08,1.736832e-08,1.736462e-08,1.734950e-08,1.733941e-08,1.732991e-08,1.731289e-08,1.730960e-08,1.728860e-08,1.728518e-08,1.726697e-08,1.725637e-08,1.724474e-08,1.722655e-08,1.722195e-08,1.719863e-08,1.719580e-08,1.717483e-08,1.716421e-08,1.715057e-08,1.713184e-08,1.712588e-08,1.710080e-08,1.709878e-08,1.707535e-08,1.706508e-08,1.704956e-08,1.703080e-08,1.702346e-08,1.699707e-08,1.699601e-08,1.697042e-08,1.696077e-08,1.694353e-08,1.692511e-08,1.691641e-08,1.688910e-08,1.685277e-08,1.681618e-08,1.677935e-08,1.674234e-08,1.670517e-08,1.666789e-08,1.663052e-08,1.659309e-08,1.655563e-08,1.651817e-08,1.648073e-08,1.644335e-08,1.640603e-08,1.636880e-08,1.633169e-08,1.629470e-08,1.625786e-08,1.622118e-08,1.618468e-08,1.614837e-08,1.611226e-08,1.607637e-08,1.604071e-08,1.600530e-08
0.000000e+00,6.051350e-11,2.182122e-10,1.217192e-09,3.456971e-09,5.470687e-09,1.428903e-08,1.478252e-08,3.105787e-08,3.712486e-08,5.623487e-08,7.645153e-08,9.233490e-08,1.369727e-07,1.414255e-07,2.054360e-07,2.231931e-07,2.857713e-07,3.380727e-07,3.827627e-07,4.810026e-07,4.952438e-07,6.206759e-07,6.470366e-07,7.558530e-07,8.289431e-07,8.976547e-07,1.019940e-06,1.043440e-06,1.191106e-06,1.214791e-06,1.338997e-06,1.409669e-06,1.485802e-06,1.601752e-06,1.630472e-06,1.772169e-06,1.788940e-06,1.910227e-06,1.969680e-06,2.044124e-06,2.142856e-06,2.173466e-06,2.297968e-06,2.307713e-06,2.417435e-06,2.463784e-06,2.531752e-06,2.610839e-06,2.640866e-06,2.744780e-06,2.748829e-06,2.843538e-06,2.877843e-06,2.937218e-06,2.998073e-06,3.025925e-06,3.109783e-06,3.188932e-06,3.213290e-06,3.263522e-06,3.308938e-06,3.333708e-06,3.397094e-06,3.399653e-06,3.461518e-06,3.478132e-06,3.519469e-06,3.552427e-06,3.573665e-06,3.620348e-06,3.624268e-06,3.671434e-06,3.682259e-06,3.715316e-06,3.738511e-06,3.756063e-06,3.789443e-06,3.793820e-06,3.828728e-06,3.835380e-06,3.860922e-06,3.876634e-06,3.890533e-06,3.913502e-06,3.917687e-06,3.942504e-06,3.946266e-06,3.965103e-06,3.975195e-06,3.985593e-06,4.000541e-06,4.004084e-06,4.020677e-06,4.022546e-06,4.035472e-06,4.041436e-06,4.048562e-06,4.057426e-06,4.060038e-06,4.069986e-06,4.070719e-06,4.078489e-06,4.081504e-06,4.085626e-06,4.089960e-06,4.091471e-06,4.096097e-06,4.096258e-06,4.099572e-06,4.100555e-06,4.101962e-06,4.103000e-06,4.103329e-06,4.103733e-06,4.103230e-06,4.102886e-06,4.101873e-06,4.100582e-06,4.099716e-06,4.096936e-06,4.096806e-06,4.093190e-06,4.092057e-06,4.088912e-06,4.086046e-06,4.084015e-06,4.078997e-06,4.078539e-06,4.072522e-06,4.071001e-06,4.066000e-06,4.062140e-06,4.059007e-06,4.052491e-06,4.051577e-06,4.043741e-06,4.042127e-06,4.035527e-06,4.031117e-06,4.026965e-06,4.019523e-06,4.018081e-06,4.008899e-06,4.007404e-06,3.999445e-06,3.994817e-06,3.989740e-06,3.981811e-06,3.979807e-06,3.969666e-06,3.968436e-06,3.959336e-06,3.954735e-06,3.948835e-06,3.940751e-06,3.938181e-06,3.927390e-06,3.926521e-06,3.916478e-06,3.912083e-06,3.905460e-06,3.897469e-06,3.894349e-06,3.883159e-06,3.882710e-06,3.871902e-06,3.867835e-06,3.860590e-06,3.852872e-06,3.849233e-06,3.837843e-06,3.822773e-06,3.807683e-06,3.792592e-06,3.777518e-06,3.762477e-06,3.747486e-06,3.732558e-06,3.717705e-06,3.702941e-06,3.688275e-06,3.673718e-06,3.659278e-06,3.644964e-06,3.630782e-06,3.616741e-06,3.602845e-06,3.589099e-06,3.575510e-06,3.562080e-06,3.548814e-06,3.535715e-06,3.522786e-06,3.510028e-06,3.497445e-06
0.000000e+00,1.029345e-13,8.297689e-13,1.741386e-11,1.240050e-10,2.989913e-10,1.901976e-09,2.030233e-09,8.355861e-09,1.168280e-08,2.522559e-08,4.410259e-08,6.186482e-08,1.239114e-07,1.310000e-07,2.489731e-07,2.866851e-07,4.355066e-07,5.780268e-07,7.123970e-07,1.047519e-06,1.100574e-06,1.616113e-06,1.735362e-06,2.266849e-06,2.658434e-06,3.050976e-06,3.805200e-06,3.957923e-06,4.970726e-06,5.141253e-06,6.068874e-06,6.619961e-06,7.230830e-06,8.192336e-06,8.435845e-06,9.665033e-06,9.813348e-06,1.090181e-05,1.144465e-05,1.213196e-05,1.305497e-05,1.334347e-05,1.452634e-05,1.461947e-05,1.567232e-05,1.611883e-05,1.677471e-05,1.753840e-05,1.782818e-05,1.882867e-05,1.886755e-05,1.977326e-05,2.009922e-05,2.066003e-05,2.122948e-05,2.148802e-05,2.225707e-05,2.296775e-05,2.318302e-05,2.362123e-05,2.401018e-05,2.421916e-05,2.474284e-05,2.476362e-05,2.525698e-05,2.538631e-05,2.570182e-05,2.594656e-05,2.610087e-05,2.642995e-05,2.645692e-05,2.677280e-05,2.684295e-05,2.705129e-05,2.719193e-05,2.729511e-05,2.748308e-05,2.750689e-05,2.768913e-05,2.772224e-05,2.784421e-05,2.791486e-05,2.797437e-05,2.806599e-05,2.808172e-05,2.816820e-05,2.818023e-05,2.823565e-05,2.826176e-05,2.828573e-05,2.831433e-05,2.831999e-05,2.833985e-05,2.834133e-05,2.834662e-05,2.834577e-05,2.834150e-05,2.833032e-05,2.832557e-05,2.829983e-05,2.829738e-05,2.826520e-05,2.824905e-05,2.822251e-05,2.818721e-05,2.817252e-05,2.811592e-05,2.811352e-05,2.805334e-05,2.802946e-05,2.798536e-05,2.793632e-05,2.791250e-05,2.783526e-05,2.775406e-05,2.772731e-05,2.766931e-05,2.761338e-05,2.758138e-05,2.749428e-05,2.749060e-05,2.739729e-05,2.737074e-05,2.730172e-05,2.724341e-05,2.720416e-05,2.711286e-05,2.710485e-05,2.700401e-05,2.697960e-05,2.690183e-05,2.684410e-05,2.679851e-05,2.670677e-05,2.669421e-05,2.658910e-05,2.656799e-05,2.648332e-05,2.642809e-05,2.637700e-05,2.628736e-05,2.627026e-05,2.616324e-05,2.614609e-05,2.605602e-05,2.600451e-05,2.594871e-05,2.586285e-05,2.584139e-05,2.573416e-05,2.572130e-05,2.562709e-05,2.558004e-05,2.552024e-05,2.543924e-05,2.541369e-05,2.530750e-05,2.529903e-05,2.520173e-05,2.515955e-05,2.509642e-05,2.502092e-05,2.499163e-05,2.488739e-05,2.488324e-05,2.478376e-05,2.474661e-05,2.468077e-05,2.461111e-05,2.457844e-05,2.447683e-05,2.434382e-05,2.421215e-05,2.408187e-05,2.395303e-05,2.382567e-05,2.369982e-05,2.357552e-05,2.345280e-05,2.333167e-05,2.321216e-05,2.309428e-05,2.297805e-05,2.286346e-05,2.275053e-05,2.263927e-05,2.252967e-05,2.242173e-05,2.231546e-05,2.221084e-05,2.210787e-05,2.200654e-05,2.190685e-05,2.180879e-05,2.171234e-05
0.000000e+00,1.064911e-11,6.103619e-11,6.691319e-10,2.819886e-09,5.232280e-09,1.829757e-08,1.910421e-08,4.807638e-08,5.966738e-08,9.780113e-08,1.399169e-07,1.738569e-07,2.719106e-07,2.818595e-07,4.274258e-07,4.685540e-07,6.158369e-07,7.416800e-07,8.512055e-07,1.098523e-06,1.135123e-06,1.465427e-06,1.536591e-06,1.836292e-06,2.042588e-06,2.239869e-06,2.598313e-06,2.668209e-06,3.114334e-06,3.186961e-06,3.572419e-06,3.795087e-06,4.037591e-06,4.412024e-06,4.505701e-06,4.973154e-06,5.029051e-06,5.436821e-06,5.638924e-06,5.893998e-06,6.235676e-06,6.342375e-06,6.780026e-06,6.814525e-06,7.205379e-06,7.371788e-06,7.617192e-06,7.904774e-06,8.014524e-06,8.396701e-06,8.411666e-06,8.763283e-06,8.891384e-06,9.114031e-06,9.343454e-06,9.448876e-06,9.767887e-06,1.007125e-05,1.016506e-05,1.035924e-05,1.053565e-05,1.063221e-05,1.088050e-05,1.089055e-05,1.113472e-05,1.120061e-05,1.136518e-05,1.149708e-05,1.158242e-05,1.177104e-05,1.178695e-05,1.197926e-05,1.202365e-05,1.215986e-05,1.225607e-05,1.232925e-05,1.246943e-05,1.248792e-05,1.263634e-05,1.266484e-05,1.277499e-05,1.284338e-05,1.290432e-05,1.300607e-05,1.302477e-05,1.313675e-05,1.315392e-05,1.324069e-05,1.328784e-05,1.333698e-05,1.340875e-05,1.342599e-05,1.350808e-05,1.351748e-05,1.358360e-05,1.361484e-05,1.365289e-05,1.370158e-05,1.371627e-05,1.377403e-05,1.377842e-05,1.382648e-05,1.384603e-05,1.387388e-05,1.390503e-05,1.391650e-05,1.395459e-05,1.395602e-05,1.398839e-05,1.399956e-05,1.401814e-05,1.403616e-05,1.404405e-05,1.406633e-05,1.408518e-05,1.409051e-05,1.410078e-05,1.410915e-05,1.411332e-05,1.412263e-05,1.412297e-05,1.412988e-05,1.413135e-05,1.413423e-05,1.413566e-05,1.413614e-05,1.413588e-05,1.413577e-05,1.413325e-05,1.413234e-05,1.412870e-05,1.412531e-05,1.412224e-05,1.411508e-05,1.411400e-05,1.410407e-05,1.410189e-05,1.409256e-05,1.408598e-05,1.407957e-05,1.406758e-05,1.406520e-05,1.404952e-05,1.404690e-05,1.403264e-05,1.402413e-05,1.401462e-05,1.399944e-05,1.399554e-05,1.397548e-05,1.397301e-05,1.395451e-05,1.394501e-05,1.393268e-05,1.391556e-05,1.391007e-05,1.388673e-05,1.388483e-05,1.386271e-05,1.385292e-05,1.383807e-05,1.381997e-05,1.381286e-05,1.378713e-05,1.378609e-05,1.376092e-05,1.375138e-05,1.373428e-05,1.371593e-05,1.370724e-05,1.367985e-05,1.364321e-05,1.360609e-05,1.356857e-05,1.353072e-05,1.349260e-05,1.345426e-05,1.341577e-05,1.337717e-05,1.333852e-05,1.329985e-05,1.326121e-05,1.322263e-05,1.318416e-05,1.314582e-05,1.310763e-05,1.306964e-05,1.303187e-05,1.299433e-05,1.295705e-05,1.292005e-05,1.288334e-05,1.284695e-05,1.281089e-05,1.277517e-05
0.000000e+00,2.805240e-11,6.527923e-11,2.289764e-10,5.281214e-10,7.764240e-10,1.803866e-09,1.860260e-09,3.715413e-09,4.412702e-09,6.645634e-09,9.066352e-09,1.099978e-08,1.648627e-08,1.703229e-08,2.473670e-08,2.681259e-08,3.390132e-08,3.958111e-08,4.428994e-08,5.429990e-08,5.572226e-08,6.806912e-08,7.063912e-08,8.123026e-08,8.836640e-08,9.511752e-08,1.072816e-07,1.096456e-07,1.247273e-07,1.271858e-07,1.402726e-07,1.478718e-07,1.561886e-07,1.691250e-07,1.723811e-07,1.887566e-07,1.907296e-07,2.052242e-07,2.124766e-07,2.216972e-07,2.341698e-07,2.380940e-07,2.543398e-07,2.556309e-07,2.703672e-07,2.767033e-07,2.861161e-07,2.972532e-07,3.015342e-07,3.165768e-07,3.171702e-07,3.312067e-07,3.363662e-07,3.453930e-07,3.547737e-07,3.591115e-07,3.723437e-07,3.850760e-07,3.890432e-07,3.972994e-07,4.048530e-07,4.090091e-07,4.197655e-07,4.202033e-07,4.308836e-07,4.337824e-07,4.410537e-07,4.469132e-07,4.507195e-07,4.591734e-07,4.598889e-07,4.685708e-07,4.705830e-07,4.767754e-07,4.811657e-07,4.845140e-07,4.909478e-07,4.917983e-07,4.986408e-07,4.999574e-07,5.050542e-07,5.082239e-07,5.110514e-07,5.157772e-07,5.166458e-07,5.218504e-07,5.226479e-07,5.266785e-07,5.288662e-07,5.311433e-07,5.344623e-07,5.352578e-07,5.390348e-07,5.394660e-07,5.424870e-07,5.439063e-07,5.456269e-07,5.478118e-07,5.484666e-07,5.510180e-07,5.512101e-07,5.532930e-07,5.541280e-07,5.553027e-07,5.565917e-07,5.570583e-07,5.585706e-07,5.586262e-07,5.598500e-07,5.602556e-07,5.609068e-07,5.615032e-07,5.617507e-07,5.623915e-07,5.628382e-07,5.629417e-07,5.631000e-07,5.631745e-07,5.631855e-07,5.631096e-07,5.631032e-07,5.628610e-07,5.627656e-07,5.624669e-07,5.621607e-07,5.619284e-07,5.613118e-07,5.612529e-07,5.604473e-07,5.602353e-07,5.595184e-07,5.589469e-07,5.584728e-07,5.574612e-07,5.573168e-07,5.560565e-07,5.557924e-07,5.546976e-07,5.539538e-07,5.532457e-07,5.519583e-07,5.517063e-07,5.500845e-07,5.498178e-07,5.483854e-07,5.475437e-07,5.466136e-07,5.451470e-07,5.447738e-07,5.428704e-07,5.426379e-07,5.409075e-07,5.400261e-07,5.388893e-07,5.373208e-07,5.368196e-07,5.347021e-07,5.345307e-07,5.325404e-07,5.316641e-07,5.303379e-07,5.287286e-07,5.280978e-07,5.258233e-07,5.257316e-07,5.235173e-07,5.226800e-07,5.211827e-07,5.195802e-07,5.188222e-07,5.164384e-07,5.132603e-07,5.100513e-07,5.068165e-07,5.035606e-07,5.002881e-07,4.970032e-07,4.937097e-07,4.904113e-07,4.871114e-07,4.838132e-07,4.805196e-07,4.772334e-07,4.739572e-07,4.706933e-07,4.674438e-07,4.642109e-07,4.609964e-07,4.578021e-07,4.546294e-07,4.514798e-07,4.483548e-07,4.452554e-07,4.421828e-07,4.391379e-07
0.000000e+00,7.965287e-13,6.118294e-12,1.164800e-10,7.616846e-10,1.755388e-09,9.996175e-09,1.062440e-08,3.957578e-08,5.395410e-08,1.097536e-07,1.836042e-07,2.507547e-07,4.757686e-07,5.008407e-07,9.065787e-07,1.032810e-06,1.519136e-06,1.970451e-06,2.385258e-06,3.382605e-06,3.536303e-06,4.982008e-06,5.305875e-06,6.711866e-06,7.715963e-06,8.701588e-06,1.055125e-05,1.092030e-05,1.333580e-05,1.373845e-05,1.591731e-05,1.720696e-05,1.863640e-05,2.089304e-05,2.146684e-05,2.438418e-05,2.473900e-05,2.736543e-05,2.869178e-05,3.038885e-05,3.270219e-05,3.343394e-05,3.648157e-05,3.672495e-05,3.951410e-05,4.071925e-05,4.251555e-05,4.464930e-05,4.547171e-05,4.837015e-05,4.848473e-05,5.120028e-05,5.220065e-05,5.395327e-05,5.577753e-05,5.662196e-05,5.920072e-05,6.168531e-05,6.245998e-05,6.407276e-05,6.554884e-05,6.636119e-05,6.846406e-05,6.854967e-05,7.063808e-05,7.120496e-05,7.262694e-05,7.377288e-05,7.451729e-05,7.617068e-05,7.631062e-05,7.800875e-05,7.840237e-05,7.961382e-05,8.047287e-05,8.112817e-05,8.238779e-05,8.255436e-05,8.389506e-05,8.415319e-05,8.515304e-05,8.577543e-05,8.633114e-05,8.726117e-05,8.743231e-05,8.845955e-05,8.861726e-05,8.941590e-05,8.985062e-05,9.030428e-05,9.096797e-05,9.112755e-05,9.188848e-05,9.197573e-05,9.258972e-05,9.288002e-05,9.323383e-05,9.368669e-05,9.382331e-05,9.436058e-05,9.440138e-05,9.484797e-05,9.502946e-05,9.528772e-05,9.557608e-05,9.568202e-05,9.603296e-05,9.604612e-05,9.634257e-05,9.644430e-05,9.661283e-05,9.677510e-05,9.684564e-05,9.704282e-05,9.720611e-05,9.725148e-05,9.733719e-05,9.740494e-05,9.743769e-05,9.750683e-05,9.750915e-05,9.755308e-05,9.756064e-05,9.757090e-05,9.756964e-05,9.756400e-05,9.753696e-05,9.753370e-05,9.748128e-05,9.746554e-05,9.740794e-05,9.735817e-05,9.731485e-05,9.721747e-05,9.720311e-05,9.707380e-05,9.704592e-05,9.692793e-05,9.684586e-05,9.676647e-05,9.661949e-05,9.659037e-05,9.640050e-05,9.636891e-05,9.619774e-05,9.609607e-05,9.598289e-05,9.580283e-05,9.575673e-05,9.552001e-05,9.549092e-05,9.527343e-05,9.516199e-05,9.501767e-05,9.481756e-05,9.475338e-05,9.448118e-05,9.445908e-05,9.420165e-05,9.408791e-05,9.391535e-05,9.370533e-05,9.362282e-05,9.332457e-05,9.331253e-05,9.302108e-05,9.291063e-05,9.271281e-05,9.250068e-05,9.240020e-05,9.208367e-05,9.166051e-05,9.123207e-05,9.079916e-05,9.036252e-05,8.992285e-05,8.948082e-05,8.903703e-05,8.859205e-05,8.814641e-05,8.770061e-05,8.725509e-05,8.681028e-05,8.636657e-05,8.592433e-05,8.548389e-05,8.504555e-05,8.460961e-05,8.417632e-05,8.374593e-05,8.331865e-05,8.289468e-05,8.247421e-05,8.205741e-05,8.164442e-05
0.000000e+00,4.800854e-12,2.782192e-11,3.109130e-10,1.328050e-09,2.479056e-09,8.773522e-09,9.163917e-09,2.324690e-08,2.890207e-08,4.755560e-08,6.821821e-08,8.490593e-08,1.332700e-07,1.381889e-07,2.103930e-07,2.308703e-07,3.044678e-07,3.676735e-07,4.229178e-07,5.484474e-07,5.671154e-07,7.366442e-07,7.734157e-07,9.292105e-07,1.037296e-06,1.141268e-06,1.331592e-06,1.368903e-06,1.608435e-06,1.647643e-06,1.856651e-06,1.978056e-06,2.110799e-06,2.316786e-06,2.368510e-06,2.627711e-06,2.658826e-06,2.886577e-06,2.999949e-06,3.143495e-06,3.336575e-06,3.397053e-06,3.646024e-06,3.665712e-06,3.889364e-06,3.984921e-06,4.126198e-06,4.292285e-06,4.355816e-06,4.577659e-06,4.586365e-06,4.791306e-06,4.866150e-06,4.996455e-06,5.131002e-06,5.192918e-06,5.380595e-06,5.559472e-06,5.614860e-06,5.729597e-06,5.833932e-06,5.891077e-06,6.038103e-06,6.044062e-06,6.188737e-06,6.227786e-06,6.325316e-06,6.403474e-06,6.454033e-06,6.565722e-06,6.575136e-06,6.688886e-06,6.715121e-06,6.795549e-06,6.852286e-06,6.895396e-06,6.977837e-06,6.988696e-06,7.075714e-06,7.092388e-06,7.156717e-06,7.196548e-06,7.231964e-06,7.290909e-06,7.301708e-06,7.366196e-06,7.376042e-06,7.425666e-06,7.452498e-06,7.480351e-06,7.520805e-06,7.530475e-06,7.576255e-06,7.581467e-06,7.617898e-06,7.634961e-06,7.655601e-06,7.681741e-06,7.689559e-06,7.719955e-06,7.722238e-06,7.746966e-06,7.756861e-06,7.770761e-06,7.785994e-06,7.791503e-06,7.809345e-06,7.810001e-06,7.824436e-06,7.829223e-06,7.836919e-06,7.843986e-06,7.846928e-06,7.854593e-06,7.860037e-06,7.861330e-06,7.863379e-06,7.864466e-06,7.864731e-06,7.864256e-06,7.864200e-06,7.861889e-06,7.860936e-06,7.857896e-06,7.854731e-06,7.852313e-06,7.845850e-06,7.845230e-06,7.836732e-06,7.834490e-06,7.826898e-06,7.820837e-06,7.815806e-06,7.805063e-06,7.803530e-06,7.790138e-06,7.787332e-06,7.775698e-06,7.767796e-06,7.760273e-06,7.746598e-06,7.743923e-06,7.726705e-06,7.723873e-06,7.708674e-06,7.699746e-06,7.689883e-06,7.674336e-06,7.670381e-06,7.650214e-06,7.647752e-06,7.629428e-06,7.620097e-06,7.608066e-06,7.591470e-06,7.586168e-06,7.563772e-06,7.561960e-06,7.540916e-06,7.531653e-06,7.517635e-06,7.500628e-06,7.493961e-06,7.469927e-06,7.468959e-06,7.445562e-06,7.436716e-06,7.420895e-06,7.403963e-06,7.395954e-06,7.370763e-06,7.337171e-06,7.303241e-06,7.269023e-06,7.234562e-06,7.199903e-06,7.165085e-06,7.130148e-06,7.095124e-06,7.060049e-06,7.024951e-06,6.989859e-06,6.954800e-06,6.919799e-06,6.884877e-06,6.850057e-06,6.815357e-06,6.780797e-06,6.746392e-06,6.712159e-06,6.678112e-06,6.644264e-06,6.610626e-06,6.577212e-06,6.544030e-06
0.000000e+00,3.717258e-13,2.969874e-12,6.123550e-11,4.296750e-10,1.028353e-09,6.437184e-09,6.867530e-09,2.798755e-08,3.907676e-08,8.432299e-08,1.478296e-07,2.080694e-07,4.215465e-07,4.461777e-07,8.603636e-07,9.936991e-07,1.519998e-06,2.020582e-06,2.487319e-06,3.625474e-06,3.802230e-06,5.474766e-06,5.851029e-06,7.487074e-06,8.655735e-06,9.801378e-06,1.194351e-05,1.236930e-05,1.513938e-05,1.559798e-05,1.806188e-05,1.950522e-05,2.109111e-05,2.356368e-05,2.418615e-05,2.731067e-05,2.768603e-05,3.043255e-05,3.179789e-05,3.352340e-05,3.583629e-05,3.655838e-05,3.951595e-05,3.974864e-05,4.237783e-05,4.349230e-05,4.512892e-05,4.703424e-05,4.775721e-05,5.025364e-05,5.035065e-05,5.261190e-05,5.342624e-05,5.482820e-05,5.625331e-05,5.690097e-05,5.883060e-05,6.061905e-05,6.116206e-05,6.226966e-05,6.325569e-05,6.378679e-05,6.512242e-05,6.517558e-05,6.644176e-05,6.677514e-05,6.759141e-05,6.822789e-05,6.863084e-05,6.949524e-05,6.956642e-05,7.040449e-05,7.059182e-05,7.115130e-05,7.153191e-05,7.181288e-05,7.232922e-05,7.239507e-05,7.290345e-05,7.299674e-05,7.334331e-05,7.354663e-05,7.371966e-05,7.399018e-05,7.403723e-05,7.430044e-05,7.433779e-05,7.451345e-05,7.459901e-05,7.468014e-05,7.478256e-05,7.480410e-05,7.488873e-05,7.489639e-05,7.493713e-05,7.494771e-05,7.495222e-05,7.494308e-05,7.493670e-05,7.489306e-05,7.488842e-05,7.482362e-05,7.478911e-05,7.473054e-05,7.465000e-05,7.461580e-05,7.448124e-05,7.447547e-05,7.432857e-05,7.426949e-05,7.415937e-05,7.403563e-05,7.397511e-05,7.377714e-05,7.356671e-05,7.349693e-05,7.334499e-05,7.319766e-05,7.311305e-05,7.288171e-05,7.287190e-05,7.262245e-05,7.255124e-05,7.236557e-05,7.220820e-05,7.210204e-05,7.185435e-05,7.183259e-05,7.155792e-05,7.149129e-05,7.127865e-05,7.112046e-05,7.099536e-05,7.074317e-05,7.070860e-05,7.041887e-05,7.036060e-05,7.012663e-05,6.997382e-05,6.983232e-05,6.958379e-05,6.953634e-05,6.923906e-05,6.919139e-05,6.894081e-05,6.879741e-05,6.864193e-05,6.840255e-05,6.834269e-05,6.804338e-05,6.800747e-05,6.774425e-05,6.761274e-05,6.744552e-05,6.721890e-05,6.714743e-05,6.685016e-05,6.682642e-05,6.655390e-05,6.643572e-05,6.625882e-05,6.604719e-05,6.596509e-05,6.567283e-05,6.566117e-05,6.538219e-05,6.527798e-05,6.509329e-05,6.489789e-05,6.480624e-05,6.452114e-05,6.414795e-05,6.377851e-05,6.341300e-05,6.305156e-05,6.269434e-05,6.234143e-05,6.199295e-05,6.164897e-05,6.130957e-05,6.097480e-05,6.064471e-05,6.031933e-05,5.999870e-05,5.968284e-05,5.937174e-05,5.906543e-05,5.876389e-05,5.846711e-05,5.817509e-05,5.788780e-05,5.760522e-05,5.732733e-05,5.705408e-05,5.678545e-05
0.000000e+00,3.122866e-13,2.476503e-12,5.028358e-11,3.478098e-10,8.256463e-10,5.050120e-09,5.382202e-09,2.132428e-08,2.950814e-08,6.206469e-08,1.061759e-07,1.467849e-07,2.841649e-07,2.995198e-07,5.479458e-07,6.251178e-07,9.221775e-07,1.198346e-06,1.453458e-06,2.075237e-06,2.172365e-06,3.106361e-06,3.321011e-06,4.277181e-06,4.984599e-06,5.698880e-06,7.091411e-06,7.377184e-06,9.310035e-06,9.642421e-06,1.148890e-05,1.261834e-05,1.390032e-05,1.598554e-05,1.652727e-05,1.935033e-05,1.970129e-05,2.234854e-05,2.371762e-05,2.550002e-05,2.798395e-05,2.878250e-05,3.217376e-05,3.244911e-05,3.565200e-05,3.706291e-05,3.919617e-05,4.177750e-05,4.278623e-05,4.640343e-05,4.654843e-05,5.003042e-05,5.133544e-05,5.365141e-05,5.610295e-05,5.725221e-05,6.082023e-05,6.434448e-05,6.546140e-05,6.781547e-05,7.000517e-05,7.122513e-05,7.443446e-05,7.456674e-05,7.783476e-05,7.873599e-05,8.102474e-05,8.289980e-05,8.413322e-05,8.691877e-05,8.715757e-05,9.009594e-05,9.078821e-05,9.294711e-05,9.450541e-05,9.571043e-05,9.806934e-05,9.838574e-05,1.009733e-04,1.014803e-04,1.034736e-04,1.047396e-04,1.058876e-04,1.078494e-04,1.082164e-04,1.104612e-04,1.108127e-04,1.126236e-04,1.136327e-04,1.147051e-04,1.163131e-04,1.167074e-04,1.186322e-04,1.188581e-04,1.204815e-04,1.212717e-04,1.222570e-04,1.235583e-04,1.239607e-04,1.255945e-04,1.257223e-04,1.271603e-04,1.277680e-04,1.286600e-04,1.297000e-04,1.300956e-04,1.314689e-04,1.315226e-04,1.327819e-04,1.332401e-04,1.340363e-04,1.348568e-04,1.352341e-04,1.363769e-04,1.374667e-04,1.378045e-04,1.385051e-04,1.391435e-04,1.394938e-04,1.403978e-04,1.404345e-04,1.413289e-04,1.415713e-04,1.421785e-04,1.426675e-04,1.429849e-04,1.436899e-04,1.437496e-04,1.444741e-04,1.446422e-04,1.451599e-04,1.455275e-04,1.458082e-04,1.463490e-04,1.464206e-04,1.469983e-04,1.471098e-04,1.475427e-04,1.478130e-04,1.480549e-04,1.484613e-04,1.485363e-04,1.489880e-04,1.490575e-04,1.494111e-04,1.496044e-04,1.498067e-04,1.501043e-04,1.501761e-04,1.505201e-04,1.505598e-04,1.508399e-04,1.509731e-04,1.511363e-04,1.513467e-04,1.514105e-04,1.516632e-04,1.516825e-04,1.518954e-04,1.519827e-04,1.521079e-04,1.522492e-04,1.523016e-04,1.524773e-04,1.524840e-04,1.526358e-04,1.526888e-04,1.527779e-04,1.528654e-04,1.529041e-04,1.530154e-04,1.531404e-04,1.532419e-04,1.533214e-04,1.533802e-04,1.534196e-04,1.534408e-04,1.534451e-04,1.534336e-04,1.534073e-04,1.533673e-04,1.533146e-04,1.532500e-04,1.531744e-04,1.530887e-04,1.529937e-04,1.528900e-04,1.527785e-04,1.526598e-04,1.525344e-04,1.524031e-04,1.522663e-04,1.521247e-04,1.519787e-04,1.518287e-04
0.000000e+00,3.193114e-13,2.599977e-12,5.573512e-11,4.047818e-10,9.867429e-10,6.461923e-09,6.906002e-09,2.929469e-08,4.130786e-08,9.117282e-08,1.623689e-07,2.305984e-07,4.752552e-07,5.036910e-07,9.871447e-07,1.144906e-06,1.778294e-06,2.397113e-06,2.988631e-06,4.488322e-06,4.728243e-06,7.084960e-06,7.635409e-06,1.010682e-05,1.194312e-05,1.379445e-05,1.737578e-05,1.810430e-05,2.295943e-05,2.378053e-05,2.826265e-05,3.093651e-05,3.390879e-05,3.860258e-05,3.979396e-05,4.582151e-05,4.655017e-05,5.190517e-05,5.458008e-05,5.797021e-05,6.252782e-05,6.395331e-05,6.980181e-05,7.026253e-05,7.547282e-05,7.768359e-05,8.093212e-05,8.471657e-05,8.615320e-05,9.111634e-05,9.130929e-05,9.580778e-05,9.742839e-05,1.002189e-04,1.030562e-04,1.043457e-04,1.081879e-04,1.117482e-04,1.128288e-04,1.150322e-04,1.169924e-04,1.180475e-04,1.206978e-04,1.208032e-04,1.233097e-04,1.239683e-04,1.255781e-04,1.268298e-04,1.276203e-04,1.293095e-04,1.294482e-04,1.310739e-04,1.314354e-04,1.325096e-04,1.332348e-04,1.337668e-04,1.347348e-04,1.348572e-04,1.357917e-04,1.359608e-04,1.365810e-04,1.369374e-04,1.372352e-04,1.376875e-04,1.377640e-04,1.381765e-04,1.382323e-04,1.384814e-04,1.385919e-04,1.386867e-04,1.387845e-04,1.388002e-04,1.388290e-04,1.388270e-04,1.387797e-04,1.387350e-04,1.386588e-04,1.385225e-04,1.384720e-04,1.382249e-04,1.382027e-04,1.379225e-04,1.377872e-04,1.375698e-04,1.372870e-04,1.371710e-04,1.367304e-04,1.367119e-04,1.362517e-04,1.360708e-04,1.357386e-04,1.353718e-04,1.351944e-04,1.346222e-04,1.340249e-04,1.338288e-04,1.334050e-04,1.329977e-04,1.327652e-04,1.321343e-04,1.321076e-04,1.314345e-04,1.312435e-04,1.307477e-04,1.303299e-04,1.300491e-04,1.293975e-04,1.293404e-04,1.286232e-04,1.284500e-04,1.278989e-04,1.274907e-04,1.271688e-04,1.265225e-04,1.264342e-04,1.256961e-04,1.255482e-04,1.249557e-04,1.245701e-04,1.242139e-04,1.235904e-04,1.234717e-04,1.227297e-04,1.226111e-04,1.219888e-04,1.216338e-04,1.212497e-04,1.206601e-04,1.205130e-04,1.197793e-04,1.196914e-04,1.190490e-04,1.187289e-04,1.183228e-04,1.177738e-04,1.176010e-04,1.168840e-04,1.168268e-04,1.161722e-04,1.158890e-04,1.154659e-04,1.149610e-04,1.147655e-04,1.140712e-04,1.140435e-04,1.133832e-04,1.131371e-04,1.127017e-04,1.122422e-04,1.120270e-04,1.113592e-04,1.104885e-04,1.096304e-04,1.087850e-04,1.079527e-04,1.071336e-04,1.063277e-04,1.055352e-04,1.047560e-04,1.039902e-04,1.032378e-04,1.024987e-04,1.017730e-04,1.010605e-04,1.003611e-04,9.967469e-05,9.900124e-05,9.834056e-05,9.769253e-05,9.705699e-05,9.643379e-05,9.582277e-05,9.522377e-05,9.463661e-05,9.406111e-05
0.000000e+00,4.439992e-13,3.299403e-12,5.876148e-11,3.624121e-10,8.095148e-10,4.262616e-09,4.516383e-09,1.560479e-08,2.084771e-08,4.030033e-08,6.466332e-08,8.590999e-08,1.530456e-07,1.602358e-07,2.712574e-07,3.042538e-07,4.269807e-07,5.366494e-07,6.352373e-07,8.676726e-07,9.031823e-07,1.236374e-06,1.311152e-06,1.637683e-06,1.873250e-06,2.106591e-06,2.550014e-06,2.639298e-06,3.229530e-06,3.328803e-06,3.869606e-06,4.192149e-06,4.551355e-06,5.121324e-06,5.266709e-06,6.008008e-06,6.098362e-06,6.768090e-06,7.106746e-06,7.540310e-06,8.131522e-06,8.318534e-06,9.097125e-06,9.159271e-06,9.870952e-06,1.017810e-05,1.063540e-05,1.117767e-05,1.138637e-05,1.212031e-05,1.214927e-05,1.283418e-05,1.308576e-05,1.352548e-05,1.398160e-05,1.419216e-05,1.483268e-05,1.544588e-05,1.563619e-05,1.603099e-05,1.639052e-05,1.658760e-05,1.709500e-05,1.711557e-05,1.761501e-05,1.774978e-05,1.808625e-05,1.835565e-05,1.852978e-05,1.891391e-05,1.894625e-05,1.933641e-05,1.942622e-05,1.970108e-05,1.989450e-05,2.004117e-05,2.032086e-05,2.035761e-05,2.065137e-05,2.070748e-05,2.092342e-05,2.105663e-05,2.117474e-05,2.137054e-05,2.140630e-05,2.161906e-05,2.165142e-05,2.181395e-05,2.190142e-05,2.199188e-05,2.212261e-05,2.215374e-05,2.230038e-05,2.231699e-05,2.243261e-05,2.248644e-05,2.255124e-05,2.263276e-05,2.265701e-05,2.275065e-05,2.275764e-05,2.283285e-05,2.286268e-05,2.290427e-05,2.294936e-05,2.296553e-05,2.301723e-05,2.301910e-05,2.305993e-05,2.307321e-05,2.309418e-05,2.311290e-05,2.312049e-05,2.313933e-05,2.315118e-05,2.315356e-05,2.315645e-05,2.315658e-05,2.315558e-05,2.314931e-05,2.314894e-05,2.313690e-05,2.313261e-05,2.311982e-05,2.310728e-05,2.309802e-05,2.307407e-05,2.307182e-05,2.304151e-05,2.303365e-05,2.300737e-05,2.298668e-05,2.296966e-05,2.293373e-05,2.292864e-05,2.288454e-05,2.287537e-05,2.283759e-05,2.281211e-05,2.278798e-05,2.274441e-05,2.273593e-05,2.268161e-05,2.267272e-05,2.262521e-05,2.259744e-05,2.256689e-05,2.251896e-05,2.250681e-05,2.244512e-05,2.243761e-05,2.238196e-05,2.235373e-05,2.231745e-05,2.226761e-05,2.225174e-05,2.218493e-05,2.217954e-05,2.211713e-05,2.208976e-05,2.204845e-05,2.199851e-05,2.197899e-05,2.190884e-05,2.190602e-05,2.183808e-05,2.181248e-05,2.176681e-05,2.171809e-05,2.169509e-05,2.162301e-05,2.152741e-05,2.143143e-05,2.133521e-05,2.123887e-05,2.114254e-05,2.104630e-05,2.095027e-05,2.085453e-05,2.075916e-05,2.066424e-05,2.056983e-05,2.047600e-05,2.038281e-05,2.029030e-05,2.019852e-05,2.010752e-05,2.001733e-05,1.992800e-05,1.983954e-05,1.975198e-05,1.966536e-05,1.957969e-05,1.949499e-05,1.941128e-05
0.000000e+00,4.595906e-15,3.989343e-14,9.760228e-13,7.990443e-12,2.079270e-11,1.608041e-10,1.730054e-10,8.609320e-10,1.266264e-09,3.098235e-09,5.976087e-09,8.923328e-09,2.044302e-08,2.185314e-08,4.732083e-08,5.610430e-08,9.305000e-08,1.312306e-07,1.693190e-07,2.719039e-07,2.890569e-07,4.677031e-07,5.120138e-07,7.227805e-07,8.918693e-07,1.073185e-06,1.455353e-06,1.538258e-06,2.136754e-06,2.246072e-06,2.885817e-06,3.303257e-06,3.800060e-06,4.658133e-06,4.890831e-06,6.165705e-06,6.331272e-06,7.628193e-06,8.331111e-06,9.277672e-06,1.065362e-05,1.110950e-05,1.311532e-05,1.328297e-05,1.528339e-05,1.619287e-05,1.759914e-05,1.934851e-05,2.004567e-05,2.260431e-05,2.270871e-05,2.525519e-05,2.622814e-05,2.797777e-05,2.985950e-05,3.075134e-05,3.355552e-05,3.637059e-05,3.727062e-05,3.917787e-05,4.096236e-05,4.196000e-05,4.459246e-05,4.470113e-05,4.738707e-05,4.812750e-05,5.000538e-05,5.153940e-05,5.254541e-05,5.480546e-05,5.499831e-05,5.735694e-05,5.790834e-05,5.961582e-05,6.083571e-05,6.177103e-05,6.357984e-05,6.382007e-05,6.576170e-05,6.613712e-05,6.759587e-05,6.850743e-05,6.932348e-05,7.069362e-05,7.094633e-05,7.246691e-05,7.270091e-05,7.388830e-05,7.453636e-05,7.521403e-05,7.620834e-05,7.644799e-05,7.759431e-05,7.772618e-05,7.865728e-05,7.909971e-05,7.964127e-05,8.033900e-05,8.055069e-05,8.138988e-05,8.145411e-05,8.216312e-05,8.245488e-05,8.287455e-05,8.335077e-05,8.352819e-05,8.412787e-05,8.415078e-05,8.467723e-05,8.486335e-05,8.517973e-05,8.549635e-05,8.563865e-05,8.605703e-05,8.643775e-05,8.655207e-05,8.678348e-05,8.698754e-05,8.709671e-05,8.736897e-05,8.737974e-05,8.763473e-05,8.770137e-05,8.786364e-05,8.798925e-05,8.806832e-05,8.823667e-05,8.825045e-05,8.841159e-05,8.844731e-05,8.855319e-05,8.862445e-05,8.867657e-05,8.877105e-05,8.878295e-05,8.887347e-05,8.888977e-05,8.894917e-05,8.898300e-05,8.901101e-05,8.905290e-05,8.905989e-05,8.909662e-05,8.910143e-05,8.912198e-05,8.913033e-05,8.913668e-05,8.914120e-05,8.914137e-05,8.913667e-05,8.913550e-05,8.912314e-05,8.911453e-05,8.910131e-05,8.907949e-05,8.907169e-05,8.903474e-05,8.903148e-05,8.899089e-05,8.897151e-05,8.894054e-05,8.890049e-05,8.888409e-05,8.882189e-05,8.881929e-05,8.875428e-05,8.872868e-05,8.868158e-05,8.862940e-05,8.860410e-05,8.852211e-05,8.840744e-05,8.828598e-05,8.815826e-05,8.802480e-05,8.788606e-05,8.774248e-05,8.759449e-05,8.744247e-05,8.728678e-05,8.712776e-05,8.696575e-05,8.680103e-05,8.663389e-05,8.646460e-05,8.629342e-05,8.612057e-05,8.594628e-05,8.577076e-05,8.559421e-05,8.541681e-05,8.523873e-05,8.506015e-05,8.488121e-05,8.470206e-05
0.000000e+00,7.140166e-12,1.640073e-11,5.646469e-11,1.282886e-10,1.869528e-10,4.227444e-10,4.354057e-10,8.386956e-10,9.845776e-10,1.435570e-09,1.903677e-09,2.267228e-09,3.276054e-09,3.375908e-09,4.800785e-09,5.193352e-09,6.570580e-09,7.716439e-09,8.693150e-09,1.083523e-08,1.114528e-08,1.387020e-08,1.444113e-08,1.678877e-08,1.835534e-08,1.981890e-08,2.239856e-08,2.289038e-08,2.594982e-08,2.643547e-08,2.895880e-08,3.037686e-08,3.189010e-08,3.416604e-08,3.472443e-08,3.744815e-08,3.776708e-08,4.005180e-08,4.115765e-08,4.252909e-08,4.432494e-08,4.487628e-08,4.709170e-08,4.726323e-08,4.917532e-08,4.997213e-08,5.112851e-08,5.245536e-08,5.295368e-08,5.465409e-08,5.471957e-08,5.623365e-08,5.677354e-08,5.769673e-08,5.862747e-08,5.904801e-08,6.029238e-08,6.143483e-08,6.177970e-08,6.248037e-08,6.310096e-08,6.343398e-08,6.426751e-08,6.430057e-08,6.508491e-08,6.529042e-08,6.579165e-08,6.618031e-08,6.642525e-08,6.694728e-08,6.699003e-08,6.749010e-08,6.760093e-08,6.792940e-08,6.815027e-08,6.831168e-08,6.860377e-08,6.864053e-08,6.891932e-08,6.896936e-08,6.915129e-08,6.925442e-08,6.933947e-08,6.946583e-08,6.948676e-08,6.959588e-08,6.960997e-08,6.966940e-08,6.969277e-08,6.970977e-08,6.971973e-08,6.971927e-08,6.970006e-08,6.969592e-08,6.965419e-08,6.962606e-08,6.958357e-08,6.951447e-08,6.949002e-08,6.937524e-08,6.936519e-08,6.924083e-08,6.918191e-08,6.908829e-08,6.896803e-08,6.891904e-08,6.873439e-08,6.872671e-08,6.853561e-08,6.846081e-08,6.832385e-08,6.817302e-08,6.810023e-08,6.786577e-08,6.762144e-08,6.754132e-08,6.736815e-08,6.720173e-08,6.710675e-08,6.684892e-08,6.683804e-08,6.656277e-08,6.648462e-08,6.628164e-08,6.611042e-08,6.599530e-08,6.572780e-08,6.570437e-08,6.540942e-08,6.533809e-08,6.511099e-08,6.494253e-08,6.480958e-08,6.454225e-08,6.450566e-08,6.419967e-08,6.413826e-08,6.389201e-08,6.373150e-08,6.358308e-08,6.332284e-08,6.327322e-08,6.296276e-08,6.291305e-08,6.265201e-08,6.250284e-08,6.234126e-08,6.209284e-08,6.203078e-08,6.172081e-08,6.168366e-08,6.141158e-08,6.127580e-08,6.110330e-08,6.086977e-08,6.079617e-08,6.049038e-08,6.046598e-08,6.018608e-08,6.006482e-08,5.988344e-08,5.966665e-08,5.958260e-08,5.928369e-08,5.927178e-08,5.898683e-08,5.888048e-08,5.869213e-08,5.849301e-08,5.839968e-08,5.810959e-08,5.773041e-08,5.735565e-08,5.698544e-08,5.661992e-08,5.625921e-08,5.590338e-08,5.555253e-08,5.520670e-08,5.486596e-08,5.453034e-08,5.419987e-08,5.387456e-08,5.355442e-08,5.323946e-08,5.292966e-08,5.262501e-08,5.232548e-08,5.203107e-08,5.174172e-08,5.145741e-08,5.117810e-08,5.090374e-08,5.063428e-08,5.036967e-08
0.000000e+00,5.673219e-14,4.795396e-13,1.110115e-11,8.638707e-11,2.186010e-10,1.572559e-09,1.686903e-09,7.813319e-09,1.127081e-08,2.626980e-08,4.873776e-08,7.096823e-08,1.538391e-07,1.636887e-07,3.352046e-07,3.923704e-07,6.258422e-07,8.588074e-07,1.085328e-06,1.675152e-06,1.771527e-06,2.747508e-06,2.983118e-06,4.076636e-06,4.926793e-06,5.816185e-06,7.627692e-06,8.010732e-06,1.068682e-05,1.116036e-05,1.384995e-05,1.553735e-05,1.748417e-05,2.070747e-05,2.155401e-05,2.600804e-05,2.656544e-05,3.078334e-05,3.296838e-05,3.581003e-05,3.975380e-05,4.101556e-05,4.632822e-05,4.675579e-05,5.168003e-05,5.381755e-05,5.700873e-05,6.079976e-05,6.225906e-05,6.738350e-05,6.758527e-05,7.234239e-05,7.408070e-05,7.710385e-05,8.021603e-05,8.164327e-05,8.594274e-05,8.999034e-05,9.123115e-05,9.377935e-05,9.606742e-05,9.730754e-05,1.004506e-04,1.005764e-04,1.035904e-04,1.043896e-04,1.063566e-04,1.079010e-04,1.088838e-04,1.110064e-04,1.111821e-04,1.132627e-04,1.137310e-04,1.151374e-04,1.161017e-04,1.168181e-04,1.181464e-04,1.183171e-04,1.196462e-04,1.198927e-04,1.208172e-04,1.213674e-04,1.218414e-04,1.225962e-04,1.227296e-04,1.234922e-04,1.236033e-04,1.241390e-04,1.244110e-04,1.246790e-04,1.250400e-04,1.251210e-04,1.254729e-04,1.255095e-04,1.257423e-04,1.258365e-04,1.259361e-04,1.260369e-04,1.260608e-04,1.261223e-04,1.261247e-04,1.261261e-04,1.261126e-04,1.260773e-04,1.260122e-04,1.259805e-04,1.258402e-04,1.258337e-04,1.256601e-04,1.255863e-04,1.254441e-04,1.252783e-04,1.251954e-04,1.249171e-04,1.246120e-04,1.245091e-04,1.242828e-04,1.240605e-04,1.239318e-04,1.235764e-04,1.235612e-04,1.231731e-04,1.230616e-04,1.227694e-04,1.225203e-04,1.223516e-04,1.219563e-04,1.219215e-04,1.214804e-04,1.213730e-04,1.210297e-04,1.207735e-04,1.205705e-04,1.201605e-04,1.201042e-04,1.196315e-04,1.195363e-04,1.191536e-04,1.189033e-04,1.186713e-04,1.182634e-04,1.181854e-04,1.176967e-04,1.176183e-04,1.172058e-04,1.169696e-04,1.167134e-04,1.163188e-04,1.162200e-04,1.157263e-04,1.156670e-04,1.152326e-04,1.150156e-04,1.147395e-04,1.143653e-04,1.142473e-04,1.137565e-04,1.137173e-04,1.132674e-04,1.130723e-04,1.127803e-04,1.124310e-04,1.122955e-04,1.118133e-04,1.117941e-04,1.113340e-04,1.111622e-04,1.108577e-04,1.105357e-04,1.103847e-04,1.099152e-04,1.093010e-04,1.086935e-04,1.080930e-04,1.074998e-04,1.069141e-04,1.063361e-04,1.057660e-04,1.052039e-04,1.046499e-04,1.041042e-04,1.035669e-04,1.030379e-04,1.025173e-04,1.020051e-04,1.015015e-04,1.010062e-04,1.005194e-04,1.000411e-04,9.957105e-05,9.910937e-05,9.865597e-05,9.821079e-05,9.777377e-05,9.734483e-05
0.000000e+00,4.650040e-14,3.860541e-13,8.606963e-12,6.471330e-11,1.607008e-10,1.101855e-09,1.179705e-09,5.220586e-09,7.442120e-09,1.686145e-08,3.063020e-08,4.403921e-08,9.311788e-08,9.889319e-08,1.984764e-07,2.313929e-07,3.649199e-07,4.969322e-07,6.241791e-07,9.502533e-07,1.002799e-06,1.523348e-06,1.645931e-06,2.200149e-06,2.615468e-06,3.036756e-06,3.857834e-06,4.025706e-06,5.150227e-06,5.341239e-06,6.387039e-06,7.012800e-06,7.709407e-06,8.810404e-06,9.089850e-06,1.050218e-05,1.067265e-05,1.192279e-05,1.254513e-05,1.333138e-05,1.438335e-05,1.471106e-05,1.604825e-05,1.615306e-05,1.733242e-05,1.782938e-05,1.855565e-05,1.939542e-05,1.971234e-05,2.079880e-05,2.084076e-05,2.181299e-05,2.216024e-05,2.275424e-05,2.335283e-05,2.362303e-05,2.442077e-05,2.514966e-05,2.536880e-05,2.581248e-05,2.620349e-05,2.641248e-05,2.693268e-05,2.695322e-05,2.743849e-05,2.756495e-05,2.787215e-05,2.810921e-05,2.825811e-05,2.857434e-05,2.860018e-05,2.890207e-05,2.896894e-05,2.916732e-05,2.930110e-05,2.939926e-05,2.957831e-05,2.960102e-05,2.977549e-05,2.980735e-05,2.992531e-05,2.999429e-05,3.005291e-05,3.014452e-05,3.016047e-05,3.024998e-05,3.026275e-05,3.032321e-05,3.035306e-05,3.038176e-05,3.041900e-05,3.042706e-05,3.046037e-05,3.046362e-05,3.048283e-05,3.048954e-05,3.049545e-05,3.049901e-05,3.049912e-05,3.049466e-05,3.049398e-05,3.048278e-05,3.047610e-05,3.046413e-05,3.044682e-05,3.043927e-05,3.040874e-05,3.040740e-05,3.037299e-05,3.035893e-05,3.033245e-05,3.030235e-05,3.028751e-05,3.023852e-05,3.018578e-05,3.016817e-05,3.012961e-05,3.009197e-05,3.007026e-05,3.001053e-05,3.000798e-05,2.994301e-05,2.992437e-05,2.987555e-05,2.983397e-05,2.980581e-05,2.973978e-05,2.973395e-05,2.966017e-05,2.964219e-05,2.958461e-05,2.954157e-05,2.950742e-05,2.943827e-05,2.942875e-05,2.934873e-05,2.933257e-05,2.926748e-05,2.922478e-05,2.918511e-05,2.911513e-05,2.910173e-05,2.901745e-05,2.900389e-05,2.893236e-05,2.889126e-05,2.884656e-05,2.877746e-05,2.876013e-05,2.867314e-05,2.866267e-05,2.858568e-05,2.854707e-05,2.849782e-05,2.843082e-05,2.840963e-05,2.832116e-05,2.831408e-05,2.823249e-05,2.819698e-05,2.814367e-05,2.807965e-05,2.805474e-05,2.796578e-05,2.796222e-05,2.787681e-05,2.784479e-05,2.778789e-05,2.772747e-05,2.769906e-05,2.761036e-05,2.749354e-05,2.737710e-05,2.726111e-05,2.714564e-05,2.703076e-05,2.691653e-05,2.680300e-05,2.669022e-05,2.657824e-05,2.646710e-05,2.635685e-05,2.624751e-05,2.613912e-05,2.603170e-05,2.592530e-05,2.581992e-05,2.571559e-05,2.561233e-05,2.551016e-05,2.540909e-05,2.530914e-05,2.521032e-05,2.511263e-05,2.501608e-05
0.000000e+00,1.869999e-11,4.540356e-11,1.660580e-10,3.893266e-10,5.750753e-10,1.341181e-09,1.383055e-09,2.749245e-09,3.256953e-09,4.859526e-09,6.552350e-09,7.869687e-09,1.146347e-08,1.181186e-08,1.662289e-08,1.789876e-08,2.223458e-08,2.570891e-08,2.860062e-08,3.480038e-08,3.568796e-08,4.346606e-08,4.510165e-08,5.190040e-08,5.653211e-08,6.094936e-08,6.898929e-08,7.056317e-08,8.068422e-08,8.234644e-08,9.124810e-08,9.645577e-08,1.021852e-07,1.111546e-07,1.134224e-07,1.248851e-07,1.262722e-07,1.364986e-07,1.416375e-07,1.481903e-07,1.570854e-07,1.598908e-07,1.715351e-07,1.724624e-07,1.830638e-07,1.876306e-07,1.944230e-07,2.024699e-07,2.055655e-07,2.164503e-07,2.168798e-07,2.270430e-07,2.307792e-07,2.373151e-07,2.441053e-07,2.472441e-07,2.568129e-07,2.660090e-07,2.688717e-07,2.748248e-07,2.802652e-07,2.832560e-07,2.909870e-07,2.913014e-07,2.989630e-07,3.010400e-07,3.062454e-07,3.104354e-07,3.131550e-07,3.191896e-07,3.197000e-07,3.258896e-07,3.273234e-07,3.317344e-07,3.348611e-07,3.372458e-07,3.418293e-07,3.424355e-07,3.473155e-07,3.482555e-07,3.518983e-07,3.541680e-07,3.561963e-07,3.595957e-07,3.602221e-07,3.639884e-07,3.645678e-07,3.675076e-07,3.691123e-07,3.707909e-07,3.732551e-07,3.738493e-07,3.766936e-07,3.770210e-07,3.793344e-07,3.804345e-07,3.817817e-07,3.835182e-07,3.840452e-07,3.861340e-07,3.862938e-07,3.880570e-07,3.887817e-07,3.898226e-07,3.910010e-07,3.914390e-07,3.929139e-07,3.929701e-07,3.942546e-07,3.947057e-07,3.954680e-07,3.962238e-07,3.965608e-07,3.975391e-07,3.984091e-07,3.986655e-07,3.991763e-07,3.996160e-07,3.998462e-07,4.004026e-07,4.004240e-07,4.009145e-07,4.010368e-07,4.013222e-07,4.015290e-07,4.016517e-07,4.018892e-07,4.019070e-07,4.020922e-07,4.021266e-07,4.022109e-07,4.022497e-07,4.022667e-07,4.022665e-07,4.022630e-07,4.022031e-07,4.021846e-07,4.020898e-07,4.020109e-07,4.019263e-07,4.017520e-07,4.017151e-07,4.014589e-07,4.014139e-07,4.011601e-07,4.010023e-07,4.008212e-07,4.005226e-07,4.004443e-07,4.000316e-07,3.999797e-07,3.995850e-07,3.993783e-07,3.991066e-07,3.987228e-07,3.985981e-07,3.980613e-07,3.980172e-07,3.974978e-07,3.972652e-07,3.969091e-07,3.964706e-07,3.962969e-07,3.956624e-07,3.956366e-07,3.950071e-07,3.947663e-07,3.943322e-07,3.938627e-07,3.936389e-07,3.929285e-07,3.919663e-07,3.909785e-07,3.899674e-07,3.889351e-07,3.878836e-07,3.868147e-07,3.857303e-07,3.846319e-07,3.835211e-07,3.823995e-07,3.812682e-07,3.801286e-07,3.789820e-07,3.778295e-07,3.766721e-07,3.755108e-07,3.743466e-07,3.731803e-07,3.720128e-07,3.708448e-07,3.696771e-07,3.685104e-07,3.673453e-07,3.661824e-07
0.000000e+00,9.436454e-15,8.144109e-14,1.968446e-12,1.593368e-11,4.120181e-11,3.134024e-10,3.369523e-10,1.648812e-09,2.413897e-09,5.837535e-09,1.115312e-08,1.655013e-08,3.739092e-08,3.992270e-08,8.520907e-08,1.006864e-07,1.652715e-07,2.313847e-07,2.968831e-07,4.717136e-07,5.007722e-07,8.012957e-07,8.753511e-07,1.225613e-06,1.504660e-06,1.802298e-06,2.425106e-06,2.559484e-06,3.522757e-06,3.697488e-06,4.713107e-06,5.369721e-06,6.145223e-06,7.470104e-06,7.826319e-06,9.755584e-06,1.000344e-05,1.192423e-05,1.295035e-05,1.431608e-05,1.626947e-05,1.690854e-05,1.967381e-05,1.990157e-05,2.258029e-05,2.377485e-05,2.559395e-05,2.781042e-05,2.867964e-05,3.180232e-05,3.192751e-05,3.492804e-05,3.604782e-05,3.802485e-05,4.009907e-05,4.106340e-05,4.401745e-05,4.686415e-05,4.774917e-05,4.958422e-05,5.125121e-05,5.216197e-05,5.449136e-05,5.458520e-05,5.684506e-05,5.744769e-05,5.893580e-05,6.010773e-05,6.085447e-05,6.246730e-05,6.260068e-05,6.417618e-05,6.452927e-05,6.558463e-05,6.630228e-05,6.683122e-05,6.779941e-05,6.792238e-05,6.886549e-05,6.903705e-05,6.966865e-05,7.003382e-05,7.034042e-05,7.080963e-05,7.088964e-05,7.132522e-05,7.138496e-05,7.165605e-05,7.178020e-05,7.189083e-05,7.201518e-05,7.203799e-05,7.210564e-05,7.210878e-05,7.210146e-05,7.207875e-05,7.203271e-05,7.194148e-05,7.190619e-05,7.172825e-05,7.171197e-05,7.150472e-05,7.140377e-05,7.124101e-05,7.102905e-05,7.094207e-05,7.061240e-05,7.059863e-05,7.025611e-05,7.012205e-05,6.987691e-05,6.960770e-05,6.947816e-05,6.906287e-05,6.863375e-05,6.849392e-05,6.819323e-05,6.790633e-05,6.774348e-05,6.730482e-05,6.728642e-05,6.682379e-05,6.669346e-05,6.635710e-05,6.607572e-05,6.588772e-05,6.545453e-05,6.541683e-05,6.494549e-05,6.483241e-05,6.447463e-05,6.421147e-05,6.400508e-05,6.359352e-05,6.353754e-05,6.307266e-05,6.298005e-05,6.261098e-05,6.237234e-05,6.215299e-05,6.177143e-05,6.169909e-05,6.124967e-05,6.117819e-05,6.080502e-05,6.059336e-05,6.036541e-05,6.001752e-05,5.993108e-05,5.950222e-05,5.945113e-05,5.907899e-05,5.889459e-05,5.866152e-05,5.834818e-05,5.824994e-05,5.784432e-05,5.781213e-05,5.744473e-05,5.728660e-05,5.705123e-05,5.677170e-05,5.666386e-05,5.628262e-05,5.626750e-05,5.590754e-05,5.577402e-05,5.553861e-05,5.529125e-05,5.517582e-05,5.481915e-05,5.435767e-05,5.390671e-05,5.346617e-05,5.303595e-05,5.261589e-05,5.220587e-05,5.180574e-05,5.141532e-05,5.103447e-05,5.066300e-05,5.030074e-05,4.994752e-05,4.960315e-05,4.926745e-05,4.894024e-05,4.862133e-05,4.831053e-05,4.800767e-05,4.771256e-05,4.742502e-05,4.714488e-05,4.687196e-05,4.660607e-05,4.634706e-05
0.000000e+00,1.448899e-13,1.152715e-12,2.355772e-11,1.639180e-10,3.904334e-10,2.411484e-09,2.571194e-09,1.031602e-08,1.433482e-08,3.052762e-08,5.288202e-08,7.380909e-08,1.466107e-07,1.549152e-07,2.930209e-07,3.371344e-07,5.109136e-07,6.766214e-07,8.320065e-07,1.215430e-06,1.275578e-06,1.852488e-06,1.984105e-06,2.563419e-06,2.983558e-06,3.399933e-06,4.188955e-06,4.347247e-06,5.387301e-06,5.561051e-06,6.501236e-06,7.056806e-06,7.670978e-06,8.635791e-06,8.880007e-06,1.011361e-05,1.026266e-05,1.135878e-05,1.190733e-05,1.260410e-05,1.354440e-05,1.383950e-05,1.505621e-05,1.515251e-05,1.624662e-05,1.671392e-05,1.740421e-05,1.821428e-05,1.852357e-05,1.960031e-05,1.964244e-05,2.063101e-05,2.099029e-05,2.161319e-05,2.225249e-05,2.254521e-05,2.342618e-05,2.425590e-05,2.451062e-05,2.503472e-05,2.550683e-05,2.576350e-05,2.641719e-05,2.644347e-05,2.707618e-05,2.724511e-05,2.766342e-05,2.799474e-05,2.820714e-05,2.867070e-05,2.870940e-05,2.917234e-05,2.927783e-05,2.959811e-05,2.982110e-05,2.998885e-05,3.030539e-05,3.034665e-05,3.067357e-05,3.073543e-05,3.097158e-05,3.111576e-05,3.124258e-05,3.145065e-05,3.148835e-05,3.171062e-05,3.174411e-05,3.191099e-05,3.199985e-05,3.209099e-05,3.222129e-05,3.225205e-05,3.239551e-05,3.241160e-05,3.252262e-05,3.257367e-05,3.263456e-05,3.271015e-05,3.273241e-05,3.281719e-05,3.282344e-05,3.288985e-05,3.291572e-05,3.295128e-05,3.298901e-05,3.300228e-05,3.304363e-05,3.304509e-05,3.307603e-05,3.308563e-05,3.310013e-05,3.311210e-05,3.311656e-05,3.312587e-05,3.312860e-05,3.312816e-05,3.312524e-05,3.312010e-05,3.311623e-05,3.310268e-05,3.310202e-05,3.308299e-05,3.307684e-05,3.305950e-05,3.304342e-05,3.303191e-05,3.300316e-05,3.300052e-05,3.296563e-05,3.295677e-05,3.292753e-05,3.290488e-05,3.288647e-05,3.284807e-05,3.284268e-05,3.279639e-05,3.278685e-05,3.274781e-05,3.272171e-05,3.269714e-05,3.265309e-05,3.264455e-05,3.259022e-05,3.258137e-05,3.253430e-05,3.250694e-05,3.247694e-05,3.243011e-05,3.241828e-05,3.235845e-05,3.235120e-05,3.229758e-05,3.227049e-05,3.223576e-05,3.218822e-05,3.217312e-05,3.210974e-05,3.210464e-05,3.204573e-05,3.201996e-05,3.198116e-05,3.193438e-05,3.191613e-05,3.185070e-05,3.184807e-05,3.178494e-05,3.176121e-05,3.171894e-05,3.167393e-05,3.165273e-05,3.158639e-05,3.149871e-05,3.141101e-05,3.132339e-05,3.123595e-05,3.114878e-05,3.106196e-05,3.097558e-05,3.088968e-05,3.080435e-05,3.071963e-05,3.063557e-05,3.055223e-05,3.046964e-05,3.038784e-05,3.030687e-05,3.022676e-05,3.014753e-05,3.006922e-05,2.999183e-05,2.991539e-05,2.983992e-05,2.976542e-05,2.969192e-05,2.961942e-05
0.000000e+00,3.481867e-11,1.532557e-10,1.107807e-09,3.595494e-09,5.984238e-09,1.707580e-08,1.771357e-08,3.923286e-08,4.741045e-08,7.347747e-08,1.013879e-07,1.234722e-07,1.859510e-07,1.922009e-07,2.819480e-07,3.067240e-07,3.933003e-07,4.646748e-07,5.249980e-07,6.560196e-07,6.748935e-07,8.407794e-07,8.756925e-07,1.020602e-06,1.118964e-06,1.212399e-06,1.381340e-06,1.414227e-06,1.624141e-06,1.658347e-06,1.840206e-06,1.945545e-06,2.060535e-06,2.238657e-06,2.283331e-06,2.506918e-06,2.533727e-06,2.729772e-06,2.827241e-06,2.950539e-06,3.116196e-06,3.168043e-06,3.381280e-06,3.398129e-06,3.589424e-06,3.671099e-06,3.791802e-06,3.933646e-06,3.987892e-06,4.177296e-06,4.184728e-06,4.359732e-06,4.423666e-06,4.535018e-06,4.650073e-06,4.703051e-06,4.863802e-06,5.017295e-06,5.064891e-06,5.163606e-06,5.253525e-06,5.302845e-06,5.429992e-06,5.435153e-06,5.560696e-06,5.594661e-06,5.679656e-06,5.747953e-06,5.792228e-06,5.890329e-06,5.898617e-06,5.999032e-06,6.022267e-06,6.093687e-06,6.144258e-06,6.182797e-06,6.256797e-06,6.266576e-06,6.345236e-06,6.360372e-06,6.418986e-06,6.455464e-06,6.488032e-06,6.542542e-06,6.552574e-06,6.612810e-06,6.622061e-06,6.668930e-06,6.694460e-06,6.721118e-06,6.760160e-06,6.769556e-06,6.814416e-06,6.819567e-06,6.855866e-06,6.873066e-06,6.894069e-06,6.921028e-06,6.929181e-06,6.961351e-06,6.963802e-06,6.990726e-06,7.001724e-06,7.017443e-06,7.035110e-06,7.041638e-06,7.063437e-06,7.064261e-06,7.082964e-06,7.089461e-06,7.100338e-06,7.110980e-06,7.115671e-06,7.129072e-06,7.140645e-06,7.143978e-06,7.150488e-06,7.155925e-06,7.158698e-06,7.165127e-06,7.165365e-06,7.170576e-06,7.171786e-06,7.174414e-06,7.176091e-06,7.176958e-06,7.178221e-06,7.178284e-06,7.178465e-06,7.178345e-06,7.177568e-06,7.176620e-06,7.175660e-06,7.173195e-06,7.172804e-06,7.169059e-06,7.168209e-06,7.164483e-06,7.161793e-06,7.159129e-06,7.154069e-06,7.153049e-06,7.146293e-06,7.145152e-06,7.138907e-06,7.135151e-06,7.130935e-06,7.124165e-06,7.122421e-06,7.113404e-06,7.112290e-06,7.103922e-06,7.099612e-06,7.094011e-06,7.086215e-06,7.083707e-06,7.073042e-06,7.072174e-06,7.062047e-06,7.057563e-06,7.050751e-06,7.042448e-06,7.039183e-06,7.027368e-06,7.026890e-06,7.015332e-06,7.010949e-06,7.003098e-06,6.994678e-06,6.990689e-06,6.978127e-06,6.961343e-06,6.944369e-06,6.927245e-06,6.910008e-06,6.892693e-06,6.875331e-06,6.857952e-06,6.840582e-06,6.823246e-06,6.805967e-06,6.788765e-06,6.771660e-06,6.754670e-06,6.737810e-06,6.721095e-06,6.704537e-06,6.688149e-06,6.671942e-06,6.655924e-06,6.640104e-06,6.624490e-06,6.609088e-06,6.593905e-06,6.578945e-06
0.000000e+00,2.516517e-13,2.057604e-12,4.447076e-11,3.251613e-10,7.952464e-10,5.240942e-09,5.602098e-09,2.380278e-08,3.354385e-08,7.374444e-08,1.305230e-07,1.843260e-07,3.732112e-07,3.948115e-07,7.533389e-07,8.673975e-07,1.314742e-06,1.739679e-06,2.138154e-06,3.127912e-06,3.284544e-06,4.813985e-06,5.170870e-06,6.782285e-06,7.995445e-06,9.236887e-06,1.170045e-05,1.221254e-05,1.572777e-05,1.634057e-05,1.978311e-05,2.191711e-05,2.436141e-05,2.837903e-05,2.942993e-05,3.494348e-05,3.563252e-05,4.084794e-05,4.355448e-05,4.708358e-05,5.200575e-05,5.358791e-05,6.029788e-05,6.084170e-05,6.715164e-05,6.991998e-05,7.408976e-05,7.910585e-05,8.105624e-05,8.799907e-05,8.827560e-05,9.487077e-05,9.731879e-05,1.016286e-04,1.061395e-04,1.082350e-04,1.146570e-04,1.208669e-04,1.228054e-04,1.268417e-04,1.305335e-04,1.325630e-04,1.378036e-04,1.380165e-04,1.431919e-04,1.445902e-04,1.480826e-04,1.508787e-04,1.526850e-04,1.566639e-04,1.569984e-04,1.610244e-04,1.619483e-04,1.647669e-04,1.667408e-04,1.682313e-04,1.710554e-04,1.714246e-04,1.743547e-04,1.749100e-04,1.770308e-04,1.783251e-04,1.794623e-04,1.813233e-04,1.816595e-04,1.836327e-04,1.839284e-04,1.853926e-04,1.861646e-04,1.869497e-04,1.880565e-04,1.883146e-04,1.894979e-04,1.896282e-04,1.905097e-04,1.909032e-04,1.913601e-04,1.919045e-04,1.920589e-04,1.926154e-04,1.926540e-04,1.930387e-04,1.931727e-04,1.933376e-04,1.934804e-04,1.935203e-04,1.935950e-04,1.935958e-04,1.935691e-04,1.935366e-04,1.934500e-04,1.933194e-04,1.932446e-04,1.929595e-04,1.926007e-04,1.924713e-04,1.921743e-04,1.918684e-04,1.916857e-04,1.911630e-04,1.911402e-04,1.905427e-04,1.903668e-04,1.898980e-04,1.894902e-04,1.892103e-04,1.885433e-04,1.884838e-04,1.877224e-04,1.875349e-04,1.869298e-04,1.864735e-04,1.861093e-04,1.853667e-04,1.852641e-04,1.843972e-04,1.842215e-04,1.835114e-04,1.830442e-04,1.826094e-04,1.818408e-04,1.816935e-04,1.807660e-04,1.806167e-04,1.798291e-04,1.793766e-04,1.788847e-04,1.781250e-04,1.779347e-04,1.769807e-04,1.768660e-04,1.760243e-04,1.756031e-04,1.750670e-04,1.743396e-04,1.741101e-04,1.731549e-04,1.730786e-04,1.722025e-04,1.718225e-04,1.712539e-04,1.705739e-04,1.703102e-04,1.693722e-04,1.693348e-04,1.684407e-04,1.681071e-04,1.675165e-04,1.668925e-04,1.666002e-04,1.656924e-04,1.645082e-04,1.633409e-04,1.621914e-04,1.610607e-04,1.599495e-04,1.588582e-04,1.577874e-04,1.567374e-04,1.557085e-04,1.547009e-04,1.537148e-04,1.527503e-04,1.518072e-04,1.508857e-04,1.499855e-04,1.491067e-04,1.482489e-04,1.474121e-04,1.465959e-04,1.458001e-04,1.450245e-04,1.442687e-04,1.435325e-04,1.428154e-04
0.000000e+00,1.028182e-11,6.197076e-11,7.432841e-10,3.349247e-09,6.415358e-09,2.408450e-08,2.521299e-08,6.753538e-08,8.524336e-08,1.459642e-07,2.167812e-07,2.763012e-07,4.579183e-07,4.769806e-07,7.637058e-07,8.461914e-07,1.141852e-06,1.391667e-06,1.605608e-06,2.076014e-06,2.144249e-06,2.747669e-06,2.875401e-06,3.408034e-06,3.771866e-06,4.119261e-06,4.752168e-06,4.876127e-06,5.673621e-06,5.804651e-06,6.506613e-06,6.917496e-06,7.369755e-06,8.078256e-06,8.257502e-06,9.164171e-06,9.273973e-06,1.008410e-05,1.049165e-05,1.101178e-05,1.171872e-05,1.194191e-05,1.286958e-05,1.294355e-05,1.379026e-05,1.415564e-05,1.469986e-05,1.534589e-05,1.559480e-05,1.647195e-05,1.650663e-05,1.732867e-05,1.763164e-05,1.816274e-05,1.871604e-05,1.897237e-05,1.975617e-05,2.051305e-05,2.074943e-05,2.124226e-05,2.169418e-05,2.194329e-05,2.258952e-05,2.261588e-05,2.325996e-05,2.343520e-05,2.387563e-05,2.423148e-05,2.446312e-05,2.497902e-05,2.502278e-05,2.555507e-05,2.567881e-05,2.606052e-05,2.633205e-05,2.653970e-05,2.694016e-05,2.699326e-05,2.742186e-05,2.750465e-05,2.782621e-05,2.802713e-05,2.820702e-05,2.850925e-05,2.856503e-05,2.890096e-05,2.895271e-05,2.921556e-05,2.935920e-05,2.950955e-05,2.973040e-05,2.978366e-05,3.003862e-05,3.006796e-05,3.027513e-05,3.037353e-05,3.049389e-05,3.064870e-05,3.069559e-05,3.088088e-05,3.089501e-05,3.105042e-05,3.111398e-05,3.120486e-05,3.130705e-05,3.134481e-05,3.147087e-05,3.147563e-05,3.158363e-05,3.162108e-05,3.168367e-05,3.174470e-05,3.177152e-05,3.184774e-05,3.191283e-05,3.193139e-05,3.196730e-05,3.199681e-05,3.201164e-05,3.204510e-05,3.204630e-05,3.207176e-05,3.207730e-05,3.208844e-05,3.209441e-05,3.209677e-05,3.209741e-05,3.209715e-05,3.208998e-05,3.208718e-05,3.207564e-05,3.206461e-05,3.205449e-05,3.203053e-05,3.202689e-05,3.199316e-05,3.198571e-05,3.195364e-05,3.193091e-05,3.190864e-05,3.186683e-05,3.185846e-05,3.180340e-05,3.179415e-05,3.174372e-05,3.171351e-05,3.167969e-05,3.162551e-05,3.161158e-05,3.153962e-05,3.153074e-05,3.146405e-05,3.142972e-05,3.138511e-05,3.132298e-05,3.130300e-05,3.121794e-05,3.121101e-05,3.113012e-05,3.109426e-05,3.103973e-05,3.097317e-05,3.094697e-05,3.085199e-05,3.084815e-05,3.075498e-05,3.071959e-05,3.065609e-05,3.058784e-05,3.055547e-05,3.045327e-05,3.031618e-05,3.017688e-05,3.003567e-05,2.989280e-05,2.974854e-05,2.960311e-05,2.945675e-05,2.930966e-05,2.916203e-05,2.901405e-05,2.886588e-05,2.871769e-05,2.856962e-05,2.842181e-05,2.827440e-05,2.812749e-05,2.798119e-05,2.783562e-05,2.769087e-05,2.754701e-05,2.740414e-05,2.726232e-05,2.712162e-05,2.698211e-05
0.000000e+00,8.067629e-15,6.998861e-14,1.712319e-12,1.402192e-11,3.649454e-11,2.824035e-10,3.038393e-10,1.512985e-09,2.225683e-09,5.447748e-09,1.051031e-08,1.569505e-08,3.595544e-08,3.843476e-08,8.318302e-08,9.860317e-08,1.633997e-07,2.302676e-07,2.968964e-07,4.760693e-07,5.059986e-07,8.174218e-07,8.946208e-07,1.261813e-06,1.556557e-06,1.872922e-06,2.541158e-06,2.686409e-06,3.738365e-06,3.931170e-06,5.063670e-06,5.806465e-06,6.694354e-06,8.237553e-06,8.658095e-06,1.097697e-05,1.127991e-05,1.366654e-05,1.496982e-05,1.673524e-05,1.932198e-05,2.018420e-05,2.400726e-05,2.432892e-05,2.819137e-05,2.996196e-05,3.271714e-05,3.617340e-05,3.755956e-05,4.268889e-05,4.289957e-05,4.807156e-05,5.006439e-05,5.367112e-05,5.758318e-05,5.944919e-05,6.536632e-05,7.138288e-05,7.332276e-05,7.745974e-05,8.136302e-05,8.355902e-05,8.940184e-05,8.964456e-05,9.568241e-05,9.736012e-05,1.016412e-04,1.051665e-04,1.074924e-04,1.127583e-04,1.132103e-04,1.187725e-04,1.200821e-04,1.241596e-04,1.270936e-04,1.293551e-04,1.337579e-04,1.343455e-04,1.391202e-04,1.400485e-04,1.436711e-04,1.459472e-04,1.479926e-04,1.514428e-04,1.520812e-04,1.559355e-04,1.565305e-04,1.595559e-04,1.612111e-04,1.629443e-04,1.654901e-04,1.661039e-04,1.690393e-04,1.693767e-04,1.717558e-04,1.728834e-04,1.742598e-04,1.760249e-04,1.765581e-04,1.786581e-04,1.788178e-04,1.805676e-04,1.812799e-04,1.822947e-04,1.834299e-04,1.838476e-04,1.852346e-04,1.852867e-04,1.864640e-04,1.868696e-04,1.875441e-04,1.881974e-04,1.884830e-04,1.892887e-04,1.899690e-04,1.901614e-04,1.905314e-04,1.908330e-04,1.909834e-04,1.913199e-04,1.913320e-04,1.915839e-04,1.916380e-04,1.917457e-04,1.918022e-04,1.918237e-04,1.918265e-04,1.918238e-04,1.917517e-04,1.917242e-04,1.916128e-04,1.915077e-04,1.914121e-04,1.911884e-04,1.911547e-04,1.908449e-04,1.907771e-04,1.904873e-04,1.902837e-04,1.900858e-04,1.897175e-04,1.896443e-04,1.891665e-04,1.890869e-04,1.886558e-04,1.883998e-04,1.881153e-04,1.876635e-04,1.875480e-04,1.869569e-04,1.868845e-04,1.863444e-04,1.860689e-04,1.857132e-04,1.852223e-04,1.850655e-04,1.844034e-04,1.843498e-04,1.837289e-04,1.834561e-04,1.830440e-04,1.825454e-04,1.823504e-04,1.816497e-04,1.816215e-04,1.809434e-04,1.806880e-04,1.802328e-04,1.797480e-04,1.795194e-04,1.788043e-04,1.778595e-04,1.769160e-04,1.759759e-04,1.750409e-04,1.741129e-04,1.731931e-04,1.722830e-04,1.713837e-04,1.704962e-04,1.696214e-04,1.687600e-04,1.679126e-04,1.670799e-04,1.662623e-04,1.654602e-04,1.646737e-04,1.639033e-04,1.631491e-04,1.624111e-04,1.616894e-04,1.609841e-04,1.602951e-04,1.596225e-04,1.589660e-04
0.000000e+00,5.401740e-11,2.838331e-10,2.686700e-09,1.024640e-08,1.820103e-08,5.848088e-08,6.089123e-08,1.451069e-07,1.780718e-07,2.852213e-07,4.024097e-07,4.964957e-07,7.680836e-07,7.956673e-07,1.200176e-06,1.314684e-06,1.724453e-06,2.072834e-06,2.373717e-06,3.042942e-06,3.140714e-06,4.009541e-06,4.193925e-06,4.962237e-06,5.485321e-06,5.982665e-06,6.882149e-06,7.057214e-06,8.174168e-06,8.356101e-06,9.322998e-06,9.882853e-06,1.049387e-05,1.144014e-05,1.167743e-05,1.286473e-05,1.300705e-05,1.404731e-05,1.456410e-05,1.521728e-05,1.609354e-05,1.636739e-05,1.749112e-05,1.757970e-05,1.858275e-05,1.900929e-05,1.963739e-05,2.037150e-05,2.065096e-05,2.162020e-05,2.165801e-05,2.254260e-05,2.286283e-05,2.341636e-05,2.398211e-05,2.424032e-05,2.501389e-05,2.573701e-05,2.595780e-05,2.641003e-05,2.681479e-05,2.703367e-05,2.758686e-05,2.760896e-05,2.813715e-05,2.827680e-05,2.861972e-05,2.888803e-05,2.905828e-05,2.942437e-05,2.945456e-05,2.981037e-05,2.988995e-05,3.012755e-05,3.028900e-05,3.040798e-05,3.062585e-05,3.065354e-05,3.086609e-05,3.090480e-05,3.104747e-05,3.113006e-05,3.119947e-05,3.130573e-05,3.132385e-05,3.142230e-05,3.143576e-05,3.149647e-05,3.152391e-05,3.154794e-05,3.157378e-05,3.157821e-05,3.158876e-05,3.158876e-05,3.158095e-05,3.157204e-05,3.155610e-05,3.152660e-05,3.151547e-05,3.146025e-05,3.145524e-05,3.139157e-05,3.136058e-05,3.131051e-05,3.124505e-05,3.121807e-05,3.111522e-05,3.111090e-05,3.100284e-05,3.096022e-05,3.088180e-05,3.079495e-05,3.075290e-05,3.061688e-05,3.047447e-05,3.042765e-05,3.032631e-05,3.022877e-05,3.017305e-05,3.002164e-05,3.001525e-05,2.985347e-05,2.980753e-05,2.968823e-05,2.958762e-05,2.951999e-05,2.936295e-05,2.934921e-05,2.917629e-05,2.913452e-05,2.900164e-05,2.890321e-05,2.882561e-05,2.866982e-05,2.864853e-05,2.847071e-05,2.843509e-05,2.829245e-05,2.819967e-05,2.811401e-05,2.796416e-05,2.793564e-05,2.775756e-05,2.772911e-05,2.757998e-05,2.749498e-05,2.740311e-05,2.726223e-05,2.722710e-05,2.705214e-05,2.703122e-05,2.687835e-05,2.680230e-05,2.670589e-05,2.657577e-05,2.653486e-05,2.636539e-05,2.635191e-05,2.619758e-05,2.613093e-05,2.603150e-05,2.591305e-05,2.586725e-05,2.570489e-05,2.569844e-05,2.554450e-05,2.548724e-05,2.538611e-05,2.527959e-05,2.522979e-05,2.507558e-05,2.487530e-05,2.467881e-05,2.448617e-05,2.429741e-05,2.411256e-05,2.393162e-05,2.375461e-05,2.358150e-05,2.341229e-05,2.324694e-05,2.308543e-05,2.292772e-05,2.277376e-05,2.262352e-05,2.247692e-05,2.233394e-05,2.219449e-05,2.205853e-05,2.192599e-05,2.179681e-05,2.167093e-05,2.154827e-05,2.142876e-05,2.131235e-05
0.000000e+00,6.235704e-11,1.543249e-10,5.756696e-10,1.359823e-09,2.011516e-09,4.673751e-09,4.817858e-09,9.438566e-09,1.111949e-08,1.633364e-08,2.176414e-08,2.599023e-08,3.773829e-08,3.890172e-08,5.547757e-08,6.002681e-08,7.588563e-08,8.893754e-08,9.995782e-08,1.238486e-07,1.272835e-07,1.573820e-07,1.636938e-07,1.898019e-07,2.074423e-07,2.241404e-07,2.541994e-07,2.600322e-07,2.971376e-07,3.031654e-07,3.351358e-07,3.536021e-07,3.737230e-07,4.048248e-07,4.126145e-07,4.515468e-07,4.562098e-07,4.902809e-07,5.072051e-07,5.286029e-07,5.573357e-07,5.663255e-07,6.032886e-07,6.062086e-07,6.393580e-07,6.535101e-07,6.744239e-07,6.990004e-07,7.083994e-07,7.412179e-07,7.425058e-07,7.728309e-07,7.839099e-07,8.032062e-07,8.231442e-07,8.323247e-07,8.601795e-07,8.867730e-07,8.950181e-07,9.121160e-07,9.276869e-07,9.362255e-07,9.582312e-07,9.591243e-07,9.808388e-07,9.867108e-07,1.001399e-06,1.013195e-06,1.020839e-06,1.037761e-06,1.039190e-06,1.056490e-06,1.060490e-06,1.072774e-06,1.081463e-06,1.088079e-06,1.100765e-06,1.102440e-06,1.115895e-06,1.118480e-06,1.128479e-06,1.134690e-06,1.140227e-06,1.149475e-06,1.151174e-06,1.161355e-06,1.162915e-06,1.170801e-06,1.175084e-06,1.179545e-06,1.186057e-06,1.187619e-06,1.195053e-06,1.195903e-06,1.201875e-06,1.204690e-06,1.208114e-06,1.212484e-06,1.213799e-06,1.218954e-06,1.219344e-06,1.223606e-06,1.225331e-06,1.227778e-06,1.230499e-06,1.231495e-06,1.234780e-06,1.234902e-06,1.237653e-06,1.238591e-06,1.240136e-06,1.241612e-06,1.242249e-06,1.244012e-06,1.245442e-06,1.245832e-06,1.246557e-06,1.247114e-06,1.247376e-06,1.247896e-06,1.247912e-06,1.248184e-06,1.248214e-06,1.248204e-06,1.248102e-06,1.247988e-06,1.247592e-06,1.247549e-06,1.246900e-06,1.246715e-06,1.246054e-06,1.245498e-06,1.245022e-06,1.243970e-06,1.243817e-06,1.242448e-06,1.242155e-06,1.240926e-06,1.240077e-06,1.239261e-06,1.237759e-06,1.237462e-06,1.235540e-06,1.235221e-06,1.233501e-06,1.232483e-06,1.231354e-06,1.229564e-06,1.229107e-06,1.226768e-06,1.226481e-06,1.224343e-06,1.223250e-06,1.221839e-06,1.219887e-06,1.219263e-06,1.216620e-06,1.216406e-06,1.213917e-06,1.212820e-06,1.211158e-06,1.209141e-06,1.208350e-06,1.205497e-06,1.205382e-06,1.202603e-06,1.201552e-06,1.199674e-06,1.197663e-06,1.196713e-06,1.193724e-06,1.189743e-06,1.185729e-06,1.181689e-06,1.177631e-06,1.173560e-06,1.169483e-06,1.165406e-06,1.161334e-06,1.157272e-06,1.153223e-06,1.149193e-06,1.145184e-06,1.141201e-06,1.137246e-06,1.133322e-06,1.129433e-06,1.125579e-06,1.121764e-06,1.117990e-06,1.114257e-06,1.110568e-06,1.106924e-06,1.103326e-06,1.099775e-06
0.000000e+00,4.694513e-15,4.157591e-14,1.061280e-12,9.039545e-12,2.405015e-11,1.972596e-10,2.127456e-10,1.125092e-09,1.683127e-09,4.301633e-09,8.603567e-09,1.316050e-08,3.186956e-08,3.423239e-08,7.872229e-08,9.468867e-08,1.643532e-07,2.396542e-07,3.173798e-07,5.366923e-07,5.745483e-07,9.846705e-07,1.090251e-06,1.609463e-06,2.043434e-06,2.523401e-06,3.577211e-06,3.812521e-06,5.572210e-06,5.904170e-06,7.904231e-06,9.257602e-06,1.091320e-05,1.387758e-05,1.470280e-05,1.937201e-05,1.999584e-05,2.501155e-05,2.782126e-05,3.170069e-05,3.752708e-05,3.950458e-05,4.847219e-05,4.924094e-05,5.863489e-05,6.303812e-05,7.000562e-05,7.893809e-05,8.257870e-05,9.633014e-05,9.690418e-05,1.112185e-04,1.168461e-04,1.271863e-04,1.386247e-04,1.441613e-04,1.620586e-04,1.807827e-04,1.869321e-04,2.002292e-04,2.130033e-04,2.202877e-04,2.400129e-04,2.408432e-04,2.617786e-04,2.676926e-04,2.829765e-04,2.957727e-04,3.043205e-04,3.239888e-04,3.256976e-04,3.469991e-04,3.520887e-04,3.681220e-04,3.798364e-04,3.889695e-04,4.070163e-04,4.094522e-04,4.294886e-04,4.334357e-04,4.490052e-04,4.589266e-04,4.679372e-04,4.833467e-04,4.862281e-04,5.038299e-04,5.065794e-04,5.207026e-04,5.285328e-04,5.368142e-04,5.491388e-04,5.521402e-04,5.666632e-04,5.683515e-04,5.803724e-04,5.861452e-04,5.932631e-04,6.025130e-04,6.053361e-04,6.165974e-04,6.174635e-04,6.270571e-04,6.310196e-04,6.367295e-04,6.432160e-04,6.456324e-04,6.537862e-04,6.540970e-04,6.612139e-04,6.637149e-04,6.679406e-04,6.721278e-04,6.739928e-04,6.793983e-04,6.841859e-04,6.855922e-04,6.883848e-04,6.907767e-04,6.920244e-04,6.950197e-04,6.951343e-04,6.977440e-04,6.983890e-04,6.998824e-04,7.009512e-04,7.015782e-04,7.027711e-04,7.028589e-04,7.037517e-04,7.039112e-04,7.042828e-04,7.044315e-04,7.044773e-04,7.043893e-04,7.043595e-04,7.039526e-04,7.038385e-04,7.032790e-04,7.028303e-04,7.023597e-04,7.014124e-04,7.012148e-04,6.998635e-04,6.996293e-04,6.983237e-04,6.975226e-04,6.966123e-04,6.951305e-04,6.947454e-04,6.927378e-04,6.924881e-04,6.906038e-04,6.896281e-04,6.883563e-04,6.865800e-04,6.860078e-04,6.835696e-04,6.833710e-04,6.810525e-04,6.800259e-04,6.784665e-04,6.765670e-04,6.758206e-04,6.731236e-04,6.730147e-04,6.703832e-04,6.693875e-04,6.676068e-04,6.657018e-04,6.648013e-04,6.619727e-04,6.582134e-04,6.544359e-04,6.506510e-04,6.468681e-04,6.430957e-04,6.393413e-04,6.356115e-04,6.319121e-04,6.282481e-04,6.246240e-04,6.210437e-04,6.175104e-04,6.140270e-04,6.105959e-04,6.072191e-04,6.038983e-04,6.006348e-04,5.974297e-04,5.942839e-04,5.911980e-04,5.881723e-04,5.852072e-04,5.823027e-04,5.794588e-04
0.000000e+00,4.859341e-15,4.207687e-14,1.024048e-12,8.342642e-12,2.164973e-11,1.662133e-10,1.787706e-10,8.828724e-10,1.295759e-09,3.152930e-09,6.053400e-09,9.010571e-09,2.049284e-08,2.189231e-08,4.702010e-08,5.563647e-08,9.168326e-08,1.286820e-07,1.653984e-07,2.635844e-07,2.799219e-07,4.490867e-07,4.908201e-07,6.884330e-07,8.461318e-07,1.014603e-06,1.368062e-06,1.444497e-06,1.994231e-06,2.094296e-06,2.678007e-06,3.057258e-06,3.507014e-06,4.279814e-06,4.488513e-06,5.625211e-06,5.771993e-06,6.914973e-06,7.529342e-06,8.350883e-06,9.533098e-06,9.921618e-06,1.161206e-05,1.175195e-05,1.340410e-05,1.414487e-05,1.527747e-05,1.666460e-05,1.721066e-05,1.918176e-05,1.926109e-05,2.116921e-05,2.188469e-05,2.315243e-05,2.448880e-05,2.511235e-05,2.703175e-05,2.889559e-05,2.947813e-05,3.069107e-05,3.179937e-05,3.240771e-05,3.397387e-05,3.403729e-05,3.557376e-05,3.598668e-05,3.701303e-05,3.782894e-05,3.835287e-05,3.949710e-05,3.959260e-05,4.073295e-05,4.099203e-05,4.177577e-05,4.231816e-05,4.272387e-05,4.348265e-05,4.358080e-05,4.435068e-05,4.449461e-05,4.503806e-05,4.536446e-05,4.564770e-05,4.610335e-05,4.618456e-05,4.665359e-05,4.672267e-05,4.705972e-05,4.723374e-05,4.740776e-05,4.764751e-05,4.770237e-05,4.794799e-05,4.797438e-05,4.814883e-05,4.822405e-05,4.830887e-05,4.840550e-05,4.843181e-05,4.852110e-05,4.852689e-05,4.857994e-05,4.859562e-05,4.861126e-05,4.861830e-05,4.861776e-05,4.860190e-05,4.860084e-05,4.856594e-05,4.854847e-05,4.851192e-05,4.846584e-05,4.844172e-05,4.835702e-05,4.825934e-05,4.822558e-05,4.815008e-05,4.807465e-05,4.803048e-05,4.790698e-05,4.790166e-05,4.776465e-05,4.772495e-05,4.762038e-05,4.753067e-05,4.746966e-05,4.732597e-05,4.731326e-05,4.715186e-05,4.711244e-05,4.698606e-05,4.689151e-05,4.681643e-05,4.666440e-05,4.664348e-05,4.646767e-05,4.643220e-05,4.628940e-05,4.619587e-05,4.610908e-05,4.595626e-05,4.592703e-05,4.574359e-05,4.571412e-05,4.555903e-05,4.547012e-05,4.537361e-05,4.522483e-05,4.518759e-05,4.500116e-05,4.497878e-05,4.481455e-05,4.473243e-05,4.462792e-05,4.448619e-05,4.444146e-05,4.425531e-05,4.424044e-05,4.406962e-05,4.399550e-05,4.388451e-05,4.375167e-05,4.370011e-05,4.351654e-05,4.350921e-05,4.333388e-05,4.326836e-05,4.315223e-05,4.302933e-05,4.297168e-05,4.279231e-05,4.255745e-05,4.232490e-05,4.209480e-05,4.186727e-05,4.164239e-05,4.142026e-05,4.120096e-05,4.098455e-05,4.077108e-05,4.056061e-05,4.035317e-05,4.014879e-05,3.994750e-05,3.974932e-05,3.955425e-05,3.936231e-05,3.917350e-05,3.898781e-05,3.880524e-05,3.862578e-05,3.844942e-05,3.827613e-05,3.810591e-05,3.793873e-05
0.000000e+00,7.990369e-13,5.833119e-12,1.002878e-10,6.001994e-10,1.319878e-09,6.696016e-09,7.084616e-09,2.370665e-08,3.142370e-08,5.965349e-08,9.448464e-08,1.245758e-07,2.186579e-07,2.286716e-07,3.822855e-07,4.276379e-07,5.952165e-07,7.434251e-07,8.753137e-07,1.180835e-06,1.226822e-06,1.649620e-06,1.742445e-06,2.139835e-06,2.419363e-06,2.691186e-06,3.196148e-06,3.296247e-06,3.947211e-06,4.055101e-06,4.636243e-06,4.978221e-06,5.355598e-06,5.947803e-06,6.097679e-06,6.855104e-06,6.946686e-06,7.620796e-06,7.958587e-06,8.388101e-06,8.968537e-06,9.150888e-06,9.903644e-06,9.963281e-06,1.064153e-05,1.093158e-05,1.136042e-05,1.186431e-05,1.205689e-05,1.272817e-05,1.275447e-05,1.337214e-05,1.359698e-05,1.398726e-05,1.438852e-05,1.457251e-05,1.512730e-05,1.565146e-05,1.581274e-05,1.614513e-05,1.644524e-05,1.660869e-05,1.702596e-05,1.704276e-05,1.744811e-05,1.755658e-05,1.782563e-05,1.803919e-05,1.817630e-05,1.847612e-05,1.850118e-05,1.880135e-05,1.886984e-05,1.907792e-05,1.922290e-05,1.933199e-05,1.953783e-05,1.956466e-05,1.977702e-05,1.981715e-05,1.997012e-05,2.006327e-05,2.014500e-05,2.027854e-05,2.030264e-05,2.044401e-05,2.046518e-05,2.057003e-05,2.062532e-05,2.068157e-05,2.076095e-05,2.077948e-05,2.086457e-05,2.087395e-05,2.093759e-05,2.096609e-05,2.099928e-05,2.103900e-05,2.105032e-05,2.109137e-05,2.109424e-05,2.112306e-05,2.113324e-05,2.114596e-05,2.115733e-05,2.116065e-05,2.116763e-05,2.116776e-05,2.116743e-05,2.116568e-05,2.116050e-05,2.115217e-05,2.114729e-05,2.112822e-05,2.110369e-05,2.109475e-05,2.107408e-05,2.105262e-05,2.103973e-05,2.100262e-05,2.100099e-05,2.095816e-05,2.094548e-05,2.091155e-05,2.088188e-05,2.086143e-05,2.081245e-05,2.080807e-05,2.075172e-05,2.073777e-05,2.069260e-05,2.065838e-05,2.063095e-05,2.057477e-05,2.056698e-05,2.050086e-05,2.048740e-05,2.043280e-05,2.039670e-05,2.036296e-05,2.030305e-05,2.029151e-05,2.021861e-05,2.020682e-05,2.014438e-05,2.010833e-05,2.006898e-05,2.000790e-05,1.999253e-05,1.991515e-05,1.990581e-05,1.983696e-05,1.980232e-05,1.975805e-05,1.969767e-05,1.967853e-05,1.959849e-05,1.959207e-05,1.951803e-05,1.948574e-05,1.943722e-05,1.937886e-05,1.935613e-05,1.927485e-05,1.927160e-05,1.919344e-05,1.916411e-05,1.911197e-05,1.905655e-05,1.903048e-05,1.894905e-05,1.884172e-05,1.873468e-05,1.862802e-05,1.852185e-05,1.841623e-05,1.831126e-05,1.820700e-05,1.810350e-05,1.800084e-05,1.789905e-05,1.779819e-05,1.769829e-05,1.759939e-05,1.750153e-05,1.740473e-05,1.730901e-05,1.721440e-05,1.712091e-05,1.702857e-05,1.693738e-05,1.684736e-05,1.675851e-05,1.667084e-05,1.658435e-05
0.000000e+00,7.533758e-12,1.736400e-11,6.034924e-11,1.388078e-10,2.040260e-10,4.751066e-10,4.900379e-10,9.834007e-10,1.169613e-09,1.767327e-09,2.416374e-09,2.935034e-09,4.407224e-09,4.553721e-09,6.617506e-09,7.171657e-09,9.054012e-09,1.054871e-08,1.177761e-08,1.435753e-08,1.472050e-08,1.783388e-08,1.847363e-08,2.108086e-08,2.281180e-08,2.443091e-08,2.730469e-08,2.785690e-08,3.133374e-08,3.189317e-08,3.483813e-08,3.652364e-08,3.834859e-08,4.114813e-08,4.184559e-08,4.531179e-08,4.572492e-08,4.873205e-08,5.021902e-08,5.209348e-08,5.460212e-08,5.538530e-08,5.859873e-08,5.885219e-08,6.172678e-08,6.295285e-08,6.476411e-08,6.689252e-08,6.770672e-08,7.055188e-08,7.066363e-08,7.329783e-08,7.426190e-08,7.594370e-08,7.768561e-08,7.848931e-08,8.093507e-08,8.328185e-08,8.401212e-08,8.553093e-08,8.691978e-08,8.768386e-08,8.966189e-08,8.974245e-08,9.170868e-08,9.224296e-08,9.358467e-08,9.466788e-08,9.537267e-08,9.694187e-08,9.707496e-08,9.869390e-08,9.907031e-08,1.002319e-07,1.010587e-07,1.016913e-07,1.029125e-07,1.030746e-07,1.043840e-07,1.046373e-07,1.056221e-07,1.062385e-07,1.067912e-07,1.077215e-07,1.078935e-07,1.089313e-07,1.090915e-07,1.099069e-07,1.103537e-07,1.108225e-07,1.115131e-07,1.116802e-07,1.124820e-07,1.125746e-07,1.132302e-07,1.135429e-07,1.139266e-07,1.144225e-07,1.145732e-07,1.151720e-07,1.152179e-07,1.157246e-07,1.159332e-07,1.162331e-07,1.165727e-07,1.166990e-07,1.171241e-07,1.171403e-07,1.175100e-07,1.176397e-07,1.178583e-07,1.180745e-07,1.181706e-07,1.184484e-07,1.186931e-07,1.187646e-07,1.189060e-07,1.190263e-07,1.190887e-07,1.192367e-07,1.192423e-07,1.193681e-07,1.193985e-07,1.194674e-07,1.195148e-07,1.195414e-07,1.195881e-07,1.195912e-07,1.196179e-07,1.196209e-07,1.196225e-07,1.196159e-07,1.196061e-07,1.195751e-07,1.195698e-07,1.195143e-07,1.195010e-07,1.194408e-07,1.193956e-07,1.193500e-07,1.192610e-07,1.192428e-07,1.191200e-07,1.190990e-07,1.189825e-07,1.189114e-07,1.188309e-07,1.187001e-07,1.186661e-07,1.184888e-07,1.184667e-07,1.182995e-07,1.182126e-07,1.180990e-07,1.179396e-07,1.178880e-07,1.176669e-07,1.176488e-07,1.174365e-07,1.173418e-07,1.171972e-07,1.170197e-07,1.169495e-07,1.166941e-07,1.166838e-07,1.164314e-07,1.163352e-07,1.161619e-07,1.159749e-07,1.158860e-07,1.156042e-07,1.152238e-07,1.148347e-07,1.144379e-07,1.140340e-07,1.136240e-07,1.132084e-07,1.127881e-07,1.123636e-07,1.119356e-07,1.115047e-07,1.110714e-07,1.106362e-07,1.101996e-07,1.097621e-07,1.093240e-07,1.088858e-07,1.084479e-07,1.080105e-07,1.075741e-07,1.071390e-07,1.067053e-07,1.062734e-07,1.058436e-07,1.054160e-07
0.000000e+00,5.984834e-11,1.855949e-10,8.726633e-10,2.284357e-09,3.504988e-09,8.645896e-09,8.927615e-09,1.801342e-08,2.132316e-08,3.155076e-08,4.210911e-08,5.025133e-08,7.256191e-08,7.474837e-08,1.055800e-07,1.139708e-07,1.431513e-07,1.672228e-07,1.876689e-07,2.325354e-07,2.390530e-07,2.968627e-07,3.091307e-07,3.602976e-07,3.951637e-07,4.283087e-07,4.881461e-07,4.997648e-07,5.735856e-07,5.855499e-07,6.488037e-07,6.851529e-07,7.245772e-07,7.851054e-07,8.001816e-07,8.749971e-07,8.838961e-07,9.484983e-07,9.803064e-07,1.020246e-06,1.073377e-06,1.089880e-06,1.157112e-06,1.162380e-06,1.221721e-06,1.246793e-06,1.283546e-06,1.326272e-06,1.342476e-06,1.398448e-06,1.400625e-06,1.451435e-06,1.469780e-06,1.501444e-06,1.533765e-06,1.548508e-06,1.592680e-06,1.634034e-06,1.646685e-06,1.672652e-06,1.695975e-06,1.708628e-06,1.740773e-06,1.742063e-06,1.773061e-06,1.781319e-06,1.801729e-06,1.817856e-06,1.828175e-06,1.850634e-06,1.852505e-06,1.874826e-06,1.879896e-06,1.895242e-06,1.905880e-06,1.913852e-06,1.928814e-06,1.930755e-06,1.946045e-06,1.948917e-06,1.959812e-06,1.966398e-06,1.972144e-06,1.981453e-06,1.983122e-06,1.992828e-06,1.994268e-06,2.001335e-06,2.005015e-06,2.008717e-06,2.013858e-06,2.015041e-06,2.020373e-06,2.020949e-06,2.024773e-06,2.026430e-06,2.028301e-06,2.030433e-06,2.031011e-06,2.032956e-06,2.033081e-06,2.034186e-06,2.034488e-06,2.034747e-06,2.034761e-06,2.034682e-06,2.034036e-06,2.033998e-06,2.032845e-06,2.032291e-06,2.031149e-06,2.029724e-06,2.028981e-06,2.026376e-06,2.023364e-06,2.022319e-06,2.019974e-06,2.017620e-06,2.016236e-06,2.012343e-06,2.012175e-06,2.007815e-06,2.006544e-06,2.003180e-06,2.000277e-06,1.998293e-06,1.993590e-06,1.993172e-06,1.987839e-06,1.986529e-06,1.982311e-06,1.979137e-06,1.976605e-06,1.971450e-06,1.970738e-06,1.964725e-06,1.963506e-06,1.958580e-06,1.955337e-06,1.952317e-06,1.946974e-06,1.945948e-06,1.939486e-06,1.938444e-06,1.932940e-06,1.929772e-06,1.926323e-06,1.920984e-06,1.919643e-06,1.912910e-06,1.912099e-06,1.906133e-06,1.903139e-06,1.899320e-06,1.894122e-06,1.892478e-06,1.885614e-06,1.885064e-06,1.878735e-06,1.875981e-06,1.871848e-06,1.866887e-06,1.864958e-06,1.858071e-06,1.857795e-06,1.851191e-06,1.848717e-06,1.844324e-06,1.839663e-06,1.837473e-06,1.830644e-06,1.821667e-06,1.812742e-06,1.803876e-06,1.795075e-06,1.786345e-06,1.777692e-06,1.769121e-06,1.760635e-06,1.752239e-06,1.743937e-06,1.735730e-06,1.727623e-06,1.719616e-06,1.711713e-06,1.703914e-06,1.696222e-06,1.688636e-06,1.681159e-06,1.673791e-06,1.666532e-06,1.659383e-06,1.652344e-06,1.645415e-06,1.638595e-06
0.000000e+00,1.091187e-10,2.739316e-10,1.035843e-09,2.462600e-09,3.653827e-09,8.567768e-09,8.835950e-09,1.755377e-08,2.078098e-08,3.096805e-08,4.182976e-08,5.042850e-08,7.476760e-08,7.719779e-08,1.117929e-07,1.212065e-07,1.535289e-07,1.794917e-07,2.009721e-07,2.462987e-07,2.526902e-07,3.075532e-07,3.188240e-07,3.647021e-07,3.950900e-07,4.234488e-07,4.735964e-07,4.832021e-07,5.434292e-07,5.530762e-07,6.036392e-07,6.323998e-07,6.633807e-07,7.105603e-07,7.222447e-07,7.798669e-07,7.866825e-07,8.359313e-07,8.600360e-07,8.901726e-07,9.300420e-07,9.423747e-07,9.923697e-07,9.962699e-07,1.040034e-06,1.058427e-06,1.085285e-06,1.116343e-06,1.128074e-06,1.168382e-06,1.169943e-06,1.206219e-06,1.219242e-06,1.241619e-06,1.264324e-06,1.274632e-06,1.305321e-06,1.333762e-06,1.342401e-06,1.360037e-06,1.375757e-06,1.384234e-06,1.405593e-06,1.406444e-06,1.426762e-06,1.432124e-06,1.445279e-06,1.455564e-06,1.462090e-06,1.476127e-06,1.477285e-06,1.490955e-06,1.494019e-06,1.503186e-06,1.509439e-06,1.514063e-06,1.522578e-06,1.523666e-06,1.532073e-06,1.533617e-06,1.539358e-06,1.542727e-06,1.545592e-06,1.550066e-06,1.550843e-06,1.555174e-06,1.555786e-06,1.558647e-06,1.560027e-06,1.561320e-06,1.562918e-06,1.563246e-06,1.564478e-06,1.564581e-06,1.565064e-06,1.565130e-06,1.565051e-06,1.564667e-06,1.564481e-06,1.563397e-06,1.563289e-06,1.561835e-06,1.561085e-06,1.559833e-06,1.558139e-06,1.557425e-06,1.554643e-06,1.554525e-06,1.551517e-06,1.550313e-06,1.548076e-06,1.545569e-06,1.544345e-06,1.540351e-06,1.536116e-06,1.534713e-06,1.531662e-06,1.528707e-06,1.527011e-06,1.522377e-06,1.522181e-06,1.517191e-06,1.515767e-06,1.512056e-06,1.508914e-06,1.506795e-06,1.501854e-06,1.501420e-06,1.495946e-06,1.494619e-06,1.490386e-06,1.487240e-06,1.484752e-06,1.479742e-06,1.479055e-06,1.473306e-06,1.472151e-06,1.467514e-06,1.464489e-06,1.461689e-06,1.456776e-06,1.455839e-06,1.449971e-06,1.449031e-06,1.444094e-06,1.441272e-06,1.438214e-06,1.433512e-06,1.432337e-06,1.426470e-06,1.425767e-06,1.420617e-06,1.418047e-06,1.414783e-06,1.410366e-06,1.408974e-06,1.403193e-06,1.402732e-06,1.397445e-06,1.395155e-06,1.391732e-06,1.387643e-06,1.386059e-06,1.380427e-06,1.380203e-06,1.374841e-06,1.372841e-06,1.369302e-06,1.365564e-06,1.363813e-06,1.358376e-06,1.351281e-06,1.344283e-06,1.337386e-06,1.330592e-06,1.323903e-06,1.317322e-06,1.310850e-06,1.304488e-06,1.298237e-06,1.292098e-06,1.286070e-06,1.280156e-06,1.274353e-06,1.268662e-06,1.263082e-06,1.257614e-06,1.252255e-06,1.247006e-06,1.241865e-06,1.236832e-06,1.231905e-06,1.227083e-06,1.222364e-06,1.217748e-06
0.000000e+00,1.083756e-10,3.272028e-10,1.501400e-09,3.903831e-09,5.986632e-09,1.484558e-08,1.533519e-08,3.134526e-08,3.727818e-08,5.592293e-08,7.560996e-08,9.104426e-08,1.340841e-07,1.383378e-07,1.984350e-07,2.147412e-07,2.710476e-07,3.169679e-07,3.556152e-07,4.394961e-07,4.515995e-07,5.584590e-07,5.810834e-07,6.755758e-07,7.402923e-07,8.022185e-07,9.153420e-07,9.375381e-07,1.080585e-06,1.104122e-06,1.230335e-06,1.304285e-06,1.385725e-06,1.513376e-06,1.545681e-06,1.709150e-06,1.728954e-06,1.875121e-06,1.948694e-06,2.042646e-06,2.170465e-06,2.210854e-06,2.378954e-06,2.392375e-06,2.546243e-06,2.612791e-06,2.712106e-06,2.830341e-06,2.876008e-06,3.037494e-06,3.043898e-06,3.196183e-06,3.252564e-06,3.351759e-06,3.455637e-06,3.503962e-06,3.652589e-06,3.797479e-06,3.843034e-06,3.938512e-06,4.026708e-06,4.075602e-06,4.203446e-06,4.208693e-06,4.337751e-06,4.373162e-06,4.462765e-06,4.535834e-06,4.583742e-06,4.691493e-06,4.700702e-06,4.813680e-06,4.840206e-06,4.922718e-06,4.982077e-06,5.027868e-06,5.117230e-06,5.129188e-06,5.226744e-06,5.245809e-06,5.320604e-06,5.367974e-06,5.410840e-06,5.483892e-06,5.497527e-06,5.580742e-06,5.593740e-06,5.660565e-06,5.697698e-06,5.737074e-06,5.795951e-06,5.810352e-06,5.880477e-06,5.888685e-06,5.947533e-06,5.976085e-06,6.011598e-06,6.058338e-06,6.072755e-06,6.131081e-06,6.135628e-06,6.186657e-06,6.208135e-06,6.239561e-06,6.276040e-06,6.289870e-06,6.337659e-06,6.339519e-06,6.383004e-06,6.398744e-06,6.425978e-06,6.453884e-06,6.466655e-06,6.505104e-06,6.541396e-06,6.552566e-06,6.575600e-06,6.596425e-06,6.607781e-06,6.636834e-06,6.638006e-06,6.666339e-06,6.673941e-06,6.692842e-06,6.707891e-06,6.717576e-06,6.738821e-06,6.740602e-06,6.761977e-06,6.766868e-06,6.781758e-06,6.792161e-06,6.800002e-06,6.814827e-06,6.816762e-06,6.832090e-06,6.834988e-06,6.846038e-06,6.852762e-06,6.858656e-06,6.868263e-06,6.869993e-06,6.880095e-06,6.881599e-06,6.889008e-06,6.892878e-06,6.896778e-06,6.902199e-06,6.903447e-06,6.909059e-06,6.909663e-06,6.913653e-06,6.915362e-06,6.917270e-06,6.919389e-06,6.919948e-06,6.921726e-06,6.921830e-06,6.922638e-06,6.922769e-06,6.922721e-06,6.922287e-06,6.922009e-06,6.920535e-06,6.920460e-06,6.918331e-06,6.917364e-06,6.915428e-06,6.913070e-06,6.911856e-06,6.907645e-06,6.901156e-06,6.893665e-06,6.885232e-06,6.875915e-06,6.865768e-06,6.854846e-06,6.843197e-06,6.830871e-06,6.817913e-06,6.804367e-06,6.790276e-06,6.775680e-06,6.760616e-06,6.745122e-06,6.729232e-06,6.712980e-06,6.696397e-06,6.679513e-06,6.662357e-06,6.644956e-06,6.627337e-06,6.609523e-06,6.591539e-06,6.573406e-06
0.000000e+00,6.950708e-12,4.472565e-11,6.017623e-10,2.939193e-09,5.829906e-09,2.328531e-08,2.441822e-08,6.702343e-08,8.470406e-08,1.442058e-07,2.114222e-07,2.663514e-07,4.276216e-07,4.441466e-07,6.878744e-07,7.570421e-07,1.003812e-06,1.211541e-06,1.388637e-06,1.772792e-06,1.827665e-06,2.300180e-06,2.396906e-06,2.786666e-06,3.040098e-06,3.272502e-06,3.672843e-06,3.747916e-06,4.206543e-06,4.278057e-06,4.644065e-06,4.845636e-06,5.057384e-06,5.369054e-06,5.444216e-06,5.802955e-06,5.844062e-06,6.132605e-06,6.268309e-06,6.432754e-06,6.641202e-06,6.703538e-06,6.945576e-06,6.963726e-06,7.159898e-06,7.238161e-06,7.347860e-06,7.467756e-06,7.511052e-06,7.651223e-06,7.656377e-06,7.770201e-06,7.808202e-06,7.869835e-06,7.927467e-06,7.951943e-06,8.018276e-06,8.070489e-06,8.084471e-06,8.110127e-06,8.129558e-06,8.138613e-06,8.156675e-06,8.157246e-06,8.167198e-06,8.168575e-06,8.169521e-06,8.167648e-06,8.165154e-06,8.155950e-06,8.154935e-06,8.139607e-06,8.135242e-06,8.119823e-06,8.107015e-06,8.096159e-06,8.072533e-06,8.069127e-06,8.039176e-06,8.032871e-06,8.006702e-06,7.988937e-06,7.972055e-06,7.941494e-06,7.935537e-06,7.897416e-06,7.891184e-06,7.857927e-06,7.838548e-06,7.817279e-06,7.784054e-06,7.775661e-06,7.733237e-06,7.728099e-06,7.690154e-06,7.671022e-06,7.646540e-06,7.613109e-06,7.602509e-06,7.558167e-06,7.554609e-06,7.513605e-06,7.495738e-06,7.468908e-06,7.436684e-06,7.424149e-06,7.379395e-06,7.377605e-06,7.334703e-06,7.318640e-06,7.290128e-06,7.259909e-06,7.245719e-06,7.201519e-06,7.157567e-06,7.143560e-06,7.113898e-06,7.086112e-06,7.070543e-06,7.029243e-06,7.027529e-06,6.984882e-06,6.973010e-06,6.942624e-06,6.917464e-06,6.900774e-06,6.862648e-06,6.859350e-06,6.818368e-06,6.808600e-06,6.777841e-06,6.755349e-06,6.737781e-06,6.702922e-06,6.698197e-06,6.659100e-06,6.651339e-06,6.620496e-06,6.600619e-06,6.582391e-06,6.550773e-06,6.544791e-06,6.507700e-06,6.501813e-06,6.471121e-06,6.453746e-06,6.435056e-06,6.406575e-06,6.399507e-06,6.364473e-06,6.360304e-06,6.329956e-06,6.314932e-06,6.295955e-06,6.270458e-06,6.262468e-06,6.229495e-06,6.226879e-06,6.197032e-06,6.184189e-06,6.165077e-06,6.142382e-06,6.133627e-06,6.102679e-06,6.101451e-06,6.072229e-06,6.061389e-06,6.042274e-06,6.022184e-06,6.012808e-06,5.983828e-06,5.946310e-06,5.909619e-06,5.873742e-06,5.838668e-06,5.804383e-06,5.770876e-06,5.738133e-06,5.706140e-06,5.674884e-06,5.644352e-06,5.614529e-06,5.585403e-06,5.556959e-06,5.529184e-06,5.502063e-06,5.475584e-06,5.449734e-06,5.424498e-06,5.399863e-06,5.375817e-06,5.352346e-06,5.329437e-06,5.307079e-06,5.285258e-06
0.000000e+00,4.808076e-11,1.466597e-10,6.766910e-10,1.754599e-09,2.682354e-09,6.576335e-09,6.789500e-09,1.366882e-08,1.617984e-08,2.396439e-08,3.204541e-08,3.830961e-08,5.561586e-08,5.732256e-08,8.156818e-08,8.821769e-08,1.114716e-07,1.307587e-07,1.471764e-07,1.831768e-07,1.883922e-07,2.343488e-07,2.440152e-07,2.839471e-07,3.107850e-07,3.360157e-07,3.808889e-07,3.895048e-07,4.435512e-07,4.522022e-07,4.974660e-07,5.231326e-07,5.506997e-07,5.924965e-07,6.028107e-07,6.534436e-07,6.594061e-07,7.023149e-07,7.232012e-07,7.492037e-07,7.834097e-07,7.939447e-07,8.364223e-07,8.397203e-07,8.765635e-07,8.919569e-07,9.143335e-07,9.400571e-07,9.497297e-07,9.827759e-07,9.840494e-07,1.013518e-06,1.024032e-06,1.042018e-06,1.060156e-06,1.068353e-06,1.092608e-06,1.114874e-06,1.121594e-06,1.135247e-06,1.147338e-06,1.153826e-06,1.170064e-06,1.170707e-06,1.185989e-06,1.189995e-06,1.199767e-06,1.207349e-06,1.212131e-06,1.222335e-06,1.223171e-06,1.232973e-06,1.235150e-06,1.241617e-06,1.245981e-06,1.249180e-06,1.255000e-06,1.255736e-06,1.261353e-06,1.262370e-06,1.266097e-06,1.268239e-06,1.270028e-06,1.272745e-06,1.273204e-06,1.275680e-06,1.276014e-06,1.277504e-06,1.278163e-06,1.278725e-06,1.279297e-06,1.279387e-06,1.279531e-06,1.279515e-06,1.279195e-06,1.278905e-06,1.278417e-06,1.277550e-06,1.277229e-06,1.275663e-06,1.275522e-06,1.273748e-06,1.272891e-06,1.271512e-06,1.269717e-06,1.268980e-06,1.266176e-06,1.266059e-06,1.263123e-06,1.261967e-06,1.259841e-06,1.257488e-06,1.256349e-06,1.252666e-06,1.248808e-06,1.247539e-06,1.244791e-06,1.242143e-06,1.240630e-06,1.236512e-06,1.236338e-06,1.231928e-06,1.230674e-06,1.227413e-06,1.224657e-06,1.222802e-06,1.218485e-06,1.218107e-06,1.213336e-06,1.212181e-06,1.208500e-06,1.205766e-06,1.203606e-06,1.199258e-06,1.198663e-06,1.193676e-06,1.192674e-06,1.188654e-06,1.186031e-06,1.183603e-06,1.179341e-06,1.178527e-06,1.173434e-06,1.172618e-06,1.168328e-06,1.165873e-06,1.163213e-06,1.159118e-06,1.158094e-06,1.152976e-06,1.152362e-06,1.147861e-06,1.145613e-06,1.142755e-06,1.138880e-06,1.137658e-06,1.132576e-06,1.132170e-06,1.127511e-06,1.125490e-06,1.122465e-06,1.118845e-06,1.117440e-06,1.112439e-06,1.112240e-06,1.107465e-06,1.105681e-06,1.102518e-06,1.099172e-06,1.097602e-06,1.092716e-06,1.086317e-06,1.079979e-06,1.073704e-06,1.067494e-06,1.061352e-06,1.055279e-06,1.049277e-06,1.043347e-06,1.037491e-06,1.031710e-06,1.026003e-06,1.020373e-06,1.014820e-06,1.009343e-06,1.003944e-06,9.986221e-07,9.933774e-07,9.882100e-07,9.831196e-07,9.781062e-07,9.731693e-07,9.683087e-07,9.635238e-07,9.588142e-07
0.000000e+00,6.149094e-12,4.147489e-11,6.110263e-10,3.214760e-09,6.619618e-09,2.881025e-08,3.030805e-08,8.924462e-08,1.147005e-07,2.029104e-07,3.057095e-07,3.914014e-07,6.489156e-07,6.756988e-07,1.077637e-06,1.193937e-06,1.617069e-06,1.983921e-06,2.305065e-06,3.030568e-06,3.137599e-06,4.096510e-06,4.301290e-06,5.156874e-06,5.740101e-06,6.294239e-06,7.293894e-06,7.487942e-06,8.721252e-06,8.921299e-06,9.980261e-06,1.059008e-05,1.125275e-05,1.227288e-05,1.252750e-05,1.379395e-05,1.394489e-05,1.504219e-05,1.558324e-05,1.626300e-05,1.716730e-05,1.744803e-05,1.858994e-05,1.867923e-05,1.968245e-05,2.010445e-05,2.072048e-05,2.143188e-05,2.170010e-05,2.261850e-05,2.265393e-05,2.347397e-05,2.376637e-05,2.426578e-05,2.476787e-05,2.499404e-05,2.565964e-05,2.626405e-05,2.644486e-05,2.680928e-05,2.712825e-05,2.729770e-05,2.771565e-05,2.773202e-05,2.811511e-05,2.821361e-05,2.844998e-05,2.862903e-05,2.873970e-05,2.896900e-05,2.898733e-05,2.919590e-05,2.924047e-05,2.936834e-05,2.945019e-05,2.950750e-05,2.960459e-05,2.961609e-05,2.969669e-05,2.970966e-05,2.975171e-05,2.977099e-05,2.978345e-05,2.979368e-05,2.979403e-05,2.978544e-05,2.978242e-05,2.975952e-05,2.974142e-05,2.971794e-05,2.967446e-05,2.966227e-05,2.959394e-05,2.958496e-05,2.951427e-05,2.947594e-05,2.942447e-05,2.935012e-05,2.932564e-05,2.921878e-05,2.920991e-05,2.910481e-05,2.905742e-05,2.898457e-05,2.889454e-05,2.885882e-05,2.872827e-05,2.872296e-05,2.859354e-05,2.854413e-05,2.845522e-05,2.835937e-05,2.831381e-05,2.816980e-05,2.802363e-05,2.797646e-05,2.787568e-05,2.778022e-05,2.772631e-05,2.758188e-05,2.757584e-05,2.742458e-05,2.738212e-05,2.727278e-05,2.718154e-05,2.712069e-05,2.698069e-05,2.696852e-05,2.681647e-05,2.678002e-05,2.666473e-05,2.657995e-05,2.651345e-05,2.638083e-05,2.636279e-05,2.621287e-05,2.618298e-05,2.606381e-05,2.598667e-05,2.591571e-05,2.579214e-05,2.576869e-05,2.562281e-05,2.559959e-05,2.547817e-05,2.540920e-05,2.533482e-05,2.522112e-05,2.519283e-05,2.505225e-05,2.503548e-05,2.491314e-05,2.485240e-05,2.477552e-05,2.467196e-05,2.463944e-05,2.450493e-05,2.449424e-05,2.437202e-05,2.431930e-05,2.424072e-05,2.414720e-05,2.411106e-05,2.398306e-05,2.397797e-05,2.385672e-05,2.381164e-05,2.373205e-05,2.364823e-05,2.360906e-05,2.348776e-05,2.333022e-05,2.317562e-05,2.302395e-05,2.287520e-05,2.272935e-05,2.258638e-05,2.244626e-05,2.230898e-05,2.217449e-05,2.204277e-05,2.191379e-05,2.178751e-05,2.166388e-05,2.154288e-05,2.142447e-05,2.130859e-05,2.119522e-05,2.108431e-05,2.097581e-05,2.086969e-05,2.076590e-05,2.066440e-05,2.056515e-05,2.046810e-05
0.000000e+00,1.425868e-11,8.175935e-11,8.972680e-10,3.787849e-09,7.039348e-09,2.480215e-08,2.590701e-08,6.619779e-08,8.263797e-08,1.379311e-07,2.009154e-07,2.528745e-07,4.067696e-07,4.225521e-07,6.527499e-07,7.168125e-07,9.403517e-07,1.123411e-06,1.276986e-06,1.606862e-06,1.653981e-06,2.064182e-06,2.149673e-06,2.501682e-06,2.738204e-06,2.961197e-06,3.360518e-06,3.437696e-06,3.926294e-06,4.005274e-06,4.422278e-06,4.661655e-06,4.921201e-06,5.319696e-06,5.418978e-06,5.911964e-06,5.970645e-06,6.396996e-06,6.607185e-06,6.871407e-06,7.223498e-06,7.333020e-06,7.780140e-06,7.815243e-06,8.211496e-06,8.379408e-06,8.626177e-06,8.914088e-06,9.023608e-06,9.403479e-06,9.418307e-06,9.765697e-06,9.891788e-06,1.011036e-05,1.033483e-05,1.043772e-05,1.074811e-05,1.104196e-05,1.113258e-05,1.131976e-05,1.148938e-05,1.158204e-05,1.181974e-05,1.182935e-05,1.206229e-05,1.212501e-05,1.228144e-05,1.240654e-05,1.248737e-05,1.266567e-05,1.268068e-05,1.286194e-05,1.290371e-05,1.303169e-05,1.312193e-05,1.319048e-05,1.332157e-05,1.333884e-05,1.347727e-05,1.350381e-05,1.360626e-05,1.366976e-05,1.372627e-05,1.382049e-05,1.383777e-05,1.394117e-05,1.395700e-05,1.403690e-05,1.408024e-05,1.412534e-05,1.419110e-05,1.420687e-05,1.428184e-05,1.429042e-05,1.435061e-05,1.437898e-05,1.441349e-05,1.445754e-05,1.447080e-05,1.452283e-05,1.452678e-05,1.456987e-05,1.458734e-05,1.461217e-05,1.463984e-05,1.465000e-05,1.468359e-05,1.468485e-05,1.471318e-05,1.472289e-05,1.473898e-05,1.475447e-05,1.476120e-05,1.478005e-05,1.479569e-05,1.480006e-05,1.480832e-05,1.481490e-05,1.481811e-05,1.482497e-05,1.482520e-05,1.482977e-05,1.483061e-05,1.483194e-05,1.483215e-05,1.483186e-05,1.482990e-05,1.482965e-05,1.482545e-05,1.482416e-05,1.481937e-05,1.481518e-05,1.481152e-05,1.480323e-05,1.480201e-05,1.479093e-05,1.478854e-05,1.477839e-05,1.477132e-05,1.476447e-05,1.475178e-05,1.474926e-05,1.473285e-05,1.473011e-05,1.471530e-05,1.470650e-05,1.469670e-05,1.468110e-05,1.467711e-05,1.465660e-05,1.465408e-05,1.463523e-05,1.462557e-05,1.461307e-05,1.459573e-05,1.459017e-05,1.456658e-05,1.456466e-05,1.454235e-05,1.453249e-05,1.451754e-05,1.449934e-05,1.449219e-05,1.446634e-05,1.446530e-05,1.444004e-05,1.443047e-05,1.441332e-05,1.439493e-05,1.438623e-05,1.435879e-05,1.432210e-05,1.428495e-05,1.424740e-05,1.420952e-05,1.417137e-05,1.413299e-05,1.409445e-05,1.405578e-05,1.401704e-05,1.397827e-05,1.393950e-05,1.390077e-05,1.386211e-05,1.382355e-05,1.378513e-05,1.374686e-05,1.370878e-05,1.367090e-05,1.363325e-05,1.359584e-05,1.355870e-05,1.352183e-05,1.348526e-05,1.344900e-05
0.000000e+00,2.189183e-12,1.639932e-11,2.968410e-10,1.857071e-09,4.179977e-09,2.244081e-08,2.379537e-08,8.380533e-08,1.125562e-07,2.205741e-07,3.580540e-07,4.794886e-07,8.705056e-07,9.129428e-07,1.578939e-06,1.780113e-06,2.537663e-06,3.223184e-06,3.843305e-06,5.309446e-06,5.533198e-06,7.620847e-06,8.085623e-06,1.009694e-05,1.152998e-05,1.293601e-05,1.557661e-05,1.610411e-05,1.956434e-05,2.014260e-05,2.327966e-05,2.514294e-05,2.721381e-05,3.049484e-05,3.133134e-05,3.559738e-05,3.611765e-05,3.997766e-05,4.193249e-05,4.443862e-05,4.786289e-05,4.894780e-05,5.347423e-05,5.383621e-05,5.798888e-05,5.978538e-05,6.246506e-05,6.565044e-05,6.687865e-05,7.120836e-05,7.137954e-05,7.543576e-05,7.692949e-05,7.954527e-05,8.226574e-05,8.352405e-05,8.736191e-05,9.105098e-05,9.219908e-05,9.458556e-05,9.676478e-05,9.796184e-05,1.010522e-04,1.011777e-04,1.042325e-04,1.050590e-04,1.071267e-04,1.087869e-04,1.098621e-04,1.122404e-04,1.124411e-04,1.148668e-04,1.154266e-04,1.171430e-04,1.183538e-04,1.192737e-04,1.210321e-04,1.212636e-04,1.231172e-04,1.234720e-04,1.248394e-04,1.256847e-04,1.264352e-04,1.276816e-04,1.279095e-04,1.292674e-04,1.294742e-04,1.305137e-04,1.310738e-04,1.316534e-04,1.324916e-04,1.326913e-04,1.336319e-04,1.337385e-04,1.344800e-04,1.348250e-04,1.352400e-04,1.357613e-04,1.359161e-04,1.365126e-04,1.365570e-04,1.370334e-04,1.372215e-04,1.374826e-04,1.377636e-04,1.378637e-04,1.381804e-04,1.381918e-04,1.384362e-04,1.385140e-04,1.386343e-04,1.387378e-04,1.387781e-04,1.388704e-04,1.389143e-04,1.389186e-04,1.389125e-04,1.388886e-04,1.388677e-04,1.387867e-04,1.387825e-04,1.386593e-04,1.386183e-04,1.385004e-04,1.383888e-04,1.383080e-04,1.381033e-04,1.380843e-04,1.378313e-04,1.377664e-04,1.375509e-04,1.373826e-04,1.372449e-04,1.369559e-04,1.369152e-04,1.365632e-04,1.364903e-04,1.361907e-04,1.359893e-04,1.357991e-04,1.354564e-04,1.353898e-04,1.349643e-04,1.348947e-04,1.345237e-04,1.343072e-04,1.340693e-04,1.336967e-04,1.336023e-04,1.331238e-04,1.330656e-04,1.326348e-04,1.324165e-04,1.321362e-04,1.317516e-04,1.316291e-04,1.311144e-04,1.310729e-04,1.305927e-04,1.303823e-04,1.300650e-04,1.296818e-04,1.295320e-04,1.289945e-04,1.289729e-04,1.284529e-04,1.282572e-04,1.279081e-04,1.275361e-04,1.273606e-04,1.268109e-04,1.260830e-04,1.253534e-04,1.246231e-04,1.238932e-04,1.231645e-04,1.224378e-04,1.217138e-04,1.209934e-04,1.202770e-04,1.195653e-04,1.188587e-04,1.181578e-04,1.174629e-04,1.167745e-04,1.160928e-04,1.154183e-04,1.147511e-04,1.140915e-04,1.134398e-04,1.127960e-04,1.121605e-04,1.115332e-04,1.109143e-04,1.103040e-04
0.000000e+00,9.460700e-12,2.213816e-11,7.770421e-11,1.783334e-10,2.611162e-10,5.981437e-10,6.164219e-10,1.207512e-09,1.425349e-09,2.111180e-09,2.841197e-09,3.419661e-09,5.070021e-09,5.236528e-09,7.659600e-09,8.339105e-09,1.074514e-08,1.275634e-08,1.446596e-08,1.817344e-08,1.870399e-08,2.329594e-08,2.424275e-08,2.808885e-08,3.062031e-08,3.296603e-08,3.706793e-08,3.784653e-08,4.267536e-08,4.344045e-08,4.741429e-08,4.964855e-08,5.203535e-08,5.563273e-08,5.651703e-08,6.084203e-08,6.134980e-08,6.499627e-08,6.676702e-08,6.896838e-08,7.185980e-08,7.274944e-08,7.633286e-08,7.661085e-08,7.971434e-08,8.100984e-08,8.289171e-08,8.505286e-08,8.586479e-08,8.863525e-08,8.874190e-08,9.120634e-08,9.208397e-08,9.358268e-08,9.509030e-08,9.577013e-08,9.777542e-08,9.960594e-08,1.001561e-07,1.012696e-07,1.022505e-07,1.027746e-07,1.040781e-07,1.041295e-07,1.053429e-07,1.056584e-07,1.064231e-07,1.070107e-07,1.073785e-07,1.081542e-07,1.082172e-07,1.089471e-07,1.091070e-07,1.095758e-07,1.098864e-07,1.101105e-07,1.105087e-07,1.105580e-07,1.109249e-07,1.109891e-07,1.112173e-07,1.113419e-07,1.114410e-07,1.115799e-07,1.116015e-07,1.117038e-07,1.117151e-07,1.117525e-07,1.117582e-07,1.117521e-07,1.117192e-07,1.117067e-07,1.116200e-07,1.116070e-07,1.114957e-07,1.114300e-07,1.113370e-07,1.111953e-07,1.111469e-07,1.109283e-07,1.109096e-07,1.106837e-07,1.105791e-07,1.104155e-07,1.102089e-07,1.101258e-07,1.098166e-07,1.098038e-07,1.094900e-07,1.093686e-07,1.091480e-07,1.089073e-07,1.087919e-07,1.084234e-07,1.080437e-07,1.079201e-07,1.076543e-07,1.074005e-07,1.072562e-07,1.068670e-07,1.068506e-07,1.064384e-07,1.063219e-07,1.060205e-07,1.057675e-07,1.055979e-07,1.052054e-07,1.051712e-07,1.047412e-07,1.046376e-07,1.043085e-07,1.040654e-07,1.038739e-07,1.034902e-07,1.034378e-07,1.030008e-07,1.029133e-07,1.025633e-07,1.023358e-07,1.021259e-07,1.017587e-07,1.016888e-07,1.012525e-07,1.011828e-07,1.008174e-07,1.006090e-07,1.003836e-07,1.000379e-07,9.995162e-08,9.952161e-08,9.947015e-08,9.909383e-08,9.890638e-08,9.866852e-08,9.834706e-08,9.824587e-08,9.782608e-08,9.779262e-08,9.740930e-08,9.724347e-08,9.699570e-08,9.669996e-08,9.658542e-08,9.617857e-08,9.616237e-08,9.577527e-08,9.563097e-08,9.537562e-08,9.510600e-08,9.497972e-08,9.458764e-08,9.407608e-08,9.357145e-08,9.307388e-08,9.258348e-08,9.210031e-08,9.162445e-08,9.115593e-08,9.069479e-08,9.024105e-08,8.979470e-08,8.935575e-08,8.892417e-08,8.849994e-08,8.808304e-08,8.767340e-08,8.727100e-08,8.687578e-08,8.648769e-08,8.610666e-08,8.573261e-08,8.536550e-08,8.500524e-08,8.465175e-08,8.430495e-08
0.000000e+00,1.616384e-13,1.297429e-12,2.698851e-11,1.906386e-10,4.576006e-10,2.876758e-09,3.069238e-09,1.247602e-08,1.738133e-08,3.717666e-08,6.445946e-08,8.989691e-08,1.774948e-07,1.874016e-07,3.499977e-07,4.012166e-07,6.005762e-07,7.881492e-07,9.626170e-07,1.389989e-06,1.456813e-06,2.097107e-06,2.243261e-06,2.887779e-06,3.356719e-06,3.822741e-06,4.708877e-06,4.887040e-06,6.059600e-06,6.255657e-06,7.316181e-06,7.941842e-06,8.631864e-06,9.710861e-06,9.982784e-06,1.134717e-05,1.151086e-05,1.270580e-05,1.329743e-05,1.404220e-05,1.503440e-05,1.534256e-05,1.659566e-05,1.669358e-05,1.779264e-05,1.825416e-05,1.892685e-05,1.970192e-05,1.999362e-05,2.099005e-05,2.102842e-05,2.191477e-05,2.223007e-05,2.276774e-05,2.330727e-05,2.355001e-05,2.426349e-05,2.491079e-05,2.510444e-05,2.549500e-05,2.583736e-05,2.601956e-05,2.647038e-05,2.648809e-05,2.690433e-05,2.701201e-05,2.727200e-05,2.747082e-05,2.759477e-05,2.785509e-05,2.787616e-05,2.811955e-05,2.817266e-05,2.832812e-05,2.843084e-05,2.850487e-05,2.863628e-05,2.865256e-05,2.877378e-05,2.879505e-05,2.887088e-05,2.891257e-05,2.894605e-05,2.899369e-05,2.900126e-05,2.903835e-05,2.904271e-05,2.905896e-05,2.906344e-05,2.906460e-05,2.905925e-05,2.905664e-05,2.903632e-05,2.903311e-05,2.900479e-05,2.898763e-05,2.896307e-05,2.892512e-05,2.891209e-05,2.885271e-05,2.884763e-05,2.878571e-05,2.875693e-05,2.871179e-05,2.865464e-05,2.863159e-05,2.854570e-05,2.854215e-05,2.845465e-05,2.842071e-05,2.835895e-05,2.829144e-05,2.825903e-05,2.815532e-05,2.804817e-05,2.801322e-05,2.793796e-05,2.786595e-05,2.782498e-05,2.771420e-05,2.770954e-05,2.759191e-05,2.755861e-05,2.747233e-05,2.739975e-05,2.735104e-05,2.723813e-05,2.722825e-05,2.710416e-05,2.707420e-05,2.697894e-05,2.690838e-05,2.685276e-05,2.674106e-05,2.672578e-05,2.659815e-05,2.657256e-05,2.647000e-05,2.640319e-05,2.634144e-05,2.623324e-05,2.621261e-05,2.608360e-05,2.606295e-05,2.595452e-05,2.589256e-05,2.582545e-05,2.572226e-05,2.569648e-05,2.556770e-05,2.555226e-05,2.543917e-05,2.538272e-05,2.531097e-05,2.521379e-05,2.518315e-05,2.505579e-05,2.504562e-05,2.492892e-05,2.487833e-05,2.480261e-05,2.471203e-05,2.467690e-05,2.455183e-05,2.454684e-05,2.442745e-05,2.438284e-05,2.430378e-05,2.422012e-05,2.418088e-05,2.405876e-05,2.389881e-05,2.374035e-05,2.358342e-05,2.342808e-05,2.327436e-05,2.312231e-05,2.297195e-05,2.282331e-05,2.267642e-05,2.253129e-05,2.238795e-05,2.224639e-05,2.210665e-05,2.196871e-05,2.183258e-05,2.169828e-05,2.156579e-05,2.143512e-05,2.130625e-05,2.117920e-05,2.105394e-05,2.093048e-05,2.080879e-05,2.068888e-05
0.000000e+00,6.205422e-15,5.572218e-14,1.464337e-12,1.281451e-11,3.461046e-11,2.953103e-10,3.190113e-10,1.755816e-09,2.655597e-09,6.977178e-09,1.427132e-08,2.215192e-08,5.542243e-08,5.969653e-08,1.419814e-07,1.721189e-07,3.060455e-07,4.539996e-07,6.092204e-07,1.056967e-06,1.135417e-06,2.001705e-06,2.228794e-06,3.364749e-06,4.334994e-06,5.426683e-06,7.881992e-06,8.440036e-06,1.271144e-05,1.353507e-05,1.860388e-05,2.212918e-05,2.653728e-05,3.467147e-05,3.698752e-05,5.048368e-05,5.233487e-05,6.760366e-05,7.644308e-05,8.896832e-05,1.084472e-04,1.152342e-04,1.470848e-04,1.498950e-04,1.852215e-04,2.023950e-04,2.303529e-04,2.675750e-04,2.831843e-04,3.444067e-04,3.470396e-04,4.146855e-04,4.423254e-04,4.946501e-04,5.548582e-04,5.848835e-04,6.859127e-04,7.982003e-04,8.365760e-04,9.221365e-04,1.007716e-03,1.058033e-03,1.199958e-03,1.206118e-03,1.366531e-03,1.413665e-03,1.539323e-03,1.648926e-03,1.724451e-03,1.905554e-03,1.921785e-03,2.131100e-03,2.183086e-03,2.352088e-03,2.480796e-03,2.584354e-03,2.797704e-03,2.827426e-03,3.080756e-03,3.132600e-03,3.343730e-03,3.484066e-03,3.615672e-03,3.850501e-03,3.895851e-03,4.183492e-03,4.230152e-03,4.477776e-03,4.621145e-03,4.777857e-03,5.021510e-03,5.082863e-03,5.391905e-03,5.429219e-03,5.704086e-03,5.842209e-03,6.018507e-03,6.258414e-03,6.334273e-03,6.650499e-03,6.675791e-03,6.966318e-03,7.092341e-03,7.280883e-03,7.506133e-03,7.593376e-03,7.903007e-03,7.915322e-03,8.209023e-03,8.318165e-03,8.510708e-03,8.713032e-03,8.807385e-03,9.098422e-03,9.383230e-03,9.472963e-03,9.661267e-03,9.835425e-03,9.932036e-03,1.018472e-02,1.019509e-02,1.045002e-02,1.051989e-02,1.069647e-02,1.084015e-02,1.093414e-02,1.114481e-02,1.116276e-02,1.138210e-02,1.143335e-02,1.159200e-02,1.170536e-02,1.179231e-02,1.196056e-02,1.198292e-02,1.216380e-02,1.219880e-02,1.233489e-02,1.242000e-02,1.249622e-02,1.262422e-02,1.264783e-02,1.278977e-02,1.281159e-02,1.292215e-02,1.298233e-02,1.304509e-02,1.313674e-02,1.315873e-02,1.326323e-02,1.327516e-02,1.335877e-02,1.339803e-02,1.344556e-02,1.350580e-02,1.352381e-02,1.359373e-02,1.359897e-02,1.365558e-02,1.367811e-02,1.370959e-02,1.374377e-02,1.375602e-02,1.379513e-02,1.379655e-02,1.382719e-02,1.383706e-02,1.385247e-02,1.386591e-02,1.387122e-02,1.388374e-02,1.389117e-02,1.388882e-02,1.387731e-02,1.385724e-02,1.382921e-02,1.379380e-02,1.375157e-02,1.370308e-02,1.364883e-02,1.358935e-02,1.352511e-02,1.345658e-02,1.338420e-02,1.330838e-02,1.322952e-02,1.314800e-02,1.306417e-02,1.297835e-02,1.289086e-02,1.280199e-02,1.271201e-02,1.262116e-02,1.252969e-02,1.243780e-02
0.000000e+00,2.727203e-10,7.450622e-10,3.072210e-09,7.597307e-09,1.143825e-08,2.753313e-08,2.841869e-08,5.742942e-08,6.824386e-08,1.025026e-07,1.390192e-07,1.677403e-07,2.472171e-07,2.549731e-07,3.619143e-07,3.900479e-07,4.844463e-07,5.585576e-07,6.191550e-07,7.457903e-07,7.635627e-07,9.156635e-07,9.468436e-07,1.073615e-06,1.157465e-06,1.235624e-06,1.373561e-06,1.399935e-06,1.564867e-06,1.591207e-06,1.728855e-06,1.806814e-06,1.890491e-06,2.017274e-06,2.048546e-06,2.201992e-06,2.220054e-06,2.349992e-06,2.413214e-06,2.491900e-06,2.595380e-06,2.627244e-06,2.755704e-06,2.765677e-06,2.877093e-06,2.923648e-06,2.991337e-06,3.069176e-06,3.098454e-06,3.198537e-06,3.202396e-06,3.291736e-06,3.323639e-06,3.378246e-06,3.433366e-06,3.458292e-06,3.532126e-06,3.600012e-06,3.620523e-06,3.662222e-06,3.699187e-06,3.719035e-06,3.768752e-06,3.770725e-06,3.817566e-06,3.829848e-06,3.859823e-06,3.883087e-06,3.897758e-06,3.929056e-06,3.931621e-06,3.961654e-06,3.968318e-06,3.988088e-06,4.001403e-06,4.011146e-06,4.028812e-06,4.031038e-06,4.047965e-06,4.051011e-06,4.062116e-06,4.068439e-06,4.073675e-06,4.081507e-06,4.082814e-06,4.089697e-06,4.090600e-06,4.094479e-06,4.096071e-06,4.097305e-06,4.098250e-06,4.098312e-06,4.097631e-06,4.097441e-06,4.095384e-06,4.093930e-06,4.091688e-06,4.087977e-06,4.086652e-06,4.080376e-06,4.079824e-06,4.072959e-06,4.069694e-06,4.064492e-06,4.057792e-06,4.055058e-06,4.044739e-06,4.044308e-06,4.033606e-06,4.029414e-06,4.021732e-06,4.013268e-06,4.009182e-06,3.996020e-06,3.982302e-06,3.977803e-06,3.968082e-06,3.958742e-06,3.953411e-06,3.938947e-06,3.938337e-06,3.922903e-06,3.918522e-06,3.907151e-06,3.897563e-06,3.891120e-06,3.876156e-06,3.874845e-06,3.858362e-06,3.854379e-06,3.841701e-06,3.832304e-06,3.824891e-06,3.809998e-06,3.807960e-06,3.790934e-06,3.787519e-06,3.773836e-06,3.764924e-06,3.756688e-06,3.742260e-06,3.739511e-06,3.722323e-06,3.719573e-06,3.705143e-06,3.696905e-06,3.687988e-06,3.674290e-06,3.670871e-06,3.653807e-06,3.651764e-06,3.636809e-06,3.629354e-06,3.619889e-06,3.607089e-06,3.603058e-06,3.586326e-06,3.584992e-06,3.569702e-06,3.563085e-06,3.553195e-06,3.541386e-06,3.536812e-06,3.520560e-06,3.519913e-06,3.504446e-06,3.498680e-06,3.488476e-06,3.477701e-06,3.472655e-06,3.456988e-06,3.436549e-06,3.416394e-06,3.396529e-06,3.376962e-06,3.357696e-06,3.338736e-06,3.320085e-06,3.301744e-06,3.283717e-06,3.266003e-06,3.248602e-06,3.231515e-06,3.214741e-06,3.198278e-06,3.182125e-06,3.166280e-06,3.150740e-06,3.135503e-06,3.120566e-06,3.105925e-06,3.091578e-06,3.077520e-06,3.063749e-06,3.050260e-06
0.000000e+00,8.385846e-12,5.123852e-11,6.290136e-10,2.878392e-09,5.548283e-09,2.103865e-08,2.202959e-08,5.913949e-08,7.461495e-08,1.274422e-07,1.886843e-07,2.399631e-07,3.962277e-07,4.126617e-07,6.618360e-07,7.343368e-07,9.970847e-07,1.221752e-06,1.415212e-06,1.840838e-06,1.902372e-06,2.441586e-06,2.554313e-06,3.018123e-06,3.328855e-06,3.620867e-06,4.141313e-06,4.241543e-06,4.873647e-06,4.975467e-06,5.511658e-06,5.818527e-06,6.150603e-06,6.659318e-06,6.785865e-06,7.413145e-06,7.487691e-06,8.028487e-06,8.294521e-06,8.628324e-06,9.071886e-06,9.209524e-06,9.769428e-06,9.813232e-06,1.030586e-05,1.051346e-05,1.081711e-05,1.116892e-05,1.130196e-05,1.175958e-05,1.177731e-05,1.218954e-05,1.233753e-05,1.259176e-05,1.284951e-05,1.296643e-05,1.331401e-05,1.363512e-05,1.373242e-05,1.393058e-05,1.410663e-05,1.420130e-05,1.443885e-05,1.444829e-05,1.467261e-05,1.473151e-05,1.487537e-05,1.498714e-05,1.505768e-05,1.520832e-05,1.522067e-05,1.536543e-05,1.539759e-05,1.549306e-05,1.555744e-05,1.560460e-05,1.569025e-05,1.570106e-05,1.578343e-05,1.579830e-05,1.585264e-05,1.588372e-05,1.590958e-05,1.594854e-05,1.595508e-05,1.598996e-05,1.599460e-05,1.601496e-05,1.602367e-05,1.603081e-05,1.603734e-05,1.603817e-05,1.603767e-05,1.603711e-05,1.602990e-05,1.602433e-05,1.601543e-05,1.600027e-05,1.599478e-05,1.596842e-05,1.596608e-05,1.593683e-05,1.592282e-05,1.590042e-05,1.587145e-05,1.585959e-05,1.581473e-05,1.581286e-05,1.576617e-05,1.574785e-05,1.571425e-05,1.567717e-05,1.565926e-05,1.560149e-05,1.554120e-05,1.552142e-05,1.547865e-05,1.543752e-05,1.541405e-05,1.535031e-05,1.534762e-05,1.527956e-05,1.526024e-05,1.521006e-05,1.516773e-05,1.513928e-05,1.507318e-05,1.506739e-05,1.499454e-05,1.497692e-05,1.492086e-05,1.487928e-05,1.484648e-05,1.478055e-05,1.477153e-05,1.469611e-05,1.468098e-05,1.462033e-05,1.458081e-05,1.454427e-05,1.448025e-05,1.446804e-05,1.439171e-05,1.437949e-05,1.431536e-05,1.427872e-05,1.423905e-05,1.417808e-05,1.416285e-05,1.408683e-05,1.407772e-05,1.401104e-05,1.397777e-05,1.393552e-05,1.387834e-05,1.386032e-05,1.378550e-05,1.377953e-05,1.371107e-05,1.368143e-05,1.363710e-05,1.358413e-05,1.356359e-05,1.349060e-05,1.348769e-05,1.341813e-05,1.339218e-05,1.334623e-05,1.329766e-05,1.327490e-05,1.320418e-05,1.311178e-05,1.302049e-05,1.293035e-05,1.284139e-05,1.275363e-05,1.266708e-05,1.258177e-05,1.249770e-05,1.241488e-05,1.233332e-05,1.225303e-05,1.217400e-05,1.209624e-05,1.201973e-05,1.194448e-05,1.187049e-05,1.179774e-05,1.172622e-05,1.165593e-05,1.158686e-05,1.151899e-05,1.145232e-05,1.138682e-05,1.132249e-05
0.000000e+00,2.240089e-12,1.481445e-11,2.104707e-10,1.077291e-09,2.190096e-09,9.292583e-09,9.767841e-09,2.835982e-08,3.637531e-08,6.423601e-08,9.697176e-08,1.245135e-07,2.086872e-07,2.175596e-07,3.531533e-07,3.931825e-07,5.414883e-07,6.731086e-07,7.903701e-07,1.061286e-06,1.101874e-06,1.471386e-06,1.551492e-06,1.889872e-06,2.123447e-06,2.347205e-06,2.754739e-06,2.834371e-06,3.344139e-06,3.427405e-06,3.870871e-06,4.128368e-06,4.410040e-06,4.847728e-06,4.957796e-06,5.510677e-06,5.577212e-06,6.065442e-06,6.309333e-06,6.618994e-06,7.037050e-06,7.168363e-06,7.710720e-06,7.753725e-06,8.243415e-06,8.453228e-06,8.763985e-06,9.130026e-06,9.270201e-06,9.760103e-06,9.779335e-06,1.023199e-05,1.039718e-05,1.068446e-05,1.098047e-05,1.111639e-05,1.152692e-05,1.191545e-05,1.203506e-05,1.228162e-05,1.250417e-05,1.262531e-05,1.293418e-05,1.294660e-05,1.324572e-05,1.332555e-05,1.352304e-05,1.367916e-05,1.377904e-05,1.399623e-05,1.401430e-05,1.422947e-05,1.427819e-05,1.442525e-05,1.452671e-05,1.460244e-05,1.474363e-05,1.476184e-05,1.490433e-05,1.493087e-05,1.503074e-05,1.509040e-05,1.514192e-05,1.522419e-05,1.523875e-05,1.532210e-05,1.533425e-05,1.539290e-05,1.542270e-05,1.545205e-05,1.549153e-05,1.550036e-05,1.553856e-05,1.554250e-05,1.556733e-05,1.557717e-05,1.558732e-05,1.559703e-05,1.559916e-05,1.560340e-05,1.560343e-05,1.560061e-05,1.559764e-05,1.559131e-05,1.558088e-05,1.557601e-05,1.555516e-05,1.555421e-05,1.552918e-05,1.551866e-05,1.549851e-05,1.547517e-05,1.546352e-05,1.542459e-05,1.538204e-05,1.536771e-05,1.533619e-05,1.530525e-05,1.528734e-05,1.523788e-05,1.523577e-05,1.518173e-05,1.516620e-05,1.512548e-05,1.509076e-05,1.506723e-05,1.501206e-05,1.500720e-05,1.494558e-05,1.493057e-05,1.488255e-05,1.484671e-05,1.481829e-05,1.476084e-05,1.475295e-05,1.468668e-05,1.467333e-05,1.461961e-05,1.458447e-05,1.455188e-05,1.449456e-05,1.448360e-05,1.441487e-05,1.440384e-05,1.434581e-05,1.431256e-05,1.427650e-05,1.422093e-05,1.420703e-05,1.413748e-05,1.412913e-05,1.406792e-05,1.403733e-05,1.399843e-05,1.394570e-05,1.392906e-05,1.385988e-05,1.385436e-05,1.379094e-05,1.376344e-05,1.372228e-05,1.367305e-05,1.365396e-05,1.358601e-05,1.358330e-05,1.351847e-05,1.349426e-05,1.345137e-05,1.340602e-05,1.338476e-05,1.331865e-05,1.323220e-05,1.314673e-05,1.306229e-05,1.297892e-05,1.289665e-05,1.281551e-05,1.273552e-05,1.265671e-05,1.257909e-05,1.250267e-05,1.242747e-05,1.235349e-05,1.228074e-05,1.220920e-05,1.213890e-05,1.206982e-05,1.200195e-05,1.193530e-05,1.186986e-05,1.180561e-05,1.174255e-05,1.168066e-05,1.161994e-05,1.156038e-05
0.000000e+00,1.886284e-15,1.679997e-14,4.342057e-13,3.741277e-12,1.001746e-11,8.353018e-11,9.014812e-11,4.845274e-10,7.279951e-10,1.880549e-09,3.792831e-09,5.832501e-09,1.428386e-08,1.535695e-08,3.569337e-08,4.303295e-08,7.520806e-08,1.101728e-07,1.464024e-07,2.491612e-07,2.669626e-07,4.607629e-07,5.109008e-07,7.587232e-07,9.673193e-07,1.199430e-06,1.713779e-06,1.829461e-06,2.703367e-06,2.869876e-06,3.883319e-06,4.578458e-06,5.438435e-06,7.002935e-06,7.443805e-06,9.979284e-06,1.032309e-05,1.312809e-05,1.472975e-05,1.697524e-05,2.041858e-05,2.160591e-05,2.710377e-05,2.758350e-05,3.354929e-05,3.640999e-05,4.101814e-05,4.706857e-05,4.957964e-05,5.929542e-05,5.970884e-05,7.021813e-05,7.445429e-05,8.239041e-05,9.139801e-05,9.584407e-05,1.105994e-04,1.266650e-04,1.320824e-04,1.440370e-04,1.558341e-04,1.626999e-04,1.818053e-04,1.826262e-04,2.037769e-04,2.099120e-04,2.261025e-04,2.400373e-04,2.495432e-04,2.720346e-04,2.740303e-04,2.994869e-04,3.057315e-04,3.258288e-04,3.409336e-04,3.529660e-04,3.774293e-04,3.808036e-04,4.092433e-04,4.149946e-04,4.381838e-04,4.533969e-04,4.675229e-04,4.924004e-04,4.971577e-04,5.269861e-04,5.317698e-04,5.569076e-04,5.712742e-04,5.868243e-04,6.106902e-04,6.166412e-04,6.462675e-04,6.498056e-04,6.756165e-04,6.884211e-04,7.046068e-04,7.263524e-04,7.331622e-04,7.612119e-04,7.634321e-04,7.886913e-04,7.995101e-04,8.155417e-04,8.344546e-04,8.417103e-04,8.671504e-04,8.681522e-04,8.918213e-04,9.005077e-04,9.156883e-04,9.314436e-04,9.387222e-04,9.608993e-04,9.822013e-04,9.888307e-04,1.002615e-03,1.015209e-03,1.022131e-03,1.040018e-03,1.040745e-03,1.058457e-03,1.063255e-03,1.075270e-03,1.084930e-03,1.091192e-03,1.105061e-03,1.106232e-03,1.120402e-03,1.123675e-03,1.133719e-03,1.140809e-03,1.146198e-03,1.156503e-03,1.157860e-03,1.168726e-03,1.170805e-03,1.178816e-03,1.183765e-03,1.188156e-03,1.195438e-03,1.196768e-03,1.204678e-03,1.205880e-03,1.211911e-03,1.215150e-03,1.218493e-03,1.223307e-03,1.224449e-03,1.229806e-03,1.230410e-03,1.234589e-03,1.236518e-03,1.238824e-03,1.241692e-03,1.242536e-03,1.245750e-03,1.245986e-03,1.248489e-03,1.249458e-03,1.250779e-03,1.252162e-03,1.252642e-03,1.254100e-03,1.254150e-03,1.255175e-03,1.255472e-03,1.255889e-03,1.256178e-03,1.256261e-03,1.256312e-03,1.255920e-03,1.255042e-03,1.253717e-03,1.251984e-03,1.249876e-03,1.247427e-03,1.244667e-03,1.241625e-03,1.238327e-03,1.234799e-03,1.231063e-03,1.227142e-03,1.223055e-03,1.218822e-03,1.214458e-03,1.209981e-03,1.205404e-03,1.200742e-03,1.196007e-03,1.191210e-03,1.186362e-03,1.181474e-03,1.176553e-03,1.171608e-03
0.000000e+00,1.653787e-14,1.484160e-13,3.896796e-12,3.407496e-11,9.199720e-11,7.842896e-10,8.472101e-10,4.660373e-09,7.047960e-09,1.851562e-08,3.787555e-08,5.879888e-08,1.472015e-07,1.585651e-07,3.775842e-07,4.579022e-07,8.153465e-07,1.211056e-06,1.626969e-06,2.830225e-06,3.041506e-06,5.381569e-06,5.996779e-06,9.082688e-06,1.172738e-05,1.471065e-05,2.144204e-05,2.297525e-05,3.473924e-05,3.701213e-05,5.102178e-05,6.078120e-05,7.299615e-05,9.555569e-05,1.019816e-04,1.394296e-04,1.445654e-04,1.869060e-04,2.113969e-04,2.460681e-04,2.999055e-04,3.186394e-04,4.063814e-04,4.141092e-04,5.110642e-04,5.580739e-04,6.344367e-04,7.357935e-04,7.781966e-04,9.439618e-04,9.510719e-04,1.133244e-03,1.207412e-03,1.347422e-03,1.507916e-03,1.587722e-03,1.855198e-03,2.150715e-03,2.251318e-03,2.474940e-03,2.697729e-03,2.828328e-03,3.195246e-03,3.211123e-03,3.623353e-03,3.744031e-03,4.064829e-03,4.343597e-03,4.535156e-03,4.992827e-03,5.033735e-03,5.559774e-03,5.690005e-03,6.112300e-03,6.432864e-03,6.690169e-03,7.218634e-03,7.292087e-03,7.916621e-03,8.044106e-03,8.562214e-03,8.905698e-03,9.227207e-03,9.799519e-03,9.909854e-03,1.060834e-02,1.072144e-02,1.132079e-02,1.166716e-02,1.204529e-02,1.263229e-02,1.277993e-02,1.352276e-02,1.361236e-02,1.427185e-02,1.460295e-02,1.502530e-02,1.559968e-02,1.578123e-02,1.653781e-02,1.659831e-02,1.729325e-02,1.759472e-02,1.804584e-02,1.858501e-02,1.879392e-02,1.953593e-02,1.956547e-02,2.027037e-02,2.053264e-02,2.099582e-02,2.148332e-02,2.171097e-02,2.241458e-02,2.310552e-02,2.332377e-02,2.378274e-02,2.420851e-02,2.444527e-02,2.506670e-02,2.509227e-02,2.572296e-02,2.589654e-02,2.633666e-02,2.669648e-02,2.693278e-02,2.746524e-02,2.751080e-02,2.807031e-02,2.820179e-02,2.861093e-02,2.890533e-02,2.913241e-02,2.957530e-02,2.963453e-02,3.011716e-02,3.021134e-02,3.058023e-02,3.081329e-02,3.102372e-02,3.138116e-02,3.144768e-02,3.185220e-02,3.191513e-02,3.223742e-02,3.241552e-02,3.260353e-02,3.288281e-02,3.295076e-02,3.327937e-02,3.331756e-02,3.358966e-02,3.372047e-02,3.388196e-02,3.409229e-02,3.415662e-02,3.441402e-02,3.443387e-02,3.465455e-02,3.474614e-02,3.487865e-02,3.503005e-02,3.508672e-02,3.527923e-02,3.528661e-02,3.545661e-02,3.551686e-02,3.561934e-02,3.572186e-02,3.576787e-02,3.590269e-02,3.606044e-02,3.619619e-02,3.631104e-02,3.640605e-02,3.648228e-02,3.654079e-02,3.658258e-02,3.660866e-02,3.661999e-02,3.661752e-02,3.660215e-02,3.657476e-02,3.653620e-02,3.648727e-02,3.642876e-02,3.636141e-02,3.628593e-02,3.620300e-02,3.611325e-02,3.601731e-02,3.591576e-02,3.580914e-02,3.569797e-02,3.558274e-02
0.000000e+00,5.966880e-11,1.433996e-10,5.209682e-10,1.223311e-09,1.811839e-09,4.274573e-09,4.410643e-09,8.919506e-09,1.062677e-08,1.612946e-08,2.215670e-08,2.702555e-08,4.118328e-08,4.262326e-08,6.354298e-08,6.935209e-08,8.958915e-08,1.060972e-07,1.198785e-07,1.492128e-07,1.533702e-07,1.892061e-07,1.965959e-07,2.267581e-07,2.468059e-07,2.655661e-07,2.988718e-07,3.052725e-07,3.455802e-07,3.520674e-07,3.862295e-07,4.057932e-07,4.269872e-07,4.595285e-07,4.676417e-07,5.080023e-07,5.128176e-07,5.478996e-07,5.652685e-07,5.871849e-07,6.165532e-07,6.257306e-07,6.634292e-07,6.664057e-07,7.001920e-07,7.146186e-07,7.359479e-07,7.610371e-07,7.706416e-07,8.042324e-07,8.055527e-07,8.366916e-07,8.480961e-07,8.680011e-07,8.886298e-07,8.981517e-07,9.271420e-07,9.549770e-07,9.636417e-07,9.816665e-07,9.981532e-07,1.007225e-06,1.030713e-06,1.031670e-06,1.055022e-06,1.061368e-06,1.077304e-06,1.090170e-06,1.098540e-06,1.117175e-06,1.118755e-06,1.137976e-06,1.142444e-06,1.156230e-06,1.166039e-06,1.173543e-06,1.188024e-06,1.189945e-06,1.205462e-06,1.208461e-06,1.220122e-06,1.227415e-06,1.233951e-06,1.244947e-06,1.246979e-06,1.259230e-06,1.261120e-06,1.270731e-06,1.275993e-06,1.281509e-06,1.289627e-06,1.291588e-06,1.300994e-06,1.302079e-06,1.309751e-06,1.313404e-06,1.317882e-06,1.323657e-06,1.325411e-06,1.332360e-06,1.332892e-06,1.338752e-06,1.341157e-06,1.344608e-06,1.348504e-06,1.349949e-06,1.354795e-06,1.354979e-06,1.359166e-06,1.360627e-06,1.363082e-06,1.365494e-06,1.366561e-06,1.369620e-06,1.372278e-06,1.373047e-06,1.374552e-06,1.375813e-06,1.376458e-06,1.377956e-06,1.378011e-06,1.379229e-06,1.379511e-06,1.380124e-06,1.380513e-06,1.380712e-06,1.380994e-06,1.381007e-06,1.381023e-06,1.380986e-06,1.380771e-06,1.380519e-06,1.380266e-06,1.379620e-06,1.379518e-06,1.378541e-06,1.378319e-06,1.377345e-06,1.376640e-06,1.375940e-06,1.374608e-06,1.374339e-06,1.372550e-06,1.372247e-06,1.370584e-06,1.369580e-06,1.368450e-06,1.366628e-06,1.366157e-06,1.363714e-06,1.363412e-06,1.361130e-06,1.359950e-06,1.358412e-06,1.356262e-06,1.355568e-06,1.352606e-06,1.352364e-06,1.349533e-06,1.348274e-06,1.346356e-06,1.344008e-06,1.343082e-06,1.339716e-06,1.339580e-06,1.336266e-06,1.335004e-06,1.332737e-06,1.330295e-06,1.329135e-06,1.325464e-06,1.320525e-06,1.315487e-06,1.310363e-06,1.305163e-06,1.299895e-06,1.294569e-06,1.289195e-06,1.283778e-06,1.278329e-06,1.272853e-06,1.267357e-06,1.261848e-06,1.256331e-06,1.250813e-06,1.245298e-06,1.239791e-06,1.234298e-06,1.228821e-06,1.223365e-06,1.217934e-06,1.212531e-06,1.207160e-06,1.201823e-06,1.196523e-06
0.000000e+00,2.254198e-15,1.986047e-14,5.015424e-13,4.229055e-12,1.118753e-11,9.035806e-11,9.738847e-11,5.066168e-10,7.543304e-10,1.904196e-09,3.768423e-09,5.722958e-09,1.362389e-08,1.461176e-08,3.295581e-08,3.945144e-08,6.743729e-08,9.722041e-08,1.276020e-07,2.119788e-07,2.263903e-07,3.805721e-07,4.198184e-07,6.110078e-07,7.690973e-07,9.426520e-07,1.320377e-06,1.404247e-06,2.027695e-06,2.144726e-06,2.847138e-06,3.320432e-06,3.897837e-06,4.928549e-06,5.214929e-06,6.832158e-06,7.047908e-06,8.780665e-06,9.750186e-06,1.108789e-05,1.309554e-05,1.377668e-05,1.686453e-05,1.712918e-05,2.036310e-05,2.187898e-05,2.427792e-05,2.735419e-05,2.860829e-05,3.334736e-05,3.354526e-05,3.848238e-05,4.042455e-05,4.399508e-05,4.794776e-05,4.986218e-05,5.605600e-05,6.254504e-05,6.467832e-05,6.929474e-05,7.373434e-05,7.626812e-05,8.313713e-05,8.342653e-05,9.073030e-05,9.279596e-05,9.813943e-05,1.026189e-04,1.056142e-04,1.125153e-04,1.131155e-04,1.206058e-04,1.223977e-04,1.280490e-04,1.321839e-04,1.354113e-04,1.417981e-04,1.426611e-04,1.497696e-04,1.511719e-04,1.567103e-04,1.602454e-04,1.634601e-04,1.689672e-04,1.699984e-04,1.763076e-04,1.772947e-04,1.823729e-04,1.851940e-04,1.881824e-04,1.926394e-04,1.937266e-04,1.989988e-04,1.996130e-04,2.039944e-04,2.061042e-04,2.087111e-04,2.121089e-04,2.131484e-04,2.173079e-04,2.176287e-04,2.211924e-04,2.226702e-04,2.248064e-04,2.272441e-04,2.281555e-04,2.312464e-04,2.313648e-04,2.340867e-04,2.350495e-04,2.366847e-04,2.383173e-04,2.390491e-04,2.411893e-04,2.431149e-04,2.436874e-04,2.448357e-04,2.458341e-04,2.463615e-04,2.476521e-04,2.477023e-04,2.488680e-04,2.491643e-04,2.498682e-04,2.503929e-04,2.507125e-04,2.513595e-04,2.514101e-04,2.519702e-04,2.520852e-04,2.524015e-04,2.525899e-04,2.527123e-04,2.528926e-04,2.529108e-04,2.530046e-04,2.530115e-04,2.530012e-04,2.529633e-04,2.529075e-04,2.527640e-04,2.527302e-04,2.524756e-04,2.524281e-04,2.521495e-04,2.519693e-04,2.517576e-04,2.514002e-04,2.513051e-04,2.507970e-04,2.507325e-04,2.502379e-04,2.499769e-04,2.496322e-04,2.491432e-04,2.489839e-04,2.482968e-04,2.482403e-04,2.475745e-04,2.472765e-04,2.468203e-04,2.462592e-04,2.460372e-04,2.452281e-04,2.451952e-04,2.443956e-04,2.440907e-04,2.435423e-04,2.429513e-04,2.426704e-04,2.417821e-04,2.405876e-04,2.393722e-04,2.381394e-04,2.368928e-04,2.356354e-04,2.343700e-04,2.330991e-04,2.318250e-04,2.305497e-04,2.292750e-04,2.280026e-04,2.267340e-04,2.254705e-04,2.242133e-04,2.229636e-04,2.217223e-04,2.204902e-04,2.192681e-04,2.180567e-04,2.168567e-04,2.156684e-04,2.144924e-04,2.133292e-04,2.121790e-04
0.000000e+00,1.315880e-12,9.717219e-12,1.709487e-10,1.043585e-09,2.318949e-09,1.206628e-08,1.277908e-08,4.374641e-08,5.832458e-08,1.122726e-07,1.797207e-07,2.385289e-07,4.245752e-07,4.445281e-07,7.531958e-07,8.450718e-07,1.186737e-06,1.491229e-06,1.763716e-06,2.399847e-06,2.496168e-06,3.388725e-06,3.586402e-06,4.439909e-06,5.047504e-06,5.644251e-06,6.768627e-06,6.993992e-06,8.479975e-06,8.729705e-06,1.009195e-05,1.090718e-05,1.181862e-05,1.327426e-05,1.364762e-05,1.556561e-05,1.580109e-05,1.755848e-05,1.845530e-05,1.961158e-05,2.120308e-05,2.171006e-05,2.383919e-05,2.401041e-05,2.598464e-05,2.684431e-05,2.813278e-05,2.967391e-05,3.027087e-05,3.238724e-05,3.247129e-05,3.447142e-05,3.521202e-05,3.651415e-05,3.787540e-05,3.850744e-05,4.044454e-05,4.231988e-05,4.290618e-05,4.412899e-05,4.525043e-05,4.586843e-05,4.747041e-05,4.753569e-05,4.912910e-05,4.956188e-05,5.064774e-05,5.152289e-05,5.209132e-05,5.335330e-05,5.346006e-05,5.475466e-05,5.505444e-05,5.597615e-05,5.662875e-05,5.712590e-05,5.807960e-05,5.820551e-05,5.921678e-05,5.941100e-05,6.016166e-05,6.062744e-05,6.104222e-05,6.173377e-05,6.186064e-05,6.261913e-05,6.273508e-05,6.331996e-05,6.363654e-05,6.396543e-05,6.444353e-05,6.455790e-05,6.509972e-05,6.516144e-05,6.559315e-05,6.579550e-05,6.604038e-05,6.635070e-05,6.644356e-05,6.680474e-05,6.683188e-05,6.712591e-05,6.724361e-05,6.740900e-05,6.759029e-05,6.765587e-05,6.786834e-05,6.787615e-05,6.804816e-05,6.810522e-05,6.819700e-05,6.828133e-05,6.831645e-05,6.840806e-05,6.847330e-05,6.848885e-05,6.851362e-05,6.852697e-05,6.853038e-05,6.852554e-05,6.852491e-05,6.849847e-05,6.848747e-05,6.845224e-05,6.841548e-05,6.838736e-05,6.831215e-05,6.830494e-05,6.820602e-05,6.817994e-05,6.809161e-05,6.802113e-05,6.796266e-05,6.783790e-05,6.782010e-05,6.766479e-05,6.763227e-05,6.749755e-05,6.740613e-05,6.731917e-05,6.716128e-05,6.713041e-05,6.693199e-05,6.689939e-05,6.672459e-05,6.662204e-05,6.650886e-05,6.633070e-05,6.628542e-05,6.605486e-05,6.602674e-05,6.581773e-05,6.571145e-05,6.557457e-05,6.538604e-05,6.532588e-05,6.507213e-05,6.505162e-05,6.481378e-05,6.470925e-05,6.455127e-05,6.435991e-05,6.428500e-05,6.401535e-05,6.400450e-05,6.374270e-05,6.364388e-05,6.346739e-05,6.327883e-05,6.318975e-05,6.291009e-05,6.253835e-05,6.216424e-05,6.178835e-05,6.141123e-05,6.103337e-05,6.065525e-05,6.027730e-05,5.989991e-05,5.952345e-05,5.914826e-05,5.877465e-05,5.840290e-05,5.803327e-05,5.766600e-05,5.730130e-05,5.693938e-05,5.658040e-05,5.622454e-05,5.587193e-05,5.552270e-05,5.517697e-05,5.483484e-05,5.449640e-05,5.416174e-05
0.000000e+00,2.829584e-14,2.492955e-13,6.294589e-12,5.307807e-11,1.404287e-10,1.135006e-09,1.223370e-09,6.373676e-09,9.495655e-09,2.401461e-08,4.761741e-08,7.242356e-08,1.731166e-07,1.857428e-07,4.211954e-07,5.049142e-07,8.669721e-07,1.253941e-06,1.649796e-06,2.752265e-06,2.940806e-06,4.958498e-06,5.471786e-06,7.968004e-06,1.002546e-05,1.227667e-05,1.714920e-05,1.822629e-05,2.618296e-05,2.766751e-05,3.652515e-05,4.244814e-05,4.963109e-05,6.235200e-05,6.586613e-05,8.557070e-05,8.818331e-05,1.090494e-04,1.206444e-04,1.365617e-04,1.602981e-04,1.683144e-04,2.044558e-04,2.075397e-04,2.450723e-04,2.625793e-04,2.901870e-04,3.254345e-04,3.397593e-04,3.936874e-04,3.959330e-04,4.518114e-04,4.737238e-04,5.139185e-04,5.582952e-04,5.797480e-04,6.489984e-04,7.213341e-04,7.450746e-04,7.963925e-04,8.456827e-04,8.737911e-04,9.499288e-04,9.531348e-04,1.034022e-03,1.056892e-03,1.116052e-03,1.165653e-03,1.198828e-03,1.275310e-03,1.281965e-03,1.365093e-03,1.385003e-03,1.447859e-03,1.493926e-03,1.529933e-03,1.601339e-03,1.611005e-03,1.690795e-03,1.706576e-03,1.769044e-03,1.809047e-03,1.845522e-03,1.908245e-03,1.920025e-03,1.992376e-03,2.003742e-03,2.062422e-03,2.095187e-03,2.130035e-03,2.182303e-03,2.195111e-03,2.257568e-03,2.264883e-03,2.317343e-03,2.342783e-03,2.374394e-03,2.415915e-03,2.428696e-03,2.480239e-03,2.484244e-03,2.529029e-03,2.547777e-03,2.575083e-03,2.606563e-03,2.618430e-03,2.659110e-03,2.660683e-03,2.697172e-03,2.710243e-03,2.732670e-03,2.755376e-03,2.765667e-03,2.796229e-03,2.824428e-03,2.832965e-03,2.850339e-03,2.865757e-03,2.874039e-03,2.894785e-03,2.895608e-03,2.915126e-03,2.920234e-03,2.932674e-03,2.942292e-03,2.948334e-03,2.961144e-03,2.962187e-03,2.974314e-03,2.976976e-03,2.984792e-03,2.989970e-03,2.993702e-03,3.000305e-03,3.001119e-03,3.007119e-03,3.008155e-03,3.011774e-03,3.013688e-03,3.015158e-03,3.017067e-03,3.017337e-03,3.018381e-03,3.018447e-03,3.018353e-03,3.017977e-03,3.017316e-03,3.015800e-03,3.015330e-03,3.012454e-03,3.012052e-03,3.008744e-03,3.006861e-03,3.004253e-03,3.000349e-03,2.999032e-03,2.993130e-03,2.992630e-03,2.986596e-03,2.983815e-03,2.979474e-03,2.974005e-03,2.971806e-03,2.963634e-03,2.963297e-03,2.954997e-03,2.951781e-03,2.945933e-03,2.939542e-03,2.936475e-03,2.926659e-03,2.913207e-03,2.899254e-03,2.884865e-03,2.870100e-03,2.855015e-03,2.839662e-03,2.824088e-03,2.808338e-03,2.792454e-03,2.776472e-03,2.760429e-03,2.744355e-03,2.728281e-03,2.712234e-03,2.696237e-03,2.680314e-03,2.664485e-03,2.648769e-03,2.633182e-03,2.617739e-03,2.602454e-03,2.587339e-03,2.572405e-03,2.557661e-03
0.000000e+00,3.380071e-12,7.781631e-12,2.695077e-11,6.158366e-11,9.001869e-11,2.050116e-10,2.112069e-10,4.090843e-10,4.808142e-10,7.027603e-10,9.332448e-10,1.112278e-09,1.609357e-09,1.658599e-09,2.362849e-09,2.557596e-09,3.244353e-09,3.820981e-09,4.317089e-09,5.422938e-09,5.585287e-09,7.040787e-09,7.352841e-09,8.664804e-09,9.567943e-09,1.043323e-08,1.201235e-08,1.232160e-08,1.430773e-08,1.463324e-08,1.637216e-08,1.738582e-08,1.849784e-08,2.023220e-08,2.066953e-08,2.287338e-08,2.313938e-08,2.509667e-08,2.607804e-08,2.732773e-08,2.902192e-08,2.955587e-08,3.177134e-08,3.194776e-08,3.396540e-08,3.483526e-08,3.613029e-08,3.766709e-08,3.825920e-08,4.034625e-08,4.042879e-08,4.238648e-08,4.310867e-08,4.437573e-08,4.569756e-08,4.631065e-08,4.818855e-08,5.000740e-08,5.057670e-08,5.176572e-08,5.285881e-08,5.346254e-08,5.503311e-08,5.509730e-08,5.666984e-08,5.709901e-08,5.818029e-08,5.905693e-08,5.962908e-08,6.090803e-08,6.101683e-08,6.234438e-08,6.265414e-08,6.361271e-08,6.429753e-08,6.482295e-08,6.584086e-08,6.597630e-08,6.707405e-08,6.728704e-08,6.811756e-08,6.863921e-08,6.910822e-08,6.990059e-08,7.004748e-08,7.093677e-08,7.107452e-08,7.177757e-08,7.216436e-08,7.257134e-08,7.317348e-08,7.331954e-08,7.402364e-08,7.410524e-08,7.468507e-08,7.496295e-08,7.530526e-08,7.574988e-08,7.588561e-08,7.642750e-08,7.646923e-08,7.693228e-08,7.712411e-08,7.740129e-08,7.771756e-08,7.783583e-08,7.823715e-08,7.825253e-08,7.860652e-08,7.873190e-08,7.894513e-08,7.915842e-08,7.925416e-08,7.953478e-08,7.978808e-08,7.986355e-08,8.001517e-08,8.014723e-08,8.021709e-08,8.038822e-08,8.039488e-08,8.054953e-08,8.058881e-08,8.068200e-08,8.075123e-08,8.079323e-08,8.087759e-08,8.088414e-08,8.095560e-08,8.096995e-08,8.100846e-08,8.103024e-08,8.104354e-08,8.106035e-08,8.106166e-08,8.106357e-08,8.106208e-08,8.105003e-08,8.103712e-08,8.102176e-08,8.098714e-08,8.097945e-08,8.092378e-08,8.091368e-08,8.085540e-08,8.081825e-08,8.077493e-08,8.070227e-08,8.068299e-08,8.058015e-08,8.056711e-08,8.046699e-08,8.041406e-08,8.034404e-08,8.024437e-08,8.021182e-08,8.007085e-08,8.005921e-08,7.992160e-08,7.985970e-08,7.976456e-08,7.964690e-08,7.960015e-08,7.942883e-08,7.942184e-08,7.925100e-08,7.918547e-08,7.906708e-08,7.893872e-08,7.887743e-08,7.868244e-08,7.841747e-08,7.814459e-08,7.786453e-08,7.757800e-08,7.728566e-08,7.698815e-08,7.668605e-08,7.637993e-08,7.607031e-08,7.575770e-08,7.544257e-08,7.512537e-08,7.480651e-08,7.448638e-08,7.416536e-08,7.384380e-08,7.352201e-08,7.320031e-08,7.287898e-08,7.255830e-08,7.223850e-08,7.191982e-08,7.160249e-08,7.128670e-08
0.000000e+00,1.089019e-13,8.892511e-13,1.917684e-11,1.399750e-10,3.420581e-10,2.250612e-09,2.405581e-09,1.021276e-08,1.439122e-08,3.164266e-08,5.603174e-08,7.916758e-08,1.605636e-07,1.698876e-07,3.250573e-07,3.745669e-07,5.693160e-07,7.550246e-07,9.296827e-07,1.365134e-06,1.434211e-06,2.110241e-06,2.268269e-06,2.982494e-06,3.520609e-06,4.071431e-06,5.164864e-06,5.392235e-06,6.954485e-06,7.227202e-06,8.762356e-06,9.717336e-06,1.081512e-05,1.263041e-05,1.310776e-05,1.563158e-05,1.594944e-05,1.837472e-05,1.964752e-05,2.132265e-05,2.368980e-05,2.445862e-05,2.776410e-05,2.803528e-05,3.121919e-05,3.263846e-05,3.480304e-05,3.745116e-05,3.849430e-05,4.227152e-05,4.242409e-05,4.611352e-05,4.750851e-05,4.999974e-05,5.265756e-05,5.391053e-05,5.782737e-05,6.173310e-05,6.297797e-05,6.561197e-05,6.807374e-05,6.944980e-05,7.308375e-05,7.323394e-05,7.695329e-05,7.798176e-05,8.059826e-05,8.274608e-05,8.416067e-05,8.735930e-05,8.763372e-05,9.101183e-05,9.180794e-05,9.429059e-05,9.608199e-05,9.746660e-05,1.001745e-04,1.005374e-04,1.035014e-04,1.040812e-04,1.063576e-04,1.078001e-04,1.091057e-04,1.113309e-04,1.117461e-04,1.142795e-04,1.146750e-04,1.167069e-04,1.178349e-04,1.190299e-04,1.208142e-04,1.212501e-04,1.233696e-04,1.236172e-04,1.253904e-04,1.262489e-04,1.273149e-04,1.287145e-04,1.291454e-04,1.308845e-04,1.310197e-04,1.325346e-04,1.331704e-04,1.340985e-04,1.351724e-04,1.355786e-04,1.369776e-04,1.370319e-04,1.382981e-04,1.387547e-04,1.395427e-04,1.403469e-04,1.407139e-04,1.418143e-04,1.428463e-04,1.431626e-04,1.438125e-04,1.443974e-04,1.447153e-04,1.455243e-04,1.455568e-04,1.463396e-04,1.465486e-04,1.470658e-04,1.474753e-04,1.477377e-04,1.483095e-04,1.483572e-04,1.489266e-04,1.490560e-04,1.494479e-04,1.497195e-04,1.499229e-04,1.503043e-04,1.503537e-04,1.507421e-04,1.508148e-04,1.510898e-04,1.512551e-04,1.513986e-04,1.516292e-04,1.516702e-04,1.519062e-04,1.519408e-04,1.521082e-04,1.521935e-04,1.522777e-04,1.523909e-04,1.524162e-04,1.525251e-04,1.525363e-04,1.526058e-04,1.526327e-04,1.526596e-04,1.526834e-04,1.526879e-04,1.526917e-04,1.526910e-04,1.526724e-04,1.526585e-04,1.526311e-04,1.525883e-04,1.525689e-04,1.524868e-04,1.524831e-04,1.523859e-04,1.523452e-04,1.522672e-04,1.521769e-04,1.521317e-04,1.519802e-04,1.517573e-04,1.515101e-04,1.512405e-04,1.509501e-04,1.506407e-04,1.503138e-04,1.499710e-04,1.496135e-04,1.492428e-04,1.488601e-04,1.484667e-04,1.480635e-04,1.476518e-04,1.472324e-04,1.468064e-04,1.463746e-04,1.459379e-04,1.454971e-04,1.450528e-04,1.446059e-04,1.441568e-04,1.437063e-04,1.432550e-04,1.428033e-04
0.000000e+00,7.722349e-14,6.263119e-13,1.330375e-11,9.570412e-11,2.319431e-10,1.492374e-09,1.593640e-09,6.608880e-09,9.251974e-09,2.000453e-08,3.493795e-08,4.891821e-08,9.721362e-08,1.026808e-07,1.923751e-07,2.205983e-07,3.303169e-07,4.334563e-07,5.294346e-07,7.653163e-07,8.023488e-07,1.160009e-06,1.242460e-06,1.610088e-06,1.881880e-06,2.155663e-06,2.686367e-06,2.794649e-06,3.520148e-06,3.643583e-06,4.321457e-06,4.729201e-06,5.185388e-06,5.911959e-06,6.097546e-06,7.043382e-06,7.158472e-06,8.008916e-06,8.436607e-06,8.981182e-06,9.717348e-06,9.948464e-06,1.090039e-05,1.097560e-05,1.182794e-05,1.219036e-05,1.272340e-05,1.334461e-05,1.358035e-05,1.439357e-05,1.442513e-05,1.515902e-05,1.542228e-05,1.587373e-05,1.632972e-05,1.653576e-05,1.714411e-05,1.769861e-05,1.786475e-05,1.819982e-05,1.849317e-05,1.864896e-05,1.903272e-05,1.904773e-05,1.939829e-05,1.948814e-05,1.970310e-05,1.986514e-05,1.996485e-05,2.017008e-05,2.018639e-05,2.037061e-05,2.040960e-05,2.052044e-05,2.059040e-05,2.063874e-05,2.071896e-05,2.072828e-05,2.079171e-05,2.080149e-05,2.083155e-05,2.084375e-05,2.085019e-05,2.085107e-05,2.084982e-05,2.083252e-05,2.082830e-05,2.080017e-05,2.077982e-05,2.075453e-05,2.070953e-05,2.069721e-05,2.062969e-05,2.062096e-05,2.055333e-05,2.051725e-05,2.046936e-05,2.040113e-05,2.037888e-05,2.028287e-05,2.027498e-05,2.018220e-05,2.014080e-05,2.007763e-05,2.000029e-05,1.996981e-05,1.985935e-05,1.985488e-05,1.974674e-05,1.970577e-05,1.963244e-05,1.955397e-05,1.951686e-05,1.940034e-05,1.928318e-05,1.924560e-05,1.916567e-05,1.909039e-05,1.904805e-05,1.893523e-05,1.893054e-05,1.881332e-05,1.878057e-05,1.869656e-05,1.862679e-05,1.858041e-05,1.847420e-05,1.846499e-05,1.835043e-05,1.832308e-05,1.823682e-05,1.817365e-05,1.812426e-05,1.802613e-05,1.801282e-05,1.790256e-05,1.788066e-05,1.779355e-05,1.773738e-05,1.768584e-05,1.759639e-05,1.757946e-05,1.747445e-05,1.745778e-05,1.737085e-05,1.732163e-05,1.726868e-05,1.718799e-05,1.716797e-05,1.706872e-05,1.705691e-05,1.697095e-05,1.692841e-05,1.687468e-05,1.680251e-05,1.677990e-05,1.668662e-05,1.667922e-05,1.659484e-05,1.655855e-05,1.650456e-05,1.644049e-05,1.641578e-05,1.632848e-05,1.632502e-05,1.624267e-05,1.621213e-05,1.615832e-05,1.610181e-05,1.607545e-05,1.599403e-05,1.588876e-05,1.578596e-05,1.568562e-05,1.558769e-05,1.549213e-05,1.539890e-05,1.530798e-05,1.521930e-05,1.513285e-05,1.504856e-05,1.496641e-05,1.488634e-05,1.480831e-05,1.473228e-05,1.465821e-05,1.458605e-05,1.451576e-05,1.444731e-05,1.438063e-05,1.431570e-05,1.425248e-05,1.419092e-05,1.413098e-05,1.407262e-05
0.000000e+00,2.333783e-11,5.418016e-11,1.893225e-10,4.348369e-10,6.373439e-10,1.463883e-09,1.508745e-09,2.958348e-09,3.491367e-09,5.163248e-09,6.930856e-09,8.321961e-09,1.224155e-08,1.263283e-08,1.823866e-08,1.978146e-08,2.514905e-08,2.953665e-08,3.321055e-08,4.106091e-08,4.217605e-08,5.180205e-08,5.378841e-08,6.189330e-08,6.727403e-08,7.230189e-08,8.120593e-08,8.291339e-08,9.363560e-08,9.535611e-08,1.043917e-07,1.095471e-07,1.151166e-07,1.236367e-07,1.257552e-07,1.362612e-07,1.375112e-07,1.465963e-07,1.510812e-07,1.567291e-07,1.642791e-07,1.666346e-07,1.762934e-07,1.770550e-07,1.856909e-07,1.893742e-07,1.948163e-07,2.012141e-07,2.036626e-07,2.122251e-07,2.125617e-07,2.205019e-07,2.234115e-07,2.284926e-07,2.337636e-07,2.361987e-07,2.436225e-07,2.507676e-07,2.529959e-07,2.576383e-07,2.618937e-07,2.642393e-07,2.703276e-07,2.705760e-07,2.766542e-07,2.783105e-07,2.824797e-07,2.858562e-07,2.880587e-07,2.929790e-07,2.933974e-07,2.985023e-07,2.996934e-07,3.033798e-07,3.060143e-07,3.080363e-07,3.119563e-07,3.124782e-07,3.167119e-07,3.175342e-07,3.207437e-07,3.227626e-07,3.245800e-07,3.276558e-07,3.282268e-07,3.316904e-07,3.322279e-07,3.349766e-07,3.364927e-07,3.380913e-07,3.404634e-07,3.410402e-07,3.438290e-07,3.441531e-07,3.464631e-07,3.475745e-07,3.489479e-07,3.507398e-07,3.512887e-07,3.534907e-07,3.536610e-07,3.555586e-07,3.563494e-07,3.574975e-07,3.588163e-07,3.593121e-07,3.610069e-07,3.610722e-07,3.625864e-07,3.631276e-07,3.640550e-07,3.649924e-07,3.654169e-07,3.666762e-07,3.678368e-07,3.681881e-07,3.689027e-07,3.695369e-07,3.698776e-07,3.707312e-07,3.707651e-07,3.715687e-07,3.717791e-07,3.722918e-07,3.726884e-07,3.729377e-07,3.734666e-07,3.735097e-07,3.740107e-07,3.741207e-07,3.744438e-07,3.746578e-07,3.748119e-07,3.750843e-07,3.751178e-07,3.753641e-07,3.754065e-07,3.755535e-07,3.756303e-07,3.756885e-07,3.757617e-07,3.757715e-07,3.758050e-07,3.758059e-07,3.757910e-07,3.757682e-07,3.757319e-07,3.756536e-07,3.756298e-07,3.754867e-07,3.754669e-07,3.753045e-07,3.752125e-07,3.750852e-07,3.748949e-07,3.748306e-07,3.745425e-07,3.745180e-07,3.742225e-07,3.740859e-07,3.738723e-07,3.736023e-07,3.734934e-07,3.730875e-07,3.730707e-07,3.726559e-07,3.724945e-07,3.722001e-07,3.718769e-07,3.717213e-07,3.712210e-07,3.705297e-07,3.698057e-07,3.690516e-07,3.682700e-07,3.674631e-07,3.666333e-07,3.657826e-07,3.649130e-07,3.640265e-07,3.631249e-07,3.622098e-07,3.612828e-07,3.603456e-07,3.593994e-07,3.584458e-07,3.574858e-07,3.565209e-07,3.555520e-07,3.545803e-07,3.536068e-07,3.526324e-07,3.516581e-07,3.506845e-07,3.497127e-07
0.000000e+00,2.529309e-13,1.817319e-12,3.029442e-11,1.766469e-10,3.832713e-10,1.883004e-09,1.989833e-09,6.471633e-09,8.516012e-09,1.588258e-08,2.480852e-08,3.241667e-08,5.576358e-08,5.821673e-08,9.528028e-08,1.060569e-07,1.454163e-07,1.798034e-07,2.102073e-07,2.803777e-07,2.909413e-07,3.885125e-07,4.100926e-07,5.033360e-07,5.698550e-07,6.353348e-07,7.591260e-07,7.840014e-07,9.484930e-07,9.762103e-07,1.127719e-06,1.218612e-06,1.320400e-06,1.483277e-06,1.525108e-06,1.740299e-06,1.766749e-06,1.964341e-06,2.065290e-06,2.195547e-06,2.375004e-06,2.432210e-06,2.672633e-06,2.691979e-06,2.915166e-06,3.012414e-06,3.158233e-06,3.332737e-06,3.400356e-06,3.640175e-06,3.649702e-06,3.876462e-06,3.960447e-06,4.108128e-06,4.262532e-06,4.334226e-06,4.553951e-06,4.766635e-06,4.833115e-06,4.971740e-06,5.098834e-06,5.168852e-06,5.350273e-06,5.357664e-06,5.537971e-06,5.586915e-06,5.709657e-06,5.808512e-06,5.872684e-06,6.015045e-06,6.027081e-06,6.172934e-06,6.206681e-06,6.310377e-06,6.383734e-06,6.439583e-06,6.546634e-06,6.560758e-06,6.674134e-06,6.695894e-06,6.779959e-06,6.832092e-06,6.878499e-06,6.955843e-06,6.970028e-06,7.054826e-06,7.067788e-06,7.133176e-06,7.168577e-06,7.205361e-06,7.258858e-06,7.271661e-06,7.332355e-06,7.339274e-06,7.387714e-06,7.410450e-06,7.438004e-06,7.472993e-06,7.483483e-06,7.524402e-06,7.527486e-06,7.561002e-06,7.574486e-06,7.593518e-06,7.614527e-06,7.622174e-06,7.647184e-06,7.648112e-06,7.668757e-06,7.675719e-06,7.687088e-06,7.697799e-06,7.702368e-06,7.714777e-06,7.724486e-06,7.727049e-06,7.731659e-06,7.734991e-06,7.736452e-06,7.738953e-06,7.739014e-06,7.739485e-06,7.739261e-06,7.738000e-06,7.736222e-06,7.734684e-06,7.730122e-06,7.729660e-06,7.723040e-06,7.721226e-06,7.714934e-06,7.709784e-06,7.705445e-06,7.696026e-06,7.694668e-06,7.682698e-06,7.680168e-06,7.669620e-06,7.662409e-06,7.655516e-06,7.642935e-06,7.640466e-06,7.624542e-06,7.621918e-06,7.607815e-06,7.599520e-06,7.590349e-06,7.575887e-06,7.572207e-06,7.553449e-06,7.551159e-06,7.534128e-06,7.525462e-06,7.514297e-06,7.498915e-06,7.494005e-06,7.473300e-06,7.471627e-06,7.452223e-06,7.443699e-06,7.430818e-06,7.415224e-06,7.409122e-06,7.387171e-06,7.386289e-06,7.365001e-06,7.356972e-06,7.342643e-06,7.327348e-06,7.320128e-06,7.297484e-06,7.267441e-06,7.237277e-06,7.207045e-06,7.176792e-06,7.146562e-06,7.116396e-06,7.086331e-06,7.056399e-06,7.026632e-06,6.997057e-06,6.967700e-06,6.938582e-06,6.909725e-06,6.881146e-06,6.852863e-06,6.824890e-06,6.797240e-06,6.769924e-06,6.742953e-06,6.716334e-06,6.690077e-06,6.664186e-06,6.638668e-06,6.613527e-06
0.000000e+00,2.576966e-12,1.767303e-11,2.690333e-10,1.455777e-09,3.042681e-09,1.375542e-08,1.449312e-08,4.439884e-08,5.772535e-08,1.053591e-07,1.632503e-07,2.131635e-07,3.704111e-07,3.872807e-07,6.482337e-07,7.256050e-07,1.010125e-06,1.257775e-06,1.473831e-06,1.957163e-06,2.027861e-06,2.655042e-06,2.787737e-06,3.338672e-06,3.711838e-06,4.065225e-06,4.701125e-06,4.824450e-06,5.608411e-06,5.735687e-06,6.410496e-06,6.800169e-06,7.224735e-06,7.881039e-06,8.045423e-06,8.866959e-06,8.965337e-06,9.683836e-06,1.004040e-05,1.049072e-05,1.109412e-05,1.128251e-05,1.205450e-05,1.211528e-05,1.280242e-05,1.309400e-05,1.352255e-05,1.402204e-05,1.421173e-05,1.486745e-05,1.489295e-05,1.548773e-05,1.570208e-05,1.607121e-05,1.644651e-05,1.661705e-05,1.712488e-05,1.759481e-05,1.773724e-05,1.802726e-05,1.828469e-05,1.842298e-05,1.876926e-05,1.878299e-05,1.910851e-05,1.919367e-05,1.940094e-05,1.956112e-05,1.966176e-05,1.987518e-05,1.989258e-05,2.009501e-05,2.013955e-05,2.027069e-05,2.035800e-05,2.042126e-05,2.053427e-05,2.054833e-05,2.065347e-05,2.067200e-05,2.073820e-05,2.077468e-05,2.080398e-05,2.084561e-05,2.085221e-05,2.088422e-05,2.088792e-05,2.090127e-05,2.090449e-05,2.090455e-05,2.089800e-05,2.089516e-05,2.087416e-05,2.087090e-05,2.084252e-05,2.082547e-05,2.080116e-05,2.076376e-05,2.075094e-05,2.069263e-05,2.068764e-05,2.062699e-05,2.059883e-05,2.055468e-05,2.049885e-05,2.047635e-05,2.039258e-05,2.038912e-05,2.030391e-05,2.027089e-05,2.021085e-05,2.014529e-05,2.011385e-05,2.001335e-05,1.990974e-05,1.987599e-05,1.980339e-05,1.973404e-05,1.969462e-05,1.958823e-05,1.958376e-05,1.947109e-05,1.943925e-05,1.935686e-05,1.928769e-05,1.924133e-05,1.913408e-05,1.912471e-05,1.900722e-05,1.897891e-05,1.888903e-05,1.882261e-05,1.877033e-05,1.866557e-05,1.865127e-05,1.853200e-05,1.850813e-05,1.841265e-05,1.835060e-05,1.829334e-05,1.819325e-05,1.817420e-05,1.805532e-05,1.803633e-05,1.793679e-05,1.788005e-05,1.781870e-05,1.772461e-05,1.770114e-05,1.758417e-05,1.757018e-05,1.746786e-05,1.741690e-05,1.735226e-05,1.726492e-05,1.723743e-05,1.712343e-05,1.711434e-05,1.701028e-05,1.696528e-05,1.689804e-05,1.681781e-05,1.678674e-05,1.667640e-05,1.667201e-05,1.656707e-05,1.652796e-05,1.645875e-05,1.638569e-05,1.635148e-05,1.624528e-05,1.610674e-05,1.597011e-05,1.583543e-05,1.570270e-05,1.557195e-05,1.544317e-05,1.531639e-05,1.519159e-05,1.506877e-05,1.494794e-05,1.482908e-05,1.471218e-05,1.459724e-05,1.448422e-05,1.437313e-05,1.426393e-05,1.415662e-05,1.405116e-05,1.394755e-05,1.384574e-05,1.374574e-05,1.364749e-05,1.355100e-05,1.345622e-05
0.000000e+00,4.167527e-11,1.201725e-10,5.222536e-10,1.316861e-09,1.992262e-09,4.795590e-09,4.948253e-09,9.856721e-09,1.164395e-08,1.718281e-08,2.293955e-08,2.741125e-08,3.981633e-08,4.104373e-08,5.854189e-08,6.335423e-08,8.018533e-08,9.410425e-08,1.058941e-07,1.315043e-07,1.351856e-07,1.673429e-07,1.740523e-07,2.016311e-07,2.200854e-07,2.374081e-07,2.682192e-07,2.741416e-07,3.113862e-07,3.173665e-07,3.487596e-07,3.666448e-07,3.859269e-07,4.153114e-07,4.225909e-07,4.584887e-07,4.627337e-07,4.933911e-07,5.083810e-07,5.271017e-07,5.518237e-07,5.594583e-07,5.903309e-07,5.927334e-07,6.196206e-07,6.308771e-07,6.472595e-07,6.661129e-07,6.732057e-07,6.974409e-07,6.983747e-07,7.199686e-07,7.276642e-07,7.408101e-07,7.540370e-07,7.600013e-07,7.775903e-07,7.936343e-07,7.984524e-07,8.081975e-07,8.167726e-07,8.213491e-07,8.327134e-07,8.331610e-07,8.437069e-07,8.464430e-07,8.530606e-07,8.581310e-07,8.612951e-07,8.679439e-07,8.684819e-07,8.746906e-07,8.760426e-07,8.799879e-07,8.825803e-07,8.844379e-07,8.877015e-07,8.881016e-07,8.910368e-07,8.915413e-07,8.932981e-07,8.942248e-07,8.949368e-07,8.958677e-07,8.960013e-07,8.965368e-07,8.965762e-07,8.965854e-07,8.964475e-07,8.961866e-07,8.955702e-07,8.953772e-07,8.941913e-07,8.940252e-07,8.926608e-07,8.918858e-07,8.908151e-07,8.892187e-07,8.886819e-07,8.862864e-07,8.860841e-07,8.836522e-07,8.825367e-07,8.808013e-07,8.786258e-07,8.777539e-07,8.745287e-07,8.743963e-07,8.711432e-07,8.698883e-07,8.676134e-07,8.651384e-07,8.639543e-07,8.601795e-07,8.563019e-07,8.550413e-07,8.523333e-07,8.497506e-07,8.482844e-07,8.443315e-07,8.441655e-07,8.399859e-07,8.388059e-07,8.357541e-07,8.331933e-07,8.314781e-07,8.275116e-07,8.271654e-07,8.228226e-07,8.217766e-07,8.184561e-07,8.160027e-07,8.140717e-07,8.102028e-07,8.096746e-07,8.052699e-07,8.043884e-07,8.008620e-07,7.985701e-07,7.964552e-07,7.927571e-07,7.920533e-07,7.876599e-07,7.869580e-07,7.832783e-07,7.811801e-07,7.789113e-07,7.754303e-07,7.745619e-07,7.702325e-07,7.697145e-07,7.659255e-07,7.640380e-07,7.616428e-07,7.584056e-07,7.573866e-07,7.531584e-07,7.528214e-07,7.489599e-07,7.472892e-07,7.447926e-07,7.418122e-07,7.406578e-07,7.365566e-07,7.363933e-07,7.324902e-07,7.310349e-07,7.284594e-07,7.257393e-07,7.244652e-07,7.205083e-07,7.153433e-07,7.102459e-07,7.052170e-07,7.002576e-07,6.953683e-07,6.905496e-07,6.858020e-07,6.811257e-07,6.765207e-07,6.719871e-07,6.675247e-07,6.631334e-07,6.588128e-07,6.545625e-07,6.503821e-07,6.462712e-07,6.422291e-07,6.382553e-07,6.343490e-07,6.305096e-07,6.267363e-07,6.230285e-07,6.193853e-07,6.158058e-07
0.000000e+00,1.757045e-11,1.021856e-10,1.149805e-09,4.940173e-09,9.250727e-09,3.300994e-08,3.449082e-08,8.830249e-08,1.100898e-07,1.825530e-07,2.637685e-07,3.300137e-07,5.249285e-07,5.449752e-07,8.432412e-07,9.290116e-07,1.240505e-06,1.510899e-06,1.748532e-06,2.290335e-06,2.370960e-06,3.102373e-06,3.260787e-06,3.931397e-06,4.396677e-06,4.844853e-06,5.668241e-06,5.830274e-06,6.876681e-06,7.049106e-06,7.974430e-06,8.517007e-06,9.114829e-06,1.005242e-05,1.028981e-05,1.149172e-05,1.163741e-05,1.271326e-05,1.325516e-05,1.394748e-05,1.488987e-05,1.518775e-05,1.642789e-05,1.652692e-05,1.766217e-05,1.815304e-05,1.888533e-05,1.975645e-05,2.009266e-05,2.127999e-05,2.132702e-05,2.244368e-05,2.285620e-05,2.358060e-05,2.433705e-05,2.468812e-05,2.576410e-05,2.680681e-05,2.713322e-05,2.781491e-05,2.844147e-05,2.878743e-05,2.968693e-05,2.972368e-05,3.062328e-05,3.086857e-05,3.148607e-05,3.198608e-05,3.231209e-05,3.303975e-05,3.310158e-05,3.385489e-05,3.403035e-05,3.457252e-05,3.495904e-05,3.525508e-05,3.582725e-05,3.590323e-05,3.651773e-05,3.663666e-05,3.709936e-05,3.738910e-05,3.764897e-05,3.808653e-05,3.816742e-05,3.865561e-05,3.873097e-05,3.911442e-05,3.932449e-05,3.954478e-05,3.986919e-05,3.994759e-05,4.032376e-05,4.036715e-05,4.067419e-05,4.082045e-05,4.099977e-05,4.123114e-05,4.130139e-05,4.157991e-05,4.160122e-05,4.183618e-05,4.193264e-05,4.207104e-05,4.222733e-05,4.228530e-05,4.247976e-05,4.248714e-05,4.265520e-05,4.271385e-05,4.281239e-05,4.290922e-05,4.295205e-05,4.307492e-05,4.318168e-05,4.321255e-05,4.327301e-05,4.332368e-05,4.334959e-05,4.340980e-05,4.341203e-05,4.346097e-05,4.347234e-05,4.349701e-05,4.351268e-05,4.352072e-05,4.353213e-05,4.353266e-05,4.353338e-05,4.353195e-05,4.352341e-05,4.351334e-05,4.350325e-05,4.347747e-05,4.347339e-05,4.343430e-05,4.342542e-05,4.338645e-05,4.335824e-05,4.333026e-05,4.327694e-05,4.326617e-05,4.319458e-05,4.318246e-05,4.311589e-05,4.307571e-05,4.303047e-05,4.295755e-05,4.293870e-05,4.284092e-05,4.282880e-05,4.273748e-05,4.269025e-05,4.262869e-05,4.254263e-05,4.251487e-05,4.239632e-05,4.238664e-05,4.227333e-05,4.222295e-05,4.214618e-05,4.205220e-05,4.201513e-05,4.188044e-05,4.187498e-05,4.174235e-05,4.169186e-05,4.160111e-05,4.150337e-05,4.145692e-05,4.131002e-05,4.111230e-05,4.091066e-05,4.070552e-05,4.049729e-05,4.028634e-05,4.007305e-05,3.985774e-05,3.964074e-05,3.942234e-05,3.920282e-05,3.898245e-05,3.876148e-05,3.854013e-05,3.831863e-05,3.809718e-05,3.787596e-05,3.765516e-05,3.743494e-05,3.721544e-05,3.699683e-05,3.677922e-05,3.656274e-05,3.634750e-05,3.613361e-05
0.000000e+00,1.427244e-13,1.277474e-12,3.334650e-11,2.899978e-10,7.805147e-10,6.598014e-09,7.124795e-09,3.883507e-08,5.857568e-08,1.528091e-07,3.106886e-07,4.802988e-07,1.190302e-06,1.281021e-06,3.014463e-06,3.644834e-06,6.427225e-06,9.475707e-06,1.265387e-05,2.174365e-05,2.332726e-05,4.069268e-05,4.521612e-05,6.771829e-05,8.681214e-05,1.081933e-04,1.559877e-04,1.668052e-04,2.491899e-04,2.650051e-04,3.619479e-04,4.290412e-04,5.126252e-04,6.661104e-04,7.096582e-04,9.622845e-04,9.968004e-04,1.280423e-03,1.443835e-03,1.674525e-03,2.031495e-03,2.155410e-03,2.734081e-03,2.784929e-03,3.421534e-03,3.729404e-03,4.228563e-03,4.889526e-03,5.165570e-03,6.242378e-03,6.288489e-03,7.468065e-03,7.947363e-03,8.850807e-03,9.884470e-03,1.039774e-02,1.211486e-02,1.400692e-02,1.464992e-02,1.607734e-02,1.749705e-02,1.832824e-02,2.065956e-02,2.076032e-02,2.337294e-02,2.413659e-02,2.616411e-02,2.792320e-02,2.913054e-02,3.201056e-02,3.226768e-02,3.556983e-02,3.638616e-02,3.903017e-02,4.103419e-02,4.264091e-02,4.593589e-02,4.639336e-02,5.027805e-02,5.106998e-02,5.428483e-02,5.641306e-02,5.840297e-02,6.194011e-02,6.262131e-02,6.692833e-02,6.762490e-02,7.131229e-02,7.344043e-02,7.576130e-02,7.935933e-02,8.026343e-02,8.480682e-02,8.535424e-02,8.937971e-02,9.139814e-02,9.397056e-02,9.746470e-02,9.856814e-02,1.031615e-01,1.035285e-01,1.077402e-01,1.095652e-01,1.122940e-01,1.155520e-01,1.168134e-01,1.212894e-01,1.214674e-01,1.257133e-01,1.272916e-01,1.300771e-01,1.330064e-01,1.343734e-01,1.385955e-01,1.427369e-01,1.440441e-01,1.467920e-01,1.493396e-01,1.507557e-01,1.544706e-01,1.546234e-01,1.583911e-01,1.594277e-01,1.620555e-01,1.642032e-01,1.656134e-01,1.687907e-01,1.690626e-01,1.724009e-01,1.731854e-01,1.756269e-01,1.773840e-01,1.787396e-01,1.813843e-01,1.817381e-01,1.846223e-01,1.851854e-01,1.873922e-01,1.887874e-01,1.900481e-01,1.921916e-01,1.925908e-01,1.950213e-01,1.953998e-01,1.973408e-01,1.984151e-01,1.995507e-01,2.012409e-01,2.016528e-01,2.036489e-01,2.038814e-01,2.055411e-01,2.063413e-01,2.073316e-01,2.086258e-01,2.090227e-01,2.106168e-01,2.107402e-01,2.121165e-01,2.126905e-01,2.135244e-01,2.144826e-01,2.148431e-01,2.160753e-01,2.161229e-01,2.172240e-01,2.176175e-01,2.182917e-01,2.189729e-01,2.192813e-01,2.201956e-01,2.212918e-01,2.222681e-01,2.231307e-01,2.238857e-01,2.245393e-01,2.250974e-01,2.255657e-01,2.259498e-01,2.262551e-01,2.264868e-01,2.266499e-01,2.267492e-01,2.267893e-01,2.267745e-01,2.267091e-01,2.265971e-01,2.264421e-01,2.262479e-01,2.260177e-01,2.257549e-01,2.254623e-01,2.251429e-01,2.247994e-01,2.244342e-01
0.000000e+00,1.993611e-13,1.639160e-12,3.583740e-11,2.648652e-10,6.517163e-10,4.366353e-09,4.670521e-09,2.020995e-08,2.863500e-08,6.388310e-08,1.145755e-07,1.633330e-07,3.385658e-07,3.589368e-07,7.046313e-07,8.171017e-07,1.266967e-06,1.704280e-06,2.120810e-06,3.173295e-06,3.341471e-06,4.995493e-06,5.383075e-06,7.133269e-06,8.447038e-06,9.785315e-06,1.241871e-05,1.296218e-05,1.665694e-05,1.729493e-05,2.084871e-05,2.302843e-05,2.550623e-05,2.954182e-05,3.059089e-05,3.605907e-05,3.673882e-05,4.186380e-05,4.451191e-05,4.795602e-05,5.274750e-05,5.428551e-05,6.080166e-05,6.132951e-05,6.745430e-05,7.014254e-05,7.419441e-05,7.907485e-05,8.097477e-05,8.775065e-05,8.802099e-05,9.448038e-05,9.688431e-05,1.011258e-04,1.055788e-04,1.076525e-04,1.140302e-04,1.202328e-04,1.221770e-04,1.262384e-04,1.299700e-04,1.320288e-04,1.373720e-04,1.375899e-04,1.429111e-04,1.443570e-04,1.479850e-04,1.509086e-04,1.528071e-04,1.570193e-04,1.573754e-04,1.616903e-04,1.626884e-04,1.657541e-04,1.679214e-04,1.695705e-04,1.727284e-04,1.731448e-04,1.764831e-04,1.771231e-04,1.795926e-04,1.811217e-04,1.824810e-04,1.847424e-04,1.851565e-04,1.876274e-04,1.880044e-04,1.899026e-04,1.909276e-04,1.919906e-04,1.935321e-04,1.939002e-04,1.956400e-04,1.958378e-04,1.972185e-04,1.978640e-04,1.986439e-04,1.996298e-04,1.999243e-04,2.010675e-04,2.011532e-04,2.020810e-04,2.024517e-04,2.029720e-04,2.035416e-04,2.037475e-04,2.044142e-04,2.044387e-04,2.049783e-04,2.051575e-04,2.054461e-04,2.057120e-04,2.058232e-04,2.061151e-04,2.063272e-04,2.063790e-04,2.064644e-04,2.065150e-04,2.065313e-04,2.065338e-04,2.065326e-04,2.064724e-04,2.064451e-04,2.063547e-04,2.062581e-04,2.061834e-04,2.059815e-04,2.059621e-04,2.056941e-04,2.056232e-04,2.053827e-04,2.051905e-04,2.050310e-04,2.046903e-04,2.046417e-04,2.042177e-04,2.041290e-04,2.037615e-04,2.035124e-04,2.032756e-04,2.028460e-04,2.027621e-04,2.022232e-04,2.021348e-04,2.016611e-04,2.013836e-04,2.010776e-04,2.005966e-04,2.004745e-04,1.998535e-04,1.997779e-04,1.992163e-04,1.989311e-04,1.985643e-04,1.980598e-04,1.978990e-04,1.972216e-04,1.971670e-04,1.965336e-04,1.962556e-04,1.958360e-04,1.953284e-04,1.951299e-04,1.944165e-04,1.943878e-04,1.936967e-04,1.934362e-04,1.929714e-04,1.924756e-04,1.922416e-04,1.915079e-04,1.905350e-04,1.895585e-04,1.885799e-04,1.876006e-04,1.866217e-04,1.856446e-04,1.846703e-04,1.836996e-04,1.827335e-04,1.817729e-04,1.808183e-04,1.798706e-04,1.789302e-04,1.779977e-04,1.770737e-04,1.761584e-04,1.752524e-04,1.743560e-04,1.734694e-04,1.725930e-04,1.717270e-04,1.708715e-04,1.700267e-04,1.691928e-04
0.000000e+00,1.889564e-13,1.696064e-12,4.453420e-11,3.894256e-10,1.051343e-09,8.960095e-09,9.678739e-09,5.320420e-08,8.043960e-08,2.111358e-07,4.314912e-07,6.693574e-07,1.672219e-06,1.800937e-06,4.275810e-06,5.181116e-06,9.199241e-06,1.363147e-05,1.827592e-05,3.165154e-05,3.399256e-05,5.980833e-05,6.656735e-05,1.003407e-04,1.291497e-04,1.615336e-04,2.342785e-04,2.507980e-04,3.771134e-04,4.014479e-04,5.510866e-04,6.550551e-04,7.849611e-04,1.024438e-03,1.092577e-03,1.489275e-03,1.543646e-03,1.991763e-03,2.250941e-03,2.617921e-03,3.188072e-03,3.386583e-03,4.317273e-03,4.399323e-03,5.429922e-03,5.930421e-03,6.744559e-03,7.827311e-03,8.281000e-03,1.005852e-02,1.013490e-02,1.209557e-02,1.289580e-02,1.440942e-02,1.614910e-02,1.701593e-02,1.992929e-02,2.316175e-02,2.426526e-02,2.672349e-02,2.917955e-02,3.062240e-02,3.468772e-02,3.486401e-02,3.945140e-02,4.079797e-02,4.438514e-02,4.751092e-02,4.966329e-02,5.481963e-02,5.528145e-02,6.123282e-02,6.270976e-02,6.750826e-02,7.115991e-02,7.409643e-02,8.014213e-02,8.098395e-02,8.815555e-02,8.962249e-02,9.559423e-02,9.956180e-02,1.032815e-01,1.099163e-01,1.111974e-01,1.193210e-01,1.206386e-01,1.276305e-01,1.316784e-01,1.361031e-01,1.429831e-01,1.447157e-01,1.534448e-01,1.544990e-01,1.622668e-01,1.661719e-01,1.711581e-01,1.779474e-01,1.800953e-01,1.890552e-01,1.897723e-01,1.980154e-01,2.015946e-01,2.069539e-01,2.133642e-01,2.158494e-01,2.246815e-01,2.250332e-01,2.334308e-01,2.365567e-01,2.420787e-01,2.478924e-01,2.506078e-01,2.590017e-01,2.672451e-01,2.698489e-01,2.753240e-01,2.804021e-01,2.832254e-01,2.906329e-01,2.909376e-01,2.984500e-01,3.005163e-01,3.057532e-01,3.100311e-01,3.128388e-01,3.191593e-01,3.196997e-01,3.263299e-01,3.278862e-01,3.327241e-01,3.362003e-01,3.388784e-01,3.440933e-01,3.447897e-01,3.504558e-01,3.515594e-01,3.558753e-01,3.585959e-01,3.610479e-01,3.652021e-01,3.659737e-01,3.706537e-01,3.713798e-01,3.750897e-01,3.771330e-01,3.792839e-01,3.824671e-01,3.832391e-01,3.869587e-01,3.873894e-01,3.904465e-01,3.919087e-01,3.937067e-01,3.960350e-01,3.967439e-01,3.995631e-01,3.997794e-01,4.021696e-01,4.031538e-01,4.045687e-01,4.061710e-01,4.067663e-01,4.087682e-01,4.088443e-01,4.105804e-01,4.111876e-01,4.122091e-01,4.132149e-01,4.136605e-01,4.149408e-01,4.163797e-01,4.175460e-01,4.184543e-01,4.191189e-01,4.195539e-01,4.197732e-01,4.197903e-01,4.196183e-01,4.192702e-01,4.187583e-01,4.180946e-01,4.172906e-01,4.163573e-01,4.153053e-01,4.141448e-01,4.128852e-01,4.115358e-01,4.101053e-01,4.086018e-01,4.070332e-01,4.054066e-01,4.037291e-01,4.020071e-01,4.002466e-01
0.000000e+00,3.323055e-12,7.635044e-12,2.635559e-11,6.007354e-11,8.770629e-11,1.992539e-10,2.052590e-10,3.970480e-10,4.666076e-10,6.820909e-10,9.063379e-10,1.080863e-09,1.566700e-09,1.614905e-09,2.304726e-09,2.495316e-09,3.165126e-09,3.723113e-09,4.198807e-09,5.241868e-09,5.392873e-09,6.722572e-09,7.002259e-09,8.159341e-09,8.939853e-09,9.676797e-09,1.099741e-08,1.125268e-08,1.286854e-08,1.312971e-08,1.450882e-08,1.530083e-08,1.616013e-08,1.748120e-08,1.781076e-08,1.945041e-08,1.964599e-08,2.107007e-08,2.177434e-08,2.266194e-08,2.384904e-08,2.421937e-08,2.573680e-08,2.585632e-08,2.720969e-08,2.778555e-08,2.863446e-08,2.962892e-08,3.000836e-08,3.132941e-08,3.138113e-08,3.259630e-08,3.303896e-08,3.380829e-08,3.460093e-08,3.496511e-08,3.606694e-08,3.711427e-08,3.743802e-08,3.810787e-08,3.871603e-08,3.904875e-08,3.990347e-08,3.993807e-08,4.077715e-08,4.100328e-08,4.156740e-08,4.201873e-08,4.231031e-08,4.295329e-08,4.300741e-08,4.366028e-08,4.381056e-08,4.427048e-08,4.459415e-08,4.483961e-08,4.530772e-08,4.536924e-08,4.586093e-08,4.595485e-08,4.631621e-08,4.653906e-08,4.673658e-08,4.706381e-08,4.712354e-08,4.747850e-08,4.753242e-08,4.780287e-08,4.794811e-08,4.809802e-08,4.831399e-08,4.836527e-08,4.860589e-08,4.863303e-08,4.882113e-08,4.890810e-08,4.901218e-08,4.914191e-08,4.918019e-08,4.932630e-08,4.933707e-08,4.945156e-08,4.949607e-08,4.955703e-08,4.962126e-08,4.964368e-08,4.971249e-08,4.971489e-08,4.976438e-08,4.977909e-08,4.980023e-08,4.981589e-08,4.982090e-08,4.982719e-08,4.981991e-08,4.981483e-08,4.979979e-08,4.978051e-08,4.976755e-08,4.972585e-08,4.972390e-08,4.966948e-08,4.965240e-08,4.960494e-08,4.956160e-08,4.953087e-08,4.945482e-08,4.944786e-08,4.935646e-08,4.933334e-08,4.925721e-08,4.919838e-08,4.915060e-08,4.905108e-08,4.903712e-08,4.891723e-08,4.889252e-08,4.879138e-08,4.872371e-08,4.865997e-08,4.854560e-08,4.852342e-08,4.838211e-08,4.835908e-08,4.823640e-08,4.816499e-08,4.808663e-08,4.796412e-08,4.793314e-08,4.777624e-08,4.775720e-08,4.761623e-08,4.754492e-08,4.745340e-08,4.732792e-08,4.728801e-08,4.712032e-08,4.710682e-08,4.695058e-08,4.688217e-08,4.677902e-08,4.665450e-08,4.660586e-08,4.643131e-08,4.642430e-08,4.625556e-08,4.619203e-08,4.607880e-08,4.595812e-08,4.590122e-08,4.572297e-08,4.548694e-08,4.525037e-08,4.501359e-08,4.477688e-08,4.454053e-08,4.430477e-08,4.406985e-08,4.383597e-08,4.360334e-08,4.337213e-08,4.314250e-08,4.291462e-08,4.268861e-08,4.246460e-08,4.224271e-08,4.202302e-08,4.180565e-08,4.159066e-08,4.137813e-08,4.116812e-08,4.096069e-08,4.075589e-08,4.055376e-08,4.035434e-08
0.000000e+00,6.239991e-12,1.439579e-11,4.974622e-11,1.131596e-10,1.649716e-10,3.734830e-10,3.846946e-10,7.428083e-10,8.728565e-10,1.276582e-09,1.697942e-09,2.026295e-09,2.937748e-09,3.027650e-09,4.293983e-09,4.635531e-09,5.802874e-09,6.736767e-09,7.507912e-09,9.132216e-09,9.361007e-09,1.132253e-08,1.172496e-08,1.336100e-08,1.444264e-08,1.545043e-08,1.722832e-08,1.756822e-08,1.969422e-08,2.003390e-08,2.181028e-08,2.281764e-08,2.390025e-08,2.554390e-08,2.595003e-08,2.794760e-08,2.818330e-08,2.988302e-08,3.071282e-08,3.174842e-08,3.311553e-08,3.353780e-08,3.524689e-08,3.538006e-08,3.687300e-08,3.749985e-08,3.841472e-08,3.947232e-08,3.987179e-08,4.124484e-08,4.129804e-08,4.253528e-08,4.297998e-08,4.374507e-08,4.452287e-08,4.487661e-08,4.593262e-08,4.691605e-08,4.721592e-08,4.782998e-08,4.837988e-08,4.867756e-08,4.943176e-08,4.946196e-08,5.018633e-08,5.037882e-08,5.085376e-08,5.122816e-08,5.146728e-08,5.198662e-08,5.202982e-08,5.254418e-08,5.266076e-08,5.301308e-08,5.325678e-08,5.343912e-08,5.378054e-08,5.382476e-08,5.417236e-08,5.423752e-08,5.448416e-08,5.463285e-08,5.476228e-08,5.497134e-08,5.500872e-08,5.522540e-08,5.525742e-08,5.541410e-08,5.549525e-08,5.557654e-08,5.568866e-08,5.571431e-08,5.582894e-08,5.584120e-08,5.592184e-08,5.595618e-08,5.599437e-08,5.603665e-08,5.604779e-08,5.608332e-08,5.608542e-08,5.610206e-08,5.610510e-08,5.610510e-08,5.609812e-08,5.609343e-08,5.606799e-08,5.606670e-08,5.602968e-08,5.601290e-08,5.597933e-08,5.593862e-08,5.591773e-08,5.584564e-08,5.576374e-08,5.573558e-08,5.567271e-08,5.560994e-08,5.557315e-08,5.547011e-08,5.546567e-08,5.535081e-08,5.531740e-08,5.522909e-08,5.515297e-08,5.510100e-08,5.497794e-08,5.496701e-08,5.482756e-08,5.479332e-08,5.468304e-08,5.460005e-08,5.453386e-08,5.439901e-08,5.438038e-08,5.422294e-08,5.419100e-08,5.406186e-08,5.397677e-08,5.389746e-08,5.375701e-08,5.373002e-08,5.355982e-08,5.353235e-08,5.338711e-08,5.330339e-08,5.321213e-08,5.307067e-08,5.303512e-08,5.285628e-08,5.283471e-08,5.267583e-08,5.259596e-08,5.249395e-08,5.235487e-08,5.231082e-08,5.212662e-08,5.211184e-08,5.194151e-08,5.186724e-08,5.175563e-08,5.162141e-08,5.156913e-08,5.138215e-08,5.137466e-08,5.119481e-08,5.112730e-08,5.100722e-08,5.087959e-08,5.081951e-08,5.063178e-08,5.038410e-08,5.013678e-08,4.989000e-08,4.964396e-08,4.939880e-08,4.915470e-08,4.891179e-08,4.867020e-08,4.843005e-08,4.819146e-08,4.795451e-08,4.771930e-08,4.748592e-08,4.725443e-08,4.702491e-08,4.679741e-08,4.657199e-08,4.634870e-08,4.612758e-08,4.590867e-08,4.569201e-08,4.547763e-08,4.526555e-08,4.505580e-08
0.000000e+00,6.357488e-12,1.467850e-11,5.101262e-11,1.170041e-10,1.715482e-10,3.956984e-10,4.079401e-10,8.077187e-10,9.567137e-10,1.430416e-09,1.940413e-09,2.347155e-09,3.509849e-09,3.626731e-09,5.303235e-09,5.762989e-09,7.350919e-09,8.634919e-09,9.701690e-09,1.196282e-08,1.228257e-08,1.503460e-08,1.560145e-08,1.791361e-08,1.944931e-08,2.088562e-08,2.343349e-08,2.392279e-08,2.700105e-08,2.749592e-08,3.009883e-08,3.158688e-08,3.319658e-08,3.566287e-08,3.627670e-08,3.932347e-08,3.968617e-08,4.232320e-08,4.362506e-08,4.526407e-08,4.745369e-08,4.813632e-08,5.093195e-08,5.115208e-08,5.364461e-08,5.470533e-08,5.626957e-08,5.810331e-08,5.880347e-08,6.124413e-08,6.133980e-08,6.359041e-08,6.441189e-08,6.584204e-08,6.731930e-08,6.799948e-08,7.006377e-08,7.203641e-08,7.264860e-08,7.391929e-08,7.507823e-08,7.571461e-08,7.735798e-08,7.742478e-08,7.905235e-08,7.949362e-08,8.059992e-08,8.149119e-08,8.207019e-08,8.335692e-08,8.346589e-08,8.478976e-08,8.509709e-08,8.604448e-08,8.671793e-08,8.723275e-08,8.822554e-08,8.835719e-08,8.942038e-08,8.962589e-08,9.042482e-08,9.092473e-08,9.137296e-08,9.212762e-08,9.226716e-08,9.310973e-08,9.323990e-08,9.390287e-08,9.426666e-08,9.464874e-08,9.521278e-08,9.534939e-08,9.600682e-08,9.608290e-08,9.662295e-08,9.688144e-08,9.719962e-08,9.761259e-08,9.773860e-08,9.824159e-08,9.828032e-08,9.871022e-08,9.888841e-08,9.914607e-08,9.944043e-08,9.955064e-08,9.992537e-08,9.993976e-08,1.002716e-07,1.003896e-07,1.005908e-07,1.007929e-07,1.008840e-07,1.011527e-07,1.013978e-07,1.014714e-07,1.016205e-07,1.017519e-07,1.018220e-07,1.019963e-07,1.020032e-07,1.021650e-07,1.022070e-07,1.023085e-07,1.023861e-07,1.024345e-07,1.025357e-07,1.025438e-07,1.026374e-07,1.026576e-07,1.027159e-07,1.027536e-07,1.027802e-07,1.028255e-07,1.028308e-07,1.028686e-07,1.028747e-07,1.028942e-07,1.029029e-07,1.029082e-07,1.029114e-07,1.029111e-07,1.029036e-07,1.029015e-07,1.028862e-07,1.028745e-07,1.028595e-07,1.028317e-07,1.028238e-07,1.027798e-07,1.027740e-07,1.027278e-07,1.027026e-07,1.026684e-07,1.026184e-07,1.026018e-07,1.025285e-07,1.025224e-07,1.024489e-07,1.024154e-07,1.023634e-07,1.022983e-07,1.022722e-07,1.021758e-07,1.021718e-07,1.020743e-07,1.020367e-07,1.019683e-07,1.018936e-07,1.018578e-07,1.017433e-07,1.015862e-07,1.014231e-07,1.012544e-07,1.010805e-07,1.009022e-07,1.007196e-07,1.005333e-07,1.003437e-07,1.001512e-07,9.995601e-08,9.975856e-08,9.955914e-08,9.935804e-08,9.915553e-08,9.895187e-08,9.874728e-08,9.854201e-08,9.833625e-08,9.813021e-08,9.792407e-08,9.771799e-08,9.751215e-08,9.730670e-08,9.710176e-08
0.000000e+00,3.458841e-11,9.085571e-11,3.612653e-10,8.826950e-10,1.325711e-09,3.196778e-09,3.300446e-09,6.733301e-09,8.029336e-09,1.218769e-08,1.671171e-08,2.034752e-08,3.086208e-08,3.192880e-08,4.741533e-08,5.171750e-08,6.671655e-08,7.895764e-08,8.917367e-08,1.108947e-07,1.139698e-07,1.404412e-07,1.458925e-07,1.681204e-07,1.828769e-07,1.966747e-07,2.211471e-07,2.258468e-07,2.554190e-07,2.601744e-07,2.851959e-07,2.995082e-07,3.149978e-07,3.387453e-07,3.446588e-07,3.740278e-07,3.775258e-07,4.029695e-07,4.155374e-07,4.313656e-07,4.525189e-07,4.591150e-07,4.861338e-07,4.882615e-07,5.123534e-07,5.226054e-07,5.377220e-07,5.554380e-07,5.622003e-07,5.857609e-07,5.866840e-07,6.083877e-07,6.163032e-07,6.300736e-07,6.442826e-07,6.508191e-07,6.706310e-07,6.895217e-07,6.953747e-07,7.075074e-07,7.185523e-07,7.246078e-07,7.402120e-07,7.408452e-07,7.562441e-07,7.604090e-07,7.708300e-07,7.792021e-07,7.846289e-07,7.966516e-07,7.976673e-07,8.099720e-07,8.128190e-07,8.215700e-07,8.277662e-07,8.324880e-07,8.415541e-07,8.427521e-07,8.523881e-07,8.542421e-07,8.614212e-07,8.658884e-07,8.698762e-07,8.765490e-07,8.777768e-07,8.851464e-07,8.862778e-07,8.920075e-07,8.951266e-07,8.983819e-07,9.031451e-07,9.042906e-07,9.097540e-07,9.103806e-07,9.147917e-07,9.168783e-07,9.194225e-07,9.226810e-07,9.236646e-07,9.275356e-07,9.278297e-07,9.310522e-07,9.323632e-07,9.342305e-07,9.363183e-07,9.370862e-07,9.396340e-07,9.397298e-07,9.418884e-07,9.426308e-07,9.438630e-07,9.450526e-07,9.455709e-07,9.470249e-07,9.482369e-07,9.485755e-07,9.492186e-07,9.497311e-07,9.499811e-07,9.505167e-07,9.505349e-07,9.508904e-07,9.509558e-07,9.510573e-07,9.510708e-07,9.510449e-07,9.508828e-07,9.508621e-07,9.505176e-07,9.504117e-07,9.500194e-07,9.496763e-07,9.493755e-07,9.486943e-07,9.485934e-07,9.476802e-07,9.474824e-07,9.466428e-07,9.460565e-07,9.454878e-07,9.444313e-07,9.442214e-07,9.428497e-07,9.426209e-07,9.413785e-07,9.406385e-07,9.398131e-07,9.384966e-07,9.381590e-07,9.364210e-07,9.362070e-07,9.346040e-07,9.337807e-07,9.327126e-07,9.312281e-07,9.307512e-07,9.287240e-07,9.285590e-07,9.266349e-07,9.257829e-07,9.244879e-07,9.229082e-07,9.222866e-07,9.200344e-07,9.199433e-07,9.177348e-07,9.168960e-07,9.153909e-07,9.137734e-07,9.130058e-07,9.105824e-07,9.073296e-07,9.040209e-07,9.006621e-07,8.972586e-07,8.938153e-07,8.903372e-07,8.868286e-07,8.832937e-07,8.797366e-07,8.761608e-07,8.725699e-07,8.689672e-07,8.653557e-07,8.617383e-07,8.581178e-07,8.544965e-07,8.508770e-07,8.472613e-07,8.436517e-07,8.400501e-07,8.364581e-07,8.328777e-07,8.293102e-07,8.257573e-07
0.000000e+00,1.647403e-11,4.368932e-11,1.746420e-10,4.251218e-10,6.356041e-10,1.503718e-09,1.550934e-09,3.071906e-09,3.627825e-09,5.359217e-09,7.172464e-09,8.590280e-09,1.256328e-08,1.295939e-08,1.866060e-08,2.024525e-08,2.583847e-08,3.051742e-08,3.451313e-08,4.327639e-08,4.454406e-08,5.568741e-08,5.802661e-08,6.768898e-08,7.419606e-08,8.033486e-08,9.133065e-08,9.345609e-08,1.069170e-07,1.090945e-07,1.206032e-07,1.272225e-07,1.344132e-07,1.454879e-07,1.482544e-07,1.620412e-07,1.636881e-07,1.756942e-07,1.816404e-07,1.891413e-07,1.991830e-07,2.023173e-07,2.151648e-07,2.161769e-07,2.276345e-07,2.325071e-07,2.396851e-07,2.480831e-07,2.512834e-07,2.624034e-07,2.628380e-07,2.730268e-07,2.767272e-07,2.831414e-07,2.897251e-07,2.927406e-07,3.018232e-07,3.103923e-07,3.130269e-07,3.184544e-07,3.233526e-07,3.260194e-07,3.328256e-07,3.330997e-07,3.397094e-07,3.414779e-07,3.458644e-07,3.493461e-07,3.515815e-07,3.564696e-07,3.568783e-07,3.617729e-07,3.628897e-07,3.662834e-07,3.686484e-07,3.704282e-07,3.737874e-07,3.742253e-07,3.776926e-07,3.783480e-07,3.808474e-07,3.823700e-07,3.837066e-07,3.858916e-07,3.862863e-07,3.886021e-07,3.889491e-07,3.906689e-07,3.915768e-07,3.925012e-07,3.938074e-07,3.941127e-07,3.955163e-07,3.956714e-07,3.967246e-07,3.971973e-07,3.977492e-07,3.984120e-07,3.986013e-07,3.992917e-07,3.993402e-07,3.998302e-07,4.000053e-07,4.002264e-07,4.004286e-07,4.004893e-07,4.006273e-07,4.006304e-07,4.006485e-07,4.006290e-07,4.005603e-07,4.004416e-07,4.003700e-07,4.000843e-07,3.997094e-07,3.995716e-07,3.992515e-07,3.989174e-07,3.987160e-07,3.981340e-07,3.981084e-07,3.974336e-07,3.972333e-07,3.966963e-07,3.962259e-07,3.959011e-07,3.951218e-07,3.950520e-07,3.941531e-07,3.939303e-07,3.932080e-07,3.926599e-07,3.922202e-07,3.913183e-07,3.911931e-07,3.901297e-07,3.899130e-07,3.890330e-07,3.884505e-07,3.879057e-07,3.869371e-07,3.867504e-07,3.855696e-07,3.853785e-07,3.843655e-07,3.837799e-07,3.831403e-07,3.821463e-07,3.818961e-07,3.806347e-07,3.804822e-07,3.793580e-07,3.787918e-07,3.780676e-07,3.770788e-07,3.767652e-07,3.754523e-07,3.753468e-07,3.741302e-07,3.735992e-07,3.728004e-07,3.718388e-07,3.714641e-07,3.701224e-07,3.700686e-07,3.687764e-07,3.682910e-07,3.674273e-07,3.665085e-07,3.660759e-07,3.647231e-07,3.629370e-07,3.611519e-07,3.593695e-07,3.575915e-07,3.558191e-07,3.540538e-07,3.522967e-07,3.505489e-07,3.488115e-07,3.470853e-07,3.453712e-07,3.436699e-07,3.419821e-07,3.403085e-07,3.386495e-07,3.370057e-07,3.353776e-07,3.337655e-07,3.321698e-07,3.305908e-07,3.290287e-07,3.274839e-07,3.259565e-07,3.244467e-07
0.000000e+00,6.217479e-12,1.435912e-11,4.993764e-11,1.143824e-10,1.673500e-10,3.815914e-10,3.931284e-10,7.610336e-10,8.940763e-10,1.304572e-09,1.729006e-09,2.057424e-09,2.963579e-09,3.052892e-09,4.321103e-09,4.668740e-09,5.884093e-09,6.892580e-09,7.752641e-09,9.650982e-09,9.928155e-09,1.240682e-08,1.293840e-08,1.518224e-08,1.674010e-08,1.824625e-08,2.103576e-08,2.158881e-08,2.519785e-08,2.579910e-08,2.905912e-08,3.099741e-08,3.315632e-08,3.659181e-08,3.747130e-08,4.198434e-08,4.253823e-08,4.667455e-08,4.878881e-08,5.152029e-08,5.529351e-08,5.649952e-08,6.159018e-08,6.200159e-08,6.677059e-08,6.886315e-08,7.201974e-08,7.583035e-08,7.731750e-08,8.264484e-08,8.285829e-08,8.798397e-08,8.990573e-08,9.331844e-08,9.693548e-08,9.863320e-08,1.039146e-07,1.091503e-07,1.108143e-07,1.143295e-07,1.176100e-07,1.194425e-07,1.242809e-07,1.244809e-07,1.294375e-07,1.308098e-07,1.343060e-07,1.371825e-07,1.390811e-07,1.433880e-07,1.437585e-07,1.483347e-07,1.494176e-07,1.528067e-07,1.552647e-07,1.571724e-07,1.609249e-07,1.614301e-07,1.655786e-07,1.663951e-07,1.696173e-07,1.716738e-07,1.735458e-07,1.767606e-07,1.773641e-07,1.810727e-07,1.816559e-07,1.846720e-07,1.863611e-07,1.881629e-07,1.908783e-07,1.915465e-07,1.948237e-07,1.952099e-07,1.979960e-07,1.993590e-07,2.010649e-07,2.033289e-07,2.040317e-07,2.068982e-07,2.071232e-07,2.096659e-07,2.107458e-07,2.123368e-07,2.142007e-07,2.149124e-07,2.173947e-07,2.174921e-07,2.197855e-07,2.206242e-07,2.220867e-07,2.236013e-07,2.243002e-07,2.264277e-07,2.284713e-07,2.291078e-07,2.304328e-07,2.316460e-07,2.323141e-07,2.340465e-07,2.341171e-07,2.358437e-07,2.363137e-07,2.374956e-07,2.384517e-07,2.390748e-07,2.404649e-07,2.405829e-07,2.420220e-07,2.423572e-07,2.433936e-07,2.441329e-07,2.446996e-07,2.457959e-07,2.459416e-07,2.471214e-07,2.473501e-07,2.482407e-07,2.487994e-07,2.493011e-07,2.501475e-07,2.503042e-07,2.512516e-07,2.513981e-07,2.521448e-07,2.525548e-07,2.529855e-07,2.536212e-07,2.537751e-07,2.545151e-07,2.546006e-07,2.552069e-07,2.554964e-07,2.558520e-07,2.563118e-07,2.564517e-07,2.570075e-07,2.570501e-07,2.575206e-07,2.577142e-07,2.579924e-07,2.583072e-07,2.584242e-07,2.588171e-07,2.588320e-07,2.591725e-07,2.592915e-07,2.594915e-07,2.596882e-07,2.597753e-07,2.600250e-07,2.603044e-07,2.605289e-07,2.607009e-07,2.608227e-07,2.608967e-07,2.609250e-07,2.609098e-07,2.608531e-07,2.607569e-07,2.606231e-07,2.604536e-07,2.602501e-07,2.600144e-07,2.597482e-07,2.594531e-07,2.591305e-07,2.587821e-07,2.584092e-07,2.580133e-07,2.575957e-07,2.571576e-07,2.567003e-07,2.562249e-07,2.557328e-07
0.000000e+00,2.360598e-13,2.122027e-12,5.589718e-11,4.902495e-10,1.325773e-09,1.135028e-08,1.226297e-08,6.773528e-08,1.025496e-07,2.701334e-07,5.537426e-07,8.607729e-07,2.160882e-06,2.328215e-06,5.558230e-06,6.744256e-06,1.202812e-05,1.788470e-05,2.404586e-05,4.189389e-05,4.503091e-05,7.982795e-05,8.899100e-05,1.350374e-04,1.746037e-04,2.193402e-04,3.206494e-04,3.437898e-04,5.220464e-04,5.566184e-04,7.705319e-04,9.202935e-04,1.108491e-03,1.457993e-03,1.557954e-03,2.143593e-03,2.224283e-03,2.892485e-03,3.281164e-03,3.833789e-03,4.696789e-03,4.998340e-03,6.418194e-03,6.543790e-03,8.126117e-03,8.897332e-03,1.015506e-02,1.183298e-02,1.253759e-02,1.530537e-02,1.542453e-02,1.848864e-02,1.974184e-02,2.211566e-02,2.484882e-02,2.621232e-02,3.080168e-02,3.590364e-02,3.764731e-02,4.153460e-02,4.542207e-02,4.770728e-02,5.415092e-02,5.443049e-02,6.170905e-02,6.384677e-02,6.954373e-02,7.451030e-02,7.793129e-02,8.612997e-02,8.686447e-02,9.633217e-02,9.868239e-02,1.063196e-01,1.121329e-01,1.168085e-01,1.264364e-01,1.277772e-01,1.392013e-01,1.415383e-01,1.510533e-01,1.573757e-01,1.633036e-01,1.738784e-01,1.759203e-01,1.888698e-01,1.909702e-01,2.021169e-01,2.085707e-01,2.156255e-01,2.265957e-01,2.293584e-01,2.432779e-01,2.449590e-01,2.573462e-01,2.635736e-01,2.715253e-01,2.823524e-01,2.857776e-01,3.000661e-01,3.012096e-01,3.143543e-01,3.200615e-01,3.286068e-01,3.388272e-01,3.427893e-01,3.568687e-01,3.574293e-01,3.708135e-01,3.757947e-01,3.845934e-01,3.938550e-01,3.981800e-01,4.115465e-01,4.246679e-01,4.288111e-01,4.375209e-01,4.455961e-01,4.500843e-01,4.618544e-01,4.623384e-01,4.742656e-01,4.775444e-01,4.858500e-01,4.926303e-01,4.970778e-01,5.070816e-01,5.079365e-01,5.184158e-01,5.208734e-01,5.285069e-01,5.339856e-01,5.382026e-01,5.464032e-01,5.474972e-01,5.563868e-01,5.581158e-01,5.648685e-01,5.691174e-01,5.729411e-01,5.794059e-01,5.806046e-01,5.878600e-01,5.889831e-01,5.947096e-01,5.978543e-01,6.011568e-01,6.060277e-01,6.072060e-01,6.128621e-01,6.135147e-01,6.181313e-01,6.203289e-01,6.230203e-01,6.264861e-01,6.275364e-01,6.316876e-01,6.320042e-01,6.354824e-01,6.369026e-01,6.389299e-01,6.412022e-01,6.420394e-01,6.448205e-01,6.449251e-01,6.472834e-01,6.480941e-01,6.494382e-01,6.507327e-01,6.512953e-01,6.528653e-01,6.545161e-01,6.557098e-01,6.564710e-01,6.568240e-01,6.567932e-01,6.564025e-01,6.556751e-01,6.546340e-01,6.533016e-01,6.516994e-01,6.498483e-01,6.477687e-01,6.454799e-01,6.430007e-01,6.403489e-01,6.375414e-01,6.345947e-01,6.315240e-01,6.283439e-01,6.250684e-01,6.217102e-01,6.182818e-01,6.147946e-01,6.112594e-01
0.000000e+00,1.038644e-12,7.410670e-12,1.215041e-10,6.964740e-10,1.495917e-09,7.145535e-09,7.541928e-09,2.381046e-08,3.107773e-08,5.680163e-08,8.734509e-08,1.130302e-07,1.906373e-07,1.987173e-07,3.196957e-07,3.545570e-07,4.807805e-07,5.894899e-07,6.841661e-07,8.965383e-07,9.276954e-07,1.204682e-06,1.263282e-06,1.505679e-06,1.668397e-06,1.820897e-06,2.090406e-06,2.141849e-06,2.461931e-06,2.512717e-06,2.776262e-06,2.924009e-06,3.081261e-06,3.316720e-06,3.374253e-06,3.653221e-06,3.685678e-06,3.916656e-06,4.027357e-06,4.163491e-06,4.339561e-06,4.393063e-06,4.605086e-06,4.621289e-06,4.799619e-06,4.872606e-06,4.977019e-06,5.094469e-06,5.137891e-06,5.283034e-06,5.288525e-06,5.413385e-06,5.456887e-06,5.529971e-06,5.601929e-06,5.633857e-06,5.726119e-06,5.807807e-06,5.831880e-06,5.879927e-06,5.921503e-06,5.943425e-06,5.997084e-06,5.999175e-06,6.047977e-06,6.060497e-06,6.090557e-06,6.113393e-06,6.127568e-06,6.157204e-06,6.159595e-06,6.187156e-06,6.193158e-06,6.210709e-06,6.222302e-06,6.230661e-06,6.245528e-06,6.247373e-06,6.261158e-06,6.263589e-06,6.272297e-06,6.277126e-06,6.281036e-06,6.286682e-06,6.287593e-06,6.292162e-06,6.292720e-06,6.294912e-06,6.295631e-06,6.295994e-06,6.295751e-06,6.295544e-06,6.293684e-06,6.293371e-06,6.290526e-06,6.288752e-06,6.286172e-06,6.282118e-06,6.280711e-06,6.274224e-06,6.273663e-06,6.266787e-06,6.263562e-06,6.258470e-06,6.251975e-06,6.249340e-06,6.239456e-06,6.239046e-06,6.228873e-06,6.224901e-06,6.217639e-06,6.209653e-06,6.205803e-06,6.193411e-06,6.180503e-06,6.176271e-06,6.167121e-06,6.158323e-06,6.153298e-06,6.139647e-06,6.139070e-06,6.124468e-06,6.120317e-06,6.109523e-06,6.100403e-06,6.094262e-06,6.079968e-06,6.078714e-06,6.062902e-06,6.059071e-06,6.046852e-06,6.037769e-06,6.030586e-06,6.016109e-06,6.014124e-06,5.997486e-06,5.994140e-06,5.980692e-06,5.971903e-06,5.963759e-06,5.949440e-06,5.946704e-06,5.929543e-06,5.926789e-06,5.912292e-06,5.903983e-06,5.894964e-06,5.881056e-06,5.877573e-06,5.860132e-06,5.858036e-06,5.842651e-06,5.834951e-06,5.825144e-06,5.811827e-06,5.807620e-06,5.790090e-06,5.788688e-06,5.772563e-06,5.765556e-06,5.755049e-06,5.742451e-06,5.737556e-06,5.720091e-06,5.719393e-06,5.702664e-06,5.696400e-06,5.685280e-06,5.673487e-06,5.667947e-06,5.650670e-06,5.627962e-06,5.605377e-06,5.582926e-06,5.560619e-06,5.538468e-06,5.516481e-06,5.494667e-06,5.473032e-06,5.451585e-06,5.430332e-06,5.409278e-06,5.388429e-06,5.367789e-06,5.347362e-06,5.327152e-06,5.307163e-06,5.287396e-06,5.267856e-06,5.248543e-06,5.229460e-06,5.210607e-06,5.191987e-06,5.173601e-06,5.155447e-06
0.000000e+00,5.965354e-14,5.369987e-13,1.418704e-11,1.247753e-10,3.379568e-10,2.905456e-09,3.139633e-09,1.741760e-08,2.640200e-08,6.976575e-08,1.433856e-07,2.232758e-07,5.627569e-07,6.065463e-07,1.454327e-06,1.766491e-06,3.160846e-06,4.711259e-06,6.346261e-06,1.109853e-05,1.193569e-05,2.124873e-05,2.370771e-05,3.609526e-05,4.677189e-05,5.887175e-05,8.635862e-05,9.265089e-05,1.412578e-04,1.507089e-04,2.093276e-04,2.504905e-04,3.023391e-04,3.989319e-04,4.266225e-04,5.893410e-04,6.118198e-04,7.984452e-04,9.073559e-04,1.062604e-03,1.305882e-03,1.391110e-03,1.793772e-03,1.829492e-03,2.280785e-03,2.501543e-03,2.862593e-03,3.346115e-03,3.549746e-03,4.352744e-03,4.387421e-03,5.281895e-03,5.649204e-03,6.347162e-03,7.154155e-03,7.558027e-03,8.923360e-03,1.045130e-02,1.097580e-02,1.214914e-02,1.332791e-02,1.402326e-02,1.599323e-02,1.607901e-02,1.832069e-02,1.898214e-02,2.075149e-02,2.230165e-02,2.337345e-02,2.595527e-02,2.618746e-02,2.919325e-02,2.994305e-02,3.238943e-02,3.426156e-02,3.577349e-02,3.890405e-02,3.934183e-02,4.308987e-02,4.386056e-02,4.701201e-02,4.911821e-02,5.110178e-02,5.466142e-02,5.535188e-02,5.975426e-02,6.047219e-02,6.430016e-02,6.653045e-02,6.898025e-02,7.281435e-02,7.378469e-02,7.870319e-02,7.930058e-02,8.372511e-02,8.596472e-02,8.883955e-02,9.278157e-02,9.403539e-02,9.930142e-02,9.972540e-02,1.046263e-01,1.067703e-01,1.099989e-01,1.138904e-01,1.154079e-01,1.208424e-01,1.210601e-01,1.262914e-01,1.282545e-01,1.317443e-01,1.354492e-01,1.371907e-01,1.426208e-01,1.480247e-01,1.497469e-01,1.533932e-01,1.568064e-01,1.587175e-01,1.637793e-01,1.639890e-01,1.691999e-01,1.706470e-01,1.743426e-01,1.773925e-01,1.794099e-01,1.839997e-01,1.843954e-01,1.892929e-01,1.904546e-01,1.940968e-01,1.967441e-01,1.988019e-01,2.028569e-01,2.034035e-01,2.078974e-01,2.087830e-01,2.122799e-01,2.145136e-01,2.165476e-01,2.200417e-01,2.206977e-01,2.247275e-01,2.253610e-01,2.286352e-01,2.304669e-01,2.324189e-01,2.353557e-01,2.360774e-01,2.396096e-01,2.400250e-01,2.430151e-01,2.444732e-01,2.462934e-01,2.486998e-01,2.494445e-01,2.524688e-01,2.527052e-01,2.553667e-01,2.564906e-01,2.581390e-01,2.600579e-01,2.607868e-01,2.633113e-01,2.634097e-01,2.657139e-01,2.665492e-01,2.679961e-01,2.694802e-01,2.701598e-01,2.722069e-01,2.747340e-01,2.770664e-01,2.792097e-01,2.811694e-01,2.829512e-01,2.845614e-01,2.860058e-01,2.872909e-01,2.884229e-01,2.894081e-01,2.902528e-01,2.909634e-01,2.915461e-01,2.920070e-01,2.923522e-01,2.925879e-01,2.927197e-01,2.927535e-01,2.926948e-01,2.925491e-01,2.923218e-01,2.920179e-01,2.916423e-01,2.912000e-01
0.000000e+00,2.036070e-12,4.658589e-12,1.592987e-11,3.597704e-11,5.225029e-11,1.170234e-10,1.204779e-10,2.295495e-10,2.686175e-10,3.883936e-10,5.114420e-10,6.063113e-10,8.671892e-10,8.928538e-10,1.256511e-09,1.355896e-09,1.701798e-09,1.986273e-09,2.226486e-09,2.747302e-09,2.822174e-09,3.477866e-09,3.615250e-09,4.182989e-09,4.566110e-09,4.928448e-09,5.580111e-09,5.706500e-09,6.510306e-09,6.640879e-09,7.333566e-09,7.733874e-09,8.170291e-09,8.845471e-09,9.014695e-09,9.861186e-09,9.962648e-09,1.070440e-08,1.107305e-08,1.153925e-08,1.216523e-08,1.236102e-08,1.316538e-08,1.322886e-08,1.394852e-08,1.425507e-08,1.470709e-08,1.523644e-08,1.543827e-08,1.613975e-08,1.616717e-08,1.680977e-08,1.704301e-08,1.744702e-08,1.786118e-08,1.805066e-08,1.862026e-08,1.915576e-08,1.931995e-08,1.965742e-08,1.996096e-08,2.012578e-08,2.054478e-08,2.056160e-08,2.096582e-08,2.107348e-08,2.133952e-08,2.154960e-08,2.168393e-08,2.197598e-08,2.200028e-08,2.228987e-08,2.235554e-08,2.255409e-08,2.269151e-08,2.279437e-08,2.298707e-08,2.301204e-08,2.320838e-08,2.324520e-08,2.338471e-08,2.346890e-08,2.354227e-08,2.366099e-08,2.368225e-08,2.380580e-08,2.382411e-08,2.391399e-08,2.396077e-08,2.400786e-08,2.407330e-08,2.408838e-08,2.415646e-08,2.416384e-08,2.421296e-08,2.423436e-08,2.425869e-08,2.428669e-08,2.429439e-08,2.432077e-08,2.432249e-08,2.433848e-08,2.434328e-08,2.434814e-08,2.435043e-08,2.435031e-08,2.434553e-08,2.434520e-08,2.433429e-08,2.432875e-08,2.431704e-08,2.430210e-08,2.429421e-08,2.426621e-08,2.423339e-08,2.422193e-08,2.419610e-08,2.417004e-08,2.415467e-08,2.411126e-08,2.410938e-08,2.406051e-08,2.404622e-08,2.400833e-08,2.397553e-08,2.395307e-08,2.389970e-08,2.389495e-08,2.383419e-08,2.381924e-08,2.377098e-08,2.373458e-08,2.370550e-08,2.364614e-08,2.363792e-08,2.356841e-08,2.355428e-08,2.349710e-08,2.345937e-08,2.342415e-08,2.336169e-08,2.334968e-08,2.327382e-08,2.326156e-08,2.319667e-08,2.315922e-08,2.311836e-08,2.305493e-08,2.303897e-08,2.295861e-08,2.294890e-08,2.287736e-08,2.284135e-08,2.279531e-08,2.273247e-08,2.271254e-08,2.262913e-08,2.262243e-08,2.254514e-08,2.251140e-08,2.246064e-08,2.239953e-08,2.237570e-08,2.229037e-08,2.228695e-08,2.220472e-08,2.217381e-08,2.211878e-08,2.206022e-08,2.203262e-08,2.194628e-08,2.183211e-08,2.171779e-08,2.160342e-08,2.148908e-08,2.137484e-08,2.126078e-08,2.114695e-08,2.103343e-08,2.092027e-08,2.080752e-08,2.069523e-08,2.058344e-08,2.047220e-08,2.036154e-08,2.025150e-08,2.014212e-08,2.003341e-08,1.992542e-08,1.981816e-08,1.971166e-08,1.960593e-08,1.950101e-08,1.939690e-08,1.929362e-08
0.000000e+00,7.146218e-11,1.971682e-10,8.208424e-10,2.034149e-09,3.059784e-09,7.298544e-09,7.528870e-09,1.491438e-08,1.759441e-08,2.586950e-08,3.442084e-08,4.102889e-08,5.920667e-08,6.099324e-08,8.624026e-08,9.311561e-08,1.169739e-07,1.365467e-07,1.530742e-07,1.890331e-07,1.942258e-07,2.400578e-07,2.497527e-07,2.901929e-07,3.178361e-07,3.442444e-07,3.923771e-07,4.018050e-07,4.624399e-07,4.723963e-07,5.256882e-07,5.568349e-07,5.910689e-07,6.445780e-07,6.580895e-07,7.262564e-07,7.344903e-07,7.950849e-07,8.254580e-07,8.641087e-07,9.164259e-07,9.328884e-07,1.001017e-06,1.006428e-06,1.068127e-06,1.094610e-06,1.133889e-06,1.180242e-06,1.198018e-06,1.260271e-06,1.262719e-06,1.320446e-06,1.341568e-06,1.378380e-06,1.416430e-06,1.433948e-06,1.487058e-06,1.537648e-06,1.553298e-06,1.585683e-06,1.615078e-06,1.631152e-06,1.672397e-06,1.674065e-06,1.714449e-06,1.725308e-06,1.752344e-06,1.773909e-06,1.787805e-06,1.818333e-06,1.820895e-06,1.851683e-06,1.858739e-06,1.880247e-06,1.895301e-06,1.906667e-06,1.928209e-06,1.931026e-06,1.953411e-06,1.957658e-06,1.973905e-06,1.983845e-06,1.992597e-06,2.006967e-06,2.009571e-06,2.024910e-06,2.027218e-06,2.038698e-06,2.044789e-06,2.051015e-06,2.059861e-06,2.061938e-06,2.071544e-06,2.072611e-06,2.079905e-06,2.083208e-06,2.087092e-06,2.091810e-06,2.093172e-06,2.098210e-06,2.098570e-06,2.102268e-06,2.103630e-06,2.105406e-06,2.107127e-06,2.107679e-06,2.109143e-06,2.109185e-06,2.109848e-06,2.109926e-06,2.109844e-06,2.109459e-06,2.109176e-06,2.107889e-06,2.106026e-06,2.105314e-06,2.103625e-06,2.101824e-06,2.100724e-06,2.097503e-06,2.097360e-06,2.093566e-06,2.092431e-06,2.089373e-06,2.086679e-06,2.084813e-06,2.080317e-06,2.079913e-06,2.074701e-06,2.073407e-06,2.069202e-06,2.066007e-06,2.063441e-06,2.058171e-06,2.057439e-06,2.051219e-06,2.049951e-06,2.044801e-06,2.041391e-06,2.038203e-06,2.032535e-06,2.031444e-06,2.024540e-06,2.023423e-06,2.017507e-06,2.014090e-06,2.010360e-06,2.004570e-06,2.003114e-06,1.995781e-06,1.994895e-06,1.988373e-06,1.985093e-06,1.980903e-06,1.975190e-06,1.973380e-06,1.965816e-06,1.965210e-06,1.958220e-06,1.955175e-06,1.950601e-06,1.945105e-06,1.942966e-06,1.935324e-06,1.935018e-06,1.927683e-06,1.924933e-06,1.920048e-06,1.914863e-06,1.912426e-06,1.904824e-06,1.894827e-06,1.884884e-06,1.875006e-06,1.865202e-06,1.855481e-06,1.845850e-06,1.836316e-06,1.826885e-06,1.817562e-06,1.808353e-06,1.799260e-06,1.790288e-06,1.781440e-06,1.772719e-06,1.764126e-06,1.755664e-06,1.747334e-06,1.739137e-06,1.731073e-06,1.723144e-06,1.715350e-06,1.707690e-06,1.700165e-06,1.692775e-06
0.000000e+00,2.689245e-14,2.253162e-13,5.121596e-12,3.921172e-11,9.836100e-11,6.924472e-10,7.421707e-10,3.371598e-09,4.840282e-09,1.115850e-08,2.054625e-08,2.979248e-08,6.412712e-08,6.820260e-08,1.391963e-07,1.628929e-07,2.599004e-07,3.570097e-07,4.516370e-07,6.983954e-07,7.387111e-07,1.145933e-06,1.243823e-06,1.695398e-06,2.043064e-06,2.403486e-06,3.127467e-06,3.278889e-06,4.321993e-06,4.504058e-06,5.525446e-06,6.156243e-06,6.875582e-06,8.049151e-06,8.354157e-06,9.940099e-06,1.013657e-05,1.161104e-05,1.236738e-05,1.334452e-05,1.469039e-05,1.511884e-05,1.691363e-05,1.705753e-05,1.871025e-05,1.942557e-05,2.049188e-05,2.175697e-05,2.224369e-05,2.395274e-05,2.402005e-05,2.560805e-05,2.618898e-05,2.720043e-05,2.824345e-05,2.872247e-05,3.016837e-05,3.153389e-05,3.195338e-05,3.281617e-05,3.359236e-05,3.401362e-05,3.508293e-05,3.512578e-05,3.615318e-05,3.642583e-05,3.709719e-05,3.762442e-05,3.795991e-05,3.868408e-05,3.874398e-05,3.945254e-05,3.961173e-05,4.008903e-05,4.041535e-05,4.065714e-05,4.110357e-05,4.116073e-05,4.160370e-05,4.168537e-05,4.198999e-05,4.216974e-05,4.232346e-05,4.256554e-05,4.260791e-05,4.284700e-05,4.288128e-05,4.304423e-05,4.312502e-05,4.320293e-05,4.330429e-05,4.332628e-05,4.341723e-05,4.342610e-05,4.347856e-05,4.349685e-05,4.351288e-05,4.352237e-05,4.352258e-05,4.350989e-05,4.350797e-05,4.347688e-05,4.345842e-05,4.342544e-05,4.337799e-05,4.335733e-05,4.327413e-05,4.327051e-05,4.317733e-05,4.313941e-05,4.306826e-05,4.298773e-05,4.294817e-05,4.281818e-05,4.267932e-05,4.263317e-05,4.253253e-05,4.243484e-05,4.237869e-05,4.222508e-05,4.221857e-05,4.205289e-05,4.200560e-05,4.188231e-05,4.177786e-05,4.170743e-05,4.154322e-05,4.152880e-05,4.134692e-05,4.130283e-05,4.116224e-05,4.105776e-05,4.097519e-05,4.080893e-05,4.078615e-05,4.059546e-05,4.055716e-05,4.040346e-05,4.030320e-05,4.021043e-05,4.004769e-05,4.001664e-05,3.982234e-05,3.979122e-05,3.962775e-05,3.953431e-05,3.943308e-05,3.927742e-05,3.923852e-05,3.904425e-05,3.902097e-05,3.885042e-05,3.876531e-05,3.865717e-05,3.851078e-05,3.846465e-05,3.827296e-05,3.825767e-05,3.808222e-05,3.800622e-05,3.789254e-05,3.775666e-05,3.770399e-05,3.751667e-05,3.750920e-05,3.733065e-05,3.726402e-05,3.714600e-05,3.702126e-05,3.696279e-05,3.678106e-05,3.654355e-05,3.630883e-05,3.607698e-05,3.584809e-05,3.562222e-05,3.539943e-05,3.517975e-05,3.496322e-05,3.474988e-05,3.453974e-05,3.433281e-05,3.412912e-05,3.392865e-05,3.373142e-05,3.353740e-05,3.334660e-05,3.315900e-05,3.297457e-05,3.279331e-05,3.261519e-05,3.244018e-05,3.226825e-05,3.209939e-05,3.193355e-05
0.000000e+00,1.063007e-10,2.716976e-10,1.046754e-09,2.506501e-09,3.724298e-09,8.703276e-09,8.972523e-09,1.757661e-08,2.069089e-08,3.029629e-08,4.021594e-08,4.788123e-08,6.897892e-08,7.105385e-08,1.004104e-07,1.084169e-07,1.362393e-07,1.591028e-07,1.784297e-07,2.205208e-07,2.266022e-07,2.802922e-07,2.916509e-07,3.390299e-07,3.714128e-07,4.023454e-07,4.587143e-07,4.697542e-07,5.407489e-07,5.524057e-07,6.147986e-07,6.512668e-07,6.913542e-07,7.540283e-07,7.698582e-07,8.497554e-07,8.594108e-07,9.305039e-07,9.661682e-07,1.011585e-06,1.073128e-06,1.092511e-06,1.172834e-06,1.179221e-06,1.252146e-06,1.283506e-06,1.330087e-06,1.385176e-06,1.406340e-06,1.480637e-06,1.483565e-06,1.552751e-06,1.578141e-06,1.622499e-06,1.668501e-06,1.689736e-06,1.754351e-06,1.816267e-06,1.835501e-06,1.875433e-06,1.911843e-06,1.931824e-06,1.983345e-06,1.985436e-06,2.036284e-06,2.050030e-06,2.084398e-06,2.111971e-06,2.129820e-06,2.169277e-06,2.172604e-06,2.212812e-06,2.222086e-06,2.250513e-06,2.270557e-06,2.285780e-06,2.314864e-06,2.318692e-06,2.349328e-06,2.355190e-06,2.377772e-06,2.391724e-06,2.404107e-06,2.424659e-06,2.428416e-06,2.450783e-06,2.454186e-06,2.471289e-06,2.480495e-06,2.490016e-06,2.503771e-06,2.507045e-06,2.522452e-06,2.524196e-06,2.536315e-06,2.541944e-06,2.548707e-06,2.557185e-06,2.559700e-06,2.569364e-06,2.570082e-06,2.577766e-06,2.580789e-06,2.584972e-06,2.589455e-06,2.591045e-06,2.596044e-06,2.596222e-06,2.600028e-06,2.601225e-06,2.603053e-06,2.604590e-06,2.605173e-06,2.606438e-06,2.606900e-06,2.606885e-06,2.606604e-06,2.606038e-06,2.605596e-06,2.603999e-06,2.603920e-06,2.601616e-06,2.600864e-06,2.598725e-06,2.596725e-06,2.595285e-06,2.591665e-06,2.591330e-06,2.586897e-06,2.585765e-06,2.582017e-06,2.579100e-06,2.576721e-06,2.571741e-06,2.571040e-06,2.565002e-06,2.563754e-06,2.558634e-06,2.555200e-06,2.551961e-06,2.546138e-06,2.545008e-06,2.537798e-06,2.536622e-06,2.530352e-06,2.526701e-06,2.522693e-06,2.516424e-06,2.514838e-06,2.506808e-06,2.505834e-06,2.498620e-06,2.494972e-06,2.490291e-06,2.483876e-06,2.481837e-06,2.473272e-06,2.472582e-06,2.464611e-06,2.461123e-06,2.455867e-06,2.449528e-06,2.447054e-06,2.438183e-06,2.437827e-06,2.429264e-06,2.426045e-06,2.420310e-06,2.414206e-06,2.411330e-06,2.402333e-06,2.390447e-06,2.378566e-06,2.366707e-06,2.354887e-06,2.343120e-06,2.331419e-06,2.319797e-06,2.308264e-06,2.296830e-06,2.285505e-06,2.274296e-06,2.263211e-06,2.252256e-06,2.241436e-06,2.230758e-06,2.220225e-06,2.209841e-06,2.199610e-06,2.189534e-06,2.179616e-06,2.169856e-06,2.160258e-06,2.150822e-06,2.141549e-06
0.000000e+00,7.942841e-12,3.644129e-11,2.797077e-10,9.391661e-10,1.584066e-09,4.628382e-09,4.804738e-09,1.079030e-08,1.307523e-08,2.037605e-08,2.821015e-08,3.441824e-08,5.203983e-08,5.380912e-08,7.942243e-08,8.657847e-08,1.119383e-07,1.332852e-07,1.516363e-07,1.924108e-07,1.983813e-07,2.518123e-07,2.632645e-07,3.115190e-07,3.449149e-07,3.771073e-07,4.364692e-07,4.481977e-07,5.244049e-07,5.370461e-07,6.053211e-07,6.457060e-07,6.905081e-07,7.614182e-07,7.794964e-07,8.717882e-07,8.830607e-07,9.668647e-07,1.009444e-06,1.064195e-06,1.139345e-06,1.163246e-06,1.263492e-06,1.271548e-06,1.364421e-06,1.404874e-06,1.465544e-06,1.538215e-06,1.566404e-06,1.666576e-06,1.670563e-06,1.765677e-06,1.801023e-06,1.863360e-06,1.928818e-06,1.959321e-06,2.053297e-06,2.145064e-06,2.173931e-06,2.234435e-06,2.290305e-06,2.321261e-06,2.402109e-06,2.405423e-06,2.486835e-06,2.509128e-06,2.565436e-06,2.611231e-06,2.641189e-06,2.708355e-06,2.714081e-06,2.784114e-06,2.800499e-06,2.851309e-06,2.887709e-06,2.915697e-06,2.970072e-06,2.977323e-06,3.036241e-06,3.047705e-06,3.092512e-06,3.120748e-06,3.146202e-06,3.189360e-06,3.197383e-06,3.246130e-06,3.253709e-06,3.292520e-06,3.313973e-06,3.336631e-06,3.370332e-06,3.378542e-06,3.418334e-06,3.422970e-06,3.456084e-06,3.472067e-06,3.491870e-06,3.517801e-06,3.525768e-06,3.557855e-06,3.560346e-06,3.588202e-06,3.599870e-06,3.616881e-06,3.636536e-06,3.643962e-06,3.669510e-06,3.670501e-06,3.693591e-06,3.701913e-06,3.716268e-06,3.730916e-06,3.737600e-06,3.757646e-06,3.776460e-06,3.782230e-06,3.794098e-06,3.804792e-06,3.810610e-06,3.825448e-06,3.826045e-06,3.840452e-06,3.844308e-06,3.853875e-06,3.861474e-06,3.866357e-06,3.877047e-06,3.877941e-06,3.888666e-06,3.891117e-06,3.898570e-06,3.903772e-06,3.907690e-06,3.915095e-06,3.916061e-06,3.923715e-06,3.925163e-06,3.930685e-06,3.934050e-06,3.937002e-06,3.941824e-06,3.942694e-06,3.947790e-06,3.948552e-06,3.952316e-06,3.954293e-06,3.956297e-06,3.959107e-06,3.959759e-06,3.962723e-06,3.963047e-06,3.965214e-06,3.966165e-06,3.967252e-06,3.968510e-06,3.968857e-06,3.970049e-06,3.970128e-06,3.970848e-06,3.971060e-06,3.971269e-06,3.971350e-06,3.971332e-06,3.971052e-06,3.971033e-06,3.970444e-06,3.970148e-06,3.969524e-06,3.968728e-06,3.968307e-06,3.966806e-06,3.964411e-06,3.961573e-06,3.958320e-06,3.954676e-06,3.950666e-06,3.946314e-06,3.941640e-06,3.936666e-06,3.931411e-06,3.925894e-06,3.920131e-06,3.914140e-06,3.907936e-06,3.901534e-06,3.894947e-06,3.888190e-06,3.881275e-06,3.874214e-06,3.867017e-06,3.859697e-06,3.852262e-06,3.844724e-06,3.837090e-06,3.829369e-06
0.000000e+00,2.948609e-12,6.766249e-12,2.328871e-11,5.290738e-11,7.707460e-11,1.738321e-10,1.790080e-10,3.427376e-10,4.014212e-10,5.810960e-10,7.649976e-10,9.061755e-10,1.291442e-09,1.329118e-09,1.859447e-09,2.003526e-09,2.503762e-09,2.915274e-09,3.263798e-09,4.024619e-09,4.134638e-09,5.104600e-09,5.309107e-09,6.157533e-09,6.732051e-09,7.276047e-09,8.254254e-09,8.443778e-09,9.646247e-09,9.840999e-09,1.087084e-08,1.146323e-08,1.210660e-08,1.309679e-08,1.334398e-08,1.457472e-08,1.472162e-08,1.579172e-08,1.632125e-08,1.698895e-08,1.788251e-08,1.816141e-08,1.930505e-08,1.939520e-08,2.041664e-08,2.085173e-08,2.149373e-08,2.224686e-08,2.253455e-08,2.353787e-08,2.357721e-08,2.450296e-08,2.484096e-08,2.542950e-08,2.603755e-08,2.631754e-08,2.716738e-08,2.797953e-08,2.823156e-08,2.875469e-08,2.923177e-08,2.949371e-08,3.017002e-08,3.019751e-08,3.086709e-08,3.104859e-08,3.150353e-08,3.186993e-08,3.210790e-08,3.263656e-08,3.268133e-08,3.322490e-08,3.335104e-08,3.373974e-08,3.401591e-08,3.422693e-08,3.463364e-08,3.468755e-08,3.512264e-08,3.520669e-08,3.553324e-08,3.573741e-08,3.592035e-08,3.622808e-08,3.628493e-08,3.662793e-08,3.668087e-08,3.695026e-08,3.709789e-08,3.725278e-08,3.748111e-08,3.753635e-08,3.780178e-08,3.783245e-08,3.804986e-08,3.815371e-08,3.828133e-08,3.844660e-08,3.849693e-08,3.869735e-08,3.871275e-08,3.888325e-08,3.895370e-08,3.905529e-08,3.917091e-08,3.921407e-08,3.936018e-08,3.936577e-08,3.949419e-08,3.953957e-08,3.961664e-08,3.969357e-08,3.972805e-08,3.982891e-08,3.991971e-08,3.994671e-08,4.000089e-08,4.004801e-08,4.007290e-08,4.013378e-08,4.013615e-08,4.019104e-08,4.020497e-08,4.023796e-08,4.026243e-08,4.027726e-08,4.030701e-08,4.030931e-08,4.033444e-08,4.033948e-08,4.035296e-08,4.036057e-08,4.036519e-08,4.037098e-08,4.037142e-08,4.037194e-08,4.037138e-08,4.036700e-08,4.036236e-08,4.035687e-08,4.034453e-08,4.034180e-08,4.032202e-08,4.031843e-08,4.029775e-08,4.028458e-08,4.026922e-08,4.024347e-08,4.023664e-08,4.020019e-08,4.019557e-08,4.016008e-08,4.014131e-08,4.011647e-08,4.008110e-08,4.006955e-08,4.001948e-08,4.001535e-08,3.996643e-08,3.994440e-08,3.991054e-08,3.986862e-08,3.985196e-08,3.979083e-08,3.978833e-08,3.972728e-08,3.970384e-08,3.966145e-08,3.961544e-08,3.959345e-08,3.952341e-08,3.942802e-08,3.932950e-08,3.922810e-08,3.912404e-08,3.901751e-08,3.890873e-08,3.879787e-08,3.868511e-08,3.857063e-08,3.845457e-08,3.833709e-08,3.821833e-08,3.809841e-08,3.797748e-08,3.785564e-08,3.773300e-08,3.760968e-08,3.748578e-08,3.736139e-08,3.723659e-08,3.711148e-08,3.698614e-08,3.686064e-08,3.673505e-08
0.000000e+00,1.969519e-12,1.419109e-11,2.376927e-10,1.390942e-09,3.023195e-09,1.491672e-08,1.576586e-08,5.154205e-08,6.794668e-08,1.274547e-07,2.003512e-07,2.631440e-07,4.593989e-07,4.803144e-07,8.021920e-07,8.975590e-07,1.250704e-06,1.563204e-06,1.840750e-06,2.479598e-06,2.575124e-06,3.444316e-06,3.632869e-06,4.430802e-06,4.983368e-06,5.514213e-06,6.484679e-06,6.674802e-06,7.894818e-06,8.094457e-06,9.158498e-06,9.776360e-06,1.045165e-05,1.149858e-05,1.176120e-05,1.307491e-05,1.323229e-05,1.438132e-05,1.495105e-05,1.566976e-05,1.663093e-05,1.693050e-05,1.815486e-05,1.825100e-05,1.933528e-05,1.979370e-05,2.046546e-05,2.124516e-05,2.154029e-05,2.255594e-05,2.259530e-05,2.350971e-05,2.383757e-05,2.439995e-05,2.496866e-05,2.522601e-05,2.598807e-05,2.668702e-05,2.689758e-05,2.732432e-05,2.770072e-05,2.790191e-05,2.840233e-05,2.842207e-05,2.888739e-05,2.900822e-05,2.930062e-05,2.952476e-05,2.966466e-05,2.995865e-05,2.998244e-05,3.025691e-05,3.031667e-05,3.049098e-05,3.060547e-05,3.068747e-05,3.083149e-05,3.084914e-05,3.097861e-05,3.100086e-05,3.107839e-05,3.111935e-05,3.115088e-05,3.119233e-05,3.119833e-05,3.122283e-05,3.122476e-05,3.122637e-05,3.122118e-05,3.121080e-05,3.118574e-05,3.117784e-05,3.112908e-05,3.112224e-05,3.106601e-05,3.103408e-05,3.099001e-05,3.092438e-05,3.090234e-05,3.080419e-05,3.079592e-05,3.069663e-05,3.065120e-05,3.058065e-05,3.049246e-05,3.045718e-05,3.032704e-05,3.032171e-05,3.019103e-05,3.014076e-05,3.004984e-05,2.995121e-05,2.990413e-05,2.975451e-05,2.960151e-05,2.955192e-05,2.944563e-05,2.934458e-05,2.928735e-05,2.913352e-05,2.912708e-05,2.896520e-05,2.891963e-05,2.880206e-05,2.870371e-05,2.863799e-05,2.848647e-05,2.847328e-05,2.830819e-05,2.826854e-05,2.814298e-05,2.805048e-05,2.797785e-05,2.783277e-05,2.781301e-05,2.764865e-05,2.761585e-05,2.748492e-05,2.740009e-05,2.732199e-05,2.718583e-05,2.715997e-05,2.699901e-05,2.697336e-05,2.683920e-05,2.676293e-05,2.668065e-05,2.655477e-05,2.652343e-05,2.636765e-05,2.634905e-05,2.621335e-05,2.614595e-05,2.606061e-05,2.594560e-05,2.590948e-05,2.576001e-05,2.574812e-05,2.561223e-05,2.555361e-05,2.546620e-05,2.536214e-05,2.532193e-05,2.517945e-05,2.517379e-05,2.503879e-05,2.498860e-05,2.489996e-05,2.480661e-05,2.476297e-05,2.462784e-05,2.445232e-05,2.428006e-05,2.411105e-05,2.394529e-05,2.378276e-05,2.362345e-05,2.346734e-05,2.331440e-05,2.316460e-05,2.301791e-05,2.287428e-05,2.273369e-05,2.259608e-05,2.246142e-05,2.232967e-05,2.220077e-05,2.207468e-05,2.195135e-05,2.183075e-05,2.171280e-05,2.159748e-05,2.148472e-05,2.137449e-05,2.126672e-05
0.000000e+00,9.396727e-14,7.869410e-13,1.787611e-11,1.368388e-10,3.433073e-10,2.420346e-09,2.594399e-09,1.182800e-08,1.700439e-08,3.938097e-08,7.286979e-08,1.060691e-07,2.306951e-07,2.455998e-07,5.078265e-07,5.961667e-07,9.603549e-07,1.327364e-06,1.686107e-06,2.622796e-06,2.775753e-06,4.316788e-06,4.685979e-06,6.382742e-06,7.682684e-06,9.025443e-06,1.171123e-05,1.227150e-05,1.612273e-05,1.679403e-05,2.055922e-05,2.288621e-05,2.554370e-05,2.989261e-05,3.102625e-05,3.694852e-05,3.768577e-05,4.324729e-05,4.612120e-05,4.985720e-05,5.504856e-05,5.671288e-05,6.375042e-05,6.431942e-05,7.090847e-05,7.379232e-05,7.812905e-05,8.333611e-05,8.535818e-05,9.254631e-05,9.283233e-05,9.964859e-05,1.021766e-04,1.066251e-04,1.112793e-04,1.134410e-04,1.200661e-04,1.264755e-04,1.284774e-04,1.326485e-04,1.364675e-04,1.385690e-04,1.440037e-04,1.442247e-04,1.496072e-04,1.510646e-04,1.547112e-04,1.576388e-04,1.595344e-04,1.637237e-04,1.640768e-04,1.683408e-04,1.693231e-04,1.723304e-04,1.744467e-04,1.760512e-04,1.791084e-04,1.795099e-04,1.827142e-04,1.833253e-04,1.856726e-04,1.871167e-04,1.883940e-04,1.905035e-04,1.908876e-04,1.931630e-04,1.935075e-04,1.952299e-04,1.961508e-04,1.970978e-04,1.984554e-04,1.987764e-04,2.002750e-04,2.004431e-04,2.016028e-04,2.021353e-04,2.027689e-04,2.035523e-04,2.037819e-04,2.046504e-04,2.047139e-04,2.053825e-04,2.056389e-04,2.059860e-04,2.063452e-04,2.064686e-04,2.068373e-04,2.068498e-04,2.070992e-04,2.071686e-04,2.072609e-04,2.073168e-04,2.073286e-04,2.073084e-04,2.072061e-04,2.071569e-04,2.070270e-04,2.068745e-04,2.067763e-04,2.064729e-04,2.064590e-04,2.060797e-04,2.059630e-04,2.056429e-04,2.053549e-04,2.051527e-04,2.046581e-04,2.046132e-04,2.040281e-04,2.038813e-04,2.034009e-04,2.030326e-04,2.027351e-04,2.021197e-04,2.020338e-04,2.013000e-04,2.011495e-04,2.005365e-04,2.001287e-04,1.997460e-04,1.990631e-04,1.989311e-04,1.980942e-04,1.979584e-04,1.972374e-04,1.968197e-04,1.963629e-04,1.956518e-04,1.954726e-04,1.945685e-04,1.944592e-04,1.936523e-04,1.932458e-04,1.927256e-04,1.920153e-04,1.917900e-04,1.908469e-04,1.907712e-04,1.898978e-04,1.895167e-04,1.889438e-04,1.882546e-04,1.879861e-04,1.870259e-04,1.869875e-04,1.860643e-04,1.857179e-04,1.851021e-04,1.844479e-04,1.841403e-04,1.831797e-04,1.819150e-04,1.806554e-04,1.794026e-04,1.781577e-04,1.769222e-04,1.756970e-04,1.744832e-04,1.732816e-04,1.720930e-04,1.709181e-04,1.697576e-04,1.686118e-04,1.674814e-04,1.663667e-04,1.652680e-04,1.641856e-04,1.631198e-04,1.620706e-04,1.610383e-04,1.600230e-04,1.590246e-04,1.580432e-04,1.570789e-04,1.561315e-04
0.000000e+00,2.508817e-14,2.127852e-13,4.962997e-12,3.889621e-11,9.881784e-11,7.183765e-10,7.709460e-10,3.609448e-09,5.222169e-09,1.226402e-08,2.289451e-08,3.347350e-08,7.323511e-08,7.798609e-08,1.612891e-07,1.892428e-07,3.041255e-07,4.196760e-07,5.327381e-07,8.297899e-07,8.786451e-07,1.377633e-06,1.499140e-06,2.067779e-06,2.514787e-06,2.986680e-06,3.960436e-06,4.168414e-06,5.640840e-06,5.904847e-06,7.423680e-06,8.393181e-06,9.527577e-06,1.144316e-05,1.195403e-05,1.469605e-05,1.504569e-05,1.773925e-05,1.916857e-05,2.106311e-05,2.376158e-05,2.464242e-05,2.844846e-05,2.876182e-05,3.245022e-05,3.409851e-05,3.661537e-05,3.969701e-05,4.091107e-05,4.530473e-05,4.548206e-05,4.976450e-05,5.138028e-05,5.425985e-05,5.732217e-05,5.876184e-05,6.324351e-05,6.768003e-05,6.908644e-05,7.204891e-05,7.480013e-05,7.633008e-05,8.034112e-05,8.050593e-05,8.456128e-05,8.567339e-05,8.848337e-05,9.076822e-05,9.226174e-05,9.560374e-05,9.588810e-05,9.935621e-05,1.001645e-04,1.026617e-04,1.044407e-04,1.058019e-04,1.084276e-04,1.087757e-04,1.115832e-04,1.121249e-04,1.142259e-04,1.155357e-04,1.167061e-04,1.186662e-04,1.190270e-04,1.211924e-04,1.215247e-04,1.232069e-04,1.241216e-04,1.250753e-04,1.264683e-04,1.268028e-04,1.283949e-04,1.285771e-04,1.298571e-04,1.304608e-04,1.311951e-04,1.321324e-04,1.324146e-04,1.335212e-04,1.336050e-04,1.345204e-04,1.348913e-04,1.354178e-04,1.360038e-04,1.362185e-04,1.369279e-04,1.369544e-04,1.375508e-04,1.377548e-04,1.380921e-04,1.384159e-04,1.385564e-04,1.389480e-04,1.392713e-04,1.393610e-04,1.395302e-04,1.396640e-04,1.397287e-04,1.398657e-04,1.398703e-04,1.399586e-04,1.399742e-04,1.399968e-04,1.399970e-04,1.399881e-04,1.399412e-04,1.399354e-04,1.398416e-04,1.398132e-04,1.397092e-04,1.396192e-04,1.395409e-04,1.393649e-04,1.393389e-04,1.391056e-04,1.390553e-04,1.388430e-04,1.386955e-04,1.385531e-04,1.382900e-04,1.382379e-04,1.378991e-04,1.378428e-04,1.375383e-04,1.373579e-04,1.371573e-04,1.368388e-04,1.367574e-04,1.363401e-04,1.362889e-04,1.359067e-04,1.357112e-04,1.354584e-04,1.351086e-04,1.349965e-04,1.345221e-04,1.344836e-04,1.340362e-04,1.338388e-04,1.335398e-04,1.331764e-04,1.330338e-04,1.325191e-04,1.324983e-04,1.319965e-04,1.318066e-04,1.314668e-04,1.311030e-04,1.309308e-04,1.303892e-04,1.296666e-04,1.289366e-04,1.282007e-04,1.274598e-04,1.267151e-04,1.259677e-04,1.252185e-04,1.244682e-04,1.237178e-04,1.229679e-04,1.222192e-04,1.214724e-04,1.207278e-04,1.199862e-04,1.192480e-04,1.185135e-04,1.177832e-04,1.170575e-04,1.163366e-04,1.156209e-04,1.149106e-04,1.142060e-04,1.135073e-04,1.128146e-04
0.000000e+00,1.286103e-14,1.099363e-13,2.605251e-12,2.071461e-11,5.304391e-11,3.935275e-10,4.226728e-10,2.018784e-09,2.936534e-09,6.989308e-09,1.318776e-08,1.941445e-08,4.311904e-08,4.597393e-08,9.651463e-08,1.136261e-07,1.844784e-07,2.563681e-07,3.271524e-07,5.146528e-07,5.456629e-07,8.645590e-07,9.427318e-07,1.310808e-06,1.602417e-06,1.912124e-06,2.556376e-06,2.694772e-06,3.681192e-06,3.859130e-06,4.887882e-06,5.548296e-06,6.323878e-06,7.638613e-06,7.990013e-06,9.878964e-06,1.011998e-05,1.197594e-05,1.295928e-05,1.425987e-05,1.610487e-05,1.670483e-05,1.928157e-05,1.949248e-05,2.195899e-05,2.305104e-05,2.470543e-05,2.670811e-05,2.748982e-05,3.028254e-05,3.039403e-05,3.305614e-05,3.404508e-05,3.578577e-05,3.760547e-05,3.844947e-05,4.102836e-05,4.350660e-05,4.427621e-05,4.587137e-05,4.732054e-05,4.811266e-05,5.014128e-05,5.022312e-05,5.219781e-05,5.272596e-05,5.403395e-05,5.506869e-05,5.573065e-05,5.716910e-05,5.728868e-05,5.871018e-05,5.903137e-05,5.999845e-05,6.066323e-05,6.115772e-05,6.207511e-05,6.219297e-05,6.310971e-05,6.327935e-05,6.391386e-05,6.428956e-05,6.461159e-05,6.512005e-05,6.520920e-05,6.571305e-05,6.578539e-05,6.612942e-05,6.630003e-05,6.646449e-05,6.667806e-05,6.672428e-05,6.691458e-05,6.693301e-05,6.704095e-05,6.707767e-05,6.710868e-05,6.712405e-05,6.712280e-05,6.708804e-05,6.708329e-05,6.700884e-05,6.696565e-05,6.688935e-05,6.678057e-05,6.673347e-05,6.654481e-05,6.653663e-05,6.632674e-05,6.624163e-05,6.608235e-05,6.590261e-05,6.581452e-05,6.552588e-05,6.521889e-05,6.511714e-05,6.489577e-05,6.468147e-05,6.455858e-05,6.422339e-05,6.420920e-05,6.384935e-05,6.374694e-05,6.348061e-05,6.325571e-05,6.310442e-05,6.275286e-05,6.272207e-05,6.233478e-05,6.224121e-05,6.194361e-05,6.172324e-05,6.154956e-05,6.120113e-05,6.115353e-05,6.075632e-05,6.067680e-05,6.035867e-05,6.015194e-05,5.996124e-05,5.962801e-05,5.956463e-05,5.916938e-05,5.910630e-05,5.877597e-05,5.858792e-05,5.838484e-05,5.807383e-05,5.799637e-05,5.761091e-05,5.756487e-05,5.722876e-05,5.706174e-05,5.685021e-05,5.656506e-05,5.647549e-05,5.610481e-05,5.607534e-05,5.573837e-05,5.559301e-05,5.537632e-05,5.511844e-05,5.501880e-05,5.466592e-05,5.465191e-05,5.431780e-05,5.419366e-05,5.397451e-05,5.374387e-05,5.363612e-05,5.330269e-05,5.287021e-05,5.244650e-05,5.203159e-05,5.162549e-05,5.122819e-05,5.083964e-05,5.045978e-05,5.008855e-05,4.972586e-05,4.937162e-05,4.902570e-05,4.868801e-05,4.835841e-05,4.803678e-05,4.772297e-05,4.741686e-05,4.711830e-05,4.682714e-05,4.654324e-05,4.626645e-05,4.599662e-05,4.573361e-05,4.547726e-05,4.522742e-05
0.000000e+00,1.400638e-13,1.105739e-12,2.223723e-11,1.524268e-10,3.599897e-10,2.171831e-09,2.313311e-09,9.033282e-09,1.244889e-08,2.590650e-08,4.392230e-08,6.035433e-08,1.151985e-07,1.212721e-07,2.183844e-07,2.481884e-07,3.616876e-07,4.657983e-07,5.610232e-07,7.902309e-07,8.257408e-07,1.164359e-06,1.241618e-06,1.584129e-06,1.836359e-06,2.090425e-06,2.584704e-06,2.686022e-06,3.370396e-06,3.487905e-06,4.139328e-06,4.536279e-06,4.985001e-06,5.709616e-06,5.896621e-06,6.861378e-06,6.980070e-06,7.865520e-06,8.316259e-06,8.895307e-06,9.687053e-06,9.937734e-06,1.098099e-05,1.106416e-05,1.201468e-05,1.242344e-05,1.302992e-05,1.374522e-05,1.401924e-05,1.497655e-05,1.501410e-05,1.589696e-05,1.621851e-05,1.677669e-05,1.735022e-05,1.761296e-05,1.840383e-05,1.914811e-05,1.937633e-05,1.984526e-05,2.026669e-05,2.049530e-05,2.107546e-05,2.109871e-05,2.165637e-05,2.180447e-05,2.216946e-05,2.245650e-05,2.263939e-05,2.303502e-05,2.306781e-05,2.345646e-05,2.354402e-05,2.380720e-05,2.398776e-05,2.412193e-05,2.437066e-05,2.440260e-05,2.465114e-05,2.469716e-05,2.486946e-05,2.497167e-05,2.505943e-05,2.519845e-05,2.522289e-05,2.536158e-05,2.538159e-05,2.547721e-05,2.552500e-05,2.557139e-05,2.563232e-05,2.564566e-05,2.570148e-05,2.570701e-05,2.574025e-05,2.575224e-05,2.576327e-05,2.577099e-05,2.577177e-05,2.576691e-05,2.576598e-05,2.574979e-05,2.573973e-05,2.572141e-05,2.569455e-05,2.568273e-05,2.563465e-05,2.563254e-05,2.557799e-05,2.555565e-05,2.551354e-05,2.546563e-05,2.544201e-05,2.536408e-05,2.528038e-05,2.525247e-05,2.519148e-05,2.513211e-05,2.509793e-05,2.500421e-05,2.500023e-05,2.489885e-05,2.486986e-05,2.479421e-05,2.473004e-05,2.468673e-05,2.458564e-05,2.457676e-05,2.446466e-05,2.443747e-05,2.435073e-05,2.428624e-05,2.423527e-05,2.413262e-05,2.411856e-05,2.400084e-05,2.397720e-05,2.388234e-05,2.382048e-05,2.376327e-05,2.366296e-05,2.364383e-05,2.352420e-05,2.350505e-05,2.340454e-05,2.334713e-05,2.328500e-05,2.318954e-05,2.316572e-05,2.304682e-05,2.303259e-05,2.292843e-05,2.287653e-05,2.281065e-05,2.272161e-05,2.269358e-05,2.257729e-05,2.256802e-05,2.246187e-05,2.241597e-05,2.234740e-05,2.226559e-05,2.223392e-05,2.212151e-05,2.211704e-05,2.201022e-05,2.197043e-05,2.190008e-05,2.182587e-05,2.179115e-05,2.168345e-05,2.154323e-05,2.140528e-05,2.126966e-05,2.113639e-05,2.100552e-05,2.087705e-05,2.075102e-05,2.062743e-05,2.050627e-05,2.038755e-05,2.027126e-05,2.015739e-05,2.004591e-05,1.993682e-05,1.983009e-05,1.972569e-05,1.962360e-05,1.952379e-05,1.942622e-05,1.933087e-05,1.923770e-05,1.914669e-05,1.905778e-05,1.897095e-05
0.000000e+00,4.588689e-11,1.199359e-10,4.714791e-10,1.138850e-09,1.699017e-09,4.022082e-09,4.149273e-09,8.301047e-09,9.845200e-09,1.473968e-08,1.998532e-08,2.415368e-08,3.601049e-08,3.719828e-08,5.415422e-08,5.877388e-08,7.459851e-08,8.721441e-08,9.755392e-08,1.190040e-07,1.219845e-07,1.470899e-07,1.521401e-07,1.723214e-07,1.853623e-07,1.973039e-07,2.178978e-07,2.217683e-07,2.455098e-07,2.492301e-07,2.683674e-07,2.789867e-07,2.902142e-07,3.068967e-07,3.109516e-07,3.305080e-07,3.327730e-07,3.488363e-07,3.565046e-07,3.659119e-07,3.780480e-07,3.817301e-07,3.963035e-07,3.974163e-07,4.096589e-07,4.146682e-07,4.218339e-07,4.298944e-07,4.328745e-07,4.428349e-07,4.432117e-07,4.517730e-07,4.547521e-07,4.597493e-07,4.646551e-07,4.668251e-07,4.730612e-07,4.785175e-07,4.801083e-07,4.832516e-07,4.859283e-07,4.873193e-07,4.906462e-07,4.907732e-07,4.936631e-07,4.943777e-07,4.960359e-07,4.972297e-07,4.979354e-07,4.993000e-07,4.994023e-07,5.004746e-07,5.006772e-07,5.011873e-07,5.014416e-07,5.015730e-07,5.016656e-07,5.016614e-07,5.014803e-07,5.014140e-07,5.010551e-07,5.007453e-07,5.004090e-07,4.997114e-07,4.995635e-07,4.985383e-07,4.983589e-07,4.973515e-07,4.967293e-07,4.960196e-07,4.948598e-07,4.945577e-07,4.929798e-07,4.927832e-07,4.912986e-07,4.905291e-07,4.895257e-07,4.881236e-07,4.876718e-07,4.857468e-07,4.855900e-07,4.837595e-07,4.829490e-07,4.817181e-07,4.802190e-07,4.796301e-07,4.775023e-07,4.774165e-07,4.753410e-07,4.745559e-07,4.731520e-07,4.716503e-07,4.709404e-07,4.687110e-07,4.664683e-07,4.657484e-07,4.642161e-07,4.627714e-07,4.619581e-07,4.597881e-07,4.596977e-07,4.574378e-07,4.568055e-07,4.551812e-07,4.538298e-07,4.529303e-07,4.508666e-07,4.506875e-07,4.484548e-07,4.479207e-07,4.462341e-07,4.449964e-07,4.440271e-07,4.420974e-07,4.418352e-07,4.396600e-07,4.392270e-07,4.375025e-07,4.363880e-07,4.353640e-07,4.335829e-07,4.332453e-07,4.311475e-07,4.308138e-07,4.290712e-07,4.280825e-07,4.270173e-07,4.253905e-07,4.249862e-07,4.229785e-07,4.227392e-07,4.209948e-07,4.201296e-07,4.190353e-07,4.175626e-07,4.171004e-07,4.151905e-07,4.150388e-07,4.133057e-07,4.125588e-07,4.114462e-07,4.101231e-07,4.096121e-07,4.078036e-07,4.077318e-07,4.060208e-07,4.053852e-07,4.042635e-07,4.030833e-07,4.025319e-07,4.008259e-07,3.986132e-07,3.964447e-07,3.943203e-07,3.922396e-07,3.902023e-07,3.882080e-07,3.862562e-07,3.843464e-07,3.824781e-07,3.806508e-07,3.788639e-07,3.771167e-07,3.754088e-07,3.737395e-07,3.721082e-07,3.705142e-07,3.689569e-07,3.674356e-07,3.659498e-07,3.644986e-07,3.630816e-07,3.616979e-07,3.603471e-07,3.590284e-07
0.000000e+00,5.623863e-14,4.757272e-13,1.103325e-11,8.603081e-11,2.179713e-10,1.573956e-09,1.688692e-09,7.858301e-09,1.135208e-08,2.656476e-08,4.946274e-08,7.220664e-08,1.574957e-07,1.676731e-07,3.458453e-07,4.055426e-07,6.505034e-07,8.963199e-07,1.136309e-06,1.764335e-06,1.867279e-06,2.913210e-06,3.166422e-06,4.344103e-06,5.261848e-06,6.223529e-06,8.186593e-06,8.602386e-06,1.151430e-05,1.203089e-05,1.497328e-05,1.682696e-05,1.897368e-05,2.254856e-05,2.349201e-05,2.848990e-05,2.911961e-05,3.391769e-05,3.642751e-05,3.971797e-05,4.433743e-05,4.582906e-05,5.218778e-05,5.270530e-05,5.873191e-05,6.138803e-05,6.540194e-05,7.025095e-05,7.214234e-05,7.890246e-05,7.917262e-05,8.563702e-05,8.804737e-05,9.230626e-05,9.678634e-05,9.887595e-05,1.053172e-04,1.116060e-04,1.135830e-04,1.177231e-04,1.215408e-04,1.236534e-04,1.291601e-04,1.293854e-04,1.349110e-04,1.364204e-04,1.402248e-04,1.433102e-04,1.453240e-04,1.498250e-04,1.502077e-04,1.548768e-04,1.559656e-04,1.593334e-04,1.617375e-04,1.635809e-04,1.671492e-04,1.676237e-04,1.714667e-04,1.722118e-04,1.751155e-04,1.769380e-04,1.785758e-04,1.813415e-04,1.818541e-04,1.849564e-04,1.854369e-04,1.878894e-04,1.892390e-04,1.906595e-04,1.927626e-04,1.932731e-04,1.957365e-04,1.960223e-04,1.980561e-04,1.990326e-04,2.002378e-04,2.018075e-04,2.022878e-04,2.042117e-04,2.043603e-04,2.060153e-04,2.067042e-04,2.077039e-04,2.088515e-04,2.092828e-04,2.107572e-04,2.108140e-04,2.121318e-04,2.126031e-04,2.134113e-04,2.142295e-04,2.146004e-04,2.157033e-04,2.167242e-04,2.170342e-04,2.176670e-04,2.182313e-04,2.185357e-04,2.193032e-04,2.193339e-04,2.200650e-04,2.202581e-04,2.207324e-04,2.211036e-04,2.213393e-04,2.218470e-04,2.218889e-04,2.223840e-04,2.224950e-04,2.228274e-04,2.230541e-04,2.232218e-04,2.235304e-04,2.235698e-04,2.238737e-04,2.239295e-04,2.241360e-04,2.242567e-04,2.243589e-04,2.245171e-04,2.245443e-04,2.246945e-04,2.247154e-04,2.248113e-04,2.248561e-04,2.248966e-04,2.249433e-04,2.249521e-04,2.249794e-04,2.249809e-04,2.249803e-04,2.249727e-04,2.249561e-04,2.249219e-04,2.249084e-04,2.248385e-04,2.248320e-04,2.247478e-04,2.247059e-04,2.246374e-04,2.245465e-04,2.245087e-04,2.243626e-04,2.243565e-04,2.242004e-04,2.241382e-04,2.240230e-04,2.238942e-04,2.238314e-04,2.236265e-04,2.233373e-04,2.230285e-04,2.227019e-04,2.223591e-04,2.220017e-04,2.216313e-04,2.212492e-04,2.208566e-04,2.204549e-04,2.200451e-04,2.196283e-04,2.192054e-04,2.187774e-04,2.183452e-04,2.179095e-04,2.174710e-04,2.170305e-04,2.165886e-04,2.161458e-04,2.157028e-04,2.152601e-04,2.148181e-04,2.143772e-04,2.139379e-04
0.000000e+00,1.252852e-13,1.123497e-12,2.945242e-11,2.572952e-10,6.944688e-10,5.923151e-09,6.398733e-09,3.529687e-08,5.344701e-08,1.410092e-07,2.898198e-07,4.516273e-07,1.142612e-06,1.232089e-06,2.975860e-06,3.622255e-06,6.528772e-06,9.786214e-06,1.324045e-05,2.334412e-05,2.513010e-05,4.504874e-05,5.031400e-05,7.682043e-05,9.960879e-05,1.253489e-04,1.834529e-04,1.966820e-04,2.980281e-04,3.175706e-04,4.377271e-04,5.211274e-04,6.251766e-04,8.164382e-04,8.707186e-04,1.185493e-03,1.228472e-03,1.581264e-03,1.784194e-03,2.070225e-03,2.511799e-03,2.664794e-03,3.377396e-03,3.439872e-03,4.220252e-03,4.596529e-03,5.205168e-03,6.008583e-03,6.343334e-03,7.645146e-03,7.700760e-03,9.120035e-03,9.695004e-03,1.077632e-02,1.200989e-02,1.262110e-02,1.466015e-02,1.689782e-02,1.765634e-02,1.933705e-02,2.100467e-02,2.197929e-02,2.470685e-02,2.482455e-02,2.787135e-02,2.876022e-02,3.111685e-02,3.315783e-02,3.455684e-02,3.788873e-02,3.818586e-02,4.199723e-02,4.293825e-02,4.598320e-02,4.828840e-02,5.013505e-02,5.391829e-02,5.444319e-02,5.889724e-02,5.980460e-02,6.348620e-02,6.592197e-02,6.819855e-02,7.224354e-02,7.302233e-02,7.794530e-02,7.874135e-02,8.295500e-02,8.538678e-02,8.803888e-02,9.215097e-02,9.318440e-02,9.837909e-02,9.900517e-02,1.036106e-01,1.059211e-01,1.088670e-01,1.128712e-01,1.141364e-01,1.194074e-01,1.198288e-01,1.246691e-01,1.267687e-01,1.299108e-01,1.336669e-01,1.351226e-01,1.402949e-01,1.405008e-01,1.454186e-01,1.472497e-01,1.504855e-01,1.538943e-01,1.554874e-01,1.604173e-01,1.652683e-01,1.668029e-01,1.700343e-01,1.730373e-01,1.747096e-01,1.791080e-01,1.792893e-01,1.837688e-01,1.850046e-01,1.881442e-01,1.907180e-01,1.924120e-01,1.962407e-01,1.965691e-01,2.006132e-01,2.015667e-01,2.045421e-01,2.066914e-01,2.083543e-01,2.116114e-01,2.120484e-01,2.156236e-01,2.163244e-01,2.190795e-01,2.208293e-01,2.224159e-01,2.251261e-01,2.256328e-01,2.287308e-01,2.292154e-01,2.317104e-01,2.330989e-01,2.345727e-01,2.367789e-01,2.373188e-01,2.399501e-01,2.402582e-01,2.424680e-01,2.435404e-01,2.448743e-01,2.466296e-01,2.471709e-01,2.493597e-01,2.495302e-01,2.514427e-01,2.522468e-01,2.534223e-01,2.547847e-01,2.553006e-01,2.570800e-01,2.571491e-01,2.587629e-01,2.593456e-01,2.603517e-01,2.613797e-01,2.618490e-01,2.632572e-01,2.649839e-01,2.665657e-01,2.680084e-01,2.693177e-01,2.704995e-01,2.715594e-01,2.725030e-01,2.733357e-01,2.740630e-01,2.746901e-01,2.752220e-01,2.756637e-01,2.760201e-01,2.762957e-01,2.764951e-01,2.766225e-01,2.766822e-01,2.766782e-01,2.766143e-01,2.764942e-01,2.763215e-01,2.760996e-01,2.758318e-01,2.755210e-01
0.000000e+00,6.069156e-14,5.448283e-13,1.431313e-11,1.252801e-10,3.384947e-10,2.894424e-09,3.127136e-09,1.728960e-08,2.619506e-08,6.920099e-08,1.423611e-07,2.219577e-07,5.620706e-07,6.061239e-07,1.464779e-06,1.783077e-06,3.214120e-06,4.817537e-06,6.517408e-06,1.148782e-05,1.236623e-05,2.216098e-05,2.474982e-05,3.778286e-05,4.898958e-05,6.165110e-05,9.024730e-05,9.676116e-05,1.467019e-04,1.563397e-04,2.156506e-04,2.568689e-04,3.083471e-04,4.031195e-04,4.300481e-04,5.864629e-04,6.078510e-04,7.836748e-04,8.850054e-04,1.028051e-03,1.249346e-03,1.326140e-03,1.684570e-03,1.716050e-03,2.109935e-03,2.300275e-03,2.608686e-03,3.016723e-03,3.187027e-03,3.850811e-03,3.879218e-03,4.605446e-03,4.900313e-03,5.455811e-03,6.090946e-03,6.406177e-03,7.460148e-03,8.620608e-03,9.014815e-03,9.889684e-03,1.075955e-02,1.126872e-02,1.269656e-02,1.275826e-02,1.435807e-02,1.482565e-02,1.606709e-02,1.714422e-02,1.788354e-02,1.964738e-02,1.980488e-02,2.182787e-02,2.232810e-02,2.394864e-02,2.517733e-02,2.616270e-02,2.818427e-02,2.846503e-02,3.085013e-02,3.133656e-02,3.331204e-02,3.462052e-02,3.584449e-02,3.802145e-02,3.844089e-02,4.109443e-02,4.152383e-02,4.379811e-02,4.511160e-02,4.654482e-02,4.876837e-02,4.932742e-02,5.213873e-02,5.247768e-02,5.497165e-02,5.622317e-02,5.781916e-02,5.998878e-02,6.067437e-02,6.353058e-02,6.375892e-02,6.638128e-02,6.751861e-02,6.922021e-02,7.125357e-02,7.204137e-02,7.483905e-02,7.495039e-02,7.760784e-02,7.859654e-02,8.034264e-02,8.218044e-02,8.303868e-02,8.569154e-02,8.829710e-02,8.912028e-02,9.085165e-02,9.245818e-02,9.335174e-02,9.569776e-02,9.579432e-02,9.817664e-02,9.883256e-02,1.004963e-01,1.018571e-01,1.027511e-01,1.047668e-01,1.049394e-01,1.070596e-01,1.075582e-01,1.091104e-01,1.102283e-01,1.110910e-01,1.127752e-01,1.130006e-01,1.148387e-01,1.151978e-01,1.166052e-01,1.174954e-01,1.183000e-01,1.196683e-01,1.199232e-01,1.214753e-01,1.217170e-01,1.229567e-01,1.236429e-01,1.243682e-01,1.254476e-01,1.257106e-01,1.269848e-01,1.271332e-01,1.281920e-01,1.287022e-01,1.293333e-01,1.301574e-01,1.304100e-01,1.314234e-01,1.315018e-01,1.323750e-01,1.327386e-01,1.332662e-01,1.338714e-01,1.340986e-01,1.348739e-01,1.349037e-01,1.355935e-01,1.358393e-01,1.362592e-01,1.366819e-01,1.368726e-01,1.374354e-01,1.381036e-01,1.386905e-01,1.391999e-01,1.396357e-01,1.400015e-01,1.403012e-01,1.405384e-01,1.407165e-01,1.408392e-01,1.409096e-01,1.409311e-01,1.409068e-01,1.408397e-01,1.407328e-01,1.405887e-01,1.404102e-01,1.401999e-01,1.399602e-01,1.396933e-01,1.394016e-01,1.390870e-01,1.387517e-01,1.383974e-01,1.380260e-01
0.000000e+00,6.366106e-11,1.728498e-10,7.095613e-10,1.752077e-09,2.635416e-09,6.313745e-09,6.514926e-09,1.303541e-08,1.543376e-08,2.294013e-08,3.084275e-08,3.703634e-08,5.435630e-08,5.607409e-08,8.047258e-08,8.712997e-08,1.102049e-07,1.290907e-07,1.450133e-07,1.796255e-07,1.846244e-07,2.288053e-07,2.381711e-07,2.773431e-07,3.042325e-07,3.300177e-07,3.772818e-07,3.865824e-07,4.467557e-07,4.566975e-07,5.102193e-07,5.417483e-07,5.766210e-07,6.316029e-07,6.455804e-07,7.166967e-07,7.253560e-07,7.895568e-07,8.220604e-07,8.637443e-07,9.207606e-07,9.388470e-07,1.014465e-06,1.020525e-06,1.090215e-06,1.120471e-06,1.165739e-06,1.219789e-06,1.240705e-06,1.314809e-06,1.317751e-06,1.387780e-06,1.413725e-06,1.459378e-06,1.507173e-06,1.529394e-06,1.597652e-06,1.664004e-06,1.684813e-06,1.728327e-06,1.768385e-06,1.790528e-06,1.848176e-06,1.850533e-06,1.908293e-06,1.924058e-06,1.963774e-06,1.995962e-06,2.016962e-06,2.063866e-06,2.067854e-06,2.116461e-06,2.127790e-06,2.162807e-06,2.187784e-06,2.206922e-06,2.243927e-06,2.248844e-06,2.288617e-06,2.296319e-06,2.326293e-06,2.345073e-06,2.361924e-06,2.390316e-06,2.395568e-06,2.427283e-06,2.432182e-06,2.457130e-06,2.470811e-06,2.485171e-06,2.506345e-06,2.511468e-06,2.536082e-06,2.538926e-06,2.559076e-06,2.568696e-06,2.580511e-06,2.595795e-06,2.600447e-06,2.618943e-06,2.620362e-06,2.636057e-06,2.642529e-06,2.651847e-06,2.662426e-06,2.666367e-06,2.679672e-06,2.680180e-06,2.691814e-06,2.695910e-06,2.702844e-06,2.709734e-06,2.712811e-06,2.721762e-06,2.729744e-06,2.732101e-06,2.736801e-06,2.740852e-06,2.742977e-06,2.748113e-06,2.748311e-06,2.752845e-06,2.753976e-06,2.756616e-06,2.758528e-06,2.759662e-06,2.761854e-06,2.762017e-06,2.763717e-06,2.764031e-06,2.764794e-06,2.765136e-06,2.765279e-06,2.765240e-06,2.765202e-06,2.764593e-06,2.764410e-06,2.763479e-06,2.762709e-06,2.761887e-06,2.760200e-06,2.759843e-06,2.757371e-06,2.756938e-06,2.754495e-06,2.752977e-06,2.751236e-06,2.748369e-06,2.747618e-06,2.743659e-06,2.743163e-06,2.739381e-06,2.737402e-06,2.734802e-06,2.731131e-06,2.729939e-06,2.724811e-06,2.724390e-06,2.719434e-06,2.717217e-06,2.713823e-06,2.709647e-06,2.707994e-06,2.701961e-06,2.701716e-06,2.695738e-06,2.693454e-06,2.689338e-06,2.684892e-06,2.682774e-06,2.676058e-06,2.666978e-06,2.657678e-06,2.648181e-06,2.638509e-06,2.628682e-06,2.618721e-06,2.608642e-06,2.598464e-06,2.588202e-06,2.577871e-06,2.567485e-06,2.557057e-06,2.546600e-06,2.536124e-06,2.525641e-06,2.515160e-06,2.504690e-06,2.494240e-06,2.483819e-06,2.473432e-06,2.463088e-06,2.452793e-06,2.442551e-06,2.432370e-06
0.000000e+00,3.868526e-11,1.557193e-10,9.937201e-10,3.009627e-09,4.874272e-09,1.323846e-08,1.371187e-08,2.949681e-08,3.544628e-08,5.436786e-08,7.465350e-08,9.076787e-08,1.367921e-07,1.414361e-07,2.089793e-07,2.279023e-07,2.948303e-07,3.507088e-07,3.982085e-07,5.014867e-07,5.163222e-07,6.456827e-07,6.726177e-07,7.831670e-07,8.570311e-07,9.263254e-07,1.049573e-06,1.073274e-06,1.222503e-06,1.246503e-06,1.372727e-06,1.444848e-06,1.522801e-06,1.642041e-06,1.671670e-06,1.818354e-06,1.835766e-06,1.961951e-06,2.023941e-06,2.101642e-06,2.204743e-06,2.236698e-06,2.366486e-06,2.376625e-06,2.490491e-06,2.538377e-06,2.608294e-06,2.689085e-06,2.719571e-06,2.824117e-06,2.828157e-06,2.921808e-06,2.955289e-06,3.012608e-06,3.070434e-06,3.096557e-06,3.173759e-06,3.244373e-06,3.265610e-06,3.308601e-06,3.346465e-06,3.366683e-06,3.416903e-06,3.418881e-06,3.465479e-06,3.477562e-06,3.506769e-06,3.529121e-06,3.543052e-06,3.572268e-06,3.574628e-06,3.601795e-06,3.607692e-06,3.624845e-06,3.636060e-06,3.644061e-06,3.658017e-06,3.659716e-06,3.672072e-06,3.674169e-06,3.681378e-06,3.685090e-06,3.687869e-06,3.691310e-06,3.691769e-06,3.693287e-06,3.693322e-06,3.692619e-06,3.691577e-06,3.689949e-06,3.686487e-06,3.685449e-06,3.679276e-06,3.678430e-06,3.671580e-06,3.667747e-06,3.662498e-06,3.654747e-06,3.652157e-06,3.640675e-06,3.639711e-06,3.628162e-06,3.622890e-06,3.614717e-06,3.604513e-06,3.600434e-06,3.585399e-06,3.584783e-06,3.569691e-06,3.563886e-06,3.553383e-06,3.541984e-06,3.536541e-06,3.519228e-06,3.501502e-06,3.495750e-06,3.483413e-06,3.471669e-06,3.465011e-06,3.447091e-06,3.446340e-06,3.427441e-06,3.422113e-06,3.408351e-06,3.396820e-06,3.389105e-06,3.371288e-06,3.369734e-06,3.350269e-06,3.345586e-06,3.330734e-06,3.319774e-06,3.311156e-06,3.293909e-06,3.291556e-06,3.271956e-06,3.268037e-06,3.252373e-06,3.242203e-06,3.232826e-06,3.216445e-06,3.213330e-06,3.193899e-06,3.190798e-06,3.174548e-06,3.165291e-06,3.155288e-06,3.139953e-06,3.136130e-06,3.117084e-06,3.114806e-06,3.098159e-06,3.089872e-06,3.079363e-06,3.065170e-06,3.060705e-06,3.042189e-06,3.040714e-06,3.023823e-06,3.016520e-06,3.005613e-06,2.992600e-06,2.987562e-06,2.969675e-06,2.968963e-06,2.951956e-06,2.945619e-06,2.934408e-06,2.922575e-06,2.917035e-06,2.899839e-06,2.877414e-06,2.855305e-06,2.833515e-06,2.812047e-06,2.790902e-06,2.770082e-06,2.749586e-06,2.729414e-06,2.709566e-06,2.690041e-06,2.670837e-06,2.651951e-06,2.633383e-06,2.615129e-06,2.597187e-06,2.579553e-06,2.562225e-06,2.545199e-06,2.528471e-06,2.512039e-06,2.495898e-06,2.480044e-06,2.464473e-06,2.449182e-06
0.000000e+00,5.342467e-11,1.279361e-10,4.618626e-10,1.076235e-09,1.584959e-09,3.660546e-09,3.772937e-09,7.383296e-09,8.700263e-09,1.279781e-08,1.708423e-08,2.043243e-08,2.979366e-08,3.072489e-08,4.407271e-08,4.776214e-08,6.070873e-08,7.145614e-08,8.058767e-08,1.005306e-07,1.034118e-07,1.287750e-07,1.341166e-07,1.562807e-07,1.713132e-07,1.855819e-07,2.113611e-07,2.163774e-07,2.483985e-07,2.536188e-07,2.813983e-07,2.975179e-07,3.151473e-07,3.425409e-07,3.494306e-07,3.840488e-07,3.882167e-07,4.188189e-07,4.341224e-07,4.535747e-07,4.798876e-07,4.881678e-07,5.224676e-07,5.251954e-07,5.563606e-07,5.697818e-07,5.897503e-07,6.134328e-07,6.225549e-07,6.547068e-07,6.559784e-07,6.861510e-07,6.972890e-07,7.168440e-07,7.372683e-07,7.467516e-07,7.758489e-07,8.041179e-07,8.129871e-07,8.315474e-07,8.486586e-07,8.581311e-07,8.828545e-07,8.838678e-07,9.087598e-07,9.155789e-07,9.328130e-07,9.468456e-07,9.560356e-07,9.766754e-07,9.784377e-07,1.000031e-06,1.005095e-06,1.020830e-06,1.032135e-06,1.040848e-06,1.057830e-06,1.060101e-06,1.078605e-06,1.082217e-06,1.096376e-06,1.105334e-06,1.113433e-06,1.127219e-06,1.129791e-06,1.145468e-06,1.147914e-06,1.160482e-06,1.167458e-06,1.174851e-06,1.185892e-06,1.188591e-06,1.201721e-06,1.203256e-06,1.214257e-06,1.219589e-06,1.226217e-06,1.234931e-06,1.237617e-06,1.248474e-06,1.249320e-06,1.258805e-06,1.262794e-06,1.268626e-06,1.275389e-06,1.277952e-06,1.286798e-06,1.287143e-06,1.295182e-06,1.298089e-06,1.303116e-06,1.308262e-06,1.310616e-06,1.317696e-06,1.324370e-06,1.326422e-06,1.330651e-06,1.334472e-06,1.336554e-06,1.341876e-06,1.342091e-06,1.347274e-06,1.348664e-06,1.352116e-06,1.354863e-06,1.356629e-06,1.360501e-06,1.360825e-06,1.364716e-06,1.365605e-06,1.368311e-06,1.370200e-06,1.371623e-06,1.374310e-06,1.374661e-06,1.377436e-06,1.377960e-06,1.379957e-06,1.381172e-06,1.382235e-06,1.383967e-06,1.384279e-06,1.386097e-06,1.386368e-06,1.387699e-06,1.388394e-06,1.389093e-06,1.390065e-06,1.390288e-06,1.391291e-06,1.391399e-06,1.392110e-06,1.392414e-06,1.392753e-06,1.393129e-06,1.393227e-06,1.393540e-06,1.393558e-06,1.393697e-06,1.393718e-06,1.393706e-06,1.393625e-06,1.393574e-06,1.393306e-06,1.393292e-06,1.392908e-06,1.392734e-06,1.392386e-06,1.391964e-06,1.391747e-06,1.390995e-06,1.389838e-06,1.388506e-06,1.387010e-06,1.385360e-06,1.383567e-06,1.381640e-06,1.379589e-06,1.377421e-06,1.375147e-06,1.372773e-06,1.370308e-06,1.367758e-06,1.365132e-06,1.362434e-06,1.359672e-06,1.356851e-06,1.353977e-06,1.351056e-06,1.348093e-06,1.345092e-06,1.342059e-06,1.338996e-06,1.335910e-06,1.332802e-06
0.000000e+00,8.373344e-12,4.566661e-11,4.598778e-10,1.827332e-09,3.303149e-09,1.096125e-08,1.142424e-08,2.770186e-08,3.408816e-08,5.478873e-08,7.724997e-08,9.511882e-08,1.458519e-07,1.509372e-07,2.243168e-07,2.447551e-07,3.171443e-07,3.782455e-07,4.310531e-07,5.497199e-07,5.672705e-07,7.263761e-07,7.609337e-07,9.080541e-07,1.011052e-06,1.111005e-06,1.296401e-06,1.333126e-06,1.571865e-06,1.611426e-06,1.824538e-06,1.949995e-06,2.088521e-06,2.306171e-06,2.361323e-06,2.640602e-06,2.674445e-06,2.924157e-06,3.049739e-06,3.209926e-06,3.427406e-06,3.495992e-06,3.780590e-06,3.803245e-06,4.062109e-06,4.173527e-06,4.339111e-06,4.535034e-06,4.610324e-06,4.874648e-06,4.885064e-06,5.131154e-06,5.221429e-06,5.379072e-06,5.542431e-06,5.617787e-06,5.846826e-06,6.065846e-06,6.133776e-06,6.274621e-06,6.402799e-06,6.473028e-06,6.653716e-06,6.661037e-06,6.838691e-06,6.886592e-06,7.006098e-06,7.101691e-06,7.163425e-06,7.299443e-06,7.310882e-06,7.448722e-06,7.480402e-06,7.577219e-06,7.645207e-06,7.696672e-06,7.794560e-06,7.807397e-06,7.909723e-06,7.929210e-06,8.003984e-06,8.049924e-06,8.090516e-06,8.157476e-06,8.169656e-06,8.241741e-06,8.252642e-06,8.307103e-06,8.336184e-06,8.366065e-06,8.408842e-06,8.418947e-06,8.466060e-06,8.471340e-06,8.507703e-06,8.524369e-06,8.544169e-06,8.568592e-06,8.575735e-06,8.602672e-06,8.604635e-06,8.625238e-06,8.633098e-06,8.643685e-06,8.654550e-06,8.658251e-06,8.669165e-06,8.669529e-06,8.676647e-06,8.678541e-06,8.680904e-06,8.682059e-06,8.682136e-06,8.680533e-06,8.676278e-06,8.674384e-06,8.669541e-06,8.664004e-06,8.660488e-06,8.649763e-06,8.649274e-06,8.636048e-06,8.632003e-06,8.620950e-06,8.611049e-06,8.604114e-06,8.587199e-06,8.585667e-06,8.565728e-06,8.560734e-06,8.544413e-06,8.531915e-06,8.521828e-06,8.500984e-06,8.498075e-06,8.473252e-06,8.468167e-06,8.447449e-06,8.433673e-06,8.420753e-06,8.397697e-06,8.393245e-06,8.365003e-06,8.360421e-06,8.336098e-06,8.322010e-06,8.306601e-06,8.282620e-06,8.276575e-06,8.246082e-06,8.242394e-06,8.215178e-06,8.201464e-06,8.183918e-06,8.159953e-06,8.152352e-06,8.120529e-06,8.117974e-06,8.088493e-06,8.075629e-06,8.056287e-06,8.033014e-06,8.023949e-06,7.991517e-06,7.990218e-06,7.959026e-06,7.947321e-06,7.926508e-06,7.904396e-06,7.893993e-06,7.861510e-06,7.818727e-06,7.776101e-06,7.733683e-06,7.691521e-06,7.649656e-06,7.608126e-06,7.566964e-06,7.526203e-06,7.485869e-06,7.445986e-06,7.406577e-06,7.367660e-06,7.329251e-06,7.291366e-06,7.254016e-06,7.217211e-06,7.180961e-06,7.145272e-06,7.110151e-06,7.075600e-06,7.041624e-06,7.008224e-06,6.975400e-06,6.943154e-06
0.000000e+00,9.997007e-15,8.553881e-14,2.031819e-12,1.618925e-11,4.150242e-11,3.087360e-10,3.316356e-10,1.587638e-09,2.310675e-09,5.506565e-09,1.039879e-08,1.531569e-08,3.404115e-08,3.629657e-08,7.621463e-08,8.972199e-08,1.455903e-07,2.021551e-07,2.577118e-07,4.041458e-07,4.282581e-07,6.744698e-07,7.343498e-07,1.013950e-06,1.232929e-06,1.463307e-06,1.936262e-06,2.036881e-06,2.745712e-06,2.872209e-06,3.596877e-06,4.056979e-06,4.593171e-06,5.493844e-06,5.733116e-06,7.011223e-06,7.173483e-06,8.418425e-06,9.075471e-06,9.942637e-06,1.117045e-05,1.156937e-05,1.328235e-05,1.342259e-05,1.506415e-05,1.579211e-05,1.689677e-05,1.823757e-05,1.876215e-05,2.064266e-05,2.071796e-05,2.252149e-05,2.319440e-05,2.438296e-05,2.563149e-05,2.621278e-05,2.799825e-05,2.972836e-05,3.026873e-05,3.139381e-05,3.242221e-05,3.298706e-05,3.444320e-05,3.450225e-05,3.593511e-05,3.632114e-05,3.728285e-05,3.804998e-05,3.854401e-05,3.962758e-05,3.971835e-05,4.080662e-05,4.105516e-05,4.181046e-05,4.233660e-05,4.273225e-05,4.347787e-05,4.357493e-05,4.434187e-05,4.448649e-05,4.503678e-05,4.537097e-05,4.566359e-05,4.614043e-05,4.622634e-05,4.672910e-05,4.680425e-05,4.717596e-05,4.737177e-05,4.757090e-05,4.785207e-05,4.791779e-05,4.822036e-05,4.825386e-05,4.848216e-05,4.858530e-05,4.870654e-05,4.885400e-05,4.889667e-05,4.905550e-05,4.906694e-05,4.918578e-05,4.923048e-05,4.929007e-05,4.935040e-05,4.937073e-05,4.942993e-05,4.943188e-05,4.946967e-05,4.947956e-05,4.949177e-05,4.949758e-05,4.949791e-05,4.948962e-05,4.946829e-05,4.945892e-05,4.943519e-05,4.940838e-05,4.939149e-05,4.934053e-05,4.933823e-05,4.927637e-05,4.925762e-05,4.920678e-05,4.916165e-05,4.913026e-05,4.905435e-05,4.904752e-05,4.895923e-05,4.893729e-05,4.886599e-05,4.881181e-05,4.876833e-05,4.867914e-05,4.866676e-05,4.856172e-05,4.854033e-05,4.845363e-05,4.839635e-05,4.834287e-05,4.824802e-05,4.822979e-05,4.811469e-05,4.809611e-05,4.799787e-05,4.794126e-05,4.787959e-05,4.778409e-05,4.776010e-05,4.763962e-05,4.762511e-05,4.751835e-05,4.746480e-05,4.739649e-05,4.730358e-05,4.727420e-05,4.715164e-05,4.714182e-05,4.702896e-05,4.697988e-05,4.690629e-05,4.681805e-05,4.678376e-05,4.666149e-05,4.665661e-05,4.653958e-05,4.649580e-05,4.641812e-05,4.633583e-05,4.629720e-05,4.617691e-05,4.601920e-05,4.586286e-05,4.570802e-05,4.555481e-05,4.540334e-05,4.525369e-05,4.510595e-05,4.496021e-05,4.481651e-05,4.467491e-05,4.453546e-05,4.439821e-05,4.426317e-05,4.413037e-05,4.399984e-05,4.387159e-05,4.374562e-05,4.362195e-05,4.350057e-05,4.338149e-05,4.326469e-05,4.315017e-05,4.303792e-05,4.292792e-05
0.000000e+00,3.157094e-11,1.335016e-10,9.118911e-10,2.866777e-09,4.710696e-09,1.311735e-08,1.359615e-08,2.958982e-08,3.560728e-08,5.463640e-08,7.481553e-08,9.067459e-08,1.351967e-07,1.396315e-07,2.031879e-07,2.207381e-07,2.822457e-07,3.332399e-07,3.765604e-07,4.713254e-07,4.850478e-07,6.063589e-07,6.320420e-07,7.391663e-07,8.123450e-07,8.821934e-07,1.009303e-06,1.034167e-06,1.193783e-06,1.219942e-06,1.359697e-06,1.441170e-06,1.530536e-06,1.669826e-06,1.704922e-06,1.881497e-06,1.902771e-06,2.058957e-06,2.136998e-06,2.236068e-06,2.369737e-06,2.411695e-06,2.584809e-06,2.598522e-06,2.754502e-06,2.821242e-06,2.919990e-06,3.036161e-06,3.080611e-06,3.235818e-06,3.241907e-06,3.385177e-06,3.437448e-06,3.528357e-06,3.622068e-06,3.665125e-06,3.795325e-06,3.918878e-06,3.957007e-06,4.035769e-06,4.107099e-06,4.146036e-06,4.245737e-06,4.249762e-06,4.347066e-06,4.373180e-06,4.438099e-06,4.489780e-06,4.523034e-06,4.595954e-06,4.602064e-06,4.675393e-06,4.692167e-06,4.743236e-06,4.778914e-06,4.805814e-06,4.856704e-06,4.863349e-06,4.916067e-06,4.926053e-06,4.964192e-06,4.987474e-06,5.007943e-06,5.041474e-06,5.047539e-06,5.083189e-06,5.088540e-06,5.115098e-06,5.129144e-06,5.143465e-06,5.163738e-06,5.168482e-06,5.190336e-06,5.192754e-06,5.209204e-06,5.216604e-06,5.225256e-06,5.235674e-06,5.238657e-06,5.249564e-06,5.250334e-06,5.258127e-06,5.260927e-06,5.264487e-06,5.267780e-06,5.268783e-06,5.271142e-06,5.271198e-06,5.271690e-06,5.271466e-06,5.270543e-06,5.268852e-06,5.267813e-06,5.263606e-06,5.258022e-06,5.255960e-06,5.251157e-06,5.246132e-06,5.243100e-06,5.234326e-06,5.233939e-06,5.223753e-06,5.220728e-06,5.212620e-06,5.205515e-06,5.200611e-06,5.188849e-06,5.187796e-06,5.174239e-06,5.170882e-06,5.160002e-06,5.151753e-06,5.145142e-06,5.131593e-06,5.129714e-06,5.113769e-06,5.110522e-06,5.097356e-06,5.088651e-06,5.080520e-06,5.066084e-06,5.063306e-06,5.045752e-06,5.042914e-06,5.027897e-06,5.019231e-06,5.009778e-06,4.995115e-06,4.991428e-06,4.972878e-06,4.970640e-06,4.954159e-06,4.945876e-06,4.935298e-06,4.920884e-06,4.916321e-06,4.897253e-06,4.895725e-06,4.878118e-06,4.870449e-06,4.858935e-06,4.845107e-06,4.839727e-06,4.820511e-06,4.819742e-06,4.801304e-06,4.794396e-06,4.782124e-06,4.769105e-06,4.762986e-06,4.743903e-06,4.718821e-06,4.693886e-06,4.669124e-06,4.644558e-06,4.620207e-06,4.596090e-06,4.572223e-06,4.548622e-06,4.525297e-06,4.502262e-06,4.479525e-06,4.457095e-06,4.434980e-06,4.413185e-06,4.391716e-06,4.370577e-06,4.349771e-06,4.329300e-06,4.309167e-06,4.289373e-06,4.269918e-06,4.250802e-06,4.232024e-06,4.213584e-06
0.000000e+00,6.779429e-15,6.014662e-14,1.541017e-12,1.317193e-11,3.511311e-11,2.894641e-10,3.122531e-10,1.659599e-09,2.486062e-09,6.374654e-09,1.278251e-08,1.958443e-08,4.758623e-08,5.112806e-08,1.179257e-07,1.419264e-07,2.467077e-07,3.599810e-07,4.768547e-07,8.062154e-07,8.630010e-07,1.477062e-06,1.634848e-06,2.409440e-06,3.055573e-06,3.769271e-06,5.334386e-06,5.683698e-06,8.296233e-06,8.789374e-06,1.176433e-05,1.378199e-05,1.625623e-05,2.070467e-05,2.194741e-05,2.901654e-05,2.996592e-05,3.764139e-05,4.197395e-05,4.799459e-05,5.711994e-05,6.023954e-05,7.452656e-05,7.576187e-05,9.098932e-05,9.820990e-05,1.097418e-04,1.247139e-04,1.308758e-04,1.544586e-04,1.554535e-04,1.805319e-04,1.905317e-04,2.091109e-04,2.299710e-04,2.401840e-04,2.737135e-04,3.096359e-04,3.216228e-04,3.478639e-04,3.734900e-04,3.882878e-04,4.290404e-04,4.307778e-04,4.751863e-04,4.879427e-04,5.213505e-04,5.498192e-04,5.690950e-04,6.142566e-04,6.182347e-04,6.685773e-04,6.808168e-04,7.199263e-04,7.490474e-04,7.720831e-04,8.184920e-04,8.248497e-04,8.780304e-04,8.886993e-04,9.314343e-04,9.592311e-04,9.848770e-04,1.029669e-03,1.038182e-03,1.091181e-03,1.099622e-03,1.143716e-03,1.168725e-03,1.195642e-03,1.236652e-03,1.246822e-03,1.297134e-03,1.303107e-03,1.346465e-03,1.367834e-03,1.394716e-03,1.430610e-03,1.441800e-03,1.487641e-03,1.491252e-03,1.532174e-03,1.549609e-03,1.575346e-03,1.605563e-03,1.617114e-03,1.657444e-03,1.659027e-03,1.696312e-03,1.709944e-03,1.733703e-03,1.758280e-03,1.769607e-03,1.804025e-03,1.836963e-03,1.847192e-03,1.868431e-03,1.887808e-03,1.898448e-03,1.925919e-03,1.927035e-03,1.954217e-03,1.961580e-03,1.980023e-03,1.994860e-03,2.004487e-03,2.025836e-03,2.027641e-03,2.049524e-03,2.054590e-03,2.070172e-03,2.081211e-03,2.089627e-03,2.105791e-03,2.107928e-03,2.125116e-03,2.128423e-03,2.141232e-03,2.149204e-03,2.156319e-03,2.168227e-03,2.170418e-03,2.183568e-03,2.185587e-03,2.195812e-03,2.201378e-03,2.207188e-03,2.215691e-03,2.217736e-03,2.227493e-03,2.228613e-03,2.236498e-03,2.240230e-03,2.244785e-03,2.250626e-03,2.252391e-03,2.259349e-03,2.259879e-03,2.265692e-03,2.268064e-03,2.271452e-03,2.275254e-03,2.276658e-03,2.281341e-03,2.281518e-03,2.285527e-03,2.286919e-03,2.289245e-03,2.291519e-03,2.292520e-03,2.295377e-03,2.298546e-03,2.301080e-03,2.303025e-03,2.304428e-03,2.305330e-03,2.305772e-03,2.305790e-03,2.305419e-03,2.304691e-03,2.303637e-03,2.302285e-03,2.300661e-03,2.298789e-03,2.296692e-03,2.294391e-03,2.291905e-03,2.289253e-03,2.286452e-03,2.283517e-03,2.280463e-03,2.277303e-03,2.274050e-03,2.270716e-03,2.267310e-03
0.000000e+00,4.316618e-12,9.893587e-12,3.405820e-11,7.756071e-11,1.132453e-10,2.578515e-10,2.656655e-10,5.169440e-10,6.089128e-10,8.964812e-10,1.199416e-09,1.437052e-09,2.101494e-09,2.167298e-09,3.097751e-09,3.349912e-09,4.217145e-09,4.918792e-09,5.504685e-09,6.761170e-09,6.940789e-09,8.509505e-09,8.837948e-09,1.019732e-08,1.111786e-08,1.199164e-08,1.357199e-08,1.387989e-08,1.584900e-08,1.617066e-08,1.788534e-08,1.888254e-08,1.997484e-08,2.167511e-08,2.210321e-08,2.425621e-08,2.451556e-08,2.641998e-08,2.737202e-08,2.858129e-08,3.021458e-08,3.072775e-08,3.284801e-08,3.301619e-08,3.493187e-08,3.575317e-08,3.697035e-08,3.840556e-08,3.895571e-08,4.088139e-08,4.095710e-08,4.274205e-08,4.339514e-08,4.453351e-08,4.571050e-08,4.625257e-08,4.789697e-08,4.946532e-08,4.995100e-08,5.095693e-08,5.187123e-08,5.237174e-08,5.365813e-08,5.371022e-08,5.497331e-08,5.531363e-08,5.616232e-08,5.684083e-08,5.727887e-08,5.824369e-08,5.832482e-08,5.930222e-08,5.952684e-08,6.021326e-08,6.069532e-08,6.106024e-08,6.175446e-08,6.184552e-08,6.257148e-08,6.270977e-08,6.324055e-08,6.356678e-08,6.385513e-08,6.433100e-08,6.441759e-08,6.493028e-08,6.500785e-08,6.539551e-08,6.560262e-08,6.581551e-08,6.612042e-08,6.619248e-08,6.652852e-08,6.656619e-08,6.682569e-08,6.694464e-08,6.708597e-08,6.726028e-08,6.731127e-08,6.750342e-08,6.751741e-08,6.766419e-08,6.772009e-08,6.779528e-08,6.787219e-08,6.789830e-08,6.797481e-08,6.797734e-08,6.802630e-08,6.803899e-08,6.805419e-08,6.806038e-08,6.805985e-08,6.804455e-08,6.800956e-08,6.799439e-08,6.795604e-08,6.791258e-08,6.788512e-08,6.780166e-08,6.779787e-08,6.769531e-08,6.766399e-08,6.757843e-08,6.750180e-08,6.744812e-08,6.731716e-08,6.730529e-08,6.715077e-08,6.711203e-08,6.698534e-08,6.688822e-08,6.680977e-08,6.664744e-08,6.662477e-08,6.643102e-08,6.639128e-08,6.622918e-08,6.612122e-08,6.601985e-08,6.583865e-08,6.580361e-08,6.558102e-08,6.554485e-08,6.535260e-08,6.524103e-08,6.511884e-08,6.492831e-08,6.488022e-08,6.463718e-08,6.460774e-08,6.439014e-08,6.428028e-08,6.413950e-08,6.394684e-08,6.388564e-08,6.362891e-08,6.360826e-08,6.336965e-08,6.326531e-08,6.310817e-08,6.291871e-08,6.284479e-08,6.257977e-08,6.256914e-08,6.231340e-08,6.221722e-08,6.204592e-08,6.186352e-08,6.177757e-08,6.150857e-08,6.115287e-08,6.079686e-08,6.044096e-08,6.008556e-08,5.973101e-08,5.937764e-08,5.902574e-08,5.867558e-08,5.832743e-08,5.798149e-08,5.763799e-08,5.729710e-08,5.695900e-08,5.662384e-08,5.629176e-08,5.596288e-08,5.563731e-08,5.531515e-08,5.499649e-08,5.468140e-08,5.436995e-08,5.406219e-08,5.375817e-08,5.345793e-08
0.000000e+00,2.421678e-14,2.066706e-13,4.880184e-12,3.866821e-11,9.881921e-11,7.290149e-10,7.828150e-10,3.714731e-09,5.392908e-09,1.276713e-08,2.397246e-08,3.516873e-08,7.742926e-08,8.248887e-08,1.713022e-07,2.011084e-07,3.234639e-07,4.462148e-07,5.659872e-07,8.791882e-07,9.305140e-07,1.452335e-06,1.578853e-06,2.168890e-06,2.630990e-06,3.117747e-06,4.120262e-06,4.334213e-06,5.848871e-06,6.120583e-06,7.685390e-06,8.686039e-06,9.858885e-06,1.184441e-05,1.237497e-05,1.522951e-05,1.559425e-05,1.840905e-05,1.990566e-05,2.189176e-05,2.472375e-05,2.564862e-05,2.964487e-05,2.997376e-05,3.384155e-05,3.556706e-05,3.819697e-05,4.140700e-05,4.266807e-05,4.721169e-05,4.739435e-05,5.178568e-05,5.343192e-05,5.634975e-05,5.942832e-05,6.086626e-05,6.530077e-05,6.962242e-05,7.097698e-05,7.380419e-05,7.639630e-05,7.782303e-05,8.151008e-05,8.165985e-05,8.529945e-05,8.628154e-05,8.873031e-05,9.068514e-05,9.194437e-05,9.470557e-05,9.493674e-05,9.770540e-05,9.833660e-05,1.002509e-04,1.015798e-04,1.025759e-04,1.044431e-04,1.046850e-04,1.065844e-04,1.069398e-04,1.082816e-04,1.090869e-04,1.097848e-04,1.109044e-04,1.111033e-04,1.122467e-04,1.124140e-04,1.132249e-04,1.136387e-04,1.140480e-04,1.146017e-04,1.147263e-04,1.152695e-04,1.153261e-04,1.156876e-04,1.158344e-04,1.159901e-04,1.161482e-04,1.161860e-04,1.162841e-04,1.162880e-04,1.162927e-04,1.162729e-04,1.162198e-04,1.161210e-04,1.160727e-04,1.158585e-04,1.158486e-04,1.155835e-04,1.154709e-04,1.152540e-04,1.150016e-04,1.148755e-04,1.144533e-04,1.139922e-04,1.138371e-04,1.134966e-04,1.131633e-04,1.129708e-04,1.124410e-04,1.124185e-04,1.118430e-04,1.116782e-04,1.112477e-04,1.108822e-04,1.106355e-04,1.100595e-04,1.100089e-04,1.093704e-04,1.092156e-04,1.087222e-04,1.083557e-04,1.080663e-04,1.074842e-04,1.074045e-04,1.067385e-04,1.066049e-04,1.060698e-04,1.057214e-04,1.053997e-04,1.048366e-04,1.047294e-04,1.040602e-04,1.039532e-04,1.033928e-04,1.030734e-04,1.027283e-04,1.021992e-04,1.020674e-04,1.014108e-04,1.013323e-04,1.007592e-04,1.004742e-04,1.001131e-04,9.962615e-05,9.947312e-05,9.883958e-05,9.878918e-05,9.821289e-05,9.796422e-05,9.759342e-05,9.715202e-05,9.698144e-05,9.637721e-05,9.635320e-05,9.578094e-05,9.556827e-05,9.519282e-05,9.479762e-05,9.461299e-05,9.404159e-05,9.330039e-05,9.257419e-05,9.186310e-05,9.116717e-05,9.048639e-05,8.982072e-05,8.917010e-05,8.853440e-05,8.791351e-05,8.730725e-05,8.671545e-05,8.613791e-05,8.557442e-05,8.502477e-05,8.448871e-05,8.396601e-05,8.345642e-05,8.295968e-05,8.247553e-05,8.200373e-05,8.154401e-05,8.109609e-05,8.065972e-05,8.023465e-05
0.000000e+00,6.234411e-13,5.595709e-12,1.469204e-10,1.284757e-09,3.468724e-09,2.957487e-08,3.194778e-08,1.757841e-07,2.658677e-07,6.986803e-07,1.429708e-06,2.220110e-06,5.562163e-06,5.991992e-06,1.428313e-05,1.732608e-05,3.087881e-05,4.589619e-05,6.169055e-05,1.074184e-04,1.154512e-04,2.044484e-04,2.278505e-04,3.452376e-04,4.458279e-04,5.592728e-04,8.151464e-04,8.734077e-04,1.320225e-03,1.406515e-03,1.938174e-03,2.308354e-03,2.771508e-03,3.626538e-03,3.870020e-03,5.288583e-03,5.483094e-03,7.086527e-03,8.013932e-03,9.326854e-03,1.136577e-02,1.207534e-02,1.539952e-02,1.569237e-02,1.936763e-02,2.115040e-02,2.404748e-02,2.789500e-02,2.950538e-02,3.580499e-02,3.607534e-02,4.300629e-02,4.583032e-02,5.116464e-02,5.728463e-02,6.032981e-02,7.054523e-02,8.184733e-02,8.569843e-02,9.426493e-02,1.028076e-01,1.078189e-01,1.219115e-01,1.225218e-01,1.383777e-01,1.430236e-01,1.553823e-01,1.661314e-01,1.735228e-01,1.911976e-01,1.927784e-01,2.131203e-01,2.181601e-01,2.345121e-01,2.469344e-01,2.569107e-01,2.774149e-01,2.802663e-01,3.045232e-01,3.094775e-01,3.296206e-01,3.429819e-01,3.554931e-01,3.777744e-01,3.820713e-01,4.092827e-01,4.136903e-01,4.370522e-01,4.505572e-01,4.653027e-01,4.881971e-01,4.939563e-01,5.229342e-01,5.264296e-01,5.521576e-01,5.650735e-01,5.815484e-01,6.039499e-01,6.110296e-01,6.405256e-01,6.428837e-01,6.699630e-01,6.817055e-01,6.992705e-01,7.202530e-01,7.283798e-01,7.572254e-01,7.583729e-01,7.857452e-01,7.959211e-01,8.138803e-01,8.327642e-01,8.415756e-01,8.687798e-01,8.954453e-01,9.038572e-01,9.215283e-01,9.378972e-01,9.469890e-01,9.708124e-01,9.717915e-01,9.959036e-01,1.002527e+00,1.019297e+00,1.032978e+00,1.041947e+00,1.062110e+00,1.063832e+00,1.084936e+00,1.089883e+00,1.105243e+00,1.116263e+00,1.124743e+00,1.141229e+00,1.143428e+00,1.161292e+00,1.164767e+00,1.178334e+00,1.186871e+00,1.194553e+00,1.207544e+00,1.209953e+00,1.224537e+00,1.226795e+00,1.238313e+00,1.244641e+00,1.251289e+00,1.261102e+00,1.263477e+00,1.274887e+00,1.276205e+00,1.285534e+00,1.289981e+00,1.295433e+00,1.302465e+00,1.304599e+00,1.313050e+00,1.313695e+00,1.320802e+00,1.323712e+00,1.327875e+00,1.332557e+00,1.334287e+00,1.340059e+00,1.340277e+00,1.345210e+00,1.346917e+00,1.349761e+00,1.352524e+00,1.353733e+00,1.357145e+00,1.360828e+00,1.363621e+00,1.365571e+00,1.366725e+00,1.367129e+00,1.366829e+00,1.365868e+00,1.364289e+00,1.362134e+00,1.359444e+00,1.356258e+00,1.352612e+00,1.348543e+00,1.344085e+00,1.339272e+00,1.334134e+00,1.328702e+00,1.323003e+00,1.317065e+00,1.310913e+00,1.304571e+00,1.298062e+00,1.291406e+00,1.284625e+00
0.000000e+00,3.937940e-11,1.200409e-10,5.538812e-10,1.437330e-09,2.198805e-09,5.404250e-09,5.580129e-09,1.127698e-08,1.336608e-08,1.987388e-08,2.667710e-08,3.198181e-08,4.675909e-08,4.822460e-08,6.914306e-08,7.489598e-08,9.497756e-08,1.115113e-07,1.254522e-07,1.555342e-07,1.598378e-07,1.972626e-07,2.050407e-07,2.369432e-07,2.582506e-07,2.782376e-07,3.137811e-07,3.206147e-07,3.636191e-07,3.705305e-07,4.068484e-07,4.275715e-07,4.499437e-07,4.841075e-07,4.925857e-07,5.344948e-07,5.394628e-07,5.754318e-07,5.930833e-07,6.151973e-07,6.445353e-07,6.536306e-07,6.906077e-07,6.935001e-07,7.260381e-07,7.397628e-07,7.598614e-07,7.831989e-07,7.920433e-07,8.225720e-07,8.237588e-07,8.514546e-07,8.614532e-07,8.787131e-07,8.963384e-07,9.043820e-07,9.285049e-07,9.511328e-07,9.580670e-07,9.723214e-07,9.851540e-07,9.921298e-07,1.009904e-06,1.010619e-06,1.027851e-06,1.032459e-06,1.043887e-06,1.052960e-06,1.058789e-06,1.071548e-06,1.072616e-06,1.085426e-06,1.088356e-06,1.097276e-06,1.103513e-06,1.108220e-06,1.117141e-06,1.118308e-06,1.127592e-06,1.129356e-06,1.136118e-06,1.140267e-06,1.143930e-06,1.149973e-06,1.151072e-06,1.157583e-06,1.158568e-06,1.163500e-06,1.166141e-06,1.168861e-06,1.172771e-06,1.173698e-06,1.178043e-06,1.178533e-06,1.181927e-06,1.183497e-06,1.185378e-06,1.187727e-06,1.188422e-06,1.191085e-06,1.191283e-06,1.193391e-06,1.194218e-06,1.195360e-06,1.196583e-06,1.197016e-06,1.198376e-06,1.198425e-06,1.199460e-06,1.199786e-06,1.200285e-06,1.200707e-06,1.200868e-06,1.201224e-06,1.201367e-06,1.201370e-06,1.201312e-06,1.201178e-06,1.201070e-06,1.200675e-06,1.200655e-06,1.200078e-06,1.199889e-06,1.199349e-06,1.198843e-06,1.198478e-06,1.197561e-06,1.197476e-06,1.196351e-06,1.196063e-06,1.195111e-06,1.194369e-06,1.193764e-06,1.192497e-06,1.192319e-06,1.190781e-06,1.190464e-06,1.189159e-06,1.188283e-06,1.187457e-06,1.185971e-06,1.185682e-06,1.183840e-06,1.183540e-06,1.181936e-06,1.181001e-06,1.179974e-06,1.178367e-06,1.177960e-06,1.175898e-06,1.175648e-06,1.173792e-06,1.172852e-06,1.171646e-06,1.169990e-06,1.169463e-06,1.167248e-06,1.167069e-06,1.165003e-06,1.164098e-06,1.162732e-06,1.161082e-06,1.160438e-06,1.158123e-06,1.158030e-06,1.155789e-06,1.154945e-06,1.153441e-06,1.151836e-06,1.151079e-06,1.148706e-06,1.145560e-06,1.142403e-06,1.139239e-06,1.136072e-06,1.132905e-06,1.129742e-06,1.126585e-06,1.123437e-06,1.120302e-06,1.117180e-06,1.114075e-06,1.110988e-06,1.107921e-06,1.104876e-06,1.101855e-06,1.098858e-06,1.095886e-06,1.092943e-06,1.090027e-06,1.087140e-06,1.084283e-06,1.081457e-06,1.078663e-06,1.075900e-06
0.000000e+00,5.240135e-11,1.299738e-10,4.853815e-10,1.145916e-09,1.694082e-09,3.928073e-09,4.048803e-09,7.912051e-09,9.314272e-09,1.365543e-08,1.816494e-08,2.166674e-08,3.136714e-08,3.232496e-08,4.591193e-08,4.962084e-08,6.248411e-08,7.300003e-08,8.183652e-08,1.008862e-07,1.036151e-07,1.274451e-07,1.324266e-07,1.529852e-07,1.668391e-07,1.799293e-07,2.034416e-07,2.079968e-07,2.369240e-07,2.416152e-07,2.664610e-07,2.807856e-07,2.963722e-07,3.204224e-07,3.264380e-07,3.564572e-07,3.600476e-07,3.862487e-07,3.992429e-07,4.156530e-07,4.376559e-07,4.445326e-07,4.727716e-07,4.750001e-07,5.002753e-07,5.110532e-07,5.269673e-07,5.456491e-07,5.527885e-07,5.776958e-07,5.786726e-07,6.016597e-07,6.100520e-07,6.246622e-07,6.397503e-07,6.466953e-07,6.677598e-07,6.878627e-07,6.940946e-07,7.070172e-07,7.187863e-07,7.252407e-07,7.418790e-07,7.425544e-07,7.589819e-07,7.634263e-07,7.745488e-07,7.834869e-07,7.892819e-07,8.021239e-07,8.032091e-07,8.163588e-07,8.194022e-07,8.287595e-07,8.353874e-07,8.404397e-07,8.501448e-07,8.514278e-07,8.617514e-07,8.637389e-07,8.714382e-07,8.762325e-07,8.805147e-07,8.876865e-07,8.890070e-07,8.969404e-07,8.981596e-07,9.043395e-07,9.077082e-07,9.112279e-07,9.163864e-07,9.176286e-07,9.235637e-07,9.242457e-07,9.290546e-07,9.313351e-07,9.341217e-07,9.377014e-07,9.387847e-07,9.430627e-07,9.433889e-07,9.469738e-07,9.484395e-07,9.505355e-07,9.528930e-07,9.537645e-07,9.566769e-07,9.567870e-07,9.592880e-07,9.601571e-07,9.616127e-07,9.630370e-07,9.636649e-07,9.654582e-07,9.670056e-07,9.674508e-07,9.683193e-07,9.690429e-07,9.694112e-07,9.702612e-07,9.702926e-07,9.709742e-07,9.711307e-07,9.714665e-07,9.716750e-07,9.717792e-07,9.719164e-07,9.719218e-07,9.719032e-07,9.718758e-07,9.717322e-07,9.715728e-07,9.714168e-07,9.710261e-07,9.709649e-07,9.703840e-07,9.702530e-07,9.696812e-07,9.692699e-07,9.688634e-07,9.680923e-07,9.679370e-07,9.669083e-07,9.667346e-07,9.657832e-07,9.652106e-07,9.645673e-07,9.635329e-07,9.632661e-07,9.618846e-07,9.617137e-07,9.604278e-07,9.597642e-07,9.589004e-07,9.576950e-07,9.573067e-07,9.556512e-07,9.555162e-07,9.539378e-07,9.532370e-07,9.521703e-07,9.508664e-07,9.503526e-07,9.484880e-07,9.484125e-07,9.465800e-07,9.458830e-07,9.446317e-07,9.432854e-07,9.426461e-07,9.406263e-07,9.379121e-07,9.351490e-07,9.323424e-07,9.294977e-07,9.266198e-07,9.237133e-07,9.207825e-07,9.178316e-07,9.148643e-07,9.118840e-07,9.088943e-07,9.058981e-07,9.028984e-07,8.998977e-07,8.968988e-07,8.939039e-07,8.909151e-07,8.879346e-07,8.849642e-07,8.820056e-07,8.790606e-07,8.761306e-07,8.732169e-07,8.703210e-07
0.000000e+00,1.669157e-11,6.358147e-11,3.780280e-10,1.104023e-09,1.762940e-09,4.659690e-09,4.821778e-09,1.015139e-08,1.212922e-08,1.832945e-08,2.484726e-08,2.994414e-08,4.418642e-08,4.560196e-08,6.587376e-08,7.147388e-08,9.112343e-08,1.074293e-07,1.212692e-07,1.513990e-07,1.557368e-07,1.937096e-07,2.016533e-07,2.343998e-07,2.564082e-07,2.771462e-07,3.142380e-07,3.213996e-07,3.666856e-07,3.739981e-07,4.125765e-07,4.347021e-07,4.586782e-07,4.954653e-07,5.046261e-07,5.500860e-07,5.554937e-07,5.947569e-07,6.140924e-07,6.383737e-07,6.706765e-07,6.807096e-07,7.215767e-07,7.247778e-07,7.608250e-07,7.760446e-07,7.983414e-07,8.242350e-07,8.340464e-07,8.678913e-07,8.692060e-07,8.998541e-07,9.108997e-07,9.299363e-07,9.493280e-07,9.581588e-07,9.845581e-07,1.009184e-06,1.016699e-06,1.032096e-06,1.045890e-06,1.053359e-06,1.072288e-06,1.073046e-06,1.091232e-06,1.096065e-06,1.107991e-06,1.117394e-06,1.123400e-06,1.136450e-06,1.137536e-06,1.150471e-06,1.153405e-06,1.162278e-06,1.168423e-06,1.173025e-06,1.181660e-06,1.182780e-06,1.191606e-06,1.193265e-06,1.199562e-06,1.203374e-06,1.206705e-06,1.212117e-06,1.213089e-06,1.218765e-06,1.219611e-06,1.223780e-06,1.225966e-06,1.228178e-06,1.231281e-06,1.232002e-06,1.235290e-06,1.235650e-06,1.238078e-06,1.239156e-06,1.240401e-06,1.241876e-06,1.242291e-06,1.243777e-06,1.243880e-06,1.244887e-06,1.245232e-06,1.245647e-06,1.245991e-06,1.246081e-06,1.246211e-06,1.246211e-06,1.246059e-06,1.245939e-06,1.245644e-06,1.245221e-06,1.244984e-06,1.244097e-06,1.242998e-06,1.242604e-06,1.241702e-06,1.240776e-06,1.240223e-06,1.238644e-06,1.238575e-06,1.236768e-06,1.236236e-06,1.234816e-06,1.233578e-06,1.232727e-06,1.230695e-06,1.230513e-06,1.228183e-06,1.227608e-06,1.225745e-06,1.224336e-06,1.223208e-06,1.220899e-06,1.220579e-06,1.217866e-06,1.217314e-06,1.215075e-06,1.213595e-06,1.212213e-06,1.209758e-06,1.209285e-06,1.206298e-06,1.205815e-06,1.203256e-06,1.201779e-06,1.200165e-06,1.197660e-06,1.197030e-06,1.193853e-06,1.193470e-06,1.190641e-06,1.189217e-06,1.187396e-06,1.184911e-06,1.184123e-06,1.180824e-06,1.180560e-06,1.177504e-06,1.176170e-06,1.174164e-06,1.171750e-06,1.170809e-06,1.167440e-06,1.167305e-06,1.164061e-06,1.162842e-06,1.160673e-06,1.158365e-06,1.157279e-06,1.153881e-06,1.149393e-06,1.144906e-06,1.140424e-06,1.135951e-06,1.131490e-06,1.127044e-06,1.122616e-06,1.118209e-06,1.113825e-06,1.109467e-06,1.105136e-06,1.100835e-06,1.096565e-06,1.092327e-06,1.088124e-06,1.083956e-06,1.079826e-06,1.075733e-06,1.071678e-06,1.067664e-06,1.063690e-06,1.059757e-06,1.055866e-06,1.052017e-06
0.000000e+00,2.742640e-12,1.932184e-11,3.099316e-10,1.750994e-09,3.739703e-09,1.774328e-08,1.872696e-08,5.942452e-08,7.782076e-08,1.439544e-07,2.243608e-07,2.934114e-07,5.091288e-07,5.321541e-07,8.884290e-07,9.948791e-07,1.393540e-06,1.752859e-06,2.077429e-06,2.843621e-06,2.960358e-06,4.044999e-06,4.284977e-06,5.314953e-06,6.039015e-06,6.740617e-06,8.033438e-06,8.287756e-06,9.923922e-06,1.019205e-05,1.162142e-05,1.245119e-05,1.335765e-05,1.476211e-05,1.511432e-05,1.687636e-05,1.708755e-05,1.863114e-05,1.939810e-05,2.036787e-05,2.166999e-05,2.207733e-05,2.375160e-05,2.388382e-05,2.538403e-05,2.602401e-05,2.696908e-05,2.807844e-05,2.850230e-05,2.998021e-05,3.003813e-05,3.140022e-05,3.189689e-05,3.276058e-05,3.365097e-05,3.406021e-05,3.529867e-05,3.647603e-05,3.683995e-05,3.759280e-05,3.827613e-05,3.864986e-05,3.960953e-05,3.964836e-05,4.058970e-05,4.084325e-05,4.147547e-05,4.198096e-05,4.230737e-05,4.302668e-05,4.308720e-05,4.381683e-05,4.398468e-05,4.449818e-05,4.485935e-05,4.513316e-05,4.565512e-05,4.572370e-05,4.627169e-05,4.637635e-05,4.677903e-05,4.702739e-05,4.724754e-05,4.761242e-05,4.767905e-05,4.807528e-05,4.813552e-05,4.843794e-05,4.860058e-05,4.876867e-05,4.901133e-05,4.906905e-05,4.934061e-05,4.937133e-05,4.958481e-05,4.968397e-05,4.980309e-05,4.995248e-05,4.999680e-05,5.016723e-05,5.017989e-05,5.031563e-05,5.036910e-05,5.044321e-05,5.052281e-05,5.055110e-05,5.064041e-05,5.064362e-05,5.071218e-05,5.073392e-05,5.076741e-05,5.079600e-05,5.080705e-05,5.083201e-05,5.084315e-05,5.084394e-05,5.084132e-05,5.083370e-05,5.082730e-05,5.080306e-05,5.080183e-05,5.076563e-05,5.075367e-05,5.071939e-05,5.068710e-05,5.066375e-05,5.060479e-05,5.059932e-05,5.052670e-05,5.050811e-05,5.044644e-05,5.039835e-05,5.035906e-05,5.027669e-05,5.026508e-05,5.016496e-05,5.014424e-05,5.005916e-05,5.000205e-05,4.994812e-05,4.985108e-05,4.983223e-05,4.971188e-05,4.969224e-05,4.958745e-05,4.952637e-05,4.945927e-05,4.935426e-05,4.932768e-05,4.919299e-05,4.917663e-05,4.905549e-05,4.899417e-05,4.891546e-05,4.880751e-05,4.877316e-05,4.862885e-05,4.861723e-05,4.848276e-05,4.842388e-05,4.833511e-05,4.822796e-05,4.818611e-05,4.803596e-05,4.802994e-05,4.788485e-05,4.783025e-05,4.773296e-05,4.762931e-05,4.758044e-05,4.742746e-05,4.722506e-05,4.702243e-05,4.681984e-05,4.661757e-05,4.641586e-05,4.621494e-05,4.601502e-05,4.581627e-05,4.561887e-05,4.542298e-05,4.522873e-05,4.503626e-05,4.484568e-05,4.465709e-05,4.447059e-05,4.428626e-05,4.410416e-05,4.392437e-05,4.374694e-05,4.357192e-05,4.339935e-05,4.322927e-05,4.306170e-05,4.289667e-05
0.000000e+00,3.386655e-13,2.545168e-12,4.635262e-11,2.911844e-10,6.564486e-10,3.529856e-09,3.742858e-09,1.314751e-08,1.763170e-08,3.436822e-08,5.545027e-08,7.389582e-08,1.323651e-07,1.386370e-07,2.355665e-07,2.643792e-07,3.714203e-07,4.667527e-07,5.520652e-07,7.512756e-07,7.814373e-07,1.060586e-06,1.122261e-06,1.387511e-06,1.575012e-06,1.757859e-06,2.098385e-06,2.165970e-06,2.605756e-06,2.678657e-06,3.071222e-06,3.302080e-06,3.556662e-06,3.955759e-06,4.056680e-06,4.566164e-06,4.627706e-06,5.080266e-06,5.306742e-06,5.594401e-06,5.982520e-06,6.104290e-06,6.606010e-06,6.645686e-06,7.096042e-06,7.288078e-06,7.571316e-06,7.902903e-06,8.029244e-06,8.467723e-06,8.484833e-06,8.885136e-06,9.030011e-06,9.280324e-06,9.535969e-06,9.652558e-06,1.000149e-05,1.032711e-05,1.042643e-05,1.062970e-05,1.081149e-05,1.090975e-05,1.115806e-05,1.116798e-05,1.140523e-05,1.146803e-05,1.162244e-05,1.174358e-05,1.182065e-05,1.198712e-05,1.200090e-05,1.216428e-05,1.220110e-05,1.231187e-05,1.238801e-05,1.244472e-05,1.255024e-05,1.256384e-05,1.267024e-05,1.269007e-05,1.276483e-05,1.280966e-05,1.284852e-05,1.291099e-05,1.292212e-05,1.298642e-05,1.299589e-05,1.304213e-05,1.306602e-05,1.308993e-05,1.312289e-05,1.313043e-05,1.316422e-05,1.316785e-05,1.319182e-05,1.320212e-05,1.321371e-05,1.322680e-05,1.323033e-05,1.324211e-05,1.324285e-05,1.324941e-05,1.325115e-05,1.325258e-05,1.325248e-05,1.325194e-05,1.324777e-05,1.324753e-05,1.324035e-05,1.323693e-05,1.322992e-05,1.322122e-05,1.321671e-05,1.320092e-05,1.318275e-05,1.317646e-05,1.316238e-05,1.314826e-05,1.313996e-05,1.311666e-05,1.311566e-05,1.308960e-05,1.308201e-05,1.306193e-05,1.304460e-05,1.303275e-05,1.300469e-05,1.300219e-05,1.297035e-05,1.296253e-05,1.293732e-05,1.291834e-05,1.290320e-05,1.287233e-05,1.286807e-05,1.283200e-05,1.282469e-05,1.279508e-05,1.277557e-05,1.275737e-05,1.272514e-05,1.271894e-05,1.267985e-05,1.267354e-05,1.264016e-05,1.262090e-05,1.259991e-05,1.256735e-05,1.255916e-05,1.251796e-05,1.251299e-05,1.247635e-05,1.245793e-05,1.243438e-05,1.240226e-05,1.239208e-05,1.234950e-05,1.234608e-05,1.230666e-05,1.228946e-05,1.226360e-05,1.223248e-05,1.222035e-05,1.217695e-05,1.217521e-05,1.213341e-05,1.211771e-05,1.208977e-05,1.206005e-05,1.204605e-05,1.200228e-05,1.194446e-05,1.188663e-05,1.182883e-05,1.177112e-05,1.171352e-05,1.165608e-05,1.159882e-05,1.154178e-05,1.148498e-05,1.142846e-05,1.137224e-05,1.131633e-05,1.126076e-05,1.120555e-05,1.115072e-05,1.109627e-05,1.104224e-05,1.098863e-05,1.093544e-05,1.088270e-05,1.083042e-05,1.077860e-05,1.072724e-05,1.067637e-05
0.000000e+00,1.176236e-10,2.983766e-10,1.143397e-09,2.743540e-09,4.090905e-09,9.729432e-09,1.004040e-08,2.030019e-08,2.416218e-08,3.651500e-08,4.983581e-08,6.039114e-08,8.985627e-08,9.275022e-08,1.330045e-07,1.437071e-07,1.799640e-07,2.087956e-07,2.326040e-07,2.830288e-07,2.901781e-07,3.521026e-07,3.649631e-07,4.178532e-07,4.533830e-07,4.869076e-07,5.470695e-07,5.587222e-07,6.327311e-07,6.447374e-07,7.083535e-07,7.450539e-07,7.850069e-07,8.466889e-07,8.621224e-07,9.391580e-07,9.483726e-07,1.015610e-06,1.048945e-06,1.091021e-06,1.147386e-06,1.164985e-06,1.237153e-06,1.242840e-06,1.307234e-06,1.334626e-06,1.374987e-06,1.422220e-06,1.440224e-06,1.502803e-06,1.505249e-06,1.562625e-06,1.583472e-06,1.619625e-06,1.656757e-06,1.673774e-06,1.725069e-06,1.773530e-06,1.788444e-06,1.819191e-06,1.846968e-06,1.862105e-06,1.900778e-06,1.902337e-06,1.939962e-06,1.950041e-06,1.975062e-06,1.994947e-06,2.007725e-06,2.035700e-06,2.038041e-06,2.066102e-06,2.072512e-06,2.092002e-06,2.105597e-06,2.115834e-06,2.135170e-06,2.137692e-06,2.157666e-06,2.161442e-06,2.175846e-06,2.184620e-06,2.192319e-06,2.204901e-06,2.207172e-06,2.220485e-06,2.222478e-06,2.232340e-06,2.237535e-06,2.242812e-06,2.250245e-06,2.251977e-06,2.259904e-06,2.260775e-06,2.266663e-06,2.269283e-06,2.272319e-06,2.275918e-06,2.276934e-06,2.280569e-06,2.280819e-06,2.283281e-06,2.284120e-06,2.285125e-06,2.285944e-06,2.286152e-06,2.286414e-06,2.286409e-06,2.285956e-06,2.285624e-06,2.284824e-06,2.283692e-06,2.283062e-06,2.280710e-06,2.277806e-06,2.276767e-06,2.274388e-06,2.271947e-06,2.270492e-06,2.266331e-06,2.266149e-06,2.261392e-06,2.259990e-06,2.256251e-06,2.252994e-06,2.250754e-06,2.245406e-06,2.244928e-06,2.238799e-06,2.237286e-06,2.232391e-06,2.228689e-06,2.225726e-06,2.219666e-06,2.218827e-06,2.211713e-06,2.210266e-06,2.204405e-06,2.200533e-06,2.196920e-06,2.190509e-06,2.189276e-06,2.181489e-06,2.180230e-06,2.173574e-06,2.169734e-06,2.165547e-06,2.159052e-06,2.157420e-06,2.149207e-06,2.148216e-06,2.140919e-06,2.137252e-06,2.132569e-06,2.126188e-06,2.124167e-06,2.115723e-06,2.115046e-06,2.107247e-06,2.103849e-06,2.098747e-06,2.092617e-06,2.090232e-06,2.081710e-06,2.081369e-06,2.073188e-06,2.070121e-06,2.064673e-06,2.058890e-06,2.056172e-06,2.047690e-06,2.036533e-06,2.025432e-06,2.014398e-06,2.003439e-06,1.992566e-06,1.981787e-06,1.971107e-06,1.960535e-06,1.950076e-06,1.939734e-06,1.929515e-06,1.919423e-06,1.909460e-06,1.899631e-06,1.889936e-06,1.880380e-06,1.870963e-06,1.861687e-06,1.852553e-06,1.843562e-06,1.834714e-06,1.826010e-06,1.817450e-06,1.809033e-06
0.000000e+00,3.953311e-14,3.276846e-13,7.284600e-12,5.464862e-11,1.355559e-10,9.268026e-10,9.921624e-10,4.375269e-09,6.229545e-09,1.406059e-08,2.543747e-08,3.645273e-08,7.635019e-08,8.100854e-08,1.604110e-07,1.863433e-07,2.903838e-07,3.919072e-07,4.889111e-07,7.352457e-07,7.747639e-07,1.165614e-06,1.257752e-06,1.676256e-06,1.992862e-06,2.317376e-06,2.961308e-06,3.095017e-06,4.010637e-06,4.169815e-06,5.061578e-06,5.612414e-06,6.241727e-06,7.272988e-06,7.542209e-06,8.952035e-06,9.127980e-06,1.045868e-05,1.114880e-05,1.204855e-05,1.330380e-05,1.370746e-05,1.542094e-05,1.555994e-05,1.717460e-05,1.788416e-05,1.895442e-05,2.024455e-05,2.074701e-05,2.253978e-05,2.261132e-05,2.432113e-05,2.495758e-05,2.608060e-05,2.725976e-05,2.780891e-05,2.949799e-05,3.114102e-05,3.165612e-05,3.273239e-05,3.372163e-05,3.426760e-05,3.568537e-05,3.574322e-05,3.715680e-05,3.754125e-05,3.850675e-05,3.928580e-05,3.979223e-05,4.091779e-05,4.101309e-05,4.216971e-05,4.243783e-05,4.326296e-05,4.384795e-05,4.429408e-05,4.515131e-05,4.526463e-05,4.617639e-05,4.635186e-05,4.703132e-05,4.745412e-05,4.783152e-05,4.846299e-05,4.857917e-05,4.927648e-05,4.938353e-05,4.992570e-05,5.022090e-05,5.052906e-05,5.098021e-05,5.108876e-05,5.160698e-05,5.166648e-05,5.208581e-05,5.228456e-05,5.252731e-05,5.283911e-05,5.293346e-05,5.330615e-05,5.333457e-05,5.364721e-05,5.377517e-05,5.395839e-05,5.416488e-05,5.424136e-05,5.449771e-05,5.450743e-05,5.472896e-05,5.480634e-05,5.493655e-05,5.506490e-05,5.512185e-05,5.528616e-05,5.543072e-05,5.547299e-05,5.555668e-05,5.562806e-05,5.566516e-05,5.575383e-05,5.575721e-05,5.583380e-05,5.585261e-05,5.589589e-05,5.592655e-05,5.594435e-05,5.597762e-05,5.598003e-05,5.600370e-05,5.600769e-05,5.601614e-05,5.601845e-05,5.601803e-05,5.601150e-05,5.601004e-05,5.599282e-05,5.598831e-05,5.596694e-05,5.595026e-05,5.593298e-05,5.589859e-05,5.589146e-05,5.584290e-05,5.583450e-05,5.578775e-05,5.575907e-05,5.572647e-05,5.567332e-05,5.565948e-05,5.558718e-05,5.557817e-05,5.550995e-05,5.547449e-05,5.542813e-05,5.536310e-05,5.534208e-05,5.525210e-05,5.524474e-05,5.515849e-05,5.512010e-05,5.506154e-05,5.498982e-05,5.496151e-05,5.485867e-05,5.485450e-05,5.475323e-05,5.471468e-05,5.464543e-05,5.457089e-05,5.453549e-05,5.442359e-05,5.427322e-05,5.412019e-05,5.396486e-05,5.380760e-05,5.364873e-05,5.348853e-05,5.332729e-05,5.316527e-05,5.300270e-05,5.283979e-05,5.267675e-05,5.251377e-05,5.235102e-05,5.218865e-05,5.202681e-05,5.186562e-05,5.170523e-05,5.154574e-05,5.138724e-05,5.122984e-05,5.107362e-05,5.091866e-05,5.076504e-05,5.061281e-05
0.000000e+00,1.981125e-12,1.181856e-11,1.387948e-10,6.132382e-10,1.161432e-09,4.220884e-09,4.412215e-09,1.135260e-08,1.414800e-08,2.337012e-08,3.357093e-08,4.179310e-08,6.553792e-08,6.794629e-08,1.031783e-07,1.131349e-07,1.488232e-07,1.793844e-07,2.060553e-07,2.665966e-07,2.755973e-07,3.573129e-07,3.750230e-07,4.498916e-07,5.015589e-07,5.509325e-07,6.401880e-07,6.574842e-07,7.666934e-07,7.842476e-07,8.762053e-07,9.283402e-07,9.842579e-07,1.068793e-06,1.089597e-06,1.191345e-06,1.203282e-06,1.288893e-06,1.330371e-06,1.381825e-06,1.449197e-06,1.469872e-06,1.552876e-06,1.559296e-06,1.630771e-06,1.660499e-06,1.703569e-06,1.752867e-06,1.771343e-06,1.834217e-06,1.836632e-06,1.892354e-06,1.912161e-06,1.945949e-06,1.979908e-06,1.995216e-06,2.040385e-06,2.081691e-06,2.094133e-06,2.119374e-06,2.141698e-06,2.153669e-06,2.183620e-06,2.184807e-06,2.213012e-06,2.220413e-06,2.238495e-06,2.252564e-06,2.261460e-06,2.280526e-06,2.282095e-06,2.300580e-06,2.304716e-06,2.317081e-06,2.325513e-06,2.331753e-06,2.343264e-06,2.344737e-06,2.356167e-06,2.358278e-06,2.366164e-06,2.370834e-06,2.374841e-06,2.381184e-06,2.382300e-06,2.388636e-06,2.389552e-06,2.393937e-06,2.396138e-06,2.398283e-06,2.401121e-06,2.401746e-06,2.404395e-06,2.404661e-06,2.406291e-06,2.406901e-06,2.407491e-06,2.407970e-06,2.408047e-06,2.408007e-06,2.407980e-06,2.407416e-06,2.407035e-06,2.406315e-06,2.405226e-06,2.404740e-06,2.402726e-06,2.402636e-06,2.400305e-06,2.399340e-06,2.397508e-06,2.395404e-06,2.394361e-06,2.390889e-06,2.387116e-06,2.385849e-06,2.383064e-06,2.380334e-06,2.378753e-06,2.374389e-06,2.374202e-06,2.369429e-06,2.368055e-06,2.364449e-06,2.361369e-06,2.359279e-06,2.354366e-06,2.353932e-06,2.348422e-06,2.347076e-06,2.342761e-06,2.339530e-06,2.336961e-06,2.331751e-06,2.331034e-06,2.324988e-06,2.323766e-06,2.318835e-06,2.315595e-06,2.312582e-06,2.307260e-06,2.306240e-06,2.299814e-06,2.298779e-06,2.293315e-06,2.290170e-06,2.286747e-06,2.281449e-06,2.280119e-06,2.273436e-06,2.272630e-06,2.266704e-06,2.263728e-06,2.259930e-06,2.254756e-06,2.253118e-06,2.246273e-06,2.245724e-06,2.239401e-06,2.236645e-06,2.232505e-06,2.227528e-06,2.225590e-06,2.218661e-06,2.218383e-06,2.211720e-06,2.209220e-06,2.204772e-06,2.200045e-06,2.197820e-06,2.190866e-06,2.181692e-06,2.172528e-06,2.163380e-06,2.154254e-06,2.145156e-06,2.136090e-06,2.127060e-06,2.118072e-06,2.109129e-06,2.100234e-06,2.091392e-06,2.082604e-06,2.073874e-06,2.065205e-06,2.056598e-06,2.048057e-06,2.039583e-06,2.031177e-06,2.022843e-06,2.014581e-06,2.006392e-06,1.998278e-06,1.990241e-06,1.982280e-06
0.000000e+00,5.630591e-13,4.214351e-12,7.612307e-11,4.750147e-10,1.067339e-09,5.697429e-09,6.039660e-09,2.110095e-08,2.826479e-08,5.496374e-08,8.855841e-08,1.179421e-07,2.111009e-07,2.210979e-07,3.757290e-07,4.217452e-07,5.929130e-07,7.456449e-07,8.825556e-07,1.203100e-06,1.251735e-06,1.703092e-06,1.803105e-06,2.234378e-06,2.540288e-06,2.839385e-06,3.398311e-06,3.509519e-06,4.235204e-06,4.355819e-06,5.006748e-06,5.390597e-06,5.814727e-06,6.481255e-06,6.650100e-06,7.504208e-06,7.607563e-06,8.368780e-06,8.750470e-06,9.235979e-06,9.892277e-06,1.009848e-05,1.094953e-05,1.101693e-05,1.178307e-05,1.211036e-05,1.259376e-05,1.316073e-05,1.337706e-05,1.412919e-05,1.415858e-05,1.484715e-05,1.509680e-05,1.552870e-05,1.597052e-05,1.617225e-05,1.677686e-05,1.734213e-05,1.751470e-05,1.786812e-05,1.818435e-05,1.835531e-05,1.878726e-05,1.880451e-05,1.921679e-05,1.932578e-05,1.959342e-05,1.980289e-05,1.993585e-05,2.022198e-05,2.024559e-05,2.052428e-05,2.058672e-05,2.077355e-05,2.090090e-05,2.099505e-05,2.116832e-05,2.119044e-05,2.136133e-05,2.139271e-05,2.150929e-05,2.157767e-05,2.163584e-05,2.172667e-05,2.174244e-05,2.183049e-05,2.184295e-05,2.190132e-05,2.192957e-05,2.195618e-05,2.198938e-05,2.199627e-05,2.202271e-05,2.202501e-05,2.203655e-05,2.203891e-05,2.203879e-05,2.203330e-05,2.203034e-05,2.201209e-05,2.201023e-05,2.198483e-05,2.197158e-05,2.194932e-05,2.191905e-05,2.190627e-05,2.185633e-05,2.185420e-05,2.180012e-05,2.177846e-05,2.173819e-05,2.169310e-05,2.167109e-05,2.159929e-05,2.152325e-05,2.149809e-05,2.144340e-05,2.139047e-05,2.136012e-05,2.127730e-05,2.127379e-05,2.118473e-05,2.115935e-05,2.109327e-05,2.103735e-05,2.099967e-05,2.091193e-05,2.090423e-05,2.080718e-05,2.078367e-05,2.070875e-05,2.065311e-05,2.060916e-05,2.052071e-05,2.050860e-05,2.040725e-05,2.038690e-05,2.030528e-05,2.025206e-05,2.020284e-05,2.011654e-05,2.010008e-05,1.999713e-05,1.998064e-05,1.989410e-05,1.984465e-05,1.979111e-05,1.970881e-05,1.968826e-05,1.958565e-05,1.957335e-05,1.948335e-05,1.943847e-05,1.938146e-05,1.930433e-05,1.928004e-05,1.917915e-05,1.917111e-05,1.907887e-05,1.903893e-05,1.897923e-05,1.890793e-05,1.888030e-05,1.878212e-05,1.877821e-05,1.868473e-05,1.864987e-05,1.858816e-05,1.852299e-05,1.849246e-05,1.839764e-05,1.827388e-05,1.815177e-05,1.803136e-05,1.791267e-05,1.779575e-05,1.768061e-05,1.756728e-05,1.745577e-05,1.734609e-05,1.723824e-05,1.713223e-05,1.702805e-05,1.692570e-05,1.682518e-05,1.672646e-05,1.662955e-05,1.653443e-05,1.644107e-05,1.634947e-05,1.625961e-05,1.617147e-05,1.608502e-05,1.600025e-05,1.591713e-05
0.000000e+00,1.991936e-13,1.560606e-12,3.093816e-11,2.095751e-10,4.920693e-10,2.932590e-09,3.122413e-09,1.211917e-08,1.669645e-08,3.482566e-08,5.936277e-08,8.199965e-08,1.590027e-07,1.676411e-07,3.076364e-07,3.510457e-07,5.169041e-07,6.686818e-07,8.064968e-07,1.132597e-06,1.182328e-06,1.645672e-06,1.748706e-06,2.194509e-06,2.512415e-06,2.824838e-06,3.413554e-06,3.531519e-06,4.308671e-06,4.439129e-06,5.149786e-06,5.574166e-06,6.047714e-06,6.801756e-06,6.994678e-06,7.982341e-06,8.103183e-06,9.001945e-06,9.458380e-06,1.004451e-05,1.084670e-05,1.110107e-05,1.216288e-05,1.224780e-05,1.322164e-05,1.364255e-05,1.426968e-05,1.501372e-05,1.530009e-05,1.630681e-05,1.634651e-05,1.728467e-05,1.762879e-05,1.822941e-05,1.885116e-05,1.913766e-05,2.000688e-05,2.083527e-05,2.109154e-05,2.162176e-05,2.210287e-05,2.236585e-05,2.304029e-05,2.306755e-05,2.372732e-05,2.390464e-05,2.434596e-05,2.469784e-05,2.492456e-05,2.542261e-05,2.546440e-05,2.596696e-05,2.608220e-05,2.643379e-05,2.668022e-05,2.686653e-05,2.722046e-05,2.726684e-05,2.763640e-05,2.770677e-05,2.797688e-05,2.814297e-05,2.828990e-05,2.853276e-05,2.857703e-05,2.883981e-05,2.887970e-05,2.907971e-05,2.918715e-05,2.929812e-05,2.945828e-05,2.949638e-05,2.967574e-05,2.969605e-05,2.983740e-05,2.990322e-05,2.998249e-05,3.008232e-05,3.011206e-05,3.022710e-05,3.023571e-05,3.032855e-05,3.036553e-05,3.041729e-05,3.047378e-05,3.049414e-05,3.055986e-05,3.056226e-05,3.061517e-05,3.063266e-05,3.066074e-05,3.068650e-05,3.069721e-05,3.072517e-05,3.074515e-05,3.074995e-05,3.075768e-05,3.076202e-05,3.076325e-05,3.076245e-05,3.076229e-05,3.075523e-05,3.075222e-05,3.074248e-05,3.073224e-05,3.072438e-05,3.070333e-05,3.070131e-05,3.067357e-05,3.066626e-05,3.064148e-05,3.062171e-05,3.060532e-05,3.057034e-05,3.056536e-05,3.052184e-05,3.051274e-05,3.047502e-05,3.044943e-05,3.042510e-05,3.038093e-05,3.037230e-05,3.031682e-05,3.030770e-05,3.025884e-05,3.023017e-05,3.019853e-05,3.014871e-05,3.013605e-05,3.007158e-05,3.006371e-05,3.000524e-05,2.997549e-05,2.993717e-05,2.988437e-05,2.986751e-05,2.979638e-05,2.979063e-05,2.972389e-05,2.969453e-05,2.965015e-05,2.959634e-05,2.957526e-05,2.949933e-05,2.949627e-05,2.942244e-05,2.939454e-05,2.934468e-05,2.929135e-05,2.926613e-05,2.918687e-05,2.908129e-05,2.897476e-05,2.886743e-05,2.875944e-05,2.865090e-05,2.854195e-05,2.843269e-05,2.832323e-05,2.821365e-05,2.810406e-05,2.799453e-05,2.788514e-05,2.777596e-05,2.766706e-05,2.755851e-05,2.745035e-05,2.734264e-05,2.723543e-05,2.712878e-05,2.702271e-05,2.691727e-05,2.681250e-05,2.670842e-05,2.660508e-05
0.000000e+00,2.805336e-11,6.470893e-11,2.245301e-10,5.145140e-10,7.541830e-10,1.740466e-09,1.794415e-09,3.561398e-09,4.222183e-09,6.327048e-09,8.589602e-09,1.038163e-08,1.539182e-08,1.588447e-08,2.273258e-08,2.454807e-08,3.066798e-08,3.549377e-08,3.944854e-08,4.773129e-08,4.889538e-08,5.887470e-08,6.092446e-08,6.927546e-08,7.481664e-08,7.999656e-08,8.917900e-08,9.094129e-08,1.020162e-07,1.037942e-07,1.131317e-07,1.184568e-07,1.242043e-07,1.329795e-07,1.351571e-07,1.459218e-07,1.471980e-07,1.564390e-07,1.609749e-07,1.666586e-07,1.742010e-07,1.765397e-07,1.860500e-07,1.867941e-07,1.951652e-07,1.986965e-07,2.038680e-07,2.098724e-07,2.121476e-07,2.199984e-07,2.203035e-07,2.274193e-07,2.299861e-07,2.344132e-07,2.389279e-07,2.409858e-07,2.471450e-07,2.529011e-07,2.546598e-07,2.582657e-07,2.614995e-07,2.632517e-07,2.676946e-07,2.678726e-07,2.721423e-07,2.732768e-07,2.760750e-07,2.782789e-07,2.796852e-07,2.827339e-07,2.829870e-07,2.859947e-07,2.866743e-07,2.887220e-07,2.901320e-07,2.911827e-07,2.931380e-07,2.933899e-07,2.953565e-07,2.957220e-07,2.970950e-07,2.979128e-07,2.986173e-07,2.997376e-07,2.999352e-07,3.010596e-07,3.012223e-07,3.020015e-07,3.023917e-07,3.027710e-07,3.032691e-07,3.033780e-07,3.038319e-07,3.038765e-07,3.041418e-07,3.042348e-07,3.043163e-07,3.043634e-07,3.043636e-07,3.042916e-07,3.042809e-07,3.041077e-07,3.040045e-07,3.038192e-07,3.035504e-07,3.034327e-07,3.029547e-07,3.029338e-07,3.023915e-07,3.021689e-07,3.017487e-07,3.012691e-07,3.010320e-07,3.002467e-07,2.993977e-07,2.991133e-07,2.984897e-07,2.978798e-07,2.975274e-07,2.965562e-07,2.965148e-07,2.954561e-07,2.951519e-07,2.943551e-07,2.936757e-07,2.932154e-07,2.921356e-07,2.920404e-07,2.908333e-07,2.905392e-07,2.895972e-07,2.888934e-07,2.883350e-07,2.872048e-07,2.870494e-07,2.857429e-07,2.854793e-07,2.844180e-07,2.837225e-07,2.830770e-07,2.819396e-07,2.817219e-07,2.803549e-07,2.801352e-07,2.789778e-07,2.783138e-07,2.775924e-07,2.764793e-07,2.762004e-07,2.748034e-07,2.746355e-07,2.734028e-07,2.727857e-07,2.720000e-07,2.709332e-07,2.705963e-07,2.691930e-07,2.690807e-07,2.677911e-07,2.672310e-07,2.663917e-07,2.653862e-07,2.649958e-07,2.636043e-07,2.635488e-07,2.622182e-07,2.617206e-07,2.608380e-07,2.599034e-07,2.594647e-07,2.580989e-07,2.563086e-07,2.545337e-07,2.527754e-07,2.510349e-07,2.493131e-07,2.476107e-07,2.459285e-07,2.442673e-07,2.426274e-07,2.410094e-07,2.394137e-07,2.378406e-07,2.362904e-07,2.347633e-07,2.332595e-07,2.317790e-07,2.303220e-07,2.288884e-07,2.274782e-07,2.260915e-07,2.247280e-07,2.233878e-07,2.220706e-07,2.207763e-07
0.000000e+00,3.806528e-14,3.124200e-13,6.805685e-12,5.012369e-11,1.230798e-10,8.196780e-10,8.765400e-10,3.764247e-09,5.320444e-09,1.178577e-08,2.099241e-08,2.977140e-08,6.087254e-08,6.445073e-08,1.242960e-07,1.434765e-07,2.191656e-07,2.915592e-07,3.597402e-07,5.298236e-07,5.567976e-07,8.204750e-07,8.820153e-07,1.159680e-06,1.368414e-06,1.581733e-06,2.004421e-06,2.092221e-06,2.695005e-06,2.800186e-06,3.392297e-06,3.760817e-06,4.184761e-06,4.886781e-06,5.071621e-06,6.050743e-06,6.174289e-06,7.118731e-06,7.615661e-06,8.271016e-06,9.199698e-06,9.501960e-06,1.080498e-05,1.091212e-05,1.217268e-05,1.273609e-05,1.359702e-05,1.465284e-05,1.506946e-05,1.658117e-05,1.664233e-05,1.812315e-05,1.868394e-05,1.968644e-05,2.075715e-05,2.126225e-05,2.284210e-05,2.441793e-05,2.492010e-05,2.598220e-05,2.697404e-05,2.752798e-05,2.898867e-05,2.904896e-05,3.053953e-05,3.095076e-05,3.199476e-05,3.284914e-05,3.341039e-05,3.467472e-05,3.478286e-05,3.610922e-05,3.642041e-05,3.738714e-05,3.808094e-05,3.861487e-05,3.965272e-05,3.979113e-05,4.091515e-05,4.113364e-05,4.198656e-05,4.252288e-05,4.300535e-05,4.382071e-05,4.397186e-05,4.488667e-05,4.502830e-05,4.575063e-05,4.614757e-05,4.656477e-05,4.718099e-05,4.733026e-05,4.804844e-05,4.813151e-05,4.872072e-05,4.900237e-05,4.934860e-05,4.979705e-05,4.993363e-05,5.047740e-05,5.051916e-05,5.098150e-05,5.117239e-05,5.144754e-05,5.176043e-05,5.187713e-05,5.227185e-05,5.228693e-05,5.263325e-05,5.275549e-05,5.296286e-05,5.316961e-05,5.326218e-05,5.353265e-05,5.377567e-05,5.384787e-05,5.399261e-05,5.411837e-05,5.418478e-05,5.434713e-05,5.435344e-05,5.449980e-05,5.453695e-05,5.462505e-05,5.469053e-05,5.473029e-05,5.481038e-05,5.481661e-05,5.488503e-05,5.489890e-05,5.493653e-05,5.495834e-05,5.497206e-05,5.499081e-05,5.499250e-05,5.499870e-05,5.499831e-05,5.499149e-05,5.498270e-05,5.497165e-05,5.494575e-05,5.493990e-05,5.489695e-05,5.488909e-05,5.484348e-05,5.481426e-05,5.478012e-05,5.472272e-05,5.470748e-05,5.462612e-05,5.461580e-05,5.453661e-05,5.449477e-05,5.443945e-05,5.436081e-05,5.433515e-05,5.422418e-05,5.421503e-05,5.410697e-05,5.405844e-05,5.398396e-05,5.389202e-05,5.385554e-05,5.372210e-05,5.371666e-05,5.358399e-05,5.353320e-05,5.344157e-05,5.334242e-05,5.329515e-05,5.314505e-05,5.294177e-05,5.273321e-05,5.251996e-05,5.230258e-05,5.208158e-05,5.185742e-05,5.163056e-05,5.140140e-05,5.117034e-05,5.093771e-05,5.070387e-05,5.046910e-05,5.023370e-05,4.999794e-05,4.976204e-05,4.952625e-05,4.929077e-05,4.905579e-05,4.882150e-05,4.858805e-05,4.835560e-05,4.812428e-05,4.789423e-05,4.766557e-05
0.000000e+00,7.149918e-11,2.581678e-10,1.443924e-09,4.113882e-09,6.525200e-09,1.719199e-08,1.779386e-08,3.792113e-08,4.555618e-08,7.003260e-08,9.653288e-08,1.176836e-07,1.778684e-07,1.838833e-07,2.694027e-07,2.926572e-07,3.726993e-07,4.374727e-07,4.915526e-07,6.074986e-07,6.240697e-07,7.687437e-07,7.990200e-07,9.242558e-07,1.008980e-06,1.089322e-06,1.234394e-06,1.262618e-06,1.442763e-06,1.472126e-06,1.628330e-06,1.718906e-06,1.817881e-06,1.971435e-06,2.009997e-06,2.203312e-06,2.226529e-06,2.396545e-06,2.481234e-06,2.588520e-06,2.732927e-06,2.778184e-06,2.964614e-06,2.979364e-06,3.147018e-06,3.218700e-06,3.324736e-06,3.449483e-06,3.497228e-06,3.664070e-06,3.670622e-06,3.824944e-06,3.881350e-06,3.979618e-06,4.081177e-06,4.127944e-06,4.269844e-06,4.405301e-06,4.447290e-06,4.534347e-06,4.613604e-06,4.657054e-06,4.768984e-06,4.773525e-06,4.883883e-06,4.913707e-06,4.988270e-06,5.048101e-06,5.086844e-06,5.172547e-06,5.179779e-06,5.267259e-06,5.287464e-06,5.349474e-06,5.393285e-06,5.426613e-06,5.490452e-06,5.498871e-06,5.566444e-06,5.579414e-06,5.629527e-06,5.660625e-06,5.688329e-06,5.734572e-06,5.743064e-06,5.793901e-06,5.801684e-06,5.841012e-06,5.862354e-06,5.884572e-06,5.916967e-06,5.924736e-06,5.961663e-06,5.965884e-06,5.995506e-06,6.009459e-06,6.026413e-06,6.048023e-06,6.054521e-06,6.079965e-06,6.081890e-06,6.102875e-06,6.111358e-06,6.123376e-06,6.136712e-06,6.141587e-06,6.157622e-06,6.158220e-06,6.171593e-06,6.176138e-06,6.183605e-06,6.190704e-06,6.193756e-06,6.202145e-06,6.208862e-06,6.210673e-06,6.213996e-06,6.216490e-06,6.217631e-06,6.219785e-06,6.219847e-06,6.220722e-06,6.220737e-06,6.220329e-06,6.219513e-06,6.218737e-06,6.216273e-06,6.216015e-06,6.212224e-06,6.211163e-06,6.207428e-06,6.204324e-06,6.201682e-06,6.195886e-06,6.195044e-06,6.187565e-06,6.185973e-06,6.179297e-06,6.174701e-06,6.170287e-06,6.162178e-06,6.160580e-06,6.150222e-06,6.148506e-06,6.139252e-06,6.133781e-06,6.127711e-06,6.118092e-06,6.115636e-06,6.103063e-06,6.101522e-06,6.090027e-06,6.084152e-06,6.076559e-06,6.066054e-06,6.062691e-06,6.048453e-06,6.047298e-06,6.033871e-06,6.027949e-06,6.018974e-06,6.008066e-06,6.003785e-06,5.988330e-06,5.987706e-06,5.972631e-06,5.966924e-06,5.956710e-06,5.945767e-06,5.940587e-06,5.924283e-06,5.902514e-06,5.880502e-06,5.858283e-06,5.835893e-06,5.813365e-06,5.790730e-06,5.768015e-06,5.745247e-06,5.722452e-06,5.699652e-06,5.676868e-06,5.654121e-06,5.631428e-06,5.608806e-06,5.586271e-06,5.563838e-06,5.541520e-06,5.519329e-06,5.497277e-06,5.475373e-06,5.453629e-06,5.432052e-06,5.410650e-06,5.389431e-06
0.000000e+00,3.052474e-11,7.676129e-11,2.866171e-10,6.680169e-10,9.784441e-10,2.207205e-09,2.272356e-09,4.311375e-09,5.034381e-09,7.232127e-09,9.466040e-09,1.117517e-08,1.582876e-08,1.628347e-08,2.267854e-08,2.441229e-08,3.040262e-08,3.527461e-08,3.934395e-08,4.799597e-08,4.921788e-08,5.965158e-08,6.177376e-08,7.030055e-08,7.583389e-08,8.090710e-08,8.965593e-08,9.129913e-08,1.013664e-07,1.029419e-07,1.110377e-07,1.155246e-07,1.202653e-07,1.273055e-07,1.290164e-07,1.372686e-07,1.382246e-07,1.450078e-07,1.482485e-07,1.522273e-07,1.573666e-07,1.589275e-07,1.651150e-07,1.655881e-07,1.708019e-07,1.729403e-07,1.760056e-07,1.794646e-07,1.807470e-07,1.850503e-07,1.852137e-07,1.889417e-07,1.902470e-07,1.924485e-07,1.946276e-07,1.955985e-07,1.984193e-07,2.009377e-07,2.016840e-07,2.031796e-07,2.044805e-07,2.051692e-07,2.068632e-07,2.069294e-07,2.084814e-07,2.088813e-07,2.098444e-07,2.105789e-07,2.110362e-07,2.119953e-07,2.120729e-07,2.129689e-07,2.131646e-07,2.137375e-07,2.141166e-07,2.143902e-07,2.148771e-07,2.149375e-07,2.153889e-07,2.154684e-07,2.157527e-07,2.159098e-07,2.160364e-07,2.162178e-07,2.162468e-07,2.163900e-07,2.164070e-07,2.164713e-07,2.164898e-07,2.164956e-07,2.164770e-07,2.164673e-07,2.163903e-07,2.163779e-07,2.162682e-07,2.162010e-07,2.161043e-07,2.159536e-07,2.159015e-07,2.156626e-07,2.156420e-07,2.153899e-07,2.152719e-07,2.150859e-07,2.148487e-07,2.147525e-07,2.143918e-07,2.143769e-07,2.140056e-07,2.138606e-07,2.135954e-07,2.133037e-07,2.131629e-07,2.127096e-07,2.122367e-07,2.120815e-07,2.117456e-07,2.114223e-07,2.112375e-07,2.107347e-07,2.107134e-07,2.101745e-07,2.100211e-07,2.096218e-07,2.092839e-07,2.090562e-07,2.085252e-07,2.084786e-07,2.078898e-07,2.077469e-07,2.072906e-07,2.069508e-07,2.066819e-07,2.061388e-07,2.060642e-07,2.054384e-07,2.053123e-07,2.048050e-07,2.044729e-07,2.041647e-07,2.036219e-07,2.035180e-07,2.028655e-07,2.027606e-07,2.022077e-07,2.018902e-07,2.015451e-07,2.010120e-07,2.008783e-07,2.002076e-07,2.001269e-07,1.995335e-07,1.992359e-07,1.988563e-07,1.983399e-07,1.981766e-07,1.974946e-07,1.974399e-07,1.968107e-07,1.965367e-07,1.961252e-07,1.956309e-07,1.954385e-07,1.947509e-07,1.947234e-07,1.940626e-07,1.938147e-07,1.933740e-07,1.929056e-07,1.926852e-07,1.919966e-07,1.910883e-07,1.901811e-07,1.892756e-07,1.883722e-07,1.874714e-07,1.865735e-07,1.856788e-07,1.847878e-07,1.839008e-07,1.830180e-07,1.821398e-07,1.812664e-07,1.803979e-07,1.795348e-07,1.786771e-07,1.778250e-07,1.769788e-07,1.761386e-07,1.753045e-07,1.744766e-07,1.736552e-07,1.728402e-07,1.720319e-07,1.712302e-07
0.000000e+00,6.458624e-12,1.478481e-11,5.053878e-11,1.141561e-10,1.659068e-10,3.734002e-10,3.845429e-10,7.405985e-10,8.700936e-10,1.272734e-09,1.692846e-09,2.018744e-09,2.907463e-09,2.993447e-09,4.169156e-09,4.475640e-09,5.495641e-09,6.287353e-09,6.928780e-09,8.252389e-09,8.436370e-09,9.993771e-09,1.030935e-08,1.158009e-08,1.241008e-08,1.317646e-08,1.451246e-08,1.476556e-08,1.633166e-08,1.657915e-08,1.786096e-08,1.857844e-08,1.934179e-08,2.048516e-08,2.076475e-08,2.212273e-08,2.228106e-08,2.341074e-08,2.395445e-08,2.462575e-08,2.549947e-08,2.576644e-08,2.683286e-08,2.691500e-08,2.782625e-08,2.820359e-08,2.874868e-08,2.937042e-08,2.960291e-08,3.039212e-08,3.042238e-08,3.111978e-08,3.136736e-08,3.178951e-08,3.221370e-08,3.240496e-08,3.296976e-08,3.348741e-08,3.364366e-08,3.396129e-08,3.424309e-08,3.439460e-08,3.477521e-08,3.479036e-08,3.515139e-08,3.524661e-08,3.548032e-08,3.566329e-08,3.577959e-08,3.603067e-08,3.605146e-08,3.629801e-08,3.635362e-08,3.652114e-08,3.663653e-08,3.672262e-08,3.688329e-08,3.690406e-08,3.706695e-08,3.709743e-08,3.721265e-08,3.728204e-08,3.734242e-08,3.743994e-08,3.745739e-08,3.755863e-08,3.757362e-08,3.764710e-08,3.768530e-08,3.772370e-08,3.777698e-08,3.778925e-08,3.784450e-08,3.785047e-08,3.789015e-08,3.790737e-08,3.792686e-08,3.794913e-08,3.795521e-08,3.797575e-08,3.797707e-08,3.798900e-08,3.799237e-08,3.799544e-08,3.799610e-08,3.799550e-08,3.798959e-08,3.798923e-08,3.797809e-08,3.797266e-08,3.796137e-08,3.794719e-08,3.793976e-08,3.791355e-08,3.788305e-08,3.787243e-08,3.784852e-08,3.782443e-08,3.781023e-08,3.777014e-08,3.776840e-08,3.772327e-08,3.771007e-08,3.767504e-08,3.764471e-08,3.762392e-08,3.757449e-08,3.757009e-08,3.751372e-08,3.749983e-08,3.745499e-08,3.742112e-08,3.739404e-08,3.733870e-08,3.733103e-08,3.726611e-08,3.725290e-08,3.719939e-08,3.716403e-08,3.713101e-08,3.707237e-08,3.706108e-08,3.698973e-08,3.697818e-08,3.691704e-08,3.688171e-08,3.684314e-08,3.678320e-08,3.676810e-08,3.669203e-08,3.668284e-08,3.661501e-08,3.658085e-08,3.653713e-08,3.647740e-08,3.645845e-08,3.637905e-08,3.637267e-08,3.629901e-08,3.626683e-08,3.621840e-08,3.616003e-08,3.613726e-08,3.605568e-08,3.605241e-08,3.597370e-08,3.594410e-08,3.589137e-08,3.583522e-08,3.580876e-08,3.572591e-08,3.561626e-08,3.550637e-08,3.539635e-08,3.528628e-08,3.517624e-08,3.506633e-08,3.495659e-08,3.484712e-08,3.473796e-08,3.462919e-08,3.452085e-08,3.441300e-08,3.430568e-08,3.419895e-08,3.409284e-08,3.398739e-08,3.388264e-08,3.377861e-08,3.367535e-08,3.357288e-08,3.347123e-08,3.337041e-08,3.327045e-08,3.317138e-08
0.000000e+00,1.708364e-13,1.343763e-12,2.682203e-11,1.826214e-10,4.297318e-10,2.568739e-09,2.735063e-09,1.058575e-08,1.455396e-08,3.011124e-08,5.081688e-08,6.962327e-08,1.320421e-07,1.389294e-07,2.485881e-07,2.821022e-07,4.092866e-07,5.254538e-07,6.313705e-07,8.852338e-07,9.244426e-07,1.296900e-06,1.381536e-06,1.755292e-06,2.029033e-06,2.303488e-06,2.833761e-06,2.941859e-06,3.666777e-06,3.790342e-06,4.470706e-06,4.881594e-06,5.342890e-06,6.081148e-06,6.270421e-06,7.239405e-06,7.357804e-06,8.235979e-06,8.679797e-06,9.247048e-06,1.001779e-05,1.026073e-05,1.126660e-05,1.134645e-05,1.225571e-05,1.264494e-05,1.322060e-05,1.389685e-05,1.415517e-05,1.505459e-05,1.508978e-05,1.591514e-05,1.621488e-05,1.673414e-05,1.726637e-05,1.750978e-05,1.824102e-05,1.892749e-05,1.913772e-05,1.956938e-05,1.995708e-05,2.016734e-05,2.070099e-05,2.072238e-05,2.123583e-05,2.137235e-05,2.170923e-05,2.197474e-05,2.214427e-05,2.251220e-05,2.254278e-05,2.290661e-05,2.298899e-05,2.323769e-05,2.340948e-05,2.353789e-05,2.377803e-05,2.380911e-05,2.405316e-05,2.409886e-05,2.427181e-05,2.437604e-05,2.446676e-05,2.461340e-05,2.463964e-05,2.479199e-05,2.481455e-05,2.492525e-05,2.498285e-05,2.504082e-05,2.512140e-05,2.513998e-05,2.522395e-05,2.523306e-05,2.529387e-05,2.532046e-05,2.535080e-05,2.538598e-05,2.539572e-05,2.542957e-05,2.543183e-05,2.545320e-05,2.545997e-05,2.546741e-05,2.547223e-05,2.547295e-05,2.547050e-05,2.547025e-05,2.546071e-05,2.545551e-05,2.544417e-05,2.542935e-05,2.542144e-05,2.539302e-05,2.535939e-05,2.534760e-05,2.532099e-05,2.529410e-05,2.527824e-05,2.523344e-05,2.523150e-05,2.518114e-05,2.516643e-05,2.512748e-05,2.509383e-05,2.507082e-05,2.501629e-05,2.501145e-05,2.494962e-05,2.493444e-05,2.488558e-05,2.484883e-05,2.481955e-05,2.475997e-05,2.475175e-05,2.468236e-05,2.466830e-05,2.461156e-05,2.457425e-05,2.453953e-05,2.447818e-05,2.446642e-05,2.439236e-05,2.438044e-05,2.431751e-05,2.428133e-05,2.424197e-05,2.418113e-05,2.416587e-05,2.408931e-05,2.408010e-05,2.401239e-05,2.397846e-05,2.393521e-05,2.387642e-05,2.385784e-05,2.378038e-05,2.377418e-05,2.370288e-05,2.367189e-05,2.362543e-05,2.356973e-05,2.354808e-05,2.347089e-05,2.346781e-05,2.339392e-05,2.336628e-05,2.331722e-05,2.326524e-05,2.324083e-05,2.316479e-05,2.306503e-05,2.296604e-05,2.286790e-05,2.277067e-05,2.267441e-05,2.257916e-05,2.248499e-05,2.239193e-05,2.230001e-05,2.220927e-05,2.211972e-05,2.203141e-05,2.194433e-05,2.185852e-05,2.177398e-05,2.169072e-05,2.160875e-05,2.152807e-05,2.144870e-05,2.137062e-05,2.129384e-05,2.121836e-05,2.114416e-05,2.107126e-05
0.000000e+00,8.932081e-12,5.035248e-11,5.361549e-10,2.213072e-09,4.068539e-09,1.398010e-08,1.458862e-08,3.638729e-08,4.511134e-08,7.392526e-08,1.060134e-07,1.320976e-07,2.085953e-07,2.164490e-07,3.331360e-07,3.666605e-07,4.884396e-07,5.943255e-07,6.876046e-07,9.011454e-07,9.330096e-07,1.222409e-06,1.285012e-06,1.548666e-06,1.729539e-06,1.901566e-06,2.210800e-06,2.270510e-06,2.646415e-06,2.706711e-06,3.022307e-06,3.201183e-06,3.393120e-06,3.683637e-06,3.755223e-06,4.106001e-06,4.147236e-06,4.443539e-06,4.587484e-06,4.766436e-06,5.001420e-06,5.073694e-06,5.364632e-06,5.387188e-06,5.638834e-06,5.743781e-06,5.896120e-06,6.070895e-06,6.136509e-06,6.360188e-06,6.368791e-06,6.567485e-06,6.638185e-06,6.758847e-06,6.880140e-06,6.934807e-06,7.095968e-06,7.242986e-06,7.287155e-06,7.376543e-06,7.455281e-06,7.497344e-06,7.601970e-06,7.606098e-06,7.703508e-06,7.728845e-06,7.790267e-06,7.837491e-06,7.867049e-06,7.929436e-06,7.934504e-06,7.993260e-06,8.006133e-06,8.043911e-06,8.068950e-06,8.087028e-06,8.119165e-06,8.123147e-06,8.152776e-06,8.157966e-06,8.176395e-06,8.186451e-06,8.194451e-06,8.205628e-06,8.207366e-06,8.215534e-06,8.216425e-06,8.219325e-06,8.219691e-06,8.219082e-06,8.216200e-06,8.215127e-06,8.207759e-06,8.206659e-06,8.197256e-06,8.191709e-06,8.183878e-06,8.171937e-06,8.167867e-06,8.149446e-06,8.147874e-06,8.128824e-06,8.120002e-06,8.106194e-06,8.088760e-06,8.081738e-06,8.055621e-06,8.054544e-06,8.027999e-06,8.017715e-06,7.999016e-06,7.978599e-06,7.968806e-06,7.937492e-06,7.905190e-06,7.894662e-06,7.872006e-06,7.850351e-06,7.838039e-06,7.804779e-06,7.803381e-06,7.768116e-06,7.758144e-06,7.732324e-06,7.710626e-06,7.696078e-06,7.662388e-06,7.659445e-06,7.622488e-06,7.613576e-06,7.585265e-06,7.564324e-06,7.547829e-06,7.514749e-06,7.510230e-06,7.472515e-06,7.464962e-06,7.434725e-06,7.415058e-06,7.396899e-06,7.365125e-06,7.359074e-06,7.321284e-06,7.315242e-06,7.283558e-06,7.265481e-06,7.245925e-06,7.215904e-06,7.208412e-06,7.171042e-06,7.166568e-06,7.133837e-06,7.117525e-06,7.096818e-06,7.068819e-06,7.060003e-06,7.023410e-06,7.020492e-06,6.987053e-06,6.972579e-06,6.950947e-06,6.925113e-06,6.915104e-06,6.879537e-06,6.878120e-06,6.844256e-06,6.831627e-06,6.809271e-06,6.785654e-06,6.774589e-06,6.740220e-06,6.695341e-06,6.651032e-06,6.607303e-06,6.564165e-06,6.521626e-06,6.479691e-06,6.438367e-06,6.397655e-06,6.357560e-06,6.318081e-06,6.279219e-06,6.240975e-06,6.203345e-06,6.166328e-06,6.129921e-06,6.094121e-06,6.058924e-06,6.024325e-06,5.990318e-06,5.956900e-06,5.924064e-06,5.891804e-06,5.860115e-06,5.828989e-06
0.000000e+00,1.459509e-11,3.391396e-11,1.183512e-10,2.709375e-10,3.961333e-10,9.021724e-10,9.294415e-10,1.801895e-09,2.119116e-09,3.104432e-09,4.133079e-09,4.934566e-09,7.157746e-09,7.376914e-09,1.046689e-08,1.130326e-08,1.418305e-08,1.652084e-08,1.848035e-08,2.270905e-08,2.331668e-08,2.865754e-08,2.978355e-08,3.447241e-08,3.767340e-08,4.073069e-08,4.630616e-08,4.739922e-08,5.444111e-08,5.559978e-08,6.181547e-08,6.546032e-08,6.947781e-08,7.578323e-08,7.738071e-08,8.547476e-08,8.645651e-08,9.370964e-08,9.736463e-08,1.020351e-07,1.083927e-07,1.104019e-07,1.187629e-07,1.194302e-07,1.270736e-07,1.303744e-07,1.352926e-07,1.411323e-07,1.433824e-07,1.513097e-07,1.516230e-07,1.590450e-07,1.617777e-07,1.665631e-07,1.715404e-07,1.738428e-07,1.808671e-07,1.876223e-07,1.897255e-07,1.940986e-07,1.980937e-07,2.002890e-07,2.059589e-07,2.061893e-07,2.117981e-07,2.133163e-07,2.171159e-07,2.201679e-07,2.221452e-07,2.265209e-07,2.268901e-07,2.313560e-07,2.323870e-07,2.355494e-07,2.377815e-07,2.394778e-07,2.427218e-07,2.431490e-07,2.465719e-07,2.472274e-07,2.497553e-07,2.513190e-07,2.527083e-07,2.550178e-07,2.554404e-07,2.579609e-07,2.583452e-07,2.602792e-07,2.613228e-07,2.624043e-07,2.639716e-07,2.643455e-07,2.661116e-07,2.663122e-07,2.677113e-07,2.683645e-07,2.691528e-07,2.701475e-07,2.704442e-07,2.715935e-07,2.716795e-07,2.726080e-07,2.729777e-07,2.734950e-07,2.740586e-07,2.742615e-07,2.749140e-07,2.749378e-07,2.754588e-07,2.756298e-07,2.759021e-07,2.761485e-07,2.762496e-07,2.765067e-07,2.766787e-07,2.767166e-07,2.767706e-07,2.767895e-07,2.767870e-07,2.767361e-07,2.767326e-07,2.766114e-07,2.765661e-07,2.764277e-07,2.762890e-07,2.761852e-07,2.759133e-07,2.758875e-07,2.755382e-07,2.754471e-07,2.751405e-07,2.748978e-07,2.746975e-07,2.742725e-07,2.742121e-07,2.736871e-07,2.735776e-07,2.731252e-07,2.728192e-07,2.725289e-07,2.720030e-07,2.719004e-07,2.712422e-07,2.711343e-07,2.705563e-07,2.702178e-07,2.698446e-07,2.692581e-07,2.691092e-07,2.683517e-07,2.682594e-07,2.675740e-07,2.672257e-07,2.667775e-07,2.661607e-07,2.659639e-07,2.651346e-07,2.650676e-07,2.642909e-07,2.639496e-07,2.634341e-07,2.628098e-07,2.625654e-07,2.616861e-07,2.616507e-07,2.607971e-07,2.604749e-07,2.598995e-07,2.592847e-07,2.589943e-07,2.580824e-07,2.568699e-07,2.556491e-07,2.544217e-07,2.531893e-07,2.519535e-07,2.507155e-07,2.494767e-07,2.482383e-07,2.470012e-07,2.457666e-07,2.445353e-07,2.433083e-07,2.420862e-07,2.408698e-07,2.396598e-07,2.384568e-07,2.372613e-07,2.360738e-07,2.348948e-07,2.337248e-07,2.325640e-07,2.314129e-07,2.302718e-07,2.291409e-07
0.000000e+00,5.232758e-15,4.616819e-14,1.169620e-12,9.891939e-12,2.621110e-11,2.125920e-10,2.291718e-10,1.196994e-09,1.784169e-09,4.515474e-09,8.953597e-09,1.361367e-08,3.248535e-08,3.484716e-08,7.874402e-08,9.429703e-08,1.613165e-07,2.326240e-07,3.053251e-07,5.069628e-07,5.413600e-07,9.085871e-07,1.001846e-06,1.455019e-06,1.828442e-06,2.237216e-06,3.123253e-06,3.319404e-06,4.772055e-06,5.043817e-06,6.670025e-06,7.761831e-06,9.090365e-06,1.145447e-05,1.210995e-05,1.580307e-05,1.629486e-05,2.023900e-05,2.244245e-05,2.547986e-05,3.003421e-05,3.157859e-05,3.857732e-05,3.917708e-05,4.650603e-05,4.994215e-05,5.538163e-05,6.236080e-05,6.520747e-05,7.597316e-05,7.642304e-05,8.765480e-05,9.207771e-05,1.002156e-04,1.092346e-04,1.136066e-04,1.277681e-04,1.426307e-04,1.475224e-04,1.581169e-04,1.683166e-04,1.741425e-04,1.899521e-04,1.906186e-04,2.074529e-04,2.122179e-04,2.245513e-04,2.348979e-04,2.418197e-04,2.577765e-04,2.591648e-04,2.764959e-04,2.806436e-04,2.937260e-04,3.032996e-04,3.107722e-04,3.255592e-04,3.275572e-04,3.440093e-04,3.472540e-04,3.600635e-04,3.682347e-04,3.756612e-04,3.883725e-04,3.907508e-04,4.052874e-04,4.075594e-04,4.192334e-04,4.257082e-04,4.325574e-04,4.427520e-04,4.452348e-04,4.572470e-04,4.586431e-04,4.685814e-04,4.733516e-04,4.792305e-04,4.868639e-04,4.891920e-04,4.984681e-04,4.991807e-04,5.070651e-04,5.103158e-04,5.149927e-04,5.202935e-04,5.222642e-04,5.288952e-04,5.291474e-04,5.349040e-04,5.369187e-04,5.403107e-04,5.436542e-04,5.451368e-04,5.494054e-04,5.531403e-04,5.542267e-04,5.563659e-04,5.581746e-04,5.591072e-04,5.613065e-04,5.613892e-04,5.632370e-04,5.636800e-04,5.646754e-04,5.653521e-04,5.657288e-04,5.663786e-04,5.664213e-04,5.667763e-04,5.668138e-04,5.668164e-04,5.667096e-04,5.665637e-04,5.661159e-04,5.660393e-04,5.652635e-04,5.650800e-04,5.642559e-04,5.636464e-04,5.630348e-04,5.618572e-04,5.616181e-04,5.600225e-04,5.597517e-04,5.582638e-04,5.573661e-04,5.563570e-04,5.547345e-04,5.543163e-04,5.521548e-04,5.518879e-04,5.498852e-04,5.488553e-04,5.475189e-04,5.456627e-04,5.450670e-04,5.425396e-04,5.423345e-04,5.399463e-04,5.388925e-04,5.372959e-04,5.353570e-04,5.345967e-04,5.318564e-04,5.317460e-04,5.290819e-04,5.280760e-04,5.262799e-04,5.243619e-04,5.234563e-04,5.206169e-04,5.168530e-04,5.130810e-04,5.093103e-04,5.055494e-04,5.018059e-04,4.980863e-04,4.943967e-04,4.907419e-04,4.871267e-04,4.835547e-04,4.800293e-04,4.765533e-04,4.731292e-04,4.697590e-04,4.664442e-04,4.631863e-04,4.599863e-04,4.568450e-04,4.537629e-04,4.507404e-04,4.477777e-04,4.448749e-04,4.420317e-04,4.392480e-04
0.000000e+00,6.283141e-11,2.325096e-10,1.336738e-09,3.848360e-09,6.117792e-09,1.608149e-08,1.663925e-08,3.501345e-08,4.184934e-08,6.333207e-08,8.598636e-08,1.037404e-07,1.534568e-07,1.584022e-07,2.291736e-07,2.486790e-07,3.168564e-07,3.730861e-07,4.205834e-07,5.234587e-07,5.382304e-07,6.673976e-07,6.944189e-07,8.059386e-07,8.810596e-07,9.519971e-07,1.079270e-06,1.103902e-06,1.260088e-06,1.285374e-06,1.419062e-06,1.495939e-06,1.579403e-06,1.707763e-06,1.739782e-06,1.898973e-06,1.917943e-06,2.055879e-06,2.123939e-06,2.209534e-06,2.323628e-06,2.359118e-06,2.503948e-06,2.515312e-06,2.643477e-06,2.697705e-06,2.777283e-06,2.869903e-06,2.905060e-06,3.026603e-06,3.031333e-06,3.141797e-06,3.181703e-06,3.250601e-06,3.320948e-06,3.353039e-06,3.449188e-06,3.539165e-06,3.566678e-06,3.623121e-06,3.673776e-06,3.701236e-06,3.770911e-06,3.773704e-06,3.840735e-06,3.858559e-06,3.902549e-06,3.937227e-06,3.959370e-06,4.007429e-06,4.011423e-06,4.058934e-06,4.069686e-06,4.102126e-06,4.124509e-06,4.141217e-06,4.172396e-06,4.176423e-06,4.207950e-06,4.213832e-06,4.236001e-06,4.249278e-06,4.260770e-06,4.279176e-06,4.282443e-06,4.301201e-06,4.303944e-06,4.317216e-06,4.323977e-06,4.330652e-06,4.339650e-06,4.341666e-06,4.350409e-06,4.351312e-06,4.357021e-06,4.359292e-06,4.361641e-06,4.363898e-06,4.364396e-06,4.365408e-06,4.365418e-06,4.364796e-06,4.364120e-06,4.362667e-06,4.360255e-06,4.359127e-06,4.354276e-06,4.354056e-06,4.348205e-06,4.345739e-06,4.341005e-06,4.335505e-06,4.332757e-06,4.323542e-06,4.313434e-06,4.310023e-06,4.302504e-06,4.295108e-06,4.290818e-06,4.278946e-06,4.278438e-06,4.265424e-06,4.261674e-06,4.251832e-06,4.243420e-06,4.237713e-06,4.224302e-06,4.223118e-06,4.208092e-06,4.204426e-06,4.192679e-06,4.183895e-06,4.176921e-06,4.162798e-06,4.160855e-06,4.144519e-06,4.141222e-06,4.127945e-06,4.119244e-06,4.111167e-06,4.096936e-06,4.094213e-06,4.077111e-06,4.074363e-06,4.059889e-06,4.051586e-06,4.042569e-06,4.028659e-06,4.025176e-06,4.007730e-06,4.005633e-06,3.990251e-06,3.982555e-06,3.972758e-06,3.959465e-06,3.955269e-06,3.937798e-06,3.936402e-06,3.920362e-06,3.913401e-06,3.902975e-06,3.890492e-06,3.885648e-06,3.868394e-06,3.867706e-06,3.851225e-06,3.845066e-06,3.834149e-06,3.822597e-06,3.817177e-06,3.800318e-06,3.778249e-06,3.756406e-06,3.734803e-06,3.713454e-06,3.692369e-06,3.671559e-06,3.651033e-06,3.630796e-06,3.610857e-06,3.591219e-06,3.571888e-06,3.552865e-06,3.534155e-06,3.515758e-06,3.497675e-06,3.479908e-06,3.462456e-06,3.445318e-06,3.428493e-06,3.411980e-06,3.395777e-06,3.379882e-06,3.364293e-06,3.349006e-06
0.000000e+00,2.086198e-14,1.770461e-13,4.131835e-12,3.238615e-11,8.226999e-11,5.975040e-10,6.411886e-10,2.995539e-09,4.330466e-09,1.014439e-08,1.888866e-08,2.756199e-08,5.997943e-08,6.383731e-08,1.310779e-07,1.534992e-07,2.450641e-07,3.363944e-07,4.251613e-07,6.562011e-07,6.939498e-07,1.076446e-06,1.168889e-06,1.598748e-06,1.934062e-06,2.286047e-06,3.007041e-06,3.160215e-06,4.237408e-06,4.429289e-06,5.526171e-06,6.220229e-06,7.026372e-06,8.373060e-06,8.729102e-06,1.061745e-05,1.085547e-05,1.266788e-05,1.361423e-05,1.485197e-05,1.658197e-05,1.713825e-05,1.949395e-05,1.968442e-05,2.188651e-05,2.284683e-05,2.428486e-05,2.599901e-05,2.666026e-05,2.898705e-05,2.907879e-05,3.124296e-05,3.203402e-05,3.340928e-05,3.482335e-05,3.547089e-05,3.741611e-05,3.923646e-05,3.979162e-05,4.092642e-05,4.193811e-05,4.248306e-05,4.385142e-05,4.390576e-05,4.519582e-05,4.553363e-05,4.635616e-05,4.699180e-05,4.739099e-05,4.823668e-05,4.830555e-05,4.910584e-05,4.928162e-05,4.979839e-05,5.014170e-05,5.039004e-05,5.083282e-05,5.088783e-05,5.129878e-05,5.137116e-05,5.162982e-05,5.177264e-05,5.188772e-05,5.205260e-05,5.207898e-05,5.220979e-05,5.222550e-05,5.228599e-05,5.230479e-05,5.231306e-05,5.230280e-05,5.229612e-05,5.223989e-05,5.223071e-05,5.214871e-05,5.209856e-05,5.202658e-05,5.191532e-05,5.187715e-05,5.170373e-05,5.168891e-05,5.150933e-05,5.142631e-05,5.129666e-05,5.113362e-05,5.106819e-05,5.082612e-05,5.081618e-05,5.057242e-05,5.047860e-05,5.030889e-05,5.012488e-05,5.003710e-05,4.975849e-05,4.947432e-05,4.938240e-05,4.918572e-05,4.899916e-05,4.889370e-05,4.861099e-05,4.859917e-05,4.830292e-05,4.821976e-05,4.800565e-05,4.782708e-05,4.770801e-05,4.743432e-05,4.741054e-05,4.711375e-05,4.704267e-05,4.681806e-05,4.665311e-05,4.652387e-05,4.626649e-05,4.623151e-05,4.594129e-05,4.588352e-05,4.565346e-05,4.550482e-05,4.536827e-05,4.513089e-05,4.508591e-05,4.480655e-05,4.476215e-05,4.453036e-05,4.439895e-05,4.425746e-05,4.404158e-05,4.398796e-05,4.372196e-05,4.369028e-05,4.345955e-05,4.334524e-05,4.320078e-05,4.300658e-05,4.294571e-05,4.269438e-05,4.267444e-05,4.244683e-05,4.234888e-05,4.220309e-05,4.202995e-05,4.196316e-05,4.172706e-05,4.171769e-05,4.149479e-05,4.141211e-05,4.126635e-05,4.111318e-05,4.104172e-05,4.082090e-05,4.053520e-05,4.025605e-05,3.998338e-05,3.971711e-05,3.945718e-05,3.920348e-05,3.895594e-05,3.871446e-05,3.847894e-05,3.824927e-05,3.802536e-05,3.780709e-05,3.759435e-05,3.738704e-05,3.718505e-05,3.698826e-05,3.679657e-05,3.660985e-05,3.642801e-05,3.625094e-05,3.607851e-05,3.591064e-05,3.574720e-05,3.558810e-05
0.000000e+00,7.905409e-13,6.129373e-12,1.188794e-10,7.896424e-10,1.834300e-09,1.063078e-08,1.130578e-08,4.260808e-08,5.820143e-08,1.186486e-07,1.981928e-07,2.699641e-07,5.066924e-07,5.327409e-07,9.470550e-07,1.073734e-06,1.555441e-06,1.997053e-06,2.401061e-06,3.373779e-06,3.524442e-06,4.958694e-06,5.284947e-06,6.724769e-06,7.776928e-06,8.828922e-06,1.085229e-05,1.126330e-05,1.400881e-05,1.447525e-05,1.703870e-05,1.858504e-05,2.032191e-05,2.310862e-05,2.382530e-05,2.751519e-05,2.796891e-05,3.135811e-05,3.308901e-05,3.532134e-05,3.839436e-05,3.937326e-05,4.348361e-05,4.381409e-05,4.762379e-05,4.928217e-05,5.176713e-05,5.473844e-05,5.588912e-05,5.996757e-05,6.012952e-05,6.398276e-05,6.540933e-05,6.791741e-05,7.053932e-05,7.175672e-05,7.548826e-05,7.910184e-05,8.023189e-05,8.258934e-05,8.475224e-05,8.594456e-05,8.903692e-05,8.916299e-05,9.224163e-05,9.307834e-05,9.517881e-05,9.687295e-05,9.797399e-05,1.004205e-04,1.006276e-04,1.031409e-04,1.037234e-04,1.055158e-04,1.067862e-04,1.077548e-04,1.096150e-04,1.098608e-04,1.118371e-04,1.122171e-04,1.136873e-04,1.146008e-04,1.154151e-04,1.167747e-04,1.170244e-04,1.185193e-04,1.187481e-04,1.199038e-04,1.205303e-04,1.211820e-04,1.221308e-04,1.223580e-04,1.234358e-04,1.235588e-04,1.244195e-04,1.248236e-04,1.253131e-04,1.259343e-04,1.261203e-04,1.268451e-04,1.268996e-04,1.274911e-04,1.277282e-04,1.280619e-04,1.284283e-04,1.285611e-04,1.289920e-04,1.290078e-04,1.293580e-04,1.294744e-04,1.296622e-04,1.298354e-04,1.299078e-04,1.300978e-04,1.302350e-04,1.302682e-04,1.303222e-04,1.303531e-04,1.303622e-04,1.303584e-04,1.303574e-04,1.303104e-04,1.302900e-04,1.302236e-04,1.301533e-04,1.300992e-04,1.299535e-04,1.299394e-04,1.297464e-04,1.296954e-04,1.295222e-04,1.293838e-04,1.292687e-04,1.290229e-04,1.289878e-04,1.286813e-04,1.286170e-04,1.283508e-04,1.281700e-04,1.279980e-04,1.276855e-04,1.276244e-04,1.272315e-04,1.271670e-04,1.268208e-04,1.266177e-04,1.263936e-04,1.260408e-04,1.259511e-04,1.254947e-04,1.254390e-04,1.250254e-04,1.248151e-04,1.245444e-04,1.241717e-04,1.240528e-04,1.235515e-04,1.235110e-04,1.230415e-04,1.228353e-04,1.225238e-04,1.221467e-04,1.219992e-04,1.214685e-04,1.214471e-04,1.209324e-04,1.207383e-04,1.203918e-04,1.200220e-04,1.198474e-04,1.192997e-04,1.185729e-04,1.178429e-04,1.171109e-04,1.163782e-04,1.156458e-04,1.149147e-04,1.141858e-04,1.134598e-04,1.127377e-04,1.120200e-04,1.113074e-04,1.106005e-04,1.098998e-04,1.092058e-04,1.085189e-04,1.078395e-04,1.071679e-04,1.065045e-04,1.058495e-04,1.052031e-04,1.045656e-04,1.039371e-04,1.033178e-04,1.027078e-04
0.000000e+00,1.011584e-14,8.689995e-14,2.080763e-12,1.670422e-11,4.300531e-11,3.236636e-10,3.478434e-10,1.686755e-09,2.464184e-09,5.931879e-09,1.130218e-08,1.675014e-08,3.780193e-08,4.036266e-08,8.631537e-08,1.020830e-07,1.681728e-07,2.362224e-07,3.039339e-07,4.855958e-07,5.158756e-07,8.296163e-07,9.069760e-07,1.272457e-06,1.562763e-06,1.871305e-06,2.512871e-06,2.650567e-06,3.630361e-06,3.806795e-06,4.825240e-06,5.477863e-06,6.243503e-06,7.540428e-06,7.887035e-06,9.751574e-06,9.989758e-06,1.182732e-05,1.280395e-05,1.409970e-05,1.594697e-05,1.655024e-05,1.915744e-05,1.937209e-05,2.189768e-05,2.302545e-05,2.474593e-05,2.684915e-05,2.767653e-05,3.066382e-05,3.078413e-05,3.368264e-05,3.477245e-05,3.670884e-05,3.875918e-05,3.971964e-05,4.269390e-05,4.561240e-05,4.653169e-05,4.845800e-05,5.023391e-05,5.121570e-05,5.376848e-05,5.387268e-05,5.641834e-05,5.710997e-05,5.884420e-05,6.023944e-05,6.114379e-05,6.314399e-05,6.331261e-05,6.534787e-05,6.581629e-05,6.724841e-05,6.825392e-05,6.901451e-05,7.045864e-05,7.064768e-05,7.215052e-05,7.243573e-05,7.352650e-05,7.419327e-05,7.477988e-05,7.574146e-05,7.591544e-05,7.693846e-05,7.709206e-05,7.785448e-05,7.825786e-05,7.866929e-05,7.925218e-05,7.938872e-05,8.001867e-05,8.008852e-05,8.056494e-05,8.078028e-05,8.103327e-05,8.134049e-05,8.142920e-05,8.175808e-05,8.178165e-05,8.202504e-05,8.211558e-05,8.223495e-05,8.235337e-05,8.239245e-05,8.250188e-05,8.250531e-05,8.256733e-05,8.258087e-05,8.259263e-05,8.258873e-05,8.258134e-05,8.253678e-05,8.246201e-05,8.243218e-05,8.235987e-05,8.228136e-05,8.223299e-05,8.209014e-05,8.208377e-05,8.191444e-05,8.186370e-05,8.172703e-05,8.160670e-05,8.152342e-05,8.132326e-05,8.130532e-05,8.107430e-05,8.101709e-05,8.083180e-05,8.069148e-05,8.057913e-05,8.034933e-05,8.031750e-05,8.004800e-05,7.999325e-05,7.977165e-05,7.962554e-05,7.948935e-05,7.924824e-05,7.920195e-05,7.891021e-05,7.886318e-05,7.861483e-05,7.847195e-05,7.831645e-05,7.807598e-05,7.801565e-05,7.771297e-05,7.767655e-05,7.740889e-05,7.727476e-05,7.710385e-05,7.687163e-05,7.679826e-05,7.649249e-05,7.646803e-05,7.618688e-05,7.606475e-05,7.588174e-05,7.566249e-05,7.557735e-05,7.527396e-05,7.526185e-05,7.497181e-05,7.486338e-05,7.467111e-05,7.446757e-05,7.437206e-05,7.407483e-05,7.368555e-05,7.330005e-05,7.291862e-05,7.254151e-05,7.216893e-05,7.180109e-05,7.143814e-05,7.108023e-05,7.072747e-05,7.037995e-05,7.003777e-05,6.970097e-05,6.936962e-05,6.904374e-05,6.872336e-05,6.840849e-05,6.809913e-05,6.779528e-05,6.749692e-05,6.720404e-05,6.691661e-05,6.663459e-05,6.635794e-05,6.608663e-05
0.000000e+00,2.877256e-11,1.366251e-10,1.103376e-09,3.814296e-09,6.506865e-09,1.938780e-08,2.013812e-08,4.569520e-08,5.547072e-08,8.670217e-08,1.201607e-07,1.466163e-07,2.214070e-07,2.288930e-07,3.369044e-07,3.669973e-07,4.735423e-07,5.632570e-07,6.404695e-07,8.123014e-07,8.374789e-07,1.062622e-06,1.110778e-06,1.312985e-06,1.452090e-06,1.585409e-06,1.829038e-06,1.876815e-06,2.184259e-06,2.234747e-06,2.504897e-06,2.662673e-06,2.835956e-06,3.106481e-06,3.174724e-06,3.518567e-06,3.560048e-06,3.864961e-06,4.017563e-06,4.211523e-06,4.473650e-06,4.556034e-06,4.896477e-06,4.923481e-06,5.231048e-06,5.362871e-06,5.558166e-06,5.788306e-06,5.876476e-06,6.184845e-06,6.196960e-06,6.482351e-06,6.586649e-06,6.768270e-06,6.955792e-06,7.042058e-06,7.303336e-06,7.551868e-06,7.628685e-06,7.787544e-06,7.931627e-06,8.010365e-06,8.212265e-06,8.220424e-06,8.417888e-06,8.470952e-06,8.602992e-06,8.708239e-06,8.776021e-06,8.924822e-06,8.937300e-06,9.087185e-06,9.121504e-06,9.226056e-06,9.299159e-06,9.354307e-06,9.458705e-06,9.472344e-06,9.580579e-06,9.601086e-06,9.679425e-06,9.727251e-06,9.769293e-06,9.838142e-06,9.850591e-06,9.923720e-06,9.934689e-06,9.989073e-06,1.001779e-05,1.004703e-05,1.008833e-05,1.009797e-05,1.014226e-05,1.014714e-05,1.018023e-05,1.019503e-05,1.021223e-05,1.023277e-05,1.023859e-05,1.025962e-05,1.026109e-05,1.027563e-05,1.028068e-05,1.028689e-05,1.029222e-05,1.029369e-05,1.029629e-05,1.029631e-05,1.029495e-05,1.029355e-05,1.028991e-05,1.028449e-05,1.028140e-05,1.026965e-05,1.025485e-05,1.024951e-05,1.023723e-05,1.022455e-05,1.021695e-05,1.019518e-05,1.019422e-05,1.016920e-05,1.016181e-05,1.014206e-05,1.012481e-05,1.011294e-05,1.008455e-05,1.008201e-05,1.004940e-05,1.004134e-05,1.001525e-05,9.995501e-06,9.979684e-06,9.947308e-06,9.942819e-06,9.904772e-06,9.897030e-06,9.865649e-06,9.844915e-06,9.825554e-06,9.791192e-06,9.784582e-06,9.742824e-06,9.736076e-06,9.700367e-06,9.679763e-06,9.657292e-06,9.622438e-06,9.613675e-06,9.569588e-06,9.564270e-06,9.525100e-06,9.505415e-06,9.480275e-06,9.446019e-06,9.435172e-06,9.389848e-06,9.386214e-06,9.344357e-06,9.326125e-06,9.298748e-06,9.265863e-06,9.253068e-06,9.207362e-06,9.205533e-06,9.161669e-06,9.145230e-06,9.116028e-06,9.085041e-06,9.070476e-06,9.025045e-06,8.965315e-06,8.905917e-06,8.846911e-06,8.788351e-06,8.730285e-06,8.672757e-06,8.615807e-06,8.559470e-06,8.503776e-06,8.448753e-06,8.394426e-06,8.340814e-06,8.287937e-06,8.235809e-06,8.184443e-06,8.133850e-06,8.084038e-06,8.035013e-06,7.986779e-06,7.939341e-06,7.892698e-06,7.846852e-06,7.801801e-06,7.757542e-06
0.000000e+00,7.160785e-11,1.855521e-10,7.257262e-10,1.751068e-09,2.609627e-09,6.131098e-09,6.321778e-09,1.241705e-08,1.462202e-08,2.141213e-08,2.840282e-08,3.378826e-08,4.854036e-08,4.998629e-08,7.038324e-08,7.593553e-08,9.523704e-08,1.111362e-07,1.246155e-07,1.541030e-07,1.583772e-07,1.962364e-07,2.042696e-07,2.378424e-07,2.608345e-07,2.828208e-07,3.229257e-07,3.307841e-07,3.813325e-07,3.896330e-07,4.340577e-07,4.600179e-07,4.885478e-07,5.331364e-07,5.443953e-07,6.012050e-07,6.080687e-07,6.586007e-07,6.839490e-07,7.162314e-07,7.599891e-07,7.737758e-07,8.309446e-07,8.354939e-07,8.874818e-07,9.098689e-07,9.431651e-07,9.826203e-07,9.978043e-07,1.051240e-06,1.053351e-06,1.103341e-06,1.121750e-06,1.154003e-06,1.187588e-06,1.203143e-06,1.250700e-06,1.296630e-06,1.310980e-06,1.340906e-06,1.368367e-06,1.383513e-06,1.422842e-06,1.424447e-06,1.463715e-06,1.474414e-06,1.501331e-06,1.523116e-06,1.537316e-06,1.569003e-06,1.571694e-06,1.604498e-06,1.612140e-06,1.635760e-06,1.652606e-06,1.665516e-06,1.690486e-06,1.693805e-06,1.720666e-06,1.725871e-06,1.746141e-06,1.758854e-06,1.770271e-06,1.789530e-06,1.793097e-06,1.814661e-06,1.817997e-06,1.835005e-06,1.844349e-06,1.854171e-06,1.868682e-06,1.872199e-06,1.889130e-06,1.891089e-06,1.905003e-06,1.911662e-06,1.919857e-06,1.930489e-06,1.933731e-06,1.946661e-06,1.947656e-06,1.958685e-06,1.963249e-06,1.969837e-06,1.977347e-06,1.980153e-06,1.989665e-06,1.990029e-06,1.998407e-06,2.001372e-06,2.006410e-06,2.011446e-06,2.013705e-06,2.020322e-06,2.026290e-06,2.028068e-06,2.031637e-06,2.034746e-06,2.036390e-06,2.040418e-06,2.040575e-06,2.044217e-06,2.045143e-06,2.047341e-06,2.048977e-06,2.049971e-06,2.051974e-06,2.052130e-06,2.053839e-06,2.054185e-06,2.055120e-06,2.055658e-06,2.055993e-06,2.056440e-06,2.056478e-06,2.056595e-06,2.056575e-06,2.056361e-06,2.056106e-06,2.055793e-06,2.055072e-06,2.054910e-06,2.053728e-06,2.053512e-06,2.052261e-06,2.051461e-06,2.050526e-06,2.048954e-06,2.048537e-06,2.046307e-06,2.046024e-06,2.043850e-06,2.042701e-06,2.041180e-06,2.039015e-06,2.038308e-06,2.035247e-06,2.034994e-06,2.032007e-06,2.030663e-06,2.028600e-06,2.026049e-06,2.025036e-06,2.021325e-06,2.021174e-06,2.017477e-06,2.016060e-06,2.013501e-06,2.010729e-06,2.009406e-06,2.005201e-06,1.999494e-06,1.993626e-06,1.987614e-06,1.981473e-06,1.975219e-06,1.968865e-06,1.962424e-06,1.955909e-06,1.949331e-06,1.942702e-06,1.936030e-06,1.929327e-06,1.922601e-06,1.915860e-06,1.909112e-06,1.902364e-06,1.895623e-06,1.888896e-06,1.882188e-06,1.875505e-06,1.868852e-06,1.862234e-06,1.855655e-06,1.849119e-06
0.000000e+00,1.522279e-12,3.491167e-12,1.202905e-11,2.740277e-11,4.000749e-11,9.097859e-11,9.372719e-11,1.817702e-10,2.138238e-10,3.134623e-10,4.174813e-10,4.984181e-10,7.218122e-10,7.437212e-10,1.050217e-09,1.132445e-09,1.413542e-09,1.639743e-09,1.828167e-09,2.231550e-09,2.289170e-09,2.792098e-09,2.897329e-09,3.332545e-09,3.626890e-09,3.905917e-09,4.409465e-09,4.507383e-09,5.131937e-09,5.233670e-09,5.774522e-09,6.087897e-09,6.430152e-09,6.960826e-09,7.094045e-09,7.761722e-09,7.841898e-09,8.429086e-09,8.721665e-09,9.092468e-09,9.591978e-09,9.748649e-09,1.039486e-08,1.044606e-08,1.102879e-08,1.127847e-08,1.164850e-08,1.208501e-08,1.225246e-08,1.283948e-08,1.286259e-08,1.340866e-08,1.360906e-08,1.395935e-08,1.432305e-08,1.449115e-08,1.500384e-08,1.549736e-08,1.565124e-08,1.597176e-08,1.626544e-08,1.642724e-08,1.684694e-08,1.686406e-08,1.728254e-08,1.739648e-08,1.768308e-08,1.791496e-08,1.806610e-08,1.840341e-08,1.843208e-08,1.878148e-08,1.886292e-08,1.911481e-08,1.929464e-08,1.943257e-08,1.969974e-08,1.973528e-08,2.002345e-08,2.007938e-08,2.029758e-08,2.043474e-08,2.055817e-08,2.076698e-08,2.080573e-08,2.104073e-08,2.107720e-08,2.126365e-08,2.136650e-08,2.147496e-08,2.163595e-08,2.167511e-08,2.186454e-08,2.188657e-08,2.204367e-08,2.211933e-08,2.221291e-08,2.233518e-08,2.237268e-08,2.252336e-08,2.253504e-08,2.266533e-08,2.271975e-08,2.279894e-08,2.289016e-08,2.292455e-08,2.304249e-08,2.304706e-08,2.315310e-08,2.319118e-08,2.325668e-08,2.332326e-08,2.335354e-08,2.344397e-08,2.352826e-08,2.355397e-08,2.360666e-08,2.365387e-08,2.367944e-08,2.374425e-08,2.374685e-08,2.380913e-08,2.382568e-08,2.386651e-08,2.389868e-08,2.391921e-08,2.396374e-08,2.396744e-08,2.401142e-08,2.402136e-08,2.405132e-08,2.407197e-08,2.408736e-08,2.411600e-08,2.411969e-08,2.414850e-08,2.415386e-08,2.417396e-08,2.418593e-08,2.419622e-08,2.421256e-08,2.421544e-08,2.423176e-08,2.423411e-08,2.424533e-08,2.425090e-08,2.425627e-08,2.426323e-08,2.426473e-08,2.427081e-08,2.427139e-08,2.427465e-08,2.427566e-08,2.427636e-08,2.427630e-08,2.427604e-08,2.427381e-08,2.427355e-08,2.426975e-08,2.426764e-08,2.426397e-08,2.425879e-08,2.425656e-08,2.424760e-08,2.424721e-08,2.423719e-08,2.423310e-08,2.422539e-08,2.421663e-08,2.421230e-08,2.419798e-08,2.417731e-08,2.415479e-08,2.413054e-08,2.410473e-08,2.407746e-08,2.404887e-08,2.401907e-08,2.398817e-08,2.395627e-08,2.392346e-08,2.388985e-08,2.385551e-08,2.382052e-08,2.378496e-08,2.374890e-08,2.371241e-08,2.367554e-08,2.363837e-08,2.360093e-08,2.356329e-08,2.352550e-08,2.348759e-08,2.344961e-08,2.341160e-08
0.000000e+00,4.624719e-12,1.062132e-11,3.660541e-11,8.325106e-11,1.213546e-10,2.742078e-10,2.823964e-10,5.420012e-10,6.353062e-10,9.217973e-10,1.216275e-09,1.443183e-09,2.066071e-09,2.127267e-09,2.993898e-09,3.230972e-09,4.059160e-09,4.745951e-09,5.331130e-09,6.618352e-09,6.805486e-09,8.464543e-09,8.816241e-09,1.028141e-08,1.127860e-08,1.222620e-08,1.393775e-08,1.427042e-08,1.638857e-08,1.673279e-08,1.855817e-08,1.961194e-08,2.075935e-08,2.253106e-08,2.297440e-08,2.518747e-08,2.545222e-08,2.738448e-08,2.834282e-08,2.955300e-08,3.117531e-08,3.168222e-08,3.376288e-08,3.392699e-08,3.578725e-08,3.657977e-08,3.774899e-08,3.911981e-08,3.964311e-08,4.146578e-08,4.153716e-08,4.321427e-08,4.382520e-08,4.488680e-08,4.598020e-08,4.648239e-08,4.800080e-08,4.944236e-08,4.988755e-08,5.080790e-08,5.164251e-08,5.209866e-08,5.326889e-08,5.331621e-08,5.446237e-08,5.477077e-08,5.553916e-08,5.615283e-08,5.654874e-08,5.742015e-08,5.749339e-08,5.837543e-08,5.857807e-08,5.919724e-08,5.963203e-08,5.996120e-08,6.058752e-08,6.066969e-08,6.132505e-08,6.144996e-08,6.192962e-08,6.222467e-08,6.248566e-08,6.291685e-08,6.299538e-08,6.346097e-08,6.353150e-08,6.388450e-08,6.407346e-08,6.426801e-08,6.454733e-08,6.461347e-08,6.492277e-08,6.495754e-08,6.519773e-08,6.530829e-08,6.544012e-08,6.560359e-08,6.565163e-08,6.583387e-08,6.584723e-08,6.598840e-08,6.604279e-08,6.611671e-08,6.619366e-08,6.622023e-08,6.630033e-08,6.630307e-08,6.635831e-08,6.637402e-08,6.639543e-08,6.640937e-08,6.641288e-08,6.641180e-08,6.639328e-08,6.638384e-08,6.635835e-08,6.632785e-08,6.630801e-08,6.624607e-08,6.624321e-08,6.616484e-08,6.614058e-08,6.607375e-08,6.601335e-08,6.597078e-08,6.586621e-08,6.585669e-08,6.573223e-08,6.570089e-08,6.559809e-08,6.551900e-08,6.545496e-08,6.532206e-08,6.530345e-08,6.514419e-08,6.511146e-08,6.497774e-08,6.488853e-08,6.480465e-08,6.465451e-08,6.462544e-08,6.444060e-08,6.441053e-08,6.425059e-08,6.415769e-08,6.405586e-08,6.389696e-08,6.385683e-08,6.365390e-08,6.362930e-08,6.344743e-08,6.335556e-08,6.323780e-08,6.307656e-08,6.302532e-08,6.281034e-08,6.279304e-08,6.259314e-08,6.250570e-08,6.237401e-08,6.221520e-08,6.215323e-08,6.193104e-08,6.192213e-08,6.170769e-08,6.162704e-08,6.148340e-08,6.133046e-08,6.125840e-08,6.103287e-08,6.073470e-08,6.043636e-08,6.013822e-08,5.984064e-08,5.954393e-08,5.924838e-08,5.895426e-08,5.866182e-08,5.837127e-08,5.808283e-08,5.779668e-08,5.751298e-08,5.723188e-08,5.695353e-08,5.667804e-08,5.640553e-08,5.613609e-08,5.586980e-08,5.560675e-08,5.534699e-08,5.509058e-08,5.483758e-08,5.458801e-08,5.434192e-08
0.000000e+00,2.900557e-12,6.652147e-12,2.291039e-11,5.213039e-11,7.602916e-11,1.721144e-10,1.772704e-10,3.410967e-10,4.001331e-10,5.818417e-10,7.692260e-10,9.139871e-10,1.312828e-09,1.352118e-09,1.910293e-09,2.063524e-09,2.600484e-09,3.047630e-09,3.429883e-09,4.274536e-09,4.397734e-09,5.493753e-09,5.726844e-09,6.699967e-09,7.363665e-09,7.995001e-09,9.136110e-09,9.357948e-09,1.077025e-08,1.099970e-08,1.221601e-08,1.291782e-08,1.368171e-08,1.486075e-08,1.515571e-08,1.662794e-08,1.680406e-08,1.808965e-08,1.872749e-08,1.953329e-08,2.061434e-08,2.095238e-08,2.234143e-08,2.245111e-08,2.369589e-08,2.422713e-08,2.501206e-08,2.593432e-08,2.628701e-08,2.751850e-08,2.756683e-08,2.870492e-08,2.912078e-08,2.984519e-08,3.059388e-08,3.093869e-08,3.198519e-08,3.298481e-08,3.329485e-08,3.393795e-08,3.452384e-08,3.484522e-08,3.567378e-08,3.570742e-08,3.652550e-08,3.674680e-08,3.730053e-08,3.774536e-08,3.803366e-08,3.867219e-08,3.872611e-08,3.937915e-08,3.953015e-08,3.999406e-08,4.032224e-08,4.057215e-08,4.105145e-08,4.111473e-08,4.162312e-08,4.172081e-08,4.209862e-08,4.233330e-08,4.254250e-08,4.289186e-08,4.295603e-08,4.334045e-08,4.339933e-08,4.369696e-08,4.385851e-08,4.402674e-08,4.427209e-08,4.433094e-08,4.461068e-08,4.464266e-08,4.486705e-08,4.497271e-08,4.510108e-08,4.526465e-08,4.531381e-08,4.550621e-08,4.552075e-08,4.567922e-08,4.574321e-08,4.583378e-08,4.593413e-08,4.597076e-08,4.609101e-08,4.609548e-08,4.619536e-08,4.622919e-08,4.628459e-08,4.633703e-08,4.635948e-08,4.642074e-08,4.646908e-08,4.648193e-08,4.650517e-08,4.652215e-08,4.652968e-08,4.654287e-08,4.654320e-08,4.654636e-08,4.654546e-08,4.653970e-08,4.653123e-08,4.652379e-08,4.650144e-08,4.649916e-08,4.646629e-08,4.645723e-08,4.642568e-08,4.639973e-08,4.637780e-08,4.632998e-08,4.632306e-08,4.626192e-08,4.624895e-08,4.619475e-08,4.615758e-08,4.612196e-08,4.605674e-08,4.604391e-08,4.596096e-08,4.594725e-08,4.587343e-08,4.582989e-08,4.578165e-08,4.570537e-08,4.568593e-08,4.558655e-08,4.557440e-08,4.548381e-08,4.543760e-08,4.537795e-08,4.529558e-08,4.526924e-08,4.515792e-08,4.514890e-08,4.504421e-08,4.499810e-08,4.492833e-08,4.484367e-08,4.481049e-08,4.469089e-08,4.468607e-08,4.456971e-08,4.452573e-08,4.444713e-08,4.436307e-08,4.432333e-08,4.419845e-08,4.403224e-08,4.386475e-08,4.369630e-08,4.352717e-08,4.335762e-08,4.318790e-08,4.301823e-08,4.284883e-08,4.267989e-08,4.251159e-08,4.234409e-08,4.217755e-08,4.201210e-08,4.184787e-08,4.168497e-08,4.152352e-08,4.136361e-08,4.120532e-08,4.104874e-08,4.089393e-08,4.074096e-08,4.058988e-08,4.044075e-08,4.029360e-08
0.000000e+00,2.016675e-14,1.682229e-13,3.790510e-12,2.878230e-11,7.186263e-11,4.994596e-10,5.350306e-10,2.395965e-09,3.425044e-09,7.805339e-09,1.422432e-08,2.047586e-08,4.328599e-08,4.596085e-08,9.177346e-08,1.068001e-07,1.672926e-07,2.265558e-07,2.833444e-07,4.281255e-07,4.514189e-07,6.826722e-07,7.374045e-07,9.869753e-07,1.176793e-06,1.372220e-06,1.762508e-06,1.843956e-06,2.405328e-06,2.503554e-06,3.057209e-06,3.401992e-06,3.798444e-06,4.453860e-06,4.626118e-06,5.535816e-06,5.650234e-06,6.521858e-06,6.978198e-06,7.577500e-06,8.421676e-06,8.695122e-06,9.866403e-06,9.962161e-06,1.108249e-05,1.157943e-05,1.233420e-05,1.325223e-05,1.361216e-05,1.490699e-05,1.495901e-05,1.620953e-05,1.667861e-05,1.751091e-05,1.839088e-05,1.880274e-05,2.007725e-05,2.132732e-05,2.172112e-05,2.254661e-05,2.330821e-05,2.372958e-05,2.482665e-05,2.487149e-05,2.596844e-05,2.626709e-05,2.701732e-05,2.762256e-05,2.801577e-05,2.888836e-05,2.896213e-05,2.985539e-05,3.006182e-05,3.069515e-05,3.114206e-05,3.148150e-05,3.212972e-05,3.221497e-05,3.289649e-05,3.302667e-05,3.352731e-05,3.383579e-05,3.410893e-05,3.456070e-05,3.464304e-05,3.513151e-05,3.520555e-05,3.557629e-05,3.577486e-05,3.597942e-05,3.627334e-05,3.634299e-05,3.666907e-05,3.670578e-05,3.695974e-05,3.707694e-05,3.721703e-05,3.739147e-05,3.744292e-05,3.763936e-05,3.765386e-05,3.780820e-05,3.786841e-05,3.795123e-05,3.803918e-05,3.807015e-05,3.816659e-05,3.817000e-05,3.824210e-05,3.826444e-05,3.829813e-05,3.832581e-05,3.833605e-05,3.835717e-05,3.836271e-05,3.836137e-05,3.835380e-05,3.834101e-05,3.833151e-05,3.829847e-05,3.829686e-05,3.825078e-05,3.823595e-05,3.819414e-05,3.815544e-05,3.812777e-05,3.805878e-05,3.805244e-05,3.796884e-05,3.794762e-05,3.787765e-05,3.782350e-05,3.777949e-05,3.768780e-05,3.767494e-05,3.756453e-05,3.754179e-05,3.744876e-05,3.738661e-05,3.732811e-05,3.722331e-05,3.720301e-05,3.707386e-05,3.705284e-05,3.694104e-05,3.687609e-05,3.680490e-05,3.669383e-05,3.666578e-05,3.652397e-05,3.650679e-05,3.637977e-05,3.631563e-05,3.623343e-05,3.612094e-05,3.608521e-05,3.593534e-05,3.592328e-05,3.578403e-05,3.572314e-05,3.563147e-05,3.552097e-05,3.547787e-05,3.532339e-05,3.531719e-05,3.516819e-05,3.511217e-05,3.501242e-05,3.490625e-05,3.485623e-05,3.469975e-05,3.449295e-05,3.428611e-05,3.407947e-05,3.387323e-05,3.366760e-05,3.346276e-05,3.325885e-05,3.305604e-05,3.285444e-05,3.265418e-05,3.245537e-05,3.225810e-05,3.206246e-05,3.186853e-05,3.167637e-05,3.148605e-05,3.129762e-05,3.111113e-05,3.092662e-05,3.074413e-05,3.056370e-05,3.038534e-05,3.020907e-05,3.003492e-05
0.000000e+00,7.646839e-11,2.092170e-10,8.655655e-10,2.145085e-09,3.231264e-09,7.765196e-09,8.013566e-09,1.608000e-08,1.905381e-08,2.838098e-08,3.823235e-08,4.597961e-08,6.781295e-08,6.999488e-08,1.013533e-07,1.100241e-07,1.403600e-07,1.653758e-07,1.864896e-07,2.321593e-07,2.387107e-07,2.959499e-07,3.079163e-07,3.572927e-07,3.905572e-07,4.219840e-07,4.784358e-07,4.893751e-07,5.588810e-07,5.701615e-07,6.299589e-07,6.644839e-07,7.020996e-07,7.602566e-07,7.748276e-07,8.477041e-07,8.564399e-07,9.203306e-07,9.521138e-07,9.923515e-07,1.046489e-06,1.063456e-06,1.133377e-06,1.138912e-06,1.201890e-06,1.228858e-06,1.268811e-06,1.315924e-06,1.333993e-06,1.397323e-06,1.399816e-06,1.458715e-06,1.480329e-06,1.518109e-06,1.557335e-06,1.575466e-06,1.630770e-06,1.684015e-06,1.700620e-06,1.735211e-06,1.766910e-06,1.784379e-06,1.829697e-06,1.831546e-06,1.876748e-06,1.889058e-06,1.920025e-06,1.945087e-06,1.961423e-06,1.997890e-06,2.000989e-06,2.038773e-06,2.047582e-06,2.074828e-06,2.094282e-06,2.109204e-06,2.138109e-06,2.141955e-06,2.173132e-06,2.179183e-06,2.202788e-06,2.217625e-06,2.230974e-06,2.253553e-06,2.257742e-06,2.283142e-06,2.287082e-06,2.307222e-06,2.318325e-06,2.330029e-06,2.347390e-06,2.351611e-06,2.372013e-06,2.374384e-06,2.391279e-06,2.399408e-06,2.409453e-06,2.422560e-06,2.426576e-06,2.442689e-06,2.443935e-06,2.457830e-06,2.463624e-06,2.472039e-06,2.481712e-06,2.485351e-06,2.497802e-06,2.498283e-06,2.509427e-06,2.513416e-06,2.520258e-06,2.527187e-06,2.530328e-06,2.539668e-06,2.548306e-06,2.550928e-06,2.556273e-06,2.561032e-06,2.563596e-06,2.570044e-06,2.570301e-06,2.576415e-06,2.578024e-06,2.581961e-06,2.585027e-06,2.586964e-06,2.591107e-06,2.591447e-06,2.595432e-06,2.596317e-06,2.598941e-06,2.600705e-06,2.601993e-06,2.604317e-06,2.604608e-06,2.606807e-06,2.607198e-06,2.608605e-06,2.609389e-06,2.610023e-06,2.610930e-06,2.611075e-06,2.611779e-06,2.611860e-06,2.612149e-06,2.612213e-06,2.612202e-06,2.612025e-06,2.611951e-06,2.611411e-06,2.611327e-06,2.610594e-06,2.610151e-06,2.609514e-06,2.608525e-06,2.608183e-06,2.606612e-06,2.606477e-06,2.604814e-06,2.604033e-06,2.602798e-06,2.601218e-06,2.600576e-06,2.598157e-06,2.598057e-06,2.595552e-06,2.594570e-06,2.592769e-06,2.590780e-06,2.589818e-06,2.586707e-06,2.582370e-06,2.577787e-06,2.572975e-06,2.567950e-06,2.562728e-06,2.557324e-06,2.551751e-06,2.546023e-06,2.540151e-06,2.534148e-06,2.528026e-06,2.521793e-06,2.515462e-06,2.509040e-06,2.502538e-06,2.495963e-06,2.489323e-06,2.482627e-06,2.475881e-06,2.469092e-06,2.462267e-06,2.455412e-06,2.448532e-06,2.441633e-06
0.000000e+00,2.713399e-11,6.506533e-11,2.348774e-10,5.464769e-10,8.038330e-10,1.849105e-09,1.905519e-09,3.709434e-09,4.363920e-09,6.390012e-09,8.494800e-09,1.012943e-08,1.465816e-08,1.510535e-08,2.144828e-08,2.317971e-08,2.918766e-08,3.410815e-08,3.825393e-08,4.724192e-08,4.853627e-08,5.992473e-08,6.232618e-08,7.231860e-08,7.912873e-08,8.562138e-08,9.742669e-08,9.973528e-08,1.145585e-07,1.169890e-07,1.299850e-07,1.375720e-07,1.459054e-07,1.589231e-07,1.622093e-07,1.787871e-07,1.807898e-07,1.955328e-07,2.029279e-07,2.123454e-07,2.251095e-07,2.291307e-07,2.458025e-07,2.471290e-07,2.622834e-07,2.688066e-07,2.785049e-07,2.899902e-07,2.944078e-07,3.099418e-07,3.105548e-07,3.250648e-07,3.304017e-07,3.397428e-07,3.494558e-07,3.539491e-07,3.676634e-07,3.808712e-07,3.849890e-07,3.935630e-07,4.014124e-07,4.057337e-07,4.169261e-07,4.173820e-07,4.285100e-07,4.315331e-07,4.391221e-07,4.452446e-07,4.492253e-07,4.580781e-07,4.588282e-07,4.679408e-07,4.700561e-07,4.765745e-07,4.812047e-07,4.847414e-07,4.915523e-07,4.924543e-07,4.997265e-07,5.011292e-07,5.065716e-07,5.099669e-07,5.130035e-07,5.180971e-07,5.190360e-07,5.246831e-07,5.255517e-07,5.299584e-07,5.323626e-07,5.348757e-07,5.385608e-07,5.394484e-07,5.436895e-07,5.441768e-07,5.476121e-07,5.492403e-07,5.512287e-07,5.537802e-07,5.545516e-07,5.575929e-07,5.578244e-07,5.603642e-07,5.613996e-07,5.628768e-07,5.645318e-07,5.651417e-07,5.671695e-07,5.672458e-07,5.689705e-07,5.695653e-07,5.705547e-07,5.715130e-07,5.719317e-07,5.731107e-07,5.741009e-07,5.743793e-07,5.749108e-07,5.753383e-07,5.755487e-07,5.760068e-07,5.760227e-07,5.763406e-07,5.764027e-07,5.765098e-07,5.765429e-07,5.765375e-07,5.764439e-07,5.764305e-07,5.761956e-07,5.761209e-07,5.758391e-07,5.755887e-07,5.753672e-07,5.748611e-07,5.747857e-07,5.741003e-07,5.739512e-07,5.733165e-07,5.728717e-07,5.724394e-07,5.716342e-07,5.714741e-07,5.704253e-07,5.702501e-07,5.692978e-07,5.687299e-07,5.680959e-07,5.670836e-07,5.668238e-07,5.654856e-07,5.653207e-07,5.640852e-07,5.634503e-07,5.626263e-07,5.614807e-07,5.611126e-07,5.595473e-07,5.594200e-07,5.579338e-07,5.572757e-07,5.562753e-07,5.550549e-07,5.545747e-07,5.528349e-07,5.527645e-07,5.510586e-07,5.504107e-07,5.492484e-07,5.479995e-07,5.474069e-07,5.455365e-07,5.430271e-07,5.404762e-07,5.378885e-07,5.352685e-07,5.326203e-07,5.299479e-07,5.272547e-07,5.245445e-07,5.218202e-07,5.190850e-07,5.163416e-07,5.135928e-07,5.108410e-07,5.080886e-07,5.053376e-07,5.025901e-07,4.998479e-07,4.971130e-07,4.943867e-07,4.916708e-07,4.889665e-07,4.862752e-07,4.835980e-07,4.809362e-07
0.000000e+00,1.070973e-11,6.069870e-11,6.532840e-10,2.722958e-09,5.034139e-09,1.758886e-08,1.836865e-08,4.684428e-08,5.850395e-08,9.794361e-08,1.433299e-07,1.811584e-07,2.952243e-07,3.070829e-07,4.828014e-07,5.324442e-07,7.073698e-07,8.520125e-07,9.740191e-07,1.237595e-06,1.275390e-06,1.605874e-06,1.675088e-06,1.961403e-06,2.155070e-06,2.338686e-06,2.670190e-06,2.734682e-06,3.146351e-06,3.213466e-06,3.570594e-06,3.777778e-06,4.004280e-06,4.355938e-06,4.444303e-06,4.887664e-06,4.940955e-06,5.331535e-06,5.526321e-06,5.773316e-06,6.106223e-06,6.210669e-06,6.641542e-06,6.675677e-06,7.064172e-06,7.230576e-06,7.477082e-06,7.767672e-06,7.879067e-06,8.269170e-06,8.284516e-06,8.646660e-06,8.779362e-06,9.011007e-06,9.251066e-06,9.361853e-06,9.698992e-06,1.002235e-05,1.012291e-05,1.033195e-05,1.052292e-05,1.062790e-05,1.089937e-05,1.091041e-05,1.117971e-05,1.125278e-05,1.143608e-05,1.158384e-05,1.167986e-05,1.189331e-05,1.191139e-05,1.213105e-05,1.218204e-05,1.233920e-05,1.245089e-05,1.253625e-05,1.270078e-05,1.272259e-05,1.289859e-05,1.293259e-05,1.306467e-05,1.314723e-05,1.322120e-05,1.334558e-05,1.336855e-05,1.350711e-05,1.352849e-05,1.363724e-05,1.369680e-05,1.375928e-05,1.385132e-05,1.387358e-05,1.398048e-05,1.399283e-05,1.408030e-05,1.412206e-05,1.417335e-05,1.423973e-05,1.425994e-05,1.434036e-05,1.434653e-05,1.441488e-05,1.444310e-05,1.448379e-05,1.453007e-05,1.454733e-05,1.460578e-05,1.460801e-05,1.465935e-05,1.467750e-05,1.470830e-05,1.473905e-05,1.475284e-05,1.479318e-05,1.482953e-05,1.484036e-05,1.486210e-05,1.488103e-05,1.489106e-05,1.491564e-05,1.491660e-05,1.493889e-05,1.494457e-05,1.495810e-05,1.496822e-05,1.497440e-05,1.498694e-05,1.498792e-05,1.499882e-05,1.500107e-05,1.500725e-05,1.501093e-05,1.501332e-05,1.501682e-05,1.501717e-05,1.501892e-05,1.501903e-05,1.501869e-05,1.501783e-05,1.501660e-05,1.501347e-05,1.501274e-05,1.500721e-05,1.500618e-05,1.500013e-05,1.499620e-05,1.499157e-05,1.498372e-05,1.498163e-05,1.497039e-05,1.496896e-05,1.495794e-05,1.495209e-05,1.494435e-05,1.493330e-05,1.492969e-05,1.491403e-05,1.491274e-05,1.489744e-05,1.489056e-05,1.487999e-05,1.486692e-05,1.486173e-05,1.484273e-05,1.484195e-05,1.482303e-05,1.481578e-05,1.480270e-05,1.478853e-05,1.478177e-05,1.476030e-05,1.473120e-05,1.470134e-05,1.467079e-05,1.463965e-05,1.460801e-05,1.457592e-05,1.454346e-05,1.451070e-05,1.447770e-05,1.444452e-05,1.441119e-05,1.437779e-05,1.434434e-05,1.431089e-05,1.427749e-05,1.424416e-05,1.421095e-05,1.417787e-05,1.414496e-05,1.411225e-05,1.407976e-05,1.404750e-05,1.401552e-05,1.398381e-05
0.000000e+00,5.743426e-14,4.746594e-13,1.048707e-11,7.821108e-11,1.933515e-10,1.309918e-09,1.401754e-09,6.120928e-09,8.690517e-09,1.947127e-08,3.500603e-08,4.995279e-08,1.036014e-07,1.098283e-07,2.152030e-07,2.493869e-07,3.858251e-07,5.182556e-07,6.444090e-07,9.639190e-07,1.015114e-06,1.521078e-06,1.640292e-06,2.181508e-06,2.590527e-06,3.009199e-06,3.837619e-06,4.009161e-06,5.178517e-06,5.380762e-06,6.507435e-06,7.197668e-06,7.980633e-06,9.250360e-06,9.579066e-06,1.128148e-05,1.149170e-05,1.306564e-05,1.387084e-05,1.490936e-05,1.633714e-05,1.679112e-05,1.869055e-05,1.884269e-05,2.058877e-05,2.134380e-05,2.246856e-05,2.380186e-05,2.431449e-05,2.611302e-05,2.618380e-05,2.785248e-05,2.846230e-05,2.952314e-05,3.061579e-05,3.111710e-05,3.262822e-05,3.405207e-05,3.448875e-05,3.538574e-05,3.619121e-05,3.662772e-05,3.773352e-05,3.777777e-05,3.883671e-05,3.911710e-05,3.980628e-05,4.034614e-05,4.068899e-05,4.142700e-05,4.148792e-05,4.220662e-05,4.236759e-05,4.284897e-05,4.317687e-05,4.341909e-05,4.386438e-05,4.392118e-05,4.435953e-05,4.443992e-05,4.473836e-05,4.491323e-05,4.506186e-05,4.529379e-05,4.533406e-05,4.555885e-05,4.559067e-05,4.573996e-05,4.581241e-05,4.588089e-05,4.596697e-05,4.598499e-05,4.605537e-05,4.606169e-05,4.609494e-05,4.610330e-05,4.610642e-05,4.609792e-05,4.609234e-05,4.605503e-05,4.605110e-05,4.599664e-05,4.596783e-05,4.591916e-05,4.585260e-05,4.582443e-05,4.571412e-05,4.570941e-05,4.558979e-05,4.554187e-05,4.545283e-05,4.535317e-05,4.530457e-05,4.514618e-05,4.497876e-05,4.492345e-05,4.480331e-05,4.468722e-05,4.462073e-05,4.443952e-05,4.443186e-05,4.423746e-05,4.418214e-05,4.403824e-05,4.391666e-05,4.383483e-05,4.364450e-05,4.362782e-05,4.341774e-05,4.336692e-05,4.320507e-05,4.308502e-05,4.299028e-05,4.279981e-05,4.277375e-05,4.255588e-05,4.251217e-05,4.233699e-05,4.222288e-05,4.211741e-05,4.193264e-05,4.189742e-05,4.167729e-05,4.164207e-05,4.145724e-05,4.135171e-05,4.123750e-05,4.106206e-05,4.101827e-05,4.079972e-05,4.077355e-05,4.058202e-05,4.048654e-05,4.036533e-05,4.020139e-05,4.014977e-05,3.993548e-05,3.991839e-05,3.972256e-05,3.963780e-05,3.951112e-05,3.935985e-05,3.930125e-05,3.909304e-05,3.908475e-05,3.888656e-05,3.881266e-05,3.868187e-05,3.854374e-05,3.847904e-05,3.827812e-05,3.801591e-05,3.775721e-05,3.750210e-05,3.725063e-05,3.700287e-05,3.675886e-05,3.651863e-05,3.628219e-05,3.604957e-05,3.582078e-05,3.559580e-05,3.537463e-05,3.515727e-05,3.494370e-05,3.473389e-05,3.452781e-05,3.432545e-05,3.412677e-05,3.393173e-05,3.374030e-05,3.355243e-05,3.336809e-05,3.318724e-05,3.300982e-05
0.000000e+00,4.564261e-11,1.100672e-10,4.002174e-10,9.360324e-10,1.380870e-09,3.204680e-09,3.303823e-09,6.508310e-09,7.686144e-09,1.137652e-08,1.526761e-08,1.831771e-08,2.682025e-08,2.765991e-08,3.949205e-08,4.268868e-08,5.366549e-08,6.253818e-08,6.994697e-08,8.584367e-08,8.811731e-08,1.079846e-07,1.121460e-07,1.293706e-07,1.410329e-07,1.520983e-07,1.720943e-07,1.759868e-07,2.008506e-07,2.049068e-07,2.265024e-07,2.390405e-07,2.527567e-07,2.740728e-07,2.794338e-07,3.063636e-07,3.096046e-07,3.333885e-07,3.452720e-07,3.603648e-07,3.807549e-07,3.871644e-07,4.136748e-07,4.157801e-07,4.397991e-07,4.501218e-07,4.654552e-07,4.835989e-07,4.905749e-07,5.151028e-07,5.160710e-07,5.389947e-07,5.474332e-07,5.622164e-07,5.776112e-07,5.847427e-07,6.065557e-07,6.276442e-07,6.342385e-07,6.480025e-07,6.606479e-07,6.676294e-07,6.857856e-07,6.865276e-07,7.047030e-07,7.096637e-07,7.221642e-07,7.323026e-07,7.389220e-07,7.537285e-07,7.549887e-07,7.703779e-07,7.739721e-07,7.851042e-07,7.930671e-07,7.991831e-07,8.110498e-07,8.126307e-07,8.254636e-07,8.279579e-07,8.376985e-07,8.438299e-07,8.493524e-07,8.587050e-07,8.604422e-07,8.709850e-07,8.726222e-07,8.809976e-07,8.856203e-07,8.904969e-07,8.977379e-07,8.994994e-07,9.080214e-07,9.090126e-07,9.160791e-07,9.194814e-07,9.236882e-07,9.291806e-07,9.308641e-07,9.376222e-07,9.381453e-07,9.439773e-07,9.464097e-07,9.499437e-07,9.540070e-07,9.555358e-07,9.607673e-07,9.609693e-07,9.656517e-07,9.673277e-07,9.702021e-07,9.731121e-07,9.744312e-07,9.783514e-07,9.819747e-07,9.830734e-07,9.853129e-07,9.873049e-07,9.883772e-07,9.910717e-07,9.911788e-07,9.937282e-07,9.943983e-07,9.960359e-07,9.973086e-07,9.981118e-07,9.998252e-07,9.999656e-07,1.001607e-06,1.001970e-06,1.003044e-06,1.003764e-06,1.004287e-06,1.005226e-06,1.005343e-06,1.006222e-06,1.006377e-06,1.006930e-06,1.007234e-06,1.007476e-06,1.007814e-06,1.007867e-06,1.008109e-06,1.008135e-06,1.008211e-06,1.008212e-06,1.008178e-06,1.008060e-06,1.008018e-06,1.007736e-06,1.007694e-06,1.007338e-06,1.007127e-06,1.006829e-06,1.006373e-06,1.006217e-06,1.005505e-06,1.005444e-06,1.004699e-06,1.004352e-06,1.003805e-06,1.003108e-06,1.002825e-06,1.001767e-06,1.001723e-06,1.000632e-06,1.000207e-06,9.994273e-07,9.985693e-07,9.981552e-07,9.968200e-07,9.949673e-07,9.930196e-07,9.909847e-07,9.888700e-07,9.866826e-07,9.844291e-07,9.821160e-07,9.797490e-07,9.773339e-07,9.748760e-07,9.723803e-07,9.698516e-07,9.672944e-07,9.647128e-07,9.621108e-07,9.594923e-07,9.568607e-07,9.542193e-07,9.515712e-07,9.489193e-07,9.462664e-07,9.436151e-07,9.409677e-07,9.383264e-07
0.000000e+00,3.788773e-14,3.173147e-13,7.207070e-12,5.512447e-11,1.381789e-10,9.700316e-10,1.039529e-09,4.698575e-09,6.732411e-09,1.542618e-08,2.821955e-08,4.070867e-08,8.636876e-08,9.172673e-08,1.834821e-07,2.135612e-07,3.345663e-07,4.530509e-07,5.666155e-07,8.566740e-07,9.034443e-07,1.369827e-06,1.480809e-06,1.989975e-06,2.380660e-06,2.785902e-06,3.603864e-06,3.775934e-06,4.973606e-06,5.185123e-06,6.387029e-06,7.143060e-06,8.018733e-06,9.479511e-06,9.865867e-06,1.192071e-05,1.218073e-05,1.417132e-05,1.521974e-05,1.660225e-05,1.855922e-05,1.919528e-05,2.193020e-05,2.215449e-05,2.478548e-05,2.595632e-05,2.773887e-05,2.991352e-05,3.076804e-05,3.385102e-05,3.397516e-05,3.696667e-05,3.809240e-05,4.009498e-05,4.221992e-05,4.321737e-05,4.631687e-05,4.937824e-05,5.034758e-05,5.238802e-05,5.428174e-05,5.533455e-05,5.809449e-05,5.820791e-05,6.099989e-05,6.176611e-05,6.370381e-05,6.528168e-05,6.631448e-05,6.863056e-05,6.882800e-05,7.124167e-05,7.180589e-05,7.355384e-05,7.480401e-05,7.576376e-05,7.762392e-05,7.787146e-05,7.987767e-05,8.026683e-05,8.178363e-05,8.273567e-05,8.359108e-05,8.503475e-05,8.530214e-05,8.691918e-05,8.716936e-05,8.844484e-05,8.914552e-05,8.988193e-05,9.096979e-05,9.123337e-05,9.250218e-05,9.264903e-05,9.369141e-05,9.419025e-05,9.480413e-05,9.560053e-05,9.584343e-05,9.681233e-05,9.688689e-05,9.771383e-05,9.805622e-05,9.855087e-05,9.911525e-05,9.932634e-05,1.000430e-04,1.000705e-04,1.007037e-04,1.009283e-04,1.013109e-04,1.016946e-04,1.018672e-04,1.023752e-04,1.028372e-04,1.029756e-04,1.032554e-04,1.035011e-04,1.036321e-04,1.039567e-04,1.039695e-04,1.042694e-04,1.043470e-04,1.045340e-04,1.046765e-04,1.047650e-04,1.049495e-04,1.049643e-04,1.051336e-04,1.051700e-04,1.052745e-04,1.053416e-04,1.053886e-04,1.054680e-04,1.054773e-04,1.055422e-04,1.055525e-04,1.055846e-04,1.055982e-04,1.056058e-04,1.056081e-04,1.056070e-04,1.055894e-04,1.055850e-04,1.055543e-04,1.055314e-04,1.055025e-04,1.054499e-04,1.054353e-04,1.053535e-04,1.053427e-04,1.052581e-04,1.052120e-04,1.051500e-04,1.050598e-04,1.050300e-04,1.048989e-04,1.048880e-04,1.047576e-04,1.046983e-04,1.046067e-04,1.044925e-04,1.044469e-04,1.042788e-04,1.042720e-04,1.041032e-04,1.040383e-04,1.039206e-04,1.037927e-04,1.037315e-04,1.035366e-04,1.032710e-04,1.029971e-04,1.027159e-04,1.024284e-04,1.021354e-04,1.018377e-04,1.015362e-04,1.012315e-04,1.009243e-04,1.006151e-04,1.003047e-04,9.999336e-05,9.968172e-05,9.937018e-05,9.905914e-05,9.874899e-05,9.844007e-05,9.813269e-05,9.782715e-05,9.752371e-05,9.722261e-05,9.692407e-05,9.662828e-05,9.633543e-05
0.000000e+00,5.400811e-11,1.362733e-10,5.184023e-10,1.235058e-09,1.832318e-09,4.275547e-09,4.407803e-09,8.643071e-09,1.018027e-08,1.493434e-08,1.986148e-08,2.367866e-08,3.421496e-08,3.525274e-08,4.994131e-08,5.394385e-08,6.781368e-08,7.914219e-08,8.865371e-08,1.091265e-07,1.120550e-07,1.375768e-07,1.428996e-07,1.648199e-07,1.795477e-07,1.934306e-07,2.182853e-07,2.230884e-07,2.534958e-07,2.584118e-07,2.843765e-07,2.992916e-07,3.154755e-07,3.403559e-07,3.465620e-07,3.774304e-07,3.811112e-07,4.079022e-07,4.211440e-07,4.378253e-07,4.601213e-07,4.670734e-07,4.955438e-07,4.977853e-07,5.231560e-07,5.339461e-07,5.498484e-07,5.684718e-07,5.755766e-07,6.003106e-07,6.012790e-07,6.240328e-07,6.323234e-07,6.467354e-07,6.615905e-07,6.684185e-07,6.890897e-07,7.087618e-07,7.148486e-07,7.274520e-07,7.389077e-07,7.451807e-07,7.613172e-07,7.619711e-07,7.778484e-07,7.821339e-07,7.928389e-07,8.014190e-07,8.069702e-07,8.192365e-07,8.202706e-07,8.327685e-07,8.356518e-07,8.444926e-07,8.507307e-07,8.554712e-07,8.645379e-07,8.657323e-07,8.753035e-07,8.771374e-07,8.842124e-07,8.885921e-07,8.924856e-07,8.989630e-07,9.001493e-07,9.072291e-07,9.083094e-07,9.137498e-07,9.166883e-07,9.197357e-07,9.241551e-07,9.252102e-07,9.301961e-07,9.307626e-07,9.347155e-07,9.365618e-07,9.387898e-07,9.416014e-07,9.424397e-07,9.456851e-07,9.459278e-07,9.485452e-07,9.495856e-07,9.510387e-07,9.526171e-07,9.531834e-07,9.549967e-07,9.550626e-07,9.564951e-07,9.569606e-07,9.576947e-07,9.583475e-07,9.586107e-07,9.592579e-07,9.596506e-07,9.597248e-07,9.598024e-07,9.597792e-07,9.597264e-07,9.594506e-07,9.594350e-07,9.589403e-07,9.587670e-07,9.582539e-07,9.577547e-07,9.573868e-07,9.564386e-07,9.563496e-07,9.551525e-07,9.548424e-07,9.538050e-07,9.529883e-07,9.523165e-07,9.508971e-07,9.506959e-07,9.489516e-07,9.485887e-07,9.470918e-07,9.460816e-07,9.451242e-07,9.433934e-07,9.430561e-07,9.408946e-07,9.405406e-07,9.386465e-07,9.375385e-07,9.363182e-07,9.344019e-07,9.339158e-07,9.314451e-07,9.311443e-07,9.289117e-07,9.277785e-07,9.263209e-07,9.243166e-07,9.236777e-07,9.209869e-07,9.207697e-07,9.182531e-07,9.171485e-07,9.154806e-07,9.134628e-07,9.126735e-07,9.098358e-07,9.097217e-07,9.069711e-07,9.059339e-07,9.040830e-07,9.021074e-07,9.011748e-07,8.982497e-07,8.943677e-07,8.904679e-07,8.865563e-07,8.826386e-07,8.787199e-07,8.748050e-07,8.708983e-07,8.670039e-07,8.631257e-07,8.592671e-07,8.554312e-07,8.516210e-07,8.478392e-07,8.440883e-07,8.403704e-07,8.366875e-07,8.330416e-07,8.294341e-07,8.258666e-07,8.223405e-07,8.188568e-07,8.154165e-07,8.120207e-07,8.086700e-07
0.000000e+00,9.046023e-13,8.130076e-12,2.140766e-10,1.876980e-09,5.075119e-09,4.343645e-08,4.692880e-08,2.591858e-07,3.924059e-07,1.033795e-06,2.119621e-06,3.295548e-06,8.278595e-06,8.920295e-06,2.131769e-05,2.587392e-05,4.619042e-05,6.873322e-05,9.246616e-05,1.612727e-04,1.733709e-04,3.075798e-04,3.429131e-04,5.203565e-04,6.726391e-04,8.445892e-04,1.233073e-03,1.321637e-03,2.001930e-03,2.133502e-03,2.945271e-03,3.511465e-03,4.220817e-03,5.532692e-03,5.906751e-03,8.089634e-03,8.389368e-03,1.086347e-02,1.229681e-02,1.432852e-02,1.748879e-02,1.858991e-02,2.375603e-02,2.421170e-02,2.993688e-02,3.271798e-02,3.724226e-02,4.325911e-02,4.578001e-02,5.565423e-02,5.607841e-02,6.696354e-02,7.140409e-02,7.979954e-02,8.944282e-02,9.424526e-02,1.103739e-01,1.282478e-01,1.343445e-01,1.479171e-01,1.614658e-01,1.694197e-01,1.918099e-01,1.927802e-01,2.180096e-01,2.254087e-01,2.451056e-01,2.622532e-01,2.740524e-01,3.022935e-01,3.048211e-01,3.373699e-01,3.454407e-01,3.716449e-01,3.915691e-01,4.075810e-01,4.405186e-01,4.451021e-01,4.841226e-01,4.920985e-01,5.245484e-01,5.460916e-01,5.662774e-01,6.022576e-01,6.092010e-01,6.532051e-01,6.603382e-01,6.981711e-01,7.200607e-01,7.439769e-01,7.811428e-01,7.904982e-01,8.376094e-01,8.432964e-01,8.851842e-01,9.062316e-01,9.330970e-01,9.696603e-01,9.812236e-01,1.029442e+00,1.033300e+00,1.077632e+00,1.096875e+00,1.125679e+00,1.160121e+00,1.173470e+00,1.220899e+00,1.222787e+00,1.267862e+00,1.284636e+00,1.314263e+00,1.345448e+00,1.360010e+00,1.405019e+00,1.449208e+00,1.463163e+00,1.492505e+00,1.519715e+00,1.534842e+00,1.574526e+00,1.576158e+00,1.616399e+00,1.627467e+00,1.655515e+00,1.678426e+00,1.693463e+00,1.727312e+00,1.730207e+00,1.765714e+00,1.774049e+00,1.799960e+00,1.818578e+00,1.832923e+00,1.860856e+00,1.864587e+00,1.894943e+00,1.900856e+00,1.923983e+00,1.938563e+00,1.951706e+00,1.973977e+00,1.978114e+00,2.003212e+00,2.007107e+00,2.027010e+00,2.037975e+00,2.049521e+00,2.066613e+00,2.070760e+00,2.090745e+00,2.093060e+00,2.109497e+00,2.117363e+00,2.127039e+00,2.139577e+00,2.143396e+00,2.158594e+00,2.159760e+00,2.172661e+00,2.177979e+00,2.185628e+00,2.194299e+00,2.197524e+00,2.208381e+00,2.208795e+00,2.218232e+00,2.221538e+00,2.227109e+00,2.232606e+00,2.235045e+00,2.242075e+00,2.250023e+00,2.256528e+00,2.261667e+00,2.265517e+00,2.268153e+00,2.269651e+00,2.270081e+00,2.269515e+00,2.268022e+00,2.265669e+00,2.262518e+00,2.258632e+00,2.254070e+00,2.248889e+00,2.243143e+00,2.236882e+00,2.230157e+00,2.223013e+00,2.215495e+00,2.207644e+00,2.199498e+00,2.191096e+00,2.182470e+00,2.173654e+00
0.000000e+00,3.636323e-11,1.774987e-10,1.494967e-09,5.299677e-09,9.133704e-09,2.774186e-08,2.883360e-08,6.629876e-08,8.073617e-08,1.271547e-07,1.772981e-07,2.172066e-07,3.310443e-07,3.425066e-07,5.087176e-07,5.551588e-07,7.193161e-07,8.566504e-07,9.739130e-07,1.231571e-06,1.268963e-06,1.599946e-06,1.670075e-06,1.962644e-06,2.162515e-06,2.353280e-06,2.700394e-06,2.768287e-06,3.204115e-06,3.275539e-06,3.657146e-06,3.879632e-06,4.123700e-06,4.504197e-06,4.600086e-06,5.082675e-06,5.140835e-06,5.567976e-06,5.781512e-06,6.052701e-06,6.418831e-06,6.533819e-06,7.008599e-06,7.046233e-06,7.474628e-06,7.658112e-06,7.929823e-06,8.249857e-06,8.372429e-06,8.801002e-06,8.817835e-06,9.214394e-06,9.359322e-06,9.611727e-06,9.872408e-06,9.992367e-06,1.035590e-05,1.070208e-05,1.080918e-05,1.103086e-05,1.123216e-05,1.134229e-05,1.162512e-05,1.163657e-05,1.191396e-05,1.198865e-05,1.217482e-05,1.232357e-05,1.241956e-05,1.263087e-05,1.264864e-05,1.286254e-05,1.291168e-05,1.306180e-05,1.316718e-05,1.324693e-05,1.339860e-05,1.341849e-05,1.357703e-05,1.360722e-05,1.372308e-05,1.379427e-05,1.385719e-05,1.396100e-05,1.397989e-05,1.409172e-05,1.410863e-05,1.419317e-05,1.423833e-05,1.428475e-05,1.435124e-05,1.436695e-05,1.444023e-05,1.444844e-05,1.450504e-05,1.453099e-05,1.456182e-05,1.459986e-05,1.461099e-05,1.465296e-05,1.465602e-05,1.468811e-05,1.470035e-05,1.471683e-05,1.473371e-05,1.473945e-05,1.475634e-05,1.475690e-05,1.476781e-05,1.477067e-05,1.477417e-05,1.477574e-05,1.477574e-05,1.477279e-05,1.476560e-05,1.476244e-05,1.475442e-05,1.474529e-05,1.473951e-05,1.472190e-05,1.472110e-05,1.469942e-05,1.469280e-05,1.467469e-05,1.465846e-05,1.464710e-05,1.461936e-05,1.461685e-05,1.458412e-05,1.457592e-05,1.454910e-05,1.452854e-05,1.451194e-05,1.447760e-05,1.447281e-05,1.443185e-05,1.442345e-05,1.438921e-05,1.436642e-05,1.434503e-05,1.430682e-05,1.429943e-05,1.425253e-05,1.424491e-05,1.420445e-05,1.418098e-05,1.415530e-05,1.411527e-05,1.410518e-05,1.405418e-05,1.404801e-05,1.400241e-05,1.397940e-05,1.394994e-05,1.390965e-05,1.389686e-05,1.384325e-05,1.383894e-05,1.378918e-05,1.376744e-05,1.373472e-05,1.369531e-05,1.367994e-05,1.362489e-05,1.362269e-05,1.356964e-05,1.354971e-05,1.351424e-05,1.347650e-05,1.345873e-05,1.340318e-05,1.332984e-05,1.325659e-05,1.318351e-05,1.311069e-05,1.303819e-05,1.296609e-05,1.289445e-05,1.282332e-05,1.275276e-05,1.268280e-05,1.261350e-05,1.254489e-05,1.247700e-05,1.240986e-05,1.234350e-05,1.227793e-05,1.221319e-05,1.214929e-05,1.208624e-05,1.202405e-05,1.196273e-05,1.190230e-05,1.184276e-05,1.178412e-05
0.000000e+00,7.931777e-13,6.091746e-12,1.159282e-10,7.573894e-10,1.744184e-09,9.904472e-09,1.052544e-08,3.904461e-08,5.315758e-08,1.077124e-07,1.795049e-07,2.444282e-07,4.595109e-07,4.832315e-07,8.599728e-07,9.744722e-07,1.404533e-06,1.789802e-06,2.134106e-06,2.931853e-06,3.051703e-06,4.149188e-06,4.389032e-06,5.411616e-06,6.127251e-06,6.820658e-06,8.103101e-06,8.356526e-06,9.998809e-06,1.027007e-05,1.172684e-05,1.258067e-05,1.351993e-05,1.498754e-05,1.535772e-05,1.722059e-05,1.744492e-05,1.909007e-05,1.991032e-05,2.094928e-05,2.234611e-05,2.278323e-05,2.457904e-05,2.472072e-05,2.632596e-05,2.700904e-05,2.801540e-05,2.919244e-05,2.964079e-05,3.119741e-05,3.125820e-05,3.268218e-05,3.319875e-05,3.409342e-05,3.501077e-05,3.543064e-05,3.669431e-05,3.788569e-05,3.825195e-05,3.900661e-05,3.968805e-05,4.005933e-05,4.100820e-05,4.104646e-05,4.197077e-05,4.221872e-05,4.283519e-05,4.332633e-05,4.364268e-05,4.433782e-05,4.439618e-05,4.509863e-05,4.525994e-05,4.575288e-05,4.609922e-05,4.636166e-05,4.686189e-05,4.692763e-05,4.745332e-05,4.755383e-05,4.794112e-05,4.818057e-05,4.839332e-05,4.874724e-05,4.881207e-05,4.919942e-05,4.925860e-05,4.955726e-05,4.971908e-05,4.988741e-05,5.013273e-05,5.019156e-05,5.047130e-05,5.050330e-05,5.072812e-05,5.083422e-05,5.096341e-05,5.112865e-05,5.117849e-05,5.137459e-05,5.138950e-05,5.155286e-05,5.161942e-05,5.171438e-05,5.182087e-05,5.186016e-05,5.199114e-05,5.199609e-05,5.210823e-05,5.214714e-05,5.221224e-05,5.227591e-05,5.230397e-05,5.238415e-05,5.245346e-05,5.247345e-05,5.251256e-05,5.254530e-05,5.256205e-05,5.260105e-05,5.260250e-05,5.263445e-05,5.264194e-05,5.265840e-05,5.266913e-05,5.267483e-05,5.268369e-05,5.268419e-05,5.268689e-05,5.268660e-05,5.268334e-05,5.267876e-05,5.267391e-05,5.266102e-05,5.265894e-05,5.263878e-05,5.263416e-05,5.261374e-05,5.259889e-05,5.258411e-05,5.255589e-05,5.255018e-05,5.251220e-05,5.250577e-05,5.247043e-05,5.244911e-05,5.242511e-05,5.238644e-05,5.237645e-05,5.232468e-05,5.231826e-05,5.226998e-05,5.224504e-05,5.221255e-05,5.216719e-05,5.215257e-05,5.209022e-05,5.208513e-05,5.202564e-05,5.199922e-05,5.195900e-05,5.190982e-05,5.189043e-05,5.182009e-05,5.181724e-05,5.174809e-05,5.172180e-05,5.167457e-05,5.162376e-05,5.159964e-05,5.152341e-05,5.142097e-05,5.131670e-05,5.121079e-05,5.110345e-05,5.099487e-05,5.088522e-05,5.077468e-05,5.066338e-05,5.055148e-05,5.043912e-05,5.032640e-05,5.021347e-05,5.010041e-05,4.998734e-05,4.987436e-05,4.976154e-05,4.964898e-05,4.953675e-05,4.942492e-05,4.931356e-05,4.920273e-05,4.909250e-05,4.898291e-05,4.887402e-05
0.000000e+00,7.391888e-15,6.404952e-14,1.561182e-12,1.273662e-11,3.307865e-11,2.544900e-10,2.737401e-10,1.354706e-09,1.989360e-09,4.847271e-09,9.316236e-09,1.387644e-08,3.160191e-08,3.376361e-08,7.260205e-08,8.592659e-08,1.416879e-07,1.989357e-07,2.557492e-07,4.076534e-07,4.329231e-07,6.944352e-07,7.589078e-07,1.063951e-06,1.307101e-06,1.566610e-06,2.110351e-06,2.227826e-06,3.071959e-06,3.225509e-06,4.121004e-06,4.702909e-06,5.393406e-06,6.581677e-06,6.903097e-06,8.658809e-06,8.886236e-06,1.066368e-05,1.162430e-05,1.291514e-05,1.478636e-05,1.540506e-05,1.812014e-05,1.834657e-05,2.104244e-05,2.226459e-05,2.415005e-05,2.648832e-05,2.741792e-05,3.081858e-05,3.095696e-05,3.432302e-05,3.560430e-05,3.790148e-05,4.036187e-05,4.152413e-05,4.516184e-05,4.878664e-05,4.993951e-05,5.237230e-05,5.463533e-05,5.589466e-05,5.919633e-05,5.933194e-05,6.266493e-05,6.357716e-05,6.587710e-05,6.774053e-05,6.895459e-05,7.165730e-05,7.188625e-05,7.466345e-05,7.530626e-05,7.728002e-05,7.867358e-05,7.973202e-05,8.175210e-05,8.201755e-05,8.413656e-05,8.454049e-05,8.609059e-05,8.704242e-05,8.788260e-05,8.926565e-05,8.951670e-05,9.099796e-05,9.122117e-05,9.233226e-05,9.292240e-05,9.352604e-05,9.438448e-05,9.458616e-05,9.551979e-05,9.562367e-05,9.633427e-05,9.665678e-05,9.703695e-05,9.750075e-05,9.763519e-05,9.813622e-05,9.817232e-05,9.854708e-05,9.868771e-05,9.887458e-05,9.906245e-05,9.912527e-05,9.930541e-05,9.931123e-05,9.942093e-05,9.944779e-05,9.947745e-05,9.948489e-05,9.948025e-05,9.943427e-05,9.934415e-05,9.930670e-05,9.921419e-05,9.911196e-05,9.904838e-05,9.885892e-05,9.885043e-05,9.862374e-05,9.855555e-05,9.837146e-05,9.820903e-05,9.809650e-05,9.782578e-05,9.780151e-05,9.748892e-05,9.741153e-05,9.716096e-05,9.697135e-05,9.681967e-05,9.650978e-05,9.646690e-05,9.610435e-05,9.603080e-05,9.573356e-05,9.553796e-05,9.535592e-05,9.503437e-05,9.497273e-05,9.458513e-05,9.452278e-05,9.419417e-05,9.400560e-05,9.380080e-05,9.348495e-05,9.340588e-05,9.301018e-05,9.296268e-05,9.261441e-05,9.244040e-05,9.221918e-05,9.191953e-05,9.182507e-05,9.143259e-05,9.140127e-05,9.104219e-05,9.088670e-05,9.065428e-05,9.037674e-05,9.026923e-05,8.988737e-05,8.987217e-05,8.950899e-05,8.937368e-05,8.913434e-05,8.888183e-05,8.876366e-05,8.839713e-05,8.791998e-05,8.745072e-05,8.698963e-05,8.653695e-05,8.609284e-05,8.565745e-05,8.523087e-05,8.481318e-05,8.440440e-05,8.400454e-05,8.361360e-05,8.323154e-05,8.285832e-05,8.249385e-05,8.213809e-05,8.179093e-05,8.145226e-05,8.112199e-05,8.080000e-05,8.048615e-05,8.018032e-05,7.988238e-05,7.959218e-05,7.930958e-05
0.000000e+00,1.126869e-14,9.698159e-14,2.333290e-12,1.881152e-11,4.854001e-11,3.672588e-10,3.947720e-10,1.921973e-09,2.810024e-09,6.772874e-09,1.290591e-08,1.911836e-08,4.302979e-08,4.592862e-08,9.764311e-08,1.152722e-07,1.886622e-07,2.635624e-07,3.375867e-07,5.344673e-07,5.671037e-07,9.034074e-07,9.859739e-07,1.375111e-06,1.683721e-06,2.011743e-06,2.695037e-06,2.842013e-06,3.892103e-06,4.082064e-06,5.184149e-06,5.895467e-06,6.735081e-06,8.169802e-06,8.555859e-06,1.065109e-05,1.092095e-05,1.301903e-05,1.414551e-05,1.565186e-05,1.782190e-05,1.853617e-05,2.165367e-05,2.191250e-05,2.498198e-05,2.636666e-05,2.849541e-05,3.112402e-05,3.216589e-05,3.596373e-05,3.611787e-05,3.985852e-05,4.127848e-05,4.381973e-05,4.653602e-05,4.781750e-05,5.182308e-05,5.580938e-05,5.707677e-05,5.975132e-05,6.224025e-05,6.362609e-05,6.726378e-05,6.741336e-05,7.109536e-05,7.210533e-05,7.465694e-05,7.673074e-05,7.808551e-05,8.111361e-05,8.137099e-05,8.450562e-05,8.523483e-05,8.748386e-05,8.908198e-05,9.030219e-05,9.264861e-05,9.295886e-05,9.545377e-05,9.593343e-05,9.778820e-05,9.893947e-05,9.996463e-05,1.016733e-04,1.019866e-04,1.038583e-04,1.041441e-04,1.055847e-04,1.063634e-04,1.071714e-04,1.083441e-04,1.086243e-04,1.099492e-04,1.101000e-04,1.111527e-04,1.116453e-04,1.122409e-04,1.129947e-04,1.132201e-04,1.140966e-04,1.141625e-04,1.148765e-04,1.151628e-04,1.155657e-04,1.160090e-04,1.161700e-04,1.166947e-04,1.167141e-04,1.171453e-04,1.172903e-04,1.175267e-04,1.177490e-04,1.178438e-04,1.181010e-04,1.183026e-04,1.183560e-04,1.184526e-04,1.185233e-04,1.185549e-04,1.186114e-04,1.186129e-04,1.186300e-04,1.186279e-04,1.186093e-04,1.185800e-04,1.185537e-04,1.184741e-04,1.184660e-04,1.183486e-04,1.183163e-04,1.182039e-04,1.181118e-04,1.180342e-04,1.178657e-04,1.178414e-04,1.176275e-04,1.175824e-04,1.173943e-04,1.172659e-04,1.171434e-04,1.169200e-04,1.168763e-04,1.165945e-04,1.165481e-04,1.162993e-04,1.161532e-04,1.159919e-04,1.157380e-04,1.156735e-04,1.153452e-04,1.153052e-04,1.150079e-04,1.148569e-04,1.146626e-04,1.143953e-04,1.143101e-04,1.139513e-04,1.139223e-04,1.135868e-04,1.134396e-04,1.132175e-04,1.129488e-04,1.128438e-04,1.124664e-04,1.124512e-04,1.120859e-04,1.119483e-04,1.117028e-04,1.114410e-04,1.113176e-04,1.109306e-04,1.104180e-04,1.099041e-04,1.093896e-04,1.088754e-04,1.083620e-04,1.078501e-04,1.073402e-04,1.068328e-04,1.063283e-04,1.058272e-04,1.053297e-04,1.048363e-04,1.043473e-04,1.038628e-04,1.033831e-04,1.029085e-04,1.024390e-04,1.019750e-04,1.015164e-04,1.010635e-04,1.006163e-04,1.001749e-04,9.973941e-05,9.930989e-05
0.000000e+00,3.579328e-12,2.362135e-11,3.343282e-10,1.706229e-09,3.463475e-09,1.463580e-08,1.538149e-08,4.441543e-08,5.685922e-08,9.980565e-08,1.497075e-07,1.912625e-07,3.161110e-07,3.290995e-07,5.241990e-07,5.807363e-07,7.869097e-07,9.664388e-07,1.124335e-06,1.484001e-06,1.537436e-06,2.020703e-06,2.124979e-06,2.564726e-06,2.868186e-06,3.159202e-06,3.690551e-06,3.794609e-06,4.462571e-06,4.571959e-06,5.155641e-06,5.495210e-06,5.866991e-06,6.444932e-06,6.590241e-06,7.319398e-06,7.407024e-06,8.048870e-06,8.368595e-06,8.773519e-06,9.318159e-06,9.488717e-06,1.019039e-05,1.024583e-05,1.087503e-05,1.114344e-05,1.153971e-05,1.200456e-05,1.218204e-05,1.280017e-05,1.282437e-05,1.339272e-05,1.359957e-05,1.395871e-05,1.432811e-05,1.449757e-05,1.500903e-05,1.549307e-05,1.564221e-05,1.594994e-05,1.622825e-05,1.638003e-05,1.676824e-05,1.678390e-05,1.716223e-05,1.726368e-05,1.751576e-05,1.771632e-05,1.784533e-05,1.812810e-05,1.815179e-05,1.843604e-05,1.850106e-05,1.869900e-05,1.883729e-05,1.894156e-05,1.913888e-05,1.916466e-05,1.936917e-05,1.940792e-05,1.955599e-05,1.964643e-05,1.972598e-05,1.985636e-05,1.987996e-05,2.001875e-05,2.003960e-05,2.014314e-05,2.019796e-05,2.025388e-05,2.033314e-05,2.035171e-05,2.043731e-05,2.044679e-05,2.051135e-05,2.054043e-05,2.057448e-05,2.061553e-05,2.062730e-05,2.067042e-05,2.067347e-05,2.070439e-05,2.071554e-05,2.072974e-05,2.074294e-05,2.074698e-05,2.075660e-05,2.075683e-05,2.075906e-05,2.075828e-05,2.075480e-05,2.074828e-05,2.074424e-05,2.072778e-05,2.070579e-05,2.069765e-05,2.067864e-05,2.065871e-05,2.064666e-05,2.061173e-05,2.061019e-05,2.056952e-05,2.055742e-05,2.052494e-05,2.049644e-05,2.047674e-05,2.042942e-05,2.042518e-05,2.037050e-05,2.035694e-05,2.031294e-05,2.027953e-05,2.025272e-05,2.019769e-05,2.019005e-05,2.012513e-05,2.011189e-05,2.005815e-05,2.002256e-05,1.998928e-05,1.993010e-05,1.991870e-05,1.984657e-05,1.983489e-05,1.977302e-05,1.973726e-05,1.969821e-05,1.963755e-05,1.962228e-05,1.954533e-05,1.953604e-05,1.946750e-05,1.943300e-05,1.938890e-05,1.932871e-05,1.930963e-05,1.922978e-05,1.922338e-05,1.914947e-05,1.911723e-05,1.906876e-05,1.901046e-05,1.898776e-05,1.890652e-05,1.890327e-05,1.882513e-05,1.879581e-05,1.874366e-05,1.868824e-05,1.866217e-05,1.858071e-05,1.847335e-05,1.836627e-05,1.825959e-05,1.815340e-05,1.804780e-05,1.794287e-05,1.783869e-05,1.773533e-05,1.763283e-05,1.753127e-05,1.743070e-05,1.733114e-05,1.723265e-05,1.713526e-05,1.703900e-05,1.694390e-05,1.684998e-05,1.675725e-05,1.666574e-05,1.657546e-05,1.648642e-05,1.639862e-05,1.631208e-05,1.622680e-05
0.000000e+00,1.926050e-14,1.663606e-13,4.028689e-12,3.267901e-11,8.461320e-11,6.461864e-10,6.948699e-10,3.417476e-09,5.011237e-09,1.217300e-08,2.335417e-08,3.475824e-08,7.910541e-08,8.451763e-08,1.818975e-07,2.153558e-07,3.555323e-07,4.995596e-07,6.424783e-07,1.024025e-06,1.087381e-06,1.740651e-06,1.901006e-06,2.655948e-06,3.253465e-06,3.887328e-06,5.203850e-06,5.486408e-06,7.499766e-06,7.863096e-06,9.966755e-06,1.132135e-05,1.291779e-05,1.564112e-05,1.637315e-05,2.034225e-05,2.085310e-05,2.482341e-05,2.695449e-05,2.980407e-05,3.390969e-05,3.526130e-05,4.116275e-05,4.165289e-05,4.746777e-05,5.009232e-05,5.412876e-05,5.911548e-05,6.109267e-05,6.830252e-05,6.859520e-05,7.569898e-05,7.839578e-05,8.322182e-05,8.837900e-05,9.081132e-05,9.840952e-05,1.059613e-04,1.083595e-04,1.134152e-04,1.181124e-04,1.207242e-04,1.275653e-04,1.278462e-04,1.347442e-04,1.366311e-04,1.413867e-04,1.452385e-04,1.477476e-04,1.533327e-04,1.538058e-04,1.595455e-04,1.608743e-04,1.649553e-04,1.678380e-04,1.700284e-04,1.742115e-04,1.747616e-04,1.791554e-04,1.799937e-04,1.832132e-04,1.851924e-04,1.869412e-04,1.898237e-04,1.903475e-04,1.934421e-04,1.939091e-04,1.962366e-04,1.974750e-04,1.987434e-04,2.005507e-04,2.009759e-04,2.029479e-04,2.031677e-04,2.046735e-04,2.053583e-04,2.061669e-04,2.071554e-04,2.074423e-04,2.085137e-04,2.085910e-04,2.093946e-04,2.096966e-04,2.100983e-04,2.105024e-04,2.106376e-04,2.110245e-04,2.110370e-04,2.112709e-04,2.113274e-04,2.113878e-04,2.113987e-04,2.113856e-04,2.112743e-04,2.110631e-04,2.109758e-04,2.107607e-04,2.105231e-04,2.103753e-04,2.099343e-04,2.099145e-04,2.093854e-04,2.092259e-04,2.087946e-04,2.084131e-04,2.081482e-04,2.075094e-04,2.074519e-04,2.067110e-04,2.065271e-04,2.059302e-04,2.054773e-04,2.051142e-04,2.043702e-04,2.042670e-04,2.033924e-04,2.032145e-04,2.024941e-04,2.020186e-04,2.015751e-04,2.007895e-04,2.006386e-04,1.996873e-04,1.995339e-04,1.987236e-04,1.982574e-04,1.977499e-04,1.969652e-04,1.967683e-04,1.957808e-04,1.956620e-04,1.947890e-04,1.943518e-04,1.937947e-04,1.930382e-04,1.927993e-04,1.918042e-04,1.917246e-04,1.908105e-04,1.904138e-04,1.898195e-04,1.891082e-04,1.888321e-04,1.878493e-04,1.878101e-04,1.868719e-04,1.865215e-04,1.859007e-04,1.852441e-04,1.849363e-04,1.839794e-04,1.827286e-04,1.814929e-04,1.802732e-04,1.790705e-04,1.778853e-04,1.767183e-04,1.755699e-04,1.744405e-04,1.733305e-04,1.722400e-04,1.711693e-04,1.701184e-04,1.690873e-04,1.680762e-04,1.670850e-04,1.661135e-04,1.651617e-04,1.642295e-04,1.633166e-04,1.624230e-04,1.615483e-04,1.606924e-04,1.598551e-04,1.590361e-04
0.000000e+00,7.335157e-11,1.901716e-10,7.492448e-10,1.837307e-09,2.776350e-09,6.896955e-09,7.132322e-09,1.527902e-08,1.849469e-08,2.905204e-08,4.051268e-08,4.945611e-08,7.351514e-08,7.581249e-08,1.069040e-07,1.149654e-07,1.418624e-07,1.629237e-07,1.801620e-07,2.163428e-07,2.214439e-07,2.654038e-07,2.744907e-07,3.117375e-07,3.366628e-07,3.601216e-07,4.020966e-07,4.102106e-07,4.616437e-07,4.699732e-07,5.140547e-07,5.394531e-07,5.670834e-07,6.097182e-07,6.203844e-07,6.736353e-07,6.800078e-07,7.265428e-07,7.496446e-07,7.788451e-07,8.180489e-07,8.303148e-07,8.807576e-07,8.847436e-07,9.300121e-07,9.493507e-07,9.779467e-07,1.011583e-06,1.024458e-06,1.069466e-06,1.071234e-06,1.112914e-06,1.128166e-06,1.154764e-06,1.182296e-06,1.194992e-06,1.233589e-06,1.270557e-06,1.282045e-06,1.305909e-06,1.327694e-06,1.339663e-06,1.370588e-06,1.371846e-06,1.402486e-06,1.410793e-06,1.431617e-06,1.448387e-06,1.459277e-06,1.483458e-06,1.485504e-06,1.510339e-06,1.516097e-06,1.533824e-06,1.546400e-06,1.555999e-06,1.574465e-06,1.576909e-06,1.596595e-06,1.600389e-06,1.615099e-06,1.624268e-06,1.632463e-06,1.646199e-06,1.648730e-06,1.663938e-06,1.666276e-06,1.678129e-06,1.684590e-06,1.691341e-06,1.701231e-06,1.703612e-06,1.714980e-06,1.716285e-06,1.725481e-06,1.729836e-06,1.735150e-06,1.741964e-06,1.744022e-06,1.752130e-06,1.752747e-06,1.759507e-06,1.762259e-06,1.766183e-06,1.770573e-06,1.772189e-06,1.777554e-06,1.777756e-06,1.782308e-06,1.783875e-06,1.786477e-06,1.788991e-06,1.790088e-06,1.793166e-06,1.795737e-06,1.796457e-06,1.797824e-06,1.798917e-06,1.799451e-06,1.800599e-06,1.800638e-06,1.801409e-06,1.801552e-06,1.801782e-06,1.801825e-06,1.801779e-06,1.801460e-06,1.801418e-06,1.800718e-06,1.800501e-06,1.799695e-06,1.798988e-06,1.798368e-06,1.796960e-06,1.796751e-06,1.794862e-06,1.794453e-06,1.792715e-06,1.791501e-06,1.790324e-06,1.788137e-06,1.787703e-06,1.784865e-06,1.784392e-06,1.781824e-06,1.780295e-06,1.778591e-06,1.775874e-06,1.775178e-06,1.771596e-06,1.771155e-06,1.767856e-06,1.766163e-06,1.763968e-06,1.760921e-06,1.759943e-06,1.755788e-06,1.755451e-06,1.751515e-06,1.749774e-06,1.747130e-06,1.743909e-06,1.742643e-06,1.738060e-06,1.737875e-06,1.733391e-06,1.731690e-06,1.728641e-06,1.725369e-06,1.723818e-06,1.718929e-06,1.712383e-06,1.705746e-06,1.699029e-06,1.692246e-06,1.685407e-06,1.678522e-06,1.671603e-06,1.664657e-06,1.657694e-06,1.650722e-06,1.643747e-06,1.636778e-06,1.629820e-06,1.622880e-06,1.615963e-06,1.609075e-06,1.602221e-06,1.595404e-06,1.588629e-06,1.581899e-06,1.575219e-06,1.568592e-06,1.562020e-06,1.555505e-06
0.000000e+00,2.530836e-11,5.968544e-11,2.134212e-10,5.019018e-10,7.480274e-10,1.825051e-09,1.886689e-09,4.031301e-09,4.881813e-09,7.675255e-09,1.069238e-08,1.302877e-08,1.922758e-08,1.981306e-08,2.763631e-08,2.963639e-08,3.623473e-08,4.132821e-08,4.545400e-08,5.400006e-08,5.519354e-08,6.537290e-08,6.745488e-08,7.591606e-08,8.151661e-08,8.674536e-08,9.600454e-08,9.778068e-08,1.089404e-07,1.107321e-07,1.201438e-07,1.255141e-07,1.313134e-07,1.401758e-07,1.423767e-07,1.532683e-07,1.545609e-07,1.639304e-07,1.685359e-07,1.743133e-07,1.819921e-07,1.843761e-07,1.940864e-07,1.948472e-07,2.034191e-07,2.070421e-07,2.123560e-07,2.185386e-07,2.208853e-07,2.290004e-07,2.293164e-07,2.366996e-07,2.393695e-07,2.439837e-07,2.487021e-07,2.508576e-07,2.573285e-07,2.634057e-07,2.652690e-07,2.691000e-07,2.725490e-07,2.744234e-07,2.791966e-07,2.793885e-07,2.840085e-07,2.852421e-07,2.882969e-07,2.907166e-07,2.922676e-07,2.956517e-07,2.959342e-07,2.993103e-07,3.000789e-07,3.024094e-07,3.040288e-07,3.052446e-07,3.075315e-07,3.078288e-07,3.101743e-07,3.106158e-07,3.122933e-07,3.133096e-07,3.141975e-07,3.156392e-07,3.158980e-07,3.174058e-07,3.176298e-07,3.187312e-07,3.193056e-07,3.198842e-07,3.206889e-07,3.208744e-07,3.217109e-07,3.218014e-07,3.224026e-07,3.226632e-07,3.229577e-07,3.232932e-07,3.233843e-07,3.236899e-07,3.237094e-07,3.238819e-07,3.239285e-07,3.239672e-07,3.239662e-07,3.239523e-07,3.238436e-07,3.238374e-07,3.236470e-07,3.235558e-07,3.233682e-07,3.231344e-07,3.230125e-07,3.225852e-07,3.220910e-07,3.219195e-07,3.215346e-07,3.211479e-07,3.209204e-07,3.202802e-07,3.202525e-07,3.195348e-07,3.193255e-07,3.187712e-07,3.182924e-07,3.179650e-07,3.171888e-07,3.171198e-07,3.162386e-07,3.160221e-07,3.153244e-07,3.147992e-07,3.143801e-07,3.135264e-07,3.134084e-07,3.124118e-07,3.122097e-07,3.113927e-07,3.108546e-07,3.103533e-07,3.094662e-07,3.092958e-07,3.082222e-07,3.080491e-07,3.071344e-07,3.066078e-07,3.060342e-07,3.051462e-07,3.049233e-07,3.038032e-07,3.036682e-07,3.026754e-07,3.021772e-07,3.015414e-07,3.006762e-07,3.004025e-07,2.992599e-07,2.991683e-07,2.981147e-07,2.976562e-07,2.969681e-07,2.961423e-07,2.958211e-07,2.946747e-07,2.946288e-07,2.935296e-07,2.931179e-07,2.923868e-07,2.916115e-07,2.912471e-07,2.901112e-07,2.886187e-07,2.871354e-07,2.856626e-07,2.842015e-07,2.827531e-07,2.813185e-07,2.798984e-07,2.784937e-07,2.771050e-07,2.757330e-07,2.743781e-07,2.730408e-07,2.717215e-07,2.704206e-07,2.691383e-07,2.678749e-07,2.666306e-07,2.654055e-07,2.641997e-07,2.630133e-07,2.618463e-07,2.606988e-07,2.595706e-07,2.584619e-07
0.000000e+00,1.648346e-12,1.213289e-11,2.120913e-10,1.287846e-09,2.853923e-09,1.475652e-08,1.562459e-08,5.321745e-08,7.086944e-08,1.360812e-07,2.174939e-07,2.884378e-07,5.129148e-07,5.370057e-07,9.105162e-07,1.022092e-06,1.439162e-06,1.814154e-06,2.152596e-06,2.953160e-06,3.075580e-06,4.222547e-06,4.479134e-06,5.594333e-06,6.393000e-06,7.179172e-06,8.660400e-06,8.956800e-06,1.090305e-05,1.122844e-05,1.299318e-05,1.404056e-05,1.520357e-05,1.704357e-05,1.751212e-05,1.989824e-05,2.018885e-05,2.234257e-05,2.343178e-05,2.482688e-05,2.673108e-05,2.733398e-05,2.984776e-05,3.004870e-05,3.235333e-05,3.335016e-05,3.483707e-05,3.660494e-05,3.728678e-05,3.969164e-05,3.978676e-05,4.204233e-05,4.287374e-05,4.433092e-05,4.584829e-05,4.655085e-05,4.869685e-05,5.076483e-05,5.140958e-05,5.275174e-05,5.397983e-05,5.465552e-05,5.640375e-05,5.647490e-05,5.820935e-05,5.867978e-05,5.985898e-05,6.080828e-05,6.142441e-05,6.279113e-05,6.290668e-05,6.430722e-05,6.463138e-05,6.562775e-05,6.633301e-05,6.687021e-05,6.790066e-05,6.803670e-05,6.912951e-05,6.933943e-05,7.015099e-05,7.065477e-05,7.110357e-05,7.185229e-05,7.198971e-05,7.281192e-05,7.293770e-05,7.357265e-05,7.391669e-05,7.427437e-05,7.479489e-05,7.491951e-05,7.551045e-05,7.557784e-05,7.604956e-05,7.627093e-05,7.653912e-05,7.687943e-05,7.698137e-05,7.737849e-05,7.740838e-05,7.773258e-05,7.786263e-05,7.804569e-05,7.824686e-05,7.831979e-05,7.855681e-05,7.856554e-05,7.875860e-05,7.882297e-05,7.892696e-05,7.902322e-05,7.906359e-05,7.917016e-05,7.924825e-05,7.926747e-05,7.929939e-05,7.931867e-05,7.932507e-05,7.932708e-05,7.932670e-05,7.930564e-05,7.929585e-05,7.926317e-05,7.922794e-05,7.920056e-05,7.912617e-05,7.911897e-05,7.901958e-05,7.899319e-05,7.890345e-05,7.883150e-05,7.877164e-05,7.864347e-05,7.862515e-05,7.846493e-05,7.843132e-05,7.829190e-05,7.819716e-05,7.810693e-05,7.794293e-05,7.791085e-05,7.770443e-05,7.767050e-05,7.748846e-05,7.738160e-05,7.726362e-05,7.707785e-05,7.703063e-05,7.679012e-05,7.676079e-05,7.654272e-05,7.643184e-05,7.628902e-05,7.609234e-05,7.602958e-05,7.576492e-05,7.574354e-05,7.549557e-05,7.538662e-05,7.522199e-05,7.502266e-05,7.494465e-05,7.466397e-05,7.465268e-05,7.438036e-05,7.427763e-05,7.409422e-05,7.389839e-05,7.380591e-05,7.351578e-05,7.313057e-05,7.274346e-05,7.235510e-05,7.196611e-05,7.157704e-05,7.118842e-05,7.080071e-05,7.041436e-05,7.002977e-05,6.964731e-05,6.926731e-05,6.889009e-05,6.851592e-05,6.814506e-05,6.777774e-05,6.741416e-05,6.705451e-05,6.669895e-05,6.634763e-05,6.600068e-05,6.565822e-05,6.532034e-05,6.498713e-05,6.465865e-05
0.000000e+00,5.016065e-13,3.733379e-12,6.669951e-11,4.121770e-10,9.212995e-10,4.853407e-09,5.142238e-09,1.774207e-08,2.368720e-08,4.568992e-08,7.314862e-08,9.702375e-08,1.721266e-07,1.801444e-07,3.034294e-07,3.399040e-07,4.749640e-07,5.948631e-07,7.019933e-07,9.519325e-07,9.897714e-07,1.340075e-06,1.417488e-06,1.750317e-06,1.985285e-06,2.213973e-06,2.638152e-06,2.722013e-06,3.264512e-06,3.353854e-06,3.831818e-06,4.110312e-06,4.415124e-06,4.888008e-06,5.006621e-06,5.599458e-06,5.670396e-06,6.187640e-06,6.443594e-06,6.765947e-06,7.196064e-06,7.329884e-06,7.875662e-06,7.918442e-06,8.400179e-06,8.603465e-06,8.900998e-06,9.245879e-06,9.376318e-06,9.824928e-06,9.842305e-06,1.024615e-05,1.039103e-05,1.063977e-05,1.089175e-05,1.100598e-05,1.134531e-05,1.165854e-05,1.175341e-05,1.194665e-05,1.211838e-05,1.221079e-05,1.244296e-05,1.245219e-05,1.267215e-05,1.273008e-05,1.287200e-05,1.298280e-05,1.305304e-05,1.320411e-05,1.321658e-05,1.336388e-05,1.339694e-05,1.349613e-05,1.356405e-05,1.361448e-05,1.370800e-05,1.372002e-05,1.381376e-05,1.383117e-05,1.389664e-05,1.393574e-05,1.396954e-05,1.402367e-05,1.403329e-05,1.408862e-05,1.409674e-05,1.413624e-05,1.415654e-05,1.417678e-05,1.420451e-05,1.421082e-05,1.423892e-05,1.424191e-05,1.426155e-05,1.426989e-05,1.427917e-05,1.428946e-05,1.429219e-05,1.430099e-05,1.430153e-05,1.430593e-05,1.430689e-05,1.430730e-05,1.430626e-05,1.430542e-05,1.430054e-05,1.430029e-05,1.429291e-05,1.428953e-05,1.428275e-05,1.427451e-05,1.427028e-05,1.425568e-05,1.423913e-05,1.423345e-05,1.422080e-05,1.420819e-05,1.420082e-05,1.418022e-05,1.417933e-05,1.415648e-05,1.414985e-05,1.413236e-05,1.411733e-05,1.410710e-05,1.408293e-05,1.408078e-05,1.405352e-05,1.404684e-05,1.402539e-05,1.400928e-05,1.399647e-05,1.397043e-05,1.396684e-05,1.393657e-05,1.393044e-05,1.390572e-05,1.388947e-05,1.387436e-05,1.384766e-05,1.384254e-05,1.381032e-05,1.380513e-05,1.377774e-05,1.376199e-05,1.374485e-05,1.371835e-05,1.371170e-05,1.367832e-05,1.367430e-05,1.364475e-05,1.362993e-05,1.361104e-05,1.358533e-05,1.357720e-05,1.354327e-05,1.354055e-05,1.350929e-05,1.349568e-05,1.347527e-05,1.345077e-05,1.344124e-05,1.340723e-05,1.340587e-05,1.337326e-05,1.336105e-05,1.333935e-05,1.331634e-05,1.330552e-05,1.327179e-05,1.322744e-05,1.318332e-05,1.313947e-05,1.309592e-05,1.305269e-05,1.300982e-05,1.296732e-05,1.292521e-05,1.288351e-05,1.284224e-05,1.280141e-05,1.276104e-05,1.272113e-05,1.268171e-05,1.264277e-05,1.260433e-05,1.256639e-05,1.252895e-05,1.249203e-05,1.245563e-05,1.241974e-05,1.238438e-05,1.234954e-05,1.231522e-05
0.000000e+00,4.295776e-11,1.222764e-10,5.239149e-10,1.311996e-09,1.979796e-09,4.745214e-09,4.895690e-09,9.732864e-09,1.149422e-08,1.695275e-08,2.262239e-08,2.702059e-08,3.917533e-08,4.037318e-08,5.732879e-08,6.194709e-08,7.792640e-08,9.092290e-08,1.017696e-07,1.248133e-07,1.280681e-07,1.559110e-07,1.615927e-07,1.845175e-07,1.994942e-07,2.133053e-07,2.373167e-07,2.418549e-07,2.698591e-07,2.742729e-07,2.970877e-07,3.098293e-07,3.233678e-07,3.436221e-07,3.485722e-07,3.726127e-07,3.754163e-07,3.954336e-07,4.050806e-07,4.170077e-07,4.325667e-07,4.373306e-07,4.564168e-07,4.578911e-07,4.742955e-07,4.811175e-07,4.910066e-07,5.023422e-07,5.065979e-07,5.211223e-07,5.216819e-07,5.346357e-07,5.392640e-07,5.471953e-07,5.552200e-07,5.588580e-07,5.696800e-07,5.797155e-07,5.827693e-07,5.890161e-07,5.946057e-07,5.976310e-07,6.052997e-07,6.056070e-07,6.129878e-07,6.149535e-07,6.198145e-07,6.236605e-07,6.261252e-07,6.315063e-07,6.319559e-07,6.373395e-07,6.385686e-07,6.423072e-07,6.449182e-07,6.468876e-07,6.506193e-07,6.511075e-07,6.549913e-07,6.557297e-07,6.585615e-07,6.603010e-07,6.618388e-07,6.643796e-07,6.648426e-07,6.675911e-07,6.680082e-07,6.701007e-07,6.712251e-07,6.723869e-07,6.740646e-07,6.744639e-07,6.763449e-07,6.765581e-07,6.780423e-07,6.787339e-07,6.795673e-07,6.806177e-07,6.809308e-07,6.821424e-07,6.822331e-07,6.832115e-07,6.836012e-07,6.841466e-07,6.847414e-07,6.849557e-07,6.856461e-07,6.856714e-07,6.862250e-07,6.864073e-07,6.866988e-07,6.869641e-07,6.870736e-07,6.873552e-07,6.875489e-07,6.875931e-07,6.876597e-07,6.876893e-07,6.876924e-07,6.876544e-07,6.876514e-07,6.875408e-07,6.874980e-07,6.873647e-07,6.872290e-07,6.871266e-07,6.868560e-07,6.868302e-07,6.864786e-07,6.863864e-07,6.860751e-07,6.858275e-07,6.856225e-07,6.851859e-07,6.851237e-07,6.845812e-07,6.844677e-07,6.839976e-07,6.836787e-07,6.833753e-07,6.828242e-07,6.827164e-07,6.820231e-07,6.819091e-07,6.812974e-07,6.809382e-07,6.805413e-07,6.799157e-07,6.797566e-07,6.789449e-07,6.788458e-07,6.781081e-07,6.777323e-07,6.772475e-07,6.765786e-07,6.763648e-07,6.754614e-07,6.753882e-07,6.745385e-07,6.741643e-07,6.735976e-07,6.729096e-07,6.726398e-07,6.716662e-07,6.716270e-07,6.706782e-07,6.703191e-07,6.696766e-07,6.689883e-07,6.686625e-07,6.676369e-07,6.662672e-07,6.648810e-07,6.634804e-07,6.620671e-07,6.606428e-07,6.592091e-07,6.577675e-07,6.563195e-07,6.548664e-07,6.534094e-07,6.519497e-07,6.504884e-07,6.490266e-07,6.475653e-07,6.461054e-07,6.446477e-07,6.431931e-07,6.417423e-07,6.402961e-07,6.388552e-07,6.374201e-07,6.359915e-07,6.345700e-07,6.331560e-07
0.000000e+00,2.391672e-15,2.079671e-14,5.108787e-13,4.198230e-12,1.094747e-11,8.512684e-11,9.160643e-11,4.583649e-10,6.751740e-10,1.658216e-09,3.208250e-09,4.800004e-09,1.104550e-08,1.181184e-08,2.569512e-08,3.049728e-08,5.075028e-08,7.175018e-08,9.275501e-08,1.495517e-07,1.590767e-07,2.586929e-07,2.835097e-07,4.020836e-07,4.977961e-07,6.009579e-07,8.200138e-07,8.677998e-07,1.215253e-06,1.279148e-06,1.655404e-06,1.902843e-06,2.199057e-06,2.714527e-06,2.855061e-06,3.629771e-06,3.730911e-06,4.526688e-06,4.960275e-06,5.546264e-06,6.401685e-06,6.685900e-06,7.940102e-06,8.045161e-06,9.300756e-06,9.872566e-06,1.075749e-05,1.185903e-05,1.229809e-05,1.390899e-05,1.397468e-05,1.557566e-05,1.618644e-05,1.728312e-05,1.845978e-05,1.901627e-05,2.076031e-05,2.250101e-05,2.305511e-05,2.422496e-05,2.531375e-05,2.591982e-05,2.750913e-05,2.757441e-05,2.917886e-05,2.961793e-05,3.072463e-05,3.162089e-05,3.220455e-05,3.350288e-05,3.361279e-05,3.494483e-05,3.525279e-05,3.619738e-05,3.686324e-05,3.736829e-05,3.833027e-05,3.845647e-05,3.946176e-05,3.965291e-05,4.038484e-05,4.083280e-05,4.122713e-05,4.187366e-05,4.199063e-05,4.267786e-05,4.278094e-05,4.329178e-05,4.356135e-05,4.383560e-05,4.422253e-05,4.431282e-05,4.472707e-05,4.477272e-05,4.508206e-05,4.522045e-05,4.538154e-05,4.557433e-05,4.562926e-05,4.582890e-05,4.584290e-05,4.598402e-05,4.603440e-05,4.609811e-05,4.615672e-05,4.617449e-05,4.621631e-05,4.621731e-05,4.622659e-05,4.622311e-05,4.620814e-05,4.618055e-05,4.616363e-05,4.609552e-05,4.600613e-05,4.597339e-05,4.589759e-05,4.581899e-05,4.577187e-05,4.563671e-05,4.563079e-05,4.547603e-05,4.543045e-05,4.530910e-05,4.520370e-05,4.513142e-05,4.495955e-05,4.494425e-05,4.474878e-05,4.470075e-05,4.454605e-05,4.442972e-05,4.433703e-05,4.414859e-05,4.412260e-05,4.390354e-05,4.385924e-05,4.368058e-05,4.356332e-05,4.345437e-05,4.326227e-05,4.322550e-05,4.299450e-05,4.295737e-05,4.276184e-05,4.264972e-05,4.252798e-05,4.234028e-05,4.229329e-05,4.205814e-05,4.202991e-05,4.182284e-05,4.171934e-05,4.158769e-05,4.140922e-05,4.135293e-05,4.111881e-05,4.110011e-05,4.088553e-05,4.079249e-05,4.065328e-05,4.048681e-05,4.042225e-05,4.019257e-05,4.018341e-05,3.996439e-05,3.988263e-05,3.973783e-05,3.958475e-05,3.951300e-05,3.929000e-05,3.899859e-05,3.871070e-05,3.842647e-05,3.814604e-05,3.786950e-05,3.759696e-05,3.732847e-05,3.706409e-05,3.680387e-05,3.654784e-05,3.629602e-05,3.604842e-05,3.580505e-05,3.556589e-05,3.533094e-05,3.510019e-05,3.487360e-05,3.465115e-05,3.443281e-05,3.421854e-05,3.400830e-05,3.380206e-05,3.359977e-05,3.340137e-05
0.000000e+00,3.165183e-11,7.375792e-11,2.582528e-10,5.921931e-10,8.663248e-10,1.973827e-09,2.033452e-09,3.936601e-09,4.626084e-09,6.758612e-09,8.971570e-09,1.068879e-08,1.544231e-08,1.591160e-08,2.257486e-08,2.439729e-08,3.073288e-08,3.592587e-08,4.029220e-08,4.968162e-08,5.102140e-08,6.263329e-08,6.503739e-08,7.486233e-08,8.139147e-08,8.749177e-08,9.828262e-08,1.003490e-07,1.132938e-07,1.153650e-07,1.262098e-07,1.323699e-07,1.389992e-07,1.490840e-07,1.515800e-07,1.638846e-07,1.653399e-07,1.758580e-07,1.810099e-07,1.874571e-07,1.960015e-07,1.986490e-07,2.094102e-07,2.102520e-07,2.197251e-07,2.237239e-07,2.295846e-07,2.363992e-07,2.389850e-07,2.479273e-07,2.482755e-07,2.564162e-07,2.593625e-07,2.644589e-07,2.696781e-07,2.720653e-07,2.792466e-07,2.860156e-07,2.880968e-07,2.923857e-07,2.962598e-07,2.983711e-07,3.037688e-07,3.039864e-07,3.092465e-07,3.106577e-07,3.141659e-07,3.169600e-07,3.187590e-07,3.227087e-07,3.230401e-07,3.270232e-07,3.279363e-07,3.307220e-07,3.326741e-07,3.341497e-07,3.369521e-07,3.373192e-07,3.402429e-07,3.407992e-07,3.429329e-07,3.442431e-07,3.454007e-07,3.473102e-07,3.476576e-07,3.497143e-07,3.500255e-07,3.515811e-07,3.524127e-07,3.532680e-07,3.544944e-07,3.547845e-07,3.561397e-07,3.562919e-07,3.573423e-07,3.578252e-07,3.584006e-07,3.591134e-07,3.593227e-07,3.601162e-07,3.601743e-07,3.607882e-07,3.610247e-07,3.613459e-07,3.616803e-07,3.617958e-07,3.621443e-07,3.621562e-07,3.623973e-07,3.624662e-07,3.625607e-07,3.626234e-07,3.626399e-07,3.626401e-07,3.625663e-07,3.625278e-07,3.624232e-07,3.622973e-07,3.622153e-07,3.619586e-07,3.619468e-07,3.616218e-07,3.615212e-07,3.612441e-07,3.609938e-07,3.608175e-07,3.603847e-07,3.603454e-07,3.598310e-07,3.597016e-07,3.592775e-07,3.589516e-07,3.586879e-07,3.581414e-07,3.580650e-07,3.574114e-07,3.572772e-07,3.567297e-07,3.563649e-07,3.560222e-07,3.554097e-07,3.552913e-07,3.545389e-07,3.544167e-07,3.537673e-07,3.533906e-07,3.529783e-07,3.523357e-07,3.521736e-07,3.513550e-07,3.512559e-07,3.505241e-07,3.501551e-07,3.496825e-07,3.490365e-07,3.488315e-07,3.479725e-07,3.479035e-07,3.471068e-07,3.467589e-07,3.462356e-07,3.456055e-07,3.453600e-07,3.444810e-07,3.444458e-07,3.435997e-07,3.432820e-07,3.427169e-07,3.421163e-07,3.418337e-07,3.409507e-07,3.397868e-07,3.386264e-07,3.374710e-07,3.363219e-07,3.351803e-07,3.340474e-07,3.329243e-07,3.318117e-07,3.307106e-07,3.296217e-07,3.285457e-07,3.274831e-07,3.264345e-07,3.254003e-07,3.243809e-07,3.233767e-07,3.223879e-07,3.214148e-07,3.204576e-07,3.195164e-07,3.185914e-07,3.176827e-07,3.167903e-07,3.159142e-07
0.000000e+00,1.962044e-14,1.745707e-13,4.502037e-12,3.871300e-11,1.035402e-10,8.608423e-10,9.289334e-10,4.978017e-09,7.473278e-09,1.926477e-08,3.878825e-08,5.958017e-08,1.455397e-07,1.564391e-07,3.626170e-07,4.369013e-07,7.620426e-07,1.114723e-06,1.479667e-06,2.512928e-06,2.691718e-06,4.635480e-06,5.137726e-06,7.617585e-06,9.702282e-06,1.201982e-05,1.714914e-05,1.830179e-05,2.700003e-05,2.865571e-05,3.872349e-05,4.562092e-05,5.414581e-05,6.963427e-05,7.399455e-05,9.903810e-05,1.024300e-04,1.300709e-04,1.458301e-04,1.678975e-04,2.016808e-04,2.133154e-04,2.670993e-04,2.717857e-04,3.299841e-04,3.578409e-04,4.026504e-04,4.613736e-04,4.857104e-04,5.796954e-04,5.836886e-04,6.850461e-04,7.258236e-04,8.021038e-04,8.885151e-04,9.311048e-04,1.072176e-03,1.225334e-03,1.276885e-03,1.390485e-03,1.502386e-03,1.567426e-03,1.748098e-03,1.755851e-03,1.955355e-03,2.013136e-03,2.165443e-03,2.296338e-03,2.385536e-03,2.596296e-03,2.614979e-03,2.853055e-03,2.911393e-03,3.098992e-03,3.239846e-03,3.351971e-03,3.579743e-03,3.611141e-03,3.875627e-03,3.929084e-03,4.144538e-03,4.285823e-03,4.416977e-03,4.647899e-03,4.692052e-03,4.968879e-03,5.013275e-03,5.246593e-03,5.379964e-03,5.524355e-03,5.746052e-03,5.801353e-03,6.076811e-03,6.109727e-03,6.349992e-03,6.469290e-03,6.620201e-03,6.823170e-03,6.886787e-03,7.149145e-03,7.169934e-03,7.406719e-03,7.508293e-03,7.658999e-03,7.837102e-03,7.905525e-03,8.145883e-03,8.155364e-03,8.379709e-03,8.462224e-03,8.606683e-03,8.756969e-03,8.826530e-03,9.039019e-03,9.243959e-03,9.307920e-03,9.441200e-03,9.563338e-03,9.630626e-03,9.805048e-03,9.812157e-03,9.985748e-03,1.003293e-02,1.015138e-02,1.024694e-02,1.030907e-02,1.044715e-02,1.045884e-02,1.060076e-02,1.063367e-02,1.073492e-02,1.080669e-02,1.086140e-02,1.096646e-02,1.098033e-02,1.109184e-02,1.111327e-02,1.119608e-02,1.124746e-02,1.129320e-02,1.136940e-02,1.138337e-02,1.146676e-02,1.147949e-02,1.154356e-02,1.157814e-02,1.161396e-02,1.166580e-02,1.167815e-02,1.173632e-02,1.174291e-02,1.178868e-02,1.180992e-02,1.183542e-02,1.186731e-02,1.187674e-02,1.191285e-02,1.191552e-02,1.194395e-02,1.195502e-02,1.197022e-02,1.198627e-02,1.199188e-02,1.200910e-02,1.200970e-02,1.202209e-02,1.202577e-02,1.203104e-02,1.203490e-02,1.203611e-02,1.203750e-02,1.203399e-02,1.202476e-02,1.201018e-02,1.199063e-02,1.196645e-02,1.193798e-02,1.190554e-02,1.186945e-02,1.182999e-02,1.178744e-02,1.174208e-02,1.169415e-02,1.164390e-02,1.159154e-02,1.153730e-02,1.148138e-02,1.142396e-02,1.136523e-02,1.130535e-02,1.124449e-02,1.118279e-02,1.112039e-02,1.105743e-02,1.099401e-02
0.000000e+00,4.190047e-11,9.773867e-11,3.434946e-10,7.919033e-10,1.162975e-09,2.685730e-09,2.768702e-09,5.464315e-09,6.461828e-09,9.609848e-09,1.296714e-08,1.562911e-08,2.322113e-08,2.398648e-08,3.510462e-08,3.821547e-08,4.920940e-08,5.838444e-08,6.618559e-08,8.316419e-08,8.560553e-08,1.069240e-07,1.113703e-07,1.296480e-07,1.418875e-07,1.533905e-07,1.739031e-07,1.778560e-07,2.028112e-07,2.068360e-07,2.280613e-07,2.402354e-07,2.534363e-07,2.737233e-07,2.787837e-07,3.039652e-07,3.069698e-07,3.288558e-07,3.396862e-07,3.533438e-07,3.716244e-07,3.773308e-07,4.007322e-07,4.025768e-07,4.234764e-07,4.323765e-07,4.455048e-07,4.608953e-07,4.667706e-07,4.872386e-07,4.880404e-07,5.068831e-07,5.137500e-07,5.256869e-07,5.379885e-07,5.436412e-07,5.607438e-07,5.769979e-07,5.820211e-07,5.924111e-07,6.018396e-07,6.069954e-07,6.202307e-07,6.207661e-07,6.337407e-07,6.372335e-07,6.459388e-07,6.528936e-07,6.573815e-07,6.672609e-07,6.680913e-07,6.780912e-07,6.803881e-07,6.874049e-07,6.923300e-07,6.960567e-07,7.031419e-07,7.040706e-07,7.114705e-07,7.128788e-07,7.182797e-07,7.215949e-07,7.245217e-07,7.293433e-07,7.302193e-07,7.353950e-07,7.361762e-07,7.400709e-07,7.421441e-07,7.442685e-07,7.472961e-07,7.480085e-07,7.513113e-07,7.516792e-07,7.541966e-07,7.553388e-07,7.566835e-07,7.583185e-07,7.587905e-07,7.605355e-07,7.606600e-07,7.619358e-07,7.624032e-07,7.630081e-07,7.635862e-07,7.637686e-07,7.642327e-07,7.642453e-07,7.644155e-07,7.644152e-07,7.643314e-07,7.641288e-07,7.639942e-07,7.634174e-07,7.626138e-07,7.623108e-07,7.615958e-07,7.608371e-07,7.603751e-07,7.590231e-07,7.589631e-07,7.573709e-07,7.568942e-07,7.556088e-07,7.544742e-07,7.536869e-07,7.517859e-07,7.516148e-07,7.494018e-07,7.488507e-07,7.470566e-07,7.456888e-07,7.445878e-07,7.423194e-07,7.420035e-07,7.393112e-07,7.387605e-07,7.365186e-07,7.350291e-07,7.336326e-07,7.311411e-07,7.306599e-07,7.276071e-07,7.271117e-07,7.244803e-07,7.229549e-07,7.212854e-07,7.186842e-07,7.180279e-07,7.147133e-07,7.143119e-07,7.113466e-07,7.098499e-07,7.079326e-07,7.053092e-07,7.044760e-07,7.009812e-07,7.007001e-07,6.974523e-07,6.960321e-07,6.938934e-07,6.913145e-07,6.903082e-07,6.867003e-07,6.865555e-07,6.830731e-07,6.817632e-07,6.794299e-07,6.769448e-07,6.757736e-07,6.721073e-07,6.672570e-07,6.623999e-07,6.575414e-07,6.526868e-07,6.478408e-07,6.430077e-07,6.381916e-07,6.333963e-07,6.286252e-07,6.238815e-07,6.191681e-07,6.144876e-07,6.098425e-07,6.052350e-07,6.006671e-07,5.961406e-07,5.916571e-07,5.872181e-07,5.828248e-07,5.784786e-07,5.741802e-07,5.699308e-07,5.657309e-07,5.615813e-07
0.000000e+00,3.995749e-11,1.108857e-10,4.653847e-10,1.160032e-09,1.750237e-09,4.208185e-09,4.342439e-09,8.676613e-09,1.026153e-08,1.518917e-08,2.032846e-08,2.432909e-08,3.545507e-08,3.655792e-08,5.232761e-08,5.668441e-08,7.201963e-08,8.484693e-08,9.583634e-08,1.201436e-07,1.236882e-07,1.551801e-07,1.618658e-07,1.897366e-07,2.087162e-07,2.267587e-07,2.593686e-07,2.657109e-07,3.061372e-07,3.127154e-07,3.476478e-07,3.678565e-07,3.899024e-07,4.240380e-07,4.325993e-07,4.754686e-07,4.806127e-07,5.182690e-07,5.370235e-07,5.607872e-07,5.927962e-07,6.028362e-07,6.442550e-07,6.475371e-07,6.849077e-07,7.009282e-07,7.246811e-07,7.527208e-07,7.634830e-07,8.012419e-07,8.027297e-07,8.379024e-07,8.508230e-07,8.734238e-07,8.969135e-07,9.077793e-07,9.409529e-07,9.729382e-07,9.829226e-07,1.003737e-06,1.022829e-06,1.033357e-06,1.060696e-06,1.061812e-06,1.089120e-06,1.096563e-06,1.115302e-06,1.130481e-06,1.140383e-06,1.162506e-06,1.164388e-06,1.187345e-06,1.192702e-06,1.209284e-06,1.221135e-06,1.230233e-06,1.247873e-06,1.250222e-06,1.269281e-06,1.272984e-06,1.287441e-06,1.296539e-06,1.304731e-06,1.318604e-06,1.321181e-06,1.336819e-06,1.339247e-06,1.351674e-06,1.358534e-06,1.365773e-06,1.376528e-06,1.379145e-06,1.391816e-06,1.393291e-06,1.403812e-06,1.408883e-06,1.415158e-06,1.423361e-06,1.425878e-06,1.435996e-06,1.436780e-06,1.445536e-06,1.449195e-06,1.454520e-06,1.460656e-06,1.462969e-06,1.470905e-06,1.471212e-06,1.478347e-06,1.480910e-06,1.485316e-06,1.489794e-06,1.491831e-06,1.497909e-06,1.503568e-06,1.505293e-06,1.508826e-06,1.511987e-06,1.513698e-06,1.518028e-06,1.518201e-06,1.522350e-06,1.523451e-06,1.526160e-06,1.528289e-06,1.529645e-06,1.532576e-06,1.532819e-06,1.535694e-06,1.536341e-06,1.538284e-06,1.539614e-06,1.540600e-06,1.542422e-06,1.542656e-06,1.544461e-06,1.544793e-06,1.546027e-06,1.546750e-06,1.547364e-06,1.548318e-06,1.548482e-06,1.549392e-06,1.549519e-06,1.550102e-06,1.550375e-06,1.550622e-06,1.550906e-06,1.550959e-06,1.551123e-06,1.551131e-06,1.551121e-06,1.551070e-06,1.550962e-06,1.550739e-06,1.550652e-06,1.550198e-06,1.550156e-06,1.549608e-06,1.549335e-06,1.548887e-06,1.548292e-06,1.548043e-06,1.547081e-06,1.547040e-06,1.546008e-06,1.545595e-06,1.544827e-06,1.543967e-06,1.543546e-06,1.542169e-06,1.540214e-06,1.538110e-06,1.535870e-06,1.533502e-06,1.531016e-06,1.528421e-06,1.525724e-06,1.522935e-06,1.520059e-06,1.517105e-06,1.514079e-06,1.510988e-06,1.507836e-06,1.504631e-06,1.501377e-06,1.498079e-06,1.494743e-06,1.491372e-06,1.487971e-06,1.484544e-06,1.481095e-06,1.477628e-06,1.474145e-06,1.470650e-06
0.000000e+00,8.277322e-11,3.143798e-10,1.869185e-09,5.481181e-09,8.780864e-09,2.345886e-08,2.428701e-08,5.183565e-08,6.219634e-08,9.508240e-08,1.302360e-07,1.580879e-07,2.372955e-07,2.452605e-07,3.605719e-07,3.927124e-07,5.059583e-07,6.002409e-07,6.804345e-07,8.558192e-07,8.811942e-07,1.105191e-06,1.152540e-06,1.349801e-06,1.484393e-06,1.612792e-06,1.846425e-06,1.892138e-06,2.185864e-06,2.234062e-06,2.491965e-06,2.642686e-06,2.808379e-06,3.067517e-06,3.132994e-06,3.463678e-06,3.503667e-06,3.798312e-06,3.946267e-06,4.134829e-06,4.390622e-06,4.471254e-06,4.805731e-06,4.832352e-06,5.136547e-06,5.267496e-06,5.462155e-06,5.692589e-06,5.781180e-06,6.092422e-06,6.104695e-06,6.394861e-06,6.501416e-06,6.687647e-06,6.880870e-06,6.970092e-06,7.241660e-06,7.501951e-06,7.582814e-06,7.750689e-06,7.903737e-06,7.987708e-06,8.204158e-06,8.212941e-06,8.426409e-06,8.484081e-06,8.628198e-06,8.743726e-06,8.818460e-06,8.983493e-06,8.997397e-06,9.165253e-06,9.203919e-06,9.322304e-06,9.405646e-06,9.468855e-06,9.589391e-06,9.605230e-06,9.731766e-06,9.755924e-06,9.848814e-06,9.906047e-06,9.956730e-06,1.004058e-05,1.005587e-05,1.014660e-05,1.016036e-05,1.022926e-05,1.026619e-05,1.030422e-05,1.035887e-05,1.037182e-05,1.043239e-05,1.043920e-05,1.048627e-05,1.050795e-05,1.053379e-05,1.056583e-05,1.057525e-05,1.061096e-05,1.061357e-05,1.064121e-05,1.065185e-05,1.066629e-05,1.068130e-05,1.068647e-05,1.070202e-05,1.070255e-05,1.071319e-05,1.071618e-05,1.072022e-05,1.072276e-05,1.072336e-05,1.072281e-05,1.071881e-05,1.071684e-05,1.071156e-05,1.070530e-05,1.070125e-05,1.068866e-05,1.068808e-05,1.067222e-05,1.066732e-05,1.065384e-05,1.064168e-05,1.063312e-05,1.061212e-05,1.061021e-05,1.058526e-05,1.057899e-05,1.055841e-05,1.054260e-05,1.052980e-05,1.050327e-05,1.049956e-05,1.046781e-05,1.046129e-05,1.043466e-05,1.041691e-05,1.040024e-05,1.037041e-05,1.036464e-05,1.032797e-05,1.032200e-05,1.029031e-05,1.027192e-05,1.025177e-05,1.022036e-05,1.021243e-05,1.017237e-05,1.016751e-05,1.013166e-05,1.011356e-05,1.009038e-05,1.005866e-05,1.004859e-05,1.000637e-05,1.000298e-05,9.963772e-06,9.946641e-06,9.920857e-06,9.889791e-06,9.877677e-06,9.834286e-06,9.832546e-06,9.790731e-06,9.775021e-06,9.747059e-06,9.717317e-06,9.703313e-06,9.659533e-06,9.601755e-06,9.544065e-06,9.486537e-06,9.429241e-06,9.372237e-06,9.315583e-06,9.259330e-06,9.203525e-06,9.148211e-06,9.093426e-06,9.039203e-06,8.985574e-06,8.932566e-06,8.880203e-06,8.828507e-06,8.777494e-06,8.727183e-06,8.677586e-06,8.628714e-06,8.580576e-06,8.533181e-06,8.486534e-06,8.440640e-06,8.395499e-06
0.000000e+00,1.802848e-11,8.298325e-11,6.404596e-10,2.161784e-09,3.659660e-09,1.084850e-08,1.127068e-08,2.595402e-08,3.173423e-08,5.080867e-08,7.222520e-08,8.982700e-08,1.423728e-07,1.478313e-07,2.296602e-07,2.532486e-07,3.383153e-07,4.107455e-07,4.729560e-07,6.092461e-07,6.288702e-07,7.997380e-07,8.351812e-07,9.798782e-07,1.075755e-06,1.165061e-06,1.322332e-06,1.352347e-06,1.539693e-06,1.569569e-06,1.725619e-06,1.814022e-06,1.909013e-06,2.053319e-06,2.089012e-06,2.264940e-06,2.285751e-06,2.436269e-06,2.510089e-06,2.602598e-06,2.725482e-06,2.763636e-06,2.919183e-06,2.931385e-06,3.069118e-06,3.127507e-06,3.213389e-06,3.313757e-06,3.352000e-06,3.484997e-06,3.490201e-06,3.612463e-06,3.657018e-06,3.734510e-06,3.814471e-06,3.851266e-06,3.962880e-06,4.069507e-06,4.102602e-06,4.171312e-06,4.234014e-06,4.268462e-06,4.357503e-06,4.361126e-06,4.449473e-06,4.473460e-06,4.533671e-06,4.582267e-06,4.613884e-06,4.684299e-06,4.690273e-06,4.762995e-06,4.779919e-06,4.832202e-06,4.869479e-06,4.898043e-06,4.953311e-06,4.960659e-06,5.020189e-06,5.031736e-06,5.076765e-06,5.105059e-06,5.130514e-06,5.173569e-06,5.181559e-06,5.230018e-06,5.237539e-06,5.276003e-06,5.297229e-06,5.319622e-06,5.352885e-06,5.360980e-06,5.400175e-06,5.404738e-06,5.437302e-06,5.453007e-06,5.472453e-06,5.497898e-06,5.505713e-06,5.537166e-06,5.539607e-06,5.566892e-06,5.578316e-06,5.594967e-06,5.614199e-06,5.621463e-06,5.646449e-06,5.647418e-06,5.669993e-06,5.678127e-06,5.692156e-06,5.706470e-06,5.713000e-06,5.732583e-06,5.750960e-06,5.756594e-06,5.768183e-06,5.778624e-06,5.784304e-06,5.798787e-06,5.799369e-06,5.813426e-06,5.817188e-06,5.826519e-06,5.833929e-06,5.838688e-06,5.849104e-06,5.849975e-06,5.860418e-06,5.862803e-06,5.870054e-06,5.875110e-06,5.878917e-06,5.886104e-06,5.887041e-06,5.894459e-06,5.895860e-06,5.901200e-06,5.904448e-06,5.907294e-06,5.911934e-06,5.912770e-06,5.917654e-06,5.918382e-06,5.921971e-06,5.923849e-06,5.925746e-06,5.928392e-06,5.929003e-06,5.931764e-06,5.932063e-06,5.934051e-06,5.934912e-06,5.935884e-06,5.936985e-06,5.937282e-06,5.938266e-06,5.938327e-06,5.938852e-06,5.938980e-06,5.939059e-06,5.938982e-06,5.938903e-06,5.938399e-06,5.938371e-06,5.937563e-06,5.937183e-06,5.936409e-06,5.935451e-06,5.934953e-06,5.933206e-06,5.930478e-06,5.927295e-06,5.923685e-06,5.919672e-06,5.915280e-06,5.910532e-06,5.905451e-06,5.900055e-06,5.894364e-06,5.888398e-06,5.882173e-06,5.875706e-06,5.869012e-06,5.862106e-06,5.855004e-06,5.847717e-06,5.840259e-06,5.832642e-06,5.824878e-06,5.816977e-06,5.808950e-06,5.800808e-06,5.792559e-06,5.784212e-06
0.000000e+00,9.992766e-12,2.292435e-11,7.842134e-11,1.766625e-10,2.560039e-10,5.686697e-10,5.852147e-10,1.101460e-09,1.283650e-09,1.833990e-09,2.387374e-09,2.806404e-09,3.928356e-09,4.036565e-09,5.535574e-09,5.935797e-09,7.305382e-09,8.411359e-09,9.335172e-09,1.131574e-08,1.159841e-08,1.405406e-08,1.456401e-08,1.665293e-08,1.804424e-08,1.934509e-08,2.164486e-08,2.208464e-08,2.483126e-08,2.526899e-08,2.755032e-08,2.883686e-08,3.021244e-08,3.228452e-08,3.279312e-08,3.527246e-08,3.556238e-08,3.763483e-08,3.863410e-08,3.986864e-08,4.147530e-08,4.196588e-08,4.392184e-08,4.407214e-08,4.573460e-08,4.641965e-08,4.740465e-08,4.852001e-08,4.893441e-08,5.032789e-08,5.038086e-08,5.159026e-08,5.201376e-08,5.272755e-08,5.343284e-08,5.374640e-08,5.465377e-08,5.545679e-08,5.569288e-08,5.616256e-08,5.656647e-08,5.677811e-08,5.729044e-08,5.731021e-08,5.776538e-08,5.787990e-08,5.814984e-08,5.834902e-08,5.846944e-08,5.871091e-08,5.872967e-08,5.893567e-08,5.897758e-08,5.909221e-08,5.915993e-08,5.920372e-08,5.926785e-08,5.927428e-08,5.930766e-08,5.931019e-08,5.930733e-08,5.929490e-08,5.927647e-08,5.922910e-08,5.921801e-08,5.913461e-08,5.911912e-08,5.902874e-08,5.897060e-08,5.890262e-08,5.878854e-08,5.875832e-08,5.859770e-08,5.857741e-08,5.842248e-08,5.834116e-08,5.823422e-08,5.808331e-08,5.803436e-08,5.782419e-08,5.780697e-08,5.760492e-08,5.751490e-08,5.737763e-08,5.720958e-08,5.714331e-08,5.690289e-08,5.689316e-08,5.665719e-08,5.656759e-08,5.640697e-08,5.623460e-08,5.615293e-08,5.589569e-08,5.563585e-08,5.555223e-08,5.537392e-08,5.520543e-08,5.511040e-08,5.485634e-08,5.484573e-08,5.458031e-08,5.450591e-08,5.431450e-08,5.415498e-08,5.404865e-08,5.380429e-08,5.378306e-08,5.351802e-08,5.345451e-08,5.325377e-08,5.310622e-08,5.299055e-08,5.275993e-08,5.272856e-08,5.246802e-08,5.241609e-08,5.220907e-08,5.207511e-08,5.195189e-08,5.173733e-08,5.169662e-08,5.144337e-08,5.140305e-08,5.119228e-08,5.107254e-08,5.094343e-08,5.074604e-08,5.069693e-08,5.045285e-08,5.042373e-08,5.021128e-08,5.010579e-08,4.997227e-08,4.979237e-08,4.973588e-08,4.950216e-08,4.948358e-08,4.927115e-08,4.917952e-08,4.904289e-08,4.888027e-08,4.881742e-08,4.859475e-08,4.858590e-08,4.837490e-08,4.829645e-08,4.815790e-08,4.801196e-08,4.794375e-08,4.773246e-08,4.745794e-08,4.718842e-08,4.692388e-08,4.666432e-08,4.640969e-08,4.615999e-08,4.591516e-08,4.567517e-08,4.543998e-08,4.520953e-08,4.498378e-08,4.476266e-08,4.454612e-08,4.433409e-08,4.412652e-08,4.392334e-08,4.372448e-08,4.352988e-08,4.333947e-08,4.315317e-08,4.297093e-08,4.279266e-08,4.261830e-08,4.244777e-08
0.000000e+00,1.682395e-12,1.115922e-11,1.594158e-10,8.192019e-10,1.668036e-09,7.086739e-09,7.448802e-09,2.152823e-08,2.754304e-08,4.818613e-08,7.193718e-08,9.152470e-08,1.494038e-07,1.553478e-07,2.431525e-07,2.681551e-07,3.581253e-07,4.354474e-07,5.030888e-07,6.573228e-07,6.803620e-07,8.915061e-07,9.378630e-07,1.136973e-06,1.277913e-06,1.415763e-06,1.673848e-06,1.725287e-06,2.061582e-06,2.117558e-06,2.419828e-06,2.598084e-06,2.794930e-06,3.103828e-06,3.181968e-06,3.576445e-06,3.624087e-06,3.974366e-06,4.149622e-06,4.372227e-06,4.672672e-06,4.766983e-06,5.156002e-06,5.186806e-06,5.537032e-06,5.686769e-06,5.908169e-06,6.168365e-06,6.267837e-06,6.614757e-06,6.628353e-06,6.947929e-06,7.064355e-06,7.266605e-06,7.474750e-06,7.570262e-06,7.858575e-06,8.131395e-06,8.215421e-06,8.388719e-06,8.545328e-06,8.630673e-06,8.848697e-06,8.857483e-06,9.069463e-06,9.126210e-06,9.266994e-06,9.378756e-06,9.450509e-06,9.607370e-06,9.620481e-06,9.777409e-06,9.813188e-06,9.921812e-06,9.997405e-06,1.005422e-05,1.016124e-05,1.017517e-05,1.028519e-05,1.030593e-05,1.038481e-05,1.043268e-05,1.047455e-05,1.054267e-05,1.055492e-05,1.062641e-05,1.063705e-05,1.068949e-05,1.071693e-05,1.074464e-05,1.078334e-05,1.079229e-05,1.083288e-05,1.083729e-05,1.086681e-05,1.087974e-05,1.089449e-05,1.091157e-05,1.091628e-05,1.093255e-05,1.093363e-05,1.094364e-05,1.094670e-05,1.094988e-05,1.095154e-05,1.095158e-05,1.094903e-05,1.094884e-05,1.094251e-05,1.093924e-05,1.093229e-05,1.092336e-05,1.091863e-05,1.090176e-05,1.088191e-05,1.087496e-05,1.085929e-05,1.084346e-05,1.083412e-05,1.080772e-05,1.080657e-05,1.077685e-05,1.076815e-05,1.074510e-05,1.072516e-05,1.071151e-05,1.067910e-05,1.067622e-05,1.063937e-05,1.063031e-05,1.060111e-05,1.057911e-05,1.056156e-05,1.052579e-05,1.052084e-05,1.047907e-05,1.047060e-05,1.043636e-05,1.041381e-05,1.039280e-05,1.035563e-05,1.034850e-05,1.030354e-05,1.029629e-05,1.025800e-05,1.023596e-05,1.021196e-05,1.017483e-05,1.016550e-05,1.011869e-05,1.011306e-05,1.007160e-05,1.005080e-05,1.002427e-05,9.988186e-06,9.976775e-06,9.929162e-06,9.925350e-06,9.881483e-06,9.862403e-06,9.833783e-06,9.799451e-06,9.786106e-06,9.738491e-06,9.736588e-06,9.690976e-06,9.673902e-06,9.643597e-06,9.611473e-06,9.596385e-06,9.549371e-06,9.487662e-06,9.426403e-06,9.365648e-06,9.305443e-06,9.245830e-06,9.186847e-06,9.128526e-06,9.070897e-06,9.013985e-06,8.957811e-06,8.902396e-06,8.847754e-06,8.793899e-06,8.740843e-06,8.688593e-06,8.637156e-06,8.586537e-06,8.536740e-06,8.487765e-06,8.439613e-06,8.392283e-06,8.345773e-06,8.300078e-06,8.255196e-06
0.000000e+00,8.273988e-12,5.387132e-11,7.431123e-10,3.714950e-09,7.464498e-09,3.083631e-08,3.238112e-08,9.190326e-08,1.171977e-07,2.040330e-07,3.044722e-07,3.879426e-07,6.384593e-07,6.645192e-07,1.056143e-06,1.169687e-06,1.583761e-06,1.944036e-06,2.260415e-06,2.978443e-06,3.084734e-06,4.040538e-06,4.245361e-06,5.103108e-06,5.689146e-06,6.246557e-06,7.252715e-06,7.448024e-06,8.688572e-06,8.889605e-06,9.952584e-06,1.056369e-05,1.122685e-05,1.224587e-05,1.249987e-05,1.376154e-05,1.391174e-05,1.500292e-05,1.554066e-05,1.621626e-05,1.711551e-05,1.739491e-05,1.853338e-05,1.862259e-05,1.962727e-05,2.005154e-05,2.067316e-05,2.139508e-05,2.166861e-05,2.261202e-05,2.264866e-05,2.350253e-05,2.381011e-05,2.433994e-05,2.487921e-05,2.512459e-05,2.585724e-05,2.653903e-05,2.674669e-05,2.717139e-05,2.755093e-05,2.775599e-05,2.827393e-05,2.829461e-05,2.878919e-05,2.892005e-05,2.924170e-05,2.949384e-05,2.965413e-05,2.999987e-05,3.002847e-05,3.036671e-05,3.044273e-05,3.067079e-05,3.082687e-05,3.094261e-05,3.115658e-05,3.118400e-05,3.139673e-05,3.143598e-05,3.158249e-05,3.166898e-05,3.174292e-05,3.185924e-05,3.187956e-05,3.199390e-05,3.201022e-05,3.208735e-05,3.212518e-05,3.216125e-05,3.220714e-05,3.221685e-05,3.225537e-05,3.225890e-05,3.227794e-05,3.228309e-05,3.228563e-05,3.228215e-05,3.227946e-05,3.226038e-05,3.225833e-05,3.222931e-05,3.221371e-05,3.218708e-05,3.215022e-05,3.213450e-05,3.207234e-05,3.206966e-05,3.200129e-05,3.197367e-05,3.192203e-05,3.186376e-05,3.183518e-05,3.174135e-05,3.164108e-05,3.160772e-05,3.153490e-05,3.146407e-05,3.142330e-05,3.131150e-05,3.130674e-05,3.118566e-05,3.115100e-05,3.106046e-05,3.098352e-05,3.093151e-05,3.080989e-05,3.079919e-05,3.066383e-05,3.063092e-05,3.052573e-05,3.044731e-05,3.038520e-05,3.025974e-05,3.024251e-05,3.009792e-05,3.006879e-05,2.995167e-05,2.987504e-05,2.980399e-05,2.967898e-05,2.965509e-05,2.950516e-05,2.948109e-05,2.935440e-05,2.928179e-05,2.920297e-05,2.908146e-05,2.905104e-05,2.889876e-05,2.888047e-05,2.874627e-05,2.867914e-05,2.859369e-05,2.847775e-05,2.844115e-05,2.828877e-05,2.827659e-05,2.813665e-05,2.807589e-05,2.798488e-05,2.787588e-05,2.783356e-05,2.768277e-05,2.767675e-05,2.753259e-05,2.747869e-05,2.738310e-05,2.728186e-05,2.723435e-05,2.708641e-05,2.689247e-05,2.670015e-05,2.650957e-05,2.632082e-05,2.613398e-05,2.594911e-05,2.576630e-05,2.558559e-05,2.540703e-05,2.523065e-05,2.505651e-05,2.488461e-05,2.471499e-05,2.454766e-05,2.438263e-05,2.421992e-05,2.405953e-05,2.390145e-05,2.374569e-05,2.359225e-05,2.344110e-05,2.329226e-05,2.314569e-05,2.300139e-05
0.000000e+00,3.154824e-12,7.213349e-12,2.461173e-11,5.549710e-11,8.056627e-11,1.806420e-10,1.859976e-10,3.562710e-10,4.178485e-10,6.086070e-10,8.075741e-10,9.629047e-10,1.397411e-09,1.440646e-09,2.059260e-09,2.229427e-09,2.821188e-09,3.304027e-09,3.707205e-09,4.563953e-09,4.685056e-09,5.723853e-09,5.936756e-09,6.800544e-09,7.369921e-09,7.899276e-09,8.830988e-09,9.008883e-09,1.012081e-08,1.029843e-08,1.122783e-08,1.175553e-08,1.232344e-08,1.318760e-08,1.340154e-08,1.445638e-08,1.458114e-08,1.548263e-08,1.592386e-08,1.647545e-08,1.720499e-08,1.743059e-08,1.834443e-08,1.841566e-08,1.921408e-08,1.954906e-08,2.003735e-08,2.060053e-08,2.081275e-08,2.153946e-08,2.156751e-08,2.221727e-08,2.244936e-08,2.284651e-08,2.324706e-08,2.342801e-08,2.396297e-08,2.445293e-08,2.460050e-08,2.489968e-08,2.516384e-08,2.530521e-08,2.565767e-08,2.567160e-08,2.600103e-08,2.608695e-08,2.629572e-08,2.645676e-08,2.655785e-08,2.677213e-08,2.678961e-08,2.699310e-08,2.703796e-08,2.717036e-08,2.725889e-08,2.732333e-08,2.743931e-08,2.745385e-08,2.756368e-08,2.758330e-08,2.765444e-08,2.769461e-08,2.772767e-08,2.777667e-08,2.778478e-08,2.782710e-08,2.783259e-08,2.785586e-08,2.786518e-08,2.787218e-08,2.787699e-08,2.787711e-08,2.787161e-08,2.787029e-08,2.785656e-08,2.784712e-08,2.783276e-08,2.780929e-08,2.780096e-08,2.776183e-08,2.775840e-08,2.771599e-08,2.769591e-08,2.766401e-08,2.762306e-08,2.760639e-08,2.754362e-08,2.754101e-08,2.747614e-08,2.745078e-08,2.740436e-08,2.735329e-08,2.732867e-08,2.724943e-08,2.716696e-08,2.713995e-08,2.708159e-08,2.702554e-08,2.699357e-08,2.690681e-08,2.690315e-08,2.681057e-08,2.678428e-08,2.671601e-08,2.665841e-08,2.661968e-08,2.652963e-08,2.652174e-08,2.642237e-08,2.639832e-08,2.632169e-08,2.626479e-08,2.621984e-08,2.612932e-08,2.611692e-08,2.601308e-08,2.599221e-08,2.590843e-08,2.585374e-08,2.580311e-08,2.571419e-08,2.569721e-08,2.559082e-08,2.557376e-08,2.548402e-08,2.543263e-08,2.537688e-08,2.529097e-08,2.526947e-08,2.516188e-08,2.514896e-08,2.505418e-08,2.500679e-08,2.494646e-08,2.486461e-08,2.483877e-08,2.473116e-08,2.472255e-08,2.462368e-08,2.458073e-08,2.451637e-08,2.443925e-08,2.440929e-08,2.430248e-08,2.429821e-08,2.419598e-08,2.415772e-08,2.408983e-08,2.401787e-08,2.398407e-08,2.387872e-08,2.374036e-08,2.360284e-08,2.346622e-08,2.333055e-08,2.319590e-08,2.306229e-08,2.292977e-08,2.279838e-08,2.266815e-08,2.253911e-08,2.241128e-08,2.228470e-08,2.215937e-08,2.203531e-08,2.191255e-08,2.179109e-08,2.167095e-08,2.155213e-08,2.143464e-08,2.131849e-08,2.120369e-08,2.109022e-08,2.097810e-08,2.086733e-08
0.000000e+00,2.238652e-11,5.200440e-11,1.813717e-10,4.147813e-10,6.059114e-10,1.374773e-09,1.416035e-09,2.726949e-09,3.199255e-09,4.652578e-09,6.150540e-09,7.307101e-09,1.048942e-08,1.080248e-08,1.523895e-08,1.645241e-08,2.068517e-08,2.418276e-08,2.715049e-08,3.362998e-08,3.456593e-08,4.279521e-08,4.452415e-08,5.167165e-08,5.648838e-08,6.103240e-08,6.916417e-08,7.073408e-08,8.065444e-08,8.225479e-08,9.068895e-08,9.551903e-08,1.007472e-07,1.087575e-07,1.107503e-07,1.206299e-07,1.218042e-07,1.303270e-07,1.345226e-07,1.397914e-07,1.468030e-07,1.489817e-07,1.578642e-07,1.585607e-07,1.664124e-07,1.697335e-07,1.746067e-07,1.802794e-07,1.824331e-07,1.898829e-07,1.901730e-07,1.969518e-07,1.994031e-07,2.036391e-07,2.079698e-07,2.099475e-07,2.158819e-07,2.214496e-07,2.231551e-07,2.266591e-07,2.298098e-07,2.315205e-07,2.358700e-07,2.360446e-07,2.402430e-07,2.413619e-07,2.441278e-07,2.463131e-07,2.477110e-07,2.507520e-07,2.510052e-07,2.540226e-07,2.547070e-07,2.567756e-07,2.582062e-07,2.592761e-07,2.612773e-07,2.615362e-07,2.635673e-07,2.639471e-07,2.653808e-07,2.662414e-07,2.669876e-07,2.681854e-07,2.683983e-07,2.696233e-07,2.698027e-07,2.706723e-07,2.711161e-07,2.715549e-07,2.721473e-07,2.722803e-07,2.728572e-07,2.729168e-07,2.732941e-07,2.734440e-07,2.735990e-07,2.737473e-07,2.737798e-07,2.738437e-07,2.738440e-07,2.737980e-07,2.737505e-07,2.736493e-07,2.734821e-07,2.734040e-07,2.730685e-07,2.730532e-07,2.726484e-07,2.724776e-07,2.721494e-07,2.717678e-07,2.715768e-07,2.709357e-07,2.702309e-07,2.699927e-07,2.694670e-07,2.689490e-07,2.686482e-07,2.678145e-07,2.677788e-07,2.668626e-07,2.665983e-07,2.659034e-07,2.653087e-07,2.649047e-07,2.639539e-07,2.638699e-07,2.628020e-07,2.625411e-07,2.617040e-07,2.610771e-07,2.605789e-07,2.595685e-07,2.594293e-07,2.582577e-07,2.580209e-07,2.570665e-07,2.564400e-07,2.558579e-07,2.548309e-07,2.546341e-07,2.533972e-07,2.531981e-07,2.521489e-07,2.515462e-07,2.508910e-07,2.498790e-07,2.496253e-07,2.483533e-07,2.482003e-07,2.470764e-07,2.465135e-07,2.457962e-07,2.448217e-07,2.445138e-07,2.432305e-07,2.431278e-07,2.419474e-07,2.414345e-07,2.406656e-07,2.397441e-07,2.393861e-07,2.381099e-07,2.380589e-07,2.368377e-07,2.363809e-07,2.355704e-07,2.347119e-07,2.343088e-07,2.330535e-07,2.314074e-07,2.297748e-07,2.281570e-07,2.265550e-07,2.249698e-07,2.234024e-07,2.218534e-07,2.203236e-07,2.188134e-07,2.173235e-07,2.158543e-07,2.144060e-07,2.129791e-07,2.115737e-07,2.101900e-07,2.088282e-07,2.074883e-07,2.061705e-07,2.048746e-07,2.036007e-07,2.023487e-07,2.011186e-07,1.999101e-07,1.987233e-07
0.000000e+00,2.310433e-14,1.978344e-13,4.705159e-12,3.754206e-11,9.632884e-11,7.186984e-10,7.721145e-10,3.711300e-09,5.408625e-09,1.293850e-08,2.452313e-08,3.621610e-08,8.106274e-08,8.649119e-08,1.832640e-07,2.162549e-07,3.537133e-07,4.942147e-07,6.332574e-07,1.003660e-06,1.065114e-06,1.698592e-06,1.854090e-06,2.586273e-06,3.165832e-06,3.780567e-06,5.056605e-06,5.330280e-06,7.277670e-06,7.628535e-06,9.656295e-06,1.095852e-05,1.248970e-05,1.509297e-05,1.579090e-05,1.956256e-05,2.004653e-05,2.379754e-05,2.580389e-05,2.847985e-05,3.232321e-05,3.358572e-05,3.908483e-05,3.954071e-05,4.494149e-05,4.737546e-05,5.111587e-05,5.573419e-05,5.756513e-05,6.424452e-05,6.451584e-05,7.110835e-05,7.361566e-05,7.811093e-05,8.292898e-05,8.520738e-05,9.235431e-05,9.951041e-05,1.017959e-04,1.066370e-04,1.111658e-04,1.136982e-04,1.203852e-04,1.206615e-04,1.274977e-04,1.293855e-04,1.341810e-04,1.381082e-04,1.406892e-04,1.465056e-04,1.470032e-04,1.531074e-04,1.545397e-04,1.589892e-04,1.621820e-04,1.646387e-04,1.694125e-04,1.700489e-04,1.752151e-04,1.762188e-04,1.801346e-04,1.825951e-04,1.848070e-04,1.885413e-04,1.892330e-04,1.934153e-04,1.940621e-04,1.973574e-04,1.991657e-04,2.010642e-04,2.038638e-04,2.045410e-04,2.077943e-04,2.081700e-04,2.108307e-04,2.120999e-04,2.136574e-04,2.156700e-04,2.162819e-04,2.187117e-04,2.188979e-04,2.209547e-04,2.218013e-04,2.230186e-04,2.243980e-04,2.249111e-04,2.266401e-04,2.267059e-04,2.282129e-04,2.287424e-04,2.296371e-04,2.305243e-04,2.309198e-04,2.320680e-04,2.330886e-04,2.333894e-04,2.339882e-04,2.345034e-04,2.347731e-04,2.354244e-04,2.354495e-04,2.360231e-04,2.361661e-04,2.364998e-04,2.367414e-04,2.368847e-04,2.371624e-04,2.371832e-04,2.374002e-04,2.374407e-04,2.375404e-04,2.375871e-04,2.376083e-04,2.376117e-04,2.376082e-04,2.375443e-04,2.375241e-04,2.374203e-04,2.373334e-04,2.372400e-04,2.370477e-04,2.370071e-04,2.367247e-04,2.366751e-04,2.363961e-04,2.362229e-04,2.360243e-04,2.356978e-04,2.356123e-04,2.351627e-04,2.351063e-04,2.346781e-04,2.344545e-04,2.341610e-04,2.337478e-04,2.336138e-04,2.330386e-04,2.329914e-04,2.324375e-04,2.321903e-04,2.318125e-04,2.313488e-04,2.311655e-04,2.304983e-04,2.304712e-04,2.298126e-04,2.295615e-04,2.291099e-04,2.286232e-04,2.283918e-04,2.276596e-04,2.266740e-04,2.256692e-04,2.246479e-04,2.236126e-04,2.225657e-04,2.215092e-04,2.204452e-04,2.193755e-04,2.183017e-04,2.172254e-04,2.161482e-04,2.150712e-04,2.139957e-04,2.129229e-04,2.118538e-04,2.107892e-04,2.097301e-04,2.086773e-04,2.076314e-04,2.065932e-04,2.055632e-04,2.045419e-04,2.035299e-04,2.025275e-04
0.000000e+00,5.613567e-11,1.498112e-10,6.049833e-10,1.486706e-09,2.236011e-09,5.391620e-09,5.565964e-09,1.131294e-08,1.347145e-08,2.036720e-08,2.783352e-08,3.381744e-08,5.109170e-08,5.284421e-08,7.835364e-08,8.547422e-08,1.104559e-07,1.310392e-07,1.483515e-07,1.855321e-07,1.908330e-07,2.367944e-07,2.463256e-07,2.853919e-07,3.114908e-07,3.360012e-07,3.797097e-07,3.881364e-07,4.413909e-07,4.499908e-07,4.954023e-07,5.214976e-07,5.498360e-07,5.934759e-07,6.043788e-07,6.587385e-07,6.652363e-07,7.126452e-07,7.361565e-07,7.658539e-07,8.056902e-07,8.181461e-07,8.693313e-07,8.733732e-07,9.192466e-07,9.388260e-07,9.677567e-07,1.001751e-06,1.014752e-06,1.060147e-06,1.061929e-06,1.103879e-06,1.119207e-06,1.145904e-06,1.173492e-06,1.186196e-06,1.224743e-06,1.261547e-06,1.272958e-06,1.296620e-06,1.318168e-06,1.329983e-06,1.360429e-06,1.361665e-06,1.391699e-06,1.399819e-06,1.420126e-06,1.436427e-06,1.446986e-06,1.470354e-06,1.472326e-06,1.496192e-06,1.501706e-06,1.518633e-06,1.530595e-06,1.539696e-06,1.557132e-06,1.559432e-06,1.577889e-06,1.581431e-06,1.595115e-06,1.603602e-06,1.611158e-06,1.623756e-06,1.626066e-06,1.639885e-06,1.641998e-06,1.652659e-06,1.658432e-06,1.664432e-06,1.673159e-06,1.675248e-06,1.685146e-06,1.686275e-06,1.694169e-06,1.697871e-06,1.702354e-06,1.708038e-06,1.709739e-06,1.716361e-06,1.716859e-06,1.722254e-06,1.724415e-06,1.727452e-06,1.730783e-06,1.731988e-06,1.735893e-06,1.736036e-06,1.739197e-06,1.740245e-06,1.741929e-06,1.743474e-06,1.744117e-06,1.745788e-06,1.746967e-06,1.747245e-06,1.747680e-06,1.747902e-06,1.747949e-06,1.747812e-06,1.747798e-06,1.747248e-06,1.747026e-06,1.746321e-06,1.745592e-06,1.745036e-06,1.743554e-06,1.743412e-06,1.741468e-06,1.740956e-06,1.739222e-06,1.737838e-06,1.736689e-06,1.734237e-06,1.733887e-06,1.730831e-06,1.730191e-06,1.727536e-06,1.725732e-06,1.724015e-06,1.720893e-06,1.720282e-06,1.716350e-06,1.715704e-06,1.712232e-06,1.710192e-06,1.707939e-06,1.704386e-06,1.703482e-06,1.698873e-06,1.698310e-06,1.694121e-06,1.691987e-06,1.689236e-06,1.685441e-06,1.684228e-06,1.679105e-06,1.678691e-06,1.673877e-06,1.671758e-06,1.668551e-06,1.664659e-06,1.663134e-06,1.657635e-06,1.657414e-06,1.652061e-06,1.650037e-06,1.646417e-06,1.642543e-06,1.640711e-06,1.634948e-06,1.627265e-06,1.619506e-06,1.611684e-06,1.603808e-06,1.595890e-06,1.587938e-06,1.579963e-06,1.571972e-06,1.563974e-06,1.555975e-06,1.547983e-06,1.540003e-06,1.532042e-06,1.524105e-06,1.516197e-06,1.508323e-06,1.500487e-06,1.492693e-06,1.484945e-06,1.477246e-06,1.469599e-06,1.462008e-06,1.454474e-06,1.447001e-06
0.000000e+00,2.236441e-12,1.524290e-11,2.292459e-10,1.227924e-09,2.553014e-09,1.139754e-08,1.200297e-08,3.635689e-08,4.713099e-08,8.540591e-08,1.315924e-07,1.712264e-07,2.955439e-07,3.088629e-07,5.153694e-07,5.769184e-07,8.049288e-07,1.005489e-06,1.181804e-06,1.579294e-06,1.637654e-06,2.155805e-06,2.265265e-06,2.717905e-06,3.022193e-06,3.308231e-06,3.817107e-06,3.914879e-06,4.529195e-06,4.627743e-06,5.144727e-06,5.439090e-06,5.756405e-06,6.240103e-06,6.359988e-06,6.951789e-06,7.021855e-06,7.528556e-06,7.776825e-06,8.087449e-06,8.498742e-06,8.626038e-06,9.142320e-06,9.182609e-06,9.634730e-06,9.824744e-06,1.010215e-05,1.042281e-05,1.054389e-05,1.095963e-05,1.097572e-05,1.134940e-05,1.148341e-05,1.171351e-05,1.194674e-05,1.205254e-05,1.236723e-05,1.265850e-05,1.274693e-05,1.292738e-05,1.308821e-05,1.317495e-05,1.339361e-05,1.340233e-05,1.361066e-05,1.366574e-05,1.380110e-05,1.390724e-05,1.397476e-05,1.412065e-05,1.413274e-05,1.427611e-05,1.430846e-05,1.440587e-05,1.447294e-05,1.452296e-05,1.461625e-05,1.462830e-05,1.472272e-05,1.474037e-05,1.480703e-05,1.484711e-05,1.488195e-05,1.493813e-05,1.494816e-05,1.500632e-05,1.501492e-05,1.505702e-05,1.507887e-05,1.510080e-05,1.513118e-05,1.513817e-05,1.516958e-05,1.517297e-05,1.519548e-05,1.520524e-05,1.521627e-05,1.522888e-05,1.523232e-05,1.524396e-05,1.524471e-05,1.525150e-05,1.525344e-05,1.525525e-05,1.525574e-05,1.525546e-05,1.525239e-05,1.525220e-05,1.524627e-05,1.524336e-05,1.523731e-05,1.522970e-05,1.522571e-05,1.521165e-05,1.519531e-05,1.518962e-05,1.517684e-05,1.516397e-05,1.515638e-05,1.513501e-05,1.513409e-05,1.511008e-05,1.510307e-05,1.508448e-05,1.506840e-05,1.505739e-05,1.503125e-05,1.502893e-05,1.499918e-05,1.499186e-05,1.496824e-05,1.495043e-05,1.493620e-05,1.490715e-05,1.490314e-05,1.486912e-05,1.486221e-05,1.483423e-05,1.481576e-05,1.479853e-05,1.476795e-05,1.476207e-05,1.472493e-05,1.471893e-05,1.468715e-05,1.466881e-05,1.464880e-05,1.461772e-05,1.460990e-05,1.457053e-05,1.456577e-05,1.453071e-05,1.451305e-05,1.449048e-05,1.445967e-05,1.444990e-05,1.440899e-05,1.440571e-05,1.436780e-05,1.435124e-05,1.432634e-05,1.429635e-05,1.428466e-05,1.424279e-05,1.424111e-05,1.420074e-05,1.418557e-05,1.415856e-05,1.412981e-05,1.411626e-05,1.407387e-05,1.401781e-05,1.396168e-05,1.390552e-05,1.384938e-05,1.379329e-05,1.373729e-05,1.368143e-05,1.362571e-05,1.357019e-05,1.351488e-05,1.345981e-05,1.340501e-05,1.335049e-05,1.329628e-05,1.324240e-05,1.318886e-05,1.313567e-05,1.308287e-05,1.303044e-05,1.297842e-05,1.292682e-05,1.287563e-05,1.282487e-05,1.277456e-05
0.000000e+00,2.796509e-14,2.384705e-13,5.622168e-12,4.449444e-11,1.136539e-10,8.381610e-10,9.000347e-10,4.278237e-09,6.216810e-09,1.476945e-08,2.785147e-08,4.100773e-08,9.126784e-08,9.733984e-08,2.054323e-07,2.422548e-07,3.956717e-07,5.525250e-07,7.077797e-07,1.121267e-06,1.189825e-06,1.895201e-06,2.067881e-06,2.877967e-06,3.515379e-06,4.187609e-06,5.570116e-06,5.864378e-06,7.935995e-06,8.305205e-06,1.041604e-05,1.175189e-05,1.330396e-05,1.589929e-05,1.658626e-05,2.023845e-05,2.070007e-05,2.422737e-05,2.607917e-05,2.851353e-05,3.194301e-05,3.305322e-05,3.780037e-05,3.818770e-05,4.270803e-05,4.470556e-05,4.772954e-05,5.138991e-05,5.281939e-05,5.793391e-05,5.813841e-05,6.303179e-05,6.485543e-05,6.807444e-05,7.145362e-05,7.302630e-05,7.785510e-05,8.253196e-05,8.399223e-05,8.703156e-05,8.980809e-05,9.133216e-05,9.525669e-05,9.541567e-05,9.926753e-05,1.003029e-04,1.028767e-04,1.049223e-04,1.062353e-04,1.091000e-04,1.093388e-04,1.121856e-04,1.128306e-04,1.147764e-04,1.161167e-04,1.171147e-04,1.189676e-04,1.192057e-04,1.210567e-04,1.213988e-04,1.226763e-04,1.234302e-04,1.240742e-04,1.250849e-04,1.252611e-04,1.262486e-04,1.263889e-04,1.270484e-04,1.273692e-04,1.276727e-04,1.280538e-04,1.281334e-04,1.284427e-04,1.284702e-04,1.286123e-04,1.286456e-04,1.286536e-04,1.286061e-04,1.285778e-04,1.283953e-04,1.283764e-04,1.281161e-04,1.279795e-04,1.277497e-04,1.274368e-04,1.273048e-04,1.267898e-04,1.267679e-04,1.262124e-04,1.259906e-04,1.255795e-04,1.251209e-04,1.248979e-04,1.241733e-04,1.234115e-04,1.231606e-04,1.226173e-04,1.220942e-04,1.217954e-04,1.209840e-04,1.209498e-04,1.200844e-04,1.198390e-04,1.192025e-04,1.186668e-04,1.183072e-04,1.174741e-04,1.174013e-04,1.164872e-04,1.162669e-04,1.155672e-04,1.150502e-04,1.146433e-04,1.138284e-04,1.137172e-04,1.127905e-04,1.126052e-04,1.118647e-04,1.113840e-04,1.109410e-04,1.101676e-04,1.100206e-04,1.091044e-04,1.089583e-04,1.081934e-04,1.077582e-04,1.072883e-04,1.065690e-04,1.063899e-04,1.054986e-04,1.053922e-04,1.046151e-04,1.042289e-04,1.037398e-04,1.030804e-04,1.028732e-04,1.020155e-04,1.019473e-04,1.011671e-04,1.008304e-04,1.003282e-04,9.973021e-05,9.949905e-05,9.867984e-05,9.864728e-05,9.787069e-05,9.758189e-05,9.707174e-05,9.653433e-05,9.628308e-05,9.550476e-05,9.449331e-05,9.350004e-05,9.252494e-05,9.156798e-05,9.062911e-05,8.970818e-05,8.880509e-05,8.791966e-05,8.705170e-05,8.620102e-05,8.536738e-05,8.455055e-05,8.375030e-05,8.296635e-05,8.219845e-05,8.144634e-05,8.070973e-05,7.998835e-05,7.928191e-05,7.859014e-05,7.791275e-05,7.724946e-05,7.659997e-05,7.596402e-05
0.000000e+00,7.327568e-15,6.530045e-14,1.689190e-12,1.456559e-11,3.901590e-11,3.256581e-10,3.514730e-10,1.890731e-09,2.841375e-09,7.342986e-09,1.481352e-08,2.278203e-08,5.579396e-08,5.998469e-08,1.393650e-07,1.679969e-07,2.934246e-07,4.295943e-07,5.705783e-07,9.700299e-07,1.039183e-06,1.791570e-06,1.986143e-06,2.947845e-06,3.757592e-06,4.659168e-06,6.659697e-06,7.110195e-06,1.052038e-05,1.117153e-05,1.514389e-05,1.787731e-05,2.126800e-05,2.746003e-05,2.920998e-05,3.931252e-05,4.068706e-05,5.193792e-05,5.838874e-05,6.746141e-05,8.143173e-05,8.626364e-05,1.087229e-04,1.106888e-04,1.352073e-04,1.470072e-04,1.660668e-04,1.911784e-04,2.016264e-04,2.421789e-04,2.439086e-04,2.879793e-04,3.057944e-04,3.392397e-04,3.773019e-04,3.961254e-04,4.587518e-04,5.271824e-04,5.503093e-04,6.014281e-04,6.519799e-04,6.814469e-04,7.636099e-04,7.671453e-04,8.583797e-04,8.848925e-04,9.549593e-04,1.015377e-03,1.056649e-03,1.154481e-03,1.163174e-03,1.274221e-03,1.301508e-03,1.389449e-03,1.455665e-03,1.508486e-03,1.616077e-03,1.630939e-03,1.756397e-03,1.781813e-03,1.884439e-03,1.951898e-03,2.014631e-03,2.125337e-03,2.146540e-03,2.279729e-03,2.301130e-03,2.413769e-03,2.478285e-03,2.548236e-03,2.655839e-03,2.682717e-03,2.816815e-03,2.832862e-03,2.950146e-03,3.008475e-03,3.082348e-03,3.181853e-03,3.213075e-03,3.342005e-03,3.352233e-03,3.468837e-03,3.518919e-03,3.593293e-03,3.681287e-03,3.715120e-03,3.834087e-03,3.838783e-03,3.949988e-03,3.990926e-03,4.062641e-03,4.137306e-03,4.171884e-03,4.277581e-03,4.379615e-03,4.411476e-03,4.477891e-03,4.538781e-03,4.572335e-03,4.659343e-03,4.662890e-03,4.749517e-03,4.773065e-03,4.832194e-03,4.879901e-03,4.910914e-03,4.979849e-03,4.985686e-03,5.056531e-03,5.072952e-03,5.123480e-03,5.159287e-03,5.186580e-03,5.238965e-03,5.245883e-03,5.301453e-03,5.312125e-03,5.353360e-03,5.378930e-03,5.401682e-03,5.439562e-03,5.446502e-03,5.487908e-03,5.494223e-03,5.525995e-03,5.543126e-03,5.560858e-03,5.586495e-03,5.592598e-03,5.621314e-03,5.624562e-03,5.647112e-03,5.657566e-03,5.670096e-03,5.685746e-03,5.690370e-03,5.708040e-03,5.709345e-03,5.723211e-03,5.728603e-03,5.735987e-03,5.743761e-03,5.746472e-03,5.754767e-03,5.755055e-03,5.760973e-03,5.762715e-03,5.765189e-03,5.766968e-03,5.767511e-03,5.768035e-03,5.766129e-03,5.761457e-03,5.754217e-03,5.744601e-03,5.732792e-03,5.718965e-03,5.703286e-03,5.685916e-03,5.667005e-03,5.646695e-03,5.625123e-03,5.602416e-03,5.578693e-03,5.554069e-03,5.528651e-03,5.502538e-03,5.475824e-03,5.448597e-03,5.420939e-03,5.392926e-03,5.364629e-03,5.336114e-03,5.307442e-03,5.278670e-03
0.000000e+00,7.587947e-11,1.862173e-10,6.907887e-10,1.633699e-09,2.422037e-09,5.684726e-09,5.863174e-09,1.167633e-08,1.383191e-08,2.063892e-08,2.788762e-08,3.360928e-08,4.968219e-08,5.127643e-08,7.382427e-08,7.993727e-08,1.009895e-07,1.180763e-07,1.323940e-07,1.632762e-07,1.677117e-07,2.066719e-07,2.148790e-07,2.490236e-07,2.723021e-07,2.945095e-07,3.349386e-07,3.428538e-07,3.937601e-07,4.021221e-07,4.469151e-07,4.731334e-07,5.019952e-07,5.472260e-07,5.586742e-07,6.166312e-07,6.236570e-07,6.755566e-07,7.017146e-07,7.351582e-07,7.807397e-07,7.951644e-07,8.553271e-07,8.601400e-07,9.154229e-07,9.393973e-07,9.752535e-07,1.018068e-06,1.034644e-06,1.093443e-06,1.095781e-06,1.151521e-06,1.172230e-06,1.208766e-06,1.247169e-06,1.265086e-06,1.320405e-06,1.374660e-06,1.391788e-06,1.427800e-06,1.461206e-06,1.479786e-06,1.528578e-06,1.530587e-06,1.580182e-06,1.593850e-06,1.628555e-06,1.656988e-06,1.675696e-06,1.717975e-06,1.721601e-06,1.766271e-06,1.776808e-06,1.809707e-06,1.833496e-06,1.851918e-06,1.888056e-06,1.892911e-06,1.932699e-06,1.940513e-06,1.971293e-06,1.990896e-06,2.008710e-06,2.039241e-06,2.044964e-06,2.080073e-06,2.085586e-06,2.114056e-06,2.129972e-06,2.146929e-06,2.172443e-06,2.178714e-06,2.209429e-06,2.213044e-06,2.239095e-06,2.251820e-06,2.267732e-06,2.288820e-06,2.295361e-06,2.322002e-06,2.324092e-06,2.347677e-06,2.357682e-06,2.372407e-06,2.389639e-06,2.396212e-06,2.419113e-06,2.420011e-06,2.441132e-06,2.448846e-06,2.462288e-06,2.476191e-06,2.482601e-06,2.502094e-06,2.520784e-06,2.526599e-06,2.538693e-06,2.549753e-06,2.555840e-06,2.571602e-06,2.572244e-06,2.587924e-06,2.592188e-06,2.602900e-06,2.611555e-06,2.617190e-06,2.629746e-06,2.630811e-06,2.643783e-06,2.646802e-06,2.656123e-06,2.662763e-06,2.667847e-06,2.677670e-06,2.678974e-06,2.689520e-06,2.691561e-06,2.699502e-06,2.704474e-06,2.708935e-06,2.716446e-06,2.717835e-06,2.726218e-06,2.727512e-06,2.734099e-06,2.737708e-06,2.741493e-06,2.747067e-06,2.748414e-06,2.754877e-06,2.755622e-06,2.760895e-06,2.763406e-06,2.766483e-06,2.770449e-06,2.771653e-06,2.776418e-06,2.776782e-06,2.780792e-06,2.782435e-06,2.784786e-06,2.787434e-06,2.788413e-06,2.791685e-06,2.791809e-06,2.794613e-06,2.795585e-06,2.797209e-06,2.798789e-06,2.799483e-06,2.801446e-06,2.803579e-06,2.805212e-06,2.806368e-06,2.807069e-06,2.807336e-06,2.807189e-06,2.806647e-06,2.805731e-06,2.804458e-06,2.802846e-06,2.800912e-06,2.798673e-06,2.796144e-06,2.793341e-06,2.790278e-06,2.786971e-06,2.783431e-06,2.779673e-06,2.775709e-06,2.771551e-06,2.767212e-06,2.762701e-06,2.758031e-06,2.753211e-06
0.000000e+00,1.652627e-11,3.815250e-11,1.326485e-10,3.042611e-10,4.459464e-10,1.025929e-09,1.057489e-09,2.081826e-09,2.460698e-09,3.656853e-09,4.934207e-09,5.948432e-09,8.845496e-09,9.137642e-09,1.337248e-08,1.455206e-08,1.869488e-08,2.212157e-08,2.501700e-08,3.128320e-08,3.218218e-08,4.003593e-08,4.167779e-08,4.845351e-08,5.302042e-08,5.733789e-08,6.510363e-08,6.661042e-08,7.620296e-08,7.776324e-08,8.605314e-08,9.085530e-08,9.610190e-08,1.042458e-07,1.062926e-07,1.165710e-07,1.178078e-07,1.268857e-07,1.314231e-07,1.371883e-07,1.449822e-07,1.474336e-07,1.575814e-07,1.583879e-07,1.675951e-07,1.715557e-07,1.774426e-07,1.844142e-07,1.870962e-07,1.965323e-07,1.969049e-07,2.057312e-07,2.089815e-07,2.146768e-07,2.206085e-07,2.233564e-07,2.317604e-07,2.398816e-07,2.424199e-07,2.477154e-07,2.525768e-07,2.552590e-07,2.622271e-07,2.625116e-07,2.694738e-07,2.713713e-07,2.761473e-07,2.800140e-07,2.825351e-07,2.881628e-07,2.886410e-07,2.944695e-07,2.958276e-07,3.000258e-07,3.030205e-07,3.053154e-07,3.097544e-07,3.103444e-07,3.151189e-07,3.160438e-07,3.196454e-07,3.219035e-07,3.239307e-07,3.273487e-07,3.279814e-07,3.318042e-07,3.323952e-07,3.354061e-07,3.370586e-07,3.387939e-07,3.413544e-07,3.419742e-07,3.449538e-07,3.452982e-07,3.477394e-07,3.489053e-07,3.503375e-07,3.521906e-07,3.527545e-07,3.549968e-07,3.551688e-07,3.570705e-07,3.578542e-07,3.589819e-07,3.602608e-07,3.607368e-07,3.623410e-07,3.624022e-07,3.638004e-07,3.642913e-07,3.651203e-07,3.659410e-07,3.663063e-07,3.673635e-07,3.682972e-07,3.685707e-07,3.691123e-07,3.695740e-07,3.698137e-07,3.703843e-07,3.704060e-07,3.708939e-07,3.710124e-07,3.712818e-07,3.714683e-07,3.715740e-07,3.717619e-07,3.717746e-07,3.718878e-07,3.719024e-07,3.719175e-07,3.718990e-07,3.718674e-07,3.717602e-07,3.717411e-07,3.715424e-07,3.714942e-07,3.712745e-07,3.711091e-07,3.709409e-07,3.706122e-07,3.705447e-07,3.700890e-07,3.700108e-07,3.695769e-07,3.693118e-07,3.690111e-07,3.685218e-07,3.683946e-07,3.677299e-07,3.676471e-07,3.670198e-07,3.666935e-07,3.662666e-07,3.656669e-07,3.654728e-07,3.646407e-07,3.645726e-07,3.637726e-07,3.634157e-07,3.628706e-07,3.622013e-07,3.619367e-07,3.609730e-07,3.609339e-07,3.599814e-07,3.596179e-07,3.589637e-07,3.582577e-07,3.579217e-07,3.568571e-07,3.554199e-07,3.539498e-07,3.524501e-07,3.509241e-07,3.493747e-07,3.478049e-07,3.462174e-07,3.446147e-07,3.429992e-07,3.413733e-07,3.397390e-07,3.380984e-07,3.364533e-07,3.348057e-07,3.331570e-07,3.315089e-07,3.298629e-07,3.282204e-07,3.265825e-07,3.249505e-07,3.233256e-07,3.217087e-07,3.201009e-07,3.185029e-07
0.000000e+00,6.522166e-11,2.663106e-10,1.741580e-09,5.381200e-09,8.812784e-09,2.471330e-08,2.563401e-08,5.737371e-08,6.980027e-08,1.106820e-07,1.562218e-07,1.931367e-07,2.991475e-07,3.097536e-07,4.600311e-07,5.007177e-07,6.403976e-07,7.532580e-07,8.475147e-07,1.050014e-06,1.079021e-06,1.333132e-06,1.386524e-06,1.608228e-06,1.759015e-06,1.902616e-06,2.163457e-06,2.214437e-06,2.541649e-06,2.595287e-06,2.882067e-06,3.049490e-06,3.233410e-06,3.520795e-06,3.593364e-06,3.959654e-06,4.003930e-06,4.330085e-06,4.493848e-06,4.702591e-06,4.985908e-06,5.075271e-06,5.446401e-06,5.475978e-06,5.814451e-06,5.960502e-06,6.178082e-06,6.436507e-06,6.536143e-06,6.887660e-06,6.901573e-06,7.231828e-06,7.353799e-06,7.567995e-06,7.791751e-06,7.895647e-06,8.214383e-06,8.523904e-06,8.620966e-06,8.823990e-06,9.011024e-06,9.114498e-06,9.384309e-06,9.395358e-06,9.666562e-06,9.740773e-06,9.928149e-06,1.008051e-05,1.018019e-05,1.040374e-05,1.042281e-05,1.065613e-05,1.071076e-05,1.088033e-05,1.100198e-05,1.109564e-05,1.127792e-05,1.130226e-05,1.150039e-05,1.153901e-05,1.169023e-05,1.178574e-05,1.187199e-05,1.201857e-05,1.204587e-05,1.221210e-05,1.223801e-05,1.237090e-05,1.244454e-05,1.252246e-05,1.263865e-05,1.266701e-05,1.280475e-05,1.282084e-05,1.293590e-05,1.299157e-05,1.306065e-05,1.315132e-05,1.317922e-05,1.329180e-05,1.330055e-05,1.339859e-05,1.343972e-05,1.349977e-05,1.356926e-05,1.359554e-05,1.368608e-05,1.368960e-05,1.377157e-05,1.380115e-05,1.385219e-05,1.390431e-05,1.392809e-05,1.399946e-05,1.406645e-05,1.408699e-05,1.412922e-05,1.416725e-05,1.418793e-05,1.424060e-05,1.424271e-05,1.429373e-05,1.430735e-05,1.434111e-05,1.436785e-05,1.438499e-05,1.442239e-05,1.442551e-05,1.446280e-05,1.447128e-05,1.449697e-05,1.451480e-05,1.452816e-05,1.455322e-05,1.455647e-05,1.458202e-05,1.458681e-05,1.460493e-05,1.461583e-05,1.462529e-05,1.464050e-05,1.464321e-05,1.465879e-05,1.466107e-05,1.467212e-05,1.467775e-05,1.468330e-05,1.469076e-05,1.469243e-05,1.469958e-05,1.470030e-05,1.470483e-05,1.470657e-05,1.470828e-05,1.470974e-05,1.471000e-05,1.471007e-05,1.471001e-05,1.470856e-05,1.470752e-05,1.470553e-05,1.470246e-05,1.470107e-05,1.469522e-05,1.469496e-05,1.468807e-05,1.468519e-05,1.467967e-05,1.467327e-05,1.467008e-05,1.465935e-05,1.464354e-05,1.462598e-05,1.460678e-05,1.458604e-05,1.456388e-05,1.454039e-05,1.451567e-05,1.448981e-05,1.446289e-05,1.443500e-05,1.440621e-05,1.437661e-05,1.434625e-05,1.431520e-05,1.428353e-05,1.425131e-05,1.421857e-05,1.418539e-05,1.415180e-05,1.411786e-05,1.408362e-05,1.404912e-05,1.401439e-05,1.397948e-05
0.000000e+00,3.724805e-13,3.352048e-12,8.850720e-11,7.779595e-10,2.106372e-09,1.808981e-08,1.954691e-08,1.083005e-07,1.640990e-07,4.331399e-07,8.892920e-07,1.383752e-06,3.481082e-06,3.751285e-06,8.972691e-06,1.089160e-05,1.944525e-05,2.892941e-05,3.890647e-05,6.779178e-05,7.286525e-05,1.290614e-04,1.438347e-04,2.179264e-04,2.814116e-04,3.530166e-04,5.145874e-04,5.513936e-04,8.339292e-04,8.885504e-04,1.225517e-03,1.460579e-03,1.755182e-03,2.300463e-03,2.456063e-03,3.365296e-03,3.490310e-03,4.523761e-03,5.123738e-03,5.975729e-03,7.304469e-03,7.768401e-03,9.951358e-03,1.014438e-02,1.257593e-02,1.376113e-02,1.569451e-02,1.827539e-02,1.935982e-02,2.362419e-02,2.380796e-02,2.853875e-02,3.047671e-02,3.415272e-02,3.839362e-02,4.051268e-02,4.766192e-02,5.563981e-02,5.837357e-02,6.448123e-02,7.060696e-02,7.421612e-02,8.442509e-02,8.486909e-02,9.645911e-02,9.987416e-02,1.089992e-01,1.169826e-01,1.224965e-01,1.357604e-01,1.369520e-01,1.523605e-01,1.561993e-01,1.687112e-01,1.782729e-01,1.859870e-01,2.019374e-01,2.041657e-01,2.232194e-01,2.271324e-01,2.431157e-01,2.537825e-01,2.638172e-01,2.817985e-01,2.852825e-01,3.074663e-01,3.110792e-01,3.303200e-01,3.415128e-01,3.537923e-01,3.729793e-01,3.778291e-01,4.023747e-01,4.053517e-01,4.273716e-01,4.384981e-01,4.527613e-01,4.722837e-01,4.784845e-01,5.044819e-01,5.065718e-01,5.306941e-01,5.412258e-01,5.570621e-01,5.761109e-01,5.835278e-01,6.100343e-01,6.110947e-01,6.365259e-01,6.460488e-01,6.629486e-01,6.808499e-01,6.892502e-01,7.153805e-01,7.412916e-01,7.495294e-01,7.669380e-01,7.831927e-01,7.922764e-01,8.162740e-01,8.172664e-01,8.418698e-01,8.486847e-01,8.660515e-01,8.803443e-01,8.897786e-01,9.111805e-01,9.130214e-01,9.357526e-01,9.411291e-01,9.579475e-01,9.701343e-01,9.795844e-01,9.981476e-01,1.000644e+00,1.021108e+00,1.025129e+00,1.040964e+00,1.051044e+00,1.060199e+00,1.075868e+00,1.078802e+00,1.096767e+00,1.099581e+00,1.114087e+00,1.122170e+00,1.130758e+00,1.143628e+00,1.146780e+00,1.162151e+00,1.163952e+00,1.176874e+00,1.183147e+00,1.190951e+00,1.201220e+00,1.204386e+00,1.217187e+00,1.218183e+00,1.229359e+00,1.234053e+00,1.240910e+00,1.248848e+00,1.251851e+00,1.262190e+00,1.262591e+00,1.271939e+00,1.275307e+00,1.281110e+00,1.287022e+00,1.289714e+00,1.297765e+00,1.307568e+00,1.316461e+00,1.324478e+00,1.331652e+00,1.338017e+00,1.343608e+00,1.348459e+00,1.352604e+00,1.356077e+00,1.358912e+00,1.361142e+00,1.362800e+00,1.363918e+00,1.364526e+00,1.364656e+00,1.364336e+00,1.363595e+00,1.362460e+00,1.360958e+00,1.359115e+00,1.356955e+00,1.354501e+00,1.351776e+00,1.348801e+00
0.000000e+00,3.219586e-12,2.174790e-11,3.220113e-10,1.706310e-09,3.531345e-09,1.563685e-08,1.646360e-08,4.966270e-08,6.433072e-08,1.163653e-07,1.789786e-07,2.325280e-07,3.992823e-07,4.170363e-07,6.897408e-07,7.702054e-07,1.066041e-06,1.324634e-06,1.551815e-06,2.067313e-06,2.143685e-06,2.833389e-06,2.982253e-06,3.611787e-06,4.048826e-06,4.470634e-06,5.248895e-06,5.402654e-06,6.401093e-06,6.566562e-06,7.459275e-06,7.986425e-06,8.570367e-06,9.492612e-06,9.727330e-06,1.092298e-05,1.106872e-05,1.215015e-05,1.269826e-05,1.340179e-05,1.436526e-05,1.467118e-05,1.595196e-05,1.605473e-05,1.723827e-05,1.775313e-05,1.852479e-05,1.944852e-05,1.980676e-05,2.107997e-05,2.113066e-05,2.234077e-05,2.279101e-05,2.358604e-05,2.442257e-05,2.481310e-05,2.601972e-05,2.720404e-05,2.757806e-05,2.836456e-05,2.909424e-05,2.950008e-05,3.056580e-05,3.060967e-05,3.169264e-05,3.199103e-05,3.274849e-05,3.336883e-05,3.377687e-05,3.469856e-05,3.477760e-05,3.575059e-05,3.597998e-05,3.669589e-05,3.721319e-05,3.761360e-05,3.839852e-05,3.850391e-05,3.936709e-05,3.953649e-05,4.020341e-05,4.062780e-05,4.101323e-05,4.167326e-05,4.179691e-05,4.255487e-05,4.267379e-05,4.328753e-05,4.363035e-05,4.399534e-05,4.454401e-05,4.467876e-05,4.533827e-05,4.541583e-05,4.597435e-05,4.624692e-05,4.658748e-05,4.703842e-05,4.717817e-05,4.774690e-05,4.779147e-05,4.829419e-05,4.850721e-05,4.882052e-05,4.918679e-05,4.932640e-05,4.981231e-05,4.983134e-05,5.027876e-05,5.044201e-05,5.072623e-05,5.101991e-05,5.115519e-05,5.156614e-05,5.195955e-05,5.208181e-05,5.233587e-05,5.256797e-05,5.269558e-05,5.302568e-05,5.303912e-05,5.336694e-05,5.345597e-05,5.367948e-05,5.385986e-05,5.397718e-05,5.423832e-05,5.426046e-05,5.452973e-05,5.459231e-05,5.478540e-05,5.492279e-05,5.502788e-05,5.523066e-05,5.525755e-05,5.547481e-05,5.551681e-05,5.568003e-05,5.578211e-05,5.587358e-05,5.602741e-05,5.605582e-05,5.622710e-05,5.625351e-05,5.638778e-05,5.646123e-05,5.653818e-05,5.665132e-05,5.667864e-05,5.680947e-05,5.682454e-05,5.693101e-05,5.698161e-05,5.704354e-05,5.712323e-05,5.714737e-05,5.724280e-05,5.725008e-05,5.733011e-05,5.736282e-05,5.740957e-05,5.746208e-05,5.748146e-05,5.754604e-05,5.754848e-05,5.760357e-05,5.762260e-05,5.765430e-05,5.768503e-05,5.769846e-05,5.773631e-05,5.777698e-05,5.780756e-05,5.782854e-05,5.784039e-05,5.784358e-05,5.783856e-05,5.782574e-05,5.780555e-05,5.777837e-05,5.774459e-05,5.770457e-05,5.765867e-05,5.760722e-05,5.755055e-05,5.748896e-05,5.742276e-05,5.735224e-05,5.727767e-05,5.719930e-05,5.711741e-05,5.703222e-05,5.694397e-05,5.685288e-05,5.675917e-05
0.000000e+00,2.109672e-14,1.828651e-13,4.461767e-12,3.644373e-11,9.472473e-11,7.306991e-10,7.860719e-10,3.904919e-09,5.741579e-09,1.404227e-08,2.708809e-08,4.045911e-08,9.282207e-08,9.924189e-08,2.155054e-07,2.557237e-07,4.254287e-07,6.015395e-07,7.778050e-07,1.254681e-06,1.334659e-06,2.170514e-06,2.378483e-06,3.370193e-06,4.168087e-06,5.025381e-06,6.836804e-06,7.230430e-06,1.007794e-05,1.059908e-05,1.365462e-05,1.565354e-05,1.803767e-05,2.216875e-05,2.329195e-05,2.946797e-05,3.027285e-05,3.660057e-05,4.004733e-05,4.470832e-05,5.152440e-05,5.379354e-05,6.384277e-05,6.468760e-05,7.482760e-05,7.947447e-05,8.670581e-05,9.578108e-05,9.942279e-05,1.129131e-04,1.134677e-04,1.271020e-04,1.323654e-04,1.419074e-04,1.522827e-04,1.572417e-04,1.730131e-04,1.891277e-04,1.943415e-04,2.054911e-04,2.160510e-04,2.220097e-04,2.379286e-04,2.385920e-04,2.551502e-04,2.597707e-04,2.716009e-04,2.813868e-04,2.878657e-04,3.026032e-04,3.038727e-04,3.195559e-04,3.232651e-04,3.348566e-04,3.432382e-04,3.497226e-04,3.624093e-04,3.641091e-04,3.779778e-04,3.806865e-04,3.912973e-04,3.979978e-04,4.040426e-04,4.142908e-04,4.161946e-04,4.277401e-04,4.295305e-04,4.386709e-04,4.436981e-04,4.489835e-04,4.567890e-04,4.586788e-04,4.677615e-04,4.688106e-04,4.762394e-04,4.797808e-04,4.841234e-04,4.897262e-04,4.914268e-04,4.981648e-04,4.986799e-04,5.043544e-04,5.066808e-04,5.100139e-04,5.137713e-04,5.151626e-04,5.198206e-04,5.199970e-04,5.240083e-04,5.254047e-04,5.277466e-04,5.300427e-04,5.310565e-04,5.339588e-04,5.364742e-04,5.372007e-04,5.386229e-04,5.398149e-04,5.404249e-04,5.418466e-04,5.418996e-04,5.430658e-04,5.433395e-04,5.439417e-04,5.443353e-04,5.445449e-04,5.448736e-04,5.448924e-04,5.450003e-04,5.449923e-04,5.448843e-04,5.447270e-04,5.445591e-04,5.441111e-04,5.440389e-04,5.433371e-04,5.431761e-04,5.424666e-04,5.419514e-04,5.414396e-04,5.404644e-04,5.402676e-04,5.389614e-04,5.387407e-04,5.375314e-04,5.368040e-04,5.359875e-04,5.346764e-04,5.343386e-04,5.325937e-04,5.323782e-04,5.307608e-04,5.299284e-04,5.288476e-04,5.273444e-04,5.268614e-04,5.248090e-04,5.246422e-04,5.226969e-04,5.218367e-04,5.205311e-04,5.189416e-04,5.183172e-04,5.160605e-04,5.159694e-04,5.137660e-04,5.129317e-04,5.114384e-04,5.098390e-04,5.090821e-04,5.067010e-04,5.035266e-04,5.003238e-04,4.971002e-04,4.938625e-04,4.906167e-04,4.873686e-04,4.841232e-04,4.808851e-04,4.776586e-04,4.744473e-04,4.712546e-04,4.680838e-04,4.649373e-04,4.618178e-04,4.587275e-04,4.556681e-04,4.526415e-04,4.496492e-04,4.466924e-04,4.437723e-04,4.408899e-04,4.380460e-04,4.352413e-04,4.324763e-04
0.000000e+00,1.620822e-13,1.459356e-12,3.856924e-11,3.393159e-10,9.191587e-10,7.903226e-09,8.540212e-09,4.736795e-08,7.179175e-08,1.896075e-07,3.894440e-07,6.061101e-07,1.525277e-06,1.643698e-06,3.931827e-06,4.772592e-06,8.519486e-06,1.267269e-05,1.704068e-05,2.968340e-05,3.190370e-05,5.649591e-05,6.296132e-05,9.539363e-05,1.231944e-04,1.545652e-04,2.254073e-04,2.415562e-04,3.656465e-04,3.896609e-04,5.379703e-04,6.415795e-04,7.715916e-04,1.012652e-03,1.081532e-03,1.484746e-03,1.540274e-03,2.000043e-03,2.267515e-03,2.647959e-03,3.242605e-03,3.450575e-03,4.431295e-03,4.518173e-03,5.614581e-03,6.150246e-03,7.025658e-03,8.197081e-03,8.690188e-03,1.063394e-02,1.071786e-02,1.288241e-02,1.377129e-02,1.546053e-02,1.741423e-02,1.839226e-02,2.170030e-02,2.540573e-02,2.667860e-02,2.952779e-02,3.239254e-02,3.408356e-02,3.887885e-02,3.908779e-02,4.455266e-02,4.616673e-02,5.048766e-02,5.427723e-02,5.689949e-02,6.322283e-02,6.379196e-02,7.116596e-02,7.300721e-02,7.901949e-02,8.362521e-02,8.734765e-02,9.506299e-02,9.614273e-02,1.053943e-01,1.072983e-01,1.150895e-01,1.203012e-01,1.252127e-01,1.340341e-01,1.357463e-01,1.466704e-01,1.484530e-01,1.579633e-01,1.635081e-01,1.696016e-01,1.791442e-01,1.815604e-01,1.938135e-01,1.953023e-01,2.063335e-01,2.119197e-01,2.190925e-01,2.289314e-01,2.320615e-01,2.452115e-01,2.462704e-01,2.585129e-01,2.638693e-01,2.719363e-01,2.816600e-01,2.854521e-01,2.990313e-01,2.995753e-01,3.126451e-01,3.175491e-01,3.262655e-01,3.355170e-01,3.398649e-01,3.534168e-01,3.668955e-01,3.711891e-01,3.802762e-01,3.887776e-01,3.935354e-01,4.061290e-01,4.066506e-01,4.196005e-01,4.231941e-01,4.323651e-01,4.399271e-01,4.449257e-01,4.562863e-01,4.572649e-01,4.693664e-01,4.722337e-01,4.812155e-01,4.877357e-01,4.927987e-01,5.027623e-01,5.041038e-01,5.151199e-01,5.172876e-01,5.258373e-01,5.312895e-01,5.362476e-01,5.447495e-01,5.463434e-01,5.561188e-01,5.576528e-01,5.655689e-01,5.699882e-01,5.746896e-01,5.817472e-01,5.834783e-01,5.919330e-01,5.929250e-01,6.000526e-01,6.035192e-01,6.078373e-01,6.135301e-01,6.152878e-01,6.224054e-01,6.229605e-01,6.291925e-01,6.318154e-01,6.356520e-01,6.401019e-01,6.417874e-01,6.476028e-01,6.478288e-01,6.531028e-01,6.550066e-01,6.582926e-01,6.616473e-01,6.631777e-01,6.677641e-01,6.733713e-01,6.784842e-01,6.831188e-01,6.872918e-01,6.910201e-01,6.943214e-01,6.972134e-01,6.997139e-01,7.018410e-01,7.036124e-01,7.050459e-01,7.061592e-01,7.069696e-01,7.074940e-01,7.077492e-01,7.077513e-01,7.075164e-01,7.070596e-01,7.063960e-01,7.055400e-01,7.045053e-01,7.033055e-01,7.019533e-01,7.004609e-01
0.000000e+00,1.151168e-14,1.002066e-13,2.466386e-12,2.030517e-11,5.300394e-11,4.133141e-10,4.448261e-10,2.232165e-09,3.290571e-09,8.097339e-09,1.569026e-08,2.349719e-08,5.417563e-08,5.794310e-08,1.262503e-07,1.498903e-07,2.496103e-07,3.529976e-07,4.563732e-07,7.356580e-07,7.824586e-07,1.271336e-06,1.392978e-06,1.973526e-06,2.441536e-06,2.945565e-06,4.015129e-06,4.248410e-06,5.945266e-06,6.257554e-06,8.098920e-06,9.312574e-06,1.076874e-05,1.331203e-05,1.400755e-05,1.785875e-05,1.836368e-05,2.235383e-05,2.454075e-05,2.751058e-05,3.187468e-05,3.333208e-05,3.980649e-05,4.035196e-05,4.690760e-05,4.991509e-05,5.459597e-05,6.046703e-05,6.282067e-05,7.152124e-05,7.187823e-05,8.062995e-05,8.399509e-05,9.007400e-05,9.664895e-05,9.977774e-05,1.096647e-04,1.196594e-04,1.228685e-04,1.296890e-04,1.360941e-04,1.396844e-04,1.491881e-04,1.495814e-04,1.593214e-04,1.620132e-04,1.688520e-04,1.744504e-04,1.781271e-04,1.864004e-04,1.871071e-04,1.957586e-04,1.977830e-04,2.040547e-04,2.085371e-04,2.119740e-04,2.186189e-04,2.195010e-04,2.266248e-04,2.280006e-04,2.333394e-04,2.366683e-04,2.396425e-04,2.446202e-04,2.455357e-04,2.510234e-04,2.518642e-04,2.561129e-04,2.584171e-04,2.608135e-04,2.643016e-04,2.651366e-04,2.690948e-04,2.695459e-04,2.727018e-04,2.741814e-04,2.759723e-04,2.782421e-04,2.789214e-04,2.815647e-04,2.817634e-04,2.839179e-04,2.847814e-04,2.859965e-04,2.873319e-04,2.878162e-04,2.893922e-04,2.894504e-04,2.907393e-04,2.911710e-04,2.918720e-04,2.925269e-04,2.928042e-04,2.935495e-04,2.941205e-04,2.942685e-04,2.945296e-04,2.947119e-04,2.947885e-04,2.949060e-04,2.949082e-04,2.948993e-04,2.948751e-04,2.947717e-04,2.946421e-04,2.945348e-04,2.942278e-04,2.941974e-04,2.937677e-04,2.936518e-04,2.932537e-04,2.929317e-04,2.926626e-04,2.920840e-04,2.920011e-04,2.912758e-04,2.911235e-04,2.904924e-04,2.900641e-04,2.896567e-04,2.889180e-04,2.887737e-04,2.878484e-04,2.876967e-04,2.868852e-04,2.864107e-04,2.858883e-04,2.850691e-04,2.848616e-04,2.838086e-04,2.836806e-04,2.827328e-04,2.822530e-04,2.816372e-04,2.807931e-04,2.805247e-04,2.793980e-04,2.793073e-04,2.782595e-04,2.778014e-04,2.771116e-04,2.762804e-04,2.759562e-04,2.747954e-04,2.747489e-04,2.736310e-04,2.732113e-04,2.724646e-04,2.716711e-04,2.712977e-04,2.701318e-04,2.685963e-04,2.670674e-04,2.655473e-04,2.640384e-04,2.625422e-04,2.610607e-04,2.595951e-04,2.581468e-04,2.567168e-04,2.553062e-04,2.539157e-04,2.525461e-04,2.511979e-04,2.498716e-04,2.485676e-04,2.472862e-04,2.460277e-04,2.447921e-04,2.435797e-04,2.423905e-04,2.412244e-04,2.400815e-04,2.389616e-04,2.378647e-04
0.000000e+00,8.937899e-12,2.049544e-11,7.081193e-11,1.625189e-10,2.388490e-10,5.578975e-10,5.755588e-10,1.163422e-09,1.386831e-09,2.104306e-09,2.873751e-09,3.474386e-09,5.096026e-09,5.251072e-09,7.345893e-09,7.887118e-09,9.685306e-09,1.108468e-08,1.222427e-08,1.459935e-08,1.493240e-08,1.778406e-08,1.836942e-08,2.075408e-08,2.233667e-08,2.381646e-08,2.644074e-08,2.694454e-08,3.011168e-08,3.062030e-08,3.329208e-08,3.481622e-08,3.646159e-08,3.897450e-08,3.959823e-08,4.268257e-08,4.304835e-08,4.569794e-08,4.699917e-08,4.863043e-08,5.079670e-08,5.146882e-08,5.420439e-08,5.441858e-08,5.683064e-08,5.784946e-08,5.934308e-08,6.107995e-08,6.173894e-08,6.401690e-08,6.410557e-08,6.617685e-08,6.692569e-08,6.821967e-08,6.954271e-08,7.014703e-08,7.196125e-08,7.366511e-08,7.418754e-08,7.526176e-08,7.622894e-08,7.675464e-08,7.809350e-08,7.814733e-08,7.944355e-08,7.978971e-08,8.064708e-08,8.132629e-08,8.176172e-08,8.271193e-08,8.279125e-08,8.373940e-08,8.395526e-08,8.460986e-08,8.506473e-08,8.540622e-08,8.604850e-08,8.613197e-08,8.679052e-08,8.691446e-08,8.738515e-08,8.767017e-08,8.791907e-08,8.832289e-08,8.839535e-08,8.881697e-08,8.887955e-08,8.918680e-08,8.934674e-08,8.950759e-08,8.973068e-08,8.978196e-08,9.001245e-08,9.003727e-08,9.020148e-08,9.027212e-08,9.035138e-08,9.044050e-08,9.046437e-08,9.054258e-08,9.054740e-08,9.058806e-08,9.059752e-08,9.060272e-08,9.059522e-08,9.058839e-08,9.054682e-08,9.054462e-08,9.047970e-08,9.044960e-08,9.038863e-08,9.031381e-08,9.027514e-08,9.014067e-08,8.998660e-08,8.993337e-08,8.981424e-08,8.969491e-08,8.962484e-08,8.942807e-08,8.941957e-08,8.919955e-08,8.913545e-08,8.896584e-08,8.881947e-08,8.871946e-08,8.848241e-08,8.846136e-08,8.819244e-08,8.812639e-08,8.791357e-08,8.775336e-08,8.762556e-08,8.736516e-08,8.732918e-08,8.702517e-08,8.696352e-08,8.671422e-08,8.655000e-08,8.639698e-08,8.612609e-08,8.607407e-08,8.574608e-08,8.569317e-08,8.541356e-08,8.525249e-08,8.507703e-08,8.480525e-08,8.473698e-08,8.439389e-08,8.435253e-08,8.404818e-08,8.389535e-08,8.370028e-08,8.343465e-08,8.335057e-08,8.299943e-08,8.297128e-08,8.264718e-08,8.250605e-08,8.229417e-08,8.203969e-08,8.194069e-08,8.158703e-08,8.157288e-08,8.123346e-08,8.110625e-08,8.088024e-08,8.064036e-08,8.052760e-08,8.017575e-08,7.971289e-08,7.925223e-08,7.879416e-08,7.833905e-08,7.788723e-08,7.743900e-08,7.699463e-08,7.655437e-08,7.611843e-08,7.568702e-08,7.526030e-08,7.483842e-08,7.442153e-08,7.400974e-08,7.360315e-08,7.320185e-08,7.280591e-08,7.241539e-08,7.203033e-08,7.165078e-08,7.127676e-08,7.090829e-08,7.054538e-08,7.018802e-08
0.000000e+00,1.787147e-15,1.557722e-14,3.845907e-13,3.177826e-12,8.314724e-12,6.532284e-11,7.032822e-11,3.565450e-10,5.273842e-10,1.310622e-09,2.564098e-09,3.867480e-09,9.086958e-09,9.736454e-09,2.174713e-08,2.598877e-08,4.424533e-08,6.367006e-08,8.349073e-08,1.385506e-07,1.479527e-07,2.483763e-07,2.738702e-07,3.975373e-07,4.990563e-07,6.096922e-07,8.475327e-07,8.998085e-07,1.282692e-06,1.353505e-06,1.772134e-06,2.048532e-06,2.380163e-06,2.958564e-06,3.116459e-06,3.987954e-06,4.101838e-06,4.998612e-06,5.487742e-06,6.149387e-06,7.116574e-06,7.438304e-06,8.860657e-06,8.980011e-06,1.040928e-05,1.106207e-05,1.207489e-05,1.334040e-05,1.384640e-05,1.571135e-05,1.578770e-05,1.765622e-05,1.837321e-05,1.966679e-05,2.106408e-05,2.172850e-05,2.382671e-05,2.594700e-05,2.662785e-05,2.807539e-05,2.943563e-05,3.019856e-05,3.222024e-05,3.230397e-05,3.438004e-05,3.495462e-05,3.641624e-05,3.761484e-05,3.840312e-05,4.018033e-05,4.033238e-05,4.219689e-05,4.263404e-05,4.399064e-05,4.496237e-05,4.570875e-05,4.715505e-05,4.734739e-05,4.890377e-05,4.920499e-05,5.037598e-05,5.110791e-05,5.176303e-05,5.286213e-05,5.306467e-05,5.428136e-05,5.446821e-05,5.541417e-05,5.592857e-05,5.646469e-05,5.724721e-05,5.743495e-05,5.832736e-05,5.842935e-05,5.914464e-05,5.948119e-05,5.988972e-05,6.040961e-05,6.056572e-05,6.117587e-05,6.122194e-05,6.172349e-05,6.192577e-05,6.221190e-05,6.252877e-05,6.264444e-05,6.302439e-05,6.303854e-05,6.335498e-05,6.346252e-05,6.363936e-05,6.380790e-05,6.388056e-05,6.408152e-05,6.424502e-05,6.428987e-05,6.437373e-05,6.443903e-05,6.447020e-05,6.453470e-05,6.453682e-05,6.457584e-05,6.458212e-05,6.458940e-05,6.458614e-05,6.457949e-05,6.455124e-05,6.454796e-05,6.449656e-05,6.448145e-05,6.442690e-05,6.438049e-05,6.434049e-05,6.425171e-05,6.423873e-05,6.412292e-05,6.409818e-05,6.399425e-05,6.392264e-05,6.385386e-05,6.372761e-05,6.370275e-05,6.354190e-05,6.351532e-05,6.337217e-05,6.328780e-05,6.319439e-05,6.304687e-05,6.300930e-05,6.281758e-05,6.279416e-05,6.261989e-05,6.253116e-05,6.241681e-05,6.225919e-05,6.220888e-05,6.199660e-05,6.197945e-05,6.178045e-05,6.169300e-05,6.156085e-05,6.140083e-05,6.133820e-05,6.111286e-05,6.110380e-05,6.088518e-05,6.080270e-05,6.065546e-05,6.049825e-05,6.042401e-05,6.019108e-05,5.988178e-05,5.957087e-05,5.925883e-05,5.894611e-05,5.863307e-05,5.832011e-05,5.800753e-05,5.769562e-05,5.738467e-05,5.707491e-05,5.676655e-05,5.645981e-05,5.615486e-05,5.585186e-05,5.555097e-05,5.525233e-05,5.495604e-05,5.466224e-05,5.437100e-05,5.408244e-05,5.379661e-05,5.351360e-05,5.323347e-05,5.295628e-05
0.000000e+00,1.033203e-11,2.367847e-11,8.169191e-11,1.873333e-10,2.752948e-10,6.439395e-10,6.643987e-10,1.347902e-09,1.608335e-09,2.442311e-09,3.325570e-09,4.004599e-09,5.799057e-09,5.968367e-09,8.232571e-09,8.812587e-09,1.073088e-08,1.221706e-08,1.342422e-08,1.593298e-08,1.628409e-08,1.928419e-08,1.989867e-08,2.239734e-08,2.405142e-08,2.559499e-08,2.832477e-08,2.884768e-08,3.212611e-08,3.265114e-08,3.540210e-08,3.696593e-08,3.864949e-08,4.121092e-08,4.184479e-08,4.496754e-08,4.533654e-08,4.800052e-08,4.930286e-08,5.092972e-08,5.307968e-08,5.374423e-08,5.643596e-08,5.664582e-08,5.899939e-08,5.998802e-08,6.143118e-08,6.309970e-08,6.372991e-08,6.589572e-08,6.597960e-08,6.793002e-08,6.863063e-08,6.983528e-08,7.105878e-08,7.161474e-08,7.327223e-08,7.481203e-08,7.528066e-08,7.623873e-08,7.709465e-08,7.755707e-08,7.872526e-08,7.877192e-08,7.988816e-08,8.018370e-08,8.091063e-08,8.148110e-08,8.184411e-08,8.262833e-08,8.269327e-08,8.346264e-08,8.363591e-08,8.415660e-08,8.451386e-08,8.477938e-08,8.527176e-08,8.533502e-08,8.582741e-08,8.591862e-08,8.626025e-08,8.646299e-08,8.663711e-08,8.691287e-08,8.696135e-08,8.723618e-08,8.727577e-08,8.746465e-08,8.755870e-08,8.764965e-08,8.776820e-08,8.779392e-08,8.790006e-08,8.791036e-08,8.797054e-08,8.799086e-08,8.800769e-08,8.801498e-08,8.801370e-08,8.799065e-08,8.798761e-08,8.794051e-08,8.791329e-08,8.786515e-08,8.779624e-08,8.776630e-08,8.764562e-08,8.764036e-08,8.750468e-08,8.744927e-08,8.734494e-08,8.722630e-08,8.716780e-08,8.697456e-08,8.676645e-08,8.669690e-08,8.654462e-08,8.639596e-08,8.631017e-08,8.607417e-08,8.606412e-08,8.580744e-08,8.573378e-08,8.554103e-08,8.537688e-08,8.526575e-08,8.500536e-08,8.498241e-08,8.469176e-08,8.462100e-08,8.439451e-08,8.422541e-08,8.409132e-08,8.382011e-08,8.378283e-08,8.346962e-08,8.340646e-08,8.315225e-08,8.298574e-08,8.283123e-08,8.255911e-08,8.250705e-08,8.218017e-08,8.212765e-08,8.185102e-08,8.169234e-08,8.151999e-08,8.125407e-08,8.118747e-08,8.085379e-08,8.081369e-08,8.051931e-08,8.037195e-08,8.018431e-08,7.992954e-08,7.984908e-08,7.951391e-08,7.948710e-08,7.917903e-08,7.904521e-08,7.884468e-08,7.860440e-08,7.851108e-08,7.817842e-08,7.816514e-08,7.784691e-08,7.772788e-08,7.751671e-08,7.729301e-08,7.718799e-08,7.686090e-08,7.643187e-08,7.600621e-08,7.558418e-08,7.516604e-08,7.475198e-08,7.434219e-08,7.393684e-08,7.353609e-08,7.314005e-08,7.274884e-08,7.236255e-08,7.198126e-08,7.160505e-08,7.123397e-08,7.086806e-08,7.050735e-08,7.015188e-08,6.980165e-08,6.945669e-08,6.911697e-08,6.878251e-08,6.845328e-08,6.812927e-08,6.781046e-08
0.000000e+00,5.421311e-12,3.302625e-11,4.031916e-10,1.836193e-09,3.529515e-09,1.326347e-08,1.388191e-08,3.673842e-08,4.611199e-08,7.749905e-08,1.128548e-07,1.417392e-07,2.266738e-07,2.353946e-07,3.646299e-07,4.015830e-07,5.348595e-07,6.492648e-07,7.487593e-07,9.718884e-07,1.004659e-06,1.297176e-06,1.359475e-06,1.619503e-06,1.796723e-06,1.965219e-06,2.269692e-06,2.328889e-06,2.705939e-06,2.767236e-06,3.092364e-06,3.280098e-06,3.484525e-06,3.800113e-06,3.879056e-06,4.272839e-06,4.319904e-06,4.663021e-06,4.832888e-06,5.047039e-06,5.333373e-06,5.422642e-06,5.787907e-06,5.816632e-06,6.141236e-06,6.278929e-06,6.481350e-06,6.717487e-06,6.807268e-06,7.118283e-06,7.130406e-06,7.413930e-06,7.516546e-06,7.693960e-06,7.875422e-06,7.958312e-06,8.207072e-06,8.440446e-06,8.511927e-06,8.658756e-06,8.790750e-06,8.862399e-06,9.044517e-06,9.051827e-06,9.227546e-06,9.274363e-06,9.390094e-06,9.481530e-06,9.540024e-06,9.667302e-06,9.677902e-06,9.804305e-06,9.832997e-06,9.919797e-06,9.979913e-06,1.002493e-05,1.010932e-05,1.012026e-05,1.020630e-05,1.022245e-05,1.028359e-05,1.032048e-05,1.035261e-05,1.040455e-05,1.041384e-05,1.046774e-05,1.047571e-05,1.051475e-05,1.053498e-05,1.055528e-05,1.058330e-05,1.058973e-05,1.061848e-05,1.062156e-05,1.064189e-05,1.065058e-05,1.066030e-05,1.067115e-05,1.067403e-05,1.068340e-05,1.068397e-05,1.068869e-05,1.068972e-05,1.069017e-05,1.068903e-05,1.068811e-05,1.068276e-05,1.068248e-05,1.067433e-05,1.067059e-05,1.066306e-05,1.065387e-05,1.064914e-05,1.063278e-05,1.061415e-05,1.060774e-05,1.059343e-05,1.057915e-05,1.057078e-05,1.054737e-05,1.054636e-05,1.052030e-05,1.051273e-05,1.049275e-05,1.047556e-05,1.046383e-05,1.043612e-05,1.043367e-05,1.040236e-05,1.039469e-05,1.037003e-05,1.035151e-05,1.033677e-05,1.030681e-05,1.030267e-05,1.026783e-05,1.026077e-05,1.023231e-05,1.021361e-05,1.019621e-05,1.016549e-05,1.015959e-05,1.012253e-05,1.011656e-05,1.008508e-05,1.006698e-05,1.004730e-05,1.001688e-05,1.000925e-05,9.970984e-06,9.966379e-06,9.932548e-06,9.915594e-06,9.893987e-06,9.864625e-06,9.855345e-06,9.816660e-06,9.813565e-06,9.777970e-06,9.762499e-06,9.739307e-06,9.711506e-06,9.700706e-06,9.662194e-06,9.660655e-06,9.623799e-06,9.610011e-06,9.585548e-06,9.559631e-06,9.547463e-06,9.509567e-06,9.459866e-06,9.410572e-06,9.361721e-06,9.313347e-06,9.265482e-06,9.218150e-06,9.171377e-06,9.125182e-06,9.079584e-06,9.034598e-06,8.990236e-06,8.946511e-06,8.903432e-06,8.861005e-06,8.819236e-06,8.778130e-06,8.737690e-06,8.697918e-06,8.658813e-06,8.620376e-06,8.582605e-06,8.545498e-06,8.509052e-06,8.473262e-06
0.000000e+00,5.244151e-14,4.124504e-13,8.228746e-12,5.598461e-11,1.316692e-10,7.856969e-10,8.365027e-10,3.230630e-09,4.438860e-09,9.168683e-09,1.545293e-08,2.115408e-08,4.005143e-08,4.213514e-08,7.529726e-08,8.543124e-08,1.239032e-07,1.590756e-07,1.911802e-07,2.682881e-07,2.802182e-07,3.938240e-07,4.197072e-07,5.342839e-07,6.184539e-07,7.030217e-07,8.667873e-07,9.002134e-07,1.124495e-06,1.162717e-06,1.372904e-06,1.499482e-06,1.641118e-06,1.866455e-06,1.923915e-06,2.215741e-06,2.251107e-06,2.511212e-06,2.641100e-06,2.805483e-06,3.025773e-06,3.094453e-06,3.374838e-06,3.396818e-06,3.644138e-06,3.748329e-06,3.900552e-06,4.076495e-06,4.142876e-06,4.370393e-06,4.379179e-06,4.582772e-06,4.655511e-06,4.779992e-06,4.905545e-06,4.962269e-06,5.129998e-06,5.283712e-06,5.330041e-06,5.424039e-06,5.507141e-06,5.551672e-06,5.662940e-06,5.667346e-06,5.771817e-06,5.799164e-06,5.865840e-06,5.917552e-06,5.950165e-06,6.019803e-06,6.025518e-06,6.092598e-06,6.107541e-06,6.152071e-06,6.182289e-06,6.204565e-06,6.245456e-06,6.250670e-06,6.290934e-06,6.298331e-06,6.325865e-06,6.342079e-06,6.355932e-06,6.377748e-06,6.381569e-06,6.403169e-06,6.406275e-06,6.421094e-06,6.428492e-06,6.435675e-06,6.445134e-06,6.447212e-06,6.455976e-06,6.456854e-06,6.462218e-06,6.464223e-06,6.466160e-06,6.467747e-06,6.468010e-06,6.467951e-06,6.467869e-06,6.466152e-06,6.464980e-06,6.462766e-06,6.459425e-06,6.457933e-06,6.451778e-06,6.451506e-06,6.444418e-06,6.441493e-06,6.435956e-06,6.429623e-06,6.426489e-06,6.416104e-06,6.404881e-06,6.401124e-06,6.392892e-06,6.384850e-06,6.380206e-06,6.367429e-06,6.366885e-06,6.352983e-06,6.348995e-06,6.338555e-06,6.329666e-06,6.323648e-06,6.309549e-06,6.308307e-06,6.292572e-06,6.288741e-06,6.276482e-06,6.267329e-06,6.260071e-06,6.245391e-06,6.243373e-06,6.226418e-06,6.222999e-06,6.209234e-06,6.200217e-06,6.191848e-06,6.177104e-06,6.174283e-06,6.156563e-06,6.153715e-06,6.138709e-06,6.130097e-06,6.120741e-06,6.106296e-06,6.102677e-06,6.084534e-06,6.082353e-06,6.066331e-06,6.058305e-06,6.048080e-06,6.034186e-06,6.029796e-06,6.011494e-06,6.010029e-06,5.993184e-06,5.985861e-06,5.974880e-06,5.961710e-06,5.956592e-06,5.938330e-06,5.937600e-06,5.920103e-06,5.913552e-06,5.901921e-06,5.889587e-06,5.883792e-06,5.865724e-06,5.841979e-06,5.818369e-06,5.794907e-06,5.771607e-06,5.748480e-06,5.725538e-06,5.702790e-06,5.680245e-06,5.657911e-06,5.635796e-06,5.613905e-06,5.592245e-06,5.570822e-06,5.549638e-06,5.528699e-06,5.508008e-06,5.487568e-06,5.467381e-06,5.447450e-06,5.427777e-06,5.408362e-06,5.389207e-06,5.370313e-06,5.351680e-06
0.000000e+00,2.227492e-11,5.184468e-11,1.808578e-10,4.130128e-10,6.026946e-10,1.363455e-09,1.404211e-09,2.697139e-09,3.162467e-09,4.594079e-09,6.070360e-09,7.210962e-09,1.035088e-08,1.065963e-08,1.502000e-08,1.620475e-08,2.029754e-08,2.362557e-08,2.640994e-08,3.237549e-08,3.322600e-08,4.061147e-08,4.214613e-08,4.844737e-08,5.266509e-08,5.662979e-08,6.370217e-08,6.506519e-08,7.366695e-08,7.505318e-08,8.235402e-08,8.653169e-08,9.105079e-08,9.796822e-08,9.968769e-08,1.082019e-07,1.092127e-07,1.165382e-07,1.201373e-07,1.246491e-07,1.306380e-07,1.324950e-07,1.400441e-07,1.406345e-07,1.472722e-07,1.500693e-07,1.541614e-07,1.589052e-07,1.607003e-07,1.668828e-07,1.671226e-07,1.727071e-07,1.747165e-07,1.781756e-07,1.816935e-07,1.832936e-07,1.880692e-07,1.925123e-07,1.938657e-07,1.966344e-07,1.991098e-07,2.004480e-07,2.038311e-07,2.039663e-07,2.072031e-07,2.080609e-07,2.101722e-07,2.118310e-07,2.128876e-07,2.151733e-07,2.153628e-07,2.176114e-07,2.181187e-07,2.196463e-07,2.206973e-07,2.214803e-07,2.229377e-07,2.231255e-07,2.245936e-07,2.248669e-07,2.258956e-07,2.265106e-07,2.270422e-07,2.278926e-07,2.280434e-07,2.289088e-07,2.290352e-07,2.296473e-07,2.299593e-07,2.302676e-07,2.306840e-07,2.307776e-07,2.311849e-07,2.312272e-07,2.314966e-07,2.316053e-07,2.317196e-07,2.318335e-07,2.318600e-07,2.319238e-07,2.319258e-07,2.319166e-07,2.318950e-07,2.318435e-07,2.317528e-07,2.317094e-07,2.315189e-07,2.315102e-07,2.312763e-07,2.311770e-07,2.309856e-07,2.307625e-07,2.306507e-07,2.302750e-07,2.298618e-07,2.297221e-07,2.294142e-07,2.291111e-07,2.289352e-07,2.284482e-07,2.284274e-07,2.278934e-07,2.277395e-07,2.273355e-07,2.269903e-07,2.267561e-07,2.262057e-07,2.261571e-07,2.255405e-07,2.253901e-07,2.249081e-07,2.245477e-07,2.242616e-07,2.236823e-07,2.236026e-07,2.229326e-07,2.227974e-07,2.222529e-07,2.218961e-07,2.215649e-07,2.209814e-07,2.208698e-07,2.201686e-07,2.200559e-07,2.194625e-07,2.191220e-07,2.187523e-07,2.181820e-07,2.180391e-07,2.173237e-07,2.172377e-07,2.166068e-07,2.162911e-07,2.158892e-07,2.153437e-07,2.151715e-07,2.144545e-07,2.143972e-07,2.137387e-07,2.134528e-07,2.130246e-07,2.125118e-07,2.123127e-07,2.116035e-07,2.115752e-07,2.108976e-07,2.106442e-07,2.101951e-07,2.097197e-07,2.094966e-07,2.088023e-07,2.078929e-07,2.069922e-07,2.061006e-07,2.052187e-07,2.043471e-07,2.034860e-07,2.026358e-07,2.017968e-07,2.009694e-07,2.001536e-07,1.993498e-07,1.985579e-07,1.977783e-07,1.970109e-07,1.962558e-07,1.955131e-07,1.947828e-07,1.940649e-07,1.933594e-07,1.926663e-07,1.919854e-07,1.913168e-07,1.906604e-07,1.900161e-07
0.000000e+00,2.913648e-11,6.844796e-11,2.421684e-10,5.600746e-10,8.238297e-10,1.912872e-09,1.972523e-09,3.925030e-09,4.652187e-09,6.941872e-09,9.337001e-09,1.117874e-08,1.610973e-08,1.658141e-08,2.300539e-08,2.468480e-08,3.032840e-08,3.478601e-08,3.845528e-08,4.620254e-08,4.729861e-08,5.676711e-08,5.872728e-08,6.676217e-08,7.213317e-08,7.717930e-08,8.617733e-08,8.791117e-08,9.885177e-08,1.006148e-07,1.098999e-07,1.152133e-07,1.209618e-07,1.297645e-07,1.319536e-07,1.428019e-07,1.440909e-07,1.534441e-07,1.580477e-07,1.638289e-07,1.715238e-07,1.739156e-07,1.836725e-07,1.844380e-07,1.930763e-07,1.967351e-07,2.021108e-07,2.083812e-07,2.107661e-07,2.190371e-07,2.193599e-07,2.269230e-07,2.296680e-07,2.344262e-07,2.393123e-07,2.415519e-07,2.483072e-07,2.547009e-07,2.566721e-07,2.607429e-07,2.644302e-07,2.664440e-07,2.716068e-07,2.718155e-07,2.768690e-07,2.782286e-07,2.816164e-07,2.843228e-07,2.860696e-07,2.899168e-07,2.902404e-07,2.941405e-07,2.950376e-07,2.977815e-07,2.997114e-07,3.011746e-07,3.039641e-07,3.043307e-07,3.072606e-07,3.078203e-07,3.099745e-07,3.113038e-07,3.124826e-07,3.144373e-07,3.147944e-07,3.169192e-07,3.172425e-07,3.188662e-07,3.197401e-07,3.206438e-07,3.219496e-07,3.222605e-07,3.237241e-07,3.238898e-07,3.250423e-07,3.255781e-07,3.262224e-07,3.270314e-07,3.272716e-07,3.281964e-07,3.282652e-07,3.290033e-07,3.292945e-07,3.296986e-07,3.301333e-07,3.302879e-07,3.307771e-07,3.307947e-07,3.311715e-07,3.312912e-07,3.314761e-07,3.316346e-07,3.316960e-07,3.318357e-07,3.318998e-07,3.319050e-07,3.318925e-07,3.318522e-07,3.318178e-07,3.316864e-07,3.316797e-07,3.314817e-07,3.314161e-07,3.312275e-07,3.310494e-07,3.309204e-07,3.305939e-07,3.305636e-07,3.301600e-07,3.300566e-07,3.297127e-07,3.294441e-07,3.292243e-07,3.287627e-07,3.286975e-07,3.281348e-07,3.280182e-07,3.275385e-07,3.272159e-07,3.269109e-07,3.263612e-07,3.262542e-07,3.255704e-07,3.254586e-07,3.248614e-07,3.245127e-07,3.241291e-07,3.235276e-07,3.233752e-07,3.226014e-07,3.225072e-07,3.218092e-07,3.214553e-07,3.210003e-07,3.203751e-07,3.201760e-07,3.193376e-07,3.192700e-07,3.184865e-07,3.181427e-07,3.176238e-07,3.169962e-07,3.167508e-07,3.158684e-07,3.158330e-07,3.149779e-07,3.146554e-07,3.140800e-07,3.134659e-07,3.131759e-07,3.122663e-07,3.110588e-07,3.098450e-07,3.086267e-07,3.074054e-07,3.061826e-07,3.049596e-07,3.037377e-07,3.025180e-07,3.013015e-07,3.000894e-07,2.988823e-07,2.976813e-07,2.964871e-07,2.953003e-07,2.941216e-07,2.929517e-07,2.917910e-07,2.906400e-07,2.894992e-07,2.883690e-07,2.872498e-07,2.861418e-07,2.850455e-07,2.839609e-07
0.000000e+00,1.436692e-14,1.233368e-13,2.948977e-12,2.364216e-11,6.081957e-11,4.566867e-10,4.907525e-10,2.372604e-09,3.462680e-09,8.310735e-09,1.578722e-08,2.334331e-08,5.235082e-08,5.586271e-08,1.184428e-07,1.397616e-07,2.285127e-07,3.191531e-07,4.088376e-07,6.480082e-07,6.877532e-07,1.099042e-06,1.200507e-06,1.681278e-06,2.065457e-06,2.476450e-06,3.340606e-06,3.527792e-06,4.876946e-06,5.123009e-06,6.560847e-06,7.496979e-06,8.608779e-06,1.052258e-05,1.104005e-05,1.386260e-05,1.422754e-05,1.707256e-05,1.860415e-05,2.065478e-05,2.361107e-05,2.458409e-05,2.882698e-05,2.917880e-05,3.334365e-05,3.521720e-05,3.809002e-05,4.162362e-05,4.301969e-05,4.808566e-05,4.829048e-05,5.324183e-05,5.511156e-05,5.844414e-05,6.198696e-05,6.365150e-05,6.882637e-05,7.393515e-05,7.555107e-05,7.894837e-05,8.209483e-05,8.384074e-05,8.840397e-05,8.859103e-05,9.318188e-05,9.443679e-05,9.759956e-05,1.001626e-04,1.018336e-04,1.055604e-04,1.058767e-04,1.097239e-04,1.106178e-04,1.133730e-04,1.153296e-04,1.168233e-04,1.196964e-04,1.200764e-04,1.231348e-04,1.237235e-04,1.260026e-04,1.274201e-04,1.286847e-04,1.307982e-04,1.311866e-04,1.335147e-04,1.338715e-04,1.356757e-04,1.366556e-04,1.376764e-04,1.391664e-04,1.395240e-04,1.412257e-04,1.414205e-04,1.427888e-04,1.434345e-04,1.442204e-04,1.452248e-04,1.455275e-04,1.467170e-04,1.468073e-04,1.477956e-04,1.481974e-04,1.487696e-04,1.494097e-04,1.496454e-04,1.504288e-04,1.504583e-04,1.511256e-04,1.513563e-04,1.517413e-04,1.521162e-04,1.522809e-04,1.527495e-04,1.531518e-04,1.532672e-04,1.534920e-04,1.536792e-04,1.537745e-04,1.539951e-04,1.540032e-04,1.541819e-04,1.542234e-04,1.543140e-04,1.543723e-04,1.544029e-04,1.544492e-04,1.544517e-04,1.544635e-04,1.544610e-04,1.544408e-04,1.544141e-04,1.543864e-04,1.543142e-04,1.543026e-04,1.541919e-04,1.541667e-04,1.540562e-04,1.539765e-04,1.538977e-04,1.537483e-04,1.537183e-04,1.535196e-04,1.534862e-04,1.533035e-04,1.531939e-04,1.530713e-04,1.528751e-04,1.528247e-04,1.525648e-04,1.525328e-04,1.522931e-04,1.521701e-04,1.520107e-04,1.517897e-04,1.517188e-04,1.514183e-04,1.513939e-04,1.511102e-04,1.509851e-04,1.507955e-04,1.505653e-04,1.504750e-04,1.501495e-04,1.501364e-04,1.498197e-04,1.497001e-04,1.494863e-04,1.492579e-04,1.491500e-04,1.488112e-04,1.483614e-04,1.479096e-04,1.474569e-04,1.470041e-04,1.465522e-04,1.461020e-04,1.456541e-04,1.452092e-04,1.447678e-04,1.443304e-04,1.438976e-04,1.434696e-04,1.430468e-04,1.426295e-04,1.422181e-04,1.418126e-04,1.414134e-04,1.410206e-04,1.406343e-04,1.402546e-04,1.398816e-04,1.395155e-04,1.391562e-04,1.388038e-04
0.000000e+00,2.393453e-11,8.131478e-11,4.208368e-10,1.146625e-09,1.782633e-09,4.483013e-09,4.631371e-09,9.419896e-09,1.116454e-08,1.655562e-08,2.212314e-08,2.642007e-08,3.821718e-08,3.937528e-08,5.573554e-08,6.019303e-08,7.567768e-08,8.839210e-08,9.912076e-08,1.223660e-07,1.257058e-07,1.549245e-07,1.610381e-07,1.862626e-07,2.032409e-07,2.192599e-07,2.479612e-07,2.535099e-07,2.886436e-07,2.943237e-07,3.243164e-07,3.415344e-07,3.602023e-07,3.888566e-07,3.959930e-07,4.314002e-07,4.356104e-07,4.661594e-07,4.811861e-07,5.000337e-07,5.250578e-07,5.328161e-07,5.643320e-07,5.667941e-07,5.944399e-07,6.060632e-07,6.230302e-07,6.426306e-07,6.500248e-07,6.753740e-07,6.763533e-07,6.990541e-07,7.071695e-07,7.210643e-07,7.350865e-07,7.414237e-07,7.601676e-07,7.773446e-07,7.825197e-07,7.930138e-07,8.022814e-07,8.072421e-07,8.196128e-07,8.201018e-07,8.316688e-07,8.346865e-07,8.420206e-07,8.476807e-07,8.512349e-07,8.587736e-07,8.593886e-07,8.665570e-07,8.681389e-07,8.728127e-07,8.759434e-07,8.782255e-07,8.823441e-07,8.828616e-07,8.867837e-07,8.874877e-07,8.900509e-07,8.915095e-07,8.927184e-07,8.945333e-07,8.948375e-07,8.964561e-07,8.966717e-07,8.976187e-07,8.980269e-07,8.983662e-07,8.986909e-07,8.987366e-07,8.987646e-07,8.987465e-07,8.984822e-07,8.982672e-07,8.979186e-07,8.973190e-07,8.971009e-07,8.960536e-07,8.959606e-07,8.947993e-07,8.942442e-07,8.933585e-07,8.922164e-07,8.917502e-07,8.899914e-07,8.899182e-07,8.880980e-07,8.873862e-07,8.860843e-07,8.846530e-07,8.839634e-07,8.817475e-07,8.794473e-07,8.786951e-07,8.770729e-07,8.755185e-07,8.746333e-07,8.722379e-07,8.721370e-07,8.695915e-07,8.688709e-07,8.670039e-07,8.654337e-07,8.643805e-07,8.619404e-07,8.617272e-07,8.590493e-07,8.584035e-07,8.563519e-07,8.548344e-07,8.536392e-07,8.512429e-07,8.509156e-07,8.481847e-07,8.476380e-07,8.454500e-07,8.440275e-07,8.427146e-07,8.404186e-07,8.399816e-07,8.372534e-07,8.368175e-07,8.345326e-07,8.332299e-07,8.318214e-07,8.296607e-07,8.291218e-07,8.264357e-07,8.261143e-07,8.237647e-07,8.225947e-07,8.211105e-07,8.191053e-07,8.184743e-07,8.158576e-07,8.156492e-07,8.132615e-07,8.122290e-07,8.106870e-07,8.088473e-07,8.081351e-07,8.056067e-07,8.055061e-07,8.031025e-07,8.022071e-07,8.006233e-07,7.989520e-07,7.981697e-07,7.957421e-07,7.925786e-07,7.894623e-07,7.863941e-07,7.833747e-07,7.804045e-07,7.774840e-07,7.746134e-07,7.717930e-07,7.690226e-07,7.663025e-07,7.636325e-07,7.610123e-07,7.584420e-07,7.559210e-07,7.534492e-07,7.510262e-07,7.486514e-07,7.463246e-07,7.440453e-07,7.418128e-07,7.396267e-07,7.374863e-07,7.353912e-07,7.333408e-07
0.000000e+00,6.637677e-14,5.510122e-13,1.229160e-11,9.248996e-11,2.297889e-10,1.577224e-09,1.688708e-09,7.472860e-09,1.064918e-08,2.408475e-08,4.363573e-08,6.258460e-08,1.312994e-07,1.393282e-07,2.763309e-07,3.211403e-07,5.013147e-07,6.778655e-07,8.473404e-07,1.281487e-06,1.351654e-06,2.053215e-06,2.220517e-06,2.988658e-06,3.577682e-06,4.187299e-06,5.410696e-06,5.666519e-06,7.428921e-06,7.736544e-06,9.461901e-06,1.052665e-05,1.173950e-05,1.371372e-05,1.422567e-05,1.687815e-05,1.720549e-05,1.965210e-05,2.089963e-05,2.250322e-05,2.469594e-05,2.538992e-05,2.827482e-05,2.850453e-05,3.112553e-05,3.224997e-05,3.391483e-05,3.587248e-05,3.662058e-05,3.922543e-05,3.932733e-05,4.171632e-05,4.258324e-05,4.408394e-05,4.562031e-05,4.632226e-05,4.842798e-05,5.040009e-05,5.100304e-05,5.223942e-05,5.334793e-05,5.394829e-05,5.546929e-05,5.553018e-05,5.698944e-05,5.737673e-05,5.833106e-05,5.908180e-05,5.956044e-05,6.059724e-05,6.068328e-05,6.170541e-05,6.193639e-05,6.263269e-05,6.311270e-05,6.347091e-05,6.413939e-05,6.422575e-05,6.490270e-05,6.502921e-05,6.550705e-05,6.579432e-05,6.604387e-05,6.644613e-05,6.651796e-05,6.693387e-05,6.699531e-05,6.729591e-05,6.745174e-05,6.760810e-05,6.782453e-05,6.787425e-05,6.809788e-05,6.812202e-05,6.828232e-05,6.835186e-05,6.843066e-05,6.852102e-05,6.854575e-05,6.863029e-05,6.863581e-05,6.868676e-05,6.870200e-05,6.871746e-05,6.872481e-05,6.872453e-05,6.870997e-05,6.870896e-05,6.867561e-05,6.865873e-05,6.862317e-05,6.857798e-05,6.855422e-05,6.847022e-05,6.837254e-05,6.833860e-05,6.826242e-05,6.818596e-05,6.814103e-05,6.801489e-05,6.800944e-05,6.786865e-05,6.782770e-05,6.771957e-05,6.762651e-05,6.756306e-05,6.741318e-05,6.739990e-05,6.723083e-05,6.718945e-05,6.705651e-05,6.695684e-05,6.687758e-05,6.671676e-05,6.669460e-05,6.650812e-05,6.647044e-05,6.631861e-05,6.621902e-05,6.612653e-05,6.596352e-05,6.593232e-05,6.573634e-05,6.570484e-05,6.553896e-05,6.544382e-05,6.534051e-05,6.518119e-05,6.514130e-05,6.494160e-05,6.491761e-05,6.474167e-05,6.465369e-05,6.454175e-05,6.438995e-05,6.434206e-05,6.414280e-05,6.412689e-05,6.394416e-05,6.386491e-05,6.374630e-05,6.360442e-05,6.354938e-05,6.335355e-05,6.334574e-05,6.315893e-05,6.308918e-05,6.296563e-05,6.283501e-05,6.277378e-05,6.258346e-05,6.233475e-05,6.208905e-05,6.184652e-05,6.160731e-05,6.137152e-05,6.113926e-05,6.091062e-05,6.068567e-05,6.046446e-05,6.024704e-05,6.003344e-05,5.982370e-05,5.961782e-05,5.941581e-05,5.921767e-05,5.902339e-05,5.883296e-05,5.864637e-05,5.846359e-05,5.828460e-05,5.810935e-05,5.793783e-05,5.776999e-05,5.760579e-05
0.000000e+00,5.231411e-11,1.234428e-10,4.419372e-10,1.038410e-09,1.544875e-09,3.731609e-09,3.855401e-09,8.096928e-09,9.755712e-09,1.517914e-08,2.107018e-08,2.568664e-08,3.819950e-08,3.940063e-08,5.573662e-08,5.999219e-08,7.423581e-08,8.542936e-08,9.461341e-08,1.139470e-07,1.166786e-07,1.402748e-07,1.451645e-07,1.652496e-07,1.787286e-07,1.914429e-07,2.142632e-07,2.186853e-07,2.468004e-07,2.513678e-07,2.756093e-07,2.896319e-07,3.049354e-07,3.286544e-07,3.346092e-07,3.644717e-07,3.680609e-07,3.943773e-07,4.075150e-07,4.241945e-07,4.467247e-07,4.538076e-07,4.831154e-07,4.854442e-07,5.120318e-07,5.234720e-07,5.404837e-07,5.606470e-07,5.684106e-07,5.957635e-07,5.968451e-07,6.225034e-07,6.319735e-07,6.485991e-07,6.659633e-07,6.740258e-07,6.987656e-07,7.228059e-07,7.303496e-07,7.461386e-07,7.606984e-07,7.687601e-07,7.898070e-07,7.906698e-07,8.118700e-07,8.176795e-07,8.323654e-07,8.443269e-07,8.521625e-07,8.697665e-07,8.712700e-07,8.897001e-07,8.940240e-07,9.074649e-07,9.171263e-07,9.245746e-07,9.390987e-07,9.410411e-07,9.568769e-07,9.599695e-07,9.720944e-07,9.797675e-07,9.867067e-07,9.985230e-07,1.000727e-06,1.014169e-06,1.016267e-06,1.027046e-06,1.033031e-06,1.039372e-06,1.048845e-06,1.051160e-06,1.062424e-06,1.063741e-06,1.073177e-06,1.077750e-06,1.083433e-06,1.090904e-06,1.093206e-06,1.102508e-06,1.103232e-06,1.111352e-06,1.114765e-06,1.119752e-06,1.125532e-06,1.127720e-06,1.135269e-06,1.135563e-06,1.142412e-06,1.144886e-06,1.149159e-06,1.153529e-06,1.155524e-06,1.161519e-06,1.167154e-06,1.168883e-06,1.172441e-06,1.175647e-06,1.177391e-06,1.181836e-06,1.182014e-06,1.186323e-06,1.187474e-06,1.190326e-06,1.192586e-06,1.194035e-06,1.197194e-06,1.197458e-06,1.200606e-06,1.201322e-06,1.203488e-06,1.204990e-06,1.206114e-06,1.208220e-06,1.208492e-06,1.210631e-06,1.211031e-06,1.212540e-06,1.213445e-06,1.214228e-06,1.215479e-06,1.215701e-06,1.216968e-06,1.217152e-06,1.218037e-06,1.218482e-06,1.218916e-06,1.219486e-06,1.219611e-06,1.220129e-06,1.220180e-06,1.220478e-06,1.220580e-06,1.220665e-06,1.220702e-06,1.220695e-06,1.220575e-06,1.220559e-06,1.220311e-06,1.220167e-06,1.219910e-06,1.219539e-06,1.219376e-06,1.218716e-06,1.218687e-06,1.217935e-06,1.217625e-06,1.217038e-06,1.216365e-06,1.216031e-06,1.214917e-06,1.213294e-06,1.211506e-06,1.209563e-06,1.207474e-06,1.205251e-06,1.202900e-06,1.200431e-06,1.197852e-06,1.195171e-06,1.192396e-06,1.189533e-06,1.186590e-06,1.183573e-06,1.180488e-06,1.177342e-06,1.174140e-06,1.170887e-06,1.167588e-06,1.164249e-06,1.160875e-06,1.157469e-06,1.154036e-06,1.150579e-06,1.147104e-06
0.000000e+00,5.459556e-12,3.025032e-11,3.126799e-10,1.264229e-09,2.302997e-09,7.773374e-09,8.107068e-09,2.000006e-08,2.474388e-08,4.039697e-08,5.782438e-08,7.198045e-08,1.132327e-07,1.174288e-07,1.783678e-07,1.953004e-07,2.544655e-07,3.030739e-07,3.439837e-07,4.322791e-07,4.449384e-07,5.556398e-07,5.788221e-07,6.746727e-07,7.394325e-07,8.007468e-07,9.111616e-07,9.325918e-07,1.068917e-06,1.091057e-06,1.208414e-06,1.276118e-06,1.349786e-06,1.463384e-06,1.491773e-06,1.633192e-06,1.650072e-06,1.772962e-06,1.833686e-06,1.910123e-06,2.012107e-06,2.043849e-06,2.173454e-06,2.183627e-06,2.298388e-06,2.346955e-06,2.418230e-06,2.501192e-06,2.532682e-06,2.641550e-06,2.645787e-06,2.744735e-06,2.780484e-06,2.842217e-06,2.905266e-06,2.934039e-06,3.020299e-06,3.101136e-06,3.125887e-06,3.176724e-06,3.222433e-06,3.247254e-06,3.310402e-06,3.312939e-06,3.373998e-06,3.390296e-06,3.430656e-06,3.462633e-06,3.483140e-06,3.527930e-06,3.531673e-06,3.576475e-06,3.586696e-06,3.617759e-06,3.639418e-06,3.655731e-06,3.686563e-06,3.690588e-06,3.722518e-06,3.728569e-06,3.751700e-06,3.765845e-06,3.778304e-06,3.798775e-06,3.802488e-06,3.824404e-06,3.827710e-06,3.844196e-06,3.852980e-06,3.861995e-06,3.874885e-06,3.877928e-06,3.892112e-06,3.893702e-06,3.904658e-06,3.909686e-06,3.915669e-06,3.923071e-06,3.925242e-06,3.933469e-06,3.934072e-06,3.940434e-06,3.942884e-06,3.946216e-06,3.949690e-06,3.950892e-06,3.954529e-06,3.954654e-06,3.957194e-06,3.957928e-06,3.958949e-06,3.959651e-06,3.959850e-06,3.959951e-06,3.959304e-06,3.958947e-06,3.957955e-06,3.956745e-06,3.955950e-06,3.953445e-06,3.953328e-06,3.950131e-06,3.949138e-06,3.946395e-06,3.943909e-06,3.942154e-06,3.937835e-06,3.937441e-06,3.932287e-06,3.930988e-06,3.926720e-06,3.923433e-06,3.920768e-06,3.915232e-06,3.914456e-06,3.907808e-06,3.906440e-06,3.900847e-06,3.897111e-06,3.893595e-06,3.887292e-06,3.886070e-06,3.878293e-06,3.877027e-06,3.870282e-06,3.866358e-06,3.862053e-06,3.855324e-06,3.853622e-06,3.845005e-06,3.843959e-06,3.836216e-06,3.832297e-06,3.827268e-06,3.820369e-06,3.818174e-06,3.808947e-06,3.808203e-06,3.799597e-06,3.795826e-06,3.790137e-06,3.783262e-06,3.780575e-06,3.770922e-06,3.770534e-06,3.761187e-06,3.757664e-06,3.751378e-06,3.744671e-06,3.741504e-06,3.731573e-06,3.718389e-06,3.705134e-06,3.691823e-06,3.678470e-06,3.665087e-06,3.651688e-06,3.638282e-06,3.624882e-06,3.611496e-06,3.598133e-06,3.584803e-06,3.571512e-06,3.558268e-06,3.545079e-06,3.531949e-06,3.518885e-06,3.505893e-06,3.492978e-06,3.480143e-06,3.467394e-06,3.454734e-06,3.442166e-06,3.429695e-06,3.417323e-06
0.000000e+00,2.109114e-15,1.858867e-14,4.696607e-13,3.961833e-12,1.048297e-11,8.471062e-11,9.130323e-11,4.751083e-10,7.074390e-10,1.785732e-09,3.533208e-09,5.364416e-09,1.275856e-08,1.368223e-08,3.080686e-08,3.685980e-08,6.288499e-08,9.050097e-08,1.186002e-07,1.963295e-07,2.095667e-07,3.506182e-07,3.863805e-07,5.599510e-07,7.028050e-07,8.590822e-07,1.197658e-06,1.272602e-06,1.827705e-06,1.931587e-06,2.553537e-06,2.971451e-06,3.480378e-06,4.387095e-06,4.638734e-06,6.058372e-06,6.247644e-06,7.767374e-06,8.617690e-06,9.791246e-06,1.155374e-05,1.215213e-05,1.486814e-05,1.510120e-05,1.795282e-05,1.929202e-05,2.141482e-05,2.414330e-05,2.525771e-05,2.947986e-05,2.965655e-05,3.407462e-05,3.581787e-05,3.903050e-05,4.259878e-05,4.433151e-05,4.995761e-05,5.588515e-05,5.784134e-05,6.208745e-05,6.618774e-05,6.853536e-05,7.492761e-05,7.519783e-05,8.204245e-05,8.398708e-05,8.903606e-05,9.328982e-05,9.614520e-05,1.027591e-04,1.033366e-04,1.105777e-04,1.123194e-04,1.178368e-04,1.218985e-04,1.250837e-04,1.314280e-04,1.322896e-04,1.394277e-04,1.408449e-04,1.464730e-04,1.500922e-04,1.534026e-04,1.591189e-04,1.601958e-04,1.668342e-04,1.678808e-04,1.733012e-04,1.763403e-04,1.795828e-04,1.844662e-04,1.856666e-04,1.915427e-04,1.922335e-04,1.972028e-04,1.996230e-04,2.026403e-04,2.066210e-04,2.078505e-04,2.128302e-04,2.132186e-04,2.175776e-04,2.194113e-04,2.220921e-04,2.251987e-04,2.263745e-04,2.304263e-04,2.305836e-04,2.342503e-04,2.355718e-04,2.378498e-04,2.401714e-04,2.412291e-04,2.443928e-04,2.473462e-04,2.482478e-04,2.500950e-04,2.517496e-04,2.526452e-04,2.549123e-04,2.550030e-04,2.571750e-04,2.577508e-04,2.591678e-04,2.602803e-04,2.609882e-04,2.625164e-04,2.626429e-04,2.641386e-04,2.644747e-04,2.654822e-04,2.661707e-04,2.666804e-04,2.676197e-04,2.677397e-04,2.686666e-04,2.688367e-04,2.694676e-04,2.698364e-04,2.701488e-04,2.706330e-04,2.707164e-04,2.711760e-04,2.712400e-04,2.715336e-04,2.716706e-04,2.717946e-04,2.719374e-04,2.719643e-04,2.720479e-04,2.720524e-04,2.720504e-04,2.720271e-04,2.719766e-04,2.718722e-04,2.718310e-04,2.716180e-04,2.715982e-04,2.713419e-04,2.712147e-04,2.710068e-04,2.707311e-04,2.706164e-04,2.701746e-04,2.701559e-04,2.696847e-04,2.694972e-04,2.691501e-04,2.687628e-04,2.685742e-04,2.679598e-04,2.670949e-04,2.661744e-04,2.652042e-04,2.641897e-04,2.631362e-04,2.620483e-04,2.609305e-04,2.597868e-04,2.586212e-04,2.574371e-04,2.562378e-04,2.550263e-04,2.538055e-04,2.525779e-04,2.513459e-04,2.501117e-04,2.488773e-04,2.476445e-04,2.464150e-04,2.451904e-04,2.439721e-04,2.427613e-04,2.415592e-04,2.403668e-04
0.000000e+00,2.943532e-11,6.850176e-11,2.399895e-10,5.515454e-10,8.081732e-10,1.851028e-09,1.907412e-09,3.718002e-09,4.378761e-09,6.437096e-09,8.594508e-09,1.028196e-08,1.500086e-08,1.546964e-08,2.215438e-08,2.398699e-08,3.035802e-08,3.558075e-08,3.997980e-08,4.950289e-08,5.087224e-08,6.289411e-08,6.542287e-08,7.592165e-08,8.305595e-08,8.984277e-08,1.021485e-07,1.045501e-07,1.199369e-07,1.224547e-07,1.358958e-07,1.437277e-07,1.523193e-07,1.657209e-07,1.691009e-07,1.861372e-07,1.881939e-07,2.033296e-07,2.109196e-07,2.205855e-07,2.336898e-07,2.378198e-07,2.549553e-07,2.563197e-07,2.719231e-07,2.786495e-07,2.886630e-07,3.005452e-07,3.051232e-07,3.212592e-07,3.218974e-07,3.370343e-07,3.426190e-07,3.524183e-07,3.626435e-07,3.673871e-07,3.819221e-07,3.960096e-07,4.004214e-07,4.096399e-07,4.181204e-07,4.228070e-07,4.350090e-07,4.355081e-07,4.477429e-07,4.510854e-07,4.595136e-07,4.663547e-07,4.708239e-07,4.808275e-07,4.816794e-07,4.920869e-07,4.945189e-07,5.020544e-07,5.074471e-07,5.115904e-07,5.196327e-07,5.207044e-07,5.294060e-07,5.310978e-07,5.377056e-07,5.418659e-07,5.456136e-07,5.519615e-07,5.531407e-07,5.602977e-07,5.614092e-07,5.670955e-07,5.702340e-07,5.735449e-07,5.784610e-07,5.796569e-07,5.854420e-07,5.861147e-07,5.909110e-07,5.932199e-07,5.960743e-07,5.998003e-07,6.009423e-07,6.055251e-07,6.058797e-07,6.098328e-07,6.114810e-07,6.138750e-07,6.166265e-07,6.176615e-07,6.212015e-07,6.213381e-07,6.245042e-07,6.256368e-07,6.275785e-07,6.295431e-07,6.304332e-07,6.330766e-07,6.355171e-07,6.362565e-07,6.377626e-07,6.391011e-07,6.398210e-07,6.416281e-07,6.416999e-07,6.434066e-07,6.438545e-07,6.449482e-07,6.457968e-07,6.463316e-07,6.474705e-07,6.475637e-07,6.486508e-07,6.488909e-07,6.495994e-07,6.500723e-07,6.504154e-07,6.510287e-07,6.511049e-07,6.516735e-07,6.517732e-07,6.521267e-07,6.523185e-07,6.524699e-07,6.526769e-07,6.527082e-07,6.528467e-07,6.528599e-07,6.528900e-07,6.528785e-07,6.528430e-07,6.527433e-07,6.527100e-07,6.524954e-07,6.524644e-07,6.522034e-07,6.520514e-07,6.518379e-07,6.515135e-07,6.514029e-07,6.509021e-07,6.508593e-07,6.503390e-07,6.500972e-07,6.497172e-07,6.492349e-07,6.490399e-07,6.483104e-07,6.482801e-07,6.475317e-07,6.472399e-07,6.467068e-07,6.461209e-07,6.458385e-07,6.449296e-07,6.436722e-07,6.423542e-07,6.409813e-07,6.395585e-07,6.380907e-07,6.365826e-07,6.350386e-07,6.334627e-07,6.318588e-07,6.302306e-07,6.285815e-07,6.269148e-07,6.252336e-07,6.235407e-07,6.218388e-07,6.201304e-07,6.184179e-07,6.167035e-07,6.149893e-07,6.132771e-07,6.115689e-07,6.098663e-07,6.081708e-07,6.064840e-07
0.000000e+00,9.313541e-13,6.886029e-12,1.214486e-10,7.431076e-10,1.653297e-09,8.628294e-09,9.139013e-09,3.135879e-08,4.182884e-08,8.058272e-08,1.290087e-07,1.711868e-07,3.042973e-07,3.185444e-07,5.384069e-07,6.037197e-07,8.465418e-07,1.063385e-06,1.258191e-06,1.716931e-06,1.786945e-06,2.443105e-06,2.590210e-06,3.232276e-06,3.695579e-06,4.155008e-06,5.030682e-06,5.207565e-06,6.383217e-06,6.582191e-06,7.673435e-06,8.330665e-06,9.068709e-06,1.025382e-05,1.055898e-05,1.213384e-05,1.232800e-05,1.378261e-05,1.452870e-05,1.549448e-05,1.683102e-05,1.725859e-05,1.906416e-05,1.921008e-05,2.090068e-05,2.164166e-05,2.275799e-05,2.410272e-05,2.462650e-05,2.649721e-05,2.657196e-05,2.836183e-05,2.903014e-05,3.021287e-05,3.146035e-05,3.204359e-05,3.384806e-05,3.562110e-05,3.618110e-05,3.735832e-05,3.844958e-05,3.905598e-05,4.064567e-05,4.071102e-05,4.232097e-05,4.276340e-05,4.388388e-05,4.479843e-05,4.539830e-05,4.674783e-05,4.686318e-05,4.827786e-05,4.860987e-05,4.964201e-05,5.038383e-05,5.095556e-05,5.206977e-05,5.221869e-05,5.343178e-05,5.366844e-05,5.459539e-05,5.518114e-05,5.571021e-05,5.660954e-05,5.677704e-05,5.779681e-05,5.795567e-05,5.877049e-05,5.922179e-05,5.969913e-05,6.041035e-05,6.058382e-05,6.142569e-05,6.152389e-05,6.222589e-05,6.256507e-05,6.298558e-05,6.353658e-05,6.370594e-05,6.438816e-05,6.444112e-05,6.503340e-05,6.528141e-05,6.564284e-05,6.606012e-05,6.621763e-05,6.675893e-05,6.677990e-05,6.726785e-05,6.744335e-05,6.774550e-05,6.805301e-05,6.819298e-05,6.861136e-05,6.900168e-05,6.912082e-05,6.936496e-05,6.958374e-05,6.970221e-05,7.000237e-05,7.001439e-05,7.030247e-05,7.037893e-05,7.056735e-05,7.071553e-05,7.080996e-05,7.101423e-05,7.103116e-05,7.123180e-05,7.127699e-05,7.141271e-05,7.150571e-05,7.157470e-05,7.170222e-05,7.171855e-05,7.184500e-05,7.186827e-05,7.195481e-05,7.200556e-05,7.204866e-05,7.211568e-05,7.212726e-05,7.219127e-05,7.220020e-05,7.224133e-05,7.226059e-05,7.227807e-05,7.229827e-05,7.230208e-05,7.231396e-05,7.231460e-05,7.231426e-05,7.231087e-05,7.230354e-05,7.228833e-05,7.228230e-05,7.225107e-05,7.224816e-05,7.221033e-05,7.219148e-05,7.216055e-05,7.211937e-05,7.210219e-05,7.203569e-05,7.203287e-05,7.196147e-05,7.193294e-05,7.187993e-05,7.182052e-05,7.179148e-05,7.169649e-05,7.156170e-05,7.141695e-05,7.126299e-05,7.110056e-05,7.093034e-05,7.075298e-05,7.056910e-05,7.037928e-05,7.018408e-05,6.998403e-05,6.977961e-05,6.957131e-05,6.935956e-05,6.914478e-05,6.892738e-05,6.870771e-05,6.848614e-05,6.826300e-05,6.803860e-05,6.781322e-05,6.758715e-05,6.736065e-05,6.713395e-05,6.690729e-05
0.000000e+00,8.269772e-11,3.749245e-10,2.825589e-09,9.390648e-09,1.578804e-08,4.612984e-08,4.790068e-08,1.091214e-07,1.331023e-07,2.120259e-07,3.004266e-07,3.729252e-07,5.877162e-07,6.098169e-07,9.340320e-07,1.024707e-06,1.341298e-06,1.599561e-06,1.814810e-06,2.271424e-06,2.335948e-06,2.890144e-06,3.003987e-06,3.467127e-06,3.773620e-06,4.059456e-06,4.564554e-06,4.661268e-06,5.267537e-06,5.364644e-06,5.873696e-06,6.163352e-06,6.475489e-06,6.951104e-06,7.068949e-06,7.650417e-06,7.719228e-06,8.216626e-06,8.460175e-06,8.764728e-06,9.167673e-06,9.292309e-06,9.797418e-06,9.836808e-06,1.027855e-05,1.046404e-05,1.073463e-05,1.104709e-05,1.116497e-05,1.156924e-05,1.158487e-05,1.194742e-05,1.207722e-05,1.229978e-05,1.252487e-05,1.262679e-05,1.292906e-05,1.320738e-05,1.329153e-05,1.346264e-05,1.361434e-05,1.369580e-05,1.389979e-05,1.390788e-05,1.409993e-05,1.415026e-05,1.427301e-05,1.436820e-05,1.442818e-05,1.455601e-05,1.456647e-05,1.468891e-05,1.471605e-05,1.479649e-05,1.485059e-05,1.489014e-05,1.496178e-05,1.497080e-05,1.503933e-05,1.505165e-05,1.509656e-05,1.512212e-05,1.514328e-05,1.517495e-05,1.518024e-05,1.520813e-05,1.521180e-05,1.522763e-05,1.523419e-05,1.523935e-05,1.524353e-05,1.524388e-05,1.524178e-05,1.524111e-05,1.523355e-05,1.522812e-05,1.521969e-05,1.520565e-05,1.520063e-05,1.517680e-05,1.517470e-05,1.514861e-05,1.513619e-05,1.511640e-05,1.509093e-05,1.508053e-05,1.504133e-05,1.503969e-05,1.499907e-05,1.498317e-05,1.495406e-05,1.492200e-05,1.490653e-05,1.485675e-05,1.480492e-05,1.478794e-05,1.475126e-05,1.471605e-05,1.469597e-05,1.464152e-05,1.463923e-05,1.458120e-05,1.456474e-05,1.452203e-05,1.448606e-05,1.446189e-05,1.440580e-05,1.440090e-05,1.433918e-05,1.432427e-05,1.427685e-05,1.424173e-05,1.421403e-05,1.415841e-05,1.415081e-05,1.408728e-05,1.407454e-05,1.402353e-05,1.399032e-05,1.395963e-05,1.390591e-05,1.389567e-05,1.383171e-05,1.382148e-05,1.376782e-05,1.373718e-05,1.370404e-05,1.365314e-05,1.364044e-05,1.357706e-05,1.356947e-05,1.351394e-05,1.348627e-05,1.345114e-05,1.340364e-05,1.338868e-05,1.332661e-05,1.332166e-05,1.326495e-05,1.324041e-05,1.320373e-05,1.315994e-05,1.314298e-05,1.308273e-05,1.308033e-05,1.302299e-05,1.300161e-05,1.296379e-05,1.292384e-05,1.290513e-05,1.284705e-05,1.277127e-05,1.269654e-05,1.262287e-05,1.255028e-05,1.247880e-05,1.240844e-05,1.233920e-05,1.227109e-05,1.220412e-05,1.213829e-05,1.207360e-05,1.201005e-05,1.194763e-05,1.188634e-05,1.182618e-05,1.176713e-05,1.170919e-05,1.165235e-05,1.159660e-05,1.154193e-05,1.148832e-05,1.143576e-05,1.138425e-05,1.133377e-05
0.000000e+00,2.385140e-11,5.604888e-11,1.969236e-10,4.501511e-10,6.566949e-10,1.483296e-09,1.527536e-09,2.931017e-09,3.436626e-09,4.995363e-09,6.608872e-09,7.860113e-09,1.132487e-08,1.166706e-08,1.652254e-08,1.784749e-08,2.243283e-08,2.616027e-08,2.927039e-08,3.588728e-08,3.682419e-08,4.488014e-08,4.653532e-08,5.326184e-08,5.770233e-08,6.183242e-08,6.909820e-08,7.048408e-08,7.912803e-08,8.050512e-08,8.768817e-08,9.174737e-08,9.609783e-08,1.026776e-07,1.042984e-07,1.122389e-07,1.131722e-07,1.198762e-07,1.231311e-07,1.271747e-07,1.324775e-07,1.341066e-07,1.406515e-07,1.411580e-07,1.467963e-07,1.491404e-07,1.525339e-07,1.564120e-07,1.578632e-07,1.627879e-07,1.629766e-07,1.673161e-07,1.688512e-07,1.714590e-07,1.740630e-07,1.752304e-07,1.786462e-07,1.817239e-07,1.826402e-07,1.844815e-07,1.860869e-07,1.869376e-07,1.890293e-07,1.891110e-07,1.910205e-07,1.915103e-07,1.926841e-07,1.935716e-07,1.941195e-07,1.952531e-07,1.953436e-07,1.963726e-07,1.965923e-07,1.972220e-07,1.976246e-07,1.979062e-07,1.983823e-07,1.984387e-07,1.988320e-07,1.988951e-07,1.990981e-07,1.991898e-07,1.992478e-07,1.992911e-07,1.992913e-07,1.992380e-07,1.992211e-07,1.990965e-07,1.989997e-07,1.988749e-07,1.986448e-07,1.985804e-07,1.982199e-07,1.981725e-07,1.977995e-07,1.975971e-07,1.973251e-07,1.969317e-07,1.968020e-07,1.962349e-07,1.961878e-07,1.956284e-07,1.953757e-07,1.949865e-07,1.945045e-07,1.943130e-07,1.936113e-07,1.935827e-07,1.928846e-07,1.926175e-07,1.921359e-07,1.916155e-07,1.913677e-07,1.905826e-07,1.897828e-07,1.895241e-07,1.889703e-07,1.884445e-07,1.881471e-07,1.873482e-07,1.873148e-07,1.864752e-07,1.862389e-07,1.856296e-07,1.851199e-07,1.847794e-07,1.839942e-07,1.839258e-07,1.830701e-07,1.828645e-07,1.822131e-07,1.817331e-07,1.813560e-07,1.806022e-07,1.804994e-07,1.796444e-07,1.794736e-07,1.787915e-07,1.783491e-07,1.779414e-07,1.772301e-07,1.770949e-07,1.762524e-07,1.761180e-07,1.754144e-07,1.750139e-07,1.745814e-07,1.739189e-07,1.737538e-07,1.729321e-07,1.728339e-07,1.721166e-07,1.717598e-07,1.713075e-07,1.706971e-07,1.705052e-07,1.697100e-07,1.696466e-07,1.689219e-07,1.686088e-07,1.681414e-07,1.675842e-07,1.673685e-07,1.666035e-07,1.665730e-07,1.658463e-07,1.655758e-07,1.650973e-07,1.645926e-07,1.643565e-07,1.636239e-07,1.626698e-07,1.617303e-07,1.608057e-07,1.598960e-07,1.590012e-07,1.581214e-07,1.572565e-07,1.564065e-07,1.555714e-07,1.547511e-07,1.539455e-07,1.531545e-07,1.523780e-07,1.516158e-07,1.508679e-07,1.501341e-07,1.494142e-07,1.487081e-07,1.480156e-07,1.473365e-07,1.466707e-07,1.460179e-07,1.453781e-07,1.447509e-07
0.000000e+00,2.527655e-12,5.791150e-12,1.987090e-11,4.501621e-11,6.547657e-11,1.470669e-10,1.514200e-10,2.887038e-10,3.377494e-10,4.875329e-10,6.403758e-10,7.574610e-10,1.076076e-09,1.107167e-09,1.543421e-09,1.661431e-09,2.069090e-09,2.401741e-09,2.681475e-09,3.286166e-09,3.373008e-09,4.133728e-09,4.293257e-09,4.953258e-09,5.399298e-09,5.821535e-09,6.581475e-09,6.728889e-09,7.665984e-09,7.818071e-09,8.623804e-09,9.088369e-09,9.593723e-09,1.037288e-08,1.056760e-08,1.153789e-08,1.165375e-08,1.249774e-08,1.291518e-08,1.344108e-08,1.414369e-08,1.436262e-08,1.525789e-08,1.532827e-08,1.612323e-08,1.646031e-08,1.695572e-08,1.753350e-08,1.775314e-08,1.851391e-08,1.854356e-08,1.923701e-08,1.948799e-08,1.992193e-08,2.036579e-08,2.056856e-08,2.117713e-08,2.174817e-08,2.192311e-08,2.228248e-08,2.260559e-08,2.278100e-08,2.322694e-08,2.324484e-08,2.367522e-08,2.378990e-08,2.407341e-08,2.429744e-08,2.444076e-08,2.475266e-08,2.477864e-08,2.508840e-08,2.515871e-08,2.537142e-08,2.551874e-08,2.562905e-08,2.583582e-08,2.586262e-08,2.607342e-08,2.611296e-08,2.626270e-08,2.635303e-08,2.643167e-08,2.655876e-08,2.658149e-08,2.671327e-08,2.673275e-08,2.682808e-08,2.687747e-08,2.692695e-08,2.699523e-08,2.701086e-08,2.708072e-08,2.708820e-08,2.713742e-08,2.715841e-08,2.718179e-08,2.720776e-08,2.721463e-08,2.723670e-08,2.723802e-08,2.724870e-08,2.725084e-08,2.725132e-08,2.724775e-08,2.724519e-08,2.723091e-08,2.723018e-08,2.720906e-08,2.719945e-08,2.718018e-08,2.715679e-08,2.714478e-08,2.710333e-08,2.705629e-08,2.704012e-08,2.700408e-08,2.696814e-08,2.694711e-08,2.688829e-08,2.688575e-08,2.682037e-08,2.680139e-08,2.675129e-08,2.670821e-08,2.667884e-08,2.660945e-08,2.660330e-08,2.652497e-08,2.650578e-08,2.644409e-08,2.639778e-08,2.636092e-08,2.628602e-08,2.627569e-08,2.618861e-08,2.617099e-08,2.609990e-08,2.605318e-08,2.600973e-08,2.593300e-08,2.591829e-08,2.582575e-08,2.581086e-08,2.573227e-08,2.568711e-08,2.563799e-08,2.556208e-08,2.554304e-08,2.544757e-08,2.543608e-08,2.535168e-08,2.530939e-08,2.525550e-08,2.518226e-08,2.515912e-08,2.506264e-08,2.505492e-08,2.496616e-08,2.492758e-08,2.486976e-08,2.480044e-08,2.477352e-08,2.467751e-08,2.467367e-08,2.458180e-08,2.454743e-08,2.448645e-08,2.442185e-08,2.439152e-08,2.429708e-08,2.417322e-08,2.405038e-08,2.392866e-08,2.380813e-08,2.368888e-08,2.357097e-08,2.345446e-08,2.333939e-08,2.322582e-08,2.311378e-08,2.300331e-08,2.289442e-08,2.278715e-08,2.268151e-08,2.257751e-08,2.247517e-08,2.237449e-08,2.227548e-08,2.217814e-08,2.208246e-08,2.198844e-08,2.189608e-08,2.180536e-08,2.171629e-08
0.000000e+00,7.005728e-12,1.614156e-11,5.588293e-11,1.275832e-10,1.864259e-10,4.246679e-10,4.375259e-10,8.498733e-10,1.000199e-09,1.467978e-09,1.956746e-09,2.337066e-09,3.385916e-09,3.488704e-09,4.926145e-09,5.311877e-09,6.631742e-09,7.695728e-09,8.583493e-09,1.048879e-08,1.076149e-08,1.314733e-08,1.364783e-08,1.572246e-08,1.712982e-08,1.846707e-08,2.088798e-08,2.135987e-08,2.437817e-08,2.487119e-08,2.749848e-08,2.902547e-08,3.069701e-08,3.329630e-08,3.395020e-08,3.723535e-08,3.763069e-08,4.053106e-08,4.197935e-08,4.381753e-08,4.629800e-08,4.707689e-08,5.029325e-08,5.054827e-08,5.345280e-08,5.469801e-08,5.654375e-08,5.872113e-08,5.955619e-08,6.248197e-08,6.259711e-08,6.531485e-08,6.631098e-08,6.805004e-08,6.985235e-08,7.068408e-08,7.321473e-08,7.564071e-08,7.639483e-08,7.796162e-08,7.939199e-08,8.017780e-08,8.220765e-08,8.229017e-08,8.430019e-08,8.484490e-08,8.620970e-08,8.730804e-08,8.802085e-08,8.960232e-08,8.973607e-08,9.135796e-08,9.173363e-08,9.288928e-08,9.370832e-08,9.433288e-08,9.553300e-08,9.569167e-08,9.696862e-08,9.721444e-08,9.816667e-08,9.875946e-08,9.928879e-08,1.001748e-07,1.003379e-07,1.013169e-07,1.014672e-07,1.022286e-07,1.026431e-07,1.030758e-07,1.037089e-07,1.038612e-07,1.045875e-07,1.046708e-07,1.052573e-07,1.055347e-07,1.058730e-07,1.063063e-07,1.064371e-07,1.069519e-07,1.069910e-07,1.074198e-07,1.075942e-07,1.078428e-07,1.081209e-07,1.082232e-07,1.085630e-07,1.085758e-07,1.088642e-07,1.089635e-07,1.091286e-07,1.092883e-07,1.093580e-07,1.095544e-07,1.097192e-07,1.097656e-07,1.098542e-07,1.099257e-07,1.099609e-07,1.100381e-07,1.100408e-07,1.100954e-07,1.101063e-07,1.101260e-07,1.101333e-07,1.101339e-07,1.101222e-07,1.101204e-07,1.100867e-07,1.100757e-07,1.100339e-07,1.099965e-07,1.099633e-07,1.098871e-07,1.098757e-07,1.097723e-07,1.097498e-07,1.096540e-07,1.095869e-07,1.095218e-07,1.094005e-07,1.093764e-07,1.092188e-07,1.091925e-07,1.090498e-07,1.089649e-07,1.088702e-07,1.087192e-07,1.086806e-07,1.084817e-07,1.084573e-07,1.082743e-07,1.081805e-07,1.080590e-07,1.078905e-07,1.078364e-07,1.076070e-07,1.075884e-07,1.073714e-07,1.072756e-07,1.071302e-07,1.069532e-07,1.068837e-07,1.066326e-07,1.066224e-07,1.063772e-07,1.062843e-07,1.061179e-07,1.059397e-07,1.058553e-07,1.055896e-07,1.052348e-07,1.048762e-07,1.045144e-07,1.041501e-07,1.037841e-07,1.034168e-07,1.030488e-07,1.026806e-07,1.023127e-07,1.019456e-07,1.015796e-07,1.012150e-07,1.008524e-07,1.004918e-07,1.001337e-07,9.977831e-08,9.942584e-08,9.907652e-08,9.873055e-08,9.838811e-08,9.804936e-08,9.771443e-08,9.738346e-08,9.705657e-08
0.000000e+00,5.322498e-12,1.222308e-11,4.212996e-11,9.586089e-11,1.398018e-10,3.165690e-10,3.260622e-10,6.282900e-10,7.375131e-10,1.074788e-09,1.424212e-09,1.695054e-09,2.443029e-09,2.516680e-09,3.556876e-09,3.839330e-09,4.814729e-09,5.608655e-09,6.274554e-09,7.709849e-09,7.915678e-09,9.718083e-09,1.009627e-08,1.166327e-08,1.272531e-08,1.373353e-08,1.555635e-08,1.591128e-08,1.817874e-08,1.854866e-08,2.051797e-08,2.166105e-08,2.291112e-08,2.485268e-08,2.534069e-08,2.778986e-08,2.808431e-08,3.024282e-08,3.131951e-08,3.268494e-08,3.452549e-08,3.510296e-08,3.748513e-08,3.767383e-08,3.982118e-08,4.074068e-08,4.210238e-08,4.370671e-08,4.432140e-08,4.647233e-08,4.655688e-08,4.855047e-08,4.928006e-08,5.055228e-08,5.186861e-08,5.247527e-08,5.431774e-08,5.607880e-08,5.662510e-08,5.775829e-08,5.879051e-08,5.935659e-08,6.081533e-08,6.087452e-08,6.231333e-08,6.270223e-08,6.367457e-08,6.445482e-08,6.496004e-08,6.607746e-08,6.617173e-08,6.731178e-08,6.757498e-08,6.838245e-08,6.895260e-08,6.938609e-08,7.021572e-08,7.032506e-08,7.120177e-08,7.136985e-08,7.201862e-08,7.242053e-08,7.277802e-08,7.337324e-08,7.348232e-08,7.413388e-08,7.423339e-08,7.473497e-08,7.500623e-08,7.528785e-08,7.569690e-08,7.579468e-08,7.625761e-08,7.631031e-08,7.667869e-08,7.685123e-08,7.705993e-08,7.732422e-08,7.740327e-08,7.771056e-08,7.773365e-08,7.798363e-08,7.808366e-08,7.822420e-08,7.837824e-08,7.843396e-08,7.861451e-08,7.862115e-08,7.876741e-08,7.881597e-08,7.889414e-08,7.896609e-08,7.899612e-08,7.907473e-08,7.913128e-08,7.914493e-08,7.916703e-08,7.917955e-08,7.918317e-08,7.918130e-08,7.918087e-08,7.916121e-08,7.915274e-08,7.912526e-08,7.909628e-08,7.907401e-08,7.901418e-08,7.900843e-08,7.892943e-08,7.890857e-08,7.883788e-08,7.878145e-08,7.873463e-08,7.863471e-08,7.862045e-08,7.849612e-08,7.847010e-08,7.836234e-08,7.828928e-08,7.821981e-08,7.809380e-08,7.806918e-08,7.791107e-08,7.788512e-08,7.774606e-08,7.766458e-08,7.757472e-08,7.743345e-08,7.739759e-08,7.721516e-08,7.719293e-08,7.702791e-08,7.694412e-08,7.683630e-08,7.668803e-08,7.664077e-08,7.644172e-08,7.642565e-08,7.623953e-08,7.615786e-08,7.603457e-08,7.588548e-08,7.582719e-08,7.561772e-08,7.560930e-08,7.540646e-08,7.533002e-08,7.519371e-08,7.504832e-08,7.497973e-08,7.476480e-08,7.448004e-08,7.419455e-08,7.390883e-08,7.362331e-08,7.333841e-08,7.305451e-08,7.277193e-08,7.249101e-08,7.221202e-08,7.193523e-08,7.166088e-08,7.138917e-08,7.112031e-08,7.085446e-08,7.059177e-08,7.033239e-08,7.007644e-08,6.982402e-08,6.957522e-08,6.933013e-08,6.908881e-08,6.885131e-08,6.861769e-08,6.838798e-08
0.000000e+00,3.660934e-14,3.279016e-13,8.574593e-12,7.469320e-11,2.012213e-10,1.705226e-09,1.841559e-09,1.006333e-08,1.518945e-08,3.969709e-08,8.083246e-08,1.250849e-07,3.107029e-07,3.344498e-07,7.889891e-07,9.545557e-07,1.686497e-06,2.490007e-06,3.328981e-06,5.733752e-06,6.153347e-06,1.076379e-05,1.196707e-05,1.796402e-05,2.306475e-05,2.878735e-05,4.161368e-05,4.452242e-05,6.673303e-05,7.100726e-05,9.727057e-05,1.155046e-04,1.382785e-04,1.802480e-04,1.921881e-04,2.617056e-04,2.712346e-04,3.497908e-04,3.952439e-04,4.596287e-04,5.597239e-04,5.945934e-04,7.582064e-04,7.726410e-04,9.540902e-04,1.042302e-03,1.185918e-03,1.377154e-03,1.457362e-03,1.772038e-03,1.785574e-03,2.133453e-03,2.275655e-03,2.544955e-03,2.854996e-03,3.009680e-03,3.530507e-03,4.110016e-03,4.308229e-03,4.750452e-03,5.193189e-03,5.453694e-03,6.189274e-03,6.221225e-03,7.054118e-03,7.299139e-03,7.953020e-03,8.524152e-03,8.918144e-03,9.864366e-03,9.949273e-03,1.104576e-02,1.131853e-02,1.220653e-02,1.288411e-02,1.343011e-02,1.455736e-02,1.471466e-02,1.605794e-02,1.633343e-02,1.745741e-02,1.820640e-02,1.891020e-02,2.016947e-02,2.041318e-02,2.196297e-02,2.221504e-02,2.355598e-02,2.433487e-02,2.518843e-02,2.652018e-02,2.685643e-02,2.855596e-02,2.876182e-02,3.028291e-02,3.105039e-02,3.203315e-02,3.337635e-02,3.380253e-02,3.558690e-02,3.573017e-02,3.738217e-02,3.810242e-02,3.918429e-02,4.048384e-02,4.098931e-02,4.279340e-02,4.286549e-02,4.459282e-02,4.523877e-02,4.638399e-02,4.759553e-02,4.816349e-02,4.992806e-02,5.167459e-02,5.222919e-02,5.340019e-02,5.449231e-02,5.510212e-02,5.671137e-02,5.677786e-02,5.842507e-02,5.888088e-02,6.004161e-02,6.099598e-02,6.162551e-02,6.305236e-02,6.317502e-02,6.468856e-02,6.504629e-02,6.616473e-02,6.697461e-02,6.760233e-02,6.883468e-02,6.900032e-02,7.035782e-02,7.062439e-02,7.167411e-02,7.234210e-02,7.294863e-02,7.398665e-02,7.418098e-02,7.537086e-02,7.555729e-02,7.651814e-02,7.705368e-02,7.762277e-02,7.847584e-02,7.868486e-02,7.970459e-02,7.982412e-02,8.068225e-02,8.109918e-02,8.161821e-02,8.230194e-02,8.251294e-02,8.336696e-02,8.343355e-02,8.418089e-02,8.449538e-02,8.495538e-02,8.548900e-02,8.569116e-02,8.638897e-02,8.641611e-02,8.704964e-02,8.727855e-02,8.767401e-02,8.807828e-02,8.826294e-02,8.881733e-02,8.949782e-02,9.012189e-02,9.069173e-02,9.120956e-02,9.167758e-02,9.209800e-02,9.247300e-02,9.280477e-02,9.309541e-02,9.334701e-02,9.356162e-02,9.374121e-02,9.388772e-02,9.400301e-02,9.408888e-02,9.414709e-02,9.417931e-02,9.418716e-02,9.417219e-02,9.413588e-02,9.407965e-02,9.400486e-02,9.391281e-02,9.380472e-02
0.000000e+00,1.526442e-11,9.558754e-11,1.228556e-09,5.825790e-09,1.142170e-08,4.485298e-08,4.701945e-08,1.288802e-07,1.631232e-07,2.794697e-07,4.126302e-07,5.225549e-07,8.498185e-07,8.836867e-07,1.389949e-06,1.536030e-06,2.067382e-06,2.529211e-06,2.935405e-06,3.862965e-06,4.001219e-06,5.259147e-06,5.532642e-06,6.695314e-06,7.507035e-06,8.293056e-06,9.748009e-06,1.003599e-05,1.190884e-05,1.221958e-05,1.389715e-05,1.488843e-05,1.598692e-05,1.772257e-05,1.816443e-05,2.041616e-05,2.069073e-05,2.272892e-05,2.376257e-05,2.508999e-05,2.690927e-05,2.748732e-05,2.990965e-05,3.010420e-05,3.234659e-05,3.332332e-05,3.478874e-05,3.654555e-05,3.722768e-05,3.965593e-05,3.975274e-05,4.206694e-05,4.292956e-05,4.445503e-05,4.606333e-05,4.681535e-05,4.914379e-05,5.143688e-05,5.216271e-05,5.369173e-05,5.511366e-05,5.590599e-05,5.799173e-05,5.807776e-05,6.020550e-05,6.079321e-05,6.228804e-05,6.351549e-05,6.432449e-05,6.615677e-05,6.631421e-05,6.825678e-05,6.871595e-05,7.015195e-05,7.119251e-05,7.199966e-05,7.358641e-05,7.379994e-05,7.555298e-05,7.589793e-05,7.725902e-05,7.812770e-05,7.891842e-05,8.027658e-05,8.053161e-05,8.209906e-05,8.234564e-05,8.362130e-05,8.433609e-05,8.509892e-05,8.624929e-05,8.653252e-05,8.792274e-05,8.808669e-05,8.927027e-05,8.984983e-05,9.057579e-05,9.154033e-05,9.184001e-05,9.306367e-05,9.315983e-05,9.424748e-05,9.471002e-05,9.539221e-05,9.619263e-05,9.649859e-05,9.756740e-05,9.760939e-05,9.859939e-05,9.896204e-05,9.959533e-05,1.002524e-04,1.005560e-04,1.014821e-04,1.023744e-04,1.026529e-04,1.032337e-04,1.037666e-04,1.040607e-04,1.048249e-04,1.048562e-04,1.056208e-04,1.058295e-04,1.063555e-04,1.067821e-04,1.070607e-04,1.076843e-04,1.077374e-04,1.083861e-04,1.085377e-04,1.090076e-04,1.093440e-04,1.096026e-04,1.101047e-04,1.101717e-04,1.107156e-04,1.108214e-04,1.112350e-04,1.114956e-04,1.117305e-04,1.121287e-04,1.122027e-04,1.126524e-04,1.127223e-04,1.130800e-04,1.132777e-04,1.134863e-04,1.137963e-04,1.138718e-04,1.142370e-04,1.142795e-04,1.145826e-04,1.147286e-04,1.149092e-04,1.151450e-04,1.152172e-04,1.155073e-04,1.155297e-04,1.157799e-04,1.158842e-04,1.160356e-04,1.162095e-04,1.162748e-04,1.164982e-04,1.165068e-04,1.167061e-04,1.167773e-04,1.168991e-04,1.170220e-04,1.170775e-04,1.172420e-04,1.174383e-04,1.176120e-04,1.177639e-04,1.178951e-04,1.180065e-04,1.180989e-04,1.181732e-04,1.182302e-04,1.182708e-04,1.182956e-04,1.183055e-04,1.183012e-04,1.182833e-04,1.182526e-04,1.182097e-04,1.181552e-04,1.180897e-04,1.180139e-04,1.179283e-04,1.178334e-04,1.177298e-04,1.176179e-04,1.174983e-04,1.173714e-04
0.000000e+00,8.796502e-15,7.593943e-14,1.837597e-12,1.490255e-11,3.859219e-11,2.952219e-10,3.175004e-10,1.568198e-09,2.303502e-09,5.627128e-09,1.086215e-08,1.624523e-08,3.748614e-08,4.010622e-08,8.804736e-08,1.048175e-07,1.764087e-07,2.518392e-07,3.282390e-07,5.382551e-07,5.738490e-07,9.501854e-07,1.044750e-06,1.498835e-06,1.866594e-06,2.262951e-06,3.101570e-06,3.283694e-06,4.596854e-06,4.836079e-06,6.230144e-06,7.133484e-06,8.201438e-06,1.002708e-05,1.051800e-05,1.317662e-05,1.351812e-05,1.616438e-05,1.757805e-05,1.946001e-05,2.215353e-05,2.303544e-05,2.685745e-05,2.717278e-05,3.088930e-05,3.255215e-05,3.509226e-05,3.820222e-05,3.942694e-05,4.385441e-05,4.403290e-05,4.833713e-05,4.995753e-05,5.283965e-05,5.589582e-05,5.732917e-05,6.177585e-05,6.615309e-05,6.753523e-05,7.043756e-05,7.312156e-05,7.460925e-05,7.849233e-05,7.865135e-05,8.255012e-05,8.361455e-05,8.629471e-05,8.846395e-05,8.987692e-05,9.302411e-05,9.329095e-05,9.653317e-05,9.728551e-05,9.960188e-05,1.012445e-04,1.024970e-04,1.049023e-04,1.052200e-04,1.077734e-04,1.082641e-04,1.101609e-04,1.113383e-04,1.123868e-04,1.141355e-04,1.144563e-04,1.163749e-04,1.166682e-04,1.181485e-04,1.189501e-04,1.197832e-04,1.209953e-04,1.212855e-04,1.226617e-04,1.228186e-04,1.239181e-04,1.244346e-04,1.250611e-04,1.258576e-04,1.260968e-04,1.270312e-04,1.271018e-04,1.278703e-04,1.281805e-04,1.286196e-04,1.291066e-04,1.292846e-04,1.298705e-04,1.298924e-04,1.303823e-04,1.305493e-04,1.308247e-04,1.310881e-04,1.312021e-04,1.315188e-04,1.317788e-04,1.318507e-04,1.319859e-04,1.320924e-04,1.321438e-04,1.322521e-04,1.322557e-04,1.323249e-04,1.323370e-04,1.323544e-04,1.323542e-04,1.323470e-04,1.323098e-04,1.323052e-04,1.322317e-04,1.322096e-04,1.321287e-04,1.320589e-04,1.319984e-04,1.318627e-04,1.318427e-04,1.316638e-04,1.316253e-04,1.314632e-04,1.313510e-04,1.312428e-04,1.310434e-04,1.310040e-04,1.307483e-04,1.307060e-04,1.304772e-04,1.303420e-04,1.301919e-04,1.299542e-04,1.298936e-04,1.295834e-04,1.295454e-04,1.292624e-04,1.291180e-04,1.289315e-04,1.286741e-04,1.285918e-04,1.282440e-04,1.282159e-04,1.278890e-04,1.277452e-04,1.275275e-04,1.272637e-04,1.271603e-04,1.267879e-04,1.267729e-04,1.264111e-04,1.262744e-04,1.260303e-04,1.257694e-04,1.256461e-04,1.252591e-04,1.247447e-04,1.242270e-04,1.237071e-04,1.231858e-04,1.226638e-04,1.221419e-04,1.216207e-04,1.211007e-04,1.205826e-04,1.200667e-04,1.195535e-04,1.190435e-04,1.185369e-04,1.180341e-04,1.175355e-04,1.170411e-04,1.165514e-04,1.160665e-04,1.155865e-04,1.151118e-04,1.146423e-04,1.141783e-04,1.137198e-04,1.132670e-04
0.000000e+00,5.848024e-12,3.250680e-11,3.364392e-10,1.354085e-09,2.455414e-09,8.142023e-09,8.483994e-09,2.040338e-08,2.503802e-08,3.996076e-08,5.604753e-08,6.880499e-08,1.049722e-07,1.085985e-07,1.610366e-07,1.756874e-07,2.277327e-07,2.718010e-07,3.099265e-07,3.954069e-07,4.079939e-07,5.208693e-07,5.450024e-07,6.457243e-07,7.140003e-07,7.782932e-07,8.921194e-07,9.138152e-07,1.048049e-06,1.069179e-06,1.177833e-06,1.237916e-06,1.301141e-06,1.394355e-06,1.416862e-06,1.524507e-06,1.536874e-06,1.623979e-06,1.665187e-06,1.715416e-06,1.779699e-06,1.799091e-06,1.875351e-06,1.881143e-06,1.944591e-06,1.970415e-06,2.007232e-06,2.048489e-06,2.063705e-06,2.114449e-06,2.116366e-06,2.159896e-06,2.175043e-06,2.200473e-06,2.225493e-06,2.236589e-06,2.268638e-06,2.296991e-06,2.305339e-06,2.321988e-06,2.336374e-06,2.343950e-06,2.362453e-06,2.363173e-06,2.379929e-06,2.384212e-06,2.394460e-06,2.402204e-06,2.406987e-06,2.416915e-06,2.417711e-06,2.426813e-06,2.428774e-06,2.434449e-06,2.438140e-06,2.440763e-06,2.445328e-06,2.445883e-06,2.449922e-06,2.450609e-06,2.452980e-06,2.454213e-06,2.455148e-06,2.456342e-06,2.456508e-06,2.457129e-06,2.457164e-06,2.457071e-06,2.456820e-06,2.456393e-06,2.455439e-06,2.455146e-06,2.453374e-06,2.453128e-06,2.451116e-06,2.449980e-06,2.448412e-06,2.446078e-06,2.445294e-06,2.441793e-06,2.441497e-06,2.437937e-06,2.436301e-06,2.433751e-06,2.430546e-06,2.429259e-06,2.424482e-06,2.424285e-06,2.419441e-06,2.417565e-06,2.414153e-06,2.410426e-06,2.408637e-06,2.402907e-06,2.396980e-06,2.395043e-06,2.390868e-06,2.386866e-06,2.384585e-06,2.378404e-06,2.378144e-06,2.371555e-06,2.369685e-06,2.364830e-06,2.360733e-06,2.357978e-06,2.351572e-06,2.351010e-06,2.343934e-06,2.342221e-06,2.336759e-06,2.332701e-06,2.329493e-06,2.323030e-06,2.322144e-06,2.314718e-06,2.313224e-06,2.307223e-06,2.303300e-06,2.299665e-06,2.293272e-06,2.292050e-06,2.284385e-06,2.283154e-06,2.276674e-06,2.272958e-06,2.268923e-06,2.262697e-06,2.261137e-06,2.253321e-06,2.252381e-06,2.245479e-06,2.242021e-06,2.237615e-06,2.231626e-06,2.229733e-06,2.221838e-06,2.221206e-06,2.213933e-06,2.210769e-06,2.206021e-06,2.200322e-06,2.198106e-06,2.190191e-06,2.189874e-06,2.182278e-06,2.179431e-06,2.174372e-06,2.169000e-06,2.166473e-06,2.158586e-06,2.148195e-06,2.137833e-06,2.127504e-06,2.117213e-06,2.106963e-06,2.096760e-06,2.086607e-06,2.076507e-06,2.066463e-06,2.056478e-06,2.046555e-06,2.036696e-06,2.026904e-06,2.017181e-06,2.007529e-06,1.997949e-06,1.988443e-06,1.979014e-06,1.969661e-06,1.960386e-06,1.951191e-06,1.942076e-06,1.933043e-06,1.924091e-06
0.000000e+00,1.442396e-11,3.448437e-11,1.236354e-10,2.857643e-10,4.187844e-10,9.539890e-10,9.826998e-10,1.894289e-09,2.222560e-09,3.232642e-09,4.273942e-09,5.077813e-09,7.284436e-09,7.500703e-09,1.053687e-08,1.135571e-08,1.416691e-08,1.643815e-08,1.833292e-08,2.238962e-08,2.296861e-08,2.801274e-08,2.906559e-08,3.340931e-08,3.633694e-08,3.910457e-08,4.408020e-08,4.504490e-08,5.117609e-08,5.217115e-08,5.744362e-08,6.048457e-08,6.379353e-08,6.889752e-08,7.017349e-08,7.653390e-08,7.729361e-08,8.282893e-08,8.556720e-08,8.901722e-08,9.362632e-08,9.506233e-08,1.009331e-07,1.013945e-07,1.066038e-07,1.088113e-07,1.120538e-07,1.158320e-07,1.172672e-07,1.222330e-07,1.224264e-07,1.269439e-07,1.285767e-07,1.313965e-07,1.342764e-07,1.355904e-07,1.395276e-07,1.432125e-07,1.443394e-07,1.466513e-07,1.487262e-07,1.498513e-07,1.527065e-07,1.528210e-07,1.555696e-07,1.563010e-07,1.581070e-07,1.595321e-07,1.604429e-07,1.624229e-07,1.625877e-07,1.645514e-07,1.649968e-07,1.663439e-07,1.672766e-07,1.679751e-07,1.692846e-07,1.694544e-07,1.707909e-07,1.710419e-07,1.719935e-07,1.725687e-07,1.730705e-07,1.738839e-07,1.740298e-07,1.748791e-07,1.750053e-07,1.756256e-07,1.759493e-07,1.762759e-07,1.767313e-07,1.768365e-07,1.773135e-07,1.773653e-07,1.777123e-07,1.778645e-07,1.780384e-07,1.782407e-07,1.782967e-07,1.784920e-07,1.785050e-07,1.786284e-07,1.786675e-07,1.787103e-07,1.787375e-07,1.787413e-07,1.787251e-07,1.787235e-07,1.786650e-07,1.786332e-07,1.785642e-07,1.784738e-07,1.784255e-07,1.782519e-07,1.780457e-07,1.779733e-07,1.778095e-07,1.776435e-07,1.775454e-07,1.772677e-07,1.772556e-07,1.769420e-07,1.768502e-07,1.766065e-07,1.763954e-07,1.762508e-07,1.759071e-07,1.758765e-07,1.754852e-07,1.753888e-07,1.750781e-07,1.748438e-07,1.746567e-07,1.742750e-07,1.742222e-07,1.737757e-07,1.736851e-07,1.733184e-07,1.730767e-07,1.728513e-07,1.724519e-07,1.723752e-07,1.718912e-07,1.718130e-07,1.713999e-07,1.711619e-07,1.709024e-07,1.705002e-07,1.703991e-07,1.698910e-07,1.698297e-07,1.693785e-07,1.691518e-07,1.688623e-07,1.684679e-07,1.683431e-07,1.678212e-07,1.677793e-07,1.672972e-07,1.670871e-07,1.667716e-07,1.663924e-07,1.662448e-07,1.657172e-07,1.656961e-07,1.651893e-07,1.649992e-07,1.646613e-07,1.643024e-07,1.641336e-07,1.636065e-07,1.629122e-07,1.622201e-07,1.615309e-07,1.608449e-07,1.601628e-07,1.594848e-07,1.588116e-07,1.581433e-07,1.574803e-07,1.568229e-07,1.561715e-07,1.555262e-07,1.548872e-07,1.542547e-07,1.536290e-07,1.530101e-07,1.523982e-07,1.517934e-07,1.511958e-07,1.506055e-07,1.500225e-07,1.494470e-07,1.488789e-07,1.483184e-07
0.000000e+00,2.953284e-11,6.819669e-11,2.365021e-10,5.410902e-10,7.923804e-10,1.824673e-09,1.881101e-09,3.729809e-09,4.421934e-09,6.630962e-09,9.013376e-09,1.090585e-08,1.621810e-08,1.674183e-08,2.403928e-08,2.597780e-08,3.251938e-08,3.768286e-08,4.191716e-08,5.079492e-08,5.204395e-08,6.277018e-08,6.497846e-08,7.399849e-08,8.000768e-08,8.564536e-08,9.569384e-08,9.763101e-08,1.098748e-07,1.118522e-07,1.222939e-07,1.282926e-07,1.348040e-07,1.448207e-07,1.473204e-07,1.597595e-07,1.612431e-07,1.720413e-07,1.773760e-07,1.840908e-07,1.930504e-07,1.958390e-07,2.072241e-07,2.081176e-07,2.181935e-07,2.224548e-07,2.287035e-07,2.359659e-07,2.387185e-07,2.482115e-07,2.485800e-07,2.571632e-07,2.602508e-07,2.655619e-07,2.709541e-07,2.734022e-07,2.806845e-07,2.874145e-07,2.894529e-07,2.936017e-07,2.972827e-07,2.992596e-07,3.042086e-07,3.044048e-07,3.090554e-07,3.102714e-07,3.132305e-07,3.155162e-07,3.169516e-07,3.199929e-07,3.202406e-07,3.231197e-07,3.237522e-07,3.256114e-07,3.268458e-07,3.277378e-07,3.293243e-07,3.295209e-07,3.309818e-07,3.312372e-07,3.321414e-07,3.326320e-07,3.330197e-07,3.335542e-07,3.336359e-07,3.340084e-07,3.340466e-07,3.341547e-07,3.341495e-07,3.340914e-07,3.339004e-07,3.338341e-07,3.333978e-07,3.333341e-07,3.327966e-07,3.324832e-07,3.320436e-07,3.313775e-07,3.311513e-07,3.301313e-07,3.300446e-07,3.289947e-07,3.285097e-07,3.277516e-07,3.267960e-07,3.264116e-07,3.249836e-07,3.249247e-07,3.234759e-07,3.229152e-07,3.218965e-07,3.207852e-07,3.202525e-07,3.185507e-07,3.167974e-07,3.162265e-07,3.149985e-07,3.138257e-07,3.131593e-07,3.113606e-07,3.112850e-07,3.093802e-07,3.088420e-07,3.074493e-07,3.062799e-07,3.054963e-07,3.036832e-07,3.035249e-07,3.015387e-07,3.010601e-07,2.995408e-07,2.984179e-07,2.975341e-07,2.957632e-07,2.955214e-07,2.935053e-07,2.931018e-07,2.914880e-07,2.904392e-07,2.894716e-07,2.877801e-07,2.874582e-07,2.854496e-07,2.851288e-07,2.834474e-07,2.824890e-07,2.814530e-07,2.798642e-07,2.794680e-07,2.774936e-07,2.772575e-07,2.755309e-07,2.746713e-07,2.735810e-07,2.721082e-07,2.716448e-07,2.697233e-07,2.695702e-07,2.678171e-07,2.670591e-07,2.659270e-07,2.645764e-07,2.640536e-07,2.621974e-07,2.621235e-07,2.603590e-07,2.597016e-07,2.585388e-07,2.573117e-07,2.567372e-07,2.549545e-07,2.526308e-07,2.503411e-07,2.480858e-07,2.458652e-07,2.436795e-07,2.415290e-07,2.394136e-07,2.373333e-07,2.352881e-07,2.332778e-07,2.313022e-07,2.293611e-07,2.274542e-07,2.255813e-07,2.237419e-07,2.219357e-07,2.201623e-07,2.184214e-07,2.167124e-07,2.150349e-07,2.133885e-07,2.117727e-07,2.101871e-07,2.086310e-07
0.000000e+00,1.605266e-14,1.390702e-13,3.389571e-12,2.766669e-11,7.189638e-11,5.548013e-10,5.968736e-10,2.971903e-09,4.374373e-09,1.073808e-08,2.080188e-08,3.117677e-08,7.223325e-08,7.730510e-08,1.702298e-07,2.027644e-07,3.417120e-07,4.881491e-07,6.364806e-07,1.044284e-06,1.113410e-06,1.844587e-06,2.028417e-06,2.911794e-06,3.628038e-06,4.400769e-06,6.038235e-06,6.394262e-06,8.965117e-06,9.434108e-06,1.217038e-05,1.394598e-05,1.604717e-05,1.964291e-05,2.061044e-05,2.585273e-05,2.652628e-05,3.174536e-05,3.453254e-05,3.824096e-05,4.354265e-05,4.527662e-05,5.277758e-05,5.339531e-05,6.066082e-05,6.390160e-05,6.883867e-05,7.485906e-05,7.722197e-05,8.572285e-05,8.606412e-05,9.425698e-05,9.732202e-05,1.027455e-04,1.084544e-04,1.111161e-04,1.193043e-04,1.272539e-04,1.297393e-04,1.349169e-04,1.396523e-04,1.422540e-04,1.489616e-04,1.492336e-04,1.558321e-04,1.576090e-04,1.620331e-04,1.655584e-04,1.678264e-04,1.727924e-04,1.732078e-04,1.781780e-04,1.793101e-04,1.827422e-04,1.851240e-04,1.869093e-04,1.902571e-04,1.906910e-04,1.941016e-04,1.947406e-04,1.971572e-04,1.986116e-04,1.998752e-04,2.019107e-04,2.022738e-04,2.043719e-04,2.046809e-04,2.061884e-04,2.069659e-04,2.077423e-04,2.088088e-04,2.090521e-04,2.101359e-04,2.102516e-04,2.110112e-04,2.113346e-04,2.116946e-04,2.120955e-04,2.122020e-04,2.125485e-04,2.125696e-04,2.127480e-04,2.127897e-04,2.128138e-04,2.127854e-04,2.127582e-04,2.125927e-04,2.125839e-04,2.123277e-04,2.122099e-04,2.119731e-04,2.116853e-04,2.115378e-04,2.110300e-04,2.104574e-04,2.102616e-04,2.098268e-04,2.093957e-04,2.091445e-04,2.084463e-04,2.084164e-04,2.076475e-04,2.074256e-04,2.068428e-04,2.063446e-04,2.060066e-04,2.052128e-04,2.051428e-04,2.042550e-04,2.040388e-04,2.033466e-04,2.028299e-04,2.024203e-04,2.015927e-04,2.014790e-04,2.005251e-04,2.003329e-04,1.995607e-04,1.990558e-04,1.985879e-04,1.977656e-04,1.976085e-04,1.966242e-04,1.964664e-04,1.956365e-04,1.951616e-04,1.946467e-04,1.938542e-04,1.936561e-04,1.926657e-04,1.925470e-04,1.916767e-04,1.912422e-04,1.906899e-04,1.899419e-04,1.897062e-04,1.887263e-04,1.886481e-04,1.877509e-04,1.873622e-04,1.867807e-04,1.860856e-04,1.858162e-04,1.848579e-04,1.848197e-04,1.839062e-04,1.835654e-04,1.829617e-04,1.823237e-04,1.820247e-04,1.810954e-04,1.798813e-04,1.786818e-04,1.774977e-04,1.763292e-04,1.751768e-04,1.740408e-04,1.729215e-04,1.718189e-04,1.707334e-04,1.696650e-04,1.686137e-04,1.675797e-04,1.665629e-04,1.655633e-04,1.645810e-04,1.636157e-04,1.626674e-04,1.617361e-04,1.608216e-04,1.599238e-04,1.590426e-04,1.581777e-04,1.573290e-04,1.564964e-04
0.000000e+00,8.294584e-14,6.961136e-13,1.588229e-11,1.220415e-10,3.067836e-10,2.172205e-09,2.328752e-09,1.064357e-08,1.530561e-08,3.543391e-08,6.546409e-08,9.512510e-08,2.056285e-07,2.187663e-07,4.477780e-07,5.241783e-07,8.362174e-07,1.147103e-06,1.448520e-06,2.228009e-06,2.354570e-06,3.623278e-06,3.926158e-06,5.316387e-06,6.381654e-06,7.483801e-06,9.697327e-06,1.016093e-05,1.336785e-05,1.393067e-05,1.710991e-05,1.909429e-05,2.137911e-05,2.516125e-05,2.615595e-05,3.141138e-05,3.207252e-05,3.710875e-05,3.974485e-05,4.320570e-05,4.807819e-05,4.965585e-05,5.641037e-05,5.696239e-05,6.341943e-05,6.628317e-05,7.063338e-05,7.592709e-05,7.800389e-05,8.548474e-05,8.578565e-05,9.303254e-05,9.575832e-05,1.006072e-04,1.057546e-04,1.081723e-04,1.156953e-04,1.231472e-04,1.255126e-04,1.305029e-04,1.351501e-04,1.377411e-04,1.445621e-04,1.448434e-04,1.517949e-04,1.537125e-04,1.585832e-04,1.625738e-04,1.651987e-04,1.711258e-04,1.716338e-04,1.778829e-04,1.793545e-04,1.839420e-04,1.872512e-04,1.898088e-04,1.948115e-04,1.954820e-04,2.009614e-04,2.020341e-04,2.062477e-04,2.089207e-04,2.113422e-04,2.154750e-04,2.162471e-04,2.209647e-04,2.217024e-04,2.254981e-04,2.276096e-04,2.298503e-04,2.332041e-04,2.340249e-04,2.380256e-04,2.384942e-04,2.418562e-04,2.434887e-04,2.455205e-04,2.481968e-04,2.490227e-04,2.523668e-04,2.526276e-04,2.555569e-04,2.567907e-04,2.585971e-04,2.606955e-04,2.614915e-04,2.642443e-04,2.643515e-04,2.668593e-04,2.677679e-04,2.693408e-04,2.709539e-04,2.716926e-04,2.739187e-04,2.760228e-04,2.766710e-04,2.780089e-04,2.792197e-04,2.798805e-04,2.815731e-04,2.816414e-04,2.832952e-04,2.837395e-04,2.848453e-04,2.857270e-04,2.862952e-04,2.875434e-04,2.876481e-04,2.889075e-04,2.891962e-04,2.900764e-04,2.906927e-04,2.911580e-04,2.920400e-04,2.921554e-04,2.930713e-04,2.932450e-04,2.939089e-04,2.943143e-04,2.946708e-04,2.952543e-04,2.953598e-04,2.959785e-04,2.960711e-04,2.965295e-04,2.967707e-04,2.970154e-04,2.973588e-04,2.974385e-04,2.978012e-04,2.978408e-04,2.981058e-04,2.982220e-04,2.983546e-04,2.985076e-04,2.985497e-04,2.986932e-04,2.987025e-04,2.987871e-04,2.988112e-04,2.988334e-04,2.988384e-04,2.988340e-04,2.987909e-04,2.987882e-04,2.987056e-04,2.986650e-04,2.985801e-04,2.984726e-04,2.984160e-04,2.982149e-04,2.978954e-04,2.975177e-04,2.970852e-04,2.966010e-04,2.960682e-04,2.954898e-04,2.948684e-04,2.942068e-04,2.935076e-04,2.927732e-04,2.920059e-04,2.912079e-04,2.903814e-04,2.895284e-04,2.886508e-04,2.877505e-04,2.868292e-04,2.858886e-04,2.849303e-04,2.839558e-04,2.829665e-04,2.819639e-04,2.809491e-04,2.799236e-04
0.000000e+00,5.978898e-13,4.643882e-12,9.040336e-11,6.023406e-10,1.401375e-09,8.150570e-09,8.669224e-09,3.276617e-08,4.478869e-08,9.145153e-08,1.529406e-07,2.084735e-07,3.918623e-07,4.120562e-07,7.334373e-07,8.317195e-07,1.205180e-06,1.546784e-06,1.858324e-06,2.603490e-06,2.718220e-06,3.800678e-06,4.044482e-06,5.110393e-06,5.879800e-06,6.641968e-06,8.090630e-06,8.382455e-06,1.031405e-05,1.063949e-05,1.241615e-05,1.347927e-05,1.466666e-05,1.655858e-05,1.704273e-05,1.952121e-05,1.982441e-05,2.207901e-05,2.322370e-05,2.469341e-05,2.670462e-05,2.734239e-05,3.000505e-05,3.021806e-05,3.266189e-05,3.371895e-05,3.529511e-05,3.716738e-05,3.788879e-05,4.042903e-05,4.052935e-05,4.290398e-05,4.377703e-05,4.530383e-05,4.688873e-05,4.762069e-05,4.984849e-05,5.198281e-05,5.264553e-05,5.402071e-05,5.527356e-05,5.596054e-05,5.773000e-05,5.780176e-05,5.954477e-05,6.001536e-05,6.119076e-05,6.213250e-05,6.274152e-05,6.408612e-05,6.419939e-05,6.556706e-05,6.588221e-05,6.684752e-05,6.752767e-05,6.804396e-05,6.902997e-05,6.915972e-05,7.019819e-05,7.039691e-05,7.116280e-05,7.163636e-05,7.205699e-05,7.275616e-05,7.288413e-05,7.364754e-05,7.376399e-05,7.435045e-05,7.466729e-05,7.499601e-05,7.547320e-05,7.558724e-05,7.612706e-05,7.618852e-05,7.661829e-05,7.681973e-05,7.706360e-05,7.737291e-05,7.746556e-05,7.782662e-05,7.785381e-05,7.814912e-05,7.826782e-05,7.843527e-05,7.861998e-05,7.868719e-05,7.890687e-05,7.891501e-05,7.909622e-05,7.915731e-05,7.925704e-05,7.935099e-05,7.939105e-05,7.949986e-05,7.958500e-05,7.960748e-05,7.964792e-05,7.967717e-05,7.969000e-05,7.971198e-05,7.971252e-05,7.971673e-05,7.971479e-05,7.970378e-05,7.968824e-05,7.967477e-05,7.963479e-05,7.963073e-05,7.957265e-05,7.955673e-05,7.950145e-05,7.945617e-05,7.941800e-05,7.933510e-05,7.932314e-05,7.921763e-05,7.919532e-05,7.910223e-05,7.903854e-05,7.897763e-05,7.886633e-05,7.884448e-05,7.870341e-05,7.868014e-05,7.855500e-05,7.848132e-05,7.839981e-05,7.827113e-05,7.823836e-05,7.807115e-05,7.805072e-05,7.789863e-05,7.782116e-05,7.772126e-05,7.758346e-05,7.753944e-05,7.735356e-05,7.733853e-05,7.716400e-05,7.708722e-05,7.697110e-05,7.683034e-05,7.677520e-05,7.657660e-05,7.656861e-05,7.637560e-05,7.630270e-05,7.617247e-05,7.603326e-05,7.596747e-05,7.576085e-05,7.548601e-05,7.520924e-05,7.493100e-05,7.465171e-05,7.437175e-05,7.409150e-05,7.381127e-05,7.353138e-05,7.325211e-05,7.297372e-05,7.269644e-05,7.242049e-05,7.214608e-05,7.187338e-05,7.160256e-05,7.133377e-05,7.106715e-05,7.080283e-05,7.054091e-05,7.028150e-05,7.002468e-05,6.977055e-05,6.951917e-05,6.927062e-05
0.000000e+00,3.522408e-14,3.034476e-13,7.312523e-12,5.905537e-11,1.525450e-10,1.158030e-09,1.244979e-09,6.088432e-09,8.914604e-09,2.157740e-08,4.128440e-08,6.134215e-08,1.391532e-07,1.486379e-07,3.191573e-07,3.777332e-07,6.232848e-07,8.759425e-07,1.127057e-06,1.799309e-06,1.911175e-06,3.067954e-06,3.352706e-06,4.696733e-06,5.763857e-06,6.898549e-06,9.262423e-06,9.770850e-06,1.340280e-05,1.405976e-05,1.787151e-05,2.033261e-05,2.323922e-05,2.821185e-05,2.955145e-05,3.683601e-05,3.777615e-05,4.510271e-05,4.904980e-05,5.434371e-05,6.200388e-05,6.453432e-05,7.563419e-05,7.655992e-05,8.758891e-05,9.259557e-05,1.003317e-04,1.099517e-04,1.137857e-04,1.278654e-04,1.284403e-04,1.424796e-04,1.478532e-04,1.575329e-04,1.679703e-04,1.729280e-04,1.885677e-04,2.043564e-04,2.094250e-04,2.202016e-04,2.303315e-04,2.360157e-04,2.510913e-04,2.517162e-04,2.672274e-04,2.715270e-04,2.824803e-04,2.914821e-04,2.974133e-04,3.108226e-04,3.119724e-04,3.261109e-04,3.294371e-04,3.397896e-04,3.472364e-04,3.529761e-04,3.641526e-04,3.656448e-04,3.777762e-04,3.801367e-04,3.893566e-04,3.951577e-04,4.003776e-04,4.091998e-04,4.108351e-04,4.207293e-04,4.222603e-04,4.300641e-04,4.343481e-04,4.388465e-04,4.454808e-04,4.470858e-04,4.547939e-04,4.556838e-04,4.619843e-04,4.649879e-04,4.686719e-04,4.734282e-04,4.748730e-04,4.806044e-04,4.810431e-04,4.858837e-04,4.878728e-04,4.907288e-04,4.939586e-04,4.951578e-04,4.991889e-04,4.993422e-04,5.028402e-04,5.040650e-04,5.061293e-04,5.081681e-04,5.090739e-04,5.116911e-04,5.139976e-04,5.146727e-04,5.160095e-04,5.171498e-04,5.177426e-04,5.191581e-04,5.192120e-04,5.204324e-04,5.207313e-04,5.214176e-04,5.219016e-04,5.221813e-04,5.226993e-04,5.227363e-04,5.230950e-04,5.231532e-04,5.232691e-04,5.232901e-04,5.232698e-04,5.231357e-04,5.231080e-04,5.227938e-04,5.227136e-04,5.223370e-04,5.220461e-04,5.217467e-04,5.211542e-04,5.210317e-04,5.202005e-04,5.200573e-04,5.192609e-04,5.187736e-04,5.182205e-04,5.173203e-04,5.170863e-04,5.158651e-04,5.157130e-04,5.145634e-04,5.139666e-04,5.131871e-04,5.120948e-04,5.117420e-04,5.102335e-04,5.101102e-04,5.086667e-04,5.080248e-04,5.070466e-04,5.058495e-04,5.053775e-04,5.036640e-04,5.035946e-04,5.019100e-04,5.012694e-04,5.001193e-04,4.988827e-04,4.982958e-04,4.964427e-04,4.939568e-04,4.914321e-04,4.888748e-04,4.862909e-04,4.836859e-04,4.810647e-04,4.784321e-04,4.757923e-04,4.731491e-04,4.705062e-04,4.678669e-04,4.652341e-04,4.626107e-04,4.599992e-04,4.574018e-04,4.548205e-04,4.522574e-04,4.497141e-04,4.471921e-04,4.446928e-04,4.422175e-04,4.397672e-04,4.373430e-04,4.349456e-04
0.000000e+00,7.000167e-11,3.518068e-10,3.104027e-09,1.134777e-08,1.983645e-08,6.230750e-08,6.484837e-08,1.545618e-07,1.902753e-07,3.086539e-07,4.414538e-07,5.497767e-07,8.647366e-07,8.965536e-07,1.351063e-06,1.474612e-06,1.897254e-06,2.235022e-06,2.513573e-06,3.099578e-06,3.182075e-06,3.889277e-06,4.034383e-06,4.624418e-06,5.014613e-06,5.378222e-06,6.019740e-06,6.142386e-06,6.909475e-06,7.032032e-06,7.672965e-06,8.036489e-06,8.427282e-06,9.020996e-06,9.167808e-06,9.890841e-06,9.976285e-06,1.059351e-05,1.089566e-05,1.127369e-05,1.177465e-05,1.192989e-05,1.256110e-05,1.261050e-05,1.316679e-05,1.340186e-05,1.374672e-05,1.414834e-05,1.430095e-05,1.482973e-05,1.485035e-05,1.533347e-05,1.550879e-05,1.581272e-05,1.612492e-05,1.626808e-05,1.670023e-05,1.710990e-05,1.723637e-05,1.749784e-05,1.773508e-05,1.786482e-05,1.819811e-05,1.821160e-05,1.853895e-05,1.862723e-05,1.884764e-05,1.902420e-05,1.913841e-05,1.939072e-05,1.941199e-05,1.966911e-05,1.972844e-05,1.991046e-05,2.003898e-05,2.013672e-05,2.032387e-05,2.034855e-05,2.054659e-05,2.058460e-05,2.073146e-05,2.082258e-05,2.090374e-05,2.103916e-05,2.106402e-05,2.121285e-05,2.123563e-05,2.135075e-05,2.141322e-05,2.147825e-05,2.157308e-05,2.159583e-05,2.170396e-05,2.171633e-05,2.180311e-05,2.184399e-05,2.189369e-05,2.195707e-05,2.197614e-05,2.205084e-05,2.205650e-05,2.211819e-05,2.214315e-05,2.217855e-05,2.221787e-05,2.223226e-05,2.227967e-05,2.228144e-05,2.232109e-05,2.233460e-05,2.235684e-05,2.237805e-05,2.238720e-05,2.241246e-05,2.243288e-05,2.243843e-05,2.244872e-05,2.245657e-05,2.246023e-05,2.246741e-05,2.246763e-05,2.247115e-05,2.247148e-05,2.247101e-05,2.246925e-05,2.246741e-05,2.246120e-05,2.246053e-05,2.245058e-05,2.244775e-05,2.243771e-05,2.242930e-05,2.242210e-05,2.240623e-05,2.240392e-05,2.238331e-05,2.237891e-05,2.236041e-05,2.234765e-05,2.233538e-05,2.231279e-05,2.230834e-05,2.227941e-05,2.227462e-05,2.224872e-05,2.223340e-05,2.221639e-05,2.218941e-05,2.218251e-05,2.214720e-05,2.214288e-05,2.211056e-05,2.209404e-05,2.207268e-05,2.204311e-05,2.203364e-05,2.199354e-05,2.199029e-05,2.195245e-05,2.193576e-05,2.191046e-05,2.187970e-05,2.186763e-05,2.182404e-05,2.182228e-05,2.177975e-05,2.176365e-05,2.173483e-05,2.170395e-05,2.168933e-05,2.164332e-05,2.158189e-05,2.151977e-05,2.145707e-05,2.139389e-05,2.133034e-05,2.126650e-05,2.120245e-05,2.113827e-05,2.107403e-05,2.100981e-05,2.094565e-05,2.088163e-05,2.081779e-05,2.075418e-05,2.069085e-05,2.062785e-05,2.056520e-05,2.050295e-05,2.044114e-05,2.037978e-05,2.031891e-05,2.025856e-05,2.019875e-05,2.013949e-05
0.000000e+00,1.627719e-11,3.771917e-11,1.314844e-10,3.017590e-10,4.423964e-10,1.019588e-09,1.051085e-09,2.079007e-09,2.461961e-09,3.679379e-09,4.989194e-09,6.031881e-09,8.992452e-09,9.287904e-09,1.347704e-08,1.461108e-08,1.849146e-08,2.160114e-08,2.417459e-08,2.962047e-08,3.039096e-08,3.703891e-08,3.841316e-08,4.404065e-08,4.779960e-08,5.133151e-08,5.763643e-08,5.885308e-08,6.654972e-08,6.779379e-08,7.436734e-08,7.814722e-08,8.225322e-08,8.857687e-08,9.015659e-08,9.802936e-08,9.896988e-08,1.058269e-07,1.092235e-07,1.135088e-07,1.192473e-07,1.210389e-07,1.283861e-07,1.289651e-07,1.355236e-07,1.383149e-07,1.424299e-07,1.472494e-07,1.490877e-07,1.554841e-07,1.557343e-07,1.616096e-07,1.637472e-07,1.674582e-07,1.712755e-07,1.730270e-07,1.783154e-07,1.833249e-07,1.848696e-07,1.880591e-07,1.909466e-07,1.925227e-07,1.965588e-07,1.967217e-07,2.006632e-07,2.017217e-07,2.043547e-07,2.064530e-07,2.078045e-07,2.107720e-07,2.110210e-07,2.140130e-07,2.146987e-07,2.167894e-07,2.182534e-07,2.193592e-07,2.214567e-07,2.217311e-07,2.239141e-07,2.243287e-07,2.259165e-07,2.268893e-07,2.277470e-07,2.291577e-07,2.294137e-07,2.309246e-07,2.311524e-07,2.322875e-07,2.328912e-07,2.335097e-07,2.343911e-07,2.345986e-07,2.355610e-07,2.356683e-07,2.364037e-07,2.367381e-07,2.371330e-07,2.376152e-07,2.377550e-07,2.382758e-07,2.383133e-07,2.387009e-07,2.388453e-07,2.390356e-07,2.392236e-07,2.392852e-07,2.394545e-07,2.394597e-07,2.395483e-07,2.395644e-07,2.395710e-07,2.395480e-07,2.395269e-07,2.394200e-07,2.392542e-07,2.391893e-07,2.390332e-07,2.388644e-07,2.387605e-07,2.384532e-07,2.384395e-07,2.380732e-07,2.379630e-07,2.376648e-07,2.374007e-07,2.372170e-07,2.367727e-07,2.367327e-07,2.362143e-07,2.360851e-07,2.356644e-07,2.353435e-07,2.350852e-07,2.345531e-07,2.344789e-07,2.338478e-07,2.337187e-07,2.331936e-07,2.328450e-07,2.325184e-07,2.319362e-07,2.318239e-07,2.311117e-07,2.309962e-07,2.303835e-07,2.300287e-07,2.296408e-07,2.290371e-07,2.288849e-07,2.281174e-07,2.280245e-07,2.273393e-07,2.269940e-07,2.265520e-07,2.259482e-07,2.257566e-07,2.249541e-07,2.248896e-07,2.241455e-07,2.238206e-07,2.233319e-07,2.227434e-07,2.225141e-07,2.216929e-07,2.216600e-07,2.208692e-07,2.205722e-07,2.200437e-07,2.194817e-07,2.192171e-07,2.183901e-07,2.172988e-07,2.162092e-07,2.151225e-07,2.140399e-07,2.129622e-07,2.118906e-07,2.108258e-07,2.097685e-07,2.087197e-07,2.076797e-07,2.066493e-07,2.056289e-07,2.046191e-07,2.036202e-07,2.026326e-07,2.016565e-07,2.006924e-07,1.997404e-07,1.988008e-07,1.978738e-07,1.969594e-07,1.960578e-07,1.951691e-07,1.942934e-07
0.000000e+00,1.594843e-12,1.166930e-11,2.015588e-10,1.211220e-09,2.669416e-09,1.361867e-08,1.441230e-08,4.849930e-08,6.438854e-08,1.227382e-07,1.950964e-07,2.578593e-07,4.552339e-07,4.763250e-07,8.012765e-07,8.975825e-07,1.254187e-06,1.569963e-06,1.850909e-06,2.500767e-06,2.598441e-06,3.494786e-06,3.691243e-06,4.531427e-06,5.121993e-06,5.696291e-06,6.763956e-06,6.975803e-06,8.355835e-06,8.585010e-06,9.822009e-06,1.055210e-05,1.135977e-05,1.263166e-05,1.295445e-05,1.459148e-05,1.479009e-05,1.625663e-05,1.699466e-05,1.793628e-05,1.921465e-05,1.961772e-05,2.128932e-05,2.142230e-05,2.294073e-05,2.359358e-05,2.456294e-05,2.570851e-05,2.614831e-05,2.769055e-05,2.775126e-05,2.918463e-05,2.970994e-05,3.062671e-05,3.157616e-05,3.201400e-05,3.334464e-05,3.461759e-05,3.501267e-05,3.583247e-05,3.657960e-05,3.698950e-05,3.804643e-05,3.808933e-05,3.913303e-05,3.941537e-05,4.012191e-05,4.068957e-05,4.105754e-05,4.187277e-05,4.194165e-05,4.277607e-05,4.296914e-05,4.356270e-05,4.398307e-05,4.430350e-05,4.491905e-05,4.500043e-05,4.565543e-05,4.578157e-05,4.627042e-05,4.657504e-05,4.684729e-05,4.730374e-05,4.738787e-05,4.789392e-05,4.797180e-05,4.836717e-05,4.858317e-05,4.880927e-05,4.914158e-05,4.922179e-05,4.960627e-05,4.965059e-05,4.996414e-05,5.011354e-05,5.029680e-05,5.053357e-05,5.060556e-05,5.089168e-05,5.091363e-05,5.115636e-05,5.125649e-05,5.140074e-05,5.156473e-05,5.162589e-05,5.183285e-05,5.184076e-05,5.202258e-05,5.208685e-05,5.219602e-05,5.230510e-05,5.235404e-05,5.249748e-05,5.262712e-05,5.266581e-05,5.274371e-05,5.281181e-05,5.284796e-05,5.293707e-05,5.294055e-05,5.302211e-05,5.304306e-05,5.309325e-05,5.313117e-05,5.315454e-05,5.320270e-05,5.320653e-05,5.324972e-05,5.325883e-05,5.328461e-05,5.330070e-05,5.331167e-05,5.332934e-05,5.333132e-05,5.334399e-05,5.334572e-05,5.335007e-05,5.335076e-05,5.334994e-05,5.334529e-05,5.334395e-05,5.333244e-05,5.333011e-05,5.331573e-05,5.330595e-05,5.329412e-05,5.327349e-05,5.326789e-05,5.323733e-05,5.323339e-05,5.320269e-05,5.318623e-05,5.316422e-05,5.313257e-05,5.312215e-05,5.307671e-05,5.307293e-05,5.302810e-05,5.300781e-05,5.297652e-05,5.293765e-05,5.292216e-05,5.286521e-05,5.286288e-05,5.280583e-05,5.278389e-05,5.274419e-05,5.270106e-05,5.268044e-05,5.261473e-05,5.252523e-05,5.243286e-05,5.233790e-05,5.224062e-05,5.214126e-05,5.204006e-05,5.193723e-05,5.183297e-05,5.172747e-05,5.162092e-05,5.151347e-05,5.140527e-05,5.129648e-05,5.118722e-05,5.107763e-05,5.096782e-05,5.085789e-05,5.074796e-05,5.063812e-05,5.052845e-05,5.041903e-05,5.030996e-05,5.020128e-05,5.009308e-05
0.000000e+00,2.693690e-13,2.414535e-12,6.321524e-11,5.512789e-10,1.486039e-09,1.261378e-08,1.362319e-08,7.457533e-08,1.126198e-07,2.947228e-07,6.008282e-07,9.305150e-07,2.315937e-06,2.493394e-06,5.896018e-06,7.137538e-06,1.263521e-05,1.868293e-05,2.500761e-05,4.317494e-05,4.634928e-05,8.128494e-05,9.041544e-05,1.359682e-04,1.747543e-04,2.182942e-04,3.159240e-04,3.380666e-04,5.071068e-04,5.396239e-04,7.392960e-04,8.777744e-04,1.050546e-03,1.368400e-03,1.458700e-03,1.983360e-03,2.055138e-03,2.645662e-03,2.986407e-03,3.467978e-03,4.214258e-03,4.473591e-03,5.686322e-03,5.793006e-03,7.130135e-03,7.777691e-03,8.828735e-03,1.022246e-02,1.080516e-02,1.308136e-02,1.317894e-02,1.567786e-02,1.669467e-02,1.861337e-02,2.081171e-02,2.190446e-02,2.556533e-02,2.960752e-02,3.098306e-02,3.403975e-02,3.708387e-02,3.886780e-02,4.387769e-02,4.409441e-02,4.971924e-02,5.136517e-02,5.573889e-02,5.953765e-02,6.214696e-02,6.837749e-02,6.893415e-02,7.608837e-02,7.785842e-02,8.359495e-02,8.794627e-02,9.143681e-02,9.859972e-02,9.959466e-02,1.080473e-01,1.097712e-01,1.167717e-01,1.214078e-01,1.257435e-01,1.334523e-01,1.349371e-01,1.443260e-01,1.458445e-01,1.538829e-01,1.585218e-01,1.635801e-01,1.714202e-01,1.733898e-01,1.832840e-01,1.844756e-01,1.932351e-01,1.976245e-01,2.032158e-01,2.108046e-01,2.131996e-01,2.231605e-01,2.239557e-01,2.330736e-01,2.370201e-01,2.429149e-01,2.499433e-01,2.526615e-01,2.622919e-01,2.626744e-01,2.717856e-01,2.751662e-01,2.811237e-01,2.873757e-01,2.902886e-01,2.992642e-01,3.080356e-01,3.107971e-01,3.165895e-01,3.219443e-01,3.249140e-01,3.326800e-01,3.329987e-01,3.408342e-01,3.429825e-01,3.484130e-01,3.528342e-01,3.557284e-01,3.622214e-01,3.627751e-01,3.695491e-01,3.711340e-01,3.760475e-01,3.795655e-01,3.822684e-01,3.875126e-01,3.882110e-01,3.938753e-01,3.949748e-01,3.992623e-01,4.019545e-01,4.043739e-01,4.084566e-01,4.092126e-01,4.137817e-01,4.144880e-01,4.180851e-01,4.200576e-01,4.221271e-01,4.251760e-01,4.259129e-01,4.294478e-01,4.298554e-01,4.327375e-01,4.341090e-01,4.357884e-01,4.379513e-01,4.386068e-01,4.411995e-01,4.413974e-01,4.435734e-01,4.444633e-01,4.457356e-01,4.471653e-01,4.476933e-01,4.494537e-01,4.495202e-01,4.510244e-01,4.515447e-01,4.524125e-01,4.532560e-01,4.536256e-01,4.546709e-01,4.558062e-01,4.566784e-01,4.573040e-01,4.576986e-01,4.578779e-01,4.578568e-01,4.576499e-01,4.572710e-01,4.567338e-01,4.560510e-01,4.552350e-01,4.542974e-01,4.532494e-01,4.521015e-01,4.508636e-01,4.495452e-01,4.481553e-01,4.467019e-01,4.451931e-01,4.436361e-01,4.420379e-01,4.404046e-01,4.387424e-01,4.370568e-01
0.000000e+00,9.497211e-11,3.187512e-10,1.634019e-09,4.466941e-09,6.986767e-09,1.811353e-08,1.874529e-08,4.027898e-08,4.866423e-08,7.626821e-08,1.070981e-07,1.321086e-07,2.034319e-07,2.104893e-07,3.081610e-07,3.337710e-07,4.188950e-07,4.846505e-07,5.376609e-07,6.463133e-07,6.613443e-07,7.880263e-07,8.135985e-07,9.163615e-07,9.833789e-07,1.045250e-06,1.153212e-06,1.173693e-06,1.300752e-06,1.320893e-06,1.425542e-06,1.484394e-06,1.547253e-06,1.641919e-06,1.665167e-06,1.778672e-06,1.791972e-06,1.887275e-06,1.933406e-06,1.990598e-06,2.065428e-06,2.088381e-06,2.180466e-06,2.187585e-06,2.266795e-06,2.299716e-06,2.347386e-06,2.401907e-06,2.422329e-06,2.491767e-06,2.494432e-06,2.555881e-06,2.577699e-06,2.614888e-06,2.652219e-06,2.669031e-06,2.718566e-06,2.763753e-06,2.777335e-06,2.804841e-06,2.829106e-06,2.842089e-06,2.874469e-06,2.875749e-06,2.906058e-06,2.913977e-06,2.933251e-06,2.948162e-06,2.957545e-06,2.977513e-06,2.979147e-06,2.998251e-06,3.002485e-06,3.015041e-06,3.023496e-06,3.029687e-06,3.040930e-06,3.042350e-06,3.053176e-06,3.055133e-06,3.062302e-06,3.066419e-06,3.069857e-06,3.075075e-06,3.075958e-06,3.080714e-06,3.081357e-06,3.084227e-06,3.085499e-06,3.086590e-06,3.087711e-06,3.087890e-06,3.088207e-06,3.088182e-06,3.087614e-06,3.087084e-06,3.086182e-06,3.084571e-06,3.083973e-06,3.081046e-06,3.080782e-06,3.077456e-06,3.075845e-06,3.073253e-06,3.069874e-06,3.068484e-06,3.063193e-06,3.062971e-06,3.057420e-06,3.055231e-06,3.051203e-06,3.046739e-06,3.044576e-06,3.037572e-06,3.030221e-06,3.027801e-06,3.022552e-06,3.017489e-06,3.014590e-06,3.006694e-06,3.006360e-06,2.997885e-06,2.995471e-06,2.989185e-06,2.983866e-06,2.980282e-06,2.971926e-06,2.971192e-06,2.961935e-06,2.959689e-06,2.952525e-06,2.947195e-06,2.942978e-06,2.934475e-06,2.933309e-06,2.923530e-06,2.921562e-06,2.913654e-06,2.908484e-06,2.903692e-06,2.895267e-06,2.893656e-06,2.883556e-06,2.881935e-06,2.873402e-06,2.868511e-06,2.863201e-06,2.855014e-06,2.852964e-06,2.842698e-06,2.841464e-06,2.832410e-06,2.827878e-06,2.822107e-06,2.814271e-06,2.811796e-06,2.801483e-06,2.800658e-06,2.791173e-06,2.787052e-06,2.780873e-06,2.773466e-06,2.770587e-06,2.760321e-06,2.759910e-06,2.750077e-06,2.746396e-06,2.739862e-06,2.732933e-06,2.729678e-06,2.719530e-06,2.706194e-06,2.692933e-06,2.679754e-06,2.666662e-06,2.653664e-06,2.640765e-06,2.627969e-06,2.615280e-06,2.602702e-06,2.590239e-06,2.577894e-06,2.565669e-06,2.553567e-06,2.541590e-06,2.529740e-06,2.518019e-06,2.506428e-06,2.494969e-06,2.483641e-06,2.472447e-06,2.461387e-06,2.450461e-06,2.439669e-06,2.429013e-06
0.000000e+00,4.157649e-11,1.506913e-10,8.421067e-10,2.384773e-09,3.765606e-09,9.782160e-09,1.011818e-08,2.120377e-08,2.534702e-08,3.846137e-08,5.244602e-08,6.349960e-08,9.467546e-08,9.777872e-08,1.417588e-07,1.536613e-07,1.943234e-07,2.267652e-07,2.534700e-07,3.094552e-07,3.173126e-07,3.844082e-07,3.981169e-07,4.536600e-07,4.902214e-07,5.241751e-07,5.838134e-07,5.951767e-07,6.659662e-07,6.772298e-07,7.359140e-07,7.690234e-07,8.044625e-07,8.579682e-07,8.711313e-07,9.355223e-07,9.430803e-07,9.973207e-07,1.023628e-06,1.056293e-06,1.099121e-06,1.112279e-06,1.165189e-06,1.169288e-06,1.214991e-06,1.234043e-06,1.261700e-06,1.293446e-06,1.305373e-06,1.346097e-06,1.347666e-06,1.383983e-06,1.396951e-06,1.419156e-06,1.441593e-06,1.451752e-06,1.481914e-06,1.509784e-06,1.518242e-06,1.535506e-06,1.550905e-06,1.559219e-06,1.580218e-06,1.581057e-06,1.601150e-06,1.606480e-06,1.619619e-06,1.629969e-06,1.636578e-06,1.650941e-06,1.652137e-06,1.666394e-06,1.669633e-06,1.679444e-06,1.686258e-06,1.691374e-06,1.701009e-06,1.702263e-06,1.712186e-06,1.714061e-06,1.721210e-06,1.725569e-06,1.729400e-06,1.735676e-06,1.736812e-06,1.743501e-06,1.744508e-06,1.749517e-06,1.752179e-06,1.754904e-06,1.758791e-06,1.759706e-06,1.763960e-06,1.764436e-06,1.767704e-06,1.769198e-06,1.770969e-06,1.773151e-06,1.773788e-06,1.776188e-06,1.776363e-06,1.778196e-06,1.778895e-06,1.779836e-06,1.780803e-06,1.781132e-06,1.782104e-06,1.782137e-06,1.782773e-06,1.782942e-06,1.783156e-06,1.783262e-06,1.783270e-06,1.783133e-06,1.782759e-06,1.782591e-06,1.782162e-06,1.781668e-06,1.781354e-06,1.780394e-06,1.780350e-06,1.779159e-06,1.778794e-06,1.777794e-06,1.776895e-06,1.776264e-06,1.774719e-06,1.774579e-06,1.772748e-06,1.772288e-06,1.770780e-06,1.769620e-06,1.768682e-06,1.766736e-06,1.766463e-06,1.764130e-06,1.763651e-06,1.761690e-06,1.760381e-06,1.759149e-06,1.756941e-06,1.756513e-06,1.753788e-06,1.753344e-06,1.750980e-06,1.749604e-06,1.748094e-06,1.745733e-06,1.745135e-06,1.742108e-06,1.741741e-06,1.739018e-06,1.737639e-06,1.735868e-06,1.733436e-06,1.732662e-06,1.729406e-06,1.729143e-06,1.726102e-06,1.724767e-06,1.722753e-06,1.720317e-06,1.719364e-06,1.715938e-06,1.715800e-06,1.712477e-06,1.711223e-06,1.708984e-06,1.706593e-06,1.705463e-06,1.701916e-06,1.697198e-06,1.692445e-06,1.687662e-06,1.682853e-06,1.678024e-06,1.673178e-06,1.668320e-06,1.663454e-06,1.658583e-06,1.653710e-06,1.648839e-06,1.643973e-06,1.639115e-06,1.634266e-06,1.629431e-06,1.624610e-06,1.619807e-06,1.615022e-06,1.610259e-06,1.605519e-06,1.600804e-06,1.596114e-06,1.591453e-06,1.586820e-06
0.000000e+00,1.128127e-10,2.891965e-10,1.119265e-09,2.690522e-09,4.006826e-09,9.428173e-09,9.722944e-09,1.921709e-08,2.268587e-08,3.347751e-08,4.474565e-08,5.351863e-08,7.782762e-08,8.022319e-08,1.140008e-07,1.231426e-07,1.545877e-07,1.800408e-07,2.012986e-07,2.468659e-07,2.533744e-07,3.101116e-07,3.219603e-07,3.708553e-07,4.038150e-07,4.349729e-07,4.909832e-07,5.018418e-07,5.708522e-07,5.820529e-07,6.414156e-07,6.756729e-07,7.129761e-07,7.705957e-07,7.850202e-07,8.570835e-07,8.657124e-07,9.287552e-07,9.600728e-07,9.996784e-07,1.052891e-06,1.069550e-06,1.138115e-06,1.143537e-06,1.205167e-06,1.231527e-06,1.270541e-06,1.316496e-06,1.334105e-06,1.395760e-06,1.398186e-06,1.455436e-06,1.476424e-06,1.513082e-06,1.551106e-06,1.568669e-06,1.622185e-06,1.673628e-06,1.689654e-06,1.723010e-06,1.753541e-06,1.770350e-06,1.813901e-06,1.815676e-06,1.859019e-06,1.870805e-06,1.900418e-06,1.924340e-06,1.939913e-06,1.974604e-06,1.977547e-06,2.013368e-06,2.021700e-06,2.047421e-06,2.065737e-06,2.079755e-06,2.106827e-06,2.110420e-06,2.139465e-06,2.145084e-06,2.166939e-06,2.180622e-06,2.192892e-06,2.213554e-06,2.217374e-06,2.240432e-06,2.243993e-06,2.262116e-06,2.272050e-06,2.282472e-06,2.297834e-06,2.301549e-06,2.319390e-06,2.321450e-06,2.336043e-06,2.343004e-06,2.351550e-06,2.362596e-06,2.365955e-06,2.379301e-06,2.380324e-06,2.391629e-06,2.396284e-06,2.402978e-06,2.410566e-06,2.413388e-06,2.422898e-06,2.423260e-06,2.431544e-06,2.434452e-06,2.439362e-06,2.444224e-06,2.446388e-06,2.452654e-06,2.458195e-06,2.459821e-06,2.463043e-06,2.465795e-06,2.467227e-06,2.470649e-06,2.470779e-06,2.473727e-06,2.474448e-06,2.476099e-06,2.477257e-06,2.477922e-06,2.479138e-06,2.479223e-06,2.480027e-06,2.480149e-06,2.480359e-06,2.480347e-06,2.480241e-06,2.479784e-06,2.479697e-06,2.478749e-06,2.478513e-06,2.477418e-06,2.476581e-06,2.475724e-06,2.474035e-06,2.473686e-06,2.471325e-06,2.470918e-06,2.468657e-06,2.467273e-06,2.465701e-06,2.463140e-06,2.462473e-06,2.458990e-06,2.458556e-06,2.455267e-06,2.453556e-06,2.451318e-06,2.448176e-06,2.447159e-06,2.442803e-06,2.442446e-06,2.438263e-06,2.436398e-06,2.433551e-06,2.430060e-06,2.428681e-06,2.423663e-06,2.423460e-06,2.418509e-06,2.416623e-06,2.413230e-06,2.409573e-06,2.407835e-06,2.402334e-06,2.394926e-06,2.387371e-06,2.379688e-06,2.371894e-06,2.364007e-06,2.356041e-06,2.348013e-06,2.339936e-06,2.331824e-06,2.323687e-06,2.315539e-06,2.307389e-06,2.299247e-06,2.291123e-06,2.283025e-06,2.274961e-06,2.266938e-06,2.258963e-06,2.251043e-06,2.243183e-06,2.235388e-06,2.227664e-06,2.220014e-06,2.212443e-06
0.000000e+00,9.872781e-14,8.242424e-13,1.859371e-11,1.413371e-10,3.531042e-10,2.458957e-09,2.634336e-09,1.183279e-08,1.693371e-08,3.872521e-08,7.083499e-08,1.022639e-07,2.178976e-07,2.315359e-07,4.668165e-07,5.444885e-07,8.584940e-07,1.167046e-06,1.462754e-06,2.214243e-06,2.334658e-06,3.520844e-06,3.798959e-06,5.054025e-06,5.994439e-06,6.950320e-06,8.823919e-06,9.209247e-06,1.181558e-05,1.226316e-05,1.474215e-05,1.625034e-05,1.795292e-05,2.069800e-05,2.140578e-05,2.505498e-05,2.550384e-05,2.885315e-05,3.055929e-05,3.275288e-05,3.575613e-05,3.670803e-05,4.067478e-05,4.099138e-05,4.461248e-05,4.617104e-05,4.848432e-05,5.121283e-05,5.225779e-05,5.590501e-05,5.604793e-05,5.940290e-05,6.062191e-05,6.273312e-05,6.489471e-05,6.588194e-05,6.883997e-05,7.160179e-05,7.244373e-05,7.416550e-05,7.570272e-05,7.653224e-05,7.862245e-05,7.870574e-05,8.069179e-05,8.121526e-05,8.249779e-05,8.349852e-05,8.413237e-05,8.549288e-05,8.560495e-05,8.692547e-05,8.722089e-05,8.810407e-05,8.870588e-05,8.915088e-05,8.997098e-05,9.007586e-05,9.088861e-05,9.103851e-05,9.159830e-05,9.192951e-05,9.221360e-05,9.266348e-05,9.274265e-05,9.319303e-05,9.325827e-05,9.357175e-05,9.372999e-05,9.388525e-05,9.409309e-05,9.413945e-05,9.433975e-05,9.436040e-05,9.449104e-05,9.454326e-05,9.459781e-05,9.465167e-05,9.466409e-05,9.469357e-05,9.469444e-05,9.468956e-05,9.467926e-05,9.465507e-05,9.461291e-05,9.459283e-05,9.450531e-05,9.450131e-05,9.439473e-05,9.434968e-05,9.426314e-05,9.416260e-05,9.411238e-05,9.394411e-05,9.375988e-05,9.369779e-05,9.356107e-05,9.342677e-05,9.334896e-05,9.313390e-05,9.312471e-05,9.288941e-05,9.282168e-05,9.264403e-05,9.249234e-05,9.238947e-05,9.214790e-05,9.212658e-05,9.185612e-05,9.179017e-05,9.157881e-05,9.142076e-05,9.129529e-05,9.104116e-05,9.100619e-05,9.071207e-05,9.065269e-05,9.041346e-05,9.025657e-05,9.011085e-05,8.985390e-05,8.980470e-05,8.949543e-05,8.944569e-05,8.918345e-05,8.903284e-05,8.886912e-05,8.861620e-05,8.855280e-05,8.823480e-05,8.819654e-05,8.791543e-05,8.777455e-05,8.759498e-05,8.735087e-05,8.727370e-05,8.695186e-05,8.692610e-05,8.662969e-05,8.650078e-05,8.630740e-05,8.607540e-05,8.598521e-05,8.566329e-05,8.565043e-05,8.534184e-05,8.522627e-05,8.502102e-05,8.480331e-05,8.470099e-05,8.438190e-05,8.396236e-05,8.354499e-05,8.313004e-05,8.271776e-05,8.230839e-05,8.190211e-05,8.149912e-05,8.109958e-05,8.070364e-05,8.031144e-05,7.992310e-05,7.953872e-05,7.915841e-05,7.878225e-05,7.841032e-05,7.804267e-05,7.767937e-05,7.732046e-05,7.696599e-05,7.661598e-05,7.627046e-05,7.592946e-05,7.559297e-05,7.526102e-05
0.000000e+00,2.301220e-15,2.060792e-14,5.385630e-13,4.688553e-12,1.262647e-11,1.069024e-10,1.154449e-10,6.302858e-10,9.511181e-10,2.484296e-09,5.056465e-09,7.822706e-09,1.942190e-08,2.090560e-08,4.930197e-08,5.964502e-08,1.053727e-07,1.555798e-07,2.080138e-07,3.583656e-07,3.846081e-07,6.730994e-07,7.484312e-07,1.124062e-06,1.443760e-06,1.802603e-06,2.607348e-06,2.789908e-06,4.184281e-06,4.452650e-06,6.101538e-06,7.245970e-06,8.674683e-06,1.130517e-05,1.205287e-05,1.639968e-05,1.699462e-05,2.189072e-05,2.471665e-05,2.871083e-05,3.490022e-05,3.705073e-05,4.710350e-05,4.798748e-05,5.906089e-05,6.441920e-05,7.310956e-05,8.461987e-05,8.942745e-05,1.081804e-04,1.089833e-04,1.295187e-04,1.378594e-04,1.535746e-04,1.715429e-04,1.804599e-04,2.102633e-04,2.430499e-04,2.541789e-04,2.788593e-04,3.033711e-04,3.177053e-04,3.578434e-04,3.595759e-04,4.044333e-04,4.175207e-04,4.522150e-04,4.822526e-04,5.028344e-04,5.518169e-04,5.561822e-04,6.121286e-04,6.259262e-04,6.705243e-04,7.042344e-04,7.312030e-04,7.863452e-04,7.939835e-04,8.586716e-04,8.718203e-04,9.250628e-04,9.601889e-04,9.929442e-04,1.050956e-03,1.062097e-03,1.132298e-03,1.143613e-03,1.203324e-03,1.237642e-03,1.274948e-03,1.332530e-03,1.346949e-03,1.419108e-03,1.427768e-03,1.491211e-03,1.522864e-03,1.563050e-03,1.617348e-03,1.634425e-03,1.705147e-03,1.710771e-03,1.775033e-03,1.802715e-03,1.843913e-03,1.892794e-03,1.911627e-03,1.978028e-03,1.980654e-03,2.042977e-03,2.065979e-03,2.106352e-03,2.148489e-03,2.168038e-03,2.227937e-03,2.285959e-03,2.304117e-03,2.342028e-03,2.376856e-03,2.396078e-03,2.446015e-03,2.448054e-03,2.497913e-03,2.511489e-03,2.545620e-03,2.573201e-03,2.591151e-03,2.631106e-03,2.634493e-03,2.675638e-03,2.685186e-03,2.714588e-03,2.735445e-03,2.751353e-03,2.781911e-03,2.785949e-03,2.818399e-03,2.824633e-03,2.848731e-03,2.863677e-03,2.876978e-03,2.899124e-03,2.903181e-03,2.927380e-03,2.931070e-03,2.949624e-03,2.959621e-03,2.969961e-03,2.984894e-03,2.988445e-03,3.005130e-03,3.007014e-03,3.020073e-03,3.026110e-03,3.033332e-03,3.042320e-03,3.044967e-03,3.055040e-03,3.055780e-03,3.063610e-03,3.066631e-03,3.070740e-03,3.075015e-03,3.076490e-03,3.080923e-03,3.081074e-03,3.084099e-03,3.084946e-03,3.086078e-03,3.086771e-03,3.086920e-03,3.086683e-03,3.084816e-03,3.081299e-03,3.076255e-03,3.069805e-03,3.062066e-03,3.053147e-03,3.043156e-03,3.032192e-03,3.020351e-03,3.007725e-03,2.994399e-03,2.980454e-03,2.965966e-03,2.951005e-03,2.935640e-03,2.919931e-03,2.903936e-03,2.887711e-03,2.871303e-03,2.854759e-03,2.838123e-03,2.821432e-03,2.804722e-03,2.788027e-03
0.000000e+00,1.725496e-14,1.469501e-13,3.455165e-12,2.727327e-11,6.955563e-11,5.104635e-10,5.480204e-10,2.587510e-09,3.751409e-09,8.851483e-09,1.657601e-08,2.427600e-08,5.324384e-08,5.670473e-08,1.172936e-07,1.375754e-07,2.206439e-07,3.037502e-07,3.846743e-07,5.957336e-07,6.302619e-07,9.806829e-07,1.065521e-06,1.460861e-06,1.770342e-06,2.096415e-06,2.768787e-06,2.912480e-06,3.932332e-06,4.115812e-06,5.175904e-06,5.856947e-06,6.658338e-06,8.022647e-06,8.388797e-06,1.036968e-05,1.062406e-05,1.259633e-05,1.365120e-05,1.505729e-05,1.707369e-05,1.773495e-05,2.060659e-05,2.084392e-05,2.364552e-05,2.490142e-05,2.682238e-05,2.917783e-05,3.010632e-05,3.346614e-05,3.360168e-05,3.687120e-05,3.810240e-05,4.029222e-05,4.261359e-05,4.370187e-05,4.707517e-05,5.038981e-05,5.143482e-05,5.362621e-05,5.564860e-05,5.676764e-05,5.968105e-05,5.980011e-05,6.271228e-05,6.350486e-05,6.549528e-05,6.710025e-05,6.814252e-05,7.045418e-05,7.064950e-05,7.301355e-05,7.355950e-05,7.523360e-05,7.641402e-05,7.731002e-05,7.901963e-05,7.924432e-05,8.103907e-05,8.138156e-05,8.269762e-05,8.350755e-05,8.422399e-05,8.540730e-05,8.562272e-05,8.689872e-05,8.709184e-05,8.805720e-05,8.857310e-05,8.910353e-05,8.986353e-05,9.004319e-05,9.088168e-05,9.097576e-05,9.162447e-05,9.192238e-05,9.227698e-05,9.271577e-05,9.284450e-05,9.333216e-05,9.336787e-05,9.374496e-05,9.389020e-05,9.408770e-05,9.429369e-05,9.436499e-05,9.458125e-05,9.458870e-05,9.474071e-05,9.478498e-05,9.484736e-05,9.489167e-05,9.490501e-05,9.491727e-05,9.488754e-05,9.486969e-05,9.481903e-05,9.475625e-05,9.471479e-05,9.458373e-05,9.457765e-05,9.441029e-05,9.435837e-05,9.421524e-05,9.408591e-05,9.399486e-05,9.377164e-05,9.375136e-05,9.348681e-05,9.342040e-05,9.320315e-05,9.303663e-05,9.290219e-05,9.262439e-05,9.258563e-05,9.225504e-05,9.218738e-05,9.191191e-05,9.172899e-05,9.155762e-05,9.125232e-05,9.119343e-05,9.082056e-05,9.076017e-05,9.044012e-05,9.025512e-05,9.005313e-05,8.973948e-05,8.966056e-05,8.926331e-05,8.921536e-05,8.886219e-05,8.868468e-05,8.845799e-05,8.814917e-05,8.805141e-05,8.764310e-05,8.761038e-05,8.723369e-05,8.706974e-05,8.682372e-05,8.652850e-05,8.641372e-05,8.600418e-05,8.598781e-05,8.559552e-05,8.544871e-05,8.518817e-05,8.491210e-05,8.478248e-05,8.437880e-05,8.384955e-05,8.332498e-05,8.280568e-05,8.229213e-05,8.178479e-05,8.128404e-05,8.079020e-05,8.030356e-05,7.982436e-05,7.935281e-05,7.888906e-05,7.843324e-05,7.798548e-05,7.754583e-05,7.711436e-05,7.669111e-05,7.627608e-05,7.586927e-05,7.547065e-05,7.508020e-05,7.469787e-05,7.432359e-05,7.395730e-05,7.359892e-05
0.000000e+00,4.391683e-14,3.666956e-13,8.277679e-12,6.296138e-11,1.573463e-10,1.096261e-09,1.174453e-09,5.272495e-09,7.542232e-09,1.721805e-08,3.142299e-08,4.527632e-08,9.592423e-08,1.018716e-07,2.039356e-07,2.374878e-07,3.729008e-07,5.060684e-07,6.341194e-07,9.623723e-07,1.015403e-06,1.544668e-06,1.670578e-06,2.247169e-06,2.687870e-06,3.143032e-06,4.054982e-06,4.245624e-06,5.560931e-06,5.791138e-06,7.087816e-06,7.893902e-06,8.818846e-06,1.034233e-05,1.074142e-05,1.283893e-05,1.310149e-05,1.509191e-05,1.612701e-05,1.747895e-05,1.936890e-05,1.997749e-05,2.256454e-05,2.277464e-05,2.521718e-05,2.629156e-05,2.791302e-05,2.986869e-05,3.063062e-05,3.334975e-05,3.345828e-05,3.605173e-05,3.701690e-05,3.871951e-05,4.050625e-05,4.133792e-05,4.389367e-05,4.637542e-05,4.715235e-05,4.877372e-05,5.026127e-05,5.108100e-05,5.320492e-05,5.329142e-05,5.540074e-05,5.597283e-05,5.740623e-05,5.855905e-05,5.930647e-05,6.096146e-05,6.110116e-05,6.279104e-05,6.318118e-05,6.437767e-05,6.522189e-05,6.586328e-05,6.708928e-05,6.725069e-05,6.854313e-05,6.879053e-05,6.974415e-05,7.033381e-05,7.085755e-05,7.172796e-05,7.188725e-05,7.283725e-05,7.298212e-05,7.371156e-05,7.410551e-05,7.451417e-05,7.510726e-05,7.524899e-05,7.591983e-05,7.599621e-05,7.653040e-05,7.678087e-05,7.708423e-05,7.746931e-05,7.758474e-05,7.803518e-05,7.806914e-05,7.843862e-05,7.858751e-05,7.879802e-05,7.903105e-05,7.911612e-05,7.939554e-05,7.940595e-05,7.963876e-05,7.971790e-05,7.984809e-05,7.997219e-05,8.002571e-05,8.017367e-05,8.029389e-05,8.032680e-05,8.038818e-05,8.043569e-05,8.045821e-05,8.050410e-05,8.050558e-05,8.053176e-05,8.053549e-05,8.053815e-05,8.053302e-05,8.052604e-05,8.049961e-05,8.049665e-05,8.045112e-05,8.043792e-05,8.039053e-05,8.035039e-05,8.031587e-05,8.023928e-05,8.022808e-05,8.012805e-05,8.010665e-05,8.001660e-05,7.995439e-05,7.989450e-05,7.978424e-05,7.976248e-05,7.962123e-05,7.959782e-05,7.947139e-05,7.939659e-05,7.931355e-05,7.918191e-05,7.914829e-05,7.897613e-05,7.895503e-05,7.879757e-05,7.871710e-05,7.861309e-05,7.846920e-05,7.842313e-05,7.822810e-05,7.821229e-05,7.802839e-05,7.794729e-05,7.782439e-05,7.767503e-05,7.761642e-05,7.740483e-05,7.739630e-05,7.718993e-05,7.711181e-05,7.697200e-05,7.682222e-05,7.675131e-05,7.652814e-05,7.623016e-05,7.592879e-05,7.562452e-05,7.531782e-05,7.500909e-05,7.469874e-05,7.438712e-05,7.407458e-05,7.376141e-05,7.344792e-05,7.313437e-05,7.282101e-05,7.250808e-05,7.219578e-05,7.188432e-05,7.157388e-05,7.126463e-05,7.095673e-05,7.065032e-05,7.034555e-05,7.004252e-05,6.974137e-05,6.944218e-05,6.914507e-05
0.000000e+00,1.634551e-11,3.786027e-11,1.317251e-10,3.011761e-10,4.401294e-10,1.001171e-09,1.031377e-09,1.996299e-09,2.346450e-09,3.432025e-09,4.563026e-09,5.443666e-09,7.890894e-09,8.132885e-09,1.156425e-08,1.249915e-08,1.573265e-08,1.836667e-08,2.057544e-08,2.533100e-08,2.601220e-08,3.196793e-08,3.321540e-08,3.837636e-08,4.186734e-08,4.517664e-08,5.114875e-08,5.231009e-08,5.971855e-08,6.092554e-08,6.734399e-08,7.106434e-08,7.512892e-08,8.143397e-08,8.301730e-08,9.095534e-08,9.190880e-08,9.889240e-08,1.023722e-07,1.067818e-07,1.127197e-07,1.145813e-07,1.222534e-07,1.228607e-07,1.297655e-07,1.327191e-07,1.370898e-07,1.422339e-07,1.442033e-07,1.510872e-07,1.513575e-07,1.577269e-07,1.600551e-07,1.641113e-07,1.683028e-07,1.702327e-07,1.760863e-07,1.816701e-07,1.833998e-07,1.869839e-07,1.902439e-07,1.920297e-07,1.966242e-07,1.968104e-07,2.013301e-07,2.025496e-07,2.055941e-07,2.080322e-07,2.096083e-07,2.130863e-07,2.133792e-07,2.169143e-07,2.177284e-07,2.202210e-07,2.219759e-07,2.233072e-07,2.258471e-07,2.261810e-07,2.288505e-07,2.293606e-07,2.313241e-07,2.325359e-07,2.336108e-07,2.353941e-07,2.357199e-07,2.376592e-07,2.379542e-07,2.394361e-07,2.402336e-07,2.410582e-07,2.422494e-07,2.425328e-07,2.438669e-07,2.440179e-07,2.450673e-07,2.455549e-07,2.461407e-07,2.468755e-07,2.470935e-07,2.479319e-07,2.479942e-07,2.486617e-07,2.489245e-07,2.492887e-07,2.496797e-07,2.498185e-07,2.502563e-07,2.502720e-07,2.506073e-07,2.507133e-07,2.508762e-07,2.510147e-07,2.510679e-07,2.511867e-07,2.512369e-07,2.512392e-07,2.512227e-07,2.511816e-07,2.511480e-07,2.510228e-07,2.510165e-07,2.508318e-07,2.507710e-07,2.505973e-07,2.504341e-07,2.503163e-07,2.500194e-07,2.499919e-07,2.496271e-07,2.495338e-07,2.492247e-07,2.489839e-07,2.487873e-07,2.483755e-07,2.483175e-07,2.478178e-07,2.477145e-07,2.472905e-07,2.470061e-07,2.467378e-07,2.462554e-07,2.461617e-07,2.455643e-07,2.454668e-07,2.449473e-07,2.446448e-07,2.443127e-07,2.437934e-07,2.436621e-07,2.429970e-07,2.429163e-07,2.423191e-07,2.420171e-07,2.416297e-07,2.410989e-07,2.409302e-07,2.402218e-07,2.401648e-07,2.395059e-07,2.392176e-07,2.387834e-07,2.382598e-07,2.380556e-07,2.373233e-07,2.372939e-07,2.365876e-07,2.363221e-07,2.358494e-07,2.353464e-07,2.351095e-07,2.343687e-07,2.333908e-07,2.324141e-07,2.314402e-07,2.304705e-07,2.295060e-07,2.285480e-07,2.275974e-07,2.266552e-07,2.257221e-07,2.247989e-07,2.238864e-07,2.229850e-07,2.220952e-07,2.212177e-07,2.203527e-07,2.195006e-07,2.186617e-07,2.178363e-07,2.170245e-07,2.162266e-07,2.154426e-07,2.146728e-07,2.139170e-07,2.131755e-07
0.000000e+00,1.031715e-14,9.228076e-14,2.405411e-12,2.089248e-11,5.619443e-11,4.743063e-10,5.121456e-10,2.788191e-09,4.204385e-09,1.096261e-08,2.228377e-08,3.444689e-08,8.538251e-08,9.189312e-08,2.163903e-07,2.617028e-07,4.619054e-07,6.815548e-07,9.108153e-07,1.567665e-06,1.682243e-06,2.940727e-06,3.269047e-06,4.904553e-06,6.294602e-06,7.852969e-06,1.134126e-05,1.213145e-05,1.815439e-05,1.931128e-05,2.640479e-05,3.131479e-05,3.743079e-05,4.865610e-05,5.183928e-05,7.028675e-05,7.280453e-05,9.346788e-05,1.053522e-04,1.221027e-04,1.479622e-04,1.569220e-04,1.986533e-04,2.023119e-04,2.480056e-04,2.700332e-04,3.056552e-04,3.526568e-04,3.722327e-04,4.483109e-04,4.515590e-04,5.343938e-04,5.679175e-04,6.309081e-04,7.026744e-04,7.381959e-04,8.565097e-04,9.860086e-04,1.029824e-03,1.126757e-03,1.222730e-03,1.278725e-03,1.435054e-03,1.441788e-03,1.615732e-03,1.666348e-03,1.800259e-03,1.915899e-03,1.994986e-03,2.182756e-03,2.199460e-03,2.413157e-03,2.465753e-03,2.635494e-03,2.763541e-03,2.865834e-03,3.074613e-03,3.103495e-03,3.347760e-03,3.397340e-03,3.597879e-03,3.730000e-03,3.853084e-03,4.070813e-03,4.112590e-03,4.375606e-03,4.417961e-03,4.641338e-03,4.769624e-03,4.909002e-03,5.124000e-03,5.177819e-03,5.447032e-03,5.479328e-03,5.715900e-03,5.833908e-03,5.983710e-03,6.186115e-03,6.249777e-03,6.513446e-03,6.534417e-03,6.774097e-03,6.877380e-03,7.031146e-03,7.213682e-03,7.284045e-03,7.532288e-03,7.542114e-03,7.775405e-03,7.861589e-03,8.012968e-03,8.171139e-03,8.244588e-03,8.469916e-03,8.688641e-03,8.757193e-03,8.900492e-03,9.032359e-03,9.105234e-03,9.294914e-03,9.302669e-03,9.492633e-03,9.544466e-03,9.674999e-03,9.780728e-03,9.849666e-03,1.000350e-02,1.001657e-02,1.017567e-02,1.021269e-02,1.032695e-02,1.040826e-02,1.047044e-02,1.059028e-02,1.060615e-02,1.073416e-02,1.075885e-02,1.085454e-02,1.091415e-02,1.096739e-02,1.105644e-02,1.107281e-02,1.117094e-02,1.118598e-02,1.126192e-02,1.130310e-02,1.134591e-02,1.140816e-02,1.142306e-02,1.149354e-02,1.150156e-02,1.155755e-02,1.158371e-02,1.161527e-02,1.165504e-02,1.166688e-02,1.171259e-02,1.171600e-02,1.175260e-02,1.176705e-02,1.178711e-02,1.180866e-02,1.181632e-02,1.184044e-02,1.184130e-02,1.185968e-02,1.186544e-02,1.187423e-02,1.188155e-02,1.188430e-02,1.189010e-02,1.189153e-02,1.188630e-02,1.187485e-02,1.185760e-02,1.183497e-02,1.180735e-02,1.177513e-02,1.173868e-02,1.169835e-02,1.165449e-02,1.160742e-02,1.155744e-02,1.150485e-02,1.144993e-02,1.139293e-02,1.133410e-02,1.127368e-02,1.121189e-02,1.114892e-02,1.108496e-02,1.102021e-02,1.095482e-02,1.088895e-02,1.082274e-02
0.000000e+00,4.411230e-12,1.012578e-11,3.485319e-11,7.917409e-11,1.153439e-10,2.603069e-10,2.680702e-10,5.142050e-10,6.027093e-10,8.746819e-10,1.154603e-09,1.370497e-09,1.963284e-09,2.021468e-09,2.841916e-09,3.064650e-09,3.834696e-09,4.462701e-09,4.990188e-09,6.128709e-09,6.292087e-09,7.723081e-09,8.023315e-09,9.266831e-09,1.010898e-08,1.090785e-08,1.235039e-08,1.263100e-08,1.442123e-08,1.471289e-08,1.626355e-08,1.716201e-08,1.814316e-08,1.966401e-08,2.004568e-08,2.195742e-08,2.218683e-08,2.386560e-08,2.470101e-08,2.575852e-08,2.718043e-08,2.762569e-08,2.945790e-08,2.960272e-08,3.124726e-08,3.194947e-08,3.298713e-08,3.420611e-08,3.467210e-08,3.629791e-08,3.636166e-08,3.786135e-08,3.840844e-08,3.936009e-08,4.034148e-08,4.079263e-08,4.215819e-08,4.345662e-08,4.385798e-08,4.468825e-08,4.544177e-08,4.585385e-08,4.691175e-08,4.695455e-08,4.799175e-08,4.827101e-08,4.896708e-08,4.952333e-08,4.988234e-08,5.067297e-08,5.073945e-08,5.154040e-08,5.172451e-08,5.228728e-08,5.268270e-08,5.298219e-08,5.355239e-08,5.362724e-08,5.422451e-08,5.433842e-08,5.477609e-08,5.504553e-08,5.528401e-08,5.567838e-08,5.575026e-08,5.617681e-08,5.624151e-08,5.656555e-08,5.673926e-08,5.691832e-08,5.717582e-08,5.723688e-08,5.752297e-08,5.755519e-08,5.777823e-08,5.788119e-08,5.800425e-08,5.815741e-08,5.820256e-08,5.837464e-08,5.838731e-08,5.852188e-08,5.857413e-08,5.864564e-08,5.872092e-08,5.874720e-08,5.882779e-08,5.883060e-08,5.888861e-08,5.890588e-08,5.893076e-08,5.894932e-08,5.895534e-08,5.896335e-08,5.895579e-08,5.895023e-08,5.893357e-08,5.891208e-08,5.889760e-08,5.885090e-08,5.884871e-08,5.878771e-08,5.876856e-08,5.871536e-08,5.866682e-08,5.863240e-08,5.854730e-08,5.853952e-08,5.843738e-08,5.841155e-08,5.832659e-08,5.826101e-08,5.820777e-08,5.809700e-08,5.808147e-08,5.794822e-08,5.792079e-08,5.780855e-08,5.773354e-08,5.766293e-08,5.753634e-08,5.751181e-08,5.735564e-08,5.733021e-08,5.719483e-08,5.711610e-08,5.702976e-08,5.689489e-08,5.686081e-08,5.668832e-08,5.666740e-08,5.651264e-08,5.643440e-08,5.633406e-08,5.619660e-08,5.615289e-08,5.596942e-08,5.595465e-08,5.578390e-08,5.570917e-08,5.559658e-08,5.546073e-08,5.540771e-08,5.521750e-08,5.520987e-08,5.502617e-08,5.495706e-08,5.483392e-08,5.470276e-08,5.464093e-08,5.444739e-08,5.419133e-08,5.393495e-08,5.367857e-08,5.342249e-08,5.316700e-08,5.291235e-08,5.265877e-08,5.240649e-08,5.215569e-08,5.190656e-08,5.165926e-08,5.141394e-08,5.117073e-08,5.092975e-08,5.069111e-08,5.045492e-08,5.022125e-08,4.999018e-08,4.976179e-08,4.953613e-08,4.931325e-08,4.909320e-08,4.887602e-08,4.866173e-08
0.000000e+00,2.823603e-11,1.206078e-10,8.362182e-10,2.653312e-09,4.377565e-09,1.229269e-08,1.274518e-08,2.791886e-08,3.364878e-08,5.181598e-08,7.113675e-08,8.635119e-08,1.291898e-07,1.334681e-07,1.950812e-07,2.122187e-07,2.728246e-07,3.237830e-07,3.675893e-07,4.649145e-07,4.791570e-07,6.063431e-07,6.335125e-07,7.475035e-07,8.258616e-07,9.009376e-07,1.038128e-06,1.065037e-06,1.238282e-06,1.266751e-06,1.419209e-06,1.508362e-06,1.606388e-06,1.759688e-06,1.798415e-06,1.993919e-06,2.017550e-06,2.191582e-06,2.278911e-06,2.390149e-06,2.540942e-06,2.588452e-06,2.785419e-06,2.801089e-06,2.980083e-06,3.057109e-06,3.171591e-06,3.307101e-06,3.359201e-06,3.542284e-06,3.549505e-06,3.720315e-06,3.783085e-06,3.892871e-06,4.006909e-06,4.059620e-06,4.220313e-06,4.374776e-06,4.422869e-06,4.522900e-06,4.614346e-06,4.664632e-06,4.794676e-06,4.799967e-06,4.928944e-06,4.963927e-06,5.051634e-06,5.122270e-06,5.168136e-06,5.269958e-06,5.278573e-06,5.383088e-06,5.407306e-06,5.481833e-06,5.534672e-06,5.574976e-06,5.652445e-06,5.662690e-06,5.745156e-06,5.761035e-06,5.822556e-06,5.860863e-06,5.895075e-06,5.952352e-06,5.962896e-06,6.026203e-06,6.035925e-06,6.085177e-06,6.111998e-06,6.139997e-06,6.180980e-06,6.190838e-06,6.237871e-06,6.243266e-06,6.281261e-06,6.299242e-06,6.321173e-06,6.349274e-06,6.357761e-06,6.391178e-06,6.393719e-06,6.421571e-06,6.432914e-06,6.449083e-06,6.467185e-06,6.473852e-06,6.496008e-06,6.496842e-06,6.515681e-06,6.522179e-06,6.532992e-06,6.543475e-06,6.548060e-06,6.560997e-06,6.571912e-06,6.574996e-06,6.580911e-06,6.585710e-06,6.588093e-06,6.593367e-06,6.593554e-06,6.597386e-06,6.598179e-06,6.599677e-06,6.600348e-06,6.600512e-06,6.600064e-06,6.599972e-06,6.598134e-06,6.597508e-06,6.595072e-06,6.592848e-06,6.590856e-06,6.586245e-06,6.585554e-06,6.579231e-06,6.577849e-06,6.571948e-06,6.567801e-06,6.563764e-06,6.556234e-06,6.554735e-06,6.544915e-06,6.543274e-06,6.534356e-06,6.529039e-06,6.523105e-06,6.513638e-06,6.511210e-06,6.498715e-06,6.497177e-06,6.485661e-06,6.479751e-06,6.472090e-06,6.461454e-06,6.458040e-06,6.443546e-06,6.442369e-06,6.428645e-06,6.422577e-06,6.413368e-06,6.402154e-06,6.397748e-06,6.381814e-06,6.381170e-06,6.365594e-06,6.359690e-06,6.349116e-06,6.337776e-06,6.332405e-06,6.315485e-06,6.292871e-06,6.269983e-06,6.246869e-06,6.223571e-06,6.200131e-06,6.176584e-06,6.152967e-06,6.129311e-06,6.105647e-06,6.082003e-06,6.058403e-06,6.034873e-06,6.011433e-06,5.988104e-06,5.964904e-06,5.941851e-06,5.918960e-06,5.896244e-06,5.873718e-06,5.851393e-06,5.829279e-06,5.807386e-06,5.785724e-06,5.764299e-06
0.000000e+00,5.721693e-15,5.097363e-14,1.318255e-12,1.136486e-11,3.043887e-11,2.539879e-10,2.741179e-10,1.474106e-09,2.215058e-09,5.722918e-09,1.154267e-08,1.774901e-08,4.345185e-08,4.671399e-08,1.084841e-07,1.307565e-07,2.282895e-07,3.341223e-07,4.436483e-07,7.537460e-07,8.074000e-07,1.390657e-06,1.541354e-06,2.285447e-06,2.911078e-06,3.606777e-06,5.147448e-06,5.493852e-06,8.110199e-06,8.608661e-06,1.164258e-05,1.372375e-05,1.629862e-05,2.098320e-05,2.230329e-05,2.989436e-05,3.092350e-05,3.931712e-05,4.410713e-05,5.081852e-05,6.109939e-05,6.464119e-05,8.101748e-05,8.244451e-05,1.001637e-04,1.086424e-04,1.222751e-04,1.401276e-04,1.475211e-04,1.760416e-04,1.772522e-04,2.079441e-04,2.202721e-04,2.433015e-04,2.693384e-04,2.821509e-04,3.244935e-04,3.702946e-04,3.856709e-04,4.194849e-04,4.526996e-04,4.719625e-04,5.253110e-04,5.275949e-04,5.862218e-04,6.031493e-04,6.476579e-04,6.857829e-04,7.116968e-04,7.727182e-04,7.781135e-04,8.466688e-04,8.634126e-04,9.171120e-04,9.572887e-04,9.891846e-04,1.053747e-03,1.062623e-03,1.137163e-03,1.152180e-03,1.212541e-03,1.251982e-03,1.288496e-03,1.352559e-03,1.364775e-03,1.441130e-03,1.453338e-03,1.517326e-03,1.553777e-03,1.593138e-03,1.653367e-03,1.668352e-03,1.742768e-03,1.751635e-03,1.816201e-03,1.848155e-03,1.888479e-03,1.942541e-03,1.959446e-03,2.028960e-03,2.034455e-03,2.096895e-03,2.123600e-03,2.163136e-03,2.209726e-03,2.227587e-03,2.290162e-03,2.292625e-03,2.350790e-03,2.372128e-03,2.409412e-03,2.448106e-03,2.465982e-03,2.520465e-03,2.572834e-03,2.589143e-03,2.623075e-03,2.654110e-03,2.671183e-03,2.715360e-03,2.717158e-03,2.761012e-03,2.772914e-03,2.802762e-03,2.826811e-03,2.842430e-03,2.877110e-03,2.880045e-03,2.915640e-03,2.923887e-03,2.949254e-03,2.967228e-03,2.980928e-03,3.007232e-03,3.010707e-03,3.038638e-03,3.044007e-03,3.064771e-03,3.077666e-03,3.089157e-03,3.108331e-03,3.111851e-03,3.132904e-03,3.136125e-03,3.152374e-03,3.161172e-03,3.170313e-03,3.183601e-03,3.186779e-03,3.201826e-03,3.203539e-03,3.215509e-03,3.221112e-03,3.227883e-03,3.236444e-03,3.239001e-03,3.248916e-03,3.249659e-03,3.257680e-03,3.260876e-03,3.265345e-03,3.270211e-03,3.271960e-03,3.277574e-03,3.277778e-03,3.282234e-03,3.283687e-03,3.285986e-03,3.288041e-03,3.288875e-03,3.290944e-03,3.292491e-03,3.292775e-03,3.291885e-03,3.289904e-03,3.286914e-03,3.282988e-03,3.278201e-03,3.272618e-03,3.266305e-03,3.259322e-03,3.251726e-03,3.243572e-03,3.234908e-03,3.225783e-03,3.216241e-03,3.206324e-03,3.196071e-03,3.185518e-03,3.174700e-03,3.163648e-03,3.152393e-03,3.140961e-03,3.129380e-03,3.117672e-03
0.000000e+00,6.012561e-11,2.054261e-10,1.075071e-09,2.960247e-09,4.631039e-09,1.186212e-08,1.226485e-08,2.551848e-08,3.045869e-08,4.605422e-08,6.262250e-08,7.568081e-08,1.124111e-07,1.160653e-07,1.680318e-07,1.822032e-07,2.311757e-07,2.710142e-07,3.043965e-07,3.762646e-07,3.865641e-07,4.767299e-07,4.956498e-07,5.740791e-07,6.272851e-07,6.778453e-07,7.694007e-07,7.872518e-07,9.014869e-07,9.201561e-07,1.019698e-06,1.077593e-06,1.141002e-06,1.239665e-06,1.264496e-06,1.389286e-06,1.404305e-06,1.514493e-06,1.569499e-06,1.639282e-06,1.733361e-06,1.762875e-06,1.884557e-06,1.894189e-06,2.003691e-06,2.050504e-06,2.119720e-06,2.201068e-06,2.232169e-06,2.340643e-06,2.344895e-06,2.444827e-06,2.481235e-06,2.544480e-06,2.609564e-06,2.639427e-06,2.729557e-06,2.814813e-06,2.841062e-06,2.895184e-06,2.944072e-06,2.970703e-06,3.038698e-06,3.041437e-06,3.107480e-06,3.125147e-06,3.168952e-06,3.203697e-06,3.225990e-06,3.274678e-06,3.278745e-06,3.327380e-06,3.338458e-06,3.372064e-06,3.395426e-06,3.412970e-06,3.445982e-06,3.450274e-06,3.484151e-06,3.490531e-06,3.514776e-06,3.529473e-06,3.542320e-06,3.563199e-06,3.566951e-06,3.588831e-06,3.592087e-06,3.608119e-06,3.616501e-06,3.624966e-06,3.636784e-06,3.639518e-06,3.651916e-06,3.653266e-06,3.662294e-06,3.666253e-06,3.670779e-06,3.676036e-06,3.677492e-06,3.682549e-06,3.682886e-06,3.686061e-06,3.687055e-06,3.688129e-06,3.688781e-06,3.688854e-06,3.688327e-06,3.688281e-06,3.686637e-06,3.685759e-06,3.683866e-06,3.681404e-06,3.680092e-06,3.675390e-06,3.669828e-06,3.667877e-06,3.663472e-06,3.659015e-06,3.656383e-06,3.648942e-06,3.648619e-06,3.640234e-06,3.637782e-06,3.631280e-06,3.625654e-06,3.621804e-06,3.612664e-06,3.611851e-06,3.601464e-06,3.598911e-06,3.590683e-06,3.584487e-06,3.579544e-06,3.569473e-06,3.568082e-06,3.556330e-06,3.553947e-06,3.544318e-06,3.537979e-06,3.532076e-06,3.521634e-06,3.519630e-06,3.507005e-06,3.504970e-06,3.494225e-06,3.488042e-06,3.481312e-06,3.470900e-06,3.468286e-06,3.455167e-06,3.453587e-06,3.441972e-06,3.436147e-06,3.428718e-06,3.418616e-06,3.415421e-06,3.402095e-06,3.401028e-06,3.388754e-06,3.383416e-06,3.375410e-06,3.365808e-06,3.362076e-06,3.348761e-06,3.348229e-06,3.335476e-06,3.330703e-06,3.322231e-06,3.313251e-06,3.309033e-06,3.295892e-06,3.278645e-06,3.261523e-06,3.244542e-06,3.227714e-06,3.211050e-06,3.194559e-06,3.178251e-06,3.162134e-06,3.146214e-06,3.130497e-06,3.114987e-06,3.099690e-06,3.084609e-06,3.069747e-06,3.055105e-06,3.040687e-06,3.026494e-06,3.012526e-06,2.998783e-06,2.985267e-06,2.971977e-06,2.958912e-06,2.946072e-06,2.933455e-06
0.000000e+00,3.434234e-12,7.878311e-12,2.717044e-11,6.197741e-11,9.057338e-11,2.066868e-10,2.129686e-10,4.151889e-10,4.892669e-10,7.210024e-10,9.652958e-10,1.157153e-09,1.695621e-09,1.749168e-09,2.511261e-09,2.719305e-09,3.438502e-09,4.023100e-09,4.512076e-09,5.560567e-09,5.710268e-09,7.014050e-09,7.286031e-09,8.407483e-09,9.162828e-09,9.876652e-09,1.115986e-08,1.140870e-08,1.299132e-08,1.324843e-08,1.461256e-08,1.540106e-08,1.626085e-08,1.759152e-08,1.792515e-08,1.959506e-08,1.979537e-08,2.126099e-08,2.199046e-08,2.291424e-08,2.415745e-08,2.454710e-08,2.615283e-08,2.627994e-08,2.772568e-08,2.834450e-08,2.926083e-08,3.034057e-08,3.075437e-08,3.220317e-08,3.226015e-08,3.360484e-08,3.409755e-08,3.495764e-08,3.584899e-08,3.626037e-08,3.751234e-08,3.871325e-08,3.908676e-08,3.986318e-08,4.057252e-08,4.096246e-08,4.197067e-08,4.201169e-08,4.301164e-08,4.328293e-08,4.396327e-08,4.451149e-08,4.486763e-08,4.565889e-08,4.572588e-08,4.653925e-08,4.672792e-08,4.730901e-08,4.772153e-08,4.803650e-08,4.864277e-08,4.872304e-08,4.936998e-08,4.949474e-08,4.997868e-08,5.028054e-08,5.055048e-08,5.100326e-08,5.108672e-08,5.158871e-08,5.166593e-08,5.205774e-08,5.227154e-08,5.249509e-08,5.282299e-08,5.290200e-08,5.327968e-08,5.332310e-08,5.362933e-08,5.377459e-08,5.395209e-08,5.418010e-08,5.424909e-08,5.452142e-08,5.454218e-08,5.477014e-08,5.486325e-08,5.499628e-08,5.514567e-08,5.520082e-08,5.538474e-08,5.539168e-08,5.554895e-08,5.560342e-08,5.569436e-08,5.578295e-08,5.582184e-08,5.593223e-08,5.602633e-08,5.605313e-08,5.610492e-08,5.614743e-08,5.616876e-08,5.621683e-08,5.621856e-08,5.625503e-08,5.626294e-08,5.627883e-08,5.628730e-08,5.629061e-08,5.629137e-08,5.629099e-08,5.628057e-08,5.627653e-08,5.625992e-08,5.624409e-08,5.622958e-08,5.619530e-08,5.619010e-08,5.614196e-08,5.613134e-08,5.608567e-08,5.605333e-08,5.602169e-08,5.596233e-08,5.595046e-08,5.587242e-08,5.585933e-08,5.578798e-08,5.574529e-08,5.569752e-08,5.562108e-08,5.560143e-08,5.550008e-08,5.548757e-08,5.539379e-08,5.534555e-08,5.528291e-08,5.519576e-08,5.516775e-08,5.504862e-08,5.503892e-08,5.492579e-08,5.487570e-08,5.479956e-08,5.470671e-08,5.467018e-08,5.453790e-08,5.453255e-08,5.440297e-08,5.435379e-08,5.426561e-08,5.417093e-08,5.412604e-08,5.398447e-08,5.379487e-08,5.360257e-08,5.340796e-08,5.321142e-08,5.301332e-08,5.281397e-08,5.261370e-08,5.241279e-08,5.221150e-08,5.201009e-08,5.180878e-08,5.160781e-08,5.140736e-08,5.120763e-08,5.100878e-08,5.081098e-08,5.061437e-08,5.041908e-08,5.022525e-08,5.003298e-08,4.984237e-08,4.965353e-08,4.946653e-08,4.928146e-08
0.000000e+00,1.950699e-14,1.751087e-13,4.599206e-12,4.022883e-11,1.086275e-10,9.263606e-10,1.000690e-09,5.505696e-09,8.326569e-09,2.187463e-08,4.474312e-08,6.945348e-08,1.738109e-07,1.872208e-07,4.455231e-07,5.401844e-07,9.611493e-07,1.426703e-06,1.915601e-06,3.328142e-06,3.575938e-06,6.317003e-06,7.036787e-06,1.064334e-05,1.373020e-05,1.720894e-05,2.504891e-05,2.683322e-05,4.051180e-05,4.315270e-05,5.942138e-05,7.074752e-05,8.491798e-05,1.110789e-04,1.185289e-04,1.619385e-04,1.678913e-04,2.169680e-04,2.453570e-04,2.855507e-04,3.479764e-04,3.697030e-04,4.714923e-04,4.804598e-04,5.930027e-04,6.475929e-04,7.363000e-04,8.540970e-04,9.033958e-04,1.096213e-03,1.104487e-03,1.316554e-03,1.402937e-03,1.566067e-03,1.753158e-03,1.846223e-03,2.158286e-03,2.503297e-03,2.620797e-03,2.882057e-03,3.142439e-03,3.295113e-03,3.724181e-03,3.742752e-03,4.224995e-03,4.366197e-03,4.741601e-03,5.067860e-03,5.292068e-03,5.827759e-03,5.875641e-03,6.491325e-03,6.643735e-03,7.137893e-03,7.512933e-03,7.813907e-03,8.431866e-03,8.517736e-03,9.247569e-03,9.396485e-03,1.000144e-02,1.040226e-02,1.077725e-02,1.144427e-02,1.157279e-02,1.238575e-02,1.251728e-02,1.321375e-02,1.361583e-02,1.405438e-02,1.473432e-02,1.490518e-02,1.576369e-02,1.586711e-02,1.662745e-02,1.700855e-02,1.749405e-02,1.815309e-02,1.836110e-02,1.922626e-02,1.929533e-02,2.008729e-02,2.043005e-02,2.094199e-02,2.155230e-02,2.178830e-02,2.262422e-02,2.265741e-02,2.344787e-02,2.374103e-02,2.425748e-02,2.479916e-02,2.505142e-02,2.582816e-02,2.658629e-02,2.682475e-02,2.732454e-02,2.778605e-02,2.804176e-02,2.870955e-02,2.873692e-02,2.940911e-02,2.959310e-02,3.005757e-02,3.043496e-02,3.068161e-02,3.123370e-02,3.128070e-02,3.185439e-02,3.198825e-02,3.240235e-02,3.269788e-02,3.292435e-02,3.336213e-02,3.342025e-02,3.389001e-02,3.398083e-02,3.433367e-02,3.455409e-02,3.475135e-02,3.508226e-02,3.514324e-02,3.550960e-02,3.556587e-02,3.585078e-02,3.600570e-02,3.616714e-02,3.640267e-02,3.645914e-02,3.672726e-02,3.675785e-02,3.697203e-02,3.707247e-02,3.719401e-02,3.734784e-02,3.739380e-02,3.757204e-02,3.758538e-02,3.772937e-02,3.778659e-02,3.786646e-02,3.795303e-02,3.798401e-02,3.808272e-02,3.808628e-02,3.816329e-02,3.818799e-02,3.822644e-02,3.825980e-02,3.827289e-02,3.830337e-02,3.832035e-02,3.831236e-02,3.828103e-02,3.822793e-02,3.815463e-02,3.806261e-02,3.795335e-02,3.782827e-02,3.768872e-02,3.753602e-02,3.737141e-02,3.719611e-02,3.701124e-02,3.681788e-02,3.661706e-02,3.640975e-02,3.619685e-02,3.597921e-02,3.575764e-02,3.553289e-02,3.530565e-02,3.507656e-02,3.484624e-02,3.461523e-02
0.000000e+00,8.104882e-13,5.928350e-12,1.022556e-10,6.131547e-10,1.349218e-09,6.846520e-09,7.243624e-09,2.419653e-08,3.204802e-08,6.068712e-08,9.587907e-08,1.261787e-07,2.204433e-07,2.304424e-07,3.832764e-07,4.282590e-07,5.942529e-07,7.410867e-07,8.719877e-07,1.176567e-06,1.222591e-06,1.647665e-06,1.741353e-06,2.143060e-06,2.425496e-06,2.699381e-06,3.204551e-06,3.303964e-06,3.943200e-06,4.047815e-06,4.604237e-06,4.925900e-06,5.275800e-06,5.814180e-06,5.948375e-06,6.614045e-06,6.693137e-06,7.266252e-06,7.547525e-06,7.899576e-06,8.365513e-06,8.509585e-06,9.092734e-06,9.138138e-06,9.646296e-06,9.858971e-06,1.016830e-05,1.052385e-05,1.065746e-05,1.111312e-05,1.113065e-05,1.153517e-05,1.167894e-05,1.192397e-05,1.216973e-05,1.228027e-05,1.260511e-05,1.289980e-05,1.298797e-05,1.316580e-05,1.332170e-05,1.340468e-05,1.361001e-05,1.361808e-05,1.380767e-05,1.385671e-05,1.397509e-05,1.406558e-05,1.412196e-05,1.424027e-05,1.424984e-05,1.436022e-05,1.438426e-05,1.445450e-05,1.450076e-05,1.453401e-05,1.459275e-05,1.459999e-05,1.465359e-05,1.466292e-05,1.469588e-05,1.471373e-05,1.472784e-05,1.474737e-05,1.475038e-05,1.476433e-05,1.476582e-05,1.477046e-05,1.477083e-05,1.476946e-05,1.476397e-05,1.476198e-05,1.474859e-05,1.474662e-05,1.472984e-05,1.472001e-05,1.470620e-05,1.468525e-05,1.467813e-05,1.464603e-05,1.464330e-05,1.461027e-05,1.459502e-05,1.457120e-05,1.454118e-05,1.452911e-05,1.448430e-05,1.448246e-05,1.443703e-05,1.441945e-05,1.438753e-05,1.435270e-05,1.433601e-05,1.428269e-05,1.422774e-05,1.420984e-05,1.417133e-05,1.413454e-05,1.411362e-05,1.405713e-05,1.405475e-05,1.399486e-05,1.397792e-05,1.393405e-05,1.389718e-05,1.387245e-05,1.381517e-05,1.381017e-05,1.374728e-05,1.373211e-05,1.368389e-05,1.364821e-05,1.362008e-05,1.356364e-05,1.355592e-05,1.349149e-05,1.347857e-05,1.342684e-05,1.339316e-05,1.336204e-05,1.330753e-05,1.329714e-05,1.323220e-05,1.322181e-05,1.316726e-05,1.313611e-05,1.310237e-05,1.305052e-05,1.303757e-05,1.297289e-05,1.296514e-05,1.290838e-05,1.288006e-05,1.284407e-05,1.279534e-05,1.277998e-05,1.271614e-05,1.271105e-05,1.265259e-05,1.262725e-05,1.258934e-05,1.254400e-05,1.252642e-05,1.246385e-05,1.246135e-05,1.240164e-05,1.237934e-05,1.233982e-05,1.229800e-05,1.227839e-05,1.221739e-05,1.213752e-05,1.205842e-05,1.198012e-05,1.190265e-05,1.182601e-05,1.175024e-05,1.167533e-05,1.160131e-05,1.152818e-05,1.145596e-05,1.138464e-05,1.131424e-05,1.124475e-05,1.117618e-05,1.110854e-05,1.104182e-05,1.097601e-05,1.091113e-05,1.084715e-05,1.078409e-05,1.072194e-05,1.066069e-05,1.060034e-05,1.054087e-05
0.000000e+00,3.455680e-15,3.083744e-14,8.001098e-13,6.919775e-12,1.856771e-11,1.557275e-10,1.681065e-10,9.090850e-10,1.368229e-09,3.549897e-09,7.185467e-09,1.107565e-08,2.726742e-08,2.932898e-08,6.853563e-08,8.273087e-08,1.451355e-07,2.131769e-07,2.838546e-07,4.850039e-07,5.199324e-07,9.013940e-07,1.000390e-06,1.491237e-06,1.906116e-06,2.369376e-06,3.401217e-06,3.634193e-06,5.403557e-06,5.742401e-06,7.815191e-06,9.246369e-06,1.102638e-05,1.428856e-05,1.521292e-05,2.056739e-05,2.129812e-05,2.729686e-05,3.074941e-05,3.561993e-05,4.315062e-05,4.576342e-05,5.795871e-05,5.902993e-05,7.243782e-05,7.892035e-05,8.942940e-05,1.033437e-04,1.091548e-04,1.318241e-04,1.327949e-04,1.576327e-04,1.677269e-04,1.867575e-04,2.085370e-04,2.193543e-04,2.555553e-04,2.954665e-04,3.090353e-04,3.391666e-04,3.691473e-04,3.867054e-04,4.359737e-04,4.381037e-04,4.933524e-04,5.095076e-04,5.524135e-04,5.896534e-04,6.152202e-04,6.762300e-04,6.816784e-04,7.516678e-04,7.689751e-04,8.250438e-04,8.675522e-04,9.016394e-04,9.715583e-04,9.812670e-04,1.063721e-03,1.080532e-03,1.148781e-03,1.193964e-03,1.236212e-03,1.311306e-03,1.325768e-03,1.417196e-03,1.431981e-03,1.510236e-03,1.555391e-03,1.604625e-03,1.680928e-03,1.700096e-03,1.796386e-03,1.807984e-03,1.893232e-03,1.935954e-03,1.990376e-03,2.064250e-03,2.087566e-03,2.184556e-03,2.192299e-03,2.281109e-03,2.319557e-03,2.376998e-03,2.445506e-03,2.472008e-03,2.565932e-03,2.569663e-03,2.658578e-03,2.691582e-03,2.749764e-03,2.810852e-03,2.839324e-03,2.927103e-03,3.012959e-03,3.040005e-03,3.096764e-03,3.149270e-03,3.178404e-03,3.254646e-03,3.257776e-03,3.334791e-03,3.355922e-03,3.409372e-03,3.452925e-03,3.481455e-03,3.545519e-03,3.550986e-03,3.617923e-03,3.633599e-03,3.682235e-03,3.717094e-03,3.743900e-03,3.795966e-03,3.802906e-03,3.859251e-03,3.870200e-03,3.912939e-03,3.939810e-03,3.963983e-03,4.004831e-03,4.012403e-03,4.058227e-03,4.065320e-03,4.101488e-03,4.121353e-03,4.142222e-03,4.173020e-03,4.180475e-03,4.216292e-03,4.220429e-03,4.249727e-03,4.263698e-03,4.280835e-03,4.302955e-03,4.309672e-03,4.336301e-03,4.338338e-03,4.360784e-03,4.369990e-03,4.383185e-03,4.398062e-03,4.403570e-03,4.422008e-03,4.422706e-03,4.438565e-03,4.444078e-03,4.453310e-03,4.462336e-03,4.466311e-03,4.477638e-03,4.490139e-03,4.499995e-03,4.507359e-03,4.512382e-03,4.515210e-03,4.515987e-03,4.514852e-03,4.511938e-03,4.507377e-03,4.501292e-03,4.493804e-03,4.485026e-03,4.475070e-03,4.464037e-03,4.452027e-03,4.439135e-03,4.425448e-03,4.411050e-03,4.396021e-03,4.380435e-03,4.364361e-03,4.347864e-03,4.331006e-03,4.313845e-03
0.000000e+00,1.387960e-10,3.861183e-10,1.621014e-09,4.032337e-09,6.074139e-09,1.452802e-08,1.498788e-08,2.975200e-08,3.511661e-08,5.169799e-08,6.885351e-08,8.212156e-08,1.186681e-07,1.222646e-07,1.732224e-07,1.871554e-07,2.357341e-07,2.758474e-07,3.098614e-07,3.840375e-07,3.947406e-07,4.886950e-07,5.083964e-07,5.896872e-07,6.443211e-07,6.957475e-07,7.874911e-07,8.051594e-07,9.164678e-07,9.343677e-07,1.028434e-06,1.082093e-06,1.139992e-06,1.228322e-06,1.250222e-06,1.358336e-06,1.371134e-06,1.463665e-06,1.508982e-06,1.565658e-06,1.640665e-06,1.663872e-06,1.757960e-06,1.765301e-06,1.847671e-06,1.882288e-06,1.932830e-06,1.991266e-06,2.013335e-06,2.089143e-06,2.092078e-06,2.160262e-06,2.184726e-06,2.226742e-06,2.269339e-06,2.288665e-06,2.346141e-06,2.399300e-06,2.415423e-06,2.448288e-06,2.477524e-06,2.493262e-06,2.532812e-06,2.534385e-06,2.571825e-06,2.581671e-06,2.605752e-06,2.624493e-06,2.636337e-06,2.661667e-06,2.663746e-06,2.688147e-06,2.693573e-06,2.709699e-06,2.720584e-06,2.728562e-06,2.743057e-06,2.744887e-06,2.758823e-06,2.761336e-06,2.770511e-06,2.775746e-06,2.780088e-06,2.786597e-06,2.787684e-06,2.793426e-06,2.794180e-06,2.797432e-06,2.798772e-06,2.799817e-06,2.800631e-06,2.800689e-06,2.800153e-06,2.799999e-06,2.798307e-06,2.797104e-06,2.795245e-06,2.792160e-06,2.791056e-06,2.785822e-06,2.785361e-06,2.779624e-06,2.776892e-06,2.772536e-06,2.766921e-06,2.764629e-06,2.755970e-06,2.755609e-06,2.746623e-06,2.743101e-06,2.736647e-06,2.729534e-06,2.726099e-06,2.715032e-06,2.703495e-06,2.699712e-06,2.691536e-06,2.683681e-06,2.679198e-06,2.667036e-06,2.666523e-06,2.653551e-06,2.649870e-06,2.640317e-06,2.632265e-06,2.626855e-06,2.614297e-06,2.613198e-06,2.599376e-06,2.596037e-06,2.585416e-06,2.577549e-06,2.571345e-06,2.558890e-06,2.557187e-06,2.542965e-06,2.540115e-06,2.528699e-06,2.521271e-06,2.514410e-06,2.502403e-06,2.500116e-06,2.485833e-06,2.483550e-06,2.471577e-06,2.464749e-06,2.457363e-06,2.446031e-06,2.443205e-06,2.429113e-06,2.427427e-06,2.415101e-06,2.408963e-06,2.401177e-06,2.390661e-06,2.387352e-06,2.373635e-06,2.372542e-06,2.360032e-06,2.354625e-06,2.346553e-06,2.336927e-06,2.333202e-06,2.319986e-06,2.319460e-06,2.306910e-06,2.302238e-06,2.293979e-06,2.285271e-06,2.281198e-06,2.268569e-06,2.252138e-06,2.235984e-06,2.220114e-06,2.204532e-06,2.189239e-06,2.174238e-06,2.159531e-06,2.145118e-06,2.130999e-06,2.117172e-06,2.103638e-06,2.090393e-06,2.077437e-06,2.064765e-06,2.052376e-06,2.040266e-06,2.028432e-06,2.016869e-06,2.005574e-06,1.994543e-06,1.983770e-06,1.973253e-06,1.962987e-06,1.952966e-06
0.000000e+00,1.596012e-11,3.677093e-11,1.273286e-10,2.906668e-10,4.245862e-10,9.650756e-10,9.941586e-10,1.921883e-09,2.257788e-09,3.296438e-09,4.374447e-09,5.211632e-09,7.535669e-09,7.765857e-09,1.105601e-08,1.196474e-08,1.516241e-08,1.783562e-08,2.012434e-08,2.518082e-08,2.591743e-08,3.245286e-08,3.383812e-08,3.960343e-08,4.352014e-08,4.723576e-08,5.393066e-08,5.522952e-08,6.348239e-08,6.482095e-08,7.190819e-08,7.599200e-08,8.043340e-08,8.728209e-08,8.899437e-08,9.753546e-08,9.855667e-08,1.060079e-07,1.097028e-07,1.143690e-07,1.206263e-07,1.225822e-07,1.306160e-07,1.312502e-07,1.384445e-07,1.415135e-07,1.460463e-07,1.513694e-07,1.534043e-07,1.605057e-07,1.607843e-07,1.673410e-07,1.697352e-07,1.739038e-07,1.782089e-07,1.801906e-07,1.862000e-07,1.919328e-07,1.937092e-07,1.973913e-07,2.007425e-07,2.025793e-07,2.073096e-07,2.075014e-07,2.121635e-07,2.134232e-07,2.165719e-07,2.190981e-07,2.207336e-07,2.243507e-07,2.246559e-07,2.283464e-07,2.291985e-07,2.318130e-07,2.336593e-07,2.350635e-07,2.377515e-07,2.381059e-07,2.409481e-07,2.414932e-07,2.435981e-07,2.449027e-07,2.460636e-07,2.479976e-07,2.483522e-07,2.504714e-07,2.507953e-07,2.524287e-07,2.533128e-07,2.542311e-07,2.555662e-07,2.558856e-07,2.573991e-07,2.575715e-07,2.587779e-07,2.593437e-07,2.600286e-07,2.608972e-07,2.611573e-07,2.621699e-07,2.622460e-07,2.630721e-07,2.634033e-07,2.638695e-07,2.643818e-07,2.645675e-07,2.651712e-07,2.651934e-07,2.656854e-07,2.658496e-07,2.661151e-07,2.663612e-07,2.664646e-07,2.667385e-07,2.669410e-07,2.669913e-07,2.670760e-07,2.671289e-07,2.671475e-07,2.671598e-07,2.671592e-07,2.671145e-07,2.670924e-07,2.670170e-07,2.669345e-07,2.668699e-07,2.666934e-07,2.666762e-07,2.664391e-07,2.663760e-07,2.661612e-07,2.659888e-07,2.658453e-07,2.655380e-07,2.654941e-07,2.651100e-07,2.650294e-07,2.646953e-07,2.644683e-07,2.642523e-07,2.638599e-07,2.637831e-07,2.632898e-07,2.632088e-07,2.627744e-07,2.625196e-07,2.622386e-07,2.617965e-07,2.616842e-07,2.611129e-07,2.610432e-07,2.605262e-07,2.602636e-07,2.599257e-07,2.594610e-07,2.593129e-07,2.586889e-07,2.586386e-07,2.580552e-07,2.577993e-07,2.574130e-07,2.569459e-07,2.567633e-07,2.561073e-07,2.560810e-07,2.554461e-07,2.552069e-07,2.547804e-07,2.543258e-07,2.541114e-07,2.534398e-07,2.525508e-07,2.516605e-07,2.507705e-07,2.498822e-07,2.489971e-07,2.481164e-07,2.472411e-07,2.463724e-07,2.455112e-07,2.446583e-07,2.438145e-07,2.429805e-07,2.421568e-07,2.413442e-07,2.405429e-07,2.397536e-07,2.389764e-07,2.382119e-07,2.374602e-07,2.367215e-07,2.359962e-07,2.352842e-07,2.345858e-07,2.339010e-07
0.000000e+00,1.767134e-14,1.566821e-13,4.010895e-12,3.425050e-11,9.124927e-11,7.508719e-10,8.099180e-10,4.294231e-09,6.427611e-09,1.644338e-08,3.289829e-08,5.031985e-08,1.217284e-07,1.307337e-07,2.998274e-07,3.603234e-07,6.233680e-07,9.063679e-07,1.197368e-06,2.014079e-06,2.154548e-06,3.670022e-06,4.058770e-06,5.965469e-06,7.555110e-06,9.311082e-06,1.316425e-05,1.402482e-05,2.046872e-05,2.168655e-05,2.904249e-05,3.403945e-05,4.017470e-05,5.122249e-05,5.431217e-05,7.190816e-05,7.427348e-05,9.341001e-05,1.042197e-04,1.192468e-04,1.420289e-04,1.498176e-04,1.854809e-04,1.885636e-04,2.265450e-04,2.445412e-04,2.732608e-04,3.105031e-04,3.258151e-04,3.843273e-04,3.867927e-04,4.488470e-04,4.735428e-04,5.193533e-04,5.706740e-04,5.957563e-04,6.779000e-04,7.655661e-04,7.947420e-04,8.584791e-04,9.205481e-04,9.563125e-04,1.054518e-03,1.058695e-03,1.165219e-03,1.195728e-03,1.275444e-03,1.343165e-03,1.388910e-03,1.495749e-03,1.505138e-03,1.623640e-03,1.652365e-03,1.743927e-03,1.811885e-03,1.865511e-03,1.973198e-03,1.987914e-03,2.110668e-03,2.135221e-03,2.233326e-03,2.296926e-03,2.355458e-03,2.457346e-03,2.476660e-03,2.596552e-03,2.615590e-03,2.714783e-03,2.770848e-03,2.831029e-03,2.922397e-03,2.944994e-03,3.056415e-03,3.069603e-03,3.165054e-03,3.211920e-03,3.270706e-03,3.348892e-03,3.373191e-03,3.472358e-03,3.480144e-03,3.568080e-03,3.605381e-03,3.660257e-03,3.724384e-03,3.748811e-03,3.833685e-03,3.837002e-03,3.914843e-03,3.943147e-03,3.992268e-03,4.042784e-03,4.065960e-03,4.135933e-03,4.202216e-03,4.222654e-03,4.264851e-03,4.303046e-03,4.323890e-03,4.377241e-03,4.379394e-03,4.431436e-03,4.445397e-03,4.480091e-03,4.507694e-03,4.525444e-03,4.564329e-03,4.567585e-03,4.606605e-03,4.615516e-03,4.642601e-03,4.661475e-03,4.675672e-03,4.702435e-03,4.705919e-03,4.733443e-03,4.738631e-03,4.758347e-03,4.770295e-03,4.780733e-03,4.797665e-03,4.800702e-03,4.818356e-03,4.820972e-03,4.833794e-03,4.840446e-03,4.847115e-03,4.856312e-03,4.858415e-03,4.867789e-03,4.868789e-03,4.875329e-03,4.878089e-03,4.881125e-03,4.884418e-03,4.885265e-03,4.887834e-03,4.887974e-03,4.888914e-03,4.888948e-03,4.888586e-03,4.887521e-03,4.886926e-03,4.884009e-03,4.883867e-03,4.879907e-03,4.878153e-03,4.874688e-03,4.870536e-03,4.868420e-03,4.861166e-03,4.850184e-03,4.837725e-03,4.823915e-03,4.808874e-03,4.792715e-03,4.775542e-03,4.757456e-03,4.738549e-03,4.718908e-03,4.698615e-03,4.677747e-03,4.656374e-03,4.634563e-03,4.612377e-03,4.589873e-03,4.567104e-03,4.544120e-03,4.520968e-03,4.497691e-03,4.474326e-03,4.450913e-03,4.427483e-03,4.404068e-03,4.380697e-03
0.000000e+00,1.351799e-10,4.430654e-10,2.215264e-09,5.977479e-09,9.285724e-09,2.352440e-08,2.431586e-08,5.034767e-08,6.005494e-08,9.074679e-08,1.234679e-07,1.493723e-07,2.230175e-07,2.304215e-07,3.375182e-07,3.673177e-07,4.720170e-07,5.587030e-07,6.319929e-07,7.905739e-07,8.133051e-07,1.011462e-06,1.052761e-06,1.222597e-06,1.336449e-06,1.443568e-06,1.634861e-06,1.671760e-06,1.904895e-06,1.942515e-06,2.140906e-06,2.254647e-06,2.377884e-06,2.566968e-06,2.614059e-06,2.847803e-06,2.875617e-06,3.077644e-06,3.177196e-06,3.302279e-06,3.468817e-06,3.520577e-06,3.731589e-06,3.748130e-06,3.934537e-06,4.013316e-06,4.128811e-06,4.263059e-06,4.313961e-06,4.489683e-06,4.496513e-06,4.655802e-06,4.713238e-06,4.812244e-06,4.913097e-06,4.959019e-06,5.096242e-06,5.224074e-06,5.263032e-06,5.342740e-06,5.413997e-06,5.452503e-06,5.549772e-06,5.553657e-06,5.646518e-06,5.671078e-06,5.731420e-06,5.778684e-06,5.808708e-06,5.873387e-06,5.878730e-06,5.941834e-06,5.955988e-06,5.998367e-06,6.027283e-06,6.048670e-06,6.088049e-06,6.093077e-06,6.131914e-06,6.139041e-06,6.165495e-06,6.180982e-06,6.194126e-06,6.214564e-06,6.218099e-06,6.237696e-06,6.240443e-06,6.253187e-06,6.259240e-06,6.264830e-06,6.271541e-06,6.272872e-06,6.277548e-06,6.277894e-06,6.279081e-06,6.278814e-06,6.277682e-06,6.274784e-06,6.273555e-06,6.266891e-06,6.266254e-06,6.257870e-06,6.253641e-06,6.246665e-06,6.237337e-06,6.233438e-06,6.218343e-06,6.217703e-06,6.201525e-06,6.195075e-06,6.183121e-06,6.169767e-06,6.163260e-06,6.142065e-06,6.119650e-06,6.112238e-06,6.096124e-06,6.080532e-06,6.071589e-06,6.047174e-06,6.046140e-06,6.019868e-06,6.012376e-06,5.992857e-06,5.976329e-06,5.965187e-06,5.939213e-06,5.936933e-06,5.908164e-06,5.901190e-06,5.878947e-06,5.862412e-06,5.849342e-06,5.823015e-06,5.819408e-06,5.789197e-06,5.783126e-06,5.758761e-06,5.742860e-06,5.728146e-06,5.702323e-06,5.697395e-06,5.666551e-06,5.661609e-06,5.635650e-06,5.620808e-06,5.604728e-06,5.579997e-06,5.573817e-06,5.542949e-06,5.539249e-06,5.512152e-06,5.498630e-06,5.481451e-06,5.458198e-06,5.450871e-06,5.420434e-06,5.418005e-06,5.390160e-06,5.378101e-06,5.360069e-06,5.338526e-06,5.330178e-06,5.300503e-06,5.299320e-06,5.271058e-06,5.260516e-06,5.241856e-06,5.222144e-06,5.212910e-06,5.184230e-06,5.146797e-06,5.109865e-06,5.073452e-06,5.037570e-06,5.002234e-06,4.967453e-06,4.933235e-06,4.899586e-06,4.866511e-06,4.834014e-06,4.802095e-06,4.770757e-06,4.739997e-06,4.709815e-06,4.680208e-06,4.651173e-06,4.622706e-06,4.594803e-06,4.567457e-06,4.540664e-06,4.514417e-06,4.488710e-06,4.463535e-06,4.438885e-06
0.000000e+00,5.953027e-14,4.861540e-13,1.047573e-11,7.637219e-11,1.864873e-10,1.224856e-09,1.309131e-09,5.557890e-09,7.836232e-09,1.728047e-08,3.073223e-08,4.359100e-08,8.944795e-08,9.475162e-08,1.840245e-07,2.127743e-07,3.262848e-07,4.343380e-07,5.352036e-07,7.817235e-07,8.200782e-07,1.183781e-06,1.265754e-06,1.622501e-06,1.877365e-06,2.126955e-06,2.592180e-06,2.684330e-06,3.280239e-06,3.378188e-06,3.900293e-06,4.202519e-06,4.531149e-06,5.035683e-06,5.161101e-06,5.780320e-06,5.853509e-06,6.380877e-06,6.637570e-06,6.956644e-06,7.374831e-06,7.503134e-06,8.017316e-06,8.056994e-06,8.497427e-06,8.679745e-06,8.942774e-06,9.241977e-06,9.353549e-06,9.730647e-06,9.745050e-06,1.007550e-05,1.019209e-05,1.038992e-05,1.058738e-05,1.067596e-05,1.093580e-05,1.117168e-05,1.124246e-05,1.138577e-05,1.151233e-05,1.158017e-05,1.175008e-05,1.175683e-05,1.191757e-05,1.195996e-05,1.206403e-05,1.214567e-05,1.219769e-05,1.231048e-05,1.231986e-05,1.243170e-05,1.245713e-05,1.253425e-05,1.258796e-05,1.262840e-05,1.270493e-05,1.271494e-05,1.279454e-05,1.280969e-05,1.286781e-05,1.290359e-05,1.293527e-05,1.298778e-05,1.299738e-05,1.305454e-05,1.306325e-05,1.310710e-05,1.313080e-05,1.315540e-05,1.319114e-05,1.319970e-05,1.324026e-05,1.324488e-05,1.327731e-05,1.329255e-05,1.331105e-05,1.333461e-05,1.334168e-05,1.336937e-05,1.337146e-05,1.339428e-05,1.340349e-05,1.341655e-05,1.343103e-05,1.343632e-05,1.345372e-05,1.345437e-05,1.346886e-05,1.347378e-05,1.348186e-05,1.348953e-05,1.349283e-05,1.350185e-05,1.350902e-05,1.351093e-05,1.351442e-05,1.351700e-05,1.351815e-05,1.352022e-05,1.352027e-05,1.352087e-05,1.352077e-05,1.352000e-05,1.351881e-05,1.351775e-05,1.351450e-05,1.351416e-05,1.350931e-05,1.350796e-05,1.350324e-05,1.349934e-05,1.349602e-05,1.348875e-05,1.348770e-05,1.347832e-05,1.347632e-05,1.346793e-05,1.346215e-05,1.345659e-05,1.344635e-05,1.344432e-05,1.343119e-05,1.342901e-05,1.341722e-05,1.341023e-05,1.340245e-05,1.339009e-05,1.338693e-05,1.337068e-05,1.336868e-05,1.335374e-05,1.334607e-05,1.333614e-05,1.332235e-05,1.331792e-05,1.329910e-05,1.329757e-05,1.327971e-05,1.327181e-05,1.325979e-05,1.324512e-05,1.323935e-05,1.321842e-05,1.321758e-05,1.319704e-05,1.318923e-05,1.317521e-05,1.316013e-05,1.315296e-05,1.313033e-05,1.309988e-05,1.306882e-05,1.303720e-05,1.300507e-05,1.297246e-05,1.293941e-05,1.290595e-05,1.287212e-05,1.283796e-05,1.280349e-05,1.276874e-05,1.273375e-05,1.269853e-05,1.266312e-05,1.262754e-05,1.259181e-05,1.255595e-05,1.251999e-05,1.248395e-05,1.244784e-05,1.241168e-05,1.237549e-05,1.233929e-05,1.230309e-05
0.000000e+00,3.073176e-11,7.388970e-11,2.673300e-10,6.231628e-10,9.181815e-10,2.129304e-09,2.195300e-09,4.341205e-09,5.136856e-09,7.655648e-09,1.035524e-08,1.250351e-08,1.863988e-08,1.925712e-08,2.812844e-08,3.056748e-08,3.900937e-08,4.585128e-08,5.154336e-08,6.362402e-08,6.533369e-08,8.005787e-08,8.309245e-08,9.547572e-08,1.037048e-07,1.114043e-07,1.250691e-07,1.276942e-07,1.442154e-07,1.468722e-07,1.608489e-07,1.688401e-07,1.774841e-07,1.907238e-07,1.940177e-07,2.103546e-07,2.122976e-07,2.264084e-07,2.333625e-07,2.421029e-07,2.537492e-07,2.573717e-07,2.721598e-07,2.733206e-07,2.864227e-07,2.919729e-07,3.001267e-07,3.096337e-07,3.132475e-07,3.257674e-07,3.262556e-07,3.376780e-07,3.418161e-07,3.489770e-07,3.563127e-07,3.596681e-07,3.697599e-07,3.792644e-07,3.821843e-07,3.881970e-07,3.936218e-07,3.965753e-07,4.041149e-07,4.044186e-07,4.117476e-07,4.137104e-07,4.185836e-07,4.224575e-07,4.249483e-07,4.304064e-07,4.308636e-07,4.363514e-07,4.376072e-07,4.414329e-07,4.441089e-07,4.461291e-07,4.499592e-07,4.504604e-07,4.544463e-07,4.552037e-07,4.581059e-07,4.598859e-07,4.614573e-07,4.640470e-07,4.645178e-07,4.673041e-07,4.677255e-07,4.698320e-07,4.709580e-07,4.721164e-07,4.737782e-07,4.741716e-07,4.760111e-07,4.762179e-07,4.776476e-07,4.783065e-07,4.790933e-07,4.800715e-07,4.803596e-07,4.814573e-07,4.815382e-07,4.823966e-07,4.827301e-07,4.831871e-07,4.836692e-07,4.838379e-07,4.843575e-07,4.843757e-07,4.847541e-07,4.848682e-07,4.850352e-07,4.851641e-07,4.852080e-07,4.852794e-07,4.852556e-07,4.852289e-07,4.851427e-07,4.850263e-07,4.849463e-07,4.846843e-07,4.846719e-07,4.843244e-07,4.842147e-07,4.839086e-07,4.836282e-07,4.834290e-07,4.829350e-07,4.828897e-07,4.822948e-07,4.821442e-07,4.816481e-07,4.812646e-07,4.809530e-07,4.803040e-07,4.802129e-07,4.794310e-07,4.792698e-07,4.786102e-07,4.781689e-07,4.777533e-07,4.770076e-07,4.768630e-07,4.759417e-07,4.757916e-07,4.749919e-07,4.745265e-07,4.740157e-07,4.732172e-07,4.730152e-07,4.719925e-07,4.718684e-07,4.709493e-07,4.704843e-07,4.698875e-07,4.690691e-07,4.688088e-07,4.677146e-07,4.676264e-07,4.666064e-07,4.661596e-07,4.654858e-07,4.646719e-07,4.643539e-07,4.632121e-07,4.631663e-07,4.620616e-07,4.616455e-07,4.609034e-07,4.601119e-07,4.597385e-07,4.585681e-07,4.570161e-07,4.554580e-07,4.538956e-07,4.523307e-07,4.507649e-07,4.491996e-07,4.476363e-07,4.460761e-07,4.445204e-07,4.429700e-07,4.414261e-07,4.398896e-07,4.383613e-07,4.368420e-07,4.353324e-07,4.338332e-07,4.323449e-07,4.308682e-07,4.294035e-07,4.279512e-07,4.265119e-07,4.250858e-07,4.236733e-07,4.222748e-07
0.000000e+00,1.051923e-10,3.391811e-10,1.668678e-09,4.480469e-09,6.956836e-09,1.769610e-08,1.829714e-08,3.829584e-08,4.585809e-08,7.006430e-08,9.619427e-08,1.169555e-07,1.753908e-07,1.811753e-07,2.624908e-07,2.843637e-07,3.591599e-07,4.193300e-07,4.694287e-07,5.766316e-07,5.919418e-07,7.255896e-07,7.535634e-07,8.693232e-07,9.476909e-07,1.022049e-06,1.156429e-06,1.182589e-06,1.349682e-06,1.376938e-06,1.522010e-06,1.606192e-06,1.698228e-06,1.841106e-06,1.877003e-06,2.057050e-06,2.078683e-06,2.237157e-06,2.316132e-06,2.416210e-06,2.550966e-06,2.593210e-06,2.767276e-06,2.781051e-06,2.937652e-06,3.004623e-06,3.103702e-06,3.220285e-06,3.264910e-06,3.420869e-06,3.426993e-06,3.571268e-06,3.624005e-06,3.715884e-06,3.810844e-06,3.854575e-06,3.987265e-06,4.113917e-06,4.153172e-06,4.234554e-06,4.308632e-06,4.349237e-06,4.453814e-06,4.458056e-06,4.561129e-06,4.588979e-06,4.658595e-06,4.714445e-06,4.750603e-06,4.830569e-06,4.837314e-06,4.918898e-06,4.937734e-06,4.995529e-06,5.036345e-06,5.067385e-06,5.126810e-06,5.134644e-06,5.197483e-06,5.209537e-06,5.256080e-06,5.284931e-06,5.310607e-06,5.353389e-06,5.361234e-06,5.408129e-06,5.415296e-06,5.451451e-06,5.471024e-06,5.491360e-06,5.520932e-06,5.528008e-06,5.561543e-06,5.565364e-06,5.592106e-06,5.604649e-06,5.619836e-06,5.639099e-06,5.644867e-06,5.667324e-06,5.669013e-06,5.687332e-06,5.694676e-06,5.705008e-06,5.716355e-06,5.720466e-06,5.733816e-06,5.734307e-06,5.745160e-06,5.748773e-06,5.754600e-06,5.759981e-06,5.762232e-06,5.768147e-06,5.772433e-06,5.773475e-06,5.775176e-06,5.776158e-06,5.776455e-06,5.776377e-06,5.776347e-06,5.774927e-06,5.774304e-06,5.772265e-06,5.770100e-06,5.768428e-06,5.763917e-06,5.763481e-06,5.757486e-06,5.755897e-06,5.750500e-06,5.746177e-06,5.742581e-06,5.734883e-06,5.733782e-06,5.724154e-06,5.722133e-06,5.713745e-06,5.708040e-06,5.702603e-06,5.692710e-06,5.690772e-06,5.678294e-06,5.676241e-06,5.665210e-06,5.658726e-06,5.651559e-06,5.640253e-06,5.637376e-06,5.622698e-06,5.620904e-06,5.607557e-06,5.600756e-06,5.591985e-06,5.579881e-06,5.576013e-06,5.559670e-06,5.558347e-06,5.542982e-06,5.536217e-06,5.525977e-06,5.513551e-06,5.508680e-06,5.491113e-06,5.490405e-06,5.473300e-06,5.466831e-06,5.455261e-06,5.442877e-06,5.437019e-06,5.418591e-06,5.394014e-06,5.369187e-06,5.344148e-06,5.318931e-06,5.293569e-06,5.268093e-06,5.242531e-06,5.216910e-06,5.191254e-06,5.165588e-06,5.139932e-06,5.114306e-06,5.088729e-06,5.063218e-06,5.037789e-06,5.012457e-06,4.987235e-06,4.962137e-06,4.937174e-06,4.912357e-06,4.887695e-06,4.863198e-06,4.838874e-06,4.814731e-06
0.000000e+00,6.919584e-12,1.607119e-11,5.610490e-11,1.284929e-10,1.878631e-10,4.271715e-10,4.400287e-10,8.489222e-10,9.963596e-10,1.450185e-09,1.917996e-09,2.279144e-09,3.272551e-09,3.370262e-09,4.755028e-09,5.133985e-09,6.457521e-09,7.554180e-09,8.487627e-09,1.053719e-08,1.083470e-08,1.346713e-08,1.402402e-08,1.634007e-08,1.791304e-08,1.940562e-08,2.209695e-08,2.261947e-08,2.594296e-08,2.648260e-08,2.934273e-08,3.099307e-08,3.278982e-08,3.556443e-08,3.625889e-08,3.972778e-08,4.014309e-08,4.317714e-08,4.468428e-08,4.659028e-08,4.915120e-08,4.995296e-08,5.325327e-08,5.351430e-08,5.648139e-08,5.775060e-08,5.962943e-08,6.184290e-08,6.269121e-08,6.566205e-08,6.577894e-08,6.853858e-08,6.955059e-08,7.131858e-08,7.315313e-08,7.400073e-08,7.658455e-08,7.907019e-08,7.984496e-08,8.145836e-08,8.293614e-08,8.375018e-08,8.586108e-08,8.594716e-08,8.805105e-08,8.862372e-08,9.006382e-08,9.122864e-08,9.198763e-08,9.368089e-08,9.382473e-08,9.557746e-08,9.598582e-08,9.724822e-08,9.814895e-08,9.883945e-08,1.001759e-07,1.003536e-07,1.017931e-07,1.020723e-07,1.031604e-07,1.038437e-07,1.044579e-07,1.054957e-07,1.056881e-07,1.068531e-07,1.070336e-07,1.079554e-07,1.084628e-07,1.089971e-07,1.097884e-07,1.099805e-07,1.109077e-07,1.110153e-07,1.117808e-07,1.121484e-07,1.126019e-07,1.131922e-07,1.133728e-07,1.140956e-07,1.141514e-07,1.147721e-07,1.150301e-07,1.154040e-07,1.158325e-07,1.159933e-07,1.165414e-07,1.165625e-07,1.170502e-07,1.172240e-07,1.175211e-07,1.178206e-07,1.179558e-07,1.183557e-07,1.187222e-07,1.188326e-07,1.190567e-07,1.192546e-07,1.193606e-07,1.196247e-07,1.196352e-07,1.198816e-07,1.199458e-07,1.201012e-07,1.202206e-07,1.202951e-07,1.204517e-07,1.204643e-07,1.206100e-07,1.206416e-07,1.207333e-07,1.207928e-07,1.208350e-07,1.209075e-07,1.209162e-07,1.209778e-07,1.209879e-07,1.210207e-07,1.210359e-07,1.210458e-07,1.210537e-07,1.210538e-07,1.210457e-07,1.210429e-07,1.210221e-07,1.210054e-07,1.209837e-07,1.209429e-07,1.209314e-07,1.208657e-07,1.208570e-07,1.207874e-07,1.207491e-07,1.206971e-07,1.206207e-07,1.205953e-07,1.204827e-07,1.204732e-07,1.203597e-07,1.203078e-07,1.202271e-07,1.201258e-07,1.200852e-07,1.199345e-07,1.199283e-07,1.197757e-07,1.197165e-07,1.196090e-07,1.194914e-07,1.194349e-07,1.192539e-07,1.190050e-07,1.187457e-07,1.184766e-07,1.181987e-07,1.179127e-07,1.176193e-07,1.173191e-07,1.170129e-07,1.167011e-07,1.163844e-07,1.160633e-07,1.157383e-07,1.154100e-07,1.150786e-07,1.147448e-07,1.144088e-07,1.140710e-07,1.137319e-07,1.133917e-07,1.130507e-07,1.127093e-07,1.123678e-07,1.120263e-07,1.116851e-07
0.000000e+00,5.614902e-13,4.328770e-12,8.297876e-11,5.453821e-10,1.259621e-09,7.193250e-09,7.645418e-09,2.839720e-08,3.863659e-08,7.798006e-08,1.291943e-07,1.750238e-07,3.243983e-07,3.406998e-07,5.972527e-07,6.748245e-07,9.668268e-07,1.231061e-06,1.470415e-06,2.039306e-06,2.126645e-06,2.950198e-06,3.135887e-06,3.949843e-06,4.539898e-06,5.126452e-06,6.245753e-06,6.471712e-06,7.968223e-06,8.220125e-06,9.591216e-06,1.040668e-05,1.131146e-05,1.273710e-05,1.309838e-05,1.492264e-05,1.514277e-05,1.675792e-05,1.756298e-05,1.858168e-05,1.994849e-05,2.037539e-05,2.212428e-05,2.226188e-05,2.381686e-05,2.447612e-05,2.544453e-05,2.657268e-05,2.700106e-05,2.848218e-05,2.853981e-05,2.988526e-05,3.037099e-05,3.120901e-05,3.206369e-05,3.245319e-05,3.361844e-05,3.470604e-05,3.503796e-05,3.571783e-05,3.632660e-05,3.665602e-05,3.748978e-05,3.752314e-05,3.832187e-05,3.853365e-05,3.905508e-05,3.946476e-05,3.972566e-05,4.028983e-05,4.033658e-05,4.089075e-05,4.101564e-05,4.139110e-05,4.164885e-05,4.184047e-05,4.219595e-05,4.224164e-05,4.259730e-05,4.266321e-05,4.291007e-05,4.305660e-05,4.318247e-05,4.338185e-05,4.341690e-05,4.361569e-05,4.364434e-05,4.378105e-05,4.384918e-05,4.391510e-05,4.400116e-05,4.401986e-05,4.409724e-05,4.410478e-05,4.414909e-05,4.416427e-05,4.417714e-05,4.418356e-05,4.418304e-05,4.416834e-05,4.416632e-05,4.413454e-05,4.411599e-05,4.408303e-05,4.403574e-05,4.401515e-05,4.393215e-05,4.392853e-05,4.383521e-05,4.379712e-05,4.372546e-05,4.364404e-05,4.360394e-05,4.347165e-05,4.332953e-05,4.328212e-05,4.317845e-05,4.307745e-05,4.301925e-05,4.285950e-05,4.285270e-05,4.267954e-05,4.262996e-05,4.250045e-05,4.239042e-05,4.231608e-05,4.214230e-05,4.212702e-05,4.193386e-05,4.188694e-05,4.173711e-05,4.162555e-05,4.153727e-05,4.135923e-05,4.133481e-05,4.113015e-05,4.108900e-05,4.092371e-05,4.081578e-05,4.071585e-05,4.054042e-05,4.050693e-05,4.029728e-05,4.026368e-05,4.008719e-05,3.998627e-05,3.987694e-05,3.970882e-05,3.966681e-05,3.945702e-05,3.943188e-05,3.924781e-05,3.915599e-05,3.903937e-05,3.888160e-05,3.883190e-05,3.862557e-05,3.860912e-05,3.842054e-05,3.833892e-05,3.821695e-05,3.807134e-05,3.801494e-05,3.781464e-05,3.780666e-05,3.761614e-05,3.754515e-05,3.741956e-05,3.728703e-05,3.722499e-05,3.703249e-05,3.678172e-05,3.653484e-05,3.629200e-05,3.605327e-05,3.581877e-05,3.558854e-05,3.536264e-05,3.514111e-05,3.492397e-05,3.471124e-05,3.450292e-05,3.429899e-05,3.409945e-05,3.390427e-05,3.371341e-05,3.352685e-05,3.334455e-05,3.316644e-05,3.299249e-05,3.282264e-05,3.265683e-05,3.249500e-05,3.233708e-05,3.218302e-05
0.000000e+00,3.666447e-11,1.930055e-10,1.834963e-09,7.035173e-09,1.254358e-08,4.085933e-08,4.257362e-08,1.037100e-07,1.282531e-07,2.101763e-07,3.031413e-07,3.799542e-07,6.096259e-07,6.334173e-07,9.859218e-07,1.085742e-06,1.438823e-06,1.732298e-06,1.980722e-06,2.519325e-06,2.596711e-06,3.274360e-06,3.416439e-06,4.004533e-06,4.402606e-06,4.780229e-06,5.462594e-06,5.595450e-06,6.444503e-06,6.583110e-06,7.321666e-06,7.750972e-06,8.221074e-06,8.952603e-06,9.136753e-06,1.006271e-05,1.017423e-05,1.099304e-05,1.140230e-05,1.192208e-05,1.262399e-05,1.284449e-05,1.375533e-05,1.382756e-05,1.465015e-05,1.500269e-05,1.552501e-05,1.614062e-05,1.637651e-05,1.720179e-05,1.723422e-05,1.799851e-05,1.827796e-05,1.876480e-05,1.926777e-05,1.949926e-05,2.020089e-05,2.086904e-05,2.107572e-05,2.150342e-05,2.189167e-05,2.210400e-05,2.264896e-05,2.267100e-05,2.320480e-05,2.334839e-05,2.370595e-05,2.399123e-05,2.417509e-05,2.457908e-05,2.461298e-05,2.502047e-05,2.511385e-05,2.539850e-05,2.559770e-05,2.574807e-05,2.603294e-05,2.607018e-05,2.636586e-05,2.642192e-05,2.663619e-05,2.676709e-05,2.688222e-05,2.707091e-05,2.710505e-05,2.730588e-05,2.733605e-05,2.748582e-05,2.756504e-05,2.764580e-05,2.776007e-05,2.778680e-05,2.790977e-05,2.792335e-05,2.801555e-05,2.805689e-05,2.810506e-05,2.816271e-05,2.817911e-05,2.823850e-05,2.824264e-05,2.828403e-05,2.829853e-05,2.831645e-05,2.833207e-05,2.833647e-05,2.834478e-05,2.834488e-05,2.834206e-05,2.833850e-05,2.832894e-05,2.831438e-05,2.830602e-05,2.827389e-05,2.823310e-05,2.821831e-05,2.818420e-05,2.814888e-05,2.812769e-05,2.806673e-05,2.806405e-05,2.799376e-05,2.797294e-05,2.791724e-05,2.786853e-05,2.783493e-05,2.775443e-05,2.774723e-05,2.765451e-05,2.763155e-05,2.755714e-05,2.750072e-05,2.745547e-05,2.736271e-05,2.734983e-05,2.724053e-05,2.721826e-05,2.712787e-05,2.706805e-05,2.701212e-05,2.691272e-05,2.689357e-05,2.677245e-05,2.675285e-05,2.664902e-05,2.658901e-05,2.652349e-05,2.642171e-05,2.639609e-05,2.626702e-05,2.625143e-05,2.613648e-05,2.607862e-05,2.600464e-05,2.590369e-05,2.587168e-05,2.573777e-05,2.572702e-05,2.560305e-05,2.554898e-05,2.546768e-05,2.536988e-05,2.533179e-05,2.519550e-05,2.519005e-05,2.505895e-05,2.500975e-05,2.492224e-05,2.482925e-05,2.478549e-05,2.464879e-05,2.446858e-05,2.428884e-05,2.410974e-05,2.393146e-05,2.375414e-05,2.357794e-05,2.340297e-05,2.322936e-05,2.305721e-05,2.288661e-05,2.271766e-05,2.255041e-05,2.238495e-05,2.222133e-05,2.205960e-05,2.189981e-05,2.174200e-05,2.158619e-05,2.143242e-05,2.128071e-05,2.113108e-05,2.098354e-05,2.083810e-05,2.069476e-05
0.000000e+00,1.372723e-12,3.191318e-12,1.108922e-11,2.521395e-11,3.669950e-11,8.243434e-11,8.487251e-11,1.617402e-10,1.892095e-10,2.731890e-10,3.590743e-10,4.250213e-10,6.052435e-10,6.228941e-10,8.719208e-10,9.397570e-10,1.175802e-09,1.370440e-09,1.535463e-09,1.895615e-09,1.947623e-09,2.404355e-09,2.500094e-09,2.894457e-09,3.158489e-09,3.405958e-09,3.844265e-09,3.928156e-09,4.452464e-09,4.536087e-09,4.972340e-09,5.218819e-09,5.482895e-09,5.882155e-09,5.980499e-09,6.462470e-09,6.519157e-09,6.926866e-09,7.125266e-09,7.372338e-09,7.697697e-09,7.798028e-09,8.203483e-09,8.235040e-09,8.588593e-09,8.736970e-09,8.953527e-09,9.204001e-09,9.298680e-09,9.624623e-09,9.637271e-09,9.932060e-09,1.003836e-08,1.022179e-08,1.040913e-08,1.049467e-08,1.075160e-08,1.099348e-08,1.106786e-08,1.122122e-08,1.135996e-08,1.143570e-08,1.162991e-08,1.163776e-08,1.182823e-08,1.187959e-08,1.200788e-08,1.211078e-08,1.217744e-08,1.232511e-08,1.233759e-08,1.248896e-08,1.252405e-08,1.263216e-08,1.270898e-08,1.276773e-08,1.288112e-08,1.289617e-08,1.301797e-08,1.304157e-08,1.313356e-08,1.319134e-08,1.324333e-08,1.333131e-08,1.334765e-08,1.344687e-08,1.346229e-08,1.354129e-08,1.358500e-08,1.363121e-08,1.370007e-08,1.371688e-08,1.379855e-08,1.380809e-08,1.387645e-08,1.390958e-08,1.395078e-08,1.400500e-08,1.402173e-08,1.408949e-08,1.409478e-08,1.415421e-08,1.417928e-08,1.421605e-08,1.425886e-08,1.427514e-08,1.433162e-08,1.433383e-08,1.438562e-08,1.440447e-08,1.443724e-08,1.447104e-08,1.448659e-08,1.453377e-08,1.457887e-08,1.459288e-08,1.462198e-08,1.464857e-08,1.466319e-08,1.470102e-08,1.470256e-08,1.474018e-08,1.475040e-08,1.477610e-08,1.479687e-08,1.481040e-08,1.484058e-08,1.484314e-08,1.487437e-08,1.488165e-08,1.490415e-08,1.492021e-08,1.493253e-08,1.495639e-08,1.495956e-08,1.498529e-08,1.499028e-08,1.500976e-08,1.502200e-08,1.503301e-08,1.505164e-08,1.505509e-08,1.507604e-08,1.507929e-08,1.509589e-08,1.510503e-08,1.511467e-08,1.512896e-08,1.513243e-08,1.514920e-08,1.515114e-08,1.516500e-08,1.517165e-08,1.517986e-08,1.519056e-08,1.519383e-08,1.520692e-08,1.520793e-08,1.521916e-08,1.522382e-08,1.523057e-08,1.523830e-08,1.524119e-08,1.525104e-08,1.525142e-08,1.526013e-08,1.526323e-08,1.526850e-08,1.527379e-08,1.527616e-08,1.528314e-08,1.529134e-08,1.529842e-08,1.530443e-08,1.530941e-08,1.531340e-08,1.531645e-08,1.531857e-08,1.531982e-08,1.532022e-08,1.531981e-08,1.531862e-08,1.531667e-08,1.531400e-08,1.531064e-08,1.530660e-08,1.530193e-08,1.529663e-08,1.529075e-08,1.528429e-08,1.527728e-08,1.526975e-08,1.526171e-08,1.525318e-08,1.524419e-08
0.000000e+00,5.066328e-11,1.303335e-10,5.054402e-10,1.214186e-09,1.806621e-09,4.236666e-09,4.368400e-09,8.594188e-09,1.013106e-08,1.489390e-08,1.984534e-08,2.369145e-08,3.434580e-08,3.539758e-08,5.030501e-08,5.436852e-08,6.843639e-08,7.990905e-08,8.953448e-08,1.102619e-07,1.132306e-07,1.391755e-07,1.446067e-07,1.670617e-07,1.822353e-07,1.966059e-07,2.225021e-07,2.275317e-07,2.595630e-07,2.647721e-07,2.924236e-07,3.084110e-07,3.258414e-07,3.527997e-07,3.595535e-07,3.933114e-07,3.973544e-07,4.268859e-07,4.415463e-07,4.600698e-07,4.849150e-07,4.926804e-07,5.245604e-07,5.270751e-07,5.555773e-07,5.677174e-07,5.856229e-07,6.066054e-07,6.146116e-07,6.424781e-07,6.435687e-07,6.691759e-07,6.784947e-07,6.946746e-07,7.113200e-07,7.189580e-07,7.420217e-07,7.638714e-07,7.706090e-07,7.845212e-07,7.971166e-07,8.039917e-07,8.215984e-07,8.223093e-07,8.395041e-07,8.441220e-07,8.556097e-07,8.647651e-07,8.706619e-07,8.836116e-07,8.846980e-07,8.977566e-07,9.007495e-07,9.098763e-07,9.162679e-07,9.210964e-07,9.302566e-07,9.314555e-07,9.409921e-07,9.428041e-07,9.497438e-07,9.539968e-07,9.577476e-07,9.639190e-07,9.650393e-07,9.716538e-07,9.726516e-07,9.776250e-07,9.802723e-07,9.829855e-07,9.868554e-07,9.877668e-07,9.919992e-07,9.924716e-07,9.957119e-07,9.971880e-07,9.989328e-07,1.001068e-06,1.001689e-06,1.004006e-06,1.004173e-06,1.005908e-06,1.006558e-06,1.007419e-06,1.008278e-06,1.008562e-06,1.009358e-06,1.009383e-06,1.009827e-06,1.009920e-06,1.009990e-06,1.009934e-06,1.009864e-06,1.009467e-06,1.008817e-06,1.008558e-06,1.007929e-06,1.007243e-06,1.006819e-06,1.005558e-06,1.005501e-06,1.003990e-06,1.003534e-06,1.002298e-06,1.001201e-06,1.000438e-06,9.985880e-07,9.984212e-07,9.962597e-07,9.957205e-07,9.939639e-07,9.926234e-07,9.915439e-07,9.893193e-07,9.890094e-07,9.863695e-07,9.858296e-07,9.836328e-07,9.821741e-07,9.808074e-07,9.783712e-07,9.779011e-07,9.749212e-07,9.744381e-07,9.718747e-07,9.703906e-07,9.687681e-07,9.662436e-07,9.656075e-07,9.623989e-07,9.620109e-07,9.591477e-07,9.577050e-07,9.558591e-07,9.533378e-07,9.525381e-07,9.491893e-07,9.489203e-07,9.458170e-07,9.444624e-07,9.424253e-07,9.399736e-07,9.390182e-07,9.355993e-07,9.354623e-07,9.321719e-07,9.309366e-07,9.287393e-07,9.264037e-07,9.253045e-07,9.218703e-07,9.173426e-07,9.128262e-07,9.083263e-07,9.038476e-07,8.993944e-07,8.949707e-07,8.905799e-07,8.862253e-07,8.819099e-07,8.776362e-07,8.734066e-07,8.692231e-07,8.650877e-07,8.610019e-07,8.569673e-07,8.529849e-07,8.490561e-07,8.451815e-07,8.413620e-07,8.375983e-07,8.338908e-07,8.302400e-07,8.266460e-07,8.231092e-07
0.000000e+00,3.537023e-13,2.708276e-12,5.122941e-11,3.328616e-10,7.641382e-10,4.299507e-09,4.567134e-09,1.673584e-08,2.269120e-08,4.541325e-08,7.475218e-08,1.008564e-07,1.853076e-07,1.944799e-07,3.380633e-07,3.812557e-07,5.432105e-07,6.891355e-07,8.209689e-07,1.133497e-06,1.181417e-06,1.633042e-06,1.734894e-06,2.181915e-06,2.506868e-06,2.830951e-06,3.453246e-06,3.579606e-06,4.424144e-06,4.567778e-06,5.358310e-06,5.836243e-06,6.374097e-06,7.239401e-06,7.462403e-06,8.613507e-06,8.755386e-06,9.817395e-06,1.036122e-05,1.106397e-05,1.203373e-05,1.234319e-05,1.364527e-05,1.375013e-05,1.496071e-05,1.548860e-05,1.628052e-05,1.722873e-05,1.759627e-05,1.890018e-05,1.895199e-05,2.018523e-05,2.064201e-05,2.144517e-05,2.228476e-05,2.267453e-05,2.386866e-05,2.502367e-05,2.538448e-05,2.613641e-05,2.682521e-05,2.720442e-05,2.818592e-05,2.822587e-05,2.919951e-05,2.946345e-05,3.012460e-05,3.065621e-05,3.100084e-05,3.176391e-05,3.182832e-05,3.260746e-05,3.278733e-05,3.333896e-05,3.372812e-05,3.402374e-05,3.458859e-05,3.466292e-05,3.525777e-05,3.537154e-05,3.580966e-05,3.608015e-05,3.632005e-05,3.671783e-05,3.679048e-05,3.722250e-05,3.728816e-05,3.761770e-05,3.779479e-05,3.797767e-05,3.824135e-05,3.830400e-05,3.859825e-05,3.863147e-05,3.886195e-05,3.896869e-05,3.909662e-05,3.925646e-05,3.930374e-05,3.948472e-05,3.949811e-05,3.964096e-05,3.969683e-05,3.977380e-05,3.985568e-05,3.988452e-05,3.997439e-05,3.997757e-05,4.004459e-05,4.006527e-05,4.009628e-05,4.012141e-05,4.013055e-05,4.014846e-05,4.015103e-05,4.014876e-05,4.013920e-05,4.012451e-05,4.011391e-05,4.007777e-05,4.007603e-05,4.002639e-05,4.001049e-05,3.996579e-05,3.992449e-05,3.989499e-05,3.982146e-05,3.981470e-05,3.972562e-05,3.970300e-05,3.962838e-05,3.957060e-05,3.952361e-05,3.942564e-05,3.941189e-05,3.929377e-05,3.926942e-05,3.916977e-05,3.910314e-05,3.904040e-05,3.892792e-05,3.890613e-05,3.876739e-05,3.874480e-05,3.862460e-05,3.855475e-05,3.847817e-05,3.835866e-05,3.832847e-05,3.817585e-05,3.815736e-05,3.802065e-05,3.795162e-05,3.786317e-05,3.774215e-05,3.770372e-05,3.754257e-05,3.752961e-05,3.737998e-05,3.731460e-05,3.721620e-05,3.709768e-05,3.705146e-05,3.688598e-05,3.687935e-05,3.671996e-05,3.666009e-05,3.655358e-05,3.644034e-05,3.638703e-05,3.622048e-05,3.600087e-05,3.578185e-05,3.556371e-05,3.534674e-05,3.513116e-05,3.491721e-05,3.470509e-05,3.449497e-05,3.428703e-05,3.408139e-05,3.387819e-05,3.367755e-05,3.347955e-05,3.328428e-05,3.309181e-05,3.290222e-05,3.271554e-05,3.253182e-05,3.235109e-05,3.217338e-05,3.199871e-05,3.182709e-05,3.165852e-05,3.149300e-05
0.000000e+00,1.527462e-13,1.226671e-12,2.555117e-11,1.807818e-10,4.344056e-10,2.740115e-09,2.923906e-09,1.193603e-08,1.665106e-08,3.574563e-08,6.218685e-08,8.693630e-08,1.727015e-07,1.824457e-07,3.434662e-07,3.945838e-07,5.952314e-07,7.863979e-07,9.662504e-07,1.415010e-06,1.486216e-06,2.182227e-06,2.344481e-06,3.074175e-06,3.618905e-06,4.171080e-06,5.248908e-06,5.469798e-06,6.956255e-06,7.210114e-06,8.608319e-06,9.452369e-06,1.039923e-05,1.191286e-05,1.230061e-05,1.428461e-05,1.452699e-05,1.632532e-05,1.723508e-05,1.839939e-05,1.998523e-05,2.048624e-05,2.256802e-05,2.273387e-05,2.462940e-05,2.544524e-05,2.665734e-05,2.809055e-05,2.864093e-05,3.057113e-05,3.064712e-05,3.244064e-05,3.309765e-05,3.424371e-05,3.542958e-05,3.597600e-05,3.763443e-05,3.921705e-05,3.970729e-05,4.072285e-05,4.164614e-05,4.215166e-05,4.345136e-05,4.350400e-05,4.478096e-05,4.512521e-05,4.598412e-05,4.667139e-05,4.711542e-05,4.809464e-05,4.817706e-05,4.917151e-05,4.940046e-05,5.010132e-05,5.059477e-05,5.096916e-05,5.168376e-05,5.177775e-05,5.252981e-05,5.267367e-05,5.322802e-05,5.357070e-05,5.387506e-05,5.438091e-05,5.447350e-05,5.502587e-05,5.511014e-05,5.553461e-05,5.576399e-05,5.600205e-05,5.634779e-05,5.643045e-05,5.682196e-05,5.686656e-05,5.717864e-05,5.732505e-05,5.750244e-05,5.772769e-05,5.779523e-05,5.805877e-05,5.807864e-05,5.829474e-05,5.838178e-05,5.850475e-05,5.864072e-05,5.869029e-05,5.885280e-05,5.885884e-05,5.899362e-05,5.903925e-05,5.911403e-05,5.918487e-05,5.921524e-05,5.929839e-05,5.936456e-05,5.938232e-05,5.941477e-05,5.943897e-05,5.944998e-05,5.947051e-05,5.947110e-05,5.947899e-05,5.947894e-05,5.947445e-05,5.946609e-05,5.945826e-05,5.943369e-05,5.943113e-05,5.939376e-05,5.938333e-05,5.934677e-05,5.931649e-05,5.929079e-05,5.923454e-05,5.922639e-05,5.915410e-05,5.913874e-05,5.907444e-05,5.903027e-05,5.898790e-05,5.891022e-05,5.889493e-05,5.879596e-05,5.877960e-05,5.869141e-05,5.863935e-05,5.858165e-05,5.849035e-05,5.846706e-05,5.834797e-05,5.833340e-05,5.822472e-05,5.816924e-05,5.809760e-05,5.799859e-05,5.796691e-05,5.783293e-05,5.782208e-05,5.769591e-05,5.764031e-05,5.755610e-05,5.745384e-05,5.741373e-05,5.726903e-05,5.726319e-05,5.712219e-05,5.706884e-05,5.697341e-05,5.687124e-05,5.682289e-05,5.667079e-05,5.646789e-05,5.626288e-05,5.605612e-05,5.584789e-05,5.563849e-05,5.542818e-05,5.521722e-05,5.500582e-05,5.479420e-05,5.458256e-05,5.437108e-05,5.415992e-05,5.394925e-05,5.373921e-05,5.352994e-05,5.332155e-05,5.311416e-05,5.290787e-05,5.270280e-05,5.249901e-05,5.229660e-05,5.209564e-05,5.189619e-05,5.169832e-05
0.000000e+00,5.134289e-13,3.674210e-12,6.073500e-11,3.515697e-10,7.599065e-10,3.700166e-09,3.908792e-09,1.262252e-08,1.658404e-08,3.083506e-08,4.809495e-08,6.282143e-08,1.081776e-07,1.129608e-07,1.856867e-07,2.069998e-07,2.854862e-07,3.548666e-07,4.168086e-07,5.617251e-07,5.837573e-07,7.894831e-07,8.354425e-07,1.035351e-06,1.178793e-06,1.320204e-06,1.586845e-06,1.640169e-06,1.989176e-06,2.047235e-06,2.359989e-06,2.543549e-06,2.745258e-06,3.059330e-06,3.138256e-06,3.533236e-06,3.580533e-06,3.925494e-06,4.096226e-06,4.311272e-06,4.598282e-06,4.687609e-06,5.052197e-06,5.080801e-06,5.403261e-06,5.539588e-06,5.739469e-06,5.971789e-06,6.059863e-06,6.363806e-06,6.375616e-06,6.650930e-06,6.750145e-06,6.921098e-06,7.095150e-06,7.174368e-06,7.410961e-06,7.631230e-06,7.698340e-06,7.835630e-06,7.958364e-06,8.024699e-06,8.192339e-06,8.199037e-06,8.359282e-06,8.401715e-06,8.506098e-06,8.588024e-06,8.640165e-06,8.752831e-06,8.762163e-06,8.872769e-06,8.897693e-06,8.972645e-06,9.024130e-06,9.062437e-06,9.133608e-06,9.142768e-06,9.214238e-06,9.227519e-06,9.277419e-06,9.307180e-06,9.332859e-06,9.373827e-06,9.381077e-06,9.422565e-06,9.428610e-06,9.457786e-06,9.472597e-06,9.487180e-06,9.506776e-06,9.511158e-06,9.530108e-06,9.532062e-06,9.544394e-06,9.549292e-06,9.554358e-06,9.559237e-06,9.560319e-06,9.562576e-06,9.562605e-06,9.561409e-06,9.560043e-06,9.557081e-06,9.552146e-06,9.549837e-06,9.539903e-06,9.539453e-06,9.527496e-06,9.522462e-06,9.512812e-06,9.501624e-06,9.496040e-06,9.477352e-06,9.456910e-06,9.450023e-06,9.434865e-06,9.419981e-06,9.411359e-06,9.387540e-06,9.386523e-06,9.360478e-06,9.352984e-06,9.333339e-06,9.316575e-06,9.305213e-06,9.278550e-06,9.276198e-06,9.246387e-06,9.239124e-06,9.215866e-06,9.198494e-06,9.184714e-06,9.156839e-06,9.153007e-06,9.120813e-06,9.114322e-06,9.088198e-06,9.071091e-06,9.055221e-06,9.027282e-06,9.021938e-06,8.988401e-06,8.983015e-06,8.954659e-06,8.938403e-06,8.920755e-06,8.893545e-06,8.886733e-06,8.852630e-06,8.848534e-06,8.818482e-06,8.803452e-06,8.784323e-06,8.758374e-06,8.750184e-06,8.716092e-06,8.713368e-06,8.682075e-06,8.668495e-06,8.648158e-06,8.623811e-06,8.614361e-06,8.580708e-06,8.579365e-06,8.547216e-06,8.535202e-06,8.513904e-06,8.491362e-06,8.480787e-06,8.447881e-06,8.404790e-06,8.362119e-06,8.319891e-06,8.278131e-06,8.236856e-06,8.196084e-06,8.155831e-06,8.116108e-06,8.076927e-06,8.038296e-06,8.000223e-06,7.962714e-06,7.925774e-06,7.889406e-06,7.853613e-06,7.818396e-06,7.783755e-06,7.749689e-06,7.716199e-06,7.683281e-06,7.650934e-06,7.619154e-06,7.587938e-06,7.557281e-06
0.000000e+00,1.628830e-11,9.596858e-11,1.104289e-09,4.818201e-09,9.082672e-09,3.281484e-08,3.429996e-08,8.841522e-08,1.103589e-07,1.833462e-07,2.650746e-07,3.316487e-07,5.269640e-07,5.469977e-07,8.435667e-07,9.282309e-07,1.232814e-06,1.493091e-06,1.718522e-06,2.221532e-06,2.295194e-06,2.951891e-06,3.091788e-06,3.676953e-06,4.077527e-06,4.460097e-06,5.156298e-06,5.292440e-06,6.165904e-06,6.308953e-06,7.072732e-06,7.517611e-06,8.005273e-06,8.764721e-06,8.955946e-06,9.917313e-06,1.003305e-05,1.088221e-05,1.130612e-05,1.184386e-05,1.256869e-05,1.279603e-05,1.373306e-05,1.380721e-05,1.464997e-05,1.501012e-05,1.554247e-05,1.616791e-05,1.640697e-05,1.724052e-05,1.727319e-05,1.804082e-05,1.832043e-05,1.880613e-05,1.930592e-05,1.953524e-05,2.022740e-05,2.088227e-05,2.108395e-05,2.149986e-05,2.187567e-05,2.208045e-05,2.260349e-05,2.262457e-05,2.313296e-05,2.326902e-05,2.360650e-05,2.387432e-05,2.404621e-05,2.442180e-05,2.445318e-05,2.482859e-05,2.491413e-05,2.517365e-05,2.535408e-05,2.548959e-05,2.574455e-05,2.577769e-05,2.603920e-05,2.608842e-05,2.627536e-05,2.638856e-05,2.648741e-05,2.664776e-05,2.667653e-05,2.684390e-05,2.686874e-05,2.699066e-05,2.705411e-05,2.711792e-05,2.720641e-05,2.722675e-05,2.731816e-05,2.732801e-05,2.739316e-05,2.742120e-05,2.745269e-05,2.748815e-05,2.749766e-05,2.752896e-05,2.753089e-05,2.754740e-05,2.755136e-05,2.755380e-05,2.755138e-05,2.754891e-05,2.753346e-05,2.753264e-05,2.750815e-05,2.749674e-05,2.747362e-05,2.744520e-05,2.743050e-05,2.737940e-05,2.732087e-05,2.730067e-05,2.725546e-05,2.721022e-05,2.718367e-05,2.710920e-05,2.710599e-05,2.702287e-05,2.699868e-05,2.693474e-05,2.687964e-05,2.684203e-05,2.675301e-05,2.674511e-05,2.664434e-05,2.661963e-05,2.654009e-05,2.648031e-05,2.643267e-05,2.633577e-05,2.632240e-05,2.620956e-05,2.618671e-05,2.609443e-05,2.603374e-05,2.597727e-05,2.587746e-05,2.585832e-05,2.573781e-05,2.571840e-05,2.561595e-05,2.555705e-05,2.549296e-05,2.539387e-05,2.536901e-05,2.524429e-05,2.522928e-05,2.511896e-05,2.506367e-05,2.499319e-05,2.489739e-05,2.486711e-05,2.474086e-05,2.473076e-05,2.461458e-05,2.456408e-05,2.448837e-05,2.439762e-05,2.436236e-05,2.423665e-05,2.423163e-05,2.411132e-05,2.406632e-05,2.398648e-05,2.390190e-05,2.386220e-05,2.373856e-05,2.357646e-05,2.341574e-05,2.325655e-05,2.309899e-05,2.294318e-05,2.278921e-05,2.263716e-05,2.248709e-05,2.233909e-05,2.219318e-05,2.204943e-05,2.190786e-05,2.176851e-05,2.163139e-05,2.149654e-05,2.136395e-05,2.123365e-05,2.110562e-05,2.097987e-05,2.085639e-05,2.073518e-05,2.061622e-05,2.049950e-05,2.038500e-05
0.000000e+00,3.346182e-11,1.324599e-10,8.268853e-10,2.474386e-09,3.986987e-09,1.070241e-08,1.107984e-08,2.353259e-08,2.816622e-08,4.271189e-08,5.801906e-08,6.999401e-08,1.034595e-07,1.067853e-07,1.543991e-07,1.675468e-07,2.136590e-07,2.519039e-07,2.843544e-07,3.549826e-07,3.651504e-07,4.541709e-07,4.727978e-07,5.496037e-07,6.012422e-07,6.499125e-07,7.369873e-07,7.538018e-07,8.601307e-07,8.772990e-07,9.678562e-07,1.019772e-06,1.076005e-06,1.162217e-06,1.183670e-06,1.290014e-06,1.302649e-06,1.394280e-06,1.439324e-06,1.495804e-06,1.570774e-06,1.594016e-06,1.688441e-06,1.695820e-06,1.778709e-06,1.813586e-06,1.864538e-06,1.923476e-06,1.945737e-06,2.022193e-06,2.025152e-06,2.093864e-06,2.118496e-06,2.160768e-06,2.203573e-06,2.222973e-06,2.280588e-06,2.333755e-06,2.349856e-06,2.382641e-06,2.411766e-06,2.427431e-06,2.466757e-06,2.468321e-06,2.505515e-06,2.515295e-06,2.539221e-06,2.557857e-06,2.569646e-06,2.594915e-06,2.596995e-06,2.621464e-06,2.626929e-06,2.643244e-06,2.654335e-06,2.662519e-06,2.677550e-06,2.679466e-06,2.694248e-06,2.696959e-06,2.707023e-06,2.712923e-06,2.717939e-06,2.725773e-06,2.727133e-06,2.734736e-06,2.735813e-06,2.740868e-06,2.743322e-06,2.745642e-06,2.748554e-06,2.749163e-06,2.751528e-06,2.751738e-06,2.752828e-06,2.753084e-06,2.753146e-06,2.752781e-06,2.752562e-06,2.751148e-06,2.751001e-06,2.748969e-06,2.747898e-06,2.746089e-06,2.743614e-06,2.742565e-06,2.738450e-06,2.738274e-06,2.733794e-06,2.731994e-06,2.728642e-06,2.724877e-06,2.723037e-06,2.717017e-06,2.710620e-06,2.708498e-06,2.703879e-06,2.699398e-06,2.696825e-06,2.689785e-06,2.689487e-06,2.681892e-06,2.679723e-06,2.674066e-06,2.669268e-06,2.666031e-06,2.658473e-06,2.657808e-06,2.649419e-06,2.647383e-06,2.640881e-06,2.636041e-06,2.632212e-06,2.624487e-06,2.623427e-06,2.614542e-06,2.612754e-06,2.605570e-06,2.600875e-06,2.596525e-06,2.588879e-06,2.587418e-06,2.578260e-06,2.576791e-06,2.569063e-06,2.564637e-06,2.559835e-06,2.552436e-06,2.550585e-06,2.541322e-06,2.540210e-06,2.532053e-06,2.527975e-06,2.522786e-06,2.515748e-06,2.513527e-06,2.504283e-06,2.503545e-06,2.495060e-06,2.491377e-06,2.485862e-06,2.479258e-06,2.476694e-06,2.467563e-06,2.467198e-06,2.458470e-06,2.455207e-06,2.449421e-06,2.443295e-06,2.440420e-06,2.431469e-06,2.419736e-06,2.408103e-06,2.396577e-06,2.385161e-06,2.373862e-06,2.362682e-06,2.351626e-06,2.340697e-06,2.329898e-06,2.319231e-06,2.308698e-06,2.298300e-06,2.288041e-06,2.277919e-06,2.267938e-06,2.258096e-06,2.248395e-06,2.238834e-06,2.229415e-06,2.220136e-06,2.210998e-06,2.202001e-06,2.193143e-06,2.184424e-06
0.000000e+00,6.656825e-11,1.849833e-10,7.762987e-10,1.933898e-09,2.917850e-09,7.031078e-09,7.256670e-09,1.460062e-08,1.731718e-08,2.587077e-08,3.495891e-08,4.214254e-08,6.253871e-08,6.458773e-08,9.419681e-08,1.024243e-07,1.312809e-07,1.551021e-07,1.751850e-07,2.184477e-07,2.246272e-07,2.782700e-07,2.894007e-07,3.350084e-07,3.654439e-07,3.939874e-07,4.447629e-07,4.545307e-07,5.160752e-07,5.259817e-07,5.781295e-07,6.079653e-07,6.402518e-07,6.897283e-07,7.020417e-07,7.631383e-07,7.704077e-07,8.232202e-07,8.492604e-07,8.820048e-07,9.256642e-07,9.392520e-07,9.947620e-07,9.991226e-07,1.048374e-06,1.069259e-06,1.099966e-06,1.135809e-06,1.149447e-06,1.196760e-06,1.198607e-06,1.241873e-06,1.257572e-06,1.284777e-06,1.312696e-06,1.325485e-06,1.364023e-06,1.400433e-06,1.411643e-06,1.434767e-06,1.455678e-06,1.467084e-06,1.496271e-06,1.497449e-06,1.525934e-06,1.533582e-06,1.552611e-06,1.567781e-06,1.577556e-06,1.599039e-06,1.600843e-06,1.622547e-06,1.627529e-06,1.642743e-06,1.653421e-06,1.661503e-06,1.676879e-06,1.678897e-06,1.694994e-06,1.698064e-06,1.709861e-06,1.717127e-06,1.723561e-06,1.734212e-06,1.736155e-06,1.747703e-06,1.749457e-06,1.758260e-06,1.762991e-06,1.767879e-06,1.774935e-06,1.776614e-06,1.784511e-06,1.785404e-06,1.791617e-06,1.794504e-06,1.797976e-06,1.802336e-06,1.803631e-06,1.808621e-06,1.808992e-06,1.812983e-06,1.814560e-06,1.816753e-06,1.819121e-06,1.819966e-06,1.822653e-06,1.822750e-06,1.824845e-06,1.825519e-06,1.826571e-06,1.827492e-06,1.827858e-06,1.828732e-06,1.829217e-06,1.829294e-06,1.829337e-06,1.829232e-06,1.829113e-06,1.828594e-06,1.828566e-06,1.827717e-06,1.827427e-06,1.826583e-06,1.825774e-06,1.825183e-06,1.823673e-06,1.823532e-06,1.821648e-06,1.821162e-06,1.819544e-06,1.818275e-06,1.817235e-06,1.815044e-06,1.814734e-06,1.812054e-06,1.811497e-06,1.809207e-06,1.807664e-06,1.806204e-06,1.803570e-06,1.803057e-06,1.799774e-06,1.799237e-06,1.796367e-06,1.794689e-06,1.792843e-06,1.789946e-06,1.789212e-06,1.785482e-06,1.785028e-06,1.781660e-06,1.779951e-06,1.777754e-06,1.774733e-06,1.773770e-06,1.769716e-06,1.769389e-06,1.765598e-06,1.763934e-06,1.761421e-06,1.758380e-06,1.757191e-06,1.752913e-06,1.752740e-06,1.748592e-06,1.747027e-06,1.744233e-06,1.741249e-06,1.739840e-06,1.735418e-06,1.729543e-06,1.723631e-06,1.717692e-06,1.711733e-06,1.705760e-06,1.699779e-06,1.693798e-06,1.687821e-06,1.681853e-06,1.675899e-06,1.669963e-06,1.664050e-06,1.658163e-06,1.652306e-06,1.646481e-06,1.640692e-06,1.634942e-06,1.629231e-06,1.623564e-06,1.617942e-06,1.612367e-06,1.606840e-06,1.601363e-06,1.595938e-06
0.000000e+00,1.345210e-14,1.181226e-13,2.961705e-12,2.481367e-11,6.541955e-11,5.241010e-10,5.647074e-10,2.918397e-09,4.339099e-09,1.092255e-08,2.158762e-08,3.277381e-08,7.809294e-08,8.377100e-08,1.896037e-07,2.272257e-07,3.899104e-07,5.637306e-07,7.414383e-07,1.235580e-06,1.319955e-06,2.220265e-06,2.448517e-06,3.554120e-06,4.460103e-06,5.446287e-06,7.564018e-06,8.029275e-06,1.143736e-05,1.206801e-05,1.580043e-05,1.826961e-05,2.123827e-05,2.643327e-05,2.785545e-05,3.573720e-05,3.677122e-05,4.494629e-05,4.942956e-05,5.552097e-05,6.447983e-05,6.747399e-05,8.079249e-05,8.191600e-05,9.543878e-05,1.016562e-04,1.113519e-04,1.235485e-04,1.284498e-04,1.466316e-04,1.473799e-04,1.657810e-04,1.728871e-04,1.857689e-04,1.997693e-04,2.064569e-04,2.277003e-04,2.493513e-04,2.563416e-04,2.712621e-04,2.853538e-04,2.932868e-04,3.144071e-04,3.152848e-04,3.371219e-04,3.431901e-04,3.586726e-04,3.714170e-04,3.798213e-04,3.988327e-04,4.004631e-04,4.205046e-04,4.252159e-04,4.398642e-04,4.503815e-04,4.584727e-04,4.741808e-04,4.762725e-04,4.932175e-04,4.965007e-04,5.092728e-04,5.172613e-04,5.244137e-04,5.364141e-04,5.386251e-04,5.519008e-04,5.539382e-04,5.642428e-04,5.698375e-04,5.756597e-04,5.841371e-04,5.861666e-04,5.957838e-04,5.968792e-04,6.045360e-04,6.081202e-04,6.124517e-04,6.179273e-04,6.195621e-04,6.259010e-04,6.263758e-04,6.315037e-04,6.335467e-04,6.364065e-04,6.395239e-04,6.406464e-04,6.442608e-04,6.443928e-04,6.472864e-04,6.482385e-04,6.497597e-04,6.511444e-04,6.517165e-04,6.531915e-04,6.542181e-04,6.544573e-04,6.548287e-04,6.550154e-04,6.550541e-04,6.549354e-04,6.549237e-04,6.544654e-04,6.542820e-04,6.537057e-04,6.531156e-04,6.526695e-04,6.514921e-04,6.513801e-04,6.498597e-04,6.494627e-04,6.481287e-04,6.470746e-04,6.462063e-04,6.443705e-04,6.441104e-04,6.418575e-04,6.413895e-04,6.394631e-04,6.381668e-04,6.369414e-04,6.347346e-04,6.343058e-04,6.315684e-04,6.311218e-04,6.287407e-04,6.273544e-04,6.258331e-04,6.234559e-04,6.228551e-04,6.198159e-04,6.194474e-04,6.167234e-04,6.153478e-04,6.135852e-04,6.111739e-04,6.104082e-04,6.071988e-04,6.069408e-04,6.039628e-04,6.026621e-04,6.007054e-04,5.983497e-04,5.974317e-04,5.941462e-04,5.940146e-04,5.908529e-04,5.896662e-04,5.875557e-04,5.853132e-04,5.842581e-04,5.809632e-04,5.766229e-04,5.722985e-04,5.679952e-04,5.637178e-04,5.594705e-04,5.552570e-04,5.510806e-04,5.469441e-04,5.428501e-04,5.388007e-04,5.347978e-04,5.308431e-04,5.269380e-04,5.230836e-04,5.192810e-04,5.155309e-04,5.118341e-04,5.081910e-04,5.046020e-04,5.010673e-04,4.975872e-04,4.941617e-04,4.907908e-04,4.874742e-04
0.000000e+00,1.103738e-13,8.257897e-13,1.490847e-11,9.303599e-11,2.091004e-10,1.117624e-09,1.184841e-09,4.148091e-09,5.559985e-09,1.083034e-08,1.747373e-08,2.329080e-08,4.175155e-08,4.373334e-08,7.438772e-08,8.350908e-08,1.174439e-07,1.477616e-07,1.750051e-07,2.392118e-07,2.490216e-07,3.411717e-07,3.618959e-07,4.526775e-07,5.185231e-07,5.840823e-07,7.096374e-07,7.350721e-07,9.044317e-07,9.331101e-07,1.090178e-06,1.184435e-06,1.289814e-06,1.457693e-06,1.500615e-06,1.719865e-06,1.746620e-06,1.945014e-06,2.045343e-06,2.173751e-06,2.348727e-06,2.404038e-06,2.634094e-06,2.652441e-06,2.862382e-06,2.952902e-06,3.087590e-06,3.247202e-06,3.308608e-06,3.524507e-06,3.533026e-06,3.734531e-06,3.808580e-06,3.938071e-06,4.072530e-06,4.134657e-06,4.323940e-06,4.505676e-06,4.562211e-06,4.679717e-06,4.787031e-06,4.845995e-06,4.998316e-06,5.004508e-06,5.155312e-06,5.196168e-06,5.298510e-06,5.380835e-06,5.434242e-06,5.552670e-06,5.562681e-06,5.684019e-06,5.712107e-06,5.798469e-06,5.859635e-06,5.906255e-06,5.995779e-06,6.007610e-06,6.102773e-06,6.121083e-06,6.191983e-06,6.236101e-06,6.275483e-06,6.341384e-06,6.353511e-06,6.426302e-06,6.437478e-06,6.494088e-06,6.524914e-06,6.557095e-06,6.604208e-06,6.615543e-06,6.669647e-06,6.675857e-06,6.719612e-06,6.740338e-06,6.765640e-06,6.798106e-06,6.807923e-06,6.846646e-06,6.849596e-06,6.881989e-06,6.895219e-06,6.914123e-06,6.935366e-06,6.943213e-06,6.969416e-06,6.970407e-06,6.992884e-06,7.000691e-06,7.013761e-06,7.026549e-06,7.032186e-06,7.048290e-06,7.062201e-06,7.066209e-06,7.074039e-06,7.080580e-06,7.083918e-06,7.091663e-06,7.091950e-06,7.098238e-06,7.099700e-06,7.102883e-06,7.104920e-06,7.105979e-06,7.107538e-06,7.107617e-06,7.107885e-06,7.107754e-06,7.106863e-06,7.105757e-06,7.104630e-06,7.101723e-06,7.101261e-06,7.096827e-06,7.095818e-06,7.091395e-06,7.088197e-06,7.085028e-06,7.079004e-06,7.077789e-06,7.069735e-06,7.068374e-06,7.060920e-06,7.056435e-06,7.051398e-06,7.043304e-06,7.041217e-06,7.030426e-06,7.029092e-06,7.019068e-06,7.013902e-06,7.007186e-06,6.997830e-06,6.994820e-06,6.982009e-06,6.980966e-06,6.968789e-06,6.963394e-06,6.955193e-06,6.945191e-06,6.941255e-06,6.927006e-06,6.926430e-06,6.912474e-06,6.907179e-06,6.897687e-06,6.887500e-06,6.882672e-06,6.867452e-06,6.847089e-06,6.826462e-06,6.805617e-06,6.784599e-06,6.763445e-06,6.742195e-06,6.720883e-06,6.699539e-06,6.678195e-06,6.656875e-06,6.635606e-06,6.614411e-06,6.593309e-06,6.572322e-06,6.551465e-06,6.530756e-06,6.510210e-06,6.489838e-06,6.469653e-06,6.449667e-06,6.429889e-06,6.410327e-06,6.390990e-06,6.371885e-06
0.000000e+00,1.160320e-14,1.001794e-13,2.424009e-12,1.964428e-11,5.083302e-11,3.874638e-10,4.166169e-10,2.043556e-09,2.993954e-09,7.254202e-09,1.388313e-08,2.062512e-08,4.672691e-08,4.990319e-08,1.068463e-07,1.263497e-07,2.078862e-07,2.915245e-07,3.744917e-07,5.962080e-07,6.330760e-07,1.014319e-06,1.108217e-06,1.551905e-06,1.904847e-06,2.280804e-06,3.066109e-06,3.235354e-06,4.447367e-06,4.667098e-06,5.944460e-06,6.771057e-06,7.748747e-06,9.424115e-06,9.875894e-06,1.233461e-05,1.265209e-05,1.512649e-05,1.645931e-05,1.824612e-05,2.082906e-05,2.168146e-05,2.541445e-05,2.572528e-05,2.942169e-05,3.109525e-05,3.367523e-05,3.687268e-05,3.814349e-05,4.279209e-05,4.298128e-05,4.758481e-05,4.933831e-05,5.248439e-05,5.585802e-05,5.745338e-05,6.245491e-05,6.745332e-05,6.904656e-05,7.241478e-05,7.555605e-05,7.730775e-05,8.191376e-05,8.210338e-05,8.677576e-05,8.805877e-05,9.130216e-05,9.393967e-05,9.566305e-05,9.951488e-05,9.984219e-05,1.038265e-04,1.047526e-04,1.076060e-04,1.096303e-04,1.111736e-04,1.141343e-04,1.145249e-04,1.176580e-04,1.182584e-04,1.205730e-04,1.220033e-04,1.232722e-04,1.253755e-04,1.257594e-04,1.280399e-04,1.283860e-04,1.301200e-04,1.310495e-04,1.320073e-04,1.333836e-04,1.337097e-04,1.352358e-04,1.354076e-04,1.365947e-04,1.371419e-04,1.377954e-04,1.386078e-04,1.388471e-04,1.397591e-04,1.398263e-04,1.405403e-04,1.408182e-04,1.411996e-04,1.416036e-04,1.417455e-04,1.421861e-04,1.422017e-04,1.425294e-04,1.426306e-04,1.427828e-04,1.429074e-04,1.429533e-04,1.430477e-04,1.430721e-04,1.430661e-04,1.430324e-04,1.429759e-04,1.429341e-04,1.427893e-04,1.427823e-04,1.425816e-04,1.425173e-04,1.423365e-04,1.421698e-04,1.420510e-04,1.417559e-04,1.417289e-04,1.413735e-04,1.412837e-04,1.409882e-04,1.407604e-04,1.405757e-04,1.401926e-04,1.401389e-04,1.396802e-04,1.395861e-04,1.392019e-04,1.389461e-04,1.387061e-04,1.382774e-04,1.381946e-04,1.376693e-04,1.375841e-04,1.371319e-04,1.368700e-04,1.365837e-04,1.361383e-04,1.360261e-04,1.354605e-04,1.353921e-04,1.348879e-04,1.346341e-04,1.343095e-04,1.338666e-04,1.337262e-04,1.331388e-04,1.330917e-04,1.325483e-04,1.323114e-04,1.319554e-04,1.315273e-04,1.313607e-04,1.307649e-04,1.307411e-04,1.301687e-04,1.299540e-04,1.295725e-04,1.291673e-04,1.289768e-04,1.283821e-04,1.275994e-04,1.268200e-04,1.260448e-04,1.252744e-04,1.245094e-04,1.237505e-04,1.229981e-04,1.222526e-04,1.215145e-04,1.207841e-04,1.200617e-04,1.193475e-04,1.186419e-04,1.179449e-04,1.172567e-04,1.165775e-04,1.159074e-04,1.152465e-04,1.145948e-04,1.139525e-04,1.133196e-04,1.126960e-04,1.120818e-04,1.114769e-04
0.000000e+00,3.578685e-11,9.131580e-11,3.510822e-10,8.434410e-10,1.259396e-09,3.020140e-09,3.118256e-09,6.411793e-09,7.677016e-09,1.179489e-08,1.631327e-08,1.991524e-08,2.989765e-08,3.086546e-08,4.401130e-08,4.740458e-08,5.860155e-08,6.720738e-08,7.413855e-08,8.836524e-08,9.033766e-08,1.070220e-07,1.104050e-07,1.240579e-07,1.330157e-07,1.413257e-07,1.559235e-07,1.587074e-07,1.760847e-07,1.788568e-07,1.933408e-07,2.015477e-07,2.103642e-07,2.237460e-07,2.270521e-07,2.433132e-07,2.452320e-07,2.590697e-07,2.658258e-07,2.742582e-07,2.853911e-07,2.888300e-07,3.027506e-07,3.038354e-07,3.159984e-07,3.211064e-07,3.285632e-07,3.371867e-07,3.404452e-07,3.516525e-07,3.520870e-07,3.622004e-07,3.658400e-07,3.721093e-07,3.784945e-07,3.814033e-07,3.901095e-07,3.982569e-07,4.007508e-07,4.058749e-07,4.104866e-07,4.129938e-07,4.193857e-07,4.196430e-07,4.258516e-07,4.275149e-07,4.316477e-07,4.349384e-07,4.370579e-07,4.417166e-07,4.421079e-07,4.468216e-07,4.479054e-07,4.512216e-07,4.535566e-07,4.553292e-07,4.587175e-07,4.591639e-07,4.627441e-07,4.634312e-07,4.660869e-07,4.677367e-07,4.692081e-07,4.716694e-07,4.721223e-07,4.748429e-07,4.752611e-07,4.773825e-07,4.785407e-07,4.797527e-07,4.815339e-07,4.819639e-07,4.840262e-07,4.842641e-07,4.859487e-07,4.867524e-07,4.877396e-07,4.890177e-07,4.894070e-07,4.909579e-07,4.910771e-07,4.923990e-07,4.929462e-07,4.937367e-07,4.946389e-07,4.949766e-07,4.961241e-07,4.961681e-07,4.971842e-07,4.975454e-07,4.981616e-07,4.987812e-07,4.990606e-07,4.998852e-07,5.006394e-07,5.008664e-07,5.013265e-07,5.017327e-07,5.019500e-07,5.024916e-07,5.025130e-07,5.030185e-07,5.031501e-07,5.034691e-07,5.037143e-07,5.038675e-07,5.041901e-07,5.042162e-07,5.045175e-07,5.045830e-07,5.047736e-07,5.048981e-07,5.049866e-07,5.051399e-07,5.051584e-07,5.052909e-07,5.053128e-07,5.053858e-07,5.054209e-07,5.054449e-07,5.054681e-07,5.054698e-07,5.054620e-07,5.054578e-07,5.054229e-07,5.053934e-07,5.053539e-07,5.052781e-07,5.052564e-07,5.051316e-07,5.051148e-07,5.049806e-07,5.049063e-07,5.048048e-07,5.046551e-07,5.046051e-07,5.043826e-07,5.043638e-07,5.041383e-07,5.040347e-07,5.038733e-07,5.036700e-07,5.035883e-07,5.032843e-07,5.032718e-07,5.029622e-07,5.028420e-07,5.026228e-07,5.023825e-07,5.022669e-07,5.018951e-07,5.013815e-07,5.008433e-07,5.002819e-07,4.996988e-07,4.990955e-07,4.984732e-07,4.978331e-07,4.971764e-07,4.965043e-07,4.958179e-07,4.951180e-07,4.944059e-07,4.936822e-07,4.929481e-07,4.922042e-07,4.914514e-07,4.906905e-07,4.899222e-07,4.891471e-07,4.883661e-07,4.875796e-07,4.867884e-07,4.859929e-07,4.851938e-07
0.000000e+00,1.834172e-11,4.239268e-11,1.472769e-10,3.369035e-10,4.927574e-10,1.125408e-09,1.159619e-09,2.260149e-09,2.662942e-09,3.921821e-09,5.246658e-09,6.284886e-09,9.183116e-09,9.469788e-09,1.351648e-08,1.461095e-08,1.836749e-08,2.139793e-08,2.392221e-08,2.931623e-08,3.008514e-08,3.677668e-08,3.817226e-08,4.392800e-08,4.780699e-08,5.147487e-08,5.807385e-08,5.935432e-08,6.750343e-08,6.882811e-08,7.585952e-08,7.992583e-08,8.436112e-08,9.122733e-08,9.294911e-08,1.015678e-07,1.026017e-07,1.101660e-07,1.139306e-07,1.186973e-07,1.251112e-07,1.271210e-07,1.354018e-07,1.360572e-07,1.435099e-07,1.466991e-07,1.514206e-07,1.569829e-07,1.591143e-07,1.665757e-07,1.668691e-07,1.737934e-07,1.763305e-07,1.807596e-07,1.853504e-07,1.874694e-07,1.939206e-07,2.001128e-07,2.020398e-07,2.060478e-07,2.097125e-07,2.117286e-07,2.169471e-07,2.171596e-07,2.223459e-07,2.237550e-07,2.272934e-07,2.301500e-07,2.320087e-07,2.361475e-07,2.364986e-07,2.407702e-07,2.417637e-07,2.448308e-07,2.470154e-07,2.486878e-07,2.519196e-07,2.523488e-07,2.558209e-07,2.564933e-07,2.591115e-07,2.607532e-07,2.622277e-07,2.647156e-07,2.651764e-07,2.679646e-07,2.683963e-07,2.705989e-07,2.718105e-07,2.730856e-07,2.749730e-07,2.754311e-07,2.776414e-07,2.778979e-07,2.797224e-07,2.805985e-07,2.816797e-07,2.830878e-07,2.835186e-07,2.852445e-07,2.853779e-07,2.868624e-07,2.874804e-07,2.883771e-07,2.894063e-07,2.897931e-07,2.911151e-07,2.911661e-07,2.923473e-07,2.927697e-07,2.934937e-07,2.942263e-07,2.945583e-07,2.955449e-07,2.964571e-07,2.967339e-07,2.972984e-07,2.978011e-07,2.980720e-07,2.987540e-07,2.987812e-07,2.994289e-07,2.995997e-07,3.000181e-07,3.003448e-07,3.005517e-07,3.009956e-07,3.010321e-07,3.014621e-07,3.015580e-07,3.018440e-07,3.020377e-07,3.021801e-07,3.024399e-07,3.024728e-07,3.027241e-07,3.027695e-07,3.029360e-07,3.030314e-07,3.031106e-07,3.032298e-07,3.032497e-07,3.033551e-07,3.033689e-07,3.034284e-07,3.034528e-07,3.034714e-07,3.034850e-07,3.034856e-07,3.034724e-07,3.034690e-07,3.034333e-07,3.034082e-07,3.033696e-07,3.033057e-07,3.032828e-07,3.031739e-07,3.031643e-07,3.030442e-07,3.029867e-07,3.028948e-07,3.027757e-07,3.027269e-07,3.025414e-07,3.025336e-07,3.023393e-07,3.022627e-07,3.021217e-07,3.019652e-07,3.018893e-07,3.016431e-07,3.012984e-07,3.009328e-07,3.005480e-07,3.001456e-07,2.997272e-07,2.992941e-07,2.988477e-07,2.983892e-07,2.979199e-07,2.974407e-07,2.969529e-07,2.964573e-07,2.959548e-07,2.954464e-07,2.949329e-07,2.944149e-07,2.938933e-07,2.933687e-07,2.928417e-07,2.923130e-07,2.917830e-07,2.912523e-07,2.907214e-07,2.901907e-07
0.000000e+00,1.914111e-11,4.402727e-11,1.521711e-10,3.477281e-10,5.089638e-10,1.170025e-09,1.206093e-09,2.383357e-09,2.821873e-09,4.213402e-09,5.700962e-09,6.873684e-09,1.013207e-08,1.045128e-08,1.487897e-08,1.605212e-08,2.001231e-08,2.314522e-08,2.572126e-08,3.114487e-08,3.191039e-08,3.850732e-08,3.987011e-08,4.545029e-08,4.917796e-08,5.268083e-08,5.893396e-08,6.014046e-08,6.776991e-08,6.900239e-08,7.550958e-08,7.924646e-08,8.330073e-08,8.953255e-08,9.108673e-08,9.881434e-08,9.973533e-08,1.064344e-07,1.097417e-07,1.139032e-07,1.194548e-07,1.211829e-07,1.282411e-07,1.287954e-07,1.350516e-07,1.377015e-07,1.415932e-07,1.461277e-07,1.478502e-07,1.538115e-07,1.540437e-07,1.594701e-07,1.614324e-07,1.648227e-07,1.682874e-07,1.698691e-07,1.746117e-07,1.790551e-07,1.804148e-07,1.832058e-07,1.857120e-07,1.870713e-07,1.905222e-07,1.906606e-07,1.939832e-07,1.948671e-07,1.970493e-07,1.987701e-07,1.998692e-07,2.022554e-07,2.024538e-07,2.048137e-07,2.053478e-07,2.069596e-07,2.080718e-07,2.089020e-07,2.104513e-07,2.106514e-07,2.122176e-07,2.125098e-07,2.136107e-07,2.142697e-07,2.148399e-07,2.157525e-07,2.159144e-07,2.168430e-07,2.169786e-07,2.176341e-07,2.179674e-07,2.182958e-07,2.187370e-07,2.188356e-07,2.192610e-07,2.193047e-07,2.195789e-07,2.196865e-07,2.197960e-07,2.198975e-07,2.199187e-07,2.199529e-07,2.199520e-07,2.199043e-07,2.198629e-07,2.197783e-07,2.196426e-07,2.195801e-07,2.193146e-07,2.193026e-07,2.189863e-07,2.188535e-07,2.185995e-07,2.183052e-07,2.181584e-07,2.176670e-07,2.171288e-07,2.169472e-07,2.165473e-07,2.161540e-07,2.159259e-07,2.152946e-07,2.152676e-07,2.145753e-07,2.143758e-07,2.138518e-07,2.134039e-07,2.130998e-07,2.123848e-07,2.123216e-07,2.115196e-07,2.113238e-07,2.106959e-07,2.102259e-07,2.098526e-07,2.090958e-07,2.089916e-07,2.081148e-07,2.079377e-07,2.072238e-07,2.067554e-07,2.063202e-07,2.055527e-07,2.054056e-07,2.044814e-07,2.043327e-07,2.035489e-07,2.030987e-07,2.026093e-07,2.018533e-07,2.016638e-07,2.007135e-07,2.005992e-07,1.997596e-07,1.993389e-07,1.988028e-07,1.980744e-07,1.978442e-07,1.968845e-07,1.968077e-07,1.959245e-07,1.955406e-07,1.949650e-07,1.942749e-07,1.940067e-07,1.930502e-07,1.930120e-07,1.920961e-07,1.917533e-07,1.911449e-07,1.905001e-07,1.901972e-07,1.892535e-07,1.880146e-07,1.867842e-07,1.855633e-07,1.843526e-07,1.831528e-07,1.819644e-07,1.807880e-07,1.796242e-07,1.784732e-07,1.773355e-07,1.762114e-07,1.751012e-07,1.740051e-07,1.729232e-07,1.718558e-07,1.708029e-07,1.697647e-07,1.687412e-07,1.677325e-07,1.667385e-07,1.657594e-07,1.647949e-07,1.638452e-07,1.629102e-07
0.000000e+00,3.270566e-13,2.578317e-12,5.172732e-11,3.539138e-10,8.351428e-10,5.031341e-09,5.358942e-09,2.093003e-08,2.885543e-08,6.015820e-08,1.022454e-07,1.408023e-07,2.705480e-07,2.850090e-07,5.184425e-07,5.908363e-07,8.692063e-07,1.127585e-06,1.365803e-06,1.943775e-06,2.033649e-06,2.891109e-06,3.086306e-06,3.946968e-06,4.574467e-06,5.200329e-06,6.399552e-06,6.642442e-06,8.259290e-06,8.533091e-06,1.003387e-05,1.093633e-05,1.194780e-05,1.356658e-05,1.398218e-05,1.611799e-05,1.638021e-05,1.833627e-05,1.933357e-05,2.061813e-05,2.238336e-05,2.294489e-05,2.529823e-05,2.548711e-05,2.766040e-05,2.860392e-05,3.001446e-05,3.169538e-05,3.234450e-05,3.463587e-05,3.472653e-05,3.687537e-05,3.766659e-05,3.905133e-05,4.048951e-05,4.115373e-05,4.317419e-05,4.510594e-05,4.570447e-05,4.694376e-05,4.806888e-05,4.868390e-05,5.026024e-05,5.032390e-05,5.186254e-05,5.227514e-05,5.329962e-05,5.411340e-05,5.463589e-05,5.577750e-05,5.587285e-05,5.701266e-05,5.727204e-05,5.805800e-05,5.860328e-05,5.901200e-05,5.977865e-05,5.987805e-05,6.065983e-05,6.080641e-05,6.136114e-05,6.169531e-05,6.198588e-05,6.245437e-05,6.253799e-05,6.302141e-05,6.309264e-05,6.344002e-05,6.361906e-05,6.379764e-05,6.404232e-05,6.409798e-05,6.434463e-05,6.437079e-05,6.454106e-05,6.461244e-05,6.469060e-05,6.477486e-05,6.479645e-05,6.486164e-05,6.486519e-05,6.488909e-05,6.489013e-05,6.488154e-05,6.485590e-05,6.484159e-05,6.477170e-05,6.476831e-05,6.467417e-05,6.463272e-05,6.455119e-05,6.445408e-05,6.440481e-05,6.423696e-05,6.404947e-05,6.398560e-05,6.384402e-05,6.370385e-05,6.362222e-05,6.339528e-05,6.338555e-05,6.313540e-05,6.306312e-05,6.287307e-05,6.271034e-05,6.259978e-05,6.233966e-05,6.231668e-05,6.202482e-05,6.195358e-05,6.172519e-05,6.155435e-05,6.141871e-05,6.114402e-05,6.110624e-05,6.078857e-05,6.072448e-05,6.046644e-05,6.029740e-05,6.014053e-05,5.986433e-05,5.981150e-05,5.947993e-05,5.942668e-05,5.914637e-05,5.898571e-05,5.881134e-05,5.854257e-05,5.847530e-05,5.813870e-05,5.809829e-05,5.780192e-05,5.765378e-05,5.746535e-05,5.720990e-05,5.712931e-05,5.679414e-05,5.676737e-05,5.646010e-05,5.632686e-05,5.612747e-05,5.588899e-05,5.579650e-05,5.546740e-05,5.545427e-05,5.514038e-05,5.502319e-05,5.481562e-05,5.459616e-05,5.449329e-05,5.417354e-05,5.375565e-05,5.334278e-05,5.293515e-05,5.253299e-05,5.213647e-05,5.174574e-05,5.136091e-05,5.098208e-05,5.060933e-05,5.024272e-05,4.988229e-05,4.952805e-05,4.918003e-05,4.883821e-05,4.850259e-05,4.817314e-05,4.784983e-05,4.753262e-05,4.722145e-05,4.691627e-05,4.661702e-05,4.632364e-05,4.603604e-05,4.575417e-05
0.000000e+00,2.915623e-11,6.797799e-11,2.386317e-10,5.491271e-10,8.052324e-10,1.849060e-09,1.905637e-09,3.729897e-09,4.399167e-09,6.495354e-09,8.709119e-09,1.045066e-08,1.535200e-08,1.584039e-08,2.280623e-08,2.471215e-08,3.131613e-08,3.670583e-08,4.123289e-08,5.101131e-08,5.241630e-08,6.475679e-08,6.735587e-08,7.816769e-08,8.553862e-08,9.257161e-08,1.053818e-07,1.078911e-07,1.240439e-07,1.266999e-07,1.409414e-07,1.492889e-07,1.584885e-07,1.729269e-07,1.765854e-07,1.951290e-07,1.973793e-07,2.140154e-07,2.224073e-07,2.331414e-07,2.477755e-07,2.524067e-07,2.717156e-07,2.732594e-07,2.909783e-07,2.986517e-07,3.101121e-07,3.237661e-07,3.290417e-07,3.476994e-07,3.484392e-07,3.660258e-07,3.725320e-07,3.839691e-07,3.959288e-07,4.014850e-07,4.185366e-07,4.350935e-07,4.402831e-07,4.511315e-07,4.611146e-07,4.666319e-07,4.809937e-07,4.815810e-07,4.959696e-07,4.998972e-07,5.097925e-07,5.178138e-07,5.230478e-07,5.347422e-07,5.357365e-07,5.478624e-07,5.506894e-07,5.594310e-07,5.656688e-07,5.704500e-07,5.796994e-07,5.809286e-07,5.908769e-07,5.928039e-07,6.003064e-07,6.050086e-07,6.092290e-07,6.163417e-07,6.176576e-07,6.256054e-07,6.268334e-07,6.330859e-07,6.365146e-07,6.401129e-07,6.454173e-07,6.467003e-07,6.528619e-07,6.535734e-07,6.586118e-07,6.610149e-07,6.639638e-07,6.677737e-07,6.689317e-07,6.735289e-07,6.738811e-07,6.777689e-07,6.793678e-07,6.816647e-07,6.842639e-07,6.852294e-07,6.884755e-07,6.885988e-07,6.914153e-07,6.924010e-07,6.940610e-07,6.956981e-07,6.964243e-07,6.985167e-07,7.003494e-07,7.008828e-07,7.019333e-07,7.028212e-07,7.032788e-07,7.043559e-07,7.043963e-07,7.052958e-07,7.055098e-07,7.059867e-07,7.063052e-07,7.064786e-07,7.067631e-07,7.067804e-07,7.069010e-07,7.069039e-07,7.068488e-07,7.067471e-07,7.066320e-07,7.063113e-07,7.062585e-07,7.057360e-07,7.056143e-07,7.050719e-07,7.046730e-07,7.042733e-07,7.035036e-07,7.033471e-07,7.023000e-07,7.021217e-07,7.011383e-07,7.005419e-07,6.998683e-07,6.987782e-07,6.984958e-07,6.970265e-07,6.968440e-07,6.954661e-07,6.947520e-07,6.938198e-07,6.925142e-07,6.920926e-07,6.902895e-07,6.901421e-07,6.884152e-07,6.876466e-07,6.864742e-07,6.850379e-07,6.844709e-07,6.824094e-07,6.823258e-07,6.802937e-07,6.795196e-07,6.781278e-07,6.766280e-07,6.759151e-07,6.736594e-07,6.706215e-07,6.675218e-07,6.643672e-07,6.611644e-07,6.579196e-07,6.546386e-07,6.513269e-07,6.479897e-07,6.446320e-07,6.412582e-07,6.378726e-07,6.344793e-07,6.310820e-07,6.276843e-07,6.242894e-07,6.209004e-07,6.175202e-07,6.141514e-07,6.107965e-07,6.074577e-07,6.041373e-07,6.008372e-07,5.975592e-07,5.943049e-07
0.000000e+00,1.634816e-11,3.807429e-11,1.337047e-10,3.083650e-10,4.530466e-10,1.047866e-09,1.080323e-09,2.137179e-09,2.529403e-09,3.770835e-09,5.099676e-09,6.155415e-09,9.163194e-09,9.465212e-09,1.380067e-08,1.499227e-08,1.912258e-08,2.248358e-08,2.529351e-08,3.131061e-08,3.216880e-08,3.963569e-08,4.119225e-08,4.760942e-08,5.193281e-08,5.602097e-08,6.337952e-08,6.480826e-08,7.391175e-08,7.539372e-08,8.327278e-08,8.784054e-08,9.283357e-08,1.005881e-07,1.025378e-07,1.123316e-07,1.135104e-07,1.221641e-07,1.264906e-07,1.319888e-07,1.394240e-07,1.417631e-07,1.514495e-07,1.522196e-07,1.610148e-07,1.648005e-07,1.704306e-07,1.771038e-07,1.796730e-07,1.887218e-07,1.890794e-07,1.975606e-07,2.006887e-07,2.061766e-07,2.119029e-07,2.145596e-07,2.227021e-07,2.305987e-07,2.330731e-07,2.382461e-07,2.430088e-07,2.456425e-07,2.525065e-07,2.527875e-07,2.596817e-07,2.615674e-07,2.663269e-07,2.701955e-07,2.727256e-07,2.783972e-07,2.788808e-07,2.847962e-07,2.861806e-07,2.904758e-07,2.935551e-07,2.959242e-07,3.005312e-07,3.011460e-07,3.061460e-07,3.071199e-07,3.109295e-07,3.133329e-07,3.155014e-07,3.191822e-07,3.198671e-07,3.240319e-07,3.246799e-07,3.280010e-07,3.298383e-07,3.317799e-07,3.346695e-07,3.353737e-07,3.387877e-07,3.391856e-07,3.420273e-07,3.433987e-07,3.450974e-07,3.473206e-07,3.480033e-07,3.507499e-07,3.509629e-07,3.533421e-07,3.543369e-07,3.557849e-07,3.574538e-07,3.580830e-07,3.602410e-07,3.603245e-07,3.622636e-07,3.629594e-07,3.641552e-07,3.653689e-07,3.659202e-07,3.675629e-07,3.690876e-07,3.695512e-07,3.704982e-07,3.713430e-07,3.717988e-07,3.729475e-07,3.729933e-07,3.740855e-07,3.743735e-07,3.750790e-07,3.756293e-07,3.759776e-07,3.767233e-07,3.767846e-07,3.775035e-07,3.776633e-07,3.781376e-07,3.784568e-07,3.786901e-07,3.791114e-07,3.791642e-07,3.795629e-07,3.796339e-07,3.798892e-07,3.800312e-07,3.801459e-07,3.803098e-07,3.803358e-07,3.804616e-07,3.804760e-07,3.805260e-07,3.805358e-07,3.805315e-07,3.804951e-07,3.804805e-07,3.803754e-07,3.803593e-07,3.802186e-07,3.801338e-07,3.800123e-07,3.798237e-07,3.797586e-07,3.794597e-07,3.794339e-07,3.791176e-07,3.789691e-07,3.787342e-07,3.784338e-07,3.783115e-07,3.778514e-07,3.778322e-07,3.773555e-07,3.771685e-07,3.768256e-07,3.764467e-07,3.762633e-07,3.756704e-07,3.748433e-07,3.739688e-07,3.730501e-07,3.720905e-07,3.710929e-07,3.700601e-07,3.689948e-07,3.678997e-07,3.667772e-07,3.656296e-07,3.644592e-07,3.632681e-07,3.620582e-07,3.608317e-07,3.595901e-07,3.583353e-07,3.570690e-07,3.557926e-07,3.545077e-07,3.532156e-07,3.519176e-07,3.506151e-07,3.493093e-07,3.480011e-07
0.000000e+00,5.952817e-12,3.806748e-11,5.083586e-10,2.482405e-09,4.936769e-09,2.003480e-08,2.102914e-08,5.945979e-08,7.592996e-08,1.332707e-07,2.011644e-07,2.588019e-07,4.374493e-07,4.564465e-07,7.483446e-07,8.345053e-07,1.150955e-06,1.426441e-06,1.667030e-06,2.206335e-06,2.285354e-06,2.987855e-06,3.136830e-06,3.756626e-06,4.177553e-06,4.576957e-06,5.297437e-06,5.437409e-06,6.328847e-06,6.473821e-06,7.243528e-06,7.688776e-06,8.174528e-06,8.926755e-06,9.115435e-06,1.006025e-05,1.017362e-05,1.100338e-05,1.141648e-05,1.193967e-05,1.264381e-05,1.286449e-05,1.377369e-05,1.384564e-05,1.466369e-05,1.501362e-05,1.553147e-05,1.614108e-05,1.637451e-05,1.719080e-05,1.722288e-05,1.797882e-05,1.825535e-05,1.873741e-05,1.923605e-05,1.946582e-05,2.016361e-05,2.083060e-05,2.103753e-05,2.146684e-05,2.185801e-05,2.207258e-05,2.262579e-05,2.264825e-05,2.319436e-05,2.334206e-05,2.371156e-05,2.400829e-05,2.420055e-05,2.462619e-05,2.466213e-05,2.509709e-05,2.519762e-05,2.550630e-05,2.572453e-05,2.589062e-05,2.620893e-05,2.625092e-05,2.658809e-05,2.665283e-05,2.690300e-05,2.705825e-05,2.719652e-05,2.742717e-05,2.746951e-05,2.772279e-05,2.776154e-05,2.795720e-05,2.806325e-05,2.817354e-05,2.833413e-05,2.837259e-05,2.855511e-05,2.857593e-05,2.872183e-05,2.879037e-05,2.887347e-05,2.897906e-05,2.901072e-05,2.913426e-05,2.914357e-05,2.924471e-05,2.928538e-05,2.934272e-05,2.940591e-05,2.942887e-05,2.950374e-05,2.950651e-05,2.956790e-05,2.958848e-05,2.962187e-05,2.965302e-05,2.966618e-05,2.970130e-05,2.972773e-05,2.973442e-05,2.974591e-05,2.975342e-05,2.975628e-05,2.975928e-05,2.975926e-05,2.975525e-05,2.975293e-05,2.974464e-05,2.973526e-05,2.972780e-05,2.970710e-05,2.970507e-05,2.967680e-05,2.966923e-05,2.964332e-05,2.962240e-05,2.960492e-05,2.956730e-05,2.956190e-05,2.951456e-05,2.950459e-05,2.946315e-05,2.943490e-05,2.940794e-05,2.935880e-05,2.934917e-05,2.928707e-05,2.927685e-05,2.922188e-05,2.918955e-05,2.915381e-05,2.909741e-05,2.908305e-05,2.900981e-05,2.900087e-05,2.893427e-05,2.890035e-05,2.885661e-05,2.879627e-05,2.877699e-05,2.869558e-05,2.868900e-05,2.861253e-05,2.857888e-05,2.852798e-05,2.846626e-05,2.844208e-05,2.835494e-05,2.835143e-05,2.826671e-05,2.823470e-05,2.817749e-05,2.811631e-05,2.808740e-05,2.799654e-05,2.787562e-05,2.775375e-05,2.763116e-05,2.750802e-05,2.738451e-05,2.726081e-05,2.713706e-05,2.701340e-05,2.688996e-05,2.676687e-05,2.664423e-05,2.652216e-05,2.640074e-05,2.628006e-05,2.616020e-05,2.604123e-05,2.592323e-05,2.580624e-05,2.569033e-05,2.557555e-05,2.546194e-05,2.534954e-05,2.523838e-05,2.512851e-05
0.000000e+00,5.240765e-14,4.684072e-13,1.219819e-11,1.059700e-10,2.852245e-10,2.418016e-09,2.611635e-09,1.435479e-08,2.172598e-08,5.731415e-08,1.179305e-07,1.840070e-07,4.674520e-07,5.042602e-07,1.223867e-06,1.491161e-06,2.693358e-06,4.038503e-06,5.460760e-06,9.594063e-06,1.032067e-05,1.835322e-05,2.045719e-05,3.094889e-05,3.985692e-05,4.981735e-05,7.198484e-05,7.698034e-05,1.147499e-04,1.219456e-04,1.656932e-04,1.956340e-04,2.325872e-04,2.995542e-04,3.183650e-04,4.260558e-04,4.405968e-04,5.587224e-04,6.257918e-04,7.193963e-04,8.620525e-04,9.110152e-04,1.136362e-03,1.155925e-03,1.398007e-03,1.513355e-03,1.698259e-03,1.939485e-03,2.039123e-03,2.422257e-03,2.438481e-03,2.848951e-03,3.013409e-03,3.320101e-03,3.666145e-03,3.836200e-03,4.397333e-03,5.003179e-03,5.206386e-03,5.653020e-03,6.091517e-03,6.345763e-03,7.049810e-03,7.079952e-03,7.853806e-03,8.077316e-03,8.665239e-03,9.169169e-03,9.511899e-03,1.031972e-02,1.039120e-02,1.130035e-02,1.152267e-02,1.223641e-02,1.277122e-02,1.319632e-02,1.405824e-02,1.417690e-02,1.517494e-02,1.537636e-02,1.618720e-02,1.671813e-02,1.721046e-02,1.807614e-02,1.824150e-02,1.927720e-02,1.944314e-02,2.031450e-02,2.081210e-02,2.135045e-02,2.217633e-02,2.238222e-02,2.340711e-02,2.352951e-02,2.442257e-02,2.486576e-02,2.542620e-02,2.617969e-02,2.641579e-02,2.738927e-02,2.746639e-02,2.834474e-02,2.872150e-02,2.928050e-02,2.994116e-02,3.019499e-02,3.108684e-02,3.112202e-02,3.195483e-02,3.226126e-02,3.279793e-02,3.335654e-02,3.361523e-02,3.440599e-02,3.516962e-02,3.540817e-02,3.590565e-02,3.636207e-02,3.661375e-02,3.726705e-02,3.729370e-02,3.794540e-02,3.812281e-02,3.856884e-02,3.892938e-02,3.916413e-02,3.968707e-02,3.973143e-02,4.027101e-02,4.039642e-02,4.078320e-02,4.105821e-02,4.126840e-02,4.167340e-02,4.172705e-02,4.215967e-02,4.224312e-02,4.256680e-02,4.276863e-02,4.294903e-02,4.325130e-02,4.330696e-02,4.364125e-02,4.369259e-02,4.395256e-02,4.409402e-02,4.424157e-02,4.445718e-02,4.450896e-02,4.475546e-02,4.478367e-02,4.498176e-02,4.507511e-02,4.518857e-02,4.533314e-02,4.537660e-02,4.554655e-02,4.555939e-02,4.569913e-02,4.575546e-02,4.583503e-02,4.592293e-02,4.595492e-02,4.605948e-02,4.606336e-02,4.614937e-02,4.617825e-02,4.622521e-02,4.626909e-02,4.628765e-02,4.633729e-02,4.638424e-02,4.641124e-02,4.641958e-02,4.641047e-02,4.638507e-02,4.634450e-02,4.628980e-02,4.622198e-02,4.614199e-02,4.605073e-02,4.594906e-02,4.583777e-02,4.571763e-02,4.558936e-02,4.545362e-02,4.531105e-02,4.516224e-02,4.500776e-02,4.484812e-02,4.468382e-02,4.451533e-02,4.434306e-02,4.416743e-02,4.398880e-02
0.000000e+00,7.292470e-11,2.611133e-10,1.445803e-09,4.097545e-09,6.484196e-09,1.698482e-08,1.757499e-08,3.719218e-08,4.457978e-08,6.809530e-08,9.331265e-08,1.132897e-07,1.695658e-07,1.751528e-07,2.541481e-07,2.755481e-07,3.492008e-07,4.089572e-07,4.590352e-07,5.671129e-07,5.826447e-07,7.191729e-07,7.479535e-07,8.677480e-07,9.494499e-07,1.027396e-06,1.169250e-06,1.197008e-06,1.375352e-06,1.404610e-06,1.561098e-06,1.652478e-06,1.752855e-06,1.909640e-06,1.949212e-06,2.148776e-06,2.172875e-06,2.350204e-06,2.439094e-06,2.552232e-06,2.705453e-06,2.753694e-06,2.953537e-06,2.969426e-06,3.150828e-06,3.228844e-06,3.344755e-06,3.481907e-06,3.534628e-06,3.719872e-06,3.727178e-06,3.900019e-06,3.963550e-06,4.074701e-06,4.190218e-06,4.243640e-06,4.406636e-06,4.563558e-06,4.612478e-06,4.714337e-06,4.807601e-06,4.858954e-06,4.992012e-06,4.997434e-06,5.129837e-06,5.165832e-06,5.256253e-06,5.329275e-06,5.376796e-06,5.482623e-06,5.491600e-06,5.600812e-06,5.626209e-06,5.704592e-06,5.760398e-06,5.803106e-06,5.885581e-06,5.896528e-06,5.985033e-06,6.002160e-06,6.068799e-06,6.110543e-06,6.148002e-06,6.211137e-06,6.222820e-06,6.293427e-06,6.304345e-06,6.359995e-06,6.390562e-06,6.422691e-06,6.470170e-06,6.481679e-06,6.537119e-06,6.543541e-06,6.589167e-06,6.611032e-06,6.637972e-06,6.672986e-06,6.683681e-06,6.726433e-06,6.729730e-06,6.766365e-06,6.781577e-06,6.803607e-06,6.828827e-06,6.838285e-06,6.870521e-06,6.871761e-06,6.900430e-06,6.910650e-06,6.928125e-06,6.945747e-06,6.953712e-06,6.977295e-06,6.998973e-06,7.005522e-06,7.018839e-06,7.030645e-06,7.036984e-06,7.052866e-06,7.053496e-06,7.068457e-06,7.072378e-06,7.081946e-06,7.089364e-06,7.094039e-06,7.103995e-06,7.104810e-06,7.114326e-06,7.116431e-06,7.122656e-06,7.126826e-06,7.129861e-06,7.135321e-06,7.136004e-06,7.141140e-06,7.142052e-06,7.145326e-06,7.147145e-06,7.148614e-06,7.150719e-06,7.151054e-06,7.152695e-06,7.152887e-06,7.153582e-06,7.153753e-06,7.153759e-06,7.153416e-06,7.153266e-06,7.152145e-06,7.151970e-06,7.150432e-06,7.149501e-06,7.148164e-06,7.146090e-06,7.145375e-06,7.142098e-06,7.141815e-06,7.138363e-06,7.136748e-06,7.134201e-06,7.130955e-06,7.129639e-06,7.124704e-06,7.124499e-06,7.119422e-06,7.117441e-06,7.113818e-06,7.109834e-06,7.107913e-06,7.101731e-06,7.093181e-06,7.084228e-06,7.074915e-06,7.065281e-06,7.055363e-06,7.045196e-06,7.034811e-06,7.024239e-06,7.013508e-06,7.002643e-06,6.991668e-06,6.980607e-06,6.969480e-06,6.958306e-06,6.947103e-06,6.935888e-06,6.924676e-06,6.913481e-06,6.902316e-06,6.891193e-06,6.880124e-06,6.869118e-06,6.858185e-06,6.847333e-06
0.000000e+00,2.320027e-15,2.022018e-14,4.993593e-13,4.124440e-12,1.078639e-11,8.454758e-11,9.101419e-11,4.594435e-10,6.785161e-10,1.678001e-09,3.266394e-09,4.907817e-09,1.141148e-08,1.221474e-08,2.690202e-08,3.202925e-08,5.384403e-08,7.671300e-08,9.977851e-08,1.628344e-07,1.734852e-07,2.857659e-07,3.139297e-07,4.491695e-07,5.588855e-07,6.774686e-07,9.298478e-07,9.849528e-07,1.385633e-06,1.459277e-06,1.892452e-06,2.176790e-06,2.516583e-06,3.106383e-06,3.266867e-06,4.149411e-06,4.264386e-06,5.167360e-06,5.658290e-06,6.320821e-06,7.286429e-06,7.606935e-06,9.020052e-06,9.138359e-06,1.055200e-05,1.119580e-05,1.219242e-05,1.343392e-05,1.392915e-05,1.574861e-05,1.582290e-05,1.763618e-05,1.832946e-05,1.957665e-05,2.091848e-05,2.155453e-05,2.355441e-05,2.556130e-05,2.620261e-05,2.756083e-05,2.883040e-05,2.953952e-05,3.140790e-05,3.148493e-05,3.338582e-05,3.390870e-05,3.523219e-05,3.631020e-05,3.701540e-05,3.859385e-05,3.872813e-05,4.036437e-05,4.074515e-05,4.191945e-05,4.275349e-05,4.338988e-05,4.461195e-05,4.477332e-05,4.606851e-05,4.631691e-05,4.727511e-05,4.786767e-05,4.839364e-05,4.926604e-05,4.942535e-05,5.037214e-05,5.051590e-05,5.123643e-05,5.162280e-05,5.202105e-05,5.259354e-05,5.272921e-05,5.336436e-05,5.343584e-05,5.393010e-05,5.415801e-05,5.443019e-05,5.476868e-05,5.486842e-05,5.524857e-05,5.527659e-05,5.557442e-05,5.569038e-05,5.584963e-05,5.601844e-05,5.607779e-05,5.626233e-05,5.626885e-05,5.640658e-05,5.644925e-05,5.651366e-05,5.656678e-05,5.658656e-05,5.662808e-05,5.664087e-05,5.663931e-05,5.662740e-05,5.660607e-05,5.658998e-05,5.653351e-05,5.653075e-05,5.645170e-05,5.642626e-05,5.635466e-05,5.628852e-05,5.624134e-05,5.612404e-05,5.611329e-05,5.597197e-05,5.593622e-05,5.581868e-05,5.572807e-05,5.565464e-05,5.550228e-05,5.548097e-05,5.529868e-05,5.526127e-05,5.510870e-05,5.500716e-05,5.491189e-05,5.474185e-05,5.470902e-05,5.450081e-05,5.446704e-05,5.428791e-05,5.418422e-05,5.407091e-05,5.389474e-05,5.385037e-05,5.362678e-05,5.359977e-05,5.340060e-05,5.330037e-05,5.317225e-05,5.299748e-05,5.294210e-05,5.271052e-05,5.269194e-05,5.247781e-05,5.238447e-05,5.224427e-05,5.207576e-05,5.201017e-05,5.177575e-05,5.176637e-05,5.154125e-05,5.145685e-05,5.130686e-05,5.114764e-05,5.107278e-05,5.083919e-05,5.053185e-05,5.022597e-05,4.992184e-05,4.961973e-05,4.931987e-05,4.902247e-05,4.872772e-05,4.843578e-05,4.814680e-05,4.786091e-05,4.757822e-05,4.729882e-05,4.702280e-05,4.675024e-05,4.648120e-05,4.621573e-05,4.595386e-05,4.569565e-05,4.544111e-05,4.519026e-05,4.494311e-05,4.469968e-05,4.445996e-05,4.422395e-05
0.000000e+00,2.564842e-14,2.123443e-13,4.712415e-12,3.528084e-11,8.739260e-11,5.946439e-10,6.364269e-10,2.786455e-09,3.957621e-09,8.867161e-09,1.592415e-08,2.269291e-08,4.682588e-08,4.961156e-08,9.632719e-08,1.113270e-07,1.705648e-07,2.272519e-07,2.806527e-07,4.139287e-07,4.350767e-07,6.420213e-07,6.903837e-07,9.088916e-07,1.073445e-06,1.241815e-06,1.575777e-06,1.645166e-06,2.121203e-06,2.204143e-06,2.669868e-06,2.958416e-06,3.288804e-06,3.831617e-06,3.973556e-06,4.717898e-06,4.810874e-06,5.514232e-06,5.878911e-06,6.354006e-06,7.015687e-06,7.228101e-06,8.127188e-06,8.199916e-06,9.042022e-06,9.410353e-06,9.963691e-06,1.062679e-05,1.088381e-05,1.179466e-05,1.183080e-05,1.268931e-05,1.300622e-05,1.356167e-05,1.413947e-05,1.440656e-05,1.521965e-05,1.599749e-05,1.623850e-05,1.673746e-05,1.719028e-05,1.743771e-05,1.807151e-05,1.809709e-05,1.871507e-05,1.888068e-05,1.929168e-05,1.961798e-05,1.982741e-05,2.028492e-05,2.032313e-05,2.078003e-05,2.088407e-05,2.119955e-05,2.141875e-05,2.158331e-05,2.189282e-05,2.193305e-05,2.225060e-05,2.231042e-05,2.253784e-05,2.267584e-05,2.279662e-05,2.299338e-05,2.302882e-05,2.323623e-05,2.326724e-05,2.342062e-05,2.350144e-05,2.358365e-05,2.369977e-05,2.372692e-05,2.385195e-05,2.386580e-05,2.396017e-05,2.400280e-05,2.405290e-05,2.411379e-05,2.413139e-05,2.419680e-05,2.420150e-05,2.425020e-05,2.426843e-05,2.429259e-05,2.431681e-05,2.432489e-05,2.434793e-05,2.434867e-05,2.436251e-05,2.436583e-05,2.436934e-05,2.436990e-05,2.436908e-05,2.436233e-05,2.434966e-05,2.434444e-05,2.433157e-05,2.431737e-05,2.430854e-05,2.428217e-05,2.428098e-05,2.424931e-05,2.423975e-05,2.421388e-05,2.419096e-05,2.417503e-05,2.413653e-05,2.413306e-05,2.408827e-05,2.407712e-05,2.404090e-05,2.401334e-05,2.399120e-05,2.394571e-05,2.393939e-05,2.388568e-05,2.387472e-05,2.383025e-05,2.380080e-05,2.377327e-05,2.372434e-05,2.371492e-05,2.365533e-05,2.364569e-05,2.359465e-05,2.356517e-05,2.353300e-05,2.348306e-05,2.347050e-05,2.340726e-05,2.339963e-05,2.334339e-05,2.331511e-05,2.327898e-05,2.322972e-05,2.321411e-05,2.314888e-05,2.314364e-05,2.308334e-05,2.305706e-05,2.301759e-05,2.297014e-05,2.295167e-05,2.288566e-05,2.288302e-05,2.281961e-05,2.279583e-05,2.275357e-05,2.270869e-05,2.268759e-05,2.262172e-05,2.253501e-05,2.244865e-05,2.236273e-05,2.227731e-05,2.219248e-05,2.210827e-05,2.202476e-05,2.194199e-05,2.186001e-05,2.177885e-05,2.169855e-05,2.161914e-05,2.154066e-05,2.146311e-05,2.138654e-05,2.131095e-05,2.123636e-05,2.116278e-05,2.109023e-05,2.101871e-05,2.094824e-05,2.087882e-05,2.081044e-05,2.074312e-05
0.000000e+00,4.693779e-15,4.201448e-14,1.096575e-12,9.535480e-12,2.566236e-11,2.168573e-10,2.341665e-10,1.275608e-09,1.923628e-09,5.015200e-09,1.019078e-08,1.574721e-08,3.898124e-08,4.194769e-08,9.856511e-08,1.191302e-07,2.097906e-07,3.089547e-07,4.121876e-07,7.067595e-07,7.579896e-07,1.318316e-06,1.463885e-06,2.186024e-06,2.796493e-06,3.477947e-06,4.994282e-06,5.336302e-06,7.929123e-06,8.424703e-06,1.144965e-05,1.353186e-05,1.611470e-05,2.082991e-05,2.216196e-05,2.984642e-05,3.089120e-05,3.943604e-05,4.432996e-05,5.120674e-05,6.178264e-05,6.543708e-05,8.240255e-05,8.388602e-05,1.023700e-04,1.112546e-04,1.255919e-04,1.444586e-04,1.523014e-04,1.827074e-04,1.840032e-04,2.169902e-04,2.303107e-04,2.552982e-04,2.837062e-04,2.977448e-04,3.444065e-04,3.953216e-04,4.125138e-04,4.504895e-04,4.880122e-04,5.098708e-04,5.707697e-04,5.733885e-04,6.409288e-04,6.605417e-04,7.123439e-04,7.569793e-04,7.874538e-04,8.596388e-04,8.660493e-04,9.478952e-04,9.679936e-04,1.032733e-03,1.081447e-03,1.120287e-03,1.199347e-03,1.210262e-03,1.302355e-03,1.320999e-03,1.396249e-03,1.445681e-03,1.491627e-03,1.572655e-03,1.588166e-03,1.685545e-03,1.701183e-03,1.783447e-03,1.830534e-03,1.881560e-03,1.959999e-03,1.979582e-03,2.077219e-03,2.088896e-03,2.174191e-03,2.216580e-03,2.270233e-03,2.342446e-03,2.365091e-03,2.458530e-03,2.465937e-03,2.550332e-03,2.586548e-03,2.640294e-03,2.703823e-03,2.728232e-03,2.813981e-03,2.817363e-03,2.897391e-03,2.926820e-03,2.978331e-03,3.031901e-03,3.056688e-03,3.132364e-03,3.205279e-03,3.228018e-03,3.275368e-03,3.318717e-03,3.342579e-03,3.404362e-03,3.406878e-03,3.468241e-03,3.484895e-03,3.526658e-03,3.560295e-03,3.582132e-03,3.630577e-03,3.634673e-03,3.684304e-03,3.695786e-03,3.731057e-03,3.755995e-03,3.774970e-03,3.811302e-03,3.816090e-03,3.854472e-03,3.861824e-03,3.890173e-03,3.907700e-03,3.923259e-03,3.949080e-03,3.953798e-03,3.981862e-03,3.986128e-03,4.007528e-03,4.019019e-03,4.030874e-03,4.047933e-03,4.051978e-03,4.070924e-03,4.073056e-03,4.087793e-03,4.094579e-03,4.102668e-03,4.112691e-03,4.115633e-03,4.126770e-03,4.127585e-03,4.136163e-03,4.139449e-03,4.143892e-03,4.148472e-03,4.150038e-03,4.154681e-03,4.154837e-03,4.157898e-03,4.158722e-03,4.159766e-03,4.160303e-03,4.160358e-03,4.159747e-03,4.157218e-03,4.152871e-03,4.146856e-03,4.139316e-03,4.130385e-03,4.120192e-03,4.108858e-03,4.096498e-03,4.083221e-03,4.069126e-03,4.054309e-03,4.038860e-03,4.022861e-03,4.006389e-03,3.989516e-03,3.972308e-03,3.954826e-03,3.937128e-03,3.919265e-03,3.901285e-03,3.883232e-03,3.865147e-03,3.847065e-03,3.829021e-03
0.000000e+00,5.779399e-15,5.027464e-14,1.236689e-12,1.017675e-11,2.655959e-11,2.070264e-10,2.228083e-10,1.117973e-09,1.648151e-09,4.056903e-09,7.864656e-09,1.178281e-08,2.720370e-08,2.909970e-08,6.354055e-08,7.548340e-08,1.259565e-07,1.784027e-07,2.309202e-07,3.730020e-07,3.968237e-07,6.455939e-07,7.074335e-07,1.002024e-06,1.238730e-06,1.492797e-06,2.028920e-06,2.145315e-06,2.986457e-06,3.140258e-06,4.041371e-06,4.630350e-06,5.332378e-06,6.547796e-06,6.878048e-06,8.692474e-06,8.928752e-06,1.078476e-05,1.179458e-05,1.315875e-05,1.515063e-05,1.581290e-05,1.874045e-05,1.898615e-05,2.192966e-05,2.327509e-05,2.536423e-05,2.797781e-05,2.902389e-05,3.288496e-05,3.304323e-05,3.692108e-05,3.841153e-05,4.110391e-05,4.401695e-05,4.540382e-05,4.979058e-05,5.423399e-05,5.566299e-05,5.870449e-05,6.156663e-05,6.317364e-05,6.743775e-05,6.761452e-05,7.200215e-05,7.321798e-05,7.631368e-05,7.885544e-05,8.052861e-05,8.430546e-05,8.462888e-05,8.859895e-05,8.953089e-05,9.242575e-05,9.450211e-05,9.609862e-05,9.919673e-05,9.960920e-05,1.029513e-04,1.035992e-04,1.061209e-04,1.077000e-04,1.091155e-04,1.114952e-04,1.119345e-04,1.145787e-04,1.149857e-04,1.170502e-04,1.181760e-04,1.193521e-04,1.210742e-04,1.214885e-04,1.234641e-04,1.236907e-04,1.252845e-04,1.260378e-04,1.269555e-04,1.281294e-04,1.284834e-04,1.298746e-04,1.299802e-04,1.311357e-04,1.316053e-04,1.322735e-04,1.330200e-04,1.332944e-04,1.342052e-04,1.342394e-04,1.350122e-04,1.352785e-04,1.357217e-04,1.361516e-04,1.363399e-04,1.368725e-04,1.373252e-04,1.374541e-04,1.377034e-04,1.379087e-04,1.380121e-04,1.382478e-04,1.382564e-04,1.384407e-04,1.384821e-04,1.385694e-04,1.386216e-04,1.386466e-04,1.386754e-04,1.386761e-04,1.386617e-04,1.386521e-04,1.386066e-04,1.385593e-04,1.385142e-04,1.384042e-04,1.383872e-04,1.382286e-04,1.381933e-04,1.380409e-04,1.379327e-04,1.378266e-04,1.376276e-04,1.375878e-04,1.373267e-04,1.372830e-04,1.370453e-04,1.369035e-04,1.367453e-04,1.364931e-04,1.364284e-04,1.360963e-04,1.360555e-04,1.357504e-04,1.355941e-04,1.353920e-04,1.351120e-04,1.350224e-04,1.346428e-04,1.346120e-04,1.342542e-04,1.340966e-04,1.338578e-04,1.335680e-04,1.334544e-04,1.330449e-04,1.330284e-04,1.326300e-04,1.324796e-04,1.322107e-04,1.319233e-04,1.317875e-04,1.313611e-04,1.307945e-04,1.302245e-04,1.296525e-04,1.290794e-04,1.285062e-04,1.279338e-04,1.273629e-04,1.267941e-04,1.262282e-04,1.256657e-04,1.251071e-04,1.245529e-04,1.240034e-04,1.234590e-04,1.229201e-04,1.223869e-04,1.218597e-04,1.213387e-04,1.208241e-04,1.203161e-04,1.198147e-04,1.193203e-04,1.188328e-04,1.183523e-04
0.000000e+00,7.057830e-15,6.261396e-14,1.604878e-12,1.372126e-11,3.657834e-11,3.014308e-10,3.251518e-10,1.725978e-09,2.584119e-09,6.614295e-09,1.323691e-08,2.024865e-08,4.898113e-08,5.260348e-08,1.205741e-07,1.448710e-07,2.504024e-07,3.637498e-07,4.801162e-07,8.058190e-07,8.617173e-07,1.462832e-06,1.616506e-06,2.367567e-06,2.990748e-06,3.676398e-06,5.172348e-06,5.505031e-06,7.982287e-06,8.448012e-06,1.124709e-05,1.313648e-05,1.544479e-05,1.957385e-05,2.072296e-05,2.722697e-05,2.809652e-05,3.509551e-05,3.902335e-05,4.445629e-05,5.263854e-05,5.542209e-05,6.808736e-05,6.917635e-05,8.252538e-05,8.880899e-05,9.878620e-05,1.116379e-04,1.168952e-04,1.368526e-04,1.376891e-04,1.586335e-04,1.669122e-04,1.821884e-04,1.991831e-04,2.074451e-04,2.343100e-04,2.626704e-04,2.720410e-04,2.923974e-04,3.120743e-04,3.233480e-04,3.540691e-04,3.553685e-04,3.882971e-04,3.976572e-04,4.219668e-04,4.424536e-04,4.562076e-04,4.880678e-04,4.908500e-04,5.257261e-04,5.341129e-04,5.606728e-04,5.802148e-04,5.955326e-04,6.260185e-04,6.301560e-04,6.644022e-04,6.711944e-04,6.981400e-04,7.154424e-04,7.312493e-04,7.584951e-04,7.636208e-04,7.951569e-04,8.001192e-04,8.257712e-04,8.401164e-04,8.553893e-04,8.783234e-04,8.839476e-04,9.113937e-04,9.146103e-04,9.376855e-04,9.488796e-04,9.627910e-04,9.810635e-04,9.866875e-04,1.009361e-03,1.011122e-03,1.030805e-03,1.039039e-03,1.051022e-03,1.064822e-03,1.070019e-03,1.087810e-03,1.088496e-03,1.104414e-03,1.110105e-03,1.119855e-03,1.129704e-03,1.134160e-03,1.147361e-03,1.159491e-03,1.163152e-03,1.170586e-03,1.177161e-03,1.180684e-03,1.189477e-03,1.189825e-03,1.198048e-03,1.200192e-03,1.205395e-03,1.209399e-03,1.211906e-03,1.217193e-03,1.217622e-03,1.222584e-03,1.223667e-03,1.226832e-03,1.228914e-03,1.230406e-03,1.233024e-03,1.233344e-03,1.235685e-03,1.236085e-03,1.237464e-03,1.238180e-03,1.238718e-03,1.239391e-03,1.239481e-03,1.239785e-03,1.239793e-03,1.239662e-03,1.239460e-03,1.239142e-03,1.238460e-03,1.238254e-03,1.237026e-03,1.236857e-03,1.235483e-03,1.234712e-03,1.233652e-03,1.232081e-03,1.231554e-03,1.229213e-03,1.229016e-03,1.226650e-03,1.225567e-03,1.223884e-03,1.221778e-03,1.220935e-03,1.217819e-03,1.217691e-03,1.214554e-03,1.213345e-03,1.211154e-03,1.208773e-03,1.207635e-03,1.204009e-03,1.199083e-03,1.194020e-03,1.188846e-03,1.183582e-03,1.178250e-03,1.172867e-03,1.167450e-03,1.162014e-03,1.156573e-03,1.151137e-03,1.145719e-03,1.140328e-03,1.134973e-03,1.129660e-03,1.124398e-03,1.119191e-03,1.114045e-03,1.108965e-03,1.103955e-03,1.099017e-03,1.094156e-03,1.089373e-03,1.084670e-03,1.080049e-03
0.000000e+00,1.845312e-15,1.645365e-14,4.274194e-13,3.701846e-12,9.940123e-12,8.350355e-11,9.014676e-11,4.881264e-10,7.348776e-10,1.907872e-09,3.863353e-09,5.956216e-09,1.466842e-08,1.577770e-08,3.687165e-08,4.450745e-08,7.806401e-08,1.146287e-07,1.525841e-07,2.604622e-07,2.791736e-07,4.831408e-07,5.359643e-07,7.972704e-07,1.017410e-06,1.262515e-06,1.806085e-06,1.928408e-06,2.853150e-06,3.029469e-06,4.103375e-06,4.840685e-06,5.753559e-06,7.416187e-06,7.885122e-06,1.058522e-05,1.095174e-05,1.394529e-05,1.565698e-05,1.805939e-05,2.174880e-05,2.302239e-05,2.892812e-05,2.944405e-05,3.586737e-05,3.895192e-05,4.392610e-05,5.046640e-05,5.318361e-05,6.371090e-05,6.415931e-05,7.556923e-05,8.017410e-05,8.880884e-05,9.862083e-05,1.034680e-04,1.195724e-04,1.371343e-04,1.430622e-04,1.561528e-04,1.690831e-04,1.766137e-04,1.975879e-04,1.984896e-04,2.217408e-04,2.284908e-04,2.463156e-04,2.616702e-04,2.721515e-04,2.969723e-04,2.991762e-04,3.273084e-04,3.342152e-04,3.564593e-04,3.731936e-04,3.865338e-04,4.136836e-04,4.174313e-04,4.490479e-04,4.554481e-04,4.812766e-04,4.982415e-04,5.140091e-04,5.418142e-04,5.471367e-04,5.805513e-04,5.859172e-04,6.141468e-04,6.303062e-04,6.478191e-04,6.747446e-04,6.814678e-04,7.149961e-04,7.190070e-04,7.483121e-04,7.628811e-04,7.813284e-04,8.061700e-04,8.139635e-04,8.461412e-04,8.486935e-04,8.777912e-04,8.902889e-04,9.088494e-04,9.308119e-04,9.392575e-04,9.689635e-04,9.701365e-04,9.979212e-04,1.008155e-03,1.026090e-03,1.044777e-03,1.053436e-03,1.079930e-03,1.105547e-03,1.113556e-03,1.130270e-03,1.145615e-03,1.154083e-03,1.176080e-03,1.176978e-03,1.198948e-03,1.204934e-03,1.219993e-03,1.232176e-03,1.240113e-03,1.257813e-03,1.259315e-03,1.277606e-03,1.281862e-03,1.294998e-03,1.304348e-03,1.311502e-03,1.325304e-03,1.327134e-03,1.341912e-03,1.344767e-03,1.355854e-03,1.362779e-03,1.368979e-03,1.379389e-03,1.381309e-03,1.392866e-03,1.394645e-03,1.403673e-03,1.408600e-03,1.413752e-03,1.421308e-03,1.423129e-03,1.431826e-03,1.432825e-03,1.439868e-03,1.443205e-03,1.447279e-03,1.452504e-03,1.454083e-03,1.460305e-03,1.460778e-03,1.465967e-03,1.468081e-03,1.471094e-03,1.474466e-03,1.475707e-03,1.479830e-03,1.479985e-03,1.483484e-03,1.484689e-03,1.486691e-03,1.488627e-03,1.489471e-03,1.491845e-03,1.494391e-03,1.496306e-03,1.497632e-03,1.498410e-03,1.498676e-03,1.498466e-03,1.497814e-03,1.496752e-03,1.495310e-03,1.493516e-03,1.491398e-03,1.488980e-03,1.486286e-03,1.483339e-03,1.480158e-03,1.476764e-03,1.473175e-03,1.469407e-03,1.465478e-03,1.461401e-03,1.457190e-03,1.452859e-03,1.448420e-03,1.443883e-03
0.000000e+00,4.442104e-12,3.039485e-11,4.610109e-10,2.489912e-09,5.202213e-09,2.355592e-08,2.482294e-08,7.649533e-08,9.969367e-08,1.833153e-07,2.860971e-07,3.754341e-07,6.590359e-07,6.895316e-07,1.159707e-06,1.298094e-06,1.802044e-06,2.234771e-06,2.608571e-06,3.435731e-06,3.555960e-06,4.617781e-06,4.841784e-06,5.771268e-06,6.401192e-06,6.998483e-06,8.075708e-06,8.285007e-06,9.618330e-06,9.835219e-06,1.098679e-05,1.165280e-05,1.237908e-05,1.350264e-05,1.378416e-05,1.519135e-05,1.535987e-05,1.659052e-05,1.720118e-05,1.797233e-05,1.900567e-05,1.932835e-05,2.065124e-05,2.075544e-05,2.193474e-05,2.243594e-05,2.317375e-05,2.403597e-05,2.436421e-05,2.550308e-05,2.554753e-05,2.658827e-05,2.696552e-05,2.761848e-05,2.828733e-05,2.859319e-05,2.951244e-05,3.037681e-05,3.064196e-05,3.118725e-05,3.167821e-05,3.194505e-05,3.262440e-05,3.265171e-05,3.330895e-05,3.348437e-05,3.391861e-05,3.426237e-05,3.448263e-05,3.496292e-05,3.500299e-05,3.548172e-05,3.559064e-05,3.592079e-05,3.615010e-05,3.632221e-05,3.664583e-05,3.668789e-05,3.701974e-05,3.708221e-05,3.731957e-05,3.746341e-05,3.758915e-05,3.779347e-05,3.783018e-05,3.804430e-05,3.807616e-05,3.823305e-05,3.831509e-05,3.839794e-05,3.851361e-05,3.854037e-05,3.866169e-05,3.867490e-05,3.876320e-05,3.880190e-05,3.884610e-05,3.889737e-05,3.891155e-05,3.896065e-05,3.896390e-05,3.899443e-05,3.900387e-05,3.901387e-05,3.901951e-05,3.901990e-05,3.901340e-05,3.901289e-05,3.899520e-05,3.898594e-05,3.896608e-05,3.894042e-05,3.892678e-05,3.887800e-05,3.882040e-05,3.880020e-05,3.875459e-05,3.870845e-05,3.868117e-05,3.860404e-05,3.860069e-05,3.851367e-05,3.848820e-05,3.842060e-05,3.836205e-05,3.832194e-05,3.822662e-05,3.821814e-05,3.810959e-05,3.808288e-05,3.799669e-05,3.793171e-05,3.787981e-05,3.777393e-05,3.775928e-05,3.763543e-05,3.761029e-05,3.750857e-05,3.744150e-05,3.737897e-05,3.726820e-05,3.724691e-05,3.711264e-05,3.709097e-05,3.697640e-05,3.691037e-05,3.683841e-05,3.672691e-05,3.669889e-05,3.655802e-05,3.654103e-05,3.641599e-05,3.635318e-05,3.627298e-05,3.616374e-05,3.612916e-05,3.598466e-05,3.597308e-05,3.583965e-05,3.578153e-05,3.569424e-05,3.558938e-05,3.554858e-05,3.540276e-05,3.539693e-05,3.525692e-05,3.520443e-05,3.511114e-05,3.501210e-05,3.496553e-05,3.482018e-05,3.462884e-05,3.443828e-05,3.424865e-05,3.406009e-05,3.387276e-05,3.368676e-05,3.350221e-05,3.331920e-05,3.313783e-05,3.295818e-05,3.278031e-05,3.260429e-05,3.243017e-05,3.225801e-05,3.208784e-05,3.191971e-05,3.175364e-05,3.158966e-05,3.142779e-05,3.126806e-05,3.111047e-05,3.095503e-05,3.080175e-05,3.065064e-05
0.000000e+00,1.223371e-14,1.040854e-13,2.442618e-12,1.924763e-11,4.904332e-11,3.591797e-10,3.855777e-10,1.817978e-09,2.635149e-09,6.216706e-09,1.164641e-08,1.706583e-08,3.751371e-08,3.996259e-08,8.301293e-08,9.749181e-08,1.570935e-07,2.171351e-07,2.759286e-07,4.304558e-07,4.558679e-07,7.152318e-07,7.783230e-07,1.073187e-06,1.304517e-06,1.548298e-06,2.050058e-06,2.157018e-06,2.912399e-06,3.047521e-06,3.823213e-06,4.316991e-06,4.893531e-06,5.864353e-06,6.122720e-06,7.505801e-06,7.681731e-06,9.034003e-06,9.749415e-06,1.069542e-05,1.203845e-05,1.247573e-05,1.435884e-05,1.451342e-05,1.632750e-05,1.713493e-05,1.836386e-05,1.986186e-05,2.044994e-05,2.256800e-05,2.265314e-05,2.470089e-05,2.546919e-05,2.683232e-05,2.827305e-05,2.894708e-05,3.103121e-05,3.307211e-05,3.371421e-05,3.505867e-05,3.629703e-05,3.698125e-05,3.875919e-05,3.883173e-05,4.060350e-05,4.108475e-05,4.229135e-05,4.326213e-05,4.389144e-05,4.528380e-05,4.540121e-05,4.681923e-05,4.714584e-05,4.814513e-05,4.884755e-05,4.937942e-05,5.039087e-05,5.052345e-05,5.157919e-05,5.177997e-05,5.254921e-05,5.302071e-05,5.343648e-05,5.412028e-05,5.424434e-05,5.497637e-05,5.508670e-05,5.563630e-05,5.592859e-05,5.622799e-05,5.665480e-05,5.675530e-05,5.722210e-05,5.727423e-05,5.763219e-05,5.779563e-05,5.798929e-05,5.822744e-05,5.829697e-05,5.855869e-05,5.857774e-05,5.877773e-05,5.885410e-05,5.895722e-05,5.906363e-05,5.910011e-05,5.920919e-05,5.921289e-05,5.928705e-05,5.930792e-05,5.933614e-05,5.935426e-05,5.935874e-05,5.935695e-05,5.933275e-05,5.932058e-05,5.928796e-05,5.924927e-05,5.922426e-05,5.914678e-05,5.914322e-05,5.904628e-05,5.901647e-05,5.893477e-05,5.886138e-05,5.880992e-05,5.868425e-05,5.867286e-05,5.852464e-05,5.848751e-05,5.836622e-05,5.827339e-05,5.819850e-05,5.804386e-05,5.802230e-05,5.783837e-05,5.780072e-05,5.764741e-05,5.754556e-05,5.745008e-05,5.727983e-05,5.724697e-05,5.703863e-05,5.700484e-05,5.682557e-05,5.672177e-05,5.660827e-05,5.643166e-05,5.638716e-05,5.616265e-05,5.613549e-05,5.593511e-05,5.583412e-05,5.570490e-05,5.552834e-05,5.547233e-05,5.523772e-05,5.521887e-05,5.500133e-05,5.490634e-05,5.476344e-05,5.459135e-05,5.452427e-05,5.428407e-05,5.427444e-05,5.404303e-05,5.395609e-05,5.380136e-05,5.363675e-05,5.355923e-05,5.331681e-05,5.299666e-05,5.267661e-05,5.235699e-05,5.203806e-05,5.172009e-05,5.140331e-05,5.108793e-05,5.077415e-05,5.046213e-05,5.015205e-05,4.984403e-05,4.953822e-05,4.923473e-05,4.893367e-05,4.863513e-05,4.833921e-05,4.804597e-05,4.775549e-05,4.746784e-05,4.718305e-05,4.690119e-05,4.662228e-05,4.634637e-05,4.607349e-05
0.000000e+00,4.847018e-15,4.338544e-14,1.132937e-12,9.856615e-12,2.653443e-11,2.244440e-10,2.423701e-10,1.322085e-09,1.994615e-09,5.207182e-09,1.059473e-08,1.638752e-08,4.067326e-08,4.377963e-08,1.032365e-07,1.248963e-07,2.206773e-07,3.258743e-07,4.357631e-07,7.509362e-07,8.059502e-07,1.410634e-06,1.568474e-06,2.355011e-06,3.023659e-06,3.773283e-06,5.450948e-06,5.830890e-06,8.725555e-06,9.281291e-06,1.268701e-05,1.504273e-05,1.797541e-05,2.335407e-05,2.487851e-05,3.370762e-05,3.491205e-05,4.479268e-05,5.047281e-05,5.847648e-05,7.082905e-05,7.510829e-05,9.503718e-05,9.678424e-05,1.186051e-04,1.291253e-04,1.461401e-04,1.685953e-04,1.779496e-04,2.143148e-04,2.158678e-04,2.554842e-04,2.715232e-04,3.016694e-04,3.360291e-04,3.530408e-04,4.097241e-04,4.717982e-04,4.928068e-04,5.392937e-04,5.853294e-04,6.121920e-04,6.871953e-04,6.904258e-04,7.738801e-04,7.981620e-04,8.623940e-04,9.178475e-04,9.557629e-04,1.045740e-03,1.053742e-03,1.156049e-03,1.181212e-03,1.262369e-03,1.323534e-03,1.372358e-03,1.471889e-03,1.485646e-03,1.601844e-03,1.625397e-03,1.720547e-03,1.783125e-03,1.841339e-03,1.944109e-03,1.963796e-03,2.087492e-03,2.107370e-03,2.212001e-03,2.271930e-03,2.336902e-03,2.436828e-03,2.461783e-03,2.586242e-03,2.601130e-03,2.709891e-03,2.763944e-03,2.832359e-03,2.924426e-03,2.953292e-03,3.072358e-03,3.081794e-03,3.189245e-03,3.235325e-03,3.303665e-03,3.384368e-03,3.415350e-03,3.524061e-03,3.528345e-03,3.629580e-03,3.666748e-03,3.731715e-03,3.799146e-03,3.830295e-03,3.925177e-03,4.016237e-03,4.044552e-03,4.103375e-03,4.157049e-03,4.186514e-03,4.262511e-03,4.265596e-03,4.340582e-03,4.360842e-03,4.411454e-03,4.452000e-03,4.478208e-03,4.535998e-03,4.540860e-03,4.599436e-03,4.612893e-03,4.653981e-03,4.682785e-03,4.704550e-03,4.745813e-03,4.751208e-03,4.794033e-03,4.802145e-03,4.833110e-03,4.851980e-03,4.868534e-03,4.895540e-03,4.900404e-03,4.928828e-03,4.933063e-03,4.953917e-03,4.964808e-03,4.975785e-03,4.991042e-03,4.994553e-03,5.010340e-03,5.012040e-03,5.023269e-03,5.028085e-03,5.033465e-03,5.039462e-03,5.041051e-03,5.046151e-03,5.046456e-03,5.048889e-03,5.049350e-03,5.049386e-03,5.048424e-03,5.047763e-03,5.044138e-03,5.043953e-03,5.038628e-03,5.036205e-03,5.031346e-03,5.025439e-03,5.022403e-03,5.011906e-03,4.995850e-03,4.977500e-03,4.957079e-03,4.934797e-03,4.910853e-03,4.885436e-03,4.858723e-03,4.830882e-03,4.802067e-03,4.772425e-03,4.742090e-03,4.711190e-03,4.679840e-03,4.648148e-03,4.616212e-03,4.584124e-03,4.551965e-03,4.519812e-03,4.487732e-03,4.455788e-03,4.424036e-03,4.392526e-03,4.361302e-03,4.330404e-03
0.000000e+00,7.631113e-15,6.753997e-14,1.721478e-12,1.464044e-11,3.891448e-11,3.182355e-10,3.431712e-10,1.807648e-09,2.700702e-09,6.876150e-09,1.370208e-08,2.090188e-08,5.024992e-08,5.393803e-08,1.228629e-07,1.474113e-07,2.537091e-07,3.674951e-07,4.840553e-07,8.095386e-07,8.653320e-07,1.464883e-06,1.618134e-06,2.367599e-06,2.990405e-06,3.676898e-06,5.179693e-06,5.514854e-06,8.021310e-06,8.494581e-06,1.135191e-05,1.329241e-05,1.567513e-05,1.996747e-05,2.116845e-05,2.801384e-05,2.893481e-05,3.639294e-05,4.061137e-05,4.648207e-05,5.539619e-05,5.844735e-05,7.244016e-05,7.365129e-05,8.859307e-05,9.568457e-05,1.070163e-04,1.217358e-04,1.277952e-04,1.509876e-04,1.519660e-04,1.766229e-04,1.864507e-04,2.047016e-04,2.251772e-04,2.351948e-04,2.680455e-04,3.031694e-04,3.148720e-04,3.404570e-04,3.653960e-04,3.797754e-04,4.192894e-04,4.209712e-04,4.638733e-04,4.761665e-04,5.082952e-04,5.355959e-04,5.540388e-04,5.971124e-04,6.008970e-04,6.486568e-04,6.602294e-04,6.971022e-04,7.244504e-04,7.460168e-04,7.892799e-04,7.951868e-04,8.444026e-04,8.542333e-04,8.934617e-04,9.188457e-04,9.421700e-04,9.826789e-04,9.903435e-04,1.037810e-03,1.045328e-03,1.084408e-03,1.106423e-03,1.129992e-03,1.165638e-03,1.174428e-03,1.217597e-03,1.222687e-03,1.259395e-03,1.277327e-03,1.299729e-03,1.329358e-03,1.338525e-03,1.375716e-03,1.378621e-03,1.411254e-03,1.424997e-03,1.445099e-03,1.468405e-03,1.477226e-03,1.507617e-03,1.508796e-03,1.536268e-03,1.546156e-03,1.563181e-03,1.580496e-03,1.588370e-03,1.611853e-03,1.633658e-03,1.640286e-03,1.653816e-03,1.665871e-03,1.672366e-03,1.688700e-03,1.689349e-03,1.704813e-03,1.708877e-03,1.718805e-03,1.726515e-03,1.731378e-03,1.741737e-03,1.742585e-03,1.752481e-03,1.754668e-03,1.761124e-03,1.765436e-03,1.768568e-03,1.774173e-03,1.774871e-03,1.780089e-03,1.781008e-03,1.784279e-03,1.786070e-03,1.787496e-03,1.789485e-03,1.789793e-03,1.791225e-03,1.791377e-03,1.791842e-03,1.791864e-03,1.791695e-03,1.791061e-03,1.790834e-03,1.789304e-03,1.789078e-03,1.787151e-03,1.786018e-03,1.784419e-03,1.781981e-03,1.781149e-03,1.777382e-03,1.777060e-03,1.773154e-03,1.771343e-03,1.768503e-03,1.764912e-03,1.763463e-03,1.758067e-03,1.757844e-03,1.752346e-03,1.750212e-03,1.746328e-03,1.742082e-03,1.740043e-03,1.733516e-03,1.724570e-03,1.715299e-03,1.705749e-03,1.695967e-03,1.685993e-03,1.675863e-03,1.665614e-03,1.655275e-03,1.644876e-03,1.634441e-03,1.623994e-03,1.613555e-03,1.603145e-03,1.592779e-03,1.582472e-03,1.572239e-03,1.562091e-03,1.552039e-03,1.542092e-03,1.532258e-03,1.522545e-03,1.512959e-03,1.503504e-03,1.494187e-03
0.000000e+00,6.101316e-11,1.780725e-10,7.855372e-10,1.998115e-09,3.034398e-09,7.359536e-09,7.595705e-09,1.520176e-08,1.797306e-08,2.655442e-08,3.545112e-08,4.234107e-08,6.134086e-08,6.321081e-08,8.965413e-08,9.685456e-08,1.218112e-07,1.422338e-07,1.594355e-07,1.967160e-07,2.020832e-07,2.492828e-07,2.592286e-07,3.005775e-07,3.287187e-07,3.555125e-07,4.041278e-07,4.136177e-07,4.744027e-07,4.843432e-07,5.373592e-07,5.681978e-07,6.019699e-07,6.545030e-07,6.677197e-07,7.341066e-07,7.420929e-07,8.006533e-07,8.298685e-07,8.669150e-07,9.168324e-07,9.324865e-07,9.970071e-07,1.002114e-06,1.060162e-06,1.084980e-06,1.121684e-06,1.164842e-06,1.181351e-06,1.238985e-06,1.241246e-06,1.294448e-06,1.313863e-06,1.347640e-06,1.382478e-06,1.398494e-06,1.446971e-06,1.493056e-06,1.507299e-06,1.536758e-06,1.563488e-06,1.578103e-06,1.615612e-06,1.617129e-06,1.653889e-06,1.663784e-06,1.688444e-06,1.708146e-06,1.720861e-06,1.748859e-06,1.751213e-06,1.779577e-06,1.786097e-06,1.806032e-06,1.820042e-06,1.830657e-06,1.850877e-06,1.853532e-06,1.874737e-06,1.878785e-06,1.894351e-06,1.903946e-06,1.912449e-06,1.926535e-06,1.929107e-06,1.944397e-06,1.946721e-06,1.958390e-06,1.964665e-06,1.971152e-06,1.980521e-06,1.982750e-06,1.993245e-06,1.994433e-06,2.002697e-06,2.006541e-06,2.011163e-06,2.016972e-06,2.018698e-06,2.025353e-06,2.025848e-06,2.031177e-06,2.033285e-06,2.036218e-06,2.039388e-06,2.040521e-06,2.044128e-06,2.044258e-06,2.047079e-06,2.047988e-06,2.049413e-06,2.050665e-06,2.051165e-06,2.052371e-06,2.053064e-06,2.053182e-06,2.053273e-06,2.053167e-06,2.053029e-06,2.052394e-06,2.052359e-06,2.051290e-06,2.050923e-06,2.049847e-06,2.048811e-06,2.048053e-06,2.046111e-06,2.045930e-06,2.043500e-06,2.042874e-06,2.040784e-06,2.039144e-06,2.037799e-06,2.034965e-06,2.034564e-06,2.031095e-06,2.030375e-06,2.027410e-06,2.025413e-06,2.023523e-06,2.020113e-06,2.019449e-06,2.015200e-06,2.014505e-06,2.010791e-06,2.008621e-06,2.006233e-06,2.002488e-06,2.001538e-06,1.996717e-06,1.996130e-06,1.991780e-06,1.989573e-06,1.986736e-06,1.982838e-06,1.981596e-06,1.976367e-06,1.975945e-06,1.971058e-06,1.968914e-06,1.965677e-06,1.961762e-06,1.960231e-06,1.954728e-06,1.954506e-06,1.949173e-06,1.947161e-06,1.943572e-06,1.939741e-06,1.937933e-06,1.932260e-06,1.924728e-06,1.917158e-06,1.909560e-06,1.901944e-06,1.894318e-06,1.886690e-06,1.879069e-06,1.871462e-06,1.863874e-06,1.856312e-06,1.848781e-06,1.841287e-06,1.833834e-06,1.826426e-06,1.819067e-06,1.811760e-06,1.804510e-06,1.797318e-06,1.790188e-06,1.783122e-06,1.776122e-06,1.769190e-06,1.762328e-06,1.755537e-06
0.000000e+00,1.435631e-14,1.291676e-13,3.408836e-12,2.995616e-11,8.110486e-11,6.967431e-10,7.528846e-10,4.175998e-09,6.330535e-09,1.673565e-08,3.441880e-08,5.362685e-08,1.353790e-07,1.459344e-07,3.504890e-07,4.258465e-07,7.623471e-07,1.136003e-06,1.529275e-06,2.667539e-06,2.867328e-06,5.076514e-06,5.656084e-06,8.555566e-06,1.103121e-05,1.381491e-05,2.006753e-05,2.148703e-05,3.233364e-05,3.442158e-05,4.724910e-05,5.615021e-05,6.725977e-05,8.770802e-05,9.351926e-05,1.272996e-04,1.319230e-04,1.699782e-04,1.919511e-04,2.230222e-04,2.712117e-04,2.879685e-04,3.664024e-04,3.733079e-04,4.599341e-04,5.019355e-04,5.701743e-04,6.607851e-04,6.987089e-04,8.470745e-04,8.534426e-04,1.016735e-03,1.083292e-03,1.209057e-03,1.353425e-03,1.425294e-03,1.666561e-03,1.933825e-03,2.024976e-03,2.227889e-03,2.430452e-03,2.549381e-03,2.884234e-03,2.898747e-03,3.276248e-03,3.387005e-03,3.681957e-03,3.938881e-03,4.115757e-03,4.539409e-03,4.577349e-03,5.066254e-03,5.187586e-03,5.581819e-03,5.881885e-03,6.123233e-03,6.620294e-03,6.689528e-03,7.279598e-03,7.400358e-03,7.892208e-03,8.219230e-03,8.526010e-03,9.073722e-03,9.179553e-03,9.851302e-03,9.960365e-03,1.053965e-02,1.087546e-02,1.124292e-02,1.181515e-02,1.195942e-02,1.268739e-02,1.277544e-02,1.342508e-02,1.375228e-02,1.417072e-02,1.474164e-02,1.492255e-02,1.567882e-02,1.573946e-02,1.643782e-02,1.674181e-02,1.719787e-02,1.774483e-02,1.795732e-02,1.871459e-02,1.874482e-02,1.946816e-02,1.973825e-02,2.021654e-02,2.072176e-02,2.095834e-02,2.169224e-02,2.241698e-02,2.264677e-02,2.313138e-02,2.358266e-02,2.383435e-02,2.449749e-02,2.452486e-02,2.520198e-02,2.538906e-02,2.586486e-02,2.625542e-02,2.651271e-02,2.709487e-02,2.714484e-02,2.776063e-02,2.790593e-02,2.835953e-02,2.868736e-02,2.894107e-02,2.943814e-02,2.950485e-02,3.005053e-02,3.015747e-02,3.057785e-02,3.084473e-02,3.108661e-02,3.149951e-02,3.157665e-02,3.204791e-02,3.212157e-02,3.250035e-02,3.271083e-02,3.293397e-02,3.326737e-02,3.334885e-02,3.374509e-02,3.379139e-02,3.412284e-02,3.428324e-02,3.448229e-02,3.474337e-02,3.482366e-02,3.514719e-02,3.517231e-02,3.545317e-02,3.557071e-02,3.574190e-02,3.593929e-02,3.601372e-02,3.626896e-02,3.627883e-02,3.650801e-02,3.659018e-02,3.673124e-02,3.687421e-02,3.693905e-02,3.713185e-02,3.736406e-02,3.757182e-02,3.775612e-02,3.791795e-02,3.805833e-02,3.817825e-02,3.827871e-02,3.836070e-02,3.842518e-02,3.847311e-02,3.850541e-02,3.852301e-02,3.852677e-02,3.851757e-02,3.849623e-02,3.846355e-02,3.842031e-02,3.836724e-02,3.830507e-02,3.823447e-02,3.815611e-02,3.807059e-02,3.797853e-02,3.788048e-02
0.000000e+00,1.654526e-14,1.487024e-13,3.917103e-12,3.436271e-11,9.294592e-11,7.964754e-10,8.605655e-10,4.761470e-09,7.213244e-09,1.903745e-08,3.910078e-08,6.086972e-08,1.533758e-07,1.653084e-07,3.962593e-07,4.812416e-07,8.603004e-07,1.280633e-06,1.722553e-06,2.999612e-06,3.223516e-06,5.695694e-06,6.343335e-06,9.578913e-06,1.233669e-05,1.543333e-05,2.237548e-05,2.394932e-05,3.595359e-05,3.826053e-05,5.241104e-05,6.221050e-05,7.442212e-05,9.685132e-05,1.032156e-04,1.401372e-04,1.451818e-04,1.866336e-04,2.105167e-04,2.442334e-04,2.964110e-04,3.145250e-04,3.991321e-04,4.065680e-04,4.996875e-04,5.447382e-04,6.178065e-04,7.146123e-04,7.550604e-04,9.129502e-04,9.197152e-04,1.092882e-03,1.163305e-03,1.296144e-03,1.448282e-03,1.523887e-03,1.777105e-03,2.056624e-03,2.151734e-03,2.363085e-03,2.573576e-03,2.696940e-03,3.043454e-03,3.058446e-03,3.447663e-03,3.561595e-03,3.864451e-03,4.127628e-03,4.308478e-03,4.740599e-03,4.779227e-03,5.275997e-03,5.399001e-03,5.797922e-03,6.100811e-03,6.343976e-03,6.843538e-03,6.912990e-03,7.503664e-03,7.624275e-03,8.114581e-03,8.439759e-03,8.744227e-03,9.286433e-03,9.390999e-03,1.005323e-02,1.016050e-02,1.072919e-02,1.105801e-02,1.141711e-02,1.197487e-02,1.211522e-02,1.282170e-02,1.290695e-02,1.353476e-02,1.385012e-02,1.425261e-02,1.480030e-02,1.497349e-02,1.569569e-02,1.575347e-02,1.641751e-02,1.670576e-02,1.713732e-02,1.765347e-02,1.785357e-02,1.856475e-02,1.859307e-02,1.926943e-02,1.952125e-02,1.996624e-02,2.043494e-02,2.065393e-02,2.133128e-02,2.199719e-02,2.220769e-02,2.265063e-02,2.306185e-02,2.329066e-02,2.389167e-02,2.391642e-02,2.452714e-02,2.469535e-02,2.512213e-02,2.547132e-02,2.570079e-02,2.621827e-02,2.626258e-02,2.680704e-02,2.693510e-02,2.733381e-02,2.762096e-02,2.784258e-02,2.827520e-02,2.833310e-02,2.880520e-02,2.889740e-02,2.925877e-02,2.948729e-02,2.969376e-02,3.004479e-02,3.011017e-02,3.050805e-02,3.057000e-02,3.088749e-02,3.106311e-02,3.124864e-02,3.152450e-02,3.159167e-02,3.191681e-02,3.195464e-02,3.222431e-02,3.235410e-02,3.251446e-02,3.272354e-02,3.278755e-02,3.304393e-02,3.306373e-02,3.328395e-02,3.337547e-02,3.350800e-02,3.365963e-02,3.371645e-02,3.390972e-02,3.391714e-02,3.408822e-02,3.414895e-02,3.425238e-02,3.435604e-02,3.440263e-02,3.453941e-02,3.470009e-02,3.483909e-02,3.495743e-02,3.505613e-02,3.513620e-02,3.519863e-02,3.524440e-02,3.527445e-02,3.528972e-02,3.529112e-02,3.527952e-02,3.525576e-02,3.522068e-02,3.517505e-02,3.511964e-02,3.505517e-02,3.498234e-02,3.490180e-02,3.481419e-02,3.472011e-02,3.462013e-02,3.451479e-02,3.440460e-02,3.429006e-02
0.000000e+00,5.690388e-11,2.304714e-10,1.485356e-09,4.528139e-09,7.353894e-09,2.006168e-08,2.078101e-08,4.469651e-08,5.366318e-08,8.197690e-08,1.119801e-07,1.355634e-07,2.018121e-07,2.084136e-07,3.029767e-07,3.290496e-07,4.201824e-07,4.954002e-07,5.590538e-07,6.975988e-07,7.175913e-07,8.937237e-07,9.308943e-07,1.085585e-06,1.190990e-06,1.291435e-06,1.473891e-06,1.509539e-06,1.738108e-06,1.775528e-06,1.975288e-06,2.091634e-06,2.219173e-06,2.417818e-06,2.467844e-06,2.719411e-06,2.749707e-06,2.972057e-06,3.083116e-06,3.224067e-06,3.414193e-06,3.473863e-06,3.720025e-06,3.739522e-06,3.961301e-06,4.056196e-06,4.196613e-06,4.361833e-06,4.425060e-06,4.645908e-06,4.654575e-06,4.858579e-06,4.933052e-06,5.062643e-06,5.196334e-06,5.257802e-06,5.443874e-06,5.620776e-06,5.675448e-06,5.788516e-06,5.891095e-06,5.947173e-06,6.091066e-06,6.096885e-06,6.237843e-06,6.275773e-06,6.370274e-06,6.445746e-06,6.494436e-06,6.601603e-06,6.610609e-06,6.719089e-06,6.744014e-06,6.820182e-06,6.873683e-06,6.914199e-06,6.991329e-06,7.001452e-06,7.082255e-06,7.097668e-06,7.156912e-06,7.193406e-06,7.225727e-06,7.279231e-06,7.288992e-06,7.346994e-06,7.355804e-06,7.400007e-06,7.423759e-06,7.448297e-06,7.483700e-06,7.492119e-06,7.531718e-06,7.536197e-06,7.567327e-06,7.581790e-06,7.599171e-06,7.620986e-06,7.627463e-06,7.652405e-06,7.654261e-06,7.674190e-06,7.682061e-06,7.693001e-06,7.704803e-06,7.709014e-06,7.722393e-06,7.722875e-06,7.733294e-06,7.736641e-06,7.741867e-06,7.746439e-06,7.748252e-06,7.752582e-06,7.754984e-06,7.755365e-06,7.755576e-06,7.755058e-06,7.754472e-06,7.751915e-06,7.751778e-06,7.747596e-06,7.746171e-06,7.742021e-06,7.738045e-06,7.735143e-06,7.727738e-06,7.727047e-06,7.717816e-06,7.715439e-06,7.707523e-06,7.701323e-06,7.696243e-06,7.685552e-06,7.684042e-06,7.670985e-06,7.668277e-06,7.657133e-06,7.649636e-06,7.642544e-06,7.629759e-06,7.627271e-06,7.611367e-06,7.608766e-06,7.594878e-06,7.586770e-06,7.577852e-06,7.563873e-06,7.560331e-06,7.542356e-06,7.540170e-06,7.523966e-06,7.515752e-06,7.505196e-06,7.490699e-06,7.486082e-06,7.466656e-06,7.465089e-06,7.446948e-06,7.438992e-06,7.426987e-06,7.412474e-06,7.406801e-06,7.386414e-06,7.385595e-06,7.365852e-06,7.358412e-06,7.345138e-06,7.330976e-06,7.324292e-06,7.303335e-06,7.275535e-06,7.247616e-06,7.219617e-06,7.191572e-06,7.163515e-06,7.135474e-06,7.107478e-06,7.079551e-06,7.051718e-06,7.024000e-06,6.996416e-06,6.968984e-06,6.941721e-06,6.914643e-06,6.887762e-06,6.861092e-06,6.834643e-06,6.808427e-06,6.782453e-06,6.756728e-06,6.731261e-06,6.706057e-06,6.681124e-06,6.656466e-06
0.000000e+00,8.366791e-11,2.982296e-10,1.642460e-09,4.644696e-09,7.346798e-09,1.926422e-08,1.993571e-08,4.236287e-08,5.086044e-08,7.808458e-08,1.075700e-07,1.311538e-07,1.988006e-07,2.056187e-07,3.037853e-07,3.308324e-07,4.246987e-07,5.011399e-07,5.650387e-07,7.017008e-07,7.211631e-07,8.900708e-07,9.251698e-07,1.069395e-06,1.166094e-06,1.257157e-06,1.420089e-06,1.451573e-06,1.650968e-06,1.683226e-06,1.853739e-06,1.951816e-06,2.058356e-06,2.222409e-06,2.263381e-06,2.467490e-06,2.491863e-06,2.669488e-06,2.757421e-06,2.868319e-06,3.016749e-06,3.063076e-06,3.253000e-06,3.267966e-06,3.437472e-06,3.509620e-06,3.616001e-06,3.740650e-06,3.788217e-06,3.953851e-06,3.960337e-06,4.112731e-06,4.168255e-06,4.264768e-06,4.364227e-06,4.409930e-06,4.548228e-06,4.679742e-06,4.720408e-06,4.804571e-06,4.881017e-06,4.922854e-06,5.030394e-06,5.034750e-06,5.140429e-06,5.168930e-06,5.240079e-06,5.297056e-06,5.333895e-06,5.415224e-06,5.422076e-06,5.504826e-06,5.523900e-06,5.582347e-06,5.623551e-06,5.654844e-06,5.714644e-06,5.722516e-06,5.785562e-06,5.797633e-06,5.844176e-06,5.872966e-06,5.898546e-06,5.941073e-06,5.948857e-06,5.995288e-06,6.002369e-06,6.038014e-06,6.057255e-06,6.077201e-06,6.106114e-06,6.113014e-06,6.145609e-06,6.149312e-06,6.175138e-06,6.187196e-06,6.201745e-06,6.220100e-06,6.225572e-06,6.246753e-06,6.248338e-06,6.265419e-06,6.272208e-06,6.281693e-06,6.291996e-06,6.295694e-06,6.307538e-06,6.307969e-06,6.317334e-06,6.320380e-06,6.325188e-06,6.329470e-06,6.331200e-06,6.335466e-06,6.338079e-06,6.338581e-06,6.339128e-06,6.339017e-06,6.338696e-06,6.336965e-06,6.336865e-06,6.333712e-06,6.332603e-06,6.329311e-06,6.326100e-06,6.323732e-06,6.317616e-06,6.317042e-06,6.309306e-06,6.307300e-06,6.300585e-06,6.295293e-06,6.290937e-06,6.281726e-06,6.280420e-06,6.269085e-06,6.266725e-06,6.256984e-06,6.250405e-06,6.244166e-06,6.232877e-06,6.230676e-06,6.216558e-06,6.214244e-06,6.201855e-06,6.194602e-06,6.186607e-06,6.174041e-06,6.170851e-06,6.154625e-06,6.152648e-06,6.137962e-06,6.130501e-06,6.120896e-06,6.107674e-06,6.103457e-06,6.085676e-06,6.084239e-06,6.067580e-06,6.060261e-06,6.049198e-06,6.035799e-06,6.030554e-06,6.011673e-06,6.010913e-06,5.992578e-06,5.985656e-06,5.973291e-06,5.960077e-06,5.953833e-06,5.934223e-06,5.908138e-06,5.881863e-06,5.855436e-06,5.828892e-06,5.802264e-06,5.775583e-06,5.748878e-06,5.722174e-06,5.695497e-06,5.668868e-06,5.642310e-06,5.615842e-06,5.589482e-06,5.563246e-06,5.537150e-06,5.511208e-06,5.485433e-06,5.459838e-06,5.434432e-06,5.409227e-06,5.384230e-06,5.359451e-06,5.334897e-06,5.310574e-06
0.000000e+00,1.171818e-10,3.340550e-10,1.435564e-09,3.604437e-09,5.446987e-09,1.310706e-08,1.352502e-08,2.701423e-08,3.195091e-08,4.733429e-08,6.345132e-08,7.605436e-08,1.113458e-07,1.148601e-07,1.652638e-07,1.791925e-07,2.279807e-07,2.683016e-07,3.023829e-07,3.761326e-07,3.867035e-07,4.788039e-07,4.979805e-07,5.767433e-07,6.294393e-07,6.789342e-07,7.671107e-07,7.840878e-07,8.911206e-07,9.083554e-07,9.990834e-07,1.050981e-06,1.107119e-06,1.193070e-06,1.214442e-06,1.320334e-06,1.332913e-06,1.424140e-06,1.469001e-06,1.525278e-06,1.600043e-06,1.623239e-06,1.717592e-06,1.724973e-06,1.807971e-06,1.842946e-06,1.894100e-06,1.953359e-06,1.975765e-06,2.052825e-06,2.055810e-06,2.125197e-06,2.150096e-06,2.192853e-06,2.236174e-06,2.255813e-06,2.314140e-06,2.367928e-06,2.384200e-06,2.417299e-06,2.446644e-06,2.462397e-06,2.501823e-06,2.503385e-06,2.540436e-06,2.550129e-06,2.573731e-06,2.591983e-06,2.603457e-06,2.627815e-06,2.629802e-06,2.652954e-06,2.658056e-06,2.673098e-06,2.683133e-06,2.690416e-06,2.703459e-06,2.705085e-06,2.717274e-06,2.719429e-06,2.727148e-06,2.731420e-06,2.734864e-06,2.739787e-06,2.740571e-06,2.744413e-06,2.744864e-06,2.746524e-06,2.746960e-06,2.747031e-06,2.746364e-06,2.746056e-06,2.743711e-06,2.743343e-06,2.740104e-06,2.738143e-06,2.735334e-06,2.730990e-06,2.729497e-06,2.722679e-06,2.722094e-06,2.714964e-06,2.711644e-06,2.706429e-06,2.699817e-06,2.697146e-06,2.687182e-06,2.686771e-06,2.676601e-06,2.672652e-06,2.665460e-06,2.657593e-06,2.653815e-06,2.641717e-06,2.629212e-06,2.625132e-06,2.616345e-06,2.607940e-06,2.603157e-06,2.590231e-06,2.589687e-06,2.575969e-06,2.572088e-06,2.562036e-06,2.553586e-06,2.547919e-06,2.534794e-06,2.533647e-06,2.519245e-06,2.515772e-06,2.504739e-06,2.496577e-06,2.490149e-06,2.477259e-06,2.475498e-06,2.460804e-06,2.457862e-06,2.446086e-06,2.438428e-06,2.431359e-06,2.418994e-06,2.416640e-06,2.401941e-06,2.399592e-06,2.387275e-06,2.380251e-06,2.372655e-06,2.361000e-06,2.358092e-06,2.343594e-06,2.341860e-06,2.329172e-06,2.322852e-06,2.314833e-06,2.303997e-06,2.300586e-06,2.286436e-06,2.285309e-06,2.272391e-06,2.266803e-06,2.258456e-06,2.248493e-06,2.244635e-06,2.230935e-06,2.230389e-06,2.217358e-06,2.212501e-06,2.203908e-06,2.194837e-06,2.190589e-06,2.177404e-06,2.160207e-06,2.143253e-06,2.126545e-06,2.110086e-06,2.093878e-06,2.077924e-06,2.062224e-06,2.046779e-06,2.031590e-06,2.016654e-06,2.001973e-06,1.987544e-06,1.973367e-06,1.959439e-06,1.945759e-06,1.932324e-06,1.919131e-06,1.906179e-06,1.893464e-06,1.880984e-06,1.868735e-06,1.856714e-06,1.844918e-06,1.833344e-06
0.000000e+00,1.294645e-10,4.674873e-10,2.616772e-09,7.459932e-09,1.183233e-08,3.111128e-08,3.219527e-08,6.817822e-08,8.169118e-08,1.245435e-07,1.702787e-07,2.064452e-07,3.088430e-07,3.190961e-07,4.664962e-07,5.072172e-07,6.494178e-07,7.663417e-07,8.648139e-07,1.077322e-06,1.107767e-06,1.373524e-06,1.429049e-06,1.658093e-06,1.812356e-06,1.958065e-06,2.219702e-06,2.270383e-06,2.592205e-06,2.644399e-06,2.920876e-06,3.080339e-06,3.253929e-06,3.522002e-06,3.589108e-06,3.924391e-06,3.964545e-06,4.257997e-06,4.403848e-06,4.588390e-06,4.836527e-06,4.914263e-06,5.234533e-06,5.259885e-06,5.548308e-06,5.671833e-06,5.854871e-06,6.070815e-06,6.153668e-06,6.444263e-06,6.455711e-06,6.726336e-06,6.825751e-06,6.999666e-06,7.180458e-06,7.264106e-06,7.519577e-06,7.766056e-06,7.843032e-06,8.003563e-06,8.150886e-06,8.232159e-06,8.443307e-06,8.451930e-06,8.662988e-06,8.720541e-06,8.865465e-06,8.982892e-06,9.059507e-06,9.230715e-06,9.245276e-06,9.422940e-06,9.464394e-06,9.592679e-06,9.684338e-06,9.754674e-06,9.890974e-06,9.909114e-06,1.005619e-05,1.008474e-05,1.019609e-05,1.026607e-05,1.032902e-05,1.043543e-05,1.045516e-05,1.057472e-05,1.059325e-05,1.068788e-05,1.073998e-05,1.079483e-05,1.087606e-05,1.089577e-05,1.099089e-05,1.100192e-05,1.108036e-05,1.111799e-05,1.116438e-05,1.122469e-05,1.124311e-05,1.131675e-05,1.132242e-05,1.138545e-05,1.141160e-05,1.144940e-05,1.149259e-05,1.150876e-05,1.156369e-05,1.156580e-05,1.161435e-05,1.163158e-05,1.166090e-05,1.169029e-05,1.170349e-05,1.174227e-05,1.177738e-05,1.178787e-05,1.180897e-05,1.182740e-05,1.183717e-05,1.186118e-05,1.186211e-05,1.188394e-05,1.188950e-05,1.190276e-05,1.191267e-05,1.191871e-05,1.193096e-05,1.193191e-05,1.194247e-05,1.194463e-05,1.195051e-05,1.195395e-05,1.195613e-05,1.195916e-05,1.195944e-05,1.196054e-05,1.196051e-05,1.195954e-05,1.195822e-05,1.195652e-05,1.195251e-05,1.195159e-05,1.194483e-05,1.194359e-05,1.193634e-05,1.193166e-05,1.192618e-05,1.191692e-05,1.191445e-05,1.190123e-05,1.189955e-05,1.188660e-05,1.187972e-05,1.187061e-05,1.185761e-05,1.185336e-05,1.183490e-05,1.183337e-05,1.181530e-05,1.180716e-05,1.179463e-05,1.177911e-05,1.177294e-05,1.175030e-05,1.174938e-05,1.172677e-05,1.171809e-05,1.170240e-05,1.168537e-05,1.167724e-05,1.165134e-05,1.161611e-05,1.157979e-05,1.154248e-05,1.150428e-05,1.146528e-05,1.142558e-05,1.138524e-05,1.134436e-05,1.130300e-05,1.126124e-05,1.121913e-05,1.117675e-05,1.113415e-05,1.109139e-05,1.104851e-05,1.100557e-05,1.096262e-05,1.091969e-05,1.087683e-05,1.083407e-05,1.079145e-05,1.074900e-05,1.070676e-05,1.066474e-05
0.000000e+00,8.002624e-13,5.809599e-12,9.877983e-11,5.855271e-10,1.281104e-09,6.418400e-09,6.787527e-09,2.244458e-08,2.965608e-08,5.584643e-08,8.786900e-08,1.153405e-07,2.003773e-07,2.093657e-07,3.461356e-07,3.861956e-07,5.333831e-07,6.628673e-07,7.778547e-07,1.044357e-06,1.084560e-06,1.456216e-06,1.538416e-06,1.893269e-06,2.145994e-06,2.394394e-06,2.863055e-06,2.957101e-06,3.578165e-06,3.682708e-06,4.253858e-06,4.596387e-06,4.980011e-06,5.594192e-06,5.752031e-06,6.564917e-06,6.664958e-06,7.413293e-06,7.796365e-06,8.291472e-06,8.975188e-06,9.193542e-06,1.011348e-05,1.018766e-05,1.104523e-05,1.141991e-05,1.198287e-05,1.265839e-05,1.292066e-05,1.385316e-05,1.389027e-05,1.477529e-05,1.510381e-05,1.568241e-05,1.628852e-05,1.657033e-05,1.743536e-05,1.827430e-05,1.853680e-05,1.908448e-05,1.958687e-05,1.986371e-05,2.058105e-05,2.061027e-05,2.132290e-05,2.151622e-05,2.200071e-05,2.239046e-05,2.264320e-05,2.320295e-05,2.325020e-05,2.382183e-05,2.395379e-05,2.435845e-05,2.464387e-05,2.486063e-05,2.527466e-05,2.532913e-05,2.576485e-05,2.584815e-05,2.616881e-05,2.636669e-05,2.654212e-05,2.683287e-05,2.688595e-05,2.720151e-05,2.724946e-05,2.749007e-05,2.761935e-05,2.775288e-05,2.794543e-05,2.799119e-05,2.820627e-05,2.823057e-05,2.839933e-05,2.847762e-05,2.857159e-05,2.868931e-05,2.872420e-05,2.885831e-05,2.886827e-05,2.897500e-05,2.901704e-05,2.907532e-05,2.913799e-05,2.916028e-05,2.923084e-05,2.923338e-05,2.928790e-05,2.930531e-05,2.933235e-05,2.935579e-05,2.936500e-05,2.938664e-05,2.939801e-05,2.939959e-05,2.939980e-05,2.939623e-05,2.939268e-05,2.937805e-05,2.937728e-05,2.935417e-05,2.934640e-05,2.932391e-05,2.930255e-05,2.928703e-05,2.924766e-05,2.924400e-05,2.919529e-05,2.918280e-05,2.914133e-05,2.910897e-05,2.908252e-05,2.902706e-05,2.901925e-05,2.895186e-05,2.893792e-05,2.888070e-05,2.884231e-05,2.880608e-05,2.874094e-05,2.872829e-05,2.864761e-05,2.863445e-05,2.856430e-05,2.852344e-05,2.847859e-05,2.840845e-05,2.839071e-05,2.830088e-05,2.828998e-05,2.820929e-05,2.816849e-05,2.811613e-05,2.804439e-05,2.802158e-05,2.792579e-05,2.791808e-05,2.782892e-05,2.778991e-05,2.773112e-05,2.766019e-05,2.763250e-05,2.753321e-05,2.752923e-05,2.743335e-05,2.739729e-05,2.733304e-05,2.726462e-05,2.723237e-05,2.713145e-05,2.699798e-05,2.686440e-05,2.673088e-05,2.659758e-05,2.646465e-05,2.633221e-05,2.620037e-05,2.606925e-05,2.593895e-05,2.580954e-05,2.568111e-05,2.555374e-05,2.542748e-05,2.530238e-05,2.517851e-05,2.505591e-05,2.493462e-05,2.481466e-05,2.469608e-05,2.457890e-05,2.446314e-05,2.434882e-05,2.423596e-05,2.412457e-05
0.000000e+00,4.353882e-12,9.978623e-12,3.438516e-11,7.875129e-11,1.156716e-10,2.705455e-10,2.791525e-10,5.675852e-10,6.779905e-10,1.033985e-09,1.416076e-09,1.713487e-09,2.509954e-09,2.585510e-09,3.594339e-09,3.851101e-09,4.692141e-09,5.333813e-09,5.848225e-09,6.897766e-09,7.042588e-09,8.260231e-09,8.505402e-09,9.488309e-09,1.012709e-08,1.071504e-08,1.173644e-08,1.192950e-08,1.312176e-08,1.330986e-08,1.428305e-08,1.482724e-08,1.540597e-08,1.627265e-08,1.648459e-08,1.751439e-08,1.763452e-08,1.849224e-08,1.890551e-08,1.941625e-08,2.008194e-08,2.028559e-08,2.110034e-08,2.116319e-08,2.186134e-08,2.215098e-08,2.256997e-08,2.304873e-08,2.322800e-08,2.383752e-08,2.386092e-08,2.440080e-08,2.459273e-08,2.492026e-08,2.524971e-08,2.539835e-08,2.583754e-08,2.624022e-08,2.636175e-08,2.660873e-08,2.682769e-08,2.694533e-08,2.724041e-08,2.725214e-08,2.753119e-08,2.760462e-08,2.778441e-08,2.792468e-08,2.801357e-08,2.820461e-08,2.822037e-08,2.840637e-08,2.844808e-08,2.857305e-08,2.865845e-08,2.872176e-08,2.883877e-08,2.885377e-08,2.897028e-08,2.899182e-08,2.907237e-08,2.912009e-08,2.916105e-08,2.922589e-08,2.923729e-08,2.930195e-08,2.931128e-08,2.935585e-08,2.937812e-08,2.939974e-08,2.942813e-08,2.943433e-08,2.946027e-08,2.946284e-08,2.947817e-08,2.948364e-08,2.948859e-08,2.949182e-08,2.949204e-08,2.948903e-08,2.948852e-08,2.948000e-08,2.947480e-08,2.946537e-08,2.945160e-08,2.944555e-08,2.942088e-08,2.941980e-08,2.939173e-08,2.938019e-08,2.935840e-08,2.933350e-08,2.932119e-08,2.928039e-08,2.923624e-08,2.922145e-08,2.918900e-08,2.915725e-08,2.913889e-08,2.908829e-08,2.908613e-08,2.903091e-08,2.901504e-08,2.897342e-08,2.893792e-08,2.891384e-08,2.885732e-08,2.885233e-08,2.878904e-08,2.877360e-08,2.872412e-08,2.868711e-08,2.865771e-08,2.859813e-08,2.858993e-08,2.852090e-08,2.850695e-08,2.845073e-08,2.841384e-08,2.837954e-08,2.831902e-08,2.830742e-08,2.823447e-08,2.822272e-08,2.816077e-08,2.812515e-08,2.808640e-08,2.802649e-08,2.801146e-08,2.793600e-08,2.792692e-08,2.786011e-08,2.782659e-08,2.778384e-08,2.772566e-08,2.770726e-08,2.763043e-08,2.762427e-08,2.755339e-08,2.752254e-08,2.747622e-08,2.742058e-08,2.739894e-08,2.732161e-08,2.731852e-08,2.724428e-08,2.721645e-08,2.716698e-08,2.711446e-08,2.708975e-08,2.701263e-08,2.691106e-08,2.680981e-08,2.670895e-08,2.660854e-08,2.650864e-08,2.640931e-08,2.631059e-08,2.621253e-08,2.611517e-08,2.601855e-08,2.592270e-08,2.582765e-08,2.573343e-08,2.564008e-08,2.554760e-08,2.545603e-08,2.536537e-08,2.527566e-08,2.518690e-08,2.509911e-08,2.501229e-08,2.492647e-08,2.484164e-08,2.475781e-08
0.000000e+00,4.891628e-11,1.742561e-10,9.581950e-10,2.704415e-09,4.271999e-09,1.114955e-08,1.153550e-08,2.434263e-08,2.915653e-08,4.445245e-08,6.082167e-08,7.377968e-08,1.103359e-07,1.139726e-07,1.654703e-07,1.794072e-07,2.271200e-07,2.653929e-07,2.970919e-07,3.642338e-07,3.737373e-07,4.557261e-07,4.726630e-07,5.419207e-07,5.880541e-07,6.312735e-07,7.080399e-07,7.227877e-07,8.155159e-07,8.304050e-07,9.085741e-07,9.531196e-07,1.001158e-06,1.074403e-06,1.092557e-06,1.182161e-06,1.192767e-06,1.269461e-06,1.307035e-06,1.354050e-06,1.416325e-06,1.435609e-06,1.513904e-06,1.520021e-06,1.588772e-06,1.617735e-06,1.660112e-06,1.709264e-06,1.727876e-06,1.792056e-06,1.794549e-06,1.852680e-06,1.873644e-06,1.909803e-06,1.946684e-06,1.963499e-06,2.013859e-06,2.060987e-06,2.075403e-06,2.104992e-06,2.131570e-06,2.145991e-06,2.182632e-06,2.184102e-06,2.219446e-06,2.228863e-06,2.252144e-06,2.270542e-06,2.282315e-06,2.307940e-06,2.310075e-06,2.335541e-06,2.341324e-06,2.358825e-06,2.370951e-06,2.380035e-06,2.397069e-06,2.399278e-06,2.416654e-06,2.419914e-06,2.432262e-06,2.439711e-06,2.446197e-06,2.456676e-06,2.458549e-06,2.469406e-06,2.471009e-06,2.478850e-06,2.482905e-06,2.486961e-06,2.492542e-06,2.493816e-06,2.499487e-06,2.500091e-06,2.504044e-06,2.505713e-06,2.507553e-06,2.509558e-06,2.510077e-06,2.511677e-06,2.511767e-06,2.512409e-06,2.512471e-06,2.512328e-06,2.511796e-06,2.511487e-06,2.509933e-06,2.509857e-06,2.507714e-06,2.506761e-06,2.504874e-06,2.502611e-06,2.501456e-06,2.497499e-06,2.493042e-06,2.491516e-06,2.488120e-06,2.484741e-06,2.482767e-06,2.477252e-06,2.477015e-06,2.470896e-06,2.469120e-06,2.464437e-06,2.460411e-06,2.457667e-06,2.451185e-06,2.450611e-06,2.443293e-06,2.441501e-06,2.435737e-06,2.431410e-06,2.427965e-06,2.420962e-06,2.419996e-06,2.411851e-06,2.410202e-06,2.403548e-06,2.399173e-06,2.395103e-06,2.387913e-06,2.386534e-06,2.377856e-06,2.376458e-06,2.369082e-06,2.364841e-06,2.360228e-06,2.353094e-06,2.351304e-06,2.342324e-06,2.341243e-06,2.333298e-06,2.329315e-06,2.324237e-06,2.317334e-06,2.315151e-06,2.306050e-06,2.305322e-06,2.296942e-06,2.293298e-06,2.287834e-06,2.281282e-06,2.278736e-06,2.269653e-06,2.269290e-06,2.260592e-06,2.257337e-06,2.251560e-06,2.245438e-06,2.242563e-06,2.233605e-06,2.221849e-06,2.210182e-06,2.198612e-06,2.187148e-06,2.175798e-06,2.164568e-06,2.153465e-06,2.142493e-06,2.131658e-06,2.120963e-06,2.110413e-06,2.100010e-06,2.089757e-06,2.079655e-06,2.069707e-06,2.059914e-06,2.050276e-06,2.040796e-06,2.031472e-06,2.022305e-06,2.013295e-06,2.004442e-06,1.995745e-06,1.987203e-06
0.000000e+00,1.833867e-12,4.247239e-12,1.478582e-11,3.381467e-11,4.940317e-11,1.120747e-10,1.154344e-10,2.218754e-10,2.600634e-10,3.769843e-10,4.965586e-10,5.882460e-10,8.379011e-10,8.622713e-10,1.204623e-09,1.297461e-09,1.619579e-09,1.884750e-09,2.109849e-09,2.604325e-09,2.676301e-09,3.317724e-09,3.454744e-09,4.030704e-09,4.427959e-09,4.809650e-09,5.509476e-09,5.647023e-09,6.533778e-09,6.679585e-09,7.459995e-09,7.915619e-09,8.415573e-09,9.194669e-09,9.390871e-09,1.037716e-08,1.049588e-08,1.136683e-08,1.180167e-08,1.235348e-08,1.309800e-08,1.333178e-08,1.429739e-08,1.437398e-08,1.524682e-08,1.562142e-08,1.617729e-08,1.683425e-08,1.708664e-08,1.797319e-08,1.800816e-08,1.883573e-08,1.914019e-08,1.967339e-08,2.022849e-08,2.048561e-08,2.127208e-08,2.203269e-08,2.227063e-08,2.276750e-08,2.322433e-08,2.347671e-08,2.413375e-08,2.416063e-08,2.481964e-08,2.499977e-08,2.545422e-08,2.582344e-08,2.606486e-08,2.660599e-08,2.665213e-08,2.721659e-08,2.734874e-08,2.775886e-08,2.805305e-08,2.827952e-08,2.872033e-08,2.877921e-08,2.925853e-08,2.935200e-08,2.971810e-08,2.994947e-08,3.015853e-08,3.051414e-08,3.058042e-08,3.098437e-08,3.104737e-08,3.137095e-08,3.155051e-08,3.174074e-08,3.202486e-08,3.209430e-08,3.243216e-08,3.247167e-08,3.275486e-08,3.289218e-08,3.306291e-08,3.328755e-08,3.335683e-08,3.363708e-08,3.365893e-08,3.390415e-08,3.400740e-08,3.415851e-08,3.433401e-08,3.440058e-08,3.463081e-08,3.463977e-08,3.484961e-08,3.492565e-08,3.505738e-08,3.519257e-08,3.525452e-08,3.544141e-08,3.561842e-08,3.567303e-08,3.578589e-08,3.588822e-08,3.594417e-08,3.608777e-08,3.609358e-08,3.623446e-08,3.627242e-08,3.636710e-08,3.644286e-08,3.649181e-08,3.659978e-08,3.660887e-08,3.671855e-08,3.674381e-08,3.682114e-08,3.687558e-08,3.691688e-08,3.699567e-08,3.700603e-08,3.708882e-08,3.710464e-08,3.716549e-08,3.720301e-08,3.723626e-08,3.729131e-08,3.730135e-08,3.736097e-08,3.737002e-08,3.741532e-08,3.743959e-08,3.746459e-08,3.750048e-08,3.750897e-08,3.754864e-08,3.755310e-08,3.758378e-08,3.759785e-08,3.761455e-08,3.763512e-08,3.764112e-08,3.766364e-08,3.766527e-08,3.768226e-08,3.768865e-08,3.769713e-08,3.770559e-08,3.770839e-08,3.771617e-08,3.771641e-08,3.772061e-08,3.772142e-08,3.772184e-08,3.772089e-08,3.771996e-08,3.771511e-08,3.770434e-08,3.768883e-08,3.766881e-08,3.764452e-08,3.761617e-08,3.758397e-08,3.754812e-08,3.750881e-08,3.746621e-08,3.742051e-08,3.737187e-08,3.732044e-08,3.726637e-08,3.720981e-08,3.715089e-08,3.708976e-08,3.702652e-08,3.696130e-08,3.689422e-08,3.682539e-08,3.675490e-08,3.668287e-08,3.660938e-08,3.653453e-08
0.000000e+00,7.954577e-15,6.940561e-14,1.717100e-12,1.420362e-11,3.717435e-11,2.918837e-10,3.142269e-10,1.587945e-09,2.345469e-09,5.800680e-09,1.128714e-08,1.695063e-08,3.933671e-08,4.209627e-08,9.238772e-08,1.098807e-07,1.840223e-07,2.613518e-07,3.390328e-07,5.502577e-07,5.858118e-07,9.592488e-07,1.052644e-06,1.500325e-06,1.863047e-06,2.255025e-06,3.089999e-06,3.272528e-06,4.602766e-06,4.847880e-06,6.293622e-06,7.246200e-06,8.388059e-06,1.037830e-05,1.092150e-05,1.391969e-05,1.431152e-05,1.739721e-05,1.908028e-05,2.135669e-05,2.468289e-05,2.578875e-05,3.067248e-05,3.108181e-05,3.597649e-05,3.820699e-05,4.166036e-05,4.596133e-05,4.767624e-05,5.397072e-05,5.422749e-05,6.048661e-05,6.287516e-05,6.716474e-05,7.176816e-05,7.394562e-05,8.077085e-05,8.758445e-05,8.975364e-05,9.433383e-05,9.859721e-05,1.009707e-04,1.071957e-04,1.074514e-04,1.137378e-04,1.154586e-04,1.197970e-04,1.233117e-04,1.256014e-04,1.306974e-04,1.311290e-04,1.363628e-04,1.375738e-04,1.412906e-04,1.439134e-04,1.459046e-04,1.497024e-04,1.502012e-04,1.541802e-04,1.549381e-04,1.578447e-04,1.596278e-04,1.612005e-04,1.637866e-04,1.642556e-04,1.670198e-04,1.674358e-04,1.695045e-04,1.706015e-04,1.717223e-04,1.733132e-04,1.736864e-04,1.754107e-04,1.756021e-04,1.769093e-04,1.775009e-04,1.781965e-04,1.790420e-04,1.792863e-04,1.801927e-04,1.802577e-04,1.809292e-04,1.811792e-04,1.815088e-04,1.818361e-04,1.819441e-04,1.822471e-04,1.822566e-04,1.824290e-04,1.824669e-04,1.825005e-04,1.824912e-04,1.824717e-04,1.823520e-04,1.821502e-04,1.820696e-04,1.818744e-04,1.816625e-04,1.815321e-04,1.811474e-04,1.811303e-04,1.806754e-04,1.805394e-04,1.801733e-04,1.798517e-04,1.796295e-04,1.790965e-04,1.790488e-04,1.784359e-04,1.782844e-04,1.777948e-04,1.774249e-04,1.771293e-04,1.765264e-04,1.764430e-04,1.757389e-04,1.755962e-04,1.750198e-04,1.746408e-04,1.742884e-04,1.736661e-04,1.735469e-04,1.727974e-04,1.726769e-04,1.720420e-04,1.716777e-04,1.712822e-04,1.706723e-04,1.705197e-04,1.697558e-04,1.696641e-04,1.689919e-04,1.686560e-04,1.682290e-04,1.676506e-04,1.674682e-04,1.667105e-04,1.666500e-04,1.659565e-04,1.656562e-04,1.652072e-04,1.646708e-04,1.644631e-04,1.637247e-04,1.636953e-04,1.629928e-04,1.627309e-04,1.622676e-04,1.617786e-04,1.615497e-04,1.608393e-04,1.599138e-04,1.590026e-04,1.581064e-04,1.572255e-04,1.563603e-04,1.555109e-04,1.546777e-04,1.538608e-04,1.530602e-04,1.522761e-04,1.515083e-04,1.507569e-04,1.500218e-04,1.493029e-04,1.486001e-04,1.479132e-04,1.472421e-04,1.465866e-04,1.459465e-04,1.453216e-04,1.447117e-04,1.441165e-04,1.435359e-04,1.429696e-04
0.000000e+00,9.878138e-14,8.208528e-13,1.835237e-11,1.383914e-10,3.442442e-10,2.370399e-09,2.538285e-09,1.126970e-08,1.607474e-08,3.644233e-08,6.615652e-08,9.501122e-08,1.999201e-07,2.121964e-07,4.219128e-07,4.905181e-07,7.659463e-07,1.034708e-06,1.291339e-06,1.941995e-06,2.046233e-06,3.075325e-06,3.317506e-06,4.416141e-06,5.246294e-06,6.096783e-06,7.784509e-06,8.135118e-06,1.053901e-05,1.095759e-05,1.330719e-05,1.476283e-05,1.643028e-05,1.917349e-05,1.989190e-05,2.366969e-05,2.414301e-05,2.773622e-05,2.960896e-05,3.205992e-05,3.549657e-05,3.660592e-05,4.133695e-05,4.172227e-05,4.621425e-05,4.819732e-05,5.119847e-05,5.483132e-05,5.625049e-05,6.133226e-05,6.153563e-05,6.640748e-05,6.822634e-05,7.144222e-05,7.482672e-05,7.640538e-05,8.126906e-05,8.600875e-05,8.749574e-05,9.060343e-05,9.345968e-05,9.503556e-05,9.912430e-05,9.929097e-05,1.033587e-04,1.044629e-04,1.072309e-04,1.094580e-04,1.109021e-04,1.140998e-04,1.143697e-04,1.176329e-04,1.183858e-04,1.206929e-04,1.223187e-04,1.235524e-04,1.259060e-04,1.262154e-04,1.286870e-04,1.291588e-04,1.309731e-04,1.320907e-04,1.330802e-04,1.347170e-04,1.350153e-04,1.367858e-04,1.370543e-04,1.383992e-04,1.391200e-04,1.398629e-04,1.409313e-04,1.411846e-04,1.423718e-04,1.425056e-04,1.434317e-04,1.438597e-04,1.443716e-04,1.450099e-04,1.451984e-04,1.459188e-04,1.459720e-04,1.465391e-04,1.467607e-04,1.470657e-04,1.473900e-04,1.475042e-04,1.478604e-04,1.478730e-04,1.481396e-04,1.482222e-04,1.483468e-04,1.484490e-04,1.484868e-04,1.485641e-04,1.485830e-04,1.485774e-04,1.485476e-04,1.484981e-04,1.484615e-04,1.483347e-04,1.483285e-04,1.481519e-04,1.480951e-04,1.479349e-04,1.477865e-04,1.476804e-04,1.474155e-04,1.473912e-04,1.470700e-04,1.469884e-04,1.467192e-04,1.465108e-04,1.463413e-04,1.459879e-04,1.459382e-04,1.455122e-04,1.454244e-04,1.450651e-04,1.448249e-04,1.445987e-04,1.441932e-04,1.441147e-04,1.436146e-04,1.435333e-04,1.431001e-04,1.428483e-04,1.425724e-04,1.421416e-04,1.420328e-04,1.414826e-04,1.414159e-04,1.409229e-04,1.406739e-04,1.403548e-04,1.399180e-04,1.397792e-04,1.391972e-04,1.391504e-04,1.386095e-04,1.383731e-04,1.380171e-04,1.375880e-04,1.374206e-04,1.368208e-04,1.367968e-04,1.362184e-04,1.360010e-04,1.356139e-04,1.352020e-04,1.350080e-04,1.344012e-04,1.335997e-04,1.327985e-04,1.319988e-04,1.312012e-04,1.304067e-04,1.296160e-04,1.288298e-04,1.280486e-04,1.272729e-04,1.265034e-04,1.257403e-04,1.249841e-04,1.242352e-04,1.234938e-04,1.227602e-04,1.220346e-04,1.213174e-04,1.206086e-04,1.199083e-04,1.192168e-04,1.185342e-04,1.178604e-04,1.171956e-04,1.165399e-04
0.000000e+00,3.756033e-14,3.377486e-13,8.905472e-12,7.817621e-11,2.115151e-10,1.813095e-09,1.958983e-09,1.083293e-08,1.640554e-08,4.324420e-08,8.868818e-08,1.379003e-07,3.463426e-07,3.731724e-07,8.909582e-07,1.081003e-06,1.926995e-06,2.863305e-06,3.846740e-06,6.687144e-06,7.185172e-06,1.268843e-05,1.413184e-05,2.135503e-05,2.752731e-05,3.447449e-05,5.010696e-05,5.366128e-05,8.088228e-05,8.613415e-05,1.184762e-04,1.409901e-04,1.691641e-04,2.212147e-04,2.360490e-04,3.226060e-04,3.344930e-04,4.326606e-04,4.895860e-04,5.703573e-04,6.962059e-04,7.401183e-04,9.465933e-04,9.648407e-04,1.194601e-03,1.306535e-03,1.489068e-03,1.732638e-03,1.834955e-03,2.237193e-03,2.254523e-03,2.700602e-03,2.883306e-03,3.229829e-03,3.629556e-03,3.829273e-03,4.503019e-03,5.254779e-03,5.512369e-03,6.087840e-03,6.664984e-03,7.005011e-03,7.966762e-03,8.008587e-03,9.100320e-03,9.421977e-03,1.028139e-02,1.103318e-02,1.155238e-02,1.280114e-02,1.291331e-02,1.436359e-02,1.472483e-02,1.590205e-02,1.680147e-02,1.752695e-02,1.902657e-02,1.923602e-02,2.102647e-02,2.139404e-02,2.289502e-02,2.389631e-02,2.483795e-02,2.652448e-02,2.685113e-02,2.893006e-02,2.926848e-02,3.106993e-02,3.211724e-02,3.326566e-02,3.505888e-02,3.551191e-02,3.780320e-02,3.808091e-02,4.013388e-02,4.117038e-02,4.249821e-02,4.431405e-02,4.489041e-02,4.730468e-02,4.749861e-02,4.973525e-02,5.071076e-02,5.217640e-02,5.393743e-02,5.462252e-02,5.706811e-02,5.716585e-02,5.950784e-02,6.038370e-02,6.193653e-02,6.357919e-02,6.434922e-02,6.674116e-02,6.910783e-02,6.985912e-02,7.144495e-02,7.292333e-02,7.374850e-02,7.592485e-02,7.601473e-02,7.824015e-02,7.885550e-02,8.042152e-02,8.170798e-02,8.255592e-02,8.447576e-02,8.464065e-02,8.667333e-02,8.715319e-02,8.865181e-02,8.973537e-02,9.057421e-02,9.221824e-02,9.243891e-02,9.424454e-02,9.459847e-02,9.598994e-02,9.687344e-02,9.767421e-02,9.904123e-02,9.929664e-02,1.008568e-01,1.011006e-01,1.023543e-01,1.030508e-01,1.037890e-01,1.048918e-01,1.051612e-01,1.064709e-01,1.066239e-01,1.077186e-01,1.082481e-01,1.089048e-01,1.097656e-01,1.100302e-01,1.110956e-01,1.111782e-01,1.121017e-01,1.124878e-01,1.130497e-01,1.136968e-01,1.139405e-01,1.147754e-01,1.148077e-01,1.155556e-01,1.158233e-01,1.162822e-01,1.167465e-01,1.169568e-01,1.175806e-01,1.183287e-01,1.189942e-01,1.195805e-01,1.200909e-01,1.205291e-01,1.208983e-01,1.212020e-01,1.214436e-01,1.216265e-01,1.217539e-01,1.218290e-01,1.218551e-01,1.218351e-01,1.217719e-01,1.216685e-01,1.215276e-01,1.213518e-01,1.211437e-01,1.209058e-01,1.206403e-01,1.203495e-01,1.200354e-01,1.197002e-01,1.193458e-01
0.000000e+00,3.277821e-14,2.942424e-13,7.730324e-12,6.763349e-11,1.826523e-10,1.558182e-09,1.683231e-09,9.263909e-09,1.401142e-08,3.681580e-08,7.531363e-08,1.169154e-07,2.926228e-07,3.152021e-07,7.501402e-07,9.095404e-07,1.618444e-06,2.402531e-06,3.226062e-06,5.606280e-06,6.023966e-06,1.064703e-05,1.186181e-05,1.795329e-05,2.317273e-05,2.906042e-05,4.234858e-05,4.537616e-05,6.862024e-05,7.311420e-05,1.008360e-04,1.201693e-04,1.443907e-04,1.891896e-04,2.019646e-04,2.765287e-04,2.867690e-04,3.713124e-04,4.203042e-04,4.897624e-04,5.978323e-04,6.354942e-04,8.122380e-04,8.278305e-04,1.023780e-03,1.118989e-03,1.273902e-03,1.479970e-03,1.566322e-03,1.904629e-03,1.919165e-03,2.292233e-03,2.444457e-03,2.732304e-03,3.063006e-03,3.227726e-03,3.781052e-03,4.394469e-03,4.603757e-03,5.069764e-03,5.535075e-03,5.808302e-03,6.577661e-03,6.611008e-03,7.478361e-03,7.732819e-03,8.410386e-03,9.000487e-03,9.406661e-03,1.037925e-02,1.046633e-02,1.158809e-02,1.186638e-02,1.277028e-02,1.345793e-02,1.401080e-02,1.514882e-02,1.530725e-02,1.665688e-02,1.693292e-02,1.805664e-02,1.880325e-02,1.950325e-02,2.075204e-02,2.099319e-02,2.252275e-02,2.277090e-02,2.408807e-02,2.485097e-02,2.568520e-02,2.698307e-02,2.731006e-02,2.895857e-02,2.915778e-02,3.062658e-02,3.136563e-02,3.230999e-02,3.359717e-02,3.400472e-02,3.570676e-02,3.584312e-02,3.741218e-02,3.809443e-02,3.911716e-02,4.034238e-02,4.081799e-02,4.251114e-02,4.257865e-02,4.419319e-02,4.479538e-02,4.586091e-02,4.698521e-02,4.751124e-02,4.914132e-02,5.074846e-02,5.125748e-02,5.233015e-02,5.332802e-02,5.388412e-02,5.534787e-02,5.540823e-02,5.690060e-02,5.731254e-02,5.835950e-02,5.921813e-02,5.978340e-02,6.106131e-02,6.117095e-02,6.252098e-02,6.283930e-02,6.383251e-02,6.454983e-02,6.510470e-02,6.619116e-02,6.633689e-02,6.752855e-02,6.776198e-02,6.867932e-02,6.926148e-02,6.978896e-02,7.068920e-02,7.085737e-02,7.188456e-02,7.204509e-02,7.287066e-02,7.332945e-02,7.381589e-02,7.454286e-02,7.472057e-02,7.558512e-02,7.568619e-02,7.641003e-02,7.676057e-02,7.719586e-02,7.776733e-02,7.794324e-02,7.865286e-02,7.870802e-02,7.932546e-02,7.958431e-02,7.996183e-02,8.039805e-02,8.056280e-02,8.112922e-02,8.115117e-02,8.166198e-02,8.184572e-02,8.216201e-02,8.248380e-02,8.263022e-02,8.306756e-02,8.359922e-02,8.408097e-02,8.451505e-02,8.490367e-02,8.524902e-02,8.555328e-02,8.581858e-02,8.604702e-02,8.624065e-02,8.640145e-02,8.653137e-02,8.663229e-02,8.670600e-02,8.675426e-02,8.677877e-02,8.678110e-02,8.676281e-02,8.672539e-02,8.667022e-02,8.659866e-02,8.651198e-02,8.641139e-02,8.629806e-02,8.617307e-02
0.000000e+00,9.952421e-12,2.294534e-11,7.959074e-11,1.823584e-10,2.672729e-10,6.164103e-10,6.354918e-10,1.259168e-09,1.491454e-09,2.225083e-09,2.997617e-09,3.595057e-09,5.203898e-09,5.358233e-09,7.463883e-09,8.015142e-09,9.869459e-09,1.133619e-08,1.254510e-08,1.510303e-08,1.546558e-08,1.860536e-08,1.925722e-08,2.193665e-08,2.373473e-08,2.542947e-08,2.846524e-08,2.905231e-08,3.277328e-08,3.337564e-08,3.656115e-08,3.839431e-08,4.038629e-08,4.345478e-08,4.422137e-08,4.804185e-08,4.849827e-08,5.182620e-08,5.347501e-08,5.555599e-08,5.834454e-08,5.921579e-08,6.279303e-08,6.307533e-08,6.627772e-08,6.764388e-08,6.966217e-08,7.203365e-08,7.294072e-08,7.610947e-08,7.623389e-08,7.916596e-08,8.023855e-08,8.210900e-08,8.404531e-08,8.493837e-08,8.765472e-08,9.025933e-08,9.106949e-08,9.275401e-08,9.429394e-08,9.514100e-08,9.733355e-08,9.742283e-08,9.960227e-08,1.001946e-07,1.016822e-07,1.028837e-07,1.036658e-07,1.054081e-07,1.055560e-07,1.073560e-07,1.077750e-07,1.090691e-07,1.099915e-07,1.106982e-07,1.120649e-07,1.122465e-07,1.137171e-07,1.140022e-07,1.151130e-07,1.158102e-07,1.164370e-07,1.174957e-07,1.176920e-07,1.188808e-07,1.190651e-07,1.200062e-07,1.205245e-07,1.210706e-07,1.218800e-07,1.220766e-07,1.230268e-07,1.231371e-07,1.239234e-07,1.243015e-07,1.247687e-07,1.253782e-07,1.255649e-07,1.263142e-07,1.263722e-07,1.270185e-07,1.272882e-07,1.276800e-07,1.281306e-07,1.283003e-07,1.288814e-07,1.289039e-07,1.294251e-07,1.296119e-07,1.299329e-07,1.302586e-07,1.304065e-07,1.308474e-07,1.312572e-07,1.313820e-07,1.316373e-07,1.318655e-07,1.319889e-07,1.323011e-07,1.323135e-07,1.326123e-07,1.326915e-07,1.328865e-07,1.330397e-07,1.331373e-07,1.333482e-07,1.333657e-07,1.335728e-07,1.336195e-07,1.337597e-07,1.338559e-07,1.339273e-07,1.340595e-07,1.340765e-07,1.342083e-07,1.342326e-07,1.343234e-07,1.343770e-07,1.344228e-07,1.344947e-07,1.345072e-07,1.345773e-07,1.345872e-07,1.346339e-07,1.346564e-07,1.346776e-07,1.347037e-07,1.347091e-07,1.347291e-07,1.347307e-07,1.347381e-07,1.347387e-07,1.347367e-07,1.347290e-07,1.347254e-07,1.347049e-07,1.347029e-07,1.346756e-07,1.346615e-07,1.346379e-07,1.346059e-07,1.345923e-07,1.345394e-07,1.345371e-07,1.344794e-07,1.344562e-07,1.344128e-07,1.343640e-07,1.343400e-07,1.342614e-07,1.341492e-07,1.340281e-07,1.338990e-07,1.337625e-07,1.336192e-07,1.334697e-07,1.333145e-07,1.331543e-07,1.329895e-07,1.328206e-07,1.326481e-07,1.324722e-07,1.322935e-07,1.321123e-07,1.319289e-07,1.317437e-07,1.315569e-07,1.313689e-07,1.311799e-07,1.309901e-07,1.307999e-07,1.306093e-07,1.304186e-07,1.302281e-07
0.000000e+00,1.038567e-11,4.061979e-11,2.507882e-10,7.499028e-10,1.210359e-09,3.276328e-09,3.393330e-09,7.294069e-09,8.762303e-09,1.341686e-08,1.837289e-08,2.227900e-08,3.325728e-08,3.434925e-08,4.990631e-08,5.416533e-08,6.896811e-08,8.112336e-08,9.139301e-08,1.137612e-07,1.169947e-07,1.455766e-07,1.516323e-07,1.769259e-07,1.942433e-07,2.108047e-07,2.410248e-07,2.469484e-07,2.850696e-07,2.913324e-07,3.248655e-07,3.444716e-07,3.660271e-07,3.997336e-07,4.082482e-07,4.512334e-07,4.564296e-07,4.947042e-07,5.139181e-07,5.384036e-07,5.716247e-07,5.821001e-07,6.255881e-07,6.290526e-07,6.686889e-07,6.857857e-07,7.112495e-07,7.414857e-07,7.531416e-07,7.942593e-07,7.958867e-07,8.345171e-07,8.487860e-07,8.738476e-07,9.000358e-07,9.121992e-07,9.495340e-07,9.858259e-07,9.972162e-07,1.021059e-06,1.043048e-06,1.055224e-06,1.087019e-06,1.088322e-06,1.120357e-06,1.129137e-06,1.151337e-06,1.169425e-06,1.181277e-06,1.207917e-06,1.210193e-06,1.238102e-06,1.244653e-06,1.265026e-06,1.279680e-06,1.290985e-06,1.313050e-06,1.316003e-06,1.340102e-06,1.344814e-06,1.363307e-06,1.375028e-06,1.385642e-06,1.403748e-06,1.407131e-06,1.427798e-06,1.431030e-06,1.447667e-06,1.456927e-06,1.466762e-06,1.481496e-06,1.485106e-06,1.502723e-06,1.504789e-06,1.519636e-06,1.526859e-06,1.535865e-06,1.547757e-06,1.551435e-06,1.566365e-06,1.567532e-06,1.580677e-06,1.586233e-06,1.594390e-06,1.603904e-06,1.607525e-06,1.620101e-06,1.620593e-06,1.632137e-06,1.636341e-06,1.643650e-06,1.651190e-06,1.654659e-06,1.665180e-06,1.675231e-06,1.678350e-06,1.684827e-06,1.690737e-06,1.693984e-06,1.702376e-06,1.702717e-06,1.711042e-06,1.713301e-06,1.718971e-06,1.723546e-06,1.726520e-06,1.733140e-06,1.733701e-06,1.740527e-06,1.742114e-06,1.747011e-06,1.750497e-06,1.753165e-06,1.758317e-06,1.759001e-06,1.764529e-06,1.765599e-06,1.769761e-06,1.772368e-06,1.774707e-06,1.778649e-06,1.779379e-06,1.783784e-06,1.784465e-06,1.787934e-06,1.789837e-06,1.791837e-06,1.794787e-06,1.795502e-06,1.798937e-06,1.799335e-06,1.802152e-06,1.803499e-06,1.805154e-06,1.807298e-06,1.807951e-06,1.810551e-06,1.810750e-06,1.812960e-06,1.813872e-06,1.815186e-06,1.816678e-06,1.817235e-06,1.819114e-06,1.819186e-06,1.820829e-06,1.821408e-06,1.822387e-06,1.823359e-06,1.823793e-06,1.825053e-06,1.826502e-06,1.827718e-06,1.828712e-06,1.829497e-06,1.830082e-06,1.830477e-06,1.830692e-06,1.830737e-06,1.830620e-06,1.830349e-06,1.829933e-06,1.829379e-06,1.828694e-06,1.827886e-06,1.826962e-06,1.825926e-06,1.824787e-06,1.823549e-06,1.822217e-06,1.820799e-06,1.819297e-06,1.817718e-06,1.816066e-06,1.814345e-06
0.000000e+00,1.064062e-14,9.436969e-14,2.416209e-12,2.064148e-11,5.501293e-11,4.534492e-10,4.891535e-10,2.601767e-09,3.898982e-09,1.001225e-08,2.011154e-08,3.085787e-08,7.529762e-08,8.093718e-08,1.878762e-07,2.265234e-07,3.963231e-07,5.814934e-07,7.739706e-07,1.322483e-06,1.417813e-06,2.459643e-06,2.730049e-06,4.069657e-06,5.199418e-06,6.457299e-06,9.243151e-06,9.868959e-06,1.458267e-05,1.547761e-05,2.090029e-05,2.459497e-05,2.913779e-05,3.732498e-05,3.961468e-05,5.264304e-05,5.439211e-05,6.851695e-05,7.647281e-05,8.750288e-05,1.041569e-04,1.098313e-04,1.356899e-04,1.379156e-04,1.652182e-04,1.780786e-04,1.985043e-04,2.248188e-04,2.355830e-04,2.764354e-04,2.781472e-04,3.209904e-04,3.379148e-04,3.691269e-04,4.038216e-04,4.206771e-04,4.754311e-04,5.331420e-04,5.521891e-04,5.935307e-04,6.334450e-04,6.562926e-04,7.184748e-04,7.211022e-04,7.876200e-04,8.065037e-04,8.554972e-04,8.967295e-04,9.243816e-04,9.883432e-04,9.939225e-04,1.063775e-03,1.080549e-03,1.133604e-03,1.172577e-03,1.203088e-03,1.263704e-03,1.271920e-03,1.339814e-03,1.353257e-03,1.406506e-03,1.440629e-03,1.471752e-03,1.525279e-03,1.535331e-03,1.597047e-03,1.606736e-03,1.656726e-03,1.684605e-03,1.714222e-03,1.758560e-03,1.769407e-03,1.822180e-03,1.828346e-03,1.872459e-03,1.893775e-03,1.920183e-03,1.954719e-03,1.965311e-03,2.007821e-03,2.011108e-03,2.047705e-03,2.062925e-03,2.084972e-03,2.110196e-03,2.119644e-03,2.151757e-03,2.152988e-03,2.181354e-03,2.191404e-03,2.208492e-03,2.225573e-03,2.233233e-03,2.255648e-03,2.275812e-03,2.281802e-03,2.293805e-03,2.304221e-03,2.309712e-03,2.323101e-03,2.323620e-03,2.335616e-03,2.338645e-03,2.345792e-03,2.351061e-03,2.354237e-03,2.360555e-03,2.361041e-03,2.366293e-03,2.367333e-03,2.370082e-03,2.371598e-03,2.372495e-03,2.373546e-03,2.373615e-03,2.373525e-03,2.373369e-03,2.372306e-03,2.371251e-03,2.370034e-03,2.367366e-03,2.366783e-03,2.362626e-03,2.361882e-03,2.357631e-03,2.354954e-03,2.351862e-03,2.346734e-03,2.345384e-03,2.338255e-03,2.337358e-03,2.330531e-03,2.326959e-03,2.322267e-03,2.315657e-03,2.313514e-03,2.304319e-03,2.303565e-03,2.294727e-03,2.290788e-03,2.284780e-03,2.277422e-03,2.274520e-03,2.263982e-03,2.263555e-03,2.253203e-03,2.249269e-03,2.242214e-03,2.234638e-03,2.231046e-03,2.219729e-03,2.204604e-03,2.189319e-03,2.173926e-03,2.158469e-03,2.142990e-03,2.127526e-03,2.112110e-03,2.096772e-03,2.081537e-03,2.066430e-03,2.051470e-03,2.036676e-03,2.022063e-03,2.007644e-03,1.993432e-03,1.979436e-03,1.965666e-03,1.952126e-03,1.938824e-03,1.925764e-03,1.912950e-03,1.900383e-03,1.888066e-03,1.875999e-03
0.000000e+00,1.991373e-12,1.236506e-11,1.560467e-10,7.273121e-10,1.412319e-09,5.411804e-09,5.667670e-09,1.518569e-08,1.911086e-08,3.231134e-08,4.726370e-08,5.953366e-08,9.585150e-08,9.959819e-08,1.554357e-07,1.714952e-07,2.296894e-07,2.799140e-07,3.237298e-07,4.221364e-07,4.365733e-07,5.646867e-07,5.917094e-07,7.030696e-07,7.774075e-07,8.467622e-07,9.686076e-07,9.917661e-07,1.135230e-06,1.157903e-06,1.275240e-06,1.340828e-06,1.410531e-06,1.514795e-06,1.540269e-06,1.663906e-06,1.678314e-06,1.781100e-06,1.830571e-06,1.891664e-06,1.971218e-06,1.995538e-06,2.092766e-06,2.100261e-06,2.183477e-06,2.217978e-06,2.267867e-06,2.324854e-06,2.346188e-06,2.418726e-06,2.421512e-06,2.485793e-06,2.508660e-06,2.547713e-06,2.587050e-06,2.604820e-06,2.657444e-06,2.705905e-06,2.720584e-06,2.750512e-06,2.777174e-06,2.791558e-06,2.827868e-06,2.829319e-06,2.864051e-06,2.873266e-06,2.895992e-06,2.913910e-06,2.925363e-06,2.950288e-06,2.952366e-06,2.977184e-06,2.982835e-06,2.999988e-06,3.011936e-06,3.020931e-06,3.037934e-06,3.040154e-06,3.057785e-06,3.061130e-06,3.073940e-06,3.081793e-06,3.088725e-06,3.100157e-06,3.102237e-06,3.114564e-06,3.116432e-06,3.125786e-06,3.130802e-06,3.135976e-06,3.143430e-06,3.145201e-06,3.153523e-06,3.154463e-06,3.160997e-06,3.164031e-06,3.167676e-06,3.172249e-06,3.173606e-06,3.178832e-06,3.179221e-06,3.183394e-06,3.185042e-06,3.187330e-06,3.189796e-06,3.190674e-06,3.193458e-06,3.193558e-06,3.195713e-06,3.196400e-06,3.197465e-06,3.198384e-06,3.198742e-06,3.199567e-06,3.199963e-06,3.200003e-06,3.199952e-06,3.199741e-06,3.199554e-06,3.198824e-06,3.198787e-06,3.197670e-06,3.197296e-06,3.196218e-06,3.195194e-06,3.194449e-06,3.192553e-06,3.192376e-06,3.190015e-06,3.189407e-06,3.187379e-06,3.185787e-06,3.184479e-06,3.181721e-06,3.181330e-06,3.177941e-06,3.177236e-06,3.174325e-06,3.172358e-06,3.170492e-06,3.167111e-06,3.166451e-06,3.162212e-06,3.161516e-06,3.157784e-06,3.155595e-06,3.153177e-06,3.149367e-06,3.148398e-06,3.143455e-06,3.142852e-06,3.138357e-06,3.136066e-06,3.133109e-06,3.129026e-06,3.127721e-06,3.122197e-06,3.121749e-06,3.116545e-06,3.114249e-06,3.110770e-06,3.106540e-06,3.104879e-06,3.098878e-06,3.098636e-06,3.092772e-06,3.090549e-06,3.086566e-06,3.082292e-06,3.080266e-06,3.073876e-06,3.065311e-06,3.056609e-06,3.047779e-06,3.038830e-06,3.029772e-06,3.020613e-06,3.011361e-06,3.002024e-06,2.992610e-06,2.983124e-06,2.973574e-06,2.963967e-06,2.954308e-06,2.944603e-06,2.934858e-06,2.925078e-06,2.915268e-06,2.905433e-06,2.895577e-06,2.885705e-06,2.875821e-06,2.865929e-06,2.856032e-06,2.846135e-06
0.000000e+00,6.714466e-12,3.482769e-11,3.227296e-10,1.215098e-09,2.149060e-09,6.893185e-09,7.179010e-09,1.734872e-08,2.143084e-08,3.508371e-08,5.062927e-08,6.350398e-08,1.020237e-07,1.060065e-07,1.645378e-07,1.808866e-07,2.376841e-07,2.835724e-07,3.214650e-07,4.007545e-07,4.118415e-07,5.059370e-07,5.250264e-07,6.018969e-07,6.520990e-07,6.984568e-07,7.793190e-07,7.946506e-07,8.896685e-07,9.047139e-07,9.828069e-07,1.026662e-06,1.073454e-06,1.143826e-06,1.161091e-06,1.245297e-06,1.255154e-06,1.325746e-06,1.359891e-06,1.402208e-06,1.457561e-06,1.474539e-06,1.542669e-06,1.547938e-06,1.606598e-06,1.631003e-06,1.666377e-06,1.706901e-06,1.722102e-06,1.773899e-06,1.775891e-06,1.821920e-06,1.838315e-06,1.866333e-06,1.894564e-06,1.907317e-06,1.945053e-06,1.979728e-06,1.990207e-06,2.011522e-06,2.030441e-06,2.040614e-06,2.066159e-06,2.067175e-06,2.091370e-06,2.097742e-06,2.113355e-06,2.125547e-06,2.133279e-06,2.149909e-06,2.151282e-06,2.167498e-06,2.171138e-06,2.182052e-06,2.189519e-06,2.195057e-06,2.205307e-06,2.206622e-06,2.216846e-06,2.218738e-06,2.225825e-06,2.230031e-06,2.233646e-06,2.239381e-06,2.240391e-06,2.246133e-06,2.246964e-06,2.250945e-06,2.252944e-06,2.254893e-06,2.257468e-06,2.258035e-06,2.260430e-06,2.260670e-06,2.262130e-06,2.262670e-06,2.263184e-06,2.263581e-06,2.263637e-06,2.263533e-06,2.263501e-06,2.262910e-06,2.262524e-06,2.261805e-06,2.260731e-06,2.260254e-06,2.258286e-06,2.258200e-06,2.255934e-06,2.254998e-06,2.253223e-06,2.251189e-06,2.250181e-06,2.246831e-06,2.243196e-06,2.241976e-06,2.239297e-06,2.236672e-06,2.235154e-06,2.230964e-06,2.230785e-06,2.226208e-06,2.224891e-06,2.221439e-06,2.218491e-06,2.216493e-06,2.211798e-06,2.211383e-06,2.206125e-06,2.204842e-06,2.200729e-06,2.197651e-06,2.195207e-06,2.190253e-06,2.189571e-06,2.183831e-06,2.182672e-06,2.177997e-06,2.174929e-06,2.172077e-06,2.167045e-06,2.166081e-06,2.160015e-06,2.159039e-06,2.153888e-06,2.150928e-06,2.147707e-06,2.142728e-06,2.141479e-06,2.135209e-06,2.134454e-06,2.128903e-06,2.126119e-06,2.122568e-06,2.117736e-06,2.116208e-06,2.109828e-06,2.109317e-06,2.103433e-06,2.100872e-06,2.097027e-06,2.092411e-06,2.090615e-06,2.084199e-06,2.083943e-06,2.077785e-06,2.075476e-06,2.071374e-06,2.067019e-06,2.064971e-06,2.058578e-06,2.050160e-06,2.041771e-06,2.033417e-06,2.025102e-06,2.016832e-06,2.008610e-06,2.000441e-06,1.992329e-06,1.984276e-06,1.976286e-06,1.968361e-06,1.960504e-06,1.952718e-06,1.945004e-06,1.937364e-06,1.929799e-06,1.922312e-06,1.914904e-06,1.907575e-06,1.900328e-06,1.893161e-06,1.886077e-06,1.879076e-06,1.872159e-06
0.000000e+00,6.116165e-12,3.812458e-11,4.851375e-10,2.278916e-09,4.444718e-09,1.722944e-08,1.805262e-08,4.894065e-08,6.179050e-08,1.053372e-07,1.551398e-07,1.963055e-07,3.193507e-07,3.321272e-07,5.237509e-07,5.791422e-07,7.801638e-07,9.534521e-07,1.104175e-06,1.440999e-06,1.490258e-06,1.926976e-06,2.019245e-06,2.401439e-06,2.659205e-06,2.902260e-06,3.336571e-06,3.420296e-06,3.948288e-06,4.033278e-06,4.480265e-06,4.735501e-06,5.011109e-06,5.431931e-06,5.536326e-06,6.051948e-06,6.113007e-06,6.554492e-06,6.770679e-06,7.040966e-06,7.398383e-06,7.508871e-06,7.956202e-06,7.991050e-06,8.381419e-06,8.545056e-06,8.783432e-06,9.058112e-06,9.161551e-06,9.515445e-06,9.529096e-06,9.845094e-06,9.957872e-06,1.015074e-05,1.034509e-05,1.043283e-05,1.069201e-05,1.092902e-05,1.100032e-05,1.114471e-05,1.127200e-05,1.134002e-05,1.150924e-05,1.151592e-05,1.167341e-05,1.171434e-05,1.181349e-05,1.188961e-05,1.193717e-05,1.203731e-05,1.204543e-05,1.213922e-05,1.215968e-05,1.221948e-05,1.225884e-05,1.228708e-05,1.233678e-05,1.234288e-05,1.238770e-05,1.239541e-05,1.242231e-05,1.243651e-05,1.244743e-05,1.246172e-05,1.246377e-05,1.247196e-05,1.247256e-05,1.247264e-05,1.247046e-05,1.246637e-05,1.245672e-05,1.245370e-05,1.243514e-05,1.243254e-05,1.241117e-05,1.239902e-05,1.238222e-05,1.235716e-05,1.234873e-05,1.231108e-05,1.230790e-05,1.226964e-05,1.225208e-05,1.222475e-05,1.219047e-05,1.217673e-05,1.212586e-05,1.212377e-05,1.207244e-05,1.205263e-05,1.201671e-05,1.197763e-05,1.195893e-05,1.189930e-05,1.183804e-05,1.181812e-05,1.177534e-05,1.173454e-05,1.171138e-05,1.164894e-05,1.164632e-05,1.158033e-05,1.156170e-05,1.151354e-05,1.147314e-05,1.144609e-05,1.138355e-05,1.137810e-05,1.130968e-05,1.129321e-05,1.124094e-05,1.120234e-05,1.117197e-05,1.111117e-05,1.110287e-05,1.103372e-05,1.101989e-05,1.096460e-05,1.092868e-05,1.089557e-05,1.083770e-05,1.082669e-05,1.075804e-05,1.074708e-05,1.068966e-05,1.065695e-05,1.062160e-05,1.056742e-05,1.055392e-05,1.048664e-05,1.047859e-05,1.041981e-05,1.039055e-05,1.035346e-05,1.030337e-05,1.028762e-05,1.022232e-05,1.021712e-05,1.015759e-05,1.013187e-05,1.009345e-05,1.004765e-05,1.002992e-05,9.967018e-06,9.964515e-06,9.904756e-06,9.882502e-06,9.843152e-06,9.801643e-06,9.782217e-06,9.721961e-06,9.643480e-06,9.566214e-06,9.490178e-06,9.415379e-06,9.341825e-06,9.269518e-06,9.198458e-06,9.128644e-06,9.060071e-06,8.992734e-06,8.926625e-06,8.861734e-06,8.798051e-06,8.735564e-06,8.674262e-06,8.614129e-06,8.555152e-06,8.497315e-06,8.440603e-06,8.385000e-06,8.330489e-06,8.277052e-06,8.224674e-06,8.173336e-06
0.000000e+00,5.436822e-14,4.897508e-13,1.295976e-11,1.141482e-10,3.094210e-10,2.665556e-09,2.880631e-09,1.601157e-08,2.428290e-08,6.424381e-08,1.321574e-07,2.059064e-07,5.195512e-07,5.600250e-07,1.343860e-06,1.632503e-06,2.921452e-06,4.353559e-06,5.862280e-06,1.023827e-05,1.100776e-05,1.954233e-05,2.178860e-05,3.306553e-05,4.273975e-05,5.366119e-05,7.833469e-05,8.396033e-05,1.271944e-04,1.355618e-04,1.872364e-04,2.233341e-04,2.686270e-04,3.525946e-04,3.765846e-04,5.169979e-04,5.363322e-04,6.963999e-04,7.895064e-04,9.219251e-04,1.128876e-03,1.201249e-03,1.542511e-03,1.572740e-03,1.954226e-03,2.140600e-03,2.445181e-03,2.852755e-03,3.024324e-03,3.700648e-03,3.729849e-03,4.483065e-03,4.792394e-03,5.380289e-03,6.060276e-03,6.400709e-03,7.552275e-03,8.842388e-03,9.285607e-03,1.027779e-02,1.127551e-02,1.186450e-02,1.353488e-02,1.360767e-02,1.551159e-02,1.607397e-02,1.757960e-02,1.890018e-02,1.981403e-02,2.201784e-02,2.221620e-02,2.478641e-02,2.542820e-02,2.752389e-02,2.912933e-02,3.042688e-02,3.311622e-02,3.349258e-02,3.671726e-02,3.738088e-02,4.009623e-02,4.191245e-02,4.362392e-02,4.669748e-02,4.729397e-02,5.109923e-02,5.172011e-02,5.503188e-02,5.696235e-02,5.908349e-02,6.240439e-02,6.324506e-02,6.750715e-02,6.802489e-02,7.185993e-02,7.380128e-02,7.629326e-02,7.971008e-02,8.079675e-02,8.535987e-02,8.572718e-02,8.997198e-02,9.182815e-02,9.462243e-02,9.798854e-02,9.930061e-02,1.039960e-01,1.041841e-01,1.086983e-01,1.103909e-01,1.133974e-01,1.165858e-01,1.180833e-01,1.227465e-01,1.273778e-01,1.288516e-01,1.319683e-01,1.348809e-01,1.365096e-01,1.408155e-01,1.409937e-01,1.454129e-01,1.466376e-01,1.497601e-01,1.523312e-01,1.540288e-01,1.578813e-01,1.582128e-01,1.623064e-01,1.632748e-01,1.663043e-01,1.684997e-01,1.702021e-01,1.735458e-01,1.739954e-01,1.776805e-01,1.784043e-01,1.812542e-01,1.830676e-01,1.847137e-01,1.875297e-01,1.880567e-01,1.912812e-01,1.917860e-01,1.943857e-01,1.958329e-01,1.973691e-01,1.996681e-01,2.002307e-01,2.029700e-01,2.032906e-01,2.055872e-01,2.067001e-01,2.080824e-01,2.098976e-01,2.104563e-01,2.127097e-01,2.128848e-01,2.148438e-01,2.156644e-01,2.168600e-01,2.182395e-01,2.187599e-01,2.205452e-01,2.206143e-01,2.222180e-01,2.227931e-01,2.237806e-01,2.247812e-01,2.252351e-01,2.265840e-01,2.282073e-01,2.296574e-01,2.309407e-01,2.320638e-01,2.330335e-01,2.338566e-01,2.345402e-01,2.350911e-01,2.355162e-01,2.358225e-01,2.360168e-01,2.361056e-01,2.360955e-01,2.359931e-01,2.358044e-01,2.355354e-01,2.351922e-01,2.347802e-01,2.343049e-01,2.337716e-01,2.331853e-01,2.325507e-01,2.318725e-01,2.311549e-01
0.000000e+00,9.811893e-15,8.743950e-14,2.261395e-12,1.949906e-11,5.223407e-11,4.362271e-10,4.708244e-10,2.536312e-09,3.813710e-09,9.874176e-09,1.996056e-08,3.074781e-08,7.565018e-08,8.136964e-08,1.902830e-07,2.297807e-07,4.037626e-07,5.939716e-07,7.919738e-07,1.357051e-06,1.455337e-06,2.530315e-06,2.809527e-06,4.193840e-06,5.362722e-06,6.665775e-06,9.558109e-06,1.020910e-05,1.512772e-05,1.606461e-05,2.176208e-05,2.566391e-05,3.048291e-05,3.922549e-05,4.168335e-05,5.576999e-05,5.767386e-05,7.315331e-05,8.195100e-05,9.423764e-05,1.129768e-04,1.194114e-04,1.490376e-04,1.516102e-04,1.834453e-04,1.986132e-04,2.229219e-04,2.546199e-04,2.677063e-04,3.179840e-04,3.201114e-04,3.738828e-04,3.953974e-04,4.354706e-04,4.806055e-04,5.027537e-04,5.756775e-04,6.541275e-04,6.803721e-04,7.379318e-04,7.942744e-04,8.268646e-04,9.168097e-04,9.206505e-04,1.018969e-03,1.047262e-03,1.121461e-03,1.184796e-03,1.227732e-03,1.328479e-03,1.337363e-03,1.449911e-03,1.477305e-03,1.564917e-03,1.630222e-03,1.681916e-03,1.786149e-03,1.800436e-03,1.920005e-03,1.944004e-03,2.040161e-03,2.102723e-03,2.160449e-03,2.261272e-03,2.280431e-03,2.399683e-03,2.418669e-03,2.517807e-03,2.573993e-03,2.634423e-03,2.726393e-03,2.749179e-03,2.861750e-03,2.875097e-03,2.971836e-03,3.019417e-03,3.079169e-03,3.158750e-03,3.183506e-03,3.284635e-03,3.292581e-03,3.382372e-03,3.420480e-03,3.476557e-03,3.542098e-03,3.567062e-03,3.653780e-03,3.657169e-03,3.736632e-03,3.765500e-03,3.815559e-03,3.866969e-03,3.890526e-03,3.961517e-03,4.028536e-03,4.049146e-03,4.091602e-03,4.129906e-03,4.150752e-03,4.203898e-03,4.206036e-03,4.257516e-03,4.271258e-03,4.305266e-03,4.332161e-03,4.349371e-03,4.386806e-03,4.389922e-03,4.427019e-03,4.435420e-03,4.460768e-03,4.478246e-03,4.491279e-03,4.515541e-03,4.518666e-03,4.543048e-03,4.547574e-03,4.564543e-03,4.574620e-03,4.583272e-03,4.596956e-03,4.599357e-03,4.612918e-03,4.614862e-03,4.624077e-03,4.628614e-03,4.632952e-03,4.638488e-03,4.639662e-03,4.644322e-03,4.644749e-03,4.647047e-03,4.647661e-03,4.647946e-03,4.647475e-03,4.647127e-03,4.644696e-03,4.644435e-03,4.640753e-03,4.638775e-03,4.635396e-03,4.630718e-03,4.628721e-03,4.620818e-03,4.620477e-03,4.611774e-03,4.608255e-03,4.601673e-03,4.594242e-03,4.590596e-03,4.578618e-03,4.561552e-03,4.543204e-03,4.523721e-03,4.503242e-03,4.481895e-03,4.459801e-03,4.437070e-03,4.413804e-03,4.390098e-03,4.366038e-03,4.341704e-03,4.317170e-03,4.292501e-03,4.267759e-03,4.242998e-03,4.218270e-03,4.193618e-03,4.169085e-03,4.144707e-03,4.120517e-03,4.096545e-03,4.072816e-03,4.049354e-03,4.026180e-03
0.000000e+00,4.844542e-15,4.302663e-14,1.105303e-12,9.469154e-12,2.527297e-11,2.089591e-10,2.254356e-10,1.201189e-09,1.800436e-09,4.622499e-09,9.276275e-09,1.421765e-08,3.455968e-08,3.713219e-08,8.562587e-08,1.030412e-07,1.790424e-07,2.611839e-07,3.459474e-07,5.850110e-07,6.262658e-07,1.073186e-06,1.188266e-06,1.754570e-06,2.228564e-06,2.753644e-06,3.909982e-06,4.168868e-06,6.112907e-06,6.481230e-06,8.710818e-06,1.022939e-05,1.209752e-05,1.546989e-05,1.641471e-05,2.180745e-05,2.253375e-05,2.842044e-05,3.175322e-05,3.639436e-05,4.344692e-05,4.586217e-05,5.694572e-05,5.790554e-05,6.975266e-05,7.537892e-05,8.437369e-05,9.606513e-05,1.008804e-04,1.193235e-04,1.201020e-04,1.397317e-04,1.475616e-04,1.621110e-04,1.784470e-04,1.864444e-04,2.126927e-04,2.407951e-04,2.501667e-04,2.706702e-04,2.906751e-04,3.022180e-04,3.339692e-04,3.353216e-04,3.698492e-04,3.797527e-04,4.056566e-04,4.276914e-04,4.425893e-04,4.774221e-04,4.804853e-04,5.191768e-04,5.285623e-04,5.584934e-04,5.807197e-04,5.982633e-04,6.335007e-04,6.383164e-04,6.784854e-04,6.865187e-04,7.186077e-04,7.394009e-04,7.585274e-04,7.917944e-04,7.980959e-04,8.371732e-04,8.433711e-04,8.756290e-04,8.938314e-04,9.133433e-04,9.429070e-04,9.502067e-04,9.861209e-04,9.903625e-04,1.020998e-03,1.035996e-03,1.054763e-03,1.079639e-03,1.087349e-03,1.118703e-03,1.121156e-03,1.148778e-03,1.160443e-03,1.177542e-03,1.197425e-03,1.204968e-03,1.231040e-03,1.232055e-03,1.255749e-03,1.264311e-03,1.279095e-03,1.294193e-03,1.301082e-03,1.321723e-03,1.341036e-03,1.346939e-03,1.359042e-03,1.369893e-03,1.375769e-03,1.390651e-03,1.391246e-03,1.405508e-03,1.409288e-03,1.418590e-03,1.425890e-03,1.430532e-03,1.440545e-03,1.441372e-03,1.451153e-03,1.453348e-03,1.459917e-03,1.464397e-03,1.467707e-03,1.473790e-03,1.474565e-03,1.480535e-03,1.481626e-03,1.485659e-03,1.488004e-03,1.489980e-03,1.493020e-03,1.493540e-03,1.496379e-03,1.496769e-03,1.498537e-03,1.499342e-03,1.500053e-03,1.500829e-03,1.500964e-03,1.501308e-03,1.501313e-03,1.501118e-03,1.500875e-03,1.500429e-03,1.499592e-03,1.499274e-03,1.497682e-03,1.497537e-03,1.495685e-03,1.494779e-03,1.493310e-03,1.491381e-03,1.490584e-03,1.487532e-03,1.487404e-03,1.484181e-03,1.482905e-03,1.480551e-03,1.477935e-03,1.476666e-03,1.472545e-03,1.466779e-03,1.460679e-03,1.454284e-03,1.447630e-03,1.440750e-03,1.433674e-03,1.426430e-03,1.419043e-03,1.411538e-03,1.403934e-03,1.396253e-03,1.388511e-03,1.380726e-03,1.372911e-03,1.365080e-03,1.357246e-03,1.349419e-03,1.341609e-03,1.333826e-03,1.326078e-03,1.318371e-03,1.310714e-03,1.303110e-03,1.295567e-03
0.000000e+00,6.665404e-15,5.963746e-14,1.555466e-12,1.351772e-11,3.636952e-11,3.072283e-10,3.317504e-10,1.807882e-09,2.727021e-09,7.117168e-09,1.448075e-08,2.240100e-08,5.563691e-08,5.989138e-08,1.414401e-07,1.711947e-07,3.030073e-07,4.481330e-07,6.000439e-07,1.037077e-06,1.113527e-06,1.956177e-06,2.176710e-06,3.278229e-06,4.217257e-06,5.272112e-06,7.638685e-06,8.175499e-06,1.227240e-05,1.306005e-05,1.789214e-05,2.123814e-05,2.540628e-05,3.305519e-05,3.522363e-05,4.778361e-05,4.949688e-05,6.354824e-05,7.162222e-05,8.299318e-05,1.005280e-04,1.065981e-04,1.348370e-04,1.373102e-04,1.681679e-04,1.830241e-04,2.070239e-04,2.386468e-04,2.518037e-04,3.028641e-04,3.050416e-04,3.605121e-04,3.829283e-04,4.249997e-04,4.728584e-04,4.965186e-04,5.751968e-04,6.610963e-04,6.901104e-04,7.542123e-04,8.175636e-04,8.544735e-04,9.573198e-04,9.617428e-04,1.075821e-03,1.108948e-03,1.196447e-03,1.271838e-03,1.323308e-03,1.445212e-03,1.456036e-03,1.594222e-03,1.628149e-03,1.737413e-03,1.819606e-03,1.885124e-03,2.018442e-03,2.036842e-03,2.192033e-03,2.223439e-03,2.350145e-03,2.433333e-03,2.510620e-03,2.646830e-03,2.672891e-03,2.836397e-03,2.862635e-03,3.000579e-03,3.079466e-03,3.164891e-03,3.296077e-03,3.328802e-03,3.491799e-03,3.511274e-03,3.653390e-03,3.723923e-03,3.813109e-03,3.932971e-03,3.970516e-03,4.125200e-03,4.137445e-03,4.276781e-03,4.336465e-03,4.424910e-03,4.529245e-03,4.569269e-03,4.709573e-03,4.715097e-03,4.845569e-03,4.893430e-03,4.977037e-03,5.063751e-03,5.103788e-03,5.225662e-03,5.342529e-03,5.378852e-03,5.454288e-03,5.523098e-03,5.560865e-03,5.658259e-03,5.662212e-03,5.758303e-03,5.784266e-03,5.849136e-03,5.901119e-03,5.934730e-03,6.008882e-03,6.015123e-03,6.090371e-03,6.107672e-03,6.160544e-03,6.197656e-03,6.225729e-03,6.279044e-03,6.286025e-03,6.341541e-03,6.352081e-03,6.392398e-03,6.417045e-03,6.438724e-03,6.474237e-03,6.480656e-03,6.518334e-03,6.523978e-03,6.551906e-03,6.566605e-03,6.581521e-03,6.602467e-03,6.607333e-03,6.629497e-03,6.631919e-03,6.648169e-03,6.655319e-03,6.663505e-03,6.673025e-03,6.675661e-03,6.684791e-03,6.685395e-03,6.691048e-03,6.692780e-03,6.694583e-03,6.695525e-03,6.695543e-03,6.694075e-03,6.693967e-03,6.690318e-03,6.688432e-03,6.684412e-03,6.679236e-03,6.676489e-03,6.666681e-03,6.651059e-03,6.632646e-03,6.611708e-03,6.588494e-03,6.563241e-03,6.536172e-03,6.507497e-03,6.477412e-03,6.446101e-03,6.413734e-03,6.380471e-03,6.346458e-03,6.311833e-03,6.276722e-03,6.241239e-03,6.205493e-03,6.169581e-03,6.133591e-03,6.097606e-03,6.061699e-03,6.025937e-03,5.990379e-03,5.955080e-03,5.920087e-03
0.000000e+00,3.674910e-14,3.298670e-13,8.667939e-12,7.590700e-11,2.051875e-10,1.758017e-09,1.899570e-09,1.054018e-08,1.599018e-08,4.241440e-08,8.762081e-08,1.370470e-07,3.499899e-07,3.777220e-07,9.224811e-07,1.125878e-06,2.046238e-06,3.084894e-06,4.191351e-06,7.444519e-06,8.021237e-06,1.447092e-05,1.617922e-05,2.478936e-05,3.219856e-05,4.057000e-05,5.946623e-05,6.376748e-05,9.669982e-05,1.030460e-04,1.420366e-04,1.690723e-04,2.027734e-04,2.646499e-04,2.821953e-04,3.838288e-04,3.976922e-04,5.113875e-04,5.767125e-04,6.687098e-04,8.105789e-04,8.596939e-04,1.088229e-03,1.108249e-03,1.358129e-03,1.478499e-03,1.673062e-03,1.929653e-03,2.036492e-03,2.451611e-03,2.469333e-03,2.921294e-03,3.104231e-03,3.448045e-03,3.839919e-03,4.033959e-03,4.680690e-03,5.389424e-03,5.629442e-03,6.160864e-03,6.687611e-03,6.995221e-03,7.855138e-03,7.892213e-03,8.851070e-03,9.130479e-03,9.870551e-03,1.051065e-02,1.094896e-02,1.199131e-02,1.208416e-02,1.327363e-02,1.356686e-02,1.451447e-02,1.523059e-02,1.580345e-02,1.697477e-02,1.713704e-02,1.851147e-02,1.879090e-02,1.992274e-02,2.066978e-02,2.136668e-02,2.260171e-02,2.283901e-02,2.433533e-02,2.457667e-02,2.585120e-02,2.658445e-02,2.738215e-02,2.861479e-02,2.892375e-02,3.047159e-02,3.065755e-02,3.202137e-02,3.270280e-02,3.356888e-02,3.474095e-02,3.511003e-02,3.664091e-02,3.676282e-02,3.815776e-02,3.875976e-02,3.965700e-02,4.072366e-02,4.113528e-02,4.258943e-02,4.264705e-02,4.401651e-02,4.452311e-02,4.541381e-02,4.634569e-02,4.677884e-02,4.810935e-02,4.940330e-02,4.980934e-02,5.065889e-02,5.144160e-02,5.187454e-02,5.300273e-02,5.304889e-02,5.418080e-02,5.449000e-02,5.526932e-02,5.590129e-02,5.631371e-02,5.723509e-02,5.731341e-02,5.826805e-02,5.849043e-02,5.917742e-02,5.966687e-02,6.004148e-02,6.076445e-02,6.086033e-02,6.163421e-02,6.178362e-02,6.236349e-02,6.272525e-02,6.304866e-02,6.359055e-02,6.369031e-02,6.428915e-02,6.438104e-02,6.484596e-02,6.509855e-02,6.536160e-02,6.574509e-02,6.583700e-02,6.627316e-02,6.632292e-02,6.667114e-02,6.683443e-02,6.703202e-02,6.728217e-02,6.735693e-02,6.764704e-02,6.766878e-02,6.790353e-02,6.799698e-02,6.812760e-02,6.826955e-02,6.832048e-02,6.848338e-02,6.848929e-02,6.861753e-02,6.865901e-02,6.872414e-02,6.878153e-02,6.880443e-02,6.885961e-02,6.889600e-02,6.889338e-02,6.885438e-02,6.878157e-02,6.867740e-02,6.854428e-02,6.838451e-02,6.820031e-02,6.799379e-02,6.776697e-02,6.752175e-02,6.726000e-02,6.698340e-02,6.669360e-02,6.639215e-02,6.608048e-02,6.575995e-02,6.543185e-02,6.509736e-02,6.475758e-02,6.441356e-02,6.406624e-02,6.371652e-02,6.336521e-02
0.000000e+00,1.045290e-12,7.277230e-12,1.141064e-10,6.327914e-10,1.338844e-09,6.213036e-09,6.551913e-09,2.037707e-08,2.654176e-08,4.842106e-08,7.457185e-08,9.671626e-08,1.644138e-07,1.715251e-07,2.792812e-07,3.107588e-07,4.263126e-07,5.279142e-07,6.181077e-07,8.269453e-07,8.584166e-07,1.148868e-06,1.212987e-06,1.489331e-06,1.685758e-06,1.878587e-06,2.241985e-06,2.314868e-06,2.796114e-06,2.877136e-06,3.320023e-06,3.585909e-06,3.884025e-06,4.362176e-06,4.485251e-06,5.120527e-06,5.198887e-06,5.786397e-06,6.088129e-06,6.479172e-06,7.021306e-06,7.194994e-06,7.929914e-06,7.989414e-06,8.679966e-06,8.983344e-06,9.441235e-06,9.994150e-06,1.020991e-05,1.098236e-05,1.101329e-05,1.175515e-05,1.203281e-05,1.252509e-05,1.304554e-05,1.328929e-05,1.404512e-05,1.479022e-05,1.502604e-05,1.552252e-05,1.598365e-05,1.624025e-05,1.691413e-05,1.694187e-05,1.762609e-05,1.781441e-05,1.829186e-05,1.868210e-05,1.893832e-05,1.951545e-05,1.956482e-05,2.017087e-05,2.031324e-05,2.075612e-05,2.107470e-05,2.132038e-05,2.179948e-05,2.186355e-05,2.238565e-05,2.248755e-05,2.288679e-05,2.313915e-05,2.336714e-05,2.375475e-05,2.382695e-05,2.426651e-05,2.433499e-05,2.468618e-05,2.488066e-05,2.508632e-05,2.539265e-05,2.546735e-05,2.582971e-05,2.587196e-05,2.617384e-05,2.631960e-05,2.650022e-05,2.673668e-05,2.680932e-05,2.710163e-05,2.712430e-05,2.737763e-05,2.748358e-05,2.763783e-05,2.781565e-05,2.788269e-05,2.811272e-05,2.812162e-05,2.832840e-05,2.840262e-05,2.853020e-05,2.865974e-05,2.871860e-05,2.889405e-05,2.905702e-05,2.910661e-05,2.920795e-05,2.929843e-05,2.934728e-05,2.947053e-05,2.947545e-05,2.959286e-05,2.962386e-05,2.969992e-05,2.975937e-05,2.979705e-05,2.987796e-05,2.988462e-05,2.996302e-05,2.998051e-05,3.003261e-05,3.006787e-05,3.009375e-05,3.014085e-05,3.014680e-05,3.019209e-05,3.020024e-05,3.022994e-05,3.024679e-05,3.026068e-05,3.028123e-05,3.028462e-05,3.030205e-05,3.030425e-05,3.031327e-05,3.031653e-05,3.031855e-05,3.031869e-05,3.031817e-05,3.031239e-05,3.031135e-05,3.030147e-05,3.029510e-05,3.028565e-05,3.027050e-05,3.026517e-05,3.024026e-05,3.023808e-05,3.021114e-05,3.019836e-05,3.017802e-05,3.015182e-05,3.014111e-05,3.010062e-05,3.009893e-05,3.005672e-05,3.004013e-05,3.000962e-05,2.997584e-05,2.995948e-05,2.990648e-05,2.983241e-05,2.975401e-05,2.967163e-05,2.958558e-05,2.949619e-05,2.940374e-05,2.930853e-05,2.921082e-05,2.911086e-05,2.900888e-05,2.890512e-05,2.879979e-05,2.869308e-05,2.858520e-05,2.847632e-05,2.836660e-05,2.825622e-05,2.814531e-05,2.803402e-05,2.792248e-05,2.781081e-05,2.769914e-05,2.758757e-05,2.747620e-05
0.000000e+00,1.212959e-14,1.089688e-13,2.866667e-12,2.511476e-11,6.788011e-11,5.804591e-10,6.271103e-10,3.461656e-09,5.240551e-09,1.380607e-08,2.831237e-08,4.402987e-08,1.107015e-07,1.192939e-07,2.855107e-07,3.466790e-07,6.198010e-07,9.233598e-07,1.243344e-06,2.172505e-06,2.336037e-06,4.151929e-06,4.630362e-06,7.034134e-06,9.097732e-06,1.142796e-05,1.669157e-05,1.789121e-05,2.710097e-05,2.888108e-05,3.985620e-05,4.750355e-05,5.707628e-05,7.475824e-05,7.979518e-05,1.091518e-04,1.131782e-04,1.463766e-04,1.655823e-04,1.927752e-04,2.350098e-04,2.497092e-04,3.185753e-04,3.246423e-04,4.007832e-04,4.377164e-04,4.977321e-04,5.774318e-04,6.107880e-04,7.412610e-04,7.468599e-04,8.903837e-04,9.488554e-04,1.059292e-03,1.185976e-03,1.249004e-03,1.460410e-03,1.694252e-03,1.773920e-03,1.951118e-03,2.127799e-03,2.231433e-03,2.522833e-03,2.535451e-03,2.863254e-03,2.959293e-03,3.214754e-03,3.436928e-03,3.589692e-03,3.954973e-03,3.987643e-03,4.408024e-03,4.512174e-03,4.850101e-03,5.106820e-03,5.313000e-03,5.736781e-03,5.795717e-03,6.297131e-03,6.399551e-03,6.816016e-03,7.092307e-03,7.351055e-03,7.811952e-03,7.900852e-03,8.463948e-03,8.555177e-03,9.038835e-03,9.318517e-03,9.623968e-03,1.009840e-02,1.021778e-02,1.081868e-02,1.089120e-02,1.142511e-02,1.169328e-02,1.203548e-02,1.250105e-02,1.264825e-02,1.326191e-02,1.331099e-02,1.387497e-02,1.411971e-02,1.448602e-02,1.492394e-02,1.509367e-02,1.569660e-02,1.572060e-02,1.629357e-02,1.650679e-02,1.688339e-02,1.727981e-02,1.746495e-02,1.803721e-02,1.859920e-02,1.877672e-02,1.915004e-02,1.949635e-02,1.968892e-02,2.019431e-02,2.021510e-02,2.072793e-02,2.086905e-02,2.122682e-02,2.151926e-02,2.171127e-02,2.214383e-02,2.218084e-02,2.263515e-02,2.274188e-02,2.307390e-02,2.331272e-02,2.349686e-02,2.385586e-02,2.390385e-02,2.429473e-02,2.437097e-02,2.466945e-02,2.485791e-02,2.502798e-02,2.531667e-02,2.537037e-02,2.569667e-02,2.574739e-02,2.600701e-02,2.615035e-02,2.630155e-02,2.652592e-02,2.658047e-02,2.684399e-02,2.687459e-02,2.709236e-02,2.719692e-02,2.732587e-02,2.749357e-02,2.754480e-02,2.774947e-02,2.776524e-02,2.794023e-02,2.801271e-02,2.811741e-02,2.823678e-02,2.828139e-02,2.843253e-02,2.843831e-02,2.857122e-02,2.861818e-02,2.869786e-02,2.877728e-02,2.881282e-02,2.891652e-02,2.903682e-02,2.913910e-02,2.922426e-02,2.929322e-02,2.934686e-02,2.938606e-02,2.941166e-02,2.942451e-02,2.942541e-02,2.941514e-02,2.939447e-02,2.936410e-02,2.932476e-02,2.927711e-02,2.922179e-02,2.915942e-02,2.909058e-02,2.901582e-02,2.893568e-02,2.885065e-02,2.876120e-02,2.866778e-02,2.857081e-02,2.847069e-02
0.000000e+00,4.231396e-14,3.776547e-13,9.800418e-12,8.478579e-11,2.275665e-10,1.911029e-09,2.063093e-09,1.118540e-08,1.685144e-08,4.386190e-08,8.909106e-08,1.377034e-07,3.416550e-07,3.677689e-07,8.688015e-07,1.051835e-06,1.863790e-06,2.759267e-06,3.697677e-06,6.400224e-06,6.873145e-06,1.208423e-05,1.344695e-05,2.024356e-05,2.602328e-05,3.250005e-05,4.697292e-05,5.024544e-05,7.510905e-05,7.986856e-05,1.089416e-04,1.289613e-04,1.537894e-04,1.990771e-04,2.118592e-04,2.854785e-04,2.954714e-04,3.770499e-04,4.236547e-04,4.890028e-04,5.892022e-04,6.237456e-04,7.836160e-04,7.975587e-04,9.708357e-04,1.053850e-03,1.187467e-03,1.362707e-03,1.435372e-03,1.716181e-03,1.728118e-03,2.031261e-03,2.153297e-03,2.381694e-03,2.640593e-03,2.768261e-03,3.191428e-03,3.651346e-03,3.806262e-03,4.147846e-03,4.484595e-03,4.680449e-03,5.224995e-03,5.248378e-03,5.850568e-03,6.025147e-03,6.485691e-03,6.881927e-03,7.152173e-03,7.791494e-03,7.848220e-03,8.571845e-03,8.749383e-03,9.320895e-03,9.750618e-03,1.009308e-02,1.078982e-02,1.088599e-02,1.169714e-02,1.186133e-02,1.252398e-02,1.295929e-02,1.336395e-02,1.407776e-02,1.421444e-02,1.507291e-02,1.521083e-02,1.593680e-02,1.635267e-02,1.680365e-02,1.749762e-02,1.767103e-02,1.853662e-02,1.864026e-02,1.939819e-02,1.977546e-02,2.025362e-02,2.089840e-02,2.110090e-02,2.193815e-02,2.200464e-02,2.276360e-02,2.309011e-02,2.357562e-02,2.415112e-02,2.437273e-02,2.515355e-02,2.518442e-02,2.591685e-02,2.618713e-02,2.666152e-02,2.715677e-02,2.738661e-02,2.809124e-02,2.877469e-02,2.898882e-02,2.943634e-02,2.984812e-02,3.007569e-02,3.066811e-02,3.069233e-02,3.128596e-02,3.144802e-02,3.185636e-02,3.218740e-02,3.240341e-02,3.288604e-02,3.292707e-02,3.342736e-02,3.354397e-02,3.390439e-02,3.416142e-02,3.435832e-02,3.473884e-02,3.478937e-02,3.519780e-02,3.527680e-02,3.558395e-02,3.577605e-02,3.594816e-02,3.623744e-02,3.629084e-02,3.661242e-02,3.666195e-02,3.691336e-02,3.705062e-02,3.719413e-02,3.740457e-02,3.745525e-02,3.769722e-02,3.772500e-02,3.792060e-02,3.801313e-02,3.812592e-02,3.827022e-02,3.831373e-02,3.848460e-02,3.849755e-02,3.863908e-02,3.869642e-02,3.877775e-02,3.886811e-02,3.890116e-02,3.900987e-02,3.901392e-02,3.910445e-02,3.913514e-02,3.918543e-02,3.923302e-02,3.925338e-02,3.930881e-02,3.936372e-02,3.939895e-02,3.941566e-02,3.941495e-02,3.939793e-02,3.936564e-02,3.931910e-02,3.925929e-02,3.918713e-02,3.910352e-02,3.900934e-02,3.890538e-02,3.879245e-02,3.867128e-02,3.854259e-02,3.840704e-02,3.826528e-02,3.811792e-02,3.796553e-02,3.780865e-02,3.764779e-02,3.748345e-02,3.731606e-02,3.714607e-02
0.000000e+00,5.782966e-12,3.811609e-11,5.380613e-10,2.739324e-09,5.552949e-09,2.337614e-08,2.456305e-08,7.060625e-08,9.025858e-08,1.577843e-07,2.357434e-07,3.002998e-07,4.925511e-07,5.124215e-07,8.085862e-07,8.937762e-07,1.203129e-06,1.472071e-06,1.709275e-06,2.255151e-06,2.337128e-06,3.090835e-06,3.256458e-06,3.965999e-06,4.464920e-06,4.949127e-06,5.843653e-06,6.019926e-06,7.155297e-06,7.341425e-06,8.332955e-06,8.907423e-06,9.533494e-06,1.049953e-05,1.074090e-05,1.194227e-05,1.208551e-05,1.312728e-05,1.364130e-05,1.428763e-05,1.514885e-05,1.541666e-05,1.650909e-05,1.659477e-05,1.756078e-05,1.796932e-05,1.856861e-05,1.926583e-05,1.953038e-05,2.044463e-05,2.048020e-05,2.131060e-05,2.161046e-05,2.212806e-05,2.265635e-05,2.289729e-05,2.361897e-05,2.429410e-05,2.450050e-05,2.492391e-05,2.530387e-05,2.550986e-05,2.603257e-05,2.605352e-05,2.655659e-05,2.669041e-05,2.702081e-05,2.728144e-05,2.744797e-05,2.780976e-05,2.783985e-05,2.819825e-05,2.827948e-05,2.852491e-05,2.869462e-05,2.882156e-05,2.905911e-05,2.908986e-05,2.933142e-05,2.937666e-05,2.954779e-05,2.965085e-05,2.974048e-05,2.988508e-05,2.991091e-05,3.006044e-05,3.008252e-05,3.019039e-05,3.024617e-05,3.030199e-05,3.037884e-05,3.039641e-05,3.047478e-05,3.048315e-05,3.053814e-05,3.056154e-05,3.058752e-05,3.061627e-05,3.062384e-05,3.064802e-05,3.064945e-05,3.066089e-05,3.066305e-05,3.066325e-05,3.065887e-05,3.065586e-05,3.063943e-05,3.063859e-05,3.061462e-05,3.060376e-05,3.058207e-05,3.055581e-05,3.054237e-05,3.049607e-05,3.044371e-05,3.042575e-05,3.038577e-05,3.034598e-05,3.032272e-05,3.025780e-05,3.025500e-05,3.018301e-05,3.016214e-05,3.010714e-05,3.005991e-05,3.002775e-05,2.995189e-05,2.994517e-05,2.985973e-05,2.983882e-05,2.977171e-05,2.972140e-05,2.968140e-05,2.960023e-05,2.958905e-05,2.949491e-05,2.947589e-05,2.939921e-05,2.934890e-05,2.930216e-05,2.921974e-05,2.920395e-05,2.910478e-05,2.908884e-05,2.900482e-05,2.895660e-05,2.890422e-05,2.882339e-05,2.880314e-05,2.870172e-05,2.868953e-05,2.860008e-05,2.855533e-05,2.849836e-05,2.842105e-05,2.839665e-05,2.829507e-05,2.828695e-05,2.819371e-05,2.815325e-05,2.809266e-05,2.802014e-05,2.799200e-05,2.789181e-05,2.788782e-05,2.779216e-05,2.775644e-05,2.769312e-05,2.762615e-05,2.759474e-05,2.749708e-05,2.736934e-05,2.724305e-05,2.711829e-05,2.699514e-05,2.687367e-05,2.675394e-05,2.663601e-05,2.651991e-05,2.640568e-05,2.629335e-05,2.618295e-05,2.607449e-05,2.596799e-05,2.586345e-05,2.576088e-05,2.566028e-05,2.556165e-05,2.546498e-05,2.537026e-05,2.527748e-05,2.518663e-05,2.509769e-05,2.501064e-05,2.492547e-05
0.000000e+00,4.951862e-14,4.386081e-13,1.119953e-11,9.542886e-11,2.539552e-10,2.084622e-09,2.248363e-09,1.190338e-08,1.781370e-08,4.557393e-08,9.124085e-08,1.396684e-07,3.388595e-07,3.640476e-07,8.391895e-07,1.010016e-06,1.756650e-06,2.565371e-06,3.401394e-06,5.764815e-06,6.173254e-06,1.060397e-05,1.174589e-05,1.736664e-05,2.206975e-05,2.727565e-05,3.871910e-05,4.127668e-05,6.042782e-05,6.404545e-05,8.587333e-05,1.006739e-04,1.188124e-04,1.513788e-04,1.604647e-04,2.120352e-04,2.189458e-04,2.746799e-04,3.060325e-04,3.494734e-04,4.150398e-04,4.373802e-04,5.392301e-04,5.480018e-04,6.556982e-04,7.064977e-04,7.872899e-04,8.915905e-04,9.343309e-04,1.096962e-03,1.103792e-03,1.275140e-03,1.343052e-03,1.468639e-03,1.608772e-03,1.677059e-03,1.899841e-03,2.136272e-03,2.214678e-03,2.385509e-03,2.551302e-03,2.646592e-03,2.907397e-03,2.918465e-03,3.199990e-03,3.280384e-03,3.489970e-03,3.667504e-03,3.787169e-03,4.065881e-03,4.090323e-03,4.398162e-03,4.472601e-03,4.709425e-03,4.884764e-03,5.022870e-03,5.299547e-03,5.337290e-03,5.651523e-03,5.714249e-03,5.964459e-03,6.126322e-03,6.275049e-03,6.533413e-03,6.582313e-03,6.885339e-03,6.933373e-03,7.183292e-03,7.324281e-03,7.475410e-03,7.704442e-03,7.761010e-03,8.039483e-03,8.072395e-03,8.310296e-03,8.426906e-03,8.572989e-03,8.766962e-03,8.827171e-03,9.072520e-03,9.091758e-03,9.308777e-03,9.400688e-03,9.535744e-03,9.693325e-03,9.753277e-03,9.961286e-03,9.969408e-03,1.015973e-02,1.022882e-02,1.034860e-02,1.047160e-02,1.052796e-02,1.069786e-02,1.085842e-02,1.090785e-02,1.100978e-02,1.110190e-02,1.115210e-02,1.128039e-02,1.128556e-02,1.141036e-02,1.144379e-02,1.152673e-02,1.159259e-02,1.163489e-02,1.172734e-02,1.173507e-02,1.182754e-02,1.184861e-02,1.191254e-02,1.195698e-02,1.199034e-02,1.205305e-02,1.206119e-02,1.212537e-02,1.213742e-02,1.218312e-02,1.221071e-02,1.223473e-02,1.227351e-02,1.228044e-02,1.232051e-02,1.232641e-02,1.235520e-02,1.237001e-02,1.238475e-02,1.240486e-02,1.240941e-02,1.242941e-02,1.243151e-02,1.244499e-02,1.245050e-02,1.245637e-02,1.246235e-02,1.246377e-02,1.246741e-02,1.246754e-02,1.246748e-02,1.246656e-02,1.246419e-02,1.245985e-02,1.245773e-02,1.244829e-02,1.244785e-02,1.243603e-02,1.243096e-02,1.242114e-02,1.240958e-02,1.240377e-02,1.238409e-02,1.235481e-02,1.232210e-02,1.228626e-02,1.224759e-02,1.220635e-02,1.216282e-02,1.211724e-02,1.206982e-02,1.202080e-02,1.197037e-02,1.191870e-02,1.186599e-02,1.181239e-02,1.175805e-02,1.170310e-02,1.164769e-02,1.159193e-02,1.153594e-02,1.147980e-02,1.142363e-02,1.136750e-02,1.131150e-02,1.125570e-02,1.120017e-02
0.000000e+00,3.424082e-15,3.044757e-14,7.842497e-13,6.742518e-12,1.804120e-11,1.505356e-10,1.624811e-10,8.781430e-10,1.322730e-09,3.446425e-09,7.018154e-09,1.087531e-08,2.720768e-08,2.931275e-08,7.011564e-08,8.517058e-08,1.525853e-07,2.277482e-07,3.071074e-07,5.376228e-07,5.781532e-07,1.026525e-06,1.144050e-06,1.730384e-06,2.228310e-06,2.784880e-06,4.021995e-06,4.300391e-06,6.399640e-06,6.798381e-06,9.213949e-06,1.085859e-05,1.287899e-05,1.651475e-05,1.753031e-05,2.329896e-05,2.407221e-05,3.030735e-05,3.381268e-05,3.866558e-05,4.597949e-05,4.846831e-05,5.979223e-05,6.076571e-05,7.269419e-05,7.830557e-05,8.720996e-05,9.866933e-05,1.033536e-04,1.211174e-04,1.218613e-04,1.404724e-04,1.478208e-04,1.613692e-04,1.764256e-04,1.837396e-04,2.074978e-04,2.325427e-04,2.408104e-04,2.587598e-04,2.760962e-04,2.860234e-04,3.130562e-04,3.141990e-04,3.431455e-04,3.513688e-04,3.727171e-04,3.906988e-04,4.027663e-04,4.307058e-04,4.331448e-04,4.637062e-04,4.710522e-04,4.943074e-04,5.114096e-04,5.248100e-04,5.514656e-04,5.550818e-04,5.849979e-04,5.909280e-04,6.144414e-04,6.295290e-04,6.433044e-04,6.670282e-04,6.714882e-04,6.989038e-04,7.032136e-04,7.254723e-04,7.379036e-04,7.511245e-04,7.709464e-04,7.758012e-04,7.994526e-04,8.022199e-04,8.220386e-04,8.316306e-04,8.435279e-04,8.591118e-04,8.638974e-04,8.831324e-04,8.846220e-04,9.012255e-04,9.081426e-04,9.181760e-04,9.296758e-04,9.339896e-04,9.486776e-04,9.492419e-04,9.622566e-04,9.668774e-04,9.747473e-04,9.826319e-04,9.861746e-04,9.965668e-04,1.005955e-03,1.008753e-03,1.014373e-03,1.019267e-03,1.021855e-03,1.028193e-03,1.028439e-03,1.034163e-03,1.035616e-03,1.039065e-03,1.041627e-03,1.043184e-03,1.046316e-03,1.046559e-03,1.049230e-03,1.049771e-03,1.051236e-03,1.052082e-03,1.052614e-03,1.053337e-03,1.053402e-03,1.053636e-03,1.053620e-03,1.053353e-03,1.053012e-03,1.052586e-03,1.051593e-03,1.051369e-03,1.049734e-03,1.049436e-03,1.047712e-03,1.046612e-03,1.045332e-03,1.043189e-03,1.042622e-03,1.039610e-03,1.039229e-03,1.036320e-03,1.034791e-03,1.032777e-03,1.029929e-03,1.029004e-03,1.025022e-03,1.024695e-03,1.020851e-03,1.019135e-03,1.016512e-03,1.013293e-03,1.012022e-03,1.007397e-03,1.007209e-03,1.002654e-03,1.000920e-03,9.978070e-04,9.944591e-04,9.928705e-04,9.878570e-04,9.811415e-04,9.743380e-04,9.674694e-04,9.605562e-04,9.536172e-04,9.466691e-04,9.397268e-04,9.328039e-04,9.259121e-04,9.190622e-04,9.122635e-04,9.055242e-04,8.988516e-04,8.922520e-04,8.857310e-04,8.792931e-04,8.729425e-04,8.666825e-04,8.605161e-04,8.544457e-04,8.484730e-04,8.425998e-04,8.368270e-04,8.311556e-04
0.000000e+00,8.074621e-15,7.169411e-14,1.840216e-12,1.575682e-11,4.204731e-11,3.476829e-10,3.751066e-10,2.001072e-09,3.001040e-09,7.719887e-09,1.552596e-08,2.383844e-08,5.823422e-08,6.259969e-08,1.453404e-07,1.752151e-07,3.062623e-07,4.487746e-07,5.964907e-07,1.015369e-06,1.087890e-06,1.876059e-06,2.079502e-06,3.082052e-06,3.922003e-06,4.852587e-06,6.900593e-06,7.358709e-06,1.079304e-05,1.144251e-05,1.536580e-05,1.803020e-05,2.129990e-05,2.718190e-05,2.882547e-05,3.817390e-05,3.942906e-05,4.957192e-05,5.529259e-05,6.323574e-05,7.525956e-05,7.936562e-05,9.814086e-05,9.976196e-05,1.197155e-04,1.291583e-04,1.442149e-04,1.637194e-04,1.717327e-04,2.023294e-04,2.036178e-04,2.360308e-04,2.489228e-04,2.728284e-04,2.995986e-04,3.126791e-04,3.555075e-04,4.012068e-04,4.164156e-04,4.496418e-04,4.820026e-04,5.006516e-04,5.518730e-04,5.540525e-04,6.096414e-04,6.255689e-04,6.671995e-04,7.025838e-04,7.264956e-04,7.823767e-04,7.872895e-04,8.493357e-04,8.643855e-04,9.123858e-04,9.480400e-04,9.761924e-04,1.032774e-03,1.040511e-03,1.105103e-03,1.118034e-03,1.169738e-03,1.203292e-03,1.234195e-03,1.288047e-03,1.298263e-03,1.361745e-03,1.371836e-03,1.424457e-03,1.454235e-03,1.486228e-03,1.534863e-03,1.546904e-03,1.606342e-03,1.613385e-03,1.664417e-03,1.689509e-03,1.721017e-03,1.762987e-03,1.776046e-03,1.829420e-03,1.833616e-03,1.881069e-03,1.901233e-03,1.930937e-03,1.965713e-03,1.978978e-03,2.025159e-03,2.026967e-03,2.069457e-03,2.084940e-03,2.111858e-03,2.139605e-03,2.152359e-03,2.190964e-03,2.227683e-03,2.239039e-03,2.262537e-03,2.283874e-03,2.295547e-03,2.325531e-03,2.326744e-03,2.356163e-03,2.364086e-03,2.383839e-03,2.399626e-03,2.409816e-03,2.432250e-03,2.434136e-03,2.456847e-03,2.462063e-03,2.477996e-03,2.489176e-03,2.497634e-03,2.513705e-03,2.515810e-03,2.532577e-03,2.535766e-03,2.547986e-03,2.555479e-03,2.562089e-03,2.572964e-03,2.574937e-03,2.586583e-03,2.588338e-03,2.597076e-03,2.601718e-03,2.606467e-03,2.613219e-03,2.614805e-03,2.622137e-03,2.622952e-03,2.628511e-03,2.631024e-03,2.633973e-03,2.637541e-03,2.638567e-03,2.642335e-03,2.642602e-03,2.645321e-03,2.646305e-03,2.647564e-03,2.648742e-03,2.649104e-03,2.649979e-03,2.650000e-03,2.650224e-03,2.650165e-03,2.649875e-03,2.649316e-03,2.648966e-03,2.647529e-03,2.644875e-03,2.641423e-03,2.637235e-03,2.632373e-03,2.626893e-03,2.620848e-03,2.614287e-03,2.607258e-03,2.599805e-03,2.591969e-03,2.583787e-03,2.575297e-03,2.566530e-03,2.557519e-03,2.548293e-03,2.538878e-03,2.529300e-03,2.519582e-03,2.509746e-03,2.499813e-03,2.489800e-03,2.479726e-03,2.469606e-03,2.459456e-03
0.000000e+00,1.082122e-14,9.312867e-14,2.238466e-12,1.803489e-11,4.652387e-11,3.519408e-10,3.783103e-10,1.843279e-09,2.696087e-09,6.507967e-09,1.242282e-08,1.842918e-08,4.165183e-08,4.447651e-08,9.512624e-08,1.124855e-07,1.851421e-07,2.598113e-07,3.340087e-07,5.328146e-07,5.659372e-07,9.093177e-07,9.941001e-07,1.395639e-06,1.715996e-06,2.058038e-06,2.774839e-06,2.929703e-06,4.042364e-06,4.244738e-06,5.424988e-06,6.192100e-06,7.102768e-06,8.671591e-06,9.096425e-06,1.142179e-05,1.172369e-05,1.408963e-05,1.537361e-05,1.710559e-05,1.963115e-05,2.047038e-05,2.417994e-05,2.449138e-05,2.822581e-05,2.993563e-05,3.259539e-05,3.593292e-05,3.727240e-05,4.223727e-05,4.244155e-05,4.746762e-05,4.941082e-05,5.293866e-05,5.678291e-05,5.862374e-05,6.449479e-05,7.052282e-05,7.248013e-05,7.667834e-05,8.067113e-05,8.293181e-05,8.900023e-05,8.925408e-05,9.561670e-05,9.740171e-05,1.019923e-04,1.058129e-04,1.083547e-04,1.141755e-04,1.146796e-04,1.209439e-04,1.224360e-04,1.271269e-04,1.305466e-04,1.332094e-04,1.384653e-04,1.391744e-04,1.450068e-04,1.461561e-04,1.506934e-04,1.535890e-04,1.562230e-04,1.607395e-04,1.615861e-04,1.667751e-04,1.675888e-04,1.717839e-04,1.741227e-04,1.766079e-04,1.803320e-04,1.812441e-04,1.856905e-04,1.862112e-04,1.899464e-04,1.917587e-04,1.940121e-04,1.969756e-04,1.978889e-04,2.015787e-04,2.018659e-04,2.050842e-04,2.064355e-04,2.084086e-04,2.106921e-04,2.115556e-04,2.145295e-04,2.146449e-04,2.173345e-04,2.183038e-04,2.199753e-04,2.216797e-04,2.224568e-04,2.247839e-04,2.269617e-04,2.276280e-04,2.289954e-04,2.302237e-04,2.308901e-04,2.325829e-04,2.326508e-04,2.342827e-04,2.347173e-04,2.357909e-04,2.366384e-04,2.371801e-04,2.383574e-04,2.384553e-04,2.396212e-04,2.398853e-04,2.406825e-04,2.412328e-04,2.416436e-04,2.424100e-04,2.425089e-04,2.432827e-04,2.434269e-04,2.439691e-04,2.442928e-04,2.445721e-04,2.450169e-04,2.450954e-04,2.455429e-04,2.456077e-04,2.459181e-04,2.460735e-04,2.462244e-04,2.464222e-04,2.464652e-04,2.466437e-04,2.466611e-04,2.467630e-04,2.467974e-04,2.468259e-04,2.468378e-04,2.468353e-04,2.467941e-04,2.467887e-04,2.467047e-04,2.466560e-04,2.465696e-04,2.464455e-04,2.463913e-04,2.461721e-04,2.461626e-04,2.459142e-04,2.458123e-04,2.456197e-04,2.453995e-04,2.452905e-04,2.449287e-04,2.444043e-04,2.438301e-04,2.432102e-04,2.425480e-04,2.418469e-04,2.411101e-04,2.403407e-04,2.395414e-04,2.387150e-04,2.378638e-04,2.369903e-04,2.360967e-04,2.351850e-04,2.342571e-04,2.333150e-04,2.323603e-04,2.313947e-04,2.304196e-04,2.294364e-04,2.284466e-04,2.274512e-04,2.264516e-04,2.254487e-04,2.244435e-04
0.000000e+00,5.911867e-15,5.294351e-14,1.384206e-12,1.205584e-11,3.247574e-11,2.751854e-10,2.971865e-10,1.624214e-09,2.451781e-09,6.409878e-09,1.305773e-08,2.021386e-08,5.026658e-08,5.411471e-08,1.278767e-07,1.547842e-07,2.739212e-07,4.049684e-07,5.420153e-07,9.356811e-07,1.004466e-06,1.761463e-06,1.959290e-06,2.946099e-06,3.786048e-06,4.728600e-06,6.840626e-06,7.319347e-06,1.097041e-05,1.167202e-05,1.597543e-05,1.895524e-05,2.266787e-05,2.948419e-05,3.141756e-05,4.262591e-05,4.415618e-05,5.671972e-05,6.394932e-05,7.414403e-05,8.989399e-05,9.535423e-05,1.208076e-04,1.230408e-04,1.509548e-04,1.644262e-04,1.862313e-04,2.150389e-04,2.270490e-04,2.737887e-04,2.757865e-04,3.267930e-04,3.474670e-04,3.863601e-04,4.307433e-04,4.527385e-04,5.261231e-04,6.066521e-04,6.339448e-04,6.944046e-04,7.543686e-04,7.894001e-04,8.873736e-04,8.915988e-04,1.000902e-03,1.032760e-03,1.117154e-03,1.190157e-03,1.240147e-03,1.359031e-03,1.369620e-03,1.505268e-03,1.538704e-03,1.646741e-03,1.728369e-03,1.793655e-03,1.927108e-03,1.945591e-03,2.102103e-03,2.133914e-03,2.262723e-03,2.347708e-03,2.426964e-03,2.567362e-03,2.594330e-03,2.764314e-03,2.791721e-03,2.936408e-03,3.019613e-03,3.110104e-03,3.249877e-03,3.284900e-03,3.460302e-03,3.481368e-03,3.635828e-03,3.712979e-03,3.811012e-03,3.943646e-03,3.985404e-03,4.158574e-03,4.172363e-03,4.330114e-03,4.398186e-03,4.499638e-03,4.620243e-03,4.666785e-03,4.831217e-03,4.837734e-03,4.992625e-03,5.049935e-03,5.150723e-03,5.256205e-03,5.305251e-03,5.455977e-03,5.602692e-03,5.648763e-03,5.745213e-03,5.834152e-03,5.883382e-03,6.011805e-03,6.017064e-03,6.146146e-03,6.181452e-03,6.270538e-03,6.342892e-03,6.390169e-03,6.495983e-03,6.504991e-03,6.614970e-03,6.640643e-03,6.720093e-03,6.776840e-03,6.820360e-03,6.904592e-03,6.915789e-03,7.006409e-03,7.023960e-03,7.092264e-03,7.135042e-03,7.173407e-03,7.237975e-03,7.249905e-03,7.321832e-03,7.332921e-03,7.389270e-03,7.420073e-03,7.452311e-03,7.499642e-03,7.511051e-03,7.565593e-03,7.571861e-03,7.616043e-03,7.636974e-03,7.662514e-03,7.695241e-03,7.705121e-03,7.743980e-03,7.746930e-03,7.779211e-03,7.792314e-03,7.810934e-03,7.831672e-03,7.839272e-03,7.864347e-03,7.865284e-03,7.886280e-03,7.893431e-03,7.905194e-03,7.916391e-03,7.921207e-03,7.934441e-03,7.947853e-03,7.956894e-03,7.961824e-03,7.962897e-03,7.960360e-03,7.954447e-03,7.945392e-03,7.933412e-03,7.918721e-03,7.901521e-03,7.882005e-03,7.860360e-03,7.836761e-03,7.811376e-03,7.784363e-03,7.755874e-03,7.726050e-03,7.695025e-03,7.662925e-03,7.629870e-03,7.595970e-03,7.561332e-03,7.526053e-03,7.490225e-03
0.000000e+00,6.206630e-12,4.158029e-11,6.057619e-10,3.166285e-09,6.506822e-09,2.833458e-08,2.981376e-08,8.865327e-08,1.144348e-07,2.053405e-07,3.140751e-07,4.067819e-07,6.950084e-07,7.257057e-07,1.198515e-06,1.338570e-06,1.855407e-06,2.308849e-06,2.707718e-06,3.611845e-06,3.745490e-06,4.946782e-06,5.204554e-06,6.288231e-06,7.034463e-06,7.750161e-06,9.059851e-06,9.317063e-06,1.097621e-05,1.124946e-05,1.271619e-05,1.357684e-05,1.452592e-05,1.601644e-05,1.639424e-05,1.830968e-05,1.854215e-05,2.026061e-05,2.112724e-05,2.223534e-05,2.374499e-05,2.422241e-05,2.621074e-05,2.636954e-05,2.818985e-05,2.897670e-05,3.014999e-05,3.154452e-05,3.208228e-05,3.397884e-05,3.405386e-05,3.583278e-05,3.648859e-05,3.763816e-05,3.883552e-05,3.939002e-05,4.108432e-05,4.271786e-05,4.322735e-05,4.428823e-05,4.525929e-05,4.579372e-05,4.717696e-05,4.723327e-05,4.860629e-05,4.897879e-05,4.991270e-05,5.066471e-05,5.115285e-05,5.223583e-05,5.232740e-05,5.343733e-05,5.369423e-05,5.448387e-05,5.504276e-05,5.546842e-05,5.628475e-05,5.639251e-05,5.725781e-05,5.742397e-05,5.806610e-05,5.846449e-05,5.881922e-05,5.941056e-05,5.951902e-05,6.016738e-05,6.026647e-05,6.076621e-05,6.103661e-05,6.131740e-05,6.172533e-05,6.182285e-05,6.228439e-05,6.233691e-05,6.270385e-05,6.287554e-05,6.308302e-05,6.334532e-05,6.342365e-05,6.372746e-05,6.375022e-05,6.399610e-05,6.409408e-05,6.423120e-05,6.438058e-05,6.443432e-05,6.460697e-05,6.461326e-05,6.475062e-05,6.479552e-05,6.486671e-05,6.493060e-05,6.495659e-05,6.502160e-05,6.506299e-05,6.507145e-05,6.508200e-05,6.508297e-05,6.507982e-05,6.505882e-05,6.505756e-05,6.501633e-05,6.500153e-05,6.495718e-05,6.491350e-05,6.488109e-05,6.479698e-05,6.478905e-05,6.468197e-05,6.465413e-05,6.456074e-05,6.448699e-05,6.442621e-05,6.429747e-05,6.427919e-05,6.412046e-05,6.408737e-05,6.395076e-05,6.385841e-05,6.377080e-05,6.361220e-05,6.358126e-05,6.338278e-05,6.335024e-05,6.317600e-05,6.307397e-05,6.296150e-05,6.278473e-05,6.273985e-05,6.251158e-05,6.248377e-05,6.227720e-05,6.217227e-05,6.203722e-05,6.185136e-05,6.179208e-05,6.154224e-05,6.152206e-05,6.128812e-05,6.118536e-05,6.103011e-05,6.084216e-05,6.076861e-05,6.050396e-05,6.049332e-05,6.023653e-05,6.013963e-05,5.996663e-05,5.978185e-05,5.969458e-05,5.942067e-05,5.905673e-05,5.869063e-05,5.832295e-05,5.795419e-05,5.758485e-05,5.721538e-05,5.684618e-05,5.647765e-05,5.611014e-05,5.574397e-05,5.537945e-05,5.501685e-05,5.465644e-05,5.429842e-05,5.394303e-05,5.359046e-05,5.324087e-05,5.289442e-05,5.255127e-05,5.221153e-05,5.187532e-05,5.154274e-05,5.121388e-05,5.088881e-05
0.000000e+00,7.607422e-14,6.843838e-13,1.806004e-11,1.586713e-10,4.295219e-10,3.687520e-09,3.984516e-09,2.207809e-08,3.345699e-08,8.835483e-08,1.815276e-07,2.826278e-07,7.122951e-07,7.677279e-07,1.841346e-06,2.236820e-06,4.003812e-06,5.968804e-06,8.040571e-06,1.405667e-05,1.511539e-05,2.686820e-05,2.996368e-05,4.551091e-05,5.885275e-05,7.391484e-05,1.079316e-04,1.156842e-04,1.752115e-04,1.867206e-04,2.577117e-04,3.072160e-04,3.692326e-04,4.839324e-04,5.166415e-04,7.075855e-04,7.338146e-04,9.504299e-04,1.076021e-03,1.254172e-03,1.531590e-03,1.628338e-03,2.082857e-03,2.122994e-03,2.627926e-03,2.873618e-03,3.273861e-03,3.807170e-03,4.030946e-03,4.909271e-03,4.947065e-03,5.918575e-03,6.315787e-03,7.068100e-03,7.934284e-03,8.366435e-03,9.821393e-03,1.143988e-02,1.199333e-02,1.322780e-02,1.446324e-02,1.518994e-02,1.724089e-02,1.732994e-02,1.965020e-02,2.033236e-02,2.215185e-02,2.373991e-02,2.483477e-02,2.746195e-02,2.769753e-02,3.073747e-02,3.149300e-02,3.395067e-02,3.582389e-02,3.733205e-02,4.044188e-02,4.087541e-02,4.457349e-02,4.533096e-02,4.841806e-02,5.047214e-02,5.240001e-02,5.584380e-02,5.650944e-02,6.073576e-02,6.142208e-02,6.506778e-02,6.718128e-02,6.949382e-02,7.309426e-02,7.400182e-02,7.857944e-02,7.913284e-02,8.321414e-02,8.526823e-02,8.789328e-02,9.147137e-02,9.260422e-02,9.733442e-02,9.771330e-02,1.020715e-01,1.039655e-01,1.068033e-01,1.102002e-01,1.115179e-01,1.162039e-01,1.163906e-01,1.208502e-01,1.225111e-01,1.254463e-01,1.285377e-01,1.299819e-01,1.344477e-01,1.388346e-01,1.402203e-01,1.431342e-01,1.458366e-01,1.473388e-01,1.512792e-01,1.514412e-01,1.554350e-01,1.565330e-01,1.593142e-01,1.615846e-01,1.630736e-01,1.664225e-01,1.667086e-01,1.702152e-01,1.710372e-01,1.735898e-01,1.754210e-01,1.768298e-01,1.795677e-01,1.799328e-01,1.828971e-01,1.834732e-01,1.857214e-01,1.871345e-01,1.884051e-01,1.905505e-01,1.909478e-01,1.933498e-01,1.937211e-01,1.956116e-01,1.966478e-01,1.977343e-01,1.993331e-01,1.997191e-01,2.015678e-01,2.017806e-01,2.032823e-01,2.039947e-01,2.048649e-01,2.059810e-01,2.063181e-01,2.076446e-01,2.077454e-01,2.088475e-01,2.092947e-01,2.099297e-01,2.106361e-01,2.108946e-01,2.117457e-01,2.117774e-01,2.124863e-01,2.127266e-01,2.131202e-01,2.134921e-01,2.136510e-01,2.140825e-01,2.145063e-01,2.147725e-01,2.148897e-01,2.148667e-01,2.147122e-01,2.144347e-01,2.140425e-01,2.135440e-01,2.129469e-01,2.122591e-01,2.114879e-01,2.106407e-01,2.097242e-01,2.087452e-01,2.077099e-01,2.066244e-01,2.054943e-01,2.043252e-01,2.031220e-01,2.018897e-01,2.006328e-01,1.993555e-01,1.980618e-01,1.967554e-01
0.000000e+00,5.688014e-11,1.359665e-10,4.895739e-10,1.140045e-09,1.679837e-09,3.899949e-09,4.021076e-09,7.962687e-09,9.423043e-09,1.402204e-08,1.887196e-08,2.264595e-08,3.294973e-08,3.394900e-08,4.774340e-08,5.139746e-08,6.379290e-08,7.369495e-08,8.191263e-08,9.945040e-08,1.019516e-07,1.237632e-07,1.283245e-07,1.471876e-07,1.599471e-07,1.720459e-07,1.938904e-07,1.981398e-07,2.252566e-07,2.296755e-07,2.531745e-07,2.667937e-07,2.816692e-07,3.047316e-07,3.105199e-07,3.395152e-07,3.429948e-07,3.684572e-07,3.811276e-07,3.971651e-07,4.187260e-07,4.254767e-07,4.532495e-07,4.554443e-07,4.803621e-07,4.909990e-07,5.067133e-07,5.251676e-07,5.322204e-07,5.568181e-07,5.577823e-07,5.804569e-07,5.887249e-07,6.031014e-07,6.179196e-07,6.247287e-07,6.453263e-07,6.648910e-07,6.709343e-07,6.834282e-07,6.947573e-07,7.009479e-07,7.168232e-07,7.174649e-07,7.329998e-07,7.371766e-07,7.475756e-07,7.558714e-07,7.612183e-07,7.729694e-07,7.739558e-07,7.858173e-07,7.885370e-07,7.968329e-07,8.026435e-07,8.070331e-07,8.153594e-07,8.164489e-07,8.251114e-07,8.267562e-07,8.330512e-07,8.369044e-07,8.402988e-07,8.458738e-07,8.468841e-07,8.528364e-07,8.537320e-07,8.581844e-07,8.605450e-07,8.629560e-07,8.663765e-07,8.671783e-07,8.708777e-07,8.712877e-07,8.740798e-07,8.753376e-07,8.768093e-07,8.785824e-07,8.790900e-07,8.809450e-07,8.810757e-07,8.823964e-07,8.828687e-07,8.834655e-07,8.840102e-07,8.841730e-07,8.845385e-07,8.845463e-07,8.845810e-07,8.845208e-07,8.843187e-07,8.839751e-07,8.837690e-07,8.829486e-07,8.818735e-07,8.814782e-07,8.805591e-07,8.795990e-07,8.790199e-07,8.773439e-07,8.772700e-07,8.753228e-07,8.747440e-07,8.731910e-07,8.718284e-07,8.708869e-07,8.686248e-07,8.684220e-07,8.658075e-07,8.651589e-07,8.630539e-07,8.614550e-07,8.601714e-07,8.575358e-07,8.571696e-07,8.540575e-07,8.534226e-07,8.508438e-07,8.491354e-07,8.475369e-07,8.446928e-07,8.441446e-07,8.406743e-07,8.401123e-07,8.371331e-07,8.354101e-07,8.335278e-07,8.306016e-07,8.298647e-07,8.261499e-07,8.257009e-07,8.223891e-07,8.207212e-07,8.185878e-07,8.156748e-07,8.147510e-07,8.108837e-07,8.105731e-07,8.069904e-07,8.054268e-07,8.030755e-07,8.002457e-07,7.991430e-07,7.951969e-07,7.950389e-07,7.912408e-07,7.898148e-07,7.872781e-07,7.845814e-07,7.833121e-07,7.793458e-07,7.741146e-07,7.688940e-07,7.636895e-07,7.585064e-07,7.533494e-07,7.482227e-07,7.431303e-07,7.380757e-07,7.330623e-07,7.280928e-07,7.231700e-07,7.182962e-07,7.134734e-07,7.087037e-07,7.039885e-07,6.993293e-07,6.947275e-07,6.901839e-07,6.856997e-07,6.812755e-07,6.769119e-07,6.726094e-07,6.683683e-07,6.641889e-07
0.000000e+00,4.893001e-10,1.471827e-09,6.748607e-09,1.763919e-08,2.719276e-08,6.896840e-08,7.132958e-08,1.513779e-07,1.823675e-07,2.840067e-07,3.976834e-07,4.908731e-07,7.667006e-07,7.950571e-07,1.210807e-06,1.327116e-06,1.733952e-06,2.067176e-06,2.346109e-06,2.942037e-06,3.026743e-06,3.759593e-06,3.911341e-06,4.533031e-06,4.948353e-06,5.338555e-06,6.035049e-06,6.169453e-06,7.019976e-06,7.157526e-06,7.884893e-06,8.303718e-06,8.759309e-06,9.462564e-06,9.638600e-06,1.051843e-05,1.062386e-05,1.139479e-05,1.177834e-05,1.226403e-05,1.291784e-05,1.312285e-05,1.396838e-05,1.403538e-05,1.479814e-05,1.512515e-05,1.561002e-05,1.618250e-05,1.640226e-05,1.717346e-05,1.720385e-05,1.792249e-05,1.818655e-05,1.864851e-05,1.912874e-05,1.935091e-05,2.002927e-05,2.068337e-05,2.088754e-05,2.131312e-05,2.170339e-05,2.191855e-05,2.247703e-05,2.249982e-05,2.305715e-05,2.320895e-05,2.359085e-05,2.389989e-05,2.410130e-05,2.455071e-05,2.458889e-05,2.505408e-05,2.516244e-05,2.549734e-05,2.573618e-05,2.591918e-05,2.627308e-05,2.632011e-05,2.670067e-05,2.677438e-05,2.706139e-05,2.724130e-05,2.740281e-05,2.767509e-05,2.772548e-05,2.802994e-05,2.807700e-05,2.831672e-05,2.844826e-05,2.858638e-05,2.879013e-05,2.883944e-05,2.907642e-05,2.910380e-05,2.929785e-05,2.939048e-05,2.950423e-05,2.965133e-05,2.969607e-05,2.987387e-05,2.988750e-05,3.003810e-05,3.010010e-05,3.018925e-05,3.029023e-05,3.032777e-05,3.045412e-05,3.045893e-05,3.056875e-05,3.060723e-05,3.067208e-05,3.073612e-05,3.076455e-05,3.084657e-05,3.091853e-05,3.093950e-05,3.098084e-05,3.101582e-05,3.103386e-05,3.107638e-05,3.107798e-05,3.111356e-05,3.112203e-05,3.114094e-05,3.115357e-05,3.116046e-05,3.117178e-05,3.117247e-05,3.117728e-05,3.117740e-05,3.117520e-05,3.117115e-05,3.116654e-05,3.115371e-05,3.115159e-05,3.113064e-05,3.112575e-05,3.110396e-05,3.108791e-05,3.107181e-05,3.104078e-05,3.103446e-05,3.099217e-05,3.098496e-05,3.094516e-05,3.092099e-05,3.089368e-05,3.084942e-05,3.083795e-05,3.077819e-05,3.077076e-05,3.071461e-05,3.068548e-05,3.064743e-05,3.059407e-05,3.057682e-05,3.050300e-05,3.049696e-05,3.042613e-05,3.039458e-05,3.034641e-05,3.028733e-05,3.026399e-05,3.017904e-05,3.017560e-05,3.009173e-05,3.005975e-05,3.000221e-05,2.994014e-05,2.991062e-05,2.981711e-05,2.969096e-05,2.956199e-05,2.943050e-05,2.929676e-05,2.916101e-05,2.902351e-05,2.888449e-05,2.874416e-05,2.860274e-05,2.846041e-05,2.831736e-05,2.817376e-05,2.802979e-05,2.788558e-05,2.774130e-05,2.759707e-05,2.745303e-05,2.730928e-05,2.716596e-05,2.702315e-05,2.688096e-05,2.673949e-05,2.659881e-05,2.645901e-05
0.000000e+00,1.730502e-14,1.521355e-13,3.823988e-12,3.211332e-11,8.477546e-11,6.814900e-10,7.343925e-10,3.808076e-09,5.666948e-09,1.429648e-08,2.830456e-08,4.301804e-08,1.027399e-07,1.102307e-07,2.500328e-07,2.997864e-07,5.151335e-07,7.454847e-07,9.812109e-07,1.637723e-06,1.749969e-06,2.950281e-06,3.255343e-06,4.737232e-06,5.956704e-06,7.289254e-06,1.016820e-05,1.080378e-05,1.549190e-05,1.636548e-05,2.157252e-05,2.505071e-05,2.926629e-05,3.672861e-05,3.878982e-05,5.035019e-05,5.188364e-05,6.413994e-05,7.095920e-05,8.033267e-05,9.434005e-05,9.907930e-05,1.205048e-04,1.223377e-04,1.447060e-04,1.551795e-04,1.717491e-04,1.930008e-04,2.016692e-04,2.344694e-04,2.358410e-04,2.701207e-04,2.836424e-04,3.085627e-04,3.362523e-04,3.497049e-04,3.934281e-04,4.395868e-04,4.548449e-04,4.880115e-04,5.201054e-04,5.385119e-04,5.887515e-04,5.908793e-04,6.448906e-04,6.602766e-04,7.003113e-04,7.341395e-04,7.568987e-04,8.097769e-04,8.144054e-04,8.725826e-04,8.866173e-04,9.311829e-04,9.640931e-04,9.899634e-04,1.041651e-03,1.048688e-03,1.107129e-03,1.118764e-03,1.165071e-03,1.194935e-03,1.222309e-03,1.269707e-03,1.278655e-03,1.333934e-03,1.342669e-03,1.387987e-03,1.413455e-03,1.440672e-03,1.481749e-03,1.491862e-03,1.541446e-03,1.547284e-03,1.589331e-03,1.609842e-03,1.635439e-03,1.669253e-03,1.679706e-03,1.722083e-03,1.725390e-03,1.762534e-03,1.778170e-03,1.801036e-03,1.827544e-03,1.837578e-03,1.872157e-03,1.873500e-03,1.904785e-03,1.916056e-03,1.935478e-03,1.955258e-03,1.964263e-03,1.991172e-03,2.016243e-03,2.023884e-03,2.039520e-03,2.053498e-03,2.061051e-03,2.080127e-03,2.080889e-03,2.099087e-03,2.103896e-03,2.115703e-03,2.124937e-03,2.130795e-03,2.143384e-03,2.144422e-03,2.156646e-03,2.159378e-03,2.167527e-03,2.173056e-03,2.177125e-03,2.184557e-03,2.185500e-03,2.192712e-03,2.194020e-03,2.198819e-03,2.201577e-03,2.203878e-03,2.207359e-03,2.207945e-03,2.211075e-03,2.211493e-03,2.213321e-03,2.214099e-03,2.214732e-03,2.215295e-03,2.215360e-03,2.215250e-03,2.215190e-03,2.214450e-03,2.213890e-03,2.213002e-03,2.211494e-03,2.210948e-03,2.208330e-03,2.208097e-03,2.205184e-03,2.203787e-03,2.201548e-03,2.198646e-03,2.197457e-03,2.192943e-03,2.192754e-03,2.188039e-03,2.186183e-03,2.182773e-03,2.179001e-03,2.177175e-03,2.171271e-03,2.163052e-03,2.154398e-03,2.145362e-03,2.135989e-03,2.126323e-03,2.116404e-03,2.106269e-03,2.095953e-03,2.085487e-03,2.074899e-03,2.064216e-03,2.053463e-03,2.042662e-03,2.031832e-03,2.020994e-03,2.010163e-03,1.999355e-03,1.988584e-03,1.977863e-03,1.967203e-03,1.956614e-03,1.946107e-03,1.935689e-03,1.925368e-03
0.000000e+00,1.755647e-13,1.576242e-12,4.141673e-11,3.624606e-10,9.790927e-10,8.360366e-09,9.031764e-09,4.978700e-08,7.534412e-08,1.983084e-07,4.063652e-07,6.316333e-07,1.586144e-06,1.709070e-06,4.084608e-06,4.957976e-06,8.854301e-06,1.318084e-05,1.773902e-05,3.097010e-05,3.329871e-05,5.916778e-05,6.598843e-05,1.002943e-04,1.297952e-04,1.631606e-04,2.387115e-04,2.559624e-04,3.887269e-04,4.144469e-04,5.733594e-04,6.843755e-04,8.236081e-04,1.081399e-03,1.154952e-03,1.584417e-03,1.643404e-03,2.130324e-03,2.412362e-03,2.811993e-03,3.433137e-03,3.649402e-03,4.662823e-03,4.752107e-03,5.872450e-03,6.415683e-03,7.298020e-03,8.468806e-03,8.958452e-03,1.087151e-02,1.095352e-02,1.305347e-02,1.390766e-02,1.551888e-02,1.736376e-02,1.828029e-02,2.134808e-02,2.473029e-02,2.587999e-02,2.843252e-02,3.097145e-02,3.245790e-02,3.662686e-02,3.680703e-02,4.147802e-02,4.284305e-02,4.646655e-02,4.960942e-02,5.176596e-02,5.690838e-02,5.736736e-02,6.325975e-02,6.471583e-02,6.943023e-02,7.300176e-02,7.586412e-02,8.173101e-02,8.254522e-02,8.945593e-02,9.086400e-02,9.657751e-02,1.003575e-01,1.038902e-01,1.101656e-01,1.113736e-01,1.190065e-01,1.202402e-01,1.267676e-01,1.305321e-01,1.346351e-01,1.409913e-01,1.425875e-01,1.506030e-01,1.515681e-01,1.586604e-01,1.622135e-01,1.667388e-01,1.728798e-01,1.748177e-01,1.828774e-01,1.835208e-01,1.908989e-01,1.940927e-01,1.988638e-01,2.045538e-01,2.067548e-01,2.145555e-01,2.148654e-01,2.222502e-01,2.249915e-01,2.298245e-01,2.348994e-01,2.372650e-01,2.445592e-01,2.516957e-01,2.539444e-01,2.586642e-01,2.630314e-01,2.654553e-01,2.718001e-01,2.720606e-01,2.784730e-01,2.802330e-01,2.846860e-01,2.883158e-01,2.906942e-01,2.960370e-01,2.964931e-01,3.020791e-01,3.033877e-01,3.074493e-01,3.103615e-01,3.126016e-01,3.169544e-01,3.175348e-01,3.222483e-01,3.231646e-01,3.267420e-01,3.289922e-01,3.310168e-01,3.344392e-01,3.350737e-01,3.389145e-01,3.395092e-01,3.425415e-01,3.442073e-01,3.459574e-01,3.485400e-01,3.491651e-01,3.521681e-01,3.525149e-01,3.549701e-01,3.561404e-01,3.575753e-01,3.594261e-01,3.599878e-01,3.622121e-01,3.623821e-01,3.642531e-01,3.650192e-01,3.661154e-01,3.673485e-01,3.678041e-01,3.693243e-01,3.693817e-01,3.706811e-01,3.711306e-01,3.718798e-01,3.726072e-01,3.729256e-01,3.738238e-01,3.747924e-01,3.755251e-01,3.760340e-01,3.763310e-01,3.764275e-01,3.763352e-01,3.760651e-01,3.756281e-01,3.750348e-01,3.742953e-01,3.734195e-01,3.724169e-01,3.712967e-01,3.700676e-01,3.687379e-01,3.673157e-01,3.658086e-01,3.642240e-01,3.625687e-01,3.608493e-01,3.590722e-01,3.572431e-01,3.553677e-01,3.534513e-01
0.000000e+00,9.551369e-15,8.456111e-14,2.156800e-12,1.835612e-11,4.881335e-11,3.997661e-10,4.311195e-10,2.275303e-09,3.401524e-09,8.676002e-09,1.731808e-08,2.645076e-08,6.379285e-08,6.849536e-08,1.566467e-07,1.881383e-07,3.249051e-07,4.718526e-07,6.228157e-07,1.046011e-06,1.118742e-06,1.902672e-06,2.103581e-06,3.088113e-06,3.907943e-06,4.812608e-06,6.794473e-06,7.236513e-06,1.053988e-05,1.116290e-05,1.491759e-05,1.746008e-05,2.057305e-05,2.615515e-05,2.771102e-05,3.652998e-05,3.771018e-05,4.721473e-05,5.255034e-05,5.992962e-05,7.103673e-05,7.481268e-05,9.197096e-05,9.344434e-05,1.114773e-04,1.199467e-04,1.333681e-04,1.506074e-04,1.576433e-04,1.842661e-04,1.853790e-04,2.131654e-04,2.241074e-04,2.442377e-04,2.665417e-04,2.773508e-04,3.123472e-04,3.490482e-04,3.611211e-04,3.872585e-04,4.124094e-04,4.267699e-04,4.657238e-04,4.673657e-04,5.088247e-04,5.205576e-04,5.509248e-04,5.764009e-04,5.934461e-04,6.327534e-04,6.361743e-04,6.789026e-04,6.891353e-04,7.214342e-04,7.450965e-04,7.635841e-04,8.002231e-04,8.051800e-04,8.460637e-04,8.541421e-04,8.860915e-04,9.065244e-04,9.251347e-04,9.570863e-04,9.630794e-04,9.998269e-04,1.005590e-03,1.035292e-03,1.051839e-03,1.069405e-03,1.095683e-03,1.102109e-03,1.133358e-03,1.137008e-03,1.163120e-03,1.175738e-03,1.191372e-03,1.211827e-03,1.218104e-03,1.243311e-03,1.245262e-03,1.267001e-03,1.276054e-03,1.289185e-03,1.304236e-03,1.309883e-03,1.329121e-03,1.329861e-03,1.346928e-03,1.352995e-03,1.363339e-03,1.373720e-03,1.378392e-03,1.392128e-03,1.404589e-03,1.408315e-03,1.415821e-03,1.422386e-03,1.425870e-03,1.434449e-03,1.434784e-03,1.442611e-03,1.444614e-03,1.449398e-03,1.452991e-03,1.455194e-03,1.459692e-03,1.460046e-03,1.464002e-03,1.464823e-03,1.467107e-03,1.468492e-03,1.469408e-03,1.470803e-03,1.470949e-03,1.471772e-03,1.471854e-03,1.471920e-03,1.471743e-03,1.471433e-03,1.470562e-03,1.470350e-03,1.468710e-03,1.468398e-03,1.466548e-03,1.465336e-03,1.463900e-03,1.461453e-03,1.460798e-03,1.457275e-03,1.456825e-03,1.453361e-03,1.451522e-03,1.449085e-03,1.445611e-03,1.444475e-03,1.439558e-03,1.439152e-03,1.434358e-03,1.432204e-03,1.428899e-03,1.424821e-03,1.423203e-03,1.417293e-03,1.417052e-03,1.411187e-03,1.408945e-03,1.404906e-03,1.400543e-03,1.398467e-03,1.391886e-03,1.383011e-03,1.373952e-03,1.364741e-03,1.355406e-03,1.345975e-03,1.336471e-03,1.326918e-03,1.317334e-03,1.307740e-03,1.298152e-03,1.288586e-03,1.279054e-03,1.269571e-03,1.260147e-03,1.250792e-03,1.241516e-03,1.232327e-03,1.223232e-03,1.214238e-03,1.205349e-03,1.196572e-03,1.187910e-03,1.179367e-03,1.170946e-03
0.000000e+00,2.614279e-10,7.855582e-10,3.577637e-09,9.250967e-09,1.414874e-08,3.488611e-08,3.602974e-08,7.338875e-08,8.723740e-08,1.308623e-07,1.772116e-07,2.138461e-07,3.179517e-07,3.284255e-07,4.803405e-07,5.227910e-07,6.726929e-07,7.977296e-07,9.040859e-07,1.136099e-06,1.169554e-06,1.463144e-06,1.524754e-06,1.779573e-06,1.951685e-06,2.114559e-06,2.407713e-06,2.464604e-06,2.826698e-06,2.885566e-06,3.198105e-06,3.378926e-06,3.576243e-06,3.881928e-06,3.958628e-06,4.342858e-06,4.388979e-06,4.726626e-06,4.894768e-06,5.107742e-06,5.394349e-06,5.484155e-06,5.853983e-06,5.883233e-06,6.215524e-06,6.357477e-06,6.567277e-06,6.813744e-06,6.907948e-06,7.236444e-06,7.249317e-06,7.551875e-06,7.662092e-06,7.853542e-06,8.050541e-06,8.140924e-06,8.413668e-06,8.671567e-06,8.750944e-06,8.914549e-06,9.062246e-06,9.142660e-06,9.347789e-06,9.356045e-06,9.554935e-06,9.608066e-06,9.739634e-06,9.843791e-06,9.910505e-06,1.005585e-05,1.006796e-05,1.021244e-05,1.024524e-05,1.034443e-05,1.041307e-05,1.046442e-05,1.056048e-05,1.057291e-05,1.067043e-05,1.068866e-05,1.075749e-05,1.079880e-05,1.083461e-05,1.089207e-05,1.090229e-05,1.096104e-05,1.096964e-05,1.101134e-05,1.103263e-05,1.105368e-05,1.108213e-05,1.108851e-05,1.111630e-05,1.111918e-05,1.113746e-05,1.114478e-05,1.115242e-05,1.115988e-05,1.116157e-05,1.116531e-05,1.116538e-05,1.116399e-05,1.116212e-05,1.115796e-05,1.115090e-05,1.114756e-05,1.113311e-05,1.113245e-05,1.111491e-05,1.110749e-05,1.109324e-05,1.107667e-05,1.106838e-05,1.104058e-05,1.101009e-05,1.099980e-05,1.097714e-05,1.095486e-05,1.094195e-05,1.090624e-05,1.090472e-05,1.086564e-05,1.085439e-05,1.082491e-05,1.079974e-05,1.078268e-05,1.074266e-05,1.073913e-05,1.069440e-05,1.068351e-05,1.064864e-05,1.062262e-05,1.060199e-05,1.056028e-05,1.055455e-05,1.050647e-05,1.049678e-05,1.045784e-05,1.043237e-05,1.040876e-05,1.036727e-05,1.035934e-05,1.030966e-05,1.030169e-05,1.025980e-05,1.023583e-05,1.020985e-05,1.016986e-05,1.015987e-05,1.010993e-05,1.010394e-05,1.006010e-05,1.003821e-05,1.001042e-05,9.972803e-06,9.960953e-06,9.911748e-06,9.907824e-06,9.862848e-06,9.843383e-06,9.814294e-06,9.779570e-06,9.766123e-06,9.718369e-06,9.716468e-06,9.671064e-06,9.654149e-06,9.624235e-06,9.592676e-06,9.577908e-06,9.532105e-06,9.472484e-06,9.413853e-06,9.356248e-06,9.299698e-06,9.244227e-06,9.189853e-06,9.136592e-06,9.084455e-06,9.033447e-06,8.983574e-06,8.934836e-06,8.887232e-06,8.840756e-06,8.795402e-06,8.751163e-06,8.708027e-06,8.665984e-06,8.625020e-06,8.585121e-06,8.546272e-06,8.508456e-06,8.471656e-06,8.435855e-06,8.401035e-06
0.000000e+00,2.809123e-15,2.426493e-14,5.875737e-13,4.764229e-12,1.233097e-11,9.401712e-11,1.010913e-10,4.957476e-10,7.261811e-10,1.758321e-09,3.362285e-09,4.991593e-09,1.128511e-08,1.204966e-08,2.572004e-08,3.038920e-08,4.985539e-08,6.975373e-08,8.944130e-08,1.418864e-07,1.505906e-07,2.404520e-07,2.625610e-07,3.670135e-07,4.501455e-07,5.387860e-07,7.243113e-07,7.643647e-07,1.051898e-06,1.104149e-06,1.408523e-06,1.605957e-06,1.839831e-06,2.241155e-06,2.349440e-06,2.938709e-06,3.014751e-06,3.606627e-06,3.924649e-06,4.349865e-06,4.961813e-06,5.162967e-06,6.038653e-06,6.111158e-06,6.968195e-06,7.352929e-06,7.941827e-06,8.664321e-06,8.949157e-06,9.979560e-06,1.002111e-05,1.102253e-05,1.139911e-05,1.206797e-05,1.277543e-05,1.310645e-05,1.412937e-05,1.512912e-05,1.544304e-05,1.609911e-05,1.670170e-05,1.703383e-05,1.789384e-05,1.792884e-05,1.878070e-05,1.901113e-05,1.958696e-05,2.004813e-05,2.034602e-05,2.100199e-05,2.105710e-05,2.172008e-05,2.187208e-05,2.233545e-05,2.265962e-05,2.290421e-05,2.336724e-05,2.342773e-05,2.390772e-05,2.399867e-05,2.434615e-05,2.455839e-05,2.474511e-05,2.505137e-05,2.510684e-05,2.543362e-05,2.548282e-05,2.572775e-05,2.585800e-05,2.599149e-05,2.618210e-05,2.622707e-05,2.643663e-05,2.646013e-05,2.662223e-05,2.669680e-05,2.678580e-05,2.689652e-05,2.692918e-05,2.705409e-05,2.706334e-05,2.716213e-05,2.720096e-05,2.725478e-05,2.731273e-05,2.733340e-05,2.739926e-05,2.740165e-05,2.745351e-05,2.747040e-05,2.749720e-05,2.752137e-05,2.753129e-05,2.755667e-05,2.757412e-05,2.757816e-05,2.758438e-05,2.758747e-05,2.758810e-05,2.758607e-05,2.758587e-05,2.757824e-05,2.757520e-05,2.756569e-05,2.755599e-05,2.754868e-05,2.752942e-05,2.752760e-05,2.750282e-05,2.749636e-05,2.747468e-05,2.745757e-05,2.744349e-05,2.741372e-05,2.740951e-05,2.737300e-05,2.736542e-05,2.733420e-05,2.731318e-05,2.729330e-05,2.725749e-05,2.725052e-05,2.720602e-05,2.719876e-05,2.715998e-05,2.713737e-05,2.711253e-05,2.707367e-05,2.706383e-05,2.701400e-05,2.700795e-05,2.696315e-05,2.694049e-05,2.691141e-05,2.687154e-05,2.685886e-05,2.680562e-05,2.680133e-05,2.675176e-05,2.673006e-05,2.669736e-05,2.665791e-05,2.664251e-05,2.658728e-05,2.658506e-05,2.653173e-05,2.651166e-05,2.647592e-05,2.643786e-05,2.641992e-05,2.636378e-05,2.628954e-05,2.621526e-05,2.614102e-05,2.606693e-05,2.599305e-05,2.591947e-05,2.584625e-05,2.577346e-05,2.570116e-05,2.562940e-05,2.555822e-05,2.548767e-05,2.541778e-05,2.534860e-05,2.528016e-05,2.521247e-05,2.514558e-05,2.507949e-05,2.501423e-05,2.494982e-05,2.488627e-05,2.482360e-05,2.476180e-05,2.470091e-05
0.000000e+00,3.837716e-14,3.186126e-13,7.102400e-12,5.337563e-11,1.324875e-10,9.065949e-10,9.705388e-10,4.278694e-09,6.090691e-09,1.373698e-08,2.483427e-08,3.557131e-08,7.442987e-08,7.896498e-08,1.562308e-07,1.814517e-07,2.825540e-07,3.810382e-07,4.749331e-07,7.122606e-07,7.501680e-07,1.122347e-06,1.209328e-06,1.600650e-06,1.892576e-06,2.188134e-06,2.763872e-06,2.881672e-06,3.672829e-06,3.807689e-06,4.549246e-06,4.995930e-06,5.496162e-06,6.293830e-06,6.497756e-06,7.538191e-06,7.664925e-06,8.602338e-06,9.074424e-06,9.676217e-06,1.049107e-05,1.074723e-05,1.180428e-05,1.188794e-05,1.283773e-05,1.324262e-05,1.383943e-05,1.453715e-05,1.480264e-05,1.572197e-05,1.575777e-05,1.659333e-05,1.689467e-05,1.741379e-05,1.794168e-05,1.818157e-05,1.889585e-05,1.955672e-05,1.975704e-05,2.016502e-05,2.052740e-05,2.072222e-05,2.121090e-05,2.123030e-05,2.169164e-05,2.181278e-05,2.210885e-05,2.233917e-05,2.248476e-05,2.279661e-05,2.282226e-05,2.312425e-05,2.319177e-05,2.339359e-05,2.353118e-05,2.363302e-05,2.382106e-05,2.384516e-05,2.403248e-05,2.406717e-05,2.419727e-05,2.427477e-05,2.434164e-05,2.444856e-05,2.446753e-05,2.457668e-05,2.459270e-05,2.467069e-05,2.471086e-05,2.475098e-05,2.480620e-05,2.481883e-05,2.487540e-05,2.488148e-05,2.492171e-05,2.493907e-05,2.495867e-05,2.498101e-05,2.498709e-05,2.500772e-05,2.500905e-05,2.502119e-05,2.502470e-05,2.502809e-05,2.502928e-05,2.502894e-05,2.502421e-05,2.502391e-05,2.501433e-05,2.500958e-05,2.499967e-05,2.498716e-05,2.498059e-05,2.495741e-05,2.493040e-05,2.492100e-05,2.489985e-05,2.487854e-05,2.486598e-05,2.483057e-05,2.482903e-05,2.478921e-05,2.477757e-05,2.474670e-05,2.471999e-05,2.470170e-05,2.465823e-05,2.465436e-05,2.460485e-05,2.459266e-05,2.455330e-05,2.452361e-05,2.449987e-05,2.445138e-05,2.444467e-05,2.438783e-05,2.437628e-05,2.432946e-05,2.429855e-05,2.426968e-05,2.421844e-05,2.420858e-05,2.414626e-05,2.413618e-05,2.408281e-05,2.405198e-05,2.401832e-05,2.396604e-05,2.395287e-05,2.388654e-05,2.387853e-05,2.381941e-05,2.378963e-05,2.375153e-05,2.369949e-05,2.368298e-05,2.361382e-05,2.360826e-05,2.354411e-05,2.351608e-05,2.347390e-05,2.342308e-05,2.340326e-05,2.333223e-05,2.332938e-05,2.326086e-05,2.323509e-05,2.318919e-05,2.314032e-05,2.311728e-05,2.304516e-05,2.294971e-05,2.285406e-05,2.275827e-05,2.266244e-05,2.256662e-05,2.247089e-05,2.237530e-05,2.227992e-05,2.218479e-05,2.208997e-05,2.199550e-05,2.190143e-05,2.180779e-05,2.171463e-05,2.162197e-05,2.152985e-05,2.143830e-05,2.134735e-05,2.125702e-05,2.116734e-05,2.107833e-05,2.099000e-05,2.090238e-05,2.081547e-05
0.000000e+00,2.007395e-15,1.778672e-14,4.555093e-13,3.896781e-12,1.039873e-11,8.614082e-11,9.294738e-11,4.981864e-10,7.484965e-10,1.936370e-09,3.916960e-09,6.040416e-09,1.492555e-08,1.606163e-08,3.782117e-08,4.575613e-08,8.088189e-08,1.194953e-07,1.598360e-07,2.754242e-07,2.955738e-07,5.164180e-07,5.738715e-07,8.590411e-07,1.100125e-06,1.369122e-06,1.967001e-06,2.101716e-06,3.121338e-06,3.315916e-06,4.501762e-06,5.316447e-06,6.325545e-06,8.164431e-06,8.683295e-06,1.167272e-05,1.207877e-05,1.539748e-05,1.729709e-05,1.996585e-05,2.407052e-05,2.548928e-05,3.208089e-05,3.265776e-05,3.985381e-05,4.331884e-05,4.891966e-05,5.630872e-05,5.938692e-05,7.135946e-05,7.187108e-05,8.493508e-05,9.023241e-05,1.002042e-04,1.115968e-04,1.172489e-04,1.361414e-04,1.569438e-04,1.640126e-04,1.797071e-04,1.953234e-04,2.044708e-04,2.301515e-04,2.312623e-04,2.600972e-04,2.685379e-04,2.909789e-04,3.104875e-04,3.238991e-04,3.559689e-04,3.588376e-04,3.957631e-04,4.049164e-04,4.346335e-04,4.572315e-04,4.753968e-04,5.127855e-04,5.179912e-04,5.623463e-04,5.714219e-04,6.083837e-04,6.329599e-04,6.560179e-04,6.971975e-04,7.051570e-04,7.557036e-04,7.639149e-04,8.075557e-04,8.328774e-04,8.606074e-04,9.038394e-04,9.147499e-04,9.698720e-04,9.765471e-04,1.025861e-03,1.050742e-03,1.082604e-03,1.126162e-03,1.139987e-03,1.197897e-03,1.202549e-03,1.256222e-03,1.279643e-03,1.314852e-03,1.357194e-03,1.373679e-03,1.432598e-03,1.434956e-03,1.491506e-03,1.512691e-03,1.550304e-03,1.590175e-03,1.608896e-03,1.667190e-03,1.725100e-03,1.743536e-03,1.782541e-03,1.819021e-03,1.839435e-03,1.893468e-03,1.895707e-03,1.951287e-03,1.966717e-03,2.006111e-03,2.038616e-03,2.060117e-03,2.109033e-03,2.113250e-03,2.165458e-03,2.177845e-03,2.216695e-03,2.244947e-03,2.266917e-03,2.310242e-03,2.316086e-03,2.364169e-03,2.373652e-03,2.411135e-03,2.435108e-03,2.456959e-03,2.494552e-03,2.501618e-03,2.545094e-03,2.551939e-03,2.587372e-03,2.607236e-03,2.628439e-03,2.660417e-03,2.668289e-03,2.706914e-03,2.711467e-03,2.744313e-03,2.760380e-03,2.780485e-03,2.807157e-03,2.815433e-03,2.849162e-03,2.851808e-03,2.881679e-03,2.894348e-03,2.912993e-03,2.934800e-03,2.943114e-03,2.972056e-03,2.973190e-03,2.999833e-03,3.009551e-03,3.026461e-03,3.043919e-03,3.051956e-03,3.076336e-03,3.106844e-03,3.135491e-03,3.162326e-03,3.187399e-03,3.210764e-03,3.232474e-03,3.252583e-03,3.271149e-03,3.288225e-03,3.303868e-03,3.318133e-03,3.331077e-03,3.342752e-03,3.353215e-03,3.362517e-03,3.370711e-03,3.377849e-03,3.383980e-03,3.389153e-03,3.393416e-03,3.396815e-03,3.399395e-03,3.401199e-03,3.402269e-03
0.000000e+00,1.021233e-10,2.742077e-10,1.107143e-09,2.700523e-09,4.036756e-09,9.522676e-09,9.820027e-09,1.935360e-08,2.281942e-08,3.356087e-08,4.473514e-08,5.342381e-08,7.754797e-08,7.993452e-08,1.138647e-07,1.231448e-07,1.553350e-07,1.815914e-07,2.035654e-07,2.505373e-07,2.572146e-07,3.149268e-07,3.268536e-07,3.755807e-07,4.079794e-07,4.382815e-07,4.919849e-07,5.022854e-07,5.669392e-07,5.773038e-07,6.316494e-07,6.625682e-07,6.958699e-07,7.465565e-07,7.591013e-07,8.208943e-07,8.281935e-07,8.808550e-07,9.065686e-07,9.386478e-07,9.809492e-07,9.939980e-07,1.046691e-06,1.050786e-06,1.096568e-06,1.115706e-06,1.143527e-06,1.175497e-06,1.187510e-06,1.228504e-06,1.230082e-06,1.266532e-06,1.279505e-06,1.301645e-06,1.323895e-06,1.333920e-06,1.363451e-06,1.390349e-06,1.398420e-06,1.414735e-06,1.429080e-06,1.436733e-06,1.455726e-06,1.456474e-06,1.474091e-06,1.478661e-06,1.489713e-06,1.498183e-06,1.503469e-06,1.514584e-06,1.515484e-06,1.525879e-06,1.528145e-06,1.534769e-06,1.539131e-06,1.542264e-06,1.547788e-06,1.548467e-06,1.553476e-06,1.554342e-06,1.557382e-06,1.559007e-06,1.560273e-06,1.561975e-06,1.562229e-06,1.563324e-06,1.563424e-06,1.563629e-06,1.563514e-06,1.563209e-06,1.562393e-06,1.562125e-06,1.560433e-06,1.560192e-06,1.558186e-06,1.557033e-06,1.555430e-06,1.553024e-06,1.552212e-06,1.548573e-06,1.548264e-06,1.544550e-06,1.542842e-06,1.540180e-06,1.536837e-06,1.535496e-06,1.530527e-06,1.530323e-06,1.525302e-06,1.523363e-06,1.519847e-06,1.516018e-06,1.514185e-06,1.508339e-06,1.502329e-06,1.500375e-06,1.496175e-06,1.492168e-06,1.489893e-06,1.483758e-06,1.483500e-06,1.477011e-06,1.475179e-06,1.470440e-06,1.466462e-06,1.463798e-06,1.457637e-06,1.457099e-06,1.450352e-06,1.448727e-06,1.443568e-06,1.439757e-06,1.436757e-06,1.430746e-06,1.429925e-06,1.423083e-06,1.421713e-06,1.416235e-06,1.412675e-06,1.409391e-06,1.403647e-06,1.402554e-06,1.395732e-06,1.394642e-06,1.388929e-06,1.385671e-06,1.382149e-06,1.376746e-06,1.375399e-06,1.368681e-06,1.367877e-06,1.361999e-06,1.359071e-06,1.355356e-06,1.350336e-06,1.348756e-06,1.342201e-06,1.341679e-06,1.335694e-06,1.333105e-06,1.329237e-06,1.324621e-06,1.322833e-06,1.316482e-06,1.316229e-06,1.310188e-06,1.307936e-06,1.303950e-06,1.299743e-06,1.297772e-06,1.291653e-06,1.283671e-06,1.275796e-06,1.268032e-06,1.260379e-06,1.252839e-06,1.245412e-06,1.238099e-06,1.230901e-06,1.223818e-06,1.216849e-06,1.209994e-06,1.203254e-06,1.196627e-06,1.190113e-06,1.183712e-06,1.177422e-06,1.171243e-06,1.165173e-06,1.159212e-06,1.153358e-06,1.147611e-06,1.141968e-06,1.136430e-06,1.130993e-06
0.000000e+00,1.160717e-11,5.931952e-11,5.375555e-10,1.996286e-09,3.508262e-09,1.105441e-08,1.150287e-08,2.705484e-08,3.309426e-08,5.257256e-08,7.363282e-08,9.037131e-08,1.379236e-07,1.426954e-07,2.116667e-07,2.309074e-07,2.990755e-07,3.565354e-07,4.060594e-07,5.166905e-07,5.329671e-07,6.795548e-07,7.111881e-07,8.452623e-07,9.387491e-07,1.029358e-06,1.197572e-06,1.230965e-06,1.449050e-06,1.485396e-06,1.682418e-06,1.799471e-06,1.929717e-06,2.136595e-06,2.189466e-06,2.460078e-06,2.493204e-06,2.739903e-06,2.865512e-06,3.027259e-06,3.249653e-06,3.320469e-06,3.617894e-06,3.641822e-06,3.917958e-06,4.038385e-06,4.219172e-06,4.435976e-06,4.520151e-06,4.819623e-06,4.831554e-06,5.116441e-06,5.222443e-06,5.409577e-06,5.606342e-06,5.698130e-06,5.981319e-06,6.258474e-06,6.345794e-06,6.529034e-06,6.698514e-06,6.792537e-06,7.038513e-06,7.048610e-06,7.296962e-06,7.365085e-06,7.537374e-06,7.677744e-06,7.769692e-06,7.976191e-06,7.993818e-06,8.209702e-06,8.260287e-06,8.417340e-06,8.530026e-06,8.616762e-06,8.785506e-06,8.808030e-06,8.991231e-06,9.026912e-06,9.166476e-06,9.254501e-06,9.333893e-06,9.468578e-06,9.493625e-06,9.645829e-06,9.669493e-06,9.790668e-06,9.857626e-06,9.928317e-06,1.003338e-05,1.005895e-05,1.018276e-05,1.019717e-05,1.029992e-05,1.034942e-05,1.041063e-05,1.049056e-05,1.051506e-05,1.061342e-05,1.062103e-05,1.070588e-05,1.074125e-05,1.079262e-05,1.085165e-05,1.087385e-05,1.094972e-05,1.095265e-05,1.102043e-05,1.104465e-05,1.108614e-05,1.112806e-05,1.114703e-05,1.120327e-05,1.125503e-05,1.127067e-05,1.130246e-05,1.133062e-05,1.134573e-05,1.138348e-05,1.138498e-05,1.142037e-05,1.142961e-05,1.145205e-05,1.146933e-05,1.148015e-05,1.150297e-05,1.150482e-05,1.152620e-05,1.153085e-05,1.154441e-05,1.155327e-05,1.155958e-05,1.157051e-05,1.157184e-05,1.158130e-05,1.158287e-05,1.158809e-05,1.159060e-05,1.159231e-05,1.159396e-05,1.159409e-05,1.159351e-05,1.159321e-05,1.159070e-05,1.158858e-05,1.158574e-05,1.158030e-05,1.157874e-05,1.156978e-05,1.156858e-05,1.155896e-05,1.155363e-05,1.154637e-05,1.153566e-05,1.153208e-05,1.151619e-05,1.151486e-05,1.149877e-05,1.149140e-05,1.147990e-05,1.146546e-05,1.145965e-05,1.143809e-05,1.143720e-05,1.141529e-05,1.140679e-05,1.139132e-05,1.137438e-05,1.136624e-05,1.134011e-05,1.130411e-05,1.126653e-05,1.122747e-05,1.118706e-05,1.114542e-05,1.110264e-05,1.105884e-05,1.101410e-05,1.096852e-05,1.092218e-05,1.087517e-05,1.082756e-05,1.077942e-05,1.073083e-05,1.068186e-05,1.063255e-05,1.058298e-05,1.053319e-05,1.048325e-05,1.043319e-05,1.038306e-05,1.033291e-05,1.028278e-05,1.023270e-05
0.000000e+00,1.474805e-14,1.258495e-13,2.972115e-12,2.356569e-11,6.026412e-11,4.459243e-10,4.789135e-10,2.285200e-09,3.324338e-09,7.920136e-09,1.496981e-08,2.207351e-08,4.927515e-08,5.256536e-08,1.111802e-07,1.311489e-07,2.142677e-07,2.990653e-07,3.827987e-07,6.049049e-07,6.416189e-07,1.017926e-06,1.109729e-06,1.539284e-06,1.876428e-06,2.231586e-06,2.961805e-06,3.117318e-06,4.214305e-06,4.410337e-06,5.534972e-06,6.250545e-06,7.086084e-06,8.493891e-06,8.868859e-06,1.087932e-05,1.113551e-05,1.310884e-05,1.415610e-05,1.554476e-05,1.752434e-05,1.817105e-05,2.096900e-05,2.119964e-05,2.391789e-05,2.513480e-05,2.699562e-05,2.927852e-05,3.017929e-05,3.344576e-05,3.357782e-05,3.677215e-05,3.798000e-05,4.013621e-05,4.243443e-05,4.351675e-05,4.689384e-05,5.024909e-05,5.131538e-05,5.356578e-05,5.566125e-05,5.682897e-05,5.989907e-05,6.002550e-05,6.314403e-05,6.400189e-05,6.617495e-05,6.794809e-05,6.911034e-05,7.172102e-05,7.194383e-05,7.467050e-05,7.530859e-05,7.728677e-05,7.870271e-05,7.979023e-05,8.189885e-05,8.217951e-05,8.445419e-05,8.489539e-05,8.661461e-05,8.769320e-05,8.866182e-05,9.029513e-05,9.059741e-05,9.242345e-05,9.270562e-05,9.414242e-05,9.493029e-05,9.575707e-05,9.697569e-05,9.727040e-05,9.868560e-05,9.884899e-05,1.000060e-04,1.005578e-04,1.012349e-04,1.021099e-04,1.023758e-04,1.034322e-04,1.035132e-04,1.044075e-04,1.047756e-04,1.053050e-04,1.059050e-04,1.061282e-04,1.068803e-04,1.069089e-04,1.075645e-04,1.077949e-04,1.081841e-04,1.085700e-04,1.087420e-04,1.092412e-04,1.096845e-04,1.098150e-04,1.100748e-04,1.102979e-04,1.104146e-04,1.106958e-04,1.107066e-04,1.109532e-04,1.110144e-04,1.111568e-04,1.112593e-04,1.113196e-04,1.114354e-04,1.114440e-04,1.115318e-04,1.115477e-04,1.115852e-04,1.116008e-04,1.116061e-04,1.115990e-04,1.115963e-04,1.115575e-04,1.115464e-04,1.114915e-04,1.114469e-04,1.113998e-04,1.113041e-04,1.112841e-04,1.111456e-04,1.111214e-04,1.109859e-04,1.109020e-04,1.108062e-04,1.106490e-04,1.106079e-04,1.103921e-04,1.103650e-04,1.101599e-04,1.100529e-04,1.099126e-04,1.097150e-04,1.096510e-04,1.093763e-04,1.093538e-04,1.090893e-04,1.089713e-04,1.087910e-04,1.085696e-04,1.084821e-04,1.081636e-04,1.081507e-04,1.078362e-04,1.077162e-04,1.075005e-04,1.072680e-04,1.071574e-04,1.068074e-04,1.063360e-04,1.058552e-04,1.053661e-04,1.048700e-04,1.043680e-04,1.038610e-04,1.033500e-04,1.028358e-04,1.023194e-04,1.018014e-04,1.012826e-04,1.007635e-04,1.002448e-04,9.972707e-05,9.921074e-05,9.869631e-05,9.818420e-05,9.767481e-05,9.716849e-05,9.666558e-05,9.616637e-05,9.567113e-05,9.518010e-05,9.469352e-05
